WO2021255869A1

WO2021255869A1 - 真空バルブ

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Publication number: WO2021255869A1
Application number: PCT/JP2020/023815
Authority: WO
Inventors: 勇佑西村
Original assignee: 三菱電機株式会社
Priority date: 2020-06-17
Filing date: 2020-06-17
Publication date: 2021-12-23
Also published as: JPWO2021255869A1; US20230178315A1; EP4170692A4; JP6861915B1; EP4170692A1

Abstract

真空バルブ（１０）は、絶縁容器（１）と、固定側接点（２１）と、固定側接点（２１）の表面に絶縁容器（１）の軸方向の磁界を発生させる固定側縦磁界コイル（２２）と、固定側スペーサとを備えた固定側電極（２）と、可動側接点（３１）と、可動側接点（３１）の表面に絶縁容器（１）の軸方向の磁界を発生させる可動側縦磁界コイル（３２）と、可動側スペーサとを備えた可動側電極（３）とを備え、固定側縦磁界コイル（２２）及び可動側縦磁界コイル（３２）は、円弧状の外輪部（５２）と、外輪部（５２）の先端から突出する給電部（５３）とを備え、給電部（５３）に固定側接点（２１）又は可動側接点（３１）がロウ付けされており、固定側スペーサ及び可動側スペーサは、固定側縦磁界コイル（２２）の材料又は可動側縦磁界コイル（３２）の材料よりも導電性が低い材料又は絶縁物で形成されている。

Description

真空バルブ

　本開示は、真空遮断器及び真空開閉器の消弧室に用いられる真空バルブに関するものである。

　真空バルブは、真空遮断器及び真空開閉器の消弧室に用いられる。真空バルブは、筒状の絶縁容器の内部に固定電極及び可動電極を収容している。固定電極及び可動電極の各々は、接点、縦磁界コイル、サポート及び電極棒を備えている。絶縁容器の両端部は、端板で塞がれており、可動電極の電極棒は、端板を貫通して絶縁容器の外まで延びている。可動電極の電極棒には、ベローズが設置されており、絶縁容器内を真空に保ったまま開極動作及び閉極動作が可能になっている。

　真空バルブの組立時、固定電極及び可動電極の各部品間には、箔状又はワイヤ状のロウ材が配置され、ロウ材を加熱、溶融及び凝固させて部分ロウ付けが行われる。部分ロウ付けがされた固定電極及び可動電極とを絶縁容器の内部に同軸で配置し、真空炉中で最終ロウ付けを行うことで、固定電極及び可動電極が真空中に配置される。

　特許文献１には、固定軸に固定される内輪部と、内輪部から径方向に延びるスポーク部と、スポーク部の先端から周方向に円弧状に延びる外輪部とを含む縦磁界コイルを備えた真空バルブが開示されている。外輪部の先端には給電部と呼ばれる突起があり、給電部に接点がロウ付けされる。縦磁界コイルは、外輪部に電流が流れることにより、接点表面に軸方向の磁界を発生させる。接点表面に発生した磁界は、接点間に発生したアークを構成する電子を捕捉及び拡散させるため、接点の局所的な温度上昇を防ぎ、電流遮断性能が向上する。

特開昭５９－４２７３５号公報

　特許文献１に開示される真空バルブは、外輪部を複数備え、外輪部同士の間は径方向のスリットで隔てられており、複数の外輪部は途切れた環状に配置されている。したがって、スリットの周囲では、接点表面で軸方向の磁界が弱くなり、アークが拡散しにくくなってしまう。外輪部を一つにしてスリットの数を減らすことにより、接点表面で軸方向の磁界が弱くなる箇所の数も減らせるが、給電部が一箇所だけになるため、縦磁界コイルによる接点の支持が不安定になり、組立性が低下してしまう。

　本開示は、上記に鑑みてなされたものであって、接点表面で軸方向の磁界が弱くなる箇所が少なく、組立が容易な真空バルブを得ることを目的とする。

　上述した課題を解決し、目的を達成するために、本開示に係る真空バルブは、円筒状の絶縁容器と、絶縁容器の中心軸上に互いに対向して設置された固定側電極及び可動側電極とを備える。固定側電極は、固定側接点と、固定側接点の表面に絶縁容器の軸方向の磁界を発生させる固定側縦磁界コイルと、固定側接点と固定側縦磁界コイルとの間の隙間を埋める固定側スペーサとを備える。可動側電極は、可動側接点と、可動側接点の表面に絶縁容器の軸方向の磁界を発生させる可動側縦磁界コイルと、可動側接点と可動側縦磁界コイルとの間の隙間を埋める可動側スペーサとを備える。固定側縦磁界コイル及び可動側縦磁界コイルは、絶縁容器の径方向の中心部に配置される内輪部と、内輪部から絶縁容器の径方向に延びるスポーク部と、絶縁容器の周方向に円弧状に延び、先端が絶縁容器の径方向に沿ったスリットによってスポーク部と隔てられた外輪部と、先端から絶縁容器の軸方向に突出する給電部とを備え、給電部に固定側接点又は可動側接点がロウ付けされている。固定側スペーサ及び可動側スペーサは、固定側縦磁界コイルの材料又は可動側縦磁界コイルの材料よりも導電性が低い材料又は絶縁物で形成されており、外輪部の少なくとも一部に設置されている。

　本開示によれば、接点表面で軸方向の磁界が弱くなる箇所が少なく、組立が容易な真空バルブを得られるという効果を奏する。

実施の形態１に係る真空バルブの断面図実施の形態１に係る真空バルブの電極部の断面図実施の形態１に係る真空バルブの電極部の斜視図実施の形態１に係る真空バルブの電極部の分解斜視図実施の形態１に係る真空バルブの固定側縦磁界コイル及び可動側縦磁界コイルの平面図実施の形態１に係る真空バルブの固定側縦磁界コイルへの固定側スペーサの取り付け状態及び可動側縦磁界コイルへの可動側スペーサの取り付け状態を示す図実施の形態１の第１の変形例に係る真空バルブの電極部の断面図実施の形態１の第１の変形例に係る真空バルブの電極部の分解斜視図実施の形態１の第２の変形例に係る真空バルブの電極部の断面図実施の形態１の第３の変形例に係る真空バルブの電極部の断面図実施の形態２に係る真空バルブの電極部の断面図実施の形態２に係る真空バルブの電極部の分解斜視図実施の形態２に係る真空バルブの固定側縦磁界コイルへの固定側スペーサの取り付け状態及び可動側縦磁界コイルへの可動側スペーサの取り付け状態を示す図実施の形態３に係る真空バルブの電極部の断面図実施の形態３に係る真空バルブの電極部の分解斜視図実施の形態３に係る真空バルブの固定側縦磁界コイルへの固定側スペーサの取り付け状態及び可動側縦磁界コイルへの可動側スペーサの取り付け状態を示す図

　以下に、実施の形態に係る真空バルブを図面に基づいて詳細に説明する。

実施の形態１．
　図１は、実施の形態１に係る真空バルブの断面図である。図２は、実施の形態１に係る真空バルブの電極部の断面図である。図３は、実施の形態１に係る真空バルブの電極部の斜視図である。図４は、実施の形態１に係る真空バルブの電極部の分解斜視図である。真空バルブ１０は、筒状の絶縁容器１と、絶縁容器１の中心軸上で同軸に並べられた固定側電極２及び可動側電極３とを有する。以下、特段の断りが無い場合には、「軸方向」とは絶縁容器１の軸方向を指し、「径方向」は、絶縁容器１の径方向を指し、「周方向」は、絶縁容器１の周方向を指す。

　固定側電極２は、固定側接点２１、固定側接点２１の表面に軸方向の磁界を発生させる固定側縦磁界コイル２２、固定側接点２１と固定側縦磁界コイル２２との間の隙間を埋める固定側スペーサ２３、固定側接点２１を支持する固定側サポート２４、固定側電極棒２５及び絶縁容器１の一端部を塞ぐ固定側端板２６を有する。可動側電極３は、可動側接点３１、可動側接点３１の表面に軸方向の磁界を発生させる可動側縦磁界コイル３２、可動側接点３１と可動側縦磁界コイル３２との間の隙間を埋める可動側スペーサ３３、可動側接点３１を支持する可動側サポート３４、不図示の投入装置から動力が伝達されて、開極動作時及び閉極動作時に軸方向に沿って移動する可動側電極棒３５、ベローズカバー３６、ベローズ３７及び絶縁容器１の他端部を塞ぐ可動側端板３８を有する。

　可動側電極棒３５には、円盤状のベローズカバー３６が取り付けられている。可動側端板３８とベローズカバー３６とは、ベローズ３７で接続されている。ベローズ３７は、可動側電極棒３５を径方向から覆っている。ベローズ３７は、軸方向に伸縮可能であり、開極動作時及び閉極動作時に、可動側電極棒３５の動きに合わせて伸縮する。可動側端板３８には、可動側電極棒３５を案内するガイド４が設置されている。

　固定側電極２の端部である電極部２ａと、可動側電極３の端部である電極部３ａとは、互いに対向する。固定側電極２及び可動側電極３は、互いに同じ構造である。ただし、図１においては、固定側縦磁界コイル２２と可動側縦磁界コイル３２との周方向の向きが異なるため、図示される断面形状も異なっている。真空バルブ１０は、固定側接点２１に接触していた可動側接点３１が固定側接点２１から離れる開極動作と、固定側接点２１から離れていた可動側接点３１が固定側接点２１に接触する閉極動作とを行う。

　固定側端板２６には、固定側電極棒２５の一端が固定されている。固定側電極棒２５の他端には、固定側サポート２４が取り付けられている。固定側サポート２４は、円板部４１と、円板部４１の一面から突出する軸部４２とを備えている。固定側サポート２４は、固定側縦磁界コイル２２によって、外周側から囲まれている。固定側サポート２４の円板部４１のうち軸部４２が突出している面の裏面には、固定側接点２１がロウ付けされている。

　図５は、実施の形態１に係る真空バルブの固定側縦磁界コイル及び可動側縦磁界コイルの平面図である。固定側縦磁界コイル２２は、絶縁容器１の径方向の中心部に配置される内輪部５８と、内輪部５８から径方向に延びるスポーク部５１と、スポーク部５１の先端から周方向に円弧状に延びる外輪部５２とを有する。外輪部５２の先端は、径方向に沿ったスリット５７でスポーク部５１と隔てられている。外輪部５２の先端には給電部５３が設けられており、給電部５３に固定側接点２１がロウ付けされている。給電部５３は、外輪部５２の先端から軸方向に突出している。固定側縦磁界コイル２２のうち固定側接点２１と対向する端面には、溝５４が形成されている。内輪部５８は、固定側電極棒２５に固定されている。

　固定側縦磁界コイル２２は、銅で形成されており、固定側サポート２４は、固定側縦磁界コイル２２よりも導電性が低い材料で形成されている。固定側縦磁界コイル２２が固定側サポート２４よりも導電率が高く、固定側縦磁界コイル２２の方が電流が流れやすいため、固定側電極棒２５と固定側接点２１との間を流れる電流は、固定側サポート２４を介した経路よりも固定側縦磁界コイル２２を介した経路で流れやすい。

　図６は、実施の形態１に係る真空バルブの固定側縦磁界コイルへの固定側スペーサの取り付け状態及び可動側縦磁界コイルへの可動側スペーサの取り付け状態を示す図である。固定側スペーサ２３は、溝５４に嵌め込まれている。固定側スペーサ２３は、断面Ｈ字形状であり、セラミックスといった絶縁物又はオーステナイト系ステンレスといった銅よりも導電性が低い金属で形成されている。固定側スペーサ２３は、固定側縦磁界コイル２２と固定側接点２１との軸方向の隙間を埋めており、固定側縦磁界コイル２２及び固定側接点２１の両方に接している。したがって、固定側接点２１は、給電部５３に加え、固定側スペーサ２３が配置された箇所においても固定側スペーサ２３を介して固定側縦磁界コイル２２に支持される。

　また、固定側縦磁界コイル２２は、溝５４よりも外周側に突起５５が形成されている。一方、固定側接点２１は、固定側スペーサ２３と当接する部分よりも内周側に突起５６が形成されている。突起５５，５６は、固定側スペーサ２３を挟むようにかしめられている。固定側スペーサ２３は、突起５５，５６によるかしめによって固定側縦磁界コイル２２及び固定側接点２１に固定されており、ロウ付けはされていない。

　可動側電極棒３５は、可動側端板３８を貫通して一端が絶縁容器１の外に突出している。可動側電極棒３５の他端には、可動側サポート３４が取り付けられている。可動側サポート３４は、円板部４１と、円板部４１の一面から突出する軸部４２とを備えている。可動側サポート３４は、可動側縦磁界コイル３２によって、外周側から囲まれている。可動側サポート３４の円板部４１のうち軸部４２が突出している面の裏面には、可動側接点３１がロウ付けされている。

　図５に示すように、可動側縦磁界コイル３２は、絶縁容器１の径方向の中心部に配置される内輪部５８と、内輪部５８から径方向に延びるスポーク部５１と、スポーク部５１の先端から周方向に円弧状に延びる外輪部５２とを有する。外輪部５２の先端は、径方向に沿ったスリット５７でスポーク部５１と隔てられている。外輪部５２の先端には給電部５３が設けられており、給電部５３に可動側接点３１がロウ付けされている。給電部５３は、外輪部５２の先端から軸方向に突出している。すなわち、可動側縦磁界コイル３２の可動側接点３１と対向する端面には、溝５４が形成されている。内輪部５８は、可動側電極棒３５に固定されている。

　可動側縦磁界コイル３２は、銅で形成されており、可動側サポート３４は、可動側縦磁界コイル３２よりも導電性が低い材料で形成されている。可動側縦磁界コイル３２が可動側サポート３４よりも導電率が高く、可動側縦磁界コイル３２の方が電流が流れやすいため、可動側電極棒３５と可動側接点３１との間を流れる電流は、可動側サポート３４を介した経路よりも可動側縦磁界コイル３２を介した経路で流れやすい。

　絶縁容器１には、固定側電極２及び可動側電極３を外周方向から覆うシールド５が設置されている。シールド５は、開極動作時に固定側接点２１と可動側接点３１との間に発生するアークによって固定側接点２１又は可動側接点３１から発生した金属蒸気が絶縁容器１に付着して電極間の絶縁耐力が低下することを防止する。

　可動側縦磁界コイル３２、可動側スペーサ３３及び可動側接点３１は、固定側縦磁界コイル２２、固定側スペーサ２３及び固定側接点２１と同じ構造をしている。図６に示すように、溝５４には、断面Ｈ字形状の可動側スペーサ３３が嵌め込まれている。可動側スペーサ３３は、可動側縦磁界コイル３２と可動側接点３１との隙間を埋めており、可動側接点３１は、給電部５３に加えて、可動側スペーサ３３が配置された箇所においても可動側スペーサ３３を介して可動側縦磁界コイル３２に支持される。

　また、可動側縦磁界コイル３２及び可動側接点３１の各々に形成されている突起５５，５６は、可動側スペーサ３３を挟むようにかしめられている。可動側スペーサ３３は、突起５５，５６によるかしめによって可動側縦磁界コイル３２及び可動側接点３１に固定されており、ロウ付けはされていない。

　真空バルブの組立時には、固定側縦磁界コイル２２の溝５４に固定側スペーサ２３を嵌め合わせ、固定側縦磁界コイル２２の外周部の突起５５をかしめて固定側縦磁界コイル２２に固定側スペーサ２３を固定する。さらに、固定側縦磁界コイル２２と固定側接点２１とを突き合わせて、固定側接点２１の突起５６をかしめて固定側接点２１を固定側スペーサ２３に固定する。可動側縦磁界コイル３２、可動側スペーサ３３及び可動側接点３１も同様にして、可動側縦磁界コイル３２の溝５４に可動側スペーサ３３を嵌め合わせ、突起５５，５６をかしめて可動側縦磁界コイル３２と可動側スペーサ３３と可動側接点３１とを固定する。その後、固定側接点２１、固定側縦磁界コイル２２、固定側サポート２４、固定側電極棒２５及び固定側端板２６を部分ロウ付けした固定側電極２と、可動側接点３１、可動側縦磁界コイル３２、可動側サポート３４、可動側電極棒３５、ベローズカバー３６、ベローズ３７及び可動側端板３８を部分ロウ付けした可動側電極３とを形成する。そして、絶縁容器１にシールド５、ガイド４、固定側電極２及び可動側電極３を嵌め合わせて最終ロウ付けを行う。

　図７は、実施の形態１の第１の変形例に係る真空バルブの電極部の断面図である。図８は、実施の形態１の第１の変形例に係る真空バルブの電極部の分解斜視図である。実施の形態１の第１の変形例において、固定側縦磁界コイル２２及び可動側縦磁界コイル３２の突起５５は、溝５４の内周側に設けられている。突起５５を溝５４の内周側に設けた場合でも、突起５５のかしめによって固定側スペーサ２３を固定側縦磁界コイル２２に固定し、可動側スペーサ３３を可動側縦磁界コイル３２に固定することができる。

　図９は、実施の形態１の第２の変形例に係る真空バルブの電極部の断面図である。実施の形態１の第２の変形例において、固定側接点２１及び可動側接点３１の突起５６は、固定側スペーサ２３又は可動側スペーサ３３と当接する部分よりも外周側に設けられている。突起５６を固定側スペーサ２３又は可動側スペーサ３３と当接する部分よりも外周側に設けた場合でも、突起５６のかしめによって固定側スペーサ２３を固定側接点２１に固定し、可動側スペーサ３３を可動側接点３１に固定することができる。

　図１０は、実施の形態１の第３の変形例に係る真空バルブの電極部の断面図である。実施の形態１の第３の変形例において、固定側縦磁界コイル２２及び可動側縦磁界コイル３２の突起５５は、溝５４の内周側に設けられている。また、固定側接点２１及び可動側接点３１の突起５６は、固定側スペーサ２３又は可動側スペーサ３３と当接する部分よりも外周側に設けられている。突起５５を溝５４の内周側に設け、突起５６を固定側スペーサ２３又は可動側スペーサ３３と当接する部分よりも外周側に設けた場合でも、突起５５のかしめによって固定側スペーサ２３を固定側縦磁界コイル２２に固定し、可動側スペーサ３３を可動側縦磁界コイル３２に固定し、突起５６のかしめによって固定側スペーサ２３を固定側接点２１に固定し、可動側スペーサ３３を可動側接点３１に固定することができる。

　実施の形態１に係る真空バルブ１０は、給電部５３に加えて、固定側スペーサ２３が配置された箇所においても固定側スペーサ２３を介して固定側接点２１が固定側縦磁界コイル２２に支持されるため、固定側接点２１を安定して支持することができる。同様に、実施の形態１に係る真空バルブ１０は、給電部５３に加えて、可動側スペーサ３３が配置された箇所においても可動側スペーサ３３を介して可動側接点３１が可動側縦磁界コイル３２に支持されるため、可動側接点３１を安定して支持することができる。実施の形態１に係る真空バルブ１０は、固定側接点２１が安定して固定側縦磁界コイル２２で支持されており、かつ可動側接点３１が安定して可動側縦磁界コイル３２で支持されているため、組立時に固定側接点２１及び可動側接点３１が傾くことがなく、組立が容易である。

　実施の形態１に係る真空バルブ１０は、固定側縦磁界コイル２２のスリット５７が一つであり、固定側スペーサ２３は固定側縦磁界コイル２２よりも導電性が低い金属又は絶縁物で形成されているため、スリット５７の周囲を除き固定側接点２１のほぼ全周に強い軸方向磁界を発生させることができる。同様に、実施の形態１に係る真空バルブ１０は、可動側縦磁界コイル３２のスリット５７が一つであり、可動側スペーサ３３は可動側縦磁界コイル３２よりも導電性が低い金属又は絶縁物で形成されているため、スリット５７の周囲を除き可動側接点３１のほぼ全周に強い軸方向磁界を発生させることができる。したがって、実施の形態１に係る真空バルブ１０は、電流遮断性能を高めることができる。

　実施の形態１に係る真空バルブ１０は、固定側接点２１と固定側縦磁界コイル２２とが固定側スペーサ２３を介して固定されており、可動側接点３１と可動側縦磁界コイル３２とが可動側スペーサ３３を介して固定されている。このため、実施の形態１に係る真空バルブ１０は、固定側接点２１と固定側縦磁界コイル２２とを接合するロウ材又は可動側接点３１と可動側縦磁界コイル３２とを接合するロウ材が最終ロウ付け時に再溶融しても、固定側接点２１が固定側縦磁界コイル２２から外れたり、可動側接点３１が可動側縦磁界コイル３２から外れたりすることがなく、歩留まりを向上させることができる。

　また、実施の形態１に係る真空バルブ１０は、固定側スペーサ２３及び可動側スペーサ３３はロウ付ではなく突起５５，５６のかしめによって固定されているため、固定側スペーサ２３が固定側縦磁界コイル２２よりも導電性が低い金属である場合又は可動側スペーサ３３が可動側縦磁界コイル３２よりも導電性が低い金属である場合でも、固定側スペーサ２３と固定側縦磁界コイル２２との間、固定側スペーサ２３と固定側接点２１との間、可動側スペーサ３３と可動側縦磁界コイル３２との間及び可動側スペーサ３３と可動側接点３１との間には接触抵抗が生じる。したがって、実施の形態１に係る真空バルブ１０は、固定側スペーサ２３を通る漏れ電流及び可動側スペーサ３３を通る漏れ電流を低減し、電流遮断性能を向上させることができる。

　また、固定側接点２１、可動側接点３１、固定側縦磁界コイル２２及び可動側縦磁界コイル３２は、転削及び旋削といった削り加工で作成されるため、突起５５，５６を設けても加工コストが増大することはない。また、固定側縦磁界コイル２２及び可動側縦磁界コイル３２は、外輪部５２が一つだけであるため、少ない加工数で作成することができる。また、固定側スペーサ２３及び可動側スペーサ３３は、断面Ｈ字形状のリングを分断することによって容易に作成できる。

実施の形態２．
　図１１は、実施の形態２に係る真空バルブの電極部の断面図である。図１２は、実施の形態２に係る真空バルブの電極部の分解斜視図である。図１３は、実施の形態２に係る真空バルブの固定側縦磁界コイルへの固定側スペーサの取り付け状態及び可動側縦磁界コイルへの可動側スペーサの取り付け状態を示す図である。実施の形態２に係る真空バルブ１０において、固定側スペーサ２３及び可動側スペーサ３３は、給電部５３が配置される欠損部３９が形成された１箇所で途切れたリング状である。この他は、実施の形態１に係る真空バルブ１０と同様である。

　実施の形態２に係る真空バルブ１０は、スリット加工を行ったパイプ材を切断することで、固定側スペーサ２３及び可動側スペーサ３３を容易に作成可能であるため、製造コストを低減できる。また、固定側スペーサ２３及び可動側スペーサ３３が各々一つであるため、固定側縦磁界コイル２２に固定側スペーサ２３を固定する作業及び可動側縦磁界コイル３２に可動側スペーサ３３を固定する作業の工数を減らすことができる。この他、実施の形態２に係る真空バルブ１０は、実施の形態１に係る真空バルブ１０と同様の効果が得られる。

実施の形態３．
　図１４は、実施の形態３に係る真空バルブの電極部の断面図である。図１５は、実施の形態３に係る真空バルブの電極部の分解斜視図である。図１６は、実施の形態３に係る真空バルブの固定側縦磁界コイルへの固定側スペーサの取り付け状態及び可動側縦磁界コイルへの可動側スペーサの取り付け状態を示す図である。実施の形態３に係る真空バルブ１０において、固定側スペーサ２３及び可動側スペーサ３３は、給電部５３が配置される切り欠き６１が形成された円板状である。実施の形態３に係る真空バルブ１０は、固定側接点２１と固定側サポート２４との間に固定側スペーサ２３が配置されるため、固定側サポート２４と固定側接点２１とは接触していない。また、可動側接点３１と可動側サポート３４との間に可動側スペーサ３３が配置されるため、可動側サポート３４と可動側接点３１とは接触していない。この他は、実施の形態１に係る真空バルブ１０と同様である。

　実施の形態３に係る真空バルブ１０は、溝加工を施した棒材を切断するか、又は円板にプレス加工で切り欠き６１を形成することで固定側スペーサ２３及び可動側スペーサ３３を容易に作成できるため、製造コストを低減できる。また、固定側スペーサ２３及び可動側スペーサ３３が各々一つであるため、固定側縦磁界コイル２２に固定側スペーサ２３を固定する作業及び可動側縦磁界コイル３２に可動側スペーサ３３を固定する作業の工数を減らすことができる。この他、実施の形態３に係る真空バルブ１０は、実施の形態１に係る真空バルブ１０と同様の効果が得られる。

　以上の実施の形態に示した構成は、内容の一例を示すものであり、別の公知の技術と組み合わせることも可能であるし、要旨を逸脱しない範囲で、構成の一部を省略、変更することも可能である。

　１　絶縁容器、２　固定側電極、２ａ，３ａ　電極部、３　可動側電極、４　ガイド、５　シールド、１０　真空バルブ、２１　固定側接点、２２　固定側縦磁界コイル、２３　固定側スペーサ、２４　固定側サポート、２５　固定側電極棒、２６　固定側端板、３１　可動側接点、３２　可動側縦磁界コイル、３３　可動側スペーサ、３４　可動側サポート、３５　可動側電極棒、３６　ベローズカバー、３７　ベローズ、３８　可動側端板、３９　欠損部、４１　円板部、４２　軸部、５１　スポーク部、５２　外輪部、５３　給電部、５４　溝、５５，５６　突起、５７　スリット、５８　内輪部、６１　切り欠き。

Claims

　円筒状の絶縁容器と、
　前記絶縁容器の中心軸上に互いに対向して設置された固定側電極及び可動側電極とを備え、
　前記固定側電極は、固定側接点と、前記固定側接点の表面に前記絶縁容器の軸方向の磁界を発生させる固定側縦磁界コイルと、前記固定側接点と前記固定側縦磁界コイルとの間の隙間を埋める固定側スペーサとを備え、
　前記可動側電極は、可動側接点と、前記可動側接点の表面に前記絶縁容器の軸方向の磁界を発生させる可動側縦磁界コイルと、前記可動側接点と前記可動側縦磁界コイルとの間の隙間を埋める可動側スペーサとを備え、
　前記固定側縦磁界コイル及び前記可動側縦磁界コイルは、前記絶縁容器の径方向の中心部に配置される内輪部と、前記内輪部から前記絶縁容器の径方向に延びるスポーク部と、前記絶縁容器の周方向に円弧状に延び、先端が前記絶縁容器の径方向に沿ったスリットによって前記スポーク部と隔てられた外輪部と、前記先端から前記絶縁容器の軸方向に突出する給電部とを備え、前記給電部に前記固定側接点又は前記可動側接点がロウ付けされており、
　前記固定側スペーサ及び前記可動側スペーサは、前記固定側縦磁界コイルの材料又は前記可動側縦磁界コイルの材料よりも導電性が低い材料又は絶縁物で形成されており、前記外輪部の少なくとも一部に設置されていることを特徴とする真空バルブ。
　前記固定側スペーサは、前記固定側接点及び前記固定側縦磁界コイルの両方に係合しており、
　前記可動側スペーサは、前記可動側接点及び前記可動側縦磁界コイルの両方に係合していることを特徴とする請求項１に記載の真空バルブ。
　前記固定側接点、前記固定側縦磁界コイル、前記可動側接点及び前記可動側縦磁界コイルの各々には、突起が形成されており、
　前記固定側スペーサは、前記固定側接点及び前記固定側縦磁界コイルの各々の前記突起でかしめられて固定されており、
　前記可動側スペーサは、前記可動側接点及び前記可動側縦磁界コイルの各々の前記突起でかしめられて固定されていることを特徴とする請求項２に記載の真空バルブ。
　前記固定側スペーサ及び前記可動側スペーサは、前記給電部が配置される切り欠きが形成された円板状であることを特徴とする請求項１に記載の真空バルブ。
　前記固定側スペーサ及び前記可動側スペーサは、前記給電部が配置される欠損部の１箇所で途切れたリング状であることを特徴とする請求項１に記載の真空バルブ。
　前記固定側スペーサ及び前記可動側スペーサは、ブロック状であり前記外輪部に少なくとも一つ配置されることを特徴とする請求項１に記載の真空バルブ。
　前記固定側スペーサ及び前記可動側スペーサは、前記外輪部に設けられた溝に埋め込まれていることを特徴とする請求項５又は６に記載の真空バルブ。