WO2021161939A1

WO2021161939A1 - 感光性組成物、画素の形成方法、光学フィルタの製造方法、固体撮像素子の製造方法および画像表示装置の製造方法

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Publication number: WO2021161939A1
Application number: PCT/JP2021/004476
Authority: WO
Inventors: 翔一中村
Original assignee: 富士フイルム株式会社
Priority date: 2020-02-14
Filing date: 2021-02-08
Publication date: 2021-08-19
Also published as: JPWO2021161939A1; KR20220126750A; US20220397824A1; TW202132362A

Abstract

色材と、樹脂と、重合性化合物と、光重合開始剤と、溶剤Ａとを含み、溶剤Ａは、２５℃における表面張力が２８．０ｍＮ／ｍ以上で、２５℃における粘度が５．０ｍＰ・ｓ以下で、沸点が１６０℃以上の溶剤Ａ１を含み、溶剤Ａの全量中における溶剤Ａ１の含有量が１５質量％以上である、感光性組成物。前述の感光性組成物を用いた画素の形成方法、光学フィルタの製造方法、固体撮像素子の製造方法および画像表示装置の製造方法。

Description

感光性組成物、画素の形成方法、光学フィルタの製造方法、固体撮像素子の製造方法および画像表示装置の製造方法

　本発明は、色材を含む感光性組成物に関する。また、本発明は、感光性組成物を用いた画素の形成方法、光学フィルタの製造方法、固体撮像素子の製造方法および画像表示装置の製造方法に関する。

　近年、デジタルカメラ、カメラ付き携帯電話等の普及から、電荷結合素子（ＣＣＤ）イメージセンサなどの固体撮像素子の需要が大きく伸びている。ディスプレイや光学素子のキーデバイスとしてカラーフィルタが使用されている。カラーフィルタは、通常、赤、緑及び青の３原色の画素を備えており、透過光を３原色へ分解する役割を果たしている。

　カラーフィルタの各色の着色画素は、色材を含む感光性組成物を用い、フォトリソグラフィ法にてパターン形成を行って製造されている。

　特許文献１には、次の成分（Ａ）～（Ｆ）；
　（Ａ）着色剤、
　（Ｂ）側鎖にアンモニウム構造を有する単量体からなる繰り返し単位（１）及び側鎖にアミン構造を有する単量体からなる繰り返し単位（２）よりなる群から選ばれる少なくとも１種と、（メタ）アクリル酸エステル単量体からなる繰り返し単位（３）と、（メタ）アクリル酸ポリオキシアルキレン単量体からなる繰り返し単位（４）とを有する共重合体、
　（Ｃ）バインダー樹脂（但し、（Ｂ）成分を除く）、
　（Ｄ）多官能性単量体、
　（Ｅ）光重合開始剤、並びに
　（Ｆ）溶剤を含み、
　（Ｆ）溶剤として、（Ｆ１）１気圧での沸点が１８０℃以上の溶剤を含有し、（Ｆ１）溶剤の含有割合が全溶剤中１～４０質量％である着色組成物に関する発明が記載されている。

特開２０１１－１５８６８７号公報

　近年ではカラーフィルタなどの光学フィルタを備えた固体撮像素子についての小型化や高解像化が進められている。このため、カラーフィルタなどの光学フィルタについて画素の微細化が検討されている。

　しかしながら、感光性組成物を用いてリソグラフィ法で支持体上に画素を形成する場合、形成する画素が微細なものほど、支持体上に形成される画素のパターンサイズについてばらつきが生じやすい傾向にあった。特に、画素の厚みが薄くなるに伴いその傾向が大きかった。

　よって、本発明の目的は、フォトリソグラフィ法にてパターンサイズのばらつきが抑制された画素を形成できる感光性組成物、画素の形成方法、光学フィルタの製造方法、固体撮像素子の製造方法および画像表示装置の製造方法を提供することにある。

　本発明者の検討によれば、以下の構成とすることにより上記目的を達成できることを見出し、本発明を完成するに至った。よって、本発明は以下を提供する。
　＜１＞　色材と、樹脂と、重合性化合物と、光重合開始剤と、溶剤Ａとを含み、
　上記溶剤Ａは、２５℃における表面張力が２８．０ｍＮ／ｍ以上で、２５℃における粘度が５．０ｍＰ・ｓ以下で、沸点が１６０℃以上の溶剤Ａ１を含み、上記溶剤Ａの全量中における上記溶剤Ａ１の含有量が１５質量％以上である、
　感光性組成物。
　＜２＞　更に、界面活性剤を含む、＜１＞に記載の感光性組成物。
　＜３＞　溶剤Ａ１の沸点が１６０～２８０℃である、＜１＞または＜２＞に記載の感光性組成物。
　＜４＞　上記溶剤Ａ１のハンセン溶解度パラメータが１８．０～２２．０ＭＰａ^０．５である、＜１＞～＜３＞のいずれか１つに記載の感光性組成物。
　＜５＞　上記溶剤Ａ１が、酢酸シクロヘキシル、３－メトキシ－１－ブタノールおよび１，２－ジアセトキシプロパンから選ばれる少なくとも１種である、＜１＞～＜４＞のいずれか１つに記載の感光性組成物。
　＜６＞　上記光重合開始剤のハンセン溶解度パラメータと溶剤Ａ１のハンセン溶解度パラメータとの差の絶対値が４．５ＭＰａ^０．５以下である、＜１＞～＜５＞のいずれか１つに記載の感光性組成物。
　＜７＞　上記色材は顔料を含む、＜１＞～＜６＞のいずれか１つに記載の感光性組成物。
　＜８＞　感光性組成物の全固形分中に上記色材を３８質量％以上含有する、＜１＞～＜７＞のいずれか１つに記載の感光性組成物。
　＜９＞　＜１＞～＜８＞のいずれか１つに記載の感光性組成物を支持体上に塗布して感光性組成物層を形成する工程と、上記感光性組成物層をパターン状に露光する工程と、露光後の感光性組成物層の未露光部を現像除去する工程と、を含む、画素の形成方法。
　＜１０＞　上記感光性組成物を支持体上にスピンコート法で塗布して上記感光性組成物層を形成する、＜９＞に記載の画素の形成方法。
　＜１１＞　＜９＞または＜１０＞に記載の画素の形成方法を含む光学フィルタの製造方法。
　＜１２＞　＜９＞または＜１０＞に記載の画素の形成方法を含む固体撮像素子の製造方法。
　＜１３＞　＜９＞または＜１０＞に記載の画素の形成方法を含む画像表示装置の製造方法。

　本発明によれば、フォトリソグラフィ法にてパターンサイズのばらつきが抑制された画素を形成できる感光性組成物、画素の形成方法、光学フィルタの製造方法、固体撮像素子の製造方法および画像表示装置の製造方法を提供することができる。

　以下において、本発明の内容について詳細に説明する。
　本明細書において、「～」とはその前後に記載される数値を下限値および上限値として含む意味で使用される。
　本明細書における基（原子団）の表記において、置換および無置換を記していない表記は、置換基を有さない基（原子団）と共に置換基を有する基（原子団）をも包含する。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基（無置換アルキル基）のみならず、置換基を有するアルキル基（置換アルキル基）をも包含する。
　本明細書において「露光」とは、特に断らない限り、光を用いた露光のみならず、電子線、イオンビーム等の粒子線を用いた描画も露光に含める。また、露光に用いられる光としては、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザに代表される遠紫外線、極紫外線（ＥＵＶ光）、Ｘ線、電子線等の活性光線または放射線が挙げられる。
　本明細書において、「（メタ）アクリレート」は、アクリレートおよびメタクリレートの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アクリル」は、アクリルおよびメタクリルの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アクリロイル」は、アクリロイルおよびメタクリロイルの双方、または、いずれかを表す。
　本明細書において、構造式中のＭｅはメチル基を表し、Ｅｔはエチル基を表し、Ｂｕはブチル基を表し、Ｐｒはプロピル基を表し、Ｐｈはフェニル基を表す。
　本明細書において、重量平均分子量および数平均分子量は、ＧＰＣ（ゲルパーミエーションクロマトグラフィ）法により測定したポリスチレン換算値である。
　本明細書において、近赤外線とは、波長７００～２５００ｎｍの光をいう。
　本明細書において、全固形分とは、組成物の全成分から溶剤を除いた成分の総質量をいう。
　本明細書において、顔料とは、溶剤に対して溶解しにくい化合物を意味する。例えば、顔料は、２３℃の水１００ｇおよび２３℃のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１００ｇに対する溶解度がいずれも０．１ｇ以下であることが好ましく、０．０１ｇ以下であることがより好ましい。
　本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。

＜感光性組成物＞
　本発明の感光性組成物は、
　色材と、樹脂と、重合性化合物と、光重合開始剤と、溶剤Ａとを含み、
　溶剤Ａは、２５℃における表面張力が２８．０ｍＮ／ｍ以上で、２５℃における粘度が５．０ｍＰ・ｓ以下で、沸点が１６０℃以上の溶剤Ａ１を含み、溶剤Ａの全量中における溶剤Ａ１の含有量が１５質量％以上である、ことを特徴とする。

　本発明の感光性組成物によれば、フォトリソグラフィ法にてパターンサイズのばらつきが抑制された画素を形成できる。このような効果が得られる理由は、推測であるが、上述した溶剤Ａ１を含むことにより、塗布後の膜中で光重合開始剤が均一に分散しやすくなり、その結果、露光時の重合反応を均一に進行させることができると推測される。このため、本発明の感光性組成物によれば、パターンサイズのばらつきが抑制された画素を形成することができたと推測される。

　特に本発明の感光性組成物をウェハプロセスで用いられるスピンコート法で塗布した場合であっても、塗布後の膜中に光重合開始剤をより均一に分散させることができると推測され、パターンサイズのばらつきがより抑制された画素を形成することができる。例えば、本発明の感光性組成物を支持体上にスピンコート法で塗布した後、リソグラフィ法で画素を形成することで、薄膜（例えば、厚さ０．５μｍ以下など）で微細なサイズの画素を形成する場合であっても、形成される画素のパターンサイズのばらつきを抑制することができる。したがって、本発明の感光性組成物はスピンコート用の感光性組成物として用いる場合において特に顕著な効果を奏する。

　本発明の感光性組成物は、光学フィルタ用の感光性組成物として好ましく用いられる。光学フィルタとしては、カラーフィルタ、近赤外線透過フィルタ、近赤外線カットフィルタなどが挙げられ、カラーフィルタであることが好ましい。

　カラーフィルタとしては、特定の波長の光を透過させる着色画素を有するフィルタが挙げられ、赤色画素、青色画素、緑色画素、黄色画素、シアン色画素およびマゼンタ色画素から選ばれる少なくとも１種の着色画素を有するフィルタであることが好ましい。カラーフィルタの着色画素は、有彩色色材を含む感光性組成物を用いて形成することができる。

　近赤外線カットフィルタとしては、極大吸収波長を波長７００～１８００ｎｍの範囲に有するフィルタが挙げられる。近赤外線カットフィルタは、極大吸収波長を波長７００～１３００ｎｍの範囲に有するフィルタであることが好ましく、波長７００～１０００ｎｍの範囲に有するフィルタであることがより好ましい。また、近赤外線カットフィルタの波長４００～６５０ｎｍの全範囲での透過率は７０％以上であることが好ましく、８０％以上であることがより好ましく、９０％以上であることが更に好ましい。また、波長７００～１８００ｎｍの範囲の少なくとも１点での透過率は２０％以下であることが好ましい。また、近赤外線カットフィルタの極大吸収波長における吸光度Ａｍａｘと、波長５５０ｎｍにおける吸光度Ａ５５０との比である吸光度Ａｍａｘ／吸光度Ａ５５０は、２０～５００であることが好ましく、５０～５００であることがより好ましく、７０～４５０であることが更に好ましく、１００～４００であることが特に好ましい。近赤外線カットフィルタは、近赤外線吸収色材を含む感光性組成物を用いて形成することができる。

　近赤外線透過フィルタは、近赤外線の少なくとも一部を透過させるフィルタである。近赤外線透過フィルタとしては、可視光の少なくとも一部を遮光し、近赤外線の少なくとも一部を透過させるフィルタなどが挙げられる。近赤外線透過フィルタとしては、波長４００～６４０ｎｍの範囲における透過率の最大値が２０％以下（好ましくは１５％以下、より好ましくは１０％以下）であり、波長１１００～１３００ｎｍの範囲における透過率の最小値が７０％以上（好ましくは７５％以上、より好ましくは８０％以上）である分光特性を満たしているフィルタなどが好ましく挙げられる。近赤外線透過フィルタは、以下の（１）～（４）のいずれかの分光特性を満たしているフィルタであることが好ましい。
　（１）：波長４００～６４０ｎｍの範囲における透過率の最大値が２０％以下（好ましくは１５％以下、より好ましくは１０％以下）であり、波長８００～１３００ｎｍの範囲における透過率の最小値が７０％以上（好ましくは７５％以上、より好ましくは８０％以上）であるフィルタ。
　（２）：波長４００～７５０ｎｍの範囲における透過率の最大値が２０％以下（好ましくは１５％以下、より好ましくは１０％以下）であり、波長９００～１３００ｎｍの範囲における透過率の最小値が７０％以上（好ましくは７５％以上、より好ましくは８０％以上）であるフィルタ。
　（３）：波長４００～８３０ｎｍの範囲における透過率の最大値が２０％以下（好ましくは１５％以下、より好ましくは１０％以下）であり、波長１０００～１３００ｎｍの範囲における透過率の最小値が７０％以上（好ましくは７５％以上、より好ましくは８０％以上）であるフィルタ。
　（４）：波長４００～９５０ｎｍの範囲における透過率の最大値が２０％以下（好ましくは１５％以下、より好ましくは１０％以下）であり、波長１１００～１３００ｎｍの範囲における透過率の最小値が７０％以上（好ましくは７５％以上、より好ましくは８０％以上）であるフィルタ。

　本発明の感光性組成物の固形分濃度は、５～４０質量％であることが好ましい。下限は、８質量％以上が好ましく、１０質量％以上がより好ましい。上限は、３０質量％以下が好ましく、２５質量％以下がより好ましく、２０質量％以下が更に好ましい。

　以下、本発明の感光性組成物に用いられる各成分について説明する。

＜＜溶剤Ａ＞＞
　本発明の感光性組成物は、溶剤Ａを含有する。溶剤Ａは有機溶剤であることが好ましい。有機溶剤としては脂肪族炭化水素系溶剤、ハロゲン化炭化水素系溶剤、アルコール系溶剤、エーテル系溶剤、エステル系溶剤、ケトン系溶剤、ニトリル系溶剤、アミド系溶剤、スルホキシド系溶剤、芳香族系溶剤などが挙げられる。

　脂肪族炭化水素系溶剤としては、ヘキサン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、ペンタン、シクロペンタン、ヘプタン、オクタンなどが挙げられる。

　ハロゲン化炭化水素系溶剤としては、塩化メチレン、クロロホルム、ジクロロメタン、二塩化エタン、四塩化炭素、トリクロロエチレン、テトラクロロエチレン、エピクロロヒドリン、モノクロロベンゼン、オルソジクロロベンゼン、アリルクロライド、モノクロロ酢酸メチル、モノクロロ酢酸エチル、モノクロロ酢酸トリクロロ酢酸、臭化メチル、トリ（テトラ）クロロエチレンなどが挙げられる。

　アルコール系溶剤としては、メタノール、エタノール、１－プロパノール、２－プロパノール、２－ブタノール、エチレングリコール、プロピレングリコール、グリセリン、１，６－ヘキサンジオール、シクロヘキサンジオール、ソルビトール、キシリトール、２－メチル－２，４－ペンタンジオール、３－メトキシ－１－ブタノール、１，３－ブタンジオール、１，４－ブタンジオールなどが挙げられる。

　エーテル系溶剤としては、ジメチルエーテル、ジエチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、ｔ－ブチルメチルエーテル、シクロヘキシルメチルエーテル、アニソール、テトラヒドロフラン、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、ポリエチレングリコール、ジプロピレングリコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノフェニルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエ－テル、プロピレングリコールモノブチルエ－テル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノプロピルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、ジプロピレングリコ－ルモノメチルエ－テル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノプロピルエ－テル、ジプロピレングリコールモノブチルエ－テル、ジプロピレングリコールメチル－ｎ－プロピルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノブチルエ－テル、テトラエチレングリコールジメチルエーテル、ポリエチレングリコールモノメチルエーテル、ポリエチレングリコールジメチルエーテルなどが挙げられる。

　エステル系溶剤としては、酢酸シクロヘキシル、３－メトキシ－１－ブタノール、１，４－ジアセトキシブタン、１，６－ジアセトキシヘキサン、１，２－ジアセトキシプロパン、炭酸プロピレン、ジプロピレン、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、メチルアセテート、エチルアセテート、イソプロピルアセテート、ｎ－プロピルアセテート、ブチルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、３－メトキシブチルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、トリアセチンなどが挙げられる。

　ケトン系溶剤としては、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、２－ヘプタノンなどが挙げられる。

　ニトリル系溶剤としては、アセトニトリルなどが挙げられる。

　アミド系溶剤としては、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド、１－メチル－２－ピロリドン、２－ピロリジノン、１，３－ジメチル－２－イミダゾリジノン、２－ピロリジノン、ε－カプロラクタム、ホルムアミド、Ｎ－メチルホルムアミド、アセトアミド、Ｎ－メチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルアセトアミド、Ｎ－メチルプロパンアミド、ヘキサメチルホスホリックトリアミド、３－メトキシ－Ｎ，Ｎ－ジメチルプロパンアミド、３－ブトキシ－Ｎ，Ｎ－ジメチルプロパンアミドなどが挙げられる。

　スルホキシド系溶剤としては、ジメチルスルホキシドなどが挙げられる。

　芳香族系溶剤としては、ベンゼン、トルエンなどが挙げられる。

　本発明においては、溶剤Ａとして、２５℃における表面張力が２８．０ｍＮ／ｍ以上で、２５℃における粘度が５．０ｍＰ・ｓ以下で、沸点が１６０℃以上の溶剤Ａ１を含むものを用いる。なお、本明細書において溶剤の沸点は１気圧（０．１ＭＰａ）での値である。

　溶剤Ａ１の２５℃における表面張力は、本発明の効果がより顕著に得られやすいという理由から２８．０～３５．０ｍＮ／ｍであることが好ましく、２８．５～３４．５ｍＮ／ｍであることがより好ましく、２９．０～３４．０ｍＮ／ｍであることが更に好ましい。なお、本明細書において、溶剤の表面張力は、白金プレートを用いてプレート法で測定した値である。ここで、プレート法による表面張力の測定とは以下である。測定子（プレート）が液体の表面に触れると、液体がプレートに対してぬれ上がる。このとき、プレートの周囲に沿って表面張力がはたらき、プレートを液中に引き込もうとする。この引き込む力を読み取り、液体の表面張力を測定する。表面張力の測定装置としては、協和界面科学（株）製表面張力計ＣＢＶＰ－Ｚを用いることができる。

　溶剤Ａ１の沸点は、１６０～２８０℃であることが好ましく、１６０～２５０℃であることがより好ましく、１６５～２３０℃であることがより好ましい。溶剤Ａ１の沸点が上記範囲であれば、パターンサイズのばらつきがより抑制された画素を形成することができる。更には、感光性組成物の塗布性が良好で、形成される画素の厚みのばらつきを抑制することもできる。特に、厚みの薄い画素を形成する場合において効果的である。

　溶剤Ａ１の２５℃における粘度は、本発明の効果がより顕著に得られやすいという理由から１．０～５．０ｍＰａ・ｓであることが好ましく、１．５～４．０ｍＰａ・ｓであることがより好ましく、２．０～３．５ｍＰａ・ｓであることが更に好ましい。

　溶剤Ａ１のハンセン溶解度パラメータは１８．０～２２．０ＭＰａ^０．５であることが好ましく、１８．５～２１．０ＭＰａ^０．５であることがより好ましく、１９．０～２０．０ＭＰａ^０．５であることが更に好ましい。

　なお、本明細書において、溶剤および後述する光重合開始剤のハンセン溶解度パラメータは、ハンセン溶解度パラメータ・ソフトウエア「ＨＳＰｉＰ　５．０．０９」を用いて算出した値である。

　溶剤Ａ１の具体例としては、酢酸シクロヘキシル（２５℃における表面張力＝３０．５ｍＮ／ｍ、２５℃における粘度＝２．０ｍＰ・ｓ、沸点＝１７３℃、ハンセン溶解度パラメータ＝１８．２ＭＰａ^０．５）、３－メトキシ－１－ブタノール（２５℃における表面張力＝２８．９ｍＮ／ｍ、２５℃における粘度＝２．９ｍＰ・ｓ、沸点＝１６１℃、ハンセン溶解度パラメータ＝２１．２ＭＰａ^０．５）、１，２－ジアセトキシプロパン（２５℃における表面張力＝３１．２ｍＮ／ｍ、２５℃における粘度＝２．７ｍＰ・ｓ、沸点＝１９０℃、ハンセン溶解度パラメータ＝１９．１ＭＰａ^０．５）、１，４－ジアセトキシブタン（２５℃における表面張力＝３４．２ｍＮ／ｍ、２５℃における粘度＝３．１ｍＰ・ｓ、沸点＝２３２℃、ハンセン溶解度パラメータ＝１８．８ＭＰａ^０．５）、１，６－ジアセトキシヘキサン（２５℃における表面張力＝３４．１ｍＮ／ｍ、２５℃における粘度＝３．９ｍＰ・ｓ、沸点＝２６０℃、ハンセン溶解度パラメータ＝１８．３ＭＰａ^０．５）などが挙げられ、本発明の効果がより顕著に得られるという理由から、溶剤Ａ１は酢酸シクロヘキシル、３－メトキシ－１－ブタノールおよび１，２－ジアセトキシプロパンから選ばれる少なくとも１種であることが好ましく、１，２－ジアセトキシプロパンであることがより好ましい。

　本発明の感光性組成物に用いられる溶剤Ａは、上記溶剤Ａ１を１５質量％以上含有するものであり、２５質量％以上含有するものであることが好ましく、３０質量％以上含有するものであることがより好ましい。この態様によれば、上述した本発明の効果が顕著に得られやすい。上限は、組成物中での色材の分散安定性の観点から８０質量％以下であることが好ましく、６０質量％以下であることがより好ましく、４０質量％以下であることが更に好ましい。溶剤Ａ１は１種のみであってもよく、２種以上を併用してもよい。２種以上含む場合は、それらの合計が上記範囲であることが好ましい。

　本発明の感光性組成物に用いられる溶剤は、更に、沸点が１６０℃未満の溶剤（以下、溶剤Ａ２ともいう）を含むことができる。溶剤Ａ１と溶剤Ａ２とを併用することで上述した本発明の効果がより顕著に得られる。

　溶剤Ａ２の沸点は、１１５℃以上であることが好ましく、１２０℃以上であることがより好ましく、１３０℃以上であることがより好ましい。また、溶剤Ａ２の沸点は、１５５℃以下であることが好ましく、１５０℃以下であることがより好ましい。溶剤Ａ２の沸点が上記範囲であれば、上述した本発明の効果がより顕著に得られやすい。

　溶剤Ａ２の２５℃における粘度は、０．５～５．０ｍＰａ・ｓであることが好ましく、０．５～３．０ｍＰａ・ｓであることがより好ましく、０．５～１．５ｍＰａ・ｓであることが更に好ましい。

　溶剤Ａ２の２５℃における表面張力は、２８．０ｍＮ／ｍ未満であることが好ましく、２１．０～２７．５ｍＮ／ｍであることがより好ましく、２１．０～２７．０ｍＮ／ｍであることが更に好ましい。

　溶剤Ａ２のハンセン溶解度パラメータは１０．０～３０．０ＭＰａ^０．５であることが好ましく、１５．０～２５．０ＭＰａ^０．５であることがより好ましい。また、溶剤Ａ２のハンセン溶解度パラメータと溶剤Ａ１のハンセン溶解度パラメータとの差の絶対値は、５．０ＭＰａ^０．５以下であることが好ましく、３．０ＭＰａ^０．５以下であることがより好ましく、２．０ＭＰａ^０．５以下であることが更に好ましい。

　溶剤Ａ２は、エーテル系溶剤及びエステル系溶剤から選ばれる少なくとも１種であることが好ましく、エステル系溶剤を少なくとも含むことがより好ましく、エーテル系溶剤及びエステル系溶剤を含むことが更に好ましい。溶剤Ａ２の具体例としては、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、乳酸エチル、酢酸ブチル、酢酸プロピルが挙げられ、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートであることが好ましい。

　本発明の感光性組成物に用いられる溶剤Ａが溶剤Ａ２を含有する場合、溶剤Ａ２の含有量は、溶剤Ａ１の１００質量部に対して５００～５０００質量部であることが好ましい。上限は４０００質量部以下であることが好ましく、３０００質量部以下であることがより好ましく、１５００質量部以下であることが更に好ましい。下限は６００質量部以上であることが好ましく、７００質量部以上であることがより好ましく、７５０質量部以上であることが更に好ましい。また、溶剤全量中における溶剤Ａ２の含有量は、１５質量％以上であることが好ましく、３０質量％以上であることがより好ましく、４０質量％以上であることが更に好ましい。上限は８５質量％以下であることが好ましく、８０質量％以下であることがより好ましく、７０質量％以下であることが更に好ましく、６０質量％以下であることがより一層好ましい。溶剤Ａ２の含有量が上記範囲であれば、本発明の効果がより顕著に得られやすい。溶剤Ａ２は１種のみであってもよく、２種以上を併用してもよい。２種以上含む場合は、それらの合計が上記範囲であることが好ましい。

　また、本発明の感光性組成物に用いられる溶剤Ａは、溶剤Ａ１と溶剤Ａ２とを合計で５０～１００質量％含有するものであることが好ましく、６０～１００質量％であることがより好ましく、７０～１００質量％であることが更に好ましい。

　本発明の感光性組成物に用いられる溶剤Ａは、更に、溶剤Ａ１および溶剤Ａ２以外の溶剤（以下、溶剤Ａ３ともいう）を含有することができる。溶剤Ａ３としては、沸点が１６０℃以上で、かつ、２５℃における表面張力が２８．０ｍＮ／ｍ未満の溶剤、沸点が１６０℃以上でかつ２５℃における粘度が５．０ｍＰ・ｓを超える溶剤が挙げられる。

　本発明の感光性組成物に用いられる溶剤Ａが溶剤Ａ３を含有する場合、溶剤Ａ３の含有量は、溶剤Ａ１の１００質量部に対して５００～５０００質量部であることが好ましい。上限は４０００質量部以下であることが好ましく、３０００質量部以下であることがより好ましく、１５００質量部以下であることが更に好ましい。下限は６００質量部以上であることが好ましく、７００質量部以上であることがより好ましく、７５０質量部以上であることが更に好ましい。また、本発明の感光性組成物に用いられる溶剤は、溶剤Ａ３を実質的に含有しないものであることも好ましい。溶剤Ａ３を実質的に含有しないとは、溶剤全量中における溶剤Ａ３の含有量が０．１質量％以下であることを意味し、０．０５質量％以下であることが好ましく、溶剤Ａ３を含有しないことがより好ましい。

　本発明の感光性組成物中における溶剤Ａの含有量は、６０～９５質量％であることが好ましい。上限は９２質量％以下であることが好ましく、９０質量％以下であることがより好ましい。下限は７０質量％以上であることが好ましく、７５質量％以上であることがより好ましく、８０質量％以上であることが更に好ましい。

　本発明の感光性組成物中における溶剤Ａ１の含有量は、２０～８０質量％であることが好ましい。上限は７０質量％以下であることが好ましく、６０質量％以下であることがより好ましい。下限は２５質量％以上であることが好ましく、３０質量％以上であることがより好ましい。

＜＜色材＞＞
　本発明の感光性組成物は色材を含有する。色材としては、有彩色色材、白色色材、黒色色材、近赤外線吸収色材が挙げられる。色材として有彩色色材を用いた場合においては、本発明の感光性組成物は、カラーフィルタにおける着色画素形成用の感光性組成物として好ましく用いることができる。

　色材は、顔料であってもよく、染料であってもよい。顔料と染料とを併用してもよい。また、顔料は、無機顔料、有機顔料のいずれでもよい。また、顔料には、無機顔料または有機－無機顔料の一部を有機発色団で置換した材料を用いることもできる。無機顔料や有機－無機顔料を有機発色団で置換することで、色相設計をしやすくできる。

　顔料の平均一次粒子径は、１～２００ｎｍが好ましい。下限は５ｎｍ以上が好ましく、１０ｎｍ以上がより好ましい。上限は、１８０ｎｍ以下が好ましく、１５０ｎｍ以下がより好ましく、１００ｎｍ以下が更に好ましい。顔料の平均一次粒子径が上記範囲であれば、感光性組成物中における顔料の分散安定性が良好である。なお、本発明において、顔料の一次粒子径は、顔料の一次粒子を透過型電子顕微鏡により観察し、得られた画像写真から求めることができる。具体的には、顔料の一次粒子の投影面積を求め、それに対応する円相当径を顔料の一次粒子径として算出する。また、本発明における平均一次粒子径は、４００個の顔料の一次粒子についての一次粒子径の算術平均値とする。また、顔料の一次粒子とは、凝集のない独立した粒子をいう。

　本発明で用いられる色材は、顔料を含むものであることが好ましい。色材中における顔料の含有量は、５０質量％以上であることが好ましく、７０質量％以上であることがより好ましく、８０質量％以上であることが更に好ましく、９０質量％以上であることが特に好ましい。

（有彩色色材）
　有彩色色材としては、波長４００～７００ｎｍの範囲に極大吸収波長を有する色材が挙げられる。例えば、黄色色材、オレンジ色色材、赤色色材、緑色色材、紫色色材、青色色材などが挙げれる。有彩色色材の具体例としては、例えば、以下に示すものが挙げられる。

　カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｙｅｌｌｏｗ　１，２，３，４，５，６，１０，１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８，２０，２４，３１，３２，３４，３５，３５：１，３６，３６：１，３７，３７：１，４０，４２，４３，５３，５５，６０，６１，６２，６３，６５，７３，７４，７７，８１，８３，８６，９３，９４，９５，９７，９８，１００，１０１，１０４，１０６，１０８，１０９，１１０，１１３，１１４，１１５，１１６，１１７，１１８，１１９，１２０，１２３，１２５，１２６，１２７，１２８，１２９，１３７，１３８，１３９，１４７，１４８，１５０，１５１，１５２，１５３，１５４，１５５，１５６，１６１，１６２，１６４，１６６，１６７，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７３，１７４，１７５，１７６，１７７，１７９，１８０，１８１，１８２，１８５，１８７，１８８，１９３，１９４，１９９，２１３，２１４，２１５，２２８，２３１，２３２（メチン系），２３３（キノリン系），２３４（アミノケトン系），２３５（アミノケトン系），２３６（アミノケトン系）等（以上、黄色顔料）、
　Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｏｒａｎｇｅ　２，５，１３，１６，１７：１，３１，３４，３６，３８，４３，４６，４８，４９，５１，５２，５５，５９，６０，６１，６２，６４，７１，７３等（以上、オレンジ色顔料）、
　Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｒｅｄ　１，２，３，４，５，６，７，９，１０，１４，１７，２２，２３，３１，３８，４１，４８：１，４８：２，４８：３，４８：４，４９，４９：１，４９：２，５２：１，５２：２，５３：１，５７：１，６０：１，６３：１，６６，６７，８１：１，８１：２，８１：３，８３，８８，９０，１０５，１１２，１１９，１２２，１２３，１４４，１４６，１４９，１５０，１５５，１６６，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７５，１７６，１７７，１７８，１７９，１８４，１８５，１８７，１８８，１９０，２００，２０２，２０６，２０７，２０８，２０９，２１０，２１６，２２０，２２４，２２６，２４２，２４６，２５４，２５５，２６４，２６９，２７０，２７２，２７９，２９１，２９４（キサンテン系、Ｏｒｇａｎｏ　Ｕｌｔｒａｍａｒｉｎｅ、Ｂｌｕｉｓｈ　Ｒｅｄ），２９５（モノアゾ系），２９６（ジアゾ系），２９７（アミノケトン系）等（以上、赤色顔料）、
　Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｇｒｅｅｎ　７，１０，３６，３７，５８，５９，６２，６３，６４（フタロシアニン系），６５（フタロシアニン系），６６（フタロシアニン系）等（以上、緑色顔料）、
　Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｖｉｏｌｅｔ　１，１９，２３，２７，３２，３７，４２，６０（トリアリールメタン系），６１（キサンテン系）等（以上、紫色顔料）、
　Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｂｌｕｅ　１，２，１５，１５：１，１５：２，１５：３，１５：４，１５：６，１６，２２，２９，６０，６４，６６，７９，８０，８７（モノアゾ系），８８（メチン系）等（以上、青色顔料）。

　また、緑色色材として、１分子中のハロゲン原子数が平均１０～１４個であり、臭素原子数が平均８～１２個であり、塩素原子数が平均２～５個であるハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料を用いることもできる。具体例としては、国際公開第２０１５／１１８７２０号に記載の化合物が挙げられる。また、緑色色材として中国特許出願第１０６９０９０２７号明細書に記載の化合物、国際公開第２０１２／１０２３９５号に記載のリン酸エステルを配位子として有するフタロシアニン化合物、特開２０１９－００８０１４号公報に記載のフタロシアニン化合物、特開２０１８－１８００２３号公報に記載のフタロシアニン化合物、特開２０１９－０３８９５８号公報に記載の化合物などを用いることもできる。

　また、青色色材として、リン原子を有するアルミニウムフタロシアニン化合物を用いることもできる。具体例としては、特開２０１２－２４７５９１号公報の段落００２２～００３０、特開２０１１－１５７４７８号公報の段落００４７に記載の化合物が挙げられる。

　また、黄色色材として、特開２０１７－２０１００３号公報に記載の化合物、特開２０１７－１９７７１９号公報に記載の化合物、特開２０１７－１７１９１２号公報の段落番号００１１～００６２、０１３７～０２７６に記載の化合物、特開２０１７－１７１９１３号公報の段落番号００１０～００６２、０１３８～０２９５に記載の化合物、特開２０１７－１７１９１４号公報の段落番号００１１～００６２、０１３９～０１９０に記載の化合物、特開２０１７－１７１９１５号公報の段落番号００１０～００６５、０１４２～０２２２に記載の化合物、特開２０１３－０５４３３９号公報の段落番号００１１～００３４に記載のキノフタロン化合物、特開２０１４－０２６２２８号公報の段落番号００１３～００５８に記載のキノフタロン化合物、特開２０１８－０６２６４４号公報に記載のイソインドリン化合物、特開２１８－２０３７９８号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１８－０６２５７８号公報に記載のキノフタロン化合物、特許第６４３２０７７号公報に記載のキノフタロン化合物、特許第６４３２０７６号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１８－１５５８８１号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１８－１１１７５７号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１８－０４０８３５号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１７－１９７６４０号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１６－１４５２８２号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１４－０８５５６５号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１４－０２１１３９号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１３－２０９６１４号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１３－２０９４３５号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１３－１８１０１５号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１３－０６１６２２号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１３－０５４３３９号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１３－０３２４８６号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１２－２２６１１０号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２００８－０７４９８７号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２００８－０８１５６５号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２００８－０７４９８６号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２００８－０７４９８５号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２００８－０５０４２０号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２００８－０３１２８１号公報に記載のキノフタロン化合物、特公昭４８－０３２７６５号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１９－００８０１４号公報に記載のキノフタロン化合物、下記式（ＱＰ１）で表される化合物、下記式（ＱＰ２）で表される化合物、韓国公開特許第１０－２０１４－００３４９６３号公報に記載の化合物、特開２０１７－０９５７０６号公報に記載の化合物、台湾特許出願公開第２０１９２０４９５号公報に記載の化合物、特許第６６０７４２７号公報に記載の化合物を用いることもできる。また、これらの化合物を多量体化したものも、色価向上の観点から好ましく用いられる。また、黄色色材としては、耐性を改良する観点でＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｙｅｌｌｏｗ１２９や、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｙｅｌｌｏｗ２１５を使用することも好ましい。

　式（ＱＰ１）中、Ｘ^１～Ｘ^１６は各々独立に水素原子又はハロゲン原子を表し、Ｚ^１は炭素数１～３のアルキレン基を表す。式（ＱＰ１）で表される化合物の具体例としては、特許第６４４３７１１号公報の段落番号００１６に記載されている化合物が挙げられる。

　式（ＱＰ２）中、Ｙ^１～Ｙ^３は、それぞれ独立にハロゲン原子を示す。ｎ、ｍは０～６の整数、ｐは０～５の整数を表す。（ｎ＋ｍ）は１以上である。式（ＱＰ２）で表される化合物の具体例としては、特許６４３２０７７号公報の段落番号００４７～００４８に記載されている化合物が挙げられる。

　赤色色材として、特開２０１７－２０１３８４号公報に記載の構造中に少なくとも１つ臭素原子が置換したジケトピロロピロール顔料、特許第６２４８８３８号の段落番号００１６～００２２に記載のジケトピロロピロール顔料、特許６５１６１１９号公報に記載の赤色色材、特許６５２５１０１号公報に記載の赤色色材などを用いることもできる。また、赤色色材として、芳香族環に対して、酸素原子、硫黄原子または窒素原子が結合した基が導入された芳香族環基がジケトピロロピロール骨格に結合した構造を有する化合物を用いることもできる。

　各種顔料が有していることが好ましい回折角については、特許第６５６１８６２号公報、特許第６４１３８７２号公報、特許第６２８１３４５号公報の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。

　また、有彩色色材として、染料を用いることもできる。染料としては特に制限はなく、公知の染料が使用できる。例えば、ピラゾールアゾ化合物、アニリノアゾ化合物、トリアリールメタン化合物、アントラキノン化合物、アントラピリドン化合物、ベンジリデン化合物、オキソノール化合物、ピラゾロトリアゾールアゾ化合物、ピリドンアゾ化合物、シアニン化合物、フェノチアジン化合物、ピロロピラゾールアゾメチン化合物、キサンテン化合物、フタロシアニン化合物、ベンゾピラン化合物、インジゴ化合物、ピロメテン化合物が挙げられる。また、特開２０１２－１５８６４９号公報に記載のチアゾール化合物、特開２０１１－１８４４９３号公報に記載のアゾ化合物、特開２０１１－１４５５４０号公報に記載のアゾ化合物を用いることもできる。また、染料としては、色素多量体を用いることもできる。色素多量体は、一分子中に、色素構造を２以上有するものであり、色素構造を３以上有することが好ましい。上限は、特に限定はないが、１００以下とすることもできる。一分子中に有する複数の色素構造は、同一の色素構造であってもよく、異なる色素構造であってもよい。色素多量体の重量平均分子量（Ｍｗ）は、２０００～５００００が好ましい。下限は、３０００以上がより好ましく、６０００以上がさらに好ましい。上限は、３００００以下がより好ましく、２００００以下がさらに好ましい。色素多量体は、特開２０１１－２１３９２５号公報、特開２０１３－０４１０９７号公報、特開２０１５－０２８１４４号公報、特開２０１５－０３０７４２号公報、特開２０１６－１０２１９１号公報、国際公開第２０１６／０３１４４２号等に記載されている化合物を用いることもできる。

　有彩色色材は、２種以上組み合わせて用いてもよい。例えば、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｇｒｅｅｎ７とＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｇｒｅｅｎ３６とＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｙｅｌｌｏｗ１３９とＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｙｅｌｌｏｗ１８５との組み合わせで緑色が形成されていてもよく、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｇｒｅｅｎ５８とＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｙｅｌｌｏｗ１５０とＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｙｅｌｌｏｗ１８５との組み合わせで緑色が形成されていてもよい。

　また、有彩色色材を２種以上組み合わせて用いる場合、２種以上の有彩色色材の組み合わせで黒色を形成していてもよい。そのような組み合わせとしては、例えば以下の（１）～（７）の態様が挙げられる。感光性組成物中に有彩色色材を２種以上含み、かつ、２種以上の有彩色色材の組み合わせで黒色を呈している場合においては、本発明の感光性組成物は、近赤外線透過フィルタ形成用の感光性組成物として好ましく用いることができる。
（１）赤色色材と青色色材とを含有する態様。
（２）赤色色材と青色色材と黄色色材とを含有する態様。
（３）赤色色材と青色色材と黄色色材と紫色色材とを含有する態様。
（４）赤色色材と青色色材と黄色色材と紫色色材と緑色色材とを含有する態様。
（５）赤色色材と青色色材と黄色色材と緑色色材とを含有する態様。
（６）赤色色材と青色色材と緑色色材とを含有する態様。
（７）黄色色材と紫色色材とを含有する態様。

（白色色材）
　白色色材としては、酸化チタン、チタン酸ストロンチウム、チタン酸バリウム、酸化亜鉛、酸化マグネシウム、酸化ジルコニウム、酸化アルミニウム、硫酸バリウム、シリカ、タルク、マイカ、水酸化アルミニウム、ケイ酸カルシウム、ケイ酸アルミニウム、中空樹脂粒子、硫化亜鉛などが挙げられる。白色色材は、チタン原子を有する粒子が好ましく、酸化チタンがより好ましい。また、白色色材は、波長５８９ｎｍの光に対する屈折率が２．１０以上の粒子であることが好ましい。前述の屈折率は、２．１０～３．００であることが好ましく、２．５０～２．７５であることがより好ましい。

　また、白色色材は「酸化チタン　物性と応用技術　清野学著　１３～４５ページ　１９９１年６月２５日発行、技報堂出版発行」に記載の酸化チタンを用いることもできる。

　白色色材は、単一の無機物からなるものだけでなく、他の素材と複合させた粒子を用いてもよい。例えば、内部に空孔や他の素材を有する粒子、コア粒子に無機粒子を多数付着させた粒子、ポリマー粒子からなるコア粒子と無機ナノ微粒子からなるシェル層とからなるコアおよびシェル複合粒子を用いることが好ましい。上記コアおよびシェル複合粒子としては、例えば、特開２０１５－０４７５２０号公報の段落番号００１２～００４２の記載を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。

　白色色材は、中空無機粒子を用いることもできる。中空無機粒子とは、内部に空洞を有する構造の無機粒子であり、外殻に包囲された空洞を有する無機粒子のことを言う。中空無機粒子としては、特開２０１１－０７５７８６号公報、国際公開第２０１３／０６１６２１号、特開２０１５－１６４８８１号公報などに記載された中空無機粒子が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。

（黒色色材）
　黒色色材としては特に限定されず、公知のものを用いることができる。例えば、無機黒色色材としては、カーボンブラック、チタンブラック、グラファイト等が挙げられ、カーボンブラック、チタンブラックが好ましく、チタンブラックがより好ましい。チタンブラックとは、チタン原子を含有する黒色粒子であり、低次酸化チタンや酸窒化チタンが好ましい。チタンブラックは、分散性向上、凝集性抑制などの目的で必要に応じ、表面を修飾することが可能である。例えば、酸化珪素、酸化チタン、酸化ゲルマニウム、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、又は、酸化ジルコニウムでチタンブラックの表面を被覆することが可能である。また、特開２００７－３０２８３６号公報に表されるような撥水性物質での処理も可能である。黒色色材として、カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｂｌａｃｋ　１，７等が挙げられる。チタンブラックは、個々の粒子の一次粒子径及び平均一次粒子径のいずれもが小さいことが好ましい。具体的には、平均一次粒子径が１０～４５ｎｍであることが好ましい。チタンブラックは、分散物として用いることもできる。例えば、チタンブラック粒子とシリカ粒子とを含み、分散物中のＳｉ原子とＴｉ原子との含有比が０．２０～０．５０の範囲に調整した分散物などが挙げられる。上記分散物については、特開２０１２－１６９５５６号公報の段落００２０～０１０５の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。チタンブラックの市販品の例としては、チタンブラック１０Ｓ、１２Ｓ、１３Ｒ、１３Ｍ、１３Ｍ－Ｃ、１３Ｒ－Ｎ、１３Ｍ－Ｔ（商品名：三菱マテリアル（株）製）、ティラック（Ｔｉｌａｃｋ）Ｄ（商品名：赤穂化成（株）製）などが挙げられる。有機黒色色材としては、ビスベンゾフラノン化合物、アゾメチン化合物、ペリレン化合物、アゾ化合物などが挙げられ、ビスベンゾフラノン化合物、ペリレン化合物が好ましい。ビスベンゾフラノン化合物としては、特表２０１０－５３４７２６号公報、特表２０１２－５１５２３３号公報、特表２０１２－５１５２３４号公報、国際公開第２０１４／２０８３４８号、特表２０１５－５２５２６０号公報などに記載の化合物が挙げられ、例えば、ＢＡＳＦ社製の「Ｉｒｇａｐｈｏｒ　Ｂｌａｃｋ」として入手可能である。ペリレン化合物としては、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｂｌａｃｋ　３１、３２などが挙げられる。アゾメチン化合物としては、特開平０１－１７０６０１号公報、特開平０２－０３４６６４号公報などに記載の化合物が挙げられ、例えば、大日精化社製の「クロモファインブラックＡ１１０３」として入手できる。また、有機黒色色材としては、特開２０１７－２２６８２１号公報の段落００１６～００２０に記載のペリレンブラック（Ｌｕｍｏｇｅｎ　Ｂｌａｃｋ　ＦＫ４２８０等）を使用しても良い。

（近赤外線吸収色材）
　近赤外線吸収色材は、顔料であることが好ましく、有機顔料であることがより好ましい。また、近赤外線吸収色材は、波長７００ｎｍを超え１４００ｎｍ以下の範囲に極大吸収波長を有する化合物であることが好ましい。また、近赤外線吸収色材の極大吸収波長は、１２００ｎｍ以下であることが好ましく、１０００ｎｍ以下であることがより好ましく、９５０ｎｍ以下であることが更に好ましい。また、近赤外線吸収色材は、波長５５０ｎｍにおける吸光度Ａ_５５０と極大吸収波長における吸光度Ａ_ｍａｘとの比であるＡ_５５０／Ａ_ｍａｘが０．１以下であることが好ましく、０．０５以下であることがより好ましく、０．０３以下であることが更に好ましく、０．０２以下であることが特に好ましい。下限は、特に限定はないが、例えば、０．０００１以上とすることができ、０．０００５以上とすることもできる。上述の吸光度の比が上記範囲であれば、可視透明性および近赤外線遮蔽性に優れた近赤外線吸収色材とすることができる。なお、本発明において、近赤外線吸収色材の極大吸収波長および各波長における吸光度の値は、近赤外線吸収色材を含む感光性組成物を用いて形成した膜の吸収スペクトルから求めた値である。

　近赤外線吸収色材としては、特に限定はないが、ピロロピロール化合物、シアニン化合物、スクアリリウム化合物、フタロシアニン化合物、ナフタロシアニン化合物、クアテリレン化合物、メロシアニン化合物、クロコニウム化合物、オキソノール化合物、イミニウム化合物、ジチオール化合物、トリアリールメタン化合物、ピロメテン化合物、アゾメチン化合物、アントラキノン化合物、ジベンゾフラノン化合物、ジチオレン金属錯体等が挙げられる。ピロロピロール化合物としては、特開２００９－２６３６１４号公報の段落番号００１６～００５８に記載の化合物、特開２０１１－０６８７３１号公報の段落番号００３７～００５２に記載の化合物、国際公開第２０１５／１６６８７３号の段落番号００１０～００３３に記載の化合物などが挙げられる。スクアリリウム化合物としては、特開２０１１－２０８１０１号公報の段落番号００４４～００４９に記載の化合物、特許第６０６５１６９号公報の段落番号００６０～００６１に記載の化合物、国際公開第２０１６／１８１９８７号の段落番号００４０に記載の化合物、特開２０１５－１７６０４６号公報に記載の化合物、国際公開第２０１６／１９０１６２号の段落番号００７２に記載の化合物、特開２０１６－０７４６４９号公報の段落番号０１９６～０２２８に記載の化合物、特開２０１７－０６７９６３号公報の段落番号０１２４に記載の化合物、国際公開第２０１７／１３５３５９号に記載の化合物、特開２０１７－１１４９５６号公報に記載の化合物、特許６１９７９４０号公報に記載の化合物、国際公開第２０１６／１２０１６６号に記載の化合物などが挙げられる。シアニン化合物としては、特開２００９－１０８２６７号公報の段落番号００４４～００４５に記載の化合物、特開２００２－１９４０４０号公報の段落番号００２６～００３０に記載の化合物、特開２０１５－１７２００４号公報に記載の化合物、特開２０１５－１７２１０２号公報に記載の化合物、特開２００８－０８８４２６号公報に記載の化合物、国際公開第２０１６／１９０１６２号の段落番号００９０に記載の化合物、特開２０１７－０３１３９４号公報に記載の化合物などが挙げられる。クロコニウム化合物としては、特開２０１７－０８２０２９号公報に記載の化合物が挙げられる。イミニウム化合物としては、例えば、特表２００８－５２８７０６号公報に記載の化合物、特開２０１２－０１２３９９号公報に記載の化合物、特開２００７－０９２０６０号公報に記載の化合物、国際公開第２０１８／０４３５６４号の段落番号００４８～００６３に記載の化合物が挙げられる。フタロシアニン化合物としては、特開２０１２－０７７１５３号公報の段落番号００９３に記載の化合物、特開２００６－３４３６３１号公報に記載のオキシチタニウムフタロシアニン、特開２０１３－１９５４８０号公報の段落番号００１３～００２９に記載の化合物、特許第６０８１７７１号公報に記載のバナジウムフタロシアニン化合物が挙げられる。ナフタロシアニン化合物としては、特開２０１２－０７７１５３号公報の段落番号００９３に記載の化合物が挙げられる。ジチオレン金属錯体としては、特許第５７３３８０４号公報に記載の化合物が挙げられる。

　近赤外線吸収色材としては、特開２０１７－１９７４３７号公報に記載のスクアリリウム化合物、特開２０１７－０２５３１１号公報に記載のスクアリリウム化合物、国際公開第２０１６／１５４７８２号に記載のスクアリリウム化合物、特許第５８８４９５３号公報に記載のスクアリリウム化合物、特許第６０３６６８９号公報に記載のスクアリリウム化合物、特許第５８１０６０４号公報に記載のスクアリリウム化合物、国際公開第２０１７／２１３０４７号の段落番号００９０～０１０７に記載のスクアリリウム化合物、特開２０１８－０５４７６０号公報の段落番号００１９～００７５に記載のピロール環含有化合物、特開２０１８－０４０９５５号公報の段落番号００７８～００８２に記載のピロール環含有化合物、特開２０１８－００２７７３号公報の段落番号００４３～００６９に記載のピロール環含有化合物、特開２０１８－０４１０４７号公報の段落番号００２４～００８６に記載のアミドα位に芳香環を有するスクアリリウム化合物、特開２０１７－１７９１３１号公報に記載のアミド連結型スクアリリウム化合物、特開２０１７－１４１２１５号公報に記載のピロールビス型スクアリリウム骨格又はクロコニウム骨格を有する化合物、特開２０１７－０８２０２９号公報に記載されたジヒドロカルバゾールビス型のスクアリリウム化合物、特開２０１７－０６８１２０号公報の段落番号００２７～０１１４に記載の非対称型の化合物、特開２０１７－０６７９６３号公報に記載されたピロール環含有化合物（カルバゾール型）、特許第６２５１５３０号公報に記載されたフタロシアニン化合物などを用いることもできる。

　感光性組成物の全固形分中における色材の含有量は３０～８０質量％であることが好ましい。下限は３８質量％以上であることが好ましく、４２質量％以上であることがより好ましい。上限は７５質量％以下であることが好ましく、７０質量％以下であることがより好ましい。
　また、感光性組成物の全固形分中における顔料の含有量は３０～８０質量％であることが好ましい。下限は３８質量％以上であることが好ましく、４２質量％以上であることがより好ましい。上限は７５質量％以下であることが好ましく、７０質量％以下であることがより好ましい。

＜＜樹脂＞＞
　本発明の着色組成物は樹脂を含有する。樹脂は、例えば、顔料等を着色組成物中で分散させる用途や、バインダーの用途で配合される。なお、主に顔料等を着色組成物中で分散させるために用いられる樹脂を分散剤ともいう。ただし、樹脂のこのような用途は一例であって、このような用途以外を目的として樹脂を使用することもできる。

　樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は、３０００～２００００００が好ましい。上限は、１００００００以下が好ましく、５０００００以下がより好ましく、１０００００以下が更に好ましく、７００００以下がより一層好ましく、５００００以下が特に好ましい。下限は、５０００以上が好ましく、７０００以上がより好ましく、１００００以上が更に好ましい。

　樹脂としては、（メタ）アクリル樹脂、エポキシ樹脂、エン・チオール樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテル樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレン樹脂、ポリアリーレンエーテルホスフィンオキシド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリオレフィン樹脂、環状オレフィン樹脂、ポリエステル樹脂、スチレン樹脂などが挙げられる。これらの樹脂から１種を単独で使用してもよく、２種以上を混合して使用してもよい。

　本発明の着色組成物は、酸基を有する樹脂を含むことも好ましい。酸基としては、例えば、カルボキシル基、リン酸基、スルホ基、フェノール性ヒドロキシ基などが挙げられる。これら酸基は、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。酸基を有する樹脂は分散剤として用いることもできる。本発明の着色組成物が酸基を有する樹脂を含有することにより、アルカリ現像によって所望のパターンを形成できる。酸基を有する樹脂の酸価は、３０～５００ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましい。下限は、５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上が好ましく、７０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上がより好ましい。上限は、４００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が好ましく、２００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下がより好ましく、１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が更に好ましく、１２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が最も好ましい。

　樹脂としては、下記式（ＥＤ１）で示される化合物および／または下記式（ＥＤ２）で表される化合物（以下、これらの化合物を「エーテルダイマー」と称することもある。）由来の繰り返し単位を含む樹脂を含むことも好ましい。

　式（ＥＤ１）中、Ｒ^１およびＲ^２は、それぞれ独立して、水素原子または置換基を有していてもよい炭素数１～２５の炭化水素基を表す。

　式（ＥＤ２）中、Ｒは、水素原子または炭素数１～３０の有機基を表す。式（ＥＤ２）の具体例としては、特開２０１０－１６８５３９号公報の記載を参酌できる。

　エーテルダイマーの具体例については、特開２０１３－０２９７６０号公報の段落番号０３１７を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。

　樹脂としては、重合性基を有する繰り返し単位を含む樹脂を含むことも好ましい。

　樹脂としては、式（Ｘ）で表される化合物由来の繰り返し単位を含む樹脂を含むことも好ましい。

　式中、Ｒ^１は水素原子またはメチル基を表し、Ｒ^２１およびＲ^２２はそれぞれ独立してアルキレン基を表し、ｎは０～１５の整数を表す。Ｒ^２１およびＲ^２２が表すアルキレン基の炭素数は１～１０であることが好ましく、１～５であることがより好ましく、１～３であることが更に好ましく、２または３であることが特に好ましい。ｎは０～１５の整数を表し、０～５の整数であることが好ましく、０～４の整数であることがより好ましく、０～３の整数であることが更に好ましい。

　式（Ｘ）で表される化合物としては、パラクミルフェノールのエチレンオキサイドまたはプロピレンオキサイド変性（メタ）アクリレートなどが挙げられる。市販品としては、アロニックスＭ－１１０（東亞合成（株）製）などが挙げられる。

　樹脂としては、芳香族カルボキシル基を有する樹脂（以下、樹脂Ａｃともいう）を含むことも好ましい。樹脂Ａｃにおいて、芳香族カルボキシル基は繰り返し単位の主鎖に含まれていてもよく、繰り返し単位の側鎖に含まれていてもよい。芳香族カルボキシル基は繰り返し単位の主鎖に含まれていることが好ましい。なお、本明細書において、芳香族カルボキシル基とは、芳香族環にカルボキシル基が１個以上結合した構造の基のことである。芳香族カルボキシル基において、芳香族環に結合したカルボキシル基の数は、１～４個であることが好ましく、１～２個であることがより好ましい。

　樹脂は、分散剤としての樹脂を含むことが好ましい。分散剤としては、酸性分散剤（酸性樹脂）、塩基性分散剤（塩基性樹脂）が挙げられる。ここで、酸性分散剤（酸性樹脂）とは、酸基の量が塩基性基の量よりも多い樹脂を表す。酸性分散剤（酸性樹脂）としては、酸基の量と塩基性基の量の合計量を１００モル％としたときに、酸基の量が７０モル％以上である樹脂が好ましい。酸性分散剤（酸性樹脂）が有する酸基は、カルボキシル基が好ましい。酸性分散剤（酸性樹脂）の酸価は、１０～１０５ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましい。また、塩基性分散剤（塩基性樹脂）とは、塩基性基の量が酸基の量よりも多い樹脂を表す。塩基性分散剤（塩基性樹脂）としては、酸基の量と塩基性基の量の合計量を１００モル％としたときに、塩基性基の量が５０モル％を超える樹脂が好ましい。塩基性分散剤が有する塩基性基は、アミノ基が好ましい。

　分散剤として用いる樹脂は、グラフト樹脂であることも好ましい。グラフト樹脂の詳細は、特開２０１２－２５５１２８号公報の段落番号００２５～００９４の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。

　分散剤として用いる樹脂は、芳香族カルボキシル基を有する樹脂（樹脂Ａｃ）であることも好ましい。芳香族カルボキシル基を有する樹脂としては上述したものが挙げられる。

　分散剤として用いる樹脂は、主鎖及び側鎖の少なくとも一方に窒素原子を含むポリイミン系分散剤であることも好ましい。ポリイミン系分散剤としては、ｐＫａ１４以下の官能基を有する部分構造を有する主鎖と、原子数４０～１００００の側鎖とを有し、かつ主鎖及び側鎖の少なくとも一方に塩基性窒素原子を有する樹脂が好ましい。塩基性窒素原子は、塩基性を呈する窒素原子であれば特に制限はない。ポリイミン系分散剤については、特開２０１２－２５５１２８号公報の段落番号０１０２～０１６６の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。

　分散剤として用いる樹脂は、コア部に複数個のポリマー鎖が結合した構造の樹脂であることも好ましい。このような樹脂としては、例えばデンドリマー（星型ポリマーを含む）が挙げられる。また、デンドリマーの具体例としては、特開２０１３－０４３９６２号公報の段落番号０１９６～０２０９に記載された高分子化合物Ｃ－１～Ｃ－３１などが挙げられる。

　分散剤として用いる樹脂は、エチレン性不飽和結合含有基を側鎖に有する繰り返し単位を含む樹脂であることも好ましい。エチレン性不飽和結合含有基を側鎖に有する繰り返し単位の含有量は、樹脂の全繰り返し単位中１０モル％以上であることが好ましく、１０～８０モル％であることがより好ましく、２０～７０モル％であることが更に好ましい。また、分散剤は、特開２０１８－０８７９３９号公報に記載された樹脂を用いることもできる。

　分散剤は、市販品としても入手可能であり、そのような具体例としては、ビックケミー・ジャパン社製のＤＩＳＰＥＲＢＹＫシリーズ、日本ルーブリゾール社製のＳＯＬＳＰＥＲＳＥシリーズ、ＢＡＳＦ社製のＥｆｋａシリーズ、味の素ファインテクノ（株）製のアジスパーシリーズ等が挙げられる。また、特開２０１２－１３７５６４号公報の段落番号０１２９に記載された製品、特開２０１７－１９４６６２号公報の段落番号０２３５に記載された製品を分散剤として用いることもできる。

　また、分散剤として用いる樹脂は、特許第６４３２０７７号公報の段落番号０２１９～０２２１に記載されたブロック共重合体（ＥＢ－１）～（ＥＢ－９）を用いることもできる。

　感光性組成物の全固形分中における樹脂の含有量は、１～７０質量％であることが好ましい。下限は５質量％以上が好ましく、１０質量％以上がより好ましく、１５質量％以上が更に好ましく、２０質量％以上が特に好ましい。上限は６０質量％以下が好ましく、５０質量％以下がより好ましく、４５質量％以下が更に好ましい。樹脂は１種のみ用いてもよく、２種以上用いてもよい。樹脂を２種以上用いる場合は、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。

＜＜重合性化合物＞＞
　本発明の感光性組成物は、重合性化合物を含有する。重合性化合物としては、エチレン性不飽和結合含有基を有する化合物などが挙げられる。エチレン性不飽和結合含有基としては、ビニル基、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基などが挙げられる。本発明で用いられる重合性化合物は、ラジカル重合性化合物であることが好ましい。

　重合性化合物としては、モノマー、プレポリマー、オリゴマーなどのいずれの化学的形態のものであってもよいが、モノマーが好ましい。重合性化合物の分子量は、１００～３０００が好ましい。上限は、２０００以下がより好ましく、１５００以下が更に好ましい。下限は、１５０以上がより好ましく、２５０以上が更に好ましい。

　重合性化合物は、エチレン性不飽和結合含有基を３個以上含む化合物であることが好ましく、エチレン性不飽和結合含有基を３～１５個含む化合物であることがより好ましく、エチレン性不飽和結合含有基を３～６個含む化合物であることが更に好ましい。また、重合性化合物は、３～１５官能の（メタ）アクリレート化合物であることが好ましく、３～６官能の（メタ）アクリレート化合物であることがより好ましい。重合性化合物の具体例としては、特開２００９－２８８７０５号公報の段落番号００９５～０１０８、特開２０１３－０２９７６０号公報の段落０２２７、特開２００８－２９２９７０号公報の段落番号０２５４～０２５７、特開２０１３－２５３２２４号公報の段落番号００３４～００３８、特開２０１２－２０８４９４号公報の段落番号０４７７、特開２０１７－０４８３６７号公報、特許第６０５７８９１号公報、特許第６０３１８０７号公報に記載されている化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。

　重合性化合物としては、ジペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ　Ｄ－３３０；日本化薬（株）製）、ジペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ　Ｄ－３２０；日本化薬（株）製）、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ　Ｄ－３１０；日本化薬（株）製）、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ　ＤＰＨＡ；日本化薬（株）製、ＮＫエステルＡ－ＤＰＨ－１２Ｅ；新中村化学工業（株）製）、およびこれらの（メタ）アクリロイル基がエチレングリコールおよび／またはプロピレングリコール残基を介して結合している構造の化合物（例えば、サートマー社から市販されている、ＳＲ４５４、ＳＲ４９９）が好ましい。また、重合性化合物としては、ジグリセリンＥＯ（エチレンオキシド）変性（メタ）アクリレート（市販品としてはＭ－４６０；東亞合成製）、ペンタエリスリトールテトラアクリレート（新中村化学工業（株）製、ＮＫエステルＡ－ＴＭＭＴ）、１，６－ヘキサンジオールジアクリレート（日本化薬（株）製、ＫＡＹＡＲＡＤ　ＨＤＤＡ）、ＲＰ－１０４０（日本化薬（株）製）、アロニックスＴＯ－２３４９（東亞合成（株）製）、ＮＫオリゴＵＡ－７２００（新中村化学工業（株）製）、ＤＰＨＡ－４０Ｈ（日本化薬（株）製）、ＵＡ－３０６Ｈ、ＵＡ－３０６Ｔ、ＵＡ－３０６Ｉ、ＡＨ－６００、Ｔ－６００、ＡＩ－６００、ＬＩＮＣ－２０２ＵＡ（共栄社化学（株）製）、８ＵＨ－１００６、８ＵＨ－１０１２（以上、大成ファインケミカル（株）製）、ライトアクリレートＰＯＢ－Ａ０（共栄社化学（株）製）などを用いることもできる。

　また、重合性化合物には、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンプロピレンオキシド変性トリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンエチレンオキシド変性トリ（メタ）アクリレート、イソシアヌル酸エチレンオキシド変性トリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレートなどの３官能の（メタ）アクリレート化合物を用いることもできる。３官能の（メタ）アクリレート化合物の市販品としては、アロニックスＭ－３０９、Ｍ－３１０、Ｍ－３２１、Ｍ－３５０、Ｍ－３６０、Ｍ－３１３、Ｍ－３１５、Ｍ－３０６、Ｍ－３０５、Ｍ－３０３、Ｍ－４５２、Ｍ－４５０（東亞合成（株）製）、ＮＫエステル　Ａ９３００、Ａ－ＧＬＹ－９Ｅ、Ａ－ＧＬＹ－２０Ｅ、Ａ－ＴＭＭ－３、Ａ－ＴＭＭ－３Ｌ、Ａ－ＴＭＭ－３ＬＭ－Ｎ、Ａ－ＴＭＰＴ、ＴＭＰＴ（新中村化学工業（株）製）、ＫＡＹＡＲＡＤ　ＧＰＯ－３０３、ＴＭＰＴＡ、ＴＨＥ－３３０、ＴＰＡ－３３０、ＰＥＴ－３０（日本化薬（株）製）などが挙げられる。

　また、重合性化合物には、酸基を有する化合物を用いることもできる。酸基を有する重合性化合物を用いることで、現像時に未露光部の重合性化合物が除去されやすく、現像残渣の発生を抑制できる。酸基としては、カルボキシル基、スルホ基、リン酸基等が挙げられ、カルボキシル基が好ましい。酸基を有する重合性化合物の市販品としては、アロニックスＭ－５１０、Ｍ－５２０、アロニックスＴＯ－２３４９（東亞合成（株）製）等が挙げられる。酸基を有する重合性化合物の好ましい酸価としては、０．１～４０ｍｇＫＯＨ／ｇであり、より好ましくは５～３０ｍｇＫＯＨ／ｇである。重合性化合物の酸価が０．１ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であれば、現像液に対する溶解性が良好であり、４０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であれば、製造や取扱い上、有利である。

　また、重合性化合物には、カプロラクトン構造を有する化合物を用いることもできる。カプロラクトン構造を有する重合性化合物の市販品としては、ＫＡＹＡＲＡＤ　ＤＰＣＡ－２０、ＤＰＣＡ－３０、ＤＰＣＡ－６０、ＤＰＣＡ－１２０（以上、日本化薬（株）製）などが挙げられる。

　また、重合性化合物には、アルキレンオキシ基を有する重合性化合物を用いることもできる。アルキレンオキシ基を有する重合性化合物は、エチレンオキシ基および／またはプロピレンオキシ基を有する重合性化合物が好ましく、エチレンオキシ基を有する重合性化合物がより好ましく、エチレンオキシ基を４～２０個有する３～６官能（メタ）アクリレート化合物がさらに好ましい。アルキレンオキシ基を有する重合性化合物の市販品としては、例えばサートマー社製のエチレンオキシ基を４個有する４官能（メタ）アクリレートであるＳＲ－４９４、日本化薬（株）製のイソブチレンオキシ基を３個有する３官能（メタ）アクリレートであるＫＡＹＡＲＡＤ　ＴＰＡ－３３０などが挙げられる。

　また、重合性化合物には、フルオレン骨格を有する重合性化合物を用いることもできる。フルオレン骨格を有する重合性化合物の市販品としては、オグソールＥＡ－０２００、ＥＡ－０３００（大阪ガスケミカル（株）製、フルオレン骨格を有する（メタ）アクリレートモノマー）などが挙げられる。

　重合性化合物としては、トルエンなどの環境規制物質を実質的に含まない化合物を用いることも好ましい。このような化合物の市販品としては、ＫＡＹＡＲＡＤ　ＤＰＨＡ　ＬＴ、ＫＡＹＡＲＡＤ　ＤＰＥＡ－１２　ＬＴ（日本化薬（株）製）などが挙げられる。

　感光性組成物の全固形分中における重合性化合物の含有量は０．１～５０質量％であることが好ましい。下限は、０．５質量％以上がより好ましく、１質量％以上が更に好ましい。上限は、４５質量％以下がより好ましく、４０質量％以下が更に好ましく、３０質量％以下がより一層好ましく、２０質量％以下が更に一層好ましい。重合性化合物は、１種のみを用いてもよく、２種以上用いてもよい。重合性化合物を２種以上用いる場合は、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。

＜＜光重合開始剤＞＞
　本発明の感光性組成物は光重合開始剤を含有する。光重合開始剤としては、特に制限はなく、公知の光重合開始剤の中から適宜選択することができる。例えば、紫外線領域から可視領域の光線に対して感光性を有する化合物が好ましい。光重合開始剤は、光ラジカル重合開始剤であることが好ましい。

　光重合開始剤としては、ハロゲン化炭化水素誘導体（例えば、トリアジン骨格を有する化合物、オキサジアゾール骨格を有する化合物など）、アシルホスフィン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール、オキシム化合物、有機過酸化物、チオ化合物、ケトン化合物、芳香族オニウム塩、α－ヒドロキシケトン化合物、α－アミノケトン化合物などが挙げられる。光重合開始剤は、露光感度の観点から、トリハロメチルトリアジン化合物、ベンジルジメチルケタール化合物、α－ヒドロキシケトン化合物、α－アミノケトン化合物、アシルホスフィン化合物、ホスフィンオキサイド化合物、メタロセン化合物、オキシム化合物、トリアリールイミダゾールダイマー、オニウム化合物、ベンゾチアゾール化合物、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物、シクロペンタジエン－ベンゼン－鉄錯体、ハロメチルオキサジアゾール化合物および３－アリール置換クマリン化合物であることが好ましく、オキシム化合物、α－ヒドロキシケトン化合物、α－アミノケトン化合物、および、アシルホスフィン化合物から選ばれる化合物であることがより好ましく、オキシム化合物であることが更に好ましい。また、光重合開始剤としては、特開２０１４－１３０１７３号公報の段落００６５～０１１１、特許第６３０１４８９号公報に記載された化合物、ＭＡＴＥＲＩＡＬ　ＳＴＡＧＥ　３７～６０ｐ，ｖｏｌ．１９，Ｎｏ．３，２０１９に記載されたパーオキサイド系光重合開始剤、国際公開第２０１８／２２１１７７号に記載の光重合開始剤、国際公開第２０１８／１１０１７９号に記載の光重合開始剤、特開２０１９－０４３８６４号公報に記載の光重合開始剤、特開２０１９－０４４０３０号公報に記載の光重合開始剤が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。

　α－ヒドロキシケトン化合物の市販品としては、Ｏｍｎｉｒａｄ　１８４、Ｏｍｎｉｒａｄ　１１７３、Ｏｍｎｉｒａｄ　２９５９、Ｏｍｎｉｒａｄ　１２７（以上、ＩＧＭ　Ｒｅｓｉｎｓ　Ｂ．Ｖ．社製）、Ｉｒｇａｃｕｒｅ　１８４、Ｉｒｇａｃｕｒｅ　１１７３、Ｉｒｇａｃｕｒｅ　２９５９、Ｉｒｇａｃｕｒｅ　１２７（以上、ＢＡＳＦ社製）などが挙げられる。α－アミノケトン化合物の市販品としては、Ｏｍｎｉｒａｄ　９０７、Ｏｍｎｉｒａｄ　３６９、Ｏｍｎｉｒａｄ　３６９Ｅ、Ｏｍｎｉｒａｄ　３７９ＥＧ（以上、ＩＧＭ　Ｒｅｓｉｎｓ　Ｂ．Ｖ．社製）、Ｉｒｇａｃｕｒｅ　９０７、Ｉｒｇａｃｕｒｅ　３６９、Ｉｒｇａｃｕｒｅ　３６９Ｅ、Ｉｒｇａｃｕｒｅ　３７９ＥＧ（以上、ＢＡＳＦ社製）などが挙げられる。アシルホスフィン化合物の市販品としては、Ｏｍｎｉｒａｄ　８１９、Ｏｍｎｉｒａｄ　ＴＰＯ（以上、ＩＧＭ　Ｒｅｓｉｎｓ　Ｂ．Ｖ．社製）、Ｉｒｇａｃｕｒｅ　８１９、Ｉｒｇａｃｕｒｅ　ＴＰＯ（以上、ＢＡＳＦ社製）などが挙げられる。

　オキシム化合物としては、特開２００１－２３３８４２号公報に記載の化合物、特開２０００－０８００６８号公報に記載の化合物、特開２００６－３４２１６６号公報に記載の化合物、Ｊ．Ｃ．Ｓ．Ｐｅｒｋｉｎ　ＩＩ（１９７９年、ｐｐ．１６５３－１６６０）に記載の化合物、Ｊ．Ｃ．Ｓ．Ｐｅｒｋｉｎ　ＩＩ（１９７９年、ｐｐ．１５６－１６２）に記載の化合物、Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ｐｈｏｔｏｐｏｌｙｍｅｒ　Ｓｃｉｅｎｃｅ　ａｎｄ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ（１９９５年、ｐｐ．２０２－２３２）に記載の化合物、特開２０００－０６６３８５号公報に記載の化合物、特表２００４－５３４７９７号公報に記載の化合物、特開２００６－３４２１６６号公報に記載の化合物、特開２０１７－０１９７６６号公報に記載の化合物、特許第６０６５５９６号公報に記載の化合物、国際公開第２０１５／１５２１５３号に記載の化合物、国際公開第２０１７／０５１６８０号に記載の化合物、特開２０１７－１９８８６５号公報に記載の化合物、国際公開第２０１７／１６４１２７号の段落番号００２５～００３８に記載の化合物、国際公開第２０１３／１６７５１５号に記載の化合物などが挙げられる。オキシム化合物の具体例としては、３－ベンゾイルオキシイミノブタン－２－オン、３－アセトキシイミノブタン－２－オン、３－プロピオニルオキシイミノブタン－２－オン、２－アセトキシイミノペンタン－３－オン、２－アセトキシイミノ－１－フェニルプロパン－１－オン、２－ベンゾイルオキシイミノ－１－フェニルプロパン－１－オン、３－（４－トルエンスルホニルオキシ）イミノブタン－２－オン、及び２－エトキシカルボニルオキシイミノ－１－フェニルプロパン－１－オンなどが挙げられる。市販品としては、Ｉｒｇａｃｕｒｅ　ＯＸＥ０１、Ｉｒｇａｃｕｒｅ　ＯＸＥ０２、Ｉｒｇａｃｕｒｅ　ＯＸＥ０３、Ｉｒｇａｃｕｒｅ　ＯＸＥ０４（以上、ＢＡＳＦ社製）、ＴＲ－ＰＢＧ－３０４（常州強力電子新材料有限公司製）、アデカオプトマーＮ－１９１９（（株）ＡＤＥＫＡ製、特開２０１２－０１４０５２号公報に記載の光重合開始剤２）が挙げられる。また、オキシム化合物としては、着色性が無い化合物や、透明性が高く変色し難い化合物を用いることも好ましい。市販品としては、アデカアークルズＮＣＩ－７３０、ＮＣＩ－８３１、ＮＣＩ－９３０（以上、（株）ＡＤＥＫＡ製）などが挙げられる。

　光重合開始剤としては、フルオレン環を有するオキシム化合物を用いることもできる。フルオレン環を有するオキシム化合物の具体例としては、特開２０１４－１３７４６６号公報に記載の化合物が挙げられる。

　光重合開始剤としては、カルバゾール環の少なくとも１つのベンゼン環がナフタレン環となった骨格を有するオキシム化合物を用いることもできる。そのようなオキシム化合物の具体例としては、国際公開第２０１３／０８３５０５号に記載の化合物が挙げられる。

　光重合開始剤としては、フッ素原子を有するオキシム化合物を用いることもできる。フッ素原子を有するオキシム化合物の具体例としては、特開２０１０－２６２０２８号公報に記載の化合物、特表２０１４－５００８５２号公報に記載の化合物２４、３６～４０、特開２０１３－１６４４７１号公報に記載の化合物（Ｃ－３）などが挙げられる。

　光重合開始剤としては、ニトロ基を有するオキシム化合物を用いることができる。ニトロ基を有するオキシム化合物は、二量体とすることも好ましい。ニトロ基を有するオキシム化合物の具体例としては、特開２０１３－１１４２４９号公報の段落番号００３１～００４７、特開２０１４－１３７４６６号公報の段落番号０００８～００１２、００７０～００７９に記載されている化合物、特許４２２３０７１号公報の段落番号０００７～００２５に記載されている化合物、アデカアークルズＮＣＩ－８３１（（株）ＡＤＥＫＡ製）が挙げられる。

　光重合開始剤としては、ベンゾフラン骨格を有するオキシム化合物を用いることもできる。具体例としては、国際公開第２０１５／０３６９１０号に記載されているＯＥ－０１～ＯＥ－７５が挙げられる。

　光重合開始剤としては、カルバゾール骨格にヒドロキシ基を有する置換基が結合したオキシム化合物を用いることもできる。このような光重合開始剤としては国際公開第２０１９／０８８０５５号に記載された化合物などが挙げられる。

　本発明において好ましく使用されるオキシム化合物の具体例を以下に示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。

　オキシム化合物は、波長３５０～５００ｎｍの範囲に極大吸収波長を有する化合物が好ましく、波長３６０～４８０ｎｍの範囲に極大吸収波長を有する化合物がより好ましい。また、オキシム化合物の波長３６５ｎｍ又は波長４０５ｎｍにおけるモル吸光係数は、感度の観点から、高いことが好ましく、１０００～３０００００であることがより好ましく、２０００～３０００００であることが更に好ましく、５０００～２０００００であることが特に好ましい。化合物のモル吸光係数は、公知の方法を用いて測定することができる。例えば、分光光度計（Ｖａｒｉａｎ社製Ｃａｒｙ－５　ｓｐｅｃｔｒｏｐｈｏｔｏｍｅｔｅｒ）にて、酢酸エチル溶媒を用い、０．０１ｇ／Ｌの濃度で測定することが好ましい。

　光重合開始剤としては、２官能あるいは３官能以上の光ラジカル重合開始剤を用いてもよい。そのような光ラジカル重合開始剤を用いることにより、光ラジカル重合開始剤の１分子から２つ以上のラジカルが発生するため、良好な感度が得られる。また、非対称構造の化合物を用いた場合においては、結晶性が低下して溶剤などへの溶解性が向上して、経時で析出しにくくなり、感光性組成物の経時安定性を向上させることができる。２官能あるいは３官能以上の光ラジカル重合開始剤の具体例としては、特表２０１０－５２７３３９号公報、特表２０１１－５２４４３６号公報、国際公開第２０１５／００４５６５号、特表２０１６－５３２６７５号公報の段落番号０４０７～０４１２、国際公開第２０１７／０３３６８０号の段落番号００３９～００５５に記載されているオキシム化合物の２量体、特表２０１３－５２２４４５号公報に記載されている化合物（Ｅ）および化合物（Ｇ）、国際公開第２０１６／０３４９６３号に記載されているＣｍｐｄ１～７、特表２０１７－５２３４６５号公報の段落番号０００７に記載されているオキシムエステル類光開始剤、特開２０１７－１６７３９９号公報の段落番号００２０～００３３に記載されている光開始剤、特開２０１７－１５１３４２号公報の段落番号００１７～００２６に記載されている光重合開始剤（Ａ）、特許第６４６９６６９号公報に記載されているオキシムエステル光開始剤などが挙げられる。

　光重合開始剤のハンセン溶解度パラメータは、１９．０～２３．０ＭＰａ^０．５であることが好ましく、２０．０～２２．５ＭＰａ^０．５であることがより好ましく、２０．５～２２．０ＭＰａ^０．５であることが更に好ましい。

　また、光重合開始剤のハンセン溶解度パラメータと溶剤Ａ１のハンセン溶解度パラメータとの差の絶対値は、４．５ＭＰａ^０．５以下であることが好ましく、４．０ＭＰａ^０．５以下であることがより好ましく、３．５ＭＰａ^０．５以下であることが更に好ましい。この態様によれば、感光性組成物中に光重合開始剤をより均一に分散させることができ、パターンサイズのばらつきが顕著に抑制された画素を形成することができる。

　感光性組成物の全固形分中における光重合開始剤の含有量は０．１～２０質量％が好ましい。下限は、０．５質量％以上が好ましく、１質量％以上がより好ましい。上限は、１５質量％以下が好ましく、１０質量％以下がより好ましく、５質量％以下が更に好ましい。光重合開始剤は、１種のみを用いてもよく、２種以上を用いてもよい。光重合開始剤を２種以上含む場合は、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。

＜＜顔料誘導体＞＞
　本発明の感光性組成物は、顔料誘導体を含有することができる。特に色材として顔料を含むものを用いた場合には、本発明の感光性組成物は、顔料誘導体を含有することが好ましい。顔料誘導体としては、色素骨格に酸基または塩基性基が結合した構造を有する化合物が挙げられる。顔料誘導体を構成する色素骨格としては、キノリン色素骨格、ベンゾイミダゾロン色素骨格、ベンゾイソインドール色素骨格、ベンゾチアゾール色素骨格、イニミウム色素骨格、スクアリリウム色素骨格、クロコニウム色素骨格、オキソノール色素骨格、ピロロピロール色素骨格、ジケトピロロピロール色素骨格、アゾ色素骨格、アゾメチン色素骨格、フタロシアニン色素骨格、ナフタロシアニン色素骨格、アントラキノン色素骨格、キナクリドン色素骨格、ジオキサジン色素骨格、ペリノン色素骨格、ペリレン色素骨格、チオインジゴ色素骨格、イソインドリン色素骨格、イソインドリノン色素骨格、キノフタロン色素骨格、イミニウム色素骨格、ジチオール色素骨格、トリアリールメタン色素骨格、ピロメテン色素骨格等が挙げられる。酸基としては、スルホ基、カルボキシル基、リン酸基及びこれらの塩が挙げられる。塩を構成する原子または原子団としては、アルカリ金属イオン（Ｌｉ^＋、Ｎａ^＋、Ｋ^＋など）、アルカリ土類金属イオン（Ｃａ^２＋、Ｍｇ^２＋など）、アンモニウムイオン、イミダゾリウムイオン、ピリジニウムイオン、ホスホニウムイオンなどが挙げられる。塩基性基としては、アミノ基、ピリジニル基およびその塩、アンモニウム基の塩、並びにフタルイミドメチル基が挙げられる。塩を構成する原子または原子団としては、水酸化物イオン、ハロゲンイオン、カルボン酸イオン、スルホン酸イオン、フェノキシドイオンなどが挙げられる。

　顔料誘導体として可視透明性に優れた顔料誘導体（以下、透明顔料誘導体ともいう）を含有することもできる。透明顔料誘導体の４００～７００ｎｍの波長領域におけるモル吸光係数の最大値（εｍａｘ）は３０００Ｌ・ｍｏｌ^－１・ｃｍ^－１以下であることが好ましく、１０００Ｌ・ｍｏｌ^－１・ｃｍ^－１以下であることがより好ましく、１００Ｌ・ｍｏｌ^－１・ｃｍ^－１以下であることがさらに好ましい。εｍａｘの下限は、例えば１Ｌ・ｍｏｌ^－１・ｃｍ^－１以上であり、１０Ｌ・ｍｏｌ^－１・ｃｍ^－１以上でもよい。

　顔料誘導体の具体例としては、後述する実施例に記載の化合物、特開昭５６－１１８４６２号公報、特開昭６３－２６４６７４号公報、特開平０１－２１７０７７号公報、特開平０３－００９９６１号公報、特開平０３－０２６７６７号公報、特開平０３－１５３７８０号公報、特開平０３－０４５６６２号公報、特開平０４－２８５６６９号公報、特開平０６－１４５５４６号公報、特開平０６－２１２０８８号公報、特開平０６－２４０１５８号公報、特開平１０－０３００６３号公報、特開平１０－１９５３２６号公報、国際公開第２０１１／０２４８９６号の段落番号００８６～００９８、国際公開第２０１２／１０２３９９号の段落番号００６３～００９４、国際公開第２０１７／０３８２５２号の段落番号００８２、特開２０１５－１５１５３０号公報の段落番号０１７１、特開２０１１－２５２０６５号公報の段落番号０１６２～０１８３、特開２００３－０８１９７２号公報、特許第５２９９１５１号公報、特開２０１５－１７２７３２号公報、特開２０１４－１９９３０８号公報、特開２０１４－０８５５６２号公報、特開２０１４－０３５３５１号公報、特開２００８－０８１５６５号公報に記載の化合物が挙げられる。

　感光性組成物が顔料誘導体を含有する場合、顔料誘導体の含有量は、顔料１００質量部に対して１～３０質量部が好ましく、３～２５質量部がより好ましく、５～２０質量部が更に好ましい。顔料誘導体は１種のみを用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。２種以上併用する場合はそれらの合計量が上記範囲であることが好ましい。

＜＜界面活性剤＞＞
　本発明の感光性組成物は、界面活性剤を含有することが好ましい。この態様によれば、パターンサイズのばらつきがより抑制された画素を形成することができる。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用することができる。界面活性剤については、国際公開第２０１５／１６６７７９号の段落番号０２３８～０２４５に記載された界面活性剤が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。

　界面活性剤はフッ素系界面活性剤およびシリコーン系界面活性剤であることが好ましい。なお、本明細書において、シリコーン系界面活性剤とは、主鎖にシロキサン結合を含む繰り返し単位を有する化合物であって、一分子内に疎水部と親水部とを含む化合物のことである。

　フッ素系界面活性剤中のフッ素含有率は、３～４０質量％が好適であり、より好ましくは５～３０質量％であり、特に好ましくは７～２５質量％である。フッ素含有率がこの範囲内であるフッ素系界面活性剤は、塗布膜の厚さの均一性や省液性の点で効果的であり、感光性組成物中における溶解性も良好である。

　フッ素系界面活性剤としては、特開２０１４－０４１３１８号公報の段落番号００６０～００６４（対応する国際公開第２０１４／０１７６６９号の段落番号００６０～００６４）等に記載の界面活性剤、特開２０１１－１３２５０３号公報の段落番号０１１７～０１３２に記載の界面活性剤が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。フッ素系界面活性剤の市販品としては、例えば、メガファックＦ１７１、Ｆ１７２、Ｆ１７３、Ｆ１７６、Ｆ１７７、Ｆ１４１、Ｆ１４２、Ｆ１４３、Ｆ１４４、Ｒ３０、Ｆ４３７、Ｆ４７５、Ｆ４７９、Ｆ４８２、Ｆ５５４、Ｆ７８０、ＥＸＰ、ＭＦＳ－３３０（以上、ＤＩＣ（株）製）、フロラードＦＣ４３０、ＦＣ４３１、ＦＣ１７１（以上、住友スリーエム（株）製）、サーフロンＳ－３８２、ＳＣ－１０１、ＳＣ－１０３、ＳＣ－１０４、ＳＣ－１０５、ＳＣ－１０６８、ＳＣ－３８１、ＳＣ－３８３、Ｓ－３９３、ＫＨ－４０（以上、ＡＧＣ（株）製）、ＰｏｌｙＦｏｘ　ＰＦ６３６、ＰＦ６５６、ＰＦ６３２０、ＰＦ６５２０、ＰＦ７００２（以上、ＯＭＮＯＶＡ社製）等が挙げられる。

　また、フッ素系界面活性剤は、フッ素原子を含有する官能基を持つ分子構造を有し、熱を加えるとフッ素原子を含有する官能基の部分が切断されてフッ素原子が揮発するアクリル系化合物も好適に使用できる。このようなフッ素系界面活性剤としては、ＤＩＣ（株）製のメガファックＤＳシリーズ（化学工業日報（２０１６年２月２２日）、日経産業新聞（２０１６年２月２３日））、例えば、メガファックＤＳ－２１が挙げられる。

　また、フッ素系界面活性剤は、フッ素化アルキル基またはフッ素化アルキレンエーテル基を有するフッ素原子含有ビニルエーテル化合物と、親水性のビニルエーテル化合物との重合体を用いることも好ましい。このようなフッ素系界面活性剤としては、特開２０１６－２１６６０２号公報に記載されたフッ素系界面活性剤が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。

　フッ素系界面活性剤は、ブロックポリマーを用いることもできる。フッ素系界面活性剤は、フッ素原子を有する（メタ）アクリレート化合物に由来する繰り返し単位と、アルキレンオキシ基（好ましくはエチレンオキシ基、プロピレンオキシ基）を２以上（好ましくは５以上）有する（メタ）アクリレート化合物に由来する繰り返し単位と、を含む含フッ素高分子化合物も好ましく用いることができる。また、特開２０１０－０３２６９８号公報の段落番号００１６～００３７に記載されたフッ素含有界面活性剤や、下記化合物も本発明で用いられるフッ素系界面活性剤として例示される。

　上記の化合物の重量平均分子量は、好ましくは３０００～５００００であり、例えば、１４０００である。上記の化合物中、繰り返し単位の割合を示す％はモル％である。

　また、フッ素系界面活性剤は、エチレン性不飽和結合含有基を側鎖に有する含フッ素重合体を用いることもできる。具体例としては、特開２０１０－１６４９６５号公報の段落番号００５０～００９０および段落番号０２８９～０２９５に記載された化合物、ＤＩＣ（株）製のメガファックＲＳ－１０１、ＲＳ－１０２、ＲＳ－７１８Ｋ、ＲＳ－７２－Ｋ等が挙げられる。また、フッ素系界面活性剤は、特開２０１５－１１７３２７号公報の段落番号００１５～０１５８に記載の化合物を用いることもできる。

　シリコーン系界面活性剤は、変性シリコーン化合物であることが好ましい。変性シリコーン化合物としては、ポリシロキサンの側鎖および／または末端に有機基を導入した構造の化合物が挙げられる。有機基としては、アミノ基、エポキシ基、脂環式エポキシ基、カルビノール基、メルカプト基、カルボキシル基、脂肪酸エステル基および脂肪酸アミド基から選ばれる官能基を含む基、並びに、ポリエーテル鎖を含む基が挙げられ、本発明の効果がより顕著に得られやすいという理由からカルビノール基を含む基、および、ポリエーテル鎖を含む基であることが好ましい。

　カルビノール基を含む基としては、下記式（Ｇ－１）で表される基が挙げられる。
　－Ｌ^Ｇ１－ＣＨ_２ＯＨ　　　・・・（Ｇ－１）

　式（Ｇ－１）において、Ｌ^Ｇ１は単結合または連結基を表す。Ｌ^Ｇ１が表す連結基としては、アルキレン基（好ましくは炭素数１～１２のアルキレン基、より好ましくは１～６のアルキレン基）、アリーレン基（好ましくは炭素数６～２０のアリーレン基、より好ましくは６～１２のアリーレン基）、－ＮＨ－、－ＳＯ－、－ＳＯ_２－、－ＣＯ－、－Ｏ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－Ｓ－およびこれらの２以上を組み合わせてなる基が挙げられる。

　カルビノール基を含む基は、式（Ｇ－２）で表される基であることが好ましい。
　－Ｌ^Ｇ２－Ｏ－Ｌ^Ｇ３－ＣＨ_２ＯＨ　　　・・・（Ｇ－２）

　式（Ｇ－２）において、Ｌ^Ｇ２およびＬ^Ｇ３はそれぞれ独立して、単結合またはアルキレン基（好ましくは炭素数１～１２のアルキレン基、より好ましくは１～６のアルキレン基）を表し、アルキレン基を表すことが好ましい。

　ポリエーテル鎖を含む基としては、下記式（Ｇ－１１）で表される基および式（Ｇ－１２）で表される基が挙げられる。

　－Ｌ^Ｇ１１－（Ｒ^Ｇ１Ｏ）_ｎ１Ｒ^Ｇ２　　　・・・（Ｇ－１１）
　－Ｌ^Ｇ１１－（ＯＲ^Ｇ１）_ｎ１ＯＲ^Ｇ２　　　・・・（Ｇ－１２）

　式（Ｇ－１１）および式（Ｇ－１２）において、Ｌ^Ｇ１１は単結合または連結基を表す。Ｌ^Ｇ１１が表す連結基としては、アルキレン基（好ましくは炭素数１～１２のアルキレン基、より好ましくは１～６のアルキレン基）、アリーレン基（好ましくは炭素数６～２０のアリーレン基、より好ましくは６～１２のアリーレン基）、－ＮＨ－、－ＳＯ－、－ＳＯ_２－、－ＣＯ－、－Ｏ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－Ｓ－およびこれらの２以上を組み合わせてなる基が挙げられる。

　式（Ｇ－１１）および式（Ｇ－１２）において、ｎ１は２以上の数を表し、２～２００が好ましい。

　式（Ｇ－１１）および式（Ｇ－１２）において、Ｒ^Ｇ１は、アルキレン基を表す。アルキレン基の炭素数は１～１０が好ましく、１～５がより好ましく、１～３が更に好ましく、２または３が特に好ましい。Ｒ^Ｇ１が表すアルキレン基は、直鎖または分岐のいずれでもよい。ｎ１個のＲ^Ｇ１が表すアルキレン基は同一であってもよく、異なっていてもよい。

　式（Ｇ－１１）および式（Ｇ－１２）において、Ｒ^Ｇ２は水素原子、アルキル基又はアリール基を表す。Ｒ^Ｇ２が表すアルキル基の炭素数は１～１０が好ましく、１～５がより好ましく、１～３が更に好ましい。アルキル基は直鎖または分岐のいずれでもよい。Ｒ^Ｇ２が表すアリール基の炭素数は６～２０が好ましく、６～１０がより好ましい。

　ポリエーテル鎖を含む基は、下記式（Ｇ－１３）で表される基または式（Ｇ－１４）で表される基であることが好ましい。
　－Ｌ^Ｇ１２－（Ｃ_２Ｈ_４Ｏ）_ｎ２（Ｃ_３Ｈ_６Ｏ）_ｎ３Ｒ^Ｇ３　　　・・・（Ｇ－１３）
　－Ｌ^Ｇ１２－（ＯＣ_２Ｈ_４）_ｎ２（ＯＣ_３Ｈ_６）_ｎ３ＯＲ^Ｇ３　　　・・・（Ｇ－１４）

　式（Ｇ－１３）及び式（Ｇ－１４）において、Ｌ^Ｇ１２は単結合または連結基を表す。Ｌ^Ｇ１２が表す連結基としては、アルキレン基（好ましくは炭素数１～１２のアルキレン基、より好ましくは１～６のアルキレン基）、アリーレン基（好ましくは炭素数６～２０のアリーレン基、より好ましくは６～１２のアリーレン基）、－ＮＨ－、－ＳＯ－、－ＳＯ_２－、－ＣＯ－、－Ｏ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－Ｓ－およびこれらの２以上を組み合わせてなる基が挙げられる。

　式（Ｇ－１３）及び式（Ｇ－１４）において、ｎ２およびｎ３はそれぞれ独立して１以上の数を表し、１～１００が好ましい。

　式（Ｇ－１３）および式（Ｇ－１４）において、Ｒ^Ｇ３は水素原子、アルキル基又はアリール基を表す。Ｒ^Ｇ３が表すアルキル基の炭素数は１～１０が好ましく、１～５がより好ましく、１～３が更に好ましい。アルキル基は直鎖または分岐のいずれでもよい。Ｒ^Ｇ３が表すアリール基の炭素数は６～２０が好ましく、６～１０がより好ましい。

　変性シリコーン化合物は、下記式（Ｓｉ－１）～式（Ｓｉ－５）で表される化合物であることが好ましい。

　式（Ｓｉ－１）において、Ｒ^１～Ｒ^７はそれぞれ独立してアルキル基又はアリール基を表し、
　Ｘ^１は、アミノ基、エポキシ基、脂環式エポキシ基、カルビノール基、メルカプト基、カルボキシル基、脂肪酸エステル基および脂肪酸アミド基から選ばれる官能基を含む基、または、ポリエーテル鎖を含む基を表し、
　ｍ１は、２～２００の数を表す。

　Ｒ^１～Ｒ^７が表すアルキル基の炭素数は１～１０が好ましく、１～５がより好ましく、１～３が更に好ましく、１が特に好ましい。Ｒ^１～Ｒ^７が表すアルキル基は直鎖または分岐のいずれでもよいが、直鎖であることが好ましい。Ｒ^１～Ｒ^７が表すアリール基の炭素数は６～２０が好ましく、６～１２がより好ましく、６であることが特に好ましい。Ｒ^１～Ｒ^７は、それぞれメチル基またはフェニル基であることが好ましく、メチル基であることがより好ましい。

　Ｘ^１は、カルビノール基を含む基またはポリエーテル鎖を含む基であることが好ましく、カルビノール基を含む基であることがより好ましい。カルビノール基を含む基およびポリエーテル鎖を含む基の好ましい範囲については上述した範囲と同義である。

　式（Ｓｉ－２）において、Ｒ^１１～Ｒ^１６はそれぞれ独立してアルキル基又はアリール基を表し、
　Ｘ^１１およびＸ^１２はそれぞれ独立してアミノ基、エポキシ基、脂環式エポキシ基、カルビノール基、メルカプト基、カルボキシル基、脂肪酸エステル基および脂肪酸アミド基から選ばれる官能基を含む基、または、ポリエーテル鎖を含む基を表し、
　ｍ１１は、２～２００の数を表す。

　式（Ｓｉ－２）のＲ^１１～Ｒ^１６は、式（Ｓｉ－１）のＲ^１～Ｒ^７と同義であり、好ましい範囲も同様である。式（Ｓｉ－２）のＸ^１１およびＸ^１２は、式（Ｓｉ－１）のＸ^１と同義であり、好ましい範囲も同様である。

　式（Ｓｉ－３）において、Ｒ^２１～Ｒ^２９はそれぞれ独立してアルキル基又はアリール基を表し、
　Ｘ^２１は、アミノ基、エポキシ基、脂環式エポキシ基、カルビノール基、メルカプト基、カルボキシル基、脂肪酸エステル基および脂肪酸アミド基から選ばれる官能基を含む基、または、ポリエーテル鎖を含む基を表し、
　ｍ２１およびｍ２２は、それぞれ独立して１～１９９の数を表し、ｍ２２が２以上の場合は、ｍ２２個のＸ^２１はそれぞれ同一であってもよく、異なっていてもよい。

　式（Ｓｉ－３）のＲ^２１～Ｒ^２９は、式（Ｓｉ－１）のＲ^１～Ｒ^７と同義であり、好ましい範囲も同様である。式（Ｓｉ－３）のＸ^２１は、式（Ｓｉ－１）のＸ^１と同義であり、好ましい範囲も同様である。

　式（Ｓｉ－４）において、Ｒ^３１～Ｒ^３８はそれぞれ独立してアルキル基又はアリール基を表し、
　Ｘ^３１およびＸ^３２はそれぞれ独立して、アミノ基、エポキシ基、脂環式エポキシ基、カルビノール基、メルカプト基、カルボキシル基、脂肪酸エステル基および脂肪酸アミド基から選ばれる官能基を含む基、または、ポリエーテル鎖を含む基を表し、
　ｍ３１およびｍ３２は、それぞれ独立して１～１９９の数を表し、ｍ３２が２以上の場合は、ｍ３２個のＸ^３１はそれぞれ同一であってもよく、異なっていてもよい。

　式（Ｓｉ－４）のＲ^３１～Ｒ^３８は、式（Ｓｉ－１）のＲ^１～Ｒ^７と同義であり、好ましい範囲も同様である。式（Ｓｉ－４）のＸ^３１およびＸ^３２は、式（Ｓｉ－１）のＸ^１と同義であり、好ましい範囲も同様である。

　式（Ｓｉ－５）において、Ｒ^４１～Ｒ^４７はそれぞれ独立してアルキル基又はアリール基を表し、
　Ｘ^４１～Ｘ^４３はそれぞれ独立して、アミノ基、エポキシ基、脂環式エポキシ基、カルビノール基、メルカプト基、カルボキシル基、脂肪酸エステル基および脂肪酸アミド基から選ばれる官能基を含む基、または、ポリエーテル鎖を含む基を表し、
　ｍ４１およびｍ４２は、それぞれ独立して１～１９９の数を表し、ｍ４２が２以上の場合は、ｍ４２個のＸ^４２はそれぞれ同一であってもよく、異なっていてもよい。

　式（Ｓｉ－５）のＲ^４１～Ｒ^４７は、式（Ｓｉ－１）のＲ^１～Ｒ^７と同義であり、好ましい範囲も同様である。式（Ｓｉ－４）のＸ^４１～Ｘ^４３は、式（Ｓｉ－１）のＸ^１と同義であり、好ましい範囲も同様である。

　シリコーン系界面活性剤の具体例としては、後述する実施例に記載の化合物が挙げられる。また、シリコーン系界面活性剤の市販品としては、トーレシリコーンＤＣ３ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ７ＰＡ、トーレシリコーンＤＣ１１ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２１ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２８ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２９ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ３０ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ８４００（以上、東レ・ダウコーニング（株）製）、Ｓｉｌｗｅｔ　Ｌ－７７、Ｌ－７２８０、Ｌ－７００１、Ｌ－７００２、Ｌ－７２００、Ｌ－７２１０、Ｌ－７２２０、Ｌ－７２３０、Ｌ７５００、Ｌ－７６００、Ｌ－７６０２、Ｌ－７６０４、Ｌ－７６０５、Ｌ－７６２２、Ｌ－７６５７、Ｌ－８５００、Ｌ－８６１０（以上、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ社製）、ＫＰ－３４１、ＫＦ－６００１、ＫＦ－６００２（以上、信越化学工業株式会社製）、ＢＹＫ３０７、ＢＹＫ３２３、ＢＹＫ３３０（以上、ビックケミー社製）等が挙げられる。

　感光性組成物の全固形分中における界面活性剤の含有量は、０．００１質量％～５．０質量％が好ましい。下限は、０．００５質量％以上であることが好ましく、０．０１質量％以上であることがより好ましい。上限は３．０質量％以下が好ましく、１．０質量％以下がより好ましく、０．３質量％以下が更に好ましく、０．２質量％以下がより一層好ましく、０．１質量％以下が特に好ましい。界面活性剤は１種のみを用いてもよく、２種以上を用いてもよい。２種以上を用いる場合は、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。

＜＜環状エーテル基を有する化合物＞＞
　感光性組成物は、環状エーテル基を有する化合物を含有することができる。環状エーテル基としては、エポキシ基、オキセタニル基などが挙げられる。環状エーテル基を有する化合物は、エポキシ基を有する化合物（以下、エポキシ化合物ともいう）であることが好ましい。エポキシ化合物としては、１分子内にエポキシ基を１つ以上有する化合物が挙げられ、エポキシ基を２つ以上有する化合物が好ましい。エポキシ化合物はエポキシ基を１分子内に１～１００個有する化合物であることが好ましい。エポキシ化合物に含まれるエポキシ基の上限は、例えば、１０個以下とすることもでき、５個以下とすることもできる。エポキシ化合物に含まれるエポキシ基の下限は、２個以上が好ましい。エポキシ化合物としては、特開２０１３－０１１８６９号公報の段落番号００３４～００３６、特開２０１４－０４３５５６号公報の段落番号０１４７～０１５６、特開２０１４－０８９４０８号公報の段落番号００８５～００９２に記載された化合物、特開２０１７－１７９１７２号公報に記載された化合物を用いることもできる。これらの内容は、本明細書に組み込まれる。

　エポキシ化合物は、低分子化合物（例えば、分子量２０００未満、さらには、分子量１０００未満）でもよいし、高分子化合物（ｍａｃｒｏｍｏｌｅｃｕｌｅ）（例えば、分子量１０００以上、ポリマーの場合は、重量平均分子量が１０００以上）のいずれでもよい。エポキシ基を有する化合物の重量平均分子量は、２００～１０００００が好ましく、５００～５００００がより好ましい。重量平均分子量の上限は、１００００以下がさらに好ましく、５０００以下が特に好ましく、３０００以下が一層好ましい。

　環状エーテル基を有する化合物の市販品としては、例えば、ＥＨＰＥ３１５０（（株）ダイセル製）、ＥＰＩＣＬＯＮ　Ｎ－６９５（ＤＩＣ（株）製）、マープルーフＧ－０１５０Ｍ、Ｇ－０１０５ＳＡ、Ｇ－０１３０ＳＰ、Ｇ－０２５０ＳＰ、Ｇ－１００５Ｓ、Ｇ－１００５ＳＡ、Ｇ－１０１０Ｓ、Ｇ－２０５０Ｍ、Ｇ－０１１００、Ｇ－０１７５８（以上、日油（株）製、エポキシ基含有ポリマー）等が挙げられる。

　本発明の感光性組成物が環状エーテル基を有する化合物を含有する場合、感光性組成物の全固形分中における環状エーテル基を有する化合物の含有量は、０．１～２０質量％が好ましい。下限は、例えば０．５質量％以上がより好ましく、１質量％以上がさらに好ましい。上限は、例えば、１５質量％以下がより好ましく、１０質量％以下がさらに好ましい。環状エーテル基を有する化合物は１種のみを用いてもよく、２種以上を用いてもよい。２種以上を用いる場合は、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。

＜＜シランカップリング剤＞＞
　本発明の感光性組成物は、シランカップリング剤を含有することができる。この態様によれば、得られる膜の支持体との密着性をより向上させることができる。本明細書において、シランカップリング剤は、加水分解性基とそれ以外の官能基とを有するシラン化合物を意味する。また、加水分解性基とは、ケイ素原子に直結し、加水分解反応及び縮合反応の少なくともいずれかによってシロキサン結合を生じ得る置換基をいう。加水分解性基としては、例えば、ハロゲン原子、アルコキシ基、アシルオキシ基などが挙げられ、アルコキシ基が好ましい。すなわち、シランカップリング剤は、アルコキシシリル基を有する化合物が好ましい。また、加水分解性基以外の官能基としては、例えば、ビニル基、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基、メルカプト基、エポキシ基、オキセタニル基、アミノ基、ウレイド基、スルフィド基、イソシアネート基、フェニル基などが挙げられ、アミノ基、（メタ）アクリロイル基およびエポキシ基が好ましい。シランカップリング剤の具体例としては、Ｎ－β－アミノエチル－γ－アミノプロピルメチルジメトキシシラン（信越化学工業（株）製、商品名　ＫＢＭ－６０２）、Ｎ－β－アミノエチル－γ－アミノプロピルトリメトキシシラン（信越化学工業（株）製、商品名　ＫＢＭ－６０３）、Ｎ－β－アミノエチル－γ－アミノプロピルトリエトキシシラン（信越化学工業（株）製、商品名　ＫＢＥ－６０２）、γ－アミノプロピルトリメトキシシラン（信越化学工業（株）製、商品名　ＫＢＭ－９０３）、γ－アミノプロピルトリエトキシシラン（信越化学工業（株）製、商品名　ＫＢＥ－９０３）、３－メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン（信越化学工業（株）製、商品名　ＫＢＭ－５０２）、３－メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン（信越化学工業（株）製、商品名　ＫＢＭ－５０３）等がある。また、シランカップリング剤の具体例については、特開２００９－２８８７０３号公報の段落番号００１８～００３６に記載の化合物、特開２００９－２４２６０４号公報の段落番号００５６～００６６に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。

　感光性組成物の全固形分中におけるシランカップリング剤の含有量は、０．１～５質量％が好ましい。上限は、３質量％以下がより好ましく、２質量％以下がさらに好ましい。下限は、０．５質量％以上がより好ましく、１質量％以上がさらに好ましい。シランカップリング剤は１種のみを用いてもよく、２種以上を用いてもよい。２種以上を用いる場合は、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。

＜＜紫外線吸収剤＞＞
　本発明の感光性組成物は紫外線吸収剤を含有することができる。紫外線吸収剤は、共役ジエン化合物、アミノジエン化合物、サリシレート化合物、ベンゾフェノン化合物、ベンゾトリアゾール化合物、アクリロニトリル化合物、ヒドロキシフェニルトリアジン化合物、インドール化合物、トリアジン化合物などを用いることができる。このような化合物としては、特開２００９－２１７２２１号公報の段落番号００３８～００５２、特開２０１２－２０８３７４号公報の段落番号００５２～００７２、特開２０１３－０６８８１４号公報の段落番号０３１７～０３３４、特開２０１６－１６２９４６号公報の段落番号００６１～００８０に記載された化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。紫外線吸収剤の市販品としては、例えば、ＵＶ－５０３（大東化学（株）製）などが挙げられる。また、ベンゾトリアゾール化合物としては、ミヨシ油脂製のＭＹＵＡシリーズ（化学工業日報、２０１６年２月１日）が挙げられる。また、紫外線吸収剤は、特許第６２６８９６７号公報の段落番号００４９～００５９に記載された化合物を用いることもできる。感光性組成物の全固形分中における紫外線吸収剤の含有量は、０．０１～１０質量％が好ましく、０．０１～５質量％がより好ましい。紫外線吸収剤は１種のみを用いてもよく、２種以上を用いてもよい。２種以上を用いる場合は、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。

＜＜重合禁止剤＞＞
　本発明の感光性組成物は重合禁止剤を含有することができる。重合禁止剤としては、ハイドロキノン、ｐ－メトキシフェノール、ジ－ｔｅｒｔ－ブチル－ｐ－クレゾール、ピロガロール、ｔｅｒｔ－ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４’－チオビス（３－メチル－６－ｔｅｒｔ－ブチルフェノール）、２，２’－メチレンビス（４－メチル－６－ｔ－ブチルフェノール）、Ｎ－ニトロソフェニルヒドロキシアミン塩（アンモニウム塩、第一セリウム塩等）が挙げられる。中でも、ｐ－メトキシフェノールが好ましい。感光性組成物の全固形分中における重合禁止剤の含有量は、０．０００１～５質量％が好ましい。重合禁止剤は、１種類のみでもよく、２種類以上でもよい。２種類以上の場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。

＜＜その他成分＞＞
　本発明の感光性組成物は、必要に応じて、増感剤、硬化促進剤、フィラー、熱硬化促進剤、可塑剤及びその他の助剤類（例えば、導電性粒子、充填剤、消泡剤、難燃剤、レベリング剤、剥離促進剤、香料、表面張力調整剤、連鎖移動剤など）を含有することができる。これらの成分を適宜含有させることにより、膜物性などの性質を調整することができる。これらの成分は、例えば、特開２０１２－００３２２５号公報の段落番号０１８３以降（対応する米国特許出願公開第２０１３／００３４８１２号明細書の段落番号０２３７）の記載、特開２００８－２５００７４号公報の段落番号０１０１～０１０４、０１０７～０１０９等の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。また、本発明の感光性組成物は、必要に応じて、潜在酸化防止剤を含有してもよい。潜在酸化防止剤としては、酸化防止剤として機能する部位が保護基で保護された化合物であって、１００～２５０℃で加熱するか、又は酸／塩基触媒存在下で８０～２００℃で加熱することにより保護基が脱離して酸化防止剤として機能する化合物が挙げられる。潜在酸化防止剤としては、国際公開第２０１４／０２１０２３号、国際公開第２０１７／０３０００５号、特開２０１７－００８２１９号公報に記載された化合物が挙げられる。潜在酸化防止剤の市販品としては、アデカアークルズＧＰＡ－５００１（（株）ＡＤＥＫＡ製）等が挙げられる。

　本発明の感光性組成物は、得られる膜の屈折率を調整するために金属酸化物を含有させてもよい。金属酸化物としては、ＴｉＯ_２、ＺｒＯ_２、Ａｌ_２Ｏ_３、ＳｉＯ_２等が挙げられる。金属酸化物の一次粒子径は１～１００ｎｍが好ましく、３～７０ｎｍがより好ましく、５～５０ｎｍが更に好ましい。金属酸化物はコア－シェル構造を有していてもよい。また、この場合、コア部は中空状であってもよい。

　本発明の感光性組成物は、耐光性改良剤を含んでもよい。耐光性改良剤としては、特開２０１７－１９８７８７号公報の段落番号００３６～００３７に記載の化合物、特開２０１７－１４６３５０号公報の段落番号００２９～００３４に記載の化合物、特開２０１７－１２９７７４号公報の段落番号００３６～００３７、００４９～００５２に記載の化合物、特開２０１７－１２９６７４号公報の段落番号００３１～００３４、００５８～００５９に記載の化合物、特開２０１７－１２２８０３号公報の段落番号００３６～００３７、００５１～００５４に記載の化合物、国際公開第２０１７／１６４１２７号の段落番号００２５～００３９に記載の化合物、特開２０１７－１８６５４６号公報の段落番号００３４～００４７に記載の化合物、特開２０１５－０２５１１６号公報の段落番号００１９～００４１に記載の化合物、特開２０１２－１４５６０４号公報の段落番号０１０１～０１２５に記載の化合物、特開２０１２－１０３４７５号公報の段落番号００１８～００２１に記載の化合物、特開２０１１－２５７５９１号公報の段落番号００１５～００１８に記載の化合物、特開２０１１－１９１４８３号公報の段落番号００１７～００２１に記載の化合物、特開２０１１－１４５６６８号公報の段落番号０１０８～０１１６に記載の化合物、特開２０１１－２５３１７４号公報の段落番号０１０３～０１５３に記載の化合物などが挙げられる。

　本発明の感光性組成物は、顔料などと結合または配位していない遊離の金属の含有量が１００ｐｐｍ以下であることが好ましく、５０ｐｐｍ以下であることがより好ましく、１０ｐｐｍ以下であることが更に好ましく、実質的に含有しないことが特に好ましい。この態様によれば、顔料分散性の安定化（凝集抑止）、分散性良化に伴う分光特性の向上、硬化性成分の安定化、金属原子・金属イオンの溶出に伴う導電性変動の抑止、表示特性の向上などの効果が期待できる。また、特開２０１２－１５３７９６号公報、特開２０００－３４５０８５号公報、特開２００５－２００５６０号公報、特開平０８－０４３６２０号公報、特開２００４－１４５０７８号公報、特開２０１４－１１９４８７号公報、特開２０１０－０８３９９７号公報、特開２０１７－０９０９３０号公報、特開２０１８－０２５６１２号公報、特開２０１８－０２５７９７号公報、特開２０１７－１５５２２８号公報、特開２０１８－０３６５２１号公報などに記載された効果も得られる。上記の遊離の金属の種類としては、Ｎａ、Ｋ、Ｃａ、Ｓｃ、Ｔｉ、Ｍｎ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｃｏ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｓｎ、Ｚｒ、Ｇａ、Ｇｅ、Ａｇ、Ａｕ、Ｐｔ、Ｃｓ、Ｎi、Ｃｄ、Ｐｂ、Ｂｉ等が挙げられる。また、本発明の感光性組成物は、顔料などと結合または配位していない遊離のハロゲンの含有量が１００ｐｐｍ以下であることが好ましく、５０ｐｐｍ以下であることがより好ましく、１０ｐｐｍ以下であることが更に好ましく、実質的に含有しないことが特に好ましい。ハロゲンとしては、Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ、Ｉ及びそれらの陰イオンが挙げられる。感光性組成物中の遊離の金属やハロゲンの低減方法としては、イオン交換水による洗浄、ろ過、限外ろ過、イオン交換樹脂による精製等の方法が挙げられる。

　本発明の感光性組成物は、テレフタル酸エステルを実質的に含まないことも好ましい。ここで、「実質的に含まない」とは、テレフタル酸エステルの含有量が、感光性組成物の全量中、１０００質量ｐｐｂ以下であることを意味し、１００質量ｐｐｂ以下であることがより好ましく、ゼロであることが特に好ましい。

＜＜収容容器＞＞
　感光性組成物の収容容器としては、特に限定はなく、公知の収容容器を用いることができる。また、収容容器として、原材料や感光性組成物中への不純物混入を抑制することを目的に、容器内壁を６種６層の樹脂で構成する多層ボトルや６種の樹脂を７層構造にしたボトルを使用することも好ましい。このような容器としては例えば特開２０１５－１２３３５１号公報に記載の容器が挙げられる。また、容器内壁は、容器内壁からの金属溶出を防ぎ、感光性組成物の保存安定性を高めたり、成分変質を抑制するなど目的で、ガラス製やステンレス製などにすることも好ましい。

＜感光性組成物の調製方法＞
　本発明の感光性組成物は、前述の成分を混合して調製できる。感光性組成物の調製に際しては、全成分を同時に溶剤に溶解および／または分散して感光性組成物を調製してもよいし、必要に応じて、各成分を適宜２つ以上の溶液または分散液としておいて、使用時（塗布時）にこれらを混合して感光性組成物を調製してもよい。

　また、感光性組成物の調製に際して、顔料を分散させるプロセスを含むことが好ましい。顔料を分散させるプロセスにおいて、顔料の分散に用いる機械力としては、圧縮、圧搾、衝撃、剪断、キャビテーションなどが挙げられる。これらプロセスの具体例としては、ビーズミル、サンドミル、ロールミル、ボールミル、ペイントシェーカー、マイクロフルイダイザー、高速インペラー、サンドグラインダー、フロージェットミキサー、高圧湿式微粒化、超音波分散などが挙げられる。また、サンドミル（ビーズミル）における顔料の粉砕においては、径の小さいビーズを使用する、ビーズの充填率を大きくする事等により粉砕効率を高めた条件で処理することが好ましい。また、粉砕処理後にろ過、遠心分離などで粗粒子を除去することが好ましい。また、顔料を分散させるプロセスおよび分散機は、「分散技術大全集、株式会社情報機構発行、２００５年７月１５日」や「サスペンション（固／液分散系）を中心とした分散技術と工業的応用の実際　総合資料集、経営開発センター出版部発行、１９７８年１０月１０日」、特開２０１５－１５７８９３号公報の段落番号００２２に記載のプロセス及び分散機を好適に使用出来る。また顔料を分散させるプロセスにおいては、ソルトミリング工程にて粒子の微細化処理を行ってもよい。ソルトミリング工程に用いられる素材、機器、処理条件等は、例えば特開２０１５－１９４５２１号公報、特開２０１２－０４６６２９号公報の記載を参酌できる。

　感光性組成物の調製にあたり、異物の除去や欠陥の低減などの目的で、感光性組成物をフィルタでろ過することが好ましい。フィルタとしては、従来からろ過用途等に用いられているフィルタであれば特に限定されることなく用いることができる。例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のフッ素樹脂、ナイロン（例えばナイロン－６、ナイロン－６，６）等のポリアミド樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン（ＰＰ）等のポリオレフィン樹脂（高密度、超高分子量のポリオレフィン樹脂を含む）等の素材を用いたフィルタが挙げられる。これら素材の中でもポリプロピレン（高密度ポリプロピレンを含む）およびナイロンが好ましい。

　フィルタの孔径は、０．０１～７．０μｍが好ましく、０．０１～３．０μｍがより好ましく、０．０５～０．５μｍが更に好ましい。フィルタの孔径が上記範囲であれば、微細な異物をより確実に除去できる。フィルタの孔径値については、フィルタメーカーの公称値を参照することができる。フィルタは、日本ポール株式会社（ＤＦＡ４２０１ＮＩＥＹなど）、アドバンテック東洋株式会社、日本インテグリス株式会社（旧日本マイクロリス株式会社）および株式会社キッツマイクロフィルタ等が提供する各種フィルタを用いることができる。

　また、フィルタとしてファイバ状のろ材を用いることも好ましい。ファイバ状のろ材としては、例えばポリプロピレンファイバ、ナイロンファイバ、グラスファイバ等が挙げられる。市販品としては、ロキテクノ社製のＳＢＰタイプシリーズ（ＳＢＰ００８など）、ＴＰＲタイプシリーズ（ＴＰＲ００２、ＴＰＲ００５など）、ＳＨＰＸタイプシリーズ（ＳＨＰＸ００３など）が挙げられる。

　フィルタを使用する際、異なるフィルタ（例えば、第１のフィルタと第２のフィルタなど）を組み合わせてもよい。その際、各フィルタでのろ過は、１回のみでもよいし、２回以上行ってもよい。また、上述した範囲内で異なる孔径のフィルタを組み合わせてもよい。また、第１のフィルタでのろ過は、分散液のみに対して行い、他の成分を混合した後で、第２のフィルタでろ過を行ってもよい。

＜画素の形成方法＞
　本発明の画素の形成方法は、上述した本発明の感光性組成物を支持体上に塗布して感光性組成物層を形成する工程と、感光性組成物層をパターン状に露光する工程と、露光後の感光性組成物層の未露光部を現像除去する工程と、を含む。以下、各工程について説明する。

　感光性組成物層を形成する工程では、感光性組成物を支持体上に塗布して感光性組成物層を形成する。支持体としては、特に限定は無く、用途に応じて適宜選択できる。例えば、ガラス基板、シリコン基板などが挙げられ、シリコン基板であることが好ましい。また、シリコン基板には、電荷結合素子（ＣＣＤ）、相補型金属酸化膜半導体（ＣＭＯＳ）、透明導電膜などが形成されていてもよい。また、シリコン基板には、各画素を隔離するブラックマトリクスが形成されている場合もある。また、シリコン基板には、上部の層との密着性改良、物質の拡散防止或いは基板表面の平坦化のために下地層が設けられていてもよい。下地層の表面接触角は、ジヨードメタンで測定した際に２０～７０°であることが好ましい。また、水で測定した際に３０～８０°であることが好ましい。下地層の表面接触角が上記範囲であれば、感光性組成物の塗れ性が良好である。下地層の表面接触角の調整は、例えば、界面活性剤の添加などの方法で行うことができる。

　感光性組成物の塗布方法としては、公知の方法を用いることができる。例えば、滴下法（ドロップキャスト）；スリットコート法；スプレー法；ロールコート法；スピンコート法；流延塗布法；スリットアンドスピン法；プリウェット法（例えば、特開２００９－１４５３９５号公報に記載されている方法）；インクジェット（例えば、オンデマンド方式、ピエゾ方式、サーマル方式）、ノズルジェット等の吐出系印刷、フレキソ印刷、スクリーン印刷、グラビア印刷、反転オフセット印刷、メタルマスク印刷法などの各種印刷法；金型等を用いた転写法；ナノインプリント法などが挙げられる。インクジェットでの適用方法としては、特に限定されず、例えば「広がる・使えるインクジェット－特許に見る無限の可能性－、２００５年２月発行、住ベテクノリサーチ」に示された方法（特に１１５ページ～１３３ページ）や、特開２００３－２６２７１６号公報、特開２００３－１８５８３１号公報、特開２００３－２６１８２７号公報、特開２０１２－１２６８３０号公報、特開２００６－１６９３２５号公報などに記載の方法が挙げられる。また、感光性組成物の塗布方法については、国際公開第２０１７／０３０１７４号、国際公開第２０１７／０１８４１９号の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。

　なかでも、感光性組成物の塗布方法としては、本発明の効果がより顕著に得られやすいという理由によりスピンコート法であることが好ましい。すなわち、本発明では、感光性組成物を支持体上にスピンコート法で塗布して感光性組成物層を形成することが好ましい。

　支持体上に形成した感光性組成物層は、乾燥（プリベーク）してもよい。低温プロセスにより膜を製造する場合は、プリベークを行わなくてもよい。プリベークを行う場合、プリベーク温度は、１５０℃以下が好ましく、１２０℃以下がより好ましく、１１０℃以下が更に好ましい。下限は、例えば、５０℃以上とすることができ、８０℃以上とすることもできる。プリベーク時間は、１０～３００秒が好ましく、４０～２５０秒がより好ましく、８０～２２０秒がさらに好ましい。プリベークは、ホットプレート、オーブン等で行うことができる。

　次に、感光性組成物層をパターン状に露光する（露光工程）。例えば、感光性組成物層に対し、ステッパー露光機やスキャナ露光機などを用いて、所定のマスクパターンを有するマスクを介して露光することで、パターン状に露光することができる。これにより、露光部分を硬化することができる。

　露光に際して用いることができる放射線（光）としては、ｇ線、ｉ線等が挙げられる。また、波長３００ｎｍ以下の光（好ましくは波長１８０～３００ｎｍの光）を用いることもできる。波長３００ｎｍ以下の光としては、ＫｒＦ線（波長２４８ｎｍ）、ＡｒＦ線（波長１９３ｎｍ）などが挙げられ、ＫｒＦ線（波長２４８ｎｍ）が好ましい。また、３００ｎｍ以上の長波な光源も利用できる。

　また、露光に際して、光を連続的に照射して露光してもよく、パルス的に照射して露光（パルス露光）してもよい。なお、パルス露光とは、短時間（例えば、ミリ秒レベル以下）のサイクルで光の照射と休止を繰り返して露光する方式の露光方法のことである。

　照射量（露光量）は、例えば、０．０３～２．５Ｊ／ｃｍ^２が好ましく、０．０５～１．０Ｊ／ｃｍ^２がより好ましい。露光時における酸素濃度については適宜選択することができ、大気下で行う他に、例えば、酸素濃度が１９体積％以下の低酸素雰囲気下（例えば、１５体積％、５体積％、または、実質的に無酸素）で露光してもよく、酸素濃度が２１体積％を超える高酸素雰囲気下（例えば、２２体積％、３０体積％、または、５０体積％）で露光してもよい。また、露光照度は適宜設定することが可能であり、通常１０００Ｗ／ｍ^２～１０００００Ｗ／ｍ^２（例えば、５０００Ｗ／ｍ^２、１５０００Ｗ／ｍ^２、または、３５０００Ｗ／ｍ^２）の範囲から選択することができる。酸素濃度と露光照度は適宜条件を組み合わせてよく、例えば、酸素濃度１０体積％で照度１００００Ｗ／ｍ^２、酸素濃度３５体積％で照度２００００Ｗ／ｍ^２などとすることができる。

　次に、露光後の感光性組成物層の未露光部を現像除去する（現像工程）。感光性組成物層の未露光部の現像除去は、現像液を用いて行うことができる。これにより、未露光部の感光性組成物層が現像液に溶出し、光硬化した部分だけが残る。現像液の温度は、例えば、２０～３０℃が好ましい。現像時間は、２０～１８０秒が好ましい。また、残渣除去性を向上するため、現像液を６０秒ごとに振り切り、さらに新たに現像液を供給する工程を数回繰り返してもよい。

　現像液は、有機溶剤、アルカリ現像液などが挙げられ、アルカリ現像液が好ましく用いられる。アルカリ現像液としては、アルカリ剤を純水で希釈したアルカリ性水溶液（アルカリ現像液）が好ましい。アルカリ剤としては、例えば、アンモニア、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、ジグリコールアミン、ジエタノールアミン、ヒドロキシアミン、エチレンジアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、エチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、ベンジルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、ジメチルビス（２－ヒドロキシエチル）アンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８－ジアザビシクロ－［５．４．０］－７－ウンデセンなどの有機アルカリ性化合物や、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウムなどの無機アルカリ性化合物が挙げられる。アルカリ剤は、分子量が大きい化合物の方が環境面および安全面で好ましい。アルカリ性水溶液のアルカリ剤の濃度は、０．００１～１０質量％が好ましく、０．０１～１質量％がより好ましい。また、現像液は、さらに界面活性剤を含有していてもよい。現像液は、移送や保管の便宜などの観点より、一旦濃縮液として製造し、使用時に必要な濃度に希釈してもよい。希釈倍率は特に限定されないが、例えば１．５～１００倍の範囲に設定することができる。また、現像後純水で洗浄（リンス）することも好ましい。また、リンスは、現像後の感光性組成物層が形成された支持体を回転させつつ、現像後の感光性組成物層へリンス液を供給して行うことが好ましい。また、リンス液を吐出させるノズルを支持体の中心部から支持体の周縁部に移動させて行うことも好ましい。この際、ノズルの支持体中心部から周縁部へ移動させるにあたり、ノズルの移動速度を徐々に低下させながら移動させてもよい。このようにしてリンスを行うことで、リンスの面内ばらつきを抑制できる。また、ノズルを支持体中心部から周縁部へ移動させつつ、支持体の回転速度を徐々に低下させても同様の効果が得られる。

　現像後、乾燥を施した後に追加露光処理や加熱処理（ポストベーク）を行うことが好ましい。追加露光処理やポストベークは、硬化を完全なものとするための現像後の硬化処理である。ポストベークにおける加熱温度は、例えば１００～２４０℃が好ましく、２００～２４０℃がより好ましい。ポストベークは、現像後の膜（画素）を、上記条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン（熱風循環式乾燥機）、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行うことができる。追加露光処理を行う場合、露光に用いられる光は、波長４００ｎｍ以下の光であることが好ましい。また、追加露光処理は、韓国公開特許第１０－２０１７－０１２２１３０号公報に記載された方法で行ってもよい。

　このようにして画素を形成することができる。

　形成される画素の膜厚は、目的に応じて適宜調整できる。例えば、膜厚は、１０μｍ以下が好ましく、５μｍ以下がより好ましく、１μｍ以下がさらに好ましく、０．５μｍ以下がより一層好ましい。膜厚の下限は、０．１μｍ以上が好ましく、０．２μｍ以上がより好ましく、０．３μｍ以上がさらに好ましい。

　形成される画素の線幅（サイズ）は、目的に応じて適宜調整できる。例えば、線幅は、２．０μｍ以下が好ましく、１．２μｍ以下がより好ましく、１．０μｍ以下がさらに好ましい。線幅の下限は、０．４μｍ以上が好ましく、０．５μｍ以上がより好ましく、０．６μｍ以上がさらに好ましい。

＜光学フィルタの製造方法＞
　本発明の光学フィルタの製造方法は、上述した本発明の画素の形成方法を含む。光学フィルタの種類としては、カラーフィルタ、近赤外線カットフィルタおよび近赤外線透過フィルタなどが挙げられ、カラーフィルタであることが好ましい。カラーフィルタは、その着色画素として本発明の感光性組成物を用いて形成した画素を有することが好ましい。また、カラーフィルタが複数色の画素を有する場合には、上述した本発明の画素の形成方法を各色の画素ごとに行うことで、複数色の画素を有するカラーフィルタを形成することができる。カラーフィルタは、赤色画素、青色画素、緑色画素、シアン色画素、マゼンタ色画素、黄色画素などの着色画素を１色以上有するフィルタが挙げられる。カラーフィルタの具体例としては、赤色画素、青色画素および緑色画素を少なくとも有するフィルタや、シアン色画素、マゼンタ色画素および黄色画素を少なくとも有するフィルタなどが挙げられる。カラーフィルタは、隔壁により例えば格子状に仕切られた空間に、各着色画素が埋め込まれた構造を有していてもよい。この場合の隔壁は各着色画素に対して低屈折率であることが好ましい。

＜固体撮像素子の製造方法＞
　本発明の固体撮像素子の製造方法は、上述した本発明の画素の形成方法を含む。本発明の固体撮像素子の構成としては、特に限定はないが、例えば、以下のような構成が挙げられる。

　基板上に、固体撮像素子（ＣＣＤ（電荷結合素子）イメージセンサ、ＣＭＯＳ（相補型金属酸化膜半導体）イメージセンサ等）の受光エリアを構成する複数のフォトダイオードおよびポリシリコン等からなる転送電極を有し、フォトダイオードおよび転送電極上にフォトダイオードの受光部のみ開口した遮光膜を有し、遮光膜上に遮光膜全面およびフォトダイオード受光部を覆うように形成された窒化シリコン等からなるデバイス保護膜を有し、デバイス保護膜上に、カラーフィルタを有する構成である。更に、デバイス保護膜上であってカラーフィルタの下（基板に近い側）に集光手段（例えば、マイクロレンズ等。以下同じ）を有する構成や、カラーフィルタ上に集光手段を有する構成等であってもよい。また、カラーフィルタは、隔壁により例えば格子状に仕切られた空間に、各着色画素が埋め込まれた構造を有していてもよい。この場合の隔壁は各着色画素に対して低屈折率であることが好ましい。このような構造を有する撮像装置の例としては、特開２０１２－２２７４７８号公報、特開２０１４－１７９５７７号公報、国際公開第２０１８／０４３６５４号に記載の装置が挙げられる。また、特開２０１９－２１１５５９号公報のように固体撮像素子の構造内に紫外線吸収層を設けて耐光性を改良してもよい。固体撮像素子を備えた撮像装置は、デジタルカメラや、撮像機能を有する電子機器（携帯電話等）の他、車載カメラや監視カメラ用としても用いることができる。

＜画像表示装置の製造方法＞
　本発明の画像表示装置の製造方法は、上述した本発明の画素の形成方法を含む。画像表示装置としては、液晶表示装置や有機エレクトロルミネッセンス表示装置などが挙げられる。画像表示装置の定義や各画像表示装置の詳細については、例えば「電子ディスプレイデバイス（佐々木昭夫著、（株）工業調査会、１９９０年発行）」、「ディスプレイデバイス（伊吹順章著、産業図書（株）平成元年発行）」などに記載されている。また、液晶表示装置については、例えば「次世代液晶ディスプレイ技術（内田龍男編集、（株）工業調査会、１９９４年発行）」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば、上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。

　以下に実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。

＜重量平均分子量の測定方法＞
　樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は、下記測定条件の下、ＧＰＣ（Ｇｅｌ　ｐｅｒｍｅａｔｉｏｎ　ｃｈｒｏｍａｔｏｇｒａｐｈｙ）測定により算出した。
　カラムの種類：ＴＯＳＯＨ　ＴＳＫｇｅｌ　Ｓｕｐｅｒ　ＨＺＭ－Ｈと、ＴＯＳＯＨ　ＴＳＫｇｅｌ　Ｓｕｐｅｒ　ＨＺ４０００と、ＴＯＳＯＨ　ＴＳＫｇｅｌ　Ｓｕｐｅｒ　ＨＺ２０００とを連結したカラム
　展開溶媒：テトラヒドロフラン
　カラム温度：４０℃
　流量（サンプル注入量）：１．０μＬ（サンプル濃度０．１質量％）
　装置名：東ソー（株）製　ＨＬＣ－８２２０ＧＰＣ
　検出器：示差屈折計（ＲＩ検出器）
　検量線ベース樹脂：ポリスチレン樹脂

＜粘度の測定＞
　測定サンプルの粘度は、粘度計（製品名「ＲＥ－８５型粘度計」、東機産業社製）で測定した。粘度の測定条件は、回転数２０ｒｐｍ、測定サンプルの温度を２５℃に設定した。

＜溶剤の表面張力の測定＞
　溶剤の表面張力は、溶剤の温度を２５℃に調整し、測定装置として表面張力計ＣＢＶＰ－Ｚ（協和界面科学（株）製）を用い、白金プレートを用いたプレート法で測定した。

＜感光性組成物の製造＞
　下記の表に記載の素材を混合して、感光性組成物を調製した。なお、分散液は、以下のように調製した分散液を用いた。
　下記表の分散液の欄に記載の種類の色材１、色材２、顔料誘導体、分散剤および溶剤１を、それぞれ下記表に記載の質量部で混合したのち、ビーズミル（ジルコニアビーズ０．３ｍｍ径）により３時間混合および分散した後、さらに、減圧機構付き高圧分散機ＮＡＮＯ－３０００－１０（日本ビーイーイー（株）製）を用いて、２０００ｋｇ／ｃｍ^３の圧力下で流量５００ｇ／ｍｉｎとして分散処理を行なった。この分散処理を１０回繰り返した後、ビーズをろ過で分離して分散液を製造した。

　上記表の素材で記載した素材は以下の通りである。

　（色材）
　ＰＲ２５４　：　Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｒｅｄ２５４（赤色顔料）
　ＰＹ１３９　：　Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｙｅｌｌｏｗ１３９（黄色顔料）
　ＰＹ１８５　：　Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｙｅｌｌｏｗ１８５（黄色顔料）
　ＰＧ５８　：　Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｇｒｅｅｎ５８（緑色顔料）
　ＰＧ３６　：　Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｇｒｅｅｎ３６（緑色顔料）
　ＰＢ１５：６　：　Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｂｌｕｅ１５：６（青色顔料）
　ＰＶ２３　：　Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｖｉｏｌｅｔ２３（紫色顔料）

　（顔料誘導体）
　Ｐ－１：下記構造の化合物

　（分散剤）
　Ｄ－１：下記構造の樹脂（主鎖に付記した数値は繰り返し単位のモル比であり、側鎖に付記した数値は繰り返し単位の数である。Ｍｗ：２００００、酸価：７５ｍｇＫＯＨ／ｇ）

　（バインダー）
　Ｂ－１：下記構造の樹脂。（主鎖に付記した数値はモル比である。Ｍｗ＝１０，０００、酸価＝７０ｍｇＫＯＨ／ｇ）

　（重合性化合物）
　Ｍ－１：ＮＫエステル　Ａ－ＴＭＭＴ（新中村化学工業（株）製）

　（光重合開始剤）
　Ｉ－１：下記構造の化合物（ハンセン溶解度パラメータ＝２０．６ＭＰａ^０．５）
　Ｉ－２：下記構造の化合物（ハンセン溶解度パラメータ＝２２．１ＭＰａ^０．５）
　Ｉ－３：下記構造の化合物（ハンセン溶解度パラメータ＝２０．１ＭＰａ^０．５）
　Ｉ－４：下記構造の化合物（ハンセン溶解度パラメータ＝２１．３ＭＰａ^０．５）
　Ｉ－５：下記構造の化合物（ハンセン溶解度パラメータ＝２１．０ＭＰａ^０．５）

　（界面活性剤）
　Ｆ－１：下記構造の化合物（フッ素系界面活性剤、重量平均分子量＝１４０００、繰り返し単位の割合を示す％の数値はモル％である）

　Ｆ－２：下記構造の化合物（シリコーン系界面活性剤、カルビノール変性シリコーン化合物。重量平均分子量＝３０００、２５℃での動粘度＝４５ｍｍ^２／ｓ）

　（溶剤）
［溶剤Ａ１（２５℃における表面張力が２８．０ｍＮ／ｍ以上で、２５℃における粘度が５．０ｍＰ・ｓ以下で、沸点が１６０℃以上の溶剤）］
　Ａ１－１：酢酸シクロヘキシル（２５℃における表面張力＝３０．５ｍＮ／ｍ、２５℃における粘度＝２．０ｍＰ・ｓ、沸点＝１７３℃、ハンセン溶解度パラメータ＝１８．２ＭＰａ^０．５）
　Ａ１－２：３－メトキシ－１－ブタノール（２５℃における表面張力＝２８．９ｍＮ／ｍ、２５℃における粘度＝２．９ｍＰ・ｓ、沸点＝１６１℃、ハンセン溶解度パラメータ＝２１．２ＭＰａ^０．５）
　Ａ１－３：１，２－ジアセトキシプロパン（２５℃における表面張力＝３１．２ｍＮ／ｍ、２５℃における粘度＝２．７ｍＰ・ｓ、沸点＝１９０℃、ハンセン溶解度パラメータ＝１９．１ＭＰａ^０．５）

　［溶剤Ａ１以外の溶剤］
　Ａ２－１：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（２５℃における表面張力＝２６．７ｍＮ／ｍ、２５℃における粘度＝１．１ｍＰ・ｓ、沸点＝１４６℃、ハンセン溶解度パラメータ＝１９．３ＭＰａ^０．５）
　Ａ２－２：トリアセチングリセリントリアセテート（２５℃における表面張力＝３５．２ｍＮ／ｍ、２５℃における粘度＝１７．５ｍＰ・ｓ、沸点＝２６０℃、ハンセン溶解度パラメータ＝１９．４ＭＰａ^０．５）
　Ａ２－３：３－メトキシブチルアセテート（２５℃における表面張力＝２７．９ｍＮ／ｍ、２５℃における粘度＝１．２ｍＰ・ｓ、沸点＝１７１℃、ハンセン溶解度パラメータ＝１７．８ＭＰａ^０．５）

＜パターンユニフォミティ（パターン均一性）の評価＞
　下塗り層付８インチ（２０３．２ｍｍ）のシリコン基板上に、上記で製造した感光性組成物をプリベーク後の膜厚が０．５μｍになるようにスピンコーターを用いて塗布し、１００℃のホットプレートを用いて１２０秒間プリベークを行って感光性組成物層を形成した。この感光性組成物層に対して、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ－３０００ｉ５＋（Ｃａｎｏｎ（株）製）を使用し、１．０μｍ四方のアイランドパターンマスクを介して３６５ｎｍの波長の光を照射し、露光量４００ｍＪ／ｃｍ^２にて露光を行った。次いで、露光後の感光性組成物層が形成されているシリコン基板を、スピン・シャワー現像機（ＤＷ－３０型、（株）ケミトロニクス製）の水平回転テーブル上に載置し、現像液（ＣＤ－２０００、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）を用いて２３℃で６０秒間パドル現像を行なったのち、水を用いてリンスを行い、１．０μｍ四方の画素を形成した。画素の線幅について、測長走査電子顕微鏡（Ｓ－９２６０Ａ、（株）日立ハイテクノロジーズ製）を用いて４０５箇所測定（４０５個の画素の線幅を測定）し、最も太い線幅の画素の線幅（Ｗ１）と、最も細い線幅の画素の線幅（Ｗ２）をそれぞれ求め、以下の評価基準にてパターンユニフォミティを評価した。
　５：線幅（Ｗ１）－線幅（Ｗ２）の値が５０ｎｍ以下
　４：線幅（Ｗ１）－線幅（Ｗ２）の値が５０ｎｍを超え７０ｎｍ以下
　３：線幅（Ｗ１）－線幅（Ｗ２）の値が７０ｎｍを超え１００ｎｍ以下
　２：線幅（Ｗ１）－線幅（Ｗ２）の値が１００ｎｍを超え１４０ｎｍ以下
　１：線幅（Ｗ１）－線幅（Ｗ２）の値が１４０ｎｍを超える

＜経時安定性＞
　上記で調製した感光性組成物を４５℃で３日間保管した。保管前後の感光性組成物の粘度を測定し、下式から算出した粘度変化率の値を用いて感光性組成物の経時安定性を評価した。感光性組成物の粘度は、粘度計（製品名「ＲＥ－８５型粘度計」、東機産業社製）で測定した。粘度の測定条件は、回転数２０ｒｐｍ、温度を２５℃に設定した。
　粘度変化率＝｜１－（保管後の感光性組成物の粘度／保管前の感光性組成物の粘度）｜×１００
　５：粘度変化率が１０％以下
　４：粘度変化率が１０％を超えて、１５％以下である
　３：粘度変化率が１５％を超えて、２０％以下である
　２：粘度変化率が２０％を超えて、３０％以下である
　１：粘度変化率が３０％を超えている

　上記評価結果を下記表に示す。また、感光性組成物の溶剤全量中における溶剤Ａ１（２５℃における表面張力が２８．０ｍＮ／ｍ以上で、２５℃における粘度が５．０ｍＰ・ｓ以下で、沸点が１６０℃以上の溶剤）の含有量および、感光性組成物の全固形分中における色材の含有量（色材濃度）を合わせて下記表に示す。

　上記表に示すように、実施例の感光性組成物は、パターンユニフォミティの評価が比較例よりも良好であり、比較例よりもパターンサイズ（線幅）のばらつきが抑制された画素を形成することができた。

Claims

　色材と、樹脂と、重合性化合物と、光重合開始剤と、溶剤Ａとを含み、
　前記溶剤Ａは、２５℃における表面張力が２８．０ｍＮ／ｍ以上で、２５℃における粘度が５．０ｍＰ・ｓ以下で、沸点が１６０℃以上の溶剤Ａ１を含み、前記溶剤Ａの全量中における前記溶剤Ａ１の含有量が１５質量％以上である、
　感光性組成物。
　更に、界面活性剤を含む、請求項１に記載の感光性組成物。
　溶剤Ａ１の沸点が１６０～２８０℃である、請求項１または２に記載の感光性組成物。
　前記溶剤Ａ１のハンセン溶解度パラメータが１８．０～２２．０ＭＰａ^０．５である、請求項１～３のいずれか１項に記載の感光性組成物。
　前記溶剤Ａ１が、酢酸シクロヘキシル、３－メトキシ－１－ブタノールおよび１，２－ジアセトキシプロパンから選ばれる少なくとも１種である、請求項１～４のいずれか１項に記載の感光性組成物。
　前記光重合開始剤のハンセン溶解度パラメータと溶剤Ａ１のハンセン溶解度パラメータとの差の絶対値が４．５ＭＰａ^０．５以下である、請求項１～５のいずれか１項に記載の感光性組成物。
　前記色材は顔料を含む、請求項１～６のいずれか１項に記載の感光性組成物。
　感光性組成物の全固形分中に前記色材を３８質量％以上含有する、請求項１～７のいずれか１項に記載の感光性組成物。
　請求項１～８のいずれか１項に記載の感光性組成物を支持体上に塗布して感光性組成物層を形成する工程と、前記感光性組成物層をパターン状に露光する工程と、露光後の感光性組成物層の未露光部を現像除去する工程と、を含む、画素の形成方法。
　前記感光性組成物を支持体上にスピンコート法で塗布して前記感光性組成物層を形成する、請求項９に記載の画素の形成方法。
　請求項９または１０に記載の画素の形成方法を含む光学フィルタの製造方法。
　請求項９または１０に記載の画素の形成方法を含む固体撮像素子の製造方法。
　請求項９または１０に記載の画素の形成方法を含む画像表示装置の製造方法。