WO2021153614A1

WO2021153614A1 - アブソリュートエンコーダ

Info

Publication number: WO2021153614A1
Application number: PCT/JP2021/002842
Authority: WO
Inventors: 健崎枝; 勝典齋藤; 雄人石
Original assignee: ミネベアミツミ株式会社
Priority date: 2020-01-31
Filing date: 2021-01-27
Publication date: 2021-08-05
Also published as: US20230071255A1; JP2021124281A; TW202146853A; JP7441062B2

Abstract

永久磁石からの磁束を検出する磁気センサに対して、本来検出すべきでない永久磁石からの漏れ磁束による影響を低減する。　アブソリュートエンコーダ（２）は、第１ウォームギア部（１１）の先端部側に設けられる第１永久磁石としてのマグネット（Ｍｐ）と、マグネット（Ｍｐ）から発生する磁束の変化に対応する第１ウォームギア部（１１）の回転角度を検出する第１角度センサとしての角度センサ（Ｓｐ）と、第２ウォームホイール部（４１）の先端側に設けられる第２永久磁石としてのマグネット（Ｍｑ）と、マグネット（Ｍｑ）から発生する磁束の変化に対応する第２ウォームホイール部（４１）の回転角度を検出する第２角度センサとしての角度センサ（Ｓｑ）と、角度センサ（Ｓｐ）及び角度センサ（Ｓｑ）の周囲の少なくとも一部を囲う磁束遮へい部材としてのギアベース部（３）と、を備え、ギアベース部（３）は、焼鈍処理が施された磁性体により構成されている。

Description

アブソリュートエンコーダ

　本発明は、アブソリュートエンコーダに関する。

　従来から、各種の制御機械装置において、可動要素の位置や角度を検出するために用いられるロータリエンコーダが知られている。このようなロータリエンコーダには、相対的な位置又は角度を検出するインクリメンタル型のエンコーダと、絶対的な位置又は角度を検出するアブソリュート型のアブソリュートエンコーダとが存在している。

　このようなアブソリュートエンコーダにおいては、例えば、メインシャフト及びサブシャフトの角度位置を、磁気を利用して検知する複数の磁気式エンコーダ部を備え、その検出結果からメインシャフトの絶対位置を計測するためのアブソリュート型のロータリエンコーダが知られている（例えば、特許文献１参照。）。

特開２０１３－２４５７２号公報

　しかしながら、特許文献１に開示されるアブソリュートエンコーダは、例えば、モータのマグネットあるいは装置外部の磁石など、隣接する永久磁石から発生した磁束の一部が、磁気検知素子である磁気センサに影響を与えることで、本来検出したい永久磁石からの磁束以外の外部要素によるノイズの影響によって、検出精度が悪化することがあった。

　本発明は、上述の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、永久磁石からの磁束を検出する磁気センサに対して、本来検出すべきでない永久磁石からの漏れ磁束による影響を低減するアブソリュートエンコーダを提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明に係るアブソリュートエンコーダは、主軸の回転に従って回転する第１駆動歯車と、前記第１駆動歯車の先端部側に設けられる第１永久磁石と、前記第１永久磁石から発生する磁束の変化に対応する前記第１駆動歯車の回転角度を検出する第１角度センサと、中心軸が前記第１駆動歯車の中心軸と直交し、前記第１駆動歯車に噛み合う第１従動歯車と、前記第１従動歯車と同軸上に設けられ、前記第１従動歯車の回転に従って回転する第２駆動歯車と、中心軸が前記第１従動歯車の中心軸と直交し、前記第２駆動歯車に噛み合う第２従動歯車と、前記第２従動歯車の先端側に設けられる第２永久磁石と、前記第２永久磁石から発生する磁束の変化に対応する前記第２従動歯車の回転角度を検出する第２角度センサと、前記第１角度センサ及び前記第２角度センサの周囲の少なくとも一部を囲う磁束遮へい部材と、を備え、前記磁束遮へい部材は、焼鈍処理が施された磁性体により構成されている。

上記目的を達成するために、本発明に係るアブソリュートエンコーダの磁束遮へい部材は、フェライト系ステンレス鋼の板状部材に機械加工を施す機械加工工程と、前記機械加工が施された前記板状部材を真空または水素雰囲気中で焼鈍温度８００～９００℃にて焼鈍する焼鈍工程と、により製造される。

　本発明に係るアブソリュートエンコーダによれば、永久磁石からの磁束を検出する磁気センサに対して、本来検出すべきでない永久磁石からの漏れ磁束による影響を低減することができる。

本発明の実施の形態に係るアブソリュートエンコーダの構成を概略的に示す斜視図である。図１に示すアブソリュートエンコーダの構成を、シールドプレートを除いた状態で概略的に示す斜視図である。図２に示すアブソリュートエンコーダの構成を、ケースを除いた状態で概略的に示す斜視図である。図３に示すアブソリュートエンコーダの構成を、基板を除いた状態で概略的に示す平面図である。図３に示される角度センサ支持基板を下面側から見た図である。図４に示すアブソリュートエンコーダのＡ－Ａ断面図である。図４に示すアブソリュートエンコーダのＢ－Ｂ断面図である。図４に示すアブソリュートエンコーダのＣ－Ｃ断面図である。図１に示すアブソリュートエンコーダの機能的構成を概略的に示すブロック図である。図３に示すアブソリュートエンコーダの構成において、磁束遮へい部材としてのギアベース部の斜視図である。

　本発明者らは、アブソリュートエンコーダにおいて、主軸の複数回の回転（以下、複数回転ともいう。）にわたる回転量（以下、主軸の回転量ともいう。）を、主軸の回転に伴い減速回転する回転体の回転角度を取得することによって、特定し得ることを見出した。すなわち、回転体の回転角度を減速比で乗ずることにより、主軸の回転量を特定することができる。ここで、特定可能な主軸の回転量の範囲は、減速比に比例して増加する。例えば、減速比が５０であれば、主軸５０回転分の回転量を特定することができる。

　一方、必要な回転体の分解能は、減速比に比例して小さくなる。例えば、減速比が１００であれば、主軸１回転あたり回転体に必要な分解能は３６０°／１００＝３．６°となり、±１．８°の検出精度が求められる。一方、減速比が５０の場合、主軸１回転あたり回転体に必要な分解能は３６０°／５０＝７．２°となり、±３．６°の検出精度が求められる。

　以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。以下に説明する各実施の形態、変形例では、同一又は同等の構成要素、部材には、同一の符号を付するものとし、適宜重複した説明は省略する。また、各図面における部材の寸法は、理解を容易にするために適宜拡大、縮小して示される。また、各図面において実施の形態を説明する上で重要ではない部材の一部は省略して表示する。また、図面において歯車は歯部形状を省略して示す。また、第１、第２などの序数を含む用語は多様な構成要素を説明するために用いられるが、この用語は一つの構成要素を他の構成要素から区別する目的でのみ用いられ、この用語によって構成要素が限定されるものではない。なお、本実施の形態により本発明が限定されるものではない。

　図１は、本発明の実施の形態に係るアブソリュートエンコーダ２の構成を概略的に示す斜視図である。図２は、アブソリュートエンコーダ２の構成を、シールドプレート７を除いた状態で概略的に示す斜視図である。図２では、アブソリュートエンコーダ２のケース４及び角度センサ支持基板５が透過されて示される。図３は、アブソリュートエンコーダ２の構成を、ケース４を除いた状態で概略的に示す斜視図である。図３では、アブソリュートエンコーダ２の角度センサ支持基板５が透過されて示されている。図４は、アブソリュートエンコーダ２の構成を、角度センサ支持基板５を除いた状態で概略的に示す平面図である。

　図１乃至図４に示すように、本発明の実施の形態に係るアブソリュートエンコーダ２は、第１ウォームギア部１１と、マグネットＭｐと、角度センサＳｐと、第１ウォームホイール部２１と、第２ウォームギア部２２と、第２ウォームホイール部４１と、マグネットＭｑと、角度センサＳｑと、ギアベース部３と、を備える。第１ウォームギア部１１は、第１駆動歯車として主軸１ａの回転に従って回転する。マグネットＭｐは、第１永久磁石として第１ウォームギア部１１の先端部側に設けられる。角度センサＳｐは、第１角度センサとしてマグネットＭｐから発生する磁束の変化に対応する第１ウォームギア部１１の回転角度を検出する。第１ウォームホイール部２１は、第１従動歯車として中心軸が第１ウォームギア部１１の中心軸と直交し、第１ウォームギア部１１に噛み合う。第２ウォームギア部２２は、第２駆動歯車として第１ウォームホイール部２１と同軸上に設けられ、第１ウォームホイール部２１の回転に従って回転する。第２ウォームホイール部４１は、第２従動歯車として中心軸が第１ウォームホイール部２１の中心軸と直交し、第２ウォームギア部２２に噛み合う。マグネットＭｑは、第２永久磁石として第２ウォームホイール部４１の先端側に設けられる。角度センサＳｑは、第２角度センサとしてマグネットＭｑから発生する磁束の変化に対応する第２ウォームホイール部４１の回転角度を検出する。ギアベース部３は、磁束遮へい部材として角度センサＳｐ及び角度センサＳｑの周囲の少なくとも一部を囲う。ギアベース部３は、焼鈍処理が施された磁性体により構成されている。以下、アブソリュートエンコーダ２の構造を具体的に説明する。

　本実施の形態においては、説明の便宜上、アブソリュートエンコーダ２についてＸＹＺ直交座標系をもとに説明する。Ｘ軸方向は水平な左右方向に対応し、Ｙ軸方向は水平な前後方向に対応し、Ｚ軸方向は鉛直な上下方向に対応する。Ｙ軸方向及びＺ軸方向は夫々Ｘ軸方向に直交する。本説明において、Ｘ軸方向を左側或いは右側と、Ｙ軸方向を前側或いは後側と、Ｚ軸方向を上側或いは下側ともいう。図１，２に示すアブソリュートエンコーダ２の姿勢において、Ｘ軸方向における左側が左側であり、Ｘ軸方向における右側が右側である。また、図１，２に示すアブソリュートエンコーダ２の姿勢において、Ｙ軸方向における手前側が前側であり、Ｙ軸方向における奥側が後側である。また、図１，２に示すアブソリュートエンコーダ２の姿勢において、Ｚ軸方向における上側が上側であり、Ｚ軸方向における下側が下側である。Ｚ軸方向で上側から視た状態を平面視と、Ｙ軸方向で前側から視た状態を正面視と、Ｘ軸方向で左側から視た状態を側面視という。このような方向の表記はアブソリュートエンコーダ２の使用姿勢を制限するものではなく、アブソリュートエンコーダ２は任意の姿勢で使用され得る。

　アブソリュートエンコーダ２は、既述したように、モータ１の主軸１ａの複数回転にわたる回転量を特定して出力するアブソリュート型のエンコーダである。本発明の実施の形態では、アブソリュートエンコーダ２はモータ１のＺ軸方向の上側の端部に設けられている。本発明の実施の形態では、アブソリュートエンコーダ２は、平面視で略矩形状を有しており、正面視及び側面視で主軸１ａの延在方向である上下方向に薄い横長の矩形状を有している。つまり、アブソリュートエンコーダ２は上下方向よりも水平方向に長い偏平な直方体形状を有している。

　アブソリュートエンコーダ２は内部構造を収容する中空角筒状のケース４を備えている。ケース４は、少なくともモータ１の主軸１ａの一部、主軸ギア１０、第１中間ギア２０、第２中間ギア３０、第１副軸ギア４０、及び第２副軸ギア５０などを包囲する複数（例えば４つ）の外壁部４ａを含み、上側の端部が開蓋されている。ケース４は、開蓋されている４つの外壁部４ａの上側の端部に、矩形の板状部材である第２の磁束遮へい部材としてのシールドプレート７が、ネジ８ｅによりケース４及びギアベース部３に固定されている。
　シールドプレート７は、軸線方向（Ｚ軸方向）において角度センサＳｐ，Ｓｑ，Ｓｒとアブソリュートエンコーダ２の外部との間に設けられている板状部材である。シールドプレート７は、ケース４の内部に設けられている角度センサＳｐ，Ｓｑ，Ｓｒがアブソリュートエンコーダ２の外部で発生している磁束による磁気干渉を防ぐために、磁性体で形成されている。

　モータ１は、一例として、ステッピングモータやＤＣブラシレスモータであってもよい。一例として、モータ１は波動歯車装置等の減速機構を介して産業用等のロボットを駆動する駆動源として適用されるモータであってもよい。モータ１の主軸１ａは上下方向の両側がモータのケースから突出している。アブソリュートエンコーダ２はモータ１の主軸１ａの回転量をデジタル信号として出力する。

　モータ１の形状は、平面視で略矩形状を有し、上下方向においても略矩形状を有している。つまり、モータ１は略立方体形状を有している。平面視においてモータ１の外形を構成する４つの外壁部の夫々の長さは例えば２５ｍｍであり、すなわち、モータ１の外形は、平面視で２５ｍｍ角である。また、モータ１に設けられるアブソリュートエンコーダ２は、例えばモータ１の外形形状に合わせて２５ｍｍ角である。

　図１，２においては、角度センサ支持基板５がケース４及びシールドプレート７とともにアブソリュートエンコーダ２の内部を覆うように設けられている。
　図５は、角度センサ支持基板５を下側から見た図である。図５に示すように、角度センサ支持基板５は、平面視で略矩形状を有し、上下方向に薄い板状のプリント配線基板である。また、コネクタ６は、角度センサ支持基板５に接続されており、アブソリュートエンコーダ２と外部装置（不図示）を接続するためのものである。

　図２，３に示すように、アブソリュートエンコーダ２は、第１ウォームギア部１１（第１駆動歯車）を有する主軸ギア１０と、第１ウォームホイール部２１（第１従動歯車）、第２ウォームギア部２２（第２駆動歯車）及び第３ウォームギア部２８（第３駆動歯車）を有する第１中間ギア２０と、第３ウォームホイール部３１（第３従動歯車）及び第１平歯車部３２（第４駆動歯車）を有する第２中間ギア３０と、第２ウォームホイール部４１（第２従動歯車）を有する第１副軸ギア４０と、第２平歯車部５１（第３従動歯車）を有する第２副軸ギア５０と、マグネットＭｐと、マグネットＭｐに対応する角度センサＳｐと、マグネットＭｑと、マグネットＭｑに対応する角度センサＳｑと、マグネットＭｒと、マグネットＭｒに対応する角度センサＳｒと、図５に示すマイコン１２１とを含んでいる。

　図６は、アブソリュートエンコーダ２のＡ－Ａ断面図である。

　図４、及び図６に示すように、モータ１の主軸１ａは、モータ１の出力軸であり、アブソリュートエンコーダ２に回転力を伝達する入力軸である。主軸ギア１０は、モータ１の主軸１ａに固定されており、主軸１ａと一体にモータ１の軸受部材によって回転可能に支持されている。第１ウォームギア部１１は、モータ１の主軸１ａの回転に従って回転するように、主軸ギア１０の外周に設けられている。主軸ギア１０において、第１ウォームギア部１１は、その中心軸が主軸１ａの中心軸と一致又は略一致するように設けられている。主軸ギア１０は、樹脂材料や金属材料など種々の材料から形成することができる。主軸ギア１０は、例えばポリアセタール樹脂から形成されている。

　図３、及び図４に示すように、第１中間ギア２０は、主軸ギア１０の回転を、第１副軸ギア４０及び第２中間ギア３０に伝えるギア部である。第１中間ギア２０は、軸２３によって基部３ｂに略平行に伸びる回転軸線の周りに軸支されている。第１中間ギア２０は、その回転軸線の方向に延伸する略円筒形状の部材である。第１中間ギア２０は、第１ウォームホイール部２１と、第２ウォームギア部２２と、第３ウォームギア部２８とを含み、内部に貫通孔が形成され、この貫通孔に軸２３が挿通されている。この軸２３をギアベース部３の基部３ｂに設けられた第１中間ギア軸支部３ｇに挿通することで、第１中間ギア２０が軸支されている。第１ウォームホイール部２１、第２ウォームギア部２２、及び第３ウォームギア部２８は、この順で互いに離れた位置に配置される。第１中間ギア２０は、樹脂材料や金属材料など種々の材料から形成することができる。第１中間ギア２０は、ポリアセタール樹脂から形成されている。

　図７は、アブソリュートエンコーダ２のＢ－Ｂ断面図である。

　図４、及び図７に示すように、第１ウォームホイール部２１は第１中間ギア２０の外周に設けられており、第１ウォームホイール部２１は、第１ウォームギア部１１と噛み合い、第１ウォームギア部１１の回転に従って回転するように設けられている。第１ウォームホイール部２１と第１ウォームギア部１１との軸角は９０°又は略９０°に設定されている。

　第１ウォームホイール部２１の外径に特別な制限はないが、図示の例では、第１ウォームホイール部２１の外径は第１ウォームギア部１１の外径より小さく設定されており、第１ウォームホイール部２１の外径が小さくなっている。これにより、アブソリュートエンコーダ２では、上下方向の寸法の小型化が図られている。

　第２ウォームギア部２２は第１中間ギア２０の外周に設けられており、第１ウォームホイール部２１の回転に伴って回転するようになっている。第１中間ギア２０において、第２ウォームギア部２２は、その中心軸が第１ウォームホイール部２１の中心軸と一致又は略一致するように設けられている。

　図８は、アブソリュートエンコーダ２のＣ－Ｃ断面図である。

　図４、及び図８に示すように、第３ウォームギア部２８は第１中間ギア２０の外周に設けられており、第１ウォームホイール部２１の回転に伴って回転するようになっている。第１中間ギア２０において、第３ウォームギア部２８は、その中心軸が第１ウォームホイール部２１の中心軸と一致又は略一致するように設けられている。

　図４に示すように、第１副軸ギア４０は、モータ軸の回転に従い、減速されてマグネットＭｑと一体となって回転する。第１副軸ギア４０は、ギアベース部３の基部３ｂから略垂直に突出する軸により軸支され、第２ウォームホイール部４１と、マグネットＭｑを保持する保持部と、を含む平面視で略円形状の部材である。第１副軸ギア４０は、樹脂材料や金属材料など種々の材料から形成することができる。第１副軸ギア４０は、ポリアセタール樹脂から形成されている。

　第２ウォームホイール部４１は、第１副軸ギア４０の外周に設けられており、第２ウォームギア部２２と噛み合い、第２ウォームギア部２２の回転に従って回転するように設けられている。第２ウォームホイール部４１と第２ウォームギア部２２との軸角は９０°又は略９０°に設定されている。第２ウォームホイール部４１の回転軸線は、第１ウォームギア部１１の回転軸線と平行又は略平行に設けられている。

　図４、及び図８において、第２中間ギア３０は、主軸１ａの回転に従って回転し、主軸１ａの回転を減速して第２副軸ギア５０に伝える円盤状のギア部である。第２中間ギア３０は、第２ウォームギア部２２と、第２副軸ギア５０に設けられる第２平歯車部５１との間に設けられる。第２平歯車部５１は、第１平歯車部３２と噛み合う。第２中間ギア３０は、第１中間ギア２０の第３ウォームギア部２８と噛み合う第３ウォームホイール部３１と、第２平歯車部５１を駆動する第１平歯車部３２とを有する。第２中間ギア３０は、例えば、ポリアセタール樹脂で形成されている。第２中間ギア３０は、平面視で略円形状の部材である。第２中間ギア３０は、ギアベース部３の基部３ｂに軸支されている。

　第２中間ギア３０を備えることにより、その分、後述する第２副軸ギア５０を第３ウォームギア部２８から遠ざけた位置に配置することができる。このため、マグネットＭｐ、Ｍｑとの間の距離を長くして互いの漏れ磁束の影響を減らすことができる。また、第２中間ギア３０を備えることにより、その分減速比を設定できる範囲が拡がり設計の自由度が向上する。

　第３ウォームホイール部３１は、第２中間ギア３０の外周に設けられており、第３ウォームギア部２８と噛み合い、第３ウォームギア部２８の回転に従って回転するように設けられている。第１平歯車部３２は、第２中間ギア３０の外周にその中心軸が第３ウォームホイール部３１の中心軸と一致又は略一致するように設けられている。第１平歯車部３２は、第２平歯車部５１と噛み合い、第３ウォームホイール部３１の回転に従って回転するように設けられている。第３ウォームホイール部３１及び第１平歯車部３２の回転軸線は、第１ウォームギア部１１の回転軸線と平行又は略平行に設けられている。

　図８において、第２副軸ギア５０は、主軸１ａの回転に従って回転し、主軸１ａの回転を減速してマグネットＭｒに伝える、平面視で円形状のギア部である。第２副軸ギア５０は、ギアベース部３の基部３ｂから略垂直に伸びる回転軸線周りに軸支されている。第２副軸ギア５０は、第２平歯車部５１と、マグネットＭｒを保持する磁石保持部とを含む。

　第２平歯車部５１は、第２副軸ギア５０の外周にその中心軸が第１平歯車部３２の中心軸と一致又は略一致するように設けられている。第２平歯車部５１は、第１平歯車部３２と噛み合い、第３ウォームホイール部３１の回転に従って回転するように設けられている。第２平歯車部５１の回転軸線は、第１平歯車部３２の回転軸線と平行又は略平行に設けられている。第２副軸ギア５０は、樹脂材料や金属材料など種々の材料から形成することができる。第２副軸ギア５０は、ポリアセタール樹脂から形成されている。

　ここで、第１ウォームホイール部２１が第１ウォームギア部１１に噛み合うために、第１ウォームホイール部２１が第１ウォームギア部１１に向かう方向を第１噛み合い方向Ｐ１（図４の矢印Ｐ１方向）とする。同様に、第２ウォームギア部２２が第２ウォームホイール部４１に噛み合うために、第２ウォームギア部２２が第２ウォームホイール部４１に向かう方向を第２噛み合い方向Ｐ２（図４の矢印Ｐ２方向）とする。さらに、第３ウォームギア部２８が第３ウォームホイール部３１に噛み合うために、第３ウォームギア部２８が第３ウォームホイール部３１に向かう方向を第３噛み合い方向Ｐ３（図４の矢印Ｐ３方向）とする。本実施の形態においては、第１噛み合い方向Ｐ１、第２噛み合い方向Ｐ２、及び第３噛み合い方向Ｐ３は共に水平面（ＸＹ平面）に沿う方向となっている。

　マグネットＭｐは、主軸ギア１０の上面に双方の中心軸が一致又は略一致するように固定される。マグネットＭｐは、ホルダ部１６を介して主軸ギア１０の中心軸に設けられているマグネット支持部１７に支持されている。ホルダ部１６は、アルミニウム合金などの非磁性体により形成されている。ホルダ部１６の内周面は、マグネットＭｐの径方向における外周面に接してこの外周面を保持するように、マグネットＭｐの外径や外周面の形状に対応して、例えば、環状に形成されている。また、マグネット支持部１７の内周面は、ホルダ部１６の外周面に接するように、ホルダ部１６の外径や外周面の形状に対応して、例えば、環状に形成されている。マグネットＭｐは、主軸ギア１０の回転軸線に対して垂直な方向に並んだ２極の磁極を有している。角度センサＳｐは、主軸ギア１０の回転角度を検知するために、その下面が隙間を介してマグネットＭｐの上面に上下方向に対向するように、角度センサ支持基板５の下面５ａに設けられる。

　一例として、角度センサＳｐは、アブソリュートエンコーダ２の後述するギアベース部３に配設された基板支柱１１０によって支持されている角度センサ支持基板５に固定されている。角度センサＳｐは、マグネットＭｐの磁極を検知し、検知情報をマイコン１２１に出力する。マイコン１２１は、入力された磁極に関する検知情報に基づいてマグネットＭｐの回転角度を特定することにより、主軸ギア１０の回転角度、つまり主軸１ａの回転角度を特定する。主軸１ａの回転角度の分解能は角度センサＳｐの分解能に対応する。マイコン１２１は、後述するように、特定された第１副軸ギア４０の回転角度及び特定された主軸１ａの回転角度に基づいて主軸１ａの回転量を特定し、これを出力する。マイコン１２１は、一例としてモータ１の主軸１ａの回転量をデジタル信号として出力するようにしてもよい。

　角度センサＳｑは、第２ウォームホイール部４１の回転角度、すなわち第１副軸ギア４０の回転角度を検知する。マグネットＭｑは、第１副軸ギア４０の上面に双方の中心軸が一致又は略一致するように固定されている。マグネットＭｑは、第１副軸ギア４０の回転軸線に対して垂直な方向に並んだ２極の磁極を有している。図３に示すように、角度センサＳｑは、第１副軸ギア４０の回転角度を検知するために、その下面が隙間を介してマグネットＭｑの上面に上下方向に対向するように設けられる。

　一例として、角度センサＳｑは、角度センサＳｐが固定された角度センサ支持基板５に、角度センサＳｐが固定される面と同一の面において固定されている。角度センサＳｑは、マグネットＭｑの磁極を検知し、検知情報をマイコン１２１に出力する。マイコン１２１は、入力された磁極に関する検知情報に基づいてマグネットＭｑの回転角度、つまり第１副軸ギア４０の回転角度を特定する。

　角度センサＳｒは、第２平歯車部５１の回転角度、すなわち第２副軸ギア５０の回転角度を検知する。マグネットＭｒは、第２副軸ギア５０の上面に双方の中心軸が一致又は略一致するように固定されている。マグネットＭｒは、第２副軸ギア５０の回転軸線に対して垂直な方向に並んだ２極の磁極を有している。図３に示すように、角度センサＳｒは、第２副軸ギア５０の回転角度を検知するために、その下面が隙間を介してマグネットＭｒの上面に上下方向に対向するように設けられる。

　一例として、角度センサＳｒは、アブソリュートエンコーダ２の後述するギアベース部３に配設された基板支柱１１０によって支持されている角度センサ支持基板５に固定されている。角度センサＳｒは、マグネットＭｒの磁極を検知し、検知情報をマイコン１２１に出力する。マイコン１２１は、入力された磁極に関する検知情報に基づいてマグネットＭｒの回転角度、つまり第２副軸ギア５０の回転角度を特定する。

　各磁気センサには比較的分解能が高い磁気式角度センサを使用してもよい。磁気式角度センサは、それぞれの回転体の軸方向において、各永久磁石の磁極を含む端面と、一定の隙間を介して対向配置され、これら磁極の回転に基づいて対向する回転体の回転角を特定してデジタル信号を出力する。磁気式角度センサは、一例として、磁極を検知する検知素子と、この検知素子の出力に基づいてデジタル信号を出力する演算回路と、を含む。検知素子は、例えばホールエレメントやＧＭＲ（Giant Magneto Resistive）エレメントなどの磁界検知要素を複数（例えば４つ）含んでもよい。

　演算回路は、例えば複数の検知素子の出力の差や比をキーとしてルックアップテーブルを用いてテーブル処理によって回転角を特定するようにしてもよい。この検知素子と演算回路とは一つのＩＣチップ上に集積されてもよい。このＩＣチップは薄型の直方体形状の外形を有する樹脂中に埋め込まれてもよい。各磁気センサは、不図示の配線部材を介して検知した各回転体の回転角に対応するデジタル信号である角度信号をマイコン１２１に出力する。例えば、各磁気センサは各回転体の回転角を複数ビット（例えば７ビット）のデジタル信号として出力する。

　図９は、アブソリュートエンコーダ２が備えるマイコン１２１の機能構成を示す図である。マイコン１２１は、角度センサ支持基板５のギアベース部３の基部３ｂ側の面にはんだ付けや接着などの方法により固定されている。マイコン１２１は、ＣＰＵで構成され、角度センサＳｐ、Ｓｑ，Ｓｒのそれぞれから出力される回転角度を表すデジタル信号を取得し、主軸ギア１０の回転量を演算する。図９に示すマイコン１２１の各ブロックは、マイコン１２１としてのＣＰＵがプログラムを実行することによって実現されるファンクション（機能）を表したものである。マイコン１２１の各ブロックは、ハードウエア的には、コンピュータのＣＰＵ（Central Processing Unit）やＲＡＭ（Random Access Memory）をはじめとする素子や機械装置で実現でき、ソフトウエア的にはコンピュータプログラム等によって実現されるが、ここでは、それらの連携によって実現される機能ブロックを描いている。従って、これらの機能ブロックはハードウエア、ソフトウエアの組み合わせによっていろいろなかたちで実現できることは、本明細書に触れた当業者には理解されるところである。

　マイコン１２１は、回転角取得部１２１ｐ、回転角取得部１２１ｑ、回転角取得部１２１ｒ、テーブル処理部１２１ｂ、回転量特定部１２１ｃ、及び出力部１２１ｅを備える。回転角取得部１２１ｐは、角度センサＳｐから出力された信号をもとに主軸ギア１０、つまり、主軸１ａの回転角度を示す角度情報である回転角度Ａｐを取得する。回転角取得部１２１ｑは、角度センサＳｑから出力された信号をもとに第１副軸ギア４０の回転角度を示す角度情報である回転角度Ａｑを取得する。回転角取得部１２１ｒは、角度センサＳｒで検知された第２副軸ギア５０の回転角度を示す角度情報である回転角度Ａｒを取得する。

　テーブル処理部１２１ｂは、回転角度Ａｐと、回転角度Ａｐに対応する主軸ギア１０の回転数とを格納した第１対応関係テーブルを参照して、取得した回転角度Ａｐに対応する主軸ギア１０の回転数を特定する。また、テーブル処理部１２１ｂは、回転角度Ａｒと、回転角度Ａｒに対応する主軸ギア１０の回転数とを格納した第２対応関係テーブルを参照して、取得した回転角度Ａｒに対応する主軸ギア１０の回転数を特定する。

　回転量特定部１２１ｃは、テーブル処理部１２１ｂによって特定された主軸ギア１０の回転数と、取得した回転角度Ａｑとに応じて、主軸ギア１０の複数回転にわたる第１回転量を特定する。出力部１２１ｅは、回転量特定部１２１ｃによって特定された主軸ギア１０の複数回転にわたる回転量を、当該回転量を示す情報に変換して出力する。

　このように構成されたアブソリュートエンコーダ２は、角度センサＳｑ，Ｓｒの検知情報に基づいて特定された第１副軸ギア４０及び第２副軸ギア５０の回転角度に応じて主軸１ａの回転数を特定すると共に、角度センサＳｐの検知情報に基づいて主軸１ａの回転角度を特定することができる。そして、マイコン１２１は、特定された主軸１ａの回転数及び主軸１ａの回転角度に基づいて、主軸１ａの複数回の回転にわたる回転量を特定する。

　主軸１ａに設けられた主軸ギア１０の第１ウォームギア部１１の条数は例えば１であり、第１ウォームホイール部２１の歯数は例えば２０である。つまり、第１ウォームギア部１１と第１ウォームホイール部２１とは、減速比が２０／１＝２０の第１変速機構を構成する（図４参照）。第１ウォームギア部１１が２０回転するとき第１ウォームホイール部２１は１回転する。第１ウォームホイール部２１と第２ウォームギア部２２は同軸上に設けられて第１中間ギア２０を構成しており、一体となって回転することから、第１ウォームギア部１１が２０回転するとき、すなわち主軸１ａ及び主軸ギア１０が２０回転するとき、第１中間ギア２０は１回転し、第２ウォームギア部２２は１回転する。

　第２ウォームギア部２２の条数は例えば５であり、第２ウォームホイール部４１の歯数は例えば２５である。つまり、第２ウォームギア部２２と第２ウォームホイール部４１とは、減速比が２５／５＝５の第２変速機構を構成する（図４参照）。第２ウォームギア部２２が５回転するとき第２ウォームホイール部４１は１回転する。第２ウォームホイール部４１が形成された第１副軸ギア４０は、後述するようにマグネットホルダ３５及びマグネットＭｑと一体となって回転するようになっており、このため、第１中間ギア２０を構成する第２ウォームギア部２２が５回転するとき、マグネットＭｑは１回転する。以上より、主軸１ａが１００回転すると、第１中間ギア２０が５回転し、第１副軸ギア４０及びマグネットＭｑが１回転する。つまり、角度センサＳｑの第１副軸ギア４０の回転角度に関する検知情報により、主軸１ａの５０回転分の回転数を特定することができる。

　第３ウォームギア部２８の条数は例えば１であり、第３ウォームホイール部３１の歯数は例えば３０である。つまり、第３ウォームギア部２８と第３ウォームホイール部３１とは、減速比が３０／１＝３０の第３変速機構を構成する（図４参照）。第３ウォームギア部２８が３０回転するとき第３ウォームホイール部３１は１回転する。第３ウォームホイール部３１が形成された第２中間ギア３０は、第３ウォームホイール部３１の中心軸と一致又は略一致する中心軸を有する第１平歯車部３２が設けられている。このため、第３ウォームホイール部３１が回転するとき、第１平歯車部３２も回転する。第１平歯車部３２は、第２副軸ギア５０に設けられている第２平歯車部５１とかみ合っており、このため、第２中間ギア３０が回転するとき、第２副軸ギア５０も回転する。

　第２平歯車部５１の歯数は例えば４０であり、第１平歯車部３２の歯数は例えば２４である。つまり、第１平歯車部３２と第２平歯車部５１とは、減速比が４０／２４＝５／３の第４変速機構を構成する（図４参照）。第１平歯車部３２が５回転するとき第２平歯車部５１は３回転する。第２平歯車部５１が形成された第２副軸ギア５０は、後述するようにマグネットＭｒと一体となって回転するようになっており、このため、第１中間ギア２０を構成する第３ウォームギア部２８が５回転するとき、マグネットＭｒは１回転する。以上より、主軸１ａが１０００回転すると、第１中間ギア２０が５０回転し、第２中間ギア３０が５／３回転し、第２副軸ギア５０及びマグネットＭｒが１回転する。つまり、角度センサＳｒの第２副軸ギア５０の回転角度に関する検知情報により、主軸１ａの１０００回転分の回転数を特定することができる。

　以下、アブソリュートエンコーダ２の構成についてより具体的に説明する。

　上述のように（図１～５参照）、アブソリュートエンコーダ２は、ギアベース部３と、ケース４と、角度センサ支持基板５と、コネクタ６とを含んでいる。また、アブソリュートエンコーダ２は、主軸ギア１０と、第１中間ギア２０と、第２中間ギア３０と、第１副軸ギア４０と、第２副軸ギア５０とを含んでいる。また、アブソリュートエンコーダ２は、マグネットＭｐ，Ｍｑ，Ｍｒ及び角度センサＳｐ，Ｓｑ，Ｓｒを含んでおり、また、アブソリュートエンコーダ２の駆動部や検出部等を制御するためのマイコン１２１を含んでいる。

　ここで、図６に示すように、ギアベース部３は、軸線方向（Ｚ軸方向）において角度センサＳｐ、Ｓｑ，Ｓｒと主軸１ａを回転させる駆動源であるモータ１との間に設けられている板状部材である。ギアベース部３は、主軸ギア１０や第１中間ギア２０、第１副軸ギア４０等のアブソリュートエンコーダ２が備える各回転体を回転可能に保持している。また、ギアベース部３は、角度センサ支持基板５等のアブソリュートエンコーダ２が備える各部材をモータ１に固定する基台である。

　図１０は、アブソリュートエンコーダ２の構成において、磁束遮へい部材としてのギアベース部３の斜視図である。図１０に示すように、ギアベース部３は、複数（例えば４個）の支柱３ａと、基部３ｂと、機械加工部としての支柱支持孔３ｃ、ネジ孔３ｄ、切欠部３ｅ、主軸挿通孔３ｆ、及び、第１中間ギア軸支部３ｇとを備えている。

　ギアベース部３は、モータ１などアブソリュートエンコーダ２の外部から磁束に対して磁気シールドを行う磁束遮へい部材として機能するために、磁性体により形成されている。具体的には、ギアベース部３は、フェライト系ステンレス鋼（例えば、ＳＵＳ４３０）の板状部材である基部３ｂに、支柱支持孔３ｃ、ネジ孔３ｄ、切欠部３ｅ、主軸挿通孔３ｆ、及び、第１中間ギア軸支部３ｇといった機械加工部が、削孔、曲げ加工などの各種機械加工により形成されている。ギアベース部３は、このような機械加工により基部３ｂに機械加工部が形成された後に、焼鈍処理が施されている。ギアベース部３の製造方法については後述する。

　ギアベース部３の基部３ｂは、アブソリュートエンコーダ２のモータ１側に面する板状の部分であり、角度センサＳｐ，Ｓｑ，Ｓｒの周囲の少なくとも一部を囲うことができるように、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に延在する。ギアベース部３の基部３ｂには、中空角筒状のケース４が、複数（例えば２個）のネジ８ｅによって固定される。

　ギアベース部３に配設される支柱３ａは、基部３ｂから軸方向でモータ１から遠ざかる方向に突出する略円柱状の部分であり、マグネットＭｐ，Ｍｑ，Ｍｒから主軸１ａの軸線方向において離間した位置で角度センサ支持基板５を支持する。支柱３ａは、例えば、アルミニウム合金（例えば、Ａ５０５２）のような非磁性体により形成されている。なお、支柱３ａの材料には、その他のアルミニウム合金、真鍮などの銅系の合金、オーステナイト系ステンレス合金など、各種非磁性体を用いることができる。

　支柱３ａの突出端には、角度センサ支持基板５が、基板取付ネジ８ａを用いて固定される。図２では、角度センサ支持基板５がエンコーダ内部を覆うように設けられている様子が示されている。角度センサ支持基板５は、平面視で略矩形状を有し、軸方向に薄い板状のプリント配線基板である。角度センサ支持基板５には、主に角度センサＳｐ，Ｓｑ，Ｓｒ及びマイコン１２１や各種コイルが実装されている。

　支柱支持孔３ｃは、ギアベース部３の基部３ｂに支柱３ａを支持する際に、基板取付ネジ８ａを挿通するために設けられている。ネジ孔３ｄは、ギアベース部３をモータ１に固定するためのギアベース部固定ネジ８ｃを挿通するために設けられている。切欠部３ｅは、ケース４及びシールドプレート７をモータ１に固定するためのネジ８ｅを通すために設けられている切り欠きである。主軸挿通孔３ｆは、モータ１の主軸１ａをアブソリュートエンコーダ２側に挿通させるための孔である。第１中間ギア軸支部３ｇは、第１中間ギア２０の中心軸を軸支するために設けられている。

　第１中間ギア軸支部３ｇは、ギアベース部３の基部３ｂの一部を切り起こすことにより、基部３ｂからＺ軸正方向に突き出る突形状の部材であり、第１中間ギア２０の軸２３が挿通する孔が形成されている。このように構成されることによって、第１中間ギア２０は回転軸線において回転可能に支持される。

　次に、磁束遮へい部材としてのギアベース部３の製造方法について説明する。

　ギアベース部３は、以下の工程により製造される。すなわち、ギアベース部３は、フェライト系ステンレス鋼の板状部材に機械加工を施す機械加工工程と、機械加工が施された板状部材を真空または水素雰囲気中で焼鈍温度８００～９００℃にて焼鈍する焼鈍工程とにより製造される。

　具体的には、ＳＵＳ４３０などのフェライト系ステンレス鋼の磁性体板状部材に対して機械加工部を形成する機械加工工程を実行する。機械加工工程では、上記磁性体板状部材からギアベース部３における基部３ｂの外形形状、支柱支持孔３ｃ、ネジ孔３ｄ、切欠部３ｅ、主軸挿通孔３ｆ、及び、第１中間ギア軸支部３ｇといった機械加工部が、打ち抜き加工及び、曲げ加工（本実施の形態における機械加工）により形成される。この機械加工工程により、図１０に示したギアベース部３の概略構成が形成される。

　機械加工工程を実行後、上記磁性体板状部材に対して真空または水素雰囲気中で焼鈍温度８００～９００℃にて所定時間（例えば、数時間）焼鈍する焼鈍工程を実行する。焼鈍工程を実行した後、カシメ加工することにより、支柱３ａが傾くことなく上記磁性体板状部材からギアベース部３が形成することができる。

　次いで、アブソリュートエンコーダ２の作用について説明する。

　まず、例えば、アブソリュートエンコーダ２に隣接して配置されているモータ１で発生した磁束の一部が、アブソリュートエンコーダ２のマグネットＭｐ，Ｍｑ，Ｍｒを検出する角度センサＳｐ，Ｓｑ，Ｓｒに影響を与える、いわゆる磁気干渉について述べる。

　アブソリュートエンコーダ２は、全長（Ｚ軸方向の寸法）を短くするためにモータ１の出力軸である主軸１ａの反対側に取り付けられる。このため、アブソリュートエンコーダ２において、モータ１と角度センサＳｐ，Ｓｑ，Ｓｒとの距離が近くなるため、角度センサＳｐ，Ｓｑ，Ｓｒは漏れ磁束の影響を受けやすくなる。また、モータ１の小型化に伴って、角度センサＳｐ，Ｓｑ，Ｓｒとモータ１の永久磁石との距離が近くなる。このため、角度センサＳｐ，Ｓｑ，Ｓｒは、磁界検出対象のマグネットＭｐ，Ｍｑ，Ｍｒ以外の永久磁石から発せられる磁束の影響を受けやすくなる。

　このため、角度センサＳｐ，Ｓｑ，Ｓｒにおいては、磁気干渉が発生した場合に、正確な波形を検出することができない場合がある。

　アブソリュートエンコーダ２は、モータ１との接合面に、焼鈍処理が施されている磁性体により形成されている磁束遮へい部材としてのギアベース部３を備えている。

　アブソリュートエンコーダ２は、ギアベース部３が磁性体により形成されていることで、モータ１の回転に伴って生じる漏れ磁束や、他の永久磁石の磁界等の外部磁界の磁束がギアベース部３に流れるため、ギアベース部３よりもＺ軸方向上側、すなわちアブソリュートエンコーダ２のケース４内部に設けられている角度センサＳｐ，Ｓｑ，Ｓｒに向かうことを防ぐことができる。

　具体的に、ギアベース部３は、上述したように機械加工部が形成されたフェライト系ステンレス鋼であるＳＵＳ４３０の磁性体板状部材に対して焼鈍処理が施されている。ここで、ＳＵＳ４３０は、表面処理が不要で耐食性に優れ、アブソリュートエンコーダ２の歯車などを保持する部材としての必要な強度を有しているものの、透磁率がパーマロイや純鉄と比べると低い。また、磁性体板状部材は、所定の形状に機械加工することにより、機械加工部に加工硬化や、内部にひずみが生じる。このため、ギアベース部３に用いられる磁性体は、機械加工を行うことにより、透磁率にばらつきが生じるため、磁束の軽減にもばらつきが生じていた。

　そこで、アブソリュートエンコーダ２では、磁性体により形成されているギアベース部３が焼鈍処理を施されていることにより、焼鈍処理を施さない場合に比べて透磁率のばらつきや、磁束の軽減のばらつきが低減されるため、角度センサＳｐ，Ｓｑ，Ｓｒが外部から届く磁束の影響を抑制することができる。

　アブソリュートエンコーダ２では、磁性体により形成されているギアベース部３に焼鈍処理が施されていることにより、純鉄やパーマロイよりも低い透磁率を高めることができる。

　表１は、焼鈍処理の有無によるギアベース部３の磁束の遮へい特性を示すための表である。表１は、モータ１の温度が５５度から５８度であるときに、ギアベース部３の外部からの磁束の磁束密度を０、０．７、２．０［ｍＴ］と変化させていった場合に、ギアベース部３に施されている焼鈍処理の有無による、ギアベース部３の内側において測定された磁束密度の相違を示している。表１において、Ｎ１～Ｎ３は、ギアベース部３のサンプルを特定する番号を示している。また、表１において、透過する磁束密度の値の正負は、磁束の向きを示している。

　表１によれば、焼鈍処理を行うことにより、ギアベース部３は、透過する磁束密度を低減することができる。また、表１によれば、焼鈍処理を行うことにより、ギアベース部３は、アブソリュートエンコーダ２の外部からの磁束密度の値が大きくなった場合の変化量、すなわち、外部からの磁束の磁束密度が大きくなるほど磁束の上昇を抑えることができる。また、焼鈍処理を行うことにより、ギアベース部３は、磁性体板状部材の個体の相違による透過した磁束の分散、あるいは標準偏差が抑制されることから、ギアベース部３の個体差による磁束の遮へい効果を高めることができる。

　以上説明したように、アブソリュートエンコーダ２によれば、角度検出用永久磁石からの磁束を検出する磁気センサに対して、本来検出すべきでないモータ１内部の永久磁石からの漏れ磁束による影響を低減することができる。

　また、アブソリュートエンコーダ２は、非磁性体により形成されていて、マグネットＭｐの径方向における外周面を保持するホルダ部１６を備える。軟磁性体によりホルダ部１６を形成した場合には、磁場を受けた際にヒステリシスの影響により磁化の影響が残ってしまう。つまり、軟磁性体によりホルダ部１６を形成した場合には、ホルダ部１６が角度センサＳｑ，Ｓｒに近接しているとその残留磁束の影響を与えてしまう。また、軟磁性体によりホルダ部１６を形成した場合には、ホルダ部１６が外部磁場を受けた際に外部磁場による磁束がその部材に向かって引っ張られてしまう。以上のように、非磁性体により形成されているホルダ部１６を備えることにより、アブソリュートエンコーダ２は、角度センサＳｑ，Ｓｒ近傍の磁場の乱れを防ぐことができる。

　さらに、アブソリュートエンコーダ２は、マグネットＭｐ及びマグネットＭｑから主軸の軸線ｘ方向において離間した位置で角度センサＳｐ，Ｓｑを支持する角度センサ支持基板５を支持する支柱３ａが、非磁性体により形成されている。上述のホルダ部１６と同様に、支柱３ａが軟磁性体により形成した場合にも、磁場を受けた際にヒステリシスの影響により磁化の影響が残ってしまう。支柱３ａが角度センサＳｑ，Ｓｒに近接しているとその残留磁束の影響を与えてしまう。また、軟磁性体により支柱３ａを形成した場合には、外部磁場を受けた際に外部磁場による磁束がその部材に向かって引っ張られてしまう。非磁性体により支柱３ａを形成することにより、アブソリュートエンコーダ２は、角度センサＳｑ，Ｓｒ近傍の磁場の乱れを防ぐことができる。

つまり、非磁性体によりホルダ部１６と支柱３ａとを形成することにより、アブソリュートエンコーダ２は、角度センサＳｑ，Ｓｒの近傍に磁性体を配置されなくなり、焼鈍処理されたギアベース部３に磁束を一様に吸収させることができる。

　以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は上記本発明の実施の形態に係るアブソリュートエンコーダ２に限定されるものではなく、本発明の概念及び請求の範囲に含まれるあらゆる態様を含む。また、上述した課題及び効果の少なくとも一部を奏するように、各構成を適宜選択的に組み合わせてもよく、公知の技術と組み合わせてもよい。例えば、上記実施の形態における、各構成要素の形状、材料、配置、サイズ等は、本発明の具体的使用態様によって適宜変更され得る。

１…モータ、１ａ…主軸、１ｂ…圧入部、２…アブソリュートエンコーダ、３…ギアベース部、３ａ…支柱、３ｂ…基部、３ｃ…支柱支持孔、３ｄ…ネジ孔、３ｅ…切欠部、３ｆ…主軸挿通孔、３ｇ…第１中間ギア軸支部、４…ケース、４ａ…外壁部、５…角度センサ支持基板、５ａ…下面、６…コネクタ、７…シールドプレート、８ａ…基板取付ネジ、８ｃ…ギアベース部固定ネジ、８ｅ…ネジ、１０…主軸ギア、１１…第１ウォームギア部、１６…ホルダ部、１７…マグネット支持部、２０…第１中間ギア、２１…第１ウォームホイール部、２２…第２ウォームギア部、２３…軸、２８…第３ウォームギア部、３０…第２中間ギア、３１…第３ウォームホイール部、３２…第１平歯車部、３５…マグネットホルダ、４０…第１副軸ギア、４１…第２ウォームホイール部、５０…第２副軸ギア、５１…第２平歯車部、１２１…マイコン、１２１ｂ…テーブル処理部、１２１ｃ…回転量特定部、１２１ｅ…出力部、１２１ｐ…回転角取得部、１２１ｑ…回転角取得部、１２１ｒ…回転角取得部、Ｍｐ，Ｍｑ，Ｍｒ…マグネット、Ｓｐ，Ｓｑ，Ｓｒ…角度センサ

Claims

　主軸の回転に従って回転する第１駆動歯車と、
　前記第１駆動歯車の先端部側に設けられる第１永久磁石と、
　前記第１永久磁石から発生する磁束の変化に対応する前記第１駆動歯車の回転角度を検出する第１角度センサと、
　中心軸が前記第１駆動歯車の中心軸と直交し、前記第１駆動歯車に噛み合う第１従動歯車と、
　前記第１従動歯車と同軸上に設けられ、前記第１従動歯車の回転に従って回転する第２駆動歯車と、
　中心軸が前記第１従動歯車の中心軸と直交し、前記第２駆動歯車に噛み合う第２従動歯車と、
　前記第２従動歯車の先端側に設けられる第２永久磁石と、
　前記第２永久磁石から発生する磁束の変化に対応する前記第２従動歯車の回転角度を検出する第２角度センサと、
　前記第１角度センサ及び前記第２角度センサの周囲の少なくとも一部を囲う磁束遮へい部材と、
　を備え、
　前記磁束遮へい部材は、焼鈍処理が施された磁性体により構成されている、
　アブソリュートエンコーダ。
　前記磁束遮へい部材は、前記第１角度センサと前記主軸を回転させる駆動源との間、または前記第２角度センサと前記駆動源との間に設けられている板状部材である、
　請求項１に記載のアブソリュートエンコーダ。
　非磁性体により形成されていて、前記第１永久磁石の径方向における外周面を保持するホルダ部、
　を備える、
　請求項１または２に記載のアブソリュートエンコーダ。
　前記第１永久磁石及び前記第２永久磁石から前記主軸の軸線方向において離間した位置で前記第１角度センサ及び前記第２角度センサを支持する角度センサ支持基板と、
　非磁性体により形成されていて、前記角度センサ支持基板を支持する支柱と、
　を備える、
　請求項１から３のいずれか１項に記載のアブソリュートエンコーダ。