JP2019504293A - メトロロジデータからの統計的階層的再構築 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図7
Description
[0001] 本願は2015年12月4日に提出された欧州出願第15198069.5号の優先権を主張するものであり、同出願は参照によりその全体が本明細書に組み込まれる。
Claims (20)
- デバイス製造プロセス又はその製品の測定結果を得ることと、
分布を前記測定結果に対してそれぞれフィッティングすることによって、前記分布の1つ以上のパラメータの1つ以上の値の組を得ることと、
超分布を前記パラメータの前記値の組に対してフィッティングすることによって、コンピュータを使用して、前記超分布の1つ以上の超パラメータの1つ以上の値の組を得ることと、
を備える、方法。 - 前記測定結果は、同じ統計分布を有する、請求項1の方法。
- 前記統計分布は、正規分布である、請求項2の方法。
- 前記測定結果を得ることは、複数の測定レシピを用いて単一のターゲットを測定することを含む、請求項1から3のいずれか一項に記載の方法。
- 前記複数の測定レシピは、偏光、波長、入射角、又はこれらの組み合わせが異なる、請求項4の方法。
- 前記測定結果を得ることは、ターゲットの名目上同一のコピーを測定することを含む、請求項1から5のいずれか一項に記載の方法。
- 前記測定結果を得ることは、スキャトロメータを用いて回折画像を得ること、重なり合ったターゲットからオーバーレイを得ること、クリティカルディメンジョンを得ること、側壁角度(SWA)を得ること、高さを得ること、消衰係数を得ること、基板上のパターンから屈折率、拡散モデルパラメータ又はこれらの組み合わせを得ること、を含む、請求項1から6のいずれか一項に記載の方法。
- 前記測定結果を得ることは、前記デバイス製造プロセスの処理パラメータを得ることを含む、請求項1から6のいずれか一項に記載の方法。
- 前記1つ以上の超パラメータの前記値を前記測定結果に対する前記分布の前記フィッティングにフィードバックすることをさらに備える、請求項1から8のいずれか一項に記載の方法。
- シミュレーションモデルのパラメータの値を得ることと、
前記シミュレーションモデルを用いて複数のシミュレートされた測定結果を得ることと、
請求項1から7のいずれかの方法を用いて超パラメータの値を得ることと、
コンピュータを使用して、前記超パラメータの前記値の信用性又は前記パラメータの前記値の信用性を、前記超パラメータの前記値及び前記パラメータの前記値を用いて判定することと、
を備える、方法。 - 前記超パラメータの前記値の信用性又は前記パラメータの前記値の信用性を判定することは、前記超パラメータの前記値と前記パラメータの前記値との間の差の標準偏差を用いることを含む、請求項10の方法。
- 前記信用性を用いて前記シミュレートされた測定結果の品質を判定することをさらに備える、請求項10の方法。
- 前記超パラメータの前記値の信用性又は前記パラメータの前記値の信用性を判定することは、平均予測不確実性を用いることを含む、請求項11の方法。
- 請求項1から7のいずれか一項に記載の方法を用いて、第1の条件下の測定結果から、超パラメータの第1の値又は第1の超分布を得ることと、
請求項1から7のいずれか一項に記載の方法を用いて、第2の条件下の測定結果から、前記超パラメータの第2の値又は第2の超分布を得ることと、
前記超パラメータの前記第1もしくは第2の値又は前記第1もしくは第2の超分布を用いて、前記第1の条件での測定と前記第2の条件での測定との一貫性を判定することと、
を備える、方法。 - 前記測定は、回折ベースのオーバーレイ、回折ベースの焦点、再構築ベースのCD、微分ベースのCD、結像ベースのCD、又は、再構築ベースのプロファイルパラメータである、請求項14の方法。
- 超パラメータの値又は超分布を得ることと、
前記超パラメータの前記値の判定に用いられていない測定結果を得ることと、
コンピュータを使用して、前記超パラメータの前記値又は超分布を前記測定結果を用いて更新することと、
を備える、方法。 - 超パラメータの値又は超分布を得ることと、
前記超パラメータの前記値又は前記超分布を用いて別のパラメータの1つ以上の値をシミュレートすることと、
コンピュータを使用して、前記シミュレートされた値から、前記別のパラメータの値又は分布を判定することと、
を備える、方法。 - 前記別のパラメータは、回折画像、オーバーレイ、クリティカルディメンジョン、側壁角度、高さ、消衰係数、屈折率、デバイス製造プロセスの処理パラメータ、又はこれらの組み合わせである、請求項17の方法。
- 超パラメータの値を得ることと、
測定結果を得ることと、
前記超パラメータの前記値を用いてモデルのパラメータの初期値を設定することと、
コンピュータを使用して前記モデルを前記測定結果にフィッティングすることと、
を備える、方法。 - 命令を記録されたコンピュータ可読媒体を備え、
前記命令は、コンピュータによって実行されるとき、請求項1から19のいずれか一項に記載の方法を実施する、
コンピュータプログラム製品。
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