KR200493825Y1

KR200493825Y1 - 세정기, 대상물의 세정 및 건조 방법

Info

Publication number: KR200493825Y1
Application number: KR2020190003370U
Authority: KR
Inventors: 토요아키 미츠에; 후쿠시 타무라
Original assignee: 가부시키가이샤 스기노 마신
Priority date: 2018-11-22
Filing date: 2019-08-14
Publication date: 2021-06-09
Also published as: DE202019105406U1; JP6808702B2; JP2020081948A; KR20200001116U; CN210546601U

Abstract

진공 건조기에 바람직하게 적용할 수 있는 세정기를 제공한다. 세정기(10)는, 대상물(21)을 탑재하는 탑재면(13A) 및 프레임(15)을 갖는 폐쇄판(13)과, 주요 세정면(21A)이 탑재면과 다른 방향을 향하도록 탑재면과 간격을 두고 대상물(21)을 지지하는 지지체(19)와, 노즐 이동 장치(33)와, 회전축(5)을 중심으로 회전 가능하게 노즐 이동 장치에 배치되어 폐쇄판을 따라 간격에 삽입될 수 있는 노즐(25)과, 개구(43A) 및 밀착면(41)을 갖고, 맞댐 위치에서 밀착면이 프레임(15)과 밀착해 대상물 및 지지체를 수납하는 감압 용기(43)와, 감압 용기를 맞댐 위치와 이격 위치로 이동시키는 용기 이동 장치(45)와, 감압 펌프(49)를 구비한다.

Description

세정기, 대상물의 세정 및 건조 방법{WASHING MACHINE, AND METHOD OF WASHING AND DRYING OBJECT}

본 고안은 세정기, 대상물의 세정 및 건조 방법에 관한 것이다.

복수의 공구를 배치한 터렛(turret)을 포함하는 세정기가 제안되어 있다(예를 들면, 일본특허 제5432943호). 또한, 건조 용기와, 건조 용기에 대해 상대적으로 이동 가능해 소정의 각도로 위치 결정할 수 있는 탑재대를 포함하는 건조기가 제안되어 있다(일본특허 제6128688호).

진공 건조기에 바람직하게 적용 가능한 세정기를 제공한다.

본 고안의 제1 측면은, 세정기로서,

주요 세정 대상 부위를 포함하는 주요 세정면을 갖는 대상물을 탑재하는 탑재면 및 상기 탑재면을 둘러싸도록 배치된 프레임을 갖는 폐쇄판과,

상기 주요 세정면이 상기 탑재면과 다른 방향을 향하도록 상기 탑재면과 간격을 두고 상기 대상물을 상기 폐쇄판에 지지하는 지지체와,

노즐 이동 장치와,

분출구를 갖고, 제1 회전축을 중심으로 회전 가능하게 상기 노즐 이동 장치에 배치되어 상기 폐쇄판을 따라 상기 간격에 삽입될 수 있는 노즐과,

개구 및 상기 개구의 주위에 배치된 밀착면을 갖고, 맞댐 위치에서 상기 밀착면이 상기 프레임과 밀착해 상기 대상물 및 상기 지지체를 수납하는 감압 용기와,

상기 감압 용기를 상기 맞댐 위치와 이격 위치로 이동시키는 용기 이동 장치와,

상기 감압 용기와 접속된 감압 펌프를 포함한다.

본 고안의 제2 측면은, 세정 및 건조 방법으로서,

노즐이 액체 분류(噴流)를 생성하고,

상기 노즐이 상기 대상물의 주요 세정면을 세정하고,

상기 노즐이 대상물과 폐쇄판의 간격에 상기 폐쇄판을 따라 삽입되어, 상기 대상물의 폐쇄판에 대향하는 부위를 세정하고,

상기 폐쇄판이 회전해 건조 위치로 위치 결정되고,

상기 폐쇄판에 감압 용기가 밀착해 밀폐 용기를 구성하고,

상기 밀폐 용기를 감압해 상기 대상물에 부착된 액체를 증발시키고,

상기 감압 용기가 상기 폐쇄판으로부터 이격되는 방법이다.

세정은 디버링(deburring)을 포함한다.

세정 대상 부위란, 대상물의 부분 중 세정의 목표가 되는 부분을 말한다. 예를 들면, 세정 대상 부위는 헤드 실린더의 워터 재킷, 암나사, 오일 홀, 핀 홀, 접촉면이나 슬리브 홀이다.

주요 세정면이란, 대상물의 주요 세정 대상 부위를 포함하는 면이나 세정 대상 부위의 대부분을 포함하는 면을 말한다. 주요 세정면은 복수 면 설정되어도 된다. 예를 들어, 대상물이 헤드 실린더인 경우, 주요 세정면은 블록 실린더 접촉면이나 캠 캡 부착면이다. 예를 들어, 대상물이 트랜스 액슬 케이스라면, 주요 세정면은 트랜스 액슬 하우징 접촉면이다.

건조 위치는, 감압 용기가 폐쇄판에 맞닿을 때의 폐쇄판이나 지그 회전 장치의 위치를 말한다.

대상물이 폐쇄판에 탑재되었을 때, 주요 세정면은 탑재면의 다른 쪽을 향한다. 환언하면, 주요 세정면은 탑재면과 대향하지 않는다. 대상물은 복수 개 탑재되어도 된다.

대상물이 폐쇄판에 복수 개 탑재되는 경우, 프레임도 복수 개 배치되어도 된다. 프레임은 대상물과 같은 개수 마련되어도 된다.

바람직하게는, 지그 회전 장치와 회전 가능한 노즐을 양쪽 모두 구비한다. 지그 회전 장치의 회전축과 노즐의 회전축은 직교한다. 지그 회전 장치를 구비하지 않는 경우, 노즐은 폐쇄판과 평행하게 연장된다.

폐쇄판은 관통하는 개구를 갖지 않다. 폐쇄판은 감압 용기의 개구를 폐쇄한다. 폐쇄판과 감압 용기는 일체가 되어 밀폐 용기를 구성한다. 탑재면은 평면이나 산형상으로 해도 된다.

지그 회전 장치는 폐쇄판을 건조 위치로 위치 결정할 수 있다.

감압 용기는 맞댐 위치와 이격 위치의 사이를 이동한다. 감압 용기는 맞댐 위치에서 건조 위치에 있는 폐쇄판에 맞닿을 수 있다. 감압 용기는 폐쇄판에 맞닿아 밀폐 용기를 형성한다.

밀봉체는 밀착면 또는 프레임의 어느 한쪽에 배치된다. 밀착면 또는 프레임의 다른 쪽은 밀봉체에 밀착된다. 밀봉체는 밀착면과 프레임의 틈새를 밀봉한다.

프레임은 탑재면을 둘러싼다. 프레임은 감압 용기가 폐쇄판과 접합할 때, 폐쇄판에 감압 용기가 접근하는 방향으로부터 보아 대상물 및 지지체를 둘러싸도록 배치된다.

또한, 건조 방법은 폐쇄판이 회전해 대상물, 지지체나 폐쇄판에 부착된 세정액을 털어내도 된다.

또한, 건조 방법은 건조 기체 분류를 대상물에 분사해도 된다.

또한, 건조 방법은 건조 기체 분류를 대상물을 향해 분사하면서, 대상물을 회전시켜도 된다.

건조 방법은 상기의 3개의 방법을 자유롭게 조합해 이용해도 된다.

본 고안은 진공 건조기에 바람직하게 적용할 수 있는 세정기를 제공한다.

도 1은 제1 실시 형태의 세정기이다.
도 2는 도 1의 II-II선을 따른 단면도이다.
도 3은 제1 실시 형태의 세정 방법을 나타낸 플로우차트이다.
도 4는 제1 실시 형태에 따른 세정기의 사용 상황을 나타낸 도면이다.
도 5는 제1 실시 형태에 따른 세정기의 사용 상황을 나타낸 도면이다.
도 6은 제2 실시 형태에 따른 세정기의 지그의 단면도이다.
도 7은 도 6의 화살표 Ⅶ 방향으로부터 본 도면이다.
도 8은 도 6의 화살표 Ⅷ 방향으로부터 본 도면이다.
도 9는 제3 실시 형태의 세정기이다.
도 10은 제3 실시 형태의 세정 방법을 나타내는 플로우차트이다.

(제1 실시 형태)

도 1은 도 2의 I-I선을 따른 단면도를 나타낸다. 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 제1 실시 형태의 세정기(10)는 지그(12), 노즐(25), 펌프(31), 이동 장치(33), 감압 용기(43), 용기 이동 장치(45) 및 감압 펌프(49)를 포함한다. 세정기(10)는 지그 회전 장치(11), 밀봉체(17) 및 기체 공급 장치(51)를 포함해도 된다. 세정기(10)는 대상물(21)을 세정하고 건조한다. 한편, 도 1에서 노즐(25)은 II-II선의 배면에 위치하고 있기 때문에, 도 2에서는 노즐(25)을 2점쇄선으로 나타낸다.

지그(12)는 폐쇄판(13) 및 지지체(19)를 포함한다. 지그(12)는 밀봉체(17)를 포함해도 된다.

폐쇄판(13)은 평판상이며, 탑재면(13A) 및 프레임(15)을 구비한다. 폐쇄판(13)에는 개구부가 마련되지 않는다. 탑재면(13A)은 폐쇄판(13)의 중앙에 마련된다. 탑재면(13A)은 평면이다. 프레임(15)은 탑재면(13A)의 주위를 둘러싼다. 폐쇄판(13)의 수직 방향으로부터 보아, 프레임(15)은 대상물(21) 및 지지체(19)를 둘러싸도록 배치된다. 프레임(15)은 평면이다. 프레임(15)은 탑재면(13A)보다 대상물(21)로부터 떨어진 위치에 마련되어도 된다.

지지체(19)는 탑재면(13A)에 배치된다. 지지체(19)는 지지 핀(19A), 위치 결정 핀(미도시) 및 클램프(19B)를 포함해도 된다. 지지체(19)는 대상물(21)을 폐쇄판(13)에 간격을 두고 지지한다. 클램프(19B)는 대상물(21)을 지지한다.

대상물(21)은 주요 세정면(21A) 및 배면 세정 부위(21B)를 포함한다. 대상물(21)은 주요 세정면(21A)이 탑재면(13A)과 다른 방향(도면에서는 반대 방향)을 향하도록 지지체(19)에 지지된다. 대상물(21)이 지지체(19)에 지지되었을 때, 배면 세정 부위(21B)는 폐쇄판(13)을 향한다. 배면 세정 부위(21B)는 폐쇄판(13)과 대상물(21)의 간격에 면하고 있다. 배면 세정 부위(21B)와 폐쇄판(13)의 간격의 길이를 간격 길이(55)라고 한다. 탑재면(13A)을 따라, 배면 세정 부위(21B)로부터 폐쇄판(13) 단면(端面)까지의 길이를 삽입 길이(56)라고 한다.

지그 회전 장치(11)는, 예를 들면 NC 원테이블이다. 지그 회전 장치(11)는 회전축(3)을 중심으로 하여 폐쇄판(13)을 회전시킨다. 지그 회전 장치(11)는 폐쇄판(13)의 회전 방향을 건조 위치로 위치 결정하고 유지할 수 있다. 여기에서, 건조 위치란, 폐쇄판(13)이 감압 용기(43)와 접합할 수 있는 위치이다. 세정기(10)에서, 건조 위치는 폐쇄판(13)이 후술하는 직선 가이드(45A)와 수직이 되는 위치이다.

노즐 이동 장치(이하, '이동 장치(33)'라고 한다)는, X 이동 장치(33X), Z 이동 장치(33Z), Y 이동 장치(33Y), 노즐 회전 장치(이하, '회전 장치(33C)'라고 한다)를 포함한다. 바람직하게는, 이동 장치(33)는 제어 장치(미도시)에 의해 수치 제어된다. X 이동 장치(33X)는 세정기(10)의 정면에서 봤을 때, 좌우 방향(X 방향)으로 이동한다. Z 이동 장치(33Z)는 X 이동 장치(33X)에 설치되고, 정면에서 봤을 때 상하 방향(Z 방향)으로 이동한다. Y 이동 장치(33Y)는 Z 이동 장치에 배치되고, 정면에서 봤을 때 전후 방향(Y 방향)으로 이동한다. 회전 장치(33C)는 Y 이동 장치에 배치되고, 상하 방향으로 배치된 회전축(5)을 중심으로 노즐(25)을 회전시켜 소정 회전 각도에 위치 결정한다. 이동 장치(33)는, 예를 들면 컬럼 트래버스(column-traverse)식의 이동 장치를 이용할 수 있다. 이동 장치(33)는, 예를 들면 일본특허 제6147623호나 제5432943호를 이용할 수 있다.

이동 장치(33)는 수직 다관절 로봇, 스칼라 로봇, 패럴렐 링크 로봇을 이용해도 된다.

노즐(25)은 축체(25A), 분출구(25B) 및 유로(25C)를 포함한다. 노즐(25)은 회전축(5)을 중심으로 회전할 수 있도록 회전 장치(33C)에 배치된다. 축체(25A)는 회전축(5)을 따라 연장된다. 바람직하게는, 축체(25A)는 회전축(5)과 동축이다. 분출구(25B)는 축체(25A)의 선단부에 배치된다. 분출구(25B)는 축체(25A)로부터 돌출되어 배치되어도 된다. 분출구(25B)는 회전축(5)과 다른 방향을 향한다. 바람직하게는, 분출구(25B)는 회전축(5)과 수직인 방향을 향한다. 분출구(25B)는 회전축(5)과 다른 방향으로 분류(9)를 생성한다. 유로(25C)는 축체(25A)의 내부에 배치되어 회전축(5)을 따라 연장된다. 유로(25C)는 분출구(25B)를 회전 장치(33C)에 접속한다. 노즐(25)의 분출구(25B)에서 회전축(5)에 수직인 방향을 따르는 길이(57)는 간격 길이(55)보다 짧다. 노즐(25)의 기단부로부터 분출구(25B)까지의 길이(58)는 삽입 길이(56)보다 길다.

펌프(31)는 회전 장치(33C)와 접속된다. 펌프(31)는 회전 장치(33C)를 통해 분출구(25B)에 접속된다.

용기 이동 장치(45)는 직선 가이드(45A), 직선 블록(45B) 및 실린더(45C)를 포함한다. 직선 가이드(45A)는 고정된다. 직선 가이드(45A)는 1개라도 되고, 한 쌍이 서로 평행으로 배치되어도 된다. 직선 가이드(45A)는 회전축(3)과 수직 방향으로 연장된다. 직선 블록(45B)은 직선 가이드(45A)에 슬라이딩 가능하게 배치된다. 직선 블록(45B)은 감압 용기(43)에 고정된다. 바람직하게는, 실린더(45C)는 에어 실린더이다. 실린더(45C)는 전동 실린더나 유압 실린더라도 된다. 실린더(45C)는 직선 가이드(45A)를 따라 신축하도록 배치된다. 실린더(45C)는 직선 가이드(45A)를 따라 감압 용기(43)를 맞댐 위치와 이격 위치로 이동시킨다. 여기에서, 맞댐 위치는 감압 용기(43)가 폐쇄판(13)과 밀착하는 위치를 말한다. 이격 위치는 감압 용기(43)가 폐쇄판(13)으로부터 이격되는 위치를 말한다.

감압 용기(43)는 밀착면(41) 및 개구부(43A)를 포함한다. 감압 용기(43)는 상자 형상이다. 밀착면(41)은 개구부(43A)의 주위에 배치된다. 밀착면(41)은 프레임(15)과 실질적으로 동일한 형상을 갖는다. 밀착면(41)은 프레임(15)에 밀착될 수 있다. 감압 용기(43)는 폐쇄판(13)에 접했을 때, 지지체(19) 및 대상물(21)을 수용할 수 있는 넓이를 갖는다. 감압 용기(43)는 폐쇄판(13)과 결합해 밀폐 용기(47)(도 5 참조)를 형성한다.

프레임(15)에 장착홈(17A)이 배치되어도 된다. 장착홈(17A)은 탑재면(13A)의 전체 둘레를 둘러싼다. O-링인 밀봉체(17)는 장착홈(17A)에 장착된다. 밀착면(41)은 프레임(15)과 밀착될 때, 밀착면(41)이 밀봉체(17)를 가압한다.

밀봉체(17)는 링 형상의 고무판이어도 된다. 밀봉체(17)는 밀착면(41)에 마련해도 된다.

감압 펌프(49)는 감압 용기(43)와 접속된다. 감압 펌프(49)는 밀폐 용기(47)의 내부를 배기한다. 기체 공급 장치(51)는 감압 용기와 접속된다. 기체 공급 장치(51)는 감압된 밀폐 용기(47) 내에 기체를 공급해, 감압 용기 안팎의 압력을 실질적으로 동일하게 한다. 기체 공급 장치(51)는 진공 파괴 밸브나 기체 공급 밸브를 이용할 수 있다.

감압 펌프(49)의 배기구를 기체 공급 장치(51)에 접속해도 된다. 이 경우, 기체 공급 장치(51)를 통해 감압 펌프(49)의 배기를 밀폐 용기(47)의 내부에 공급한다.

또한, 세정기(10)는 에어 블로우 노즐(53)을 포함해도 된다. 에어 블로우 노즐(53)은 배관(54)에 마련되고, 좌우 방향으로 나란히 배치되어도 된다. 에어 블로우 노즐(53)은 대상물(21)을 향해 건조 공기를 분출한다. 에어 블로우 노즐(53)은 대상물(21), 폐쇄판(13) 및 지지체(19)가 회전하는 영역의 외부에 배치되어도 된다.

도 3∼도 5를 참조해 세정 및 건조 방법을 설명한다.

대상물(21)을 지지체(19)에 장착한다. 펌프(31)가 기동해 세정액을 가압한다. 펌프(31)는 세정액을 노즐(25)로 보낸다. 분출구(25B)는 분류(9)를 생성한다(S1).

노즐(25)은 주요 세정면(21A)을 세정한다. 이동 장치(33)는 노즐(25)을 주요 세정면(21A)에 대향시키고, 세정 대상 개소에 분류(9)를 차례로 충돌시킨다. 분류(9)는 세정 대상 개소에 충돌해, 세정 대상 개소에 부착된 이물질이나 버(burr)를 제거한다(S2).

지그 회전 장치(11)는 폐쇄판(13)을 회전축(5)과 평행이 되도록 위치 결정한다. 도 4에 나타낸 바와 같이, 이동 장치(33)는 노즐(25)을 대상물(21)과 폐쇄판(13)의 간격에 삽입한다(S3).

한편, 이동 장치(33)는 노즐(25)을 대상물(21)과 폐쇄판(13)의 간격에 삽입하기 전에, 분출구(25B)를 폐쇄판(13)으로부터 대상물(21)을 향하는 방향으로 위치 결정해도 된다.

노즐(25)은 대상물(21) 중 폐쇄판(13)에 대향하는 면을 세정한다. 이동 장치(33)는 노즐(25)을 배면 세정 부위(21B)에 대향시켜, 분류(9)를 배면 세정 부위(21B)에 충돌시킨다. 분류(9)는 배면 세정 부위(21B)에 부착된 이물질이나 버를 제거한다(S4).

길이(57)가 간격 길이(55)보다 짧고, 길이(58)가 삽입 길이(56)보다 길기 때문에, 분출구(25B)를 배면 세정 부위(21B)에 대향시킬 수 있다.

펌프(31)는 세정액의 토출을 정지한다. 노즐(25)은 분류(9)의 생성을 정지한다. 이동 장치(33)는 노즐(25)을 폐쇄판(13) 및 대상물(21)로부터 퇴피시킨다(S5).

지그 회전 장치(11)는 폐쇄판(13)을 건조 위치로 위치 결정한다(S6). 스텝 S6에 앞서, 지그 회전 장치(11)는 폐쇄판(13)을 회전시켜, 대상물(21), 폐쇄판(13)및 지지체(19)에 부착된 세정액을 털어내도 된다. 스텝 S6에 앞서서 또는 스텝 S6와 동시에, 에어 블로우 노즐(53)로부터 대상물(21)을 향해 건조 공기를 분출시켜도 된다.

용기 이동 장치(45)는 감압 용기(43)를 맞댐 위치로 이동시킨다. 도 5에 나타낸 바와 같이, 밀착면(41)이 프레임(15)에 밀착되어, 폐쇄판(13)이 개구부(43A)를 폐쇄한다. 그리고, 감압 용기(43)는 폐쇄판(13)과 함께 밀폐 용기(47)를 형성한다. 밀봉체(17)는 밀착면(41)과 프레임(15)의 틈새를 밀봉한다. 대상물(21) 및 지지체(19)는 밀폐 용기(47)에 수용된다(S7). 폐쇄판(13)에 개구가 마련되어 있지 않기 때문에, 폐쇄판(13)과 감압 용기(43)만으로 밀폐 용기(47)를 구성할 수 있다.

감압 펌프(49)를 구동한다. 감압 펌프(49)는 감압 용기 내를 감압한다. 대상물(21), 폐쇄판(13) 및 지지체(19)에 부착된 세정액은 주위로부터 증발 잠열을 빼앗아 증발한다. 대상물(21)이 건조된다(S8).

기체 공급 장치(51)는 기체를 밀폐 용기(47)로 보낸다. 밀폐 용기(47)의 내부는 외기압과 실질적으로 동일한 압력이 된다. 계속해서, 용기 이동 장치(45)는 감압 용기(43)를 이격 위치로 이동시킨다. 감압 용기(43)는 폐쇄판(13)으로부터 이격된다. 대상물(21)은 지지체(19)로부터 분리 가능한 상태가 된다(S9).

분류를 이용한 로봇 세정기에서는, 통상적으로 대상물을 노출시키기 위한 개구가 지그에 배치된다. 개구를 지난 세정액의 분류가 대상물에 충돌할 수 있기 때문에, 대상물에서 지그에 대향하는 면을 세정할 수 있다. 그러나, 폐쇄판에 개구를 마련하면, 폐쇄판 개구의 양측을 용기나 덮개로 밀폐할 필요가 생긴다. 폐쇄판의 개구의 한쪽에 감압 용기를 마련하고 다른 쪽에 덮개를 마련하여, 감압 용기 및 덮개를 폐쇄판과 밀착시켜 밀폐 용기(47)를 형성하면, 장치가 복잡하게 된다.

따라서, 세정기(10)는 폐쇄판(13)을 개구가 없는 평판으로 구성하고, 주요 세정면(21A)을 폐쇄판(13)과 다른 방향에 배치하고, 폐쇄판(13)과 대상물(21) 사이에 간격을 마련했다. 폐쇄판(13)을 따라 폐쇄판과 대상물 사이의 간격에 노즐(25)을 삽입할 수 있도록 했다. 이들 구성에 의해, 개구가 없는 폐쇄판(13)을 이용한 경우라도, 분류(9)가 대상물(21)의 전체면에 충돌할 수 있다. 주요 세정면(21A)은 폐쇄판(13)과 다른 방향을 향하기 때문에, 노즐(25)은 주요 세정면(21A)을 세정하기 쉽다.

세정기(10)는 세정기 및 건조기의 기능을 겸비한다. 세정기(10)를 이용하면 세정기, 건조기 및 세정기와 건조기 사이를 이송하는 이송 장치를 별도로 설치할 필요가 없어, 기계의 설치 면적을 삭감할 수 있다. 또한, 세정기(10)에 의하면, 세정기로부터 건조기로의 반송 시간이나 세정기 및 건조기의 셔터 개폐 시간을 삭감할 수 있다. 그리고 생산 리드 타임을 단축시킬 수 있다.

세정기(10)에 의하면, 폐쇄판(13)에 큰 개구가 없기 때문에, 지그(12)의 강성이 향상된다. 또한, 대상물(21)의 배면측으로부터 폐쇄판(13)의 개구를 막을 필요가 없기 때문에, 구성이 간략해진다.

(제2 실시 형태)

제2 실시 형태의 세정기는 지그(112)를 갖는다. 그 외의 구성은 제1 실시 형태와 동일하다.

도 6은 도 7의 Ⅵ-Ⅵ선을 따른 단면도이다. 편의상, 도 7 및 도 8에서 대상물(21)은 2점쇄선으로 나타낸다. 도 6∼도 8에 나타낸 바와 같이, 제2 실시 형태의 지그(112)는 폐쇄판(113), 기립 플레이트(114), 지지체(19), 프레임(15) 및 밀봉체(17)를 포함한다.

탑재면(113A)은 산형상으로 형성되어 있다. 탑재면(113A)은 서로 접해 배치된 2개의 평면으로 구성된다.

기립 플레이트(114)는 폐쇄판(113)에 수직으로 고정된다. 기립 플레이트(114)는 평판이다. 기립 플레이트(114)에 개구(114A)가 배치된다. 바람직하게는, 개구(114A)는 대상물(21)의 거의 전면을 기립 플레이트(114)로부터 노출시킨다. 개구(114A)는 적어도 기립 플레이트(114)에 대면하는 세정 부위(21C)를 기립 플레이트(114)로부터 노출시킨다. 지지체(19)는 기립 플레이트(114)에 배치된다. 지지체(19)는 대상물(21)을 기립 플레이트에 대해 지지한다. 지지 핀(19A)은 기립 플레이트(114)에 수직으로 배치된다. 클램프(19B)는 기립 플레이트(114)에 배치된다. 클램프(19B)는 대상물(21)을 기립 플레이트(114)에 고정한다.

대상물(21)은 주요 세정면(21A)이 기립 플레이트(114)에 평행이 되도록 지지체(19)에 지지된다. 대상물(21)이 지지체(19)에 지지되었을 때, 주요 세정면(21A)은 폐쇄판(113)이나 기립 플레이트(114)와 다른 방향을 향한다. 주요 세정면(21A)은 기립 플레이트(114)의 반대면을 향하고 있다. 이 때, 배면 세정 부위(21B)는 폐쇄판(113)을 향한다. 탑재면(113A)과 대상물(21) 사이에 간격이 마련된다. 탑재면(113A)과 대상물(21)의 사이에는 간격 길이(55)의 간격이 마련되어 있다. 대상물(21)이 배치되는 방향의 폐쇄판(113)의 단면(端面)으로부터, 대상물(21)의 탑재면까지의 길이를 삽입 길이(56)라고 한다.

여기에서, 간격 길이(55)는 길이(57)보다 길다. 삽입 길이(56)는 길이(58)보다 짧다. 노즐(25)은 폐쇄판(113)과 기립 플레이트(114)와 대상물(21)의 사이에 폐쇄판(113)을 따라 삽입된다.

도 8에 나타낸 바와 같이, 프레임(15)은, 폐쇄판(113)에 수직 방향(Ⅷ 방향)으로부터 보았을 때, 대상물(21), 기립 플레이트(114), 지지체(19)를 둘러싸도록 배치된다. 밀봉체(17)는 프레임(15)에 배치된다.

탑재면(113A)은 산형상이기 때문에, 탑재면(113A)으로부터 세정액이 배출되기 쉽다. 폐쇄판(113)과 감압 용기(43)가 밀폐 용기(47)를 구성했을 때, 밀폐 용기(47)의 내부에 잔류하는 세정액량이 쉽게 감소된다. 밀폐 용기(47)의 내부에 잔류하는 세정액량이 감소되면, 세정액이 증발할 때 폐쇄판(113), 감압 용기(43), 지지체(19)나 대상물(21)로부터 세정액이 빼앗는 증발 잠열이 작아진다. 그러면, 대상물(21)의 온도가 쉽게 낮아지지 않아 대상물(21)을 건조하기 쉽다.

대상물(21)은 기립 플레이트(114)에 탑재하기 때문에, 배면 세정 부위(21B)에 노즐(25)이 접근하기 쉽다. 기립 플레이트(114)는 개구(114A)를 갖기 때문에, 노즐(25)은 기립 플레이트(114)의 이면으로부터 개구(114A)를 통해 분류(9)를 세정 부위(21C)에 충돌시킨다.

(제3 실시 형태)

도 9에 나타낸 바와 같이, 제3 실시 형태의 세정기(200)는 세정실(261), 칸막이판(262), 중간 셔터(263), 건조실(265), 노즐(25), 이동 장치(33), 턴테이블(269), 2개의 지그 회전 장치(11), 2개의 지그(112), 감압 용기(43) 및 용기 이동 장치(45)를 구비한다. 칸막이판(262)은 세정실(261)과 건조실(265)을 구분한다. 칸막이판(262)은 하방에 반송구(262A)를 갖는다. 중간 셔터(263)는 승강하여 반송구(262A)를 개폐한다. 턴테이블(269)은 2개의 테이블면(269A)을 갖는다. 지그 회전 장치(11) 및 지그(112)는 테이블면(269A)의 각각에 배치된다. 턴테이블(269)은 세정실(261) 및 건조실(265)의 아래에 배치된다. 턴테이블(269)은 중간 셔터(263)가 상승하여 반송구(262A)가 개방되었을 때 선회축(269B)을 중심으로 선회해, 2개의 지그(112)의 한쪽을 세정실(261)로, 다른 쪽을 건조실(265)로 나누어 배치한다. 노즐(25), 이동 장치(33)는 세정실(261)에 배치된다. 감압 용기(43) 및 용기 이동 장치(45)는 건조실(265)에 배치된다.

이하, 도 10을 참조해 세정기(200)의 동작을 설명한다. 세정실(261)에서는 세정 공정(스텝 S1∼S5)이 실행된다. 건조실(265)에서는 건조 공정(스텝 S6∼S9)이 실행된다. 건조실(265)에서는, 건조 공정이 완료된 후, 건조실(265) 내의 지그(112)로부터 대상물(21)이 취출된다(S21). 건조실(265) 내의 지그(112)에 새로운 대상물(21)을 장착한다(S22). 스텝 S1∼S5는, 스텝 S6∼S9 및 스텝 S21∼S22와 병행해 실행된다. 다음으로, 중간 셔터(263)가 반송구(262A)를 개방한다(S23). 마지막으로, 턴테이블(269)이 선회한다(S24). 그러면, 세정실(261) 내에서 세정된 대상물(21)이 건조실(265)로 이동하고, 새롭게 탑재된 대상물(21)이 세정실(261)로 이동한다. 세정기(200)에 의하면, 세정 공정과 건조 공정을 병행해 실행할 수 있다.

한편, 본 고안은 전술한 실시 형태로 한정되지 않고, 본 고안의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지 변형이 가능하고, 특허 청구의 범위에 기재된 기술 사상에 포함되는 기술적 사항 전부가 본 고안의 대상이 된다. 상기 실시 형태는 바람직한 예를 나타낸 것이지만, 당업자라면 본 명세서에 개시된 내용으로부터 각종 대체예, 수정예, 변형예 혹은 개량예를 실현할 수 있으며, 이들은 첨부하는 특허 청구의 범위에 기재된 기술적 범위에 포함된다.

13, 113 폐쇄판
13A, 113A 탑재면
15 프레임
17 밀봉체
19 지지체
21 대상물
21A 주요 세정면
21B 배면 세정 부위
25 노즐
33 이동 장치(노즐 이동 장치)
41 밀착면
43 감압 용기
45 용기 이동 장치
49 감압 펌프

Claims

주요 세정 대상 부위를 포함하는 주요 세정면을 갖는 대상물을 탑재하는 탑재면 및 상기 탑재면을 둘러싸도록 배치된 프레임을 갖는 폐쇄판과,
상기 주요 세정면이 상기 탑재면과 다른 방향을 향하도록 상기 탑재면과 간격을 두고 상기 대상물을 상기 폐쇄판에 지지하는 지지체와,
노즐 이동 장치와,
분출구를 갖고, 제1 회전축을 중심으로 회전 가능하게 상기 노즐 이동 장치에 배치되어 상기 폐쇄판을 따라 상기 간격에 삽입될 수 있는 노즐과,
개구 및 상기 개구의 주위에 배치된 밀착면을 갖고, 맞댐 위치에서 상기 밀착면이 상기 프레임과 밀착해 상기 대상물 및 상기 지지체를 수납하는 감압 용기와,
상기 감압 용기를 상기 맞댐 위치와 이격 위치로 이동시키는 용기 이동 장치와,
상기 감압 용기와 접속된 감압 펌프를 구비하고,
상기 대상물이 상기 지지체에 탑재된 상태에서, 상기 대상물은 상기 폐쇄판과 대향하는 방향으로 배치된 배면 세정 부위를 갖고,
상기 노즐의 분출구에서 상기 제1 회전축과 수직인 방향을 따르는 길이가 상기 폐쇄판과 상기 배면 세정 부위의 간격 길이보다 짧은 세정기.
제1항에 있어서,
상기 폐쇄판을 지지하고, 상기 제1 회전축과 수직인 제2 회전축을 중심으로 상기 폐쇄판을 회전시키는 지그 회전 장치를 구비하는 세정기.
제1항에 있어서,
상기 노즐은 상기 제1 회전축을 따라 연장되는 축체를 갖고,
상기 분출구는 상기 축체의 선단부에 상기 축체와 수직으로 배치되는 세정기.
삭제
제2항에 있어서,
상기 지지체는, 상기 주요 세정면이 상기 제2 회전축과 평행, 또는 상기 주요 세정면이 상기 제2 회전축을 포함하도록 상기 대상물을 지지하는 세정기.
제1항 내지 제3항 및 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 프레임 또는 상기 밀착면의 어느 한쪽에 마련되어 상기 프레임과 상기 밀착면의 사이를 밀봉하는 밀봉체를 더 구비하는 세정기.
제1항 내지 제3항 및 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 폐쇄판은 상기 감압 용기를 밀폐하는 세정기.
제1항 내지 제3항 및 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 지지체는 상기 탑재면에 배치되는 세정기.
제1항 내지 제3항 및 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 탑재면에 세워져 배치되는 기립 플레이트를 더 갖고,
상기 지지체는 상기 기립 플레이트에 배치되는 세정기.
제1항 내지 제3항 및 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 탑재면은 상기 대상물을 향해 산형상으로 구성된 세정기.