WO2021100300A1

WO2021100300A1 - ミラーユニット

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Publication number: WO2021100300A1
Application number: PCT/JP2020/035051
Authority: WO
Inventors: 大幾鈴木; 智行井出
Original assignee: 浜松ホトニクス株式会社
Priority date: 2019-11-21
Filing date: 2020-09-16
Publication date: 2021-05-27
Also published as: JP7569622B2; JPWO2021100300A1; EP4063315A1; CN114730073B; JP2021089410A; CN114730073A; EP4063315A4; US20220404609A1

Abstract

ミラーユニットは、光走査デバイスとパッケージとを備える。パッケージは、所定方向の一方側に開口する光入射開口が設けられ、光走査デバイスを保持する本体部と、光入射開口の縁に沿って延在するように本体部の頂面に設けられた突起と、突起の内側において頂面上に配置され、光入射開口を覆う平板状の窓部材と、を有する。突起における一方側の端面は、窓部材よりも一方側に位置している。突起の厚さは、突起の頂面からの高さよりも小さい。所定方向に垂直ないずれの方向から見た場合にも、窓部材において突起によって覆われている部分の長さは、窓部材において突起から露出している部分の長さよりも長い。

Description

ミラーユニット

　本開示の一側面は、ミラーユニットに関する。

　可動ミラー部を有する光走査デバイスと、光走査デバイスを収容するパッケージと、を備えるミラーユニットが知られている（例えば特許文献１，２参照）。このようなミラーユニットにおいては、可動ミラー部に入射する光を通過させる光入射開口がパッケージに設けられ、光入射開口を覆うように窓部材が配置される。光は外部から窓部材を介して可動ミラー部に入射して可動ミラー部で反射され、窓部材を介して外部に出射する。

特開２０１６－９９５６７号公報特開２０１８－１７８３２号公報

　特許文献１に記載のミラーユニットでは、パッケージ上に窓部材が載置されている。この場合、窓部材に外力が作用して窓部材が破損するおそれがある。一方、特許文献２に記載のミラーユニットでは、パッケージの頂面に光入射開口を囲むように突起が設けられており、当該突起の内側に窓部材が嵌め込まれている。この場合、窓部材に外力が作用することを抑制し、窓部材の保護を図ることができる。

　しかしながら、単に突起の内側に窓部材を嵌め込んだだけでは、例えば環境温度の変化等によりパッケージが熱収縮又は熱膨張（以下、併せて熱変形とも記す）した場合に、パッケージによって押圧されることで窓部材が撓んでしまうおそれがある。窓部材に撓みが生じると、窓部材における光の屈折角度が変化するため、光走査を精度良く行うことが難しい。

　特に、上述したミラーユニットのように可動ミラー部を揺動させて光を走査する構成においては、可動ミラー部の角度によっては窓部材への光の入射角度が大きくなり、窓部材から出射する光の屈折角度が大きくなる。そのため、高精度な光走査を実現するためには、窓部材での屈折の影響を考慮する必要がある。そこで、窓部材を薄く形成して窓部材における屈折量を低減することで、窓部材での屈折の影響を抑制することが考えられる。しかしながら、窓部材を薄く形成すると、パッケージが熱変形した際に窓部材が撓み易くなってしまう。特に、窓部材への光の入射角度が大きい場合、窓部材の撓み変形が光走査の精度に与える影響が大きい。

　本開示の一側面は、上記事情に鑑みてなされたものであり、窓部材の確実な保護を図りつつ、高精度な光走査を実現することができるミラーユニットを提供することを目的とする。

　本開示の一側面に係るミラーユニットは、可動ミラー部を有する光走査デバイスと、光走査デバイスを収容するパッケージと、を備え、パッケージは、所定方向の一方側に開口する光入射開口が設けられ、光入射開口から入射した光が可動ミラー部に入射可能となるように光走査デバイスを保持する本体部と、光入射開口の縁に沿って延在するように本体部の頂面に設けられた突起と、突起の内側において頂面上に配置され、光入射開口を覆う平板状の窓部材と、を有し、突起における一方側の端面は、窓部材よりも一方側に位置しており、突起の厚さは、突起の頂面からの高さよりも小さく、所定方向に垂直ないずれの方向から見た場合にも、窓部材において突起によって覆われている部分の長さは、窓部材において突起から露出している部分の長さよりも長い。

　このミラーユニットでは、本体部の頂面に光入射開口の縁に沿って延在するように突起が設けられており、突起の内側における頂面上に窓部材が配置されている。そして、突起における一方側の端面が、窓部材よりも一方側に位置している。また、所定方向に垂直ないずれの方向から見た場合にも、窓部材において突起によって覆われている部分の長さが、窓部材において突起から露出している部分の長さよりも長い。これにより、窓部材に外力が作用するのを抑制し、窓部材の確実な保護を図ることができる。また、突起の厚さが、突起の頂面からの高さよりも小さくなっている。これにより、本体部及び突起を小さく形成することができ、本体部及び突起の熱変形量を低減することができる。その結果、本体部及び突起が熱変形した際に窓部材に応力が作用するのを抑制することができる。したがって、窓部材を薄く形成することができ、窓部材での屈折の影響を低減することができる。また、窓部材を薄く形成したとしても、本体部及び突起の熱変形に起因して窓部材が撓み変形するのを抑制することができる。更に、突起の厚さが突起の頂面からの高さよりも小さいため、突起が撓み易い。そのため、仮に本体部及び突起が熱変形して突起が窓部材に接触したとしても、突起から窓部材に応力が伝わり難い。このことによっても、窓部材を薄く形成して窓部材での屈折の影響を低減することができると共に、本体部及び突起の熱変形に起因して窓部材が撓み変形するのを抑制することができる。以上により、このミラーユニットによれば、窓部材の確実な保護を図りつつ、高精度な光走査を実現することができる。

　窓部材の側面と突起の内面との間には、隙間が形成されていてもよい。この場合、本体部及び突起が熱変形したとしても突起が窓部材に接触し難いため、窓部材に応力が作用するのを一層抑制することができる。

　突起の厚さは、窓部材の厚さよりも薄くてもよい。この場合、本体部及び突起が熱変形した際に窓部材に応力が作用するのをより一層抑制することができる。

　光走査デバイスは、可動ミラー部のミラー面が窓部材に対して傾斜した状態で、本体部に保持されていてもよい。この場合、ミラー面からの光が窓部材で反射した後にミラー面に戻るのを抑制することができる。一方、この場合、窓部材への光の入射角度が一層大きくなる。これに対し、このミラーユニットでは、本体部及び突起が熱変形した際に窓部材に応力が作用するのを十分に抑制することができ、高精度な光走査を実現することができる。

　突起は、本体部と一体に形成されていてもよい。この場合、本体部及び突起が熱変形した際に窓部材によって押圧されて突起が破損するのを抑制することができる。

　本体部及び突起の少なくとも一方は、樹脂により形成されていてもよい。この場合、本体部及び突起の少なくとも一方が熱変形し易くなるが、このミラーユニットでは、本体部及び突起が熱変形した際に窓部材に応力が作用するのを十分に抑制することができ、高精度な光走査を実現することができる。

　本体部の頂面には、一方側を向いた平坦な当接面を有する当接部が突設されており、窓部材は、当接面に接触していてもよい。この場合、当接面との接触により窓部材が本体部に対して位置決めされるため、窓部材の配置角度が所望の角度からずれてしまうのを抑制することができる。また、窓部材の表面を完全に平坦に形成することは難しいが、このミラーユニットでは、少なくとも当接面との接触箇所を平坦に形成すればよいため、窓部材の製造を容易化することができる。

　窓部材と本体部の頂面との間には、隙間が形成されていてもよい。この場合、本体部及び突起が熱変形した際に窓部材に応力が作用するのをより一層抑制することができる。また、当該隙間を通気口として機能させることができ、パッケージ内で結露が生じるのを抑制することができる。

　突起は、所定方向から見た場合に、環状に形成されていてもよい。この場合、窓部材の一層確実な保護を図ることができる。

　本開示の一側面によれば、窓部材の確実な保護を図りつつ、高精度な光走査を実現することができるミラーユニットを提供することができる。

実施形態に係るミラーユニットの平面図である。図１のII－II線に沿っての断面図である。図１のIII－III線に沿っての断面図である。図１のIV－IVに沿っての断面図である。光走査デバイスの平面図である。ミラーユニットにおける光の進行経路の例を示す断面図である。比較例に係るミラーユニットにおける光の進行経路の例を示す断面図である。第１変形例に係るミラーユニットの平面図である。図８に示される矢印Ｂ１側から見たミラーユニットの側面図である。図８に示される矢印Ｂ２側から見たミラーユニットの側面図である。図８に示される矢印Ｂ３側から見たミラーユニットの側面図である。（ａ）は、第２変形例に係るパッケージの平面図であり、（ｂ）は、（ａ）に示される矢印Ｂ４側から見たパッケージの側面図である。（ａ）は、第３変形例に係るパッケージの平面図であり、（ｂ）は、（ａ）に示される矢印Ｂ５側から見たパッケージの側面図である。

　以下、本開示の一実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、以下の説明において、同一又は相当要素には同一符号を用い、重複する説明を省略する。
［ミラーユニットの全体構成］

　図１～図４に示されるように、ミラーユニット１００は、光走査デバイス１と、光走査デバイス１を収容するパッケージ４０と、を備えている。パッケージ４０は、本体部４１と、窓部材５１と、を有している。本体部４１には、所定方向（Ｚ軸方向）の一方側Ｓ１に開口する光入射開口４１ａが設けられている。本体部４１は、光入射開口４１ａから入射した光が光走査デバイス１に入射可能となるように、光走査デバイス１を保持している。窓部材５１は、光入射開口４１ａを覆うように配置されている。
［光走査デバイスの構成］

　図５に示されるように、光走査デバイス１は、支持部２と、支持部２に対して揺動可能な可動ミラー部１０と、磁界発生部Ｍと、を有している。可動ミラー部１０は、第１可動部３と、第２可動部４と、一対の第１連結部５と、一対の第２連結部６と、ミラー７と、を有している。支持部２、第１可動部３、第２可動部４、一対の第１連結部５及び一対の第２連結部６は、例えばＳＯＩ（Silicon　on　Insulator）基板により一体的に形成されている。つまり、光走査デバイス１は、ＭＥＭＳデバイスとして構成されている。磁界発生部Ｍは、例えば、ハルバッハ配列がとられた永久磁石を含んで構成されており、略直方体状に形成されている。

　第１可動部３は、例えば矩形板状に形成されている。第２可動部４は、光軸方向Ａから見た場合に隙間を介して第１可動部３を囲むように、例えば矩形環状に形成されている。支持部２は、光軸方向Ａから見た場合に隙間を介して第２可動部４を囲むように、例えば矩形枠状に形成されている。つまり、支持部２は、光軸方向Ａから見た場合に第１可動部３及び第２可動部４を囲むように枠状に形成されている。

　第１可動部３は、第１軸線Ｘ１周りに揺動可能となるように、一対の第１連結部５を介して第２可動部４に連結されている。つまり、第１可動部３は、支持部２において第１軸線Ｘ１周りに揺動可能となるように支持されている。第１可動部３は、第１部分３１と、第２部分３２と、を含んでいる。第１部分３１は、光軸方向Ａから見た場合に例えば円形状に形成されている。第２部分３２は、光軸方向Ａから見た場合に例えば矩形環状に形成されている。第１部分３１は、光軸方向Ａから見た場合に第２部分３２に囲まれており、複数（この例では２つ）の接続部分３３を介して第２部分３２と接続されている。つまり、第１部分３１と第２部分３２との間には、複数の接続部分３３を除いて隙間が形成されている。

　接続部分３３は、例えば、第２部分３２の矩形状の内縁のうち第２軸線Ｘ２に交差する２辺の中央部に位置している。すなわち、この例では、接続部分３３は、第２軸線Ｘ２上に位置している。第１部分３１は、少なくとも第２軸線Ｘ２に沿った方向において第２部分３２に接続されていればよい。

　第２可動部４は、第２軸線Ｘ２周りに揺動可能となるように、一対の第２連結部６を介して支持部２に連結されている。つまり、第２可動部４は、支持部２において第２軸線Ｘ２周りに揺動可能となるように支持されている。第１軸線Ｘ１及び第２軸線Ｘ２は、光軸方向Ａに垂直であり、互いに交差している（この例では互いに直交している）。なお、第１部分３１は、光軸方向Ａから見た場合に矩形状又は多角形状に形成されていてもよい。第１部分３１は、光軸方向Ａから見た場合に、円形状（例えば楕円形状）に形成されていてもよい。第２部分３２は、光軸方向Ａから見た場合に五角形以上の多角形環状又は円環状に形成されていてもよい。

　一対の第１連結部５は、第１可動部３の第２部分３２と第２可動部４との間の隙間において、第１可動部３を挟むように第１軸線Ｘ１上に配置されている。各第１連結部５は、トーションバーとして機能する。一対の第２連結部６は、第２可動部４と支持部２との間の隙間において、第２可動部４を挟むように第２軸線Ｘ２上に配置されている。各第２連結部６は、トーションバーとして機能する。

　ミラー７は、第１可動部３の第１部分３１に設けられている。ミラー７は、第１軸線Ｘ１と第２軸線Ｘ２との交点を含むように、第１部分３１における磁界発生部Ｍとは反対側の表面に形成されている。ミラー７は、例えば、アルミニウム、アルミニウム系合金、金又は銀等の金属材料により、円形、楕円形又は矩形の膜状に形成されている。ミラー７における第１可動部３とは反対側の表面は、光軸方向Ａと垂直に延在するミラー面７ａを構成している。ミラー７の中心は、光軸方向Ａから見た場合に、第１軸線Ｘ１と第２軸線Ｘ２との交点に一致している。このように、複数の接続部分３３を介して第２部分３２と接続された第１部分３１にミラー７が設けられているため、第１可動部３が共振周波数レベルで第１軸線Ｘ１周りにおいて揺動しても、ミラー７に撓み等の変形が生じるのを抑制することができる。

　更に、光走査デバイス１は、第１駆動用コイル１１と、第２駆動用コイル１２と、配線１５ａ，１５ｂと、配線１６ａ，１６ｂと、電極パッド２１ａ，２１ｂと、電極パッド２２ａ，２２ｂと、を有している。なお、図２では、説明の便宜上、第１駆動用コイル１１及び第２駆動用コイル１２が一点鎖線で示され、配線１５ａ，１５ｂ及び配線１６ａ，１６ｂが実線で示されている。

　第１駆動用コイル１１は、第１可動部３の第２部分３２に設けられている。第１駆動用コイル１１は、光軸方向Ａから見た場合におけるミラー７の外側の領域（すなわち、第２部分３２）においてスパイラル状（渦巻き状）に複数回巻かれている。第１駆動用コイル１１には、磁界発生部Ｍにより発生させられる磁界が作用する。

　第１駆動用コイル１１は、第１可動部３の表面に形成された溝内に配置されている。つまり、第１駆動用コイル１１は、第１可動部３に埋め込まれている。第１駆動用コイル１１の一端は、配線１５ａを介して電極パッド２１ａに接続されている。配線１５ａは、第１可動部３から、一方の第１連結部５、第２可動部４及び一方の第２連結部６を介して、支持部２まで延在している。配線１５ａ及び電極パッド２１ａは、例えば、タングステン、アルミニウム、金、銀、銅又はアルミニウム系合金等の金属材料により一体的に形成されている。第１駆動用コイル１１と配線１５ａとは、互いに接続されている。

　第１駆動用コイル１１の他端は、配線１５ｂを介して電極パッド２１ｂに接続されている。配線１５ｂは、第１可動部３から、他方の第１連結部５、第２可動部４及び他方の第２連結部６を介して、支持部２まで延在している。配線１５ｂ及び電極パッド２１ｂは、例えば、タングステン、アルミニウム、金、銀、銅又はアルミニウム系合金等の金属材料により一体的に形成されている。第１駆動用コイル１１と配線１５ｂとは、互いに接続されている。

　第２駆動用コイル１２は、第２可動部４に設けられている。第２駆動用コイル１２は、第２可動部４においてスパイラル状（渦巻き状）に複数回巻かれている。第２駆動用コイル１２には、磁界発生部Ｍにより発生させられる磁界が作用する。第２駆動用コイル１２は、第２可動部４の表面に形成された溝内に配置されている。つまり、第２駆動用コイル１２は、第２可動部４に埋め込まれている。

　第２駆動用コイル１２の一端は、配線１６ａを介して電極パッド２２ａに接続されている。配線１６ａは、第２可動部４から、一方の第２連結部６を介して、支持部２に延在している。配線１６ａ及び電極パッド２２ａは、例えば、タングステン、アルミニウム、金、銀、銅又はアルミニウム系合金等の金属材料により一体的に形成されている。なお、第２駆動用コイル１２と配線１６ａとは、互いに接続されている。

　第２駆動用コイル１２の他端は、配線１６ｂを介して電極パッド２２ｂに接続されている。配線１６ｂは、第２可動部４から、他方の第２連結部６を介して、支持部２に延在している。配線１６ｂ及び電極パッド２２ｂは、例えば、タングステン、アルミニウム、金、銀、銅又はアルミニウム系合金等の金属材料により一体的に形成されている。なお、第２駆動用コイル１２と配線１６ｂとは、互いに接続されている。

　光走査デバイス１における可動ミラー部１０の動作の例を挙げる。第１例としては、第１駆動用コイル１１に高周波数の駆動電流が印加される。このとき、第１駆動用コイル１１には、磁界発生部Ｍにより発生させられた磁界が作用しているため、第１駆動用コイル１１にローレンツ力が発生する。これにより、第１可動部３は、例えば、共振周波数レベルで第１軸線Ｘ１周りにおいて揺動させられる。

　また、第２駆動用コイル１２には、一定の大きさの駆動電流が印加される。このとき、第２駆動用コイル１２には、磁界発生部Ｍにより発生させられた磁界が作用しているため、第２駆動用コイル１２にローレンツ力が発生する。これにより、第２可動部４は、例えば、駆動電流の大きさに応じて第２軸線Ｘ２周りにおいて回転させられ、その状態で停止させられる。これにより、光走査デバイス１によれば、所定の光源からの光をミラー７により反射させつつ走査することができる。第１例では、第１可動部３が共振周波数で揺動されると共に第２可動部４が静的に用いられる。

　第２例としては、第１例の第１可動部３の動作と同様に、第１駆動用コイル１１に高周波数の駆動電流が印加されることによって第１可動部３が共振周波数に応じて揺動されると共に、第２駆動用コイル１２に高周波数の駆動電流が印加されることによって第２可動部４が共振周波数に応じて揺動される。このように、第２例では、第１可動部３及び第２可動部４の両方が、共振周波数で揺動される。

　第３例としては、第１例の第２可動部４の動作と同様に、第１駆動用コイル１１に対して一定の大きさの駆動電流が印加されることによって、第１可動部３が駆動電流の大きさに応じて第１軸線Ｘ１周りにおいて回転させられて停止させられると共に、第２駆動用コイル１２に対して一定の大きさの駆動電流が印加されることによって、第２可動部４が駆動電流の大きさに応じて第２軸線Ｘ２周りにおいて回転させられて停止させられる。このように、第３例では、第１可動部３及び第２可動部４の両方が、静的に用いられる。

　第４例としては、例えば第２可動部４が設けられていない場合等であって、第１駆動用コイル１１に高周波数の駆動電流が印加されることにより、第１可動部３のみが共振周波数に応じて揺動される。さらに、第５例としては、同様の場合であって、第１駆動用コイル１１に対して一定の大きさの駆動電流が印加されることによって、第１可動部３が駆動電流の大きさに応じて第１軸線Ｘ１周りにおいて回転させられて停止させられる。第４例及び第５例では、第１可動部３のみが駆動される。

　なお、図２に示されるように、支持部２が磁界発生部Ｍによって支持され、第１可動部３及び第２可動部４は、磁界発生部Ｍから離間している。これにより、第１可動部３及び第２可動部４は、磁界発生部Ｍに干渉することなく回転可能となっている。
［パッケージの構成］

　図１～図４に示されるように、パッケージ４０の本体部４１は、例えば略直方体状に形成されている。本体部４１は、例えば、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）、ＰＰ（ポリプロピレン）等の樹脂材料からなり、射出成形により形成される。本体部４１は、樹脂材料からなる場合、フィラー強化されていてもよい。本体部４１は、Ａｌ，Ｆｅ又はそれらの合金等の金属材料により形成されてもよい。本体部４１には、一方側Ｓ１に開口する凹部４２が形成されている。凹部４２の開口により、上述した光入射開口４１ａが構成されている。

　窓部材５１は、例えば、ガラス等の透光性材料により形成された矩形平板状の基材の両表面上に反射防止膜が形成されることで構成されている。上述のとおり、窓部材５１は、光入射開口４１ａを覆っている。窓部材５１は、Ｚ軸方向と垂直に延在する一対の主面５１ａと、Ｘ軸方向と垂直に延在する一対の側面５１ｂと、Ｙ軸方向と垂直に延在する一対の側面５１ｃと、を有している。一対の側面５１ｂ及び一対の側面５１ｃは、一対の主面５１ａに連続している。

　本体部４１の凹部４２は、光走査デバイス１が配置されるデバイス配置部４３と、光走査デバイス１から外部へ延在する配線等が配置される配線配置部４４と、を含んでいる。デバイス配置部４３は、窓部材５１の主面５１ａに対して傾斜して延在する第１面４３ａと、第１面４３ａから第１面４３ａと垂直に延在する第２面４３ｂと、第１面４３ａからＺ軸方向と垂直に延在する一対の第３面４３ｃと、を有している。

　光走査デバイス１は、磁界発生部Ｍが第１面４３ａ、第２面４３ｂ及び一対の第３面４３ｃに接触した状態で、デバイス配置部４３に配置されている。これにより、光走査デバイス１は、可動ミラー部１０のミラー面７ａが窓部材５１の主面５１ａに対して傾斜した状態となっている。光走査デバイス１は、例えば、第１軸線Ｘ１がＸ軸方向と平行になり且つ第２軸線Ｘ２がＹ軸方向と平行になるように配置されている。

　配線配置部４４は、窓部材５１の主面５１ａに対して傾斜した第１面４４ａと、第１面４４ａに連続し且つ湾曲した第２面４４ｂと、を有している。第１面４４ａには、例えば複数の電極パッドが配置されている。これらの電極パッドには、光走査デバイス１から延在する配線と、第２面４４ｂを通ってパッケージ４０の外部へ延在する配線とが、電気的に接続されている。なお、第２面４４ｂは、必ずしも湾曲していなくてもよい。

　光入射開口４１ａは、Ｚ軸方向から見た場合に（換言すれば窓部材５１の主面５１ａに垂直な方向から見た場合に）略矩形状を呈している。より具体的には、光入射開口４１ａは、Ｚ軸方向から見た場合に、デバイス配置部４３に対応する矩形状の領域と、配線配置部４４に対応する矩形状の領域を含んでいる。配線配置部４４に対応する領域のＹ軸方向における幅は、デバイス配置部４３に対応する領域のＹ軸方向における幅よりも狭くなっている。図１では、光入射開口４１ａの縁が破線で示されている。

　本体部４１は、凹部４２を画定する枠状の側壁４５を有している。側壁４５は、Ｚ軸方向から見た場合に、略矩形環状を呈し、光走査デバイス１を囲んでいる。側壁４５は、最も一方側Ｓ１に位置する頂面４５ａと、Ｚ軸方向に沿って延在する内面４５ｂと、頂面４５ａ及び内面４５ｂに接続された傾斜面４５ｃと、を有している。頂面４５ａは、Ｚ軸方向と垂直に延在しており、傾斜面４５ｃは、頂面４５ａに近づくにつれて一方側Ｓ１に近づくようにＺ軸方向に対して傾斜して延在している。

　また、側壁４５は、Ｘ軸方向と交差する平面に沿って延在する一対の外面４５ｄと、Ｙ軸方向と交差する平面に沿って延在する一対の外面４５ｅと、を有している。この例では、一対の外面４５ｄは、Ｘ軸方向と垂直に延在している。一対の外面４５ｅは、Ｚ軸方向と平行に延在する第１部分４５ｆと、Ｚ軸方向に対して傾斜して延在する第２部分４５ｇを含んでいる。

　第２部分４５ｇは、第１部分４５ｆに対して他方側（一方側Ｓ１とは反対側）に配置され、本体部４１における他方側の端部まで延在している。第２部分４５ｇが形成されていることにより、Ｙ軸方向における本体部４１（側壁４５）の幅は、他方側に近づくにつれて狭くなっている。これにより、本体部４１を射出成形により形成する場合に、成形品を成形型から容易に取り出すことができる。また、第２部分４５ｇだけでなく、Ｚ軸方向と平行な第１部分４５ｆが形成されているため、ミラーユニット１００を光学系に組み込む際に第１部分４５ｆを押し当てることでミラーユニット１００を位置合わせすることができ、ミラーユニット１００の位置合わせ精度を向上することができる。

　パッケージ４０は、側壁４５の頂面４５ａに設けられた突起６１を更に有している。突起６１は、光入射開口４１ａの縁に沿って延在している。突起６１は、Ｚ軸方向から見た場合に、矩形環状を呈し、光入射開口４１ａを囲んでいる。突起６１が形成されていることより、突起６１の内面６１ａと頂面４５ａとの間には段差部６２が形成されている。

　突起６１は、頂面４５ａの外縁に沿って延在している。Ｙ軸方向から見た場合（図２）、突起６１の外面６１ｂは、側壁４５の外面４５ｄと同一平面上に位置している。Ｘ軸方向から見た場合（図３）、突起６１の外面６１ｂは、側壁４５の外面４５ｅの第１部分４５ｆと同一平面上に位置している。突起６１は、例えば、本体部４１と同一の樹脂材料からなり、本体部４１と一体に形成されている。本体部４１及び突起６１は、例えば、一回の射出成形により同時に形成され、単一の部材を構成している。

　側壁４５の頂面４５ａには、３つの当接部６３が設けられている。各当接部６３は、Ｚ軸方向から見た場合に、突起６１よりも内側に配置されている。各当接部６３は、一方側Ｓ１を向いた平坦な当接面６３ａを有している。当接面６３ａは、例えば、Ｚ軸方向と垂直に延在しており、円形状を呈している。

　窓部材５１は、光入射開口４１ａを覆うように段差部６２に配置されている。すなわち、窓部材５１は、突起６１の内側において頂面４５ａ上に配置され、光入射開口４１ａを覆っている。窓部材５１の一対の主面５１ａの一方（以下、単に主面５１ａとも記す）が側壁４５の頂面４５ａと向かい合い、窓部材５１の側面５１ｂ，５１ｃが突起６１の内面６１ａと向かい合っている。窓部材５１の主面５１ａは、当接部６３の当接面６３ａに接触している（当接させられている）。これにより、頂面４５ａのうち当接面６３ａが設けられていない領域においては、窓部材５１の主面５１ａと頂面４５ａとの間に隙間Ｇ１が形成されている。また、窓部材５１の側面５１ｂ，５１ｃと突起６１の内面６１ａとの間には、隙間Ｇ２が形成されている。すなわち、側面５１ｂ，５１ｃは、内面６１ａから離間している。

　窓部材５１は、例えば、低融点ガラス等の接合材７０により本体部４１に接合されている。窓部材５１は、例えば、Ｚ軸方向から見た場合における４つの隅部において本体部４１に接合されている。４つの隅部に加えて又は代えて、窓部材５１は、当接面６３ａとの接触箇所において接合材により本体部４１に接合されていてもよい。

　突起６１における一方側Ｓ１の端面６１ｃは、全周にわたって（端面６１ｃにおけるいずれの位置においても）、窓部材５１よりも一方側Ｓ１に位置している。すなわち、突起６１の頂面４５ａからの高さＨは、窓部材５１の厚さ（一対の主面５１ａ間の距離）Ｔ１と当接部６３の頂面４５ａからの高さ（Ｚ軸方向における隙間Ｇ１の長さ）との和よりも大きい。窓部材５１の厚さＴ１は、例えば０．６ｍｍ程度である。

　突起６１の厚さＴ２は、突起６１の頂面４５ａからの高さＨよりも小さい。突起６１の厚さＴ２は、窓部材５１の厚さＴ１よりも薄い。突起６１の厚さＴ２は、突起６１の延在方向に垂直な方向における厚さであり、例えば突起６１のうちＸ軸方向と垂直に延在する部分についてはＸ軸方向における厚さであり、Ｙ軸方向と垂直に延在する部分についてはＹ軸方向における厚さである。突起６１の厚さＴ２は、突起６１の最大厚さである。例えば、実施形態のように突起６１の一部が先細り形状に形成されている場合、突起６１の厚さＴ２は、突起６１における最も厚い部分における厚さである。この例では、突起６１においてＹ軸方向に沿って延在する一対の部分の一方が、先細り形状に形成され、傾斜面６１ｄを有している。これにより、窓部材５１の段差部６２への配置作業を容易化することができる。また、突起６１を撓み変形し易くすることができる。

　上述したとおり、突起６１はＺ軸方向から見た場合に矩形環状を呈しており、窓部材５１は、全周にわたって突起６１によって囲まれている。また、上述したとおり、突起６１における一方側Ｓ１の端面６１ｃは、全周にわたって窓部材５１よりも一方側Ｓ１に位置している。したがって、Ｚ軸方向に垂直ないずれの方向から見た場合にも、窓部材５１の全体が突起６１によって覆われている。換言すれば、Ｚ軸方向に垂直ないずれの方向から見た場合にも、窓部材５１は突起６１から露出していない。すなわち、Ｚ軸方向に垂直ないずれの方向から見た場合にも、窓部材５１において突起６１によって覆われている部分の長さは、窓部材５１において突起６１から露出している部分の長さよりも長い。この例では、窓部材５１の全体が突起６１によって覆われており、窓部材５１は突起６１から露出している部分を有していない。このように、「Ｚ軸方向に垂直ないずれの方向から見た場合にも、窓部材５１において突起６１によって覆われている部分の長さは、窓部材５１において突起６１から露出している部分の長さよりも長い」構成には、窓部材５１の全体が突起６１によって覆われており、窓部材５１が突起６１から露出している部分を有していない場合が含まれる。
［ミラーユニットにおける光の進行経路］

　図６及び図７を参照しつつ、ミラーユニット１００における光の進行経路の例を説明する。図６及び図７では、可動ミラー部１０又は可動ミラー部１１０が動作していない状態における光の進行経路の例が実線で示され、可動ミラー部１０又は可動ミラー部１１０が動作している状態における光の進行経路の例が破線で示されている。図６では、実施形態のミラーユニット１００において窓部材５１が撓んでおらず平坦である場合の例が示されており、図７では、比較例のミラーユニット１１００において窓部材１５１が光走査デバイス１０１側に向けて撓んでいる場合の例が示されている。

　ミラーユニット１００では、光は、外部から窓部材５１を介して光走査デバイス１の可動ミラー部１０に入射し、可動ミラー部１０で反射され、窓部材５１を介して外部に出射する。図６に示されるように、可動ミラー部１０が動作している状態において窓部材５１から出射する光の屈折角ｒ１は、可動ミラー部１０が動作していない状態において窓部材５１から出射する光の屈折角ｒ２よりも大きくなることがある。そのため、ミラーユニット１００において高精度な光走査を実現するためには、窓部材５１での屈折の影響を考慮する必要がある。

　図７に示される比較例のミラーユニット１１００では、例えば本体部１４１及び突起１６１が熱変形（熱収縮又は熱膨張）した場合、突起１６１によって押圧されることで窓部材１５１が撓んでしまうことが考えられる。この場合、窓部材１５１が撓んでいる状態において窓部材１５１から出射する光の屈折角ｒ３は、窓部材１５１が撓んでいない状態において窓部材１５１から出射する光の屈折角ｒ４よりも大きくなる。このように窓部材１５１に撓みが生じると窓部材１５１における光の屈折角が変化するため、光走査を精度良く行うことが難しい。

　特に、窓部材への光の入射角度、及び窓部材からの光の出射角度が大きい場合、窓部材の撓み変形が光走査の精度に与える影響が大きくなる。したがって、可動ミラー部を揺動させて光を走査する光走査デバイスを備えるミラーユニットにおいては、可動ミラー部の角度によっては窓部材への光の入射角度が大きくなり、窓部材から出射する光の屈折角度が大きくなるため、窓部材の撓み変形を抑制する必要性が高い。なお、上記例では、窓部材５１（窓部材１５１）に対して光が正面側から入射して側方へ出射される場合について説明したが、窓部材５１（窓部材１５１）に対して光が側方側から入射して正面側へ出射される場合についても同様である。
［作用及び効果］

　実施形態に係るミラーユニット１００では、本体部４１の頂面４５ａに光入射開口４１ａの縁に沿って延在するように突起６１が設けられており、突起６１の内側における頂面４５ａ上に窓部材５１が配置されている。そして、突起６１における一方側Ｓ１の端面６１ｃが、窓部材５１よりも一方側Ｓ１に位置している。また、Ｚ軸方向に垂直ないずれの方向から見た場合にも、窓部材５１において突起６１によって覆われている部分の長さが、窓部材５１において突起６１から露出している部分の長さよりも長い。これにより、窓部材５１に外力が作用するのを抑制し、窓部材の確実な保護を図ることができる。また、ミラーユニット１００を光学系に組み込む際に、突起６１の端面６１ｃを押し当てることでミラーユニット１００を位置合わせすることができる。そのため、例えば、窓部材５１が突起６１の端面６１ｃよりも一方側Ｓ１に位置しており、窓部材５１を押し当てることでミラーユニット１００を位置合わせする場合と比べて、ミラーユニット１００の位置合わせ精度を向上することができる。これは、窓部材５１の位置には、窓部材５１の製造公差及び窓部材５１と本体部４１とを接合する接合材の厚さの公差により、ずれが生じ易いためである。

　また、突起６１の厚さＴ２が、突起６１の頂面４５ａからの高さＨよりも小さくなっている。これにより、本体部４１及び突起６１を小さく形成することができ、本体部４１及び突起６１の熱変形量を低減することができる。すなわち、突起６１の厚さＴ２が薄くなると、突起６１が設けられる本体部４１の側壁４５の厚さも薄くなる。そのため、突起６１の厚さＴ２を薄く形成することで、本体部４１及び突起６１を小さく形成することができる。その結果、本体部４１及び突起６１が熱変形した際に窓部材５１に応力が作用するのを抑制することができる。したがって、窓部材５１を薄く形成することができ、窓部材５１での屈折の影響を低減することができる。また、窓部材５１を薄く形成したとしても、本体部４１及び突起６１の熱変形に起因して窓部材５１が撓み変形するのを抑制することができる。更に、突起６１の厚さＴ２が突起６１の頂面４５ａからの高さＨよりも小さいため、突起６１が撓み易い。そのため、仮に本体部４１及び突起６１が熱変形して突起６１が窓部材５１に接触したとしても、突起６１から窓部材５１に応力が伝わり難い（応力が分散される）。このことによっても、窓部材５１を薄く形成して窓部材５１での屈折の影響を低減することができると共に、本体部４１及び突起６１の熱変形に起因して窓部材５１が撓み変形するのを抑制することができる。以上により、ミラーユニット１００によれば、窓部材５１の確実な保護を図りつつ、高精度な光走査を実現することができる。

　ミラーユニット１００では、窓部材５１の側面５１ｂ，５１ｃと突起６１の内面６１ａとの間には、隙間Ｇ２が形成されている。これにより、本体部４１及び突起６１が熱変形したとしても突起６１が窓部材５１に接触し難いため、窓部材５１に応力が作用するのを効果的に抑制することができる。

　ミラーユニット１００では、突起６１の厚さＴ２が、窓部材５１の厚さＴ１よりも薄い。これにより、本体部４１及び突起６１が熱変形した際に窓部材５１に応力が作用するのを一層効果的に抑制することができる。

　ミラーユニット１００では、光走査デバイス１が、可動ミラー部１０のミラー面７ａが窓部材５１に対して傾斜した状態で、本体部４１に保持されている。これにより、ミラー面７ａからの光が窓部材５１で反射した後にミラー面７ａに戻るのを抑制することができる。一方、この場合、窓部材５１への光の入射角度が更に大きくなる。これに対し、ミラーユニット１００では、本体部４１及び突起６１が熱変形した際に窓部材５１に応力が作用するのを十分に抑制することができ、高精度な光走査を実現することができる。

　ミラーユニット１００では、突起６１が、本体部４１と一体に形成されている。これにより、本体部４１及び突起６１が熱変形した際に窓部材５１によって押圧されて突起６１が破損するのを抑制することができる。

　ミラーユニット１００では、本体部４１及び突起６１が、樹脂により形成されている。この場合、本体部４１及び突起６１が熱変形し易くなるが、ミラーユニット１００では、本体部４１及び突起６１が熱変形した際に窓部材５１に応力が作用するのを十分に抑制することができ、高精度な光走査を実現することができる。

　ミラーユニット１００では、本体部４１の頂面４５ａには、一方側Ｓ１を向いた平坦な当接面６３ａを有する当接部６３が突設されており、窓部材５１が、当接面６３ａに接触している。これにより、当接面６３ａとの接触により窓部材５１が本体部４１に対して位置決めされるため、窓部材５１の配置角度が所望の角度からずれてしまうのを抑制することができる。また、窓部材５１の主面５１ａを完全に平坦に形成することは難しいが、このミラーユニット１００では、少なくとも当接面６３ａとの接触箇所を平坦に形成すればよいため、窓部材５１の製造を容易化することができる。

　ミラーユニット１００では、窓部材５１と本体部４１の頂面４５ａとの間には、隙間Ｇ１が形成されている。これにより、本体部４１及び突起６１が熱変形した際に窓部材５１に応力が作用するのをより一層抑制することができる。また、隙間Ｇ１を通気口として機能させることができ、パッケージ４０内で結露が生じるのを抑制することができる。

　ミラーユニット１００では、突起６１が、Ｚ軸方向から見た場合に環状に形成されている。これにより、窓部材５１の一層確実な保護を図ることができる。また、突起６１の端面６１ｃが、全周にわたって窓部材５１よりも一方側Ｓ１に位置している。これにより、突起６１によって窓部材５１の角部の全体が覆われるため、より一層確実に窓部材５１を保護することができる。
［変形例］

　実施形態に係るミラーユニット１００では突起６１が光入射開口４１ａを囲むように連続的に設けられていたが、図８～図１１に示される第１変形例に係るミラーユニット１００Ａのように、突起６１は、光入射開口４１ａの縁に沿って断続的に設けられていてもよい。突起６１は、Ｙ軸方向に沿って延在する一対の第１部分６５と、Ｘ軸方向に沿って延在する一対の第２部分６６と、を有している。各第１部分６５の中央部には、開口部６５ａが設けられている。開口部６５ａが設けられていることで、各第１部分６５は、Ｙ軸方向に並ぶ一対の部分に分離されている。各第２部分６６の中央部には、開口部６６ａが設けられている。開口部６６ａが設けられていることで、各第２部分６６は、Ｘ軸方向に並ぶ一対の部分に分離されている。

　ミラーユニット１００Ａにおいても、Ｚ軸方向に垂直ないずれの方向から見た場合にも、窓部材５１において突起６１によって覆われている部分の長さは、窓部材５１において突起６１から露出している部分（突起６１によって覆われていない部分）の長さよりも長い。換言すれば、Ｚ軸方向に垂直ないずれの方向から見た場合にも、窓部材５１において突起６１によって覆われている部分の面積は、窓部材５１において突起６１から露出している部分の面積よりも広くなっている。

　例えば、図９に示されるように、矢印Ｂ１側から見た場合、すなわちＺ軸方向に垂直なＸ軸方向の一方側から見た場合、窓部材５１において突起６１によって覆われている部分の長さＬ１は、窓部材５１において突起６１から露出している部分の長さＬ２よりも長い。長さＬ１は、窓部材５１において突起６１によって覆われている部分の総長さであり、長さＬ１ａ，Ｌ１ｂの合計の長さである。長さＬ２は、窓部材５１において突起６１から露出している部分の総長さである。長さＬ１，Ｌ２は、Ｚ軸方向に垂直な方向に沿っての長さであり、図９ではＹ軸方向に沿っての長さである。矢印Ｂ１側から見た場合と同様に、矢印Ｂ１とは反対側から見た場合、すなわちＺ軸方向に垂直なＸ軸方向の他方側から見た場合にも、窓部材５１において突起６１によって覆われている部分の長さＬ１は、窓部材５１において突起６１から露出している部分の長さＬ２よりも長い。

　他の例として、図１０に示されるように、矢印Ｂ２側から見た場合、すなわちＺ軸方向に垂直なＹ軸方向の一方側から見た場合にも、窓部材５１において突起６１によって覆われている部分の長さＬ３は、窓部材５１において突起６１から露出している部分の長さＬ４よりも長い。長さＬ３は、窓部材５１において突起６１によって覆われている部分の総長さであり、長さＬ３ａ，Ｌ３ｂの合計の長さである。長さＬ４は、窓部材５１において突起６１から露出している部分の総長さである。長さＬ３，Ｌ４は、Ｚ軸方向に垂直な方向に沿っての長さであり、図１０ではＸ軸方向に沿っての長さである。矢印Ｂ２側から見た場合と同様に、矢印Ｂ２とは反対側から見た場合、すなわちＺ軸方向に垂直なＹ軸方向の他方側から見た場合にも、窓部材５１において突起６１によって覆われている部分の長さＬ３は、窓部材５１において突起６１から露出している部分の長さＬ４よりも長い。

　他の例として、図１１に示されるように、矢印Ｂ３側から見た場合、すなわちＺ軸方向に垂直で且つＸ軸方向及びＹ軸方向に傾斜した方向から見た場合にも、窓部材５１において突起６１によって覆われている部分の長さＬ５は、窓部材５１において突起６１から露出している部分の長さＬ６よりも長い。長さＬ５は、窓部材５１において突起６１によって覆われている部分の総長さであり、長さＬ５ａ，Ｌ５ｂ，Ｌ５ｃ，Ｌ５ｄの合計の長さである。長さＬ６は、窓部材５１において突起６１から露出している部分の総長さであり、長さＬ６ａ，Ｌ６ｂの合計の長さである。長さＬ５，Ｌ６は、Ｚ軸方向に垂直な方向に沿っての長さであり、図１１では図中の左右方向に沿っての長さである。換言すれば、長さＬ５，Ｌ６は、矢印Ｂ３に垂直な平面に投影した場合の長さである。矢印Ｂ３側から見た場合と同様に、矢印Ｂ３とは反対側から見た場合にも、窓部材５１において突起６１によって覆われている部分の長さＬ５は、窓部材５１において突起６１から露出している部分の長さＬ６よりも長い。

　第１変形例に係るミラーユニット１００Ａによっても、実施形態に係るミラーユニット１００と同様に、窓部材５１の確実な保護を図りつつ、高精度な光走査を実現することができる。また、開口部６５ａ，６６ａによって突起６１が分離されていることにより、突起６１を撓み易くすることができる。その結果、窓部材５１が突起６１に接触した場合でも、突起６１から窓部材５１に作用する応力が分散され、窓部材５１の破損を抑制することができる。なお、第１変化例では、第１部分６５の横方向に沿っての長さ（長さＬ１ａ）が第１部分６５の高さよりも大きいが、第１部分６５の横方向に沿っての長さが第１部分６５の高さよりも小さくなるように開口部６５ａが設けられてもよい。この場合、開口部６５ａは複数設けられてもよい。この点は第２部分６６についても同様である。

　図１２（ａ）及び図１２（ｂ）に示される第２変形例のようにパッケージ４０が構成されてもよい。第２変形例では、突起６１は、Ｚ軸方向から見た場合に円形状に延在している。突起６１には、周方向に間隔を空けて、複数（この例では３つ）の開口部６１ｅが設けられている。開口部６１ｅが設けられていることで、突起６１は、周方向に並ぶ３つの部分に分離されている。

　第２変形例においても、Ｚ軸方向に垂直ないずれの方向から見た場合にも、窓部材５１において突起６１によって覆われている部分の長さは、窓部材５１において突起６１から露出している部分（突起６１によって覆われていない部分）の長さよりも長くなっている。

　例えば、図１２（ｂ）に示されるように、矢印Ｂ４側から見た場合、すなわちＺ軸方向に垂直な一の方向から見た場合、窓部材５１において突起６１によって覆われている部分の長さＬ７は、窓部材５１において突起６１から露出している部分の長さＬ８よりも長い。長さＬ７は、窓部材５１において突起６１によって覆われている部分の総長さであり、長さＬ７ａ，Ｌ７ｂの合計の長さである。長さＬ８は、窓部材５１において突起６１から露出している部分の総長さである。長さＬ７，Ｌ８は、Ｚ軸方向に垂直な方向に沿っての長さであり、図１２（ｂ）では図中の左右方向に沿っての長さである。換言すれば、長さＬ７，Ｌ８は、矢印Ｂ４に垂直な平面に投影した場合の長さである。矢印Ｂ４側から見た場合と同様に、Ｚ軸方向に垂直な他の方向から見た場合にも、窓部材５１において突起６１によって覆われている部分の長さＬ７は、窓部材５１において突起６１から露出している部分の長さＬ８よりも長い。

　第２変形例によっても、上記実施形態と同様に、窓部材５１の確実な保護を図りつつ、高精度な光走査を実現することができる。

　図１３（ａ）及び図１３（ｂ）に示される第３変形例のようにパッケージ４０が構成されてもよい。第３変形例では、突起６１は、Ｙ軸方向に沿って延在する一対の第１部分６５と、Ｘ軸方向に沿って延在する一対の第２部分６６と、を有している。各第１部分６５は、中央部に設けられた高背部６５ｂと、高背部６５ｂよりも高さが低い低背部６５ｃと、を含んでいる。高背部６５ｂは、低背部６５ｃから一方側Ｓ１に突出している。各第２部分６６は、中央部に設けられた高背部６６ｂと、高背部６６ｂよりも高さが低い低背部６６ｃと、を含んでいる。高背部６６ｂは、低背部６６ｃから一方側Ｓ１に突出している。

　第３変形例においても、Ｚ軸方向に垂直ないずれの方向から見た場合にも、窓部材５１において突起６１によって覆われている部分の長さは、窓部材５１において突起６１から露出している部分（突起６１によって覆われていない部分）の長さよりも長くなっている。図１３（ｂ）に示されるように、Ｚ方向に垂直な方向から見た場合に、高背部６５ｂが窓部材５１の全体を覆っている一方で、低背部６５ｃは、窓部材５１における厚さ方向の一部のみを覆っている。第２部分６６についても同様に、Ｚ方向に垂直な方向から見た場合に、高背部６６ｂが窓部材５１の全体を覆っている一方で、低背部６６ｃは、窓部材５１における厚さ方向の一部のみを覆っている。

　図１３（ｂ）に示されるように、矢印Ｂ５側から見た場合、すなわちＺ軸方向に垂直な一の方向から見た場合、窓部材５１において突起６１によって覆われている部分の長さＬ９は、窓部材５１において突起６１から露出している部分の長さＬ１０よりも長い。長さＬ９は、窓部材５１において突起６１によって覆われている部分の総長さである。長さＬ１０は、窓部材５１において突起６１から露出している部分の総長さであり、長さＬ１０ａ，Ｌ１０ｂの合計の長さである。矢印Ｂ５側から見た場合と同様に、Ｚ軸方向に垂直な他の方向から見た場合にも、窓部材５１において突起６１によって覆われている部分の長さＬ９は、窓部材５１において突起６１から露出している部分の長さＬ１０よりも長い。

　第３変形例によっても、上記実施形態と同様に、窓部材５１の確実な保護を図りつつ、高精度な光走査を実現することができる。

　本開示は、上記実施形態及び変形例に限られない。例えば、各構成の材料及び形状には、上述した材料及び形状に限らず、様々な材料及び形状を採用することができる。上記実施形態では、突起６１の端面６１ｃが全周にわたって窓部材５１よりも一方側Ｓ１に位置していたが、端面６１ｃの少なくとも一部が窓部材５１よりも一方側Ｓ１に位置していればよい。

　窓部材５１の側面５１ｂ，５１ｃと突起６１の内面６１ａとの間に隙間Ｇ２が形成されていなくてもよく、窓部材５１の側面５１ｂ，５１ｃの少なくとも一方は、突起６１の内面６１ａに接触していてもよい。突起６１の厚さＴ２は、突起６１の頂面４５ａからの高さＨよりも小さければよく、窓部材５１の厚さＴ１よりも厚くてもよい。光走査デバイス１は、可動ミラー部１０のミラー面７ａが窓部材５１の主面５１ａと平行な状態で本体部４１に保持されていてもよい。

　突起６１は、本体部４１と別体に形成されていてもよい。本体部４１及び突起６１の少なくとも一方は、樹脂以外の材料により形成されていてもよい。当接部６３は省略されてもよい。窓部材５１の主面５１ａと頂面４５ａとの間に隙間Ｇ１が形成されていなくてもよく、光入射開口４１ａが気密に封止されるように窓部材５１が本体部４１に接合されていてもよい。

　本体部４１は、光入射開口４１ａから入射した光が光走査デバイス１に入射可能となるように光走査デバイス１を保持していればよく、任意の構成を有していてよい。例えば、光走査デバイス１を支持するベース部が側壁４５とは別体に構成されていてもよい。実施形態の光走査デバイス１では可動ミラー部１０が電磁力により駆動されたが、可動ミラー部１０は静電力又は圧電素子により駆動されてもよい。上記実施形態では、磁界発生部Ｍがパッケージ４０の内部に配置されていたが、磁界発生部Ｍは、パッケージ４０の外部に配置されていてもよい。

１００，１００Ａ…ミラーユニット、１…光走査デバイス、７ａ…ミラー面、１０…可動ミラー部、４０…パッケージ、４１…本体部、４１ａ…光入射開口、４５ａ…頂面、５１…窓部材、５１ｂ，５１ｃ…側面、６１…突起、６１ａ…内面、６１ｃ…端面、６３…当接部、６３ａ…当接面、Ｇ１，Ｇ２…隙間、Ｓ１…一方側。

Claims

　可動ミラー部を有する光走査デバイスと、
　前記光走査デバイスを収容するパッケージと、を備え、
　前記パッケージは、
　所定方向の一方側に開口する光入射開口が設けられ、前記光入射開口から入射した光が前記可動ミラー部に入射可能となるように前記光走査デバイスを保持する本体部と、
　前記光入射開口の縁に沿って延在するように前記本体部の頂面に設けられた突起と、
　前記突起の内側において前記頂面上に配置され、前記光入射開口を覆う平板状の窓部材と、を有し、
　前記突起における前記一方側の端面は、前記窓部材よりも前記一方側に位置しており、
　前記突起の厚さは、前記突起の前記頂面からの高さよりも小さく、
　前記所定方向に垂直ないずれの方向から見た場合にも、前記窓部材において前記突起によって覆われている部分の長さは、前記窓部材において前記突起から露出している部分の長さよりも長い、ミラーユニット。
　前記窓部材の側面と前記突起の内面との間には、隙間が形成されている、請求項１に記載のミラーユニット。
　前記突起の厚さは、前記窓部材の厚さよりも薄い、請求項１又は２に記載のミラーユニット。
　前記光走査デバイスは、前記可動ミラー部のミラー面が前記窓部材に対して傾斜した状態で、前記本体部に保持されている、請求項１～３のいずれか一項に記載のミラーユニット。
　前記突起は、前記本体部と一体に形成されている、請求項１～４のいずれか一項に記載のミラーユニット。
　前記本体部及び前記突起の少なくとも一方は、樹脂により形成されている、請求項１～５のいずれか一項に記載のミラーユニット。
　前記本体部の前記頂面には、前記一方側を向いた平坦な当接面を有する当接部が突設されており、
　前記窓部材は、前記当接面に接触している、請求項１～６のいずれか一項に記載のミラーユニット。
　前記窓部材と前記本体部の前記頂面との間には、隙間が形成されている、請求項１～７のいずれか一項に記載のミラーユニット。
　前記突起は、前記所定方向から見た場合に、環状に形成されている、請求項１～８のいずれか一項に記載のミラーユニット。