WO2020183558A1 - 変位計の設定値調整装置 - Google Patents
変位計の設定値調整装置 Download PDFInfo
- Publication number
- WO2020183558A1 WO2020183558A1 PCT/JP2019/009652 JP2019009652W WO2020183558A1 WO 2020183558 A1 WO2020183558 A1 WO 2020183558A1 JP 2019009652 W JP2019009652 W JP 2019009652W WO 2020183558 A1 WO2020183558 A1 WO 2020183558A1
- Authority
- WO
- WIPO (PCT)
- Prior art keywords
- value
- set value
- measurement
- unit
- measured
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/02—Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
- G01S17/06—Systems determining position data of a target
- G01S17/08—Systems determining position data of a target for measuring distance only
-
- G—PHYSICS
- G08—SIGNALLING
- G08C—TRANSMISSION SYSTEMS FOR MEASURED VALUES, CONTROL OR SIMILAR SIGNALS
- G08C25/00—Arrangements for preventing or correcting errors; Monitoring arrangements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C3/00—Measuring distances in line of sight; Optical rangefinders
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C3/00—Measuring distances in line of sight; Optical rangefinders
- G01C3/02—Details
- G01C3/06—Use of electric means to obtain final indication
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/02—Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
- G01S17/06—Systems determining position data of a target
- G01S17/46—Indirect determination of position data
- G01S17/48—Active triangulation systems, i.e. using the transmission and reflection of electromagnetic waves other than radio waves
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/497—Means for monitoring or calibrating
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B1/00—Comparing elements, i.e. elements for effecting comparison directly or indirectly between a desired value and existing or anticipated values
- G05B1/01—Comparing elements, i.e. elements for effecting comparison directly or indirectly between a desired value and existing or anticipated values electric
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B13/00—Adaptive control systems, i.e. systems automatically adjusting themselves to have a performance which is optimum according to some preassigned criterion
- G05B13/02—Adaptive control systems, i.e. systems automatically adjusting themselves to have a performance which is optimum according to some preassigned criterion electric
- G05B13/0265—Adaptive control systems, i.e. systems automatically adjusting themselves to have a performance which is optimum according to some preassigned criterion electric the criterion being a learning criterion
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/49—Nc machine tool, till multiple
- G05B2219/49004—Modeling, making, manufacturing model to control machine, cmm
Definitions
- the present invention relates to a set value adjusting device for a displacement meter.
- an optical displacement meter measures a measured value indicating the amount of displacement of a measurement object by projecting light from a light source onto the object to be measured and receiving the reflected light from the object to be measured by a light receiving unit. ing.
- Patent Document 1 in order to maintain high measurement accuracy by selecting an appropriate measurement algorithm according to the type of measurement object, etc., while reducing the burden of user's judgment and operation as much as possible, from the measurement object
- the light-receiving amount waveform is acquired by an image sensor that receives the reflected light of, and one measurement algorithm suitable for the light reflectance of the object to be measured is selected and used from three measurement algorithms based on the width of the peak of the light-receiving amount waveform.
- Optical displacement meters are disclosed.
- the calculation method of the peak position or the center of gravity position is automatically changed according to the feature amount extracted from the received light amount waveform, and an appropriate measurement algorithm is used according to the type of the object to be measured.
- the setting value used for determining the measurement conditions cannot be automatically adjusted while measuring the reference work that is the reference of the measurement object only by determining the measurement algorithm.
- the operator uses the optical displacement meter from the set values related to the measurement conditions as a preliminary preparation for accurately measuring the measurement object. It is necessary to manually set the usage setting value to be used. For the setting, for example, while measuring the reference work that is the reference of the measurement object, it is confirmed whether the displacement amount of the measurement object when the reference work is actually measured becomes the known reference value of the reference work, and the work is performed. Manually adjust the usage settings for the person to determine the measurement conditions.
- the usage setting values include the amount of light projected, the measurement mode, the filter, the number of moving averages, the sampling period, the cutoff frequency, the refractive index, etc.
- Multiple and diverse settings are required, and it is difficult for an inexperienced worker to properly implement these settings.
- the present invention has been made to solve the above problems, and is a displacement meter setting that can reduce the burden of operator judgment and operation when measuring a reference work and pre-adjusting a set value to be used. It is an object of the present invention to provide a value adjusting device.
- the set value adjusting device for the displacement meter includes i) a light source that projects light on a reference work that serves as a reference for the object to be measured, and a light receiving unit that receives reflected light from the reference work and outputs a light receiving signal.
- Acquiring unit that acquires the measured value indicating the amount of displacement of the reference work based on the received signal received from the displacement meter including, ii) Defines the measurement conditions when measuring the reference work, and also defines the set value and measurement.
- a storage unit having a storage area for storing a target measured value for comparison with a value and storing a used set value which is a set value used when measuring a reference work, and iii) using the used set value.
- the reference work When the reference work is measured, it includes a determination unit for determining whether or not the measurement value acquired by the acquisition unit is within the range of the target measurement value, and an iv) change unit for changing the usage setting value. Then, when it is determined that the measured value is within the range of the target measured value, the used set value when the measured value is acquired is set to the used set value used when inspecting the measurement object. When it is determined that the measured value is out of the range of the target measured value, the changing unit changes to a usage setting value different from the one when the measured value was acquired, and the acquiring unit uses the usage setting value as a reference work. Is measured to acquire the measured value, and the determination unit determines whether or not the measured value measured using the use set value is within the range of the target measured value.
- the displacement meter set value adjusting device defines i) measurement conditions when measuring a reference work that serves as a reference for a measurement object, and sets values including initial values and whether or not the measurement results are possible.
- a storage unit that stores the target measurement value for determining, ii) a setting unit that sets the initial value to the usage setting value used when measuring the measurement object, and iii) the initial value.
- Acquisition unit that acquires the measured value indicating the displacement amount of the reference work, and iv) Judgment unit that determines whether the measured value based on the initial value acquired by the acquisition unit is within the range of the target measured value.
- the initial value set by the setting unit is used as the set value to be used, and when the measured value is outside the range of the target measured value, the changed unit is used. Change the set value to a setting value different from the initial value.
- the set value adjusting device for the displacement meter includes i) a light source that projects light on a reference work that serves as a reference for the object to be measured, and a light receiving unit that receives reflected light from the reference work and outputs a light receiving signal.
- An acquisition unit that acquires a measured value indicating the amount of displacement of the reference work based on the received signal received from the displacement meter including, ii) a set value that defines measurement conditions when measuring the reference work, and measurement.
- a storage unit having a storage area for storing the target measured value for comparison with the value and storing the used set value which is the set value used when measuring the reference work, and iii) the measured value and the reference work.
- the set value adjusting device of the displacement meter of the first invention measures the reference work and pre-adjusts the set value to be used, if the measured value is within the range of the target measured value, when the measured value is acquired.
- Set the usage setting value of to the usage setting value used when inspecting the object to be measured and if the measurement value is outside the range of the target measurement value, the change unit changes the usage setting value, and the acquisition unit changes the usage setting value.
- the measured value is acquired using the used set value, and it is determined again whether or not the measured value measured using the used set value is within the range of the target measured value. Therefore, when the reference work is measured and the usage setting value is pre-adjusted, the usage setting value can be adjusted while reducing the burden of the operator's judgment and operation.
- the set value adjusting device of the displacement meter of the second invention measures the reference work and pre-adjusts the set value to be used, if the measured value based on the initial value is within the range of the target measured value, the initial value is adjusted. If the value is used as the usage setting value used when inspecting the object to be measured and the measurement value is outside the range of the target measurement value, the change unit changes the usage setting value to a setting value different from the initial value. To do. Therefore, when the reference work is measured and the usage setting value is pre-adjusted, the usage setting value can be adjusted while reducing the burden of the operator's judgment and operation.
- the set value adjusting device for the displacement meter of the third invention is used to measure the measured value acquired by the state observer when measuring the reference work and pre-adjusting the set value to be used, and when measuring the reference work.
- the learning unit learns the usage settings according to the training data set created based on the state variables including the usage settings. Therefore, it is possible to learn and adjust the usage setting value while reducing the burden of the user's judgment and operation.
- Embodiment 1 The set value adjustment system of the displacement meter 10 of the first embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 16.
- the set value adjustment system of the displacement meter 10 constitutes equipment in the FA (Factory Automation) field.
- the set value adjusting system of the displacement meter 10 includes a displacement meter 10 such as a laser displacement sensor, a PLC (Programmable Logic Controller) 20 as a control device, and a PC (Personal Computer) as a set value adjusting device. ) 30 is included.
- the displacement meter 10 is an optical displacement meter that applies the principle of triangulation to measure the distance to the measurement object 1 or the measured value indicating the displacement amount of the measurement object 1.
- the displacement meter 10 includes a drive circuit 2, a laser diode 3 as a light source, a light projecting lens 4, a light receiving lens 5, a one-dimensional image sensor 6 as a light receiving unit, and a reading circuit 7.
- the drive circuit 2 is a circuit that drives the laser diode 3.
- the laser diode 3 irradiates the measurement object 1 with laser light through the light projecting lens 4.
- the one-dimensional image sensor 6 has light receiving elements corresponding to a plurality of pixels in a row. Then, the reflected light from the measurement object 1 enters the light receiving element through the light receiving lens 5, and the electric charge is accumulated. Examples of the one-dimensional image sensor 6 include a CCD (Charge-Couple Device) line sensor and a CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor) line sensor.
- the read circuit 7 is a circuit that reads a light receiving signal according to the amount of light received by the light receiving element corresponding to each pixel of the image sensor 6 and the position of the light receiving element received.
- each light receiving element constituting the light receiving surface of the image sensor 6 according to the relative displacement of the measurement object 1 and the amount of light received. Then, the reading circuit 7 reads the electric charge of each light receiving element as a light receiving signal indicating the amount of light received from the light receiving element at one end to the light receiving element at the other end of the image sensor 6 in the scanning direction X.
- the position of the reflection surface of the measurement object 1 is also displaced in the same manner.
- the position of the reflecting surface of the measurement object 1 changes, so that the position of the pixel corresponding to the light receiving element in the image sensor 6 in which the reflected light from the measurement object 1 is incident on the image sensor 6 changes, and the pixel Each time, a charge corresponding to the amount of received light is accumulated and read out as a received signal.
- the displacement meter 10 generally has a measurement center distance.
- the measurement center distance is an absolute reference distance that is determined by the arrangement of the laser diode 3 and the floodlight lens 4, which are the components of the optical system constituting the displacement meter 10, and is used as the measurement reference of the displacement meter 10.
- the measurement center distance is the distance at which the spot diameter of the laser light emitted from the projection lens 4 of the displacement meter 10 is minimized, that is, the focal length of the projection lens 4.
- the laser diode 3, the light projecting lens 4, the light receiving lens 5 and the image sensor 6 which are the components of the optical system constituting the displacement meter 10 It is predetermined by the arrangement.
- the reason why the measurement center distance and the measurable range are determined by the components of the optical system is that the arrangement positions of the laser diode 3, the projection lens 4, the light receiving lens 5 and the image sensor 6 are fixed inside the displacement meter 10. This is because it is generally not possible to adjust the measurement center distance and the measurable range.
- the measurement center distance is located at the intersection of the light projecting axis of the light projecting lens 4 and the light receiving axis of the light receiving lens 5, the angle between the light projecting axis and the light receiving axis is also constant.
- the read circuit 7 When the reflective surface of the object 1 to be measured is located at the measurement center distance, the reflected light is incident on the light receiving element located near the center between one end and the other end of the light receiving surface of the image sensor 6 in the scanning direction X. In that case, the read circuit 7 outputs a voltage of 0 V as a displacement output. This indicates that the position of the reflecting surface of the measurement object 1 coincides with the measurement center distance, that is, the amount of displacement from the measurement center distance is 0 mm. Further, when the reflecting surface of the measurement object 1 is farther than the measurement center distance with respect to the displacement meter 10, the reflected light is emitted to the light receiving element located on one end side of the light receiving surface of the image sensor 6 in the scanning direction X. Incident.
- the reading circuit 7 when the reflective surface of the object 1 to be measured is located at the lower limit of the measurable range, the reading circuit 7 outputs a voltage of ⁇ 5 V as a displacement output. This indicates that the displacement amount of the reflecting surface of the measurement object 1 from the measurement center distance is -15 mm.
- the reflecting surface of the object to be measured 1 is closer than the measurement center distance to the displacement meter 10
- the reflected light is reflected by the light receiving element located on the other end side of the light receiving surface of the image sensor 6 in the scanning direction X. Is incident.
- the reading circuit 7 outputs a voltage of + 5 V as a displacement output.
- the PLC 20 includes a first communication I / F (Interface) unit 21, a first control unit 22, and a first storage unit 23.
- the first communication I / F unit 21 receives the signal from the external device connected to the PLC 20 and transmits the signal from the PLC 20 to the external device connected to the PLC 20.
- the first communication I / F unit 21 includes an A / D (Analog-to-Digital) conversion circuit that converts a received analog signal into a digital signal, and transmits the received analog signal from the first communication I / F unit 21 to an external device.
- a / D Analog-to-Digital
- a D / A (Digital-to-Analog) conversion circuit is included in order to convert the digital signal into an analog signal and transmit it to an external device.
- the first communication I / F unit 21 transmits and receives signals without going through the A / D conversion circuit and the D / A conversion circuit. It is configured as follows. The details of the first control unit 22 and the first storage unit 23 will be described later. Since the physical property detection unit 40 and the temperature sensor 50 that can be connected to the PLC 20 are used in the second and subsequent embodiments, the description thereof will be omitted in the first embodiment.
- the PC 30 as a set value adjusting device for the displacement meter 10 includes a display device 31, an input device 32, a second communication I / F unit 33, a second control unit 34, and a second storage unit 35.
- the display device 31 displays, for example, a display screen for displaying the measured value of the displacement meter 10.
- the display device 31 is a liquid crystal display device, but is not limited thereto.
- the input device 32 is, for example, a mouse and a keyboard that receive input by an operation by the user, but is not limited thereto.
- the second communication I / F unit 33 is connected to the first communication I / F unit 21 of the PLC 20 to transmit and receive signals between the PLC 20 and the PC 30. The details of the second control unit 34 and the second storage unit 35 will be described later.
- the first storage unit 23 of the PLC 20 stores the used setting value as a storage area for storing the control program 231 and various used set values Yy as used set values which are set values used when measuring the measurement object 1. Includes region 232 and.
- the control program 231 is created by a user using an engineering tool introduced in the PC 30, and is a program for controlling the displacement meter 10 which is a controlled device connected to the PLC 20.
- the first storage unit 23 includes a flash memory, an SSD (Solid State Drive) or HDD (Hard Disk Drive) non-volatile storage device, a RAM (Random Access Memory) used as a work area, and the like.
- the first storage unit 23 is not limited to a flash memory, an SSD or an HDD, and a RAM.
- the non-volatile storage device of the first storage unit 23 may be an external storage device that can be connected to the PLC 20.
- the first control unit 22 reads the control program 231 stored in the first storage unit 23, and according to the read control program 231, the first communication I / F unit 21 from an external device such as a displacement meter 10 or a PC 30.
- the signal received via the above is processed, and the measured value and the amount of received light received from the displacement meter 10 are output to the PC 30 via the first communication I / F unit 21.
- the first control unit 22 stores the usage setting value Yy received from the PC 30 in the usage setting value storage area 232 of the first storage unit 23.
- the first control unit 22 reads the usage setting value Yy stored in the usage setting value storage area 232 of the first storage unit 23, and sets a control program according to the usage setting value Yy stored in the usage setting value storage area 232. 231 is executed and the displacement meter 10 is controlled.
- the function of the first control unit 22 is realized by the processor.
- the second storage unit 35 of the PC 30 defines the measurement conditions when measuring the measurement object 1 with the displacement meter 10, and determines all the set values 351 which are a plurality of set values divided for each attribute by the user.
- the target measurement value 352 to be stored the user condition storage area 354 in which the user condition input by the input device 32 being operated by the user is stored, and the setting used when measuring the measurement object 1.
- the second storage unit 35 is a flash memory, SSD or HDD, and RAM used as a work area, but the second storage unit 35 is used in the flash memory, SSD or HDD, and RAM. Not limited. Since the target light receiving amount 353 is used in the second and subsequent embodiments, the description thereof will be omitted in the first embodiment.
- the second control unit 34 includes an acquisition unit 341, a setting unit 342, a determination unit 343, a change unit 344, an update unit 345, a display control unit 346, and a threshold value setting unit 347.
- the functions of the acquisition unit 341, the setting unit 342, the determination unit 343, the change unit 344, the update unit 345, the display control unit 346, and the threshold value correction unit 347 of the second control unit 34 are realized by the processor. Since the threshold value correction unit 347 is used in the second and subsequent embodiments, the description thereof will be omitted in the first embodiment.
- the acquisition unit 341 acquires the measured value (and the amount of received light) of the displacement meter 10 from the PLC 20 via the second communication I / F unit 33, and also acquires the input by the user operation from the input device 32.
- the setting unit 342 measures the measurement target 1 by reading the set value XX for each attribute from all the set values 351 of the second storage unit 35 and storing it in the used setting value storage area 355. Set the usage setting value Yy to be used at the time.
- the determination unit 343 determines whether or not the measurement value acquired by the acquisition unit 341 is within the range of the target measurement value 352 when the measurement object 1 is measured using the usage set value Yy set by the setting unit 342. To do.
- the change unit 344 changes the usage setting value Yy used when measuring the reference work of the measurement object 1 from the previous usage setting value Yy. Specifically, the changing unit 344 reads a setting value Xx + 1 different from the setting value Xx corresponding to the previously used setting value Yy from all the setting values 351 of the second storage unit 35, and newly reads the setting. The value Xx + 1 is stored in the usage setting value storage area 355 as a new usage setting value Yy. Further, the changing unit 344 transmits a new usage setting value Yy stored in the usage setting value storage area 355 to the PLC 20, and the first control unit 22 of the PLC 20 is stored in the usage setting value storage area 232 of the first storage unit 23. Store the new usage setting value Yy.
- the update unit 345 is changed by the changed unit 344 and the measured value (first measured value) measured using the previous used set value Yy (first used set value) before being changed by the changed unit 344.
- the used set value Yy when a measured value close to the target measured value 352 is acquired is set. It is held as the usage set value Yy used when measuring the measurement object 1.
- the update unit 345 is used when the measurement value close to the target measurement value 352 is acquired among the previous usage setting value Yy and the new usage setting value Yy stored in the usage setting value storage area 355.
- the set value Yy is held in the optimized set value storage area 356.
- the update unit 345 transmits a command to the first control unit 22 of the PLC 20, and the previous usage setting value Yy and the new usage setting value Yy stored in the usage setting value storage area 232 of the first storage unit 23 Among them, the usage setting value Yy held in the optimization setting value storage area 356 is retained as the usage setting value Yy.
- the display control unit 346 displays, for example, a display screen or the like for displaying the measured value of the displacement meter 10 on the display device 31 based on the measured value acquired by the acquisition unit 341 or the input from the input device 32 by the user operation. Display.
- the set value Xx is divided for each attribute such as the amount of light projected, the measurement mode, the filter, the number of moving averages, the sampling period, the cutoff frequency, the refractive index, the measurement recipe, etc., and each attribute A plurality of set values Xx are included for each.
- the set values of each attribute may be collectively referred to as Xx.
- the setting value of the amount of floodlight is Ix
- the setting value of the measurement mode is Jx
- the setting value of the filter type is Kx
- the moving average is Lx
- the sampling cycle setting value is Mx
- the cutoff frequency setting value is Nx
- the refractive index setting value is Ox
- the measurement recipe setting value is Px.
- the set value included in each attribute has an initial value of 1, that is, a lowercase letter x part is a serial number starting from 1.
- the filter type setting value Kx may be explained below, such as K1 for the initial value of the moving average number of times, K2 for the low-pass filter setting value, and K3 for the high-pass filter setting value.
- the usage setting value Yy is a setting value Xx selected one by one for each attribute from the setting values 351. At the time of pre-adjustment, the usage setting value storage area 355 and the optimization setting value storage area of the PC 20 are used.
- the displacement meter 10 is a set value Xx used when measuring the measurement object 1.
- the set value Px of the measurement recipe it is not stored in the used set value storage area 232 of the PLC 20, but this point will be described in detail in the second and subsequent embodiments.
- the set value Ix of the light projection amount is a set value related to the light projection amount of the laser light from the laser diode 3, and includes a plurality of set values I1, I2, I3 ... From 0.01 to 100%. 0.01% is the lower limit setting value of the light projection amount, and 100% is the upper limit setting value of the light projection amount.
- the set value Jx of the measurement mode is for accurately acquiring the peak position of the waveform from the light receiving amount waveform when the light receiving amount of the light receiving element corresponding to each pixel is displayed as a waveform based on the light receiving signal from the image sensor 6.
- These are set values related to the measurement algorithm, and appropriate measurement mode setting values J1, J2, J3 ... Are prepared in advance for each type of the measurement object 1 according to the surface physical properties of the measurement object 1.
- a diffusion reflection mode in which a measurement algorithm suitable for the measurement object 1 having standard surface physical properties is set, and the measurement object 1 is a mirror surface or a transparent body.
- Suitable for the normal reflection mode in which the measurement algorithm suitable for the case is set the metal mode in which the measurement algorithm suitable for the measurement object 1 is set, and the case where the measurement object 1 is a translucent body.
- Semi-transparent body mode in which the measurement algorithm is set glass mode in which the measurement algorithm suitable for the case where the measurement object 1 is particularly glass among transparent objects is set, and the measurement object 1 is metal in the glass. Examples thereof include a patterned glass mode, which is a measurement algorithm suitable for a patterned glass in which lines are embedded. Any of these measurement algorithms may be used, and for example, as described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-38571, it is known that the center of gravity calculation line is changed according to the measurement object 1. Algorithms can be used.
- the filter type setting value Kx is the setting value K1, K2, K3 ... Regarding the filter type for filtering the measured value.
- the set values Kx of a plurality of filter types include, for example, the set value K1 of the moving average filter that filters the measured values by the moving average method, and the set value of the low-pass filter that gradually decreases the frequency higher than the cutoff frequency for the received light amount waveform.
- K2 a set value K3 of a high-pass filter that gradually reduces a frequency lower than the cutoff frequency for the received light amount waveform, and the like are included.
- the filter type setting value Kx includes both a low-pass filter and a high-pass filter as filter types related to the cutoff frequency, but at least one of the low-pass filter and the high-pass filter may be included.
- the set value Lx of the number of moving averages is additionally set when the set value K1 of the moving average filter is set as the set value Lx of the filter type, and the number of times of moving average is from 1 to 65536. Includes a plurality of set values L1, L2, L3 ...
- the sampling cycle setting value Mx is a setting value of a cycle in which the reading circuit 7 reads a light receiving signal indicating the amount of received light from the light receiving element corresponding to each pixel of the image sensor 6, and is, for example, a plurality of setting values between 10 ⁇ s and 2 ms. Includes set values M1, M2, M3 ... The longer the sampling cycle, the longer the time for the reflected light to be incident on the light receiving element corresponding to the pixel, so that the sampling cycle can be said to be the exposure time.
- the cutoff frequency setting value Nx is additionally set when a low-pass filter or a high-pass filter is set as the filter type setting value Kx, and is a plurality of setting values having a cutoff frequency of 1 Hz to 2000 Hz. Includes N1, N2, N3 ...
- the refractive index set value Ox is additionally set when the measurement target value is the thickness of the transparent body, and a plurality of set values O1, O2 with a refractive index of 0.5000 to 2.000. Includes O3 ...
- step S1 the measurement target value of the measurement target 1 is selected by operating the input device 32 by the user.
- the measurement target value is selected in the measurement target value selection frame 701 by operating the input device 32 by the user.
- the acquisition unit 341 acquires the measurement target value selected by the user operation.
- the acquisition unit 341 stores the selected measurement target value in the user condition storage area 354 of the second storage unit 35.
- the process proceeds to step S2.
- the displacement amount of the surface of the measurement target 1 is selected as the measurement target value.
- step S2 the display control device 346 displays the reference work installation notification screen 71 prompting the installation of the reference work on the display device 31.
- the method of reflecting the light on the surface of the measurement object 1 is the diffuse reflection light. Performed by the user.
- Diffuse reflection installation means that the angle between the projection axis of the displacement meter 10 and the surface of the object 1 to be measured is 90 °, and the reference work and the displacement meter 10 are located so that the surface of the reference work is located at the measurement center distance. And to install.
- the user When the reference work is a specular body or a transparent body, the user performs a regular reflection installation, which is an installation method in which the light reflected on the surface of the measurement object 1 is a regular reflected light.
- the specular reflection installation is to install the reference work and the displacement meter 10 at a position where the incident angle of the incident light and the reflected angle of the reflected light are equal when the measurement object 1 is installed at the measurement center distance.
- step S3 the display control device 346 displays the determination threshold value setting screen 72 on the display device 31.
- the input device 32 is operated by the user on the determination threshold value setting screen 72
- the upper limit threshold value and the lower limit threshold value are input to the input frame 720 of the upper limit threshold value and the input frame 721 of the lower limit threshold value.
- the determination threshold value is used to determine how much the displacement amount of the surface of the measurement object 1 deviates from the measurement center distance to determine that the product is defective.
- +1,000,000 mm is input as the upper limit threshold value and -1,000,000 mm is input as the lower limit threshold value.
- the measurement object 1 At the stage of inspection of the measurement object 1, if the measured value is within the range of the upper limit threshold value and the lower limit threshold value, the measurement object 1 is a non-defective product, and if it is outside the range of the upper limit threshold value and the lower limit threshold value, the measurement object is a measurement object. 1 is judged to be a defective product.
- the acquisition unit 341 accepts the user operation for the button 722 to proceed to the next step, the range of the determination threshold value is stored in the second storage unit 35 as the target measurement value 352. Then, the process proceeds to step S4.
- step S4 the display control device 346 displays the measured value acquisition interval setting screen 73 on the display device 31.
- the measurement value acquisition interval which is the measurement value acquisition interval desired by the user, is input to the input frame 730 of the measurement value acquisition interval. It is specified.
- the measured value acquisition interval is an interval at which the acquisition unit 341 of the PC 30 acquires the measured value from the PLC 20. In the example of FIG. 10, the measurement value acquisition interval is set to 40 ⁇ s.
- the acquisition unit 341 accepts the user operation for the button 731 for manual adjustment of the set value XX, and each set value XX is automatically adjusted. In this case, the acquisition unit 341 accepts a user operation for the button 732 for automatic adjustment of the set value Xx.
- the acquisition unit 341 accepts the user operation for the button 731 or the button 732, the measurement value acquisition interval input by the user operation is stored in the user condition storage area 354 of the second storage unit 35. Then, the process proceeds to step S5.
- the input frame 730 for the measurement value acquisition interval functions as a reception unit that accepts a user operation for designating the measurement value acquisition interval, which is the interval at which the acquisition unit 341 acquires the measurement value.
- step S5 the display control device 346 displays the display screen shown in FIGS. 11 to 13 on the display device 31. While checking the display screen displayed on the display device 31, the user manually adjusts various usage setting values Yy from all the setting values 351 as before.
- the measured value display screen 74 shown in FIG. 11 the measured values are displayed in the measured value display frames 740 and 741 on which the measured values of the displacement meter 10 are displayed.
- +0.945790 mm is displayed as the measured value from the displacement meter 10 on the measured value display frame 740, and the range of the determination threshold value (from the upper limit threshold value of +1,000,000 mm to the lower limit threshold value of -1,000,000 mm).
- FIG. 11 is a time change display screen 75 of the measured value showing the time change of the measured value by the distribution diagram 750 in which the measured value for each measurement value acquisition interval is plotted.
- the upper limit threshold value 751 and the lower limit threshold value 752 of the determination threshold value are also displayed, and are displayed so that the user can grasp whether the measured value 753 is within the range of the determination threshold value.
- FIG. 13 is a light receiving amount waveform display screen 76 for displaying the light receiving amount waveform acquired from the displacement meter 10.
- the vertical axis of the display area 760 displaying the light receiving amount waveform shows the light receiving amount
- the horizontal axis shows the positions of the pixels corresponding to the light receiving elements in the image sensor 6.
- the received light amount waveform display screen 76 also includes a display area 761 that displays the received light amount as a value and a display area 762 that displays the light projected amount when the received light amount is acquired.
- FIG. 13 is a light receiving amount waveform display screen 76 for displaying the light receiving amount waveform acquired from the displacement meter 10.
- the vertical axis of the display area 760 displaying the light receiving amount waveform shows the light receiving amount
- the horizontal axis shows the positions of the pixels corresponding to the light receiving elements in the image sensor 6.
- the received light amount waveform display screen 76 also includes a display area 761 that displays the received light amount as a value and a display area 762
- the possible value of the pixel position is, for example, a value corresponding to 0 to 500 pixels, and the position of 250 pixels, which is the median value of 0 to 500, is the position where the displacement amount is 0 mm. Shown. For example, when the surface of the object to be measured 1 approaches the position of 500 pixels from the position of 250 pixels, the displacement amount changes to the minus side (the direction approaching the displacement meter 10), and the surface of the object to be measured 1 is measured. When the displacement approaches the position of the pixel 0 from the position of the pixel 250, it indicates that the displacement amount has changed to the plus side (the direction away from the displacement meter 10). Since the apex of the peak P of the received light amount waveform shown in FIG.
- the displacement amount 13 is located between the pixel positions of 300 and 400, it indicates that the displacement amount has changed to the minus side. If the surface that serves as the measurement reference for the reference work is aligned with the measurement center distance, and if the set value Yy is set correctly, the peak of the light receiving waveform is located at the position of 250 pixels, which indicates the position of the displacement amount of 0 mm. Although the apex of P is located, the displacement amount is shifted to the minus side because the used setting value Yy is not adjusted correctly in FIG.
- each usage set value Yy is adjusted from the set value 351 so that the measured value falls within the range of the target measured value, and the acquisition unit 341 receives a user operation for the manual adjustment completion button (not shown). Then, the update unit 345 sets each usage setting value Yy when the measured value is within the range of the target measurement value as the usage setting value Yy used when actually inspecting the measurement object 1, and sets the PC30. 2 Stored in the optimization set value storage area 356 of the storage unit 35.
- the update unit 345 transmits the usage setting value Yy stored in the optimization setting value storage area 356 of the second storage unit 35 of the PC 30 to the PLC 20, and the first control unit 22 of the PLC 20 receives the usage setting value Yy. Is stored in the usage setting value storage area 232 of the first storage unit 23.
- step S5 when the button 732 for automatic adjustment of the set value Xx is selected, the automatic adjustment process for the set value shown in FIG. 14 is started as the process in step S5.
- a mode in which the measurement mode adjustment process is applied to the use set value adjustment process in step S50 will be described.
- the setting unit 342 sets the initial value X1 described in the center column of FIG. 5 as the usage setting value Yy for each attribute. Specifically, the setting unit 342 uses the setting value X1 predetermined as the initial value shown in FIG. 5 for each attribute from all the set values 351 of the second storage unit 35. By storing the set value storage area 355 as the used set value Yy, the used set value Yy used when measuring the measurement object 1 is set. That is, the setting unit 342 sets 50%, which is the initial value I1 of the set value Ix of the light projection amount of the laser diode 3, to the usage setting value Yy used when measuring the measurement object 1.
- the setting unit 342 sets the diffuse reflection mode, which is the initial value J1 of the set value Jx of the measurement mode, to the usage set value Yy used when measuring the measurement object 1. Further, the setting unit 342 sets the moving average filter, which is the initial value K1 of the set value Kx of the filter type, to the usage setting value Yy used when measuring the measurement object 1. Further, the setting unit 342 sets 128 times, which is the initial value L1 of the set value Lx of the moving average number of times, as the usage setting value Yy used when measuring the measurement object 1. Further, the setting unit 342 reads the measured value acquisition interval set in step S4 of FIG.
- the setting unit 342 sets the set value Mx of the sampling cycle equal to or less than the measured value acquisition interval and closest to the measured value acquisition interval to the measurement object 1.
- Set to the usage setting value Yy used when measuring For example, when the measurement value acquisition interval shown in FIG. 10 is set to 20 ⁇ s, 20 ⁇ s is set as the set value Mx of the sampling cycle.
- the setting unit 342 sets 100 Hz, which is the initial value N1 of the cutoff frequency set value Nx, as the use set value Yy used when measuring the measurement object 1. Further, the setting unit 342 sets 1.5000, which is the initial value O1 of the set value Ox of the refractive index, as the usage setting value Yy used when measuring the measurement object 1. Then, the setting unit 342 transmits the usage setting value Yy of each attribute stored in the usage setting value storage area 355 to the PLC 20, and the first control unit 22 of the PLC 20 sends the received usage setting value Yy of each attribute to the PLC 20. 1 It is stored in the usage setting value storage area 232 of the storage unit 23. Then, the process proceeds to step S20. Since the initial value P1 of the set value Px of the measurement recipe is not used in the first embodiment, the description thereof will be omitted.
- step S20 the measured value (and the amount of received light) from the displacement meter 10 acquired by the first control unit 22 of the PLC 20 executing the control program 231 according to the used set value Yy of the used set value storage area 232 is obtained. , Acquired by the acquisition unit 341 of the PC30.
- step S30 the determination unit 343 of the PC 30 sets the measured value from the displacement meter 10 within the range of the target measured value 352 stored in the user condition storage area 354 in step S4 of FIG. 6, that is, the upper limit threshold value. Judgment that is within the range of the lower limit threshold Judge whether it is within the range of the judgment threshold.
- the first measured value is each initial value X1 (that is, I1, J1, K1, L1, M1 (or the set value Mx of the sampling cycle less than or equal to the measured value acquisition interval and closest to the measured value acquisition interval), N1, O1). Is a measured value measured by setting as each usage setting value Yy.
- each initial value X1 used when the measured value is acquired (however, only Mx is not M1 as described above). If Yes) is used, the measured value of the reference work is within the appropriate range, so the automatic adjustment process for the set value used is terminated. That is, the usage setting value Yy used when acquiring the measurement value from the reference work within the range of the target measurement value 352 is stored in the usage setting value storage area 232 of the first storage unit 23 of the PLC 20 and used. It is set as the set value Yy.
- step S30: NO the process proceeds to step S40.
- step S40 the determination unit 343 of the PC 30 confirms whether the optimization completion flag FX is set.
- the optimization completion flag FX is a flag F that is set when the usage setting value adjustment process executed in step S50 described later is completed.
- the optimization completion flag FX for example, the upper case part of the measurement mode setting value Jx is applied to the upper part X part of the optimization completion flag FX, and when the measurement mode adjustment process is completed, the optimization completion flag FJ is set as described later. Set.
- the adjustment process of the setting value XX of other attributes is applied, the uppercase X part of the setting value XX of the corresponding attribute is similarly applied to the uppercase X part of the optimization completion flag FX. If it is determined in step S40 that the optimization completion flag FJ is not set (step S40: NO), the measurement mode adjustment process described later is not completed, so the process proceeds to step S50.
- step S50 even if the initial value J1 of the set value Jx of the measurement mode is set as the used set value Yy, the measured value is not correct, so the measurement mode adjustment process is executed as the used set value adjustment process.
- the details of the measurement mode adjustment process will be described with reference to FIG.
- step S50 the measurement mode adjustment process is executed.
- the determination unit 343 determines whether or not the current measurement value in the measurement mode adjustment process is the first measurement value.
- the initial measured value in the measurement mode adjustment process is the measured value when the measured value is acquired in step S20 prior to the measurement mode adjustment process and the measurement mode adjustment process in step S50 is performed for the first time.
- the number of times that the measurement mode adjustment process in step S50 is performed from the start of the use setting value automatic adjustment process is counted, and the count value is counted.
- the determination unit 343 determines that it is the first measured value, but the present invention is not limited to this.
- step S101 When it is determined that the current measured value is the first measured value (step S101: YES), the diffused reflection mode, which is the initial value J1 of the set value Jx of the measurement mode, is used when measuring the measurement object 1. There is only the measured value acquired for the first time after setting the usage set value Yy to be used, and there is no other measured value to be compared. Therefore, the process proceeds to step S102.
- step S102 the change unit 344 reads the set value Jx + 1, which is different from the set value Jx of the measurement mode for which the measured value has been acquired, from all the set values 351 of the second storage unit 35. If it is the first time, the set value Jx of the measurement mode for which the measured value has been acquired has only the diffuse reflection mode which is the initial value J1, so the set value J2 is set as the set value Jx + 1 of the measurement mode different from the initial value J1 and the second storage unit. Read from all the set values 351 of 35. Then, the changing unit 344 changes the used setting value Yy to be used next time to the measurement mode setting value Jx + 1 by storing the read measurement mode setting value Jx + 1 in the usage setting value storage area 355.
- the change unit 344 transmits the measurement mode setting value Jx + 1, which is the next use setting value Yy stored in the usage setting value storage area 355, to the PLC 20, and the first control unit 22 transmits the usage setting value storage area 232.
- the set value Jx + 1 of the measurement mode which is the set value Yy to be used next time, is stored and set in. If it is determined in step S101 that the current measured value is the first measured value and step S102 is performed without going through step S103 and step S104, in step S102, the changing unit 344 sets the initial value J1. It is also tentatively stored in the optimization setting value storage area 356. Then, returning to step S20 of FIG.
- the first control unit 22 of the PLC 20 sets a measurement mode setting value Jx + 1 which is a new usage setting value Yy (usage setting value to be used next time) stored in the usage setting value storage area 232.
- the control program 231 is executed according to the above.
- the acquisition unit 341 acquires a measured value using a new usage setting value Yy (the above-mentioned usage setting value to be used next time).
- step S30 and step S40 are performed again in the same manner as described above, and if the optimization completion flag FJ is not set, the process proceeds to step S50 again.
- step S30 If it is determined in step S30 that the measured value immediately after changing the set value Jx of the measurement mode to the set value J2 is within the range of the target measured value 352, the optimized set value is stored at that stage. Since the initial value J1 is tentatively stored in the area 356 and the set value Jx has not been optimized, the process proceeds to step S40 as an exception.
- step S50 the process proceeds to step S101 of FIG. 15 again.
- step S101 it is determined that the current measured value is not the first measured value (step S101: NO), and the process proceeds to step S103.
- the update unit 345 measures the measured value measured using the measurement mode usage setting value Yy (first usage setting value, Jx in the first embodiment) held in the optimization setting value storage area 356.
- the use setting value Yy of the measurement mode when a measurement value close to the target measurement value 352 is acquired among the two measurement values) is held in the optimization setting value storage area 356.
- step S104 the determination unit 343 determines whether or not all the measured values obtained by measuring the reference work using the set values Jx of all the measurement modes as the set value Yy have been acquired. For example, whether or not the number of measured values acquired by the acquisition unit 341 from the start of the measurement mode adjustment process by the determination unit 343 matches the number of measurement mode set values Jx in all the set values 351 of the second storage unit 35. By confirming whether or not all the measured values have been acquired, it is determined. If it is determined that all the measured values have not been acquired (step S104: NO), the process proceeds to step S102 again.
- step S102 the changing unit 344 reads the set value Jx + 1 different from the set value Jx of the measurement mode for which the measured value has been acquired from all the set values 351 and uses the set value Yy in the used set value storage area 355.
- the changing unit 344 transmits the measurement mode setting value Jx + 1 stored in the usage setting value storage area 355 to the PLC 20, and stores the measurement mode setting value Jx + 1 in the usage setting value storage area 232 as the usage setting value Yy. ..
- step S102 is performed through step S103 and step S104, the use setting value Yy of the measurement mode when the measurement value close to the target measurement value 352 is acquired in step S103 is held in the optimization setting value storage area 356. Therefore, in order to retain the usage setting value Yy, the initial value J1 is not stored in the optimization setting value storage area 356.
- steps S20 to S50 of FIG. 14 are repeatedly executed.
- the measured value is targeted in step S30 during the iterative process from step S20 to step S50.
- the measured value of the reference work is in an appropriate range by using the set value Jx of the measurement mode stored in the optimized set value storage area 356.
- the usage setting value automatic adjustment process is terminated. That is, at this stage, the setting value Jx of the same measurement mode as the usage setting value Yy used when acquiring the measurement value from the reference work within the range of the target measurement value 352 stores the optimization setting value of the PC 30. In addition to being held in the area 356, the same usage setting value Yy is also stored in the usage setting value storage area 232 of the PLC 20. Therefore, when the displacement meter 10 actually inspects the measurement object 1, the measurement mode set value Jx stored in the optimization set value storage area 356 is used.
- the setting value Xx held in the optimization setting value storage area 356 when it is determined to be within the range of the target measurement value 352 is also referred to as the optimization setting value X_opt below, and the optimization setting value of the measurement mode is It is called J_opt.
- step S104 If it is determined in step S104 that all the measured values have been acquired by using the set values Jx of all the measurement modes as the set value Yy (step S104: YES), the process proceeds to step S105.
- step S105 it is assumed that the update unit 345 has acquired all the measured values by using the set values Jx of all the measurement modes for the used set value Yy, and the measurement mode adjustment process as the used set value adjustment process is completed.
- the optimization completion flag FJ is set as the optimization completion flag FX.
- a command is transmitted to the first control unit 22 of the PLC 20, and the measurement mode usage setting value Yy stored in the first storage unit 23 is held in the optimization setting value storage area 356 when the measurement mode adjustment process is completed.
- the optimization set value J_opt of the measurement mode which is the set value Jx of the measured mode, is retained.
- the optimization setting value J_opt of the measurement mode stored in the optimization setting value storage area 356 is all the setting values J1, J2, J3 of the measurement mode.
- the set value Jx obtained by acquiring the measured value closest to the target measured value 352 is held, and the optimized set value J_opt is set in the used set value storage area 232 of the PLC 20.
- steps S20 to S40 of FIG. 14 are performed.
- step S30 determines that the measured value acquired in step S20 using the measurement mode optimization set value J_opt is out of the range of the target measured value 352 (step S30: NO)
- step S40 After confirming that the flag FJ is set, the process proceeds to step S60.
- step S60 the determination unit 343 displays an error display screen on the display device 31, and the user indicates that the measurement mode setting value Jx could not be adjusted so that the measurement value can be measured correctly in the use setting value automatic adjustment process. Notify to.
- the displacement meter 10 After the use set value automatic adjustment process is executed as described above and the measured value is within the range of the target measured value 352 in step S30, the displacement meter 10 actually measures the measurement object 1 as shown in FIG. The inspection process is performed. At this time, the set value Jx of the measurement mode when the measured value falls within the range of the target measured value 352 by the used set value automatic adjustment process is stored as the used set value Yy in the used set value storage area 232 of the PLC 20. And used for inspection.
- step S1001 similarly to step S20, the measured value from the displacement meter 10 acquired by the first control unit 22 of the PLC 20 executing the control program 231 according to the usage setting value Yy of the usage setting value storage area 232. Is acquired by the acquisition unit 341 of the PC 30.
- step S1002 similarly to step S30, the determination unit 343 determines that the measured value from the displacement meter 10 is within the range of the target measured value 352, that is, the range of the target measured value 352 which is the range of the upper limit threshold value and the lower limit threshold value. Determine if it is within. If it is determined that the measured value is within the range of the target measured value 352 (step S1002: YES), the process proceeds to step S1003.
- step S1003 the determination unit 343 stores the inspection result that the measurement object 1 is a non-defective product in the second storage unit 35. Then, the process proceeds to step S1005.
- step S1002 If it is determined in step S1002 that the measured value is out of the range of the target measured value 352 (step S1002: NO), the process proceeds to step S1004.
- step S1004 the determination unit 343 stores the inspection result that the measurement object 1 is a defective product in the second storage unit 35.
- the display control unit 346 displays on the display device 31 that a defective product has occurred and notifies the user. Then, the process proceeds to step S1005.
- step S1005 the determination unit 343 determines whether the acquisition unit 341 has received the inspection end instruction by the user operation from the input device 32. When the inspection end instruction is received (step S1005: YES), the inspection of the measurement object 1 is completed. If the inspection end instruction is not received (step S1005: NO), the process returns to step S1001 and the inspection of the measurement object 1 is continued.
- the measured value is the target measured value. If it is within the range of 352, when inspecting the object 1 to be measured, the set value Yy (set value Jx of the measurement mode) used when the measured value determined to be within the range of the target measured value 352 is acquired.
- the change unit 344 changes to the usage setting value Yy different from the one when the measurement value is acquired, and the acquisition unit 341 Re-acquires the measured value using the changed usage setting value Yy, and the determination unit 343 sets the measurement value measured using the changed usage setting value Yy (measurement mode setting value Jx + 1) as the target measurement. It is determined again whether or not it is within the range of the value 352. Therefore, when the reference work is measured and the usage setting value Yy of the measurement mode is pre-adjusted, the effect is that the usage setting value Yy can be adjusted while reducing the burden of the user's judgment and operation.
- the set value adjusting device of the displacement meter 10 in the first embodiment when the reference work is measured and the set value Yy used is pre-adjusted from the set value Jx of the measurement mode, the measured value based on the initial value J1.
- the initial value J1 is used as the usage setting value Yy used when inspecting the measurement object 1, and the measurement value is outside the range of the target measurement value 352.
- 344 changes the used set value Yy to a set value different from the initial value J1 of the measurement mode (for example, the set value Jx + 1 of the measurement mode). Therefore, when the reference work is measured and the use set value Yy of the measurement mode is pre-adjusted, the effect is that the use set value Yy can be adjusted while reducing the burden of the operator's judgment and operation.
- the update unit 345 sets the use set value Yy (first use set value, measurement mode set value Jx) before being changed by the change unit 344. Measured value measured using the measured value (first measured value) and the used set value Yy (second used set value, measurement mode set value Jx + 1) after being changed by the changing unit 344. Of the (second measured value), the used set value Yy when a measured value close to the target measured value 352 is acquired is updated as the used set value Yy used when measuring the measurement object 1.
- the usage setting value Yy of the measurement mode is pre-adjusted, the usage setting value Yy is updated to the appropriate measurement mode setting value Jx while reducing the burden of the user's judgment and operation. It has the effect of being able to do it.
- Embodiment 2 Subsequently, the set value adjustment system of the displacement meter 10 of the second embodiment will be described with reference to FIGS. 14 and 17.
- the same components as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
- the used set value adjusting process of step S50 shown in FIG. 14 is replaced with the measurement mode adjusting process shown in FIG. 15 of the first embodiment.
- the first filter adjustment process shown in 17 is different from the first embodiment.
- the other processes are the same as those in the first embodiment except that the first filter adjustment process is executed. Therefore, the description of the same process will be omitted.
- step S50 the first filter adjustment process is executed.
- the set value Jx of the measurement mode was adjusted in steps S101 to S105 of the first embodiment, but in steps S201 to S205 of the second embodiment corresponding to steps S101 to S105 of the first embodiment,
- the set value Kx of the filter type is adjusted instead of the set value Jx of the measurement mode.
- the optimization completion flag FX set in step S205 is the optimization completion flag FK indicating the completion of the first filter adjustment process.
- the optimization setting value X_opt held in the optimization setting value storage area 356 is the optimization setting value K_opt of the filter type.
- the set value adjusting device of the displacement meter 10 in the second embodiment when the reference work is measured and the used set value Yy is pre-adjusted from the set values Kx of the filter type, the same as in the first embodiment. If the measured value is within the range of the target measured value 352, the set value Yy (set value Kx of the filter type) used when the measured value determined to be within the range of the target measured value 352 is acquired is measured. If the set value Yy used when inspecting the object 1 is set and the measured value is out of the range of the target measured value 352, the change unit 344 changes the set value Yy different from when the measured value is acquired.
- the acquisition unit 341 reacquires the measured value using the changed usage setting value Yy, and the determination unit 343 measures using the changed usage setting value Yy (filter type setting value Kx + 1). It is determined again whether or not the measured value is within the range of the target measured value 352. Therefore, when the reference work is measured and the usage setting value Yy of the filter type is pre-adjusted, the effect is that the usage setting value Yy can be adjusted while reducing the burden of the user's judgment and operation.
- the set value adjusting device of the displacement meter 10 in the second embodiment when the reference work is measured and the used set value Yy is pre-adjusted from the set values Kx of the filter type, the measured value based on the initial value K1.
- the initial value K1 is used as the use setting value Yy used when inspecting the measurement object 1, and the measurement value is outside the range of the target measurement value 352.
- 344 changes the used setting value Yy to a setting value different from the initial value K1 of the filter type (for example, the setting value Kx + 1 of the filter type). Therefore, when the reference work is measured and the used set value Yy of the filter type is pre-adjusted, the effect is that the used set value Yy can be adjusted while reducing the burden of the operator's judgment and operation.
- the update unit 345 uses the used set value Yy (first used set value, before being changed by the changed unit 344).
- the used set value Yy when a measured value close to the target measured value 352 is acquired is the used set value used when measuring the measurement object 1. Update as Yy.
- Embodiment 3 Subsequently, the set value adjustment system of the displacement meter 10 of the third embodiment will be described with reference to FIGS. 14 and 18.
- the same configurations as those in the first embodiment or the second embodiment are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
- the used set value adjusting process of step S50 shown in FIG. 14 is replaced with the measurement mode adjusting process shown in FIG. 15 of the first embodiment.
- the second filter adjustment process shown in 18 is different from the first embodiment.
- the other processes are the same as those in the first embodiment except that the second filter adjustment process is executed. Therefore, the description of the same process will be omitted.
- step S50 the second filter adjustment process is executed.
- the determination unit 343 sets the used setting value K1 of the moving average filter as the used set value Yy of the filter type used when measuring the measurement object 1, and the used set value storage area 355 of the second storage unit 35. Determine if it is held in.
- the set value K1 of the moving average filter is not held (step S301: NO)
- the set value Kx of the filter type different from that of the moving average filter is held as the used set value Yy of the filter type, so that the optimization is performed.
- the process proceeds to step S308 to set the completion flag FL and end the second filter adjustment process.
- the set value K1 of the moving average filter is held as the used set value Yy (step S301: YES)
- the process proceeds to step S302.
- step S302 the determination unit 343 reads the measured value acquisition interval set in step S4 of FIG. 6 from the user condition storage area 354. Then, the process proceeds to step S303.
- step S303 the determination unit 343 calculates the permissible moving average number of times by the following equation 1. Then, the process proceeds to step S304.
- the allowable moving average number is the number of moving averages that is equal to or less than the measured value acquisition interval without exceeding the measured value acquisition interval desired by the user.
- the sampling cycle setting value Mx used when calculating the allowable moving average number of times using the following equation 1 is the sampling cycle usage setting stored in the usage setting value storage area 355 of the second storage unit 35. Use the value Yy. If the second filter adjustment process is executed for the first time, sampling is 40 ⁇ s (or sampling that is less than or equal to the measured value acquisition interval and closest to the measured value acquisition interval, which is the initial value M1 of the sampling cycle set value Mx shown in FIG.
- the cycle setting value Mx) is stored in the usage setting value storage area 355 of the second storage unit 35 as the usage setting value Yy of the sampling cycle. Allowable moving average number ⁇ Measured value acquisition interval ⁇ Sampling cycle ... (Equation 1)
- steps S304 to S308 of the third embodiment corresponding to steps S101 to S105 of the first embodiment the setting value Jx of the measurement mode of the first embodiment is replaced by the same procedure as that of the first embodiment.
- the set value Lx of the moving average filter is adjusted.
- the optimization completion flag FX set in step S308 is the optimization completion flag FL indicating the completion of the second filter adjustment process.
- the optimization setting value X_opt held in the optimization setting value storage area 356 is the optimization setting value L_opt of the number of moving averages.
- step S40 of the usage set value automatic adjustment process shown in FIG. 14 it is confirmed whether the optimization completion flag FL indicating the completion of the adjustment process of the set value Lx of the moving average number of times is set.
- step S305 the change unit 344 reads the set value Lx + 1, which is different from the set value Lx of the number of moving averages for which the measured value has been acquired, from all the set values 351 of the second storage unit 35, and stores the used set value. By storing in the area 355, the usage setting value Yy to be used next time is changed to the setting value Lx + 1 of the moving average number of times. Further, the change unit 344 transmits the measurement mode setting value Lx + 1, which is the next use setting value Yy stored in the use setting value storage area 355, to the PLC 20, and the use setting to be used next time in the use setting value storage area 232.
- the set value Lx + 1 of the moving average number of times which is the value Yy, is stored and set. At this time, as the set value Lx + 1 of the moving average number of times changed by the changing unit 344, only the setting value Lx + 1 equal to or less than the allowable moving average number of times calculated in step S303 is selected.
- the set value adjusting device of the displacement meter 10 in the third embodiment when the reference work is measured and the used set value Yy is pre-adjusted from the set value Lx of the number of movement averages, the first embodiment or the embodiment If the measured value is within the range of the target measured value 352, the set value Yy (of the number of moving averages) used when the measured value determined to be within the range of the target measured value 352 is acquired, as in the case of the second embodiment.
- the set value Lx) is set to the usage set value Yy used when inspecting the measurement object 1 and the measured value is out of the range of the target measured value 352, the changing unit 344 acquires the measured value.
- the measurement value is changed to a different usage setting value Yy
- the acquisition unit 341 reacquires the measured value using the changed usage setting value Yy
- the determination unit 343 sets the changed usage setting value Yy (setting of the number of movement averages). It is determined again whether or not the measured value measured using the value Lx + 1) is within the range of the target measured value 352. Therefore, when the reference work is measured and the usage set value Yy of the moving average number of times is pre-adjusted, the usage setting value Yy can be adjusted while reducing the burden of the user's judgment and operation.
- the measurement is based on the initial value L1.
- the initial value L1 is used as the usage setting value Yy used when inspecting the measurement object 1, and the measurement value is outside the range of the target measurement value 352.
- the changing unit 344 changes the used setting value Yy to a setting value different from the initial value L1 of the moving average number of times (for example, the setting value Lx + 1 of the moving average number of times). Therefore, when the reference work is measured and the usage set value Yy of the moving average number of times is pre-adjusted, the effect is that the usage setting value Yy can be adjusted while reducing the burden of the operator's judgment and operation.
- the update unit 345 is set to the used set value Yy (first) before being changed by the change unit 344.
- the measurement object 1 is measured with the set value Yy used when a measurement value close to the target measurement value 352 is acquired among the measurement values (second measurement value) measured using the set value Lx + 1) of the average number of times. It is updated as the usage setting value Yy used at the time.
- the usage setting value Yy can be updated to an appropriate setting value Lx while reducing the burden of the user's judgment and operation. It works.
- the changing unit 344 uses the measurement value acquisition interval as the use set value Yy of the sampling cycle (when the displacement meter 10 measures the measurement object 1).
- the used set value Yy is changed to the set value Lx of the moving average number of times equal to or less than the allowable moving average number obtained by dividing by the set value Mx) of the sampling cycle. Therefore, when the changing unit 344 changes the used setting value Yy of the moving average number of times, it is not changed to the set value Lx of the moving average number of times that exceeds the measurement value acquisition interval specified by the user operation. Therefore, there is an effect that the use setting value Yy of the moving average number of times can be automatically adjusted to the setting value Lx of the appropriate moving average number of times without affecting the tact time assumed by the user.
- Embodiment 4 Subsequently, the set value adjustment system of the displacement meter 10 of the fourth embodiment will be described with reference to FIGS. 14 and 19.
- the same configurations as those in the first to third embodiments are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
- the used set value adjusting process of step S50 shown in FIG. 14 is replaced with the measurement mode adjusting process shown in FIG. 15 of the first embodiment.
- the third filter adjustment process shown in 19 is different from the first embodiment.
- the other processes are the same as those in the first embodiment except that the third filter adjustment process is executed. Therefore, the description of the same process will be omitted.
- step S50 the third filter adjustment process is executed.
- the determination unit 343 uses either one of the low-pass filter setting value K2 and the high-pass filter setting value K3 as the usage setting value Yy of the filter type used when measuring the measurement object 1. It is determined whether or not the storage unit 35 is held in the usage setting value storage area 355.
- the set value K2 of the low-pass filter or the set value K3 of the high-pass filter is not held (step S401: NO)
- the set value Kx of the filter type different from the low-pass filter or the high-pass filter is set as the used set value Yy of the filter type. Since it is held, the process proceeds to step S406 in order to set the optimization completion flag FN and end the third filter adjustment process.
- the low-pass filter setting value K2 or the high-pass filter setting value K3 is held as the filter type usage setting value Yy (step S401: YES)
- the process proceeds to step S402.
- step S402 to S406 of the fourth embodiment corresponding to the steps S101 to S105 of the first embodiment
- the set value Jx of the measurement mode of the first embodiment is replaced by the same procedure as that of the first embodiment.
- the cutoff frequency set value Nx is adjusted.
- the optimization completion flag FX set in step S406 is the optimization completion flag FN indicating the completion of the third filter adjustment process.
- the optimization setting value X_opt held in the optimization setting value storage area 356 is the optimization setting value N_opt of the number of moving averages.
- step S40 of the use set value automatic adjustment process shown in FIG. 14 it is confirmed whether the optimization completion flag FN indicating the completion of the adjustment process of the cutoff frequency set value Nx is set.
- the set value adjusting device of the displacement meter 10 in the fourth embodiment when the reference work is measured and the set value Yy to be used is pre-adjusted from the set value Nx of the cutoff frequency, it is carried out from the first embodiment. If the measured value is within the range of the target measured value 352, the set value Yy (of the cutoff frequency) used when the measured value determined to be within the range of the target measured value 352 is acquired. When the set value Nx) is set to the usage set value Yy used when inspecting the measurement object 1 and the measured value is out of the range of the target measured value 352, the change unit 344 obtains the measured value.
- the measurement value is changed to a different usage setting value Yy, the acquisition unit 341 reacquires the measured value using the changed usage setting value Yy, and the determination unit 343 sets the changed usage setting value Yy (cutoff frequency setting). It is determined again whether or not the measured value measured using the value Nx + 1) is within the range of the target measured value 352. Therefore, when the reference work is measured and the cutoff frequency used set value Yy is pre-adjusted, the effect is that the used set value Yy can be adjusted while reducing the burden on the user's judgment and operation.
- the measurement is based on the initial value N1.
- the initial value N1 is used as the usage setting value Yy used when inspecting the measurement object 1, and the measurement value is outside the range of the target measurement value 352.
- the changing unit 344 changes the used set value Yy to a set value different from the initial value N1 of the number of moving averages (for example, the cutoff frequency set value Nx + 1). Therefore, when the reference work is measured and the cutoff frequency used set value Yy is pre-adjusted, the effect is that the used set value Yy can be adjusted while reducing the burden on the operator's judgment and operation.
- the update unit 345 is set to the used set value Yy (the first) before being changed by the change unit 344.
- the measurement target 1 is measured with the set value Yy used when a measurement value close to the target measurement value 352 is acquired among the measurement values (second measurement value) measured using the off-frequency set value Nx + 1). It is updated as the usage setting value Yy used at the time. Therefore, when the reference work is measured and the cutoff frequency usage setting value Yy is pre-adjusted, the usage setting value Yy can be updated to an appropriate setting value Lx while reducing the burden of user judgment and operation. It works.
- Embodiment 5 Subsequently, the set value adjustment system of the displacement meter 10 of the fifth embodiment will be described with reference to FIGS. 14 and 20.
- the same configurations as those in the first to fourth embodiments are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
- the used set value adjusting process of step S50 shown in FIG. 14 is replaced with the measurement mode adjusting process shown in FIG. 15 of the first embodiment.
- the point that it is the refractive index adjusting process shown in 20 is different from the first embodiment.
- the other processes are the same as those in the first embodiment except that the refractive index adjusting process is executed. Therefore, the description of the same process will be omitted.
- step S50 the refractive index adjustment process is executed.
- the determination unit 343 reads the measurement target value set in step S1 of FIG. 6 from the user condition storage area 354 of the second storage unit 35, and the measurement target value is the transparent object 1 to be measured. Determine if body thickness has been selected.
- the measurement target value is not the thickness of the transparent body (step S501: NO)
- the process proceeds to step S506 in order to set the conversion completion flag FO and end the refractive index adjustment process.
- the process proceeds to step S502.
- step S502 to S506 of the fifth embodiment corresponding to the steps S101 to S105 of the first embodiment
- the set value Jx of the measurement mode of the first embodiment is replaced by the same procedure as that of the first embodiment.
- the set value Ox of the refractive index is adjusted.
- the optimization completion flag FX set in step S506 is the optimization completion flag FO indicating the completion of the refractive index adjustment process.
- the optimization setting value X_opt held in the optimization setting value storage area 356 is the optimization setting value O_opt of the refractive index.
- step S40 of the use set value automatic adjustment process shown in FIG. 14 it is confirmed whether the optimization completion flag FO indicating the completion of the adjustment process of the refractive index set value Ox is set.
- the set value adjusting device of the displacement meter 10 in the fifth embodiment when the reference work is measured and the used set value Yy is pre-adjusted from the set value Ox of the refractive index, the set value adjusting device of the displacement meter 10 is carried out from the first embodiment. Similar to the fourth embodiment, if the measured value is within the range of the target measured value 352, the set value Yy (set value of the refractive index) used when the measured value determined to be within the range of the target measured value 352 is acquired. Ox) is set to the usage setting value Yy used when inspecting the measurement object 1, and if the measurement value is outside the range of the target measurement value 352, the change unit 344 is the same as when the measurement value is acquired.
- the acquisition unit 341 reacquires the measured value using the changed usage setting value Yy
- the determination unit 343 reacquires the changed usage setting value Yy (refractive index setting value Ox + 1). It is determined again whether or not the measured value measured using the above is within the range of the target measured value 352. Therefore, when the reference work is measured and the used set value Yy of the refractive index is pre-adjusted, the effect is that the used set value Yy can be adjusted while reducing the burden of the user's judgment and operation.
- the set value adjusting device of the displacement meter 10 in the fifth embodiment when the reference work is measured and the used set value Yy is pre-adjusted from the set value Ox of the refractive index, the measured value based on the initial value O1 Is within the range of the target measurement value 352, the initial value O1 is used as the usage setting value Yy used when inspecting the measurement object 1, and the measurement value is outside the range of the target measurement value 352.
- 344 changes the used set value Yy to a set value different from the initial value O1 of the refractive index (for example, the set value Ox + 1 of the refractive index). Therefore, when the reference work is measured and the used set value Yy of the refractive index is pre-adjusted, the effect is that the used set value Yy can be adjusted while reducing the burden of the operator's judgment and operation.
- the update unit 345 is set to the used set value Yy before being changed by the change unit 344.
- the set value Yy used when a measured value close to the target measured value 352 is acquired out of the measured value (second measured value) measured using the set value Ox + 1) of Update as the usage setting value Yy to be used.
- the effect is that the used set value Yy can be updated to an appropriate set value Ox while reducing the burden of judgment and operation by the user. Play.
- Embodiment 6 Subsequently, the set value adjustment system of the displacement meter 10 of the sixth embodiment will be described with reference to FIGS. 21 to 23.
- the same configurations as those in the first to fifth embodiments are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
- the use set value automatic adjustment process shown in FIG. 22 is performed instead of the use set value automatic adjustment process shown in FIG. Specifically, the point where step S10A is executed instead of step S10, and the use setting value adjustment process in step S50 are shown in FIG. 23 instead of the measurement mode adjustment process shown in FIG. 15 of the first embodiment. It differs from the first embodiment in that it is a measurement recipe adjustment process. In the sixth embodiment, the other processes are the same as those in the first embodiment except that the measurement recipe adjustment process is executed. Therefore, the description of the same process will be omitted.
- the set value Px of the measurement recipe has a plurality of attribute set values Ix, Jx, Kx, Lx, Mx, Nx, Ox, etc. for each attribute according to the physical properties of the measurement object 1 or the measurement target value. It is a set value that is associated and set one by one.
- Examples of the set values Px of a plurality of measurement recipes are measurement recipe A in which a measurement recipe suitable for the measurement object 1 having standard surface physical properties is set, and measurement object 1 is a metal having a non-mirror surface.
- Measurement recipe B in which a measurement recipe suitable for the case is set
- measurement recipe C in which a measurement recipe suitable for the case where the measurement object 1 is a mirror surface or a transparent body is set, and between the transparent bodies of the measurement object 1.
- Measurement recipe D which is a measurement recipe suitable for measuring the gap between the two
- measurement recipe E which is a measurement recipe suitable for measuring the thickness of the transparent body of the measurement object 1, and metal having a mirror surface on the measurement object 1.
- Multiple set values P1 and P2 such as measurement recipe F in which a measurement recipe suitable for the above case is set, measurement recipe G in which a measurement recipe suitable for the case where the measurement object 1 is a patterned glass is set, and the like. , P3 ...
- the initial value P1 of the set value Px of the measurement recipe is the set value of the measurement recipe A.
- the measurement recipe A As an example of the setting values Ix, Jx, Kx, Lx, Mx, Nx, Ox ... Of each attribute associated with the setting value Px of the measurement recipe, the measurement recipe A will be described as an example. As shown in FIG. 21, the set value P1 of the measurement recipe A includes 50%, which is the initial value I1 of the set value Ix of the floodlight amount, and the diffuse reflection mode, which is the initial value J1 of the set value Jx of the measurement mode.
- the moving average filter which is the initial value K1 of the set value Kx of the filter type, 128 times which is the initial value L1 of the set value Lx of the number of moving averages, and 40 ⁇ s which is the initial value M1 of the set value Mx of the sampling cycle are It is set in advance by the manufacturer or the like.
- the cutoff frequency set value Nx and the refractive index set value Ox are not set because they are not used.
- the setting values Ix, Jx, Kx, Lx, Mx, Nx, Ox, etc. of each attribute associated with the setting values Px of other measurement recipes are also preset as shown in FIG. ing.
- step S10A the setting unit 342 is associated with the setting value P1 of the measurement recipe A, which is the initial value P1 of the setting value Px of the measurement recipe.
- the attribute setting value Xx (I1, J1, K1, L1, M1, none, none ...) is set as the usage setting value Yy.
- step S10A in the usage setting value automatic adjustment process of the sixth embodiment the setting value P1 of the measurement recipe A, which is the setting value Px of the measurement recipe, is added as the initial value of each attribute, and the setting value P1 of the measurement recipe A is added.
- the set value Xx of each attribute associated with the above and the set value P1 of the measurement recipe A are stored in the used set value storage area 355 as the used set value Yy.
- the setting unit 342 is associated with the setting value P1 of the measurement recipe A except for the setting value P1 of the measurement recipe A among the usage setting values Yy of each attribute stored in the usage setting value storage area 355.
- the set value Xx of each attribute is transmitted to the PLC 20, and the first control unit 22 of the PLC 20 stores the received set value Yy of each attribute in the used set value storage area 232 of the first storage unit 23. Then, in the use setting value automatic adjustment process of FIG. 22, steps S20 to S60 are performed as in the first embodiment.
- step S50 the measurement recipe adjustment process shown in FIG. 23 is executed.
- the determination unit 343 reads the measurement target value set in step S1 of FIG. 6 from the user condition storage area 354 of the second storage unit 35, and the measurement target value is the transparent object 1 to be measured. Determine if the gap in the body or the thickness of the transparent body is selected.
- step S601: YES the process proceeds to step S602.
- step S602 the change unit 344 sets the set value Xx (Ix, Jx, Kx) of each attribute associated with the set value Px of the measurement recipe corresponding to the measurement target value read from the user condition storage area 354.
- Lx, Mx, Nx, Ox ...) Are read from all the set values 351 of the second storage unit 35.
- the measurement target value is a gap between transparent bodies
- the set value Ix (20) of each attribute in the measurement recipe D (see FIG. 21), which is the set value Px of the measurement recipe corresponding to the gap between the transparent bodies.
- the changing unit 344 stores the read setting value Xx of each attribute in the used setting value storage area 355, and changes the used setting value Yy to be used next time to the read setting value Xx of each attribute. To do. Further, the changing unit 344 transmits the setting value XX of each attribute which is the used setting value Yy to be used next time stored in the usage setting value storage area 355 to the PLC 20, and the first control unit 22 transmits the usage setting value storage area 232. The setting value Xx of each attribute, which is the usage setting value Yy to be used next time, is stored and set in. Then, the process proceeds to step S607.
- step S601 If it is determined in step S601 that the gap of the transparent body or the thickness of the transparent body is not selected as the measurement target value (step S601: NO), the process proceeds to step S603.
- steps S603 to S607 of the sixth embodiment corresponding to the steps S101 to S105 of the first embodiment
- only the set value Jx of the measurement mode of the first embodiment is used in the same procedure as that of the first embodiment.
- the setting value Xx (Ix, Jx, Kx, Lx, Mx, Nx, Ox ...) of each attribute associated with the setting value Px of the measurement recipe is adjusted based on the setting value Px of the measurement recipe.
- step S604 the changing unit 344 changes the measured value to a set value Px + 1 different from the set value Px of the acquired measurement recipe, and is associated with the set value Px + 1 of the measurement recipe.
- the attribute setting values Xx (Ix, Jx, Kx, Lx, Mx, Nx, Ox ...) are read from all the set values 351 of the second storage unit 35.
- the change unit 344 uses the setting value Xx (Ix, Jx, Kx, Lx, Mx, Nx, Ox ...) of each attribute associated with the setting value Px + 1 of the measurement recipe and the setting value Px + 1 of the measurement recipe.
- the set value Yy to be used next time is changed to the set value Xx of each attribute.
- the change unit 344 corresponds to the setting value Xx of each attribute which is the next use setting value Yy stored in the usage setting value storage area 355 (excluding the setting value Px + 1 of the measurement recipe, the setting value Px + 1 of the measurement recipe).
- the set value Xx (Ix, Jx, Kx, Lx, Mx, Nx, Ox ...) of each attached attribute is transmitted to the PLC 20, and the first control unit 22 is used next time in the set value storage area 232.
- the setting value Xx of each attribute which is the setting value Yy (the setting value Xx (Ix, Jx, Kx, Lx, Mx, Nx, Ox %) of each attribute associated with the setting value Px + 1 of the measurement recipe is stored.
- the optimization completion flag FX set in step S607 is an optimization completion flag FP indicating the completion of the measurement recipe adjustment process.
- the optimization setting value X_opt held in the optimization setting value storage area 356 is the setting value Xx of each attribute associated with the optimization setting value P_opt of the measurement recipe and the optimization setting value P_opt of the measurement recipe. Ix, Jx, Kx, Lx, Mx, Nx, Ox ). Then, in step S40 of the use set value automatic adjustment process shown in FIG. 22, it is confirmed whether the optimization completion flag FP indicating the completion of the adjustment process of the set value Px of the measurement recipe is set.
- the setting value Xx of each attribute associated with the setting value Px of the measurement recipe the setting value Ix of the projection amount, the setting value Jx of the measurement mode, the setting value Kx of the filter type, and the moving average number of times
- the set value Lx, the set value Mx of the sampling cycle, the set value Nx of the cutoff frequency, the set value Ox of the refractive index, and the like are all associated, but the present invention is not limited to this.
- the setting value Xx of at least two or more of the setting values Xx of a plurality of attributes such as the value Ox may be associated with the setting value Px of the measurement recipe.
- the first to fifth embodiments are performed. Similarly, if the measured value is within the range of the target measured value 352, the set value Yy used when the measured value determined to be within the range of the target measured value 352 is acquired (in the set value Px of the measurement recipe).
- the set value Xx) of each associated attribute is set to the usage set value Yy used when inspecting the measurement object 1, and if the measured value is outside the range of the target measured value 352, the change unit 344 , The measurement value is changed to a different usage setting value Yy than when the measurement value is acquired, the acquisition unit 341 reacquires the measurement value using the changed usage setting value Yy, and the determination unit 343 reacquires the changed usage setting value. It is determined again whether or not the measured value measured using Yy (the set value Xx of each attribute associated with the set value Px + 1 of the measurement recipe) is within the range of the target measured value 352. Therefore, when the reference work is measured and the usage setting value Yy of the measurement recipe is pre-adjusted, the effect is that the usage setting value Yy can be adjusted while reducing the burden of the user's judgment and operation.
- the reference work is measured and the used set value Yy is pre-adjusted based on the set value Xx of each attribute associated with the set value Px of the measurement recipe.
- the measured value based on the initial value P1 is within the range of the target measured value 352
- each of the values associated with the initial value P1 is used as the set value Yy used when inspecting the measurement object 1.
- the changing unit 344 sets the used set value Yy to a set value different from the initial value P1 (for example, the set value of the measurement recipe).
- the update unit 345 is set to the used set value Yy (the first) before being changed by the change unit 344.
- Measurement value first measurement value measured using the usage setting value, the setting value Xx of each attribute associated with the setting value Px of the measurement recipe, and the usage setting after being changed by the change unit 344. It is closer to the target measured value 352 among the measured values (second measured value) measured using the value Yy (second used set value, set value Xx of each attribute associated with the set value Px + 1 of the measurement recipe).
- the used setting value Yy when the measured value is acquired is updated as the used set value Yy used when measuring the measurement object 1. Therefore, when the reference work is measured and the usage setting value Yy of the measurement recipe is pre-adjusted, the effect that the usage setting value Yy can be updated to an appropriate setting value Px while reducing the burden of the user's judgment and operation. Play.
- Embodiment 7 Subsequently, the set value adjustment system of the displacement meter 10 of the seventh embodiment will be described with reference to FIGS. 13, 14, 24 and 25.
- the same configurations as those in the first to sixth embodiments are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
- the used set value adjusting process of step S50 shown in FIG. 14 is replaced with the measurement mode adjusting process shown in FIG. 15 of the first embodiment.
- the light projection amount adjusting process shown in 24 is different from that of the first embodiment.
- the other processes are the same as those in the first embodiment except that the light projection amount adjusting process is executed. Therefore, the description of the same process will be omitted.
- the target light receiving amount 353, which is not described in the first embodiment, is also used.
- the second storage unit 35 of the PC 30 stores the target light receiving amount 353 defined as one of the measurement conditions of the displacement meter 10 in addition to the total set value 351 and the target measured value 352.
- the target light receiving amount 353 is, for example, a target value predetermined by the manufacturer. If the amount of light received from the displacement meter 10 is not within the range of the target amount of light received 353, the measured value cannot be acquired correctly. Specifically, when the light receiving amount from the displacement meter 10 is smaller than the target light receiving amount 353, for example, the peak P of the light receiving amount waveform in the display area 760 displaying the light receiving amount waveform shown in FIG. 13 is small.
- the peak P of the received light amount waveform becomes wide, and the detection accuracy of the position of the apex of the peak P on the horizontal axis indicating the position of the pixel corresponding to the light receiving element in the image sensor 6 deteriorates. That is, the accuracy of the measured value deteriorates.
- the peak P of the light receiving amount waveform in the display area 760 displaying the light receiving amount waveform shown in FIG. 13 is too large, and the light receiving amount waveform
- the apex of the mountain P exceeds the detectable range (in the example shown in FIG.
- the light receiving amount waveform becomes a trapezoidal light receiving amount waveform in which the apex portion of the mountain P is cut off.
- the position of the apex of the mountain P on the horizontal axis cannot be specified. That is, the accuracy of the measured value deteriorates. Therefore, in the seventh embodiment, the set value Ix of the light projection amount is adjusted so that the light receiving amount becomes the target light receiving amount 353.
- the target light receiving amount 353 may be a range between the lower limit target light receiving amount and the upper limit target light receiving amount such as 400 to 800, or may be a specific single value such as 600.
- step S50 of FIG. 14 the light projection amount adjustment process is executed.
- the determination unit 343 determines whether the amount of light received from the displacement meter 10 is within the range of the target amount of light received 353.
- the reference work is measured by using the initial value I1 of the light emitting amount used when the measured value is acquired. Since the amount of light received from the displacement meter 10 is within an appropriate range, the process proceeds to step S706. If it is determined that the received light amount is out of the range of the target received light amount 353 (step S701: NO), the process proceeds to step S702.
- steps S702 to S706 of the seventh embodiment corresponding to the steps S101 to S105 of the first embodiment
- the set value Jx of the measurement mode of the first embodiment is replaced by the same procedure as that of the first embodiment.
- the set value Ix of the amount of light projected is adjusted.
- step S704 unlike step S603 of the first embodiment using the acquired measured value and the target measured value 352, the acquired received light amount and the target received light amount 353 are used.
- the update unit 345 receives light received by using the usage setting value Yy (first usage setting value, Ix in the seventh embodiment) of the light projection amount held in the optimization set value storage area 356.
- the usage set value Yy of the light projection amount when the received light amount close to the target light receiving amount 353 is acquired among the second light receiving amount) is held in the optimized set value storage area 356.
- the optimization completion flag FX set in step S706 is an optimization completion flag FI indicating the completion of the light projection amount adjustment process.
- the optimization setting value X_opt held in the optimization setting value storage area 356 is the optimization setting value I_opt of the amount of light projected. Then, in step S40 of the usage set value automatic adjustment process shown in FIG. 14, it is confirmed whether the optimization completion flag FI indicating the completion of the adjustment process of the set value Ix of the light projection amount is set.
- step S60 of the use setting value automatic adjustment process shown in FIG. 14 the display control unit 346 displays an error display screen on the display device 31, so that the measured value can be measured correctly in the use set value automatic adjustment process. Notifies the user that the set value Ix of the floodlight amount could not be adjusted. More preferably, in the seventh embodiment, even if the determination unit 343 sets 0.01%, which is the minimum set value of the set value Ix of the light projection amount, as the used set value, the received light amount sets the upper limit target received light amount. When it is determined that the value is exceeded, the display control unit 346 displays a dimming filter mounting notification screen 77 for prompting the user to mount the dimming filter 11 on the displacement meter 10, as shown in FIG. It can be displayed on 31.
- the measured value is the target measured value. If it is within the range of 352, when inspecting the object 1 to be measured, the set value Yy (set value Ix of the amount of floodlight) used when the measured value determined to be within the range of the target measured value 352 is acquired. Set to the usage setting value Yy used for. Then, if the measured value is outside the range of the target measured value 352 and the received light amount is outside the range of the target received light amount 353, the changing unit 344 changes to the usage setting value Yy different from the time when the measured value is acquired.
- the acquisition unit 341 reacquires the measured value using the changed usage setting value Yy, and the determination unit 343 measures the measured value using the changed usage setting value Yy (light projection amount setting value Ix + 1). However, it is determined again whether or not it is within the range of the target measured value 352. Therefore, when the reference work is measured and the usage set value Yy of the light projection amount is pre-adjusted, the effect is that the usage setting value Yy can be adjusted while reducing the burden of the user's judgment and operation.
- the set value adjusting device of the displacement meter 10 when the reference work is measured and the set value Yy used is pre-adjusted from the set value Ix of the amount of projected light, the measured value based on the initial value I1. Is within the range of the target measurement value 352, the initial value I1 is used as the usage setting value Yy used when inspecting the measurement object 1, and the measurement value is outside the range of the target measurement value 352. 344 changes the used set value Yy to a set value different from the initial value I1 of the flooded amount (for example, the set value Ix + 1 of the flooded amount). Therefore, when the reference work is measured and the usage set value Yy of the light projection amount is pre-adjusted, the effect is that the usage setting value Yy can be adjusted while reducing the burden of the operator's judgment and operation.
- the updating unit 345 uses the used setting value Yy (first used set value, set value of the light emitting amount) of the light projection amount before being changed by the changing unit 344. Using the light reception amount (first light reception amount) acquired using Ix) and the usage setting value Yy (second usage setting value, light projection amount setting value Ix + 1) of the light projection amount after being changed by the changing unit 344. Of the light receiving amount (second light receiving amount) obtained in the above, the used set value Yy when the light receiving amount close to the target light receiving amount 353 is acquired is set as the used set value Yy used when measuring the measurement object 1. Update.
- the effect that the usage setting value Yy can be updated to an appropriate setting value Ix while reducing the burden of the user's judgment and operation. Play.
- Embodiment 8 Subsequently, the set value adjustment system of the displacement meter 10 of the eighth embodiment will be described with reference to FIGS. 14 and 26.
- the same configurations as those in the first to seventh embodiments are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
- the used set value adjusting process of step S50 shown in FIG. 14 is replaced with the measurement mode adjusting process shown in FIG. 15 of the first embodiment.
- the point that it is the sampling cycle adjustment process shown in 26 is different from the first embodiment.
- the other processes are the same as those in the first embodiment except that the sampling cycle adjustment process is executed. Therefore, the description of the same process will be omitted.
- steps S701 to S806 in the sampling cycle adjustment process of the eighth embodiment are the same as steps S701 to S706 in the light projection amount adjustment process of the seventh embodiment except for the points described later.
- the set value Mx of the sampling cycle is adjusted instead of the set value Ix of the light projection amount of the seventh embodiment.
- the optimization completion flag FX set in step S806 is an optimization completion flag FM indicating the completion of the sampling cycle adjustment process.
- the optimization setting value X_opt held in the optimization setting value storage area 356 is the optimization setting value M_opt of the sampling cycle. Then, in step S40 of the use set value automatic adjustment process shown in FIG. 14, it is confirmed whether the optimization completion flag FM indicating the completion of the adjustment process of the set value Mx of the sampling cycle is set.
- step S60 of the use setting value automatic adjustment process shown in FIG. 14 the display control unit 346 causes the display device 31 to display an error display screen so that the measured value can be correctly measured in the use set value automatic adjustment process. Notifies the user that the set value Mx of the sampling cycle could not be adjusted. More preferably, in the eighth embodiment, the light receiving amount exceeds the upper limit target light receiving amount even if the determination unit 343 sets the minimum set value 10 ⁇ s of the sampling cycle set value Mx as the used set value. When this is determined, the display control unit 346 can display the dimming filter mounting notification screen 77 shown in FIG. 25 on the display device 31 as in the seventh embodiment. This is because even if the set value Mx of the sampling cycle of the displacement meter 10 is set to the minimum set value, the amount of light received is excessive and cannot be adjusted by adjusting the set value Mx of the sampling cycle.
- the measured value is the target measured value. If it is within the range of 352, when inspecting the object 1 to be measured, the set value Yy (set value Mx of the sampling cycle) used when the measured value determined to be within the range of the target measured value 352 is acquired. Set to the usage setting value Yy used for. Then, if the measured value is outside the range of the target measured value 352 and the received light amount is outside the range of the target received light amount 353, the changing unit 344 changes to the usage setting value Yy different from the time when the measured value is acquired.
- the acquisition unit 341 reacquires the measured value using the changed usage setting value Yy, and the determination unit 343 measures the measured value using the changed usage setting value Yy (sampling cycle setting value Mx + 1). However, it is determined again whether or not it is within the range of the target measured value 352. Therefore, when the reference work is measured and the use set value Yy of the sampling cycle is pre-adjusted, the effect is that the use set value Yy can be adjusted while reducing the burden of the user's judgment and operation.
- the set value adjusting device of the displacement meter 10 when the reference work is measured and the used set value Yy is pre-adjusted from the set value Mx of the sampling cycle, the measured value based on the initial value M1.
- the initial value M1 is used as the usage setting value Yy used when inspecting the measurement object 1, and the measurement value is outside the range of the target measurement value 352.
- 344 changes the used set value Yy to a set value different from the initial value M1 of the sampling cycle (for example, the set value Mx + 1 of the sampling cycle). Therefore, when the reference work is measured and the use set value Yy of the sampling cycle is pre-adjusted, the effect is that the use set value Yy can be adjusted while reducing the burden of the operator's judgment and operation.
- the updating unit 345 uses the sampling cycle setting value Yy (first used setting value, sampling cycle setting value) before being changed by the changing unit 344. Using the received light amount (first received light amount) acquired using Mx) and the usage set value Yy (second use set value, sampling cycle set value Mx + 1) of the sampling cycle after being changed by the changing unit 344. The used set value Yy when the received light amount close to the target received light amount 353 is acquired out of the received light received amount (second received light amount) obtained in the above as the used set value Yy used when measuring the measurement object 1. Update.
- Embodiment 9 Subsequently, the set value adjustment system of the displacement meter 10 of the ninth embodiment will be described with reference to FIGS. 27 and 28.
- the same structures as those in the first to eighth embodiments are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
- the use set value automatic adjustment process shown in FIG. 27 is performed instead of the use set value automatic adjustment process shown in FIG. 22 of the sixth embodiment. Specifically, steps S70 and S80 are added to the usage set value automatic adjustment process shown in FIG. 22 of the sixth embodiment.
- the use set value adjustment process in step S50B is a combination of the measurement mode adjustment process of the first embodiment to the sampling cycle adjustment process of the eighth embodiment. Is different from the first embodiment to the eighth embodiment.
- the other processes are the same as those in the first to eighth embodiments except for the above points. Therefore, detailed description of the same processes will be omitted.
- the measured value is acquired in step S20 prior to the measurement recipe adjustment process, and the measured value when the measurement recipe adjustment process first proceeds is the initial measured value in the measurement recipe adjustment process. Further, the measured value is acquired in step S20 prior to the light projection amount adjustment process, and the measured value when the first time the light projection amount adjustment process proceeds is the initial measured value in the light projection amount adjustment process. The same applies to the adjustment process of other attributes.
- step S40 the determination unit 343 confirms whether the optimization completion flag FX is set. If the optimization completion flag FX is not set (step S40: NO), the process proceeds to step S50B.
- step S50B the measurement recipe adjustment process in step S600, the light projection amount adjustment process in step S700, the sampling cycle adjustment process in step S800, the measurement mode adjustment process in step S100, and step S200.
- the adjustment process of each attribute is executed in the order of the first filter adjustment process, the second filter adjustment process in step S300, the third filter adjustment process in step S400, and the refractive index adjustment process in step S500. That is, there are a plurality of attributes of the set value Xx to be adjusted. Then, in that order, the measurement recipe adjustment process is first executed.
- the adjustment process (that is, the light projection amount adjustment process and the sampling cycle adjustment process) relating to the first attribute, which is an attribute that affects not only the measured value but also the received light amount, is executed.
- adjustment processing related to the second attribute that is, measurement mode adjustment processing, first filter adjustment processing, second filter adjustment processing, third filter
- Adjustment processing and refractive index adjustment processing are executed.
- step S50B the measurement recipe adjustment process (steps S601 to S607 shown in FIG. 23) is executed in step S600. Specifically, in step S606, the update unit 345 has acquired all the measured values by using the set value Xx of each attribute associated with the set value Px of all the measurement recipes as the set value Yy. Is confirmed, and the measurement recipe adjustment process as the use setting value adjustment process in steps S20 to S50B is repeated until the optimization completion flag FP indicating the completion of the measurement recipe adjustment process is set in step S607.
- step S30 When it is determined in step S30 that the measured value is within the range of the target measured value 352 while repeating the measurement recipe adjustment process as the use set value adjusting process from step S20 to step S50B (step S30: YES). Is associated with the set value Px of the measurement recipe when the measured value determined to be within the range of the target measured value 352 is acquired, and the set value Xx of each attribute stored in the used set value storage area 232 ( If Ix, Jx, Kx, Lx, Mx, Nx, Ox 8) Is used, the measured value of the reference work is within an appropriate range, so that the use setting value automatic adjustment process is terminated.
- the set value Xx (Ix, Jx, Kx, Lx, Mx,) of each attribute associated with the set value Px of the measurement recipe when the measured value determined to be within the range of the target measured value 352 is acquired.
- Nx, Ox ...) Is set as the usage setting value Yy used when inspecting the measurement object 1.
- step S40 it is confirmed whether the optimization completion flag FX is set, but if it is confirmed that the optimization completion flag FX is not set (step S40: NO), the process proceeds to step S50B to set the use.
- the value adjustment process is executed. This is the same as that of the first to eighth embodiments, and the specific attribute to be adjusted in the usage setting value adjustment process (in the case of the measurement recipe adjustment process, the specific attribute to be adjusted is the measurement recipe). All included set values Xx (in the case of measurement recipe adjustment processing, all of the set values P1, P2, P3 ... of the measurement recipe) are set to the set value Yy, and the received light amount and / or the measured value is set.
- step S50B the set value Xx in the specific attribute currently being adjusted (while the measurement recipe is being adjusted, the measurement recipe is adjusted by the measurement recipe adjustment process in step S600).
- the set value Px) of the above is adjusted, and the adjustment process of the set value Xx (while the measurement recipe is adjusted, the set value Ix of the amount of light projected in the subsequent step S700) in other attributes is not performed.
- the optimization completion flag FP is set in step S607, and in step S40 of the usage setting value automatic adjustment process, the determination unit 343 confirms that the optimization completion flag FP is set for the first time in the usage setting value automatic adjustment process. (Step S40: YES), the process proceeds to step S70.
- step S70 the determination unit 343 includes all of the optimization completion flag FX of all attributes (that is, the optimization completion flag FI indicating the completion of the floodlight adjustment process, the optimization completion flag FP indicating the completion of the measurement recipe adjustment process, and the like. ) Is set. If it is determined in step S70 that the optimization completion flag FX for all attributes is not set (step S70: NO), the process proceeds to step S80.
- step S80 the change unit 344 changes the attribute of the set value XX to be adjusted in order to set the set value XX of the next attribute as the adjustment target. Specifically, when the optimization completion flag FP indicating the completion of the measurement recipe adjustment process is confirmed in step S40, the change unit 344 sets the attribute of the set value Xx to be adjusted to a different attribute from the measurement recipe. Change to a certain amount of light projection. Then, the process proceeds to step S50B.
- the order of changing the attributes is the same as the order of the adjustment processing of each attribute in the usage setting value adjustment processing shown in FIG. 28. That is, the attributes can be changed in the order of measurement recipe adjustment processing, light projection amount adjustment processing, sampling cycle adjustment processing, measurement mode adjustment processing, first filter adjustment processing, second filter adjustment processing, third filter adjustment processing, and refractive index adjustment processing. Will be done.
- step S50B the adjustment process of the set value Xx in the attribute to be adjusted changed in step S80 is performed. Specifically, if the measurement recipe adjustment process is completed, the amount of light projected in step S700 is adjusted so that the specific attribute to be adjusted next is adjusted to the amount of light projected, which is an attribute different from the measurement recipe. The adjustment process (steps S701 to S706 shown in FIG. 24) is executed. Then, the automatic adjustment process of the set value used in steps S20 to S50B is repeated until the optimization completion flag FI indicating the completion of the light emission amount adjustment process is set in step S706.
- steps S20, step S30, and steps of the use set value automatic adjustment process shown in FIG. 27 are completed until each use set value adjustment process is completed from the light emission amount adjustment process to the refractive index adjustment process.
- the procedure proceeds in the order of S40 and step S50B, and the adjustment of the set value Xx of the specific attribute is executed. Further, the process proceeds in the order of step S20, step S30, step S40, step S70, step S80, and step S50B, and the attribute of the set value Xx to be adjusted is changed.
- step S70 the optimization completion flag FX of all the attributes (that is, the light projection amount adjustment process) Until the optimization completion flag FI indicating the completion to the optimization completion flag FP indicating the completion of the measurement recipe adjustment process) is confirmed, steps S20, step S30, step S40 and step of the use setting value automatic adjustment process are confirmed. S50B and steps S20, S30, step S40, step S70, step S80 and step S50B are repeated.
- step S506 or the like of the adjustment process the optimization setting value X_opt of the setting value Xx of each attribute is stored in the optimization setting value storage area 356.
- step S30 While repeating the usage setting value adjustment processing after the light projection amount adjustment processing included in the usage setting value adjustment processing in steps S20 to S50B, it is determined in step S30 that the measured value is within the range of the target measured value 352.
- step S30: YES the measured value of the reference work is within an appropriate range if the set value Xx of each attribute stored in the optimization set value storage area 356 is used, so that the used set value is automatically adjusted. End the process. That is, at this stage, the setting value Xx of each attribute, which is the same as the usage setting value Yy of each attribute used when acquiring the measured value from the reference work within the range of the target measured value 352, is the optimization of the PC30.
- the set value storage area 356 It is held in the set value storage area 356, and is set by storing the same usage setting value Yy in the usage setting value storage area 232 of the PLC 20. Therefore, when the displacement meter 10 actually inspects the object 1 to be measured, the set value Xx of each attribute stored in the optimized set value storage area 356 (that is, Ix, Jx, Kx, Lx, Mx, Nx) , Ox %) Will be used.
- step S70 determines in step S70 that the optimization completion flag FX for all attributes is set (step S70: YES)
- the determination unit 343 proceeds to step S60.
- step S60 the determination unit 343 causes the display device 31 to display an error display screen, and notifies the user that the set value Xx could not be adjusted so that the measured value can be measured correctly in the set value automatic adjustment process.
- all of the light emission amount adjustment process and the sampling cycle adjustment process are executed as the adjustment process for the first attribute, which is an attribute that affects not only the measured value but also the received light amount. Not limited.
- the adjustment process relating to the first attribute at least one of the light projection amount adjustment process and the sampling cycle adjustment process may be executed.
- all of the light emission amount adjustment process and the sampling cycle adjustment process are executed as the adjustment process for the first attribute, which is an attribute that affects not only the measured value but also the received light amount.
- the sampling cycle adjustment process can be executed after the light projection amount adjustment process is executed. This is because the sampling cycle adjustment process may affect the takt time due to the longer exposure time of the image sensor 6. The influence on the takt time can be reduced by executing the sampling cycle adjustment process after executing the floodlight amount adjustment process.
- the measurement mode adjustment process, the first filter adjustment process, the second filter adjustment process, as the adjustment process relating to the second attribute, which is an attribute that affects the measured value but does not affect the received light amount All of the third filter adjustment process and the refractive index adjustment process are executed, but the present invention is not limited to this.
- the adjustment process relating to the second attribute at least one of the measurement mode adjustment process, the first filter adjustment process, the second filter adjustment process, the third filter adjustment process, and the refractive index adjustment process may be executed.
- the attribute affects the measured value but does not affect the received light amount.
- Changed to execute the adjustment process related to the second attribute This is because when the received light amount is out of the range of the target received light amount 353, the received light amount is too small or too large and the apex portion of the peak P of the received light amount waveform is cut off, resulting in a received light amount waveform on a trapezoid. This is because there is a high possibility that the measured value cannot be measured correctly.
- the measured value may be within the range of the target measured value in the adjustment process of the second attribute following the adjustment process of the first attribute. Will be higher.
- the first filter adjustment process for adjusting the set value Kx of the filter type is executed before the second filter adjustment process for adjusting the set value Lx of the moving average number of times.
- the filter type setting value Kx is changed before the setting value Lx of the moving average number of times is changed.
- the setting value K1 of the moving average filter is changed after being determined as the usage setting value of the filter type as being a setting value Kx more appropriate than the setting value Kx of another filter type (for example, low-pass filter or high-pass filter).
- Part 344 changed the attribute to be adjusted to the attribute of the moving average number of times, and changed the set value Lx of the moving average number of times.
- the setting value Kx of the moving average filter and the setting value of the moving average number of times should be adjusted after the setting value Kx of the moving average filter is determined as the setting value Kx of the filter type.
- Lx can be adjusted appropriately. For example, if the low-pass filter setting value K2 is temporarily set as the used setting value Yy as the initial value of the filter type setting value Kx, the filter type setting value Kx is adjusted after adjusting the moving average number setting value Lx. Then, it is assumed that the set value K1 of the moving average filter becomes an appropriate set value Kx. In this case, it is possible that the previously adjusted set value Lx of the moving average number of times does not become an appropriate use set value Yy. Therefore, after the set value K1 of the moving average filter is determined as the set value Kx of the filter type, the set value Lx of the number of moving averages is adjusted.
- the first filter adjustment process for adjusting the set value Kx of the filter type is executed before the third filter adjustment process for adjusting the set value Nx of the cutoff frequency.
- the filter type setting value Kx is changed before the cutoff frequency setting value Nx is changed. That is, assuming that the low-pass filter setting value K2 or the high-pass filter setting value K3 is a setting value Kx more appropriate than the setting value Kx of another filter type (for example, a moving average filter), it is determined as the filter type usage setting value Yy.
- the change unit 344 changes the attribute to be adjusted from the filter type to the cutoff frequency, and changes the set value Nx of the cutoff frequency.
- the cutoff frequency setting value Nx should be adjusted after the low-pass filter or high-pass filter setting values K2 and K3 are determined as the filter type setting value Kx. This is because the frequency set value Nx can be adjusted appropriately.
- the filter type setting value Kx associated with the initial value P1 (measurement recipe A setting value) of the measurement recipe setting value is a moving average.
- the set value of the filter is K1.
- the cutoff frequency setting value Nx is adjusted after the low-pass filter setting value K2 or the high-pass filter setting value K3 is determined as the filter type setting value Kx.
- the adjustment processing is executed in the order of the first filter adjustment processing, the second filter adjustment processing, and the third filter adjustment processing, but the third filter adjustment processing is performed before the second filter adjustment processing.
- the measurement mode adjustment process and the refractive index adjustment process may be executed after the light projection amount adjustment process, the sampling cycle adjustment process, and the measurement recipe adjustment process, or before the first filter adjustment process to the third filter adjustment process. Alternatively, it may be executed after the first filter adjustment process to the third filter adjustment process, or may be executed in the middle of the first filter adjustment process to the third filter adjustment process.
- the user determines when the reference work is measured and the use set value Yy for each attribute is pre-adjusted from the set values XX of a plurality of attributes. It has the effect of being able to adjust the usage setting value Yy of multiple attributes while further reducing the burden of operation.
- the initial value X1 of each attribute is set.
- the initial value X1 is used as the usage set value Yy used when inspecting the measurement object 1, and the measured value is outside the range of the target measured value 352.
- the changing unit 344 changes the used setting value Yy to a setting value different from the initial value X1 (for example, the setting value Xx + 1). Therefore, when the reference work is measured and the use set value Yy is pre-adjusted, the effect is that the use set value Yy can be adjusted while reducing the burden of the operator's judgment and operation.
- the update unit 345 sets the used set value Yy (first used set value, set value Xx of each attribute) before being changed by the changed unit 344.
- the used set value Yy when a measured value close to the target measured value 352 is acquired is updated as the used set value Yy used when measuring the measurement object 1.
- the burden of judgment and operation of the user is further reduced, and the usage setting value Yy of multiple attributes is appropriately set. It has the effect of being able to update to the value Xx.
- the plurality of attributes include the amount of light projected, the sampling period, the measurement mode, the filter type, and the moving average.
- a measurement recipe that includes two or more of the number of times, the cutoff frequency, and the refractive index, and a set value XX of a plurality of attributes is further included, and the set value Px of the measurement recipe is adjusted first, and the measured value is When it was determined to be within the range of the target measurement value 352, the measurement value determined to be within the range of the target measurement value 352 was acquired as the usage setting value Yy used when inspecting the measurement object 1.
- the usage setting value Yy of multiple attributes associated with the measurement recipe at the time is used. Then, when it is determined that the measured value measured using the usage setting value Yy of the plurality of attributes associated with the measured recipe changed by the changing unit 344 is out of the range of the target measured value 352, the adjustment target The attribute is changed to an attribute different from the measurement recipe among a plurality of attributes, and the usage setting value Yy of the attribute different from the measurement recipe is changed. In this way, since the set value Px of the measurement recipe is adjusted first, it is possible to increase the possibility that the adjustment time when adjusting the use set value Yy of the plurality of attributes can be shortened.
- the plurality of attributes are at least one of the light projection amount and the sampling period. It includes an attribute and a second attribute which is at least one of measurement mode, filter type, moving average number of times, cutoff frequency and refractive index. Then, when it is determined that the measured value is within the range of the target measured value 352, the usage setting value Yy of the first attribute when the measured value determined to be within the range of the target measured value 352 is acquired is set. It is set to the usage setting value Yy of the first attribute used when inspecting the measurement object 1.
- the changing unit 344 sets the attribute to be adjusted to the first.
- the attribute is changed to the second attribute, and the usage setting value Yy of the second attribute is changed.
- the adjustment process of the first attribute setting value Xx (for example, Ix, Mx) is executed prior to the adjustment process of the second attribute setting value Xx (for example, Jx, Kx, Lx, Nx, Ox). Therefore, in the adjustment process of the second attribute following the adjustment process of the first attribute, there is an effect that the measured value is more likely to be within the range of the target measured value.
- the attribute of the adjustment target of the set value Xx includes a light projection amount and a sampling period. Then, before changing the usage setting value Yy of the sampling cycle (setting value Mx of the sampling cycle), the usage setting value Yy of the projection amount (setting value Ix of the projection amount) is changed. Then, when it is determined that the measured value is within the range of the target measured value 352, the usage set value Yy (flooding amount) of the projected light amount when the measured value determined to be within the range of the target measured value 352 is acquired. Set value Ix) of is set to the usage set value Yy of the light projection amount used when inspecting the measurement object 1.
- the changing unit 344 sets the attribute to be adjusted to the light emitting amount. Is changed to the sampling cycle, and the usage setting value Yy (sampling cycle setting value Mx) of the sampling cycle is changed. As described above, since the adjustment process of the set value Ix of the floodlight amount is executed prior to the adjustment process of the set value Mx of the sampling cycle, the effect on the tact time can be reduced.
- the plurality of attributes include a filter type including at least a moving average filter and the number of moving averages.
- the changing unit 344 changes the used setting value Yy (filter type setting value Kx) of the filter type before changing the usage setting value Yy (setting value Lx of the moving average number of times) of the moving average number of times, and filters.
- the changing unit 344 changes the attribute to be adjusted from the filter type to the moving average number of times, and changes the usage setting value Yy of the moving average number of times.
- the plurality of attributes include a filter type including at least one of a low-pass filter and a high-pass filter. Includes cutoff frequency.
- the change unit 344 changes the filter type usage setting value Yy (filter type setting value Kx) before changing the cutoff frequency usage setting value Yy (cutoff frequency setting value Nx), and filters the filter.
- the change unit 344 changes the attribute to be adjusted from the filter type to the cutoff frequency attribute, and changes the cutoff frequency usage setting value Yy. ..
- Embodiment 10 Subsequently, the set value adjustment system of the displacement meter 10 according to the tenth embodiment will be described with reference to FIGS. 1, 22, 29 to 33.
- the same structures as those in the first to ninth embodiments are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
- the measurement recipe adjustment process shown in FIG. 32 is executed instead of the measurement recipe adjustment process shown in FIG. 23 of the sixth embodiment. Specifically, instead of step S603, step S604, step S605 and step S606 in the measurement recipe adjustment process of the sixth embodiment, step S610 and step S611 are executed in the measurement recipe adjustment process of the tenth embodiment. It is different from the sixth embodiment. In the tenth embodiment, the other processes are the same as those in the sixth embodiment except that the measurement recipe adjustment process steps S610 and S611 are executed. Therefore, the description of the same process will be omitted.
- the physical property detection unit 40 is a detection unit that identifies the physical properties of the object 1 to be measured, and as shown in FIG. 1, the first detection unit 41, the second detection unit 42, the third detection unit 43, and the fourth detection unit 44 including.
- the first detection unit 41 to the fourth detection unit 44 are connected to the first communication I / F unit 21 of the PLC 20, respectively.
- the acquisition unit 341 of the PC 30 acquires the detection values of the fourth detection unit 44 from the first detection unit 41 via the PLC 20.
- the first detection unit 41 is a detection unit that detects whether the physical properties of the measurement object 1 are transparent.
- the first detection unit 41 is, for example, an imaging unit that acquires an image captured in the direction in which the background member 8 is located on the opposite side of the measurement object 1 and the measurement object 1, and includes a CCD (Charge Coupled Device) camera. ..
- a mark or pattern is printed on the surface of the background member 8 facing the first detection unit 41. Therefore, when the measurement object 1 is a non-transparent body, as shown in FIG. 29 (a), the first detection unit 41 acquires an image of the surface of the measurement object 1, and the image is captured. , The printed mark or pattern does not appear on the surface of the background member 8.
- the first detection unit 41 takes an image including the surface of the background member 8 located on the opposite side of the measurement object 1. An image is acquired, and a mark or pattern printed on the surface of the background member 8 appears in the captured image of the first detection unit 41.
- the first detection unit 41 acquires an image captured in the direction in which the measurement object 1 is located, and transmits the acquired image to the PLC 20. Then, the first control unit 22 of the PLC 20 compares the reference image including the mark or pattern of the background member 8 with the actual captured image by a known pattern matching method or the like, and the actual captured image is the reference image.
- the background member 8 located on the opposite side of the measurement object 1 is reflected in the captured image, so that the measurement object 1 is determined to be a transparent body. Further, the first control unit 22 of the PLC 20 compares the reference image including the mark or pattern of the background member 8 with the actual captured image, and measures when the actual captured image does not match the reference image. Assuming that the surface of the object 1 is reflected in the captured image, the measurement object 1 is determined to be a non-transparent body. The determination results of the first control unit 22 of the PLC 20 are transmitted to the PC 30 and acquired by the acquisition unit 341 of the PC 30.
- the first detection unit 41 is not limited to the imaging unit, and uses a transmissive photoelectric sensor in which the projector and the receiver are arranged so as to sandwich the measurement object 1 so as to sandwich the light from the projector. It may be one that detects whether the physical property of the measurement object 1 is transparent, or any one that can detect that the physical property of the measurement object 1 is transparent. .. Further, the determination is not limited to the first control unit 22 of the PLC 20 and may be determined by the second control unit 34 of the PC 30.
- the second detection unit 42 is a detection unit that detects whether the surface of the measurement object 1 is a mirror surface or a non-mirror surface as the physical properties of the measurement object 1.
- the second detection unit 42 is, for example, a diffuse reflection type photoelectric sensor in which a floodlight and a light receiver are integrated. The light emitted from the projector of the photoelectric sensor as the second detection unit 42 is reflected on the surface of the measurement object 1, and the receiver receives the reflected light.
- the receiver of the second detection unit 42 acquires the received light amount detection value from the measurement object 1, and transmits the acquired light receiving amount detection value to the PLC 20.
- the first control unit 22 of the PLC 20 measures specular reflection on the surface of the measurement object 1 as shown in FIG. 30A. It is determined that the surface of the object 1 is a mirror surface. Further, when the received light amount detection value is smaller than the set threshold value, the first control unit 22 of the PLC 20 measures because diffuse reflection occurs on the surface of the measurement object 1 as shown in FIG. 30 (b). It is determined that the surface of the object 1 is a non-mirror surface.
- the determination results of the first control unit 22 of the PLC 20 are transmitted to the PC 30 and acquired by the acquisition unit 341 of the PC 30.
- the second detection unit 42 is not limited to the diffuse reflection type photoelectric sensor, and may be any one as long as it can detect whether the surface of the measurement object 1 is a mirror surface or a non-mirror surface. Further, the determination is not limited to the first control unit 22 of the PLC 20 and may be determined by the second control unit 34 of the PC 30.
- the third detection unit 43 is a detection unit that detects whether the physical property of the object to be measured 1 is an electric conductor such as a metal.
- the third detection unit 43 is, for example, an inductive proximity sensor.
- the inductive proximity sensor generates a high-frequency magnetic field from the detection coil, and when the object 1 to be measured approaches this magnetic field, if the object 1 to be measured is an electric conductor, the induced current (eddy current) is induced to the object to be detected by electromagnetic induction. Flows.
- the inductive proximity sensor detects whether the object 1 to be measured is an electric conductor based on the change in the impedance of the detection coil or the stop of oscillation due to this current.
- the third detection unit 43 is not limited to the induction type proximity sensor, and may be any one as long as it can detect that the physical property of the measurement object 1 is an electric conductor.
- the fourth detection unit 44 is a detection unit that detects whether or not the object is hard as the physical property of the measurement object 1.
- the fourth detection unit 44 is, for example, a contact type displacement sensor in which a stylus 431 protruding toward the surface of the measurement object 1 elastically contacts the surface of the measurement object 1.
- the stylus 441 contracts to turn on the output signal, and outputs an on signal to the PLC 20 as shown in FIG. 31 (a).
- the position of the stylus 441 is extended and the output signal is turned off as shown in FIG. 31 (b).
- the fourth detection unit 44 is not limited to the contact type displacement sensor, and may be any device as long as it can detect whether the object to be measured 1 is a hard object.
- the usage setting value automatic adjustment process of the tenth embodiment will be described.
- the use setting value automatic adjustment process shown in FIG. 22 is executed as in the sixth embodiment.
- the measurement recipe adjustment process shown in FIG. 32 is executed instead of the measurement recipe adjustment process shown in FIG. 23 of the sixth embodiment.
- the measurement recipe adjustment process of the tenth embodiment replaces step S603, step S604, step S605 and step S606 in the measurement recipe adjustment process of the sixth embodiment as described above.
- steps S610 and S611 are executed.
- steps S601, step S602 and step S607 are executed in the same manner as in the sixth embodiment.
- step S601 determines in step S601 that the gap of the transparent body or the thickness of the transparent body is not selected as the measurement target value (step S601: NO)
- the process proceeds to step S603.
- step S610 the acquisition unit 341 of the PC 30 acquires the detection results of the physical property detection units 40 such as the first detection unit 41, the second detection unit 42, the third detection unit 43, and the fourth detection unit 44 via the PLC 20. To do.
- step S611 the changing unit 344 of the PC 30 changes the set value Px of the measurement recipe based on the detection result of the physical property detecting unit 40 and the measurement recipe adjustment table described later.
- the measurement recipe adjustment table shown in FIG. 33 is a table stored in advance in the second storage unit 35 of the PC 30, and is used when changing the set value Px of the measurement recipe.
- the definitions of " ⁇ " and " ⁇ " in the measurement recipe adjustment table will be explained.
- the measurement recipe adjustment table when the measurement object 1 is a transparent body as the detection result of the first detection unit 41, " ⁇ " is added to the column of the first detection unit 41, and the measurement object 1 is a non-transparent body. If there is, "x" is added to the column of the first detection unit 41.
- the measurement object 1 is made of a hard material such as metal as the detection result of the 4th detection unit 44, " ⁇ " is added to the row of the 4th detection unit 44, and the measurement object 1 is made of rubber or the like. In the case of such a soft material, "x" is added to the row of the fourth detection unit 44.
- each measurement recipe in the measurement recipe adjustment table is selected based on the detection results of the first detection unit 41 to the fourth detection unit 44 as the physical property detection unit 40.
- the detection result of the first detection unit 41 is "x (non-transparent body)”
- the detection result of the second detection unit 42 is “x (non-mirror surface)”
- the detection result of the third detection unit 43 is "x (insulation)”.
- the detection result of "body)” and the fourth detection unit 44 is " ⁇ (hard)
- the physical property of the measurement object 1 is, for example, a general resin, so the set value Px of the measurement recipe A is selected. Will be done.
- the detection result of the first detection unit 41 is "x (non-transparent body)"
- the detection result of the second detection unit 42 is “x (non-mirror surface)”
- the detection result of the third detection unit 43 is " ⁇ (electricity)”.
- the detection result of "conductor)” and the fourth detection unit 44 is " ⁇ (hard)”
- the physical property of the measurement object 1 is a non-mirror surface metal
- the set value Px of the measurement recipe B is selected. ..
- the set value Px of each of the other measurement recipes shown in the measurement recipe adjustment table is also selected by the combination of “ ⁇ ” and “ ⁇ ” of the detection results of the first detection unit 41 to the fourth detection unit 44 shown in FIG. The recipe.
- the change unit 344 is a measurement recipe selected from the initial value P1 of the measurement recipe set in step S10A shown in FIG. 22 based on the first detection unit 41 to the fourth detection unit 44 and the measurement recipe adjustment table.
- Set value Xx of each attribute associated with the set value Px of the selected measurement recipe while changing to the set value Px of (Ix, Jx, Kx, Lx, Mx, Nx, Ox, Px ...) Is stored in the usage setting value storage area 355, so that the usage setting value Yy is changed to the setting value Xx of each attribute.
- the set value Px of the selected measurement recipe and the set value Xx of each attribute associated with the set value Px of the selected measurement recipe Xx Is also stored in the optimization setting value storage area 356.
- the changing unit 344 transmits the setting value XX of each attribute (excluding the setting value Px of the measurement recipe) which is the usage setting value Yy stored in the usage setting value storage area 355 to the PLC 20, and the first control unit 22 Stores and sets the set value Xx (excluding the set value Px of the measurement recipe) of each attribute received in the used set value storage area 232. Then, the process proceeds to step S607.
- step S607 similarly to the sixth embodiment, the update unit 345 sets the optimization completion flag FP indicating the completion of the measurement recipe adjustment process. Further, a command is transmitted to the first control unit 22 of the PLC 20, and the measurement recipe is stored in the usage setting value storage area 232 of the first storage unit 23 and in the optimization setting value storage area 356 when the measurement recipe adjustment process is completed.
- the setting value Xx of each attribute associated with the optimization setting value P_opt of (excluding the setting value Px of the measurement recipe) is retained.
- the measurement recipe adjustment process of the tenth embodiment adjusts only the set value Px of the measurement recipe as in the sixth embodiment, but the measurement recipe adjustment process of the tenth embodiment is the embodiment. It can also be applied to the measurement recipe adjustment process in the usage set value automatic adjustment process that combines the measurement mode adjustment process of 9 to the sampling cycle adjustment process.
- the measurement recipe adjustment process of the tenth embodiment is performed.
- the setting value Xx of each attribute associated with the setting value Px of the selected measurement recipe Is stored only in the optimized setting value storage area 356.
- step S611 since the setting value Xx (excluding Px) of each attribute associated with the setting value Px of the selected measurement recipe is held in the usage setting value storage area 232 of the PLC 20 in step S607, in step S611, The process of setting the usage setting value storage area 232 of the PLC 20 may be omitted.
- the acquisition unit 341 acquires the detected value from the physical property detection unit 40 that detects the physical property of the reference work, and the change unit 344 detects the physical property detection unit 40. Change the usage setting value of the measurement recipe based on the value. Then, when it is determined that the measured value is within the range of the target measured value 352, each attribute associated with the measurement recipe when the measured value determined to be within the range of the target measured value 352 is acquired.
- the usage setting value Yy is set to the usage setting value Yy used when inspecting the measurement object 1. Therefore, it is possible to adjust the usage setting value Yy while reducing the burden of the user's judgment and operation.
- the effect is that the set value Yy used can be changed to an appropriate set value Px that matches the physical properties of the reference work. Further, since the measurement recipe usage setting value Yy is changed based on the detection value of the physical property detection unit 40, it is not necessary to repeat the measurement recipe adjustment process many times, and the effect that the measurement recipe usage setting value Yy can be determined quickly. Play.
- Embodiment 11 Subsequently, the set value adjustment system of the displacement meter 10 of the eleventh embodiment will be described with reference to FIGS. 1, 14, 34, and 35. Regarding the same structure as in the first to tenth embodiments, the description of the same processing will be omitted.
- the second filter adjustment process shown in FIG. 34 is executed instead of the second filter adjustment process shown in FIG. 18 of the third embodiment.
- steps S309 and S310 are executed in the second filter adjustment process of the eleventh embodiment. Is different from the third embodiment.
- the other processes are the same as those in the third embodiment except that the steps S309 and S310 of the second filter adjustment process are executed. Therefore, the description of the same process will be omitted.
- the usage setting value automatic adjustment process shown in FIG. 14 is executed as in the third embodiment. Then, in the use setting value automatic adjustment process, when the process proceeds to step S50, the second filter adjustment process shown in FIG. 34 is executed instead of the second filter adjustment process shown in FIG.
- steps S301, step S302, and step S303 are executed in the same manner as in the third embodiment. Then, the process proceeds to step S309.
- step S309 similarly to step S610 of the tenth embodiment, the acquisition unit 341 of the PC 30 passes through the PLC 20 to the first detection unit 41, the second detection unit 42, the third detection unit 43, and the fourth detection unit 44.
- the detection result of the physical property detection unit 40 such as, etc. is acquired.
- step S310 the changing unit 344 of the PC 30 changes the set value Lx of the moving average number of times based on the detection result of the physical property detecting unit 40 and the moving average number of times adjustment table described later.
- the moving average number adjustment table shown in FIG. 35 is a table stored in advance in the second storage unit 35 of the PC 30, and is used when changing the set value Lx of the moving average number.
- the definitions of “ ⁇ ” and “ ⁇ ” in the moving average number adjustment table are the same as those described in the tenth embodiment.
- the set value Lx of the moving average number of times in the moving average number of times adjustment table is the reference work as the measurement object 1 based on the detection results of the first detection unit 41 to the fourth detection unit 44 as the physical property detection unit 40. It is selected according to the surface physical properties of. Specifically, the set value Lx of the moving average number in the moving average number adjustment table is set so that the set value Lx of the moving average number becomes smaller if the surface of the reference work is a smooth mirror surface. If the surface of is a rough surface with irregularities, the set value Lx of the number of moving averages is set to be large.
- the detection result of the first detection unit 41 is "x (non-transparent body)"
- the detection result of the second detection unit 42 is “ ⁇ (mirror surface)”
- the detection result of the third detection unit 43 is " ⁇ (electrical conduction)”.
- the detection result of "body)” and the fourth detection unit 44 is " ⁇ (hard)”
- the surface physical properties of the measurement object 1 are, for example, a metal whose surface is a mirror surface, so that the set value Lx of the number of moving averages is set. 32 times is selected as.
- the detection result of the first detection unit 41 is "x (non-transparent body)"
- the detection result of the second detection unit 42 is “x (non-mirror surface)”
- the detection result of the third detection unit 43 is " ⁇ (electricity)”.
- the detection result of "conductor) or x (insulator)” and the fourth detection unit 44 is " ⁇ (hard)”
- the surface physical properties of the object 1 to be measured are standard materials or metals whose surface is non-mirror surface. Therefore, 128 times is selected as the set value Lx of the moving average number of times.
- the detection result of the first detection unit 41 is " ⁇ (transparent body)"
- the detection result of the second detection unit 42 is “x (non-mirror surface)”
- the detection result of the third detection unit 43 is " ⁇ (electrical conduction)”.
- the detection result of "body)” and the fourth detection unit 44 is " ⁇ (hard)”
- the surface physical property of the object 1 to be measured is patterned glass, so 512 times is selected as the set value Lx of the moving average number of times. Will be done.
- the change unit 344 is selected from the initial value L1 of the moving average number of times set in step S10 shown in FIG. 14 based on the first detection unit 41 to the fourth detection unit 44 and the moving average number of times adjustment table.
- the used set value Yy is changed to the set value Lx of the selected moving average number of times.
- the set value Lx of the selected moving average number of times is also stored in the optimized set value storage area 356.
- the changing unit 344 transmits the setting value Lx of the selected moving average number of times, which is the usage setting value Yy stored in the usage setting value storage area 355, to the PLC 20, and the first control unit 22 transmits the usage setting value storage area.
- the set value Lx of the selected moving average number of times received in 232 is stored and set. Then, the process proceeds to step S308.
- step S308 as in the third embodiment, the update unit 345 sets the optimization completion flag FL indicating the completion of the second filter adjustment process. Further, a command is transmitted to the first control unit 22 of the PLC 20, and the movement is held in the use setting value storage area 232 of the first storage unit 23 and in the optimization setting value storage area 356 when the second filter adjustment process is completed. The optimization setting value L_opt of the average filter is retained.
- the second filter adjustment process of the eleventh embodiment adjusts only the set value Lx of the number of moving averages as in the third embodiment, but the second filter adjustment process of the eleventh embodiment is performed. It can also be applied to the second filter adjustment process in the use set value automatic adjustment process that combines the measurement mode adjustment process and the sampling cycle adjustment process of the ninth embodiment.
- the embodiment in step S310 of the second filter adjustment process of 11 the set value Lx of the selected moving average number of times may be stored only in the optimized set value storage area 356. Further, since the set value Lx of the selected moving average number of times is held in the usage setting value storage area 232 of the PLC 20 in step S310, even if the process of setting the usage setting value storage area 232 of the PLC 20 is omitted in step S308. I do not care.
- the acquisition unit 341 acquires the detected value from the physical property detection unit 40 that detects the physical properties of the reference work. Further, the set value Xx includes the set value Lx of the moving average filter. Then, the changing unit 344 changes the usage setting value Yy (setting value Lx of the moving average filter) of the moving average number of times based on the detection value of the physical property detecting unit 40. Then, when it is determined that the measured value is within the range of the target measured value 352, the set value Yy (movement) of the number of times of moving average when the measured value determined to be within the range of the target measured value 352 is acquired is acquired.
- the set value Lx) of the average filter is set to the usage set value Yy used when inspecting the measurement object 1. Therefore, it is possible to adjust the usage setting value Yy while reducing the burden of the user's judgment and operation. Further, the effect is that the used set value Yy can be changed to the set value Lx of the appropriate number of moving averages suitable for the physical properties of the reference work. Further, since the use setting value Yy of the moving average number of times is changed based on the detection value of the physical property detection unit 40, it is not necessary to repeat the second filter adjustment process many times, and the use set value Yy of the moving average number of times is quickly determined. It has the effect of being able to do it.
- Embodiment 12 Subsequently, the set value adjustment system of the displacement meter 10 of the twelfth embodiment will be described with reference to FIGS. 1, 36 and 37. The description of the same structure and the same processing as those of the first to eleventh embodiments will be omitted.
- the second filter adjusting process shown in FIG. 36 is executed instead of the second filter adjusting process shown in FIG. 34 of the eleventh embodiment. Specifically, instead of steps S309 and S310 in the second filter adjustment process of the eleventh embodiment, in the second filter adjustment process of the twelfth embodiment, steps S311 and S312 are executed. Different for 11. In the eleventh embodiment, the other processes are the same as those in the eleventh embodiment except that the steps S311 and S312 of the second filter adjustment process are executed. Therefore, the description of the same process will be omitted.
- the temperature sensor 50 shown in FIG. 1 is a temperature detection unit that detects the temperature of the displacement meter 10.
- the detected temperature is a temperature such as the internal or ambient temperature of the displacement meter 10.
- the room temperature can be used as the ambient temperature.
- the temperature sensor 50 is connected to the first I / F unit 21 of the PLC 20 in addition to the physical property detection unit 40 such as the first detection unit 41 to the fourth detection unit 44.
- the acquisition unit 341 of the PC 30 acquires the detection temperatures of the physical property detection units 40 such as the first detection unit 41 to the fourth detection unit 44 and the temperature sensor 50 via the PLC 20.
- step S301, step S302 and step S303 are executed in the same manner as in the eleventh embodiment. Then, the process proceeds to step S311.
- step S311 similarly to step S309 of the eleventh embodiment, the acquisition unit 341 of the PC 30 passes through the PLC 20 to the first detection unit 41, the second detection unit 42, the third detection unit 43, and the fourth detection unit 44.
- the detection result of the physical property detection unit 40 such as the above is acquired.
- the acquisition unit 341 also acquires the detection temperature of the temperature sensor 50 as a detection result.
- step S312 the changing unit 344 of the PC 30 changes the set value Lx of the moving average number of times based on the detection results of the physical property detection unit 40 and the temperature sensor 50 and the moving average number of times adjustment table described later.
- the moving average number adjustment table shown in FIG. 37 is used when changing the set value Lx of the moving average number, instead of the moving average number adjustment table shown in FIG. 35 of the eleventh embodiment.
- the definitions of “ ⁇ ” and “ ⁇ ” in the moving average number adjustment table are the same as those described in the tenth embodiment.
- the moving average number adjustment table shown in FIG. 37 in the twelfth embodiment is based on the moving average number adjustment table shown in FIG. 35 of the eleventh embodiment, but is further moved based on the detection temperature of the temperature sensor 50.
- the set value Lx of the average number of times is different. Specifically, if the detection temperature of the temperature sensor 50 is the first temperature, it is the same as the set value Lx of the moving average number in the moving average number adjustment table shown in FIG. 35 of the eleventh embodiment, but the temperature. If the detection temperature of the sensor 50 is the second temperature, the set value Lx of the number of moving averages is increased so that the number of moving averages increases. The second temperature is higher than the first temperature.
- step S312 the changing unit 344 changes from the initial value L1 of the number of moving averages set in step S10 shown in FIG. 14 to the first detection unit 41 to the fourth detection unit 44, the temperature sensor 50, and FIG. 37.
- the set value Lx of the moving average number selected based on the shown moving average number adjustment table is stored in the set value storage area 355 and the optimized setting value storage area 356, and stored in the set value Lx of the selected moving average number. change.
- the changing unit 344 sets the set value Lx of the selected moving average number of times, and the first control unit 22 sets the used set value storage area 232. Then, the process proceeds to step S308.
- step S308 as in the eleventh embodiment, the update unit 345 sets the optimization completion flag FL indicating the completion of the second filter adjustment process, and sets the use setting value storage area 232 of the first storage unit 23 to the second. 2
- the optimization setting value L_opt of the moving average filter held in the optimization setting value storage area 356 at the completion of the filter adjustment processing is held.
- the second filter adjustment process of the twelfth embodiment is combined with the measurement mode adjustment process of the ninth embodiment and the sampling cycle adjustment process in the same manner as in the eleventh embodiment. It can also be applied to the second filter adjustment process in the use setting value automatic adjustment process.
- the second filter adjustment process of the twelfth embodiment is not applied to the second filter adjustment process in the usage setting value automatic adjustment process that combines the measurement mode adjustment process of the ninth embodiment with the sampling cycle adjustment process, it is carried out.
- the set value Lx of the selected moving average number of times may be stored only in the optimized set value storage area 356. Further, since the set value Lx of the selected moving average number of times is held in the usage setting value storage area 232 of the PLC 20 in step S311, even if the process of setting the usage setting value storage area 232 of the PLC 20 is omitted in step S312. I do not care.
- the acquisition unit 341 acquires the detection temperature of the temperature detection unit that detects the temperature of the displacement meter 10
- the change unit 344 is the detection temperature of the temperature detection unit.
- the usage setting value Yy of the moving average number of times is changed so that the higher the value is, the more the moving average number of times is increased. Therefore, there is an effect that the set value Yy used can be changed to the set value Lx of the appropriate number of moving averages corresponding to the temperature of the displacement meter 10.
- Embodiment 13 Subsequently, the set value adjustment system of the displacement meter 10 of the thirteenth embodiment will be described with reference to FIGS. 38 to 39. The description of the same structure and the same processing as those of the first to twelfth embodiments will be omitted.
- the vibration sensor 51 is used instead of the temperature sensor 50 of the twelfth embodiment as shown in FIG. 38.
- the second filter adjustment process shown in FIG. 36 of the twelfth embodiment the second filter adjustment process shown in FIG. 39 is executed. Specifically, instead of steps S311 and S312 in the second filter adjustment process of the twelfth embodiment, in the second filter adjustment process of the thirteenth embodiment, steps S313 and S314 are executed. Different for 12. In the twelfth embodiment, the other processes are the same as those in the twelfth embodiment except that steps S313 and S314 of the second filter adjustment process are executed. Therefore, the description of the same process will be omitted.
- the vibration sensor 51 shown in FIG. 38 is a vibration detection unit that detects the vibration of the displacement meter 10.
- the detected value of the vibration sensor 51 is an acceleration corresponding to the vibration of the displacement meter 10.
- the acquisition unit 341 of the PC 30 acquires the detected values of the physical property detection unit 40 such as the first detection unit 41 to the fourth detection unit 44 and the vibration sensor 51 via the PLC 20.
- step S301, S302 and the step S303 are executed in the same manner as in the eleventh embodiment. Then, the process proceeds to step S313.
- step S313 similarly to step S311 of the twelfth embodiment, the acquisition unit 341 of the PC 30 passes through the PLC 20 to the first detection unit 41, the second detection unit 42, the third detection unit 43, and the fourth detection unit 44.
- the detection result of the physical property detection unit 40 such as, etc. is acquired.
- the acquisition unit 341 also acquires the detection value of the vibration sensor 51 as a detection result.
- step S314 the changing unit 344 of the PC 30 changes the set value Lx of the moving average number of times based on the detected values of the physical property detecting unit 40 and the vibration sensor 51 and the moving average number of times adjusting table described later.
- the moving average number adjustment table shown in FIG. 40 is used when changing the set value Lx of the moving average number, instead of the moving average number adjustment table shown in FIG. 37 of the twelveth embodiment.
- the moving average number adjustment table shown in FIG. 40 in the thirteenth embodiment is based on the moving average number adjustment table shown in FIG. 37 of the twelfth embodiment, but is based on the detected value of the vibration sensor 51.
- the set value Lx of the number of times is different. Specifically, when the vibration sensor 51 does not detect vibration, it is the same as the set value Lx of the moving average number in the moving average number adjustment table shown in FIG. 35 of the eleventh embodiment, but the vibration sensor 51 When vibration is detected, the set value Lx of the moving average number of times is increased so that the moving average number of times is increased.
- the vibration detection method by the vibration sensor 51 is such that when the acceleration detected by the vibration sensor 51 exceeds a preset vibration threshold value, it is determined that there is vibration.
- the reason why the set value Lx of the number of moving averages is changed so that the number of moving averages increases as the detected value of the vibration sensor 51 increases is that the measured value becomes unstable due to the vibration of the displacement meter 10, and the vibrations. This is because the larger the value, the larger the variation of the measured value with respect to the target measured value 352.
- the acquisition unit 341 acquires the detection value of the vibration detection unit that detects the vibration of the displacement meter 10
- the change unit 344 is the detection value of the vibration detection unit.
- the set value Yy for the number of moving averages is changed so that the larger the number is, the more the number of moving averages is increased. Therefore, there is an effect that the set value Yy used can be changed to the set value Lx of the appropriate number of moving averages according to the vibration of the displacement meter 10.
- Embodiment 14 Subsequently, the set value adjustment system of the displacement meter 10 of the fourteenth embodiment will be described with reference to FIGS. 5, 6, 10, 21, 21, 41 to 43. The description of the same configuration as in the first to twelfth embodiments will be omitted.
- the PC30A is used instead of the PC30 of the 1st to 12th embodiments.
- the PC30A is the same as the configuration of the PC30 of the first to the twelfth embodiments, except that the machine learning device 36 is further included.
- the machine learning device 36 is used within the range of the target measurement value Yy and the target light reception amount 353 based on the measurement value indicating the displacement amount, the light reception amount, and the usage set value Yy. Learn the set value Yy.
- the measured value, the received light amount, the used set value Yy, the target measured value 352, and the target received light amount 353 are the same as those used in the first to twelfth embodiments.
- the set value adjustment system of the displacement meter 10 of the 14th embodiment will be described below by taking PC30A in which the PC30 and the machine learning device 36 are integrated as an example.
- the machine learning device 36 may be integrated with the PC 30A, or may be a separate computer provided outside the PC 30A. Alternatively, the machine learning device 36 may exist in the cloud server. The function of the machine learning device 36 is realized by the processor.
- FIG. 41 is a diagram showing the overall configuration of the set value adjustment system of the displacement meter 10 according to the fourteenth embodiment.
- components that achieve the same functions as the set value adjustment system of the displacement meter 10 of the first embodiment shown in FIG. 1 are designated by the same reference numerals, and redundant description will be omitted.
- the PC 30A includes a machine learning device 36 that learns the usage set value Yy.
- the machine learning device 36 includes a state observation unit 361 and a learning unit 363.
- the machine learning device 36 is connected to the second control unit 34 and the second storage unit 35.
- the state observing unit 361 determines the measured value and the received light amount acquired by the acquisition unit 341 when the reference work is measured using the used set value Yy, and the used set value Yy when the measured value and the received light amount are acquired. Is observed as a state variable 362. The measured value and the received light amount observed by the state observing unit 361 are associated with the used set value Yy when the measured value and the received light amount are acquired. Then, the state observation unit 361 sends the state variable 362, which is the observation result, to the learning unit 363.
- the learning unit 363 learns the usage setting value Yy according to the state variable 362. In other words, the learning unit 363 learns the usage set value Yy whose measured value is within the range of the target measured value 352 and the usage set value Yy whose light receiving amount is within the range of the target received light amount 353. Specifically, the measured value is the target measured value 352 according to the training data set created based on the state variable 362 including the measured value, the received light amount, and the used set value Yy when the measured value and the received light amount are acquired. The usage set value Yy within the range and the usage set value Yy at which the light receiving amount is within the range of the target light receiving amount 353 are learned. In the fourteenth embodiment, the learning unit 363 learns the relationship between the measured value and the received light amount and the set value Yy used when the measured value and the received light amount are acquired, according to the concept of reinforcement learning.
- the machine learning device 36 of the fourteenth embodiment executes reinforcement learning according to a known Q-learning method.
- Machine learning device 36 certain state variables s action value function Q (s t, a t) to determine the action value Q (expected values) in the case of selecting the action a when based on learning the best behavior To do.
- Action value Q (s t, a t) Formula for updating is represented by Formula 2.
- st is a state variable at time t.
- a t is an action executed at time t.
- s t + 1 is the state variable at time t + 1, in other words, the state variable after the change as a result of the action a t.
- r t + 1 is a reward given in response to the changing environment as a result of the action a t.
- the term "max" represents the maximum value of the action value Q in the state variable st + 1 (that is, the action value for the best action a).
- use setting value Yy is an action a t.
- the learning unit 363 includes a reward calculation unit 364 and a function update unit 365.
- the reward calculation unit 364 calculates the reward based on the state variable 362. That is, the reward calculation unit 364 calculates the reward based on the measured value and the received light amount acquired by the acquisition unit 341. The reward calculation unit 364 gives a larger reward as the received light amount approaches the target received light amount 353. Further, the reward calculation unit 364 gives a larger reward as the measured value is closer to the target measured value 352. The reward calculation unit 364 may weight the magnitude of the reward by the reward for the received light amount and the reward for the measured value. As described in the first embodiment, when the light receiving amount is too large or the light receiving amount is too small, the accuracy of specifying the position of the apex of the peak P of the light receiving amount waveform is greatly deteriorated.
- the reward calculation unit 364 may give a reward of "+1" to "-1” to the received light amount and a reward of "+0.2" to "-0.2" to the measured value. it can.
- the reward calculation unit 364 sends the calculated reward to the function update unit 365.
- the function update unit 365 stores a function for determining the set value Yy used when acquiring the measured value and the received light amount from the reference work, and updates the function according to the reward calculated by the reward calculation unit 364. ..
- Examples of function for determining the use setting value Yy in acquiring measurements and the received light amount from the reference work is the aforementioned action value function Q (s t, a t) .
- the function can be updated according to the training data set, for example, by updating the action value table.
- Function update unit 365 of the embodiment 14 action value each time the state observing unit 361 is newly observed measurements and the light receiving amount function Q (s t, a t) Update.
- the function updater 365 updates the action-value function Q (s t, a t) sends to the second storage unit 35 stores.
- the second storage unit 35 stores the learning data so far and the data used for learning. Examples of the learning data is learned using set value Yy, examples of data used for learning is the action value function Q that learning unit 363 used in the learning (s t, a t).
- the usage setting value Yy stored in the optimization setting value storage area 356 of the second storage unit 35 is the highest reward among the usage setting values Yy when the measured value and the received light amount are acquired from the reference work in the past.
- the used setting value Yy sets the usage setting value Yy, which has the highest reward among the usage setting values Yy when the measured value and the received light amount were acquired in the past, and this usage setting for each usage setting value Yy of each attribute. The combination of the measured value corresponding to the value Yy and the received light amount is stored.
- steps S1 to S5 are executed as shown in the adjustment procedure of FIG.
- the button 732 for automatic adjustment of the set value XX shown in FIG. 10 is selected, the use set value learning process shown in FIG. 43 is started as the process of step S5.
- FIG. 43 is a flowchart showing a usage setting value learning process executed by the PC 30A according to the fourteenth embodiment.
- the attribute for learning the usage setting value Yy is a measurement recipe.
- step S900 the setting unit 342 reads the setting value XX for each attribute from all the setting values 351 and stores them in the usage setting value storage area 355 and the usage setting value storage area 232 to set the usage. Set as the value Yy. Specifically, the setting unit 342 reads the setting value Xx (Ix, Jx, Kx, Lx, Mx, Nx, Ox %) of each attribute associated with the setting value Px of the measurement recipe and sets the use. It is stored in the value storage area 355 and the usage setting value storage area 232, and is set as the usage setting value Yy. In step S900, since it is before the use setting value learning process, one of the setting values Px of the plurality of measurement recipes shown in FIGS.
- the setting value Xx (Ix, Jx, Kx, Lx, Mx, Nx, Ox ...) of each attribute associated with Px may be set to the used setting value Yy.
- the set value Xx (I1) of each attribute associated with the set value of the measurement recipe A which is the initial value P1 of the set value Px of the measurement recipe.
- J1, K1, L1, M1, none, none ...) may be set as the usage setting value Yy.
- the setting unit 342 may set the initial value X1 described in the central column of FIG. 5 for each attribute as the usage setting value Yy.
- step S901 the state observing unit 361 obtains the measured value and the received light amount obtained by using the usage setting value Yy stored in the usage setting value storage area 232 via the acquisition unit 341 of the PLC 20 and the PC 30. , The usage setting value Yy stored in the usage setting value storage area 355 is observed. Further, the state observation unit 361 sends the state variable 362 to the reward calculation unit 364. That is, the state observing unit 361 associates the measured value and the received light amount when the reference work is measured using the used set value Yy with the used set value Yy when the measured value and the received light amount are acquired. The information is sent to the reward calculation unit 364.
- step S902 the reward calculation unit 364 determines whether the received light amount acquired this time from the state observing unit 361 is a value closer to the target received light amount 353 than the received light amount closest to the target received light amount 353 acquired in the past. Determine if not. Then, when the received light amount acquired this time is a value closer to the target received light amount 353 than the received light amount closest to the target received light amount 353 acquired so far (step S902: YES), the process proceeds to step S903. When the received light amount acquired this time is a value farther from the target received light amount 353 than the received light amount closest to the target received light amount 353 acquired so far (step S902: NO), the process proceeds to step S904.
- the target light receiving amount 353 may be a range between the lower limit target light receiving amount and the upper limit target light receiving amount, such as the range of 400 to 800, or 600, as described in the seventh embodiment. It may be a specific value.
- step S903 the reward calculation unit 364 increases the reward. Further, in step S904, the reward calculation unit 364 reduces the reward. If the received light amount acquired this time is the same as the received light amount closest to the target received light amount 353 acquired so far, the reward calculation unit 364 may maintain the reward without increasing or decreasing it. Good. Then, after step S903 or step S904 is executed, the process proceeds to step S905.
- step S905 the reward calculation unit 364 has the measured value acquired this time from the state observation unit 361, which is closer to the target measured value 352 than the measured value closest to the target measured value 352 acquired in the past. Judge whether or not. Then, when the measured value acquired this time is a value closer to the target measured value 352 than the measured value closest to the target measured value 352 acquired so far (step S905: YES), the process proceeds to step S906. When the measured value acquired this time is a value farther from the target measured value 352 than the measured value closest to the target measured value 352 acquired so far (step S905: NO), the process proceeds to step S907.
- the target measured value 352 may be a range between the upper limit threshold value and the lower limit threshold value specified by the user operation, as in the case described in the first embodiment, and the surface of the reference work may be set as the measurement center distance. If they are matched, it may be a specific value such as a displacement amount of 0.
- step S906 the reward calculation unit 364 increases the reward. Further, in step S907, the reward calculation unit 364 reduces the reward. If the measured value acquired this time is the same as the measured value closest to the target measured value 352 acquired so far, the reward calculation unit 364 may maintain the reward without increasing or decreasing it. Good. Then, after step S906 or step S907 is executed, the process proceeds to step S908.
- step S908 the function updater 365, based on the increased or decreased compensation action value function Q (s t, a t) Update.
- the function updating unit 365 updates the action-value function Q (s t, a t) sends to the second storage unit 35 stores. Further, the function update unit 365 commands the update unit 345 of the second control unit 34, and the update unit 345 receives the measured value and the received light amount from the reference work in the past used setting value Yy (this used setting).
- the usage setting value Yy having the highest reward among the values Yy is stored in the optimization setting value storage area 356.
- the update unit 345 uses the past usage setting value Yy (including the current usage setting value Yy, the setting value Xx (Ix, Jx, Kx) of each attribute associated with the setting value Px of the measurement recipe. , Lx, Mx, Nx, Ox ...)) The combination of the setting value Yy of the highest reward (the setting value Xx of each attribute associated with the setting value Px of the measurement recipe with the highest reward) ), And the combination of the measured value and the received light amount corresponding to the used set value Yy is stored. Then, the process proceeds to step S909.
- step S909 the determination unit 343 determines whether or not all the received light amounts and the measured values obtained by measuring the reference work using all the set values Xx as the used set values Yy have been acquired. Specifically, if the attribute for which the usage setting value Yy is learned is the measurement recipe, all obtained by measuring the reference work using the setting value Px of all the measurement recipes as the usage setting value Yy. It is determined whether or not the received amount and the measured value of the above have been acquired. For example, the determination unit 343 has the set value Px of the measurement recipe in all the set values 351 of the second storage unit 35 in which at least one of the received light amount and the measured value acquired by the acquisition unit 341 from the start of the use set value learning process.
- step S909 It is determined whether or not all the measured values have been acquired by confirming whether or not they match the number of. If it is determined in step S909 that all the received light amounts and measured values have not been acquired (step S909: NO), the process proceeds to step S910. If it is determined in step S909 that all the received light amounts and measured values have been acquired (step S909: YES), the process proceeds to step S911.
- step S910 the changing unit 344 reads out a new set value Px different from the set value Px of the measurement recipe for which the received light amount and the measured value have been acquired from all the set values 351. Then, the change unit 344 sets the new measurement recipe setting value Px and the setting value Xx (Ix, Jx, Kx, Lx, Mx, Nx, Ox, of each attribute associated with the new measurement recipe setting value Px. ( ⁇ ⁇ ) Is stored in the usage setting value storage area 355, and the usage setting value Yy is changed.
- the change unit 344 corresponds to the setting value Xx of each attribute which is the next use setting value Yy stored in the usage setting value storage area 355 (excluding the setting value Px of the measurement recipe, the setting value Px of the measurement recipe).
- Set value Xx (Ix, Jx, Kx, Lx, Mx, Nx, Ox ... Associated with the set value Px of the measurement recipe) is stored and set.
- step S901 the set value Xx associated with the set value Px of the new measurement recipe is used as the set value Yy, and the process of steps S901 to S910 changes the set value Px of the measurement recipe. It is executed repeatedly every time.
- step S911 the update unit 345 uses the set values Px of all the measurement recipes. Since all the received light amount and the measured value have been acquired by using the value Yy and the used setting value learning process has been completed, a command is transmitted to the first control unit 22 of the PLC 20 to complete the used set value learning process.
- the setting value Xx (Ix, Jx, Kx, Lx, Mx, Nx, Ox %) of each attribute associated with the optimization setting value P_opt of the measurement recipe held in the optimization setting value storage area 356.
- the first storage unit 23 is made to hold as the usage setting value Yy of each attribute. Then, the usage setting value learning process is terminated.
- step S900 the setting unit 342 reads the setting value XX for each attribute from all the setting values 351 and stores them in the usage setting value storage area 355 and the usage setting value storage area 232 to set the usage.
- Set as the value Yy Specifically, the setting unit 342 reads the setting values Ix, Jx, Kx, Lx, Mx, Nx, Ox ... Of each attribute and stores them in the usage setting value storage area 355 and the usage setting value storage area 232. , Set as the usage setting value Yy of each attribute.
- step S900 since it is before the usage setting value learning process, one is randomly selected from a plurality of setting values XX for each attribute shown in FIG.
- the setting unit 342 may set the initial value X1 described in the central column of FIG. 5 for each attribute as the usage setting value Yy.
- steps S901 to S909 are executed in the same manner as in the case of learning the set value Px of the measurement recipe.
- the determination unit 343 determines whether or not all the received light amounts and measured values obtained by measuring the reference work using the combination of the set values Xx of all the attributes as the set value Yy have been acquired. ..
- the determination unit 343 has set values Ix, Jx, Kx, Lx of each attribute in all the set values 351 for at least one of the received light amount and the measured value acquired by the acquisition unit 341 from the start of the use set value learning process. , Mx, Nx, Ox ... By confirming whether or not it matches the total number of combinations, it is determined whether or not all the received light amounts and measured values have been acquired.
- step S909 If it is determined in step S909 that all the received light amounts and measured values have not been acquired (step S909: NO), the process proceeds to step S910. If it is determined in step S909 that all the received light amounts and measured values have been acquired (step S909: YES), the process proceeds to step S911.
- step S910 the changing unit 344 has each attribute different from the combination of the set values Xx (Ix, Jx, Kx, Lx, Mx, Nx, Ox ...) Of each attribute for which the received light amount and the measured value have been acquired.
- the set value Xx of each attribute is read from all the set values 351 so as to be a new combination of the set values Xx (Ix, Jx, Kx, Lx, Mx, Nx, Ox ).
- the changing unit 344 stores the new setting value Xx (Ix, Jx, Kx, Lx, Mx, Nx, Ox ...) Of each attribute in the usage setting value storage area 355, and changes the usage setting value Yy. To do.
- the change unit 344 is a new setting value Xx (Ix, Jx, Kx, Lx, Mx, Nx, Ox, etc.) of each attribute which is a usage setting value Yy to be used next time stored in the usage setting value storage area 355.
- the process returns to step S901, the new set value Xx of each attribute is used as the set value Yy, and the processes of steps S901 to S910 are repeatedly executed every time the combination of the set value Xx of each attribute is changed. ..
- step S910 when changing the set value Lx of the number of moving averages, the change unit 344 is obtained by dividing the measurement value acquisition interval by the use set value of the sampling cycle, as in the third embodiment.
- the used setting value Yy is changed to the set value Lx of the moving average number of times equal to or less than the allowable moving average number.
- step S911 the update unit 345 uses a combination of the set values Xx of all attributes. Since all the received light amounts and measured values have been acquired for the set value Yy and the used set value learning process has been completed, a command is transmitted to the first control unit 22 of the PLC 20 and stored in the first storage unit 23. As the usage setting value Yy of each attribute, the optimization setting value X_opt (Ix, Jx, Kx, Lx, Mx) of each attribute held in the optimization setting value storage area 356 when the usage setting value learning process is completed , Nx, Ox ).
- the update unit 345 sets the optimization setting value X_opt (combination of Ix, Jx, Kx, Lx, Mx, Nx, Ox ...) of each attribute stored in the optimization setting value storage area 356.
- the set value Px of the new measurement recipe it is additionally stored in all the set values 351 of the second storage unit 35. Then, the usage setting value learning process is terminated.
- step S911 When the processing of step S911 is completed, the usage setting value learning process is terminated. However, after step S911, the measured value of the reference work is reacquired using the optimization setting value X_opt of each attribute, and the measured value is reacquired. It may be determined whether or not the measured value is within the range of the target measured value 352. Then, when the measured value is within the range of the target measured value 352, the use setting value learning process is terminated, and when the measured value is outside the range of the target measured value 352, the display device 31 is displayed on the error display screen. It may be.
- the usage setting value learning process regarding the setting value Px of the measurement recipe and the setting value Xx (Ix, Jx, Kx, Lx, Mx, Nx) of each other attribute are used.
- Ox has been described separately from the usage setting value learning process, but these may be combined.
- machine learning device 36 performs machine learning by using reinforcement learning
- the machine learning device 36 is described by another known method, for example.
- Machine learning may be performed by neural networks, genetic programming, functional logic programming, support vector machines, and the like.
- the state observing unit 361 observes the measured value and the received light amount, but only the measured value may be observed. In that case, steps S902 to S904 of the usage setting value learning process shown in FIG. 43 may be omitted.
- the adjustment of the set value Px of the measurement recipe is based on the detection result of the object detection unit 40 as in the 10th embodiment. Then, the set value Px of the measurement recipe is adjusted, and the above-mentioned use is used for the set value Xx (Ix, Jx, Kx, Lx, Mx, Nx, Ox ...) of each attribute other than the set value Px of the measurement recipe.
- the set value learning process may be performed.
- the adjustment of the set value Px of the measurement recipe and the set value Lx of the moving average number of times is performed.
- the set value Px of the measurement recipe and the set value Lx of the moving average number of times are adjusted based on the detection results of the object detection unit 40 and the temperature sensor 50 as in the eleventh embodiment, and the set value Px of the measurement recipe and The above-mentioned usage setting value learning process may be performed on the setting values Xx (Ix, Jx, Kx, Mx, Nx, Ox ...) Of each attribute other than the setting value Lx of the moving average number of times.
- a part of the set value XX of each attribute is implemented from the first embodiment.
- the remaining part of the set value Xx of each attribute is adjusted according to the 9th embodiment, and the modified example of the 14th embodiment and the modified example of the 14th embodiment and the 14th embodiment are combined. It may be.
- the learning unit 363 follows the training data set created based on the state variable 362, such as a modification of the embodiment 14 and a combination of the modification of the embodiment 14 and the modification of the embodiment 14. It is not limited to learning both the usage setting value Yy of the floodlight amount and the usage setting value Yy of the sampling cycle, and the learning unit 363 uses the floodlight usage setting value according to the training data set created based on the state variable 362. At least one of Yy and the usage set value Yy of the sampling cycle may be learned.
- the state observation unit 361 sets the measured value and the reference work.
- the learning unit 363 learns the usage setting value Yy according to the training data set created based on the state variable by observing the state variable including the usage setting value Yy used when measuring. Therefore, as in the first to the twelfth embodiments, it is possible to learn and adjust the usage setting value Yy while reducing the burden of the user's judgment and operation. In addition, the effect is that the used setting value Yy can be updated to an appropriate setting value Xx.
- the optimized set value X_opt of each attribute learned based on the measured value of the displacement meter 10 is set as the set value Px of the new measurement recipe and all the set values.
- the set value Px of the added new measurement recipe is reused for each attribute. It has the effect of being able to set the usage setting value Yy of.
- the learning unit 363 uses the light projection amount usage setting value Yy (light projection amount setting value). Ix) and the usage setting value Yy (sampling setting value Mx) of the sampling cycle are learned.
- the effect of learning and adjusting the usage setting value Yy of the light projection amount and the usage setting value Yy of the sampling cycle while reducing the burden of the user's judgment and operation can be obtained. Play. Further, it has an effect that the used setting value Yy can be updated to appropriate setting values Ix and Mx.
- the changing unit 344 divides the measured value acquisition interval by the used set value Yy (sampling set value Mx) of the sampling cycle to obtain an allowable moving average.
- the used setting value Yy is changed to the set value Lx of the moving average number of times or less. Therefore, as in the third embodiment, there is an effect that the used setting value Yy of the moving average number of times can be automatically adjusted to an appropriate set value Lx without affecting the tact time assumed by the user.
- Embodiment 15 Subsequently, the set value adjustment system of the displacement meter 10 of the fifteenth embodiment will be described with reference to FIGS. 44 and 45. The description of the same configuration as that of the first to thirteenth embodiments will be omitted.
- the target measurement value is 352 after the optimization of the setting value Px of the measurement recipe and / or the setting value Xx of each attribute is completed in the embodiment 14, the modified example thereof, or the combination example thereof.
- the point that the threshold value is changed is different from the embodiment 14 and the like.
- the threshold value correction unit 347 whose description is omitted in the first embodiment is used.
- the threshold value correction unit 347 has an upper limit threshold value and a lower limit threshold value so that the target measurement value 352 set by the user operation in step S3 of the adjustment procedure of FIG. 6, that is, the range of the determination threshold value including the upper limit threshold value and the lower limit threshold value is narrowed. Correct and reset.
- the optimization setting value P_opt and the optimization setting value P_opt of the setting value Px of the measurement recipe are stored in the optimization setting value storage area 356.
- Optimization of measurement recipe setting value Px The setting value Xx (Ix, Jx, Kx, Lx, Mx, Nx, Ox %) of each attribute associated with the setting value P_opt is stored. It will be.
- the usage setting value Yy of each attribute stored in the usage setting value storage area 232 of the first storage unit 23 the measurement recipe held in the optimization setting value storage area 356 at the completion of the usage setting value learning process.
- the setting value Xx (Ix, Jx, Kx, Lx, Mx, Nx, Ox ...) of each attribute associated with the optimization setting value P_opt of is retained.
- the optimization setting value storage area 356 is reached. Will store the optimization setting values X_opt (I_opt, J_opt, K_opt, L_opt, M_opt, N_opt, O_opt ...) of each attribute. Further, as the usage setting value Yy of each attribute stored in the usage setting value storage area 232 of the first storage unit 23, each attribute held in the optimization setting value storage area 356 at the completion of the usage setting value learning process. The optimization setting value X_opt of is retained.
- the set value Xx is optimal for the relationship between the measured value and the judgment threshold consisting of the upper limit threshold and the lower limit threshold set by the user operation in step S3 of the adjustment procedure of FIG.
- the state of the time change display screen 75 of the measured value shown in FIG. 12 is changed to the time change display screen 75 of the measured value shown in FIG. 44. That is, from the state where the measured value 753 as shown in FIG. 12 exceeds the upper limit threshold value 751 and the plurality of measured values exceed the lower limit threshold value 752, the measured value 753 is the upper limit threshold value as shown in FIG. It comes to be within ⁇ within the range of 751 and the lower limit threshold value 752.
- the measured value approaches the median value in the range of the upper limit threshold 751 and the lower limit threshold 752 in which the displacement amount from the position of the measurement center distance becomes 0.
- the maximum measured value which is the maximum value among the measured values.
- the range of the minimum measured value, which is the minimum value is the range ⁇ shown in FIG. 44. Therefore, in order to narrow the range of the upper limit threshold value and the lower limit threshold value set by the user operation before the usage setting value learning process and improve the accuracy of determining the non-defective product / defective product when inspecting the measurement object 1.
- the determination threshold value correction process shown in FIG. 45 is added.
- the determination threshold value correction process is started, for example, when the acquisition unit 341 accepts a user operation for the determination threshold value correction button 754 on the time change display screen 75 shown in FIG. 44 after the use setting value learning process is completed.
- step S920 the acquisition unit 341 reads the target measurement value 352 of the second storage unit 35 and acquires the upper limit threshold value and the lower limit threshold value which are the determination threshold values.
- step S921 the threshold value correction unit 347 acquires a plurality of measured values of the reference work acquired by using the optimization set value X_opt. Then, the threshold value correction unit 347 extracts the maximum measured value and the minimum measured value from the plurality of measured values.
- the threshold value correction unit 347 calculates the first difference, which is the difference between the upper limit threshold value and the maximum measured value.
- the threshold value correction unit 347 calculates the second difference, which is the difference between the lower limit threshold value and the minimum measured value.
- step S924 the threshold value correction unit 347 selects the smaller of the first difference and the second difference as the adjustment value.
- step S925 the threshold value correction unit 347 subtracts the adjustment value from the upper limit threshold value set by the user operation in step S3 of FIG. 6 and adds the adjustment value to the lower limit threshold value to obtain the upper limit threshold value and the upper limit threshold value. Correct the lower threshold. Then, the determination threshold value including the corrected upper limit threshold value and lower limit threshold value is stored in the second storage unit 35 as the target measurement value 352. Then, the determination threshold value correction process is terminated.
- the measurement value of the reference work is acquired a plurality of times by using the optimization set value Xx, and the measurement value is within the range of the determination threshold value including the maximum measurement value and the minimum measurement value.
- the upper limit threshold and the lower limit threshold are corrected so that the range of the judgment threshold becomes narrower than the range of the judgment threshold before the use setting value learning process is performed (that is, the range of the upper limit threshold and the lower limit threshold set by the user). Will be done.
- the threshold value correction unit 347 has a range of the corrected target measured value 352 rather than a range of the target measured value 352 set before learning the used set value Yy.
- the upper limit threshold value and the lower limit threshold value are corrected so that the measured value of the reference work acquired by using the use set value Yy is within the range of the corrected target measured value 352. Therefore, the target measured value 352 used when inspecting the measurement object 1 can be accurately corrected. This has the effect of improving the accuracy of determining good / defective products.
- Embodiment 16 Subsequently, the set value adjustment system of the displacement meter of the 16th embodiment will be described with reference to FIGS. 16, 42, 43, 46 and 47. The description of the same configuration as that of the first to 14th embodiments will be omitted.
- the optimization setting value X_opt after the use setting value learning process is performed in the 14th embodiment, its modified example or its combination example (hereinafter abbreviated as the 14th embodiment and the like). It is different from the embodiment 14 and the like in that the usage set value learning process is performed even when the measurement object 1 is inspected based on the above.
- the measurement object is measured using the inspection measurement value which is the measurement value of the first displacement meter 10A.
- the set value adjusting system of the displacement meter of the 16th embodiment includes a plurality of first displacement meters 10A and a second displacement meter 10B.
- the first displacement meter 10A and the second displacement meter 10B are, for example, optical displacement meters.
- the second displacement meter 10B is arranged on the upstream side and the first displacement meter 10A is arranged on the downstream side.
- the present invention is not limited to this, and the first displacement meter 10A may be arranged on the upstream side and the second displacement meter 10B may be arranged on the downstream side.
- first displacement meter 10A and the second displacement meter 10B are installed so as to have the same measurement conditions for the object 1 to be measured. Specifically, the first displacement meter 10A and the second displacement meter 10B are set so that the distance from the second displacement meter 10B to the measurement object 1 is equal to the distance from the first displacement meter 10A to the measurement object 1.
- the installation method of the second displacement meter 10B shall be the same as the installation method of the first displacement meter 10A.
- the first storage unit 23 of the PLC 20 of the 16th embodiment has a first usage setting value storage area 232A for storing the usage setting value Yy of the first displacement meter 10A and a second displacement meter.
- the second usage setting value storage area 232B for storing the usage setting value Yy of 10B is included.
- the usage setting value Yy set when the usage setting value learning process is completed using the reference work, that is, the usage setting using the reference work in the 14th embodiment or the like.
- the same optimization setting value X_opt stored in the optimization setting value storage area 356 is stored.
- the usage setting value Yy of each attribute stored in the first usage setting value storage area 232A is the usage setting value Yy used for the inspection of the measurement object 1.
- the usage setting value Yy is stored in the second usage setting value storage area 232B, the measurement object 1 is inspected in parallel with the inspection of the measurement object 1 in order to learn the more optimal usage setting value Yy. Similarly, the usage setting value Yy is sequentially changed and stored.
- the second usage setting value storage area 232B is initially stored in the optimization setting value storage area 356 when the usage setting value learning process is completed using the reference work, similarly to the first usage setting value storage area 232A.
- the same optimization setting value X_opt is stored.
- the PC30A of the 16th embodiment As for the PC30A of the 16th embodiment, the PC30A of the 14th embodiment shown in FIG. 42 is used.
- the first displacement meter 10A is a displacement meter for inspecting the object 1 to be measured.
- the laser diode 3 of the first displacement meter 10A is a first light source that projects light onto the measurement object 1 to be inspected.
- the image sensor 6 of the first displacement meter 10A is a first light receiving unit that receives the first reflected light from the measurement object 1 as an inspection target and outputs the first light receiving signal.
- the PLC 20 has a usage setting value Yy stored in the first usage setting value storage area 232A (that is, an optimization setting value stored in the optimization setting value storage area 356 when the usage setting value learning process is completed using the reference work).
- the control program 231 is executed according to (same as X_opt).
- step S1001 of the inspection process shown in FIG. 16 the acquisition unit 341 of the PC 30 measures the measurement target 1 as an inspection target based on the first light receiving signal received from the first displacement meter 10A via the PLC 20. Obtain an inspection measurement value indicating the amount of displacement of. Then, the determination unit 343 of the PC 30 continuously executes steps S1002 to S1005 of the inspection process shown in FIG. 16 to determine whether the measurement object 1 is a non-defective product or a defective product.
- the second displacement meter 10B is a displacement for acquiring a learning light receiving amount and a learning measurement value indicating a displacement amount of the inspection object in order to learn a more optimum usage set value Yy during the inspection of the measurement object 1. It is a total.
- the laser diode 3 of the second displacement meter 10B is a second light source that emits light onto the measurement object 1 to be inspected.
- the image sensor 6 of the second displacement meter 10B is a second light receiving unit that receives the second reflected light from the measurement object as an inspection target and outputs the second light receiving signal.
- the PLC 20 executes the control program 231 according to the usage setting value Yy stored in the second usage setting value storage area 232B, and acquires the learning light receiving amount and the learning measured value from the second displacement meter 10B. Then, the PC 30 executes the usage setting value learning process shown in FIG. 43 to learn the more optimal usage setting value Yy.
- the second displacement meter 10B receives the same reflected light from the measurement object 1 as when the first displacement meter 10A acquires the measurement value for inspection as the second reflected light, and outputs the second light receiving signal. It may be controlled by the control program 231.
- the amount and the measured value may be acquired as the light receiving amount for learning and the measured value for learning.
- step S1001 the inspection measurement value from the first displacement meter 10A acquired by the first control unit 22 of the PLC 20 executing the control program 231 according to the usage setting value Yy of the first usage setting value storage area 232A. Is acquired by the acquisition unit 341 of the PC 30.
- step S1002 the determination unit 343 of the PC 30 determines whether the measurement value for inspection from the first displacement meter 10A is within the range of the target measurement value 352, as in the first embodiment. Then, steps S1003 to S1005 are continuously executed to determine whether the measurement target 1 as an inspection target is a non-defective product or a defective product.
- the usage set value learning process based on the learning light receiving amount and the learning measured value of the second displacement meter 10B is performed in parallel with the inspection process using the inspection measured value of the first displacement meter 10A.
- step S900 the setting unit 342 reads the optimization setting value X_opt of each attribute stored in the optimization setting value storage area 356 and stores it in the usage setting value storage area 355 and the second usage setting value storage area 232B. It is stored and set as the usage setting value Yy used by the second displacement meter 10B.
- step S901 the state observation unit 361 acquires the second displacement meter using the usage setting value Yy stored in the second usage setting value storage area 232B via the acquisition unit 341 of the PLC 20 and the PC 30.
- the amount of light received for learning and the measured value for learning of 10B, and the set value Yy stored in the set value storage area 355 for use are observed as state variables 362.
- the usage set value Yy stored in the usage setting value storage area 355, which is the state variable 362 observed by the state observation unit 361 is learned by measuring the measurement object 1 to be inspected by the second displacement meter 10B.
- the state observation unit 361 sends the state variable 362 to the reward calculation unit 364.
- the amount of light received for learning and the measured value for learning acquired by the second displacement meter 10B are the amount of light received and the measured value from the same measurement object 1 as the inspection target to be inspected by the first displacement meter 10A. Then, the process proceeds to step S902.
- step S902 as in the case of the 14th embodiment, the reward calculation unit 364 receives the learning light received this time from the state observing unit 361, which is the closest to the target light receiving amount 353 acquired in the past. It is determined whether or not the value is closer to the target light receiving amount 353 than the amount. Then, in step S903 and step S904, the reward calculation unit 364 increases the reward or decreases the reward, and then proceeds to step S905, as in the case of the 14th embodiment.
- step S905 as in the case of the 14th embodiment, the reward calculation unit 364 has the learning measurement value acquired this time from the state observation unit 361 closest to the target measurement value 352 acquired in the past. It is determined whether or not the value is closer to the target measured value 352 than the value. Then, in step S906 and step S907, the reward calculation unit 364 increases the reward or decreases the reward, and then proceeds to step S908, as in the case of the 14th embodiment.
- step S908 similarly to the embodiment 14 such embodiment, the function updater 365, action value based on the compensation increased or decreased function Q (s t, a t) is updated and the updated action value function Q ( s t, sends a t) in the second storage unit 35 stores. Further, the function update unit 365 commands the update unit 345 of the second control unit 34, and the update unit 345 has acquired the learning measurement value and the learning light receiving amount from the measurement object 1 which is the inspection target. The usage setting value Yy having the highest reward among the usage setting values Yy (including the usage setting value Yy this time) is stored in the optimization setting value storage area 356. Then, the process proceeds to step S909.
- step S909 similarly to the 14th embodiment, the determination unit 343 measures all the light receiving amounts for learning and learning obtained by measuring the measurement object 1 to be inspected using all the usage setting values Yy. Judge whether or not the measured value has been acquired. If it is determined in step S909 that all the light receiving amount for learning and the measured value for learning have not been acquired (step S909: NO), the process proceeds to step S910.
- step S910 the changing unit 344 uses a combination of setting values Xx (Ix, Jx, Kx, Lx, Mx, Nx, Ox ...) Of each attribute different from the previous time, as in the case of the 14th embodiment. It is stored in the set value storage area 355 and the second used set value storage area 232B, and the used set value Yy used by the second displacement meter 10B is changed. After that, the process returns to step S901, and the processes of steps S901 to S910 are repeatedly executed using the new usage setting value Yy.
- step S909 When it is determined in step S909 that all the light receiving amount for learning and the measured value for learning have been acquired (step S909: YES), the update unit 345 is sent to the first control unit 22 of the PLC 20 in step S911.
- the setting value X_opt (I_opt, J_opt, K_opt, L_opt, M_opt, N_opt, O_opt ) of each attribute held in the optimization setting value storage area 356 when the instruction is transmitted and the usage setting value learning process is completed.
- the setting value Xx of each attribute associated with the optimization setting value P_opt of the measurement recipe may be stored in the first usage setting value storage area 232A, and the usage setting of each attribute used by the first displacement meter 10A. Hold as value Yy.
- the update unit 345 sets the optimization setting value X_opt of each attribute stored in the optimization setting value storage area 356 as the setting value Px of the new measurement recipe to all the setting values 351 of the second storage unit 35. Make additional memory.
- the usage setting value learning process is completed.
- the present invention is not limited to this, and the use set value learning process may be repeated from the beginning while the inspection process using the inspection measurement value of the first displacement meter 10A continues. Further, at the end of the usage setting value learning process, the determination threshold value correction process of the fifteenth embodiment may be further executed.
- the state observing unit 361 observes both the learning measured value and the learning light receiving amount of the second displacement meter 10B, but only the learning measured value is observed. You may. In that case, steps S902 to S904 of the usage setting value learning process shown in FIG. 43 may be omitted.
- the measurement value for inspection acquired by the first displacement meter 10A measuring the measurement object 1 to be inspected by the determination unit 343 is within the range of the target measurement value.
- the learning measurement value acquired from the second displacement meter 10B and the usage set value Yy used when the inspection target is measured by the second displacement meter 10B are set.
- the learning unit 363 learns the usage setting value Yy according to the training data set created based on the included state variables.
- the first displacement meter 10A In order to learn the set value Yy based on the learning measurement value of the second displacement meter 10B while inspecting the inspection target based on the inspection measurement value of the first displacement meter 10A, the first displacement meter 10A is used. It has the effect of being able to search for a more appropriate usage setting value Yy even if there is an environmental change during the inspection without affecting the inspection of the inspection target.
- the use set value Yy learned based on the learning measurement value of the second displacement meter 10B is set as the use set value Yy used by the first displacement meter 10A. Since it is held and updated, it has an effect that the inspection of the inspection target can be continued after adjusting to a more appropriate usage setting value Yy.
- the optimization setting value X_opt of each attribute learned based on the learning measurement value of the second displacement meter 10B is used as the setting value Px of the new measurement recipe.
- the set value Px of the added new measurement recipe is reused. The effect is that the usage setting value Yy of each attribute can be set.
- the measurement value for inspection obtained by the first displacement meter 10A measuring the measurement object 1 to be inspected by the determination unit 343 is the target measurement value.
- the learning unit 363 throws according to the training data set created based on the state variable further including the amount of light received for learning acquired from the second displacement meter 10B.
- the usage setting value Yy of the light amount and the usage setting value Yy of the sampling cycle are learned.
- the usage setting value Yy of the light projection amount and the usage setting value Yy of the sampling cycle based on the learning light receiving amount of the second displacement meter 10B.
- the first displacement meter 10A does not affect the inspection of the inspection target, and even if there is an environmental change during the inspection, the usage setting value Yy and sampling of the more appropriate light projection amount are used. It has the effect of being able to search for the cycle usage setting value Yy.
- the use set value adjustment process or the use set value learning process of the optical displacement meter 10 to which the principle of triangulation is applied has been described, but the present invention is not limited thereto. ..
- the use setting value of another type of optical displacement meter such as a coaxial confocal type optical displacement meter arranged so that the irradiation light and the reflected light on the measurement object 1 have the same axis.
- the use set value adjustment process or the use set value learning process of the optical displacement meter 10 has been described, but the present invention is not limited to this.
- Type proximity sensor ii) A transmitter emits ultrasonic waves toward the object 1 to be measured, and the reflected waves are received by the receiver, and the relationship between the time required from the transmission to the reception of the ultrasonic waves and the sound velocity is determined.
- Ultrasonic displacement sensor that measures the amount of displacement by calculation, iii)
- the transmitter emits electromagnetic waves such as millimeter waves toward the object to be measured 1, and the reflected waves are received by the receiver, and the amount of attenuation of the intensity of the electromagnetic waves.
- Pre-adjust the usage setting values of other types of displacement meters such as displacement sensors that use electromagnetic waves to measure the amount of displacement from the above, and contact-type displacement sensors that measure the amount of displacement when the stylus comes into contact with the object 1 to be measured. Cases are also included in the scope of the present invention.
- the present invention is not limited to this.
- three or more displacement meters may be connected to the PLC 20.
- the first displacement meter of three or more displacement meters is used as a displacement meter for measuring the measured value for inspection, and the remaining two or more displacement meters measure the light receiving amount for learning and the measured value for learning. It may be used as a displacement meter.
- one displacement meter searches for the usage setting value of the measurement mode, and the other displacement meter searches for the usage setting value of the light projection amount. It is also possible to search for different usage setting values Yy, such as searching for.
- 1 Measurement object 2 Drive circuit, 3 Laser diode, 4 Floodlight lens, 5 Light receiving lens, 6 Image sensor, 7 Read circuit, 8 Background member, 10 Displacement meter, 10A 1st displacement meter, 10B 2nd displacement meter, 11 dimming filter, 20 PLC, 21 1st communication I / F unit, 22 1st control unit, 23 1st storage unit, 30, 30A PC, 31 display device, 32 input device, 33 2nd communication I / F unit , 34 2nd control unit, 35 2nd storage unit, 36 machine learning device, 40 physical property detection unit, 41 1st detection unit, 42 2nd detection unit, 43 3rd detection unit, 44 4th detection unit, 50 temperature sensor , 51 Vibration sensor, 60 Measurement recipe table, 70 Measurement target value selection screen, 71 Reference work installation notification screen, 72 Judgment threshold setting screen, 73 Measurement value acquisition interval setting screen, 74 Measurement value display screen, 75 Time change of measurement value Display screen, 76 light receiving amount waveform display screen, 77 dimming filter installation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Artificial Intelligence (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Evolutionary Computation (AREA)
- Medical Informatics (AREA)
- Software Systems (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Abstract
変位計(10)の設定値調整装置は、基準ワークを測定する際に使用する設定値である使用設定値を用いて基準ワークを測定した際に、取得部(341)によって取得された測定値が、目標測定値(352)の範囲内か否か判定する判定部(343)と、使用設定値を変更する変更部(345)と、を含む。そして、測定値が目標測定値(352)の範囲内である場合、その測定値を取得した時の使用設定値を、測定対象物1を検査する際に使用する使用設定値に設定する。測定値が目標測定値(352)の範囲外である場合、測定値を取得した時とは異なる使用設定値に変更し、その使用設定値を用いて取得された基準ワークの測定値が、目標測定値(352)の範囲内か否か判定する。
Description
本発明は、変位計の設定値調整装置に関する。
従来、光源から光を測定対象物に投光し、測定対象物からの反射光を受光部で受光することにより、測定対象物の変位量を示す測定値を測定する光学式変位計が知られている。
特許文献1には、ユーザの判断や操作の負担をできるだけ軽減しながら、測定対象物の種類等に応じて適切な計測アルゴリズムを選択することによって高い計測精度を維持するために、測定対象物からの反射光を受光するイメージセンサによって受光量波形を取得し、受光量波形の山部の幅に基づき3つの測定アルゴリズムから測定対象物の光反射率に適した1つの測定アルゴリズムを選択し使用する光学式変位計が開示されている。
しかし、特許文献1の光学式変位計では、受光量波形から抽出した特徴量にしたがってピーク位置又は重心位置の算出方法を自動的に変更し、測定対象物の種類等に応じて適切な計測アルゴリズムが選択されるものであるが、計測アルゴリズムを定めるだけでは、測定対象物の基準となる基準ワークを測定しながら測定条件を定めるための使用設定値を自動調整できないという課題がある。
例えば、光学式変位計を用いて測定対象物を実際に検査する場合、測定対象物を精度よく測定するための事前準備として、作業者は測定条件に関する設定値の中から光学式変位計が使用する使用設定値を手動で設定する必要がある。その設定は、例えば、測定対象物の基準となる基準ワークを測定しながら、実際に基準ワークを測定した際の測定対象物の変位量が基準ワークの既知の基準値になるか確認し、作業者が測定条件を定めるための使用設定値を手動で調整する。この場合、基準ワークを正しく測定できるよう使用設定値を調整する必要があるが、使用設定値は、投光量、測定モード、フィルタ、移動平均回数、サンプリング周期、カットオフ周波数、屈折率等といったように複数且つ多岐にわたる設定が必要であり、不慣れな作業者にとってはそれら設定を適切に実施することは難しい。また、どのように設定値を調整すれば適切に測定できるようになるか判断することは困難である。作業者は、基準ワークの測定値を確認しながら調整する際に、使用設定値を手動で調整する必要があることから、使用設定値の調整作業の負担が大きいという課題があった。
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、基準ワークを測定して使用設定値の事前調整をする際に、作業者の判断や操作の負担を軽減できる変位計の設定値調整装置を提供することを目的とするものである。
第1の発明に係る変位計の設定値調整装置は、i)測定対象物の基準となる基準ワークに投光する光源と、基準ワークからの反射光を受光し受光信号を出力する受光部と、を含む変位計から受信した受光信号に基づいて基準ワークの変位量を示す測定値を取得する取得部と、ii)基準ワークを測定する際の測定条件を規定するとともに、設定値と、測定値と比較するための目標測定値と、を記憶し、基準ワークを測定する際に使用する設定値である使用設定値を格納する格納領域を有する記憶部と、iii)使用設定値を用いて基準ワークを測定した際に、取得部によって取得された測定値が、目標測定値の範囲内か否か判定する判定部と、iv)使用設定値を変更する変更部と、を備える。そして、測定値が目標測定値の範囲内であると判定された場合、その測定値を取得した時の使用設定値を、測定対象物を検査する際に使用する使用設定値に設定する。測定値が目標測定値の範囲外であると判定された場合、変更部は、測定値を取得した時とは異なる使用設定値に変更し、取得部は、その使用設定値を用いて基準ワークを測定して測定値を取得し、判定部は、その使用設定値を用いて測定された測定値が、目標測定値の範囲内か否か判定する。
第2の発明に係る変位計の設定値調整装置は、i)測定対象物の基準となる基準ワークを測定する際の測定条件を規定し、初期値を含む設定値、及び、測定結果の可否を判定するための目標測定値、が格納されている記憶部と、ii)初期値を測定対象物を測定する際に使用する使用設定値に設定する設定部と、iii)初期値を用いて、基準ワークの変位量を示す測定値を取得する取得部と、iv)取得部によって取得された、初期値に基づく測定値が、目標測定値の範囲内であるか否かを判定する判定部と、v)使用設定値を初期値とは異なる設定値に変更する変更部と、を備える。そして、測定値が目標測定値の範囲内である場合は、設定部が設定した初期値を使用設定値として使用し、測定値が目標測定値の範囲外である場合は、変更部は、使用設定値を初期値とは異なる設定値に変更する。
第3の発明に係る変位計の設定値調整装置は、i)測定対象物の基準となる基準ワークに投光する光源と、基準ワークからの反射光を受光し受光信号を出力する受光部と、を含む変位計から受信した前記受光信号に基づいて前記基準ワークの変位量を示す測定値を取得する取得部と、ii)基準ワークを測定する際の測定条件を規定する設定値と、測定値と比較するための目標測定値と、を記憶し、基準ワークを測定する際に使用する設定値である使用設定値を格納する格納領域を有する記憶部と、iii)測定値と、基準ワークを測定する際に使用された使用設定値と、を状態変数として観測する状態観測部と、iv)状態変数に基づいて作成される訓練データセットに従って、使用設定値を学習する学習部と、を備える。
第1の発明の変位計の設定値調整装置は、基準ワークを測定して使用設定値を事前調整する際に、測定値が目標測定値の範囲内であれば、その測定値を取得した時の使用設定値を、測定対象物を検査する際に使用する使用設定値に設定し、測定値が目標測定値の範囲外であれば、変更部は、使用設定値を変更し、取得部は、その使用設定値を用いて測定値を取得し、その使用設定値を用いて測定された測定値が、目標測定値の範囲内か否か再度判定する。そのため、基準ワークを測定して使用設定値の事前調整を行う際に、作業者の判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値を調整できるという効果を奏する。
第2の発明の変位計の設定値調整装置は、基準ワークを測定して使用設定値を事前調整する際に、初期値に基づく測定値が、目標測定値の範囲内である場合は、初期値を測定対象物を検査する際に使用する使用設定値として使用し、測定値が目標測定値の範囲外である場合は、変更部は、使用設定値を初期値とは異なる設定値に変更する。そのため、基準ワークを測定して使用設定値の事前調整を行う際に、作業者の判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値を調整できるという効果を奏する。
第3の発明の変位計の設定値調整装置は、基準ワークを測定して使用設定値の事前調整を行う際に、状態観測部が取得した測定値と、基準ワークを測定する際に使用された使用設定値とを含む状態変数に基づいて作成される訓練データセットに従って、学習部は使用設定値を学習する。そのため、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値を学習し調整できるという効果を奏する。
実施の形態1.
実施の形態1の変位計10の設定値調整システムについて図1から図16を用いて説明する。
実施の形態1の変位計10の設定値調整システムについて図1から図16を用いて説明する。
本発明の実施の形態1の変位計10の設定値調整システムは、FA(Factory Automation)分野の設備を構成するものである。変位計10の設定値調整システムは、図1に示すように、レーザ変位センサ等の変位計10と、制御装置としてのPLC(Programmable Logic Controller)20と、設定値調整装置としてのPC(Personal Computer)30を含む。変位計10は、三角測量の原理を応用して測定対象物1までの距離又は測定対象物1の変位量を示す測定値を測定する光学式変位計である。
変位計10は、駆動回路2、光源としてのレーザダイオード3、投光レンズ4、受光レンズ5、受光部としての1次元のイメージセンサ6、読出回路7を含む。
駆動回路2は、レーザダイオード3を駆動する回路である。レーザダイオード3は、投光レンズ4を通して測定対象物1にレーザ光を照射する。1次元のイメージセンサ6は、列状に複数の画素に対応する受光素子を有する。そして、測定対象物1からの反射光が受光レンズ5を通して受光素子に入射することで電荷が蓄積される。1次元のイメージセンサ6は、例えば、CCD(Charge-Coupled Device)ラインセンサ又はCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)ラインセンサが挙げられる。読出回路7は、イメージセンサ6の各画素に対応する受光素子の受光量及び受光した受光素子の位置に応じた受光信号を読み出す回路である。
イメージセンサ6では、測定対象物1の相対変位及び受光量に応じて、イメージセンサ6の受光面を構成する各受光素子に電荷が蓄積される。そして、読出回路7は、各受光素子の電荷を走査方向Xにおいて、イメージセンサ6の一端の受光素子から他端の受光素子までそれぞれの受光量を示す受光信号として読み出す。
図2に示すように、変位計10に対して測定対象物1が実線で示した位置から破線で示した位置へ変位すると、測定対象物1の反射面の位置も同様に変位する。それに伴い、測定対象物1の反射面の位置が変化するため、イメージセンサ6において測定対象物1からの反射光が入射したイメージセンサ6中の受光素子に対応する画素の位置が変化し、画素毎に受光量に応じた電荷が蓄積され、受光信号として読み出される。
より具体的に説明するため、変位計10の測定可能範囲と変位出力との関係について図3を参照しながら説明する。変位計10は、一般的に、測定中心距離が定められている。測定中心距離とは、変位計10を構成している光学系の構成要素であるレーザダイオード3と投光レンズ4の配置により定められ、変位計10の測定基準として用いられる絶対基準距離である。具体的には、測定中心距離は、変位計10の投光レンズ4から出射したレーザ光のスポット径が最小となる距離、つまり投光レンズ4の焦点距離である。測定中心距離を中央値とした変位計10の測定可能範囲についても、変位計10を構成している光学系の構成要素であるレーザダイオード3、投光レンズ4、受光レンズ5及びイメージセンサ6の配置により予め定められている。測定中心距離と測定可能範囲が、光学系の構成要素で定まる理由は、レーザダイオード3、投光レンズ4、受光レンズ5及びイメージセンサ6の配置位置が、変位計10の内部に固定されており、測定中心距離と測定可能範囲を調整することが一般的にはできないからである。投光レンズ4の投光軸と受光レンズ5の受光軸の交点に測定中心距離が位置する状態では、投光軸と受光軸との間の角度も一定である。
測定中心距離に測定対象物1の反射面が位置する場合、走査方向Xにおけるイメージセンサ6の受光面の一端から他端の間の中央付近に位置する受光素子に反射光が入射する。その場合、読出回路7は、変位出力として0Vの電圧を出力する。これは、測定対象物1の反射面の位置が測定中心距離と一致する、つまり、測定中心距離からの変位量が0mmであることを示す。また、測定対象物1の反射面が、変位計10に対して測定中心距離よりも遠くなった場合は、走査方向Xにおけるイメージセンサ6の受光面の一端側に位置する受光素子に反射光が入射する。例えば、測定対象物1の反射面が、測定可能範囲の下限値の位置に位置する場合、読出回路7は、変位出力として-5Vの電圧を出力する。これは、測定対象物1の反射面の測定中心距離からの変位量が-15mmであることを示す。また、測定対象物1の反射面が、変位計10に対して測定中心距離よりも近くなった場合は、走査方向Xにおけるイメージセンサ6の受光面の他端側に位置する受光素子に反射光が入射する。例えば、測定対象物1の反射面が、測定可能範囲の上限値の位置に位置する場合、読出回路7は、変位出力として+5Vの電圧を出力する。これは、測定対象物1の反射面の測定中心距離からの変位量が+15mmであることを示す。測定可能範囲内では、変位出力である電圧値が増加すると、それに対応して変位量は直線的に増加する。なお、上述の電圧値及び変位量は、一例であり、これに限定されない。
PLC20は、図1に示すように、第1通信I/F(Interface)部21、第1制御部22、第1記憶部23を含む。第1通信I/F部21は、PLC20に接続された外部機器からの信号を受信し、PLC20からの信号をPLC20に接続された外部機器に送信する。第1通信I/F部21は、受信したアナログ信号をデジタル信号に変換するA/D(Analog-to-Digital)変換回路を含むとともに、第1通信I/F部21から外部機器に送信すべき信号がアナログ信号である場合、デジタル信号からアナログ信号に変換して外部機器へ送信するために、D/A(Digital-to-Analog)変換回路を含む。また、第1通信I/F部21は、PLC20と外部機器とがデジタル信号で信号の送受信を行う場合には、A/D変換回路及びD/A変換回路を介さずに信号の送受信をするように構成されている。なお、第1制御部22と第1記憶部23の詳細は後述する。なお、PLC20に接続可能な物性検出部40及び温度センサ50については、実施の形態2以降で使用されるため、実施の形態1では説明を省略する。
変位計10の設定値調整装置としてのPC30は、表示装置31、入力装置32、第2通信I/F部33、第2制御部34及び第2記憶部35を含む。表示装置31は、例えば、変位計10の測定値を表示する表示画面等を表示する。表示装置31は、液晶表示装置であるが、これに限定されない。入力装置32は、例えば、ユーザによる操作によって入力を受け付けるマウス及びキーボード等であるが、これに限定されない。第2通信I/F部33は、PLC20の第1通信I/F部21に接続されることで、PLC20とPC30との間で信号を送受信する。なお、第2制御部34と第2記憶部35の詳細は後述する。
次に、実施の形態1の変位計10の設定値調整システムを構成するPLC20とPC30の詳細を示す機能ブロックについて、図4を参照しながら説明する。
PLC20の第1記憶部23は、制御プログラム231と、測定対象物1を測定する際に使用する設定値である使用設定値としての各種使用設定値Yyが格納される格納領域として使用設定値格納領域232と、を含む。制御プログラム231は、PC30に導入されたエンジニアリングツールを用いてユーザによって作成されたものであり、PLC20に接続された被制御機器である変位計10を制御するためのプログラムである。実施の形態1において、第1記憶部23は、フラッシュメモリ、SSD(Solid State Drive)又はHDD(Hard Disk Drive)の不揮発性記憶装置、並びに、作業領域として使用されるRAM(Random Access Memory)等の揮発性記憶装置であるが、第1記憶部23はフラッシュメモリ、SSD又はHDD、並びに、RAMに限定されない。なお、第1記憶部23の不揮発性記憶装置は、PLC20に接続可能な外部記憶装置であってもよい。
第1制御部22は、第1記憶部23に記憶された制御プログラム231を読み出して、読み出された制御プログラム231に従って、変位計10、PC30等の外部機器から第1通信I/F部21を介して受信した信号を処理して、変位計10からの受光信号に基づく測定値及び受光量を第1通信I/F部21を介してPC30に出力する。また、第1制御部22は、PC30から受信した使用設定値Yyを第1記憶部23の使用設定値格納領域232に格納する。また、第1制御部22は、第1記憶部23の使用設定値格納領域232に格納された使用設定値Yyを読み出して、使用設定値格納領域232に格納された使用設定値Yyに従って制御プログラム231を実行し、変位計10を制御する。なお、第1制御部22の機能は、プロセッサにより実現される。
PC30の第2記憶部35は、変位計10で測定対象物1を測定する際の測定条件を規定するとともに、属性毎に分けられた複数の設定値である全設定値351と、ユーザによって決められる目標測定値352と、を記憶し、入力装置32がユーザによって操作されることにより入力されたユーザ条件が格納されるユーザ条件格納領域354と、測定対象物1を測定する際に使用する設定値である使用設定値Yyを格納する格納領域である使用設定値格納領域355と、測定値を正しく測定できる可能性の高い最適化された設定値Xxである最適化設定値X_optを格納する格納領域である最適化設定値格納領域356と、を有する。実施の形態1において、第2記憶部35は、フラッシュメモリ、SSD又はHDD、並びに、作業領域として使用されるRAMであるが、第2記憶部35はフラッシュメモリ、SSD又はHDD、並びに、RAMに限定されない。なお、目標受光量353は、実施の形態2以降で使用されるため、実施の形態1では説明を省略する。
第2制御部34は、取得部341、設定部342、判定部343、変更部344、更新部345、表示制御部346及び閾値設定部347を含む。第2制御部34の取得部341、設定部342、判定部343、変更部344、更新部345、表示制御部346及び閾値補正部347の機能はプロセッサにより実現される。なお、閾値補正部347は、実施の形態2以降で使用されるため、実施の形態1では説明を省略する。
取得部341は、PLC20から変位計10の測定値(及び受光量)を第2通信I/F部33を介して取得し、また、入力装置32からのユーザ操作による入力を取得する。設定部342は、第2記憶部35の全設定値351の中から属性毎に各一つずつ設定値Xxを読み出して使用設定値格納領域355に記憶させることで、測定対象物1を測定する際に使用する使用設定値Yyを設定する。判定部343は、設定部342によって設定された使用設定値Yyを用いて測定対象物1を測定した際に取得部341によって取得された測定値が、目標測定値352の範囲内か否か判定する。
変更部344は、測定対象物1の基準ワークを測定する際に使用する使用設定値Yyを前回の使用設定値Yyから変更する。具体的には、変更部344は、前回の使用設定値Yyに対応した設定値Xxとは異なる設定値Xx+1を第2記憶部35の全設定値351の中から読み出して、新たに読み出した設定値Xx+1を使用設定値格納領域355に新たな使用設定値Yyとして記憶する。また、変更部344は、使用設定値格納領域355に格納された新たな使用設定値YyをPLC20に送信し、PLC20の第1制御部22は第1記憶部23の使用設定値格納領域232に新たな使用設定値Yyを記憶させる。
更新部345は、変更部344によって変更される前の前回の使用設定値Yy(第1使用設定値)を用いて測定された測定値(第1測定値)と、変更部344によって変更された後の新しい使用設定値Yy(第2使用設定値)を用いて測定された測定値(第2測定値)とのうち目標測定値352に近い測定値を取得した時の使用設定値Yyを、測定対象物1を測定する際に用いられる使用設定値Yyとして保持する。具体的には、更新部345は、使用設定値格納領域355に格納されている前回の使用設定値Yyと新しい使用設定値Yyのうち、目標測定値352に近い測定値を取得した時の使用設定値Yyを最適化設定値格納領域356に保持する。また、更新部345は、PLC20の第1制御部22に命令を送信し、第1記憶部23の使用設定値格納領域232に格納されている前回の使用設定値Yyと新しい使用設定値Yyのうち、使用設定値Yyとして最適化設定値格納領域356に保持されている使用設定値Yyを保持させる。
表示制御部346は、取得部341が取得した測定値、又は、ユーザ操作による入力装置32からの入力等に基づいて、例えば、変位計10の測定値を表示する表示画面等を表示装置31に表示させる。
次に、PC30の第2記憶部35に記憶されている全設定値351について、図5を参照しながら説明する。図5に示すように、設定値Xxは、投光量、測定モード、フィルタ、移動平均回数、サンプリング周期、カットオフ周波数、屈折率、測定レシピ等のように属性毎に分かれており、それぞれの属性毎に複数の設定値Xxが含まれる。以下では、各属性の設定値を纏めてXxということがある。また、設定値Xxを属性毎に区別するために、大文字X部分を属性毎に異ならせ、投光量の設定値はIx、測定モードの設定値はJx、フィルタ種類の設定値はKx、移動平均回数の設定値はLx、サンプリング周期の設定値はMx、カットオフ周波数の設定値はNx、屈折率の設定値はOx、測定レシピの設定値はPxと区別して説明することがある。また、各属性に含まれている設定値は、初期値が1とされる、つまり、小文字x部分が1から始まる連番となっている。例えば、フィルタ種類の設定値Kxは、初期値である移動平均回数の設定値がK1、ローパスフィルタの設定値がK2及びハイパスフィルタの設定値がK3のように以下では説明されることがあり、フィルタ種類以外の属性の各設定値Ix、Jx、Lx、Mx、Nx、Ox、Pxについても同様である。なお、測定レシピについては、実施の形態2以降で使用されるため、実施の形態1では説明を省略する。なお、使用設定値Yyは、設定値351の中から属性毎に各一つずつ選ばれた設定値Xxであり、事前調整の際にPC20の使用設定値格納領域355及び適化設定値格納領域356に格納され、最終的にはPLC20の使用設定値格納領域232に格納されることで、変位計10が測定対象物1を測定する際に使用する設定値Xxである。但し、測定レシピの設定値Pxの場合は、PLC20の使用設定値格納領域232に格納されないが、この点については実施の形態2以降にて詳述する。
投光量の設定値Ixは、レーザダイオード3からのレーザ光の投光量に関する設定値であり、0.01から100%までの複数の設定値I1,I2,I3・・・が含まれる。0.01%は投光量の下限設定値であり、100%が投光量の上限設定値である。
測定モードの設定値Jxは、イメージセンサ6からの受光信号に基づいて各画素に対応する受光素子の受光量を波形として表示した際の受光量波形から波形のピーク位置を精度よく取得するための測定アルゴリズムに関する設定値であり、測定対象物1の表面物性に応じて、測定対象物1の種類毎に適切な測定モードの設定値J1,J2,J3・・・が予め準備されている。複数の測定モードの設定値Jxの例としては、標準的な表面物性を持つ測定対象物1に適した測定アルゴリズムが設定されている拡散反射モード、測定対象物1が鏡面体又は透明体である場合に適した測定アルゴリズムが設定されている正反射モード、測定対象物1が金属である場合に適した測定アルゴリズムが設定されている金属モード、測定対象物1が半透明体である場合に適した測定アルゴリズムが設定されている半透明体モード、測定対象物1が透明体の中でも特にガラスである場合に適した測定アルゴリズムが設定されているガラスモード、測定対象物1がガラスの中に金属線が埋め込まれているパターン付ガラスである場合に適した測定アルゴリズムであるパターン付ガラスモード等が挙げられる。これら、測定アルゴリズムとしてはどの様なものを用いてもよいが、例えば、特開2006-38571号公報に記載されているように測定対象物1に合わせて重心計算ラインを変更する等の公知のアルゴリズムを使用することができる。
フィルタ種類の設定値Kxは、測定値をフィルタリング処理するためのフィルタ種類に関する設定値K1,K2,K3・・・である。複数のフィルタ種類の設定値Kxには、例えば、移動平均法により測定値をフィルタリング処理する移動平均フィルタの設定値K1、受光量波形についてカットオフ周波数よりも高い周波数を逓減させるローパスフィルタの設定値K2、受光量波形についてカットオフ周波数よりも低い周波数を逓減させるハイパスフィルタの設定値K3等が含まれる。なお、フィルタ種類の設定値Kxには、カットオフ周波数に関連するフィルタ種類としてローパスフィルタ及びハイパスフィルタの両方が含まれているが、ローパスフィルタ及びハイパスフィルタの少なくとも1つを含むようにしてもよい。
移動平均回数の設定値Lxは、フィルタ種類の設定値Lxとして移動平均フィルタの設定値K1が設定された場合に、追加で設定されるものであり、移動平均回数が1回から65536回までの間の複数の設定値L1,L2,L3・・・を含む。
サンプリング周期の設定値Mxは、イメージセンサ6の各画素に対応する受光素子から受光量を示す受光信号を読取回路7が読み出す周期の設定値であり、例えば、10μsから2msまでの間の複数の設定値M1,M2,M3・・・を含む。なお、サンプリング周期が長くなるほど画素に対応する受光素子に反射光が入射する時間が長くなるため、サンプリング周期は露光時間とも言える。
カットオフ周波数の設定値Nxは、フィルタ種類の設定値Kxとしてローパスフィルタ又はハイパスフィルタが設定された場合に、追加で設定されるものであり、カットオフ周波数が1Hzから2000Hzまでの複数の設定値N1,N2,N3・・・を含む。
屈折率の設定値Oxは、測定対象値が透明体の厚みである場合に、追加で設定されるものであり、屈折率が0.5000から2.0000までの複数の設定値O1,O2,O3・・・を含む。
続いて、測定対象物1を測定して実際に検査を始める前に必要となる基準ワークを用いた使用設定値の事前調整について、図6から図19を参照しながら説明する。基準ワークは、検査対象物となる測定対象物1の良品を用いる。
まず、図6の調整手順に示すように、ステップS1にて、入力装置32がユーザによって操作されることにより測定対象物1の測定対象値が選択される。具体的には、PC30の表示装置31に表示された図7に示す測定対象値選択画面70において、ユーザによって入力装置32が操作されることにより測定対象値選択枠701にて測定対象値が選択され、その後、設定ボタン702が操作されることで、取得部341は、ユーザ操作により選択された測定対象値を取得する。そして、取得部341は、選択された測定対象値を第2記憶部35のユーザ条件格納領域354に格納する。そして、ステップS2に進む。なお、図7の例では、測定対象値として測定対象物1の表面の変位量が選択されたことを示している。
次に、ステップS2では、図8に示すように、表示制御装置346は、基準ワークの設置を促す基準ワーク設置通知画面71を表示装置31に表示する。基準ワーク設置通知画面71の表示内容に従って、基準ワークが鏡面体又は透明体でなければ、測定対象物1の表面での光の反射の仕方が拡散反射光となる設置方法である拡散反射設置がユーザによって行われる。拡散反射設置とは、変位計10の投光軸と測定対象物1の表面の成す角度を90°とし、測定中心距離の位置に基準ワークの表面が位置するように、基準ワークと変位計10とを設置することである。また、基準ワークが鏡面体又は透明体である場合、測定対象物1の表面での光の反射の仕方が正反射光となる設置方法である正反射設置がユーザによって行われる。正反射設置とは、測定中心距離に測定対象物1を設置した際に入射光の入射角と反射光の反射角が等しくなる位置に、基準ワークと変位計10とを設置することである。基準ワークと変位計10とが上述のように設置され、入力装置32がユーザによって操作されることで次のステップに進むためのボタン710に対するユーザ操作を取得部341が受け付けると、ステップS3に進む。
次に、ステップS3では、図9に示すように、表示制御装置346は、判定閾値設定画面72を表示装置31に表示する。判定閾値設定画面72において、入力装置32がユーザによって操作されることにより、上限閾値の入力枠720と下限閾値の入力枠721に、上限閾値と下限閾値とが入力される。判定閾値は、測定対象物1の表面の変位量が測定中心距離からどの程度相対的にずれた場合に、不良品と判定するかに用いるものである。図9の例では、上限閾値として+1.000000mm、下限閾値として-1.000000mmが入力されている。測定対象物1の検査の段階では、測定値が、上限閾値と下限閾値の範囲内であれば、測定対象物1は良品であり、上限閾値と下限閾値の範囲外であれば、測定対象物1は不良品と判断される。次のステップに進むためにボタン722に対するユーザ操作を取得部341が受け付けると、判定閾値の範囲は目標測定値352として第2記憶部35に記憶される。そして、ステップS4に進む。
次に、ステップS4では、図10に示すように、表示制御装置346は、測定値取得間隔設定画面73を表示装置31に表示する。測定値取得間隔設定画面73において、入力装置32がユーザによって操作されることにより、ユーザが希望する測定値の取得間隔である測定値取得間隔が、測定値取得間隔の入力枠730に入力されて指定される。測定値取得間隔は、PC30の取得部341がPLC20から測定値を取得する間隔である。図10の例では、測定値取得間隔は40μsに設定されている。そして、測定条件を規定する各設定値Xxを従来通りにユーザ自身で設定する場合、設定値Xxの手動調整のためのボタン731に対するユーザ操作を取得部341が受け付け、各設定値Xxを自動調整する場合には設定値Xxの自動調整のためのボタン732に対するユーザ操作を取得部341が受け付ける。ボタン731又はボタン732に対するユーザ操作を取得部341が受け付けると、ユーザ操作により入力された測定値取得間隔が、第2記憶部35のユーザ条件格納領域354に格納される。そして、ステップS5に進む。なお、測定値取得間隔の入力枠730は、取得部341が測定値を取得する間隔である測定値取得間隔を指定するユーザ操作を受付ける受付部として機能する。
設定値Xxの手動調整のボタン731が選択された場合には、ステップS5で、表示制御装置346は、図11から図13に示す表示画面を表示装置31に表示する。表示装置31に表示された表示画面を確認しながら、ユーザは全設定値351の中から様々な使用設定値Yyを従来通り手動で調整する。図11に示す測定値表示画面74では、変位計10の測定値が表示される測定値表示枠740及び741に測定値が表示される。図11の例では、測定値表示枠740に変位計10からの測定値として+0.945790mmが表示されており、判定閾値の範囲(上限閾値である+1.000000mmから下限閾値である-1.000000mmの範囲)に収まっている。なお、図11では、測定値表示枠740にのみ測定値が表示されているが、PLC20に2つの変位計10を接続した場合には、一方の変位計10の測定値が一方の表示枠740に表示され、他方の変位計10の測定値が他方の表示枠741に表示される。図12は、測定値取得間隔毎の測定値がプロットされた分布図750により測定値の時間変化を示す測定値の時間変化表示画面75である。測定値の時間変化表示画面75では、判定閾値の上限閾値751と下限閾値752も表示されており、測定値753が判定閾値の範囲内にあるかユーザが把握できるよう表示される。図12の例では、複数の測定値が上限閾値751を超えており、複数の測定値が下限閾値752を超えてしまっている。図13は、変位計10から取得した受光量波形を表示する受光量波形表示画面76である。受光量波形表示画面76において、受光量波形を表示する表示領域760の縦軸は受光量を示し、横軸はイメージセンサ6中の受光素子に対応する画素の位置を示している。なお、受光量波形表示画面76は、受光量を値として表示する表示領域761と、受光量を取得した時の投光量を表示する表示領域762も含む。図13の例では、画素の位置の取り得る値は、例えば、0から500の画素に対応した値であり、0から500の中央値である250の画素の位置が、変位量0mmの位置を示す。例えば、測定対象物1の表面が250の画素の位置から500の画素の位置に近づいた場合には、変位量はマイナス側(変位計10に近づく方向)に変化し、測定対象物1の表面が250の画素の位置から0の画素の位置に近づいた場合には、変位量はプラス側(変位計10から遠ざかる方向)に変化したことを示す。なお、図13に示す受光量波形の山Pの頂点は画素の位置が300と400の間に位置しているので、変位量がマイナス側に変化したことを示している。基準ワークの測定基準となる表面を測定中心距離に合わせたのであれば、正しく使用設定値Yyが設定されている場合は、変位量0mmの位置を示す、250の画素の位置に受光波形の山Pの頂点が位置するが、図13では使用設定値Yyが正しく調整されていないため、変位量がマイナス側にずれてしまっている。
従来通り、基準ワークを測定しながらユーザが手動で使用設定値Yyを調整する場合では、図11から図13に示す画面例を確認しながら測定値が目標測定値の範囲内となるように全設定値351の中から各使用設定値Yyを調整し、測定値が目標測定値の範囲内になり、手動調整完了ボタン(不図示)に対するユーザ操作を取得部341が受け付ける。そして、更新部345は、測定値が目標測定値の範囲内になった時の各使用設定値Yyを、実際に測定対象物1を検査する際に使用する使用設定値Yyとして、PC30の第2記憶部35の最適化設定値格納領域356に記憶させる。また、更新部345は、PC30の第2記憶部35の最適化設定値格納領域356に記憶された使用設定値YyをPLC20に送信し、PLC20の第1制御部22は受信した使用設定値Yyを第1記憶部23の使用設定値格納領域232に記憶させる。
図10に戻り、設定値Xxの自動調整のボタン732が選択された場合には、ステップS5の処理として、図14に示す使用設定値自動調整処理が開始される。なお、実施の形態1では、ステップS50の使用設定値調整処理に測定モード調整処理を適用した形態を説明する。
まず、ステップS10にて、設定部342は、属性毎に図5の中央の列に記載されている初期値X1を使用設定値Yyとして設定する。具体的には、設定部342が、第2記憶部35の全設定値351の中から属性毎に図5に示した初期値として予め決められている設定値X1を第2記憶部35の使用設定値格納領域355に使用設定値Yyとして記憶させることで、測定対象物1の測定する際に使用する使用設定値Yyを設定する。つまり、設定部342は、レーザダイオード3の投光量の設定値Ixの初期値I1である50%を測定対象物1の測定する際に使用する使用設定値Yyに設定する。また、設定部342は、測定モードの設定値Jxの初期値J1である拡散反射モードを測定対象物1の測定する際に使用する使用設定値Yyに設定する。また、設定部342は、フィルタ種類の設定値Kxの初期値K1である移動平均フィルタを測定対象物1の測定する際に使用する使用設定値Yyに設定する。また、設定部342は、移動平均回数の設定値Lxの初期値L1である128回を測定対象物1の測定する際に使用する使用設定値Yyに設定する。また、設定部342は、図6のステップS4にて設定された測定値取得間隔をユーザ条件格納領域354から読み出し、サンプリング周期の設定値Mxの初期値M1が測定値取得間隔以下である場合、初期値M1である40μsを測定対象物1の測定する際に使用する使用設定値Yyに設定する。また、設定部342は、サンプリング周期の設定値Mxの初期値M1が測定値取得間隔より大きい場合、測定値取得間隔以下且つ測定値取得間隔に最も近いサンプリング周期の設定値Mxを測定対象物1の測定する際に使用する使用設定値Yyに設定する。例えば、図10に示した測定値取得間隔が20μsに設定された場合は、サンプリング周期の設定値Mxとして20μsを設定する。また、設定部342は、カットオフ周波数の設定値Nxの初期値N1である100Hzを測定対象物1の測定する際に使用する使用設定値Yyに設定する。また、設定部342は、屈折率の設定値Oxの初期値O1である1.5000を測定対象物1の測定する際に使用する使用設定値Yyに設定する。そして、設定部342は、使用設定値格納領域355に記憶された各属性の使用設定値YyをPLC20に送信し、PLC20の第1制御部22は、受信した各属性の使用設定値Yyを第1記憶部23の使用設定値格納領域232に格納する。そして、ステップS20に進む。なお、測定レシピの設定値Pxの初期値P1については実施の形態1では使用しないため説明を省略する。
そして、ステップS20では、PLC20の第1制御部22が使用設定値格納領域232の使用設定値Yyに従って制御プログラム231を実行することで取得された変位計10からの測定値(及び受光量)を、PC30の取得部341が取得する。
そして、ステップS30では、PC30の判定部343は、変位計10からの測定値が図6のステップS4にてユーザ条件格納領域354に格納された目標測定値352の範囲内、つまり、上限閾値と下限閾値の範囲である判定閾値の範囲内であるか判定する。初回の測定値は、各初期値X1(つまり、I1、J1、K1、L1、M1(又は、測定値取得間隔以下且つ測定値取得間隔に最も近いサンプリング周期の設定値Mx)、N1、O1)を各使用設定値Yyとして設定して測定した測定値である。測定値が目標測定値352の範囲内であると判定された場合(ステップS30:YES)は、測定値を取得した際に使用した各初期値X1(但し、Mxのみ上述のようにM1でない場合有り)を用いれば基準ワークの測定値が適正な範囲内であることから、使用設定値自動調整処理を終了する。つまり、目標測定値352の範囲内となった基準ワークからの測定値を取得した際に使用した使用設定値Yyが、PLC20の第1記憶部23の使用設定値格納領域232に格納されて使用設定値Yyとして設定される。そのため、変位計10で測定対象物1を実際に検査する際には、目標測定値352の範囲内となった基準ワークからの測定値を取得した時に使用された使用設定値Yyが使用されることとなる。測定値が目標測定値352の範囲外であると判定された場合(ステップS30:NO)は、ステップS40に進む。
そして、ステップS40では、PC30の判定部343は、最適化完了フラグFXが設定されているか確認する。最適化完了フラグFXは、後述のステップS50で実行される使用設定値調整処理が完了した際に設定されるフラグFである。最適化完了フラグFXは、例えば、最適化完了フラグFXの大文字X部分には測定モードの設定値Jxの大文字部分を当てはめて、測定モード調整処理の完了時には後述するように最適化完了フラグFJが設定される。なお、その他の属性の設定値Xxの調整処理が適用される場合、最適化完了フラグFXの大文字X部分には同様に対応する属性の設定値Xxの大文字X部分が当てはめられる。ステップS40で、最適化完了フラグFJが設定されていないと判定された場合(ステップS40:NO)、後述する測定モード調整処理が完了していないため、ステップS50に進む。
そして、ステップS50では、測定モードの設定値Jxの初期値J1を使用設定値Yyとして設定しても測定値が正しくないため、使用設定値調整処理として測定モード調整処理が実行される。測定モード調整処理の詳細について図15を参照しながら説明する。
ステップS50では、測定モード調整処理が実行される。まず、図15のステップS101では、判定部343が、測定モード調整処理における今回の測定値が初回の測定値か否か判定する。測定モード調整処理における初回の測定値とは、測定モード調整処理に先立ってステップS20にて測定値が取得され、ステップS50の測定モード調整処理に初めて進んだ時の測定値のことである。今回の測定値が、測定モード調整処理における初回の測定値であるか判定する方法としては、使用設定値自動調整処理開始からステップS50の測定モード調整処理に進んだ回数をカウントし、そのカウント値が1である場合に判定部343が初回の測定値であると判定するが、これに限らない。今回の測定値が初回の測定値であると判定された場合(ステップS101:YES)は、測定モードの設定値Jxの初期値J1である拡散反射モードを、測定対象物1を測定する際に使用する使用設定値Yyに設定した後、初めて取得した測定値しかなく、比較対象となる他の測定値が無い。そのため、ステップS102に進む。
ステップS102では、変更部344が、測定値を取得済みの測定モードの設定値Jxとは異なる設定値Jx+1を第2記憶部35の全設定値351の中から読み出す。初回であれば、測定値を取得済みの測定モードの設定値Jxは初期値J1である拡散反射モードしかないので、初期値J1と異なる測定モードの設定値Jx+1として設定値J2を第2記憶部35の全設定値351の中から読み出す。そして、変更部344は、読み出された測定モードの設定値Jx+1を使用設定値格納領域355に記憶することで、次回使用する使用設定値Yyを測定モードの設定値Jx+1に変更する。また、変更部344は、使用設定値格納領域355に格納された次回使用する使用設定値Yyである測定モードの設定値Jx+1をPLC20に送信し、第1制御部22は使用設定値格納領域232に次回使用する使用設定値Yyである測定モードの設定値Jx+1を記憶させ設定する。なお、ステップS101にて今回の測定値が初回の測定値であると判定されて、ステップS103及びステップS104を経ずにステップS102が行われる場合、ステップS102において、変更部344が初期値J1を最適化設定値格納領域356に仮に記憶させることも行う。そして、図14のステップS20に戻り、PLC20の第1制御部22が使用設定値格納領域232に格納された新たな使用設定値Yy(次回使用する使用設定値)である測定モードの設定値Jx+1に従って制御プログラム231を実行する。そして、図14のステップS20にて、取得部341が、新たな使用設定値Yy(前述の次回使用する使用設定値)を用いた測定値を取得する。そして、ステップS30及びステップS40を前述と同様に再度行い、最適化完了フラグFJが設定されていない場合、ステップS50に再度進む。なお、ステップS30にて、測定モードの設定値Jxを設定値J2に変更した直後の測定値が目標測定値352の範囲内であると判定された場合は、その段階では、最適化設定値格納領域356に初期値J1が仮に記憶されており設定値Jxの最適化がなされていないため、例外としてステップS40に進む。
そして、ステップS50では、再度、図15のステップS101に進む。この場合、今回の測定値が初回の測定値でないと判定され(ステップS101:NO)、ステップS103に進む。
ステップS103では、更新部345が、最適化設定値格納領域356に保持されている測定モードの使用設定値Yy(第1使用設定値、実施の形態1ではJx)を用いて測定された測定値(第1測定値)と、変更部344によって変更された後の新たな測定モードの使用設定値Yy(第2使用設定値、実施の形態1ではJx+1)を用いて測定された測定値(第2測定値)とのうち目標測定値352に近い測定値を取得した時の測定モードの使用設定値Yyを、最適化設定値格納領域356に保持する。なお、測定モードの使用設定値Yy(第1使用設定値、実施の形態1ではJx)を用いて測定された測定値(第1測定値)と、新たな測定モードの使用設定値Yy(第2使用設定値、実施の形態1ではJx+1)を用いて測定された測定値(第2測定値)とが同じである場合は、どちらか一方の測定モードの仕様設定値Yyを、最適化設定値格納領域356に保持する。そして、ステップS104に進む。
ステップS104では、判定部343は、全ての測定モードの設定値Jxを使用設定値Yyに用いて基準ワークを測定して得られた全ての測定値を取得済みか否か判定する。例えば、判定部343が、測定モード調整処理の開始から取得部341が取得した測定値の数が第2記憶部35の全設定値351中の測定モードの設定値Jxの数と一致するか否かを確認することで全ての測定値を取得済みか否か判定する。全ての測定値を取得済みでないと判定された場合(ステップS104:NO)は、再度、ステップS102に進む。そして、ステップS102にて、変更部344が、測定値を取得済みの測定モードの設定値Jxとは異なる設定値Jx+1を全設定値351から読み出して、使用設定値格納領域355に使用設定値Yyとして記憶させる。また、変更部344は、使用設定値格納領域355に格納された測定モードの設定値Jx+1をPLC20に送信し、使用設定値格納領域232に測定モードの設定値Jx+1を使用設定値Yyとして記憶させる。なお、ステップS103及びステップS104を経てステップS102が行われる場合、ステップS103において目標測定値352に近い測定値を取得した時の測定モードの使用設定値Yyを最適化設定値格納領域356に保持させているため、この使用設定値Yyを保持させるために、初期値J1を最適化設定値格納領域356に記憶させることは行わない。
そして、図14のステップS20からステップS50の処理を繰り返す。つまり、測定値が目標測定値352の範囲外、且つ、最適化完了フラグFJが設定されていない間は、図14のステップS20からステップS50が繰り返し実行される。なお、測定モードの設定値JxのうちJ3が使用設定値Yyとして使用設定値格納領域232に設定された後、ステップS20からステップS50の繰り返し処理の間に、ステップS30にて、測定値が目標測定値352の範囲内であると判定された場合(ステップS30:YES)は、最適化設定値格納領域356に格納された測定モードの設定値Jxを用いれば基準ワークの測定値が適正な範囲内となることから、使用設定値自動調整処理を終了する。つまり、この段階では、目標測定値352の範囲内となった基準ワークからの測定値を取得した際に使用した使用設定値Yyと同じ測定モードの設定値Jxが、PC30の最適化設定値格納領域356に保持されているとともに、PLC20の使用設定値格納領域232にも同じ使用設定値Yyが格納されていることとなる。そのため、変位計10で測定対象物1を実際に検査する際には、最適化設定値格納領域356に格納された測定モードの設定値Jxが使用されることとなる。なお、目標測定値352の範囲内と判定された時に、最適化設定値格納領域356に保持されている設定値Xxを、以下では最適化設定値X_optともいい、測定モードの最適化設定値はJ_optという。
ステップS104にて、全ての測定モードの設定値Jxを使用設定値Yyに用いて全ての測定値を取得済みと判定された場合(ステップS104:YES)は、ステップS105に進む。
ステップS105では、更新部345は、全ての測定モードの設定値Jxを使用設定値Yyに用いて全ての測定値を取得済みであり使用設定値調整処理としての測定モード調整処理が完了したとして、最適化完了フラグFXとして最適化完了フラグFJを設定する。また、PLC20の第1制御部22に命令を送信し、第1記憶部23に格納されている測定モードの使用設定値Yyとして、測定モード調整処理完了時の最適化設定値格納領域356に保持されている測定モードの設定値Jxである測定モードの最適化設定値J_optを保持させる。
ステップS105にて最適化完了フラグFJが設定された時には、最適化設定値格納領域356に格納された測定モードの最適化設定値J_optは、測定モードの全設定値J1,J2,J3・・・の中で最も目標測定値352に近い測定値を取得した設定値Jxが保持され、この最適化設定値J_optがPLC20の使用設定値格納領域232に設定された状態となる。
この状態において、図14のステップS20からステップS40が行われる。測定モードの最適化設定値J_optを用いてステップS20で取得した測定値がステップS30にて目標測定値352の範囲外であると判定された場合(ステップS30:NO)、ステップS40では最適化完了フラグFJが設定されていることが確認されて、ステップS60に進む。
ステップS60では、判定部343は、表示装置31にエラー表示画面を表示させ、使用設定値自動調整処理では、測定値を正しく測定できるように測定モードの設定値Jxを調整できなかった旨をユーザに通知する。
上述のように使用設定値自動調整処理が実行され、ステップS30にて測定値が目標測定値352の範囲内となった後に、図16に示すように、変位計10で測定対象物1を実際に検査する検査処理が行われる。このときには、PLC20の使用設定値格納領域232には、使用設定値自動調整処理にて測定値が目標測定値352の範囲内となった時の測定モードの設定値Jxが使用設定値Yyとして格納され、検査に使用される。
まず、ステップS1001では、ステップS20と同様に、PLC20の第1制御部22が使用設定値格納領域232の使用設定値Yyに従って制御プログラム231を実行することで取得された変位計10からの測定値を、PC30の取得部341が取得する。
そして、ステップS1002では、ステップS30と同様に、判定部343は、変位計10からの測定値が目標測定値352の範囲内、つまり、上限閾値と下限閾値の範囲である目標測定値352の範囲内であるか判定する。測定値が目標測定値352の範囲内であると判定された場合(ステップS1002:YES)は、ステップS1003に進む。
ステップS1003では、判定部343は、測定対象物1が良品であるとの検査結果を第2記憶部35に格納する。そして、ステップS1005に進む。
ステップS1002にて、測定値が目標測定値352の範囲外であると判定された場合(ステップS1002:NO)は、ステップS1004に進む。
ステップS1004では、判定部343は、測定対象物1が不良品であるとの検査結果を第2記憶部35に格納する。また、表示制御部346は、不良品が発生したことを表示装置31に表示しユーザに通知する。そして、ステップS1005に進む。
ステップS1005では、判定部343は、入力装置32からのユーザ操作による検査終了指示を取得部341が受け付けたか判定する。検査終了指示を受け付けた場合(ステップS1005:YES)は、測定対象物1の検査を終了する。検査終了指示を受け付けていない場合(ステップS1005:NO)は、ステップS1001に戻り、測定対象物1の検査が引き続き行われる。
このように、実施の形態1における変位計10の設定値調整装置では、基準ワークを測定しながら測定モードの設定値Jxの中から使用設定値Yyを調整する際に、測定値が目標測定値352の範囲内であれば、目標測定値352の範囲内であると判定された測定値を取得した時の使用設定値Yy(測定モードの設定値Jx)を、測定対象物1を検査する際に使用する使用設定値Yyに設定し、測定値が目標測定値352の範囲外であれば、変更部344は、測定値を取得した時とは異なる使用設定値Yyに変更し、取得部341は、変更した使用設定値Yyを用いて測定値を再取得し、判定部343は、変更された使用設定値Yy(測定モードの設定値Jx+1)を用いて測定された測定値が、目標測定値352の範囲内か否か再度判定する。そのため、基準ワークを測定して測定モードの使用設定値Yyの事前調整を行う際に、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Yyを調整できるという効果を奏する。
また、実施の形態1における変位計10の設定値調整装置では、基準ワークを測定して測定モードの設定値Jxの中から使用設定値Yyを事前調整する際に、初期値J1に基づく測定値が、目標測定値352の範囲内である場合は、測定対象物1を検査する際に使用する使用設定値Yyとして初期値J1を使用し、測定値が目標測定値352の範囲外である場合は、変更部344は、使用設定値Yyを測定モードの初期値J1とは異なる設定値(例えば、測定モードの設定値Jx+1)に変更する。そのため、基準ワークを測定して測定モードの使用設定値Yyの事前調整を行う際に、作業者の判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Yyを調整できるという効果を奏する。
また、実施の形態1における変位計10の設定値調整装置では、更新部345は、変更部344によって変更される前の使用設定値Yy(第1使用設定値、測定モードの設定値Jx)を用いて測定された測定値(第1測定値)と、変更部344によって変更された後の使用設定値Yy(第2使用設定値、測定モードの設定値Jx+1)を用いて測定された測定値(第2測定値)とのうち目標測定値352に近い測定値を取得した時の使用設定値Yyを、測定対象物1を測定する際に使用する使用設定値Yyとして更新する。そのため、基準ワークを測定して測定モードの使用設定値Yyの事前調整を行う際に、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Yyを適切な測定モードの設定値Jxに更新できるという効果を奏する。
実施の形態2.
続いて、実施の形態2の変位計10の設定値調整システムについて図14及び図17を用いて説明する。なお、実施の形態1と同じ構成については、同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
続いて、実施の形態2の変位計10の設定値調整システムについて図14及び図17を用いて説明する。なお、実施の形態1と同じ構成については、同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
実施の形態2の変位計10の設定値調整システムにおいては、図14に示したステップS50の使用設定値調整処理が、実施の形態1の図15に示した測定モード調整処理に代えて、図17に示す第1フィルタ調整処理である点が実施の形態1に対して異なる。実施の形態2では、第1フィルタ調整処理が実行されることを除いて他の処理は実施の形態1と同じであるため、同じ処理については説明を省略する。
ステップS50では、第1フィルタ調整処理が実行される。実施の形態1のステップS101からステップS105では測定モードの設定値Jxが調整されたが、実施の形態1のステップS101からステップS105に対応する実施の形態2のステップS201からステップS205では、実施の形態1と同様の手順で、測定モードの設定値Jxに代わり、フィルタ種類の設定値Kxが調整される。その際に、ステップS205にて設定される最適化完了フラグFXは、第1フィルタ調整処理の完了を示す最適化完了フラグFKである。また、最適化設定値格納領域356に保持される最適化設定値X_optは、フィルタ種類の最適化設定値K_optである。そして、図14に示した使用設定値自動調整処理のステップS40では、フィルタ種類の設定値Kxの調整処理の完了を示す最適化完了フラグFKが設定されているかが確認される。
実施の形態2における変位計10の設定値調整装置では、基準ワークを測定してフィルタ種類の設定値Kxの中から使用設定値Yyの事前調整を行う際には、実施の形態1と同様に、測定値が目標測定値352の範囲内であれば、目標測定値352の範囲内であると判定された測定値を取得した時の使用設定値Yy(フィルタ種類の設定値Kx)を、測定対象物1を検査する際に使用する使用設定値Yyに設定し、測定値が目標測定値352の範囲外であれば、変更部344は、測定値を取得した時とは異なる使用設定値Yyに変更し、取得部341は、変更した使用設定値Yyを用いて測定値を再取得し、判定部343は、変更された使用設定値Yy(フィルタ種類の設定値Kx+1)を用いて測定された測定値が、目標測定値352の範囲内か否か再度判定する。そのため、基準ワークを測定してフィルタ種類の使用設定値Yyの事前調整を行う際に、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Yyを調整できるという効果を奏する。
また、実施の形態2における変位計10の設定値調整装置では、基準ワークを測定してフィルタ種類の設定値Kxの中から使用設定値Yyを事前調整する際に、初期値K1に基づく測定値が、目標測定値352の範囲内である場合は、測定対象物1を検査する際に使用する使用設定値Yyとして初期値K1を使用し、測定値が目標測定値352の範囲外である場合は、変更部344は、使用設定値Yyをフィルタ種類の初期値K1とは異なる設定値(例えば、フィルタ種類の設定値Kx+1)に変更する。そのため、基準ワークを測定してフィルタ種類の使用設定値Yyの事前調整を行う際に、作業者の判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Yyを調整できるという効果を奏する。
また、実施の形態2における変位計10の設定値調整装置では、実施の形態1と同様に、更新部345は、変更部344によって変更される前の使用設定値Yy(第1使用設定値、フィルタ種類の設定値Kx)を用いて測定された測定値(第1測定値)と、変更部344によって変更された後の使用設定値Yy(第2使用設定値、フィルタ種類の設定値Kx+1)を用いて測定された測定値(第2測定値)とのうち目標測定値352に近い測定値を取得した時の使用設定値Yyを、測定対象物1を測定する際に使用する使用設定値Yyとして更新する。そのため、基準ワークを測定してフィルタ種類の使用設定値Yyの事前調整を行う際に、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Yyを適切な設定値Kxに更新できるという効果を奏する。
実施の形態3.
続いて、実施の形態3の変位計10の設定値調整システムについて図14及び図18を用いて説明する。なお、実施の形態1又は実施の形態2と同じ構成については、同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
続いて、実施の形態3の変位計10の設定値調整システムについて図14及び図18を用いて説明する。なお、実施の形態1又は実施の形態2と同じ構成については、同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
実施の形態3の変位計10の設定値調整システムにおいては、図14に示したステップS50の使用設定値調整処理が、実施の形態1の図15に示した測定モード調整処理に代えて、図18に示す第2フィルタ調整処理である点が実施の形態1に対して異なる。実施の形態3では、第2フィルタ調整処理が実行されることを除いて他の処理は実施の形態1と同じであるため、同じ処理については説明を省略する。
ステップS50では、第2フィルタ調整処理が実行される。まず、ステップS301では、判定部343は、測定対象物1を測定する際に使用するフィルタ種類の使用設定値Yyとして移動平均フィルタの設定値K1が第2記憶部35の使用設定値格納領域355に保持されているか判定する。移動平均フィルタの設定値K1が保持されていない場合(ステップS301:NO)は、フィルタ種類の使用設定値Yyとして移動平均フィルタとは異なるフィルタ種類の設定値Kxが保持されているため、最適化完了フラグFLを設定させて第2フィルタ調整処理を終了するためにステップS308に進む。移動平均フィルタの設定値K1が使用設定値Yyとして保持されている場合(ステップS301:YES)は、ステップS302に進む。
ステップS302では、判定部343は、図6のステップS4にて設定された測定値取得間隔をユーザ条件格納領域354から読み出す。そして、ステップS303に進む。
ステップS303では、判定部343は、以下の式1により許容移動平均回数を算出する。そして、ステップS304に進む。なお、許容移動平均回数とは、ユーザが希望する測定値取得間隔を超えることなく測定値取得間隔以下となる移動平均回数である。なお、以下の式1を用いて許容移動平均回数を算出する際に用いられるサンプリング周期の設定値Mxは、第2記憶部35の使用設定値格納領域355に格納されているサンプリング周期の使用設定値Yyを用いる。第2フィルタ調整処理が初めて実行される場合であれば、図5に示したサンプリング周期の設定値Mxの初期値M1である40μs(又は、測定値取得間隔以下且つ測定値取得間隔に最も近いサンプリング周期の設定値Mx)が、サンプリング周期の使用設定値Yyとして第2記憶部35の使用設定値格納領域355に格納されている。
許容移動平均回数<測定値取得間隔÷サンプリング周期・・・(式1)
許容移動平均回数<測定値取得間隔÷サンプリング周期・・・(式1)
そして、実施の形態1のステップS101からステップS105に対応する実施の形態3のステップS304からステップS308では、実施の形態1と同様の手順で、実施の形態1の測定モードの設定値Jxに代わり、移動平均フィルタの設定値Lxが調整される。その際に、ステップS308にて設定される最適化完了フラグFXは、第2フィルタ調整処理の完了を示す最適化完了フラグFLである。また、最適化設定値格納領域356に保持される最適化設定値X_optは、移動平均回数の最適化設定値L_optである。そして、図14に示した使用設定値自動調整処理のステップS40では、移動平均回数の設定値Lxの調整処理の完了を示す最適化完了フラグFLが設定されているかが確認される。
なお、ステップS305では、変更部344が、測定値を取得済みの移動平均回数の設定値Lxとは異なる設定値Lx+1を第2記憶部35の全設定値351の中から読み出し、使用設定値格納領域355に記憶することで、次回使用する使用設定値Yyを移動平均回数の設定値Lx+1に変更する。また、変更部344は、使用設定値格納領域355に格納された次回使用する使用設定値Yyである測定モードの設定値Lx+1をPLC20に送信し、使用設定値格納領域232に次回使用する使用設定値Yyである移動平均回数の設定値Lx+1を記憶させ設定する。このとき、変更部344が変更する移動平均回数の設定値Lx+1は、ステップS303で算出された許容移動平均回数以下のもののみが選択される。
実施の形態3における変位計10の設定値調整装置では、基準ワークを測定して移動平均回数の設定値Lxの中から使用設定値Yyの事前調整を行う際には、実施の形態1又は実施の形態2と同様に、測定値が目標測定値352の範囲内であれば、目標測定値352の範囲内であると判定された測定値を取得した時の使用設定値Yy(移動平均回数の設定値Lx)を、測定対象物1を検査する際に使用する使用設定値Yyに設定し、測定値が目標測定値352の範囲外であれば、変更部344は、測定値を取得した時とは異なる使用設定値Yyに変更し、取得部341は、変更した使用設定値Yyを用いて測定値を再取得し、判定部343は、変更された使用設定値Yy(移動平均回数の設定値Lx+1)を用いて測定された測定値が、目標測定値352の範囲内か否か再度判定する。そのため、基準ワークを測定して移動平均回数の使用設定値Yyの事前調整を行う際に、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Yyを調整できるという効果を奏する。
また、実施の形態3における変位計10の設定値調整装置では、基準ワークを測定して移動平均回数の設定値Lxの中から使用設定値Yyを事前調整する際に、初期値L1に基づく測定値が、目標測定値352の範囲内である場合は、測定対象物1を検査する際に使用する使用設定値Yyとして初期値L1を使用し、測定値が目標測定値352の範囲外である場合は、変更部344は、使用設定値Yyを移動平均回数の初期値L1とは異なる設定値(例えば、移動平均回数の設定値Lx+1)に変更する。そのため、基準ワークを測定して移動平均回数の使用設定値Yyの事前調整を行う際に、作業者の判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Yyを調整できるという効果を奏する。
また、実施の形態3における変位計10の設定値調整装置では、実施の形態1又は実施の形態2と同様に、更新部345は、変更部344によって変更される前の使用設定値Yy(第1使用設定値、移動平均回数の設定値Lx)を用いて測定された測定値(第1測定値)と、変更部344によって変更された後の使用設定値Yy(第2使用設定値、移動平均回数の設定値Lx+1)を用いて測定された測定値(第2測定値)とのうち目標測定値352に近い測定値を取得した時の使用設定値Yyを、測定対象物1を測定する際に使用する使用設定値Yyとして更新する。そのため、基準ワークを測定して移動平均回数の使用設定値Yyの事前調整を行う際に、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Yyを適切な設定値Lxに更新できるという効果を奏する。
また、実施の形態3における変位計10の設定値調整装置では、変更部344は、測定値取得間隔をサンプリング周期の使用設定値Yy(変位計10が測定対象物1を測定する際に使用するサンプリング周期の設定値Mx)で割ることで得られる許容移動平均回数以下の移動平均回数の設定値Lxに使用設定値Yyを変更する。そのため、変更部344が移動平均回数の使用設定値Yyを変更する際に、ユーザ操作により指定された測定値取得間隔を超えるような移動平均回数の設定値Lxに変更されることがない。よって、ユーザが想定するタクトタイムには影響を与えずに、移動平均回数の使用設定値Yyを適切な移動平均回数の設定値Lxに自動調整できるという効果を奏する。
実施の形態4.
続いて、実施の形態4の変位計10の設定値調整システムについて図14及び図19を用いて説明する。なお、実施の形態1から実施の形態3と同じ構成については、同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
続いて、実施の形態4の変位計10の設定値調整システムについて図14及び図19を用いて説明する。なお、実施の形態1から実施の形態3と同じ構成については、同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
実施の形態4の変位計10の設定値調整システムにおいては、図14に示したステップS50の使用設定値調整処理が、実施の形態1の図15に示した測定モード調整処理に代えて、図19に示す第3フィルタ調整処理である点が実施の形態1に対して異なる。実施の形態4では、第3フィルタ調整処理が実行されることを除いて他の処理は実施の形態1と同じであるため、同じ処理については説明を省略する。
ステップS50では、第3フィルタ調整処理が実行される。まず、ステップS401では、判定部343は、測定対象物1を測定する際に使用するフィルタ種類の使用設定値Yyとしてローパスフィルタの設定値K2又はハイパスフィルタの設定値K3のいずれか1つが第2記憶部35の使用設定値格納領域355に保持されているか判定する。ローパスフィルタの設定値K2又はハイパスフィルタの設定値K3が保持されていない場合(ステップS401:NO)は、フィルタ種類の使用設定値Yyとしてローパスフィルタ又はハイパスフィルタとは異なるフィルタ種類の設定値Kxが保持されているため、最適化完了フラグFNを設定させて第3フィルタ調整処理を終了するためにステップS406に進む。フィルタ種類の使用設定値Yyとしてローパスフィルタの設定値K2又はハイパスフィルタの設定値K3が保持されている場合(ステップS401:YES)は、ステップS402に進む。
そして、実施の形態1のステップS101からステップS105に対応する実施の形態4のステップS402からステップS406では、実施の形態1と同様の手順で、実施の形態1の測定モードの設定値Jxに代わり、カットオフ周波数の設定値Nxが調整される。その際に、ステップS406にて設定される最適化完了フラグFXは、第3フィルタ調整処理の完了を示す最適化完了フラグFNである。また、最適化設定値格納領域356に保持される最適化設定値X_optは、移動平均回数の最適化設定値N_optである。そして、図14に示した使用設定値自動調整処理のステップS40では、カットオフ周波数の設定値Nxの調整処理の完了を示す最適化完了フラグFNが設定されているかが確認される。
実施の形態4における変位計10の設定値調整装置では、基準ワークを測定してカットオフ周波数の設定値Nxの中から使用設定値Yyの事前調整を行う際には、実施の形態1から実施の形態3と同様に、測定値が目標測定値352の範囲内であれば、目標測定値352の範囲内であると判定された測定値を取得した時の使用設定値Yy(カットオフ周波数の設定値Nx)を、測定対象物1を検査する際に使用する使用設定値Yyに設定し、測定値が目標測定値352の範囲外であれば、変更部344は、測定値を取得した時とは異なる使用設定値Yyに変更し、取得部341は、変更した使用設定値Yyを用いて測定値を再取得し、判定部343は、変更された使用設定値Yy(カットオフ周波数の設定値Nx+1)を用いて測定された測定値が、目標測定値352の範囲内か否か再度判定する。そのため、基準ワークを測定してカットオフ周波数の使用設定値Yyの事前調整を行う際に、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Yyを調整できるという効果を奏する。
また、実施の形態4における変位計10の設定値調整装置では、基準ワークを測定してカットオフ周波数の設定値Nxの中から使用設定値Yyを事前調整する際に、初期値N1に基づく測定値が、目標測定値352の範囲内である場合は、測定対象物1を検査する際に使用する使用設定値Yyとして初期値N1を使用し、測定値が目標測定値352の範囲外である場合は、変更部344は、使用設定値Yyを移動平均回数の初期値N1とは異なる設定値(例えば、カットオフ周波数の設定値Nx+1)に変更する。そのため、基準ワークを測定してカットオフ周波数の使用設定値Yyの事前調整を行う際に、作業者の判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Yyを調整できるという効果を奏する。
また、実施の形態4における変位計10の設定値調整装置では、実施の形態1から実施の形態3と同様に、更新部345は、変更部344によって変更される前の使用設定値Yy(第1使用設定値、カットオフ周波数の設定値Nx)を用いて測定された測定値(第1測定値)と、変更部344によって変更された後の使用設定値Yy(第2使用設定値、カットオフ周波数の設定値Nx+1)を用いて測定された測定値(第2測定値)とのうち目標測定値352に近い測定値を取得した時の使用設定値Yyを、測定対象物1を測定する際に使用する使用設定値Yyとして更新する。そのため、基準ワークを測定してカットオフ周波数の使用設定値Yyの事前調整を行う際に、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Yyを適切な設定値Lxに更新できるという効果を奏する。
実施の形態5.
続いて、実施の形態5の変位計10の設定値調整システムについて図14及び図20を用いて説明する。なお、実施の形態1から実施の形態4と同じ構成については、同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
続いて、実施の形態5の変位計10の設定値調整システムについて図14及び図20を用いて説明する。なお、実施の形態1から実施の形態4と同じ構成については、同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
実施の形態5の変位計10の設定値調整システムにおいては、図14に示したステップS50の使用設定値調整処理が、実施の形態1の図15に示した測定モード調整処理に代えて、図20に示す屈折率調整処理である点が実施の形態1に対して異なる。実施の形態4では、屈折率調整処理が実行されることを除いて他の処理は実施の形態1と同じであるため、同じ処理については説明を省略する。
ステップS50では、屈折率調整処理が実行される。まず、ステップS501では、判定部343は、図6のステップS1にて設定された測定対象値を第2記憶部35のユーザ条件格納領域354から読み出し、測定対象値が測定対象物1である透明体の厚みが選択されたか否か判定する。測定対象値が透明体の厚みではないと判定された場合(ステップS501:NO)は、測定対象物1の測定時に測定対象物1である透明体の屈折率を考慮する必要が無いため、最適化完了フラグFOを設定させて屈折率調整処理を終了するためにステップS506に進む。測定対象値が透明体の厚みであると判定された場合(ステップS501:YES)は、ステップS502に進む。
そして、実施の形態1のステップS101からステップS105に対応する実施の形態5のステップS502からステップS506では、実施の形態1と同様の手順で、実施の形態1の測定モードの設定値Jxに代わり、屈折率の設定値Oxが調整される。その際に、ステップS506にて設定される最適化完了フラグFXは、屈折率調整処理の完了を示す最適化完了フラグFOである。また、最適化設定値格納領域356に保持される最適化設定値X_optは、屈折率の最適化設定値O_optである。そして、図14に示した使用設定値自動調整処理のステップS40では、屈折率の設定値Oxの調整処理の完了を示す最適化完了フラグFOが設定されているかが確認される。
実施の形態5における変位計10の設定値調整装置では、基準ワークを測定して屈折率の設定値Oxの中から使用設定値Yyの事前調整を行う際には、実施の形態1から実施の形態4と同様に、測定値が目標測定値352の範囲内であれば、目標測定値352の範囲内であると判定された測定値を取得した時の使用設定値Yy(屈折率の設定値Ox)を、測定対象物1を検査する際に使用する使用設定値Yyに設定し、測定値が目標測定値352の範囲外であれば、変更部344は、測定値を取得した時とは異なる使用設定値Yyに変更し、取得部341は、変更した使用設定値Yyを用いて測定値を再取得し、判定部343は、変更された使用設定値Yy(屈折率の設定値Ox+1)を用いて測定された測定値が、目標測定値352の範囲内か否か再度判定する。そのため、基準ワークを測定して屈折率の使用設定値Yyの事前調整を行う際に、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Yyを調整できるという効果を奏する。
また、実施の形態5における変位計10の設定値調整装置では、基準ワークを測定して屈折率の設定値Oxの中から使用設定値Yyを事前調整する際に、初期値O1に基づく測定値が、目標測定値352の範囲内である場合は、測定対象物1を検査する際に使用する使用設定値Yyとして初期値O1を使用し、測定値が目標測定値352の範囲外である場合は、変更部344は、使用設定値Yyを屈折率の初期値O1とは異なる設定値(例えば、屈折率の設定値Ox+1)に変更する。そのため、基準ワークを測定して屈折率の使用設定値Yyの事前調整を行う際に、作業者の判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Yyを調整できるという効果を奏する。
また、実施の形態5における変位計10の設定値調整装置では、実施の形態1から実施の形態4と同様に、更新部345は、変更部344によって変更される前の使用設定値Yy(第1使用設定値、屈折率の設定値Ox)を用いて測定された測定値(第1測定値)と、変更部344によって変更された後の使用設定値Yy(第2使用設定値、屈折率の設定値Ox+1)を用いて測定された測定値(第2測定値)とのうち目標測定値352に近い測定値を取得した時の使用設定値Yyを、測定対象物1を測定する際に使用する使用設定値Yyとして更新する。そのため、基準ワークを測定して屈折率の使用設定値Yyの事前調整を行う際に、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Yyを適切な設定値Oxに更新できるという効果を奏する。
実施の形態6.
続いて、実施の形態6の変位計10の設定値調整システムについて図21から図23を用いて説明する。なお、実施の形態1から実施の形態5と同じ構成については、同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
続いて、実施の形態6の変位計10の設定値調整システムについて図21から図23を用いて説明する。なお、実施の形態1から実施の形態5と同じ構成については、同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
実施の形態6の変位計10の設定値調整システムにおいては、図14に示した使用設定値自動調整処理に代わり、図22に示す使用設定値自動調整処理が行われる。具体的は、ステップS10に代わりステップS10Aが実行される点、及び、ステップS50の使用設定値調整処理が、実施の形態1の図15に示した測定モード調整処理に代えて、図23に示す測定レシピ調整処理である点が実施の形態1に対して異なる。実施の形態6では、測定レシピ調整処理が実行されることを除いて他の処理は実施の形態1と同じであるため、同じ処理については説明を省略する。
まず、実施の形態1にて説明を省略した測定レシピについて、図21の測定レシピテーブル60を参照して説明する。
測定レシピの設定値Pxは、測定対象物1の物性又は測定対象値に応じて、複数の属性の設定値Ix,Jx,Kx,Lx,Mx,Nx,Ox・・・が属性毎に一つずつ対応付けられ設定された設定値である。複数の測定レシピの設定値Pxの例としては、標準的な表面物性を持つ測定対象物1に適した測定レシピが設定されている測定レシピA、測定対象物1が非鏡面を有する金属である場合に適した測定レシピが設定されている測定レシピB、測定対象物1が鏡面体又は透明体である場合に適した測定レシピが設定されている測定レシピC、測定対象物1の透明体間の隙間を測定する場合に適した測定レシピである測定レシピD、測定対象物1の透明体の厚みを測定する場合に適した測定レシピである測定レシピE、測定対象物1が鏡面を有する金属である場合に適した測定レシピが設定されている測定レシピF、測定対象物1がパターン付ガラスである場合に適した測定レシピが設定されている測定レシピG等の複数の設定値P1,P2,P3・・・が挙げられる。なお、本実施形態においては、測定レシピの設定値Pxの初期値P1は、測定レシピAの設定値とする。
測定レシピの設定値Pxに対応付けられた各属性の設定値Ix,Jx,Kx,Lx,Mx,Nx,Ox・・・の一例として、測定レシピAを例にして説明する。測定レシピAの設定値P1には、図21に示すように、投光量の設定値Ixの初期値I1である50%と、測定モードの設定値Jxの初期値J1である拡散反射モードと、フィルタ種類の設定値Kxの初期値K1である移動平均フィルタと、移動平均回数の設定値Lxの初期値L1である128回と、サンプリング周期の設定値Mxの初期値M1である40μsと、が予め製造メーカ等により設定されている。測定レシピAの設定値P1では、カットオフ周波数の設定値Nx及び屈折率の設定値Oxは使用されないため設定されていない。その他の測定レシピの設定値Pxに対応付けられた各属性の設定値Ix,Jx,Kx,Lx,Mx,Nx,Ox・・・についても同様に、例えば、図21に示すように予め設定されている。
まず、図22に示す使用設定値自動調整処理では、ステップS10Aにて、設定部342は、測定レシピの設定値Pxの初期値P1である測定レシピAの設定値P1に対応付けられている各属性の設定値Xx(I1,J1,K1,L1,M1,なし,なし・・・)を使用設定値Yyとして設定する。実施の形態1で説明したステップS10では、使用設定値格納領域355には、測定レシピの設定値Pxを除くI1,J1,K1,L1,M1,N1,O1・・・を格納していた。それに代え、実施の形態6の使用設定値自動調整処理におけるステップS10Aでは、各属性の初期値として測定レシピの設定値Pxである測定レシピAの設定値P1も加え、測定レシピAの設定値P1に対応付けられている各属性の設定値Xxと、測定レシピAの設定値P1と、を使用設定値Yyとして使用設定値格納領域355に格納する。そして、設定部342は、使用設定値格納領域355に記憶された各属性の使用設定値Yyのうち、測定レシピAの設定値P1自体を除き、測定レシピAの設定値P1に対応付けられている各属性の設定値XxをPLC20に送信し、PLC20の第1制御部22は、受信した各属性の使用設定値Yyを第1記憶部23の使用設定値格納領域232に格納する。そして、図22の使用設定値自動調整処理では、実施の形態1と同様に、ステップS20からステップS60が行われる。
続いて、実施の形態6におけるステップS50の使用設定値調整処理について説明する。ステップS50では、図23に示す測定レシピ調整処理が実行される。まず、ステップS601では、判定部343は、図6のステップS1にて設定された測定対象値を第2記憶部35のユーザ条件格納領域354から読み出し、測定対象値が測定対象物1である透明体の隙間又は透明体の厚みが選択されたか否か判定する。測定対象値が透明体の隙間又は透明体の厚みが選択されたと判定された場合(ステップS601:YES)は、ステップS602に進む。
そして、ステップS602では、変更部344が、ユーザ条件格納領域354から読み出された測定対象値に対応する測定レシピの設定値Pxに対応付けられた各属性の設定値Xx(Ix,Jx,Kx,Lx,Mx,Nx,Ox・・・)を第2記憶部35の全設定値351の中から読み出す。具体的には、測定対象値が透明体の隙間である場合、透明体の隙間に対応した測定レシピの設定値Pxである測定レシピD(図21参照)中の各属性の設定値Ix(20%),Jx(正反射モード),Kx(移動平均フィルタ),Lx(128回),Mx(40μs),Nx(なし),Ox(なし)・・・を読み出す。また、測定対象値が透明体の厚みである場合、透明体の厚みに対応した測定レシピの設定値Pxである測定レシピE(図21参照)中の各属性の設定値Ix(20%),Jx(正反射モード),Kx(移動平均フィルタ),Lx(128回),Mx(40μs),Nx(なし),Ox(1.5000)・・・を読み出す。そして、変更部344は、読み出された各属性の設定値Xxを使用設定値格納領域355に記憶することで、次回使用する使用設定値Yyを読み出された各属性の設定値Xxに変更する。また、変更部344は、使用設定値格納領域355に格納された次回使用する使用設定値Yyである各属性の設定値XxをPLC20に送信し、第1制御部22は使用設定値格納領域232に次回使用する使用設定値Yyである各属性の設定値Xxを記憶させ設定する。そして、ステップS607に進む。
ステップS601にて、測定対象値が透明体の隙間又は透明体の厚みが選択されていないと判定された場合(ステップS601:NO)は、ステップS603に進む。
そして、実施の形態1のステップS101からステップS105に対応する実施の形態6のステップS603からステップS607では、実施の形態1と同様の手順で、実施の形態1の測定モードの設定値Jxのみの調整ではなく、測定レシピの設定値Pxに基づいて測定レシピの設定値Pxに対応付けられる各属性の設定値Xx(Ix,Jx,Kx,Lx,Mx,Nx,Ox・・・)が調整される。
具体的には、ステップS604では、変更部344が、測定値を取得済みの測定レシピの設定値Pxとは異なる設定値Px+1に変更するとともに、測定レシピの設定値Px+1に対応付けられている各属性の設定値Xx(Ix,Jx,Kx,Lx,Mx,Nx,Ox・・・)を第2記憶部35の全設定値351の中から読み出す。そして、変更部344は、測定レシピの設定値Px+1及び測定レシピの設定値Px+1に対応付けられる各属性の設定値Xx(Ix,Jx,Kx,Lx,Mx,Nx,Ox・・・)を使用設定値格納領域355に記憶することで、次回使用する使用設定値Yyを各属性の設定値Xxに変更する。また、変更部344は、使用設定値格納領域355に格納された次回使用する使用設定値Yyである各属性の設定値Xx(測定レシピの設定値Px+1を除き、測定レシピの設定値Px+1に対応付けられた各属性の設定値Xx(Ix,Jx,Kx,Lx,Mx,Nx,Ox・・・)をPLC20に送信し、第1制御部22は使用設定値格納領域232に次回使用する使用設定値Yyである各属性の設定値Xx(測定レシピの設定値Px+1に対応付けられた各属性の設定値Xx(Ix,Jx,Kx,Lx,Mx,Nx,Ox・・・)を記憶させ設定する。
また、ステップS607にて設定される最適化完了フラグFXは、測定レシピ調整処理の完了を示す最適化完了フラグFPである。また、最適化設定値格納領域356に保持される最適化設定値X_optは、測定レシピの最適化設定値P_optと、測定レシピの最適化設定値P_optに対応付けられた各属性の設定値Xx(Ix,Jx,Kx,Lx,Mx,Nx,Ox・・・)である。そして、図22に示した使用設定値自動調整処理のステップS40では、測定レシピの設定値Pxの調整処理の完了を示す最適化完了フラグFPが設定されているかが確認される。
実施の形態6では、測定レシピの設定値Pxに対応付けられた各属性の設定値Xxとして、投光量の設定値Ix、測定モードの設定値Jx、フィルタ種類の設定値Kx、移動平均回数の設定値Lx、サンプリング周期の設定値Mx、カットオフ周波数の設定値Nx及び屈折率の設定値Ox等の全てを対応付けていたがこれに限られない。例えば、投光量の設定値Ix、測定モードの設定値Jx、フィルタ種類の設定値Kx、移動平均回数の設定値Lx、サンプリング周期の設定値Mx、カットオフ周波数の設定値Nx及び屈折率の設定値Ox等の複数の属性の設定値Xxのうちの少なくとも2つ以上の属性の設定値Xxを測定レシピの設定値Pxに対応付けてもよい。
実施の形態6における変位計10の設定値調整装置では、基準ワークを測定して測定レシピの設定値Pxから使用設定値Yyの事前調整を行う際には、実施の形態1から実施の形態5と同様に、測定値が目標測定値352の範囲内であれば、目標測定値352の範囲内であると判定された測定値を取得した時の使用設定値Yy(測定レシピの設定値Pxに対応付けられた各属性の設定値Xx)を、測定対象物1を検査する際に使用する使用設定値Yyに設定し、測定値が目標測定値352の範囲外であれば、変更部344は、測定値を取得した時とは異なる使用設定値Yyに変更し、取得部341は、変更した使用設定値Yyを用いて測定値を再取得し、判定部343は、変更された使用設定値Yy(測定レシピの設定値Px+1に対応付けられた各属性の設定値Xx)を用いて測定された測定値が、目標測定値352の範囲内か否か再度判定する。そのため、基準ワークを測定して測定レシピの使用設定値Yyの事前調整を行う際に、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Yyを調整できるという効果を奏する。
また、実施の形態6における変位計10の設定値調整装置では、基準ワークを測定して測定レシピの設定値Pxに対応付けられた各属性の設定値Xxに基づいて使用設定値Yyを事前調整する際に、初期値P1に基づく測定値が、目標測定値352の範囲内である場合は、測定対象物1を検査する際に使用する使用設定値Yyとして初期値P1に対応付けられた各属性の設定値Xxを使用し、測定値が目標測定値352の範囲外である場合は、変更部344は、使用設定値Yyを初期値P1とは異なる設定値(例えば、測定レシピの設定値Px+1に対応付けられた各属性の設定値Xx)に変更する。そのため、基準ワークを測定して測定レシピの設定値Pxに基づいて使用設定値Yyの事前調整を行う際に、作業者の判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Yyを調整できるという効果を奏する。
また、実施の形態6における変位計10の設定値調整装置では、実施の形態1から実施の形態5と同様に、更新部345は、変更部344によって変更される前の使用設定値Yy(第1使用設定値、測定レシピの設定値Pxに対応付けられた各属性の設定値Xx)を用いて測定された測定値(第1測定値)と、変更部344によって変更された後の使用設定値Yy(第2使用設定値、測定レシピの設定値Px+1に対応付けられた各属性の設定値Xx)を用いて測定された測定値(第2測定値)とのうち目標測定値352に近い測定値を取得した時の使用設定値Yyを、測定対象物1を測定する際に使用する使用設定値Yyとして更新する。そのため、基準ワークを測定して測定レシピの使用設定値Yyの事前調整を行う際に、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Yyを適切な設定値Pxに更新できるという効果を奏する。
実施の形態7.
続いて、実施の形態7の変位計10の設定値調整システムについて図13、図14、図24及び図25を用いて説明する。なお、実施の形態1から実施の形態6と同じ構成については、同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
続いて、実施の形態7の変位計10の設定値調整システムについて図13、図14、図24及び図25を用いて説明する。なお、実施の形態1から実施の形態6と同じ構成については、同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
実施の形態7の変位計10の設定値調整システムにおいては、図14に示したステップS50の使用設定値調整処理が、実施の形態1の図15に示した測定モード調整処理に代えて、図24に示す投光量調整処理である点が実施の形態1に対して異なる。実施の形態7では、投光量調整処理が実行されることを除いて他の処理は実施の形態1と同じであるため、同じ処理については説明を省略する。
また、実施の形態7では、実施の形態1では説明を省略した目標受光量353も使用される。PC30の第2記憶部35は、全設定値351及び目標測定値352に加え、変位計10の測定条件の1つとして規定される目標受光量353をも記憶する。目標受光量353は、例えば、製造メーカにより予め規定された目標値である。変位計10からの受光量が目標受光量353の範囲でない場合、測定値を正しく取得できない。具体的には、変位計10からの受光量が目標受光量353より小さい場合、例えば、図13に示した受光量波形を表示する表示領域760の受光量波形の山Pが小さい。そのため、受光量波形の山Pは幅広となり、イメージセンサ6中の受光素子に対応する画素の位置を示す横軸における山Pの頂点の位置の検出精度が悪化する。つまり、測定値の精度が悪化する。また、変位計10からの受光量が目標受光量353より大きい場合、例えば、図13に示した受光量波形を表示する表示領域760の受光量波形の山Pが大きすぎて、受光量波形の山Pの頂点が検出可能範囲(図13に示す例では、縦軸に示す0~1000の範囲)を超えると、受光量波形の山Pの頂点部分が切れた台形状の受光量波形となり、横軸における山Pの頂点の位置が特定できなくなる。つまり、測定値の精度が悪化する。そのため、実施の形態7では、受光量が目標受光量353となるように投光量の設定値Ixを調整する。目標受光量353は、400から800の範囲のように下限目標受光量と上限目標受光量との間の範囲としてもよいし、600のように特定の一つの値でもよい。
図14のステップS50では、投光量調整処理が実行される。まず、図24に示すように、ステップS701では、判定部343は、変位計10からの受光量が目標受光量353の範囲内であるか判定する。受光量が目標受光量353の範囲内であると判定された場合(ステップS701:YES)は、測定値を取得した際に使用した投光量の初期値I1を用いれば基準ワークを測定した際の変位計10からの受光量が適正な範囲内であることから、ステップS706に進む。受光量が目標受光量353の範囲外であると判定された場合(ステップS701:NO)は、ステップS702に進む。
そして、実施の形態1のステップS101からステップS105に対応する実施の形態7のステップS702からステップS706では、実施の形態1と同様の手順で、実施の形態1の測定モードの設定値Jxに代わり、投光量の設定値Ixが調整される。
なお、ステップS704では、取得した測定値と目標測定値352を用いた実施の形態1のステップS603と異なり、取得した受光量と目標受光量353を用いる。具体的には、更新部345が、最適化設定値格納領域356に保持されている投光量の使用設定値Yy(第1使用設定値、実施の形態7ではIx)を用いて取得された受光量(第1受光量)と、変更部344によって変更された後の新たな投光量の使用設定値Yy(第2使用設定値、実施の形態7ではIx+1)を用いて取得された受光量(第2受光量)とのうち目標受光量353に近い受光量を取得した時の投光量の使用設定値Yyを、最適化設定値格納領域356に保持する。
また、ステップS706にて設定される最適化完了フラグFXは、投光量調整処理の完了を示す最適化完了フラグFIである。また、最適化設定値格納領域356に保持される最適化設定値X_optは、投光量の最適化設定値I_optである。そして、図14に示した使用設定値自動調整処理のステップS40では、投光量の設定値Ixの調整処理の完了を示す最適化完了フラグFIが設定されているかが確認される。
また、図14に示した使用設定値自動調整処理のステップS60では、表示制御部346は、表示装置31にエラー表示画面を表示させ、使用設定値自動調整処理では、測定値を正しく測定できるように投光量の設定値Ixを調整できなかった旨をユーザに通知する。より好適には、実施の形態7では、判定部343が、投光量の設定値Ixのうち最小設定値である0.01%を使用設定値に設定しても受光量が上限目標受光量を超えていると判定した場合には、表示制御部346は、図25に示すように、変位計10に減光フィルタ11を装着するようユーザに促すための減光フィルタ装着通知画面77を表示装置31に表示させることができる。これは、変位計10の使用設定値Yyを投光量の設定値Ixのうちの最小設定値に設定したとしても受光量が過大となっており、投光量の設定値Ixの調整では調整しきれないからである。
このように、実施の形態7における変位計10の設定値調整装置では、基準ワークを測定しながら投光量の設定値Ixの中から使用設定値Yyを調整する際に、測定値が目標測定値352の範囲内であれば、目標測定値352の範囲内であると判定された測定値を取得した時の使用設定値Yy(投光量の設定値Ix)を、測定対象物1を検査する際に使用する使用設定値Yyに設定する。そして、測定値が目標測定値352の範囲外、且つ、受光量が目標受光量353の範囲外であれば、変更部344は、測定値を取得した時とは異なる使用設定値Yyに変更し、取得部341は、変更した使用設定値Yyを用いて測定値を再取得し、判定部343は、変更された使用設定値Yy(投光量の設定値Ix+1)を用いて測定された測定値が、目標測定値352の範囲内か否か再度判定する。そのため、基準ワークを測定して投光量の使用設定値Yyの事前調整を行う際に、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Yyを調整できるという効果を奏する。
また、実施の形態7における変位計10の設定値調整装置では、基準ワークを測定して投光量の設定値Ixの中から使用設定値Yyを事前調整する際に、初期値I1に基づく測定値が、目標測定値352の範囲内である場合は、測定対象物1を検査する際に使用する使用設定値Yyとして初期値I1を使用し、測定値が目標測定値352の範囲外である場合は、変更部344は、使用設定値Yyを投光量の初期値I1とは異なる設定値(例えば、投光量の設定値Ix+1)に変更する。そのため、基準ワークを測定して投光量の使用設定値Yyの事前調整を行う際に、作業者の判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Yyを調整できるという効果を奏する。
また、実施の形態7における変位計10の設定値調整装置では、更新部345は、変更部344によって変更される前の投光量の使用設定値Yy(第1使用設定値、投光量の設定値Ix)を用いて取得された受光量(第1受光量)と、変更部344によって変更された後の投光量の使用設定値Yy(第2使用設定値、投光量の設定値Ix+1)を用いて取得された受光量(第2受光量)とのうち目標受光量353に近い受光量を取得した時の使用設定値Yyを、測定対象物1を測定する際に使用する使用設定値Yyとして更新する。そのため、基準ワークを測定して投光量の使用設定値Yyの事前調整を行う際に、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Yyを適切な設定値Ixに更新できるという効果を奏する。
実施の形態8.
続いて、実施の形態8の変位計10の設定値調整システムについて図14及び図26を用いて説明する。なお、実施の形態1から実施の形態7と同じ構成については、同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
続いて、実施の形態8の変位計10の設定値調整システムについて図14及び図26を用いて説明する。なお、実施の形態1から実施の形態7と同じ構成については、同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
実施の形態8の変位計10の設定値調整システムにおいては、図14に示したステップS50の使用設定値調整処理が、実施の形態1の図15に示した測定モード調整処理に代えて、図26に示すサンプリング周期調整処理である点が実施の形態1に対して異なる。実施の形態8では、サンプリング周期調整処理が実行されることを除いて他の処理は実施の形態1と同じであるため、同じ処理については説明を省略する。
そして、実施の形態8のサンプリング周期調整処理におけるステップS701からステップS806は、後述の点を除き、実施の形態7の投光量調整処理におけるステップS701からステップS706と同じである。
具体的には、実施の形態7の投光量の設定値Ixに代わり、サンプリング周期の設定値Mxが調整される。
また、ステップS806にて設定される最適化完了フラグFXは、サンプリング周期調整処理の完了を示す最適化完了フラグFMである。また、最適化設定値格納領域356に保持される最適化設定値X_optは、サンプリング周期の最適化設定値M_optである。そして、図14に示した使用設定値自動調整処理のステップS40では、サンプリング周期の設定値Mxの調整処理の完了を示す最適化完了フラグFMが設定されているかが確認される。
また、図14に示した使用設定値自動調整処理のステップS60では、表示制御部346は、表示装置31にエラー表示画面を表示させ、使用設定値自動調整処理では、測定値を正しく測定できるようにサンプリング周期の設定値Mxを調整できなかった旨をユーザに通知する。より好適には、実施の形態8では、判定部343が、サンプリング周期の設定値Mxのうち最小設定値である10μsを使用設定値に設定しても受光量が上限目標受光量を超えていること判定した場合には、表示制御部346は、実施の形態7と同様に、図25に示した減光フィルタ装着通知画面77を表示装置31に表示させることができる。これは、変位計10のサンプリング周期の設定値Mxを最小設定値に設定したとしても受光量が過大となっており、サンプリング周期の設定値Mxの調整では調整しきれないからである。
このように、実施の形態8における変位計10の設定値調整装置では、基準ワークを測定しながらサンプリング周期の設定値Mxの中から使用設定値Yyを調整する際に、測定値が目標測定値352の範囲内であれば、目標測定値352の範囲内であると判定された測定値を取得した時の使用設定値Yy(サンプリング周期の設定値Mx)を、測定対象物1を検査する際に使用する使用設定値Yyに設定する。そして、測定値が目標測定値352の範囲外、且つ、受光量が目標受光量353の範囲外であれば、変更部344は、測定値を取得した時とは異なる使用設定値Yyに変更し、取得部341は、変更した使用設定値Yyを用いて測定値を再取得し、判定部343は、変更された使用設定値Yy(サンプリング周期の設定値Mx+1)を用いて測定された測定値が、目標測定値352の範囲内か否か再度判定する。そのため、基準ワークを測定してサンプリング周期の使用設定値Yyの事前調整を行う際に、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Yyを調整できるという効果を奏する。
また、実施の形態8における変位計10の設定値調整装置では、基準ワークを測定してサンプリング周期の設定値Mxの中から使用設定値Yyを事前調整する際に、初期値M1に基づく測定値が、目標測定値352の範囲内である場合は、測定対象物1を検査する際に使用する使用設定値Yyとして初期値M1を使用し、測定値が目標測定値352の範囲外である場合は、変更部344は、使用設定値Yyをサンプリング周期の初期値M1とは異なる設定値(例えば、サンプリング周期の設定値Mx+1)に変更する。そのため、基準ワークを測定してサンプリング周期の使用設定値Yyの事前調整を行う際に、作業者の判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Yyを調整できるという効果を奏する。
また、実施の形態8における変位計10の設定値調整装置では、更新部345は、変更部344によって変更される前のサンプリング周期の使用設定値Yy(第1使用設定値、サンプリング周期の設定値Mx)を用いて取得された受光量(第1受光量)と、変更部344によって変更された後のサンプリング周期の使用設定値Yy(第2使用設定値、サンプリング周期の設定値Mx+1)を用いて取得された受光量(第2受光量)とのうち目標受光量353に近い受光量を取得した時の使用設定値Yyを、測定対象物1を測定する際に使用する使用設定値Yyとして更新する。そのため、基準ワークを測定してサンプリング周期の使用設定値Yyの事前調整を行う際に、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Yyを適切な設定値Mxに更新できるという効果を奏する。
実施の形態9.
続いて、実施の形態9の変位計10の設定値調整システムについて図27及び図28を用いて説明する。なお、実施の形態1から実施の形態8と同じ構造については、同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
続いて、実施の形態9の変位計10の設定値調整システムについて図27及び図28を用いて説明する。なお、実施の形態1から実施の形態8と同じ構造については、同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
実施の形態9の変位計10の設定値調整システムにおいては、実施の形態6の図22に示した使用設定値自動調整処理に代わり、図27に示す使用設定値自動調整処理が行われる。具体的には、実施の形態6の図22に示した使用設定値自動調整処理にステップS70及びステップS80が追加される。また、ステップS50の使用設定値調整処理に代わり、ステップS50Bの使用設定値調整処理が、実施の形態1の測定モード調整処理から実施の形態8のサンプリング周期調整処理までを組み合わせたものである点が実施の形態1から実施の形態8に対して異なる。実施の形態9では、上述の点を除いて他の処理は実施の形態1から実施の形態8と同じであるため、同じ処理については詳細説明を省略する。なお、実施の形態6の測定レシピ調整処理のステップS603、実施の形態7の投光量調整処理のステップS702、及び、実施の形態8のサンプリング周期調整処理のステップS802、実施の形態1の測定モード調整処理のステップS101、実施の形態2の第1フィルタ調整処理のステップS201、実施の形態3の第2フィルタ調整処理のステップS304、実施の形態4の第3フィルタ調整処理のステップS402、実施の形態5の屈折率調整処理のステップS502、においては、複数属性のうちの調整対象となっている特定属性の調整処理における今回の測定値が特定属性における初回の測定値か否か判定されていたが、実施の形態9においても同様に、各属性の調整処理毎に今回の測定値が各属性の調整処理における初回の測定値か否か判定される。より詳細には、測定レシピ調整処理に先立ってステップS20にて測定値が取得され、測定レシピ調整処理に初めて進んだ時の測定値が測定レシピ調整処理における初回の測定値である。また、投光量調整処理に先立ってステップS20にて測定値が取得され、投光量調整処理に初めて進んだ時の測定値が投光量調整処理における初回の測定値である。他の属性の調整処理においても同様である。
実施の形態9の使用設定値自動調整処理では、実施の形態6と同様に図27のステップS10AからステップS40がまず行われる。そして、ステップS40にて、判定部343は最適化完了フラグFXが設定されているか確認する。最適化完了フラグFXが設定されていない場合(ステップS40:NO)は、ステップS50Bに進む。
ステップS50Bでは、図28に示すように、ステップS600にて測定レシピ調整処理、ステップS700にて投光量調整処理、ステップS800にてサンプリング周期調整処理、ステップS100にて測定モード調整処理、ステップS200にて第1フィルタ調整処理、ステップS300にて第2フィルタ調整処理、ステップS400にて第3フィルタ調整処理及びステップS500にて屈折率調整処理の順で各属性の調整処理が実行される。つまり、調整対象となる設定値Xxの属性が複数ある。そして、その順番は、先ず、測定レシピ調整処理が実行される。次に、測定値だけでなく受光量にも影響する属性である第1属性に関する調整処理(つまり、投光量調整処理及びサンプリング周期調整処理)が実行される。その後に、測定値には影響するが受光量には影響を与えない属性である第2属性に関する調整処理(つまり、測定モード調整処理、第1フィルタ調整処理、第2フィルタ調整処理、第3フィルタ調整処理及び屈折率調整処理)が実行される。
まず、ステップS50Bにおいて、ステップS600にて測定レシピ調整処理(図23に示したステップS601からステップS607)が実行される。具体的には、ステップS606にて更新部345が全ての測定レシピの設定値Pxに対応付けられた各属性の設定値Xxを使用設定値Yyに用いて全ての測定値を取得済みであることを確認し、ステップS607にて測定レシピ調整処理の完了を示す最適化完了フラグFPを設定するまでは、ステップS20からステップS50Bの使用設定値調整処理としての測定レシピ調整処理を繰り返す。
ステップS20からステップS50Bの使用設定値調整処理としての測定レシピ調整処理を繰り返す間に、ステップS30にて、測定値が目標測定値352の範囲内であると判定された場合(ステップS30:YES)は、目標測定値352の範囲内であると判定された測定値を取得した時の測定レシピの設定値Pxに対応付けられるとともに使用設定値格納領域232に格納された各属性の設定値Xx(Ix,Jx,Kx,Lx,Mx,Nx,Ox・・・)を用いれば基準ワークの測定値が適正な範囲内となることから使用設定値自動調整処理を終了する。そして、目標測定値352の範囲内であると判定された測定値を取得した時の測定レシピの設定値Pxに対応付けられた各属性の設定値Xx(Ix,Jx,Kx,Lx,Mx,Nx,Ox・・・)が、測定対象物1を検査する際に使用する使用設定値Yyとして設定される。
なお、ステップS40において、最適化完了フラグFXが設定されているか確認するが、最適化完了フラグFXが設定されていないと確認された場合(ステップS40:NO)は、ステップS50Bに進んで使用設定値調整処理を実行するようにしている。これは、実施の形態1から実施の形態8と同様であり、使用設定値調整処理の調整対象となっている特定属性(測定レシピ調整処理であれば、調整対象の特定属性は測定レシピ)に含まれている全設定値Xx(測定レシピ調整処理であれば、測定レシピの設定値P1、P2、P3・・・の全て)を使用設定値Yyに設定して受光量及び/又は測定値を取得していないことから、調整対象となっている特定属性(測定レシピ調整処理であれば、調整対象となっている特定属性は測定レシピ)に含まれている全設定値Xx(測定レシピ調整処理であれば、測定レシピの設定値Pxに対応する各属性の設定値Xx)を使用設定値Yyに設定して受光量及び/又は測定値を取得する必要がある。そのため、ステップS40からステップS50Bに進む場合では、ステップS50Bでは、現在調整対象となっている特定属性における設定値Xx(測定レシピが調整されている間は、ステップS600の測定レシピ調整処理により測定レシピの設定値Px)が調整され、その他の属性における設定値Xx(測定レシピが調整されている間は、以降に続くステップS700の投光量の設定値Ix等)の調整処理は行わない。
ステップS607にて最適化完了フラグFPが設定され、使用設定値自動調整処理のステップS40にて、判定部343は、使用設定値自動調整処理において最適化完了フラグFPが初めて設定されたことを確認する(ステップS40:YES)と、ステップS70に進む。
ステップS70では、判定部343は、全属性の最適化完了フラグFX(つまり、投光量調整処理の完了を示す最適化完了フラグFIから測定レシピ調整処理の完了を示す最適化完了フラグFP等の全て)が設定されているか確認する。ステップS70にて、全属性の最適化完了フラグFXが設定されていないと判定された場合(ステップS70:NO)は、ステップS80に進む。
ステップS80では、変更部344は、次の属性の設定値Xxを調整対象にするため、調整対象となる設定値Xxの属性を変更する。具体的には、ステップS40で測定レシピ調整処理の完了を示す最適化完了フラグFPが確認された場合は、変更部344は、調整対象となる設定値Xxの属性を測定レシピとは異なる属性である投光量に変更する。そして、ステップS50Bに進む。なお、属性の変更の順番は、図28に示した使用設定値調整処理における各属性の調整処理の順番と同じである。つまり、測定レシピ調整処理、投光量調整処理、サンプリング周期調整処理、測定モード調整処理、第1フィルタ調整処理、第2フィルタ調整処理、第3フィルタ調整処理及び屈折率調整処理の順に属性の変更が行われる。
ステップS50Bでは、ステップS80にて変更された調整対象となる属性における設定値Xxの調整処理を行う。具体的には、測定レシピ調整処理が完了したのであれば、次の調整対象となっている特定属性を測定レシピとは異なる属性である投光量の調整処理をすべく、ステップS700にて投光量調整処理(図24に示したステップS701からステップS706)が実行される。そして、ステップS706にて投光量調整処理の完了を示す最適化完了フラグFIが設定されるまでは、ステップS20からステップS50Bの使用設定値自動調整処理を繰り返す。
そして、測定レシピ調整処理に加え、投光量調整処理から屈折率調整処理までそれぞれの使用設定値調整処理が完了するまで、図27に示した使用設定値自動調整処理のステップS20、ステップS30、ステップS40及びステップS50Bの順に進み、特定属性の設定値Xxの調整が実行される。また、ステップS20、ステップS30、ステップS40、ステップS70、ステップS80及びステップS50Bの順に進み、調整対象となる設定値Xxの属性の変更が行われる。つまり、全属性の全設定値Xxを使用設定値Yyに設定して受光量及び/又は測定値を取得し終わり、ステップS70にて全属性の最適化完了フラグFX(つまり、投光量調整処理の完了を示す最適化完了フラグFIから測定レシピ調整処理の完了を示す最適化完了フラグFP等の全て)が確認されるまでは、使用設定値自動調整処理のステップS20、ステップS30、ステップS40及びステップS50B、並びに、ステップS20、ステップS30、ステップS40、ステップS70、ステップS80及びステップS50Bが繰り返される。
そして、使用設定値自動調整処理のステップS20、ステップS30、ステップS40及びステップS50B、並びに、ステップS20、ステップS30、ステップS40、ステップS70、ステップS80及びステップS50Bの繰り返し処理の間に、投光量調整処理のステップS706、サンプリング周期調整処理のステップS806、測定モード調整処理のステップS105、第1フィルタ調整処理のステップS205、第2フィルタ調整処理のステップS308、第3フィルタ調整処理のステップS406、屈折率調整処理のステップS506等において、各属性の設定値Xxの最適化設定値X_optが最適化設定値格納領域356に格納される。
ステップS20からステップS50Bの使用設定値調整処理に含まれる投光量調整処理以降の使用設定値調整処理を繰り返す間に、ステップS30にて、測定値が目標測定値352の範囲内であると判定された場合(ステップS30:YES)は、最適化設定値格納領域356に格納された各属性の設定値Xxを用いれば基準ワークの測定値が適正な範囲内となることから、使用設定値自動調整処理を終了する。つまり、この段階では、目標測定値352の範囲内となった基準ワークからの測定値を取得した際に使用した各属性の使用設定値Yyと同じ各属性の設定値Xxが、PC30の最適化設定値格納領域356に保持されているとともに、PLC20の使用設定値格納領域232にも同じ使用設定値Yyが格納されることで設定されていることとなる。そのため、変位計10で測定対象物1を実際に検査する際には、最適化設定値格納領域356に格納された各属性の設定値Xx(つまり、Ix,Jx,Kx,Lx,Mx,Nx,Ox・・・)が使用されることとなる。
ステップS70にて、判定部343は、全属性の最適化完了フラグFXが設定されていると判定された場合(ステップS70:YES)は、ステップS60に進む。ステップS60では、判定部343は、表示装置31にエラー表示画面を表示させ、設定値自動調整処理では、測定値を正しく測定できるように設定値Xxを調整できなかった旨をユーザに通知する。
実施の形態9においては、測定値だけでなく受光量にも影響する属性である第1属性に関する調整処理として投光量調整処理及びサンプリング周期調整処理の全てが実行されるようにしたが、これに限られない。例えば、第1属性に関する調整処理として、投光量調整処理及びサンプリング周期調整処理の少なくとも1つが実行されるようにしてもよい。
実施の形態9においては、測定値だけでなく受光量にも影響する属性である第1属性に関する調整処理として投光量調整処理及びサンプリング周期調整処理の全てが実行されるようにした。この場合、本実施の形態のように、投光量調整処理を実行した後にサンプリング周期調整処理が実行されるようにすることができる。これは、サンプリング周期調整処理は、イメージセンサ6の露光時間が長くなることによりタクトタイムに影響する可能性があるからである。投光量調整処理を実行した後にサンプリング周期調整処理が実行されるようにすることでタクトタイムへの影響を軽減できる。
実施の形態9においては、測定値には影響するが受光量には影響を与えない属性である第2属性に関する調整処理として、測定モード調整処理、第1フィルタ調整処理、第2フィルタ調整処理、第3フィルタ調整処理及び屈折率調整処理の全てが実行されるようにしたが、これに限られない。例えば、第2属性に関する調整処理として、測定モード調整処理、第1フィルタ調整処理、第2フィルタ調整処理、第3フィルタ調整処理及び屈折率調整処理の少なくとも1つが実行されるようにしてもよい。
実施の形態9においては、測定値だけでなく受光量にも影響する属性である第1属性に関する調整処理を実行した後に、測定値には影響するが受光量には影響を与えない属性である第2属性に関する調整処理を実行するようにした。これは、受光量が目標受光量353の範囲外であると、受光量が小さ過ぎる、又は受光量が大きすぎて受光量波形の山Pの頂点部分が切れた台形上の受光量波形になり、測定値も正しく測定できない可能性が高くなるからである。第2属性の調整処理に先立って第1属性の調整処理を実行することで、第1属性の調整処理に続く第2属性の調整処理において、測定値が目標測定値の範囲内となる可能性を高くなる。
実施の形態9においては、移動平均回数の設定値Lxを調整するための第2フィルタ調整処理の前に、フィルタ種類の設定値Kxを調整するための第1フィルタ調整処理を実行させるようにしている。つまり、移動平均回数の設定値Lxの変更の前に、フィルタ種類の設定値Kxが変更される。つまり、移動平均フィルタの設定値K1が他のフィルタ種類(例えば、ローパスフィルタ又はハイパスフィルタ)の設定値Kxよりも適切な設定値Kxであるとしてフィルタ種類の使用設定値として確定された後に、変更部344は、調整対象の属性を移動平均回数の属性に変更し、移動平均回数の設定値Lxを変更するようにした。これは、フィルタ種類の設定値Kxとして移動平均フィルタの設定値Kxが確定されてから、移動平均回数の設定値Lxの調整をした方が、フィルタ種類の設定値Kx及び移動平均回数の設定値Lxを適切に調整できるからである。例えば、フィルタ種類の設定値Kxの初期値としてローパスフィルタの設定値K2が使用設定値Yyとして仮に設定された場合、移動平均回数の設定値Lxを調整した後、フィルタ種類の設定値Kxを調整して移動平均フィルタの設定値K1が適切な設定値Kxとなった場合を想定する。この場合、先に調整された移動平均回数の設定値Lxは適切な使用設定値Yyとはならない可能性も有り得る。そのため、フィルタ種類の設定値Kxとして移動平均フィルタの設定値K1が確定されてから、移動平均回数の設定値Lxの調整しているのである。
また、実施の形態9においては、カットオフ周波数の設定値Nxを調整するための第3フィルタ調整処理の前に、フィルタ種類の設定値Kxを調整するための第1フィルタ調整処理を実行させるようにしている。つまり、カットオフ周波数の設定値Nxの変更の前に、フィルタ種類の設定値Kxが変更される。つまり、ローパスフィルタの設定値K2又はハイパスフィルタの設定値K3が他のフィルタ種類(例えば、移動平均フィルタ)の設定値Kxよりも適切な設定値Kxであるとしてフィルタ種類の使用設定値Yyとして確定された後に、変更部344は、調整対象の属性をフィルタ種類からカットオフ周波数に変更し、カットオフ周波数の設定値Nxを変更するようにした。これは、フィルタ種類の設定値Kxとしてローパスフィルタ又はハイパスフィルタの設定値K2,K3が確定されてから、カットオフ周波数の設定値Nxの調整をした方が、フィルタ種類の設定値Kx及びカットオフ周波数の設定値Nxを適切に調整できるからである。本実施の形態のように、フィルタ種類の設定値Kxの初期値として、測定レシピの設定値の初期値P1(測定レシピAの設定値)に対応付けられたフィルタ種類の設定値Kxは移動平均フィルタの設定値K1となっている。このように移動平均フィルタの設定値Kxが使用設定値として設定された場合、カットオフ周波数の設定値Nxを調整した後、フィルタ種類の設定値Kxを調整してローパスフィルタの設定値K2又はハイパスフィルタの設定値K3が適切な設定値Kxとなった場合を想定する。この場合、先に調整されたカットオフ周波数の設定値Nxは適切な使用設定値Yyとはならない可能性も有り得る。そのため、フィルタ種類の設定値Kxとしてローパスフィルタの設定値K2又はハイパスフィルタの設定値K3が確定されてから、カットオフ周波数の設定値Nxの調整しているのである。
なお、実施の形態9では、第1フィルタ調整処理、第2フィルタ調整処理、第3フィルタ調整処理の順に調整処理を実行しているが、第3フィルタ調整処理を第2フィルタ調整処理の前に行ってもよい。測定モード調整処理及び屈折率調整処理については、投光量調整処理、サンプリング周期調整処理及び測定レシピ調整処理の後であれば、第1フィルタ調整処理から第3フィルタ調整処理の前に実行されてもよいし、第1フィルタ調整処理から第3フィルタ調整処理の後で実行されてもよいし、第1フィルタ調整処理から第3フィルタ調整処理の途中で実行されてもよい。
実施の形態9における変位計10の使用設定値調整処理では、基準ワークを測定して複数属性の設定値Xxの中から各属性毎の使用設定値Yyの事前調整を行う際に、ユーザの判断や操作の負担を更に軽減しつつ、複数属性の使用設定値Yyを調整できるという効果を奏する。
また、実施の形態9における変位計10の設定値調整装置では、基準ワークを測定して各属性の設定値Xxの中から使用設定値Yyを事前調整する際に、各属性の初期値X1に基づく測定値が、目標測定値352の範囲内である場合は、測定対象物1を検査する際に使用する使用設定値Yyとして初期値X1を使用し、測定値が目標測定値352の範囲外である場合は、変更部344は、使用設定値Yyを初期値X1とは異なる設定値(例えば、設定値Xx+1)に変更する。そのため、基準ワークを測定して使用設定値Yyの事前調整を行う際に、作業者の判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Yyを調整できるという効果を奏する。
また、実施の形態9における変位計10の設定値調整装置では、更新部345は、変更部344によって変更される前の使用設定値Yy(第1使用設定値、各属性の設定値Xx)を用いて測定された測定値(第1測定値)と、変更部344によって変更された後の使用設定値Yy(第2使用設定値、各属性の設定値Xx+1)を用いて測定された測定値(第2測定値)とのうち目標測定値352に近い測定値を取得した時の使用設定値Yyを、測定対象物1を測定する際に使用する使用設定値Yyとして更新する。そのため、基準ワークを測定して複数属性の使用設定値Yyの事前調整を行う際に、ユーザの判断や操作の負担を更に軽減しつつ、複数属性の使用設定値Yyを複数属性の適切な設定値Xxに更新できるという効果を奏する。
また、実施の形態9における変位計10の使用設定値調整処理では、設定値Xxの調整対象の属性は、複数あり、複数の属性は、投光量、サンプリング周期、測定モード、フィルタ種類、移動平均回数、カットオフ周波数及び屈折率のうちの2つ以上を含み、並びに、複数の属性の設定値Xxが設定された測定レシピを更に含み、測定レシピの設定値Pxを先ず調整し、測定値が目標測定値352の範囲内であると判定された場合、測定対象物1を検査する際に使用する使用設定値Yyとして、目標測定値352の範囲内であると判定された測定値を取得した時の測定レシピに対応付けられた複数属性の使用設定値Yyを使用する。そして、変更部344によって変更された測定レシピに対応付けられた複数属性の使用設定値Yyを用いて測定された測定値が目標測定値352の範囲外であると判定された場合、調整対象の属性を複数の属性のうち測定レシピとは異なる属性に変更し、測定レシピとは異なる属性の使用設定値Yyを変更する。このように、先ず測定レシピの設定値Pxの調整を行うことから、複数属性の使用設定値Yyを調整する際の調整時間を短くできる可能性を高めることができるという効果を奏する。
また、実施の形態9における変位計10の使用設定値調整処理では、設定値Xxの調整対象の属性は複数あり、複数の属性は、投光量とサンプリング周期のうちの少なくとも1つである第1属性と、測定モード、フィルタ種類、移動平均回数、カットオフ周波数及び屈折率の少なくとも1つである第2属性を含む。そして、測定値が目標測定値352の範囲内であると判定された場合、目標測定値352の範囲内であると判定された測定値を取得した時の第1属性の使用設定値Yyを、測定対象物1を検査する際に使用する第1属性の使用設定値Yyに設定する。そして、測定値が目標測定値352の範囲外であると判定され、且つ、受光量が目標受光量353の範囲外であると判定された場合、変更部344は、調整対象の属性を第1属性から第2属性に変更し、第2属性の使用設定値Yyを変更する。このように、第2属性の設定値Xx(例えばJx,Kx,Lx,Nx,Ox)の調整処理に先立って、第1属性の設定値Xx(例えばIx,Mx)の調整処理が実行されるので、第1属性の調整処理に続く第2属性の調整処理において、測定値が目標測定値の範囲内となる可能性が高くなるという効果を奏する。
また、実施の形態9における変位計10の使用設定値調整処理では、設定値Xxの調整対象の属性は、投光量と、サンプリング周期と、を含む。そして、サンプリング周期の使用設定値Yy(サンプリング周期の設定値Mx)の変更の前に、投光量の使用設定値Yy(投光量の設定値Ix)が変更される。そして、測定値が目標測定値352の範囲内であると判定された場合、目標測定値352の範囲内であると判定された測定値を取得した時の投光量の使用設定値Yy(投光量の設定値Ix)を、測定対象物1を検査する際に使用する投光量の使用設定値Yyに設定する。そして、測定値が目標測定値352の範囲外であると判定され、且つ、受光量が目標受光量353の範囲外であると判定された場合、変更部344は、調整対象の属性を投光量からサンプリング周期に変更し、サンプリング周期の使用設定値Yy(サンプリング周期の設定値Mx)を変更する。このように、サンプリング周期の設定値Mxの調整処理に先立って、投光量の設定値Ixの調整処理が実行されるので、タクトタイムへの影響を軽減できるという効果を奏する。
また、実施の形態9における変位計10の使用設定値調整処理では、設定値Xxの調整対象の属性は複数あり、複数の属性は、移動平均フィルタを少なくとも含むフィルタ種類及び移動平均回数を含む。そして、変更部344は、移動平均回数の使用設定値Yy(移動平均回数の設定値Lx)の変更の前に、フィルタ種類の使用設定値Yy(フィルタ種類の設定値Kx)を変更し、フィルタ種類の使用設定値Yyが移動平均フィルタに確定した後に、変更部344は、調整対象の属性をフィルタ種類から移動平均回数に変更し、移動平均回数の使用設定値Yyを変更する。このような順番で調整することで、フィルタ種類の設定値Kx及び移動平均回数の設定値Lxを適切に調整できるという効果を奏する。
また、実施の形態9における変位計10の使用設定値調整処理では、設定値Xxの調整対象の属性は複数あり、複数の属性は、ローパスフィルタ及びハイパスフィルタの少なくとも1つを含むフィルタ種類と及びカットオフ周波数を含む。そして、変更部344は、カットオフ周波数の使用設定値Yy(カットオフ周波数の設定値Nx)の変更の前に、フィルタ種類の使用設定値Yy(フィルタ種類の設定値Kx)を変更し、フィルタ種類の使用設定値Yyがローパスフィルタ又はハイパスフィルタに確定した後に、変更部344は、調整対象の属性をフィルタ種類からカットオフ周波数の属性に変更し、カットオフ周波数の使用設定値Yyを変更する。このような順番で調整することで、フィルタ種類の設定値Kx及びカットオフ周波数の設定値Nxを適切に調整できるという効果を奏する。
実施の形態10.
続いて、実施の形態10の変位計10の設定値調整システムについて図1、図22、図29から図33を用いて説明する。なお、実施の形態1から実施の形態9と同じ構造については、同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
続いて、実施の形態10の変位計10の設定値調整システムについて図1、図22、図29から図33を用いて説明する。なお、実施の形態1から実施の形態9と同じ構造については、同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
実施の形態10の変位計10の設定値調整システムにおいては、実施の形態6の図23に示した測定レシピ調整処理に代わり、図32に示す測定レシピ調整処理が実行される。具体的は、実施の形態6の測定レシピ調整処理におけるステップS603、ステップS604、ステップS605及びステップS606に代わり、実施の形態10における測定レシピ調整処理では、ステップS610及びステップS611が実行される点が実施の形態6に対して異なる。実施の形態10では、測定レシピ調整処理のステップS610及びステップS611が実行されることを除いて他の処理は実施の形態6と同じであるため、同じ処理については説明を省略する。
まず、実施の形態1にて説明を省略した物性検出部40について説明する。
物性検出部40は、測定対象物1の物性を特定する検出部であり、図1に示すように、第1検出部41、第2検出部42、第3検出部43及び第4検出部44を含む。第1検出部41から第4検出部44は、PLC20の第1通信I/F部21にそれぞれ接続される。PC30の取得部341は、PLC20を介して、第1検出部41から第4検出部44の検出値を取得する。
第1検出部41は、図29に示すように、測定対象物1の物性が透明であるか検出する検出部である。第1検出部41は、例えば、測定対象物1及び測定対象物1の反対側に背景部材8の位置する方向の撮像画像を取得する撮像部であり、CCD(Charge Coupled Device)カメラが挙げられる。背景部材8の第1検出部41に面した表面には、印又は模様が印刷されている。そのため、測定対象物1が非透明体である場合、図29(a)に示すように、第1検出部41は、測定対象物1の表面の撮像画像を取得することとなり、撮像画像には、背景部材8の表面に印刷された印又は模様が写らない。また、測定対象物1が透明体である場合、図29(b)に示すように、第1検出部41は、測定対象物1の反対側に位置する背景部材8の表面が含まれた撮像画像を取得することとなり、第1検出部41の撮像画像には、背景部材8の表面に印刷された印又は模様が写る。第1検出部41は、測定対象物1の位置する方向の撮像画像を取得し、取得した撮像画像をPLC20に送信する。そして、PLC20の第1制御部22は、背景部材8の印又は模様が含まれた基準画像と実際の撮像画像とを公知のパターンマッチング法等により比較して、実際の撮像画像が基準画像と一致する場合には、測定対象物1の反対側に位置する背景部材8が撮像画像に写っていることから、測定対象物1は透明体と判定する。また、PLC20の第1制御部22は、背景部材8の印又は模様が含まれた基準画像と実際の撮像画像とを比較して、実際の撮像画像が基準画像と一致しない場合には、測定対象物1の表面が撮像画像に写っているものとして測定対象物1は非透明体と判定する。PLC20の第1制御部22のそれら判定結果はPC30に送信され、PC30の取得部341が取得する。なお、第1検出部41は、撮像部には限られず、投光器と受光器とを測定対象物1を挟むように対向配置するようにした透過型光電センサを用い、投光器からの光を受光器で受けるようにして測定対象物1の物性が透明であるかを検出するものであってもよく、測定対象物1の物性が透明であることを検出できるものであればどのようなものでもよい。また、PLC20の第1制御部22が判定をすることに限られず、PC30の第2制御部34にて判定するようにしてもよい。
第2検出部42は、図30に示すように、測定対象物1の物性として測定対象物1の表面が鏡面又は非鏡面であるか検出する検出部である。第2検出部42は、例えば、投光器と受光器が一体となった拡散反射型光電センサである。第2検出部42としての光電センサの投光器から照射された光が測定対象物1の表面で反射され、受光器が反射光を受ける。第2検出部42の受光器は、測定対象物1からの受光量検出値を取得し、取得した受光量検出値をPLC20に送信する。そして、PLC20の第1制御部22は、受光量検出値が設定閾値よりも大きい場合には、図30(a)に示すように、測定対象物1の表面で鏡面反射が生じており、測定対象物1の表面は鏡面であると判定する。また、PLC20の第1制御部22は、受光量検出値が設定閾値よりも小さい場合には、図30(b)に示すように、測定対象物1の表面で拡散反射が生じており、測定対象物1の表面は非鏡面であると判定する。PLC20の第1制御部22のそれら判定結果はPC30に送信され、PC30の取得部341が取得する。なお、第2検出部42は、拡散反射型光電センサには限られず、測定対象物1の表面が鏡面か非鏡面であるかを検出できるものであればどのようなものでもよい。また、PLC20の第1制御部22が判定をすることに限られず、PC30の第2制御部34にて判定するようにしてもよい。
第3検出部43は、測定対象物1の物性として金属等の電気伝導体であるか検出する検出部である。第3検出部43は、例えば、誘導形近接センサである。誘導形近接センサは、検出コイルより高周波磁界を発生し、この磁界に測定対象物1が近づくと、測定対象物1が電気伝導体であれば、電磁誘導により検出対象に誘導電流(渦電流)が流れる。誘導形近接センサは、この電流により検出コイルのインピーダンスが変化、あるいは発振が停止することに基づいて測定対象物1が電気伝導体であるかを検知する。そして、誘導形近接センサは、導体を検出した場合に出力信号がオンとなり、PLC20へオン信号を出力する。また、誘導形近接センサは、電気伝導体を検出しない場合には出力信号がオフとなる。なお、第3検出部43は、誘導形近接センサには限られず、測定対象物1の物性が電気伝導体であることを検出できるものであればどのようなものでもよい。
第4検出部44は、図31に示すように、測定対象物1の物性として物体が硬いものであるかを検出する検出部である。第4検出部44は、例えば、測定対象物1の表面に向けて突出した触針431が弾性的に測定対象物1の表面に接触する接触式変位センサである。接触式変位センサは、金属等のように硬い測定対象物1であれば、図31(a)に示すように、触針441が縮んで出力信号がオンとなり、PLC20へオン信号を出力する。また、ゴム等のように測定対象物1の表面が変形する場合には、図31(b)に示すように、触針441の位置が伸びて出力信号がオフとなる。なお、第4検出部44は、接触式変位センサには限られず、測定対象物1の物性として物体の硬いものであるかを検出できるものであればどのようなものでもよい。
続いて、実施の形態10の使用設定値自動調整処理について説明する。実施の形態10では、実施の形態6と同様に、図22で示した使用設定値自動調整処理が実行される。そして、使用設定値自動調整処理において、ステップS50に進んだ場合、実施の形態6の図23に示した測定レシピ調整処理に代わり、図32に示す測定レシピ調整処理が実行される。
実施の形態10の測定レシピ調整処理は、図32に示すように、前述のように、実施の形態6の測定レシピ調整処理におけるステップS603、ステップS604、ステップS605及びステップS606に代わり、実施の形態10における測定レシピ調整処理では、ステップS610及びステップS611が実行される。
実施の形態10の測定レシピ調整処理においては、実施の形態6と同様にステップS601、ステップS602及びステップS607が実行される。
判定部343が、ステップS601にて、測定対象値が透明体の隙間又は透明体の厚みが選択されていないと判定した場合(ステップS601:NO)は、ステップS603に進む。
ステップS610では、PC30の取得部341は、PLC20を介して、第1検出部41、第2検出部42、第3検出部43及び第4検出部44等の物性検出部40の検出結果を取得する。
ステップS611では、PC30の変更部344は、物性検出部40の検出結果及び後述する測定レシピ調整テーブルに基づいて、測定レシピの設定値Pxを変更する。
図33に示す測定レシピ調整テーブルは、PC30の第2記憶部35に予め記憶されたテーブルであり、測定レシピの設定値Pxを変更する際に使用される。測定レシピ調整テーブルの「○」及び「×」の定義を説明する。測定レシピ調整テーブルにおいて、第1検出部41の検出結果として測定対象物1が透明体である場合は第1検出部41の列に「○」を付し、測定対象物1が非透明体である場合は第1検出部41の列に「×」を付している。また、第2検出部42の検出結果として測定対象物1の表面が鏡面である場合は第2検出部42の列に「○」を付し、測定対象物1の表面が非鏡面である場合は第2検出部42の列に「×」を付している。また、第3検出部43の検出結果として測定対象物1が電気伝導体である場合は第3検出部43の列に「○」を付し、測定対象物1が絶縁体である場合は第3検出部43の列に「×」を付している。また、第4検出部44の検出結果として測定対象物1が金属等のように硬い材質である場合は第4検出部44の列に「○」を付し、測定対象物1がゴム等のように柔らかい材質である場合は第4検出部44の列に「×」を付している。
そして、測定レシピ調整テーブル中の各測定レシピは、物性検出部40としての第1検出部41から第4検出部44の検出結果に基づいて選択される。例えば、第1検出部41の検出結果が「×(非透明体)」、第2検出部42の検出結果が「×(非鏡面)」、第3検出部43の検出結果が「×(絶縁体)」及び第4検出部44の検出結果が「○(硬い)」である場合、測定対象物1の物性は、例えば、一般的な樹脂等のため、測定レシピAの設定値Pxが選択される。また、第1検出部41の検出結果が「×(非透明体)」、第2検出部42の検出結果が「×(非鏡面)」、第3検出部43の検出結果が「○(電気伝導体)」及び第4検出部44の検出結果が「○(硬い)」である場合、測定対象物1の物性は、非鏡面の金属のため、測定レシピBの設定値Pxが選択される。測定レシピ調整テーブルに示すその他の各測定レシピの設定値Pxも同様に、図33に示した第1検出部41から第4検出部44の検出結果の「○」「×」の組み合わせによって選択される。
つまり、変更部344は、図22に示したステップS10Aで設定された測定レシピの初期値P1から、第1検出部41から第4検出部44及び測定レシピ調整テーブルに基づいて選択された測定レシピの設定値Pxに変更するとともに、選択された測定レシピの設定値Pxに対応付けられている各属性の設定値Xx(Ix,Jx,Kx,Lx,Mx,Nx,Ox,Px・・・)を使用設定値格納領域355に記憶することで、使用設定値Yyを各属性の設定値Xxに変更する。このとき、選択された測定レシピの設定値Px及び選択された測定レシピの設定値Pxに対応付けられている各属性の設定値Xx(Ix,Jx,Kx,Lx,Mx,Nx,Ox・・・)を最適化設定値格納領域356にも記憶する。また、変更部344は、使用設定値格納領域355に格納された使用設定値Yyである各属性の設定値Xx(測定レシピの設定値Pxを除く)をPLC20に送信し、第1制御部22は使用設定値格納領域232に受信した各属性の設定値Xx(測定レシピの設定値Pxを除く)を記憶させ設定する。そして、ステップS607に進む。
ステップS607では、実施の形態6と同様に、更新部345は、測定レシピ調整処理の完了を示す最適化完了フラグFPを設定する。また、PLC20の第1制御部22に命令を送信し、第1記憶部23の使用設定値格納領域232に、測定レシピ調整処理完了時の最適化設定値格納領域356に保持されている測定レシピの最適化設定値P_optに対応付けられた各属性の設定値Xx(測定レシピの設定値Pxを除く)を保持させる。
なお、実施の形態10の測定レシピ調整処理は、実施の形態6と同様に、測定レシピの設定値Pxのみを調整するものであったが、実施の形態10の測定レシピ調整処理を実施の形態9の測定モード調整処理からサンプリング周期調整処理を組み合わせた使用設定値自動調整処理における測定レシピ調整処理に適用することもできる。
なお、実施の形態10の測定レシピ調整処理を実施の形態9の測定モード調整処理からサンプリング周期調整処理を組み合わせた使用設定値自動調整処理における測定レシピ調整処理に適用しない場合、実施の形態10の測定レシピ調整処理のステップS611では、選択された測定レシピの設定値Pxに対応付けられている各属性の設定値Xx(Ix,Jx,Kx,Lx,Mx,Nx,Ox,Px・・・)を最適化設定値格納領域356のみに記憶させればよい。また、選択された測定レシピの設定値Pxに対応付けられている各属性の設定値Xx(Pxを除く)は、ステップS607でPLC20の使用設定値格納領域232に保持させるので、ステップS611においてはPLC20の使用設定値格納領域232設定する処理を省略しても構わない。
実施の形態10における変位計10の設定値調整装置では、取得部341は、基準ワークの物性を検出する物性検出部40からの検出値を取得し、変更部344は、物性検出部40の検出値に基づいて測定レシピの使用設定値を変更する。そして、測定値が目標測定値352の範囲内であると判定された場合、目標測定値352の範囲内であると判定された測定値を取得した時の測定レシピに対応付けられた各属性の使用設定値Yyを、測定対象物1を検査する際に使用する使用設定値Yyに設定する。そのため、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Yyを調整できるという効果を奏する。また、使用設定値Yyを基準ワークの物性に合った適切な設定値Pxに変更できるという効果を奏する。また、物性検出部40の検出値に基づいて測定レシピの使用設定値Yyを変更するため、何度も測定レシピ調整処理を繰り返す必要が無く、測定レシピの使用設定値Yyを早く確定できるという効果を奏する。
実施の形態11.
続いて、実施の形態11の変位計10の設定値調整システムについて図1、図14、図34及び図35を用いて説明する。なお、実施の形態1から10と同じ構造については、同一の処理については説明を省略する。
続いて、実施の形態11の変位計10の設定値調整システムについて図1、図14、図34及び図35を用いて説明する。なお、実施の形態1から10と同じ構造については、同一の処理については説明を省略する。
実施の形態11の変位計10の設定値調整システムにおいては、実施の形態3の図18に示した第2フィルタ調整処理に代わり、図34に示す第2フィルタ調整処理が実行される。具体的には、実施の形態3の第2フィルタ調整処理におけるステップS304、ステップS305、ステップS306及びステップS307に代わり、実施の形態11における第2フィルタ調整処理では、ステップS309及びステップS310が実行される点が実施の形態3に対して異なる。実施の形態11では、第2フィルタ調整処理のステップS309及びステップS310が実行されることを除いて他の処理は実施の形態3と同じであるため、同じ処理については説明を省略する。
実施の形態11の使用設定値自動調整処理は、実施の形態3と同様に、図14に示した使用設定値自動調整処理が実行される。そして、使用設定値自動調整処理において、ステップS50に進んだ場合、図18に示した第2フィルタ調整処理に代わり、図34に示す第2フィルタ調整処理が実行される。
実施の形態11の第2フィルタ調整処理においては、実施の形態3と同様に、ステップS301、ステップS302及びステップS303が実行される。そして、ステップS309に進む。
ステップS309では、実施の形態10のステップS610と同様に、PC30の取得部341は、PLC20を介して、第1検出部41、第2検出部42、第3検出部43及び第4検出部44等の物性検出部40の検出結果を取得する。
ステップS310では、PC30の変更部344は、物性検出部40の検出結果及び後述する移動平均回数調整テーブルに基づいて、移動平均回数の設定値Lxを変更する。
図35に示す移動平均回数調整テーブルは、PC30の第2記憶部35に予め記憶されたテーブルであり、移動平均回数の設定値Lxを変更する際に使用される。移動平均回数調整テーブルの「○」及び「×」の定義は、実施の形態10で説明したものと同じである。
そして、移動平均回数調整テーブル中の移動平均回数の設定値Lxは、物性検出部40としての第1検出部41から第4検出部44の検出結果に基づいて、測定対象物1としての基準ワークの表面物性に合わせて選択される。具体的には、移動平均回数調整テーブル中の移動平均回数の設定値Lxは、基準ワークの表面が滑らかな鏡面であれば、移動平均回数の設定値Lxが小さくなるように設定され、基準ワークの表面が凹凸のある粗面であれば、移動平均回数の設定値Lxが大きくなるように設定されている。例えば、第1検出部41の検出結果が「×(非透明体)」、第2検出部42の検出結果が「○(鏡面)」、第3検出部43の検出結果が「○(電気伝導体)」及び第4検出部44の検出結果が「○(硬い)」である場合、測定対象物1の表面物性は、例えば、表面が鏡面である金属のため、移動平均回数の設定値Lxとして32回が選択される。また、第1検出部41の検出結果が「×(非透明体)」、第2検出部42の検出結果が「×(非鏡面)」、第3検出部43の検出結果が「○(電気伝導体)又は×(絶縁体)」及び第4検出部44の検出結果が「○(硬い)」である場合、測定対象物1の表面物性は、標準的な材質又は表面が非鏡面の金属のため、移動平均回数の設定値Lxとして128回が選択される。また、第1検出部41の検出結果が「○(透明体)」、第2検出部42の検出結果が「×(非鏡面)」、第3検出部43の検出結果が「○(電気伝導体)」及び第4検出部44の検出結果が「○(硬い)」である場合、測定対象物1の表面物性は、パターン付ガラスのため、移動平均回数の設定値Lxとして512回が選択される。
つまり、変更部344は、図14に示したステップS10で設定された移動平均回数の初期値L1から、第1検出部41から第4検出部44及び移動平均回数調整テーブルに基づいて選択された移動平均回数の設定値Lxを使用設定値格納領域355に記憶することで、使用設定値Yyを選択された移動平均回数の設定値Lxに変更する。このとき、選択された移動平均回数の設定値Lxを最適化設定値格納領域356にも記憶する。また、変更部344は、使用設定値格納領域355に格納された使用設定値Yyである選択された移動平均回数の設定値LxをPLC20に送信し、第1制御部22は使用設定値格納領域232に受信した選択された移動平均回数の設定値Lxを記憶させ設定する。そして、ステップS308に進む。
ステップS308では、実施の形態3と同様に、更新部345は、第2フィルタ調整処理の完了を示す最適化完了フラグFLを設定する。また、PLC20の第1制御部22に命令を送信し、第1記憶部23の使用設定値格納領域232に、第2フィルタ調整処理完了時の最適化設定値格納領域356に保持されている移動平均フィルタの最適化設定値L_optを保持させる。
なお、実施の形態11の第2フィルタ調整処理は、実施の形態3と同様に、移動平均回数の設定値Lxのみを調整するものであったが、実施の形態11の第2フィルタ調整処理を実施の形態9の測定モード調整処理からサンプリング周期調整処理を組み合わせた使用設定値自動調整処理における第2フィルタ調整処理に適用することもできる。
なお、実施の形態11の第2フィルタ調整処理を実施の形態9の測定モード調整処理からサンプリング周期調整処理を組み合わせた使用設定値自動調整処理における第2フィルタ調整処理に適用しない場合、実施の形態11の第2フィルタ調整処理のステップS310では、選択された移動平均回数の設定値Lxを最適化設定値格納領域356のみに記憶させればよい。また、選択された移動平均回数の設定値Lxは、ステップS310でPLC20の使用設定値格納領域232に保持させるので、ステップS308においてはPLC20の使用設定値格納領域232設定する処理を省略しても構わない。
実施の形態11における変位計10の設定値調整装置では、取得部341は、基準ワークの物性を検出する物性検出部40からの検出値を取得する。また、設定値Xxは、移動平均フィルタの設定値Lxを含む。そして、変更部344は、物性検出部40の検出値に基づいて移動平均回数の使用設定値Yy(移動平均フィルタの設定値Lx)を変更する。そして、測定値が目標測定値352の範囲内であると判定された場合、目標測定値352の範囲内であると判定された測定値を取得した時の移動平均回数の使用設定値Yy(移動平均フィルタの設定値Lx)を、測定対象物1を検査する際に使用する使用設定値Yyに設定する。そのため、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Yyを調整できるという効果を奏する。また、使用設定値Yyを基準ワークの物性に合った適切な移動平均回数の設定値Lxに変更できるという効果を奏する。また、物性検出部40の検出値に基づいて移動平均回数の使用設定値Yyを変更するため、何度も第2フィルタ調整処理を繰り返す必要が無く、移動平均回数の使用設定値Yyを早く確定できるという効果を奏する。
実施の形態12.
続いて、実施の形態12の変位計10の設定値調整システムについて図1、図36及び図37を用いて説明する。なお、実施の形態1から11と同じ構造及び同一の処理については説明を省略する。
続いて、実施の形態12の変位計10の設定値調整システムについて図1、図36及び図37を用いて説明する。なお、実施の形態1から11と同じ構造及び同一の処理については説明を省略する。
実施の形態12の変位計10の設定値調整システムにおいては、実施の形態11の図34に示した第2フィルタ調整処理に代わり、図36に示す第2フィルタ調整処理が実行される。具体的には、実施の形態11の第2フィルタ調整処理におけるステップS309及びステップS310に代わり、実施の形態12における第2フィルタ調整処理では、ステップS311及びステップS312が実行される点が実施の形態11に対して異なる。実施の形態11では、第2フィルタ調整処理のステップS311及びステップS312が実行されることを除いて他の処理は実施の形態11と同じであるため、同じ処理については説明を省略する。
まず、実施の形態1で説明を省略した温度センサ50について説明する。
図1に示す温度センサ50は、変位計10の温度を検出する温度検出部である。検出温度は、変位計10の内部又は周囲温度等の温度である。なお、工場内は、一般的に、室温を一定に保っていることが多いので、周囲温度として室温を用いることもできる。温度センサ50は、第1検出部41から第4検出部44等の物性検出部40に加え、PLC20の第1I/F部21に接続される。PC30の取得部341は、PLC20を介して、第1検出部41から第4検出部44等の物性検出部40及び温度センサ50の検出温度を取得する。
続いて、実施の形態12の第2フィルタ調整処理について、図36を参照しながら説明する。
実施の形態12の第2フィルタ調整処理においては、実施の形態11と同様に、ステップS301、ステップS302及びステップS303が実行される。そして、ステップS311に進む。
ステップS311では、実施の形態11のステップS309と同様に、PC30の取得部341は、PLC20を介して、第1検出部41、第2検出部42、第3検出部43及び第4検出部44等の物性検出部40の検出結果を取得する。実施の形態12では、取得部341は、更に温度センサ50の検出温度も検出結果として取得する。
ステップS312では、PC30の変更部344は、物性検出部40及び温度センサ50の検出結果及び後述する移動平均回数調整テーブルに基づいて、移動平均回数の設定値Lxを変更する。
実施の形態12では、実施の形態11の図35に示した移動平均回数調整テーブルに代わり、図37に示す移動平均回数調整テーブルが移動平均回数の設定値Lxを変更する際に使用される。移動平均回数調整テーブルの「○」及び「×」の定義は、実施の形態10で説明したものと同じである。
実施の形態12における図37に示す移動平均回数調整テーブルでは、実施の形態11の図35に示した移動平均回数調整テーブルを元にしているものの、更に温度センサ50の検出温度に基づいて、移動平均回数の設定値Lxを異ならせている。具体的には、温度センサ50の検出温度が第1温度であれば、実施の形態11の図35に示した移動平均回数調整テーブル中の移動平均回数の設定値Lxと同じであるが、温度センサ50の検出温度が第2温度であれば、移動平均回数の設定値Lxを大きくし、移動平均回数が増加するようにしている。なお、第2温度は第1温度よりも高い温度である。このように温度センサ50の検出温度が高くなるほど移動平均回数が増加するように移動平均回数の設定値Lxを変更している理由は、変位計10を構成する構成要素の熱膨張により、測定値が安定しなくなり、温度が高くなるほど測定値の目標測定値352に対するばらつきが大きくなるためである。
つまり、ステップS312では、変更部344は、図14に示したステップS10で設定された移動平均回数の初期値L1から、第1検出部41から第4検出部44、温度センサ50及び図37に示した移動平均回数調整テーブルに基づいて選択された移動平均回数の設定値Lxを使用設定値格納領域355及び最適化設定値格納領域356に記憶し、選択された移動平均回数の設定値Lxに変更する。また、変更部344は、選択された移動平均回数の設定値Lxを、第1制御部22は使用設定値格納領域232に設定する。そして、ステップS308に進む。
ステップS308では、実施の形態11と同様に、更新部345は、第2フィルタ調整処理の完了を示す最適化完了フラグFLを設定し、第1記憶部23の使用設定値格納領域232に、第2フィルタ調整処理完了時の最適化設定値格納領域356に保持されている移動平均フィルタの最適化設定値L_optを保持させる。
なお、実施の形態12の第2フィルタ調整処理は、実施の形態11と同様に、実施の形態12の第2フィルタ調整処理を実施の形態9の測定モード調整処理からサンプリング周期調整処理を組み合わせた使用設定値自動調整処理における第2フィルタ調整処理に適用することもできる。
なお、実施の形態12の第2フィルタ調整処理を実施の形態9の測定モード調整処理からサンプリング周期調整処理を組み合わせた使用設定値自動調整処理における第2フィルタ調整処理に適用しない場合は、実施の形態12の第2フィルタ調整処理のステップS311では、選択された移動平均回数の設定値Lxを最適化設定値格納領域356のみに記憶させればよい。また、選択された移動平均回数の設定値Lxは、ステップS311でPLC20の使用設定値格納領域232に保持させるので、ステップS312においてはPLC20の使用設定値格納領域232設定する処理を省略しても構わない。
実施の形態12における変位計10の設定値調整装置では、取得部341は、変位計10の温度を検出する温度検出部の検出温度を取得し、変更部344は、温度検出部の前記検出温度が高いほど前記移動平均回数が増加するよう移動平均回数の使用設定値Yyを変更する。そのため、変位計10の温度に合った適切な移動平均回数の設定値Lxに使用設定値Yyを変更できるという効果を奏する。
実施の形態13.
続いて、実施の形態13の変位計10の設定値調整システムについて図38から図39を用いて説明する。なお、実施の形態1から12と同じ構造及び同一の処理については説明を省略する。
続いて、実施の形態13の変位計10の設定値調整システムについて図38から図39を用いて説明する。なお、実施の形態1から12と同じ構造及び同一の処理については説明を省略する。
実施の形態13の変位計10の設定値調整システムにおいては、実施の形態12の温度センサ50に代わり、図38に示すように振動センサ51が用いられる。また、実施の形態12の図36に示した第2フィルタ調整処理に代わり、図39に示す第2フィルタ調整処理が実行される。具体的には、実施の形態12の第2フィルタ調整処理におけるステップS311及びステップS312に代わり、実施の形態13における第2フィルタ調整処理では、ステップS313及びステップS314が実行される点が実施の形態12に対して異なる。実施の形態12では、第2フィルタ調整処理のステップS313及びステップS314が実行されることを除いて他の処理は実施の形態12と同じであるため、同じ処理については説明を省略する。
まず、実施の形態13で用いる振動センサ51について説明する。
図38に示す振動センサ51は、変位計10の振動を検出する振動検出部である。振動センサ51の検出値は、変位計10の振動に相当する加速度である。PC30の取得部341は、PLC20を介して、第1検出部41から第4検出部44等の物性検出部40及び振動センサ51の検出値を取得する。
続いて、実施の形態13の第2フィルタ調整処理について、図39を参照しながら説明する。
実施の形態13の第2フィルタ調整処理においては、実施の形態11と同様に、ステップS301、ステップS302及びステップS303が実行される。そして、ステップS313に進む。
ステップS313では、実施の形態12のステップS311と同様に、PC30の取得部341は、PLC20を介して、第1検出部41、第2検出部42、第3検出部43及び第4検出部44等の物性検出部40の検出結果を取得する。実施の形態13では、取得部341は、振動センサ51の検出値も検出結果として取得する。
ステップS314では、PC30の変更部344は、物性検出部40及び振動センサ51の検出値及び後述する移動平均回数調整テーブルに基づいて、移動平均回数の設定値Lxを変更する。
実施の形態13では、実施の形態12の図37に示した移動平均回数調整テーブルに代わり、図40に示す移動平均回数調整テーブルが移動平均回数の設定値Lxを変更する際に使用される。
実施の形態13における図40に示す移動平均回数調整テーブルでは、実施の形態12の図37に示した移動平均回数調整テーブルを元にしているものの、振動センサ51の検出値に基づいて、移動平均回数の設定値Lxを異ならせている。具体的には、振動センサ51が振動を検出しない場合は、実施の形態11の図35に示した移動平均回数調整テーブル中の移動平均回数の設定値Lxと同じであるが、振動センサ51が振動を検出した場合は、移動平均回数の設定値Lxを大きくし、移動平均回数が増加するようにしている。なお、振動センサ51による振動の検出方法は、振動センサ51によって検出される加速度が予め設定された振動閾値を超える場合は振動有りと判定するようにする。このように振動センサ51の検出値が大きくなるほど移動平均回数が増加するように移動平均回数の設定値Lxを変更している理由は、変位計10の振動により、測定値が安定しなくなり、振動が大きくなるほど測定値の目標測定値352に対するばらつきが大きくなるためである。
実施の形態13における変位計10の設定値調整装置では、取得部341は、変位計10の振動を検出する振動検出部の検出値を取得し、変更部344は、振動検出部の前記検出値が大きいほど前記移動平均回数が増加するよう移動平均回数の使用設定値Yyを変更する。そのため、変位計10の振動に応じた適切な移動平均回数の設定値Lxに使用設定値Yyを変更できるという効果を奏する。
実施の形態14.
続いて、実施の形態14の変位計10の設定値調整システムについて図5、図6、図10、図21、図41から図43を用いて説明する。なお、実施の形態1から12と同じ構成については、説明を省略する。
続いて、実施の形態14の変位計10の設定値調整システムについて図5、図6、図10、図21、図41から図43を用いて説明する。なお、実施の形態1から12と同じ構成については、説明を省略する。
実施の形態14の変位計10の設定値調整システムでは、実施の形態1から12のPC30に代わり、PC30Aが使用される。PC30Aは、機械学習装置36を更に含んでいる点を除いて、実施の形態1から実施の形態12のPC30の構成と同じである。そして、機械学習装置36が、変位量を示す測定値、受光量及び使用設定値Yyに基づいて、目標測定値352の範囲内となる使用設定値Yy及び目標受光量353の範囲内となる使用設定値Yyを学習する。なお、測定値、受光量、使用設定値Yy、目標測定値352及び目標受光量353は、実施の形態1から12で用いたものと同じである。
実施の形態14の変位計10の設定値調整システムについて、以下では、PC30と機械学習装置36とが一体化されたPC30Aを例に挙げて説明する。なお、機械学習装置36は、PC30Aと一体化されていてもよいし、PC30Aの外部に設けられた別個のコンピュータであってもよい。或いは、機械学習装置36はクラウドサーバに存在していてもよい。なお、機械学習装置36の機能はプロセッサにより実現される。
図41は、実施の形態14に係る変位計10の設定値調整システムの全体構成を示す図である。図41の各構成要素のうち図1に示す実施の形態1の変位計10の設定値調整システムと同一機能を達成する構成要素については同一符号を付しており、重複する説明は省略する。PC30Aは、PC30に加えて、使用設定値Yyを学習する機械学習装置36を備えている。
機械学習装置36は、状態観測部361と学習部363とを備えている。機械学習装置36は、第2制御部34及び第2記憶部35に接続されている。
状態観測部361は、使用設定値Yyを用いて基準ワークを測定した際に取得部341によって取得された測定値及び受光量と、測定値及び受光量を取得した際の使用設定値Yyと、を状態変数362として観測する。状態観測部361が観測する測定値及び受光量は、測定値及び受光量を取得した際の使用設定値Yyに対応付けされている。そして、状態観測部361は、観測結果である状態変数362を学習部363に送る。
学習部363は、状態変数362に従って、使用設定値Yyを学習する。換言すると、学習部363は、測定値が目標測定値352の範囲内となる使用設定値Yy及び受光量が目標受光量353の範囲内となる使用設定値Yyを学習する。具体的には、測定値、受光量及び測定値及び受光量を取得した際の使用設定値Yyを含んだ状態変数362に基づいて作成される訓練データセットに従って、測定値が目標測定値352の範囲内となる使用設定値Yy及び受光量が目標受光量353の範囲内となる使用設定値Yyを学習する。実施の形態14において、学習部363は、強化学習の概念に従って、測定値及び受光量と、測定値及び受光量を取得した際の使用設定値Yyとの関係性を学習する。
実施の形態14の機械学習装置36は、公知のQ学習の手法に従って強化学習を実行する。機械学習装置36は、或る状態変数sのときに行動aを選択した場合の行動価値Q(期待値)を求める行動価値関数Q(st,at)に基づいて、最良の行動を学習する。
学習の初期段階では、或る状態変数sと行動aの組合せに対して割当てられる行動価値Qは未知である。機械学習装置36は、種々の状態変数sに対して行動aをランダムに選択して実行し、行動aの結果として与えられる報酬を積算することによって、行動価値関数Q(st,at)を更新する。行動価値関数Q(st,at)を更新する一般式は、式2で表される。
(数1)
Q(st,at)←Q(st,at)
+α(rt+1+γmaxQ(st+1,at+1)―Q(st,at))
・・・(式2)
Q(st,at)←Q(st,at)
+α(rt+1+γmaxQ(st+1,at+1)―Q(st,at))
・・・(式2)
ここで、stは、時刻tにおける状態変数である。atは、時刻tにおいて実行される行動である。st+1は時刻t+1における状態変数であり、換言すれば、行動atを行った結果として変化した後の状態変数である。rt+1は行動atの結果として変化する環境に応じて与えられる報酬である。「max」の項は、状態変数st+1における行動価値Qの最大値(すなわち、最良の行動aに対する行動価値)を表している。γは割引率であり、0<γ≦1を満足するように設定される(例えば、γ=0.9~0.99)。αは学習係数であり、0<α≦1を満足するように設定される(例えば、α=0.05~0.2)。なお、Q学習を変位計10の設定値調整システムに適用した実施の形態14では、使用設定値Yyが行動atとなる。
式2で表される更新式は、時刻t+1における最良の行動aの行動価値が、時刻tにおいて実行された行動aの行動価値Qよりも大きければ、行動価値Qを大きくし、逆の場合は、行動価値Qを小さくする。換言すれば、時刻tにおける行動aの行動価値Qを、時刻t+1における最良の行動価値に近づけるように、行動価値関数Q(st,at)を更新する。それにより、或る環境における最良の行動価値が、それ以前の環境における行動価値に順次伝播していくようになる。
図42に戻り、学習部363は、報酬計算部364と、関数更新部365とを備えている。
報酬計算部364は、状態変数362に基づいて報酬を計算する。すなわち、報酬計算部364は、取得部341の取得した測定値及び受光量に基づいて、報酬を計算する。報酬計算部364は、受光量が目標受光量353に近いほど大きな報酬を与える。また、報酬計算部364は、測定値が目標測定値352に近いほど大きな報酬を与える。報酬計算部364は、受光量への報酬と、測定値への報酬とで報酬の大きさに重み付けを行ってもよい。実施の形態1でも説明した通り、受光量が大きすぎる場合及び受光量が小さすぎる場合は受光量波形の山Pの頂点の位置の特定精度が大きく悪化するため、受光量への報酬に対しては、測定値への報酬よりも大きな差を付けた報酬を与えてもよい。この場合、例えば、報酬計算部364は、受光量へは「+1」~「-1」の報酬を与え、測定値へは「+0.2」~「-0.2」の報酬を与えることができる。なお、報酬計算部364は、計算した報酬を関数更新部365に送る。
関数更新部365は、測定値及び受光量を基準ワークから取得する際の使用設定値Yyを決定するための関数を記憶しており、報酬計算部364によって計算された報酬に従って、関数を更新する。測定値及び受光量を基準ワークから取得する際の使用設定値Yyを決定するための関数の例は、前述の行動価値関数Q(st,at)である。なお、関数の更新は、訓練データセットに従って、例えば行動価値テーブルを更新することによって行うことができる。行動価値テーブルは、行動atと、状態変数stと、その行動価値Qとを関連付けてテーブルの形式で記憶したデータセットである。実施の形態14の関数更新部365は、状態観測部361が測定値及び受光量を新たに観測するたびに行動価値関数Q(st,at)を更新する。また、関数更新部365は、更新した行動価値関数Q(st,at)を第2記憶部35に送信し記憶させる。
第2記憶部35は、これまでの学習データ、および学習に用いるデータを記憶しておく。学習データの例は、学習された使用設定値Yyであり、学習に用いるデータの例は、学習部363が学習の際に用いる行動価値関数Q(st,at)である。第2記憶部35の最適化設定値格納領域356が記憶しておく使用設定値Yyは、過去に測定値及び受光量を基準ワークから取得した際の使用設定値Yyの中で最も報酬の高かった使用設定値Yyである。第2記憶部35は、各属性の使用設定値Yyごとに、過去に測定値及び受光量を取得した時の使用設定値Yyの中で最も報酬の高かった使用設定値Yyと、この使用設定値Yyに対応する測定値及び受光量との組み合わせを記憶しておく。
まず、実施の形態1と同様に、図6の調整手順に示したように、ステップS1からステップS5が実行される。その際に、図10に示した設定値Xxの自動調整のボタン732が選択された場合には、ステップS5の処理として、図43に示す使用設定値学習処理が開始される。
次に、図43に示されるフローチャートを参照して、行動価値Q(st,at)を更新する強化学習方法の処理手順について説明する。図43は、実施の形態14に係るPC30Aで実行される使用設定値学習処理を示すフローチャートである。以下では、まず、使用設定値Yyを学習する対象となる属性が、測定レシピである場合について説明する。
まず、ステップS900では、設定部342は、全設定値351の中から属性毎に各1つずつ設定値Xxを読み出して使用設定値格納領域355及び使用設定値格納領域232に格納し、使用設定値Yyとして設定する。具体的には、設定部342は、測定レシピの設定値Pxに対応付けられた各属性の設定値Xx(Ix,Jx,Kx,Lx,Mx,Nx,Ox・・・)を読み出して使用設定値格納領域355及び使用設定値格納領域232に格納し、使用設定値Yyとして設定する。ステップS900においては、使用設定値学習処理の前であるため、図5及び図21に示した複数の測定レシピの設定値Pxの中から1つランダムに選択し、選択された測定レシピの設定値Pxに対応付けられた各属性の設定値Xx(Ix,Jx,Kx,Lx,Mx,Nx,Ox・・・)を使用設定値Yyに設定してもよい。また、実施の形態6の図22で示したステップS10Aのように、測定レシピの設定値Pxの初期値P1である測定レシピAの設定値に対応付けられている各属性の設定値Xx(I1,J1,K1,L1,M1,なし,なし・・・)を使用設定値Yyとして設定してもよい。また、実施の形態1のステップS10と同様に、設定部342は、属性毎に図5の中央の列に記載されている初期値X1を使用設定値Yyに設定してもよい。
そして、ステップS901では、状態観測部361は、PLC20及びPC30の取得部341を介して、使用設定値格納領域232に格納されている使用設定値Yyを使用して取得した測定値及び受光量と、使用設定値格納領域355に格納されている使用設定値Yyと、を観測する。また、状態観測部361は、状態変数362を報酬計算部364に送る。すなわち、状態観測部361は、使用設定値Yyを用いて基準ワークを測定した際の測定値及び受光量と、測定値及び受光量を取得した際の使用設定値Yyと、が対応付けされた情報を報酬計算部364に送る。
ステップS902では、報酬計算部364は、状態観測部361から今回取得した受光量が、これまで過去に取得した、目標受光量353に最も近い受光量よりも目標受光量353により近い値であるか否かを判定する。そして、今回取得した受光量が、これまでに取得した目標受光量353に最も近い受光量よりも目標受光量353により近い値である場合(ステップS902:YES)、ステップS903に進む。今回取得した受光量が、これまでに取得した目標受光量353に最も近い受光量よりも目標受光量353から遠い値である場合(ステップS902:NO)、ステップS904に進む。なお、目標受光量353は、実施の形態7で説明したものと同様に、400から800の範囲のように下限目標受光量と上限目標受光量との間の範囲としてもよいし、600のように特定の一つの値でもよい。
ステップS903では、報酬計算部364は、報酬を増大させる。また、ステップS904では、報酬計算部364は、報酬を減少させる。なお、今回取得した受光量が、これまでに取得した目標受光量353に最も近い受光量と同じである場合には、報酬計算部364は、報酬を増大も減少もさせずに維持させてもよい。そして、ステップS903又はステップS904が実行された後、ステップS905に進む。
そして、ステップS905では、報酬計算部364は、状態観測部361から今回取得した測定値が、これまで過去に取得した目標測定値352に最も近い測定値よりも目標測定値352に近い値であるか否かを判定する。そして、今回取得した測定値が、これまでに取得した目標測定値352に最も近い測定値よりも目標測定値352に近い値である場合(ステップS905:YES)、ステップS906に進む。今回取得した測定値が、これまでに取得した目標測定値352に最も近い測定値よりも目標測定値352から遠い値である場合(ステップS905:NO)、ステップS907に進む。なお、目標測定値352は、実施の形態1で説明したものと同様に、ユーザ操作により指定された上限閾値と下限閾値との間の範囲としてもよいし、基準ワークの表面を測定中心距離に合わせているのであれば変位量0等の特定の一つの値でもよい。
ステップS906では、報酬計算部364は、報酬を増大させる。また、ステップS907では、報酬計算部364は、報酬を減少させる。なお、今回取得した測定値が、これまでに取得した目標測定値352に最も近い測定値と同じである場合には、報酬計算部364は、報酬を増大も減少もさせずに維持させてもよい。そして、ステップS906又はステップS907が実行された後、ステップS908に進む。
ステップS908では、関数更新部365は、増大または減少させた報酬に基づいて、行動価値関数Q(st,at)を更新する。そして、関数更新部365は、更新した行動価値関数Q(st,at)を第2記憶部35に送信し記憶させる。また、関数更新部365は、第2制御部34の更新部345に命令し、更新部345は、測定値及び受光量を基準ワークから取得した際の過去の使用設定値Yy(今回の使用設定値Yyも含む)の中で最も報酬の高い使用設定値Yyを最適化設定値格納領域356に記憶させる。より具体的には、更新部345は、過去の使用設定値Yy(今回の使用設定値Yyも含む、測定レシピの設定値Pxに対応付けられた各属性の設定値Xx(Ix,Jx,Kx,Lx,Mx,Nx,Ox・・・)の組み合わせ)の中で最も報酬の高い使用設定値Yy(最も報酬の高い測定レシピの設定値Pxに対応付けられた各属性の設定値Xxの組み合わせ)と、この使用設定値Yyに対応する測定値及び受光量との組み合わせを記憶させる。そして、ステップS909に進む。
ステップS909では、判定部343は、全ての設定値Xxを使用設定値Yyに用いて基準ワークを測定して得られた全ての受光量及び測定値を取得済みか否か判定する。具体的には、使用設定値Yyを学習する対象となる属性が、測定レシピであれば、全ての測定レシピの設定値Pxを使用設定値Yyに用いて基準ワークを測定して得られた全ての受光量及び測定値を取得済みか否か判定する。例えば、判定部343が、使用設定値学習処理の開始から取得部341が取得した受光量及び測定値の少なくとも一方の数が第2記憶部35の全設定値351中の測定レシピの設定値Pxの数と一致するか否かを確認することで全ての測定値を取得済みか否か判定する。ステップS909にて、全ての受光量及び測定値を取得済みでないと判定された場合(ステップS909:NO)は、ステップS910に進む。また、ステップS909にて、全ての受光量及び測定値を取得済みであると判定された場合(ステップS909:YES)は、ステップS911に進む。
ステップS910では、変更部344が、受光量及び測定値を取得済みの測定レシピの設定値Pxとは異なる新たな設定値Pxを全設定値351から読み出す。そして、変更部344は、新たな測定レシピの設定値Px及び新たな測定レシピの設定値Pxに対応付けられた各属性の設定値Xx(Ix,Jx,Kx,Lx,Mx,Nx,Ox・・・)を使用設定値格納領域355に格納し、使用設定値Yyを変更する。また、変更部344は、使用設定値格納領域355に格納された次回使用する使用設定値Yyである各属性の設定値Xx(測定レシピの設定値Pxを除き、測定レシピの設定値Pxに対応付けられたIx,Jx,Kx,Lx,Mx,Nx,Ox・・・)をPLC20に送信し、第1制御部22は使用設定値格納領域232に次回使用する使用設定値Yyである各属性の設定値Xx(測定レシピの設定値Pxに対応付けられたIx,Jx,Kx,Lx,Mx,Nx,Ox・・・)を記憶させ設定する。その後、ステップS901に戻り、新たな測定レシピの設定値Pxに対応付けられた設定値Xxを使用設定値Yyとして使用し、ステップS901からステップS910の処理を測定レシピの設定値Pxが変更されるごとに繰り返し実行される。
ステップS909にて全ての受光量及び測定値を取得済みであると判定された場合(ステップS909:YES)は、ステップS911にて、更新部345は、全ての測定レシピの設定値Pxを使用設定値Yyに用いて全ての受光量及び測定値を取得済みであり使用設定値学習処理が完了しているので、PLC20の第1制御部22に命令を送信し、使用設定値学習処理完了時の最適化設定値格納領域356に保持されている測定レシピの最適化設定値P_optに対応付けられた各属性の設定値Xx(Ix,Jx,Kx,Lx,Mx,Nx,Ox・・・)を、第1記憶部23に各属性の使用設定値Yyとして保持させる。そして、使用設定値学習処理を終了する。
なお、実施の形態14にて、測定レシピの設定値Pxを学習する例を説明したが、測定レシピの設定値Pxとは異なる他の属性の設定値Xxの少なくとも1つを学習するようにしてもよい。以下に、他の複数の属性の設定値Xxを学習するものを実施の形態14に適用した場合の変形例について図43を参照しながら説明する。
まず、ステップS900では、設定部342は、全設定値351の中から属性毎に各1つずつ設定値Xxを読み出して使用設定値格納領域355及び使用設定値格納領域232に格納し、使用設定値Yyとして設定する。具体的には、設定部342は、各属性の設定値Ix,Jx,Kx,Lx,Mx,Nx,Ox・・・を読み出して使用設定値格納領域355及び使用設定値格納領域232に格納し、各属性の使用設定値Yyとして設定する。ステップS900においては、使用設定値学習処理の前であるため、図5に示した各属性毎に複数の設定値Xxの中から1つランダムに選択し、選択された各属性の設定値Ix,Jx,Kx,Lx,Mx,Nx,Ox・・・を使用設定値Yyに設定する。また、実施の形態1のステップS10と同様に、設定部342は、属性毎に図5の中央の列に記載されている初期値X1を使用設定値Yyに設定してもよい。
そして、ステップS901からステップS909が測定レシピの設定値Pxの学習の場合と同様に実行される。
ステップS909では、判定部343は、全ての属性の設定値Xxの組合せを使用設定値Yyに用いて基準ワークを測定して得られた全ての受光量及び測定値を取得済みか否か判定する。例えば、判定部343が、使用設定値学習処理の開始から取得部341が取得した受光量及び測定値の少なくとも一方の数が全設定値351中の各属性の設定値Ix,Jx,Kx,Lx,Mx,Nx,Ox・・・の組み合わせの総数と一致するか否かを確認することで全ての受光量及び測定値を取得済みか否か判定する。ステップS909にて、全ての受光量及び測定値を取得済みでないと判定された場合(ステップS909:NO)は、ステップS910に進む。また、ステップS909にて、全ての受光量及び測定値を取得済みであると判定された場合(ステップS909:YES)は、ステップS911に進む。
ステップS910では、変更部344が、受光量及び測定値を取得済みの各属性の設定値Xx(Ix,Jx,Kx,Lx,Mx,Nx,Ox・・・)の組み合わせとは異なる各属性の設定値Xx(Ix,Jx,Kx,Lx,Mx,Nx,Ox・・・)の新たな組み合わせとなるように、各属性の設定値Xxを全設定値351から読み出す。そして、変更部344は、各属性の新たな設定値Xx(Ix,Jx,Kx,Lx,Mx,Nx,Ox・・・)を使用設定値格納領域355に格納し、使用設定値Yyを変更する。また、変更部344は、使用設定値格納領域355に格納された次回使用する使用設定値Yyである各属性の新たな設定値Xx(Ix,Jx,Kx,Lx,Mx,Nx,Ox・・・)をPLC20に送信し、第1制御部22は使用設定値格納領域232に次回使用する使用設定値Yyである各属性の設定値Xxを記憶させ設定する。その後、ステップS901に戻り、各属性の新たな設定値Xxを使用設定値Yyとして使用し、ステップS901からステップS910の処理を各属性の設定値Xxの組み合わせが変更されるごとに繰り返し実行される。なお、ステップS910では、移動平均回数の設定値Lxを変更する場合には、実施の形態3と同様に、変更部344は、測定値取得間隔をサンプリング周期の使用設定値で割ることで得られる許容移動平均回数以下の移動平均回数の設定値Lxに使用設定値Yyを変更する。
ステップS909にて全ての受光量及び測定値を取得済みであると判定された場合(ステップS909:YES)は、ステップS911にて、更新部345は、全ての属性の設定値Xxの組み合わせを使用設定値Yyに用いて全ての受光量及び測定値を取得済みであり使用設定値学習処理が完了しているので、PLC20の第1制御部22に命令を送信し、第1記憶部23に格納されている各属性の使用設定値Yyとして、使用設定値学習処理完了時の最適化設定値格納領域356に保持されている各属性の最適化設定値X_opt(Ix,Jx,Kx,Lx,Mx,Nx,Ox・・・)を保持させる。それらに加え、更新部345は、最適化設定値格納領域356に格納されている各属性の最適化設定値X_opt(Ix,Jx,Kx,Lx,Mx,Nx,Ox・・・の組み合わせ)を、新たな測定レシピの設定値Pxとして、第2記憶部35の全設定値351に追加記憶させる。そして、使用設定値学習処理を終了する。
なお、ステップS911の処理が終了すると使用設定値学習処理を終了することとしているが、ステップS911の後、各属性の最適化設定値X_optを使用して基準ワークの測定値を再取得し、その測定値が目標測定値352の範囲内か否か判定するようにしてもよい。そして、測定値が目標測定値352の範囲内である場合は使用設定値学習処理を終了し、測定値が目標測定値352の範囲外である場合は表示装置31にエラー表示画面を表示させるようにしてもよい。
また、実施の形態14及び実施の形態14の変形例では、測定レシピの設定値Pxに関する使用設定値学習処理と、その他の各属性の設定値Xx(Ix,Jx,Kx,Lx,Mx,Nx,Ox・・・)に関する使用設定値学習処理とを別個に説明したが、これらを組み合わせてもよい。
また、実施の形態14及び実施の形態14の変形例では、機械学習装置36が、強化学習を利用して機械学習する場合について説明したが、機械学習装置36は、他の公知の方法、例えばニューラルネットワーク、遺伝的プログラミング、機能論理プログラミング、サポートベクターマシン等によって機械学習を実行してもよい。
また、実施の形態14及び実施の形態14の変形例では、状態観測部361が、測定値及び受光量を観測するものについて説明したが、測定値のみを観測するようにしてもよい。その場合、図43に示した使用設定値学習処理のステップS902からステップS904は省略すればよい。
また、実施の形態14及び実施の形態14の変形例を組み合わせたものであれば、測定レシピの設定値Pxの調整については、実施の形態10のように、物体検出部40の検出結果に基づいて、測定レシピの設定値Pxの調整を行い、測定レシピの設定値Px以外の各属性の設定値Xx(Ix,Jx,Kx,Lx,Mx,Nx,Ox・・・)について、上述の使用設定値学習処理を行うようにしてもよい。
また、実施の形態14の変形例、並びに、実施の形態14及び実施の形態14の変形例を組み合わせたものであれば、測定レシピの設定値Px及び移動平均回数の設定値Lxの調整については、実施の形態11のように、物体検出部40及び温度センサ50の検出結果に基づいて、測定レシピの設定値Px及び移動平均回数の設定値Lxの調整を行い、測定レシピの設定値Px及び移動平均回数の設定値Lx以外の各属性の設定値Xx(Ix,Jx,Kx,Mx,Nx,Ox・・・)について、上述の使用設定値学習処理を行うようにしてもよい。
また、実施の形態14の変形例、並びに、実施の形態14及び実施の形態14の変形例を組み合わせたものであれば、各属性の設定値Xxのうちの一部を実施の形態1から実施の形態9により調整し、各属性の設定値Xxのうちの残りの一部を実施の形態14の変形例、並びに、実施の形態14及び実施の形態14の変形例を組み合わせたものを行うようにしてもよい。
また、実施の形態14の変形例、並びに、実施の形態14及び実施の形態14の変形例を組み合わせたもののように、学習部363が、状態変数362に基づいて作成される訓練データセットに従って、投光量の使用設定値Yy及びサンプリング周期の使用設定値Yyの両方を学習するものに限られず、学習部363が、状態変数362に基づいて作成される訓練データセットに従って、投光量の使用設定値Yy及びサンプリング周期の使用設定値Yyの少なくとも1つを学習するようにしてもよい。
実施の形態14における変位計10の設定値調整装置では、基準ワークを測定して設定値Xxの中から使用設定値Yyの事前調整を行う際に、状態観測部361が測定値と、基準ワークを測定する際に使用された使用設定値Yyとを含む状態変数を観測し、状態変数に基づいて作成される訓練データセットに従って、学習部363は使用設定値Yyを学習する。そのため、実施の形態1から実施の形態12と同様に、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Yyを学習し調整できるという効果を奏する。また、使用設定値Yyを適切な設定値Xxに更新できるという効果を奏する。
また、実施の形態14における変位計10の設定値調整装置では、変位計10の測定値に基づいて学習した各属性の最適化設定値X_optを、新たな測定レシピの設定値Pxとして全設定値351に追加記憶させるため、例えば、新たな変位計10をPLC20に接続する場合又は測定対象物1を変更した場合等に、追加された新たな測定レシピの設定値Pxを再利用して各属性の使用設定値Yyを設定することができるという効果を奏する。
また、実施の形態14における変位計10の設定値調整装置では、基準ワークを測定して設定値Xxの中から使用設定値Yyの事前調整を行う際には、状態観測部361が取得した受光量と、基準ワークを測定する際に使用された使用設定値Yyとを含む状態変数に基づいて作成される訓練データセットに従って、学習部363は投光量の使用設定値Yy(投光量の設定値Ix)及びサンプリング周期の使用設定値Yy(サンプリングの設定値Mx)を学習する。そのため、実施の形態1から実施の形態12と同様に、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、投光量の使用設定値Yy及びサンプリング周期の使用設定値Yyを学習し調整できるという効果を奏する。また、使用設定値Yyを適切な設定値Ix、Mxに更新できるという効果を奏する。
また、実施の形態14における変位計10の設定値調整装置では、変更部344は、測定値取得間隔をサンプリング周期の使用設定値Yy(サンプリングの設定値Mx)で割ることで得られる許容移動平均回数以下の移動平均回数の設定値Lxに使用設定値Yyを変更する。そのため、実施の形態3と同様に、ユーザが想定するタクトタイムには影響を与えずに、移動平均回数の使用設定値Yyを適切な設定値Lxに自動調整できるという効果を奏する。
実施の形態15.
続いて、実施の形態15の変位計10の設定値調整システムについて図44及び図45を用いて説明する。なお、実施の形態1から13と同じ構成については、説明を省略する。
続いて、実施の形態15の変位計10の設定値調整システムについて図44及び図45を用いて説明する。なお、実施の形態1から13と同じ構成については、説明を省略する。
実施の形態15は、実施の形態14、その変形例又はその組み合わせ例にて、測定レシピの設定値Px及び/又は各属性の設定値Xxの最適化が完了した後に目標測定値352である判定閾値を変更する点が実施の形態14等に対して異なる。
また、実施の形態15では、実施の形態1にて説明を省略した閾値補正部347を用いる。
閾値補正部347は、図6の調整手順のステップS3にてユーザ操作によって設定された目標測定値352、つまり上限閾値と下限閾値とからなる判定閾値の範囲が狭くなるように上限閾値及び下限閾値を補正し再設定する。
ところで、前述の実施の形態14では、図43に示した使用設定値学習処理が完了した際には、最適化設定値格納領域356には、測定レシピの設定値Pxの最適化設定値P_opt及び測定レシピの設定値Pxの最適化設定値P_optに対応付けられたに対応付けられた各属性の設定値Xx(Ix,Jx,Kx,Lx,Mx,Nx,Ox・・・)が格納されることになる。また、第1記憶部23の使用設定値格納領域232に格納されている各属性の使用設定値Yyとして、使用設定値学習処理完了時の最適化設定値格納領域356に保持されている測定レシピの最適化設定値P_optに対応付けられた各属性の設定値Xx(Ix,Jx,Kx,Lx,Mx,Nx,Ox・・・)を保持させることとなる。
また、実施の形態14の変形例又は実施の形態14と実施の形態14を組み合わせた例では、図43に示した使用設定値学習処理が完了した際には、最適化設定値格納領域356には、各属性の最適化設定値X_opt(I_opt,J_opt,K_opt,L_opt,M_opt,N_opt,O_opt・・・)が格納されることになる。また、第1記憶部23の使用設定値格納領域232に格納されている各属性の使用設定値Yyとして、使用設定値学習処理完了時の最適化設定値格納領域356に保持されている各属性の最適化設定値X_optを保持させることとなる。
使用設定値学習処理完了時においては、図6の調整手順のステップS3にてユーザ操作によって設定された上限閾値と下限閾値とからなる判定閾値と、測定値との関係は、設定値Xxが最適化されたことにより、図12に示した測定値の時間変化表示画面75の状態から図44の測定値の時間変化表示画面75に示すようになる。つまり、図12に示したような測定値753が上限閾値751を超えており、複数の測定値が下限閾値752を超えてしまっている状態から、図44に示すように測定値753が上限閾値751及び下限閾値752の範囲内βに収まるようになる。また、測定値は、測定中心距離の位置からの変位量が0となる上限閾値751及び下限閾値752の範囲の中央値に近づくこととなり、例えば、測定値のうちの最大値である最大測定値と最小値である最小測定値の範囲は、図44に示す範囲αとなる。そのため、使用設定値学習処理前にユーザ操作によって設定された上限閾値と下限閾値の範囲を狭くして、測定対象物1の検査を行う際の良品/不良品の判定の精度を高めるために、図45に示す判定閾値補正処理を追加する。
判定閾値補正処理は、例えば、使用設定値学習処理完了した後に図44に示した時間変化表示画面75の判定閾値補正ボタン754に対するユーザ操作を取得部341が受け付けると、開始される。
次に、図45に示されるフローチャートを参照して判定閾値補正処理を説明する。
まず、ステップS920にて、取得部341は、第2記憶部35の目標測定値352を読み出して、判定閾値である上限閾値及び下限閾値を取得する。
そして、ステップS921では、閾値補正部347は、最適化設定値X_optを使用して取得された基準ワークの複数の測定値を取得する。そして、閾値補正部347は、複数の測定値の中から最大測定値と最小測定値とを抽出する。
そして、ステップS922では、閾値補正部347は、上限閾値と最大測定値との差分である第1差分を算出する。
そして、ステップS923では、閾値補正部347は、下限閾値と最小測定値との差分である第2差分を算出する。
そして、ステップS924では、閾値補正部347は、第1差分と第2差分のうち小さい方を調整値として選択する。
そして、ステップS925では、閾値補正部347は、図6のステップS3にてユーザ操作によって設定された上限閾値から調整値を減算し、また、下限閾値に調整値に加算することで、上限閾値及び下限閾値を補正する。そして、補正された上限閾値及び下限閾値からなる判定閾値を目標測定値352として第2記憶部35に格納する。そして、判定閾値補正処理を終了する。
つまり、実施の形態15では、最適化設定値Xxを使用して基準ワークの測定値を複数回取得し、その最大測定値及び最小測定値が含まれる判定閾値の範囲内となるように、且つ、使用設定値学習処理が行われる前の判定閾値の範囲(つまり、ユーザによって設定された上限閾値及び下限閾値の範囲)よりも狭くなるように、判定閾値の範囲が上限閾値と下限閾値が補正される。
実施の形態15における変位計10の設定値調整装置では、閾値補正部347は、使用設定値Yyを学習する前に設定された目標測定値352の範囲よりも補正後の目標測定値352の範囲を狭くし、且つ、使用設定値Yyを使用して取得された基準ワークの測定値が補正後の目標測定値352の範囲内に含まれるよう上限閾値及び下限閾値を補正する。そのため、測定対象物1の検査を行う際に使用する目標測定値352を精度よく補正できる。これにより、良品/不良品の判定の精度を高めることができるという効果を奏する。
実施の形態16.
続いて、実施の形態16の変位計の設定値調整システムについて、図16、図42、図43、図46及び図47を用いて説明する。なお、実施の形態1から14と同じ構成については、説明を省略する。
続いて、実施の形態16の変位計の設定値調整システムについて、図16、図42、図43、図46及び図47を用いて説明する。なお、実施の形態1から14と同じ構成については、説明を省略する。
実施の形態16は、実施の形態14、その変形例又はその組み合わせ例(以下では実施の形態14等と省略する)にて、使用設定値学習処理が行われた後の最適化設定値X_optに基づいて測定対象物1の検査を行う際にも、使用設定値学習処理が行われる点が実施の形態14等とは異なる。以下では、実施の形態14等にて、第1変位計10Aを用いて使用設定値学習処理が行われた後、第1変位計10Aの測定値である検査用測定値を用いて測定対象物1の検査をし、それと並行してPLC20の第1通信I/F部21に新たに接続された第2変位計10Bの受光量である学習用受光量及び第2変位計10Bの測定値である学習用測定値を用いて、より最適な使用設定値Yyを学習する例について説明する。
図46に示すように、実施の形態16の変位計の設定値調整システムは、複数の第1変位計10Aと第2変位計10Bとを含む。第1変位計10Aと第2変位計10Bは、例えば、光学式変位計である。図46に示した例では、測定対象物1がY方向にベルトコンベア等で移送される場合に、第2変位計10Bは上流側に配置され、第1変位計10Aは下流側に配置している。但し、これに限るものではなく、第1変位計10Aが上流側に配置され、第2変位計10Bが下流側に配置されてもよい。また、第1変位計10Aと第2変位計10Bとは、測定対象物1に対して同じ測定条件となるよう設置されている。具体的には、第2変位計10Bから測定対象物1までの距離は、第1変位計10Aから測定対象物1までの距離と等しくなるように第1変位計10A及び第2変位計10Bを設置するとともに、第2変位計10Bの設置方法(拡散反射設置又は正反射設置)は、第1変位計10Aの設置方法と同じ設置方法とする。
そして、実施の形態16のPLC20の第1記憶部23は、図47に示すように、第1変位計10Aの使用設定値Yyを格納する第1使用設定値格納領域232Aと、第2変位計10Bの使用設定値Yyを格納する第2使用設定値格納領域232Bと、を含む。
第1使用設定値格納領域232Aには、基準ワークを用いて使用設定値学習処理が完了した時に設定された使用設定値Yy、つまり、実施の形態14等にて、基準ワークを用いて使用設定値学習処理が完了した時に最適化設定値格納領域356に格納された最適化設定値X_optと同じものが格納されている。第1使用設定値格納領域232Aに格納された各属性の使用設定値Yyは、測定対象物1の検査に用いられる使用設定値Yyである。
第2使用設定値格納領域232Bには、使用設定値Yyが格納されるものの、より最適な使用設定値Yyを学習するべく、測定対象物1を検査するのと並行して実施の形態14の同様に使用設定値Yyが順次変更され格納される。第2使用設定値格納領域232Bには、最初は、第1使用設定値格納領域232Aと同様に、基準ワークを用いて使用設定値学習処理が完了した時に最適化設定値格納領域356に格納された最適化設定値X_optと同じものが格納されている。
実施の形態16のPC30Aについては、図42に示した実施の形態14等のPC30Aを用いる。
第1変位計10Aは、測定対象物1の検査を行うための変位計である。第1変位計10Aのレーザダイオード3は、検査対象としての測定対象物1に投光する第1光源である。また、第1変位計10Aのイメージセンサ6は、検査対象としての測定対象物1からの第1反射光を受光し第1受光信号を出力する第1受光部である。PLC20は、第1使用設定値格納領域232Aに格納された使用設定値Yy(つまり基準ワークを用いて使用設定値学習処理が完了した時に最適化設定値格納領域356に格納された最適化設定値X_optと同じ)に従って制御プログラム231を実行する。そして、PC30の取得部341は、図16に示した検査処理のステップS1001にて、PLC20を介して、第1変位計10Aから受信した第1受光信号に基づいた検査対象としての測定対象物1の変位量を示す検査用測定値を取得する。そして、PC30の判定部343は、図16に示した検査処理のステップS1002からステップS1005を引き続き実行し、測定対象物1が良品か不良品であるかを判定する。
第2変位計10Bは、測定対象物1の検査中に、より最適な使用設定値Yyを学習するために学習用受光量及び検査対象の変位量を示す学習用測定値を取得するための変位計である。第2変位計10Bのレーザダイオード3は、検査対象としての測定対象物1に投光する第2光源である。また、第2変位計10Bのイメージセンサ6は、検査対象としての測定対象物からの第2反射光を受光し第2受光信号を出力する第2受光部である。PLC20は、第2使用設定値格納領域232Bに格納された使用設定値Yyに従って制御プログラム231を実行し、第2変位計10Bから学習用受光量及び学習用測定値を取得する。そして、PC30は、図43に示した使用設定値学習処理を実行し、より最適な使用設定値Yyを学習する。なお、第2変位計10Bは、第1変位計10Aが検査用測定値を取得した時と同じ測定対象物1からの反射光を第2反射光として受光して第2受光信号を出力するように制御プログラム231で制御してもよい。また、同様の複数の測定対象物1がベルトコンベア等で移動するような場合であれば、第1変位計10Aが検査のために測定した測定対象物1とは異なる測定対象物1からの受光量及び測定値を学習用受光量及び学習用測定値として取得してもよい。
続いて、第1変位計10Aによる検査処理と第2変位計10Bによる使用設定値学習処理について、図16及び図43を参照しながら説明する。
なお、前述のように、基準ワークを用いた使用設定値学習処理が完了した状態であり、基準ワークを用いた使用設定値学習処理が完了した時の最適化設定値格納領域356に格納された最適化設定値X_optが、第1使用設定値格納領域232Aに既に格納されているものとする。
先に、第1変位計10Aの測定値による検査処理について図16を参照しながら説明する。
まず、ステップS1001では、PLC20の第1制御部22が第1使用設定値格納領域232Aの使用設定値Yyに従って制御プログラム231を実行することで取得された第1変位計10Aからの検査用測定値を、PC30の取得部341が取得する。
そして、PC30の判定部343は、ステップS1002にて、実施の形態1と同様に、第1変位計10Aからの検査用測定値が目標測定値352の範囲内であるか判定する。そして、ステップS1003からステップS1005を引き続き実行し、検査対象としての測定対象物1が良品か不良品であるかを判定する。
続いて、第2変位計10Bの学習用受光量及び学習用測定値による使用設定値学習処理について図43を参照しながら説明する。第2変位計10Bの学習用受光量及び学習用測定値による使用設定値学習処理は、第1変位計10Aの検査用測定値による検査処理と並行して行われる。
まず、ステップS900では、設定部342は、最適化設定値格納領域356に格納されている各属性の最適化設定値X_optを読み出して使用設定値格納領域355及び第2使用設定値格納領域232Bに格納し、第2変位計10Bの使用する使用設定値Yyとして設定する。
そして、ステップS901では、状態観測部361は、PLC20及びPC30の取得部341を介して、第2使用設定値格納領域232Bに格納されている使用設定値Yyを使用して取得した第2変位計10Bの学習用受光量及び学習用測定値と、使用設定値格納領域355に格納されている使用設定値Yyと、を状態変数362として観測する。ここで、状態観測部361が観測する状態変数362である使用設定値格納領域355に格納されている使用設定値Yyは、第2変位計10Bが検査対象である測定対象物1を測定し学習用受光量及び学習用測定値を取得した際に使用された第2使用設定値格納領域232Bに格納されている使用設定値Yyと同じである。そして、実施の形態14等と同様に、状態観測部361は、状態変数362を報酬計算部364に送る。なお、第2変位計10Bの取得する学習用受光量及び学習用測定値は、第1変位計10Aが検査する検査対象と同じ測定対象物1からの受光量及び測定値である。そして、ステップS902に進む。
ステップS902では、実施の形態14等と同様に、報酬計算部364は、状態観測部361から今回取得した学習用受光量が、これまで過去に取得した、目標受光量353に最も近い学習用受光量よりも目標受光量353により近い値であるか否かを判定する。そして、ステップS903及びステップS904では、実施の形態14等と同様に、報酬計算部364は、報酬を増大させ、又は、報酬を減少させ、その後にステップS905に進む。
ステップS905では、実施の形態14等と同様に、報酬計算部364は、状態観測部361から今回取得した学習用測定値が、これまで過去に取得した、目標測定値352に最も近い学習用測定値よりも目標測定値352により近い値であるか否かを判定する。そして、ステップS906及びステップS907では、実施の形態14等と同様に、報酬計算部364は、報酬を増大させ、又は、報酬を減少させ、その後にステップS908に進む。
ステップS908では、実施の形態14等と同様に、関数更新部365は、増大又は減少させた報酬に基づいて行動価値関数Q(st,at)を更新し、更新した行動価値関数Q(st,at)を第2記憶部35に送信し記憶させる。また、関数更新部365は、第2制御部34の更新部345に命令し、更新部345は、学習用測定値及び学習用受光量を検査対象である測定対象物1から取得した際の過去の使用設定値Yy(今回の使用設定値Yyも含む)の中で最も報酬の高い使用設定値Yyを最適化設定値格納領域356に記憶させる。そして、ステップS909に進む。
ステップS909では、実施の形態14等と同様に、判定部343は、全ての使用設定値Yyを用いて検査対象である測定対象物1を測定して得られた全ての学習用受光量及び学習用測定値を取得済みか否か判定する。ステップS909にて全ての学習用受光量及び学習用測定値を取得済みでないと判定された場合(ステップS909:NO)は、ステップS910に進む。
ステップS910では、変更部344が、実施の形態14等と同様に、前回とは異なる各属性の設定値Xx(Ix,Jx,Kx,Lx,Mx,Nx,Ox・・・)の組合せを使用設定値格納領域355及び第2使用設定値格納領域232Bに格納し、第2変位計10Bの使用する使用設定値Yyを変更する。その後、ステップS901に戻り、新たな使用設定値Yyを使用して、ステップS901からステップS910の処理が繰り返し実行される。
ステップS909にて全ての学習用受光量及び学習用測定値を取得済みであると判定された場合(ステップS909:YES)は、ステップS911にて更新部345は、PLC20の第1制御部22に命令を送信し、使用設定値学習処理完了時の最適化設定値格納領域356に保持されている各属性の設定値X_opt(I_opt,J_opt,K_opt,L_opt,M_opt,N_opt,O_opt・・・。なお、測定レシピの最適化設定値P_optに対応付けられた各属性の設定値Xxでもよい。)を第1使用設定値格納領域232Aに格納し、第1変位計10Aが使用する各属性の使用設定値Yyとして保持させる。また、更新部345は、最適化設定値格納領域356に格納されている各属性の最適化設定値X_optを、新たな測定レシピの設定値Pxとして、第2記憶部35の全設定値351に追加記憶させる。
そして、使用設定値学習処理を終了する。但し、これに限らず、第1変位計10Aの検査用測定値による検査処理が継続している間は、使用設定値学習処理を最初から繰り返してもよい。また、使用設定値学習処理の終了時に、実施の形態15の判定閾値補正処理を更に実行するようにしてもよい。
また、実施の形態16では、状態観測部361が、第2変位計10Bの学習用測定値及び学習用受光量の両方を観測するものについて説明したが、学習用測定値のみを観測するようにしてもよい。その場合、図43に示した使用設定値学習処理のステップS902からステップS904は省略すればよい。
実施の形態16における変位計の設定値調整装置では、判定部343が検査対象である測定対象物1を第1変位計10Aが測定して取得された検査用測定値が目標測定値の範囲内であるか判定することにより検査を行っている間に、第2変位計10Bから取得した学習用測定値と第2変位計10Bによって検査対象を測定した際に使用された使用設定値Yyとを含む状態変数に基づいて作成される訓練データセットに従って、学習部363は使用設定値Yyを学習する。第1変位計10Aの検査用測定値に基づいて検査対象を検査している間にも第2変位計10Bの学習用測定値に基づき使用設定値Yyを学習するため、第1変位計10Aによる検査対象の検査には影響を与えることなく、検査中に環境変化などがあった場合であっても、より適切な使用設定値Yyを探索することができるという効果を奏する。
また、実施の形態16における変位計の設定値調整装置では、第2変位計10Bの学習用測定値に基づいて学習した使用設定値Yyを、第1変位計10Aが使用する使用設定値Yyとして保持させて更新するため、より適切な使用設定値Yyに調整した上で検査対象の検査を継続できるという効果を奏する。
また、実施の形態16における変位計の設定値調整装置では、第2変位計10Bの学習用測定値に基づいて学習した各属性の最適化設定値X_optを、新たな測定レシピの設定値Pxとして全設定値351に追加記憶させるため、例えば、新たな変位計10をPLC20に接続する場合又は測定対象物1を変更した場合等に、追加された新たな測定レシピの設定値Pxを再利用して各属性の使用設定値Yyを設定することができるという効果を奏する。
また、実施の形態16における変位計の設定値調整装置では、判定部343が検査対象である測定対象物1を第1変位計10Aが測定して取得された検査用測定値が目標測定値の範囲内であるか判定することにより検査を行っている間に、第2変位計10Bから取得した学習用受光量を更に含む状態変数に基づいて作成される訓練データセットに従って、学習部363は投光量の使用設定値Yy及びサンプリング周期の使用設定値Yyを学習する。第1変位計10Aの検査用測定値に基づいて検査対象を検査している間にも第2変位計10Bの学習用受光量に基づき投光量の使用設定値Yy及びサンプリング周期の使用設定値Yyを学習するため、第1変位計10Aによる検査対象の検査には影響を与えることなく、検査中に環境変化などがあった場合であっても、より適切な投光量の使用設定値Yy及びサンプリング周期の使用設定値Yyを探索することができるという効果を奏する。
その他の変形例.
実施の形態1から実施の形態16では、三角測量の原理を応用した光学式変位計10の使用設定値調整処理又は使用設定値学習処理について説明したが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、測定対象物1への照射光と反射光が同じ軸となるよう配置された同軸共焦点方式の光学式変位計等の他方式の光学式変位計の使用設定値を事前調整する場合も、本発明の範囲に含まれる。
実施の形態1から実施の形態16では、三角測量の原理を応用した光学式変位計10の使用設定値調整処理又は使用設定値学習処理について説明したが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、測定対象物1への照射光と反射光が同じ軸となるよう配置された同軸共焦点方式の光学式変位計等の他方式の光学式変位計の使用設定値を事前調整する場合も、本発明の範囲に含まれる。
実施の形態1から実施の形態16では、光学式変位計10の使用設定値調整処理又は使用設定値学習処理について説明したが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、i)検出コイルに交流電流を流して磁束を発生させ、金属の測定対象物1に起因して検出コイルのインダクタンスの変化量から検出コイルと測定対象物1間の変位量を計測する誘導形近接センサ、ii)送波器により測定対象物1に向け超音波を発信し、その反射波を受波器で受信し、超音波の発信から受信までに要した時間と音速との関係を演算することで変位量を計測する超音波変位センサ、iii)送信器により測定対象物1に向けミリ波等の電磁波を発信し、その反射波を受信器で受信し、電磁波の強度の減衰量等から変位量を計測する電磁波を用いた変位センサ、触針が測定対象物1に接触することで変位量を計測する接触式変位センサ等の他方式の変位計の使用設定値を事前調整する場合も、本発明の範囲に含まれる。
実施の形態16では、2つの変位計がPLC20に接続される場合について説明したが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、3つ以上の変位計がPLC20に接続されてもよい。この場合、3つ以上の変位計のうちの1つの第1変位計を検査用測定値を測定する変位計とし、残りの2つ以上の変位計を学習用受光量及び学習用測定値を測定する変位計としてもよい。学習用受光量及び学習用測定値を測定する残りの2つ以上の変位計は、例えば、一つの変位計が測定モードの使用設定値を探索し、他の変位計が投光量の使用設定値を探索するといったように、それぞれ別の使用設定値Yyを探索するようにしてもよい。
本発明は広義の精神と範囲を逸脱することなく、様々な実施形態及び変形が可能とされるものである。また、上述した実施形態は、本発明を説明するためのものであり、本発明の範囲を限定するものではない。つまり、本発明の範囲は、実施形態ではなく、請求の範囲によって示される。そして、請求の範囲内及びそれと同等の発明の意義の範囲内で施される様々な変形が、本発明の範囲内とみなされる。
1 測定対象物、2 駆動回路、3 レーザダイオード、4 投光レンズ、5 受光レンズ、6 イメージセンサ、7 読出回路、8 背景部材、10 変位計、10A 第1変位計、10B 第2変位計、11 減光フィルタ、20 PLC、21 第1通信I/F部、22 第1制御部、23 第1記憶部、30,30A PC、31 表示装置、32 入力装置、33 第2通信I/F部、34 第2制御部、35 第2記憶部、36 機械学習装置、40 物性検出部、41 第1検出部、42 第2検出部、43 第3検出部、44 第4検出部、50 温度センサ、51 振動センサ、60 測定レシピテーブル、70 測定対象値選択画面、71 基準ワーク設置通知画面、72 判定閾値設定画面、73 測定値取得間隔設定画面、74 測定値表示画面、75 測定値の時間変化表示画面、76 受光量波形表示画面、77 減光フィルタ装着通知画面、231 制御プログラム、232 使用設定値格納領域、232A 第1使用設定値格納領域、232B 第2使用設定値格納領域、341 取得部、342 設定部、343 判定部、344 変更部、345 更新部、347 閾値補正部、351 全設定値、352 目標設定値、354 ユーザ条件格納領域、355 使用設定値格納領域、361 状態観測部、362 状態変数、363 学習部、364 報酬計算部、365 関数更新部、431 触針、701 測定対象値選択枠、702 設定ボタン、710,722,731,732 ボタン、720,721,730 入力枠、740,741 測定値表示枠、750 分布図、751 上限閾値、752 下限閾値、753 測定値、754 判定閾値補正ボタン、760,761,762 表示領域
Claims (26)
- 測定対象物の基準となる基準ワークに投光する光源と、前記基準ワークからの反射光を受光し受光信号を出力する受光部と、を含む変位計から受信した前記受光信号に基づいて前記基準ワークの変位量を示す測定値を取得する取得部と、
前記基準ワークを測定する際の測定条件を規定する設定値と、前記測定値と比較するための目標測定値と、を記憶し、前記基準ワークを測定する際に使用する前記設定値である使用設定値を格納する格納領域を有する記憶部と、
前記使用設定値を用いて前記基準ワークを測定した際に、前記取得部によって取得された前記測定値が、前記目標測定値の範囲内か否か判定する判定部と、
前記使用設定値を変更する変更部と、
を備え、
前記測定値が前記目標測定値の範囲内であると判定された場合、該測定値を取得した時の前記使用設定値を、前記測定対象物を検査する際に使用する前記使用設定値に設定し、
前記測定値が前記目標測定値の範囲外であると判定された場合、前記変更部は、前記測定値を取得した時とは異なる前記使用設定値に変更し、前記取得部は、該使用設定値を用いて前記基準ワークを測定して前記測定値を取得し、前記判定部は、該使用設定値を用いて測定された前記測定値が、前記目標測定値の範囲内か否か判定する、
変位計の設定値調整装置。
- 前記変更部によって変更される前の前記使用設定値である第1使用設定値を用いて測定された第1測定値と、前記変更部によって変更された後の前記使用設定値である第2使用設定値を用いて測定された第2測定値とのうち前記目標測定値に近い前記測定値を取得した時の前記使用設定値を、前記測定対象物を測定する際に使用する前記使用設定値として更新する更新部、
を更に備える請求項1に記載の変位計の設定値調整装置。
- 前記取得部が前記測定値を取得する間隔である測定値取得間隔を指定するユーザ操作を受付ける受付部を更に備え、
前記設定値は、移動平均法により前記測定値をフィルタリング処理する移動平均フィルタの前記設定値と、前記移動平均フィルタの移動平均回数の前記設定値と、前記受光部から前記受光信号を読み出す周期であるサンプリング周期の前記設定値と、を含み、
前記変更部は、前記測定値取得間隔を前記サンプリング周期の前記使用設定値で割ることで得られる許容移動平均回数以下の前記移動平均回数の前記設定値に前記使用設定値を変更する、
請求項1に記載の変位計の設定値調整装置。
- 前記設定値は、前記光源から前記基準ワークに照射する光の投光量の前記設定値、及び、前記受光部から前記受光信号を読み出す周期であるサンプリング周期の前記設定値の少なくとも1つを含み、
前記取得部は、前記受光信号に基づいて前記基準ワークから前記反射光を受光した前記受光部の受光量を取得し、
前記記憶部は、前記受光量と比較するための目標受光量を更に記憶し、
前記判定部は、前記投光量及び前記サンプリング周期の少なくとも1つの前記使用設定値を用いて前記基準ワークを測定した際に、前記取得部によって取得された前記受光量が、前記目標受光量の範囲内か否か判定し、
前記変更部は、前記投光量及び前記サンプリング周期の少なくとも1つの前記使用設定値を変更し、
前記測定値が前記目標測定値の範囲内であると判定された場合、該測定値を取得した時の前記使用設定値を、前記測定対象物を検査する際に使用する前記使用設定値に設定し、
前記測定値が前記目標測定値の範囲外であると判定され、且つ、前記受光量が前記目標受光量の範囲外であると判定された場合、前記変更部は、前記測定値を取得した時とは異なる前記投光量及び前記サンプリング周期の少なくとも1つの前記使用設定値に変更し、前記取得部は、該使用設定値を用いて前記基準ワークを測定して前記測定値を取得し、前記判定部は、該使用設定値を用いて測定された前記測定値が、前記目標測定値の範囲内か否か判定する、
請求項1に記載の変位計の設定値調整装置。
- 前記変更部によって変更される前の前記投光量及び前記サンプリング周期の少なくとも1つの前記使用設定値である第1使用設定値を用いて取得された第1受光量と、前記変更部によって変更された後の前記投光量及び前記サンプリング周期の少なくとも1つの前記使用設定値である第2使用設定値を用いて取得された第2受光量とのうち前記目標受光量に近い前記受光量を取得した時の前記使用設定値を、前記測定対象物を測定する際に使用する前記使用設定値として更新する更新部、
を更に備える請求項4に記載の変位計の設定値調整装置。
- 前記設定値の調整対象の属性は、複数あり、
複数の前記属性は、
前記光源から前記基準ワークに照射する光の投光量と、
前記受光部から前記受光信号を読み出す周期であるサンプリング周期と、
前記受光部からの前記受光信号に基づいた受光量の波形である受光量波形のピーク位置を取得するための測定モードと、
移動平均法により前記測定値をフィルタリング処理する移動平均フィルタ、前記受光量波形についてカットオフ周波数よりも高い周波数を逓減させるローパスフィルタ及び前記受光量波形について前記カットオフ周波数よりも低い周波数を逓減させるハイパスフィルタを含むフィルタ種類と、
前記測定値を前記移動平均フィルタにより前記フィルタリング処理する際の移動平均回数と、
前記カットオフ周波数と、
前記測定対象物の屈折率と、のうちの2つ以上を含むとともに、
前記測定対象物の物性に応じて、複数の前記属性の前記設定値が設定された測定レシピを更に含み、
前記変更部は、複数の前記属性のうち、前記測定レシピの前記使用設定値を変更し、
前記測定値が前記目標測定値の範囲内であると判定された場合、前記測定対象物を検査する際に使用する前記使用設定値として、前記目標測定値の範囲内であると判定された前記測定値を取得した時の前記測定レシピに対応付けられた複数の前記属性の前記使用設定値を使用し、
前記判定部は、前記変更部によって変更された前記測定レシピに対応付けられた複数の前記属性の前記使用設定値を用いて測定された前記測定値が前記目標測定値の範囲外であると判定した場合、前記変更部は、前記調整対象の前記属性を複数の前記属性のうち前記測定レシピとは異なる前記属性に変更し、前記測定レシピとは異なる前記属性の前記使用設定値を変更する、
請求項1又は2に記載の変位計の設定値調整装置。
- 前記設定値の調整対象の属性は、複数あり、
複数の前記属性は、第1属性として、
前記光源から前記基準ワークに照射する光の前記投光量と、
前記受光部から前記受光信号を読み出す周期である前記サンプリング周期と、のうちの少なくとも1つを含むとともに、
複数の前記属性は、第2属性として、
前記受光部からの前記受光信号に基づいた前記受光量の波形である受光量波形のピーク位置を取得するための測定モードと、
移動平均法により前記測定値をフィルタリング処理する移動平均フィルタ、前記受光量波形についてカットオフ周波数よりも高い周波数を逓減させるローパスフィルタ及び前記受光量波形について前記カットオフ周波数よりも低い周波数を逓減させるハイパスフィルタを含むフィルタ種類と、
前記測定値を前記移動平均フィルタにより前記フィルタリング処理する際の移動平均回数と、
前記カットオフ周波数と、
前記測定対象物の屈折率と、のうちの少なくとも1つを含むとともに、
前記変更部は、前記第1属性の前記使用設定値を変更し、
前記測定値が前記目標測定値の範囲内であると判定された場合、該測定値を取得した時の前記第1属性の前記使用設定値を、前記測定対象物を検査する際に使用する前記第1属性の前記使用設定値に設定し、
前記測定値が前記目標測定値の範囲外であると判定され、且つ、前記受光量が前記目標受光量の範囲外であると判定された場合、前記変更部は、前記調整対象の前記属性を前記第1属性から前記第2属性に変更し、前記第2属性の前記使用設定値を変更する、
請求項4に記載の変位計の設定値調整装置。
- 前記設定値の調整対象の属性は、前記光源から前記基準ワークに照射する光の前記投光量と、前記受光部から前記受光信号を読み出す周期である前記サンプリング周期と、を含み、
前記変更部は、前記サンプリング周期の前記使用設定値の変更の前に、前記投光量の前記使用設定値を変更し、
前記測定値が前記目標測定値の範囲内であると判定された場合、該測定値を取得した時の前記投光量の前記使用設定値を、前記測定対象物を検査する際に使用する前記投光量の前記使用設定値に設定し、
前記判定部は、前記変更部によって変更された前記投光量の前記使用設定値を用いて測定された前記測定値が前記目標測定値の範囲外、且つ、前記受光量が前記目標受光量の範囲外であると判定した場合、前記変更部は、前記調整対象の前記属性を前記投光量から前記サンプリング周期に変更し、前記サンプリング周期の前記使用設定値を変更する、
請求項4に記載の変位計の設定値調整装置。
- 前記設定値の調整対象の属性は、複数あり、
複数の前記属性は、移動平均法により前記測定値をフィルタリング処理する移動平均フィルタを少なくとも含むフィルタ種類、及び、前記測定値を前記移動平均フィルタにより前記フィルタリング処理する際の移動平均回数を含み、
前記変更部は、前記移動平均回数の前記使用設定値の変更の前に、前記フィルタ種類の前記使用設定値を変更し、
前記フィルタ種類の前記使用設定値が確定した後に、前記変更部は、前記調整対象の前記属性を前記フィルタ種類から前記移動平均回数に変更し、前記移動平均回数の前記使用設定値を変更する、
請求項1又は2に記載の変位計の設定値調整装置。
- 前記設定値の調整対象の属性は、複数あり、
複数の前記属性は、受光量波形についてカットオフ周波数よりも高い周波数を逓減させるローパスフィルタ及び前記受光量波形について前記カットオフ周波数よりも低い周波数を逓減させるハイパスフィルタの少なくとも1つを含むフィルタ種類、及び、前記カットオフ周波数を含み、
前記変更部は、前記カットオフ周波数の前記使用設定値の変更の前に、前記フィルタ種類の前記使用設定値を変更し、
前記フィルタ種類の前記使用設定値が確定した後に、前記変更部は、前記調整対象の前記属性を前記フィルタ種類から前記カットオフ周波数に変更し、前記カットオフ周波数の前記属性の前記使用設定値を変更する、
請求項1又は2に記載の変位計の設定値調整装置。
- 前記取得部は、前記基準ワークの物性を検出する物性検出部からの検出値を更に取得し、
前記設定値の調整対象の属性は、複数あり、
複数の前記属性は、
前記光源から前記基準ワークに照射する光の投光量と、
前記受光部から前記受光信号を読み出す周期であるサンプリング周期と、
前記受光部からの前記受光信号に基づいた受光量の波形である受光量波形のピーク位置を取得するための測定モードと、
移動平均法により前記測定値をフィルタリング処理する移動平均フィルタ、前記受光量波形についてカットオフ周波数よりも高い周波数を逓減させるローパスフィルタ及び前記受光量波形について前記カットオフ周波数よりも低い周波数を逓減させるハイパスフィルタを含むフィルタ種類と、
前記測定値を前記移動平均フィルタにより前記フィルタリング処理する際の移動平均回数と、
前記カットオフ周波数と、
前記測定対象物の屈折率と、のうちの2つ以上を含むとともに、
前記測定対象物の物性に応じて、複数の前記属性の前記設定値が設定された測定レシピを更に含み、
前記変更部は、前記物性検出部の前記検出値に基づいて前記測定レシピの前記使用設定値を変更し、
前記測定値が前記目標測定値の範囲内であると判定された場合、該測定値を取得した時の前記測定レシピに対応付けられた複数の前記属性の前記使用設定値を、前記測定対象物を検査する際に使用する前記使用設定値に設定する、
請求項1又は2に記載の変位計の設定値調整装置。
- 前記取得部は、前記基準ワークの物性を検出する物性検出部からの検出値を更に取得し、
前記設定値は、移動平均法により前記測定値をフィルタリング処理する移動平均フィルタの前記設定値を含み、
前記変更部は、前記物性検出部の前記検出値に基づいて移動平均回数の前記使用設定値を変更し、
前記測定値が前記目標測定値の範囲内であると判定された場合、該測定値を取得した時の前記移動平均回数の前記使用設定値を、前記測定対象物を検査する際に使用する前記移動平均回数の前記使用設定値に設定する、
請求項1又は2に記載の変位計の設定値調整装置。
- 前記取得部は、前記変位計の温度を検出する温度検出部の検出温度を更に取得し、
前記変更部は、前記温度検出部の前記検出温度が高いほど前記移動平均回数が増加するよう前記移動平均回数の前記使用設定値を変更する、
請求項12に記載の変位計の設定値調整装置。
- 前記取得部は、前記変位計の振動を検出する振動検出部の検出値を更に取得し、
前記変更部は、前記振動検出部の前記検出値が大きいほど前記移動平均回数が増加するよう前記移動平均回数の前記使用設定値を変更する、
請求項12に記載の変位計の設定値調整装置。
- 測定対象物の基準となる基準ワークを測定する際の測定条件を規定し、初期値を含む設定値、及び、測定結果の可否を判定するための目標測定値、が格納されている記憶部と、
前記初期値を前記測定対象物を測定する際に使用する使用設定値に設定する設定部と、
前記初期値を用いて、前記基準ワークの変位量を示す測定値を取得する取得部と、
前記取得部によって取得された、前記初期値に基づく前記測定値が、前記目標測定値の範囲内であるか否かを判定する判定部と、
前記使用設定値を前記初期値とは異なる前記設定値に変更する変更部と、
を備える変位計の設定値調整装置であって、
前記測定値が前記目標測定値の範囲内である場合は、前記設定部が設定した前記初期値を前記使用設定値として使用し、
前記測定値が前記目標測定値の範囲外である場合は、前記変更部は、前記使用設定値を前記初期値とは異なる前記設定値に変更する、
変位計の設定値調整装置。
- 測定対象物の基準となる基準ワークに投光する光源と、前記基準ワークからの反射光を受光し受光信号を出力する受光部と、を含む変位計から受信した前記受光信号に基づいて前記基準ワークの変位量を示す測定値を取得する取得部と、
前記基準ワークを測定する際の測定条件を規定する設定値と、前記測定値と比較するための目標測定値と、を記憶し、前記基準ワークを測定する際に使用する前記設定値である使用設定値を格納する格納領域を有する記憶部と、
前記取得部の取得した前記測定値と、前記基準ワークを測定する際に使用された前記使用設定値と、を状態変数として観測する状態観測部と、
前記状態変数に基づいて作成される訓練データセットに従って、前記使用設定値を学習する学習部と、
を備える変位計の設定値調整装置。
- 前記学習部は、前記状態変数に基づいて報酬を計算する報酬計算部と、
前記報酬に基づいて、前記使用設定値を決定するための関数を更新する関数更新部と、
を備える請求項16に記載の変位計の設定値調整装置。
- 前記報酬計算部は、今回の測定値がこれまでの最も前記目標測定値に近い前記測定値よりも前記目標測定値に近い場合は、前記報酬を増大させ、前記今回の測定値がこれまでの最も前記目標測定値に近い前記測定値よりも前記目標測定値から遠い場合は、前記報酬を減少させる、
請求項17に記載の変位計の設定値調整装置。
- 前記設定値は、前記光源から前記基準ワークに照射する光の投光量の前記設定値、及び、前記受光部から前記受光信号を読み出す周期であるサンプリング周期の前記設定値の少なくとも1つを含み、
前記取得部は、前記受光信号に基づいて前記基準ワークから前記反射光を受光した前記受光部の受光量を取得し、
前記記憶部は、前記受光量と比較するための目標受光量を更に記憶し、
前記状態観測部は、前記取得部の取得した前記受光量を前記状態変数として更に観測し、
前記学習部は、前記状態変数に基づいて作成される前記訓練データセットに従って、前記投光量の前記使用設定値及び前記サンプリング周期の前記使用設定値の少なくとも1つを学習する、
請求項17又は18に記載の変位計の設定値調整装置。
- 前記報酬計算部は、今回の受光量がこれまでの最も前記目標受光量に近い前記受光量よりも前記目標受光量に近い場合は、前記報酬を増大させ、前記今回の受光量がこれまでの最も前記目標受光量に近い前記受光量よりも前記目標受光量から遠い場合は、前記報酬を減少させる、
請求項19に記載の変位計の設定値調整装置。
- 前記関数更新部は、前記報酬に従って、前記関数を示す行動価値テーブルを更新する、
請求項17から請求項20のいずれか一項に記載の変位計の設定値調整装置。
- 前記目標測定値は、上限閾値と下限閾値とを含み、
前記使用設定値を学習する前に設定された前記目標測定値の範囲よりも補正後の前記目標測定値の範囲を狭くし、且つ、前記使用設定値を使用して取得された前記基準ワークの前記測定値が前記補正後の前記目標測定値の範囲内に含まれるよう前記上限閾値及び前記下限閾値を補正する閾値補正部を更に備える、
請求項16から請求項21のいずれか一項に記載の変位計の設定値調整装置。
- 前記取得部は、検査対象に投光する第1光源と前記検査対象からの第1反射光を受光し第1受光信号を出力する第1受光部とを含む第1変位計から受信した前記第1受光信号に基づいて前記検査対象の前記変位量を示す検査用測定値を取得し、前記検査対象に投光する第2光源と前記検査対象からの第2反射光を受光し第2受光信号を出力する第2受光部とを含む第2変位計から受信した前記第2受光信号に基づいて前記検査対象の前記変位量を示す学習用測定値を取得し、
前記検査用測定値が前記目標測定値の範囲内であるか否かを判定する判定部を更に備え、
前記状態観測部は、前記学習用測定値と、前記第2変位計によって前記検査対象を測定した際に使用された前記使用設定値と、を前記状態変数として観測し、
前記学習部は、前記学習用測定値を含む前記状態変数に基づいて作成される前記訓練データセットに従って、前記使用設定値を学習する、
請求項17に記載の変位計の設定値調整装置。
- 前記報酬計算部は、今回の学習用測定値がこれまでの最も前記目標測定値に近い前記学習用測定値よりも前記目標測定値に近い場合は、前記報酬を増大させ、前記今回の学習用測定値がこれまでの最も前記目標測定値に近い前記学習用測定値よりも前記目標測定値から遠い場合は、前記報酬を減少させる、
請求項23に記載の変位計の設定値調整装置。
- 前記設定値は、前記第2光源から前記検査対象に照射する光の投光量の前記設定値、及び、前記第2受光部から前記第2受光信号を読み出す周期であるサンプリング周期の前記設定値の少なくとも1つを含み、
前記取得部は、前記第2受光信号に基づいて前記検査対象から前記第2反射光を受光した前記第2受光部の学習用受光量を取得し、
前記状態観測部は、前記取得部の取得した前記学習用受光量を前記状態変数として更に観測し、
前記学習部は、前記学習用受光量を含む前記状態変数に基づいて作成される前記訓練データセットに従って、前記投光量の前記使用設定値及び前記サンプリング周期の前記使用設定値の少なくとも1つを学習する、
請求項23又は24に記載の変位計の設定値調整装置。
- 前記記憶部は、前記学習用受光量と比較するための目標受光量を更に記憶し、
前記報酬計算部は、今回の学習用受光量がこれまでの最も前記目標受光量に近い前記学習用受光量よりも前記目標受光量に近い場合は、前記報酬を増大させ、前記今回の学習用受光量がこれまでの最も前記目標受光量に近い前記学習用受光量よりも前記目標受光量から遠い場合は、前記報酬を減少させる、
請求項25に記載の変位計の設定値調整装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201980093667.1A CN113544464B (zh) | 2019-03-11 | 2019-03-11 | 位移计的设定值调整装置 |
US17/423,907 US11592555B2 (en) | 2019-03-11 | 2019-03-11 | Setting value adjustment device for displacement meter |
JP2020518092A JP6741188B1 (ja) | 2019-03-11 | 2019-03-11 | 変位計の設定値調整装置 |
PCT/JP2019/009652 WO2020183558A1 (ja) | 2019-03-11 | 2019-03-11 | 変位計の設定値調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2019/009652 WO2020183558A1 (ja) | 2019-03-11 | 2019-03-11 | 変位計の設定値調整装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
WO2020183558A1 true WO2020183558A1 (ja) | 2020-09-17 |
Family
ID=72047959
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
PCT/JP2019/009652 WO2020183558A1 (ja) | 2019-03-11 | 2019-03-11 | 変位計の設定値調整装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11592555B2 (ja) |
JP (1) | JP6741188B1 (ja) |
CN (1) | CN113544464B (ja) |
WO (1) | WO2020183558A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115427753A (zh) * | 2020-04-15 | 2022-12-02 | 三菱电机株式会社 | 参数调整装置、学习装置、测定系统、参数调整方法及程序 |
WO2024132463A1 (en) * | 2022-12-22 | 2024-06-27 | Ams-Osram Asia Pacific Pte. Ltd. | Device and method to detect refractive objects |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002357408A (ja) * | 2001-03-25 | 2002-12-13 | Omron Corp | 光学式計測装置 |
JP2005121508A (ja) * | 2003-10-17 | 2005-05-12 | Hitachi Ltd | バンプ形状計測装置及びその方法並びに多層プリント基板の製造方法 |
JP2006038571A (ja) * | 2004-07-26 | 2006-02-09 | Keyence Corp | 光学式変位計 |
JP2010223950A (ja) * | 2009-02-24 | 2010-10-07 | Keyence Corp | 光学式変位計 |
JP2019504293A (ja) * | 2015-12-04 | 2019-02-14 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | メトロロジデータからの統計的階層的再構築 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4533482B2 (ja) | 1999-11-30 | 2010-09-01 | 株式会社キーエンス | 光学式変位計 |
US6839144B2 (en) | 2001-03-25 | 2005-01-04 | Omron Corporation | Optical displacement sensor |
JP4019964B2 (ja) | 2003-02-10 | 2007-12-12 | Jfeスチール株式会社 | 漏洩磁束探傷方法および装置 |
US9097645B2 (en) * | 2013-08-23 | 2015-08-04 | Kla-Tencor Corporation | Method and system for high speed height control of a substrate surface within a wafer inspection system |
JP6926491B2 (ja) * | 2017-01-30 | 2021-08-25 | オムロン株式会社 | 検出システム、検出装置、および検出方法 |
-
2019
- 2019-03-11 WO PCT/JP2019/009652 patent/WO2020183558A1/ja active Application Filing
- 2019-03-11 JP JP2020518092A patent/JP6741188B1/ja active Active
- 2019-03-11 CN CN201980093667.1A patent/CN113544464B/zh active Active
- 2019-03-11 US US17/423,907 patent/US11592555B2/en active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002357408A (ja) * | 2001-03-25 | 2002-12-13 | Omron Corp | 光学式計測装置 |
JP2005121508A (ja) * | 2003-10-17 | 2005-05-12 | Hitachi Ltd | バンプ形状計測装置及びその方法並びに多層プリント基板の製造方法 |
JP2006038571A (ja) * | 2004-07-26 | 2006-02-09 | Keyence Corp | 光学式変位計 |
JP2010223950A (ja) * | 2009-02-24 | 2010-10-07 | Keyence Corp | 光学式変位計 |
JP2019504293A (ja) * | 2015-12-04 | 2019-02-14 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | メトロロジデータからの統計的階層的再構築 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11592555B2 (en) | 2023-02-28 |
US20220043148A1 (en) | 2022-02-10 |
JP6741188B1 (ja) | 2020-08-19 |
CN113544464A (zh) | 2021-10-22 |
JPWO2020183558A1 (ja) | 2021-03-18 |
CN113544464B (zh) | 2022-08-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5679560B2 (ja) | 寸法測定装置、寸法測定方法及び寸法測定装置用のプログラム | |
KR101068078B1 (ko) | 촬상장치, 촬상렌즈, 촬상렌즈에의 데이터 기록방법 | |
WO2020183558A1 (ja) | 変位計の設定値調整装置 | |
JP6870636B2 (ja) | 外観検査システム、画像処理装置、設定装置および検査方法 | |
US9509986B2 (en) | Electronic device and method for calibrating spectral confocal sensors | |
CN113091628B (zh) | 一种小尺寸轴孔间隙视觉测量标定装置及方法 | |
JP2014062433A (ja) | 構造物の撮像方法 | |
JP2019158500A (ja) | 外観検査システム、画像処理装置、撮像装置および検査方法 | |
CN102284859A (zh) | 一种航天遥感仪器的数字化装配方法 | |
JP2012037257A (ja) | 測定設定データ作成装置、測定設定データ作成方法及び測定設定データ作成装置用のプログラム | |
JP2012032341A (ja) | 測定設定データ作成装置、測定設定データ作成方法、測定設定データ作成装置用のプログラム及び寸法測定装置 | |
CN103488053A (zh) | 曝光设备和装置制造方法 | |
US20220155065A1 (en) | Measurement apparatus, control apparatus, and control method | |
CN104777717B (zh) | 用于光刻设备投影物镜的像质补偿机构 | |
JP2018072223A (ja) | 制御システム、その制御方法およびそのプログラム | |
JP6919458B2 (ja) | 変位計測装置、計測システム、および変位計測方法 | |
JP2008224497A (ja) | 計測位置表示方法および計測装置 | |
JP2015206753A (ja) | マーク投影装置、マーク投影方法、形状測定装置、形状測定システム、形状測定方法、構造物製造システム、構造物製造方法、及び形状測定プログラム | |
KR20210113665A (ko) | 스테이지 이동 제어 장치 및 하전 입자선 시스템 | |
JP6419471B2 (ja) | 測定顕微鏡、試料の傾き補正を支援する方法 | |
JP2011169664A5 (ja) | ||
CN109986240B (zh) | 通过零位补偿校准焊接装置的装置和方法 | |
WO2024138531A1 (zh) | 照明均匀性像素化补偿方法及装置 | |
KR101374173B1 (ko) | 정점간거리 조절이 가능한 렌즈미터 및 정점간거리 조절방법 | |
Fu | Illumination model and plate calibration method for vision-based coordinate measuring machines |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
ENP | Entry into the national phase |
Ref document number: 2020518092 Country of ref document: JP Kind code of ref document: A |
|
121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application |
Ref document number: 19919286 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |
|
NENP | Non-entry into the national phase |
Ref country code: DE |
|
122 | Ep: pct application non-entry in european phase |
Ref document number: 19919286 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |