CN114730073A - 反射镜组件 - Google Patents

Abstract

反射镜组件包括光扫描器件和封装件。封装件具有：主体部，在主体部设置有在规定方向的一侧开口的光入射开口，主体部能够保持光扫描器件；突起，其以沿着光入射开口的边缘延伸的方式设置在主体部的顶面；和平板状的窗部件，其在突起的内侧配置在顶面上，且覆盖光入射开口。突起的一侧的端面位于比窗部件更靠一侧的位置。突起的厚度小于突起的从顶面起的高度。在从与规定方向垂直的任一方向看时，窗部件中被突起覆盖的部分的长度均大于窗部件中从突起露出的部分的长度。

Description

反射镜组件

技术领域

本发明涉及一种反射镜组件。

背景技术

已知包括具有可动反射镜部的光扫描器件、和用于收纳光扫描器件的封装件的反射镜组件(例如参照专利文献1、2)。在这样的反射镜组件中，在封装件上设置有用于使入射到可动反射镜部的光通过的光入射开口，并以覆盖光入射开口的方式配置有窗部件。光从外部经由窗部件入射到可动反射镜部而被可动反射镜部反射，并经由窗部件向外部射出。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2016-99567号公报

专利文献2：日本特开2018-17832号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

在专利文献1公开的反射镜组件中，在封装件上载置有窗部件。在该情况下，外力有可能作用于窗部件而导致窗部件破损。另一方面，在专利文献2公开的反射镜组件中，在封装件的顶面以包围光入射开口的方式设置有突起，窗部件嵌入在该突起的内侧。在该情况下，能够抑制外力作用于窗部件，从而保护窗部件。

但是，仅将窗部件嵌入在突起的内侧的情况下，在封装件因例如环境温度的变化等而发生了热收缩或热膨胀(下面也一并记为热变形)的情况下，窗部件有可能因被封装件按压而挠曲。当窗部件发生挠曲时，光在窗部件中的折射角度会发生变化，因此，难以高精度地进行光扫描。

特别是，在像上述的反射镜组件那样使可动反射镜部摆动来扫描光的结构中，根据可动反射镜部的角度的不同，光向窗部件的入射角度会变大，从窗部件射出的光的折射角度会变大。因此，为了实现高精度的光扫描，需要考虑窗部件中的折射的影响。因此，可以考虑通过将窗部件形成得薄来降低窗部件中的折射量，从而抑制窗部件中的折射的影响。但是，当将窗部件形成得薄时，在封装件发生热变形时窗部件容易发生挠曲。特别是，在光向窗部件的入射角度大的情况下，窗部件的挠曲变形对光扫描精度的影响大。

本发明的一个方面是鉴于上述情况而做出的，其目的在于，提供能够可靠地保护窗部件、并且实现高精度的光扫描的反射镜组件。

用于解决技术问题的手段

本发明的一个方面提供一种反射镜组件，其包括：具有可动反射镜部的光扫描器件；和用于收纳光扫描器件的封装件，封装件具有：主体部，在主体部设置有在规定方向的一侧开口的光入射开口，主体部能够以从光入射开口入射的光能够入射到可动反射镜部的方式保持光扫描器件；突起，其以沿着光入射开口的边缘延伸的方式设置在主体部的顶面；和平板状的窗部件，其在突起的内侧配置在顶面上，且覆盖光入射开口，突起的一侧的端面位于比窗部件更靠一侧的位置，突起的厚度小于突起的从顶面起的高度，在从与规定方向垂直的任一方向看时，窗部件中被突起覆盖的部分的长度均大于窗部件中从突起露出的部分的长度。

在该反射镜组件中，在主体部的顶面以沿着光入射开口的边缘延伸的方式设置有突起，在突起的内侧的顶面上配置有窗部件。而且，突起的一侧的端面位于比窗部件更靠一侧的位置。另外，在从与规定方向垂直的任一方向看时，窗部件中被突起覆盖的部分的长度均大于窗部件中从突起露出的部分的长度。由此，能够抑制外力作用于窗部件，可靠地保护窗部件。另外，突起的厚度小于突起的从顶面起的高度。由此，能够将主体部和突起形成得小，能够降低主体部和突起的热变形量。其结果是，能够抑制在主体部和突起发生热变形时应力作用于窗部件。因此，能够将窗部件形成得薄，能够降低窗部件中的折射的影响。而且，即使将窗部件形成得薄，也能够抑制窗部件因主体部和突起的热变形而挠曲变形。而且，突起的厚度小于突起的从顶面起的高度，因此，突起容易发生挠曲。因此，即使假设主体部和突起发生热变形而导致突起与窗部件接触，应力也难以从突起传递到窗部件。由此，也能够将窗部件形成得薄从而降低窗部件中的折射的影响，并且能够抑制窗部件因主体部和突起的热变形而挠曲变形。如上所述，根据该反射镜组件，能够可靠地保护窗部件，并且实现高精度的光扫描。

可以是，在窗部件的侧面与突起的内表面之间形成有间隙。在该情况下，即使主体部和突起发生了热变形，突起也不易与窗部件接触，因此，能够进一步抑制应力作用于窗部件。

可以是，突起的厚度比窗部件的厚度薄。在该情况下，能够更进一步抑制在主体部和突起发生热变形时应力作用于窗部件。

可以是，光扫描器件以可动反射镜部的反射镜面相对于窗部件倾斜的状态被主体部保持。在该情况下，能够抑制来自反射镜面的光被窗部件反射之后返回到反射镜面。另一方面，在该情况下，光向窗部件的入射角度进一步变大。而在该反射镜组件中，能够充分抑制在主体部和突起发生热变形时应力作用于窗部件，能够实现高精度的光扫描。

可以是，突起与主体部形成为一体。在该情况下，能够抑制在主体部和突起发生热变形时突起被窗部件按压而破损。

可以是，主体部和突起中的至少一者由树脂形成。在该情况下，主体部和突起中的至少一者容易发生热变形，但在该反射镜组件中，能够充分抑制在主体部和突起发生热变形时应力作用于窗部件，能够实现高精度的光扫描。

可以是，在主体部的顶面以突出的方式设置有抵接部，该抵接部具有朝向一侧的平坦的抵接面，窗部件与抵接面接触。在该情况下，窗部件能够通过与抵接面的接触而相对于主体部被定位，因此，能够抑制窗部件的配置角度偏离期望的角度。另外，难以将窗部件的表面形成得完全平坦，但在该反射镜组件中，至少将与抵接面的接触部位形成得平坦即可，因此，能够使窗部件的制造容易。

可以是，在窗部件与主体部的顶面之间形成有间隙。在该情况下，能够更进一步抑制在主体部和突起发生热变形时应力作用于窗部件。而且，能够使该间隙作为通气口发挥作用，能够抑制在封装件内发生结露。

可以是，在从规定方向看时，突起形成为环状。在该情况下，能够更加可靠地保护窗部件。

发明效果

根据本发明的一个方面，能够提供能够可靠地保护窗部件、并且实现高精度的光扫描的反射镜组件。

附图说明

图1是实施方式的反射镜组件的平面图。

图2是沿着图1的II-II线的截面图。

图3是沿着图1的III-III线的截面图。

图4是沿着图1的IV-IV的截面图。

图5是光扫描器件的平面图。

图6是表示反射镜组件中的光的行进路径的例子的截面图。

图7是表示比较例的反射镜组件中的光的行进路径的例子的截面图。

图8是第一变形例的反射镜组件的平面图。

图9是从图8所示的箭头B1侧看的反射镜组件的侧面图。

图10是从图8所示的箭头B2侧看的反射镜组件的侧面图。

图11是从图8所示的箭头B3侧看的反射镜组件的侧面图。

图12的(a)是第二变形例的封装件的平面图，图12的(b)是从图12的(a)所示的箭头B4侧看的封装件的侧面图。

图13的(a)是第三变形例的封装件的平面图，图13的(b)是从图13的(a)所示的箭头B5侧看的封装件的侧面图。

具体实施方式

下面，参照附图对本发明的一个实施方式进行详细说明。此外，在下面的说明中，对相同或相应的要素使用相同的附图标记，省略重复的说明。

[反射镜组件的整体结构]

如图1～图4所示，反射镜组件100包括光扫描器件1和用于收纳光扫描器件1的封装件40。封装件40具有主体部41和窗部件51。在主体部41设置有在规定方向(Z轴方向)的一侧S1开口的光入射开口41a。主体部41以从光入射开口41a入射的光能够入射到光扫描器件1的方式保持光扫描器件1。窗部件51以覆盖光入射开口41a的方式配置。

[光扫描器件的结构]

如图5所示，光扫描器件1具有支承部2、相对于支承部2可摆动的可动反射镜部10和磁场发生部M。可动反射镜部10具有第一可动部3、第二可动部4、一对第一连结部5、一对第二连结部6和反射镜7。支承部2、第一可动部3、第二可动部4、一对第一连结部5和一对第二连结部6由例如SOI(Silicon on Insulator：绝缘体上硅)基板形成为一体。即，光扫描器件1作为MEMS器件构成。磁场发生部M例如包含采用海尔贝克阵列的永磁体而构成，形成为大致长方体形状。

第一可动部3形成为例如矩形板状。在从光轴方向A看时，第二可动部4以隔着间隙包围第一可动部3的方式形成为例如矩形环状。

在从光轴方向A看时，支承部2以隔着间隙包围第二可动部4的方式形成为例如矩形框状。即，在从光轴方向A看时，支承部2以包围第一可动部3和第二可动部4的方式形成为框状。

第一可动部3以可绕第一轴线X1摆动的方式经由一对第一连结部5与第二可动部4连结。即，第一可动部3在支承部2以可绕第一轴线X1摆动的方式被支承。第一可动部3包含第一部分31和第二部分32。在从光轴方向A看时，第一部分31形成为例如圆形形状。在从光轴方向A看时，第二部分32形成为例如矩形环状。在从光轴方向A看时，第一部分31被第二部分32包围，且经由多个(在该例子中为两个)连接部分33与第二部分32连接。即，在第一部分31与第二部分32之间除了多个连接部分33以外还形成有间隙。

连接部分33例如位于第二部分32的矩形形状的内缘中的与第二轴线X2交叉的2边的中央部。即，在该例子中，连接部分33位于第二轴线X2上。第一部分31至少在沿着第二轴线X2的方向上与第二部分32连接即可。

第二可动部4以可绕第二轴线X2摆动的方式经由一对第二连结部6与支承部2连结。即，第二可动部4在支承部2以可绕第二轴线X2摆动的方式被支承。第一轴线X1和第二轴线X2与光轴方向A垂直，且第一轴线X1和第二轴线X2彼此交叉(在该例子中为彼此正交)。此外，在从光轴方向A看时，第一部分31也可以形成为矩形形状或多边形形状。在从光轴方向A看时，第一部分31也可以形成为圆形形状(例如椭圆形形状)。在从光轴方向A看时，第二部分32也可以形成为五边形以上的多边形环状或圆环状。

一对第一连结部5在第一可动部3的第二部分32与第二可动部4之间的间隙中以隔着第一可动部3的方式配置在第一轴线X1上。各第一连结部5作为扭力杆发挥作用。一对第二连结部6在第二可动部4与支承部2之间的间隙中以隔着第二可动部4的方式配置在第二轴线X2上。各第二连结部6作为扭力杆发挥作用。

反射镜7设置在第一可动部3的第一部分31。反射镜7以包含第一轴线X1与第二轴线X2的交点的方式形成在第一部分31的与磁场发生部M相反侧的表面。反射镜7由例如铝、铝系合金、金或银等金属材料形成为圆形、椭圆形或矩形的膜状。反射镜7的与第一可动部3相反侧的表面构成与光轴方向A垂直地延伸的反射镜面7a。在从光轴方向A看时，反射镜7的中心与第一轴线X1和第二轴线X2的交点一致。这样，在经由多个连接部分33与第二部分32连接的第一部分31设置有反射镜7，因此，即使第一可动部3以谐振频率水平绕第一轴线X1摆动，也能够抑制反射镜7发生挠曲等变形。

而且，光扫描器件1具有第一驱动用线圈11、第二驱动用线圈12、配线15a、15b、配线16a、16b、电极焊盘21a、21b和电极焊盘22a、22b。此外，在图2中，为了说明方便起见，第一驱动用线圈11和第二驱动用线圈12用点划线表示，配线15a、15b和配线16a、16b用实线表示。

第一驱动用线圈11设置在第一可动部3的第二部分32。第一驱动用线圈11在从光轴方向A观察时的反射镜7的外侧区域(即第二部分32)呈螺旋状(旋涡状)卷绕多圈。由磁场发生部M产生的磁场作用于第一驱动用线圈11。

第一驱动用线圈11配置在形成于第一可动部3的表面的槽内。即，第一驱动用线圈11嵌入第一可动部3。第一驱动用线圈11的一端经由配线15a与电极焊盘21a连接。配线15a从第一可动部3经由一个第一连结部5、第二可动部4和一个第二连结部6延伸至支承部2。配线15a和电极焊盘21a由例如钨、铝、金、银、铜或铝系合金等金属材料形成为一体。第一驱动用线圈11和配线15a彼此连接。

第一驱动用线圈11的另一端经由配线15b与电极焊盘21b连接。配线15b从第一可动部3经由另一个第一连结部5、第二可动部4和另一个第二连结部6延伸至支承部2。配线15b和电极焊盘21b由例如钨、铝、金、银、铜或铝系合金等金属材料形成为一体。第一驱动用线圈11和配线15b彼此连接。

第二驱动用线圈12设置在第二可动部4。第二驱动用线圈12在第二可动部4呈螺旋状(旋涡状)卷绕多圈。由磁场发生部M产生的磁场作用于第二驱动用线圈12。第二驱动用线圈12配置在形成于第二可动部4的表面的槽内。即，第二驱动用线圈12嵌入第二可动部4。

第二驱动用线圈12的一端经由配线16a与电极焊盘22a连接。配线16a从第二可动部4经由一个第二连结部6延伸至支承部2。配线16a和电极焊盘22a由例如钨、铝、金、银、铜或铝系合金等金属材料形成为一体。此外，第二驱动用线圈12和配线16a彼此连接。

第二驱动用线圈12的另一端经由配线16b与电极焊盘22b连接。配线16b从第二可动部4经由另一个第二连结部6延伸至支承部2。配线16b和电极焊盘22b由例如钨、铝、金、银、铜或铝系合金等金属材料形成为一体。此外，第二驱动用线圈12和配线16b彼此连接。

举出光扫描器件1中的可动反射镜部10的动作的例子。作为第一例，对第一驱动用线圈11施加高频驱动电流。此时，由磁场发生部M产生的磁场作用于第一驱动用线圈11，因此，在第一驱动用线圈11中产生洛伦兹力。由此，能够使第一可动部3例如以谐振频率水平绕第一轴线X1摆动。

另外，对第二驱动用线圈12施加一定大小的驱动电流。此时，由磁场发生部M产生的磁场作用于第二驱动用线圈12，因此，在第二驱动用线圈12中产生洛伦兹力。由此，使第二可动部4例如与驱动电流的大小相应地绕第二轴线X2旋转，并以该状态使其停止。由此，根据光扫描器件1，能够利用反射镜7使来自规定的光源的光反射并同时进行扫描。在第一例中，第一可动部3以谐振频率摆动并且第二可动部4被静态使用。

作为第二例，与第一例的第一可动部3的动作同样，通过对第一驱动用线圈11施加高频驱动电流而使第一可动部3与谐振频率相应地摆动，并且通过对第二驱动用线圈12施加高频驱动电流而使第二可动部4与谐振频率相应地摆动。这样，在第二例中，第一可动部3和第二可动部4两者以谐振频率摆动。

作为第三例，与第一例的第二可动部4的动作同样，通过对第一驱动用线圈11施加一定大小的驱动电流，使第一可动部3与驱动电流的大小相应地绕第一轴线X1旋转并使其停止，并且通过对第二驱动用线圈12施加一定大小的驱动电流，使第二可动部4与驱动电流的大小相应地绕第二轴线X2旋转并使其停止。这样，在第三例中，第一可动部3和第二可动部4两者被静态使用。

作为第四例，例如在没有设置第二可动部4的情况下等，通过对第一驱动用线圈11施加高频驱动电流，仅使第一可动部3与谐振频率相应地摆动。另外，作为第五例，在同样的情况下，通过对第一驱动用线圈11施加一定大小的驱动电流，使第一可动部3与驱动电流的大小相应地绕第一轴线X1旋转并使其停止。在第四例和第五例中，仅第一可动部3被驱动。

此外，如图2所示，支承部2由磁场发生部M支承，第一可动部3和第二可动部4与磁场发生部M隔开间隔。由此，第一可动部3和第二可动部4能够不干扰磁场发生部M地旋转。

[封装件的结构]

如图1～图4所示，封装件40的主体部41形成为例如大致长方体形状。主体部41由例如PPS(聚苯硫醚)、PP(聚丙烯)等树脂材料构成，可通过注塑成形而形成。主体部41在由树脂材料构成的情况下，可以被填料强化。主体部41也可以由Al、Fe或它们的合金等金属材料形成。在主体部41形成有在一侧S1开口的凹部42。由凹部42的开口构成上述的光入射开口41a。

窗部件51通过在由例如玻璃等透光性材料形成的矩形平板状的基材的两表面上形成反射防止膜而构成。如上所述，窗部件51覆盖光入射开口41a。窗部件51具有与Z轴方向垂直地延伸的一对主面51a、与X轴方向垂直地延伸的一对侧面51b、以及与Y轴方向垂直地延伸的一对侧面51c。一对侧面51b及一对侧面51c与一对主面51a相连。

主体部41的凹部42包括：用于配置光扫描器件1的器件配置部43；和用于配置从光扫描器件1向外部延伸的配线等的配线配置部44。器件配置部43具有：相对于窗部件51的主面51a倾斜地延伸的第一面43a；从第一面43a起与第一面43a垂直地延伸的第二面43b；和从第一面43a起与Z轴方向垂直地延伸的一对第三面43c。

光扫描器件1以磁场发生部M与第一面43a、第二面43b和一对第三面43c接触的状态配置在器件配置部43。由此，光扫描器件1成为可动反射镜部10的反射镜面7a相对于窗部件51的主面51a倾斜的状态。光扫描器件1例如以第一轴线X1与X轴方向平行且第二轴线X2与Y轴方向平行的方式配置。

配线配置部44具有：相对于窗部件51的主面51a倾斜的第一面44a；和与第一面44a相连且弯曲的第二面44b。在第一面44a上配置有例如多个电极焊盘。从光扫描器件1延伸的配线和穿过第二面44b向封装件40的外部延伸的配线，与这些电极焊盘电连接。此外，第二面44b也可以不必弯曲。

在从Z轴方向看时(换言之，在从与窗部件51的主面51a垂直的方向看时)，光入射开口41a呈大致矩形形状。更具体而言，在从Z轴方向看时，光入射开口41a包含：与器件配置部43对应的矩形形状的区域；和与配线配置部44对应的矩形形状的区域。与配线配置部44对应的区域的Y轴方向上的宽度，比与器件配置部43对应的区域的Y轴方向上的宽度窄。在图1中，光入射开口41a的边缘用虚线表示。

主体部41具有划定凹部42的框状的侧壁45。在从Z轴方向看时，侧壁45呈大致矩形环状，且包围光扫描器件1。侧壁45具有：位于最靠一侧S1的位置的顶面45a；沿着Z轴方向延伸的内表面45b；以及与顶面45a和内表面45b连接的倾斜面45c。顶面45a与Z轴方向垂直地延伸，倾斜面45c以随着接近顶面45a而接近一侧S1的方式相对于Z轴方向倾斜地延伸。

另外，侧壁45具有：沿着与X轴方向交叉的平面延伸的一对外表面45d；和沿着与Y轴方向交叉的平面延伸的一对外表面45e。在该例子中，一对外表面45d与X轴方向垂直地延伸。一对外表面45e包含：与Z轴方向平行地延伸的第一部分45f；和相对于Z轴方向倾斜地延伸的第二部分45g。

第二部分45g相对于第一部分45f配置在另一侧(与一侧S1相反的一侧)，且延伸至主体部41的另一侧的端部。通过形成第二部分45g，Y轴方向上的主体部41(侧壁45)的宽度随着接近另一侧而变窄。由此，在通过注塑成形而形成主体部41的情况下，能够容易地从成形模具中取出成形品。另外，不仅形成有第二部分45g，而且还形成有与Z轴方向平行的第一部分45f，因此，在将反射镜组件100组装在光学系统中时能够通过推压第一部分45f而将反射镜组件100进行对位，能够提高反射镜组件100的对位精度。

封装件40还具有设置在侧壁45的顶面45a的突起61。突起61沿着光入射开口41a的边缘延伸。在从Z轴方向看时，突起61呈矩形环状，且包围光入射开口41a。通过形成突起61，在突起61的内表面61a与顶面45a之间形成有台阶部62。

突起61沿着顶面45a的外缘延伸。在从Y轴方向看时(图2)，突起61的外表面61b与侧壁45的外表面45d位于同一平面上。在从X轴方向看时(图3)，突起61的外表面61b与侧壁45的外表面45e的第一部分45f位于同一平面上。突起61例如由与主体部41相同的树脂材料构成，且与主体部41形成为一体。主体部41和突起61例如通过一次注塑成形而同时形成，构成单一的部件。

在侧壁45的顶面45a设置有3个抵接部63。在从Z轴方向看时，各抵接部63配置在比突起61靠内侧的位置。各抵接部63具有朝向一侧S1的平坦的抵接面63a。抵接面63a例如与Z轴方向垂直地延伸，且呈圆形形状。

窗部件51以覆盖光入射开口41a的方式配置在台阶部62。即，窗部件51在突起61的内侧配置在顶面45a上，且覆盖光入射开口41a。窗部件51的一对主面51a中的一个(下面也简单记为主面51a)与侧壁45的顶面45a相对，窗部件51的侧面51b、51c与突起61的内表面61a相对。窗部件51的主面51a与抵接部63的抵接面63a接触(抵接)。由此，在顶面45a中的没有设置抵接面63a的区域中，在窗部件51的主面51a与顶面45a之间形成有间隙G1。另外，在窗部件51的侧面51b、51c与突起61的内表面61a之间形成有间隙G2。即，侧面51b、51c与内表面61a隔开间隔。

窗部件51例如通过低熔点玻璃等接合材料70与主体部41接合。窗部件51例如在从Z轴方向观察时的4个角部与主体部41接合。也可以是除了4个角部以外或者代替4个角部，窗部件51在与抵接面63a的接触部位通过接合材料与主体部41接合。

突起61的一侧S1的端面61c遍及整周(在端面61c上的任一位置均)位于比窗部件51更靠一侧S1的位置。即，突起61的从顶面45a起的高度H大于窗部件51的厚度(一对主面51a间的距离)T1与抵接部63的从顶面45a起的高度(Z轴方向上的间隙G1的长度)之和。窗部件51的厚度T1例如为0.6mm左右。

突起61的厚度T2小于突起61的从顶面45a起的高度H。突起61的厚度T2比窗部件51的厚度T1薄。突起61的厚度T2为突起61的与延伸方向垂直的方向上的厚度，例如，对于突起61中的与X轴方向垂直地延伸的部分是X轴方向上的厚度，对于突起61中的与Y轴方向垂直地延伸的部分是Y轴方向上的厚度。突起61的厚度T2为突起61的最大厚度。例如，在像实施方式那样突起61的一部分形成为前端变细的形状的情况下，突起61的厚度T2为突起61的最厚的部分的厚度。在该例子中，突起61中沿着Y轴方向延伸的一对部分中的一个形成为前端变细的形状，且具有倾斜面61d。由此，能够使窗部件51在台阶部62上的配置操作容易。另外，能够容易使突起61挠曲变形。

如上所述，在从Z轴方向看时，突起61呈矩形环状，窗部件51遍及整周被突起61包围。另外，如上所述，突起61的一侧S1的端面61c遍及整周位于比窗部件51更靠一侧S1的位置。因此，在从与Z轴方向垂直的任一方向看时，窗部件51整体均被突起61覆盖。换言之，在从与Z轴方向垂直的任一方向看时，窗部件51均未从突起61露出。即，在从与Z轴方向垂直的任一方向看时，窗部件51中被突起61覆盖的部分的长度均大于窗部件51中从突起61露出的部分的长度。在该例子中，窗部件51整体被突起61覆盖，窗部件51不具有从突起61露出的部分。这样，“在从与Z轴方向垂直的任一方向看时，窗部件51中被突起61覆盖的部分的长度均大于窗部件51中从突起61露出的部分的长度”的结构包含如下情况：窗部件51整体被突起61覆盖，窗部件51不具有从突起61露出的部分。

[反射镜组件中的光的行进路径]

参照图6和图7对反射镜组件100中的光的行进路径的例子进行说明。在图6和图7中，可动反射镜部10或可动反射镜部110没有进行动作的状态下的光的行进路径的例子用实线表示，可动反射镜部10或可动反射镜部110进行动作的状态下的光的行进路径的例子用虚线表示。图6表示在实施方式的反射镜组件100中窗部件51没有发生挠曲而平坦的情况的例子，图7表示在比较例的反射镜组件1100中窗部件151向光扫描器件101侧发生了挠曲的情况的例子。

在反射镜组件100中，光从外部经由窗部件51入射到光扫描器件1的可动反射镜部10，被可动反射镜部10反射，并经由窗部件51向外部射出。如图6所示，在可动反射镜部10进行动作的状态下从窗部件51射出的光的折射角r1，有时会大于在可动反射镜部10没有进行动作的状态下从窗部件51射出的光的折射角r2。因此，为了在反射镜组件100中实现高精度的光扫描，需要考虑窗部件51中的折射的影响。

在图7所示的比较例的反射镜组件1100中，可认为例如在主体部141和突起161发生了热变形(热收缩或热膨胀)的情况下，窗部件151会因被突起161按压而发生挠曲。在该情况下，在窗部件151发生了挠曲的状态下从窗部件151射出的光的折射角r3，大于在窗部件151没有发生挠曲的状态下从窗部件151射出的光的折射角r4。当这样窗部件151发生挠曲时，光在窗部件151的折射角会发生变化，因此，难以高精度地进行光扫描。

特别是，在光向窗部件的入射角度和光从窗部件的射出角度大的情况下，窗部件的挠曲变形对光扫描精度的影响大。因此，在包括使可动反射镜部摆动来扫描光的光扫描器件的反射镜组件中，根据可动反射镜部的角度的不同，光向窗部件的入射角度会变大，从窗部件射出的光的折射角度会变大，因此，抑制窗部件的挠曲变形的必要性高。此外，在上述例子中，对光从正面侧向窗部件51(窗部件151)入射而向侧方射出的情况进行了说明，但是在光从侧方侧向窗部件51(窗部件151)入射而向正面侧射出的情况下也是同样。

[作用和效果]

在实施方式的反射镜组件100中，在主体部41的顶面45a以沿着光入射开口41a的边缘延伸的方式设置有突起61，在突起61的内侧的顶面45a上配置有窗部件51。而且，突起61的一侧S1的端面61c位于比窗部件51更靠一侧S1的位置。另外，在从与Z轴方向垂直的任一方向看时，窗部件51中被突起61覆盖的部分的长度均大于窗部件51中从突起61露出的部分的长度。由此，能够抑制外力作用于窗部件51，可靠地保护窗部件。另外，在将反射镜组件100组装在光学系统中时，能够通过推压突起61的端面61c而将反射镜组件100进行对位。因此，例如，与窗部件51位于比突起61的端面61c更靠一侧S1的位置，且通过推压窗部件51而将反射镜组件100进行对位的情况相比，能够提高反射镜组件100的对位精度。这是因为，在窗部件51的位置，因窗部件51的制造公差以及将窗部件51和主体部41接合的接合材料的厚度的公差，容易发生偏移。

另外，突起61的厚度T2小于突起61的从顶面45a起的高度H。由此，能够将主体部41和突起61形成得小，能够降低主体部41和突起61的热变形量。即，当突起61的厚度T2变薄时，设置突起61的主体部41的侧壁45的厚度也变薄。因此，通过将突起61的厚度T2形成得薄，能够将主体部41和突起61形成得小。其结果是，能够抑制在主体部41和突起61发生热变形时应力作用于窗部件51。因此，能够将窗部件51形成得薄，能够降低窗部件51中的折射的影响。另外，即使将窗部件51形成得薄，也能够抑制窗部件51因主体部41和突起61的热变形而挠曲变形。而且，突起61的厚度T2小于突起61的从顶面45a起的高度H，因此，突起61容易发生挠曲。因此，即使假设主体部41和突起61发生热变形而导致突起61与窗部件51接触，应力也难以从突起61传递到窗部件51(应力被分散)。由此，也能够将窗部件51形成得薄从而降低窗部件51中的折射的影响，并且能够抑制窗部件51因主体部41和突起61的热变形而挠曲变形。如上所述，根据反射镜组件100，能够可靠地保护窗部件51，并且实现高精度的光扫描。

在反射镜组件100中，在窗部件51的侧面51b、51c与突起61的内表面61a之间形成有间隙G2。由此，即使主体部41和突起61发生了热变形，突起61也难以与窗部件51接触，因此，能够有效地抑制应力作用于窗部件51。

在反射镜组件100中，突起61的厚度T2比窗部件51的厚度T1薄。由此，能够更加有效地抑制在主体部41和突起61发生热变形时应力作用于窗部件51。

在反射镜组件100中，光扫描器件1以可动反射镜部10的反射镜面7a相对于窗部件51倾斜的状态被主体部41保持。由此，能够抑制来自反射镜面7a的光被窗部件51反射之后返回到反射镜面7a。另一方面，在该情况下，光向窗部件51的入射角度会进一步变大。而在反射镜组件100中，能够充分抑制在主体部41和突起61发生热变形时应力作用于窗部件51，能够实现高精度的光扫描。

在反射镜组件100中，突起61与主体部41形成为一体。由此，能够抑制在主体部41和突起61发生热变形时突起61被窗部件51按压而破损。

在反射镜组件100中，主体部41和突起61由树脂形成。在该情况下，主体部41和突起61容易发生热变形，但在反射镜组件100中，能够充分抑制在主体部41和突起61发生热变形时应力作用于窗部件51，能够实现高精度的光扫描。

在反射镜组件100中，在主体部41的顶面45a以突出的方式设置有抵接部63，该抵接部63具有朝向一侧S1的平坦的抵接面63a，窗部件51与抵接面63a接触。由此，窗部件51能够通过与抵接面63a的接触而相对于主体部41被定位，因此，能够抑制窗部件51的配置角度偏离期望的角度。另外，难以将窗部件51的主面51a形成得完全平坦，但在该反射镜组件100中，至少将与抵接面63a的接触部位形成得平坦即可，因此，能够使窗部件51的制造容易。

在反射镜组件100中，在窗部件51与主体部41的顶面45a之间形成有间隙G1。由此，能够更进一步抑制在主体部41和突起61发生热变形时应力作用于窗部件51。而且，能够使间隙G1作为通气口发挥作用，能够抑制在封装件40内发生结露。

在反射镜组件100中，在从Z轴方向看时，突起61形成为环状。由此，能够更加可靠地保护窗部件51。另外，突起61的端面61c遍及整周位于比窗部件51更靠一侧S1的位置。由此，窗部件51的角部整体被突起61覆盖，因此，能够更加可靠地保护窗部件51。

[变形例]

在实施方式的反射镜组件100中，突起61是以包围光入射开口41a的方式连续地设置，但是也可以是如图8～图11所示的第一变形例的反射镜组件100A那样，突起61沿着光入射开口41a的边缘断续地设置。突起61具有：沿着Y轴方向延伸的一对第一部分65；和沿着X轴方向延伸的一对第二部分66。在各第一部分65的中央部设置有开口部65a。通过设置开口部65a，各第一部分65被分离成在Y轴方向上排列的一对部分。在各第二部分66的中央部设置有开口部66a。通过设置开口部66a，各第二部分66被分离成在X轴方向排列的一对部分。

在反射镜组件100A中也是，在从与Z轴方向垂直的任一方向看时，窗部件51中被突起61覆盖的部分的长度均大于窗部件51中从突起61露出的部分(没有被突起61覆盖的部分)的长度。换言之，在从与Z轴方向垂直的任一方向看时，窗部件51中被突起61覆盖的部分的面积均大于窗部件51中从突起61露出的部分的面积。

例如，如图9所示，在从箭头B1侧看时，即从与Z轴方向垂直的X轴方向的一侧看时，窗部件51中被突起61覆盖的部分的长度L1大于窗部件51中从突起61露出的部分的长度L2。长度L1为窗部件51中被突起61覆盖的部分的总长度，为长度L1a、L1b的合计长度。长度L2为窗部件51中从突起61露出的部分的总长度。长度L1、L2为沿着与Z轴方向垂直的方向的长度，在图9中为沿着Y轴方向的长度。与从箭头B1侧看时同样，在从与箭头B1相反的一侧看时，即从与Z轴方向垂直的X轴方向的另一侧看时，窗部件51中被突起61覆盖的部分的长度L1也大于窗部件51中从突起61露出的部分的长度L2。

作为另一个例子，如图10所示，在从箭头B2侧看时，即从与Z轴方向垂直的Y轴方向的一侧看时，窗部件51中被突起61覆盖的部分的长度L3也大于窗部件51中从突起61露出的部分的长度L4。长度L3为窗部件51中被突起61覆盖的部分的总长度，为长度L3a、L3b的合计长度。长度L4为窗部件51中从突起61露出的部分的总长度。长度L3、L4为沿着与Z轴方向垂直的方向的长度，在图10中为沿着X轴方向的长度。与从箭头B2侧看时同样，在从与箭头B2相反的一侧看时，即从与Z轴方向垂直的Y轴方向的另一侧看时，窗部件51中被突起61覆盖的部分的长度L3也大于窗部件51中从突起61露出的部分的长度L4。

作为另一个例子，如图11所示，在从箭头B3侧看时，即从与Z轴方向垂直且相对于X轴方向和Y轴方向倾斜的方向看时，窗部件51中被突起61覆盖的部分的长度L5也大于窗部件51中从突起61露出的部分的长度L6。长度L5为窗部件51中被突起61覆盖的部分的总长度，为长度L5a、L5b、L5c、L5d的合计长度。长度L6为窗部件51中从突起61露出的部分的总长度，为长度L6a、L6b的合计长度。长度L5、L6为沿着与Z轴方向垂直的方向的长度，在图11中为沿着图中的左右方向的长度。换言之，长度L5、L6为投影到与箭头B3垂直的平面时的长度。与从箭头B3侧看时同样，在从与箭头B3相反的一侧看时，窗部件51中被突起61覆盖的部分的长度L5也大于窗部件51中从突起61露出的部分的长度L6。

利用第一变形例的反射镜组件100A，也能够与实施方式的反射镜组件100同样，可靠地保护窗部件51，并且实现高精度的光扫描。另外，突起61被开口部65a、66a分离，由此能够容易使突起61发生挠曲。其结果是，即使在窗部件51与突起61接触的情况下，从突起61作用于窗部件51的应力也被分散，能够抑制窗部件51的破损。此外，在第一变形例中，第一部分65的沿着横向的长度(长度L1a)大于第一部分65的高度，但也可以是以第一部分65的沿着横向的长度小于第一部分65的高度的方式设置开口部65a。在该情况下，可以设置多个开口部65a。这一点对于第二部分66也是同样。

也可以如图12的(a)和图12的(b)所示的第二变形例那样构成封装件40。在第二变形例中，在从Z轴方向看时，突起61呈圆形形状延伸。在突起61上，在周向上隔开间隔地设置有多个(在该例子中为3个)开口部61e。通过设置开口部61e，突起61被分离成在周向上排列的三个部分。

在第二变形例中也是，在从与Z轴方向垂直的任一方向看时，窗部件51中被突起61覆盖的部分的长度均大于窗部件51中从突起61露出的部分(没有被突起61覆盖的部分)的长度。

例如，如图12的(b)所示，在从箭头B4侧看时，即从与Z轴方向垂直的一个方向看时，窗部件51中被突起61覆盖的部分的长度L7大于窗部件51中从突起61露出的部分的长度L8。长度L7为窗部件51中被突起61覆盖的部分的总长度，为长度L7a、L7b的合计长度。长度L8为窗部件51中从突起61露出的部分的总长度。长度L7、L8为沿着与Z轴方向垂直的方向的长度，在图12的(b)中为沿着图中的左右方向的长度。换言之，长度L7、L8为投影到与箭头B4垂直的平面时的长度。与从箭头B4侧看时同样，在从与Z轴方向垂直的其它方向看时，窗部件51中被突起61覆盖的部分的长度L7也大于窗部件51中从突起61露出的部分的长度L8。

利用第二变形例，也能够与上述实施方式同样，可靠地保护窗部件51，并且实现高精度的光扫描。

也可以如图13的(a)和图13的(b)所示的第三变形例那样构成封装件40。在第三变形例中，突起61具有：沿着Y轴方向延伸的一对第一部分65；和沿着X轴方向延伸的一对第二部分66。各第一部分65包含：设置在中央部的高高度部65b；和高度低于高高度部65b的低高度部65c。高高度部65b相对于低高度部65c向一侧S1突出。各第二部分66包含：设置在中央部的高高度部66b；和高度低于高高度部66b的低高度部66c。高高度部66b相对于低高度部66c向一侧S1突出。

在第三变形例中也是，在从与Z轴方向垂直的任一方向看时，窗部件51中被突起61覆盖的部分的长度均大于窗部件51中从突起61露出的部分(没有被突起61覆盖的部分)的长度。如图13的(b)所示，在从与Z方向垂直的方向看时，高高度部65b覆盖窗部件51整体，而低高度部65c仅覆盖窗部件51的厚度方向的一部分。第二部分66也同样，在从与Z方向垂直的方向看时，高高度部66b覆盖窗部件51整体，而低高度部66c仅覆盖窗部件51的厚度方向的一部分。

如图13的(b)所示，在从箭头B5侧看时，即从与Z轴方向垂直的一个方向看时，窗部件51中被突起61覆盖的部分的长度L9大于窗部件51中从突起61露出的部分的长度L10。长度L9为窗部件51中被突起61覆盖的部分的总长度。长度L10为窗部件51中从突起61露出的部分的总长度，为长度L10a、L10b的合计长度。与从箭头B5侧看时同样，在从与Z轴方向垂直的其它方向看时，窗部件51中被突起61覆盖的部分的长度L9也大于窗部件51中从突起61露出的部分的长度L10。

利用第三变形例，也能够与上述实施方式同样，可靠地保护窗部件51，并且实现高精度的光扫描。

本发明并不限于上述实施方式和变形例。例如，各构成要素的材料和形状并不限于上述的材料和形状，可以采用各种材料和形状。在上述实施方式中，突起61的端面61c遍及整周位于比窗部件51更靠一侧S1的位置，但是端面61c的至少一部分位于比窗部件51更靠一侧S1的位置即可。

也可以是在窗部件51的侧面51b、51c与突起61的内表面61a之间没有形成间隙G2，也可以是窗部件51的侧面51b、51c中的至少一者与突起61的内表面61a接触。突起61的厚度T2只要小于突起61的从顶面45a起的高度H即可，也可以比窗部件51的厚度T1厚。也可以是光扫描器件1以可动反射镜部10的反射镜面7a与窗部件51的主面51a平行的状态被主体部41保持。

突起61也可以与主体部41分体形成。主体部41和突起61中的至少一者也可以由树脂以外的材料形成。也可以省略抵接部63。也可以是在窗部件51的主面51a与顶面45a之间没有形成间隙G1，也可以是窗部件51以将光入射开口41a气密地密封的方式与主体部41接合。

主体部41只要以从光入射开口41a入射的光能够入射到光扫描器件1的方式保持光扫描器件1即可，可以具有任意的结构。例如，用于支承光扫描器件1的基底部也可以与侧壁45分体构成。在实施方式的光扫描器件1中，可动反射镜部10是利用电磁力进行驱动，但是可动反射镜部10也可以是利用静电力或压电元件进行驱动。在上述实施方式中，磁场发生部M是配置在封装件40的内部，但是磁场发生部M也可以是配置在封装件40的外部。

附图标记说明

100、100A反射镜组件，1光扫描器件，7a反射镜面，10可动反射镜部，40封装件，41主体部，41a光入射开口，45a顶面，51窗部件，51b、51c侧面，61突起，61a内表面，61c端面，63抵接部，63a抵接面，G1、G2间隙，S1一侧。

Claims (9)

1.一种反射镜组件，其特征在于，包括：

具有可动反射镜部的光扫描器件；和

用于收纳所述光扫描器件的封装件，

所述封装件具有：

主体部，在所述主体部设置有在规定方向的一侧开口的光入射开口，所述主体部能够以从所述光入射开口入射的光能够入射到所述可动反射镜部的方式保持所述光扫描器件；

突起，其以沿着所述光入射开口的边缘延伸的方式设置在所述主体部的顶面；和

平板状的窗部件，其在所述突起的内侧配置在所述顶面上，且覆盖所述光入射开口，

所述突起的所述一侧的端面位于比所述窗部件更靠所述一侧的位置，

所述突起的厚度小于所述突起的从所述顶面起的高度，

在从与所述规定方向垂直的任一方向看时，所述窗部件中被所述突起覆盖的部分的长度均大于所述窗部件中从所述突起露出的部分的长度。

2.根据权利要求1所述的反射镜组件，其特征在于：

在所述窗部件的侧面与所述突起的内表面之间形成有间隙。

3.根据权利要求1或2所述的反射镜组件，其特征在于：

所述突起的厚度比所述窗部件的厚度薄。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的反射镜组件，其特征在于：

所述光扫描器件以所述可动反射镜部的反射镜面相对于所述窗部件倾斜的状态被所述主体部保持。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的反射镜组件，其特征在于：

所述突起与所述主体部形成为一体。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的反射镜组件，其特征在于：

所述主体部和所述突起中的至少一者由树脂形成。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的反射镜组件，其特征在于：

在所述主体部的所述顶面以突出的方式设置有抵接部，该抵接部具有朝向所述一侧的平坦的抵接面，

所述窗部件与所述抵接面接触。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的反射镜组件，其特征在于：

在所述窗部件与所述主体部的所述顶面之间形成有间隙。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的反射镜组件，其特征在于：

在从所述规定方向看时，所述突起形成为环状。

Images