WO2021100313A1 - スタッカクレーン - Google Patents

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WO2021100313A1
WO2021100313A1 PCT/JP2020/036048 JP2020036048W WO2021100313A1 WO 2021100313 A1 WO2021100313 A1 WO 2021100313A1 JP 2020036048 W JP2020036048 W JP 2020036048W WO 2021100313 A1 WO2021100313 A1 WO 2021100313A1
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WO
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pillar
fixing
inner member
hole
stacker crane
Prior art date
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PCT/JP2020/036048
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English (en)
French (fr)
Inventor
▲イン▼ 崔
石川　和広
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村田機械株式会社
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Publication date
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    • H01L21/67769—Storage means

Definitions

  • One aspect of the present invention relates to a stacker crane.
  • Patent Document 1 describes a stacker crane including a mast formed by connecting a plurality of pillar members in the height direction and an elevating platform that moves up and down along the mast.
  • the plurality of pillar members constituting the mast are connected after the positional relationship is adjusted at a factory or the like, and then the connection is released and the mast is shipped again at the installation site. Be connected.
  • a plurality of column members are connected so that the adjusted positional relationship can be reproduced, but it may take time and effort to reproduce the positional relationship.
  • one aspect of the present invention is to provide a stacker crane capable of easily reproducing the adjusted positional relationship when connecting a plurality of pillar members at an installation site.
  • the stacker crane is a stacker crane including a mast formed by connecting a plurality of pillar members in the height direction and an elevating platform that moves up and down along the mast.
  • a connecting structure for connecting the adjacent first and second pillar members among the pillar members is provided, and the connecting structure includes an outer member attached across the first and second pillar members, and the first pillar member and the outer member.
  • a second fixing member that fixes the outer member to the second pillar member together with the second inner member, a third fixing member that fixes the first inner member to the first pillar member, and a second pillar member that fixes the second inner member to the second pillar member.
  • the outer member and the first inner member are provided with a first positioning portion that defines the positional relationship between the outer member and the first inner member, and the outer member and the second inner member are provided with a fourth fixing member.
  • the inner member is provided with a second positioning portion that defines the positional relationship between the outer member and the second inner member.
  • the first and second fixing members are removed.
  • the outer member can be removed from the first and second inner members, while the first and second inner members can remain fixed to the first and second pillar members, respectively.
  • the first and second pillar members can be reconnected by reattaching the first and second fixing members and fixing the outer members to the first and second inner members.
  • the first and second positions are arranged so that the positional relationship adjusted in the factory or the like is reproduced.
  • the second pillar member will be connected. Therefore, when connecting a plurality of column members at the installation site, it is possible to easily reproduce the adjusted positional relationship.
  • the first positioning portion is formed in one of the outer member and the first inner member and the first hole formed in one of the outer member and the first inner member.
  • the second positioning portion is formed on one of the outer member and the second inner member, and the second positioning portion is formed on one of the outer member and the second inner member. It may include a second pin that fits into the two holes.
  • the definition of the positional relationship between the outer member and the first inner member can be realized by fitting the first pin into the first hole.
  • the definition of the positional relationship between the outer member and the second inner member can be realized by fitting the second pin into the second hole.
  • a plurality of the first hole and the first pin are formed, and a plurality of the second hole and the second pin are formed, respectively, and any one of the plurality of first holes and the like.
  • Any one of the plurality of second holes may be an elongated hole. In this configuration, the first hole and the first pin can be easily fitted, and the second hole and the second pin can be easily fitted.
  • the connecting structure is interposed between the first inner member and the first pillar member, and at least between the second inner member and the second pillar member. It may have a shim plate. Since the first inner member does not need to be removed once fixed to the first pillar member, and similarly, the second inner member does not need to be removed once fixed to the second pillar member, it is interposed between them. The shim plate to be used does not need to be removed once it is attached. Therefore, when connecting a plurality of pillar members at the installation site, it is not necessary to manage the shim plate, and the adjusted positional relationship can be reproduced more easily.
  • the connecting structure may be provided on at least one of the side wall and the rear wall of the first and second pillar members.
  • the first and second pillar members can be connected with high accuracy.
  • the connecting structure provided on the side wall of the first and second pillar members further includes a front side member connected to the outer member and fixed to the front wall of the first and second pillar members. You may have. In this configuration, the front member can effectively suppress the deformation of the mast.
  • a stacker crane capable of easily reproducing the adjusted positional relationship when connecting a plurality of pillar members at an installation site.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing a stocker provided with a stacker crane according to the embodiment.
  • FIG. 2 is a perspective view showing the mast.
  • FIG. 3 is a plan sectional view showing the mast.
  • FIG. 4 is a perspective view showing a connected structure.
  • FIG. 5 is a view of the outer member of the connecting structure as viewed from the thickness direction.
  • FIG. 6 is a view of the front member of the connecting structure as viewed from the thickness direction.
  • FIG. 7A is a view of the first inner member of the connecting structure as viewed from the thickness direction.
  • FIG. 7B is a view of the second inner member of the connecting structure as viewed from the thickness direction.
  • FIG. 8 is an exploded perspective view showing a connected structure.
  • FIG. 9 is a view of the intermediate wall connecting plate as viewed from the thickness direction.
  • FIG. 10 is a view of the shim plate viewed from the thickness direction.
  • FIG. 11 is a perspective view for explaining an example
  • the stocker 1 functions as a storage for storing a containment vessel (conveyed object) 90 such as a FOUP (Front Opening Unified Pod) in which an object to be stored such as a semiconductor wafer and a glass substrate is stored.
  • a containment vessel such as a FOUP (Front Opening Unified Pod)
  • the stocker 1 is provided in, for example, a clean room.
  • the stocker 1 mainly includes a stocker main body 3, a rack 4, a stacker crane 7, and a controller 80.
  • the stocker main body 3 is a part that defines the internal space A of the stocker 1, and is formed by a plurality of partitions.
  • the rack 4 is a portion for storing the containment vessel 90, and is usually provided in one or two rows (here, two rows). Each rack 4 extends in the X direction (width direction), and is arranged substantially in parallel so that two adjacent racks 4 and 4 face each other.
  • Each rack 4 has a plurality of storage shelves 50 on which the containment vessel 90 is placed and stored. The storage shelves 50 are arranged along the X direction and the Z direction (vertical direction).
  • the stacker crane 7 is a mechanism for moving the containment vessel 90 in and out of the storage shelf 50 and moving the containment vessel 90 between the storage port and the delivery port (not shown) and the storage shelf 50, or between the storage shelves 50.
  • the stacker crane 7 is arranged in an area sandwiched between racks 4 and 4 facing each other.
  • the stacker crane 7 can travel in a track (not shown) arranged on the floor along the extending direction (X direction) of the rack 4 and move in the X direction along the rack 4.
  • the stacker crane 7 includes a traveling portion 71, an elevating portion 74, a turning portion 75, and a hand 79.
  • the traveling unit 71 is provided so as to be able to travel in the X direction along the track by a traveling driving unit such as a motor.
  • the elevating part 74 includes a mast 100 and an elevating table 73.
  • the mast 100 is a member provided on the traveling portion 71 and extending in the Z direction.
  • the lifting platform 73 is provided so as to be able to move up and down along the mast 100 by a lifting drive unit such as a motor.
  • the swivel portion 75 rotates the hand 79 or the like mounted on the swivel portion 75 in the axial rotation direction along the Z direction.
  • the hand 79 places the containment vessel 90 on it.
  • the hand 79 is provided on the lift 73.
  • the hand 79 moves forward and backward (advances to the outside of the lift 73 and moves back and forth onto the lift 73 in a plan view) by a transfer device (not shown) to transfer the containment vessel 90.
  • the configuration, mechanism, or arrangement of the traveling unit 71, the elevating unit 74, the turning unit 75, and the hand 79 is not particularly limited. Various known mechanisms or devices can be adopted as the traveling unit 71, the elevating unit 74, the turning unit 75, and the hand 79.
  • the controller 80 controls each part of the stacker crane 7.
  • the controller 80 is arranged inside the stocker main body 3, for example.
  • the controller 80 has a CPU (Central Processing Unit), a RAM (Random Access Memory), a ROM (Read Only Memory), and the like.
  • various controls are executed by the cooperation of hardware such as a CPU, RAM and ROM, and software such as a program.
  • the mast 100 is configured by connecting a plurality of pillar members 110 in the Z direction (height direction).
  • the pillar members 110 have a long shape in the Z direction and are arranged adjacent to each other in the Z direction so as to abut each other.
  • the stacker crane 7 includes a plurality of connecting structures 150 that connect a pair of pillar members 110 adjacent to each other in the Z direction.
  • the column member 110 has a pair of side walls 101 extending along the X direction when viewed from the Z direction and facing each other in the Y direction.
  • front walls 102 are provided so as to be bent inward in the Y direction from the pair of side walls 101 and connected to each other.
  • the pair of front walls 102 extend along the Y direction when viewed from the Z direction.
  • a rear wall 103 is provided on the pair of side walls 101 closer to the rear side than the center in the X direction so as to bridge the pair of side walls 101.
  • the rear wall 103 extends along the Y direction when viewed from the Z direction.
  • a rear intermediate wall 104 is provided so as to partition the rear space defined by the side wall 101 and the rear wall 103.
  • the rear intermediate wall 104 extends along the X direction when viewed from the Z direction.
  • a cover 105 extending along the Y direction is provided at the inner end of each of the pair of front walls 102 in the Y direction.
  • the side wall 101, the front wall 102, and the cover 105 define a front space FA.
  • a rail 106 for the elevating table 73 (FIG. 1) and a rail 107 for a balance weight (not shown) for balancing the elevating table 73 are arranged so as to extend in the Z direction.
  • the rail 106 is provided on the front surface 103a of the rear wall 103.
  • the rail 107 is provided on the inner surface 101a of either side wall 101.
  • any one of the plurality of pillar members 110 will be referred to as an upper pillar member (first pillar member) 120, and the other one of the plurality of pillar members 110 and below the upper pillar member 120.
  • the adjacent one will be described as a lower pillar member (second pillar member) 130.
  • the connecting structure 150 is provided on each of the outer surfaces 101b of the pair of side walls 101 of the upper pillar member 120 and the lower pillar member 130. As shown in at least one of FIGS. 3 to 8, the connecting structure 150 has a double plate structure of an outer side and an inner side.
  • the connecting structure 150 includes an outer member 151, a first inner member 152, a second inner member 153, a first fixing member 154, a second fixing member 155, a third fixing member 156, and a fourth fixing member 157.
  • the outer member 151 is a rectangular plate-shaped member attached over the upper pillar member 120 and the lower pillar member 130.
  • the outer member 151 is made of, for example, aluminum, which is a metal material having generally high flatness.
  • the outer member 151 comes into contact with the first inner member 152 and the second inner member 153.
  • the outer member 151 fixes the first fixing hole 151a through which the first fixing member 154 is inserted, the second fixing hole 151b through which the second fixing member 155 is inserted, and the first inner member 152.
  • a pair of first pins P1 to which a through hole 151c for avoiding interference with the fourth fixing member 157 fixing the fixing member 156 and the second inner member 153 and a first pin P1 to be described later of the first inner member 152 are fitted.
  • the first fixing holes 151a are provided in the upper part of the outer member 151 so as to be arranged in a grid pattern, for example.
  • the second fixing holes 151b are provided in the lower part of the outer member 151 so as to be arranged in a grid pattern, for example.
  • the through hole 151c is a space for exposing the head of the third fixing member 156 fixing the first inner member 152 and the head of the fourth fixing member 157 fixing the second inner member 153. ..
  • the through holes 151c are provided at positions in the outer member 151 between the first fixing holes 151a adjacent in the Z direction and between the second fixing holes 151b adjacent in the Z direction.
  • the first hole 151d is provided at a position corresponding to the first pin P1 of the first inner member 152 and has a cross-sectional shape corresponding to the first pin P1.
  • the first pin P1 is press-fitted into the first hole 151d, and the first pin P1 is fitted tightly.
  • the first hole 151d is formed at a position between each of the three through holes 151c in the upper part of the outer member 151.
  • One of the pair of first holes 151d is a perfect circular hole.
  • the other side of the pair of first holes 151d is an elongated hole whose elongated direction is the direction in which the pair of first holes 151d are lined up.
  • the second hole 151e is provided at a position corresponding to the second pin P2 of the second inner member 153 and has a cross-sectional shape corresponding to the second pin P2.
  • the second hole 151e here is a circular hole.
  • the second pin P2 is press-fitted into the second hole 151e, and the second pin P2 is fitted tightly.
  • the second hole 151e is formed at a position between each of the three through holes 151c in the lower part of the outer member 151.
  • One of the pair of second holes 151e is a perfect circular hole.
  • the other of the pair of second holes 151e is an elongated hole whose elongated direction is the direction in which the pair of second holes 151e are lined up.
  • the punch taps 151f are provided around the first hole 151d and around the second hole 151e, respectively.
  • the punch tap 151f is a screw hole used when the first pin P1 is pulled out from the first hole 151d and the second pin P2 is pulled out from the second hole 151e.
  • the connecting structure 150 provided on the side wall 101 further has a front member 158.
  • the front member 158 is a rectangular plate-shaped member attached over the upper pillar member 120 and the lower pillar member 130.
  • the front member 158 abuts on the front wall 102 of the upper pillar member 120 and the lower pillar member 130.
  • the front member 158 is made of, for example, aluminum.
  • the front member 158 is connected to the inside of the front end of the outer member 151 by a screw 159 so as to be perpendicular to the outer member 151.
  • the front member 158 is fixed to the front wall 102 by bolts 162. Fixing (fastening) of the front side member 158 to the front wall 102 can be realized by utilizing the vertical groove MZ formed in the upper pillar member 120 and the lower pillar member 130.
  • the first inner member 152 is a rectangular plate-shaped member arranged between the upper pillar member 120 and the outer member 151.
  • the first inner member 152 is made of, for example, stainless steel, which is a metal material having high rigidity and low cost.
  • the first inner member 152 abuts on the side wall 101 at the lower end of the upper pillar member 120.
  • the first inner member 152 is formed in a first fixing hole 152a through which the first fixing member 154 is inserted, a third fixing hole 152b through which the third fixing member 156 is inserted, and a first hole 151d of the outer member 151. Includes a pair of first pins P1 to be fitted.
  • the first fixing hole 152a is provided at each position on the edge of the first inner member 152 so as to communicate with the first fixing hole 151a of the outer member 151.
  • the third fixing hole 152b is provided at each position of the first inner member 152 that can be arranged in the through hole 151c of the outer member 151.
  • the third fixing hole 152b is provided between the first fixing holes 152a adjacent to each other in the Z direction in the first inner member 152.
  • the first pin P1 is erected at a position corresponding to the first hole 151d of the outer member 151 of the first inner member 152 and having a cross-sectional shape corresponding to the first hole 151d.
  • the first pin P1 here has a cylindrical shape.
  • the first pin P1 is formed between adjacent third fixing holes 152b in the first inner member 152.
  • the first pin P1 is press-fitted into the first hole 151d and fitted by a tight fit.
  • the first pin P1 has a protruding length equal to or larger than the thickness of the outer member 151.
  • the first pin P1 is fixed to, for example, the first inner member 152 by welding.
  • the fixing of the first pin P1 is not limited to welding, and can be fixed by various methods.
  • the second inner member 153 is a rectangular plate-shaped member arranged between the lower pillar member 130 and the outer member 151. ..
  • the second inner member 153 is made of, for example, stainless steel, which is a highly rigid and low-cost metal material.
  • the second inner member 153 comes into contact with the side wall 101 at the upper end of the lower pillar member 130.
  • the second inner member 153 is formed in the second fixing hole 153a through which the second fixing member 155 is inserted, the fourth fixing hole 153b through which the fourth fixing member 157 is inserted, and the second hole 151e of the outer member 151. Includes a pair of second pins P2 to be fitted.
  • the second fixing hole 153a is provided at each position at the edge of the second inner member 153 so as to communicate with the second fixing hole 151b of the outer member 151.
  • the fourth fixing hole 153b is provided at each position of the second inner member 153 that can be arranged in the through hole 151c of the outer member 151.
  • the fourth fixing hole 153b is provided between the second fixing holes 153a adjacent to each other in the Z direction in the second inner member 153.
  • the second pin P2 is erected at a position corresponding to the second hole 151e of the outer member 151 in the second inner member 153 and having a cross-sectional shape corresponding to the second hole 151e.
  • the second pin P2 here has a cylindrical shape.
  • the second pin P2 is formed between the adjacent fourth fixing holes 153b in the second inner member 153.
  • the second pin P2 is press-fitted into the second hole 151e and fitted by a tight fit.
  • the second pin P2 has a protruding length equal to or larger than the thickness of the outer member 151.
  • the second pin P2 is fixed to, for example, the second inner member 153 by welding.
  • the fixing of the second pin P2 is not limited to welding, and can be fixed by various methods.
  • the first fixing member 154 fixes the outer member 151 to the upper pillar member 120 together with the first inner member 152.
  • the first fixing member 154 for example, a co-tightening bolt is used.
  • the first fixing member 154 is inserted into the first fixing holes 151a and 152a.
  • the fixing (fastening) of the first fixing member 154 to the upper pillar member 120 can be realized by utilizing the vertical groove MZ formed in the upper pillar member 120.
  • the second fixing member 155 fixes the outer member 151 to the lower pillar member 130 together with the second inner member 153.
  • a co-tightening bolt is used as the second fixing member 155.
  • the second fixing member 155 is inserted into the second fixing holes 151b and 153a. Fixing (fastening) to the lower pillar member 130 of the second fixing member 155 can be realized by using the vertical groove MZ formed in the lower pillar member 130.
  • the third fixing member 156 fixes the first inner member 152 to the upper pillar member 120.
  • a special screw such as a screw that requires a special tool for its attachment / detachment work is used.
  • the third fixing member 156 is inserted into the third fixing hole 152b.
  • the fixing (fastening) of the third fixing member 156 to the upper pillar member 120 can be realized by utilizing the vertical groove MZ formed in the upper pillar member 120.
  • the fourth fixing member 157 fixes the second inner member 153 to the lower pillar member 130.
  • a special screw such as the fourth fixing member 157, for example, a special screw (tamper-proof screw) that requires a special tool for its attachment / detachment work is used.
  • the fourth fixing member 157 is inserted into the fourth fixing hole 153b. Fixing (fastening) to the lower pillar member 130 of the fourth fixing member 157 can be realized by using the vertical groove MZ formed in the lower pillar member 130. The heads of the third fixing member 156 and the fourth fixing member 157 are exposed in the through hole 151c of the outer member 151.
  • the first pin P1 of the first inner member 152 and the first hole 151d of the outer member 151 are the first positionings that define the positional relationship between the outer member 151 and the first inner member 152. Make up the part.
  • the second pin P2 of the second inner member 153 and the second hole 151e of the outer member 151 form a second positioning portion that defines the positional relationship between the outer member 151 and the second inner member 153.
  • the stacker crane 7 further includes an intermediate wall connecting plate 160 as a structure for connecting the upper pillar member 120 and the lower pillar member 130.
  • the intermediate wall connecting plate 160 is a rectangular plate-shaped member attached over the upper pillar member 120 and the lower pillar member 130.
  • the intermediate wall connecting plate 160 comes into contact with the upper intermediate wall member 120 and the rear intermediate wall 104 of the lower pillar member 130.
  • the intermediate wall connecting plate 160 is made of, for example, aluminum.
  • the intermediate wall connecting plate 160 is fixed to the rear intermediate wall 104 of the upper pillar member 120 and the lower pillar member 130 by the bolt 163.
  • the fixing (fastening) of the intermediate wall connecting plate 160 to the rear intermediate wall 104 can be realized by utilizing the vertical groove MZ formed in the rear intermediate wall 104.
  • the connecting structure 150 has a shim plate 170 interposed between the first inner member 152 and the upper pillar member 120 and between the second inner member 153 and the lower pillar member 130.
  • the shim plate 170 is a plate member having a U shape when viewed from the thickness direction.
  • the shim plate 170 has one or a plurality of third fixing members 156 to 157 located inside the U-shape when viewed from the thickness direction (third fixing member 156 to fourth fixing member 156 to fourth fixing member 157). 157 are arranged so as to be surrounded by a U shape).
  • the shim plate 170 to be used an appropriate shim plate 170 having a plurality of thicknesses is selected, or the number of shim plates to be used is selected.
  • the shim plate 170 adjusts the surface of the first inner member 152 and the surface of the second inner member 153 so as to be located on the same vertical plane.
  • the connecting structure 150 is also provided on the rear surface 103b of the rear wall 103 of the upper pillar member 120 and the lower pillar member 130.
  • the connecting structure 150 provided on the rear wall 103 is provided on one side and the other side in the Y direction via the rear intermediate wall 104 on the rear surface 103b.
  • the connecting structure 150 provided on the rear wall 103 is different from the connecting structure 150 provided on the side wall 101 in that the front member 158 is not provided, and is similarly configured in other respects.
  • the pair of first pins P1 of the first inner member 152 are fitted and overlapped with the pair of first holes 151d of the outer member 151.
  • the pair of second pins P2 of the second inner member 153 are fitted and overlapped with the pair of second holes 151e of the outer member 151.
  • the outer member 151 and the first inner member 152 in the sub-assy are fixed to the upper pillar member 120 by the first fixing member 154 by co-tightening.
  • the outer member 151 and the second inner member 153 in the sub-assy are fixed to the lower pillar member 130 by the second fixing member 155 by co-fastening.
  • Only the first inner member 152 in the sub-assy is fixed to the upper pillar member 120 by the third fixing member 156.
  • Only the second inner member 153 in the sub-assy is fixed to the lower pillar member 130 by the fourth fixing member 157.
  • the upper pillar member 120 and the lower pillar member 130 are connected by the connecting structure 150.
  • the shim plate 170 is interposed between the first inner member 152 and the upper pillar member 120 and between the second inner member 153 and the lower pillar member 130, and is interposed between the upper pillar member 120 and the lower pillar member 120.
  • the positional relationship with the side pillar member 130 is adjusted.
  • the intermediate wall connecting plate 160 is fixed to the rear intermediate wall 104 of each of the upper pillar member 120 and the lower pillar member 130, and these are connected.
  • the first fixing member 154 and the second fixing member 155 are removed.
  • the outer member 151 is fixed to the upper pillar member 120 and the lower pillar member 130 while the first inner member 152 and the second inner member 153 are fixed to the first inner member 152 and the first inner member 152. 2
  • the intermediate wall connecting plate 160 is removed from the upper pillar member 120 and the lower pillar member 130. As a result, the connection between the upper pillar member 120 and the lower pillar member 130 is released.
  • the upper pillar member 120 and the lower pillar member 130 are shipped in a state of being disconnected and transferred to the installation site (also referred to as “on-site” or “installation site”).
  • the outer member 151 may be left fixed to the lower pillar member 130.
  • the intermediate wall connecting plate 160 may be left fixed to the lower column member 130.
  • the connecting structure 150 provided on the side wall 101, after the outer member 151 is once removed, it may be offset upward as shown and temporarily fixed to the upper pillar member 120. Specifically, after removing the outer member 151 from the first inner member 152 and the second inner member 153, the outer member 151 is moved upward by about 1/2 of its vertical width, and the first fixing member 154 is inserted into the second fixing hole 151b. The outer member 151 may be fixed to the upper pillar member 120 together with the first inner member 152. Thereby, the handleability of the connecting structure 150 can be improved.
  • the upper pillar member 120 and the lower pillar member 130 are reconnected. Specifically, from the front side of the lower pillar member 130 in the standing posture, the upper pillar member 120 in the standing posture is brought closer along the horizontal direction, and the upper pillar member 120 and the lower pillar member 130 are butted in the Z direction. Arrange as follows. While fitting the pair of first pins P1 of the first inner member 152 into the pair of first holes 151d of the outer member 151 and superimposing them, the second inner member 153 is inserted into the pair of second holes 151e of the outer member 151. The pair of second pins P2 are fitted and overlapped with each other.
  • the outer member 151 and the first inner member 152 are fixed to the upper pillar member 120 by the first fixing member 154, and the outer member 151 and the second inner member 153 are fixed to the lower pillar member 120 by the second fixing member 155. Fix it to 130 by tightening together.
  • the intermediate wall connecting plate 160 is fixed to the rear intermediate wall 104 of each of the upper pillar member 120 and the lower pillar member 130. As described above, the upper pillar member 120 and the lower pillar member 130 are reconnected, and the installation of the mast 100 is completed.
  • the first fixing member is used in the stacker crane 7, for example, in a factory or the like.
  • the outer member 151 is removed from the first inner member 152 and the second inner member 153, while each of the first inner member 152 and the second inner member 153 is the upper pillar member 120. And can remain fixed to each of the lower column members 130.
  • the first fixing member 154 and the second fixing member 155 are reattached, and the outer member 151 is fixed to the first inner member 152 and the second inner member 153, whereby the upper pillar member 120 and the lower pillar member 120 and the lower pillar are fixed.
  • the members 130 can be reconnected.
  • the outer member 151, the first inner member 152, and the second inner member 153 are brought together by the first and second positioning portions (first hole 151d, second hole 151e, first pin P1 and second pin P2). Since the positional relationship is defined, the upper column member 120 and the lower column member 130 are connected so that the positional relationship adjusted in the factory or the like is reproduced. Therefore, the adjusted positional relationship can be reproduced without any special processing.
  • it is possible to easily reproduce the adjusted positional relationship. It is possible to improve the quality and shorten the working time.
  • the first hole 151d and the first pin P1 are provided as the first positioning portion
  • the second hole 151e and the second pin P2 are provided as the second positioning portion.
  • the definition of the positional relationship between the outer member 151 and the first inner member 152 can be realized by fitting the first pin P1 into the first hole 151d. Further, the definition of the positional relationship between the outer member 151 and the second inner member 153 can be realized by fitting the second pin P2 into the second hole 151e.
  • a plurality of first holes 151d and a plurality of first pins P1 are formed, and a plurality of second pins P2 to the second hole 151e are formed, respectively, and any one of the plurality of first holes 151d and Any one of the plurality of second holes 151e is an elongated hole.
  • the first hole 151d and the first pin P1 can be easily fitted, and the second hole 151e and the second pin P2 can be easily fitted.
  • the connecting structure 150 has a shim plate 170 interposed between the first inner member 152 and the upper pillar member 120, and between the second inner member 153 and the lower pillar member 130. ing. Since the first inner member 152 does not need to be removed once fixed to the upper pillar member 120, and similarly, the second inner member 153 does not need to be removed once fixed to the lower pillar member 130. The shim plate 170 interposed between them does not need to be removed once it is attached. Therefore, when connecting the plurality of pillar members 110 at the installation site, it is not necessary to manage the shim plate 170, and the adjusted positional relationship can be reproduced more easily.
  • the connecting structure 150 may be provided on the side wall 101 and the rear wall 103 of the upper pillar member 120 and the lower pillar member 130.
  • the upper pillar member 120 and the lower pillar member 130 can be connected with high accuracy.
  • surfaces that require high-precision connection for example, the inner surface 101a of the side wall 101 and the front surface 103a of the rear wall 103) can be connected with high accuracy.
  • the connecting structure 150 provided on the side wall 101 of the upper pillar member 120 and the lower pillar member 130 is connected to the outer member 151 and fixed to the front wall 102 of the upper pillar member 120 and the lower pillar member 130. It further has a front member 158. In this configuration, deformation of the mast 100 (for example, distortion that opens between a pair of front walls 102) can be effectively suppressed.
  • the stacker crane 7 in order to increase the rigidity of the mast 100 (suppress deformation), the stacker crane 7 is placed at a position between the connecting structures 150 provided at the upper end and the lower end on the outer surface of the side wall 101 of one pillar member 110.
  • a rectangular plate-shaped reinforcing plate 190 (see FIG. 2) is abutted and fixed (fastened). In some cases, such a reinforcing plate 190 may not be provided.
  • the connecting structure 150 may be applied to a stacker crane having a configuration different from that of the stacker crane 7 described above.
  • the containment vessel 90 such as FOUP has been described as an example of the transported object, but it may be a reticle pod for storing the reticle. Further, it may be a transported item such as corrugated cardboard or a box.
  • the shape or material of each member of the connecting structure 150 is not particularly limited and may be various shapes or materials.
  • the number of pillar members 110 constituting the mast 100 is not limited, and may be 2 or more.
  • the number of connected structures 150 is not limited, and may be 1 or 2 or more.
  • the first fixing member 154, the second fixing member 155, the third fixing member 156 and the fourth fixing member 157 are not limited, and may be, for example, other general fasteners.
  • one or more connecting structures 150 may be provided only on any one of the side wall 101 and the rear wall 103 of the upper pillar member 120 and the lower pillar member 130.
  • the above embodiment does not have to include the intermediate wall connecting plate 160 (see FIG. 3).
  • the above embodiment does not have to include the front member 158 (see FIG. 3).
  • the shim plate 170 (see FIG. 10) is placed between the first inner member 152 and the upper pillar member 120, and at least one between the second inner member 153 and the lower pillar member 130. It suffices if it is provided.
  • the embodiment may not include the shim plate 170.

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Abstract

複数の柱部材が連結されて構成されたマストと、マストに沿って昇降する昇降台と、を具備するスタッカクレーンであって、第１及び第２柱部材を連結する連結構造を備える。連結構造は、第１及び第２柱部材に渡って取り付けられる外側部材と、第１柱部材と外側部材との間に配置される第１内側部材と、第２柱部材と外側部材との間に配置される第２内側部材と、第１内側部材と共に外側部材を第１柱部材に固定する第１固定部材と、第２内側部材と共に外側部材を第２柱部材に固定する第２固定部材と、第１内側部材を第１柱部材に固定する第３固定部材と、第２内側部材を第２柱部材に固定する第４固定部材と、を有する。外側部材及び第１内側部材には、第１位置決め部が設けられている。外側部材及び第２内側部材には、第２位置決め部が設けられている。

Description

スタッカクレーン
　本発明の一側面は、スタッカクレーンに関する。
　例えば特許文献１には、高さ方向に複数の柱部材が連結されて構成されたマストと、マストに沿って昇降する昇降台と、を具備するスタッカクレーンが記載されている。
特許第４８２６９４１号公報
　上述したようなスタッカクレーンにおいては、マストを構成する複数の柱部材は、例えば、工場等にて位置関係が調整されて連結された後、当該連結が解除されて出荷され、据付け現場にて再び連結される。据付け現場では、調整された位置関係が再現されるように複数の柱部材が連結されるが、当該位置関係の再現には手間がかかる場合がある。
　　そこで、本発明の一側面は、据付け現場において複数の柱部材を連結する際に、調整された位置関係を容易に再現することが可能なスタッカクレーンを提供することを課題とする。
　本発明の一側面に係るスタッカクレーンは、高さ方向に複数の柱部材が連結されて構成されたマストと、マストに沿って昇降する昇降台と、を具備するスタッカクレーンであって、複数の柱部材のうち隣接する第１及び第２柱部材を連結する連結構造を備え、連結構造は、第１及び第２柱部材に渡って取り付けられる外側部材と、第１柱部材と外側部材との間に配置される第１内側部材と、第２柱部材と外側部材との間に配置される第２内側部材と、第１内側部材と共に外側部材を第１柱部材に固定する第１固定部材と、第２内側部材と共に外側部材を第２柱部材に固定する第２固定部材と、第１内側部材を第１柱部材に固定する第３固定部材と、第２内側部材を第２柱部材に固定する第４固定部材と、を有し、外側部材及び第１内側部材には、外側部材と第１内側部材との位置関係を規定する第１位置決め部が設けられ、外側部材及び第２内側部材には、外側部材と第２内側部材との位置関係を規定する第２位置決め部が設けられている。
　このスタッカクレーンでは、例えば工場等において、位置関係を調整して第１及び第２柱部材を連結構造により連結した後、当該連結を解除する際には、第１及び第２固定部材を取り外すことで、外側部材を第１及び第２内側部材から取り外す一方、第１及び第２内側部材のそれぞれは、第１及び第２柱部材のそれぞれに固定したままとすることができる。そして、据付け現場において、第１及び第２固定部材を再び取り付け、外側部材を第１及び第２内側部材に固定することで、第１及び第２柱部材を再び連結することができる。このとき、第１及び第２位置決め部により、外側部材と第１及び第２内側部材との位置関係が規定されることから、工場等において調整した位置関係が再現されるようにして第１及び第２柱部材が連結されることになる。したがって、据付け現場において複数の柱部材を連結する際に、調整された位置関係を容易に再現することが可能となる。
　本発明の一側面に係るスタッカクレーンでは、第１位置決め部は、外側部材及び第１内側部材の一方に形成された第１孔と、外側部材及び第１内側部材の一方に形成され当該第１孔に嵌合する第１ピンと、を含み、第２位置決め部は、外側部材及び第２内側部材の一方に形成された第２孔と、外側部材及び第２内側部材の一方に形成され当該第２孔に嵌合する第２ピンと、を含んでいてもよい。この構成では、外側部材と第１内側部材との位置関係の規定を、第１孔への第１ピンの嵌合により実現することができる。また、外側部材と第２内側部材との位置関係の規定を、第２孔への第２ピンの嵌合により実現することができる。
　本発明の一側面に係るスタッカクレーンでは、第１孔及び第１ピンは、それぞれ複数形成され、第２孔及び第２ピンは、それぞれ複数形成され、複数の第１孔のうちの何れか及び複数の第２孔のうちの何れかは、長孔であってもよい。この構成では、第１孔と第１ピンとを容易に嵌合させることができ、且つ、第２孔と第２ピンとを容易に嵌合させることができる。
　本発明の一側面に係るスタッカクレーンでは、連結構造は、第１内側部材と第１柱部材との間、及び、第２内側部材と第２柱部材との間の少なくとも何れかに介在されるシム板を有していてもよい。第１内側部材は第１柱部材に一度固定されると取り外す必要がなく、同様に、第２内側部材は第２柱部材に一度固定されると取り外す必要がないことから、それらの間に介在されるシム板も、一度取り付けると取り外す必要がない。よって、据付け現場において複数の柱部材を連結する際に、シム板の管理が不要となり、調整された位置関係を一層容易に再現することが可能となる。
　本発明の一側面に係るスタッカクレーンでは、連結構造は、第１及び第２柱部材の側壁及び後壁の少なくとも何れかに設けられていてもよい。この構成では、第１及び第２柱部材を精度よく連結することができる。
　本発明の一側面に係るスタッカクレーンでは、第１及び第２柱部材の側壁に設けられる連結構造は、外側部材に連結され第１及び第２柱部材の前壁に固定される前側部材を更に有していてもよい。この構成では、前側部材によってマストの変形を効果的に抑えることができる。
　本発明の一側面によれば、据付け現場において複数の柱部材を連結する際に、調整された位置関係を容易に再現することが可能なスタッカクレーンを提供することが可能となる。
図１は、実施形態に係るスタッカクレーンを備えたストッカを示す断面図である。 図２は、マストを示す斜視図である。 図３は、マストを示す平断面図である。 図４は、連結構造を示す斜視図である。 図５は、連結構造の外側部材を厚さ方向から見た図である。 図６は、連結構造の前側部材を厚さ方向から見た図である。 図７（ａ）は、連結構造の第１内側部材を厚さ方向から見た図である。図７（ｂ）は、連結構造の第２内側部材を厚さ方向から見た図である。 図８は、連結構造を示す分解斜視図である。 図９は、中間壁連結板を厚さ方向から見た図である。 図１０は、シム板を厚さ方向から見た図である。 図１１は、マストの据付けの一例を説明するための斜視図である。
　以下、図面を参照して、一実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。「上」及び「下」の語は、鉛直方向の上方向及び下方向にそれぞれ対応する。
　一実施形態に係るスタッカクレーンを備えたストッカについて説明する。図１に示されるように、ストッカ１は、半導体ウエハ及びガラス基板等の被格納物が格納されたＦＯＵＰ（Front　Opening　Unified　Pod）等の格納容器（搬送物）９０を保管する保管庫としての機能を有している。ストッカ１は、例えば、クリーンルームに設けられる。ストッカ１は、ストッカ本体３、ラック４、スタッカクレーン７、及び、コントローラ８０を主に備えている。
　ストッカ本体３は、ストッカ１の内部空間Ａを画成する部分であり、複数のパーティションにより形成されている。ラック４は、格納容器９０を保管する部分であり、通常、１～２列（ここでは、２列）設けられている。各ラック４は、Ｘ方向（幅方向）に延在しており、隣り合う２つのラック４，４が対向するように略平行に配置されている。各ラック４は、格納容器９０を載置して保管する複数の収納棚５０を有している。収納棚５０は、Ｘ方向及びＺ方向（鉛直方向）に沿って配列されている。
　スタッカクレーン７は、格納容器９０を収納棚５０に対して出し入れすると共に、格納容器９０を図示しない入庫ポート及び出庫ポートと収納棚５０との間、あるいは収納棚５０間で移動させる機構である。スタッカクレーン７は、対向するラック４，４に挟まれた領域に配置されている。スタッカクレーン７は、ラック４の延在方向（Ｘ方向）に沿って床面に配置された軌道（図示せず）を走行して、ラック４に沿ってＸ方向に移動することができる。
　スタッカクレーン７は、走行部７１と、昇降部７４と、旋回部７５と、ハンド７９と、を備える。走行部７１は、モータ等の走行駆動部によって軌道に沿ってＸ方向に走行可能に設けられている。昇降部７４は、マスト１００及び昇降台７３を含む。マスト１００は、走行部７１に設けられ、Ｚ方向に延在する部材である。昇降台７３は、モータ等の昇降駆動部によって、マスト１００に沿って昇降可能に設けられている。旋回部７５は、当該旋回部７５上に搭載されたハンド７９等を、Ｚ方向に沿う軸回り回転方向に回転させる。
　ハンド７９は、格納容器９０を載置する。ハンド７９は、昇降台７３に設けられている。ハンド７９は、移載装置（不図示）によって進退（平面視において昇降台７３の外に進出及び昇降台７３上に退入）して、格納容器９０を移載する。なお、走行部７１、昇降部７４、旋回部７５及びハンド７９の構成、機構ないし配置については、特に限定されない。走行部７１、昇降部７４、旋回部７５及びハンド７９としては、公知の種々の機構ないし装置を採用することができる。
　コントローラ８０は、スタッカクレーン７における各部を制御する。コントローラ８０は、例えば、ストッカ本体３の内部に配置される。コントローラ８０は、ＣＰＵ（Central　Processing　Unit）、ＲＡＭ（Random　Access　Memory）及びＲＯＭ（Read　Only　Memory）等を有している。コントローラ８０では、ＣＰＵ、ＲＡＭ及びＲＯＭ等のハードウェアとプログラム等のソフトウェアとが協働することによって、各種制御を実行する。
　次に、スタッカクレーン７のマスト１００について詳細に説明する。
　図２に示されるように、マスト１００は、Ｚ方向（高さ方向）に複数の柱部材１１０が連結されて構成されている。柱部材１１０は、Ｚ方向に長尺状を呈し、互いに突き合わせるようにしてＺ方向に隣接して配置されている。スタッカクレーン７は、Ｚ方向に隣接する一対の柱部材１１０を連結する連結構造１５０を複数備える。
　図３に示されるように、柱部材１１０は、Ｚ方向から見てＸ方向に沿って延び、且つ、Ｙ方向に互いに対向する一対の側壁１０１を有する。一対の側壁１０１それぞれの前側（Ｘ方向の一方側）には、一対の側壁１０１からＹ方向内側に折れ曲がって連なるように前壁１０２がそれぞれ設けられている。一対の前壁１０２は、Ｚ方向から見てＹ方向に沿って延びる。一対の側壁１０１におけるＸ方向中央よりも後側寄りには、一対の側壁１０１に架け渡すように後壁１０３が設けられている。後壁１０３は、Ｚ方向から見てＹ方向に沿って延びる。後壁１０３におけるＹ方向中央には、側壁１０１と後壁１０３とで画成された後部空間を仕切るように後部中間壁１０４が設けられている。後部中間壁１０４は、Ｚ方向から見てＸ方向に沿って延びる。
　一対の前壁１０２それぞれのＹ方向内側の端部には、Ｙ方向に沿って延びるカバー１０５が設けられている。側壁１０１と前壁１０２とカバー１０５とは、前部空間ＦＡを画成する。前部空間ＦＡには、昇降台７３（図１）用のレール１０６と、昇降台７３とのバランスをとるためのバランスウェイト（不図示）用のレール１０７と、がＺ方向に延びるように配置されている。レール１０６は、後壁１０３の前面１０３ａに設けられている。レール１０７は、何れか一方の側壁１０１の内面１０１ａに設けられている。以下、複数の柱部材１１０のうちの任意の一つを上側柱部材（第１柱部材）１２０とし、複数の柱部材１１０のうちの他の一つであって上側柱部材１２０の下側に隣接するものを下側柱部材（第２柱部材）１３０として説明する。
　次に、上側柱部材１２０と下側柱部材１３０とを連結する構造について説明する。
　連結構造１５０は、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０における一対の側壁１０１の外面１０１ｂのそれぞれに設けられる。図３～図８の少なくとも何れかに示されるように、連結構造１５０は、外側と内側との２重の板構造を有する。連結構造１５０は、外側部材１５１、第１内側部材１５２、第２内側部材１５３、第１固定部材１５４、第２固定部材１５５、第３固定部材１５６及び第４固定部材１５７を有する。
　図３、図４、図５及び図８に示されるように、外側部材１５１は、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０に渡って取り付けられる矩形板状の部材である。外側部材１５１は、例えば平面度が一般的に高い金属材料であるアルミニウムで形成されている。外側部材１５１は、第１内側部材１５２及び第２内側部材１５３に当接する。外側部材１５１は、第１固定部材１５４が挿通される第１固定用孔１５１ａと、第２固定部材１５５が挿通される第２固定用孔１５１ｂと、第１内側部材１５２を固定している第３固定部材１５６及び第２内側部材１５３を固定している第４固定部材１５７との干渉を回避する貫通孔１５１ｃと、第１内側部材１５２の後述する第１ピンＰ１が嵌合する一対の第１孔１５１ｄと、第２内側部材１５３の後述する第２ピンＰ２が嵌合する一対の第２孔１５１ｅと、第１孔１５１ｄの周辺及び第２孔１５１ｅの周辺に設けられた抜きタップ１５１ｆと、を含む。
　第１固定用孔１５１ａは、外側部材１５１の上部において例えば碁盤目状に並ぶように設けられている。第２固定用孔１５１ｂは、外側部材１５１の下部において例えば碁盤目状に並ぶように設けられている。貫通孔１５１ｃは、第１内側部材１５２を固定している第３固定部材１５６の頭部、及び、第２内側部材１５３を固定している第４固定部材１５７の頭部を露出させる空間である。貫通孔１５１ｃは、外側部材１５１におけるＺ方向に隣接する第１固定用孔１５１ａの間の各位置、及び、Ｚ方向に隣接する第２固定用孔１５１ｂの間の位置に設けられている。
　第１孔１５１ｄは、第１内側部材１５２の第１ピンＰ１に対応する位置にて、第１ピンＰ１に対応する断面形状で設けられている。第１孔１５１ｄには、第１ピンＰ１が圧入されて、第１ピンＰ１がしまり嵌めで嵌合される。第１孔１５１ｄは、外側部材１５１の上部における３つの貫通孔１５１ｃの各間の位置に形成されている。一対の第１孔１５１ｄの一方は、真円孔である。一対の第１孔１５１ｄの他方は、当該一対の第１孔１５１ｄが並ぶ方向を長尺方向とする長孔である。
　第２孔１５１ｅは、第２内側部材１５３の第２ピンＰ２に対応する位置にて、第２ピンＰ２に対応する断面形状で設けられている。ここでの第２孔１５１ｅは、円形孔である。第２孔１５１ｅには、第２ピンＰ２が圧入されて、第２ピンＰ２がしまり嵌めで嵌合される。第２孔１５１ｅは、外側部材１５１の下部における３つの貫通孔１５１ｃの各間の位置に形成されている。一対の第２孔１５１ｅの一方は、真円孔である。一対の第２孔１５１ｅの他方は、当該一対の第２孔１５１ｅが並ぶ方向を長尺方向とする長孔である。
　抜きタップ１５１ｆは、第１孔１５１ｄの周辺及び第２孔１５１ｅの周辺のそれぞれに設けられている。抜きタップ１５１ｆは、第１ピンＰ１の第１孔１５１ｄからの抜き出し、及び、第２ピンＰ２の第２孔１５１ｅからの抜き出しの際に利用されるネジ孔である。
　図３、図４、図６及び図８に示されるように、側壁１０１に設けられる連結構造１５０にあっては、前側部材１５８を更に有する。前側部材１５８は、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０に渡って取り付けられる矩形板状の部材である。前側部材１５８は、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０の前壁１０２に当接する。前側部材１５８は、例えばアルミニウムで形成されている。前側部材１５８は、外側部材１５１の前端の内側に、ネジ１５９により外側部材１５１と垂直となるように連結される。前側部材１５８は、ボルト１６２によって前壁１０２に固定される。前側部材１５８の前壁１０２への固定（締結）は、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０に形成されている縦溝ＭＺを利用して実現することができる。
　図３、図４、図７（ａ）及び図８に示されるように、第１内側部材１５２は、上側柱部材１２０と外側部材１５１との間に配置される矩形板状の部材である。第１内側部材１５２は、例えば剛性が高く且つ低コストな金属材料であるステンレス鋼で形成されている。第１内側部材１５２は、上側柱部材１２０の下端部の側壁１０１に当接する。第１内側部材１５２は、第１固定部材１５４が挿通される第１固定用孔１５２ａと、第３固定部材１５６が挿通される第３固定用孔１５２ｂと、外側部材１５１の第１孔１５１ｄに嵌合する一対の第１ピンＰ１と、を含む。
　第１固定用孔１５２ａは、第１内側部材１５２の縁部において外側部材１５１の第１固定用孔１５１ａと連通可能な各位置に設けられている。第３固定用孔１５２ｂは、第１内側部材１５２において外側部材１５１の貫通孔１５１ｃ内に配置可能な各位置に設けられている。第３固定用孔１５２ｂは、第１内側部材１５２においてＺ方向に隣接する第１固定用孔１５２ａの間に設けられている。
　第１ピンＰ１は、第１内側部材１５２における外側部材１５１の第１孔１５１ｄに対応する位置にて、第１孔１５１ｄに対応する断面形状で立設されている。ここでの第１ピンＰ１は、円柱形状を呈する。第１ピンＰ１は、第１内側部材１５２における隣接する第３固定用孔１５２ｂの間に形成されている。第１ピンＰ１は、第１孔１５１ｄに圧入されて、しまり嵌めで嵌合する。第１ピンＰ１は、外側部材１５１の厚さ以上の突出長を有する。第１ピンＰ１は、例えば第１内側部材１５２に溶接により固定されている。なお、第１ピンＰ１の固定は溶接に限定されず、種々の手法により固定できる。
　図３、図４、図７（ｂ）及び図８に示されるように、第２内側部材１５３は、下側柱部材１３０と外側部材１５１との間に配置される矩形板状の部材である。第２内側部材１５３は、例えば剛性が高く且つ低コストな金属材料であるステンレス鋼で形成されている。第２内側部材１５３は、下側柱部材１３０の上端部の側壁１０１に当接する。第２内側部材１５３は、第２固定部材１５５が挿通される第２固定用孔１５３ａと、第４固定部材１５７が挿通される第４固定用孔１５３ｂと、外側部材１５１の第２孔１５１ｅに嵌合する一対の第２ピンＰ２と、を含む。
　第２固定用孔１５３ａは、第２内側部材１５３の縁部において外側部材１５１の第２固定用孔１５１ｂと連通可能な各位置に設けられている。第４固定用孔１５３ｂは、第２内側部材１５３において外側部材１５１の貫通孔１５１ｃ内に配置可能な各位置に設けられている。第４固定用孔１５３ｂは、第２内側部材１５３においてＺ方向に隣接する第２固定用孔１５３ａの間に設けられている。
　第２ピンＰ２は、第２内側部材１５３における外側部材１５１の第２孔１５１ｅに対応する位置にて、第２孔１５１ｅに対応する断面形状で立設されている。ここでの第２ピンＰ２は、円柱形状を呈する。第２ピンＰ２は、第２内側部材１５３における隣接する第４固定用孔１５３ｂの間に形成されている。第２ピンＰ２は、第２孔１５１ｅに圧入されて、しまり嵌めで嵌合する。第２ピンＰ２は、外側部材１５１の厚さ以上の突出長を有する。第２ピンＰ２は、例えば第２内側部材１５３に溶接により固定されている。なお、第２ピンＰ２の固定は溶接に限定されず、種々の手法により固定できる。
　図４及び図８に示されるように、第１固定部材１５４は、第１内側部材１５２と共に外側部材１５１を上側柱部材１２０に固定する。第１固定部材１５４としては、例えば共締めボルトが用いられる。第１固定部材１５４は、第１固定用孔１５１ａ，１５２ａに挿通される。第１固定部材１５４の上側柱部材１２０への固定（締結）は、上側柱部材１２０に形成されている縦溝ＭＺを利用して実現することができる。
　第２固定部材１５５は、第２内側部材１５３と共に外側部材１５１を下側柱部材１３０に固定する。第２固定部材１５５としては、例えば共締めボルトが用いられる。第２固定部材１５５は、第２固定用孔１５１ｂ，１５３ａに挿通される。第２固定部材１５５の下側柱部材１３０への固定（締結）は、下側柱部材１３０に形成されている縦溝ＭＺを利用して実現することができる。
　第３固定部材１５６は、第１内側部材１５２を上側柱部材１２０に固定する。第３固定部材１５６としては、例えばその取付け及び取外し作業に専用工具が必要な特殊ねじ（いたずら防止ねじ）が用いられる。第３固定部材１５６は、第３固定用孔１５２ｂに挿通される。第３固定部材１５６の上側柱部材１２０への固定（締結）は、上側柱部材１２０に形成されている縦溝ＭＺを利用して実現することができる。第４固定部材１５７は、第２内側部材１５３を下側柱部材１３０に固定する。第４固定部材１５７としては、例えばその取付け及び取外し作業に専用工具が必要な特殊ねじ（いたずら防止ねじ）が用いられる。第４固定部材１５７は、第４固定用孔１５３ｂに挿通される。第４固定部材１５７の下側柱部材１３０への固定（締結）は、下側柱部材１３０に形成されている縦溝ＭＺを利用して実現することができる。第３固定部材１５６及び第４固定部材１５７の頭部は、外側部材１５１の貫通孔１５１ｃ内において露出する。
　以上に説明した連結構造１５０において、第１内側部材１５２の第１ピンＰ１と外側部材１５１の第１孔１５１ｄとは、外側部材１５１と第１内側部材１５２との位置関係を規定する第１位置決め部を構成する。第２内側部材１５３の第２ピンＰ２と外側部材１５１の第２孔１５１ｅとは、外側部材１５１と第２内側部材１５３との位置関係を規定する第２位置決め部を構成する。
　図３及び図９に示されるように、スタッカクレーン７は、上側柱部材１２０と下側柱部材１３０とを連結する構造として、中間壁連結板１６０を更に備える。中間壁連結板１６０は、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０に渡って取り付けられる矩形板状の部材である。中間壁連結板１６０は、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０の後部中間壁１０４に当接する。中間壁連結板１６０は、例えばアルミニウムで形成されている。中間壁連結板１６０は、ボルト１６３によって上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０の後部中間壁１０４に固定される。中間壁連結板１６０の後部中間壁１０４への固定（締結）は、後部中間壁１０４に形成されている縦溝ＭＺを利用して実現することができる。
　図１０に示されるように、連結構造１５０は、第１内側部材１５２と上側柱部材１２０との間、及び、第２内側部材１５３と下側柱部材１３０との間に介在されるシム板１７０を有する。シム板１７０は、厚さ方向から見てＵ字状を呈する板部材である。シム板１７０は、厚さ方向から見て、そのＵ字状の内側に１又は複数の第３固定部材１５６ないし第４固定部材１５７が位置するように（第３固定部材１５６ないし第４固定部材１５７がＵ字状で囲まれるように）、配置される。用いるシム板１７０は、複数種の厚さのシム板１７０の中から適宜のものが選択されたり、使用する枚数が選択される。シム板１７０は、第１内側部材１５２の表面と第２内側部材１５３の表面とを、同一の鉛直面上に位置するように調整する。
　図３に戻り、スタッカクレーン７では、連結構造１５０は、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０の後壁１０３の後面１０３ｂにも設けられている。後壁１０３に設けられる連結構造１５０は、後面１０３ｂにおける後部中間壁１０４を介したＹ方向の一方側と他方側とのそれぞれに設けられている。後壁１０３に設けられる連結構造１５０は、側壁１０１に設けられる連結構造１５０に対して前側部材１５８を備えない点で異なり、それ以外の点では同様に構成されている。
　次に、マスト１００を据付け現場に据え付ける場合の一例を説明する。
　まず、例えば工場等の製造現場において、外側部材１５１の一対の第１孔１５１ｄに第１内側部材１５２の一対の第１ピンＰ１を嵌合させつつこれらを重ね合わせる。これと共に、外側部材１５１の一対の第２孔１５１ｅに第２内側部材１５３の一対の第２ピンＰ２を嵌合させつつこれらを重ね合わせる。これにより、外側部材１５１と第１内側部材１５２及び第２内側部材１５３とを組み付けた、連結構造１５０のサブアッシーを得る。
　サブアッシーにおける外側部材１５１及び第１内側部材１５２を、第１固定部材１５４により上側柱部材１２０に共締めで固定する。サブアッシーにおける外側部材１５１及び第２内側部材１５３を、第２固定部材１５５により下側柱部材１３０に共締めで固定する。サブアッシーにおける第１内側部材１５２のみを、第３固定部材１５６により上側柱部材１２０に固定する。サブアッシーにおける第２内側部材１５３のみを、第４固定部材１５７により下側柱部材１３０に固定する。これにより、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０が連結構造１５０により連結される。
　このとき、必要に応じて、シム板１７０を第１内側部材１５２と上側柱部材１２０との間及び第２内側部材１５３と下側柱部材１３０との間に介在させ、上側柱部材１２０と下側柱部材１３０との位置関係を調整する。また、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０それぞれの後部中間壁１０４に中間壁連結板１６０を固定し、これらを連結する。
　続いて、第１固定部材１５４及び第２固定部材１５５を取り外す。外側部材１５１の抜きタップ１５１ｆを利用して、第１内側部材１５２及び第２内側部材１５３を上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０に固定したまま、外側部材１５１を第１内側部材１５２及び第２内側部材１５３から取り外す。また、中間壁連結板１６０を上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０から取り外す。これにより、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０の連結を解除する。連結を解除した状態において上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０が出荷され、据付け現場（「現地」又は「据付け現地」とも称する）に移送される。
　このとき、例えば図１１に示されるように、後壁１０３に設けられる連結構造１５０では、外側部材１５１を下側柱部材１３０には固定したままとしてもよい。また、中間壁連結板１６０を下側柱部材１３０には固定したままとしてもよい。これにより、後述の再連結時において、外側部材１５１及び中間壁連結板１６０を、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０を突き合わせる際のガイドとして機能させることができる。
　また、側壁１０１に設けられる連結構造１５０では、外側部材１５１を一旦取り外した後に、図示されるように上方へオフセットして上側柱部材１２０に仮固定してもよい。具体的には、外側部材１５１を第１内側部材１５２及び第２内側部材１５３から取り外した後、その上下幅の１／２ほど上方へ移動させ、第２固定用孔１５１ｂに第１固定部材１５４を挿通して、外側部材１５１を第１内側部材１５２と共に上側柱部材１２０に固定してもよい。これにより、連結構造１５０のハンドリング性を高めることができる。
　そして、据付け現場において、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０を再連結する。具体的には、立姿勢の下側柱部材１３０の前側から、立姿勢の上側柱部材１２０を水平方向に沿って接近させて、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０をＺ方向に突き合わせるように配置する。外側部材１５１の一対の第１孔１５１ｄに第１内側部材１５２の一対の第１ピンＰ１を嵌合させつつこれらを重ね合わせると共に、外側部材１５１の一対の第２孔１５１ｅに第２内側部材１５３の一対の第２ピンＰ２を嵌合させつつこれらを重ね合わせる。外側部材１５１及び第１内側部材１５２を、第１固定部材１５４により上側柱部材１２０に共締めで固定すると共に、外側部材１５１及び第２内側部材１５３を、第２固定部材１５５により下側柱部材１３０に共締めで固定する。上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０それぞれの後部中間壁１０４に中間壁連結板１６０を固定する。以上により、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０が再連結され、マスト１００の据付けが完了する。
　以上、スタッカクレーン７では、例えば工場等において、位置関係を調整して上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０を連結構造１５０により連結した後、当該連結を解除する際には、第１固定部材１５４及び第２固定部材１５５を取り外すことで、外側部材１５１を第１内側部材１５２及び第２内側部材１５３から取り外す一方、第１内側部材１５２及び第２内側部材１５３のそれぞれは、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０のそれぞれに固定したままとすることができる。そして、据付け現場において、第１固定部材１５４及び第２固定部材１５５を再び取り付け、外側部材１５１を第１内側部材１５２及び第２内側部材１５３に固定することで、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０を再び連結することができる。このとき、第１及び第２位置決め部（第１孔１５１ｄ、第２孔１５１ｅ、第１ピンＰ１及び第２ピンＰ２）により、外側部材１５１と第１内側部材１５２及び第２内側部材１５３との位置関係が規定されることから、工場等において調整した位置関係が再現されるようにして上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０が連結されることになる。したがって、特別な加工を施すことなく、調整した位置関係を再現できる。据付け現場において複数の柱部材１１０を連結する際に、調整された位置関係を容易に再現することが可能となる。品質の向上及び作業時間の短縮が可能となる。
　スタッカクレーン７では、第１位置決め部として第１孔１５１ｄ及び第１ピンＰ１が設けられ、第２位置決め部として第２孔１５１ｅ及び第２ピンＰ２が設けられている。外側部材１５１と第１内側部材１５２との位置関係の規定を、第１孔１５１ｄへの第１ピンＰ１の嵌合により実現することができる。また、外側部材１５１と第２内側部材１５３との位置関係の規定を、第２孔１５１ｅへの第２ピンＰ２の嵌合により実現することができる。
　スタッカクレーン７では、第１孔１５１ｄ及び第１ピンＰ１は、それぞれ複数形成され、第２孔１５１ｅへの第２ピンＰ２は、それぞれ複数形成され、複数の第１孔１５１ｄのうちの何れか及び複数の第２孔１５１ｅのうちの何れかは、長孔である。この構成では、第１孔１５１ｄと第１ピンＰ１とを容易に嵌合させることができ、且つ、第２孔１５１ｅと第２ピンＰ２とを容易に嵌合させることができる。
　スタッカクレーン７では、連結構造１５０は、第１内側部材１５２と上側柱部材１２０との間、及び、第２内側部材１５３と下側柱部材１３０との間に介在されるシム板１７０を有している。第１内側部材１５２は上側柱部材１２０に一度固定されると取り外す必要がなく、同様に、第２内側部材１５３は下側柱部材１３０に一度固定されると取り外す必要がないことから、それらの間に介在されるシム板１７０も、一度取り付けると取り外す必要がない。よって、据付け現場において複数の柱部材１１０を連結する際に、シム板１７０の管理が不要となり、調整された位置関係を一層容易に再現することが可能となる。
　スタッカクレーン７では、連結構造１５０は、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０の側壁１０１及び後壁１０３に設けられていてもよい。この構成では、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０を精度よく連結することができる。また特に、高精度の連結が要求される面（例えば、側壁１０１の内面１０１ａ及び後壁１０３の前面１０３ａ）を、その高精度を満足して連結させることができる。
　スタッカクレーン７では、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０の側壁１０１に設けられる連結構造１５０は、外側部材１５１に連結され上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０の前壁１０２に固定される前側部材１５８を更に有している。この構成では、マスト１００の変形（例えば、一対の前壁１０２の間が開くような歪み）を効果的に抑えることができる。
　なお、スタッカクレーン７では、マスト１００の剛性を高める（変形を抑える）ために、一つの柱部材１１０の側壁１０１の外面において上端部及び下端部に設けられた連結構造１５０の間の位置に、矩形板状の補強板１９０（図２参照）が当接されて固定（締結）されている。このような補強板１９０は、場合によっては、設けられていなくてもよい。
　以上、実施形態について説明したが、本発明の一態様は、上記実施形態に限られず、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
　例えば、上記実施形態では、上述のスタッカクレーン７とは異なる構成のスタッカクレーンに連結構造１５０を適用してもよい。上記実施形態では、搬送物の例としてＦＯＵＰのような格納容器９０を例に挙げて説明したが、レチクルを格納するレチクルポッドであってもよい。また、段ボール、通函等の搬送物であってもよい。上記実施形態において、連結構造１５０の各部材の形状ないし材質は、特に限定されず、種々の形状ないし材質であってもよい。
　上記実施形態では、マスト１００を構成する柱部材１１０の数は限定されず、２以上であればよい。上記実施形態では、連結構造１５０の数は限定されず、１又は２以上であればよい。上記実施形態では、第１固定部材１５４、第２固定部材１５５、第３固定部材１５６及び第４固定部材１５７は限定されず、例えばその他の一般的な締結具であってもよい。
　上記実施形態では、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０の側壁１０１及び後壁１０３の何れかのみに、１又は複数の連結構造１５０が設けられていてもよい。上記実施形態は、中間壁連結板１６０（図３参照）を備えていなくてもよい。上記実施形態は、前側部材１５８（図３参照）を備えていなくてもよい。上記実施形態では、シム板１７０（図１０参照）は、第１内側部材１５２と上側柱部材１２０との間、及び、第２内側部材１５３と下側柱部材１３０との間の少なくも一方に設けられていればよい。或いは、上記実施形態は、シム板１７０を備えていなくてもよい。
　７…スタッカクレーン、７３…昇降台、１００…マスト、１０１…側壁、１０３…後壁、１１０…柱部材、１２０…上側柱部材（柱部材，第１柱部材）、１３０…下側柱部材（柱部材，第２柱部材）、１５０…連結構造、１５１…外側部材、１５１ｄ…第１孔（第１位置決め部）、１５１ｅ…第２孔（第２位置決め部）、１５２…第１内側部材、１５３…第２内側部材、１５４…第１固定部材、１５５…第２固定部材、１５６…第３固定部材、１５７…第４固定部材、１５８…前側部材、１７０…シム板、Ｐ１…第１ピン（第１位置決め部）、Ｐ２…第２ピン（第２位置決め部）。

Claims (6)

  1. 　高さ方向に複数の柱部材が連結されて構成されたマストと、前記マストに沿って昇降する昇降台と、を具備するスタッカクレーンであって、
    　複数の前記柱部材のうち隣接する第１及び第２柱部材を連結する連結構造を備え、
    　前記連結構造は、
    　　前記第１及び第２柱部材に渡って取り付けられる外側部材と、
    　　前記第１柱部材と前記外側部材との間に配置される第１内側部材と、
    　　前記第２柱部材と前記外側部材との間に配置される第２内側部材と、
    　　前記第１内側部材と共に前記外側部材を前記第１柱部材に固定する第１固定部材と、
    　　前記第２内側部材と共に前記外側部材を前記第２柱部材に固定する第２固定部材と、
    　　前記第１内側部材を前記第１柱部材に固定する第３固定部材と、
    　　前記第２内側部材を前記第２柱部材に固定する第４固定部材と、を有し、
    　前記外側部材及び前記第１内側部材には、前記外側部材と前記第１内側部材との位置関係を規定する第１位置決め部が設けられ、
    　前記外側部材及び前記第２内側部材には、前記外側部材と前記第２内側部材との位置関係を規定する第２位置決め部が設けられている、スタッカクレーン。
  2. 　前記第１位置決め部は、前記外側部材及び前記第１内側部材の一方に形成された第１孔と、前記外側部材及び前記第１内側部材の一方に形成され当該第１孔に嵌合する第１ピンと、を含み、
    　前記第２位置決め部は、前記外側部材及び前記第２内側部材の一方に形成された第２孔と、前記外側部材及び前記第２内側部材の一方に形成され当該第２孔に嵌合する第２ピンと、を含む、請求項１に記載のスタッカクレーン。
  3. 　前記第１孔及び前記第１ピンは、それぞれ複数形成され、
    　前記第２孔及び前記第２ピンは、それぞれ複数形成され、
    　複数の前記第１孔のうちの何れか及び複数の第２孔のうちの何れかは、長孔である、請求項２に記載のスタッカクレーン。
  4. 　前記連結構造は、前記第１内側部材と前記第１柱部材との間、及び、前記第２内側部材と前記第２柱部材との間の少なくとも何れかに介在されるシム板を有する、請求項１～３の何れか一項に記載のスタッカクレーン。
  5. 　前記連結構造は、前記第１及び第２柱部材の側壁及び後壁の少なくとも何れかに設けられる、請求項１～４の何れか一項に記載のスタッカクレーン。
  6. 　前記第１及び第２柱部材の側壁に設けられる前記連結構造は、前記外側部材に連結され前記第１及び第２柱部材の前壁に固定される前側部材を更に有する、請求項５に記載のスタッカクレーン。
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