KR100685507B1 - 진공 밸브 - Google Patents

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히로미 고가
신이치 미키
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미쓰비시덴키 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 접촉 저항을 감소시켜, 전극 사이의 전자(電磁) 반발력을 감소시키는 진공 밸브에 관한 것으로서, 저부를 가지는 통형을 이루는 진공 용기의 한쪽 단부에 고정 설치된 고정 전극봉(5)과, 다른 쪽 단부에 이동할 수 있게 설치된 가동 전극봉(21)과, 상기 각 전극봉의 대향 측에 설치된 원판형의 접점 C와, 상기 전극봉 및 상기 접점 사이에 각각 설치되고, 상기 접점을 보강하는 보강 부재(13)를 구비하는 데 있어서, 상기 보강 부재의 선팽창 계수는 상기 접점 재료의 선팽창 계수와 상이하고, 상기 보강 부재와 상기 접점은 각 대향부의 복수 부분에서 브레이징(brazing) 접합되어 있다.
밸브, 접점, 전극, 아크, 자장, 접촉 저항

Description

진공 밸브{VACUUM VALVE}
도 1은 본 발명의 실시예 1에 의한 진공 밸브의 접점을 나타낸 정면도이다.
도 2는 진공 밸브의 한쪽 전극을 나타내고, 도 1의 A-A선 단면도이다.
도 3은 진공 밸브의 한쪽 전극을 나타내고, 도 2의 분해 사시도이다.
도 4는 실시예 1에 의한 진공 밸브의 단면도이다.
도 5는 실시예 3에 의한 진공 밸브의 접점을 나타낸 정면도이다.
도 6은 도 5의 B-B선 단면도이다.
도 7은 종래의 진공 밸브의 주요부의 구성을 나타낸 부분 측단면도이다.
도 8은 종래의 한쪽 전극을 나타낸 분해 사시도이다.
<부호의 설명>
1: 전극 2: 고정 전극
3: 고정측 단판 4: 가동측 단판
5: 고정 전극봉 6: 실드(shield)
7: 벨로우즈 실드 8: 절연 용기
9: 벨로우즈(bellows) 11: 전극봉
11a: 원통부 12: 코일 전극
12a: 기단부 12b: 암부
12c: 원호부 12d: 접합부
13: 보강 부재 13a: 중앙 원통부
13b: 접점 지지부 13c: 돌출부
13d: 브레이징 접합용 돌기 C: 접점
14a: 노치부(notch) 14b: 스폿 페이싱(spot facing)
14c: 환형 평면부 14d: 모따기부
20: 진공 용기 21: 가동 전극봉
22: 가동 전극 23: 가이드 장착판
24: 수지 가이드 24a: 플랜지부
본 발명은, 진공 밸브에 관한 것으로, 특히 그 전극 구조에 관한 것이다.
진공 밸브는, 유리재, 세라믹재 등의 절연재로 이루어지고, 내부가 고진공으로 배기된 저부를 가지는 통형의 진공 용기와, 이 진공 용기의 양단부에 각각 설치된 전극봉과, 각 전극봉의 대향하는 단부에 설치된 바람개비형의 코일 전극과, 접점을 보강하는 보강 부재와, 원판형의 접점을 구비하고, 한쪽 전극봉을 축 방향으로 이동시킴으로써, 양 접점(즉 고정 접점 및 가동 접점)을 접촉 또는 이격함으로써, 통전 또는 차단을 행하는 것이다.
상기와 같은 진공 밸브에 있어서는, 통전에 의해 코일 전극이 축 방향을 따라 자장(磁場)을 발생하고, 차단 시에 불가피하게 발생하는 접점 간의 아크(arc)를 접점의 직경 내에 가두고, 이 아크에 의해 발생하는 열전자 및 금속 증기를 접점에 집속시키도록 되어 있다.
예를 들면, 특허 문헌(일본국 특개평 11(1999)-16456호 공보)에 나타낸 바와 같이, 도 7은, 종래의 진공 밸브의 주요부의 구성을 나타낸 부분 측단면도이며, 도 8은 종래의 한쪽 전극을 나타낸 분해 사시도이다. 도면에서, 전극(1, 1)은, 대향 배치된 2개의 전극이며, 각 전극(1)은 도시하지 않은 진공 용기의 단부에 설치된 전극봉(11)과, 각 전극봉(11)의 대향 단에 링형의 기단부(12a)의 일부를 끼워맞춘 바람개비형의 코일 전극(12)과, 기단부(12a)에 선단부를 결합한 핀형의 보강 부재(13)와, 코일 전극(12) 및 보강 부재(13)에 그 배면을 접하여 설치된 원판형의 접점 C를 각각 중심축을 일치시켜 구성되어 있다.
코일 전극(12)은, 전극봉(11)의 단부(11a)와 끼워맞추어지는 링형의 기단부(12a)로부터 복수개의 암부(12b, 12b, ..)가 반경 방향으로 일체로 형성되고, 각 암부(2b, 12b, ..)의 선단은, 동일 원주 방향으로 연장되어 형성되어 원호부(12c, 12c, ..)를 이루고 있다. 또, 각 원호부(12c)의 선단은, 접점(C, C)의 대향 방향으로 돌출되어 설치되어 접합부(12d)를 이루고, 이 접합부(12d, 12d, ..)와 접점 C가 서로 접하고 있다.
대전류(大電流)를 차단하는 진공 밸브에 있어서는, 차단 중에 접점(C, C)에 아크가 생기고, 이 아크에 의한 전류가, 스텐레스강 등의 고저항재로 이루어지는 보강 부재(13, 13)로 흐르지 않고, 도체로 이루어지는 코일 전극 (12, 12)을 통하여 전극봉(11, 11)으로 흐른다. 보다 구체적으로 설명하면, 이 전류는, 접점(C, C)의 반경 외측 방향으로 흐른 후, 접합부(12d, 12d, ..)를 통하여 코일 전극(12, 12)으로 흘러 들어와, 원호부(12c, 12c, ..)를 통과하여 암부(12b, 12b, ..), 기단부(12a, 12a), 전극봉(11, 11)의 순서로 흘러서, 오른 나사의 법칙에 의해 전극(1, 1)의 세로 자장(축 방향을 따른 자장)을 발생시킨다.
이상과 같이, 세로 자장을 효과적으로 발생시킴으로써, 진공 용기 내에서 확산하는 아크가 접점(C, C)의 직경 내에 집속되는 동시에, 아크가 접점(C, C)에서 한군데로 집중되지 않고, 접점(C, C)의 대향면 전체에 확산되므로, 차단 성능을 비약적으로 향상시킬 수 있는 것이다.
진공 밸브의 고정 접점과 가동 접점 간의 접촉 저항은, 각 접점의 접촉 상태에 의해 크게 영향을 받고 불균일이 크다. 그것은, 진공 밸브를 폐극 시에 접점 간의 접촉은, 접점 형상이 평면이라 하더라도, 미크로적인 관점에서 접촉부는 점 접촉이며, 접촉점의 위치, 면적 및 접촉 수에 의해 접촉 저항이 바뀌기 때문이다. 특히 코일 전극, 즉 세로 자장 전극 구조를 가진 진공 밸브에서는, 전극봉으로부터 흐르는 전류가 코일 전극을 통하여 접점으로 흐르기 때문에, 접촉 저항이 커지는 경향이 있다.
또한, 진공 밸브에 대전류를 흐르게 했을 때, 진공 밸브 접점 간에는 전자(電磁) 반발력이 영향을 끼친다. 전류 통전 시에 진공 밸브에 가해지는 외부 압력이, 이 전자 반발력보다 작으면 아크가 발생하는 경우가 있다. 이 전자 반발력도, 접점 간의 접촉 위치, 면적 및 접촉수에 의해 크게 영향을 받아 진공 밸브가 아크를 발생시키면, 접점의 용착(溶着) 가능성이 높아 진다. 아크를 발생시키지 않기 위해서는 큰 외부 압력이 필요해지므로 차단기나 개폐기 등의 구성이 크게 되는 등의 문제점이 있었다.
본 발명은, 상기와 같은 문제점을 해소하기 위해 이루어진 것이며, 진공 밸브 폐극 시의 고정 접점과 가동 접점 간의 접촉을 복수점으로 접촉시킴으로써, 접촉 저항을 감소시켜, 전극 사이의 전자 반발력을 감소시킨 진공 밸브를 얻는 것을 목적으로 한다.
본 발명과 관계되는 진공 밸브는, 저부를 가지는 통형을 이루는 진공 용기의 한쪽 단부에 고정 설치된 고정 전극봉과, 다른쪽 단부에 이동 가능하게 설치된 가동 전극봉과, 상기 각 전극봉의 대향 측에 설치된 원판형의 접점과, 상기 전극봉 및 상기 접점 사이에 각각 설치되고, 상기 접점을 보강하는 보강 부재를 구비하는 데 있어서, 상기 보강 부재의 선팽창 계수는 상기 접점 재료의 선팽창 계수와 상이하고, 상기 보강 부재와 상기 접점은 각 대향부의 복수 부분에서 브레이징(brazing) 접합된다.
또, 저부를 가지는 통형을 이루는 진공 용기의 한쪽 단부에 고정 설치된 고정 전극봉과, 다른쪽 단부에 이동 가능하게 설치된 가동 전극봉과, 상기 각 전극봉의 대향 단에 설치되고, 통전에 의해 상기 각 전극봉의 축 방향을 따라 자장을 발생하는 바람개비형의 코일 전극과, 상기 각 코일 전극의 대향 측에 설치된 원판형 의 접점과, 상기 코일 전극 및 상기 접점의 사이에 각각 설치되는 보강 부재를 구비하는 데 있어서, 상기 보강 부재의 선팽창 계수는 상기 접점 재료의 선팽창 계수와 상이하고, 상기 보강 부재와 상기 접점은 각 대향부의 복수 부분에서 브레이징 접합된 것이다.
[실시예 1]
도 4는 본 발명의 실시예1에 의한 진공 밸브의 단면도이다. 도 2 및 도 3은 진공 밸브의 한쪽 전극을 나타내고, 도 1은 접점을 나타낸 정면도이다. 도 2는 도 1의 A-A선 단면도이다. 도 3은 진공 밸브의 한쪽 전극을 나타내고, 도 2의 분해 사시도이다. 그리고, 도면에 있어서, 도 7 및 도 8과 동일 부호는 동일 또는 해당 부분을 나타내고, 그 설명을 일부 생략한다.
도 4에 있어서, 저부를 가지는 통형의 진공 용기(20)는, 고정측 단판(3) 및 가동측 단판(4)을, 원통형의 유리재, 알루미나 세라믹재 등으로 이루어지는 절연 용기(8)의 양 단면에, 각각 브레이징 접합에 의해 밀폐된 상태로 장착되어 구성되며, 내부가 약 10-2Pa 이하의 진공 상태를 유지하고 있다. 고정 전극봉(5)은 고정측 단판(3)에 의해 관통되고 장착되어 진공 용기(20)와 동축(同軸)상에 배치되고, 고정측 단판(3)에 브레이징 접합에 의해 밀폐된 상태로 고정되어 있다. 고정 전극(2)은 진공 용기(20) 내로부터 돌출하는 고정 전극봉(5)의 축 방향의 일단에 설치되어 있다. 또, 고정 전극(2)은, 원판형의 고정 접점 C와, 세로 자장을 발생시키 는 바람개비형의 고정 코일 전극(12)과, 접점을 보강하는 보강 부재(13)로 구성되어 있다.
가동 전극봉(21)은, 가동측 단판(4)을 관통하여 진공 용기(20)와 동축에 배치되고, 벨로우즈(9)를 통하여 가동측 단판(4)에 브레이징 접합에 의해 밀폐된 상태로 장착되어있다. 가동 전극(22)은 진공 용기(20) 내로부터 돌출하는 가동 전극봉(21)의 축 방향의 일단에 고정 전극(2)과 대향하도록 설치되어 있다. 또한, 가동 전극(22)은, 원판형의 가동 접점 C와, 세로 자장을 발생시키는 바람개비형의 가동 코일 전극(12)과, 접점을 보강하는 보강 부재(13)로 구성되어 있다. 벨로우즈(9)는 얇은 스테인레스로 주름 상자형으로 제작되고, 진공 기밀을 유지하면서, 가동 전극봉(21)이 이동할 수 있게 해서, 가동 전극(22)이 고정 전극(2)에 접근 및 이격이 가능하게 되어있다.
실드(6)는 절연 용기(8)의 내벽면을 덮도록 설치되고, 벨로우즈 실드(7)는 벨로우즈(9)를 덮도록 설치되어 있다. 이로써, 절연 용기(8)의 내벽면 및 벨로우즈(9)가 아크에 의해 발생하는 금속 증기에 의해 오염되는 것을 막고 있다. 또, 가이드 장착판(23)이 가동측 단판(4)에 고착되어 있다. 진공 밸브를 브레이징 접합으로 조립한 후, 가동 전극봉(21)의 이동을 안내하는 수지(樹脂) 가이드(24)가, 그 원통형의 플랜지부(24a) 내에 가동 전극봉(21)의 연장부를 삽입하도록 장착되어, 가이드 장착판(23)에 나사 등에 의해 고착되어 있다.
다음에, 가동 전극봉(21)의 전극 측과 가동 전극(22)의 구조를 도 1 내지 도 3을 참조하여 구체적으로 설명한다. 그리고, 고정 전극봉(5)의 전극 측과 고정 전 극(2)은 동일한 구조이므로, 그 설명을 생략한다. 가동 전극(22)은, 가동 전극봉(21)의 고정 전극봉(5)측에 링형의 기단부(12a)를 끼워맞춘 바람개비형의 코일 전극(12)과, 가동 전극봉(21)에 선단부를 끼워맞춘 핀형 보강 부재(13)와, 코일 전극(12) 및 보강 부재(13)에 그 배면을 접하여 설치된 원판형의 접점 C와 중심축을 일치시켜 구성되어 있다.
가동 전극봉(21)의 고정 전극봉(5) 측단에는, 원통부(11a)가 설치되고, 그 외주에 코일 전극(12)의 링형의 기단부(12a)가 끼워맞추어진다. 또, 원통부(11a)의 내주에는, 보강 부재(13)의 중앙 원통부(13a)가 끼워맞추어진다. 코일 전극(12)은, 가동 전극봉(21)의 원통부(11a)에 끼워맞추어지는 링형의 기단부(12a)로부터 복수개의 암부(12b, 12b, ..)가 반경 방향으로 일체로 형성되고, 각 암부(12b, 12b, ..)의 선단은, 동일 원주 방향으로 연장 형성되어 원호부(12c, 12c, ..)를 이루고 있다. 또, 각 원호부(12c)의 선단은, 접점 C의 대향 방향으로 돌출되어 설치되어 접합부(12d)를 이루어, 이 접합부(12d, 12d, ..)에서 접점 C와 접하고 있다.
보강 부재(13)는, 중앙의 관통 원통부(13a)로부터 반경 방향으로 연장 형성 된 원판형 접점 지지부(13b)와, 그보다 더 반경 방향으로 연장 형성된 돌출부(13c, 13c, ..)를 가지고 있다. 돌출부(13c, 13c, ..)는 원주 방향을 따라 등간격으로, 이 실시예에서는 3개 설치되어 있다. 각 돌출부(13c)의 접점 C와 대향하는 외주 에지부에는 동일 원주 상에 브레이징 접합용 돌기(13d)가 형성되어 있다. 보강 부재(13)는 스테인레스계 재료이며, 동계 재료인 코일 전극(12)보다 전기 저항이 커서, 보강 부재(13)로 전류가 잘 흐르지 않는다.
접점 C에 있어서의 보강 부재(13)와 코일 전극(12)에 대향하는 외주 에지부에는, 전 외주에 걸쳐 노치부(14a; notch)가 형성되어 있다. 그 노치부(14a)와 보강부재(13)의 각 돌출부(13c, 13c, ..)의 돌기(13d)는 원주 방향을 따라서 등간격으로 브레이징 접합된다. 접점 C의 노치부(14a)와 코일 전극(12)의 접합부(12d, 12d, ..)와는 맞닿아 있고, 전기적으로 접촉하고 있다. 고정 전극(2)의 접점 C와 대향하는 가동 전극(22)의 접점 C의 대향면(표면)은, 중앙에 스폿 페이싱(14b)이 설치되고, 그 외주측에 환형 평면부(14c)가 설치되고, 또한 외주 에지에 모따기부(14d)가 형성되어 있다.
접점 C는 동이나 은 계통의 접점재료가 사용되고, 그 선팽창 계수는, 7 ~ 14 × 10-6/K이다. 보강 부재(13)는 스테인레스계 재료 등으로 구성되며, 예를 들면, 스텐레스강의 일종인 SUS304의 선팽창 계수는, 약 17 × 10-6/K로서, 접점 C의 재료의 선팽창 계수보다 크다.
보강 부재(13)의 각 돌출부(13c, 13c, ..)의 외주 에지부의 돌기(13d)는, 접점 C의 노치부(14a)와 예를 들면 은을 사용하여 약 800℃에서 브레이징 접합된다. 보강 부재(13)의 재료를 접점 C의 선팽창 계수와 다른 재료로 형성하면, 브레이징 후의 냉각 시에 선팽창 계수의 차이에 의해 접점 C의 표면이 불균일하게 된다. 예를 들면, 보강 부재(13)를 접점 C의 재료보다 선팽창 계수가 큰 재료로 형성한 경우, 냉각 시에 보강 부재(13)가 접점 C보다 더 줄어들기 때문에, 보강 부재(13)의 돌출부(13c)와 접점 C의 배면의 브레이징 접합 부분에서는, 보강 부재(13)에 의해 접점 C의 배면이 당겨지므로, 접점 C의 브레이징 접합부의 접점 표면(접점 C와 C사이의 접촉면)이 오목하게 들어가게 된다.
보강 부재(13)의 돌출부(13c)를 도 3과 같이 원주 방향을 따라 등간격으로 형성하고, 그 돌출부(13c)와 접점 C를 접합, 즉 원주 방향을 따라 등간격으로 브레이징 접합하게 되면, 접점 표면에 균등하게 요철(凹凸) 부분을 형성할 수 있다. 이 때 접점 표면 중앙부에 스폿 페이싱(14b)을 설치하여 두면, 접점 환형 평면부(14c)에, 보다 효과적으로 요철을 형성할 수 있다. 그러므로, 진공 밸브 폐극 시의 접점(C, C) 간의 접촉점 위치 및 접촉수를 용이하게 제어할 수 있게 되어, 안정적으로 접촉점을 복수개 형성하여, 접촉 저항의 저감 및 안정화, 접점 간의 전자 반발력의 저감이 가능해진다.
이와 같이, 보강 부재(13)와 접점 C와의 브레이징 접합 위치를 적절히 설정하면, 접점 접촉면에서 생기는 요철의 위치를 제어할 수 있기 때문에, 진공 밸브 폐극 시의 고정 접점과 가동 접점 간에 있어서, 복수 점에서 안정적으로 접촉시킬 수가 있어서, 접촉 저항을 감소시키고, 전극 사이의 전자 반발력을 감소시킨 진공 밸브를 얻을 수 있다.
대전류를 차단하는 진공 밸브에 있어서는, 차단 중에 접점(C, C)에 아크가 생기고, 이 아크에 의한 전류가 스테인레스강 등의 고저항재로 이루어지는 보강 부재(13, 13)로 흐르지 않고, 도체로 이루어지는 코일 전극(12, 12)을 통하여 고정 전극봉(5) 및 가동 전극봉(21)으로 흐른다. 이 전류는, 접점(C, C)의 반경 외측 방향으로 흐른 후, 접합부(12d, 12d, ..)를 통하여 코일 전극(12, 12)으로 흘러 들 어가, 원호부(12c, 12c, ..)를 통과하여 암부(12b, 12b, ..), 기단부(12a, 12a), 고정 전극봉(5), 가동 전극봉(21)의 순서로 흘러, 오른 나사의 법칙에 의해 고정 전극(2), 가동 전극(22)의 주위에 세로 자장(축 방향을 따른 자장)을 발생시킨다.
세로 자장을 효과적으로 발생시킴으로써, 진공 용기 내에서 확산하는 아크가 접점(C, C)의 직경 내에 집속되는 동시에, 아크가 접점(C, C)의 한군데로 집중되지 않고, 접점(C, C)의 대향면 전체로 확산되므로, 차단 성능을 비약적으로 향상시킬 수 있는 것이다.
[실시예 2]
그리고, 보강 부재와 접점의 복수 부분에 걸친 브레이징 접합은, 양 전극 모두 실시하는 것이, 양 접점(C, C)의 표면의 요철의 총수를 증가시키는 면에서 바람직하지만, 적어도 한쪽 보강 부재와 접점에 있어서, 각 대향부의 복수 부분에서 브레이징 접합시켜도 동일한 효과를 얻을 수 있다.
[실시예 3]
도 5는 실시예 3에 의한 진공 밸브의 접점을 나타낸 정면도이다. 도 6은 도 5의 B-B선 단면도이다. 실시예 1에서는, 코일 전극(12, 12)을 가지는 진공 밸브에 대해서 설명했지만, 코일 전극(12, 12)이 없고, 고정 전극봉(5), 가동 전극봉(21)이 접점 C의 배면에 접합되는 전극이라도 된다. 요점은, 보강 부재의 선팽창 계수는 접점 재료의 선팽창 계수와 상이하고, 보강 부재와 접점은 각 대향부의 복수 부분에서 브레이징 접합되면 된다. 그러면, 접점 표면에 요철 부분을 형성시키는 것이 가능해져서, 접점의 접촉점을 복수개 형성하여, 접촉 저항의 저감 및 안정화, 접점 간의 전자 반발력의 저감이 가능해지게 된다.
본 발명의 진공 밸브에 의하면, 보강 부재의 선팽창 계수는 접점 재료의 선팽창 계수와 상이하고, 보강 부재와 접점은 각 대향부의 복수 부분에서 브레이징 접합되므로, 접점이 불균일하고, 접점 접촉면에 요철이 형성된다. 그러므로, 진공 밸브 폐극 시의 고정 접점과 가동 접점 간에 있어서, 복수점에서 안정적으로 접촉시킬 수가 있어서, 접촉 저항을 감소시키고, 전극 간의 전자 반발력을 감소시킨 진공 밸브를 얻을 수가 있다.

Claims (6)

  1. 저부를 가지는 통형을 이루는 진공 용기의 한쪽 단부에 고정 설치된 고정 전극봉과, 다른 쪽 단부에 이동 가능하게 설치된 가동 전극봉과, 상기 각 전극봉의 대향 측에 설치된 원판형의 접점과, 상기 전극봉 및 상기 접점 사이에 각각 설치되고, 상기 접점을 보강하는 보강 부재를 구비한 진공 밸브에 있어서,
    상기 보강 부재의 선팽창 계수는 상기 접점 재료의 선팽창 계수와 상이하고, 상기 보강 부재와 상기 접점은, 상기 접점과 대향하는 상기 보강 부재의 외주 에지부의 복수 부분에서 브레이징(brazing) 접합된 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
  2. 저부를 가지는 통형을 이루는 진공 용기의 한쪽 단부에 고정 설치된 고정 전극봉과, 다른 쪽 단부에 이동 가능하게 설치된 가동 전극봉과, 상기 각 전극봉의 대향 단에 설치되고, 통전(通電)에 의해 상기 각 전극봉의 축 방향을 따라서 자장을 발생하는 바람개비형의 코일 전극과, 상기 각 코일 전극의 대향 측에 설치된 원판형의 접점과, 상기 코일 전극 및 상기 접점 사이에 각각 설치되는 보강 부재를 구비한 진공 밸브에 있어서,
    상기 보강 부재의 선팽창 계수는 상기 접점 재료의 선팽창 계수와 상이하고, 상기 보강 부재와 상기 접점은, 상기 접점과 대향하는 상기 보강 부재의 외주 에지부의 복수 부분에서 브레이징 접합된 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
  3. 삭제
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 접점의 중앙부에는 스폿 페이싱(spot facing)이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 보강 부재와 상기 접점은, 상기 보강 부재의 반경 방향으로 연장 형성되고, 원주 방향을 따라 등간격으로 형성된 복수개의 각 돌출부에 있어서, 상기 접점과 대향하는 외주 에지부에서 브레이징 접합된 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 보강 부재와 상기 접점은, 상기 보강 부재의 반경 방향으로 연장 형성되고, 원주 방향을 따라 등간격으로 형성된 복수개의 각 돌출부에 있어서, 상기 접점과 대향하는 외주 에지부의 동일 원주 상에 형성된 돌기와 브레이징 접합된 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
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