WO2022045073A1 - ボール搭載用マスク及びその製造方法 - Google Patents

ボール搭載用マスク及びその製造方法 Download PDF

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聡丈 小田
正心 飯島
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株式会社ボンマーク
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Definitions

  • the present invention relates to a ball mounting mask for mounting a conductive ball and a method for manufacturing the same.
  • the back side of the mask body and the conductivity are for the purpose of preventing flux or the like for fixing the conductive ball provided on the electrode of the object to be mounted such as a substrate from adhering to the back surface of the mask.
  • a ball-mounting mask in which recesses are formed around an opening pattern in which a large number of openings through which sex balls pass is formed is used.
  • a method for forming the concave portion for example, a mask is known in which the plating protrusion of the edge portion of the concave portion surrounding the opening pattern is suppressed on the back side of the mask body having a thick plate thickness (see, for example, Patent Document 1).
  • a plurality of opening pattern portions formed by plating and having a large number of openings through which the transferred conductive balls pass are arranged in the vertical direction and the horizontal direction.
  • a mask body is formed by plating and a conductive ball is transferred to the mask body in which the opening pattern portion of any of the vertically, horizontally, diagonally vertically and horizontally, or vertically, horizontally, diagonally vertically and horizontally is connected by a connecting groove, which is adjacent to the mask body.
  • the plurality of independent convex portions are thicker than the plate thickness of the opening pattern portion and the connecting groove to enhance the durability of the mask body, and the plurality of separate and independent convex portions have rounded peripheral edges. It is formed in an R shape.
  • the plurality of separate and independent convex portions have an internal convex portion having a protruding shape formed on a side that does not come into contact with the mounted object by the first plating layer, and a first plating layer on the surface of the internal convex portion. Is integrally formed by another second plating layer so as to cover the peripheral side surface of the inner convex portion and the lower surface on the mounted object side, and is composed of the outer convex portion on the side facing the electrode of the mounted object and separated.
  • the plurality of independent convex portions are thicker than the plate thickness of the opening pattern portion and the connecting groove to enhance the durability of the mask body.
  • a plurality of opening pattern portions formed by plating and having a large number of openings through which the transferred conductive balls pass are arranged in the vertical direction and the horizontal direction. It is formed by plating with a mask body in which any of the opening pattern portions adjacent to the opening pattern portion, such as up / down / left / right or diagonally up / down / left / right, or up / down, left / right, diagonally up / down / left / right, is connected by a connecting groove.
  • a step of forming the primary plating layer a step of removing the resist layer for forming the convex portion after the formation of the primary plating layer, and a primary residual plating portion formed by the primary plating layer and remaining without being peeled off.
  • a step of integrally forming an opening pattern portion, a connecting groove, and an external convex portion by the secondary plating layer, and a step of removing a plurality of resist layers for forming the openings after the formation of the secondary plating layer is completed. And, from the SUS base material to the mask body It is provided with a step of peeling off an internal convex portion composed of a residual plating portion of the primary plating layer, an external convex portion composed of a secondary plating layer, the opening pattern portion and the connecting portion.
  • a plurality of opening pattern portions formed by plating and having a large number of openings through which the transferred conductive balls pass are arranged in the vertical direction and the horizontal direction, and are vertically, horizontally, or diagonally adjacent to the opening pattern portion.
  • a part of the opening pattern portion on either the top, bottom, left, or right is connected by a connecting groove, except for the internal convex portion forming portion formed by the primary plating layer and consisting of the primary residual plating portion that remains without being peeled off. It is provided with a step of removing the primary plating layer of the opening pattern portion and the connecting groove forming portion connecting a part between the opening pattern portions and leaving an internal convex portion by the primary residual plating layer on the SUS base material.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG. 1 showing a ball mounting mask according to the first embodiment of the present invention. It is sectional drawing which shows the manufacturing method of the mask for mounting a ball in Example 1 of this invention in the order of a process. It is a top view which shows the mask for mounting a ball in Example 2 of this invention. It is sectional drawing along the DD line of FIG.
  • Example 6 which shows the mask for mounting a ball in Example 2 of this invention. It is sectional drawing along the line EE of FIG. 6 which shows the mask for mounting a ball in Example 2 of this invention. It is sectional drawing along the FF line of FIG. 6 which shows the mask for mounting a ball in Example 2 of this invention. It is a top view which shows the mask for mounting a ball in Example 3 of this invention. It is a top view which shows the mask for mounting a ball in Example 4 of this invention. It is a top view which shows the mask for mounting a ball in Example 5 of this invention.
  • the rectangular opening pattern portions 3 adjacent to each other are connected to each other by connecting grooves 4 extending in the vertical direction in the vertical direction and the horizontal direction in the left and right at the central portions of the four sides of the upper, lower, left and right sides.
  • the fact that the square opening pattern portion 3 and the connecting groove 4 are connected to each other in a series is important in the peeling work of the primary plating layer (discarded plating) that is peeled off and removed in the manufacturing method described later. It will have meaning.
  • the rectangular opening pattern portion 3 and the connecting groove 4 are formed by being connected by a second plating layer made of a secondary plating layer having a thin plate thickness.
  • the portions of the ball mounting mask 1 other than the square opening pattern portion 3 and the connecting groove 4 are separated from each other and are formed so as to have a thicker plate thickness than the square opening pattern portion 3 and the connecting groove 4.
  • the separated and independent convex portions 5 are formed by an internal convex portion composed of a residual plating layer remaining without being peeled off by the first plating layer and a second plating layer covering the entire outer periphery of the internal convex portion. It consists of an external convex portion, and is formed so as to project toward the surface of the mounted object, which is the side facing the electrode of the mounted object. The presence of the plurality of separate and independent convex portions 5 enhances the strength of the ball mounting mask 1.
  • the 18 convex portions 5b arranged on the peripheral edges of the upper, lower, left, and right sides excluding the four corners have a "convex" shape when viewed in a plan view. It is presented.
  • the six convex portions 5b arranged horizontally on the upper side have two opening patterns on the upper left and right at the two corners on both the lower left and right sides. One corner of the square shape of part 3 is biting into it.
  • the six convex portions 5b horizontally arranged on the lower side have two lower left and right openings at the two corners on both the upper left and right sides. One corner of the square shape of the pattern portion 3 bites into it.
  • the three convex portions 5b arranged vertically on the right side have two upper and lower right portions at two corners on both the upper and lower left sides. One corner of the square shape of the opening pattern portion 3 bites into it.
  • the three convex portions 5b arranged vertically on the left side are the two upper and lower left corners at the upper and lower left corners.
  • the four convex portions 5c arranged at the four corners have an L-shape when viewed in a plan view.
  • the two convex portions 5c arranged at the two upper left and right corners have a quadrangular shape of the upper opening pattern portion 3 at the lower left corner or the lower right corner. One of them is biting into it.
  • the two convex portions 5c arranged at the two lower left and right corners have a quadrangular shape of the lower opening pattern portion 3 at the upper left corner or the upper right corner. One of them is biting into it.
  • the primary plating layer 8 is formed so as to have a thickness of, for example, about 20 to 30 ⁇ m by plating the entire surface on the SUS base material 6 (see FIG. 5 (b)).
  • the primary plating layer 8 formed includes a primary residual plating portion 8a that serves as a base (base) for a plurality of separate and independent convex portions 5, and a primary waste plating portion 8b that is peeled off and removed in a later step. Divided into.
  • the resist layer 7 for forming the convex portion is removed (see FIG. 5C).
  • the rectangular opening pattern portions 3 adjacent to each other are connected by connecting grooves 4 extending in the vertical vertical direction and the horizontal horizontal direction at the central portions of the four sides of the upper, lower, left and right sides. Since the square opening pattern portion 3 and the connecting groove 4 are connected to each other in a series, the primary plating layer 8 is a primary residual plating portion that serves as a base (base) for a plurality of separate and independent convex portions 5. It is possible to peel off only the primary waste plated portion 8b, which is peeled off and removed, other than 8a (see FIG. 5D).
  • the mask body is plated on the SUS base material 6 and on the primary residual plating portion 8a which is the foundation (base) of the plurality of separate and independent convex portions 5 so as to have a specified thickness, for example, about 30 ⁇ m.
  • the secondary plating layer 9 is formed (see FIG. 5 (f)). As a result, an outer convex portion made of a second plating layer that covers the entire outer circumference of the inner convex portion is formed.
  • the mask body having a plurality of mutually separated and independent convex portions 5 formed so as to have a plate thickness is peeled off (see FIG. 5 (g)).
  • a ball mounting mask having a plurality of mutually separate and independent convex portions 5 formed so as to have a plate thickness thicker than that of the rectangular opening pattern portion 3 and the connecting groove 4 of the present invention is completed.
  • the quadrangular opening pattern portion 3 in which a plurality of openings 2a through which the conductive balls are inserted is formed is the ball mounting area.
  • the tip portions of the plurality of separate and independent convex portions 5 of the completed ball mounting mask 1 have a rounded R shape instead of a square edge portion.
  • the connecting groove 4 having the thickness of the secondary plating layer 9 does not need to connect all of the opening pattern portions 3, but has the effect of maximizing the tension from the mesh on the opening pattern portion 3.
  • all adjacent opening pattern portions are grooved at least in one of the vertical (vertical direction) or left / right (horizontal direction), or diagonally up / down / left / right directions. It is desirable to connect by processing.
  • a thin plate thickness portion formed only by the thickness of the secondary plating layer By applying a thin plate thickness portion formed only by the thickness of the secondary plating layer to the non-pattern area on the outer periphery of the pattern area of the mask body, more horizontal tension is applied in the pattern area where the opening is formed. Since the effect may be recognized, a thin portion formed only by the secondary plating layer may be intentionally formed in the non-pattern area on the mask body.
  • the mask for mounting the conductive ball of the present invention has an advantage that the work time required for the data processing work can be significantly shortened because the data for forming the convex portion is very simple and simplified. In terms of data creation, the effect of improving work efficiency can be expected.
  • the ball mounting mask 1 of the present invention has a rectangular opening pattern portion 3 in which a large number of openings 2 through which conductive balls (not shown) pass are formed in a vertical direction and a horizontal direction when viewed in a plan view. It is a ball mounting mask that is regularly arranged and arranged. In this embodiment, a case where a total of 48 square opening pattern portions 3 are arranged in 8 rows vertically in the vertical direction and 6 rows horizontally in the left and right directions is shown. There is.
  • the quadrangular opening pattern portions 3 adjacent to each other in the left and right horizontal directions are connected by connecting grooves 4 extending in the left and right horizontal directions at the central portions of the two left and right sides.
  • the primary plating in which the square opening pattern portions 3 and the connecting grooves 4 adjacent to each other in the horizontal direction on the left and right are connected to each other in a series is peeled off and removed in the manufacturing method as in the first embodiment. It will have an important meaning when peeling off (discard plating).
  • the rectangular opening pattern portion 3 and the connecting groove 4 are formed by being connected by a secondary plating layer having a thin plate thickness.
  • the portions of the ball mounting mask 1 other than the square opening pattern portion 3 and the connecting groove 4 are separated from each other and are formed so as to have a thicker plate thickness than the square opening pattern portion 3 and the connecting groove 4.
  • the presence of the plurality of separate and independent convex portions 5 enhances the strength of the ball mounting mask 1.
  • the convex portions 5 extending in the horizontal direction separately and independently are arranged in nine rows at a predetermined interval in the vertical direction is shown.
  • the seven horizontally extending convex portions 5d arranged in the central portion are the two horizontally arranged convex portions 5e arranged at the upper end portion and the lower end portion.
  • the seven convex portions 5d arranged in the central portion extending in the horizontal direction have an opening pattern portion 3 having a quadrangular upper and lower sides and a connecting groove 4 when viewed in a plan view.
  • the upper and lower sides of the central part are serrated.
  • the two wide convex portions 5e extending in the horizontal direction arranged at the upper end portion and the lower end portion are the wide convex portions 5e at the upper end portion when viewed in a plan view.
  • the lower side of the central portion and the upper side of the central portion of the wide convex portion 5e at the lower end portion are in contact with the rectangular opening pattern portion 3 and the connecting groove 4, respectively, and the lower side or the upper side of the central portion is serrated. Further, as shown in FIGS. 7 and 8, the tip portions of the nine separate and independent convex portions 5 are formed in an R shape having a rounded peripheral edge portion.
  • a rectangular opening pattern portion 3 adjacent to each other and a connecting groove 4 extending in the vertical vertical direction and the horizontal horizontal direction at the central portions of the four sides of the upper, lower, left and right sides are used. It was explained that only the primary waste plating portion 8b, which is peeled off and removed, is peeled off at a time, except for the primary residual plating portion 8a which is the basis (base) of the plurality of separated and independent convex portions 5.
  • the square opening pattern portions 3 adjacent to each other in the left and right horizontal directions are connected to each other in the left and right horizontal directions at the center portions of the two left and right sides.
  • the opening pattern portion 3 which is connected only by the groove 4 and is adjacent to the upper and lower vertical directions is not connected by the connecting groove 4, but is formed only by a secondary plating layer having a thin plate thickness equivalent to that of the connecting groove.
  • the ball mounting mask 1 of the present invention has substantially the same configuration as that of the second embodiment, and when viewed in a plan view, it has a rectangular shape in which a large number of openings 2 through which conductive balls (not shown) pass are formed. It is a ball mounting mask in which the opening pattern portions 3 are regularly arranged in the vertical and horizontal directions. In this embodiment, the square opening pattern portions 3 are arranged in four rows in the vertical direction and seven rows in the horizontal direction in the left and right directions. , A case where a total of 28 pieces are arranged is shown.
  • the quadrangular opening pattern portions 3 adjacent to each other in the left and right horizontal directions are connected by connecting grooves 4 extending in the left and right horizontal directions at the central portions of the two left and right sides.
  • the rectangular opening pattern portion 3 and the connecting groove 4 are formed by being connected by a secondary plating layer having a thin plate thickness.
  • the portions of the ball mounting mask 1 other than the square opening pattern portion 3 and the connecting groove 4 are separated from each other and are formed so as to have a thicker plate thickness than the square opening pattern portion 3 and the connecting groove 4.
  • the convex portions 5 extending in the horizontal direction separately and independently are arranged in five rows at a predetermined interval in the vertical direction is shown.
  • the three horizontally extending convex portions 5d arranged in the central portion are the two horizontally arranged convex portions 5e arranged at the upper end portion and the lower end portion.
  • the structure is slightly wider than that.
  • the three horizontally extending convex portions 5d arranged in the central portion have an opening pattern portion 3 having a quadrangular upper and lower sides and a connecting groove 4 when viewed in a plan view.
  • the upper and lower sides of the central part are serrated.
  • the two slightly narrow convex portions 5e arranged at the upper end portion and the lower end portion and extending in the horizontal direction are the convex portions 5e at the upper end portion when viewed in a plan view.
  • the lower side of the central portion and the upper side of the central portion of the convex portion 5e at the lower end portion are in contact with the rectangular opening pattern portion 3 and the connecting groove 4, respectively, and the lower side or the upper side of the central portion is serrated.
  • the tip portions of the five separate and independent convex portions 5 are formed in an R shape having a rounded peripheral edge portion.
  • only the secondary plating layer is formed on a portion (non-pattern area on the outer periphery of the pattern area of the mask body) located on the outer periphery of the plurality (five) convex portions 5 separated and independent from each other.
  • a thin portion is intentionally formed.
  • the ball mounting mask 1 of the present invention has a rectangular opening pattern portion 3 in which a large number of openings 2 through which conductive balls (not shown) pass are formed in a vertical direction and a horizontal direction when viewed in a plan view. It is a ball mounting mask that is regularly arranged and arranged. In this embodiment, a case is shown in which a total of 24 square opening pattern portions 3 are arranged in 4 rows vertically in the vertical direction and 6 rows horizontally in the left and right directions. There is.
  • the quadrangular opening pattern portions 3 adjacent to each other in the vertical direction in the vertical direction are connected by connecting grooves 4 extending in the vertical direction in the vertical direction at two locations on the left and right side ends of the opening pattern portion 3.
  • the rectangular opening pattern portion 3 and the connecting groove 4 are formed by being connected by a secondary plating layer having a thin plate thickness.
  • the portions of the ball mounting mask 1 other than the square opening pattern portion 3 and the connecting groove 4 are separated from each other and are formed so as to have a thicker plate thickness than the square opening pattern portion 3 and the connecting groove 4.
  • the presence of the plurality of separate and independent convex portions 5 enhances the strength of the ball mounting mask 1.
  • seven vertically long convex portions 5f extending continuously in the vertical vertical direction are arranged in the left and right horizontal directions at predetermined intervals (7 rows).
  • five rectangular shapes are arranged intermittently in the vertical direction in the vertical direction by arranging the opening pattern portion 3 in the middle portion between the vertically long convex portions 5f.
  • the case where 6 rows of convex portions 5g are arranged is shown.
  • the seven vertically long convex portions 5f extending in the vertical direction in the vertical direction are the inner four opening pattern portions 3 having square left and right side ends when viewed in a plan view.
  • the connecting groove 4, and of the vertically long convex portions 5f, the two arranged at the left and right left and right end portions are the opening pattern portion 3 and the connecting groove 4 having a quadrangular right end or left end. Are in contact with each other.
  • the central portion 3 When viewed in a plan view, the left and right end portions and the upper and lower end portions are in contact with the rectangular opening pattern portion 3 and the connecting groove 4, respectively.
  • the upper and lower end portions thereof are in contact with the square opening pattern portion 3 and the connecting groove 4, respectively, at the left and right side end portions and the lower end portion or the upper end portion.
  • the tip portions of the 37 separate and independent convex portions 5 are formed in an R shape having a rounded peripheral edge portion.
  • the ball mounting mask 1 of the present invention has a rectangular opening pattern portion 3 in which a large number of openings 2 through which conductive balls (not shown) pass are formed in a vertical direction and a horizontal direction when viewed in a plan view. It is a ball mounting mask that is regularly arranged and arranged. In this embodiment, a case where a total of 28 square opening pattern portions 3 are arranged in 4 rows vertically in the vertical direction and 7 rows horizontally in the left and right directions is shown. There is.
  • the four quadrangular opening pattern portions 3 arranged at the left end portion or the right end portion are vertically located at the central portions of the upper and lower sides. All of the vertically adjacent opening pattern portions 3 are connected by the connecting groove 4 extending in the vertical direction of the above. Further, among the quadrangular opening pattern portions 3 adjacent to each other, the 20 quadrangular opening pattern portions 3 arranged in the vertical 5 rows of the central portion are the central portions of the upper and lower sides and the central portion of the lower side. Alternatively, all of the vertically adjacent opening pattern portions 3 are connected by a connecting groove 4 extending in the vertical direction at the center of the upper side.
  • the seven opening pattern portions 3 arranged at the uppermost end portion and the seven opening pattern portions 3 arranged at the lowermost end portion are left and right.
  • a connecting groove 4 extending in the horizontal direction is connected to the central side of the opening pattern portion 3.
  • the fact that the square opening pattern portion 3 and the connecting groove 4 are connected to each other in a series is important in the peeling work of the primary plating layer (discarded plating) that is peeled off and removed in the manufacturing method described later. It will have meaning.
  • the rectangular opening pattern portion 3 and the connecting groove 4 are formed by being connected by a second plating layer made of a secondary plating layer having a thin plate thickness.
  • a case is shown in which a plurality of separate and independent convex portions 5 are arranged at two upper and lower ends, two at the left and right ends, and six at the center, for a total of ten.
  • the two vertical convex portions 5h arranged at the left and right end portions have serrated shapes on the sides facing each other when viewed in a plan view.
  • the two horizontal convex portions 5h arranged at the upper and lower end portions have a serrated shape on the sides facing each other when viewed in a plan view.
  • the 6 rows and 6 convex portions 5i arranged in the central portion have a three-story structure when viewed in a plan view.
  • the tip portions of the 10 separate and independent convex portions 5 are formed in an R shape having a rounded peripheral edge portion.
  • the residual plating that protrudes and remains on the SUS base material other than the discarded plated portion that is removed after the primary plating is not limited to the method of peeling off the waste plating.
  • a portion other than the portion that becomes the internal convex portion is covered with a resist film or the like, and only the internal convex portion is plated and laminated by primary plating.
  • the part to be left as an internal convex part is covered with a resist film or the like, and the other part to be removed is corroded by etching with ferric chloride or the like. It is also possible to form an internal protrusion.
  • the internal convex portion is formed by the method of removing the discarded plating by the primary plating as in the embodiment, and the internal convex portion is formed by the second plating layer by the secondary plating.
  • a method of integrally forming a plurality of separate and independent convex portions so as to cover the outer periphery is desirable in terms of plate thickness accuracy.
  • Ball mounting mask Opening 3 Opening pattern (cell) 4 Connecting groove 5 Multiple independent convex parts 5a Cross-shaped convex part 5b Convex-shaped convex part 5c L-shaped convex part 5d Narrow or wide convex part 5e Wide or narrow convex part 5f Vertically long Convex part 5g Square convex part 5h Convex convex part 5i L-shaped convex part 6 SUS base material 7 Resist layer for forming convex part 8 Primary plating layer 8a Primary residual plating part 8b Primary discard plating part 9 2 Next plating layer

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Abstract

マスク裏面の厚膜の厚い凸部を分離独立させるための隣接する開口パターン部間に膜厚の薄い溝を形成して開口パターン部の歪みや弛みを制御しつつ、マスクとしての耐久性と開口パターン部の位置精度の向上を実現させたボール搭載用マスクを得る。導電性ボールが通過する開口パターン部が縦方向及び横方向に複数配置され、開口パターン部に隣接する上下左右又は斜め上下左右、或いは上下、左右、斜め上下左右の一部のいずれかの開口パターン間が連結溝により連結されたマスク本体と、被搭載物の電極と対向するマスク本体裏面の開口パターン部以外に部分的に突出され、互に分離独立した複数の凸部とを備え、分離独立した複数の凸部は、開口パターン部及び連結溝の板厚よりも厚くマスク本体の耐久性を高めており、分離独立した複数の凸部は、その周縁エッジ部が丸味を持ったＲ形状に形成される。

Description

ボール搭載用マスク及びその製造方法
　この発明は、導電性ボールを搭載するためのボール搭載用マスク及びその製造方法に関するものである。
　ボール搭載用マスクにおいては、基板等の被搭載対象物の電極上に設けられた導電性ボールを固定させるためのフラックス等がマスク裏面に付着するのを防ぐ目的として、マスク本体の裏側でかつ導電性ボールが通過する多数の開口部が形成された開口パターン周辺に凹部が形成されたボール搭載用マスクが使用されている。この凹部を形成する方法として、例えば、板厚の厚いマスク本体の裏側に開口パターンを取り囲む凹部の縁部のメッキ突出を抑えるようにしたマスクが知られている（例えば、特許文献１参照）。また、他のボール搭載用マスクとしては、膜厚の厚いマスク本体の裏側に凹部を形成する方法ではなく、マスク本体の裏側に分離独立した円柱形や楕円形の突起部を多数形成する方法も用いられている（例えば、特許文献２参照）。
特開２０１０－２４７５００号公報 特開２０１７－５０２３号公報
　従来の特許文献１記載のボール搭載用マスクでは、開口パターン周辺を完全に厚いメッキ皮膜で取り囲むように凹部を形成しているので、開口パターン周辺の凹部に水平方向の張力がかからず、重要な開口パターン部に撓みや歪みが発生してしまい、搭載不良が発生し易くなるという問題があった。また、この製造方法では、工程の中で２次メッキを行う前に凹部を形成するために不要となる開口パターン部の１次メッキ電着層を除去する工程（捨てメッキ除去工程）が必要であるが、複数ある開口パターン毎に不要となる１次メッキ電着層を除去しなければならないため、量産での適応は工数がかかりすぎることもあり、量産での採用は難しかった。また、特許文献２記載のボール搭載用マスクでは、版枠への装着時にメッシュからもたらせる張力がマスク本体にかかる際に、分離独立した突起部が力の加わる方向に変位できるため、開口パターン部にも張力が作用し、開口パターン部に歪みが発生し難く、水平方向に維持されるというメリットがあるが、その反面で、マスク本体の大部分が薄い構造となるため、マスクとしての耐久性やマスクにかかる張力により開口パターン部の経時変形や位置精度のずれが発生し易いという問題があった。
　この発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、開口パターン部周辺を完全に厚いメッキ皮膜で取り囲むことなく、開口パターン部に水平方向の張力が作用するようにマスク裏面の厚膜の厚い凸部を分離独立させるための隣接する開口パターン部間に膜厚の薄い溝を形成して、開口パターン部の歪みや弛みを制御しつつ、マスクとしての耐久性と開口パターン部の位置精度の向上を実現させたボール搭載用マスク及びその製造方法を提供するものである。
　この発明に係るボール搭載用マスクにおいては、メッキにより形成され、振り込まれた導電性ボールが通過する多数の開口部が形成された開口パターン部が縦方向及び横方向に複数配置され、開口パターン部に隣接する上下左右又は斜め上下左右、或いは上下、左右、斜め上下左右の一部のいずれかの開口パターン部間が連結溝により連結されたマスク本体と、メッキにより形成され、導電性ボールが振り込まれる側ではなく導電性ボールを搭載する被搭載物の電極と対向する側となるマスク本体裏面の開口パターン部以外に部分的に突出され、互に分離独立した複数の凸部とを備え、分離独立した複数の凸部は、開口パターン部及び連結溝の板厚よりも厚くなってマスク本体の耐久性を高めており、分離独立した複数の凸部は、その周縁エッジ部が丸味を持ったＲ形状に形成されているものである。
　分離独立した複数の凸部は、第１のメッキ層により被搭載物とは接触しない側に形成される、突出した形状からなる内部凸部と、内部凸部の表面に第１のメッキ層とは別の第２のメッキ層により内部凸部の周側面及び被搭載物側下面を覆うように一体的に形成され、被搭載物の電極と対向する側となる外部凸部とからなり、分離独立した複数の凸部は、開口パターン部及び連結溝の板厚よりも厚くなってマスク本体の耐久性を高めたものである。
　また、この発明に係るボール搭載用マスクの製造方法においては、メッキにより形成され、振り込まれた導電性ボールが通過する多数の開口部が形成された開口パターン部が縦方向及び横方向に複数配置され、開口パターン部に隣接する上下左右又は斜め上下左右、或いは上下、左右、斜め上下左右の一部のいずれかの開口パターン部間が連結溝により連結されたマスク本体と、メッキにより形成され、導電性ボールが振り込まれる側ではなく導電性ボールを搭載する被搭載物の電極と対向する側となるマスク本体裏面の開口パターン部以外に部分的に突出され、互に分離独立した複数の凸部とを備え、分離独立した複数の凸部は、第１のメッキ層により被搭載物とは接触しない側に形成される、剥がされずに残留された残留メッキ部分からなる内部凸部と、内部凸部の表面に第１のメッキ層とは別の第２のメッキ層により内部凸部の周側面及び被搭載物側下面を覆うように一体的に形成され、被搭載物の電極と対向する側となる外部凸部とからなり、マスク本体は、第２のメッキ層により外部凸部と一体的に形成されており、第１のメッキ層の残留メッキ部分と第２のメッキ層とが重なって形成された分離独立した複数の凸部は、開口パターン部及び連結溝の板厚よりも厚くなってマスク本体の耐久性を高めており、分離独立した複数の凸部は、その周縁エッジ部が丸味を持ったＲ形状に形成されるものであって、ＳＵＳ母材上に凸部形成用のレジスト層を形成する工程と、凸部が所定の高さとなるようにＳＵＳ母材上にメッキすることにより、一次メッキ層を形成する工程と、一次メッキ層の形成が終わったら、凸部形成用のレジスト層を除去する工程と、一次メッキ層により形成され、剥がさずに残留させる一次残留メッキ部分からなる内部凸部形成部分以外の開口パターン部及び開口パターン部間の全てを連結する連結溝の形成部分の一次メッキ層を取り除き、ＳＵＳ母材上に一次残留メッキ層による内部凸部を残す工程と、ＳＵＳ母材上の内部凸部間に複数の開口部形成用のレジスト層を形成する工程と、マスク本体が指定の厚さとなるようにＳＵＳ母材上及び内部凸部上にメッキすることにより、二次メッキ層による開口パターン部、連結溝、及び外部凸部を一体的に形成する工程と、二次メッキ層の形成が終わったら、複数の開口部形成用のレジスト層を除去する工程と、ＳＵＳ母材からマスク本体となる一次メッキ層の残留メッキ部分からなる内部凸部、二次メッキ層からなる外部凸部、前記開口パターン部及び連結部を剥離する工程と、を備えたものである。
　また、メッキにより形成され、振り込まれた導電性ボールが通過する多数の開口部が形成された開口パターン部が縦方向及び横方向に複数配置され、開口パターン部に隣接する上下又は左右、或いは斜め上下左右のいずれかの開口パターン部の一部が連結溝により連結されたものであって、一次メッキ層により形成される、剥がさずに残留させる一次残留メッキ部分からなる内部凸部形成部分以外の開口パターン部及び開口パターン部間の一部を連結する連結溝の形成部分の一次メッキ層を取り除き、ＳＵＳ母材上に一次残留メッキ層による内部凸部を残す工程を備えたものである。
　この発明によれば、開口パターン部周辺を完全に厚いメッキ皮膜で取り囲むことなく、開口パターン部に版枠への装着時にメッシュからもたらせる水平方向の張力が作用するようにマスク裏面の厚膜の厚い凸部を分離独立させるための膜厚の薄い溝を形成して、開口パターン部の歪みや弛みを制御しつつ、マスクとしての耐久性と開口パターン部の位置精度の向上を実現させることができる。
この発明の実施例１におけるボール搭載用マスクを示す平面図である。 この発明の実施例１におけるボール搭載用マスクを示す図１のＡ－Ａ線に沿った断面図である。 この発明の実施例１におけるボール搭載用マスクを示す図１のＢ－Ｂ線に沿った断面図である。 この発明の実施例１におけるボール搭載用マスクを示す図１のＣ－Ｃ線に沿った断面図である。 この発明の実施例１におけるボール搭載用マスクの製造方法を工程順に示す断面図である。 この発明の実施例２におけるボール搭載用マスクを示す平面図である。 この発明の実施例２におけるボール搭載用マスクを示す図６のＤ－Ｄ線に沿った断面図である。 この発明の実施例２におけるボール搭載用マスクを示す図６のＥ－Ｅ線に沿った断面図である。 この発明の実施例２におけるボール搭載用マスクを示す図６のＦ－Ｆ線に沿った断面図である。 この発明の実施例３におけるボール搭載用マスクを示す平面図である。 この発明の実施例４におけるボール搭載用マスクを示す平面図である。 この発明の実施例５におけるボール搭載用マスクを示す平面図である。
実施例１．
　この発明の実施例１におけるボール搭載用マスクの構造について、図１～図４により説明する。
　この発明のボール搭載用マスク１は、平面視で見ると、導電性ボール（図示せず）が通過する多数の開口部２が形成された四角形状の開口パターン部３を縦方向及び横方向に規則正しく整列配置したボール搭載用マスクである。この実施例では、四角形状の開口パターン部３を上下の垂直方向に４列、左右の水平方向に７列、計２８個を配置した場合を示している。そして、互に隣接する四角形状の開口パターン部３は、上下左右の四辺の各中央部で上下の垂直方向及び左右の水平方向に延びる連結溝４により開口パターン部間の連結がなされている。この四角形状の開口パターン部３と連結溝４とが互いに一連に連結されていることが後述する製造方法において、剥がされて除去される一次メッキ層（捨てメッキ）の剥がし作業の際、重要な意味を持つことになる。四角形状の開口パターン部３と連結溝４とは、薄い板厚からなる二次メッキ層による第２のメッキ層により連結して形成されている。ボール搭載用マスク１の四角形状の開口パターン部３及び連結溝４以外の部分は、四角形状の開口パターン部３及び連結溝４よりも厚い板厚になるように形成された互に分離独立した複数の凸部５である。この分離独立した複数の凸部５は、第１のメッキ層により剥がされずに残留された残留メッキ層からなる内部凸部と、内部凸部の外周全面を覆う第２のメッキ層により形成された外部凸部とからなり、被搭載物の電極と対向する側となるマスク本体の被搭載物面側に突出して形成されるものである。そして、この分離独立した複数の凸部５の存在により、ボール搭載用マスク１としての強度が高められている。この実施例では、分離独立した複数の凸部５を上下の垂直方向に５列、左右の水平方向に８列、計４０個を配置した場合を示している。分離独立した複数の凸部５のうち、中央部に配置された垂直方向の３列、水平方向の６列、計１８個の凸部５ａは、平面視で見ると、十字状を呈している。この十字状の凸部５ａは、上下左右の４つ隅角部に上下左右４個の開口パターン部３の四角形状のうちの一角が食い込んでいる。また、分離独立した複数の凸部５のうち、４つの隅角部を除く上下左右辺の周縁部に配置された１８個の凸部５ｂは、平面視で見ると、「凸」字状を呈している。この１８個の「凸」字状の凸部５ｂのうち、上側辺に水平方向に配置された６個の凸部５ｂは、下部左右両側の２つ隅角部に上部左右２個の開口パターン部３の四角形状のうちの一角が食い込んでいる。この１８個の「凸」字状の凸部５ｂのうち、下側辺に水平方向に配置された６個の凸部５ｂは、上部左右両側の２つ隅角部に下部左右２個の開口パターン部３の四角形状のうちの一角が食い込んでいる。この１８個の「凸」字状の凸部５ｂのうち、右側辺に垂直方向に配置された３個の凸部５ｂは、左部上下両側の２つ隅角部に右部上下２個の開口パターン部３の四角形状のうちの一角が食い込んでいる。この１８個の「凸」字状の凸部５ｂのうち、左側辺に垂直方向に配置された３個の凸部５ｂは、左部上下両側の２つ隅角部に左部上下の２個の開口パターン部３の四角形状のうちの一角が食い込んでいる。分離独立した複数の凸部５のうち、４つの隅角部に配置された４個の凸部５ｃは、平面視で見ると、Ｌ字状を呈している。このＬ字状の凸部５ｃのうち、上部左右２つの隅角部に配置された２個の凸部５ｃは、下部左側又は下部右側の隅角部に上部の開口パターン部３の四角形状のうちの一角が食い込んでいる。このＬ字状の凸部５ｃのうち、下部左右２つの隅角部に配置された２個の凸部５ｃは、上部左側又は上部右側の隅角部に下部の開口パターン部３の四角形状のうちの一角が食い込んでいる。また、分離独立した４０個の凸部５の先端部は、図２、図３に示すように、周縁エッジ部が丸味を持ったＲ形状に形成されている。なお、図２に示す断面図では、簡略化のため、四角形状の開口パターン部３に多数形成される開口部２を省略して示している。
　この発明の実施例１におけるボール搭載用マスクの製造方法を図５により説明する。
　先ず、ＳＵＳ母材６上にレジストをラミネートし、所要の露光、現像処理を行い、ＳＵＳ母材６上に凸部形成用のレジスト層７を部分的に形成する（図５（ａ）参照）。なお、この発明の明細書ではフィルムレジストを用いているが、使用するレジストは液体レジストでも構わない。この凸部形成用のレジスト層７は、例えば突条、線状等であるが、多角形状等でも良く突条、線状に限ることはない。次に、ＳＵＳ母材６上の全体にメッキすることにより、例えば、厚さ約２０～３０μｍとなるように一次メッキ層８を形成する（図５（ｂ）参照）。この時、形成される一次メッキ層８は、分離独立した複数の凸部５の基礎（下地）となる一次残留メッキ部分８ａと、後の工程で剥がされて除去される一次捨てメッキ部分８ｂとに分かれる。そして、一次メッキ層８の形成が終わったら、凸部形成用のレジスト層７を除去する（図５（ｃ）参照）。そして、この状態における平面視を見ると、互に隣接する四角形状の開口パターン部３は、上下左右の四辺の各中央部で上下垂直方向及び左右水平方向に延びる連結溝４により連結されており、この四角形状の開口パターン部３と連結溝４とが互いに一連に連結されていることにより、一次メッキ層８は、分離独立した複数の凸部５の基礎（下地）となる一次残留メッキ部分８ａ以外の、剥がされて除去される一次捨てメッキ部分８ｂのみを一度に剥がすことが可能になる訳である（図５（ｄ）参照）。次に、分離独立した複数の凸部５の基礎（下地）となる一次残留メッキ部分８ａ以外の一次捨てメッキ部分８ｂを全て取り除き、ＳＵＳ母材６上に分離独立した複数の凸部５の基礎（下地）となる一次残留メッキ部分８ａのみを残し、第１のメッキ層からなる厚さ約２０～３０μｍの内部凸部を形成する（図５（ｅ）参照）。そして、図示及び詳細な説明を省略するが、ＳＵＳ母材６上における四角形状の開口パターン部３の形成位置に周知の開口部形成用のレジストをラミネートし、パターン露光、現像等の処理を行い、導電性ボールが通過する開口部２用のレジストを形成する。次に、マスク本体が指定の厚さ、例えば、約３０μｍとなるようにＳＵＳ母材６上及び分離独立した複数の凸部５の基礎（下地）となる一次残留メッキ部分８ａ上にメッキすることにより、二次メッキ層９を形成する（図５（ｆ）参照）。これにより、内部凸部の外周全面を覆う第２のメッキ層からなる外部凸部を形成する。最後に、ＳＵＳ母材６から分離独立した複数の凸部５の基礎（下地）となる一次残留メッキ部分８ａ及び二次メッキ層９からなる四角形状の開口パターン部３及び連結溝４よりも厚い板厚（例えば、厚さ５０～６０μｍ）になるように形成された互に分離独立した複数の凸部５を備えたマスク本体を剥離する（図５（ｇ）参照）。以上により、この発明の四角形状の開口パターン部３及び連結溝４よりも厚い板厚になるように形成された互に分離独立した複数の凸部５を備えたボール搭載用マスクが完成する。導電性ボールが挿通する開口部２ａが複数形成された四角形状の開口パターン部３がボール搭載領域である。なお、完成したボール搭載用マスク１の分離独立した複数の凸部５の先端部は、その周縁エッジ部が、角張った形状ではなく、丸味を持ったＲ形状となる。
　二次メッキ層９の厚み（例えば、約３０μｍ）からなる連結溝４は、開口パターン部３の全てを連結させる必要はないが、開口パターン部３にメッシュからの張力を最大限作用させる効果や一次メッキ後に不要となる捨てメッキ除去作業の工数を勘案した場合、少なくとも上下（縦方向）又は左右（横方向）、或いは斜め上下左右いずれかの一方向だけでも隣接する全ての開口パターン部を溝加工で連結させることが望ましい。
　マスク本体のパターンエリア外周の非パターンエリアに二次メッキ層の厚みのみで形成される薄い板厚部分を施すことで、開口部が形成されるパターンエリア内に水平方向の張力をより多く作用させる効果が認められることもあるので、マスク本体上の非パターンエリアに二次メッキ層のみで形成される膜厚の薄い部分を意図的に形成しても構わない。
　フラックスの付着を防ぐため、マスク本体の被搭載物面側（裏側）に複数の円柱や楕円形の突起を形成する導電性ボール搭載用マスクが存在するが、マスク用データにはこれら複数の突起を開口パターン周辺部に配置するデータ処理作業が必要となる。導電性ボール搭載用マスクのパターンは、１点一様で大小様々なパターンが存在するため、特許文献２のように、分離独立した複数の突起をマスクデータに配置していく作業はかなり煩雑になる。これに対し、この発明の導電性ボール搭載用マスクは、凸部形成用のデータは非常に単純で簡素化されたものになるので、データ処理作業にかかる作業時間を大幅に短縮できる利点があり、データ作成の面でも作業効率の向上を図る効果が期待できる。
実施例２．
　この発明の実施例２におけるボール搭載用マスクの構造について、図６～図９により説明する。
　この発明のボール搭載用マスク１は、平面視で見ると、導電性ボール（図示せず）が通過する多数の開口部２が形成された四角形状の開口パターン部３を縦方向及び横方向に規則正しく整列配置したボール搭載用マスクであり、この実施例では、四角形状の開口パターン部３を上下の垂直方向に８列、左右の水平方向に６列、計４８個を配置した場合を示している。そして、左右の水平方向に互に隣接する四角形状の開口パターン部３は、左右の二辺の各中央部で左右の水平方向に延びる連結溝４により連結されている。この左右の水平方向に互に隣接する四角形状の開口パターン部３と連結溝４とが互いに一連に連結されていることが実施例１と同様に製造方法において、剥がされて除去される一次メッキ（捨てメッキ）の剥がし作業の際、重要な意味を持つことになる。四角形状の開口パターン部３と連結溝４とは、薄い板厚からなる２次メッキ層により連結して形成されている。ボール搭載用マスク１の四角形状の開口パターン部３及び連結溝４以外の部分は、四角形状の開口パターン部３及び連結溝４よりも厚い板厚になるように形成された互に分離独立した複数（９個）の凸部５である。この分離独立した複数の凸部５の存在により、ボール搭載用マスク１としての強度が高められている。この実施例では、分離独立して水平方向に延びる凸部５を上下方向に所定の間隔を置いて９列配置した場合を示している。分離独立した複数の凸部５のうち、中央部に配置された水平方向に延びる７個の凸部５ｄは、上端部及び下端部に配置された水平方向に配置された２個の凸部５ｅよりも幅狭の構造である。分離独立した複数の凸部５のうち、中央部に配置された水平方向に延びる７個の凸部５ｄは、平面視で見ると、上下辺が四角形状の開口パターン部３と連結溝４とにそれぞれ接しており、中央部上下辺が鋸歯状になっている。また、分離独立した複数の凸部５のうち、上端部及び下端部に配置された水平方向に延びる２個の幅広の凸部５ｅは、平面視で見ると、上端部の幅広の凸部５ｅの中央部下辺及び下端部の幅広の凸部５ｅの中央部上辺が四角形状の開口パターン部３と連結溝４とにそれぞれ接しており、中央部下辺又は上辺が鋸歯状になっている。また、分離独立した９個の凸部５の先端部は、図７、図８に示すように、周縁エッジ部が丸味を持ったＲ形状に形成されている。
　上記実施例１におけるボール搭載用マスクの製造方法においては、互に隣接する四角形状の開口パターン部３と、上下左右の四辺の各中央部で上下垂直方向及び左右水平方向に延びる連結溝４とを互いに連結させて、分離独立した複数の凸部５の基礎（下地）となる一次残留メッキ部分８ａ以外の、剥がされて除去される一次捨てメッキ部分８ｂのみを一度に剥がすことを説明した。この発明の実施例２におけるボール搭載用マスクの製造方法では、左右の水平方向に互に隣接する四角形状の開口パターン部３は、左右の二辺の各中央部で左右の水平方向に延びる連結溝４だけにより連結されており、上下の垂直方向などに隣接する開口パターン部３は連結溝４により連結されていないが、連結溝と同等の薄い板厚からなる二次メッキ層のみで形成されるエリアをマスク本体のパターンエリア外周部に設け、このパターンエリア外周部と開口パターン部を連結溝で繋ぐことにより、実施例１と同様に、一方向だけの連結でも分離独立した複数の凸部５の基礎（下地）となる一次残留メッキ部分８ａ以外の、剥がされて除去される一次捨てメッキ部分８ｂ全てを一度に剥がすことが可能となる。また、実施例２と同様に、例えば、上下垂直方向の一方向のみで互に隣接する開口パターン部が連結されている場合でも、マスク本体のパターンエリア外周部に二次メッキ層のみの薄い板厚のエリアを設け、このパターンエリア外周部と開口パターン部を連結溝で繋げれば、捨てメッキ部分８ｂは一度に纏めて剥がすことができる。
実施例３．
　この発明の実施例３におけるボール搭載用マスクの構造について、図１０により説明する。
　この発明のボール搭載用マスク１は、実施例２とほぼ同様の構成であり、平面視で見ると、導電性ボール（図示せず）が通過する多数の開口部２が形成された四角形状の開口パターン部３を縦方向及び横方向に規則正しく整列配置したボール搭載用マスクであり、この実施例では、四角形状の開口パターン部３を上下の垂直方向に４列、左右の水平方向に７列、計２８個を配置した場合を示している。そして、左右の水平方向に互に隣接する四角形状の開口パターン部３は、左右の二辺の各中央部で左右の水平方向に延びる連結溝４により連結されている。四角形状の開口パターン部３と連結溝４とは、薄い板厚からなる２次メッキ層により連結して形成されている。ボール搭載用マスク１の四角形状の開口パターン部３及び連結溝４以外の部分は、四角形状の開口パターン部３及び連結溝４よりも厚い板厚になるように形成された互に分離独立した複数（５個）の凸部５である。この分離独立した複数の凸部５の存在により、ボール搭載用マスク１としての強度が高められている。この実施例では、分離独立して水平方向に延びる凸部５を上下方向に所定の間隔を置いて５列配置した場合を示している。分離独立した複数の凸部５のうち、中央部に配置された水平方向に延びる３個の凸部５ｄは、上端部及び下端部に配置された水平方向に配置された２個の凸部５ｅよりも若干幅広の構造である。分離独立した複数の凸部５のうち、中央部に配置された水平方向に延びる３個の凸部５ｄは、平面視で見ると、上下辺が四角形状の開口パターン部３と連結溝４とにそれぞれ接しており、中央部上下辺が鋸歯状になっている。また、分離独立した複数の凸部５のうち、上端部及び下端部に配置された水平方向に延びる２個の若干幅狭の凸部５ｅは、平面視で見ると、上端部の凸部５ｅの中央部下辺及び下端部の凸部５ｅの中央部上辺が四角形状の開口パターン部３と連結溝４とにそれぞれ接しており、中央部下辺又は上辺が鋸歯状になっている。また、分離独立した５個の凸部５の先端部は、周縁エッジ部が丸味を持ったＲ形状に形成されている。
　この実施例３では、互に分離独立した複数（５個）の凸部５の更に外周に位置する部分（マスク本体のパターンエリア外周の非パターンエリア）に、二次メッキ層のみで形成される膜厚の薄い部分を意図的に形成したものである。
実施例４．
　この発明の実施例４におけるボール搭載用マスクの構造について、図１１により説明する。
　この発明のボール搭載用マスク１は、平面視で見ると、導電性ボール（図示せず）が通過する多数の開口部２が形成された四角形状の開口パターン部３を縦方向及び横方向に規則正しく整列配置したボール搭載用マスクであり、この実施例では、四角形状の開口パターン部３を上下の垂直方向に４列、左右の水平方向に６列、計２４個を配置した場合を示している。上下の垂直方向に互に隣接する四角形状の開口パターン部３は、開口パターン部３の左右両側端部の二箇所で上下の垂直方向に延びる連結溝４により連結されている。四角形状の開口パターン部３と連結溝４とは、薄い板厚からなる２次メッキ層により連結して形成されている。ボール搭載用マスク１の四角形状の開口パターン部３及び連結溝４以外の部分は、四角形状の開口パターン部３及び連結溝４よりも厚い板厚になるように形成された互に分離独立した複数（３７個）の凸部５である。この分離独立した複数の凸部５の存在により、ボール搭載用マスク１としての強度が高められている。この実施例では、分離独立した複数の凸部５のうち、上下の垂直方向に連続して延びる縦長の凸部５ｆを左右の水平方向に所定の間隔を置いて７個（７列）配置し、分離独立した複数の凸部５のうち、縦長の凸部５ｆの間で、かつ開口パターン部３を中間部に配置して上下の垂直方向に間欠的に配置された５個の四角形状の凸部５ｇを６列配置した場合を示している。分離独立した複数の凸部５のうち、上下の垂直方向に延びる７個の縦長の凸部５ｆは、平面視で見ると、内側の４個の左右両側端部が四角形状の開口パターン部３と連結溝４とにそれぞれ接しており、縦長の凸部５ｆのうち、左右両側端部に配置された２個は、右側端部又は左側端部が四角形状の開口パターン部３と連結溝４とにそれぞれ接している。また、縦長の凸部５ｆの間で、かつ開口パターン部３を中間部に配置して上下の垂直方向に間欠的に配置された５個の四角形状の凸部５ｇのうち、中央部の３個は、平面視で見ると、左右両側端部及び上下両端部が四角形状の開口パターン部３と連結溝４とにそれぞれ接している。また、縦長の凸部５ｆの間で、かつ開口パターン部３を中間部に配置して上下の垂直方向に間欠的に配置された５個の四角形状の凸部５ｇのうち、上下端部の２個は、平面視で見ると、左右両側端部及び下端部又は上端部が四角形状の開口パターン部３と連結溝４とにそれぞれ接している。また、分離独立した３７個の凸部５の先端部は、周縁エッジ部が丸味を持ったＲ形状に形成されている。
実施例５．
　この発明の実施例５におけるボール搭載用マスクの構造について、図１２により説明する。
　この発明のボール搭載用マスク１は、平面視で見ると、導電性ボール（図示せず）が通過する多数の開口部２が形成された四角形状の開口パターン部３を縦方向及び横方向に規則正しく整列配置したボール搭載用マスクであり、この実施例では、四角形状の開口パターン部３を上下の垂直方向に４列、左右の水平方向に７列、計２８個を配置した場合を示している。そして、互に隣接する四角形状の開口パターン部３のうち、左側端部又は右側端部に配置された各４個の四角形状の開口パターン部３は、上下の二辺の各中央部で上下の垂直方向に延びる連結溝４により上下に隣接する開口パターン部３間の全てが連結されている。また、互に隣接する四角形状の開口パターン部３のうち、中央部の縦５列に配置された２０個の四角形状の開口パターン部３は、上下の二辺の各中央部及び下辺中央部又は上辺中央部で上下の垂直方向に延びる連結溝４により上下に隣接する開口パターン部３間の全てが連結されている。互に隣接する四角形状の開口パターン部３のうち、最上側端部に配置された７個の開口パターン部３と最下側端部に配置された７個の開口パターン部３は、左右の水平方向に延びる連結溝４により開口パターン部３の中央側辺に連結がなされている。この四角形状の開口パターン部３と連結溝４とが互いに一連に連結されていることが後述する製造方法において、剥がされて除去される一次メッキ層（捨てメッキ）の剥がし作業の際、重要な意味を持つことになる。四角形状の開口パターン部３と連結溝４とは、薄い板厚からなる二次メッキ層による第２のメッキ層により連結して形成されている。ボール搭載用マスク１の四角形状の開口パターン部３及び連結溝４以外の部分は、四角形状の開口パターン部３及び連結溝４よりも厚い板厚になるように形成された互に分離独立した複数の凸部５である。この分離独立した複数の凸部５は、第１のメッキ層により剥がされずに残留された残留メッキ層からなる内部凸部と、内部凸部の外周全面を覆う第２のメッキ層により形成された外部凸部とからなり、被搭載物の電極と対向する側となるマスク本体の被搭載物面側に突出して形成されるものである。そして、この分離独立した複数の凸部５の存在により、ボール搭載用マスク１としての強度が高められている。この実施例では、分離独立した複数の凸部５を上下両端部に２個、左右両端部に２個、中央部に６個、計１０個を配置した場合を示している。分離独立した複数の凸部５のうち、左右両端部に配置された垂直方向の２個の凸部５ｈは、平面視で見ると、互に対向する側が鋸歯状を呈している。分離独立した複数の凸部５のうち、上下両端部に配置された水平方向の２個の凸部５ｈは、平面視で見ると、互に対向する側が鋸歯状を呈している。また、分離独立した複数の凸部５のうち、中央部に配置された６列、６個の凸部５ｉは、平面視で見ると、三階建て構造をしている。また、分離独立した１０個の凸部５の先端部は、周縁エッジ部が丸味を持ったＲ形状に形成されている。
　なお、上述した実施例では分離独立した複数の凸部の基礎（下地）となる内部凸部の形成方法として、一次メッキ後に取り除かれる捨てメッキ部以外のＳＵＳ母材上に突出して残存する残留メッキ部分を内部凸部に応用しているが、内部凸部の形成方法は、捨てメッキを剥がして取り除くやり方だけではない。例えば、内部凸部となる部分以外をレジスト膜等で被覆し、一次メッキで内部凸部部分だけをメッキ積層させる方法がある。また、一次メッキにより所定の板厚のメッキ層を形成後、内部凸部として残したい部分をレジスト膜等で被覆して、それ以外の取り除きたい部分を塩化第二鉄などのエッチングで腐食して内部凸部を形成することも可能である。但し、マスク本体の板厚精度を勘案した場合、実施例のように一次メッキで捨てメッキを除去する方法にて内部凸部を形成し、二次メッキによる第２メッキ層で前記内部凸部の外周を覆うように分離独立した複数の凸部を一体的に形成する方法が板厚の精度面では望ましい。
１　ボール搭載用マスク
２　開口部
３　開口パターン部（セル）
４　連結溝
５　分離独立した複数の凸部
５ａ　十字状の凸部
５ｂ　凸字状の凸部
５ｃ　Ｌ字状の凸部
５ｄ　幅狭又は幅広の凸部
５ｅ　幅広又は幅狭の凸部
５ｆ　縦長の凸部
５ｇ　四角形状の凸部
５ｈ　凸字状の凸部
５ｉ　Ｌ字状の凸部
６　ＳＵＳ母材
７　凸部形成用のレジスト層
８　一次メッキ層
８ａ　一次残留メッキ部分
８ｂ　一次捨てメッキ部分
９　二次メッキ層

Claims (5)

  1. 　メッキにより形成され、振り込まれた導電性ボールが通過する多数の開口部が形成された開口パターン部が縦方向及び横方向に複数配置され、前記開口パターン部に隣接する上下左右又は斜め上下左右、或いは上下、左右、斜め上下左右の一部のいずれかの開口パターン部間が連結溝により連結されたマスク本体と、メッキにより形成され、導電性ボールが振り込まれる側ではなく導電性ボールを搭載する被搭載物の電極と対向する側となる前記マスク本体裏面の前記開口パターン部以外に部分的に突出され、互に分離独立した複数の凸部とを備え、
    　前記分離独立した複数の凸部は、前記開口パターン部及び前記連結溝の板厚よりも厚くなってマスク本体の耐久性を高めており、前記分離独立した複数の凸部は、その周縁エッジ部が丸味を持ったＲ形状に形成されていることを特徴とするボール搭載用マスク。
  2. 　メッキにより形成され、振り込まれた導電性ボールが通過する多数の開口部が形成された開口パターン部が縦方向及び横方向に複数配置され、前記開口パターン部に隣接する上下左右又は斜め上下左右、或いは上下、左右、斜め上下左右の一部のいずれかの開口パターン部間が連結溝により連結されたマスク本体と、メッキにより形成され、導電性ボールが振り込まれる側ではなく導電性ボールを搭載する被搭載物の電極と対向する側となる前記マスク本体裏面の前記開口パターン部以外に部分的に突出され、互に分離独立した複数の凸部とを備え、
    　前記分離独立した複数の凸部は、第１のメッキ層により前記被搭載物とは接触しない側に形成される、突出した形状からなる内部凸部と、前記内部凸部の表面に前記第１のメッキ層とは別の第２のメッキ層により前記内部凸部の周側面及び前記被搭載物側下面を覆うように一体的に形成され、前記被搭載物の電極と対向する側となる外部凸部とからなり、
    　前記マスク本体は、前記第２のメッキ層により前記外部凸部と一体的に形成されており、前記第１のメッキ層の残留メッキ部分と第２のメッキ層とが重なって形成された前記分離独立した複数の凸部は、前記開口パターン部及び前記連結溝の板厚よりも厚くなってマスク本体の耐久性を高めており、前記分離独立した複数の凸部は、その周縁エッジ部が丸味を持ったＲ形状に形成されていることを特徴とするボール搭載用マスク。
  3. 　メッキにより形成され、振り込まれた導電性ボールが通過する多数の開口部が形成された開口パターン部が縦方向及び横方向に複数配置され、前記開口パターン部に隣接する開口パターン部の一部が連結溝により連結されたマスク本体と、メッキにより形成され、導電性ボールが振り込まれる側ではなく導電性ボールを搭載する被搭載物の電極と対向する側となる前記マスク本体裏面の前記開口パターン部以外に部分的に突出され、互に分離独立した複数の凸部とを備え、
    　前記分離独立した複数の凸部は、第１のメッキ層により前記被搭載物とは接触しない側に形成される、突出した部分からなる内部凸部と、前記内部凸部の表面に前記第１のメッキ層とは別の第２のメッキ層により前記内部凸部の周側面及び前記被搭載物側下面を覆うように一体的に形成され、前記被搭載物の電極と対向する側となる外部凸部とからなり、
    　前記マスク本体は、前記第２のメッキ層により前記外部凸部と一体的に形成されており、前記第１のメッキ層の残留メッキ部分と第２のメッキ層とが重なって形成された前記分離独立した複数の凸部は、前記開口パターン部及び前記連結溝の板厚よりも厚くなってマスク本体の耐久性を高めており、前記分離独立した複数の凸部は、その周縁エッジ部が丸味を持ったＲ形状に形成されていることを特徴とするボール搭載用マスク。
  4. 　メッキにより形成され、振り込まれた導電性ボールが通過する多数の開口部が形成された開口パターン部が縦方向及び横方向に複数配置され、前記開口パターン部に隣接する上下左右又は斜め上下左右、或いは上下、左右、斜め上下左右の一部のいずれかの開口パターン部間が連結溝により連結されたマスク本体と、メッキにより形成され、導電性ボールが振り込まれる側ではなく導電性ボールを搭載する被搭載物の電極と対向する側となる前記マスク本体裏面の前記開口パターン部以外に部分的に突出され、互に分離独立した複数の凸部とを備え、
    　前記分離独立した複数の凸部は、第１のメッキ層により前記被搭載物とは接触しない側に形成される、剥がされずに残留された残留メッキ部分からなる内部凸部と、前記内部凸部の表面に前記第１のメッキ層とは別の第２のメッキ層により前記内部凸部の周側面及び前記被搭載物側下面を覆うように一体的に形成され、前記被搭載物の電極と対向する側となる外部凸部とからなり、
    　前記マスク本体は、前記第２のメッキ層により前記外部凸部と一体的に形成されており、前記第１のメッキ層の残留メッキ部分と第２のメッキ層とが重なって形成された前記分離独立した複数の凸部は、前記開口パターン部及び前記連結溝の板厚よりも厚くなってマスク本体の耐久性を高めており、前記分離独立した複数の凸部は、その周縁エッジ部が丸味を持ったＲ形状に形成されるボール搭載用マスクの製造方法であって、
    　ＳＵＳ母材上に前記凸部形成用のレジスト層を形成する工程と、
    　前記凸部が所定の高さとなるようにＳＵＳ母材上にメッキすることにより、一次メッキ層を形成する工程と、
    　一次メッキ層の形成が終わったら、凸部形成用のレジスト層を除去する工程と、
    　一次メッキ層により形成され、剥がさずに残留させる一次残留メッキ部分からなる内部凸部形成部分以外の前記開口パターン部及び開口パターン部間の全てを連結する連結溝の形成部分の一次メッキ層を取り除き、ＳＵＳ母材上に一次残留メッキ層による内部凸部を残す工程と、
    　前記ＳＵＳ母材上の前記内部凸部間に複数の開口部形成用のレジスト層を形成する工程と、
    　前記マスク本体が指定の厚さとなるようにＳＵＳ母材上及び前記内部凸部上にメッキすることにより、二次メッキ層による開口パターン部、連結溝、及び外部凸部を一体的に形成する工程と、
    　二次メッキ層の形成が終わったら、前記複数の開口部形成用のレジスト層を除去する工程と、
    　前記ＳＵＳ母材からマスク本体となる前記一次メッキ層の残留メッキ部分からなる内部凸部、二次メッキ層からなる外部凸部、前記開口パターン部及び連結部を剥離する工程と、
    　を備えたことを特徴とするボール配列用マスクの製造方法。
  5. 　メッキにより形成され、振り込まれた導電性ボールが通過する多数の開口部が形成された開口パターン部が縦方向及び横方向に複数配置され、前記開口パターン部に隣接する開口パターン部の一部が連結溝により連結されたマスク本体と、メッキにより形成され、導電性ボールが振り込まれる側ではなく導電性ボールを搭載する被搭載物の電極と対向する側となる前記マスク本体裏面の前記開口パターン部以外に部分的に突出され、互に分離独立した複数の凸部とを備え、
    　前記分離独立した複数の凸部は、第１のメッキ層により前記被搭載物とは接触しない側に形成される、剥がされずに残留された残留メッキ部分からなる内部凸部と、前記内部凸部の表面に前記第１のメッキ層とは別の第２のメッキ層により前記内部凸部の周側面及び前記被搭載物側下面を覆うように一体的に形成され、前記被搭載物の電極と対向する側となる外部凸部とからなり、
    　前記マスク本体は、前記第２のメッキ層により前記外部凸部と一体的に形成されており、前記第１のメッキ層の残留メッキ部分と第２のメッキ層とが重なって形成された前記分離独立した複数の凸部は、前記開口パターン部及び前記連結溝の板厚よりも厚くなってマスク本体の耐久性を高めており、前記分離独立した複数の凸部は、その周縁エッジ部が丸味を持ったＲ形状に形成されるボール搭載用マスクの製造方法であって、
    　ＳＵＳ母材上に前記凸部形成用のレジスト層を形成する工程と、
    　前記凸部が所定の高さとなるようにＳＵＳ母材上にメッキすることにより、一次メッキ層を形成する工程と、
    　一次メッキ層の形成が終わったら、凸部形成用のレジスト層を除去する工程と、
    　一次メッキ層により形成され、剥がさずに残留させる一次残留メッキ部分からなる内部凸部形成部分以外の前記開口パターン部及び開口パターン部間の一部を連結する連結溝の形成部分の一次メッキ層を取り除き、ＳＵＳ母材上に一次残留メッキ層による内部凸部を残す工程と、
    　前記ＳＵＳ母材上の前記内部凸部間に複数の開口部形成用のレジスト層を形成する工程と、
    　前記マスク本体が指定の厚さとなるようにＳＵＳ母材上及び前記内部凸部上にメッキすることにより、二次メッキ層による開口パターン部、連結溝、及び外部凸部を一体的に形成する工程と、
    　二次メッキ層の形成が終わったら、前記複数の開口部形成用のレジスト層を除去する工程と、
    　前記ＳＵＳ母材からマスク本体となる前記一次メッキ層の残留メッキ部分からなる内部凸部、二次メッキ層からなる外部凸部、前記開口パターン部及び連結部を剥離する工程と、
    　を備えたことを特徴とするボール配列用マスクの製造方法。
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