JP2016099567A - 光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び画像投影装置 - Google Patents

Abstract

【課題】製造が容易であるとともに、使用環境に左右されることなく偏向走査精度を維持できる光偏向器を提供する。【解決手段】光偏向器１２は、パッケージ１４と、パッケージ１４の内方底面に一体に形成されたデバイス受け部１８と、デバイス受け部１８の傾斜面に固定された光走査デバイス２と、パッケージ１４の開口部１４ａを塞ぐ光透過部材１６とを備えている。光透過部材１６は、蓋部材２０とガラス板２２とから構成されている。光走査デバイス２は振動が生じる環境であってもデバイス受け部１８に一体に固定されているため、動かない。光透過部材１６はパッケージ１４の底面１４ｂに平行に配置され、光偏向器１２の全体形状は製造が容易な直方体状となっている。光走査デバイス２が傾斜しているため、ガラス板２２を傾斜させた場合と同等の、ガラス板表面の反射光による光偏向器の機能上の弊害を抑制することができる。【選択図】図３

Description

本発明は、光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び画像投影装置に関する。

シリコン材料でＭＥＭＳ（micro electro mechanical systems）プロセスによって加工した光走査デバイスをパッケージ内に収容した光偏向器が知られている。
光走査デバイスの収容後、パッケージの開口部は光透過窓で塞がれ、内部は密閉状態となる。光透過窓には、反射防止処理が施されたガラス板を用いることが多いが、完全に反射を抑えることはできない。
僅かな反射光が不具合を発生させることがあるため、光走査デバイスの反射面に対しガラス板を傾け、ガラス板の表面での反射光を光偏向器の機能に影響のない方向に反射させる工夫がなされている。
しかしながら、ガラス板を傾ける構成ではパッケージの開口部側がパッケージの底面と非平行な凸形状となり、製造容易化が阻害される。

特許文献１には、光走査デバイスをパッケージ内で傾け、ガラス板を傾けた構成と同等の反射光抑制機能を維持しつつ、ガラス板をパッケージの底面に平行として光偏向器の全体形状を製造が容易な直方体状とする構成が開示されている。
光走査デバイスの一端は弾性部材を介してパッケージに固定され、他端は前記弾性部材の付勢力でパッケージ内に固定されたベースの角に押し当てられている。

特許文献１に記載の構成では、光走査デバイスの他端はバネの付勢力で押し当てられているだけであり、接着剤などで固定されているわけではない。
このため、大きな振動が発生する環境では光走査デバイスが変位して偏向走査精度が低下し、環境により使用が限定されてしまう懸念があった。

本発明は、このような現状に鑑みて創案されたもので、製造が容易であるとともに、使用環境に左右されることなく偏向走査精度を維持できる光偏向器の提供を、その主な目的とする。

上記目的を達成するために、本発明の光偏向器は、開口部を有するパッケージと、前記パッケージの内部に収容される光走査デバイスと、前記パッケージの前記開口部を塞ぐ光透過部材と、前記パッケージの内部に設けられ、前記光走査デバイスが所定の位置及び所定の角度で、且つ、振動で動かないように少なくとも一部が固定されるデバイス受け部と、を備え、前記光透過部材は前記パッケージの底面に平行に配置される。

本発明によれば、製造が容易であるとともに、使用環境に左右されることなく偏向走査精度を維持できる光偏向器を提供できる。

本発明の実施形態に係る光偏向器に用いられる光走査デバイスの平面図である。 同光走査デバイスのミラー部の回転振動の様子を示す図である。 本実施形態に係る光偏向器の概要断面図である。 光偏向器の要部断面図で、（ａ）はパッケージにデバイス受け部が一体に形成された状態を示す図、（ｂ）はデバイス受け部に光走査デバイスを載せた状態を示す図である。 光偏向器の使用において、光透過部材の表面の反射光が光偏向器の機能に影響しない状態を示す断面図である。 光透過部材の内部反射を利用して光量調整をするタイプの光偏向器の概要断面図である。 光走査デバイスの全部がパッケージ内に収容されないタイプの光偏向器の分解斜視図である。 同光偏向器の組み付け後の斜視図である。 ワイヤーボンディングを行う場合のボンディング位置の違いによる優位、不利を示す図である。 パッケージ内部のワイヤーボンディング用パッドと外側接点部とを繋ぐ構成例を示す図である。 パッケージをセラミックで形成する例を示す図で、（ａ）は断面図、（ｂ）はパッケージの分解斜視図である。 パッケージをセラミックで形成した構成における光走査デバイスの固定とワイヤーボンディングを示す概要断面図である。 パッケージをセラミックで形成した例におけるパッケージ内部のワイヤーボンディング用パッドと外側接点部とを繋ぐ構成例を示す概要断面図である。 パッケージをワイヤーボンディング装置に斜めにセットできる構成を示す概要断面図である。 パッケージをセラミックで形成した例におけるワイヤーボンディング後の組み立て構成を示す概要断面図である。 パッケージに対する光走査デバイスの位置決め装置の要部斜視図である。 ２軸走査型の光走査デバイスの平面図である。 ２軸走査型の光走査デバイスを有する光偏向器の斜視図である。 画像形成装置の概要構成図である。 画像投影装置の斜視図である。 画像投影装置の変形例を示す斜視図である。 従来の光偏向器を示す概要構成図である。

以下、本発明の実施形態を図を参照して説明する。
図１及び図２に基づいて、本実施形態に係る光偏向器に用いられる光走査デバイスを説明する。
図１に示すように、光走査デバイス２は、枠部４と、枠部４に内側において一端が枠部４に固定された駆動梁６と、駆動梁６の他端に支持された一対のトーションバー８と、光反射面を有し、一対のトーションバー８に回転可能に支持されたミラー部１０とを有している。
４つの駆動梁６の表面には、圧電材料が膜状に固定され、全体として平板短冊状のユニモルフ構造の駆動梁を形成している。
本実施形態では、シリコン材料でＭＥＭＳプロセスによって加工することで、枠部４、駆動梁６、トーションバー８、ミラー部１０を一体で形成している。

ミラー部１０では、シリコン基板の表面にアルミニウムや銀などの金属の薄膜を形成することによって光反射面を形成している。
電圧印加による駆動梁６の曲げ変形がトーションバー８を介して伝達されることにより、ミラー部１０を回転させるモーメントが生じる。ミラー部１０が回転するとトーションバー８が捻り変形し、ミラー部１０を元に戻す弾性力が生じる。これが繰り返されることにより、ミラー部１０は一定の振幅で回転振動する。

本実施形態では圧電駆動方式について説明しているが、静電力又は電磁力のような外力により駆動梁６が変形するようにしてもよい。
図２（ａ）はミラー部１０が枠部４に平行な状態を、図２（ｂ）はトーションバー８が捩れてミラー部１０が一方に回転した状態を、図２（ｃ）はミラー部１０が逆方向に回転した状態を示している。
ミラー部１０が回転振動することで光走査が可能となり、共振現象を利用することで、小さなエネルギーで高速、大振幅の回転振動を得ることができる。
ＭＥＭＳプロセスによって作製される光走査デバイスは、ポリゴンミラーや従来型のガルバノミラーに対して、省電力化、小型化や高速化が可能である。駆動部分の形成もシリコンウエハーを素材として、半導体微細加工技術を用いて大量で安価に形成できるメリットを有している。

この種の光走査デバイスは、微細な機械的可動部や電気的配線部を有するため、使用環境によっては、空気中の水分や埃による故障を来たしやすい。
これを防止するために、従来では、例えば図２２に示すように、パッケージ１００の内部に光走査デバイス２を収容して底面側に固定し、パッケージ１００の開口側を蓋部材１０２で覆い、蓋部材１０２の開口部分に光透過窓としてのガラス板１０４を固定して全体を密閉している。
光走査デバイス２はパッケージ１００の底面に平行に配置され、ガラス板１０４はパッケージ１００の底面に対して傾斜している。換言すれば、ガラス板１０４は光走査デバイス２のミラー部１０の光反射面に対して平行ではない。
ガラス板１０４が傾斜していることにより、ガラス板１０４の表面で反射される反射光ＯＲＬを光偏向器１０８の機能に影響のない方向に反射させることができる。

図２２（ｂ）に示すように、ガラス板１０４の内面での反射を利用し、反射光ＩＲＬをパッケージ１００内に配置された光センサ１０６で受光して、光量調整などの制御を行うことも知られている。
図２２に示した構成では、パッケージ１００の開口部側の形状がパッケージ１００の底面に対して非平行な凸形状となるため、光偏向器１０８の全体形状は直方体状とはならず、製造の容易化が妨げられる。

上述のように、特許文献１ではパッケージ内で光走査デバイスを傾斜させ、ガラス板はパッケージの底面と平行に配置して光偏向器の全体形状を直方体状としている。
これにより、製造が容易となるとともに、ガラス板を傾斜させた場合と同等の反射光の弊害抑制機能を得ることができる。
しかしながら、光走査デバイスの一端は、パッケージ内において弾性部材を介してパッケージに固定され、他端は弾性部材の付勢力でパッケージ内に固定されたベースの角に押し当てられている。
すなわち、一端側のみに作用する付勢力で光走査デバイスをパッケージ内で保持している。
このため、大きな振動が発生する環境では、光走査デバイスの自由端が動いて偏向走査精度が低下する懸念がある。したがって、そのような環境では使用ができず、環境によって使用が制限されることとなる。

図３及び図４に基づいて、本実施形態に係る光偏向器１２を説明する。
図３に示すように、光偏向器１２は、容器状のパッケージ１４と、パッケージ１４の内部に収容される光走査デバイス２と、パッケージ１４の開口部１４ａを塞ぐ光透過部材１６とを有している。
また、光偏向器１２は、パッケージ１４の内部に設けられ、光走査デバイス２がパッケージ１４の底面１４ｂに対し斜めに固定されるデバイス受け部１８を有している。
光透過部材１６は、光が通過する開口を有し、パッケージ１４の開口部１４ａを覆う蓋部材２０と、蓋部材２０の開口部分を塞ぐように外側に配置された透明板としてのガラス板２２とを有している。
透明板はガラス板に限定されず、また、光透過部材１６は単一部材で構成してもよい。

デバイス受け部１８は、図４（ａ）に示すように、パッケージ１４の製造時にパッケージ１４と同じ材料でパッケージ１４の内部底面に同時に一体に形成されている。勿論、デバイス受け部１８をパッケージ１４とは別体として形成し、パッケージ１４の内方底面に固定してもよい。
デバイス受け部１８は、開口部１４ａ側に傾斜面１８ａを有しており、高さが低い側には、傾斜面１８ａに垂直な面を有する位置決め用の凸部１８ｂが形成されている。

図４（ｂ）に示すように、光走査デバイス２はその一端を凸部１８ｂに突き当てて傾斜面１８ａに載せることにより、デバイス受け部１８上に画一的且つ容易に位置決めすることができる。
光走査デバイス２は位置決めされた状態で紫外線硬化樹脂等の接着剤によりデバイス受け部１８に固定される。これにより、光走査デバイス２はパッケージ１４の内部において所定の位置及び角度で且つ振動で動かないように強固に固定される。
デバイス受け部１８の傾斜面１８ａと光走査デバイス２の下面とは面で接触する。すなわち、デバイス受け部１８は光走査デバイス２を面で支持する構成を有している。
光走査デバイス２はデバイス受け部１８に面で固定されるため、大きな振動が生じる環境であってもパッケージ１４に対して光走査デバイス２が変位することはなく、良好な偏向特性を維持することができる。

光走査デバイス２の固定後、光透過部材１６がパッケージ１４の内部が気密性を保つように取り付けられ、図３に示す光偏向器１２が完成する。
光透過部材１６は光走査デバイス２の光学面（光反射面）に対しては傾いているが、パッケージ１４の底面１４ｂに対しては平行となり、光偏向器１２全体としては製造が容易な直方体状となる。
図５に示すように、ガラス板２２の表面で入射光ＥＬが反射する反射光ＯＲＬを、光偏向器１２の機能上支障のない向きに反射させることができる。
図６に示すように、ガラス板２２の内面での反射を利用し、反射光ＩＲＬをパッケージ１４の内部に配置された光センサ１０６で受光して、光量調整などの制御を行う構成としてもよい。

図７及び図８に示すように、パッケージ１４側に光走査デバイス２が全て収まる形状ではなく、光透過部材１６側も立体的な形状となっている構成としてもよい。
この場合も、光透過部材１６はパッケージ１４の開口部１４ａに対して平行で、光走査デバイス２に対しては傾斜した構成とすることができる。
図７において、符号１８ｃは光走査デバイス２の幅方向の位置決めを行う凸部を示している。

光走査デバイス２とパッケージ１４の外部の電気的接点部とを電気的に接続し、光走査デバイス２を制御したり、信号を検出したりするために、ワイヤーボンディングを行うことが一般的である。
その場合、ワイヤーの通るスペースを確保する必要がある。
本実施形態では、ワイヤーボンディングを行う場合に、ボンディング用のパッドを光走査デバイス２の一辺側に集中させている。
その一辺は、図９（ａ）に示すように、光走査デバイス２の開口部４ａから遠い方、換言すれば、デバイス受け部１８の高さが低い側である。
図９において、符号４ｃはパッケージ１４のボンディング用パッドを示し、２４はワイヤーを示している。

図９（ｂ）に示すように、デバイス受け部１８の開口部１４ａに近い側にパッドが来るようにすると、光透過部材１６とボンディング用パッドとの間隔が狭くなってしまう。
図９（ａ）に示す構成とすると、ワイヤー２４が通るためのスペースが確保しやすくなり、パッケージ全体の厚みを減らすことができる。

ワイヤーボンディングの際に、光走査デバイス２の傾きが大きいと、光走査デバイス２側とパッケージ１４側のボンディング用パッドのどちらかで、パッド面に垂直に押し当てることができずに、ボンディングがうまくできない可能性がある。
これを解消する構成を図１０に示す。
パッケージ１４を樹脂成形する際、パッケージ内部のワイヤーボンディング用パッドと外側接点部とを繋ぐ形状の導電部材２６をインサート成形する。導電部材２６によりパッケージ１４の内外を電気的に接続する。

この例では、光走査デバイス２は、パッケージ１４の内部に形成された２つのデバイス受け部２８、３０に固定されている。２つのデバイス受け部２８、３０の支持面は一つの線上に位置する。
導電部材２６のワイヤーボンディング用パッドのボンディング面２６ａは、光走査デバイス２と平行となるようにする。すなわち、デバイス受け部２８、３０と平行となるようにする。
図１０（ｂ）に示すように、パッケージ１４内に光走査デバイス２を固定したときに、ボンディング面２６ａと光走査デバイス２は平行になっているので、図１０（ｃ）に示すように、光偏向器１２を傾けてワイヤーボンディングを行う。
パッケージ１４内のパッド部と、光走査デバイス２のパッド部は水平なので、ボンディング装置により確実にボンディングを行うことができる。
ボンディング後は、図１０（ｄ）に示すように、開口部を光透過部材１６で塞いで完成させる。完成後は、パッケージ１４の外側接点との接続により、パッケージ内部が電気的に接続される。

パッケージ１４をセラミックで形成する例について説明する。
セラミックパッケージの場合、図１１（ｂ）に示すように、パッケージ１４は、グリーンシートと呼ばれる層材料１４Ａ〜１４Ｄを階層構造的に重ね合わせて整形され、焼結される。
そのため、図３で示したような傾斜面を有するデバイス受け部１８は作らずに、図１１（ａ）に示すように、一端側を最下層の層材料１４Ａで受け、他端側を例えば第３層の層材料１４Ｃの角を受け部１４ｄとしてボンディングパッド面の裏側だけを支持する構成とする。
第２の層材料１４Ｂはストッパとしてなる。光走査デバイス２の両端側は接着剤３２で全体が振動で動かないように最下層の層材料１４Ａに固定される。本例ではパッケージ１４の内部構造自体がデバイス受け部としてなる。

図１２に示すように、光走査デバイス２の他端部を受ける受け面１４ｃが光走査デバイス２と平行でなくとも、デバイス受け部と、ボンディングの位置がずれていなければ、パッケージ１４を階層的に材料を重ね合わせて製造する構成であってもワイヤーボンディングに対応できる。

パッケージがセラミックの場合、ボンディング用のパッド面を斜めに形成することが難しい。
図１３に示すように、光走査デバイス２をパッケージ１４内に取り付ける。取り付ける際に、パッドの裏面側に接着剤３２が回りこむようにして、ワイヤーボンディングの際に押されても、光走査デバイス２を支えられるようにする。

ボンディングの際は、光走査デバイス２のパッド面とパッケージ１４のパッド面との角度がそれぞれ、キャピラリー（ボンディング装置のワイヤーをガイドしてパッドに押し当てるところ）を押し当てる角度（水平）に対しそれぞれがなす角ａを同じにする。
このため、図１４に示すように、パッケージ１４をワイヤーボンディング装置に斜めにセットできるようにする。
ワイヤーボンディング装置に対する理想の角度からはずれるが、光走査デバイス２側とパッケージ１４側で傾き量を配分するので、傾きによる不具合の影響を抑えることができる。
ボンディング終了後、図１５に示すように、光透過部材１６でパッケージ１４の開口部を塞ぐ。

光走査デバイス２は直接パッケージ１４内のデバイス受け部に載せられるのではなく、光走査デバイス２を保持しながら、光走査デバイス２のミラー面（光反射面）に光線を入射させ、ミラー面で反射した光が所定の位置（範囲）に納まるように調整する。
光走査デバイス２の向きを調整し、反射した光線が所定位置になる姿勢で光走査デバイス２をデバイス受け部に接着固定する。

図１６は、パッケージ保持部材３３にパッケージ１４を保持した状態で、光走査デバイス２を保持してパッケージ１４に対する傾きを調整する装置の要部を示している。
光源３４から光線３６を出射させ、光走査デバイス２のミラー面に反射させて反射した光をＰＳＤなどの光センサ３８で受光することによって角度ずれを検知する。
検知情報に基づいて光走査デバイス２の角度を調整する。図中の連結部４０は微小に角度や位置を調整できるステージと繋がっており、ステージの調整で、光走査デバイス２を所望の位置、姿勢に固定することができる。

パッケージ１４は、パッケージ取り付け基準面を調整装置に当て付けるようにセットされる。位置調整後に光走査デバイス２を固定するとき、紫外線硬化タイプの接着剤を用いれば、硬化時間を短くすることができる。
このように光走査デバイス２をパッケージ１４に固定すれば、パッケージング済みの光偏向器を画像形成装置に組み込むときに、初期位置のばらつきが少ないので、後工程を簡便にできる。

図１７は、２軸走査型の光走査デバイスを示している。
光走査デバイス５０は、矩形のミラー部１０’を備えた光走査デバイス２と同等の構成を有する光走査デバイス５２と、光走査デバイス５２の枠部４自体を回転振動させる光走査デバイス５４との組み合わせ構成を有している。
光走査デバイス５４は、一端が外枠５６に接続され、他端が枠部４に接続された第１の蛇行状梁部５８と第２の蛇行状梁部６０とを有している。
第１の蛇行状梁部５８と第２の蛇行状梁部６０は、駆動梁６と同様に圧電材料が膜状に設けられている。

駆動梁６に電圧を印加することによりミラー部１０’がＹ軸周りに回転振動し、第１の蛇行状梁部５８と第２の蛇行状梁部６０とに電圧を印加することによりミラー部１０’がＸ軸周りに回転振動する。
蛇行状梁部の駆動による場合には、ミラー部１０’は駆動梁６の駆動による振動方向とは異なる方向（垂直方向ないし副走査方向）に振動する。
これにより、Ｙ軸方向の機械的共振による正弦波振動と、Ｘ軸方向の非共振駆動による回転により、２軸方向でのレーザー走査が可能になる。
すなわち、１つの光走査デバイスで、２次元的に光を走査することができる。

光走査デバイスとして、上記のような２軸走査型のものを用いる場合、光透過部材１６とミラー部との距離の関係から、ミラー部に近い側は、開口が小さく、遠い側は大きくすれば良いので、光透過部材（光透過窓）の形状は矩形である必要はない。
そこで、図１８に示すように、２軸走査型の光偏向器６５の光透過窓を略台形状にする。このようにすれば、ガラス板２２の面積を小さくすることができるので、強度の点で有利である。
また、光透過窓の形状から、光走査デバイスの方向が分かりやすくなるので、後の工程で、取り付け間違いを防ぐことができる利点もある。

図１９に、上述した光偏向器１２を有する画像形成装置を示す。
光偏向器１２を備えた光書き込みユニット（光走査装置）６２は、画像情報に基づいてレーザービームを被走査面に出射して画像を書き込む。
符号６４は光書き込みユニット６２による走査対象としての被走査面を有する像担持体としての感光体ドラムを示す。
光書き込みユニット６２は、記録信号によって変調された１本又は複数本のレーザビームで感光体ドラム６４の表面（被走査面）を同ドラムの軸方向に走査するものである。

感光体ドラム６４は矢印６６方向に回転駆動され、帯電手段６８により帯電された表面に光書き込みユニット６２により光走査されることによって静電潜像を形成される。
静電潜像は現像装置７０でトナー像に可視化され、トナー像は転写手段７２で被転写体としての記録紙７４に転写される。
転写されたトナー像は定着装置７６によって記録紙７４に定着される。
感光体ドラム６４の転写手段７２との対向部を通過した感光体ドラムの表面部分はクリーニング部７８で残留トナーを除去される。

感光体ドラム６４に代えてベルト状の感光体を用いてもよい。
また、トナー像を記録紙以外の転写媒体に一旦転写し、この転写媒体からトナー像を記録紙に転写して定着させる中間転写方式の構成としてもよい。
光書き込みユニット６２は、記録信号によって変調された１本又は複数本のレーザビームを発する光源部８０と、光源を変調する光源駆動手段８２と、光偏向器１２と、光偏向器１２の光反射面に光源部８０からの、記録信号によって変調されたレーザビーム（光ビーム）を結像させるための結像光学系８４と、ミラー面で反射された１本又は複数本のレーザビームを感光体ドラム６４の表面（被走査面）に結像させるための手段である走査光学系８６などから構成される。
光偏向器１２は、その駆動のための集積回路８８とともに回路基板９０に実装された形で光書き込みユニット６２に組み込まれている。

光偏向器１２は、回転多面鏡に比べ駆動のための消費電力が小さいため、画像形成装置の省電力化に有利である。
光偏向器１２のミラー部の振動時の風切り音は回転多面鏡に比べ小さいため、画像形成装置の静音化の改善に有利である。
光書き込みユニット６２は回転多面鏡に比べ設置スペースが圧倒的に少なくて済み、また、光偏向器１２の発熱量も僅かであるため、小型化が容易であり、したがって画像形成装置の小型化に有利である。
なお、記録紙７４の搬送機構、感光体ドラム６４の駆動機構、現像装置７０、転写手段７２などの制御手段、光源部８０の駆動系などは、従来の画像形成装置と同様である。

図２０に画像投影装置の例を示す。
画像投影装置は、光源として、赤色のレーザー光を射出する赤色光源装置１Ｒと、緑色のレーザー光を射出する緑色光源１Ｇと、青色のレーザー光を射出する青色光源装置１Ｂとを備えている。
また、画像投影装置は、赤、緑、青のレーザー光の光軸を同じ角度で光偏向器に入射させる機能を有するクロスダイクロイックプリズム３と、クロスダイクロイックプリズム３から射出されたレーザー光を偏向走査する光偏向器６５とを備え、投射面（スクリーン）７に投影する。
クロスダイクロイックプリズム３と各色の光源との間には、発散光を略平行光とするコリメート光学系が配置されている。
ここでは、スクリーン７が分離した構成を例示しているが、スクリーン７を一体に有する構成であっても良い。

赤色光源装置１Ｒは、中心波長が６３０ｎｍ前後である半導体レーザー（ＬＤ）であり、青色光源装置１Ｂは、中心波長が４３０ｎｍ前後である半導体レーザー（ＬＤ）である。
緑色光源装置１Ｇは、中心波長が５４０ｎｍ前後である緑色のレーザー光を出射する。
光偏向器６５は、上述した２軸走査型の光走査デバイス５０を備えており、入射したレーザー光を投影面（スクリーン）７に反射させる。
光偏向器６５のミラー部の投影面内で２方向の回転振動が可能となっており、スクリーン７の水平方向及び垂直方向にレーザー光を走査することが可能となる。投影位置に応じて、各色の光源の発光量を調整することで、所望の画像を表示することができる。

図２１に示すように、赤、緑、青で光路を１つにしない構成であってもよい。
ここではカラー画像を投影する例を述べたが、白黒の場合は白色だけで投影像を形成する場合にも適応可能である。

以上、本発明の好ましい実施の形態について説明したが、本発明はかかる特定の実施形態に限定されるものではなく、上述の説明で特に限定しない限り、特許請求の範囲に記載された本発明の趣旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
本発明の実施の形態に記載された効果は、本発明から生じる最も好適な効果を例示したに過ぎず、本発明による効果は、本発明の実施の形態に記載されたものに限定されるものではない。

１Ｒ、１Ｂ、１Ｇ 光源
２ 光走査デバイス
７ 投影面
１２ 光偏向器
１４ａ 開口部
１４ パッケージ
１６ 光透過部材
１８ デバイス受け部
６２ 光走査装置としての光書き込みユニット
６４ 像担持体としての感光体ドラム

特許第５３５３８８５号公報

Claims (9)

1. 開口部を有するパッケージと、
   前記パッケージの内部に収容される光走査デバイスと、
   前記パッケージの前記開口部を塞ぐ光透過部材と、
   前記パッケージの内部に設けられ、前記光走査デバイスが所定の位置及び所定の角度で、且つ、振動で動かないように少なくとも一部が固定されるデバイス受け部と、
   を備え、
   前記光透過部材は前記パッケージの底面に平行に配置される光偏向器。
2. 請求項１に記載の光偏向器において、
   前記デバイス受け部は、前記光走査デバイスを面で支持する形状を有している光偏向器。
3. 請求項１又は２に記載の光偏向器において、
   前記デバイス受け部は、前記パッケージの製造時に該パッケージと同じ材料で同時に形成される光偏向器。
4. 請求項１〜３のいずれか１つに記載の光偏向器において、
   前記光走査デバイスと前記パッケージとがワイヤーボンディングによって電気的に接続され、ワイヤーボンディングは前記光走査デバイスの前記開口部から遠い方の側でなされている光偏向器。
5. 請求項４に記載の光偏向器において、
   前記パッケージのワイヤーボンディングがなされる面と、前記光走査デバイスのワイヤーボンディングがなされる面とが平行である光偏向器。
6. 請求項１〜５のいずれか１つに記載の光偏向器において、
   前記光透過部材の形状が台形状である光偏向器。
7. 請求項１〜６のいずれか１つに記載の光偏向器を有する光走査装置。
8. 画像情報に基づいて光走査装置により像担持体に静電潜像を形成し、前記静電潜像を現像装置によりトナー像として可視化する画像形成装置において、
   前記光走査装置が請求項７に記載の光走査装置である画像形成装置。
9. 光源と、
   前記光源からの発散光を略平行光とするコリメート光学系と、
   前記コリメート光学系を通った光を投影面に偏向走査して画像を表示する光偏向器と、
   を有し、
   前記光偏向器は、請求項１〜６のいずれか１つに記載の光偏向器である画像投影装置。

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