WO2022113874A1 - ガラスフィルム積層体の製造方法及びガラス板の洗浄方法 - Google Patents

ガラスフィルム積層体の製造方法及びガラス板の洗浄方法 Download PDF

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WO2022113874A1
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glass
laminated body
cleaning
glass film
carrier
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PCT/JP2021/042418
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匡司 小杉
弘樹 森
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日本電気硝子株式会社
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    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
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    • C03C23/00—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
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    • C03C27/00—Joining pieces of glass to pieces of other inorganic material; Joining glass to glass other than by fusing
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells

Definitions

  • the present invention relates to a method for manufacturing a glass film laminate and a method for cleaning a glass plate.
  • a glass film laminate in which the glass film is laminated on the support glass has been proposed (see Patent Document 1). According to such a glass film laminate, even if a glass film having no strength or rigidity by itself is used, the rigidity of the support glass is high, so that the entire glass film laminate can be easily handled during processing. Further, after the treatment is completed, the glass film can be peeled off from the supporting glass. If the thickness of the glass film laminate is made the same as the thickness of the conventional glass substrate, it becomes possible to manufacture an electronic device using a conventional electronic device manufacturing line for a glass substrate.
  • the glass film and the support glass are conveyed using the transfer device in which a plurality of transfer rollers are arranged at regular intervals.
  • the present invention produces a small-sized glass film laminate by making it possible to transfer a small-sized glass film and support glass that cannot be conveyed by an existing cleaning device having a wide distance between transfer rollers without changing the cleaning device. It is an object of the present invention to provide a method for producing a glass film laminate that can be used. Further, according to the present invention, it is possible to clean a small-sized glass plate by making it possible to transport a small-sized glass plate that cannot be conveyed by an existing cleaning device having a wide distance between transport rollers without changing the cleaning device. It is also an object to provide a method for cleaning a glass plate.
  • the present invention is a method for manufacturing a glass film laminate in which a glass film is laminated on a support glass, wherein the glass film, the support glass, a first carrier glass having a larger area than the glass film, and the like.
  • the second peeling step, the glass film after the first peeling step, and the supporting glass after the second peeling step are bonded to each other to prepare the glass film laminate. It is characterized by including a third laminating step.
  • the cleaning device is used even in the existing cleaning device having a wide distance between the transport rollers. Can be transported without changing the size, and a small-sized glass film laminate can be produced.
  • the cleaning devices used in the first cleaning step and the second cleaning step support and transport the lower surface of the first laminate and the lower surface of the second laminate.
  • the transport roller, the cleaning member that cleans the upper surface of the first laminated body and the upper surface of the second laminated body, and the upper and lower surfaces of the first laminated body and the second surface are arranged upstream in the transport direction of the cleaning member. While sandwiching the upper and lower surfaces of the first laminated body and the upper and lower surfaces of the second laminated body, which are arranged downstream in the transport direction of the cleaning member, and the first holding roller pair that transports while sandwiching the upper and lower surfaces of the laminated body.
  • the second holding roller pair to be conveyed is provided, and the distance between the first holding roller pair and the second holding roller pair is equal to or less than the length of the first carrier glass and the second carrier glass in the conveying direction. Is preferable.
  • At least one of the first sandwiching roller pair and the second sandwiching roller pair can sandwich the first laminated body and the second laminated body during cleaning by the cleaning member, and therefore cleaning by the cleaning member.
  • the first laminated body and the second laminated body can be fixed therein by any of the sandwiching roller pairs.
  • a part of the glass film protrudes from the upstream end portion of the first carrier glass in the transport direction in the first laminate, and the second laminate is described. It is preferable that a part of the support glass protrudes from the upstream end portion of the second carrier glass in the transport direction.
  • the glass film and the supporting glass can be easily peeled off by grasping and peeling the protruding portion of the glass film and the protruding portion of the supporting glass. can. Further, since the protruding portion is on the upstream side in the transport direction, the protruding portion does not get caught in the cleaning member.
  • the first laminate is produced by laminating a plurality of the glass films at different positions on one surface of the first carrier glass, and the second laminate is the same.
  • the support glass is formed by laminating a plurality of the support glasses at different positions on one surface of the second carrier glass.
  • a plurality of glass films and a plurality of supporting glasses can be washed at one time, so that the production efficiency is good.
  • the present invention is a method for manufacturing a glass film laminate in which a glass film is laminated on a support glass, wherein the glass film, the support glass, and the glass film and the carrier glass having a larger area than the support glass are used.
  • the cleaning step of cleaning, the peeling step of peeling the glass film and the supporting glass from the laminated body after the cleaning step, and the glass film and the supporting glass after the peeling step are pasted together on the cleaned surfaces. It is characterized by including a second laminating step of producing the glass film laminating body together.
  • the method for cleaning a glass plate of the present invention includes a preparatory step of preparing a plurality of glass plates and a carrier glass having a larger area than the glass plate, and a plurality of the glass plates at different positions on one surface of the carrier glass. It includes a laminating step of laminating to produce a laminated body, a cleaning step of cleaning the glass plate side of the laminated body, and a peeling step of peeling the glass plate from the laminated body after the cleaning step. It is a feature.
  • a small-sized glass film laminate of the present invention it is possible to transfer a small-sized glass film and supporting glass that cannot be conveyed by an existing cleaning device having a wide spacing between transport rollers without changing the cleaning device. , Small size glass film laminates can be produced. Further, according to the method for cleaning a glass plate of the present invention, a small-sized glass plate that cannot be transported by an existing cleaning device having a wide spacing between transport rollers can be transported without changing the cleaning device. The glass plate can be washed.
  • the manufacturing method of the first embodiment includes a glass film 2, a support glass 3, a first carrier glass 4 having a larger area than the glass film 2, and a second carrier glass having a larger area than the support glass 3.
  • the second peeling step S7 for peeling 3 and the glass film 2 after the first peeling step S6 and the support glass 3 after the second peeling step S7 are bonded to each other to form a glass film laminate 1. It includes a third laminating step S8 to be produced.
  • the cleaning device 8 is changed from the small size glass film 2 and the support glass 3 that cannot be conveyed by the cleaning device 8 (see FIG. 4) used in the first cleaning step S4 and the second cleaning step S5. It becomes possible to carry the glass film laminate 1 without any problems, and a small-sized glass film laminate 1 can be manufactured.
  • the material of the glass film 2 to be prepared in the preparation step S1 silicate glass, silica glass, borosilicate glass, non-alkali glass and the like can be used.
  • the thickness of the glass film 2 is preferably 300 ⁇ m or less.
  • the thickness of the glass film 2 is more preferably 200 ⁇ m or less, still more preferably 100 ⁇ m or less. From the viewpoint of ensuring the strength of the glass film 2, the thickness of the glass film 2 is preferably 5 ⁇ m or more.
  • the length L1 of the transport direction A when the glass film 2 is transported by the cleaning device 8 is less than the distance D1 of the transfer rollers 81 (see FIG. 4).
  • the shape of the glass film 2 is not particularly limited, and may be, for example, a rectangle or a square.
  • the glass film 2 used in the present embodiment is a square having a length of 100 mm and a width of 100 mm, and has a thickness of 100 ⁇ m.
  • silicate glass, silica glass, borosilicate glass, non-alkali glass and the like can be used as in the case of the glass film 2.
  • the support glass 3 it is preferable to use a glass having a difference in thermal expansion coefficient from 30 to 380 ° C. from that of the glass film 2 within 5 ⁇ 10 -7 / ° C. From the viewpoint of suppressing the difference in expansion coefficient, it is most preferable to use the same material as the glass film 2 for the support glass 3.
  • the thickness of the support glass 3 is preferably 300 ⁇ m or more.
  • the thickness of the support glass 3 is more preferably 300 to 700 ⁇ m, still more preferably 300 to 500 ⁇ m.
  • the support glass 3 is larger than the glass film 2 and the length L2 in the transport direction A when transported by the cleaning device 8 is less than the distance D1 between the transport rollers 81.
  • the shape of the support glass 3 is not particularly limited, and may be, for example, a rectangle or a square.
  • the support glass 3 used in the present embodiment is a square having a length of 104 mm and a width of 104 mm, and has a thickness of 500 ⁇ m.
  • the material of the first carrier glass 4 and the second carrier glass 5 to be prepared silicate glass, silica glass, borosilicate glass, non-alkali glass and the like can be used as in the case of the glass film 2 and the support glass 3. ..
  • the thickness of the first carrier glass 4 and the second carrier glass 5 is preferably 300 ⁇ m or more, similarly to the support glass 3.
  • the thickness of the first carrier glass 4 and the second carrier glass 5 is more preferably 300 to 700 ⁇ m, still more preferably 300 to 500 ⁇ m.
  • the glass film 2 can be supported by the first carrier glass 4, and the breakage of the glass film 2 that occurs when the glass film 2 is peeled from the first carrier glass 4 can be effectively suppressed.
  • the support glass 3 can be supported by the second carrier glass 5, and the breakage of the support glass 3 that occurs when the support glass 3 is peeled from the second carrier glass 5 can be effectively suppressed. ..
  • the lengths L3 and L4 of the transport direction A when transported by the cleaning device 8 are equal to or larger than the distance D1 of the transport rollers 81, and the first sandwiching of the cleaning device 8 is performed.
  • the distance between the roller pair 85 and the second sandwiching roller pair 86 is preferably D2 or more.
  • the shapes of the first carrier glass 4 and the second carrier glass 5 are not particularly limited, and may be, for example, a rectangle or a square.
  • the first carrier glass 4 and the second carrier glass 5 used in the present embodiment are rectangular in length 370 mm and width (conveyance direction A) 470 mm, and have a thickness of 500 ⁇ m. As described above, the first carrier glass 4 has a larger area than the glass film 2, and the second carrier glass 5 has a larger area than the support glass 3.
  • the glass film 2 is laminated on the first carrier glass 4 to produce the first laminated body 6.
  • the lower surface 2a of the glass film 2 in the first laminated body 6 is a contact surface in the first laminating step S2 and a guaranteed surface in the third laminating step S8.
  • the contact surface is a surface on the side facing and contacting the first carrier glass 4.
  • the guarantee surface is a surface on the side where manufacturing-related processing such as formation of an element is performed in the manufacture of a product such as an electronic device.
  • the upper surface 2b of the glass film 2 in the first laminated body 6 is a cleaning surface forming a part of the upper surface 6b of the first laminated body 6.
  • the cleaning surface is the surface on the side to be cleaned in the first cleaning step S4.
  • the lower surface 4a of the first carrier glass 4 in the first laminated body 6 is a transport surface constituting the lower surface 6a of the first laminated body 6.
  • the transport surface is a surface on the side supported by the transport roller 81 (see FIG. 4) when transported by the cleaning device 8.
  • the upper surface 4b of the first carrier glass 4 in the first laminated body 6 partially constitutes a part of the upper surface 6b of the first laminated body 6, and the other part is a contact surface.
  • the contact surface is a surface on the side facing and contacting the glass film 2.
  • the glass film 2 and the first carrier glass 4 are brought into close contact with each other in the first laminating step S2, they are fixed to the extent that they can be peeled off without an adhesive to form the first laminated body 6. It is considered that this phenomenon is fixed to each other by hydrogen bonds between the hydroxyl groups formed on the contact surface of the glass film 2 and the contact surface of the first carrier glass 4. Alternatively, it is also considered that hydrogen bonds are formed via water molecules existing at the interface between the glass film 2 and the first carrier glass 4 to adhere to each other.
  • the glass film 2 protrudes from the end portion of the first carrier glass 4 to form the protruding portion 2c.
  • This end is the end on the upstream side in the transport direction when the cleaning device 8 is used for transport.
  • the amount of protrusion of the protruding portion 2c can be, for example, 1 to 10 mm. Since the protruding portion 2c is located on the upstream side in the transport direction in the first cleaning step S4, even if the cleaning member 82 rotates in the reverse direction (clockwise in FIG. 1), the protruding portion 2c is the cleaning member 82 (see FIG. 4). ) Will not get caught. Further, in the first peeling step S6, the glass film 2 can be easily peeled by grasping and peeling the protruding portion 2c of the glass film 2.
  • the laminated position of the glass film 2 with respect to the first carrier glass 4 is not limited to the above-mentioned position, and for example, the glass film 2 is laminated in the center of the first carrier glass 4. You may.
  • the first laminated body 61 as shown in FIG. 3 may be used as a modification of the first laminated body 6, the first laminated body 61 as shown in FIG. 3 may be used. That is, a plurality of glass films 2 are laminated at different positions on one surface (upper surface 4b) of the first carrier glass 4 to produce the first laminated body 61. As a result, in the first cleaning step S4, a plurality of glass films 2 can be cleaned at one time, so that the production efficiency is high.
  • the position where the glass film 2 is laminated with respect to the first carrier glass 4 is not particularly limited, but it is preferable that the position is such that the protruding portion 2c is formed as shown in FIG.
  • the support glass 3 is laminated on the second carrier glass 5 to produce the second laminated body 7.
  • the lower surface 3a of the support glass 3 in the second laminated body 7 is a contact surface.
  • the contact surface is a surface on the side facing and contacting the second carrier glass 5.
  • the upper surface 3b of the support glass 3 in the second laminated body 7 is a cleaning surface forming a part of the upper surface 7b of the second laminated body 7.
  • the cleaning surface is the surface on the side to be cleaned in the second cleaning step S5.
  • the lower surface 5a of the second carrier glass 5 in the second laminated body 7 is a transport surface constituting the lower surface 7a of the second laminated body 7.
  • the transport surface is a surface on the side supported by the transport roller 81 when transported by the cleaning device 8.
  • the upper surface 5b of the second carrier glass 5 in the second laminated body 7 partially constitutes a part of the upper surface 7b of the second laminated body 7, and the other part is a contact surface.
  • the contact surface is a surface on the side facing and contacting the support glass 3.
  • the support glass 3 and the second carrier glass 5 are brought into close contact with each other in the second laminating step S3, as described above, they are fixed to the extent that they can be peeled off without an adhesive to form the second laminated body 7. Similar to the first laminated body 6, in the second laminated body 7, a part of the support glass 3 protrudes from the end portion of the second carrier glass 5 to form the protruding portion 3c. This end is the end on the upstream side in the transport direction when the cleaning device 8 is used for transport.
  • the amount of protrusion of the protruding portion 3c can be, for example, 1 to 10 mm. With this protruding portion 3c, the same effect as that of the above-mentioned protruding portion 2c can be obtained.
  • the laminated position of the support glass 3 with respect to the second carrier glass 5 is not limited to the above-mentioned position, and for example, the support glass 3 is laminated in the center of the second carrier glass 5. You may.
  • the second laminated body 71 as shown in FIG. 3 may be used as a modification of the second laminated body 7 as shown in FIG. 3. That is, a plurality of support glasses 3 are laminated at different positions on one surface (upper surface 5b) of the second carrier glass 5 to produce the second laminated body 71. As a result, in the second cleaning step S5, a plurality of supporting glasses 3 can be cleaned at one time, so that the production efficiency is high.
  • the position where the support glass 3 is laminated with respect to the second carrier glass 5 is not particularly limited, but it is preferable that the position is such that the protruding portion 3c is formed as shown in FIG.
  • the first cleaning step S4 is a step of cleaning the glass film 2 side of the first laminated body 6.
  • the first cleaning step S4 foreign matter on the upper surface 2a of the glass film 2 can be removed, and it is possible to reduce the generation of air bubbles between the glass film 2 and the support glass 3 in the third laminating step S8.
  • FIG. 4 is a side view of a main part of the cleaning device 8 used in the first cleaning step S4.
  • the cleaning device 8 includes a plurality of transport rollers 81, a cleaning member 82, a plurality of cleaning nozzles 83, a pair of air knives 84, a first sandwiching roller pair 85, and a second sandwiching roller pair 86.
  • the transport roller 81 is a roller that transports the first laminated body 6 while supporting the lower surface 6a.
  • the transfer rollers 81 are arranged with an interval D1 over the entire area from the start point to the end point of the cleaning device 8 except between the first sandwiching roller pair 85 and the second sandwiching roller pair 86.
  • the transport roller 81 has a shaft portion 811 that rotates in the transport direction A, and a plurality of disk bodies 812 fixed to the shaft portion 811 at equal intervals.
  • An annular cushioning member (not shown) made of resin is attached to the outer peripheral portion of the disk body 812.
  • the cleaning member 82 is a member that cleans the upper surface 6b of the first laminated body 6.
  • the cleaning member 82 is arranged above the transport roller 81.
  • a cleaning brush such as a brush roller or a cleaning sponge such as a sponge roller can be used.
  • the cleaning member 82 of the present embodiment is composed of a brush roller having a shaft portion 821 that rotates in the direction opposite to the transport direction A and a cylindrical brush 822 fixed to the shaft portion 821.
  • the driving force from the driving source (not shown) is input to the shaft portion 821, the shaft portion 821 and the brush 822 rotate in the direction opposite to the transport direction A, and the brush 822 is the upper surface 6b of the first laminated body 6. Contact and scrape off foreign matter.
  • the cleaning nozzle 83 is a member that ejects a cleaning agent.
  • the cleaning nozzle 83 is above the transport roller 81 and can eject the cleaning agent between the first sandwiching roller pair 85 and the cleaning member 82, and between the cleaning member 82 and the second sandwiching roller pair 86, respectively. Is located in.
  • the cleaning agent ejected from the cleaning nozzle 83 is sprayed onto the upper surface 6b of the first laminated body 6.
  • the cleaning agent facilitates the removal of foreign matter on the upper surface 6b of the first laminated body 6.
  • the air knife 84 is a member that ejects compressed air.
  • the air knife 84 is arranged downstream of the second holding roller pair 86 in the transport direction, and is arranged so as to face each other above and below the transport roller 81.
  • the compressed air ejected from the air knife 84 is ejected to the upper surface 6b and the lower surface 6a of the first laminated body 6.
  • the air knife 84 arranged below the transport roller 81 may be omitted.
  • the first sandwiching roller pair 85 is a roller pair that is arranged upstream in the transport direction of the cleaning member 82 and transports the first laminated body 6 while sandwiching the upper surface 6b and the lower surface 6a.
  • the transport roller 81 is not arranged between the first holding roller pair 85 and the cleaning member 82.
  • the first sandwiching roller pair 85 is arranged above the transport roller 81 and abuts on the upper surface 6b of the first laminated body 6, and the upper roller 851 and the lower surface of the first laminated body 6 are arranged at the same height as the transport roller 81. It has a lower roller 852 that abuts on 6a.
  • the upper roller 851 and the lower roller 852 have a shaft portion 853 that rotates in the transport direction A, and a plurality of rubber rollers 854 fixed to the shaft portion 853 at equal intervals.
  • the rubber roller 854 may be one long roller arranged along the shaft portion 853. Further, the rubber roller 854 may be a roller using another resin or the like as long as the first laminated body 6 can be sandwiched without being damaged.
  • the shaft portion 853 and the rubber roller 854 rotate in the transport direction A, and the first laminated body 6 is sandwiched between the upper and lower rubber rollers 854. It is transported in the transport direction A.
  • the first laminated body 6 is conveyed even before the first laminated body 6 reaches the second sandwiching roller pair 86. It is conveyed without being pushed back by the cleaning member 82 that rotates in the opposite direction of the direction A.
  • the second sandwiching roller pair 86 is a roller pair that is arranged downstream in the transport direction of the cleaning member 82 and transports the first laminated body 6 while sandwiching the upper surface 6b and the lower surface 6a.
  • the transport roller 81 is not arranged between the cleaning member 82 and the second sandwiching roller pair 86.
  • the second pinching roller pair 86 has the same configuration as the first pinching roller pair 85. That is, it has an upper roller 861 and a lower roller 862.
  • the upper roller 861 and the lower roller 862 have a shaft portion 863 and a plurality of rubber rollers 864.
  • the shaft portion 863 and the rubber roller 864 rotate in the transport direction A, and the first laminated body 6 is sandwiched between the upper and lower rubber rollers 864. It is transported in the transport direction A.
  • the first laminated body 6 is conveyed even after the first laminated body 6 has passed through the first sandwiching roller pair 85. It is conveyed without being pushed back by the cleaning member 82 that rotates in the opposite direction of the direction A.
  • the transport roller 81 is not arranged between the first sandwiching roller pair 85 and the second sandwiching roller pair 86. Therefore, the distance D2 between the first holding roller pair 85 and the second holding roller pair 86 tends to be wider than the distance D1 of the transport roller 81. Even if the length L1 of the glass film 2 and the length L2 of the support glass 3 are longer than the distance D1 of the transport rollers 81, the distance D2 between the first holding roller pair 85 and the second holding roller pair 86 If it is shorter than that, it is difficult to transport the glass film 2 and the support glass 3 alone.
  • the lengths L3 and L4 of the transport direction A in the first carrier glass 4 and the second carrier glass 5 are equal to or greater than the distance D2 between the first sandwiching roller pair 85 and the second sandwiching roller pair 86.
  • the first laminated body 6 can be sandwiched by the sandwiching roller pair 85 and the second sandwiching roller pair 86 at the same time. Therefore, the first laminated body 6 can be delivered from the first sandwiching roller pair 85 to the second sandwiching roller pair 86 without falling off.
  • the first laminated body 6 being cleaned by the cleaning member 82 is sandwiched by at least one of the first sandwiching roller pair 85 and the second sandwiching roller pair 86, so that the first sandwiching roller pair 85 or the first It is fixed by one of two sandwiching rollers vs. 86. Therefore, even if the existing cleaning device 8 has a wide distance D2 between the first holding roller pair 85 and the second holding roller pair 86, the small size glass film 2 and the support glass 3 can be used without changing the cleaning device 8. Can be transported.
  • the first cleaning step S4 may include a step of cleaning with pure water before the above-mentioned step and a step of washing with alkaline ionized water after the above-mentioned step from the viewpoint of improving the cleaning effect.
  • a device similar to the above-mentioned cleaning device 8 can be used in these steps as well.
  • the second cleaning step S5 is a step of cleaning the support glass 3 side of the second laminated body 7. Since the second cleaning step S5 can be performed in the same manner as the first cleaning step S4 by using the cleaning device 8 described above, detailed description thereof will be omitted.
  • the cleaning method used in the first cleaning step S4 and the second cleaning step S5 is not limited to the above method as long as it is transported using a transport roller, and is generally used for cleaning glass products. Method can be used. For example, ultrasonic cleaning, photochemical cleaning using ultraviolet light or ozone, physical cleaning using plasma, or the like can be used alone or in combination as appropriate.
  • the cleaning member 82 is sandwiched between the first sandwiching roller pair 85 and the second sandwiching roller pair 86 while sandwiching the first laminated body 6 and the second laminated body 7.
  • the cleaning was performed by rubbing using the cleaning member 82, when the cleaning water is flushed and rinsed without using the cleaning member 82, the first sandwiching roller pair 85 and the second sandwiching roller pair 86 may be omitted. good.
  • the first peeling step S6 is a step of peeling the glass film 2 from the first laminated body 6 after the first cleaning step S4.
  • the glass film 2 can be easily peeled from the first carrier glass 4 by grasping and peeling the protruding portion 2c of the glass film 2.
  • the second peeling step S7 is a step of peeling the support glass 3 from the second laminated body 7 after the second cleaning step S5.
  • the support glass 3 can be easily peeled from the second carrier glass 5 by grasping and peeling the protruding portion 3c of the support glass 3.
  • the first carrier glass 4 after the first peeling step S6 and the second carrier glass 5 after the second peeling step S7 can be used again in the first laminating step S2 and the second laminating step S3.
  • the cleaning surface of the glass film 2 after the first peeling step S6 and the cleaning surface of the support glass 3 after the second peeling step S7 are bonded together to laminate the glass film.
  • the glass film 2 is placed on the flat bonding table 9 with the cleaning surface (upper surface 2b) facing up, and the support glass 3 is placed on the support glass 3 with the cleaning surface (upper surface 3b) facing down. And make it adhere.
  • the glass film 2 and the support glass 3 are fixed to the extent that they can be peeled off without an adhesive, like the first laminated body 6 and the second laminated body 7 described above, to form the glass film laminated body 1.
  • the third laminating step S8 may be performed under reduced pressure. This makes it possible to reduce the bubbles generated between the glass film 2 and the support glass 3.
  • the manufacturing method of the second embodiment includes a preparation step S11 for preparing the glass film 2, the support glass 3, and the carrier glass 12 having a larger area than the glass film 2 and the support glass 3.
  • the first laminating step S12 for laminating the glass film 2 and the supporting glass 3 at different positions on one surface of the carrier glass 12 to prepare the laminated body 13, and the cleaning step for cleaning the glass film 2 and the supporting glass 3 side of the laminated body 13.
  • the cleaned surfaces of S13, the peeling step S14 for peeling the glass film 2 and the support glass 3 from the laminate 13 after the cleaning step S13, and the glass film 2 and the support glass 3 after the peeling step S14 are bonded to each other.
  • the second laminating step S15 for producing the glass film laminated body 1 is included.
  • the same effect as the manufacturing method of the first embodiment can be obtained.
  • the glass film 2 and the support glass 3 can be washed at once, the production efficiency is high.
  • the glass film 2 and the support glass 3 to be prepared are the same as those in the first embodiment. Further, the carrier glass 12 to be prepared is the same as the first carrier glass 4 of the first embodiment.
  • the glass film 2 and the supporting glass 3 are laminated at different positions on one surface of the carrier glass 12 to prepare the laminated body 13.
  • This is a carrier glass 12 in which the first carrier glass 4 and the second carrier glass 5 in the first embodiment are used as one carrier glass 12.
  • the laminated body 13 a part of the glass film 2 and the support glass 3 protrudes from the end portion of the carrier glass 12, forming the protruding portions 2c and 3c. This end is the end on the upstream side in the transport direction when the cleaning device 8 is used for transport.
  • the laminated position of the glass film 2 and the support glass 3 with respect to the carrier glass 12 is not limited to the above-mentioned position.
  • the glass film 2 and the support glass 3 are placed in the center of the carrier glass 12. They may be stacked side by side.
  • the carrier glass 12 by making the carrier glass 12 a larger area, more glass films 2 and support glasses 3 can be laminated. That is, the number of the glass film 2 and the support glass 3 laminated on one carrier glass may be one or more, respectively. By laminating many glass films 2 and supporting glasses 3 on one carrier glass, the efficiency in the cleaning process is high.
  • the cleaning step S13 is a step of cleaning the glass film 2 and the support glass 3 side of the laminated body 13.
  • the cleaning step S13 can be performed in the same manner as the first cleaning step S4 of the first embodiment by using the cleaning device 8 of the first embodiment. By cleaning one laminated body 13 in the cleaning step S13, foreign matter on the upper surface 2b of the glass film 2 and the upper surface 3b of the support glass 3 can be removed at once.
  • the peeling step S14 is a step of peeling the glass film 2 and the support glass 3 from the laminate 13 after the cleaning step S13.
  • the protruding portion 2c of the glass film 2 and the protruding portion 3c of the support glass 3 are gripped and peeled off, so that the peeling can be easily performed.
  • the carrier glass 12 after the peeling step S14 can be used again in the first laminating step S12.
  • the second laminating step S15 is a step of laminating the cleaning surface of the glass film 2 and the cleaning surface of the support glass 3 after the peeling step S14 to produce the glass film laminate 1.
  • the second laminating step S15 can be performed in the same manner as the third laminating step S8 of the first embodiment.
  • the method for cleaning the glass plate includes a preparatory step of preparing a plurality of glass plates and a carrier glass having a larger area than the glass plate, and a laminated body in which a plurality of glass plates are laminated at different positions on one surface of the carrier glass. It suffices to include a laminating step of producing the above, a cleaning step of cleaning the glass plate side of the laminated body, and a peeling step of peeling the glass plate from the laminated body after the cleaning step.
  • the glass film 2 and the support glass 3 are replaced with glass plates in the preparation step S11, the first laminating step S12, the cleaning step S13, and the peeling step S14 of the second embodiment, respectively. It can be realized by.
  • the guaranteed surface of the glass plate is the upper surface side of the glass plate laminated on the laminated body.
  • a small-sized glass plate that cannot be transported by the cleaning device 8 (see FIG. 4) used in the cleaning process can be transported without changing the cleaning device 8, and the small-sized glass plate can be transported. Can be washed. In addition, since a plurality of glass plates can be washed at once, the production efficiency is good.

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Abstract

搬送ローラの間隔が広い既存の洗浄装置で搬送できない小サイズのガラスフィルム及び支持ガラスを、洗浄装置を変更することなく搬送可能にすることで、小サイズのガラスフィルム積層体を作製することができるガラスフィルム積層体の製造方法を提供する。ガラスフィルム積層体（１）の製造方法は、第１キャリアガラス（４）にガラスフィルム（２）を積層して第１積層体（６）を作製する第１積層工程（Ｓ２）と、第２キャリアガラス（５）に支持ガラス（３）を積層して第２積層体（７）を作製する第２積層工程（Ｓ３）と、第１積層体（６）を洗浄する第１洗浄工程（Ｓ４）と、第２積層体（７）を洗浄する第２洗浄工程（Ｓ５）と、第１積層体（６）からガラスフィルム（２）を剥離する第１剥離工程（Ｓ６）と、第２積層体（７）から支持ガラス（３）を剥離する第２剥離工程（Ｓ７）と、ガラスフィルム（２）の洗浄面と支持ガラス（３）の洗浄面とを貼り合わせてガラスフィルム積層体（１）を作製する第３積層工程（Ｓ８）とを含んでいる。

Description

ガラスフィルム積層体の製造方法及びガラス板の洗浄方法
　本発明は、ガラスフィルム積層体の製造方法及びガラス板の洗浄方法に関する。
　近年、フラットパネルディスプレイ等の電子デバイスに使用される基板やカバーガラスには、更なる薄型化と高い可撓性を実現することへのニーズが高まっている。ガラス基板に可撓性を付与するには、ガラス基板を薄型化するのが有効であり、厚み２００μｍ以下のガラスフィルムが提案されている。
　ガラス基板には、加工処理や洗浄処理等、様々な製造関連処理がなされる。ところが、ガラス基板を薄型化すると、ガラスは脆性材料であるため多少の応力変化により破損し、各種電子デバイスの製造関連処理を行う際に、取扱いが困難であるという問題がある。
　そこで、薄型化したガラスフィルムの取扱い性を向上させるために、支持ガラス上にガラスフィルムを積層させたガラスフィルム積層体が提案されている（特許文献１参照）。このようなガラスフィルム積層体によれば、単体では強度や剛性のないガラスフィルムを用いても、支持ガラスの剛性が高いため、処理の際にガラスフィルム積層体全体として取り扱いが容易となる。また、処理終了後は、ガラスフィルムを支持ガラスから剥離することが可能となっている。ガラスフィルム積層体の厚みを従来のガラス基板の厚みと同一にすれば、従来のガラス基板用の電子デバイス製造ラインを用いて電子デバイスを製造することも可能になる。
国際公開第２０１５／０５６６０２号
　支持ガラス上にガラスフィルムを積層するためには、支持ガラスとガラスフィルムの貼り合わせ面を清浄な状態とする必要があり、貼り合わせ前に支持ガラスとガラスフィルムを洗浄する必要がある。様々な電子デバイスのサイズに応じて、様々なガラスフィルム積層体のサイズが求められているところ、小型の電子デバイス用に小サイズのガラスフィルム積層体を作製する場合、大型のガラスフィルム積層体の製造ラインで用いられる洗浄装置を用いると、下記のような問題が生じる。
　洗浄装置内では、洗浄液を円滑に流下させるために、複数の搬送ローラが一定の間隔を空けて配置された搬送装置を使用してガラスフィルム及び支持ガラスを搬送する。
　しかしながら、既存の大型のガラスフィルム積層体用の洗浄装置を用いる場合、複数の搬送ローラの間隔が広すぎて、その間隔より短い小サイズのガラスフィルム及び支持ガラスは脱落するため搬送できないという問題が生じる。したがって、小サイズのガラスフィルム及び支持ガラスを洗浄するためには、搬送ローラの間隔が狭い洗浄装置を新たに用意しなければならず、大掛かりな変更となる。
　本発明は、搬送ローラの間隔が広い既存の洗浄装置で搬送できない小サイズのガラスフィルム及び支持ガラスを、洗浄装置を変更することなく搬送可能にすることで、小サイズのガラスフィルム積層体を作製することができるガラスフィルム積層体の製造方法を提供することを目的とする。また本発明は、搬送ローラの間隔が広い既存の洗浄装置で搬送できない小サイズのガラス板を、洗浄装置を変更することなく搬送可能にすることで、小サイズのガラス板を洗浄することができるガラス板の洗浄方法を提供することも目的とする。
　本発明は、支持ガラス上にガラスフィルムが積層されたガラスフィルム積層体の製造方法であって、前記ガラスフィルムと、前記支持ガラスと、前記ガラスフィルムよりも大面積の第１キャリアガラスと、前記支持ガラスよりも大面積の第２キャリアガラスとを準備する準備工程と、前記第１キャリアガラスに前記ガラスフィルムを積層して第１積層体を作製する第１積層工程と、前記第２キャリアガラスに前記支持ガラスを積層して第２積層体を作製する第２積層工程と、前記第１積層体の前記ガラスフィルム側を洗浄する第１洗浄工程と、前記第２積層体の前記支持ガラス側を洗浄する第２洗浄工程と、前記第１洗浄工程後の前記第１積層体から前記ガラスフィルムを剥離する第１剥離工程と、前記第２洗浄工程後の前記第２積層体から前記支持ガラスを剥離する第２剥離工程と、前記第１剥離工程後の前記ガラスフィルムと前記第２剥離工程後の前記支持ガラスとを、洗浄された面どうしを貼り合わせて前記ガラスフィルム積層体を作製する第３積層工程と、を含むことを特徴とする。
　上記の構成によれば、小サイズのガラスフィルム及び支持ガラスを大サイズの第１キャリアガラス及び第２キャリアガラスに担持させることにより、搬送ローラの間隔が広い既存の洗浄装置であっても洗浄装置を変更することなく搬送可能となり、小サイズのガラスフィルム積層体を作製することができる。
　上記のガラスフィルム積層体の製造方法において、前記第１洗浄工程及び前記第２洗浄工程で用いる洗浄装置は、前記第１積層体の下面及び前記第２積層体の下面を支持しながら搬送する複数の搬送ローラと、前記第１積層体の上面及び前記第２積層体の上面を洗浄する洗浄部材と、前記洗浄部材の搬送方向上流に配置され、前記第１積層体の上下面及び前記第２積層体の上下面を挟持しながら搬送する第１挟持ローラ対と、前記洗浄部材の搬送方向下流に配置され、前記第１積層体の上下面及び前記第２積層体の上下面を挟持しながら搬送する第２挟持ローラ対と、を備え、前記第１挟持ローラ対と前記第２挟持ローラ対との間隔は、前記第１キャリアガラス及び前記第２キャリアガラスにおける搬送方向の長さ以下であることが好ましい。
　上記の構成によれば、洗浄部材による洗浄中に、少なくとも第１挟持ローラ対と第２挟持ローラ対のどちらかが第１積層体及び第２積層体を挟むことができるため、洗浄部材による洗浄中に、第１積層体及び第２積層体をいずれかの挟持ローラ対によって固定することができる。
　また上記のガラスフィルム積層体の製造方法においては、前記第１積層体において、前記第１キャリアガラスの搬送方向上流側端部から前記ガラスフィルムの一部が突出し、前記第２積層体において、前記第２キャリアガラスの搬送方向上流側端部から前記支持ガラスの一部が突出していることが好ましい。
　上記の構成によれば、第１剥離工程及び第２剥離工程において、ガラスフィルムの突出部分及び支持ガラスの突出部分を把持して剥離することにより、ガラスフィルム及び支持ガラスを容易に剥離することができる。また、突出部分が搬送方向上流側であることにより、突出部分が洗浄部材に引っ掛かることがない。
　また上記のガラスフィルム積層体の製造方法において、前記第１積層体は、前記第１キャリアガラスの一面の異なる位置に複数の前記ガラスフィルムを積層して作製され、前記第２積層体は、前記第２キャリアガラスの一面の異なる位置に複数の前記支持ガラスを積層して作製されていることが好ましい。
　上記の構成によれば、一度に複数のガラスフィルムと複数の支持ガラスとを洗浄できるため、生産効率がよい。
　また本発明は、支持ガラス上にガラスフィルムが積層されたガラスフィルム積層体の製造方法であって、ガラスフィルムと、支持ガラスと、前記ガラスフィルム及び前記支持ガラスよりも大面積のキャリアガラスとを準備する準備工程と、前記キャリアガラスの一面における異なる位置に前記ガラスフィルム及び前記支持ガラスを積層して積層体を作製する第１積層工程と、前記積層体の前記ガラスフィルム及び前記支持ガラス側を洗浄する洗浄工程と、前記洗浄工程後の前記積層体から前記ガラスフィルム及び前記支持ガラスを剥離する剥離工程と、前記剥離工程後の前記ガラスフィルム及び前記支持ガラスを、洗浄された面どうしを貼り合わせて前記ガラスフィルム積層体を作製する第２積層工程と、を含むことを特徴とする。
　上記の構成によれば、小サイズのガラスフィルム及び支持ガラスを大サイズのキャリアガラスに担持させることにより、搬送ローラの間隔が広い既存の洗浄装置であっても洗浄装置を変更することなく搬送可能となり、小サイズのガラスフィルム積層体を作製することができる。また、一度にガラスフィルムと支持ガラスとを洗浄できるため、生産効率がよい。
　また本発明のガラス板の洗浄方法は、複数のガラス板と、前記ガラス板よりも大面積のキャリアガラスとを準備する準備工程と、前記キャリアガラスの一面における異なる位置に複数の前記ガラス板を積層して積層体を作製する積層工程と、前記積層体の前記ガラス板側を洗浄する洗浄工程と、前記洗浄工程後の前記積層体から前記ガラス板を剥離する剥離工程と、を含むことを特徴とする。
　上記の構成によれば、複数の小サイズのガラス板を大サイズのキャリアガラスに担持させることにより、搬送ローラの間隔が広い既存の洗浄装置であっても洗浄装置を変更することなく搬送可能となり、小サイズのガラス板を洗浄することができる。また、一度に複数のガラス板を洗浄できるため、生産効率がよい。
　本発明のガラスフィルム積層体の製造方法によれば、搬送ローラの間隔が広い既存の洗浄装置で搬送できない小サイズのガラスフィルム及び支持ガラスを、洗浄装置を変更することなく搬送可能にすることで、小サイズのガラスフィルム積層体を作製することができる。また本発明のガラス板の洗浄方法によれば、搬送ローラの間隔が広い既存の洗浄装置で搬送できない小サイズのガラス板を、洗浄装置を変更することなく搬送可能にすることで、小サイズのガラス板を洗浄することができる。
第１実施形態のガラスフィルム積層体の製造方法を説明する図である。 第１実施形態の第１積層体及び第２積層体の平面図である。 変形例の第１積層体及び第２積層体の平面図である。 第１実施形態の洗浄装置の模式図である。 第２実施形態のガラスフィルム積層体の製造方法を説明する図である。
　以下、本発明のガラスフィルム積層体１の製造方法について、第１実施形態及び第２実施形態を例に説明する。
［第１実施形態］
　図１に示すように、第１実施形態の製造方法は、ガラスフィルム２と、支持ガラス３と、ガラスフィルム２よりも大面積の第１キャリアガラス４と、支持ガラス３よりも大面積の第２キャリアガラス５とを準備する準備工程Ｓ１と、第１キャリアガラス４にガラスフィルム２を積層して第１積層体６を作製する第１積層工程Ｓ２と、第２キャリアガラス５に支持ガラス３を積層して第２積層体７を作製する第２積層工程Ｓ３と、第１積層体６のガラスフィルム２側を洗浄する第１洗浄工程Ｓ４と、第２積層体７の支持ガラス３側を洗浄する第２洗浄工程Ｓ５と、第１洗浄工程Ｓ４後の第１積層体６からガラスフィルム２を剥離する第１剥離工程Ｓ６と、第２洗浄工程Ｓ５後の第２積層体７から支持ガラス３を剥離する第２剥離工程Ｓ７と、第１剥離工程Ｓ６後のガラスフィルム２と第２剥離工程Ｓ７後の支持ガラス３とを、洗浄された面どうしを貼り合わせてガラスフィルム積層体１を作製する第３積層工程Ｓ８とを含んでいる。
　この製造方法によれば、第１洗浄工程Ｓ４及び第２洗浄工程Ｓ５において用いる洗浄装置８（図４参照）で搬送できない小サイズのガラスフィルム２及び支持ガラス３を、洗浄装置８を変更することなく搬送可能となり、小サイズのガラスフィルム積層体１を作製することができる。
［準備工程］
　準備工程Ｓ１において、準備するガラスフィルム２の材料としては、ケイ酸塩ガラス、シリカガラス、ホウケイ酸ガラス、無アルカリガラス等を用いることができる。ガラスフィルム２の厚みは３００μｍ以下であることが好ましい。なお、ガラスフィルム２の厚みは、より好ましくは２００μｍ以下であり、さらに好ましくは１００μｍ以下である。ガラスフィルム２の強度を確保する観点から、ガラスフィルム２の厚みは、５μｍ以上であることが好ましい。
　ガラスフィルム２は、洗浄装置８で搬送されるときの搬送方向Ａの長さＬ１が、搬送ローラ８１の間隔Ｄ１未満であることが好ましい（図４参照）。ガラスフィルム２の形状には特に限定はなく、例えば長方形又は正方形とすることができる。本実施形態で用いるガラスフィルム２は、縦１００ｍｍ、横１００ｍｍの正方形であり、厚みは１００μｍである。
　準備する支持ガラス３の材料としては、ガラスフィルム２と同様に、ケイ酸塩ガラス、シリカガラス、ホウケイ酸ガラス、無アルカリガラス等を用いることができる。支持ガラス３については、ガラスフィルム２との３０～３８０℃における熱膨張係数の差が、５×１０－７／℃以内のガラスを用いることが好ましい。膨張率の差を抑える観点から、支持ガラス３はガラスフィルム２と同材料を用いることが最も好ましい。
　支持ガラス３の厚みは、３００μｍ以上であることが好ましい。なお、支持ガラス３の厚みは、より好ましくは３００～７００μｍであり、さらに好ましくは３００～５００μｍである。これにより、支持ガラス３でガラスフィルム２を支持することが可能になるとともに、支持ガラス３からガラスフィルム２を剥離する際に生じるガラスフィルム２の破損を効果的に抑制することができる。
　支持ガラス３は、ガラスフィルム２より大きく、洗浄装置８で搬送されるときの搬送方向Ａの長さＬ２が、搬送ローラ８１の間隔Ｄ１未満であることが好ましい。支持ガラス３の形状には特に限定はなく、例えば長方形又は正方形とすることができる。本実施形態で用いる支持ガラス３は、縦１０４ｍｍ、横１０４ｍｍの正方形であり、厚みは５００μｍである。
　準備する第１キャリアガラス４及び第２キャリアガラス５の材料としては、ガラスフィルム２及び支持ガラス３と同様に、ケイ酸塩ガラス、シリカガラス、ホウケイ酸ガラス、無アルカリガラス等を用いることができる。第１キャリアガラス４及び第２キャリアガラス５の厚みは、支持ガラス３と同様に、３００μｍ以上であることが好ましい。なお、第１キャリアガラス４及び第２キャリアガラス５の厚みは、より好ましくは３００～７００μｍであり、さらに好ましくは３００～５００μｍである。
　これにより、第１キャリアガラス４でガラスフィルム２を支持することが可能になるとともに、第１キャリアガラス４からガラスフィルム２を剥離する際に生じるガラスフィルム２の破損を効果的に抑制することができる。また、第２キャリアガラス５で支持ガラス３を支持することが可能になるとともに、第２キャリアガラス５から支持ガラス３を剥離する際に生じる支持ガラス３の破損を効果的に抑制することができる。
　第１キャリアガラス４及び第２キャリアガラス５は、洗浄装置８で搬送されるときの搬送方向Ａの長さＬ３、Ｌ４が、搬送ローラ８１の間隔Ｄ１以上であり、洗浄装置８の第１挟持ローラ対８５と第２挟持ローラ対８６との間隔Ｄ２以上であることが好ましい。第１キャリアガラス４及び第２キャリアガラス５の形状には特に限定はなく、例えば長方形又は正方形とすることができる。本実施形態で用いる第１キャリアガラス４及び第２キャリアガラス５は、縦３７０ｍｍ、横（搬送方向Ａ）４７０ｍｍの長方形であり、厚みは５００μｍである。このように、第１キャリアガラス４はガラスフィルム２よりも大面積であり、第２キャリアガラス５は支持ガラス３よりも大面積である。
［第１積層工程］
　図１及び図２に示すように、第１積層工程Ｓ２において、第１キャリアガラス４にガラスフィルム２を積層して第１積層体６を作製する。第１積層体６におけるガラスフィルム２の下面２ａは、第１積層工程Ｓ２においては接触面であり、第３積層工程Ｓ８においては保証面となる。接触面は、第１キャリアガラス４と相対し接触する側の面である。保証面は、電子デバイス等の製品の製造において、素子の形成等の製造関連処理が施される側の面である。一方、第１積層体６におけるガラスフィルム２の上面２ｂは、第１積層体６の上面６ｂの一部を構成する洗浄面である。洗浄面は、第１洗浄工程Ｓ４において洗浄される側の面である。
　第１積層体６における第１キャリアガラス４の下面４ａは、第１積層体６の下面６ａを構成する搬送面である。搬送面は、洗浄装置８で搬送されるときに、搬送ローラ８１（図４参照）に支持される側の面である。一方、第１積層体６における第１キャリアガラス４の上面４ｂは、一部が第１積層体６の上面６ｂの一部を構成し、他部が接触面である。接触面は、ガラスフィルム２と相対し接触する側の面である。
　第１積層工程Ｓ２においてガラスフィルム２と第１キャリアガラス４とを密着させると、接着剤なしに剥離可能な程度に固着して第１積層体６が形成される。この現象は、ガラスフィルム２の接触面と第１キャリアガラス４の接触面とに形成された水酸基どうしの水素結合により互いに固着するものと考えられる。あるいは、ガラスフィルム２と第１キャリアガラス４との界面に存在する水分子を介在して水素結合が形成されることにより互いに固着するものとも考えられる。
　第１積層体６において、第１キャリアガラス４の端部からガラスフィルム２の一部が突出し、突出部分２ｃを形成している。この端部は、洗浄装置８で搬送されるときの搬送方向上流側端部である。突出部分２ｃの突出量は、例えば１～１０ｍｍとすることができる。第１洗浄工程Ｓ４において突出部分２ｃが搬送方向上流側に位置することにより、洗浄部材８２が逆回転（図１で時計回り）していたとしても、突出部分２ｃが洗浄部材８２（図４参照）に引っ掛かることがない。また、第１剥離工程Ｓ６において、ガラスフィルム２の突出部分２ｃを把持して剥離することにより、ガラスフィルム２を容易に剥離することができる。
　なお、第１積層体６において、第１キャリアガラス４に対するガラスフィルム２の積層位置は、上述した位置に限定されることはなく、例えば、第１キャリアガラス４の中央にガラスフィルム２を積層してもよい。
　また、第１積層体６の変形例として、図３に示すような第１積層体６１であってもよい。すなわち、第１キャリアガラス４の一面（上面４ｂ）の異なる位置に複数のガラスフィルム２を積層して第１積層体６１を作製する。これにより、第１洗浄工程Ｓ４において、一度に複数のガラスフィルム２を洗浄できるため、生産効率がよい。
　なお、第１キャリアガラス４をさらに大面積にすることで、より多くのガラスフィルム２を積層することができる。また、第１キャリアガラス４に対するガラスフィルム２の積層位置には特に限定はないが、図３に示すように突出部分２ｃを形成するような位置とすることが好ましい。
［第２積層工程］
　図１及び図２に示すように、第２積層工程Ｓ３において、第２キャリアガラス５に支持ガラス３を積層して第２積層体７を作製する。第２積層体７における支持ガラス３の下面３ａは、接触面である。接触面は、第２キャリアガラス５と相対し接触する側の面である。一方、第２積層体７における支持ガラス３の上面３ｂは、第２積層体７の上面７ｂの一部を構成する洗浄面である。洗浄面は、第２洗浄工程Ｓ５において洗浄される側の面である。
　第２積層体７における第２キャリアガラス５の下面５ａは、第２積層体７の下面７ａを構成する搬送面である。搬送面は、洗浄装置８で搬送されるときに、搬送ローラ８１に支持される側の面である。一方、第２積層体７における第２キャリアガラス５の上面５ｂは、一部が第２積層体７の上面７ｂの一部を構成し、他部が接触面である。接触面は、支持ガラス３と相対し接触する側の面である。
　第２積層工程Ｓ３において支持ガラス３と第２キャリアガラス５とを密着させると、上述したように、接着剤なしに剥離可能な程度に固着して第２積層体７が形成される。第１積層体６と同様に、第２積層体７において、第２キャリアガラス５の端部から支持ガラス３の一部が突出し、突出部分３ｃを形成している。この端部は、洗浄装置８で搬送されるときの搬送方向上流側端部である。突出部分３ｃの突出量は、例えば１～１０ｍｍとすることができる。この突出部分３ｃにより、上記の突出部分２ｃと同様の作用効果が得られる。
　なお、第２積層体７においても、第２キャリアガラス５に対する支持ガラス３の積層位置は、上述した位置に限定されることはなく、例えば、第２キャリアガラス５の中央に支持ガラス３を積層してもよい。
　また、第２積層体７の変形例として、図３に示すような第２積層体７１であってもよい。すなわち、第２キャリアガラス５の一面（上面５ｂ）の異なる位置に複数の支持ガラス３を積層して第２積層体７１を作製する。これにより、第２洗浄工程Ｓ５において、一度に複数の支持ガラス３を洗浄できるため、生産効率がよい。
　なお、第２キャリアガラス５をさらに大面積にすることで、より多くの支持ガラス３を積層することができる。また、第２キャリアガラス５に対する支持ガラス３の積層位置には特に限定はないが、図３に示すように突出部分３ｃを形成するような位置とすることが好ましい。
［第１洗浄工程］
　第１洗浄工程Ｓ４は、第１積層体６のガラスフィルム２側を洗浄する工程である。第１洗浄工程Ｓ４により、ガラスフィルム２の上面２ａの異物を取り除き、第３積層工程Ｓ８においてガラスフィルム２と支持ガラス３との間に気泡が生じるのを低減することができる。
　図４は、第１洗浄工程Ｓ４で用いる洗浄装置８の要部側面図である。洗浄装置８は、複数の搬送ローラ８１と、洗浄部材８２と、複数の洗浄ノズル８３と、一対のエアナイフ８４と、第１挟持ローラ対８５と、第２挟持ローラ対８６とを備えている。
　搬送ローラ８１は、第１積層体６の下面６ａを支持しながら搬送するローラである。搬送ローラ８１は、第１挟持ローラ対８５と第２挟持ローラ対８６との間を除いて洗浄装置８の始点から終点まで全域に亘って間隔Ｄ１を有して配置されている。搬送ローラ８１は、搬送方向Ａに回転する軸部８１１と、軸部８１１に等間隔に固定された複数の円盤体８１２とを有している。円盤体８１２の外周部には樹脂製の環状緩衝部材（図示せず）が取り付けられている。駆動源（図示せず）からの駆動力が軸部８１１に入力されることにより、軸部８１１及び円盤体８１２が搬送方向Ａに回転し、円盤体８１２に支持される第１積層体６が搬送方向Ａに搬送される。
　洗浄部材８２は、第１積層体６の上面６ｂを洗浄する部材である。洗浄部材８２は、搬送ローラ８１よりも上方に配置されている。洗浄部材８２としては、例えば、ブラシローラ等の洗浄ブラシやスポンジローラ等の洗浄スポンジを用いることができる。本実施形態の洗浄部材８２は、搬送方向Ａと逆方向に回転する軸部８２１と、軸部８２１に固定された円筒状のブラシ８２２とを有するブラシローラで構成されている。駆動源（図示せず）からの駆動力が軸部８２１に入力されることにより、軸部８２１及びブラシ８２２が搬送方向Ａと逆方向に回転し、ブラシ８２２が第１積層体６の上面６ｂに接触して異物を掻き落とす。
　洗浄ノズル８３は、洗浄剤を噴出する部材である。洗浄ノズル８３は、搬送ローラ８１よりも上方であって、第１挟持ローラ対８５と洗浄部材８２との間、及び洗浄部材８２と第２挟持ローラ対８６との間にそれぞれ洗浄剤を噴出可能に配置されている。洗浄ノズル８３から噴出された洗浄剤は、第１積層体６の上面６ｂに噴き付けられる。洗浄剤により、第１積層体６の上面６ｂの異物が除去されやすくなる。
　エアナイフ８４は、圧縮空気を噴出する部材である。エアナイフ８４は、第２挟持ローラ対８６の搬送方向下流であって、搬送ローラ８１よりも上方と下方に互いに対向するように配置される。エアナイフ８４から噴出された圧縮空気は、第１積層体６の上面６ｂ及び下面６ａに噴き付けられる。これにより、第１積層体６の上面６ｂ及び下面６ａに残留している洗浄剤の液滴が除去される。なお、搬送ローラ８１よりも下方に配置されたエアナイフ８４は、省略してもよい。
　第１挟持ローラ対８５は、洗浄部材８２の搬送方向上流に配置され、第１積層体６の上面６ｂ及び下面６ａを挟持しながら搬送するローラ対である。なお、第１挟持ローラ対８５と洗浄部材８２との間には搬送ローラ８１が配置されていない。第１挟持ローラ対８５は、搬送ローラ８１よりも上方に配置され第１積層体６の上面６ｂに当接する上ローラ８５１と、搬送ローラ８１と同じ高さに配置され第１積層体６の下面６ａに当接する下ローラ８５２とを有している。
　上ローラ８５１及び下ローラ８５２は、搬送方向Ａに回転する軸部８５３と、軸部８５３に等間隔に固定された複数のゴムローラ８５４とを有している。なお、ゴムローラ８５４は、軸部８５３に沿って配置される１つの長いローラであってもよい。また、ゴムローラ８５４は、第１積層体６を破損せずに挟持できれば、他の樹脂等を用いたローラであってもよい。
　駆動源（図示せず）からの駆動力が軸部８５３に入力されることにより、軸部８５３及びゴムローラ８５４が搬送方向Ａに回転し、第１積層体６が上下のゴムローラ８５４で挟持されながら搬送方向Ａに搬送される。第１積層体６が第１挟持ローラ対８５によって挟持されながら搬送されることにより、第１積層体６が第２挟持ローラ対８６に到達する前であっても、第１積層体６が搬送方向Ａの逆方向に回転する洗浄部材８２で押し戻されることなく搬送される。
　第２挟持ローラ対８６は、洗浄部材８２の搬送方向下流に配置され、第１積層体６の上面６ｂ及び下面６ａを挟持しながら搬送するローラ対である。なお、洗浄部材８２と第２挟持ローラ対８６との間には搬送ローラ８１が配置されていない。第２挟持ローラ対８６は、第１挟持ローラ対８５と同様の構成を有している。つまり、上ローラ８６１と、下ローラ８６２とを有している。そして、上ローラ８６１及び下ローラ８６２は、軸部８６３と、複数のゴムローラ８６４とを有している。
　駆動源（図示せず）からの駆動力が軸部８６３に入力されることにより、軸部８６３及びゴムローラ８６４が搬送方向Ａに回転し、第１積層体６が上下のゴムローラ８６４で挟持されながら搬送方向Ａに搬送される。第１積層体６が第２挟持ローラ対８６によって挟持されながら搬送されることにより、第１積層体６が第１挟持ローラ対８５を通過した後であっても、第１積層体６が搬送方向Ａの逆方向に回転する洗浄部材８２で押し戻されることなく搬送される。
　上述したように、第１挟持ローラ対８５と第２挟持ローラ対８６との間には搬送ローラ８１が配置されていない。よって、第１挟持ローラ対８５と第２挟持ローラ対８６との間隔Ｄ２は、搬送ローラ８１の間隔Ｄ１よりも広くなる傾向にある。ガラスフィルム２の長さＬ１及び支持ガラス３の長さＬ２が、搬送ローラ８１の間隔Ｄ１よりも長い場合であったとしても、第１挟持ローラ対８５と第２挟持ローラ対８６との間隔Ｄ２よりも短い場合は、ガラスフィルム２及び支持ガラス３単体では搬送し難い。
　しかし、本実施形態のように、搬送方向Ａの長さＬ３が間隔Ｄ１や間隔Ｄ２よりも長い第１キャリアガラス４及び搬送方向Ａの長さＬ４が間隔Ｄ１や間隔Ｄ２よりも長い第２キャリアガラス５に積層することにより、ガラスフィルム２及び支持ガラス３を搬送することができる。
　つまり、第１キャリアガラス４及び第２キャリアガラス５における搬送方向Ａの長さＬ３、Ｌ４が、第１挟持ローラ対８５と第２挟持ローラ対８６との間隔Ｄ２以上であることにより、第１挟持ローラ対８５と第２挟持ローラ対８６とで同時に第１積層体６を挟持することができる。よって、第１積層体６を第１挟持ローラ対８５から第２挟持ローラ対８６へ脱落させることなく受け渡すことができる。換言すると、洗浄部材８２で洗浄中の第１積層体６は、少なくとも第１挟持ローラ対８５と第２挟持ローラ対８６のどちらかで挟まれる状態となるため、第１挟持ローラ対８５又は第２挟持ローラ対８６のいずれかによって固定される。よって、第１挟持ローラ対８５と第２挟持ローラ対８６との間隔Ｄ２が広い既存の洗浄装置８であっても、洗浄装置８を変更することなく小サイズのガラスフィルム２及び支持ガラス３を搬送することができる。
　なお、第１洗浄工程Ｓ４は、洗浄効果を向上させる観点から、上述した工程前に純水で洗浄し、上述した工程後にアルカリイオン水で洗浄する工程を含んでいてもよい。これらの工程にも上記の洗浄装置８と同様の装置を用いることができる。
［第２洗浄工程］
　第２洗浄工程Ｓ５は、第２積層体７の支持ガラス３側を洗浄する工程である。第２洗浄工程Ｓ５は、上記の洗浄装置８を用いて第１洗浄工程Ｓ４と同様にして行うことができるため、詳細な説明は省略する。
　なお、第１洗浄工程Ｓ４及び第２洗浄工程Ｓ５で用いる洗浄方法は、搬送ローラを用いて搬送する形態であれば上記の方法に限定されることはなく、ガラス製品の洗浄に用いられる一般的な方法を用いることができる。例えば、超音波洗浄、紫外光やオゾンを用いる光化学洗浄、プラズマを用いる物理洗浄などを単独又は適宜組み合わせて用いることができる。特に、上記第１洗浄工程Ｓ４及び第２洗浄工程Ｓ５では、第１挟持ローラ対８５と第２挟持ローラ対８６とで第１積層体６及び第２積層体７を挟持しながら洗浄部材８２を使用して擦り洗浄を行っていたが、洗浄部材８２を使用せずに洗浄水のかけ流しのリンス洗浄等を行う場合、第１挟持ローラ対８５と第２挟持ローラ対８６を省略してもよい。
［第１剥離工程］
　図１に示すように、第１剥離工程Ｓ６は、第１洗浄工程Ｓ４後の第１積層体６からガラスフィルム２を剥離する工程である。第１剥離工程Ｓ６において、ガラスフィルム２の突出部分２ｃを把持して剥離することにより、第１キャリアガラス４からガラスフィルム２を容易に剥離することができる。
［第２剥離工程］
　図１に示すように、第２剥離工程Ｓ７は、第２洗浄工程Ｓ５後の第２積層体７から支持ガラス３を剥離する工程である。第２剥離工程Ｓ７において、支持ガラス３の突出部分３ｃを把持して剥離することにより、第２キャリアガラス５から支持ガラス３を容易に剥離することができる。
　なお、第１剥離工程Ｓ６後の第１キャリアガラス４及び第２剥離工程Ｓ７後の第２キャリアガラス５は、再度、第１積層工程Ｓ２及び第２積層工程Ｓ３で利用することができる。
［第３積層工程］
　図１に示すように、第３積層工程Ｓ８は、第１剥離工程Ｓ６後のガラスフィルム２の洗浄面と、第２剥離工程Ｓ７後の支持ガラス３の洗浄面とを貼り合わせてガラスフィルム積層体１を作製する工程である。第３積層工程Ｓ８においては、平坦な貼り合わせ台９上にガラスフィルム２を洗浄面（上面２ｂ）を上向きにして載置し、その上に支持ガラス３を洗浄面（上面３ｂ）を下向きにして密着させる。これにより、ガラスフィルム２と支持ガラス３は、上述した第１積層体６や第２積層体７と同様に、接着剤なしに剥離可能な程度に固着してガラスフィルム積層体１を形成する。
　なお、第３積層工程Ｓ８は、減圧下で行ってもよい。これにより、ガラスフィルム２と支持ガラス３との間に生じる気泡を低減させることができる。
［第２実施形態］
　次に、第２実施形態の製造方法について説明する。第１実施形態で用いた部材と同部材には同符号を付し、その詳細な説明を省略する。
　図５に示すように、第２実施形態の製造方法は、ガラスフィルム２と、支持ガラス３と、ガラスフィルム２及び支持ガラス３よりも大面積のキャリアガラス１２とを準備する準備工程Ｓ１１と、キャリアガラス１２の一面における異なる位置にガラスフィルム２及び支持ガラス３を積層して積層体１３を作製する第１積層工程Ｓ１２と、積層体１３のガラスフィルム２及び支持ガラス３側を洗浄する洗浄工程Ｓ１３と、洗浄工程Ｓ１３後の積層体１３からガラスフィルム２及び支持ガラス３を剥離する剥離工程Ｓ１４と、剥離工程Ｓ１４後のガラスフィルム２及び支持ガラス３を、洗浄された面どうしを貼り合わせてガラスフィルム積層体１を作製する第２積層工程Ｓ１５とを含んでいる。
　この製造方法によれば、第１実施形態の製造方法と同様の効果が得られる。加えて、一度にガラスフィルム２と支持ガラス３とを洗浄できるため、生産効率がよい。
［準備工程］
　準備工程Ｓ１１において、準備するガラスフィルム２及び支持ガラス３は第１実施形態のものと同一である。また、準備するキャリアガラス１２は第１実施形態の第１キャリアガラス４と同一である。
［第１積層工程］
　第１積層工程Ｓ１２において、キャリアガラス１２の一面における異なる位置にガラスフィルム２及び支持ガラス３を積層して積層体１３を作製する。これは第１実施形態における第１キャリアガラス４及び第２キャリアガラス５を１枚のキャリアガラス１２としたものである。
　積層体１３において、キャリアガラス１２の端部からガラスフィルム２及び支持ガラス３の一部が突出し、突出部分２ｃ、３ｃを形成している。この端部は、洗浄装置８で搬送されるときの搬送方向上流側端部である。なお、積層体１３において、キャリアガラス１２に対するガラスフィルム２及び支持ガラス３の積層位置は、上述した位置に限定されることはなく、例えば、キャリアガラス１２の中央にガラスフィルム２及び支持ガラス３を並べて積層してもよい。
　また、キャリアガラス１２をさらに大面積にすることで、より多くのガラスフィルム２及び支持ガラス３を積層することができる。つまり、１枚のキャリアガラスに積層するガラスフィルム２及び支持ガラス３は、それぞれ１枚以上であればよい。１枚のキャリアガラスに多くのガラスフィルム２及び支持ガラス３を積層することにより、洗浄工程における効率がよい。
［洗浄工程］
　洗浄工程Ｓ１３は、積層体１３のガラスフィルム２及び支持ガラス３側を洗浄する工程である。洗浄工程Ｓ１３は、第１実施形態の洗浄装置８を用いて第１実施形態の第１洗浄工程Ｓ４と同様にして行うことができる。洗浄工程Ｓ１３により１枚の積層体１３を洗浄することで、ガラスフィルム２の上面２ｂ及び支持ガラス３の上面３ｂの異物を一度に取り除くことができる。
［剥離工程］
　剥離工程Ｓ１４は、洗浄工程Ｓ１３後の積層体１３からガラスフィルム２及び支持ガラス３を剥離する工程である。剥離工程Ｓ１４においては、ガラスフィルム２の突出部分２ｃ、支持ガラス３の突出部分３ｃを把持してそれぞれ剥離することで容易に剥離することができる。なお、剥離工程Ｓ１４後のキャリアガラス１２は、再度、第１積層工程Ｓ１２で利用することができる。
［第２積層工程］
　第２積層工程Ｓ１５は、剥離工程Ｓ１４後のガラスフィルム２の洗浄面と支持ガラス３の洗浄面とを貼り合わせてガラスフィルム積層体１を作製する工程である。第２積層工程Ｓ１５は、第１実施形態の第３積層工程Ｓ８と同様にして行うことができる。
　上述した実施形態では、ガラスフィルム２単体での取り扱いが困難なため、ガラスフィルム積層体１にして取り扱いを容易にする必要があった。逆に言うと、ガラスフィルム２と同じ大きさでガラスフィルム２よりも厚く、単体で取り扱うことが可能なガラス板を用いる場合には、ガラスフィルム積層体を作製する必要はない。つまり、支持ガラス３は不要であり、ガラス板の保証面を洗浄できればよい。
　よって、ガラス板の洗浄方法は、複数のガラス板と、ガラス板よりも大面積のキャリアガラスとを準備する準備工程と、キャリアガラスの一面における異なる位置に複数のガラス板を積層して積層体を作製する積層工程と、積層体のガラス板側を洗浄する洗浄工程と、洗浄工程後の積層体からガラス板を剥離する剥離工程とを含んでいればよい。準備工程、積層工程、洗浄工程及び剥離工程は、第２実施形態の準備工程Ｓ１１、第１積層工程Ｓ１２、洗浄工程Ｓ１３及び剥離工程Ｓ１４において、ガラスフィルム２及び支持ガラス３をそれぞれガラス板に置き換えることで実現することができる。なお、本実施形態において、ガラス板の保証面は、積層体に積層されたガラス板の上面側となる。
　このガラス板の洗浄方法によれば、洗浄工程において用いる洗浄装置８（図４参照）で搬送できない小サイズのガラス板を、洗浄装置８を変更することなく搬送可能となり、小サイズのガラス板を洗浄することができる。加えて、一度に複数のガラス板を洗浄できるため、生産効率がよい。
　なお、本明細書において、材料や大きさ、用途を考慮して単体での取り扱いが可能である場合に、キャリアガラスに積層されるものをガラス板として説明している。したがって、ガラス板が上述したガラスフィルム２の厚みの範囲内であっても、単体での取り扱いが可能である場合にはガラス板として用いることが可能である。
　１　　　　　ガラスフィルム積層体
　２　　　　　ガラスフィルム
　３　　　　　支持ガラス
　４　　　　　第１キャリアガラス
　５　　　　　第２キャリアガラス
　６　　　　　第１積層体
　７　　　　　第２積層体
　８　　　　　洗浄装置
　１２　　　　キャリアガラス
　１３　　　　積層体
　８１　　　　搬送ローラ
　８２　　　　洗浄部材
　８５　　　　第１挟持ローラ対
　８６　　　　第２挟持ローラ対
　Ａ　　　　　搬送方向
　Ｄ１　　　　間隔
　Ｄ２　　　　間隔
　Ｓ１　　　　準備工程
　Ｓ２　　　　第１積層工程
　Ｓ３　　　　第２積層工程
　Ｓ４　　　　第１洗浄工程
　Ｓ５　　　　第２洗浄工程
　Ｓ６　　　　第１剥離工程
　Ｓ７　　　　第２剥離工程
　Ｓ８　　　　第３積層工程
　Ｓ１１　　　準備工程
　Ｓ１２　　　第１積層工程
　Ｓ１３　　　洗浄工程
　Ｓ１４　　　剥離工程
　Ｓ１５　　　第２積層工程

Claims (6)

  1. 　支持ガラス上にガラスフィルムが積層されたガラスフィルム積層体の製造方法であって、
    　前記ガラスフィルムと、前記支持ガラスと、前記ガラスフィルムよりも大面積の第１キャリアガラスと、前記支持ガラスよりも大面積の第２キャリアガラスとを準備する準備工程と、
    　前記第１キャリアガラスに前記ガラスフィルムを積層して第１積層体を作製する第１積層工程と、
    　前記第２キャリアガラスに前記支持ガラスを積層して第２積層体を作製する第２積層工程と、
    　前記第１積層体の前記ガラスフィルム側を洗浄する第１洗浄工程と、
    　前記第２積層体の前記支持ガラス側を洗浄する第２洗浄工程と、
    　前記第１洗浄工程後の前記第１積層体から前記ガラスフィルムを剥離する第１剥離工程と、
    　前記第２洗浄工程後の前記第２積層体から前記支持ガラスを剥離する第２剥離工程と、
    　前記第１剥離工程後の前記ガラスフィルムと前記第２剥離工程後の前記支持ガラスとを、洗浄された面どうしを貼り合わせて前記ガラスフィルム積層体を作製する第３積層工程と、
    を含むことを特徴とするガラスフィルム積層体の製造方法。
  2. 　前記第１洗浄工程及び前記第２洗浄工程で用いる洗浄装置は、
    　前記第１積層体の下面及び前記第２積層体の下面を支持しながら搬送する複数の搬送ローラと、
    　前記第１積層体の上面及び前記第２積層体の上面を洗浄する洗浄部材と、
    　前記洗浄部材の搬送方向上流に配置され、前記第１積層体の上下面及び前記第２積層体の上下面を挟持しながら搬送する第１挟持ローラ対と、
    　前記洗浄部材の搬送方向下流に配置され、前記第１積層体の上下面及び前記第２積層体の上下面を挟持しながら搬送する第２挟持ローラ対と、を備え、
    　前記第１挟持ローラ対と前記第２挟持ローラ対との間隔は、前記第１キャリアガラス及び前記第２キャリアガラスにおける搬送方向の長さ以下である、
    ことを特徴とする請求項１に記載のガラスフィルム積層体の製造方法。
  3. 　前記第１積層体において、前記第１キャリアガラスの搬送方向上流側端部から前記ガラスフィルムの一部が突出し、
    　前記第２積層体において、前記第２キャリアガラスの搬送方向上流側端部から前記支持ガラスの一部が突出している、
    ことを特徴とする請求項２に記載のガラスフィルム積層体の製造方法。
  4. 　前記第１積層体は、前記第１キャリアガラスの一面の異なる位置に複数の前記ガラスフィルムを積層して作製され、
    　前記第２積層体は、前記第２キャリアガラスの一面の異なる位置に複数の前記支持ガラスを積層して作製されている、
    ことを特徴とする請求項１から請求項３の何れか一項に記載のガラスフィルム積層体の製造方法。
  5. 　支持ガラス上にガラスフィルムが積層されたガラスフィルム積層体の製造方法であって、
    　ガラスフィルムと、支持ガラスと、前記ガラスフィルム及び前記支持ガラスよりも大面積のキャリアガラスとを準備する準備工程と、
    　前記キャリアガラスの一面における異なる位置に前記ガラスフィルム及び前記支持ガラスを積層して積層体を作製する第１積層工程と、
    　前記積層体の前記ガラスフィルム及び前記支持ガラス側を洗浄する洗浄工程と、
    　前記洗浄工程後の前記積層体から前記ガラスフィルム及び前記支持ガラスを剥離する剥離工程と、
    　前記剥離工程後の前記ガラスフィルム及び前記支持ガラスを、洗浄された面どうしを貼り合わせて前記ガラスフィルム積層体を作製する第２積層工程と、
    を含むことを特徴とするガラスフィルム積層体の製造方法。
  6. 　複数のガラス板と、前記ガラス板よりも大面積のキャリアガラスとを準備する準備工程と、
    　前記キャリアガラスの一面における異なる位置に複数の前記ガラス板を積層して積層体を作製する積層工程と、
    　前記積層体の前記ガラス板側を洗浄する洗浄工程と、
    　前記洗浄工程後の前記積層体から前記ガラス板を剥離する剥離工程と、
    を含むことを特徴とするガラス板の洗浄方法。
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