WO2021023144A1 - 芴肟酯类化合物，其制备方法及应用 - Google Patents

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钱晓春
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常州强力电子新材料股份有限公司
常州强力先端电子材料有限公司
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    • G03F7/004—Photosensitive materials
    • G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds

Definitions

  • the invention belongs to the technical field of photosensitive materials, and specifically relates to a novel fluorenoxime ester compound, a preparation method thereof, and a photoinitiator and photosensitive resin composition containing the fluorenoxime ester compound.
  • the oxime ester photoinitiator is a new type of cleavage free radical photoinitiator that has emerged in recent years. It has high sensitivity, good compatibility and stability with the photoresist composition material, and the polymerization rate of the photosensitive material , High conversion rate and transparency, less lithography residue and other advantages, has been widely used in photoresist.
  • the present invention provides a novel fluorenoxime ester compound, a preparation method thereof, and a photoinitiator and photosensitive resin composition containing the fluorenoxime ester compound.
  • the fluorenoxime ester compound is used as a photoinitiator, it can prevent the decomposition products caused by exposure from adhering to the mask, and at the same time has a good pattern effect, and has excellent adhesion, alkali resistance and transparency.
  • the first aspect of the present invention is to provide a fluorenoxime ester compound, which has the following chemical structure shown in A, B, C, D or E:
  • R 1 represents a substituted or unsubstituted alkyl, aryl, or heterocyclic group
  • R 2 may be the same or different, and each independently represents hydrogen, halogen, substituted or unsubstituted alkyl, aryl or alkenyl;
  • R 3 represents H, nitro, cyano, hydroxyl, halogen, substituted or unsubstituted alkyl, acyl, heterocyclyl, alkoxy or
  • R 1 has the same definition as R 1 above, and the two may be the same or different;
  • n 1, 2, 3 or 4;
  • n and m are 0, 1, 2, 3, or 4 respectively, and the two may be the same or different, and at least one of n and m is not zero.
  • R 1 represents a substituted or unsubstituted alkyl group, aryl group, or heterocyclic group.
  • R 1 represents a substituted or unsubstituted alkyl group, suitably, it may be selected from the following groups: C 1 to C 30 , preferably C 1 to C 22 , more preferably C 1 to C 17 , particularly preferably C 1 to C 10 linear, branched, monocyclic or condensed polycyclic alkyl group, C 1 to C 20 , preferably C 1 to C 10 , more preferably C 2 to C 8 , particularly preferably C 2 to C a linear or branched alkyl group having 5 haloalkyl, is C 2 ⁇ C 20, preferably C or more ether or thioether bond interrupted 2 ⁇ C 15, more preferably C 2 ⁇ C 10, particularly preferably C a linear or branched alkyl chain of 2 ⁇ C 7.
  • C 1 to C 30 preferably C 1 to C 22 , more preferably C 1 to C 17 , particularly preferably C 1 to C 10 linear, branched, monocyclic or condensed polycyclic alkyl group
  • methyl, ethyl, propyl, n-butyl, pentyl, hexyl, heptyl, octyl, nonyl, decyl, dodecyl, and octadecyl can be cited.
  • R 1 represents a substituted or unsubstituted alkyl group, it is most preferably selected from methyl, ethyl, propyl, n-butyl, hexyl, isopentyl, cyclohexyl, 2-chloroethyl, 4- Chlorobutyl, 2-chlorotert-butyl, 5-bromopentyl, methoxymethyl, ethoxymethyl, butoxymethyl, (2-butoxyethoxy)methyl.
  • R 1 represents a substituted or unsubstituted aryl group, suitably, it represents a substituted or unsubstituted C 6 ⁇ C 24 aryl group, (C 6 ⁇ C 24 )aryl (C 1 ⁇ C 20 )alkyl group, (C 1 ⁇ C 12 )alkyl (C 6 ⁇ C 24 )aryl, (C 6 ⁇ C 24 )aryloxy (C 1 ⁇ C 20 )alkyl; preferably, it represents substituted or unsubstituted C 6 ⁇ C 20 aryl, (C 6 ⁇ C 20 )aryl (C 1 ⁇ C 12 )alkyl, (C 1 ⁇ C 8 )alkyl(C 6 ⁇ C 20 )aryl, (C 6 ⁇ C 20 ) Aryloxy (C 1 ⁇ C 12 )alkyl; more preferably, it represents substituted or unsubstituted C 6 ⁇ C 18 aryl, (C 6 ⁇ C 18 )aryl(
  • the phenyl (C 1 ⁇ C 6 )alkyl group can include phenylmethyl, 1-phenylethyl, 2-phenylethyl, 3-phenylpropyl , 4-phenylbutyl, 5-phenylpentyl;
  • the phenoxy (C 1 ⁇ C 4 ) alkyl group includes phenoxymethyl, 1-phenoxyethyl, 2-benzene Oxyethyl, 3-phenoxypropyl, 4-phenoxybutyl, etc.
  • the substituent may be a C 1 to C 4 linear or branched alkyl group, and a C 1 to C 4 linear or branched alkoxy group. , Halogen atom, cyano group or nitro group.
  • R 1 represents a substituted or unsubstituted aryl group, it is most preferably selected from phenyl, o-tolyl, m-tolyl, p-tolyl, chlorotolyl, 3,5-dimethylphenyl, 4 -Cyanophenyl, 4-nitrophenyl, 4-methoxybenzyl, phenylmethyl, 1-phenylethyl, chlorophenylmethyl, 3-phenylpropyl, nitrobenzene Methyl, phenoxymethyl, 1-phenoxyethyl, chlorophenoxymethyl, nitrophenoxymethyl, 1-naphthyl, or 2-ethoxy-1-naphthyl.
  • R 1 represents a substituted or unsubstituted heterocyclic group
  • the heterocyclic group represents C 4 to C 24 having a nitrogen atom, an oxygen atom, and a sulfur atom, preferably C 4 to C 18 , more preferably C 4 to C 14 , particularly preferably C 4 to C 10 aromatic or alicyclic heterocyclic group.
  • thienyl As specific examples of the aforementioned heterocyclic group, thienyl, thiophen-2-methyl, pyridyl, 2-furyl, quinolinyl, pyranyl, imidazolyl, piperidinyl, morpholinyl, Thioxanthene, indolyl, etc.
  • the heterocyclic group is selected from thienyl, thiophen-2-methyl, pyridyl, 2-furyl and quinolinyl.
  • R 2 may be the same or different, and each independently represents hydrogen, halogen, substituted or unsubstituted alkyl, aryl, or alkenyl.
  • R 2 represents a substituted or unsubstituted alkyl group
  • it can be selected from the following groups: C 1 to C 30 , preferably C 1 to C 22 linear, branched, monocyclic or condensed Polycyclic alkyl group, C 1 to C 20 , preferably C 1 to C 10 , more preferably C 1 to C 6 linear or branched haloalkyl, C 1 to C 20 , preferably C 1 to C 10 , More preferably C 1 to C 6 linear or branched hydroxy-substituted alkyl, C 2 to C 40 , preferably C 2 to C 20 , more preferably C 2 to C 10 linear or branched
  • the hydroxyalkoxy substituted alkyl group is C 2 ⁇ C 20 , preferably C 2 ⁇ C 15 , more preferably C 2 ⁇ C 7 interrupted by more than one ether bond or thioether bond. ⁇ alkyl.
  • alkyl groups methyl, ethyl, propyl, n-butyl, pentyl, hexyl, heptyl, octyl, nonyl, decyl, undecyl, and dodecyl can be mentioned.
  • R 2 represents a substituted or unsubstituted alkyl group, it is most preferably selected from n-butyl, pentyl, hexyl, tetradecyl, behenyl, 4-chlorobutyl, 5-chloropentyl , 6-Chlorohexyl, methoxyethyl, ethoxyethyl.
  • R 2 represents a substituted or unsubstituted aryl group, suitably, it represents a substituted or unsubstituted C 6 ⁇ C 24 aryl group, (C 6 ⁇ C 24 )aryl (C 1 ⁇ C 20 )alkyl group, (C 6 ⁇ C 24 )Aryloxy (C 1 ⁇ C 20 )alkyl; preferably substituted or unsubstituted C 6 ⁇ C 20 aryl, (C 6 ⁇ C 20 )aryl (C 1 ⁇ C 12 ) Alkyl group, (C 6 ⁇ C 20 )aryloxy (C 1 ⁇ C 12 )alkyl group; more preferably substituted or unsubstituted C 6 ⁇ C 18 aryl group, (C 6 ⁇ C 18 )aryl group (C 1 ⁇ C 10 )alkyl, (C 6 ⁇ C 18 )aryloxy (C 1 ⁇ C 8 )alkyl; particularly preferably substituted or unsubstituted C
  • aryl groups phenyl, phenylmethyl, 1-phenylethyl, chlorophenylmethyl, 1-phenylpropyl, 1-phenylpentyl, nitrobenzene can be mentioned.
  • R 2 represents a substituted or unsubstituted alkenyl group, it is preferably C 2 to C 18 , more preferably C 2 to C 12 , particularly preferably C 2 to C 6 linear, branched, monocyclic or Condensation of polycyclic alkenyl groups.
  • alkenyl groups vinyl, 1-propenyl, allyl, 2-butenyl, 3-butenyl, isopropenyl, isobutenyl, 1-pentenyl, 2-pentenyl, 3-pentenyl, 4-pentenyl, 1-hexenyl, 2-hexenyl, 3-hexenyl, 4-hexenyl, 5-hexenyl, cyclopentyl Alkenyl, cyclohexenyl, 1,3-butadienyl, cyclohexadienyl, cyclopentadienyl, etc.
  • R 2 represents a substituted or unsubstituted alkenyl group, it is most preferably selected from allyl, 3-butenyl, 4-pentenyl, 5-hexenyl.
  • R 3 represents H, nitro, cyano, hydroxy, halogen, substituted or unsubstituted alkyl, acyl, heterocyclic or alkoxy.
  • R 3 may be selected from H, nitro, cyano, hydroxyl, fluorine, chlorine, and bromine.
  • R 3 represents a substituted or unsubstituted alkyl group, suitably, it may be selected from the following groups: C 1 to C 30 , preferably C 1 to C 20 , more preferably C 1 to C 10 linear, branched Chain, monocyclic or condensed polycyclic alkyl, C 1 to C 20 , preferably C 1 to C 10 , more preferably C 1 to C 6 linear or branched haloalkyl, C 1 to C 20.
  • C 1 to C 10 Preferably C 1 to C 10 , more preferably C 1 to C 6 linear or branched hydroxy substituted alkyl group, C 2 to C 40 , preferably C 2 to C 20 , more preferably C 2 to C 10 C 2 to C 20 , preferably C 2 to C 15 , more preferably C 2 to C 7 interrupted by one or more ether bonds or thioether bonds of the linear or branched hydroxyalkoxy-substituted alkyl group of The linear or branched alkyl group.
  • alkyl groups methyl, ethyl, propyl, n-butyl, pentyl, hexyl, heptyl, octyl, nonyl, decyl, undecyl, and dodecyl can be mentioned.
  • R 3 represents a substituted or unsubstituted acyl group, it is preferably a linear, branched, monocyclic or condensed polycyclic aliphatic acyl group of C 2 to C 20 , with C 1 to C substituted by halogen atoms 10-chain or straight-chain acyl group, C 6 ⁇ C 18 monocyclic or condensed polycyclic aryl group having halogen atoms substituted C 6 ⁇ C 18 monocyclic or condensed polycyclic aromatic group Acyl, C 1 ⁇ C 12 alkyl C 6 ⁇ C 18 monocyclic or condensed polycyclic aryl acyl group, C 1 ⁇ C 20 alkoxy C 6 ⁇ C 18 monocyclic or condensed polycyclic aryl Acyl groups, C 4 to C 18 monocyclic or condensed polycyclic heterocyclic acyl groups containing nitrogen, oxygen, and sulfur atoms; more preferably C 2 to C 12 linear, branched, or monocyclic Or conden
  • acyl groups acetyl, propionyl, butyryl, isobutyryl, valeryl, isovaleryl, pivaloyl, cyclopentanoyl, cyclohexanoyl, trifluoroformyl, and benzyl can be mentioned.
  • R 3 represents a substituted or unsubstituted acyl group, it is most preferably selected from the group consisting of acetyl, propionyl, butyryl, benzoyl, toluoyl, and 2-thenoyl.
  • R 3 represents a substituted or unsubstituted heterocyclic group, suitably, it represents C 4 to C 24 , preferably C 4 to C 18 , more preferably C 4 to C 14 , having a nitrogen atom, an oxygen atom, or a sulfur atom. Particularly preferred is a C 4 to C 10 aromatic or alicyclic heterocyclic group.
  • thienyl As specific examples of the aforementioned heterocyclic group, thienyl, thiophen-2-methyl, pyridyl, 2-furyl, quinolinyl, pyranyl, imidazolyl, piperidinyl, morpholinyl, Thioxanthene, indolyl, etc.
  • R 3 represents a substituted or unsubstituted heterocyclic group, it is most preferably selected from the group consisting of thienyl, pyridyl, 2-furyl, and morpholinyl.
  • R 3 represents a substituted or unsubstituted alkoxy group, it is preferably C 1 to C 20 , more preferably C 1 to C 10 , and particularly preferably C 1 to C 6 linear, branched, monocyclic or Condensation of polycyclic alkoxy groups.
  • alkoxy groups methoxy, ethoxy, propoxy, butoxy, pentoxy, hexyloxy, heptyloxy, octyloxy, nonyloxy, ten Dialkoxy, octadecyloxy, isopropoxy, isobutoxy, isopentoxy, sec-butoxy, tert-butoxy, sec-pentoxy, tert-pentoxy, tert-octyloxy , Neopentyloxy, cyclopropoxy, cyclobutoxy, cyclopentyloxy, cyclohexyloxy, adamantyloxy, etc.
  • R 3 represents a substituted or unsubstituted alkoxy group, it is most preferably selected from the group consisting of methoxy, ethoxy, propoxy, cyclopropoxy, cyclobutoxy, cyclopentyloxy, cyclohexyl Oxy.
  • R 3 means When, R 4 is selected from C 1 -C 20 linear or branched alkyl, C 3 -C 20 cycloalkyl, C 4 -C 20 cycloalkyl alkyl, C 4 -C 20 alkyl Cycloalkyl, C 6 -C 20 aryl, C 4 -C 20 heteroaryl, C 3 -C 5 heterocyclic group containing O, N or S heteroatoms and double bonds, or the heterocyclic group is End-capped C 1 -C 6 alkyl; preferably C 1 -C 10 linear or branched alkyl, C 3 -C 10 cycloalkyl, C 4 -C 10 cycloalkyl alkyl, C 4 -C 10 alkyl cycloalkyl group, C 6 -C 10 aryl group, C 3 -C 5 heterocyclic group containing O, N or S heteroatoms and double bonds or C 1 terminated by the heterocyclic group -C 6 alkyl; more preferably, R
  • R 3 means When, most preferably, R 4 is methyl, ethyl, propyl, butyl, pentyl, hexyl, cyclohexyl, cyclopentylethyl, cyclopentylmethyl, cyclohexylmethyl, cyclohexylethyl , Phenyl or o-methylphenyl.
  • fluorenoxime ester compound of the present invention particularly preferably, in the chemical structure shown in A, B, C, D or E:
  • R 1 is selected from C 1 ⁇ C 10 linear, branched, monocyclic or condensed polycyclic alkyl groups, C 2 ⁇ C 5 linear or branched haloalkyl groups, with at least one C 2 ⁇ C 7 linear or branched alkyl with broken ether or thioether bond, phenyl, substituted phenyl, 1-naphthyl, substituted naphthyl, 2-naphthyl , 1-anthryl group, phenyl (C 1 ⁇ C 6 ) alkyl, phenoxy (C 1 ⁇ C 4 ) alkyl, C 4 ⁇ C 10 aromatic or C 4 ⁇ C 10 having nitrogen atom, oxygen atom and sulfur atom Alicyclic heterocyclic group;
  • R 2 is each independently selected from C 1 to C 22 linear, branched, monocyclic or condensed polycyclic alkyl, C 1 to C 6 linear or branched haloalkyl, C 1 -C 6 linear or branched hydroxy-substituted alkyl group, C 2 ⁇ C 10 linear or branched hydroxy alkoxy-substituted alkyl group, with more than one ether bond or sulfide C 2 ⁇ C 7 linear or branched alkyl groups with broken bonds, C 2 ⁇ C 6 linear, branched or monocyclic alkenyl groups, substituted or unsubstituted C 6 ⁇ C 10 aryl, (C 6 ⁇ C 10 )aryl(C 1 ⁇ C 10 )alkyl, (C 6 ⁇ C 10 )aryloxy(C 1 ⁇ C 6 )alkyl;
  • R 3 is selected from H, nitro, cyano, hydroxyl, bromine, C 2 -C 7 linear, branched, monocyclic or condensed polycyclic aliphatic acyl groups, with C 1 substituted by halogen atoms ⁇ C 4 branched or straight-chain acyl group, C 6 ⁇ C 10 monocyclic or condensed polycyclic aryl group having halogen atoms substituted C 6 ⁇ C 10 monocyclic or condensed polycyclic Aroyl acyl group, C 1 ⁇ C 4 alkyl C 6 ⁇ C 10 monocyclic or condensed polycyclic aryl acyl group, C 1 ⁇ C 4 alkoxy C 6 ⁇ C 10 monocyclic or condensed polycyclic Aroyl acyl group, C 4 to C 10 monocyclic or condensed polycyclic heterocyclic acyl group containing nitrogen, oxygen, and sulfur atoms, C 4 to C 10 aromatics with nitrogen, oxygen, and sulfur atoms Or alicycl
  • fluorenoxime ester compound of the present invention in the chemical structure shown in A, B, C, D or E:
  • R 1 is selected from methyl, ethyl, n-butyl, 2-ethylhexyl, isopentyl, cyclohexyl, 2-chloroethyl, 4-chlorobutyl, 2-chloro-tert-butyl, 5-bromopentyl Group, methoxymethyl, ethoxymethyl, butoxymethyl, (2-butoxyethoxy)methyl, phenyl, o-tolyl, m-tolyl, p-tolyl, chlorotoluene Group, 3,5-dimethylphenyl, 4-cyanophenyl, 4-nitrophenyl, 4-methoxybenzyl, phenylmethyl, 1-phenylethyl, chlorophenyl Methyl, 3-phenylpropyl, 5-phenylpentyl, nitrophenylmethyl, phenoxymethyl, 1-phenoxyethyl, chlorophenoxymethyl, nitrophenoxy Methyl, 1-naph
  • R 2 is each independently selected from n-butyl, pentyl, hexyl, tetradecyl, behenyl, 4-chlorobutyl, 5-chloropentyl, 6-chlorohexyl, methoxyethyl, Ethoxyethyl, 1-phenylpropyl, 1-phenylpentyl, allyl, 3-butenyl, 4-pentenyl, 5-hexenyl;
  • R 3 is selected from H, nitro, cyano, hydroxyl, fluorine, chlorine, bromine, acetyl, propionyl, butyryl, benzoyl, toluyl, 2-thenoyl, thienyl, pyridyl, 2- Furyl, morpholinyl, methoxy, ethoxy, propoxy, cyclopropoxy, cyclobutoxy, cyclopentyloxy, cyclohexyloxy or Wherein R 4 is methyl, ethyl, propyl, butyl, pentyl, hexyl, cyclohexyl, cyclopentylethyl, cyclopentylmethyl, cyclohexylmethyl, cyclohexylethyl, phenyl or ortho Methylphenyl.
  • R 1 ′ in the chemical structures A, B, C, D, and E is as described above, and has the same definition as R 1 above.
  • the two are independent and can be the same or different.
  • fluorenoxime ester compound of the present invention includes the following compounds:
  • the second aspect of the present invention is to provide a method for preparing the above-mentioned fluorenoxime ester compound.
  • the fluorenoxime ester compound represented by the chemical formula A can be prepared by the scheme 1 shown below:
  • R 1 , R 2 and R 3 are as defined above, and X 1 is bromine, iodine or chlorine.
  • the base used is an inorganic base or an organic base
  • specific examples include sodium hydroxide, potassium hydroxide, lithium hydroxide, sodium bicarbonate, potassium bicarbonate, sodium carbonate, potassium carbonate, triethyl Amine, diisopropylethylamine, pyridine, piperidine, butyl lithium, potassium tert-butoxide, sodium tert-butoxide, sodium methoxide or sodium ethoxide, etc., preferably butyl lithium, potassium tert-butoxide, sodium tert-butoxide , Sodium methoxide or sodium ethoxide.
  • the raw material R 2 -X 1 can be exemplified by bromobutane, bromopentane, bromohexane, bromotetradecane, bromodocosane, 4-chlorobutyl bromide, 5-chloropentyl bromide, 6-chlorohexyl bromide, bromoethyl methyl ether, bromoethyl ethyl ether, phenylpropyl bromide, phenylpentyl bromide, allyl bromide, 3-butenyl bromide, 4-pentenyl bromide Or 5-hexenyl bromide, etc.
  • the catalyst used is AlCl 3 , H 2 SO 4 , AlBr 3 , BF 3 , GaCl 3 , FeCl 3 , SbCl 5 , ZrCl 4 , SnCl 4 , BCl 3 , SbCl 3, etc., preferably AlCl 3 .
  • the acylating reagent used is a halogenated acid halide, such as 2-chloropropionyl chloride, 2-bromopropionyl bromide and the like.
  • step (1) Typically, in the presence of an ice water bath and a catalyst, in a nitrogen atmosphere, the product of step (1) undergoes a cyclization reaction with the halogenated acid halide.
  • step (3) the product of step (2) undergoes an oximation reaction with nitrous acid or alkyl nitrite under alkaline or acidic conditions to generate an oxime compound.
  • the alkyl nitrite is methyl nitrite, ethyl nitrite, isopropyl nitrite, butyl nitrite or isoamyl nitrite.
  • the reaction temperature of step (3) is controlled at -15-50°C, preferably 0-25°C.
  • step (4) the oxime compound and the acylating reagent undergo an esterification reaction in an inert solvent in the presence of a base to form the fluorenoxime ester compound of the present invention.
  • the acylating reagent can be selected from cyclohexanoyl chloride, 2-propylvaleryl chloride, 3,5,5-trimethylhexanoyl chloride, 3-chloropropionyl chloride, 5-chloropentane Acid chloride, 3-chloropivaloyl chloride, 6-bromohexanoyl chloride, methoxyacetyl chloride, ethoxyacetyl chloride, butoxyacetyl chloride, 3-(methylthio)propionyl chloride, (2-butoxyethyl) Oxy)acetyl chloride, benzoyl chloride, toluene chloride, 3,5-dimethylbenzoyl chloride, 4-methoxybenzoyl chloride, 4-cyanobenzoyl chloride, 4-nitrobenzoyl chloride, 4 -Phenylbenzoyl chloride, chlorobenzoyl chloride, phenylacetyl chloride, pheny
  • the inert solvent is diethyl ether, acetonitrile, tert-butyl methyl ether, tetrahydrofuran, vinyl acetate, toluene, xylene, acetone, methyl ethyl ketone, methylene chloride, chloroform, chlorobenzene, dimethylacetamide, dimethyl Base formamide and so on.
  • the said base is triethylamine, pyridine, diisopropylethylamine, potassium hydroxide, sodium hydroxide or sodium hydride.
  • the reaction temperature of step (4) is controlled at -10 to 60°C, preferably 0 to 25°C.
  • n 1, 2, 3, or 4.
  • the fluorenoxime ester compound represented by the chemical formula B can be prepared by the scheme 2 shown below:
  • the carboxylic acid reactant as the starting material undergoes the Friedel-Crafts cyclization reaction to generate fluorenocyclopentanone, and then undergoes an oximation reaction with nitrous acid or alkyl nitrite under alkaline or acidic conditions.
  • the oxime compound is generated, and then the oxime compound and the acylating reagent undergo an esterification reaction in an inert solvent in the presence of a base to generate the fluorenoxime ester compound of the present invention.
  • the acylating reagent is preferably a diacid halide, such as oxalyl chloride.
  • the catalyst is AlCl 3 , H 2 SO 4 , AlBr 3 , BF 3 , GaCl 3 , FeCl 3 , SbCl 5 , ZrCl 4 , SnCl 4 , BCl 3 , SbCl 3, etc., preferably AlCl 3 .
  • the alkyl nitrite is methyl nitrite, ethyl nitrite, isopropyl nitrite, butyl nitrite or isoamyl nitrite.
  • the reaction temperature of step (2) is controlled at -15-50°C, preferably 0-25°C.
  • step (3) the acylating reagent, inert solvent and base have the same meanings as described in step (4) of Scheme 1.
  • n 1, 2, 3, or 4.
  • 2-halogenated fluorene is used for Heck reaction, followed by a reduction reaction under the catalysis of Raney nickel to obtain 2-propionate methyl fluorene, and then, 2-propionate methyl fluorene is in an alcohol solution under alkaline conditions It is hydrolyzed to produce a carboxylic acid reactant as the starting material.
  • the fluorenoxime ester compound represented by the chemical formula C can be prepared by the scheme 3 shown below:
  • n and m are 0, 1, 2, 3 or 4 respectively, and the two can be the same or different, and at least one of n and m is not zero.
  • the dicarboxylic acid reactant as the starting material can be synthesized according to the reaction scheme shown below, but it is not limited to this method.
  • the fluorenoxime ester compound represented by the chemical formula D can be prepared by the scheme 4 shown below:
  • n and m are 0, 1, 2, 3 or 4 respectively, and the two can be the same or different, and at least one of n and m is not zero.
  • the dicarboxylic acid reactant as the starting material can be synthesized according to the reaction scheme shown below, but it is not limited to this method.
  • the fluorenoxime ester compound represented by the chemical formula E can be prepared by Scheme 5 shown below:
  • n and m are 0, 1, 2, 3 or 4 respectively, and the two can be the same or different, and at least one of n and m is not zero.
  • the dicarboxylic acid reactant as the starting material can be synthesized according to the reaction scheme shown below, but it is not limited to this method.
  • the third aspect of the present invention is to provide a photoinitiator, which contains a compound represented by formula A, B, C, D and/or E.
  • the above-mentioned photoinitiator of the present invention is composed of compounds represented by the chemical formula A, B, C, D and/or E.
  • the fourth aspect of the present invention is to provide a photosensitive resin composition
  • a photosensitive resin composition comprising:
  • the photoinitiator is a fluorenoxime ester compound represented by chemical formula A, B, C, D and/or E.
  • the alkali-soluble resin (b) is preferably a (meth)acrylate copolymer.
  • the alkali-soluble resin (b) can be exemplified: (meth)acrylic acid/methyl (meth)acrylate copolymer, (meth)acrylic acid/(meth)acrylic acid benzyl ester copolymer, (meth)acrylic acid /(Meth)acrylic acid-2-hydroxyethyl/(meth)acrylic acid benzyl ester copolymer, (meth)acrylic acid/(meth)acrylate/polystyrene macromonomer copolymer, (methyl) )Acrylic acid/(meth)acrylate/polymethyl methacrylate macromonomer copolymer, (meth)acrylic acid/(meth)acrylate/polystyrene macromonomer copolymer, (former Base) acrylic acid/benzyl (meth)acrylate/polymethyl methacrylate macromonomer copolymer, (meth)acrylic acid/(meth)acrylic acid-2
  • Alkali-soluble resin (b) may be used individually or in mixture of 2 or more types.
  • the acrylate monomer described in component (c) may be a monofunctional, bifunctional, or multifunctional acrylate.
  • Examples of monofunctional acrylates include: methyl acrylate, ethyl acrylate, propyl acrylate, isopropyl acrylate, butyl acrylate, isoamyl acrylate, hexyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate , Octyl acrylate, decyl acrylate, dodecyl acrylate, stearyl acrylate, isobornyl acrylate, cyclohexyl acrylate, benzyl acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxypropyl acrylate , 2-hydroxy-3-chloropropyl acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl acrylate, 2,2,2-trifluoroethyl acrylate, ⁇ -carboxyethyl acrylate, ⁇ - Carboxylic polycaprolactone monoacrylate, etc.
  • bifunctional acrylates include dicyclopentenyl acrylate, neopentyl glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, tetraethylene glycol diacrylate, bisphenol A diacrylate, EO modified bisphenol A diacrylate, PO modified bisphenol A diacrylate, hydrogenated bisphenol A diacrylate, EO modified hydrogenated bisphenol A diacrylate, PO modified hydrogenated bisphenol A diacrylate, Bisphenol F diacrylate, EO modified bisphenol F diacrylate, PO modified bisphenol F diacrylate, EO modified tetrabromobisphenol A diacrylate, tricyclodecane dimethylol diacrylate Wait.
  • polyfunctional acrylates include: glycerol PO modified triacrylate, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate monopropionate, Dipentaerythritol hexaacrylate, tetramethylolmethane tetraacrylate, etc.; as well as ethoxylated or propoxylated products of the above-mentioned acrylates, such as dicyclopentenyloxyethyl acrylate, 2-hydroxy-acrylate 3-allyloxypropyl ester, 2-acryloxyethyl-2-hydroxypropyl phthalate, 1,3-butanediol methyl ether acrylate, butoxyethyl acrylate, Succinic acid monoacryloxyethyl, trimethylsiloxyethyl acrylate, or diphenyl-2-acrylate
  • the photosensitive resin composition of the present invention may further include pigments, for example, inorganic or organic pigments such as carbon black, C.I. Pigment Yellow 3, C.I. Pigment Red 7, C.I. Pigment Blue 15, and C.I. Pigment Green 7.
  • pigments for example, inorganic or organic pigments such as carbon black, C.I. Pigment Yellow 3, C.I. Pigment Red 7, C.I. Pigment Blue 15, and C.I. Pigment Green 7.
  • the photosensitive resin composition of the present invention may further include a solvent.
  • a solvent there is no particular limitation on the type of the applicable solvent, as long as it can effectively dissolve other components of the composition.
  • the solvent may be those commonly used in photosensitive resin compositions, such as ethers, aromatic hydrocarbons, ketones, alcohols, esters or amides.
  • ether solvents include: ethylene glycol monoalkyl ethers, such as ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether or ethylene glycol monobutyl ether; diethylene glycol dialkyl ether Ether, such as diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dipropyl ether, diethylene glycol dibutyl ether, etc.; alkylene glycol alkyl ether acetate, such as propylene glycol mono Methyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, methoxybutyl acetate, methoxypentyl acetate, etc.
  • ethylene glycol monoalkyl ethers such as ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether
  • aromatic hydrocarbon solvents benzene, toluene, xylene, etc. are included.
  • the ketone solvent includes methyl ethyl ketone, acetone, methyl amyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone and the like.
  • Alcohol solvents include ethanol, propanol, butanol, hexanol, cyclohexanol, ethylene glycol, glycerol and the like.
  • the ester solvent includes ethyl lactate, butyl lactate, ethyl 3-ethoxypropionate, methyl 3-methoxypropionate, and the like.
  • organic solvents with a boiling point of 100 to 200°C are preferred, such as propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, cyclohexanone, ethyl lactate, butyl lactate, 3 -Ethyl ethoxypropionate, methyl 3-methoxypropionate.
  • the above-mentioned solvents may be used alone or in combination of two or more.
  • the photosensitive resin composition of the present invention may further include a sensitizer, a surfactant, and the like.
  • the photosensitive resin composition of the present invention can be used for color photoresist (RGB), black matrix (BM), photo-spacer (photo-spacer), semiconductor photoresist, ink, etc.
  • the photoinitiator of the present invention can prevent the decomposition products caused by exposure from adhering to the mask when used, and the pattern formed by the photosensitive resin composition after exposure and development has good pattern effect, adhesion and alkali resistance, and due to its It is almost colorless after absorbing ultraviolet light and can be used in optical image display devices that require transparency.
  • the structural characterization data of the product are as follows.
  • the intermediate A-1-3 was synthesized according to the same method as in Example 1 above.
  • the structural characterization data of the product are as follows.
  • the aqueous layer was extracted three times with chloroform.
  • the combined extracts were washed successively with water, sodium bicarbonate solution and brine, then dried over anhydrous magnesium sulfate, filtered, concentrated to remove the solvent, and then used ethyl acetate
  • the ester/petroleum ether was purified by column chromatography to obtain a crude product, which was recrystallized from ethanol to obtain 11.8 g of a white solid product with a yield of 78.2%.
  • the structural characterization data of the product are as follows.
  • the aqueous layer was extracted three times with chloroform.
  • the combined extracts were washed successively with water, sodium bicarbonate solution and brine, then dried over anhydrous magnesium sulfate, filtered, concentrated to remove the solvent, and then used ethyl acetate
  • the ester/petroleum ether was purified by column chromatography to obtain a crude product, which was recrystallized from ethanol to obtain 11.7 g of a white solid product with a yield of 75.4%.
  • the structural characterization data of the product are as follows.
  • the structural characterization data of the product are as follows.
  • the structural characterization data of the product are as follows.
  • A-27-2 (37.7g, 0.1mol), Raney nickel (8.2g) and ethanol (700mL) were added to a 2000mL round-bottomed flask, replaced with hydrogen 3 times, and the mixture was placed in a hydrogen atmosphere The reaction was stirred at room temperature. After the reaction is complete, after replacing it with nitrogen 3 times, the catalyst is removed by filtration, and the filtrate is concentrated to obtain 36.6 g of a white solid (ie A-27-3) with a yield of 96.6%.
  • the aqueous layer was extracted three times with chloroform.
  • the combined extracts were washed successively with water, sodium bicarbonate solution and brine, then dried over anhydrous magnesium sulfate, filtered, concentrated to remove the solvent, and then used ethyl acetate
  • the ester/petroleum ether was purified by column chromatography to obtain a crude product, which was recrystallized from ethanol to obtain 10.8 g of a white solid product with a yield of 77.7%.
  • the structural characterization data of the product are as follows.
  • Acrylic copolymer 200 parts by mass
  • the photoinitiator is a fluorenoxime ester compound represented by formula A, B, C, D or E disclosed in the present invention or a photoinitiator known in the prior art (for comparison).
  • the photosensitive resin composition having the above composition was stirred under a yellow light, and the material was taken on a PET template to form a film by roller coating, and dried at 90° C. for 2 minutes to obtain a coating film with a dry film thickness of 2 ⁇ m.
  • the substrate with the coating film is cooled to room temperature, a mask is attached, a high-pressure mercury lamp 1PCS light source is used, and long-wavelength radiation is achieved through a FWHM filter.
  • the transmittance (T%) of the hard-baked coating film at 380 nm was measured with an ultraviolet-visible spectrophotometer to characterize the transparency.
  • the minimum exposure amount at which the residual film rate after development of the light-irradiated area in the exposure step is 90% or more is evaluated as the exposure requirement.
  • the substrate pattern was observed with a scanning electron microscope (SEM) to evaluate the developability and pattern integrity.
  • the developability is evaluated according to the following criteria:
  • the pattern integrity is evaluated according to the following criteria:
  • the hard-baked coating film was immersed under the above three conditions respectively, and the changes in the film after immersion were observed visually.
  • the photosensitive resin composition containing the fluorenoxime ester photoinitiator of the present invention has excellent transparency and developability, and has low exposure requirements. All are lower than 60mJ/cm 2 , and the pattern integrity is better, and the alkali resistance and adhesion performance are excellent.
  • the fluorenoxime ester photoinitiator represented by formula A, B, C or D disclosed by the present invention has excellent application performance, simple preparation method, and good application prospect.

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Abstract

本发明公开一种新型芴肟酯类化合物，其制备方法，以及含有该芴肟酯类化合物的光引发剂和感光性树脂组合物。该芴肟酯类化合物具有如下A、B、C、D或E所示的化学结构（式A，B，C，D，E），作为光引发剂使用时能够避免曝光引起的分解物附着于掩模上，同时具有良好的图案效果，附着性、耐碱性和透明度优异。

Description

芴肟酯类化合物，其制备方法及应用 技术领域
本发明属于感光材料技术领域，具体涉及一种新型芴肟酯类化合物，其制备方法，以及含有该芴肟酯类化合物的光引发剂和感光性树脂组合物。
背景技术
肟酯类光引发剂是近年来兴起的一种新型的裂解型自由基光引发剂，具有感光度高，与光抗蚀剂组合物材料的相容性和稳定性好，感光材料的聚合速率、转化率和透明度高，光刻残渣少等优势，已在光刻胶中广泛使用。现有技术如CN101014569A、CN102112438A、CN102093282A、CN101735344A、CN101525393A、CN101528694A、CN102015633A、CN101048377A、CN101243057A和CN103998422A等通过在肟酯化合物中引入合适的取代基以满足各种目的的工业需求，如在365nm至435nm之间的长波长光的高敏感性，良好的固化反应性，较高的热稳定性和储存稳定性以及良好的溶解性等。然而，使用已知肟酯化合物作为光引发剂时，仍然存在缺陷，如：曝光引起的分解物附着于掩模上而导致印刷过程中图案形状缺陷；曝光源透过性不良，光刻胶底部的光引发剂不能被引发，在显影过程之后，热固化步骤中，光引发剂分解而导致光固化组合物的附着性、耐碱性及透明度下降，从而引起图形缺陷。
因此，需要开发具有新型结构和改良性质的肟酯化合物，以解决曝光源透过性不良导致组合物附着性、耐碱性及透明度下降的问题，以及因光照射带来的光引发剂分解物挥发而污染组合物或装置等问题。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明提供一种新型芴肟酯类化合物，其制备方法，以及含有该芴肟酯类化合物的光引发剂和感光性树脂组合物。该芴肟酯类化合物作为光引发剂使用时能够避免曝光引起的分解物附着于掩模上，同时具有良好的图案效果，附着性、耐碱性和透明度优异。
本发明的第一个方面是提供一种芴肟酯类化合物，其具有如下A、B、C、D或E所示的化学结构：
Figure PCTCN2020106504-appb-000001
Figure PCTCN2020106504-appb-000002
其中，
R 1表示取代或未取代的烷基、芳基、杂环基；
R 2可相同，也可不同，各自独立地表示氢、卤素、取代或未取代的烷基、芳基或链烯基；
R 3表示H、硝基、氰基、羟基、卤素、取代或未取代的烷基、酰基、杂环基、烷氧基或
Figure PCTCN2020106504-appb-000003
R 1’具有与上述R 1相同的定义，两者可相同，也可不同；
当化合物为A或B所示的化学结构时，n是1、2、3或4；
当化合物为C、D或E所示的化学结构时，n、m分别是0、1、2、3或4，两者可相同，也可不同，其中n、m至少一个不为零。
以下对本发明的上述芴肟酯类化合物，特别是化学式A、B、C、D或E进行详细说明。
如上所述，R 1表示取代或未取代的烷基、芳基、杂环基。
当R 1表示取代或未取代的烷基时，适宜地，其可选自以下基团：C 1～C 30、优选C 1～C 22、进一步优选C 1～C 17、特别优选C 1～C 10的直链状、支链状、单环状或缩合多环状的烷基，C 1～C 20、优选C 1～C 10、进一步优选C 2～C 8、特别优选C 2～C 5的直链状或支链状的卤代烷基，被1个以上的醚键或硫醚键中断的C 2～C 20、优选C 2～C 15、进一步优选C 2～C 10、特别优选C 2～C 7的直链状或支链状的烷基。
作为上述烷基的具体实例，可以例举出甲基、乙基、丙基、正丁基、戊基、己基、庚基、辛基、壬基、癸基、十二烷基、十八烷基、异丙基、异丁基、异戊基、仲丁基、叔丁基、仲戊基、叔戊基、叔辛基、新戊基、环丙基、环丁基、环戊基、环己基、金刚烷基、降冰片基、冰片基、2-氯乙基、4-氯丁基、2-氯叔丁基、5-溴戊基、3-氯-2-甲基丙基、3-氯丙基、4-氯丁基、5-氯戊基、6-氯己基、甲氧基甲基、乙氧基甲基、丁氧基甲基、(2-丁氧基乙氧基)甲基、乙氧基乙基、甲氧基-乙氧基-乙基、乙氧基丙基、甲氧基乙基、甲氧基丙基、甲氧基丙氧基丙基、乙氧基异丙基等。
当R 1表示取代或未取代的烷基时，最优选地，其选自甲基、乙基、丙基、正丁基、己基、异戊基、环己基、2-氯乙基、4-氯丁基、2-氯叔丁基、5-溴戊基、甲氧基甲基、乙氧基甲基、丁氧基甲基、(2-丁氧基乙氧基)甲基。
当R 1表示取代或未取代的芳基时，适宜地，其表示取代或未取代的C 6～C 24芳基、(C 6～C 24)芳基(C 1～C 20)烷基、(C 1～C 12)烷基(C 6～C 24)芳基、(C 6～C 24)芳氧基(C 1～C 20)烷基；优选地，表示 取代或未取代的C 6～C 20芳基、(C 6～C 20)芳基(C 1～C 12)烷基、(C 1～C 8)烷基(C 6～C 20)芳基、(C 6～C 20)芳氧基(C 1～C 12)烷基；进一步优选地，表示取代或未取代的C 6～C 18芳基、(C 6～C 18)芳基(C 1～C 10)烷基、(C 1～C 6)烷基(C 6～C 18)芳基、(C 6～C 18)芳氧基(C 1～C 8)烷基；特别优选地，表示取代或未取代的C 6～C 10芳基、(C 6～C 10)芳基(C 1～C 6)烷基、(C 1～C 4)烷基(C 6～C 10)芳基、(C 6～C 10)芳氧基(C 1～C 4)烷基；最优选地，表示取代或未取代的苯基、1-萘基、2-萘基、1-蒽基、苯基(C 1～C 6)烷基、苯氧基(C 1～C 4)烷基。
具体但非限制性地，所述的苯基(C 1～C 6)烷基可例举出苯基甲基、1-苯基乙基、2-苯基乙基、3-苯基丙基、4-苯基丁基、5-苯基戊基；所述的苯氧基(C 1～C 4)烷基可举出苯氧基甲基、1-苯氧基乙基、2-苯氧基乙基、3-苯氧基丙基、4-苯氧基丁基等。
当表示取代的芳基时，其中的取代基可例举出C 1～C 4的直链状或支链状的烷基、C 1～C 4的直链状或支链状的烷氧基、卤原子、氰基或者硝基。
当R 1表示取代或未取代的芳基时，最优选地，其选自苯基、邻甲苯基、间甲苯基、对甲苯基、氯甲苯基、3,5-二甲基苯基、4-氰基苯基、4-硝基苯基、4-甲氧基苯甲基、苯基甲基、1-苯基乙基、氯苯基甲基、3-苯基丙基、硝基苯基甲基、苯氧基甲基、1-苯氧基乙基、氯苯氧基甲基、硝基苯氧基甲基、1-萘基、或2-乙氧基-1-萘基。
当R 1表示取代或未取代的杂环基时，适宜地，所述的杂环基表示具有氮原子、氧原子、硫原子的C 4～C 24、优选C 4～C 18、进一步优 选C 4～C 14、特别优选C 4～C 10的芳香族或脂环族的杂环基。
作为上述杂环基的具体实例，可以例举出噻吩基、噻吩-2-甲基、吡啶基、2-呋喃基、喹啉基、吡喃基、咪唑基、哌啶基、吗啉基、噻吨基、吲哚基等。
最优选地，所述的杂环基选自噻吩基、噻吩-2-甲基、吡啶基、2-呋喃基、喹啉基。
如上所述，R 2可相同，也可不同，各自独立地表示氢、卤素、取代或未取代的烷基、芳基或链烯基。
当R 2表示取代或未取代的烷基时，适宜地，其可选自以下基团：C 1～C 30、优选C 1～C 22的直链状、支链状、单环状或缩合多环状烷基，C 1～C 20、优选C 1～C 10、进一步优选C 1～C 6的直链状或支链状的卤代烷基，C 1～C 20、优选C 1～C 10、进一步优选C 1～C 6的直链状或支链状的羟基取代烷基，C 2～C 40、优选C 2～C 20、进一步优选C 2～C 10的直链状或支链状的羟基烷氧基取代烷基，被1个以上的醚键或硫醚键中断的C 2～C 20、优选C 2～C 15、进一步优选C 2～C 7的直链状或支链状的烷基。
作为上述烷基的具体实例，可以例举出甲基、乙基、丙基、正丁基、戊基、己基、庚基、辛基、壬基、癸基、十一烷基、十二烷基、十三烷基、十四烷基、十五烷基、十六烷基、十七烷基、十八烷基、二十烷基、二十二烷基、异丙基、异丁基、异戊基、仲丁基、叔丁基、仲戊基、叔戊基、叔辛基、新戊基、环丙基、环丁基、环戊基、环己基、金刚烷基、降冰片基、冰片基、2-氯乙基、4-氯丁基、2-氯叔丁基、5-溴戊基、3-氯-2-甲基丙基、3-氯丙基、4-氯丁基、5-氯戊基、 6-氯己基、羟甲基、羟乙基、羟基正丙基、羟基正丁基、羟基异丁基、羟基正戊基、羟基异戊基、羟基正己基、羟基异己基、羟基甲氧基甲基、羟基甲氧基乙基、羟基甲氧基丙基、羟基甲氧基丁基、羟基乙氧基甲基、羟基乙氧基丁基、羟基乙氧基戊基、羟基乙氧基己基、甲氧基甲基、乙氧基甲基、丁氧基甲基、(2-丁氧基乙氧基)甲基、乙氧基乙基、甲氧基-乙氧基-乙基、乙氧基丙基、甲氧基乙基、甲氧基丙基、甲氧基丙氧基丙基、乙氧基异丙基等。
当R 2表示取代或未取代的烷基时，最优选地，选自正丁基、戊基、己基、十四烷基、二十二烷基、4-氯丁基、5-氯戊基、6-氯己基、甲氧基乙基、乙氧基乙基。
当R 2表示取代或未取代的芳基时，适宜地，其表示取代或未取代的C 6～C 24芳基、(C 6～C 24)芳基(C 1～C 20)烷基、(C 6～C 24)芳氧基(C 1～C 20)烷基；优选取代或未取代的C 6～C 20芳基、(C 6～C 20)芳基(C 1～C 12)烷基、(C 6～C 20)芳氧基(C 1～C 12)烷基；进一步优选取代或未取代的C 6～C 18芳基、(C 6～C 18)芳基(C 1～C 10)烷基、(C 6～C 18)芳氧基(C 1～C 8)烷基；特别优选取代或未取代的C 6～C 10芳基、(C 6～C 10)芳基(C 1～C 10)烷基、(C 6～C 10)芳氧基(C 1～C 6)烷基。
作为上述芳基的具体实例，可以例举出苯基、苯基甲基、1-苯基乙基、氯苯基甲基、1-苯基丙基、1-苯基戊基、硝基苯基甲基、苯氧基甲基、1-苯氧基乙基、氯苯氧基甲基、硝基苯氧基甲基、1-萘基、或2-乙氧基-1-萘基。
当R 2表示取代或未取代的链烯基时，其优选C 2～C 18、进一步优 选C 2～C 12、特别优选C 2～C 6的直链状、支链状、单环状或缩合多环状链烯基。
作为上述链烯基的具体实例，可以例举出乙烯基、1-丙烯基、烯丙基、2-丁烯基、3-丁烯基、异丙烯基、异丁烯基、1-戊烯基、2-戊烯基、3-戊烯基、4-戊烯基、1-己烯基、2-己烯基、3-己烯基、4-己烯基、5-己烯基、环戊烯基、环己烯基、1,3-丁二烯基、环己二烯基、环戊二烯基等。
当R 2表示取代或未取代的链烯基时，最优选地，其选自烯丙基、3-丁烯基、4-戊烯基、5-己烯基。
如上所述，R 3表示H、硝基、氰基、羟基、卤素、取代或未取代的烷基、酰基、杂环基或烷氧基。
非限制性地，R 3可选自H、硝基、氰基、羟基、氟、氯、溴。
当R 3表示取代或未取代的烷基时，适宜地，其可选自以下基团：C 1～C 30、优选C 1～C 20、进一步优选C 1～C 10的直链状、支链状、单环状或缩合多环状烷基，C 1～C 20、优选C 1～C 10、进一步优选C 1～C 6的直链状或支链状的卤代烷基，C 1～C 20、优选C 1～C 10、进一步优选C 1～C 6的直链状或支链状的羟基取代烷基，C 2～C 40、优选C 2～C 20、进一步优选C 2～C 10的直链状或支链状的羟基烷氧基取代烷基，被1个以上的醚键或硫醚键中断的C 2～C 20、优选C 2～C 15、进一步优选C 2～C 7的直链状或支链状的烷基。
作为上述烷基的具体实例，可以例举出甲基、乙基、丙基、正丁基、戊基、己基、庚基、辛基、壬基、癸基、十一烷基、十二烷基、 十三烷基、十四烷基、十五烷基、十六烷基、十七烷基、十八烷基、二十烷基、二十二烷基、异丙基、异丁基、异戊基、仲丁基、叔丁基、仲戊基、叔戊基、叔辛基、新戊基、环丙基、环丁基、环戊基、环己基、金刚烷基、降冰片基、冰片基、2-氯乙基、4-氯丁基、2-氯叔丁基、5-溴戊基、3-氯-2-甲基丙基、3-氯丙基、4-氯丁基、5-氯戊基、6-氯己基、羟甲基、羟乙基、羟基正丙基、羟基正丁基、羟基异丁基、羟基正戊基、羟基异戊基、羟基正己基、羟基异己基、羟基甲氧基甲基、羟基甲氧基乙基、羟基甲氧基丙基、羟基甲氧基丁基、羟基乙氧基甲基、羟基乙氧基丁基、羟基乙氧基戊基、羟基乙氧基己基、甲氧基甲基、乙氧基甲基、丁氧基甲基、(2-丁氧基乙氧基)甲基、乙氧基乙基、甲氧基-乙氧基-乙基、乙氧基丙基、甲氧基乙基、甲氧基丙基、甲氧基丙氧基丙基、乙氧基异丙基等。
当R 3表示取代或未取代的酰基时，其优选C 2～C 20的直链状、支链状、单环状或缩合多环状脂肪族酰基，具有被卤原子取代的C 1～C 10支链状或直链状酰基，C 6～C 18的单环状或缩合多环状芳基酰基，具有被卤原子取代的C 6～C 18的单环状或缩合多环状芳基酰基，C 1～C 12烷基C 6～C 18单环状或缩合多环状芳基酰基，C 1～C 20烷氧基C 6～C 18的单环状或缩合多环状芳基酰基，含有氮原子、氧原子、硫原子的C 4～C 18的单环状或缩合多环状杂环基酰基；进一步优选C 2～C 12的直链状、支链状、单环状或缩合多环状脂肪族酰基，具有被卤原子取代的C 1～C 6支链状或直链状酰基，C 6～C 14的单环状或缩合多环状芳基酰基，具有被卤原子取代的C 6～C 14的单环状或缩合多环状芳基酰基，C 1～C 8烷基 C 6～C 14单环状或缩合多环状芳基酰基，C 1～C 10烷氧基C 6～C 14的单环状或缩合多环状芳基酰基，含有氮原子、氧原子、硫原子的C 4～C 14的单环状或缩合多环状杂环基酰基；特别优选C 2～C 7的直链状、支链状、单环状或缩合多环状脂肪族酰基，具有被卤原子取代的C 1～C 4支链状或直链状酰基，C 6～C 10的单环状或缩合多环状芳基酰基，具有被卤原子取代的C 6～C 10的单环状或缩合多环状芳基酰基，C 1～C 4烷基C 6～C 10单环状或缩合多环状芳基酰基，C 1～C 4烷氧基C 6～C 10的单环状或缩合多环状芳基酰基，含有氮原子、氧原子、硫原子的C 4～C 10的单环状或缩合多环状杂环基酰基。
作为上述酰基的具体实例，可以例举出乙酰基、丙酰基、丁酰基、异丁酰基、戊酰基、异戊酰基、新戊酰基、环戊酰基、环己酰基、三氟甲酰基、苯甲酰基、1-萘甲酰基、2-萘甲酰基、2-氯苯甲酰基、3-氯苯甲酰基、3-三氟苯甲酰基、4-氟苯甲酰基、甲苯甲酰基、2-甲基苯甲酰基、2-甲氧基苯甲酰基、4-甲氧基苯甲酰基、2-丁氧基苯基酰基、2-噻吩甲酰基、烟酰基、异烟酰基等。
当R 3表示取代或未取代的酰基时，最优选地，其选自乙酰基、丙酰基、丁酰基、苯甲酰基、甲苯酰基、2-噻吩甲酰基。
当R 3表示取代或未取代的杂环基时，适宜地，其表示具有氮原子、氧原子、硫原子的C 4～C 24、优选C 4～C 18、进一步优选C 4～C 14、特别优选C 4～C 10的芳香族或脂环族的杂环基。
作为上述杂环基的具体实例，可以例举出噻吩基、噻吩-2-甲基、吡啶基、2-呋喃基、喹啉基、吡喃基、咪唑基、哌啶基、吗啉基、噻 吨基、吲哚基等。
当R 3表示取代或未取代的杂环基时，最优选地，其选自噻吩基、吡啶基、2-呋喃基、吗啉基。
当R 3表示取代或未取代的烷氧基时，其优选C 1～C 20、进一步优选C 1～C 10、特别优选C 1～C 6的直链状、支链状、单环状或缩合多环状烷氧基。
作为上述烷氧基的具体实例，可以例举出甲氧基、乙氧基、丙氧基、丁氧基、戊氧基、己氧基、庚氧基、辛氧基、壬氧基、十二烷氧基、十八烷氧基、异丙氧基、异丁氧基、异戊氧基、仲丁氧基、叔丁氧基、仲戊氧基、叔戊氧基、叔辛氧基、新戊氧基、环丙氧基、环丁氧基、环戊氧基、环己氧基、金刚烷氧基等。
当R 3表示取代或未取代的烷氧基时，最优选地，其选自甲氧基、乙氧基、丙氧基、环丙氧基、环丁氧基、环戊氧基、环己氧基。
当R 3表示
Figure PCTCN2020106504-appb-000004
时，R 4选自C 1-C 20的直链或支链烷基、C 3-C 20的环烷基、C 4-C 20的环烷基烷基、C 4-C 20的烷基环烷基、C 6-C 20的芳基、C 4-C 20的杂芳基、含O、N或S杂原子和双键的C 3-C 5杂环基或者以该杂环基为封端的C 1-C 6烷基；优选是C 1-C 10的直链或支链烷基、C 3-C 10的环烷基、C 4-C 10的环烷基烷基、C 4-C 10的烷基环烷基、C 6-C 10的芳基、含O、N或S杂原子和双键的C 3-C 5杂环基或者以该杂环基为封端的C 1-C 6烷基；更为优选地，R 4选自C 2-C 6的直链或支链烷基、C 3-C 8的环烷基、C 4-C 10的环烷基烷基、C 4-C 10的烷基环烷基、 苯基(其中的一个或多个H可任选地被C 1-C 4烷基、烷氧基或含氟原子的烷氧基所取代)、C 7-C 10的苯基烷基(苯基中的一个或多个H可任选地被C 1-C 4烷基、烷氧基或含氟原子的烷氧基所取代)、噻吩基、以噻吩基封端的C 1-C 4烷基。
当R 3表示
Figure PCTCN2020106504-appb-000005
时，最优选地，R 4为甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、环己基、环戊基乙基、环戊基甲基、环己基甲基、环己基乙基、苯基或邻甲基苯基。
作为本发明的芴肟酯类化合物，特别优选地，在上述A、B、C、D或E所示的化学结构中：
R 1选自C 1～C 10的直链状、支链状、单环状或缩合多环状烷基，C 2～C 5的直链状或支链状的卤代烷基，被1个以上的醚键或硫醚键中断的C 2～C 7的直链状或支链状的烷基，苯基，被取代的苯基，1-萘基，被取代的萘基，2-萘基，1-蒽基，苯基(C 1～C 6)烷基、苯氧基(C 1～C 4)烷基，具有氮原子、氧原子、硫原子的C 4～C 10的芳香族或脂环族的杂环基；
R 2各自独立地选自C 1～C 22的直链状、支链状、单环状或缩合多环状烷基，C 1～C 6的直链状或支链状的卤代烷基，C 1～C 6的直链状或支链状的羟基取代烷基，C 2～C 10的直链状或支链状的羟基烷氧基取代烷基，被1个以上的醚键或硫醚键中断的C 2～C 7的直链状或支链状的烷基，C 2～C 6的直链状、支链状或单环状链烯基，取代或未取代的C 6～C 10芳基、(C 6～C 10)芳基(C 1～C 10)烷基、(C 6～C 10)芳氧基(C 1～C 6) 烷基；
R 3选自H、硝基、氰基、羟基、溴，C 2～C 7的直链状、支链状、单环状或缩合多环状脂肪族酰基，具有被卤原子取代的C 1～C 4支链状或直链状酰基，C 6～C 10的单环状或缩合多环状芳基酰基，具有被卤原子取代的C 6～C 10的单环状或缩合多环状芳基酰基，C 1～C 4烷基C 6～C 10单环状或缩合多环状芳基酰基，C 1～C 4烷氧基C 6～C 10的单环状或缩合多环状芳基酰基，含有氮原子、氧原子、硫原子的C 4～C 10的单环状或缩合多环状杂环基酰基，具有氮原子、氧原子、硫原子的C 4～C 10芳香族或脂环族的杂环基，和C 1～C 6直链状、支链状、单环状、缩合多环状烷氧基或
Figure PCTCN2020106504-appb-000006
其中，R 4选自C 2-C 6的直链或支链烷基、C 3-C 8的环烷基、C 4-C 10的环烷基烷基、C 4-C 10的烷基环烷基、苯基(其中的一个或多个H可任选地被C 1-C 4烷基、烷氧基或含氟原子的烷氧基所取代)、C 7-C 10的苯基烷基(苯基中的一个或多个H可任选地被C 1-C 4烷基、烷氧基或含氟原子的烷氧基所取代)、噻吩基、以噻吩基封端的C 1-C 4烷基。
更进一步地，作为本发明的芴肟酯类化合物，在上述A、B、C、D或E所示的化学结构中：
R 1选自甲基、乙基、正丁基、2-乙基己基、异戊基、环己基、2-氯乙基、4-氯丁基、2-氯叔丁基、5-溴戊基、甲氧基甲基、乙氧基甲基、丁氧基甲基、(2-丁氧基乙氧基)甲基、苯基、邻甲苯基、间甲苯基、对甲苯基、氯甲苯基、3,5-二甲基苯基、4-氰基苯基、4-硝基 苯基、4-甲氧基苯甲基、苯基甲基、1-苯基乙基、氯苯基甲基、3-苯基丙基、5-苯基戊基、硝基苯基甲基、苯氧基甲基、1-苯氧基乙基、氯苯氧基甲基、硝基苯氧基甲基、1-萘基、苄基或2-乙氧基-1-萘基、噻吩基、噻吩-2-甲基、吡啶基、2-呋喃基、喹啉基；
R 2各自独立地选自正丁基、戊基、己基、十四烷基、二十二烷基、4-氯丁基、5-氯戊基、6-氯己基、甲氧基乙基、乙氧基乙基、1-苯基丙基、1-苯基戊基、烯丙基、3-丁烯基、4-戊烯基、5-己烯基；
R 3选自H、硝基、氰基、羟基、氟、氯、溴、乙酰基、丙酰基、丁酰基、苯甲酰基、甲苯酰基、2-噻吩甲酰基、噻吩基、吡啶基、2-呋喃基、吗啉基、甲氧基、乙氧基、丙氧基、环丙氧基、环丁氧基、环戊氧基、环己氧基或
Figure PCTCN2020106504-appb-000007
其中R 4为甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、环己基、环戊基乙基、环戊基甲基、环己基甲基、环己基乙基、苯基或邻甲基苯基。
作为优选基团，在化学结构A、B、C、D和E中的R 1’如上文所述，具有与上述R 1相同的定义。两者各自独立，可相同，也可不同。
代表性地，本发明的芴肟酯类化合物包括以下化合物：
Figure PCTCN2020106504-appb-000008
Figure PCTCN2020106504-appb-000009
Figure PCTCN2020106504-appb-000010
Figure PCTCN2020106504-appb-000011
Figure PCTCN2020106504-appb-000012
Figure PCTCN2020106504-appb-000013
Figure PCTCN2020106504-appb-000014
Figure PCTCN2020106504-appb-000015
Figure PCTCN2020106504-appb-000016
Figure PCTCN2020106504-appb-000017
本发明的第二个方面是提供上述芴肟酯类化合物的制备方法。
由化学式A表示的芴肟酯类化合物可以通过如下所示的方案1制备：
[方案1]
Figure PCTCN2020106504-appb-000018
其中，R 1、R 2及R 3的定义如前文所述，X 1为溴、碘或氯。
步骤(1)中，使用的碱为无机碱或有机碱，具体可例举出：氢氧化钠、氢氧化钾、氢氧化锂、碳酸氢钠、碳酸氢钾、碳酸钠、碳酸钾、三乙胺、二异丙基乙基胺、吡啶、哌啶、丁基锂、叔丁醇钾、叔 丁醇钠、甲醇钠或乙醇钠等，优选丁基锂、叔丁醇钾、叔丁醇钠、甲醇钠或乙醇钠。
原料R 2-X 1可例举出：溴丁烷、溴戊烷、溴己烷、溴代十四烷、溴代二十二烷、4-氯丁基溴、5-氯戊基溴、6-氯己基溴、溴乙基甲基醚、溴乙基乙基醚、苯基丙基溴、苯基戊基溴、烯丙基溴、3-丁烯基溴、4-戊烯基溴或5-己烯基溴等。
步骤(2)中，使用的催化剂为AlCl 3、H 2SO 4、AlBr 3、BF 3、GaCl 3、FeCl 3、SbCl 5、ZrCl 4、SnCl 4、BCl 3、SbCl 3等，优选AlCl 3。使用的酰化试剂为卤代酰卤，如2-氯丙酰氯、2-溴丙酰溴等。
典型地，在冰水浴和催化剂存在条件下，氮气氛围中，步骤(1)的产物与卤代酰卤进行环化反应。
步骤(3)中，步骤(2)的产物在碱性或酸性条件下与亚硝酸或亚硝酸烷基酯发生肟化反应，生成肟化合物。其中，所述的亚硝酸烷基酯为亚硝酸甲酯、亚硝酸乙酯、亚硝酸异丙酯、亚硝酸丁酯或亚硝酸异戊酯。
步骤(3)的反应温度控制在-15～50℃，优选0～25℃。
步骤(4)中，肟化合物与酰化试剂在碱存在下在惰性溶剂中发生酯化反应，生成本发明所述的芴肟酯类化合物。
步骤(4)中，所述的酰化试剂可选自：环己甲酰氯、2-丙基戊酰氯、3,5,5-三甲基己酰氯、3-氯丙酰氯、5-氯戊酰氯、3-氯特戊酰氯、6-溴己酰氯、甲氧基乙酰氯、乙氧基乙酰氯、丁氧基乙酰氯、3-(甲硫基)丙酰氯、(2-丁氧基乙氧基)乙酰氯、苯甲酰氯、甲苯酰氯、 3,5-二甲基苯甲酰氯、4-甲氧基苯甲酰氯、4-氰基苯甲酰氯、4-硝基苯甲酰氯、4-苯基苯甲酰氯、氯苯甲酰氯、苯基乙酰氯、苯基丙酰氯、氯苯基乙酰氯、4-苯基丁酰氯、6-苯基己酰氯、硝基苯基乙酰氯、苯氧基乙酰氯、苯氧基丙酰氯、氯苯氧基乙酰氯、硝基苯氧基乙酰氯、2-噻吩甲酰氯、噻吩-2-乙酰氯、氯烟酰氯、2-呋喃甲酰氯、喹啉甲酰氯、萘甲酰氯、2-乙氧基-1-萘甲酰氯、蒽甲酰氯等酰卤化物，或乙酸酐、丙酸酐、癸酸酐、硬脂酸酐、异丁酸酐、叔戊酸酐、4-甲氧基苯基乙酸酐等酸酐。所述的惰性溶剂为二乙基醚、乙腈、叔丁基甲基醚、四氢呋喃、乙酸乙烯酯、甲苯、二甲苯、丙酮、甲乙酮、二氯甲烷、氯仿、氯苯、二甲基乙酰胺、二甲基甲酰胺等。所述的碱为三乙胺、吡啶、二异丙基乙基胺、氢氧化钾、氢氧化钠或氢化纳等。
步骤(4)的反应温度控制在-10～60℃，优选0～25℃。
n是1、2、3或4。
由化学式B表示的芴肟酯类化合物可以通过如下所示的方案2制备：
[方案2]
Figure PCTCN2020106504-appb-000019
如上反应式所示，作为起始物质的羧酸反应物经Friedel-Crafts环化反应生成芴并环戊酮，然后在碱性或酸性条件下与亚硝酸或亚硝酸烷基酯发生肟化反应生成肟化合物，接着肟化合物与酰化试剂在碱存在下在惰性溶剂中发生酯化反应，生成本发明的芴肟酯类化合物。
步骤(1)中，所述的酰化试剂优选二酰卤，如草酰氯等。所述的催化剂为AlCl 3、H 2SO 4、AlBr 3、BF 3、GaCl 3、FeCl 3、SbCl 5、ZrCl 4、SnCl 4、BCl 3、SbCl 3等，优选AlCl 3。
步骤(2)中，所述的亚硝酸烷基酯为亚硝酸甲酯、亚硝酸乙酯、亚硝酸异丙酯、亚硝酸丁酯或亚硝酸异戊酯。步骤(2)的反应温度控制在-15～50℃，优选0～25℃。
步骤(3)中，所述的酰化试剂、惰性溶剂和碱具有与方案1的步骤(4)中所述相同的含义。
n是1、2、3或4。
在方案2中，作为起始物质的羧酸反应物可商购获得，或者可以依照以下所示的反应流程图来合成(但并不局限于该方法)。
Figure PCTCN2020106504-appb-000020
具体地，利用2-卤代芴经Heck反应，随后在雷尼镍催化下进行还原反应，得到2-丙酸甲酯芴，接着，2-丙酸甲酯芴在碱性条件下于醇溶液中水解，生成作为起始物质的羧酸反应物。
由化学式C表示的芴肟酯类化合物可以通过如下所示的方案3制备：
[方案3]
Figure PCTCN2020106504-appb-000021
其制备方法与方案2类似，可参照执行。
n、m分别是0、1、2、3或4，两者可相同，也可不同，其中n、m至少一个不为零。
在方案3中，作为起始物质的二羧酸反应物可以依照以下所示的反应流程图来合成，然而并不局限于该方法。
Figure PCTCN2020106504-appb-000022
具体制备方法与方案2中制备作为起始物质的羧酸反应物类似，对本领域技术人员而言是容易确定的，在此不做赘述。
由化学式D表示的芴肟酯类化合物可以通过如下所示的方案4 制备：
[方案4]
Figure PCTCN2020106504-appb-000023
其制备方法与方案2类似，可参照执行。
n、m分别是0、1、2、3或4，两者可相同，也可不同，其中n、m至少一个不为零。
在方案4中，作为起始物质的二羧酸反应物可以依照以下所示的反应流程图来合成，然而并不局限于该方法。
Figure PCTCN2020106504-appb-000024
具体制备方法与方案2中制备作为起始物质的羧酸反应物类似，对本领域技术人员而言是容易确定的，在此不做赘述。
由化学式E表示的芴肟酯类化合物可以通过如下所示的方案5制备：
[方案5]
Figure PCTCN2020106504-appb-000025
其制备方法与方案2类似，可参照执行。
n、m分别是0、1、2、3或4，两者可相同，也可不同，其中n、m至少一个不为零。
在方案5中，作为起始物质的二羧酸反应物可以依照以下所示的反应流程图来合成，然而并不局限于该方法。
Figure PCTCN2020106504-appb-000026
具体制备方法与方案2中制备作为起始物质的羧酸反应物类似，对本领域技术人员而言是容易确定的，在此不做赘述。
本发明的第三个方面是提供一种光引发剂，含有化学式A、B、C、D和/或E所示的化合物。
优选地，本发明的上述光引发剂，由化学式A、B、C、D和/或E所示的化合物组成。
本发明的第四个方面是提供一种感光性树脂组合物，包括：
(a)光引发剂；
(b)碱溶性树脂；
(c)丙烯酸酯单体；
其中，所述的光引发剂为化学式A、B、C、D和/或E所示的芴肟酯类化合物。
从组合物的感光度及曝光后产生的效果如耐热性、耐溶剂性等各方面考虑，碱溶性树脂(b)优选(甲基)丙烯酸酯类共聚物。
具体地，碱溶性树脂(b)可举例出：(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸甲酯共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸苄酯共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸-2-羟基乙酯/(甲基)丙烯酸苄酯共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸甲酯/聚苯乙烯大分子单体共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸甲酯/聚甲基丙烯酸甲酯大分子单体共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸苄酯/聚苯乙烯大分子单体共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸苄酯/聚甲基丙烯酸甲酯大分子单体共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸-2-羟基乙酯/(甲基)丙烯酸苄酯/聚苯乙烯大分子单体共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸-2-羟基乙酯/(甲基)丙烯酸苄酯/聚甲基丙烯酸甲酯大分子单体共聚物、甲基丙烯酸/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苄酯/N-苯基马来酰亚胺共聚物、(甲基)丙烯酸/琥珀酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苄酯/N-苯基马来酰亚胺共聚物、(甲基)丙烯酸/琥珀酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]/苯乙烯/(甲基)丙烯酸烯丙酯/N-苯基马来酰亚胺共聚物、(甲基)丙烯酸/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苄酯/甘油单(甲基)丙烯酸酯/N-苯基马来酰亚胺 共聚物、(甲基)丙烯酸/ω-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苄酯/甘油单(甲基)丙烯酸酯/N-苯基马来酰亚胺共聚物等含羧基共聚物分子。
碱可溶性树脂(b)可以单独使用，也可以混合2种以上使用。
组分(c)所述的丙烯酸酯单体可以是单官能、双官能、或多官能的丙烯酸酯。
作为单官能的丙烯酸酯，可例举出：丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸丙酯、丙烯酸异丙酯、丙烯酸丁酯、丙烯酸异戊酯、丙烯酸己酯、丙烯酸-2-乙基己酯、丙烯酸辛酯、丙烯酸癸酯、丙烯酸十二烷酯、丙烯酸十八烷酯、丙烯酸异冰片酯、丙烯酸环己酯、丙烯酸苄酯、丙烯酸-2-羟基乙酯、丙烯酸-2-羟基丙酯、丙烯酸-2-羟基-3-氯丙酯、丙烯酸-2-羟基-3-苯氧基丙酯、丙烯酸-2，2，2-三氟乙酯、丙烯酸-β-羧基乙酯、ω-羧基聚己内酯单丙烯酸酯等。
作为双官能的丙烯酸酯，可例举出：丙烯酸二环戊烯酯、新戊二醇二丙烯酸酯、三乙二醇二丙烯酸酯、四乙二醇二丙烯酸酯、双酚A二丙烯酸酯、EO改性双酚A二丙烯酸酯、PO改性双酚A二丙烯酸酯、氢化双酚A二丙烯酸酯、EO改性氢化双酚A二丙烯酸酯、PO改性氢化双酚A二丙烯酸酯、双酚F二丙烯酸酯、EO改性双酚F二丙烯酸酯、PO改性双酚F二丙烯酸酯、EO改性四溴双酚A二丙烯酸酯、三环癸烷二羟甲基二丙烯酸酯等。
作为多官能的丙烯酸酯，可例举出：甘油PO改性三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇四丙烯 酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯单丙酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、四羟甲基甲烷四丙烯酸酯等；还有上述丙烯酸酯的乙氧基化或丙氧基化产物，如丙烯酸二环戊烯基氧乙酯、丙烯酸-2-羟基-3-烯丙氧基丙酯、2-丙烯酰氧基乙基-2-羟基丙基邻苯二甲酸酯、1，3-丁二醇甲基醚丙烯酸酯、丙烯酸丁氧基乙酯、琥珀酸单丙烯酰氧基乙酯、三甲基甲硅烷氧基乙基丙烯酸酯或二苯基-2-丙烯酰氧基乙基磷酸酯等。
本发明的上述感光性树脂组合物可进一步包括颜料，例如炭黑、C.I.颜料黄3、C.I.颜料红7、C.I.颜料蓝15、C.I.颜料绿7等无机或有机颜料。
本发明的上述感光性树脂组合物还可包括溶剂。对适用溶剂的种类没有特别限制，只要能够有效地溶解组合物的其他组分即可。示例性地，所述的溶剂可以是感光性树脂组合物中常用的那些类别，如醚类、芳香烃类、酮类、醇类、酯类或酰胺类。
作为醚类溶剂，包括：乙二醇单烷基醚，如乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇单丙醚或乙二醇单丁醚；二乙二醇二烷基醚，如二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇二丙醚、二乙二醇二丁醚等；亚烷基二醇烷基醚乙酸酯，如丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单乙醚乙酸酯、丙二醇单丙醚乙酸酯、甲氧基丁基乙酸酯、甲氧基戊基乙酸酯等。
作为芳香烃类溶剂，包括苯、甲苯、二甲苯等。
作为酮类溶剂，包括甲基乙基酮、丙酮、甲基戊基酮、甲基异丁基酮、环己酮等。
作为醇类溶剂，包括乙醇、丙醇、丁醇、己醇、环己醇、乙二醇、丙三醇等。
作为酯类溶剂，包括乳酸乙酯、乳酸丁酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯等。
就溶剂的干燥和涂布性而言，优选沸点100～200℃的有机溶剂，如丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单乙醚乙酸酯、环己酮、乳酸乙酯、乳酸丁酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯。
上述溶剂可单独使用，也可以两种或两种以上组合使用。
本发明的感光性树脂组合物还可进一步包括增感剂、表面活性剂等。
本发明的感光性树脂组合物可被用于彩色光阻(RGB)、黑色矩阵(BM)、光间隔物(photo-spacer)、半导体光刻胶、油墨等方面。
本发明的上述光引发剂使用时能够避免曝光引起的分解物附着于掩模上，感光性树脂组合物经曝光显影后形成的图案具有良好的图案效果、附着性和耐碱性，并且由于其吸收紫外光后几乎无色，可被用于需要透明性的光学图像显示装置。
具体实施方式
以下将结合具体实施例对本发明作进一步详细说明，但不应将其理解为对本发明保护范围的限制。
制备实施例
实施例1 化合物A-1的制备
Figure PCTCN2020106504-appb-000027
<步骤1>中间体A-1-1的制备
Figure PCTCN2020106504-appb-000028
向2000mL圆底烧瓶中加入2-硝基-9H-芴(63.3g，0.3mol)、叔丁醇钾(77.3g，0.7mol)和二甲基亚砜(500mL)，氮气氛围下向其中缓慢滴加溴丁烷(95.6g，0.7mol)，滴加完毕后在室温下搅拌反应。待反应完全后加入1500mL蒸馏水淬灭，用乙酸乙酯萃取，有机相用无水硫酸镁干燥，减压蒸馏除去有机溶剂，使用硅胶柱色谱用乙酸乙酯：石油醚＝1:4纯化，干燥，得70.3g中间体A-1-1，收率72.5％。
<步骤2>中间体A-1-2的制备
Figure PCTCN2020106504-appb-000029
向2000mL圆底烧瓶中加入中间体A-1-1(32.3g，0.1mol)、二硫化碳(1000mL)，在氮气氛围下，加入2-溴丙酰溴(21.6g，0.1mol)， 搅拌溶解后用冰水浴冷却，保持氮气氛围下，分批滴加三氯化铝(33.3g，0.25mol)，2h滴加完毕，然后将混合液在室温下搅拌8h。反应完全后加入500mL蒸馏水淬灭，然后用500mL蒸馏水洗涤3次，静置分层，将有机相用无水硫酸镁干燥，减压蒸馏除去有机溶剂，得到35.2g油状物中间体A-1-2，收率93.2％。
<步骤3>中间体A-1-3的制备
Figure PCTCN2020106504-appb-000030
向2000mL圆底烧瓶中加入中间体A-1-2(60.0g，0.16mol)和四氢呋喃(THF，1000mL)，控制温度在5℃以下，加入300mL浓盐酸，在氮气氛围下，滴加亚硝酸异戊酯(22.5g,0.19mol)，滴加完毕后，继续在5℃下反应4h。向反应液中加入500mL氯化钠水溶液，用500mL乙酸乙酯萃取，对有机相进行水洗(300mL×3次)，用无水硫酸镁干燥，过滤，浓缩，用二氯甲烷石油醚进行重结晶，得到42.0g中间体A-1-3，收率64.6％。
<步骤4>化合物A-1的制备
Figure PCTCN2020106504-appb-000031
向2000mL圆底烧瓶中加入中间体A-1-3(40.6g，0.1mol)和二氯甲烷(1000mL)、氢氧化钠(5.2g,0.13mol)，控制温度在20～25℃ 下滴加乙酸酐(12.2g，0.12mol)，滴加完毕后保温反应5h。随后，向反应液中加入500mL冰水，静置分层，用二氯甲烷萃取，有机相进行水洗(300mL×2次)，用无水硫酸钠干燥，过滤，浓缩，用乙酸乙酯-正己烷进行重结晶，得到36.8g化合物A-1，收率82.1％。
产物的结构表征数据如下。
1H NMR(500MHz,CDCl 3)：δ8.51-8.50(m,1H),8.25-8.22(m,1H),8.17-8.15(m,2H),8.09(s,1H),3.52(s,2H),2.23(s,3H),1.96-1.91(m,4H),1.35-1.24(m,8H),0.91-0.87(m,6H).
实施例2 化合物A-17的制备
Figure PCTCN2020106504-appb-000032
按照与上述实施例1中相同的方法合成中间体A-1-3。
<化合物A-17的制备>
Figure PCTCN2020106504-appb-000033
向2000mL圆底烧瓶中加入中间体A-1-3(40.6g，0.1mol)、二氯甲烷(1000mL)、三乙胺(20.2g，0.2mol)，在氮气保护下，控制温度在-5～0℃滴加萘甲酰氯(38.2g，0.2mol)，滴加完毕后保温反应5h。随后，向反应液中加入500mL饱和碳酸氢钠水溶液，用二氯甲烷萃取，有机相依次用饱和碳酸氢钠水溶液、饱和食盐水溶液进行 洗涤，加入无水硫酸钠干燥，过滤，浓缩，用硅胶柱纯化，得到49.9g化合物A-17，收率89.0％。
产物的结构表征数据如下。
1H NMR(500MHz,CDCl 3)：δ9.01-8.98(m,1H),8.60-8.47(m,2H),8.26-8.07(m,6H),7.94-7.86(m,2H),7.59-7.52(m,1H),3.50(s,2H),1.98-1.91(m,4H),1.40-1.15(m,8H),0.92-0.86(m,6H).
实施例3 其他化合物的制备
参照实施例1和2的方法，更换相应原料，合成如下表1中所示的其他式A化合物。
表1
Figure PCTCN2020106504-appb-000034
Figure PCTCN2020106504-appb-000035
Figure PCTCN2020106504-appb-000036
Figure PCTCN2020106504-appb-000037
实施例4 化合物B-1的制备
Figure PCTCN2020106504-appb-000038
<步骤1>中间体B-1-4的制备
Figure PCTCN2020106504-appb-000039
在2000mL圆底烧瓶中加入B-1-1(67.8，0.15mol)、碳酸钠(23.9g，0.23mol)、醋酸钯(0.675g，3.0mmol)、PPh 3(0.79g，3mmol)和丙烯酸甲酯(25.8g，0.3mol)。在氮气保护下，加入干燥的DMF(N，N-二甲基甲酰胺)(1000mL)，然后将混合液加热至90℃并搅拌过夜。待混合物冷却至室温后，减压除去过量的丙烯酸甲酯，加入2L水，再加入乙酸乙酯萃取(500mL×3)，合并有机相，用饱和NaCl水溶液洗涤，然后用无水硫酸镁干燥，过滤，浓缩，通过柱色谱法使用石油醚/乙酸乙酯(5：1)作为洗脱剂纯化残余物，得到粗制浅黄色固体，用乙醇重结晶，得到白色固体(即B-1-2)48.8g，收率79.8％。
在氮气氛围中，向2000mL圆底烧瓶中加入B-1-2(40.8g，0.1mol)、雷尼镍(8.2g)和乙醇(700mL)，用氢气置换3次，将混合物在氢 气氛围中室温下搅拌反应。待反应完全后，用氮气置换3次后，过滤除去催化剂，并将滤液浓缩，得到白色固体(即B-1-3)39.3g，收率95.8％。
将B-1-3酯(20.1g，0.05mol)、氢氧化钾(2.8g，0.05mol)、水(100mL)和乙醇(100mL)加入500mL圆底烧瓶中，搅拌混合，将混合物回流过夜。浓缩除去乙醇，在冰水浴中，将盐酸缓慢加入含水残余物中直至pH＝1，使相应的酸沉淀析出，过滤收集沉淀物，用水洗涤三次并在真空下干燥，得到19.0g B-1-4，收率96.0％。
<步骤2>中间体B-1-5的制备
Figure PCTCN2020106504-appb-000040
在搅拌下，在冰水浴中，向500mL圆底烧瓶中加入B-1-4(15.8g，0.04mol)和0.5mL DMF的二氯甲烷(200mL)混合物，向其中滴加草酰氯(25.4g，0.2mol)，滴加完毕后，使混合物升至室温并搅拌过夜。减压除去剩余的草酰氯和二氯甲烷，在氮气保护下，加入无水二硫化碳(300mL)，在冰水浴中，加入无水氯化铝(8.0g，0.06mol)，将混合物回流2小时，然后倒入稀盐酸中淬灭，用氯仿萃取水层三次，将合并的萃取液依次用水、碳酸氢钠溶液和盐水洗涤，然后经无水硫酸镁干燥，过滤，浓缩除去溶剂，然后使用乙酸乙酯/石油醚进行柱 色谱纯化，得到粗产物，用乙醇重结晶，得到白色固体产物11.8g，收率78.2％。
<步骤3>中间体B-1-6的制备
Figure PCTCN2020106504-appb-000041
向500mL圆底烧瓶中加入中间体B-1-5(11.3g，0.03mol)和四氢呋喃(THF，200mL)，控制温度在0℃以下，加入叔丁醇钾(4.0g，0.036mol)，在氮气氛围下，滴加亚硝酸异戊酯(4.2g，0.036mol)，滴加完毕后，继续在5℃下反应4h。然后向反应液中加入500mL氯化钠水溶液，用500mL乙酸乙酯萃取，对有机相用1mol/L盐酸水溶液进行洗涤(300mL×3次)，用无水硫酸镁干燥，过滤，浓缩，用乙酸乙酯正己烷进行重结晶，得到8.1g中间体B-1-6，收率66.3％。
<步骤4>化合物B-1的制备
Figure PCTCN2020106504-appb-000042
向500mL圆底烧瓶中加入中间体B-1-6(8.1g,0.02mol)、吡啶(200mL)，控制温度在-5～0℃，滴加乙酰氯(2.4g，0.03mol)，滴加完毕后升温至室温，反应2h。随后，向反应液中倒入500mL饱和碳酸氢钠水溶液，用二氯甲烷萃取，有机相依次用饱和碳酸氢钠水溶液、饱和食盐水溶液进行洗涤，加入无水硫酸钠干燥，过滤，浓缩， 用硅胶柱纯化，得到7.9g化合物B-1，收率88.2％。
产物的结构表征数据如下。
1H NMR(500MHz,CDCl 3)：δ8.49-8.48(m,1H),8.39(s,1H),8.27-8.23(m,1H),8.17-8.14(m,1H),7.92(s,1H),3.54(s,2H),2.20(s,3H),1.96-1.90(m,4H),1.38-1.17(m,8H),0.91-0.86(m,6H).
实施例5 其他化合物的制备
参照实施例4的方法，更换相应原料，合成如下表2中所示的其他式B化合物。
表2
Figure PCTCN2020106504-appb-000043
Figure PCTCN2020106504-appb-000044
Figure PCTCN2020106504-appb-000045
Figure PCTCN2020106504-appb-000046
实施例6 化合物C-1的制备
Figure PCTCN2020106504-appb-000047
<步骤1>中间体C-1-4的制备
Figure PCTCN2020106504-appb-000048
向2000mL圆底烧瓶中加入3,6-二碘-9H-芴(125.4g，0.3mol)、叔丁醇钾(77.3g，0.7mol)和二甲基亚砜(600mL)，氮气氛围下向其中缓慢滴加溴丁烷(95.9g，0.7mol)，滴加完毕后在室温下搅拌反应。待反应完全后加入1500mL蒸馏水淬灭，用乙酸乙酯萃取，有机相用无水硫酸镁干燥，减压蒸馏除去有机溶剂，使用硅胶柱色谱用乙酸乙酯：石油醚＝1:5纯化，干燥，得117.8g中间体C-1-1，收率74.1％。
Figure PCTCN2020106504-appb-000049
在2000mL圆底烧瓶中加入C-1-1(79.5，0.15mol)、碳酸钠(47.8g，0.46mol)、醋酸钯(1.35g，6.0mmol)、PPh 3(1.58g，6mmol)和丙烯酸甲酯(51.6g，0.6mol)。在氮气保护下，加入干燥的DMF(N，N-二甲基甲酰胺)(1000mL)，将混合液加热至90℃并搅拌过夜。 待混合物冷却至室温后，减压除去过量的丙烯酸甲酯，加入2L水，再加入乙酸乙酯萃取(500mL×3)，合并有机相，用饱和NaCl水溶液洗涤，然后用无水硫酸镁干燥，过滤，浓缩，通过柱色谱法使用石油醚/乙酸乙酯(3：1)作为洗脱剂纯化残余物，得到粗制浅黄色固体，再用乙醇重结晶，得到白色固体40.5g，收率60.4％。
Figure PCTCN2020106504-appb-000050
在氮气氛围中，向2000mL圆底烧瓶中加入C-1-2(44.7g，0.1mol)、雷尼镍(16.4g)和乙醇(700mL)，用氢气置换3次，将混合物在氢气氛围中室温下搅拌反应。待反应完全后，用氮气置换3次后，过滤除去催化剂，并将滤液浓缩，得到白色固体43.5g，收率96.5％。
Figure PCTCN2020106504-appb-000051
将C-1-3(22.6g，0.05mol)、氢氧化钾(5.6g，0.1mol)、水(100mL)和乙醇(300mL)加入1000mL圆底烧瓶中，搅拌混合，将混合物回流过夜。随后浓缩除去乙醇，在冰水浴中，将盐酸缓慢加入含水残余物中直至pH＝1，使相应的酸沉淀析出，过滤收集沉淀物，用水洗涤三次并在真空下干燥，得到20.3g的C-1-4，收率95.8％。
<步骤2>中间体C-1-5的制备
Figure PCTCN2020106504-appb-000052
在搅拌下，在冰水浴中，向500mL圆底烧瓶中加入C-1-4(16.9g，0.04mol)和0.5mL DMF的二氯甲烷(200mL)混合物，向其中滴加草酰氯(50.8g，0.4mol)，滴加完毕后，使混合物升至室温并搅拌过夜。减压除去剩余的草酰氯和二氯甲烷，在氮气保护下，加入无水二硫化碳(300mL)，在冰水浴中，加入无水氯化铝(16.0g，0.12mol)，将混合物回流2小时，然后倒入稀盐酸中淬灭，用氯仿萃取水层三次，将合并的萃取液依次用水、碳酸氢钠溶液和盐水洗涤，然后经无水硫酸镁干燥，过滤，浓缩除去溶剂，然后使用乙酸乙酯/石油醚进行柱色谱纯化，得到粗产物，用乙醇重结晶，得到白色固体产物11.7g，收率75.4％。
<步骤3>中间体C-1-6的制备
Figure PCTCN2020106504-appb-000053
向500mL圆底烧瓶中加入中间体C-1-5(11.6g，0.03mol)和四氢呋喃(THF，200mL)，控制温度在0℃以下，加入叔丁醇钾(8.0g，0.072mol)，在氮气氛围下，滴加亚硝酸异戊酯(8.4g，0.072mol)，滴加完毕后，继续在5℃下反应4h。然后向反应液中加入500mL氯 化钠水溶液，用500mL乙酸乙酯萃取，对有机相用1mol/L盐酸水溶液进行洗涤(300mL×3次)，用无水硫酸镁干燥，过滤，浓缩，用乙酸乙酯正己烷进行重结晶，得到8.8g中间体C-1-6，收率65.6％。
<步骤4>化合物C-1的制备
Figure PCTCN2020106504-appb-000054
向500mL圆底烧瓶中加入中间体C-1-6(8.9g，0.02mol)、吡啶(200mL)，控制温度在-5～0℃，滴加乙酰氯(4.8g，0.06mol)，滴加完毕后升温至室温，反应2h。随后，向反应液中倒入500mL饱和碳酸氢钠水溶液，用二氯甲烷萃取，有机相依次用饱和碳酸氢钠水溶液、饱和食盐水溶液进行洗涤，加入无水硫酸钠干燥，过滤，浓缩，用硅胶柱纯化，得到9.3g化合物C-1，收率87.6％。
产物的结构表征数据如下。
1H NMR(500MHz,CDCl3)：δ8.11(s,2H),8.08(s,2H),3.54(s,4H),2.21(s,6H),1.95-1.92(m,4H),1.36-1.21(m,8H),0.92-0.89(m,6H).
实施例7 其他化合物的制备
参照实施例6的方法，更换相应原料，合成如下表3中所示的其他式C化合物。
表3
Figure PCTCN2020106504-appb-000055
Figure PCTCN2020106504-appb-000056
实施例8 化合物D-3的制备
Figure PCTCN2020106504-appb-000057
<步骤1>中间体D-3-4的制备
Figure PCTCN2020106504-appb-000058
向2000mL圆底烧瓶中加入2,7-二碘-9H-芴(125.4g，0.3mol)、叔丁醇钾(77.3g，0.7mol)和二甲基亚砜(600mL)，氮气氛围下向其中缓慢滴加溴己烷(115.5g，0.7mol)，滴加完毕后在室温下搅拌反应。待反应完全后加入1500mL蒸馏水淬灭，用乙酸乙酯萃取，有机相用无水硫酸镁干燥，减压蒸馏除去有机溶剂，使用硅胶柱色谱用乙酸乙酯：石油醚＝1:4纯化，干燥，得129.6g中间体D-3-1，收率73.7％。
Figure PCTCN2020106504-appb-000059
在2000mL圆底烧瓶中加入D-3-1(87.9，0.15mol)、碳酸钠(47.8g，0.46mol)、醋酸钯(1.35g，6.0mmol)、PPh 3(1.58g，6mmol)和丙烯酸甲酯(51.6g，0.6mol)。在氮气的保护下，加入干燥的DMF(N，N-二甲基甲酰胺)(1000mL)，将混合液加热至90℃并搅拌过夜。待混合物冷却至室温后，减压除去过量的丙烯酸甲酯，加入2L水，再加入乙酸乙酯萃取(500mL×3)，合并有机相，用饱和NaCl水溶液洗涤，然后用无水硫酸镁干燥，过滤，浓缩，通过柱色谱法使用石油醚/乙酸乙酯(3：1)作为洗脱剂纯化残余物，得到粗制浅黄色固体，用乙醇重结晶，得到白色固体45.1g，收率59.8％。
Figure PCTCN2020106504-appb-000060
在氮气氛围中，向2000mL圆底烧瓶中加入D-3-2(50.3g，0.1mol)、雷尼镍(16.4g)和乙醇(700mL)，用氢气置换3次，将混合物在氢气氛围中室温下搅拌反应。待反应完全后，用氮气置换3次后，过滤除去催化剂，并将滤液浓缩，得到白色固体48.2g，收率95.1％。
Figure PCTCN2020106504-appb-000061
将D-3-3(25.4g，0.05mol)、氢氧化钾(5.6g，0.1mol)、水(100mL)和乙醇(300mL)加入1000mL圆底烧瓶中，搅拌混合，将混合物回流过夜。然后浓缩除去乙醇，在冰水浴中，将盐酸缓慢加入含水残余物中直至pH＝1，使相应的酸沉淀析出，过滤收集沉淀物，用水洗涤三次并在真空下干燥，得到22.1g的D-3-4，收率92.3％。
<步骤2>中间体D-3-5的制备
Figure PCTCN2020106504-appb-000062
在搅拌下，在冰水浴中，向500mL圆底烧瓶中加入D-3-4(19.2g，0.04mol)和0.5mL DMF的二氯甲烷(200mL)混合物，向其中滴加草酰氯(50.8g，0.4mol)，滴加完毕后，使混合物升至室温并搅拌过夜。随后减压除去剩余的草酰氯和二氯甲烷，在氮气保护下，加入无水二硫化碳(300mL)，在冰水浴中，加入无水氯化铝(16.0g，0.12mol)，将混合物回流2小时，倒入稀盐酸中淬灭，用氯仿萃取水层三次，将合并的萃取液依次用水、碳酸氢钠溶液和盐水洗涤，然后经无水硫酸镁干燥，过滤，浓缩除去溶剂，然后使用乙酸乙酯/石油醚进行柱色谱纯化，得到粗产物，用乙醇重结晶，得到白色固体产物13.0g，收率73.4％。
<步骤3>中间体D-3-6的制备
Figure PCTCN2020106504-appb-000063
向500mL圆底烧瓶中加入中间体D-3-5(13.3g，0.03mol)和四氢呋喃(THF,200mL)，控制温度在0℃以下，加入叔丁醇钾(8.0g，0.072mol)，在氮气氛围下，滴加亚硝酸异戊酯(8.4g，0.072mol)，滴加完毕后，继续在5℃下反应4h。随后向反应液中加入500mL氯化钠水溶液，用500mL乙酸乙酯萃取，对有机相用1mol/L盐酸水溶液进行洗涤(300mL×3次)，用无水硫酸镁干燥，过滤，浓缩，用乙酸乙酯正己烷进行重结晶，得到9.7g中间体D-3-6，收率64.5％。
<步骤4>化合物D-3的制备
Figure PCTCN2020106504-appb-000064
向500mL圆底烧瓶中加入中间体D-3-6(10.0g，0.02mol)、吡啶(200mL)，控制温度在-5～0℃，滴加对甲氧基苯乙酰氯(11.1g，0.06mol)，滴加完毕后升温至室温，反应2h。随后，向反应液中倒入500mL饱和碳酸氢钠水溶液，用二氯甲烷萃取，有机相依次用饱和碳酸氢钠水溶液、饱和食盐水溶液进行洗涤，加入无水硫酸钠干燥，过滤，浓缩，用硅胶柱纯化，得到13.5g化合物D-3，收率84.7％。
产物的结构表征数据如下。
1H NMR(500MHz,CDCl 3)：δ8.37(s,2H),7.93(s,2H),7.16-7.12(m,4H),6.74-6.70(m,4H),3.81(s,6H),3.68(s,4H),3.53(s,4H),1.96-1.90(m,4H),1.39-1.22(m,16H),0.93-0.85(m,6H).
实施例9 其他化合物的制备
参照实施例8的方法，更换相应原料，合成如下表4中所示的其他式D化合物。
表4
Figure PCTCN2020106504-appb-000065
Figure PCTCN2020106504-appb-000066
实施例10 化合物E-1的制备
Figure PCTCN2020106504-appb-000067
<步骤1>中间体E-1-4的制备
Figure PCTCN2020106504-appb-000068
向2000mL圆底烧瓶中加入3,7-二溴-9H-芴(97.2g，0.3mol)、 叔丁醇钾(77.3g，0.7mol)和二甲基亚砜(600mL)，氮气氛围下向其中缓慢滴加溴丁烷(95.9g，0.7mol)，滴加完毕后在室温下搅拌反应。待反应完全后加入1500mL蒸馏水淬灭，用乙酸乙酯萃取，有机相用无水硫酸镁干燥，减压蒸馏除去有机溶剂，使用硅胶柱色谱用乙酸乙酯：石油醚＝1:5纯化，干燥，得96.7g中间体E-1-1，收率73.9％。
Figure PCTCN2020106504-appb-000069
在2000mL圆底烧瓶中加入E-1-1(65.4，0.15mol)、碳酸钠(47.8g，0.46mol)、醋酸钯(1.35g，6.0mmol)、PPh 3(1.58g，6mmol)和丙烯酸甲酯(51.6g，0.6mol)。在氮气的保护下，加入干燥的DMF(N，N-二甲基甲酰胺)(1000mL)，将混合液加热至90℃并搅拌过夜。待混合物冷却至室温后，减压除去过量的丙烯酸甲酯，加入2L水，再加入乙酸乙酯萃取(500mL×3)，合并有机相，用饱和NaCl水溶液洗涤，然后用无水硫酸镁干燥，过滤，浓缩，通过柱色谱法使用石油醚/乙酸乙酯(3：1)作为洗脱剂纯化残余物，得到粗制浅黄色固体，用乙醇重结晶，得到白色固体40.3g，收率60.1％。
Figure PCTCN2020106504-appb-000070
在氮气氛围中，向2000mL圆底烧瓶中加入E-1-2(35.8g，0.08mol)、雷尼镍(13.1g)和乙醇(650mL)，用氢气置换3次，将混合物在氢气氛围中室温下搅拌反应。待反应完全后，用氮气置换 3次后，过滤除去催化剂，并将滤液浓缩，得到白色固体34.7g，收率96.2％。
Figure PCTCN2020106504-appb-000071
将E-1-3(22.6g，0.05mol)、氢氧化钾(5.6g，0.1mol)、水(100mL)和乙醇(300mL)加入1000mL圆底烧瓶中，搅拌混合，将混合物回流过夜。然后浓缩除去乙醇，在冰水浴中，将盐酸缓慢加入含水残余物中直至pH＝1，使相应的酸沉淀析出，过滤收集沉淀物，用水洗涤三次并在真空下干燥，得到20.2g的E-1-4，收率95.5％。
<步骤2>中间体E-1-5的制备
Figure PCTCN2020106504-appb-000072
在搅拌下，在冰水浴中，向500mL圆底烧瓶中加入E-1-4(16.9g，0.04mol)和0.5mL DMF的二氯甲烷(200mL)混合物，向其中滴加草酰氯(50.8g，0.4mol)，滴加完毕后，使混合物升至室温并搅拌过夜。随后减压除去剩余的草酰氯和二氯甲烷，在氮气保护下，加入无水二硫化碳(300mL)，在冰水浴中，加入无水氯化铝(16.0g，0.12mol)，将混合物回流2小时，倒入稀盐酸中淬灭，用氯仿萃取水层三次，将合并的萃取液依次用水、碳酸氢钠溶液和盐水洗涤，然后经无水硫酸镁干燥，过滤，浓缩除去溶剂，然后使用乙酸乙酯/石油醚进行柱色 谱纯化，得到粗产物，用乙醇重结晶，得到白色固体产物11.8g，收率76.2％。
<步骤3>中间体E-1-6的制备
Figure PCTCN2020106504-appb-000073
向500mL圆底烧瓶中加入中间体E-1-5(11.6g，0.03mol)和四氢呋喃(THF,200mL)，控制温度在0℃以下，加入叔丁醇钾(8.0g，0.072mol)，在氮气氛围下，滴加亚硝酸异戊酯(8.4g，0.072mol)，滴加完毕后，继续在5℃下反应4h。随后向反应液中加入500mL氯化钠水溶液，用500mL乙酸乙酯萃取，对有机相用1mol/L盐酸水溶液进行洗涤(300mL×3次)，用无水硫酸镁干燥，过滤，浓缩，用乙酸乙酯正己烷进行重结晶，得到8.7g中间体E-1-6，收率65.2％。
<步骤4>化合物E-1的制备
Figure PCTCN2020106504-appb-000074
向500mL圆底烧瓶中加入中间体E-1-6(8.9g，0.02mol)、吡啶(200mL)，控制温度在-5～0℃，滴加乙酰氯(4.8g，0.06mol)，滴加完毕后升温至室温，反应2h。随后，向反应液中倒入500mL饱和碳酸氢钠水溶液，用二氯甲烷萃取，有机相依次用饱和碳酸氢钠水 溶液、饱和食盐水溶液进行洗涤，加入无水硫酸钠干燥，过滤，浓缩，用硅胶柱纯化，得到9.2g化合物E-1，收率87.1％。
产物的结构表征数据如下。
1H NMR(500MHz,CDCl 3):δ8.40(s,1H),8.16(s,1H),8.07(s,1H),7.95(s,1H),3.53(s,4H),2.23(s,6H),1.96-1.90(m,4H),1.37-1.15(m,8H),0.91-0.86(m,6H).
实施例11 其他化合物的制备
参照实施例10的方法，更换相应原料，合成如下表5中所示的其他式E化合物。
表5
Figure PCTCN2020106504-appb-000075
实施例12 A-27化合物的制备
<步骤1>中间体A-27-4的制备
Figure PCTCN2020106504-appb-000076
在2000mL圆底烧瓶中加入A-27-1(60.6，0.15mol)、碳酸钠(23.9g，0.23mol)、醋酸钯(0.675g，3.0mmol)、PPh 3(0.79g，3mmol)和3-丁烯酸甲酯(30g，0.3mol)。在氮气保护下，加入干燥的DMF (1000mL)，然后将混合液加热至90℃并搅拌过夜。待混合物冷却至室温后，减压除去过量的3-丁烯酸甲酯，加入2L水，再加入乙酸乙酯萃取(500mL×3)，合并有机相，用饱和NaCl水溶液洗涤，然后用无水硫酸镁干燥，过滤，浓缩，通过柱色谱法使用石油醚/乙酸乙酯(5：1)作为洗脱剂纯化残余物，得到粗制浅黄色固体，用乙醇重结晶，得到白色固体(即A-27-2)44.6g，收率78.8％。
Figure PCTCN2020106504-appb-000077
在氮气氛围中，向2000mL圆底烧瓶中加入A-27-2(37.7g，0.1mol)、雷尼镍(8.2g)和乙醇(700mL)，用氢气置换3次，将混合物在氢气氛围中室温下搅拌反应。待反应完全后，用氮气置换3次后，过滤除去催化剂，并将滤液浓缩，得到白色固体(即A-27-3)36.6g，收率96.6％。
Figure PCTCN2020106504-appb-000078
将A-27-3酯(19.0g，0.05mol)、氢氧化钾(2.8g，0.05mol)、水(100mL)和乙醇(100mL)加入500mL圆底烧瓶中，搅拌混合，将混合物回流过夜。浓缩除去乙醇，在冰水浴中，将盐酸缓慢加入含水残余物中 直至pH＝1，使相应的酸沉淀析出，过滤收集沉淀物，用水洗涤三次并在真空下干燥，得到17.6g A-27-4，收率96.2％。
<步骤2>中间体A-27-5的制备
Figure PCTCN2020106504-appb-000079
在搅拌下，在冰水浴中，向500mL圆底烧瓶中加入A-27-4(14.6g，0.04mol)和0.5mL DMF的二氯甲烷(200mL)混合物，向其中滴加草酰氯(25.4g，0.2mol)，滴加完毕后，使混合物升至室温并搅拌过夜。减压除去剩余的草酰氯和二氯甲烷，在氮气保护下，加入无水二硫化碳(300mL)，在冰水浴中，加入无水氯化铝(8.0g，0.06mol)，将混合物回流2小时，然后倒入稀盐酸中淬灭，用氯仿萃取水层三次，将合并的萃取液依次用水、碳酸氢钠溶液和盐水洗涤，然后经无水硫酸镁干燥，过滤，浓缩除去溶剂，然后使用乙酸乙酯/石油醚进行柱色谱纯化，得到粗产物，用乙醇重结晶，得到白色固体产物10.8g，收率77.7％。
<步骤3>中间体A-27-6的制备
Figure PCTCN2020106504-appb-000080
向500mL圆底烧瓶中加入A-27-5(10.4g,0.03mol)和二氯甲烷(150mL)，在冰水浴中，加入无水氯化铝(8.0g，0.06mol)，向其中滴 加3-环戊基丙酰氯(5.3g，0.033mol)，滴加完毕后继续搅拌至反应完全，将物料缓慢倒入冰水与稀盐酸混合液中，静置分层，分出下层二氯甲烷层，并用50mL二氯甲烷继续清洗水层，合并二氯甲烷层，用碳酸氢钠水溶液(150mL×3次)洗涤，水洗至pH呈中性，用无水硫酸镁干燥，过滤，除去二氯甲烷，甲醇重结晶，干燥，得到12.3g A-27-6，收率87.2％。
<步骤4>中间体A-27-7的制备
Figure PCTCN2020106504-appb-000081
向500mL圆底烧瓶中加入中间体A-27-6(14.1g，0.03mol)和四氢呋喃(THF，250mL)，控制温度在0℃以下，加入叔丁醇钾(8.0g，0.072mol)，在氮气氛围下，滴加亚硝酸异戊酯(8.4g，0.072mol)，滴加完毕后，继续在5℃下反应4h。然后向反应液中加入500mL氯化钠水溶液，用500mL乙酸乙酯萃取，对有机相用1mol/L盐酸水溶液进行洗涤(300mL×3次)，用无水硫酸镁干燥，过滤，浓缩，用乙酸乙酯正己烷进行重结晶，得到10.7g中间体A-27-7，收率67.3％。
<步骤5>化合物A-27的制备
Figure PCTCN2020106504-appb-000082
向500mL圆底烧瓶中加入中间体A-27-7(10.6g,0.02mol)、吡 啶(200mL)，控制温度在-5～0℃，滴加乙酰氯(4.8g，0.06mol)，滴加完毕后升温至室温，反应2h。随后，向反应液中倒入500mL饱和碳酸氢钠水溶液，用二氯甲烷萃取，有机相依次用饱和碳酸氢钠水溶液、饱和食盐水溶液进行洗涤，加入无水硫酸钠干燥，过滤，浓缩，用硅胶柱纯化，得到10.8g化合物A-27，收率87.9％。
产物的结构表征数据如下。
1H NMR(500MHz,CDCl 3)：δ8.14–8.01(m,4H),7.96(s,1H),3.15-3.10(m,2H),2.65-2.61(m,2H),2.30–2.20(m,8H),1.98–1.61(m,12H),1.41–1.18(m,9H),0.92-0.86(m,6H).
实施例13 其他化合物的制备
参照实施例12的方法，更换相应原料，合成如下表6中所示的其他化合物。
表6
Figure PCTCN2020106504-appb-000083
Figure PCTCN2020106504-appb-000084
性能评价
通过配制示例性感光性树脂组合物，对本发明式A、式B、式C、式D或式E所示光引发剂的成膜性能进行评价。
1、配制如下组成的感光性树脂组合物
丙烯酸酯共聚物                       200质量份
[甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸/甲基丙烯酸羟乙酯(摩尔比70/10/20)共聚物(Mv:10000)]
二季戊四醇六丙烯酸酯                 100质量份
光引发剂                             5质量份
丁酮(溶剂)                           900质量份
上述组合物中，光引发剂为本发明公开的式A、B、C、D或E所示的芴肟酯类化合物或现有技术中已知光引发剂(作为对比)。
2、成膜
将具有上述组成的感光性树脂组合物在黄光灯下搅拌，取料于PET模板上利用滚涂成膜，在90℃下干燥2min，得到干膜厚为2μm的涂膜。将形成有涂膜的基板冷却至室温，附上掩膜板，用高压汞灯1PCS光源，通过FWHM滤光片实现长波长辐射。通过20微米线宽掩膜板在350-420nm波长的紫外线对涂膜进行曝光，随后于25℃下在2.5％的碳酸钠溶液中浸渍20s显影，再用超纯水洗，风干，在220℃下硬烘烤30min使图形定影。
3、性能评价
(1)透明度
用紫外可见分光光度计测定380nm下经硬烘烤后的涂膜的透射率(T％)，以表征透明度。
(2)感光度
将在曝光步骤中光辐照区域显影后残膜率在90％或以上的最小曝光量评价为曝光需求量。曝光需求量越小表示灵敏度越高。
(3)显影性和图案完整性
用扫描电子显微镜(SEM)观察基板图案，以评价显影性和图案完整性。
显影性根据以下标准评价：
○：在未曝光部分未观察到残留物；
◎：在未曝光部分观察到少量残留物，但残留物可以接受；
●：在未曝光部分观察到明显残留物。
图案完整性根据以下标准评价：
△：没有观察到图案缺陷；
□：观察到小部分图案有些许缺陷；
▲：明显观察到许多图案缺陷。
(4)图形耐碱性
①25℃条件下，5％的氢氧化钠溶液中浸泡24小时，
②在50℃条件下，4％的氢氧化钾溶液中浸泡10分钟，
③在80℃条件下，1％的氢氧化钠溶液中浸泡5分钟，
将经硬烘烤后的涂膜在上述三个条件下分别进行浸渍，目视观察浸渍后的图膜变化情况。
○：在任何一个条件下外观均没有变化且均未发现剥离；
△：在任何一个条件下出现图膜轻微剥离迹象；
×：在任何一个条件下出现图膜明显剥离现象。
(5)附着力评价
参照GB9286-88《色漆和清漆漆膜的划格试验》，通过划格实验方法评价涂膜附着力好坏。根据破坏程度分为0-5级(共6个等级),其中最好为0级,膜面没有任一个小格脱落；5级为极差，膜面产生了严重的剥落。
评价结果如表7中所示。
表7
Figure PCTCN2020106504-appb-000085
Figure PCTCN2020106504-appb-000086
Figure PCTCN2020106504-appb-000087
Figure PCTCN2020106504-appb-000088
作为对比的现有光引发剂即化合物1和2的结构如下：
Figure PCTCN2020106504-appb-000089
从表7中可以看出，相比于现有的肟酯类光引发剂，含有本发明的芴肟酯类光引发剂的感光性树脂组合物的透明度及显影性优异，曝光需求量低，均低于60mJ/cm 2，且图案完整性更佳，耐碱性和附着力性能优异。整体而言，本发明公开的式A、B、C或D所示的芴肟酯类光引发剂应用性能优异，且制备方法简单，具有很好的应用前景。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。 凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (28)

  1. 一种芴肟酯类化合物，其具有如下A、B、C、D或E所示的化学结构：
    Figure PCTCN2020106504-appb-100001
    其中，
    R 1表示取代或未取代的烷基、芳基、杂环基；
    R 2可相同，也可不同，各自独立地表示氢、卤素、取代或未取代的烷基、芳基或链烯基；
    R 3表示H、硝基、氰基、羟基、卤素、取代或未取代的烷基、酰基、杂环基、烷氧基或
    Figure PCTCN2020106504-appb-100002
    R 1’具有与上述R 1相同的定义，两者可相同，也可不同；
    当化合物为A或B所示的化学结构时，n是1、2、3或4；
    当化合物为C、D或E所示的化学结构时，n、m分别是0、1、2、3或4，两者可相同，也可不同，其中n、m至少一个不为零。
  2. 根据权利要求1所述的芴肟酯类化合物，其特征在于：当R 1表示取代或未取代的烷基时，其选自以下基团：C 1～C 30、优选C 1～C 22、进一步优选C 1～C 17、特别优选C 1～C 10的直链状、支链状、单环状或缩合多环状的烷基，C 1～C 20、优选C 1～C 10、进一步优选C 2～C 8、特别优选C 2～C 5的直链状或支链状的卤代烷基，被1个以上的醚键或硫醚键中断的C 2～C 20、优选C 2～C 15、进一步优选C 2～C 10、特别优选C 2～C 7的直链状或支链状的烷基。
  3. 根据权利要求2所述的芴肟酯类化合物，其特征在于：当R 1表示取代或未取代的烷基时，其选自甲基、乙基、丙基、正丁基、己基、异戊基、环己基、2-氯乙基、4-氯丁基、2-氯叔丁基、5-溴戊基、甲氧基甲基、乙氧基甲基、丁氧基甲基、(2-丁氧基乙氧基)甲基。
  4. 根据权利要求1所述的芴肟酯类化合物，其特征在于：当R 1表示取代或未取代的芳基时，其表示取代或未取代的C 6～C 24芳基、(C 6～C 24)芳基(C 1～C 20)烷基、(C 1～C 12)烷基(C 6～C 24)芳基、(C 6～C 24)芳氧基(C 1～C 20)烷基；优选地，表示取代或未取代的C 6～C 20 芳基、(C 6～C 20)芳基(C 1～C 12)烷基、(C 1～C 8)烷基(C 6～C 20)芳基、(C 6～C 20)芳氧基(C 1～C 12)烷基；进一步优选地，表示取代或未取代的C 6～C 18芳基、(C 6～C 18)芳基(C 1～C 10)烷基、(C 1～C 6)烷基(C 6～C 18)芳基、(C 6～C 18)芳氧基(C 1～C 8)烷基；特别优选地，表示取代或未取代的C 6～C 10芳基、(C 6～C 10)芳基(C 1～C 6)烷基、(C 1～C 4)烷基(C 6～C 10)芳基、(C 6～C 10)芳氧基(C 1～C 4)烷基；最优选地，表示取代或未取代的苯基、1-萘基、2-萘基、1-蒽基、苯基(C 1～C 6)烷基、苯氧基(C 1～C 4)烷基。
  5. 根据权利要求4所述的芴肟酯类化合物，其特征在于：当R 1表示取代或未取代的芳基时，其选自苯基、邻甲苯基、间甲苯基、对甲苯基、氯甲苯基、3,5-二甲基苯基、4-氰基苯基、4-硝基苯基、4-甲氧基苯甲基、苯基甲基、1-苯基乙基、氯苯基甲基、3-苯基丙基、硝基苯基甲基、苯氧基甲基、1-苯氧基乙基、氯苯氧基甲基、硝基苯氧基甲基、1-萘基、或2-乙氧基-1-萘基。
  6. 根据权利要求1所述的芴肟酯类化合物，其特征在于：当R 1表示取代或未取代的杂环基时，所述的杂环基表示具有氮原子、氧原子、硫原子的C 4～C 24、优选C 4～C 18、进一步优选C 4～C 14、特别优选C 4～C 10的芳香族或脂环族的杂环基。
  7. 根据权利要求6所述的芴肟酯类化合物，其特征在于：所述的杂环基选自噻吩基、噻吩-2-甲基、吡啶基、2-呋喃基、喹啉基。
  8. 根据权利要求1所述的芴肟酯类化合物，其特征在于：当R 2表示取代或未取代的烷基时，其选自以下基团：C 1～C 30、优选C 1～C 22 的直链状、支链状、单环状或缩合多环状烷基，C 1～C 20、优选C 1～C 10、进一步优选C 1～C 6的直链状或支链状的卤代烷基，C 1～C 20、优选C 1～C 10、进一步优选C 1～C 6的直链状或支链状的羟基取代烷基，C 2～C 40、优选C 2～C 20、进一步优选C 2～C 10的直链状或支链状的羟基烷氧基取代烷基，被1个以上的醚键或硫醚键中断的C 2～C 20、优选C 2～C 15、进一步优选C 2～C 7的直链状或支链状的烷基。
  9. 根据权利要求8所述的芴肟酯类化合物，其特征在于：当R 2表示取代或未取代的烷基时，选自正丁基、戊基、己基、十四烷基、二十二烷基、4-氯丁基、5-氯戊基、6-氯己基、甲氧基乙基、乙氧基乙基。
  10. 根据权利要求1所述的芴肟酯类化合物，其特征在于：当R 2表示取代或未取代的芳基时，其表示取代或未取代的C 6～C 24芳基、(C 6～C 24)芳基(C 1～C 20)烷基、(C 6～C 24)芳氧基(C 1～C 20)烷基；优选取代或未取代的C 6～C 20芳基、(C 6～C 20)芳基(C 1～C 12)烷基、(C 6～C 20)芳氧基(C 1～C 12)烷基；进一步优选取代或未取代的C 6～C 18芳基、(C 6～C 18)芳基(C 1～C 10)烷基、(C 6～C 18)芳氧基(C 1～C 8)烷基；特别优选取代或未取代的C 6～C 10芳基、(C 6～C 10)芳基(C 1～C 10)烷基、(C 6～C 10)芳氧基(C 1～C 6)烷基。
  11. 根据权利要求1所述的芴肟酯类化合物，其特征在于：当R 2表示取代或未取代的链烯基时，其优选C 2～C 18、进一步优选C 2～C 12、特别优选C 2～C 6的直链状、支链状、单环状或缩合多环状链烯基。
  12. 根据权利要求11所述的芴肟酯类化合物，其特征在于：当 R 2表示取代或未取代的链烯基时，其选自烯丙基、3-丁烯基、4-戊烯基、5-己烯基。
  13. 根据权利要求1所述的芴肟酯类化合物，其特征在于：当R 3表示取代或未取代的烷基时，其选自以下基团：C 1～C 30、优选C 1～C 20、进一步优选C 1～C 10的直链状、支链状、单环状或缩合多环状烷基，C 1～C 20、优选C 1～C 10、进一步优选C 1～C 6的直链状或支链状的卤代烷基，C 1～C 20、优选C 1～C 10、进一步优选C 1～C 6的直链状或支链状的羟基取代烷基，C 2～C 40、优选C 2～C 20、进一步优选C 2～C 10的直链状或支链状的羟基烷氧基取代烷基，被1个以上的醚键或硫醚键中断的C 2～C 20、优选C 2～C 15、进一步优选C 2～C 7的直链状或支链状的烷基。
  14. 根据权利要求1所述的芴肟酯类化合物，其特征在于：当R 3表示取代或未取代的酰基时，其优选C 2～C 20的直链状、支链状、单环状或缩合多环状脂肪族酰基，具有被卤原子取代的C 1～C 10支链状或直链状酰基，C 6～C 18的单环状或缩合多环状芳基酰基，具有被卤原子取代的C 6～C 18的单环状或缩合多环状芳基酰基，C 1～C 12烷基C 6～C 18单环状或缩合多环状芳基酰基，C 1～C 20烷氧基C 6～C 18的单环状或缩合多环状芳基酰基，含有氮原子、氧原子、硫原子的C 4～C 18的单环状或缩合多环状杂环基酰基；进一步优选C 2～C 12的直链状、支链状、单环状或缩合多环状脂肪族酰基，具有被卤原子取代的C 1～C 6支链状或直链状酰基，C 6～C 14的单环状或缩合多环状芳基酰基，具有被卤原子取代的C 6～C 14的单环状或缩合多环状芳基酰基，C 1～C 8烷基 C 6～C 14单环状或缩合多环状芳基酰基，C 1～C 10烷氧基C 6～C 14的单环状或缩合多环状芳基酰基，含有氮原子、氧原子、硫原子的C 4～C 14的单环状或缩合多环状杂环基酰基；特别优选C 2～C 7的直链状、支链状、单环状或缩合多环状脂肪族酰基，具有被卤原子取代的C 1～C 4支链状或直链状酰基，C 6～C 10的单环状或缩合多环状芳基酰基，具有被卤原子取代的C 6～C 10的单环状或缩合多环状芳基酰基，C 1～C 4烷基C 6～C 10单环状或缩合多环状芳基酰基，C 1～C 4烷氧基C 6～C 10的单环状或缩合多环状芳基酰基，含有氮原子、氧原子、硫原子的C 4～C 10的单环状或缩合多环状杂环基酰基。
  15. 根据权利要求14所述的芴肟酯类化合物，其特征在于：当R 3表示取代或未取代的酰基时，其选自乙酰基、丙酰基、丁酰基、苯甲酰基、甲苯酰基、2-噻吩甲酰基。
  16. 根据权利要求1所述的芴肟酯类化合物，其特征在于：当R 3表示取代或未取代的杂环基时，其表示具有氮原子、氧原子、硫原子的C 4～C 24、优选C 4～C 18、进一步优选C 4～C 14、特别优选C 4～C 10的芳香族或脂环族的杂环基。
  17. 根据权利要求16所述的芴肟酯类化合物，其特征在于：当R 3表示取代或未取代的杂环基时，其选自噻吩基、吡啶基、2-呋喃基、吗啉基。
  18. 根据权利要求1所述的芴肟酯类化合物，其特征在于：当R 3表示取代或未取代的烷氧基时，其优选C 1～C 20、进一步优选C 1～C 10、特别优选C 1～C 6的直链状、支链状、单环状或缩合多环状烷氧基。
  19. 根据权利要求18所述的芴肟酯类化合物，其特征在于：当R 3表示取代或未取代的烷氧基时，其选自甲氧基、乙氧基、丙氧基、环丙氧基、环丁氧基、环戊氧基、环己氧基。
  20. 根据权利要求1所述的芴肟酯类化合物，其特征在于：当R 3表示
    Figure PCTCN2020106504-appb-100003
    时，所述R 4选自C 1～C 20的直链或支链烷基、C 3～C 20的环烷基、C 4～C 20的环烷基烷基、C 4～C 20的烷基环烷基、C 6～C 20的芳基、C 4～C 20的杂芳基、含O、N或S杂原子和双键的C 3～C 5杂环基或者以该杂环基为封端的C 1～C 6烷基，优选是C 1～C 10的直链或支链烷基、C 3～C 10的环烷基、C 4～C 10的环烷基烷基、C 4～C 10的烷基环烷基、C 6～C 10的芳基、含O、N或S杂原子和双键的C 3～C 5杂环基或者以该杂环基为封端的C 1～C 6烷基；更为优选地，R 4选自C 2～C 6的直链或支链烷基、C 3～C 8的环烷基、C 4～C 10的环烷基烷基、C 4～C 10的烷基环烷基、苯基(其中的一个或多个H可任选地被C 1～C 4烷基、烷氧基或含氟原子的烷氧基所取代)、C 7～C 10的苯基烷基(苯基中的一个或多个H可任选地被C 1～C 4烷基、烷氧基或含氟原子的烷氧基所取代)、噻吩基、以噻吩基封端的C 1～C 4烷基。
  21. 根据权利要求1所述的芴肟酯类化合物，其特征在于，在A、B、C、D或E所示的化学结构中：
    R 1选自C 1～C 10的直链状、支链状、单环状或缩合多环状烷基，C 2～C 5的直链状或支链状的卤代烷基，被1个以上的醚键或硫醚键中断的C 2～C 7的直链状或支链状的烷基，苯基，被取代的苯基，1-萘基，被取代的萘基，2-萘基，1-蒽基，苯基(C 1～C 6)烷基、苯氧基(C 1～C 4) 烷基，具有氮原子、氧原子、硫原子的C 4～C 10的芳香族或脂环族的杂环基；
    R 2各自独立地选自C 1～C 22的直链状、支链状、单环状或缩合多环状烷基，C 1～C 6的直链状或支链状的卤代烷基，C 1～C 6的直链状或支链状的羟基取代烷基，C 2～C 10的直链状或支链状的羟基烷氧基取代烷基，被1个以上的醚键或硫醚键中断的C 2～C 7的直链状或支链状的烷基，C 2～C 6的直链状、支链状或单环状链烯基，取代或未取代的C 6～C 10芳基、(C 6～C 10)芳基(C 1～C 10)烷基、(C 6～C 10)芳氧基(C 1～C 6)烷基；
    R 3选自H、硝基、氰基、羟基、溴，C 2～C 7的直链状、支链状、单环状或缩合多环状脂肪族酰基，具有被卤原子取代的C 1～C 4支链状或直链状酰基，C 6～C 10的单环状或缩合多环状芳基酰基，具有被卤原子取代的C 6～C 10的单环状或缩合多环状芳基酰基，C 1～C 4烷基C 6～C 10单环状或缩合多环状芳基酰基，C 1～C 4烷氧基C 6～C 10的单环状或缩合多环状芳基酰基，含有氮原子、氧原子、硫原子的C 4～C 10的单环状或缩合多环状杂环基酰基，具有氮原子、氧原子、硫原子的C 4～C 10芳香族或脂环族的杂环基，和C 1～C 6直链状、支链状、单环状、缩合多环状烷氧基或
    Figure PCTCN2020106504-appb-100004
    其中，所述R 4选自C 2-C 6的直链或支链烷基、C 3-C 8的环烷基、C 4-C 10的环烷基烷基、C 4-C 10的烷基环烷基、苯基(其中的一个或多个H可任选地被C 1-C 4烷基、烷氧基或含氟原子的烷氧基所取代)、C 7-C 10的苯基烷基(苯基中的一个或多 个H可任选地被C 1-C 4烷基、烷氧基或含氟原子的烷氧基所取代)、噻吩基、以噻吩基封端的C 1-C 4烷基。
  22. 根据权利要求1或21所述的芴肟酯类化合物，其特征在于，在A、B、C、D或E所示的化学结构中：
    R 1选自甲基、乙基、正丁基、2-乙基己基、异戊基、环己基、2-氯乙基、4-氯丁基、2-氯叔丁基、5-溴戊基、甲氧基甲基、乙氧基甲基、丁氧基甲基、(2-丁氧基乙氧基)甲基、苯基、邻甲苯基、间甲苯基、对甲苯基、氯甲苯基、3,5-二甲基苯基、4-氰基苯基、4-硝基苯基、4-甲氧基苯甲基、苯基甲基、1-苯基乙基、氯苯基甲基、3-苯基丙基、5-苯基戊基、硝基苯基甲基、苯氧基甲基、1-苯氧基乙基、氯苯氧基甲基、硝基苯氧基甲基、1-萘基、苄基或2-乙氧基-1-萘基、噻吩基、噻吩-2-甲基、吡啶基、2-呋喃基、喹啉基；
    R 2各自独立地选自正丁基、戊基、己基、十四烷基、二十二烷基、4-氯丁基、5-氯戊基、6-氯己基、甲氧基乙基、乙氧基乙基、1-苯基丙基、1-苯基戊基、烯丙基、3-丁烯基、4-戊烯基、5-己烯基；
    R 3选自H、硝基、氰基、羟基、氟、氯、溴、乙酰基、丙酰基、丁酰基、苯甲酰基、甲苯酰基、2-噻吩甲酰基、噻吩基、吡啶基、2-呋喃基、吗啉基、甲氧基、乙氧基、丙氧基、环丙氧基、环丁氧基、环戊氧基、环己氧基或
    Figure PCTCN2020106504-appb-100005
    其中，R 4为甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、环己基、环戊基乙基、环戊基甲基、环己基甲基、环己基乙基、苯基或邻甲基苯基。
  23. 权利要求1-22中任一项所述的芴肟酯类化合物的制备方法，其特征在于：
    (1)由化学式A表示的芴肟酯类化合物通过如下所示的方案1制备：
    [方案1]
    Figure PCTCN2020106504-appb-100006
    其中，X 1为溴、碘或氯；步骤(2)中，使用的酰化试剂为卤代酰卤，如2-氯丙酰氯、2-溴丙酰溴；
    n是1、2、3或4；
    (2)由化学式B表示的芴肟酯类化合物通过如下所示的方案2制备：
    [方案2]
    Figure PCTCN2020106504-appb-100007
    作为起始物质的羧酸反应物经Friedel-Crafts环化反应生成芴并环戊酮，然后在碱性或酸性条件下与亚硝酸或亚硝酸烷基酯发生肟化反应生成肟化合物，接着肟化合物与酰化试剂在碱存在下在惰性溶剂中发生酯化反应，生成芴肟酯类化合物；
    步骤(1)中，所述的酰化试剂优选二酰卤，如草酰氯；
    n是1、2、3或4；
    (3)由化学式C表示的芴肟酯类化合物通过如下所示的方案3制备：
    [方案3]
    Figure PCTCN2020106504-appb-100008
    制备方法与方案2类似，可参照执行；
    n、m分别是0、1、2、3或4，两者可相同，也可不同，其中n、m至少一个不为零；
    (4)由化学式D表示的芴肟酯类化合物通过如下所示的方案4制备：
    [方案4]
    Figure PCTCN2020106504-appb-100009
    制备方法与方案2类似，可参照执行；
    n、m分别是0、1、2、3或4，两者可相同，也可不同，其中n、m至少一个不为零；
    (5)由化学式E表示的芴肟酯类化合物通过如下所示的方案5制备：
    [方案5]
    Figure PCTCN2020106504-appb-100010
    制备方法与方案2类似，可参照执行；
    n、m分别是0、1、2、3或4，两者可相同，也可不同，其中n、m至少一个不为零。
  24. 一种光引发剂，其特征在于：含有至少一种如权利要求1-22中任一项所述的芴肟酯类化合物。
  25. 根据权利要求24所述的光引发剂，其特征在于：由至少一 种如权利要求1-22中任一项所述的芴肟酯类化合物组成。
  26. 一种感光性树脂组合物，包括：(a)光引发剂；(b)碱溶性树脂；(c)丙烯酸酯单体；其中，所述的光引发剂为至少一种如权利要求1-22中任一项所述的芴肟酯类化合物。
  27. 根据权利要求26所述的感光性树脂组合物，其特征在于：碱溶性树脂(b)选自(甲基)丙烯酸酯类共聚物。
  28. 权利要求26或27所述的感光性树脂组合物在制备彩色光阻、黑色矩阵、光间隔物、半导体光刻胶、油墨中的应用。
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