WO2020175346A1 - プローブ部材およびコネクタの検査構造 - Google Patents

プローブ部材およびコネクタの検査構造 Download PDF

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WO2020175346A1
WO2020175346A1 PCT/JP2020/006964 JP2020006964W WO2020175346A1 WO 2020175346 A1 WO2020175346 A1 WO 2020175346A1 JP 2020006964 W JP2020006964 W JP 2020006964W WO 2020175346 A1 WO2020175346 A1 WO 2020175346A1
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wall portion
probe
inner conductor
probe member
connector
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Inventor
淳 遠田
聖人 荒木
肇 末政
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株式会社村田製作所
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
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    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes

Definitions

  • the present invention relates to a probe member for inspecting a connector having terminals for high frequency signals.
  • Patent Document 1 describes a probe structure for inspecting a connector.
  • the probe structure described in Patent Document 1 includes a plunger and a plurality of coaxial probes.
  • a plurality of coaxial probes are held by a plunger.
  • the tips of the multiple coaxial probes are exposed from the end face of the plunger.
  • Patent Document 1 International Publication 2 0 1 8/1 1 6 5 6 8
  • an object of the present invention is to provide a probe member capable of accurately inspecting the transmission characteristics of a high frequency signal such as a millimeter wave.
  • the probe member of the present invention includes a main body, a first probe, and a wall portion.
  • the main body has an end face for inspection.
  • the first probe is coaxial and is held by the subject.
  • the end of the inner conductor of the first probe projects from the end face for inspection.
  • the wall portion has a shape protruding from the end surface for inspection and surrounding the end portion of the inner conductor of the first probe, and at least the surface has conductivity. ⁇ 02020/175346 2 ⁇ (: 171?2020/006964
  • the wall portion suppresses high-frequency coupling (coupling by an electromagnetic field) between the inner conductor of the first probe and the outside.
  • FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of a probe-type inspection jig.
  • FIG. 2 is a partial side view of the probe member
  • Fig. 2 (M) is a plan view of the end face of the probe member
  • Fig. 2 ( ⁇ ) is the probe member.
  • FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of the tip of the first probe of FIG.
  • FIG. 3 is an enlarged perspective view of a portion of the first probe of the probe member.
  • FIG. 4 is a diagram showing transmission characteristics of high-frequency signals between the connector and the probe member.
  • FIG. 5 is a perspective view showing an example of a structure of a connector to be inspected.
  • Fig. 6 is an enlarged cross-sectional perspective view of the vicinity of the wall in the state where the connector and the probe material are fitted together, and Fig. 6 (Mimi) is a side view thereof.
  • FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of a probe type inspection jig.
  • the probe type inspection jig 1 consists of a probe member 10, a support body 100, a flange 30, a spring 40, a coaxial cable 51, a coaxial cable 52, and a plurality of signal cables.
  • 60, a coaxial connector 510, a coaxial connector 520, and a connector 6000 are provided.
  • ⁇ 02020/175346 3 (: 171?2020/006964
  • the support 100 has a flat plate shape.
  • the probe member 10 is installed on one main surface of the support 100.
  • the flange 30 has a flat plate shape.
  • the spring 40 is arranged between the support 100 and the flange 30.
  • the coaxial cable 51 includes an inner conductor and an outer conductor. Connect one end of the inner conductor of the coaxial cable 51 to the inner conductor 211 of the probe member 10 (see Fig. 2). One end of the outer conductor of the coaxial cable 51 is connected to the conductive part of the main body 11 of the probe member 10. The other end of the coaxial cable 51 is connected to the coaxial connector 51. One end of the inner conductor of the coaxial cable 52 is connected to the inner conductor 2 12 of the probe member 10 (see Fig. 2). One end of the outer conductor of the coaxial cable 52 is connected to the conductive portion of the main body 11 of the probe member 10. The other end of the coaxial cable 52 is connected to the coaxial connector 52.
  • One ends of the plurality of signal cables 60 are connected to the conductor 22 of the probe member 10. Connect the other ends of multiple signal cables 60 to connector 600.
  • FIG. 2 (8) is a partial side view of the probe member
  • Fig. 2 (M) is a plan view of the end face of the probe member
  • Fig. 2 ( ⁇ ) is the probe member.
  • FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of the tip portion of the first probe.
  • FIG. 3 is an enlarged perspective view of a portion of the probe member of the first probe.
  • the probe member 10 is composed of the main body 11, the wall portion 12, the wall portion 13, the conductor 2 2 and the inner conductor. 2 1 1 and an inner conductor 2 1 2.
  • the coaxial structure including the inner conductor 2 11 is the “first probe” of the present invention.
  • the coaxial type structure including the inner conductor 2 1 2 corresponds to the “second probe” of the present invention.
  • the coaxial type structure is a structure including an inner conductor and an outer conductor.
  • the rod-shaped inner conductor is used as the center axis, and the outer conductor is arranged so as to surround the outer circumference, and the inner conductor and the outer conductor are insulated. ⁇ 02020/175346 4 ⁇ (: 171?2020/006964
  • the main body 11 has a substantially rectangular parallelepiped shape, and has an end face 1111.
  • the main body 11 has a plurality of holes (a part of which is not shown) opened in the end surface 11 1.
  • One end of the coaxial cable 51 is inserted into one of the holes.
  • Another end of the coaxial cable 52 is inserted into another one of the holes.
  • the insulator 2 3 3 is stuffed into another one of the holes.
  • a plurality of conductors 22 are arranged in the insulator 2 33 in a predetermined arrangement pattern.
  • the holes in which the insulators 2 3 3 and the conductors 2 2 are arranged are formed in the recesses 1 11 2 in the end face 1 11 1, and the bottoms of the recesses 1 11 2 are formed by the insulators 2 3 3. Has been done.
  • These holes are provided along the direction opening X of the probe member 10 in which the coaxial cable 5 1 is inserted, the hole in which the insulator 2 3 3 is arranged, and the coaxial cable 5 2 is inserted.
  • the holes are arranged in this order.
  • the inner conductor 21 1, the inner conductor 2 12 and the conductor 22 have a so-called pin structure.
  • the tips of the inner conductor 21 1, the inner conductor 2 12 and the conductor 22 are movable along the direction in which the pins extend.
  • the tips of the inner conductor 21 1, the inner conductor 2 12 and the conductor 2 2 project outward from the end face 1 11 of the main body 11 (in the mouth negative direction in Fig. 2 (8)).
  • the wall portion 12 projects outward from the end surface 1 11 of the main body 11 1.
  • the wall portion 12 has a wall portion end face 1 20 on the side opposite to the side where the end face 1 1 1 1 is connected.
  • the wall end face 1 2 0 is substantially parallel to the end face 1 1 1.
  • the wall 12 is a conductor.
  • the wall part 12 is connected to the outer conductor of the coaxial cable 5 1 via the main body 11 or the like.
  • the wall portion 12 has a shape that surrounds the inner conductor 2 11 when the end face 1 11 is viewed in plan from the mouth direction. Specifically, the wall portion 12 has a recessed portion 1 21 which is recessed from the wall portion end face 1 20. The inner conductor 2 11 is arranged inside the recess 1 21 and protrudes from the bottom surface of the recess 1 21. The inner conductor 2 11 and the wall portion 12 are arranged with a predetermined gap. An insulator 2 3 1 is arranged between the inner conductor 2 11 and the wall portion 12.
  • the height of the wall portion 12 (length in the direction of the mouth 2) is measured from the end face 1 11 of the inner conductor 2 11. ⁇ 02020/175346 5 ⁇ (: 171?2020/006964
  • the wall portion 12 has a first side surface 1 201 and a second side surface 1 202 2.
  • the second side surface 1 202 is connected to the end surface 1 11 of the main body 11.
  • the area of the outer peripheral portion forming the first side surface 1 201 is smaller than the area of the outer peripheral portion forming the second side surface 1 202 2. That is, the wall portion 12 has the step 1 122 at the connecting portion between the first side surface 1 201 and the second side surface 1 202.
  • the surface area of the wall end surface 1120 is smaller than either the area of the first side surface 1201 or the area of the second side surface 1202.
  • the wall portion 12 is provided with a recessed portion 1 23.
  • the recesses 1 2 3 are on the first side 1 2
  • the shape is recessed from 0 1 toward the center of the wall 12.
  • the wall portion 13 projects outward from the end face 1 11 of the main body 11.
  • the wall portion 13 has a wall portion end face 1 30 on the side opposite to the side where the end face 1 1 1 is connected.
  • the wall end face 1 3 0 is substantially parallel to the end face 1 1 1.
  • the wall 13 is a conductor.
  • the wall portion 13 is connected to the outer conductor of the coaxial cable 5 2 via the main body 11 or the like.
  • the wall portion 13 has a shape that surrounds the inner conductor 2 1 2 when the end face 1 1 1 1 is viewed in plan from the mouth direction. Specifically, the wall portion 13 has a recessed portion 1 3 1 that is recessed from the wall portion end face 1 30.
  • the inner conductor 2 1 1 2 is arranged inside the recess 1 3 1 and protrudes from the bottom surface of the recess 1 3 1.
  • the inner conductor 2 1 2 and the wall portion 13 are arranged with a predetermined gap.
  • An insulator 2 3 2 is arranged between the inner conductor 2 12 and the wall portion 13.
  • the height of the wall portion 13 (length in the direction of the mouth 2) is larger than the amount of protrusion of the inner conductor 2 12 from the end surface 1 11 1. That is, when the probe member 10 is side-viewed from the direction of the mouth, the inner conductor 2 12 is hidden by the wall 13 and cannot be seen.
  • the wall portion 13 has a first side surface 1301 and a second side surface 1300.
  • the first side surface 1 3 0 1 is connected to the wall end face 1 3 0.
  • the second side surface 1 3 0 2 is connected to the end surface 1 1 1 1 of the main body 1 1.
  • the area of the outer peripheral portion that constitutes the second side surface 1300 is smaller than the area of the outer peripheral portion that constitutes the second side surface 1300. That is, the wall portion 13 has a step 1 3 2 at the connecting portion between the first side surface 1 3 0 1 and the second side surface 1 3 0 2. As a result, the area of the wall end face 1300 is smaller than the area of the first side face 1300 or the second side face 1300.
  • the wall portion 13 is provided with a recessed portion 13 3.
  • the recesses 1 3 3 are on the first side 1 3
  • the shape is recessed from 0 1 toward the center of the wall 13.
  • the wall portion 12 and the wall portion 13 are arranged in the mouth X direction with a region in which the plurality of conductors 22 are arranged being sandwiched therebetween.
  • the probe member 10 includes the inner conductor 211 and the inner conductor 212 used for inspecting the transmission characteristics of the high-frequency signal in the connector to be inspected.
  • High-frequency signals are microwaves, millimeter waves, etc. Especially, in the case of millimeter waves, the structure of the probe member 10 is more effective.
  • the probe member 10 is configured so that the inner conductor 2 11 and the inner conductor 2 12 and other conductor patterns, etc.
  • the high frequency coupling with the outside can be suppressed.
  • the probe type inspection jig including the probe member 10 can accurately measure and inspect the high-frequency signal transmission characteristics of the connector.
  • FIG. 4 is a diagram showing the transmission characteristics of a high-frequency signal between the connector and the probe member, and shows the passage characteristics.
  • the conventional configuration in FIG. 4 does not have the wall of the present invention.
  • FIG. 4 by using the above-mentioned configuration, it is possible to suppress an increase in transmission loss, that is, a decrease in transmission characteristics. Specifically, it is possible to suppress the deterioration of transmission characteristics in the region of 70° 1 to 12 including the millimeter wave region.
  • FIG. 5 is a perspective view showing an example of the structure of the connector to be inspected.
  • the connector 90 includes an internal terminal for high frequency signal 91, an internal terminal for high frequency signal 9 2, a plurality of internal terminals 9 3, an external terminal 9 4, an insulating resin member 900, Multiple high frequency ground terminals 9 1 1, Multiple high frequency ground terminals 9 2 1, ⁇ 02020/175346 7 ⁇ (: 171?2020/006964
  • High frequency signal internal terminal 9 1 high frequency signal internal terminal 9 2, multiple internal terminals 9 3, external terminal 9 4, high frequency ground terminal 9 2 1, engaging terminal 9 1 2 and engaging terminal 9 22 is plate-shaped and has conductivity.
  • the outer periphery of the connector 90 is substantially rectangular.
  • the connector 90 includes a top surface 903 and a mounting surface 90.
  • the top surface 90 3 and the mounting surface 90 are surfaces orthogonal to the mouth 20 direction.
  • the top surface 90 3 is a surface on the side where the mating connector with which the connector 90 is fitted is arranged.
  • the top surface 903 is a surface facing the end surface 1 11 of the probe member 10.
  • the connector 90 has a recess 9011 near one end in the 0x0 direction and a recess 9022 near the other end.
  • the connector 90 has, between the recessed portion 901 and the recessed portion 902, a recessed portion 903 that connects them. 0 7 ⁇ dimension of the recess 9 0 3, the recess 9 0 1 and the recess It is smaller than the dimension in the ⁇ direction.
  • the recessed portion 901, the recessed portion 902, and the recessed portion 903 are recessed from the top surface 903.
  • the high-frequency signal internal terminal 91 is arranged substantially in the center of the recess 9001.
  • the high-frequency signal internal terminal 91 is projected from the bottom surface of the recess 9011.
  • the high-frequency signal internal terminal 92 is arranged substantially in the center of the recess 90 2.
  • the high-frequency signal internal terminal 92 projects from the bottom of the recess 90 2.
  • the plurality of internal terminals 93 are arranged in two rows in the recess 9003 along the direction 0x0.
  • the recess 901, the recess 902, and the recess 903 are formed of the resin member 90.
  • the external terminals 94 are arranged on the surface of the resin member 900 on the side of the top surface 93 and each side surface.
  • the external terminals 94 are also arranged on the wall surfaces of the recesses 90 1 and 90 2. ⁇ 02020/175346 8 ⁇ (: 171?2020/006964
  • the plurality of high frequency ground terminals 9 11 are arranged along the wall of the recess 9 01.
  • the plurality of high frequency ground terminals 9 2 1 are arranged along the wall of the recess 9 02.
  • the 21 has a main part, a mounting part, and a connection end part.
  • the main part is the mouth The shape extends in the direction.
  • the mounting part has a shape parallel to the mounting surface 90 and is connected to one end of the main part.
  • the connection end portion has, for example, a hemispherical shape and is connected to the other end of the main portion. The connection end projects more toward the center of the recess than the main part.
  • the engaging terminal 9 12 is arranged on the wall of the recess 9 01 and is connected to the external terminal 9 4.
  • the engagement terminal 92 2 is arranged on the wall of the recess 90 2 and is connected to the external terminal 94.
  • FIG. 6 () is an enlarged cross-sectional perspective view of the vicinity of the wall portion when the connector and the probe material are fitted together
  • FIG. 6 (M) is a side view thereof. 6(8) and 6(M), the wall portion 12 is shown, but the wall portion 13 is also fitted in the same state.
  • the probe member 10 is connected to the connector 90 so that the 0 X direction of the probe member 10 and the 0 X direction of the connector 90 are parallel to each other.
  • the wall 12 of the probe member 10 is kneaded into the recess 9011 of the connector 90. There is. In this state, the probe member 10 and the connector 90 are connected. Thus, by using the wall portion 12 of the probe member 10 and the concave portion 901 of the connector 90, the probe member 10 can be easily inserted and connected to the connector 90. It
  • the inner conductor 2 11 of the probe member 10 comes into contact with the high frequency signal inner terminal 9 1. Further, when the characteristics of the connector 90 are inspected, the end surface 1111 of the probe member 10 contacts the external terminal 94 of the connector 90. With this configuration, the probe member 10 can accurately measure the transmission characteristics of the high frequency signal of the connector 90.
  • the end face 1 1 1 corresponds to the “inspection end face” of the present invention. ⁇ 02020/175346 9 ⁇ (: 171?2020/006964
  • the end face for inspection is the end face that faces the object to be inspected (for example, connector) at the time of inspection.
  • the high frequency ground terminal 911 is provided on the first side surface 120
  • the main body of the high-frequency ground terminal 91 1 is curved so that the other end side (connection end side) moves to the wall side of the recess 90 1.
  • the high-frequency ground terminal 911 comes into contact with the first side surface 1201 of the wall 12 with a biasing force. Therefore, even if the wall part 12 is not connected to the external terminal 94 of the connector 900 due to manufacturing tolerances, etc., the wall part 12 can be reliably connected to the ground potential via the high frequency ground terminal 911. To be done.
  • the coupling of the inner conductor 2 11 with the outside is more reliably suppressed, and the probe member 10 can more reliably and accurately measure the transmission characteristics of the high frequency signal of the connector 90. ..
  • the probe member 10 can more reliably and accurately measure the transmission characteristics of the high frequency signal of the connector 90. ..
  • the occurrence of unnecessary resonance in the frequency band of the inspection can be suppressed more reliably.
  • the amount of bending of the high frequency ground terminal 9 1 1 can be reduced by the high frequency ground terminal 9 1 1 coming into contact with the first side face 1 2 0 1.
  • the high-frequency ground terminal 9 11 will not return to its original shape due to measurement, and the high-frequency ground terminal 9 11 will not function when the connector 9 0 and another connector are mated. Can be suppressed more reliably.
  • the wall portion 12 becomes easy to be housed in the concave portion 90 1 of the connector 90 when it is mounted on the connector 90.
  • the wall portion 13 becomes easy to be housed in the concave portion 90 2 of the connector 90 when the wall portion 13 is mounted on the connector 90. Therefore, the probe member 10 is easily installed in the correct position with respect to the connector 90.
  • the wall part 12 is composed of the wall end face 120 and the first side face 1 It has a tapered shape in which a connecting portion 1 29 with 20 1 is inclined.
  • the wall portion 13 has a tapered shape at the connecting portion 1 339 between the wall end surface 1 3 0 and the first side surface 1 3 0 1. This ensures that the probe member 10 is in the correct position with respect to the connector 90. ⁇ 02020/175346 10 box (: 171?2020/006964
  • connection part 1 229 and the connection part 1 339 are also guide parts for more accurately fitting the probe member 10 to the connector 90.
  • the engaging terminal 9 12 and the engaging terminal 9 22 of the connector 90 are for fixing at the time of fitting with another connector.
  • the wall portion 12 is provided with the recessed portion 12 3 at the position where the engaging terminal 9 12 contacts, and the wall portion 13 is recessed at the place where the engaging terminal 9 2 2 contacts. Equipped with 3. This prevents the probe member 10 from being fixed by the engagement terminals 9 12 and 9 22. This allows the probe member 10 to be easily removed from the connector 90 after the inspection.
  • the recesses 1 2 3 have a notched structure when viewed from the direction of the mouth 2 and can also be referred to as notches. Therefore, the recesses 1 23 are not limited to the semi-circular shape, but may have another shape, for example, a rectangular shape.
  • the wall portion 12 and the wall portion 13 are separated from each other, and the plurality of conductors 22 that do not transmit a high frequency signal are arranged between them. This more reliably suppresses the coupling between the inner conductor 2 1 1 and the inner conductor 2 1 1. Therefore, the probe member 10 can reliably and accurately measure the transmission characteristics of a plurality of high-frequency signals.
  • the side surface of the wall portion has the step, but the wall portion may have a shape in which the area of the end surface of the wall portion is smaller than the area of the portion of the wall portion connected to the main body. Good.
  • the side surface may be inclined (tapered) having an angle different from 90 degrees with respect to the end surface of the wall portion.
  • the embodiment including the plurality of inner conductors and the wall portion is shown.
  • the probe member has a structure having at least one inner conductor and one wall surrounding the inner conductor. All you have to do is prepare.

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Abstract

プローブ部材（１０）は、主体（１１）、内導体（２１１）、および、壁部（１２）を備える。主体（１１）は、検査用の端面（１１１）を有する。内導体（２１１）は、同軸型のプローブの内導体に接続し、主体（１１）に保持される。内導体（２１１）の端部は、端面から突出する。壁部（１２）は、端面（１１１）から突出し、内導体（２１１）の端部を囲む形状であり、少なくとも表面が導電性を有する。

Description

\¥0 2020/175346 1 卩（：17 2020 /006964 明 細 書
発明の名称 ： プローブ部材およびコネクタの検査構造
技術分野
[0001 ] この発明は、 高周波信号用の端子を有するコネクタを検査するためのプロ —ブ部材に関する。
背景技術
[0002] 特許文献 1 には、 コネクタの検査を行うプローブ構造が記載されている。
特許文献 1 に記載のプローブ構造は、 プランジャと複数の同軸型プローブと を備える。
[0003] 複数の同軸型プローブは、 プランジャに保持されている。 複数の同軸プロ —ブの先端は、 プランジャの端面から露出している。
先行技術文献
特許文献
[0004] 特許文献 1 :国際公開 2 0 1 8 / 1 1 6 5 6 8号
発明の概要
発明が解決しようとする課題
[0005] しかしながら、 特許文献 1 に記載のプローブ構造を用いて、 ミリ波等の高 周波信号の伝送特性を検査する場合、 コネクタの内部で生じる不要な共振モ —ドによって、 伝送特性の検査精度は、 劣化してしまう。
[0006] したがって、 本発明の目的は、 ミリ波等の高周波信号の伝送特性を精度よ く検査できるプローブ部材を提供することにある。
課題を解決するための手段
[0007] この発明のプローブ部材は、 主体、 第 1 プローブ、 および、 壁部を備える 。 主体は、 検査用の端面を有する。 第 1 プローブは、 同軸型であり、 主体に 保持される。 第 1 プローブの内導体の端部は、 検査用の端面から突出する。 壁部は、 検査用の端面から突出し、 第 1 プローブの内導体の端部を囲む形状 であり、 少なくとも表面が導電性を有する。 \¥02020/175346 2 卩（：171?2020/006964
［0008］ この構成では、 壁部によって、 第 1 プローブの内導体と外部との高周波的 な結合 （電磁界による結合） は抑制される。
発明の効果
［0009］ この発明によれば、 ミリ波等の高周波信号の伝送特性を精度よく検査でき る。
図面の簡単な説明
［0010］ ［図 1］図 1は、 プローブ型検査治具の概略構成を示す斜視図である。
［図 2］図 2 （八） は、 プローブ部材の部分的な側面図であり、 図 2 （巳） は、 プローブ部材の端面を視た平面図であり、 図 2 （〇） は、 プローブ部材の第 1 プローブの先端部を拡大した断面図である。
［図 3］図 3は、 プローブ部材の第 1 プローブの部分を拡大した斜視図である。 ［図 4］図 4は、 コネクタとプローブ部材との高周波信号の伝送特性を示す図で ある。
［図 5］図 5は、 検査対象のコネクタの構造の一例を示す斜視図である。
［図 6］図 6 （八） は、 コネクタとプローブ材とが嵌合した状態での壁部付近を 拡大した断面斜視図であり、 図 6 （巳） は、 その側面図である。
発明を実施するための形態
［001 1］ 本発明の一実施形態に係るプローブ部材について、 図を参照して説明する 。 なお、 以下の実施形態における各図において、 縦横の寸法関係は適宜強調 して記載しており、 実寸での縦横の寸法関係と一致しているとは限らない。 また、 図を見やすくするため、 必要に応じて一部の符号の記載を省略してい る。
［0012］ （プローブ型検査治具の構成）
図 1は、 プローブ型検査治具の概略構成を示す斜視図である。 図 1 に示す ように、 プローブ型検査治具 1は、 プローブ部材 1 0、 支持体 1 0 0、 フラ ンジ 3 0、 スプリング 4 0、 同軸ケーブル 5 1、 同軸ケーブル 5 2、 複数の 信号用ケーブル 6 0、 同軸コネクタ 5 1 0、 同軸コネクタ 5 2 0、 および、 コネクタ 6 0 0を備える。 \¥02020/175346 3 卩（：171?2020/006964
[0013] 支持体 1 0 0は、 平板状である。 プローブ部材 1 0は、 支持体 1 0 0の一 方主面に設置されている。
[0014] フランジ 3 0は、 平板状である。 スプリング 4 0は、 支持体 1 0 0とフラ ンジ 3 0との間に配置されている。
[0015] 同軸ケーブル 5 1は、 内導体および外導体を備える。 同軸ケーブル 5 1の 内導体の一方端は、 プローブ部材 1 0の内導体 2 1 1 （図 2参照） に接続す る。 同軸ケーブル 5 1の外導体の一方端は、 プローブ部材 1 0の主体 1 1の 導電部に接続する。 同軸ケーブル 5 1の他方端は、 同軸コネクタ 5 1 0に接 続する。 同軸ケーブル 5 2の内導体の一方端は、 プローブ部材 1 0の内導体 2 1 2 （図 2参照） に接続する。 同軸ケーブル 5 2の外導体の一方端は、 プ 口ーブ部材 1 0の主体 1 1の導電部に接続する。 同軸ケーブル 5 2の他方端 は、 同軸コネクタ 5 2 0に接続する。
[0016] 複数の信号用ケーブル 6 0の一方端は、 プローブ部材 1 0の導体 2 2に接 続する。 複数の信号用ケーブル 6 0の他方端は、 コネクタ 6 0 0に接続する
[0017] （プローブ部材 1 0の構成）
図 2 （八） は、 プローブ部材の部分的な側面図であり、 図 2 （巳） は、 プ 口ーブ部材の端面を視た平面図であり、 図 2 （〇） は、 プローブ部材の第 1 プローブの先端部を拡大した断面図である。 図 3は、 プローブ部材の第 1 プ 口ーブの部分を拡大した斜視図である。
[0018] 図 2 （八） 、 図 2 （巳） 、 図 2 （〇 に示すように、 プローブ部材 1 0は 、 主体 1 1、 壁部 1 2、 壁部 1 3、 導体 2 2、 内導体 2 1 1、 および、 内導 体 2 1 2を備える。 内導体 2 1 1 を含む同軸型の構造 （図 6 （八） 、 図 6 （ 巳） 参照。 ） が、 本発明の 「第 1 プローブ」 に対応し、 内導体 2 1 2を含む 同軸型の構造が、 本発明の 「第 2プローブ」 に対応する。 なお、 同軸型の構 造とは、 内導体と外導体とを備える構造であり、 例えば、 棒状の内導体を中 心軸として、 その外周を取り囲むように外導体が配置され、 内導体と外導体 との間は絶縁されている構造のことを示す。 \¥02020/175346 4 卩（：171?2020/006964
[0019] 主体 1 1は、 略直方体形状であり、 端面 1 1 1 を有する。 主体 1 1は、 端 面 1 1 1 に開口する複数の孔 （一部の図示を省略する。 ） を有する。 孔の 1 個には、 同軸ケーブル 5 1の一方端が挿入されている。 孔の別の 1個には、 同軸ケーブル 5 2の一方端が挿入されている。 また、 孔の別の 1個には、 絶 縁体 2 3 3が揷入される。
[0020] 絶縁体 2 3 3には、 複数の導体 2 2が、 所定の配置パターンで配置されて いる。 なお、 絶縁体 2 3 3および導体 2 2が配置された孔は、 端面 1 1 1 に おける凹部 1 1 2に形成されており、 凹部 1 1 2の底面は、 絶縁体 2 3 3に よって形成されている。
[0021 ] これらの孔は、 プローブ部材 1 0の方向口 Xに沿って、 同軸ケーブル 5 1 が揷入された孔、 絶縁体 2 3 3が配置された孔、 同軸ケーブル 5 2が揷入さ れた孔の順で、 配置されている。
[0022] 内導体 2 1 1、 内導体 2 1 2、 導体 2 2は、 所謂、 ピン構造である。 内導 体 2 1 1、 内導体 2 1 2、 導体 2 2のそれぞれの先端は、 ピンが延びる方向 に沿って移動可能である。 内導体 2 1 1、 内導体 2 1 2、 導体 2 2の先端は 、 主体 1 1の端面 1 1 1から外方 （図 2 （八） における口 å負方向） に突出 する。
[0023] 壁部 1 2は、 主体 1 1の端面 1 1 1から外方に突出している。 壁部 1 2は 、 端面 1 1 1接続する側と反対側に壁部端面 1 2 0を有する。 壁部端面 1 2 0は、 端面 1 1 1 と略平行である。 壁部 1 2は導電体である。 壁部 1 2は、 主体 1 1 を介する等によって、 同軸ケーブル 5 1の外導体に接続する。
[0024] 壁部 1 2は、 端面 1 1 1 を口 å方向から平面視したとき、 内導体 2 1 1 を 囲む形状である。 具体的には、 壁部 1 2は、 壁部端面 1 2 0から凹む凹部 1 2 1 を有する。 内導体 2 1 1は、 この凹部 1 2 1の内部に配置され、 凹部 1 2 1の底面から突出している。 内導体 2 1 1 と壁部 1 2とは、 所定の間隔を 空けて配置されている。 そして、 内導体 2 1 1 と壁部 1 2の間には、 絶縁体 2 3 1が配置されている。
[0025] 壁部 1 2の高さ （口 2方向の長さ） は、 内導体 2 1 1の端面 1 1 1からの \¥02020/175346 5 卩（：171?2020/006964
突出量よりも大きい。 すなわち、 プローブ部材 1 0を口父方向から側面視し たとき、 内導体 2 1 1は、 壁部 1 2に隠れて見えない。
[0026] 壁部 1 2は、 第 1側面 1 2 0 1 と第 2側面 1 2 0 2とを有する。 第 1側面
1 2 0 1は、 壁部端面 1 2 0に接続する。 第 2側面 1 2 0 2は、 主体 1 1の 端面 1 1 1 に接続する。 口 å方向から平面視したとき、 第 1側面 1 2 0 1 を 構成する外周部分の面積は、 第 2側面 1 2 0 2を構成する外周部分の面積よ りも小さい。 すなわち、 壁部 1 2は、 第 1側面 1 2 0 1 と第 2側面 1 2 0 2 との接続部において段差 1 2 2を有する。 これにより、 壁部端面 1 2 0の面 積は、 第 1側面 1 2 0 1の面積または第 2側面 1 2 0 2の面積のいずれより も小さい。
[0027] さらに、 壁部 1 2は、 凹部 1 2 3を備える。 凹部 1 2 3は、 第 1側面 1 2
0 1から壁部 1 2の中央側に凹む形状である。
[0028] 壁部 1 3は、 主体 1 1の端面 1 1 1から外方に突出している。 壁部 1 3は 、 端面 1 1 1接続する側と反対側に壁部端面 1 3 0を有する。 壁部端面 1 3 0は、 端面 1 1 1 と略平行である。 壁部 1 3は導電体である。 壁部 1 3は、 主体 1 1 を介する等によって、 同軸ケーブル 5 2の外導体に接続する。
[0029] 壁部 1 3は、 端面 1 1 1 を口 å方向から平面視したとき、 内導体 2 1 2を 囲む形状である。 具体的には、 壁部 1 3は、 壁部端面 1 3 0から凹む凹部 1 3 1 を有する。 内導体 2 1 2は、 この凹部 1 3 1の内部に配置され、 凹部 1 3 1の底面から突出している。 内導体 2 1 2と壁部 1 3とは、 所定の間隔を 空けて配置されている。 そして、 内導体 2 1 2と壁部 1 3の間には、 絶縁体 2 3 2が配置されている。
[0030] 壁部 1 3の高さ （口 2方向の長さ） は、 内導体 2 1 2の端面 1 1 1からの 突出量よりも大きい。 すなわち、 プローブ部材 1 0を口父方向から側面視し たとき、 内導体 2 1 2は、 壁部 1 3に隠れて見えない。
[0031 ] 壁部 1 3は、 第 1側面 1 3 0 1 と第 2側面 1 3 0 2とを有する。 第 1側面
1 3 0 1は、 壁部端面 1 3 0に接続する。 第 2側面 1 3 0 2は、 主体 1 1の 端面 1 1 1 に接続する。 口 å方向から平面視したとき、 第 1側面 1 3 0 1 を \¥02020/175346 6 卩（：171?2020/006964
構成する外周部分の面積は、 第 2側面 1 3 0 2を構成する外周部分の面積よ りも小さい。 すなわち、 壁部 1 3は、 第 1側面 1 3 0 1 と第 2側面 1 3 0 2 との接続部において段差 1 3 2を有する。 これにより、 壁部端面 1 3 0の面 積は、 第 1側面 1 3 0 1の面積または第 2側面 1 3 0 2の面積のいずれより も小さい。
[0032] さらに、 壁部 1 3は、 凹部 1 3 3を備える。 凹部 1 3 3は、 第 1側面 1 3
0 1から壁部 1 3の中央側に凹む形状である。
[0033] 壁部 1 2と壁部 1 3とは、 口 X方向において、 複数の導体 2 2が配置され る領域を挟んで、 配置されている。
[0034] 以上のような構成において、 プローブ部材 1 0は、 内導体 2 1 1および内 導体 2 1 2は、 検査対象のコネクタにおける高周波信号の伝送特性の検査用 に用いられる。 高周波信号は、 マイクロ波、 ミリ波等であり、 特に、 ミリ波 の場合に、 プローブ部材 1 〇の構造は、 より有効である。
[0035] 上述の壁部 1 2および壁部 1 3を備えることによって、 プローブ部材 1 0 は、 コネクタの検査時に、 内導体 2 1 1および内導体 2 1 2と他の導体パタ —ン等の外部と高周波的な結合を抑制できる。 これにより、 プローブ部材 1 0を備えたプローブ型検査治具は、 コネクタの高周波信号の伝送特性を、 精 度良く計測、 検査できる。
[0036] 図 4は、 コネクタとプローブ部材との高周波信号の伝送特性を示す図であ り、 通過特性を示す。 図 4における従来構成は、 本願発明の壁を有さない構 成である。 図 4に示すように、 上述の構成を用いることによって、 伝送損失 の増加、 すなわち、 伝送特性の低下を抑制できる。 具体的には、 ミリ波領域 を含む 7 0◦ 1~1 2までの領域で伝送特性の低下を抑制できている。
[0037] （検査対象のコネクタの構造の一例）
図 5は、 検査対象のコネクタの構造の一例を示す斜視図である。 図 5に示 すように、 コネクタ 9 0は、 高周波信号用内部端子 9 1、 高周波信号用内部 端子 9 2、 複数の内部端子 9 3、 外部端子 9 4、 絶縁性の樹脂部材 9 0 0、 複数の高周波用グランド端子 9 1 1、 複数の高周波用グランド端子 9 2 1、 \¥02020/175346 7 卩（：171?2020/006964
係合端子 9 1 2、 および、 係合端子 9 2 2を備える。 高周波信号用内部端子 9 1、 高周波信号用内部端子 9 2、 複数の内部端子 9 3、 外部端子 9 4、 高 周波用グランド端子 9 2 1、 係合端子 9 1 2、 および、 係合端子 9 2 2は、 板状であり、 導電性を有する。
[0038] コネクタ 9 0の外周は、 略長方形状である。 コネクタ 9 0の 0 X〇方向の 寸法およびロソ〇方向の寸法は、
Figure imgf000009_0001
方向 （厚み方向） の寸法よりも大き い。 また、 コネクタ 9 0の 0 X〇方向の寸法は、 ロソ〇方向の寸法よりも大 きい。
[0039] コネクタ 9 0は、 天面 9 0 3と実装面 9 0 とを備える。 天面 9 0 3と実 装面 9 0 は、 口 2〇方向に直交する面である。 天面 9 0 3は、 コネクタ 9 0が嵌合する相手方のコネクタが配置される側の面である。 そして、 天面 9 0 3は、 プローブ部材 1 0の端面 1 1 1 と対向する側の面である。
[0040] コネクタ 9 0は、 0 x 0方向の一方端付近に凹部 9 0 1 を有し、 他方端付 近に凹部 9 0 2を有する。 コネクタ 9 0は、 凹部 9 0 1 と凹部 9 0 2との間 に、 これらを連通する凹部 9 0 3を有する。 凹部 9 0 3の 0 7〇方向の寸法 は、 凹部 9 0 1 と凹部
Figure imgf000009_0002
〇方向の寸法よりも小さい。 凹部 9 0 1 、 凹部 9 0 2、 および凹部 9 0 3は、 天面 9 0 3から凹む形状である。
[0041 ] 高周波信号用内部端子 9 1は、 凹部 9 0 1の略中央に配置されている。 高 周波信号用内部端子 9 1は、 凹部 9 0 1の底面から突出する。
[0042] 高周波信号用内部端子 9 2は、 凹部 9 0 2の略中央に配置されている。 高 周波信号用内部端子 9 2は、 凹部 9 0 2の底面から突出する。
[0043] 複数の内部端子 9 3は、 凹部 9 0 3内に、 方向 0 x 0に沿って、 二列に配 列されている。
[0044] このような凹部 9 0 1、 凹部 9 0 2、 および凹部 9 0 3は、 樹脂部材 9 0
0によって形成されている。
[0045] 外部端子 9 4は、 樹脂部材 9 0 0における天面 9 0 3側の面および各側面 に配置されている。 また、 外部端子 9 4は、 凹部 9 0 1および凹部 9 0 2の 壁面にも配置されている。 \¥02020/175346 8 卩（：171?2020/006964
[0046] 複数の高周波用グランド端子 9 1 1は、 凹部 9 0 1の壁に沿って配置され ている。 複数の高周波用グランド端子 9 2 1は、 凹部 9 0 2の壁に沿って配 置されている。
[0047] 複数の高周波用グランド端子 9 1 1および複数の高周波用グランド端子 9
2 1は、 主部、 実装部、 および、 接続端部を有する。 主部は、 口
Figure imgf000010_0001
方向に 延びる形状である。 実装部は、 実装面 9 0 に平行な形状であり、 主部の一 方端に接続する。 接続端部は、 例えば、 半球形状であり、 主部の他方端に接 続する。 接続端部は、 主部よりも凹部の中央側に突出している。
[0048] 係合端子 9 1 2は、 凹部 9 0 1の壁に配置されており、 外部端子 9 4に接 続している。 係合端子 9 2 2は、 凹部 9 0 2の壁に配置されており、 外部端 子 9 4に接続している。
[0049] （コネクタとプローブ部材との嵌合構造 （コネクタの検査構造） ）
図 6 （ ） は、 コネクタとプローブ材とが嵌合した状態での壁部付近を拡 大した断面斜視図であり、 図 6 （巳） は、 その側面図である。 なお、 図 6 （ 八） 、 図 6 （巳） では、 壁部 1 2について示しているが、 壁部 1 3も同様の 状態で嵌合されている。
[0050] プローブ部材 1 0の 0 X方向とコネクタ 9 0の 0 X〇方向とが平行なるよ うに、 プローブ部材 1 0はコネクタ 9 0に接続される。
[0051 ] より具体的には、 図 6 （八） および図 6 （巳） に示すように、 プローブ部 材 1 0の壁部 1 2は、 コネクタ 9 0の凹部 9 0 1 に揷入されている。 この状 態で、 プローブ部材 1 0とコネクタ 9 0とは、 接続する。 このように、 プロ —ブ部材 1 0の壁部 1 2とコネクタ 9 0の凹部 9 0 1 とを用いることによっ て、 プローブ部材 1 〇は、 コネクタ 9 0に、 容易に揷入、 接続される。
[0052] この状態において、 プローブ部材 1 0の内導体 2 1 1は、 高周波信号用内 部端子 9 1 に当接する。 また、 コネクタ 9 0の特性検査時において、 プロー ブ部材 1 0の端面 1 1 1は、 コネクタ 9 0の外部端子 9 4に当接する。 この 構成によって、 プローブ部材 1 0は、 コネクタ 9 0の高周波信号の伝送特性 を、 精度良く計測できる。 端面 1 1 1が本発明の 「検査用の端面」 に対応し \¥02020/175346 9 卩（：171?2020/006964
、 検査用の端面とは、 検査時に被検査対象 （例えば、 コネクタ） に対向する 端面である。
[0053] また、 高周波用グランド端子 9 1 1は、 壁部 1 2における第 1側面 1 2 0
1 に当接する。 この際、 高周波用グランド端子 9 1 1の主体は、 他方端側 （ 接続端部側） が凹部 9 0 1の壁側に移動するように湾曲する。 これにより、 高周波用グランド端子 9 1 1は、 付勢力をもって、 壁部 1 2の第 1側面 1 2 0 1 に当接する。 したがって、 製造公差等によって、 壁部 1 2がコネクタ 9 〇の外部端子 9 4に接続しなくても、 壁部 1 2は、 高周波用グランド端子 9 1 1 を介して、 グランド電位に確実に接続される。
[0054] この結果、 内導体 2 1 1の外部との結合は、 より確実に抑制され、 プロー ブ部材 1 0は、 コネクタ 9 0の高周波信号の伝送特性を、 より確実に精度良 く計測できる。 特に、 本実施形態に示すように、 高周波用グランド端子 9 1 1 を複数設けることによって、 検査の周波数帯域における不要な共振の発生 は、 より確実に抑制される。
[0055] さらに、 高周波用グランド端子 9 1 1が第 1側面 1 2 0 1 に接触すること で、 高周波用グランド端子 9 1 1の湾曲量は、 小さくできる。 これにより、 計測によって高周波用グランド端子 9 1 1が湾曲して元の形状に戻らず、 コ ネクタ 9 0と他のコネクタとの嵌合時に、 高周波用グランド端子 9 1 1が機 能しなくなることは、 より確実に抑制できる。
[0056] また、 本実施形態の構成では、 壁部 1 2は、 コネクタ 9 0への装着時に、 コネクタ 9 0の凹部 9 0 1 に収容され易くなる。 また、 壁部 1 3は、 コネク 夕 9 0への装着時に、 コネクタ 9 0の凹部 9 0 2に収容され易くなる。 した がって、 プローブ部材 1 0は、 コネクタ 9 0に対して、 正しい位置に、 容易 に設置される。 さらに、 図 2 （八） 、 図 2 （〇） 、 図 3、 図 6 （八） 、 図 6 （巳） に示すように、 壁部 1 2は、 壁部端面 1 2 0と第 1側面 1 2 0 1 との 接続部 1 2 9が傾斜するテーパ形状を有する。 同様に、 壁部 1 3は、 壁部端 面 1 3 0と第 1側面 1 3 0 1 との接続部 1 3 9において、 テーパ形状を有す る。 これにより、 プローブ部材 1 0は、 コネクタ 9 0に対して、 正しい位置 \¥02020/175346 10 卩（：171?2020/006964
に、 より容易に設置される。 言い換えれば、 接続部 1 2 9および接続部 1 3 9は、 プローブ部材 1 0をコネクタ 9 0により正確に嵌合させるためのガイ ド部でもある。
[0057] また、 コネクタ 9 0の係合端子 9 1 2および係合端子 9 2 2は、 他のコネ クタとの嵌合時の固定用である。 しかしながら、 上述の構成では、 壁部 1 2 は、 係合端子 9 1 2の当たる箇所に凹部 1 2 3を備え、 壁部 1 3は、 係合端 子 9 2 2の当たる箇所に凹部 1 3 3を備える。 これにより、 プローブ部材 1 0が係合端子 9 1 2および係合端子 9 2 2によって固定されることは、 防止 される。 これにより、 検査後に、 プローブ部材 1 0は、 コネクタ 9 0から容 易に取り外される。 なお、 凹部 1 2 3は、 口 2方向からみて、 切り欠かれた 構造をしており、 切り欠き部ということもできる。 したがって、 凹部 1 2 3 は、 半円形状に限るものではなく、 他の形状、 例えば、 矩形状であってもよ い。
[0058] また、 上述の構成では、 壁部 1 2と壁部 1 3との間は離間し、 これらの間 に高周波信号を伝送しない複数の導体 2 2が配置されている。 これにより、 内導体 2 1 1 と内導体 2 1 2との間の結合は、 より確実に抑制される。 した がって、 プローブ部材 1 0は、 複数の高周波信号の伝送特性を、 確実且つ精 度良く計測できる。
[0059] なお、 上述の構成では、 壁部の側面が段差を有する態様を示したが、 壁部 は、 壁部端面の面積が壁部における主体に接続する部分の面積よりも小さい 形状であればよい。 例えば、 壁部を側面視して、 側面は、 壁部端面に対して 9 0度と異なる角度を有する傾斜状 （テーパ形状） であってもよい。
[0060] また、 上述の構成では、 複数の内導体および壁部を備える態様を示したが 、 プローブ部材は、 少なくとも、 1個の内導体とこれを囲む 1個の壁を有す る構造を備えていればよい。
符号の説明
[0061 ] 1 : プローブ型検査治具
1 0 : プローブ部材 \¥02020/175346 11 卩（：171?2020/006964
1 1 :主体
1 2、 1 3 :壁部
22 :導体
30 : フランジ
40 :スプリング
5 1、 52 :同軸ケーブル
60 :信号用ケーブル
90 : コネクタ
実装面
903 :天面
9 1、 92 :高周波信号用内部端子
93 :内部端子
94 :外部端子
1 00 ：支持体
1 1 1 ：端面
1 1 2 :凹部
1 20、 1 30 :壁部端面
1 2 1、 1 23、 1 3 1、 1 33 :凹部
1 22、 1 32 :段差
1 29、 1 39 :接続部
2 1 1、 2 1 2 :内導体
23 1、 232、 233 :絶縁体
24 1 :外導体
5 1 0、 520 :同軸コネクタ
600 : コネクタ
900 ：樹脂部材
901、 902、 903 :凹部
9 1 1. 92 1 :高周波用グランド端子 \¥02020/175346 12 卩（：17 2020 /006964
9 1 2、 922 :係合端子
1 201、 1 301 :第 1側面
1 202、 1 302 :第 2側面

Claims

\¥0 2020/175346 13 卩（：17 2020 /006964 請求の範囲
[請求項 1 ] 検査用の端面を有する主体と、
前記主体に保持され、 内導体の端部が前記検査用の端面から突出す る、 同軸型の第 1 プローブと、
前記検査用の端面から突出し、 前記第 1 プローブの内導体の前記端 部を囲む形状であり、 少なくとも表面が導電性を有する壁部と、 を備えるプローブ部材。
[請求項 2] 前記検査用の端面からの前記壁部の前記突出方向の長さは、 前記検 査用の端面からの前記内導体の前記突出方向の長さよりも長い、 請求項 1 に記載のプローブ部材。
[請求項 3] 前記壁部は、
前記端面に接続する側と反対側に配置され、 前記端面に略平行な壁 部端面と、
前記壁部端面と前記端面とを接続する側面と、 を有し、
前記側面における前記壁部端面に接続する部分の面積は、 前記端面 に接続する部分の面積よりも小さい、
請求項 1 または請求項 2に記載のプローブ部材。
[請求項 4] 前記側面は、 前記端面と前記壁部端面とを結ぶ方向の途中に段差を 有する、
請求項 3に記載のプローブ部材。
[請求項 5] 前記壁部端面と前記側面との接続部は、 テーパ形状である、
請求項 3または請求項 4に記載のプローブ部材。
[請求項 6] それぞれ 1の前記壁部および前記第 1 プローブをプローブグループ と規定したとき、 2以上の前記プローブグループを有する、
請求項 1乃至請求項 5のいずれかに記載のプローブ部材。
[請求項 7] 前記 2以上のプローブグループの間に、 先端が前記端面から突出す る第 2プローブを備える、
請求項 6に記載のプローブ部材。 \¥0 2020/175346 14 2020 /006964
[請求項 8] 前記側面は、
該側面から前記壁部の内側に凹む凹部を有する、 請求項 3または請求項 4に記載のプローブ部材。
[請求項 9] 前記第 1 プローブで伝送する高周波信号は、 ミリ波の信号である、 請求項 1乃至請求項 8のいずれかに記載のプローブ部材。
[請求項 10] 請求項 1乃至請求項 9のいずれかに記載のプローブ部材と、
検査の対象のコネクタと、 を備え、
前記コネクタは、
高周波信号の伝送用の内部端子と、
該内部端子を囲む凹部の壁面に配置された外部端子と、
前記外部端子に対して、 前記内部端子側に配置された高周波用のグ ランド端子と、
を備え、
前記主体の端面は、 前記コネクタの天面に当接し、 前記壁部は、 前記凹部に嵌合し、
前記内部端子と前記第 1 プローブの内導体とは接触し、
前記壁部の側面と前記高周波用のグランド端子とは接触している、 コネクタの検査構造。
[請求項 1 1 ] 前記側面は段差を有する構造であって、
前記側面における前記段差によって前記内導体に近い側の面と、 前 記高周波用のグランド端子とは接触している、
請求項 1 〇に記載のコネクタの検査構造。
[請求項 12] 検査用の端面を有する主体と、
前記主体に保持され、 端部が前記検査用の端面から突出する、 第 1 内導体および第 2内導体と、
前記検査用の端面から突出し、 前記第 1内導体と、 前記第 2内導体 との間に配置され、 導電性を有する壁部と、
を備えるプローブ部材。 \¥02020/175346 15 卩（：171?2020/006964
[請求項 13] 前記壁部は、 前記第 1内導体の先端を囲む形状である、
請求項 1 2に記載のプローブ部材。
[請求項 14] 前記第 2内導体の先端は、 前記壁部に囲まれていない、
請求項 1 3に記載のプローブ部材。
[請求項 15] 前記壁部は、 2つの壁部である第 1壁部と第 2壁部とで形成され、 前記第 1壁部は、 前記第 1内導体の先端を囲む形状であり、 前記第 2壁部は、 前記第 2内導体の先端を囲む形状である、 請求項 1 2に記載のプローブ部材。
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