WO2021131503A1 - 反射鏡および反射鏡の製造方法 - Google Patents

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WO2021131503A1
WO2021131503A1 PCT/JP2020/044448 JP2020044448W WO2021131503A1 WO 2021131503 A1 WO2021131503 A1 WO 2021131503A1 JP 2020044448 W JP2020044448 W JP 2020044448W WO 2021131503 A1 WO2021131503 A1 WO 2021131503A1
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vapor deposition
end surface
reflective film
protruding portion
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PCT/JP2020/044448
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English (en)
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康弘 亀岡
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株式会社小糸製作所
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
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    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/01—Head-up displays
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    • G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
    • G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
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    • G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
    • G02B7/198—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors with means for adjusting the mirror relative to its support

Definitions

  • This disclosure relates to a reflector and a method for manufacturing the reflector.
  • Patent Document 1 and Patent Document 2 disclose a concave mirror used for a head-up display.
  • the concave mirror has a reflective film on the surface of the substrate. Further, the concave mirror has rotation shaft portions on the left and right end faces of the substrate. The concave mirror rotates as the rotation shaft rotates.
  • a reflective film is formed on the surface of the substrate by a vapor deposition process.
  • the thin-film deposition process is performed in a state where a plurality of substrates are arranged and fixed in the vertical direction on a thin-film deposition jig. Since the rotating shaft portion has a thin cylindrical shape, it is difficult for a person or a robot to grip the rotating shaft portion. Therefore, the upper and lower end surfaces of the substrate are gripped by a human hand and positioned at a predetermined position of the vapor deposition jig. As a result, the plurality of substrates are arranged in the vertical direction with at least a space for human hands in the vertical direction. Then, the substrate is fixed to the vapor deposition jig by sandwiching the rotating shaft portion between the clip jigs provided on the vapor deposition jig.
  • the thin-film deposition process is performed in a state where a large number of substrates are set on a thin-film deposition jig arranged in the thin-film deposition chamber and the inside of the thin-film deposition chamber is in a vacuum state.
  • the purpose of this disclosure is to improve the productivity of reflectors.
  • the reflector according to one aspect of the present disclosure is A plate having a first surface, a first end surface narrower than the first surface, and a second end surface narrower than the first surface and located on the opposite side of the first surface to the first surface.
  • Board and A reflective film formed on the surface of the first surface for reflecting light, and A plate-shaped first protruding portion formed so as to protrude from the first end surface, A plate-shaped second protruding portion formed so as to protrude from the second end surface,
  • the substrate includes the reflective film, the first protrusion, and at least one attachment portion formed so as to project from a region where the second protrusion is not formed.
  • the substrate can be held by the vapor deposition jig while the first protruding portion and the second protruding portion are gripped by a person or a robot.
  • the distance between adjacent substrates can be reduced as compared with the case where the upper and lower end surfaces of the substrates are gripped. Therefore, more substrates can be held in the vapor deposition jig.
  • the process of forming the reflective film can be automated. As a result, the production rate of the reflector can be improved.
  • the method for manufacturing a reflector is as follows.
  • a plate having a first surface, a first end surface narrower than the first surface, and a second end surface narrower than the first surface and located on the opposite side of the first surface to the first surface.
  • a base body including the first protruding portion and at least one mounting portion protruding from the region where the second protruding portion is not formed is prepared.
  • the base body With a part of the first protrusion and a part of the second protrusion inserted into the vapor deposition jig extending in the vertical direction, the base body is slid downward along the vapor deposition jig. And hold it in the vapor deposition jig. After the base body is held by the vapor deposition jig, a reflective film for reflecting light is vapor-deposited on the surface of the first surface to form the base body.
  • the base body can be slid onto the vapor deposition jig while the first protruding portion and the second protruding portion exposed from the vapor deposition jig are gripped by a person or a robot.
  • the distance between adjacent substrates held by the vapor deposition jig can be reduced as compared with the case where the upper and lower end surfaces of the substrate are gripped. Therefore, more substrates can be held in the vapor deposition jig.
  • the step of holding the base body on the vapor deposition jig can be automated. As a result, the production rate of the reflector can be improved.
  • the reflector according to one aspect of the present disclosure is With a plate-shaped substrate A reflective film formed on the surface of the substrate and configured to reflect light, A plate-shaped frame portion formed so as to surround the periphery of the substrate, and To be equipped.
  • the frame portion is formed so as to surround the periphery of the substrate.
  • the opening of the vapor deposition chamber can be closed by the substrate and the frame portion.
  • a closed space can be formed by the substrate, the frame portion and the vapor deposition chamber.
  • This enclosed space is smaller than the enclosed space formed by a large vapor deposition chamber that simultaneously forms reflective films on a large number of substrates. Therefore, it is possible to shorten the time required for evacuation to create a vacuum state in the closed space.
  • the reflective film can be formed in parallel with the molding of the substrates.
  • the time required to form the reflective film on the same number of substrates is shortened as compared with the case of using a large vapor deposition chamber for forming the reflective film after a large number of substrates are molded and set in the vapor deposition jig. can do.
  • the production rate of the reflector can be improved.
  • the method for manufacturing a reflector is as follows.
  • a base body including a plate-shaped substrate and a frame portion formed so as to surround the periphery of the substrate is prepared.
  • By attaching the frame portion to the opening edge of the vapor deposition chamber and closing the opening of the vapor deposition chamber with the base body a closed space is formed by the base body and the vapor deposition chamber.
  • the sealed space is evacuated to a vacuum state.
  • a reflective film for reflecting light is vapor-deposited on the surface of the substrate.
  • a closed space can be formed by the base body and the vapor deposition chamber.
  • This enclosed space is smaller than the enclosed space formed by a large vapor deposition chamber that simultaneously forms reflective films on a large number of substrates. Therefore, it is possible to shorten the time required for evacuation to create a vacuum state in the closed space. Further, since the substrates are set one by one in the vapor deposition chamber to form the reflective film, the reflective film can be formed in parallel with the molding of the substrates.
  • the time required to form the reflective film on the same number of substrates is shortened as compared with the case of using a large vapor deposition chamber for forming the reflective film after a large number of substrates are molded and set in the vapor deposition jig. can do.
  • the production rate of the reflector can be improved.
  • the productivity of the reflector can be improved.
  • FIG. 1 It is a perspective view which illustrates the structure of the concave mirror which concerns on 1st Embodiment. It is a front view which illustrates the concave mirror of FIG. It is a schematic diagram which illustrates the head-up display which mounts the concave mirror of FIG. It is a schematic diagram which illustrates the process of holding a base body of the concave mirror of FIG. 1 in a thin-film deposition jig. It is a perspective view which illustrates the structure of the concave mirror which concerns on 2nd Embodiment. It is sectional drawing seen from the arrow along the line VI-VI in FIG. It is a schematic diagram which illustrates the head-up display which mounts the concave mirror of FIG.
  • FIG. 3 is a schematic view of the head-up display 20 on which the concave mirror 1 is mounted, as viewed from the side surface side of the vehicle.
  • the concave mirror 1 is an example of a reflecting mirror.
  • the concave mirror 1 is shown in a simplified manner.
  • the concave mirror 1 is used, for example, in a head-up display 20 provided in a vehicle.
  • the head-up display 20 is configured to display a predetermined image toward the occupants of the vehicle.
  • the head-up display 20 includes an image generation unit 21 and a concave mirror 1.
  • the image generation unit 21 emits light for generating a predetermined image.
  • the concave mirror 1 reflects the light emitted by the image generation unit 21 so that the light emitted by the image generation unit 21 is irradiated to the windshield 30. A part of the light emitted to the windshield 30 is reflected toward the occupant's viewpoint E.
  • the occupant recognizes the light emitted from the head-up display 20 as a virtual image formed at a predetermined distance in front of the windshield 30.
  • the occupant can visually recognize the virtual image object I formed by the predetermined image as if it were floating on the road located outside the vehicle.
  • the concave mirror 1 has a substrate 11, a reflective film 12, a first protruding portion 13, a second protruding portion 14, and at least one mounting portion 15.
  • the substrate 11 is formed in a plate shape.
  • the substrate 11 is formed of, for example, a resin such as polycarbonate.
  • the substrate 11 has a first surface 111 on which the reflective film 12 is formed and a second surface 112 on the opposite side of the first surface 111.
  • the substrate 11 further has a right end surface 113, a left end surface 114, an upper end surface 115, and a lower end surface 116 between the first surface 111 and the second surface 112. These end faces 113, 114, 115, 116 are formed so that the area thereof is smaller than the area of the first face 111.
  • the right end surface 113 is an example of the first end surface.
  • the left end surface 114 is an example of the second end surface.
  • the first surface 111 is formed so as to have a concave curved surface.
  • the entire substrate 11 is curved.
  • the concave mirror 1 may have at least the first surface 111 having a concave curved surface, and for example, the second surface 112 may be formed in a planar shape.
  • the reflective film 12 is formed on the surface of the first surface 111 of the substrate 11.
  • the reflective film 12 is made of a material that reflects light.
  • the reflective film 12 is formed by, for example, depositing a metal such as aluminum on the surface of the first surface 111 of the substrate 11.
  • the first protruding portion 13 is formed in a plate shape.
  • the first protruding portion 13 is formed so as to protrude from the right end surface 113 of the substrate 11.
  • the second protruding portion 14 is formed in a plate shape.
  • the second protruding portion 14 is formed so as to protrude from the left end surface 114 of the substrate 11.
  • the first protruding portion 13 and the second protruding portion 14 have the same shape and are provided so as to be symmetrical with respect to the substrate 11.
  • the first protruding portion 13 and the second protruding portion 14 are formed of, for example, a resin such as polycarbonate.
  • the first protruding portion 13 and the second protruding portion 14 have, for example, a length L1 in the left-right direction of the substrate 11 of 450 mm, a length L2 in the vertical direction of 100 mm, and a thickness T of 5 mm in the left-right direction.
  • L3 and L4 are formed so as to be in the range of 3 mm to 5 mm.
  • the mounting portion 15 is used for mounting the concave mirror 1 to an external device.
  • the mounting portion 15 is formed so as to project from a region of the substrate 11 where the reflective film 12, the first protruding portion 13, and the second protruding portion 14 are not formed.
  • the mounting portion 15 is formed of, for example, a resin such as polycarbonate.
  • the mounting portion 15 has a first shaft portion 151 and a second shaft portion 152.
  • the first shaft portion 151 is formed so as to project from a region where the first protruding portion 13 of the right end surface 113 of the substrate 11 is not formed.
  • the first shaft portion 151 is formed in a substantially cylindrical shape.
  • the second shaft portion 152 is formed so as to project from the region where the second protruding portion 14 of the left end surface 114 of the substrate 11 is not formed.
  • the second shaft portion 152 is formed in a substantially cylindrical shape.
  • the concave mirror 1 is rotatably attached to the housing of the head-up display by, for example, the first shaft portion 151 and the second shaft portion 152, as illustrated in FIG.
  • the base body 10 is prepared as illustrated in FIG.
  • the base body 10 has a substrate 11, a first protruding portion 13, a second protruding portion 14, and a mounting portion 15.
  • a base body 10 in which the substrate 11, the first protruding portion 13, the second protruding portion 14, and the mounting portion 15 are integrally molded is formed.
  • the base body 10 is held by the vapor deposition jig 40.
  • the vapor deposition jig 40 is configured to hold a plurality of base bodies 10 in a state of being arranged in the vertical direction.
  • the vapor deposition jig 40 has a plurality of holding portions 401 extending in the vertical direction.
  • the adjacent holding portions 401 are arranged at intervals wider than the width in the left-right direction of the substrate 11 of the base body 10 to hold a part of the first protruding portion 13 or the second protruding portion 14.
  • the base body 10 is carried to the vapor deposition jig 40 by the arm 50 of the robot.
  • the arm 50 grips the first protruding portion 13 and the second protruding portion 14 of the base body 10 so as to sandwich them from the vertical direction.
  • the arm 50 grips the first protruding portion 13 and the second protruding portion 14 so as to come into contact with the upper and lower end surfaces 131, 132, 141, 142 of the first protruding portion 13 and the second protruding portion 14, respectively. Then it is good.
  • the base body 10 is inserted into the vapor deposition jig 40 from above.
  • the base body 10 is slid downward along the holding portion 401 in a state where the tip portion of the first protruding portion 13 and the tip portion of the second protruding portion 14 are inserted into the holding portion 401, and the holding portion It is held in place at 401.
  • the reflective film 12 is formed by depositing aluminum or the like on the surface of the first surface 111 of the base body 10.
  • the thin-film deposition process is performed on all the held base bodies 10 at once after holding a large number of base bodies 10 on the thin-film deposition jig 40.
  • the base body 10 may be gripped by a person instead of the robot arm 50. In this case as well, the base body 10 is inserted and slid into the vapor deposition jig 40 in a state where the first protruding portion 13 and the second protruding portion 14 are gripped by a person.
  • the mounting portion 15 is inserted into the holding portion 401 together with the first protruding portion 13 and the second protruding portion 14 and slid.
  • the thin-film deposition jig 40 may be configured such that the mounting portion 15 is arranged outside the holding portion 401 according to the position provided on the substrate 11 of the mounting portion 15.
  • the substrate 11 can be held by the vapor deposition jig 40 while the first protruding portion 13 and the second protruding portion 14 are gripped by a person or a robot. That is, the base body 10 can be slid onto the vapor deposition jig 40 while the portions exposed from the vapor deposition jig 40 of the first protrusion 13 and the second protrusion 14 are gripped by a person or a robot.
  • the distance between the adjacent substrates 11 held by the vapor deposition jig 40 can be reduced as compared with the case where the upper and lower end surfaces 115 and 116 of the substrate 11 are gripped. Therefore, more substrates 11 can be held on the vapor deposition jig 40. Further, since the first protruding portion 13 and the second protruding portion 14 can be gripped by the robot, the step of forming the reflective film 12 can be automated. As a result, the production rate of the concave mirror can be improved.
  • first shaft portion 151 is formed so as to protrude from the region where the first protruding portion 13 of the right end surface 113 of the substrate 11 is not formed.
  • the second shaft portion 152 is formed so as to project from the region where the second protruding portion 14 of the left end surface 114 of the substrate 11 is not formed. That is, the first protruding portion 13 and the second protruding portion 14 are provided at different positions from the first shaft portion 151 and the second shaft portion 152. Therefore, as compared with the case where the protruding portion and the shaft portion are integrally formed, the first protruding portion 13 and the second protruding portion 14 can be provided regardless of the positions of the first shaft portion 151 and the second shaft portion 152. it can.
  • first protruding portion 13 may be formed so that the portion of the upper and lower end surfaces 131 and 132 that is gripped by the robot or a person corresponds to the shape of the robot arm 50 or the human hand.
  • second protrusion 14 may be formed so that the portion of the upper and lower end surfaces 141 and 142 that is gripped by the robot or a person corresponds to the shape of the robot arm 50 or the human hand. In this case, the first protrusion 13 and the second protrusion 14 can be more reliably gripped by a robot or a person.
  • the first protruding portion 13 has a length L5 in the vertical direction that is at least longer than the length L2 in the vertical direction of the right end surface 113 of the substrate 11, and is the length of the robot arm 50 or the human hand that grips the first protruding portion 13. It may be formed so as to be shorter.
  • the second protrusion 14 has a robot arm 50 or a human hand whose vertical length L6 grips at least the second protrusion 14 more than the vertical length L2 of the left end surface 114 of the substrate 11. It may be formed so as to be shortened by the length of.
  • the adjacent base bodies 10 can be arranged in the vertical direction without any gap. As a result, more base bodies 10 can be held in the vapor deposition jig 40.
  • the above embodiment is merely an example for facilitating the understanding of the present disclosure.
  • the configuration according to the above embodiment may be appropriately changed or improved without departing from the gist of the present disclosure.
  • the concave mirror 1 used for the head-up display 20 is mentioned, but the present invention is not limited to this.
  • the reflector may be a plane mirror used for the head-up display 20, a reflector used for a vehicle lamp, or the like.
  • the plane mirror may be a cold mirror that reflects visible light and transmits infrared rays.
  • the substrate of the base body 10 is a glass substrate or a resin substrate
  • the reflective film 12 is a multilayer interference film having different film layers formed on the surface of the glass substrate or the resin substrate.
  • the mounting portion 15 has a first shaft portion 151 and a second shaft portion 152, but is not limited thereto.
  • the shape and position of the mounting portion 15 with respect to the substrate 11 can be changed according to the structure of the external device to which the reflecting mirror is mounted.
  • the attachment portion 15 may be provided on either the right end surface 113 or the left end surface 114.
  • the mounting portion 15 may be provided on the upper end surface 115, the lower end surface 116 or the second surface 112 instead of the right end surface 113 and the left end surface 114.
  • FIG. 7 is a schematic view of the head-up display 70 on which the concave mirror 60 is mounted, as viewed from the side surface side of the vehicle.
  • the concave mirror 60 is an example of a reflecting mirror. In FIG. 7, the concave mirror 60 is shown in a simplified manner.
  • the concave mirror 60 is used, for example, in a head-up display 70 provided in a vehicle.
  • the head-up display 70 is configured to display a predetermined image toward the occupants of the vehicle.
  • the head-up display 70 includes an image generation unit 71 and a concave mirror 60.
  • the image generation unit 71 emits light for generating a predetermined image.
  • the concave mirror 60 reflects the light emitted by the image generation unit 71 so that the light emitted by the image generation unit 71 is irradiated to the windshield 80. A part of the light emitted to the windshield 80 is reflected toward the occupant's viewpoint E.
  • the occupant recognizes the light emitted from the head-up display 70 as a virtual image formed at a predetermined distance in front of the windshield 80.
  • the occupant can visually recognize the virtual image object I formed by the predetermined image as if it were floating on the road located outside the vehicle.
  • the concave mirror 60 has a substrate 61, a reflective film 62, and a frame portion 63, as illustrated in FIGS. 5 and 6.
  • the substrate 61 is formed in a plate shape.
  • the substrate 61 is formed of, for example, a resin such as polycarbonate.
  • the substrate 61 has a surface 611 on which the reflective film 62 is formed.
  • the surface 611 is formed so as to have a concave curved surface. In this example, the entire substrate 61 is curved.
  • the concave mirror 60 may have at least a concave curved surface on the front surface 611, and for example, the back surface opposite to the front surface 611 may be formed flat.
  • the reflective film 62 is formed on the surface 611 of the substrate 61.
  • the reflective film 62 is made of a material that reflects light.
  • the reflective film 62 is formed by, for example, depositing a metal such as aluminum on the surface 611 of the substrate 61.
  • the frame portion 63 is formed in a plate shape.
  • the frame portion 63 is formed so as to surround the periphery of the substrate 61.
  • the frame portion 63 is formed of, for example, a resin such as polycarbonate.
  • the frame portion 63 is integrally molded with the substrate 61 so as to protrude from the end surface of the substrate 61.
  • the frame portion 63 has a first portion 631 and a second portion 632.
  • the first portion 631 is formed so as to project from the end surface of the substrate 61 toward the surface 611 side (left in FIG. 6) of the substrate 61 with respect to the reflective film 62.
  • the second portion 632 is formed so as to extend outward from the first portion 631 to the substrate 61.
  • the second portion 632 extends along a plane orthogonal to the direction in which the first portion 631 protrudes.
  • the base body 160 is prepared as illustrated in FIG. 8A.
  • the base body 160 has a substrate 61 and a frame portion 63.
  • a base body 160 in which the substrate 61 and the frame portion 63 are integrally molded is formed.
  • the base body 160 is set in the vapor deposition chamber 90.
  • the vapor deposition chamber 90 has a box shape with an opening 901 at the top, as illustrated in FIG. 8A.
  • the opening 901 is formed so as to be larger than the size of the substrate 61 of the base body 160 and smaller than the size of the frame portion 63 of the base body 160.
  • a thin-film deposition source 91 is arranged on the bottom surface 902 of the thin-film deposition chamber 90.
  • the frame portion 63 abuts on the opening edge 903 of the vapor deposition chamber 90 with the surface 611 of the substrate 61 facing the vapor deposition source 91 arranged in the vapor deposition chamber 90. Is attached to the vapor deposition chamber 90. As a result, the opening 901 of the vapor deposition chamber 90 is closed by the base body 160, and a closed space S is formed by the base body 160 and the vapor deposition chamber 90.
  • the closed space S formed by the base body 160 and the vapor deposition chamber 90 is evacuated to a vacuum state.
  • a vacuum pump (not shown) connected to the vapor deposition chamber 90 is used to reduce the pressure in the enclosed space S.
  • the reflective film 62 is formed on the surface 611 of the base body 160 by vapor deposition.
  • aluminum which is a vapor deposition source 91, is vaporized by heating and adheres to the surface 611 of the substrate 61.
  • the frame portion 63 is formed so as to surround the periphery of the substrate 61.
  • the substrate 61 and the frame portion 63 can close the opening 901 of the vapor deposition chamber 90.
  • a closed space S can be formed by the substrate 61, the frame portion 63, and the vapor deposition chamber 90.
  • This enclosed space S is smaller than the enclosed space formed by a large vapor deposition chamber that simultaneously forms reflective films on a large number of substrates. Therefore, the time required for evacuating the closed space S to be in a vacuum state can be shortened.
  • the reflective film 62 can be formed in parallel with the molding of the substrate 61.
  • the time required to form the reflective film 62 on the same number of substrates 61 as compared with the case of using a large vapor deposition chamber for forming the reflective film after a large number of substrates are molded and set in the vapor deposition jig. Can be shortened. As a result, the production rate of the concave mirror 60 can be improved.
  • the surface 611 on which the reflective film 62 is formed is formed on a concave curved surface.
  • the concave mirror 60 requires more time to form than the plane mirror. Therefore, the time required to form the reflective films 62 on the same number of substrates 61 can be further shortened as compared with the case where a large-sized vapor deposition chamber is used. As a result, the production rate of the concave mirror 60 can be improved.
  • first portion 631 of the frame portion 63 is formed so as to project from the periphery of the substrate 61 toward the surface 611 side of the substrate 61 with respect to the reflective film 62.
  • the second portion 632 extends outward from the first portion 631 to the substrate 61.
  • a closed space can be formed by attaching the second portion 632 to the opening edge 903 of the vapor deposition chamber 90.
  • a mounting portion such as a rotating shaft portion may be provided on the end surface or the back surface side of the substrate 61.
  • the first portion 631 of the frame portion 63 projects from the reflective film 62 toward the surface 611 of the substrate 61, the first portion 631 projects from the end surface of the substrate 61 in parallel with the reflective film 62 or is a substrate rather than the reflective film 62. Compared to the case where the first portion 631 projects to the back surface side, the shape and the place where the first portion 631 is formed are less likely to be restricted by the mounting portion.
  • the above embodiment is merely an example for facilitating the understanding of the present disclosure.
  • the configuration according to the above embodiment may be appropriately changed or improved without departing from the gist of the present disclosure.
  • the concave mirror 60 may be rotatably attached to the head-up display 70.
  • the concave mirror 60 may have two rotating shaft portions formed so as to project outward from two end faces located on opposite sides of the surface 611 of the substrate 61.
  • the rotating shaft portion may be formed on the frame portion 63.
  • the concave mirror 60 used for the head-up display 70 is mentioned, but the present invention is not limited to this.
  • the reflector may be a plane mirror used for the head-up display 70, a reflector used for a vehicle lamp, or the like.
  • the plane mirror may be a cold mirror that reflects visible light and transmits infrared rays.
  • the substrate of the base body 160 is a glass substrate or a resin substrate
  • the reflective film 62 is a multilayer interference film having different film layers formed on the surface of the glass substrate or the resin substrate.
  • the frame portion 63 is formed so as to project from the end face of the substrate 61, but the frame portion 63 is not limited to this.
  • the frame portion 63 may be formed in, for example, when there is a region on the surface 611 of the substrate 61 where the reflective film 62 is not formed.
  • the frame portion 63 has a first portion 631 protruding toward the surface 611 of the substrate 61 and a second portion 632 extending outward, but the frame portion 63 is not limited thereto.
  • the frame portion 63 may have a first portion protruding rearward and a second portion formed so as to extend outward from the first portion of the substrate 61.
  • the frame portion 63 may have only a first portion formed so as to extend outward from the end surface of the substrate 61.
  • the second portion 632 extends along a plane orthogonal to the direction in which the first portion 631 protrudes, but is not limited thereto.
  • the shape is not particularly limited as long as the portion of the second portion 632 in contact with the vapor deposition chamber 90 has a shape corresponding to at least the vapor deposition chamber 90.

Abstract

板状の基板（１１）は、第一面（１１１）と、第一面（１１１）より狭い右端面（１１３）と、第一面（１１１）より狭くかつ第一面（１１１）に対して右端面（（１１１３）とは反対側に位置する左端面（１１４）と、を有する。反射膜（１２）は、第一面（１１１）の表面に形成された、光を反射させる。板状の第一突出部（１３）は、右端面（１１３）から突出するように形成されている。第二突出部（１４）は、左端面（１１４）から突出するように形成されている。少なくとも一つの取付部（１５）は、基板（１１）における、反射膜（１２）、第一突出部（１３）および第二突出部（１４）が形成されていない領域から突出するように形成されている。

Description

反射鏡および反射鏡の製造方法
　本開示は、反射鏡および反射鏡の製造方法に関する。
　特許文献１および特許文献２は、ヘッドアップディスプレイに使用される凹面鏡を開示している。凹面鏡は、基板の表面に反射膜を有する。また、凹面鏡は、基板の左右端面に回転軸部を有する。回転軸部が回転することにより、凹面鏡が回転する。
日本国特開２０１３－１４３２４４号公報 日本国特開２０１８－１０５９６８号公報
　凹面鏡の製造工程では、基板と回転軸部が樹脂により成形された後、蒸着処理により基板の表面に反射膜が形成される。蒸着処理は、蒸着用治具に複数の基板を上下方向に配列させて固定させた状態で行われる。回転軸部は、細い円柱形状であるため、人またはロボットにより把持されることが難しい。このため、基板は、その上下端面が人の手によって把持されて、蒸着用治具の所定の位置に位置付けられる。これにより、複数の基板は、上下方向に少なくとも人の手の分のスペースが空いた状態で上下方向に並べられる。そして、回転軸部を蒸着用治具に設けられたクリップ治具に挟むことにより、基板が蒸着用治具に固定される。
　また、蒸着処理は、蒸着チャンバー内に配置された蒸着治具に多数の基板をセットし、蒸着チャンバー内を真空状態にした状態で、行われる。
　本開示は、反射鏡の生産性を向上させることを目的とする。
　本開示の一側面に係る反射鏡は、
　第一面と、前記第一面より狭い第一端面と、前記第一面より狭くかつ前記第一面に対して前記第一端面とは反対側に位置する第二端面と、を有する板状の基板と、
　前記第一面の表面に形成された、光を反射させるための反射膜と、
　前記第一端面から突出するように形成された板状の第一突出部と、
　前記第二端面から突出するように形成された板状の第二突出部と、
　前記基板における、前記反射膜、前記第一突出部および前記第二突出部が形成されていない領域から突出するように形成された少なくとも一つの取付部と、を備える。
　上記構成によれば、第一突出部および第二突出部は板状であるため、人またはロボットにより把持されやすい。これにより、反射膜を形成する工程において、第一突出部および第二突出部を人またはロボットにより把持しながら、基板を蒸着用治具に保持させることができる。蒸着用治具に複数の基板を上下方向に配列させる場合、基板の上下端面が把持される場合に比べて、隣接する基板間の距離を小さくすることができる。したがって、より多くの基板を蒸着用治具に保持することができる。また、第一突出部および第二突出部はロボットにより把持可能であるため、反射膜を形成する工程を自動化することができる。結果として、反射鏡の生産率を向上させることができる。
　本開示の一側面に係る反射鏡の製造方法は、
　第一面と、前記第一面より狭い第一端面と、前記第一面より狭くかつ前記第一面に対して前記第一端面とは反対側に位置する第二端面と、を有する板状の基板と、前記第一端面から突出するように形成された板状の第一突出部と、前記第二端面から突出するように形成された板状の第二突出部と、前記基板における、前記第一突出部および前記第二突出部が形成されていない領域から突出した少なくとも一つの取付部と、を備えたベース体を用意し、
　上下方向へ延びる蒸着用治具に対して前記第一突出部の一部および前記第二突出部の一部を挿入した状態で、前記ベース体を前記蒸着用治具に沿って下方向へスライドさせて前記蒸着用治具に保持させ、
　前記ベース体を前記蒸着用治具に保持させた後、前記第一面の表面に、光を反射させるための反射膜を蒸着させて形成する。
　上記構成によれば、第一突出部および第二突出部の蒸着用治具から露出した部分を人またはロボットにより把持しながら、ベース体を蒸着用治具にスライドさせることができる。基板の上下端面が把持される場合に比べて、蒸着用治具に保持される隣接する基板間の距離を小さくすることができる。したがって、より多くの基板を蒸着用治具に保持することができる。また、第一突出部および第二突出部はロボットにより把持可能であるため、ベース体を蒸着用治具に保持させる工程を自動化することができる。結果として、反射鏡の生産率を向上させることができる。
　本開示の一側面に係る反射鏡は、
　板状の基板と、
　前記基板の表面に形成されて、光を反射するように構成された反射膜と、
　前記基板の周囲を囲むように形成された板状の枠部と、
　を備える。
　上記構成によれば、枠部は、基板の周囲を囲むように形成されている。反射膜を形成する工程において、枠部を蒸着チャンバーの開口縁に取り付けることにより、基板および枠部により蒸着チャンバーの開口を塞ぐことができる。これにより、基板、枠部および蒸着チャンバーによる密閉空間を形成することができる。この密閉空間は、多数の基板に同時に反射膜を形成する大型の蒸着チャンバーにより形成される密閉空間に比べて小さい。したがって、密閉空間を真空状態とするための真空引きに要する時間を短縮することができる。また、基板を一個ずつ蒸着チャンバーにセットして反射膜を形成するため、基板の成形と並行して反射膜を形成することができる。これにより、多数の基板が成形されて蒸着治具にセットされた後に反射膜を形成する大型の蒸着チャンバーを使用した場合に比べて、同数の基板に反射膜を形成するのに要する時間を短縮することができる。結果として、反射鏡の生産率を向上させることができる。
　本開示の一側面に係る反射鏡の製造方法は、
　板状の基板と前記基板の周囲を囲むように形成された枠部とを備えたベース体を用意し、
　前記枠部を蒸着チャンバーの開口縁に取り付けて前記ベース体により蒸着チャンバーの開口を塞ぐことにより、前記ベース体および蒸着チャンバーによる密閉空間を形成し、
　前記密閉空間を真空引きにより真空状態にし、
　前記基板の表面に、光を反射させるための反射膜を蒸着させて形成する。
　上記構成によれば、枠部を蒸着チャンバーの開口縁に取り付けることにより、ベース体および蒸着チャンバーによる密閉空間を形成することができる。この密閉空間は、多数の基板に同時に反射膜を形成する大型の蒸着チャンバーにより形成される密閉空間に比べて小さい。したがって、密閉空間を真空状態とするための真空引きに要する時間を短縮することができる。また、基板を一個ずつ蒸着チャンバーにセットして反射膜を形成するため、基板の成形と並行して反射膜を形成することができる。これにより、多数の基板が成形されて蒸着治具にセットされた後に反射膜を形成する大型の蒸着チャンバーを使用した場合に比べて、同数の基板に反射膜を形成するのに要する時間を短縮することができる。結果として、反射鏡の生産率を向上させることができる。
　本開示によれば、反射鏡の生産性を向上させることができる。
第一実施形態に係る凹面鏡の構成を例示する斜視図である。 図１の凹面鏡を例示する正面図である。 図１の凹面鏡が搭載されるヘッドアップディスプレイを例示する模式図である。 図１の凹面鏡のベース体を蒸着用治具に保持させる工程を例示する模式図である。 第二実施形態に係る凹面鏡の構成を例示する斜視図である。 図５における線ＶＩ－ＶＩに沿って矢印から見た断面図である。 図５の凹面鏡が搭載されるヘッドアップディスプレイを例示する模式図である。 図５の凹面鏡のベース体の表面に反射膜を蒸着する工程を例示する模式図である。 図５の凹面鏡のベース体の表面に反射膜を蒸着する工程を例示する模式図である。
　以下、本開示に係る実施形態の例を、図面を参照しつつ説明する。以下の説明では、異なる図面であっても同一又は相当の要素には同一の符号を付し、重複する説明を適宜省略する。また、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするために縮尺を適宜変更している。
　図１において、「Ｕ」、「Ｄ」、「Ｒ」、「Ｌ」は、凹面鏡１について設定された相対的な方向を示すものである。「Ｕ」を上方、「Ｄ」を下方、「Ｒ」を右方、「Ｌ」を左方として説明をする。
（第一実施形態）
　図１および図２は、第一実施形態に係る凹面鏡１の構成を例示している。図３は、凹面鏡１が搭載されるヘッドアップディスプレイ２０を車両の側面側から見た模式図である。凹面鏡１は、反射鏡の一例である。なお、図３では、凹面鏡１は簡略化されて図示されている。
　凹面鏡１は、例えば、車両に設けられたヘッドアップディスプレイ２０に用いられる。ヘッドアップディスプレイ２０は、所定の画像を車両の乗員に向けて表示するように構成されている。図３に例示されるように、ヘッドアップディスプレイ２０は、画像生成部２１と、凹面鏡１を備える。画像生成部２１は、所定の画像を生成するための光を出射する。凹面鏡１は、画像生成部２１により出射された光がウインドシールド３０へ照射されるように、画像生成部２１により出射された光を反射させる。ウインドシールド３０に照射された光の一部は、乗員の視点Ｅに向けて反射される。この結果、乗員は、ヘッドアップディスプレイ２０から出射された光をウインドシールド３０の前方の所定の距離において形成された虚像として認識する。乗員は、所定の画像により形成される虚像オブジェクトＩが車両外部に位置する道路上に浮いているように視認することができる。
　凹面鏡１は、図１および図２に例示されるように、基板１１と、反射膜１２と、第一突出部１３と、第二突出部１４と、少なくとも一つの取付部１５と、を有する。
　基板１１は、板状に形成されている。基板１１は、例えば、ポリカーボネート等の樹脂から形成される。基板１１は、反射膜１２が形成される第一面１１１と、第一面１１１の反対側の第二面１１２を有する。基板１１は、さらに、第一面１１１と第二面１１２の間に、右端面１１３と、左端面１１４と、上端面１１５と、下端面１１６とを有する。これらの端面１１３，１１４，１１５，１１６は、その面積が第一面１１１の面積よりも狭くなるように形成されている。右端面１１３は、第一端面の一例である。左端面１１４は、第二端面の一例である。
　第一面１１１は、凹状の曲面を有するように形成されている。本例においては、基板１１の全体が湾曲している。凹面鏡１は、少なくとも第一面１１１が凹状の曲面を有していればよく、例えば、第二面１１２は平面状に形成されてもよい。
　反射膜１２は、基板１１の第一面１１１の表面に形成されている。反射膜１２は、光を反射させる材料からなる。反射膜１２は、例えば、アルミニウム等の金属を基板１１の第一面１１１の表面に蒸着することにより形成される。
　第一突出部１３は、板状に形成されている。第一突出部１３は、基板１１の右端面１１３から突出するように形成されている。第二突出部１４は、板状に形成されている。第二突出部１４は、基板１１の左端面１１４から突出するように形成されている。本例においては、第一突出部１３と第二突出部１４は、同じ形状を有しており、基板１１に対して左右対称となるように設けられている。第一突出部１３と第二突出部１４は、例えば、ポリカーボネート等の樹脂から形成される。
　第一突出部１３および第二突出部１４は、例えば、基板１１の左右方向の長さＬ１が４５０ｍｍ、上下方向の長さＬ２が１００ｍｍ、厚さＴが５ｍｍの場合、その左右方向の長さＬ３，Ｌ４が３ｍｍから５ｍｍの範囲になるように形成される。
　取付部１５は、凹面鏡１を外部の装置に取り付けるために使用されるものである。取付部１５は、基板１１における、反射膜１２、第一突出部１３および第二突出部１４が形成されていない領域から突出するように形成されている。取付部１５は、例えば、ポリカーボネート等の樹脂から形成される。
　本例においては、取付部１５は、第一軸部１５１と、第二軸部１５２を有する。第一軸部１５１は、基板１１の右端面１１３の第一突出部１３が形成されていない領域から突出するように形成されている。第一軸部１５１は、略円柱形状に形成されている。第二軸部１５２は、基板１１の左端面１１４の第二突出部１４が形成されていない領域から突出するように形成されている。第二軸部１５２は、略円柱形状に形成されている。凹面鏡１は、例えば、図３に例示されるように、第一軸部１５１と第二軸部１５２により、ヘッドアップディスプレイのハウジングに対して回転可能に取り付けられる。
　次に、図４を用いて、凹面鏡１の製造方法について説明する。
　まず、図４に例示されるように、ベース体１０を用意する。ベース体１０は、基板１１と、第一突出部１３と、第二突出部１４と、取付部１５とを有する。例えば、ポリカーボネート等の樹脂を用いて射出成形することにより、基板１１と第一突出部１３と第二突出部１４と取付部１５とが一体成形されたベース体１０が形成される。
　続いて、ベース体１０を蒸着用治具４０に保持させる。蒸着用治具４０は、図４に例示されるように、複数のベース体１０を上下方向に配列させた状態で保持するように構成されている。本例においては、蒸着用治具４０は、上下方向に延びた複数の保持部４０１を有する。隣接する保持部４０１は、ベース体１０の基板１１の左右方向の幅よりも広い間隔で配置されて、第一突出部１３または第二突出部１４の一部を保持する。
　ベース体１０は、図４に例示されるように、ロボットのアーム５０により蒸着用治具４０まで運ばれる。アーム５０は、ベース体１０の第一突出部１３と第二突出部１４を上下方向から挟むように把持する。その際、アーム５０は、第一突出部１３と第二突出部１４のそれぞれの上下端面１３１，１３２，１４１，１４２に接触するようにして、第一突出部１３と第二突出部１４を把持すると良い。そして、ベース体１０は、蒸着用治具４０に上方から挿入される。具体的には、第一突出部１３の一部と第二突出部１４の一部がアーム５０に把持された状態で、第一突出部１３と第二突出部１４のアーム５０に把持されていない先端部が、対応する保持部４０１に上方から挿入される。そして、ベース体１０は、第一突出部１３の先端部および第二突出部１４の先端部が保持部４０１に挿入された状態で、保持部４０１に沿って下方向へスライドさせられて保持部４０１の所定の位置で保持される。
　ベース体１０を蒸着用治具４０に保持させた後、ベース体１０の第一面１１１の表面にアルミニウム等を蒸着することにより反射膜１２が形成される。蒸着処理は、多数のベース体１０を蒸着用治具４０に保持させた後に、保持された全てのベース体１０に対して一括で行われる。
　なお、ベース体１０は、ロボットのアーム５０ではなく、人により把持されてもよい。この場合も同様に、ベース体１０は、第一突出部１３と第二突出部１４が人により把持された状態で、蒸着用治具４０に挿入およびスライドされる。
　取付部１５は、第一突出部１３と第二突出部１４と共に保持部４０１に挿入されてスライドさせられる。なお、蒸着用治具４０は、取付部１５の基板１１に設けられた位置に応じて、取付部１５が保持部４０１の外側に配置されるように構成されてもよい。
　上記構成によれば、第一突出部１３および第二突出部１４は板状であるため、人またはロボットにより把持されやすい。これにより、反射膜１２を形成する工程において、第一突出部１３および第二突出部１４を人またはロボットにより把持しながら、基板１１を蒸着用治具４０に保持させることができる。すなわち、第一突出部１３および第二突出部１４の蒸着用治具４０から露出した部分を人またはロボットにより把持しながら、ベース体１０を蒸着用治具４０にスライドさせることができる。このため、基板１１の上下端面１１５，１１６が把持される場合に比べて、蒸着用治具４０に保持される隣接する基板１１間の距離を小さくすることができる。したがって、より多くの基板１１を蒸着用治具４０に保持することができる。また、第一突出部１３および第二突出部１４はロボットにより把持可能であるため、反射膜１２を形成する工程を自動化することができる。結果として、凹面鏡の生産率を向上させることができる。
　また、第一軸部１５１は、基板１１の右端面１１３の第一突出部１３が形成されていない領域から突出するように形成されている。第二軸部１５２は、基板１１の左端面１１４の第二突出部１４が形成されていない領域から突出するように形成されている。すなわち、第一突出部１３および第二突出部１４は、第一軸部１５１および第二軸部１５２とは異なる位置に設けられている。このため、突出部と軸部が一体形成される場合に比べて、第一突出部１３および第二突出部１４は、第一軸部１５１および第二軸部１５２の位置に関係なく設けることができる。
　さらに、第一突出部１３は、上下端面１３１，１３２におけるロボットまたは人により把持される部分がロボットのアーム５０または人の手の形状に対応するように形成されてもよい。同様に、第二突出部１４は、上下端面１４１，１４２におけるロボットまたは人により把持される部分がロボットのアーム５０または人の手の形状に対応するように形成されてもよい。この場合、ロボットまたは人により第一突出部１３と第二突出部１４をより確実に把持することが可能となる。
　また、第一突出部１３は、上下方向の長さＬ５が基板１１の右端面１１３の上下方向の長さＬ２よりも少なくとも第一突出部１３を把持するロボットのアーム５０または人の手の長さ分短くなるように形成されてもよい。同様に、第二突出部１４は、上下方向の長さＬ６が、基板１１の左端面１１４の上下方向の長さＬ２よりも少なくとも第二突出部１４を把持するロボットのアーム５０または人の手の長さ分短くなるように形成されてもよい。この場合、ベース体１０を蒸着用治具４０に対して下方にスライドさせる際に、下側に保持されているベース体１０に、ロボットまたは人の手が接触することを抑制することができる。これにより、隣接するベース体１０を隙間なく上下方向に配列させることができる。結果として、より多くのベース体１０を蒸着用治具４０に保持することができる。
　上記の実施形態は、本開示の理解を容易にするための例示にすぎない。上記の実施形態に係る構成は、本開示の趣旨を逸脱しなければ、適宜に変更・改良されうる。
　反射鏡の例として、ヘッドアップディスプレイ２０に使用される凹面鏡１を挙げたが、これに限られない。例えば、反射鏡は、ヘッドアップディスプレイ２０に使用される平面鏡や車両用灯具に使用されるリフレクタなどでもよい。反射鏡が平面鏡の場合、平面鏡は、可視光を反射させ赤外線を透過させるコールドミラーでもよい。この場合、ベース体１０の基板はガラス基板または樹脂基板であり、反射膜１２はガラス基板または樹脂基板の表面に形成される膜層が異なる多層の干渉膜である。
　取付部１５は、第一軸部１５１と第二軸部１５２を有するが、これに限定されない。取付部１５は、反射鏡を取り付ける外部装置の構造に応じて、その形状および基板１１に対する位置を変更可能である。例えば、凹面鏡１がヘッドアップディスプレイ２０に回転可能に取り付けられない場合は、取付部１５は、右端面１１３および左端面１１４のいずれか一方に設けられてもよい。また、取付部１５は、右端面１１３および左端面１１４ではなく、上端面１１５、下端面１１６または第二面１１２に設けられてもよい。
（第二実施形態）
　図５および図６は、第二実施形態に係る凹面鏡６０の構成を例示している。図７は、凹面鏡６０が搭載されるヘッドアップディスプレイ７０を車両の側面側から見た模式図である。凹面鏡６０は、反射鏡の一例である。なお、図７では、凹面鏡６０は簡略化されて図示されている。
　凹面鏡６０は、例えば、車両に設けられたヘッドアップディスプレイ７０に用いられる。ヘッドアップディスプレイ７０は、所定の画像を車両の乗員に向けて表示するように構成されている。図７に例示されるように、ヘッドアップディスプレイ７０は、画像生成部７１と、凹面鏡６０を備える。画像生成部７１は、所定の画像を生成するための光を出射する。凹面鏡６０は、画像生成部７１により出射された光がウインドシールド８０へ照射されるように、画像生成部７１により出射された光を反射させる。ウインドシールド８０に照射された光の一部は、乗員の視点Ｅに向けて反射される。この結果、乗員は、ヘッドアップディスプレイ７０から出射された光をウインドシールド８０の前方の所定の距離において形成された虚像として認識する。乗員は、所定の画像により形成される虚像オブジェクトＩが車両外部に位置する道路上に浮いているように視認することができる。
　凹面鏡６０は、図５および図６に例示されるように、基板６１と、反射膜６２と、枠部６３とを有する。
　基板６１は、板状に形成されている。基板６１は、例えば、ポリカーボネート等の樹脂から形成される。基板６１は、反射膜６２が形成される表面６１１を有する。表面６１１は、凹状の曲面を有するように形成されている。本例においては、基板６１の全体が湾曲している。凹面鏡６０は、少なくとも表面６１１が凹状の曲面を有していればよく、例えば、表面６１１とは反対側の裏面が平面状に形成されてもよい。
　反射膜６２は、基板６１の表面６１１に形成されている。反射膜６２は、光を反射させる材料からなる。反射膜６２は、例えば、アルミニウム等の金属を基板６１の表面６１１に蒸着することにより形成される。
　枠部６３は、板状に形成されている。枠部６３は、基板６１の周囲を囲むように形成されている。枠部６３は、例えば、ポリカーボネート等の樹脂から形成される。
　本例においては、枠部６３は、基板６１の端面から突出するように基板６１と一体成形されている。また、枠部６３は、第一部分６３１と第二部分６３２を有する。第一部分６３１は、基板６１の端面から反射膜６２よりも基板６１の表面６１１側（図６において左方）に突出するように形成されている。第二部分６３２は、第一部分６３１から基板６１の外方に向かって伸びるように形成されている。第二部分６３２は、第一部分６３１が突出する方向に直交する平面に沿って伸びている。
　次に、図８Ａおよび図８Ｂを用いて、凹面鏡６０の製造方法について説明する。
　まず、図８Ａに例示されるように、ベース体１６０を用意する。ベース体１６０は、基板６１と枠部６３を有する。例えば、ポリカーボネート等の樹脂を用いて射出成形することにより、基板６１と枠部６３が一体成形されたベース体１６０が形成される。
　続いて、ベース体１６０を蒸着チャンバー９０にセットする。蒸着チャンバー９０は、図８Ａに例示されるように、上部に開口９０１を有する箱型形状を有する。開口９０１は、ベース体１６０の基板６１の大きさよりも大きく且つベース体１６０の枠部６３の大きさよりも小さくなるように形成されている。蒸着チャンバー９０の底面９０２には、蒸着源９１が配置されている。
　図８Ｂに例示されるように、ベース体１６０は、基板６１の表面６１１が蒸着チャンバー９０に配置された蒸着源９１に対向した状態で枠部６３が蒸着チャンバー９０の開口縁９０３に当接するように、蒸着チャンバー９０に取り付けられる。これにより、蒸着チャンバー９０の開口９０１はベース体１６０により塞がれて、ベース体１６０および蒸着チャンバー９０による密閉空間Ｓが形成される。
　続いて、ベース体１６０および蒸着チャンバー９０により形成された密閉空間Ｓを真空引きにより真空状態にする。例えば、蒸着チャンバー９０に接続された図示しない真空ポンプを用いて密閉空間Ｓを減圧する。
　続いて、ベース体１６０の表面６１１に蒸着により反射膜６２を形成する。例えば、加熱により蒸着源９１であるアルミニウムを気化させて、基板６１の表面６１１に付着させる。
　上記構成によれば、枠部６３は、基板６１の周囲を囲むように形成されている。反射膜６２を形成する工程において、枠部６３を蒸着チャンバー９０の開口縁９０３に取り付けることにより、基板６１および枠部６３により蒸着チャンバー９０の開口９０１を塞ぐことができる。これにより、基板６１、枠部６３および蒸着チャンバー９０による密閉空間Ｓを形成することができる。この密閉空間Ｓは、多数の基板に同時に反射膜を形成する大型の蒸着チャンバーにより形成される密閉空間に比べて小さい。したがって、密閉空間Ｓを真空状態とするための真空引きに要する時間を短縮することができる。また、基板６１を一個ずつ蒸着チャンバー９０にセットして反射膜６２を形成するため、基板６１の成形と並行して反射膜６２を形成することができる。これにより、多数の基板が成形されて蒸着治具にセットされた後に反射膜を形成する大型の蒸着チャンバーを使用した場合に比べて、同数の基板６１に反射膜６２を形成するのに要する時間を短縮することができる。結果として、凹面鏡６０の生産率を向上させることができる。
　また、反射膜６２が形成される表面６１１は、凹状の曲面に形成されている。凹面鏡６０は、平面鏡と比べて、成形に時間を要する。このため、大型の蒸着チャンバーを使用した場合に比べて、同数の基板６１に反射膜６２を形成するのに要する時間をさらに短縮することができる。結果として、凹面鏡６０の生産率を向上させることができる。
　また、枠部６３の第一部分６３１は、基板６１の周囲から反射膜６２よりも基板６１の表面６１１側に突出するように形成されている。第二部分６３２は、第一部分６３１から基板６１の外方に向かって伸びている。第二部分６３２を蒸着チャンバー９０の開口縁９０３に取り付けることにより密閉空間を形成することができる。また、例えば、基板６１の端面や裏面側に回転軸部などの取付部が設けられている場合がある。枠部６３の第一部分６３１は、反射膜６２よりも基板６１の表面６１１側に突出しているため、第一部分６３１が基板６１の端面から反射膜６２と平行に突出するまたは反射膜６２よりも基板６１の裏面側に突出する場合に比べて、第一部分６３１の形状や形成される場所に対して取付部による制約を受けにくい。
　上記の実施形態は、本開示の理解を容易にするための例示にすぎない。上記の実施形態に係る構成は、本開示の趣旨を逸脱しなければ、適宜に変更・改良されうる。
　凹面鏡６０は、ヘッドアップディスプレイ７０に対して回転可能に取り付けられてもよい。例えば、凹面鏡６０は、基板６１の表面６１１に対して反対側に位置する二つの端面から外方に突出するように形成される二つの回転軸部を有してもよい。本例のように、枠部６３が基板６１の端面と一体的に形成されている場合は、回転軸部は、枠部６３に形成されてもよい。
　反射鏡の例として、ヘッドアップディスプレイ７０に使用される凹面鏡６０を挙げたが、これに限られない。例えば、反射鏡は、ヘッドアップディスプレイ７０に使用される平面鏡や車両用灯具に使用されるリフレクタなどでもよい。反射鏡が平面鏡の場合、平面鏡は、可視光を反射させ赤外線を透過させるコールドミラーでもよい。この場合、ベース体１６０の基板はガラス基板または樹脂基板であり、反射膜６２はガラス基板または樹脂基板の表面に形成される膜層が異なる多層の干渉膜である。
　枠部６３は、基板６１の端面から突出するように形成されているが、これに限定されない。枠部６３は、例えば、基板６１の表面６１１の反射膜６２が形成されない領域がある場合に、当該領域に形成されてもよい。
　枠部６３は、基板６１の表面６１１側に突出した第一部分６３１と外方に向かって伸びた第二部分６３２を有しているが、これに限定されない。枠部６３は、後方に突出した第一部分と第一部分から基板６１の外方に向かって伸びるように形成された第二部分とを有してもよい。枠部６３は、基板６１の端面から基板６１の外方に向かって伸びるように形成された第一部分のみを有していてもよい。
　第二部分６３２は、第一部分６３１が突出する方向に直交する平面に沿って伸びているが、これに限定されない。第二部分６３２の蒸着チャンバー９０に当接する部分が少なくとも蒸着チャンバー９０に対応する形状であれば、特にその形状は限定されない。
　本出願は、２０１９年１２月２７日出願の日本特許出願２０１９－２３８９６０号および２０１９年１２月２７日出願の日本特許出願２０１９－２３８９６１号に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。

Claims (7)

  1. 　第一面と、前記第一面より狭い第一端面と、前記第一面より狭くかつ前記第一面に対して前記第一端面とは反対側に位置する第二端面と、を有する板状の基板と、
    　前記第一面の表面に形成された、光を反射させるための反射膜と、
    　前記第一端面から突出するように形成された板状の第一突出部と、
    　前記第二端面から突出するように形成された板状の第二突出部と、
    　前記基板における、前記反射膜、前記第一突出部および前記第二突出部が形成されていない領域から突出するように形成された少なくとも一つの取付部と、を備える、反射鏡。
  2. 　前記基板の第一面は、凹状の曲面を有し、
    　前記取付部は、前記第一端面の第一突出部が形成されていない領域から突出した第一軸部と、前記第二端面の第二突出部が形成されていない領域から突出した第二軸部とを有する、請求項１に記載された反射鏡。
  3. 　第一面と、前記第一面より狭い第一端面と、前記第一面より狭くかつ前記第一面に対して前記第一端面とは反対側に位置する第二端面と、を有する板状の基板と、前記第一端面から突出するように形成された板状の第一突出部と、前記第二端面から突出するように形成された板状の第二突出部と、前記基板における、前記第一突出部および前記第二突出部が形成されていない領域から突出した少なくとも一つの取付部と、を備えたベース体を用意し、
    　上下方向へ延びる蒸着用治具に対して前記第一突出部の一部および前記第二突出部の一部を挿入した状態で、前記ベース体を前記蒸着用治具に沿って下方向へスライドさせて前記蒸着用治具に保持させ、
    　前記ベース体を前記蒸着用治具に保持させた後、前記第一面の表面に、光を反射させるための反射膜を蒸着させて形成する、反射鏡の製造方法。
  4. 　板状の基板と、
    　前記基板の表面に形成されて、光を反射するように構成された反射膜と、
    　前記基板の周囲を囲むように形成された板状の枠部と、
    　を備える、反射鏡。
  5. 　前記基板の表面は、凹状の曲面を有する、請求項４に記載された反射鏡。
  6. 　前記枠部は、前記基板の周囲から前記反射膜よりも前記基板の表面側に突出するように形成された第一部分と、前記第一部分から前記基板の外方に向かって伸びた第二部分とを有する、請求項４または５に記載された反射鏡。
  7. 　板状の基板と前記基板の周囲を囲むように形成された枠部とを備えたベース体を用意し、
    　前記枠部を蒸着チャンバーの開口縁に取り付けて前記ベース体により蒸着チャンバーの開口を塞ぐことにより、前記ベース体および蒸着チャンバーによる密閉空間を形成し、
    　前記密閉空間を真空引きにより真空状態にし、
    　前記基板の表面に、光を反射させるための反射膜を蒸着させて形成する、
    反射鏡の製造方法。
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