WO2023017750A1 - 品質管理システム、対象物管理システムおよび対象物管理方法 - Google Patents
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Abstract
対象物を洗浄するための洗浄液に含まれる不純物を濃縮手段に濃縮させた期間を示す濃縮期間情報を取得する取得部（１００）と、対象物固有に付与された対象物識別情報と、対象物を洗浄した期間を示す洗浄期間情報とを対応付けて対応付け情報として記憶するデータベース（２００）と、取得部１００が取得した濃縮期間情報とデータベース（２００）に記憶されている対応付け情報とに基づいて、濃縮期間情報が示す濃縮期間に濃縮手段へ供給された洗浄液に対応する洗浄液を用いて洗浄された対象物を特定する特定部（３００）とを有する。
Description
本発明は、品質管理システム、対象物管理システムおよび対象物管理方法に関する。
近年、半導体デバイス等の電子部品は様々な場面で使用されており、高機能化や高集積化が進んでいる。このような電子部品においては、高い品質を確保する必要があることは言うまでもない。一般的にニーズに応じた電子部品を市場に供給するには、精密な設計工程や、超純水を用いた洗浄処理を含む製造工程、厳密な検査工程等が行われる。例えば、各工程における処理条件とその工程よりも後工程における品質管理条件との関係をあらかじめ記憶しておき、記憶された関係に基づいて、検知された処理条件に対応する品質管理条件を選択し、選択された品質管理条件と検知された品質とに基づいて、半導体装置の良否判定を行う方法が考えられている（例えば、特許文献１参照。）。
上述したような技術における品質管理は、工程ごとの品質管理である。そのため、製造した期間に応じた品質の厳密な管理を行うことが困難であるという問題点がある。
本発明の目的は、期間に応じた品質の厳密な管理を行うことができる品質管理システム、対象物管理システムおよび対象物管理方法を提供することにある。
本発明の品質管理システムは、
対象物を洗浄するための洗浄液に含まれる不純物を濃縮手段に濃縮させた期間を示す濃縮期間情報を取得する取得部と、
前記対象物に固有に付与された対象物識別情報と、該対象物を洗浄した期間を示す洗浄期間情報とを対応付けて対応付け情報として記憶するデータベースと、
前記取得部が取得した濃縮期間情報と、前記データベースに記憶されている対応付け情報とに基づいて、前記濃縮期間情報が示す濃縮期間に前記濃縮手段へ供給された洗浄液に対応する洗浄液を用いて洗浄された対象物を特定する特定部とを有する。
対象物を洗浄するための洗浄液に含まれる不純物を濃縮手段に濃縮させた期間を示す濃縮期間情報を取得する取得部と、
前記対象物に固有に付与された対象物識別情報と、該対象物を洗浄した期間を示す洗浄期間情報とを対応付けて対応付け情報として記憶するデータベースと、
前記取得部が取得した濃縮期間情報と、前記データベースに記憶されている対応付け情報とに基づいて、前記濃縮期間情報が示す濃縮期間に前記濃縮手段へ供給された洗浄液に対応する洗浄液を用いて洗浄された対象物を特定する特定部とを有する。
また、本発明の対象物管理システムは、
対象物を洗浄するための洗浄液の液質を測定する液質測定部と、
前記洗浄液を洗浄槽へ供給する流路に設けられた調整弁と、
前記液質測定部が測定した液質に基づいて、前記調整弁の開閉を制御する開閉制御部とを有する。
対象物を洗浄するための洗浄液の液質を測定する液質測定部と、
前記洗浄液を洗浄槽へ供給する流路に設けられた調整弁と、
前記液質測定部が測定した液質に基づいて、前記調整弁の開閉を制御する開閉制御部とを有する。
また、本発明の対象物管理方法は、
対象物を洗浄するための洗浄液の液質を測定し、
前記測定した液質に基づいて、前記洗浄液を洗浄槽へ供給する流路に設けられた調整弁を用いて、前記対象物を洗浄する洗浄槽への前記洗浄液の供給を制御する。
対象物を洗浄するための洗浄液の液質を測定し、
前記測定した液質に基づいて、前記洗浄液を洗浄槽へ供給する流路に設けられた調整弁を用いて、前記対象物を洗浄する洗浄槽への前記洗浄液の供給を制御する。
本発明においては、期間に応じた品質の厳密な管理を行うことができる。
以下に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
図１は、本発明の品質管理システムの実施の一形態を示す図である。本形態における品質管理システムは図１に示すように、取得部１００と、データベース２００と、特定部３００と、出力部４００とを有する。
取得部１００は、対象物を洗浄するための洗浄液を、その洗浄液に含まれる不純物を濃縮する濃縮手段に濃縮させた期間を示す濃縮期間情報を取得する。ここで、対象物は、例えば、半導体デバイス等の電子部品である。また、濃縮手段は、不純物として金属イオン等の金属不純物を吸着する吸着体である。濃縮手段として、例えば、モノリス状有機多孔質体が挙げられる。濃縮期間情報は、吸着体ごとに記録されて管理されている。濃縮期間情報は、例えば、洗浄液が通液された吸着体固有にあらかじめ付与されている吸着体識別情報と、その吸着体に洗浄液が通液された期間（日時および時間）を示す濃縮期間情報とが、通液記録としてデータベース（不図示。図１に示したデータベース２００であっても良い）に記憶された情報である。取得部１００は、通液記録が記憶されているデータベースから濃縮期間情報を取得しても良い。また、取得部１００は、作業者の外部からの操作（入力）に基づいて取得しても良い。なお、濃縮手段に不純物を濃縮させるために濃縮手段へ供給する洗浄液は、対象物を洗浄する洗浄液のうち少なくとも一部であり、対象物を洗浄する洗浄液すべてを供給する必要はない。また、濃縮手段は、特開２００４－７７２９９号公報に記載されているような逆浸透膜装置や電気脱イオン装置を多段に設けることにより、分析対象物質を濃縮する方法を用いた手段でも良い。また、濃縮手段は、国際公開第２０１２－０７３５６６号公報に記載されているような透過膜を使用した方法を用いた手段でも良い。また、濃縮手段は、特開２００４－１０１４０８号公報に記載されているような試料の表面に濃縮させる方法を用いた手段でも良い。
データベース２００は、対象物固有に付与された対象物識別情報と、その対象物を洗浄した期間を示す洗浄期間情報とを対応付けて対応付け情報として記憶する。
図２は、図１に示したデータベース２００に記憶された対応付け情報の一例を示す図である。図１に示したデータベース２００に記憶された対応付け情報は図２に示すように、対象物識別情報と洗浄期間情報とが対応付けられた情報である。対象物識別情報は、洗浄液を用いて洗浄される対象物固有にあらかじめ付与された識別情報である。この対象物識別情報を用いることで、対象物を識別することができる。対象物識別情報は、対象物を互いに識別できるものであれば良い。対象物識別情報は、例えば、アルファベットや数字を複数組み合わせたものであっても良い。洗浄期間情報は、対象物を洗浄した期間（例えば、時間帯）が識別できるように、洗浄開始の年月日および時刻と洗浄終了の年月日および時刻とを示す情報である。例えば、図２に示すように、対象物識別情報「Ａ０００１０００１」と洗浄期間情報「２０２１／３／１ ００：００：００～２０２１／３／５ ２４：００：００」とが対応付けられている。これは、対象物識別情報「Ａ０００１０００１」が付与されている対象物が、２０２１年３月１日の０時０分０秒から２０２１年３月５日の２４時０分０秒までの間、洗浄液を用いて洗浄されていたことを示している。また、対象物識別情報「Ａ０００２０００１」と洗浄期間情報「２０２１／３／６ ００：００：００～２０２１／３／１０ ２４：００：００」とが対応付けられている。これは、対象物識別情報「Ａ０００２０００１」が付与されている対象物が、２０２１年３月６日の０時０分０秒から２０２１年３月１０日の２４時０分０秒までの間、洗浄液を用いて洗浄されていたことを示している。また、対象物識別情報「Ａ０００３０００１」と洗浄期間情報「２０２１／３／１１ ００：００：００～２０２１／３／１５ ２４：００：００」とが対応付けられている。これは、対象物識別情報「Ａ０００３０００１」が付与されている対象物が、２０２１年３月１１日の０時０分０秒から２０２１年３月１５日の２４時０分０秒までの間、洗浄液を用いて洗浄されていたことを示している。また、対象物識別情報「Ａ０００４０００１」と洗浄期間情報「２０２１／３／１６ ００：００：００～２０２１／３／２０ ２４：００：００」とが対応付けられている。これは、対象物識別情報「Ａ０００４０００１」が付与されている対象物が、２０２１年３月１６日の０時０分０秒から２０２１年３月２０日の２４時０分０秒までの間、洗浄液を用いて洗浄されていたことを示している。この対応付けは、それぞれの対象物の洗浄が終了した後、作業者が行う操作（入力）に基づいてデータベース２００に記憶される。それぞれの対象物の洗浄が終了した後、洗浄開始時期を示す情報と洗浄終了時期を示す情報とがデータベース２００に入力されて記憶されても良い。それぞれの対象物の洗浄が開始された時点で洗浄開始時期を示す情報がデータベース２００に入力されて記憶され、それぞれの対象物の洗浄が終了した時点で洗浄終了時期を示す情報がデータベース２００に入力されて記憶されても良い。
特定部３００は、取得部１００が取得した濃縮期間情報と、データベース２００に記憶されている対応付け情報とに基づいて、対象物を特定する。具体的には、特定部３００は、取得部１００が取得した濃縮期間情報が示す濃縮期間に応じた洗浄期間を示す洗浄期間情報と対応付けられた対象物識別情報をデータベース２００から検索する。そして、特定部３００は、検索した対象物識別情報が付与された対象物を特定する。濃縮期間と洗浄期間との関係は、そのシステムにおける取得部１００が配置された位置と対象物を洗浄する位置との距離（配管距離）およびそれらの間の配管内の流速（配管流速）に依存する。例えば、配管距離が１００ｍであり、配管流速が２ｍ／秒である場合、濃縮期間の５０秒後が洗浄期間となる。つまり、特定部３００は、取得部１００が取得した濃縮期間情報が示す期間と、そのシステムの仕様から得られる処理時間とに基づいて、洗浄期間を算出する。そして、特定部３００は、算出した洗浄期間を示す洗浄期間情報を検索キーとして、当該洗浄期間と対応付けられた対象物識別情報をデータベース２００から検索して対象物を特定する。これにより、特定部３００は、取得部１００が取得した濃縮期間情報が示す濃縮期間に濃縮手段へ少なくとも一部を供給した洗浄液に対応する洗浄液を用いて洗浄された対象物を特定する。
出力部４００は、特定部３００が特定した対象物を示す対象物識別情報を出力する。出力部４００は、対象物識別情報を表示しても良い。また、出力部４００は、他の装置へ送信するものであっても良い。出力部４００の出力態様については限定しない。
以下に、図１に示した品質管理システムにおける処理について説明する。図３は、図１に示した品質管理システムにおける処理の一例を説明するためのフローチャートである。まず、取得部１００が濃縮期間情報を取得する（ステップＳ１）。取得部１００が濃縮期間情報を取得するタイミングは、あらかじめ設定されたタイミング（例えば、周期的）でも良い。また、取得部１００が濃縮期間情報を取得するタイミングは、事後的に連続して行われている水質分析の結果に基づいて外部から要求があったタイミングでも良い。取得部１００は、濃縮期間情報が記憶されているデータベースから濃縮期間情報を取得しても良い。また、取得部１００は、外部からの操作（入力）に基づいて濃縮期間情報を取得しても良い。また、取得部１００は、取得部１００との間で通信可能な他の装置に対して濃縮期間情報を要求し、他の装置から送信されてきた濃縮期間情報を受信して取得しても良い。
続いて、特定部３００は、取得部１００が取得した濃縮期間情報が示す濃縮期間に応じた洗浄期間を算出する。特定部３００は、算出した洗浄期間を示す洗浄期間情報と対応付けられた対象物識別情報をデータベース２００から検索して対象物を特定する（ステップＳ２）。すると、出力部４００は、特定部３００が特定した対象物を示す対象物識別情報を出力する（ステップＳ３）。出力部４００は、特定部３００が特定した対象物を認識可能な情報を出力しても良い。ここで、出力部４００が対象物識別情報を出力することに限定しない。
以下に、本発明の品質管理システムの適用例について説明する。図４は、本発明の品質管理システムを適用した第１の形態を示す図である。図４に示した形態は、超純水製造設備内の非再生型イオン交換装置であるＣＰ２０と、限外ろ過膜装置であるＵＦ３０とを経由して半導体洗浄装置であるＷｅｔ洗浄機６０－１，６０－２（ユースポイント）へ洗浄水である超純水が供給されるシステムである。Ｗｅｔ洗浄機６０－１，６０－２は、洗浄槽でも良い。ＣＰ２０へ供給される超純水は、超純水製造設備の前処理システムから一次純水製造システムへ供給され、一次純水製造システムにて処理されて供給される。図４に示した破線は、洗浄水である超純水の水質を検査するためにユースポイントに供給される超純水の一部を採水した水の流路または制御信号の経路を示す。また、洗浄水が濃縮／溶離／回収装置４０へ分岐する箇所に分岐用のバルブを設け、そのバルブの開閉が制御されても良い。
濃縮／溶離／回収装置４０は上述した濃縮手段である吸着体を具備し、ＣＰ２０の出口水またはＵＦ３０の出口水に含まれる不純物を吸着して取得する。濃縮／溶離／回収装置４０は、不純物を吸着した吸着体に対して溶離液を通液することで、吸着した不純物を溶離して、溶離した不純物を含む溶離液を回収する。ここで使用される溶離液として、例えば、硝酸や、塩酸、硫酸等の酸性の水溶液またはトリメチルヒドロキシアンモニウム、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド（ＴＭＡＨ）等の有機性アルカリのアルカリ性の水溶液が挙げられる。溶離した不純物を回収する際の回収容器として回収ボトルが用いられても良い。ＩＣＰ－ＭＳ５０は、回収された溶離液中の不純物の量を測定し、不純物濃度を算出する装置である。情報処理装置１０は、取得部１００、データベース２００、特定部３００および出力部４００を有する。
図５は、本発明の品質管理システムを適用した第２の形態を示す図である。図５に示した形態では、濃縮／溶離／回収装置４０が具備する吸着体に通液される水が、Ｗｅｔ洗浄機６０－１へ供給される直前の水またはＷｅｔ洗浄機６０－２へ供給される直前の水である点が図４に示した形態と異なる。なお、吸着体に洗浄液を通液する位置は、ＣＰ２０の出口以後の位置であれば良い。また、洗浄水が濃縮／溶離／回収装置４０へ分岐する箇所に分岐用のバルブを設け、そのバルブの開閉が制御されても良い。図４では、Ｗｅｔ洗浄機６０－１，６０－２が２台である場合を例に挙げているが、その数に限定しない。
このように、本発明の品質管理システムは、取得部１００が、対象物を洗浄するための洗浄液を吸着体に通液した期間を示す濃縮期間情報を取得する。特定部３００が、濃縮期間情報が示す期間に基づいて、洗浄期間を算出する。特定部３００が、算出した洗浄期間を示す洗浄期間情報を検索キーとして、データベース２００から対象物識別情報を検索して対象物を特定する。そのため、対象物を洗浄した期間に応じた品質の厳密な管理を行うことができる。
図６は、本発明の対象物管理システムの実施の一形態を示す図である。本形態における対象物管理システムは図６に示すように、液質測定部５００と、調整弁６００と、開閉制御部７００とを有する。
液質測定部５００は、対象物を洗浄するための洗浄液の液質を測定する。液質測定部５００は、洗浄液に含まれる不純物の量（例えば、濃度）を測定する。吸着体を用いて洗浄液に含まれる不純物を濃縮する場合、液質測定部５００は、その吸着体に吸着された不純物の濃度を測定する。液質測定部５００は、吸着体が不純物として金属不純物（例えば、金属イオン）を吸着する場合、吸着体に吸着された金属イオンを、溶離液を用いて溶離させて、吸着体に通液された溶離液に含まれる金属イオンの濃度を測定しても良い。吸着体は、モノリス状有機多孔質体でも良い。液質測定部５００は、図４および図５に示したＩＣＰ－ＭＳ５０でも良い。つまり、液質測定部５００は、例えば、吸着体に吸着された不純物を、溶離液を用いて溶離させて、溶離液を回収し、回収された溶離液中の不純物の量を測定して洗浄液中の不純物量を算出する装置である。ここで、液質測定部５００が測定した結果に基づいて、図１に示した特定部３００が対象部の特定を開始する。例えば、液質測定部５００が測定した不純物の量が所定の量を超えた場合、その洗浄液を用いて洗浄された対象物を特定する必要がある。そのため、特定部３００が対象物の特定を開始する。
調整弁６００は、洗浄液を洗浄槽へ供給する流路に設けられた調整バルブである。調整弁６００が開閉することで、その流路における調整弁６００よりも下流への洗浄液の供給を制御することができる。調整弁６００は、例えば、洗浄液を用いて対象物を洗浄するポイントへの洗浄水の供給を制御することができる。調整弁６００は、開閉制御部７００からの制御信号に基づいて開閉する。調整弁６００の具体的な設置位置については後述する。
開閉制御部７００は、液質測定部５００が測定した液質（つまり、洗浄液中の不純物量）に基づいて、調整弁６００の開閉を制御する。開閉制御部７００は、液質測定部５００が測定した液質が所定の基準値を満たしている場合（つまり、所定の基準値以下の場合）、調整弁６００を開状態とする。また、開閉制御部７００は、液質測定部５００が測定した液質が基準値を満たしていない場合（つまり、所定の基準値を超えている場合）、調整弁６００を閉状態とする。なお、吸着体への単位時間当たりの通水量に大きな変動がなければ、開閉制御部７００は、液質測定部５００が測定した溶離液に含まれる不純物の量に基づいて、調整弁６００の開閉を制御しても良い。このほか、開閉制御部７００は、液質測定部５００が測定した値から洗浄液の水質のレベルを判定することができる値を用いて調整弁６００の開閉を制御しても良い。
図７は、図６に示した開閉制御部７００が行う判断基準と制御内容との一例を示す図である。図７に示した例では、判断の基準値を不純物の濃度の値としている。図７に示すように、不純物の濃度があらかじめ設定された閾値Ｔ以下である場合と、開閉情報「開」とが対応付けられている。この対応付けに基づいて、開閉制御部７００は、液質測定部５００が測定した液質（不純物の濃度）が基準値である閾値Ｔ以下である場合、基準値を満たすものとして、調整弁６００を開状態とする。こうすることで、基準値を満たした洗浄液をユースポイント（洗浄槽）へ供給することができる。また、開閉制御部７００は、液質測定部５００が測定した液質（不純物の濃度）が基準値である閾値Ｔを超えている場合、基準値を満たしていないものとして、調整弁６００を閉状態とする。こうすることで、基準値を満たしていない洗浄液をユースポイント（洗浄槽）へ供給してしまうことを避けることができる。
以下に、図６に示した対象物管理システムにおける対象物管理方法について説明する。図８は、図６に示した対象物管理システムにおける対象物管理方法の一例を説明するためのフローチャートである。ここでは、液質測定部５００は、洗浄液に含まれる不純物の濃度を測定する場合を例に挙げて説明する。
まず、液質測定部５００が、対象物を洗浄するための洗浄液に含まれる不純物の濃度を測定する（ステップＳ１１）。続いて、開閉制御部７００が、液質測定部５００が測定した不純物の濃度があらかじめ設定されている閾値を超えているかどうかを判定する（ステップＳ１２）。液質測定部５００が測定した不純物の濃度が閾値を超えていないと判定された場合、開閉制御部７００は調整弁６００を開状態とする（ステップＳ１３）。このとき、調整弁６００がすでに開状態である場合、開閉制御部７００は調整弁６００を開状態のままに保持する。一方、ステップＳ１２にて液質測定部５００が測定した不純物の濃度が閾値を超えていると判定された場合、開閉制御部７００は調整弁６００を閉状態とする（ステップＳ１４）。このとき、調整弁６００がすでに閉状態である場合、開閉制御部７００は調整弁６００を閉状態のままに保持する。
以下に、本発明の対象物管理システムの適用例について説明する。図９は、本発明の対象物管理システムを適用した第１の形態を示す図である。図９に示した形態は、一次純水が貯留された一次純水タンクの後段に配置された超純水製造設備内の非再生型イオン交換装置であるＣＰ２０と、限外ろ過膜装置であるＵＦ３０と、調整弁６００とを経由して半導体洗浄装置であるＷｅｔ洗浄機６０－１，６０－２（ユースポイント）へ洗浄水である超純水が供給されるシステムである。ＣＰ２０、ＵＦ３０およびＷｅｔ洗浄機６０－１，６０－２それぞれは、図４に示したものとそれぞれ同じものである。また、一次純水タンクとＣＰ２０との間には、例えば、ポンプ、熱交換器、ＵＶ酸化装置等が設けられていても良い。調整弁６００は、図６を用いて説明したものであって、ＵＦ３０からの水のＷｅｔ洗浄機６０－１，６０－２への供給を制御する。ＣＰ２０へ供給される超純水は、上流に設けられた液体製造供給設備から供給される。液体製造供給設備は、超純水を製造する設備でもある。図９に示した破線は、洗浄水である超純水の水質を検査するための水の流路または制御信号の経路を示す。また、洗浄水が濃縮／溶離／回収装置４０へ分岐する箇所に分岐用のバルブを設け、そのバルブの開閉が制御されても良い。また、ＵＦ３０からの水を一次純水タンクへ戻すリターン配管が設けられている。
濃縮／溶離／回収装置４０は、図４に示したものと同じものであり、ＣＰ２０の出口水またはＵＦ３０の出口水に含まれる不純物を吸着して取得する。濃縮／溶離／回収装置４０は、不純物を吸着した吸着体に対して溶離液を通液することで、吸着した不純物を溶離して、溶離した不純物を含む溶離液を回収する。情報処理装置１１は、液質測定部５００および開閉制御部７００を有する。液質測定部５００は、濃縮／溶離／回収装置４０が回収した溶離液に基づいて、洗浄液の液質を測定する。情報処理装置１１と調整弁６００とから本発明の対象物管理システムを構成する。
図１０は、本発明の対象物管理システムを適用した第２の形態を示す図である。図１０に示した形態では、濃縮／溶離／回収装置４０が具備する吸着体に通液される水が、ＵＦ３０から調整弁６００へ流れる水に加えて、Ｗｅｔ洗浄機６０－１へ供給される直前の水またはＷｅｔ洗浄機６０－２へ供給される直前の水である点が図９に示した形態と異なる。なお、吸着体に洗浄液を通液する位置は、ＣＰ２０の出口以後の位置であれば良い。また、洗浄水が濃縮／溶離／回収装置４０へ分岐する箇所に分岐用のバルブを設け、そのバルブの開閉が制御されても良い。図１０では、Ｗｅｔ洗浄機６０－１，６０－２が２台である場合を例に挙げているが、その数に限定しない。
このように、本発明の対象物管理システムは、液質測定部５００が、対象物を洗浄するための洗浄液の液質を測定する。開閉制御部７００が、液質測定部５００が測定した液質に基づいて、半導体デバイスを洗浄する洗浄ポイントへ洗浄液を供給する流路に設けられた調整弁６００の開閉を制御する。そのため、洗浄液の状態に応じたリアルタイムの品質の管理を行うことができる。
なお、測定対象となる液体（水）は超純水に限らず、ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）、ＰＧＭＡ（ポリグリセロールメタクリレート）、ＰＧＭＥＡ（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）等の薬液でも良い。
以上、各構成要素に各機能（処理）それぞれを分担させて説明したが、この割り当ては上述したものに限定しない。また、構成要素の構成についても、上述した形態はあくまでも例であって、これに限定しない。また、各実施の形態を組み合わせたものでも良い。
以上、実施の形態を参照して本願発明を説明したが、本願発明は上記実施の形態に限定されるものではない。本願発明の構成や詳細には、本願発明のスコープ内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
この出願は、２０２１年８月１０日に出願された日本出願特願２０２１－１３０６０７を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。
Claims (9)
- 対象物を洗浄するための洗浄液に含まれる不純物を濃縮手段に濃縮させた期間を示す濃縮期間情報を取得する取得部と、
前記対象物に固有に付与された対象物識別情報と、該対象物を洗浄した期間を示す洗浄期間情報とを対応付けて対応付け情報として記憶するデータベースと、
前記取得部が取得した濃縮期間情報と、前記データベースに記憶されている対応付け情報とに基づいて、前記濃縮期間情報が示す濃縮期間に前記濃縮手段へ供給された洗浄液に対応する洗浄液を用いて洗浄された対象物を特定する特定部とを有する品質管理システム。 - 請求項１に記載の品質管理システムにおいて、
前記濃縮手段が濃縮した不純物の量を測定する液質測定部を有し、
前記特定部は、前記液質測定部が測定した結果に基づいて、前記対象部の特定を開始する品質管理システム。 - 請求項１または請求項２に記載の品質管理システムにおいて、
前記濃縮手段は、前記洗浄液の流路に設けられた非再生型イオン交換装置に通液された洗浄液が通液される品質管理システム。 - 請求項１から３のいずれか１項に記載の品質管理システムにおいて、
前記濃縮手段は、前記不純物として金属不純物を濃縮する品質管理システム。 - 請求項４に記載の品質管理システムにおいて、
前記濃縮手段は、モノリス状有機多孔質体である品質管理システム。 - 対象物を洗浄するための洗浄液の液質を測定する液質測定部と、
前記洗浄液を洗浄槽へ供給する流路に設けられた調整弁と、
前記液質測定部が測定した液質に基づいて、前記調整弁の開閉を制御する開閉制御部とを有する対象物管理システム。 - 請求項６に記載に対象物管理システムにおいて、
前記液質測定部は、前記洗浄液の流路に設けられた非再生型イオン交換装置に通液された洗浄液の液質を測定する対象物管理システム。 - 請求項６または請求項７に記載の対象物管理システムにおいて、
前記開閉制御部は、前記液質測定部が測定した液質が基準値を満たしている場合、前記調整弁を開状態とし、前記液質測定部が測定した液質が基準値を満たしていない場合、前記調整弁を閉状態とする対象物管理システム。 - 対象物を洗浄するための洗浄液の液質に基づいて、前記洗浄液を洗浄槽へ供給する流路に設けられた調整弁を用いて、前記対象物を洗浄する洗浄槽への前記洗浄液の供給を制御する対象物管理方法。
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