JP7437422B2 - 着色組成物、膜、光学フィルタ、固体撮像素子および画像表示装置 - Google Patents
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Description
<1> 着色剤Aと、樹脂Bと、エチレン性不飽和結合含有基を2個以上含む分子量3000以下の多官能重合性モノマーCと、を含む着色組成物であり、
上記樹脂Bは、式(b-10)で表される繰り返し単位を含み、かつ、エチレン性不飽和結合含有基価が350~700g/molである樹脂B1を含み、
上記着色組成物の全固形分中における上記多官能重合性モノマーCの含有量が0質量%を超え18質量%以下である、着色組成物;
<2> 式(b-10)のP10はエチレン性不飽和結合含有基を有するポリマー鎖である、<1>に記載の着色組成物。
<3> 上記樹脂B1のエチレン性不飽和結合含有基価が500~600g/molである、<1>または<2>に記載の着色組成物。
<4> 上記樹脂B中における上記樹脂B1の含有量が10~100質量%である、<1>~<3>のいずれか1つに記載の着色組成物。
<5> 上記着色剤Aはアルミニウムフタロシアニン顔料を含む、<1>~<4>のいずれか1つに記載の着色組成物。
<6> 上記着色組成物の全固形分中における上記着色剤Aの含有量が30~70質量%である、<1>~<5>のいずれか1つに記載の着色組成物。
<7> 上記着色組成物の全固形分中における着色剤Aと上記樹脂B1との合計の含有量が50~95質量%である、<1>~<6>のいずれか1つに記載の着色組成物。
<8> 上記多官能重合性モノマーCは、エチレン性不飽和結合含有基を2個または3個含む3官能以下の重合性モノマーC1と、エチレン性不飽和結合含有基を4個以上含む4官能以上の重合性モノマーC2とを含む、<1>~<7>のいずれか1つに記載の着色組成物。
<9> 更に光重合開始剤を含む、<1>~<8>のいずれか1つに記載の着色組成物。
<10> カラーフィルタの着色画素形成用である、<1>~<9>のいずれか1つに記載の着色組成物。
<11> パルス露光に供するための着色組成物である、<1>~<10>のいずれか1つに記載の着色組成物。
<12> <1>~<11>のいずれか1つに記載の着色組成物から得られる膜。
<13> <12>に記載の膜を有する光学フィルタ。
<14> <12>に記載の膜を有する固体撮像素子。
<15> <12>に記載の膜を有する画像表示装置。
本明細書において、「~」とはその前後に記載される数値を下限値および上限値として含む意味で使用される。
本明細書における基(原子団)の表記において、置換および無置換を記していない表記は、置換基を有さない基(原子団)と共に置換基を有する基(原子団)をも包含する。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基(無置換アルキル基)のみならず、置換基を有するアルキル基(置換アルキル基)をも包含する。
本明細書において「露光」とは、特に断らない限り、光を用いた露光のみならず、電子線、イオンビーム等の粒子線を用いた描画も露光に含める。また、露光に用いられる光としては、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザに代表される遠紫外線、極紫外線(EUV光)、X線、電子線等の活性光線または放射線が挙げられる。
本明細書において、「(メタ)アクリレート」は、アクリレートおよびメタクリレートの双方、または、いずれかを表し、「(メタ)アクリル」は、アクリルおよびメタクリルの双方、または、いずれかを表し、「(メタ)アクリロイル」は、アクリロイルおよびメタクリロイルの双方、または、いずれかを表す。
本明細書において、構造式中のMeはメチル基を表し、Etはエチル基を表し、Buはブチル基を表し、Prはプロピル基を表し、Phはフェニル基を表す。
本明細書において、重量平均分子量および数平均分子量は、GPC(ゲルパーミエーションクロマトグラフィ)法により測定したポリスチレン換算値である。
本明細書において、全固形分とは、組成物の全成分から溶剤を除いた成分の総質量をいう。
本明細書において、顔料とは、溶剤に対して溶解しにくい化合物を意味する。例えば、顔料は、23℃の水100gおよび23℃のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート100gに対する溶解度がいずれも0.1g以下であることが好ましく、0.01g以下であることがより好ましい。
本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。
本発明の着色組成物は、
着色剤Aと、樹脂Bと、エチレン性不飽和結合含有基を2個以上含む分子量3000以下の多官能重合性モノマーCと、を含む着色組成物であり、
樹脂Bは、式(b-10)で表される繰り返し単位を含み、かつ、エチレン性不飽和結合含有基価が350~700g/molである樹脂B1を含み、
着色組成物の全固形分中における多官能重合性モノマーCの含有量が0質量%を超え18質量%以下であることを特徴とする。
(1):波長400~640nmの範囲における透過率の最大値が20%以下(好ましくは15%以下、より好ましくは10%以下)であり、波長800~1300nmの範囲における透過率の最小値が70%以上(好ましくは75%以上、より好ましくは80%以上)であるフィルタ。
(2):波長400~750nmの範囲における透過率の最大値が20%以下(好ましくは15%以下、より好ましくは10%以下)であり、波長900~1300nmの範囲における透過率の最小値が70%以上(好ましくは75%以上、より好ましくは80%以上)であるフィルタ。
(3):波長400~830nmの範囲における透過率の最大値が20%以下(好ましくは15%以下、より好ましくは10%以下)であり、波長1000~1300nmの範囲における透過率の最小値が70%以上(好ましくは75%以上、より好ましくは80%以上)であるフィルタ。
(4):波長400~950nmの範囲における透過率の最大値が20%以下(好ましくは15%以下、より好ましくは10%以下)であり、波長1100~1300nmの範囲における透過率の最小値が70%以上(好ましくは75%以上、より好ましくは80%以上)であるフィルタ。
本発明の着色組成物は着色剤A(以下、単に着色剤ともいう)を含有する。着色剤としては、有彩色着色剤および黒色着色剤が挙げられる。着色剤として有彩色着色剤を用いた場合においては、本発明の着色組成物は、カラーフィルタにおける着色画素形成用の着色組成物として好ましく用いることができる。
Z1はヒドロキシ基、-OP(=O)R1R2、-OC(=O)R3、-OS(=O)2R4または-O-SiR5R6R7を表し、R1およびR2はそれぞれ独立して、ヒドロキシ基、アルキル基、アリール基、複素環基、アルコキシ基またはアリールオキシ基を表し、R1とR2は互いに結合して環を形成しても良く、R3~R7はそれぞれ独立して、水素原子、ヒドロキシ基、アルキル基、アリール基、複素環基、アルコキシ基またはアリールオキシ基を表し、R5とR6は互いに結合して環を形成しても良い;
n1は、0~16の整数を表す;
Z2は、-O-SiR11R12-O-、-O-SiR13R14-O-SiR15R16-O-、または-O-P(=O)R17-O-を表し、R11~R17はそれぞれ独立して、水素原子、ヒドロキシ基、アルキル基、アリール基、複素環基、アルコキシ基またはアリールオキシ基を表す;
n2およびn3は、それぞれ独立して0~16の整数を表す。
式(AL1)において、X1が表すハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられ、塩素原子および臭素原子であることが好ましく、臭素原子であることがより好ましい。
また、式(AL1)において、X1で表されるハロゲン原子の置換数の平均値は、1~15であることが好ましく、4~15であることがより好ましく、堅牢性の観点から6~15であることが更に好ましい。ここで、「X1で表されるハロゲン原子の置換数の平均値」とは、式(AL1)で表される化合物に置換しているハロゲン数の平均値のことである。また、ハロゲン分布幅は、2以上であることが好ましく、4以上であることがより好ましく、4~9であることが更に好ましい。ハロゲン分布幅が2以上であれば、フタロシアニン分子同士の会合が著しく抑制されやすくなり、分子同士の会合に起因する粒径の増大、ひいては低コントラスト化を抑制することができる。ここで「ハロゲン分布幅」とは、式(AL1)で表される化合物に置換しているハロゲン数の分布である。ハロゲン分布幅は質量分析して得られたマススペクトラムにおいて、各成分に相当する分子イオンピークの信号強度(各ピーク値)と、各ピーク値を積算した値(全ピーク値)とを算出し、全ピーク値に対する各ピーク値の割合が1%以上のピークの数をカウントし、ハロゲン分布幅とした。
R1~R7が表すアリール基の炭素数は、6~20が好ましく、6~12がより好ましい。アリール基は置換基を有していてもよい。置換基としては、ハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基、ニトロ基等が挙げられる。また、置換基は、複数あっても良い。
R1~R7が表す複素環基は、単環または縮合数が2~8の縮合環の複素環基であることが好ましく、単環または縮合数が2~4の縮合環の複素環基であることがより好ましい。複素環基の環を構成するヘテロ原子の数は1~3が好ましい。複素環基の環を構成するヘテロ原子は、窒素原子、酸素原子および硫黄原子が挙げられ、窒素原子であることが好ましい。複素環基の環を構成する炭素原子の数は3~20が好ましく、3~18がより好ましく、3~12がより好ましい。複素環基は、5員環または6員環の複素環基であることが好ましい。複素環基は置換基を有していてもよい。置換基としては、塩素、フッ素、臭素等のハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、ヒドロキシ基、アミノ基、ニトロ基等が挙げられる。
R1~R7が表すアルコキシ基の炭素数は、1~20が好ましく、1~15がより好ましく、1~6が更に好ましい。アルコキシ基は、直鎖および分岐のいずれでもよい。アルコキシ基は置換基を有していてもよい。置換基としては、ハロゲン原子、アリール基、ニトロ基等が挙げられる。また、置換基は、複数あっても良い。
R1~R7が表すアリールオキシ基の炭素数は、6~20が好ましく、6~12がより好ましい。アリールオキシ基は置換基を有していてもよい。置換基としては、ハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基、アミノ基、ニトロ基等が挙げられる。また、置換基は、複数あっても良い。
式(AL2)において、X2およびX3が表すハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられ、塩素原子および臭素原子であることが好ましく、臭素原子であることがより好ましい。
有彩色着色剤としては、波長400~700nmの範囲に極大吸収波長を有する着色剤が挙げられる。例えば、黄色着色剤、オレンジ色着色剤、赤色着色剤、緑色着色剤、紫色着色剤、青色着色剤などが挙げれる。有彩色着色剤の具体例としては、例えば、以下に示すものが挙げられる。
C.I.ピグメントオレンジ2,5,13,16,17:1,31,34,36,38,43,46,48,49,51,52,55,59,60,61,62,64,71,73等(以上、オレンジ色顔料)、
C.I.ピグメントレッド1,2,3,4,5,6,7,9,10,14,17,22,23,31,38,41,48:1,48:2,48:3,48:4,49,49:1,49:2,52:1,52:2,53:1,57:1,60:1,63:1,66,67,81:1,81:2,81:3,83,88,90,105,112,119,122,123,144,146,149,150,155,166,168,169,170,171,172,175,176,177,178,179,184,185,187,188,190,200,202,206,207,208,209,210,216,220,224,226,242,246,254,255,264,269,270,272,279,291,294(キサンテン系、Organo Ultramarine、Bluish Red),295(モノアゾ系),296(ジアゾ系),297(アミノケトン系)等(以上、赤色顔料)、
C.I.ピグメントグリーン7,10,36,37,58,59,62,63,64(フタロシアニン系),65(フタロシアニン系),66(フタロシアニン系)等(以上、緑色顔料)、
C.I.ピグメントバイオレット1,19,23,27,32,37,42,60(トリアリールメタン系),61(キサンテン系)等(以上、紫色顔料)、
C.I.ピグメントブルー1,2,15,15:1,15:2,15:3,15:4,15:6,16,22,29,60,64,66,79,80,87(モノアゾ系),88(メチン系)等(以上、青色顔料)。
(1)赤色着色剤と青色着色剤とを含有する態様。
(2)赤色着色剤と青色着色剤と黄色着色剤とを含有する態様。
(3)赤色着色剤と青色着色剤と黄色着色剤と紫色着色剤とを含有する態様。
(4)赤色着色剤と青色着色剤と黄色着色剤と紫色着色剤と緑色着色剤とを含有する態様。
(5)赤色着色剤と青色着色剤と黄色着色剤と緑色着色剤とを含有する態様。
(6)赤色着色剤と青色着色剤と緑色着色剤とを含有する態様。
(7)黄色着色剤と紫色着色剤とを含有する態様。
黒色着色剤としては特に限定されず、公知のものを用いることができる。例えば、無機黒色着色剤としては、カーボンブラック、チタンブラック、グラファイト等が挙げられ、カーボンブラック、チタンブラックが好ましく、チタンブラックがより好ましい。チタンブラックとは、チタン原子を含有する黒色粒子であり、低次酸化チタンや酸窒化チタンが好ましい。チタンブラックは、分散性向上、凝集性抑制などの目的で必要に応じ、表面を修飾することが可能である。例えば、酸化珪素、酸化チタン、酸化ゲルマニウム、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、又は、酸化ジルコニウムでチタンブラックの表面を被覆することが可能である。また、特開2007-302836号公報に表されるような撥水性物質での処理も可能である。黒色着色剤として、カラーインデックス(C.I.)Pigment Black 1,7等が挙げられる。チタンブラックは、個々の粒子の一次粒子径及び平均一次粒子径のいずれもが小さいことが好ましい。具体的には、平均一次粒子径が10~45nmであることが好ましい。チタンブラックは、分散物として用いることもできる。例えば、チタンブラック粒子とシリカ粒子とを含み、分散物中のSi原子とTi原子との含有比が0.20~0.50の範囲に調整した分散物などが挙げられる。上記分散物については、特開2012-169556号公報の段落0020~0105の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。チタンブラックの市販品の例としては、チタンブラック10S、12S、13R、13M、13M-C、13R-N、13M-T(商品名:三菱マテリアル(株)製)、ティラック(Tilack)D(商品名:赤穂化成(株)製)などが挙げられる。有機黒色着色剤としては、ビスベンゾフラノン化合物、アゾメチン化合物、ペリレン化合物、アゾ化合物などが挙げられ、ビスベンゾフラノン化合物、ペリレン化合物が好ましい。ビスベンゾフラノン化合物としては、特表2010-534726号公報、特表2012-515233号公報、特表2012-515234号公報、国際公開第2014/208348号、特表2015-525260号公報などに記載の化合物が挙げられ、例えば、BASF社製の「Irgaphor Black」として入手可能である。ペリレン化合物としては、C.I.Pigment Black 31、32などが挙げられる。アゾメチン化合物としては、特開平01-170601号公報、特開平02-034664号公報などに記載の化合物が挙げられ、例えば、大日精化社製の「クロモファインブラックA1103」として入手できる。また、有機黒色着色剤としては、特開2017-226821号公報の段落0016~0020に記載のペリレンブラック(Lumogen Black FK4280等)を使用しても良い。
本発明の着色組成物は、顔料誘導体を含有することができる。顔料誘導体としては、発色団の一部分を、酸基または塩基性基で置換した構造を有する化合物が挙げられる。顔料誘導体を構成する発色団としては、キノリン骨格、ベンゾイミダゾロン骨格、ジケトピロロピロール骨格、アゾ骨格、フタロシアニン骨格、アンスラキノン骨格、キナクリドン骨格、ジオキサジン骨格、ペリノン骨格、ペリレン骨格、チオインジゴ骨格、イソインドリン骨格、イソインドリノン骨格、キノフタロン骨格、スレン骨格、金属錯体系骨格等が挙げられ、キノリン骨格、ベンゾイミダゾロン骨格、ジケトピロロピロール骨格、アゾ骨格、キノフタロン骨格、イソインドリン骨格およびフタロシアニン骨格が好ましく、アゾ骨格およびベンゾイミダゾロン骨格がより好ましい。酸基としては、スルホ基、カルボキシル基、リン酸基及びこれらの塩が挙げられる。塩を構成する原子または原子団としては、アルカリ金属イオン(Li+、Na+、K+など)、アルカリ土類金属イオン(Ca2+、Mg2+など)、アンモニウムイオン、イミダゾリウムイオン、ピリジニウムイオン、ホスホニウムイオンなどが挙げられる。塩基性基としては、アミノ基、ピリジニル基およびその塩、アンモニウム基の塩、並びにフタルイミドメチル基が挙げられる。塩を構成する原子または原子団としては、水酸化物イオン、ハロゲンイオン、カルボン酸イオン、スルホン酸イオン、フェノキシドイオンなどが挙げられる。
M1は、Al、Ga、In、SiまたはSnを表す。
Zpc 1はヒドロキシ基、-OP(=O)Rpc 1Rpc 2、-OC(=O)Rpc 3、-OS(=O)2Rpc 4または-O-SiRpc 5Rpc 6Rpc 7を表し、Rpc 1およびRpc 2はそれぞれ独立して、ヒドロキシ基、アルキル基、アリール基、複素環基、アルコキシ基またはアリールオキシ基を表し、Rpc 1とRpc 2は互いに結合して環を形成しても良く、Rpc 3~Rpc 7はそれぞれ独立して、水素原子、ヒドロキシ基、アルキル基、アリール基、複素環基、アルコキシ基またはアリールオキシ基を表し、Rpc 5とRpc 6は互いに結合して環を形成しても良い。
Spc 1は、スルホ基またはその塩を表す。
nは、0~15の整数を表し、mは1~16の整数を表し、n+mは1~16の整数である。
本発明の着色組成物は、樹脂B(以下樹脂ともいう)を含む。本発明の着色組成物に含まれる樹脂には、式(b-10)で表される繰り返し単位を含み、かつ、エチレン性不飽和結合含有基価が350~700g/molである樹脂B1が含まれる。樹脂B1は、顔料の分散性にも優れているので、分散剤として好ましく用いられる。
樹脂B1のエチレン性不飽和結合含有基価は350~700g/molである。樹脂B1のエチレン性不飽和結合含有基価が上記範囲であれば、現像残渣が少なく、かつ、パターンサイズのばらつきが抑制された画素を形成することができる。樹脂B1のエチレン性不飽和結合含有基価の上限は、現像残渣をより低減できるという理由から650g/mol以下であることが好ましく、600g/mol以下であることがより好ましい。樹脂B1のエチレン性不飽和結合含有基価の下限は、パターンサイズのばらつきをより効果的に抑制できるという理由から400g/mol以上であることが好ましく、500g/mol以上であることがより好ましい。
エチレン性不飽和結合含有基価(g/mol)=アルカリ処理に用いた樹脂の全質量(g)/エチレン性不飽和結合含有基部位に含まれるエチレン性不飽和結合含有基のモル数(mol)
式(Ar-2)中、n2は1~8の整数を表し、1~4の整数であることが好ましく、1または2であることがより好ましく、2であることが更に好ましい。
式(Ar-3)中、n3およびn4はそれぞれ独立して0~4の整数を表し、0~2の整数であることが好ましく、1または2であることがより好ましく、1であることが更に好ましい。ただし、n3およびn4の少なくとも一方は1以上の整数である。
式(Ar-3)中、Q1は、単結合、-O-、-CO-、-COOCH2CH2OCO-、-SO2-、-C(CF3)2-、上記式(Q-1)で表される基または上記式(Q-2)で表される基を表す。
上記式において、RP3は、水素原子またはメチル基を表す。
上記式において、LP1は、単結合またはアリーレン基を表し、LP2は、単結合または2価の連結基を表す。LP1は、単結合であることが好ましい。LP2が表す2価の連結基としては、アルキレン基(好ましくは炭素数1~12のアルキレン基)、アリーレン基(好ましくは炭素数6~20のアリーレン基)、-NH-、-SO-、-SO2-、-CO-、-O-、-COO-、-OCO-、-S-、-NHCO-、-CONH-、およびこれらの2以上を組み合わせてなる基が挙げられる。
RP4は、水素原子または置換基を表す。置換基としては、ヒドロキシ基、カルボキシル基、アルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロアリールオキシ基、アルキルチオエーテル基、アリールチオエーテル基、ヘテロアリールチオエーテル基、エチレン性不飽和結合含有基などが挙げられる。
式(Ar-22)中、n12は1~7の整数を表し、1~4の整数であることが好ましく、1または2であることがより好ましい。
式(Ar-23)中、n13およびn14はそれぞれ独立して0~4の整数を表し、0~2の整数であることが好ましく、1または2であることがより好ましく、1であることが更に好ましい。ただし、n13およびn14の少なくとも一方は1以上の整数である。
式(Ar-23)中、Q1は、単結合、-O-、-CO-、-COOCH2CH2OCO-、-SO2-、-C(CF3)2-、上記式(Q-1)で表される基または上記式(Q-2)で表される基を表す。
R21が表す基に含まれるエチレン性不飽和結合含有基の数は、特に制限はないが、現像性及び硬化性の観点から、1~10であることが好ましく、1~6であることがより好ましく、1又は2であることが更に好ましく、1であることが特に好ましい。
本発明の着色組成物は、更に、上記樹脂B1以外の樹脂(以下、他の樹脂ともいう)を含むことができる。他の樹脂は、芳香族カルボキシル基を含まない樹脂である。
本発明の着色組成物は、エチレン性不飽和結合含有基を2個以上含む分子量3000以下の多官能重合性モノマーC(以下、多官能重合性モノマーともいう)を含有する。多官能重合性モノマーが有するエチレン性不飽和結合含有基としては、ビニル基、ビニルフェニル基、(メタ)アリル基、(メタ)アクリロイル基、(メタ)アクリロイルオキシ基、(メタ)アクリロイルアミド基などが挙げられ、(メタ)アリル基、(メタ)アクリロイル基および(メタ)アクリロイルオキシ基が好ましく、(メタ)アクリロイルオキシ基がより好ましい。本発明で用いられる多官能重合性モノマーは、ラジカル重合性モノマーであることが好ましい。なお、本発明において、多官能重合性モノマーは、樹脂Bとは異なる成分である。
本発明の着色組成物は光重合開始剤を含むことが好ましい。光重合開始剤としては、特に制限はなく、公知の光重合開始剤の中から適宜選択することができる。例えば、紫外線領域から可視領域の光線に対して感光性を有する化合物が好ましい。光重合開始剤は、光ラジカル重合開始剤であることが好ましい。
本発明の着色組成物は、環状エーテル基を有する化合物を含有することができる。環状エーテル基としては、エポキシ基、オキセタニル基などが挙げられる。環状エーテル基を有する化合物は、エポキシ基を有する化合物(以下、エポキシ化合物ともいう)であることが好ましい。エポキシ化合物としては、1分子内にエポキシ基を1つ以上有する化合物が挙げられ、エポキシ基を2つ以上有する化合物が好ましい。エポキシ化合物はエポキシ基を1分子内に1~100個有する化合物であることが好ましい。エポキシ化合物に含まれるエポキシ基の上限は、例えば、10個以下とすることもでき、5個以下とすることもできる。エポキシ化合物に含まれるエポキシ基の下限は、2個以上が好ましい。エポキシ化合物としては、特開2013-011869号公報の段落番号0034~0036、特開2014-043556号公報の段落番号0147~0156、特開2014-089408号公報の段落番号0085~0092に記載された化合物、特開2017-179172号公報に記載された化合物を用いることもできる。これらの内容は、本明細書に組み込まれる。
本発明の着色組成物は、シランカップリング剤を含有することができる。この態様によれば、得られる膜の支持体との密着性をより向上させることができる。本明細書において、シランカップリング剤は、加水分解性基とそれ以外の官能基とを有するシラン化合物を意味する。また、加水分解性基とは、ケイ素原子に直結し、加水分解反応及び縮合反応の少なくともいずれかによってシロキサン結合を生じ得る置換基をいう。加水分解性基としては、例えば、ハロゲン原子、アルコキシ基、アシルオキシ基などが挙げられ、アルコキシ基が好ましい。すなわち、シランカップリング剤は、アルコキシシリル基を有する化合物が好ましい。また、加水分解性基以外の官能基としては、例えば、ビニル基、(メタ)アリル基、(メタ)アクリロイル基、メルカプト基、エポキシ基、オキセタニル基、アミノ基、ウレイド基、スルフィド基、イソシアネート基、フェニル基などが挙げられ、アミノ基、(メタ)アクリロイル基およびエポキシ基が好ましい。シランカップリング剤の具体例としては、N-β-アミノエチル-γ-アミノプロピルメチルジメトキシシラン(信越化学工業(株)製、商品名 KBM-602)、N-β-アミノエチル-γ-アミノプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業(株)製、商品名 KBM-603)、N-β-アミノエチル-γ-アミノプロピルトリエトキシシラン(信越化学工業(株)製、商品名 KBE-602)、γ-アミノプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業(株)製、商品名 KBM-903)、γ-アミノプロピルトリエトキシシラン(信越化学工業(株)製、商品名 KBE-903)、3-メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン(信越化学工業(株)製、商品名 KBM-502)、3-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業(株)製、商品名 KBM-503)等がある。また、シランカップリング剤の具体例については、特開2009-288703号公報の段落番号0018~0036に記載の化合物、特開2009-242604号公報の段落番号0056~0066に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
本発明の着色組成物は、界面活性剤を含有することができる。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用することができる。界面活性剤については、国際公開第2015/166779号の段落番号0238~0245に記載された界面活性剤が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。
本発明の着色組成物は紫外線吸収剤を含有することができる。紫外線吸収剤は、共役ジエン化合物、アミノジエン化合物、サリシレート化合物、ベンゾフェノン化合物、ベンゾトリアゾール化合物、アクリロニトリル化合物、ヒドロキシフェニルトリアジン化合物、インドール化合物、トリアジン化合物などを用いることができる。このような化合物としては、特開2009-217221号公報の段落番号0038~0052、特開2012-208374号公報の段落番号0052~0072、特開2013-068814号公報の段落番号0317~0334、特開2016-162946号公報の段落番号0061~0080に記載された化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。紫外線吸収剤の市販品としては、例えば、UV-503(大東化学(株)製)などが挙げられる。また、ベンゾトリアゾール化合物としては、ミヨシ油脂製のMYUAシリーズ(化学工業日報、2016年2月1日)が挙げられる。また、紫外線吸収剤は、特許第6268967号公報の段落番号0049~0059に記載された化合物を用いることもできる。着色組成物の全固形分中における紫外線吸収剤の含有量は、0.01~10質量%が好ましく、0.01~5質量%がより好ましい。紫外線吸収剤は1種のみを用いてもよく、2種以上を用いてもよい。2種以上を用いる場合は、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。
本発明の着色組成物は重合禁止剤を含有することができる。重合禁止剤としては、ハイドロキノン、p-メトキシフェノール、ジ-tert-ブチル-p-クレゾール、ピロガロール、tert-ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4’-チオビス(3-メチル-6-tert-ブチルフェノール)、2,2’-メチレンビス(4-メチル-6-t-ブチルフェノール)、N-ニトロソフェニルヒドロキシアミン塩(アンモニウム塩、第一セリウム塩等)が挙げられる。中でも、p-メトキシフェノールが好ましい。着色組成物の全固形分中における重合禁止剤の含有量は、0.0001~5質量%が好ましい。重合禁止剤は、1種類のみでもよく、2種類以上でもよい。2種類以上の場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
本発明の着色組成物は、溶剤を含有することができる。有機溶剤としては、各成分の溶解性や着色組成物の塗布性を満足すれば基本的には特に制限はない。有機溶剤としては、エステル系溶剤、ケトン系溶剤、アルコール系溶剤、アミド系溶剤、エーテル系溶剤、炭化水素系溶剤などが挙げられる。これらの詳細については、国際公開第2015/166779号の段落番号0223を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。また、環状アルキル基が置換したエステル系溶剤、環状アルキル基が置換したケトン系溶剤も好ましく用いることもできる。有機溶剤の具体例としては、ポリエチレングリコールモノメチルエーテル、ジクロロメタン、3-エトキシプロピオン酸メチル、3-エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、3-メトキシプロピオン酸メチル、2-ヘプタノン、シクロヘキサノン、酢酸シクロヘキシル、シクロペンタノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3-メトキシ-N,N-ジメチルプロパンアミド、3-ブトキシ-N,N-ジメチルプロパンアミドなどが挙げられる。ただし有機溶剤としての芳香族炭化水素類(ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン等)は、環境面等の理由により低減したほうがよい場合がある(例えば、有機溶剤全量に対して、50質量ppm(parts per million)以下とすることもでき、10質量ppm以下とすることもでき、1質量ppm以下とすることもできる)。
本発明において、着色組成物は、必要に応じて、酸化防止剤、増感剤、硬化促進剤、フィラー、熱硬化促進剤、可塑剤及びその他の助剤類(例えば、導電性粒子、充填剤、消泡剤、難燃剤、レベリング剤、剥離促進剤、香料、表面張力調整剤、連鎖移動剤など)を含有してもよい。これらの成分を適宜含有させることにより、膜物性などの性質を調整することができる。これらの成分は、例えば、特開2012-003225号公報の段落番号0183以降(対応する米国特許出願公開第2013/0034812号明細書の段落番号0237)の記載、特開2008-250074号公報の段落番号0101~0104、0107~0109等の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。また、酸化防止剤は、韓国公開特許第10-2019-0059371号公報に記載の化合物を用いることもできる。また、本発明の着色組成物は、必要に応じて、潜在酸化防止剤を含有してもよい。潜在酸化防止剤としては、酸化防止剤として機能する部位が保護基で保護された化合物であって、100~250℃で加熱するか、又は酸/塩基触媒存在下で80~200℃で加熱することにより保護基が脱離して酸化防止剤として機能する化合物が挙げられる。潜在酸化防止剤としては、国際公開第2014/021023号、国際公開第2017/030005号、特開2017-008219号公報に記載された化合物が挙げられる。潜在酸化防止剤の市販品としては、アデカアークルズGPA-5001((株)ADEKA製)等が挙げられる。
着色組成物の収容容器としては、特に限定はなく、公知の収容容器を用いることができる。また、収容容器として、原材料や着色組成物中への不純物混入を抑制することを目的に、容器内壁を6種6層の樹脂で構成する多層ボトルや6種の樹脂を7層構造にしたボトルを使用することも好ましい。このような容器としては、例えば、特開2015-123351号公報に記載の容器が挙げられる。また、容器内壁は、容器内壁からの金属溶出を防ぎ、着色組成物の保存安定性を高めたり、成分変質を抑制するなど目的で、ガラス製やステンレス製などにすることも好ましい。
本発明の着色組成物は、前述の成分を混合して調製できる。着色組成物の調製に際しては、全成分を同時に溶剤に溶解および/または分散して着色組成物を調製してもよいし、必要に応じて、各成分を適宜2つ以上の溶液または分散液としておいて、使用時(塗布時)にこれらを混合して着色組成物を調製してもよい。
本発明の膜は、上述した本発明の着色組成物から得られる膜である。本発明の膜の膜厚は、目的に応じて適宜調整できる。例えば、膜厚は、20μm以下が好ましく、10μm以下がより好ましく、5μm以下がさらに好ましい。膜厚の下限は、0.1μm以上が好ましく、0.2μm以上がより好ましく、0.3μm以上がさらに好ましい。
次に、画素の形成方法について説明する。画素の形成方法は、上述した本発明の着色組成物を支持体上に塗布して着色組成物層を形成する工程と、着色組成物層をパターン状に露光する工程と、露光後の着色組成物層の未露光部を現像除去する工程と、を含むことが好ましい。
本発明の光学フィルタは、上述した本発明の膜を有する。光学フィルタの種類としては、カラーフィルタおよび近赤外線透過フィルタなどが挙げられ、カラーフィルタであることが好ましい。カラーフィルタは、その着色画素として本発明の膜を有することが好ましい。
本発明の固体撮像素子は、上述した本発明の膜を有する。本発明の固体撮像素子の構成としては、本発明の膜を備え、固体撮像素子として機能する構成であれば特に限定はないが、例えば、以下のような構成が挙げられる。
本発明の画像表示装置は、上述した本発明の膜を有する。画像表示装置としては、液晶表示装置や有機エレクトロルミネッセンス表示装置などが挙げられる。画像表示装置の定義や各画像表示装置の詳細については、例えば「電子ディスプレイデバイス(佐々木昭夫著、(株)工業調査会、1990年発行)」、「ディスプレイデバイス(伊吹順章著、産業図書(株)平成元年発行)」などに記載されている。また、液晶表示装置については、例えば「次世代液晶ディスプレイ技術(内田龍男編集、(株)工業調査会、1994年発行)」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば、上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。
(重量平均分子量(Mw))
樹脂の重量平均分子量(Mw)は、RI(示差屈折)検出器を装備したゲルパーミネーションクロマトグラフィー(GPC)で測定した。装置としてHLC-8220GPC(東ソー株式会社製)を用いた。分離カラムは、2本直列につなぎ、両方の分離カラムには「TSK-GEL SUPER HZM-N」を2連でつなげて使用した。オーブン温度40℃、溶離液としてテトラヒドロフランを用い、流速0.35ml/minで測定した。サンプルは1質量%の上記溶離液からなる溶剤に溶解し、20μL注入した。分子量はいずれもポリスチレン換算値である。
樹脂の酸価は、JIS K 0070の電位差滴定法に準拠し、測定した酸価(mgKOH/g)を固形分換算した値である。
樹脂のC=C価(エチレン性不飽和結合含有基価)は、樹脂の合成に用いた原料から算出した。
[製造例1-1]
(高分子分散剤(D-1)の製造)
ガス導入管、温度計、コンデンサー、撹拌機を備えた反応容器に、3-メルカプト-1,2-プロパンジオール8質量部、ピロメリット酸無水物12質量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)80質量部、触媒としてモノブチルスズオキシド0.2質量部を仕込み、窒素ガスで置換した後、120℃で5時間反応させた(第一工程)。酸価の測定で95%以上の酸無水物がハーフエステル化していることを確認した。次に、メチルメタクリレート30質量部、t-ブチルアクリレート10質量部、エチルアクリレート10質量部、メタクリル酸5質量部、ベンジルメタクリレート10質量部、2-ヒドロキシエチルメタクリレート35質量部を仕込み、反応容器内を80℃に加熱して、2,2’-アゾビス(2,4-ジメチルバレロニトリル)1質量部を添加し、12時間反応させた(第二工程)。固形分測定により95%が反応したことを確認した。次いで、フラスコ内を空気置換し、2-メタクリロイロキシエチルイソシアネート35.0質量部、ヒドロキノン0.1質量部を仕込み、70℃で4時間反応させた(第三工程)。赤外吸収分光法にてイソシアネート基に基づく2270cm-1のピークが消失したことを確認後、反応溶液を冷却して、PGMEAで固形分調整することにより固形分濃度40%の高分子分散剤(D-1)の溶液を得た。得られた高分子分散剤(D-1)の酸価は40mgKOH/g、重量平均分子量は12000、エチレン性不飽和結合含有基価(C=C価)は692g/molであった。高分子分散剤(D-1)は、下記構造式で表される化合物である。
(高分子分散剤(D-2)~(D-15)、(DC-1)、(DC-2)の製造)
表1に記載した原料と仕込み量を用いた以外は高分子分散剤(D-1)と同様にして合成を行い、固形分濃度40%の高分子分散剤(D-2)~(D-15)、(DC-1)、(DC-2)の溶液を得た。
BTDA:3,3’,4,4’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物
MMA:メチルメタクリレート
tBA:t-ブチルアクリレート
EA:エチルアクリレート
MAA:メタクリル酸
BzMA:ベンジルメタクリレート
HEMA:2-ヒドロキシエチルメタクリレート
HPMA:2-ヒドロキシプロピルメタクリレート
FM-3:末端ヒドロキシ基ポリカプロラクトン変性メタクリレート((株)ダイセル製:プラクセルFM-3)
MOI:2-メタクリロイルオキシエチルイソシアネート(昭和電工(株)製:カレンズMOI)
AOI:2-アクリロイルオキシエチルイソシアネート(昭和電工(株)製:カレンズAOI)
BEI:1,1-ビス(アクリロイルオキシメチル)エチルイソシアネート(昭和電工(株)製:カレンズBEI)
PGMEA:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
[製造例2-1]
(微細化顔料(PR254M)の製造)
C.I.ピグメントレッド254(BASF社製「B-CF」)100質量部、塩化ナトリウム1200質量部、及びジエチレングリコール120質量部をステンレス製1ガロンニーダー(井上製作所社製)に仕込み、60℃で4時間混練した。得られた混練組成物を3000質量部の温水に投入し、1時間攪拌してスラリー状とし、ろ過、水洗を繰り返して塩化ナトリウム及びジエチレングリコールを除いた後、80℃で一昼夜乾燥し、微細化顔料(PR254M)を得た。
上記製造例2-1において、使用する顔料をピグメントレッド254から下表に示す顔料に変更した以外は、上記製造例2-1と同様の処理を行い、各微細化顔料を得た。
[製造例3-1]
(顔料分散液(GB-1)の製造)
下記に示す原料を以下に示す質量部で混合した後、直径0.5mmのジルコニアビーズを用いて、アイガーミル(アイガージャパン社製「ミニモデルM-250 MKII」)で3時間分散した。その後、得られた混合物を孔径5.0μmのフィルタでろ過して、顔料分散液(GB-1)を製造した。なお、以下において、高分子分散剤(D-1)の配合量の値は固形分濃度100%換算での値である。また、溶剤の配合量の値は、高分子分散剤(D-1)に含まれる溶剤量を合計した値である。
微細化顔料(PG36M): 11.0質量部
誘導体1: 0.6質量部
高分子分散剤(D-1): 2.0質量部(固形分として)
樹脂1: 2.1質量部
溶剤(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)): 84.3質量部(高分子分散剤(D-1)に含まれる溶剤量を含む)
なお、下記構造式で表される樹脂1において、最右端に示される繰り返し単位は、パラクミルフェノールエチレンオキサイド変性アクリレート(東亞合成株式会社製「アロニックスM110」)に由来する繰り返し単位に相当する。
(顔料分散液(GB-2)~(GB-21)、(GBC-1)、(GBC-2)、(YB-1)~(YB-12)、(RB-1)~(RB-4)、(BB-1)~(BB-4)、(VB-1)、(OB-1)、(KB-1)~(KB-2)の製造)
使用する微細化顔料、誘導体、高分子分散剤、樹脂、溶剤の種類と添加量(質量部)を下表に示すように変更した以外は、上記製造例3-1と同様の方法にて、顔料分散液(GB-2)~(GB-21)、(GBC-1)、(GBC-2)、(YB-1)~(YB-12)、(RB-1)~(RB-4)、(BB-1)~(BB-4)、(VB-1)、(OB-1)、(KB-1)~(KB-2)を製造した。
[製造例4-1]
(着色組成物(GR-1)の製造)
下記に示す原料を以下に示す質量部で混合した後、孔径1μmのフィルタでろ過して、着色感光性樹脂組成物(GR-1)を製造した。
顔料分散液(GB-1):44.5質量部
顔料分散液(YB-1):40.5質量部
樹脂1:0.7質量部
重合性モノマー(M-1):1.2質量部
光重合開始剤(I-1):0.6質量部
紫外線吸収剤(U-1):0.4質量部
界面活性剤(S-1):4.2質量部
重合禁止剤(IN-1):0.005質量部
PGMEA :7.9質量部
重合性モノマー(M-1):ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(DPHA)とジペンタエリスリトールペンタアクリレートの7:3混合物(日本化薬製、KAYARAD DPHA)
光重合開始剤(I-1):Irgacure OXE-01(BASF社製)
紫外線吸収剤(U-1):トリアジン系紫外線吸収剤「Tinuvin477」(BASF社製)
界面活性剤(S-1):下記構造の化合物(Mw=14000、繰り返し単位の割合を示す%の数値はモル%である)の1質量%PGMEA溶液。
使用する素材を下表に示すものに変更した以外は、上記製造例4-1と同様の方法にて、着色組成物を製造した。
樹脂2:下記構造の樹脂(重量平均分子量12000、酸価30mgKOH/g)
重合性モノマー(M-3):下記式で表される化合物(新中村化学社製、A-DPH-12E)
光重合開始剤(I-3):下記構造の化合物
光重合開始剤(I-5):下記構造の化合物
ガラス基板上に、CT-4000L(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)をポストベーク後に厚さが0.1μmになるようにスピンコーターを用いて塗布し、ホットプレートを用いて220℃で300秒間加熱して下塗り層を形成し、下塗り層付ガラス基板(支持体)を得た。次いで、上述した着色組成物をポストベーク後の膜厚が0.5μmとなるようにスピンコート法で塗布した。次いで、ホットプレートを用い、100℃で2分間ポストベークした。次いで、KrFスキャナ露光機を用い、画素(パターン)サイズが0.7μm四方で形成されるベイヤーパターンを有するマスクを介して光を照射して以下の条件でパルス露光を行った。次いで、水酸化テトラメチルアンモニウム0.3質量%水溶液を用い、23℃で60秒間パドル現像を行った。その後、スピンシャワーにてリンスを行い、さらに純水にて水洗した。次いで、ホットプレートを用い、200℃で5分間加熱することで、画素(パターン)を形成した。
KrFスキャナ露光機によるパルス露光条件は以下の通りである。
露光光:KrF線(波長248nm)
最大瞬間照度:250000000W/m2(平均照度:30000W/m2)
パルス幅:30ナノ秒
周波数:4kHz
形成された画素について、測長SEM(走査型電子顕微鏡、商品名:S-9260、日立ハイテクノロジーズ製)を用いて任意の5箇所の画素幅を測定し、その結果から標準偏差(σ)の3倍値(3σ)を、画素パターンのラフネスの程度を表す尺度(nm)として算出した。得られた3σ値に応じて、以下の5段階で画素パターンのラフネスの程度を評価した。
5:3σ値が25nm以下
4:3σ値が25nmを超えて40nm以下
3:3σ値が40nmを超えて50nm以下
2:3σ値が50nmを超えて65nm以下
1:3σ値が65nmを超える
上記要領で得られた画素のベイヤーパターンのうち、硬化した画素パターンが残らない領域を測長SEM(走査型電子顕微鏡、商品名:S-9260、日立ハイテクノロジーズ製)で観測し、前述の領域における現像残渣の程度を以下の5段階で評価した。
5:現像残渣が全く観察されない
4:サイズ(最も長軸である部分の幅)が0.05μm以下の現像残渣が1~5個観測される
3:サイズ(最も長軸である部分の幅)が0.05μm以下の残渣が6~10個観測される
2:サイズ(最も長軸である部分の幅)が0.05μm以下の残渣が10個を超えて観測され、かつ、サイズが0.05μmを超える残渣は観測されない
1:サイズ(最も長軸である部分の幅)が0.05μm以下の残渣が10個を超えて観測され、かつ、サイズが0.05μmを超える残渣も観測される
また、実施例55と実施例56とを比較したところ、実施例56においては画素パターン断面形状がヒサシ状(パターン上部のみが過度に硬化が進むことで、その断面形状がT形状となっている状態)であったのに対し、実施例55は実施例56よりもヒサシ形状の程度が小さく、良好な断面形状をしていた。
また、比較例1と実施例26を対比すると、C=C価が本発明の範囲内にある特定構造の樹脂を使用しても、その重合性モノマーの含有量が着色組成物の固形分に対して18質量%を超えると、画素のパターンラフネスおよび現像残渣の評価が著しく劣ることが分かる。
また、実施例1と、比較例2および比較例3とを対比すると、重合性モノマーの含有量が着色組成物の固形分に対して18質量%以下であっても、C=C価が本発明で規定する範囲を外れると、画素のパターンラフネスおよび現像残渣の評価が著しく劣ることが分かる。
シリコンウエハ上に、緑色着色組成物を製膜後の膜厚が1.0μmになるようにスピンコート法で塗布した。次いで、ホットプレートを用いて、100℃で2分間加熱した。次いで、i線ステッパー露光装置FPA-3000i5+(キヤノン(株)製)を用い、1000mJ/cm2の露光量で2μm四方のドットパターンのマスクを介して露光した。次いで、水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)0.3質量%水溶液を用い、23℃で60秒間パドル現像を行った。その後、スピンシャワーにてリンスを行い、更に純水にて水洗した。次いで、ホットプレートを用いて、200℃で5分間加熱することで、緑色着色組成物をパターニングして緑色画素を形成した。同様に赤色着色組成物、青色着色組成物を同様のプロセスでパターニングして、赤色画素、青色画素を順次形成して、緑色画素、赤色画素および青色画素を有するカラーフィルタを形成した。このカラーフィルタにおいては、緑色画素がベイヤーパターンで形成されており、その隣接する領域に、赤色画素、青色画素がアイランドパターンで形成されている。得られたカラーフィルタを公知の方法に従い固体撮像素子に組み込んだ。この固体撮像素子は好適な画像認識能を有していた。なお、緑色着色組成物としては、着色組成物(GR-33)を使用した。赤色着色組成物としては、着色組成物(RR-1)を使用した。青色着色組成物としては、着色組成物(BR-1)を使用した。
Claims (13)
- 着色剤Aと、樹脂Bと、エチレン性不飽和結合含有基を2個以上含む分子量3000以下の多官能重合性モノマーCと、を含む着色組成物であり、
前記樹脂Bは、式(b-10)で表される繰り返し単位を含み、かつ、エチレン性不飽和結合含有基価が350~700g/molである樹脂B1を含み、前記樹脂B中における前記樹脂B1の含有量が40~100質量%であり、
前記着色組成物の全固形分中における前記多官能重合性モノマーCの含有量が0質量%を超え10質量%以下であり、
前記多官能重合性モノマーCは、エチレン性不飽和結合含有基を2個または3個含む3官能以下の重合性モノマーC1と、エチレン性不飽和結合含有基を4個以上含む4官能以上の重合性モノマーC2とを含み、前記重合性モノマーC1と、前記重合性モノマーC2との割合は、前記重合性モノマーC1の100質量部に対して前記重合性モノマーC2が50~200質量部であり、
前記着色組成物の全固形分中における前記着色剤Aの含有量が45~70質量%である、
着色組成物;
- 式(b-10)のP10はエチレン性不飽和結合含有基を有するポリマー鎖である、請求項1に記載の着色組成物。
- 前記樹脂B1のエチレン性不飽和結合含有基価が500~600g/molである、請求項1または2に記載の着色組成物。
- 前記着色剤Aはアルミニウムフタロシアニン顔料を含む、請求項1~3のいずれか1項に記載の着色組成物。
- 前記着色剤Aはアルミニウムフタロシアニン顔料を含み、
前記着色組成物は、顔料誘導体を含有し、
前記顔料誘導体は、フタロシアニン顔料誘導体を含む、請求項1~3のいずれか1項に記載の着色組成物。 - 前記着色組成物の全固形分中における着色剤Aと前記樹脂B1との合計の含有量が50~95質量%である、請求項1~5のいずれか1項に記載の着色組成物。
- 更に光重合開始剤を含む、請求項1~6のいずれか1項に記載の着色組成物。
- カラーフィルタの着色画素形成用である、請求項1~7のいずれか1項に記載の着色組成物。
- パルス露光に供するための着色組成物である、請求項1~8のいずれか1項に記載の着色組成物。
- 請求項1~9のいずれか1項に記載の着色組成物から得られる膜。
- 請求項10に記載の膜を有する光学フィルタ。
- 請求項10に記載の膜を有する固体撮像素子。
- 請求項10に記載の膜を有する画像表示装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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