CN116457112A - 玻璃膜层叠体的制造方法以及玻璃板的清洗方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供不变更搬运辊的间隔较宽的现有清洗装置就能够搬运无法由该清洗装置搬运的小尺寸的玻璃膜以及支承玻璃从而能够制作小尺寸的玻璃膜层叠体的玻璃膜层叠体的制造方法。玻璃膜层叠体(1)的制造方法包括：第一层叠工序(S2)，在第一载体玻璃(4)层叠玻璃膜(2)而制作第一层叠体(6)；第二层叠工序(S3)，在第二载体玻璃(5)层叠支承玻璃(3)而制作第二层叠体(7)；第一清洗工序(S4)，对第一层叠体(6)进行清洗；第二清洗工序(S5)，对第二层叠体(7)进行清洗；第一剥离工序(S6)，从第一层叠体(6)剥离玻璃膜(2)；第二剥离工序(S7)，从第二层叠体(7)剥离支承玻璃(3)；以及第三层叠工序(S8)，将玻璃膜(2)的清洗面与支承玻璃(3)的清洗面贴合而制作玻璃膜层叠体(1)。

Description

玻璃膜层叠体的制造方法以及玻璃板的清洗方法

技术领域

本发明涉及玻璃膜层叠体的制造方法以及玻璃板的清洗方法。

背景技术

近年来，针对用于平板显示器等电子设备的基板、罩玻璃，实现进一步的轻薄化与高的挠性的需求高涨。为了对玻璃基板赋予挠性，将玻璃基板轻薄化是有效的，提出有厚度200μm以下的玻璃膜。

对玻璃基板进行加工处理、清洗处理等各种制造相关处理。然而，当将玻璃基板轻薄化时，玻璃由于是脆性材料因此会由于一些应力变化而破损，存在在进行各种电子设备的制造相关处理时处理困难这样的问题。

因此，为了使轻薄化的玻璃膜的处理性提高，提出有使玻璃膜层叠于支承玻璃上的玻璃膜层叠体(参照专利文献1)。根据这种玻璃膜层叠体，即使在单体的情况下使用没有强度、刚性的玻璃膜，也由于支承玻璃的刚性高，因此在处理时作为玻璃膜层叠体整体容易进行处理。另外，处理结束后能够将玻璃膜从支承玻璃剥离。若使玻璃膜层叠体的厚度与以往的玻璃基板的厚度相同，则也能够使用以往的玻璃基板用的电子设备生产线来制造电子设备。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2015/056602号

发明内容

发明要解决的课题

为了在支承玻璃上层叠玻璃膜，需要使支承玻璃与玻璃膜的贴合面成为清洁的状态，并需要在贴合前清洗支承玻璃与玻璃膜。在根据各种电子设备的尺寸而要求各种玻璃膜层叠体的尺寸时发现，在为小型的电子设备用而制作小尺寸的玻璃膜层叠体的情况下，若使用在大型的玻璃膜层叠体的生产线中使用的清洗装置，则产生下述那样的问题。

在清洗装置内，为了使清洗液顺畅地流下，使用多个搬运辊隔开一定的间隔地配置的搬运装置来搬运玻璃膜以及支承玻璃。

然而，在使用现有的大型的玻璃膜层叠体用的清洗装置的情况下，多个搬运辊的间隔过宽，比其间隔短的小尺寸的玻璃膜以及支承玻璃脱落，因此产生无法进行搬运这样的问题。因而，为了清洗小尺寸的玻璃膜以及支承玻璃而必须重新准备搬运辊的间隔窄的清洗装置，导致大规模变更。

本发明的目的在于提供不变更搬运辊的间隔较宽的现有清洗装置就能够搬运无法由该清洗装置搬运的小尺寸的玻璃膜以及支承玻璃从而能够制作小尺寸的玻璃膜层叠体的玻璃膜层叠体的制造方法。另外，本发明的目的还在于提供不变更搬运辊的间隔较宽的现有清洗装置就能够搬运无法由该清洗装置搬运的小尺寸的玻璃板从而能够清洗小尺寸的玻璃板的玻璃板的清洗方法。

用于解决课题的方案

本发明为一种玻璃膜层叠体的制造方法，所述玻璃膜层叠体在支承玻璃上层叠有玻璃膜，所述玻璃膜层叠体的制造方法的特征在于，包括：准备工序，准备所述玻璃膜、所述支承玻璃、面积比所述玻璃膜大的第一载体玻璃以及面积比所述支承玻璃大的第二载体玻璃；第一层叠工序，在所述第一载体玻璃层叠所述玻璃膜而制作第一层叠体；第二层叠工序，在所述第二载体玻璃层叠所述支承玻璃而制作第二层叠体；第一清洗工序，对所述第一层叠体的所述玻璃膜侧进行清洗；第二清洗工序，对所述第二层叠体的所述支承玻璃侧进行清洗；第一剥离工序，从所述第一清洗工序后的所述第一层叠体剥离所述玻璃膜；第二剥离工序，从所述第二清洗工序后的所述第二层叠体剥离所述支承玻璃；以及第三层叠工序，将所述第一剥离工序后的所述玻璃膜与所述第二剥离工序后的所述支承玻璃的已清洗的面彼此贴合而制作所述玻璃膜层叠体。

根据上述的结构，通过使小尺寸的玻璃膜以及支承玻璃承载于大尺寸的第一载体玻璃以及第二载体玻璃，从而即使是搬运辊的间隔较宽的现有清洗装置，不变更清洗装置也能够进行搬运，能够制作小尺寸的玻璃膜层叠体。

在上述的玻璃膜层叠体的制造方法中，优选的是，在所述第一清洗工序以及所述第二清洗工序中使用的清洗装置具备：多个搬运辊，它们在支承所述第一层叠体的下表面以及所述第二层叠体的下表面的同时进行搬运；清洗构件，其清洗所述第一层叠体的上表面以及所述第二层叠体的上表面；第一夹持辊对，其配置于所述清洗构件的搬运方向上游，并在夹持所述第一层叠体的上下表面以及所述第二层叠体的上下表面的同时进行搬运；以及第二夹持辊对，其配置于所述清洗构件的搬运方向下游，并在夹持所述第一层叠体的上下表面以及所述第二层叠体的上下表面的同时进行搬运，所述第一夹持辊对与所述第二夹持辊对的间隔为所述第一载体玻璃以及所述第二载体玻璃的搬运方向上的长度以下。

根据上述的结构，在由清洗构件进行的清洗中，至少第一夹持辊对与第二夹持辊对中的任一夹持辊对能够夹着第一层叠体以及第二层叠体，因此能够在由清洗构件进行的清洗中，利用任一夹持辊对来固定第一层叠体以及第二层叠体。

另外，在上述的玻璃膜层叠体的制造方法中，优选的是，在所述第一层叠体中，所述玻璃膜的一部分从所述第一载体玻璃的搬运方向上游侧端部突出，在所述第二层叠体中，所述支承玻璃的一部分从所述第二载体玻璃的搬运方向上游侧端部突出。

根据上述的结构，在第一剥离工序以及第二剥离工序中，通过把持玻璃膜的突出部分以及支承玻璃的突出部分并将它们剥离，从而能够容易地剥离玻璃膜以及支承玻璃。另外，突出部分为搬运方向上游侧，从而突出部分不会卡挂于清洗构件。

另外，在上述的玻璃膜层叠体的制造方法中，优选的是，所述第一层叠体通过在所述第一载体玻璃的一面的不同位置层叠多个所述玻璃膜而制作，所述第二层叠体通过在所述第二载体玻璃的一面的不同位置层叠多个所述支承玻璃而制作。

根据上述的结构，能够一次清洗多个玻璃膜与多个支承玻璃，因此生产效率好。

另外，本发明一种玻璃膜层叠体的制造方法，所述玻璃膜层叠体在支承玻璃上层叠有玻璃膜，所述玻璃膜层叠体的制造方法的特征在于，包括：准备工序，准备玻璃膜、支承玻璃以及面积比所述玻璃膜及所述支承玻璃大的载体玻璃；第一层叠工序，在所述载体玻璃的一面的不同位置层叠所述玻璃膜以及所述支承玻璃而制作层叠体；清洗工序，对所述层叠体的所述玻璃膜以及所述支承玻璃侧进行清洗；剥离工序，从所述清洗工序后的所述层叠体剥离所述玻璃膜以及所述支承玻璃；以及第二层叠工序，将所述剥离工序后的所述玻璃膜以及所述支承玻璃的已清洗的面彼此贴合而制作所述玻璃膜层叠体。

根据上述的结构，通过使小尺寸的玻璃膜以及支承玻璃承载于大尺寸的载体玻璃，从而即使是搬运辊的间隔较宽的现有清洗装置，不变更清洗装置也能够进行搬运，能够制作小尺寸的玻璃膜层叠体。另外，能够一次清洗玻璃膜与支承玻璃，因此生产效率好。

另外，本发明的玻璃板的清洗方法包括：准备工序，准备多个玻璃板以及面积比所述玻璃板大的载体玻璃；层叠工序，在所述载体玻璃的一面的不同位置层叠多个所述玻璃板而制作层叠体；清洗工序，对所述层叠体的所述玻璃板侧进行清洗；以及剥离工序，从所述清洗工序后的所述层叠体剥离所述玻璃板。

根据上述的结构，通过使多个小尺寸的玻璃板承载于大尺寸的载体玻璃，从而即使是搬运辊的间隔较宽的现有清洗装置，不变更清洗装置也能够进行搬运，能够清洗小尺寸的玻璃板。另外，能够一次清洗多个玻璃板，因此生产效率好。

发明效果

根据本发明的玻璃膜层叠体的制造方法，不变更搬运辊的间隔较宽的现有清洗装置就能够搬运无法由该清洗装置搬运的小尺寸的玻璃膜以及支承玻璃，从而能够制作小尺寸的玻璃膜层叠体。另外，根据本发明的玻璃板的清洗方法，不变更搬运辊的间隔较宽的现有清洗装置就能够搬运无法由该清洗装置搬运的小尺寸的玻璃板，从而能够清洗小尺寸的玻璃板。

附图说明

图1是对第一实施方式的玻璃膜层叠体的制造方法进行说明的图。

图2是第一实施方式的第一层叠体以及第二层叠体的俯视图。

图3是变形例的第一层叠体以及第二层叠体的俯视图。

图4是第一实施方式的清洗装置的示意图。

图5是对第二实施方式的玻璃膜层叠体的制造方法进行说明的图。

具体实施方式

以下，针对本发明的玻璃膜层叠体1的制造方法，以第一实施方式以及第二实施方式为例进行说明。

[第一实施方式]

如图1所示，第一实施方式的制造方法包括：准备工序S1，准备玻璃膜2、支承玻璃3、面积比玻璃膜2大的第一载体玻璃4以及面积比支承玻璃3大的第二载体玻璃5；第一层叠工序S2，在第一载体玻璃4层叠玻璃膜2而制作第一层叠体6；第二层叠工序S3，在第二载体玻璃5层叠支承玻璃3而制作第二层叠体7；第一清洗工序S4，对第一层叠体6的玻璃膜2侧进行清洗；第二清洗工序S5，对第二层叠体7的支承玻璃3侧进行清洗；第一剥离工序S6，从第一清洗工序S4后的第一层叠体6剥离玻璃膜2；第二剥离工序S7，从第二清洗工序S5后的第二层叠体7剥离支承玻璃3；以及第三层叠工序S8，将第一剥离工序S6后的玻璃膜2以及第二剥离工序S7后的支承玻璃3的已清洗的面彼此贴合而制作玻璃膜层叠体1。

根据该制造方法，不变更在第一清洗工序S4以及第二清洗工序S5中使用的清洗装置8(参照图4)就能够搬运无法由该清洗装置8搬运的小尺寸的玻璃膜2以及支承玻璃3，能够制作小尺寸的玻璃膜层叠体1。

[准备工序]

在准备工序S1中，作为所准备的玻璃膜2的材料，能够使用硅酸盐玻璃、二氧化硅玻璃、硼硅酸玻璃、无碱玻璃等。玻璃膜2的厚度优选为300μm以下。需要说明的是，玻璃膜2的厚度更优选为200μm以下，进一步优选为100μm以下。出于确保玻璃膜2的强度的观点，玻璃膜2的厚度优选为5μm以上。

玻璃膜2优选被清洗装置8搬运时的搬运方向A的长度L1小于搬运辊81的间隔D1(参照图4)。对于玻璃膜2的形状没有特别限定，例如能够设为长方形或者正方形。本实施方式使用玻璃膜2为纵100mm且横100mm的正方形，厚度为100μm。

作为所准备的支承玻璃3的材料，与玻璃膜2相同，能够使用硅酸盐玻璃、二氧化硅玻璃、硼硅酸玻璃、无碱玻璃等。关于支承玻璃3，优选使用与玻璃膜2的30～380℃下的热膨胀系数之差为5×10^-7/℃以内的玻璃。出于抑制膨胀率之差的观点，支承玻璃3最优选使用与玻璃膜2相同的材料。

支承玻璃3的厚度优选为300μm以上。需要说明的是，支承玻璃3的厚度更优选为300～700μm，进一步优选为300～500μm。由此，能够利用支承玻璃3支承玻璃膜2，并且能够有效地抑制在从支承玻璃3剥离玻璃膜2时产生的玻璃膜2的破损。

支承玻璃3优选为比玻璃膜2大，且被清洗装置8搬运时的搬运方向A的长度L2小于搬运辊81的间隔D1。支承玻璃3的形状没有特别限定，例如能够设为长方形或者正方形。在本实施方式中使用的支承玻璃3是纵104mm且横104mm的正方形，厚度为500μm。

作为所准备的第一载体玻璃4以及第二载体玻璃5的材料，与玻璃膜2以及支承玻璃3相同地能够使用硅酸盐玻璃、二氧化硅玻璃、硼硅酸玻璃、无碱玻璃等。第一载体玻璃4以及第二载体玻璃5的厚度与支承玻璃3相同地优选为300μm以上。需要说明的是，第一载体玻璃4以及第二载体玻璃5的厚度更优选为300～700μm，进一步优选为300～500μm。

由此，能够利用第一载体玻璃4支承玻璃膜2，并且能够有效地抑制在从第一载体玻璃4剥离玻璃膜2时产生的玻璃膜2的破损。另外，能够利用第二载体玻璃5对支承玻璃3进行支承，并且能够有效地抑制在从第二载体玻璃5剥离支承玻璃3时产生的支承玻璃3的破损。

第一载体玻璃4以及第二载体玻璃5优选被清洗装置8搬运时的搬运方向A的长度L3、L4为搬运辊81的间隔D1以上且为清洗装置8的第一夹持辊对85与第二夹持辊对86的间隔D2以上。对于第一载体玻璃4以及第二载体玻璃5的形状没有特别限定，例如能够设为长方形或者正方形。在本实施方式中使用的第一载体玻璃4以及第二载体玻璃5为纵370mm且横(搬运方向A)470mm的长方形，厚度为500μm。如此，第一载体玻璃4的面积比玻璃膜2大，第二载体玻璃5的面积比支承玻璃3大。

[第一层叠工序]

如图1以及图2所示，在第一层叠工序S2中，在第一载体玻璃4层叠玻璃膜2而制作第一层叠体6。第一层叠体6中的玻璃膜2的下表面2a在第一层叠工序S2中是接触面，在第三层叠工序S8中成为保证面。接触面是与第一载体玻璃4相对并接触的一侧的面。保证面在电子设备等产品的制造中是实施元件的形成等制造相关处理的一侧的面。另一方面，第一层叠体6中的玻璃膜2的上表面2b是构成第一层叠体6的上表面6b的一部分的清洗面。清洗面是在第一清洗工序S4中被清洗的一侧的面。

第一层叠体6中的第一载体玻璃4的下表面4a是构成第一层叠体6的下表面6a的搬运面。搬运面是在被清洗装置8搬运时支承于搬运辊81(参照图4)的一侧的面。另一方面，第一层叠体6中的第一载体玻璃4的上表面4b的一部分构成第一层叠体6的上表面6b的一部分，该上表面4b的另一部分是接触面。接触面是与玻璃膜2相对并接触的一侧的面。

当在第一层叠工序S2中使玻璃膜2与第一载体玻璃4紧贴时，无粘接剂且以能够剥离的程度进行固定接触而形成第一层叠体6。该现象被认为是在玻璃膜2的接触面与第一载体玻璃4的接触面形成的羟基彼此的氢结合而相互固定接触的现象。或者被认为是夹着存在于玻璃膜2与第一载体玻璃4的界面的水分子并形成氢结合而相互固定接触的现象。

在第一层叠体6中，玻璃膜2的一部分从第一载体玻璃4的端部突出，形成突出部分2c。该端部是被清洗装置8搬运时的搬运方向上游侧端部。突出部分2c的突出量例如能够设为1～10mm。在第一清洗工序S4中突出部分2c位于搬运方向上游侧，从而即使清洗构件82反转(在图1中为顺时针)，突出部分2c也不会卡挂于清洗构件82(参照图4)。另外，在第一剥离工序S6中，通过把持玻璃膜2的突出部分2c并将其剥离，从而能够容易地剥离玻璃膜2。

需要说明的是，在第一层叠体6中，玻璃膜2相对于第一载体玻璃4的层叠位置并不限定于上述的位置，例如，也可以在第一载体玻璃4的中央层叠玻璃膜2。

另外，作为第一层叠体6的变形例，也可以是图3所示那样的第一层叠体61。即，在第一载体玻璃4的一面(上表面4b)的不同位置层叠多个玻璃膜2而制作第一层叠体61。由此，在第一清洗工序S4中，能够一次清洗多个玻璃膜2，因此生产效率好。

需要说明的是，通过将第一载体玻璃4设为更大的面积，从而能够层叠更多的玻璃膜2。另外，玻璃膜2相对于第一载体玻璃4的层叠位置没有特别限定，但优选为如图3所示那样形成突出部分2c那样的位置。

[第二层叠工序]

如图1以及图2所示，在第二层叠工序S3中，在第二载体玻璃5层叠支承玻璃3而制作第二层叠体7。第二层叠体7中的支承玻璃3的下表面3a是接触面。接触面是与第二载体玻璃5相对并接触的一侧的面。另一方面，第二层叠体7中的支承玻璃3的上表面3b是构成第二层叠体7的上表面7b的一部分的清洗面。清洗面是在第二清洗工序S5中被清洗的一侧的面。

第二层叠体7中的第二载体玻璃5的下表面5a是构成第二层叠体7的下表面7a的搬运面。搬运面是在被清洗装置8搬运时支承于搬运辊81的一侧的面。另一方面，第二层叠体7中的第二载体玻璃5的上表面5b的一部分构成第二层叠体7的上表面7b的一部分，该上表面5b的另一部分是接触面。接触面是与支承玻璃3相对并接触的一侧的面。

当在第二层叠工序S3中使支承玻璃3与第二载体玻璃5紧贴时，如上述那样，无粘接剂且以能够剥离的程度进行固定接触而形成第二层叠体7。与第一层叠体6相同，在第二层叠体7中，支承玻璃3的一部分从第二载体玻璃5的端部突出，形成突出部分3c。该端部是在被清洗装置8搬运时的搬运方向上游侧端部。突出部分3c的突出量例如能够设为1～10mm。通过该突出部分3c，得到与上述的突出部分2c相同的作用效果。

需要说明的是，在第二层叠体7中，也是支承玻璃3相对于第二载体玻璃5的层叠位置并不限定于上述的位置，例如，也可以在第二载体玻璃5的中央层叠支承玻璃3。

另外，作为第二层叠体7的变形例，也可以是图3所示那样的第二层叠体71。即，在第二载体玻璃5的一面(上表面5b)的不同位置层叠多个支承玻璃3而制作第二层叠体71。由此，在第二清洗工序S5中，能够一次清洗多个支承玻璃3，因此生产效率好。

需要说明的是，通过将第二载体玻璃5设为更大的面积，从而能够层叠更多的支承玻璃3。另外，支承玻璃3相对于第二载体玻璃5的层叠位置没有特别限定，但优选为如图3所示那样形成突出部分3c那样的位置。

[第一清洗工序]

第一清洗工序S4是对第一层叠体6的玻璃膜2侧进行清洗的工序。通过第一清洗工序S4，能够去除玻璃膜2的上表面2a的异物，减少在第三层叠工序S8中在玻璃膜2与支承玻璃3之间产生气泡的情况。

图4是在第一清洗工序S4中使用的清洗装置8的主要部分侧视图。清洗装置8具备多个搬运辊81、清洗构件82、多个清洗喷嘴83、一对气刀84、第一夹持辊对85以及第二夹持辊对86。

搬运辊81是在支承第一层叠体6的下表面6a的同时进行搬运的辊。搬运辊81除了第一夹持辊对85与第二夹持辊对86之间以外从清洗装置8的起点到终点为止在整个区域具有间隔D1地配置。搬运辊81具有向搬运方向A旋转的轴部811以及以等间隔固定于轴部811的多个圆盘体812。在圆盘体812的外周部安装有树脂制的环状缓冲构件(未图示)。通过向轴部811输入来自驱动源(未图示)的驱动力，从而轴部811以及圆盘体812向搬运方向A旋转，支承于圆盘体812的第一层叠体6被向搬运方向A搬运。

清洗构件82是对第一层叠体6的上表面6b进行清洗的构件。清洗构件82配置于比搬运辊81靠上方的位置。作为清洗构件82，例如，能够使用刷辊等清洗刷、海绵辊等清洗海绵。本实施方式的清洗构件82由具有向与搬运方向A相反的方向旋转的轴部821以及固定于轴部821的圆筒状的刷822的刷辊构成。通过向轴部821输入来自驱动源(未图示)的驱动力，从而轴部821以及刷822向与搬运方向A相反的方向旋转，刷822与第一层叠体6的上表面6b接触而将异物刮落。

清洗喷嘴83是喷出清洗剂的构件。清洗喷嘴83配置为比搬运辊81靠上方且能够向第一夹持辊对85与清洗构件82之间以及清洗构件82与第二夹持辊对86之间分别喷出清洗剂。从清洗喷嘴83喷出了的清洗剂喷涂于第一层叠体6的上表面6b。通过清洗剂容易将第一层叠体6的上表面6b的异物去除。

气刀84是喷出压缩空气的构件。气刀84在第二夹持辊对86的搬运方向下游以相互对置的方式配置于比搬运辊81靠上方的位置与比该搬运辊81靠下方的位置。从气刀84喷出了的压缩空气吹拂第一层叠体6的上表面6b以及下表面6a。由此，残留于第一层叠体6的上表面6b以及下表面6a的清洗剂的液滴被去除。需要说明的是，配置于比搬运辊81靠下方的位置的气刀84也可以省略。

第一夹持辊对85配置于清洗构件82的搬运方向上游，且是在夹持第一层叠体6的上表面6b以及下表面6a的同时进行搬运的辊对。需要说明的是，在第一夹持辊对85与清洗构件82之间未配置搬运辊81。第一夹持辊对85具有：上辊851，其配置于比搬运辊81靠上方的位置且与第一层叠体6的上表面6b抵接；以及下辊852，其配置于与搬运辊81相同的高度且与第一层叠体6的下表面6a抵接。

上辊851以及下辊852具有向搬运方向A旋转的轴部853以及以等间隔固定于轴部853的多个橡胶辊854。需要说明的是，橡胶辊854也可以是沿着轴部853配置的一个较长的辊。另外，橡胶辊854若能够不使第一层叠体6破损地夹持，则也可以是其他的使用了树脂等的辊。

通过向轴部853输入来自驱动源(未图示)的驱动力，从而轴部853以及橡胶辊854向搬运方向A旋转，第一层叠体6被上下的橡胶辊854夹持的同时被向搬运方向A搬运。第一层叠体6在被第一夹持辊对85夹持的同时被搬运，从而在第一层叠体6到达第二夹持辊对86之前，第一层叠体6也不会被向搬运方向A的相反方向旋转的清洗构件82推回而是被搬运。

第二夹持辊对86配置于清洗构件82的搬运方向下游，且是在夹持第一层叠体6的上表面6b以及下表面6a的同时进行搬运的辊对。需要说明的是，在清洗构件82与第二夹持辊对86之间未配置搬运辊81。第二夹持辊对86具有与第一夹持辊对85相同的结构。即，具有上辊861以及下辊862。并且，上辊861及下辊862具有轴部863以及多个橡胶辊864。

向轴部863输入来自驱动源(未图示)的驱动力，从而轴部863及橡胶辊864向搬运方向A旋转，第一层叠体6在被上下的橡胶辊864夹持的同时被向搬运方向A搬运。第一层叠体6在被第二夹持辊对86夹持的同时被搬运，从而在第一层叠体6通过了第一夹持辊对85之后，第一层叠体6也不会被向搬运方向A的相反方向旋转的清洗构件82推回而是被搬运。

如上述那样，在第一夹持辊对85与第二夹持辊对86之间未配置搬运辊81。因此，第一夹持辊对85与第二夹持辊对86的间隔D2存在比搬运辊81的间隔D1宽的倾向。即使在玻璃膜2的长度L1以及支承玻璃3的长度L2比搬运辊81的间隔D1长的情况下，在玻璃膜2的长度L1以及支承玻璃3的长度L2比第一夹持辊对85与第二夹持辊对86的间隔D2短时，玻璃膜2以及支承玻璃3也难以以单体搬运。

但是，如本实施方式那样，通过层叠于搬运方向A的长度L3比间隔D1、间隔D2长的第一载体玻璃4以及搬运方向A的长度L4比间隔D1、间隔D2长的第二载体玻璃5，从而能够搬运玻璃膜2以及支承玻璃3。

即，第一载体玻璃4以及第二载体玻璃5在搬运方向A上的长度L3、L4为第一夹持辊对85与第二夹持辊对86的间隔D2以上，从而能够利用第一夹持辊对85与第二夹持辊对86同时夹持第一层叠体6。因此，能够使第一层叠体6从第一夹持辊对85向第二夹持辊对86不脱落地交接。换言之，被清洗构件82清洗中的第一层叠体6由于成为被至少第一夹持辊对85与第二夹持辊对86中的任一辊对夹着的状态，因此被第一夹持辊对85以及第二夹持辊对86中的任一辊对固定。因此，即使是第一夹持辊对85与第二夹持辊对86的间隔D2较宽的现有的清洗装置8，也不用变更清洗装置8，就能够搬运小尺寸的玻璃膜2以及支承玻璃3。

需要说明的是，第一清洗工序S4出于使清洗效果提高的观点，也可以包括在上述的工序前利用纯水进行清洗并在上述的工序后利用碱离子水进行清洗的工序。在这些工序中也能够使用与上述的清洗装置8相同的装置。

[第二清洗工序]

第二清洗工序S5是对第二层叠体7的支承玻璃3侧进行清洗的工序。第二清洗工序S5能够使用上述的清洗装置8而与第一清洗工序S4相同地进行，因此省略详细的说明。

需要说明的是，在第一清洗工序S4以及第二清洗工序S5中使用的清洗方法只要是使用搬运辊来进行搬运的方式，则不限定于上述的方法，能够使用在玻璃产品的清洗中使用的一般方法。例如，能够单独或者适当组合地使用超声波清洗、使用紫外光、臭氧的光化学清洗、使用等离子体的物理清洗等。特别是，在上述第一清洗工序S4以及第二清洗工序S5中，在利用第一夹持辊对85与第二夹持辊对86夹持第一层叠体6以及第二层叠体7的同时使用清洗构件82进行擦拭清洗，但在不使用清洗构件82而进行清洗水冲洗的冲洗清洗等的情况下，也可以省略第一夹持辊对85以及第二夹持辊对86。

[第一剥离工序]

如图1所示，第一剥离工序S6是从第一清洗工序S4后的第一层叠体6剥离玻璃膜2的工序。在第一剥离工序S6中，通过把持玻璃膜2的突出部分2c并将其剥离，从而能够容易地从第一载体玻璃4剥离玻璃膜2。

[第二剥离工序]

如图1所示，第二剥离工序S7是从第二清洗工序S5后的第二层叠体7剥离支承玻璃3的工序。在第二剥离工序S7中，通过把持支承玻璃3的突出部分3c并将其剥离，从而能够容易地从第二载体玻璃5剥离支承玻璃3。

需要说明的是，第一剥离工序S6后的第一载体玻璃4以及第二剥离工序S7后的第二载体玻璃5能够再次在第一层叠工序S2以及第二层叠工序S3中利用。

[第三层叠工序]

如图1所示，第三层叠工序S8是将第一剥离工序S6后的玻璃膜2的清洗面与第二剥离工序S7后的支承玻璃3的清洗面贴合而制作玻璃膜层叠体1的工序。在第三层叠工序S8中，在平坦的贴合台9上以将清洗面(上表面2b)朝上的方式载置玻璃膜2，在该玻璃膜2上以将清洗面(上表面3b)朝下的方式紧贴支承玻璃3。由此，玻璃膜2以及支承玻璃3与上述的第一层叠体6、第二层叠体7相同地，无粘接剂且以能够剥离的程度进行固定接触而形成玻璃膜层叠体1。

需要说明的是，第三层叠工序S8也可以在减压下进行。由此，能够减少在玻璃膜2与支承玻璃3之间产生的气泡。

[第二实施方式]

接下来，对第二实施方式的制造方法进行说明。对与在第一实施方式中使用的构件相同的构件标注相同附图标记，省略其详细的说明。

如图5所示，第二实施方式的制造方法包括：准备工序S11，准备玻璃膜2、支承玻璃3以及面积比玻璃膜2及支承玻璃3大的载体玻璃12；第一层叠工序S12，在载体玻璃12的一面的不同位置层叠玻璃膜2以及支承玻璃3而制作层叠体13；清洗工序S13，对层叠体13的玻璃膜2以及支承玻璃3侧进行清洗；剥离工序S14，从清洗工序S13后的层叠体13剥离玻璃膜2以及支承玻璃3；以及第二层叠工序S15，将剥离工序S14后的玻璃膜2以及支承玻璃3的已清洗的面彼此贴合而制作玻璃膜层叠体1。

根据该制造方法，得到与第一实施方式的制造方法相同的效果。除此之外，能够一次清洗玻璃膜2与支承玻璃3，因此生产效率好。

[准备工序]

在准备工序S11中，所准备的玻璃膜2以及支承玻璃3与第一实施方式相同。另外，所准备的载体玻璃12与第一实施方式的第一载体玻璃4相同。

[第一层叠工序]

在第一层叠工序S12中，在载体玻璃12的一面的不同位置层叠玻璃膜2以及支承玻璃3而制作层叠体13。这是将第一实施方式中的第一载体玻璃4以及第二载体玻璃5作为一张载体玻璃12而得到的载体玻璃。

在层叠体13中，玻璃膜2以及支承玻璃3的一部分从载体玻璃12的端部突出，形成突出部分2c、3c。该端部是被清洗装置8搬运时的搬运方向上游侧端部。需要说明的是，在层叠体13中，玻璃膜2以及支承玻璃3相对于载体玻璃12的层叠位置并不限定于上述的位置，例如，也可以在载体玻璃12的中央将玻璃膜2以及支承玻璃3并排地层叠。

另外，通过将载体玻璃12设为更大的面积，从而能够层叠更多的玻璃膜2以及支承玻璃3。即，层叠于一张载体玻璃的玻璃膜2以及支承玻璃3分别为一张以上即可。通过在一张载体玻璃层叠较多的玻璃膜2以及支承玻璃3，从而清洗工序的效率好。

[清洗工序]

清洗工序S13是对层叠体13的玻璃膜2以及支承玻璃3侧进行清洗的工序。清洗工序S13能够使用第一实施方式的清洗装置8并与第一实施方式的第一清洗工序S4相同地进行。通过利用清洗工序S13清洗一张层叠体13，从而能够一次去除玻璃膜2的上表面2b以及支承玻璃3的上表面3b的异物。

[剥离工序]

剥离工序S14是从清洗工序S13后的层叠体13剥离玻璃膜2以及支承玻璃3的工序。在剥离工序S14中把持玻璃膜2的突出部分2c、支承玻璃3的突出部分3c并分别将它们剥离从而能够容易地进行剥离。需要说明的是，剥离工序S14后的载体玻璃12能够再次在第一层叠工序S12中利用。

[第二层叠工序]

第二层叠工序S15是将剥离工序S14后的玻璃膜2的清洗面与支承玻璃3的清洗面贴合而制作玻璃膜层叠体1的工序。第二层叠工序S15能够与第一实施方式的第三层叠工序S8相同地进行。

在上述的实施方式中，玻璃膜2单体的情况下的处理困难，因此需要设为玻璃膜层叠体1而使处理容易。反过来讲，在使用大小与玻璃膜2相同且比玻璃膜2厚而能够以单体进行处理的玻璃板的情况下，不需要制作玻璃膜层叠体。即，不需要支承玻璃3，能够清洗玻璃板的保证面即可。

因此，玻璃板的清洗方法包括如下工序即可，即，准备工序，准备多个玻璃板、面积比玻璃板大的载体玻璃；层叠工序，在载体玻璃的一面的不同位置层叠多个玻璃板而制作层叠体；清洗工序，对层叠体的玻璃板侧进行清洗；以及剥离工序，从清洗工序后的层叠体剥离玻璃板。准备工序、层叠工序、清洗工序以及剥离工序能够通过在第二实施方式的准备工序S11、第一层叠工序S12、清洗工序S13以及剥离工序S14中将玻璃膜2以及支承玻璃3分别置换为玻璃板而实现。需要说明的是，在本实施方式中，玻璃板的保证面成为层叠于层叠体的玻璃板的上表面侧。

根据该玻璃板的清洗方法，不变更在清洗工序中使用的清洗装置8(参照图4)就能够搬运无法由该清洗装置8搬运的小尺寸的玻璃板，能够清洗小尺寸的玻璃板。除此之外，能够一次清洗多个玻璃板，因此生产效率好。

需要说明的是，在本说明书中，在考虑材料、大小、用途而能够进行以单体的处理的情况下，将层叠于载体玻璃的构件设为玻璃板来进行说明。因而，即使玻璃板为上述玻璃膜2的厚度的范围内，在能够进行单体的处理的情况下，也能够作为玻璃板来使用。

附图标记说明

1玻璃膜层叠体

2玻璃膜

3支承玻璃

4第一载体玻璃

5第二载体玻璃

6第一层叠体

7第二层叠体

8清洗装置

12载体玻璃

13层叠体

81搬运辊

82清洗构件

85第一夹持辊对

86第二夹持辊对

A搬运方向

D1间隔

D2间隔

S1准备工序

S2第一层叠工序

S3第二层叠工序

S4第一清洗工序

S5第二清洗工序

S6第一剥离工序

S7第二剥离工序

S8第三层叠工序

S11准备工序

S12第一层叠工序

S13清洗工序

S14剥离工序

S15第二层叠工序。

Claims (6)

1.一种玻璃膜层叠体的制造方法，所述玻璃膜层叠体在支承玻璃上层叠有玻璃膜，

所述玻璃膜层叠体的制造方法的特征在于，包括：

准备工序，准备所述玻璃膜、所述支承玻璃、面积比所述玻璃膜大的第一载体玻璃以及面积比所述支承玻璃大的第二载体玻璃；

第一层叠工序，在所述第一载体玻璃层叠所述玻璃膜而制作第一层叠体；

第二层叠工序，在所述第二载体玻璃层叠所述支承玻璃而制作第二层叠体；

第一清洗工序，对所述第一层叠体的所述玻璃膜侧进行清洗；

第二清洗工序，对所述第二层叠体的所述支承玻璃侧进行清洗；

第一剥离工序，从所述第一清洗工序后的所述第一层叠体剥离所述玻璃膜；

第二剥离工序，从所述第二清洗工序后的所述第二层叠体剥离所述支承玻璃；以及

第三层叠工序，将所述第一剥离工序后的所述玻璃膜与所述第二剥离工序后的所述支承玻璃的已清洗的面彼此贴合而制作所述玻璃膜层叠体。

2.根据权利要求1所述的玻璃膜层叠体的制造方法，其特征在于，

在所述第一清洗工序以及所述第二清洗工序中使用的清洗装置具备：

多个搬运辊，它们在支承所述第一层叠体的下表面以及所述第二层叠体的下表面的同时进行搬运；

清洗构件，其清洗所述第一层叠体的上表面以及所述第二层叠体的上表面；

第一夹持辊对，其配置于所述清洗构件的搬运方向上游，并在夹持所述第一层叠体的上下表面以及所述第二层叠体的上下表面的同时进行搬运；以及

第二夹持辊对，其配置于所述清洗构件的搬运方向下游，并在夹持所述第一层叠体的上下表面以及所述第二层叠体的上下表面的同时进行搬运，

所述第一夹持辊对与所述第二夹持辊对的间隔为所述第一载体玻璃以及所述第二载体玻璃的搬运方向上的长度以下。

3.根据权利要求2所述的玻璃膜层叠体的制造方法，其特征在于，

在所述第一层叠体中，所述玻璃膜的一部分从所述第一载体玻璃的搬运方向上游侧端部突出，

在所述第二层叠体中，所述支承玻璃的一部分从所述第二载体玻璃的搬运方向上游侧端部突出。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的玻璃膜层叠体的制造方法，其特征在于，

所述第一层叠体通过在所述第一载体玻璃的一面的不同位置层叠多个所述玻璃膜而制作，

所述第二层叠体通过在所述第二载体玻璃的一面的不同位置层叠多个所述支承玻璃而制作。

5.一种玻璃膜层叠体的制造方法，所述玻璃膜层叠体在支承玻璃上层叠有玻璃膜，

所述玻璃膜层叠体的制造方法的特征在于，包括：

准备工序，准备玻璃膜、支承玻璃以及面积比所述玻璃膜及所述支承玻璃大的载体玻璃；

第一层叠工序，在所述载体玻璃的一面的不同位置层叠所述玻璃膜以及所述支承玻璃而制作层叠体；

清洗工序，对所述层叠体的所述玻璃膜以及所述支承玻璃侧进行清洗；

剥离工序，从所述清洗工序后的所述层叠体剥离所述玻璃膜以及所述支承玻璃；以及

第二层叠工序，将所述剥离工序后的所述玻璃膜以及所述支承玻璃的已清洗的面彼此贴合而制作所述玻璃膜层叠体。

6.一种玻璃板的清洗方法，其特征在于，

所述玻璃板的清洗方法包括：

准备工序，准备多个玻璃板以及面积比所述玻璃板大的载体玻璃；

层叠工序，在所述载体玻璃的一面的不同位置层叠多个所述玻璃板而制作层叠体；

清洗工序，对所述层叠体的所述玻璃板侧进行清洗；以及

剥离工序，从所述清洗工序后的所述层叠体剥离所述玻璃板。