WO2022097568A1 - 表面処理剤 - Google Patents

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WO2022097568A1
WO2022097568A1 PCT/JP2021/039876 JP2021039876W WO2022097568A1 WO 2022097568 A1 WO2022097568 A1 WO 2022097568A1 JP 2021039876 W JP2021039876 W JP 2021039876W WO 2022097568 A1 WO2022097568 A1 WO 2022097568A1
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WO
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surface treatment
ocf
silane compound
treatment agent
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PCT/JP2021/039876
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恒雄 山下
健 前平
尚志 三橋
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ダイキン工業株式会社
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    • C08G2650/48—Macromolecular compounds obtained by reactions forming an ether link in the main chain of the macromolecule characterised by the polymer type containing halogen containing fluorine, e.g. perfluropolyethers

Definitions

  • the present disclosure relates to a surface treatment agent and an article having a layer formed by the surface treatment agent.
  • the layer obtained from the surface treatment agent containing a fluorine-containing silane compound (hereinafter, also referred to as "surface treatment layer”) is a so-called functional thin film, for example, various base materials such as glass, plastic, fiber, sanitary goods, and building materials. (Patent Document 1).
  • the fluorine-containing silane compound described in Patent Document 1 can provide a surface treatment layer having excellent functions, but a surface treatment layer having higher friction durability and chemical resistance is required.
  • An object of the present disclosure is to provide a fluoropolyether group-containing compound capable of forming a surface treatment layer having higher friction durability and chemical resistance.
  • the disclosure includes the following aspects: [1] The following formula (I): R F1 -R 4- (OR 3 ) m -R 5 -SiR 1 n R 2 3-n (I) [During the ceremony: RF1 is Rf 1 - RF - Op- ; Rf 1 is a C 1-16 alkyl group optionally substituted with one or more fluorine atoms; RF is a divalent fluoropolyether group; p is 0 or 1; R 1 is -Z-SiR 11 q R 12 3-q independently in each appearance; Z is a divalent organic group; R 11 is a hydroxyl group or a hydrolyzable group independently at each appearance; R 12 is a hydrogen atom or a monovalent organic group, independently of each appearance; q is an integer from 1 to 3; R 2 is a hydrogen atom or a monovalent organic group; n is 2 or 3; R 3 is a C 1-6 alkylene group; m is an integer from 2 to 10; R
  • RF is the formula: -(OC 6 F 12 ) a- (OC 5 F 10 ) b- (OC 4 F 8 ) c- (OC 3 R Fa 6 ) d- (OC 2 F 4 ) e- (OCF 2 ) f- [In the formula, R Fa is a hydrogen atom, a fluorine atom or a chlorine atom independently at each appearance.
  • a, b, c, d, e and f are independently integers from 0 to 200, and the sum of a, b, c, d, e and f is 1 or more, and a, b,
  • the order of existence of each repeating unit in parentheses with c, d, e or f is arbitrary in the equation, provided that all R Fas are hydrogen or chlorine atoms, a, b, At least one of c, e and f is one or more.
  • RF is independently represented by the following equations (f1), (f2), (f3), (f4) or (f5): -(OC 3 F 6 ) d- (OC 2 F 4 ) e- (f1) [In the formula, d is an integer from 1 to 200, and e is 0 or 1.
  • c and d are independently integers from 0 to 30; e and f are independently integers from 1 to 200; The sum of c, d, e and f is an integer from 10 to 200; The order of existence of each repeating unit with the subscripts c, d, e or f and enclosed in parentheses is arbitrary in the equation.
  • R 6 is OCF 2 or OC 2 F 4 ;
  • R 7 is a group selected from OC 2 F 4 , OC 3 F 6 , OC 4 F 8 , OC 5 F 10 and OC 6 F 12 , or two or three selected from these groups. It is a combination of groups; g is an integer of 2 to 100.
  • the surface treatment agent according to the above [10] further containing one or more other components selected from a fluorine-containing oil, a silicone oil, and a catalyst.
  • the surface treatment agent according to the above [10] or [11] which further contains a solvent.
  • the surface treatment agent according to any one of the above [10] to [12] which is used as an antifouling coating agent or a waterproof coating agent.
  • the surface treatment agent according to any one of the above [10] to [13] which is used for vacuum vapor deposition.
  • the substrate and the surface of the substrate may be any of the fluoropolyether group-containing silane compound according to any one of the above [1] to [9] or any of the above [10] to [14].
  • monovalent organic group means a carbon-containing monovalent group.
  • the monovalent organic group is not particularly limited, but may be a hydrocarbon group or a derivative thereof.
  • a hydrocarbon group derivative is a group having one or more N, O, S, Si, amide, sulfonyl, siloxane, carbonyl, carbonyloxy, etc. in the terminal or molecular chain of the hydrocarbon group.
  • organic group simply means a monovalent organic group.
  • the "2 to 10 valent organic group” means a 2 to 10 valent group containing carbon.
  • the 2 to 10 valent organic group is not particularly limited, and examples thereof include a 2 to 10 valent group obtained by further desorbing 1 to 9 hydrogen atoms from the organic group.
  • the divalent organic group is not particularly limited, and examples thereof include a divalent group obtained by desorbing one hydrogen atom from the organic group.
  • hydrocarbon group means a group containing carbon and hydrogen, from which one hydrogen atom has been desorbed from the hydrocarbon.
  • the hydrocarbon group is not particularly limited, but may be substituted with one or more substituents, such as a C 1-20 hydrocarbon group, for example, an aliphatic hydrocarbon group or an aromatic group. Hydrocarbon groups and the like can be mentioned.
  • the above-mentioned "aliphatic hydrocarbon group” may be linear, branched or cyclic, and may be saturated or unsaturated.
  • the hydrocarbon group may contain one or more ring structures.
  • the substituent of the "hydrocarbon group” is not particularly limited, but may be substituted with, for example, a halogen atom, one or more halogen atoms, C 1-6 alkyl.
  • a halogen atom one or more halogen atoms
  • C 1-6 alkyl Group, C 2-6 alkenyl group, C 2-6 alkynyl group, C 3-10 cycloalkyl group, C 3-10 unsaturated cycloalkyl group, 5-10 membered heterocyclyl group, 5-10 member unsaturated heterocyclyl
  • Examples include one or more groups selected from groups, C 6-10 aryl groups and 5-10 membered heteroaryl groups.
  • hydrolyzable group means a group capable of undergoing a hydrolytic reaction, i.e., a group capable of desorbing from the main skeleton of a compound by a hydrolytic reaction.
  • the fluoropolyether group-containing silane compound of the present disclosure has the following formula (I): R F1 -R 4- (OR 3 ) m -R 5 -SiR 1 n R 2 3-n (I) [During the ceremony: RF1 is Rf 1 - RF - Op- ; Rf 1 is a C 1-16 alkyl group optionally substituted with one or more fluorine atoms; RF is a divalent fluoropolyether group; p is 0 or 1; R 1 is -Z-SiR 11 q R 12 3-q ; Z is a divalent organic group; R 11 is a hydroxyl group or a hydrolyzable group; R 12 is a hydrogen atom or a monovalent organic group; q is an integer from 1 to 3; R 2 is a hydrogen atom or a monovalent organic group; n is 2 or 3; R 3 is a C 1-6 alkylene group; m is an integer from 2 to 10; R4 is a
  • the fluoropolyether group-containing silane compound of the present disclosure has higher friction durability and chemical resistance by having ⁇ (OR 3 ) m ⁇ between RF1 and SiR 1 n R 2-3 -n .
  • a surface treatment layer can be formed.
  • RF1 is Rf1 - RF - Oq- .
  • Rf 1 is a C 1-16 alkyl group which may be substituted with one or more fluorine atoms.
  • the "C 1-16 alkyl group" in the C 1-16 alkyl group which may be substituted with one or more fluorine atoms may be a straight chain or a branched chain, and is preferable. Is a linear or branched C 1-6 alkyl group, particularly a C 1-3 alkyl group, more preferably a linear C 1-6 alkyl group, particularly a C 1-3 alkyl group.
  • the Rf 1 is preferably a C 1-16 alkyl group substituted with one or more fluorine atoms, more preferably a CF 2HC 1-15 perfluoroalkylene group, and even more preferably. Is a C 1-16 perfluoroalkyl group.
  • the C 1-16 perfluoroalkyl group may be linear or branched, preferably a straight or branched C 1-6 perfluoroalkyl group, particularly C 1- .
  • a 3 perfluoroalkyl group more preferably a linear C 1-6 perfluoroalkyl group, particularly a C 1-3 perfluoroalkyl group, specifically -CF 3 , -CF 2 CF 3 , or -CF. 2 CF 2 CF 3 .
  • p is 0 or 1. In one embodiment, p is 0. In another embodiment p is 1.
  • RF is a divalent fluoropolyether group independently at each appearance.
  • RF is preferably the formula: -(OC 6 F 12 ) a- (OC 5 F 10 ) b- (OC 4 F 8 ) c- (OC 3 R Fa 6 ) d- (OC 2 F 4 ) e- (OCF 2 ) f- [During the ceremony: R Fa is a hydrogen atom, a fluorine atom or a chlorine atom independently at each appearance. a, b, c, d, e and f are each independently an integer of 0 to 200, and the sum of a, b, c, d, e and f is 1 or more.
  • each repeating unit in parentheses with a, b, c, d, e or f is arbitrary in the equation. However, when all R Fas are hydrogen atoms or chlorine atoms, at least one of a, b, c, e and f is one or more. ] It is a group represented by.
  • the R Fa is preferably a hydrogen atom or a fluorine atom, and more preferably a fluorine atom. However, when all R Fas are hydrogen atoms or chlorine atoms, at least one of a, b, c, e and f is one or more.
  • A, b, c, d, e and f can preferably be independently integers from 0 to 100.
  • the sum of a, b, c, d, e and f is preferably 5 or more, more preferably 10 or more, and may be, for example, 15 or more or 20 or more.
  • the sum of a, b, c, d, e and f is preferably 200 or less, more preferably 100 or less, still more preferably 60 or less, and may be, for example, 50 or less or 30 or less.
  • repeating units may be linear or branched.
  • -(OC 6 F 12 )- is-(OCF 2 CF 2 CF 2 CF 2 CF 2 CF 2 )-,-(OCF (CF 3 ) CF 2 CF 2 CF 2 )-,-(OCF) 2 CF (CF 3 ) CF 2 CF 2 CF 2 )-,-(OCF 2 CF 2 CF (CF 3 ) CF 2 CF 2 )-,-(OCF 2 CF 2 CF (CF 3 ) CF 2 CF 2 )-,-(OCF 2 CF 2 CF 2 CF (CF 3 ) CF 2 )- ,-(OCF 2 CF 2 CF 2 CF 2 CF (CF 3 ))-and the like.
  • -(OC 3 F 6 )-(that is, R Fa is a fluorine atom in the above formula) is-(OCF 2 CF 2 CF 2 )-,-(OCF (CF 3 ) CF 2 )-and-(. It may be either OCF 2 CF (CF 3 ))-.
  • -(OC 2 F 4 )- may be any of-(OCF 2 CF 2 )-and-(OCF (CF 3 ))-.
  • the repeating unit is linear. By making the repeating unit linear, the surface slipperiness, friction durability, etc. of the surface treatment layer can be improved.
  • the repeating unit is branched and chain-shaped.
  • the coefficient of dynamic friction of the surface treatment layer can be increased.
  • RF is a group represented by any of the following formulas (f1) to ( f5 ) independently in each appearance.
  • -(OC 3 F 6 ) d- (OC 2 F 4 ) e- (f1) [In the formula, d is an integer from 1 to 200, and e is 0 or 1. ];
  • c and d are independently integers of 0 or more and 30 or less, and e and f are independently integers of 1 or more and 200 or less.
  • f is an integer of 1 or more and 200 or less, and a, b, c, d and e are independently integers of 0 or more and 200 or less, and a, b, c, d.
  • the order of existence of each repeating unit enclosed in parentheses with, e or f is arbitrary in the equation.
  • d is preferably an integer of 5 to 200, more preferably 10 to 100, still more preferably 15 to 50, for example 25 to 35.
  • OC 3 F 6 in the above formula (f1) is preferably (OCF 2 CF 2 CF 2 ), (OCF (CF 3 ) CF 2 ) or (OCF 2 CF (CF 3 )), and more preferably.
  • (OC 2 F 4 ) in the above formula (f1) is preferably (OCF 2 CF 2 ) or (OCF (CF 3 )), and more preferably (OCF 2 CF 2 ).
  • e is 0.
  • e is 1.
  • e and f are independently integers of preferably 5 to 200, more preferably 10 to 200, respectively. Further, the sum of c, d, e and f is preferably 5 or more, more preferably 10 or more, and may be, for example, 15 or more or 20 or more.
  • the above formula (f2) is preferably ⁇ (OCF 2 CF 2 CF 2 CF 2 ) c ⁇ (OCF 2 CF 2 CF 2 ) d ⁇ (OCF 2 CF 2 ) e ⁇ (OCF 2 ). It is a group represented by f ⁇ .
  • the formula (f2) may be a group represented by ⁇ (OC 2 F 4 ) e ⁇ (OCF 2 ) f ⁇ .
  • R 6 is preferably OC 2 F 4 .
  • R 7 is preferably a group selected from OC 2 F 4 , OC 3 F 6 and OC 4 F 8 , or 2 or independently selected from these groups. It is a combination of three groups, more preferably a group selected from OC 3 F 6 and OC 4 F 8 .
  • the combination of two or three groups independently selected from OC 2 F 4 , OC 3 F 6 and OC 4 F 8 is not particularly limited, but is, for example, -OC 2 F 4 OC 3 F 6- , -OC.
  • g is preferably an integer of 3 or more, more preferably 5 or more.
  • the above g is preferably an integer of 50 or less.
  • OC 2 F 4 , OC 3 F 6 , OC 4 F 8 , OC 5 F 10 and OC 6 F 12 may be either linear or branched, preferably straight. It is a chain.
  • the above formula (f3) is preferably ⁇ (OC 2 F 4 ⁇ OC 3 F 6 ) g ⁇ or ⁇ (OC 2 F 4 ⁇ OC 4 F 8 ) g ⁇ .
  • e is preferably an integer of 1 or more and 100 or less, more preferably 5 or more and 100 or less.
  • the sum of a, b, c, d, e and f is preferably 5 or more, more preferably 10 or more, for example, 10 or more and 100 or less.
  • f is preferably an integer of 1 or more and 100 or less, and more preferably 5 or more and 100 or less.
  • the sum of a, b, c, d, e and f is preferably 5 or more, more preferably 10 or more, for example, 10 or more and 100 or less.
  • the RF is a group represented by the above formula ( f1 ).
  • the RF is a group represented by the above formula ( f2 ).
  • the RF is a group represented by the above formula ( f3 ).
  • the RF is a group represented by the above formula ( f4 ).
  • the RF is a group represented by the above formula ( f5 ).
  • the ratio of e to f (hereinafter referred to as “e / f ratio”) is 0.1 to 10, preferably 0.2 to 5, and more preferably 0.2 to 2. Yes, more preferably 0.2 to 1.5, and even more preferably 0.2 to 0.85.
  • e / f ratio the slipperiness, friction durability and chemical resistance (for example, resistance to artificial sweat) of the surface treatment layer obtained from this compound are further improved.
  • the smaller the e / f ratio the better the slipperiness and friction durability of the surface treatment layer.
  • the e / f ratio to 0.1 or more, the stability of the compound can be further enhanced. The larger the e / f ratio, the better the stability of the compound.
  • the e / f ratio is preferably 0.2 to 0.95, more preferably 0.2 to 0.9.
  • the e / f ratio is preferably 1.0 or more, and more preferably 1.0 to 2.0.
  • the number average molecular weight of the RF1 moiety is not particularly limited, but is, for example, 500 to 30,000, preferably 1,500 to 30,000, more preferably 2,. It is 000 to 10,000.
  • the number average molecular weight of RF1 and RF2 is a value measured by 19 F -NMR.
  • the number average molecular weight of the RF1 moiety is 500 to 30,000, preferably 1,000 to 20,000, more preferably 2,000 to 15,000, and even more preferably 2,000 to 10. It can be 000, for example 3,000 to 6,000.
  • the number average molecular weight of the RF1 moiety can be 4,000 to 30,000, preferably 5,000 to 10,000, more preferably 6,000 to 10,000.
  • R 1 is ⁇ Z—SiR 11 q R 12 3-q .
  • Z is a divalent organic group.
  • Z is preferably a C 1-6 alkylene group,-(CH 2 ) z1 -O- (CH 2 ) z2- (in the formula, z1 is an integer of 0 to 6, for example, an integer of 1 to 6).
  • Z2 is an integer of 0 to 6, for example, an integer of 1 to 6)
  • z3 is an integer of 0 to 6, for example. It is an integer of 1 to 6, and z4 is an integer of 0 to 6, for example, an integer of 1 to 6).
  • the C 1-6 alkylene group may be a straight chain or a branched chain, but is preferably a straight chain.
  • These groups may be substituted with one or more substituents selected from, for example, a fluorine atom, a C 1-6 alkyl group, a C 2-6 alkenyl group, and a C 2-6 alkynyl group. However, it is preferably unsubstituted.
  • Z 1 is a C 1-6 alkylene group or-(CH 2 ) z3 -phenylene- (CH 2 ) z4- , preferably -phenylene- (CH 2 ) z4- .
  • Z 1 is such a group, light resistance, especially UV resistance, can be higher.
  • Z is a C 1-3 alkylene group. In one embodiment, Z can be -CH 2 CH 2 CH 2- . In another embodiment, Z can be -CH 2 CH 2- .
  • R 11 is a hydroxyl group or a hydrolyzable group independently at each appearance.
  • R 11 is preferably an independently hydrolyzable group at each appearance.
  • R h represents a substituted or unsubstituted C 1-4 alkyl group), more preferably ⁇ OR h (ie, an alkoxy group).
  • R h examples include an unsubstituted alkyl group such as a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group and an isobutyl group; and a substituted alkyl group such as a chloromethyl group.
  • an alkyl group, particularly an unsubstituted alkyl group is preferable, and a methyl group or an ethyl group is more preferable.
  • R h is a methyl group and in another embodiment, R h is an ethyl group.
  • R 12 is a hydrogen atom or a monovalent organic group independently at each appearance.
  • the monovalent organic group is a monovalent organic group excluding the hydrolyzable group.
  • the monovalent organic group is preferably a C 1-20 alkyl group, more preferably a C 1-6 alkyl group, still more preferably a C 1-3 alkyl group, and particularly preferably a methyl group.
  • q is an integer of 1 to 3 independently for each unit (SiR 11 q R 12 3-q ), preferably 2 to 3, and more preferably 3.
  • R 2 is a hydrogen atom or a monovalent organic group.
  • the monovalent organic group is a monovalent organic group excluding the hydrolyzable group.
  • the monovalent organic group is preferably a C 1-20 alkyl group, more preferably a C 1-6 alkyl group, still more preferably a C 1-3 alkyl group, and particularly preferably a methyl group.
  • n is 2 or 3. In one embodiment, n is 2. In another embodiment, n is 3.
  • R 3 is a C 1-6 alkylene group.
  • the C 1-6 alkylene group may be a straight chain or a branched chain, and is preferably a straight chain.
  • R 3 is preferably a C 1-4 alkylene group, more preferably a C 1-3 alkylene group, and particularly preferably -CH 2 CH 2- .
  • the C 1-6 alkylene group may be a straight chain or a branched chain, and is preferably a straight chain.
  • m is an integer of 2 to 10, preferably an integer of 2 to 6, and more preferably an integer of 2 to 4.
  • R4 is a single bond or a C 1-6 alkylene group.
  • the C 1-6 alkylene group may be a straight chain or a branched chain, and is preferably a straight chain.
  • the R4 is preferably a C 1-6 alkylene group, more preferably a C 1-3 alkylene group, and particularly preferably a methylene group.
  • R5 is a single bond or a C 1-6 alkylene group.
  • the C 1-6 alkylene group may be a straight chain or a branched chain, and is preferably a straight chain.
  • the R5 is preferably a C 1-6 alkylene group, more preferably a C 1-3 alkylene group, and particularly preferably a methylene group.
  • the fluoropolyether group-containing silane compound represented by the above formula (I) is not particularly limited, but may have an average molecular weight of 5 ⁇ 10 2 to 1 ⁇ 10 5 . Within such a range, it is preferable to have an average molecular weight of 2,000 to 32,000, more preferably 2,500 to 12,000, from the viewpoint of friction durability.
  • the "average molecular weight” refers to the number average molecular weight, and the "average molecular weight” is a value measured by 19 F-NMR.
  • the fluoropolyether group-containing silane compound represented by the above formula (I) can be produced from, for example, a fluoropolyether group-containing alcohol by a method known per se.
  • the surface treatment agent of the present disclosure contains at least one fluoropolyether group-containing silane compound represented by the formula (I).
  • the surface treatment agent of the present disclosure can impart water repellency, oil repellency, stain resistance, friction durability, and chemical resistance to a substrate, and is not particularly limited, but is an antifouling coating. It can be suitably used as an agent or a waterproof coating agent.
  • the surface treatment agent of the present disclosure is a solvent, a (non-reactive) fluoropolyether compound that can be understood as a fluorine-containing oil, preferably a perfluoro (poly) ether compound (hereinafter collectively referred to as "fluorine-containing oil”).
  • fluorine-containing oil preferably a perfluoro (poly) ether compound (hereinafter collectively referred to as "fluorine-containing oil”).
  • a silicone compound hereinafter referred to as “silicone oil” which can be understood as a silicone oil, alcohols, a catalyst, a surfactant, a polymerization inhibitor, a sensitizer and the like can be contained.
  • solvent examples include aliphatic hydrocarbons such as hexane, cyclohexane, heptane, octane, nonane, decane, undecane, dodecane and mineral spirit; aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene, xylene, naphthalene and solvent naphtha.
  • aliphatic hydrocarbons such as hexane, cyclohexane, heptane, octane, nonane, decane, undecane, dodecane and mineral spirit
  • aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene, xylene, naphthalene and solvent naphtha.
  • the fluorine-containing oil is not particularly limited, and examples thereof include a compound represented by the following general formula (3) (perfluoro (poly) ether compound).
  • Rf 5 represents an alkyl group having 1 to 16 carbon atoms (preferably a perfluoroalkyl group having C 1-16 ) which may be substituted with one or more fluorine atoms
  • Rf 6 is a perfluoroalkyl group.
  • a', b', c'and d' represent the number of repeating units of four types of perfluoro (poly) ethers constituting the main skeleton of the polymer, and are integers of 0 or more and 300 or less independently of each other.
  • A', b', c'and d' are at least 1, preferably 1 to 300, more preferably 20 to 300.
  • the order of existence of each repeating unit with the subscripts a', b', c'or d'and enclosed in parentheses is arbitrary in the equation.
  • -(OC 4 F 8 )- is-(OCF 2 CF 2 CF 2 CF 2 )-,-(OCF (CF 3 ) CF 2 CF 2 )-,-(OCF 2 CF (CF) 3 ) CF 2 )-,-(OCF 2 CF 2 CF (CF 3 ))-,-(OCF 2 C (CF 3 ) 2 )-,-(OCF) (CF 3 ) CF (CF 3 ))-,-(OCF (C 2 F 5 ) CF 2 )-and (OCF 2 CF (C 2 F 5 ))-may be any of-, but preferably- (OCF 2 CF 2 CF 2 CF 2 )-.
  • -(OC 3 F 6 )- may be any of-(OCF 2 CF 2 CF 2 )-,-(OCF (CF 3 ) CF 2 )-and (OCF 2 CF (CF 3 ))-.
  • -(OC 2 F 4 )- may be any of-(OCF 2 CF 2 )-and (OCF (CF 3 ))-, but is preferably-(OCF 2 CF 2 )-.
  • the perfluoro (poly) ether compound represented by the general formula (3) the compound represented by any of the following general formulas (3a) and (3b) (one or a mixture of two or more) is used. It may be).
  • Rf 5 and Rf 6 are as described above; in equation (3a), b "is an integer between 1 and 100; in equation (3b), a" and b “are independent of each other. Is an integer of 0 or more and 30 or less, and c "and d" are independently integers of 1 or more and 300 or less.
  • the subscripts a ", b", c ", and d" are added and enclosed in parentheses. The order of existence of each repeating unit is arbitrary in the equation.
  • the fluorine-containing oil may be a compound represented by the general formula Rf 3 -F (in the formula, Rf 3 is a C 5-16 perfluoroalkyl group). Further, it may be a chlorotrifluoroethylene oligomer.
  • the fluorine-containing oil may have an average molecular weight of 500 to 10000.
  • the molecular weight of the fluorinated oil can be measured using GPC.
  • the fluorine-containing oil may be contained in, for example, 0 to 50% by mass, preferably 0 to 30% by mass, and more preferably 0 to 5% by mass with respect to the surface treatment agent of the present disclosure.
  • the surface treatment agents of the present disclosure are substantially free of fluorinated oils.
  • substantially free of fluorinated oil means that it may contain no fluorinated oil or may contain a very small amount of fluorinated oil.
  • the average molecular weight of the fluorine-containing oil may be larger than the average molecular weight of the fluorine-containing silane compound.
  • the average molecular weight of the fluorine-containing oil may be smaller than the average molecular weight of the fluorine-containing silane compound.
  • the fluorine-containing oil contributes to improving the surface slipperiness of the layer formed by the surface treatment agent of the present disclosure.
  • the silicone oil for example, a linear or cyclic silicone oil having a siloxane bond of 2,000 or less can be used.
  • the linear silicone oil may be a so-called straight silicone oil or a modified silicone oil.
  • the straight silicone oil include dimethyl silicone oil, methyl phenyl silicone oil, and methyl hydrogen silicone oil.
  • the modified silicone oil include straight silicone oil modified with alkyl, aralkyl, polyether, higher fatty acid ester, fluoroalkyl, amino, epoxy, carboxyl, alcohol and the like.
  • Examples of the cyclic silicone oil include cyclic dimethylsiloxane oil.
  • such silicone oil is used, for example, with respect to a total of 100 parts by mass of the above-mentioned fluoropolyether group-containing silane compound of the present disclosure (in the case of two or more kinds, the total of these, and the same applies hereinafter). It may be contained in an amount of 0 to 300 parts by mass, preferably 50 to 200 parts by mass.
  • Silicone oil contributes to improving the surface slipperiness of the surface treatment layer.
  • the alcohols include alcohols having 1 to 6 carbon atoms which may be substituted with one or more fluorine atoms, for example, methanol, ethanol, iso-propanol, tert-butanol, CF 3 CH 2 OH, and the like. CF 3 CF 2 CH 2 OH, (CF 3 ) 2 CHOH can be mentioned.
  • the alcohols are preferably 0.1 to 5 times, more preferably 0.5 to 3 times, still more preferably 0.8 to 1.2 times in molar ratio with respect to the metal compound in the surface treatment agent. Included in double the amount.
  • the catalyst examples include acids (for example, acetic acid, trifluoroacetic acid, etc.), bases (for example, ammonia, triethylamine, diethylamine, etc.), transition metals (for example, Ti, Ni, Sn, etc.) and the like.
  • acids for example, acetic acid, trifluoroacetic acid, etc.
  • bases for example, ammonia, triethylamine, diethylamine, etc.
  • transition metals for example, Ti, Ni, Sn, etc.
  • the catalyst promotes the hydrolysis and dehydration condensation of the fluorinated silane compound of the present disclosure, and promotes the formation of the layer formed by the surface treatment agent of the present disclosure.
  • Examples of other components include tetraethoxysilane, methyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, methyltriacetoxysilane, and the like.
  • the surface treatment agent of the present disclosure can be made into pellets by impregnating a porous substance such as a porous ceramic material, a metal fiber, for example, steel wool into a cotton-like material.
  • the pellet can be used, for example, for vacuum deposition.
  • the surface treatment agent of the present disclosure contains, for example, a trace amount of impurities such as Pt, Rh, Ru, 1,3-divinyltetramethyldisiloxane, triphenylphosphine, NaCl, KCl, and a condensate of silane. obtain.
  • the article of the present disclosure includes a base material and a layer (surface treatment layer) formed from the compound or surface treatment agent of the present disclosure on the surface of the base material.
  • the substrates that can be used in the present disclosure are, for example, glass, resin (natural or synthetic resin, for example, general plastic material may be used), metal, ceramics, semiconductor (silicon, germanium, etc.), fiber (textile, non-woven fabric, etc.). Etc.), fur, leather, wood, ceramics, stones, etc., building materials, sanitary goods, and any suitable material.
  • the material constituting the surface of the base material may be a material for the optical member, for example, glass or transparent plastic.
  • some layer (or film), such as a hard coat layer or an antireflection layer may be formed on the surface (outermost layer) of the base material.
  • the antireflection layer either a single-layer antireflection layer or a multi-layer antireflection layer may be used.
  • the article to be manufactured is an optical glass component for a touch panel
  • a thin film using a transparent electrode such as indium tin oxide (ITO) or zinc oxide is provided on a part of the surface of the base material (glass).
  • the base material may be an insulating layer, an adhesive layer, a protective layer, a decorative frame layer (I-CON), an atomized film layer, a hard coating film layer, a polarizing film, a phase difference film, etc., depending on the specific specifications thereof.
  • the base material may be an insulating layer, an adhesive layer, a protective layer, a decorative frame layer (I-CON), an atomized film layer, a hard coating film layer, a polarizing film, a phase difference film, etc., depending on the specific specifications thereof.
  • I-CON decorative frame layer
  • an atomized film layer atomized film layer
  • a hard coating film layer a polarizing film
  • a phase difference film etc.
  • the shape of the base material is not particularly limited, and may be, for example, a plate, a film, or any other form. Further, the surface region of the base material on which the surface treatment layer should be formed may be at least a part of the surface of the base material, and may be appropriately determined according to the use and specific specifications of the article to be manufactured.
  • the base material may be made of a material having a hydroxyl group originally at least on its surface.
  • a material having a hydroxyl group include glass, and examples thereof include metals (particularly base metals) in which a natural oxide film or a thermal oxide film is formed on the surface, ceramics, semiconductors, and the like.
  • the hydroxyl group is introduced on the surface of the base material by applying some pretreatment to the base material. Can be increased or increased. Examples of such pretreatment include plasma treatment (for example, corona discharge) and ion beam irradiation.
  • Plasma treatment can introduce or increase hydroxyl groups on the surface of the base material, and can also be suitably used for cleaning the surface of the base material (removing foreign substances and the like).
  • an interfacial adsorbent having a carbon-carbon unsaturated bond group is previously subjected to a monomolecular film on the surface of a substrate by an LB method (Langmuir-Blogget method), a chemisorption method, or the like. Examples thereof include a method of forming the morphology and then cleaving the unsaturated bond in an atmosphere containing oxygen, nitrogen and the like.
  • the substrate may be such that at least its surface portion is made of a silicone compound having another reactive group, for example, one or more Si—H groups, or a material containing an alkoxysilane. ..
  • the base material is glass.
  • glass sapphire glass, soda lime glass, alkaline aluminum silicate glass, borosilicate glass, non-alkali glass, crystal glass and quartz glass are preferable, and chemically strengthened soda lime glass and chemically strengthened alkaline aluminum silicate glass are used. And chemically bonded borosilicate glass are particularly preferred.
  • the article of the present disclosure forms a layer of the above-mentioned compound or surface treatment agent of the present disclosure on the surface of the above-mentioned base material, and post-treats this layer as necessary, whereby from the surface treatment agent of the present disclosure. It can be manufactured by forming a layer.
  • the layer formation of the surface treatment agent of the present disclosure can be carried out by applying the surface treatment agent to the surface of the base material so as to cover the surface.
  • the coating method is not particularly limited. For example, a wet coating method and a dry coating method can be used.
  • wet coating methods include dip coating, spin coating, flow coating, spray coating, roll coating, gravure coating and similar methods.
  • dry coating methods include vapor deposition (usually vacuum vapor deposition), sputtering, CVD and similar methods.
  • vapor deposition method usually a vacuum vapor deposition method
  • CVD method include plasma-CVD, optical CVD, thermal CVD and similar methods.
  • the surface treatment agents of the present disclosure may be diluted with a solvent before being applied to the surface of the substrate.
  • a solvent for example, perfluoroaliphatic hydrocarbons having 5-12 carbon atoms (eg, perfluorohexanes, perfluoromethylcyclohexanes and).
  • Perfluoro-1,3-dimethylcyclohexane Perfluoro-1,3-dimethylcyclohexane); polyfluoroaromatic hydrocarbons (eg, bis (trifluoromethyl) benzene); polyfluoroaliphatic hydrocarbons (eg, C6 F 13 CH 2 CH 3 ( eg, Asahi Glass) Asahiclean (registered trademark) AC-6000) manufactured by Asahiclean Co., Ltd., 1,1,2,2,3,3,4-heptafluorocyclopentane (for example, Zeorora (registered trademark) H manufactured by Nippon Zeon Co., Ltd.); Hydrofluoroether (HFE) (for example, perfluoropropylmethyl ether (C 3 F 7 OCH 3 )) (for example, Novec 7000 manufactured by Sumitomo 3M Co., Ltd.), perfluorobutyl methyl ether (C 4 F 9 OCH 3 ).
  • HFE Hydrofluor
  • Novec TM 7100 manufactured by Sumitomo 3M Co., Ltd. Perfluorobutyl ethyl ether ( C4 F 9 OC 2 H 5 ) (for example, Novec TM 7200 manufactured by Sumitomo 3M Co., Ltd.), Perfluoro Alkyl perfluoroalkyl ethers such as hexylmethyl ether (C 2 F 5 CF (OCH 3 ) C 3 F 7 ) (for example, Novec TM 7300 manufactured by Sumitomo 3M Co., Ltd.) (perfluoroalkyl group and alkyl group are direct).
  • CF 3 CH 2 OCF 2 CHF 2 eg, Asahiclean® AE-3000, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.
  • solvents can be used alone or It can be used as a mixture of two or more kinds.
  • a hydrofluoro ether is preferable, and a perfluorobutylmethyl ether (C 4 F 9 OCH 3 ) and / or a perfluoro butyl ethyl ether (C 4 F 9 OC 2 H) is preferable. 5 ) is particularly preferable.
  • the surface treatment agent of the present disclosure may be subjected to the dry coating method as it is, or may be diluted with the above-mentioned solvent and then subjected to the dry coating method.
  • the layer formation of the surface treatment agent is preferably carried out so that the surface treatment agent of the present disclosure is present in the layer together with a catalyst for hydrolysis and dehydration condensation.
  • a catalyst may be added to the diluted solution of the surface treatment agent of the present disclosure immediately after diluting the surface treatment agent of the present disclosure with a solvent and immediately before applying to the surface of the substrate.
  • the surface treatment agent of the present disclosure to which a catalyst is added is subjected to thin-film deposition (usually, vacuum-film deposition) as it is, or the surface treatment agent of the present disclosure to which a catalyst is added to a metal porous body such as iron or copper.
  • a vapor deposition (usually vacuum vapor deposition) treatment may be performed using a pellet-like substance impregnated with.
  • any suitable acid or base can be used as the catalyst.
  • the acid catalyst for example, acetic acid, formic acid, trifluoroacetic acid and the like can be used.
  • the base catalyst for example, ammonia, organic amines and the like can be used.
  • the surface-treated layer contained in the article of the present disclosure has both high friction durability and high chemical resistance.
  • the surface treatment layer has water repellency, oil repellency, and stain resistance (for example, adhesion of stains such as fingerprints), although it depends on the composition of the surface treatment agent used. It can have (prevent), waterproof (prevents water from entering electronic parts, etc.), surface slipperiness (or lubricity, for example, wiping off stains such as fingerprints, and excellent tactile sensation to fingers). It can be suitably used as a functional thin film.
  • the present disclosure further relates to an optical material having the surface-treated layer as the outermost layer.
  • optical material examples include optical materials related to displays and the like as exemplified below, as well as a wide variety of optical materials: for example, a cathode line tube (CRT; for example, a personal computer monitor), a liquid crystal display, a plasma display, and an organic EL.
  • CTR cathode line tube
  • LCD liquid crystal display
  • plasma display a plasma display
  • organic EL organic EL.
  • Display such as display, inorganic thin film EL dot matrix display, rear projection type display, fluorescent display tube (VFD), electric field emission display (FED; Field Mission Display) or a protective plate for those displays, or an antireflection film on their surface. Processed.
  • the article of the present disclosure is not particularly limited, but may be an optical member.
  • optical components include: lenses such as eyeglasses; front protective plates for displays such as DVDs and LCDs, antireflection plates, polarizing plates, anti-glare plates; for devices such as mobile phones and mobile information terminals. Touch panel sheet; Blu-ray (registered trademark) disc, DVD disc, CD-R, MO, etc. Optical disc surface; Optical fiber; Clock display surface, etc.
  • the article of the present disclosure may be a medical device or a medical material.
  • the article having a layer obtained by the present disclosure may be an automobile interior / exterior member.
  • exterior materials include: windows, light covers, external camera covers.
  • interior materials include: instrument panel covers, navigation system touch panels, decorative interior materials.
  • the thickness of the above layer is not particularly limited.
  • the thickness of the layer is preferably in the range of 1 to 50 nm, 1 to 30 nm, preferably 1 to 15 nm from the viewpoint of optical performance, surface slipperiness, friction durability and antifouling property. ..
  • polyether group-containing compound of the present disclosure will be described more specifically through the following examples, but the present disclosure is not limited to these examples.
  • the order of existence of the repeating units constituting the perfluoropolyether is arbitrary, and the chemical formulas shown below indicate the average composition.
  • the end point of the reaction was that the chemical shift of the hydroxyl group ⁇ - position of CF 3 (OCF 2 CF 2 ) m- (OCF 2 ) n CH 2 OH-CF 2- by 19 F-NMR was shifted to a low magnetic field, and 1 H-. It was confirmed by observing that the methylene proton at the ⁇ -position of the carbonyl group of bromoacetic acid was shifted to a high magnetic field by NMR. The reaction solution was cooled to room temperature, and the liquid phase and the solid phase were separated.
  • the end point of the reaction is 19 F-NMR in which the chemical shift of the ether group ⁇ - position of CF 3 O- (CF 2 CF 2 O) m- (CF 2 O) n -CF 2 CH 2 O- is a high magnetic field. It was confirmed by observing the shift to.
  • the reaction mixture was returned to room temperature, 3.0 g of acetone was added, the mixture was stirred for 1 hour, and 3 ml of 1N-hydrochloric acid was added. The separated lower layer was washed with water, dried over magnesium sulfate, filtered, and concentrated. The obtained concentrate was dissolved in perfluorohexane and washed with acetone three times to obtain a polyether group-containing compound (B).
  • Polyester group-containing compound (E) (M ⁇ 21, n ⁇ 35)
  • Polyester group-containing compound (H) (M ⁇ 21, n ⁇ 35)
  • Polyester group-containing compound (K) (M ⁇ 22, n ⁇ 21)
  • Polyester group-containing compound (L) (M ⁇ 22, n ⁇ 21)
  • Polyester group-containing compound (M) (M ⁇ 22, n ⁇ 21)
  • Example 1 The polyether group-containing compound (E) obtained in Synthesis Example 5 is dissolved in a hydrofluoroether (Novec HFE-7200, manufactured by 3M Co., Ltd.) so as to have a concentration of 0.1 mass%, and the surface treatment agent (1) is dissolved. ) Was prepared.
  • a hydrofluoroether Novec HFE-7200, manufactured by 3M Co., Ltd.
  • Example 2 The polyether group-containing compound (H) obtained in Synthesis Example 7 is dissolved in a hydrofluoroether (Novec HFE-7200, manufactured by 3M) so as to have a concentration of 0.1 mass%, and is used as a surface treatment agent (2). ) Was prepared.
  • a hydrofluoroether Novec HFE-7200, manufactured by 3M
  • Example 3 The polyether group-containing compound (I) obtained in Synthesis Example 8 is dissolved in a hydrofluoroether (Novec HFE-7200, manufactured by 3M) so as to have a concentration of 0.1 mass%, and is used as a surface treatment agent (3). ) was prepared.
  • a hydrofluoroether Novec HFE-7200, manufactured by 3M
  • Example 4 The polyether group-containing compound (K) obtained in Synthesis Example 11 is dissolved in a hydrofluoroether (Novec HFE-7200, manufactured by 3M) so as to have a concentration of 0.1 mass%, and is used as a surface treatment agent (4). ) Was prepared.
  • a hydrofluoroether Novec HFE-7200, manufactured by 3M
  • Example 5 The polyether group-containing compound (L) obtained in Synthesis Example 12 is dissolved in a hydrofluoroether (Novec HFE-7200, manufactured by 3M) so as to have a concentration of 0.1 mass%, and is used as a surface treatment agent (5). ) Was prepared.
  • a hydrofluoroether Novec HFE-7200, manufactured by 3M
  • Example 6 The polyether group-containing compound (M) obtained in Synthesis Example 13 is dissolved in a hydrofluoroether (Novec HFE-7200, manufactured by 3M) so as to have a concentration of 0.1 mass%, and the surface treatment agent (6) is dissolved. ) was prepared.
  • a hydrofluoroether Novec HFE-7200, manufactured by 3M
  • Example 2 The same procedure as in Example 2 was carried out except that the following control compounds (1) and (2) were used instead of the polyether group-containing compound (D) to prepare comparative surface treatment agents (1) and (2), respectively. bottom.
  • a cured film was formed as follows.
  • a surface treatment agent or comparative surface treatment agent was applied onto chemically tempered glass (Corning, "Gorilla" glass, 0.7 mm thick) using a spin coater.
  • the conditions for spin coating were 300 rpm for 3 seconds and 2000 rpm for 30 seconds.
  • the coated glass was heated at 150 ° C. for 30 minutes in a constant temperature bath in the atmosphere to form a cured film.
  • ⁇ Static contact angle> The static contact angle was measured by the following method using a fully automatic contact angle meter DropMaster 700 (manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.).
  • the static contact angle was determined by dropping 2 ⁇ L of water from a microsyringe onto a horizontally placed substrate and taking a still image 1 second after the drop with a video microscope.
  • Fingerprint adhesion and wiping property> (Fingerprint adhesion) A finger was pressed against a cured film formed using a surface treatment agent or a comparative surface treatment agent, and the ease with which fingerprints were attached was visually determined. The evaluation was judged based on the following criteria. A: Fingerprints are difficult to attach, or even if they are attached, fingerprints are not noticeable. B: There was little fingerprint adhesion, but the fingerprint was sufficiently confirmed. C: Fingerprints were attached as clearly as the untreated glass substrate.
  • the contact angle of the cured film formed by using the surface treatment agents (1) to (6) did not decrease even when wiped with ethanol.
  • the contact angle of the cured film formed by using the comparative surface treatment agents (1) and (2) was reduced by wiping with ethanol. It is considered that this is because the cured film formed by the comparative surface treatment agent (1) or (2) has poor chemical resistance (solvent resistance).
  • Eraser wear resistance test Using a rubbing tester (manufactured by Shinto Kagaku Co., Ltd.), the water resistant contact angle was measured every 2500 times under the following conditions, and the test was continued until it became 10,000 times or less than 100 °.
  • the test environment conditions are 25 ° C. and 40% RH humidity.
  • the surface treatment agent containing the compound of the present invention having a polyether structure between the fluoropolyether group and the Si atom having a hydrolyzable group exhibits high wear durability.
  • the article of the present disclosure can be suitably used for various purposes, for example, as an optical member such as a touch panel.

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Abstract

本発明は、下記式（Ｉ）：ＲＦ１－Ｒ４－（ＯＲ３）ｍ－Ｒ５－ＳｉＲ１ ｎＲ２ ３－ｎ［式中、各記号は、明細書に記載の通りである。］で表されるフルオロポリエーテル基含有シラン化合物を提供する。

Description

表面処理剤
　本開示は、表面処理剤および該表面処理剤で形成された層を有する物品に関する。
　ある種の含フッ素シラン化合物は、基材の表面処理に用いると、優れた撥水性、撥油性、防汚性などを提供し得ることが知られている。含フッ素シラン化合物を含む表面処理剤から得られる層（以下、「表面処理層」とも言う）は、いわゆる機能性薄膜として、例えばガラス、プラスチック、繊維、衛生用品、建築資材など種々多様な基材に施されている（特許文献１）。
特開２０１４－２１８６３９号公報
　特許文献１に記載の含フッ素シラン化合物は、優れた機能を有する表面処理層を与えることができるが、より高い摩擦耐久性および耐薬品性を有する表面処理層が求められている。
　本開示は、摩擦耐久性、耐薬品性がより高い表面処理層を形成できるフルオロポリエーテル基含有化合物を提供することを目的とする。
　本開示は、以下の態様を含む。
［１］　下記式（Ｉ）：
　　　ＲＦ１－Ｒ４－（ＯＲ３）ｍ－Ｒ５－ＳｉＲ１ ｎＲ２ ３－ｎ　　　（Ｉ）
［式中：
　ＲＦ１は、Ｒｆ１－ＲＦ－Ｏｐ－であり；
　Ｒｆ１は、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよいＣ１－１６アルキル基であり；
　ＲＦは、２価のフルオロポリエーテル基であり；
　ｐは、０または１であり；
　Ｒ１は、各出現においてそれぞれ独立して、－Ｚ－ＳｉＲ１１ ｑＲ１２ ３－ｑであり；
　Ｚは、２価の有機基であり；
　Ｒ１１は、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解性基であり；
　Ｒ１２は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または１価の有機基であり；
　ｑは、１～３の整数であり；
　Ｒ２は、水素原子または１価の有機基であり；
　ｎは、２または３であり；
　Ｒ３は、Ｃ１－６アルキレン基であり；
　ｍは、２～１０の整数であり；
　Ｒ４は、単結合またはＣ１－６アルキレン基であり；
　Ｒ５は、単結合またはＣ１－６アルキレン基である。］
で表されるフルオロポリエーテル基含有シラン化合物。
［２］　Ｒｆ１は、Ｃ１－１６パーフルオロアルキル基である、上記［１］に記載のフルオロポリエーテル基含有シラン化合物。
［３］　ＲＦは、式：
　　－（ＯＣ６Ｆ１２）ａ－（ＯＣ５Ｆ１０）ｂ－（ＯＣ４Ｆ８）ｃ－（ＯＣ３ＲＦａ ６）ｄ－（ＯＣ２Ｆ４）ｅ－（ＯＣＦ２）ｆ－
［式中、ＲＦａは、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子、フッ素原子または塩素原子であり、
　ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅおよびｆは、それぞれ独立して、０～２００の整数であって、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅおよびｆの和は１以上であり、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅまたはｆを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は式中において任意であり、ただし、すべてのＲＦａが水素原子または塩素原子である場合、ａ、ｂ、ｃ、ｅおよびｆの少なくとも１つは、１以上である。］
で表される基である、上記［１］または［２］に記載のフルオロポリエーテル基含有シラン化合物。
［４］　ＲＦａは、フッ素原子である、上記［３］に記載のフルオロポリエーテル基含有シラン化合物。
［５］　ＲＦは、各出現においてそれぞれ独立して、下記式（ｆ１）、（ｆ２）、（ｆ３）、（ｆ４）または（ｆ５）：
　　－（ＯＣ３Ｆ６）ｄ－（ＯＣ２Ｆ４）ｅ－　　　（ｆ１）
［式中、ｄは１～２００の整数であり、ｅは０または１である。］、
　　－（ＯＣ４Ｆ８）ｃ－（ＯＣ３Ｆ６）ｄ－（ＯＣ２Ｆ４）ｅ－（ＯＣＦ２）ｆ－　（ｆ２）
［式中、ｃおよびｄは、それぞれ独立して、０～３０の整数であり；
　ｅおよびｆは、それぞれ独立して、１～２００の整数であり；
　ｃ、ｄ、ｅおよびｆの和は、１０～２００の整数であり；
　添字ｃ、ｄ、ｅまたはｆを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は、式中において任意である。］、
　　－（Ｒ６－Ｒ７）ｇ－　　（ｆ３）
［式中、Ｒ６は、ＯＣＦ２またはＯＣ２Ｆ４であり；
　Ｒ７は、ＯＣ２Ｆ４、ＯＣ３Ｆ６、ＯＣ４Ｆ８、ＯＣ５Ｆ１０およびＯＣ６Ｆ１２から選択される基であるか、あるいは、これらの基から選択される２または３つの基の組み合わせであり；
　ｇは、２～１００の整数である。］、
　－（ＯＣ６Ｆ１２）ａ－（ＯＣ５Ｆ１０）ｂ－（ＯＣ４Ｆ８）ｃ－（ＯＣ３Ｆ６）ｄ－（ＯＣ２Ｆ４）ｅ－（ＯＣＦ２）ｆ－　　　（ｆ４）
［式中、ｅは、１以上２００以下の整数であり、ａ、ｂ、ｃ、ｄおよびｆは、それぞれ独立して０以上２００以下の整数であり、また、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅまたはｆを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は式中において任意である。］
　－（ＯＣ６Ｆ１２）ａ－（ＯＣ５Ｆ１０）ｂ－（ＯＣ４Ｆ８）ｃ－（ＯＣ３Ｆ６）ｄ－（ＯＣ２Ｆ４）ｅ－（ＯＣＦ２）ｆ－　　　（ｆ５）
［式中、ｆは、１以上２００以下の整数であり、ａ、ｂ、ｃ、ｄおよびｅは、それぞれ独立して０以上２００以下の整数であり、また、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅまたはｆを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は式中において任意である。］
で表される基である、上記［１］～［４］のいずれか１項に記載のフルオロポリエーテル基含有シラン化合物。
［６］　Ｒ３は、Ｃ１－３アルキレン基である、上記［１］～［５］のいずれか１項に記載のフルオロポリエーテル基含有シラン化合物。
［７］　ｍは、２～６の整数である、上記［１］～［６］のいずれか１項に記載のフルオロポリエーテル基含有シラン化合物。
［８］　Ｚは、Ｃ１－６アルキレン基である、上記［１］～［７］のいずれか１項に記載のフルオロポリエーテル基含有シラン化合物。
［９］　ｑは３である、上記［１］～［８］のいずれか１項に記載のフルオロポリエーテル基含有シラン化合物。
［１０］　上記［１］～［９］のいずれか１項に記載のフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物を含有する、表面処理剤。
［１１］　含フッ素オイル、シリコーンオイル、および触媒から選択される１種またはそれ以上の他の成分をさらに含有する、上記［１０］に記載の表面処理剤。
［１２］　さらに溶媒を含む、上記［１０］または［１１］に記載の表面処理剤。
［１３］　防汚性コーティング剤または防水性コーティング剤として使用される、上記［１０］～［１２］のいずれか１項に記載の表面処理剤。
［１４］　真空蒸着用である、上記［１０］～［１３］のいずれか１項に記載の表面処理剤。
［１５］　上記［１０］～［１４］のいずれか１項に記載の表面処理剤を含有するペレット。
［１６］　基材と、該基材の表面に、上記［１］～［９］のいずれか１項に記載のフルオロポリエーテル基含有シラン化合物または上記［１０］～［１４］のいずれかに記載の表面処理剤より形成された層とを含む物品。
［１７］　光学部材である、上記［１６］に記載の物品。
　本開示によれば、より良好な摩擦耐久性および耐薬品性を有する表面処理層を有する物品を提供することができる。
　以下、本開示のフルオロポリエーテル基含有シラン化合物について説明する。
　本明細書において用いられる場合、「１価の有機基」とは、炭素を含有する１価の基を意味する。１価の有機基としては、特に限定されないが、炭化水素基またはその誘導体であり得る。炭化水素基の誘導体とは、炭化水素基の末端または分子鎖中に、１つまたはそれ以上のＮ、Ｏ、Ｓ、Ｓｉ、アミド、スルホニル、シロキサン、カルボニル、カルボニルオキシ等を有している基を意味する。尚、単に「有機基」と示す場合、１価の有機基を意味する。また、「２～１０価の有機基」とは、炭素を含有する２～１０価の基を意味する。かかる２～１０価の有機基としては、特に限定されないが、有機基からさらに１～９個の水素原子を脱離させた２～１０価の基が挙げられる。例えば、２価の有機基としては、特に限定されるものではないが、有機基からさらに１個の水素原子を脱離させた２価の基が挙げられる。
　本明細書において用いられる場合、「炭化水素基」とは、炭素および水素を含む基であって、炭化水素から１個の水素原子を脱離させた基を意味する。かかる炭化水素基としては、特に限定されるものではないが、１つまたはそれ以上の置換基により置換されていてもよい、Ｃ１－２０炭化水素基、例えば、脂肪族炭化水素基、芳香族炭化水素基等が挙げられる。上記「脂肪族炭化水素基」は、直鎖状、分枝鎖状または環状のいずれであってもよく、飽和または不飽和のいずれであってもよい。また、炭化水素基は、１つまたはそれ以上の環構造を含んでいてもよい。
　本明細書において用いられる場合、「炭化水素基」の置換基としては、特に限定されないが、例えば、ハロゲン原子、１個またはそれ以上のハロゲン原子により置換されていてもよい、Ｃ１－６アルキル基、Ｃ２－６アルケニル基、Ｃ２－６アルキニル基、Ｃ３－１０シクロアルキル基、Ｃ３－１０不飽和シクロアルキル基、５～１０員のヘテロシクリル基、５～１０員の不飽和ヘテロシクリル基、Ｃ６－１０アリール基および５～１０員のヘテロアリール基から選択される１個またはそれ以上の基が挙げられる。
　本明細書において用いられる場合、「加水分解性基」とは、加水分解反応を受け得る基を意味し、すなわち、加水分解反応により、化合物の主骨格から脱離し得る基を意味する。加水分解性基の例としては、－ＯＲｈ、－ＯＣＯＲｈ、－Ｏ－Ｎ＝ＣＲｈ ２、－ＮＲｈ ２、－ＮＨＲｈ、－ＮＣＯ、ハロゲン（これら式中、Ｒｈは、置換または非置換のＣ１－４アルキル基を示す）などが挙げられる。
　本開示のフルオロポリエーテル基含有シラン化合物は、下記式（Ｉ）：
　　　ＲＦ１－Ｒ４－（ＯＲ３）ｍ－Ｒ５－ＳｉＲ１ ｎＲ２ ３－ｎ　　　（Ｉ）
［式中：
　ＲＦ１は、Ｒｆ１－ＲＦ－Ｏｐ－であり；
　Ｒｆ１は、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよいＣ１－１６アルキル基であり；
　ＲＦは、２価のフルオロポリエーテル基であり；
　ｐは、０または１であり；
　Ｒ１は、－Ｚ－ＳｉＲ１１ ｑＲ１２ ３－ｑであり；
　Ｚは、２価の有機基であり；
　Ｒ１１は、水酸基または加水分解性基であり；
　Ｒ１２は、水素原子または１価の有機基であり；
　ｑは、１～３の整数であり；
　Ｒ２は、水素原子または１価の有機基であり；
　ｎは、２または３であり；
　Ｒ３は、Ｃ１－６アルキレン基であり；
　ｍは、２～１０の整数であり；
　Ｒ４は、単結合またはＣ１－６アルキレン基であり；
　Ｒ５は、単結合またはＣ１－６アルキレン基である。］
で表されるフルオロポリエーテル基含有シラン化合物である。
　本開示のフルオロポリエーテル基含有シラン化合物は、ＲＦ１とＳｉＲ１ ｎＲ２ ３－ｎとの間に－（ＯＲ３）ｍ－を有することにより、より高い摩擦耐久性および耐薬品性を有する表面処理層を形成することができる。
　上記式（Ｉ）において、ＲＦ１は、Ｒｆ１－ＲＦ－Ｏｑ－である。
　上記式において、Ｒｆ１は、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよいＣ１－１６アルキル基である。
　上記１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよいＣ１－１６アルキル基における「Ｃ１－１６アルキル基」は、直鎖であっても、分枝鎖であってもよく、好ましくは直鎖または分枝鎖のＣ１－６アルキル基、特にＣ１－３アルキル基であり、より好ましくは直鎖のＣ１－６アルキル基、特にＣ１－３アルキル基である。
　上記Ｒｆ１は、好ましくは、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されているＣ１－１６アルキル基であり、より好ましくはＣＦ２Ｈ－Ｃ１－１５パーフルオロアルキレン基であり、さらに好ましくはＣ１－１６パーフルオロアルキル基である。
　上記Ｃ１－１６パーフルオロアルキル基は、直鎖であっても、分枝鎖であってもよく、好ましくは、直鎖または分枝鎖のＣ１－６パーフルオロアルキル基、特にＣ１－３パーフルオロアルキル基であり、より好ましくは直鎖のＣ１－６パーフルオロアルキル基、特にＣ１－３パーフルオロアルキル基、具体的には－ＣＦ３、－ＣＦ２ＣＦ３、または－ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ３である。
　上記式において、ｐは、０または１である。一の態様において、ｐは０である。別の態様においてｐは１である。
　上記式（Ｉ）において、ＲＦは、各出現においてそれぞれ独立して、２価のフルオロポリエーテル基である。
　ＲＦは、好ましくは、式：
　　－（ＯＣ６Ｆ１２）ａ－（ＯＣ５Ｆ１０）ｂ－（ＯＣ４Ｆ８）ｃ－（ＯＣ３ＲＦａ ６）ｄ－（ＯＣ２Ｆ４）ｅ－（ＯＣＦ２）ｆ－
［式中：
　ＲＦａは、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子、フッ素原子または塩素原子であり、
　ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅおよびｆは、それぞれ独立して、０～２００の整数であって、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅおよびｆの和は１以上である。ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅまたはｆを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は式中において任意である。ただし、すべてのＲＦａが水素原子または塩素原子である場合、ａ、ｂ、ｃ、ｅおよびｆの少なくとも１つは、１以上である。］
で表される基である。
　上記ＲＦａは、好ましくは、水素原子またはフッ素原子であり、より好ましくは、フッ素原子である。ただし、すべてのＲＦａが水素原子または塩素原子である場合、ａ、ｂ、ｃ、ｅおよびｆの少なくとも１つは、１以上である。
　ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅおよびｆは、好ましくは、それぞれ独立して、０～１００の整数であり得る。
　ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅおよびｆの和は、好ましくは５以上であり、より好ましくは１０以上であり、例えば１５以上または２０以上であってもよい。ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅおよびｆの和は、好ましくは２００以下、より好ましくは１００以下、さらに好ましくは６０以下であり、例えば５０以下または３０以下であってもよい。
　これら繰り返し単位は、直鎖状であっても、分枝鎖状であってもよい。例えば、－（ＯＣ６Ｆ１２）－は、－（ＯＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２）－、－（ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２）－、－（ＯＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２）－、－（ＯＣＦ２ＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２ＣＦ２）－、－（ＯＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２）－、－（ＯＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３））－等であってもよい。－（ＯＣ５Ｆ１０）－は、－（ＯＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２）－、－（ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２）－、－（ＯＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２ＣＦ２）－、－（ＯＣＦ２ＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２）－、－（ＯＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３））－等であってもよい。－（ＯＣ４Ｆ８）－は、－（ＯＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２）－、－（ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２ＣＦ２）－、－（ＯＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２）－、－（ＯＣＦ２ＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３））－、－（ＯＣ（ＣＦ３）２ＣＦ２）－、－（ＯＣＦ２Ｃ（ＣＦ３）２）－、－（ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ（ＣＦ３））－、－（ＯＣＦ（Ｃ２Ｆ５）ＣＦ２）－および－（ＯＣＦ２ＣＦ（Ｃ２Ｆ５））－のいずれであってもよい。－（ＯＣ３Ｆ６）－（即ち、上記式中、ＲＦａはフッ素原子である）は、－（ＯＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２）－、－（ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２）－および－（ＯＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３））－のいずれであってもよい。－（ＯＣ２Ｆ４）－は、－（ＯＣＦ２ＣＦ２）－および－（ＯＣＦ（ＣＦ３））－のいずれであってもよい。
　一の態様において、上記繰り返し単位は直鎖状である。上記繰り返し単位を直鎖状とすることにより、表面処理層の表面滑り性、摩擦耐久性等を向上させることができる。
　一の態様において、上記繰り返し単位は分枝鎖状である。上記繰り返し単位を分枝鎖状とすることにより、表面処理層の動摩擦係数を大きくすることができる。
　一の態様において、ＲＦは、各出現においてそれぞれ独立して、下記式（ｆ１）～（ｆ５）のいずれかで表される基である。
　　－（ＯＣ３Ｆ６）ｄ－（ＯＣ２Ｆ４）ｅ－　　　（ｆ１）
［式中、ｄは、１～２００の整数であり、ｅは、０または１である。］；
　　－（ＯＣ４Ｆ８）ｃ－（ＯＣ３Ｆ６）ｄ－（ＯＣ２Ｆ４）ｅ－（ＯＣＦ２）ｆ－　（ｆ２）
［式中、ｃおよびｄは、それぞれ独立して０以上３０以下の整数であり、ｅおよびｆは、それぞれ独立して１以上２００以下の整数であり、
　ｃ、ｄ、ｅおよびｆの和は２以上であり、
　添字ｃ、ｄ、ｅまたはｆを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は、式中において任意である。］；
　　－（Ｒ６－Ｒ７）ｇ－　　　（ｆ３）
［式中、Ｒ６は、ＯＣＦ２またはＯＣ２Ｆ４であり、
　Ｒ７は、ＯＣ２Ｆ４、ＯＣ３Ｆ６、ＯＣ４Ｆ８、ＯＣ５Ｆ１０およびＯＣ６Ｆ１２から選択される基であるか、あるいは、これらの基から独立して選択される２または３つの基の組み合わせであり、
　ｇは、２～１００の整数である。］；
　－（ＯＣ６Ｆ１２）ａ－（ＯＣ５Ｆ１０）ｂ－（ＯＣ４Ｆ８）ｃ－（ＯＣ３Ｆ６）ｄ－（ＯＣ２Ｆ４）ｅ－（ＯＣＦ２）ｆ－　　　（ｆ４）
［式中、ｅは、１以上２００以下の整数であり、ａ、ｂ、ｃ、ｄおよびｆは、それぞれ独立して０以上２００以下の整数であって、また、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅまたはｆを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は式中において任意である。］
　－（ＯＣ６Ｆ１２）ａ－（ＯＣ５Ｆ１０）ｂ－（ＯＣ４Ｆ８）ｃ－（ＯＣ３Ｆ６）ｄ－（ＯＣ２Ｆ４）ｅ－（ＯＣＦ２）ｆ－　　　（ｆ５）
［式中、ｆは、１以上２００以下の整数であり、ａ、ｂ、ｃ、ｄおよびｅは、それぞれ独立して０以上２００以下の整数であって、また、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅまたはｆを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は式中において任意である。］
　上記式（ｆ１）において、ｄは、好ましくは５～２００、より好ましくは１０～１００、さらに好ましくは１５～５０、例えば２５～３５の整数である。上記式（ｆ１）におけるＯＣ３Ｆ６は、好ましくは、（ＯＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２）、（ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２）または（ＯＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３））であり、より好ましくは、（ＯＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２）である。上記式（ｆ１）における（ＯＣ２Ｆ４）は、好ましくは、（ＯＣＦ２ＣＦ２）または（ＯＣＦ（ＣＦ３））であり、より好ましくは、（ＯＣＦ２ＣＦ２）である。一の態様において、ｅは０である。別の態様において、ｅは１である。
　上記式（ｆ２）において、ｅおよびｆは、それぞれ独立して、好ましくは５～２００、より好ましくは１０～２００の整数である。また、ｃ、ｄ、ｅおよびｆの和は、好ましくは５以上であり、より好ましくは１０以上であり、例えば１５以上または２０以上であってもよい。一の態様において、上記式（ｆ２）は、好ましくは、－（ＯＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２）ｃ－（ＯＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２）ｄ－（ＯＣＦ２ＣＦ２）ｅ－（ＯＣＦ２）ｆ－で表される基である。別の態様において、式（ｆ２）は、－（ＯＣ２Ｆ４）ｅ－（ＯＣＦ２）ｆ－で表される基であってもよい。
　上記式（ｆ３）において、Ｒ６は、好ましくは、ＯＣ２Ｆ４である。上記（ｆ３）において、Ｒ７は、好ましくは、ＯＣ２Ｆ４、ＯＣ３Ｆ６およびＯＣ４Ｆ８から選択される基であるか、あるいは、これらの基から独立して選択される２または３つの基の組み合わせであり、より好ましくは、ＯＣ３Ｆ６およびＯＣ４Ｆ８から選択される基である。ＯＣ２Ｆ４、ＯＣ３Ｆ６およびＯＣ４Ｆ８から独立して選択される２または３つの基の組み合わせとしては、特に限定されないが、例えば－ＯＣ２Ｆ４ＯＣ３Ｆ６－、－ＯＣ２Ｆ４ＯＣ４Ｆ８－、－ＯＣ３Ｆ６ＯＣ２Ｆ４－、－ＯＣ３Ｆ６ＯＣ３Ｆ６－、－ＯＣ３Ｆ６ＯＣ４Ｆ８－、－ＯＣ４Ｆ８ＯＣ４Ｆ８－、－ＯＣ４Ｆ８ＯＣ３Ｆ６－、－ＯＣ４Ｆ８ＯＣ２Ｆ４－、－ＯＣ２Ｆ４ＯＣ２Ｆ４ＯＣ３Ｆ６－、－ＯＣ２Ｆ４ＯＣ２Ｆ４ＯＣ４Ｆ８－、－ＯＣ２Ｆ４ＯＣ３Ｆ６ＯＣ２Ｆ４－、－ＯＣ２Ｆ４ＯＣ３Ｆ６ＯＣ３Ｆ６－、－ＯＣ２Ｆ４ＯＣ４Ｆ８ＯＣ２Ｆ４－、－ＯＣ３Ｆ６ＯＣ２Ｆ４ＯＣ２Ｆ４－、－ＯＣ３Ｆ６ＯＣ２Ｆ４ＯＣ３Ｆ６－、－ＯＣ３Ｆ６ＯＣ３Ｆ６ＯＣ２Ｆ４－、および－ＯＣ４Ｆ８ＯＣ２Ｆ４ＯＣ２Ｆ４－等が挙げられる。上記式（ｆ３）において、ｇは、好ましくは３以上、より好ましくは５以上の整数である。上記ｇは、好ましくは５０以下の整数である。上記式（ｆ３）において、ＯＣ２Ｆ４、ＯＣ３Ｆ６、ＯＣ４Ｆ８、ＯＣ５Ｆ１０およびＯＣ６Ｆ１２は、直鎖または分枝鎖のいずれであってもよく、好ましくは直鎖である。この態様において、上記式（ｆ３）は、好ましくは、－（ＯＣ２Ｆ４－ＯＣ３Ｆ６）ｇ－または－（ＯＣ２Ｆ４－ＯＣ４Ｆ８）ｇ－である。
　上記式（ｆ４）において、ｅは、好ましくは、１以上１００以下、より好ましくは５以上１００以下の整数である。ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅおよびｆの和は、好ましくは５以上であり、より好ましくは１０以上、例えば１０以上１００以下である。
　上記式（ｆ５）において、ｆは、好ましくは、１以上１００以下、より好ましくは５以上１００以下の整数である。ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅおよびｆの和は、好ましくは５以上であり、より好ましくは１０以上、例えば１０以上１００以下である。
　一の態様において、上記ＲＦは、上記式（ｆ１）で表される基である。
　一の態様において、上記ＲＦは、上記式（ｆ２）で表される基である。
　一の態様において、上記ＲＦは、上記式（ｆ３）で表される基である。
　一の態様において、上記ＲＦは、上記式（ｆ４）で表される基である。
　一の態様において、上記ＲＦは、上記式（ｆ５）で表される基である。
　上記ＲＦにおいて、ｆに対するｅの比（以下、「ｅ／ｆ比」という）は、０．１～１０であり、好ましくは０．２～５であり、より好ましくは０．２～２であり、さらに好ましくは０．２～１．５であり、さらにより好ましくは０．２～０．８５である。ｅ／ｆ比を１０以下にすることにより、この化合物から得られる表面処理層の滑り性、摩擦耐久性および耐ケミカル性（例えば、人工汗に対する耐久性）がより向上する。ｅ／ｆ比がより小さいほど、表面処理層の滑り性および摩擦耐久性はより向上する。一方、ｅ／ｆ比を０．１以上にすることにより、化合物の安定性をより高めることができる。ｅ／ｆ比がより大きいほど、化合物の安定性はより向上する。
　一の態様において、上記ｅ／ｆ比は、好ましくは０．２～０．９５であり、より好ましくは０．２～０．９である。
　一の態様において、耐熱性の観点から、上記ｅ／ｆ比は、好ましくは１．０以上であり、より好ましくは１．０～２．０である。
　上記フルオロポリエーテル基含有シラン化合物において、ＲＦ１部分の数平均分子量は、特に限定されるものではないが、例えば５００～３０，０００、好ましくは１，５００～３０，０００、より好ましくは２，０００～１０，０００である。本明細書において、ＲＦ１およびＲＦ２の数平均分子量は、１９Ｆ－ＮＭＲにより測定される値とする。
　別の態様において、ＲＦ１部分の数平均分子量は、５００～３０，０００、好ましくは１，０００～２０，０００、より好ましくは２，０００～１５，０００、さらにより好ましくは２，０００～１０，０００、例えば３，０００～６，０００であり得る。
　別の態様において、ＲＦ１部分の数平均分子量は、４，０００～３０，０００、好ましくは５，０００～１０，０００、より好ましくは６，０００～１０，０００であり得る。
　上記式（Ｉ）において、Ｒ１は、－Ｚ－ＳｉＲ１１ ｑＲ１２ ３－ｑである。
　上記式中、Ｚは、２価の有機基である。
　上記Ｚは、好ましくは、Ｃ１－６アルキレン基、－（ＣＨ２）ｚ１－Ｏ－（ＣＨ２）ｚ２－（式中、ｚ１は、０～６の整数、例えば１～６の整数であり、ｚ２は、０～６の整数、例えば１～６の整数である）、または－（ＣＨ２）ｚ３－フェニレン－（ＣＨ２）ｚ４－（式中、ｚ３は、０～６の整数、例えば１～６の整数であり、ｚ４は、０～６の整数、例えば１～６の整数である）である。かかるＣ１－６アルキレン基は、直鎖であっても、分枝鎖であってもよいが、好ましくは直鎖である。これらの基は、例えば、フッ素原子、Ｃ１－６アルキル基、Ｃ２－６アルケニル基、およびＣ２－６アルキニル基から選択される１個またはそれ以上の置換基により置換されていてもよいが、好ましくは非置換である。
　好ましい態様において、Ｚ１は、Ｃ１－６アルキレン基または－（ＣＨ２）ｚ３－フェニレン－（ＣＨ２）ｚ４－、好ましくは－フェニレン－（ＣＨ２）ｚ４－である。Ｚ１がかかる基である場合、光耐性、特に紫外線耐性がより高くなり得る。
　別の好ましい態様において、上記Ｚは、Ｃ１－３アルキレン基である。一の態様において、Ｚは、－ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２－であり得る。別の態様において、Ｚは、－ＣＨ２ＣＨ２－であり得る。
　上記式中、Ｒ１１は、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解性基である。
　Ｒ１１は、好ましくは、各出現においてそれぞれ独立して、加水分解性基である。
　Ｒ１１は、好ましくは、各出現においてそれぞれ独立して、－ＯＲｈ、－ＯＣＯＲｈ、－Ｏ－Ｎ＝ＣＲｈ ２、－ＮＲｈ ２、－ＮＨＲｈ、－ＮＣＯ、またはハロゲン（これら式中、Ｒｈは、置換または非置換のＣ１－４アルキル基を示す）であり、より好ましくは－ＯＲｈ（即ち、アルコキシ基）である。Ｒｈとしては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基などの非置換アルキル基；クロロメチル基などの置換アルキル基が挙げられる。それらの中でも、アルキル基、特に非置換アルキル基が好ましく、メチル基またはエチル基がより好ましい。一の態様において、Ｒｈは、メチル基であり、別の態様において、Ｒｈは、エチル基である。
　上記式中、Ｒ１２は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または１価の有機基である。かかる１価の有機基は、上記加水分解性基を除く１価の有機基である。
　Ｒ１２において、１価の有機基は、好ましくはＣ１－２０アルキル基であり、より好ましくはＣ１－６アルキル基、さらに好ましくはＣ１－３アルキル基、特に好ましくはメチル基である。
　上記式中、ｑは、（ＳｉＲ１１ ｑＲ１２ ３－ｑ）単位毎にそれぞれ独立して、１～３の整数であり、好ましくは２～３、より好ましくは３である。
　上記式（Ｉ）において、Ｒ２は、水素原子または１価の有機基である。かかる１価の有機基は、上記加水分解性基を除く１価の有機基である。
　Ｒ２において、１価の有機基は、好ましくはＣ１－２０アルキル基であり、より好ましくはＣ１－６アルキル基、さらに好ましくはＣ１－３アルキル基、特に好ましくはメチル基である。
　上記式（Ｉ）において、ｎは、２または３である。一の態様において、ｎは２である。別の態様において、ｎは３である。
　上記式（Ｉ）において、Ｒ３は、Ｃ１－６アルキレン基である。
　Ｒ３において、上記Ｃ１－６アルキレン基は、直鎖であっても分枝鎖であってもよく、好ましくは直鎖である。
　上記Ｒ３は、好ましくはＣ１－４アルキレン基、より好ましくはＣ１－３アルキレン基、特に好ましくは－ＣＨ２ＣＨ２－である。Ｒ３を上記のものとすることにより、基材密着性及び濡れ性が向上し得る。
　Ｒ３において、上記Ｃ１－６アルキレン基は、直鎖であっても分枝鎖であってもよく、好ましくは直鎖である。
　上記式（Ｉ）において、ｍは、２～１０の整数であり、好ましくは２～６の整数、より好ましくは２～４の整数である。ｍを上記の範囲にすることにより、基材密着性及び濡れ性が向上し得る。
　上記式（Ｉ）において、Ｒ４は、単結合またはＣ１－６アルキレン基である。
　Ｒ４において、上記Ｃ１－６アルキレン基は、直鎖であっても分枝鎖であってもよく、好ましくは直鎖である。
　上記Ｒ４は、好ましくはＣ１－６アルキレン基、より好ましくはＣ１－３アルキレン基、特に好ましくはメチレン基である。
　上記式（Ｉ）において、Ｒ５は、単結合またはＣ１－６アルキレン基である。
　Ｒ５において、上記Ｃ１－６アルキレン基は、直鎖であっても分枝鎖であってもよく、好ましくは直鎖である。
　上記Ｒ５は、好ましくはＣ１－６アルキレン基、より好ましくはＣ１－３アルキレン基、特に好ましくはメチレン基である。
　上記式（Ｉ）で表されるフルオロポリエーテル基含有シラン化合物は、特に限定されるものではないが、５×１０２～１×１０５の平均分子量を有し得る。かかる範囲のなかでも、２，０００～３２，０００、より好ましくは２，５００～１２，０００の平均分子量を有することが、摩擦耐久性の観点から好ましい。なお、本発明において「平均分子量」は数平均分子量をいい、「平均分子量」は、１９Ｆ－ＮＭＲにより測定される値とする。
　上記式（Ｉ）で表されるフルオロポリエーテル基含有シラン化合物は、自体公知の方法により、例えばフルオロポリエーテル基含有アルコールから製造することができる。
　次に、本発明の表面処理剤について説明する。
　本開示の表面処理剤は、式（Ｉ）で表される少なくとも１種のフルオロポリエーテル基含有シラン化合物を含有する。
　本開示の表面処理剤は、撥水性、撥油性、防汚性、摩擦耐久性、耐薬品性を基材に対して付与することができ、特に限定されるものではないが、防汚性コーティング剤または防水性コーティング剤として好適に使用され得る。
　本開示の表面処理剤は、溶媒、含フッ素オイルとして理解され得る（非反応性の）フルオロポリエーテル化合物、好ましくはパーフルオロ（ポリ）エーテル化合物（以下、まとめて「含フッ素オイル」と言う）、シリコーンオイルとして理解され得る（非反応性の）シリコーン化合物（以下、「シリコーンオイル」と言う）、アルコール類、触媒、界面活性剤、重合禁止剤、増感剤等を含み得る。
　上記溶媒としては、例えば、ヘキサン、シクロヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、デカン、ウンデカン、ドデカン、ミネラルスピリット等の脂肪族炭化水素類；ベンゼン、トルエン、キシレン、ナフタレン、ソルベントナフサ等の芳香族炭化水素類；酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸－ｎ－ブチル、酢酸イソプロピル、酢酸イソブチル、酢酸セロソルブ、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、酢酸カルビトール、ジエチルオキサレート、ピルビン酸エチル、エチル－２－ヒドロキシブチレート、エチルアセトアセテート、酢酸アミル、乳酸メチル、乳酸エチル、３－メトキシプロピオン酸メチル、３－メトキシプロピオン酸エチル、２－ヒドロキシイソ酪酸メチル、２－ヒドロキシイソ酪酸エチル等のエステル類；アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、２－ヘキサノン、シクロヘキサノン、メチルアミノケトン、２－ヘプタノン等のケトン類；エチルセルソルブ、メチルセロソルブ、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールモノアルキルエーテル等のグリコールエーテル類；メタノール、エタノール、ｉｓｏ－プロパノール、ｎ－ブタノール、イソブタノール、ｔｅｒｔ－ブタノール、ｓｅｃ－ブタノール、３－ペンタノール、オクチルアルコール、３－メチル－３－メトキシブタノール、ｔｅｒｔ－アミルアルコール等のアルコール類；エチレングリコール、プロピレングリコール等のグリコール類；テトラヒドロフラン、テトラヒドロピラン、ジオキサン等の環状エーテル類；Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルアセトアミド等のアミド類；メチルセロソルブ、セロソルブ、イソプロピルセロソルブ、ブチルセロソルブ、ジエチレングリコールモノメチルエーテル等のエーテルアルコール類；ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート；１，１，２－トリクロロ－１，２，２－トリフルオロエタン、１，２－ジクロロ－１，１，２，２－テトラフルオロエタン、ジメチルスルホキシド、１，１－ジクロロ－１，２，２，３，３－ペンタフルオロプロパン（ＨＣＦＣ２２５）、ゼオローラＨ、ＨＦＥ７１００、ＨＦＥ７２００、ＨＦＥ７３００、ＣＦ３ＣＨ２ＯＨ、ＣＦ３ＣＦ２ＣＨ２ＯＨ、（ＣＦ３）２ＣＨＯＨ等のフッ素含有溶媒等が挙げられる。あるいはこれらの２種以上の混合溶媒等が挙げられる。
　含フッ素オイルとしては、特に限定されるものではないが、例えば、以下の一般式（３）で表される化合物（パーフルオロ（ポリ）エーテル化合物）が挙げられる。
　Ｒｆ５－（ＯＣ４Ｆ８）ａ’－（ＯＣ３Ｆ６）ｂ’－（ＯＣ２Ｆ４）ｃ’－（ＯＣＦ２）ｄ’－Ｒｆ６　　　・・・（３）
　式中、Ｒｆ５は、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい炭素数１～１６アルキル基（好ましくは、Ｃ１―１６のパーフルオロアルキル基）を表し、Ｒｆ６は、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい炭素数１～１６アルキル基（好ましくは、Ｃ１－１６パーフルオロアルキル基）、フッ素原子または水素原子を表し、Ｒｆ５およびＲｆ６は、より好ましくは、それぞれ独立して、Ｃ１－３パーフルオロアルキル基である。
　ａ’、ｂ’、ｃ’およびｄ’は、ポリマーの主骨格を構成するパーフルオロ（ポリ）エーテルの４種の繰り返し単位数をそれぞれ表し、互いに独立して０以上３００以下の整数であって、ａ’、ｂ’、ｃ’およびｄ’の和は少なくとも１、好ましくは１～３００、より好ましくは２０～３００である。添字ａ’、ｂ’、ｃ’またはｄ’を付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は、式中において任意である。これら繰り返し単位のうち、－（ＯＣ４Ｆ８）－は、－（ＯＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２）－、－（ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２ＣＦ２）－、－（ＯＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２）－、－（ＯＣＦ２ＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３））－、－（ＯＣ（ＣＦ３）２ＣＦ２）－、－（ＯＣＦ２Ｃ（ＣＦ３）２）－、－（ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ（ＣＦ３））－、－（ＯＣＦ（Ｃ２Ｆ５）ＣＦ２）－および（ＯＣＦ２ＣＦ（Ｃ２Ｆ５））－のいずれであってもよいが、好ましくは－（ＯＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２）－である。－（ＯＣ３Ｆ６）－は、－（ＯＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２）－、－（ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２）－および（ＯＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３））－のいずれであってもよく、好ましくは－（ＯＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２）－である。－（ＯＣ２Ｆ４）－は、－（ＯＣＦ２ＣＦ２）－および（ＯＣＦ（ＣＦ３））－のいずれであってもよいが、好ましくは－（ＯＣＦ２ＣＦ２）－である。
　上記一般式（３）で表されるパーフルオロ（ポリ）エーテル化合物の例として、以下の一般式（３ａ）および（３ｂ）のいずれかで示される化合物（１種または２種以上の混合物であってよい）が挙げられる。
　Ｒｆ５－（ＯＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２）ｂ”－Ｒｆ６　　　　　　　・・・（３ａ）
　Ｒｆ５－（ＯＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２）ａ”－（ＯＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２）ｂ”－（ＯＣＦ２ＣＦ２）ｃ”－（ＯＣＦ２）ｄ”－Ｒｆ６　　　　　　　・・・（３ｂ）
　これら式中、Ｒｆ５およびＲｆ６は上記の通りであり；式（３ａ）において、ｂ”は１以上１００以下の整数であり；式（３ｂ）において、ａ”およびｂ”は、それぞれ独立して０以上３０以下の整数であり、ｃ”およびｄ”はそれぞれ独立して１以上３００以下の整数である。添字ａ”、ｂ”、ｃ”、ｄ”を付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は、式中において任意である。
　また、別の観点から、含フッ素オイルは、一般式Ｒｆ３－Ｆ（式中、Ｒｆ３はＣ５－１６パーフルオロアルキル基である。）で表される化合物であってよい。また、クロロトリフルオロエチレンオリゴマーであってもよい。
　上記含フッ素オイルは、５００～１００００の平均分子量を有していてよい。含フッ素オイルの分子量は、ＧＰＣを用いて測定し得る。
　含フッ素オイルは、本開示の表面処理剤に対して、例えば０～５０質量％、好ましくは０～３０質量％、より好ましくは０～５質量％含まれ得る。一の態様において、本開示の表面処理剤は、含フッ素オイルを実質的に含まない。含フッ素オイルを実質的に含まないとは、含フッ素オイルを全く含まない、または極微量の含フッ素オイルを含んでいてもよいことを意味する。
　一の態様において、含フッ素シラン化合物の平均分子量よりも、含フッ素オイルの平均分子量を大きくしてもよい。このような平均分子量とすることにより、特に真空蒸着法により表面処理層を形成する場合において、より優れた摩擦耐久性と表面滑り性を得ることができる。
　一の態様において、含フッ素シラン化合物の平均分子量よりも、含フッ素オイルの平均分子量を小さくしてもよい。このような平均分子量とすることにより、かかる化合物から得られる表面処理層の透明性の低下を抑制しつつ、高い摩擦耐久性および高い表面滑り性を有する硬化物を形成できる。
　含フッ素オイルは、本開示の表面処理剤によって形成された層の表面滑り性を向上させるのに寄与する。
　上記シリコーンオイルとしては、例えばシロキサン結合が２，０００以下の直鎖状または環状のシリコーンオイルを用い得る。直鎖状のシリコーンオイルは、いわゆるストレートシリコーンオイルおよび変性シリコーンオイルであってよい。ストレートシリコーンオイルとしては、ジメチルシリコーンオイル、メチルフェニルシリコーンオイル、メチルハイドロジェンシリコーンオイルが挙げられる。変性シリコーンオイルとしては、ストレートシリコーンオイルを、アルキル、アラルキル、ポリエーテル、高級脂肪酸エステル、フルオロアルキル、アミノ、エポキシ、カルボキシル、アルコールなどにより変性したものが挙げられる。環状のシリコーンオイルは、例えば環状ジメチルシロキサンオイルなどが挙げられる。
　本開示の表面処理剤中、かかるシリコーンオイルは、上記本開示のフルオロポリエーテル基含有シラン化合物の合計１００質量部（２種以上の場合にはこれらの合計、以下も同様）に対して、例えば０～３００質量部、好ましくは５０～２００質量部で含まれ得る。
　シリコーンオイルは、表面処理層の表面滑り性を向上させるのに寄与する。
　上記アルコール類としては、例えば１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい炭素数１～６のアルコール、例えば、メタノール、エタノール、ｉｓｏ－プロパノール、ｔｅｒｔ－ブタノール、ＣＦ３ＣＨ２ＯＨ、ＣＦ３ＣＦ２ＣＨ２ＯＨ、（ＣＦ３）２ＣＨＯＨが挙げられる。これらのアルコール類を表面処理剤に添加することにより、表面処理剤の安定性を向上させ、また、フルオロポリエーテル基含有シラン化合物と溶媒の相溶性を改善させる。
　上記アルコール類は、表面処理剤中、上記金属化合物に対して、モル比で、好ましくは０．１～５倍、より好ましくは０．５～３倍、さらに好ましくは０．８～１．２倍の量で含まれる。アルコール類の含有割合を上記の範囲とすることにより、表面処理層の安定性をより向上させることができる。
　上記触媒としては、酸（例えば酢酸、トリフルオロ酢酸等）、塩基（例えばアンモニア、トリエチルアミン、ジエチルアミン等）、遷移金属（例えばＴｉ、Ｎｉ、Ｓｎ等）等が挙げられる。
　触媒は、本開示の含フッ素シラン化合物の加水分解および脱水縮合を促進し、本開示の表面処理剤により形成される層の形成を促進する。
　他の成分としては、上記以外に、例えば、テトラエトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、３－アミノプロピルトリメトキシシラン、３－グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、メチルトリアセトキシシラン等も挙げられる。
　本開示の表面処理剤は、多孔質物質、例えば多孔質のセラミック材料、金属繊維、例えばスチールウールを綿状に固めたものに含浸させて、ペレットとすることができる。当該ペレットは、例えば、真空蒸着に用いることができる。
　本開示の表面処理剤は、上記した成分に加え、不純物として、例えばＰｔ、Ｒｈ、Ｒｕ、１，３－ジビニルテトラメチルジシロキサン、トリフェニルホスフィン、ＮａＣｌ、ＫＣｌ、シランの縮合物などを微量含み得る。
　以下、本開示の物品について説明する。
　本開示の物品は、基材と、該基材表面に本開示の化合物または表面処理剤より形成された層（表面処理層）とを含む。
　本開示において使用可能な基材は、例えば、ガラス、樹脂（天然または合成樹脂、例えば一般的なプラスチック材料であってよい）、金属、セラミックス、半導体（シリコン、ゲルマニウム等）、繊維（織物、不織布等）、毛皮、皮革、木材、陶磁器、石材等、建築部材等、衛生用品、任意の適切な材料で構成され得る。
　例えば、製造すべき物品が光学部材である場合、基材の表面を構成する材料は、光学部材用材料、例えばガラスまたは透明プラスチックなどであってよい。また、製造すべき物品が光学部材である場合、基材の表面（最外層）に何らかの層（または膜）、例えばハードコート層や反射防止層などが形成されていてもよい。反射防止層には、単層反射防止層および多層反射防止層のいずれを使用してもよい。反射防止層に使用可能な無機物の例としては、ＳｉＯ２、ＳｉＯ、ＺｒＯ２、ＴｉＯ２、ＴｉＯ、Ｔｉ２Ｏ３、Ｔｉ２Ｏ５、Ａｌ２Ｏ３、Ｔａ２Ｏ５、Ｔａ３Ｏ５，Ｎｂ２Ｏ５、ＨｆＯ２、Ｓｉ３Ｎ４、ＣｅＯ２、ＭｇＯ、Ｙ２Ｏ３、ＳｎＯ２、ＭｇＦ２、ＷＯ３などが挙げられる。これらの無機物は、単独で、またはこれらの２種以上を組み合わせて（例えば混合物として）使用してもよい。多層反射防止層とする場合、その最外層にはＳｉＯ２および／またはＳｉＯを用いることが好ましい。製造すべき物品が、タッチパネル用の光学ガラス部品である場合、透明電極、例えば酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）や酸化インジウム亜鉛などを用いた薄膜を、基材（ガラス）の表面の一部に有していてもよい。また、基材は、その具体的仕様等に応じて、絶縁層、粘着層、保護層、装飾枠層（Ｉ－ＣＯＮ）、霧化膜層、ハードコーティング膜層、偏光フィルム、相位差フィルム、および液晶表示モジュールなどを有していてもよい。
　上記基材の形状は、特に限定されず、例えば、板状、フィルム、その他の形態であってよい。また、表面処理層を形成すべき基材の表面領域は、基材表面の少なくとも一部であればよく、製造すべき物品の用途および具体的仕様等に応じて適宜決定され得る。
　一の態様において、かかる基材としては、少なくともその表面部分が、水酸基を元々有する材料から成るものであってよい。かかる材料としては、ガラスが挙げられ、また、表面に自然酸化膜または熱酸化膜が形成される金属（特に卑金属）、セラミックス、半導体等が挙げられる。あるいは、樹脂等のように、水酸基を有していても十分でない場合や、水酸基を元々有していない場合には、基材に何らかの前処理を施すことにより、基材の表面に水酸基を導入したり、増加させたりすることができる。かかる前処理の例としては、プラズマ処理（例えばコロナ放電）や、イオンビーム照射が挙げられる。プラズマ処理は、基材表面に水酸基を導入または増加させ得ると共に、基材表面を清浄化する（異物等を除去する）ためにも好適に利用され得る。また、かかる前処理の別の例としては、炭素－炭素不飽和結合基を有する界面吸着剤をＬＢ法（ラングミュア－ブロジェット法）や化学吸着法等によって、基材表面に予め単分子膜の形態で形成し、その後、酸素や窒素等を含む雰囲気下にて不飽和結合を開裂する方法が挙げられる。
　別の態様において、かかる基材としては、少なくともその表面部分が、別の反応性基、例えばＳｉ－Ｈ基を１つ以上有するシリコーン化合物や、アルコキシシランを含む材料から成るものであってもよい。
　好ましい態様において、上記基材はガラスである。かかるガラスとしては、サファイアガラス、ソーダライムガラス、アルカリアルミノケイ酸塩ガラス、ホウ珪酸ガラス、無アルカリガラス、クリスタルガラス、石英ガラスが好ましく、化学強化したソーダライムガラス、化学強化したアルカリアルミノケイ酸塩ガラス、および化学結合したホウ珪酸ガラスが特に好ましい。
　本開示の物品は、上記基材の表面に、上記の本開示の化合物または表面処理剤の層を形成し、この層を必要に応じて後処理し、これにより、本開示の表面処理剤から層を形成することにより製造することができる。
　本開示の表面処理剤の層形成は、上記表面処理剤を基材の表面に対して、該表面を被覆するように適用することによって実施できる。被覆方法は、特に限定されない。例えば、湿潤被覆法および乾燥被覆法を使用できる。
　湿潤被覆法の例としては、浸漬コーティング、スピンコーティング、フローコーティング、スプレーコーティング、ロールコーティング、グラビアコーティングおよび類似の方法が挙げられる。
　乾燥被覆法の例としては、蒸着（通常、真空蒸着）、スパッタリング、ＣＶＤおよび類似の方法が挙げられる。蒸着法（通常、真空蒸着法）の具体例としては、抵抗加熱、電子ビーム、マイクロ波等を用いた高周波加熱、イオンビームおよび類似の方法が挙げられる。ＣＶＤ方法の具体例としては、プラズマ－ＣＶＤ、光学ＣＶＤ、熱ＣＶＤおよび類似の方法が挙げられる。
　更に、常圧プラズマ法による被覆も可能である。
　湿潤被覆法を使用する場合、本開示の表面処理剤は、溶媒で希釈されてから基材表面に適用され得る。本開示の組成物の安定性および溶媒の揮発性の観点から、次の溶媒が好ましく使用される：炭素数５～１２のパーフルオロ脂肪族炭化水素（例えば、パーフルオロヘキサン、パーフルオロメチルシクロヘキサンおよびパーフルオロ－１，３－ジメチルシクロヘキサン）；ポリフルオロ芳香族炭化水素（例えば、ビス（トリフルオロメチル）ベンゼン）；ポリフルオロ脂肪族炭化水素（例えば、Ｃ６Ｆ１３ＣＨ２ＣＨ３（例えば、旭硝子株式会社製のアサヒクリン（登録商標）ＡＣ－６０００）、１，１，２，２，３，３，４－ヘプタフルオロシクロペンタン（例えば、日本ゼオン株式会社製のゼオローラ（登録商標）Ｈ）；ヒドロフルオロエーテル（ＨＦＥ）（例えば、パーフルオロプロピルメチルエーテル（Ｃ３Ｆ７ＯＣＨ３）（例えば、住友スリーエム株式会社製のＮｏｖｅｃ（商標）７０００）、パーフルオロブチルメチルエーテル（Ｃ４Ｆ９ＯＣＨ３）（例えば、住友スリーエム株式会社製のＮｏｖｅｃ（商標）７１００）、パーフルオロブチルエチルエーテル（Ｃ４Ｆ９ＯＣ２Ｈ５）（例えば、住友スリーエム株式会社製のＮｏｖｅｃ（商標）７２００）、パーフルオロヘキシルメチルエーテル（Ｃ２Ｆ５ＣＦ（ＯＣＨ３）Ｃ３Ｆ７）（例えば、住友スリーエム株式会社製のＮｏｖｅｃ（商標）７３００）などのアルキルパーフルオロアルキルエーテル（パーフルオロアルキル基およびアルキル基は直鎖または分枝状であってよい）、あるいはＣＦ３ＣＨ２ＯＣＦ２ＣＨＦ２（例えば、旭硝子株式会社製のアサヒクリン（登録商標）ＡＥ－３０００））など。これらの溶媒は、単独で、または、２種以上の混合物として用いることができる。なかでも、ヒドロフルオロエーテルが好ましく、パーフルオロブチルメチルエーテル（Ｃ４Ｆ９ＯＣＨ３）および／またはパーフルオロブチルエチルエーテル（Ｃ４Ｆ９ＯＣ２Ｈ５）が特に好ましい。
　乾燥被覆法を使用する場合、本開示の表面処理剤は、そのまま乾燥被覆法に付してもよく、または、上記した溶媒で希釈してから乾燥被覆法に付してもよい。
　表面処理剤の層形成は、層中で本開示の表面処理剤が、加水分解および脱水縮合のための触媒と共に存在するように実施することが好ましい。簡便には、湿潤被覆法による場合、本開示の表面処理剤を溶媒で希釈した後、基材表面に適用する直前に、本開示の表面処理剤の希釈液に触媒を添加してよい。乾燥被覆法による場合には、触媒添加した本開示の表面処理剤をそのまま蒸着（通常、真空蒸着）処理するか、あるいは鉄や銅などの金属多孔体に、触媒添加した本開示の表面処理剤を含浸させたペレット状物質を用いて蒸着（通常、真空蒸着）処理をしてもよい。
　触媒には、任意の適切な酸または塩基を使用できる。酸触媒としては、例えば、酢酸、ギ酸、トリフルオロ酢酸などを使用できる。また、塩基触媒としては、例えばアンモニア、有機アミン類などを使用できる。
　本開示の物品に含まれる表面処理層は、高い摩擦耐久性と高い耐薬品性の双方を有する。また、上記表面処理層は、高い摩擦耐久性および耐薬品性に加えて、使用する表面処理剤の組成にもよるが、撥水性、撥油性、防汚性（例えば指紋等の汚れの付着を防止する）、防水性（電子部品等への水の浸入を防止する）、表面滑り性（または潤滑性、例えば指紋等の汚れの拭き取り性や、指に対する優れた触感）などを有し得、機能性薄膜として好適に利用され得る。
　従って、本開示はさらに、上記表面処理層を最外層に有する光学材料にも関する。
　光学材料としては、後記に例示するようなディスプレイ等に関する光学材料のほか、多種多様な光学材料が好ましく挙げられる：例えば、陰極線管（ＣＲＴ；例えば、パソコンモニター）、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ、無機薄膜ＥＬドットマトリクスディスプレイ、背面投写型ディスプレイ、蛍光表示管（ＶＦＤ）、電界放出ディスプレイ（ＦＥＤ；Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｄｉｓｐｌａｙ）などのディスプレイまたはそれらのディスプレイの保護板、またはそれらの表面に反射防止膜処理を施したもの。
　本開示の物品は、特に限定されるものではないが、光学部材であり得る。光学部材の例には、次のものが挙げられる：眼鏡などのレンズ；ＰＤＰ、ＬＣＤなどのディスプレイの前面保護板、反射防止板、偏光板、アンチグレア板；携帯電話、携帯情報端末などの機器のタッチパネルシート；ブルーレイ（Ｂｌｕ－ｒａｙ（登録商標））ディスク、ＤＶＤディスク、ＣＤ－Ｒ、ＭＯなどの光ディスクのディスク面；光ファイバー；時計の表示面など。
　また、本開示の物品は、医療機器または医療材料であってもよい。
　また、本開示によって得られる層を有する物品は、自動車内外装部材であってもよい。外装材の例には、次のものが挙げられる：ウィンドウ、ライトカバー、社外カメラカバー。内装材の例には、次のものが挙げられる：インパネカバー、ナビゲーションシステムタッチパネル、加飾内装材。
　上記層の厚さは、特に限定されない。光学部材の場合、上記層の厚さは、１～５０ｎｍ、１～３０ｎｍ、好ましくは１～１５ｎｍの範囲であることが、光学性能、表面滑り性、摩擦耐久性および防汚性の点から好ましい。
　以上、本開示の物品について詳述した。なお、本開示の物品および物品の製造方法などは、上記で例示したものに限定されない。
　本開示のポリエーテル基含有化合物について、以下の実施例を通じてより具体的に説明するが、本開示はこれら実施例に限定されるものではない。なお、本実施例において、パーフルオロポリエーテルを構成する繰り返し単位の存在順序は任意であり、以下に示される化学式は平均組成を示す。
（合成例１）
　ＣＦ３－（ＯＣＦ２ＣＦ２）ｍ－（ＯＣＦ２）ｎ－ＣＨ２ＯＨ（ｍ≒２１、ｎ≒３５）３．０ｇを、１，３－ビス（トリフルオロメチル）ベンゼン１．５ｇとジエチレングリコールジメチルエーテル３．０ｇに溶解させた。これに水酸化ナトリウム０．４ｇを加え、８０℃で２時間撹拌し、ブロモ酢酸０．３ｇを激しく撹拌しながら加えた後、さらに１１０℃で８時間撹拌した。反応の終点は１９Ｆ－ＮＭＲによってＣＦ３（ＯＣＦ２ＣＦ２）ｍ－（ＯＣＦ２）ｎＣＨ２ＯＨの水酸基β位－ＣＦ２－のケミカルシフトが低磁場にシフトしたこと、および１Ｈ－ＮＭＲによってブロモ酢酸のカルボニル基α位のメチレンプロトンが高磁場にシフトしたことを観察することにより確認した。反応液を室温に冷却し、液相と固相とを分離させた。液相を除去し、固相に１０ｇのＡＫ－２２５を加え、撹拌しながら１０ｇの１Ｎ－塩酸水溶液を加えて３０分撹拌した。次いで、１０ｗｔ％硫酸水溶液１ｍｌを加え、２０分間撹拌後、静置し、下層を分離した。下層を２回水洗後、硫酸マグネシウムにて乾燥し、濾過し、濃縮した。得られた濃縮物をパーフルオロヘキサンに溶解した。該溶液をアセトンで３回洗浄することにより、ポリエーテル基含有化合物（Ａ）を得た。
　ポリエーテル基含有化合物（Ａ）：
ＣＦ３（ＯＣＦ２ＣＦ２）ｍ（ＯＣＦ２）ｎＣＨ２Ｏ－ＣＨ２ＣＯ２Ｈ
（ｍ≒２１、ｎ≒３５）
（合成例２）
　水素化ホウ素ナトリウム０．２ｇと、トリフルオロホウ素ジエチルエーテレート０．２ｇを、１，３-ビス(トリフルオロメチル)ベンゼン３．０ｇとジエチレングリコールジメチルエーテル３．０ｇの混合溶媒に分散し、１３０℃に加熱した。この混合物に１，３-ビス(トリフルオロメチル)ベンゼン５．０ｇに溶解した合成例１で得られたポリエーテル基含有化合物（Ａ）３．０ｇを滴下した。反応混合液を１３０℃で３時間撹拌した。反応の終点は１９Ｆ－ＮＭＲによってＣＦ３Ｏ－（ＣＦ２ＣＦ２Ｏ）ｍ－（ＣＦ２Ｏ）ｎ－ＣＦ２ＣＨ２Ｏ－のエーテル基β位―ＣＦ２―のケミカルシフトが高磁場にシフトしたことを観察することにより確認した。反応液を室温に戻し、アセトン３．０ｇを加え１時間撹拌し、１Ｎ－塩酸３ｍｌを加えた。分液した下層を水洗し、硫酸マグネシウムにて乾燥し、濾過し、濃縮した。得られた濃縮物はパーフルオロヘキサンに溶解し、アセトンで３回洗浄することによりポリエーテル基含有化合物（Ｂ）を得た。
　ポリエーテル基含有化合物（Ｂ）：
ＣＦ３（ＯＣＦ２ＣＦ２）ｍ（ＯＣＦ２）ｎＣＦ２ＣＨ２ＯＣＨ２ＣＨ２ＯＨ
（ｍ≒２１、ｎ≒３５）
（合成例３）
　合成例２で得られたポリエーテル基含有化合物（Ｂ）３．０ｇを、１，３-ビス(トリフルオロメチル)ベンゼン６ｇに溶解し、水酸化ナトリウム０．４ｇを加え、８０℃で１時間撹拌した。この溶液にＣＨ２＝ＣＨ２ＣＨ２ＯＣＨ２ＣＨ２ＯＴｆ（Ｔｆはトリフルオロメタンスルホニル基）０．５ｇを加え、８０℃で１時間反応した。反応の終点は１Ｈ－ＮＭＲによって化合物（Ｂ）の末端水酸基α位―ＣＨ２―のケミカルシフトが低磁場にシフトしたことを観察することにより確認した。反応液を室温に戻し、１Ｎ－塩酸３ｍｌを加えた。分液した下層を水洗し硫酸マグネシウムにて乾燥し、濾過し、濃縮することによりポリエーテル基含有化合物（Ｃ）を得た。
　ポリエーテル基含有化合物（Ｃ）
ＣＦ３（ＯＣＦ２ＣＦ２）ｍ（ＯＣＦ２）ｎＣＦ２ＣＨ２ＯＣＨ２ＣＨ２ＯＣＨ２ＣＨ２ＯＣＨ２ＣＨ＝ＣＨ２
（ｍ≒２１、ｎ≒３５）
（合成例４）
　合成例３で得られたポリエーテル基含有化合物（Ｃ）２．５ｇを、１，３-ビス(トリフルオロメチル)ベンゼン５ｇに溶解し、トリアセトキシメチルシラン０．０１ｇ、１，３－ジビニル－１，１，３，３－テトラメチルジシロキサンのＰｔ錯体２％を含むキシレン溶液０．０４ｍｌを加えた後、トリクロロシラン０．４ｇを仕込み、１０℃で３０分間撹拌した。続いて、６０℃に加熱し、４時間撹拌した。１Ｈ－ＮＭＲでアリル位のプロトンが観測されなくなったことを確認した後、減圧下で揮発分を留去した。この反応液を氷冷しアリルマグネシウムブロマイド（０．７ｍｏｌ／Ｌジエチルエーテル溶液）３．０ｍｌを滴下し、室温で終夜反応させた。反応液に、メタノール１．０ｍｌとパーフルオロヘキサン５ｍｌを加え濾過し、分液して、下層を濃縮した。得られた濃縮物をパーフルオロヘキサンに溶解し、アセトンで３回洗浄することによりポリエーテル基含有化合物（Ｄ）得た。
　ポリエーテル基含有化合物（Ｄ）：
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000001
 （ｍ≒２１、ｎ≒３５）
（合成例５）
　合成例４で得られたポリエーテル基含有化合物（Ｄ）２．５ｇを、１，３－ビス（トリフルオロメチル）ベンゼン５ｍｌに溶解し、トリアセトキシメチルシラン０．０１ｇ、１，３－ジビニル－１，１，３，３－テトラメチルジシロキサンのＰｔ錯体２％を含むキシレン溶液０．０３ｍｌを加えた後、トリクロロシラン０．５ｇを仕込み、１０℃で３０分間撹拌した。続いて、６０℃に加熱し、４時間撹拌した。その後、減圧下で揮発分を留去した後、メタノール０．１ｇおよびオルトギ酸トリメチル１．０ｇの混合溶液を加えた後、６０℃に加熱し３時間撹拌した。その後、精製を行うことにより、末端にトリメトキシシリル基を有する下記のポリエーテル基含有化合物（Ｅ）を得た。
　ポリエーテル基含有化合物（Ｅ）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000002
 （ｍ≒２１、ｎ≒３５）
（合成例６）
　ＣＦ３－（ＯＣＦ２ＣＦ２）ｍ－（ＯＣＦ２）ｎ－ＣＨ２ＯＨ（ｍ≒２１、ｎ≒３５）３．０ｇを用いた以外は合成例３と同様に処理することにより、ポリエーテル基含有化合物（Ｆ）を得た。
　ポリエーテル基含有化合物（Ｆ）
ＣＦ３（ＯＣＦ２ＣＦ２）ｍ（ＯＣＦ２）ｎＣＦ２ＣＨ２ＯＣＨ２ＣＨ２ＯＣＨ２ＣＨ＝ＣＨ２
（ｍ≒２１、ｎ≒３５）
（合成例７）
　ポリエーテル基含有化合物（Ｆ）２．５ｇを用いた以外は合成例４と同様に処理することにより、ポリエーテル基含有化合物（Ｇ）を得た。
　ポリエーテル基含有化合物（Ｇ）：
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000003
 （ｍ≒２１、ｎ≒３５）
（合成例８）
　ポリエーテル基含有化合物（Ｇ）２．５ｇを用いた以外は合成例５と同様に処理することにより、ポリエーテル基含有化合物（Ｈ）を得た。
　ポリエーテル基含有化合物（Ｈ）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000004
 （ｍ≒２１、ｎ≒３５）
（合成例９）
　メチルジクロロシランを用いた以外は合成例７および合成例８と同様に処理することにより、ポリエーテル基含有化合物（Ｉ）を得た。
　ポリエーテル基含有化合物（Ｉ）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000005
（合成例１０）
　ＣＦ３－（ＯＣＦ２ＣＦ２）ｍ－（ＯＣＦ２）ｎ－ＣＨ２ＯＨ（ｍ≒２２、ｎ≒２１）４．０ｇを、１，３-ビス(トリフルオロメチル)ベンゼン８ｇに溶解し、水酸化ナトリウム０．４ｇを加え８０℃で１時間撹拌した。この溶液にＣＨ２＝ＣＨ２ＣＨ２ＯＣＨ２ＣＨ２ＯＣＨ２ＣＨ２ＯＴｆ１．０ｇを加え８０℃で１時間反応した。反応の終点は１Ｈ－ＮＭＲによって化合物（Ｂ）の末端水酸基α位―ＣＨ２―のケミカルシフトが低磁場にシフトしたことにより確認した。反応液を室温に戻し１Ｎ－塩酸３ｍｌを加えた。分液した下層を水洗し硫酸マグネシウムにて乾燥、濾過、濃縮することによりポリエーテル基含有化合物（Ｊ）を得た。
　ポリエーテル基含有化合物（Ｊ）
ＣＦ３（ＯＣＦ２ＣＦ２）ｍ（ＯＣＦ２）ｎＣＦ２ＣＨ２ＯＣＨ２ＣＨ２ＯＣＨ２ＣＨ２ＯＣＨ２ＣＨ＝ＣＨ２
（ｍ≒２２、ｎ≒２１）
（合成例１１）
　ポリエーテル基含有化合物（Ｊ）２．５ｇを用いた以外は合成例４および合成例５と同様に処理することにより、ポリエーテル基含有化合物（Ｋ）を得た。
　ポリエーテル基含有化合物（Ｋ）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000006
 （ｍ≒２２、ｎ≒２１）
（合成例１２）
　ＣＦ３－（ＯＣＦ２ＣＦ２）ｍ－（ＯＣＦ２）ｎ－ＣＨ２ＯＨ（ｍ≒２２、ｎ≒２１）３．０ｇを用いた以外は合成例６、合成例７および合成例８と同様に処理することにより、ポリエーテル基含有化合物（Ｌ）を得た。
　ポリエーテル基含有化合物（Ｌ）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000007
 （ｍ≒２２、ｎ≒２１）
（合成例１３）
　メチルジクロロシランを用いた以外は合成例１２と同様に処理することにより、ポリエーテル基含有化合物（Ｍ）を得た。
　ポリエーテル基含有化合物（Ｍ）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000008
 （ｍ≒２２、ｎ≒２１）
（実施例１）
　上記合成例５で得たポリエーテル基含有化合物（Ｅ）を、濃度０．１ｍａｓｓ％になるように、ハイドロフルオロエーテル（スリーエム社製、ノベックＨＦＥ－７２００）に溶解させて、表面処理剤（１）を調製した。
（実施例２）
　上記合成例７で得たポリエーテル基含有化合物（Ｈ）を、濃度０．１ｍａｓｓ％になるように、ハイドロフルオロエーテル（スリーエム社製、ノベックＨＦＥ－７２００）に溶解させて、表面処理剤（２）を調製した。
（実施例３）
　上記合成例８で得たポリエーテル基含有化合物（Ｉ）を、濃度０．１ｍａｓｓ％になるように、ハイドロフルオロエーテル（スリーエム社製、ノベックＨＦＥ－７２００）に溶解させて、表面処理剤（３）を調製した。
（実施例４）
　上記合成例１１で得たポリエーテル基含有化合物（Ｋ）を、濃度０．１ｍａｓｓ％になるように、ハイドロフルオロエーテル（スリーエム社製、ノベックＨＦＥ－７２００）に溶解させて、表面処理剤（４）を調製した。
（実施例５）
　上記合成例１２で得たポリエーテル基含有化合物（Ｌ）を、濃度０．１ｍａｓｓ％になるように、ハイドロフルオロエーテル（スリーエム社製、ノベックＨＦＥ－７２００）に溶解させて、表面処理剤（５）を調製した。
（実施例６）
　上記合成例１３で得たポリエーテル基含有化合物（Ｍ）を、濃度０．１ｍａｓｓ％になるように、ハイドロフルオロエーテル（スリーエム社製、ノベックＨＦＥ－７２００）に溶解させて、表面処理剤（６）を調製した。
（比較例１および２）
　ポリエーテル基含有化合物（Ｄ）の代わりに、下記対照化合物（１）および（２）を用いた以外は、実施例２と同様に行い、比較表面処理剤（１）および（２）をそれぞれ調製した。
　対照化合物（１）
Figure JPOXMLDOC01-appb-I000009
　対照化合物（２）
Figure JPOXMLDOC01-appb-I000010
（硬化膜の形成）
　表面処理剤（１）～（６）、および比較表面処理剤（１）～（２）をそれぞれ用いて、以下のように硬化膜を形成した。
　表面処理剤または比較表面処理剤を、スピンコーターを用いて、化学強化ガラス（コーニング社製、「ゴリラ」ガラス、厚さ０．７ｍｍ）上に塗布した。スピンコートの条件は、３００回転／分で３秒間、２０００回転／分で３０秒であった。塗布後のガラスを、大気下、恒温槽内で１５０℃３０分間加熱し、硬化膜を形成した。
［硬化膜の特性評価］
　得られた硬化膜の特性を以下のように評価した。
＜静的接触角＞
　静的接触角は全自動接触角計ＤｒｏｐＭａｓｔｅｒ７００（協和界面科学社製）を用いて次の方法で測定した。
（静的接触角の測定方法）
　静的接触角は、水平に置いた基板にマイクロシリンジから水を２μＬ滴下し、滴下１秒後の静止画をビデオマイクロスコープで撮影することにより求めた。
（初期評価）
　まず、初期評価として、硬化膜形成後、その表面に未だ何も触れていない状態で、水の静的接触角を測定した。
（エタノール拭き後の評価）
　次に、上記硬化膜を、エタノールを十分に染み込ませたキムワイプ（商品名。十條キンバリー（株）製）を用いて５往復拭いた後、乾燥させた。乾燥後の硬化膜の水の静的接触角を測定した。
＜指紋付着性および拭き取り性＞
（指紋付着性）
　表面処理剤または比較表面処理剤を用いて形成された硬化膜に指を押し付け、指紋の付きやすさを目視で判定した。評価は、次の基準に基づいて判断した。
　Ａ：指紋が付きにくいか、付いても指紋が目立たなかった。
　Ｂ：指紋の付着が少ないが、その指紋を充分に確認できた。
　Ｃ：未処理のガラス基板と同程度に明確に指紋が付着した。
（指紋拭き取り性）
　上記の指紋付着性試験後、付着した指紋をキムワイプ（商品名。十條キンバリー（株）製）で５往復拭き取り、付着した指紋の拭き取りやすさを目視で判定した。評価は次の基準に基づいて判断した。
　Ａ：指紋を完全に拭き取ることができた。
　Ｂ：指紋の拭取り跡が残った。
　Ｃ：指紋の拭取り跡が拡がり、除去することが困難であった。
　上記の一連の評価結果を以下の表１にまとめた。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000011
　表面処理剤（１）～（６）を用いて形成された硬化膜の接触角は、エタノールを用いて拭いた場合であっても低下しなかった。一方で、比較表面処理剤（１）および（２）を用いて形成された硬化膜の接触角は、エタノールを用いて拭くことによって低下した。これは、比較表面処理剤（１）または（２）で形成された硬化膜では、ケミカル耐性（耐溶剤性）が悪いためと考えられる。
＜硬化膜の耐摩耗性評価＞
　得られた硬化膜の耐摩耗性を以下のように評価した。
（耐消しゴム摩耗性試験）
　ラビングテスター（新東科学社製）を用いて、下記条件で２５００回擦る毎に耐水接触角を測定し、１００００回もしくは１００°未満となるまで試験を続けた。試験環境条件は２５℃、湿度４０％ＲＨである。
消しゴム：Ｒａｂｅｒ　Ｅｒａｓｅｒ（Ｍｉｎｏａｎ社製）
接地面積：６ｍｍφ
移動距離（片道）：３０ｍｍ
移動速度：３，６００ｍｍ／分
荷重：１ｋｇ／６ｍｍφ
　上記の評価結果を以下の表２にまとめた。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000012
　上記の結果から、フルオロポリエーテル基と加水分解性基を有するＳｉ原子との間にポリエーテル構造を有する本発明の化合物を含む表面処理剤は、高い摩耗耐久性を示すことが確認された。
　本開示の物品は、種々多様な用途、例えばタッチパネル等の光学部材として好適に利用され得る。

Claims (17)

  1. 　下記式（Ｉ）：
    　　　ＲＦ１－Ｒ４－（ＯＲ３）ｍ－Ｒ５－ＳｉＲ１ ｎＲ２ ３－ｎ　　　（Ｉ）
    ［式中：
    　ＲＦ１は、Ｒｆ１－ＲＦ－Ｏｐ－であり；
    　Ｒｆ１は、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよいＣ１－１６アルキル基であり；
    　ＲＦは、２価のフルオロポリエーテル基であり；
    　ｐは、０または１であり；
    　Ｒ１は、各出現においてそれぞれ独立して、－Ｚ－ＳｉＲ１１ ｑＲ１２ ３－ｑであり；
    　Ｚは、２価の有機基であり；
    　Ｒ１１は、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解性基であり；
    　Ｒ１２は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または１価の有機基であり；
    　ｑは、１～３の整数であり；
    　Ｒ２は、水素原子または１価の有機基であり；
    　ｎは、２または３であり；
    　Ｒ３は、Ｃ１－６アルキレン基であり；
    　ｍは、２～１０の整数であり；
    　Ｒ４は、単結合またはＣ１－６アルキレン基であり；
    　Ｒ５は、単結合またはＣ１－６アルキレン基である。］
    で表されるフルオロポリエーテル基含有シラン化合物。
  2. 　Ｒｆ１は、Ｃ１－１６パーフルオロアルキル基である、請求項１に記載のフルオロポリエーテル基含有シラン化合物。
  3. 　ＲＦは、式：
    　　－（ＯＣ６Ｆ１２）ａ－（ＯＣ５Ｆ１０）ｂ－（ＯＣ４Ｆ８）ｃ－（ＯＣ３ＲＦａ ６）ｄ－（ＯＣ２Ｆ４）ｅ－（ＯＣＦ２）ｆ－
    ［式中、ＲＦａは、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子、フッ素原子または塩素原子であり、
    　ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅおよびｆは、それぞれ独立して、０～２００の整数であって、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅおよびｆの和は１以上であり、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅまたはｆを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は式中において任意であり、ただし、すべてのＲＦａが水素原子または塩素原子である場合、ａ、ｂ、ｃ、ｅおよびｆの少なくとも１つは、１以上である。］
    で表される基である、請求項１または２に記載のフルオロポリエーテル基含有シラン化合物。
  4. 　ＲＦａは、フッ素原子である、請求項３に記載のフルオロポリエーテル基含有シラン化合物。
  5. 　ＲＦは、各出現においてそれぞれ独立して、下記式（ｆ１）、（ｆ２）、（ｆ３）、（ｆ４）または（ｆ５）：
    　　－（ＯＣ３Ｆ６）ｄ－（ＯＣ２Ｆ４）ｅ－　　　（ｆ１）
    ［式中、ｄは１～２００の整数であり、ｅは０または１である。］、
    　　－（ＯＣ４Ｆ８）ｃ－（ＯＣ３Ｆ６）ｄ－（ＯＣ２Ｆ４）ｅ－（ＯＣＦ２）ｆ－　（ｆ２）
    ［式中、ｃおよびｄは、それぞれ独立して、０～３０の整数であり；
    　ｅおよびｆは、それぞれ独立して、１～２００の整数であり；
    　ｃ、ｄ、ｅおよびｆの和は、１０～２００の整数であり；
    　添字ｃ、ｄ、ｅまたはｆを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は、式中において任意である。］、
    　　－（Ｒ６－Ｒ７）ｇ－　　（ｆ３）
    ［式中、Ｒ６は、ＯＣＦ２またはＯＣ２Ｆ４であり；
    　Ｒ７は、ＯＣ２Ｆ４、ＯＣ３Ｆ６、ＯＣ４Ｆ８、ＯＣ５Ｆ１０およびＯＣ６Ｆ１２から選択される基であるか、あるいは、これらの基から選択される２または３つの基の組み合わせであり；
    　ｇは、２～１００の整数である。］、
    　－（ＯＣ６Ｆ１２）ａ－（ＯＣ５Ｆ１０）ｂ－（ＯＣ４Ｆ８）ｃ－（ＯＣ３Ｆ６）ｄ－（ＯＣ２Ｆ４）ｅ－（ＯＣＦ２）ｆ－　　　（ｆ４）
    ［式中、ｅは、１以上２００以下の整数であり、ａ、ｂ、ｃ、ｄおよびｆは、それぞれ独立して０以上２００以下の整数であり、また、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅまたはｆを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は式中において任意である。］
    　－（ＯＣ６Ｆ１２）ａ－（ＯＣ５Ｆ１０）ｂ－（ＯＣ４Ｆ８）ｃ－（ＯＣ３Ｆ６）ｄ－（ＯＣ２Ｆ４）ｅ－（ＯＣＦ２）ｆ－　　　（ｆ５）
    ［式中、ｆは、１以上２００以下の整数であり、ａ、ｂ、ｃ、ｄおよびｅは、それぞれ独立して０以上２００以下の整数であり、また、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅまたはｆを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は式中において任意である。］
    で表される基である、請求項１～４のいずれか１項に記載のフルオロポリエーテル基含有シラン化合物。
  6. 　Ｒ３は、Ｃ１－３アルキレン基である、請求項１～５のいずれか１項に記載のフルオロポリエーテル基含有シラン化合物。
  7. 　ｍは、２～６の整数である、請求項１～６のいずれか１項に記載のフルオロポリエーテル基含有シラン化合物。
  8. 　Ｚは、Ｃ１－６アルキレン基である、請求項１～７のいずれか１項に記載のフルオロポリエーテル基含有シラン化合物。
  9. 　ｑは３である、請求項１～８のいずれか１項に記載のフルオロポリエーテル基含有シラン化合物。
  10. 　請求項１～９のいずれか１項に記載のフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物を含有する、表面処理剤。
  11. 　含フッ素オイル、シリコーンオイル、および触媒から選択される１種またはそれ以上の他の成分をさらに含有する、請求項１０に記載の表面処理剤。
  12. 　さらに溶媒を含む、請求項１０または１１に記載の表面処理剤。
  13. 　防汚性コーティング剤または防水性コーティング剤として使用される、請求項１０～１２のいずれか１項に記載の表面処理剤。
  14. 　真空蒸着用である、請求項１０～１３のいずれか１項に記載の表面処理剤。
  15. 　請求項１０～１４のいずれか１項に記載の表面処理剤を含有するペレット。
  16. 　基材と、該基材の表面に、請求項１～９のいずれか１項に記載のフルオロポリエーテル基含有シラン化合物または請求項１０～１４のいずれかに記載の表面処理剤より形成された層とを含む物品。
  17. 　光学部材である、請求項１６に記載の物品。
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