JP2014095796A - 光偏向装置及び画像投影装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】高コスト化及び大型化を招くことなく、環境温度の変化による装置性能の低下を防止できる光偏向装置を提供する。
【解決手段】 光偏向装置20は、レーザ光を透過させる光透過窓22が設けられたパッケージ21と、パッケージ21に収容され、光透過窓22を介してパッケージ21内に入射されたレーザ光を、α軸に直交する軸及びα軸周りに振動しながら光透過窓22に向けて反射する振動ミラーを含むMEMSミラーデバイス23と、光透過窓22の温度を調整するためのヒータ24と、振動ミラーの共振周波数に基づいてヒータ24を制御するヒータ制御回路と、を備えている。
【選択図】図2
【解決手段】 光偏向装置20は、レーザ光を透過させる光透過窓22が設けられたパッケージ21と、パッケージ21に収容され、光透過窓22を介してパッケージ21内に入射されたレーザ光を、α軸に直交する軸及びα軸周りに振動しながら光透過窓22に向けて反射する振動ミラーを含むMEMSミラーデバイス23と、光透過窓22の温度を調整するためのヒータ24と、振動ミラーの共振周波数に基づいてヒータ24を制御するヒータ制御回路と、を備えている。
【選択図】図2
Description
本発明は、光偏向装置及び画像投影装置に係り、更に詳しくは、レーザ光を偏向する光偏向装置及び該光偏向装置を備える画像投影装置に関する。
従来、MEMSデバイスを含むMEMSモジュールであって、環境温度の変化によるモジュール性能の低下を防止するために、MEMSデバイスの温度を検出し、その検出結果に基づいてMEMSデバイスの温度を制御するMEMSモジュールが知られている(例えば特許文献1参照)。
しかしながら、特許文献1に開示されているMEMSモジュールでは、MEMSデバイスの温度を検出するための温度センサが必要であり、高コスト化及び大型化を招いていた。
本発明は、レーザ光を偏向する光偏向装置であって、レーザ光を透過させる光透過窓が設けられた筐体と、前記筐体に収容され、前記光透過窓を介して前記筐体内に入射されたレーザ光を少なくとも一軸周りに振動しながら前記光透過窓に向けて反射するミラーを含むMEMSミラーデバイスと、前記光透過窓の温度を調整するためのヒータと、前記ミラーの共振周波数に基づいて、前記ヒータを制御するヒータ制御部と、を備える光偏向装置である。
本発明によれば、高コスト化及び大型化を招くことなく、環境温度の変化による装置性能の低下を防止できる。
以下、本発明の一実施形態を図1〜図8に基づいて説明する。図1には、一実施形態に係る画像投影装置としてのプロジェクタ装置1000の概略構成が示されている。以下の説明では、図1に示されるようなXYZ3次元直交座標系を適宜用いる。
プロジェクタ装置1000は、一例として、水平面(XY平面)と平行な床上に設置された設置台の上面上(若しくは床上)に載置されて使用される。
プロジェクタ装置1000は、一例として、光源装置10、光偏向装置20、制御装置100及びこれらを収容するハウジング30などを備えている。
光源装置10は、一例として、3つのレーザダイオードLD1〜LD3、3つのコリメートレンズCR1〜CR3、3つのダイクロイックミラーDM1〜DM3などを含む。
レーザダイオードLD1は、一例として、赤色レーザであり、赤色光(波長640nm)を−X方向に射出するように配置されている。
レーザダイオードLD2は、一例として、青色レーザであり、青色光(波長450nm)を−X方向に射出するように、レーザダイオードLD1の+Z側に配置されている。
レーザダイオードLD3は、一例として、緑色レーザであり、緑色光(波長520nm)を−X方向に射出するように、レーザダイオードLD2の+Z側に配置されている。
各レーザダイオードは、制御装置100が有するLD制御回路50(図4参照)によって、画像情報に応じて変調制御される。
コリメートレンズCR1は、一例として、レーザダイオードLD1の−X側に配置されており、レーザダイオードLD1から射出された赤色光を略平行光とする。
コリメートレンズCR2は、一例として、レーザダイオードLD2の−X側に配置されており、レーザダイオードLD2から射出された青色光を略平行光とする。
コリメートレンズCR3は、一例として、レーザダイオードLD3の−X側に配置されており、レーザダイオードLD3から射出された緑色光を略平行光とする。
3つのダイクロイックミラーDM1〜DM3は、それぞれ、例えば誘電体多層膜などの薄膜から成り、特定の波長の光を反射し、それ以外の波長の光を透過させる。
ダイクロイックミラーDM1は、一例として、コリメートレンズCR1の−X側に、X軸及びY軸に対して例えば45°傾斜して配置されており、コリメートレンズCR1を介した赤色光を+Z方向に反射させる。
ダイクロイックミラーDM2は、一例として、ダイクロイックミラーDM1の+Z側、かつコリメートレンズCR2の−X側に、X軸及びY軸に対して例えば45°傾斜して配置されており、ダイクロイックミラーDM1を介した赤色光を+Z方向に透過させ、コリメートレンズCR2を介した青色光を+Z方向に反射させる。
なお、ダイクロイックミラーDM1を介した赤色光及びコリメートレンズCR2を介した青色光は、それぞれダイクロイックミラーDM2の中央付近に入射する。
ダイクロイックミラーDM3は、一例として、ダイクロイックミラーDM2の+Z側かつコリメートレンズCR3の−X側に、X軸及びY軸に対して例えば45°傾斜して配置されており、ダイクロイックミラーDM2を介した赤色光及び青色光を+Z方向に透過させ、コリメートレンズCR3を介した緑色光を+Z方向に反射させる。
なお、ダイクロイックミラーDM2を介した赤色光及び青色光、並びにコリメートレンズCR3を介した緑色光は、それぞれダイクロイックミラーDM3の中央付近に入射する。
ダイクロイックミラーDM3を介した3つの光(赤色光、青色光及び緑色光)は、1つの光に合成される。この場合、3つのレーザダイオードLD1〜LD3の発光強度の強弱のバランスにより、合成された光の色が表現されるようになっている。
結果として、光源装置10は、3つのレーザダイオードLD1〜LD3からの3つのレーザ光が合成されてなるレーザ光(合成光)を+Z方向に射出する。
光偏向装置20は、一例として、ダイクロイックミラーDM3の+Z側に配置されており、図2に示されるように、パッケージ21、光透過窓22、振動ミラー23a(図3参照)を含むMEMSミラーデバイス23、ヒータ24、制御装置100(図1及び図4参照)などを有している。
以下では、図2に示されるようなαβγ3次元直交座標系を適宜用いて説明する。ここで、αβ平面は、Y軸に平行であり、かつXY平面に対して傾斜している(図1参照)。
パッケージ21は、一例として、γ軸方向を高さ方向とする直方体形状の部材の+γ側の面に例えば2段の段付き凹部21aが形成されて成る無蓋の箱形部材である。ここでは、パッケージ21の材料として、例えばアルミナ(Al203)を主成分とするセラミックが用いられている。パッケージ21には、MEMSミラーデバイス23に駆動電圧を印加するための配線部材(不図示)が設けられている。なお、パッケージの形状及び材質は、適宜変更可能である。
光透過窓22は、ダイクロイックミラーDM3からのレーザ光の光路上に位置するように、パッケージ21の段付き凹部21aに設けられている。光透過窓22は、一例として、αβ平面にそれぞれ平行に、かつγ軸方向に互いに離間して配置された一対のガラス板22a、22bから成る。この場合、一対のガラス板22a、22bは、Y軸に平行であり、かつXY平面に対して傾斜している。ここでは、ガラス板22aが+γ側に配置され、ガラス板22bが−γ側に配置されている。一対のガラス板22a、22bは、それぞれレーザ光を透過させる透明又は半透明の板状のガラスからなる。
詳述すると、+γ側のガラス板22aは、縁部が段付き凹部21aの+γ側の段部上に載置された状態でパッケージ21に接合されている。−γ側のガラス板22bは、縁部が段付き凹部21aの−γ側の段部上に載置された状態でパッケージ21に接合されている。
そこで、ダイクロイックミラーDM3からのレーザ光(入射光)は、+γ側のガラス板22aに所定の入射角で入射(斜入射)され、該ガラス板22aを透過する。ガラス板22aを透過したレーザ光は、一対のガラス板22a、22bとパッケージ21とで囲まれる空間を通過し、−γ側のガラス板22bに上記入射角で入射(斜入射)され、該ガラス板22bを透過する。ガラス板22bを透過したレーザ光が光透過窓22を透過した入射光である。
ここで、一対のガラス板22a、22bとパッケージ21とで囲まれる空間は、気密状態となっており、外部からのダスト、水分の侵入が防止され、この結果、該空間内でのレーザ光の散乱、反射等が防止されている。
MEMSミラーデバイス23は、一例として、振動ミラー23aが、光透過窓22を透過した入射光の光路上に位置するように、段付き凹部21aの最も−γ側の底面に実装されている。すなわち、MEMSミラーデバイス23は、−γ側のガラス板22bとパッケージ21とで囲まれた空間内に配置されている。この空間も気密状態となっており、外部からのダスト、水分の侵入が防止され、この結果、該空間内でのレーザ光の散乱、反射等が防止されるとともに、振動ミラー23aの特性変化が防止されている。
MEMSミラーデバイス23は、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術によって作成されており、一例として、図3に示されるように、振動ミラー23aに加えて、該振動ミラー23aの周囲に配置され、該振動ミラー23aをα軸に直交する方向に延びるねじり梁を介して保持する振動保持枠23bと、該振動保持枠23bの周囲に配置され、該振動保持枠23bをα軸方向に延びるねじり梁を介して保持する固定保持枠23cと、振動ミラー23aを駆動するための静電気力を発生させる複数の電極(不図示)とを有する。複数の電極は、パッケージ21に設けられた上記配線部材に接続されており、振動ミラー23aを駆動するための駆動電圧が印加される。なお、以下では、MEMSミラーデバイス23を、単に「デバイス」とも称する。
このように構成されるMEMSミラーデバイス23では、振動ミラー23aが、固定保持枠23cに対して、α軸に直交する軸及びα軸の各軸周りに独立して振動可能となっている。そこで、振動ミラー23aは、光透過窓22を介してパッケージ21内に入射されたレーザ光(入射光)を各軸周りに振動しながら光透過窓22に向けて反射する。
そして、光偏向装置20は、振動ミラー23aを各軸周りに適宜振動させながら入射されたレーザ光を反射することで、該レーザ光で所定の2次元平面を走査することができる。なお、振動ミラー23aがα軸周りに振動しながらレーザ光を反射することで、該レーザ光で所定の2次元平面を主走査方向に走査することができ、振動ミラー23aがα軸に直交する軸周りに振動しながらレーザ光を反射することで、該レーザ光で所定の2次元平面を副走査方向に走査することができる。
また、MEMSミラーデバイス23は、一例として、振動ミラー23aの各軸周りの振れ角を検出する、該軸に対応する例えばPZT(チタン酸ジルコン酸鉛 )製の圧電素子を含む振れ角検出器(不図示)を有している。各圧電素子は、振動ミラー23aの対応する軸周りの振動に伴って変位し、その変位量に応じた電圧信号、すなわち振動ミラー23aの対応する軸周りの振れ角に応じた電圧信号を出力する。
そして、上記振れ角検出器は、振動ミラー23aの各軸周りの振れ角に応じた電圧信号(検出信号)を、制御装置100が有するミラー制御回路70に出力する(図4参照)。ミラー制御回路70は、振動ミラー23aの各軸周りの振れ角に応じた信号を、LD制御回路50に出力する(図4参照)。
そして、LD制御回路50から各レーザダイオードに振動ミラー23aの振れ角に合わせた画像信号が送られ、該レーザダイオードから画像信号に応じて強度変調されたレーザ光が射出される。ミラー制御回路70は、振動ミラー23aを各軸周りに振動させ、3つのレーザダイオードから射出され合成されたレーザ光をスクリーンSに向けて偏向し、該レーザ光によってスクリーンSを主走査方向及び副走査方向に2次元走査する。なお、光偏向装置20で偏向されたレーザ光は、ハウジング30に形成された射出窓からスクリーンSに向けて射出される。以下では、主走査方向に対応する方向を主走査対応方向と称し、副走査方向に対応する方向を副走査対向方向と称する。
このようにして、各レーザダイオードに対する画像信号に応じた光強度変調と光偏向装置20による光走査とを同期させることにより、スクリーンS上に所望のカラー画像が投影される。
なお、一例として、光偏向装置20による主走査方向の全走査角度は30°及び副走査方向の全走査角度は10°に設定されている。
ヒータ24は、例えば光透過窓22に結露が生じることを防止するために、光透過窓22の温度を調整するための熱源として用いられる。なお、光透過窓22に結露が生じると、水滴や曇りによって、レーザ光が散乱、反射し、スクリーンS上に投影される画像に悪影響を及ぼす。すなわち、光偏向装置20の装置性能が低下する。
ヒータ24は、光透過窓22を構成する一対のガラス板22a、22bと、パッケージ21とで囲まれた空間に露出するようにパッケージ21に設けられている。この場合、ヒータ24によって、該空間内の気体を介して一対のガラス板22a、22bが加熱される。この結果、加熱する気体の体積を極力小さくすることができ、かつ加熱した気体を外部に放出させないため、加熱効率を高めることができる。
ここでは、ヒータ24として、金属又は合金からなる電熱線が用いられている。ヒータ24は、制御装置100が有するヒータ制御回路80(図4参照)によって制御される。
なお、ヒータ24によってパッケージ21が加熱されることで、MEMSミラーデバイス23の温度(以下では、「デバイス温度」とも称する)に影響を及ぼすおそれがある。そこで、ヒータ24とパッケージ21との間に断熱部材を設けても良い。
前述したミラー制御回路70は、上記振れ角検出器からの検出信号に基づいて、振動ミラー23aを各軸周りに所望の振れ角で振動させるための、各軸周りの駆動周波数及び駆動電圧を設定する。
ここでは、特に、主走査方向の光走査に関与する振動ミラー23aのα軸周りの駆動周波数は、共振周波数に設定される。なお、「共振周波数」は、ミラーを所望の振れ角で振動させるために必要な電流値が最小となる周波数でもある。
ところで、振動ミラー23aのα軸周りの振れ角θは、振動ミラー23aのα軸周りの振動の周波数fによって変化し、共振周波数f´で最大になる(図5参照)。そこで、ミラー制御回路70は、振動ミラー23aの周波数fを掃引して振れ角θが最大になる周波数である共振周波数f´を取得し、該共振周波数f´を駆動周波数として振動ミラー23aをα軸周りに駆動する。
ここで、共振周波数には、温度依存性があるため、デバイス温度によって共振周波数が変わる。そこで、ミラー制御回路70は、振動ミラー23aのα軸周りの振れ角を安定させるために、適宜(例えば所定時間毎に)、上記振れ角検出器からの検出信号に基づいて共振周波数を検出し、振動ミラー23aのα軸周りの駆動電圧及び駆動周波数を最適化する。また、ミラー制御回路70は、共振周波数を検出したとき、該共振周波数を、ヒータ制御回路80が有するデバイス温度取得部80b及び環境温度取得部80c(図4参照)に出力する。すなわち、ミラー制御回路70は、上記振れ角検出器と共に、振動ミラー23aの共振周波数を検出し、その検出結果をヒータ制御回路80に出力する共振周波数検出手段を構成している。
なお、ミラー制御回路70が振動ミラー23aの振れ角の最大値を見つけるためのアルゴリズムを有していれば、周波数掃引を行わなくても、周波数の微調整によって共振周波数を検出し、該共振周波数で振動ミラー23aを駆動することができる。例えば、高周波側Aから低周波側Bに1Hz周波数を下げて、低周波側Bのときの振れ角が高周波側Aのときの振角より大きければさらに周波数を下げるという動作を続け、低周波側Bの振角が高周波側Aよりも小さくなったときの周波数を共振周波数として取得すれば良い。
ところで、光透過窓22に結露を発生させないためには、光透過窓22を常に環境温度よりも高い状態に維持する必要がある。例えば環境温度が85℃を上限として変動する環境で光偏向装置20を使用する場合、光透過窓22を85℃より高温の100℃付近の一定温度に維持すれば結露は生じない。しかし、常に100℃付近の高温を維持するとなると消費電力が増大する。このため、環境温度に応じて光透過窓22の温度を調整することが望まれる。
そこで、本実施形態では、共振周波数の温度依存性に着目して、共振周波数に基づいて、光透過窓22の温度を調整することとしている。具体的には、共振周波数に基づいてデバイス温度及び環境温度を取得し、取得されたデバイス温度と環境温度とを比較し、その比較結果に基づいてヒータ24の発熱量を制御する。
ここで、デバイス温度が変化する要因としては、周辺環境からの熱、振動ミラー23aの駆動による自己発熱、振動ミラー23aによるレーザ光の吸収熱などが挙げられる。なお、一般にデバイスの自己発熱や振動ミラー23aによるレーザ光の吸収熱は、デバイス温度を数℃上昇させる程度である。
前述したヒータ制御回路80は、図4に示されるように、フラッシュメモリ80a、デバイス温度取得部80b、環境温度取得部80c、温度比較部80d、通電制御部80eなどを有している。
ところで、MEMSミラーデバイスの共振周波数は、デバイス毎に固有の特性を有しており、デバイスの構造、振動ミラーを支持するねじり梁の長さL、厚さh、幅w、重さ、材質(ヤング率:E)などによって異なることが知られている。
振動ミラーの共振周波数は、f´=(1/2π)√(k/m)で表すことができる。また、ねじり梁の機械的剛性は、k=Ehw3/L3で表すことができる。
実際には、製造上及び材料上の公差により、同じ設計のデバイスであっても比較的大きな共振周波数のばらつきが発生する。
このため、デバイスの作成前に共振周波数を正確に予測することは、困難である。この場合、デバイス温度と共振周波数を、デバイス毎に予め測定するなどして明らかにしておくことが望ましい。
そこで、フラッシュメモリ80aには、振動ミラー23aの共振周波数とデバイス温度との対応関係を表す共振周波数・デバイス温度対応テーブルが格納されている。この共振周波数・温度対応テーブルは、予め、デバイス毎に計測された対応する共振周波数及びデバイス温度が一対一となるように配列されたテーブル(表)である。
デバイス温度取得部80bは、ミラー制御回路70からの共振周波数を取得すると、フラッシュメモリ80aに格納された共振周波数・デバイス温度対応テーブルを参照して、取得した共振周波数に対応するデバイス温度を取得して、該デバイス温度を温度比較部80dに出力する。
環境温度取得部80cは、ミラー制御回路70からの共振周波数を取得すると、フラッシュメモリ80aに格納された環境温度と共振周波数との関係(図6参照)を参照して、取得した共振周波数に対応する環境温度を取得して、該環境温度を温度比較部80dに出力する。
なお、図6には、環境温度と共振周波数との関係がグラフにて示されている。このグラフのデータは、MEMSミラーデバイス23を恒温槽内で動作させ、環境温度が変化したときに共振周波数を計測することにより、取得されている。
温度比較部80dは、デバイス温度取得部80bからのデバイス温度、及び環境温度取得部80cからの環境温度を取得すると、取得したデバイス温度と環境温度とを比較して、その比較結果を通電制御部80eに出力する。ここでは、比較結果は、デバイス温度と環境温度との大小関係及び差である。
ここで、一対のガラス板22a、22bで構成される光透過窓22の温度をヒータ24によって調整するとき、パッケージ21を介した熱伝導によって、デバイス温度も調整される。すなわち、光透過窓22の温度が上昇すれば、デバイス温度も上昇し、光透過窓22の温度が下降すれば、デバイス温度も下降する。
そこで、光透過窓22での結露を防止するための、ヒータ24への通電制御の基準として、光透過窓22の温度の代わりにデバイス温度を用いることができる。この場合、デバイスはヒータ24による直接の温度調整対象物ではないため、目標温度を環境温度よりも十分に大きくすることが望ましい。
そこで、通電制御部80eは、温度比較部80dからの比較結果に基づいて、例えばデバイス温度≧目標温度(例えば環境温度+10℃)となるように、ヒータ24への通電を制御する。
具体的には、通電制御部80eは、温度比較部80dからの比較結果が、デバイス温度≧目標温度(環境温度+10℃)の場合には、ヒータ24に通電せず、自然放熱でデバイス温度を下降させる。
一方、通電制御部80eは、温度比較部80dからの比較結果が、デバイス温度<目標温度(環境温度+10℃)の場合には、ヒータ24に通電し、デバイス温度=目標温度(環境温度+10℃)となったときに、すなわち振動ミラー23aの共振周波数が、フラッシュメモリ80aに格納された共振周波数・デバイス温度対応テーブルにおける、目標温度(環境温度+10℃)に対応する共振周波数になったときに、ヒータ24への通電を停止する。なお、予め、ヒータ24に通電する電流の大きさに対するデバイス温度の時間変化率を計測しておき、該時間変化率を用いて、デバイス温度が目標温度に達するまでの通電時間を求め、該通電時間だけヒータ24へ通電することとしても良い。すなわち、ヒータ24を通電時間で制御しても良い。
この場合、ヒータ24に通電する電流の大きさが大きいほど、デバイス温度が目標温度に達する時間を短くすることができる一方、消費電力が増大する。
また、図7に示されるように、デバイス温度<環境温度の場合、デバイス温度と環境温度との差が大きいほど、光透過窓22で結露が発生する可能性が高くなる。すなわち、環境温度が上昇すると飽和水蒸気量が増加する一方、デバイス温度と環境温度との差が大きいほど、光透過窓22に結露が発生する可能性が高くなる。特に、環境温度が急激に上昇すると、熱伝導率が低い部材である一対のガラス板22a、22bで構成される光透過窓22の温度は、その急激な上昇に追従できなくなり、結露が発生する可能性が非常に高くなる。このような場合、結露の発生を防止するために、一刻も早く、光透過窓22の温度を上昇させる必要がある。
そこで、デバイス温度と環境温度との差に基づいて、ヒータ24に通電する電流の大きさ(電流値)を変更しても良い。具体的には、デバイス温度と環境温度との差をΔTとした場合、ΔT≧T1(例えば4℃)のときには、電流値をI1とし、T2(例えば2℃)≦ΔT<T1(例えば4℃)のときには、電流値をI2(<I1)とし、ΔT<T2(例えば2℃)のときには、電流値をI3(<I2)としても良い。なお、電流値I1、I2及びI3は、ヒータ24の性能、光透過窓22の比熱などを考慮して設定されることが好ましい。
この場合、消費電力の増大を抑制しつつ、光透過窓22に結露が発生することを防止できる。
なお、上記T1、T2及びT3は、ΔTの閾値の一例であって、適宜変更可能であり、また、3つに限らず、1つ、2つ又は4つ以上設定しても良い。
以上説明した本実施形態の光偏向装置20は、レーザ光を偏向する光偏向装置であって、レーザ光を透過させる光透過窓22が設けられたパッケージ21と、該パッケージ21に収容され、光透過窓22を介してパッケージ21内に入射されたレーザ光をα軸に直交する軸周り及びα軸周りに振動しながら光透過窓22に向けて反射する振動ミラー23aを含むMEMSミラーデバイス23と、光透過窓22の温度を調整するためのヒータ24と、振動ミラー23aの共振周波数に基づいてヒータ24を制御するヒータ制御回路80と、を備えている。
この場合、振動ミラー23aの共振周波数の温度依存性を用いて、光透過窓22に結露が発生しないようにヒータ24を制御することができる(図8参照)。
この結果、例えば温度センサを用いることなく、光透過窓22に結露が発生することを防止でき、ひいては光透過窓22を透過するレーザ光の散乱及び反射を防止できる。
結果として、光偏向装置20では、高コスト化及び大型化を招くことなく、環境温度の変化による装置性能の低下を防止できる。
また、ヒータ制御回路80は、振動ミラー23aの共振周波数に基づいて取得された環境温度及びMEMSミラーデバイス23の温度に基づいて、ヒータ24を制御している。
この場合、消費電力の増大を抑制しつつ、光透過窓22に結露が発生することを防止できる。
また、ヒータ制御回路80は、振動ミラー23aの共振周波数に基づいて取得されたMEMSミラーデバイス23の温度が該共振周波数に基づいて取得された環境温度よりも高くなるようにヒータ24を制御している。
この場合、光透過窓22に結露が発生することを確実に防止することができる。
また、プロジェクタ装置1000は、光偏向装置20を備えているため、高精細な画像を常時安定してスクリーンS上に投影することができる。
また、プロジェクタ装置1000では、光源としてレーザダイオードを用いている。この場合、色域が拡大され、色再現性の向上が実現できる。また、光源としてランプなどを用いる場合と比べて、消費電力の大幅な低減、及び装置の小型化を図ることができる。
ところで、一般に良く知られている加熱制御に、PID制御がある。PID制御では、一つの制御点に対して目標温度と測定温度が一致するようにヒータに供給する電力を制御する。制御点よりも測定温度が高くなった場合には出力を低減させる制御動作を行う。このようなPID制御では、目標温度と測定温度を素早く一致させるための冷却機構が必要であるが、本実施形態では、デバイス温度が目標温度よりも高くても結露を防止できるため、冷却機構は不要であり、またデバイス温度(共振周波数)を上昇させるときのみ、通電を制御すれば良いため、制御が簡単である。
なお、一例として、図9に示される第1変形例の光偏向装置200のように、光透過窓を1枚のガラス板220で構成するとともに、ヒータをガラス板220に接触して配置された透明電極240で構成しても良い。ガラス板220は、パッケージ210の段付き凹部210aの段部上に縁部が載置された状態でパッケージ210に接合されている。透明電極240は、ガラス板220の+γ側の面に形成された凹部に嵌合した状態で接合されており、配線部材を介して通電制御部(不図示)に接続されている。段付き凹部210aの最も−γ側の底面には、MEMSミラーデバイス23が実装されている。ガラス板220とパッケージ210とによって囲まれた、MEMSミラーデバイス23が収容されている空間は、気密状態となっている。
第1変形例によると、レーザ光の透過率を下げることなく、ガラス板220を直接加熱することができる。
この結果、光利用効率の低下を招くことなく、ヒータ(透明電極240)のエネルギロスを極力小さくでき、かつガラス板220の温度を精度良く調整することができる。
なお、上記第1変形例では、光透過窓は、1枚のガラス板220で構成され、該ガラス板220に透明電極240が接触して配置されているが、これに代えて、例えば、光透過窓をγ軸方向に離間する一対のガラス板で構成し、該一対のガラス板で透明電極を挟持させるようにしても良い。
また、上記第1変形例では、透明電極240に通電する電流の大きさとガラス板220の温度変化との関係を明らかにしたデータをあらかじめ取得しておくことで、ガラス板220の温度を迅速に精度良く調整することができる。
また、一例として、図10に示される第2変形例の光偏向装置300のように、光透過窓を構成するガラス板320の+γ側の面のレーザ光の光路から外れた箇所をガラスよりも熱伝導率が高い板状又は膜状の熱伝導部材330で被覆し、該熱伝導部材330にヒータを接続することとしても良い。この場合、熱伝導性が低い部材であるガラス板320を効率的に加熱することができる。また、ヒータの温度とガラス板320の温度差が小さくなり、ガラス板320の温度を精度良く調整することができる。熱伝導部材330の材料としては、例えば金属、合金等が挙げられる。
なお、上記第2変形例では、ガラス板320の+γ側の面を熱伝導部材で被覆しているが、これに代えて又は加えて、例えば、ガラス板320の−γ側の面のレーザ光の光路から外れた箇所を熱伝導部材で被覆し、該熱伝導部材にヒータを接続しても良い。
また、一例として、図11に示される第3変形例のように、振動ミラー23aの共振周波数を、例えば、スクリーンSの主走査方向(Y軸方向)の両端に配置された2つのフォトダイオード(PD)を含む共振周波数検出手段400によって検出することとしても良い。この場合、ミラー制御回路70は、共振周波数を必ずしも検出する必要はなく、共振周波数検出手段400によって検出された共振周波数を用いて振動ミラー23aを制御しても良い。
具体的には、共振周波数検出手段400は、レーザ光を振動ミラー23aによって偏向してスクリーンS上を主走査方向に走査する際の、該レーザ光の各PDでの受光タイミング、振動ミラー23aと各PDとの距離u、及び2つのPDの間隔mに基づいて、振動ミラー23aの主走査方向の振れ角の最大値を算出して、該最大値に対応する周波数である共振周波数を取得(検出)する。
なお、上記実施形態のMEMSミラーデバイス23では、振動ミラー23aが互いに直交する二軸周りに独立に振動可能であるが、これに限られない。例えば振動ミラーは、一軸周りにのみ振動可能であっても良い。この場合、光偏向装置は、一方向のみの光走査を行うことになる。
また、上記実施形態では、共振周波数・デバイス温度対応テーブルを、デバイス毎の共振周波数・温度特性を計測して取得したデータを用いて作成しているが、これに限られない。例えば加工精度などの点で必ずしも容易ではないが、デバイスの共振周波数・温度特性を設計し、この設計値を用いて、作成しても良い。
また、上記実施形態では、ヒータ制御回路80は、フラッシュメモリ80a、デバイス温度取得部80b、環境温度取得部80c、温度比較部80d、通電制御部80eを有しているが、これに限られない。
例えば、ヒータ制御回路は、通電制御部のみを有していても良い。具体的には、通電制御部は、ミラー制御回路70から時系列で出力されてくる共振周波数を比較し、共振周波数が大きくなったとき、環境温度が上昇したものとみなし、ヒータ24に通電して、光透過窓の温度を上昇させる一方、共振周波数が小さくなったとき、環境温度が下降したものとみなし、ヒータ24へは通電せず、自然放熱でデバイス温度を下降させても良い。
この場合、簡単な構成及び制御で、光透過窓に結露が発生することを防止できる。
また、例えば、ヒータ制御回路は、温度比較部80dを有していなくても良い。この場合、温度比較部80dの役割を通電制御部に行わせても良い。
上記実施形態では、ヒータとして、電熱線が用いられているが、これに限らず、光透過窓の温度を調整できる熱源であれば、他の部材又は装置を用いても良い。
上記実施形態では、光透過窓を構成する窓部材として、ガラス板が用いられているが、レーザ光を透過させる他の部材を用いても良い。
上記実施形態では、主走査方向の光走査に関与する振動ミラーのα軸周りの駆動周波数が、振動ミラーのα軸周りの振動の共振周波数とされているが、これに代えて又は加えて、副走査方向の光走査に関与する振動ミラーのα軸に直交する軸周りの駆動周波数が、振動ミラーのα軸に直交する軸周りの振動の共振周波数とされても良い。
上記実施形態における光源装置10の構成は、適宜変更可能である。例えば、上記実施形態では、光源として、3つのレーザダイオードが用いられたが、2つ以下又は4つ以上用いられても良い。すなわち、プロジェクタ装置は、カラー画像に限らず、モノクロ画像を表示するものであっても良い。そして、レーザダイオードの数に応じて、ダイクロイックミラーの数を適宜変更しても良い。なお、レーザダイオードを1つ用いる場合には、ダイクロイックミラーは、必要ない。
例えば、上記実施形態では、各レーザダイオードに対応してコリメートレンズが設けられているが、設けなくても良い。
また、上記実施形態では、レーザ光によりスクリーン上を走査しているが、これに限らず、例えば、レーザ光によりコンバイナ(半透過板)上などを走査しても良い。
また、上記実施形態では、画像投影装置の一例として、プロジェクタ装置が採用されているが、これに限らず、例えば、レーザプリンタ、レーザセンサ、車載用ヘッドアップディスプレイなどを採用しても良い。
ところで、車載用ヘッドアップディスプレイは、ドライバーの運転をサポートするための交通情報や目的地までの経路などの画像をフロントガラス(被投影面)に投影する装置である。車載用ヘッドアップディスプレイには、車両の使用環境を想定した信頼性が要求されるため、該ヘッドアップディスプレイに用いられる光偏向装置は、例えば−40℃〜+85℃の温度範囲での安定動作が要求される。
車載用ヘッドアップディスプレイに搭載された光偏向装置のMEMSミラーデバイスにおいて、駆動周波数を20KHzとし、300mW相当のレーザ照射を行った場合に、デバイス温度が約9℃程度上昇したことが確認された。
本発明の光偏向装置は、例えば−40℃〜+85℃の温度範囲で環境温度が急激に変化しても、光透過窓に結露が発生することを確実に防止でき、ひいては装置の性能の低下を防止できる。すなわち、装置の信頼性を向上できる。
20…光偏向装置、21…パッケージ(筐体)、22…光透過窓、22a…ガラス板(窓部材)、22b…ガラス板(窓部材)、23…MEMSミラーデバイス、23a…振動ミラー(ミラー)、24…ヒータ、70…ミラー制御回路(共振周波数検出手段の一部)、80…ヒータ制御回路(ヒータ制御部)、220…ガラス板(窓部材)、240…透明電極、320…ガラス板(窓部材)、330…熱伝導部材、400…共振周波数検出手段、1000…プロジェクタ装置(画像投影装置)、LD1〜LD3…レーザダイオード(光源)、S…スクリーン(被投射面)。
Claims (10)
- レーザ光を偏向する光偏向装置であって、
レーザ光を透過させる光透過窓が設けられた筐体と、
前記筐体に収容され、前記光透過窓を介して前記筐体内に入射されたレーザ光を少なくとも一軸周りに振動しながら前記光透過窓に向けて反射するミラーを含むMEMSミラーデバイスと、
前記光透過窓の温度を調整するためのヒータと、
前記ミラーの共振周波数に基づいて、前記ヒータを制御するヒータ制御部と、を備える光偏向装置。 - 前記ヒータ制御部は、前記光透過窓に結露が発生しないように前記ヒータを制御することを特徴とする請求項1に記載の光偏向装置。
- 前記ヒータ制御部は、前記共振周波数に基づいて取得された環境温度及び前記MEMSミラーデバイスの温度に基づいて、前記ヒータを制御することを特徴とする請求項1又は2に記載の光偏向装置。
- 前記ヒータ制御部は、前記MEMSミラーデバイスの温度が前記環境温度よりも高くなるように前記ヒータを制御することを特徴とする請求項3に記載の光偏向装置。
- 前記共振周波数を検出し、その検出結果を前記ヒータ制御部に出力する共振周波数検出手段を更に備えることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の光偏向装置。
- 前記共振周波数検出手段は、前記ミラーの振れ角に基づいて、前記共振周波数を検出することを特徴する請求項5に記載の光偏向装置。
- 前記光透過窓は、レーザ光をそれぞれ透過させ、該レーザ光の進行方向に交差する方向に離間する一対の窓部材を有し、
前記ヒータは、前記一対の窓部材間の空間に露出するように前記筐体に設けられていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の光偏向装置。 - 前記光透過窓は、レーザ光を透過させる少なくとも1つの窓部材を有し、
前記ヒータは、透明電極であり、
前記透明電極は、前記少なくとも1つの窓部材に接触して設けられていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の光偏向装置。 - 前記光透過窓は、レーザ光を透過させる窓部材を有し、
前記窓部材の少なくとも一面に、前記ヒータに接続された熱伝導部材が設けられていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の光偏向装置。 - 被投影面上に画像を投影する画像投影装置であって、
画像情報に基づいて変調されたレーザ光を射出する少なくとも1つの光源と、
前記少なくとも1つの光源からのレーザ光を前記被投影面に向けて偏向する請求項1〜9のいずれか一項に記載の光偏向装置と、を備える画像投影装置。
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