WO2023157125A1 - ワイヤ放電加工機 - Google Patents

ワイヤ放電加工機 Download PDF

Info

Publication number
WO2023157125A1
WO2023157125A1 PCT/JP2022/006177 JP2022006177W WO2023157125A1 WO 2023157125 A1 WO2023157125 A1 WO 2023157125A1 JP 2022006177 W JP2022006177 W JP 2022006177W WO 2023157125 A1 WO2023157125 A1 WO 2023157125A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
machining
arm
electric discharge
machining fluid
tank
Prior art date
Application number
PCT/JP2022/006177
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
國府田尚徳
Original Assignee
ファナック株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ファナック株式会社 filed Critical ファナック株式会社
Priority to PCT/JP2022/006177 priority Critical patent/WO2023157125A1/ja
Priority to TW112105099A priority patent/TW202333876A/zh
Publication of WO2023157125A1 publication Critical patent/WO2023157125A1/ja

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H7/00—Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
    • B23H7/02—Wire-cutting

Definitions

  • the present invention relates to wire electric discharge machines.
  • the wire electric discharge machine disclosed in Japanese Patent Publication No. 3-008892 includes a machining tank and an arm.
  • the machining tank stores machining fluid.
  • a voltage is applied between the wire electrode and the workpiece in the machining fluid stored in the machining tank.
  • the arm penetrates the processing tank. Therefore, part of the arm is immersed in the machining liquid in the machining tank. A wire electrode passes through the inside of the arm.
  • the proportion of the portion of the arm that is immersed in the machining fluid changes according to changes in the relative positional relationship between the arm and the machining tank.
  • the liquid temperature of the machining fluid in the machining tank rises due to electric discharge generated in the machining tank.
  • the part of the arm that is immersed in the machining fluid in the machining tank expands according to the high temperature of the machining fluid. This expansion changes the length of the arm. That is, the length of the arm changes according to the length of the portion of the arm that is immersed in the working liquid.
  • An object of the present invention is to solve the above-described problems.
  • One aspect of the present invention is a wire electric discharge machine for machining an object by generating an electric discharge between a wire electrode and the object in a machining fluid, wherein the machining fluid is stored and the a machining tank that houses an object to be processed; a hollow arm that penetrates the machining tank and through which the wire electrode is inserted to guide the wire electrode that has passed through the object to the outside of the machining tank; a driving mechanism for changing the relative positional relationship between the machining tank and the arm at least in the extending direction of the arm; a machining fluid inlet formed in a positioned first portion for introducing the machining fluid into the inside of the arm; and a machining fluid discharge port formed in a second portion for discharging the machining fluid entering from the machining fluid entrance to the outside of the arm.
  • the temperature of the entire arm is controlled according to the temperature of the machining fluid in the machining tank, so the change in arm length during electrical discharge machining is suppressed.
  • FIG. 1 is a configuration diagram of a wire electric discharge machine according to an embodiment.
  • FIG. 2 is a diagram showing the wire electric discharge machine when the machining tank is moved to a position different from that in FIG. 1 according to the driving of the drive mechanism.
  • FIG. 3 is a diagram schematically showing the structure of the wire electric discharge machine related to the arm.
  • 4A is a configuration diagram of a wire electric discharge machine according to Modification 1.
  • FIG. 4B is a diagram showing fluid flow when the second valve is opened.
  • FIG. 1 is a configuration diagram of a wire electric discharge machine 10 according to an embodiment.
  • FIG. 1 shows not only the wire electric discharge machine 10, but also the X direction, the Y (+Y, -Y) direction, and the Z direction.
  • the X direction is parallel to the horizontal plane.
  • the Y direction is also parallel to the horizontal plane.
  • the Y direction is orthogonal to the X direction.
  • the Z direction indicates the upward direction.
  • the Z direction is orthogonal to the horizontal plane.
  • the wire electric discharge machine 10 includes a support portion 11, a machining tank 12, a drive mechanism 14, a table 16, an upper guide block 18, a lower guide block 20, an arm 22, and a wire electrode 24.
  • the interior 28 of arm 22 is hollow (see also FIG. 3).
  • the longitudinal direction (extending direction) of the arm 22 is the Y direction.
  • the support section 11 has a bed 11A and a column 11B.
  • the bed 11A is installed on an installation surface such as the floor of a factory.
  • Column 11B is erected on bed 11A.
  • the machining tank 12, together with the drive mechanism 14, is arranged at a position in the +Y direction from the column 11B.
  • the machining tank 12 stores the machining liquid LQ. Further, the machining tank 12 is supported by a driving mechanism 14 .
  • the drive mechanism 14 is installed on the bed 11A.
  • Drive mechanism 14 includes a slider 26 that supports processing tank 12 .
  • the slider 26 can slide in the X direction and the Y direction. Therefore, the driving mechanism 14 can move the processing tank 12 in the Y direction, for example, according to the movement of the slider 26 .
  • the slider 26 slides, for example, when driven by a servomotor.
  • the slider 26 is located at the position closest to the +Y direction within the range of movement of the slider 26 .
  • the table 16 is immersed in the machining fluid LQ within the machining tank 12 .
  • the table 16 also moves together with the processing tank 12. As shown in FIG.
  • the table 16 supports the workpiece W within the processing tank 12 .
  • the workpiece W supported by the table 16 is also immersed in the machining liquid LQ within the machining tank 12 .
  • the upper guide block 18 is arranged above the workpiece W while being supported by the column 11B.
  • the upper guide block 18 guides the wire electrode 24 to the workpiece W while supporting it.
  • a voltage is applied between the wire electrode 24 sent to the workpiece W and the workpiece W. As a result, electric discharge is generated between the wire electrode 24 and the workpiece W. As shown in FIG. The workpiece W is machined according to this electric discharge.
  • the lower guide block 20 is immersed in the machining liquid LQ below the workpiece W.
  • the lower guide block 20 supports the wire electrode 24 that has passed through the workpiece W and guides it to the inside 28 of the arm 22 .
  • the lower guide block 20 has a nozzle 20a.
  • the nozzle 20a is a member for jetting clean machining liquid LQ upward from the lower guide block 20.
  • the machining liquid LQ jetted from the nozzle 20a removes sludge generated by machining the workpiece W from between the wire electrode 24 and the workpiece W. As shown in FIG.
  • the wire electrode 24 and the workpiece W are heated by electric discharge occurring between them.
  • the machining fluid LQ jetted from the nozzle 20a cools the wire electrode 24 and the object W to be machined.
  • the machining liquid LQ jetted from the nozzle 20a of the lower guide block 20 is supplied to the nozzle 20a through a nozzle communication pipe 36 arranged inside 28 of the arm 22.
  • a description of the nozzle communication pipe 36 will be given later.
  • a nozzle for jetting the machining liquid LQ may be provided not only in the lower guide block 20 but also in the upper guide block 18 . However, the nozzle provided in the upper guide block 18 jets the working liquid LQ downward.
  • the arm 22 penetrates the machining tank 12 and supports the lower guide block 20 in the machining liquid LQ.
  • the arm 22 is installed on the column 11B.
  • the processing tank 12 has a wall portion 12a on the -Y direction side. A long hole elongated in the X direction is formed in the wall portion 12a. The arm 22 extends into the processing tank 12 through this long hole.
  • the machining tank 12 is provided with a seal member for preventing leakage of the machining liquid LQ in the machining tank 12 through a gap between the long hole of the wall portion 12 a and the arm 22 . Illustration of the sealing member is omitted.
  • FIG. 2 is a diagram showing the wire electric discharge machine 10 when the machining tank 12 is moved to a position different from that in FIG. In FIG. 2, the slider 26 is located at the most ⁇ Y direction side position within the range of movement of the slider 26 .
  • the relative positional relationship between the machining tank 12 and the arm 22 changes according to the movement of the machining tank 12 .
  • the relative positional relationship in the Y direction between the machining tank 12 and the arm 22 changes.
  • the relative positional relationship refers to the Y-direction relative positional relationship between the machining tank 12 and the arm 22 unless otherwise specified.
  • the proportion of the portion of the arm 22 located within the processing tank 12 changes according to the change in the relative positional relationship.
  • the arm 22 has a first portion 30 and a second portion 32, described below.
  • the first portion 30 is the portion of the arm 22 that is positioned within the processing tank 12 regardless of changes in the relative positional relationship.
  • the first portion 30 is located in the processing tank 12 when the slider 26 is located at the position on the +Y direction side most within the movement range of the slider 26 (see also FIG. 1).
  • the first portion 30 is immersed in the machining liquid LQ in the machining tank 12 by being positioned inside the machining tank 12 .
  • the first portion 30 includes the Y-direction first end 22a of the arm 22 .
  • the lower guide block 20 is attached, for example, to the first end 22a.
  • the second portion 32 is the portion of the arm 22 that is positioned outside the processing tank 12 regardless of changes in the relative positional relationship.
  • the second portion 32 is located outside the processing tank 12 when the slider 26 is located at the most ⁇ Y direction position within the movement range of the slider 26 (see also FIG. 2).
  • the second portion 32 includes the Y-direction second end 22b of the arm 22 .
  • the second end 22b is fixed to the column 11B.
  • FIG. 3 is a diagram schematically showing the configuration of the wire electric discharge machine 10 related to the arm 22. As shown in FIG.
  • the wire electric discharge machine 10 further includes a wire pipe 34 and a nozzle communication pipe 36.
  • the wire pipe 34 and the nozzle communication pipe 36 pass through the interior 28 of the arm 22 and are connected to the lower guide block 20 .
  • the wire electrode 24 passing through the lower guide block 20 is inserted through the wire pipe 34 .
  • the wire electrode 24 is guided through a wire pipe 34 to a recovery box installed outside the machining tank 12 . Illustration of the collection box is omitted.
  • the nozzle communication pipe 36 connects the machining fluid tank and the nozzle 20a.
  • the machining fluid tank is a tank that stores the machining fluid LQ outside the machining tank 12 .
  • the machining liquid LQ in the machining liquid tank flows through the nozzle communication pipe 36 toward the nozzle 20a. Illustration of the machining liquid tank is omitted.
  • the wire electric discharge machine 10 may further include a pump that forces the machining fluid LQ in the nozzle communicating pipe 36 to flow toward the nozzle 20a. Illustration of the pump is omitted.
  • the arm 22 further has a machining fluid inlet 38 , a machining fluid outlet 40 and an air vent 42 .
  • Each of the machining fluid inlet 38, the machining fluid outlet 40, and the air vent 42 is an opening that allows the inside 28 and the outside of the arm 22 to communicate with each other.
  • a machining fluid inlet 38 is formed in the first portion 30 . Since the arm 22 has the machining fluid inlet 38 , the machining fluid LQ in the machining tank 12 can be taken into the interior 28 of the arm 22 through the machining fluid inlet 38 .
  • the machining fluid LQ (LQ1) introduced from the machining fluid inlet 38 is separated from the wire electrode 24 inside the wire pipe 34 by the wire pipe 34 . Also, the machining liquid LQ1 is separated from the machining liquid LQ (LQ2) in the nozzle communication pipe 36 by the nozzle communication pipe 36 .
  • a filter 44 is preferably installed at the machining fluid inlet 38 .
  • the filter 44 filters the machining liquid LQ passing through the machining liquid inlet 38 . This prevents foreign matter such as sludge mixed in the machining liquid LQ from entering the interior 28 of the arm 22 .
  • the machining fluid outlet 40 is formed in the second portion 32 .
  • the machining fluid outlet 40 communicates with the machining fluid inlet 38 through the interior 28 of the arm 22 .
  • the machining fluid LQ (LQ1) in the interior 28 of the arm 22 is discharged from the machining fluid discharge port 40 .
  • the wire pipe 34 may extend outside the arm 22 through the machining fluid discharge port 40 .
  • the shape of the arm 22 becomes simple.
  • the air vent 42 is an opening for venting the air A from the inside 28 of the arm 22 .
  • the air vent 42 is connected to an air tube 48 arranged outside the arm 22 via a joint 46, for example.
  • the air vent 42 is preferably formed in the second portion 32. As a result, the air vent 42 is not positioned within the processing tank 12 regardless of changes in the relative positional relationship. Therefore, for example, the air tube 48 connected to the air vent 42 is prevented from interfering with the wire electrode 24, the workpiece W, etc. in the machining tank 12. FIG.
  • the second portion 32 is outside the range of relative movement of the wall portion 12 a of the processing tank 12 with respect to the arm 22 . Therefore, by forming the air vent 42 in the second portion 32, the air tube 48 connected to the air vent 42 is prevented from interfering with the wall portion 12a.
  • the temperature of the portion of the arm 22 located within the processing tank 12 is a temperature corresponding to the liquid temperature of the processing liquid LQ within the processing tank 12 .
  • the machining liquid LQ in the machining tank 12 is taken into the inside 28 of the arm 22 .
  • the machining fluid LQ1 that has been taken in also flows into a portion of the interior 28 of the arm 22 that is located outside the machining tank 12 .
  • the temperature of the portion of the arm 22 located outside the machining tank 12 is adjusted to the temperature corresponding to the temperature of the machining fluid LQ1.
  • the temperature of the entire arm 22 is adjusted according to the liquid temperature of the machining liquid LQ in the machining tank 12 .
  • the temperature of the entire arm 22 is uniformed to a temperature corresponding to the liquid temperature of the machining liquid LQ in the machining tank 12 .
  • the machining fluid discharge port 40 is formed at the second end 22b of the second portion 32 .
  • the machining liquid LQ1 flows through the interior 28 of the arm 22 to the second end 22b.
  • the temperature of the entire second portion 32 is made more uniform. Therefore, the change in the length of the arm 22 is further suppressed.
  • the air A can be removed from the inside 28 of the arm 22 via the air removal port 42 .
  • the inside 28 of the arm 22 can be filled with a larger amount of the machining liquid LQ1.
  • the temperature of the entire arm 22 becomes more uniform. Therefore, the change in the length of the arm 22 is further suppressed.
  • the machining fluid LQ1 is the machining fluid LQ heated by the electric discharge generated in the machining tank 12.
  • the working liquid LQ2 flowing through the nozzle communicating pipe 36 is preferably as low as possible in order to cool the wire electrode 24 and the workpiece W.
  • the nozzle communication pipe 36 has high heat insulation. Since the nozzle communication pipe 36 has high heat insulating properties, heat exchange between the machining fluid LQ1 flowing in the inside 28 of the arm 22 and the machining fluid LQ2 flowing in the nozzle communication pipe 36 can be suppressed. This prevents the machining liquid LQ2 from being warmed by the machining liquid LQ1.
  • FIG. 4A is a configuration diagram of a wire electric discharge machine 101 (10) according to Modification 1.
  • FIG. illustrations of the elements already explained in the embodiment are omitted as much as possible.
  • a wire electric discharge machine 101 has components similar to those of the wire electric discharge machine 10 (see also the embodiment). However, the wire electric discharge machine 101 has an arm 221 that is a modified version of the arm 22 . The arm 221 differs from the arm 22 in that it further has a wire discharge port 58 which will be described later.
  • the wire electric discharge machine 101 further includes a first pipe 50, a first valve 52, a second pipe 54, and a second valve 56.
  • the first pipe 50 , the first valve 52 , the second pipe 54 and the second valve 56 are arranged outside the arm 221 .
  • the first pipe 50 is connected to the machining fluid discharge port 40 .
  • the machining fluid LQ in the inside 28 of the arm 221 flows through the machining fluid discharge port 40 to the first pipe 50 .
  • the first valve 52 is provided on the first pipe 50 .
  • the machining fluid LQ that has flowed into the inside 28 of the arm 221 from the machining fluid inlet 38 is discharged from the first pipe 50 .
  • the first valve 52 painted white in FIG. 4A is in an open state.
  • the second pipe 54 is connected between the first valve 52 of the first pipe 50 and the machining fluid discharge port 40 .
  • the second pipe 54 is a pipe through which a fluid FL flows for cleaning the inside 28 of the arm 221 (see FIG. 4B).
  • the fluid FL is, for example, clean working fluid LQ or clean air.
  • the second valve 56 is provided on the second pipe 54 .
  • the second valve 56 is closed while the machining fluid LQ is discharged from the machining fluid discharge port 40 .
  • the black second valve 56 in FIG. 4A is closed.
  • the wire pipe 34 extends into the first pipe 50 .
  • opening and closing of the first valve 52 may be obstructed by the wire pipe 34 in the first pipe 50 .
  • the wire pipe 34 may be removed before closing the first valve 52, but this requires a lot of man-hours.
  • the arm 221 has a wire discharge port 58.
  • Wire outlet 58 is an opening formed in second portion 32 .
  • the wire discharge port 58 is formed at a location different from the machining fluid discharge port 40 .
  • the wire pipe 34 is passed through the wire outlet 58 instead of the machining fluid outlet 40 . Thereby, opening and closing of the first valve 52 is not hindered by the wire pipe 34 . Therefore, it is not necessary to remove the wire pipe 34 to close the first valve 52 .
  • FIG. 4B is a diagram showing the flow of the fluid FL when the second valve 56 is opened. As in FIG. 4A, illustration of elements already described in the embodiment is omitted as much as possible.
  • the second valve 56 is opened when the machining fluid LQ is not discharged from the machining fluid discharge port 40 .
  • the second valve 56 painted white in FIG. 4B is in an open state.
  • the fluid FL flows into the first pipe 50 through the second pipe 54 .
  • a pump may be provided in the second pipe 54 . This pump forces the fluid FL toward the first pipe 50 while the second valve 56 is open.
  • the fluid FL that has flowed through the first pipe 50 flows into the interior 28 of the arm 221 through the machining fluid discharge port 40 .
  • the fluid FL that has flowed into the interior 28 of the arm 221 is discharged from the machining fluid inlet 38 together with dirt and the like present in the interior 28 of the arm 221 . This cleans the inside 28 of the arm 221 .
  • the first valve 52 is preferably closed when the second valve 56 is opened. Thereby, the fluid FL can be flowed more reliably toward the inside 28 of the arm 221 .
  • the black first valve 52 in FIG. 4B is in the closed state.
  • the machining fluid inlet 38 may be formed at a location other than the lower portion of the first portion 30 .
  • the machining fluid inlet 38 may be formed in the top or side of the first portion 30 .
  • One invention is a wire electric discharge machine (10) for machining an object (W) by generating electric discharge between a wire electrode (24) and the object (W) in a machining fluid (LQ), a machining tank (12) for storing the machining fluid and containing the object to be machined; a hollow arm (22) through which a wire electrode is inserted; a drive mechanism (14) for changing the relative positional relationship between the machining tank and the arm at least in the extending direction of the arm; A machining fluid inlet (38) is formed in the first portion (30) located in the machining tank regardless of the change in the extending direction of the relative positional relationship and guides the machining fluid to the inside (28) of the arm.
  • machining fluid discharge port (40) that discharges the machining fluid to the outside of the arm.
  • the temperature of the entire arm is controlled according to the temperature of the working fluid in the machining tank, so that the length of the arm is prevented from changing during electrical discharge machining.
  • the wire electric discharge machine may further have an air vent (42) for venting air (A) that has entered the inside of the arm from the machining fluid inlet or the machining fluid outlet. Thereby, the inside of the arm can be filled with a larger amount of working fluid.
  • the wire electric discharge machine may further include a filter (44) that prevents sludge from entering the inside of the arm through the machining fluid inlet. This prevents the interior of the arm from becoming contaminated with sludge.
  • the wire electric discharge machine includes a first pipe (50) through which the machining fluid discharged from the machining fluid discharge port flows, a first valve (52) provided in the first pipe, and a second pipe (54) connected between the machining fluid discharge port and the first valve, through which a fluid (FL) for washing the inside of the arm flows toward the first pipe;
  • a second valve (56) provided in two pipes may be further provided. Thereby, the inside of the arm can be washed with the fluid.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)

Abstract

ワイヤ放電加工機（１０）は、加工槽（１２）を貫通し、ワイヤ電極（２４）を加工槽（１２）の外に導く中空形状のアーム（２２）と、加工槽（１２）とアーム（２２）との相対位置関係を少なくともアーム（２２）の延び方向に変化させる駆動機構（１４）と、相対位置関係の変化に拘らず加工槽（１２）内に位置するアーム（２２）の第１部分（３０）に形成される加工液侵入口（３８）と、相対位置関係の変化に拘らず加工槽（１２）外に位置するアーム（２２）の第２部分（３２）に形成される加工液排出口（４０）と、を有する。

Description

ワイヤ放電加工機
　本発明は、ワイヤ放電加工機に関する。
　特公平３－００８８９２号公報のワイヤ放電加工機は、加工槽と、アームとを備える。加工槽は、加工液を貯留する。また、加工槽に貯留された加工液中で、ワイヤ電極と加工対象物との極間に電圧が印加される。
　アームは、加工槽を貫通する。したがって、アームの一部は、加工槽内の加工液に浸漬される。アームの内部を、ワイヤ電極が挿通する。
　アームのうち加工液に浸漬される部分の割合は、アームと加工槽との相対位置関係の変化に応じて変化する。ここで、加工槽内の加工液の液温は、加工槽内で発生する放電によって、上昇する。
　アームのうち、加工槽内の加工液に浸漬された部分は、加工液の高い液温に応じて、膨張する。この膨張により、アームの長さが変化する。つまり、アームの長さは、アームのうち加工液に浸漬される部分の長さに応じて、変化する。
　放電加工の実行中にアームの長さが変化することで、加工精度が悪化するという問題がある。
　本発明は、上述した課題を解決することを目的とする。
　本発明の一態様は、加工液中でワイヤ電極と加工対象物との間に放電を発生させることで前記加工対象物を加工するワイヤ放電加工機であって、前記加工液を貯留し、前記加工対象物を収容する加工槽と、前記加工槽を貫通し、前記加工対象物を通過した前記ワイヤ電極を前記加工槽の外に導くために前記ワイヤ電極が挿通される中空形状のアームと、前記加工槽と前記アームとの相対位置関係を、少なくとも前記アームの延び方向に変化させる駆動機構と、前記アームのうち、前記相対位置関係の前記延び方向の変化に拘らず前記加工槽の内に位置する第１部分に形成され、前記加工液を前記アームの内部に導く加工液侵入口と、前記アームのうち、前記相対位置関係の前記延び方向の変化に拘らず前記加工槽の外に位置する第２部分に形成され、前記加工液侵入口から侵入した前記加工液を前記アームの外部に排出する加工液排出口と、を有する、ワイヤ放電加工機である。
　本発明によれば、アームの全体が、加工槽内の加工液の液温に応じて調温されるので、放電加工中にアームの長さが変化することが抑制される。
図１は、実施形態に係るワイヤ放電加工機の構成図である。 図２は、駆動機構の駆動に応じて図１とは異なる位置に加工槽が移動した場合のワイヤ放電加工機を示す図である。 図３は、アームに関連するワイヤ放電加工機の構造を模式的に示す図である。 図４Ａは、変形例１に係るワイヤ放電加工機の構成図である。図４Ｂは、第２バルブが開かれた場合における流体の流動を示す図である。
　［実施形態］
　図１は、実施形態に係るワイヤ放電加工機１０の構成図である。
　なお、図１には、ワイヤ放電加工機１０のみならず、Ｘ方向と、Ｙ（＋Ｙ、－Ｙ）方向と、Ｚ方向とが示される。Ｘ方向は、水平面に平行する。Ｙ方向も、水平面に平行する。ただし、Ｙ方向は、Ｘ方向と直交する。Ｚ方向は、上方向を示す。Ｚ方向は、水平面と直交する。
　ワイヤ放電加工機１０は、支持部１１と、加工槽１２と、駆動機構１４と、テーブル１６と、上ガイドブロック１８と、下ガイドブロック２０と、アーム２２と、ワイヤ電極２４とを備える。アーム２２の内部２８は、中空状である（図３も参照）。アーム２２の長手方向（延び方向）は、Ｙ方向である。
　支持部１１は、ベッド１１Ａと、コラム１１Ｂとを有する。ベッド１１Ａは、工場の床等の設置面に設置される。コラム１１Ｂは、ベッド１１Ａに立設される。
　加工槽１２は、駆動機構１４とともに、コラム１１Ｂよりも＋Ｙ方向の位置に配される。加工槽１２は、加工液ＬＱを貯留する。また、加工槽１２は、駆動機構１４に支持される。
　駆動機構１４は、ベッド１１Ａ上に設置される。駆動機構１４は、加工槽１２を支持するスライダ２６を含む。スライダ２６は、Ｘ方向とＹ方向とにスライド移動することができる。したがって、駆動機構１４は、スライダ２６の移動に応じて、加工槽１２を例えばＹ方向に移動させることができる。スライダ２６は、例えばサーボモータの駆動に応じて摺動する。
　なお、図１において、スライダ２６は、スライダ２６の移動範囲内で最も＋Ｙ方向側の位置にある。
　テーブル１６は、加工槽１２内で加工液ＬＱに浸漬される。加工槽１２が駆動機構１４によって移動される場合、テーブル１６も加工槽１２と一緒に移動する。
　テーブル１６は、加工槽１２内で加工対象物Ｗを支持する。テーブル１６に支持された加工対象物Ｗも、加工槽１２内で加工液ＬＱに浸漬される。
[規則91に基づく訂正 21.02.2023]
　上ガイドブロック１８は、コラム１１Ｂに支持されて、加工対象物Ｗよりも上方に配される。上ガイドブロック１８は、ワイヤ電極２４を支持しつつ加工対象物Ｗに案内する。
　加工対象物Ｗに送られたワイヤ電極２４と、加工対象物Ｗとの間には、電圧が印加される。これにより、ワイヤ電極２４と、加工対象物Ｗとの間に放電が発生する。この放電に応じて、加工対象物Ｗは加工される。
　下ガイドブロック２０は、加工対象物Ｗよりも下方で加工液ＬＱに浸漬される。下ガイドブロック２０は、加工対象物Ｗを通過したワイヤ電極２４を支持しつつ、アーム２２の内部２８に案内する。下ガイドブロック２０は、ノズル２０ａを備える。
　ノズル２０ａは、下ガイドブロック２０から上方向に清潔な加工液ＬＱを噴流するための部材である。ノズル２０ａが噴流した加工液ＬＱは、加工対象物Ｗが加工されることで生じたスラッジを、ワイヤ電極２４と加工対象物Ｗとの間から除去する。
　また、ワイヤ電極２４と、加工対象物Ｗとは、お互いの間で放電が発生することで、加熱される。ノズル２０ａが噴流した加工液ＬＱは、ワイヤ電極２４と、加工対象物Ｗとを冷却する。
　なお、下ガイドブロック２０のノズル２０ａから噴流される加工液ＬＱは、アーム２２の内部２８に配されるノズル連通管３６を通ってノズル２０ａに供給される。ノズル連通管３６の説明は後述する。
　加工液ＬＱを噴流するノズルは、下ガイドブロック２０のみならず、上ガイドブロック１８に備えられてもよい。ただし、上ガイドブロック１８に備えられるノズルは、加工液ＬＱを下方向に噴流する。
　アーム２２は、加工槽１２を貫通し、加工液ＬＱ中で下ガイドブロック２０を支持する。アーム２２は、コラム１１Ｂに設置される。加工槽１２は、－Ｙ方向側の壁部１２ａを有する。壁部１２ａには、Ｘ方向に長い長孔が形成される。アーム２２は、この長孔を通じて、加工槽１２の内部まで延びる。
　なお、加工槽１２には、壁部１２ａの長孔と、アーム２２との隙間を通じて加工槽１２内の加工液ＬＱが漏出することを防止するためのシール部材が設けられる。シール部材の図示は省略する。
　図２は、駆動機構１４の駆動に応じて図１とは異なる位置に加工槽１２が移動した場合のワイヤ放電加工機１０を示す図である。なお、図２において、スライダ２６は、スライダ２６の移動範囲内で最も－Ｙ方向側の位置にある。
　加工槽１２の移動に応じて、加工槽１２とアーム２２との相対位置関係が変化する。例えば、加工槽１２がＹ方向に移動する場合、加工槽１２とアーム２２とのＹ方向の相対位置関係が変化する。
　以下の説明において、相対位置関係とは、特に断らない限り、加工槽１２とアーム２２とのＹ方向の相対位置関係を指す。
　相対位置関係の変化に応じて、アーム２２のうち加工槽１２内に位置する部分の割合が変化する。ただし、アーム２２は、以下に説明される第１部分３０と、第２部分３２とを有する。
　第１部分３０は、アーム２２のうち、相対位置関係の変化に拘わらず、加工槽１２内に位置する部分である。第１部分３０は、スライダ２６の移動範囲内でスライダ２６が最も＋Ｙ方向側の位置にある場合において、加工槽１２内に位置する（図１も参照）。第１部分３０は、加工槽１２内に位置することで、加工槽１２内の加工液ＬＱに浸漬される。第１部分３０は、アーム２２のＹ方向の第１端２２ａを含む。下ガイドブロック２０は、例えば第１端２２ａに取り付けられる。
　第２部分３２は、アーム２２のうち、相対位置関係の変化に拘わらず、加工槽１２の外に位置する部分である。第２部分３２は、スライダ２６の移動範囲内でスライダ２６が最も－Ｙ方向側の位置にある場合において、加工槽１２外に位置する（図２も参照）。第２部分３２は、アーム２２のＹ方向の第２端２２ｂを含む。第２端２２ｂは、コラム１１Ｂに固定される。
　図３は、アーム２２に関連するワイヤ放電加工機１０の構成を模式的に示す図である。
　ワイヤ放電加工機１０は、ワイヤパイプ３４と、ノズル連通管３６とをさらに備える。ワイヤパイプ３４と、ノズル連通管３６とは、アーム２２の内部２８を貫通して、下ガイドブロック２０に接続される。
　ワイヤパイプ３４には、下ガイドブロック２０を通過したワイヤ電極２４が挿通する。ワイヤ電極２４は、ワイヤパイプ３４を通って、加工槽１２外に設置された回収箱に案内される。回収箱の図示は省略する。
　ノズル連通管３６は、加工液タンクと、ノズル２０ａとを接続する。加工液タンクは、加工槽１２外で加工液ＬＱを貯留するタンクである。加工液タンク内の加工液ＬＱは、ノズル２０ａに向かって、ノズル連通管３６を流れる。加工液タンクの図示は省略する。
　ワイヤ放電加工機１０は、ノズル連通管３６内の加工液ＬＱをノズル２０ａに向かって強制的に流動させるポンプをさらに備えてもよい。ポンプの図示は省略する。
　アーム２２は、加工液侵入口３８と、加工液排出口４０と、エア抜き口４２とをさらに有する。加工液侵入口３８と、加工液排出口４０と、エア抜き口４２との各々は、アーム２２の内部２８と外部とを連通させる開口部である。
　加工液侵入口３８は、第１部分３０に形成される。アーム２２は、加工液侵入口３８を有することで、加工液侵入口３８から加工槽１２内の加工液ＬＱをアーム２２の内部２８に取り込むことができる。
　なお、加工液侵入口３８から取り込まれた加工液ＬＱ（ＬＱ１）は、ワイヤパイプ３４によって、ワイヤパイプ３４内のワイヤ電極２４とは隔てられる。また、加工液ＬＱ１は、ノズル連通管３６によって、ノズル連通管３６内の加工液ＬＱ（ＬＱ２）とは隔てられる。
　加工液侵入口３８には、フィルタ４４が設置されると好ましい。フィルタ４４は、加工液侵入口３８を通る加工液ＬＱを濾過する。これにより、加工液ＬＱに紛れたスラッジ等の異物がアーム２２の内部２８に侵入することが防止される。
　加工液排出口４０は、第２部分３２に形成される。加工液排出口４０は、アーム２２の内部２８を介して、加工液侵入口３８と連通する。アーム２２の内部２８の加工液ＬＱ（ＬＱ１）は、加工液排出口４０から排出される。
　なお、ワイヤパイプ３４は、加工液排出口４０を通って、アーム２２の外まで延びてもよい。この場合、ワイヤ電極２４をアーム２２外に導くための開口を加工液排出口４０とは別に形成する必要がないので、アーム２２の形状がシンプルになる。
　エア抜き口４２は、アーム２２の内部２８からエアＡを抜くための開口部である。エア抜き口４２は、例えば継手４６を介して、アーム２２の外に配されるエアチューブ４８に接続される。
　エア抜き口４２は、第２部分３２に形成されると、好ましい。これにより、相対位置関係の変化に拘わらず、エア抜き口４２が加工槽１２内に位置しない。したがって、例えばエア抜き口４２に接続されるエアチューブ４８が加工槽１２内のワイヤ電極２４、加工対象物Ｗ等に干渉することが防止される。
　また、第２部分３２は、加工槽１２の壁部１２ａのアーム２２に対する相対移動の範囲の外である。したがって、第２部分３２にエア抜き口４２が形成されることで、エア抜き口４２に接続されるエアチューブ４８が壁部１２ａに干渉することが防止される。
　本実施形態によれば、アーム２２のうち加工槽１２内に位置する部分の温度は、加工槽１２内の加工液ＬＱの液温に応じた温度である。また、アーム２２の内部２８に、加工槽１２内の加工液ＬＱが取り込まれる。取り込まれた加工液ＬＱ１は、アーム２２の内部２８のうち、加工槽１２外に位置する部分にも流れる。これにより、アーム２２のうち加工槽１２外に位置する部分の温度は、加工液ＬＱ１の液温に応じた温度に調整される。
　すなわち、アーム２２の全体が、加工槽１２内の加工液ＬＱの液温に応じて調温される。その結果、例えば放電加工中において、アーム２２の全体の温度が、加工槽１２内の加工液ＬＱの液温に応じた温度に均一化される。
　放電加工中におけるアーム２２の全体の温度が均一化されることで、仮にアーム２２のうち加工槽１２内に位置する部分の割合が放電加工中に変化しても、アーム２２の長さが変化することは、抑制される。アーム２２の長さが変化することが放電加工中において抑制されることで、加工精度が向上する。
　また、本実施形態によれば、加工液排出口４０は、第２部分３２のうち、第２端２２ｂに形成される。これにより、加工液ＬＱ１は、アーム２２の内部２８を第２端２２ｂまで流れる。第２端２２ｂまで加工液ＬＱ１が流れることで、第２部分３２の全体の温度が、より均一化される。したがって、アーム２２の長さが変化することが、より抑制される。
　さらに、本実施形態によれば、エア抜き口４２を介して、アーム２２の内部２８からエアＡを抜くことができる。アーム２２の内部２８からエアＡを抜くことで、アーム２２の内部２８をより多くの加工液ＬＱ１で満たすことができる。アーム２２の内部２８がより多くの加工液ＬＱ１で満たされることで、アーム２２の全体の温度が、より均一化される。したがって、アーム２２の長さが変化することが、より抑制される。
　なお、加工液ＬＱ１は、加工槽１２内で発生した放電によって加熱された加工液ＬＱである。これに対し、ノズル連通管３６を流れる加工液ＬＱ２は、ワイヤ電極２４と加工対象物Ｗとを冷却するために、できるだけ低温である方が好ましい。
　これを踏まえ、ノズル連通管３６は、高い断熱性を有すると、好ましい。ノズル連通管３６の断熱性が高いことで、アーム２２の内部２８を流れる加工液ＬＱ１と、ノズル連通管３６を流れる加工液ＬＱ２と、の熱交換を抑制することができる。これにより、加工液ＬＱ２が加工液ＬＱ１によって温められることが抑制される。
　［変形例］
　以下には、上記実施形態に係る変形例が記載される。ただし、上記実施形態と重複する説明は、以下の説明では可能な限り省略される。上記実施形態で説明済みの要素には、特に断らない限り、上記実施形態と同一の参照符号が付される。
　（変形例１）
　図４Ａは、変形例１に係るワイヤ放電加工機１０１（１０）の構成図である。ただし、実施形態で説明済の要素の図示は、可能な限り省略する。
　ワイヤ放電加工機１０１は、ワイヤ放電加工機１０と同様の構成要素を有する（実施形態も参照）。ただし、ワイヤ放電加工機１０１は、アーム２２を変形したアーム２２１を備える。アーム２２１は、後述されるワイヤ排出口５８をさらに有する点で、アーム２２と相違する。
　また、ワイヤ放電加工機１０１は、第１配管５０と、第１バルブ５２と、第２配管５４と、第２バルブ５６とをさらに備える。第１配管５０と、第１バルブ５２と、第２配管５４と、第２バルブ５６とは、アーム２２１の外に配される。
　第１配管５０は、加工液排出口４０に接続される。これにより、アーム２２１の内部２８の加工液ＬＱは、加工液排出口４０を通って第１配管５０に流れる。
　第１バルブ５２は、第１配管５０に設けられる。第１バルブ５２が開かれている場合、加工液侵入口３８からアーム２２１の内部２８に流れた加工液ＬＱは、第１配管５０から排出される。図４Ａにおいて白塗りの第１バルブ５２は、開状態である。
　第２配管５４は、第１配管５０のうち、第１バルブ５２と、加工液排出口４０との間に接続される。第２配管５４は、アーム２２１の内部２８を洗浄するための流体ＦＬが流れる配管である（図４Ｂ参照）。流体ＦＬは、例えば清潔な加工液ＬＱ、または清潔なエアである。
　第２バルブ５６は、第２配管５４に設けられる。第２バルブ５６は、加工液排出口４０から加工液ＬＱが排出される間、閉じられる。図４Ａにおいて黒塗りの第２バルブ５６は、閉状態である。
　ここで、仮に、実施形態と同様にワイヤパイプ３４が加工液排出口４０に通される場合、ワイヤパイプ３４は第１配管５０の中まで延びる。この場合、第１バルブ５２の開閉が、第１配管５０中のワイヤパイプ３４に阻害されるおそれがある。第１バルブ５２を閉じる前にワイヤパイプ３４を撤去してもよいが、工数がかかる。
　これを踏まえ、アーム２２１は、ワイヤ排出口５８を有する。ワイヤ排出口５８は、第２部分３２に形成される開口部である。ワイヤ排出口５８は、加工液排出口４０とは別の箇所に形成される。ワイヤパイプ３４は、加工液排出口４０ではなく、ワイヤ排出口５８に通される。これにより、第１バルブ５２の開閉は、ワイヤパイプ３４に阻害されない。したがって、第１バルブ５２を閉じるためにワイヤパイプ３４を撤去する必要がない。
　図４Ｂは、第２バルブ５６が開かれた場合における流体ＦＬの流動を示す図である。図４Ａと同様に、実施形態で説明済の要素の図示は、可能な限り省略する。
　第２バルブ５６は、加工液排出口４０から加工液ＬＱが排出されない場合に、開かれる。図４Ｂにおいて白塗りの第２バルブ５６は、開状態である。
　第２バルブ５６が開かれることで、流体ＦＬが第２配管５４を通じて第１配管５０に流れ込む。なお、第２配管５４には、ポンプが設けられてもよい。このポンプは、第２バルブ５６が開かれている間に、第１配管５０に向かって流体ＦＬを強制的に流動させる。
　第１配管５０に流れた流体ＦＬは、加工液排出口４０を通って、アーム２２１の内部２８に流れ込む。アーム２２１の内部２８に流れ込んだ流体ＦＬは、アーム２２１の内部２８に存在する汚れ等と一緒に、加工液侵入口３８から排出される。これにより、アーム２２１の内部２８が洗浄される。
　第２バルブ５６が開かれる場合、第１バルブ５２は閉じられると、好ましい。これにより、アーム２２１の内部２８に向かって、流体ＦＬをより確実に流し込むことができる。図４Ｂにおいて黒塗りの第１バルブ５２は、閉状態である。
　（変形例２）
　加工液侵入口３８は、第１部分３０の下部以外の箇所に形成されてもよい。例えば、加工液侵入口３８は、第１部分３０の上部または側部に形成されてもよい。
　（複数の変形例の組み合わせ）
　前述の各変形例は、矛盾が生じない範囲内で適宜組み合わされてもよい。
　［実施形態から得られる発明］
　以下には、上記実施形態および変形例から把握しうる発明が記載される。
　一発明は、加工液（ＬＱ）中でワイヤ電極（２４）と加工対象物（Ｗ）との間に放電を発生させることで前記加工対象物を加工するワイヤ放電加工機（１０）であって、前記加工液を貯留し、前記加工対象物を収容する加工槽（１２）と、前記加工槽を貫通し、前記加工対象物を通過した前記ワイヤ電極を前記加工槽の外に導くために前記ワイヤ電極が挿通される中空形状のアーム（２２）と、前記加工槽と前記アームとの相対位置関係を、少なくとも前記アームの延び方向に変化させる駆動機構（１４）と、前記アームのうち、前記相対位置関係の前記延び方向の変化に拘らず前記加工槽の内に位置する第１部分（３０）に形成され、前記加工液を前記アームの内部（２８）に導く加工液侵入口（３８）と、前記アームのうち、前記相対位置関係の前記延び方向の変化に拘らず前記加工槽の外に位置する第２部分（３２）に形成され、前記加工液侵入口から侵入した前記加工液を前記アームの外部に排出する加工液排出口（４０）と、を有する、ワイヤ放電加工機である。
　これにより、アームの全体が、加工槽内の加工液の液温に応じて調温されるので、放電加工中にアームの長さが変化することが抑制される。
　前記ワイヤ放電加工機は、前記加工液侵入口または前記加工液排出口から前記アームの前記内部に侵入したエア（Ａ）を抜くためのエア抜き口（４２）をさらに有してもよい。これにより、アームの内部をより多くの加工液で満たすことができる。
　前記ワイヤ放電加工機は、前記加工液侵入口から前記アームの前記内部にスラッジが入ることを防止するフィルタ（４４）をさらに備えてもよい。これにより、アームの内部がスラッジに汚されることが防止される。
　前記ワイヤ放電加工機は、前記加工液排出口から排出された前記加工液が流れる第１配管（５０）と、前記第１配管に設けられる第１バルブ（５２）と、前記第１配管のうち前記加工液排出口と前記第１バルブとの間に接続され、前記アームの前記内部を洗浄するための流体（ＦＬ）が前記第１配管に向かって流れる第２配管（５４）と、前記第２配管に設けられる第２バルブ（５６）と、をさらに備えてもよい。これにより、流体によってアームの内部を洗浄することができる。
１０、１０１…ワイヤ放電加工機　　　　　１２…加工槽
１４…駆動機構　　　　　　　　　　　　　２２、２２１…アーム
２４…ワイヤ電極　　　　　　　　　　　　２８…アームの内部
３０…第１部分　　　　　　　　　　　　　３２…第２部分
３８…加工液侵入口　　　　　　　　　　　４０…加工液排出口
４２…エア抜き口　　　　　　　　　　　　４４…フィルタ
５０…第１配管　　　　　　　　　　　　　５２…第１バルブ
５４…第２配管　　　　　　　　　　　　　５６…第２バルブ
ＦＬ…流体　　　　　　　　　　　　　　　ＬＱ…加工液
Ｗ…加工対象物

Claims (4)

  1. 　加工液（ＬＱ）中でワイヤ電極（２４）と加工対象物（Ｗ）との間に放電を発生させることで前記加工対象物を加工するワイヤ放電加工機（１０）であって、
    　前記加工液を貯留し、前記加工対象物を収容する加工槽（１２）と、
    　前記加工槽を貫通し、前記加工対象物を通過した前記ワイヤ電極を前記加工槽の外に導くために前記ワイヤ電極が挿通される中空形状のアーム（２２）と、
    　前記加工槽と前記アームとの相対位置関係を、少なくとも前記アームの延び方向に変化させる駆動機構（１４）と、
    　前記アームのうち、前記相対位置関係の前記延び方向の変化に拘らず前記加工槽の内に位置する第１部分（３０）に形成され、前記加工液を前記アームの内部（２８）に導く加工液侵入口（３８）と、
    　前記アームのうち、前記相対位置関係の前記延び方向の変化に拘らず前記加工槽の外に位置する第２部分（３２）に形成され、前記加工液侵入口から侵入した前記加工液を前記アームの外部に排出する加工液排出口（４０）と、
    　を有する、ワイヤ放電加工機。
  2. 　請求項１に記載のワイヤ放電加工機であって、
    　前記加工液侵入口または前記加工液排出口から前記アームの前記内部に侵入したエア（Ａ）を抜くためのエア抜き口（４２）をさらに有する、ワイヤ放電加工機。
  3. 　請求項１または２に記載のワイヤ放電加工機であって、
    　前記加工液侵入口から前記アームの前記内部にスラッジが入ることを防止するフィルタ（４４）をさらに備える、ワイヤ放電加工機。
  4. 　請求項１～３のいずれか１項に記載のワイヤ放電加工機であって、
    　前記加工液排出口から排出された前記加工液が流れる第１配管（５０）と、
    　前記第１配管に設けられる第１バルブ（５２）と、
    　前記第１配管のうち前記加工液排出口と前記第１バルブとの間に接続され、前記アームの前記内部を洗浄するための流体（ＦＬ）が前記第１配管に向かって流れる第２配管（５４）と、
    　前記第２配管に設けられる第２バルブ（５６）と、
    　をさらに備える、ワイヤ放電加工機。
PCT/JP2022/006177 2022-02-16 2022-02-16 ワイヤ放電加工機 WO2023157125A1 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2022/006177 WO2023157125A1 (ja) 2022-02-16 2022-02-16 ワイヤ放電加工機
TW112105099A TW202333876A (zh) 2022-02-16 2023-02-14 金屬線放電加工機

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2022/006177 WO2023157125A1 (ja) 2022-02-16 2022-02-16 ワイヤ放電加工機

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2023157125A1 true WO2023157125A1 (ja) 2023-08-24

Family

ID=87577819

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2022/006177 WO2023157125A1 (ja) 2022-02-16 2022-02-16 ワイヤ放電加工機

Country Status (2)

Country Link
TW (1) TW202333876A (ja)
WO (1) WO2023157125A1 (ja)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63312025A (ja) * 1987-06-11 1988-12-20 Mitsubishi Electric Corp ワイヤ放電加工装置のワイヤ電極回収機構
JP2006224215A (ja) * 2005-02-16 2006-08-31 Seibu Electric & Mach Co Ltd ワイヤ放電加工機
JP2009166240A (ja) * 2009-05-07 2009-07-30 Mitsubishi Electric Corp ワイヤ放電加工装置のワイヤ自動供給装置
JP2012200854A (ja) * 2011-03-28 2012-10-22 Seibu Electric & Mach Co Ltd ワイヤ放電加工機、ヘッド制御方法、及びそのプログラム
WO2012144327A1 (ja) * 2011-04-19 2012-10-26 有限会社倉敷システムデザイン 放電加工装置
JP2015196239A (ja) * 2014-04-03 2015-11-09 ファナック株式会社 上下ガイドの熱変位補正機能を有するワイヤ放電加工機

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63312025A (ja) * 1987-06-11 1988-12-20 Mitsubishi Electric Corp ワイヤ放電加工装置のワイヤ電極回収機構
JP2006224215A (ja) * 2005-02-16 2006-08-31 Seibu Electric & Mach Co Ltd ワイヤ放電加工機
JP2009166240A (ja) * 2009-05-07 2009-07-30 Mitsubishi Electric Corp ワイヤ放電加工装置のワイヤ自動供給装置
JP2012200854A (ja) * 2011-03-28 2012-10-22 Seibu Electric & Mach Co Ltd ワイヤ放電加工機、ヘッド制御方法、及びそのプログラム
WO2012144327A1 (ja) * 2011-04-19 2012-10-26 有限会社倉敷システムデザイン 放電加工装置
JP2015196239A (ja) * 2014-04-03 2015-11-09 ファナック株式会社 上下ガイドの熱変位補正機能を有するワイヤ放電加工機

Also Published As

Publication number Publication date
TW202333876A (zh) 2023-09-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100830485B1 (ko) 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
JP4282598B2 (ja) 濾過装置及び該濾過装置を洗浄する方法
JP2006501986A5 (ja)
WO2023157125A1 (ja) ワイヤ放電加工機
CN111715631A (zh) 管件清洗设备
JP2013163161A (ja) 筒状体洗浄装置、及び筒状体洗浄方法
KR200493825Y1 (ko) 세정기, 대상물의 세정 및 건조 방법
CN102463239A (zh) 管件内表面喷淋清洗设备
JP2006310759A (ja) 基板処理装置
JP2010099813A (ja) ワイヤ放電加工装置及びその液面制御方法
JP3815328B2 (ja) ワイヤ放電加工装置
US20190232342A1 (en) Device and method for cleaning a workpiece
JP4942627B2 (ja) 放電加工装置及び放電加工の段取り方法
JPH05129269A (ja) ウエツト処理装置及びその制御方法
EP0667202B1 (en) Protective construction of sealing mechanism for processing liquid vessel in wire electrical discharge machine
KR20160026724A (ko) 린스조 및 해당 린스조를 사용한 기판 세정 방법
JP2002198343A (ja) 基板処理装置
CN201871514U (zh) 管件内表面喷淋清洗设备
JP2007165653A (ja) 気泡除去方法及び気泡除去装置
KR20200099315A (ko) 진공밸브
CN217369466U (zh) 一种自清洁式晶圆清洗机台
KR20170089417A (ko) 와이어 가이드 어셈블리
JP2018160506A (ja) 基板処理装置およびノズル構造
JP3669813B2 (ja) 浸漬式ワイヤ放電加工機
KR100558539B1 (ko) 식각조 커버 클리닝 툴

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 22927028

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2024500768

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A