WO2023157446A1 - レーザ加工装置 - Google Patents

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WO2023157446A1
WO2023157446A1 PCT/JP2022/046294 JP2022046294W WO2023157446A1 WO 2023157446 A1 WO2023157446 A1 WO 2023157446A1 JP 2022046294 W JP2022046294 W JP 2022046294W WO 2023157446 A1 WO2023157446 A1 WO 2023157446A1
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WO
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data
laser
unit
display
main control
Prior art date
Application number
PCT/JP2022/046294
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English (en)
French (fr)
Inventor
崇浩 太田
Original Assignee
パナソニックＩｐマネジメント株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring

Definitions

  • This disclosure relates to a laser processing apparatus.
  • a laser processing apparatus that performs marking such as characters on the surface of an object to be processed by irradiating the object with a laser beam. Further, for example, a laser processing apparatus that performs wafer exposure with a laser beam, which is described in Patent Document 1, is controlled based on control information stored in a server.
  • downtime will occur. It is desirable to shorten this downtime as much as possible. For example, downtime can be reduced if the time required for a service person who performs maintenance or repair of a laser processing apparatus to identify the cause of the problem can be shortened. In order for the serviceman to identify the cause of the problem, information indicating the state of the laser processing apparatus is required.
  • a laser processing apparatus is a laser processing apparatus that processes an object to be processed with a laser beam, and controls a laser light source that emits the laser light, the laser light source, and controls the laser processing apparatus.
  • a control unit that acquires monitoring data about; a storage unit that stores the monitoring data acquired by the control unit; and a monitoring data display screen including display of at least part of the monitoring data under the control of the control unit.
  • a display unit configured to set a display mode for displaying the monitoring data display screen to a first display mode for displaying only first display data of the monitoring data and at least one of the monitoring data It is possible to switch to a second display mode that displays second display data, and the first display data includes data that allows confirmation of the output state of the laser light and data that allows confirmation of settings related to the output of the laser light. and wherein the second display data is data different from the first display data.
  • FIG. 1 is a perspective view showing a laser processing apparatus of one embodiment.
  • FIG. 2 is a block diagram showing an electrical configuration of the laser processing apparatus of FIG. 1.
  • FIG. 3 is an explanatory diagram showing an initial screen of the laser processing apparatus of FIG.
  • FIG. 4 is an explanatory diagram showing a laser output confirmation screen of the laser processing apparatus of FIG.
  • FIG. 5 is an explanatory diagram showing a laser output confirmation screen of the laser processing apparatus of FIG.
  • FIG. 6 is an explanatory diagram for explaining monitoring items during laser output measurement in the laser processing apparatus of FIG.
  • FIG. 7 is an explanatory diagram for explaining monitoring items in the laser processing apparatus of FIG.
  • FIG. 8 is an explanatory diagram for explaining monitoring items in the laser processing apparatus of FIG.
  • FIG. 9 is an explanatory diagram for explaining monitoring items in the laser processing apparatus of FIG.
  • FIG. 10 is a block diagram showing an electrical configuration of a modified laser processing apparatus.
  • FIG. 11 is a block diagram showing an electrical configuration of a modified laser processing
  • the laser processing apparatus 10A has a controller unit 11, a light source unit 12, a head unit 13, and a console 14, for example.
  • the light source unit 12 is connected to the head unit 13 by, for example, a first electrical cable 81 and an optical fiber cable FL.
  • the light source unit 12 is connected to the controller unit 11 by, for example, a second electric cable 82 .
  • the first electric cable 81 is composed of, for example, a first power cable SP1 and a first signal cable SL1.
  • the second electric cable 82 is composed of a second power cable SP2 and a second signal cable SL2. AC power is supplied to the controller unit 11 through a power cable (not shown).
  • Console 14 is connected to controller unit 11 by a third electrical cable 83 .
  • a console 14 is provided for performing various settings in the laser processing apparatus 10A.
  • a console 14 is provided to display the state of the laser processing apparatus 10A and various information.
  • the controller unit 11 controls the light source unit 12 and the head unit 13.
  • the light source unit 12 generates laser light LW for processing the object W to be processed.
  • a laser beam LW generated by the light source unit 12 is transmitted to the head unit 13 by an optical fiber cable FL.
  • the head unit 13 emits a laser beam LW toward the object W to be processed.
  • the light source unit 12 has a housing 31. As shown in FIG. The light source unit 12 has a light source control section 32 , a storage section 33 and a laser light source 34 inside a housing 31 . Further, the light source unit 12 may include a fan 35 for cooling the laser light source 34 and various electronic components inside the housing 31 .
  • the light source controller 32 controls the laser light source 34 .
  • the light source controller 32 has, for example, an oscillator unit board.
  • a temperature sensor for measuring the temperature inside the light source unit 12 is provided on the oscillator unit substrate.
  • the light source controller 32 acquires temperature data inside the light source unit 12 from the temperature sensor.
  • a humidity sensor for measuring the humidity near the oscillator unit substrate is provided on the oscillator unit substrate.
  • the light source controller 32 acquires humidity data near the oscillator unit substrate from the humidity sensor.
  • the light source unit 12 may have a timer for measuring time.
  • the storage unit 33 stores information on the light source unit 12 .
  • the information on the light source unit 12 includes identification information on the light source unit 12 .
  • the identification information of the light source unit 12 includes, for example, model information (model) and unique information (serial number) of the light source unit 12 .
  • the fan 35 is controlled by the light source controller 32, for example.
  • the laser light source 34 has a laser oscillator 34a that outputs a laser beam LW.
  • the laser light source 34 emits laser light LW.
  • the laser light source 34 may be one that emits a laser beam LW, and examples thereof include a fiber laser, a YAG laser, a CO2 laser, and the like.
  • the laser oscillator 34a may have a temperature sensor that measures the internal temperature of the laser oscillator 34a.
  • the light source control unit 32 acquires temperature data inside the laser oscillator 34a from the laser oscillator 34a.
  • the laser light source 34 may have a power monitor that measures the output of the laser light LW emitted by the laser light source 34 . This power monitor outputs the measurement result to the light source controller 32 .
  • the light source control section 32 is configured to be able to communicate with the controller unit 11 via the second signal cable SL2. Also, the light source control section 32 is configured to be able to communicate with the head unit 13 via the first signal cable SL1.
  • the light source control unit 32, storage unit 33, and fan 35 are configured to operate with the system power supply voltage PS supplied through the second power cable SP2.
  • the laser light source 34 is operated by the laser power supply voltage PL supplied by the second power cable SP2.
  • the laser power supply voltage PL is supplied to the light source controller 32 through the second power cable SP2 and then supplied from the light source controller 32 to the laser light source 34 .
  • the light source control section 32 outputs data (current value) of the current to be supplied to the laser oscillator 34a, that is, the oscillator current CL, to the controller unit 11 via the second signal cable SL2.
  • the head unit 13 has a housing 41 .
  • the head unit 13 has, for example, a head control section 42, a storage section 43, a focus adjustment section 44, a scanning section 45, a shielding mechanism 46, a monitor section 47, and an acceleration sensor 48 inside a housing 41.
  • FIG. the head unit 13 may have a fan 49 in the housing 41 for cooling various electronic components in the housing 41 .
  • the head unit 13 has a protective glass 50 . Protective glass 50 is held by housing 41 .
  • the storage unit 43 stores information on the head unit 13 .
  • the information on the head unit 13 includes identification information on the head unit 13 .
  • the identification information of the head unit 13 includes model information (model) and specific information (serial number) of the head unit 13 .
  • the focus adjustment unit 44 adjusts the focal position (focal length) of the laser beam LW.
  • the focus adjustment unit 44 includes a plurality of lenses arranged on the optical axis of the laser beam LW and an actuator that moves the positions of the lenses in the optical axis direction.
  • the head controller 42 controls the position of the lens by controlling this actuator.
  • the focal position of the emitted laser light LW is adjusted by the position of the lenses (the distance between the lenses).
  • the scanning unit 45 irradiates the object W to be processed with the laser beam LW. Further, the scanning unit 45 scans the processing surface Wa of the workpiece W with the laser beam LW.
  • the scanning unit 45 has, for example, a pair of galvanometer mirrors and a pair of galvanometer motors (for example, servo motors and actuators) that drive the pair of galvanometer mirrors.
  • the head control unit 42 controls driving of the pair of galvanometer mirrors via the pair of galvanometer motors by controlling the pair of galvanometer motors.
  • the laser beam LW reflected by the scanning unit 45 is emitted to the outside of the head unit 13 through the protective glass 50 .
  • the scanning unit 45 scans the processing surface Wa of the workpiece W in two directions (two-dimensional directions).
  • the shielding mechanism 46 is a mechanism that turns on and off the laser beam LW.
  • the shielding mechanism 46 includes, for example, a shutter and an actuator that drives the shutter.
  • the shutter is supported so as to be switchable between a closed position that blocks the laser beam LW and an open position that does not block the laser beam LW.
  • the actuator switches the shutter between a closed position and an open position.
  • the shielding mechanism 46 is controlled by the head controller 42 . For example, when a close signal is transmitted from the head controller 42, the shielding mechanism 46 places the shutter at the closed position. Further, when an open signal is transmitted from the head control unit 42, the shielding mechanism 46 places the shutter at the open position.
  • the head unit 13 has, for example, a closed-position-side position detection sensor that detects that the shutter is placed at the closed position, and an open-position-side position detection sensor that detects that the shutter is placed at the open position. .
  • the detection result of each position detection sensor is output to the head control section 42 .
  • the head unit 13 may have a plurality of shielding mechanisms 46 .
  • the monitor unit 47 measures the output (optical power) of the laser light LW transmitted from the light source unit 12 through the optical fiber cable FL.
  • the monitor section 47 outputs the measurement result to the head control section 42 .
  • the monitor section 47 has a light receiving section that receives the laser beam LW.
  • the light receiving section outputs a signal corresponding to the output of the received laser beam LW.
  • the monitor unit 47 monitors the output of the laser light LW from the scanning unit 45 to the shielding mechanism 46, for example.
  • the monitor unit 47 obtains a digital value corresponding to the output of the laser light LW by analog-to-digital conversion (hereinafter referred to as AD conversion) of the signal output from the light receiving unit.
  • the monitor section 47 outputs the digital value to the head control section 42 .
  • the monitor unit 47 may be a power monitor.
  • the acceleration sensor 48 measures acceleration applied to the head unit 13 .
  • the acceleration sensor 48 measures an arbitrarily set acceleration along the X-axis, acceleration along the Y-axis perpendicular to the X-axis, and acceleration along the Z-axis perpendicular to each of the X- and Y-axes.
  • the acceleration sensor 48 outputs measurement data to the head controller 42 .
  • the head unit 13 may have a rotation sensor that detects rotation of the motor that drives the fan 49 .
  • the rotation sensor outputs a rotation detection signal synchronized with the rotation of the motor to the head controller 42 .
  • the rotation detection signal is, for example, a pulse signal.
  • the head controller 42 has, for example, a head unit substrate.
  • a temperature sensor for measuring the temperature of the head unit substrate is provided on the head unit substrate.
  • the head controller 42 acquires temperature data of the head unit substrate from the temperature sensor.
  • the head control section 42 controls the focus adjustment section 44 , scanning section 45 , shielding mechanism 46 and fan 49 .
  • the head control section 42 is configured to be able to exchange signals with the head unit 13 and the controller unit 11 via a first signal cable SL1 and a second signal cable SL2 between the light source unit 12 and the controller unit 11. .
  • the head controller 42 is configured to operate with the system power supply voltage PS supplied by the first power cable SP1.
  • the scanning unit 45 operates with a positive galvano power supply voltage PG1 and a negative galvano power supply voltage PG2 supplied from the first power cable SP1.
  • the positive galvano power supply voltage PG1 and the negative galvano power supply voltage PG2 are supplied to the head control section 42 and then supplied from the head control section 42 to the scanning section 45 .
  • the controller unit 11 has a housing 61 .
  • the controller unit 11 has a main control section 62 , a storage section 63 , a power supply circuit 64 , a key switch 65 and a contactor 66 inside a housing 61 . Further, the controller unit 11 may have a fan 67 for cooling various electronic components inside the housing 61 .
  • the key switch 65 is a power switch for starting and stopping the controller unit 11.
  • the key switch 65 is turned on and off by turning the power key 68 shown in FIG. 1 by an operator (for example, a user or a service person).
  • the power supply circuit 64 is connected to an external power supply such as a commercial power supply by a power cable (not shown).
  • the power supply circuit 64 supplies power to the controller unit 11, the light source unit 12, and the head unit 13 that constitute the laser processing apparatus 10A.
  • the power supply circuit 64 may supply power for driving the console 14 .
  • the power supply circuit 64 supplies the system power supply voltage PS to the main control section 62 .
  • the power supply circuit 64 supplies and stops power supply to the main control unit 62 by turning the key switch 65 on and off.
  • the system power supply voltage PS is supplied to the main controller 62 .
  • the system power supply voltage PS is supplied to the light source control section 32 of the light source unit 12 through the second power cable SP2.
  • the system power supply voltage PS is supplied from the light source unit 12 to the head controller 42 of the head unit 13 via the first power cable SP1. Therefore, each of the controller unit 11, the light source unit 12 and the head unit 13 is operated by the system power supply voltage PS supplied when the key switch 65 is turned on.
  • the power supply circuit 64 supplies the laser power supply voltage PL to the light source control section 32 of the light source unit 12 .
  • the power supply circuit 64 outputs or stops the laser power supply voltage PL under the control of the main controller 62 .
  • the power supply circuit 64 supplies the scanning section 45 of the head unit 13 with a positive galvano power supply voltage PG1 and a negative galvano power supply voltage PG2.
  • the power supply circuit 64 outputs or stops the positive galvano power supply voltage PG1 under the control of the main control section 62 .
  • the power supply circuit 64 outputs or stops the negative galvano power supply voltage PG2 under the control of the main control section 62 .
  • the power supply circuit 64 outputs information (voltage values) of the system power supply voltage PS, the laser power supply voltage PL, the positive galvano power supply voltage PG1, and the negative galvano power supply voltage PG2 to the main controller 62 .
  • the contactor 66 is controlled by the main controller 62 .
  • the contactor 66 opens or closes according to a control signal input from the main controller 62 .
  • the power supply circuit 64 can supply the laser power supply voltage PL to the light source control section 32 and the positive galvano power supply voltage PG1 and the negative galvano power supply voltage PG2 to the scanning section 45, respectively.
  • the power supply circuit 64 supplies the laser power supply voltage PL to the light source control section 32, the positive galvano power supply voltage PG1 and the negative galvano power supply voltage PG2 to the scanning section 45, to stop.
  • the storage unit 63 stores various information.
  • the storage unit 63 stores, for example, identification information of units connected to the controller unit 11 (for example, the light source unit 12 and the head unit 13).
  • the storage unit 63 stores processing data for processing the object W to be processed.
  • the processing data is, for example, information of processing patterns such as characters and figures to be printed on the processing surface Wa of the object W to be processed.
  • the controller unit 11 may have a rotation sensor that detects the rotation of the motor that drives the fan 67.
  • the rotation sensor outputs a rotation detection signal synchronized with the rotation of the motor to the main controller 62 .
  • the rotation detection signal is, for example, a pulse signal.
  • the main control unit 62 has, for example, a clock, a counter, and a timer.
  • the main controller 62 has, for example, a controller unit board.
  • a temperature sensor for measuring the temperature of the controller unit board is provided on the controller unit board.
  • the head controller 42 acquires temperature data of the controller unit substrate from the temperature sensor.
  • the main control section 62 is configured to be able to communicate with the light source control section 32 of the light source unit 12 and the head control section 42 of the head unit 13 via the first signal cable SL1 and the second signal cable SL2.
  • the main control section 62 transmits control data to the light source control section 32 and the head control section 42 based on the processed data and the like.
  • the main control unit 62 generates control data including a plurality of scanning position data (coordinate data) corresponding to processing positions on the workpiece W and on/off data based on the processing data.
  • the main controller 62 transmits control data to the light source controller 32 and the head controller 42 .
  • the light source controller 32 controls the laser light source 34 based on the control data. For example, the light source controller 32 controls the output of the laser light LW emitted from the laser light source 34 .
  • the head control unit 42 controls the scanning unit 45 to process the workpiece W with the laser beam LW based on the control data.
  • the console 14 has, for example, a display section 71 and an operation section 72 .
  • the display unit 71 is configured to be able to display various information of the laser processing apparatus 10A.
  • the operation unit 72 is configured so that the user can input data.
  • the console 14 is composed of a general-purpose terminal such as a tablet terminal, a notebook computer, a PDA (Personal Digital Assistant) or a smart phone, and dedicated application software installed therein.
  • the console 14 instructs the controller unit 11 to perform various controls and operation modes according to the operation of the operation section 72 .
  • the instructed control includes, for example, starting processing and stopping processing.
  • Operation modes include a processing mode, a laser output measurement mode, a laser output automatic correction mode, and a laser output manual correction mode.
  • the display unit 71 displays characters and the like for selecting these operation modes.
  • the console 14 instructs the main control section 62 of the controller unit 11 of the operation mode selected by operating the operation section 72 .
  • FIG. 3 to 5 show examples of screens displayed on the display unit 71 by the main control unit 62 when the laser processing apparatus 10A is activated by operating the power key 68.
  • FIG. FIG. 3 is an example of an initial screen 76 displayed on the display unit 71.
  • the laser output confirmation screen 73 shown in FIGS. 4 and 5 is an example of a screen displaying information about the output of the laser beam LW.
  • FIG. 4 is an example of the laser output confirmation screen 73 displayed in the first display mode.
  • FIG. 5 is an example of the laser output confirmation screen 73 displayed in the second display mode.
  • reaction mode The main control unit 62 to which the system power supply voltage PS is supplied performs initial processing upon power-on, and then performs processing in the selected operation mode.
  • the configuration of the laser processing apparatus 10A is confirmed, and the laser power supply voltage PL, the positive galvano power supply voltage PG1, and the negative galvano power supply voltage PG2 are applied to the light source unit 12 and the head unit 13 connected to the controller unit 11. It supplies
  • the main control section 62 of the controller unit 11 determines whether the light source unit 12 connected to the controller unit 11 can be driven. The main control section 62 also determines whether or not the head unit 13 connected to the controller unit 11 via the light source unit 12 can be driven. Based on the determination result, the main control unit 62 controls the power supply circuit 64 and the contactor 66 to supply or stop the laser power supply voltage PL, the positive galvano power supply voltage PG1, and the negative galvano power supply voltage PG2.
  • the machining mode is a mode for forming a machining pattern on the workpiece W with the laser beam LW.
  • a machining pattern is a shape such as a character, a symbol, or a figure to be formed on the object W to be processed.
  • the main control unit 62 starts processing the object W to be processed.
  • the main control unit 62 executes processing for irradiating the object W to be processed with the laser beam LW based on the processing data.
  • the main control unit 62 generates control data based on processed data relating to characters to be printed.
  • the control data includes a plurality of scanning position data (coordinate data) corresponding to processing positions on the workpiece W and laser on/off data.
  • the main controller 62 transmits control data to the light source controller 32 of the light source unit 12 via the second signal cable SL2.
  • the light source control unit 32 acquires laser on/off data related to the light source unit 12 from the transmitted control data.
  • the light source controller 32 also transmits control data to the head controller 42 of the head unit 13 via the first signal cable SL1. Further, the light source control unit 32 controls the laser light source 34 based on the control data to cause the laser light source 34 to emit the laser light LW.
  • the head control unit 42 acquires scanning position data related to the head unit 13 from the transmitted control data.
  • the head control unit 42 scans the workpiece W with the laser beam LW by controlling the focus adjustment unit 44 and the scanning unit 45 based on the control data.
  • the laser processing apparatus 10A forms a processing pattern on the processing surface Wa of the object W to be processed.
  • the laser output measurement mode is a mode for monitoring the output of the laser beam LW. Monitoring of the power of the laser light LW includes laser power measurement for measuring the power of the laser light LW. For example, when the measurement laser irradiation button 74 is pressed by operating the operation unit 72 on the laser output confirmation screen 73, the controller unit 11 is instructed to operate in the laser output measurement mode. When the operation in the laser output measurement mode is instructed, the main control unit 62 controls the shutter of the shielding mechanism 46 to emit the laser beam LW with the shutter positioned at the closed position. For example, the main controller 62 causes the laser light source 34 to emit a laser beam LW without output correction and a laser beam LW with output correction.
  • the laser light LW without output correction is the laser beam emitted from the laser light source 34 when the laser power supply voltage PL and the oscillator current CL are supplied to the laser light source 34 under the same conditions as when the laser processing apparatus 10A was shipped.
  • the laser light LW in the output corrected state is obtained when the laser power supply voltage PL and the oscillator current CL are supplied to the laser light source 34 under the same conditions as the state in which the output was corrected immediately before the laser output measurement mode was instructed. is the laser light LW emitted from the laser light source 34 at . Then, in the laser processing apparatus 10A, various types of monitoring relating to the output of the laser beam LW including laser output measurement are performed.
  • the laser output measurement is performed for each of the laser light LW without output correction and the laser light LW with output correction.
  • the output of the laser beam LW is actually measured by the monitor section 47 .
  • the main control unit 62 displays, on the display unit 71, the data determined to be displayed in advance among the various monitoring data acquired by the monitoring.
  • the laser output automatic correction mode is a mode in which the main controller 62 corrects the output of the laser light LW so that the output of the laser light LW reaches a preset value.
  • the controller unit 11 is instructed to operate in the laser output automatic correction mode.
  • the main control unit 62 determines the output of the laser light LW last measured before the operation in the mode is instructed (that is, the measurement result of the laser output measurement). ) and the set value to calculate the correction factor.
  • the correction factor is the ratio (%) of the set value to the measured output of the laser beam LW.
  • the main control unit 62 controls the light source control unit 32 so that the laser power supply voltage PL and the oscillator current CL are supplied to the laser light source 34 in accordance with the calculated correction factor, the output of the laser light LW is adjusted to the calculated correction factor. corrected accordingly.
  • the main control unit 62 measures the laser output for each of the laser light LW without output correction and the laser light LW with output correction.
  • the laser light LW without output correction is the laser beam emitted from the laser light source 34 when the laser power supply voltage PL and the oscillator current CL are supplied to the laser light source 34 under the same conditions as when the laser processing apparatus 10A was shipped.
  • Light With the shutter of the shielding mechanism 46 positioned at the closed position, the main controller 62 directs the laser light source 34 to the laser light LW without output correction and the laser light LW with output correction. is emitted.
  • the main control unit 62 displays, on the display unit 71, the data determined to be displayed in advance among the various monitoring data acquired by the monitoring.
  • the laser output manual correction mode is a mode in which the output of the laser beam LW is corrected with a correction factor designated by the user.
  • the controller unit 11 is instructed to operate in the laser output manual correction mode.
  • the user operates the operation unit 72 to instruct the controller unit 11 on the correction factor for correcting the output of the laser beam LW.
  • the main controller 62 controls the light source controller 32 so that the laser power supply voltage PL and the oscillator current CL are supplied to the laser light source 34 according to the instructed correction rate. As a result, the output of the laser beam LW is corrected according to the instructed correction rate.
  • the main control unit 62 measures the laser output for each of the laser light LW in which the output is not corrected and the laser light LW in which the output is corrected by the instructed correction rate.
  • the laser light LW without output correction is the laser beam emitted from the laser light source 34 when the laser power supply voltage PL and the oscillator current CL are supplied to the laser light source 34 under the same conditions as when the laser processing apparatus 10A was shipped.
  • Light With the shutter of the shielding mechanism 46 placed at the closed position, the main control unit 62 outputs the laser light LW without output correction to the laser light source 34 and corrects the output with the instructed correction rate. state laser light LW is emitted.
  • laser Various types of monitoring are performed on the output of the light LW.
  • the main control unit 62 displays, on the display unit 71, the data determined to be displayed in advance among the various monitoring data acquired by the monitoring.
  • the main control section 62 of the controller unit 11 acquires monitoring data Da regarding the laser processing apparatus 10A.
  • the main control unit 62 monitors the output of the laser beam LW when executing processing in each of the laser output measurement mode, the laser output automatic correction mode, and the laser output manual correction mode. Further, the main control unit 62 controls various parts and mechanisms constituting the laser processing apparatus 10A when executing processing in each operation mode of the laser output measurement mode, the laser output automatic correction mode, and the laser output manual correction mode. Monitoring may be carried out.
  • the laser processing apparatus 10A for example, not only when the main control unit 62 executes the processing in each operation mode of the laser output measurement mode, the laser output automatic correction mode, and the laser output manual correction mode, It is configured to monitor various parts and mechanisms that make up the laser processing apparatus 10A at the timing.
  • the monitoring results that is, the monitoring data Da acquired by monitoring are stored in the storage section 63 of the controller unit 11. That is, the storage unit 63 stores the monitoring data Da acquired by the main control unit 62 .
  • the monitoring data Da includes, for example, data regarding the output of the laser beam LW. Items of the monitoring data Da include, for example, items to be notified to the user who uses the laser processing apparatus 10A. Also, the items of the monitoring data Da may include items that are expected to affect the quality of printing by the laser beam LW. Also, the items of the monitoring data Da may include items that contribute to the determination of the necessity of maintenance of the parts constituting the laser processing apparatus 10A.
  • FIG. 6 shows items of data acquired and stored in the storage section 63 of the controller unit 11 when processing is executed in each operation mode of the laser output measurement mode, the laser output automatic correction mode, and the laser output manual correction mode. is shown.
  • item numbers 101 to 117 attached to each item are numbers attached for convenience of explanation, and are not stored in the storage unit 63 as the monitoring data Da.
  • the main control unit 62 obtains data of item numbers 101 to 117 as the monitoring data Da. Stored in the storage unit 63 .
  • the main control unit 62 updates the data of item numbers 101 to 117 when measuring the laser output during control in each operation mode of the laser output measurement mode, the laser output automatic correction mode, and the laser output manual correction mode. Acquired and stored in the storage unit 63 .
  • the log version of item number 101 is version information of the log format of the information recorded in the storage unit 63 by the main control unit 62 .
  • the unit combination ID of the item number 102 is the identification information of the light source unit 12 stored in the storage section 33 of the light source unit 12 and the identification information of the head unit 13 stored in the storage section 43 of the head unit 13 .
  • the measurement mode of item number 103 is data indicating in which operation mode the processing was executed, out of the laser output measurement mode, the automatic correction mode, and the manual correction mode.
  • the date and time of measurement of item number 104 is time data at the time when processing of the operation mode of item number 103 was started. Time data is, for example, date and time.
  • the main control unit 62 acquires time data from the clock and stores it in the storage unit 63 .
  • the raw data (offset) of item number 105 is a digital value output by the monitor unit 47 when the laser light source 34 does not emit the laser light LW.
  • the main controller 62 acquires a digital value output by the monitor 47 when the laser beam LW for measuring the laser output is not emitted.
  • the main control unit 62 stores the acquired digital value in the storage unit 63 as raw data (offset) data.
  • Uncorrected raw data (average output) of item number 106 is digital data output by the monitor unit 47 when the laser light source 34 emits laser light LW without output correction during laser output measurement. is the average of the values.
  • the laser light LW without output correction is the laser beam emitted from the laser light source 34 when the laser power supply voltage PL and the oscillator current CL are supplied to the laser light source 34 under the same conditions as when the laser processing apparatus 10A was shipped.
  • the main control unit 62 acquires the digital values output by the monitor unit 47 a plurality of times within a predetermined time period during which the laser beam LW is emitted, and calculates the average value of the acquired digital values.
  • the main control unit 62 stores the calculated average value in the storage unit 63 as uncorrected raw data (average output) data.
  • the raw data with correction (average output) of item number 107 is the digital data output by the monitor unit 47 when the laser light source 34 is emitting the laser light LW with output correction during laser output measurement. is the average of the values.
  • the output-corrected laser beam LW is a laser beam whose output has been corrected with the correction rate when the output was last corrected before the laser output measurement.
  • the main control unit 62 acquires the digital values output by the monitor unit 47 multiple times while the laser beam LW for measuring the laser output is being emitted, and calculates the average value of the acquired digital values.
  • the main control unit 62 stores the calculated average value in the storage unit 63 as corrected raw data (average output) data.
  • the output (before correction) of item number 108 is the output of the laser light LW without output correction when the laser output measurement mode is selected.
  • the main control unit 62 uses the raw data of the item number 105 and the uncorrected raw data of the item number 106 to calculate the output of the laser light LW without output correction.
  • the unit of this output is, for example, "mW”.
  • the main control unit 62 stores the calculated output in the storage unit 63 as the output (before correction).
  • the main control unit 62 When the laser output automatic correction mode or the laser output manual correction mode is selected, the main control unit 62 outputs the last measured output of the laser beam LW before the selection of the mode (before correction). ) is stored in the storage unit 63.
  • the output (after correction) of item number 109 is the output of the laser light LW in a state where the output is corrected.
  • the main control unit 62 uses the raw data of the item number 105 and the raw data with correction of the item number 107 to calculate the output of the laser light LW without output correction.
  • the unit of this output is, for example, "mW”.
  • the main control unit 62 stores the calculated output in the storage unit 63 as output (after correction) data.
  • the laser excitation time of item number 110 is the accumulated laser excitation time at the time when the operation mode processing of item number 103 is started.
  • the light source control unit 32 accumulates the time during which the oscillator current CL is supplied to the laser light source 34, for example, from the time of shipment of the laser processing apparatus 10A.
  • the main controller 62 acquires from the light source controller 32 the accumulated value of the time during which the oscillator current CL is supplied to the laser light source 34, and stores it in the memory 63 as laser excitation time data.
  • the unit of the laser excitation time is, for example, "s (seconds)".
  • the laser irradiation time of item number 111 is the cumulative laser irradiation time at the time when the processing of the operation mode of item number 103 is started.
  • the main control unit 62 accumulates the time during which the workpiece W is processed by irradiating the laser beam LW, for example, from the time of shipment of the laser processing apparatus 10A.
  • the time during which the object W is processed by irradiating the laser beam LW is, for example, the time from when the start of processing is instructed in a state in which the processing mode is selected until the processing of the object W is completed. .
  • the main control unit 62 stores the cumulative value of the time during which the workpiece W is processed by irradiating the laser beam LW as laser irradiation time data (cumulative time data) in the storage unit 63 .
  • the unit of the laser irradiation time is, for example, "s (seconds)".
  • the power correction factor of item number 112 is the correction factor applied to the output of the laser light LW in the output corrected state, which is emitted during the laser output measurement.
  • the main control unit 62 stores the correction factor applied to the output of the laser beam LW in the storage unit 63 as a power correction factor.
  • the oscillator unit temperature of item number 113 is the temperature measured by the temperature sensor provided on the oscillator unit substrate of the light source controller 32 .
  • the main control unit 62 acquires the measurement result of the temperature sensor on the oscillator unit substrate at that time via the light source control unit 32 .
  • the main control section 62 stores the acquired measurement result in the storage section 63 as the oscillator unit temperature.
  • the main control unit 62 may store the measured value of the temperature sensor on the oscillator unit substrate at the time when the irradiation of the laser beam LW for measuring the laser output is started in the storage unit 63 as the data of the oscillator unit temperature. good.
  • the oscillator internal temperature of item number 114 is the temperature measured by the temperature sensor that measures the temperature inside the laser oscillator 34a of the laser oscillator 34a.
  • the main control unit 62 acquires the measurement result of the temperature sensor of the laser oscillator 34 a at that time via the light source control unit 32 .
  • the main control unit 62 stores the acquired measurement result in the storage unit 63 as the oscillator internal temperature.
  • the main control unit 62 may store in the storage unit 63 the measurement value of the temperature sensor of the laser oscillator 34a at the time when the irradiation of the laser beam LW for measuring the laser output is started, as the data of the internal temperature of the oscillator. .
  • the oscillator current of item number 115 is the current value of the oscillator current CL supplied to the laser light source 34 during laser output measurement.
  • the light source control unit 32 outputs to the main control unit 62 the current value of the oscillator current CL supplied to the laser light source 34 while the laser light LW for laser output measurement is being emitted.
  • the main controller 62 extracts the maximum value and the minimum value from the current value of the oscillator current CL output by the light source controller 32 . Then, the main control section 62 stores the maximum value and minimum value in the storage section 63 as maximum value data and minimum value data of the oscillator current. Further, the main control section 62 calculates the average value of the current values of the oscillator current CL output by the light source control section 32 . Then, the main control section 62 stores the calculated average value in the storage section 63 as average value data of the oscillator current. Note that the unit of the oscillator current is, for example, "mA".
  • the head transmittance of item number 116 is the ratio (%) of the output of the laser light LW at the processing point to the output of the laser light LW from the laser light source 34 .
  • the measurement results of the power monitor of the laser light source 34 can be used.
  • the output of the laser light LW from the laser light source 34 may be calculated by the main control section 62 based on the oscillator current CL.
  • the measurement result of the monitor unit 47 can be used.
  • the main control unit 62 acquires, via the light source control unit 32, the measurement result of the power monitor of the laser light source 34, which is measured while the laser light LW for laser output measurement is being emitted.
  • the main controller 62 also acquires, via the head controller 42, the measurement result of the monitor 47, which is measured while the laser beam LW for measuring the laser output is being emitted.
  • the main control unit 62 uses the measurement result of the power monitor of the laser light source 34 and the measurement result of the monitor unit 47 to determine the ratio of the output of the laser light LW at the processing point to the output of the laser light LW from the laser light source 34. Calculate
  • the main control unit 62 stores the calculated ratio in the storage unit 63 as head transmittance data.
  • the head unit substrate temperature of item number 117 is the temperature measured by the temperature sensor provided on the head unit substrate of the head controller 42 .
  • the main controller 62 starts the processing of the operation mode of item number 103
  • the main controller 62 acquires the measurement result of the temperature sensor on the head unit substrate at that time via the head controller 42 .
  • the main control section 62 stores the acquired measurement result in the storage section 63 as data of the head unit substrate temperature. Note that the main control section 62 stores the measurement value of the temperature sensor on the head unit substrate at the time when the irradiation of the laser beam LW for measuring the laser output is started in the storage section 63 as data of the head unit substrate temperature. good too.
  • the main control unit 62 controls the display unit 71 to display a laser output confirmation screen 73 (monitoring data display screen) including display of at least part of the monitoring data Da.
  • the main control unit 62 selects data of items that are predetermined to be displayed among the monitoring data acquired when processing is executed in each operation mode of the laser output measurement mode, the automatic correction mode, and the manual correction mode. is displayed on the display unit 71 .
  • the main control unit 62 displays on the display unit 71 a laser output confirmation screen 73 including display of data of items that are predetermined to be displayed.
  • the laser output confirmation screen 73 has a monitoring data display area 75, for example. Of the acquired monitoring data, data of items that are predetermined to be displayed are displayed in the monitoring data display area 75 .
  • the main control unit 62 selects a display mode for displaying the laser output confirmation screen 73, a first display mode for displaying only the first display data D1 of the monitoring data Da, and a display mode for displaying at least the second display data D2 of the monitoring data Da. It is possible to switch to a second display mode for displaying.
  • the main control unit 62 selects a display mode for displaying the laser output confirmation screen 73, a first display mode for displaying only the first display data D1, and a first display mode for displaying the first display data D1 and the second display data D2. It is possible to switch to the second display mode.
  • FIG. 4 is an example of the laser output confirmation screen 73 displayed in the first display mode.
  • FIG. 5 is an example of the laser output confirmation screen 73 displayed in the second display mode.
  • the main control unit 62 performs authentication processing to permit the laser output confirmation screen 73 to be displayed on the display unit 71 in the second display mode.
  • the main control unit 62 performs password authentication processing, for example.
  • initial screen 76 includes password entry field 77 .
  • a password can be entered in the password entry field 77 by operating the operation unit 72 .
  • the main control section 62 performs password authentication processing to compare the password entered in the password entry field 77 with the password stored in advance in the storage section 63. .
  • the main control section 62 displays the laser output confirmation screen 73 in the first display mode, as shown in FIG.
  • the main control unit 62 selects only the first display data D1 from the monitoring data Da stored in the storage unit 63. It is displayed in the monitoring data display area 75 .
  • the first display data D1 includes data with which the output state of the laser beam LW can be confirmed and data with which the setting regarding the output of the laser beam LW can be confirmed.
  • the first display data D1 is, for example, among data of item numbers 101 to 117, data of item numbers 103, 104, 108, 109, 111, and 112 marked with a circle in the user disclosure column in FIG. Data.
  • the data of items with item numbers 108 and 109 correspond to the data with which the output state of the laser beam LW can be confirmed. Further, the data of the item number 108 corresponds to the data with which the setting regarding the output of the laser beam LW can be confirmed. By referring to the data of the item of the item number 108, it is possible to know the output value of the laser beam LW set in the laser processing apparatus 10A.
  • the laser output initial ratio is displayed in the monitoring data display area 75 .
  • the initial laser output ratio is the ratio (%) of the output of the laser light LW without output correction to the output of the laser light LW without output correction at the time of shipment.
  • the laser output initial ratio is calculated by the main controller 62 using monitoring data obtained during laser output measurement.
  • the first display data D1 may include data on the laser output initial ratio.
  • the number of the first display data D1 is replaced with "x" and displayed schematically, but actually the number is displayed instead of "x”. The display order and arrangement of the first display data D1 shown in FIG. 4 may be changed as appropriate.
  • the laser output confirmation screen 73 has check boxes 78 and 79 in the monitoring data display area 75 .
  • the main control unit 62 displays is displayed in the monitoring data display area 75 .
  • the main control unit 62 controls the laser output automatic correction mode and the laser output manual correction mode to The first display data D ⁇ b>1 of the obtained monitoring data is displayed in the monitoring data display area 75 .
  • the main control unit 62 compares the password entered in the password entry field 77 with the password stored in advance in the storage unit 63, and confirms that the two passwords match. In this case, it is permitted to display the laser output confirmation screen 73 on the display unit 71 in the second display mode.
  • the main control unit 62 displays the laser output confirmation screen 73 in the second display mode on the display unit 71 . to display.
  • the main control unit 62 displays the first display data D1 and the second display data D2 of the monitoring data Da stored in the storage unit 63 in the monitoring data display area. 75.
  • the second display data D2 is data different from the first display data D1.
  • the second display data D2 includes, for example, data for confirming whether or not there is an abnormality in the laser processing apparatus 10A.
  • the second display data D2 is, for example, data of item numbers 113 and 114 among the data of item numbers 101 to 117 shown in FIG. That is, when the main control unit 62 displays the laser output confirmation screen 73 in the second display mode, for example, in FIG. to display.
  • the data of items with item numbers 113 and 114 serve as a reference when determining whether or not there is an abnormality in the laser oscillator 34a.
  • the display order and arrangement of the second display data D2 shown in FIG. 5 may be changed as appropriate.
  • the numbers of the first display data D1 and the second display data D2 are schematically displayed by replacing them with "x", but actually numbers are displayed instead of "x".
  • the main control unit 62 When displaying the laser output confirmation screen 73 in the second display mode, if the check box 78 is checked, the main control unit 62 displays The first display data D ⁇ b>1 and the second display data D ⁇ b>2 are displayed in the monitoring data display area 75 .
  • the main control unit 62 controls the laser output automatic correction mode and the laser output manual correction mode to The first display data D ⁇ b>1 and the second display data D ⁇ b>2 of the obtained monitoring data are displayed in the monitoring data display area 75 .
  • FIG. 7 shows data items acquired by periodic monitoring in the laser processing apparatus 10A.
  • item numbers 201 to 221 attached to each item are numbers attached for convenience of explanation, and are not stored in the storage unit 63 as the monitoring data Da. Items with item numbers 201 to 221 are monitored at respective set frequencies while the controller unit 11 is activated.
  • the data of items with item numbers 201 to 221 are stored in the storage unit 63 at the frequency set for each item. Data of items with item numbers 201 to 221 are stored in the storage unit 63 for several years. For example, the data of items with item numbers 201 to 221 are stored in the storage unit 63 for seven years.
  • the controller unit board temperature of item number 201 is the temperature measured by the temperature sensor provided on the controller unit board of the main control section 62 .
  • the main control section 62 acquires the measurement result of the temperature sensor on the controller unit substrate at predetermined time intervals. For example, the main controller 62 acquires the measurement result of the temperature sensor on the controller unit board every second. Every time a predetermined period elapses, the main control unit 62 calculates the average value of the measurement results of the temperature sensor on the controller unit substrate measured within the predetermined period, and uses the average value as data of the controller unit substrate temperature. Stored in the storage unit 63 .
  • the main control unit 62 calculates the average value of the measurement results of the temperature sensor on the controller unit substrate every 30 minutes and stores the average value in the storage unit 63 as controller unit substrate temperature data.
  • the unit of the controller unit substrate temperature is, for example, "0.1°C".
  • the oscillator unit substrate temperature of item number 202 is the temperature measured by the temperature sensor provided on the oscillator unit substrate of the light source controller 32 .
  • the main control section 62 acquires the measurement result of the temperature sensor on the oscillator unit substrate via the light source control section 32 at predetermined time intervals. For example, the main controller 62 acquires the measurement result of the temperature sensor on the oscillator unit board every second. Every time a predetermined period elapses, the main control unit 62 calculates the average value of the measurement results of the temperature sensor on the oscillator unit substrate measured within the predetermined period, and uses the average value as data of the oscillator unit substrate temperature. Stored in the storage unit 63 .
  • the main control section 62 calculates the average value of the measurement results of the temperature sensor on the oscillator unit substrate every 30 minutes and stores it in the storage section 63 as the data of the oscillator unit substrate temperature.
  • the unit of the oscillator unit substrate temperature is, for example, "0.1.degree.
  • the head unit substrate temperature of item number 203 is the temperature measured by the temperature sensor provided on the head unit substrate of the head controller 42 .
  • the main control section 62 acquires the measurement result of the temperature sensor on the head unit substrate via the head control section 42 at predetermined time intervals. For example, the main controller 62 acquires the measurement result of the temperature sensor on the head unit board every second.
  • the main control section 62 extracts the minimum and maximum values of the measurement results of the temperature sensor on the head unit substrate during each predetermined period of time. Then, the main control section 62 stores the extracted minimum value and maximum value in the storage section 63 as minimum value data and maximum value data of the head unit substrate temperature.
  • the main control section 62 extracts the minimum and maximum values of the measurement results of the temperature sensor on the head unit substrate every 30 minutes, for example, and stores them in the storage section 63 as minimum and maximum head unit substrate temperature data.
  • the main control section 62 calculates the average value of the measurement results of the temperature sensor on the head unit substrate measured within the predetermined period, and calculates the average value as the temperature of the head unit substrate. It is stored in the storage unit 63 as average value data.
  • the main control section 62 calculates the average value of the measurement results of the temperature sensor on the head unit substrate every 30 minutes and stores it in the storage section 63 as the average value data of the head unit substrate temperature.
  • the unit of the head unit substrate temperature is, for example, "0.1.degree.
  • the oscillator internal temperature of item number 204 is the temperature measured by the temperature sensor inside the laser oscillator 34a.
  • the main control unit 62 acquires the measurement result of the temperature sensor of the laser oscillator 34a via the light source control unit 32 at predetermined intervals. For example, the main controller 62 acquires the measurement result of the temperature sensor of the laser oscillator 34a every second.
  • the main control unit 62 extracts the minimum value and the maximum value of the measurement result of the temperature sensor within the predetermined period each time the predetermined period elapses. Then, the main control unit 62 stores the extracted minimum value and maximum value in the storage unit 63 as minimum value data and maximum value data of the oscillator internal temperature.
  • the main control unit 62 extracts the minimum and maximum values of the measurement results of the temperature sensor of the laser oscillator 34a every 30 minutes, and stores them in the storage unit 63 as the minimum and maximum values of the internal temperature of the oscillator. do. In addition, every time a predetermined period elapses, the main control unit 62 calculates the average value of the measurement results of the temperature sensor of the laser oscillator 34a measured within the predetermined period, and calculates the average value as the average value of the oscillator internal temperature. Stored in the storage unit 63 as data.
  • the main control unit 62 calculates the average value of the measurement results of the temperature sensor of the laser oscillator 34a every 30 minutes and stores it in the storage unit 63 as the average value data of the oscillator internal temperature.
  • the unit of the internal temperature of the oscillator is, for example, "0.1°C".
  • the oscillator unit board humidity of item number 205 is the humidity measured by the humidity sensor on the oscillator unit board of the light source controller 32 .
  • the main controller 62 acquires the measurement result of the humidity sensor on the oscillator unit board at predetermined time intervals. For example, the main controller 62 acquires the measurement result of the temperature sensor every second. Every time a predetermined period elapses, the main control unit 62 calculates the average value of the measurement results of the humidity sensor on the oscillator unit board measured within the predetermined period, and uses the average value as the data of the oscillator unit board humidity. Stored in the storage unit 63 .
  • the main control section 62 calculates the average value of the measurement results of the temperature sensor on the oscillator unit substrate every 30 minutes and stores it in the storage section 63 as oscillator unit substrate humidity data.
  • the unit of the oscillator unit substrate humidity is "%".
  • the system power supply voltage of item number 206 is the voltage value of the system power supply voltage PS supplied by the power supply circuit 64 .
  • Power supply circuit 64 outputs the voltage value of system power supply voltage PS to main control unit 62 .
  • the power supply circuit 64 outputs the voltage value of the system power supply voltage PS to the main controller 62 at predetermined intervals.
  • the power supply circuit 64 outputs, for example, the voltage value of the system power supply voltage PS to the main controller 62 every second. Every time a predetermined period elapses, main control unit 62 extracts the minimum and maximum voltage values of system power supply voltage PS output during the predetermined period. Then, main control unit 62 stores the extracted minimum value and maximum value in storage unit 63 as minimum value data and maximum value data of the system power supply voltage.
  • Main control unit 62 extracts the minimum and maximum values of system power supply voltage PS every 30 minutes, for example, and stores them in storage unit 63 as maximum value data and minimum value data of system power supply voltage. Note that the unit of the system power supply voltage is, for example, "0.1V".
  • the laser power supply voltage of item number 207 is the voltage value of the laser power supply voltage PL that the power supply circuit 64 supplies to the light source controller 32 .
  • the power supply circuit 64 outputs the voltage value of the laser power supply voltage PL to the main controller 62 .
  • the power supply circuit 64 outputs the voltage value of the laser power supply voltage PL to the main controller 62 at predetermined intervals.
  • the power supply circuit 64 outputs, for example, the voltage value of the laser power supply voltage PL to the main controller 62 every second. Every time a predetermined period elapses, the main controller 62 extracts the minimum and maximum voltage values of the laser power supply voltage PL output during the predetermined period.
  • the main control unit 62 stores the extracted minimum value and maximum value in the storage unit 63 as minimum value data and maximum value data of the laser power supply voltage.
  • the main control unit 62 extracts the minimum and maximum values of the laser power supply voltage PL every 30 minutes and stores them in the storage unit 63 as maximum value data and minimum value data of the laser power supply voltage.
  • the unit of the laser power supply voltage is, for example, "0.1 V".
  • the galvano power supply voltage (-) of item number 208 is the voltage value of the negative galvano power supply voltage PG2 that the power supply circuit 64 supplies to the scanning unit 45.
  • the power supply circuit 64 outputs the voltage value of the negative galvano power supply voltage PG2 to the main control section 62 .
  • the power supply circuit 64 outputs the voltage value of the negative galvano power supply voltage PG2 to the main control section 62 every predetermined time.
  • the power supply circuit 64 outputs, for example, the voltage value of the negative galvano power supply voltage PG2 to the main control section 62 every second.
  • the main control unit 62 extracts the minimum and maximum voltage values of the negative galvano power supply voltage PG2 output within the predetermined period. Then, the main control section 62 stores the extracted minimum value and maximum value in the storage section 63 as minimum value data and maximum value data of the galvano power supply voltage (-). For example, the main control unit 62 extracts the minimum and maximum values of the negative galvano power supply voltage PG2 every 30 minutes, and stores them in the storage unit 63 as maximum value data and minimum value data of the galvano power supply voltage (-). .
  • the unit of the galvano power supply voltage (-) is, for example, "0.1V".
  • the galvano power supply voltage (+) of item number 209 is the voltage value of the positive galvano power supply voltage PG1 that the power supply circuit 64 supplies to the scanning unit 45 .
  • the power supply circuit 64 outputs the voltage value of the positive galvano power supply voltage PG1 to the main control section 62 .
  • the power supply circuit 64 outputs the voltage value of the positive galvano power supply voltage PG1 to the main control section 62 at predetermined time intervals.
  • the power supply circuit 64 outputs, for example, the voltage value of the positive galvano power supply voltage PG1 to the main control section 62 every second.
  • the main control unit 62 extracts the minimum and maximum voltage values of the positive galvano power supply voltage PG1 output within the predetermined period. Then, the main control unit 62 stores the extracted minimum value and maximum value in the storage unit 63 as minimum value data and maximum value data of the galvano power supply voltage (+). For example, the main control unit 62 extracts the minimum and maximum values of the positive galvano power supply voltage PG1 every 30 minutes and stores them in the storage unit 63 as the maximum value data and minimum value data of the galvano power supply voltage (+). . Note that the unit of the galvano power supply voltage (+) is, for example, "0.1 V".
  • the oscillator current of item number 210 is the current value of the oscillator current CL supplied to the laser light source 34 .
  • the light source controller 32 outputs the current value of the oscillator current CL supplied to the laser light source 34 to the main controller 62 .
  • the light source controller 32 outputs the current value of the oscillator current CL to the main controller 62 at predetermined intervals.
  • the light source controller 32 outputs, for example, the current value of the oscillator current CL to the main controller 62 every second. Every time a predetermined period elapses, main control unit 62 extracts the minimum and maximum current values of oscillator current CL output within the predetermined period.
  • the main control section 62 stores the extracted minimum value and maximum value in the storage section 63 as minimum value data and maximum value data of the oscillator current.
  • the main control unit 62 extracts the minimum and maximum values of the oscillator current CL every 30 minutes, for example, and stores them in the storage unit 63 as maximum value data and minimum value data of the oscillator current. Further, each time a predetermined period elapses, the main control unit 62 calculates the average value of the current values of the oscillator current CL output within the predetermined period, and stores the average value as average value data of the oscillator current. 63. For example, the main control unit 62 calculates the average value of the current values of the oscillator current CL every 30 minutes and stores the average value in the storage unit 63 as the average value data of the oscillator current.
  • the fan speed (controller) of item number 211 is the rotation speed of the fan 67 of the controller unit 11 .
  • the main control unit 62 measures the number of rotations of the fan 67 every predetermined time based on a rotation detection signal output from a rotation sensor that detects rotation of the motor that drives the fan 67 . For example, the main controller 62 measures the number of rotations of the fan 67 for one minute based on the rotation detection signal.
  • the main control unit 62 extracts the minimum value and the maximum value of the number of revolutions of the fan 67 measured within the predetermined period each time the predetermined period elapses. Then, the main control unit 62 stores the extracted minimum value and maximum value in the storage unit 63 as minimum value data and maximum value data of the fan speed (controller).
  • the main control unit 62 extracts the minimum and maximum values of the rotation speed of the fan 67 every 30 minutes, for example, and stores them in the storage unit 63 as the maximum value data and minimum value data of the fan speed (controller).
  • the unit of fan speed (controller) is, for example, "rpm".
  • the head acceleration (X-axis) of item number 212 is the acceleration in the X-axis direction applied to the head unit 13 measured by the acceleration sensor 48 of the head unit 13 .
  • the head controller 42 outputs the acceleration in the X-axis direction measured by the acceleration sensor 48 to the main controller 62 .
  • the head control unit 42 outputs the measurement result of the acceleration in the X-axis direction applied to the head unit 13 to the main control unit 62 at predetermined intervals.
  • the head controller 42 outputs, for example, the measurement result of the acceleration in the X-axis direction applied to the head unit 13 to the main controller 62 every second.
  • the main control unit 62 extracts the minimum value and the maximum value from the measurement results output within the predetermined period every time the predetermined period elapses.
  • the main control section 62 stores the extracted minimum value and maximum value in the storage section 63 as minimum value data and maximum value data of the head acceleration (X-axis). For example, every 30 minutes, the main control unit 62 extracts the minimum and maximum values of the measurement results of the acceleration in the X-axis direction applied to the head unit 13, and extracts the maximum and minimum values of the head acceleration (X-axis). Stored in the storage unit 63 as data. Further, each time a predetermined period elapses, the main control unit 62 calculates the average value of the measurement results of the acceleration in the X-axis direction applied to the head unit 13 output within the predetermined period, and uses the average value as the head unit 13 .
  • the data is stored in the storage unit 63 as average value data of acceleration (X-axis). For example, every 30 minutes, the main control unit 62 calculates the average value of the measurement results of the acceleration in the X-axis direction applied to the head unit 13 and stores it in the storage unit 63 as the average value data of the head acceleration (X-axis). .
  • the unit of head acceleration (X-axis) is, for example, "0.01 m/s 2 ". Note that the minimum value, maximum value, and average value of the head acceleration (X-axis) may be values from which gravitational acceleration is not removed.
  • the head acceleration (Y-axis) of item number 213 is the acceleration in the Y-axis direction applied to the head unit 13 measured by the acceleration sensor 48 of the head unit 13 .
  • the head controller 42 outputs the acceleration in the Y-axis direction measured by the acceleration sensor 48 to the main controller 62 .
  • the head control section 42 outputs the measurement result of the acceleration in the Y-axis direction applied to the head unit 13 to the main control section 62 at predetermined time intervals.
  • the head controller 42 outputs, for example, the measurement result of the acceleration in the Y-axis direction applied to the head unit 13 to the main controller 62 every second.
  • the main control unit 62 extracts the minimum value and the maximum value from the measurement results output within the predetermined period every time the predetermined period elapses. Then, the main control section 62 stores the extracted minimum value and maximum value in the storage section 63 as minimum value data and maximum value data of the head acceleration (Y-axis). For example, every 30 minutes, the main control unit 62 extracts the minimum and maximum values of the measurement results of the acceleration in the Y-axis direction applied to the head unit 13, and extracts the maximum and minimum values of the head acceleration (Y-axis). Stored in the storage unit 63 as data.
  • the main control section 62 calculates the average value of the measurement results of the acceleration in the Y-axis direction applied to the head unit 13 that is output within the predetermined period, This is stored in the storage unit 63 as average value data of acceleration (Y-axis). For example, every 30 minutes, the main control unit 62 calculates the average value of the measurement results of the acceleration in the Y-axis direction applied to the head unit 13 and stores it in the storage unit 63 as the average value data of the head acceleration (Y-axis). .
  • the unit of head acceleration (Y-axis) is, for example, "0.01 m/s 2 ". Note that the minimum value, maximum value, and average value of the head acceleration (Y-axis) may be values from which gravitational acceleration is not removed.
  • the head acceleration (Z-axis) of item number 214 is the acceleration in the Z-axis direction applied to the head unit 13 measured by the acceleration sensor 48 of the head unit 13 .
  • the head controller 42 outputs the acceleration in the Z-axis direction measured by the acceleration sensor 48 to the main controller 62 .
  • the head control unit 42 outputs the measurement result of the acceleration in the Z-axis direction applied to the head unit 13 to the main control unit 62 at predetermined intervals.
  • the head controller 42 outputs, for example, the measurement result of the acceleration in the Z-axis direction applied to the head unit 13 to the main controller 62 every second.
  • the main control unit 62 extracts the minimum value and the maximum value from the measurement results output within the predetermined period every time the predetermined period elapses.
  • the main control section 62 stores the extracted minimum value and maximum value in the storage section 63 as minimum value data and maximum value data of the head acceleration (Z-axis). For example, every 30 minutes, the main control unit 62 extracts the minimum and maximum values of the measurement results of the acceleration in the Z-axis direction applied to the head unit 13, and extracts the maximum value data and the minimum value of the head acceleration (Z-axis). Stored in the storage unit 63 as data. Further, each time a predetermined period elapses, the main control unit 62 calculates the average value of the measurement results of the acceleration in the Z-axis direction applied to the head unit 13, which is output within the predetermined period, and sets the average value to the head unit 13.
  • the unit of head acceleration (Z-axis) is, for example, "0.01 m/s 2 ". Note that the minimum value, maximum value, and average value of the head acceleration (Z-axis) may be values from which gravitational acceleration is not removed.
  • the head acceleration (combined) of item number 215 is calculated based on the measurement result of the acceleration sensor 48 of the head unit 13 and is applied to the head unit 13 in the three axial directions (that is, the X-axis direction, the Y-axis direction, and the X-axis direction). ) is the composite value of acceleration.
  • the main control unit 62 uses the measurement results of the acceleration in the three-axis direction output every predetermined time via the head control unit 42 to calculate the combined value of the acceleration in the three-axis direction for each predetermined time. For example, the main control unit 62 uses the measurement result of the acceleration in the three-axis direction output every second via the head control unit 42 to calculate the combined value of the acceleration in the three-axis direction every second.
  • the main control unit 62 extracts the minimum value and the maximum value from the combined values of the accelerations in the three axial directions calculated within the predetermined period. Then, the main control unit 62 stores the extracted minimum value and maximum value in the storage unit 63 as minimum value data and maximum value data of head acceleration (combined). For example, every 30 minutes, the main control unit 62 extracts the minimum and maximum values of the combined values of acceleration in the three axial directions, and stores them in the storage unit 63 as maximum and minimum head acceleration (combined) data.
  • the main control unit 62 extracts the minimum and maximum values of the combined values of acceleration in the three axial directions, and stores them in the storage unit 63 as maximum and minimum head acceleration (combined) data.
  • the main control unit 62 calculates the average value of the synthetic values of the accelerations in the three axial directions calculated within the predetermined period, and calculates the average value as the average value of the head acceleration (composite). Stored in the storage unit 63 as data. For example, every 30 minutes, the main control unit 62 calculates the average value of the synthetic values of the accelerations in the three axial directions and stores it in the storage unit 63 as average value data of the head acceleration (composite).
  • the unit of head acceleration (composite) is, for example, "0.01 m/s 2 ". Note that the minimum value, maximum value, and average value of the head acceleration (composite) may be values from which the gravitational acceleration has been removed.
  • the contactor open/close count of item number 216 is the open/close count of the contactor 66 of the controller unit 11 .
  • the main control unit 62 counts the number of times the control signal for opening the contactor 66 and the control signal for closing the contactor 66 are transmitted to the contactor 66 .
  • the main control unit 62 counts the number of times the control signal has been transmitted, for example, from the time of shipment of the laser processing apparatus 10A.
  • the main control unit 62 stores the number of transmissions of the control signal at that time in the storage unit 63 as data of the number of opening/closing of the contactor at predetermined time intervals. For example, every second, the main control unit 62 stores the number of transmissions of the control signal at that point in the storage unit 63 as data of the number of times the contactor is opened and closed.
  • the item number 217 of shutter open/close count is the number of open/close times of the shutter of the shielding mechanism 46 of the head unit 13 .
  • the head control unit 42 counts the number of times a close signal instructing to place the shutter at the closed position and an open signal instructing to place the shutter at the open position are sent to the shielding mechanism 46 .
  • the head control unit 42 counts the number of times the open signal and the close signal are transmitted, for example, from the time of shipment of the laser processing apparatus 10A.
  • the main control unit 62 acquires the number of transmissions of the close signal and the open signal at that point in time from the head control unit 42 and stores it in the storage unit 63 as data on the number of times the shutter is opened and closed at predetermined time intervals.
  • the main control unit 62 acquires the number of transmission times of the open signal and the close signal at that point in time from the head control unit 42 and stores it in the storage unit 63 as data of the number of times the shutter is opened and closed.
  • the head control unit 42 measures the number of times each shutter is opened and closed. Then, the main control unit 62 stores the largest number of times of opening and closing in the storage unit 63 as data of the number of times of shutter opening and closing.
  • the laser irradiation time of item number 218 is the cumulative value of the time during which the workpiece W is processed by irradiating the laser beam LW.
  • the main control unit 62 accumulates the time during which the workpiece W is processed by irradiating the laser beam LW, for example, from the time of shipment of the laser processing apparatus 10A.
  • the main control unit 62 stores the cumulative value of the time during which the workpiece W is processed by irradiating the laser beam LW as the laser irradiation time in the storage unit 63 at predetermined time intervals. For example, every second, the main control unit 62 stores the cumulative value of the time during which the workpiece W is processed by irradiating the laser beam LW in the storage unit 63 as laser irradiation time data.
  • the laser excitation time of item number 219 is the cumulative value of the time during which the oscillator current CL is supplied to the laser light source 34 .
  • the light source control unit 32 accumulates the time during which the oscillator current CL is supplied to the laser light source 34, for example, from the time of shipment of the laser processing apparatus 10A.
  • the main control unit 62 acquires the cumulative value of the time during which the oscillator current CL is supplied to the laser light source 34 from the light source control unit 32 at predetermined time intervals, and stores it in the storage unit 63 as laser excitation time data.
  • the main control unit 62 stores, for example, every second, an accumulated value of the time during which the oscillator current CL is supplied to the laser light source 34 in the storage unit 63 as laser excitation time data.
  • the galvanometer scanning distance of item number 220 is the cumulative value of the distance scanned by the scanning unit 45 with the laser light LW.
  • the main control unit 62 accumulates the distance scanned with the laser beam LW by the scanning unit 45, for example, from the time of shipment of the laser processing apparatus 10A.
  • the console 14 selects the processing mode and the start of processing is instructed, the main control unit 62 generates a plurality of images corresponding to processing positions on the object W to be processed based on processing data related to characters to be printed.
  • control data including scanning position data (coordinate data) of .
  • the main control section 62 uses this scanning position data to calculate the scanning distance of the laser light LW by the scanning section 45 .
  • the main control unit 62 accumulates the calculated scanning distances.
  • the main control unit 62 stores the calculated cumulative value of the scanning distance in the storage unit 63 as galvano scanning distance data at predetermined time intervals. For example, every second, the main control unit 62 stores the cumulative value of the calculated scanning distance at that point in the storage unit 63 as galvano scanning distance data.
  • the fan speed (head) of item number 221 is the rotation speed of the fan 49 of the head unit 13 .
  • the main control unit 62 measures the number of revolutions of the fan 49 every predetermined time based on the rotation detection signal output from the rotation sensor that detects the rotation of the motor that drives the fan 49 . For example, the main controller 62 measures the number of rotations of the fan 49 for one minute based on the rotation detection signal.
  • the main controller 62 extracts the minimum value and the maximum value of the rotational speed of the fan 49 measured within the predetermined period each time the predetermined period elapses. Then, the main control unit 62 stores the extracted minimum value and maximum value in the storage unit 63 as minimum value data and maximum value data of the fan speed (head).
  • the main control unit 62 extracts the minimum and maximum values of the rotation speed of the fan 49 every 30 minutes, and stores them in the storage unit 63 as maximum and minimum fan speed (head) data.
  • the unit of fan speed (head) is, for example, "rpm".
  • the rotation speed of each fan 49 is measured every predetermined time, and the rotation speed data of each fan 49 is stored in the storage unit 63 .
  • the opening and closing operation of the shutter of the shielding mechanism 46 not only the shutter opening and closing times of the item number 217 shown in FIG. 7, but also the data of the items shown in FIG. are stored in the storage unit 63 .
  • the item numbers 301 to 304 attached to each item are numbers attached for convenience of explanation, and are not stored in the storage unit 63 as the monitoring data Da.
  • data of item numbers 301 to 304 are stored in the storage unit 63 for the latest 2,000 opening and closing operations of the shutter.
  • the data of item numbers 301 to 304 are stored in the storage unit 63 for each shutter.
  • the date and time of item number 301 is the number of seconds that have elapsed since the reference date and time when the first shutter opening/closing operation was performed a predetermined number of times.
  • the main control unit 62 controls the number of seconds elapsed from the reference date and time when the head control unit 42 transmits to the shielding mechanism 46 a close signal or an open signal instructing the first shutter opening/closing operation out of a predetermined number of shutter opening/closing operations.
  • Data is stored in the storage unit 63 .
  • the item number 302 type is data indicating whether each opening/closing operation of the shutter was an opening operation or a closing operation.
  • the main control unit 62 stores in the storage unit 63 that the operation of the shutter based on the open signal is the opening operation.
  • the main control unit 62 stores in the storage unit 63 that the operation of the shutter based on the close signal is the closing operation. For example, the main control unit 62 stores "0" for the opening operation and "1" for the closing operation in the storage unit 63.
  • the required time of item number 303 is the required time for each opening and closing operation of the shutter.
  • the main control unit 62 stores in the storage unit 63 the time required for each opening and closing operation of the shutter for a predetermined number of times.
  • the head control unit 42 transmits an open signal to the shielding mechanism 46, the shutter is arranged from the closed position to the open position.
  • the head controller 42 measures the time it takes for the shutter to move from the closed position to the open position.
  • the closing position detection sensor detects that the shutter is in the closed position.
  • the open position side position detection sensor detects that the shutter is arranged at the open position.
  • the head control unit 42 measures the time from when the open signal is transmitted to the shielding mechanism 46 to when the open position side position detection sensor detects that the shutter is placed at the open position.
  • the head controller 42 outputs the measured time to the main controller 62 .
  • the main control section 62 stores the output time in the storage section 63 as data of the time required for the opening operation.
  • data on the time required for shutter operation is stored in the storage unit 63.
  • the unit of required time is, for example, "100 us”.
  • the total of the item number 304 is the total value of each opening and closing operation of the shutter for a predetermined number of times.
  • the main control unit 62 sums up the required times of the item number 303 for the opening and closing operations of the shutter for a predetermined number of times, and stores the total value data in the storage unit 63 .
  • the data of items with item numbers 311 to 316 shown in FIG. 9 are calculated by the main control unit 62 using the data of items with item numbers 301 to 304 shown in FIG.
  • the data of the item numbers 311 to 316 shown in FIG. Item numbers 311 to 316 attached to each item in FIG. 9 are numbers attached for convenience of explanation, and are not stored in the storage unit 63 as the monitoring data Da.
  • data of item numbers 311 to 316 are stored in the storage unit 63 for each shutter. 9 is stored in the storage unit 63, for example, up to 4,000 items. For example, the most recent 4,000 pieces of data are stored in the storage unit 63 .
  • the target period start date and time of item number 311 is the number of seconds that have elapsed since the reference date and time when the first shutter opening/closing operation was performed a predetermined number of times.
  • the main control unit 62 counts the number of seconds elapsed from the reference date and time when the head control unit 42 transmits to the shielding mechanism 46 a close signal or an open signal instructing the first shutter opening/closing operation out of a predetermined number of shutter opening/closing operations. , is stored in the storage unit 63 as data of the start date and time of the target period.
  • the end date and time of the target period of item number 312 is the number of seconds that have passed since the reference date and time when the last one (ie, the predetermined number of times) of the predetermined number of opening and closing operations of the shutter was performed.
  • the main control unit 62 determines the number of seconds elapsed from the reference date and time when the head control unit 42 transmits the closing signal or the opening signal instructing the last one operation among the predetermined number of shutter opening/closing operations to the shielding mechanism 46 .
  • the number is stored in the storage unit 63 as data of the end date and time of the target period.
  • the number of open samples of the item number 313 is the number of open operations included in the predetermined number of opening and closing operations of the shutter.
  • the main control unit 62 calculates the number of opening operations included in the predetermined number of shutter opening/closing operations by using the data of the item number 302 regarding the predetermined number of shutter opening/closing operations stored in the storage unit 63 . count.
  • the main control unit 62 stores the counted number in the storage unit 63 as open sample number data.
  • the unit of the number of open samples is "piece".
  • the required open time of item number 314 is the required time for the opening operation included in the opening and closing operations of the shutter for a predetermined number of times.
  • the main control unit 62 determines the minimum required time for the opening operation included in the predetermined number of shutter opening/closing operations from the data of the item number 303 regarding the predetermined number of shutter opening/closing operations stored in the storage unit 63 . Extract values and maximum values.
  • the main control unit 62 stores the extracted minimum value and maximum value in the storage unit 63 as minimum value data and maximum value data of the required opening time.
  • the main control unit 62 uses the data of the item number 303 regarding the predetermined number of opening/closing operations of the shutter stored in the storage unit 63 to determine the opening operation included in the predetermined number of opening/closing operations of the shutter. Calculate the average required time.
  • the main control unit 62 stores the calculated average value in the storage unit 63 as average value data of the opening required time.
  • the unit of the required opening time is, for example, "100 us".
  • the number of closing samples of item number 315 is the number of closing operations included in the predetermined number of opening and closing operations of the shutter.
  • the main control unit 62 calculates the number of closing operations included in the predetermined number of shutter opening/closing operations using the data of the item number 302 regarding the predetermined number of shutter opening/closing operations stored in the storage unit 63 . count.
  • the main control unit 62 stores the counted number in the storage unit 63 as closed sample number data.
  • the unit of the number of closed samples is "piece".
  • the required closing time of item number 316 is the required closing time included in the opening and closing operations of the shutter for a predetermined number of times.
  • the main control unit 62 determines the minimum required time for the closing operation included in the predetermined number of shutter opening/closing operations from the data of the item number 303 regarding the predetermined number of shutter opening/closing operations stored in the storage unit 63 . Extract values and maximum values.
  • the main control unit 62 stores the extracted minimum value and maximum value in the storage unit 63 as minimum value data and maximum value data of the required closing time.
  • the main control unit 62 uses the data of the item number 303 regarding the predetermined number of shutter opening/closing operations stored in the storage unit 63 to determine the closing operation included in the predetermined number of shutter opening/closing operations. Calculate the average required time.
  • the main control unit 62 stores the calculated average value in the storage unit 63 as average value data of the required closing time.
  • the unit of the required closing time is, for example, "100 us”.
  • the main control unit 62 does not have to display the data items shown in FIGS. 7 to 9 on the display unit 71.
  • FIG. It is preferable that the data of the items shown in FIGS. 7 to 9 can be output to a file. (Action and effect of the embodiment) The effects of this embodiment will be described.
  • the laser processing device 10A processes the workpiece W with the laser beam LW.
  • the laser processing device 10A includes a laser light source 34 that emits a laser beam LW, and a main control unit 62 that controls the laser light source 34 and acquires monitoring data Da for the laser processing device 10A.
  • the laser processing apparatus 10A also includes a storage unit 63 that stores monitoring data Da acquired by the main control unit 62 .
  • the laser processing apparatus 10A also includes a display unit 71 that displays a laser output confirmation screen 73 (monitoring data display screen) including at least part of the monitoring data Da under the control of the main control unit 62 .
  • the main control unit 62 selects a display mode for displaying the laser output confirmation screen 73, a first display mode for displaying only the first display data D1 of the monitoring data Da, and a display mode for displaying at least the second display data D2 of the monitoring data Da. It is possible to switch to a second display mode for displaying.
  • the first display data D1 includes data with which the output state of the laser beam LW can be confirmed and data with which the setting regarding the output of the laser beam LW can be confirmed.
  • the second display data D2 is data different from the first display data D1.
  • the laser output confirmation screen 73 displayed to the user who uses the laser processing apparatus 10A and the laser output confirmation screen 73 displayed to the serviceman who performs maintenance and repair of the laser processing apparatus 10A are displayed. You can switch.
  • the user can confirm the output state of the laser beam LW and the data for confirming the setting regarding the output of the laser beam LW. 1 display data D1 can be confirmed. That is, the user can confirm the data necessary for the user to use the laser processing apparatus 10A among the monitoring data Da by the laser output confirmation screen 73 displayed in the first display mode.
  • the serviceman can confirm the second display data D2 different from the first display data D1 by looking at the laser output confirmation screen 73 displayed in the second display mode, for example.
  • the data that does not have to be displayed when the user uses the laser processing apparatus 10A, but is desired to be displayed when the serviceman performs maintenance or repair is set as the second display data D2.
  • the serviceman can know the state of the laser processing apparatus 10A in detail as compared with the case of confirming only the first display data D1. can be done.
  • the service person can easily identify the cause of the problem by referring not only to the first display data D1 but also to the second display data D2. Therefore, the time required for the serviceman to identify the cause of the problem can be shortened, so that the downtime of the laser processing apparatus 10A can be shortened. Further, by referring to not only the first display data D1 but also the second display data D2 when performing maintenance of the laser processing apparatus 10A, it is possible to prevent the occurrence of troubles. Therefore, the occurrence of downtime can be suppressed.
  • the user can check the data for confirming the output state of the laser beam LW and the settings related to the output of the laser beam LW.
  • a first display data D1 containing possible data is displayed. Therefore, both the user and the serviceman can monitor the output of the laser light LW by referring to the first display data D1.
  • the second display data D2 includes data for confirming the presence or absence of an abnormality in the laser processing apparatus 10A.
  • the serviceman confirms whether or not there is an abnormality in the laser processing apparatus 10A.
  • 2nd display data D2 including data for .
  • the serviceman can confirm whether or not there is an abnormality in the laser processing apparatus 10A. Therefore, for example, when a problem occurs in the laser processing apparatus 10A, the service person can more easily identify the cause of the problem by referring not only to the first display data D1 but also to the second display data D2. Therefore, the time required for the service person to identify the cause of the problem can be shortened, so that the downtime of the laser processing apparatus 10A can be shortened.
  • the serviceman when performing maintenance on the laser processing apparatus 10A, the serviceman refers not only to the first display data D1 but also to the second display data D2 including data for confirming whether or not there is an abnormality in the laser processing apparatus 10A. be able to. Therefore, it becomes easier to prevent the occurrence of defects in the laser processing apparatus 10A. Therefore, the occurrence of downtime can be further suppressed.
  • the second display mode is a display mode of the laser output confirmation screen 73 that displays the first display data D1 and the second display data D2. According to this configuration, by viewing the laser output confirmation screen 73 displayed in the second display mode, both the first display data D1 and the second display data D2 can be confirmed at the same time. Therefore, both the first display data D1 and the second display data D2 can be easily confirmed compared to, for example, a display mode in which only the second display data D2 is displayed in the second display mode. For example, if a problem occurs in the laser processing apparatus 10A, the service person can see both the first display data D1 and the second display data D2 by viewing the laser output confirmation screen 73 displayed in the second display mode. You can refer to the data at the same time. Therefore, the time required for the serviceman to identify the cause of the problem can be further shortened, so that the downtime of the laser processing apparatus 10A can be further shortened.
  • the serviceman when performing maintenance on the laser processing apparatus 10A, the serviceman can confirm both the data of the first display data D1 and the second display data D2 at the same time. Therefore, the time required for maintenance can be shortened.
  • the main control unit 62 performs authentication processing to permit the display of the laser output confirmation screen 73 on the display unit 71 in the second display mode.
  • the main control unit 62 displays the laser output confirmation screen 73 in the second display mode on the display unit 71 . to display.
  • the serviceman can display the laser output confirmation screen 73 on the display unit 71 in the second display mode by performing the authentication process.
  • the display unit 71 displays a screen including a password entry field 77 for entering a password.
  • the authentication processing performed by the main control unit 62 is password authentication processing in which the password entered in the password input field 77 is collated with the password stored in advance in the storage unit 63 . According to this configuration, the authentication process can be easily performed.
  • the first display data D1 includes measurement data obtained by actually measuring the output of the laser light LW, correction rate data for correcting the output of the laser light LW, and cumulative time data of the time processed by irradiating the laser light LW.
  • the measurement data obtained by actually measuring the output of the laser light LW are data of item numbers 108 and 109 shown in FIG.
  • the correction factor data for correcting the output of the laser light LW is the data of the item number 112 shown in FIG.
  • the accumulated time data of the time processed by irradiating the laser beam LW is the data of the item number 111 shown in FIG.
  • the user and the service person can determine the output of the laser beam LW in the laser processing apparatus 10A and the correction rate for correcting the output of the laser beam LW. , the laser irradiation time can be confirmed.
  • the laser light source 34 has a laser oscillator 34a that outputs a laser beam LW.
  • the second display data D2 includes temperature data inside the laser oscillator 34a. According to this configuration, the service person can check the temperature data inside the laser oscillator 34a by displaying the laser output confirmation screen 73 in the second display mode. For example, when a problem occurs in the laser processing apparatus 10A, the serviceman can easily identify the cause of the problem by referring to the temperature data inside the laser oscillator 34a.
  • the data included in the second display data D2 is not limited to the data in the above embodiment. Desired data of the monitoring data Da may be used as the second display data D2.
  • the second display data D2 may be the data of the items selected from among the items with the item numbers 101 to 117 shown in FIG. 6 and not selected as the first display data D1.
  • the second display data D2 may further include data of items not marked with a circle in the service disclosure column in FIG.
  • the data included in the first display data D1 is not limited to the data in the above embodiment. Desired data of the monitoring data Da may be used as the first display data D1. However, the first display data D1 includes data with which the output state of the laser beam LW can be confirmed and data with which the setting regarding the output of the laser beam LW can be confirmed. For example, the first display data D1 may be data of an item appropriately selected from the items with item numbers 101 to 117 shown in FIG. For example, the first display data D1 further includes data of items not marked with ⁇ in addition to the items marked with ⁇ in the user disclosure column among the items with item numbers 101 to 117 shown in FIG. You can
  • the password entry field 77 is provided on the initial screen 76 .
  • the password entry field 77 may not be provided on the initial screen 76 .
  • the main control unit 62 first displays the laser output confirmation screen 73 on the display unit 71 after the laser processing apparatus 10A is activated by operating the power key 68. When doing so, it is displayed in the first display mode. At this time, the main controller 62 may display a password input field 77 in the laser output confirmation screen 73 displayed in the first mode.
  • the main control section 62 performs password authentication processing.
  • the main control unit 62 compares the password entered in the password input field 77 with the password stored in advance in the storage unit 63, and when the two passwords match, the display mode of the laser output confirmation screen 73 is changed. Switch from the first display mode to the second display mode. That is, the main control unit 62 changes the screen displayed on the display unit 71 from the laser output confirmation screen 73 displayed in the first display mode shown in FIG. 4 to the laser output displayed in the second display mode shown in FIG. Switch to the confirmation screen 73 .
  • the main control unit 62 performs password authentication processing as authentication processing for permitting display of the laser output confirmation screen 73 on the display unit 71 in the second display mode.
  • This authentication processing is not limited to password authentication.
  • the main control unit 62 may perform processing using known biometric authentication (eg, face authentication, fingerprint authentication, vein pattern authentication, iris authentication, etc.). Further, for example, when a key for permitting display of the laser output confirmation screen 73 on the display unit 71 in the second display mode is inserted into the controller unit 11, the main control unit 62 may A laser output confirmation screen 73 may be displayed on the display unit 71 .
  • the controller unit 11 may have a switch for switching the display mode of the laser output confirmation screen 73 .
  • the main control section 62 switches the display mode of the laser output confirmation screen 73 according to the operation of the switch.
  • a button for switching the display mode of the laser output confirmation screen 73 may be displayed on the display unit 71 . In this case, the main control unit 62 switches the display mode of the laser output confirmation screen 73 when the button is pressed by operating the operation unit 72 .
  • the main control unit 62 may display a display switching button on the laser output confirmation screen 73 displayed in the second display mode shown in FIG.
  • the display switching button is a button for instructing the main control unit 62 to switch the display mode of the laser output confirmation screen 73 from the second display mode to the first display mode.
  • the main control unit 62 switches the display mode of the laser output confirmation screen 73 from the second display mode to the first display mode. That is, when the display switching button is pressed, the main control unit 62 switches the display unit from the laser output confirmation screen 73 in the second display mode shown in FIG. 5 to the laser output confirmation screen 73 in the first display mode shown in FIG. Switch the display of 71.
  • the main control unit 62 does not perform the authentication process again using the password input in the password input field 77, for example. As long as the laser output confirmation screen 73 is displayed on the display unit 71, it is displayed in the first display mode.
  • the controller unit 11 is stopped. Up to this point, the first display mode and the second display mode may be switched each time an instruction to switch the display mode is given by operating the operation unit 72 .
  • the main control unit 62 permits the laser output confirmation screen 73 to be displayed in the second display mode by the authentication process, for example, the laser output confirmation screen 73 displayed in the first display mode displays Show toggle button.
  • the main control unit 62 switches the display mode of the laser output confirmation screen 73 to the first display. mode to the second display mode. That is, when the display switching button displayed on the laser output confirmation screen 73 displayed in the first display mode is pressed, the main control unit 62 switches the display of the display unit 71 to the laser output confirmation screen in the first display mode. 73 is switched to the laser output confirmation screen 73 of the second display mode.
  • the second display mode is the display mode of the laser output confirmation screen 73 that displays the first display data D1 and the second display data D2.
  • the second display mode may be a display mode that displays only the second display data D2. In this case, for example, a service person can see the first display data D1 and the second display by viewing the laser output confirmation screen 73 displayed in the first display mode and the laser output confirmation screen 73 displayed in the second display mode. Both data D2 can be confirmed.
  • the items of the monitoring data Da acquired by the main control unit 62 are not limited to the items in the above embodiment.
  • the main control unit 62 does not need to acquire the monitoring data Da for one or more of the items in the above embodiments.
  • the main control unit 62 may acquire more items of monitoring data Da than the items in the above embodiment.
  • the rotation speed of the fan 35 of the light source unit 12 may be further acquired as the monitoring data Da.
  • the laser manual correction mode is a mode in which the output of the laser beam LW is corrected with the correction rate instructed by the user.
  • the laser manual correction mode may be a mode in which the output of the laser beam LW is corrected to the output instructed by the user.
  • FIG. 10 shows an example of a laser processing apparatus 10B configured by connecting two units.
  • This laser processing apparatus 10B has a controller unit 11B, a head unit 13B, and a console 14B.
  • the head unit 13B is connected to the controller unit 11B by a second electric cable 82.
  • the controller unit 11B has the same configuration as the controller unit 11 of the laser processing apparatus 10A described above.
  • the head unit 13B has a head control section 42B, a storage section 43B, a laser light source 34, a focus adjustment section 44, a scanning section 45, a shielding mechanism 46, a monitor section 47, an acceleration sensor 48, a fan 49, and a protective glass 50.
  • the head controller 42B has the functions of the light source controller 32 and the head controller 42 shown in FIG.
  • the storage unit 43B has the functions of the storage units 33 and 43 shown in FIG.
  • the console 14B has the same configuration as the console 14 of the laser processing apparatus 10A described above. Also in the laser processing apparatus 10B configured in this way, the same effects as those of the above-described embodiment can be obtained.
  • FIG. 11 shows an example of a laser processing device 10C configured by connecting two units.
  • This laser processing apparatus 10C has a controller unit 11C, a head unit 13C, and a console 14C.
  • the head unit 13C is connected by a first electric cable 81 to the controller unit 11C.
  • the head unit 13C has the same configuration as the head unit 13 of the laser processing apparatus 10A described above.
  • the controller unit 11C has a main control section 62C, a storage section 63C, a laser light source 34, a power supply circuit 64, a key switch 65, a contactor 66, and a fan 67.
  • the main controller 62C has the functions of the main controller 62 and the light source controller 32 shown in FIG.
  • the storage unit 63C has the functions of the storage unit 63 and the storage unit 33 shown in FIG.
  • the console 14C has the same configuration as the console 14 of the laser processing apparatus 10A described above. Also in the laser processing apparatus 10C configured in this manner, the same effects as those of the above-described embodiment can be obtained.

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Abstract

レーザ光（ＬＷ）を出射するレーザ光源（３４）を制御するメイン制御部（６２）は、レーザ加工装置（１０Ａ）についてのモニタリングデータ（Ｄａ）を取得する。記憶部（６３）は、モニタリングデータ（Ｄａ）を記憶する。表示部（７１）は、モニタリングデータ（Ｄａ）の一部の表示を含むレーザ出力確認画面を表示する。メイン制御部（６２）は、レーザ出力確認画面を表示する表示モードを、モニタリングデータ（Ｄａ）のうち第１表示データ（Ｄ１）のみを表示する第１表示モードと、モニタリングデータ（Ｄａ）のうち少なくとも第２表示データ（Ｄ２）を表示する第２表示モードとに切り替え可能である。第１表示データ（Ｄ１）は、レーザ光（ＬＷ）の出力状態を確認可能なデータおよびレーザ光（ＬＷ）の出力に関する設定を確認可能なデータを含む。第２表示データ（Ｄ２）は、第１表示データ（Ｄ１）とは異なるデータである。

Description

レーザ加工装置
　本開示は、レーザ加工装置に関するものである。
　従来、レーザ加工装置には、加工対象物にレーザ光を照射することにより、当該加工対象物の表面に文字等のマーキング加工を行うものがある。また、例えば、特許文献１に記載された、レーザ光によりウエハ露光を行うレーザ加工装置は、サーバに格納された制御情報に基づいて制御される。
国際公開第２０１７／０６８６１９号
　ところで、レーザ加工装置に不具合が発生した場合、ダウンタイムが発生する。このダウンタイムを、できる限り短縮することが望まれている。例えば、レーザ加工装置のメンテナンスや修理を行うサービスマンが当該不具合の原因を特定するまでに要する時間を短くすることができれば、ダウンタイムを短縮できる。サービスマンが不具合の原因を特定するためには、レーザ加工装置の状態を示す情報が必要になる。
　本開示の一側面によるレーザ加工装置は、レーザ光にて加工対象物を加工するレーザ加工装置であって、前記レーザ光を出射するレーザ光源と、前記レーザ光源を制御するとともに、前記レーザ加工装置についてのモニタリングデータを取得する制御部と、前記制御部が取得した前記モニタリングデータを記憶する記憶部と、前記制御部の制御により前記モニタリングデータの少なくとも一部の表示を含むモニタリングデータ表示画面を表示する表示部と、を備え、前記制御部は、前記モニタリングデータ表示画面を表示する表示モードを、前記モニタリングデータのうち第１表示データのみを表示する第１表示モードと、前記モニタリングデータのうち少なくとも第２表示データを表示する第２表示モードとに切り替え可能であり、前記第１表示データは、前記レーザ光の出力状態を確認可能なデータおよび前記レーザ光の出力に関する設定を確認可能なデータを含み、前記第２表示データは、前記第１表示データとは異なるデータである、レーザ加工装置である。
　本開示のレーザ加工装置によれば、ダウンタイムを短縮できる。
図１は、一実施形態のレーザ加工装置を示す斜視図である。 図２は、図１のレーザ加工装置の電気的構成を示すブロック図である。 図３は、図１のレーザ加工装置の初期画面を示す説明図である。 図４は、図１のレーザ加工装置のレーザ出力確認画面を示す説明図である。 図５は、図１のレーザ加工装置のレーザ出力確認画面を示す説明図である。 図６は、図１のレーザ加工装置におけるレーザ出力測定時のモニタリング項目を説明するための説明図である。 図７は、図１のレーザ加工装置におけるモニタリング項目を説明するための説明図である。 図８は、図１のレーザ加工装置におけるモニタリング項目を説明するための説明図である。 図９は、図１のレーザ加工装置におけるモニタリング項目を説明するための説明図である。 図１０は、変更例のレーザ加工装置の電気的構成を示すブロック図である。 図１１は、変更例のレーザ加工装置の電気的構成を示すブロック図である。
　以下、レーザ加工装置の一実施形態について説明する。
　以下に示す実施形態は、技術的思想を具体化するための構成や方法を例示するものであり、各構成部品の材質、形状、構造、配置、寸法等を下記のものに限定するものではない。なお、説明を簡単かつ明確にするために、図面に示される構成要素は必ずしも一定の縮尺で描かれていない。添付の図面は、本開示の実施形態を例示するに過ぎず、本開示を制限するものとみなされるべきではない。本開示における「第１」「第２」「第３」等の用語は、単に対象物を区別するために用いられており、対象物を順位づけするものではない。
　［レーザ加工装置の概要］
　図１に示すように、レーザ加工装置１０Ａは、例えば、コントローラユニット１１、光源ユニット１２、ヘッドユニット１３、コンソール１４を有している。光源ユニット１２は、例えば第１電気ケーブル８１と光ファイバーケーブルＦＬとによりヘッドユニット１３に接続されている。また、光源ユニット１２は、例えば第２電気ケーブル８２によりコントローラユニット１１に接続されている。第１電気ケーブル８１は、例えば第１電源ケーブルＳＰ１と第１信号ケーブルＳＬ１とから構成されている。第２電気ケーブル８２は、第２電源ケーブルＳＰ２と第２信号ケーブルＳＬ２とから構成されている。コントローラユニット１１には、図示しない電源ケーブルによりＡＣ電源が供給される。レーザ加工装置１０Ａは、供給されるＡＣ電源により動作することによって、加工対象物Ｗを加工する。コンソール１４は、第３電気ケーブル８３によりコントローラユニット１１に接続されている。コンソール１４は、レーザ加工装置１０Ａにおける各種の設定を行うために設けられる。また、コンソール１４は、レーザ加工装置１０Ａの状態、各種の情報を表示するために設けられる。
　コントローラユニット１１は、光源ユニット１２、ヘッドユニット１３を制御する。光源ユニット１２は、加工対象物Ｗを加工するレーザ光ＬＷを生成する。光源ユニット１２で生成されたレーザ光ＬＷは、光ファイバーケーブルＦＬによりヘッドユニット１３に伝達される。ヘッドユニット１３は、加工対象物Ｗに向けてレーザ光ＬＷを出射する。
　［各ユニットの構成］
　［光源ユニット］
　図１、図２に示すように、光源ユニット１２は、筐体３１を有している。光源ユニット１２は、筐体３１の内部に、光源制御部３２、記憶部３３、レーザ光源３４を有している。また、光源ユニット１２は、筐体３１内に、レーザ光源３４を冷却するとともに、各種電子部品を冷却するためのファン３５を有していてもよい。
　光源制御部３２は、レーザ光源３４を制御する。光源制御部３２は、例えば、発振器ユニット基板を有している。発振器ユニット基板上には、光源ユニット１２の内部の温度を測定する温度センサが設けられている。光源制御部３２は、当該温度センサから光源ユニット１２の内部の温度データを取得する。また、発振器ユニット基板上には、当該発振器ユニット基板近傍の湿度を測定する湿度センサが設けられている。光源制御部３２は、当該湿度センサから発振器ユニット基板近傍の湿度データを取得する。また、光源ユニット１２は、時間を計測するタイマを有していてもよい。
　記憶部３３は、光源ユニット１２の情報を記憶する。光源ユニット１２の情報は、光源ユニット１２の識別情報を含む。光源ユニット１２の識別情報は、例えば、光源ユニット１２の機種情報（型式）、固有情報（シリアル番号）を含む。ファン３５は、例えば光源制御部３２によって制御される。
　レーザ光源３４は、レーザ光ＬＷを出力するレーザ発振器３４ａを有する。レーザ光源３４は、レーザ光ＬＷを出射する。レーザ光源３４は、レーザ光ＬＷを出射するものであればよく、例えば、ファイバレーザ、ＹＡＧレーザ、ＣＯ２レーザ、等が挙げられる。レーザ発振器３４ａは、レーザ発振器３４ａの内部の温度を測定する温度センサを有していてもよい。光源制御部３２は、レーザ発振器３４ａから、レーザ発振器３４ａの内部の温度データを取得する。
　レーザ光源３４は、同レーザ光源３４が出射するレーザ光ＬＷの出力を測定するパワーモニタを有していてもよい。このパワーモニタは、測定結果を光源制御部３２に出力する。
　光源制御部３２は、第２信号ケーブルＳＬ２により、コントローラユニット１１と通信可能に構成されている。また、光源制御部３２は、第１信号ケーブルＳＬ１により、ヘッドユニット１３と通信可能に構成されている。
　光源制御部３２、記憶部３３、ファン３５は、第２電源ケーブルＳＰ２により供給されるシステム電源電圧ＰＳにより動作するように構成されている。レーザ光源３４は、第２電源ケーブルＳＰ２により供給されるレーザ電源電圧ＰＬにより動作する。レーザ電源電圧ＰＬは、第２電源ケーブルＳＰ２により光源制御部３２に供給された後、光源制御部３２からレーザ光源３４に供給される。光源制御部３２は、レーザ発振器３４ａに供給する電流、即ち発振器電流ＣＬのデータ（電流値）を、第２信号ケーブルＳＬ２により、コントローラユニット１１に出力する。
　［ヘッドユニット］
　ヘッドユニット１３は、筐体４１を有している。ヘッドユニット１３は、筐体４１の内部に、例えば、ヘッド制御部４２、記憶部４３、焦点調整部４４、走査部４５、遮蔽機構４６、モニタ部４７、加速度センサ４８を有している。また、ヘッドユニット１３は、筐体４１内に、筐体４１内の各種電子部品を冷却するためのファン４９を有していてもよい。また、ヘッドユニット１３は、保護ガラス５０を有している。保護ガラス５０は、筐体４１によって保持されている。
　記憶部４３は、ヘッドユニット１３の情報を記憶する。ヘッドユニット１３の情報は、ヘッドユニット１３の識別情報を含む。ヘッドユニット１３の識別情報は、ヘッドユニット１３の機種情報（型式）、固有情報（シリアル番号）を含む。
　焦点調整部４４は、レーザ光ＬＷの焦点位置（焦点距離）を調整する。焦点調整部４４は、レーザ光ＬＷの光軸上に配置された複数のレンズと、レンズの位置を光軸方向に移動させるアクチュエータとを含む。ヘッド制御部４２は、このアクチュエータを制御することにより、レンズの位置を制御する。レンズの位置（レンズ間の距離）により、出射するレーザ光ＬＷの焦点位置を調整する。
　走査部４５は、レーザ光ＬＷを加工対象物Ｗに向けて照射する。また、走査部４５は、加工対象物Ｗの加工面Ｗａに対してレーザ光ＬＷを走査する。走査部４５は、例えば一対のガルバノミラーと、一対のガルバノミラーを駆動させる一対のガルバノモータ（例えば、サーボモータやアクチュエータ）とを有している。ヘッド制御部４２は、この一対のガルバノモータを制御することにより、当該一対のガルバノモータを介して一対のガルバノミラーの駆動を制御する。走査部４５にて反射されたレーザ光ＬＷは、保護ガラス５０を通してヘッドユニット１３の外部へ出射される。走査部４５は、加工対象物Ｗの加工面Ｗａ上において２方向（２次元方向）に走査する。
　遮蔽機構４６は、レーザ光ＬＷをオンオフする機構である。遮蔽機構４６は、例えば、シャッタと、シャッタを駆動するアクチュエータとを含む。シャッタは、レーザ光ＬＷを遮る閉位置と、レーザ光ＬＷを遮らない開位置とに切り替え可能に支持される。アクチュエータは、シャッタを閉位置と開位置とに切り替え配置する。遮蔽機構４６は、ヘッド制御部４２により制御される。例えば、遮蔽機構４６は、ヘッド制御部４２から閉信号が送信されると、シャッタを閉位置に配置する。また、遮蔽機構４６は、ヘッド制御部４２から開信号が送信されると、シャッタを開位置に配置する。ヘッドユニット１３は、例えば、シャッタが閉位置に配置されていることを検出する閉位置側位置検出センサと、シャッタが開位置に配置されていることを検出する開位置側位置検出センサとを有する。各位置検出センサの検出結果は、ヘッド制御部４２に出力される。なお、ヘッドユニット１３は、遮蔽機構４６を複数有していてもよい。
　モニタ部４７は、光源ユニット１２から光ファイバーケーブルＦＬにて伝達されるレーザ光ＬＷの出力（光パワー）を測定する。モニタ部４７は、測定結果をヘッド制御部４２に出力する。例えば、モニタ部４７は、レーザ光ＬＷを受光する受光部を有している。受光部は、受光したレーザ光ＬＷの出力に応じた信号を出力する。モニタ部４７は、例えば、走査部４５から遮蔽機構４６に至るレーザ光ＬＷの出力をモニタリングする。モニタ部４７は、受光部が出力する信号をアナログーデジタル変換（以下、ＡＤ変換）することにより、レーザ光ＬＷの出力に応じたデジタル値を得る。モニタ部４７は、当該デジタル値をヘッド制御部４２に出力する。モニタ部４７は、パワーモニタであってもよい。
　加速度センサ４８は、ヘッドユニット１３に加わる加速度を測定する。加速度センサ４８は、任意に設定されるＸ軸方向の加速度、Ｘ軸と直交するＹ軸方向の加速度、Ｘ軸およびＹ軸の各々と直交するＺ軸方向の加速度を測定する。加速度センサ４８は、測定データをヘッド制御部４２に出力する。
　ヘッドユニット１３は、ファン４９を駆動するモータの回転を検出する回転センサを有していてもよい。回転センサは、当該モータの回転に同期した回転検出信号をヘッド制御部４２に出力する。回転検出信号は、例えば、パルス信号である。
　ヘッド制御部４２は、例えば、ヘッドユニット基板を有している。ヘッドユニット基板上には、当該ヘッドユニット基板の温度を測定する温度センサが設けられている。ヘッド制御部４２は、当該温度センサからヘッドユニット基板の温度データを取得する。
　ヘッド制御部４２は、焦点調整部４４、走査部４５、遮蔽機構４６、ファン４９を制御する。
　ヘッド制御部４２は、第１信号ケーブルＳＬ１と、光源ユニット１２とコントローラユニット１１との間の第２信号ケーブルＳＬ２とにより、ヘッドユニット１３、コントローラユニット１１と信号のやり取りが可能に構成されている。
　ヘッド制御部４２は、第１電源ケーブルＳＰ１により供給されるシステム電源電圧ＰＳにより動作するように構成されている。走査部４５は、第１電源ケーブルＳＰ１により供給される正のガルバノ電源電圧ＰＧ１および負のガルバノ電源電圧ＰＧ２により動作する。正のガルバノ電源電圧ＰＧ１および負のガルバノ電源電圧ＰＧ２は、ヘッド制御部４２に供給された後、ヘッド制御部４２から走査部４５に供給される。
　［コントローラユニット］
　コントローラユニット１１は、筐体６１を有している。コントローラユニット１１は、筐体６１の内部に、メイン制御部６２、記憶部６３、電源回路６４、キースイッチ６５、コンタクタ６６を有している。また、コントローラユニット１１は、筐体６１内の各種電子部品を冷却するためのファン６７を有していてもよい。
　キースイッチ６５は、コントローラユニット１１の起動と停止を行うための電源スイッチである。キースイッチ６５は、図１に示す電源キー６８を作業者（例えば、ユーザもしくはサービスマン）が回動操作することによりオンオフする。
　電源回路６４は、図示しない電源ケーブルにより、商用電源等の外部電源と接続される。電源回路６４は、レーザ加工装置１０Ａを構成するコントローラユニット１１と光源ユニット１２とヘッドユニット１３とに電力を供給する。なお、電源回路６４は、コンソール１４に対して駆動のための電力を供給してもよい。
　電源回路６４は、メイン制御部６２にシステム電源電圧ＰＳを供給する。電源回路６４は、キースイッチ６５のオンオフにより、メイン制御部６２への電力の供給と停止とを行う。システム電源電圧ＰＳは、メイン制御部６２に供給される。また、システム電源電圧ＰＳは、第２電源ケーブルＳＰ２により光源ユニット１２の光源制御部３２に供給される。さらに、システム電源電圧ＰＳは、第１電源ケーブルＳＰ１により、光源ユニット１２からヘッドユニット１３のヘッド制御部４２に供給される。従って、コントローラユニット１１、光源ユニット１２およびヘッドユニット１３の各々は、キースイッチ６５のオン操作により供給されるシステム電源電圧ＰＳにより動作する。
　電源回路６４は、光源ユニット１２の光源制御部３２にレーザ電源電圧ＰＬを供給する。電源回路６４は、メイン制御部６２の制御により、レーザ電源電圧ＰＬを出力または停止する。
　電源回路６４は、ヘッドユニット１３の走査部４５に正のガルバノ電源電圧ＰＧ１および負のガルバノ電源電圧ＰＧ２を供給する。電源回路６４は、メイン制御部６２の制御により、正のガルバノ電源電圧ＰＧ１を出力または停止する。電源回路６４は、メイン制御部６２の制御により、負のガルバノ電源電圧ＰＧ２を出力または停止する。
　電源回路６４は、システム電源電圧ＰＳ、レーザ電源電圧ＰＬ、正のガルバノ電源電圧ＰＧ１、負のガルバノ電源電圧ＰＧ２の情報（電圧値）をメイン制御部６２に出力する。
　コンタクタ６６は、メイン制御部６２により制御される。コンタクタ６６は、メイン制御部６２から入力される制御信号に応じて開動作もしくは閉動作する。コンタクタ６６が開状態にあるときには、電源回路６４は、光源制御部３２にレーザ電源電圧ＰＬを、走査部４５に正のガルバノ電源電圧ＰＧ１および負のガルバノ電源電圧ＰＧ２をそれぞれ供給可能である。一方、コンタクタ６６が閉状態にあるときには、電源回路６４は、光源制御部３２へのレーザ電源電圧ＰＬの供給、走査部４５への正のガルバノ電源電圧ＰＧ１および負のガルバノ電源電圧ＰＧ２の供給、を停止する。
　記憶部６３は、各種の情報を記憶する。記憶部６３は、例えばコントローラユニット１１に接続されるユニット（例えば、光源ユニット１２、ヘッドユニット１３）の識別情報を記憶する。記憶部６３は、加工対象物Ｗを加工するための加工データを記憶する。加工データは、例えば、加工対象物Ｗの加工面Ｗａに対して印字すべき文字、図形、等の加工パターンの情報である。
　コントローラユニット１１は、ファン６７を駆動するモータの回転を検出する回転センサを有していてもよい。回転センサは、当該モータの回転に同期した回転検出信号をメイン制御部６２に出力する。回転検出信号は、例えば、パルス信号である。
　メイン制御部６２は、例えば、時計、カウンタ、タイマを有している。メイン制御部６２は、例えば、コントローラユニット基板を有している。コントローラユニット基板上には、当該コントローラユニット基板の温度を測定する温度センサが設けられている。ヘッド制御部４２は、当該温度センサからコントローラユニット基板の温度データを取得する。
　メイン制御部６２は、第１信号ケーブルＳＬ１と第２信号ケーブルＳＬ２とを介して、光源ユニット１２の光源制御部３２およびヘッドユニット１３のヘッド制御部４２と通信可能に構成されている。メイン制御部６２は、加工データ等に基づいて、光源制御部３２、ヘッド制御部４２に対して制御データを送信する。例えば、メイン制御部６２は、加工データに基づいて、加工対象物Ｗ上の加工位置に対応する複数の走査位置データ（座標データ）と、オンオフデータとを含む制御データを生成する。メイン制御部６２は、制御データを光源制御部３２、ヘッド制御部４２に送信する。
　光源制御部３２は、制御データに基づいて、レーザ光源３４を制御する。例えば、光源制御部３２は、レーザ光源３４から出射するレーザ光ＬＷの出力を制御する。
　ヘッド制御部４２は、制御データに基づいて、レーザ光ＬＷにて加工対象物Ｗを加工するように走査部４５を制御する。
　［コンソール］
　コンソール１４は、例えば、表示部７１、操作部７２を有している。表示部７１は、レーザ加工装置１０Ａの各種情報を表示可能に構成されている。操作部７２は、ユーザによるデータの入力が可能に構成されている。コンソール１４は、例えば、タブレット端末、ノートパソコン、ＰＤＡ（Personal Digital Assistant）やスマートフォンなどの汎用端末と、それに導入された専用のアプリケーションソフトウェアとにより構成される。
　コンソール１４は、操作部７２の操作に応じて、コントローラユニット１１に対して、各種の制御、動作モードを指示する。指示する制御は、例えば、加工開始、加工停止、を含む。動作モードは、加工モード、レーザ出力測定モード、レーザ出力自動補正モード、レーザ出力手動補正モードを含む。表示部７１は、これらの動作モードを選択するための文字等を表示する。コンソール１４は、操作部７２の操作によって選択された動作モードをコントローラユニット１１のメイン制御部６２に対して指示する。
　図３～図５は、電源キー６８の操作によりレーザ加工装置１０Ａが起動されると、メイン制御部６２によって表示部７１に表示される画面の一例を示している。図３は、表示部７１に表示する初期画面７６の一例である。図４および図５に示すレーザ出力確認画面７３は、レーザ光ＬＷの出力に関する情報を表示する画面の一例である。図４は、第１表示モードで表示されたレーザ出力確認画面７３の一例である。図５は、第２表示モードで表示されたレーザ出力確認画面７３の一例である。
　［動作モード］
　システム電源電圧ＰＳが供給されたメイン制御部６２は、電源投入による初期処理を実行した後、選択された動作モードで処理を実行する。
　初期処理は、レーザ加工装置１０Ａの構成を確認し、コントローラユニット１１に接続された光源ユニット１２およびヘッドユニット１３に対して、レーザ電源電圧ＰＬ、正のガルバノ電源電圧ＰＧ１、負のガルバノ電源電圧ＰＧ２を供給するものである。
　コントローラユニット１１のメイン制御部６２は、コントローラユニット１１に接続された光源ユニット１２を駆動可能か否かを判定する。また、メイン制御部６２は、光源ユニット１２を介してコントローラユニット１１に接続されたヘッドユニット１３を駆動可能か否かを判定する。そして、メイン制御部６２は、判定結果に基づいて、レーザ電源電圧ＰＬ、正のガルバノ電源電圧ＰＧ１、負のガルバノ電源電圧ＰＧ２を供給または停止するように、電源回路６４およびコンタクタ６６を制御する。
　［加工モード］
　加工モードは、レーザ光ＬＷにて加工対象物Ｗに加工パターンを形成するモードである。加工パターンは、加工対象物Ｗに形成する文字、記号、または図形等の形状である。
　メイン制御部６２は、コンソール１４にて加工モードが選択された状態で、加工開始が指示されると、加工対象物Ｗに対する加工処理を開始する。メイン制御部６２は、加工データに基づいて加工対象物Ｗにレーザ光ＬＷを照射する処理を実行する。メイン制御部６２は、印字すべき文字等に関する加工データに基づいて制御データを生成する。制御データは、加工対象物Ｗ上の加工位置に対応する複数の走査位置データ（座標データ）と、レーザオンオフデータとを含む。メイン制御部６２は、制御データを第２信号ケーブルＳＬ２を介して光源ユニット１２の光源制御部３２に伝送する。
　光源制御部３２は、伝送された制御データから光源ユニット１２に関わるレーザオンオフデータを取得する。また、光源制御部３２は、制御データを第１信号ケーブルＳＬ１を介してヘッドユニット１３のヘッド制御部４２に伝送する。また、光源制御部３２は、制御データに基づいてレーザ光源３４を制御することにより、レーザ光源３４にレーザ光ＬＷを出射させる。
　ヘッド制御部４２は、伝送された制御データからヘッドユニット１３に関わる走査位置データを取得する。ヘッド制御部４２は、制御データに基づいて、焦点調整部４４、走査部４５を制御することにより、レーザ光ＬＷを加工対象物Ｗに向けて走査する。これにより、レーザ加工装置１０Ａは、加工対象物Ｗの加工面Ｗａに加工パターンを形成する。
　［レーザ出力測定モード］
　レーザ出力測定モードは、レーザ光ＬＷの出力に関するモニタリングを行うモードである。レーザ光ＬＷの出力に関するモニタリングには、レーザ光ＬＷの出力を測定するレーザ出力測定が含まれる。例えば、レーザ出力確認画面７３において、操作部７２の操作により測定用レーザ照射ボタン７４が押下されると、コントローラユニット１１に対してレーザ出力測定モードでの動作が指示される。レーザ出力測定モードでの動作が指示されると、メイン制御部６２は、遮蔽機構４６のシャッタを閉位置に配置した状態で、レーザ光ＬＷを出射するように制御する。例えば、メイン制御部６２は、レーザ光源３４に、出力補正をしていない状態のレーザ光ＬＷと、出力補正をしている状態のレーザ光ＬＷとを出射させる。出力補正をしていない状態のレーザ光ＬＷは、レーザ加工装置１０Ａの出荷時と同じ条件でレーザ電源電圧ＰＬおよび発振器電流ＣＬがレーザ光源３４に供給されたときに同レーザ光源３４が出射するレーザ光である。出力補正をしている状態のレーザ光ＬＷは、レーザ出力測定モードが指示される直前の出力が補正された状態と同じ条件でレーザ電源電圧ＰＬおよび発振器電流ＣＬがレーザ光源３４に供給されたときに同レーザ光源３４が出射するレーザ光ＬＷである。そして、レーザ加工装置１０Ａにおいて、レーザ出力測定を含む、レーザ光ＬＷの出力に関する各種のモニタリングが行われる。レーザ出力測定は、出力補正をしていない状態のレーザ光ＬＷと、出力補正をしている状態のレーザ光ＬＷとのそれぞれについて行われる。レーザ光ＬＷの出力は、モニタ部４７で実測される。メイン制御部６２は、当該モニタリングにより取得した各種モニタリングデータのうち、予め表示することが決められているデータを表示部７１に表示する。
　［レーザ出力自動補正モード］
　レーザ出力自動補正モードは、レーザ光ＬＷの出力が予め設定された設定値になるようにメイン制御部６２においてレーザ光ＬＷの出力を補正するように制御するモードである。操作部７２の操作によりレーザ出力自動補正モードが選択されると、コントローラユニット１１に対してレーザ出力自動補正モードでの動作が指示される。レーザ出力自動補正モードでの動作が指示されると、メイン制御部６２は、当該モードでの動作が指示される前に最後に測定されたレーザ光ＬＷの出力（即ち、レーザ出力測定の測定結果）と、設定値とを用いて、補正率を算出する。補正率は、測定されたレーザ光ＬＷの出力に対する設定値の割合（％）である。メイン制御部６２が、算出した補正率に応じてレーザ電源電圧ＰＬ、発振器電流ＣＬがレーザ光源３４に供給されるように光源制御部３２を制御すると、レーザ光ＬＷの出力が算出した補正率に応じて補正される。
　なお、メイン制御部６２は、補正率を算出した後、出力補正をしていない状態のレーザ光ＬＷと、出力補正をしている状態のレーザ光ＬＷとのそれぞれについてレーザ出力測定を行う。出力補正をしていない状態のレーザ光ＬＷは、レーザ加工装置１０Ａの出荷時と同じ条件でレーザ電源電圧ＰＬおよび発振器電流ＣＬがレーザ光源３４に供給されたときに同レーザ光源３４が出射するレーザ光である。メイン制御部６２は、遮蔽機構４６のシャッタを閉位置に配置した状態で、レーザ光源３４に、出力補正をしていない状態のレーザ光ＬＷと、出力補正をしている状態のレーザ光ＬＷとを出射させる。そして、レーザ加工装置１０Ａにおいて、出力補正をしていない状態のレーザ光ＬＷと、出力補正をしている状態のレーザ光ＬＷとのそれぞれについて、レーザ出力測定を含む、レーザ光ＬＷの出力に関する各種のモニタリングが行われる。メイン制御部６２は、当該モニタリングにより取得した各種モニタリングデータのうち、予め表示することが決められているデータを表示部７１に表示する。
　［レーザ出力手動補正モード］
　レーザ出力手動補正モードは、レーザ光ＬＷの出力をユーザが指示した補正率で補正するモードである。操作部７２の操作によりレーザ出力手動補正モードが選択されると、コントローラユニット１１に対してレーザ出力手動補正モードでの動作が指示される。ユーザは、操作部７２の操作により、レーザ光ＬＷの出力を補正する補正率をコントローラユニット１１に指示する。メイン制御部６２は、指示された補正率に応じてレーザ電源電圧ＰＬ、発振器電流ＣＬがレーザ光源３４に供給されるように光源制御部３２を制御する。これにより、レーザ光ＬＷの出力が指示された補正率に応じて補正される。
　なお、メイン制御部６２は、出力補正をしていない状態のレーザ光ＬＷと、指示された補正率で出力補正をしている状態のレーザ光ＬＷとのそれぞれについてレーザ出力測定を行う。出力補正をしていない状態のレーザ光ＬＷは、レーザ加工装置１０Ａの出荷時と同じ条件でレーザ電源電圧ＰＬおよび発振器電流ＣＬがレーザ光源３４に供給されたときに同レーザ光源３４が出射するレーザ光である。メイン制御部６２は、遮蔽機構４６のシャッタを閉位置に配置した状態で、レーザ光源３４に、出力補正をしていない状態のレーザ光ＬＷと、指示された補正率で出力補正をしている状態のレーザ光ＬＷとを出射させる。そして、レーザ加工装置１０Ａにおいて、出力補正をしていない状態のレーザ光ＬＷと、指示された補正率で出力補正をしている状態のレーザ光ＬＷとのそれぞれについて、レーザ出力測定を含む、レーザ光ＬＷの出力に関する各種のモニタリングが行われる。メイン制御部６２は、当該モニタリングにより取得した各種モニタリングデータのうち、予め表示することが決められているデータを表示部７１に表示する。
　［モニタリングデータ］
　コントローラユニット１１のメイン制御部６２は、レーザ加工装置１０ＡについてのモニタリングデータＤａを取得する。例えば、メイン制御部６２は、レーザ出力測定モード、レーザ出力自動補正モード、およびレーザ出力手動補正モードの各動作モードで処理を実行するときに、レーザ光ＬＷの出力に関するモニタリングを行う。また、メイン制御部６２は、レーザ出力測定モード、レーザ出力自動補正モード、およびレーザ出力手動補正モードの各動作モードで処理を実行するときに、レーザ加工装置１０Ａを構成する各種部品や機構についてのモニタリングを行ってもよい。
　また、レーザ加工装置１０Ａは、例えば、メイン制御部６２がレーザ出力測定モード、レーザ出力自動補正モード、およびレーザ出力手動補正モードの各動作モードで処理を実行するときだけでなく、予め設定されたタイミングで、レーザ加工装置１０Ａを構成する各種部品や機構についてのモニタリングを行うように構成されている。
　モニタリング結果、即ち、モニタリングにより取得したモニタリングデータＤａは、コントローラユニット１１の記憶部６３に記憶される。即ち、記憶部６３は、メイン制御部６２が取得したモニタリングデータＤａを記憶する。モニタリングデータＤａは、例えば、レーザ光ＬＷの出力に関するデータを含む。モニタリングデータＤａの項目は、例えば、レーザ加工装置１０Ａを使用するユーザに知らせる項目を含む。また、モニタリングデータＤａの項目は、レーザ光ＬＷによる印字品質に影響すると予想される項目を含んでいてもよい。また、モニタリングデータＤａの項目は、レーザ加工装置１０Ａを構成する部品のメンテナンスの要否の判断に寄与する項目を含んでいてもよい。
　以下、モニタリングデータＤａの項目の一例について説明する。
　図６は、レーザ出力測定モード、レーザ出力自動補正モード、およびレーザ出力手動補正モードの各動作モードで処理が実行されたときに取得されてコントローラユニット１１の記憶部６３に記憶されるデータの項目を示している。図６において、各項目に付している項目番号１０１～１１７は、説明の便宜上付している番号であって、モニタリングデータＤａとして記憶部６３に記憶されるものではない。レーザ出力測定モード、レーザ出力自動補正モード、およびレーザ出力手動補正モードの各動作モードで処理を実行するたびに、メイン制御部６２は、モニタリングデータＤａとして項目番号１０１～１１７のデータを取得して記憶部６３に記憶する。詳しくは、メイン制御部６２は、レーザ出力測定モード、レーザ出力自動補正モード、およびレーザ出力手動補正モードの各動作モードで制御中にレーザ出力測定を行うときに、項目番号１０１～１１７のデータを取得して記憶部６３に記憶する。
　項目番号１０１のログバージョンは、メイン制御部６２が記憶部６３に記録する情報のログフォーマットのバージョン情報である。
　項目番号１０２のユニット組み合わせＩＤは、光源ユニット１２の記憶部３３に記憶された光源ユニット１２の識別情報、および、ヘッドユニット１３の記憶部４３に記憶されたヘッドユニット１３の識別情報である。
　項目番号１０３の測定モードは、レーザ出力測定モード、自動補正モード、および手動補正モードのうちのいずれの動作モードで処理が実行されたかを示すデータである。
　項目番号１０４の測定日時は、項目番号１０３の動作モードの処理が開始された時点の時刻データである。時刻データは、例えば、日付と時刻である。メイン制御部６２は、時計から時刻データを取得して記憶部６３に記憶する。
　項目番号１０５の生データ（オフセット）は、レーザ光源３４がレーザ光ＬＷを出射していないときに、モニタ部４７が出力するデジタル値である。例えば、メイン制御部６２は、レーザ出力測定を行うためのレーザ光ＬＷを出射していないときにモニタ部４７が出力するデジタル値を取得する。メイン制御部６２は、取得したデジタル値を、生データ（オフセット）のデータとして記憶部６３に記憶する。
　項目番号１０６の補正なし生データ（平均出力）は、レーザ出力測定中に、レーザ光源３４が出力補正をしていない状態のレーザ光ＬＷを出射しているときに、モニタ部４７が出力するデジタル値の平均値である。出力補正をしていない状態のレーザ光ＬＷは、レーザ加工装置１０Ａの出荷時と同じ条件でレーザ電源電圧ＰＬおよび発振器電流ＣＬがレーザ光源３４に供給されたときに同レーザ光源３４が出射するレーザ光である。例えば、メイン制御部６２は、レーザ光ＬＷを出射している所定時間内にモニタ部４７が出力するデジタル値を複数回取得し、取得したデジタル値の平均値を算出する。メイン制御部６２は、算出した平均値を、補正なし生データ（平均出力）のデータとして記憶部６３に記憶する。
　項目番号１０７の補正あり生データ（平均出力）は、レーザ出力測定中に、レーザ光源３４が出力補正をしている状態のレーザ光ＬＷを出射しているときに、モニタ部４７が出力するデジタル値の平均値である。出力補正をしている状態のレーザ光ＬＷは、当該レーザ出力測定が行われる前に最後に出力を補正したときの補正率で出力が補正されているレーザ光である。例えば、メイン制御部６２は、レーザ出力測定のためのレーザ光ＬＷを出射している間にモニタ部４７が出力するデジタル値を複数回取得し、取得したデジタル値の平均値を算出する。メイン制御部６２は、算出した平均値を、補正あり生データ（平均出力）のデータとして記憶部６３に記憶する。
　項目番号１０８の出力（補正前）は、レーザ出力測定モードが選択されているときには、出力補正をしていない状態のレーザ光ＬＷの出力である。メイン制御部６２は、項目番号１０５の生データと、項目番号１０６の補正なし生データと、を用いて、出力補正をしていない状態のレーザ光ＬＷの出力を算出する。この出力の単位は例えば「ｍＷ」である。メイン制御部６２は、算出した出力を、出力（補正前）として記憶部６３に記憶する。
　なお、レーザ出力自動補正モードもしくはレーザ出力手動補正モードが選択されているときには、メイン制御部６２は、当該モードが選択される前に最後に測定されたレーザ光ＬＷの出力を、出力（補正前）のデータとして記憶部６３に記憶する。
　項目番号１０９の出力（補正後）は、出力補正をしている状態のレーザ光ＬＷの出力である。メイン制御部６２は、項目番号１０５の生データと、項目番号１０７の補正あり生データと、を用いて、出力補正をしていない状態のレーザ光ＬＷの出力を算出する。この出力の単位は例えば「ｍＷ」である。メイン制御部６２は、算出した出力を、出力（補正後）のデータとして記憶部６３に記憶する。
　項目番号１１０のレーザ励起時間は、項目番号１０３の動作モードの処理が開始された時点での累積レーザ励起時間である。光源制御部３２は、発振器電流ＣＬをレーザ光源３４に供給した時間を、例えばレーザ加工装置１０Ａの出荷時点から累積している。メイン制御部６２は、発振器電流ＣＬをレーザ光源３４に供給した時間の累積値を光源制御部３２から取得して、レーザ励起時間のデータとして記憶部６３に記憶する。なお、レーザ励起時間の単位は例えば「ｓ（秒）」である。
　項目番号１１１のレーザ照射時間は、項目番号１０３の動作モードの処理が開始された時点での累積レーザ照射時間である。メイン制御部６２は、レーザ光ＬＷを照射して加工対象物Ｗを加工した時間を、例えばレーザ加工装置１０Ａの出荷時点から累積している。レーザ光ＬＷを照射して加工対象物Ｗを加工した時間は、例えば、加工モードが選択された状態で加工開始が指示されてから、加工対象物Ｗに対する加工処理が終了するまでの時間である。メイン制御部６２は、レーザ光ＬＷを照射して加工対象物Ｗを加工した時間の累積値をレーザ照射時間のデータ（累積時間データ）として記憶部６３に記憶する。なお、レーザ照射時間の単位は例えば「ｓ（秒）」である。
　項目番号１１２のパワー補正率は、レーザ出力測定中に出射する、出力補正をしている状態のレーザ光ＬＷの出力にかけられている補正率である。メイン制御部６２は、当該レーザ光ＬＷの出力にかけている補正率を、パワー補正率として記憶部６３に記憶する。
　項目番号１１３の発振器ユニット温度は、光源制御部３２が有する発振器ユニット基板上に設けられた温度センサにより測定される温度である。メイン制御部６２は、項目番号１０３の動作モードの処理を開始すると、その時の発振器ユニット基板上の温度センサの測定結果を、光源制御部３２を介して取得する。メイン制御部６２は、取得した測定結果を、発振器ユニット温度として記憶部６３に記憶する。なお、メイン制御部６２は、レーザ出力測定のためのレーザ光ＬＷの照射を開始した時点の発振器ユニット基板上の温度センサの測定値を、発振器ユニット温度のデータとして記憶部６３に記憶してもよい。
　項目番号１１４の発振器内部温度は、レーザ発振器３４ａが有するレーザ発振器３４ａの内部の温度を測定する温度センサにより測定される温度である。メイン制御部６２は、項目番号１０３の動作モードの処理を開始すると、その時のレーザ発振器３４ａの温度センサの測定結果を、光源制御部３２を介して取得する。メイン制御部６２は、取得した測定結果を、発振器内部温度として記憶部６３に記憶する。なお、メイン制御部６２は、レーザ出力測定のためのレーザ光ＬＷの照射を開始した時点のレーザ発振器３４ａの温度センサの測定値を、発振器内部温度のデータとして記憶部６３に記憶してもよい。
　項目番号１１５の発振器電流は、レーザ出力測定中にレーザ光源３４に供給される発振器電流ＣＬの電流値である。光源制御部３２は、レーザ出力測定のためのレーザ光ＬＷを出射している間にレーザ光源３４に供給した発振器電流ＣＬの電流値をメイン制御部６２に出力する。メイン制御部６２は、光源制御部３２が出力した発振器電流ＣＬの電流値から、最大値および最小値を抽出する。そして、メイン制御部６２は、この最大値および最小値を、発振器電流の最大値データおよび最小値データとして記憶部６３に記憶する。また、メイン制御部６２は、光源制御部３２が出力した発振器電流ＣＬの電流値の平均値を算出する。そして、メイン制御部６２は、算出した平均値を、発振器電流の平均値データとして記憶部６３に記憶する。なお、発振器電流の単位は例えば「ｍＡ」である。
　項目番号１１６のヘッド透過率は、レーザ光源３４におけるレーザ光ＬＷの出力に対する、加工点でのレーザ光ＬＷの出力の割合（％）である。レーザ光源３４におけるレーザ光ＬＷの出力は、例えば、レーザ光源３４が有するパワーモニタの測定結果を用いることができる。なお、レーザ光源３４におけるレーザ光ＬＷの出力は、発振器電流ＣＬに基づいてメイン制御部６２が算出してもよい。加工点でのレーザ光ＬＷの出力は、例えば、モニタ部４７の測定結果を用いることができる。メイン制御部６２は、レーザ出力測定のためのレーザ光ＬＷを出射している間に測定された、レーザ光源３４のパワーモニタの測定結果を、光源制御部３２を介して取得する。また、メイン制御部６２は、レーザ出力測定のためのレーザ光ＬＷを出射している間に測定された、モニタ部４７の測定結果を、ヘッド制御部４２を介して取得する。メイン制御部６２は、レーザ光源３４のパワーモニタの測定結果と、モニタ部４７の測定結果とを用いて、レーザ光源３４におけるレーザ光ＬＷの出力に対する、加工点でのレーザ光ＬＷの出力の割合を算出する。メイン制御部６２は、算出した割合をヘッド透過率のデータとして記憶部６３に記憶する。
　項目番号１１７のヘッドユニット基板温度は、ヘッド制御部４２が有するヘッドユニット基板上に設けられた温度センサにより測定される温度である。メイン制御部６２は、項目番号１０３の動作モードの処理を開始すると、その時のヘッドユニット基板上の温度センサの測定結果を、ヘッド制御部４２を介して取得する。メイン制御部６２は、取得した測定結果を、ヘッドユニット基板温度のデータとして記憶部６３に記憶する。なお、メイン制御部６２は、レーザ出力測定のためのレーザ光ＬＷの照射を開始した時点のヘッドユニット基板上の温度センサの測定値を、ヘッドユニット基板温度のデータとして記憶部６３に記憶してもよい。
　図２、図６に示すように、メイン制御部６２は、モニタリングデータＤａの少なくとも一部の表示を含むレーザ出力確認画面７３（モニタリングデータ表示画面）を表示部７１に表示するように制御する。
　例えば、メイン制御部６２は、レーザ出力測定モード、自動補正モード、および手動補正モードの各動作モードで処理を実行したときに取得したモニタリングデータのうち予め表示することが決められている項目のデータを、表示部７１に表示する。メイン制御部６２は、表示部７１に、予め表示することが決められている項目のデータの表示を含むレーザ出力確認画面７３を表示する。レーザ出力確認画面７３は、例えば、モニタリングデータ表示領域７５を有する。取得したモニタリングデータのうち予め表示することが決められている項目のデータは、モニタリングデータ表示領域７５に表示される。
　メイン制御部６２は、レーザ出力確認画面７３を表示する表示モードを、モニタリングデータＤａのうち第１表示データＤ１のみを表示する第１表示モードと、モニタリングデータＤａのうち少なくとも第２表示データＤ２を表示する第２表示モードとに切り替え可能である。例えば、メイン制御部６２は、レーザ出力確認画面７３を表示する表示モードを、第１表示データＤ１のみを表示する第１表示モードと、第１表示データＤ１と第２表示データＤ２とを表示する第２表示モードとに切り替え可能である。なお、図４は、第１表示モードで表示されたレーザ出力確認画面７３の一例である。図５は、第２表示モードで表示されたレーザ出力確認画面７３の一例である。
　メイン制御部６２は、第２表示モードでレーザ出力確認画面７３を表示部７１に表示することを許可する認証処理を行う。メイン制御部６２は、例えば、パスワード認証処理を行う。
　図３に示すように、電源キー６８の操作によりレーザ加工装置１０Ａが起動されると、メイン制御部６２は、表示部７１に初期画面７６を表示する。例えば、初期画面７６は、パスワード入力欄７７を含む。パスワード入力欄７７には、操作部７２の操作によりパスワードを入力することができる。メイン制御部６２は、パスワード入力欄７７にパスワードが入力された場合には、パスワード入力欄７７に入力されたパスワードと、記憶部６３に予め記憶されたパスワードと、を照合するパスワード認証処理を行う。メイン制御部６２は、パスワード入力欄７７にパスワードが入力されない場合、即ち、パスワード認証処理を行わない場合には、図４に示すように、第１表示モードでレーザ出力確認画面７３を表示する。
　図４および図６に示すように、第１表示モードでレーザ出力確認画面７３を表示する場合、メイン制御部６２は、記憶部６３に記憶されたモニタリングデータＤａのうち第１表示データＤ１のみをモニタリングデータ表示領域７５に表示する。第１表示データＤ１は、レーザ光ＬＷの出力状態を確認可能なデータおよびレーザ光ＬＷの出力に関する設定を確認可能なデータを含む。第１表示データＤ１は、例えば、項目番号１０１～１１７の項目のデータのうち、図６においてユーザ公開の欄に○印がついている項目番号１０３，１０４，１０８，１０９，１１１，１１２の項目のデータである。因みに、項目番号１０８，１０９の項目のデータは、レーザ光ＬＷの出力状態を確認可能なデータに該当する。また、項目番号１０８の項目のデータは、レーザ光ＬＷの出力に関する設定を確認可能なデータに該当する。項目番号１０８の項目のデータを参考にすることにより、レーザ加工装置１０Ａにおいて設定されているレーザ光ＬＷの出力の値を知ることができる。
　なお、図４に示すレーザ出力確認画面７３の一例では、モニタリングデータ表示領域７５には、レーザ出力初期比が表示されている。レーザ出力初期比は、出力補正をしていない状態のレーザ光ＬＷの出力の、出荷時における出力補正をしていない状態のレーザ光ＬＷの出力に対する割合（％）である。レーザ出力初期比は、レーザ出力測定時に取得したモニタリングデータを用いてメイン制御部６２によって算出される。第１表示データＤ１は、レーザ出力初期比のデータを含んでいてもよい。また、図４では、第１表示データＤ１の数字を「ｘ」に置き換えて模式的に表示しているが、実際は「ｘ」ではなく数字が表示される。図４に示す第１表示データＤ１の表示の順序や配置は適宜変更してもよい。
　レーザ出力確認画面７３は、モニタリングデータ表示領域７５に、チェックボックス７８およびチェックボックス７９を有する。第１表示モードでレーザ出力確認画面７３を表示する場合、チェックボックス７８にチェックが入っていると、メイン制御部６２は、レーザ出力測定モードで処理が行われた時に取得されたモニタリングデータのうちの第１表示データＤ１をモニタリングデータ表示領域７５に表示する。第１表示モードでレーザ出力確認画面７３を表示する場合、チェックボックス７９にチェックが入っていると、メイン制御部６２は、レーザ出力自動補正モードおよびレーザ出力手動補正モードで処理が行われた時に取得されたモニタリングデータのうちの第１表示データＤ１をモニタリングデータ表示領域７５に表示する。
　図３、図５、図６に示すように、メイン制御部６２は、パスワード入力欄７７に入力されたパスワードと、記憶部６３に予め記憶されたパスワードとを照合して２つのパスワードが一致した場合には、第２表示モードでレーザ出力確認画面７３を表示部７１に表示することを許可する。メイン制御部６２は、認証処理によって第２表示モードでレーザ出力確認画面７３を表示部７１に表示することを許可している場合には、レーザ出力確認画面７３を第２表示モードで表示部７１に表示する。
　第２表示モードでレーザ出力確認画面７３を表示する場合、メイン制御部６２は、記憶部６３に記憶されたモニタリングデータＤａのうち第１表示データＤ１と第２表示データＤ２とをモニタリングデータ表示領域７５に表示する。第２表示データＤ２は、第１表示データＤ１とは異なるデータである。第２表示データＤ２は、例えば、レーザ加工装置１０Ａにおける異常の有無を確認するためのデータを含む。第２表示データＤ２は、例えば、図６に示す項目番号１０１～１１７のデータのうち、項目番号１１３，１１４の項目のデータである。即ち、メイン制御部６２は、第２表示モードでレーザ出力確認画面７３を表示する場合、例えば、図６においてサービス（メンテナンス）公開の欄に○印がついている項目のデータをモニタリングデータ表示領域７５に表示する。因みに、項目番号１１３，１１４の項目のデータは、レーザ発振器３４ａに異常があるか否かの判断を行うときの参考になる。
　なお、図５に示す第２表示データＤ２の表示の順序や配置は適宜変更してもよい。また、図５では、第１表示データＤ１および第２表示データＤ２の数字を「ｘ」に置き換えて模式的に表示しているが、実際は「ｘ」ではなく数字が表示される。
　第２表示モードでレーザ出力確認画面７３を表示する場合、チェックボックス７８にチェックが入っていると、メイン制御部６２は、レーザ出力測定モードで処理が行われた時に取得されたモニタリングデータのうち第１表示データＤ１と第２表示データＤ２とをモニタリングデータ表示領域７５に表示する。第２表示モードでレーザ出力確認画面７３を表示する場合、チェックボックス７９にチェックが入っていると、メイン制御部６２は、レーザ出力自動補正モードおよびレーザ出力手動補正モードで処理が行われた時に取得されたモニタリングデータのうち第１表示データＤ１と第２表示データＤ２とをモニタリングデータ表示領域７５に表示する。
　図７は、レーザ加工装置１０Ａにおいて定期的にモニタリングを行って取得しているデータの項目を示す。図７において、各項目に付している項目番号２０１～２２１は、説明の便宜上付している番号であって、モニタリングデータＤａとして記憶部６３に記憶されるものではない。項目番号２０１～２２１の項目は、コントローラユニット１１が起動されている間、それぞれに設定された頻度でモニタリングされる。また、項目番号２０１～２２１の項目のデータは、それぞれに設定された頻度で記憶部６３に記憶される。また、項目番号２０１～２２１の項目のデータは、数年間分が記憶部６３に記憶される。例えば、項目番号２０１～２２１の項目のデータは、７年間分が記憶部６３に記憶される。
　項目番号２０１のコントローラユニット基板温度は、メイン制御部６２が有するコントローラユニット基板上に設けられた温度センサにより測定される温度である。メイン制御部６２は、コントローラユニット基板上の温度センサの測定結果を、所定時間ごとに取得する。例えば、メイン制御部６２は、コントローラユニット基板上の温度センサの測定結果を毎秒取得する。メイン制御部６２は、所定期間が経過するごとに、当該所定期間内に測定されたコントローラユニット基板上の温度センサの測定結果の平均値を算出して当該平均値をコントローラユニット基板温度のデータとして記憶部６３に記憶する。メイン制御部６２は、例えば、３０分ごとにコントローラユニット基板上の温度センサの測定結果の平均値を算出してコントローラユニット基板温度のデータとして記憶部６３に記憶する。なお、コントローラユニット基板温度の単位は例えば「０．１℃」である。
　項目番号２０２の発振器ユニット基板温度は、光源制御部３２が有する発振器ユニット基板上に設けられた温度センサにより測定される温度である。メイン制御部６２は、発振器ユニット基板上の温度センサの測定結果を、光源制御部３２を介して所定時間ごとに取得する。例えば、メイン制御部６２は、発振器ユニット基板上の温度センサの測定結果を毎秒取得する。メイン制御部６２は、所定期間が経過するごとに、当該所定期間内に測定された発振器ユニット基板上の温度センサの測定結果の平均値を算出して当該平均値を発振器ユニット基板温度のデータとして記憶部６３に記憶する。メイン制御部６２は、例えば、３０分ごとに発振器ユニット基板上の温度センサの測定結果の平均値を算出して発振器ユニット基板温度のデータとして記憶部６３に記憶する。なお、発振器ユニット基板温度の単位は例えば「０．１℃」である。
　項目番号２０３のヘッドユニット基板温度は、ヘッド制御部４２が有するヘッドユニット基板上に設けられた温度センサにより測定される温度である。メイン制御部６２は、ヘッドユニット基板上の温度センサの測定結果を、ヘッド制御部４２を介して所定時間ごとに取得する。例えば、メイン制御部６２は、ヘッドユニット基板上の温度センサの測定結果を毎秒取得する。メイン制御部６２は、所定期間が経過するごとに、当該所定期間内のヘッドユニット基板上の温度センサの測定結果の最小値および最大値を抽出する。そして、メイン制御部６２は、抽出した最小値および最大値を、ヘッドユニット基板温度の最小値データおよび最大値データとして記憶部６３に記憶する。メイン制御部６２は、例えば、３０分ごとにヘッドユニット基板上の温度センサの測定結果の最小値および最大値を抽出して、ヘッドユニット基板温度の最小値データおよび最大値データとして記憶部６３に記憶する。また、メイン制御部６２は、所定期間が経過するごとに、当該所定期間内に測定されたヘッドユニット基板上の温度センサの測定結果の平均値を算出して当該平均値をヘッドユニット基板温度の平均値データとして記憶部６３に記憶する。メイン制御部６２は、例えば、３０分ごとにヘッドユニット基板上の温度センサの測定結果の平均値を算出してヘッドユニット基板温度の平均値データとして記憶部６３に記憶する。なお、ヘッドユニット基板温度の単位は例えば「０．１℃」である。
　項目番号２０４の発振器内部温度は、レーザ発振器３４ａが内部に有する温度センサにより測定される温度である。メイン制御部６２は、レーザ発振器３４ａが有する温度センサの測定結果を、光源制御部３２を介して所定時間ごとに取得する。例えば、メイン制御部６２は、レーザ発振器３４ａが有する温度センサの測定結果を毎秒取得する。メイン制御部６２は、所定期間が経過するごとに、当該所定期間内の当該温度センサの測定結果の最小値および最大値を抽出する。そして、メイン制御部６２は、抽出した最小値および最大値を、発振器内部温度の最小値データおよび最大値データとして記憶部６３に記憶する。メイン制御部６２は、例えば、３０分ごとにレーザ発振器３４ａが有する温度センサの測定結果の最小値および最大値を抽出して、発振器内部温度の最小値データおよび最大値データとして記憶部６３に記憶する。また、メイン制御部６２は、所定期間が経過するごとに、当該所定期間内に測定されたレーザ発振器３４ａの温度センサの測定結果の平均値を算出して当該平均値を発振器内部温度の平均値データとして記憶部６３に記憶する。メイン制御部６２は、例えば、３０分ごとにレーザ発振器３４ａの温度センサの測定結果の平均値を算出して発振器内部温度の平均値データとして記憶部６３に記憶する。なお、発振器内部温度の単位は例えば「０．１℃」である。
　項目番号２０５の発振器ユニット基板湿度は、光源制御部３２が有する発振器ユニット基板上の湿度センサにより測定される湿度である。メイン制御部６２は、発振器ユニット基板上の湿度センサの測定結果を、所定時間ごとに取得する。例えば、メイン制御部６２は、当該温度センサの測定結果を毎秒取得する。メイン制御部６２は、所定期間が経過するごとに、当該所定期間内に測定された発振器ユニット基板上の湿度センサの測定結果の平均値を算出して当該平均値を発振器ユニット基板湿度のデータとして記憶部６３に記憶する。メイン制御部６２は、例えば、３０分ごとに発振器ユニット基板上の温度センサの測定結果の平均値を算出して発振器ユニット基板湿度のデータとして記憶部６３に記憶する。なお、発振器ユニット基板湿度の単位は「％」である。
　項目番号２０６のシステム電源電圧は、電源回路６４が供給するシステム電源電圧ＰＳの電圧値である。電源回路６４は、システム電源電圧ＰＳの電圧値をメイン制御部６２に出力する。例えば、電源回路６４は、システム電源電圧ＰＳの電圧値を所定時間ごとにメイン制御部６２に出力する。電源回路６４は、例えば、システム電源電圧ＰＳの電圧値を毎秒メイン制御部６２に出力する。メイン制御部６２は、所定期間が経過するごとに、当該所定期間内に出力されたシステム電源電圧ＰＳの電圧値の最小値および最大値を抽出する。そして、メイン制御部６２は、抽出した最小値および最大値を、システム電源電圧の最小値データおよび最大値データとして記憶部６３に記憶する。メイン制御部６２は、例えば、３０分ごとにシステム電源電圧ＰＳの最小値および最大値を抽出して、システム電源電圧の最大値データおよび最小値データとして記憶部６３に記憶する。なお、システム電源電圧の単位は例えば「０．１Ｖ」である。
　項目番号２０７のレーザ電源電圧は、電源回路６４が光源制御部３２に供給するレーザ電源電圧ＰＬの電圧値である。電源回路６４は、レーザ電源電圧ＰＬの電圧値をメイン制御部６２に出力する。例えば、電源回路６４は、レーザ電源電圧ＰＬの電圧値を所定時間ごとにメイン制御部６２に出力する。電源回路６４は、例えば、レーザ電源電圧ＰＬの電圧値を毎秒メイン制御部６２に出力する。メイン制御部６２は、所定期間が経過するごとに、当該所定期間内に出力されたレーザ電源電圧ＰＬの電圧値の最小値および最大値を抽出する。そして、メイン制御部６２は、抽出した最小値および最大値を、レーザ電源電圧の最小値データおよび最大値データとして記憶部６３に記憶する。メイン制御部６２は、例えば、３０分ごとにレーザ電源電圧ＰＬの最小値および最大値を抽出して、レーザ電源電圧の最大値データおよび最小値データとして記憶部６３に記憶する。なお、レーザ電源電圧の単位は例えば「０．１Ｖ」である。
　項目番号２０８のガルバノ電源電圧（－）は、電源回路６４が走査部４５に供給する負のガルバノ電源電圧ＰＧ２の電圧値である。電源回路６４は、負のガルバノ電源電圧ＰＧ２の電圧値をメイン制御部６２に出力する。例えば、電源回路６４は、負のガルバノ電源電圧ＰＧ２の電圧値を所定時間ごとにメイン制御部６２に出力する。電源回路６４は、例えば、負のガルバノ電源電圧ＰＧ２の電圧値を毎秒メイン制御部６２に出力する。メイン制御部６２は、所定期間が経過するごとに、当該所定期間内に出力された負のガルバノ電源電圧ＰＧ２の電圧値の最小値および最大値を抽出する。そして、メイン制御部６２は、抽出した最小値および最大値を、ガルバノ電源電圧（－）の最小値データおよび最大値データとして記憶部６３に記憶する。メイン制御部６２は、例えば、３０分ごとに負のガルバノ電源電圧ＰＧ２の最小値および最大値を抽出して、ガルバノ電源電圧（－）の最大値データおよび最小値データとして記憶部６３に記憶する。なお、ガルバノ電源電圧（－）の単位は例えば「０．１Ｖ」である。
　項目番号２０９のガルバノ電源電圧（＋）は、電源回路６４が走査部４５に供給する正のガルバノ電源電圧ＰＧ１の電圧値である。電源回路６４は、正のガルバノ電源電圧ＰＧ１の電圧値をメイン制御部６２に出力する。例えば、電源回路６４は、正のガルバノ電源電圧ＰＧ１の電圧値を所定時間ごとにメイン制御部６２に出力する。電源回路６４は、例えば、正のガルバノ電源電圧ＰＧ１の電圧値を毎秒メイン制御部６２に出力する。メイン制御部６２は、所定期間が経過するごとに、当該所定期間内に出力された正のガルバノ電源電圧ＰＧ１の電圧値の最小値および最大値を抽出する。そして、メイン制御部６２は、抽出した最小値および最大値を、ガルバノ電源電圧（＋）の最小値データおよび最大値データとして記憶部６３に記憶する。メイン制御部６２は、例えば、３０分ごとに正のガルバノ電源電圧ＰＧ１の最小値および最大値を抽出して、ガルバノ電源電圧（＋）の最大値データおよび最小値データとして記憶部６３に記憶する。なお、ガルバノ電源電圧（＋）の単位は例えば「０．１Ｖ」である。
　項目番号２１０の発振器電流は、レーザ光源３４に供給される発振器電流ＣＬの電流値である。光源制御部３２は、レーザ光源３４に供給した発振器電流ＣＬの電流値をメイン制御部６２に出力する。例えば、光源制御部３２は、発振器電流ＣＬの電流値を所定時間ごとにメイン制御部６２に出力する。光源制御部３２は、例えば、発振器電流ＣＬの電流値を毎秒メイン制御部６２に出力する。メイン制御部６２は、所定期間が経過するごとに、当該所定期間内に出力された発振器電流ＣＬの電流値の最小値および最大値を抽出する。そして、メイン制御部６２は、抽出した最小値および最大値を、発振器電流の最小値データおよび最大値データとして記憶部６３に記憶する。メイン制御部６２は、例えば、３０分ごとに発振器電流ＣＬの最小値および最大値を抽出して、発振器電流の最大値データおよび最小値データとして記憶部６３に記憶する。また、メイン制御部６２は、所定期間が経過するごとに、当該所定期間内に出力された発振器電流ＣＬの電流値の平均値を算出して当該平均値を発振器電流の平均値データとして記憶部６３に記憶する。メイン制御部６２は、例えば、３０分ごとに発振器電流ＣＬの電流値の平均値を算出して発振器電流の平均値データとして記憶部６３に記憶する。
　項目番号２１１のファン速度（コントローラ）は、コントローラユニット１１のファン６７の回転速度である。メイン制御部６２は、ファン６７を駆動するモータの回転を検出する回転センサから出力される回転検出信号に基づいて所定時間ごとのファン６７の回転数を計測する。例えば、メイン制御部６２は、当該回転検出信号に基づいて１分間のファン６７の回転数を計測する。メイン制御部６２は、所定期間が経過するごとに、当該所定期間内に計測されたファン６７の回転数の最小値および最大値を抽出する。そして、メイン制御部６２は、抽出した最小値および最大値を、ファン速度（コントローラ）の最小値データおよび最大値データとして記憶部６３に記憶する。メイン制御部６２は、例えば、３０分ごとにファン６７の回転数の最小値および最大値を抽出して、ファン速度（コントローラ）の最大値データおよび最小値データとして記憶部６３に記憶する。ファン速度（コントローラ）の単位は例えば「ｒｐｍ」である。なお、コントローラユニット１１がファン６７を複数有する場合には、ファン６７の各々について所定時間ごとの回転数が計測されるとともに、ファン６７の各々について回転速度のデータが記憶部６３に記憶される。
　項目番号２１２のヘッド加速度（Ｘ軸）は、ヘッドユニット１３が有する加速度センサ４８で測定される、ヘッドユニット１３に加わるＸ軸方向の加速度である。ヘッド制御部４２は、加速度センサ４８で測定されたＸ軸方向の加速度をメイン制御部６２に出力する。例えば、ヘッド制御部４２は、ヘッドユニット１３に加わるＸ軸方向の加速度の測定結果を所定時間ごとにメイン制御部６２に出力する。ヘッド制御部４２は、例えば、ヘッドユニット１３に加わるＸ軸方向の加速度の測定結果を毎秒メイン制御部６２に出力する。メイン制御部６２は、所定期間が経過するごとに、当該所定期間内に出力された当該測定結果から最小値および最大値を抽出する。そして、メイン制御部６２は、抽出した最小値および最大値を、ヘッド加速度（Ｘ軸）の最小値データおよび最大値データとして記憶部６３に記憶する。メイン制御部６２は、例えば、３０分ごとに、ヘッドユニット１３に加わるＸ軸方向の加速度の測定結果の最小値および最大値を抽出して、ヘッド加速度（Ｘ軸）の最大値データおよび最小値データとして記憶部６３に記憶する。また、メイン制御部６２は、所定期間が経過するごとに、当該所定期間内に出力された、ヘッドユニット１３に加わるＸ軸方向の加速度の測定結果の平均値を算出して当該平均値をヘッド加速度（Ｘ軸）の平均値データとして記憶部６３に記憶する。メイン制御部６２は、例えば、３０分ごとに、ヘッドユニット１３に加わるＸ軸方向の加速度の測定結果の平均値を算出してヘッド加速度（Ｘ軸）の平均値データとして記憶部６３に記憶する。ヘッド加速度（Ｘ軸）の単位は例えば「０．０１ｍ／ｓ２」である。なお、ヘッド加速度（Ｘ軸）の最小値、最大値、および平均値は、重力加速度を除去していない値であってもよい。
　項目番号２１３のヘッド加速度（Ｙ軸）は、ヘッドユニット１３が有する加速度センサ４８で測定される、ヘッドユニット１３に加わるＹ軸方向の加速度である。ヘッド制御部４２は、加速度センサ４８で測定されたＹ軸方向の加速度をメイン制御部６２に出力する。例えば、ヘッド制御部４２は、ヘッドユニット１３に加わるＹ軸方向の加速度の測定結果を所定時間ごとにメイン制御部６２に出力する。ヘッド制御部４２は、例えば、ヘッドユニット１３に加わるＹ軸方向の加速度の測定結果を毎秒メイン制御部６２に出力する。メイン制御部６２は、所定期間が経過するごとに、当該所定期間内に出力された当該測定結果から最小値および最大値を抽出する。そして、メイン制御部６２は、抽出した最小値および最大値を、ヘッド加速度（Ｙ軸）の最小値データおよび最大値データとして記憶部６３に記憶する。メイン制御部６２は、例えば、３０分ごとに、ヘッドユニット１３に加わるＹ軸方向の加速度の測定結果の最小値および最大値を抽出して、ヘッド加速度（Ｙ軸）の最大値データおよび最小値データとして記憶部６３に記憶する。また、メイン制御部６２は、所定期間が経過するごとに、当該所定期間内に出力された、ヘッドユニット１３に加わるＹ軸方向の加速度の測定結果の平均値を算出して当該平均値をヘッド加速度（Ｙ軸）の平均値データとして記憶部６３に記憶する。メイン制御部６２は、例えば、３０分ごとに、ヘッドユニット１３に加わるＹ軸方向の加速度の測定結果の平均値を算出してヘッド加速度（Ｙ軸）の平均値データとして記憶部６３に記憶する。ヘッド加速度（Ｙ軸）の単位は例えば「０．０１ｍ／ｓ２」である。なお、ヘッド加速度（Ｙ軸）の最小値、最大値、および平均値は、重力加速度を除去していない値であってもよい。
　項目番号２１４のヘッド加速度（Ｚ軸）は、ヘッドユニット１３が有する加速度センサ４８で測定される、ヘッドユニット１３に加わるＺ軸方向の加速度である。ヘッド制御部４２は、加速度センサ４８で測定されたＺ軸方向の加速度をメイン制御部６２に出力する。例えば、ヘッド制御部４２は、ヘッドユニット１３に加わるＺ軸方向の加速度の測定結果を所定時間ごとにメイン制御部６２に出力する。ヘッド制御部４２は、例えば、ヘッドユニット１３に加わるＺ軸方向の加速度の測定結果を毎秒メイン制御部６２に出力する。メイン制御部６２は、所定期間が経過するごとに、当該所定期間内に出力された当該測定結果から最小値および最大値を抽出する。そして、メイン制御部６２は、抽出した最小値および最大値を、ヘッド加速度（Ｚ軸）の最小値データおよび最大値データとして記憶部６３に記憶する。メイン制御部６２は、例えば、３０分ごとに、ヘッドユニット１３に加わるＺ軸方向の加速度の測定結果の最小値および最大値を抽出して、ヘッド加速度（Ｚ軸）の最大値データおよび最小値データとして記憶部６３に記憶する。また、メイン制御部６２は、所定期間が経過するごとに、当該所定期間内に出力された、ヘッドユニット１３に加わるＺ軸方向の加速度の測定結果の平均値を算出して当該平均値をヘッド加速度（Ｚ軸）の平均値データとして記憶部６３に記憶する。メイン制御部６２は、例えば、３０分ごとに、ヘッドユニット１３に加わるＺ軸方向の加速度の測定結果の平均値を算出してヘッド加速度（Ｚ軸）の平均値データとして記憶部６３に記憶する。ヘッド加速度（Ｚ軸）の単位は例えば「０．０１ｍ／ｓ２」である。なお、ヘッド加速度（Ｚ軸）の最小値、最大値、および平均値は、重力加速度を除去していない値であってもよい。
　項目番号２１５のヘッド加速度（合成）は、ヘッドユニット１３が有する加速度センサ４８の測定結果に基づいて算出されるヘッドユニット１３に加わる３軸方向（即ち、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｘ軸方向）の加速度の合成値である。メイン制御部６２は、ヘッド制御部４２を介して所定時間ごとに出力される３軸方向の加速度の測定結果を用いて、所定時間ごとの３軸方向の加速度の合成値を算出する。例えば、メイン制御部６２は、ヘッド制御部４２を介して毎秒出力される３軸方向の加速度の測定結果を用いて、毎秒の３軸方向の加速度の合成値を算出する。メイン制御部６２は、所定期間が経過するごとに、当該所定期間内に算出した３軸方向の加速度の合成値から最小値および最大値を抽出する。そして、メイン制御部６２は、抽出した最小値および最大値を、ヘッド加速度（合成）の最小値データおよび最大値データとして記憶部６３に記憶する。メイン制御部６２は、例えば、３０分ごとに、３軸方向の加速度の合成値の最小値および最大値を抽出して、ヘッド加速度（合成）の最大値データおよび最小値データとして記憶部６３に記憶する。また、メイン制御部６２は、所定期間が経過するごとに、当該所定期間内に算出した３軸方向の加速度の合成値の平均値を算出して当該平均値をヘッド加速度（合成）の平均値データとして記憶部６３に記憶する。メイン制御部６２は、例えば、３０分ごとに、３軸方向の加速度の合成値の平均値を算出してヘッド加速度（合成）の平均値データとして記憶部６３に記憶する。ヘッド加速度（合成）の単位は例えば「０．０１ｍ／ｓ２」である。なお、ヘッド加速度（合成）の最小値、最大値、および平均値は、重力加速度を除去した値であってもよい。
　項目番号２１６のコンタクタ開閉回数は、コントローラユニット１１のコンタクタ６６の開閉回数である。メイン制御部６２は、コンタクタ６６を開作動させるための制御信号およびコンタクタ６６を閉作動させるための制御信号をコンタクタ６６に送信した回数を計測している。メイン制御部６２は、制御信号を送信した回数を、例えば、レーザ加工装置１０Ａの出荷時点から計測している。メイン制御部６２は、所定時間ごとに、その時点での制御信号の送信回数を、コンタクタ開閉回数のデータとして記憶部６３に記憶する。メイン制御部６２は、例えば毎秒、その時点での制御信号の送信回数を、コンタクタ開閉回数のデータとして記憶部６３に記憶する。
　項目番号２１７のシャッタ開閉回数は、ヘッドユニット１３の遮蔽機構４６が有するシャッタの開閉回数である。ヘッド制御部４２は、シャッタを閉位置に配置することを指示する閉信号およびシャッタを開位置に配置することを指示する開信号を遮蔽機構４６に送信した回数を計測している。ヘッド制御部４２は、開信号および閉信号を送信した回数を、例えば、レーザ加工装置１０Ａの出荷時点から計測している。メイン制御部６２は、所定時間ごとに、その時点での閉信号および開信号の送信回数をヘッド制御部４２から取得してシャッタ開閉回数のデータとして記憶部６３に記憶する。メイン制御部６２は、例えば毎秒、その時点での開信号および閉信号の送信回数をヘッド制御部４２から取得してシャッタ開閉回数のデータとして記憶部６３に記憶する。なお、レーザ加工装置１０Ａがシャッタを複数有する場合には、ヘッド制御部４２は、各シャッタについて開閉回数を計測する。そして、メイン制御部６２は、最も多い開閉回数を、シャッタ開閉回数のデータとして記憶部６３に記憶する。
　項目番号２１８のレーザ照射時間は、レーザ光ＬＷを照射して加工対象物Ｗを加工した時間の累積値である。メイン制御部６２は、レーザ光ＬＷを照射して加工対象物Ｗを加工した時間を、例えばレーザ加工装置１０Ａの出荷時点から累積している。メイン制御部６２は、レーザ光ＬＷを照射して加工対象物Ｗを加工した時間の累積値を、所定時間ごとにレーザ照射時間として記憶部６３に記憶する。メイン制御部６２は、例えば毎秒、レーザ光ＬＷを照射して加工対象物Ｗを加工した時間のその時点での累積値を、レーザ照射時間のデータとして記憶部６３に記憶する。
　項目番号２１９のレーザ励起時間は、発振器電流ＣＬをレーザ光源３４に供給した時間の累積値である。光源制御部３２は、発振器電流ＣＬをレーザ光源３４に供給した時間を、例えばレーザ加工装置１０Ａの出荷時点から累積している。メイン制御部６２は、発振器電流ＣＬをレーザ光源３４に供給した時間の累積値を、所定時間ごとに光源制御部３２から取得して、レーザ励起時間のデータとして記憶部６３に記憶する。メイン制御部６２は、例えば毎秒、発振器電流ＣＬをレーザ光源３４に供給した時間の累積値を、レーザ励起時間のデータとして記憶部６３に記憶する。
　項目番号２２０のガルバノ走査距離は、走査部４５によってレーザ光ＬＷを走査した距離の累積値である。メイン制御部６２は、走査部４５によってレーザ光ＬＷを走査した距離を、例えばレーザ加工装置１０Ａの出荷時点から累積している。メイン制御部６２は、コンソール１４にて加工モードが選択された状態で加工開始が指示されると、印字すべき文字等に関する加工データに基づいて、加工対象物Ｗ上の加工位置に対応する複数の走査位置データ（座標データ）を含む制御データを生成する。メイン制御部６２は、この走査位置データを用いて、走査部４５によるレーザ光ＬＷの走査距離を算出する。メイン制御部６２は、算出した走査距離を累積している。メイン制御部６２は、算出した走査距離の累積値を、所定時間ごとにガルバノ走査距離のデータとして記憶部６３に記憶する。メイン制御部６２は、例えば毎秒、算出した走査距離のその時点での累積値を、ガルバノ走査距離のデータとして記憶部６３に記憶する。
　項目番号２２１のファン速度（ヘッド）は、ヘッドユニット１３のファン４９の回転速度である。メイン制御部６２は、ファン４９を駆動するモータの回転を検出する回転センサから出力される回転検出信号に基づいて所定時間ごとのファン４９の回転数を計測する。例えば、メイン制御部６２は、当該回転検出信号に基づいて１分間のファン４９の回転数を計測する。メイン制御部６２は、所定期間が経過するごとに、当該所定期間内に計測されたファン４９の回転数の最小値および最大値を抽出する。そして、メイン制御部６２は、抽出した最小値および最大値を、ファン速度（ヘッド）の最小値データおよび最大値データとして記憶部６３に記憶する。メイン制御部６２は、例えば、３０分ごとにファン４９の回転数の最小値および最大値を抽出して、ファン速度（ヘッド）の最大値データおよび最小値データとして記憶部６３に記憶する。ファン速度（ヘッド）の単位は例えば「ｒｐｍ」である。なお、ヘッドユニット１３がファン４９を複数有する場合には、ファン４９の各々について所定時間ごとの回転数が計測されるとともに、ファン４９の各々について回転速度のデータが記憶部６３に記憶される。
　レーザ加工装置１０Ａでは、遮蔽機構４６のシャッタの開閉動作について、図７に示す項目番号２１７のシャッタ開閉回数だけでなく、直近の所定回数分のシャッタの開閉動作について、図８に示す項目のデータを記憶部６３に記憶している。各項目に付している項目番号３０１～３０４は、説明の便宜上付している番号であって、モニタリングデータＤａとして記憶部６３に記憶されるものではない。例えば、直近２，０００回分のシャッタの開閉動作について、項目番号３０１～３０４の項目のデータが記憶部６３に記憶される。レーザ加工装置１０Ａがシャッタを複数有する場合には、各シャッタについて、項目番号３０１～３０４の項目のデータが記憶部６３に記憶される。
　項目番号３０１の日時は、所定回数分のシャッタの開閉動作のうち１回目の動作が行われたときの、基準日時からの経過秒数である。メイン制御部６２は、所定回数分のシャッタ開閉動作のうちの１回目の動作を指示する閉信号もしくは開信号をヘッド制御部４２が遮蔽機構４６に送信したときの基準日時からの経過秒数のデータを、記憶部６３に記憶する。
　項目番号３０２のｔｙｐｅは、シャッタの各開閉動作が、開動作であったか、閉動作であったかを示すデータである。メイン制御部６２は、ヘッド制御部４２が遮蔽機構４６に開信号を送信した場合には、当該開信号に基づくシャッタの動作が開動作であることを記憶部６３に記憶する。また、メイン制御部６２は、ヘッド制御部４２が遮蔽機構４６に閉信号を送信した場合には、当該閉信号に基づくシャッタの動作が閉動作であることを記憶部６３に記憶する。例えば、メイン制御部６２は、開動作は「０」、閉動作は「１」として記憶部６３に記憶する。
　項目番号３０３の所要時間は、シャッタの各開閉動作の所要時間である。メイン制御部６２は、所定回数分のシャッタの開閉動作の各々について、動作に要した時間を記憶部６３に記憶する。ヘッド制御部４２が遮蔽機構４６に開信号を送信した場合、シャッタは、閉位置から開位置に配置される。この場合、ヘッド制御部４２は、シャッタが閉位置から開位置に配置されるまでの時間を計測する。シャッタが閉位置に配置されていることは、閉位置側位置検出センサによって検出される。また、シャッタが開位置に配置されていることは、開位置側位置検出センサによって検出される。ヘッド制御部４２は、遮蔽機構４６に開信号を送信してから開位置側位置検出センサによってシャッタが開位置に配置されていることが検出されるまでの時間を計測する。ヘッド制御部４２は、計測した時間をメイン制御部６２に出力する。メイン制御部６２は、出力された時間をこの開動作の所要時間のデータとして記憶部６３に記憶する。ヘッド制御部４２が遮蔽機構４６に閉信号を送信した場合も同様にして、シャッタの動作の所要時間のデータが記憶部６３に記憶される。所要時間の単位は例えば「１００ｕｓ」である。
　項目番号３０４の合計は、所定回数分のシャッタの各開閉動作の合計値である。メイン制御部６２は、所定回数分のシャッタの開閉動作について、項目番号３０３の所要時間を合計しその合計値のデータを記憶部６３に記憶する。
　また、レーザ加工装置１０Ａでは、シャッタの開閉動作を所定回数行うごとに、図９に示す項目のデータを記憶部６３に記憶している。図９に示す項目番号３１１～３１６の項目のデータは、図８に示す項目番号３０１～３０４の項目のデータを用いてメイン制御部６２で算出される。例えば、レーザ加工装置１０Ａは、直近の２，０００回数分のシャッタの開閉動作について図８に示す項目番号３０１～３０４の項目のデータを記憶部６３に記憶するように構成されている場合、シャッタの開閉動作を２，０００回行うごとに、図９に示す項目番号３１１～３１６の項目のデータを記憶部６３に記憶する。図９において各項目に付している項目番号３１１～３１６は、説明の便宜上付している番号であって、モニタリングデータＤａとして記憶部６３に記憶されるものではない。レーザ加工装置１０Ａがシャッタを複数有する場合には、各シャッタについて、項目番号３１１～３１６の項目のデータが記憶部６３に記憶される。また、図９に示す項目のデータは、記憶部６３に、例えば最大４，０００件記憶される。例えば、直近の４，０００件分のデータが記憶部６３に記憶される。
　項目番号３１１の対象期間開始日時は、所定回数分のシャッタの開閉動作のうち１回目の動作が行われたときの、基準日時からの経過秒数である。メイン制御部６２は、所定回数分のシャッタ開閉動作のうちの１回目の動作を指示する閉信号もしくは開信号をヘッド制御部４２が遮蔽機構４６に送信したときの基準日時からの経過秒数を、対象期間開始日時のデータとして記憶部６３に記憶する。
　項目番号３１２の対象期間終了日時は、所定回数分のシャッタの開閉動作のうち最後の１回（即ち所定回数目）の動作が行われたときの、基準日時からの経過秒数である。メイン制御部６２は、所定回数分のシャッタ開閉動作のうちの最後の１回の動作を指示する閉信号もしくは開信号をヘッド制御部４２が遮蔽機構４６に送信したときの基準日時からの経過秒数を、対象期間終了日時のデータとして記憶部６３に記憶する。
　項目番号３１３の開サンプル数は、所定回数分のシャッタの開閉動作に含まれる開動作の回数である。メイン制御部６２は、記憶部６３に記憶された所定回数分のシャッタの開閉動作についての項目番号３０２の項目のデータを用いて、所定回数分のシャッタの開閉動作に含まれる開動作の数をカウントする。メイン制御部６２は、カウントした数を開サンプル数のデータとして記憶部６３に記憶する。開サンプル数の単位は「個」である。
　項目番号３１４の開所要時間は、所定回数分のシャッタの開閉動作に含まれる開動作の所要時間である。メイン制御部６２は、記憶部６３に記憶された所定回数分のシャッタの開閉動作についての項目番号３０３の項目のデータから、所定回数分のシャッタの開閉動作に含まれる開動作の所要時間の最小値および最大値を抽出する。メイン制御部６２は、抽出した最小値および最大値を、開所要時間の最小値データおよび最大値データとして記憶部６３に記憶する。また、メイン制御部６２は、記憶部６３に記憶された所定回数分のシャッタの開閉動作についての項目番号３０３の項目のデータを用いて、所定回数分のシャッタの開閉動作に含まれる開動作の所要時間の平均値を算出する。メイン制御部６２は、算出した平均値を開所要時間の平均値データとして記憶部６３に記憶する。開所要時間の単位は例えば「１００ｕｓ」である。
　項目番号３１５の閉サンプル数は、所定回数分のシャッタの開閉動作に含まれる閉動作の回数である。メイン制御部６２は、記憶部６３に記憶された所定回数分のシャッタの開閉動作についての項目番号３０２の項目のデータを用いて、所定回数分のシャッタの開閉動作に含まれる閉動作の数をカウントする。メイン制御部６２は、カウントした数を閉サンプル数のデータとして記憶部６３に記憶する。閉サンプル数の単位は「個」である。
　項目番号３１６の閉所要時間は、所定回数分のシャッタの開閉動作に含まれる閉動作の所要時間である。メイン制御部６２は、記憶部６３に記憶された所定回数分のシャッタの開閉動作についての項目番号３０３の項目のデータから、所定回数分のシャッタの開閉動作に含まれる閉動作の所要時間の最小値および最大値を抽出する。メイン制御部６２は、抽出した最小値および最大値を、閉所要時間の最小値データおよび最大値データとして記憶部６３に記憶する。また、メイン制御部６２は、記憶部６３に記憶された所定回数分のシャッタの開閉動作についての項目番号３０３の項目のデータを用いて、所定回数分のシャッタの開閉動作に含まれる閉動作の所要時間の平均値を算出する。メイン制御部６２は、算出した平均値を閉所要時間の平均値データとして記憶部６３に記憶する。閉所要時間の単位は例えば「１００ｕｓ」である。
　なお、メイン制御部６２は、図７～図９に示す項目のデータを表示部７１に表示しなくてもよい。図７～図９に示す項目のデータは、ファイルに出力できることが好ましい。
　（実施形態の作用効果）
　本実施形態の作用効果について説明する。
　（１）レーザ加工装置１０Ａは、レーザ光ＬＷにて加工対象物Ｗを加工する。レーザ加工装置１０Ａは、レーザ光ＬＷを出射するレーザ光源３４と、レーザ光源３４を制御するとともに、レーザ加工装置１０ＡについてのモニタリングデータＤａを取得するメイン制御部６２と、を備えている。また、レーザ加工装置１０Ａは、メイン制御部６２が取得したモニタリングデータＤａを記憶する記憶部６３を備えている。また、レーザ加工装置１０Ａは、メイン制御部６２の制御によりモニタリングデータＤａの少なくとも一部の表示を含むレーザ出力確認画面７３（モニタリングデータ表示画面）を表示する表示部７１を備えている。メイン制御部６２は、レーザ出力確認画面７３を表示する表示モードを、モニタリングデータＤａのうち第１表示データＤ１のみを表示する第１表示モードと、モニタリングデータＤａのうち少なくとも第２表示データＤ２を表示する第２表示モードとに切り替え可能である。第１表示データＤ１は、レーザ光ＬＷの出力状態を確認可能なデータおよびレーザ光ＬＷの出力に関する設定を確認可能なデータを含む。第２表示データＤ２は、第１表示データＤ１とは異なるデータである。
　この構成によれば、レーザ加工装置１０Ａを使用するユーザに対して表示するレーザ出力確認画面７３と、レーザ加工装置１０Ａのメンテナンスや修理を行うサービスマンに対して表示するレーザ出力確認画面７３とを切り替えることができる。
　例えば、ユーザは、第１表示モードで表示されたレーザ出力確認画面７３を見ることにより、レーザ光ＬＷの出力状態を確認可能なデータおよびレーザ光ＬＷの出力に関する設定を確認可能なデータを含む第１表示データＤ１を確認できる。即ち、ユーザは、モニタリングデータＤａのうち、ユーザがレーザ加工装置１０Ａを使用するに当たって必要なデータを、第１表示モードで表示されるレーザ出力確認画面７３によって確認できる。
　また、サービスマンは、例えば、第２表示モードで表示されたレーザ出力確認画面７３を見ることにより、第１表示データＤ１とは異なる第２表示データＤ２を確認できる。例えば、モニタリングデータＤａのうち、ユーザがレーザ加工装置１０Ａを使用するに当たっては表示しなくてもよいが、サービスマンがメンテナンスや修理を行う際には表示したいデータを、第２表示データＤ２にすることが考えられる。サービスマンは、第１表示データＤ１と第２表示データＤ２との両方のデータを確認することにより、第１表示データＤ１のみを確認する場合に比べて、レーザ加工装置１０Ａの状態を詳しく知ることができる。このため、例えば、レーザ加工装置１０Ａに不具合が発生した場合、サービスマンは、第１表示データＤ１だけでなく第２表示データＤ２も参考にすることにより、不具合の原因を特定しやすくなる。従って、サービスマンが不具合の原因を特定するまでに要する時間を短くすることができるため、レーザ加工装置１０Ａのダウンタイムを短縮できる。また、レーザ加工装置１０Ａのメンテナンスを行う際に第１表示データＤ１だけでなく第２表示データＤ２も参考にすることにより、不具合の発生を未然に防ぐことが可能になる。従って、ダウンタイムの発生を抑制できる。
　また、レーザ出力確認画面７３の表示モードが第１表示モードおよび第２表示モードのいずれの場合であっても、レーザ光ＬＷの出力状態を確認可能なデータおよびレーザ光ＬＷの出力に関する設定を確認可能なデータを含む第１表示データＤ１が表示される。従って、ユーザおよびサービスマンの両者ともが、第１表示データＤ１を参考にすることにより、レーザ光ＬＷの出力について監視できる。
　（２）第２表示データＤ２は、レーザ加工装置１０Ａにおける異常の有無を確認するためのデータを含む。
　この構成によれば、サービスマンは、例えば、第２表示モードで表示されたレーザ出力確認画面７３を見ることにより、第１表示データＤ１に加えて、レーザ加工装置１０Ａにおける異常の有無を確認するためのデータを含む第２表示データＤ２を確認できる。そして、サービスマンは、第２表示データＤ２を参考にすることにより、レーザ加工装置１０Ａにおける異常の有無を確認できる。従って、例えば、レーザ加工装置１０Ａに不具合が発生した場合、サービスマンは、第１表示データＤ１だけでなく第２表示データＤ２も参考にすることにより、不具合の原因をより特定しやすくなる。よって、サービスマンが不具合の原因を特定するまでに要する時間をより短くすることができるため、レーザ加工装置１０Ａのダウンタイムをより短縮できる。
　また、レーザ加工装置１０Ａのメンテナンスを行う際、サービスマンは、第１表示データＤ１だけでなく、レーザ加工装置１０Ａにおける異常の有無を確認するためのデータを含む第２表示データＤ２も参考にすることができる。従って、レーザ加工装置１０Ａにおける不具合の発生をより防ぎやすくなる。従って、ダウンタイムの発生をより抑制できる。
　（３）第２表示モードは、第１表示データＤ１と第２表示データＤ２とを表示する、レーザ出力確認画面７３の表示モードである。
　この構成によれば、第２表示モードで表示されたレーザ出力確認画面７３を見ることにより、第１表示データＤ１と第２表示データＤ２との両方のデータを同時に確認できる。従って、例えば第２表示モードが第２表示データＤ２のみを表示する表示モードである場合に比べて、第１表示データＤ１と第２表示データＤ２との両方のデータを容易に確認できる。例えば、レーザ加工装置１０Ａに不具合が発生した場合、サービスマンは、第２表示モードで表示されたレーザ出力確認画面７３を見ることにより、第１表示データＤ１と第２表示データＤ２との両方のデータを同時に参考にできる。従って、サービスマンが不具合の原因を特定するまでに要する時間を更に短くすることができるため、レーザ加工装置１０Ａのダウンタイムを更に短縮できる。
　また、レーザ加工装置１０Ａのメンテナンスを行う際、サービスマンは、第１表示データＤ１と第２表示データＤ２との両方のデータを同時に確認できる。従って、メンテナンスに要する時間を短縮できる。
　（４）メイン制御部６２は、第２表示モードでレーザ出力確認画面７３を表示部７１に表示することを許可する認証処理を行う。メイン制御部６２は、認証処理によって第２表示モードでレーザ出力確認画面７３を表示部７１に表示することを許可している場合には、レーザ出力確認画面７３を第２表示モードで表示部７１に表示する。
　この構成によれば、サービスマンは、認証処理を行うことにより、レーザ出力確認画面７３を第２表示モードで表示部７１に表示できる。
　（５）表示部７１は、パスワードが入力されるパスワード入力欄７７を含む画面を表示する。メイン制御部６２が行う認証処理は、パスワード入力欄７７に入力されたパスワードと、記憶部６３に予め記憶されたパスワードと、を照合するパスワード認証処理である。この構成によれば、認証処理を容易に行うことができる。
　（６）第１表示データＤ１は、レーザ光ＬＷの出力を実測した測定データ、レーザ光ＬＷの出力を補正する補正率データ、および、レーザ光ＬＷを照射して加工した時間の累積時間データを含む。レーザ光ＬＷの出力を実測した測定データは、図６に示す項目番号１０８，１０９の項目のデータである。レーザ光ＬＷの出力を補正する補正率データは、図６に示す項目番号１１２の項目のデータである。レーザ光ＬＷを照射して加工した時間の累積時間データは、図６に示す項目番号１１１の項目のデータである。
　この構成によれば、レーザ出力確認画面７３で第１表示データＤ１を確認することにより、ユーザおよびサービスマンは、レーザ加工装置１０Ａにおけるレーザ光ＬＷの出力、レーザ光ＬＷの出力を補正する補正率、レーザ照射時間を確認できる。
　（７）レーザ光源３４は、レーザ光ＬＷを出力するレーザ発振器３４ａを有する。第２表示データＤ２は、レーザ発振器３４ａの内部の温度データを含む。
　この構成によれば、サービスマンは、第２表示モードでレーザ出力確認画面７３を表示させることにより、レーザ発振器３４ａの内部の温度データを確認できる。例えば、レーザ加工装置１０Ａに不具合が発生した場合、サービスマンは、レーザ発振器３４ａの内部の温度データを参考にすることにより、不具合の原因を特定しやすくなる。
　（変更例）
　本実施形態は、以下のように変更して実施することができる。本実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施することができる。
　・第２表示データＤ２に含まれるデータは、上記実施形態のデータに限らない。モニタリングデータＤａのうち所望のデータを第２表示データＤ２としてもよい。例えば、図６に示す項目番号１０１～１１７の項目のうち第１表示データＤ１として選択されていない項目から適宜選択した項目のデータを第２表示データＤ２としてもよい。例えば、第２表示データＤ２は、図６においてサービス公開の欄に○印がついていない項目のデータを更に含んでいてもよい。
　・第１表示データＤ１に含まれるデータは、上記実施形態のデータに限らない。モニタリングデータＤａのうち所望のデータを第１表示データＤ１としてもよい。ただし、第１表示データＤ１は、レーザ光ＬＷの出力状態を確認可能なデータおよびレーザ光ＬＷの出力に関する設定を確認可能なデータを含む。例えば、図６に示す項目番号１０１～１１７の項目のうち適宜選択した項目のデータを第１表示データＤ１としてもよい。例えば、第１表示データＤ１は、図６に示す項目番号１０１～１１７の項目のうち、ユーザ公開の欄に○印がついている項目に加えて、○印がついていない項目のデータを更に含んでいてもよい。
　・上記実施形態では、パスワード入力欄７７は、初期画面７６に設けられている。しかしながら、パスワード入力欄７７は、初期画面７６に設けられなくてもよい。パスワード入力欄７７が初期画面７６に設けられない場合、例えば、メイン制御部６２は、電源キー６８の操作によりレーザ加工装置１０Ａが起動されてから最初にレーザ出力確認画面７３を表示部７１に表示するときには、第１表示モードで表示する。このとき、メイン制御部６２は、第１モードで表示するレーザ出力確認画面７３中に、パスワード入力欄７７を表示してもよい。当該パスワード入力欄７７にパスワードが入力された場合には、メイン制御部６２は、パスワード認証処理を行う。メイン制御部６２は、パスワード入力欄７７に入力されたパスワードと、記憶部６３に予め記憶されたパスワードとを照合して２つのパスワードが一致した場合には、レーザ出力確認画面７３の表示モードを第１表示モードから第２表示モードに切り替える。即ち、メイン制御部６２は、表示部７１に表示する画面を、図４に示す第１表示モードで表示されるレーザ出力確認画面７３から、図５に示す第２表示モードで表示されるレーザ出力確認画面７３に切り替える。
　・上記実施形態では、メイン制御部６２は、第２表示モードでレーザ出力確認画面７３を表示部７１に表示することを許可する認証処理としてパスワード認証による処理を行う。この認証処理は、パスワード認証に限らない。例えば、メイン制御部６２は、公知の生態認証（例えば、顔認証、指紋認証、静脈パターン認証、虹彩認証など）による処理を行ってもよい。また例えば、メイン制御部６２は、第２表示モードでレーザ出力確認画面７３を表示部７１に表示することを許可するためのキーがコントローラユニット１１に挿入されているときに、第２表示モードでレーザ出力確認画面７３を表示部７１に表示してもよい。
　また、コントローラユニット１１は、レーザ出力確認画面７３の表示モードを切り替えるスイッチを有していてもよい。この場合、メイン制御部６２は、スイッチの操作に応じてレーザ出力確認画面７３の表示モードを切り替える。また、レーザ出力確認画面７３の表示モードを切り替えるボタンが表示部７１に表示されてもよい。この場合、メイン制御部６２は、操作部７２の操作により当該ボタンが押下されると、レーザ出力確認画面７３の表示モードを切り替える。
　・メイン制御部６２は、図５に示す第２表示モードで表示するレーザ出力確認画面７３に表示切り替えボタンを表示してもよい。表示切り替えボタンは、メイン制御部６２に、レーザ出力確認画面７３の表示モードを第２表示モードから第１表示モードに切り替えることを指示するためのボタンである。メイン制御部６２は、表示切り替えボタンが押下されると、レーザ出力確認画面７３の表示モードを第２表示モードから第１表示モードに切り替える。即ち、メイン制御部６２は、表示切り替えボタンが押下されると、図５に示す第２表示モードのレーザ出力確認画面７３から、図４に示す第１表示モードのレーザ出力確認画面７３に表示部７１の表示を切り替える。
　なお、メイン制御部６２は、レーザ出力確認画面７３の表示モードを第２表示モードから第１表示モードに切り替えると、例えば、パスワード入力欄７７に入力されたパスワードを用いて再度認証処理を行わない限り、レーザ出力確認画面７３を表示部７１に表示するときには第１表示モードで表示する。
　また例えば、メイン制御部６２は、パスワード入力欄７７に入力されたパスワード用いた認証処理によって第２表示モードでレーザ出力確認画面７３を表示することを許可した後は、コントローラユニット１１が停止されるまで、操作部７２の操作により表示モードの切り替えが指示される度に第１表示モードと第２表示モードとの切り替えを行ってもよい。この場合、メイン制御部６２は、認証処理によって第２表示モードでレーザ出力確認画面７３を表示することを許可した後は、例えば、第１表示モードで表示するレーザ出力確認画面７３中に、表示切り替えボタンを表示する。そして、メイン制御部６２は、第１表示モードでレーザ出力確認画面７３を表示部７１に表示しているときに表示切り替えボタンが押下されると、レーザ出力確認画面７３の表示モードを第１表示モードから第２表示モードに切り替える。即ち、メイン制御部６２は、第１表示モードで表示されたレーザ出力確認画面７３に表示された表示切り替えボタンが押下されると、表示部７１の表示を、第１表示モードのレーザ出力確認画面７３から、第２表示モードのレーザ出力確認画面７３に切り替える。
　・上記実施形態では、第２表示モードは、第１表示データＤ１と第２表示データＤ２とを表示する、レーザ出力確認画面７３の表示モードである。しかしながら、第２表示モードは、第２表示データＤ２のみを表示する表示モードであってもよい。この場合、例えばサービスマンは、第１表示モードで表示されたレーザ出力確認画面７３と第２表示モードで表示されたレーザ出力確認画面７３とを見ることにより、第１表示データＤ１と第２表示データＤ２との両方のデータを確認できる。
　・メイン制御部６２が取得するモニタリングデータＤａの項目は、上記実施形態の項目に限らない。メイン制御部６２は、上記実施形態の項目のうち１つもしくは複数の項目についてモニタリングデータＤａを取得しなくてもよい。また、メイン制御部６２は、上記実施形態の項目よりも多い項目のモニタリングデータＤａを取得してもよい。例えば、上記実施形態の項目のモニタリングデータＤａに加えて、光源ユニット１２のファン３５の回転速度をモニタリングデータＤａとして更に取得してもよい。
　・上記実施形態では、レーザ手動補正モードは、レーザ光ＬＷの出力をユーザが指示した補正率で補正するモードである。しかしながら、レーザ手動補正モードは、レーザ光ＬＷの出力をユーザが指示した出力に補正するモードであってもよい。
　・ユニットの構成が異なるレーザ加工装置としてもよい。
　図１０は、２つのユニットを接続して構成されるレーザ加工装置１０Ｂの一例を示す。図１０では、上記実施形態と同一の構成に同一の符号を付している。このレーザ加工装置１０Ｂは、コントローラユニット１１Ｂ、ヘッドユニット１３Ｂ、コンソール１４Ｂを有している。ヘッドユニット１３Ｂは、第２電気ケーブル８２によりコントローラユニット１１Ｂに接続されている。コントローラユニット１１Ｂは、上記したレーザ加工装置１０Ａのコントローラユニット１１と同じ構成である。ヘッドユニット１３Ｂは、ヘッド制御部４２Ｂ、記憶部４３Ｂ、レーザ光源３４、焦点調整部４４，走査部４５、遮蔽機構４６、モニタ部４７、加速度センサ４８、ファン４９、保護ガラス５０を有している。ヘッド制御部４２Ｂは、図２に示す光源制御部３２およびヘッド制御部４２の機能を有している。記憶部４３Ｂは、図２に示す記憶部３３および記憶部４３の機能を有している。コンソール１４Ｂは、上記したレーザ加工装置１０Ａのコンソール１４と同じ構成である。このように構成されるレーザ加工装置１０Ｂにおいても、上記実施形態と同様の効果を得ることができる。
　図１１は、２つのユニットを接続して構成されるレーザ加工装置１０Ｃの一例を示す。図１１では、上記実施形態と同一の構成に同一の符号を付している。このレーザ加工装置１０Ｃは、コントローラユニット１１Ｃ、ヘッドユニット１３Ｃ、コンソール１４Ｃを有している。ヘッドユニット１３Ｃは、第１電気ケーブル８１によりコントローラユニット１１Ｃに接続されている。ヘッドユニット１３Ｃは、上記したレーザ加工装置１０Ａのヘッドユニット１３と同じ構成である。コントローラユニット１１Ｃは、メイン制御部６２Ｃ、記憶部６３Ｃ、レーザ光源３４、電源回路６４、キースイッチ６５、コンタクタ６６、ファン６７を有している。メイン制御部６２Ｃは、図２に示すメイン制御部６２および光源制御部３２の機能を有している。記憶部６３Ｃは、図２に示す記憶部６３および記憶部３３の機能を有している。コンソール１４Ｃは、上記したレーザ加工装置１０Ａのコンソール１４と同じ構成である。このように構成されるレーザ加工装置１０Ｃにおいても、上記実施形態と同様の効果を得ることができる。
　以上の説明は単に例示である。本開示の技術を説明する目的のために列挙された構成要素および方法（製造プロセス）以外に、より多くの考えられる組み合わせおよび置換が可能であることを当業者は認識することができる。本開示は、特許請求の範囲を含む本開示の範囲内に含まれる全ての代替、変形、および変更を包含することが意図されている。
　１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ　レーザ加工装置
　１１，１１Ｂ，１１Ｃ　コントローラユニット
　１２　光源ユニット
　１３，１３Ｂ，１３Ｃ　ヘッドユニット
　１４，１４Ｂ，１４Ｃ　コンソール
　３１　筐体
　３２　光源制御部
　３３　記憶部
　３４　レーザ光源
　３４ａ　レーザ発振器
　３５　ファン
　４１　筐体
　４２，４２Ｂ　ヘッド制御部
　４３，４３Ｂ　記憶部
　４４　焦点調整部
　４５　走査部
　４６　遮蔽機構
　４７　モニタ部
　４８　加速度センサ
　４９　ファン
　５０　保護ガラス
　６１　筐体
　６２，６２Ｃ　メイン制御部（制御部）
　６３，６３Ｃ　記憶部
　６４　電源回路
　６５　キースイッチ
　６６　コンタクタ
　６７　ファン
　６８　電源キー
　７１　表示部
　７２　操作部
　７３　レーザ出力確認画面（データ出力確認画面）
　７４　測定用レーザ照射ボタン
　７５　モニタリングデータ表示領域
　７６　初期画面
　７７　パスワード入力欄
　７８　チェックボックス
　７９　チェックボックス
　８１　第１電気ケーブル
　８２　第２電気ケーブル
　８３　第３電気ケーブル
　Ｄａ　モニタリングデータ
　Ｄ１　第１表示データ
　Ｄ２　第２表示データ
　ＦＬ　光ファイバーケーブル
　ＳＬ１　第１信号ケーブル
　ＳＬ２　第２信号ケーブル
　ＳＰ１　第１電源ケーブル
　ＳＰ２　第２電源ケーブル
　ＣＬ　発振器電流
　ＰＬ　レーザ電源電圧
　ＰＳ　システム電源電圧
　ＰＧ１　正のガルバノ電源電圧
　ＰＧ２　負のガルバノ電源電圧
　ＬＷ　レーザ光
　Ｗ　加工対象物
　Ｗａ　加工面

Claims (7)

  1. 　レーザ光にて加工対象物を加工するレーザ加工装置であって、
    　前記レーザ光を出射するレーザ光源と、
    　前記レーザ光源を制御するとともに、前記レーザ加工装置についてのモニタリングデータを取得する制御部と、
    　前記制御部が取得した前記モニタリングデータを記憶する記憶部と、
    　前記制御部の制御により前記モニタリングデータの少なくとも一部の表示を含むモニタリングデータ表示画面を表示する表示部と、
    を備え、
    　前記制御部は、前記モニタリングデータ表示画面を表示する表示モードを、前記モニタリングデータのうち第１表示データのみを表示する第１表示モードと、前記モニタリングデータのうち少なくとも第２表示データを表示する第２表示モードとに切り替え可能であり、
    　前記第１表示データは、前記レーザ光の出力状態を確認可能なデータおよび前記レーザ光の出力に関する設定を確認可能なデータを含み、
    　前記第２表示データは、前記第１表示データとは異なるデータである、レーザ加工装置。
  2. 　前記第２表示データは、前記レーザ加工装置における異常の有無を確認するためのデータを含む、請求項１に記載のレーザ加工装置。
  3. 　前記第２表示モードは、前記第１表示データと前記第２表示データとを表示する前記表示モードである、請求項１または請求項２に記載のレーザ加工装置。
  4. 　前記制御部は、前記第２表示モードで前記モニタリングデータ表示画面を前記表示部に表示することを許可する認証処理を行い、前記認証処理によって前記第２表示モードで前記モニタリングデータ表示画面を前記表示部に表示することを許可している場合には、前記モニタリングデータ表示画面を前記第２表示モードで前記表示部に表示する、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のレーザ加工装置。
  5. 　前記表示部は、パスワードが入力されるパスワード入力欄を含む画面を表示し、
    　前記認証処理は、前記パスワード入力欄に入力された前記パスワードと、前記記憶部に予め記憶されたパスワードと、を照合するパスワード認証処理である、請求項４に記載のレーザ加工装置。
  6. 　前記第１表示データは、前記レーザ光の出力を実測した測定データ、前記レーザ光の出力を補正する補正率データ、および、前記レーザ光を照射して加工した時間の累積時間データを含む、請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のレーザ加工装置。
  7. 　前記レーザ光源は、前記レーザ光を出力するレーザ発振器を有し、
    　前記第２表示データは、前記レーザ発振器の内部の温度データを含む、請求項１から請求項６のいずれか１項に記載のレーザ加工装置。
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