JP2018017859A - 光スキャナパッケージおよびその製造方法および光走査装置および画像投射装置 - Google Patents
光スキャナパッケージおよびその製造方法および光走査装置および画像投射装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018017859A JP2018017859A JP2016147282A JP2016147282A JP2018017859A JP 2018017859 A JP2018017859 A JP 2018017859A JP 2016147282 A JP2016147282 A JP 2016147282A JP 2016147282 A JP2016147282 A JP 2016147282A JP 2018017859 A JP2018017859 A JP 2018017859A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- optical scanner
- frame member
- scanner package
- base substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
Description
ミラーはパッケージ内に密閉され、走査させるべき光は、パッケージに設けられたガラス板等の透明平板を介してミラーを照射する。上記光はミラーにより反射されて反射光となり、透明平板を透過してパッケージから射出する。射出した反射光は、ミラーの揺動に伴い偏向する。
このような光スキャナパッケージで、走査させるべき光が透明平板の表面および裏面で反射してノイズビームとなり、正規の反射光に対してノイズ的に影響するのを防ぐため、透明平板の入射出面をミラーのミラー面と非平行とし、正規の反射光の方向とノイズビームの方向を分離することも行われている。
光スキャナパッケージは、例えば、特許文献1、2に開示されたものが知られている。
図1は、光スキャナパッケージの実施の1形態を説明するための図である。
図1(a)は光スキャナパッケージの断面図的説明図、(b)はカバー部材の斜視図的説明図、(c)はベース基板の平面図的説明図である。
図1(a)において、光スキャナパッケージ10は、ベース基板11と、枠部材13と、「板状の透明部材」としての平板ガラス15とを有している。
ベース基板11は、基板110とミラー部材113とを有する。基板110には、その表面側の面に、接合部115と窪み111が形成され、この窪み111を塞ぐようにミラー部材113が設けられている。
枠部材13と平板ガラス15とは「カバー部材」を構成し、該カバー部材は、枠部材13の底部が、基板110の表面側に接合部115として形成された凸部に接合されてベース基板11と一体化され、ミラー部材113を密閉する。
平板ガラス15は「透明ガラスの平行平板」であり枠部材13に一体化されている。
枠部材13は「筒状」である。説明中の例では、枠部材13は「筒の中心軸に直交する断面が矩形形状」であり、図における上下が解放されて「矩形形状の開口」となっている。説明中の例においては、図における下方の開口は、上述の如く基板110の接合部115に接合されて固定的に一体化されている。即ち、枠部材13の図において下方の開口は、ベース基板11により閉ざされている。
接合部115に接合される開口をなす面は、枠部材の中心軸(筒の中心軸)に対して直交する。枠部材13の、平板ガラス15を一体化される側の開口をなす面は、前記中心部に対して傾いている。以下、平板ガラス15を一体化される側の開口の「枠部材の厚みで形成される端面」を以下「傾斜端面」と呼ぶ。図1(b)で符号130が傾斜端面を示している。
傾斜端面130は、図1(a)において、右側から左側へ向かって低くなるように傾斜しており、傾斜端面130が最も低くなる部分に、接触部131が「凸部」として形成されている。接触部131は、図1(b)に示す如く、開口をなす矩形形状の1辺に沿って壁状に形成され、平板ガラス15は、その厚みにより形成される端面のうち、図1(b)に符号151で示す端面が接触部131と接触する。この接触により、枠部材13と平板ガラス15の位置関係が固定されている。
基板110は、枠部材13よりも一回り大きい矩形形状であり、その周辺部に、枠部材13を接合させる接合部115が「枠状の凸部」として形成され、中心部には矩形形状の窪み111が形成されている。この窪み111を塞ぐようにミラー部材113が固定的に設けられている。
ミラー部材113は、外枠1131、内枠1132とミラーMLを有する。外枠1131は基板110に固定され、内枠1132は、揺動軸AX2により外枠1131と連結され、ミラーMLは揺動軸AX1により内枠1132に連結されている。
ミラー部材113はMEMSとして形成され、ミラーMLを駆動する駆動構造および駆動機構は図示を省略されている。
揺動軸AX1、AX2は互いに直交しており、ミラーMLは内枠1132に対して揺動軸AX1の回りに揺動可能であり、内枠1132は外枠1131に対して揺動軸AX2の回りに揺動可能である。従って、ミラーMLは互いに直交する2方向に揺動可能である。窪み111は、内枠1132とミラーMLの揺動を許容するための空間を形成している。
ミラーMLのミラー面と平板ガラス15とが「非平行」となっているので、図1(a)に示すように、光L0が平板ガラス15に入射するとき、平板ガラス15の表面・裏面で反射されるノイズビームL3、L4の進行方向は、2次元的に走査される反射光L1の方向と離れており、ノイズビームL3、L4が、反射光L1の2次元的な走査にノイズとして作用することがない。
繁雑を避けるため、混同の恐れがないと思われるものについては、図1におけると同一の符号を付し、図1に関する上記説明を援用する。
ベース基板11は、図1に即して説明したものと同一のものであり、ミラー部材113を有している。
図2(b)に示すように、枠部材13Aは「筒状」で、「筒の中心軸に直交する断面が矩形形状」であり、図における上下が解放されて「矩形形状の開口」となっている。図における下方の開口は、基板110の接合部115に接合されて閉ざされている。
接合部115に接合される開口をなす面は、枠部材の中心軸(筒の中心軸)に対して直交し、平板ガラス15を一体化される側の開口をなす面は、前記中心部に対して傾いており、「枠部材の厚み」で形成される傾斜端面130Aは全体が同一平面である。
平板ガラス15Aの、ミラー部材113に対向する側の面(以下「裏面」と呼ぶ。)には、枠部材13Aの「傾斜端面130Aの、図2(a)で低い側」において、枠部材13Aの内側面に接触する接触部15A1が凸部として形成されている。
接触部15A1は、図2(c)に示すように板状で、矩形形状をなす平板ガラス15Aの短辺に近接して、該短辺に平行に形成され、図2(c)の上図に示すように傾斜している。この傾斜は傾斜端面130Aの傾き角に対応しており、図2(a)に示すように、平板ガラス15Aが傾斜端面130A上に載置された状態において、枠部材13Aの内側面と密接し、枠部材13Aとの位置関係を固定する。図2(c)の下図は平板ガラス15Aの裏面側を示している。
反射光L1の2次元的な走査は、図1に示す光スキャナパッケージ10の場合と同じである。
図3(a)は、光スキャナパッケージの断面図的説明図、(b)は枠部材の斜視図的説明図、(c)は平面図的説明図である。
図3(a)に示す如く、光スキャナパッケージ10Bは、ベース基板11と、枠部材13Bと、「板状の透明平板」としての平板ガラス15Bを有している。
ベース基板11は、図1に即して説明したものと同一のもので、ミラー部材113を有している。
図3(b)に示すように、枠部材13Bは「筒状」で、「筒の中心軸に直交する断面が矩形形状」であり、図における上下が解放されて「矩形形状の開口」となっている。図における下方の開口は、図3(a)に示すように、基板110の接合部115に接合されて閉ざされている。
接合部115に接合される開口をなす面は、枠部材の中心軸(筒の中心軸)に対して直交し、平板ガラス15Bを一体化される側の開口をなす面は、前記中心軸に対して傾いており、「枠部材の厚み」で形成される傾斜端面130Bは、傾斜の低い側の端部に形成された接触部131Bを除く部分は同一平面である。
接触部131Bは、矩形形状をなす開口の短辺の両端部に、三角柱形状の凸部として形成され、「三角柱の斜面」は図の如く開口内部に向いている。
図3(c)に平面図的に示すように、平板ガラス15Bの、接触部131Bに接触する側は、1対の接触部131Bの斜面部にぴったりと整合するように「切り欠かれ」て、接触部15B1をなしている。接触部15B1は、平板ガラス15Bが傾斜端面130B上に載置された状態で接触部131Bと整合的に接触し、平板ガラス15Bと枠部材13Bとの位置関係を固定する。
図3に示す実施の形態では、図3(c)の如く、平板ガラス15Bの位置関係を枠部材13Bに対して固定した状態では、この位置関係は、図の上下方向および左右方向、すなわち、互いに直交する2方向において固定される。
反射光L1の2次元的な走査は、図1に示す光スキャナパッケージ10の場合と同じである。
図4に示すのは、特徴部分であり、図3の実施の形態例と異なる点は、以下の2点である。差異の第1点は、枠部材にあるが、混同の恐れはないと思われるので、図3におけると同じく枠部材13Bとする。
図4の実施の形態では、枠部材13における三角柱状の接触部131Bの開口側が、袋状に繰り抜かれて袋部132として形成されていることである。
差異の第2点は、「板状の透明部材」として、図1に示した実施の形態におけると同じ平板ガラス15が用いられている点である。
袋部132は、傾斜端面130Bに載置された平板ガラス15の図で下方の2つの隅部(コーナー部とも言う。)を挿入されて、平板ガラス15と枠部材13Bとの位置関係を固定する。この位置関係は、図4の上下方向および左右方向、すなわち、互いに直交する2方向において固定される。
図1ないし図4を参照して上に説明した実施の各形態において、ベース基板11は、窪み111が形成された基板110の窪み111を塞ぐようにミラー部材113が設けられている。
基板110の材質としては、金属やセラミックス等が好適であるが、これに限定されるものではない。セラミックスで形成する場合であれば、接合部115と窪み111との形状を形成したセラミックス材料を焼結させて形成することができる。ミラー部材113は従来から知られた半導体プロセスによりMEMSとして形成すればよく、このように形成されたミラー部材113を、基板110に接着等の方法で固定すればよい。
図5に示すように、光スキャナパッケージの製造方法は、スタート4−0とエンド4−5との間に4工程を有する。
すなわち、ベース基板用意工程4−1、枠部材作製工程4−2、固定工程4−3、囲繞工程4−4の4工程である。
ベース基板用意工程4−1は、揺動可能なミラーを予め装備されたベース基板を用意する工程であり、例えば、上述の如くセラミックス等の基板110にミラー部材113を固定することにより作製されたベース基板11を用意する工程である。
枠部材作製工程4−2は、上に説明した枠部材13や13A、13Bを作製する工程である。枠部材13、13A、13Bは、例えば、金属やセラミックスを用い、これらを加工することにより作製することができる。
固定工程4−3は、枠部材作製工程4−2で作製された枠部材13や13A、13Bに、板状の透明部材としての平板ガラス15、15A、15Bを固定する工程である。平板ガラス15Aは、枠部材13Aの接触部位の形態に応じて接触部15A1を形成され、平板ガラス15Bは、枠部材13Bの接触部位の形態に応じて接触部131Bに接触する部分を切り欠かれて接触部15B1を形成されている。
また、図4に示す枠部材13Bでは、三角柱状の接触部131Bの枠部材開口側が、袋状に繰り抜かれて袋部132として形成され、平板ガラス15は、そのコーナー部が袋部132に嵌まり込んで、枠部材13に対する位置関係を固定される。
この場合、接着の際に「加熱」が行われるので、枠部材には「耐熱性」が要求されるが上述の如く、枠部材を「耐熱性を有する金属やセラミックス」で形成しておけばよい。
例えば、図1に示した例において、枠部材13に平板ガラス15を、ガラスフリットを用いて接着する場合であれば、枠部材13を適当な治具により保持し、傾斜端面130にガラスフリットを乗せ、その上に平板ガラス15を載置する。この状態で加熱を行ってガラスフリットを溶融させ、その後、自然冷却してガラスフリットを固化させると、固化したガラスフリットにより、枠部材13の傾斜端面130と平板ガラス15が互いに一体化される。
上記加熱によりガラスフリットが溶融すると、ガラスフリットは「流動性」を獲得し、この状態では、傾斜端面130と平板ガラス15との間は互いに滑り易い状態となる。
従って、この状態で平板ガラス15の表面方向に僅かな力が作用しても、平板ガラス15は傾斜端面130に対して滑り、変位することが考えられる。
枠部材13Aと平板ガラス15Aの接着(図2)や、枠部材13Bと平板ガラス15Bの接着(図3)、枠部材13Bと平板ガラス15の接着(図4)の場合も同様である。即ち、これらの接着の場合でも「接触部により枠部材と平板ガラスを適正な位置関係に固定した状態」で固定工程を行うことができる。
板状の透明部材と枠部材との固定は、接着に限らず、適宜の固定具を用いる固定方法で行うことができることは言うまでもない。
この接合は、枠部材の「平板ガラスを固定されていない側の開口部」を、基板110の接合部115に接合する工程であり、接合は、適宜の接着剤を用いる方法や、上述したガラスフリットや「はんだ」、ロウ材等を用いる公知の接合方法や、適宜の固定具を用いる接合方法で行うことができることができる。
囲繞工程4−4により、カバー部材10、10A、10Bが「揺動可能なミラーMLを有するベース基板11」に接合されると、ミラーMLが、ベース基板11とカバー部材10、10A、10Bとにより取り囲まれた状態となる。
図6は、光スキャナパッケージとして、図1に即して説明した光スキャナパッケージ10を用いて、光走査と画像投射を行う光走査装置・画像投射装置の実施の1形態を示すものである。
光L0を構成するR、G、Bの各色のレーザ光束は、投射するべき「2次元のカラー画像」の画像信号により強度変調(信号化)されている。
マイクロコンピュータやCPUとして構成された制御手段200は、光源装置100とともに、揺動可能なミラーを駆動して揺動させる揺動機構300を制御する。
揺動機構300は従来から知られた「図示を省略された駆動構造を、圧電効果を利用して駆動する機構」である。
信号化されて光源装置100から射出した光L0は、光スキャナパッケージ10の揺動可能なミラーに入射して反射光L1となる。制御手段200は、光スキャナパッケージ10の揺動可能なミラーを揺動させる揺動機構300を制御して、ミラーを2次元的に揺動させる。ミラーの2次元的な揺動に伴って、反射光L1は2次元的に偏向し、被走査面であるスクリーンSCを2次元的に走査する。図6における符号Xは、反射光L1による図の上下方向における走査範囲を示している。
光L0は、投射すべき画像により信号化されているので、スクリーンSCには2次元のカラー画像が投射画像として表示される。
光L0を構成するR、G、Bの各色のレーザ光束は、投射するべき「2次元のカラー画像」の画像信号により強度変調(信号化)されている。
光スキャナパッケージ10の揺動可能なミラーを駆動して揺動させる揺動機構300は光源装置100とともに、制御手段200により制御される。
走査ミラー70の光学作用は、2次元的に偏向されて入射する反射光L1の光路をマイクロレンズアレイ80に向けて屈曲させるものであり、この走査ミラー70を省略して、光スキャナパッケージ10により2次元的に偏向された反射光L1が、直接的にマイクロレンズアレイ80に入射するようにしてもよい。
「原像」としてのカラーの2次元画像は、反射光L1による2次元的な走査により「各瞬間に表示される画素の集合」としてマイクロレンズアレイ80に形成される。
即ち、凹面鏡90は「表示すべき画像の虚像を結像させる結像光学系」である。
凹面鏡90により虚像120を結像する結像光束は、反射体1000によって観察者EY(図には「観察者の目」を示す。)の側へ反射される。
反射体1000による反射光により、観察者EYは「カラーの2次元画像」の虚像120を視認できる。
揺動可能なミラーにより光を反射させ、前記ミラーの揺動により反射光を走査する光スキャナパッケージ(10、10A、10B)であって、前記揺動可能なミラー(ML)を有するベース基板(11)と、該ベース基板とともに前記ミラーを取り囲むカバー部材と、を有し、前記カバー部材は、筒状の枠部材(13、13A、13B)と、板状の透明部材(15、15A、15B)とを有し、前記枠部材は、一方の開口を前記ベース基板により閉ざされ、前記枠部材の他方の開口は、前記透明部材により閉ざされ、前記透明部材と前記枠部材との位置関係を固定するための接触部(131、15A1、131B)が、前記透明部材および前記枠部材の少なくとも一方に形成され、前記透明部材と前記ミラー(ML)のミラー面とが非平行である光スキャナパッケージ(図1、図2、図3、図4)。
[1]記載の光スキャナパッケージであって、前記筒状の枠部材(13、13A、13B)の中心軸に対し、前記ベース基板(11)は直交し、前記透明部材は斜めに傾くことにより、前記透明部材と前記ミラー(ML)のミラー面とが非平行となっている光スキャナパッケージ(図1、図2、図3、図4)。
[1]または[2]記載の光スキャナパッケージであって、前記接触部が、前記枠部材および前記透明部材の少なくとも一方に形成された凸部(131、15A1、131B)である光スキャナパッケージ(図1、図2、図3)。
[1]または[2]記載の光スキャナパッケージであって、前記接触部が、前記枠部材(13B)に形成され、前記透明部材の板面に平行な独立した2方向において他方の変位を制限する袋部(132)を有する凸部で構成される光スキャナパッケージ(図4)。
[1]ないし[3]の何れか1に記載の光スキャナパッケージであって、前記接触部が、前記枠部材(13B)に形成され、前記透明部材(15B)の板面に平行な独立した2方向において他方の変位を制限する凸部(131B)と、前記透明部材に形成され、前記凸部と接触しあう接触面形状(15B1)とで構成される光スキャナパッケージ(図3)。
[5]記載の光スキャナパッケージであって、前記筒状の枠部材(13B)の中心軸に対し、前記ベース基板(11)は直交し、前記透明部材(15B)は斜めに傾き、前記接触部は、前記枠部材の前記透明部材を固定される開口部(130B)の、前記中心軸を鉛直方向とするときに下方となる部分において形成された凸部(131B)と、前記透明平板(15B)の前記凸部に接触する端面形状(15B1)とにより構成される光スキャナパッケージ(図3)。
[1]ないし[5]の何れか1に記載の光スキャナパッケージの製造方法であって、前記揺動ミラーを予め装備されたベース基板を用意するベース基板用意工程(4−1)と、前記カバー部材を作製するカバー部材作製工程と、該カバー部材作製工程で作製された前記カバー部材を、前記ベース基板に固定して、該ベース基板と前記カバー部材とにより前記揺動ミラーを取り囲む囲繞工程(4−4)と、を有し、前記カバー部材作製工程は、前記枠部材を作製する枠部材作製工程(4−2)と、該枠部材作製工程で作製された前記枠部材と前記板状の透明部材とを、前記接触部により相互の位置関係を固定した状態で、相互に固定する固定工程(4−3)と、を有する光スキャナパッケージの製造方法(図5)。
光により被走査面を走査する光走査装置であって、走査用の光を放射する光源装置(100)と、揺動可能なミラーを有し、前記光源装置から放射される前記走査用の光(L0)を前記ミラーにより反射させる光スキャナパッケージ(10)と、該光スキャナパッケージの前記ミラーを揺動させる揺動機構(300)と、該揺動機構および前記光源装置を制御する制御手段(200)と、を有し、前記光スキャナパッケージは、請求項1ないし6の何れか1項に記載のものであり、前記光源装置からの前記光(L0)を、前記光スキャナパッケージの前記透明部材を介して前記ミラーに照射し、前記ミラーによる反射光(L1)を、前記ミラーの揺動により走査する光走査装置(図6、図7)。
[8]記載の光走査装置を用い、反射光(L1)により被走査面(SC)を2次元的に走査して画像投射を行う画像投射装置であって、前記制御手段(200)が、投射すべき画像に応じて光源装置(100)を制御する画像投射装置(図6)。
[9]記載の画像投射装置であって、前記光スキャナパッケージにより2次元的に走査される反射光(L1)で、マイクロレンズアレイ(80)を前記被走査面として走査して画像投射を行い、該画像投射により形成される2次元画像の虚像(120)を形成する虚像結像光学系(90)を有する画像投射装置。
例えば、上に説明した実施の各形態では、板状の透明部材を「平板ガラス」として説明したが、透明部材は、これに限らない。例えば「透明樹脂による透明部材」であることもできる。
上に説明した実施の各形態では、透明部材である平板ガラスがミラーを有するベース基板と非平行になっている。これは、上に説明したように、ミラーに入射する光が、透明平板の表裏面で反射されてノイズビームとなって、走査用の反射光にノイズとして作用するのを防止するためである。この目的のためには、ミラー面と透明平板とが非平行になっておればよく、例えば、ミラー部材のミラー面がベース基板に対して傾くように、ミラー部材を形成することによって、ミラー面が透明平板と非平行になるようにすることもできる。その場合にはベース基板と透明部材とが平行であってもよい。
図1および図2に示す実施の形態では、接触部は枠部材と透明平板の一方に凸部として形成されているが、接触部を枠部材と透明平板の双方に凸部として形成してもよく、あるいは、一方を凸部、他方を凹部として形成し、これら凸部と凹部とが係り合って、透明平板と枠部材の位置関係を固定するようにしてもよい。
11 ベース基板
113 ミラー部材
ML ミラー
13、13A、13B 枠部材
15、15A、15B 透明平板(平板ガラス)
131、15A1、131B、15B1 接触部
Claims (10)
- 揺動可能なミラーにより光を反射させ、前記ミラーの揺動により反射光を走査する光スキャナパッケージであって、
前記揺動可能なミラーを有するベース基板と、該ベース基板とともに前記ミラーを取り囲むカバー部材と、を有し、
前記カバー部材は、筒状の枠部材と、板状の透明部材とを有し、前記枠部材は、一方の開口を前記ベース基板により閉ざされ、前記枠部材の他方の開口は、前記透明部材により閉ざされ、前記透明部材と前記枠部材との位置関係を固定するための接触部が、前記透明部材および前記枠部材の少なくとも一方に形成され、前記透明部材と前記ミラーのミラー面とが非平行である光スキャナパッケージ。 - 請求項1記載の光スキャナパッケージであって、
前記筒状の枠部材の中心軸に対し、前記ベース基板は直交し、前記透明部材は斜めに傾くことにより、前記透明部材と前記ミラーのミラー面とが非平行となっている光スキャナパッケージ。 - 請求項1または2記載の光スキャナパッケージであって、
前記接触部が、前記枠部材および前記透明部材の少なくとも一方に形成された凸部である光スキャナパッケージ。 - 請求項1または2記載の光スキャナパッケージであって、
前記接触部が、前記枠部材に形成され、前記透明部材の板面に平行な独立した2方向において他方の変位を制限する袋部を有する凸部で構成される光スキャナパッケージ。 - 請求項1ないし3の何れか1項に記載の光スキャナパッケージであって、
前記接触部が、前記枠部材に形成され、前記透明部材の板面に平行な独立した2方向において他方の変位を制限する凸部と、前記透明部材に形成され、前記凸部と接触しあう接触面形状とで構成される光スキャナパッケージ。 - 請求項5記載の光スキャナパッケージであって、
前記筒状の枠部材の中心軸に対し、前記ベース基板は直交し、前記透明部材は斜めに傾き、
前記接触部は、前記枠部材の前記透明部材を固定される開口部の、前記中心軸を鉛直方向とするときに下方となる部分において形成された凸部と、前記透明平板の前記凸部に接触する端面形状とにより構成される光スキャナパッケージ。 - 請求項1ないし5の何れか1項に記載の光スキャナパッケージの製造方法であって、
前記揺動ミラーを予め装備されたベース基板を用意するベース基板用意工程と、
前記カバー部材を作製するカバー部材作製工程と、
該カバー部材作製工程で作製された前記カバー部材を、前記ベース基板に固定して、該ベース基板と前記カバー部材とにより前記揺動ミラーを取り囲む囲繞工程と、を有し、
前記カバー部材作製工程は、
前記枠部材を作製する枠部材作製工程と、
該枠部材作製工程で作製された前記枠部材と前記板状の透明部材とを、前記接触部により相互の位置関係を固定した状態で、相互に固定する固定工程と、を有する光スキャナパッケージの製造方法。 - 光により被走査面を走査する光走査装置であって、
走査用の光を放射する光源装置と、
揺動可能なミラーを有し、前記光源装置から放射される前記走査用の光を前記ミラーにより反射させる光スキャナパッケージと、
該光スキャナパッケージの前記ミラーを揺動させる揺動機構と、
該揺動機構および前記光源装置を制御する制御手段と、を有し、
前記光スキャナパッケージは、請求項1ないし6の何れか1項に記載のものであり、前記光源装置からの前記光を、前記光スキャナパッケージの前記透明部材を介して前記ミラーに照射し、前記ミラーによる反射光を、前記ミラーの揺動により走査する光走査装置。 - 請求項8記載の光走査装置を用い、反射光により被走査面を2次元的に走査して画像投射を行う画像投射装置であって、
前記制御手段が、投射すべき画像に応じて光源装置を制御する画像投射装置。 - 請求項9記載の画像投射装置であって、
前記光スキャナパッケージにより2次元的に走査される反射光で、マイクロレンズアレイを前記被走査面として走査して画像投射を行い、
該画像投射により形成される2次元画像の虚像を形成する虚像結像光学系を有する画像投射装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016147282A JP6926408B2 (ja) | 2016-07-27 | 2016-07-27 | 光スキャナパッケージおよびその製造方法および光走査装置および画像投射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016147282A JP6926408B2 (ja) | 2016-07-27 | 2016-07-27 | 光スキャナパッケージおよびその製造方法および光走査装置および画像投射装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018017859A true JP2018017859A (ja) | 2018-02-01 |
JP6926408B2 JP6926408B2 (ja) | 2021-08-25 |
Family
ID=61081738
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016147282A Active JP6926408B2 (ja) | 2016-07-27 | 2016-07-27 | 光スキャナパッケージおよびその製造方法および光走査装置および画像投射装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6926408B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020086316A (ja) * | 2018-11-29 | 2020-06-04 | 株式会社リコー | 可動装置、画像投影装置、ヘッドアップディスプレイ、レーザヘッドランプ、ヘッドマウントディスプレイ、物体認識装置、及び車両 |
US11333882B2 (en) | 2019-01-30 | 2022-05-17 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical unit |
US11372238B2 (en) | 2019-01-30 | 2022-06-28 | Hamamatsu Photonics K.K. | Mirror unit |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001308214A (ja) * | 2000-04-26 | 2001-11-02 | Seiko Epson Corp | セラミックパッケージの封止方法と封止構造 |
JP2005250307A (ja) * | 2004-03-08 | 2005-09-15 | Canon Inc | 光偏向器 |
JP2007034309A (ja) * | 2005-07-27 | 2007-02-08 | Samsung Electronics Co Ltd | マイクロミラー素子パッケージおよびその製造方法 |
JP2007287967A (ja) * | 2006-04-18 | 2007-11-01 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 電子部品装置 |
JP2012194162A (ja) * | 2011-03-18 | 2012-10-11 | Ricoh Co Ltd | 光機能デバイスと光学式エンコーダおよびそれらを用いた光走査装置と画像形成装置および電気機器 |
CN103135225A (zh) * | 2011-11-29 | 2013-06-05 | 宏瞻科技股份有限公司 | 扫描振镜组件 |
JP2015041039A (ja) * | 2013-08-23 | 2015-03-02 | 株式会社リコー | 光走査装置、画像形成装置及び車両 |
JP2015195330A (ja) * | 2013-08-26 | 2015-11-05 | 京セラ株式会社 | 光学装置用カバー部材および光学装置 |
JP2016069265A (ja) * | 2014-09-29 | 2016-05-09 | 日本碍子株式会社 | 筐体を構成するセラミックス製のパッケージ部材とセラミックス製の蓋部材とを接合するための接合方法 |
JP2016099567A (ja) * | 2014-11-25 | 2016-05-30 | 株式会社リコー | 光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び画像投影装置 |
-
2016
- 2016-07-27 JP JP2016147282A patent/JP6926408B2/ja active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001308214A (ja) * | 2000-04-26 | 2001-11-02 | Seiko Epson Corp | セラミックパッケージの封止方法と封止構造 |
JP2005250307A (ja) * | 2004-03-08 | 2005-09-15 | Canon Inc | 光偏向器 |
JP2007034309A (ja) * | 2005-07-27 | 2007-02-08 | Samsung Electronics Co Ltd | マイクロミラー素子パッケージおよびその製造方法 |
JP2007287967A (ja) * | 2006-04-18 | 2007-11-01 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 電子部品装置 |
JP2012194162A (ja) * | 2011-03-18 | 2012-10-11 | Ricoh Co Ltd | 光機能デバイスと光学式エンコーダおよびそれらを用いた光走査装置と画像形成装置および電気機器 |
CN103135225A (zh) * | 2011-11-29 | 2013-06-05 | 宏瞻科技股份有限公司 | 扫描振镜组件 |
JP2015041039A (ja) * | 2013-08-23 | 2015-03-02 | 株式会社リコー | 光走査装置、画像形成装置及び車両 |
JP2015195330A (ja) * | 2013-08-26 | 2015-11-05 | 京セラ株式会社 | 光学装置用カバー部材および光学装置 |
JP2016069265A (ja) * | 2014-09-29 | 2016-05-09 | 日本碍子株式会社 | 筐体を構成するセラミックス製のパッケージ部材とセラミックス製の蓋部材とを接合するための接合方法 |
JP2016099567A (ja) * | 2014-11-25 | 2016-05-30 | 株式会社リコー | 光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び画像投影装置 |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020086316A (ja) * | 2018-11-29 | 2020-06-04 | 株式会社リコー | 可動装置、画像投影装置、ヘッドアップディスプレイ、レーザヘッドランプ、ヘッドマウントディスプレイ、物体認識装置、及び車両 |
JP7247553B2 (ja) | 2018-11-29 | 2023-03-29 | 株式会社リコー | 可動装置、画像投影装置、ヘッドアップディスプレイ、レーザヘッドランプ、ヘッドマウントディスプレイ、物体認識装置、及び車両 |
US11333882B2 (en) | 2019-01-30 | 2022-05-17 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical unit |
US11372238B2 (en) | 2019-01-30 | 2022-06-28 | Hamamatsu Photonics K.K. | Mirror unit |
US11372240B2 (en) | 2019-01-30 | 2022-06-28 | Hamamatsu Photonics K.K. | Mirror unit |
US11592662B2 (en) | 2019-01-30 | 2023-02-28 | Hamamatsu Photonics K.K. | Mirror unit |
US11598951B2 (en) | 2019-01-30 | 2023-03-07 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical unit |
US11782267B2 (en) | 2019-01-30 | 2023-10-10 | Hamamatsu Photonics K.K. | Mirror unit |
US11835716B2 (en) | 2019-01-30 | 2023-12-05 | Hamamatsu Photonics K.K. | Mirror unit |
US11874458B2 (en) | 2019-01-30 | 2024-01-16 | Hamamatsu Photonics K.K. | Mirror unit |
JP7438767B2 (ja) | 2019-01-30 | 2024-02-27 | 浜松ホトニクス株式会社 | ミラーユニット |
US11977223B2 (en) | 2019-01-30 | 2024-05-07 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical unit |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6926408B2 (ja) | 2021-08-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11215815B2 (en) | MEMS micro-mirror device | |
US9405121B2 (en) | Image display apparatus and head-mounted display | |
US9229224B2 (en) | Image display apparatus and head-mounted display | |
JP2012526291A (ja) | マイクロプロジェクション装置におけるパッシブアライメント法とその応用 | |
US9170422B2 (en) | Image display apparatus and head-mounted display | |
US9958671B2 (en) | Optical scanner, manufacturing method of optical scanner, image display device, and head mounted display | |
JP6926408B2 (ja) | 光スキャナパッケージおよびその製造方法および光走査装置および画像投射装置 | |
US8072666B2 (en) | Optical scanning device, retinal scanning display and manufacturing method of optical scanning device | |
JP6701673B2 (ja) | ヘッドマウントディスプレイ | |
US7453613B2 (en) | Scanning type image forming apparatus having the same containing scanning mirror in a space sealed by first and second optical members and the housing, the second optical member includes five surfaces | |
JP6668949B2 (ja) | 電子部品装置及びその製造方法、光偏向装置 | |
US10923883B2 (en) | Optical device, optical unit, display device, and prism fixing method | |
JP6524722B2 (ja) | 光走査装置、光走査装置における基板の固定方法、画像表示装置、車両 | |
JP2012145753A (ja) | 画像表示装置 | |
US11971537B2 (en) | Light deflection device, distance measurement device, and mobile body | |
JP6451277B2 (ja) | 虚像表示装置および画像投影装置 | |
KR102306124B1 (ko) | 레이저 스캔 프로젝터 모듈 및 그 제조방법 | |
JP6251564B2 (ja) | 光走査装置及び内視鏡装置 | |
US20180088329A1 (en) | Optical scanner, image display device, head-mounted display, and heads-up display | |
JP5817263B2 (ja) | プロジェクター | |
JP2016191800A (ja) | 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ | |
JP2007264325A (ja) | 光走査装置、これを備えた画像形成装置及びこれらを備えた画像表示装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190522 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200324 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200407 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200526 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20201110 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210107 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210706 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210719 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6926408 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |