WO2021111772A1 - 比較回路、半導体装置 - Google Patents
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Definitions
- the present invention relates to a comparison circuit and a semiconductor device.
- a comparison circuit using a Schmitt trigger circuit having a hysteresis characteristic is generally used (for example, Patent Document 1).
- the hysteresis characteristic is determined by the threshold voltage of the MOS transistor of the Schmitt trigger circuit, and it is difficult to change the hysteresis characteristic.
- the present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems, and an object of the present invention is to provide a comparison circuit in which the hysteresis characteristics can be changed.
- the comparison circuit of the present invention when the input voltage exceeds the first threshold voltage, the output voltage of the first logic level is output, and the input voltage becomes the first threshold.
- a comparison circuit that outputs the output voltage of the second logic level when the voltage falls below the second threshold voltage lower than the value voltage, and the input voltage is the first voltage and the second voltage lower than the first voltage.
- the first voltage exceeds the third threshold voltage
- the output voltage of the first logic level is output, and the second voltage becomes the third threshold.
- a logic circuit that outputs the output voltage of the second logic level when the voltage falls below the fourth threshold voltage lower than the value voltage is provided.
- the aspect of the semiconductor device of the present invention is a power supply circuit that generates a low power supply voltage lower than the power supply voltage from the power supply voltage, and a switching element of the upper arm and a switching element of the lower arm that operates at the low power supply voltage.
- a semiconductor device including a detection circuit for detecting a control signal for driving the device and a drive circuit for driving the switching element of the upper arm and the switching element of the lower arm based on the detection result of the detection circuit. When the voltage level of the control signal exceeds the first threshold voltage, the detection circuit outputs the detection result of the first logic level, and the voltage level of the control signal is the first threshold.
- a comparison circuit for outputting the detection result of the second logic level is provided, and the comparison circuit sets the voltage level of the control signal to the first voltage and the first voltage.
- a conversion circuit that converts to a second voltage lower than the first voltage, and when the first voltage exceeds the third threshold voltage, the detection result of the first logic level is output, and the second voltage becomes the second voltage.
- a logic circuit that outputs the detection result of the second logic level when the voltage falls below the fourth threshold voltage, which is lower than the third threshold voltage, is provided.
- FIG. 10 It is a figure which shows an example of the structure of a power module 10. It is a figure which shows an example of the structure of HVIC20. It is a figure which shows the structure of the comparison circuit 21a which is one Embodiment of the comparison circuit 21. It is a figure which shows an example of the structure of the logic circuit 50. It is a figure explaining the operation of the logic circuit 50. It is a figure which shows the change of the threshold value when the comparison circuit 21a is used. It is a figure which shows an example of the structure of the comparison circuit 21b. It is a figure which shows an example of the structure of the comparison circuit 21c.
- FIG. 1 is a diagram showing an example of a configuration of a power module 10 according to an embodiment of the present invention.
- the power module 10 is a semiconductor device that includes a power semiconductor for power conversion and a drive circuit, and drives, for example, a load 11.
- the power module 10 includes a capacitor 14, an HVIC 20, a bridge circuit 30, and terminals PWR, D, P, S, N, and COM for generating a bootstrap voltage Vb.
- a power supply voltage VCS is applied to the terminal PWR, and a control signal IN from an MCU (not shown) is input to the terminal D.
- a load 11 is connected between the terminal S and the terminal N.
- a power supply voltage Vdc is applied to the terminal P, and a capacitor 12 for stabilizing the power supply voltage Vdc is connected between the terminal P and the terminal N.
- the HVIC 20 receives the control signal IN from the MCU (not shown), outputs the drive signals HO and LO to the bridge circuit 30, and drives the bridge circuit 30.
- the bridge circuit 30 drives the load 11 (for example, an inductor) based on the drive signals HO and LO from the HVIC 20.
- the bridge circuit 30 includes the NMOS transistors 31 and 32.
- the NMOS transistors 31 and 32 correspond to "switching elements".
- FIG. 2 is a diagram showing an example of the configuration of the HVIC 20.
- the HVIC (High Voltage Integrated Circuit) 20 includes a comparison circuit 21, an inverter 22, a filter circuit 23, a pulse generation circuit 24, a high side drive circuit 25, a power supply circuit 26, a low side drive circuit 27, terminals PVCC, DS, VB, H, Includes VS, L, G.
- the comparison circuit 21 is an input detection circuit that detects the input control signal IN and inverts the control signal IN and outputs the control signal IN.
- the control signal IN changes, for example, in the range of 0 to 15V in the present embodiment. Therefore, the comparison circuit 21 is composed of a high withstand voltage element.
- the control signal IN is a rectangular wave that changes between 0 and 15 V, and in the case of a high level (hereinafter referred to as “H” level), the NMOS transistor 31 of the upper arm is turned on and the low level (hereinafter referred to as “H” level) is turned on. In the case of “L” level), the NMOS transistor 32 of the lower arm is turned on.
- the inverter 22 inverts the output of the comparison circuit 21 and outputs it to the filter circuit 23.
- the filter circuit 23 includes, for example, a low-pass filter (not shown) and outputs a signal S from which noise of the signal output from the inverter 22 is removed.
- the pulse generation circuit 24 generates a set signal set at the rising edge of the signal S and a reset signal reset at the falling edge.
- the high-side drive circuit 25 outputs a drive signal HO for driving the NMOS transistor 31 of the upper arm via the terminal H based on the set signal set and the reset signal reset from the pulse generation circuit 24.
- the power supply circuit 26 is, for example, a step-down regulator, steps down the power supply voltage VCS (for example, 15V) from the terminal PVCC to generate a low power supply voltage VDD (for example, 5V), and the comparison circuit 21 and the inverter 22. , The filter circuit 23 and the pulse generation circuit 24.
- VCS power supply voltage
- VDD low power supply voltage
- the low-side drive circuit 27 outputs a drive signal LO for driving the NMOS transistor 32 of the lower arm based on the signal S from the filter circuit 23 via the terminal L.
- FIG. 3 is a diagram showing a configuration of a comparison circuit 21a, which is an embodiment of the comparison circuit 21.
- the comparison circuit 21a when the voltage level of the control signal IN changes from a low voltage level (for example, 0V) to a high voltage level (for example, VDD) and exceeds the high threshold voltage VtH, the logic level of the output voltage Vout is changed to ". Change from "H” level to "L” level. Further, in the comparison circuit 21a, when the voltage level of the control signal IN changes from a high voltage level to a low voltage level and falls below the low threshold voltage VtL, the logic level of the output voltage Vout is changed from the “L” level to “H”. Change to a level.
- the comparison circuit 21a includes a voltage conversion circuit 40a and a logic circuit 50.
- the voltage conversion circuit 40a converts the voltage generated at the node N1 to which the control signal IN is input into a voltage VNG and a voltage VPG lower than the voltage VNG.
- the voltage generated at the node N1 will be referred to as an input voltage Vin.
- the voltage conversion circuit 40a includes resistors 41 to 44.
- the resistors 41 to 44 are connected in series between the node to which the low power supply voltage VDD is applied and the ground.
- the voltage conversion circuit 40a When the input voltage Vin is applied to the node N1, the voltage conversion circuit 40a generates a voltage VNG at the connection point between the resistor 41 and the resistor 42, and the voltage VPG at the connection point between the resistor 43 and the resistor 44. To generate.
- the voltage VNG is applied to the gate electrodes of the NMOS transistors 51 and 52, which are the inputs of the logic circuit 50, and the voltage VPG is applied to the gate electrodes of the MPa transistors 54, 55 of the logic circuit 50, which are the inputs of the logic circuit 50. Will be done.
- the voltage VNG and the voltage VPG are calculated as follows, where the resistance values of the resistors 41 to 44 are R1, R2, R3, and R4.
- the logic circuit 50 is a Schmitt trigger circuit that changes the logic level of the output voltage Vout with a hysteresis characteristic according to the change of the voltage levels of the voltages VNG and VPG.
- the logic circuit 50 is configured to include the NMOS transistors 51 to 53 and the MPa transistors 54 to 56.
- the NMOS transistors 51, 52 and the MIMO transistors 54, 55 are placed between the power supply node to which the low power supply voltage VDD is applied in series in the order of the MIMO transistors 55, 54 and the NMOS transistors 52, 51 from the power supply side and the ground. Connected to. Further, the voltage VNG is applied to the gate electrodes of the NMOS transistors 51 and 52, which are the inputs of the logic circuit 50, and the voltage VPG is applied to the gate electrodes of the PRIVATE transistors 54 and 55.
- the output voltage Vout output from the connection point between the NMOS transistor 52 and the epitaxial transistor 54 is applied to the gate electrode, and the low power supply voltage VDD is applied to the drain terminal.
- the source electrode is connected to the connection point.
- the output voltage Vout is applied to the gate electrode, the drain terminal is grounded, and the source electrode is connected to the connection points of the epitaxial transistors 54 and 55.
- the maximum value of the voltage of the control signal IN has a voltage higher than the power supply voltage of the logic circuit 50. Therefore, the NMOS transistors 51 to 53 and the NMOS transistors 54 to 56 are composed of high withstand voltage MOS transistors.
- the resistance values R1 to R4 turn off any pair of the MPa transistors 54 and 55 or the NMOS transistors 51 and 52 when the input voltage Vin is not applied to the node N1. It has a resistance value.
- the resistors 41 to 44 correspond to the "first resistor”, “second resistor”, “third resistor”, and “fourth resistor”, respectively.
- the voltage VNG corresponds to the "first voltage” and the voltage VPG corresponds to the "second voltage”.
- the NMOS transistors 51 and 52 correspond to “two NMOS transistors”
- the MIMO transistors 54 and 55 correspond to “two MIMO transistors”. Further, the logic level of the output voltage Vout corresponds to the "detection result”.
- the logic circuit 50 operates at a low power supply voltage VDD (for example, 5V) lower than the maximum value of the input voltage Vin (for example, 15V).
- VDD low power supply voltage
- Vin maximum value of the input voltage Vin
- FIG. 5 is a diagram illustrating the operation of the logic circuit 50. The operation of the NMOS transistors 51 to 53 and the MIMO transistors 54 to 56 of the logic circuit 50 will be described with reference to FIG.
- the straight line shown by the dotted line shows the relationship between the input voltage Vin_org input to the logic circuit 50 and the applied voltage applied to the gate electrodes of the NMOS transistors 51 and 52 and the MPa transistors 54 and 55.
- the input voltage Vin_org changes from X1 to X3
- the input voltage Vin_org is 0V.
- the NMOS transistors 51 and 52 are turned off, and the NMOS transistors 53 are turned on.
- the epitaxial transistors 54 and 55 are turned on, and the epitaxial transistors 56 are turned off. Therefore, the output voltage Vout is the power supply voltage VDD.
- the NMOS transistor 51 is turned on, the NMOS transistor 52 is turned off, and the NMOS transistor 53 is turned on.
- the epitaxial transistors 54 and 55 are turned off, and the epitaxial transistors 56 are turned off. Then, the output voltage Vout remains the power supply voltage VDD because the parasitic capacitance of the node to which the output voltage Vout is applied is still charged.
- the output voltage Vout changes from the power supply voltage VDD to 0V. Therefore, the voltage value of the input voltage Vin_org at this time becomes a high threshold voltage VtH_org.
- the input voltage Vin_org becomes the high threshold voltage VtH_org of the logic circuit 50
- the applied voltage applied to the gate electrodes of the NMOS transistors 51 and 52 becomes the voltage level indicated by the point A1 (that is, VtH_org).
- the output voltage Vout changes from the “H” level to the “L” level via the point A1.
- the input voltage Vin_org is higher than the power supply voltage VDD (for example, 15V).
- VDD for example, 15V.
- the NMOS transistors 51 and 52 are turned on, and the NMOS transistors 53 are turned off.
- the epitaxial transistors 54 and 55 are turned off, and the epitaxial transistors 56 are turned on. Therefore, the output voltage Vout remains 0V.
- the input voltage Vin_org becomes a voltage higher than the power supply voltage VDD (for example, 15V).
- VDD for example, 15V
- the epitaxial transistors 54 and 55 are turned off, and the epitaxial transistors 56 are turned on.
- the NMOS transistors 51 and 52 are turned on, and the NMOS transistors 53 are turned off. Therefore, the output voltage Vout becomes 0V.
- the epitaxial transistor 54 is turned off, the epitaxial transistor 55 is turned on, and the epitaxial transistor 56 is turned on.
- the NMOS transistors 51 and 52 are turned off, and the NMOS transistors 53 are turned off. Then, the output voltage Vout remains 0V because the parasitic capacitance of the node to which the output voltage Vout is applied remains discharged.
- the output voltage Vout changes from 0V to the power supply voltage VDD. Therefore, the voltage value of the input voltage Vin_org at this time is a low threshold voltage VtL_org.
- the input voltage Vin_org becomes the low threshold voltage VtL_org of the logic circuit 50
- the applied voltage applied to the gate electrodes of the epitaxial transistors 54 and 55 becomes the voltage level indicated by the point B1 (that is, VtL_org). At this time, the output voltage Vout changes from the “L” level to the “H” level via the point B1.
- the input voltage Vin_org becomes 0V.
- the epitaxial transistors 54 and 55 are turned on, and the epitaxial transistors 56 are turned off.
- the NMOS transistors 51 and 52 are turned off, and the NMOS transistor 53 is turned on. Therefore, the output voltage Vout remains the power supply voltage VDD.
- the logic circuit 50 when the voltage level of the input voltage Vin_org changes from a low voltage level (for example, 0V) to a high voltage level (for example, VDD) and exceeds the high threshold voltage VtH_org, the logic level of the output voltage Vout Is changed from the "H" level to the "L” level (Case X). Further, in the logic circuit 50, when the voltage level of the input voltage Vin_org changes from a high voltage level to a low voltage level and falls below the low threshold voltage VtL_org, the logic level of the output voltage Vout is changed from the “L” level to “H”. Change to level (Case Y).
- the logic circuit 50 has a hysteresis characteristic realized by a high threshold voltage VtH_org and a low threshold voltage VtL_org.
- the high threshold voltage VtH_org is determined based on the condition that both the NMOS transistors 51 and 52 are turned on.
- the low threshold voltage VtL_org is determined based on the condition that both the epitaxial transistors 54 and 55 are turned on.
- the high threshold voltage VtH_org is determined based on the respective threshold voltages vtn of the NMOS transistors 51 and 52. Further, the low threshold voltage VtL_org is determined based on the respective threshold voltage vtp of the epitaxial transistors 54 and 55.
- the threshold voltages of the epitaxial transistors 54 and 55 are common vtp, but the threshold voltages of the epitaxial transistors 54 and 55 may be different. The same applies to the threshold voltage vtn of the NMOS transistors 51 and 52.
- the circuits including the NMOS transistors 51 to 53 will be described. Assuming that the gate-source voltages of the NMOS transistors 51, 52, and 53 are VGS51, VGS52, and VGS53, they are represented as follows. Here, the voltage at the connection point between the NMOS transistor 51 and the NMOS transistor 52 is defined as the voltage Vx.
- VGS51 Vin_org ... (3)
- VGS52 Vin_org-Vx ...
- VGS53 Vout-Vx ... (5)
- the NMOS transistor 51 When the input voltage Vin approaches the threshold voltage vtn of the NMOS transistor 51, the NMOS transistor 51 is turned on. Then, the drain current flowing through the NMOS transistor 53 and the drain current flowing through the NMOS transistor 51 become equal.
- ⁇ 1 and ⁇ 3 are coefficients determined by the physical structures of the NMOS transistors 51 and 53, respectively.
- ⁇ ⁇ Cox W / L
- ⁇ mobility
- Cox the capacitance of the unit area of the gate oxide film
- W the gate width
- L the gate length.
- equation (6) When equation (6) is modified to obtain the voltage Vx, it becomes as follows.
- Vx VDD + ( ⁇ ( ⁇ 1 / ⁇ 3) -1) ⁇ vtn- ⁇ ( ⁇ 1 / ⁇ 3) ⁇ Vin_org ... (7)
- VtH_org the high threshold voltage
- the NMOS transistor 52 is turned on. Since the NMOS transistors 51 and 52 are turned on, the output voltage Vout becomes 0V. Assuming that the input voltage Vin_org at this time is VtH_org, the following equation (8) is established.
- VtH_org- VDD- ( ⁇ ( ⁇ 3 / ⁇ 1) -1) x vtn + ⁇ ( ⁇ 3 / ⁇ 1) x VtH_org vtn ... (8)
- the threshold voltage vtp is a negative value.
- the gate-source voltages of the epitaxial transistors 54, 55, and 56 are VGS54, VGS55, and VGS56, they are represented as follows.
- the voltage at the connection point between the polyclonal transistor 54 and the epitaxial transistor 55 is defined as the voltage Vy.
- the epitaxial transistor 55 When the input voltage Vin_org approaches VDD + vtp, the epitaxial transistor 55 is turned on. Then, the drain current flowing through the epitaxial transistor 56 and the drain current flowing through the epitaxial transistor 55 become equal to each other.
- ⁇ 5 and ⁇ 6 are coefficients determined by the physical structures of the epitaxial transistors 55 and 56, respectively.
- ⁇ ⁇ Cox W / L
- ⁇ mobility
- Cox the capacitance of the unit area of the gate oxide film
- W the gate width
- L the gate length.
- Vy ⁇ ( ⁇ 5 / ⁇ 6) ⁇ VDD + ( ⁇ ( ⁇ 5 / ⁇ 6) -1) ⁇ vtp- ⁇ ( ⁇ 5 / ⁇ 6) ⁇ Vin_org ... (14)
- Vin_org becomes a lower voltage
- the PRIVATE transistor 54 is turned on. Since the epitaxial transistors 54 and 55 are turned on, the output voltage Vout becomes VDD. Assuming that the input voltage Vin_org at this time is VtL_org, the following equation (15) is established.
- VtL_org- ⁇ ( ⁇ 5 / ⁇ 6) x VDD- ( ⁇ ( ⁇ 5 / ⁇ 6) -1) x vtp + ⁇ ( ⁇ 5 / ⁇ 6) x VtL_org vtp ...
- the high threshold voltage VtH_org is the voltage corresponding to the respective threshold voltage vttn of the NMOS transistors 51 and 52
- the low threshold voltage VtL_org is the threshold of the epitaxial transistors 54 and 55, respectively. It is a voltage corresponding to the voltage vtp.
- VtH ((R1 + R2) / R1) x VtH_org- (R2 / R1) x VDD ... (18)
- VtL_org (R4 / (R3 + R4)) ⁇ VtL ... (19)
- the low threshold voltage VtL obtained from the equation (19) is as follows.
- VtL ((R3 + R4) / R4) ⁇ VtL_org ... (20) From the above, the high threshold voltage VtH and the low threshold voltage VtL of the comparison circuit 21a can be set to different values from the high threshold voltage VtH_org and the low threshold voltage VtL_org of the logic circuit 50. Then, if the comparison circuit 21a is used, the high threshold voltage VtH and the low threshold voltage VtL of the comparison circuit 21a can be changed by changing the resistance values R1 to R4 of the resistors 41 to 44. Therefore, the hysteresis characteristic of the logic circuit 50 can be changed.
- the voltage VPG becomes higher than the low threshold voltage VtL_org so that the resistance values R3 and R4 of the resistors 43 and 44 are higher. Is designed.
- the voltage VNG becomes the resistance values R1 to R4 of the resistors 41 to 44 so as to be less than the high threshold voltage VtH_org. Is designed.
- the NMOS transistors 51 to 53 and the MPa transistors 54 to 56 operate as described in the description of the operation of the logic circuit 50.
- the “L” level may correspond to the "first logic level”
- the “H” level may correspond to the “second logic level”
- the "H” level corresponds to the "first logic level”.
- the "L” level corresponds to the "level” and corresponds to the "second logical level”.
- FIG. 6 is a diagram showing a change in the threshold value when the comparison circuit 21a is used.
- the straight line shown by the dotted line shows the relationship between the input voltage Vin_org input to the logic circuit 50 of FIG. 4 and the applied voltage applied to the gate electrodes of the NMOS transistors 51 and 52 and the MIMO transistors 54 and 55. ing.
- the straight line indicated by the alternate long and short dash line is a straight line indicating the change in voltage VNG with respect to the input voltage Vin input to the comparison circuit 21a. That is, the straight line indicated by the alternate long and short dash line is a straight line indicating the change in the applied voltage applied to the gate electrodes of the NMOS transistors 51 and 52 with respect to the input voltage Vin.
- the straight line shown by the alternate long and short dash line is a straight line showing the change of the voltage VPG with respect to the input voltage Vin input to the comparison circuit 21a. That is, the straight line indicated by the alternate long and short dash line is a straight line indicating the change in the applied voltage applied to the gate electrodes of the MPa transistors 54 and 55 with respect to the input voltage Vin.
- the input voltage Vin changes from a low voltage (for example, 0V) to a high voltage (for example, VDD), and the voltage VNG is the same voltage level as the voltage level indicated by the point A1, the voltage level indicated by the point A2 (for example, VDD). That is, when VtH_org), the logical level of the output voltage Vout changes from the “H” level to the “L” level as shown by the solid line passing through the point A2. Therefore, when the voltage level of the voltage VNG reaches the point A2, the input voltage Vin becomes the high threshold voltage VtH of the comparison circuit 21a.
- the comparison circuit 21a applies the voltages VNG and VPG generated by the voltage conversion circuit 40a to the NMOS transistors 51 and 52 and the MPa transistors 54 and 55.
- the comparison circuit 21a has a high threshold voltage VtH_org and a low threshold voltage VtL_org determined by the threshold value of the MOS transistor, and the comparison circuit 21a has a high threshold voltage VtH and a low threshold voltage VtL. Can be changed to. Therefore, the comparison circuit 21a can change the hysteresis characteristic of the logic circuit 50.
- the value of the high threshold voltage VtH_org depends on the voltage corresponding to the respective threshold voltage vttn of the NMOS transistors 51 and 52.
- the value of the low threshold voltage VtL_org depends on the voltage corresponding to the respective threshold voltage vtp of the epitaxial transistors 54 and 55.
- a low threshold voltage can be used, in which case the hysteresis characteristics can be changed.
- the conventional logic circuit 50 of FIG. 4 is used as the logic circuit 50. It is necessary to use a plurality of differential amplifiers for a hysteresis analyzer that can change the hysteresis width and the threshold value from "H" level to "L” level and from “L” level to “H” level.
- the differential amplifier has a large area, and it is necessary to keep the bias current flowing when operating the differential amplifier, which increases the power consumption.
- the output of the logic circuit 50 is stable at a high level, the NMOS transistors 51 and 52 are off, so that no through current flows through the logic circuit 50.
- FIG. 7 is a diagram showing an example of the configuration of the comparison circuit 21b.
- the voltage conversion circuit 40b of the comparison circuit 21b is a voltage conversion circuit 40a of the comparison circuit 21a with a resistor 45 added between the node to which the input voltage is applied and the ground.
- FIG. 8 is a diagram showing an example of the configuration of the comparison circuit 21c.
- the voltage conversion circuit may be realized with a configuration different from that of the voltage conversion circuits 40a and 40b.
- the input voltage Vin is applied to the gate electrode and the source follower circuit 61a for outputting the voltage VNGb from the source electrode, and the input voltage Vin is applied to the gate electrode and the voltage VPGb is applied from the source electrode. It is composed of a source follower circuit 61b that outputs the above.
- the source follower circuit 61a includes a constant current source 62a and a epitaxial transistor 63a. Further, the source follower circuit 61b includes a constant current source 62b and an NMOS transistor 63b.
- the source follower circuit 61a corresponds to the "first source follower circuit”
- the source follower circuit 62b corresponds to the "second source follower circuit”.
- the voltage VNGb which is the output of the source follower circuit 61a, is basically a voltage in which the input voltage Vin is shifted by the gate-source voltage of the epitaxial transistor 63a.
- the voltage VPGb which is the output of the source follower circuit 61b, is in the form of outputting a voltage shifted by the gate-source voltage of the NMOS transistor 63b.
- the input voltage Vin that exceeds the output amplitude after deducting the voltage drop used in the constant current source or transistor is cut and output, so the amplitude of the voltage VNGb or voltage VPGb is a low power supply.
- the voltage is less than the potential difference between VDD and ground voltage.
- the voltage conversion circuit 40c Since the voltage conversion circuit 40c receives the input voltage Vin, a high withstand voltage element is required. However, since the amplitude of the voltage VNG that receives the output of the source follower circuit that operates at the low power supply voltage VDD and the voltage VPG is less than the potential difference between the ground voltage and the low power supply voltage VDD, a high withstand voltage element is used in the comparison circuit 21a. Even if it is not, the destruction of the element can be prevented more reliably. Therefore, in this modification, the voltage conversion circuit 40c uses a high withstand voltage element, and the logic circuit 50 that operates with a potential difference between the low power supply voltage VDD and the ground voltage uses a low withstand voltage element.
- the power module 10 of the present embodiment has been described above.
- the hysteresis characteristic is determined by the threshold voltages of the NMOS transistors 51 and 52 and the epitaxial transistors 54 and 55, and it is difficult to change the hysteresis characteristic.
- the input voltage Vin is converted into a voltage VNG and a voltage VPG, and the input voltage is applied to the gate electrodes of the NMOS transistors 51 and 52 and the gate electrodes of the epitaxial transistors 54 and 55, respectively.
- the hysteresis characteristics seen from Vin can be changed.
- the input voltage Vin is higher than the power supply voltage VDD of the logic circuit 50, and high withstand voltage MOS transistors are used for the NMOS transistors 51 to 53 and the MIMO transistors 54 to 56.
- the logic circuit 50 if the logic circuit 50 is used, the hysteresis characteristic determined by the threshold value of the high withstand voltage MOS transistor can be changed by adjusting the resistance values R1 to R4 of the resistors 41 to 44.
- the logic circuit 50 when the NMOS transistor 32 is turned on by the low-side drive circuit 27, the voltage Vs of the terminal VS may become a negative voltage due to the influence of the inductor component of the load 11. Then, a current may flow from the ground to the voltage line to which the voltage Vs of the terminal VS is applied, and the potential of the terminal G (for example, ground) may fluctuate. As a result, the low power supply voltage VDD may fluctuate.
- the logic circuit 50 By configuring the logic circuit 50 with two PRIVATE transistors and two NMOS transistors, it is affected by the fluctuation of the bias current that occurs when the low power supply voltage VDD fluctuates when a comparator is used as the Schmitt trigger circuit. Absent. Therefore, the logic circuit 50 operates as a highly accurate Schmitt trigger circuit.
- the resistance values R1 to R4 of the resistors 41 to 44 are determined so that either the pair of the two PIXTA transistors 54, 55 or the pair of the NMOS transistors 51, 52 of the logic circuit 50 is turned off. As a result, even if the input voltage Vin is not applied to the node N1, the through current can be prevented from flowing through the logic circuit 50.
- the voltage conversion circuit 40b is realized by two source follower circuits. Thereby, as in the case of the logic circuit 50, the hysteresis characteristic seen from the input voltage Vin can be changed.
- the node N1 when the resistor 45 is connected between the node N1 and the ground, the node N1 can be pulled down when the input voltage Vin is not applied to the node N1, and the resistance values R1 of the resistors 41 to 44 can be pulled down.
- ⁇ R4 can be designed freely to some extent.
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Abstract
比較回路は、入力電圧が、第1しきい値電圧を上回ると、第1論理レベルの出力電圧を出力し、前記入力電圧が、前記第1しきい値電圧より低い第2しきい値電圧を下回ると、第2論理レベルの前記出力電圧を出力する、比較回路であって、前記入力電圧を、第1電圧と、前記第1電圧より低い第2電圧と、に変換する変換回路と、前記第1電圧が、第3しきい値電圧を上回ると、前記第1論理レベルの前記出力電圧を出力し、前記第2電圧が、前記第3しきい値電圧より低い第4しきい値電圧を下回ると、前記第2論理レベルの前記出力電圧を出力する論理回路と、を備える。
Description
本発明は、比較回路及び半導体装置に関する。
論理信号を検出する回路として、一般にヒステリシス特性を有するシュミットトリガ回路を用いた比較回路が用いられる(例えば、特許文献1)。
また、以下に示す差動の比較器を用いたヒステリシス比較器があり、これらはヒステリシス特性を調整可能にされている(特許文献2、特許文献3)
ところで、例えば、比較回路として、特許文献1のようなシュミットトリガ回路を用いる場合、ヒステリシス特性は、シュミットトリガ回路のMOSトランジスタのしきい値電圧によって決められ、ヒステリシス特性を変化させることは難しかった。
また、特許文献2や3のようなヒステリシス比較器は差動の比較器を用いる必要があるために、比較動作時は常にバイアス電流が流れ続け、消費電力が大きい。さらに比較器自体の面積も大きくなるという欠点があった。
本発明は、上記のような従来の問題に鑑みてなされたものであって、その目的は、ヒステリシス特性を変化可能な比較回路を提供することにある。
前述した課題を解決する本発明の比較回路の態様は、入力電圧が、第1しきい値電圧を上回ると、第1論理レベルの出力電圧を出力し、前記入力電圧が、前記第1しきい値電圧より低い第2しきい値電圧を下回ると、第2論理レベルの前記出力電圧を出力する、比較回路であって、前記入力電圧を、第1電圧と、前記第1電圧より低い第2電圧と、に変換する変換回路と、前記第1電圧が、第3しきい値電圧を上回ると、前記第1論理レベルの前記出力電圧を出力し、前記第2電圧が、前記第3しきい値電圧より低い第4しきい値電圧を下回ると、前記第2論理レベルの前記出力電圧を出力する論理回路と、を備える。
また、本発明の半導体装置の態様は、電源電圧から、前記電源電圧より低い低電源電圧を生成する電源回路と、前記低電源電圧で動作し、上側アームのスイッチング素子及び下側アームのスイッチング素子を駆動するための制御信号を検出する検出回路と、前記検出回路の検出結果に基づいて、前記上側アームのスイッチング素子及び前記下側アームのスイッチング素子を駆動する駆動回路と、を備えた半導体装置であって、前記検出回路は、前記制御信号の電圧レベルが第1しきい値電圧を上回ると、第1論理レベルの前記検出結果を出力し、前記制御信号の電圧レベルが前記第1しきい値電圧より低い第2しきい値電圧を下回ると、第2論理レベルの前記検出結果を出力する比較回路を備え、前記比較回路は、前記制御信号の電圧レベルを、第1電圧と、前記第1電圧より低い第2電圧と、に変換する変換回路と、前記第1電圧が第3しきい値電圧を上回ると、前記第1論理レベルの前記検出結果を出力し、前記第2電圧が前記第3しきい値電圧より低い第4しきい値電圧を下回ると、前記第2論理レベルの前記検出結果を出力する論理回路と、を備える。
本発明によれば、ヒステリシス特性を変化可能な比較回路を提供することができる。
関連出願の相互参照
この出願は、2019年12月3日に出願された日本特許出願、特願2019-218974に基づく優先権を主張し、その内容を援用する。
この出願は、2019年12月3日に出願された日本特許出願、特願2019-218974に基づく優先権を主張し、その内容を援用する。
本明細書及び添付図面の記載により、少なくとも以下の事項が明らかとなる。
=====本実施形態=====
<パワーモジュール10>
図1は、本発明の一実施形態であるパワーモジュール10の構成の一例を示す図である。パワーモジュール10は、電力変換用のパワー半導体及び駆動回路を含み、例えば負荷11を駆動する半導体装置である。パワーモジュール10は、ブートストラップ電圧Vbを生成するためのコンデンサ14、HVIC20、ブリッジ回路30、端子PWR,D,P,S,N,COMを含む。
<パワーモジュール10>
図1は、本発明の一実施形態であるパワーモジュール10の構成の一例を示す図である。パワーモジュール10は、電力変換用のパワー半導体及び駆動回路を含み、例えば負荷11を駆動する半導体装置である。パワーモジュール10は、ブートストラップ電圧Vbを生成するためのコンデンサ14、HVIC20、ブリッジ回路30、端子PWR,D,P,S,N,COMを含む。
端子PWRには、電源電圧VCCが印可され、端子Dには、MCU(不図示)からの制御信号INが入力される。端子Sと、端子Nと、の間には、負荷11が接続される。端子Pには、電源電圧Vdcが印可され、端子Pと、端子Nと、の間には、電源電圧Vdcを安定化させるためのコンデンサ12が接続される。
HVIC20は、MCU(不図示)からの制御信号INを受けて、ブリッジ回路30に駆動信号HO,LOを出力し、ブリッジ回路30を駆動する。
ブリッジ回路30は、HVIC20からの駆動信号HO,LOに基づいて負荷11(例えば、インダクタ)を駆動する。ブリッジ回路30は、NMOSトランジスタ31,32を含んで構成される。なお、NMOSトランジスタ31,32は、「スイッチング素子」に相当する。
<HVIC20>
図2は、HVIC20の構成の一例を示す図である。HVIC(High Voltage Integrated Circuit)20は、比較回路21、インバータ22、フィルタ回路23、パルス生成回路24、ハイサイド駆動回路25、電源回路26、ローサイド駆動回路27、端子PVCC,DS,VB,H,VS,L,Gを含む。
図2は、HVIC20の構成の一例を示す図である。HVIC(High Voltage Integrated Circuit)20は、比較回路21、インバータ22、フィルタ回路23、パルス生成回路24、ハイサイド駆動回路25、電源回路26、ローサイド駆動回路27、端子PVCC,DS,VB,H,VS,L,Gを含む。
比較回路21は、入力される制御信号INを検出するとともに制御信号INを反転して出力する入力検出回路である。なお、制御信号INは、例えば、本実施形態では、0~15Vの範囲で変化する。このため、比較回路21は、高耐圧素子で構成される。また、制御信号INは、0~15Vの間で変化する矩形波であり、ハイレベル(以下、“H”レベルとする)の場合、上側アームのNMOSトランジスタ31がオンされ、ローレベル(以下、“L”レベルとする)の場合、下側アームのNMOSトランジスタ32がオンされる。
インバータ22は、比較回路21の出力を反転させ、フィルタ回路23に出力する。
フィルタ回路23は、例えば、ローパスフィルタ(不図示)を含み、インバータ22から出力された信号のノイズを除去した信号Sを出力する。
パルス生成回路24は、信号Sの、立ち上がりエッジにおいて、セット信号setを生成し、立下りエッジにおいてリセット信号resetを生成する。
ハイサイド駆動回路25は、パルス生成回路24からのセット信号set及びリセット信号resetに基づいて、上側アームのNMOSトランジスタ31を駆動するための駆動信号HOを、端子Hを介して出力する。
電源回路26は、例えば、降圧型レギュレータであり、端子PVCCからの電源電圧VCC(例えば、15V)を降圧して低電源電圧VDD(例えば、5V)を生成し、比較回路21と、インバータ22と、フィルタ回路23と、パルス生成回路24と、に供給する。
ローサイド駆動回路27は、フィルタ回路23からの信号Sに基づいて下側アームのNMOSトランジスタ32を駆動するための駆動信号LOを、端子Lを介して出力する。
<比較回路21>
==本実施形態の比較回路21a==
図3は、比較回路21の一実施形態である比較回路21aの構成を示す図である。
==本実施形態の比較回路21a==
図3は、比較回路21の一実施形態である比較回路21aの構成を示す図である。
比較回路21aは、制御信号INの電圧レベルが低い電圧レベル(例えば、0V)から高い電圧レベル(例えば、VDD)になり、高いしきい値電圧VtHを上回ると、出力電圧Voutの論理レベルを“H”レベルから、“L”レベルへ変化させる。また、比較回路21aは、制御信号INの電圧レベルが高い電圧レベルから低い電圧レベルになり、低いしきい値電圧VtLを下回ると、出力電圧Voutの論理レベルを“L”レベルから、“H”レベルへ変化させる。比較回路21aは、電圧変換回路40aと、論理回路50と、を含んで構成される。
電圧変換回路40aは、制御信号INが入力される、ノードN1に生じる電圧を、電圧VNGと、電圧VNGより低い電圧VPGと、に変換する。以下、ノードN1に生じる電圧を、入力電圧Vinとする。
電圧変換回路40aは、抵抗41~44を含んで構成される。抵抗41~44は、低電源電圧VDDが印可されるノードと、接地と、の間に直列に接続される。電圧変換回路40aは、入力電圧VinがノードN1に印可されると、抵抗41と、抵抗42と、の接続点において電圧VNGを生成し、抵抗43と、抵抗44と、の接続点において電圧VPGを生成する。
電圧VNGは、論理回路50の入力である、NMOSトランジスタ51,52のゲート電極に印可され、電圧VPGは、論理回路50の入力である、論理回路50のPMOSトランジスタ54,55のゲート電極に印可される。
ここで、電圧VNGと、電圧VPGと、は、抵抗41~44の抵抗値を、R1,R2,R3,R4とすると、以下の通り計算される。
VNG=(R1/(R1+R2))×Vin+(R2/(R1+R2))×VDD・・・(1)
VPG=(R4/(R3+R4))×Vin・・・(2)
論理回路50は、電圧VNG,VPGの電圧レベルの変化に応じて、出力電圧Voutの論理レベルを、ヒステリシス特性を有して変化させるシュミットトリガ回路である。論理回路50は、NMOSトランジスタ51~53と、PMOSトランジスタ54~56と、を含んで構成される。
VPG=(R4/(R3+R4))×Vin・・・(2)
論理回路50は、電圧VNG,VPGの電圧レベルの変化に応じて、出力電圧Voutの論理レベルを、ヒステリシス特性を有して変化させるシュミットトリガ回路である。論理回路50は、NMOSトランジスタ51~53と、PMOSトランジスタ54~56と、を含んで構成される。
NMOSトランジスタ51,52と、PMOSトランジスタ54,55と、は、電源側からPMOSトランジスタ55,54、NMOSトランジスタ52,51の順番で直列に低電源電圧VDDが印可される電源ノードと接地との間に接続される。また、論理回路50の入力である、NMOSトランジスタ51,52のゲート電極には、電圧VNGが印可され、PMOSトランジスタ54,55のゲート電極には、電圧VPGが印可される。
NMOSトランジスタ53は、NMOSトランジスタ52と、PMOSトランジスタ54と、の接続点から出力される出力電圧Voutが、ゲート電極に印可され、低電源電圧VDDがドレイン端子に印可され、NMOSトランジスタ51,52の接続点に、ソース電極が接続されている。
PMOSトランジスタ56は、出力電圧Voutが、ゲート電極に印可され、ドレイン端子が接地され、PMOSトランジスタ54,55の接続点に、ソース電極が接続されている。
なお、制御信号INの電圧の最大値は、論理回路50の電源電圧よりも高い電圧を有している。そのため、NMOSトランジスタ51~53と、PMOSトランジスタ54~56と、は、高耐圧MOSトランジスタで構成される。
また、本実施形態では、抵抗値R1~R4は、入力電圧VinがノードN1に印可されない場合、PMOSトランジスタ54,55の組またはNMOSトランジスタ51,52の組のうちの何れかの組をオフする抵抗値を有している。
なお、抵抗41~44は、それぞれ「第1抵抗」、「第2抵抗」、「第3抵抗」、「第4抵抗」に相当する。電圧VNGは、「第1電圧」に相当し、電圧VPGは、「第2電圧」に相当する。NMOSトランジスタ51,52は、「2つのNMOSトランジスタ」に相当し、PMOSトランジスタ54,55は、「2つのPMOSトランジスタ」に相当する。また、出力電圧Voutの論理レベルは、「検出結果」に相当する。
なお、論理回路50は、入力電圧Vinの最大値(例えば、15V)より低い低電源電圧VDD(例えば、5V)で動作する。
==論理回路50の基本動作==
ここで、シュミットトリガ回路の基本的な動作を説明するために、論理回路50の、2つのNMOSトランジスタ51,52と、2つのPMOSトランジスタ54,55と、のゲートが共通の図4に示す回路について説明する。なお、ここでは、論理回路50の、2つのNMOSトランジスタ51,52と、2つのPMOSトランジスタ54,55と、のゲートに印可される電圧を、入力電圧Vin_orgとする。
ここで、シュミットトリガ回路の基本的な動作を説明するために、論理回路50の、2つのNMOSトランジスタ51,52と、2つのPMOSトランジスタ54,55と、のゲートが共通の図4に示す回路について説明する。なお、ここでは、論理回路50の、2つのNMOSトランジスタ51,52と、2つのPMOSトランジスタ54,55と、のゲートに印可される電圧を、入力電圧Vin_orgとする。
<<論理回路50の動作説明>>
図5は、論理回路50の動作を説明する図である。図5を用いて、論理回路50のNMOSトランジスタ51~53及びPMOSトランジスタ54~56の動作を説明する。
図5は、論理回路50の動作を説明する図である。図5を用いて、論理回路50のNMOSトランジスタ51~53及びPMOSトランジスタ54~56の動作を説明する。
点線で示された直線は、論理回路50に入力される入力電圧Vin_org及びNMOSトランジスタ51,52、PMOSトランジスタ54,55のゲート電極に印可される印可電圧の関係を示している。
まず、入力電圧Vin_orgが、X1からX3へ変化するケースXの場合について説明する。X1において、入力電圧Vin_orgは、0Vである。この時、NMOSトランジスタ51,52は、オフし、NMOSトランジスタ53は、オンする。一方、PMOSトランジスタ54,55は、オンし、PMOSトランジスタ56は、オフする。そのため、出力電圧Voutは、電源電圧VDDとなっている。
入力電圧Vin_orgが、X1よりも高くなるX2において、NMOSトランジスタ51は、オンし、NMOSトランジスタ52は、オフし、NMOSトランジスタ53は、オンする。一方、PMOSトランジスタ54,55は、オフし、PMOSトランジスタ56は、オフする。そして、出力電圧Voutは、出力電圧Voutが印可されるノードの寄生キャパシタンスが充電されたままなので、電源電圧VDDのままである。
入力電圧Vin_orgがX2での電圧よりも高くなると、NMOSトランジスタ51,52は、オンし、NMOSトランジスタ53は、オフする。一方、PMOSトランジスタ54,55は、オフし、PMOSトランジスタ56は、オンする。この時、出力電圧Voutは、電源電圧VDDから0Vへ変化する。したがって、この時の、入力電圧Vin_orgの電圧値は、高いしきい値電圧VtH_orgとなる。なお、入力電圧Vin_orgが論理回路50の高いしきい値電圧VtH_orgとなる時、NMOSトランジスタ51,52のゲート電極に印可される印可電圧は、点A1で示す電圧レベル(すなわち、VtH_org)となる。この時、出力電圧Voutは、点A1を経由して、“H”レベルから“L”レベルへと変化する。
X3において、入力電圧Vin_orgは、電源電圧VDDより高い電圧(例えば、15V)となる。この時、NMOSトランジスタ51,52は、オンし、NMOSトランジスタ53は、オフする。一方、PMOSトランジスタ54,55は、オフし、PMOSトランジスタ56は、オンする。そのため、出力電圧Voutは、0Vのままとなる。
つぎに、入力電圧Vin_orgが、Y1からY3へ変化するケースYの場合について説明する。Y1において、入力電圧Vin_orgが、電源電圧VDDより高い電圧(例えば、15V)となる。この時、PMOSトランジスタ54,55は、オフし、PMOSトランジスタ56は、オンする。一方、NMOSトランジスタ51,52は、オンし、NMOSトランジスタ53は、オフする。そのため、出力電圧Voutは、0Vとなる。
入力電圧Vin_orgが、Y1よりも低くなるY2において、PMOSトランジスタ54は、オフし、PMOSトランジスタ55は、オンし、PMOSトランジスタ56は、オンする。一方、NMOSトランジスタ51,52は、オフし、NMOSトランジスタ53は、オフする。そして、出力電圧Voutは、出力電圧Voutが印可されるノードの寄生キャパシタンスが放電されたままなので、0Vのままである。
入力電圧Vin_orgがY2での電圧よりも低くなると、PMOSトランジスタ54,55は、オンし、PMOSトランジスタ56は、オフする。一方、NMOSトランジスタ51,52は、オフし、NMOSトランジスタ53は、オンする。そのため、出力電圧Voutは、0Vから電源電圧VDDへと変化する。したがって、この時の、入力電圧Vin_orgの電圧値は、低いしきい値電圧VtL_orgとなる。なお、入力電圧Vin_orgが論理回路50の低いしきい値電圧VtL_orgになる時、PMOSトランジスタ54,55のゲート電極に印可される印可電圧は、点B1で示す電圧レベル(すなわち、VtL_org)となる。この時、出力電圧Voutは、点B1を経由して、“L”レベルから“H”レベルへと変化する。
Y3において、入力電圧Vin_orgは、0Vとなる。この時、PMOSトランジスタ54,55は、オンし、PMOSトランジスタ56は、オフする。一方、NMOSトランジスタ51,52は、オフし、NMOSトランジスタ53は、オンする。そのため、出力電圧Voutは、電源電圧VDDのままとなる。
したがって、論理回路50は、入力電圧Vin_orgの電圧レベルが低い電圧レベル(例えば、0V)から高い電圧レベル(例えば、VDD)になり、高いしきい値電圧VtH_orgを上回ると、出力電圧Voutの論理レベルを“H”レベルから、“L”レベルへ変化させる(ケースX)。また、論理回路50は、入力電圧Vin_orgの電圧レベルが高い電圧レベルから低い電圧レベルになり、低いしきい値電圧VtL_orgを下回ると、出力電圧Voutの論理レベルを“L”レベルから、“H”レベルへ変化させる(ケースY)。
<<論理回路50のしきい値電圧の計算>>
以上の通り、論理回路50は、高いしきい値電圧VtH_orgと,低いしきい値電圧VtL_orgと、によって実現されるヒステリシス特性を有している。高いしきい値電圧VtH_orgは、NMOSトランジスタ51,52が共にオンする条件に基づいて決定される。また、低いしきい値電圧VtL_orgは、PMOSトランジスタ54,55が共にオンする条件に基づいて決定される。
以上の通り、論理回路50は、高いしきい値電圧VtH_orgと,低いしきい値電圧VtL_orgと、によって実現されるヒステリシス特性を有している。高いしきい値電圧VtH_orgは、NMOSトランジスタ51,52が共にオンする条件に基づいて決定される。また、低いしきい値電圧VtL_orgは、PMOSトランジスタ54,55が共にオンする条件に基づいて決定される。
つまり、高いしきい値電圧VtH_orgは、NMOSトランジスタ51,52のそれぞれのしきい値電圧vtnに基づいて決定される。また、低いしきい値電圧VtL_orgは、PMOSトランジスタ54,55のそれぞれのしきい値電圧vtpに基づいて決定される。
ここで、PMOSトランジスタ54,55のそれぞれのしきい値電圧は共通のvtpであるとしたが、PMOSトランジスタ54,55のそれぞれのしきい値電圧が異なっても良い。NMOSトランジスタ51,52のしきい値電圧vtnについても同様である。
以下に、高いしきい値電圧VtH_orgがしきい値電圧vtnによってどのように決定されるのかを説明する。同様に、低いしきい値電圧VtL_orgがしきい値電圧vtpによってどのように決定されるかも説明する。
まず、高いしきい値電圧VtH_orgをしきい値電圧vtnで表すために、入力電圧Vinが、低い電圧(例えば、0V)から高い電圧(例えば、VDD)に変化する場合について説明する。
図4の論理回路50のうち、NMOSトランジスタ51~53を含む回路を用いて説明する。NMOSトランジスタ51、52、53のゲート・ソース間電圧をVGS51,VGS52,VGS53とすると、それぞれは以下のように表される。ここで、NMOSトランジスタ51と、NMOSトランジスタ52と、の接続点の電圧を電圧Vxとする。
VGS51=Vin_org・・・(3)
VGS52=Vin_org-Vx・・・(4)
VGS53=Vout-Vx・・・(5)
図5のX1において、入力電圧Vin_orgが0Vであるとき、NMOSトランジスタ51,52はオフされ、NMOSトランジスタ53はオンされる。
VGS52=Vin_org-Vx・・・(4)
VGS53=Vout-Vx・・・(5)
図5のX1において、入力電圧Vin_orgが0Vであるとき、NMOSトランジスタ51,52はオフされ、NMOSトランジスタ53はオンされる。
入力電圧Vinが、NMOSトランジスタ51のしきい値電圧vtnに近づくと、NMOSトランジスタ51はオンされる。そして、NMOSトランジスタ53に流れるドレイン電流と、NMOSトランジスタ51に流れるドレイン電流と、が等しくなる。
この場合、以下の式(6)が成立する。
β3×(VDD-Vx-vtn)^2/2=β1×(Vin_org-vtn)^2/2・・・(6)
ここで、β1及びβ3は、それぞれNMOSトランジスタ51,53の物理構造によって決定される係数である。例えば、β=μCoxW/Lであり、μは、移動度であり、Coxは、ゲート酸化膜の単位面積のキャパシタンスであり、Wは、ゲート幅、Lは、ゲート長である。
ここで、β1及びβ3は、それぞれNMOSトランジスタ51,53の物理構造によって決定される係数である。例えば、β=μCoxW/Lであり、μは、移動度であり、Coxは、ゲート酸化膜の単位面積のキャパシタンスであり、Wは、ゲート幅、Lは、ゲート長である。
電圧Vxを求めるために、式(6)を変形すると、以下の通りとなる。
Vx=VDD+(√(β1/β3)-1)×vtn-√(β1/β3)×Vin_org・・・(7)
入力電圧Vinがより高い電圧となり、高いしきい値電圧VtH_orgとなり、VGS52=Vin_org-Vx=vtnとなると、NMOSトランジスタ52は、オンされる。NMOSトランジスタ51,52がオンされるので、出力電圧Voutは0Vとなる。このときの入力電圧Vin_orgをVtH_orgとすると、以下の式(8)が成立する。
入力電圧Vinがより高い電圧となり、高いしきい値電圧VtH_orgとなり、VGS52=Vin_org-Vx=vtnとなると、NMOSトランジスタ52は、オンされる。NMOSトランジスタ51,52がオンされるので、出力電圧Voutは0Vとなる。このときの入力電圧Vin_orgをVtH_orgとすると、以下の式(8)が成立する。
VtH_org-VDD-(√(β3/β1)-1)×vtn+√(β3/β1)×VtH_org=vtn・・・(8)
式(8)からVtH_orgを求めると、以下の式(9)が成立する。
式(8)からVtH_orgを求めると、以下の式(9)が成立する。
VtH_org=(VDD+√(β1/β3)×vtn)/(1+√(β1/β3))=(√(β3/β1)×VDD+vtn)/(1+√(β3/β1))・・・(9)
なお、NMOSトランジスタ51,52がオンされると、Vx=Vout=0となり、VGS53=0となるので、NMOSトランジスタ53はオフされる。
なお、NMOSトランジスタ51,52がオンされると、Vx=Vout=0となり、VGS53=0となるので、NMOSトランジスタ53はオフされる。
つぎに、低いしきい値電圧VtL_orgをしきい値電圧vtpで表すために、入力信号Vin_orgが、高い電圧から低い電圧に変化する場合について説明する。ここで、しきい値電圧vtpは、負の値であるものとする。
図4の論理回路50のうち、PMOSトランジスタ54~56を含む回路を用いて説明する。PMOSトランジスタ54,55,56のゲート・ソース間電圧をVGS54,VGS55,VGS56とすると、それぞれは以下のように表される。ここで、PMOSトランジスタ54と、PMOSトランジスタ55と、の接続点の電圧を電圧Vyとする。
VGS54=Vin_org-Vy・・・(10)
VGS55=Vin_org-VDD・・・(11)
VGS56=Vout-Vy・・・(12)
入力電圧Vin_orgがVDDであるとき、PMOSトランジスタ54,55はオフされ、PMOSトランジスタ56はオンされる。この時、Vout=0、Vy=vtpである。
VGS55=Vin_org-VDD・・・(11)
VGS56=Vout-Vy・・・(12)
入力電圧Vin_orgがVDDであるとき、PMOSトランジスタ54,55はオフされ、PMOSトランジスタ56はオンされる。この時、Vout=0、Vy=vtpである。
入力電圧Vin_orgが、VDD+vtpに近づくと、PMOSトランジスタ55はオンされる。そして、PMOSトランジスタ56に流れるドレイン電流と、PMOSトランジスタ55に流れるドレイン電流と、が等しくなる。
この場合、以下の式(13)が成立する。
β5×(Vin_org-VDD‐vtp)^2/2=β6×(―Vy-vtp)^2/2・・・(13)
ここで、β5及びβ6は、それぞれPMOSトランジスタ55,56の物理構造によって決定される係数である。例えば、β=μCoxW/Lであり、μは、移動度であり、Coxは、ゲート酸化膜の単位面積のキャパシタンスであり、Wは、ゲート幅、Lは、ゲート長である。
ここで、β5及びβ6は、それぞれPMOSトランジスタ55,56の物理構造によって決定される係数である。例えば、β=μCoxW/Lであり、μは、移動度であり、Coxは、ゲート酸化膜の単位面積のキャパシタンスであり、Wは、ゲート幅、Lは、ゲート長である。
電圧Vyを求めるために、式(13)を変形すると、以下の通りとなる。
Vy=√(β5/β6)×VDD+(√(β5/β6)-1)×vtp-√(β5/β6)×Vin_org・・・(14)
入力電圧Vin_orgがより低い電圧となり、VGS54=Vin_org-Vy=vtpとなると、PMOSトランジスタ54は、オンされる。PMOSトランジスタ54,55がオンされるので、出力電圧VoutはVDDとなる。このときの入力電圧Vin_orgをVtL_orgとすると、以下の式(15)が成立する。
入力電圧Vin_orgがより低い電圧となり、VGS54=Vin_org-Vy=vtpとなると、PMOSトランジスタ54は、オンされる。PMOSトランジスタ54,55がオンされるので、出力電圧VoutはVDDとなる。このときの入力電圧Vin_orgをVtL_orgとすると、以下の式(15)が成立する。
VtL_org-√(β5/β6)×VDD-(√(β5/β6)-1)×vtp+√(β5/β6)×VtL_org=vtp・・・(15)
式(15)からVtL_orgを求めると、以下の式(16)が成立する。
式(15)からVtL_orgを求めると、以下の式(16)が成立する。
VtL_org=(√(β5/β6)×VDD+√(β5/β6)×vtp)/(1+√(β5/β6))=(VDD+vtp)/(1+√(β6/β5))・・・(16)
なお、PMOSトランジスタ54,55がオンされると、Vy=Vout=VDDとなり、VGS56=0となるので、PMOSトランジスタ56はオフされる。
なお、PMOSトランジスタ54,55がオンされると、Vy=Vout=VDDとなり、VGS56=0となるので、PMOSトランジスタ56はオフされる。
以上から、高いしきい値電圧VtH_orgは、NMOSトランジスタ51,52のそれぞれのしきい値電圧vtnに応じた電圧であり、低いしきい値電圧VtL_orgは、PMOSトランジスタ54,55のそれぞれのしきい値電圧vtpに応じた電圧である。
<<比較回路21aのしきい値電圧の計算>>
比較回路21aでは、NMOSトランジスタ51,52のゲート電極には、電圧VNGが印可され、PMOSトランジスタ54,55のゲート電極には、電圧VPGが印可されている。
比較回路21aでは、NMOSトランジスタ51,52のゲート電極には、電圧VNGが印可され、PMOSトランジスタ54,55のゲート電極には、電圧VPGが印可されている。
したがって、電圧VNGが、低い電圧から高い電圧に変化する際に、高いしきい値電圧VtH_orgを上回ると、出力電圧Voutの論理レベルは、“H”レベルから“L”レベルに変化する。同様に、電圧VPGが、高い電圧から低い電圧に変化する際に、低いしきい値電圧VtL_orgを下回ると、出力電圧Voutの論理レベルは、“L”レベルから“H”レベルに変化する。
そのため、論理回路50の高いしきい値電圧VtH_orgが論理回路50に印加されるとき、比較回路21aの制御信号INの電圧レベルが入力電圧Vinとしてしきい値電圧VtHとなる場合、式(1)から
VtH_org=(R1/(R1+R2))×VtH+(R2/(R1+R2))×VDD・・・(17)
式(17)から高いしきい値電圧VtHを求めると、以下の通りとなる。
VtH_org=(R1/(R1+R2))×VtH+(R2/(R1+R2))×VDD・・・(17)
式(17)から高いしきい値電圧VtHを求めると、以下の通りとなる。
VtH=((R1+R2)/R1)×VtH_org-(R2/R1)×VDD・・・(18)
同様に、論理回路50の低いしきい値電圧VtL_orgが論理回路50に印加されるとき、比較回路21aの制御信号INの電圧レベルが入力電圧Vinとしてしきい値電圧VtLとなる場合、式(2)から
VtL_org=(R4/(R3+R4))×VtL・・・(19)
式(19)から低いしきい値電圧VtLを求めると、以下の通りとなる。
同様に、論理回路50の低いしきい値電圧VtL_orgが論理回路50に印加されるとき、比較回路21aの制御信号INの電圧レベルが入力電圧Vinとしてしきい値電圧VtLとなる場合、式(2)から
VtL_org=(R4/(R3+R4))×VtL・・・(19)
式(19)から低いしきい値電圧VtLを求めると、以下の通りとなる。
VtL=((R3+R4)/R4)×VtL_org・・・(20)
以上から、比較回路21aの高いしきい値電圧VtH及び低いしきい値電圧VtLは、論理回路50の高いしきい値電圧VtH_org及び低いしきい値電圧VtL_orgと異なる値とすることができる。そして、比較回路21aを用いれば、抵抗41~44の抵抗値R1~R4を変更することで、比較回路21aの高いしきい値電圧VtH及び低いしきい値電圧VtLを、変化させることができる。そのため、論理回路50のヒステリシス特性を変化させることができる。
以上から、比較回路21aの高いしきい値電圧VtH及び低いしきい値電圧VtLは、論理回路50の高いしきい値電圧VtH_org及び低いしきい値電圧VtL_orgと異なる値とすることができる。そして、比較回路21aを用いれば、抵抗41~44の抵抗値R1~R4を変更することで、比較回路21aの高いしきい値電圧VtH及び低いしきい値電圧VtLを、変化させることができる。そのため、論理回路50のヒステリシス特性を変化させることができる。
また、入力電圧Vinが、高くなり、比較回路21aの高いしきい値電圧VtHとなる時、電圧VPGは、低いしきい値電圧VtL_orgより高くなるように、抵抗43,44の抵抗値R3,R4は、設計される。一方、入力電圧Vinが、低くなり、比較回路21aの低いしきい値電圧VtLとなる時、電圧VNGは、高いしきい値電圧VtH_org未満となるように、抵抗41~44の抵抗値R1~R4は、設計される。
したがって、入力信号Vinが変化しても、論理回路50の動作の説明で、説明した通り、NMOSトランジスタ51~53と、PMOSトランジスタ54~56と、が動作する。
なお、“L”レベルが、「第1論理レベル」に相当し、“H”レベルが、「第2論理レベル」に相当する場合があり、逆に、“H”レベルが、「第1論理レベル」に相当し、“L”レベルが、「第2論理レベル」に相当する場合もある。
<<比較回路21a及び論理回路50の入出力特性の比較>>
図6は、比較回路21aを用いた場合のしきい値の変化を示す図である。図6において、点線で示された直線は、図4の論理回路50に入力される入力電圧Vin_org及びNMOSトランジスタ51,52、PMOSトランジスタ54,55のゲート電極に印可される印可電圧の関係を示している。
図6は、比較回路21aを用いた場合のしきい値の変化を示す図である。図6において、点線で示された直線は、図4の論理回路50に入力される入力電圧Vin_org及びNMOSトランジスタ51,52、PMOSトランジスタ54,55のゲート電極に印可される印可電圧の関係を示している。
また、一点鎖線で示された直線は、比較回路21aに入力される入力電圧Vinに対する、電圧VNGの変化を示す直線である。すなわち、一点鎖線で示された直線は、入力電圧Vinに対する、NMOSトランジスタ51,52のゲート電極に印可される印可電圧の変化を示す直線である。
そして、二点鎖線で示された直線は、比較回路21aに入力される入力電圧Vinに対する、電圧VPGの変化を示す直線である。すなわち、二点鎖線で示された直線は、入力電圧Vinに対する、PMOSトランジスタ54,55のゲート電極に印可される印可電圧の変化を示す直線である。ただし、電圧VNG,VPGの直線は、抵抗41~44の抵抗値R1~R4の関係が、R2:R1=R3:R4=1:2である場合の一例である。
以下に、比較回路21aの場合の入力電圧Vin、比較回路21aの高いしきい値電圧VtH及び低いしきい値電圧VtLの関係を説明する。
まず、入力電圧Vinが、低い電圧(例えば、0V)から高い電圧(例えば、VDD)へ変化し、電圧VNGが、点A1で示す電圧レベルと同じ電圧レベルである、点A2で示す電圧レベル(すなわち、VtH_org)となると、出力電圧Voutの論理レベルは、点A2を通る実線で示す通り、“H”レベルから“L”レベルへと変化する。したがって、電圧VNGの電圧レベルが、点A2となる時、入力電圧Vinは、比較回路21aの高いしきい値電圧VtHとなる。
つぎに、入力電圧Vinが、高い電圧から低い電圧へ変化し、電圧VPGが、点B1で示す電圧レベルと同じ電圧レベルである、点B2で示す電圧レベル(すなわち、VtL_org)となると、出力電圧Voutの論理レベルは、点B2を通る実線で示す通り、“L”レベルから“H”レベルへと変化する。したがって、電圧VPGの電圧レベルが、点B2となる時、入力電圧Vinは、比較回路21aの低いしきい値電圧VtLとなる。
このように、比較回路21aは、NMOSトランジスタ51,52、PMOSトランジスタ54,55に対し、電圧変換回路40aで生成される電圧VNG,VPGを印可する。これにより、比較回路21aは、MOSトランジスタのしきい値によって決定される高いしきい値電圧VtH_org及び低いしきい値電圧VtL_orgを、比較回路21aの高いしきい値電圧VtH及び低いしきい値電圧VtLに変えることができる。したがって、比較回路21aは、論理回路50のヒステリシス特性を変化させることができる。
また、前述した式(9)や式(16)に示されるように、NMOSトランジスタ51,52のそれぞれのしきい値電圧vtnに応じた電圧に、高いしきい値電圧VtH_orgの値が依存し、PMOSトランジスタ54,55のそれぞれのしきい値電圧vtpに応じた電圧に、低いしきい値電圧VtL_orgの値が依存する。しきい値電圧が低いものを用いることができ、その場合ヒステリシス特性を変更できる。
また、本発明は論理回路50として従来の図4のものを用いている。ヒステリシス比較器にてヒステリシス幅や、“H”レベルから“L”レベル、“L”レベルから“H”レベルの閾値を変更可能にしたものは差動アンプを複数用いる必要が出てくる。差動アンプは面積が大きい上、動作させる際にバイアス電流を流す続ける必要があり、消費電力が大きくなる。論理回路50の出力がハイレベルで安定した場合はNMOSトランジスタ51,52がオフであるので、この論理回路50には貫通電流が流れない。同じく論理回路50の出力がローレベルで安定した場合はPMOSトランジスタ54,55であるので、この論理回路50には貫通電流が流れない。よって出力切り替わりの際以外は消費電流が少ないので、消費電力が抑えられる。
===変形例===
==比較回路21b==
図7は、比較回路21bの構成の一例を示す図である。比較回路21bの電圧変換回路40bは、比較回路21aの電圧変換回路40aに、さらに、入力電圧が印可されるノードと、接地と、の間に抵抗45を加えたものである。
==比較回路21b==
図7は、比較回路21bの構成の一例を示す図である。比較回路21bの電圧変換回路40bは、比較回路21aの電圧変換回路40aに、さらに、入力電圧が印可されるノードと、接地と、の間に抵抗45を加えたものである。
==比較回路21c==
図8は、比較回路21cの構成の一例を示す図である。電圧変換回路は、電圧変換回路40a,40bとは異なる構成で実現されてもよい。一例として、電圧変換回路40cは、入力電圧Vinが、ゲート電極に印可され、ソース電極から電圧VNGbを出力するソースフォロア回路61aと、入力電圧Vinが、ゲート電極に印可され、ソース電極から電圧VPGbを出力するソースフォロア回路61bと、で構成される。
図8は、比較回路21cの構成の一例を示す図である。電圧変換回路は、電圧変換回路40a,40bとは異なる構成で実現されてもよい。一例として、電圧変換回路40cは、入力電圧Vinが、ゲート電極に印可され、ソース電極から電圧VNGbを出力するソースフォロア回路61aと、入力電圧Vinが、ゲート電極に印可され、ソース電極から電圧VPGbを出力するソースフォロア回路61bと、で構成される。
ソースフォロア回路61aは、定電流源62aと、PMOSトランジスタ63aと、を含んで構成される。また、ソースフォロア回路61bは、定電流源62bと、NMOSトランジスタ63bと、を含んで構成される。
なお、ソースフォロア回路61aは、「第1ソースフォロア回路」に相当し、ソースフォロア回路62bは、「第2ソースフォロア回路」に相当する。
ソースフォロア回路61aの出力である電圧VNGbは基本的に入力電圧VinがPMOSトランジスタ63aのゲートーソース間電圧分シフトした電圧が出力される形となる。同じくソースフォロア回路61bの出力である電圧VPGbはNMOSトランジスタ63bのゲートーソース間電圧分シフトした電圧が出力される形となる。
しかしながら、ソースフォロア回路の性質から、定電流源やトランジスタで用いられる電圧降下分を差し引いた出力振幅をはみ出した入力電圧Vinはカットされて出力されるので、電圧VNGbや電圧VPGbの振幅は低電源電圧VDDとグラウンド電圧の間の電位差よりも小さくなる。
電圧変換回路40cは入力電圧Vinを受けるので高耐圧素子が必要となる。しかしながら、低電源電圧VDDで動作するソースフォロア回路の出力を受ける電圧VNGと、電圧VPGの振幅はグラウンド電圧と低電源電圧VDDとの電位差以下となるので、比較回路21aにて高耐圧素子を用いないでもより確実に素子の破壊を防ぐことができる。よって本変形例では電圧変換回路40cは高耐圧素子を用い、低電源電圧VDDとグラウンド電圧の間の電位差で動作する論理回路50は低耐圧素子を用いる。
===まとめ===
以上、本実施形態のパワーモジュール10について説明した。比較回路21として、シュミットトリガ回路を用いる場合、ヒステリシス特性は、NMOSトランジスタ51,52、PMOSトランジスタ54,55のそれぞれのしきい値電圧によって決められ、ヒステリシス特性を変化させることは難しかった。しかしながら、入力電圧Vinを、電圧VNGと、電圧VPGと、に変換し、それぞれを、NMOSトランジスタ51,52のゲート電極と、PMOSトランジスタ54,55のゲート電極と、に印可することによって、入力電圧Vinから見たヒステリシス特性を変化させることができる。
以上、本実施形態のパワーモジュール10について説明した。比較回路21として、シュミットトリガ回路を用いる場合、ヒステリシス特性は、NMOSトランジスタ51,52、PMOSトランジスタ54,55のそれぞれのしきい値電圧によって決められ、ヒステリシス特性を変化させることは難しかった。しかしながら、入力電圧Vinを、電圧VNGと、電圧VPGと、に変換し、それぞれを、NMOSトランジスタ51,52のゲート電極と、PMOSトランジスタ54,55のゲート電極と、に印可することによって、入力電圧Vinから見たヒステリシス特性を変化させることができる。
また、入力電圧Vinが、論理回路50の電源電圧VDDよりも高く、NMOSトランジスタ51~53と、PMOSトランジスタ54~56と、には、高耐圧MOSトランジスタが用いられる。この時、論理回路50を用いると、抵抗41~44の抵抗値R1~R4を調整することで、高耐圧MOSトランジスタのしきい値によって決定されるヒステリシス特性を変えることができる。
また、本実施形態では、ローサイド駆動回路27によってNMOSトランジスタ32がオンされると、端子VSの電圧Vsが、負荷11のインダクタ成分の影響により負電圧となることがある。そして、接地から、端子VSの電圧Vsが印可されている電圧ラインへ電流が流れ、端子Gの電位(例えば、接地)が変動することがある。これにより、低電源電圧VDDが変動することがある。論理回路50を、2つのPMOSトランジスタと、2つのNMOSトランジスタと、で構成することで、シュミットトリガ回路としてコンパレータを用いた場合に、低電源電圧VDDが変動すると生じるバイアス電流の変動による影響を受けない。したがって、論理回路50は、精度の高いシュミットトリガ回路として動作する。
また、電圧変換回路40aを抵抗41~44で構成することによって、精度の高い電圧VNG,VPGを生成することができる。
また、抵抗41~44の抵抗値R1~R4は、論理回路50の2つのPMOSトランジスタ54,55の組またはNMOSトランジスタ51,52の組の何れかの組がオフされるように決定される。これにより、ノードN1に入力電圧Vinが印可されない場合でも、論理回路50に貫通電流が流れないようにすることができる。
また、電圧変換回路40bは、2つのソースフォロア回路によって実現される。これにより、論理回路50の場合と同様に、入力電圧Vinから見たヒステリシス特性を変化させることができる。
また、抵抗45が、ノードN1と、接地と、の間に接続されると、入力電圧Vinが、ノードN1に印可されない場合にノードN1をプルダウンすることができ、抵抗41~44の抵抗値R1~R4をある程度自由に設計できる。
上記の実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。また、本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更や改良され得るとともに、本発明にはその等価物が含まれるのはいうまでもない。
10 パワーモジュール
11 負荷
12,14 コンデンサ
13 直流電源
20 HVIC
21,21a,21b,21c 比較回路
22 インバータ
23 フィルタ回路
24 パルス生成回路
25 ハイサイド駆動回路
26 電源回路
27 ローサイド駆動回路
30 ブリッジ回路
31,32,51~53,63b NMOSトランジスタ
40a,40b,40c 電圧変換回路
41~45 抵抗
50 論理回路
54~56,63a PMOSトランジスタ
61a,61b ソースフォロア回路
62a,62b 定電流源
11 負荷
12,14 コンデンサ
13 直流電源
20 HVIC
21,21a,21b,21c 比較回路
22 インバータ
23 フィルタ回路
24 パルス生成回路
25 ハイサイド駆動回路
26 電源回路
27 ローサイド駆動回路
30 ブリッジ回路
31,32,51~53,63b NMOSトランジスタ
40a,40b,40c 電圧変換回路
41~45 抵抗
50 論理回路
54~56,63a PMOSトランジスタ
61a,61b ソースフォロア回路
62a,62b 定電流源
Claims (8)
- 入力電圧が、第1しきい値電圧を上回ると、第1論理レベルの出力電圧を出力し、前記入力電圧が、前記第1しきい値電圧より低い第2しきい値電圧を下回ると、第2論理レベルの前記出力電圧を出力する、比較回路であって、
前記入力電圧を、第1電圧と、前記第1電圧より低い第2電圧と、に変換する変換回路と、
前記第1電圧が、第3しきい値電圧を上回ると、前記第1論理レベルの前記出力電圧を出力し、前記第2電圧が、前記第3しきい値電圧より低い第4しきい値電圧を下回ると、前記第2論理レベルの前記出力電圧を出力する論理回路と、
を備える、比較回路。 - 請求項1に記載の比較回路であって、
前記論理回路は、前記入力電圧の最大値より低い電源電圧で動作する、比較回路。 - 請求項1または2に記載の比較回路であって、
前記論理回路は、
2つのゲート電極のそれぞれに前記第2電圧が印可され、直列に接続された、電源側の2つのPMOSトランジスタと、
2つのゲート電極のそれぞれに前記第1電圧が印可され、前記2つのPMOSトランジスタと、接地と、の間に直列に接続された2つのNMOSトランジスタと、
を備えたシュミットトリガ回路であり、
前記第3しきい値電圧は、前記2つのNMOSトランジスタのそれぞれのしきい値電圧に応じた電圧であり、前記第4しきい値電圧は、前記2つのPMOSトランジスタのそれぞれのしきい値電圧に応じた電圧である、比較回路。 - 請求項3に記載の比較回路であって、
前記変換回路は、
前記論理回路の電源電圧が印可されるノードと、接地と、の間に直列に接続された第1抵抗から第4抵抗を備え、
前記変換回路は、
前記第2抵抗及び前記第3抵抗の接続点に前記入力電圧が印可されると、前記第1抵抗及び前記第2抵抗の接続点において前記第1電圧を生成し、前記第3抵抗及び前記第4抵抗の接続点において前記第2電圧を生成する、比較回路。 - 請求項4に記載の比較回路であって、
前記第1抵抗から前記第4抵抗は、前記変換回路に前記入力電圧が印可されない場合、前記2つのPMOSトランジスタの組または前記2つのNMOSトランジスタの組のうちの何れかの組をオフする抵抗値を有する、比較回路。 - 請求項1~3のうちの何れか一項に記載の比較回路であって、
前記変換回路は、
前記入力電圧が、ゲート電極に印可され、ソース電極から前記第1電圧を出力する第1ソースフォロア回路と、
前記入力電圧が、ゲート電極に印可され、ソース電極から前記第2電圧を出力する第2ソースフォロア回路と、
を備える、比較回路。 - 請求項1~6のうちの何れか一項に記載の比較回路であって、
前記変換回路は、
前記入力電圧が印可されるノードと、接地と、の間に接続された抵抗をさらに備える、比較回路。 - 電源電圧から、前記電源電圧より低い低電源電圧を生成する電源回路と、前記低電源電圧で動作し、上側アームのスイッチング素子及び下側アームのスイッチング素子を駆動するための制御信号を検出する検出回路と、前記検出回路の検出結果に基づいて、前記上側アームのスイッチング素子及び前記下側アームのスイッチング素子を駆動する駆動回路と、を備えた半導体装置であって、
前記検出回路は、
前記制御信号の電圧レベルが第1しきい値電圧を上回ると、第1論理レベルの前記検出結果を出力し、前記制御信号の電圧レベルが前記第1しきい値電圧より低い第2しきい値電圧を下回ると、第2論理レベルの前記検出結果を出力する比較回路を備え、
前記比較回路は、
前記制御信号の電圧レベルを、第1電圧と、前記第1電圧より低い第2電圧と、に変換する変換回路と、
前記第1電圧が第3しきい値電圧を上回ると、前記第1論理レベルの前記検出結果を出力し、前記第2電圧が前記第3しきい値電圧より低い第4しきい値電圧を下回ると、前記第2論理レベルの前記検出結果を出力する論理回路と、
を備える、半導体装置。
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