WO2022092039A1 - 熱電変換モジュール及び熱電変換モジュールの製造方法 - Google Patents

熱電変換モジュール及び熱電変換モジュールの製造方法 Download PDF

Info

Publication number
WO2022092039A1
WO2022092039A1 PCT/JP2021/039358 JP2021039358W WO2022092039A1 WO 2022092039 A1 WO2022092039 A1 WO 2022092039A1 JP 2021039358 W JP2021039358 W JP 2021039358W WO 2022092039 A1 WO2022092039 A1 WO 2022092039A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
thermoelectric conversion
electrode
conversion element
conversion module
conversion elements
Prior art date
Application number
PCT/JP2021/039358
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
秀樹 内田
Original Assignee
日本ゼオン株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日本ゼオン株式会社 filed Critical 日本ゼオン株式会社
Priority to JP2022559134A priority Critical patent/JPWO2022092039A1/ja
Priority to US18/249,969 priority patent/US20230389429A1/en
Priority to CN202180072300.9A priority patent/CN116548095A/zh
Priority to EP21886157.3A priority patent/EP4239698A1/en
Publication of WO2022092039A1 publication Critical patent/WO2022092039A1/ja

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N19/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one thermoelectric or thermomagnetic element covered by groups H10N10/00 - H10N15/00
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N10/00—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects
    • H10N10/01—Manufacture or treatment
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N10/00—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects
    • H10N10/10—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects operating with only the Peltier or Seebeck effects
    • H10N10/17—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects operating with only the Peltier or Seebeck effects characterised by the structure or configuration of the cell or thermocouple forming the device
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N10/00—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects
    • H10N10/80—Constructional details
    • H10N10/85—Thermoelectric active materials
    • H10N10/851—Thermoelectric active materials comprising inorganic compositions
    • H10N10/855—Thermoelectric active materials comprising inorganic compositions comprising compounds containing boron, carbon, oxygen or nitrogen

Definitions

  • the present invention relates to a thermoelectric conversion module and a method for manufacturing a thermoelectric conversion module.
  • thermoelectric conversion device that converts thermal energy into electrical energy
  • Patent Document 1 a thermoelectric conversion device that converts thermal energy into electrical energy.
  • the thermoelectric conversion device described in Patent Document 1 includes a laminated structure of a p-type layer and an n-type layer.
  • thermoelectric conversion device in order to increase the generated power, it is required to arrange the laminated structure of the p-type layer and the n-type layer. If the p-type layer and the n-type layer are arranged side by side, the thermoelectric conversion device becomes large.
  • an object of the present invention is to solve the above-mentioned problems and to provide a miniaturized thermoelectric conversion module and a method for manufacturing a thermoelectric conversion module while increasing the generated power.
  • thermoelectric conversion device of the present invention has an insulating sheet substrate having facing front and back surfaces and a length extending along a first direction.
  • a plurality of thermoelectric conversion elements formed in a rectangular shape and the plurality of thermoelectric conversion elements extending from the first electrode to the second electrode are electrically connected in series at the elongated end of each thermoelectric conversion element.
  • the thermoelectric conversion element having an odd-numbered number from the first electrode among the plurality of thermoelectric conversion elements electrically connected in series by the connection portion is located on the surface side.
  • the elements are located on the back surface side and are arranged along the second direction.
  • thermoelectric conversion device of the present invention when the sheet substrate is viewed in a plan view, the odd-numbered plurality of thermoelectric conversion elements located on the front surface side are the even-numbered thermoelectric conversion elements located on the back surface side. It is preferably located so as to overlap with a plurality of thermoelectric conversion elements. With such a configuration, the thermoelectric conversion module can be miniaturized.
  • thermoelectric conversion element located on the front surface side is a p-type thermoelectric conversion element
  • thermoelectric conversion element located on the back surface side is an n-type thermoelectric conversion element. It is preferable that there is.
  • thermoelectric conversion device of the present invention it is preferable that all of the plurality of the thermoelectric conversion elements included in the thermoelectric conversion module are p-type thermoelectric conversion elements.
  • the durability of one of the p-type thermoelectric conversion elements may be high even if the n-type thermoelectric conversion element is formed. Since all of the plurality of thermoelectric conversion elements are p-type thermoelectric conversion elements, the thermoelectric conversion module can be excellent in durability.
  • thermoelectric conversion device of the present invention it is preferable that all of the plurality of the thermoelectric conversion elements included in the thermoelectric conversion module are formed including carbon nanotubes. With such a configuration, the mechanical strength of the thermoelectric conversion module can be further improved, and the weight of the thermoelectric conversion module can be reduced.
  • thermoelectric conversion device of the present invention it is preferable that the shape of each of the plurality of thermoelectric conversion elements included in the thermoelectric conversion module is a rectangular shape having substantially the same dimensions. With such a configuration, the thermoelectric conversion module can be miniaturized.
  • the plurality of thermoelectric conversion elements included in the thermoelectric conversion module are such that the electric resistance values of the plurality of thermoelectric conversion elements are substantially the same.
  • the length of each of the plurality of thermoelectric conversion elements along the first direction, the width of each of the plurality of thermoelectric conversion elements along the second direction, and the thickness of each of the plurality of thermoelectric conversion elements are adjusted. , Is preferable.
  • the thickness of each of the plurality of thermoelectric conversion elements included in the thermoelectric conversion module is substantially the same, and the length of each of the plurality of thermoelectric conversion elements is different. Moreover, it is preferable that the widths of the plurality of thermoelectric conversion elements are different from each other.
  • the shape of the seat substrate is trapezoidal, and the seat substrate has a first edge corresponding to one of the two trapezoidal legs and the two.
  • the plurality of thermoelectric conversion elements extend from the first edge portion to the second edge portion along the first direction. Since the shape of the sheet substrate is trapezoidal, the degree of freedom in the place where the thermoelectric conversion module is arranged can be increased.
  • thermoelectric conversion module of the present invention includes an insulating sheet substrate having an opposed front surface and a back surface and an insulating sheet substrate along a first direction. It is provided with a plurality of thermoelectric conversion elements formed in an elongated shape, and a connection portion for electrically connecting the plurality of thermoelectric conversion elements in series at the elongated ends of the thermoelectric conversion elements.
  • a method for manufacturing a thermoelectric conversion module which comprises an electrode layer forming step of forming an electrode layer on at least one of the front surface and the back surface of an insulating substrate having an opposing front surface and a back surface, and an electrode layer forming step on the substrate.
  • the element forming step of forming the thermoelectric conversion element layer on the upper surface and the surface on which the electrode layer is not formed on the substrate, and the thermoelectric conversion element layer are cut along the first direction and intersect in the first direction.
  • the thermoelectric conversion element forming step of forming a plurality of thermoelectric conversion elements arranged along the second direction, and the elongated shape of each thermoelectric conversion element so that all of the plurality of thermoelectric conversion elements are electrically connected in series. Includes a connection step of connecting both ends with a connection.
  • thermoelectric conversion module of the present invention it is preferable that the electrode layer is formed only on the surface of the substrate.
  • thermoelectric conversion element layer is a layer formed containing carbon nanotubes.
  • thermoelectric conversion element forming step is carried out by using a UV laser, a nanosecond laser or a femtosecond laser.
  • a UV laser or a nanosecond laser or a femtosecond laser heat generation by the laser can be reduced.
  • heat generation by the laser it is possible to suppress the gap between the thermoelectric conversion elements from expanding in the second direction, and the density of the thermoelectric conversion elements in the thermoelectric conversion module can be increased.
  • thermoelectric conversion module it is possible to provide a miniaturized thermoelectric conversion module and a method for manufacturing a thermoelectric conversion module while increasing the generated power.
  • thermoelectric conversion module It is an external view of the thermoelectric conversion module which concerns on 1st Embodiment of this invention. It is sectional drawing of the thermoelectric conversion module along the L1-L1 line shown in FIG. It is sectional drawing of the thermoelectric conversion module along the L2-L2 line shown in FIG. It is a figure which shows the current path in the thermoelectric conversion module shown in FIG. It is external drawing of the thermoelectric conversion module which concerns on the modification of 1st Embodiment of this invention. It is sectional drawing of the thermoelectric conversion module along the L3-L3 line shown in FIG. It is sectional drawing of the thermoelectric conversion module along the L4-L4 line shown in FIG. It is a flowchart which shows the manufacturing method of the thermoelectric conversion module shown in FIG.
  • thermoelectric conversion module which concerns on 2nd Embodiment of this invention.
  • thermoelectric conversion module It is sectional drawing of the thermoelectric conversion module along the L5-L5 line shown in FIG. It is sectional drawing of the thermoelectric conversion module along the line L6-L6 shown in FIG. It is a figure which shows the electrode layer shown in FIG. It is a figure which shows the current path in the thermoelectric conversion module shown in FIG. It is a figure which shows the structure after arranging the carbon nanotube sheet. It is an external view of the thermoelectric conversion module which concerns on 3rd Embodiment of this invention.
  • FIG. 1 is an external view of the thermoelectric conversion module 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view of the thermoelectric conversion module 1 along the line L1-L1 shown in FIG.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view of the thermoelectric conversion module along the L2-L2 line shown in FIG.
  • FIG. 4 is a diagram showing a current path in the thermoelectric conversion module shown in FIG.
  • thermoelectric conversion module 1 can be arranged in the heat source 2.
  • the thermoelectric conversion module 1 has a first edge portion 1H and a second edge portion 1L on a sheet substrate 10 described later.
  • the first edge portion 1H and the second edge portion 1L face each other.
  • the first edge portion 1H may be located near the heat source 2 when the thermoelectric conversion module 1 is arranged in the heat source 2.
  • the second edge portion 1L may be located away from the heat source 2 when the thermoelectric conversion module 1 is arranged in the heat source 2.
  • the temperature near the first edge portion 1H can be higher than the temperature near the second edge portion 1L because the first edge portion 1H is located closer to the heat source 2 than the second edge portion 1L. In other words, the temperature near the second edge portion 1L can be lower than the temperature near the first edge portion 1H.
  • the first direction A1 is the direction in which the first edge portion 1H and the second edge portion 1L face each other. In the present embodiment, it is assumed that the first direction A1 is the direction from the second edge portion 1L of the thermoelectric conversion module 1 toward the first edge portion 1H.
  • the second direction A2 is a direction orthogonal to the first direction A1.
  • the second direction A2 does not have to be orthogonal to the first direction A1 as long as it intersects the first direction A1.
  • the second direction A2 is the direction from the left side of the paper surface of FIG. 1 toward the right side of the paper surface.
  • the third direction A3 is a direction orthogonal to the plane including the first direction A1 and the second direction A2.
  • the third direction A3 is the direction from the back side of the paper surface of FIG. 1 toward the front side of the paper surface.
  • upper shall refer to the A3 side in the third direction unless otherwise specified.
  • downward shall mean the opposite direction side of the third direction A3 unless otherwise specified.
  • the shape of the thermoelectric conversion module 1 seen from the third direction A3 is a rectangular shape such as a rectangular shape.
  • the shape of the thermoelectric conversion module 1 seen from the third direction A3 may be any shape such as a fan shape.
  • the thermoelectric conversion module 1 includes a sheet substrate 10 and thermoelectric conversion elements 21, 22, 23, 24, 25, 26, 27, 28.
  • the thermoelectric conversion module 1 includes a connection portion 30, a first electrode 31, and a second electrode 32.
  • the connecting portion 30 includes electrodes 41, 42, 43, 44, electrodes 51, 52, 53, a first joining member 61, 62, 63, 64, 65, 66, 67, 68, and a second joining member 71. It has 72,73,74,75,76,77,78 and so on.
  • thermoelectric conversion element 20 shows a thermoelectric conversion module 1 including eight thermoelectric conversion elements 20.
  • the number of thermoelectric conversion elements 20 included in the thermoelectric conversion module 1 may be any number.
  • each of the electrodes 41 to 44 are particularly distinguished, these are collectively referred to as “electrode 40".
  • electrode 50 when each of the electrodes 51 to 53 is not particularly distinguished, these are collectively referred to as “electrode 50".
  • first joining member 60 when the first joining members 61 to 68 are not particularly distinguished, these are collectively referred to as "first joining member 60”.
  • second joining member 70 2 and 3 show a connecting portion 30 having four electrodes 40, three electrodes 50, eight first joining members 60, and eight second joining members 70.
  • the number of electrodes 40, the number of electrodes 50, the number of first joining members 60, and the number of second joining members 70 of the connecting portion 30 correspond to the number of thermoelectric conversion elements 20 included in the thermoelectric conversion module 1. May be.
  • the sheet substrate 10 as shown in FIG. 1 has an insulating property.
  • the sheet substrate 10 may have flexibility.
  • the material for forming the sheet substrate 10 is not particularly limited, and any insulating material can be used.
  • the shape of the sheet substrate 10 seen from the third direction A3 is a quadrangle such as a rectangle. However, the shape of the sheet substrate 10 seen from the third direction A3 may be any shape such as a fan shape.
  • the sheet substrate 10 may be parallel to the surface including the first direction A1 and the second direction A2.
  • the sheet substrate 10 has the above-mentioned first edge portion 1H and the above-mentioned second edge portion 1L. As shown in FIGS. 2 and 3, the sheet substrate 10 has a front surface 10A and a back surface 10B. The front surface 10A and the back surface 10B face each other. The surface 10A is a surface of the sheet substrate 10 facing the third direction A3. The back surface 10B is a surface of the sheet substrate 10 facing the opposite direction of the third direction A3.
  • the sheet substrate 10 has a substrate 11 and an insulating layer 12.
  • the substrate 11 has an insulating property.
  • the substrate 11 may have flexibility.
  • the material for forming the substrate 11 is not particularly limited, and any material such as polyimide or epoxy glass can be used.
  • the shape of the substrate 11 seen from the third direction A3 is a rectangular shape such as a rectangular shape.
  • the shape of the substrate 11 seen from the third direction A3 may be any shape such as a fan shape.
  • the substrate 11 may be parallel to the plane including the first direction A1 and the second direction A2.
  • the substrate 11 has a front surface 11A and a back surface 11B.
  • the front surface 11A and the back surface 11B face each other.
  • the surface 11A is a surface of the substrate 11 facing the third direction A3.
  • the back surface 11B is a surface of the substrate 11 facing the opposite direction of the third direction A3.
  • the back surface 11B may correspond to the back surface 10B of the sheet substrate 10.
  • the substrate 11 has openings 11a, 11b, 11c, 11d.
  • each position of the openings 11a to 11d as seen from the third direction A3 may correspond to each position of the electrodes 41 to 44.
  • the substrate 11 has openings 11e, 11f, 11g, 11h.
  • each position of the openings 11e to 11g as seen from the third direction A3 may correspond to each position of the electrodes 51 to 53.
  • the position of the opening 11h as seen from the third direction A3 may correspond to the position of the second electrode 32.
  • the shape of the openings 11a to 11h seen from the third direction A3 is a circular shape. However, the shape of the openings 11a to 11h may be any shape.
  • the insulating layer 12 has an insulating property.
  • the insulating layer 12 may have flexibility.
  • the material for forming the insulating layer 12 is not particularly limited, and any insulating material can be used.
  • the insulating layer 12 may be located on the surface 11A of the substrate 11. As shown in FIG. 1, the shape of the insulating layer 12 seen from the third direction A3 is a rectangular shape such as a rectangular shape. However, the shape of the insulating layer 12 seen from the third direction A3 may be any shape such as a fan shape.
  • the insulating layer 12 may be parallel to the surface including the first direction A1 and the second direction A2.
  • the insulating layer 12 has a front surface 12A and a back surface 12B.
  • the front surface 12A and the back surface 12B face each other.
  • the surface 12A is a surface of the insulating layer 12 facing the third direction A3.
  • the surface 12A may correspond to the surface 10A of the sheet substrate 10.
  • the back surface 12B is a surface of the insulating layer 12 facing the opposite direction of the third direction A3.
  • the insulating layer 12 has openings 12a, 12b, 12c, 12d. As shown in FIG. 1, each position of the openings 12a to 12d as seen from the third direction A3 may correspond to each position of the electrodes 41 to 44. As shown in FIG. 3, the insulating layer 12 has openings 12e, 12f, 12g, 12h. As shown in FIG. 1, the position of the opening 12e as seen from the third direction A3 may correspond to the position of the first electrode 31. Further, each position of the openings 12f to 12h seen from the third direction A3 may correspond to each position of the electrodes 51 to 53.
  • the shape of the openings 12a to 12h seen from the third direction A3 is a circular shape. However, the shape of the openings 12a to 12h may be any shape.
  • the thermoelectric conversion element 20 is a p-type thermoelectric conversion element or an n-type thermoelectric conversion element.
  • the thermoelectric conversion elements 21, 23, 25, 27 are p-type thermoelectric conversion elements
  • the thermoelectric conversion elements 22, 24, 26, 28 are n-type thermoelectric conversion elements.
  • the thermoelectric conversion elements 22, 24, 26, and 28, which are n-type thermoelectric conversion elements, are hatched.
  • thermoelectric conversion material for forming the thermoelectric conversion element 20 is not particularly limited, and is not particularly limited. Compounds, conductive fibers, composite materials thereof and the like can be used. Above all, it is preferable to use conductive fibers, and it is more preferable to use fibrous carbon nanostructures such as carbon nanotubes (hereinafter, also referred to as “CNT”). This is because if CNTs are used, the mechanical strength of the thermoelectric conversion module 1 of the present invention can be further improved and the weight can be reduced. Further, the CNT is not particularly limited, and a single-walled CNT and / or a multi-walled CNT can be used, but the CNT is preferably a single-walled CNT.
  • the single-walled carbon nanotubes are used when CNTs are synthesized by a chemical vapor deposition method (CVD method) by supplying a raw material compound and a carrier gas onto a substrate having a catalyst layer for CNT production on the surface.
  • CVD method chemical vapor deposition method
  • the manufactured CNT can be used (hereinafter, the CNT manufactured according to such a method may be referred to as "SGCNT").
  • SGCNT has a feature that there are many bends.
  • CNTs are considered to have high thermal conductivity due to electron transfer, but also have a high effect of lowering thermal conductivity due to phonon vibration.
  • SGCNT has more bends than CNTs manufactured according to other general methods, it has a structure in which phonon vibration is less likely to be amplified, and it is possible to suppress a decrease in thermal conductivity due to phonon vibration. .. Therefore, SGCNT can be a more superior material as a thermoelectric conversion material as compared with other general CNTs.
  • thermoelectric conversion elements 21 to 28 may be formed including CNTs. With such a configuration, the mechanical strength of the thermoelectric conversion module 1 can be further improved, and the weight of the thermoelectric conversion module 1 can be reduced.
  • thermoelectric conversion element 20 extends along the first direction A1.
  • the shape of the thermoelectric conversion element 20 seen from the third direction A3 is a long shape such as a rectangular shape. However, the shape of the thermoelectric conversion element 20 seen from the third direction A3 may be any shape such as a fan shape.
  • the longitudinal direction of the thermoelectric conversion element 20 is along the first direction A1.
  • the longitudinal direction of the thermoelectric conversion element 20 may be parallel to the first direction A1.
  • the thermoelectric conversion elements 21 to 28 may have the same shape.
  • the cross-sectional shape of the thermoelectric conversion element 20 may be a thin film.
  • the thermoelectric conversion element 20 has a first end portion 20H and a second end portion 20L in the first direction A1.
  • the first end portion 20H is located toward the first edge portion 1H of the thermoelectric conversion module 1.
  • the second end portion 20L is located toward the second edge portion 1L of the thermoelectric conversion module 1.
  • the first end portions 20H of the thermoelectric conversion elements 21 to 28 are “first end portion 21H”, “first end portion 22H”, “first end portion 23H", “first end portion 24H”, respectively. It is also described as “first end 25H", “first end 26H", “first end 27H” and “first end 28H”.
  • the second end portions 20L of the thermoelectric conversion elements 21 to 28 are “second end portion 21L”, “second end portion 22L”, “second end portion 23L”, “second end portion 24L”, respectively. It is also described as “second end 25L”, “second end 26L”, “second end 27L” and “second end 28L”.
  • the positions of the first end portions 21H to 28H in the first direction A1 are different. However, the positions of the first end portions 21H to 28H in the first direction A1 may be the same. Further, in the configuration shown in FIG. 1, the positions of the second end portions 21L to 28L in the first direction A1 are different. However, the positions of the second end portions 21L to 28L in the first direction A1 may be the same.
  • the thermoelectric conversion element 20 can generate electricity by utilizing the temperature difference between the first end portion 20H and the second end portion 20L. Specifically, the temperature of the first end portion 20H of the thermoelectric conversion element 20 is such that the first end portion 20H is located closer to the first edge portion 1H than the second end portion 20L, so that the second end portion 20L Can be higher than the temperature of. When the temperature of the first end portion 20H becomes higher than the temperature of the second end portion 20L, a temperature difference may occur between the first end portion 20H and the second end portion 20L. Due to the temperature difference between the first end portion 20H and the second end portion 20L, a temperature gradient may occur in the thermoelectric conversion element 20. The thermoelectric conversion element 20 can generate electric power by generating an electromotive force due to the Zeebeck effect caused by this temperature gradient.
  • the plurality of thermoelectric conversion elements 20 are electrically connected in series from the first electrode 31 to the second electrode 32 in the order of the thermoelectric conversion elements 21 to 28 by the connecting portion 30 as described later.
  • the connecting portion 30 as described later.
  • the plurality of thermoelectric conversion elements 20 By electrically connecting the plurality of thermoelectric conversion elements 20 in series in this way, when the plurality of thermoelectric conversion elements 20 generate electricity, as shown in FIG. 4, one current path is generated in the thermoelectric conversion module 1. obtain.
  • each of the currents I21, I22, I23, I24, I25, I26, I27, and I28 is a current flowing through each of the thermoelectric conversion elements 21 to 28.
  • the odd-numbered thermoelectric conversion element 20 counting from the first electrode 31 of the plurality of thermoelectric conversion elements 20 electrically connected in series by the connecting portion 30 is located on the side of the surface 10A of the sheet substrate 10. ..
  • the odd-numbered thermoelectric conversion element 20 counting from the first electrode 31 is the first thermoelectric conversion element 21, the third thermoelectric conversion element 23, the fifth thermoelectric conversion element 25, and the seventh thermoelectric conversion. It becomes the element 27. That is, the thermoelectric conversion elements 21, 23, 25, 27 are located on the side of the surface 10A of the sheet substrate 10, for example, on the side of the surface 12A of the insulating layer 12.
  • the thermoelectric conversion elements 21, 23, 25, 27 are arranged along the second direction A2 on the surface 10A.
  • the thermoelectric conversion elements 21, 23, 25, 27 may be arranged with a gap along the second direction A2. The width of the gap may be arbitrary as long as insulation between two thermoelectric conversion elements 20 adjacent to each other in the second direction A2 can be secured.
  • thermoelectric conversion element 20 counting from the first electrode 31 among the plurality of thermoelectric conversion elements 20 electrically connected in series by the connecting portion 30 is located on the back surface 10B side of the sheet substrate 10.
  • the even-numbered thermoelectric conversion element 20 counting from the first electrode 31 is the second thermoelectric conversion element 22, the fourth thermoelectric conversion element 24, the sixth thermoelectric conversion element 26, and the eighth thermoelectric conversion. It becomes the element 28. That is, the thermoelectric conversion elements 22, 24, 26, and 28 are located on the side of the back surface 10B of the sheet substrate 10, for example, on the side of the back surface 11B of the substrate 11.
  • the thermoelectric conversion elements 22, 24, 26, and 28 are arranged along the second direction A2 on the back surface 10B.
  • the thermoelectric conversion elements 22, 24, 26, and 28 may be arranged with a gap along the second direction A2. The width of the gap may be arbitrary as long as insulation between two thermoelectric conversion elements 20 adjacent to each other in the second direction A2 can be secured.
  • thermoelectric conversion module 1 By locating the thermoelectric conversion element 20 on both the front surface 10A and the back surface 10B of the sheet substrate 10 in this way, the density of the thermoelectric conversion element 20 in the thermoelectric conversion module 1 can be increased. By increasing the density of the thermoelectric conversion element 20 in the thermoelectric conversion module 1, the thermoelectric conversion module 1 can be miniaturized while increasing the generated power.
  • thermoelectric conversion module 1 when viewed in a plan view, that is, when viewed from the third direction A3, at least a part of the thermoelectric conversion element 20 located on the surface 10A side of the sheet substrate 10 is the sheet substrate 10. It may overlap with at least a part of the thermoelectric conversion element 20 located on the back surface 10B side. With such a configuration, the thermoelectric conversion module 1 can be miniaturized. However, when viewed from the third direction A3, at least a part of the thermoelectric conversion element 20 located on the side of the front surface 10A of the sheet substrate 10 is at least one of the thermoelectric conversion elements 20 located on the side of the back surface 10B of the sheet substrate 10. It does not have to overlap the parts.
  • each of the thermoelectric conversion elements 21 to 28 may be a rectangular shape having substantially the same dimensions. Since the shapes of all the thermoelectric conversion elements 21 to 28 are rectangular with substantially the same dimensions, the thermoelectric conversion elements 20 can be efficiently arranged on each of the front surface 10A and the back surface 10B of the sheet substrate 10. With such a configuration, the thermoelectric conversion module can be miniaturized. However, all the shapes of the thermoelectric conversion elements 21 to 28 may be any shape such as a fan shape as long as they have substantially the same dimensions. Since all the shapes of the thermoelectric conversion elements 21 to 28 have substantially the same dimensions, the thermoelectric conversion elements 20 can be efficiently arranged on each of the front surface 10A and the back surface 10B of the sheet substrate 10.
  • thermoelectric conversion elements 21 to 28 have a length along the first direction A1 of each of the thermoelectric conversion elements 21 to 28 so that the electric resistance values of the thermoelectric conversion elements 21 to 28 are substantially the same. It may be configured by adjusting the width along the second direction A2 of each of 28 to 28 and the thickness of the thermoelectric conversion elements 21 to 28 in the third direction A3 of each of the thermoelectric conversion elements 21 to 28.
  • the thermoelectric conversion element 20 having a small electric resistance value may cause the thermoelectric conversion module 1. The current is fixed.
  • thermoelectric conversion elements 21 to 28 Since the electric resistance values of the thermoelectric conversion elements 21 to 28 are substantially the same, it can be suppressed that the current that can be generated in the thermoelectric conversion module 1 is determined by the thermoelectric conversion element 20 having a small electric resistance value. With such a configuration, the power loss in the thermoelectric conversion module 1 can be reduced.
  • Each of the first electrode 31 and the second electrode 32 as shown in FIG. 1 has conductivity.
  • the conductive material for forming each of the first electrode 31 and the second electrode 32 is not particularly limited, and any metal such as copper or aluminum can be used.
  • a take-out wiring for taking out the electric power generated by the thermoelectric conversion module 1 may be electrically connected to each of the first electrode 31 and the second electrode 32.
  • each of the first electrode 31 and the second electrode 32 may be located in the sheet substrate 10, for example, on the surface 11A of the substrate 11.
  • the first electrode 31 may be located on the side opposite to the second direction A2 with respect to the electrode 51.
  • the width of the gap between the first electrode 31 and the electrode 51 may be arbitrary as long as these two insulations can be secured.
  • the second electrode 32 may be located on the second direction A2 side of the electrode 53.
  • the width of the gap between the second electrode 32 and the electrode 53 may be arbitrary as long as these two insulations can be secured.
  • the first electrode 31 functions as, for example, a negative electrode.
  • the first electrode 31 is electrically connected to the end portion of the two ends of the plurality of thermoelectric conversion elements 20 electrically connected in series, which is the negative electrode.
  • the first electrode 31 is electrically connected to the second end portion 21L of the thermoelectric conversion element 21.
  • at least a part of the first electrode 31 is exposed from the opening 12e of the insulating layer 12.
  • At least a part of the first electrode 31 exposed from the opening 12e is electrically connected to the second end 21L of the thermoelectric conversion element 21 by the second joining member 71.
  • the second electrode 32 functions as, for example, a positive electrode.
  • the second electrode 32 is electrically connected to the end portion of the two ends of the plurality of thermoelectric conversion elements 20 electrically connected in series, which is the positive electrode.
  • the second electrode 32 is electrically connected to the second end portion 28L of the thermoelectric conversion element 28.
  • at least a part of the second electrode 32 is exposed from the opening 11h of the substrate 11.
  • At least a part of the second electrode 32 exposed from the opening 11h is electrically connected to the second end 28L of the thermoelectric conversion element 28 by the second joining member 71.
  • the connecting portion 30 connects a plurality of thermoelectric conversion elements 20 from the first electrode 31 to the second electrode 32 at the elongated end portion of each thermoelectric conversion element 20, that is, the first end portion 20H or the second end portion 20L. Electrically connect in series at.
  • the connecting portion 30 electrically connects a plurality of thermoelectric conversion elements 20 in series from the first electrode 31 to the second electrode 32 in the order of the thermoelectric conversion elements 21 to 28.
  • the connecting portion 30 has a plurality of electrodes 40, a plurality of electrodes 50, a plurality of first joining members 60, and a plurality of second joining members 70.
  • the electrode 40 has conductivity.
  • the conductive material for forming the electrode 40 is not particularly limited, and any metal such as copper or aluminum can be used.
  • the electrode 40 may be located in the sheet substrate 10, for example, on the surface 11A of the substrate 11.
  • the electrodes 41 to 44 may be arranged along the second direction A2 with a gap.
  • the width of the gap may be arbitrary as long as insulation between two electrodes 40 adjacent to each other in the second direction A2 can be secured.
  • the electrodes 40 are formed on the first end portion 20H of the thermoelectric conversion element 20 located on the side of the front surface 10A of the sheet substrate 10 and the first end portion 20H of the thermoelectric conversion element 20 located on the side of the back surface 10B of the sheet substrate 10. It is electrically connected.
  • the electrode 41 is electrically connected to the first end portion 21H of the thermoelectric conversion element 21 located on the side of the front surface 10A and the first end portion 22H of the thermoelectric conversion element 22 located on the side of the back surface 10B.
  • at least a part of the electrode 41 is exposed from the opening 12a of the insulating layer 12.
  • At least a part of the electrode 41 exposed from the opening 12a is electrically connected to the first end 21H of the thermoelectric conversion element 21 by the first joining member 61.
  • at least a part of the electrode 41 is exposed from the opening 11a of the substrate 11.
  • At least a part of the electrode 41 exposed from the opening 11a is electrically connected to the first end portion 22H of the thermoelectric conversion element 22 by the first joining member 62.
  • the position of the electrode 41 in the second direction A2 may be appropriately set according to the position of the thermoelectric conversion element 21 in the second direction A2 and the position of the thermoelectric conversion element 22 in the second direction A2.
  • the electrode 42 is electrically connected to the first end portion 23H of the thermoelectric conversion element 23 located on the side of the front surface 10A and the first end portion 24H of the thermoelectric conversion element 24 located on the side of the back surface 10B.
  • at least a part of the electrode 42 is exposed from the opening 12b of the insulating layer 12.
  • At least a part of the electrode 42 exposed from the opening 12b is electrically connected to the first end portion 23H of the thermoelectric conversion element 23 by the first joining member 63.
  • at least a part of the electrode 42 is exposed from the opening 11b of the substrate 11.
  • At least a part of the electrode 42 exposed from the opening 11b is electrically connected to the first end portion 24H of the thermoelectric conversion element 24 by the first joining member 64.
  • the position of the electrode 42 in the second direction A2 may be appropriately set according to the position of the thermoelectric conversion element 23 in the second direction A2 and the position of the thermoelectric conversion element 24 in the second direction A2.
  • the electrode 43 is electrically connected to the first end portion 25H of the thermoelectric conversion element 25 located on the side of the front surface 10A and the first end portion 26H of the thermoelectric conversion element 26 located on the side of the back surface 10B.
  • at least a part of the electrode 43 is exposed from the opening 12c of the insulating layer 12.
  • At least a part of the electrode 43 exposed from the opening 12c is electrically connected to the first end portion 25H of the thermoelectric conversion element 25 by the first joining member 65.
  • at least a part of the electrode 43 is exposed from the opening 11c of the substrate 11.
  • At least a part of the electrode 43 exposed from the opening 11c is electrically connected to the first end portion 26H of the thermoelectric conversion element 26 by the first joining member 66.
  • the position of the electrode 43 in the second direction A2 may be appropriately set according to the position of the thermoelectric conversion element 25 in the second direction A2 and the position of the thermoelectric conversion element 26 in the second direction A2.
  • the electrode 44 is electrically connected to the first end portion 27H of the thermoelectric conversion element 27 located on the side of the front surface 10A and the first end portion 28H of the thermoelectric conversion element 28 located on the side of the back surface 10B.
  • at least a part of the electrode 44 is exposed from the opening 12d of the insulating layer 12.
  • At least a part of the electrode 44 exposed from the opening 12d is electrically connected to the first end portion 27H of the thermoelectric conversion element 27 by the first joining member 67.
  • at least a part of the electrode 44 is exposed from the opening 11d of the substrate 11.
  • At least a part of the electrode 44 exposed from the opening 11d is electrically connected to the first end 28H of the thermoelectric conversion element 28 by the first joining member 68.
  • the position of the electrode 44 in the second direction A2 may be appropriately set according to the position of the thermoelectric conversion element 27 in the second direction A2 and the position of the thermoelectric conversion element 28 in the second direction A2.
  • the electrode 50 has conductivity.
  • the conductive material for forming the electrode 50 is not particularly limited, and any metal such as copper or aluminum can be used.
  • the electrode 50 may be located in the sheet substrate 10, for example, on the surface 11A of the substrate 11.
  • the electrodes 51 to 53 may be arranged along the second direction A2 with a gap between the first electrode 31 and the second electrode 32.
  • the width of the gap may be arbitrary as long as insulation between two electrodes 50 adjacent to each other in the second direction A2 can be secured.
  • the electrodes 50 are formed on a second end portion 20L of the thermoelectric conversion element 20 located on the side of the front surface 10A of the sheet substrate 10 and a second end portion 20L of the thermoelectric conversion element 20 located on the side of the back surface 10B of the sheet substrate 10. It is electrically connected.
  • the electrode 51 is electrically connected to the second end 22L of the thermoelectric conversion element 22 located on the side of the front surface 10A and the second end 23L of the thermoelectric conversion element 23 located on the side of the back surface 10B.
  • at least a part of the electrode 51 is exposed from the opening 11e of the substrate 11.
  • At least a part of the second electrode exposed from the opening 11e is electrically connected to the second end 22L of the thermoelectric conversion element 22 by the second joining member 72.
  • at least a part of the electrode 51 is exposed from the opening 12f of the insulating layer 12.
  • At least a part of the electrode 51 exposed from the opening 12f is electrically connected to the second end portion 23L of the thermoelectric conversion element 23 by the second joining member 73.
  • the position of the electrode 51 in the second direction A2 may be appropriately set according to the position of the thermoelectric conversion element 22 in the second direction A2 and the position of the thermoelectric conversion element 23 in the second direction A2.
  • the electrode 52 is electrically connected to the second end portion 24L of the thermoelectric conversion element 24 located on the side of the front surface 10A and the second end portion 25L of the thermoelectric conversion element 25 located on the side of the back surface 10B.
  • the electrode 52 is exposed from the opening 11f of the substrate 11. At least a part of the electrode 52 exposed from the opening 11f is electrically connected to the second end portion 24L of the thermoelectric conversion element 24 by the second joining member 74. Further, at least a part of the electrode 52 is exposed from the opening 12g of the insulating layer 12. At least a part of the electrode 52 exposed from the opening 12g is electrically connected to the second end portion 25L of the thermoelectric conversion element 25 by the second joining member 75.
  • the position of the electrode 51 in the second direction A2 may be appropriately set according to the position of the thermoelectric conversion element 24 in the second direction A2 and the position of the thermoelectric conversion element 25 in the second direction A2.
  • the electrode 53 is electrically connected to the second end portion 26L of the thermoelectric conversion element 26 located on the side of the front surface 10A and the second end portion 27L of the thermoelectric conversion element 27 located on the side of the back surface 10B.
  • at least a part of the electrode 53 is exposed from the opening 11g of the substrate 11.
  • At least a part of the electrode 53 exposed from the opening 11g is electrically connected to the second end portion 26L of the thermoelectric conversion element 26 by the second joining member 76.
  • at least a part of the electrode 53 is exposed from the opening 12h of the insulating layer 12.
  • At least a part of the electrode 53 exposed from the opening 12h is electrically connected to the second end portion 27L of the thermoelectric conversion element 27 by the second joining member 77.
  • the first joining member 60 has conductivity.
  • the first joining member 60 may be formed of any member such as silver paste or solder.
  • the first joining member 61 electrically connects the electrode 41 and the first end portion 21H of the thermoelectric conversion element 21 located on the side of the surface 10A of the sheet substrate 10. For example, as shown in FIG. 2, at least a part of the first joining member 61 is located in the opening 12a of the insulating layer 12. The first joining member 61 electrically connects the electrode 41 and the first end portion 21H of the thermoelectric conversion element 21 via the opening 12a. As shown in FIG. 1, the first joining member 61 may extend from the opening 12a to the first end 21H of the thermoelectric conversion element 21.
  • the first joining member 62 electrically connects the electrode 41 and the first end portion 22H of the thermoelectric conversion element 22 located on the back surface 10B side of the sheet substrate 10. For example, as shown in FIG. 2, at least a part of the first joining member 62 is located in the opening 11a of the substrate 11. The first joining member 62 electrically connects the electrode 41 and the first end portion 22H of the thermoelectric conversion element 22 via the opening 11a. As shown in FIG. 1, the first joining member 62 may extend from the opening 11a to the first end 22H of the thermoelectric conversion element 22.
  • the first joining member 63 electrically connects the electrode 42 and the first end portion 22H of the thermoelectric conversion element 23 located on the side of the surface 10A of the sheet substrate 10. For example, as shown in FIG. 2, at least a part of the first joining member 63 is located in the opening 12b of the insulating layer 12. The first joining member 63 electrically connects the electrode 42 and the first end portion 23H of the thermoelectric conversion element 23 via the opening 12a. As shown in FIG. 1, the first joining member 63 may extend from the opening 12a to the first end 23H of the thermoelectric conversion element 23.
  • the first joining member 64 electrically connects the electrode 42 and the first end portion 24H of the thermoelectric conversion element 24 located on the back surface 10B side of the sheet substrate 10. For example, as shown in FIG. 2, at least a part of the first joining member 64 is located in the opening 11b of the substrate 11.
  • the first joining member 64 electrically connects the electrode 42 and the first end portion 24H of the thermoelectric conversion element 24 via the opening 11b. As shown in FIG. 1, the first joining member 64 may extend from the opening 11a to the first end 24H of the thermoelectric conversion element 24.
  • the first joining member 65 electrically connects the electrode 43 and the first end portion 25H of the thermoelectric conversion element 25 located on the side of the surface 10A of the sheet substrate 10. For example, as shown in FIG. 2, at least a part of the first joining member 65 is located in the opening 12c of the insulating layer 12.
  • the first joining member 64 electrically connects the electrode 43 and the first end portion 25H of the thermoelectric conversion element 25 via the opening 12c. As shown in FIG. 1, the first joining member 65 may extend from the opening 12c to the first end 25H of the thermoelectric conversion element 25.
  • the first joining member 66 electrically connects the electrode 43 and the first end portion 26H of the thermoelectric conversion element 26 located on the back surface 10B side of the sheet substrate 10. For example, as shown in FIG. 2, at least a part of the first joining member 65 is located in the opening 11c of the substrate 11. The first joining member 65 electrically connects the electrode 43 and the first end portion 26H of the thermoelectric conversion element 26 via the opening 11c. As shown in FIG. 1, the first joining member 66 may extend from the opening 11c to the first end 26H of the thermoelectric conversion element 26.
  • the first joining member 67 electrically connects the electrode 44 and the first end portion 27H of the thermoelectric conversion element 27 located on the side of the surface 10A of the sheet substrate 10. For example, as shown in FIG. 2, at least a part of the first joining member 67 is located in the opening 12d of the insulating layer 12. The first joining member 67 electrically connects the electrode 44 and the first end portion 27H of the thermoelectric conversion element 27 via the opening 12d. As shown in FIG. 1, the first joining member 67 may extend from the opening 12d to the first end 27H of the thermoelectric conversion element 27.
  • the first joining member 68 electrically connects the electrode 44 and the first end portion 28H of the thermoelectric conversion element 28 located on the back surface 10B side of the sheet substrate 10. For example, as shown in FIG. 2, at least a part of the first joining member 68 is located in the opening 11d of the substrate 11. The first joining member 68 electrically connects the electrode 44 and the first end portion 28H of the thermoelectric conversion element 28 via the opening 11d. As shown in FIG. 1, the first joining member 68 may extend from the opening 11d to the first end 28H of the thermoelectric conversion element 28.
  • the second joining member 70 has conductivity.
  • the second joining member 70 may be formed of any member such as silver paste or solder.
  • the second joining member 71 electrically connects the first electrode 31 and the second end portion 21L of the thermoelectric conversion element 21 located on the surface 10A side of the sheet substrate 10. For example, as shown in FIG. 3, at least a part of the second joining member 71 is located in the opening 12e of the insulating layer 12. The second joining member 71 electrically connects the first electrode 31 and the second end portion 21L of the thermoelectric conversion element 21 via the opening 12e. As shown in FIG. 1, the second joining member 71 may extend from the opening 12e to the second end 21L of the thermoelectric conversion element 21.
  • the second joining member 72 electrically connects the electrode 51 and the second end portion 22L of the thermoelectric conversion element 22 located on the back surface 10B side of the sheet substrate 10. For example, as shown in FIG. 3, at least a part of the second joining member 72 is located in the opening 11e of the substrate 11.
  • the second joining member 72 electrically connects the electrode 51 and the second end portion 22L of the thermoelectric conversion element 22 via the opening 11e. As shown in FIG. 1, the second joining member 72 may extend from the opening 11e to the second end 22L of the thermoelectric conversion element 22.
  • the second joining member 73 electrically connects the electrode 51 and the second end portion 23L of the thermoelectric conversion element 23 located on the side of the surface 10A of the sheet substrate 10. For example, as shown in FIG. 3, at least a part of the second joining member 73 is located in the opening 12f of the insulating layer 12. The second joining member 73 electrically connects the electrode 51 and the second end portion 23L of the thermoelectric conversion element 23 via the opening 12f. As shown in FIG. 1, the second joining member 73 may extend from the opening 12f to the second end 23L of the thermoelectric conversion element 23.
  • the second joining member 74 electrically connects the electrode 52 and the second end portion 24L of the thermoelectric conversion element 24 located on the back surface 10B side of the sheet substrate 10. For example, as shown in FIG. 3, at least a part of the second joining member 74 is located in the opening 11f of the substrate 11. The second joining member 74 electrically connects the electrode 52 and the second end portion 24L of the thermoelectric conversion element 24 via the opening 11f. As shown in FIG. 1, the second joining member 74 may extend from the opening 11f to the second end 24L of the thermoelectric conversion element 24.
  • the second joining member 75 electrically connects the electrode 52 and the second end portion 25L of the thermoelectric conversion element 25 located on the side of the surface 10A of the sheet substrate 10. For example, as shown in FIG. 3, at least a part of the second joining member 75 is located in the opening 12g of the insulating layer 12. The second joining member 75 electrically connects the electrode 52 and the second end portion 25L of the thermoelectric conversion element 25 via the opening 12g. As shown in FIG. 1, the second joining member 75 may extend from the opening 12g to the second end 25L of the thermoelectric conversion element 25.
  • the second joining member 76 electrically connects the electrode 53 and the second end portion 26L of the thermoelectric conversion element 26 located on the back surface 10B side of the sheet substrate 10. For example, as shown in FIG. 3, at least a part of the second joining member 76 is located in the opening 11g of the substrate 11. The second joining member 76 electrically connects the electrode 53 and the second end portion 26L of the thermoelectric conversion element 26 via the opening 11g. As shown in FIG. 1, the second joining member 76 may extend from the opening 11g to the second end 26L of the thermoelectric conversion element 26.
  • the second joining member 77 electrically connects the electrode 53 and the second end portion 27L of the thermoelectric conversion element 27 located on the side of the surface 10A of the sheet substrate 10. For example, as shown in FIG. 3, at least a part of the second joining member 77 is located in the opening 12h of the insulating layer 12. The second joining member 77 electrically connects the electrode 53 and the second end portion 27L of the thermoelectric conversion element 27 via the opening 12h. As shown in FIG. 1, the second joining member 77 may extend from the opening 12h to the second end 27L of the thermoelectric conversion element 27.
  • the second joining member 78 electrically connects the second electrode 32 and the second end portion 28L of the thermoelectric conversion element 28 located on the back surface 10B side of the sheet substrate 10. For example, as shown in FIG. 3, at least a part of the second joining member 78 is located in the opening 11h of the substrate 11.
  • the second joining member 78 electrically connects the second electrode 32 and the second end portion 28L of the thermoelectric conversion element 28 via the opening 11h. As shown in FIG. 1, the second joining member 78 may extend from the opening 11h to the second end 28L of the thermoelectric conversion element 28.
  • thermoelectric conversion module 1 the thermoelectric conversion element 20 is located on both the front surface 10A and the back surface 10B of the sheet substrate 10. With such a configuration, the thermoelectric conversion module 1 can be miniaturized while the density of the thermoelectric conversion element 20 in the thermoelectric conversion module 1 is increased. Therefore, according to the present embodiment, a miniaturized thermoelectric conversion module 1 can be provided while increasing the generated power.
  • FIG. 5 is an external view of the thermoelectric conversion module 101 according to a modified example of the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view of the thermoelectric conversion module 101 along the L3-L3 line shown in FIG.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view of the thermoelectric conversion module 101 along the L4-L4 line shown in FIG.
  • thermoelectric conversion module 101 when viewed from the third direction A3, the entire thermoelectric conversion element 20 located on the front surface 10A side of the sheet substrate 10 and the thermoelectric conversion element 20 located on the back surface 10B side of the sheet substrate 10 It overlaps with the entire conversion element 20. With such a configuration, the thermoelectric conversion module 101 can be miniaturized while the density of the thermoelectric conversion element 20 in the thermoelectric conversion module 101 is further increased.
  • the respective positions of the openings 12a to 12d of the insulating layer 12 and the respective positions of the openings 11a to 11d of the substrate 11 are It may be the same. Further, when viewed from the third direction A3, the positions of the first joining members 61, 63, 65, 67 and the positions of the second joining members 71, 73, 75, 77 are the same. good.
  • thermoelectric conversion module 101 according to the modified example of the first embodiment are the same as those of the thermoelectric conversion module 1 according to the first embodiment.
  • FIG. 8 is a flowchart showing a manufacturing method of the thermoelectric conversion module 1 shown in FIG.
  • the method for manufacturing the thermoelectric conversion module 1 includes an arrangement step S10, a forming step S11, S12, S13, S14, S15, S16, and a connection step S17.
  • the manufacturing method of the thermoelectric conversion module 1 according to the present embodiment is not limited to the manufacturing method described below. 11 to 14 correspond to the cross-sectional views shown in FIG.
  • the arrangement step S10 is a step of arranging the metal foil 33 on the substrate 11 as shown in FIG.
  • the metal leaf 33 may be arranged on the surface 11A of the substrate 11.
  • the metal leaf 33 may be adhered to the surface 11A of the substrate 11 by any adhesive having thermal conductivity.
  • the metal leaf 33 may be formed on the surface 11A of the substrate 11 by any film forming method such as thin film deposition, sputtering, or plating method.
  • the metal foil 33 can become the first electrode 31, the second electrode 32, the electrode 40, and the electrode 50 through the forming step S11 and the like described later.
  • the metal leaf 33 may be any metal leaf such as copper or aluminum.
  • the forming step S11 is a step of forming the electrode layer 34 as shown in FIG. 10 by patterning the metal foil 33.
  • the electrode layer 34 has a first electrode 31, a second electrode 32, an electrode 40, and an electrode 50.
  • the electrode layer 34 is formed only on the surface 11A of the substrate 11.
  • the electrode layer 34 may be formed on at least one of the front surface 11A and the back surface 11B of the substrate 11.
  • the forming step S12 is a step of forming the openings 11a, 11b, 11c, 11d of the substrate 11 as shown in FIG. 11 and forming the openings 11e, 11f, 11g, 11h of the substrate 11 as shown in FIG. be.
  • the openings 11a to 11h may be formed by any heating laser.
  • the forming step S13 is a step of forming the insulating layer 12 on the electrode layer 34 formed on the substrate 11, as shown in FIG.
  • the insulating layer 12 may be formed on the substrate 11 and the electrode layer 34.
  • the insulating layer 12 may be formed by applying an insulating material to the electrode layer 34.
  • the sheet substrate 10 includes a substrate 11 and an insulating layer 12.
  • ⁇ Formation step S14> In the forming step S14, as shown in FIG. 13, the openings 12a, 12b, 12c, 12d of the insulating layer 12 are formed, and the openings 12e, 12f, 12g, 12h of the insulating layer 12 as shown in FIG. 3 are formed. It is a process.
  • the openings 12a-12h may be formed by any heating laser.
  • the forming step S15 is a step of forming a thermoelectric conversion element layer on the insulating layer 12 and on the surface on which the electrode layer 34 is not formed on the substrate 11.
  • the forming step S15 may be a step of forming a thermoelectric conversion element layer on each of the front surface 10A and the back surface 10B of the sheet substrate 10.
  • the thermoelectric conversion element layer is a layer formed including CNT.
  • the thermoelectric conversion element layer can become the thermoelectric conversion element 20 after undergoing the formation step S16 or the like described later.
  • the mechanical strength of the thermoelectric conversion module 1 can be further improved and the weight can be reduced. Since the thermoelectric conversion element layer is formed to include CNTs, the thermoelectric conversion module 1 having further improved mechanical strength and reduced weight can be manufactured.
  • the thermoelectric conversion element layer is a CNT sheet 29P and a CNT sheet 29N (carbon nanotube sheet) as shown in FIG.
  • the CNT sheets 29P and 29N are formed to include CNTs.
  • the CNT sheet 29P is arranged on the front surface 10A of the sheet substrate 10, for example, the front surface 12A of the insulating layer 12, and the CNT sheet 29N is arranged on the back surface 10B of the sheet substrate 10, for example, the back surface 11B of the substrate 11. It becomes a process.
  • the CNT sheet 29P is a p-type CNT sheet.
  • the CNT sheet 29P may be adhered to the surface 10A of the sheet substrate 10 by any adhesive sheet such as epoxy resin.
  • the CNT sheet 29P can become the thermoelectric conversion elements 21, 23, 25, 27 after undergoing the formation step S16 and the like described later.
  • the CNT sheet 29N is an n-type CNT sheet.
  • the CNT sheet 29N may be adhered to the back surface 10B of the sheet substrate 10 by any adhesive sheet such as epoxy resin.
  • the CNT sheet 29N can become the thermoelectric conversion elements 22, 24, 26, 28 after undergoing the formation step S16 and the like described later.
  • CNT sheet 29 when the CNT sheet 29P and the CNT sheet 29N are not particularly distinguished, these are collectively referred to as "CNT sheet 29".
  • the thickness of the CNT sheet 29 in the third direction A3 may be about 50 [ ⁇ m].
  • the electrical characteristics of the thermoelectric conversion element 20 can be exhibited.
  • the amount of power generation of the thermoelectric conversion element 20 can be secured to some extent.
  • the CNT coating film formed by the coating method using the CNT dispersion liquid may be arranged on the insulating layer 12 or the substrate 11.
  • the CNT coating film there are problems that the conductivity of the CNT coating film is lowered and the independence of the CNT coating film is lowered due to the aggregation of CNTs in the process of drying the CNT dispersion liquid. Can occur.
  • the CNT sheet 29 is not particularly limited, and the one described in Japanese Patent Application No. 2018-065290 can be used.
  • the CNT sheet 29 may include a bundle in which a plurality of single-walled CNTs are intertwined.
  • the thickness of the bundle may be 1 [ ⁇ m] or less.
  • the fluffing of the cut surface of the thermoelectric conversion element 20 by the laser in the forming step S16 described later can be reduced. By reducing the fluffing of the thermoelectric conversion element 20, it is possible to suppress the occurrence of a short circuit due to the fluffing of the thermoelectric conversion element 20.
  • a sheet to be a cover may be arranged on the CNT sheet 29 in order to reduce the damage caused by the laser in the forming step S16 described later, or the CNT sheet 29 may be arranged.
  • a resin material may be applied to the.
  • thermoelectric conversion element forming step is a step of cutting the thermoelectric conversion element layer, that is, the CNT sheet 29 along the first direction A1 to form a plurality of thermoelectric conversion elements 20 arranged in the second direction A2.
  • the gap s1 as shown in FIG. 15 is formed.
  • Two thermoelectric conversion elements 20 adjacent to each other in the second direction A2 can be partitioned by the gap s1.
  • the forming step S16 may be carried out using a laser.
  • each of the CNT sheets 29P and 29N may be cut along the first direction A1 by the laser.
  • the laser may be irradiated toward the CNT sheet 29P from the third direction A3 side. Further, the laser may be irradiated toward the CNT sheet 29N from the opposite direction side of the third direction A3.
  • the gap s1 as shown in FIG. 15 can be formed.
  • the CNT sheet 29 may be cut along the first direction A1 by a UV (UltraViolet) laser, a nanosecond laser, or a femtosecond laser.
  • the laser used in the forming step S16 is not limited to these lasers.
  • only the CNT sheet P can be cut when the CNT sheet 29P is irradiated from the third direction A3 side, and when the CNT sheet 29N is irradiated from the opposite side of the third direction A3. Any laser capable of cutting only the CNT sheet N may be used.
  • the UV laser may scan the portion of the CNT sheet 29 corresponding to the gap s1 ten to several tens of times along the first direction A1.
  • the thermal conductivity in the in-plane direction of the CNT sheet 29 can be about 100 times the thermal conductivity in the thickness direction of the CNT sheet 29.
  • the thermal conductivity of the CNT sheet 29 in the second direction A2 can be about 100 times the thermal conductivity of the CNT sheet 29 in the third direction A3. Therefore, when a heating laser such as a YAG (Yttrium Aluminum Garnet) laser is used in the forming step S16, when the CNT sheet 29 is cut along the first direction A1 by the heating laser, the gap s1 becomes the second direction A2. May spread in.
  • the heating laser is used in the forming step S16 when the thickness of the CNT sheet 29 in the third direction A3 is about 50 [ ⁇ m], the gap s1 may widen by about 5 mm in the second direction A2. ..
  • thermoelectric conversion module 1 can be miniaturized.
  • the spot diameter of the UV laser can be smaller than the spot diameter of other lasers.
  • the spot diameter of the UV laser can be about 8 [ ⁇ m].
  • the small spot diameter of the UV laser can focus the UV laser on the CNT sheet 29.
  • the width of the gap s1 in the second direction A2 can be about 0.05 [mm] to 0.1 [mm].
  • the forming step S16 By using a laser in the forming step S16, patterning of the CNT sheet 29 by the laser can be performed by computer control. With such a configuration, the forming step S16 can be simplified.
  • connection step S17 the end portion of each thermoelectric conversion element 20, that is, the first end portion 20H or the second end portion 20L is electrically connected by the connection portion 30 so that all of the plurality of thermoelectric conversion elements 20 are electrically connected in series. It is a process of connecting to the target.
  • connection step S17 is a step of applying the silver paste.
  • connection step S17 from each of the openings 12a to 12d of the insulating layer 12 as shown in FIG. 1, the first end portion 21H of the thermoelectric conversion element 21, the first end portion 23H of the thermoelectric conversion element 23, and the thermoelectric conversion element 25
  • the silver paste is applied along the first direction A1 to each of the first end portion 25H of the above and the first end portion 27H of the thermoelectric conversion element 27.
  • a part of this silver paste is filled in each of the openings 12a to 12d and electrically connected to each of the electrodes 41 to 44. After drying, these silver pastes can become the first joining members 61, 63, 65, 67.
  • connection step S17 from each of the openings 11a to 11d of the substrate 11 as shown in FIG. 1, the first end portion 22H of the thermoelectric conversion element 22, the first end portion 24H of the thermoelectric conversion element 24, and the thermoelectric conversion element 26
  • the silver paste is applied along the first direction A1 to each of the first end portion 26H and the first end portion 28H of the thermoelectric conversion element 28.
  • a part of this silver paste is filled in the openings 11a to 11d and electrically connected to each of the electrodes 41 to 44. After drying, these silver pastes can become the first joining members 62, 64, 66, 68.
  • connection step S17 the silver paste is applied along the first direction A1 from the opening 12e of the insulating layer 12 as shown in FIG. 1 to the second end 21L of the thermoelectric conversion element 21. A part of this silver paste is filled in the opening 12e and electrically connected to the first electrode 31. This silver paste can become the second joining member 71 after drying.
  • connection step S17 from each of the openings 12f and 12g of the insulating layer 12 as shown in FIG. 1 to each of the second end 23L of the thermoelectric conversion element 23 and the second end 25L of the thermoelectric conversion element 25.
  • the silver paste is applied along one direction A1. A part of these silver pastes is filled in each of the openings 12f and 12g and electrically connected to each of the electrodes 51 and 52. After drying, these silver pastes can become the second joining members 73,75.
  • connection step S17 from each of the openings 11e to 11g of the substrate 11 as shown in FIG. 1, the second end portion 22L of the thermoelectric conversion element 22, the second end portion 24L of the thermoelectric conversion element 24, and the thermoelectric conversion element 26
  • the silver paste is applied along the first direction A1 up to each of the second end portions 26L. A part of these silver pastes is filled in each of the openings 11e to 11g and electrically connected to each of the electrodes 51 to 53. After drying, these silver pastes can become the second joining members 72,74,76.
  • connection step S17 the silver paste is applied along the first direction A1 from the opening 11h of the substrate 11 as shown in FIG. 1 to the second end 28L of the thermoelectric conversion element 28. A part of this silver paste is filled in the opening 11h and electrically connected to the second electrode 32. This silver paste can become the second joining member 78 after drying.
  • the CNT sheet 29 can be cut along the first direction A1 by a UV laser, a nanosecond laser, or a femtosecond laser in the forming step S16.
  • the gap s1 as shown in FIG. 15 can be suppressed from expanding in the second direction A2.
  • the density of the thermoelectric conversion element 20 in the thermoelectric conversion module 1 can be increased, and the thermoelectric conversion module 1 can be miniaturized.
  • thermoelectric conversion module 1 has been described as having the electrode layer 34 only on the surface 11A of the substrate 11. Further, the thermoelectric conversion element 20 located on the surface 10A side of the sheet substrate 10 is electrically connected to the thermoelectric conversion element 20 located on the back surface 10B side of the sheet substrate 10 via the substrate 11, the electrode layer 34 and the insulating layer 12. It was explained as being connected. However, the thermoelectric conversion module 1 may be provided with electrode layers 34 on both the front surface 11A and the back surface 11B of the substrate 11. In this case, the thermoelectric conversion module 1 may include an insulating layer 12 on each of the electrode layers 34 on both sides of the front surface 11A and the back surface 11B of the substrate 11.
  • thermoelectric conversion element 20 located on the side of the front surface 10A of the sheet substrate 10 is located on the side of the back surface 10B of the sheet substrate 10 via the insulating layer 12, the electrode layer 34, the substrate 11, the electrode layer 34, and the insulating layer 12. It may be electrically connected to the thermoelectric conversion element 20 located at.
  • FIG. 16 is an external view of the thermoelectric conversion module 201 according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 17 is a cross-sectional view of the thermoelectric conversion module 201 along the L5-L5 line shown in FIG.
  • FIG. 18 is a cross-sectional view of the thermoelectric conversion module 201 along the L6-L6 line shown in FIG.
  • FIG. 19 is a diagram showing the electrode layer 234 shown in FIG. The configuration shown in FIG. 19 corresponds to the configuration after carrying out the formation step S11 of the electrode layer 234 described later.
  • FIG. 20 is a diagram showing a current path in the thermoelectric conversion module 101 shown in FIG.
  • the thermoelectric conversion module 201 can be arranged in the heat source 2 as in the first embodiment.
  • the thermoelectric conversion module 201 has a first edge portion 201H and a second edge portion 201L on the sheet substrate 210 described later.
  • the first edge portion 201H and the second edge portion 201L face each other.
  • the first edge portion 201H may be located near the heat source 2 when the thermoelectric conversion module 201 is arranged in the heat source 2, similarly to the first edge portion 1H as shown in FIG.
  • the second edge portion 201L may be located away from the heat source 2 when the thermoelectric conversion module 201 is arranged in the heat source 2, similarly to the second edge portion 1L as shown in FIG.
  • the temperature near the first edge portion 201H can be higher than the temperature near the second edge portion 201L, similarly to the first edge portion 1H as shown in FIG. In other words, the temperature near the second edge portion 201L can be lower than the temperature near the first edge portion 201H.
  • the first direction A1, the second direction A2, and the third direction A3 can be adopted as in the first embodiment.
  • the first direction A1 is the direction in which the first edge portion 201H and the second edge portion 201L face each other. It is assumed that the first direction A1 is the direction from the second edge portion 201L toward the first edge portion 201H.
  • the third direction A3 is assumed to be a direction from the back side of the paper surface of FIG. 16 toward the front side of the paper surface.
  • the shape of the thermoelectric conversion module 201 seen from the third direction A3 is a rectangular shape such as a rectangular shape.
  • the shape of the thermoelectric conversion module 201 seen from the third direction A3 may be any shape such as a fan shape.
  • the thermoelectric conversion module 201 includes a sheet substrate 210 and thermoelectric conversion elements 221,222,223,224,225,226,227,228.
  • the thermoelectric conversion module 201 includes a connection portion 230, a first electrode 251 and a second electrode 248. As shown in FIGS.
  • connection portion 230 is first joined to the electrodes 241,242,243,244,245,246,247 and the electrodes 252,253,254,255,256,257,258.
  • thermoelectric conversion element 220 when each of the thermoelectric conversion elements 221 to 228 is not particularly distinguished, these are collectively referred to as "thermoelectric conversion element 220".
  • FIG. 13 shows a thermoelectric conversion module 201 including eight thermoelectric conversion elements 220.
  • the number of thermoelectric conversion elements 220 included in the thermoelectric conversion module 201 may be any number.
  • FIG. 19 shows a connection 230 having eight electrodes 240, eight electrodes 250, and seven wires 280.
  • the number of electrodes 240, the number of electrodes 250, and the number of wirings 280 of the connection portion 230 may correspond to the number of thermoelectric conversion elements 220 included in the thermoelectric conversion module 201.
  • FIG. 16 shows a thermoelectric conversion module 201 including eight first joining members 260 and eight second joining members 270.
  • the number of the first joining member 260 and the number of the second joining members 270 included in the thermoelectric conversion module 201 may correspond to the number of the thermoelectric conversion elements 220 included in the thermoelectric conversion module 201.
  • the sheet substrate 210 has an insulating property.
  • the sheet substrate 210 may have flexibility.
  • the material for forming the sheet substrate 210 is not particularly limited, and any insulating material can be used.
  • the shape of the sheet substrate 210 seen from the third direction A3 is a four-sided rectangular shape such as a rectangular shape. However, the shape of the sheet substrate 210 seen from the third direction A3 may be any shape such as a fan shape.
  • the sheet substrate 210 may be parallel to the surface including the first direction A1 and the second direction A2.
  • the sheet substrate 210 has the above-mentioned first edge portion 201H and the above-mentioned second edge portion 201L. As shown in FIG. 17, the sheet substrate 210 has a front surface 210A and a back surface 210B. The front surface 210A and the back surface 210B face each other. The surface 210A is a surface of the sheet substrate 210 facing the third direction A3. The back surface 210B is a surface of the sheet substrate 210 facing in the opposite direction of the third direction A3.
  • the sheet substrate 210 has a substrate 211 and an insulating layer 212.
  • the substrate 211 has an insulating property.
  • the substrate 211 may have flexibility.
  • the material of the substrate 211 may be the same as the material of the substrate 11 as shown in FIG.
  • the shape of the substrate 11 seen from the third direction A3 is a rectangular shape such as a rectangular shape.
  • the shape of the substrate 11 seen from the third direction A3 may be any shape such as a fan shape.
  • the substrate 211 may be parallel to the plane including the first direction A1 and the second direction A2.
  • the substrate 211 has a front surface 211A and a back surface 211B.
  • the front surface 211A and the back surface 211B face each other.
  • the surface 211A is a surface of the substrate 211 facing the third direction A3.
  • the back surface 211B is a surface of the substrate 211 that faces the opposite direction of the third direction A3.
  • the back surface 211B may correspond to the back surface 210B of the sheet substrate 210.
  • the substrate 211 has openings 211a, 211b, 211c, 211d.
  • the positions of the openings 211a to 211d as seen from the third direction A3 may correspond to the positions of the electrodes 242, 244, 246 and the second electrode 248.
  • the substrate 211 has openings 211e, 211f, 211g, 211h.
  • each position of the openings 211e to 211h seen from the third direction A3 may correspond to each position of the electrodes 252, 254, 256, 258.
  • the shape of the openings 211a to 211h seen from the third direction A3 is a circular shape. However, the shape of the openings 211a to 211h may be any shape.
  • the insulating layer 212 has an insulating property.
  • the insulating layer 212 may have flexibility.
  • the material of the insulating layer 212 may be the same as the material of the insulating layer 12 as shown in FIG.
  • the shape of the insulating layer 212 as seen from the third direction A3 is a rectangular shape such as a rectangular shape. However, the shape of the insulating layer 212 as seen from the third direction A3 may be any shape such as a fan shape.
  • the insulating layer 212 may be parallel to the surface including the first direction A1 and the second direction A2.
  • the insulating layer 212 has a front surface 212A and a back surface 212B.
  • the front surface 212A and the back surface 212B face each other.
  • the surface 212A is a surface of the insulating layer 212 facing the third direction A3.
  • the surface 212A may correspond to the surface 210A of the sheet substrate 210.
  • the back surface 212B is a surface of the insulating layer 212 facing the opposite direction of the third direction A3.
  • the insulating layer 212 has openings 212a, 212b, 212c, 212d. As shown in FIG. 16, each position of the openings 212a to 212d seen from the third direction A3 may correspond to each position of the electrodes 241,243,245,247. As shown in FIG. 18, the insulating layer 212 has openings 212e, 212f, 212g, 212h. As shown in FIG. 16, each position of the openings 212e to 212h seen from the third direction A3 may correspond to each position of the first electrode 251 and the electrodes 253, 255, 257.
  • the shape of the openings 212a to 212h seen from the third direction A3 is a circular shape. However, the shape of the openings 212a to 212h may be any shape.
  • thermoelectric conversion elements 221 to 228 are p-type thermoelectric conversion elements. That is, in the thermoelectric conversion element 220 located on both sides of the front surface 210A and the back surface 210B of the sheet substrate 210 as described later, the thermoelectric conversion element 220 located on the side of the front surface 210A and the thermoelectric conversion element 220 located on the side of the back surface 210B. All are p-type thermoelectric conversion elements. However, all of the thermoelectric conversion elements 221 to 228 may be n-type thermoelectric conversion elements.
  • the thermoelectric conversion material for forming the thermoelectric conversion element 220 is not particularly limited, and the thermoelectric conversion material described above in the first embodiment can be used.
  • thermoelectric conversion module 201 depending on the thermoelectric conversion material forming the thermoelectric conversion element 220, one of the p-type thermoelectric conversion element and the n-type thermoelectric conversion element may have higher durability than the other. Since all of the plurality of thermoelectric conversion elements 220 included in the thermoelectric conversion module 201 are p-type thermoelectric conversion elements or n-type thermoelectric conversion elements, the thermoelectric conversion module 201 can be excellent in durability.
  • thermoelectric conversion elements 221 to 228 may be formed including CNTs as described above in the first embodiment.
  • the thermoelectric conversion material is an organic material
  • oxidation of the thermoelectric conversion element 220 by oxygen, moisture, or the like in the atmosphere may be the main cause of deterioration of the characteristics of the thermoelectric conversion element 220.
  • the p-type thermoelectric conversion element is more susceptible to oxidation due to oxygen and moisture in the atmosphere than the p-type thermoelectric conversion element, so that the p-type thermoelectric conversion element is more susceptible than the n-type thermoelectric conversion element. It can be more durable.
  • the thermoelectric conversion module 201 can be excellent in durability because all of the plurality of thermoelectric conversion elements 220 included in the thermoelectric conversion module 201 are p-type thermoelectric conversion elements. ..
  • the thermoelectric conversion element 220 extends along the first direction A1.
  • the shape of the thermoelectric conversion element 220 seen from the third direction A3 is a long shape such as a rectangular shape. However, the shape of the thermoelectric conversion element 220 seen from the third direction A3 may be any shape such as a fan shape.
  • the longitudinal direction of the thermoelectric conversion element 220 is along the first direction A1.
  • the longitudinal direction of the thermoelectric conversion element 220 may be parallel to the first direction A1.
  • the thermoelectric conversion elements 221 to 228 may have the same shape.
  • the thermoelectric conversion element 220 has a first end portion 220H and a second end portion 220L in the first direction A1, similarly to the thermoelectric conversion element 20 as shown in FIG.
  • the first end portion 220H is located toward the first edge portion 201H of the thermoelectric conversion module 201.
  • the second end portion 220L is located toward the second edge portion 201L of the thermoelectric conversion module 201.
  • the first end 220H of the thermoelectric conversion elements 221 to 228 are “first end 221H”, “first end 222H”, “first end 223H”, “first end 224H", respectively. It is also described as “first end portion 225H”, “first end portion 226H”, “first end portion 227H", and “first end portion 228H”.
  • the second end 220L of the thermoelectric conversion elements 221 to 228 are “second end 221L”, “second end 222L”, “second end 223L”, “second end 224L”, respectively. It is also described as “second end portion 225L”, “second end portion 226L”, “second end portion 227L”, and “second end portion 228L”.
  • the positions of the first end portions 221H to 228H in the first direction A1 are different. However, the positions of the first end portions 221H to 228H in the first direction A1 may be the same. Further, in the configuration shown in FIG. 16, the positions of the second end portions 221L to 228L in the first direction A1 are different. However, the positions of the second end portions 221L to 228L in the first direction A1 may be the same.
  • thermoelectric conversion element 220 can generate electricity due to a temperature difference between the first end portion 220H and the second end portion 220L.
  • the plurality of thermoelectric conversion elements 220 are electrically connected in series from the first electrode 251 to the second electrode 248 in the order of the thermoelectric conversion elements 221 to 228 by the connecting portion 230.
  • the plurality of thermoelectric conversion elements 220 By electrically connecting the plurality of thermoelectric conversion elements 220 in series in this way, when the plurality of thermoelectric conversion elements 220 generate electricity, as shown in FIG. 20, one current path is generated in the thermoelectric conversion module 201. obtain.
  • each of the currents I221, I222, I223, I224, I225, I226, I227, and I228 is the current flowing through each of the thermoelectric conversion elements 221,222, 223, 224, 225, 226, 227, and 228.
  • each of the currents I281,282,283,284,285,286,287 is a current flowing through each of the wirings 281 to 287 described later.
  • the odd-numbered thermoelectric conversion element 220 counted from the first electrode 251 of the plurality of thermoelectric conversion elements 220 electrically connected in series by the connecting portion 230 is located on the side of the surface 210A of the sheet substrate 210. ..
  • the odd-numbered thermoelectric conversion element 220 counted from the first electrode 251 is the first thermoelectric conversion element 221, the third thermoelectric conversion element 223, the fifth thermoelectric conversion element 225, and the seventh thermoelectric conversion. It becomes the element 227. That is, the thermoelectric conversion elements 221,223,225,227 are located on the side of the surface 210A of the sheet substrate 210, for example, on the side of the surface 212A of the insulating layer 212.
  • thermoelectric conversion elements 221,223,225,227 are arranged along the second direction A2 on the surface 210A.
  • the thermoelectric conversion elements 221,223,225,227 may be arranged with a gap along the second direction A2.
  • the width of the gap may be arbitrary as long as insulation between two thermoelectric conversion elements 220 adjacent to each other in the second direction A2 can be secured.
  • thermoelectric conversion element 220 counted from the first electrode 251 of the plurality of thermoelectric conversion elements 220 electrically connected by the connecting portion 230 is located on the back surface 210B side of the sheet substrate 210.
  • the even-numbered thermoelectric conversion element 220 counted from the first electrode 251 is the second thermoelectric conversion element 222, the second thermoelectric conversion element 224, the sixth thermoelectric conversion element 226, and the eighth thermoelectric conversion. It becomes the element 228. That is, the thermoelectric conversion elements 222, 224, 226, 228 are located on the side of the back surface 210B of the sheet substrate 210, for example, on the side of the back surface 211B of the substrate 211.
  • thermoelectric conversion elements 222, 224, 226, 228 are arranged along the second direction A2 on the back surface 210B.
  • the thermoelectric conversion elements 222, 224, 226, 228 may be arranged with a gap along the second direction A2.
  • the width of the gap may be arbitrary as long as insulation between two thermoelectric conversion elements 220 adjacent to each other in the second direction A2 can be secured.
  • thermoelectric conversion module 201 can be miniaturized while increasing the power generation power, as in the first embodiment.
  • thermoelectric conversion element 220 located on the side of the surface 210A of the sheet substrate 210 is the back surface of the sheet substrate 210. It may overlap with at least a part of the thermoelectric conversion element 220 located on the side of 210B.
  • the thermoelectric conversion module 201 can be miniaturized.
  • the thermoelectric conversion element 220 located on the side of the front surface 210A does not have to overlap with the thermoelectric conversion element 220 located on the side of the back surface 210B.
  • thermoelectric conversion elements 221 to 228 may be rectangular shapes having substantially the same dimensions as described above in the first embodiment. However, as described above in the first embodiment, all the shapes of the thermoelectric conversion elements 221 to 228 may be any shape such as a fan shape as long as they have substantially the same dimensions.
  • thermoelectric conversion elements 221 to 228 are the first of each of the thermoelectric conversion elements 221 to 228 so that the electric resistance values of the thermoelectric conversion elements 221 to 228 are substantially the same. It may be configured by adjusting the length along the direction A1, the width along the second direction A2 of each of the thermoelectric conversion elements 221 to 228, and the thickness of each of the thermoelectric conversion elements 221 to 228 in the third direction A3.
  • connection portion 230 electrically connects a plurality of thermoelectric conversion elements 220 from the first electrode 251 to the second electrode 248 at the end portion of each thermoelectric conversion element 220, that is, the first end portion 220H or the second end portion 220L. Connect in series to.
  • the connecting portion 230 electrically connects a plurality of thermoelectric conversion elements 220 in series from the first electrode 251 to the second electrode 248 in the order of the thermoelectric conversion elements 221 to 228.
  • the connection portion 230 has electrodes 241 to 247, electrodes 252 to 258, first joining members 261 to 268, second joining members 271 to 278, and wiring 281 to 287.
  • the electrode 240 has conductivity.
  • the conductive material for forming the electrode 240 is not particularly limited, and any metal such as copper or aluminum can be used.
  • the electrode 240 may be located in the sheet substrate 210, for example, on the surface 211A of the substrate 211. As shown in FIG. 16, the electrodes 241 to 247 and the second electrode 248 may be arranged along the second direction A2 with a gap. The gap may be arbitrary as long as insulation between two electrodes 240 adjacent to each other in the second direction A2 can be secured. The position of the electrode 240 in the second direction A2 may be appropriately set according to the position of the thermoelectric conversion element 220 in the second direction A2.
  • the electrode 241 is electrically connected to the first end portion 221H of the thermoelectric conversion element 221 located on the side of the surface 210A of the sheet substrate 210. For example, as shown in FIG. 17, at least a part of the electrode 241 is exposed from the opening 212a of the insulating layer 212. At least a part of the electrode 241 exposed from the opening 212a is electrically connected to the first end portion 221H of the thermoelectric conversion element 221 by the first joining member 261.
  • the electrode 242 is electrically connected to the first end portion 222H of the thermoelectric conversion element 222 located on the back surface 210B side of the sheet substrate 210. For example, as shown in FIG. 17, at least a part of the electrode 242 is exposed from the opening 211a of the substrate 211. At least a part of the electrode 242 exposed from the opening 211a is electrically connected to the first end portion 222H of the thermoelectric conversion element 222 by the first joining member 262.
  • the electrode 243 is electrically connected to the first end portion 223H of the thermoelectric conversion element 223 located on the side of the surface 210A of the sheet substrate 210. For example, as shown in FIG. 17, at least a part of the electrode 243 is exposed from the opening 212b of the insulating layer 212. At least a part of the electrode 243 exposed from the opening 212b is electrically connected to the first end portion 223H of the thermoelectric conversion element 223 by the first joining member 263.
  • the electrode 244 is electrically connected to the first end portion 224H of the thermoelectric conversion element 224 located on the back surface 210B side of the sheet substrate 210. For example, as shown in FIG. 17, at least a part of the electrode 244 is exposed from the opening 211b of the substrate 211. At least a part of the electrode 244 exposed from the opening 211b is electrically connected to the first end portion 224H of the thermoelectric conversion element 224 by the first joining member 264.
  • the electrode 245 is electrically connected to the first end portion 225H of the thermoelectric conversion element 225 located on the side of the surface 210A of the sheet substrate 210. For example, as shown in FIG. 17, at least a part of the electrode 245 is exposed from the opening 212c of the insulating layer 212. At least a part of the electrode 245 exposed from the opening 212c is electrically connected to the first end portion 225H of the thermoelectric conversion element 225 by the first joining member 265.
  • the electrode 246 is electrically connected to the first end portion 226H of the thermoelectric conversion element 226 located on the back surface 210B side of the sheet substrate 210. For example, as shown in FIG. 17, at least a part of the electrode 246 is exposed from the opening 211c of the substrate 211. At least a part of the electrode 246 exposed from the opening 211c is electrically connected to the first end portion 226H of the thermoelectric conversion element 226 by the first joining member 266.
  • the electrode 247 is electrically connected to the first end portion 227H of the thermoelectric conversion element 227 located on the side of the surface 210A of the sheet substrate 210. For example, as shown in FIG. 17, at least a part of the electrode 247 is exposed from the opening 212d of the insulating layer 212. At least a part of the electrode 247 exposed from the opening 212d is electrically connected to the first end portion 227H of the thermoelectric conversion element 227 by the first joining member 267.
  • the second electrode 248 may be electrically connected with wiring for taking out the electric power generated by the thermoelectric conversion module 201.
  • the second electrode 248 functions as, for example, a positive electrode.
  • the second electrode 248 is electrically connected to the end portion of the two ends of the thermoelectric conversion element 220 electrically connected in series, which is the positive electrode.
  • the second electrode 248 is electrically connected to the first end portion 228H of the thermoelectric conversion element 228 located on the back surface 210B side of the sheet substrate 210.
  • at least a part of the second electrode 248 is exposed from the opening 211d of the substrate 211.
  • At least a part of the second electrode 248 exposed from the opening 211d is electrically connected to the first end portion 228H of the thermoelectric conversion element 228 by the first joining member 268.
  • the electrode 250 has conductivity.
  • the conductive material for forming the electrode 250 is not particularly limited, and any metal such as copper or aluminum can be used.
  • the electrode 250 may be located in the sheet substrate 210, for example, on the surface 211A of the substrate 211. As shown in FIG. 16, the first electrode 251 and the electrodes 250 to 258 may be arranged along the second direction A2 with a gap. The width of the gap may be arbitrary as long as insulation between two electrodes 50 adjacent to each other in the second direction A2 can be secured. The position of the electrode 250 in the second direction A2 may be appropriately set according to the position of the thermoelectric conversion element 220 in the second direction A2.
  • the first electrode 251 may be electrically connected with wiring for taking out the electric power generated by the thermoelectric conversion module 201.
  • the first electrode 251 functions as, for example, a negative electrode.
  • the first electrode 251 is electrically connected to the end portion of the two ends of the thermoelectric conversion element 220 electrically connected in series, which is the negative electrode.
  • the first electrode 251 is electrically connected to the second end portion 221L of the thermoelectric conversion element 221 located on the side of the surface 210A of the sheet substrate 210.
  • at least a part of the first electrode 251 is exposed from the opening 212e of the insulating layer 212.
  • At least a part of the first electrode 251 exposed from the opening 212e is electrically connected to the second end portion 221L of the thermoelectric conversion element 221 by the second joining member 271.
  • the electrode 252 is electrically connected to the second end portion 222L of the thermoelectric conversion element 222 located on the back surface 210B side of the sheet substrate 210. For example, as shown in FIG. 18, at least a part of the electrode 252 is exposed from the opening 211e of the substrate 211. At least a part of the electrode 252 exposed from the opening 211e is electrically connected to the second end 222L of the thermoelectric conversion element 222 by the second joining member 272.
  • the electrode 253 is electrically connected to the second end portion 223L of the thermoelectric conversion element 223 located on the side of the surface 210A of the sheet substrate 210. For example, as shown in FIG. 18, at least a part of the electrode 253 is exposed from the opening 212f of the insulating layer 212. At least a part of the electrode 253 exposed from the opening 212f is electrically connected to the second end portion 223L of the thermoelectric conversion element 223 by the second joining member 273.
  • the electrode 254 is electrically connected to the second end portion 224L of the thermoelectric conversion element 224 located on the back surface 210B side of the sheet substrate 210. For example, as shown in FIG. 18, at least a part of the electrode 254 is exposed from the opening 211f of the substrate 211. At least a part of the electrode 254 exposed from the opening 211f is electrically connected to the second end portion 224L of the thermoelectric conversion element 224 by the second joining member 274.
  • the electrode 255 is electrically connected to the second end portion 225L of the thermoelectric conversion element 225 located on the side of the surface 210A of the sheet substrate 210. For example, as shown in FIG. 18, at least a part of the electrode 255 is exposed from the opening 212 g of the insulating layer 212. At least a part of the second electrode 255 exposed from the opening 212 g is electrically connected to the second end portion 225L of the thermoelectric conversion element 225 by the second joining member 275.
  • the electrode 256 is electrically connected to the second end portion 226L of the thermoelectric conversion element 226 located on the back surface 210B side of the sheet substrate 210. For example, as shown in FIG. 18, at least a part of the electrode 256 is exposed from the opening 211g of the substrate 211. At least a part of the electrode 256 exposed from the opening 211g is electrically connected to the second end portion 226L of the thermoelectric conversion element 226 by the second joining member 276.
  • the electrode 257 is electrically connected to the second end portion 227L of the thermoelectric conversion element 227 located on the side of the surface 210A of the sheet substrate 210. For example, as shown in FIG. 18, at least a part of the electrode 257 is exposed from the opening 212h of the insulating layer 212. At least a part of the electrode 257 exposed from the opening 212h is electrically connected to the second end portion 227L of the thermoelectric conversion element 227 by the second joining member 277.
  • the electrode 258 is electrically connected to the second end portion 228L of the thermoelectric conversion element 228 located on the back surface 210B side of the sheet substrate 210. For example, as shown in FIG. 18, at least a part of the electrode 258 is exposed from the opening 211h of the substrate 211. At least a part of the electrode 258 exposed from the opening 211h is electrically connected to the second end portion 228L of the thermoelectric conversion element 228 by the second joining member 278.
  • the first joining member 260 has conductivity.
  • the first joining member 260 may be formed of any member such as silver paste or solder.
  • the first joining member 261 electrically connects the electrode 241 and the first end portion 221H of the thermoelectric conversion element 221.
  • the first joining member 261 electrically connects the electrode 241 and the first end portion 221H of the thermoelectric conversion element 221 via the opening 212a.
  • the first joining member 261 may extend from the opening 212a to the first end 221H.
  • the first joining member 262 electrically connects the electrode 242, the first end portion 222H of the thermoelectric conversion element 222, and the electrode 242. For example, as shown in FIG. 17, at least a part of the first joining member 262 is located in the opening 211a of the substrate 211. The first joining member 262 electrically connects the electrode 242 and the first end portion 222H of the thermoelectric conversion element 222 via the opening 211a. As shown in FIG. 16, the first joining member 262 may extend from the opening 211a to the first end 222H.
  • the first joining member 263 electrically connects the electrode 243 and the first end portion 223H of the thermoelectric conversion element 223. For example, as shown in FIG. 17, at least a part of the first joining member 263 is located in the opening 212b of the insulating layer 212. The first joining member 263 electrically connects the electrode 243 and the first end portion 223H of the thermoelectric conversion element 223 via the opening 212b. As shown in FIG. 16, the first joining member 263 may extend from the opening 212b to the first end 223H.
  • the first joining member 264 electrically connects the electrode 244 and the first end portion 224H of the thermoelectric conversion element 224.
  • the first joining member 264 electrically connects the electrode 244 and the first end portion 224H of the thermoelectric conversion element 224 via the opening 211b.
  • the first joining member 264 may extend from the opening 211b to the first end 224H.
  • the first joining member 265 electrically connects the electrode 245 and the first end portion 225H of the thermoelectric conversion element 225.
  • at least a part of the first joining member 265 is located in the opening 212c of the insulating layer 212.
  • the first joining member 265 electrically connects the electrode 245 and the first end portion 225H of the thermoelectric conversion element 225 via the opening 212c.
  • the first joining member 265 may extend from the opening 212c to the first end 225H.
  • the first joining member 266 electrically connects the electrode 246 and the first end portion 226H of the thermoelectric conversion element 226. For example, as shown in FIG. 17, at least a part of the first joining member 266 is located in the opening 211c of the substrate 211. The first joining member 266 electrically connects the first end portion 226H of the thermoelectric conversion element 226 and the electrode 246 via the opening 211c. As shown in FIG. 16, the first joining member 266 may extend from the opening 211c to the first end 226H.
  • the first joining member 267 electrically connects the electrode 247 and the first end portion 227H of the thermoelectric conversion element 227.
  • at least a part of the first joining member 267 is located in the opening 212d of the insulating layer 212.
  • the first joining member 267 electrically connects the electrode 247 and the first end portion 227H of the thermoelectric conversion element 227 via the opening 212d.
  • the first joining member 267 may extend from the opening 212d to the first end 227H.
  • the first joining member 268 is electrically connected to the second electrode 248 and the first end portion 228H of the thermoelectric conversion element 228.
  • at least a part of the first joining member 268 is located in the opening 211d of the substrate 211.
  • the first joining member 268 electrically connects the second electrode 248 and the first end portion 228H of the thermoelectric conversion element 228 via the opening 211d.
  • the first joining member 268 may extend from the opening 211d to the first end 228H.
  • the second joining member 270 has conductivity.
  • the second joining member 270 may be formed of any member such as silver paste or solder.
  • the second joining member 271 electrically connects the first electrode 251 and the second end portion 221L of the thermoelectric conversion element 221.
  • the second joining member 271 may electrically connect the first electrode 251 and the second end portion 221L of the thermoelectric conversion element 221 via the opening 212e.
  • the second joining member 271 may extend from the opening 212e to the second end 221L.
  • the second joining member 272 electrically connects the electrode 252 and the second end portion 222L of the thermoelectric conversion element 222.
  • the second joining member 272 electrically connects the electrode 252 and the second end portion 222L of the thermoelectric conversion element 222 via the opening 211e.
  • the second joining member 272 may extend from the opening 211e to the second end 222L.
  • the second joining member 273 electrically connects the electrode 253 and the second end portion 223L of the thermoelectric conversion element 223.
  • at least a part of the second joining member 273 is located in the opening 212f of the insulating layer 212.
  • the second joining member 273 electrically connects the electrode 253 and the second end portion 223L of the thermoelectric conversion element 223 via the opening 212f.
  • the second joining member 273 may extend from the opening 212f to the second end 223L.
  • the second joining member 274 electrically connects the electrode 254 and the second end portion 224L of the thermoelectric conversion element 224.
  • the second joining member 274 electrically connects the electrode 254 and the second end portion 224L of the thermoelectric conversion element 224 via the opening 211f.
  • the second joining member 274 may extend from the opening 211f to the second end 224L.
  • the second joining member 275 electrically connects the electrode 255 and the second end portion 225L of the thermoelectric conversion element 225.
  • at least a part of the second joining member 275 is located in the opening 212g of the insulating layer 212.
  • the second joining member 275 electrically connects the electrode 255 and the second end portion 225L of the thermoelectric conversion element 225 via the opening 212g.
  • the second joining member 275 may extend from the opening 212 g to the second end 225 L.
  • the second joining member 276 electrically connects the electrode 256 and the second end portion 226L of the thermoelectric conversion element 226.
  • the second joining member 276 electrically connects the second end portion 226L of the thermoelectric conversion element 226 and the electrode 256 via the opening 211g.
  • the second joining member 276 may extend from the opening 211g to the second end 226L.
  • the second joining member 277 electrically connects the electrode 257 and the second end portion 227L of the thermoelectric conversion element 227.
  • the second joining member 277 electrically connects the second end portion 227L of the thermoelectric conversion element 227 and the electrode 257 via the opening 212h.
  • the second joining member 277 may extend from the opening 212h to the second end 227L.
  • the second joining member 278 electrically connects the electrode 258 and the second end portion 228L of the thermoelectric conversion element 228.
  • the second joining member 278 electrically connects the electrode 258 and the second end portion 228L of the thermoelectric conversion element 228 via the opening 211h.
  • the second joining member 278 may extend from the opening 211h to the second end 228L.
  • Wiring 280 has conductivity.
  • the conductive material for forming the wiring 280 is not particularly limited, and any metal such as copper or aluminum can be used.
  • the wiring 280 may be located in the sheet substrate 210. As shown in FIG. 19, the wiring 280 may be located on the surface 211A of the substrate 211 together with the electrodes 240 and 250. As will be described later, the wiring 280 may be formed as an electrode layer 234 together with the electrode 240 and the electrode 250.
  • the wiring 280 electrically connects the thermoelectric conversion elements 220 adjacent to each other in the second direction A2 at both ends of the thermoelectric conversion element 220, that is, the first end portion 220H and the second end portion 220L.
  • the wiring 280 is an electrode 240 electrically connected to the first end 220H of one thermoelectric conversion element 220 in two thermoelectric conversion elements 220 adjacent to each other in the second direction A2, and a second thermoelectric conversion element 220.
  • the electrode 250 which is electrically connected to the two ends 220L, is electrically connected.
  • the wiring 280 may extend linearly from the electrode 240 to the electrode 250.
  • the plurality of wirings 280 electrically connect the thermoelectric conversion elements 221 to 228 between the first electrode 251 and the second electrode 248 by electrically connecting the plurality of electrodes 240 and the plurality of electrodes 250. do.
  • one end of the wiring 281 is electrically connected to the electrode 241.
  • the other end of the wiring 281 is electrically connected to the electrode 252.
  • One end of the wiring 282 is electrically connected to the electrode 242.
  • the other end of the wiring 282 is electrically connected to the electrode 253.
  • One end of the wiring 283 is electrically connected to the electrode 243.
  • the other end of the wiring 283 is electrically connected to the electrode 254.
  • One end of the wiring 284 is electrically connected to the electrode 244.
  • the other end of the wiring 284 is electrically connected to the electrode 255.
  • One end of the wiring 285 is electrically connected to the electrode 245.
  • the other end of the wiring 285 is electrically connected to the electrode 256.
  • One end of the wiring 286 is electrically connected to the electrode 246. The other end of the wiring 286 is electrically connected to the electrode 257. One end of the wiring 287 is electrically connected to the electrode 247. The other end of the wiring 287 is electrically connected to the electrode 258.
  • thermoelectric conversion module 201 according to the second embodiment is the same as those of the thermoelectric conversion module 1 according to the first embodiment.
  • the manufacturing method of the thermoelectric conversion module 201 may include the same steps as the manufacturing method of the thermoelectric conversion module 1 according to the first embodiment.
  • the method for manufacturing the thermoelectric conversion module 201 may include an arrangement step S10 as shown in FIG. 8, a forming step S11, S12, S13, S14, S15, S16, and a connecting step S17. Therefore, the manufacturing method of the thermoelectric conversion module 201 will be described below with reference to the flowchart shown in FIG. However, the manufacturing method of the thermoelectric conversion module 201 is not limited to the manufacturing method described below.
  • the arrangement step S10 is a step of arranging the metal foil on the substrate 211 in the same manner as in the configuration shown in FIG.
  • This metal leaf may be arranged on the surface 211A of the substrate 211.
  • This metal leaf may be similar to the metal leaf 33 as shown in FIG.
  • This metal leaf may be adhered to the surface 211A of the substrate 211 by any adhesive having thermal conductivity.
  • this metal leaf may be formed on the surface 211A of the substrate 211 by any film forming method such as thin film deposition, sputtering, or plating method.
  • This metal foil can become the electrode 240, the electrode 250, and the wiring 280 through the forming step S11 and the like described later.
  • the forming step S11 is a step of forming the electrode layer 234 as shown in FIG. 19 by patterning the metal foil arranged on the substrate 211.
  • the electrode layer 234 has an electrode 240, an electrode 250, and a wiring 280.
  • the electrode layer 234 is formed only on the surface 211A of the substrate 211.
  • the electrode layer 234 may be formed on at least one of the front surface 211A and the back surface 212B of the substrate 211.
  • the forming step S12 is a step of forming the openings 211a, 211b, 211c, 211d of the substrate 211 as shown in FIG. 17 and forming the openings 211e, 211f, 211g, 211h of the substrate 211 as shown in FIG. be.
  • the openings 211a to 211h may be formed by any heating laser.
  • the forming step S13 is a step of forming the insulating layer 212 on the electrode layer 234 formed on the substrate 211 as shown in FIG.
  • the insulating layer 212 may be formed on the substrate 211 and the electrode layer 234.
  • the insulating layer 212 may be formed by applying an insulating material to the electrode layer 234.
  • the sheet substrate 210 includes a substrate 211 and an insulating layer 212.
  • ⁇ Formation step S14> In the forming step S14, the openings 212a, 212b, 212c, 212d of the insulating layer 212 as shown in FIG. 17 are formed, and the openings 212e, 212f, 212g, 212h of the insulating layer 212 as shown in FIG. 18 are formed. It is a process.
  • the openings 212a-212h may be formed by any laser.
  • the forming step S15 is a step of forming a thermoelectric conversion element layer on the insulating layer 212 and on the surface on which the electrode layer 234 is not formed on the substrate 211.
  • the forming step S15 may be a step of forming a thermoelectric conversion element layer on each of the front surface 10A and the back surface 10B of the sheet substrate 10.
  • the thermoelectric conversion element layer is a layer formed including CNTs.
  • the thermoelectric conversion element layer is assumed to be a CNT sheet 229P1 and a CNT sheet 229P2 as shown in FIG. 21.
  • the CNT sheets 229P1 and 229P2 are formed to include CNTs in the same manner as the CNT sheets 29P and the CNT sheets 29N as shown in FIG.
  • the CNT sheet 229P1 is arranged on the front surface 210A of the sheet substrate 210, for example, the surface 12A of the insulating layer 12, and the CNT sheet 229P2 is arranged on the back surface 210B of the sheet substrate 210, for example, the back surface 211B of the substrate 211. It becomes a process.
  • the CNT sheets 229P1,229P2 are p-type CNT sheets. Each of the CNT sheet 229P1 and the CNT sheet 229P2 may be adhered to each of the front surface 210A and the back surface 210B of the sheet substrate 210 by an arbitrary adhesive sheet such as an epoxy resin.
  • the CNT sheet 229P1 becomes thermoelectric conversion elements 221,223,225,227 after undergoing the formation step S16 described later.
  • the CNT sheet 229P2 becomes a thermoelectric conversion element 222, 224, 226, 228 after undergoing the forming step S16 described later.
  • thermoelectric conversion element layer that is, the CNT sheet 229P1 and the CNT sheet 229P2 are cut along the first direction A1 to form a plurality of thermoelectric conversion elements 220 arranged in the second direction A2. It is a process. By cutting each of the CNT sheets 229P1 and 229P2 along the first direction A1, a gap is formed to partition the two thermoelectric conversion elements 220 adjacent to the second direction A2 as described above in the first embodiment. Will be done.
  • the forming step S16 may be carried out by using a laser in the same manner as the forming step S16 described in the first embodiment. As described above in the first embodiment, a UV laser, a nanosecond laser, or a femtosecond laser may be used in the forming step S16.
  • connection step S17 the end portion of each thermoelectric conversion element 220, that is, the first end portion 220H or the second end portion 220L is electrically connected by the connection portion 230 so that all of the plurality of thermoelectric conversion elements 220 are electrically connected in series. It is a process of connecting to the target.
  • connection step S17 is a step of applying the silver paste.
  • connection step S17 from each of the openings 212a to 212d of the insulating layer 212 as shown in FIG. 16, the first end portion 221H of the thermoelectric conversion element 221, the first end portion 223H of the thermoelectric conversion element 223, and the thermoelectric conversion element 225
  • the silver paste is applied along the first direction A1 up to each of the first end portion 225H of the above and the first end portion 227H of the thermoelectric conversion element 227.
  • a portion of these silver pastes is filled in each of the openings 212a-212d and electrically connected to each of the electrodes 241,243,245,247. After drying, these silver pastes can become the first joining members 261,263,265,267.
  • connection step S17 from each of the openings 211a to 211d of the substrate 211 as shown in FIG. 16, the first end portion 222H of the thermoelectric conversion element 222, the first end portion 224H of the thermoelectric conversion element 224, and the thermoelectric conversion element 226
  • the silver paste is applied along the first direction A1 to each of the first end portion 226H and the first end portion 228H of the thermoelectric conversion element 228.
  • a part of these silver pastes is filled in the openings 211a to 211d and electrically connected to each of the electrodes 242, 244 and 246 and the second electrode 248. After drying, these silver pastes can become the first joining member 262,264,266,268.
  • connection step S17 from each of the openings 212e to 212h of the insulating layer 212 as shown in FIG. 16, the second end portion 221L of the thermoelectric conversion element 221, the second end portion 223L of the thermoelectric conversion element 223, and the thermoelectric conversion element 225
  • the silver paste is applied along the first direction A1 up to each of the second end portion 225L of the above and the second end portion 227L of the thermoelectric conversion element 227.
  • a part of these silver pastes is filled in each of the openings 212e to 212h and electrically connected to each of the first electrode 251 and the electrodes 253, 255, 257. After drying, these silver pastes can become the second joining member 271,273,275,277.
  • connection step S17 from each of the openings 211e to 211h of the substrate 211 as shown in FIG. 16, the second end portion 222L of the thermoelectric conversion element 222, the second end portion 224L of the thermoelectric conversion element 224, and the thermoelectric conversion element 226 are formed.
  • the silver paste is applied along the first direction A1 to each of the second end portion 226L and the second end portion 228L of the thermoelectric conversion element 228.
  • a part of these silver pastes is filled in each of the openings 211e to 211h and electrically connected to each of the electrodes 252,254,256,258. After drying, these silver pastes can become the second joining member 272,274,276,278.
  • thermoelectric conversion module 201 According to the second embodiment, other configurations and effects of the method for manufacturing the thermoelectric conversion module 201 according to the second embodiment are the same as the method for manufacturing the thermoelectric conversion module 1 according to the first embodiment.
  • FIG. 22 is an external view of the thermoelectric conversion module 301 according to the third embodiment of the present invention.
  • the thermoelectric conversion module 301 can be arranged in the heat source 2 as in the first embodiment.
  • the thermoelectric conversion module 301 has a first edge portion 301H and a second edge portion 301L on the sheet substrate 310 described later.
  • the first edge portion 301H and the second edge portion 301L face each other.
  • the first edge portion 301H may be located near the heat source 2 when the thermoelectric conversion module 301 is arranged in the heat source 2.
  • the second edge portion 301L may be located away from the heat source 2 when the thermoelectric conversion module 301 is arranged in the heat source 2.
  • the temperature near the first edge portion 301H can be higher than the temperature near the second edge portion 301L, similarly to the first edge portion 1H as shown in FIG. In other words, the temperature near the second edge portion 301L can be lower than the temperature near the first edge portion 301H.
  • the first direction A1, the second direction A2, and the third direction A3 can be adopted as in the first embodiment.
  • the first direction A1 is the direction in which the first edge portion 301H and the second edge portion 301L face each other.
  • the first direction A1 is a direction from the second edge portion 301L toward the first edge portion 301H, and is a direction orthogonal to the second edge portion 301L.
  • the second direction A2 is assumed to be a direction from the left side of the paper surface of FIG. 22 toward the right side of the paper surface.
  • the third direction A3 is assumed to be a direction from the back side of the paper surface of FIG. 22 toward the front side of the paper surface.
  • thermoelectric conversion module 301 seen from the third direction A3 is trapezoidal.
  • the thermoelectric conversion module 301 has a side 301A and a side 301B on the sheet substrate 310 described later.
  • the side 301A and the side 301B are parallel to each other.
  • Sides 301A and 301B correspond to the two bases of the trapezoid.
  • the first edge 301H corresponds to one of the two trapezoidal legs.
  • the second edge 301L corresponds to the other leg of the two trapezoidal legs.
  • the distance in the first direction A1 between the first edge portion 301H and the second edge portion 301L extends along the second direction A2.
  • the thermoelectric conversion module 301 includes a sheet substrate 310, a thermoelectric conversion element 321, 322, 323, 324, 325, 326, a connection portion 330, a first electrode 331, and a second electrode 332.
  • thermoelectric conversion element 320 shows a thermoelectric conversion module 301 including six thermoelectric conversion elements 320.
  • the number of thermoelectric conversion elements 320 included in the thermoelectric conversion module 301 may be any number.
  • the sheet substrate 310 has an insulating property.
  • the sheet substrate 310 may have flexibility.
  • the shape of the sheet substrate 310 seen from the third direction A3 is a trapezoidal shape.
  • the sheet substrate 310 has the above-mentioned first edge portion 301H, the above-mentioned second edge portion 301L, the above-mentioned side 301A, and the above-mentioned side 301B.
  • the sheet substrate 310 has a front surface 310A and a back surface 310B.
  • the front surface 310A and the back surface 310B face each other.
  • the surface 310A is a surface of the sheet substrate 310 facing the third direction A3.
  • the back surface 310B is a surface of the sheet substrate 310 that faces the opposite direction of the third direction A3.
  • the sheet substrate 310 may have a substrate similar to the substrate 11 and an insulating layer similar to the insulating layer 12 as in the sheet substrate 10 as shown in FIG.
  • connection portion 330 electrically connects a plurality of thermoelectric conversion elements 320 from the first electrode 331 to the second electrode 332 in the order of the thermoelectric conversion elements 321 to 326.
  • the connecting portion 330 includes an electrode similar to the electrode 40 as shown in FIG. 1, an electrode similar to the electrode 50, a joining member similar to the first joining member 60, and a joining member similar to the second joining member 70. May have.
  • thermoelectric conversion element 320 is a p-type thermoelectric conversion element or an n-type thermoelectric conversion element.
  • the thermoelectric conversion material for forming the thermoelectric conversion element 320 is not particularly limited, and the thermoelectric conversion material described above in the first embodiment can be used. As described above in the first embodiment, all of the thermoelectric conversion elements 321 to 326 may be formed including CNTs.
  • the thermoelectric conversion element 320 extends along the first direction A1.
  • the shape of the thermoelectric conversion element 320 as seen from the third direction A3 side is a long shape such as a rectangular shape. However, the shape of the thermoelectric conversion element 320 seen from the third direction A3 may be any shape such as a fan shape.
  • the longitudinal direction of the thermoelectric conversion element 320 is along the first direction A1.
  • the longitudinal direction of the thermoelectric conversion element 320 may be parallel to the first direction A1.
  • the thickness of the thermoelectric conversion element 320 in the third direction A3 may be substantially the same or may be different. Hereinafter, it is assumed that the thicknesses of the thermoelectric conversion elements 321 to 326 in the third direction A3 are substantially the same.
  • the thermoelectric conversion element 320 has a first end portion 320H and a second end portion 320L in the first direction A1.
  • the first end portion 320H is located toward the first edge portion 301H of the thermoelectric conversion module 301.
  • the second end portion 320L is located toward the second edge portion 301L of the thermoelectric conversion module 301.
  • the first end 320H of the thermoelectric conversion element 3211, 322, 323, 324, 325, 326 is "first end 321H", “first end 322H”, “first end 323H”, respectively. It is also described as “first end portion 324H", “first end portion 325H” and “first end portion 326H”.
  • thermoelectric conversion element 3211, 322, 323, 324, 325, 326 has “second end 321L”, “second end 322L”, and “second end 323L”, respectively. It is also described as “second end portion 324L”, “second end portion 325L” and “second end portion 326L”.
  • the odd-numbered thermoelectric conversion element 320 counted from the first electrode 331 of the plurality of thermoelectric conversion elements 320 electrically connected in series by the connecting portion 330 is located on the side of the surface 310A of the sheet substrate 310. ..
  • the odd-numbered thermoelectric conversion element 320 counted from the first electrode 331 is the first thermoelectric conversion element 321, the third thermoelectric conversion element 323, and the fifth thermoelectric conversion element 325. That is, the thermoelectric conversion elements 321 and 323, 325 are located on the side of the surface 310A of the sheet substrate 310.
  • the thermoelectric conversion elements 3211, 323, 325 are arranged along the second direction A2 on the surface 310A.
  • the thermoelectric conversion elements 321 and 323, 325 may be arranged with a gap along the second direction A2. The width of the gap may be arbitrary as long as insulation between two thermoelectric conversion elements 320 adjacent to each other in the second direction A2 can be secured.
  • thermoelectric conversion element 320 counted from the first electrode 331 of the plurality of thermoelectric conversion elements 320 electrically connected in series by the connecting portion 330 is located on the back surface 310B side of the sheet substrate 310.
  • the even-numbered thermoelectric conversion element 320 counted from the first electrode 331 is the second thermoelectric conversion element 322, the fourth thermoelectric conversion element 324, and the sixth thermoelectric conversion element 326. That is, the thermoelectric conversion elements 322,324,326 are located on the back surface 310B side of the sheet substrate 310.
  • the thermoelectric conversion elements 322,324,326 are arranged along the second direction A2 on the back surface 310B.
  • the thermoelectric conversion elements 322,324,326 may be arranged with a gap in the second direction A2. The width of the gap may be arbitrary as long as insulation between two thermoelectric conversion elements 320 adjacent to each other in the second direction A2 can be secured.
  • thermoelectric conversion element 321, 323, 325 located on the side of the front surface 310A overlaps the thermoelectric conversion element 322, 324, 326 located on the side of the back surface 310B. It doesn't become.
  • at least a part of the thermoelectric conversion element 321, 323, 325 located on the side of the front surface 310A is at least a part of the thermoelectric conversion element 322, 324, 326 located on the side of the back surface 310B. It may overlap.
  • thermoelectric conversion elements 321 to 326 have different lengths along the first direction A1.
  • each of the thermoelectric conversion elements 321 to 326 extends from the first edge portion 301H to the second edge portion 301L along the first direction A1. Since each of the thermoelectric conversion elements 321 to 326 extends from the first edge portion 301H to the second edge portion 301L, the lengths of the thermoelectric conversion elements 321 to 326 become longer in the order of the thermoelectric conversion elements 321 to 326.
  • each of the thermoelectric conversion elements 321 to 326 extends from the first edge portion 301H to the second edge portion 301L, so that the lengths of the thermoelectric conversion elements 321 to 326 along the first direction A1 are different.
  • each of the thermoelectric conversion elements 321 to 326 extends from the first edge portion 301H to the second edge portion 301L, the temperature difference between both ends of each of the thermoelectric conversion elements 321 to 326 can be increased. By increasing the temperature difference between both ends of each of the thermoelectric conversion elements 321 to 326, the generated power of each of the thermoelectric conversion elements 321 to 326 can be increased.
  • the width between each of the first end portions 321H to 326H and the first edge portion 301H may be the same. Further, the width between each of the second end portions 321L to 326L and the second edge portion 301L may be the same.
  • the width between each of the first end portions 321H to 326H and the first edge portion 301H and the width between each of the second end portions 321L to 326L and the second edge portion 301L are appropriately determined according to the manufacturing process and the like. May be set.
  • thermoelectric conversion elements 321 to 326 along the first direction A1 are different, for example, if the widths of the thermoelectric conversion elements 321 to 326 along the second direction A2 are substantially the same.
  • the electric resistance values of the thermoelectric conversion elements 321 to 326 are different. If the electric resistance values of the thermoelectric conversion elements 321 to 326 are different, when the thermoelectric conversion elements 321 to 326 are electrically connected in series, the thermoelectric conversion element 320 having a small electric resistance value may cause the thermoelectric conversion module 301. The current is fixed.
  • thermoelectric conversion elements 321 to 326 the widths of the thermoelectric conversion elements 321 to 326 along the second direction A2 are different so that the electric resistance values of the thermoelectric conversion elements 321 to 326 are substantially the same. It is configured in. As an example, as described above, the lengths of the thermoelectric conversion elements 321 to 326 become longer in the order of the thermoelectric conversion elements 321 to 326. In this case, each of the thermoelectric conversion elements 321 to 326 may be configured so that the width along the second direction A2 of each of the thermoelectric conversion elements 321 to 326 becomes wider in the order of the thermoelectric conversion elements 321 to 326.
  • the width of the thermoelectric conversion elements 321 to 326 along the second direction A2 may be wider in proportion to the length of each of the thermoelectric conversion elements 321 to 326 along the first direction A1. For example, when the length of the thermoelectric conversion element 326 along the first direction A1 is 1.5 times the length of the thermoelectric conversion element 321 along the first direction A1, the width of the thermoelectric conversion element 326 along the second direction A2. Is 1.5 times the width along the second direction A2 of the thermoelectric conversion element 321. With such a configuration, the electric resistance values of the thermoelectric conversion elements 321 to 326 can be substantially the same.
  • thermoelectric conversion elements 321 to 326 When the thicknesses of the thermoelectric conversion elements 321 to 326 in the third direction A3 are different, each of the thermoelectric conversion elements 321 to 326 so that the electric resistance values of the thermoelectric conversion elements 321 to 326 are substantially the same.
  • thermoelectric conversion elements 321 to 326 may be configured so that the cross-sectional areas orthogonal to the first direction A1 are different.
  • thermoelectric conversion element 321 is based on the electrical resistivity of the p-type thermoelectric conversion element and the electrical resistivity of the n-type thermoelectric conversion element so that the electrical resistance values of the thermoelectric conversion elements 321 to 326 are substantially the same.
  • thermoelectric conversion elements 321 to 326 may be configured so that the cross-sectional areas orthogonal to the first direction A1 of each of 326 are different.
  • the shape of the sheet substrate 310 is trapezoidal. Since the shape of the sheet substrate 310 is trapezoidal, the degree of freedom in the place where the thermoelectric conversion module 301 is arranged can be increased.
  • thermoelectric conversion module 301 can also be manufactured by the manufacturing method described above in the first embodiment.
  • thermoelectric conversion module can be provided while increasing the generated power.

Abstract

熱電変換モジュールは、対向する表面及び裏面を有する絶縁性のシート基板と、複数の熱電変換素子と、接続部とを備える。複数の熱電変換素子は、第１方向に沿って延びる長尺状に形成されている。接続部は、第１電極から第２電極に亘って、複数の熱電変換素子を、各熱電変換素子の長尺状の端部にて電気的に直列接続する。接続部によって電気的に直列接続される複数の熱電変換素子のうちの第１電極から数えて奇数番目の熱電変換素子は、表面の側に位置するとともに、第１方向に交差する第２方向に沿って並ぶ。接続部によって電気的に直列接続される複数の熱電変換素子のうちの第１電極から数えて偶数番目の熱電変換素子は、裏面の側に位置するとともに、第２方向に沿って並ぶ。

Description

熱電変換モジュール及び熱電変換モジュールの製造方法
　本発明は、熱電変換モジュール及び熱電変換モジュールの製造方法に関する。
　従来、熱エネルギーを電気エネルギーに変換する熱電変換装置が知られている（例えば、特許文献１）。特許文献１に記載の熱電変換装置は、ｐ型層とｎ型層との積層構成を含む。
特開２０１７－１５２６８２号公報
　特許文献１に記載の熱電変換装置において、発電電力を高めるためには、ｐ型層とｎ型層との積層構成を並べることが求められる。ｐ型層とｎ型層との積層構成を並べると、熱電変換装置が大型化してしまう。
　そこで、本発明の目的は、上述した課題を解決し、発電電力を高めつつ、小型化された熱電変換モジュール及び熱電変換モジュールの製造方法を提供することにある。
　この発明は、上記課題を有利に解決することを目的とするものであり、本発明の熱電変換装置は、対向する表面及び裏面を有する絶縁性のシート基板と、第１方向に沿って延びる長尺状に形成された、複数の熱電変換素子と、第１電極から第２電極に亘って、前記複数の熱電変換素子を、各熱電変換素子の長尺状の端部にて電気的に直列接続する接続部と、を備え、前記接続部によって電気的に直列接続される前記複数の熱電変換素子のうちの前記第１電極から数えて奇数番目の熱電変換素子は、前記表面の側に位置するとともに、前記第１方向に交差する第２方向に沿って並び、前記接続部によって電気的に直列接続される前記複数の熱電変換素子のうちの前記第１電極から数えて偶数番目の熱電変換素子は、前記裏面の側に位置するとともに、前記第２方向に沿って並ぶ。このようにシート基板の表面及び裏面の両面に熱電変換素子が位置することにより、熱電変換モジュールにおける熱電変換素子の密度が高められ得る。熱電変換モジュールにおける熱電変換素子の密度が高められることにより、熱電変換モジュールは、発電電力を高めつつ、小型化され得る。
　ここで、本発明の熱電変換装置において、前記シート基板を平面視した際に、前記表面の側に位置する前記奇数番目の複数の熱電変換素子は、前記裏面の側に位置する前記偶数番目の複数の熱電変換素子と重なるように位置する、ことが好ましい。このような構成により、熱電変換モジュールが小型化され得る。
　また、本発明の熱電変換装置において、前記表面の側に位置する前記熱電変換素子は、ｐ型熱電変換素子であり、前記裏面の側に位置する前記熱電変換素子は、ｎ型熱電変換素子である、ことが好ましい。
　また、本発明の熱電変換装置において、前記熱電変換モジュールが備える複数の前記熱電変換素子の全ては、ｐ型熱電変換素子である、ことが好ましい。ここで、熱電変換素子を形成する熱電変換材料によっては、ｐ型熱電変換素子の一方がｎ型熱電変換素子も耐久性が高くなる場合がある。複数の熱電変換素子の全てがｐ型熱電変換素子であることにより、熱電変換モジュールは、耐久性に優れたものとなり得る。
　また、本発明の熱電変換装置において、前記熱電変換モジュールが備える複数の前記熱電変換素子の全ては、カーボンナノチューブを含んで形成されている、ことが好ましい。このような構成により、熱電変換モジュールの機械的強度をさらに向上させるとともに、熱電変換モジュールを軽量化することができる。
　また、本発明の熱電変換装置において、前記熱電変換モジュールが備える複数の熱電変換素子の全ての各々の形状は、略同寸法の長方形状である、ことが好ましい。このような構成により、熱電変換モジュールが小型化され得る。
　また、本発明の熱電変換装置において、前記熱電変換モジュールが備える複数の前記熱電変換素子は、当該複数の熱電変換素子の各々の電気抵抗値が略同一となるように、当該複数の熱電変換素子の各々の前記第１方向に沿う長さ、当該複数の熱電変換素子の各々の前記第２方向に沿う幅、及び、当該複数の熱電変換素子の各々の厚さを調整して構成されている、ことが好ましい。複数の熱電変換素子の各々の電気抵抗値が同じになることにより、熱電変換モジュールにおける電力損失が低減され得る。
　また、本発明の熱電変換装置において、前記熱電変換モジュールが備える複数の熱電変換素子の各々の前記厚さが略同一であり、当該複数の熱電変換素子の各々の前記長さが相違しており、且つ当該複数の熱電変換素子の各々の前記幅が相違している、ことが好ましい。
　また、本発明の熱電変換装置において、前記シート基板の形状は、台形状であり、前記シート基板は、台形の２つの脚のうちの一方の脚に対応する第１縁部と、前記２つの脚のうちの他方の脚に対応する第２縁部とを含み、前記第１縁部と前記第２縁部との間の前記第１方向における間隔は、前記第２方向に沿って広がり、前記複数の熱電変換素子は、前記第１方向に沿って前記第１縁部から前記第２縁部まで延びる、ことが好ましい。シート基板の形状が台形状であることにより、熱電変換モジュールを配置する場所の自由度が高まり得る。
　この発明は、上記課題を有利に解決することを目的とするものであり、本発明の熱電変換モジュールの製造方法は、対向する表面及び裏面を有する絶縁性のシート基板と、第１方向に沿って延びる長尺状に形成された、複数の熱電変換素子と、前記複数の熱電変換素子を、各熱電変換素子の長尺状の端部にて電気的に直列接続する接続部と、を備える熱電変換モジュールの製造方法であって、対向する表面及び裏面を有する絶縁性の基板において、前記表面及び前記裏面の少なくとも一方の面上に電極層を形成する電極層形成工程と、前記基板上に形成された前記電極層の上に絶縁層を形成する絶縁層形成工程であって、前記シート基板は、前記基板及び前記絶縁層を備えて構成される、絶縁層形成工程と、前記絶縁層の上、及び、前記基板において前記電極層が形成されない面上に熱電変換素子層を形成する素子形成工程と、前記熱電変換素子層を前記第１方向に沿って切断し、前記第１方向に交差する第２方向に沿って並ぶ複数の熱電変換素子を形成する熱電変換素子形成工程と、前記複数の熱電変換素子の全てが電気的に直列接続されるように各熱電変換素子の長尺状の両端部を接続部によって接続する接続工程と、を含む。このような製造方法によって、発電電力を高めつつ、小型化された熱電変換モジュールが提供され得る。
　ここで、本発明の熱電変換モジュールの製造方法において、前記電極層は、前記基板における前記表面上にのみ形成される、ことが好ましい。
　また、本発明の熱電変換モジュールの製造方法において、前記熱電変換素子層は、カーボンナノチューブを含んで形成されている層である、ことが好ましい。このような構成により、機械的強度をさらに向上させるとともに、軽量化された熱電変換モジュールが製造され得る。
　また、本発明の熱電変換モジュールの製造方法において、前記熱電変換素子形成工程は、ＵＶレーザ、ナノ秒レーザ又はフェムト秒レーザを用いて実施される、ことが好ましい。ＵＶレーザ若しくはナノ秒レーザ又はフェムト秒レーザを用いることにより、レーザによる熱の発生が低減され得る。レーザによる熱の発生が低減されることにより、熱電変換素子間の隙間が第２方向において広がることが抑制され、熱電変換モジュールにおける熱電変換素子の密度が高められ得る。
　本発明によれば、発電電力を高めつつ、小型化された熱電変換モジュール及び熱電変換モジュールの製造方法が提供され得る。
本発明の第１実施形態に係る熱電変換モジュールの外観図である。 図１に示すＬ１－Ｌ１線に沿った熱電変換モジュールの断面図である。 図１に示すＬ２－Ｌ２線に沿った熱電変換モジュールの断面図である。 図１に示す熱電変換モジュールにおける電流経路を示す図である。 本発明の第１実施形態の変形例に係る熱電変換モジュールの外観図である。 図５に示すＬ３－Ｌ３線に沿った熱電変換モジュールの断面図である。 図５に示すＬ４－Ｌ４線に沿った熱電変換モジュールの断面図である。 図１に示す熱電変換モジュールの製造方法を示すフローチャートである。 金属箔の配置工程を実施した後の構成を示す図である。 電極層の形成工程を実施した後の構成を示す図である。 基板への開口部の形成工程を実施した後の構成を示す図である。 絶縁層の形成工程を実施した後の構成を示す図である。 絶縁層への開口部の形成工程を実施した後の構成を示す図である。 カーボンナノチューブシートを配置した後の構成を示す図である。 カーボンナノチューブシートを配置した後の構成を示す図である。 本発明の第２実施形態に係る熱電変換モジュールの外観図である。 図１６に示すＬ５－Ｌ５線に沿った熱電変換モジュールの断面図である。 図１６に示すＬ６－Ｌ６線に沿った熱電変換モジュールの断面図である。 図１４に示す電極層を示す図である。 図１６に示す熱電変換モジュールにおける電流経路を示す図である。 カーボンナノチューブシートを配置した後の構成を示す図である。 本発明の第３実施形態に係る熱電変換モジュールの外観図である。
　以下、本発明に係る実施形態について、図面を参照して説明する。各図において共通する構成要素には、同じ符号を付している。
　（第１実施形態）
　図１は、本発明の第１実施形態に係る熱電変換モジュール１の外観図である。図２は、図１に示すＬ１－Ｌ１線に沿った熱電変換モジュール１の断面図である。図３は、図１に示すＬ２－Ｌ２線に沿った熱電変換モジュールの断面図である。図４は、図１に示す熱電変換モジュールにおける電流経路を示す図である。
　図１に示すように、熱電変換モジュール１は、熱源２に配置可能である。熱電変換モジュール１は、後述のシート基板１０に、第１縁部１Ｈと、第２縁部１Ｌとを有する。第１縁部１Ｈと、第２縁部１Ｌとは、対向する。第１縁部１Ｈは、熱電変換モジュール１が熱源２に配置された際、熱源２の近くに位置し得る。第２縁部１Ｌは、熱電変換モジュール１が熱源２に配置された際、熱源２から離れて位置し得る。
　第１縁部１Ｈ付近の温度は、第１縁部１Ｈが第２縁部１Ｌよりも熱源２の方に位置することにより、第２縁部１Ｌ付近の温度よりも高温になり得る。換言すると、第２縁部１Ｌ付近の温度は、第１縁部１Ｈ付近の温度よりも低温になり得る。
　図１において、第１方向Ａ１は、第１縁部１Ｈと第２縁部１Ｌとが対向する方向である。本実施形態では、第１方向Ａ１は、熱電変換モジュール１の第２縁部１Ｌから第１縁部１Ｈに向かう方向であるものとする。
　図１において、第２方向Ａ２は、第１方向Ａ１に直交する方向である。ただし、第２方向Ａ２は、第１方向Ａ１に交差すれば、第１方向Ａ１に直交しなくてもよい。本実施形態では、第２方向Ａ２は、図１の紙面左側から紙面右側に向かう方向であるものとする。
　図１において、第３方向Ａ３は、第１方向Ａ１及び第２方向Ａ２を含む平面に直交する方向である。本実施形態では、第３方向Ａ３は、図１の紙面奥側から紙面手前側に向かう方向であるものとする。
　以下、「上」とは、特に断りが無い限り、第３方向Ａ３側を指すものとする。また、「下」とは、特に断りが無い限り、第３方向Ａ３の反対方向側を指すものとする。
　図１に示すように、第３方向Ａ３から見た熱電変換モジュール１の形状は、長方形状等の四角形状である。ただし、第３方向Ａ３から見た熱電変換モジュール１の形状は、扇形状等の任意の形状であってよい。図１に示すように、熱電変換モジュール１は、シート基板１０と、熱電変換素子２１，２２，２３，２４，２５，２６，２７，２８とを備える。図２及び図３に示すように、熱電変換モジュール１は、接続部３０と、第１電極３１と、第２電極３２とを備える。接続部３０は、電極４１，４２，４３，４４と、電極５１，５２，５３と、第１接合部材６１，６２，６３，６４，６５，６６，６７，６８と、第２接合部材７１，７２，７３，７４，７５，７６，７７，７８とを有する。
　以下、熱電変換素子２１～２８の各々を特に区別しない場合、これらは、まとめて「熱電変換素子２０」とも記載される。図１には、８つの熱電変換素子２０を備える熱電変換モジュール１が示されている。ただし、熱電変換モジュール１が備える熱電変換素子２０の数は、任意の数であってよい。
　以下、電極４１～４４の各々を特に区別しない場合、これらは、まとめて「電極４０」とも記載される。また、電極５１～５３の各々特に区別しない場合、これらは、まとめて「電極５０」とも記載される。また、第１接合部材６１～６８を特に区別しない場合、これらは、まとめて「第１接合部材６０」とも記載される。また、第２接合部材７１～７８を特に区別しない場合、これらは、まとめて「第２接合部材７０」とも記載される。図２及び図３には、４つの電極４０と、３つの電極５０と、８つの第１接合部材６０と、８つの第２接合部材７０を有する接続部３０が示されている。ただし、接続部３０が有する電極４０の数、電極５０の数、第１接合部材６０の数及び第２接合部材７０の数は、熱電変換モジュール１が備える熱電変換素子２０の数に応じたものであってよい。
　図１に示すようなシート基板１０は、絶縁性を有する。シート基板１０は、可撓性を有してよい。シート基板１０を形成するための材料としては、特に限定することなく、任意の絶縁材料を用いることができる。第３方向Ａ３から見たシート基板１０の形状は、長方形状等の四角形である。ただし、第３方向Ａ３から見たシート基板１０の形状は、扇形状等の任意の形状であってよい。シート基板１０は、第１方向Ａ１及び第２方向Ａ２を含む面と平行であってよい。
　シート基板１０は、上述の第１縁部１Ｈと、上述の第２縁部１Ｌとを有する。図２及び図３に示すように、シート基板１０は、表面１０Ａと、裏面１０Ｂとを有する。表面１０Ａと裏面１０Ｂとは、対向する。表面１０Ａは、シート基板１０の面のうち、第３方向Ａ３を向く面である。裏面１０Ｂは、シート基板１０の面のうち、第３方向Ａ３の反対方向を向く面である。
　図２及び図３に示すように、シート基板１０は、基板１１と、絶縁層１２とを有する。
　基板１１は、絶縁性を有する。基板１１は、可撓性を有してよい。基板１１を形成するための材料としては、特に限定されることなく、ポリイミド又はエポキシガラス等の任意の材料を用いることができる。図１に示すように、第３方向Ａ３から見た基板１１の形状は、長方形状等の四角形状である。ただし、第３方向Ａ３から見た基板１１の形状は、扇形状等の任意の形状であってよい。基板１１は、第１方向Ａ１及び第２方向Ａ２を含む面と平行であってよい。
　図２に示すように、基板１１は、表面１１Ａと、裏面１１Ｂとを有する。表面１１Ａと裏面１１Ｂとは、対向する。表面１１Ａは、基板１１の面のうち、第３方向Ａ３を向く面である。裏面１１Ｂは、基板１１の面のうち、第３方向Ａ３の反対方向を向く面である。裏面１１Ｂは、シート基板１０の裏面１０Ｂに対応してよい。
　図２に示すように、基板１１は、開口部１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄを有する。図１に示すように、第３方向Ａ３から見た開口部１１ａ～１１ｄの各々の位置は、電極４１～４４の各々の位置に対応してよい。図３に示すように、基板１１は、開口部１１ｅ，１１ｆ，１１ｇ，１１ｈを有する。図１に示すように、第３方向Ａ３から見た開口部１１ｅ～１１ｇの各々の位置は、電極５１～５３の各々の位置に対応してよい。また、第３方向Ａ３から見た開口部１１ｈの位置は、第２電極３２の位置に対応してよい。第３方向Ａ３から見た開口部１１ａ～１１ｈの形状は、円形状である。ただし、開口部１１ａ～１１ｈの形状は、任意の形状であってよい。
　絶縁層１２は、絶縁性を有する。絶縁層１２は、可撓性を有してよい。絶縁層１２を形成するための材料としては、特に限定されることなく、任意の絶縁材料を用いることができる。絶縁層１２は、基板１１の表面１１Ａに位置してよい。図１に示すように、第３方向Ａ３から見た絶縁層１２の形状は、長方形状等の四角形状である。ただし、第３方向Ａ３から見た絶縁層１２の形状は、扇形状等の任意の形状であってよい。絶縁層１２は、第１方向Ａ１及び第２方向Ａ２を含む面と平行であってよい。
　図２に示すように、絶縁層１２は、表面１２Ａと、裏面１２Ｂとを有する。表面１２Ａと、裏面１２Ｂとは、対向する。表面１２Ａは、絶縁層１２の面のうち、第３方向Ａ３を向く面である。表面１２Ａは、シート基板１０の表面１０Ａに対応してよい。裏面１２Ｂは、絶縁層１２の面のうち、第３方向Ａ３の反対方向を向く面である。
　図２に示すように、絶縁層１２は、開口部１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄを有する。図１に示すように、第３方向Ａ３から見た開口部１２ａ～１２ｄの各々の位置は、電極４１～４４の各々の位置に対応してよい。図３に示すように、絶縁層１２は、開口部１２ｅ，１２ｆ，１２ｇ，１２ｈを有する。図１に示すように、第３方向Ａ３から見た開口部１２ｅの位置は、第１電極３１の位置に対応してよい。また、第３方向Ａ３から見た開口部１２ｆ～１２ｈの各々の位置は、電極５１～５３の各々の位置に対応してよい。第３方向Ａ３から見た開口部１２ａ～１２ｈの形状は、円形状である。ただし、開口部１２ａ～１２ｈの形状は、任意の形状であってよい。
　熱電変換素子２０は、ｐ型熱電変換素子であるか、又はｎ型熱電変換素子である。本実施形態では、熱電変換素子２１，２３，２５，２７がｐ型熱電変換素子であり、熱電変換素子２２，２４，２６，２８がｎ型熱電変換素子である。図２及び図３において、ｎ型熱電変換素子である熱電変換素子２２，２４，２６，２８には、ハッチングを付す。
　熱電変換素子２０を形成するための熱電変換材料としては、特に限定されることなく、ビスマステルル系化合物、アンチモン系化合物、シリコン系化合物、金属酸化物系化合物、ホイスラー合金系化合物、導電性高分子化合物、導電性繊維、及び、これらの複合材料等を用いることができる。中でも、導電性繊維を用いることが好ましく、カーボンナノチューブ（以下、「ＣＮＴ」とも称する）等の繊維状の炭素ナノ構造体を用いることがより好ましい。ＣＮＴを用いれば、本発明の熱電変換モジュール１の機械的強度をさらに向上させるとともに、軽量化することができるからである。さらに、ＣＮＴとしては特に限定されることなく、単層ＣＮＴ及び／又は多層ＣＮＴを用いることができるが、ＣＮＴは、単層ＣＮＴであることが好ましい。単層ＣＮＴの方が、熱電特性（ゼーベック係数）が優位である傾向があるからである。なお、単層カーボンナノチューブとしては、ＣＮＴ製造用の触媒層を表面に有する基材上に、原料化合物及びキャリアガスを供給して、化学的気相成長法（ＣＶＤ法）によりＣＮＴを合成する際に、系内に微量の酸化剤（触媒賦活物質）を存在させることで、触媒層の触媒活性を飛躍的に向上させるという方法（スーパーグロース法；国際公開第２００６／０１１６５５号参照）に準じて製造したＣＮＴを用いることができる（以下、かかる方法に準じて製造されたＣＮＴを「ＳＧＣＮＴ」と称することがある）。さらにＳＧＣＮＴは折れ曲がりが多いという特徴を持っている。ここで、ＣＮＴは、電子移動による熱伝導性は高いが、フォノン振動による熱伝導性の低下効果も高いと考えられている。しかしながら、ＳＧＣＮＴは、他の一般的な方法に従って製造したＣＮＴよりも折れ曲がりが多いため、フォノン振動が増幅されにくい構造となっており、フォノン振動に起因した熱伝導性の低下を抑制することができる。よって、ＳＧＣＮＴは、他の一般的なＣＮＴと比較して、熱電変換材料としてより優位な材料であり得る。
　熱電変換素子２１～２８の全ては、ＣＮＴを含んで形成されていてよい。このような構成により、熱電変換モジュール１の機械的強度をさらに向上させるとともに、熱電変換モジュール１を軽量化することができる。
　図１に示すように、熱電変換素子２０は、第１方向Ａ１に沿って延びる。第３方向Ａ３から見た熱電変換素子２０の形状は、長方形状等の長尺状である。ただし、第３方向Ａ３から見た熱電変換素子２０の形状は、扇形状等の任意の形状であってよい。熱電変換素子２０の長手方向は、第１方向Ａ１に沿う。熱電変換素子２０の長手方向は、第１方向Ａ１に平行であってよい。熱電変換素子２１～２８の形状は、同じ形状であってよい。図２及び図３に示すように、熱電変換素子２０の断面形状は、薄膜状であってよい。
　熱電変換素子２０は、第１方向Ａ１において第１端部２０Ｈ及び第２端部２０Ｌを有する。第１端部２０Ｈは、熱電変換モジュール１の第１縁部１Ｈの方に位置する。第２端部２０Ｌは、熱電変換モジュール１の第２縁部１Ｌの方に位置する。なお、熱電変換素子２１～２８の第１端部２０Ｈは、各々、「第１端部２１Ｈ」、「第１端部２２Ｈ」、「第１端部２３Ｈ」、「第１端部２４Ｈ」、「第１端部２５Ｈ」、「第１端部２６Ｈ」、「第１端部２７Ｈ」及び「第１端部２８Ｈ」とも記載される。また、熱電変換素子２１～２８の第２端部２０Ｌは、各々、「第２端部２１Ｌ」、「第２端部２２Ｌ」、「第２端部２３Ｌ」、「第２端部２４Ｌ」、「第２端部２５Ｌ」、「第２端部２６Ｌ」、「第２端部２７Ｌ」及び「第２端部２８Ｌ」とも記載される。なお、図１に示す構成では、第１端部２１Ｈ～２８Ｈの第１方向Ａ１における位置が異なる。ただし、第１端部２１Ｈ～２８Ｈの第１方向Ａ１における位置は、同じであってよい。また、図１に示す構成では、第２端部２１Ｌ～２８Ｌの第１方向Ａ１における位置が異なる。ただし、第２端部２１Ｌ～２８Ｌの第１方向Ａ１における位置は、同じであってよい。
　熱電変換素子２０は、第１端部２０Ｈと第２端部２０Ｌとの間の温度差を利用することにより、発電し得る。具体的には、熱電変換素子２０の第１端部２０Ｈの温度は、第１端部２０Ｈが第２端部２０Ｌよりも第１縁部１Ｈの方に位置することにより、第２端部２０Ｌの温度よりも高くなり得る。第１端部２０Ｈの温度が第２端部２０Ｌの温度よりも高くなることにより、第１端部２０Ｈと第２端部２０Ｌとの間で温度差が生じ得る。第１端部２０Ｈと第２端部２０Ｌとの間で温度差が生じることにより、熱電変換素子２０において温度勾配が生じ得る。この温度勾配に起因するゼーベック効果によって起電力が生じることにより、熱電変換素子２０は、発電し得る。
　本実施形態では、複数の熱電変換素子２０は、後述のように接続部３０によって、第１電極３１から第２電極３２に亘って、熱電変換素子２１～２８の順番で電気的に直列接続される。このように複数の熱電変換素子２０が電気的に直列接続されることにより、複数の熱電変換素子２０が発電した際、図４に示すように、熱電変換モジュール１において１本の電流経路が生じ得る。図４において、電流Ｉ２１，Ｉ２２，Ｉ２３，Ｉ２４，Ｉ２５，Ｉ２６，Ｉ２７，Ｉ２８の各々は、熱電変換素子２１～２８の各々を流れる電流である。
　ここで、接続部３０によって電気的に直列接続される複数の熱電変換素子２０のうちの第１電極３１から数えて奇数番目の熱電変換素子２０は、シート基板１０の表面１０Ａの側に位置する。本実施形態では、第１電極３１から数えて奇数番目の熱電変換素子２０は、１番目の熱電変換素子２１、３番目の熱電変換素子２３、５番目の熱電変換素子２５及び７番目の熱電変換素子２７となる。つまり、熱電変換素子２１，２３，２５，２７がシート基板１０の表面１０Ａの側例えば絶縁層１２の表面１２Ａの側に位置する。熱電変換素子２１，２３，２５，２７は、表面１０Ａにおいて第２方向Ａ２に沿って並ぶ。熱電変換素子２１，２３，２５，２７は、第２方向Ａ２に沿って隙間を空けて並んでよい。当該隙間の幅は、第２方向Ａ２に隣り合う２つの熱電変換素子２０の間の絶縁を確保できれば、任意であってよい。
　また、接続部３０によって電気的に直列接続される複数の熱電変換素子２０のうちの第１電極３１から数えて偶数番目の熱電変換素子２０は、シート基板１０の裏面１０Ｂの側に位置する。本実施形態では、第１電極３１から数えて偶数番目の熱電変換素子２０は、２番目の熱電変換素子２２、４番目の熱電変換素子２４、６番目の熱電変換素子２６及び８番目の熱電変換素子２８となる。つまり、熱電変換素子２２，２４，２６，２８がシート基板１０の裏面１０Ｂの側例えば基板１１の裏面１１Ｂの側に位置する。熱電変換素子２２，２４，２６，２８は、裏面１０Ｂにおいて第２方向Ａ２に沿って並ぶ。熱電変換素子２２，２４，２６，２８は、第２方向Ａ２に沿って隙間を空けて並んでよい。当該隙間の幅は、第２方向Ａ２に隣り合う２つの熱電変換素子２０の間の絶縁を確保できれば、任意であってよい。
　このようにシート基板１０の表面１０Ａ及び裏面１０Ｂの両面に熱電変換素子２０が位置することにより、熱電変換モジュール１における熱電変換素子２０の密度が高められ得る。熱電変換モジュール１における熱電変換素子２０の密度が高められることにより、熱電変換モジュール１は、発電電力を高めつつ、小型化され得る。
　図１に示すようにシート基板１０を平面視した際にすなわち第３方向Ａ３から見た際、シート基板１０の表面１０Ａの側に位置する熱電変換素子２０の少なくとも一部は、シート基板１０の裏面１０Ｂの側に位置する熱電変換素子２０の少なくとも一部に、重なってよい。このような構成により、熱電変換モジュール１が小型化され得る。ただし、第３方向Ａ３から見た際、シート基板１０の表面１０Ａの側に位置する熱電変換素子２０の少なくとも一部は、シート基板１０の裏面１０Ｂの側に位置する熱電変換素子２０の少なくとも一部に重ならなくてもよい。
　熱電変換素子２１～２８の全ての各々の形状は、略同寸法の長方形状であってよい。熱電変換素子２１～２８の全ての各々の形状が略同寸法の長方形状であることにより、シート基板１０の表面１０Ａ及び裏面１０Ｂの各々に熱電変換素子２０を効率良く並べることができる。このような構成により、熱電変換モジュールが小型化され得る。ただし、熱電変換素子２１～２８の全ての各々の形状は、略同寸法の形状であれば、扇形状等の任意の形状であってもよい。熱電変換素子２１～２８の全ての各々の形状が略同寸法の形状であることにより、シート基板１０の表面１０Ａ及び裏面１０Ｂの各々に熱電変換素子２０を効率良く並べることができる。
　熱電変換素子２１～２８は、熱電変換素子２１～２８の各々の電気抵抗値が略同一となるように、熱電変換素子２１～２８の各々の第１方向Ａ１に沿う長さ、熱電変換素子２１～２８の各々の第２方向Ａ２に沿う幅及び熱電変換素子２１～２８の各々の第３方向Ａ３における厚さを調整して構成されていてよい。ここで、熱電変換素子２１～２８の電気抵抗値が異なると、熱電変換素子２１～２８が電気的に直列接続される場合、電気抵抗値が小さい熱電変換素子２０によって熱電変換モジュール１に生じ得る電流が決まってしまう。熱電変換素子２１～２８の各々の電気抵抗値が略同一となることにより、電気抵抗値が小さい熱電変換素子２０によって熱電変換モジュール１に生じ得る電流が決まってしまうことが抑制され得る。このような構成により、熱電変換モジュール１における電力損失が低減され得る。
　図１に示すような第１電極３１及び第２電極３２の各々は、導電性を有する。第１電極３１及び第２電極３２の各々を形成するための導電性材料としては、特に限定されることなく、銅又はアルミニウム等の任意の金属を用いることができる。
　第１電極３１及び第２電極３２の各々には、熱電変換モジュール１が発電した電力を取り出すための取り出し配線が電気的に接続されていてよい。
　図３に示すように、第１電極３１及び第２電極３２の各々は、シート基板１０の中に例えば基板１１の表面１１Ａに位置してよい。第１電極３１は、電極５１よりも第２方向Ａ２の反対方向側に位置してよい。第１電極３１と電極５１との間の隙間の幅は、これら２つの絶縁を確保できれば、任意であってよい。第２電極３２は、電極５３よりも第２方向Ａ２側に位置してよい。第２電極３２と電極５３との間の隙間の幅は、これら２つの絶縁を確保できれば、任意であってよい。
　第１電極３１は、例えば、負極として機能する。第１電極３１は、電気的に直列接続される複数の熱電変換素子２０の２つの端部のうちの負極となる端部に、電気的に接続される。本実施形態では、図３に示すように、第１電極３１は、熱電変換素子２１の第２端部２１Ｌに電気的に接続される。例えば、第１電極３１の少なくとも一部は、絶縁層１２の開口部１２ｅから露出する。開口部１２ｅから露出した第１電極３１の少なくとも一部は、第２接合部材７１によって熱電変換素子２１の第２端部２１Ｌに電気的に接続される。
　第２電極３２は、例えば、正極として機能する。第２電極３２は、電気的に直列接続される複数の熱電変換素子２０の２つの端部のうちの正極となる端部に、電気的に接続される。本実施形態では、図３に示すように、第２電極３２は、熱電変換素子２８の第２端部２８Ｌに電気的に接続される。例えば、第２電極３２の少なくとも一部は、基板１１の開口部１１ｈから露出する。開口部１１ｈから露出した第２電極３２の少なくとも一部は、第２接合部材７１によって熱電変換素子２８の第２端部２８Ｌに電気的に接続される。
　接続部３０は、第１電極３１から第２電極３２に亘って、複数の熱電変換素子２０を、各熱電変換素子２０の長尺状の端部すなわち第１端部２０Ｈ又は第２端部２０Ｌにて電気的に直列接続する。本実施形態では、接続部３０は、第１電極３１から第２電極３２に亘って、熱電変換素子２１～２８の順番で、複数の熱電変換素子２０を電気的に直列接続する。以下、この接続態様の一例を説明する。上述のように、接続部３０は、複数の電極４０と、複数の電極５０と、複数の第１接合部材６０と、複数の第２接合部材７０とを有する。
　電極４０は、導電性を有する。電極４０を形成するための導電性材料としては、特に限定されることなく、銅又はアルミニウム等の任意の金属を用いることができる。
　図２に示すように、電極４０は、シート基板１０の中に例えば基板１１の表面１１Ａに位置してよい。電極４１～４４は、隙間を空けて第２方向Ａ２に沿って並んでよい。当該隙間の幅は、第２方向Ａ２に隣り合う２つの電極４０間の絶縁を確保できれば、任意であってよい。
　電極４０は、シート基板１０の表面１０Ａの側に位置する熱電変換素子２０の第１端部２０Ｈと、シート基板１０の裏面１０Ｂの側に位置する熱電変換素子２０の第１端部２０Ｈとに電気的に接続される。
　電極４１は、表面１０Ａの側に位置する熱電変換素子２１の第１端部２１Ｈと、裏面１０Ｂの側に位置する熱電変換素子２２の第１端部２２Ｈとに電気的に接続される。例えば、電極４１の少なくとも一部は、絶縁層１２の開口部１２ａから露出する。開口部１２ａから露出した電極４１の少なくとも一部は、第１接合部材６１によって熱電変換素子２１の第１端部２１Ｈに電気的に接続される。また、電極４１の少なくとも一部は、基板１１の開口部１１ａから露出する。開口部１１ａから露出した電極４１の少なくとも一部は、第１接合部材６２によって熱電変換素子２２の第１端部２２Ｈに電気的に接続される。電極４１の第２方向Ａ２における位置は、熱電変換素子２１の第２方向Ａ２における位置及び熱電変換素子２２の第２方向Ａ２における位置に応じて、適宜設定されてよい。
　電極４２は、表面１０Ａの側に位置する熱電変換素子２３の第１端部２３Ｈと、裏面１０Ｂの側に位置する熱電変換素子２４の第１端部２４Ｈとに電気的に接続される。例えば、電極４２の少なくとも一部は、絶縁層１２の開口部１２ｂから露出する。開口部１２ｂから露出した電極４２の少なくとも一部は、第１接合部材６３によって熱電変換素子２３の第１端部２３Ｈに電気的に接続される。また、電極４２の少なくとも一部は、基板１１の開口部１１ｂから露出する。開口部１１ｂから露出した電極４２の少なくとも一部は、第１接合部材６４によって熱電変換素子２４の第１端部２４Ｈに電気的に接続される。電極４２の第２方向Ａ２における位置は、熱電変換素子２３の第２方向Ａ２における位置及び熱電変換素子２４の第２方向Ａ２における位置に応じて、適宜設定されてよい。
　電極４３は、表面１０Ａの側に位置する熱電変換素子２５の第１端部２５Ｈと、裏面１０Ｂの側に位置する熱電変換素子２６の第１端部２６Ｈとに電気的に接続される。例えば、電極４３の少なくとも一部は、絶縁層１２の開口部１２ｃから露出する。開口部１２ｃから露出した電極４３の少なくとも一部は、第１接合部材６５によって熱電変換素子２５の第１端部２５Ｈに電気的に接続される。また、電極４３の少なくとも一部は、基板１１の開口部１１ｃから露出する。開口部１１ｃから露出した電極４３の少なくとも一部は、第１接合部材６６によって熱電変換素子２６の第１端部２６Ｈに電気的に接続される。電極４３の第２方向Ａ２における位置は、熱電変換素子２５の第２方向Ａ２における位置及び熱電変換素子２６の第２方向Ａ２における位置に応じて、適宜設定されてよい。
　電極４４は、表面１０Ａの側に位置する熱電変換素子２７の第１端部２７Ｈと、裏面１０Ｂの側に位置する熱電変換素子２８の第１端部２８Ｈとに電気的に接続される。例えば、電極４４の少なくとも一部は、絶縁層１２の開口部１２ｄから露出する。開口部１２ｄから露出した電極４４の少なくとも一部は、第１接合部材６７によって熱電変換素子２７の第１端部２７Ｈに電気的に接続される。また、電極４４の少なくとも一部は、基板１１の開口部１１ｄから露出する。開口部１１ｄから露出した電極４４の少なくとも一部は、第１接合部材６８によって熱電変換素子２８の第１端部２８Ｈに電気的に接続される。電極４４の第２方向Ａ２における位置は、熱電変換素子２７の第２方向Ａ２における位置及び熱電変換素子２８の第２方向Ａ２における位置に応じて、適宜設定されてよい。
　電極５０は、導電性を有する。電極５０を形成するための導電性材料としては、特に限定されることなく、銅又はアルミニウム等の任意の金属を用いることができる。
　図３に示すように、電極５０は、シート基板１０の中に例えば基板１１の表面１１Ａに位置してよい。電極５１～５３は、第１電極３１と第２電極３２との間において、隙間を空けて第２方向Ａ２に沿って並んでよい。当該隙間の幅は、第２方向Ａ２に隣り合う２つの電極５０間の絶縁を確保できれば、任意であってよい。
　電極５０は、シート基板１０の表面１０Ａの側に位置する熱電変換素子２０の第２端部２０Ｌと、シート基板１０の裏面１０Ｂの側に位置する熱電変換素子２０の第２端部２０Ｌとに電気的に接続される。
　電極５１は、表面１０Ａの側に位置する熱電変換素子２２の第２端部２２Ｌと、裏面１０Ｂの側に位置する熱電変換素子２３の第２端部２３Ｌとに電気的に接続される。例えば、電極５１の少なくとも一部は、基板１１の開口部１１ｅから露出する。開口部１１ｅから露出した第２電極の少なくとも一部は、第２接合部材７２によって熱電変換素子２２の第２端部２２Ｌに電気的に接続される。また、電極５１の少なくとも一部は、絶縁層１２の開口部１２ｆから露出する。開口部１２ｆから露出した電極５１の少なくとも一部は、第２接合部材７３によって熱電変換素子２３の第２端部２３Ｌに電気的に接続される。電極５１の第２方向Ａ２における位置は、熱電変換素子２２の第２方向Ａ２における位置及び熱電変換素子２３の第２方向Ａ２における位置に応じて、適宜設定されてよい。
　電極５２は、表面１０Ａの側に位置する熱電変換素子２４の第２端部２４Ｌと、裏面１０Ｂの側に位置する熱電変換素子２５の第２端部２５Ｌとに電気的に接続される。例えば、電極５２は、基板１１の開口部１１ｆから露出する。開口部１１ｆから露出した電極５２の少なくとも一部は、第２接合部材７４によって熱電変換素子２４の第２端部２４Ｌに電気的に接続される。また、電極５２の少なくとも一部は、絶縁層１２の開口部１２ｇから露出する。開口部１２ｇから露出した電極５２の少なくとも一部は、第２接合部材７５によって熱電変換素子２５の第２端部２５Ｌに電気的に接続される。電極５１の第２方向Ａ２における位置は、熱電変換素子２４の第２方向Ａ２における位置及び熱電変換素子２５の第２方向Ａ２における位置に応じて、適宜設定されてよい。
　電極５３は、表面１０Ａの側に位置する熱電変換素子２６の第２端部２６Ｌと、裏面１０Ｂの側に位置する熱電変換素子２７の第２端部２７Ｌとに電気的に接続される。例えば、電極５３の少なくとも一部は、基板１１の開口部１１ｇから露出する。開口部１１ｇから露出した電極５３の少なくとも一部は、第２接合部材７６によって熱電変換素子２６の第２端部２６Ｌに電気的に接続される。また、電極５３の少なくとも一部は、絶縁層１２の開口部１２ｈから露出する。開口部１２ｈから露出した電極５３の少なくとも一部は、第２接合部材７７によって熱電変換素子２７の第２端部２７Ｌに電気的に接続される。
　第１接合部材６０は、導電性を有する。第１接合部材６０は、銀ペースト又ははんだ等の任意の部材で形成されていてよい。
　第１接合部材６１は、電極４１と、シート基板１０の表面１０Ａの側に位置する熱電変換素子２１の第１端部２１Ｈとを電気的に接続する。例えば、図２に示すように、第１接合部材６１の少なくとも一部は、絶縁層１２の開口部１２ａの中に位置する。第１接合部材６１は、開口部１２ａを介して電極４１と熱電変換素子２１の第１端部２１Ｈとを電気的に接続する。図１に示すように、第１接合部材６１は、開口部１２ａから熱電変換素子２１の第１端部２１Ｈまで延びてよい。
　第１接合部材６２は、電極４１と、シート基板１０の裏面１０Ｂの側に位置する熱電変換素子２２の第１端部２２Ｈとを電気的に接続する。例えば、図２に示すように、第１接合部材６２の少なくとも一部は、基板１１の開口部１１ａの中に位置する。第１接合部材６２は、開口部１１ａを介して電極４１と熱電変換素子２２の第１端部２２Ｈとを電気的に接続する。図１に示すように、第１接合部材６２は、開口部１１ａから熱電変換素子２２の第１端部２２Ｈまで延びてよい。
　第１接合部材６３は、電極４２と、シート基板１０の表面１０Ａの側に位置する熱電変換素子２３の第１端部２２Ｈとを電気的に接続する。例えば、図２に示すように、第１接合部材６３の少なくとも一部は、絶縁層１２の開口部１２ｂの中に位置する。第１接合部材６３は、開口部１２ａを介して電極４２と熱電変換素子２３の第１端部２３Ｈとを電気的に接続する。図１に示すように、第１接合部材６３は、開口部１２ａから熱電変換素子２３の第１端部２３Ｈまで延びてよい。
　第１接合部材６４は、電極４２と、シート基板１０の裏面１０Ｂの側に位置する熱電変換素子２４の第１端部２４Ｈとを電気的に接続する。例えば、図２に示すように、第１接合部材６４の少なくとも一部は、基板１１の開口部１１ｂの中に位置する。第１接合部材６４は、開口部１１ｂを介して電極４２と熱電変換素子２４の第１端部２４Ｈとを電気的に接続する。図１に示すように、第１接合部材６４は、開口部１１ａから熱電変換素子２４の第１端部２４Ｈまで延びてよい。
　第１接合部材６５は、電極４３と、シート基板１０の表面１０Ａの側に位置する熱電変換素子２５の第１端部２５Ｈとを電気的に接続する。例えば、図２に示すように、第１接合部材６５の少なくとも一部は、絶縁層１２の開口部１２ｃの中に位置する。第１接合部材６４は、開口部１２ｃを介して電極４３と熱電変換素子２５の第１端部２５Ｈとを電気的に接続する。図１に示すように、第１接合部材６５は、開口部１２ｃから熱電変換素子２５の第１端部２５Ｈまで延びてよい。
　第１接合部材６６は、電極４３と、シート基板１０の裏面１０Ｂの側に位置する熱電変換素子２６の第１端部２６Ｈとを電気的に接続する。例えば、図２に示すように、第１接合部材６５の少なくとも一部は、基板１１の開口部１１ｃの中に位置する。第１接合部材６５は、開口部１１ｃを介して電極４３と熱電変換素子２６の第１端部２６Ｈとを電気的に接続する。図１に示すように、第１接合部材６６は、開口部１１ｃから熱電変換素子２６の第１端部２６Ｈまで延びてよい。
　第１接合部材６７は、電極４４と、シート基板１０の表面１０Ａの側に位置する熱電変換素子２７の第１端部２７Ｈとを電気的に接続する。例えば、図２に示すように、第１接合部材６７の少なくとも一部は、絶縁層１２の開口部１２ｄの中に位置する。第１接合部材６７は、開口部１２ｄを介して電極４４と熱電変換素子２７の第１端部２７Ｈとを電気的に接続する。図１に示すように、第１接合部材６７は、開口部１２ｄから熱電変換素子２７の第１端部２７Ｈまで延びてよい。
　第１接合部材６８は、電極４４と、シート基板１０の裏面１０Ｂの側に位置する熱電変換素子２８の第１端部２８Ｈとを電気的に接続する。例えば、図２に示すように、第１接合部材６８の少なくとも一部は、基板１１の開口部１１ｄの中に位置する。第１接合部材６８は、開口部１１ｄを介して電極４４と熱電変換素子２８の第１端部２８Ｈとを電気的に接続する。図１に示すように、第１接合部材６８は、開口部１１ｄから熱電変換素子２８の第１端部２８Ｈまで延びてよい。
　第２接合部材７０は、導電性を有する。第２接合部材７０は、銀ペースト又ははんだ等の任意の部材で形成されていてよい。
　第２接合部材７１は、第１電極３１と、シート基板１０の表面１０Ａの側に位置する熱電変換素子２１の第２端部２１Ｌとを電気的に接続する。例えば、図３に示すように、第２接合部材７１の少なくとも一部は、絶縁層１２の開口部１２ｅの中に位置する。第２接合部材７１は、開口部１２ｅを介して第１電極３１と熱電変換素子２１の第２端部２１Ｌとを電気的に接続する。図１に示すように、第２接合部材７１は、開口部１２ｅから熱電変換素子２１の第２端部２１Ｌまで延びてよい。
　第２接合部材７２は、電極５１と、シート基板１０の裏面１０Ｂの側に位置する熱電変換素子２２の第２端部２２Ｌとを電気的に接続する。例えば、図３に示すように、第２接合部材７２の少なくとも一部は、基板１１の開口部１１ｅの中に位置する。第２接合部材７２は、開口部１１ｅを介して電極５１と熱電変換素子２２の第２端部２２Ｌとを電気的に接続する。図１に示すように、第２接合部材７２は、開口部１１ｅから熱電変換素子２２の第２端部２２Ｌまで延びてよい。
　第２接合部材７３は、電極５１と、シート基板１０の表面１０Ａの側に位置する熱電変換素子２３の第２端部２３Ｌとを電気的に接続する。例えば、図３に示すように、第２接合部材７３の少なくとも一部は、絶縁層１２の開口部１２ｆの中に位置する。第２接合部材７３は、開口部１２ｆを介して電極５１と熱電変換素子２３の第２端部２３Ｌとを電気的に接続する。図１に示すように、第２接合部材７３は、開口部１２ｆから熱電変換素子２３の第２端部２３Ｌまで延びてよい。
　第２接合部材７４は、電極５２と、シート基板１０の裏面１０Ｂの側に位置する熱電変換素子２４の第２端部２４Ｌとを電気的に接続する。例えば、図３に示すように、第２接合部材７４の少なくとも一部は、基板１１の開口部１１ｆの中に位置する。第２接合部材７４は、開口部１１ｆを介して電極５２と熱電変換素子２４の第２端部２４Ｌとを電気的に接続する。図１に示すように、第２接合部材７４は、開口部１１ｆから熱電変換素子２４の第２端部２４Ｌまで延びてよい。
　第２接合部材７５は、電極５２と、シート基板１０の表面１０Ａの側に位置する熱電変換素子２５の第２端部２５Ｌとを電気的に接続する。例えば、図３に示すように、第２接合部材７５の少なくとも一部は、絶縁層１２の開口部１２ｇの中に位置する。第２接合部材７５は、開口部１２ｇを介して電極５２と熱電変換素子２５の第２端部２５Ｌとを電気的に接続する。図１に示すように、第２接合部材７５は、開口部１２ｇから熱電変換素子２５の第２端部２５Ｌまで延びてよい。
　第２接合部材７６は、電極５３と、シート基板１０の裏面１０Ｂの側に位置する熱電変換素子２６の第２端部２６Ｌとを電気的に接続する。例えば、図３に示すように、第２接合部材７６の少なくとも一部は、基板１１の開口部１１ｇの中に位置する。第２接合部材７６は、開口部１１ｇを介して電極５３と熱電変換素子２６の第２端部２６Ｌとを電気的に接続する。図１に示すように、第２接合部材７６は、開口部１１ｇから熱電変換素子２６の第２端部２６Ｌまで延びてよい。
　第２接合部材７７は、電極５３と、シート基板１０の表面１０Ａの側に位置する熱電変換素子２７の第２端部２７Ｌとを電気的に接続する。例えば、図３に示すように、第２接合部材７７の少なくとも一部は、絶縁層１２の開口部１２ｈの中に位置する。第２接合部材７７は、開口部１２ｈを介して電極５３と熱電変換素子２７の第２端部２７Ｌとを電気的に接続する。図１に示すように、第２接合部材７７は、開口部１２ｈから熱電変換素子２７の第２端部２７Ｌまで延びてよい。
　第２接合部材７８は、第２電極３２と、シート基板１０の裏面１０Ｂの側に位置する熱電変換素子２８の第２端部２８Ｌとを電気的に接続する。例えば、図３に示すように、第２接合部材７８の少なくとも一部は、基板１１の開口部１１ｈの中に位置する。第２接合部材７８は、開口部１１ｈを介して第２電極３２と熱電変換素子２８の第２端部２８Ｌとを電気的に接続する。図１に示すように、第２接合部材７８は、開口部１１ｈから熱電変換素子２８の第２端部２８Ｌまで延びてよい。
　このように熱電変換モジュール１では、シート基板１０の表面１０Ａ及び裏面１０Ｂの両面に熱電変換素子２０が位置する。このような構成により、熱電変換モジュール１における熱電変換素子２０の密度が高められつつ、熱電変換モジュール１が小型化され得る。よって、本実施形態によれば、発電電力を高めつつ、小型化された熱電変換モジュール１が提供され得る。
　（第１実施形態の変形例）
　図５は、本発明の第１実施形態の変形例に係る熱電変換モジュール１０１の外観図である。図６は、図５に示すＬ３－Ｌ３線に沿った熱電変換モジュール１０１の断面図である。図７は、図５に示すＬ４－Ｌ４線に沿った熱電変換モジュール１０１の断面図である。
　変形例に係る熱電変換モジュール１０１では、第３方向Ａ３から見た際、シート基板１０の表面１０Ａの側に位置する熱電変換素子２０の全体と、シート基板１０の裏面１０Ｂの側に位置する熱電変換素子２０の全体とが重なる。このような構成により、熱電変換モジュール１０１における熱電変換素子２０の密度がより高められつつ、熱電変換モジュール１０１が小型化され得る。
　変形例では、図６に示すように、第３方向Ａ３から見た際、絶縁層１２の開口部１２ａ～１２ｄの各々の位置と、基板１１の開口部１１ａ～１１ｄの各々の位置とは、同じであってよい。また、第３方向Ａ３から見た際、第１接合部材６１，６３，６５，６７の各々の位置と、第２接合部材７１，７３，７５，７７の各々の位置とは、同じであってよい。
　第１実施形態の変形例に係る熱電変換モジュール１０１のその他の構成及び効果は、第１実施形態に係る熱電変換モジュール１と同様である。
　（熱電変換モジュールの製造方法）
　図８は、図１に示す熱電変換モジュール１の製造方法を示すフローチャートである。熱電変換モジュール１の製造方法は、配置工程Ｓ１０と、形成工程Ｓ１１，Ｓ１２，Ｓ１３，Ｓ１４，Ｓ１５，Ｓ１６と、接続工程Ｓ１７とを含む。ただし、本実施形態に係る熱電変換モジュール１の製造方法は、以下に説明する製造方法に限定されない。なお、図１１から図１４は、図２に示す断面図に相当する。
　＜配置工程Ｓ１０＞
　配置工程Ｓ１０は、図９に示すように、基板１１に金属箔３３を配置する工程である。金属箔３３は、基板１１の表面１１Ａに配置されてよい。金属箔３３は、熱伝導性を有する任意の接着剤によって、基板１１の表面１１Ａに接着されてよい。金属箔３３は、蒸着、スパッタ又はメッキ法等の任意の成膜方法によって、基板１１の表面１１Ａに形成されてもよい。金属箔３３は、後述の形成工程Ｓ１１等を経て、第１電極３１、第２電極３２、電極４０及び電極５０となり得る。金属箔３３は、銅又はアルミニウム等の任意の金属箔であってよい。
　＜形成工程Ｓ１１＞
　形成工程Ｓ１１（電極層形成工程）は、金属箔３３をパターニングすることにより、図１０に示すような電極層３４を形成する工程である。金属箔３３のパターニングには、公知のフォトリソグラフィ等が用いられてよい。電極層３４は、第１電極３１と、第２電極３２と、電極４０と、電極５０とを有する。本実施形態では、電極層３４は、基板１１における表面１１Ａの上のみに形成される。ただし、電極層３４は、基板１１の表面１１Ａ及び裏面１１Ｂの少なくとも一方の面上に形成されればよい。
　＜形成工程Ｓ１２＞
　形成工程Ｓ１２は、図１１に示すように基板１１の開口部１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄを形成し、図３に示すような基板１１の開口部１１ｅ，１１ｆ，１１ｇ，１１ｈを形成する工程である。任意の加熱レーザによって、開口部１１ａ～１１ｈが形成されてよい。
　＜形成工程Ｓ１３＞
　形成工程Ｓ１３（絶縁層形成工程）は、図１２に示すように、基板１１に形成された電極層３４の上に絶縁層１２を形成する工程である。絶縁層１２は、基板１１及び電極層３４の上に形成されてよい。形成工程Ｓ１３では、電極層３４に絶縁材料を塗布することにより、絶縁層１２が形成されてよい。シート基板１０は、基板１１及び絶縁層１２を備えて構成される。
　＜形成工程Ｓ１４＞
　形成工程Ｓ１４は、図１３に示すように絶縁層１２の開口部１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄを形成し、図３に示すような絶縁層１２の開口部１２ｅ，１２ｆ，１２ｇ，１２ｈを形成する工程である。任意の加熱レーザによって、開口部１２ａ～１２ｈが形成されてよい。
　＜形成工程Ｓ１５＞
　形成工程Ｓ１５（素子形成工程）は、絶縁層１２の上、及び、基板１１において電極層３４が形成されない面上に、熱電変換素子層を形成する工程である。形成工程Ｓ１５は、シート基板１０の表面１０Ａ及び裏面１０Ｂの各々に熱電変換素子層を形成する工程であってよい。熱電変換素子層は、ＣＮＴを含んで形成されている層である。熱電変換素子層は、後述の形成工程Ｓ１６等を経た後、熱電変換素子２０になり得る。上述のように、熱電変換素子２０を形成するための熱電変換材料にＣＮＴを用いると、熱電変換モジュール１の機械的強度をさらに向上させるとともに、軽量化することができる。熱電変換素子層がＣＮＴを含んで形成されていることにより、機械的強度をさらに向上させるとともに、軽量化された熱電変換モジュール１が製造され得る。
　本実施形態では、熱電変換素子層は、図１４に示すようなＣＮＴシート２９Ｐ及びＣＮＴシート２９Ｎ（カーボンナノチューブシート）であるものとする。ＣＮＴシート２９Ｐ，２９Ｎは、ＣＮＴを含んで形成されている。本実施形態では、形成工程Ｓ１５は、ＣＮＴシート２９Ｐをシート基板１０の表面１０Ａ例えば絶縁層１２の表面１２Ａに配置し、ＣＮＴシート２９Ｎをシート基板１０の裏面１０Ｂ例えば基板１１の裏面１１Ｂに配置する工程となる。
　ＣＮＴシート２９Ｐは、ｐ型のＣＮＴシートである。ＣＮＴシート２９Ｐは、エポキシ樹脂等の任意の接着シートによって、シート基板１０の表面１０Ａに接着されてよい。ＣＮＴシート２９Ｐは、後述の形成工程Ｓ１６等を経た後、熱電変換素子２１，２３，２５，２７になり得る。
　ＣＮＴシート２９Ｎは、ｎ型のＣＮＴシートである。ＣＮＴシート２９Ｎは、エポキシ樹脂等の任意の接着シートによって、シート基板１０の裏面１０Ｂに接着されてよい。ＣＮＴシート２９Ｎは、後述の形成工程Ｓ１６等を経た後、熱電変換素子２２，２４，２６，２８になり得る。
　以下、ＣＮＴシート２９ＰとＣＮＴシート２９Ｎとを特に区別しない場合、これらは、まとめて「ＣＮＴシート２９」とも記載される。
　ＣＮＴシート２９の第３方向Ａ３における厚さは、５０[μｍ]程度であってよい。ＣＮＴシート２９の厚さが５０[μｍ]程度になることにより、熱電変換素子２０の電気的特性が発揮され得る。例えば、熱電変換素子２０の電気的特性として熱電変換素子２０の発電量が、ある程度確保され得る。
　なお、形成工程Ｓ１５では、ＣＮＴシート２９の代わりに、ＣＮＴの分散液を用いた塗布法によって形成されたＣＮＴの塗布膜が、絶縁層１２又は基板１１に配置されてもよい。ただし、ＣＮＴの塗布膜では、ＣＮＴの分散液を乾燥させる過程でＣＮＴが凝集することにより、ＣＮＴの塗布膜の導電性が低下したり、ＣＮＴの塗布膜の自立性が低下したりするといった問題が生じ得る。また、塗布法によって厚さが５０［μｍ］のＣＮＴの塗布膜を生成するためには、ＣＮＴの分散液にバインダを入れることが求められる。しかしながら、ＣＮＴの分散液にバインダを入れると、結果的にＣＮＴの塗布膜の導電性が低下するといった問題が生じ得る。このような問題は、形成工程Ｓ１５においてＣＮＴシート２９を用いることにより、解決され得る。
　ＣＮＴシート２９としては、特に限定されることなく、特願２０１８－０６５２９０号に記載のものを用いることができる。ＣＮＴシート２９は、複数本の単層ＣＮＴが絡み合ってなるバンドルを含んでよい。当該バンドルの太さは、１[μｍ]以下であってよい。当該バンドルの太さが１[μｍ]以下となることにより、後述の形成工程Ｓ１６におけるレーザによる熱電変換素子２０の切断面の毛羽立ちが低減され得る。熱電変換素子２０の毛羽立ちが低減されることにより、熱電変換素子２０の毛羽立ちに起因する短絡が生じることが抑制され得る。
　形成工程Ｓ１５では、ＣＮＴシート２９の状態に応じては、後述の形成工程Ｓ１６におけるレーザによるダメージを低減させるために、ＣＮＴシート２９にカバーとなるシートが配置されてもよいし、又はＣＮＴシート２９に樹脂材料が塗布されてもよい。
　＜形成工程Ｓ１６＞
　形成工程Ｓ１６（熱電変換素子形成工程）は、熱電変換素子層すなわちＣＮＴシート２９を第１方向Ａ１に沿って切断し、第２方向Ａ２に並ぶ複数の熱電変換素子２０を形成する工程である。ＣＮＴシート２９を第１方向Ａ１に沿って切断することにより、図１５に示すような隙間ｓ１が形成される。隙間ｓ１によって第２方向Ａ２に隣り合う２つの熱電変換素子２０が区画され得る。
　形成工程Ｓ１６は、レーザを用いて実施されてよい。形成工程Ｓ１６では、レーザによってＣＮＴシート２９Ｐ，２９Ｎの各々が第１方向Ａ１に沿って切断されてよい。レーザは、第３方向Ａ３側からＣＮＴシート２９Ｐに向けて照射されてよい。また、レーザは、第３方向Ａ３の反対方向側からＣＮＴシート２９Ｎに向けて照射されてよい。レーザによってＣＮＴシート２９が第１方向Ａ１に沿って切断されることにより、図１５に示すような隙間ｓ１が形成され得る。
　形成工程Ｓ１６では、ＵＶ（Ultra Violet）レーザ若しくはナノ秒レーザ又はフェムト秒レーザによって、ＣＮＴシート２９が第１方向Ａ１に沿って切断されてよい。ただし、形成工程Ｓ１６に用いられるレーザは、これらのレーザに限定されない。形成工程Ｓ１６では、第３方向Ａ３側からＣＮＴシート２９Ｐに向けて照射した場合にＣＮＴシートＰのみを切断可能な、及び第３方向Ａ３の反対方向側からＣＮＴシート２９Ｎに向けて照射した場合にＣＮＴシートＮのみを切断可能な、任意のレーザが用いられてよい。出力が５[Ｗ]のＵＶレーザが用いられる場合、当該ＵＶレーザは、ＣＮＴシート２９の隙間ｓ１に対応する箇所を第１方向Ａ１に沿って十回から数十回程度スキャンしてよい。
　ここで、ＣＮＴシート２９の面内方向の熱伝導率は、ＣＮＴシート２９の厚み方向の熱伝導率の１００倍程度となり得る。例えば、ＣＮＴシート２９の第２方向Ａ２における熱伝導率は、ＣＮＴシート２９の第３方向Ａ３における熱伝導率の１００倍程度となり得る。そのため、形成工程Ｓ１６においてＹＡＧ（Yttrium Aluminum Garnet）レーザ等の加熱レーザを用いると、当該加熱レーザによってＣＮＴシート２９を第１方向Ａ１に沿って切断していく際に、隙間ｓ１が第２方向Ａ２において広がってしまう場合がある。例えば、ＣＮＴシート２９の第３方向Ａ３における厚さが５０[μｍ]程度である場合に形成工程Ｓ１６にて加熱レーザを用いると、隙間ｓ１が第２方向Ａ２において５ｍｍ程度広がってしまう場合がある。
　これに対し、形成工程Ｓ１６にてＵＶレーザ若しくはナノ秒レーザ又はフェムト秒レーザ等のレーザを用いると、レーザによる熱の発生が低減され得る。形成工程Ｓ１６にてレーザによる熱の発生が低減されることにより、隙間ｓ１が第２方向Ａ２において広がることが抑制され得る。隙間ｓ１が第２方向Ａ２において広がることが抑制されることにより、熱電変換モジュール１における熱電変換素子２０の密度が高められ得る。熱電変換モジュール１における熱電変換素子２０の密度が高まることにより、熱電変換モジュール１が小型化され得る。
　さらに、ＵＶレーザのスポット径は、他のレーザのスポット径よりも、小さくなり得る。例えば、ＵＶレーザのスポット径は、８[μｍ]程度になり得る。ＵＶレーザのスポット径が小さいことにより、ＣＮＴシート２９へのＵＶレーザの焦点が絞られ得る。形成工程Ｓ１６にてＵＶレーザを用いる場合、ＣＮＴシート２９へのＵＶレーザの焦点が絞られ、さらにＵＶレーザによる熱の発生が低減されることにより、ＣＮＴシート２９のパターニングの加工精度が向上され得る。例えば、隙間ｓ１の第２方向Ａ２における幅が０．０５[ｍｍ]から０．１[ｍｍ]程度になり得る。ＣＮＴシート２９のパターニングの加工精度が向上されることにより、熱電変換モジュール１における熱電変換素子２０の密度がより高められ、熱電変換モジュール１がより小型化され得る。
　形成工程Ｓ１６にレーザを用いることにより、レーザによるＣＮＴシート２９のパターニングがコンピュータ制御により実施可能になる。このような構成により、形成工程Ｓ１６が簡便になり得る。
　＜接続工程Ｓ１７＞
　接続工程Ｓ１７は、複数の熱電変換素子２０の全てが電気的に直列接続されるように、各熱電変換素子２０の端部すなわち第１端部２０Ｈ又は第２端部２０Ｌを接続部３０によって電気的に接続する工程である。
　本実施形態に係る接続工程Ｓ１７は、銀ペーストを塗布する工程である。
　接続工程Ｓ１７において、図１に示すような絶縁層１２の開口部１２ａ～１２ｄの各々から、熱電変換素子２１の第１端部２１Ｈ、熱電変換素子２３の第１端部２３Ｈ、熱電変換素子２５の第１端部２５Ｈ及び熱電変換素子２７の第１端部２７Ｈの各々まで、第１方向Ａ１に沿って銀ペーストが塗布される。この銀ペーストの一部は、開口部１２ａ～１２ｄの各々に充填されて電極４１～４４の各々に電気的に接続される。これらの銀ペーストは、乾燥後、第１接合部材６１，６３，６５，６７となり得る。
　接続工程Ｓ１７において、図１に示すような基板１１の開口部１１ａ～１１ｄの各々から、熱電変換素子２２の第１端部２２Ｈ、熱電変換素子２４の第１端部２４Ｈ、熱電変換素子２６の第１端部２６Ｈ及び熱電変換素子２８の第１端部２８Ｈの各々まで、第１方向Ａ１に沿って銀ペーストが塗布される。この銀ペーストの一部は、開口部１１ａ～１１ｄに充填されて電極４１～４４の各々に電気的に接続される。これらの銀ペーストは、乾燥後、第１接合部材６２，６４，６６，６８となり得る。
　接続工程Ｓ１７において、図１に示すような絶縁層１２の開口部１２ｅから熱電変換素子２１の第２端部２１Ｌまで第１方向Ａ１に沿って銀ペーストが塗布される。この銀ペーストの一部は、開口部１２ｅに充填されて第１電極３１に電気的に接続される。この銀ペーストは、乾燥後、第２接合部材７１となり得る。
　接続工程Ｓ１７において、図１に示すような絶縁層１２の開口部１２ｆ，１２ｇの各々から、熱電変換素子２３の第２端部２３Ｌ及び熱電変換素子２５の第２端部２５Ｌの各々まで、第１方向Ａ１に沿って銀ペーストが塗布される。これらの銀ペーストの一部は、開口部１２ｆ，１２ｇの各々に充填されて電極５１，５２の各々に電気的に接続される。これらの銀ペーストは、乾燥後、第２接合部材７３，７５となり得る。
　接続工程Ｓ１７において、図１に示すような基板１１の開口部１１ｅ～１１ｇの各々から、熱電変換素子２２の第２端部２２Ｌ、熱電変換素子２４の第２端部２４Ｌ、熱電変換素子２６の第２端部２６Ｌの各々まで、第１方向Ａ１に沿って銀ペーストが塗布される。これらの銀ペーストの一部は、開口部１１ｅ～１１ｇの各々に充填されて電極５１～５３の各々に電気的に接続される。これらの銀ペーストは、乾燥後、第２接合部材７２，７４，７６となり得る。
　接続工程Ｓ１７において、図１に示すような基板１１の開口部１１ｈから、熱電変換素子２８の第２端部２８Ｌまで、第１方向Ａ１に沿って銀ペーストが塗布される。この銀ペーストの一部は、開口部１１ｈに充填されて第２電極３２に電気的に接続される。この銀ペーストは、乾燥後、第２接合部材７８となり得る。
　このように本実施形態に係る熱電変換モジュール１の製造方法では、形成工程Ｓ１６において、ＵＶレーザ若しくはナノ秒レーザ又はフェムト秒レーザによって、ＣＮＴシート２９が第１方向Ａ１に沿って切断され得る。このような構成により、上述のように、図１５に示すような隙間ｓ１が第２方向Ａ２において広がることが抑制され得る。隙間ｓ１が第２方向Ａ２において広がることが抑制されることにより、熱電変換モジュール１における熱電変換素子２０の密度が高められ、熱電変換モジュール１が小型化され得る。
　なお、第１実施形態に係る熱電変換モジュール１は、基板１１の表面１１Ａにのみ電極層３４を備えるものとして説明した。また、シート基板１０の表面１０Ａの側に位置する熱電変換素子２０は、基板１１、電極層３４及び絶縁層１２を介して、シート基板１０の裏面１０Ｂの側に位置する熱電変換素子２０と電気的に接続されるものとして説明した。ただし、熱電変換モジュール１は、基板１１の表面１１Ａ及び裏面１１Ｂの両面に電極層３４を備えてもよい。この場合、熱電変換モジュール１は、基板１１の表面１１Ａ及び裏面１１Ｂの両面の電極層３４の各々の上に絶縁層１２を備えてよい。この場合、シート基板１０の表面１０Ａの側に位置する熱電変換素子２０は、絶縁層１２、電極層３４、基板１１、電極層３４、絶縁層１２を介して、シート基板１０の裏面１０Ｂの側に位置する熱電変換素子２０と電気的に接続されてよい。
　（第２実施形態）
　図１６は、本発明の第２実施形態に係る熱電変換モジュール２０１の外観図である。図１７は、図１６に示すＬ５－Ｌ５線に沿った熱電変換モジュール２０１の断面図である。図１８は、図１６に示すＬ６－Ｌ６線に沿った熱電変換モジュール２０１の断面図である。図１９は、図１４に示す電極層２３４を示す図である。図１９に示す構成は、後述の電極層２３４の形成工程Ｓ１１を実施した後の構成に対応する。図２０は、図１６に示す熱電変換モジュール１０１における電流経路を示す図である。
　熱電変換モジュール２０１は、第１実施形態と同様に、熱源２に配置可能である。熱電変換モジュール２０１は、後述のシート基板２１０に、第１縁部２０１Ｈと、第２縁部２０１Ｌとを有する。第１縁部２０１Ｈと、第２縁部２０１Ｌとは、対向する。第１縁部２０１Ｈは、図１に示すような第１縁部１Ｈと同様に、熱電変換モジュール２０１が熱源２に配置された際に、熱源２の近くに位置し得る。第２縁部２０１Ｌは、図１に示すような第２縁部１Ｌと同様に、熱電変換モジュール２０１が熱源２に配置された際に、熱源２から離れて位置し得る。
　第１縁部２０１Ｈ付近の温度は、図１に示すような第１縁部１Ｈと同様に、第２縁部２０１Ｌ付近の温度よりも高温になり得る。換言すると、第２縁部２０１Ｌ付近の温度は、第１縁部２０１Ｈ付近の温度よりも低温になり得る。
　第２実施形態でも、第１実施形態と同様に、第１方向Ａ１、第２方向Ａ２及び第３方向Ａ３が採用され得る。第２実施形態では、第１方向Ａ１は、第１縁部２０１Ｈと第２縁部２０１Ｌとが対向する方向である。第１方向Ａ１は、第２縁部２０１Ｌから第１縁部２０１Ｈに向かう方向であるものとする。また、本実施形態では、第３方向Ａ３は、図１６の紙面奥側から紙面手前側に向かう方向であるものとする。
　図１６に示すように、第３方向Ａ３から見た熱電変換モジュール２０１の形状は、長方形状等の四角形状である。ただし、第３方向Ａ３から見た熱電変換モジュール２０１の形状は、扇形状等の任意の形状であってよい。熱電変換モジュール２０１は、シート基板２１０と、熱電変換素子２２１，２２２，２２３，２２４，２２５，２２６，２２７，２２８とを備える。図１７及び図１８に示すように、熱電変換モジュール２０１は、接続部２３０と、第１電極２５１と、第２電極２４８とを備える。図１７及び図１８に示すように、接続部２３０は、電極２４１，２４２，２４３，２４４，２４５，２４６，２４７と、電極２５２，２５３，２５４，２５５，２５６，２５７，２５８と、第１接合部材２６１，２６２，２６３，２６４，２６５，２６６，２６７，２６８と、第２接合部材２７１，２７２，２７３，２７４，２７５，２７６，２７７，２７８と、配線２８１，２８２，２８３，２８４，２８５，２８６，２８７とを有する。
　以下、熱電変換素子２２１～２２８の各々を特に区別しない場合、これらは、まとめて「熱電変換素子２２０」とも記載される。図１３には、８つの熱電変換素子２２０を備える熱電変換モジュール２０１が示されている。ただし、熱電変換モジュール２０１が備える熱電変換素子２２０の数は、任意の数であってよい。
　以下、電極２４１～２４７の各々及び第２電極２４８を特に区別しない場合、これらは、まとめて「電極２４０」とも記載される。また、第１電極２５１及び電極２５２～２５８の各々を特に区別しない場合、これらは、まとめて「電極２５０」とも記載される。また、配線２８１～２８７の各々を特に区別しない場合、これらは、まとめて「配線２８０」とも記載される。図１９には、８つの電極２４０と、８つの電極２５０と、７つの配線２８０とを有する接続部２３０が示されている。ただし、接続部２３０が有する電極２４０の数、電極２５０の数及び配線２８０の数は、熱電変換モジュール２０１が備える熱電変換素子２２０の数に応じたものであってよい。
　以下、第１接合部材２６１～２６８の各々を特に区別しない場合、これらは、まとめて「第１接合部材２６０」とも記載される。また、第２接合部材２７１～２７８の各々を特に区別しない場合、これらは、まとめて「第２接合部材２７０」とも記載される。図１６には、８つの第１接合部材２６０及び８つの第２接合部材２７０を備える熱電変換モジュール２０１が示されている。ただし、熱電変換モジュール２０１が備える第１接合部材２６０の数及び第２接合部材２７０の数は、熱電変換モジュール２０１が備える熱電変換素子２２０の数に応じたものであってよい。
　シート基板２１０は、絶縁性を有する。シート基板２１０は、可撓性を有してよい。シート基板２１０を形成するための材料には、特に限定されることなく、任意の絶縁材料を用いることができる。第３方向Ａ３から見たシート基板２１０の形状は、長方形状等の四四角形状である。ただし、第３方向Ａ３から見たシート基板２１０の形状は、扇形状等の任意の形状であってよい。シート基板２１０は、第１方向Ａ１及び第２方向Ａ２を含む面と平行であってよい。
　シート基板２１０は、上述の第１縁部２０１Ｈと、上述の第２縁部２０１Ｌとを有する。図１７に示すように、シート基板２１０は、表面２１０Ａと、裏面２１０Ｂとを有する。表面２１０Ａと裏面２１０Ｂとは、対向する。表面２１０Ａは、シート基板２１０の面のうち、第３方向Ａ３を向く面である。裏面２１０Ｂは、シート基板２１０の面のうち、第３方向Ａ３の反対方向を向く面である。
　図１７に示すように、シート基板２１０は、基板２１１と、絶縁層２１２とを有する。
　基板２１１は、絶縁性を有する。基板２１１は、可撓性を有してよい。基板２１１の材料は、図２に示すような基板１１の材料と同じであってよい。第３方向Ａ３から見た基板１１の形状は、長方形状等の四角形状である。ただし、第３方向Ａ３から見た基板１１の形状は、扇形状等の任意の形状であってよい。基板２１１は、第１方向Ａ１及び第２方向Ａ２を含む面と平行であってよい。
　基板２１１は、表面２１１Ａと、裏面２１１Ｂとを有する。表面２１１Ａと、裏面２１１Ｂとは、対向する。表面２１１Ａは、基板２１１の面のうち、第３方向Ａ３を向く面である。裏面２１１Ｂは、基板２１１の面のうち、第３方向Ａ３の反対方向を向く面である。裏面２１１Ｂは、シート基板２１０の裏面２１０Ｂに対応してよい。
　図１７に示すように、基板２１１は、開口部２１１ａ，２１１ｂ，２１１ｃ，２１１ｄを有する。図１６に示すように、第３方向Ａ３から見た開口部２１１ａ～２１１ｄの各々の位置は、電極２４２，２４４，２４６及び第２電極２４８の位置に対応してよい。図１８に示すように、基板２１１は、開口部２１１ｅ，２１１ｆ，２１１ｇ，２１１ｈを有する。図１６に示すように、第３方向Ａ３から見た開口部２１１ｅ～２１１ｈの各々の位置は、電極２５２，２５４，２５６，２５８の各々の位置に対応してよい。第３方向Ａ３から見た開口部２１１ａ～２１１ｈの形状は、円形状である。ただし、開口部２１１ａ～２１１ｈの形状は、任意の形状であってよい。
　絶縁層２１２は、絶縁性を有する。絶縁層２１２は、可撓性を有してよい。絶縁層２１２の材料は、図２に示すような絶縁層１２の材料と同じであってよい。第３方向Ａ３から見た絶縁層２１２の形状は、長方形状等の四角形状である。ただし、第３方向Ａ３から見た絶縁層２１２の形状は、扇形状等の任意の形状であってよい。絶縁層２１２は、第１方向Ａ１及び第２方向Ａ２を含む面と平行であってよい。
　絶縁層２１２は、表面２１２Ａと、裏面２１２Ｂとを有する。表面２１２Ａと、裏面２１２Ｂとは、対向する。表面２１２Ａは、絶縁層２１２の面のうち、第３方向Ａ３を向く面である。表面２１２Ａは、シート基板２１０の表面２１０Ａに対応してよい。裏面２１２Ｂは、絶縁層２１２の面のうち、第３方向Ａ３の反対方向を向く面である。
　図１７に示すように、絶縁層２１２は、開口部２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ，２１２ｄを有する。図１６に示すように、第３方向Ａ３から見た開口部２１２ａ～２１２ｄの各々の位置は、電極２４１，２４３，２４５，２４７の各々の位置に対応してよい。図１８に示すように、絶縁層２１２は、開口部２１２ｅ，２１２ｆ，２１２ｇ，２１２ｈを有する。図１６に示すように、第３方向Ａ３から見た開口部２１２ｅ～２１２ｈの各々の位置は、第１電極２５１及び電極２５３，２５５，２５７の各々の位置に対応してよい。第３方向Ａ３から見た開口部２１２ａ～２１２ｈの形状は、円形状である。ただし、開口部２１２ａ～２１２ｈの形状は、任意の形状であってよい。
　熱電変換素子２２１～２２８の全ては、ｐ型熱電変換素子である。つまり、後述のようにシート基板２１０の表面２１０Ａ及び裏面２１０Ｂの両面に位置する熱電変換素子２２０において、表面２１０Ａの側に位置する熱電変換素子２２０及び裏面２１０Ｂの側に位置する熱電変換素子２２０の全てがｐ型熱電変換素子である。ただし、熱電変換素子２２１～２２８の全ては、ｎ型熱電変換素子であってもよい。熱電変換素子２２０を形成するための熱電変換材料としては、特に限定されることなく、第１実施形態にて上述した熱電変換材料を用いることができる。ここで、熱電変換素子２２０を形成する熱電変換材料によっては、ｐ型熱電変換素子及びｎ型熱電変換素子の一方が他方よりも耐久性が高くなる場合がある。熱電変換モジュール２０１が備える複数の熱電変換素子２２０の全てがｐ型熱電変換素子であるか、又はｎ型熱電変換素子であることにより、熱電変換モジュール２０１は、耐久性に優れたものとなり得る。
　熱電変換素子２２１～２２８の全ては、第１実施形態にて上述したように、ＣＮＴを含んで形成されていてよい。熱電変換材料が有機材料である場合、大気中の酸素及び水分等によって熱電変換素子２２０が酸化することが熱電変換素子２２０の特性劣化の主要因となる場合がある。この場合、ｎ型熱電変換素子の方がｐ型熱電変換素子よりも大気中の酸素及び水分等による酸化の影響を受けやすいため、ｐ型熱電変換素子の方がｎ型熱電変換素子よりも、耐久性が高くなり得る。例えば熱電変換材料が有機材料である場合、熱電変換モジュール２０１が備える複数の熱電変換素子２２０の全てがｐ型熱電変換素子であることにより、熱電変換モジュール２０１は、耐久性に優れたものとなり得る。
　熱電変換素子２２０は、第１方向Ａ１に沿って延びる。第３方向Ａ３から見た熱電変換素子２２０の形状は、長方形状等の長尺状である。ただし、第３方向Ａ３から見た熱電変換素子２２０の形状は、扇形状等の任意の形状であってよい。熱電変換素子２２０の長手方向は、第１方向Ａ１に沿う。熱電変換素子２２０の長手方向は、第１方向Ａ１に平行であってよい。熱電変換素子２２１～２２８の形状は、同じ形状であってよい。
　熱電変換素子２２０は、図１に示すような熱電変換素子２０と同様に、第１方向Ａ１において第１端部２２０Ｈ及び第２端部２２０Ｌを有する。第１端部２２０Ｈは、熱電変換モジュール２０１の第１縁部２０１Ｈの方に位置する。第２端部２２０Ｌは、熱電変換モジュール２０１の第２縁部２０１Ｌの方に位置する。なお、熱電変換素子２２１～２２８の第１端部２２０Ｈは、各々、「第１端部２２１Ｈ」、「第１端部２２２Ｈ」、「第１端部２２３Ｈ」、「第１端部２２４Ｈ」、「第１端部２２５Ｈ」、「第１端部２２６Ｈ」、「第１端部２２７Ｈ」、「第１端部２２８Ｈ」とも記載される。また、熱電変換素子２２１～２２８の第２端部２２０Ｌは、各々、「第２端部２２１Ｌ」、「第２端部２２２Ｌ」、「第２端部２２３Ｌ」、「第２端部２２４Ｌ」、「第２端部２２５Ｌ」、「第２端部２２６Ｌ」、「第２端部２２７Ｌ」、「第２端部２２８Ｌ」とも記載される。なお、図１６に示す構成では、第１端部２２１Ｈ～２２８Ｈの第１方向Ａ１における位置が異なる。ただし、第１端部２２１Ｈ～２２８Ｈの第１方向Ａ１における位置は、同じであってよい。また、図１６に示す構成では、第２端部２２１Ｌ～２２８Ｌの第１方向Ａ１における位置が異なる。ただし、第２端部２２１Ｌ～２２８Ｌの第１方向Ａ１における位置は、同じであってよい。
　熱電変換素子２２０は、図１に示す熱電変換素子２０と同様に、第１端部２２０Ｈと第２端部２２０Ｌとの間で温度差が生じることにより、発電し得る。
　複数の熱電変換素子２２０は、後述のように接続部２３０によって、第１電極２５１から第２電極２４８に亘って、熱電変換素子２２１～２２８の順番で電気的に直列接続される。このように複数の熱電変換素子２２０が電気的に直列接続されることにより、複数の熱電変換素子２２０が発電した際、図２０に示すように、熱電変換モジュール２０１において１本の電流経路が生じ得る。図２０において、電流Ｉ２２１，Ｉ２２２，Ｉ２２３，Ｉ２２４，Ｉ２２５，Ｉ２２６，Ｉ２２７，Ｉ２２８の各々は、熱電変換素子２２１，２２２，２２３，２２４，２２５，２２６，２２７，２２８の各々を流れる電流である。また、電流Ｉ２８１，２８２，２８３，２８４，２８５，２８６，２８７の各々は、後述の配線２８１～２８７の各々を流れる電流である。
　ここで、接続部２３０によって電気的に直列接続される複数の熱電変換素子２２０のうちの第１電極２５１から数えて奇数番目の熱電変換素子２２０は、シート基板２１０の表面２１０Ａの側に位置する。本実施形態では、第１電極２５１から数えて奇数番目の熱電変換素子２２０は、１番目の熱電変換素子２２１、３番目の熱電変換素子２２３、５番目の熱電変換素子２２５及び７番目の熱電変換素子２２７となる。つまり、熱電変換素子２２１，２２３，２２５，２２７がシート基板２１０の表面２１０Ａの側例えば絶縁層２１２の表面２１２Ａの側に位置する。熱電変換素子２２１，２２３，２２５，２２７は、表面２１０Ａにおいて第２方向Ａ２に沿って並ぶ。熱電変換素子２２１，２２３，２２５，２２７は、第２方向Ａ２に沿って隙間を空けて並んでよい。当該隙間の幅は、第２方向Ａ２に隣り合う２つの熱電変換素子２２０の間の絶縁を確保できれば、任意であってよい。
　また、接続部２３０によって電気的に接続される複数の熱電変換素子２２０のうちの第１電極２５１から数えて偶数番目の熱電変換素子２２０は、シート基板２１０の裏面２１０Ｂの側に位置する。本実施形態では、第１電極２５１から数えて偶数番目の熱電変換素子２２０は、２番目の熱電変換素子２２２、２番目の熱電変換素子２２４、６番目の熱電変換素子２２６及び８番目の熱電変換素子２２８となる。つまり、熱電変換素子２２２，２２４，２２６，２２８がシート基板２１０の裏面２１０Ｂの側例えば基板２１１の裏面２１１Ｂの側に位置する。熱電変換素子２２２，２２４，２２６，２２８は、裏面２１０Ｂにおいて第２方向Ａ２に沿って並ぶ。熱電変換素子２２２，２２４，２２６，２２８は、第２方向Ａ２に沿って隙間を空けて並んでよい。当該隙間の幅は、第２方向Ａ２に隣り合う２つの熱電変換素子２２０の間の絶縁を確保できれば、任意であってよい。
　このようにシート基板２１０の表面２１０Ａ及び裏面２１０Ｂの両面に熱電変換素子２２０が位置することにより、第１実施形態と同様に、熱電変換モジュール２０１は、発電電力を高めつつ、小型化され得る。
　図１６に示すようにシート基板２１０を平面視した際すなわち第３方向Ａ３から見た際、シート基板２１０の表面２１０Ａの側に位置する熱電変換素子２２０の少なくとも一部は、シート基板２１０の裏面２１０Ｂの側に位置する熱電変換素子２２０の少なくとも一部に重なってよい。このような構成により、熱電変換モジュール２０１が小型化され得る。ただし、第３方向Ａ３から見た際、表面２１０Ａの側に位置する熱電変換素子２２０が裏面２１０Ｂの側に位置する熱電変換素子２２０に重ならなくてもよい。
　熱電変換素子２２１～２２８の全ての各々の形状は、第１実施形態にて上述したように、略同寸法の長方形状であってよい。ただし、熱電変換素子２２１～２２８の全ての各々の形状は、第１実施形態にて上述したように、略同一寸法の形状であれば、扇形状等の任意の形状であってよい。
　熱電変換素子２２１～２２８は、第１実施形態にて上述したように、熱電変換素子２２１～２２８の各々の電気抵抗値が略同一となるように、熱電変換素子２２１～２２８の各々の第１方向Ａ１に沿う長さ、熱電変換素子２２１～２２８の各々の第２方向Ａ２に沿う幅及び熱電変換素子２２１～２２８の各々の第３方向Ａ３における厚さを調整して構成されていてよい。
　接続部２３０は、第１電極２５１から第２電極２４８に亘って、複数の熱電変換素子２２０を、各熱電変換素子２２０の端部すなわち第１端部２２０Ｈ又は第２端部２２０Ｌにて電気的に直列接続する。本実施形態では、接続部２３０は、第１電極２５１から第２電極２４８に亘って熱電変換素子２２１～２２８の順番で、複数の熱電変換素子２２０を電気的に直列接続する。上述のように、接続部２３０は、電極２４１～２４７と、電極２５２～２５８と、第１接合部材２６１～２６８と、第２接合部材２７１～２７８と、配線２８１～２８７とを有する。
　電極２４０は、導電性を有する。電極２４０を形成するための導電性材料としては、特に限定されることなく、銅又はアルミニウム等の任意の金属を用いることができる。
　電極２４０は、シート基板２１０の中に例えば基板２１１の表面２１１Ａに位置してよい。図１６に示すように、電極２４１～２４７及び第２電極２４８は、隙間を空けて第２方向Ａ２に沿って並んでよい。当該隙間は、第２方向Ａ２に隣り合う２つの電極２４０間の絶縁を確保できれば、任意であってよい。電極２４０の第２方向Ａ２における位置は、熱電変換素子２２０の第２方向Ａ２における位置に応じて、適宜設定されてよい。
　電極２４１は、シート基板２１０の表面２１０Ａの側に位置する熱電変換素子２２１の第１端部２２１Ｈに電気的に接続される。例えば、図１７に示すように、電極２４１の少なくとも一部は、絶縁層２１２の開口部２１２ａから露出する。開口部２１２ａから露出した電極２４１の少なくとも一部は、第１接合部材２６１によって熱電変換素子２２１の第１端部２２１Ｈに電気的に接続される。
　電極２４２は、シート基板２１０の裏面２１０Ｂの側に位置する熱電変換素子２２２の第１端部２２２Ｈに電気的に接続される。例えば、図１７に示すように、電極２４２の少なくとも一部は、基板２１１の開口部２１１ａから露出する。開口部２１１ａから露出した電極２４２の少なくとも一部は、第１接合部材２６２によって熱電変換素子２２２の第１端部２２２Ｈに電気的に接続される。
　電極２４３は、シート基板２１０の表面２１０Ａの側に位置する熱電変換素子２２３の第１端部２２３Ｈに電気的に接続される。例えば、図１７に示すように、電極２４３の少なくとも一部は、絶縁層２１２の開口部２１２ｂから露出する。開口部２１２ｂから露出した電極２４３の少なくとも一部は、第１接合部材２６３によって熱電変換素子２２３の第１端部２２３Ｈに電気的に接続される。
　電極２４４は、シート基板２１０の裏面２１０Ｂの側に位置する熱電変換素子２２４の第１端部２２４Ｈに電気的に接続される。例えば、図１７に示すように、電極２４４の少なくとも一部は、基板２１１の開口部２１１ｂから露出する。開口部２１１ｂから露出した電極２４４の少なくとも一部は、第１接合部材２６４によって熱電変換素子２２４の第１端部２２４Ｈに電気的に接続される。
　電極２４５は、シート基板２１０の表面２１０Ａの側に位置する熱電変換素子２２５の第１端部２２５Ｈに電気的に接続される。例えば、図１７に示すように、電極２４５の少なくとも一部は、絶縁層２１２の開口部２１２ｃから露出する。開口部２１２ｃから露出した電極２４５の少なくとも一部は、第１接合部材２６５によって熱電変換素子２２５の第１端部２２５Ｈに電気的に接続される。
　電極２４６は、シート基板２１０の裏面２１０Ｂの側に位置する熱電変換素子２２６の第１端部２２６Ｈに電気的に接続される。例えば、図１７に示すように、電極２４６の少なくとも一部は、基板２１１の開口部２１１ｃから露出する。開口部２１１ｃから露出した電極２４６の少なくとも一部は、第１接合部材２６６によって熱電変換素子２２６の第１端部２２６Ｈに電気的に接続される。
　電極２４７は、シート基板２１０の表面２１０Ａの側に位置する熱電変換素子２２７の第１端部２２７Ｈに電気的に接続される。例えば、図１７に示すように、電極２４７の少なくとも一部は、絶縁層２１２の開口部２１２ｄから露出する。開口部２１２ｄから露出した電極２４７の少なくとも一部は、第１接合部材２６７によって熱電変換素子２２７の第１端部２２７Ｈに電気的に接続される。
　第２電極２４８は、熱電変換モジュール２０１が発電した電力を取り出すための配線が電気的に接続されてよい。第２電極２４８は、例えば、正極として機能する。第２電極２４８は、電気的に直列接続される熱電変換素子２２０の２つの端部のうちの正極となる端部に、電気的に接続される。本実施形態では、第２電極２４８は、シート基板２１０の裏面２１０Ｂの側に位置する熱電変換素子２２８の第１端部２２８Ｈに電気的に接続される。例えば、図１７に示すように、第２電極２４８の少なくとも一部は、基板２１１の開口部２１１ｄから露出する。開口部２１１ｄから露出した第２電極２４８の少なくとも一部は、第１接合部材２６８によって熱電変換素子２２８の第１端部２２８Ｈに電気的に接続される。
　電極２５０は、導電性を有する。電極２５０を形成するための導電性材料としては、特に限定されることなく、銅又はアルミニウム等の任意の金属を用いることができる。
　電極２５０は、シート基板２１０の中に例えば基板２１１の表面２１１Ａに位置してよい。図１６に示すように、第１電極２５１及び電極２５０～２５８は、隙間を空けて第２方向Ａ２に沿って並んでよい。当該隙間の幅は、第２方向Ａ２に隣り合う２つの電極５０間の絶縁を確保できれば、任意であってよい。電極２５０の第２方向Ａ２における位置は、熱電変換素子２２０の第２方向Ａ２における位置に応じて、適宜設定されてよい。
　第１電極２５１は、熱電変換モジュール２０１が発電した電力を取り出すための配線が電気的に接続されてよい。第１電極２５１は、例えば、負極として機能する。第１電極２５１は、電気的に直列接続される熱電変換素子２２０の２つの端部のうちの負極となる端部に、電気的に接続される。本実施形態では、第１電極２５１は、シート基板２１０の表面２１０Ａの側に位置する熱電変換素子２２１の第２端部２２１Ｌに電気的に接続される。例えば、図１８に示すように、第１電極２５１の少なくとも一部は、絶縁層２１２の開口部２１２ｅから露出する。開口部２１２ｅから露出した第１電極２５１の少なくとも一部は、第２接合部材２７１によって熱電変換素子２２１の第２端部２２１Ｌに電気的に接続される。
　電極２５２は、シート基板２１０の裏面２１０Ｂの側に位置する熱電変換素子２２２の第２端部２２２Ｌに電気的に接続される。例えば、図１８に示すように、電極２５２の少なくとも一部は、基板２１１の開口部２１１ｅから露出する。開口部２１１ｅから露出した電極２５２の少なくとも一部は、第２接合部材２７２によって熱電変換素子２２２の第２端部２２２Ｌに電気的に接続される。
　電極２５３は、シート基板２１０の表面２１０Ａの側に位置する熱電変換素子２２３の第２端部２２３Ｌに電気的に接続される。例えば、図１８に示すように、電極２５３の少なくとも一部は、絶縁層２１２の開口部２１２ｆから露出する。開口部２１２ｆから露出した電極２５３の少なくとも一部は、第２接合部材２７３によって熱電変換素子２２３の第２端部２２３Ｌに電気的に接続される。
　電極２５４は、シート基板２１０の裏面２１０Ｂの側に位置する熱電変換素子２２４の第２端部２２４Ｌに電気的に接続される。例えば、図１８に示すように、電極２５４の少なくとも一部は、基板２１１の開口部２１１ｆから露出する。開口部２１１ｆから露出した電極２５４の少なくとも一部は、第２接合部材２７４によって熱電変換素子２２４の第２端部２２４Ｌに電気的に接続される。
　電極２５５は、シート基板２１０の表面２１０Ａの側に位置する熱電変換素子２２５の第２端部２２５Ｌに電気的に接続される。例えば、図１８に示すように、電極２５５の少なくとも一部は、絶縁層２１２の開口部２１２ｇから露出する。開口部２１２ｇから露出した第電極２５５の少なくとも一部は、第２接合部材２７５によって熱電変換素子２２５の第２端部２２５Ｌに電気的に接続される。
　電極２５６は、シート基板２１０の裏面２１０Ｂの側に位置する熱電変換素子２２６の第２端部２２６Ｌに電気的に接続される。例えば、図１８に示すように、電極２５６の少なくとも一部は、基板２１１の開口部２１１ｇから露出する。開口部２１１ｇから露出した電極２５６の少なくとも一部は、第２接合部材２７６によって熱電変換素子２２６の第２端部２２６Ｌに電気的に接続される。
　電極２５７は、シート基板２１０の表面２１０Ａの側に位置する熱電変換素子２２７の第２端部２２７Ｌに電気的に接続される。例えば、図１８に示すように、電極２５７の少なくとも一部は、絶縁層２１２の開口部２１２ｈから露出する。開口部２１２ｈから露出した電極２５７の少なくとも一部は、第２接合部材２７７によって熱電変換素子２２７の第２端部２２７Ｌに電気的に接続される。
　電極２５８は、シート基板２１０の裏面２１０Ｂの側に位置する熱電変換素子２２８の第２端部２２８Ｌに電気的に接続される。例えば、図１８に示すように、電極２５８の少なくとも一部は、基板２１１の開口部２１１ｈから露出する。開口部２１１ｈから露出した電極２５８の少なくとも一部は、第２接合部材２７８によって熱電変換素子２２８の第２端部２２８Ｌに電気的に接続される。
　第１接合部材２６０は、導電性を有する。第１接合部材２６０は、銀ペースト又ははんだ等の任意の部材で形成されていてよい。
　第１接合部材２６１は、電極２４１と、熱電変換素子２２１の第１端部２２１Ｈとを電気的に接続する。例えば、図１７に示すように、第１接合部材２６１の少なくとも一部は、絶縁層２１２の開口部２１２ａの中に位置する。第１接合部材２６１は、開口部２１２ａを介して電極２４１と熱電変換素子２２１の第１端部２２１Ｈとを電気的に接続する。図１６に示すように、第１接合部材２６１は、開口部２１２ａから第１端部２２１Ｈまで延びてよい。
　第１接合部材２６２は、電極２４２と、熱電変換素子２２２の第１端部２２２Ｈと電極２４２とを電気的に接続する。例えば、図１７に示すように、第１接合部材２６２の少なくとも一部は、基板２１１の開口部２１１ａの中に位置する。第１接合部材２６２は、開口部２１１ａを介して電極２４２と熱電変換素子２２２の第１端部２２２Ｈとを電気的に接続する。図１６に示すように、第１接合部材２６２は、開口部２１１ａから第１端部２２２Ｈまで延びてよい。
　第１接合部材２６３は、電極２４３と、熱電変換素子２２３の第１端部２２３Ｈとを電気的に接続する。例えば、図１７に示すように、第１接合部材２６３の少なくとも一部は、絶縁層２１２の開口部２１２ｂの中に位置する。第１接合部材２６３は、開口部２１２ｂを介して電極２４３と熱電変換素子２２３の第１端部２２３Ｈとを電気的に接続する。図１６に示すように、第１接合部材２６３は、開口部２１２ｂから第１端部２２３Ｈまで延びてよい。
　第１接合部材２６４は、電極２４４と、熱電変換素子２２４の第１端部２２４Ｈとを電気的に接続する。例えば、図１７に示すように、第１接合部材２６４の少なくとも一部は、基板２１１の開口部２１１ｂの中に位置する。第１接合部材２６４は、開口部２１１ｂを介して電極２４４と熱電変換素子２２４の第１端部２２４Ｈとを電気的に接続する。図１６に示すように、第１接合部材２６４は、開口部２１１ｂから第１端部２２４Ｈまで延びてよい。
　第１接合部材２６５は、電極２４５と、熱電変換素子２２５の第１端部２２５Ｈとを電気的に接続する。例えば、図１７に示すように、第１接合部材２６５の少なくとも一部は、絶縁層２１２の開口部２１２ｃの中に位置する。第１接合部材２６５は、開口部２１２ｃを介して電極２４５と熱電変換素子２２５の第１端部２２５Ｈとを電気的に接続する。図１６に示すように、第１接合部材２６５は、開口部２１２ｃから第１端部２２５Ｈまで延びてよい。
　第１接合部材２６６は、電極２４６と、熱電変換素子２２６の第１端部２２６Ｈとを電気的に接続する。例えば、図１７に示すように、第１接合部材２６６の少なくとも一部は、基板２１１の開口部２１１ｃの中に位置する。第１接合部材２６６は、開口部２１１ｃを介して熱電変換素子２２６の第１端部２２６Ｈと電極２４６とを電気的に接続する。図１６に示すように、第１接合部材２６６は、開口部２１１ｃから第１端部２２６Ｈまで延びてよい。
　第１接合部材２６７は、電極２４７と、熱電変換素子２２７の第１端部２２７Ｈとを電気的に接続する。例えば、図１７に示すように、第１接合部材２６７の少なくとも一部は、絶縁層２１２の開口部２１２ｄの中に位置する。第１接合部材２６７は、開口部２１２ｄを介して電極２４７と熱電変換素子２２７の第１端部２２７Ｈとを電気的に接続する。図１６に示すように、第１接合部材２６７は、開口部２１２ｄから第１端部２２７Ｈまで延びてよい。
　第１接合部材２６８は、第２電極２４８と、熱電変換素子２２８の第１端部２２８Ｈと電気的に接続する。例えば、図１７に示すように、第１接合部材２６８の少なくとも一部は、基板２１１の開口部２１１ｄの中に位置する。第１接合部材２６８は、開口部２１１ｄを介して第２電極２４８と熱電変換素子２２８の第１端部２２８Ｈとを電気的に接続する。図１６に示すように、第１接合部材２６８は、開口部２１１ｄから第１端部２２８Ｈまで延びてよい。
　第２接合部材２７０は、導電性を有する。第２接合部材２７０は、銀ペースト又ははんだ等の任意の部材で形成されていてよい。
　第２接合部材２７１は、第１電極２５１と、熱電変換素子２２１の第２端部２２１Ｌとを電気的に接続する。例えば、図１８に示すように、第２接合部材２７１の少なくとも一部は、絶縁層２１２の開口部２１２ｅの中に位置する。第２接合部材２７１は、開口部２１２ｅを介して第１電極２５１と熱電変換素子２２１の第２端部２２１Ｌとを電気的に接続してよい。図１６に示すように、第２接合部材２７１は、開口部２１２ｅから第２端部２２１Ｌまで延びてよい。
　第２接合部材２７２は、電極２５２と、熱電変換素子２２２の第２端部２２２Ｌとを電気的に接続する。例えば、図１８に示すように、第２接合部材２７２の少なくとも一部は、基板２１１の開口部２１１ｅの中に位置する。第２接合部材２７２は、開口部２１１ｅを介して電極２５２と熱電変換素子２２２の第２端部２２２Ｌとを電気的に接続する。図１６に示すように、第２接合部材２７２は、開口部２１１ｅから第２端部２２２Ｌまで延びてよい。
　第２接合部材２７３は、電極２５３と、熱電変換素子２２３の第２端部２２３Ｌとを電気的に接続する。例えば、図１８に示すように、第２接合部材２７３の少なくとも一部は、絶縁層２１２の開口部２１２ｆの中に位置する。第２接合部材２７３は、開口部２１２ｆを介して電極２５３と熱電変換素子２２３の第２端部２２３Ｌとを電気的に接続する。図１６に示すように、第２接合部材２７３は、開口部２１２ｆから第２端部２２３Ｌまで延びてよい。
　第２接合部材２７４は、電極２５４と、熱電変換素子２２４の第２端部２２４Ｌとを電気的に接続する。例えば、図１８に示すように、第２接合部材２７４の少なくとも一部は、基板２１１の開口部２１１ｆの中に位置する。第２接合部材２７４は、開口部２１１ｆを介して電極２５４と熱電変換素子２２４の第２端部２２４Ｌとを電気的に接続する。図１６に示すように、第２接合部材２７４は、開口部２１１ｆから第２端部２２４Ｌまで延びてよい。
　第２接合部材２７５は、電極２５５と、熱電変換素子２２５の第２端部２２５Ｌとを電気的に接続する。例えば、図１８に示すように、第２接合部材２７５の少なくとも一部は、絶縁層２１２の開口部２１２ｇの中に位置する。第２接合部材２７５は、開口部２１２ｇを介して電極２５５と熱電変換素子２２５の第２端部２２５Ｌとを電気的に接続する。図１６に示すように、第２接合部材２７５は、開口部２１２ｇから第２端部２２５Ｌまで延びてよい。
　第２接合部材２７６は、電極２５６と、熱電変換素子２２６の第２端部２２６Ｌとを電気的に接続する。例えば、図１８に示すように、第２接合部材２７６の少なくとも一部は、基板２１１の開口部２１１ｇの中に位置する。第２接合部材２７６は、開口部２１１ｇを介して熱電変換素子２２６の第２端部２２６Ｌと電極２５６とを電気的に接続する。図１６に示すように、第２接合部材２７６は、開口部２１１ｇから第２端部２２６Ｌまで延びてよい。
　第２接合部材２７７は、電極２５７と、熱電変換素子２２７の第２端部２２７Ｌとを電気的に接続する。例えば、図１８に示すように、第２接合部材２７７の少なくとも一部は、絶縁層２１２の開口部２１２ｈの中に位置する。第２接合部材２７７は、開口部２１２ｈを介して熱電変換素子２２７の第２端部２２７Ｌと電極２５７とを電気的に接続する。図１６に示すように、第２接合部材２７７は、開口部２１２ｈから第２端部２２７Ｌまで延びてよい。
　第２接合部材２７８は、電極２５８と、熱電変換素子２２８の第２端部２２８Ｌとを電気的に接続する。例えば、図１８に示すように、第２接合部材２７８の少なくとも一部は、基板２１１の開口部２１１ｈの中に位置する。第２接合部材２７８は、開口部２１１ｈを介して電極２５８と熱電変換素子２２８の第２端部２２８Ｌとを電気的に接続する。図１６に示すように、第２接合部材２７８は、開口部２１１ｈから第２端部２２８Ｌまで延びてよい。
　配線２８０は、導電性を有する。配線２８０を形成するための導電性材料としては、特に限定されることなく、銅又はアルミニウム等の任意の金属を用いることができる。
　配線２８０は、シート基板２１０の中に位置してよい。図１９に示すように、配線２８０は、電極２４０及び電極２５０とともに、基板２１１の表面２１１Ａに位置してよい。後述のように、配線２８０は、電極２４０及び電極２５０とともに電極層２３４として形成されていてよい。
　配線２８０は、第２方向Ａ２に隣り合う熱電変換素子２２０同士を、熱電変換素子２２０の両端部すなわち第１端部２２０Ｈ及び第２端部２２０Ｌにて、電気的に直列接続する。配線２８０は、第２方向Ａ２に隣り合う２つの熱電変換素子２２０において、一方の熱電変換素子２２０の第１端部２２０Ｈに電気的に接続される電極２４０と、他方の熱電変換素子２２０の第２端部２２０Ｌに電気的に接続される電極２５０とを電気的に接続する。配線２８０は、当該電極２４０から当該電極２５０まで直線状に延びてよい。
　複数の配線２８０は、複数の電極２４０と複数の電極２５０とを電気的に接続することにより、第１電極２５１と第２電極２４８との間で熱電変換素子２２１～２２８を電気的に直列接続する。
　例えば、図１９に示すように、配線２８１の一端は、電極２４１に電気的に接続される。配線２８１の他端は、電極２５２に電気的に接続される。配線２８２の一端は、電極２４２に電気的に接続される。配線２８２の他端は、電極２５３に電気的に接続される。配線２８３の一端は、電極２４３に電気的に接続される。配線２８３の他端は、電極２５４に電気的に接続される。配線２８４の一端は、電極２４４に電気的に接続される。配線２８４の他端は、電極２５５に電気的に接続される。配線２８５の一端は、電極２４５に電気的に接続される。配線２８５の他端は、電極２５６に電気的に接続される。配線２８６の一端は、電極２４６に電気的に接続される。配線２８６の他端は、電極２５７に電気的に接続される。配線２８７の一端は、電極２４７に電気的に接続される。配線２８７の他端は、電極２５８に電気的に接続される。
　第２実施形態に係る熱電変換モジュール２０１のその他の構成及び効果は、第１実施形態に係る熱電変換モジュール１と同様である。
　（熱電変換モジュールの製造方法）
　熱電変換モジュール２０１の製造方法は、第１実施形態に係る熱電変換モジュール１の製造方法と同様の工程を含んでよい。熱電変換モジュール２０１の製造方法は、図８に示すような配置工程Ｓ１０と、形成工程Ｓ１１，Ｓ１２，Ｓ１３，Ｓ１４，Ｓ１５，Ｓ１６と、接続工程Ｓ１７とを含んでよい。よって、以下、図８に示すフローチャートを参照し、熱電変換モジュール２０１の製造方法を説明する。ただし、熱電変換モジュール２０１の製造方法は、以下に説明する製造方法に限定されない。
　＜配置工程Ｓ１０＞
　配置工程Ｓ１０は、図９に示す構成と同様に、基板２１１に金属箔を配置する工程である。この金属箔は、基板２１１の表面２１１Ａに配置されてよい。この金属箔は、図９に示すような金属箔３３と同様のものであってよい。この金属箔は、熱伝導性を有する任意の接着剤によって、基板２１１の表面２１１Ａに接着されてよい。この金属箔は、第１実施形態にて上述したように、蒸着、スパッタ又はメッキ法等の任意の成膜方法によって、基板２１１の表面２１１Ａ上に形成されてもよい。この金属箔は、後述の形成工程Ｓ１１等を経て、電極２４０、電極２５０及び配線２８０となり得る。
　＜形成工程Ｓ１１＞
　形成工程Ｓ１１（電極層形成工程）は、基板２１１に配置された金属箔をパターニングすることにより、図１９に示すような電極層２３４を形成する工程である。この金属箔のパターニングには、公知のフォトリソグラフィ等が用いられてよい。電極層２３４は、電極２４０と、電極２５０と、配線２８０とを有する。本実施形態では、電極層２３４は、基板２１１の表面２１１Ａのみに形成される。ただし、電極層２３４は、基板２１１の表面２１１Ａ及び裏面２１２Ｂの少なくとも一方の面上に形成されればよい。
　＜形成工程Ｓ１２＞
　形成工程Ｓ１２は、図１７に示すような基板２１１の開口部２１１ａ，２１１ｂ，２１１ｃ，２１１ｄを形成し、図１８に示すような基板２１１の開口部２１１ｅ，２１１ｆ，２１１ｇ，２１１ｈを形成する工程である。任意の加熱レーザによって、開口部２１１ａ～２１１ｈが形成されてよい。
　＜形成工程Ｓ１３＞
　形成工程Ｓ１３（絶縁層形成工程）は、図１９に示すような基板２１１に形成された電極層２３４の上に絶縁層２１２を形成する工程である。絶縁層２１２は、基板２１１及び電極層２３４の上に形成されてよい。形成工程Ｓ１３では、電極層２３４に絶縁材料を塗布することにより、絶縁層２１２が形成されてよい。シート基板２１０は、基板２１１及び絶縁層２１２を備えて構成される。
　＜形成工程Ｓ１４＞
　形成工程Ｓ１４では、図１７に示すような絶縁層２１２の開口部２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ，２１２ｄを形成し、図１８に示すような絶縁層２１２の開口部２１２ｅ，２１２ｆ，２１２ｇ，２１２ｈを形成する工程である。任意のレーザによって、開口部２１２ａ～２１２ｈが形成されてよい。
　＜形成工程Ｓ１５＞
　形成工程Ｓ１５（素子形成工程）は、絶縁層２１２の上、及び、基板２１１において電極層２３４が形成されない面上に、熱電変換素子層を形成する工程である。形成工程Ｓ１５は、シート基板１０の表面１０Ａ及び裏面１０Ｂの各々に熱電変換素子層を形成する工程であってよい。上述のように、熱電変換素子層は、ＣＮＴを含んで形成されている層である。本実施形態では、熱電変換素子層は、図２１に示すようなＣＮＴシート２２９Ｐ１及びＣＮＴシート２２９Ｐ２であるものとする。ＣＮＴシート２２９Ｐ１，２２９Ｐ２は、図１４に示すようなＣＮＴシート２９Ｐ及びＣＮＴシート２９Ｎと同様に、ＣＮＴを含んで形成されている。本実施形態では、形成工程Ｓ１５は、ＣＮＴシート２２９Ｐ１をシート基板２１０の表面２１０Ａ例えば絶縁層１２の表面１２Ａに配置し、ＣＮＴシート２２９Ｐ２をシート基板２１０の裏面２１０Ｂ例えば基板２１１の裏面２１１Ｂに配置する工程となる。
　ＣＮＴシート２２９Ｐ１，２２９Ｐ２は、ｐ型のＣＮＴシートである。ＣＮＴシート２２９Ｐ１及びＣＮＴシート２２９Ｐ２の各々は、エポキシ樹脂等の任意の接着シートによって、シート基板２１０の表面２１０Ａ及び裏面２１０Ｂの各々に接着されてよい。ＣＮＴシート２２９Ｐ１は、後述の形成工程Ｓ１６を経た後、熱電変換素子２２１，２２３，２２５，２２７になる。ＣＮＴシート２２９Ｐ２は、後述の形成工程Ｓ１６を経た後、熱電変換素子２２２，２２４，２２６，２２８になる。
　ＣＮＴシート２２９Ｐ１，２２９Ｐ２には、第１実施形態にて上述したものが用いられてよい。
　第２実施形態に係る形成工程Ｓ１５のその他の構成及び効果は、第１実施形態に係る形成工程Ｓ１５と同様である。
　＜形成工程Ｓ１６＞
　形成工程Ｓ１６（熱電変換素子形成工程）は、熱電変換素子層すなわちＣＮＴシート２２９Ｐ１及びＣＮＴシート２２９Ｐ２を第１方向Ａ１に沿って切断し、第２方向Ａ２に並ぶ複数の熱電変換素子２２０を形成する工程である。ＣＮＴシート２２９Ｐ１，２２９Ｐ２の各々を第１方向Ａ１に沿って切断することにより、第１実施形態にて上述したように、第２方向Ａ２に隣り合う２つの熱電変換素子２２０を区画する隙間が形成される。
　形成工程Ｓ１６は、第１実施形態にて説明した形成工程Ｓ１６と同様に、レーザを用いて実施されてよい。第１実施形態にて上述したように、形成工程Ｓ１６では、ＵＶレーザ若しくはナノ秒レーザ又はフェムト秒レーザが用いられてよい。
　第２実施形態に係る形成工程Ｓ１６のその他の構成及び効果は、第１実施形態に係る形成工程Ｓ１６と同様である。
　＜接続工程Ｓ１７＞
　接続工程Ｓ１７は、複数の熱電変換素子２２０の全てが電気的に直列接続されるように、各熱電変換素子２２０の端部すなわち第１端部２２０Ｈ又は第２端部２２０Ｌを接続部２３０によって電気的に接続する工程である。
　本実施形態に係る接続工程Ｓ１７は、銀ペーストを塗布する工程である。
　接続工程Ｓ１７において、図１６に示すような絶縁層２１２の開口部２１２ａ～２１２ｄの各々から、熱電変換素子２２１の第１端部２２１Ｈ、熱電変換素子２２３の第１端部２２３Ｈ、熱電変換素子２２５の第１端部２２５Ｈ及び熱電変換素子２２７の第１端部２２７Ｈの各々まで、第１方向Ａ１に沿って銀ペーストが塗布される。これらの銀ペーストの一部は、開口部２１２ａ～２１２ｄの各々に充填されて電極２４１，２４３，２４５，２４７の各々に電気的に接続される。これらの銀ペーストは、乾燥後、第１接合部材２６１，２６３，２６５，２６７となり得る。
　接続工程Ｓ１７において、図１６に示すような基板２１１の開口部２１１ａ～２１１ｄの各々から、熱電変換素子２２２の第１端部２２２Ｈ、熱電変換素子２２４の第１端部２２４Ｈ、熱電変換素子２２６の第１端部２２６Ｈ、熱電変換素子２２８の第１端部２２８Ｈの各々まで、第１方向Ａ１に沿って銀ペーストが塗布される。これらの銀ペーストの一部は、開口部２１１ａ～２１１ｄに充填されて電極２４２，２４４，２４６及び第２電極２４８の各々に電気的に接続される。これらの銀ペーストは、乾燥後、第１接合部材２６２，２６４，２６６，２６８となり得る。
　接続工程Ｓ１７において、図１６に示すような絶縁層２１２の開口部２１２ｅ～２１２ｈの各々から、熱電変換素子２２１の第２端部２２１Ｌ、熱電変換素子２２３の第２端部２２３Ｌ、熱電変換素子２２５の第２端部２２５Ｌ及び熱電変換素子２２７の第２端部２２７Ｌの各々まで、第１方向Ａ１に沿って銀ペーストが塗布される。これらの銀ペーストの一部は、開口部２１２ｅ～２１２ｈの各々に充填されて第１電極２５１及び電極２５３，２５５，２５７の各々に電気的に接続される。これらの銀ペーストは、乾燥後、第２接合部材２７１，２７３，２７５，２７７となり得る。
　接続工程Ｓ１７において、図１６に示すような基板２１１の開口部２１１ｅ～２１１ｈの各々から、熱電変換素子２２２の第２端部２２２Ｌ、熱電変換素子２２４の第２端部２２４Ｌ、熱電変換素子２２６の第２端部２２６Ｌ、熱電変換素子２２８の第２端部２２８Ｌの各々まで、第１方向Ａ１に沿って銀ペーストが塗布される。これらの銀ペーストの一部は、開口部２１１ｅ～２１１ｈの各々に充填されて電極２５２，２５４，２５６，２５８の各々に電気的に接続される。これらの銀ペーストは、乾燥後、第２接合部材２７２，２７４，２７６，２７８となり得る。
　第２実施形態に係る熱電変換モジュール２０１の製造方法のその他の構成及び効果は、第１実施形態に係る熱電変換モジュール１の製造方法と同様である。
　（第３実施形態）
　図２２は、本発明の第３実施形態に係る熱電変換モジュール３０１の外観図である。熱電変換モジュール３０１は、第１実施形態と同様に、熱源２に配置可能である。熱電変換モジュール３０１は、後述のシート基板３１０に、第１縁部３０１Ｈと、第２縁部３０１Ｌとを有する。第１縁部３０１Ｈと、第２縁部３０１Ｌとは、対向する。第１縁部３０１Ｈは、熱電変換モジュール３０１が熱源２に配置された際に、熱源２の近くに位置し得る。第２縁部３０１Ｌは、熱電変換モジュール３０１が熱源２に配置された際に、熱源２から離れて位置し得る。
　第１縁部３０１Ｈ付近の温度は、図１に示すような第１縁部１Ｈと同様に、第２縁部３０１Ｌ付近の温度よりも高温になり得る。換言すると、第２縁部３０１Ｌ付近の温度は、第１縁部３０１Ｈ付近の温度よりも低温になり得る。
　第３実施形態でも、第１実施形態と同様に、第１方向Ａ１、第２方向Ａ２及び第３方向Ａ３が採用され得る。第３実施形態では、第１方向Ａ１は、第１縁部３０１Ｈと、第２縁部３０１Ｌとが対向する方向である。本実施形態では、第１方向Ａ１は、第２縁部３０１Ｌから第１縁部３０１Ｈに向かう方向であって、第２縁部３０１Ｌに直交する方向であるものとする。また、本実施形態では、第２方向Ａ２は、図２２の紙面左側から紙面右側に向かう方向であるものとする。また、本実施形態では、第３方向Ａ３は、図２２の紙面奥側から紙面手前側に向かう方向であるものとする。
　第３方向Ａ３から見た熱電変換モジュール３０１の形状は、台形状である。熱電変換モジュール３０１は、後述のシート基板３１０に、辺３０１Ａと、辺３０１Ｂとを有する。辺３０１Ａと、辺３０１Ｂとは、平行である。辺３０１Ａ及び辺３０１Ｂは、台形の２つの底辺に対応する。第１縁部３０１Ｈは、台形の２つの脚のうちの一方の脚に対応する。第２縁部３０１Ｌは、台形の２つの脚のうちの他方の脚に対応する。第１縁部３０１Ｈと第２縁部３０１Ｌとの間の第１方向Ａ１における間隔は、第２方向Ａ２に沿って広がる。
　熱電変換モジュール３０１は、シート基板３１０と、熱電変換素子３２１，３２２，３２３，３２４，３２５，３２６と、接続部３３０と、第１電極３３１と、第２電極３３２とを備える。
　以下、熱電変換素子３２１～３２６の各々を特に区別しない場合、これらは、まとめて「熱電変換素子３２０」とも記載される。図２２には、６つの熱電変換素子３２０を備える熱電変換モジュール３０１が示されている。ただし、熱電変換モジュール３０１が備える熱電変換素子３２０の数は、任意の数であってよい。
　シート基板３１０は、絶縁性を有する。シート基板３１０は、可撓性を有してよい。第３方向Ａ３から見たシート基板３１０の形状は、台形状である。シート基板３１０は、上述の第１縁部３０１Ｈと、上述の第２縁部３０１Ｌと、上述の辺３０１Ａと、上述の辺３０１Ｂとを有する。
　シート基板３１０は、表面３１０Ａと、裏面３１０Ｂとを有する。表面３１０Ａと裏面３１０Ｂとは、対向する。表面３１０Ａは、シート基板３１０の面のうち、第３方向Ａ３を向く面である。裏面３１０Ｂは、シート基板３１０の面のうち、第３方向Ａ３の反対方向を向く面である。
　シート基板３１０は、図２に示すようなシート基板１０と同様に、基板１１と同様の基板と、絶縁層１２と同様の絶縁層とを有してよい。
　接続部３３０は、図１に示すような接続部３０と同様に、第１電極３３１から第２電極３３２に亘って熱電変換素子３２１～３２６の順番で、複数の熱電変換素子３２０を電気的に接続する。接続部３３０は、図１に示すような電極４０と同様の電極と、電極５０と同様の電極と、第１接合部材６０と同様の接合部材と、第２接合部材７０と同様の接合部材とを有してよい。
　熱電変換素子３２０は、ｐ型熱電変換素子であるか、又はｎ型熱電変換素子である。熱電変換素子３２０を形成するための熱電変換材料としては、特に限定されることなく、第１実施形態にて上述した熱電変換材料を用いることができる。第１実施形態にて上述したように、熱電変換素子３２１～３２６の全ては、ＣＮＴを含んで形成されていてよい。
　熱電変換素子３２０は、第１方向Ａ１に沿って延びる。熱電変換素子３２０の第３方向Ａ３側から見た形状は、長方形状等の長尺状である。ただし、第３方向Ａ３から見た熱電変換素子３２０の形状は、扇形状等の任意の形状であってよい。熱電変換素子３２０の長手方向は、第１方向Ａ１に沿う。熱電変換素子３２０の長手方向は、第１方向Ａ１に平行であってよい。熱電変換素子３２０の第３方向Ａ３における厚さは、略同一であってもよいし、異なってもよい。以下、熱電変換素子３２１～３２６の第３方向Ａ３における厚さは、略同一であるものとする。
　熱電変換素子３２０は、第１方向Ａ１において第１端部３２０Ｈ及び第２端部３２０Ｌを有する。第１端部３２０Ｈは、熱電変換モジュール３０１の第１縁部３０１Ｈの方に位置する。第２端部３２０Ｌは、熱電変換モジュール３０１の第２縁部３０１Ｌの方に位置する。なお、熱電変換素子３２１，３２２，３２３，３２４，３２５，３２６の第１端部３２０Ｈは、各々、「第１端部３２１Ｈ」、「第１端部３２２Ｈ」、「第１端部３２３Ｈ」、「第１端部３２４Ｈ」、「第１端部３２５Ｈ」及び「第１端部３２６Ｈ」とも記載される。また、熱電変換素子３２１，３２２，３２３，３２４，３２５，３２６の第２端部３２０Ｌは、各々、「第２端部３２１Ｌ」、「第２端部３２２Ｌ」、「第２端部３２３Ｌ」、「第２端部３２４Ｌ」、「第２端部３２５Ｌ」及び「第２端部３２６Ｌ」とも記載される。
　ここで、接続部３３０によって電気的に直列接続される複数の熱電変換素子３２０のうちの第１電極３３１から数えて奇数番目の熱電変換素子３２０は、シート基板３１０の表面３１０Ａの側に位置する。本実施形態では、第１電極３３１から数えて奇数番目の熱電変換素子３２０は、１番目の熱電変換素子３２１、３番目の熱電変換素子３２３及び５番目の熱電変換素子３２５となる。つまり、熱電変換素子３２１，３２３，３２５がシート基板３１０の表面３１０Ａの側に位置する。熱電変換素子３２１，３２３，３２５は、表面３１０Ａにおいて第２方向Ａ２に沿って並ぶ。熱電変換素子３２１，３２３，３２５は、第２方向Ａ２に沿って隙間を空けて並んでよい。当該隙間の幅は、第２方向Ａ２に隣り合う２つの熱電変換素子３２０の間の絶縁を確保できれば、任意であってよい。
　また、接続部３３０によって電気的に直列接続される複数の熱電変換素子３２０のうちの第１電極３３１から数えて偶数番目の熱電変換素子３２０は、シート基板３１０の裏面３１０Ｂの側に位置する。本実施形態では、第１電極３３１から数えて偶数番目の熱電変換素子３２０は、２番目の熱電変換素子３２２、４番目の熱電変換素子３２４及び６番目の熱電変換素子３２６となる。つまり、熱電変換素子３２２，３２４，３２６がシート基板３１０の裏面３１０Ｂの側に位置する。熱電変換素子３２２，３２４，３２６は、裏面３１０Ｂにおいて第２方向Ａ２に沿って並ぶ。熱電変換素子３２２，３２４，３２６は、第２方向Ａ２において隙間を空けて並んでよい。当該隙間の幅は、第２方向Ａ２に隣り合う２つの熱電変換素子３２０の間の絶縁を確保できれば、任意であってよい。
　図２２に示す構成では、第３方向Ａ３から見た際、表面３１０Ａの側に位置する熱電変換素子３２１，３２３，３２５は、裏面３１０Ｂの側に位置する熱電変換素子３２２，３２４，３２６に重ならない。ただし、第１実施形態と同様に、表面３１０Ａの側に位置する熱電変換素子３２１，３２３，３２５の少なくとも一部は、裏面３１０Ｂの側に位置する熱電変換素子３２２，３２４，３２６の少なくとも一部に、重なってよい。
　熱電変換素子３２１～３２６では、第１方向Ａ１に沿う長さが相違する。例えば、熱電変換素子３２１～３２６の各々は、第１方向Ａ１に沿って第１縁部３０１Ｈから第２縁部３０１Ｌまで延びる。熱電変換素子３２１～３２６の各々が第１縁部３０１Ｈから第２縁部３０１Ｌまで延びることにより、熱電変換素子３２１～３２６の順に、熱電変換素子３２１～３２６の長さが長くなる。このように熱電変換素子３２１～３２６の各々が第１縁部３０１Ｈから第２縁部３０１Ｌまで延びることにより、熱電変換素子３２１～３２６の各々の第１方向Ａ１に沿う長さが相違する。
　熱電変換素子３２１～３２６の各々が第１縁部３０１Ｈから第２縁部３０１Ｌまで延びることにより、熱電変換素子３２１～３２６の各々における両端部の温度差が大きくなり得る。熱電変換素子３２１～３２６の各々における両端部の温度差が大きくなることにより、熱電変換素子３２１～３２６の各々の発電電力を高めることができる。なお、第１端部３２１Ｈ～３２６Ｈの各々と第１縁部３０１Ｈとの間の幅は、同じであってよい。また、第２端部３２１Ｌ～３２６Ｌの各々と第２縁部３０１Ｌとの間の幅は、同じであってよい。第１端部３２１Ｈ～３２６Ｈの各々と第１縁部３０１Ｈとの間の幅及び第２端部３２１Ｌ～３２６Ｌの各々と第２縁部３０１Ｌとの間の幅は、製造プロセス等に応じて適宜設定されてよい。
　ここで、熱電変換素子３２１～３２６の各々の第１方向Ａ１に沿う長さが相違する場合に、例えば熱電変換素子３２１～３２６の各々の第２方向Ａ２に沿う幅が略同一であると、熱電変換素子３２１～３２６の電気抵抗値が異なってしまう。熱電変換素子３２１～３２６の各々の電気抵抗値が異なると、熱電変換素子３２１～３２６が電気的に直列接続される場合、電気抵抗値が小さい熱電変換素子３２０によって、熱電変換モジュール３０１に生じ得る電流が決まってしまう。
　そこで、熱電変換素子３２１～３２６では、熱電変換素子３２１～３２６の各々の電気抵抗値が略同一となるように、熱電変換素子３２１～３２６の各々の第２方向Ａ２に沿う幅が相違するように構成されている。一例として、上述のように、熱電変換素子３２１～３２６の順に、熱電変換素子３２１～３２６の長さが長くなる。この場合、熱電変換素子３２１～３２６の順に熱電変換素子３２１～３２６の各々の第２方向Ａ２に沿う幅が広くなるように、熱電変換素子３２１～３２６の各々は、構成されていてよい。熱電変換素子３２１～３２６の各々の第１方向Ａ１に沿う長さに比例して、熱電変換素子３２１～３２６の各々の第２方向Ａ２に沿う幅は、広くなってよい。例えば、熱電変換素子３２６の第１方向Ａ１に沿う長さが熱電変換素子３２１の第１方向Ａ１に沿う長さの１．５倍である場合、熱電変換素子３２６の第２方向Ａ２に沿う幅は、熱電変換素子３２１の第２方向Ａ２に沿う幅の１．５倍となる。このような構成により、熱電変換素子３２１～３２６の各々の電気抵抗値が略同一となり得る。
　なお、熱電変換素子３２１～３２６の各々の第３方向Ａ３における厚さが異なる場合、熱電変換素子３２１～３２６の各々の電気抵抗値が略同一となるように、熱電変換素子３２１～３２６の各々の第１方向Ａ１に直交する断面積が相違するよう熱電変換素子３２１～３２６の各々は、構成されていてよい。
　また、ｐ型熱電変換素子の電気抵抗率とｎ型熱電変換素子の電気抵抗率とが異なる場合であって、熱電変換モジュール３０１が備える複数の熱電変換素子３２０がｐ型熱電変換素子及びｎ型熱電変換素子の両方を含む場合、電気抵抗率が考慮されてよい。この場合、熱電変換素子３２１～３２６の各々の電気抵抗値が略同一となるように、ｐ型熱電変換素子の電気抵抗率及びｎ型熱電変換素子の電気抵抗率に基づいて、熱電変換素子３２１～３２６の各々の第１方向Ａ１に直交する断面積が相違するよう熱電変換素子３２１～３２６の各々は、構成されていてよい。
　このように第３実施形態に係る熱電変換モジュール３０１では、シート基板３１０の形状が台形状である。シート基板３１０の形状が台形状であることにより、熱電変換モジュール３０１を配置する場所の自由度が高まり得る。
　第３実施形態に係る熱電変換モジュール３０１のその他の構成及び効果は、第１実施形態に係る熱電変換モジュール１と同様である。熱電変換モジュール３０１も、第１実施形態にて上述した製造方法によって製造可能である。
　前述したところは本発明の一実施形態を示したにすぎず、特許請求の範囲において、種々の変更を加えてもよいことは言うまでもない。
　本発明によれば、発電電力を高めつつ、小型化された熱電変換モジュールが提供され得る。
　１，１０１，２０１，３０１　熱電変換モジュール
　１Ｈ，２０１Ｈ，３０１Ｈ　第１縁部
　１Ｌ，２０１Ｌ，３０１Ｌ　第２縁部
　２　熱源
　１０，２１０，３１０　シート基板
　１０Ａ，２１０Ａ，３１０Ａ　表面
　１０Ｂ，２１０Ｂ，３１０Ｂ　裏面
　１１，２１１　基板
　１１Ａ，２１１Ａ　表面
　１１Ｂ，２１１Ｂ　裏面
　１１ａ～１１ｈ，２１１ａ～２１１ｈ　開口部
　１２，２１２　絶縁層
　１２Ａ，２１２Ａ　表面
　１２Ｂ，２１２Ｂ　裏面
　１２ａ～１２ｈ，２１２ａ～２１２ｈ　開口部
　２０～２８，２２０～２２８，３２０～３２６　熱電変換素子
　２０Ｈ～２８Ｈ，２２０Ｈ～２２８Ｈ，３２０Ｈ～３２６Ｈ　第１端部
　２０Ｌ～２８Ｌ，２２０Ｌ～２２８Ｌ，３２０Ｌ～３２６Ｌ　第２端部
　３１，２５１，３３１　第１電極
　３２，２４８，３３２　第２電極
　３０，２３０，３３０　接続部
　３３　金属箔
　３４，２３４　電極層
　４０～４４，２４０～２４７　電極
　５０～５３，２５０，２５２～２５８　電極
　６０～６８，２６０～２６８　第１接合部材
　７０～７８，２７０～２７８　第２接合部材
　２８０～２８７　配線
　２９，２９Ｎ，２９Ｐ，２２９Ｐ１，２２９Ｐ２　ＣＮＴシート
　３０１Ａ，３０１Ｂ　辺

Claims (13)

  1. 　対向する表面及び裏面を有する絶縁性のシート基板と、
    　第１方向に沿って延びる長尺状に形成された、複数の熱電変換素子と、
    　第１電極から第２電極に亘って、前記複数の熱電変換素子を、各熱電変換素子の長尺状の端部にて電気的に直列接続する接続部と、を備え、
    　前記接続部によって電気的に直列接続される前記複数の熱電変換素子のうちの前記第１電極から数えて奇数番目の熱電変換素子は、前記表面の側に位置するとともに、前記第１方向に交差する第２方向に沿って並び、
    　前記接続部によって電気的に直列接続される前記複数の熱電変換素子のうちの前記第１電極から数えて偶数番目の熱電変換素子は、前記裏面の側に位置するとともに、前記第２方向に沿って並ぶ、熱電変換モジュール。
  2. 　請求項１に記載の熱電変換モジュールにおいて、
    　前記シート基板を平面視した際に、前記表面の側に位置する前記奇数番目の複数の熱電変換素子は、前記裏面の側に位置する前記偶数番目の複数の熱電変換素子と重なるように位置する、熱電変換モジュール。
  3. 　請求項１又は２に記載の熱電変換モジュールにおいて、
    　前記表面の側に位置する前記熱電変換素子は、ｐ型熱電変換素子であり、
    　前記裏面の側に位置する前記熱電変換素子は、ｎ型熱電変換素子である、熱電変換モジュール。
  4. 　請求項１又は２に記載の熱電変換モジュールにおいて、
    　前記熱電変換モジュールが備える複数の前記熱電変換素子の全ては、ｐ型熱電変換素子である、熱電変換モジュール。
  5. 　請求項１から４までの何れか一項に記載の熱電変換モジュールにおいて、
    　前記熱電変換モジュールが備える複数の前記熱電変換素子の全ては、カーボンナノチューブを含んで形成されている、熱電変換モジュール。
  6. 　請求項１から５までの何れか一項に記載の熱電変換モジュールにおいて、
    　前記熱電変換モジュールが備える複数の熱電変換素子の全ての各々の形状は、略同寸法の長方形状である、熱電変換モジュール。
  7. 　請求項１から６までの何れか一項に記載の熱電変換モジュールにおいて、
    　前記熱電変換モジュールが備える複数の前記熱電変換素子は、当該複数の熱電変換素子の各々の電気抵抗値が略同一となるように、当該複数の熱電変換素子の各々の前記第１方向に沿う長さ、当該複数の熱電変換素子の各々の前記第２方向に沿う幅、及び、当該複数の熱電変換素子の各々の厚さを調整して構成されている、熱電変換モジュール。
  8. 　請求項７に記載の熱電変換モジュールにおいて、
    　前記熱電変換モジュールが備える複数の熱電変換素子の各々の前記厚さが略同一であり、当該複数の熱電変換素子の各々の前記長さが相違しており、且つ当該複数の熱電変換素子の各々の前記幅が相違している、熱電変換モジュール。
  9. 　請求項８に記載の熱電変換モジュールにおいて、
    　前記シート基板の形状は、台形状であり、
    　前記シート基板は、台形の２つの脚のうちの一方の脚に対応する第１縁部と、前記２つの脚のうちの他方の脚に対応する第２縁部とを含み、
    　前記第１縁部と前記第２縁部との間の前記第１方向における間隔は、前記第２方向に沿って広がり、
    　前記複数の熱電変換素子は、前記第１方向に沿って前記第１縁部から前記第２縁部まで延びる、熱電変換モジュール。
  10. 　対向する表面及び裏面を有する絶縁性のシート基板と、第１方向に沿って延びる長尺状に形成された、複数の熱電変換素子と、前記複数の熱電変換素子を、各熱電変換素子の長尺状の端部にて電気的に直列接続する接続部と、を備える熱電変換モジュールの製造方法であって、
    　対向する表面及び裏面を有する絶縁性の基板において、前記表面及び前記裏面の少なくとも一方の面上に電極層を形成する電極層形成工程と、
    　前記基板上に形成された前記電極層の上に絶縁層を形成する絶縁層形成工程であって、前記シート基板は、前記基板及び前記絶縁層を備えて構成される、絶縁層形成工程と、
    　前記絶縁層の上、及び、前記基板において前記電極層が形成されない面上に熱電変換素子層を形成する素子形成工程と、
    　前記熱電変換素子層を前記第１方向に沿って切断し、前記第１方向に交差する第２方向に沿って並ぶ複数の熱電変換素子を形成する熱電変換素子形成工程と、
    　前記複数の熱電変換素子の全てが電気的に直列接続されるように各熱電変換素子の長尺状の両端部を接続部によって接続する接続工程と、
    　を含む、熱電変換モジュールの製造方法。
  11. 　請求項１０に記載の熱電変換モジュールの製造方法において、
    　前記電極層は、前記基板における前記表面上にのみ形成される、熱電変換モジュールの製造方法。
  12. 　請求項１０又は１１に記載の熱電変換モジュールの製造方法において、
    　前記熱電変換素子層は、カーボンナノチューブを含んで形成されている層である、熱電変換モジュールの製造方法。
  13. 　請求項１０から１２までの何れか一項に記載の熱電変換モジュールの製造方法において、
    　前記熱電変換素子形成工程は、ＵＶレーザ、ナノ秒レーザ又はフェムト秒レーザを用いて実施される、熱電変換モジュールの製造方法。
PCT/JP2021/039358 2020-10-30 2021-10-25 熱電変換モジュール及び熱電変換モジュールの製造方法 WO2022092039A1 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2022559134A JPWO2022092039A1 (ja) 2020-10-30 2021-10-25
US18/249,969 US20230389429A1 (en) 2020-10-30 2021-10-25 Thermoelectric conversion module and method of producing thermoelectric conversion module
CN202180072300.9A CN116548095A (zh) 2020-10-30 2021-10-25 热电转换模块和热电转换模块的制造方法
EP21886157.3A EP4239698A1 (en) 2020-10-30 2021-10-25 Thermoelectric conversion module and method for manufacturing thermoelectric conversion module

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020183236 2020-10-30
JP2020-183236 2020-10-30

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2022092039A1 true WO2022092039A1 (ja) 2022-05-05

Family

ID=81382529

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2021/039358 WO2022092039A1 (ja) 2020-10-30 2021-10-25 熱電変換モジュール及び熱電変換モジュールの製造方法

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20230389429A1 (ja)
EP (1) EP4239698A1 (ja)
JP (1) JPWO2022092039A1 (ja)
CN (1) CN116548095A (ja)
WO (1) WO2022092039A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023224091A1 (ja) * 2022-05-18 2023-11-23 国立大学法人東京大学 熱電変換素子及び熱電変換デバイス

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3554815A (en) * 1963-04-30 1971-01-12 Du Pont Thin,flexible thermoelectric device
WO2006011655A1 (ja) 2004-07-27 2006-02-02 National Institute Of Advanced Industrial Scienceand Technology 単層カーボンナノチューブおよび配向単層カーボンナノチューブ・バルク構造体ならびにそれらの製造方法・装置および用途
WO2009028337A1 (ja) * 2007-08-27 2009-03-05 Murata Manufacturing Co., Ltd. 熱電変換モジュールおよびその製造方法
WO2015019811A1 (ja) * 2013-08-09 2015-02-12 株式会社村田製作所 積層型熱電変換素子
WO2017038553A1 (ja) * 2015-08-31 2017-03-09 富士フイルム株式会社 熱電変換モジュール
JP2018065290A (ja) 2016-10-19 2018-04-26 富士ゼロックス株式会社 データ処理装置、立体造形システム及びプログラム

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3554815A (en) * 1963-04-30 1971-01-12 Du Pont Thin,flexible thermoelectric device
WO2006011655A1 (ja) 2004-07-27 2006-02-02 National Institute Of Advanced Industrial Scienceand Technology 単層カーボンナノチューブおよび配向単層カーボンナノチューブ・バルク構造体ならびにそれらの製造方法・装置および用途
WO2009028337A1 (ja) * 2007-08-27 2009-03-05 Murata Manufacturing Co., Ltd. 熱電変換モジュールおよびその製造方法
WO2015019811A1 (ja) * 2013-08-09 2015-02-12 株式会社村田製作所 積層型熱電変換素子
WO2017038553A1 (ja) * 2015-08-31 2017-03-09 富士フイルム株式会社 熱電変換モジュール
JP2018065290A (ja) 2016-10-19 2018-04-26 富士ゼロックス株式会社 データ処理装置、立体造形システム及びプログラム

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023224091A1 (ja) * 2022-05-18 2023-11-23 国立大学法人東京大学 熱電変換素子及び熱電変換デバイス

Also Published As

Publication number Publication date
US20230389429A1 (en) 2023-11-30
EP4239698A1 (en) 2023-09-06
JPWO2022092039A1 (ja) 2022-05-05
CN116548095A (zh) 2023-08-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5316602B2 (ja) 熱拡散部材の接合構造、発熱体の冷却構造、及び熱拡散部材の接合方法
KR101100024B1 (ko) 열전소자
JP5891584B2 (ja) 熱電発電装置
WO2022092039A1 (ja) 熱電変換モジュール及び熱電変換モジュールの製造方法
US20180190892A1 (en) Thermoelectric conversion module, method of manufacturing thermoelectric conversion module, and thermally conductive substrate
US20110023962A1 (en) Solar Cell Element and Solar Cell Module
JP2004104041A (ja) 熱電変換装置及びその製造方法
JP2006294935A (ja) 高能率低損失熱電モジュール
TW200921871A (en) Heat conductor
JP5621698B2 (ja) 発熱体モジュール及びその製造方法
JP5293748B2 (ja) 熱電変換素子及びその製造方法並びに電子機器
JP5904006B2 (ja) 半導体装置
JP6553191B2 (ja) 熱電変換モジュール
WO2022070929A1 (ja) 熱電変換モジュール及び熱電変換モジュールの製造方法
WO2018143178A1 (ja) 熱電変換モジュール
WO2012026440A1 (ja) 太陽電池及びその製造方法
JP4669395B2 (ja) ペルチェ素子及びその製造方法
JP4640975B2 (ja) 熱拡散シート及び半導体装置
JP2010199373A (ja) 熱電モジュール
JP2012532468A (ja) 複数の熱電素子を有するモジュール
JP7363052B2 (ja) 熱電変換モジュール
WO2016136363A1 (ja) 熱電変換素子および熱電変換モジュール
JP4182719B2 (ja) 熱電発電装置
JP2023067217A (ja) 熱電変換素子および熱電変換モジュール、並びに、それらの製造方法
JP7294522B2 (ja) 燃料電池および燃料電池の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 21886157

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2022559134

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 18249969

Country of ref document: US

Ref document number: 202180072300.9

Country of ref document: CN

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2021886157

Country of ref document: EP

Effective date: 20230530