JP2011029311A

JP2011029311A - ボール搭載マスク、ボール吸着マスク並びに篩網及びその製造方法

Info

Publication number: JP2011029311A
Application number: JP2009171985A
Authority: JP
Inventors: Yasuyuki Baba; 泰行馬場; Keisuke Takei; 圭介武井; Masaichi Aizawa; 政一相沢
Original assignee: Bon Mark Co Ltd
Current assignee: Bon Mark Co Ltd
Priority date: 2009-07-23
Filing date: 2009-07-23
Publication date: 2011-02-10

Abstract

【課題】効率の良いボール振込みが期待できるボール搭載マスクを得る。
【解決手段】搭載される導電性ボール８の直径よりも若干大きい所定の開口寸法を有するボール挿入孔４が多数形成されたものであって、ボール挿入孔４のボール搭載側開口部周縁にめっきのサイドスプレット現象によるＲ形状加工が施されたボール案内部９と、ボール挿入孔のボール搭載面側に形成され、ボール案内部９の表面からボール案内部の外側のボール搭載面に向かって放射状に延びる複数のボール呼び込み用案内溝１４とを備える。
【選択図】図５

Description

この発明は、ボール搭載マスク（ボール振込みマスクとも言うが、ここではボール搭載マスクと言う）、ボール吸着マスク並びに篩網及びその製造方法に関するものである。

従来、半導体ウエハ等のベースの所定位置に導電性ボールを振り分けて配列するボール搭載マスクにおいては、ボール挿入孔のボール搭載側開口周縁（エッジ）が角張っているため、導電性ボールが傷付き易く、また、導電性ボールの未搭載の原因にもなっている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００８−２６３０５３号公報

近年、ボール搭載マスクのボール挿入孔の径が１００μ以下のマイクロボール製品があり、従来のボール搭載マスクでは充填率の低下と充填時間の増大が問題となっている。更に、導電性ボールを振り分けて配列するボール搭載マスクでは、導電性ボールがボール挿入孔に呼び込まれるように、入り易くすることが好ましいことである。

この発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、ボール挿入孔のボール搭載側開口周縁にめっきのサイドスプレット現象によるＲ形状を利用してボール案内部を形成し、更にボール挿入孔の周縁部にボール呼び込み用案内溝を形成することにより、効率の良いボール振込みが期待できるボール搭載マスク並びに篩網及びその製造方法を提供するものである。また、ボール吸着性の良いボール吸着マスクを提供するものである。

この発明に係るボール搭載マスクにおいては、搭載される導電性ボールの直径よりも若干大きい所定の開口寸法を有するボール挿入孔が多数形成されたものであって、ボール挿入孔のボール搭載面側に形成され、ボール挿入孔に向かって延びるボール呼び込み用案内溝を備えたものである。

また、この発明に係るボール搭載マスクにおいては、搭載される導電性ボールの直径よりも若干大きい所定の開口寸法を有するボール挿入孔が多数形成されたものであって、ボール挿入孔のボール搭載側開口部周縁にめっきのサイドスプレット現象によるＲ形状加工が施されたボール案内部と、ボール挿入孔のボール搭載面側に形成され、ボール案内部の表面からボール案内部の外側のボール搭載面に向かって延びるボール呼び込み用案内溝とを備えたものである。

また、ボール呼び込み用案内溝は螺旋状である。

また、ボール呼び込み用案内溝は直線状である。

また、ボール呼び込み用案内溝は２本以上形成されているものである。

また、この発明に係るボール搭載マスクの製造方法においては、搭載される導電性ボールの直径よりも若干大きい所定の開口寸法を有するボール挿入孔が多数形成されたものであって、導電性母材上にレジストを形成し、搭載される導電性ボールの直径よりも若干大きい所定の開口寸法を有する多数のボール挿入孔、及びボール搭載面側にボール挿入孔に向かって延びるボール呼び込み用案内溝を形成するマスク層形成工程と、レジストを除去するレジスト除去工程と、導電性母材からマスク層を剥がす剥離工程とからなるものである。

また、この発明に係るボール搭載マスクの製造方法においては、搭載される導電性ボールの直径よりも若干大きい所定の開口寸法を有するボール挿入孔が多数形成されたものであって、導電性母材上にレジストを形成し、搭載される導電性ボールの直径よりも若干大きい所定の開口寸法を有する多数のボール挿入孔、めっきのサイドスプレット現象によるＲ形状加工が施されたボール案内部、及びボール挿入孔のボール搭載面側にボール案内部の表面からボール案内部の外側のボール搭載面に向かって延びるボール呼び込み用案内溝を形成するマスク層形成工程と、レジストを除去するレジスト除去工程と、導電性母材からマスク層を剥がす剥離工程とからなるものである。

また、この発明に係る篩網においては、微細な粒子を一定の直径を有する粒子に選別して分級するために用いられ、微細な粒子挿入孔が多数形成された篩網であって、粒子挿入孔の粒子搭載面側に形成され、粒子挿入孔に向かって延びる粒子呼び込み用案内溝を備えたものである。

また、この発明に係る篩網においては、微細な粒子を一定の直径を有する粒子に選別して分級するために用いられ、微細な粒子挿入孔が多数形成されたものであって、粒子挿入孔の粒子搭載側開口部周縁にめっきのサイドスプレット現象によるＲ形状加工が施された粒子案内部と、粒子挿入孔の粒子搭載面側に形成され、粒子案内部の表面から粒子案内部の外側の粒子搭載面に向かって延びる粒子呼び込み用案内溝とを備えたものである。

また、この発明に係るボール吸着マスクにおいては、吸引される導電性ボールの直径よりも若干小さい所定の開口寸法を有するボール吸着孔が多数形成されたボール吸着マスクであって、ボール吸着孔のボール吸着面側に形成され、ボール吸着孔に向かって延びるボール呼び込み用案内溝を備えたものである。

また、この発明に係るボール吸着マスクにおいては、吸引される導電性ボールの直径よりも若干小さい所定の開口寸法を有するボール吸着孔が多数形成されたボール吸着マスクであって、ボール吸着孔のボール吸着側開口部周縁にめっきのサイドスプレット現象によるＲ形状加工が施されたボール案内部と、ボール吸着孔のボール吸着面側に形成され、ボール案内部の表面からボール案内部の外側のボール吸着面に向かって延びるボール呼び込み用案内溝とを備えたものである。

この発明によれば、ボール挿入孔の周縁部に複数のボール呼び込み用案内溝を形成したので、効率の良いボール振込みが期待できるボール搭載マスクを得ることができる効果がある。また、同様に、効率の良い粒子分級が期待できる篩網を得ることができる。また、同様に、効率の良いボール吸着が期待できるボール吸着マスクを得ることができる。

この発明の実施例１におけるボール搭載マスクを示す斜視図である。この発明の実施例１におけるボール搭載マスクを半導体ウエハ等のベースに使用している状態を示す斜視図である。この発明の実施例１におけるボール搭載マスクの要部を示す縦断面図である。この発明の実施例１におけるボール搭載マスクの製造方法の主な工程を示す縦断面図で、めっきのサイドスプレット現象のみで開口を形成する場合の工法である。図４の製造方法に用いられる螺旋形状タイプのレジストを示す平面図である。この発明の実施例１におけるボール搭載マスクの多数のボール挿入孔を搭載面側から見た拡大平面図である。図６のうちの１個のボール挿入孔を拡大して示す斜視図である。この発明の実施例１におけるボール搭載マスクの多数のボール挿入孔を搭載面側から見た顕微鏡写真である。図８のうちの１個のボール挿入孔を拡大して示す顕微鏡写真である。この発明の実施例１におけるボール搭載マスクの多数のボール挿入孔を基板面側から見た拡大底面図である。図１０のうちの１個のボール挿入孔を拡大して示す斜視図である。この発明の実施例１におけるボール搭載マスクのボール呼び込み用案内溝パターンの一例を示す説明図である。この発明の実施例２におけるボール搭載マスクの製造方法の主な工程を示す縦断面図で、開口部寸法をレジストで均一に形成する場合の工法である。この発明の実施例３におけるボール搭載マスクの製造方法に用いられる十字形状タイプのレジストを示す平面図である。この発明の実施例３におけるボール搭載マスクの多数のボール挿入孔を搭載面側から見た拡大平面図である。図１５のうちの１個のボール挿入孔を拡大して示す斜視図である。この発明の実施例３におけるボール搭載マスクの１個のボール挿入孔を拡大して示す顕微鏡写真である。この発明の実施例３におけるボール搭載マスクの多数のボール挿入孔を基板面側から見た拡大底面図である。図１８のうちの１個のボール挿入孔を拡大して示す斜視図である。この発明の実施例３におけるボール搭載マスクのボール呼び込み用案内溝パターンの一例を示す説明図である。この発明の実施例５におけるボール吸着マスクを用いた吸引装置の縦断面図である。この発明の実施例５におけるボール吸着マスクの要部を示す縦断面図である。この発明の実施例５におけるボール吸着マスクに設けられる１個のボール吸着孔を拡大して示す斜視図である。

図１はボール搭載マスクを示す斜視図、図２はボール搭載マスクを半導体ウエハ等のベースに使用している状態を示す斜視図、図３はボール搭載マスクの要部を示す縦断面図、図４はボール搭載マスクの製造方法の主な工程を示す縦断面図、図５は本製造方法に用いられる螺旋形状タイプのレジストを示す平面図、図６はこの発明の実施例１におけるボール搭載マスクの多数のボール挿入孔を搭載面側から見た拡大平面図、図７は１個のボール挿入孔を拡大して示す斜視図、図８はこの発明の実施例１におけるボール搭載マスクの多数のボール挿入孔を搭載面側から見た顕微鏡写真、図９は図８のうちの１個のボール挿入孔を拡大して示す顕微鏡写真、図１０はボール搭載マスクの多数のボール挿入孔を基板面側から見た拡大底面図、図１１は１個のボール挿入孔を拡大して示す斜視図、図１２はボール呼び込み用案内溝パターンの一例を示す説明図である。

図１及び図２において、１はアルミニウム材料等で四角形の枠状に構成された版枠、２は版枠１の内側に張設されたメッシュ（紗）からなるスクリーン、３はスクリーン２の中央開口部に接着固定されたボール搭載マスクである。このボール搭載マスク３は、金属からなる平板状をなし、周縁部が接着剤によりスクリーン２に対して接着されている。ボール搭載マスク３には、多数のボール挿入孔４が形成されたボール挿入孔集合体５が複数個形成されており、ここでは４個のボール挿入孔集合体５の例を示している。このボール搭載マスク３は、半導体ウエハ等のベース６に対して使用され、ベース６には多数の電極７が設けられており、ボール搭載マスク３の各ボール挿入孔４はベース６の各電極７に対応している。

ボール搭載マスク３は、図３に示すような構造をしている。すなわち、半導体ウエハ等のベース６上の所定位置に重ねて配置されるボール搭載マスク３のボール挿入孔４は、客先から指定される所定の開口寸法（直径０．２ｍｍ、０．５ｍｍピッチで設けられる）を有しており、搭載される導電性ボール８の直径よりも若干大きく形成されている。近年では指定される所定の開口寸法の寸法公差管理が非常に厳しくなってきている。このボール挿入孔４の直下位置のベース６上に電極７が対応して配置されている。そして、所定開口寸法のボール挿入孔４のボール搭載側開口部周縁にはめっきのサイドスプレット現象（レジスト周縁上にめっきがオーバーハングしながら縦横均等に成長して行くこと）によるＲ形状加工が施されたボール案内部９が形成されている。ボール搭載マスク３に搭載された導電性ボール８は、Ｒ形状加工が施されたボール案内部９に案内されることにより、導電性ボール８が入り易い構造となっている。

次に、この発明の実施例１におけるボール搭載マスクの製造方法を図４、図５により説明する。この製造方法はめっきによる積層工程である。
先ず、導電性母材１０に、中央の円形レジスト部１１ａと外側のスパイラル形レジスト部１１ｂとからなる螺旋形状タイプのレジスト１１を塗布、露光、現像により形成する（図４ａ、図５参照）。そして、めっきのサイドスプレット現象（レジスト周縁上にめっきがオーバーハングしながら縦横均等に成長して行くこと）によるＲ形状加工が施されたボール案内部９を有するマスク層１２を形成する（図４ｂ参照）。次に、螺旋形状タイプのレジスト１１を除去して、導電性母材１０から剥がすことにより、ボール搭載マスク３が得られる（図４ｃ参照）。

この実施例１のボール搭載マスクの各ボール挿入孔４は、その搭載面側に、図６〜図９に示すように、ボール挿入孔４周縁のＲ形状加工が施されたボール案内部９の表面からボール案内部９の外側のボール搭載平面に向かって螺旋（スパイラル）状に延びる卍状のボ−ル呼び込み用案内溝１３を形成したものである。したがって、この卍状のボール呼び込み用案内溝１３は、ボール搭載平面からボール挿入孔４に向かって導電性ボール８を呼び込むような働きをするものである。これにより、導電性ボール８がボール挿入孔４に呼び込まれて、入り易くすることができる。ボ−ル呼び込み用案内溝１３のパターンは、図１２に示すように、螺旋（スパイラル）を４本設けて卍状としているが、１本又は２本以上あれば効果を期待できる。また、この発明のボール搭載マスクの各ボール挿入孔４の基板面側は、図１０、図１１に示すように、中央の円形レジスト部１１ａと外側のスパイラル形レジスト部１１ｂ（幅０．０５ｍｍ）とからなる螺旋形状タイプのレジスト１１が塗布された部分が凹むことにより、ボール挿入孔４周縁から外側に向かって螺旋（スパイラル）状に延びる卍状のボ−ル呼び込み用案内溝対応の窪み痕１４が形成されている。

図１３はこの発明の実施例２におけるボール搭載マスクの製造方法の主な工程を示す縦断面図で、開口部寸法をレジストで均一に形成する場合の工法である。
この実施例２では、導電性母材１０に、中央の円形レジスト部１１ａと外側のスパイラル形レジスト部１１ｂとからなる螺旋形状タイプのレジスト１１を塗布、露光し、その露光後にボール挿入孔４の開口部と同寸法となる開口形成用の円柱形レジスト１５を塗布、露光し、その露光後に各レジスト１１、１５を現像により同時に形成する（図１３ａ参照）。そして、めっきのサイドスプレット現象（レジスト周縁上にめっきがオーバーハングしながら縦横均等に成長して行くこと）によるＲ形状加工が施されたボール案内部９を有するマスク層１２を形成する（図１３ｂ参照）。次に、螺旋形状タイプのレジスト１１、及び開口形成用のレジスト１５を除去して、導電性母材１０から剥がすことにより、ボール搭載マスク３が得られる（図１３ｃ参照）。

図１４はこの発明の実施例３におけるボール搭載マスクの製造方法に用いられる十字形状タイプのレジストを示す平面図、図１５はこの発明の実施例３におけるボール搭載マスクの多数のボール挿入孔を搭載面側から見た拡大平面図、図１６は１個のボール挿入孔を拡大して示す斜視図、図１７はボール搭載マスクの１個のボール挿入孔を拡大して示す顕微鏡写真、図１８はボール搭載マスクの多数のボール挿入孔を基板面側から見た拡大底面図、図１９は１個のボール挿入孔を拡大して示す斜視図、図２０はボール呼び込み用案内溝パターンの一例を示す説明図である。

この実施例３においては、図１４に示すように、導電性母材１０に、中央の円形レジスト部１６ａと外側の直線放射形レジスト部１６ｂとからなる十字形状タイプのレジスト１６を塗布、露光、現像により形成する。そして、この実施例３のボール搭載マスクの各ボール挿入孔４は、その搭載面側に、図１５〜図１７に示すように、ボール挿入孔４周縁のＲ形状加工が施されたボール案内部９の表面からボール案内部９の外側のボール搭載平面に向かって放射状に真直ぐに延びる十字状のボ−ル呼び込み用案内溝１７を形成したものである。したがって、この十字状のボール呼び込み用案内溝１７は、ボール搭載平面からボール挿入孔４に向かって導電性ボール８を呼び込むような働きをするものである。これにより、導電性ボール８がボール挿入孔４に呼び込まれて、入り易くすることができる。ボ−ル呼び込み用案内溝１７のパターンは、図２０に示すように、ボール挿入孔４の直径０．２ｍｍ、０．５ｍｍピッチに対して、溝長約０．１ｍｍの直線放射溝を４本設けているが、１本又は２本以上あれば効果を期待できる。また、この発明のボール搭載マスクの各ボール挿入孔４の基板面側は、図１８、図１９に示すように、中央の円形レジスト部１６ａと外側の直線放射形レジスト部１６ｂとからなる十字形状タイプのレジスト１６が塗布された部分が凹むことにより、ボール挿入孔４周縁から外側に向かって放射状に真直ぐ延びる十字状のボ−ル呼び込み用案内溝対応窪み痕１８が形成されている。
なお、ここでは十字状のボール呼び込み用案内溝１７と十字状のボ−ル呼び込み用案内溝対応窪み痕１８を形成しているが、例えば、十字状を斜め４５度傾けることにより×字状にしても良い。また、縦方向、横方向にそれぞれ配列されるボール呼び込み用案内溝１７とボ−ル呼び込み用案内溝対応窪み痕１８を十字状と×字状が交互に配列されるようにしても良い。この場合、ボール呼び込み効果の向上が期待できる。また、十字状のボール呼び込み用案内溝１７と十字状のボ−ル呼び込み用案内溝対応窪み痕１８を有するボール挿入孔４が四角形の各角部にそれぞれ配置されている場合において、その四角形の中央に十字状のボール呼び込み用案内溝１７と十字状のボ−ル呼び込み用案内溝対応窪み痕１８を有するもう一つのボール挿入孔４を追加して設けても良い。

上記実施例１〜実施例３では、効率の良いボール振込みが期待できるボール搭載マスク及びその製造方法について説明したが、ボール搭載マスクに限らず、例えば、微細な粒子を一定の直径を有する粒子に選別して分級するために用いられる篩網にも適用することができる。すなわち、篩網に設ける複数の微細な孔の形状は、その粒子搭載面側に、孔周縁のＲ形状加工が施された粒子案内部の表面から粒子案内部の外側の粒子搭載平面に向かって螺旋（スパイラル）状に延びる卍状の粒子呼び込み用案内溝又は放射状に真直ぐに延びる十字状の粒子呼び込み用案内溝を形成するものである。これにより、効率の良い粒子分級が期待できる篩網を得ることができる。

図２１はこの発明の実施例５におけるボール吸着マスクを用いた吸引装置の縦断面図、図２２はこの発明の実施例５におけるボール吸着マスクの要部を示す縦断面図、図２３はこの発明の実施例５におけるボール吸着マスクに設けられる１個のボール吸着孔を拡大して示す斜視図である。

実施例５はボール吸着マスクに用いた場合の例である。このボール吸着マスクの場合は、図２１に示すように、吸引装置本体１９の底面部２０に吸引用の開口２１が多数形成されており、この底面部２０に密着するようにボール吸着マスク２２が取り付けられている。このボール吸着マスク２２には、吸引装置本体１９の底面部２０に多数形成された吸引用の開口２１と対応するように、複数のボール吸着孔２３が貫通形成されており、吸引装置本体１９の上部に設けられた吸気管２４を通して真空吸引を行うことによって、ボール吸着マスク２２の各ボール吸着孔２３には導電性ボール８が吸着されるようになっている。また、ボール吸着マスク２２のボール吸着孔２３は、図２２及び図２３に示すように、ボール吸着側開口部周縁にはめっきのサイドスプレット現象（レジスト周縁上にめっきがオーバーハングしながら縦横均等に成長して行くこと）によるＲ形状加工が施されたボール案内部９が形成され、更に各ボール吸着孔２３は、その吸着面側に、ボール吸着孔２３周縁のＲ形状加工が施されたボール案内部９の表面からボール案内部９の外側に向かって螺旋（スパイラル）状に延びる卍状のボール呼び込み用案内溝２５を形成したものである。なお、このボール呼び込み用案内溝２５は十字状であっても良い。

上記実施例５では、ボール吸着マスク２２のボール吸着孔２３は、図２２及び図２３に示すように、ボール吸着側開口部周縁にはめっきのサイドスプレット現象（レジスト周縁上にめっきがオーバーハングしながら縦横均等に成長して行くこと）によるＲ形状加工が施されたボール案内部９が形成され、更に各ボール吸着孔２３は、その吸着面側に、ボール吸着孔２３周縁のＲ形状加工が施されたボール案内部９の表面からボール案内部９の外側に向かって螺旋（スパイラル）状に延びる卍状のボール呼び込み用案内溝２５を形成したが、この実施例６においては、ボール吸着マスク２２の上下（天地）を逆にして、ボール反吸着（吸引）側開口部周縁にはめっきのサイドスプレット現象（レジスト周縁上にめっきがオーバーハングしながら縦横均等に成長して行くこと）によるＲ形状加工が形成され、更に各ボール吸着孔２３は、その反吸着面（吸引）側に、ボール吸着孔２３周縁のＲ形状加工が施された部分の表面から外側に向かって螺旋（スパイラル）状に延びる卍状のボール吸引用案内溝を形成したものである。なお、このボール吸引用案内溝は十字状であっても良い。

１版枠
２スクリーン
３ボール搭載マスク
４ボール挿入孔
５ボール挿入孔集合体
６ベース
７電極
８導電性ボール
９Ｒ形状加工が施されたボール案内部
１０導電性母材
１１螺旋形状タイプのレジスト
１１ａ中央の円形レジスト部
１１ｂ外側のスパイラル形レジスト部
１２マスク層
１３卍状のボール呼び込み用案内溝
１４卍状のボール呼び込み用案内溝対応の窪み痕
１５開口形成用の円柱形レジスト
１６十字形状タイプのレジスト
１６ａ中央の円形レジスト部
１６ｂ外側の直線放射形レジスト部
１７十字状のボール呼び込み用案内溝
１８十字状のボール呼び込み用案内溝対応の窪み痕
１９吸引装置本体
２０底面部
２１吸引用の開口
２２ボール吸着マスク
２３ボール吸着孔
２４吸気管
２５卍状のボール呼び込み用案内溝

Claims

搭載される導電性ボールの直径よりも若干大きい所定の開口寸法を有するボール挿入孔が多数形成されたボール搭載マスクであって、
前記ボール挿入孔のボール搭載面側に形成され、前記ボール挿入孔に向かって延びるボール呼び込み用案内溝を備えたことを特徴とするボール搭載マスク。
搭載される導電性ボールの直径よりも若干大きい所定の開口寸法を有するボール挿入孔が多数形成されたボール搭載マスクであって、
前記ボール挿入孔のボール搭載側開口部周縁にめっきのサイドスプレット現象によるＲ形状加工が施されたボール案内部と、
前記ボール挿入孔のボール搭載面側に形成され、前記ボール案内部の表面からボール案内部の外側のボール搭載面に向かって延びるボール呼び込み用案内溝と、
を備えたことを特徴とするボール搭載マスク。
ボール呼び込み用案内溝は、螺旋状であることを特徴とする請求項１又は請求項２記載のボール搭載マスク。
ボール呼び込み用案内溝は、直線状であることを特徴とする請求項１又は請求項２記載のボール搭載マスク。
ボール呼び込み用案内溝は２本以上形成されていることを特徴とする請求項３又は請求項４記載のボール搭載マスク。
搭載される導電性ボールの直径よりも若干大きい所定の開口寸法を有するボール挿入孔が多数形成されたボール搭載マスクの製造方法であって、
導電性母材上にレジストを形成し、前記搭載される導電性ボールの直径よりも若干大きい所定の開口寸法を有する多数のボール挿入孔、及びボール搭載面側に前記ボール挿入孔に向かって延びるボール呼び込み用案内溝を形成するマスク層形成工程と、前記レジストを除去するレジスト除去工程と、前記導電性母材からマスク層を剥がす剥離工程とからなることを特徴とするボール搭載マスクの製造方法。
搭載される導電性ボールの直径よりも若干大きい所定の開口寸法を有するボール挿入孔が多数形成されたボール搭載マスクの製造方法であって、
導電性母材上にレジストを形成し、前記搭載される導電性ボールの直径よりも若干大きい所定の開口寸法を有する多数のボール挿入孔、めっきのサイドスプレット現象によるＲ形状加工が施されたボール案内部、及び前記ボール挿入孔のボール搭載面側に前記ボール案内部の表面からボール案内部の外側のボール搭載面に向かって延びるボール呼び込み用案内溝を形成するマスク層形成工程と、前記レジストを除去するレジスト除去工程と、前記導電性母材からマスク層を剥がす剥離工程とからなることを特徴とするボール搭載マスクの製造方法。
導電性母材上に形成されるレジストは螺旋形状タイプであり、ボール呼び込み用案内溝は螺旋状であることを特徴とする請求項６又は請求項７記載のボール搭載マスクの製造方法。
導電性母材上に形成されるレジストは十字形状タイプであり、ボール呼び込み用案内溝は直線状であることを特徴とする請求項６又は請求項７記載のボール搭載マスクの製造方法。
ボール呼び込み用案内溝は２本以上形成されていることを特徴とする請求項６又は請求項７記載のボール搭載マスクの製造方法。
微細な粒子を一定の直径を有する粒子に選別して分級するために用いられ、微細な粒子挿入孔が多数形成された篩網であって、
前記粒子挿入孔の粒子搭載面側に形成され、前記粒子挿入孔に向かって延びる粒子呼び込み用案内溝を備えたことを特徴とする篩網。
微細な粒子を一定の直径を有する粒子に選別して分級するために用いられ、微細な粒子挿入孔が多数形成された篩網であって、
前記粒子挿入孔の粒子搭載側開口部周縁にめっきのサイドスプレット現象によるＲ形状加工が施された粒子案内部と、
前記粒子挿入孔の粒子搭載面側に形成され、前記粒子案内部の表面から粒子案内部の外側の粒子搭載面に向かって延びる粒子呼び込み用案内溝と、
を備えたことを特徴とする篩網。
粒子呼び込み用案内溝は、螺旋状であることを特徴とする請求項１１又は請求項１２記載の篩網。
粒子呼び込み用案内溝は、直線状であることを特徴とする請求項１１又は請求項１２記載の篩網。
粒子呼び込み用案内溝は２本以上形成されていることを特徴とする請求項１１又は請求項１２記載の篩網。
吸引される導電性ボールの直径よりも若干小さい所定の開口寸法を有するボール吸着孔が多数形成されたボール吸着マスクであって、
前記ボール吸着孔のボール吸着面側に形成され、前記ボール吸着孔に向かって延びるボール呼び込み用案内溝を備えたことを特徴とするボール吸着マスク。
吸引される導電性ボールの直径よりも若干小さい所定の開口寸法を有するボール吸着孔が多数形成されたボール吸着マスクであって、
前記ボール吸着孔のボール吸着側開口部周縁にめっきのサイドスプレット現象によるＲ形状加工が施されたボール案内部と、
前記ボール吸着孔のボール吸着面側に形成され、前記ボール案内部の表面からボール案内部の外側のボール吸着面に向かって延びるボール呼び込み用案内溝と、
を備えたことを特徴とするボール吸着マスク。
ボール呼び込み用案内溝は、螺旋状であることを特徴とする請求項１６又は請求項１７記載のボール吸着マスク。
ボール呼び込み用案内溝は、直線状であることを特徴とする請求項１６又は請求項１７記載のボール吸着マスク。
ボール呼び込み用案内溝は２本以上形成されていることを特徴とする請求項１８又は請求項１９記載のボール吸着マスク。