JP6741188B1 - 変位計の設定値調整装置 - Google Patents

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Abstract

変位計（１０）の設定値調整装置は、基準ワークを測定する際に使用する設定値である使用設定値を用いて基準ワークを測定した際に、取得部（３４１）によって取得された測定値が、目標測定値（３５２）の範囲内か否か判定する判定部（３４３）と、使用設定値を変更する変更部（３４５）と、を含む。そして、測定値が目標測定値（３５２）の範囲内である場合、その測定値を取得した時の使用設定値を、測定対象物１を検査する際に使用する使用設定値に設定する。測定値が目標測定値（３５２）の範囲外である場合、測定値を取得した時とは異なる使用設定値に変更し、その使用設定値を用いて取得された基準ワークの測定値が、目標測定値（３５２）の範囲内か否か判定する。

Description

本発明は、変位計の設定値調整装置に関する。
従来、光源から光を測定対象物に投光し、測定対象物からの反射光を受光部で受光することにより、測定対象物の変位量を示す測定値を測定する光学式変位計が知られている。
特許文献１には、ユーザの判断や操作の負担をできるだけ軽減しながら、測定対象物の種類等に応じて適切な計測アルゴリズムを選択することによって高い計測精度を維持するために、測定対象物からの反射光を受光するイメージセンサによって受光量波形を取得し、受光量波形の山部の幅に基づき３つの測定アルゴリズムから測定対象物の光反射率に適した１つの測定アルゴリズムを選択し使用する光学式変位計が開示されている。
特開２００６−３８５７１号公報
しかし、特許文献１の光学式変位計では、受光量波形から抽出した特徴量にしたがってピーク位置又は重心位置の算出方法を自動的に変更し、測定対象物の種類等に応じて適切な計測アルゴリズムが選択されるものであるが、計測アルゴリズムを定めるだけでは、測定対象物の基準となる基準ワークを測定しながら測定条件を定めるための使用設定値を自動調整できないという課題がある。
例えば、光学式変位計を用いて測定対象物を実際に検査する場合、測定対象物を精度よく測定するための事前準備として、作業者は測定条件に関する設定値の中から光学式変位計が使用する使用設定値を手動で設定する必要がある。その設定は、例えば、測定対象物の基準となる基準ワークを測定しながら、実際に基準ワークを測定した際の測定対象物の変位量が基準ワークの既知の基準値になるか確認し、作業者が測定条件を定めるための使用設定値を手動で調整する。この場合、基準ワークを正しく測定できるよう使用設定値を調整する必要があるが、使用設定値は、投光量、測定モード、フィルタ、移動平均回数、サンプリング周期、カットオフ周波数、屈折率等といったように複数且つ多岐にわたる設定が必要であり、不慣れな作業者にとってはそれら設定を適切に実施することは難しい。また、どのように設定値を調整すれば適切に測定できるようになるか判断することは困難である。作業者は、基準ワークの測定値を確認しながら調整する際に、使用設定値を手動で調整する必要があることから、使用設定値の調整作業の負担が大きいという課題があった。
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、基準ワークを測定して使用設定値の事前調整をする際に、作業者の判断や操作の負担を軽減できる変位計の設定値調整装置を提供することを目的とするものである。
第１の発明に係る変位計の設定値調整装置は、ｉ）測定対象物の基準となる基準ワークに投光する光源と、基準ワークからの反射光を受光し受光信号を出力する受光部と、を含む変位計から受信した受光信号に基づいて基準ワークの変位量を示す測定値を取得する取得部と、ｉｉ）基準ワークを測定する際の測定条件を規定するとともに、設定値と、測定値と比較するための目標測定値と、を記憶し、基準ワークを測定する際に使用する設定値である使用設定値を格納する格納領域を有する記憶部と、ｉｉｉ）使用設定値を用いて基準ワークを測定した際に、取得部によって取得された測定値が、目標測定値の範囲内か否か判定する判定部と、ｉｖ）使用設定値を変更する変更部と、を備える。そして、測定値が目標測定値の範囲内であると判定された場合、その測定値を取得した時の使用設定値を、測定対象物を検査する際に使用する使用設定値に設定する。測定値が目標測定値の範囲外であると判定された場合、変更部は、測定値を取得した時とは異なる使用設定値に変更し、取得部は、その使用設定値を用いて基準ワークを測定して測定値を取得し、判定部は、その使用設定値を用いて測定された測定値が、目標測定値の範囲内か否か判定する。
第２の発明に係る変位計の設定値調整装置は、ｉ）測定対象物の基準となる基準ワークを測定する際の測定条件を規定し、初期値を含む設定値、及び、測定結果の可否を判定するための目標測定値、が格納されている記憶部と、ｉｉ）初期値を測定対象物を測定する際に使用する使用設定値に設定する設定部と、ｉｉｉ）初期値を用いて、基準ワークの変位量を示す測定値を取得する取得部と、ｉｖ）取得部によって取得された、初期値に基づく測定値が、目標測定値の範囲内であるか否かを判定する判定部と、ｖ）使用設定値を初期値とは異なる設定値に変更する変更部と、を備える。そして、測定値が目標測定値の範囲内である場合は、設定部が設定した初期値を使用設定値として使用し、測定値が目標測定値の範囲外である場合は、変更部は、使用設定値を初期値とは異なる設定値に変更する。
第３の発明に係る変位計の設定値調整装置は、ｉ）測定対象物の基準となる基準ワークに投光する光源と、基準ワークからの反射光を受光し受光信号を出力する受光部と、を含む変位計から受信した前記受光信号に基づいて前記基準ワークの変位量を示す測定値を取得する取得部と、ｉｉ）基準ワークを測定する際の測定条件を規定する設定値と、測定値と比較するための目標測定値と、を記憶し、基準ワークを測定する際に使用する設定値である使用設定値を格納する格納領域を有する記憶部と、ｉｉｉ）測定値と、基準ワークを測定する際に使用された使用設定値と、を状態変数として観測する状態観測部と、ｉｖ）状態変数に基づいて作成される訓練データセットに従って、使用設定値を学習する学習部と、を備える。
第１の発明の変位計の設定値調整装置は、基準ワークを測定して使用設定値を事前調整する際に、測定値が目標測定値の範囲内であれば、その測定値を取得した時の使用設定値を、測定対象物を検査する際に使用する使用設定値に設定し、測定値が目標測定値の範囲外であれば、変更部は、使用設定値を変更し、取得部は、その使用設定値を用いて測定値を取得し、その使用設定値を用いて測定された測定値が、目標測定値の範囲内か否か再度判定する。そのため、基準ワークを測定して使用設定値の事前調整を行う際に、作業者の判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値を調整できるという効果を奏する。
第２の発明の変位計の設定値調整装置は、基準ワークを測定して使用設定値を事前調整する際に、初期値に基づく測定値が、目標測定値の範囲内である場合は、初期値を測定対象物を検査する際に使用する使用設定値として使用し、測定値が目標測定値の範囲外である場合は、変更部は、使用設定値を初期値とは異なる設定値に変更する。そのため、基準ワークを測定して使用設定値の事前調整を行う際に、作業者の判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値を調整できるという効果を奏する。
第３の発明の変位計の設定値調整装置は、基準ワークを測定して使用設定値の事前調整を行う際に、状態観測部が取得した測定値と、基準ワークを測定する際に使用された使用設定値とを含む状態変数に基づいて作成される訓練データセットに従って、学習部は使用設定値を学習する。そのため、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値を学習し調整できるという効果を奏する。
本発明の実施の形態１に係る変位計の設定値調整システムの全体構成を示す図である 本発明の実施の形態１に係る変位計の測定原理を示す図である 本発明の実施の形態１に係る変位計の測定可能範囲と変位出力を示す図である 本発明の実施の形態１に係る変位計の設定値調整システムに含まれるＰＬＣ及びＰＣの機能ブロックを示す図である 本発明の実施の形態１に係る変位計の設定値の一例を示す図である 本発明の実施の形態１に係る変位計の使用設定値の調整順序を示す図である 本発明の実施の形態１に係る変位計で測定する測定対象値を選択する画面である測定対象値選択画面を示す図である 本発明の実施の形態１に係る基準ワークの設置通知画面を示す図である 本発明の実施の形態１に係る判定閾値設定画面を示す図である 本発明の実施の形態１に係る測定値取得間隔設定画面を示す図である 本発明の実施の形態１に係る変位計の測定値表示画面を示す図である 本発明の実施の形態１に係る変位計の測定値の時間変化表示画面を示す図である 本発明の実施の形態１に係る変位計の受光量波形表示画面を示す図である 本発明の実施の形態１に係るＰＣで実行される使用設定値自動調整処理を示すフローチャートである 本発明の実施の形態１に係るＰＣで実行される測定モード調整処理を示すフローチャートである 本発明の実施の形態１に係るＰＬＣで実行される検査処理を示すフローチャートである 本発明の実施の形態２に係るＰＣで実行される第１フィルタ調整処理を示すフローチャートである 本発明の実施の形態３に係るＰＣで実行される第２フィルタ調整処理を示すフローチャートである 本発明の実施の形態４に係るＰＣで実行される第３フィルタ調整処理を示すフローチャートである 本発明の実施の形態５に係るＰＣで実行される屈折率調整処理を示すフローチャートである 本発明の実施の形態６に係る変位計の設定値の一つである測定レシピを示す図である 本発明の実施の形態６に係るＰＣで実行される使用設定値自動調整処理を示すフローチャートである 本発明の実施の形態６に係るＰＣで実行される測定レシピ調整処理を示すフローチャートである 本発明の実施の形態７に係るＰＣで実行される投光量調整処理を示すフローチャートである 本発明の実施の形態７に係る変位計に減光フィルタの装着を促す画面である減光フィルタ装着通知画面を示す図である 本発明の実施の形態８に係るＰＣで実行されるサンプリング周期調整処理を示すフローチャートである 本発明の実施の形態９に係るＰＣで実行される使用設定値自動調整処理を示すフローチャートである 本発明の実施の形態９に係るＰＣで実行される設定値調整処理を示すフローチャートである 本発明の実施の形態１０に係る第１検出部による測定方法の概略を示す図である 本発明の実施の形態１０に係る第２検出部による測定方法の概略を示す図である 本発明の実施の形態１０に係る第４検出部による測定方法の概略を示す図である 本発明の実施の形態１０に係るＰＣで実行される測定レシピ調整処理を示すフローチャートである 本発明の実施の形態１０に係るＰＣで実行される測定レシピ調整処理において使用される測定レシピ調整テーブルを示す図である 本発明の実施の形態１１に係るＰＣで実行される第２フィルタ調整処理を示すフローチャートである 本発明の実施の形態１１に係るＰＣで実行される第２フィルタ調整処理において使用され第２フィルタ調整テーブルを示す図である 本発明の実施の形態１２に係るＰＣで実行される第２フィルタ調整処理を示すフローチャートである 本発明の実施の形態１２に係るＰＣで実行される第２フィルタ調整処理において使用され第２フィルタ調整テーブルを示す図である 本発明の実施の形態１３に係る変位計の設定値調整システムの全体構成を示す図である 本発明の実施の形態１３に係るＰＣで実行される第２フィルタ調整処理を示すフローチャートである 本発明の実施の形態１３に係るＰＣで実行される第２フィルタ調整処理において使用され第２フィルタ調整テーブルを示す図である 本発明の実施の形態１４に係る変位計の設定値調整システムの全体構成を示す図である 本発明の実施の形態１４に係る変位計の設定値調整システムに含まれるＰＣの機能ブロックを示す図である 本発明の実施の形態１４に係るＰＣで実行される設定値学習処理を示すフローチャートである 本発明の実施の形態１５に係る変位計の測定値の時間変化表示画面を示す図である 本発明の実施の形態１５に係るＰＣで実行される判定閾値最適化処理を示すフローチャートである 本発明の実施の形態１６に係る変位計の設定値調整システムの全体構成を示す図である 本発明の実施の形態１６に係る変位計の設定値調整システムに含まれるＰＬＣの機能ブロックを示す図である
実施の形態１．
実施の形態１の変位計１０の設定値調整システムについて図１から図１６を用いて説明する。
本発明の実施の形態１の変位計１０の設定値調整システムは、ＦＡ（Ｆａｃｔｏｒｙ Ａｕｔｏｍａｔｉｏｎ）分野の設備を構成するものである。変位計１０の設定値調整システムは、図１に示すように、レーザ変位センサ等の変位計１０と、制御装置としてのＰＬＣ（Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｌｏｇｉｃ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）２０と、設定値調整装置としてのＰＣ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ Ｃｏｍｐｕｔｅｒ）３０を含む。変位計１０は、三角測量の原理を応用して測定対象物１までの距離又は測定対象物１の変位量を示す測定値を測定する光学式変位計である。
変位計１０は、駆動回路２、光源としてのレーザダイオード３、投光レンズ４、受光レンズ５、受光部としての１次元のイメージセンサ６、読出回路７を含む。
駆動回路２は、レーザダイオード３を駆動する回路である。レーザダイオード３は、投光レンズ４を通して測定対象物１にレーザ光を照射する。１次元のイメージセンサ６は、列状に複数の画素に対応する受光素子を有する。そして、測定対象物１からの反射光が受光レンズ５を通して受光素子に入射することで電荷が蓄積される。１次元のイメージセンサ６は、例えば、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ−Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）ラインセンサ又はＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ Ｍｅｔａｌ Ｏｘｉｄｅ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）ラインセンサが挙げられる。読出回路７は、イメージセンサ６の各画素に対応する受光素子の受光量及び受光した受光素子の位置に応じた受光信号を読み出す回路である。
イメージセンサ６では、測定対象物１の相対変位及び受光量に応じて、イメージセンサ６の受光面を構成する各受光素子に電荷が蓄積される。そして、読出回路７は、各受光素子の電荷を走査方向Ｘにおいて、イメージセンサ６の一端の受光素子から他端の受光素子までそれぞれの受光量を示す受光信号として読み出す。
図２に示すように、変位計１０に対して測定対象物１が実線で示した位置から破線で示した位置へ変位すると、測定対象物１の反射面の位置も同様に変位する。それに伴い、測定対象物１の反射面の位置が変化するため、イメージセンサ６において測定対象物１からの反射光が入射したイメージセンサ６中の受光素子に対応する画素の位置が変化し、画素毎に受光量に応じた電荷が蓄積され、受光信号として読み出される。
より具体的に説明するため、変位計１０の測定可能範囲と変位出力との関係について図３を参照しながら説明する。変位計１０は、一般的に、測定中心距離が定められている。測定中心距離とは、変位計１０を構成している光学系の構成要素であるレーザダイオード３と投光レンズ４の配置により定められ、変位計１０の測定基準として用いられる絶対基準距離である。具体的には、測定中心距離は、変位計１０の投光レンズ４から出射したレーザ光のスポット径が最小となる距離、つまり投光レンズ４の焦点距離である。測定中心距離を中央値とした変位計１０の測定可能範囲についても、変位計１０を構成している光学系の構成要素であるレーザダイオード３、投光レンズ４、受光レンズ５及びイメージセンサ６の配置により予め定められている。測定中心距離と測定可能範囲が、光学系の構成要素で定まる理由は、レーザダイオード３、投光レンズ４、受光レンズ５及びイメージセンサ６の配置位置が、変位計１０の内部に固定されており、測定中心距離と測定可能範囲を調整することが一般的にはできないからである。投光レンズ４の投光軸と受光レンズ５の受光軸の交点に測定中心距離が位置する状態では、投光軸と受光軸との間の角度も一定である。
測定中心距離に測定対象物１の反射面が位置する場合、走査方向Ｘにおけるイメージセンサ６の受光面の一端から他端の間の中央付近に位置する受光素子に反射光が入射する。その場合、読出回路７は、変位出力として０Ｖの電圧を出力する。これは、測定対象物１の反射面の位置が測定中心距離と一致する、つまり、測定中心距離からの変位量が０ｍｍであることを示す。また、測定対象物１の反射面が、変位計１０に対して測定中心距離よりも遠くなった場合は、走査方向Ｘにおけるイメージセンサ６の受光面の一端側に位置する受光素子に反射光が入射する。例えば、測定対象物１の反射面が、測定可能範囲の下限値の位置に位置する場合、読出回路７は、変位出力として−５Ｖの電圧を出力する。これは、測定対象物１の反射面の測定中心距離からの変位量が−１５ｍｍであることを示す。また、測定対象物１の反射面が、変位計１０に対して測定中心距離よりも近くなった場合は、走査方向Ｘにおけるイメージセンサ６の受光面の他端側に位置する受光素子に反射光が入射する。例えば、測定対象物１の反射面が、測定可能範囲の上限値の位置に位置する場合、読出回路７は、変位出力として＋５Ｖの電圧を出力する。これは、測定対象物１の反射面の測定中心距離からの変位量が＋１５ｍｍであることを示す。測定可能範囲内では、変位出力である電圧値が増加すると、それに対応して変位量は直線的に増加する。なお、上述の電圧値及び変位量は、一例であり、これに限定されない。
ＰＬＣ２０は、図１に示すように、第１通信Ｉ／Ｆ（Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）部２１、第１制御部２２、第１記憶部２３を含む。第１通信Ｉ／Ｆ部２１は、ＰＬＣ２０に接続された外部機器からの信号を受信し、ＰＬＣ２０からの信号をＰＬＣ２０に接続された外部機器に送信する。第１通信Ｉ／Ｆ部２１は、受信したアナログ信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ（Ａｎａｌｏｇ−ｔｏ−Ｄｉｇｉｔａｌ）変換回路を含むとともに、第１通信Ｉ／Ｆ部２１から外部機器に送信すべき信号がアナログ信号である場合、デジタル信号からアナログ信号に変換して外部機器へ送信するために、Ｄ／Ａ（Ｄｉｇｉｔａｌ−ｔｏ−Ａｎａｌｏｇ）変換回路を含む。また、第１通信Ｉ／Ｆ部２１は、ＰＬＣ２０と外部機器とがデジタル信号で信号の送受信を行う場合には、Ａ／Ｄ変換回路及びＤ／Ａ変換回路を介さずに信号の送受信をするように構成されている。なお、第１制御部２２と第１記憶部２３の詳細は後述する。なお、ＰＬＣ２０に接続可能な物性検出部４０及び温度センサ５０については、実施の形態２以降で使用されるため、実施の形態１では説明を省略する。
変位計１０の設定値調整装置としてのＰＣ３０は、表示装置３１、入力装置３２、第２通信Ｉ／Ｆ部３３、第２制御部３４及び第２記憶部３５を含む。表示装置３１は、例えば、変位計１０の測定値を表示する表示画面等を表示する。表示装置３１は、液晶表示装置であるが、これに限定されない。入力装置３２は、例えば、ユーザによる操作によって入力を受け付けるマウス及びキーボード等であるが、これに限定されない。第２通信Ｉ／Ｆ部３３は、ＰＬＣ２０の第１通信Ｉ／Ｆ部２１に接続されることで、ＰＬＣ２０とＰＣ３０との間で信号を送受信する。なお、第２制御部３４と第２記憶部３５の詳細は後述する。
次に、実施の形態１の変位計１０の設定値調整システムを構成するＰＬＣ２０とＰＣ３０の詳細を示す機能ブロックについて、図４を参照しながら説明する。
ＰＬＣ２０の第１記憶部２３は、制御プログラム２３１と、測定対象物１を測定する際に使用する設定値である使用設定値としての各種使用設定値Ｙｙが格納される格納領域として使用設定値格納領域２３２と、を含む。制御プログラム２３１は、ＰＣ３０に導入されたエンジニアリングツールを用いてユーザによって作成されたものであり、ＰＬＣ２０に接続された被制御機器である変位計１０を制御するためのプログラムである。実施の形態１において、第１記憶部２３は、フラッシュメモリ、ＳＳＤ（Ｓｏｌｉｄ Ｓｔａｔｅ Ｄｒｉｖｅ）又はＨＤＤ（Ｈａｒｄ Ｄｉｓｋ Ｄｒｉｖｅ）の不揮発性記憶装置、並びに、作業領域として使用されるＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）等の揮発性記憶装置であるが、第１記憶部２３はフラッシュメモリ、ＳＳＤ又はＨＤＤ、並びに、ＲＡＭに限定されない。なお、第１記憶部２３の不揮発性記憶装置は、ＰＬＣ２０に接続可能な外部記憶装置であってもよい。
第１制御部２２は、第１記憶部２３に記憶された制御プログラム２３１を読み出して、読み出された制御プログラム２３１に従って、変位計１０、ＰＣ３０等の外部機器から第１通信Ｉ／Ｆ部２１を介して受信した信号を処理して、変位計１０からの受光信号に基づく測定値及び受光量を第１通信Ｉ／Ｆ部２１を介してＰＣ３０に出力する。また、第１制御部２２は、ＰＣ３０から受信した使用設定値Ｙｙを第１記憶部２３の使用設定値格納領域２３２に格納する。また、第１制御部２２は、第１記憶部２３の使用設定値格納領域２３２に格納された使用設定値Ｙｙを読み出して、使用設定値格納領域２３２に格納された使用設定値Ｙｙに従って制御プログラム２３１を実行し、変位計１０を制御する。なお、第１制御部２２の機能は、プロセッサにより実現される。
ＰＣ３０の第２記憶部３５は、変位計１０で測定対象物１を測定する際の測定条件を規定するとともに、属性毎に分けられた複数の設定値である全設定値３５１と、ユーザによって決められる目標測定値３５２と、を記憶し、入力装置３２がユーザによって操作されることにより入力されたユーザ条件が格納されるユーザ条件格納領域３５４と、測定対象物１を測定する際に使用する設定値である使用設定値Ｙｙを格納する格納領域である使用設定値格納領域３５５と、測定値を正しく測定できる可能性の高い最適化された設定値Ｘｘである最適化設定値Ｘ＿ｏｐｔを格納する格納領域である最適化設定値格納領域３５６と、を有する。実施の形態１において、第２記憶部３５は、フラッシュメモリ、ＳＳＤ又はＨＤＤ、並びに、作業領域として使用されるＲＡＭであるが、第２記憶部３５はフラッシュメモリ、ＳＳＤ又はＨＤＤ、並びに、ＲＡＭに限定されない。なお、目標受光量３５３は、実施の形態２以降で使用されるため、実施の形態１では説明を省略する。
第２制御部３４は、取得部３４１、設定部３４２、判定部３４３、変更部３４４、更新部３４５、表示制御部３４６及び閾値設定部３４７を含む。第２制御部３４の取得部３４１、設定部３４２、判定部３４３、変更部３４４、更新部３４５、表示制御部３４６及び閾値補正部３４７の機能はプロセッサにより実現される。なお、閾値補正部３４７は、実施の形態２以降で使用されるため、実施の形態１では説明を省略する。
取得部３４１は、ＰＬＣ２０から変位計１０の測定値（及び受光量）を第２通信Ｉ／Ｆ部３３を介して取得し、また、入力装置３２からのユーザ操作による入力を取得する。設定部３４２は、第２記憶部３５の全設定値３５１の中から属性毎に各一つずつ設定値Ｘｘを読み出して使用設定値格納領域３５５に記憶させることで、測定対象物１を測定する際に使用する使用設定値Ｙｙを設定する。判定部３４３は、設定部３４２によって設定された使用設定値Ｙｙを用いて測定対象物１を測定した際に取得部３４１によって取得された測定値が、目標測定値３５２の範囲内か否か判定する。
変更部３４４は、測定対象物１の基準ワークを測定する際に使用する使用設定値Ｙｙを前回の使用設定値Ｙｙから変更する。具体的には、変更部３４４は、前回の使用設定値Ｙｙに対応した設定値Ｘｘとは異なる設定値Ｘｘ＋１を第２記憶部３５の全設定値３５１の中から読み出して、新たに読み出した設定値Ｘｘ＋１を使用設定値格納領域３５５に新たな使用設定値Ｙｙとして記憶する。また、変更部３４４は、使用設定値格納領域３５５に格納された新たな使用設定値ＹｙをＰＬＣ２０に送信し、ＰＬＣ２０の第１制御部２２は第１記憶部２３の使用設定値格納領域２３２に新たな使用設定値Ｙｙを記憶させる。
更新部３４５は、変更部３４４によって変更される前の前回の使用設定値Ｙｙ（第１使用設定値）を用いて測定された測定値（第１測定値）と、変更部３４４によって変更された後の新しい使用設定値Ｙｙ（第２使用設定値）を用いて測定された測定値（第２測定値）とのうち目標測定値３５２に近い測定値を取得した時の使用設定値Ｙｙを、測定対象物１を測定する際に用いられる使用設定値Ｙｙとして保持する。具体的には、更新部３４５は、使用設定値格納領域３５５に格納されている前回の使用設定値Ｙｙと新しい使用設定値Ｙｙのうち、目標測定値３５２に近い測定値を取得した時の使用設定値Ｙｙを最適化設定値格納領域３５６に保持する。また、更新部３４５は、ＰＬＣ２０の第１制御部２２に命令を送信し、第１記憶部２３の使用設定値格納領域２３２に格納されている前回の使用設定値Ｙｙと新しい使用設定値Ｙｙのうち、使用設定値Ｙｙとして最適化設定値格納領域３５６に保持されている使用設定値Ｙｙを保持させる。
表示制御部３４６は、取得部３４１が取得した測定値、又は、ユーザ操作による入力装置３２からの入力等に基づいて、例えば、変位計１０の測定値を表示する表示画面等を表示装置３１に表示させる。
次に、ＰＣ３０の第２記憶部３５に記憶されている全設定値３５１について、図５を参照しながら説明する。図５に示すように、設定値Ｘｘは、投光量、測定モード、フィルタ、移動平均回数、サンプリング周期、カットオフ周波数、屈折率、測定レシピ等のように属性毎に分かれており、それぞれの属性毎に複数の設定値Ｘｘが含まれる。以下では、各属性の設定値を纏めてＸｘということがある。また、設定値Ｘｘを属性毎に区別するために、大文字Ｘ部分を属性毎に異ならせ、投光量の設定値はＩｘ、測定モードの設定値はＪｘ、フィルタ種類の設定値はＫｘ、移動平均回数の設定値はＬｘ、サンプリング周期の設定値はＭｘ、カットオフ周波数の設定値はＮｘ、屈折率の設定値はＯｘ、測定レシピの設定値はＰｘと区別して説明することがある。また、各属性に含まれている設定値は、初期値が１とされる、つまり、小文字ｘ部分が１から始まる連番となっている。例えば、フィルタ種類の設定値Ｋｘは、初期値である移動平均回数の設定値がＫ１、ローパスフィルタの設定値がＫ２及びハイパスフィルタの設定値がＫ３のように以下では説明されることがあり、フィルタ種類以外の属性の各設定値Ｉｘ、Ｊｘ、Ｌｘ、Ｍｘ、Ｎｘ、Ｏｘ、Ｐｘについても同様である。なお、測定レシピについては、実施の形態２以降で使用されるため、実施の形態１では説明を省略する。なお、使用設定値Ｙｙは、設定値３５１の中から属性毎に各一つずつ選ばれた設定値Ｘｘであり、事前調整の際にＰＣ２０の使用設定値格納領域３５５及び適化設定値格納領域３５６に格納され、最終的にはＰＬＣ２０の使用設定値格納領域２３２に格納されることで、変位計１０が測定対象物１を測定する際に使用する設定値Ｘｘである。但し、測定レシピの設定値Ｐｘの場合は、ＰＬＣ２０の使用設定値格納領域２３２に格納されないが、この点については実施の形態２以降にて詳述する。
投光量の設定値Ｉｘは、レーザダイオード３からのレーザ光の投光量に関する設定値であり、０．０１から１００％までの複数の設定値Ｉ１，Ｉ２，Ｉ３・・・が含まれる。０．０１％は投光量の下限設定値であり、１００％が投光量の上限設定値である。
測定モードの設定値Ｊｘは、イメージセンサ６からの受光信号に基づいて各画素に対応する受光素子の受光量を波形として表示した際の受光量波形から波形のピーク位置を精度よく取得するための測定アルゴリズムに関する設定値であり、測定対象物１の表面物性に応じて、測定対象物１の種類毎に適切な測定モードの設定値Ｊ１，Ｊ２，Ｊ３・・・が予め準備されている。複数の測定モードの設定値Ｊｘの例としては、標準的な表面物性を持つ測定対象物１に適した測定アルゴリズムが設定されている拡散反射モード、測定対象物１が鏡面体又は透明体である場合に適した測定アルゴリズムが設定されている正反射モード、測定対象物１が金属である場合に適した測定アルゴリズムが設定されている金属モード、測定対象物１が半透明体である場合に適した測定アルゴリズムが設定されている半透明体モード、測定対象物１が透明体の中でも特にガラスである場合に適した測定アルゴリズムが設定されているガラスモード、測定対象物１がガラスの中に金属線が埋め込まれているパターン付ガラスである場合に適した測定アルゴリズムであるパターン付ガラスモード等が挙げられる。これら、測定アルゴリズムとしてはどの様なものを用いてもよいが、例えば、特開２００６−３８５７１号公報に記載されているように測定対象物１に合わせて重心計算ラインを変更する等の公知のアルゴリズムを使用することができる。
フィルタ種類の設定値Ｋｘは、測定値をフィルタリング処理するためのフィルタ種類に関する設定値Ｋ１，Ｋ２，Ｋ３・・・である。複数のフィルタ種類の設定値Ｋｘには、例えば、移動平均法により測定値をフィルタリング処理する移動平均フィルタの設定値Ｋ１、受光量波形についてカットオフ周波数よりも高い周波数を逓減させるローパスフィルタの設定値Ｋ２、受光量波形についてカットオフ周波数よりも低い周波数を逓減させるハイパスフィルタの設定値Ｋ３等が含まれる。なお、フィルタ種類の設定値Ｋｘには、カットオフ周波数に関連するフィルタ種類としてローパスフィルタ及びハイパスフィルタの両方が含まれているが、ローパスフィルタ及びハイパスフィルタの少なくとも１つを含むようにしてもよい。
移動平均回数の設定値Ｌｘは、フィルタ種類の設定値Ｌｘとして移動平均フィルタの設定値Ｋ１が設定された場合に、追加で設定されるものであり、移動平均回数が１回から６５５３６回までの間の複数の設定値Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３・・・を含む。
サンプリング周期の設定値Ｍｘは、イメージセンサ６の各画素に対応する受光素子から受光量を示す受光信号を読取回路７が読み出す周期の設定値であり、例えば、１０μｓから２ｍｓまでの間の複数の設定値Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３・・・を含む。なお、サンプリング周期が長くなるほど画素に対応する受光素子に反射光が入射する時間が長くなるため、サンプリング周期は露光時間とも言える。
カットオフ周波数の設定値Ｎｘは、フィルタ種類の設定値Ｋｘとしてローパスフィルタ又はハイパスフィルタが設定された場合に、追加で設定されるものであり、カットオフ周波数が１Ｈｚから２０００Ｈｚまでの複数の設定値Ｎ１，Ｎ２，Ｎ３・・・を含む。
屈折率の設定値Ｏｘは、測定対象値が透明体の厚みである場合に、追加で設定されるものであり、屈折率が０．５０００から２．００００までの複数の設定値Ｏ１，Ｏ２，Ｏ３・・・を含む。
続いて、測定対象物１を測定して実際に検査を始める前に必要となる基準ワークを用いた使用設定値の事前調整について、図６から図１９を参照しながら説明する。基準ワークは、検査対象物となる測定対象物１の良品を用いる。
まず、図６の調整手順に示すように、ステップＳ１にて、入力装置３２がユーザによって操作されることにより測定対象物１の測定対象値が選択される。具体的には、ＰＣ３０の表示装置３１に表示された図７に示す測定対象値選択画面７０において、ユーザによって入力装置３２が操作されることにより測定対象値選択枠７０１にて測定対象値が選択され、その後、設定ボタン７０２が操作されることで、取得部３４１は、ユーザ操作により選択された測定対象値を取得する。そして、取得部３４１は、選択された測定対象値を第２記憶部３５のユーザ条件格納領域３５４に格納する。そして、ステップＳ２に進む。なお、図７の例では、測定対象値として測定対象物１の表面の変位量が選択されたことを示している。
次に、ステップＳ２では、図８に示すように、表示制御装置３４６は、基準ワークの設置を促す基準ワーク設置通知画面７１を表示装置３１に表示する。基準ワーク設置通知画面７１の表示内容に従って、基準ワークが鏡面体又は透明体でなければ、測定対象物１の表面での光の反射の仕方が拡散反射光となる設置方法である拡散反射設置がユーザによって行われる。拡散反射設置とは、変位計１０の投光軸と測定対象物１の表面の成す角度を９０°とし、測定中心距離の位置に基準ワークの表面が位置するように、基準ワークと変位計１０とを設置することである。また、基準ワークが鏡面体又は透明体である場合、測定対象物１の表面での光の反射の仕方が正反射光となる設置方法である正反射設置がユーザによって行われる。正反射設置とは、測定中心距離に測定対象物１を設置した際に入射光の入射角と反射光の反射角が等しくなる位置に、基準ワークと変位計１０とを設置することである。基準ワークと変位計１０とが上述のように設置され、入力装置３２がユーザによって操作されることで次のステップに進むためのボタン７１０に対するユーザ操作を取得部３４１が受け付けると、ステップＳ３に進む。
次に、ステップＳ３では、図９に示すように、表示制御装置３４６は、判定閾値設定画面７２を表示装置３１に表示する。判定閾値設定画面７２において、入力装置３２がユーザによって操作されることにより、上限閾値の入力枠７２０と下限閾値の入力枠７２１に、上限閾値と下限閾値とが入力される。判定閾値は、測定対象物１の表面の変位量が測定中心距離からどの程度相対的にずれた場合に、不良品と判定するかに用いるものである。図９の例では、上限閾値として＋１．００００００ｍｍ、下限閾値として−１．００００００ｍｍが入力されている。測定対象物１の検査の段階では、測定値が、上限閾値と下限閾値の範囲内であれば、測定対象物１は良品であり、上限閾値と下限閾値の範囲外であれば、測定対象物１は不良品と判断される。次のステップに進むためにボタン７２２に対するユーザ操作を取得部３４１が受け付けると、判定閾値の範囲は目標測定値３５２として第２記憶部３５に記憶される。そして、ステップＳ４に進む。
次に、ステップＳ４では、図１０に示すように、表示制御装置３４６は、測定値取得間隔設定画面７３を表示装置３１に表示する。測定値取得間隔設定画面７３において、入力装置３２がユーザによって操作されることにより、ユーザが希望する測定値の取得間隔である測定値取得間隔が、測定値取得間隔の入力枠７３０に入力されて指定される。測定値取得間隔は、ＰＣ３０の取得部３４１がＰＬＣ２０から測定値を取得する間隔である。図１０の例では、測定値取得間隔は４０μｓに設定されている。そして、測定条件を規定する各設定値Ｘｘを従来通りにユーザ自身で設定する場合、設定値Ｘｘの手動調整のためのボタン７３１に対するユーザ操作を取得部３４１が受け付け、各設定値Ｘｘを自動調整する場合には設定値Ｘｘの自動調整のためのボタン７３２に対するユーザ操作を取得部３４１が受け付ける。ボタン７３１又はボタン７３２に対するユーザ操作を取得部３４１が受け付けると、ユーザ操作により入力された測定値取得間隔が、第２記憶部３５のユーザ条件格納領域３５４に格納される。そして、ステップＳ５に進む。なお、測定値取得間隔の入力枠７３０は、取得部３４１が測定値を取得する間隔である測定値取得間隔を指定するユーザ操作を受付ける受付部として機能する。
設定値Ｘｘの手動調整のボタン７３１が選択された場合には、ステップＳ５で、表示制御装置３４６は、図１１から図１３に示す表示画面を表示装置３１に表示する。表示装置３１に表示された表示画面を確認しながら、ユーザは全設定値３５１の中から様々な使用設定値Ｙｙを従来通り手動で調整する。図１１に示す測定値表示画面７４では、変位計１０の測定値が表示される測定値表示枠７４０及び７４１に測定値が表示される。図１１の例では、測定値表示枠７４０に変位計１０からの測定値として＋０．９４５７９０ｍｍが表示されており、判定閾値の範囲（上限閾値である＋１．００００００ｍｍから下限閾値である−１．００００００ｍｍの範囲）に収まっている。なお、図１１では、測定値表示枠７４０にのみ測定値が表示されているが、ＰＬＣ２０に２つの変位計１０を接続した場合には、一方の変位計１０の測定値が一方の表示枠７４０に表示され、他方の変位計１０の測定値が他方の表示枠７４１に表示される。図１２は、測定値取得間隔毎の測定値がプロットされた分布図７５０により測定値の時間変化を示す測定値の時間変化表示画面７５である。測定値の時間変化表示画面７５では、判定閾値の上限閾値７５１と下限閾値７５２も表示されており、測定値７５３が判定閾値の範囲内にあるかユーザが把握できるよう表示される。図１２の例では、複数の測定値が上限閾値７５１を超えており、複数の測定値が下限閾値７５２を超えてしまっている。図１３は、変位計１０から取得した受光量波形を表示する受光量波形表示画面７６である。受光量波形表示画面７６において、受光量波形を表示する表示領域７６０の縦軸は受光量を示し、横軸はイメージセンサ６中の受光素子に対応する画素の位置を示している。なお、受光量波形表示画面７６は、受光量を値として表示する表示領域７６１と、受光量を取得した時の投光量を表示する表示領域７６２も含む。図１３の例では、画素の位置の取り得る値は、例えば、０から５００の画素に対応した値であり、０から５００の中央値である２５０の画素の位置が、変位量０ｍｍの位置を示す。例えば、測定対象物１の表面が２５０の画素の位置から５００の画素の位置に近づいた場合には、変位量はマイナス側（変位計１０に近づく方向）に変化し、測定対象物１の表面が２５０の画素の位置から０の画素の位置に近づいた場合には、変位量はプラス側（変位計１０から遠ざかる方向）に変化したことを示す。なお、図１３に示す受光量波形の山Ｐの頂点は画素の位置が３００と４００の間に位置しているので、変位量がマイナス側に変化したことを示している。基準ワークの測定基準となる表面を測定中心距離に合わせたのであれば、正しく使用設定値Ｙｙが設定されている場合は、変位量０ｍｍの位置を示す、２５０の画素の位置に受光波形の山Ｐの頂点が位置するが、図１３では使用設定値Ｙｙが正しく調整されていないため、変位量がマイナス側にずれてしまっている。
従来通り、基準ワークを測定しながらユーザが手動で使用設定値Ｙｙを調整する場合では、図１１から図１３に示す画面例を確認しながら測定値が目標測定値の範囲内となるように全設定値３５１の中から各使用設定値Ｙｙを調整し、測定値が目標測定値の範囲内になり、手動調整完了ボタン（不図示）に対するユーザ操作を取得部３４１が受け付ける。そして、更新部３４５は、測定値が目標測定値の範囲内になった時の各使用設定値Ｙｙを、実際に測定対象物１を検査する際に使用する使用設定値Ｙｙとして、ＰＣ３０の第２記憶部３５の最適化設定値格納領域３５６に記憶させる。また、更新部３４５は、ＰＣ３０の第２記憶部３５の最適化設定値格納領域３５６に記憶された使用設定値ＹｙをＰＬＣ２０に送信し、ＰＬＣ２０の第１制御部２２は受信した使用設定値Ｙｙを第１記憶部２３の使用設定値格納領域２３２に記憶させる。
図１０に戻り、設定値Ｘｘの自動調整のボタン７３２が選択された場合には、ステップＳ５の処理として、図１４に示す使用設定値自動調整処理が開始される。なお、実施の形態１では、ステップＳ５０の使用設定値調整処理に測定モード調整処理を適用した形態を説明する。
まず、ステップＳ１０にて、設定部３４２は、属性毎に図５の中央の列に記載されている初期値Ｘ１を使用設定値Ｙｙとして設定する。具体的には、設定部３４２が、第２記憶部３５の全設定値３５１の中から属性毎に図５に示した初期値として予め決められている設定値Ｘ１を第２記憶部３５の使用設定値格納領域３５５に使用設定値Ｙｙとして記憶させることで、測定対象物１の測定する際に使用する使用設定値Ｙｙを設定する。つまり、設定部３４２は、レーザダイオード３の投光量の設定値Ｉｘの初期値Ｉ１である５０％を測定対象物１の測定する際に使用する使用設定値Ｙｙに設定する。また、設定部３４２は、測定モードの設定値Ｊｘの初期値Ｊ１である拡散反射モードを測定対象物１の測定する際に使用する使用設定値Ｙｙに設定する。また、設定部３４２は、フィルタ種類の設定値Ｋｘの初期値Ｋ１である移動平均フィルタを測定対象物１の測定する際に使用する使用設定値Ｙｙに設定する。また、設定部３４２は、移動平均回数の設定値Ｌｘの初期値Ｌ１である１２８回を測定対象物１の測定する際に使用する使用設定値Ｙｙに設定する。また、設定部３４２は、図６のステップＳ４にて設定された測定値取得間隔をユーザ条件格納領域３５４から読み出し、サンプリング周期の設定値Ｍｘの初期値Ｍ１が測定値取得間隔以下である場合、初期値Ｍ１である４０μｓを測定対象物１の測定する際に使用する使用設定値Ｙｙに設定する。また、設定部３４２は、サンプリング周期の設定値Ｍｘの初期値Ｍ１が測定値取得間隔より大きい場合、測定値取得間隔以下且つ測定値取得間隔に最も近いサンプリング周期の設定値Ｍｘを測定対象物１の測定する際に使用する使用設定値Ｙｙに設定する。例えば、図１０に示した測定値取得間隔が２０μｓに設定された場合は、サンプリング周期の設定値Ｍｘとして２０μｓを設定する。また、設定部３４２は、カットオフ周波数の設定値Ｎｘの初期値Ｎ１である１００Ｈｚを測定対象物１の測定する際に使用する使用設定値Ｙｙに設定する。また、設定部３４２は、屈折率の設定値Ｏｘの初期値Ｏ１である１．５０００を測定対象物１の測定する際に使用する使用設定値Ｙｙに設定する。そして、設定部３４２は、使用設定値格納領域３５５に記憶された各属性の使用設定値ＹｙをＰＬＣ２０に送信し、ＰＬＣ２０の第１制御部２２は、受信した各属性の使用設定値Ｙｙを第１記憶部２３の使用設定値格納領域２３２に格納する。そして、ステップＳ２０に進む。なお、測定レシピの設定値Ｐｘの初期値Ｐ１については実施の形態１では使用しないため説明を省略する。
そして、ステップＳ２０では、ＰＬＣ２０の第１制御部２２が使用設定値格納領域２３２の使用設定値Ｙｙに従って制御プログラム２３１を実行することで取得された変位計１０からの測定値（及び受光量）を、ＰＣ３０の取得部３４１が取得する。
そして、ステップＳ３０では、ＰＣ３０の判定部３４３は、変位計１０からの測定値が図６のステップＳ４にてユーザ条件格納領域３５４に格納された目標測定値３５２の範囲内、つまり、上限閾値と下限閾値の範囲である判定閾値の範囲内であるか判定する。初回の測定値は、各初期値Ｘ１（つまり、Ｉ１、Ｊ１、Ｋ１、Ｌ１、Ｍ１（又は、測定値取得間隔以下且つ測定値取得間隔に最も近いサンプリング周期の設定値Ｍｘ）、Ｎ１、Ｏ１）を各使用設定値Ｙｙとして設定して測定した測定値である。測定値が目標測定値３５２の範囲内であると判定された場合（ステップＳ３０：ＹＥＳ）は、測定値を取得した際に使用した各初期値Ｘ１（但し、Ｍｘのみ上述のようにＭ１でない場合有り）を用いれば基準ワークの測定値が適正な範囲内であることから、使用設定値自動調整処理を終了する。つまり、目標測定値３５２の範囲内となった基準ワークからの測定値を取得した際に使用した使用設定値Ｙｙが、ＰＬＣ２０の第１記憶部２３の使用設定値格納領域２３２に格納されて使用設定値Ｙｙとして設定される。そのため、変位計１０で測定対象物１を実際に検査する際には、目標測定値３５２の範囲内となった基準ワークからの測定値を取得した時に使用された使用設定値Ｙｙが使用されることとなる。測定値が目標測定値３５２の範囲外であると判定された場合（ステップＳ３０：ＮＯ）は、ステップＳ４０に進む。
そして、ステップＳ４０では、ＰＣ３０の判定部３４３は、最適化完了フラグＦＸが設定されているか確認する。最適化完了フラグＦＸは、後述のステップＳ５０で実行される使用設定値調整処理が完了した際に設定されるフラグＦである。最適化完了フラグＦＸは、例えば、最適化完了フラグＦＸの大文字Ｘ部分には測定モードの設定値Ｊｘの大文字部分を当てはめて、測定モード調整処理の完了時には後述するように最適化完了フラグＦＪが設定される。なお、その他の属性の設定値Ｘｘの調整処理が適用される場合、最適化完了フラグＦＸの大文字Ｘ部分には同様に対応する属性の設定値Ｘｘの大文字Ｘ部分が当てはめられる。ステップＳ４０で、最適化完了フラグＦＪが設定されていないと判定された場合（ステップＳ４０：ＮＯ）、後述する測定モード調整処理が完了していないため、ステップＳ５０に進む。
そして、ステップＳ５０では、測定モードの設定値Ｊｘの初期値Ｊ１を使用設定値Ｙｙとして設定しても測定値が正しくないため、使用設定値調整処理として測定モード調整処理が実行される。測定モード調整処理の詳細について図１５を参照しながら説明する。
ステップＳ５０では、測定モード調整処理が実行される。まず、図１５のステップＳ１０１では、判定部３４３が、測定モード調整処理における今回の測定値が初回の測定値か否か判定する。測定モード調整処理における初回の測定値とは、測定モード調整処理に先立ってステップＳ２０にて測定値が取得され、ステップＳ５０の測定モード調整処理に初めて進んだ時の測定値のことである。今回の測定値が、測定モード調整処理における初回の測定値であるか判定する方法としては、使用設定値自動調整処理開始からステップＳ５０の測定モード調整処理に進んだ回数をカウントし、そのカウント値が１である場合に判定部３４３が初回の測定値であると判定するが、これに限らない。今回の測定値が初回の測定値であると判定された場合（ステップＳ１０１：ＹＥＳ）は、測定モードの設定値Ｊｘの初期値Ｊ１である拡散反射モードを、測定対象物１を測定する際に使用する使用設定値Ｙｙに設定した後、初めて取得した測定値しかなく、比較対象となる他の測定値が無い。そのため、ステップＳ１０２に進む。
ステップＳ１０２では、変更部３４４が、測定値を取得済みの測定モードの設定値Ｊｘとは異なる設定値Ｊｘ＋１を第２記憶部３５の全設定値３５１の中から読み出す。初回であれば、測定値を取得済みの測定モードの設定値Ｊｘは初期値Ｊ１である拡散反射モードしかないので、初期値Ｊ１と異なる測定モードの設定値Ｊｘ＋１として設定値Ｊ２を第２記憶部３５の全設定値３５１の中から読み出す。そして、変更部３４４は、読み出された測定モードの設定値Ｊｘ＋１を使用設定値格納領域３５５に記憶することで、次回使用する使用設定値Ｙｙを測定モードの設定値Ｊｘ＋１に変更する。また、変更部３４４は、使用設定値格納領域３５５に格納された次回使用する使用設定値Ｙｙである測定モードの設定値Ｊｘ＋１をＰＬＣ２０に送信し、第１制御部２２は使用設定値格納領域２３２に次回使用する使用設定値Ｙｙである測定モードの設定値Ｊｘ＋１を記憶させ設定する。なお、ステップＳ１０１にて今回の測定値が初回の測定値であると判定されて、ステップＳ１０３及びステップＳ１０４を経ずにステップＳ１０２が行われる場合、ステップＳ１０２において、変更部３４４が初期値Ｊ１を最適化設定値格納領域３５６に仮に記憶させることも行う。そして、図１４のステップＳ２０に戻り、ＰＬＣ２０の第１制御部２２が使用設定値格納領域２３２に格納された新たな使用設定値Ｙｙ（次回使用する使用設定値）である測定モードの設定値Ｊｘ＋１に従って制御プログラム２３１を実行する。そして、図１４のステップＳ２０にて、取得部３４１が、新たな使用設定値Ｙｙ（前述の次回使用する使用設定値）を用いた測定値を取得する。そして、ステップＳ３０及びステップＳ４０を前述と同様に再度行い、最適化完了フラグＦＪが設定されていない場合、ステップＳ５０に再度進む。なお、ステップＳ３０にて、測定モードの設定値Ｊｘを設定値Ｊ２に変更した直後の測定値が目標測定値３５２の範囲内であると判定された場合は、その段階では、最適化設定値格納領域３５６に初期値Ｊ１が仮に記憶されており設定値Ｊｘの最適化がなされていないため、例外としてステップＳ４０に進む。
そして、ステップＳ５０では、再度、図１５のステップＳ１０１に進む。この場合、今回の測定値が初回の測定値でないと判定され（ステップＳ１０１：ＮＯ）、ステップＳ１０３に進む。
ステップＳ１０３では、更新部３４５が、最適化設定値格納領域３５６に保持されている測定モードの使用設定値Ｙｙ（第１使用設定値、実施の形態１ではＪｘ）を用いて測定された測定値（第１測定値）と、変更部３４４によって変更された後の新たな測定モードの使用設定値Ｙｙ（第２使用設定値、実施の形態１ではＪｘ＋１）を用いて測定された測定値（第２測定値）とのうち目標測定値３５２に近い測定値を取得した時の測定モードの使用設定値Ｙｙを、最適化設定値格納領域３５６に保持する。なお、測定モードの使用設定値Ｙｙ（第１使用設定値、実施の形態１ではＪｘ）を用いて測定された測定値（第１測定値）と、新たな測定モードの使用設定値Ｙｙ（第２使用設定値、実施の形態１ではＪｘ＋１）を用いて測定された測定値（第２測定値）とが同じである場合は、どちらか一方の測定モードの仕様設定値Ｙｙを、最適化設定値格納領域３５６に保持する。そして、ステップＳ１０４に進む。
ステップＳ１０４では、判定部３４３は、全ての測定モードの設定値Ｊｘを使用設定値Ｙｙに用いて基準ワークを測定して得られた全ての測定値を取得済みか否か判定する。例えば、判定部３４３が、測定モード調整処理の開始から取得部３４１が取得した測定値の数が第２記憶部３５の全設定値３５１中の測定モードの設定値Ｊｘの数と一致するか否かを確認することで全ての測定値を取得済みか否か判定する。全ての測定値を取得済みでないと判定された場合（ステップＳ１０４：ＮＯ）は、再度、ステップＳ１０２に進む。そして、ステップＳ１０２にて、変更部３４４が、測定値を取得済みの測定モードの設定値Ｊｘとは異なる設定値Ｊｘ＋１を全設定値３５１から読み出して、使用設定値格納領域３５５に使用設定値Ｙｙとして記憶させる。また、変更部３４４は、使用設定値格納領域３５５に格納された測定モードの設定値Ｊｘ＋１をＰＬＣ２０に送信し、使用設定値格納領域２３２に測定モードの設定値Ｊｘ＋１を使用設定値Ｙｙとして記憶させる。なお、ステップＳ１０３及びステップＳ１０４を経てステップＳ１０２が行われる場合、ステップＳ１０３において目標測定値３５２に近い測定値を取得した時の測定モードの使用設定値Ｙｙを最適化設定値格納領域３５６に保持させているため、この使用設定値Ｙｙを保持させるために、初期値Ｊ１を最適化設定値格納領域３５６に記憶させることは行わない。
そして、図１４のステップＳ２０からステップＳ５０の処理を繰り返す。つまり、測定値が目標測定値３５２の範囲外、且つ、最適化完了フラグＦＪが設定されていない間は、図１４のステップＳ２０からステップＳ５０が繰り返し実行される。なお、測定モードの設定値ＪｘのうちＪ３が使用設定値Ｙｙとして使用設定値格納領域２３２に設定された後、ステップＳ２０からステップＳ５０の繰り返し処理の間に、ステップＳ３０にて、測定値が目標測定値３５２の範囲内であると判定された場合（ステップＳ３０：ＹＥＳ）は、最適化設定値格納領域３５６に格納された測定モードの設定値Ｊｘを用いれば基準ワークの測定値が適正な範囲内となることから、使用設定値自動調整処理を終了する。つまり、この段階では、目標測定値３５２の範囲内となった基準ワークからの測定値を取得した際に使用した使用設定値Ｙｙと同じ測定モードの設定値Ｊｘが、ＰＣ３０の最適化設定値格納領域３５６に保持されているとともに、ＰＬＣ２０の使用設定値格納領域２３２にも同じ使用設定値Ｙｙが格納されていることとなる。そのため、変位計１０で測定対象物１を実際に検査する際には、最適化設定値格納領域３５６に格納された測定モードの設定値Ｊｘが使用されることとなる。なお、目標測定値３５２の範囲内と判定された時に、最適化設定値格納領域３５６に保持されている設定値Ｘｘを、以下では最適化設定値Ｘ＿ｏｐｔともいい、測定モードの最適化設定値はＪ＿ｏｐｔという。
ステップＳ１０４にて、全ての測定モードの設定値Ｊｘを使用設定値Ｙｙに用いて全ての測定値を取得済みと判定された場合（ステップＳ１０４：ＹＥＳ）は、ステップＳ１０５に進む。
ステップＳ１０５では、更新部３４５は、全ての測定モードの設定値Ｊｘを使用設定値Ｙｙに用いて全ての測定値を取得済みであり使用設定値調整処理としての測定モード調整処理が完了したとして、最適化完了フラグＦＸとして最適化完了フラグＦＪを設定する。また、ＰＬＣ２０の第１制御部２２に命令を送信し、第１記憶部２３に格納されている測定モードの使用設定値Ｙｙとして、測定モード調整処理完了時の最適化設定値格納領域３５６に保持されている測定モードの設定値Ｊｘである測定モードの最適化設定値Ｊ＿ｏｐｔを保持させる。
ステップＳ１０５にて最適化完了フラグＦＪが設定された時には、最適化設定値格納領域３５６に格納された測定モードの最適化設定値Ｊ＿ｏｐｔは、測定モードの全設定値Ｊ１，Ｊ２，Ｊ３・・・の中で最も目標測定値３５２に近い測定値を取得した設定値Ｊｘが保持され、この最適化設定値Ｊ＿ｏｐｔがＰＬＣ２０の使用設定値格納領域２３２に設定された状態となる。
この状態において、図１４のステップＳ２０からステップＳ４０が行われる。測定モードの最適化設定値Ｊ＿ｏｐｔを用いてステップＳ２０で取得した測定値がステップＳ３０にて目標測定値３５２の範囲外であると判定された場合（ステップＳ３０：ＮＯ）、ステップＳ４０では最適化完了フラグＦＪが設定されていることが確認されて、ステップＳ６０に進む。
ステップＳ６０では、判定部３４３は、表示装置３１にエラー表示画面を表示させ、使用設定値自動調整処理では、測定値を正しく測定できるように測定モードの設定値Ｊｘを調整できなかった旨をユーザに通知する。
上述のように使用設定値自動調整処理が実行され、ステップＳ３０にて測定値が目標測定値３５２の範囲内となった後に、図１６に示すように、変位計１０で測定対象物１を実際に検査する検査処理が行われる。このときには、ＰＬＣ２０の使用設定値格納領域２３２には、使用設定値自動調整処理にて測定値が目標測定値３５２の範囲内となった時の測定モードの設定値Ｊｘが使用設定値Ｙｙとして格納され、検査に使用される。
まず、ステップＳ１００１では、ステップＳ２０と同様に、ＰＬＣ２０の第１制御部２２が使用設定値格納領域２３２の使用設定値Ｙｙに従って制御プログラム２３１を実行することで取得された変位計１０からの測定値を、ＰＣ３０の取得部３４１が取得する。
そして、ステップＳ１００２では、ステップＳ３０と同様に、判定部３４３は、変位計１０からの測定値が目標測定値３５２の範囲内、つまり、上限閾値と下限閾値の範囲である目標測定値３５２の範囲内であるか判定する。測定値が目標測定値３５２の範囲内であると判定された場合（ステップＳ１００２：ＹＥＳ）は、ステップＳ１００３に進む。
ステップＳ１００３では、判定部３４３は、測定対象物１が良品であるとの検査結果を第２記憶部３５に格納する。そして、ステップＳ１００５に進む。
ステップＳ１００２にて、測定値が目標測定値３５２の範囲外であると判定された場合（ステップＳ１００２：ＮＯ）は、ステップＳ１００４に進む。
ステップＳ１００４では、判定部３４３は、測定対象物１が不良品であるとの検査結果を第２記憶部３５に格納する。また、表示制御部３４６は、不良品が発生したことを表示装置３１に表示しユーザに通知する。そして、ステップＳ１００５に進む。
ステップＳ１００５では、判定部３４３は、入力装置３２からのユーザ操作による検査終了指示を取得部３４１が受け付けたか判定する。検査終了指示を受け付けた場合（ステップＳ１００５：ＹＥＳ）は、測定対象物１の検査を終了する。検査終了指示を受け付けていない場合（ステップＳ１００５：ＮＯ）は、ステップＳ１００１に戻り、測定対象物１の検査が引き続き行われる。
このように、実施の形態１における変位計１０の設定値調整装置では、基準ワークを測定しながら測定モードの設定値Ｊｘの中から使用設定値Ｙｙを調整する際に、測定値が目標測定値３５２の範囲内であれば、目標測定値３５２の範囲内であると判定された測定値を取得した時の使用設定値Ｙｙ（測定モードの設定値Ｊｘ）を、測定対象物１を検査する際に使用する使用設定値Ｙｙに設定し、測定値が目標測定値３５２の範囲外であれば、変更部３４４は、測定値を取得した時とは異なる使用設定値Ｙｙに変更し、取得部３４１は、変更した使用設定値Ｙｙを用いて測定値を再取得し、判定部３４３は、変更された使用設定値Ｙｙ（測定モードの設定値Ｊｘ＋１）を用いて測定された測定値が、目標測定値３５２の範囲内か否か再度判定する。そのため、基準ワークを測定して測定モードの使用設定値Ｙｙの事前調整を行う際に、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Ｙｙを調整できるという効果を奏する。
また、実施の形態１における変位計１０の設定値調整装置では、基準ワークを測定して測定モードの設定値Ｊｘの中から使用設定値Ｙｙを事前調整する際に、初期値Ｊ１に基づく測定値が、目標測定値３５２の範囲内である場合は、測定対象物１を検査する際に使用する使用設定値Ｙｙとして初期値Ｊ１を使用し、測定値が目標測定値３５２の範囲外である場合は、変更部３４４は、使用設定値Ｙｙを測定モードの初期値Ｊ１とは異なる設定値（例えば、測定モードの設定値Ｊｘ＋１）に変更する。そのため、基準ワークを測定して測定モードの使用設定値Ｙｙの事前調整を行う際に、作業者の判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Ｙｙを調整できるという効果を奏する。
また、実施の形態１における変位計１０の設定値調整装置では、更新部３４５は、変更部３４４によって変更される前の使用設定値Ｙｙ（第１使用設定値、測定モードの設定値Ｊｘ）を用いて測定された測定値（第１測定値）と、変更部３４４によって変更された後の使用設定値Ｙｙ（第２使用設定値、測定モードの設定値Ｊｘ＋１）を用いて測定された測定値（第２測定値）とのうち目標測定値３５２に近い測定値を取得した時の使用設定値Ｙｙを、測定対象物１を測定する際に使用する使用設定値Ｙｙとして更新する。そのため、基準ワークを測定して測定モードの使用設定値Ｙｙの事前調整を行う際に、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Ｙｙを適切な測定モードの設定値Ｊｘに更新できるという効果を奏する。
実施の形態２．
続いて、実施の形態２の変位計１０の設定値調整システムについて図１４及び図１７を用いて説明する。なお、実施の形態１と同じ構成については、同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
実施の形態２の変位計１０の設定値調整システムにおいては、図１４に示したステップＳ５０の使用設定値調整処理が、実施の形態１の図１５に示した測定モード調整処理に代えて、図１７に示す第１フィルタ調整処理である点が実施の形態１に対して異なる。実施の形態２では、第１フィルタ調整処理が実行されることを除いて他の処理は実施の形態１と同じであるため、同じ処理については説明を省略する。
ステップＳ５０では、第１フィルタ調整処理が実行される。実施の形態１のステップＳ１０１からステップＳ１０５では測定モードの設定値Ｊｘが調整されたが、実施の形態１のステップＳ１０１からステップＳ１０５に対応する実施の形態２のステップＳ２０１からステップＳ２０５では、実施の形態１と同様の手順で、測定モードの設定値Ｊｘに代わり、フィルタ種類の設定値Ｋｘが調整される。その際に、ステップＳ２０５にて設定される最適化完了フラグＦＸは、第１フィルタ調整処理の完了を示す最適化完了フラグＦＫである。また、最適化設定値格納領域３５６に保持される最適化設定値Ｘ＿ｏｐｔは、フィルタ種類の最適化設定値Ｋ＿ｏｐｔである。そして、図１４に示した使用設定値自動調整処理のステップＳ４０では、フィルタ種類の設定値Ｋｘの調整処理の完了を示す最適化完了フラグＦＫが設定されているかが確認される。
実施の形態２における変位計１０の設定値調整装置では、基準ワークを測定してフィルタ種類の設定値Ｋｘの中から使用設定値Ｙｙの事前調整を行う際には、実施の形態１と同様に、測定値が目標測定値３５２の範囲内であれば、目標測定値３５２の範囲内であると判定された測定値を取得した時の使用設定値Ｙｙ（フィルタ種類の設定値Ｋｘ）を、測定対象物１を検査する際に使用する使用設定値Ｙｙに設定し、測定値が目標測定値３５２の範囲外であれば、変更部３４４は、測定値を取得した時とは異なる使用設定値Ｙｙに変更し、取得部３４１は、変更した使用設定値Ｙｙを用いて測定値を再取得し、判定部３４３は、変更された使用設定値Ｙｙ（フィルタ種類の設定値Ｋｘ＋１）を用いて測定された測定値が、目標測定値３５２の範囲内か否か再度判定する。そのため、基準ワークを測定してフィルタ種類の使用設定値Ｙｙの事前調整を行う際に、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Ｙｙを調整できるという効果を奏する。
また、実施の形態２における変位計１０の設定値調整装置では、基準ワークを測定してフィルタ種類の設定値Ｋｘの中から使用設定値Ｙｙを事前調整する際に、初期値Ｋ１に基づく測定値が、目標測定値３５２の範囲内である場合は、測定対象物１を検査する際に使用する使用設定値Ｙｙとして初期値Ｋ１を使用し、測定値が目標測定値３５２の範囲外である場合は、変更部３４４は、使用設定値Ｙｙをフィルタ種類の初期値Ｋ１とは異なる設定値（例えば、フィルタ種類の設定値Ｋｘ＋１）に変更する。そのため、基準ワークを測定してフィルタ種類の使用設定値Ｙｙの事前調整を行う際に、作業者の判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Ｙｙを調整できるという効果を奏する。
また、実施の形態２における変位計１０の設定値調整装置では、実施の形態１と同様に、更新部３４５は、変更部３４４によって変更される前の使用設定値Ｙｙ（第１使用設定値、フィルタ種類の設定値Ｋｘ）を用いて測定された測定値（第１測定値）と、変更部３４４によって変更された後の使用設定値Ｙｙ（第２使用設定値、フィルタ種類の設定値Ｋｘ＋１）を用いて測定された測定値（第２測定値）とのうち目標測定値３５２に近い測定値を取得した時の使用設定値Ｙｙを、測定対象物１を測定する際に使用する使用設定値Ｙｙとして更新する。そのため、基準ワークを測定してフィルタ種類の使用設定値Ｙｙの事前調整を行う際に、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Ｙｙを適切な設定値Ｋｘに更新できるという効果を奏する。
実施の形態３．
続いて、実施の形態３の変位計１０の設定値調整システムについて図１４及び図１８を用いて説明する。なお、実施の形態１又は実施の形態２と同じ構成については、同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
実施の形態３の変位計１０の設定値調整システムにおいては、図１４に示したステップＳ５０の使用設定値調整処理が、実施の形態１の図１５に示した測定モード調整処理に代えて、図１８に示す第２フィルタ調整処理である点が実施の形態１に対して異なる。実施の形態３では、第２フィルタ調整処理が実行されることを除いて他の処理は実施の形態１と同じであるため、同じ処理については説明を省略する。
ステップＳ５０では、第２フィルタ調整処理が実行される。まず、ステップＳ３０１では、判定部３４３は、測定対象物１を測定する際に使用するフィルタ種類の使用設定値Ｙｙとして移動平均フィルタの設定値Ｋ１が第２記憶部３５の使用設定値格納領域３５５に保持されているか判定する。移動平均フィルタの設定値Ｋ１が保持されていない場合（ステップＳ３０１：ＮＯ）は、フィルタ種類の使用設定値Ｙｙとして移動平均フィルタとは異なるフィルタ種類の設定値Ｋｘが保持されているため、最適化完了フラグＦＬを設定させて第２フィルタ調整処理を終了するためにステップＳ３０８に進む。移動平均フィルタの設定値Ｋ１が使用設定値Ｙｙとして保持されている場合（ステップＳ３０１：ＹＥＳ）は、ステップＳ３０２に進む。
ステップＳ３０２では、判定部３４３は、図６のステップＳ４にて設定された測定値取得間隔をユーザ条件格納領域３５４から読み出す。そして、ステップＳ３０３に進む。
ステップＳ３０３では、判定部３４３は、以下の式１により許容移動平均回数を算出する。そして、ステップＳ３０４に進む。なお、許容移動平均回数とは、ユーザが希望する測定値取得間隔を超えることなく測定値取得間隔以下となる移動平均回数である。なお、以下の式１を用いて許容移動平均回数を算出する際に用いられるサンプリング周期の設定値Ｍｘは、第２記憶部３５の使用設定値格納領域３５５に格納されているサンプリング周期の使用設定値Ｙｙを用いる。第２フィルタ調整処理が初めて実行される場合であれば、図５に示したサンプリング周期の設定値Ｍｘの初期値Ｍ１である４０μｓ（又は、測定値取得間隔以下且つ測定値取得間隔に最も近いサンプリング周期の設定値Ｍｘ）が、サンプリング周期の使用設定値Ｙｙとして第２記憶部３５の使用設定値格納領域３５５に格納されている。

許容移動平均回数＜測定値取得間隔÷サンプリング周期・・・（式１）
そして、実施の形態１のステップＳ１０１からステップＳ１０５に対応する実施の形態３のステップＳ３０４からステップＳ３０８では、実施の形態１と同様の手順で、実施の形態１の測定モードの設定値Ｊｘに代わり、移動平均フィルタの設定値Ｌｘが調整される。その際に、ステップＳ３０８にて設定される最適化完了フラグＦＸは、第２フィルタ調整処理の完了を示す最適化完了フラグＦＬである。また、最適化設定値格納領域３５６に保持される最適化設定値Ｘ＿ｏｐｔは、移動平均回数の最適化設定値Ｌ＿ｏｐｔである。そして、図１４に示した使用設定値自動調整処理のステップＳ４０では、移動平均回数の設定値Ｌｘの調整処理の完了を示す最適化完了フラグＦＬが設定されているかが確認される。
なお、ステップＳ３０５では、変更部３４４が、測定値を取得済みの移動平均回数の設定値Ｌｘとは異なる設定値Ｌｘ＋１を第２記憶部３５の全設定値３５１の中から読み出し、使用設定値格納領域３５５に記憶することで、次回使用する使用設定値Ｙｙを移動平均回数の設定値Ｌｘ＋１に変更する。また、変更部３４４は、使用設定値格納領域３５５に格納された次回使用する使用設定値Ｙｙである測定モードの設定値Ｌｘ＋１をＰＬＣ２０に送信し、使用設定値格納領域２３２に次回使用する使用設定値Ｙｙである移動平均回数の設定値Ｌｘ＋１を記憶させ設定する。このとき、変更部３４４が変更する移動平均回数の設定値Ｌｘ＋１は、ステップＳ３０３で算出された許容移動平均回数以下のもののみが選択される。
実施の形態３における変位計１０の設定値調整装置では、基準ワークを測定して移動平均回数の設定値Ｌｘの中から使用設定値Ｙｙの事前調整を行う際には、実施の形態１又は実施の形態２と同様に、測定値が目標測定値３５２の範囲内であれば、目標測定値３５２の範囲内であると判定された測定値を取得した時の使用設定値Ｙｙ（移動平均回数の設定値Ｌｘ）を、測定対象物１を検査する際に使用する使用設定値Ｙｙに設定し、測定値が目標測定値３５２の範囲外であれば、変更部３４４は、測定値を取得した時とは異なる使用設定値Ｙｙに変更し、取得部３４１は、変更した使用設定値Ｙｙを用いて測定値を再取得し、判定部３４３は、変更された使用設定値Ｙｙ（移動平均回数の設定値Ｌｘ＋１）を用いて測定された測定値が、目標測定値３５２の範囲内か否か再度判定する。そのため、基準ワークを測定して移動平均回数の使用設定値Ｙｙの事前調整を行う際に、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Ｙｙを調整できるという効果を奏する。
また、実施の形態３における変位計１０の設定値調整装置では、基準ワークを測定して移動平均回数の設定値Ｌｘの中から使用設定値Ｙｙを事前調整する際に、初期値Ｌ１に基づく測定値が、目標測定値３５２の範囲内である場合は、測定対象物１を検査する際に使用する使用設定値Ｙｙとして初期値Ｌ１を使用し、測定値が目標測定値３５２の範囲外である場合は、変更部３４４は、使用設定値Ｙｙを移動平均回数の初期値Ｌ１とは異なる設定値（例えば、移動平均回数の設定値Ｌｘ＋１）に変更する。そのため、基準ワークを測定して移動平均回数の使用設定値Ｙｙの事前調整を行う際に、作業者の判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Ｙｙを調整できるという効果を奏する。
また、実施の形態３における変位計１０の設定値調整装置では、実施の形態１又は実施の形態２と同様に、更新部３４５は、変更部３４４によって変更される前の使用設定値Ｙｙ（第１使用設定値、移動平均回数の設定値Ｌｘ）を用いて測定された測定値（第１測定値）と、変更部３４４によって変更された後の使用設定値Ｙｙ（第２使用設定値、移動平均回数の設定値Ｌｘ＋１）を用いて測定された測定値（第２測定値）とのうち目標測定値３５２に近い測定値を取得した時の使用設定値Ｙｙを、測定対象物１を測定する際に使用する使用設定値Ｙｙとして更新する。そのため、基準ワークを測定して移動平均回数の使用設定値Ｙｙの事前調整を行う際に、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Ｙｙを適切な設定値Ｌｘに更新できるという効果を奏する。
また、実施の形態３における変位計１０の設定値調整装置では、変更部３４４は、測定値取得間隔をサンプリング周期の使用設定値Ｙｙ（変位計１０が測定対象物１を測定する際に使用するサンプリング周期の設定値Ｍｘ）で割ることで得られる許容移動平均回数以下の移動平均回数の設定値Ｌｘに使用設定値Ｙｙを変更する。そのため、変更部３４４が移動平均回数の使用設定値Ｙｙを変更する際に、ユーザ操作により指定された測定値取得間隔を超えるような移動平均回数の設定値Ｌｘに変更されることがない。よって、ユーザが想定するタクトタイムには影響を与えずに、移動平均回数の使用設定値Ｙｙを適切な移動平均回数の設定値Ｌｘに自動調整できるという効果を奏する。
実施の形態４．
続いて、実施の形態４の変位計１０の設定値調整システムについて図１４及び図１９を用いて説明する。なお、実施の形態１から実施の形態３と同じ構成については、同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
実施の形態４の変位計１０の設定値調整システムにおいては、図１４に示したステップＳ５０の使用設定値調整処理が、実施の形態１の図１５に示した測定モード調整処理に代えて、図１９に示す第３フィルタ調整処理である点が実施の形態１に対して異なる。実施の形態４では、第３フィルタ調整処理が実行されることを除いて他の処理は実施の形態１と同じであるため、同じ処理については説明を省略する。
ステップＳ５０では、第３フィルタ調整処理が実行される。まず、ステップＳ４０１では、判定部３４３は、測定対象物１を測定する際に使用するフィルタ種類の使用設定値Ｙｙとしてローパスフィルタの設定値Ｋ２又はハイパスフィルタの設定値Ｋ３のいずれか１つが第２記憶部３５の使用設定値格納領域３５５に保持されているか判定する。ローパスフィルタの設定値Ｋ２又はハイパスフィルタの設定値Ｋ３が保持されていない場合（ステップＳ４０１：ＮＯ）は、フィルタ種類の使用設定値Ｙｙとしてローパスフィルタ又はハイパスフィルタとは異なるフィルタ種類の設定値Ｋｘが保持されているため、最適化完了フラグＦＮを設定させて第３フィルタ調整処理を終了するためにステップＳ４０６に進む。フィルタ種類の使用設定値Ｙｙとしてローパスフィルタの設定値Ｋ２又はハイパスフィルタの設定値Ｋ３が保持されている場合（ステップＳ４０１：ＹＥＳ）は、ステップＳ４０２に進む。
そして、実施の形態１のステップＳ１０１からステップＳ１０５に対応する実施の形態４のステップＳ４０２からステップＳ４０６では、実施の形態１と同様の手順で、実施の形態１の測定モードの設定値Ｊｘに代わり、カットオフ周波数の設定値Ｎｘが調整される。その際に、ステップＳ４０６にて設定される最適化完了フラグＦＸは、第３フィルタ調整処理の完了を示す最適化完了フラグＦＮである。また、最適化設定値格納領域３５６に保持される最適化設定値Ｘ＿ｏｐｔは、移動平均回数の最適化設定値Ｎ＿ｏｐｔである。そして、図１４に示した使用設定値自動調整処理のステップＳ４０では、カットオフ周波数の設定値Ｎｘの調整処理の完了を示す最適化完了フラグＦＮが設定されているかが確認される。
実施の形態４における変位計１０の設定値調整装置では、基準ワークを測定してカットオフ周波数の設定値Ｎｘの中から使用設定値Ｙｙの事前調整を行う際には、実施の形態１から実施の形態３と同様に、測定値が目標測定値３５２の範囲内であれば、目標測定値３５２の範囲内であると判定された測定値を取得した時の使用設定値Ｙｙ（カットオフ周波数の設定値Ｎｘ）を、測定対象物１を検査する際に使用する使用設定値Ｙｙに設定し、測定値が目標測定値３５２の範囲外であれば、変更部３４４は、測定値を取得した時とは異なる使用設定値Ｙｙに変更し、取得部３４１は、変更した使用設定値Ｙｙを用いて測定値を再取得し、判定部３４３は、変更された使用設定値Ｙｙ（カットオフ周波数の設定値Ｎｘ＋１）を用いて測定された測定値が、目標測定値３５２の範囲内か否か再度判定する。そのため、基準ワークを測定してカットオフ周波数の使用設定値Ｙｙの事前調整を行う際に、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Ｙｙを調整できるという効果を奏する。
また、実施の形態４における変位計１０の設定値調整装置では、基準ワークを測定してカットオフ周波数の設定値Ｎｘの中から使用設定値Ｙｙを事前調整する際に、初期値Ｎ１に基づく測定値が、目標測定値３５２の範囲内である場合は、測定対象物１を検査する際に使用する使用設定値Ｙｙとして初期値Ｎ１を使用し、測定値が目標測定値３５２の範囲外である場合は、変更部３４４は、使用設定値Ｙｙを移動平均回数の初期値Ｎ１とは異なる設定値（例えば、カットオフ周波数の設定値Ｎｘ＋１）に変更する。そのため、基準ワークを測定してカットオフ周波数の使用設定値Ｙｙの事前調整を行う際に、作業者の判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Ｙｙを調整できるという効果を奏する。
また、実施の形態４における変位計１０の設定値調整装置では、実施の形態１から実施の形態３と同様に、更新部３４５は、変更部３４４によって変更される前の使用設定値Ｙｙ（第１使用設定値、カットオフ周波数の設定値Ｎｘ）を用いて測定された測定値（第１測定値）と、変更部３４４によって変更された後の使用設定値Ｙｙ（第２使用設定値、カットオフ周波数の設定値Ｎｘ＋１）を用いて測定された測定値（第２測定値）とのうち目標測定値３５２に近い測定値を取得した時の使用設定値Ｙｙを、測定対象物１を測定する際に使用する使用設定値Ｙｙとして更新する。そのため、基準ワークを測定してカットオフ周波数の使用設定値Ｙｙの事前調整を行う際に、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Ｙｙを適切な設定値Ｌｘに更新できるという効果を奏する。
実施の形態５．
続いて、実施の形態５の変位計１０の設定値調整システムについて図１４及び図２０を用いて説明する。なお、実施の形態１から実施の形態４と同じ構成については、同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
実施の形態５の変位計１０の設定値調整システムにおいては、図１４に示したステップＳ５０の使用設定値調整処理が、実施の形態１の図１５に示した測定モード調整処理に代えて、図２０に示す屈折率調整処理である点が実施の形態１に対して異なる。実施の形態４では、屈折率調整処理が実行されることを除いて他の処理は実施の形態１と同じであるため、同じ処理については説明を省略する。
ステップＳ５０では、屈折率調整処理が実行される。まず、ステップＳ５０１では、判定部３４３は、図６のステップＳ１にて設定された測定対象値を第２記憶部３５のユーザ条件格納領域３５４から読み出し、測定対象値が測定対象物１である透明体の厚みが選択されたか否か判定する。測定対象値が透明体の厚みではないと判定された場合（ステップＳ５０１：ＮＯ）は、測定対象物１の測定時に測定対象物１である透明体の屈折率を考慮する必要が無いため、最適化完了フラグＦＯを設定させて屈折率調整処理を終了するためにステップＳ５０６に進む。測定対象値が透明体の厚みであると判定された場合（ステップＳ５０１：ＹＥＳ）は、ステップＳ５０２に進む。
そして、実施の形態１のステップＳ１０１からステップＳ１０５に対応する実施の形態５のステップＳ５０２からステップＳ５０６では、実施の形態１と同様の手順で、実施の形態１の測定モードの設定値Ｊｘに代わり、屈折率の設定値Ｏｘが調整される。その際に、ステップＳ５０６にて設定される最適化完了フラグＦＸは、屈折率調整処理の完了を示す最適化完了フラグＦＯである。また、最適化設定値格納領域３５６に保持される最適化設定値Ｘ＿ｏｐｔは、屈折率の最適化設定値Ｏ＿ｏｐｔである。そして、図１４に示した使用設定値自動調整処理のステップＳ４０では、屈折率の設定値Ｏｘの調整処理の完了を示す最適化完了フラグＦＯが設定されているかが確認される。
実施の形態５における変位計１０の設定値調整装置では、基準ワークを測定して屈折率の設定値Ｏｘの中から使用設定値Ｙｙの事前調整を行う際には、実施の形態１から実施の形態４と同様に、測定値が目標測定値３５２の範囲内であれば、目標測定値３５２の範囲内であると判定された測定値を取得した時の使用設定値Ｙｙ（屈折率の設定値Ｏｘ）を、測定対象物１を検査する際に使用する使用設定値Ｙｙに設定し、測定値が目標測定値３５２の範囲外であれば、変更部３４４は、測定値を取得した時とは異なる使用設定値Ｙｙに変更し、取得部３４１は、変更した使用設定値Ｙｙを用いて測定値を再取得し、判定部３４３は、変更された使用設定値Ｙｙ（屈折率の設定値Ｏｘ＋１）を用いて測定された測定値が、目標測定値３５２の範囲内か否か再度判定する。そのため、基準ワークを測定して屈折率の使用設定値Ｙｙの事前調整を行う際に、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Ｙｙを調整できるという効果を奏する。
また、実施の形態５における変位計１０の設定値調整装置では、基準ワークを測定して屈折率の設定値Ｏｘの中から使用設定値Ｙｙを事前調整する際に、初期値Ｏ１に基づく測定値が、目標測定値３５２の範囲内である場合は、測定対象物１を検査する際に使用する使用設定値Ｙｙとして初期値Ｏ１を使用し、測定値が目標測定値３５２の範囲外である場合は、変更部３４４は、使用設定値Ｙｙを屈折率の初期値Ｏ１とは異なる設定値（例えば、屈折率の設定値Ｏｘ＋１）に変更する。そのため、基準ワークを測定して屈折率の使用設定値Ｙｙの事前調整を行う際に、作業者の判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Ｙｙを調整できるという効果を奏する。
また、実施の形態５における変位計１０の設定値調整装置では、実施の形態１から実施の形態４と同様に、更新部３４５は、変更部３４４によって変更される前の使用設定値Ｙｙ（第１使用設定値、屈折率の設定値Ｏｘ）を用いて測定された測定値（第１測定値）と、変更部３４４によって変更された後の使用設定値Ｙｙ（第２使用設定値、屈折率の設定値Ｏｘ＋１）を用いて測定された測定値（第２測定値）とのうち目標測定値３５２に近い測定値を取得した時の使用設定値Ｙｙを、測定対象物１を測定する際に使用する使用設定値Ｙｙとして更新する。そのため、基準ワークを測定して屈折率の使用設定値Ｙｙの事前調整を行う際に、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Ｙｙを適切な設定値Ｏｘに更新できるという効果を奏する。
実施の形態６．
続いて、実施の形態６の変位計１０の設定値調整システムについて図２１から図２３を用いて説明する。なお、実施の形態１から実施の形態５と同じ構成については、同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
実施の形態６の変位計１０の設定値調整システムにおいては、図１４に示した使用設定値自動調整処理に代わり、図２２に示す使用設定値自動調整処理が行われる。具体的は、ステップＳ１０に代わりステップＳ１０Ａが実行される点、及び、ステップＳ５０の使用設定値調整処理が、実施の形態１の図１５に示した測定モード調整処理に代えて、図２３に示す測定レシピ調整処理である点が実施の形態１に対して異なる。実施の形態６では、測定レシピ調整処理が実行されることを除いて他の処理は実施の形態１と同じであるため、同じ処理については説明を省略する。
まず、実施の形態１にて説明を省略した測定レシピについて、図２１の測定レシピテーブル６０を参照して説明する。
測定レシピの設定値Ｐｘは、測定対象物１の物性又は測定対象値に応じて、複数の属性の設定値Ｉｘ，Ｊｘ，Ｋｘ，Ｌｘ，Ｍｘ，Ｎｘ，Ｏｘ・・・が属性毎に一つずつ対応付けられ設定された設定値である。複数の測定レシピの設定値Ｐｘの例としては、標準的な表面物性を持つ測定対象物１に適した測定レシピが設定されている測定レシピＡ、測定対象物１が非鏡面を有する金属である場合に適した測定レシピが設定されている測定レシピＢ、測定対象物１が鏡面体又は透明体である場合に適した測定レシピが設定されている測定レシピＣ、測定対象物１の透明体間の隙間を測定する場合に適した測定レシピである測定レシピＤ、測定対象物１の透明体の厚みを測定する場合に適した測定レシピである測定レシピＥ、測定対象物１が鏡面を有する金属である場合に適した測定レシピが設定されている測定レシピＦ、測定対象物１がパターン付ガラスである場合に適した測定レシピが設定されている測定レシピＧ等の複数の設定値Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３・・・が挙げられる。なお、本実施形態においては、測定レシピの設定値Ｐｘの初期値Ｐ１は、測定レシピＡの設定値とする。
測定レシピの設定値Ｐｘに対応付けられた各属性の設定値Ｉｘ，Ｊｘ，Ｋｘ，Ｌｘ，Ｍｘ，Ｎｘ，Ｏｘ・・・の一例として、測定レシピＡを例にして説明する。測定レシピＡの設定値Ｐ１には、図２１に示すように、投光量の設定値Ｉｘの初期値Ｉ１である５０％と、測定モードの設定値Ｊｘの初期値Ｊ１である拡散反射モードと、フィルタ種類の設定値Ｋｘの初期値Ｋ１である移動平均フィルタと、移動平均回数の設定値Ｌｘの初期値Ｌ１である１２８回と、サンプリング周期の設定値Ｍｘの初期値Ｍ１である４０μｓと、が予め製造メーカ等により設定されている。測定レシピＡの設定値Ｐ１では、カットオフ周波数の設定値Ｎｘ及び屈折率の設定値Ｏｘは使用されないため設定されていない。その他の測定レシピの設定値Ｐｘに対応付けられた各属性の設定値Ｉｘ，Ｊｘ，Ｋｘ，Ｌｘ，Ｍｘ，Ｎｘ，Ｏｘ・・・についても同様に、例えば、図２１に示すように予め設定されている。
まず、図２２に示す使用設定値自動調整処理では、ステップＳ１０Ａにて、設定部３４２は、測定レシピの設定値Ｐｘの初期値Ｐ１である測定レシピＡの設定値Ｐ１に対応付けられている各属性の設定値Ｘｘ（Ｉ１，Ｊ１，Ｋ１，Ｌ１，Ｍ１，なし，なし・・・）を使用設定値Ｙｙとして設定する。実施の形態１で説明したステップＳ１０では、使用設定値格納領域３５５には、測定レシピの設定値Ｐｘを除くＩ１，Ｊ１，Ｋ１，Ｌ１，Ｍ１，Ｎ１，Ｏ１・・・を格納していた。それに代え、実施の形態６の使用設定値自動調整処理におけるステップＳ１０Ａでは、各属性の初期値として測定レシピの設定値Ｐｘである測定レシピＡの設定値Ｐ１も加え、測定レシピＡの設定値Ｐ１に対応付けられている各属性の設定値Ｘｘと、測定レシピＡの設定値Ｐ１と、を使用設定値Ｙｙとして使用設定値格納領域３５５に格納する。そして、設定部３４２は、使用設定値格納領域３５５に記憶された各属性の使用設定値Ｙｙのうち、測定レシピＡの設定値Ｐ１自体を除き、測定レシピＡの設定値Ｐ１に対応付けられている各属性の設定値ＸｘをＰＬＣ２０に送信し、ＰＬＣ２０の第１制御部２２は、受信した各属性の使用設定値Ｙｙを第１記憶部２３の使用設定値格納領域２３２に格納する。そして、図２２の使用設定値自動調整処理では、実施の形態１と同様に、ステップＳ２０からステップＳ６０が行われる。
続いて、実施の形態６におけるステップＳ５０の使用設定値調整処理について説明する。ステップＳ５０では、図２３に示す測定レシピ調整処理が実行される。まず、ステップＳ６０１では、判定部３４３は、図６のステップＳ１にて設定された測定対象値を第２記憶部３５のユーザ条件格納領域３５４から読み出し、測定対象値が測定対象物１である透明体の隙間又は透明体の厚みが選択されたか否か判定する。測定対象値が透明体の隙間又は透明体の厚みが選択されたと判定された場合（ステップＳ６０１：ＹＥＳ）は、ステップＳ６０２に進む。
そして、ステップＳ６０２では、変更部３４４が、ユーザ条件格納領域３５４から読み出された測定対象値に対応する測定レシピの設定値Ｐｘに対応付けられた各属性の設定値Ｘｘ（Ｉｘ，Ｊｘ，Ｋｘ，Ｌｘ，Ｍｘ，Ｎｘ，Ｏｘ・・・）を第２記憶部３５の全設定値３５１の中から読み出す。具体的には、測定対象値が透明体の隙間である場合、透明体の隙間に対応した測定レシピの設定値Ｐｘである測定レシピＤ（図２１参照）中の各属性の設定値Ｉｘ（２０％），Ｊｘ（正反射モード），Ｋｘ（移動平均フィルタ），Ｌｘ（１２８回），Ｍｘ（４０μｓ），Ｎｘ（なし），Ｏｘ（なし）・・・を読み出す。また、測定対象値が透明体の厚みである場合、透明体の厚みに対応した測定レシピの設定値Ｐｘである測定レシピＥ（図２１参照）中の各属性の設定値Ｉｘ（２０％），Ｊｘ（正反射モード），Ｋｘ（移動平均フィルタ），Ｌｘ（１２８回），Ｍｘ（４０μｓ），Ｎｘ（なし），Ｏｘ（１．５０００）・・・を読み出す。そして、変更部３４４は、読み出された各属性の設定値Ｘｘを使用設定値格納領域３５５に記憶することで、次回使用する使用設定値Ｙｙを読み出された各属性の設定値Ｘｘに変更する。また、変更部３４４は、使用設定値格納領域３５５に格納された次回使用する使用設定値Ｙｙである各属性の設定値ＸｘをＰＬＣ２０に送信し、第１制御部２２は使用設定値格納領域２３２に次回使用する使用設定値Ｙｙである各属性の設定値Ｘｘを記憶させ設定する。そして、ステップＳ６０７に進む。
ステップＳ６０１にて、測定対象値が透明体の隙間又は透明体の厚みが選択されていないと判定された場合（ステップＳ６０１：ＮＯ）は、ステップＳ６０３に進む。
そして、実施の形態１のステップＳ１０１からステップＳ１０５に対応する実施の形態６のステップＳ６０３からステップＳ６０７では、実施の形態１と同様の手順で、実施の形態１の測定モードの設定値Ｊｘのみの調整ではなく、測定レシピの設定値Ｐｘに基づいて測定レシピの設定値Ｐｘに対応付けられる各属性の設定値Ｘｘ（Ｉｘ，Ｊｘ，Ｋｘ，Ｌｘ，Ｍｘ，Ｎｘ，Ｏｘ・・・）が調整される。
具体的には、ステップＳ６０４では、変更部３４４が、測定値を取得済みの測定レシピの設定値Ｐｘとは異なる設定値Ｐｘ＋１に変更するとともに、測定レシピの設定値Ｐｘ＋１に対応付けられている各属性の設定値Ｘｘ（Ｉｘ，Ｊｘ，Ｋｘ，Ｌｘ，Ｍｘ，Ｎｘ，Ｏｘ・・・）を第２記憶部３５の全設定値３５１の中から読み出す。そして、変更部３４４は、測定レシピの設定値Ｐｘ＋１及び測定レシピの設定値Ｐｘ＋１に対応付けられる各属性の設定値Ｘｘ（Ｉｘ，Ｊｘ，Ｋｘ，Ｌｘ，Ｍｘ，Ｎｘ，Ｏｘ・・・）を使用設定値格納領域３５５に記憶することで、次回使用する使用設定値Ｙｙを各属性の設定値Ｘｘに変更する。また、変更部３４４は、使用設定値格納領域３５５に格納された次回使用する使用設定値Ｙｙである各属性の設定値Ｘｘ（測定レシピの設定値Ｐｘ＋１を除き、測定レシピの設定値Ｐｘ＋１に対応付けられた各属性の設定値Ｘｘ（Ｉｘ，Ｊｘ，Ｋｘ，Ｌｘ，Ｍｘ，Ｎｘ，Ｏｘ・・・）をＰＬＣ２０に送信し、第１制御部２２は使用設定値格納領域２３２に次回使用する使用設定値Ｙｙである各属性の設定値Ｘｘ（測定レシピの設定値Ｐｘ＋１に対応付けられた各属性の設定値Ｘｘ（Ｉｘ，Ｊｘ，Ｋｘ，Ｌｘ，Ｍｘ，Ｎｘ，Ｏｘ・・・）を記憶させ設定する。
また、ステップＳ６０７にて設定される最適化完了フラグＦＸは、測定レシピ調整処理の完了を示す最適化完了フラグＦＰである。また、最適化設定値格納領域３５６に保持される最適化設定値Ｘ＿ｏｐｔは、測定レシピの最適化設定値Ｐ＿ｏｐｔと、測定レシピの最適化設定値Ｐ＿ｏｐｔに対応付けられた各属性の設定値Ｘｘ（Ｉｘ，Ｊｘ，Ｋｘ，Ｌｘ，Ｍｘ，Ｎｘ，Ｏｘ・・・）である。そして、図２２に示した使用設定値自動調整処理のステップＳ４０では、測定レシピの設定値Ｐｘの調整処理の完了を示す最適化完了フラグＦＰが設定されているかが確認される。
実施の形態６では、測定レシピの設定値Ｐｘに対応付けられた各属性の設定値Ｘｘとして、投光量の設定値Ｉｘ、測定モードの設定値Ｊｘ、フィルタ種類の設定値Ｋｘ、移動平均回数の設定値Ｌｘ、サンプリング周期の設定値Ｍｘ、カットオフ周波数の設定値Ｎｘ及び屈折率の設定値Ｏｘ等の全てを対応付けていたがこれに限られない。例えば、投光量の設定値Ｉｘ、測定モードの設定値Ｊｘ、フィルタ種類の設定値Ｋｘ、移動平均回数の設定値Ｌｘ、サンプリング周期の設定値Ｍｘ、カットオフ周波数の設定値Ｎｘ及び屈折率の設定値Ｏｘ等の複数の属性の設定値Ｘｘのうちの少なくとも２つ以上の属性の設定値Ｘｘを測定レシピの設定値Ｐｘに対応付けてもよい。
実施の形態６における変位計１０の設定値調整装置では、基準ワークを測定して測定レシピの設定値Ｐｘから使用設定値Ｙｙの事前調整を行う際には、実施の形態１から実施の形態５と同様に、測定値が目標測定値３５２の範囲内であれば、目標測定値３５２の範囲内であると判定された測定値を取得した時の使用設定値Ｙｙ（測定レシピの設定値Ｐｘに対応付けられた各属性の設定値Ｘｘ）を、測定対象物１を検査する際に使用する使用設定値Ｙｙに設定し、測定値が目標測定値３５２の範囲外であれば、変更部３４４は、測定値を取得した時とは異なる使用設定値Ｙｙに変更し、取得部３４１は、変更した使用設定値Ｙｙを用いて測定値を再取得し、判定部３４３は、変更された使用設定値Ｙｙ（測定レシピの設定値Ｐｘ＋１に対応付けられた各属性の設定値Ｘｘ）を用いて測定された測定値が、目標測定値３５２の範囲内か否か再度判定する。そのため、基準ワークを測定して測定レシピの使用設定値Ｙｙの事前調整を行う際に、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Ｙｙを調整できるという効果を奏する。
また、実施の形態６における変位計１０の設定値調整装置では、基準ワークを測定して測定レシピの設定値Ｐｘに対応付けられた各属性の設定値Ｘｘに基づいて使用設定値Ｙｙを事前調整する際に、初期値Ｐ１に基づく測定値が、目標測定値３５２の範囲内である場合は、測定対象物１を検査する際に使用する使用設定値Ｙｙとして初期値Ｐ１に対応付けられた各属性の設定値Ｘｘを使用し、測定値が目標測定値３５２の範囲外である場合は、変更部３４４は、使用設定値Ｙｙを初期値Ｐ１とは異なる設定値（例えば、測定レシピの設定値Ｐｘ＋１に対応付けられた各属性の設定値Ｘｘ）に変更する。そのため、基準ワークを測定して測定レシピの設定値Ｐｘに基づいて使用設定値Ｙｙの事前調整を行う際に、作業者の判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Ｙｙを調整できるという効果を奏する。
また、実施の形態６における変位計１０の設定値調整装置では、実施の形態１から実施の形態５と同様に、更新部３４５は、変更部３４４によって変更される前の使用設定値Ｙｙ（第１使用設定値、測定レシピの設定値Ｐｘに対応付けられた各属性の設定値Ｘｘ）を用いて測定された測定値（第１測定値）と、変更部３４４によって変更された後の使用設定値Ｙｙ（第２使用設定値、測定レシピの設定値Ｐｘ＋１に対応付けられた各属性の設定値Ｘｘ）を用いて測定された測定値（第２測定値）とのうち目標測定値３５２に近い測定値を取得した時の使用設定値Ｙｙを、測定対象物１を測定する際に使用する使用設定値Ｙｙとして更新する。そのため、基準ワークを測定して測定レシピの使用設定値Ｙｙの事前調整を行う際に、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Ｙｙを適切な設定値Ｐｘに更新できるという効果を奏する。
実施の形態７．
続いて、実施の形態７の変位計１０の設定値調整システムについて図１３、図１４、図２４及び図２５を用いて説明する。なお、実施の形態１から実施の形態６と同じ構成については、同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
実施の形態７の変位計１０の設定値調整システムにおいては、図１４に示したステップＳ５０の使用設定値調整処理が、実施の形態１の図１５に示した測定モード調整処理に代えて、図２４に示す投光量調整処理である点が実施の形態１に対して異なる。実施の形態７では、投光量調整処理が実行されることを除いて他の処理は実施の形態１と同じであるため、同じ処理については説明を省略する。
また、実施の形態７では、実施の形態１では説明を省略した目標受光量３５３も使用される。ＰＣ３０の第２記憶部３５は、全設定値３５１及び目標測定値３５２に加え、変位計１０の測定条件の１つとして規定される目標受光量３５３をも記憶する。目標受光量３５３は、例えば、製造メーカにより予め規定された目標値である。変位計１０からの受光量が目標受光量３５３の範囲でない場合、測定値を正しく取得できない。具体的には、変位計１０からの受光量が目標受光量３５３より小さい場合、例えば、図１３に示した受光量波形を表示する表示領域７６０の受光量波形の山Ｐが小さい。そのため、受光量波形の山Ｐは幅広となり、イメージセンサ６中の受光素子に対応する画素の位置を示す横軸における山Ｐの頂点の位置の検出精度が悪化する。つまり、測定値の精度が悪化する。また、変位計１０からの受光量が目標受光量３５３より大きい場合、例えば、図１３に示した受光量波形を表示する表示領域７６０の受光量波形の山Ｐが大きすぎて、受光量波形の山Ｐの頂点が検出可能範囲（図１３に示す例では、縦軸に示す０〜１０００の範囲）を超えると、受光量波形の山Ｐの頂点部分が切れた台形状の受光量波形となり、横軸における山Ｐの頂点の位置が特定できなくなる。つまり、測定値の精度が悪化する。そのため、実施の形態７では、受光量が目標受光量３５３となるように投光量の設定値Ｉｘを調整する。目標受光量３５３は、４００から８００の範囲のように下限目標受光量と上限目標受光量との間の範囲としてもよいし、６００のように特定の一つの値でもよい。
図１４のステップＳ５０では、投光量調整処理が実行される。まず、図２４に示すように、ステップＳ７０１では、判定部３４３は、変位計１０からの受光量が目標受光量３５３の範囲内であるか判定する。受光量が目標受光量３５３の範囲内であると判定された場合（ステップＳ７０１：ＹＥＳ）は、測定値を取得した際に使用した投光量の初期値Ｉ１を用いれば基準ワークを測定した際の変位計１０からの受光量が適正な範囲内であることから、ステップＳ７０６に進む。受光量が目標受光量３５３の範囲外であると判定された場合（ステップＳ７０１：ＮＯ）は、ステップＳ７０２に進む。
そして、実施の形態１のステップＳ１０１からステップＳ１０５に対応する実施の形態７のステップＳ７０２からステップＳ７０６では、実施の形態１と同様の手順で、実施の形態１の測定モードの設定値Ｊｘに代わり、投光量の設定値Ｉｘが調整される。
なお、ステップＳ７０４では、取得した測定値と目標測定値３５２を用いた実施の形態１のステップＳ６０３と異なり、取得した受光量と目標受光量３５３を用いる。具体的には、更新部３４５が、最適化設定値格納領域３５６に保持されている投光量の使用設定値Ｙｙ（第１使用設定値、実施の形態７ではＩｘ）を用いて取得された受光量（第１受光量）と、変更部３４４によって変更された後の新たな投光量の使用設定値Ｙｙ（第２使用設定値、実施の形態７ではＩｘ＋１）を用いて取得された受光量（第２受光量）とのうち目標受光量３５３に近い受光量を取得した時の投光量の使用設定値Ｙｙを、最適化設定値格納領域３５６に保持する。
また、ステップＳ７０６にて設定される最適化完了フラグＦＸは、投光量調整処理の完了を示す最適化完了フラグＦＩである。また、最適化設定値格納領域３５６に保持される最適化設定値Ｘ＿ｏｐｔは、投光量の最適化設定値Ｉ＿ｏｐｔである。そして、図１４に示した使用設定値自動調整処理のステップＳ４０では、投光量の設定値Ｉｘの調整処理の完了を示す最適化完了フラグＦＩが設定されているかが確認される。
また、図１４に示した使用設定値自動調整処理のステップＳ６０では、表示制御部３４６は、表示装置３１にエラー表示画面を表示させ、使用設定値自動調整処理では、測定値を正しく測定できるように投光量の設定値Ｉｘを調整できなかった旨をユーザに通知する。より好適には、実施の形態７では、判定部３４３が、投光量の設定値Ｉｘのうち最小設定値である０．０１％を使用設定値に設定しても受光量が上限目標受光量を超えていると判定した場合には、表示制御部３４６は、図２５に示すように、変位計１０に減光フィルタ１１を装着するようユーザに促すための減光フィルタ装着通知画面７７を表示装置３１に表示させることができる。これは、変位計１０の使用設定値Ｙｙを投光量の設定値Ｉｘのうちの最小設定値に設定したとしても受光量が過大となっており、投光量の設定値Ｉｘの調整では調整しきれないからである。
このように、実施の形態７における変位計１０の設定値調整装置では、基準ワークを測定しながら投光量の設定値Ｉｘの中から使用設定値Ｙｙを調整する際に、測定値が目標測定値３５２の範囲内であれば、目標測定値３５２の範囲内であると判定された測定値を取得した時の使用設定値Ｙｙ（投光量の設定値Ｉｘ）を、測定対象物１を検査する際に使用する使用設定値Ｙｙに設定する。そして、測定値が目標測定値３５２の範囲外、且つ、受光量が目標受光量３５３の範囲外であれば、変更部３４４は、測定値を取得した時とは異なる使用設定値Ｙｙに変更し、取得部３４１は、変更した使用設定値Ｙｙを用いて測定値を再取得し、判定部３４３は、変更された使用設定値Ｙｙ（投光量の設定値Ｉｘ＋１）を用いて測定された測定値が、目標測定値３５２の範囲内か否か再度判定する。そのため、基準ワークを測定して投光量の使用設定値Ｙｙの事前調整を行う際に、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Ｙｙを調整できるという効果を奏する。
また、実施の形態７における変位計１０の設定値調整装置では、基準ワークを測定して投光量の設定値Ｉｘの中から使用設定値Ｙｙを事前調整する際に、初期値Ｉ１に基づく測定値が、目標測定値３５２の範囲内である場合は、測定対象物１を検査する際に使用する使用設定値Ｙｙとして初期値Ｉ１を使用し、測定値が目標測定値３５２の範囲外である場合は、変更部３４４は、使用設定値Ｙｙを投光量の初期値Ｉ１とは異なる設定値（例えば、投光量の設定値Ｉｘ＋１）に変更する。そのため、基準ワークを測定して投光量の使用設定値Ｙｙの事前調整を行う際に、作業者の判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Ｙｙを調整できるという効果を奏する。
また、実施の形態７における変位計１０の設定値調整装置では、更新部３４５は、変更部３４４によって変更される前の投光量の使用設定値Ｙｙ（第１使用設定値、投光量の設定値Ｉｘ）を用いて取得された受光量（第１受光量）と、変更部３４４によって変更された後の投光量の使用設定値Ｙｙ（第２使用設定値、投光量の設定値Ｉｘ＋１）を用いて取得された受光量（第２受光量）とのうち目標受光量３５３に近い受光量を取得した時の使用設定値Ｙｙを、測定対象物１を測定する際に使用する使用設定値Ｙｙとして更新する。そのため、基準ワークを測定して投光量の使用設定値Ｙｙの事前調整を行う際に、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Ｙｙを適切な設定値Ｉｘに更新できるという効果を奏する。
実施の形態８．
続いて、実施の形態８の変位計１０の設定値調整システムについて図１４及び図２６を用いて説明する。なお、実施の形態１から実施の形態７と同じ構成については、同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
実施の形態８の変位計１０の設定値調整システムにおいては、図１４に示したステップＳ５０の使用設定値調整処理が、実施の形態１の図１５に示した測定モード調整処理に代えて、図２６に示すサンプリング周期調整処理である点が実施の形態１に対して異なる。実施の形態８では、サンプリング周期調整処理が実行されることを除いて他の処理は実施の形態１と同じであるため、同じ処理については説明を省略する。
そして、実施の形態８のサンプリング周期調整処理におけるステップＳ７０１からステップＳ８０６は、後述の点を除き、実施の形態７の投光量調整処理におけるステップＳ７０１からステップＳ７０６と同じである。
具体的には、実施の形態７の投光量の設定値Ｉｘに代わり、サンプリング周期の設定値Ｍｘが調整される。
また、ステップＳ８０６にて設定される最適化完了フラグＦＸは、サンプリング周期調整処理の完了を示す最適化完了フラグＦＭである。また、最適化設定値格納領域３５６に保持される最適化設定値Ｘ＿ｏｐｔは、サンプリング周期の最適化設定値Ｍ＿ｏｐｔである。そして、図１４に示した使用設定値自動調整処理のステップＳ４０では、サンプリング周期の設定値Ｍｘの調整処理の完了を示す最適化完了フラグＦＭが設定されているかが確認される。
また、図１４に示した使用設定値自動調整処理のステップＳ６０では、表示制御部３４６は、表示装置３１にエラー表示画面を表示させ、使用設定値自動調整処理では、測定値を正しく測定できるようにサンプリング周期の設定値Ｍｘを調整できなかった旨をユーザに通知する。より好適には、実施の形態８では、判定部３４３が、サンプリング周期の設定値Ｍｘのうち最小設定値である１０μｓを使用設定値に設定しても受光量が上限目標受光量を超えていること判定した場合には、表示制御部３４６は、実施の形態７と同様に、図２５に示した減光フィルタ装着通知画面７７を表示装置３１に表示させることができる。これは、変位計１０のサンプリング周期の設定値Ｍｘを最小設定値に設定したとしても受光量が過大となっており、サンプリング周期の設定値Ｍｘの調整では調整しきれないからである。
このように、実施の形態８における変位計１０の設定値調整装置では、基準ワークを測定しながらサンプリング周期の設定値Ｍｘの中から使用設定値Ｙｙを調整する際に、測定値が目標測定値３５２の範囲内であれば、目標測定値３５２の範囲内であると判定された測定値を取得した時の使用設定値Ｙｙ（サンプリング周期の設定値Ｍｘ）を、測定対象物１を検査する際に使用する使用設定値Ｙｙに設定する。そして、測定値が目標測定値３５２の範囲外、且つ、受光量が目標受光量３５３の範囲外であれば、変更部３４４は、測定値を取得した時とは異なる使用設定値Ｙｙに変更し、取得部３４１は、変更した使用設定値Ｙｙを用いて測定値を再取得し、判定部３４３は、変更された使用設定値Ｙｙ（サンプリング周期の設定値Ｍｘ＋１）を用いて測定された測定値が、目標測定値３５２の範囲内か否か再度判定する。そのため、基準ワークを測定してサンプリング周期の使用設定値Ｙｙの事前調整を行う際に、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Ｙｙを調整できるという効果を奏する。
また、実施の形態８における変位計１０の設定値調整装置では、基準ワークを測定してサンプリング周期の設定値Ｍｘの中から使用設定値Ｙｙを事前調整する際に、初期値Ｍ１に基づく測定値が、目標測定値３５２の範囲内である場合は、測定対象物１を検査する際に使用する使用設定値Ｙｙとして初期値Ｍ１を使用し、測定値が目標測定値３５２の範囲外である場合は、変更部３４４は、使用設定値Ｙｙをサンプリング周期の初期値Ｍ１とは異なる設定値（例えば、サンプリング周期の設定値Ｍｘ＋１）に変更する。そのため、基準ワークを測定してサンプリング周期の使用設定値Ｙｙの事前調整を行う際に、作業者の判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Ｙｙを調整できるという効果を奏する。
また、実施の形態８における変位計１０の設定値調整装置では、更新部３４５は、変更部３４４によって変更される前のサンプリング周期の使用設定値Ｙｙ（第１使用設定値、サンプリング周期の設定値Ｍｘ）を用いて取得された受光量（第１受光量）と、変更部３４４によって変更された後のサンプリング周期の使用設定値Ｙｙ（第２使用設定値、サンプリング周期の設定値Ｍｘ＋１）を用いて取得された受光量（第２受光量）とのうち目標受光量３５３に近い受光量を取得した時の使用設定値Ｙｙを、測定対象物１を測定する際に使用する使用設定値Ｙｙとして更新する。そのため、基準ワークを測定してサンプリング周期の使用設定値Ｙｙの事前調整を行う際に、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Ｙｙを適切な設定値Ｍｘに更新できるという効果を奏する。
実施の形態９．
続いて、実施の形態９の変位計１０の設定値調整システムについて図２７及び図２８を用いて説明する。なお、実施の形態１から実施の形態８と同じ構造については、同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
実施の形態９の変位計１０の設定値調整システムにおいては、実施の形態６の図２２に示した使用設定値自動調整処理に代わり、図２７に示す使用設定値自動調整処理が行われる。具体的には、実施の形態６の図２２に示した使用設定値自動調整処理にステップＳ７０及びステップＳ８０が追加される。また、ステップＳ５０の使用設定値調整処理に代わり、ステップＳ５０Ｂの使用設定値調整処理が、実施の形態１の測定モード調整処理から実施の形態８のサンプリング周期調整処理までを組み合わせたものである点が実施の形態１から実施の形態８に対して異なる。実施の形態９では、上述の点を除いて他の処理は実施の形態１から実施の形態８と同じであるため、同じ処理については詳細説明を省略する。なお、実施の形態６の測定レシピ調整処理のステップＳ６０３、実施の形態７の投光量調整処理のステップＳ７０２、及び、実施の形態８のサンプリング周期調整処理のステップＳ８０２、実施の形態１の測定モード調整処理のステップＳ１０１、実施の形態２の第１フィルタ調整処理のステップＳ２０１、実施の形態３の第２フィルタ調整処理のステップＳ３０４、実施の形態４の第３フィルタ調整処理のステップＳ４０２、実施の形態５の屈折率調整処理のステップＳ５０２、においては、複数属性のうちの調整対象となっている特定属性の調整処理における今回の測定値が特定属性における初回の測定値か否か判定されていたが、実施の形態９においても同様に、各属性の調整処理毎に今回の測定値が各属性の調整処理における初回の測定値か否か判定される。より詳細には、測定レシピ調整処理に先立ってステップＳ２０にて測定値が取得され、測定レシピ調整処理に初めて進んだ時の測定値が測定レシピ調整処理における初回の測定値である。また、投光量調整処理に先立ってステップＳ２０にて測定値が取得され、投光量調整処理に初めて進んだ時の測定値が投光量調整処理における初回の測定値である。他の属性の調整処理においても同様である。
実施の形態９の使用設定値自動調整処理では、実施の形態６と同様に図２７のステップＳ１０ＡからステップＳ４０がまず行われる。そして、ステップＳ４０にて、判定部３４３は最適化完了フラグＦＸが設定されているか確認する。最適化完了フラグＦＸが設定されていない場合（ステップＳ４０：ＮＯ）は、ステップＳ５０Ｂに進む。
ステップＳ５０Ｂでは、図２８に示すように、ステップＳ６００にて測定レシピ調整処理、ステップＳ７００にて投光量調整処理、ステップＳ８００にてサンプリング周期調整処理、ステップＳ１００にて測定モード調整処理、ステップＳ２００にて第１フィルタ調整処理、ステップＳ３００にて第２フィルタ調整処理、ステップＳ４００にて第３フィルタ調整処理及びステップＳ５００にて屈折率調整処理の順で各属性の調整処理が実行される。つまり、調整対象となる設定値Ｘｘの属性が複数ある。そして、その順番は、先ず、測定レシピ調整処理が実行される。次に、測定値だけでなく受光量にも影響する属性である第１属性に関する調整処理（つまり、投光量調整処理及びサンプリング周期調整処理）が実行される。その後に、測定値には影響するが受光量には影響を与えない属性である第２属性に関する調整処理（つまり、測定モード調整処理、第１フィルタ調整処理、第２フィルタ調整処理、第３フィルタ調整処理及び屈折率調整処理）が実行される。
まず、ステップＳ５０Ｂにおいて、ステップＳ６００にて測定レシピ調整処理（図２３に示したステップＳ６０１からステップＳ６０７）が実行される。具体的には、ステップＳ６０６にて更新部３４５が全ての測定レシピの設定値Ｐｘに対応付けられた各属性の設定値Ｘｘを使用設定値Ｙｙに用いて全ての測定値を取得済みであることを確認し、ステップＳ６０７にて測定レシピ調整処理の完了を示す最適化完了フラグＦＰを設定するまでは、ステップＳ２０からステップＳ５０Ｂの使用設定値調整処理としての測定レシピ調整処理を繰り返す。
ステップＳ２０からステップＳ５０Ｂの使用設定値調整処理としての測定レシピ調整処理を繰り返す間に、ステップＳ３０にて、測定値が目標測定値３５２の範囲内であると判定された場合（ステップＳ３０：ＹＥＳ）は、目標測定値３５２の範囲内であると判定された測定値を取得した時の測定レシピの設定値Ｐｘに対応付けられるとともに使用設定値格納領域２３２に格納された各属性の設定値Ｘｘ（Ｉｘ，Ｊｘ，Ｋｘ，Ｌｘ，Ｍｘ，Ｎｘ，Ｏｘ・・・）を用いれば基準ワークの測定値が適正な範囲内となることから使用設定値自動調整処理を終了する。そして、目標測定値３５２の範囲内であると判定された測定値を取得した時の測定レシピの設定値Ｐｘに対応付けられた各属性の設定値Ｘｘ（Ｉｘ，Ｊｘ，Ｋｘ，Ｌｘ，Ｍｘ，Ｎｘ，Ｏｘ・・・）が、測定対象物１を検査する際に使用する使用設定値Ｙｙとして設定される。
なお、ステップＳ４０において、最適化完了フラグＦＸが設定されているか確認するが、最適化完了フラグＦＸが設定されていないと確認された場合（ステップＳ４０：ＮＯ）は、ステップＳ５０Ｂに進んで使用設定値調整処理を実行するようにしている。これは、実施の形態１から実施の形態８と同様であり、使用設定値調整処理の調整対象となっている特定属性（測定レシピ調整処理であれば、調整対象の特定属性は測定レシピ）に含まれている全設定値Ｘｘ（測定レシピ調整処理であれば、測定レシピの設定値Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３・・・の全て）を使用設定値Ｙｙに設定して受光量及び／又は測定値を取得していないことから、調整対象となっている特定属性（測定レシピ調整処理であれば、調整対象となっている特定属性は測定レシピ）に含まれている全設定値Ｘｘ（測定レシピ調整処理であれば、測定レシピの設定値Ｐｘに対応する各属性の設定値Ｘｘ）を使用設定値Ｙｙに設定して受光量及び／又は測定値を取得する必要がある。そのため、ステップＳ４０からステップＳ５０Ｂに進む場合では、ステップＳ５０Ｂでは、現在調整対象となっている特定属性における設定値Ｘｘ（測定レシピが調整されている間は、ステップＳ６００の測定レシピ調整処理により測定レシピの設定値Ｐｘ）が調整され、その他の属性における設定値Ｘｘ（測定レシピが調整されている間は、以降に続くステップＳ７００の投光量の設定値Ｉｘ等）の調整処理は行わない。
ステップＳ６０７にて最適化完了フラグＦＰが設定され、使用設定値自動調整処理のステップＳ４０にて、判定部３４３は、使用設定値自動調整処理において最適化完了フラグＦＰが初めて設定されたことを確認する（ステップＳ４０：ＹＥＳ）と、ステップＳ７０に進む。
ステップＳ７０では、判定部３４３は、全属性の最適化完了フラグＦＸ（つまり、投光量調整処理の完了を示す最適化完了フラグＦＩから測定レシピ調整処理の完了を示す最適化完了フラグＦＰ等の全て）が設定されているか確認する。ステップＳ７０にて、全属性の最適化完了フラグＦＸが設定されていないと判定された場合（ステップＳ７０：ＮＯ）は、ステップＳ８０に進む。
ステップＳ８０では、変更部３４４は、次の属性の設定値Ｘｘを調整対象にするため、調整対象となる設定値Ｘｘの属性を変更する。具体的には、ステップＳ４０で測定レシピ調整処理の完了を示す最適化完了フラグＦＰが確認された場合は、変更部３４４は、調整対象となる設定値Ｘｘの属性を測定レシピとは異なる属性である投光量に変更する。そして、ステップＳ５０Ｂに進む。なお、属性の変更の順番は、図２８に示した使用設定値調整処理における各属性の調整処理の順番と同じである。つまり、測定レシピ調整処理、投光量調整処理、サンプリング周期調整処理、測定モード調整処理、第１フィルタ調整処理、第２フィルタ調整処理、第３フィルタ調整処理及び屈折率調整処理の順に属性の変更が行われる。
ステップＳ５０Ｂでは、ステップＳ８０にて変更された調整対象となる属性における設定値Ｘｘの調整処理を行う。具体的には、測定レシピ調整処理が完了したのであれば、次の調整対象となっている特定属性を測定レシピとは異なる属性である投光量の調整処理をすべく、ステップＳ７００にて投光量調整処理（図２４に示したステップＳ７０１からステップＳ７０６）が実行される。そして、ステップＳ７０６にて投光量調整処理の完了を示す最適化完了フラグＦＩが設定されるまでは、ステップＳ２０からステップＳ５０Ｂの使用設定値自動調整処理を繰り返す。
そして、測定レシピ調整処理に加え、投光量調整処理から屈折率調整処理までそれぞれの使用設定値調整処理が完了するまで、図２７に示した使用設定値自動調整処理のステップＳ２０、ステップＳ３０、ステップＳ４０及びステップＳ５０Ｂの順に進み、特定属性の設定値Ｘｘの調整が実行される。また、ステップＳ２０、ステップＳ３０、ステップＳ４０、ステップＳ７０、ステップＳ８０及びステップＳ５０Ｂの順に進み、調整対象となる設定値Ｘｘの属性の変更が行われる。つまり、全属性の全設定値Ｘｘを使用設定値Ｙｙに設定して受光量及び／又は測定値を取得し終わり、ステップＳ７０にて全属性の最適化完了フラグＦＸ（つまり、投光量調整処理の完了を示す最適化完了フラグＦＩから測定レシピ調整処理の完了を示す最適化完了フラグＦＰ等の全て）が確認されるまでは、使用設定値自動調整処理のステップＳ２０、ステップＳ３０、ステップＳ４０及びステップＳ５０Ｂ、並びに、ステップＳ２０、ステップＳ３０、ステップＳ４０、ステップＳ７０、ステップＳ８０及びステップＳ５０Ｂが繰り返される。
そして、使用設定値自動調整処理のステップＳ２０、ステップＳ３０、ステップＳ４０及びステップＳ５０Ｂ、並びに、ステップＳ２０、ステップＳ３０、ステップＳ４０、ステップＳ７０、ステップＳ８０及びステップＳ５０Ｂの繰り返し処理の間に、投光量調整処理のステップＳ７０６、サンプリング周期調整処理のステップＳ８０６、測定モード調整処理のステップＳ１０５、第１フィルタ調整処理のステップＳ２０５、第２フィルタ調整処理のステップＳ３０８、第３フィルタ調整処理のステップＳ４０６、屈折率調整処理のステップＳ５０６等において、各属性の設定値Ｘｘの最適化設定値Ｘ＿ｏｐｔが最適化設定値格納領域３５６に格納される。
ステップＳ２０からステップＳ５０Ｂの使用設定値調整処理に含まれる投光量調整処理以降の使用設定値調整処理を繰り返す間に、ステップＳ３０にて、測定値が目標測定値３５２の範囲内であると判定された場合（ステップＳ３０：ＹＥＳ）は、最適化設定値格納領域３５６に格納された各属性の設定値Ｘｘを用いれば基準ワークの測定値が適正な範囲内となることから、使用設定値自動調整処理を終了する。つまり、この段階では、目標測定値３５２の範囲内となった基準ワークからの測定値を取得した際に使用した各属性の使用設定値Ｙｙと同じ各属性の設定値Ｘｘが、ＰＣ３０の最適化設定値格納領域３５６に保持されているとともに、ＰＬＣ２０の使用設定値格納領域２３２にも同じ使用設定値Ｙｙが格納されることで設定されていることとなる。そのため、変位計１０で測定対象物１を実際に検査する際には、最適化設定値格納領域３５６に格納された各属性の設定値Ｘｘ（つまり、Ｉｘ，Ｊｘ，Ｋｘ，Ｌｘ，Ｍｘ，Ｎｘ，Ｏｘ・・・）が使用されることとなる。
ステップＳ７０にて、判定部３４３は、全属性の最適化完了フラグＦＸが設定されていると判定された場合（ステップＳ７０：ＹＥＳ）は、ステップＳ６０に進む。ステップＳ６０では、判定部３４３は、表示装置３１にエラー表示画面を表示させ、設定値自動調整処理では、測定値を正しく測定できるように設定値Ｘｘを調整できなかった旨をユーザに通知する。
実施の形態９においては、測定値だけでなく受光量にも影響する属性である第１属性に関する調整処理として投光量調整処理及びサンプリング周期調整処理の全てが実行されるようにしたが、これに限られない。例えば、第１属性に関する調整処理として、投光量調整処理及びサンプリング周期調整処理の少なくとも１つが実行されるようにしてもよい。
実施の形態９においては、測定値だけでなく受光量にも影響する属性である第１属性に関する調整処理として投光量調整処理及びサンプリング周期調整処理の全てが実行されるようにした。この場合、本実施の形態のように、投光量調整処理を実行した後にサンプリング周期調整処理が実行されるようにすることができる。これは、サンプリング周期調整処理は、イメージセンサ６の露光時間が長くなることによりタクトタイムに影響する可能性があるからである。投光量調整処理を実行した後にサンプリング周期調整処理が実行されるようにすることでタクトタイムへの影響を軽減できる。
実施の形態９においては、測定値には影響するが受光量には影響を与えない属性である第２属性に関する調整処理として、測定モード調整処理、第１フィルタ調整処理、第２フィルタ調整処理、第３フィルタ調整処理及び屈折率調整処理の全てが実行されるようにしたが、これに限られない。例えば、第２属性に関する調整処理として、測定モード調整処理、第１フィルタ調整処理、第２フィルタ調整処理、第３フィルタ調整処理及び屈折率調整処理の少なくとも１つが実行されるようにしてもよい。
実施の形態９においては、測定値だけでなく受光量にも影響する属性である第１属性に関する調整処理を実行した後に、測定値には影響するが受光量には影響を与えない属性である第２属性に関する調整処理を実行するようにした。これは、受光量が目標受光量３５３の範囲外であると、受光量が小さ過ぎる、又は受光量が大きすぎて受光量波形の山Ｐの頂点部分が切れた台形上の受光量波形になり、測定値も正しく測定できない可能性が高くなるからである。第２属性の調整処理に先立って第１属性の調整処理を実行することで、第１属性の調整処理に続く第２属性の調整処理において、測定値が目標測定値の範囲内となる可能性を高くなる。
実施の形態９においては、移動平均回数の設定値Ｌｘを調整するための第２フィルタ調整処理の前に、フィルタ種類の設定値Ｋｘを調整するための第１フィルタ調整処理を実行させるようにしている。つまり、移動平均回数の設定値Ｌｘの変更の前に、フィルタ種類の設定値Ｋｘが変更される。つまり、移動平均フィルタの設定値Ｋ１が他のフィルタ種類（例えば、ローパスフィルタ又はハイパスフィルタ）の設定値Ｋｘよりも適切な設定値Ｋｘであるとしてフィルタ種類の使用設定値として確定された後に、変更部３４４は、調整対象の属性を移動平均回数の属性に変更し、移動平均回数の設定値Ｌｘを変更するようにした。これは、フィルタ種類の設定値Ｋｘとして移動平均フィルタの設定値Ｋｘが確定されてから、移動平均回数の設定値Ｌｘの調整をした方が、フィルタ種類の設定値Ｋｘ及び移動平均回数の設定値Ｌｘを適切に調整できるからである。例えば、フィルタ種類の設定値Ｋｘの初期値としてローパスフィルタの設定値Ｋ２が使用設定値Ｙｙとして仮に設定された場合、移動平均回数の設定値Ｌｘを調整した後、フィルタ種類の設定値Ｋｘを調整して移動平均フィルタの設定値Ｋ１が適切な設定値Ｋｘとなった場合を想定する。この場合、先に調整された移動平均回数の設定値Ｌｘは適切な使用設定値Ｙｙとはならない可能性も有り得る。そのため、フィルタ種類の設定値Ｋｘとして移動平均フィルタの設定値Ｋ１が確定されてから、移動平均回数の設定値Ｌｘの調整しているのである。
また、実施の形態９においては、カットオフ周波数の設定値Ｎｘを調整するための第３フィルタ調整処理の前に、フィルタ種類の設定値Ｋｘを調整するための第１フィルタ調整処理を実行させるようにしている。つまり、カットオフ周波数の設定値Ｎｘの変更の前に、フィルタ種類の設定値Ｋｘが変更される。つまり、ローパスフィルタの設定値Ｋ２又はハイパスフィルタの設定値Ｋ３が他のフィルタ種類（例えば、移動平均フィルタ）の設定値Ｋｘよりも適切な設定値Ｋｘであるとしてフィルタ種類の使用設定値Ｙｙとして確定された後に、変更部３４４は、調整対象の属性をフィルタ種類からカットオフ周波数に変更し、カットオフ周波数の設定値Ｎｘを変更するようにした。これは、フィルタ種類の設定値Ｋｘとしてローパスフィルタ又はハイパスフィルタの設定値Ｋ２，Ｋ３が確定されてから、カットオフ周波数の設定値Ｎｘの調整をした方が、フィルタ種類の設定値Ｋｘ及びカットオフ周波数の設定値Ｎｘを適切に調整できるからである。本実施の形態のように、フィルタ種類の設定値Ｋｘの初期値として、測定レシピの設定値の初期値Ｐ１（測定レシピＡの設定値）に対応付けられたフィルタ種類の設定値Ｋｘは移動平均フィルタの設定値Ｋ１となっている。このように移動平均フィルタの設定値Ｋｘが使用設定値として設定された場合、カットオフ周波数の設定値Ｎｘを調整した後、フィルタ種類の設定値Ｋｘを調整してローパスフィルタの設定値Ｋ２又はハイパスフィルタの設定値Ｋ３が適切な設定値Ｋｘとなった場合を想定する。この場合、先に調整されたカットオフ周波数の設定値Ｎｘは適切な使用設定値Ｙｙとはならない可能性も有り得る。そのため、フィルタ種類の設定値Ｋｘとしてローパスフィルタの設定値Ｋ２又はハイパスフィルタの設定値Ｋ３が確定されてから、カットオフ周波数の設定値Ｎｘの調整しているのである。
なお、実施の形態９では、第１フィルタ調整処理、第２フィルタ調整処理、第３フィルタ調整処理の順に調整処理を実行しているが、第３フィルタ調整処理を第２フィルタ調整処理の前に行ってもよい。測定モード調整処理及び屈折率調整処理については、投光量調整処理、サンプリング周期調整処理及び測定レシピ調整処理の後であれば、第１フィルタ調整処理から第３フィルタ調整処理の前に実行されてもよいし、第１フィルタ調整処理から第３フィルタ調整処理の後で実行されてもよいし、第１フィルタ調整処理から第３フィルタ調整処理の途中で実行されてもよい。
実施の形態９における変位計１０の使用設定値調整処理では、基準ワークを測定して複数属性の設定値Ｘｘの中から各属性毎の使用設定値Ｙｙの事前調整を行う際に、ユーザの判断や操作の負担を更に軽減しつつ、複数属性の使用設定値Ｙｙを調整できるという効果を奏する。
また、実施の形態９における変位計１０の設定値調整装置では、基準ワークを測定して各属性の設定値Ｘｘの中から使用設定値Ｙｙを事前調整する際に、各属性の初期値Ｘ１に基づく測定値が、目標測定値３５２の範囲内である場合は、測定対象物１を検査する際に使用する使用設定値Ｙｙとして初期値Ｘ１を使用し、測定値が目標測定値３５２の範囲外である場合は、変更部３４４は、使用設定値Ｙｙを初期値Ｘ１とは異なる設定値（例えば、設定値Ｘｘ＋１）に変更する。そのため、基準ワークを測定して使用設定値Ｙｙの事前調整を行う際に、作業者の判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Ｙｙを調整できるという効果を奏する。
また、実施の形態９における変位計１０の設定値調整装置では、更新部３４５は、変更部３４４によって変更される前の使用設定値Ｙｙ（第１使用設定値、各属性の設定値Ｘｘ）を用いて測定された測定値（第１測定値）と、変更部３４４によって変更された後の使用設定値Ｙｙ（第２使用設定値、各属性の設定値Ｘｘ＋１）を用いて測定された測定値（第２測定値）とのうち目標測定値３５２に近い測定値を取得した時の使用設定値Ｙｙを、測定対象物１を測定する際に使用する使用設定値Ｙｙとして更新する。そのため、基準ワークを測定して複数属性の使用設定値Ｙｙの事前調整を行う際に、ユーザの判断や操作の負担を更に軽減しつつ、複数属性の使用設定値Ｙｙを複数属性の適切な設定値Ｘｘに更新できるという効果を奏する。
また、実施の形態９における変位計１０の使用設定値調整処理では、設定値Ｘｘの調整対象の属性は、複数あり、複数の属性は、投光量、サンプリング周期、測定モード、フィルタ種類、移動平均回数、カットオフ周波数及び屈折率のうちの２つ以上を含み、並びに、複数の属性の設定値Ｘｘが設定された測定レシピを更に含み、測定レシピの設定値Ｐｘを先ず調整し、測定値が目標測定値３５２の範囲内であると判定された場合、測定対象物１を検査する際に使用する使用設定値Ｙｙとして、目標測定値３５２の範囲内であると判定された測定値を取得した時の測定レシピに対応付けられた複数属性の使用設定値Ｙｙを使用する。そして、変更部３４４によって変更された測定レシピに対応付けられた複数属性の使用設定値Ｙｙを用いて測定された測定値が目標測定値３５２の範囲外であると判定された場合、調整対象の属性を複数の属性のうち測定レシピとは異なる属性に変更し、測定レシピとは異なる属性の使用設定値Ｙｙを変更する。このように、先ず測定レシピの設定値Ｐｘの調整を行うことから、複数属性の使用設定値Ｙｙを調整する際の調整時間を短くできる可能性を高めることができるという効果を奏する。
また、実施の形態９における変位計１０の使用設定値調整処理では、設定値Ｘｘの調整対象の属性は複数あり、複数の属性は、投光量とサンプリング周期のうちの少なくとも１つである第１属性と、測定モード、フィルタ種類、移動平均回数、カットオフ周波数及び屈折率の少なくとも１つである第２属性を含む。そして、測定値が目標測定値３５２の範囲内であると判定された場合、目標測定値３５２の範囲内であると判定された測定値を取得した時の第１属性の使用設定値Ｙｙを、測定対象物１を検査する際に使用する第１属性の使用設定値Ｙｙに設定する。そして、測定値が目標測定値３５２の範囲外であると判定され、且つ、受光量が目標受光量３５３の範囲外であると判定された場合、変更部３４４は、調整対象の属性を第１属性から第２属性に変更し、第２属性の使用設定値Ｙｙを変更する。このように、第２属性の設定値Ｘｘ（例えばＪｘ，Ｋｘ，Ｌｘ，Ｎｘ，Ｏｘ）の調整処理に先立って、第１属性の設定値Ｘｘ（例えばＩｘ，Ｍｘ）の調整処理が実行されるので、第１属性の調整処理に続く第２属性の調整処理において、測定値が目標測定値の範囲内となる可能性が高くなるという効果を奏する。
また、実施の形態９における変位計１０の使用設定値調整処理では、設定値Ｘｘの調整対象の属性は、投光量と、サンプリング周期と、を含む。そして、サンプリング周期の使用設定値Ｙｙ（サンプリング周期の設定値Ｍｘ）の変更の前に、投光量の使用設定値Ｙｙ（投光量の設定値Ｉｘ）が変更される。そして、測定値が目標測定値３５２の範囲内であると判定された場合、目標測定値３５２の範囲内であると判定された測定値を取得した時の投光量の使用設定値Ｙｙ（投光量の設定値Ｉｘ）を、測定対象物１を検査する際に使用する投光量の使用設定値Ｙｙに設定する。そして、測定値が目標測定値３５２の範囲外であると判定され、且つ、受光量が目標受光量３５３の範囲外であると判定された場合、変更部３４４は、調整対象の属性を投光量からサンプリング周期に変更し、サンプリング周期の使用設定値Ｙｙ（サンプリング周期の設定値Ｍｘ）を変更する。このように、サンプリング周期の設定値Ｍｘの調整処理に先立って、投光量の設定値Ｉｘの調整処理が実行されるので、タクトタイムへの影響を軽減できるという効果を奏する。
また、実施の形態９における変位計１０の使用設定値調整処理では、設定値Ｘｘの調整対象の属性は複数あり、複数の属性は、移動平均フィルタを少なくとも含むフィルタ種類及び移動平均回数を含む。そして、変更部３４４は、移動平均回数の使用設定値Ｙｙ（移動平均回数の設定値Ｌｘ）の変更の前に、フィルタ種類の使用設定値Ｙｙ（フィルタ種類の設定値Ｋｘ）を変更し、フィルタ種類の使用設定値Ｙｙが移動平均フィルタに確定した後に、変更部３４４は、調整対象の属性をフィルタ種類から移動平均回数に変更し、移動平均回数の使用設定値Ｙｙを変更する。このような順番で調整することで、フィルタ種類の設定値Ｋｘ及び移動平均回数の設定値Ｌｘを適切に調整できるという効果を奏する。
また、実施の形態９における変位計１０の使用設定値調整処理では、設定値Ｘｘの調整対象の属性は複数あり、複数の属性は、ローパスフィルタ及びハイパスフィルタの少なくとも１つを含むフィルタ種類と及びカットオフ周波数を含む。そして、変更部３４４は、カットオフ周波数の使用設定値Ｙｙ（カットオフ周波数の設定値Ｎｘ）の変更の前に、フィルタ種類の使用設定値Ｙｙ（フィルタ種類の設定値Ｋｘ）を変更し、フィルタ種類の使用設定値Ｙｙがローパスフィルタ又はハイパスフィルタに確定した後に、変更部３４４は、調整対象の属性をフィルタ種類からカットオフ周波数の属性に変更し、カットオフ周波数の使用設定値Ｙｙを変更する。このような順番で調整することで、フィルタ種類の設定値Ｋｘ及びカットオフ周波数の設定値Ｎｘを適切に調整できるという効果を奏する。
実施の形態１０．
続いて、実施の形態１０の変位計１０の設定値調整システムについて図１、図２２、図２９から図３３を用いて説明する。なお、実施の形態１から実施の形態９と同じ構造については、同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
実施の形態１０の変位計１０の設定値調整システムにおいては、実施の形態６の図２３に示した測定レシピ調整処理に代わり、図３２に示す測定レシピ調整処理が実行される。具体的は、実施の形態６の測定レシピ調整処理におけるステップＳ６０３、ステップＳ６０４、ステップＳ６０５及びステップＳ６０６に代わり、実施の形態１０における測定レシピ調整処理では、ステップＳ６１０及びステップＳ６１１が実行される点が実施の形態６に対して異なる。実施の形態１０では、測定レシピ調整処理のステップＳ６１０及びステップＳ６１１が実行されることを除いて他の処理は実施の形態６と同じであるため、同じ処理については説明を省略する。
まず、実施の形態１にて説明を省略した物性検出部４０について説明する。
物性検出部４０は、測定対象物１の物性を特定する検出部であり、図１に示すように、第１検出部４１、第２検出部４２、第３検出部４３及び第４検出部４４を含む。第１検出部４１から第４検出部４４は、ＰＬＣ２０の第１通信Ｉ／Ｆ部２１にそれぞれ接続される。ＰＣ３０の取得部３４１は、ＰＬＣ２０を介して、第１検出部４１から第４検出部４４の検出値を取得する。
第１検出部４１は、図２９に示すように、測定対象物１の物性が透明であるか検出する検出部である。第１検出部４１は、例えば、測定対象物１及び測定対象物１の反対側に背景部材８の位置する方向の撮像画像を取得する撮像部であり、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）カメラが挙げられる。背景部材８の第１検出部４１に面した表面には、印又は模様が印刷されている。そのため、測定対象物１が非透明体である場合、図２９（ａ）に示すように、第１検出部４１は、測定対象物１の表面の撮像画像を取得することとなり、撮像画像には、背景部材８の表面に印刷された印又は模様が写らない。また、測定対象物１が透明体である場合、図２９（ｂ）に示すように、第１検出部４１は、測定対象物１の反対側に位置する背景部材８の表面が含まれた撮像画像を取得することとなり、第１検出部４１の撮像画像には、背景部材８の表面に印刷された印又は模様が写る。第１検出部４１は、測定対象物１の位置する方向の撮像画像を取得し、取得した撮像画像をＰＬＣ２０に送信する。そして、ＰＬＣ２０の第１制御部２２は、背景部材８の印又は模様が含まれた基準画像と実際の撮像画像とを公知のパターンマッチング法等により比較して、実際の撮像画像が基準画像と一致する場合には、測定対象物１の反対側に位置する背景部材８が撮像画像に写っていることから、測定対象物１は透明体と判定する。また、ＰＬＣ２０の第１制御部２２は、背景部材８の印又は模様が含まれた基準画像と実際の撮像画像とを比較して、実際の撮像画像が基準画像と一致しない場合には、測定対象物１の表面が撮像画像に写っているものとして測定対象物１は非透明体と判定する。ＰＬＣ２０の第１制御部２２のそれら判定結果はＰＣ３０に送信され、ＰＣ３０の取得部３４１が取得する。なお、第１検出部４１は、撮像部には限られず、投光器と受光器とを測定対象物１を挟むように対向配置するようにした透過型光電センサを用い、投光器からの光を受光器で受けるようにして測定対象物１の物性が透明であるかを検出するものであってもよく、測定対象物１の物性が透明であることを検出できるものであればどのようなものでもよい。また、ＰＬＣ２０の第１制御部２２が判定をすることに限られず、ＰＣ３０の第２制御部３４にて判定するようにしてもよい。
第２検出部４２は、図３０に示すように、測定対象物１の物性として測定対象物１の表面が鏡面又は非鏡面であるか検出する検出部である。第２検出部４２は、例えば、投光器と受光器が一体となった拡散反射型光電センサである。第２検出部４２としての光電センサの投光器から照射された光が測定対象物１の表面で反射され、受光器が反射光を受ける。第２検出部４２の受光器は、測定対象物１からの受光量検出値を取得し、取得した受光量検出値をＰＬＣ２０に送信する。そして、ＰＬＣ２０の第１制御部２２は、受光量検出値が設定閾値よりも大きい場合には、図３０（ａ）に示すように、測定対象物１の表面で鏡面反射が生じており、測定対象物１の表面は鏡面であると判定する。また、ＰＬＣ２０の第１制御部２２は、受光量検出値が設定閾値よりも小さい場合には、図３０（ｂ）に示すように、測定対象物１の表面で拡散反射が生じており、測定対象物１の表面は非鏡面であると判定する。ＰＬＣ２０の第１制御部２２のそれら判定結果はＰＣ３０に送信され、ＰＣ３０の取得部３４１が取得する。なお、第２検出部４２は、拡散反射型光電センサには限られず、測定対象物１の表面が鏡面か非鏡面であるかを検出できるものであればどのようなものでもよい。また、ＰＬＣ２０の第１制御部２２が判定をすることに限られず、ＰＣ３０の第２制御部３４にて判定するようにしてもよい。
第３検出部４３は、測定対象物１の物性として金属等の電気伝導体であるか検出する検出部である。第３検出部４３は、例えば、誘導形近接センサである。誘導形近接センサは、検出コイルより高周波磁界を発生し、この磁界に測定対象物１が近づくと、測定対象物１が電気伝導体であれば、電磁誘導により検出対象に誘導電流（渦電流）が流れる。誘導形近接センサは、この電流により検出コイルのインピーダンスが変化、あるいは発振が停止することに基づいて測定対象物１が電気伝導体であるかを検知する。そして、誘導形近接センサは、導体を検出した場合に出力信号がオンとなり、ＰＬＣ２０へオン信号を出力する。また、誘導形近接センサは、電気伝導体を検出しない場合には出力信号がオフとなる。なお、第３検出部４３は、誘導形近接センサには限られず、測定対象物１の物性が電気伝導体であることを検出できるものであればどのようなものでもよい。
第４検出部４４は、図３１に示すように、測定対象物１の物性として物体が硬いものであるかを検出する検出部である。第４検出部４４は、例えば、測定対象物１の表面に向けて突出した触針４３１が弾性的に測定対象物１の表面に接触する接触式変位センサである。接触式変位センサは、金属等のように硬い測定対象物１であれば、図３１（ａ）に示すように、触針４４１が縮んで出力信号がオンとなり、ＰＬＣ２０へオン信号を出力する。また、ゴム等のように測定対象物１の表面が変形する場合には、図３１（ｂ）に示すように、触針４４１の位置が伸びて出力信号がオフとなる。なお、第４検出部４４は、接触式変位センサには限られず、測定対象物１の物性として物体の硬いものであるかを検出できるものであればどのようなものでもよい。
続いて、実施の形態１０の使用設定値自動調整処理について説明する。実施の形態１０では、実施の形態６と同様に、図２２で示した使用設定値自動調整処理が実行される。そして、使用設定値自動調整処理において、ステップＳ５０に進んだ場合、実施の形態６の図２３に示した測定レシピ調整処理に代わり、図３２に示す測定レシピ調整処理が実行される。
実施の形態１０の測定レシピ調整処理は、図３２に示すように、前述のように、実施の形態６の測定レシピ調整処理におけるステップＳ６０３、ステップＳ６０４、ステップＳ６０５及びステップＳ６０６に代わり、実施の形態１０における測定レシピ調整処理では、ステップＳ６１０及びステップＳ６１１が実行される。
実施の形態１０の測定レシピ調整処理においては、実施の形態６と同様にステップＳ６０１、ステップＳ６０２及びステップＳ６０７が実行される。
判定部３４３が、ステップＳ６０１にて、測定対象値が透明体の隙間又は透明体の厚みが選択されていないと判定した場合（ステップＳ６０１：ＮＯ）は、ステップＳ６０３に進む。
ステップＳ６１０では、ＰＣ３０の取得部３４１は、ＰＬＣ２０を介して、第１検出部４１、第２検出部４２、第３検出部４３及び第４検出部４４等の物性検出部４０の検出結果を取得する。
ステップＳ６１１では、ＰＣ３０の変更部３４４は、物性検出部４０の検出結果及び後述する測定レシピ調整テーブルに基づいて、測定レシピの設定値Ｐｘを変更する。
図３３に示す測定レシピ調整テーブルは、ＰＣ３０の第２記憶部３５に予め記憶されたテーブルであり、測定レシピの設定値Ｐｘを変更する際に使用される。測定レシピ調整テーブルの「○」及び「×」の定義を説明する。測定レシピ調整テーブルにおいて、第１検出部４１の検出結果として測定対象物１が透明体である場合は第１検出部４１の列に「○」を付し、測定対象物１が非透明体である場合は第１検出部４１の列に「×」を付している。また、第２検出部４２の検出結果として測定対象物１の表面が鏡面である場合は第２検出部４２の列に「○」を付し、測定対象物１の表面が非鏡面である場合は第２検出部４２の列に「×」を付している。また、第３検出部４３の検出結果として測定対象物１が電気伝導体である場合は第３検出部４３の列に「○」を付し、測定対象物１が絶縁体である場合は第３検出部４３の列に「×」を付している。また、第４検出部４４の検出結果として測定対象物１が金属等のように硬い材質である場合は第４検出部４４の列に「○」を付し、測定対象物１がゴム等のように柔らかい材質である場合は第４検出部４４の列に「×」を付している。
そして、測定レシピ調整テーブル中の各測定レシピは、物性検出部４０としての第１検出部４１から第４検出部４４の検出結果に基づいて選択される。例えば、第１検出部４１の検出結果が「×（非透明体）」、第２検出部４２の検出結果が「×（非鏡面）」、第３検出部４３の検出結果が「×（絶縁体）」及び第４検出部４４の検出結果が「○（硬い）」である場合、測定対象物１の物性は、例えば、一般的な樹脂等のため、測定レシピＡの設定値Ｐｘが選択される。また、第１検出部４１の検出結果が「×（非透明体）」、第２検出部４２の検出結果が「×（非鏡面）」、第３検出部４３の検出結果が「○（電気伝導体）」及び第４検出部４４の検出結果が「○（硬い）」である場合、測定対象物１の物性は、非鏡面の金属のため、測定レシピＢの設定値Ｐｘが選択される。測定レシピ調整テーブルに示すその他の各測定レシピの設定値Ｐｘも同様に、図３３に示した第１検出部４１から第４検出部４４の検出結果の「○」「×」の組み合わせによって選択される。
つまり、変更部３４４は、図２２に示したステップＳ１０Ａで設定された測定レシピの初期値Ｐ１から、第１検出部４１から第４検出部４４及び測定レシピ調整テーブルに基づいて選択された測定レシピの設定値Ｐｘに変更するとともに、選択された測定レシピの設定値Ｐｘに対応付けられている各属性の設定値Ｘｘ（Ｉｘ，Ｊｘ，Ｋｘ，Ｌｘ，Ｍｘ，Ｎｘ，Ｏｘ，Ｐｘ・・・）を使用設定値格納領域３５５に記憶することで、使用設定値Ｙｙを各属性の設定値Ｘｘに変更する。このとき、選択された測定レシピの設定値Ｐｘ及び選択された測定レシピの設定値Ｐｘに対応付けられている各属性の設定値Ｘｘ（Ｉｘ，Ｊｘ，Ｋｘ，Ｌｘ，Ｍｘ，Ｎｘ，Ｏｘ・・・）を最適化設定値格納領域３５６にも記憶する。また、変更部３４４は、使用設定値格納領域３５５に格納された使用設定値Ｙｙである各属性の設定値Ｘｘ（測定レシピの設定値Ｐｘを除く）をＰＬＣ２０に送信し、第１制御部２２は使用設定値格納領域２３２に受信した各属性の設定値Ｘｘ（測定レシピの設定値Ｐｘを除く）を記憶させ設定する。そして、ステップＳ６０７に進む。
ステップＳ６０７では、実施の形態６と同様に、更新部３４５は、測定レシピ調整処理の完了を示す最適化完了フラグＦＰを設定する。また、ＰＬＣ２０の第１制御部２２に命令を送信し、第１記憶部２３の使用設定値格納領域２３２に、測定レシピ調整処理完了時の最適化設定値格納領域３５６に保持されている測定レシピの最適化設定値Ｐ＿ｏｐｔに対応付けられた各属性の設定値Ｘｘ（測定レシピの設定値Ｐｘを除く）を保持させる。
なお、実施の形態１０の測定レシピ調整処理は、実施の形態６と同様に、測定レシピの設定値Ｐｘのみを調整するものであったが、実施の形態１０の測定レシピ調整処理を実施の形態９の測定モード調整処理からサンプリング周期調整処理を組み合わせた使用設定値自動調整処理における測定レシピ調整処理に適用することもできる。
なお、実施の形態１０の測定レシピ調整処理を実施の形態９の測定モード調整処理からサンプリング周期調整処理を組み合わせた使用設定値自動調整処理における測定レシピ調整処理に適用しない場合、実施の形態１０の測定レシピ調整処理のステップＳ６１１では、選択された測定レシピの設定値Ｐｘに対応付けられている各属性の設定値Ｘｘ（Ｉｘ，Ｊｘ，Ｋｘ，Ｌｘ，Ｍｘ，Ｎｘ，Ｏｘ，Ｐｘ・・・）を最適化設定値格納領域３５６のみに記憶させればよい。また、選択された測定レシピの設定値Ｐｘに対応付けられている各属性の設定値Ｘｘ（Ｐｘを除く）は、ステップＳ６０７でＰＬＣ２０の使用設定値格納領域２３２に保持させるので、ステップＳ６１１においてはＰＬＣ２０の使用設定値格納領域２３２設定する処理を省略しても構わない。
実施の形態１０における変位計１０の設定値調整装置では、取得部３４１は、基準ワークの物性を検出する物性検出部４０からの検出値を取得し、変更部３４４は、物性検出部４０の検出値に基づいて測定レシピの使用設定値を変更する。そして、測定値が目標測定値３５２の範囲内であると判定された場合、目標測定値３５２の範囲内であると判定された測定値を取得した時の測定レシピに対応付けられた各属性の使用設定値Ｙｙを、測定対象物１を検査する際に使用する使用設定値Ｙｙに設定する。そのため、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Ｙｙを調整できるという効果を奏する。また、使用設定値Ｙｙを基準ワークの物性に合った適切な設定値Ｐｘに変更できるという効果を奏する。また、物性検出部４０の検出値に基づいて測定レシピの使用設定値Ｙｙを変更するため、何度も測定レシピ調整処理を繰り返す必要が無く、測定レシピの使用設定値Ｙｙを早く確定できるという効果を奏する。
実施の形態１１．
続いて、実施の形態１１の変位計１０の設定値調整システムについて図１、図１４、図３４及び図３５を用いて説明する。なお、実施の形態１から１０と同じ構造については、同一の処理については説明を省略する。
実施の形態１１の変位計１０の設定値調整システムにおいては、実施の形態３の図１８に示した第２フィルタ調整処理に代わり、図３４に示す第２フィルタ調整処理が実行される。具体的には、実施の形態３の第２フィルタ調整処理におけるステップＳ３０４、ステップＳ３０５、ステップＳ３０６及びステップＳ３０７に代わり、実施の形態１１における第２フィルタ調整処理では、ステップＳ３０９及びステップＳ３１０が実行される点が実施の形態３に対して異なる。実施の形態１１では、第２フィルタ調整処理のステップＳ３０９及びステップＳ３１０が実行されることを除いて他の処理は実施の形態３と同じであるため、同じ処理については説明を省略する。
実施の形態１１の使用設定値自動調整処理は、実施の形態３と同様に、図１４に示した使用設定値自動調整処理が実行される。そして、使用設定値自動調整処理において、ステップＳ５０に進んだ場合、図１８に示した第２フィルタ調整処理に代わり、図３４に示す第２フィルタ調整処理が実行される。
実施の形態１１の第２フィルタ調整処理においては、実施の形態３と同様に、ステップＳ３０１、ステップＳ３０２及びステップＳ３０３が実行される。そして、ステップＳ３０９に進む。
ステップＳ３０９では、実施の形態１０のステップＳ６１０と同様に、ＰＣ３０の取得部３４１は、ＰＬＣ２０を介して、第１検出部４１、第２検出部４２、第３検出部４３及び第４検出部４４等の物性検出部４０の検出結果を取得する。
ステップＳ３１０では、ＰＣ３０の変更部３４４は、物性検出部４０の検出結果及び後述する移動平均回数調整テーブルに基づいて、移動平均回数の設定値Ｌｘを変更する。
図３５に示す移動平均回数調整テーブルは、ＰＣ３０の第２記憶部３５に予め記憶されたテーブルであり、移動平均回数の設定値Ｌｘを変更する際に使用される。移動平均回数調整テーブルの「○」及び「×」の定義は、実施の形態１０で説明したものと同じである。
そして、移動平均回数調整テーブル中の移動平均回数の設定値Ｌｘは、物性検出部４０としての第１検出部４１から第４検出部４４の検出結果に基づいて、測定対象物１としての基準ワークの表面物性に合わせて選択される。具体的には、移動平均回数調整テーブル中の移動平均回数の設定値Ｌｘは、基準ワークの表面が滑らかな鏡面であれば、移動平均回数の設定値Ｌｘが小さくなるように設定され、基準ワークの表面が凹凸のある粗面であれば、移動平均回数の設定値Ｌｘが大きくなるように設定されている。例えば、第１検出部４１の検出結果が「×（非透明体）」、第２検出部４２の検出結果が「○（鏡面）」、第３検出部４３の検出結果が「○（電気伝導体）」及び第４検出部４４の検出結果が「○（硬い）」である場合、測定対象物１の表面物性は、例えば、表面が鏡面である金属のため、移動平均回数の設定値Ｌｘとして３２回が選択される。また、第１検出部４１の検出結果が「×（非透明体）」、第２検出部４２の検出結果が「×（非鏡面）」、第３検出部４３の検出結果が「○（電気伝導体）又は×（絶縁体）」及び第４検出部４４の検出結果が「○（硬い）」である場合、測定対象物１の表面物性は、標準的な材質又は表面が非鏡面の金属のため、移動平均回数の設定値Ｌｘとして１２８回が選択される。また、第１検出部４１の検出結果が「○（透明体）」、第２検出部４２の検出結果が「×（非鏡面）」、第３検出部４３の検出結果が「○（電気伝導体）」及び第４検出部４４の検出結果が「○（硬い）」である場合、測定対象物１の表面物性は、パターン付ガラスのため、移動平均回数の設定値Ｌｘとして５１２回が選択される。
つまり、変更部３４４は、図１４に示したステップＳ１０で設定された移動平均回数の初期値Ｌ１から、第１検出部４１から第４検出部４４及び移動平均回数調整テーブルに基づいて選択された移動平均回数の設定値Ｌｘを使用設定値格納領域３５５に記憶することで、使用設定値Ｙｙを選択された移動平均回数の設定値Ｌｘに変更する。このとき、選択された移動平均回数の設定値Ｌｘを最適化設定値格納領域３５６にも記憶する。また、変更部３４４は、使用設定値格納領域３５５に格納された使用設定値Ｙｙである選択された移動平均回数の設定値ＬｘをＰＬＣ２０に送信し、第１制御部２２は使用設定値格納領域２３２に受信した選択された移動平均回数の設定値Ｌｘを記憶させ設定する。そして、ステップＳ３０８に進む。
ステップＳ３０８では、実施の形態３と同様に、更新部３４５は、第２フィルタ調整処理の完了を示す最適化完了フラグＦＬを設定する。また、ＰＬＣ２０の第１制御部２２に命令を送信し、第１記憶部２３の使用設定値格納領域２３２に、第２フィルタ調整処理完了時の最適化設定値格納領域３５６に保持されている移動平均フィルタの最適化設定値Ｌ＿ｏｐｔを保持させる。
なお、実施の形態１１の第２フィルタ調整処理は、実施の形態３と同様に、移動平均回数の設定値Ｌｘのみを調整するものであったが、実施の形態１１の第２フィルタ調整処理を実施の形態９の測定モード調整処理からサンプリング周期調整処理を組み合わせた使用設定値自動調整処理における第２フィルタ調整処理に適用することもできる。
なお、実施の形態１１の第２フィルタ調整処理を実施の形態９の測定モード調整処理からサンプリング周期調整処理を組み合わせた使用設定値自動調整処理における第２フィルタ調整処理に適用しない場合、実施の形態１１の第２フィルタ調整処理のステップＳ３１０では、選択された移動平均回数の設定値Ｌｘを最適化設定値格納領域３５６のみに記憶させればよい。また、選択された移動平均回数の設定値Ｌｘは、ステップＳ３１０でＰＬＣ２０の使用設定値格納領域２３２に保持させるので、ステップＳ３０８においてはＰＬＣ２０の使用設定値格納領域２３２設定する処理を省略しても構わない。
実施の形態１１における変位計１０の設定値調整装置では、取得部３４１は、基準ワークの物性を検出する物性検出部４０からの検出値を取得する。また、設定値Ｘｘは、移動平均フィルタの設定値Ｌｘを含む。そして、変更部３４４は、物性検出部４０の検出値に基づいて移動平均回数の使用設定値Ｙｙ（移動平均フィルタの設定値Ｌｘ）を変更する。そして、測定値が目標測定値３５２の範囲内であると判定された場合、目標測定値３５２の範囲内であると判定された測定値を取得した時の移動平均回数の使用設定値Ｙｙ（移動平均フィルタの設定値Ｌｘ）を、測定対象物１を検査する際に使用する使用設定値Ｙｙに設定する。そのため、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Ｙｙを調整できるという効果を奏する。また、使用設定値Ｙｙを基準ワークの物性に合った適切な移動平均回数の設定値Ｌｘに変更できるという効果を奏する。また、物性検出部４０の検出値に基づいて移動平均回数の使用設定値Ｙｙを変更するため、何度も第２フィルタ調整処理を繰り返す必要が無く、移動平均回数の使用設定値Ｙｙを早く確定できるという効果を奏する。
実施の形態１２．
続いて、実施の形態１２の変位計１０の設定値調整システムについて図１、図３６及び図３７を用いて説明する。なお、実施の形態１から１１と同じ構造及び同一の処理については説明を省略する。
実施の形態１２の変位計１０の設定値調整システムにおいては、実施の形態１１の図３４に示した第２フィルタ調整処理に代わり、図３６に示す第２フィルタ調整処理が実行される。具体的には、実施の形態１１の第２フィルタ調整処理におけるステップＳ３０９及びステップＳ３１０に代わり、実施の形態１２における第２フィルタ調整処理では、ステップＳ３１１及びステップＳ３１２が実行される点が実施の形態１１に対して異なる。実施の形態１１では、第２フィルタ調整処理のステップＳ３１１及びステップＳ３１２が実行されることを除いて他の処理は実施の形態１１と同じであるため、同じ処理については説明を省略する。
まず、実施の形態１で説明を省略した温度センサ５０について説明する。
図１に示す温度センサ５０は、変位計１０の温度を検出する温度検出部である。検出温度は、変位計１０の内部又は周囲温度等の温度である。なお、工場内は、一般的に、室温を一定に保っていることが多いので、周囲温度として室温を用いることもできる。温度センサ５０は、第１検出部４１から第４検出部４４等の物性検出部４０に加え、ＰＬＣ２０の第１Ｉ／Ｆ部２１に接続される。ＰＣ３０の取得部３４１は、ＰＬＣ２０を介して、第１検出部４１から第４検出部４４等の物性検出部４０及び温度センサ５０の検出温度を取得する。
続いて、実施の形態１２の第２フィルタ調整処理について、図３６を参照しながら説明する。
実施の形態１２の第２フィルタ調整処理においては、実施の形態１１と同様に、ステップＳ３０１、ステップＳ３０２及びステップＳ３０３が実行される。そして、ステップＳ３１１に進む。
ステップＳ３１１では、実施の形態１１のステップＳ３０９と同様に、ＰＣ３０の取得部３４１は、ＰＬＣ２０を介して、第１検出部４１、第２検出部４２、第３検出部４３及び第４検出部４４等の物性検出部４０の検出結果を取得する。実施の形態１２では、取得部３４１は、更に温度センサ５０の検出温度も検出結果として取得する。
ステップＳ３１２では、ＰＣ３０の変更部３４４は、物性検出部４０及び温度センサ５０の検出結果及び後述する移動平均回数調整テーブルに基づいて、移動平均回数の設定値Ｌｘを変更する。
実施の形態１２では、実施の形態１１の図３５に示した移動平均回数調整テーブルに代わり、図３７に示す移動平均回数調整テーブルが移動平均回数の設定値Ｌｘを変更する際に使用される。移動平均回数調整テーブルの「○」及び「×」の定義は、実施の形態１０で説明したものと同じである。
実施の形態１２における図３７に示す移動平均回数調整テーブルでは、実施の形態１１の図３５に示した移動平均回数調整テーブルを元にしているものの、更に温度センサ５０の検出温度に基づいて、移動平均回数の設定値Ｌｘを異ならせている。具体的には、温度センサ５０の検出温度が第１温度であれば、実施の形態１１の図３５に示した移動平均回数調整テーブル中の移動平均回数の設定値Ｌｘと同じであるが、温度センサ５０の検出温度が第２温度であれば、移動平均回数の設定値Ｌｘを大きくし、移動平均回数が増加するようにしている。なお、第２温度は第１温度よりも高い温度である。このように温度センサ５０の検出温度が高くなるほど移動平均回数が増加するように移動平均回数の設定値Ｌｘを変更している理由は、変位計１０を構成する構成要素の熱膨張により、測定値が安定しなくなり、温度が高くなるほど測定値の目標測定値３５２に対するばらつきが大きくなるためである。
つまり、ステップＳ３１２では、変更部３４４は、図１４に示したステップＳ１０で設定された移動平均回数の初期値Ｌ１から、第１検出部４１から第４検出部４４、温度センサ５０及び図３７に示した移動平均回数調整テーブルに基づいて選択された移動平均回数の設定値Ｌｘを使用設定値格納領域３５５及び最適化設定値格納領域３５６に記憶し、選択された移動平均回数の設定値Ｌｘに変更する。また、変更部３４４は、選択された移動平均回数の設定値Ｌｘを、第１制御部２２は使用設定値格納領域２３２に設定する。そして、ステップＳ３０８に進む。
ステップＳ３０８では、実施の形態１１と同様に、更新部３４５は、第２フィルタ調整処理の完了を示す最適化完了フラグＦＬを設定し、第１記憶部２３の使用設定値格納領域２３２に、第２フィルタ調整処理完了時の最適化設定値格納領域３５６に保持されている移動平均フィルタの最適化設定値Ｌ＿ｏｐｔを保持させる。
なお、実施の形態１２の第２フィルタ調整処理は、実施の形態１１と同様に、実施の形態１２の第２フィルタ調整処理を実施の形態９の測定モード調整処理からサンプリング周期調整処理を組み合わせた使用設定値自動調整処理における第２フィルタ調整処理に適用することもできる。
なお、実施の形態１２の第２フィルタ調整処理を実施の形態９の測定モード調整処理からサンプリング周期調整処理を組み合わせた使用設定値自動調整処理における第２フィルタ調整処理に適用しない場合は、実施の形態１２の第２フィルタ調整処理のステップＳ３１１では、選択された移動平均回数の設定値Ｌｘを最適化設定値格納領域３５６のみに記憶させればよい。また、選択された移動平均回数の設定値Ｌｘは、ステップＳ３１１でＰＬＣ２０の使用設定値格納領域２３２に保持させるので、ステップＳ３１２においてはＰＬＣ２０の使用設定値格納領域２３２設定する処理を省略しても構わない。
実施の形態１２における変位計１０の設定値調整装置では、取得部３４１は、変位計１０の温度を検出する温度検出部の検出温度を取得し、変更部３４４は、温度検出部の前記検出温度が高いほど前記移動平均回数が増加するよう移動平均回数の使用設定値Ｙｙを変更する。そのため、変位計１０の温度に合った適切な移動平均回数の設定値Ｌｘに使用設定値Ｙｙを変更できるという効果を奏する。
実施の形態１３．
続いて、実施の形態１３の変位計１０の設定値調整システムについて図３８から図３９を用いて説明する。なお、実施の形態１から１２と同じ構造及び同一の処理については説明を省略する。
実施の形態１３の変位計１０の設定値調整システムにおいては、実施の形態１２の温度センサ５０に代わり、図３８に示すように振動センサ５１が用いられる。また、実施の形態１２の図３６に示した第２フィルタ調整処理に代わり、図３９に示す第２フィルタ調整処理が実行される。具体的には、実施の形態１２の第２フィルタ調整処理におけるステップＳ３１１及びステップＳ３１２に代わり、実施の形態１３における第２フィルタ調整処理では、ステップＳ３１３及びステップＳ３１４が実行される点が実施の形態１２に対して異なる。実施の形態１２では、第２フィルタ調整処理のステップＳ３１３及びステップＳ３１４が実行されることを除いて他の処理は実施の形態１２と同じであるため、同じ処理については説明を省略する。
まず、実施の形態１３で用いる振動センサ５１について説明する。
図３８に示す振動センサ５１は、変位計１０の振動を検出する振動検出部である。振動センサ５１の検出値は、変位計１０の振動に相当する加速度である。ＰＣ３０の取得部３４１は、ＰＬＣ２０を介して、第１検出部４１から第４検出部４４等の物性検出部４０及び振動センサ５１の検出値を取得する。
続いて、実施の形態１３の第２フィルタ調整処理について、図３９を参照しながら説明する。
実施の形態１３の第２フィルタ調整処理においては、実施の形態１１と同様に、ステップＳ３０１、ステップＳ３０２及びステップＳ３０３が実行される。そして、ステップＳ３１３に進む。
ステップＳ３１３では、実施の形態１２のステップＳ３１１と同様に、ＰＣ３０の取得部３４１は、ＰＬＣ２０を介して、第１検出部４１、第２検出部４２、第３検出部４３及び第４検出部４４等の物性検出部４０の検出結果を取得する。実施の形態１３では、取得部３４１は、振動センサ５１の検出値も検出結果として取得する。
ステップＳ３１４では、ＰＣ３０の変更部３４４は、物性検出部４０及び振動センサ５１の検出値及び後述する移動平均回数調整テーブルに基づいて、移動平均回数の設定値Ｌｘを変更する。
実施の形態１３では、実施の形態１２の図３７に示した移動平均回数調整テーブルに代わり、図４０に示す移動平均回数調整テーブルが移動平均回数の設定値Ｌｘを変更する際に使用される。
実施の形態１３における図４０に示す移動平均回数調整テーブルでは、実施の形態１２の図３７に示した移動平均回数調整テーブルを元にしているものの、振動センサ５１の検出値に基づいて、移動平均回数の設定値Ｌｘを異ならせている。具体的には、振動センサ５１が振動を検出しない場合は、実施の形態１１の図３５に示した移動平均回数調整テーブル中の移動平均回数の設定値Ｌｘと同じであるが、振動センサ５１が振動を検出した場合は、移動平均回数の設定値Ｌｘを大きくし、移動平均回数が増加するようにしている。なお、振動センサ５１による振動の検出方法は、振動センサ５１によって検出される加速度が予め設定された振動閾値を超える場合は振動有りと判定するようにする。このように振動センサ５１の検出値が大きくなるほど移動平均回数が増加するように移動平均回数の設定値Ｌｘを変更している理由は、変位計１０の振動により、測定値が安定しなくなり、振動が大きくなるほど測定値の目標測定値３５２に対するばらつきが大きくなるためである。
実施の形態１３における変位計１０の設定値調整装置では、取得部３４１は、変位計１０の振動を検出する振動検出部の検出値を取得し、変更部３４４は、振動検出部の前記検出値が大きいほど前記移動平均回数が増加するよう移動平均回数の使用設定値Ｙｙを変更する。そのため、変位計１０の振動に応じた適切な移動平均回数の設定値Ｌｘに使用設定値Ｙｙを変更できるという効果を奏する。
実施の形態１４．
続いて、実施の形態１４の変位計１０の設定値調整システムについて図５、図６、図１０、図２１、図４１から図４３を用いて説明する。なお、実施の形態１から１２と同じ構成については、説明を省略する。
実施の形態１４の変位計１０の設定値調整システムでは、実施の形態１から１２のＰＣ３０に代わり、ＰＣ３０Ａが使用される。ＰＣ３０Ａは、機械学習装置３６を更に含んでいる点を除いて、実施の形態１から実施の形態１２のＰＣ３０の構成と同じである。そして、機械学習装置３６が、変位量を示す測定値、受光量及び使用設定値Ｙｙに基づいて、目標測定値３５２の範囲内となる使用設定値Ｙｙ及び目標受光量３５３の範囲内となる使用設定値Ｙｙを学習する。なお、測定値、受光量、使用設定値Ｙｙ、目標測定値３５２及び目標受光量３５３は、実施の形態１から１２で用いたものと同じである。
実施の形態１４の変位計１０の設定値調整システムについて、以下では、ＰＣ３０と機械学習装置３６とが一体化されたＰＣ３０Ａを例に挙げて説明する。なお、機械学習装置３６は、ＰＣ３０Ａと一体化されていてもよいし、ＰＣ３０Ａの外部に設けられた別個のコンピュータであってもよい。或いは、機械学習装置３６はクラウドサーバに存在していてもよい。なお、機械学習装置３６の機能はプロセッサにより実現される。
図４１は、実施の形態１４に係る変位計１０の設定値調整システムの全体構成を示す図である。図４１の各構成要素のうち図１に示す実施の形態１の変位計１０の設定値調整システムと同一機能を達成する構成要素については同一符号を付しており、重複する説明は省略する。ＰＣ３０Ａは、ＰＣ３０に加えて、使用設定値Ｙｙを学習する機械学習装置３６を備えている。
機械学習装置３６は、状態観測部３６１と学習部３６３とを備えている。機械学習装置３６は、第２制御部３４及び第２記憶部３５に接続されている。
状態観測部３６１は、使用設定値Ｙｙを用いて基準ワークを測定した際に取得部３４１によって取得された測定値及び受光量と、測定値及び受光量を取得した際の使用設定値Ｙｙと、を状態変数３６２として観測する。状態観測部３６１が観測する測定値及び受光量は、測定値及び受光量を取得した際の使用設定値Ｙｙに対応付けされている。そして、状態観測部３６１は、観測結果である状態変数３６２を学習部３６３に送る。
学習部３６３は、状態変数３６２に従って、使用設定値Ｙｙを学習する。換言すると、学習部３６３は、測定値が目標測定値３５２の範囲内となる使用設定値Ｙｙ及び受光量が目標受光量３５３の範囲内となる使用設定値Ｙｙを学習する。具体的には、測定値、受光量及び測定値及び受光量を取得した際の使用設定値Ｙｙを含んだ状態変数３６２に基づいて作成される訓練データセットに従って、測定値が目標測定値３５２の範囲内となる使用設定値Ｙｙ及び受光量が目標受光量３５３の範囲内となる使用設定値Ｙｙを学習する。実施の形態１４において、学習部３６３は、強化学習の概念に従って、測定値及び受光量と、測定値及び受光量を取得した際の使用設定値Ｙｙとの関係性を学習する。
実施の形態１４の機械学習装置３６は、公知のＱ学習の手法に従って強化学習を実行する。機械学習装置３６は、或る状態変数ｓのときに行動ａを選択した場合の行動価値Ｑ（期待値）を求める行動価値関数Ｑ（ｓｔ，ａｔ）に基づいて、最良の行動を学習する。
学習の初期段階では、或る状態変数ｓと行動ａの組合せに対して割当てられる行動価値Ｑは未知である。機械学習装置３６は、種々の状態変数ｓに対して行動ａをランダムに選択して実行し、行動ａの結果として与えられる報酬を積算することによって、行動価値関数Ｑ（ｓｔ，ａｔ）を更新する。行動価値関数Ｑ（ｓｔ，ａｔ）を更新する一般式は、式２で表される。
（数１）
Ｑ（ｓｔ，ａｔ）←Ｑ（ｓｔ，ａｔ）
＋α（ｒｔ＋１＋γｍａｘＱ(ｓｔ＋１，ａｔ＋１）―Ｑ（ｓｔ，ａｔ）)
・・・（式２）
ここで、ｓtは、時刻ｔにおける状態変数である。ａtは、時刻ｔにおいて実行される行動である。ｓt+1は時刻ｔ＋１における状態変数であり、換言すれば、行動ａtを行った結果として変化した後の状態変数である。ｒt+1は行動ａtの結果として変化する環境に応じて与えられる報酬である。「ｍａｘ」の項は、状態変数ｓt+1における行動価値Ｑの最大値（すなわち、最良の行動ａに対する行動価値）を表している。γは割引率であり、０＜γ≦１を満足するように設定される（例えば、γ＝０．９〜０．９９）。αは学習係数であり、０＜α≦１を満足するように設定される（例えば、α＝０．０５〜０．２）。なお、Ｑ学習を変位計１０の設定値調整システムに適用した実施の形態１４では、使用設定値Ｙｙが行動ａtとなる。
式２で表される更新式は、時刻ｔ＋１における最良の行動ａの行動価値が、時刻ｔにおいて実行された行動ａの行動価値Ｑよりも大きければ、行動価値Ｑを大きくし、逆の場合は、行動価値Ｑを小さくする。換言すれば、時刻ｔにおける行動ａの行動価値Ｑを、時刻ｔ＋１における最良の行動価値に近づけるように、行動価値関数Ｑ（ｓｔ，ａｔ）を更新する。それにより、或る環境における最良の行動価値が、それ以前の環境における行動価値に順次伝播していくようになる。
図４２に戻り、学習部３６３は、報酬計算部３６４と、関数更新部３６５とを備えている。
報酬計算部３６４は、状態変数３６２に基づいて報酬を計算する。すなわち、報酬計算部３６４は、取得部３４１の取得した測定値及び受光量に基づいて、報酬を計算する。報酬計算部３６４は、受光量が目標受光量３５３に近いほど大きな報酬を与える。また、報酬計算部３６４は、測定値が目標測定値３５２に近いほど大きな報酬を与える。報酬計算部３６４は、受光量への報酬と、測定値への報酬とで報酬の大きさに重み付けを行ってもよい。実施の形態１でも説明した通り、受光量が大きすぎる場合及び受光量が小さすぎる場合は受光量波形の山Ｐの頂点の位置の特定精度が大きく悪化するため、受光量への報酬に対しては、測定値への報酬よりも大きな差を付けた報酬を与えてもよい。この場合、例えば、報酬計算部３６４は、受光量へは「＋１」〜「−１」の報酬を与え、測定値へは「＋０．２」〜「−０．２」の報酬を与えることができる。なお、報酬計算部３６４は、計算した報酬を関数更新部３６５に送る。
関数更新部３６５は、測定値及び受光量を基準ワークから取得する際の使用設定値Ｙｙを決定するための関数を記憶しており、報酬計算部３６４によって計算された報酬に従って、関数を更新する。測定値及び受光量を基準ワークから取得する際の使用設定値Ｙｙを決定するための関数の例は、前述の行動価値関数Ｑ（ｓｔ，ａｔ）である。なお、関数の更新は、訓練データセットに従って、例えば行動価値テーブルを更新することによって行うことができる。行動価値テーブルは、行動ａｔと、状態変数ｓｔと、その行動価値Ｑとを関連付けてテーブルの形式で記憶したデータセットである。実施の形態１４の関数更新部３６５は、状態観測部３６１が測定値及び受光量を新たに観測するたびに行動価値関数Ｑ（ｓｔ，ａｔ）を更新する。また、関数更新部３６５は、更新した行動価値関数Ｑ（ｓｔ，ａｔ）を第２記憶部３５に送信し記憶させる。
第２記憶部３５は、これまでの学習データ、および学習に用いるデータを記憶しておく。学習データの例は、学習された使用設定値Ｙｙであり、学習に用いるデータの例は、学習部３６３が学習の際に用いる行動価値関数Ｑ（ｓｔ，ａｔ）である。第２記憶部３５の最適化設定値格納領域３５６が記憶しておく使用設定値Ｙｙは、過去に測定値及び受光量を基準ワークから取得した際の使用設定値Ｙｙの中で最も報酬の高かった使用設定値Ｙｙである。第２記憶部３５は、各属性の使用設定値Ｙｙごとに、過去に測定値及び受光量を取得した時の使用設定値Ｙｙの中で最も報酬の高かった使用設定値Ｙｙと、この使用設定値Ｙｙに対応する測定値及び受光量との組み合わせを記憶しておく。
まず、実施の形態１と同様に、図６の調整手順に示したように、ステップＳ１からステップＳ５が実行される。その際に、図１０に示した設定値Ｘｘの自動調整のボタン７３２が選択された場合には、ステップＳ５の処理として、図４３に示す使用設定値学習処理が開始される。
次に、図４３に示されるフローチャートを参照して、行動価値Ｑ（ｓｔ，ａｔ）を更新する強化学習方法の処理手順について説明する。図４３は、実施の形態１４に係るＰＣ３０Ａで実行される使用設定値学習処理を示すフローチャートである。以下では、まず、使用設定値Ｙｙを学習する対象となる属性が、測定レシピである場合について説明する。
まず、ステップＳ９００では、設定部３４２は、全設定値３５１の中から属性毎に各１つずつ設定値Ｘｘを読み出して使用設定値格納領域３５５及び使用設定値格納領域２３２に格納し、使用設定値Ｙｙとして設定する。具体的には、設定部３４２は、測定レシピの設定値Ｐｘに対応付けられた各属性の設定値Ｘｘ（Ｉｘ，Ｊｘ，Ｋｘ，Ｌｘ，Ｍｘ，Ｎｘ，Ｏｘ・・・）を読み出して使用設定値格納領域３５５及び使用設定値格納領域２３２に格納し、使用設定値Ｙｙとして設定する。ステップＳ９００においては、使用設定値学習処理の前であるため、図５及び図２１に示した複数の測定レシピの設定値Ｐｘの中から１つランダムに選択し、選択された測定レシピの設定値Ｐｘに対応付けられた各属性の設定値Ｘｘ（Ｉｘ，Ｊｘ，Ｋｘ，Ｌｘ，Ｍｘ，Ｎｘ，Ｏｘ・・・）を使用設定値Ｙｙに設定してもよい。また、実施の形態６の図２２で示したステップＳ１０Ａのように、測定レシピの設定値Ｐｘの初期値Ｐ１である測定レシピＡの設定値に対応付けられている各属性の設定値Ｘｘ（Ｉ１，Ｊ１，Ｋ１，Ｌ１，Ｍ１，なし，なし・・・）を使用設定値Ｙｙとして設定してもよい。また、実施の形態１のステップＳ１０と同様に、設定部３４２は、属性毎に図５の中央の列に記載されている初期値Ｘ１を使用設定値Ｙｙに設定してもよい。
そして、ステップＳ９０１では、状態観測部３６１は、ＰＬＣ２０及びＰＣ３０の取得部３４１を介して、使用設定値格納領域２３２に格納されている使用設定値Ｙｙを使用して取得した測定値及び受光量と、使用設定値格納領域３５５に格納されている使用設定値Ｙｙと、を観測する。また、状態観測部３６１は、状態変数３６２を報酬計算部３６４に送る。すなわち、状態観測部３６１は、使用設定値Ｙｙを用いて基準ワークを測定した際の測定値及び受光量と、測定値及び受光量を取得した際の使用設定値Ｙｙと、が対応付けされた情報を報酬計算部３６４に送る。
ステップＳ９０２では、報酬計算部３６４は、状態観測部３６１から今回取得した受光量が、これまで過去に取得した、目標受光量３５３に最も近い受光量よりも目標受光量３５３により近い値であるか否かを判定する。そして、今回取得した受光量が、これまでに取得した目標受光量３５３に最も近い受光量よりも目標受光量３５３により近い値である場合（ステップＳ９０２：ＹＥＳ）、ステップＳ９０３に進む。今回取得した受光量が、これまでに取得した目標受光量３５３に最も近い受光量よりも目標受光量３５３から遠い値である場合（ステップＳ９０２：ＮＯ）、ステップＳ９０４に進む。なお、目標受光量３５３は、実施の形態７で説明したものと同様に、４００から８００の範囲のように下限目標受光量と上限目標受光量との間の範囲としてもよいし、６００のように特定の一つの値でもよい。
ステップＳ９０３では、報酬計算部３６４は、報酬を増大させる。また、ステップＳ９０４では、報酬計算部３６４は、報酬を減少させる。なお、今回取得した受光量が、これまでに取得した目標受光量３５３に最も近い受光量と同じである場合には、報酬計算部３６４は、報酬を増大も減少もさせずに維持させてもよい。そして、ステップＳ９０３又はステップＳ９０４が実行された後、ステップＳ９０５に進む。
そして、ステップＳ９０５では、報酬計算部３６４は、状態観測部３６１から今回取得した測定値が、これまで過去に取得した目標測定値３５２に最も近い測定値よりも目標測定値３５２に近い値であるか否かを判定する。そして、今回取得した測定値が、これまでに取得した目標測定値３５２に最も近い測定値よりも目標測定値３５２に近い値である場合（ステップＳ９０５：ＹＥＳ）、ステップＳ９０６に進む。今回取得した測定値が、これまでに取得した目標測定値３５２に最も近い測定値よりも目標測定値３５２から遠い値である場合（ステップＳ９０５：ＮＯ）、ステップＳ９０７に進む。なお、目標測定値３５２は、実施の形態１で説明したものと同様に、ユーザ操作により指定された上限閾値と下限閾値との間の範囲としてもよいし、基準ワークの表面を測定中心距離に合わせているのであれば変位量０等の特定の一つの値でもよい。
ステップＳ９０６では、報酬計算部３６４は、報酬を増大させる。また、ステップＳ９０７では、報酬計算部３６４は、報酬を減少させる。なお、今回取得した測定値が、これまでに取得した目標測定値３５２に最も近い測定値と同じである場合には、報酬計算部３６４は、報酬を増大も減少もさせずに維持させてもよい。そして、ステップＳ９０６又はステップＳ９０７が実行された後、ステップＳ９０８に進む。
ステップＳ９０８では、関数更新部３６５は、増大または減少させた報酬に基づいて、行動価値関数Ｑ（ｓｔ，ａｔ）を更新する。そして、関数更新部３６５は、更新した行動価値関数Ｑ（ｓｔ，ａｔ）を第２記憶部３５に送信し記憶させる。また、関数更新部３６５は、第２制御部３４の更新部３４５に命令し、更新部３４５は、測定値及び受光量を基準ワークから取得した際の過去の使用設定値Ｙｙ（今回の使用設定値Ｙｙも含む）の中で最も報酬の高い使用設定値Ｙｙを最適化設定値格納領域３５６に記憶させる。より具体的には、更新部３４５は、過去の使用設定値Ｙｙ（今回の使用設定値Ｙｙも含む、測定レシピの設定値Ｐｘに対応付けられた各属性の設定値Ｘｘ（Ｉｘ，Ｊｘ，Ｋｘ，Ｌｘ，Ｍｘ，Ｎｘ，Ｏｘ・・・）の組み合わせ）の中で最も報酬の高い使用設定値Ｙｙ（最も報酬の高い測定レシピの設定値Ｐｘに対応付けられた各属性の設定値Ｘｘの組み合わせ）と、この使用設定値Ｙｙに対応する測定値及び受光量との組み合わせを記憶させる。そして、ステップＳ９０９に進む。
ステップＳ９０９では、判定部３４３は、全ての設定値Ｘｘを使用設定値Ｙｙに用いて基準ワークを測定して得られた全ての受光量及び測定値を取得済みか否か判定する。具体的には、使用設定値Ｙｙを学習する対象となる属性が、測定レシピであれば、全ての測定レシピの設定値Ｐｘを使用設定値Ｙｙに用いて基準ワークを測定して得られた全ての受光量及び測定値を取得済みか否か判定する。例えば、判定部３４３が、使用設定値学習処理の開始から取得部３４１が取得した受光量及び測定値の少なくとも一方の数が第２記憶部３５の全設定値３５１中の測定レシピの設定値Ｐｘの数と一致するか否かを確認することで全ての測定値を取得済みか否か判定する。ステップＳ９０９にて、全ての受光量及び測定値を取得済みでないと判定された場合（ステップＳ９０９：ＮＯ）は、ステップＳ９１０に進む。また、ステップＳ９０９にて、全ての受光量及び測定値を取得済みであると判定された場合（ステップＳ９０９：ＹＥＳ）は、ステップＳ９１１に進む。
ステップＳ９１０では、変更部３４４が、受光量及び測定値を取得済みの測定レシピの設定値Ｐｘとは異なる新たな設定値Ｐｘを全設定値３５１から読み出す。そして、変更部３４４は、新たな測定レシピの設定値Ｐｘ及び新たな測定レシピの設定値Ｐｘに対応付けられた各属性の設定値Ｘｘ（Ｉｘ，Ｊｘ，Ｋｘ，Ｌｘ，Ｍｘ，Ｎｘ，Ｏｘ・・・）を使用設定値格納領域３５５に格納し、使用設定値Ｙｙを変更する。また、変更部３４４は、使用設定値格納領域３５５に格納された次回使用する使用設定値Ｙｙである各属性の設定値Ｘｘ（測定レシピの設定値Ｐｘを除き、測定レシピの設定値Ｐｘに対応付けられたＩｘ，Ｊｘ，Ｋｘ，Ｌｘ，Ｍｘ，Ｎｘ，Ｏｘ・・・）をＰＬＣ２０に送信し、第１制御部２２は使用設定値格納領域２３２に次回使用する使用設定値Ｙｙである各属性の設定値Ｘｘ（測定レシピの設定値Ｐｘに対応付けられたＩｘ，Ｊｘ，Ｋｘ，Ｌｘ，Ｍｘ，Ｎｘ，Ｏｘ・・・）を記憶させ設定する。その後、ステップＳ９０１に戻り、新たな測定レシピの設定値Ｐｘに対応付けられた設定値Ｘｘを使用設定値Ｙｙとして使用し、ステップＳ９０１からステップＳ９１０の処理を測定レシピの設定値Ｐｘが変更されるごとに繰り返し実行される。
ステップＳ９０９にて全ての受光量及び測定値を取得済みであると判定された場合（ステップＳ９０９：ＹＥＳ）は、ステップＳ９１１にて、更新部３４５は、全ての測定レシピの設定値Ｐｘを使用設定値Ｙｙに用いて全ての受光量及び測定値を取得済みであり使用設定値学習処理が完了しているので、ＰＬＣ２０の第１制御部２２に命令を送信し、使用設定値学習処理完了時の最適化設定値格納領域３５６に保持されている測定レシピの最適化設定値Ｐ＿ｏｐｔに対応付けられた各属性の設定値Ｘｘ（Ｉｘ，Ｊｘ，Ｋｘ，Ｌｘ，Ｍｘ，Ｎｘ，Ｏｘ・・・）を、第１記憶部２３に各属性の使用設定値Ｙｙとして保持させる。そして、使用設定値学習処理を終了する。
なお、実施の形態１４にて、測定レシピの設定値Ｐｘを学習する例を説明したが、測定レシピの設定値Ｐｘとは異なる他の属性の設定値Ｘｘの少なくとも１つを学習するようにしてもよい。以下に、他の複数の属性の設定値Ｘｘを学習するものを実施の形態１４に適用した場合の変形例について図４３を参照しながら説明する。
まず、ステップＳ９００では、設定部３４２は、全設定値３５１の中から属性毎に各１つずつ設定値Ｘｘを読み出して使用設定値格納領域３５５及び使用設定値格納領域２３２に格納し、使用設定値Ｙｙとして設定する。具体的には、設定部３４２は、各属性の設定値Ｉｘ，Ｊｘ，Ｋｘ，Ｌｘ，Ｍｘ，Ｎｘ，Ｏｘ・・・を読み出して使用設定値格納領域３５５及び使用設定値格納領域２３２に格納し、各属性の使用設定値Ｙｙとして設定する。ステップＳ９００においては、使用設定値学習処理の前であるため、図５に示した各属性毎に複数の設定値Ｘｘの中から１つランダムに選択し、選択された各属性の設定値Ｉｘ，Ｊｘ，Ｋｘ，Ｌｘ，Ｍｘ，Ｎｘ，Ｏｘ・・・を使用設定値Ｙｙに設定する。また、実施の形態１のステップＳ１０と同様に、設定部３４２は、属性毎に図５の中央の列に記載されている初期値Ｘ１を使用設定値Ｙｙに設定してもよい。
そして、ステップＳ９０１からステップＳ９０９が測定レシピの設定値Ｐｘの学習の場合と同様に実行される。
ステップＳ９０９では、判定部３４３は、全ての属性の設定値Ｘｘの組合せを使用設定値Ｙｙに用いて基準ワークを測定して得られた全ての受光量及び測定値を取得済みか否か判定する。例えば、判定部３４３が、使用設定値学習処理の開始から取得部３４１が取得した受光量及び測定値の少なくとも一方の数が全設定値３５１中の各属性の設定値Ｉｘ，Ｊｘ，Ｋｘ，Ｌｘ，Ｍｘ，Ｎｘ，Ｏｘ・・・の組み合わせの総数と一致するか否かを確認することで全ての受光量及び測定値を取得済みか否か判定する。ステップＳ９０９にて、全ての受光量及び測定値を取得済みでないと判定された場合（ステップＳ９０９：ＮＯ）は、ステップＳ９１０に進む。また、ステップＳ９０９にて、全ての受光量及び測定値を取得済みであると判定された場合（ステップＳ９０９：ＹＥＳ）は、ステップＳ９１１に進む。
ステップＳ９１０では、変更部３４４が、受光量及び測定値を取得済みの各属性の設定値Ｘｘ（Ｉｘ，Ｊｘ，Ｋｘ，Ｌｘ，Ｍｘ，Ｎｘ，Ｏｘ・・・）の組み合わせとは異なる各属性の設定値Ｘｘ（Ｉｘ，Ｊｘ，Ｋｘ，Ｌｘ，Ｍｘ，Ｎｘ，Ｏｘ・・・）の新たな組み合わせとなるように、各属性の設定値Ｘｘを全設定値３５１から読み出す。そして、変更部３４４は、各属性の新たな設定値Ｘｘ（Ｉｘ，Ｊｘ，Ｋｘ，Ｌｘ，Ｍｘ，Ｎｘ，Ｏｘ・・・）を使用設定値格納領域３５５に格納し、使用設定値Ｙｙを変更する。また、変更部３４４は、使用設定値格納領域３５５に格納された次回使用する使用設定値Ｙｙである各属性の新たな設定値Ｘｘ（Ｉｘ，Ｊｘ，Ｋｘ，Ｌｘ，Ｍｘ，Ｎｘ，Ｏｘ・・・）をＰＬＣ２０に送信し、第１制御部２２は使用設定値格納領域２３２に次回使用する使用設定値Ｙｙである各属性の設定値Ｘｘを記憶させ設定する。その後、ステップＳ９０１に戻り、各属性の新たな設定値Ｘｘを使用設定値Ｙｙとして使用し、ステップＳ９０１からステップＳ９１０の処理を各属性の設定値Ｘｘの組み合わせが変更されるごとに繰り返し実行される。なお、ステップＳ９１０では、移動平均回数の設定値Ｌｘを変更する場合には、実施の形態３と同様に、変更部３４４は、測定値取得間隔をサンプリング周期の使用設定値で割ることで得られる許容移動平均回数以下の移動平均回数の設定値Ｌｘに使用設定値Ｙｙを変更する。
ステップＳ９０９にて全ての受光量及び測定値を取得済みであると判定された場合（ステップＳ９０９：ＹＥＳ）は、ステップＳ９１１にて、更新部３４５は、全ての属性の設定値Ｘｘの組み合わせを使用設定値Ｙｙに用いて全ての受光量及び測定値を取得済みであり使用設定値学習処理が完了しているので、ＰＬＣ２０の第１制御部２２に命令を送信し、第１記憶部２３に格納されている各属性の使用設定値Ｙｙとして、使用設定値学習処理完了時の最適化設定値格納領域３５６に保持されている各属性の最適化設定値Ｘ＿ｏｐｔ（Ｉｘ，Ｊｘ，Ｋｘ，Ｌｘ，Ｍｘ，Ｎｘ，Ｏｘ・・・）を保持させる。それらに加え、更新部３４５は、最適化設定値格納領域３５６に格納されている各属性の最適化設定値Ｘ＿ｏｐｔ（Ｉｘ，Ｊｘ，Ｋｘ，Ｌｘ，Ｍｘ，Ｎｘ，Ｏｘ・・・の組み合わせ）を、新たな測定レシピの設定値Ｐｘとして、第２記憶部３５の全設定値３５１に追加記憶させる。そして、使用設定値学習処理を終了する。
なお、ステップＳ９１１の処理が終了すると使用設定値学習処理を終了することとしているが、ステップＳ９１１の後、各属性の最適化設定値Ｘ＿ｏｐｔを使用して基準ワークの測定値を再取得し、その測定値が目標測定値３５２の範囲内か否か判定するようにしてもよい。そして、測定値が目標測定値３５２の範囲内である場合は使用設定値学習処理を終了し、測定値が目標測定値３５２の範囲外である場合は表示装置３１にエラー表示画面を表示させるようにしてもよい。
また、実施の形態１４及び実施の形態１４の変形例では、測定レシピの設定値Ｐｘに関する使用設定値学習処理と、その他の各属性の設定値Ｘｘ（Ｉｘ，Ｊｘ，Ｋｘ，Ｌｘ，Ｍｘ，Ｎｘ，Ｏｘ・・・）に関する使用設定値学習処理とを別個に説明したが、これらを組み合わせてもよい。
また、実施の形態１４及び実施の形態１４の変形例では、機械学習装置３６が、強化学習を利用して機械学習する場合について説明したが、機械学習装置３６は、他の公知の方法、例えばニューラルネットワーク、遺伝的プログラミング、機能論理プログラミング、サポートベクターマシン等によって機械学習を実行してもよい。
また、実施の形態１４及び実施の形態１４の変形例では、状態観測部３６１が、測定値及び受光量を観測するものについて説明したが、測定値のみを観測するようにしてもよい。その場合、図４３に示した使用設定値学習処理のステップＳ９０２からステップＳ９０４は省略すればよい。
また、実施の形態１４及び実施の形態１４の変形例を組み合わせたものであれば、測定レシピの設定値Ｐｘの調整については、実施の形態１０のように、物体検出部４０の検出結果に基づいて、測定レシピの設定値Ｐｘの調整を行い、測定レシピの設定値Ｐｘ以外の各属性の設定値Ｘｘ（Ｉｘ，Ｊｘ，Ｋｘ，Ｌｘ，Ｍｘ，Ｎｘ，Ｏｘ・・・）について、上述の使用設定値学習処理を行うようにしてもよい。
また、実施の形態１４の変形例、並びに、実施の形態１４及び実施の形態１４の変形例を組み合わせたものであれば、測定レシピの設定値Ｐｘ及び移動平均回数の設定値Ｌｘの調整については、実施の形態１１のように、物体検出部４０及び温度センサ５０の検出結果に基づいて、測定レシピの設定値Ｐｘ及び移動平均回数の設定値Ｌｘの調整を行い、測定レシピの設定値Ｐｘ及び移動平均回数の設定値Ｌｘ以外の各属性の設定値Ｘｘ（Ｉｘ，Ｊｘ，Ｋｘ，Ｍｘ，Ｎｘ，Ｏｘ・・・）について、上述の使用設定値学習処理を行うようにしてもよい。
また、実施の形態１４の変形例、並びに、実施の形態１４及び実施の形態１４の変形例を組み合わせたものであれば、各属性の設定値Ｘｘのうちの一部を実施の形態１から実施の形態９により調整し、各属性の設定値Ｘｘのうちの残りの一部を実施の形態１４の変形例、並びに、実施の形態１４及び実施の形態１４の変形例を組み合わせたものを行うようにしてもよい。
また、実施の形態１４の変形例、並びに、実施の形態１４及び実施の形態１４の変形例を組み合わせたもののように、学習部３６３が、状態変数３６２に基づいて作成される訓練データセットに従って、投光量の使用設定値Ｙｙ及びサンプリング周期の使用設定値Ｙｙの両方を学習するものに限られず、学習部３６３が、状態変数３６２に基づいて作成される訓練データセットに従って、投光量の使用設定値Ｙｙ及びサンプリング周期の使用設定値Ｙｙの少なくとも１つを学習するようにしてもよい。
実施の形態１４における変位計１０の設定値調整装置では、基準ワークを測定して設定値Ｘｘの中から使用設定値Ｙｙの事前調整を行う際に、状態観測部３６１が測定値と、基準ワークを測定する際に使用された使用設定値Ｙｙとを含む状態変数を観測し、状態変数に基づいて作成される訓練データセットに従って、学習部３６３は使用設定値Ｙｙを学習する。そのため、実施の形態１から実施の形態１２と同様に、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、使用設定値Ｙｙを学習し調整できるという効果を奏する。また、使用設定値Ｙｙを適切な設定値Ｘｘに更新できるという効果を奏する。
また、実施の形態１４における変位計１０の設定値調整装置では、変位計１０の測定値に基づいて学習した各属性の最適化設定値Ｘ＿ｏｐｔを、新たな測定レシピの設定値Ｐｘとして全設定値３５１に追加記憶させるため、例えば、新たな変位計１０をＰＬＣ２０に接続する場合又は測定対象物１を変更した場合等に、追加された新たな測定レシピの設定値Ｐｘを再利用して各属性の使用設定値Ｙｙを設定することができるという効果を奏する。
また、実施の形態１４における変位計１０の設定値調整装置では、基準ワークを測定して設定値Ｘｘの中から使用設定値Ｙｙの事前調整を行う際には、状態観測部３６１が取得した受光量と、基準ワークを測定する際に使用された使用設定値Ｙｙとを含む状態変数に基づいて作成される訓練データセットに従って、学習部３６３は投光量の使用設定値Ｙｙ（投光量の設定値Ｉｘ）及びサンプリング周期の使用設定値Ｙｙ（サンプリングの設定値Ｍｘ）を学習する。そのため、実施の形態１から実施の形態１２と同様に、ユーザの判断や操作の負担を軽減しつつ、投光量の使用設定値Ｙｙ及びサンプリング周期の使用設定値Ｙｙを学習し調整できるという効果を奏する。また、使用設定値Ｙｙを適切な設定値Ｉｘ、Ｍｘに更新できるという効果を奏する。
また、実施の形態１４における変位計１０の設定値調整装置では、変更部３４４は、測定値取得間隔をサンプリング周期の使用設定値Ｙｙ（サンプリングの設定値Ｍｘ）で割ることで得られる許容移動平均回数以下の移動平均回数の設定値Ｌｘに使用設定値Ｙｙを変更する。そのため、実施の形態３と同様に、ユーザが想定するタクトタイムには影響を与えずに、移動平均回数の使用設定値Ｙｙを適切な設定値Ｌｘに自動調整できるという効果を奏する。
実施の形態１５．
続いて、実施の形態１５の変位計１０の設定値調整システムについて図４４及び図４５を用いて説明する。なお、実施の形態１から１３と同じ構成については、説明を省略する。
実施の形態１５は、実施の形態１４、その変形例又はその組み合わせ例にて、測定レシピの設定値Ｐｘ及び／又は各属性の設定値Ｘｘの最適化が完了した後に目標測定値３５２である判定閾値を変更する点が実施の形態１４等に対して異なる。
また、実施の形態１５では、実施の形態１にて説明を省略した閾値補正部３４７を用いる。
閾値補正部３４７は、図６の調整手順のステップＳ３にてユーザ操作によって設定された目標測定値３５２、つまり上限閾値と下限閾値とからなる判定閾値の範囲が狭くなるように上限閾値及び下限閾値を補正し再設定する。
ところで、前述の実施の形態１４では、図４３に示した使用設定値学習処理が完了した際には、最適化設定値格納領域３５６には、測定レシピの設定値Ｐｘの最適化設定値Ｐ＿ｏｐｔ及び測定レシピの設定値Ｐｘの最適化設定値Ｐ＿ｏｐｔに対応付けられたに対応付けられた各属性の設定値Ｘｘ（Ｉｘ，Ｊｘ，Ｋｘ，Ｌｘ，Ｍｘ，Ｎｘ，Ｏｘ・・・）が格納されることになる。また、第１記憶部２３の使用設定値格納領域２３２に格納されている各属性の使用設定値Ｙｙとして、使用設定値学習処理完了時の最適化設定値格納領域３５６に保持されている測定レシピの最適化設定値Ｐ＿ｏｐｔに対応付けられた各属性の設定値Ｘｘ（Ｉｘ，Ｊｘ，Ｋｘ，Ｌｘ，Ｍｘ，Ｎｘ，Ｏｘ・・・）を保持させることとなる。
また、実施の形態１４の変形例又は実施の形態１４と実施の形態１４を組み合わせた例では、図４３に示した使用設定値学習処理が完了した際には、最適化設定値格納領域３５６には、各属性の最適化設定値Ｘ＿ｏｐｔ（Ｉ＿ｏｐｔ，Ｊ＿ｏｐｔ，Ｋ＿ｏｐｔ，Ｌ＿ｏｐｔ，Ｍ＿ｏｐｔ，Ｎ＿ｏｐｔ，Ｏ＿ｏｐｔ・・・）が格納されることになる。また、第１記憶部２３の使用設定値格納領域２３２に格納されている各属性の使用設定値Ｙｙとして、使用設定値学習処理完了時の最適化設定値格納領域３５６に保持されている各属性の最適化設定値Ｘ＿ｏｐｔを保持させることとなる。
使用設定値学習処理完了時においては、図６の調整手順のステップＳ３にてユーザ操作によって設定された上限閾値と下限閾値とからなる判定閾値と、測定値との関係は、設定値Ｘｘが最適化されたことにより、図１２に示した測定値の時間変化表示画面７５の状態から図４４の測定値の時間変化表示画面７５に示すようになる。つまり、図１２に示したような測定値７５３が上限閾値７５１を超えており、複数の測定値が下限閾値７５２を超えてしまっている状態から、図４４に示すように測定値７５３が上限閾値７５１及び下限閾値７５２の範囲内βに収まるようになる。また、測定値は、測定中心距離の位置からの変位量が０となる上限閾値７５１及び下限閾値７５２の範囲の中央値に近づくこととなり、例えば、測定値のうちの最大値である最大測定値と最小値である最小測定値の範囲は、図４４に示す範囲αとなる。そのため、使用設定値学習処理前にユーザ操作によって設定された上限閾値と下限閾値の範囲を狭くして、測定対象物１の検査を行う際の良品／不良品の判定の精度を高めるために、図４５に示す判定閾値補正処理を追加する。
判定閾値補正処理は、例えば、使用設定値学習処理完了した後に図４４に示した時間変化表示画面７５の判定閾値補正ボタン７５４に対するユーザ操作を取得部３４１が受け付けると、開始される。
次に、図４５に示されるフローチャートを参照して判定閾値補正処理を説明する。
まず、ステップＳ９２０にて、取得部３４１は、第２記憶部３５の目標測定値３５２を読み出して、判定閾値である上限閾値及び下限閾値を取得する。
そして、ステップＳ９２１では、閾値補正部３４７は、最適化設定値Ｘ＿ｏｐｔを使用して取得された基準ワークの複数の測定値を取得する。そして、閾値補正部３４７は、複数の測定値の中から最大測定値と最小測定値とを抽出する。
そして、ステップＳ９２２では、閾値補正部３４７は、上限閾値と最大測定値との差分である第１差分を算出する。
そして、ステップＳ９２３では、閾値補正部３４７は、下限閾値と最小測定値との差分である第２差分を算出する。
そして、ステップＳ９２４では、閾値補正部３４７は、第１差分と第２差分のうち小さい方を調整値として選択する。
そして、ステップＳ９２５では、閾値補正部３４７は、図６のステップＳ３にてユーザ操作によって設定された上限閾値から調整値を減算し、また、下限閾値に調整値に加算することで、上限閾値及び下限閾値を補正する。そして、補正された上限閾値及び下限閾値からなる判定閾値を目標測定値３５２として第２記憶部３５に格納する。そして、判定閾値補正処理を終了する。
つまり、実施の形態１５では、最適化設定値Ｘｘを使用して基準ワークの測定値を複数回取得し、その最大測定値及び最小測定値が含まれる判定閾値の範囲内となるように、且つ、使用設定値学習処理が行われる前の判定閾値の範囲（つまり、ユーザによって設定された上限閾値及び下限閾値の範囲）よりも狭くなるように、判定閾値の範囲が上限閾値と下限閾値が補正される。
実施の形態１５における変位計１０の設定値調整装置では、閾値補正部３４７は、使用設定値Ｙｙを学習する前に設定された目標測定値３５２の範囲よりも補正後の目標測定値３５２の範囲を狭くし、且つ、使用設定値Ｙｙを使用して取得された基準ワークの測定値が補正後の目標測定値３５２の範囲内に含まれるよう上限閾値及び下限閾値を補正する。そのため、測定対象物１の検査を行う際に使用する目標測定値３５２を精度よく補正できる。これにより、良品／不良品の判定の精度を高めることができるという効果を奏する。
実施の形態１６．
続いて、実施の形態１６の変位計の設定値調整システムについて、図１６、図４２、図４３、図４６及び図４７を用いて説明する。なお、実施の形態１から１４と同じ構成については、説明を省略する。
実施の形態１６は、実施の形態１４、その変形例又はその組み合わせ例（以下では実施の形態１４等と省略する）にて、使用設定値学習処理が行われた後の最適化設定値Ｘ＿ｏｐｔに基づいて測定対象物１の検査を行う際にも、使用設定値学習処理が行われる点が実施の形態１４等とは異なる。以下では、実施の形態１４等にて、第１変位計１０Ａを用いて使用設定値学習処理が行われた後、第１変位計１０Ａの測定値である検査用測定値を用いて測定対象物１の検査をし、それと並行してＰＬＣ２０の第１通信Ｉ／Ｆ部２１に新たに接続された第２変位計１０Ｂの受光量である学習用受光量及び第２変位計１０Ｂの測定値である学習用測定値を用いて、より最適な使用設定値Ｙｙを学習する例について説明する。
図４６に示すように、実施の形態１６の変位計の設定値調整システムは、複数の第１変位計１０Ａと第２変位計１０Ｂとを含む。第１変位計１０Ａと第２変位計１０Ｂは、例えば、光学式変位計である。図４６に示した例では、測定対象物１がＹ方向にベルトコンベア等で移送される場合に、第２変位計１０Ｂは上流側に配置され、第１変位計１０Ａは下流側に配置している。但し、これに限るものではなく、第１変位計１０Ａが上流側に配置され、第２変位計１０Ｂが下流側に配置されてもよい。また、第１変位計１０Ａと第２変位計１０Ｂとは、測定対象物１に対して同じ測定条件となるよう設置されている。具体的には、第２変位計１０Ｂから測定対象物１までの距離は、第１変位計１０Ａから測定対象物１までの距離と等しくなるように第１変位計１０Ａ及び第２変位計１０Ｂを設置するとともに、第２変位計１０Ｂの設置方法（拡散反射設置又は正反射設置）は、第１変位計１０Ａの設置方法と同じ設置方法とする。
そして、実施の形態１６のＰＬＣ２０の第１記憶部２３は、図４７に示すように、第１変位計１０Ａの使用設定値Ｙｙを格納する第１使用設定値格納領域２３２Ａと、第２変位計１０Ｂの使用設定値Ｙｙを格納する第２使用設定値格納領域２３２Ｂと、を含む。
第１使用設定値格納領域２３２Ａには、基準ワークを用いて使用設定値学習処理が完了した時に設定された使用設定値Ｙｙ、つまり、実施の形態１４等にて、基準ワークを用いて使用設定値学習処理が完了した時に最適化設定値格納領域３５６に格納された最適化設定値Ｘ＿ｏｐｔと同じものが格納されている。第１使用設定値格納領域２３２Ａに格納された各属性の使用設定値Ｙｙは、測定対象物１の検査に用いられる使用設定値Ｙｙである。
第２使用設定値格納領域２３２Ｂには、使用設定値Ｙｙが格納されるものの、より最適な使用設定値Ｙｙを学習するべく、測定対象物１を検査するのと並行して実施の形態１４の同様に使用設定値Ｙｙが順次変更され格納される。第２使用設定値格納領域２３２Ｂには、最初は、第１使用設定値格納領域２３２Ａと同様に、基準ワークを用いて使用設定値学習処理が完了した時に最適化設定値格納領域３５６に格納された最適化設定値Ｘ＿ｏｐｔと同じものが格納されている。
実施の形態１６のＰＣ３０Ａについては、図４２に示した実施の形態１４等のＰＣ３０Ａを用いる。
第１変位計１０Ａは、測定対象物１の検査を行うための変位計である。第１変位計１０Ａのレーザダイオード３は、検査対象としての測定対象物１に投光する第１光源である。また、第１変位計１０Ａのイメージセンサ６は、検査対象としての測定対象物１からの第１反射光を受光し第１受光信号を出力する第１受光部である。ＰＬＣ２０は、第１使用設定値格納領域２３２Ａに格納された使用設定値Ｙｙ（つまり基準ワークを用いて使用設定値学習処理が完了した時に最適化設定値格納領域３５６に格納された最適化設定値Ｘ＿ｏｐｔと同じ）に従って制御プログラム２３１を実行する。そして、ＰＣ３０の取得部３４１は、図１６に示した検査処理のステップＳ１００１にて、ＰＬＣ２０を介して、第１変位計１０Ａから受信した第１受光信号に基づいた検査対象としての測定対象物１の変位量を示す検査用測定値を取得する。そして、ＰＣ３０の判定部３４３は、図１６に示した検査処理のステップＳ１００２からステップＳ１００５を引き続き実行し、測定対象物１が良品か不良品であるかを判定する。
第２変位計１０Ｂは、測定対象物１の検査中に、より最適な使用設定値Ｙｙを学習するために学習用受光量及び検査対象の変位量を示す学習用測定値を取得するための変位計である。第２変位計１０Ｂのレーザダイオード３は、検査対象としての測定対象物１に投光する第２光源である。また、第２変位計１０Ｂのイメージセンサ６は、検査対象としての測定対象物からの第２反射光を受光し第２受光信号を出力する第２受光部である。ＰＬＣ２０は、第２使用設定値格納領域２３２Ｂに格納された使用設定値Ｙｙに従って制御プログラム２３１を実行し、第２変位計１０Ｂから学習用受光量及び学習用測定値を取得する。そして、ＰＣ３０は、図４３に示した使用設定値学習処理を実行し、より最適な使用設定値Ｙｙを学習する。なお、第２変位計１０Ｂは、第１変位計１０Ａが検査用測定値を取得した時と同じ測定対象物１からの反射光を第２反射光として受光して第２受光信号を出力するように制御プログラム２３１で制御してもよい。また、同様の複数の測定対象物１がベルトコンベア等で移動するような場合であれば、第１変位計１０Ａが検査のために測定した測定対象物１とは異なる測定対象物１からの受光量及び測定値を学習用受光量及び学習用測定値として取得してもよい。
続いて、第１変位計１０Ａによる検査処理と第２変位計１０Ｂによる使用設定値学習処理について、図１６及び図４３を参照しながら説明する。
なお、前述のように、基準ワークを用いた使用設定値学習処理が完了した状態であり、基準ワークを用いた使用設定値学習処理が完了した時の最適化設定値格納領域３５６に格納された最適化設定値Ｘ＿ｏｐｔが、第１使用設定値格納領域２３２Ａに既に格納されているものとする。
先に、第１変位計１０Ａの測定値による検査処理について図１６を参照しながら説明する。
まず、ステップＳ１００１では、ＰＬＣ２０の第１制御部２２が第１使用設定値格納領域２３２Ａの使用設定値Ｙｙに従って制御プログラム２３１を実行することで取得された第１変位計１０Ａからの検査用測定値を、ＰＣ３０の取得部３４１が取得する。
そして、ＰＣ３０の判定部３４３は、ステップＳ１００２にて、実施の形態１と同様に、第１変位計１０Ａからの検査用測定値が目標測定値３５２の範囲内であるか判定する。そして、ステップＳ１００３からステップＳ１００５を引き続き実行し、検査対象としての測定対象物１が良品か不良品であるかを判定する。
続いて、第２変位計１０Ｂの学習用受光量及び学習用測定値による使用設定値学習処理について図４３を参照しながら説明する。第２変位計１０Ｂの学習用受光量及び学習用測定値による使用設定値学習処理は、第１変位計１０Ａの検査用測定値による検査処理と並行して行われる。
まず、ステップＳ９００では、設定部３４２は、最適化設定値格納領域３５６に格納されている各属性の最適化設定値Ｘ＿ｏｐｔを読み出して使用設定値格納領域３５５及び第２使用設定値格納領域２３２Ｂに格納し、第２変位計１０Ｂの使用する使用設定値Ｙｙとして設定する。
そして、ステップＳ９０１では、状態観測部３６１は、ＰＬＣ２０及びＰＣ３０の取得部３４１を介して、第２使用設定値格納領域２３２Ｂに格納されている使用設定値Ｙｙを使用して取得した第２変位計１０Ｂの学習用受光量及び学習用測定値と、使用設定値格納領域３５５に格納されている使用設定値Ｙｙと、を状態変数３６２として観測する。ここで、状態観測部３６１が観測する状態変数３６２である使用設定値格納領域３５５に格納されている使用設定値Ｙｙは、第２変位計１０Ｂが検査対象である測定対象物１を測定し学習用受光量及び学習用測定値を取得した際に使用された第２使用設定値格納領域２３２Ｂに格納されている使用設定値Ｙｙと同じである。そして、実施の形態１４等と同様に、状態観測部３６１は、状態変数３６２を報酬計算部３６４に送る。なお、第２変位計１０Ｂの取得する学習用受光量及び学習用測定値は、第１変位計１０Ａが検査する検査対象と同じ測定対象物１からの受光量及び測定値である。そして、ステップＳ９０２に進む。
ステップＳ９０２では、実施の形態１４等と同様に、報酬計算部３６４は、状態観測部３６１から今回取得した学習用受光量が、これまで過去に取得した、目標受光量３５３に最も近い学習用受光量よりも目標受光量３５３により近い値であるか否かを判定する。そして、ステップＳ９０３及びステップＳ９０４では、実施の形態１４等と同様に、報酬計算部３６４は、報酬を増大させ、又は、報酬を減少させ、その後にステップＳ９０５に進む。
ステップＳ９０５では、実施の形態１４等と同様に、報酬計算部３６４は、状態観測部３６１から今回取得した学習用測定値が、これまで過去に取得した、目標測定値３５２に最も近い学習用測定値よりも目標測定値３５２により近い値であるか否かを判定する。そして、ステップＳ９０６及びステップＳ９０７では、実施の形態１４等と同様に、報酬計算部３６４は、報酬を増大させ、又は、報酬を減少させ、その後にステップＳ９０８に進む。
ステップＳ９０８では、実施の形態１４等と同様に、関数更新部３６５は、増大又は減少させた報酬に基づいて行動価値関数Ｑ（ｓｔ，ａｔ）を更新し、更新した行動価値関数Ｑ（ｓｔ，ａｔ）を第２記憶部３５に送信し記憶させる。また、関数更新部３６５は、第２制御部３４の更新部３４５に命令し、更新部３４５は、学習用測定値及び学習用受光量を検査対象である測定対象物１から取得した際の過去の使用設定値Ｙｙ（今回の使用設定値Ｙｙも含む）の中で最も報酬の高い使用設定値Ｙｙを最適化設定値格納領域３５６に記憶させる。そして、ステップＳ９０９に進む。
ステップＳ９０９では、実施の形態１４等と同様に、判定部３４３は、全ての使用設定値Ｙｙを用いて検査対象である測定対象物１を測定して得られた全ての学習用受光量及び学習用測定値を取得済みか否か判定する。ステップＳ９０９にて全ての学習用受光量及び学習用測定値を取得済みでないと判定された場合（ステップＳ９０９：ＮＯ）は、ステップＳ９１０に進む。
ステップＳ９１０では、変更部３４４が、実施の形態１４等と同様に、前回とは異なる各属性の設定値Ｘｘ（Ｉｘ，Ｊｘ，Ｋｘ，Ｌｘ，Ｍｘ，Ｎｘ，Ｏｘ・・・）の組合せを使用設定値格納領域３５５及び第２使用設定値格納領域２３２Ｂに格納し、第２変位計１０Ｂの使用する使用設定値Ｙｙを変更する。その後、ステップＳ９０１に戻り、新たな使用設定値Ｙｙを使用して、ステップＳ９０１からステップＳ９１０の処理が繰り返し実行される。
ステップＳ９０９にて全ての学習用受光量及び学習用測定値を取得済みであると判定された場合（ステップＳ９０９：ＹＥＳ）は、ステップＳ９１１にて更新部３４５は、ＰＬＣ２０の第１制御部２２に命令を送信し、使用設定値学習処理完了時の最適化設定値格納領域３５６に保持されている各属性の設定値Ｘ＿ｏｐｔ（Ｉ＿ｏｐｔ，Ｊ＿ｏｐｔ，Ｋ＿ｏｐｔ，Ｌ＿ｏｐｔ，Ｍ＿ｏｐｔ，Ｎ＿ｏｐｔ，Ｏ＿ｏｐｔ・・・。なお、測定レシピの最適化設定値Ｐ＿ｏｐｔに対応付けられた各属性の設定値Ｘｘでもよい。）を第１使用設定値格納領域２３２Ａに格納し、第１変位計１０Ａが使用する各属性の使用設定値Ｙｙとして保持させる。また、更新部３４５は、最適化設定値格納領域３５６に格納されている各属性の最適化設定値Ｘ＿ｏｐｔを、新たな測定レシピの設定値Ｐｘとして、第２記憶部３５の全設定値３５１に追加記憶させる。
そして、使用設定値学習処理を終了する。但し、これに限らず、第１変位計１０Ａの検査用測定値による検査処理が継続している間は、使用設定値学習処理を最初から繰り返してもよい。また、使用設定値学習処理の終了時に、実施の形態１５の判定閾値補正処理を更に実行するようにしてもよい。
また、実施の形態１６では、状態観測部３６１が、第２変位計１０Ｂの学習用測定値及び学習用受光量の両方を観測するものについて説明したが、学習用測定値のみを観測するようにしてもよい。その場合、図４３に示した使用設定値学習処理のステップＳ９０２からステップＳ９０４は省略すればよい。
実施の形態１６における変位計の設定値調整装置では、判定部３４３が検査対象である測定対象物１を第１変位計１０Ａが測定して取得された検査用測定値が目標測定値の範囲内であるか判定することにより検査を行っている間に、第２変位計１０Ｂから取得した学習用測定値と第２変位計１０Ｂによって検査対象を測定した際に使用された使用設定値Ｙｙとを含む状態変数に基づいて作成される訓練データセットに従って、学習部３６３は使用設定値Ｙｙを学習する。第１変位計１０Ａの検査用測定値に基づいて検査対象を検査している間にも第２変位計１０Ｂの学習用測定値に基づき使用設定値Ｙｙを学習するため、第１変位計１０Ａによる検査対象の検査には影響を与えることなく、検査中に環境変化などがあった場合であっても、より適切な使用設定値Ｙｙを探索することができるという効果を奏する。
また、実施の形態１６における変位計の設定値調整装置では、第２変位計１０Ｂの学習用測定値に基づいて学習した使用設定値Ｙｙを、第１変位計１０Ａが使用する使用設定値Ｙｙとして保持させて更新するため、より適切な使用設定値Ｙｙに調整した上で検査対象の検査を継続できるという効果を奏する。
また、実施の形態１６における変位計の設定値調整装置では、第２変位計１０Ｂの学習用測定値に基づいて学習した各属性の最適化設定値Ｘ＿ｏｐｔを、新たな測定レシピの設定値Ｐｘとして全設定値３５１に追加記憶させるため、例えば、新たな変位計１０をＰＬＣ２０に接続する場合又は測定対象物１を変更した場合等に、追加された新たな測定レシピの設定値Ｐｘを再利用して各属性の使用設定値Ｙｙを設定することができるという効果を奏する。
また、実施の形態１６における変位計の設定値調整装置では、判定部３４３が検査対象である測定対象物１を第１変位計１０Ａが測定して取得された検査用測定値が目標測定値の範囲内であるか判定することにより検査を行っている間に、第２変位計１０Ｂから取得した学習用受光量を更に含む状態変数に基づいて作成される訓練データセットに従って、学習部３６３は投光量の使用設定値Ｙｙ及びサンプリング周期の使用設定値Ｙｙを学習する。第１変位計１０Ａの検査用測定値に基づいて検査対象を検査している間にも第２変位計１０Ｂの学習用受光量に基づき投光量の使用設定値Ｙｙ及びサンプリング周期の使用設定値Ｙｙを学習するため、第１変位計１０Ａによる検査対象の検査には影響を与えることなく、検査中に環境変化などがあった場合であっても、より適切な投光量の使用設定値Ｙｙ及びサンプリング周期の使用設定値Ｙｙを探索することができるという効果を奏する。
その他の変形例．
実施の形態１から実施の形態１６では、三角測量の原理を応用した光学式変位計１０の使用設定値調整処理又は使用設定値学習処理について説明したが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、測定対象物１への照射光と反射光が同じ軸となるよう配置された同軸共焦点方式の光学式変位計等の他方式の光学式変位計の使用設定値を事前調整する場合も、本発明の範囲に含まれる。
実施の形態１から実施の形態１６では、光学式変位計１０の使用設定値調整処理又は使用設定値学習処理について説明したが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、ｉ）検出コイルに交流電流を流して磁束を発生させ、金属の測定対象物１に起因して検出コイルのインダクタンスの変化量から検出コイルと測定対象物１間の変位量を計測する誘導形近接センサ、ｉｉ）送波器により測定対象物１に向け超音波を発信し、その反射波を受波器で受信し、超音波の発信から受信までに要した時間と音速との関係を演算することで変位量を計測する超音波変位センサ、ｉｉｉ）送信器により測定対象物１に向けミリ波等の電磁波を発信し、その反射波を受信器で受信し、電磁波の強度の減衰量等から変位量を計測する電磁波を用いた変位センサ、触針が測定対象物１に接触することで変位量を計測する接触式変位センサ等の他方式の変位計の使用設定値を事前調整する場合も、本発明の範囲に含まれる。
実施の形態１６では、２つの変位計がＰＬＣ２０に接続される場合について説明したが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、３つ以上の変位計がＰＬＣ２０に接続されてもよい。この場合、３つ以上の変位計のうちの１つの第１変位計を検査用測定値を測定する変位計とし、残りの２つ以上の変位計を学習用受光量及び学習用測定値を測定する変位計としてもよい。学習用受光量及び学習用測定値を測定する残りの２つ以上の変位計は、例えば、一つの変位計が測定モードの使用設定値を探索し、他の変位計が投光量の使用設定値を探索するといったように、それぞれ別の使用設定値Ｙｙを探索するようにしてもよい。
本発明は広義の精神と範囲を逸脱することなく、様々な実施形態及び変形が可能とされるものである。また、上述した実施形態は、本発明を説明するためのものであり、本発明の範囲を限定するものではない。つまり、本発明の範囲は、実施形態ではなく、請求の範囲によって示される。そして、請求の範囲内及びそれと同等の発明の意義の範囲内で施される様々な変形が、本発明の範囲内とみなされる。
１ 測定対象物、２ 駆動回路、３ レーザダイオード、４ 投光レンズ、５ 受光レンズ、６ イメージセンサ、７ 読出回路、８ 背景部材、１０ 変位計、１０Ａ 第１変位計、１０Ｂ 第２変位計、１１ 減光フィルタ、２０ ＰＬＣ、２１ 第１通信Ｉ／Ｆ部、２２ 第１制御部、２３ 第１記憶部、３０，３０Ａ ＰＣ、３１ 表示装置、３２ 入力装置、３３ 第２通信Ｉ／Ｆ部、３４ 第２制御部、３５ 第２記憶部、３６ 機械学習装置、４０ 物性検出部、４１ 第１検出部、４２ 第２検出部、４３ 第３検出部、４４ 第４検出部、５０ 温度センサ、５１ 振動センサ、６０ 測定レシピテーブル、７０ 測定対象値選択画面、７１ 基準ワーク設置通知画面、７２ 判定閾値設定画面、７３ 測定値取得間隔設定画面、７４ 測定値表示画面、７５ 測定値の時間変化表示画面、７６ 受光量波形表示画面、７７ 減光フィルタ装着通知画面、２３１ 制御プログラム、２３２ 使用設定値格納領域、２３２Ａ 第１使用設定値格納領域、２３２Ｂ 第２使用設定値格納領域、３４１ 取得部、３４２ 設定部、３４３ 判定部、３４４ 変更部、３４５ 更新部、３４７ 閾値補正部、３５１ 全設定値、３５２ 目標設定値、３５４ ユーザ条件格納領域、３５５ 使用設定値格納領域、３６１ 状態観測部、３６２ 状態変数、３６３ 学習部、３６４ 報酬計算部、３６５ 関数更新部、４３１ 触針、７０１ 測定対象値選択枠、７０２ 設定ボタン、７１０，７２２，７３１，７３２ ボタン、７２０，７２１，７３０ 入力枠、７４０，７４１ 測定値表示枠、７５０ 分布図、７５１ 上限閾値、７５２ 下限閾値、７５３ 測定値、７５４ 判定閾値補正ボタン、７６０，７６１，７６２ 表示領域

Claims (26)

  1. 測定対象物の基準となる基準ワークに投光する光源と、前記基準ワークからの反射光を受光し受光信号を出力する受光部と、を含む変位計から受信した前記受光信号に基づいて前記基準ワークの変位量を示す測定値を取得する取得部と、
    前記基準ワークを測定する際の測定条件を規定する設定値と、前記測定値と比較するための目標測定値と、を記憶し、前記基準ワークを測定する際に使用する前記設定値である使用設定値を格納する格納領域を有する記憶部と、
    前記使用設定値を用いて前記基準ワークを測定した際に、前記取得部によって取得された前記測定値が、前記目標測定値の範囲内か否か判定する判定部と、
    前記使用設定値を変更する変更部と、
    を備え、
    前記測定値が前記目標測定値の範囲内であると判定された場合、該測定値を取得した時の前記使用設定値を、前記測定対象物を検査する際に使用する前記使用設定値に設定し、
    前記測定値が前記目標測定値の範囲外であると判定された場合、前記変更部は、前記測定値を取得した時とは異なる前記使用設定値に変更し、前記取得部は、該使用設定値を用いて前記基準ワークを測定して前記測定値を取得し、前記判定部は、該使用設定値を用いて測定された前記測定値が、前記目標測定値の範囲内か否か判定する、
    変位計の設定値調整装置。
  2. 前記変更部によって変更される前の前記使用設定値である第１使用設定値を用いて測定された第１測定値と、前記変更部によって変更された後の前記使用設定値である第２使用設定値を用いて測定された第２測定値とのうち前記目標測定値に近い前記測定値を取得した時の前記使用設定値を、前記測定対象物を測定する際に使用する前記使用設定値として更新する更新部、
    を更に備える請求項１に記載の変位計の設定値調整装置。
  3. 前記取得部が前記測定値を取得する間隔である測定値取得間隔を指定するユーザ操作を受付ける受付部を更に備え、
    前記設定値は、移動平均法により前記測定値をフィルタリング処理する移動平均フィルタの前記設定値と、前記移動平均フィルタの移動平均回数の前記設定値と、前記受光部から前記受光信号を読み出す周期であるサンプリング周期の前記設定値と、を含み、
    前記変更部は、前記測定値取得間隔を前記サンプリング周期の前記使用設定値で割ることで得られる許容移動平均回数以下の前記移動平均回数の前記設定値に前記使用設定値を変更する、
    請求項１に記載の変位計の設定値調整装置。
  4. 前記設定値は、前記光源から前記基準ワークに照射する光の投光量の前記設定値、及び、前記受光部から前記受光信号を読み出す周期であるサンプリング周期の前記設定値の少なくとも１つを含み、
    前記取得部は、前記受光信号に基づいて前記基準ワークから前記反射光を受光した前記受光部の受光量を取得し、
    前記記憶部は、前記受光量と比較するための目標受光量を更に記憶し、
    前記判定部は、前記投光量及び前記サンプリング周期の少なくとも１つの前記使用設定値を用いて前記基準ワークを測定した際に、前記取得部によって取得された前記受光量が、前記目標受光量の範囲内か否か判定し、
    前記変更部は、前記投光量及び前記サンプリング周期の少なくとも１つの前記使用設定値を変更し、
    前記測定値が前記目標測定値の範囲内であると判定された場合、該測定値を取得した時の前記使用設定値を、前記測定対象物を検査する際に使用する前記使用設定値に設定し、
    前記測定値が前記目標測定値の範囲外であると判定され、且つ、前記受光量が前記目標受光量の範囲外であると判定された場合、前記変更部は、前記測定値を取得した時とは異なる前記投光量及び前記サンプリング周期の少なくとも１つの前記使用設定値に変更し、前記取得部は、該使用設定値を用いて前記基準ワークを測定して前記測定値を取得し、前記判定部は、該使用設定値を用いて測定された前記測定値が、前記目標測定値の範囲内か否か判定する、
    請求項１に記載の変位計の設定値調整装置。
  5. 前記変更部によって変更される前の前記投光量及び前記サンプリング周期の少なくとも１つの前記使用設定値である第１使用設定値を用いて取得された第１受光量と、前記変更部によって変更された後の前記投光量及び前記サンプリング周期の少なくとも１つの前記使用設定値である第２使用設定値を用いて取得された第２受光量とのうち前記目標受光量に近い前記受光量を取得した時の前記使用設定値を、前記測定対象物を測定する際に使用する前記使用設定値として更新する更新部、
    を更に備える請求項４に記載の変位計の設定値調整装置。
  6. 前記設定値の調整対象の属性は、複数あり、
    複数の前記属性は、
    前記光源から前記基準ワークに照射する光の投光量と、
    前記受光部から前記受光信号を読み出す周期であるサンプリング周期と、
    前記受光部からの前記受光信号に基づいた受光量の波形である受光量波形のピーク位置を取得するための測定モードと、
    移動平均法により前記測定値をフィルタリング処理する移動平均フィルタ、前記受光量波形についてカットオフ周波数よりも高い周波数を逓減させるローパスフィルタ及び前記受光量波形について前記カットオフ周波数よりも低い周波数を逓減させるハイパスフィルタを含むフィルタ種類と、
    前記測定値を前記移動平均フィルタにより前記フィルタリング処理する際の移動平均回数と、
    前記カットオフ周波数と、
    前記測定対象物の屈折率と、のうちの２つ以上を含むとともに、
    前記測定対象物の物性に応じて、複数の前記属性の前記設定値が設定された測定レシピを更に含み、
    前記変更部は、複数の前記属性のうち、前記測定レシピの前記使用設定値を変更し、
    前記測定値が前記目標測定値の範囲内であると判定された場合、前記測定対象物を検査する際に使用する前記使用設定値として、前記目標測定値の範囲内であると判定された前記測定値を取得した時の前記測定レシピに対応付けられた複数の前記属性の前記使用設定値を使用し、
    前記判定部は、前記変更部によって変更された前記測定レシピに対応付けられた複数の前記属性の前記使用設定値を用いて測定された前記測定値が前記目標測定値の範囲外であると判定した場合、前記変更部は、前記調整対象の前記属性を複数の前記属性のうち前記測定レシピとは異なる前記属性に変更し、前記測定レシピとは異なる前記属性の前記使用設定値を変更する、
    請求項１又は２に記載の変位計の設定値調整装置。
  7. 前記設定値の調整対象の属性は、複数あり、
    複数の前記属性は、第１属性として、
    前記光源から前記基準ワークに照射する光の前記投光量と、
    前記受光部から前記受光信号を読み出す周期である前記サンプリング周期と、のうちの少なくとも１つを含むとともに、
    複数の前記属性は、第２属性として、
    前記受光部からの前記受光信号に基づいた前記受光量の波形である受光量波形のピーク位置を取得するための測定モードと、
    移動平均法により前記測定値をフィルタリング処理する移動平均フィルタ、前記受光量波形についてカットオフ周波数よりも高い周波数を逓減させるローパスフィルタ及び前記受光量波形について前記カットオフ周波数よりも低い周波数を逓減させるハイパスフィルタを含むフィルタ種類と、
    前記測定値を前記移動平均フィルタにより前記フィルタリング処理する際の移動平均回数と、
    前記カットオフ周波数と、
    前記測定対象物の屈折率と、のうちの少なくとも１つを含むとともに、
    前記変更部は、前記第１属性の前記使用設定値を変更し、
    前記測定値が前記目標測定値の範囲内であると判定された場合、該測定値を取得した時の前記第１属性の前記使用設定値を、前記測定対象物を検査する際に使用する前記第１属性の前記使用設定値に設定し、
    前記測定値が前記目標測定値の範囲外であると判定され、且つ、前記受光量が前記目標受光量の範囲外であると判定された場合、前記変更部は、前記調整対象の前記属性を前記第１属性から前記第２属性に変更し、前記第２属性の前記使用設定値を変更する、
    請求項４に記載の変位計の設定値調整装置。
  8. 前記設定値の調整対象の属性は、前記光源から前記基準ワークに照射する光の前記投光量と、前記受光部から前記受光信号を読み出す周期である前記サンプリング周期と、を含み、
    前記変更部は、前記サンプリング周期の前記使用設定値の変更の前に、前記投光量の前記使用設定値を変更し、
    前記測定値が前記目標測定値の範囲内であると判定された場合、該測定値を取得した時の前記投光量の前記使用設定値を、前記測定対象物を検査する際に使用する前記投光量の前記使用設定値に設定し、
    前記判定部は、前記変更部によって変更された前記投光量の前記使用設定値を用いて測定された前記測定値が前記目標測定値の範囲外、且つ、前記受光量が前記目標受光量の範囲外であると判定した場合、前記変更部は、前記調整対象の前記属性を前記投光量から前記サンプリング周期に変更し、前記サンプリング周期の前記使用設定値を変更する、
    請求項４に記載の変位計の設定値調整装置。
  9. 前記設定値の調整対象の属性は、複数あり、
    複数の前記属性は、移動平均法により前記測定値をフィルタリング処理する移動平均フィルタを少なくとも含むフィルタ種類、及び、前記測定値を前記移動平均フィルタにより前記フィルタリング処理する際の移動平均回数を含み、
    前記変更部は、前記移動平均回数の前記使用設定値の変更の前に、前記フィルタ種類の前記使用設定値を変更し、
    前記フィルタ種類の前記使用設定値が確定した後に、前記変更部は、前記調整対象の前記属性を前記フィルタ種類から前記移動平均回数に変更し、前記移動平均回数の前記使用設定値を変更する、
    請求項１又は２に記載の変位計の設定値調整装置。
  10. 前記設定値の調整対象の属性は、複数あり、
    複数の前記属性は、受光量波形についてカットオフ周波数よりも高い周波数を逓減させるローパスフィルタ及び前記受光量波形について前記カットオフ周波数よりも低い周波数を逓減させるハイパスフィルタの少なくとも１つを含むフィルタ種類、及び、前記カットオフ周波数を含み、
    前記変更部は、前記カットオフ周波数の前記使用設定値の変更の前に、前記フィルタ種類の前記使用設定値を変更し、
    前記フィルタ種類の前記使用設定値が確定した後に、前記変更部は、前記調整対象の前記属性を前記フィルタ種類から前記カットオフ周波数に変更し、前記カットオフ周波数の前記属性の前記使用設定値を変更する、
    請求項１又は２に記載の変位計の設定値調整装置。
  11. 前記取得部は、前記基準ワークの物性を検出する物性検出部からの検出値を更に取得し、
    前記設定値の調整対象の属性は、複数あり、
    複数の前記属性は、
    前記光源から前記基準ワークに照射する光の投光量と、
    前記受光部から前記受光信号を読み出す周期であるサンプリング周期と、
    前記受光部からの前記受光信号に基づいた受光量の波形である受光量波形のピーク位置を取得するための測定モードと、
    移動平均法により前記測定値をフィルタリング処理する移動平均フィルタ、前記受光量波形についてカットオフ周波数よりも高い周波数を逓減させるローパスフィルタ及び前記受光量波形について前記カットオフ周波数よりも低い周波数を逓減させるハイパスフィルタを含むフィルタ種類と、
    前記測定値を前記移動平均フィルタにより前記フィルタリング処理する際の移動平均回数と、
    前記カットオフ周波数と、
    前記測定対象物の屈折率と、のうちの２つ以上を含むとともに、
    前記測定対象物の物性に応じて、複数の前記属性の前記設定値が設定された測定レシピを更に含み、
    前記変更部は、前記物性検出部の前記検出値に基づいて前記測定レシピの前記使用設定値を変更し、
    前記測定値が前記目標測定値の範囲内であると判定された場合、該測定値を取得した時の前記測定レシピに対応付けられた複数の前記属性の前記使用設定値を、前記測定対象物を検査する際に使用する前記使用設定値に設定する、
    請求項１又は２に記載の変位計の設定値調整装置。
  12. 前記取得部は、前記基準ワークの物性を検出する物性検出部からの検出値を更に取得し、
    前記設定値は、移動平均法により前記測定値をフィルタリング処理する移動平均フィルタの前記設定値を含み、
    前記変更部は、前記物性検出部の前記検出値に基づいて移動平均回数の前記使用設定値を変更し、
    前記測定値が前記目標測定値の範囲内であると判定された場合、該測定値を取得した時の前記移動平均回数の前記使用設定値を、前記測定対象物を検査する際に使用する前記移動平均回数の前記使用設定値に設定する、
    請求項１又は２に記載の変位計の設定値調整装置。
  13. 前記取得部は、前記変位計の温度を検出する温度検出部の検出温度を更に取得し、
    前記変更部は、前記温度検出部の前記検出温度が高いほど前記移動平均回数が増加するよう前記移動平均回数の前記使用設定値を変更する、
    請求項１２に記載の変位計の設定値調整装置。
  14. 前記取得部は、前記変位計の振動を検出する振動検出部の検出値を更に取得し、
    前記変更部は、前記振動検出部の前記検出値が大きいほど前記移動平均回数が増加するよう前記移動平均回数の前記使用設定値を変更する、
    請求項１２に記載の変位計の設定値調整装置。
  15. 測定対象物の基準となる基準ワークを測定する際の測定条件を規定し、初期値を含む設定値、及び、測定結果の可否を判定するための目標測定値、が格納されている記憶部と、
    前記初期値を前記測定対象物を測定する際に使用する使用設定値に設定する設定部と、
    前記初期値を用いて、前記基準ワークの変位量を示す測定値を取得する取得部と、
    前記取得部によって取得された、前記初期値に基づく前記測定値が、前記目標測定値の範囲内であるか否かを判定する判定部と、
    前記使用設定値を前記初期値とは異なる前記設定値に変更する変更部と、
    を備える変位計の設定値調整装置であって、
    前記測定値が前記目標測定値の範囲内である場合は、前記設定部が設定した前記初期値を前記使用設定値として使用し、
    前記測定値が前記目標測定値の範囲外である場合は、前記変更部は、前記使用設定値を前記初期値とは異なる前記設定値に変更する、
    変位計の設定値調整装置。
  16. 測定対象物の基準となる基準ワークに投光する光源と、前記基準ワークからの反射光を受光し受光信号を出力する受光部と、を含む変位計から受信した前記受光信号に基づいて前記基準ワークの変位量を示す測定値を取得する取得部と、
    前記基準ワークを測定する際の測定条件を規定する設定値と、前記測定値と比較するための目標測定値と、を記憶し、前記基準ワークを測定する際に使用する前記設定値である使用設定値を格納する格納領域を有する記憶部と、
    前記取得部の取得した前記測定値と、前記基準ワークを測定する際に使用された前記使用設定値と、を状態変数として観測する状態観測部と、
    前記状態変数に基づいて作成される訓練データセットに従って、前記使用設定値を学習する学習部と、
    を備える変位計の設定値調整装置。
  17. 前記学習部は、前記状態変数に基づいて報酬を計算する報酬計算部と、
    前記報酬に基づいて、前記使用設定値を決定するための関数を更新する関数更新部と、
    を備える請求項１６に記載の変位計の設定値調整装置。
  18. 前記報酬計算部は、今回の測定値がこれまでの最も前記目標測定値に近い前記測定値よりも前記目標測定値に近い場合は、前記報酬を増大させ、前記今回の測定値がこれまでの最も前記目標測定値に近い前記測定値よりも前記目標測定値から遠い場合は、前記報酬を減少させる、
    請求項１７に記載の変位計の設定値調整装置。
  19. 前記設定値は、前記光源から前記基準ワークに照射する光の投光量の前記設定値、及び、前記受光部から前記受光信号を読み出す周期であるサンプリング周期の前記設定値の少なくとも１つを含み、
    前記取得部は、前記受光信号に基づいて前記基準ワークから前記反射光を受光した前記受光部の受光量を取得し、
    前記記憶部は、前記受光量と比較するための目標受光量を更に記憶し、
    前記状態観測部は、前記取得部の取得した前記受光量を前記状態変数として更に観測し、
    前記学習部は、前記状態変数に基づいて作成される前記訓練データセットに従って、前記投光量の前記使用設定値及び前記サンプリング周期の前記使用設定値の少なくとも１つを学習する、
    請求項１７又は１８に記載の変位計の設定値調整装置。
  20. 前記報酬計算部は、今回の受光量がこれまでの最も前記目標受光量に近い前記受光量よりも前記目標受光量に近い場合は、前記報酬を増大させ、前記今回の受光量がこれまでの最も前記目標受光量に近い前記受光量よりも前記目標受光量から遠い場合は、前記報酬を減少させる、
    請求項１９に記載の変位計の設定値調整装置。
  21. 前記関数更新部は、前記報酬に従って、前記関数を示す行動価値テーブルを更新する、
    請求項１７から請求項２０のいずれか一項に記載の変位計の設定値調整装置。
  22. 前記目標測定値は、上限閾値と下限閾値とを含み、
    前記使用設定値を学習する前に設定された前記目標測定値の範囲よりも補正後の前記目標測定値の範囲を狭くし、且つ、前記使用設定値を使用して取得された前記基準ワークの前記測定値が前記補正後の前記目標測定値の範囲内に含まれるよう前記上限閾値及び前記下限閾値を補正する閾値補正部を更に備える、
    請求項１６から請求項２１のいずれか一項に記載の変位計の設定値調整装置。
  23. 前記取得部は、検査対象に投光する第１光源と前記検査対象からの第１反射光を受光し第１受光信号を出力する第１受光部とを含む第１変位計から受信した前記第１受光信号に基づいて前記検査対象の前記変位量を示す検査用測定値を取得し、前記検査対象に投光する第２光源と前記検査対象からの第２反射光を受光し第２受光信号を出力する第２受光部とを含む第２変位計から受信した前記第２受光信号に基づいて前記検査対象の前記変位量を示す学習用測定値を取得し、
    前記検査用測定値が前記目標測定値の範囲内であるか否かを判定する判定部を更に備え、
    前記状態観測部は、前記学習用測定値と、前記第２変位計によって前記検査対象を測定した際に使用された前記使用設定値と、を前記状態変数として観測し、
    前記学習部は、前記学習用測定値を含む前記状態変数に基づいて作成される前記訓練データセットに従って、前記使用設定値を学習する、
    請求項１７に記載の変位計の設定値調整装置。
  24. 前記報酬計算部は、今回の学習用測定値がこれまでの最も前記目標測定値に近い前記学習用測定値よりも前記目標測定値に近い場合は、前記報酬を増大させ、前記今回の学習用測定値がこれまでの最も前記目標測定値に近い前記学習用測定値よりも前記目標測定値から遠い場合は、前記報酬を減少させる、
    請求項２３に記載の変位計の設定値調整装置。
  25. 前記設定値は、前記第２光源から前記検査対象に照射する光の投光量の前記設定値、及び、前記第２受光部から前記第２受光信号を読み出す周期であるサンプリング周期の前記設定値の少なくとも１つを含み、
    前記取得部は、前記第２受光信号に基づいて前記検査対象から前記第２反射光を受光した前記第２受光部の学習用受光量を取得し、
    前記状態観測部は、前記取得部の取得した前記学習用受光量を前記状態変数として更に観測し、
    前記学習部は、前記学習用受光量を含む前記状態変数に基づいて作成される前記訓練データセットに従って、前記投光量の前記使用設定値及び前記サンプリング周期の前記使用設定値の少なくとも１つを学習する、
    請求項２３又は２４に記載の変位計の設定値調整装置。
  26. 前記記憶部は、前記学習用受光量と比較するための目標受光量を更に記憶し、
    前記報酬計算部は、今回の学習用受光量がこれまでの最も前記目標受光量に近い前記学習用受光量よりも前記目標受光量に近い場合は、前記報酬を増大させ、前記今回の学習用受光量がこれまでの最も前記目標受光量に近い前記学習用受光量よりも前記目標受光量から遠い場合は、前記報酬を減少させる、
    請求項２５に記載の変位計の設定値調整装置。
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