WO2020121516A1 - Ad変換装置、撮像装置、内視鏡システム、およびad変換方法 - Google Patents

Ad変換装置、撮像装置、内視鏡システム、およびad変換方法 Download PDF

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WO2020121516A1
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voltage level
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義雄 萩原
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オリンパス株式会社
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    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/70SSIS architectures; Circuits associated therewith
    • H04N25/76Addressed sensors, e.g. MOS or CMOS sensors
    • H04N25/77Pixel circuitry, e.g. memories, A/D converters, pixel amplifiers, shared circuits or shared components
    • H04N25/772Pixel circuitry, e.g. memories, A/D converters, pixel amplifiers, shared circuits or shared components comprising A/D, V/T, V/F, I/T or I/F converters
    • HELECTRICITY
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    • H01L27/14Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144Devices controlled by radiation
    • H01L27/146Imager structures
    • H01L27/14643Photodiode arrays; MOS imagers
    • HELECTRICITY
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    • H03MCODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
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    • H03M1/14Conversion in steps with each step involving the same or a different conversion means and delivering more than one bit
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    • H03M1/00Analogue/digital conversion; Digital/analogue conversion
    • H03M1/12Analogue/digital converters
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    • H03M1/56Input signal compared with linear ramp
    • HELECTRICITY
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    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/70SSIS architectures; Circuits associated therewith
    • H04N25/71Charge-coupled device [CCD] sensors; Charge-transfer registers specially adapted for CCD sensors
    • H04N25/75Circuitry for providing, modifying or processing image signals from the pixel array

Definitions

  • the present invention relates to an AD conversion device, an imaging device, an endoscope system, and an AD conversion method.
  • -Physical quantity detection semiconductor devices with sensors that are sensitive to electromagnetic waves (light and radiation) input from the outside are used in various fields.
  • the physical quantity is converted into an electric signal by the sensor.
  • a sensor in an image pickup device is a pixel.
  • reference level and signal level electrical signals are read from the sensor.
  • the reference level in the image pickup device is a reset level.
  • a CCD (Charge Coupled Device) type or a MOS (Metal Oxide Semiconductor) type imaging device is used as a physical quantity.
  • Light is an example of electromagnetic waves.
  • MOS type image pickup device there is a (C)MOS type image pickup device provided with a pixel having an APS (Active Pixel Sensor) configuration.
  • the pixel having the APS configuration amplifies the pixel signal based on the signal charge generated by the photoelectric conversion unit and outputs the amplified pixel signal.
  • Non-Patent Document 1 discloses an AD conversion circuit that performs AD conversion using two types of AD conversion methods.
  • the upper digital data is generated by successive approximation type AD conversion.
  • the lower digital data is generated by AD conversion using a digital ramp signal.
  • the voltage level of the digital ramp signal increases or decreases with the passage of time.
  • the digital signal is held at the timing when the voltage level of the digital ramp signal satisfies a predetermined condition.
  • the digital signal has a value associated with that timing.
  • the timing at which the voltage level of the digital ramp signal satisfies a predetermined condition differs from the timing at which the digital ramp signal is held.
  • no method is provided for reducing the error of digital data based on latency.
  • An object of the present invention is to provide an AD conversion device, an imaging device, an endoscope system, and an AD conversion method that can improve the accuracy of digital data.
  • the AD conversion device generates digital data based on the difference between the voltage level of the first signal and the voltage level of the second signal.
  • the AD conversion device has a comparison circuit, an upper DA conversion circuit, a level shift circuit, a lower DA conversion circuit, and a correction device.
  • the comparison circuit has a first terminal and a second terminal.
  • the comparison circuit compares the first voltage level of the signal input to the first terminal with the second voltage level of the signal input to the second terminal.
  • the upper DA conversion circuit has a plurality of capacitive elements electrically connected to the second terminal. The capacitance values of the plurality of capacitance elements are weighted by binary numbers.
  • the level shift circuit has at least one capacitive element electrically connected to the second terminal.
  • the lower DA conversion circuit has a plurality of capacitive elements electrically connected to the second terminal.
  • the comparison circuit performs a successive comparison operation. ..
  • the level shift circuit shifts the voltage level of the signal held in the plurality of capacitive elements of the upper DA converter circuit to a first level by performing a first level shift. To execute. After the first level shift is performed, a signal having a voltage level based on the digital ramp signal is held in the plurality of capacitive elements of the upper DA conversion circuit and the plurality of capacitive elements of the lower DA conversion circuit. ..
  • the comparison circuit performs a first comparison operation by comparing the first voltage level and the second voltage level.
  • the level shift circuit causes the plurality of capacitive elements of the higher DA conversion circuit to change.
  • the second level shift is performed by shifting the voltage level of the held signal to the second level.
  • a signal having a voltage level based on the digital ramp signal is held in the plurality of capacitive elements of the upper DA conversion circuit and the plurality of capacitive elements of the lower DA conversion circuit. It
  • the comparison circuit performs a second comparison operation by comparing the first voltage level and the second voltage level.
  • the level shift circuit sets the voltage level of the signal held in the plurality of capacitive elements of the upper DA conversion circuit to a third level different from the second level.
  • a signal having a voltage level based on the digital ramp signal is held in the plurality of capacitive elements of the upper DA conversion circuit and the plurality of capacitive elements of the lower DA conversion circuit.
  • the comparison circuit performs a third comparison operation by comparing the first voltage level and the second voltage level.
  • the correction device corrects the first digital data based on the second digital data and the third digital data.
  • the first digital data is generated by the first comparison operation.
  • the second digital data is generated by the second comparison operation.
  • the third digital data is generated by the third comparison operation.
  • the one or more capacitance elements of the level shift circuit may include a first capacitance element and a second capacitance element.
  • the level shift circuit may perform the second level shift by changing the voltage level of the first capacitive element.
  • the level shift circuit may perform the third level shift by changing the voltage level of the second capacitive element.
  • upper data included in the digital data when the successive approximation operation is executed, upper data included in the digital data may be generated.
  • the upper data may include a plurality of bits of data.
  • lower data included in the digital data When the first comparison operation is performed, lower data included in the digital data may be generated.
  • the lower data may include a plurality of bits of data.
  • the capacitance value of the second capacitance element may be substantially the same as the capacitance value of the third capacitance element included in the plurality of capacitance elements of the upper DA conversion circuit.
  • the third capacitive element may be used to generate the least significant bit data of the upper data.
  • upper data included in the digital data when the successive approximation operation is executed, upper data included in the digital data may be generated.
  • the upper data may include a plurality of bits of data.
  • lower data included in the digital data When the first comparison operation is performed, lower data included in the digital data may be generated.
  • the lower data may include a plurality of bits of data.
  • the second capacitive element may be a third capacitive element included in the plurality of capacitive elements of the upper DA conversion circuit. The third capacitive element may be used to generate the least significant bit data of the upper data.
  • upper data included in the digital data when the successive approximation operation is executed, upper data included in the digital data may be generated.
  • the upper data may include a plurality of bits of data.
  • lower data included in the digital data When the first comparison operation is performed, lower data included in the digital data may be generated.
  • the lower data may include a plurality of bits of data.
  • the capacitance value of the first capacitance element may be substantially the same as the capacitance value of the fourth capacitance element included in the plurality of capacitance elements of the upper DA conversion circuit.
  • upper data included in the digital data when the successive approximation operation is executed, upper data included in the digital data may be generated.
  • the upper data may include a plurality of bits of data.
  • lower data included in the digital data When the first comparison operation is performed, lower data included in the digital data may be generated.
  • the lower data may include a plurality of bits of data.
  • the first capacitive element may be a fourth capacitive element included in the plurality of capacitive elements of the upper DA conversion circuit.
  • the second level may be a minimum value in a range that the first level can take.
  • the third level may be the maximum value of the range.
  • the second level may be a maximum value in the range that the first level can take.
  • the third level may be the minimum value in the range.
  • a third signal is input to the first terminal and the plurality of capacitors of the upper DA conversion circuit are provided. After being held in the element, the level shift circuit may perform the second level shift and the third level shift without performing the successive approximation operation.
  • the correction device in the correction apparatus according to any one of the first to ninth aspects, is configured to operate in the range defined by the second digital data and the third digital data.
  • the first digital data may be corrected based on the position of the first digital data.
  • an imaging device has the AD conversion device, an imaging unit, and a column circuit.
  • the imaging unit has a plurality of pixels arranged in a matrix. Each pixel included in the plurality of pixels outputs a first pixel signal having a reset level and a second pixel signal having a signal level.
  • the column circuit is arranged so as to correspond to one or more columns in the array of the plurality of pixels, and is electrically connected to the imaging unit. The column circuit generates the first signal based on the first pixel signal and the second signal based on the second pixel signal.
  • an imaging device has the AD conversion device, an imaging unit, a column circuit, and a signal generation circuit.
  • the imaging unit has a plurality of pixels arranged in a matrix. Each pixel included in the plurality of pixels outputs a first pixel signal having a reset level and a second pixel signal having a signal level.
  • the column circuit is arranged so as to correspond to one or more columns in the array of the plurality of pixels, and is electrically connected to the imaging unit.
  • the column circuit generates the second signal based on the difference between the reset level and the signal level.
  • the signal generation circuit generates the first signal having a predetermined level.
  • the level shift circuit may perform the second level shift in a blanking period.
  • the blanking period may be different from the period in which the first pixel signal is output from the imaging unit, and may be different from the period in which the second pixel signal is output from the imaging unit.
  • the comparison circuit may execute the second comparison operation during the blanking period.
  • the level shift circuit may perform the third level shift during the blanking period.
  • the comparison circuit may execute the third comparison operation during the blanking period.
  • the endoscope system has the imaging device.
  • an AD conversion method includes a first step, a second step, a third step, a fourth step, a fifth step and a sixth step executed in an AD conversion device. Of steps, a seventh step, and an eighth step.
  • the AD converter generates digital data based on the difference between the voltage level of the first signal and the voltage level of the second signal.
  • the AD conversion device has a comparison circuit, an upper DA conversion circuit, a level shift circuit, a lower DA conversion circuit, and a correction device.
  • the comparison circuit has a first terminal and a second terminal. The comparison circuit compares the first voltage level of the signal input to the first terminal with the second voltage level of the signal input to the second terminal.
  • the upper DA conversion circuit has a plurality of capacitive elements electrically connected to the second terminal.
  • the capacitance values of the plurality of capacitance elements are weighted by binary numbers.
  • the level shift circuit has at least one capacitive element electrically connected to the second terminal.
  • the lower DA conversion circuit has a plurality of capacitive elements electrically connected to the second terminal.
  • the level shift circuit shifts the voltage level of the signal held in the plurality of capacitive elements of the upper DA conversion circuit to the first level in the second step.
  • the first level shift is executed.
  • a signal having a voltage level based on the digital ramp signal is held in the plurality of capacitive elements of the upper DA conversion circuit and the plurality of capacitive elements of the lower DA conversion circuit.
  • the comparison circuit executes a first comparison operation by comparing the first voltage level and the second voltage level in the third step. After the third signal is input to the first terminal and held in the plurality of capacitive elements of the upper DA conversion circuit, the level shift circuit, in the fourth step, the upper DA conversion circuit.
  • the second level shift is executed by shifting the voltage level of the signal held in the plurality of capacitive elements to the second level.
  • a signal having a voltage level based on the digital ramp signal is held in the plurality of capacitive elements of the upper DA conversion circuit and the plurality of capacitive elements of the lower DA conversion circuit.
  • the comparison circuit performs a second comparison operation by comparing the first voltage level and the second voltage level in the fifth step.
  • the level shift circuit in the sixth step, sets the voltage level of the signal held in the plurality of capacitive elements of the upper DA conversion circuit to the second level.
  • a third level shift is performed by shifting to a third level different from the level.
  • a signal having a voltage level based on the digital ramp signal is held in the plurality of capacitive elements of the upper DA conversion circuit and the plurality of capacitive elements of the lower DA conversion circuit.
  • the comparison circuit performs a third comparison operation by comparing the first voltage level and the second voltage level in the seventh step.
  • the correction device corrects the first digital data based on the second digital data and the third digital data.
  • the second digital data is generated by the second comparison operation.
  • the third digital data is generated by the third comparison operation.
  • the first digital data is generated by the first comparison operation.
  • the AD conversion device, the imaging device, the endoscope system, and the AD conversion method can improve the accuracy of digital data.
  • 3 is a timing chart showing the operation of the AD conversion apparatus according to the first embodiment of the present invention.
  • 3 is a timing chart showing the operation of the AD conversion apparatus according to the first embodiment of the present invention.
  • 3 is a timing chart showing the operation of the AD conversion apparatus according to the first embodiment of the present invention.
  • 3 is a timing chart showing the operation of the AD conversion apparatus according to the first embodiment of the present invention.
  • 3 is a timing chart showing the operation of the AD conversion apparatus according to the first embodiment of the present invention.
  • It is a circuit diagram which shows the structure of the AD converter of the 2nd Embodiment of this invention.
  • FIG. 1 shows the configuration of an AD conversion circuit 10 (AD conversion device) according to the first embodiment of the present invention.
  • the AD conversion circuit 10 illustrated in FIG. 1 includes a comparison unit 20, a DA conversion unit 30, and a control circuit 40.
  • the comparison unit 20 has a comparison circuit 21.
  • the DA conversion unit 30 has an upper DA conversion circuit 31, a level shift circuit 32, and a lower DA conversion circuit 33.
  • the control circuit 40 has a correction circuit 41 as a correction device that corrects first digital data described later.
  • the AD conversion circuit 10 generates digital data based on the difference between the voltage level of the first signal INP and the voltage level of the second signal INN.
  • the comparison circuit 21 has a first terminal T21 and a second terminal T22.
  • the comparison circuit 21 compares the first voltage level of the signal input to the first terminal T21 with the second voltage level of the signal input to the second terminal T22.
  • the upper DA conversion circuit 31 has a plurality of capacitive elements C31 electrically connected to the second terminal T22.
  • the capacitance values of the plurality of capacitive elements C31 are weighted by binary numbers.
  • the level shift circuit 32 has one or more capacitive elements C32 electrically connected to the second terminal T22.
  • the lower DA conversion circuit 33 has a plurality of capacitive elements C33 electrically connected to the second terminal T22.
  • the comparison circuit 21 executes the successive comparison operation. .. After the successive approximation operation is performed, the level shift circuit 32 shifts the voltage level of the signal held in the plurality of capacitive elements C31 of the upper DA conversion circuit 31 to the first level, thereby performing the first level shift. Execute. After the first level shift is performed, a signal having a voltage level based on the digital ramp signal is held in the plurality of capacitive elements C31 of the upper DA conversion circuit 31 and the plurality of capacitive elements C33 of the lower DA conversion circuit 33. After the first level shift is performed, the comparison circuit 21 performs the first comparison operation by comparing the first voltage level and the second voltage level.
  • the level shift circuit 32 causes the higher DA conversion circuit 31 to operate.
  • the second level shift is performed by shifting the voltage level of the signal held in the plurality of capacitive elements C31 to the second level.
  • the signal having the voltage level based on the digital ramp signal is held in the plurality of capacitive elements C31 of the upper DA conversion circuit 31 and the plurality of capacitive elements C33 of the lower DA conversion circuit 33.
  • the comparison circuit 21 performs the second comparison operation by comparing the first voltage level and the second voltage level.
  • the level shift circuit 32 shifts the voltage level of the signal held in the plurality of capacitive elements C31 of the upper DA conversion circuit 31 to the third level different from the second level. By doing so, the third level shift is executed.
  • the signal having the voltage level based on the digital ramp signal is held in the plurality of capacitive elements C31 of the upper DA conversion circuit 31 and the plurality of capacitive elements C33 of the lower DA conversion circuit 33.
  • the comparison circuit 21 performs the third comparison operation by comparing the first voltage level and the second voltage level.
  • the correction circuit 41 corrects the first digital data based on the second digital data and the third digital data.
  • the first digital data is generated by the first comparison operation.
  • the second digital data is generated by the second comparison operation.
  • the third digital data is generated by the third comparison operation.
  • the AD conversion includes a first AD conversion and a second AD conversion.
  • the AD conversion circuit 10 executes a first AD conversion to generate upper data included in the digital data.
  • the first AD conversion includes a successive approximation operation.
  • the AD conversion circuit 10 executes the second AD conversion in order to generate the lower data included in the digital data.
  • the lower data is any one of the first digital data, the second digital data, and the third digital data.
  • the second AD conversion includes any one of the first comparison operation, the second comparison operation, and the third comparison operation.
  • the comparison unit 20 illustrated in FIG. 1 includes a comparison circuit 21, a capacitive element C1, a switch SWP, a switch SWN, and a switch SWM.
  • the switch SWP has a first terminal Tswp1 and a second terminal Tswp2.
  • the first signal INP is input to the first terminal Tswp1.
  • the second terminal Tswp2 is connected to the comparison circuit 21 and the capacitive element C1.
  • the state of the switch SWP is either one of an on state and an off state.
  • the switch SWP is in the ON state, the first terminal Tswp1 and the second terminal Tswp2 are electrically connected.
  • the first signal INP is input to the capacitive element C1.
  • the switch SWP is in the off state, the first terminal Tswp1 and the second terminal Tswp2 are electrically insulated.
  • the switch SWP samples the voltage of the first signal INP.
  • the state of the switch SWP changes from the on state to the off state, the voltage sampled by the switch SWP is held in the capacitive element C1.
  • the switch SWN has a first terminal Tswn1 and a second terminal Tswn2.
  • the second signal INN or the first signal INP is input to the first terminal Tswn1.
  • the second terminal Tswn2 is connected to the comparison circuit 21 and the DA conversion unit 30.
  • the switch SWN is in one of an on state and an off state. When the switch SWN is in the ON state, the first terminal Tswn1 and the second terminal Tswn2 are electrically connected. At this time, the second signal INN or the first signal INP is input to the comparison circuit 21 and the DA conversion unit 30. When the switch SWN is in the off state, the first terminal Tswn1 and the second terminal Tswn2 are electrically insulated.
  • the switch SWN When the switch SWN is in the ON state, the switch SWN samples the voltage of the second signal INN or the voltage of the first signal INP. When the state of the switch SWN changes from the ON state to the OFF state, the voltage sampled by the switch SWN is held in the capacitive element of the DA conversion unit 30.
  • the switch SWM has a first terminal Tswm1 and a second terminal Tswm2.
  • the first terminal Tswm1 is connected to the first terminal Tswp1 of the switch SWP.
  • the second terminal Tswm2 is connected to the first terminal Tswn1 of the switch SWN.
  • the switch SWM is in one of an on state and an off state. When the switch SWM is in the ON state, the first terminal Tswm1 and the second terminal Tswm2 are electrically connected. When the switch SWM is in the off state, the first terminal Tswm1 and the second terminal Tswm2 are electrically insulated.
  • the switch SWP, the switch SWN, and the switch SWM When each of the switch SWP, the switch SWN, and the switch SWM is in the on state, the voltage level of the signal input to the first terminal T21 of the comparison circuit 21 and the second terminal T22 of the comparison circuit 21 are input.
  • the voltage level of the generated signal is the same.
  • the first signal INP is input to the first terminal T21 of the comparison circuit 21 and the second terminal T22 of the comparison circuit 21.
  • the state of the switch SWM is controlled based on the signal INM.
  • the capacitive element C1 has a first terminal Tc11 and a second terminal Tc12.
  • the first terminal Tc11 is connected to the second terminal Tswp2 of the switch SWP and the comparison circuit 21.
  • the second terminal Tc12 is connected to the ground.
  • the voltage sampled by the switch SWP is input to the first terminal Tc11.
  • the capacitive element C1 holds the voltage sampled by the switch SWP.
  • the comparison circuit 21 is configured as a differential amplifier.
  • the comparison circuit 21 has a transistor N1, a transistor N2, a transistor N3, a transistor P1, and a transistor P2.
  • the transistor N1, the transistor N2, and the transistor N3 are NMOS transistors.
  • the transistors P1 and P2 are PMOS transistors.
  • Each transistor illustrated in FIG. 1 has a gate terminal, a source terminal, and a drain terminal.
  • the comparison circuit 21 has a first terminal T21, a second terminal T22, and a third terminal T23.
  • the power supply voltage is input to the source terminals of the transistors P1 and P2.
  • the gate terminal of the transistor P1 and the gate terminal of the transistor P2 are connected to each other.
  • the drain terminal of the transistor N1 is connected to the drain terminal of the transistor P1 and the gate terminal of the transistor P1.
  • the gate terminal of the transistor N1 is the first terminal T21 of the comparison circuit 21.
  • the gate terminal of the transistor N1 is connected to the second terminal Tswp2 of the switch SWP and the first terminal Tc11 of the capacitive element C1.
  • the drain terminal of the transistor N2 is connected to the drain terminal of the transistor P2 and the third terminal T23 of the comparison circuit 21.
  • the gate terminal of the transistor N2 is the second terminal T22 of the comparison circuit 21.
  • the gate terminal of the transistor N2 is connected to the second terminal Tswn2 of the switch SWN and the DA conversion unit 30.
  • the drain terminal of the transistor N3 is connected to the source terminal of the transistor N1 and the source terminal of the transistor N2.
  • the source terminal of the transistor N3 is connected to the ground.
  • a bias voltage BIAS for controlling the current value is input to the gate terminal of the transistor N3.
  • the comparison circuit 21 is a time continuous type comparator.
  • the comparison circuit 21 compares the voltage level of the first terminal T21 and the voltage level of the second terminal T22.
  • the comparison circuit 21 outputs a signal based on the comparison result from the third terminal T23.
  • the comparison circuit 21 When the voltage level of the first terminal T21 is higher than the voltage level of the second terminal T22, the comparison circuit 21 outputs a signal having one of a high level (H level) and a low level (L level). For example, the comparison circuit 21 outputs a signal having a high level.
  • the comparison circuit 21 outputs a signal having the other of the high level and the low level from the third terminal T23. For example, the comparison circuit 21 outputs a signal having a low level.
  • the configuration of the comparison circuit 21 is not limited to the configuration shown in FIG.
  • the comparison circuit 21 shown in FIG. 1 is a single end type comparator.
  • the comparison circuit 21 may be a fully differential comparator.
  • the upper DA conversion circuit 31 has a plurality of capacitive elements C31 and a plurality of switches SW1.
  • the reference numeral of one capacitive element C31 and the reference numeral of one switch SW1 are shown as a representative.
  • the capacitive element C31 has a first terminal Tc311 and a second terminal Tc312.
  • the first terminal Tc311 is a top plate, and the second terminal Tc312 is a bottom plate.
  • the first terminal Tc311 is connected to the output terminal T30 of the DA converter 30.
  • the second terminal Tc312 is connected to the switch SW1.
  • the voltage sampled by the switch SWN is input to the first terminal Tc311.
  • the capacitive element C31 holds the voltage sampled by the switch SWN. After the comparison circuit 21 executes the successive approximation operation for the first AD conversion, the capacitive element C31 holds the voltage of the residual signal.
  • the upper DA conversion circuit 31 has five capacitive elements C31.
  • Each capacitance element C31 has a capacitance value weighted by a binary number.
  • the capacitance values of the five capacitive elements C31 are 128Cu, 64Cu, 32Cu, 16Cu, and 8Cu, respectively.
  • the capacitance value Cu indicates a unit capacitance value.
  • the upper DA conversion circuit 31 has five switches SW1.
  • the switch SW1 has an input terminal IN, an input terminal H, an input terminal L, and an output terminal OUT. Any one of the signals D7 to D3 is input to the input terminal IN of the switch SW1.
  • the signals D7 to D3 correspond to the higher order data of the digital data which is the AD conversion result.
  • the voltage level of the signals D7 to D3 becomes one of a high level and a low level.
  • the reference voltage VREFH is input to the input terminal H of the switch SW1.
  • the reference voltage VREFL is input to the input terminal L of the switch SW1.
  • the reference voltage VREFH is higher than the reference voltage VREFL.
  • the output terminal OUT of the switch SW1 is connected to the second terminal Tc312 of the capacitive element C31.
  • the state of the switch SW1 is either one of the first state and the second state.
  • the state of the switch SW1 is controlled based on the signal input to the input terminal IN.
  • the switch SW1 When the voltage level of the signal input to the input terminal IN is high, the switch SW1 is in the first state.
  • the switch SW1 When the voltage level of the signal input to the input terminal IN is low, the switch SW1 is in the second state.
  • the switch SW1 outputs the reference voltage VREFH input to the input terminal H from the output terminal OUT.
  • the state of the switch SW1 is the second state
  • the switch SW1 outputs the reference voltage VREFL input to the input terminal L from the output terminal OUT.
  • the reference voltage VREFH or the reference voltage VREFL output from the switch SW1 is input to the second terminal Tc312 of the capacitive element C31.
  • the voltage level of the second terminal Tc312 of the capacitive element C31 is the reference voltage VREFL.
  • the voltage level of the second terminal Tc312 of the capacitive element C31 having the capacitance value 128Cu changes from the reference voltage VREFL to the reference voltage VREFH
  • the voltage level of the first terminal Tc311 of the capacitive element C31 becomes VREFH ⁇ (128Cu/total Capacity value of)). That is, the voltage level of the output terminal T30 of the DA conversion unit 30 increases by 128 Vcu.
  • the voltage level Vcu is a unit voltage level.
  • the voltage level Vcu is VREFH ⁇ (Cu/total capacitance value).
  • the total capacitance value is the sum of the capacitance values of the plurality of capacitance elements included in the DA conversion unit 30.
  • the level shift circuit 32 has one or more capacitive elements C32 and one or more switches SW2.
  • the reference numeral of one capacitive element C32 and the reference numeral of one switch SW2 are shown as representatives.
  • the capacitive element C32 has a first terminal Tc321 and a second terminal Tc322.
  • the first terminal Tc321 is a top plate, and the second terminal Tc322 is a bottom plate.
  • the first terminal Tc321 is connected to the output terminal T30 of the DA converter 30.
  • the second terminal Tc322 is connected to the switch SW2.
  • the level shift circuit 32 has two capacitive elements C32.
  • the capacitance value of the capacitive element C32 is 8Cu.
  • the level shift circuit 32 has two switches SW2.
  • the configuration of the switch SW2 is similar to that of the switch SW1. Any one of the signal D LS1 and the signal D LS2 is input to the input terminal IN of the switch SW2.
  • the voltage level of each of the signal D LS1 and the signal D LS2 becomes one of a high level and a low level.
  • the reference voltage VREFH is input to the input terminal H of the switch SW2.
  • the reference voltage VREFL is input to the input terminal L of the switch SW2.
  • the output terminal OUT of the switch SW2 is connected to the second terminal Tc322 of the capacitive element C32.
  • the state of the switch SW2 is one of the first state and the second state.
  • the state of the switch SW2 is controlled based on the signal input to the input terminal IN.
  • the switch SW2 When the voltage level of the signal input to the input terminal IN is high, the switch SW2 is in the first state.
  • the switch SW2 When the voltage level of the signal input to the input terminal IN is low, the switch SW2 is in the second state.
  • the state of the switch SW2 is the first state, the switch SW2 outputs the reference voltage VREFH input to the input terminal H from the output terminal OUT.
  • the switch SW2 When the switch SW2 is in the second state, the switch SW2 outputs the reference voltage VREFL input to the input terminal L from the output terminal OUT.
  • the reference voltage VREFH or the reference voltage VREFL output from the switch SW2 is input to the second terminal Tc322 of the capacitive element C32.
  • the voltage level of the second terminal Tc322 of the capacitive element C32 is the reference voltage VREFL.
  • the voltage level of the second terminal Tc322 of the capacitive element C32 changes from the reference voltage VREFL to the reference voltage VREFH, the voltage level of the first terminal Tc321 of the capacitive element C32 increases.
  • the level shift circuit 32 executes the first level shift.
  • the voltage level of the second terminal Tc322 of the two capacitive elements C32 changes from the reference voltage VREFL to the reference voltage VREFH in the first level shift
  • the voltage level of the first terminal Tc321 of the two capacitive elements C32 becomes VREFH. It increases by x (16 Cu/total capacitance value). That is, the voltage level of the output terminal T30 of the DA conversion unit 30 increases by 16 Vcu.
  • the voltage level Vcu is a unit voltage level.
  • the voltage level Vcu is VREFH ⁇ (Cu/total capacitance value).
  • the total capacitance value is the sum of the capacitance values of the plurality of capacitance elements included in the DA conversion unit 30.
  • the voltage level of the output terminal T30 of the DA conversion unit 30 becomes higher than the voltage level of the first signal INP. That is, the voltage level of the second terminal T22 of the comparison circuit 21 becomes higher than the voltage level of the first terminal T21 of the comparison circuit 21. Noise may be superimposed on each of the first signal INP held in the capacitive element C1 and the signals held in the plurality of capacitive elements of the DA converter 30. By reducing the noise level, the voltage level of the output terminal T30 of the DA conversion unit 30 becomes higher than the voltage level of the first signal INP after the first level shift is executed.
  • the lower DA conversion circuit 33 After the first level shift is executed, the lower DA conversion circuit 33 generates a digital ramp signal. While the digital ramp signal is being generated, the voltage level of the output terminal T30 of the DA converter 30 gradually decreases. At this time, the comparison circuit 21 executes the first comparison operation. When the voltage level of the first terminal T21 of the comparison circuit 21 and the voltage level of the second terminal T22 of the comparison circuit 21 become substantially the same, the voltage of the signal output from the third terminal T23 of the comparison circuit 21. The level changes from low level to high level. By executing the first level shift, it is guaranteed that the comparison circuit 21 surely executes the first comparison operation.
  • the level shift circuit 32 executes the second level shift.
  • the voltage level of the second terminal Tc322 of one of the two capacitive elements C32 changes from the reference voltage VREFL to the reference voltage VREFH in the second level shift
  • the voltage level of the output terminal T30 of the DA conversion unit 30 is only 8Vcu.
  • the lower DA conversion circuit 33 generates a digital ramp signal.
  • the comparison circuit 21 executes the second comparison operation.
  • the level shift circuit 32 executes the third level shift.
  • the voltage level of the other second terminal Tc322 of the two capacitive elements C32 changes from the reference voltage VREFL to the reference voltage VREFH in the third level shift
  • the voltage level of the output terminal T30 of the DA conversion unit 30 is only 8 Vcu.
  • the lower DA conversion circuit 33 generates a digital ramp signal.
  • the comparison circuit 21 executes the third comparison operation.
  • the lower DA conversion circuit 33 has a plurality of capacitive elements C33, a plurality of delay elements INV1, a plurality of delay elements INV2, and a plurality of latch circuits L1.
  • the reference numeral of one capacitance element C31, the reference numeral of one delay element INV1, the reference numeral of one delay element INV2, and the reference numeral of one latch circuit L1 are shown as a representative.
  • the capacitive element C33 has a first terminal Tc331 and a second terminal Tc332.
  • the first terminal Tc331 is a top plate, and the second terminal Tc332 is a bottom plate.
  • the first terminal Tc331 is connected to the output terminal T30 of the DA converter 30.
  • the second terminal Tc332 is connected to the delay element INV1, the delay element INV2, and the latch circuit L1.
  • the voltage sampled by the switch SWN is input to the first terminal Tc331. After the level shift circuit 32 performs the level shift, the capacitive element C33 holds the shifted voltage.
  • the lower DA conversion circuit 33 has more than 16 capacitive elements C33.
  • the lower DA conversion circuit 33 has 24 capacitive elements C33.
  • the capacitance value of the capacitive element C33 is 1Cu.
  • the capacitance values of the plurality of capacitive elements C33 are the same.
  • the capacitance values of the plurality of capacitive elements C33 may be different from each other.
  • the difference between the capacitance values of the two capacitive elements C33 may be very small.
  • the absolute value of the difference may be 5% or less of the capacitance value of any one of the two capacitance elements.
  • the absolute value of the difference may be 10% or less of the capacitance value of any one of the two capacitance elements.
  • the delay element INV1 and the delay element INV2 are inverters. Each of delay element INV1 and delay element INV2 has an input terminal, an output terminal, and two voltage input terminals.
  • the reference voltage VREFH is input to one of the two voltage input terminals
  • the reference voltage VREFL is input to the other of the two voltage input terminals.
  • the delay element INV1 and the delay element INV2 output the reference voltage VREFL from the output terminal.
  • the delay element INV1 and the delay element INV2 output the reference voltage VREFH from the output terminal.
  • the lower DA conversion circuit 33 includes a plurality of groups. Each group includes one delay element INV1 and one delay element INV2.
  • the signal ST is input to the input terminal of the delay element INV1 included in the first group.
  • the voltage level of the signal ST becomes one of a high level and a low level.
  • the input terminal of the delay element INV2 included in the m-th group is connected to the output terminal of the delay element INV1 included in the m-th group.
  • the number m is any one of 1 to 25.
  • the input terminal of the delay element INV1 included in the nth group is connected to the output terminal of the delay element INV2 included in the (n-1)th group.
  • the number n is any one of 2 to 25.
  • the delay element INV1 and the delay element INV2 are connected alternately.
  • the second terminal Tc332 of the capacitive element C33 is connected to the input terminal of the delay element INV1 included in the nth group and the output terminal of the delay element INV2 included in the (n ⁇ 1)th group.
  • the plurality of delay elements INV1 and the plurality of delay elements INV2 form a ramp signal generation circuit.
  • the delay element INV2 included in each group When the voltage level of the signal ST is high, the delay element INV2 included in each group outputs a signal having the reference voltage VREFH. After the voltage level of the signal ST changes from the high level to the low level, the delay element INV2 included in the first group outputs a signal having the reference voltage VREFL. After the signal having the reference voltage VREFL is input to the delay element INV1 included in the second group, the delay element INV2 included in the second group outputs the signal having the reference voltage VREFL.
  • the delay elements INV2 included in the third to 25th groups sequentially output signals having the reference voltage VREFL.
  • the reference voltage VREFH or the reference voltage VREFL output from the delay element INV2 is input to the second terminal Tc332 of the capacitive element C33. Before the level shift circuit 32 completes the level shift, the voltage level of the second terminal Tc332 of the capacitive element C33 is the reference voltage VREFH.
  • the lower DA conversion circuit 33 starts generating a digital ramp signal.
  • the plurality of delay elements INV2 sequentially output the signals having the reference voltage VREFL.
  • the voltage level of the second terminal Tc332 of each of the plurality of capacitive elements C33 sequentially changes from the reference voltage VREFH to the reference voltage VREFL.
  • the voltage level of the first terminal Tc331 of the capacitor C33 is VREFH ⁇ (1Cu/total capacitance value). Decrease.
  • the voltage level of the output terminal T30 of the DA conversion unit 30 is reduced by 1 Vcu.
  • the voltage level Vcu is a unit voltage level.
  • the voltage level Vcu is VREFH ⁇ (Cu/total capacitance value).
  • the total capacitance value is the sum of the capacitance values of the plurality of capacitance elements included in the DA conversion unit 30.
  • the voltage level of the output terminal T30 of the DA conversion unit 30 decreases by 1 Vcu.
  • the voltage level of the output terminal T30 of the DA converter 30 decreases stepwise with the passage of time. This produces a digital ramp signal whose voltage level decreases in steps.
  • the latch circuit L1 has a first input terminal and a second input terminal.
  • the first input terminal of the latch circuit L1 is connected to the second terminal Tc332 of the capacitive element C33.
  • the second input terminal of the latch circuit L1 is connected to the third terminal T23 of the comparison circuit 21.
  • the signal output from the third terminal T23 of the comparison circuit 21 is input to each latch circuit L1.
  • each latch circuit L1 When the voltage level of the signal input to the latch circuit L1 from the comparison circuit 21 changes from the low level to the high level, each latch circuit L1 generates a digital value corresponding to the voltage level of the second terminal Tc332 of each capacitance element C33. Hold.
  • the digital value held in the latch circuit L1 corresponds to the lower data of the digital data that is the AD conversion result.
  • the DA converter 30 has an output terminal T30.
  • the output terminal T30 is electrically connected to the second terminal T22 of the comparison circuit 21.
  • the first terminals of the capacitive elements included in each of the upper DA conversion circuit 31, the level shift circuit 32, and the lower DA conversion circuit 33 are electrically connected to each other and also to the output terminal T30.
  • the DA conversion section 30 outputs the voltage of the capacitive element included in each of the upper DA conversion circuit 31, the level shift circuit 32, and the lower DA conversion circuit 33 from the output terminal T30 to the second terminal T22 of the comparison circuit 21.
  • the DA converter 30 converts the signals D7 to D3, the signal D LS1 , and the signal D LS2 into an analog voltage, and outputs the analog voltage from the output terminal T30.
  • the signals D7 to D3, the signal D LS1 , and the signal D LS2 are digital signals.
  • the DA conversion section 30 outputs the digital ramp signal generated by the lower DA conversion circuit 33 from the output terminal T
  • the configuration of the DA conversion unit 30 is not limited to the configuration shown in FIG.
  • the control circuit 40 is connected to the third terminal T23 of the comparison circuit 21.
  • the control circuit 40 controls the upper DA conversion circuit 31 by controlling the signals D7 to D3 based on the signal indicating the comparison result.
  • the control circuit 40 controls the level shift circuit 32 by controlling the signal D LS1 and the signal D LS2 . After the level shift circuit 32 completes the level shift, the control circuit 40 controls the low-order DA conversion circuit 33 by controlling the signal ST.
  • the digital value held in each of the plurality of latch circuits L1 of the lower DA conversion circuit 33 is output to the control circuit 40.
  • the correction circuit 41 corrects the lower data including the digital value held in each of the plurality of latch circuits L1.
  • the control circuit 40 includes a correction circuit 41.
  • the correction circuit 41 may be a circuit independent of the control circuit 40.
  • the correction circuit 41 may be arranged outside the AD conversion circuit 10.
  • the correction device may be configured by at least one of a processor and a logic circuit instead of the correction circuit 41 configured by a circuit in the control circuit 40.
  • the processor is at least one of a CPU (Central Processing Unit), a DSP (Digital Signal Processor), and a GPU (Graphics Processing Unit).
  • the logic circuit is at least one of an ASIC (Application Specific Integrated Circuit) and an FPGA (Field-Programmable Gate Array).
  • the correction device may include one or more processors.
  • the correction device can include one or more logic circuits.
  • the correction device may read the program and execute the read program.
  • the program includes instructions that define the operation of the correction device. That is, the function of the correction device may be realized by software.
  • the program may be provided by a "computer-readable recording medium” such as a flash memory.
  • the program may be transmitted from the computer holding the program to the AD conversion circuit 10 via a transmission medium or by a transmission wave in the transmission medium.
  • the "transmission medium” for transmitting the program is a medium having a function of transmitting information.
  • the medium having the function of transmitting information includes a network (communication network) such as the Internet and a communication line (communication line) such as a telephone line.
  • the program described above may realize a part of the functions described above.
  • the program described above may be a difference file (difference program). A combination of the program already recorded in the computer and the difference program may realize the above-mentioned function.
  • FIG. 2 shows an operation procedure of the AD conversion circuit 10.
  • FIGS. 3 to 5 will be referred to as appropriate.
  • the state of the AD conversion circuit 10 is the state described below.
  • the voltage level of each of the signals D7 to D3, the signal D LS1 , and the signal D LS2 is a low level.
  • the voltage level of the signal ST is high level.
  • the voltage level of the second terminal Tc312 of each of the five capacitive elements C31 is the reference voltage VREFL.
  • the voltage level of the second terminal Tc322 of each of the two capacitive elements C32 is the reference voltage VREFL.
  • the voltage level of the second terminal Tc332 of each of the 24 capacitive elements C33 is the reference voltage VREFH.
  • the states of the switch SWP, the switch SWN, and the switch SWM are off.
  • the switch SWP After the switch SWP is turned on and the first signal INP is held in the capacitive element C1, the switch SWP is turned off. After the switch SWN is turned on and the second signal INN is held in the plurality of capacitive elements of the DA converter 30, the switch SWN is turned off.
  • the first signal INP is input to the first terminal T21 of the comparison circuit 21, and the second signal INN is input to the second terminal T22 of the comparison circuit 21.
  • the comparison circuit 21 executes the successive approximation operation for the first AD conversion (step S1).
  • upper data included in digital data indicating the difference between the first signal INP and the second signal INN is generated.
  • the voltage levels of the plurality of capacitive elements C31 included in the upper DA conversion circuit 31 change, and the digital value of the upper data is determined bit by bit based on the binary search.
  • FIG. 3 shows a change in the difference between the voltage level of the first terminal T21 of the comparison circuit 21 and the voltage level of the second terminal T22 of the comparison circuit 21.
  • the lower three of the five capacitive elements C31 of the upper DA conversion circuit 31 are used, and the upper data includes a 3-bit digital value.
  • the capacitance values of the three capacitive elements C31 are 32Cu, 16Cu, and 8Cu, respectively.
  • the vertical direction shows the difference (Vt2-Vt1) between the voltage level (Vt1) of the first terminal T21 and the voltage level (Vt2) of the second terminal T22.
  • the maximum value of the range of the voltage level of the difference is 0 Vcu.
  • the minimum value of the range of the voltage level of the difference is ⁇ 64 Vcu.
  • the voltage level of the second signal INN is output from the output terminal T30 of the DA conversion unit 30.
  • the difference between the voltage level (Vp) of the first terminal T21 and the voltage level (Vn) of the second terminal T22 is V11.
  • the level V11 is ⁇ 27Vcu.
  • the control circuit 40 changes the voltage level of the signal D5 from low level to high level.
  • the voltage level of the first terminal Tc311 of the capacitive element C31 having the capacitance value 32Cu increases by 32Vcu. That is, the voltage level of the output terminal T30 of the DA converter 30 and the voltage level of the difference are increased by 32 Vcu.
  • the voltage level of the difference is V12.
  • the level V12 is 5Vcu.
  • the comparison circuit 21 compares the voltage level of the first terminal T21 and the voltage level of the second terminal T22. The voltage level of the first terminal T21 is lower than the voltage level of the second terminal T22. The comparison circuit 21 outputs a signal indicating the comparison result.
  • the control circuit 40 determines the value of the most significant bit (B S2 ) of the upper data to be 0 based on the signal. The control circuit 40 returns the voltage level of the signal D5 to the low level.
  • the voltage level of the first terminal Tc311 of the capacitive element C31 having the capacitance value 32Cu is reduced by 32Vcu. That is, the voltage level of the output terminal T30 of the DA conversion unit 30 and the voltage level of the difference are reduced by 32 Vcu.
  • the voltage level of the difference is V11.
  • the control circuit 40 changes the voltage level of the signal D4 from low level to high level.
  • the voltage level of the first terminal Tc311 of the capacitive element C31 having the capacitance value 16Cu increases by 16Vcu. That is, the voltage level of the output terminal T30 of the DA conversion unit 30 and the voltage level of the difference increase by 16 Vcu.
  • the voltage level of the difference is V13.
  • the level V13 is -11Vcu.
  • the comparison circuit 21 compares the voltage level of the first terminal T21 and the voltage level of the second terminal T22.
  • the voltage level of the first terminal T21 is higher than the voltage level of the second terminal T22.
  • the comparison circuit 21 outputs a signal indicating the comparison result.
  • the control circuit 40 determines the value of the second bit (B S1 ) of the upper data to be 1 based on the signal.
  • the control circuit 40 changes the voltage level of the signal D3 from low level to high level.
  • the voltage level of the first terminal Tc311 of the capacitive element C31 having the capacitance value 8Cu is increased by 8Vcu. That is, the voltage level of the output terminal T30 of the DA converter 30 and the voltage level of the difference increase by 8 Vcu.
  • the voltage level of the difference is V14.
  • the level V14 is -3Vcu.
  • the comparison circuit 21 compares the voltage level of the first terminal T21 and the voltage level of the second terminal T22. The voltage level of the first terminal T21 is higher than the voltage level of the second terminal T22. The comparison circuit 21 outputs a signal indicating the comparison result.
  • the control circuit 40 determines the value of the third bit (B S0 ) of the upper data to be 1 based on the signal. The third bit of the upper data is the least significant bit of the upper data. The control circuit 40 holds the generated upper data.
  • the level shift circuit 32 executes the first level shift by shifting the voltage level of the signal held in the plurality of capacitive elements C31 of the upper DA conversion circuit 31 to the first level (step). S2).
  • the control circuit 40 changes the voltage level of each of the signal D LS1 and the signal D LS2 from the low level to the high level.
  • the level shift circuit 32 the voltage level of the first terminal Tc321 of each of the two capacitive elements C32 having the capacitance value 8Cu is increased by 16Vcu. That is, the voltage level of the output terminal T30 of the DA conversion unit 30 and the voltage level of the difference increase by 16 Vcu.
  • the voltage level of the difference is V15 shown in FIG.
  • the level V15 is 13 Vcu.
  • step S2 a signal having a voltage level based on the digital ramp signal for the second AD conversion is held in the plurality of capacitive elements C31 of the upper DA conversion circuit 31 and the plurality of capacitive elements C33 of the lower DA conversion circuit 33.
  • the comparison circuit 21 executes the first comparison operation by comparing the voltage level of the first terminal T21 and the voltage level of the second terminal T22 (step S3).
  • the second AD conversion lower data included in the digital data indicating the difference between the first signal INP and the second signal INN is generated.
  • the residual signal is held in the plurality of capacitive elements C31 of the upper DA conversion circuit 31.
  • lower data is generated based on the difference between the first signal INP and the residual signal.
  • the control circuit 40 changes the voltage level of the signal ST from high level to low level.
  • the plurality of delay elements INV2 of the lower DA conversion circuit 33 sequentially output signals having the reference voltage VREFL.
  • the voltage level of the first terminal Tc331 of each of the plurality of capacitive elements C33 decreases by VREFH ⁇ (1Cu/total capacitance value). That is, the voltage level of the output terminal T30 of the DA conversion unit 30 decreases stepwise by 1 Vcu.
  • the voltage level Vcu is a unit voltage level.
  • the voltage level Vcu is VREFH ⁇ (Cu/total capacitance value).
  • the total capacitance value is the sum of the capacitance values of the plurality of capacitance elements included in the DA conversion unit 30.
  • the difference between the voltage level of the first terminal T21 and the voltage level of the second terminal T22 decreases stepwise by 1 Vcu from V15 shown in FIG. This operation starts at timing t11 shown in FIG.
  • the comparison circuit 21 compares the voltage level of the first terminal T21 and the voltage level of the second terminal T22, and outputs a signal indicating the comparison result.
  • the comparison circuit 21 outputs a signal having a low level.
  • the comparison circuit 21 outputs a signal having a high level.
  • the signal indicating the comparison result is input to the plurality of latch circuits L1 of the lower DA conversion circuit 33.
  • each latch circuit L1 holds the digital value corresponding to the voltage level of the second terminal Tc332 of each capacitance element C33. Since latency occurs due to circuit delay and the like, each latch circuit L1 holds the digital value at timing t13, which is later than timing t12.
  • the digital value held in each latch circuit L1 corresponds to lower data.
  • the lower data includes an error based on the delay DL1 from the timing t12 to the timing t13.
  • Each latch circuit L1 outputs a digital value to the control circuit 40.
  • the control circuit 40 holds the first lower-order data (first digital data) including the digital value of each latch circuit L1.
  • step S3 After step S3, a digital value for correcting the first lower data is generated in steps S4 to S8. Details of each of steps S4 to S8 will be described.
  • the control circuit 40 sets the voltage levels of the signals D7 to D3, the signal D LS1 , and the signal D LS2 to the low level and sets the voltage level of the signal ST to the high level.
  • the switch SWM is turned on and the first signal INP is held in the plurality of capacitive elements of the DA converter 30, the switch SWM is turned off.
  • the first signal INP is input to each of the first terminal T21 of the comparison circuit 21 and the second terminal T22 of the comparison circuit 21. Therefore, the voltage level of the first terminal T21 and the voltage level of the second terminal T22 are the same (step S4).
  • the first signal INP is input to each of the first terminal T21 and the second terminal T22 as the third signal.
  • the third signal is not limited to the first signal INP. Two signals having the same voltage level need to be input to the first terminal T21 and the second terminal T22 in step S4.
  • the level shift circuit 32 executes the second level shift by shifting the voltage level of the signal held in the plurality of capacitive elements C31 of the upper DA conversion circuit 31 to the second level (step S4). S5).
  • the second level is different than the first level.
  • the second level may be the same as the first level.
  • control circuit 40 changes the voltage level of the signal D LS1 from low level to high level.
  • the level shift circuit 32 the voltage level of the first terminal Tc321 of the capacitive element C32 having the capacitance value 8Cu increases by 8Vcu. That is, the voltage level of the output terminal T30 of the DA converter 30 and the voltage level of the difference increase by 8 Vcu.
  • FIG. 4 shows changes in the difference between the voltage level of the first terminal T21 of the comparison circuit 21 and the voltage level of the second terminal T22 of the comparison circuit 21.
  • the vertical direction in FIG. 4 indicates the difference between the voltage level of the first terminal T21 and the voltage level of the second terminal T22, as in FIG.
  • the difference between the voltage level of the first terminal T21 and the voltage level of the second terminal T22 is V21.
  • the level V21 is 0Vcu.
  • FIG. 4 shows a change in the voltage level of the difference when it is assumed that the first AD conversion including the successive approximation operation is executed. A change in the difference when the first AD conversion is virtually executed will be described.
  • the control circuit 40 changes the voltage level of the signal D5 from low level to high level.
  • the voltage level of the first terminal Tc311 of the capacitive element C31 having the capacitance value 32Cu increases by 32Vcu. That is, the voltage level of the output terminal T30 of the DA converter 30 and the voltage level of the difference are increased by 32 Vcu.
  • the voltage level of the difference is V22.
  • the level V22 is 32 Vcu.
  • the comparison circuit 21 compares the voltage level of the first terminal T21 and the voltage level of the second terminal T22.
  • the voltage level of the first terminal T21 is lower than the voltage level of the second terminal T22.
  • the comparison circuit 21 outputs a signal indicating the comparison result.
  • the control circuit 40 determines the value of the most significant bit (B S2 ) of the upper data to be 0 based on the signal.
  • the control circuit 40 returns the voltage level of the signal D5 to the low level.
  • the voltage level of the first terminal Tc311 of the capacitive element C31 having the capacitance value 32Cu is reduced by 32Vcu. That is, the voltage level of the output terminal T30 of the DA conversion unit 30 and the voltage level of the difference are reduced by 32 Vcu.
  • the voltage level of the difference is V21.
  • the control circuit 40 changes the voltage level of the signal D4 from low level to high level.
  • the voltage level of the first terminal Tc311 of the capacitive element C31 having the capacitance value 16Cu increases by 16Vcu. That is, the voltage level of the output terminal T30 of the DA conversion unit 30 and the voltage level of the difference increase by 16 Vcu.
  • the voltage level of the difference is V23.
  • the level V23 is 16 Vcu.
  • the comparison circuit 21 compares the voltage level of the first terminal T21 and the voltage level of the second terminal T22.
  • the voltage level of the first terminal T21 is lower than the voltage level of the second terminal T22.
  • the comparison circuit 21 outputs a signal indicating the comparison result.
  • the control circuit 40 determines the value of the second bit (B S1 ) of the higher order data to be 0 based on the signal.
  • the control circuit 40 returns the voltage level of the signal D3 to the low level.
  • the voltage level of the first terminal Tc311 of the capacitive element C31 having the capacitance value 16Cu is reduced by 16Vcu. That is, the voltage level of the output terminal T30 of the DA conversion unit 30 and the voltage level of the difference are reduced by 16 Vcu.
  • the voltage level of the difference is V21.
  • the control circuit 40 changes the voltage level of the signal D3 from low level to high level.
  • the voltage level of the first terminal Tc311 of the capacitive element C31 having the capacitance value 8Cu is increased by 8Vcu. That is, the voltage level of the output terminal T30 of the DA converter 30 and the voltage level of the difference increase by 8 Vcu.
  • the voltage level of the difference is V24.
  • the level V24 is 8 Vcu.
  • the comparison circuit 21 compares the voltage level of the first terminal T21 and the voltage level of the second terminal T22. The voltage level of the first terminal T21 is lower than the voltage level of the second terminal T22. The comparison circuit 21 outputs a signal indicating the comparison result.
  • the control circuit 40 determines the value of the third bit (B S0 ) of the upper data to be 0 based on the signal. The third bit of the upper data is the least significant bit of the upper data.
  • the control circuit 40 returns the voltage level of the signal D3 to the low level. At this time, in the upper DA conversion circuit 31, the voltage level of the first terminal Tc311 of the capacitive element C31 having the capacitance value 8Cu is reduced by 8Vcu.
  • the voltage level of the output terminal T30 of the DA conversion unit 30 and the voltage level of the difference are reduced by 8 Vcu.
  • the voltage level of the difference is V21. This voltage level is the same as the voltage level of the difference before the first AD conversion is executed.
  • Noise may be superimposed on each of the first signal INP held in the capacitive element C1 and the first signal INP held in the plurality of capacitive elements C31 of the upper DA conversion circuit 31.
  • the voltage level of the difference may change from V21 based on the noise. By reducing the noise level, the magnitude of the change is small even when the difference voltage level changes. Therefore, the voltage level of the difference does not change regardless of the execution of the first AD conversion. Since the voltage level of the difference does not change, it is not necessary to execute the first AD conversion.
  • step S5 When the second level shift in step S5 is executed, the differential voltage level becomes V25 shown in FIG.
  • the level V25 is 8 Vcu.
  • step S5 the signal having the voltage level based on the digital ramp signal for the second AD conversion is held in the plurality of capacitive elements C31 of the upper DA conversion circuit 31 and the plurality of capacitive elements C33 of the lower DA conversion circuit 33.
  • the comparison circuit 21 executes the second comparison operation by comparing the voltage level of the first terminal T21 and the voltage level of the second terminal T22 (step S6).
  • the second comparison operation is similar to the first comparison operation in step S3. Therefore, detailed description of the second comparison operation is omitted.
  • the voltage level of the difference starts to decrease stepwise from the timing t21 shown in FIG.
  • the comparison circuit 21 When the second comparison operation is started, the voltage level of the first terminal T21 is lower than the voltage level of the second terminal T22. At this time, the comparison circuit 21 outputs a signal having a low level. At timing t22, the voltage level of the first terminal T21 and the voltage level of the second terminal T22 become substantially the same. At this time, the comparison circuit 21 outputs a signal having a high level.
  • the signal indicating the comparison result is input to the plurality of latch circuits L1 of the lower DA conversion circuit 33.
  • each latch circuit L1 holds the digital value corresponding to the voltage level of the second terminal Tc332 of each capacitance element C33. Since latency occurs due to circuit delay or the like, each latch circuit L1 holds the digital value at timing t23, which is later than timing t22.
  • the digital value held in each latch circuit L1 corresponds to lower data.
  • the lower data includes an error based on the delay DL2 from the timing t22 to the timing t23.
  • Each latch circuit L1 outputs a digital value to the control circuit 40.
  • the control circuit 40 holds the second lower-order data (second digital data) including the digital value of each latch circuit L1.
  • step S6 the control circuit 40 sets the voltage level of the signal ST to low level.
  • the voltage level of the output terminal T30 of the DA conversion unit 30 and the voltage level of the difference become the voltage level before the second comparison operation is executed.
  • the voltage level of the difference is V25.
  • the level shift circuit 32 shifts the voltage level of the signal held in the plurality of capacitive elements C31 of the upper DA conversion circuit 31 to the third level different from the second level to perform the third level shift. Execute (step S7).
  • control circuit 40 changes the voltage level of the signal D LS2 from low level to high level.
  • the level shift circuit 32 the voltage level of the first terminal Tc321 of the capacitive element C32 having the capacitance value 8Cu increases by 8Vcu. That is, the voltage level of the output terminal T30 of the DA converter 30 and the voltage level of the difference increase by 8 Vcu.
  • FIG. 5 shows changes in the difference between the voltage level of the first terminal T21 of the comparison circuit 21 and the voltage level of the second terminal T22 of the comparison circuit 21.
  • the vertical direction in FIG. 5 indicates the difference between the voltage level of the first terminal T21 and the voltage level of the second terminal T22, as in FIG.
  • the difference between the voltage level of the first terminal T21 and the voltage level of the second terminal T22 is V21.
  • the level V21 is 0Vcu. Since the first AD conversion is not necessary, the level change relating to the first AD conversion is omitted in FIG.
  • the second level shift in step S5 and the third level shift in step S7 are executed, the differential voltage level becomes V26.
  • the level V26 is 16 Vcu.
  • step S7 the signal having the voltage level based on the digital ramp signal for the second AD conversion is held in the plurality of capacitive elements C31 of the upper DA conversion circuit 31 and the plurality of capacitive elements C33 of the lower DA conversion circuit 33.
  • the comparison circuit 21 executes the third comparison operation by comparing the voltage level of the first terminal T21 and the voltage level of the second terminal T22 (step S8).
  • the third comparison operation is similar to the first comparison operation in step S3. Therefore, detailed description of the third comparison operation is omitted.
  • the voltage level of the difference starts to decrease stepwise from the timing t31 shown in FIG.
  • the comparison circuit 21 When the third comparison operation is started, the voltage level of the first terminal T21 is lower than the voltage level of the second terminal T22. At this time, the comparison circuit 21 outputs a signal having a low level. At the timing t32, the voltage level of the first terminal T21 and the voltage level of the second terminal T22 become substantially the same. At this time, the comparison circuit 21 outputs a signal having a high level.
  • the signal indicating the comparison result is input to the plurality of latch circuits L1 of the lower DA conversion circuit 33.
  • each latch circuit L1 holds the digital value corresponding to the voltage level of the second terminal Tc332 of each capacitance element C33. Since latency occurs due to circuit delay and the like, each latch circuit L1 holds the digital value at timing t33 after timing t32.
  • the digital value held in each latch circuit L1 corresponds to lower data.
  • the lower data includes an error based on the delay DL3 from the timing t32 to the timing t33.
  • Each latch circuit L1 outputs a digital value to the control circuit 40.
  • the control circuit 40 holds the third lower-order data (third digital data) including the digital value of each latch circuit L1.
  • the third signal (first signal INP) is input to the first terminal T21 of the comparison circuit 21 and held in the plurality of capacitive elements C31 of the upper DA conversion circuit 31.
  • the level shift circuit 32 executes the second level shift and the third level shift without executing the successive approximation operation.
  • the plurality of capacitive elements C32 of the level shift circuit 32 include a first capacitive element and a second capacitive element.
  • the capacitance value of each of the first capacitive element and the second capacitive element is 8Cu.
  • the level shift circuit 32 executes the first level shift by changing the voltage level of the first capacitive element and the voltage level of the second capacitive element.
  • the level shift circuit 32 executes the second level shift by changing the voltage level of the first capacitive element.
  • the level shift circuit 32 executes the third level shift by changing the voltage level of the second capacitive element.
  • step S1 When the successive approximation operation is executed in step S1, upper data included in the digital data is generated.
  • the upper data includes a plurality of bits of data.
  • step S3 When the first comparison operation is executed in step S3, the lower data included in the digital data is generated.
  • the lower data includes a plurality of bits of data.
  • the capacitance value of the second capacitance element is substantially the same as the capacitance value of the third capacitance element included in the plurality of capacitance elements C31 of the upper DA conversion circuit 31.
  • the third capacitive element is used to generate the least significant bit data of the upper data.
  • the third capacitive element is the capacitive element C31 having a capacitance value of 8Cu.
  • the capacitance value of the second capacitive element and the capacitance value of the third capacitive element may be different.
  • the difference between the capacitance value of the second capacitance element and the capacitance value of the third capacitance element may be very small.
  • the absolute value of the difference may be 5% or less of the capacitance value of the second capacitance element or the capacitance value of the third capacitance element.
  • the absolute value of the difference may be 10% or less of the capacitance value of the second capacitance element or the capacitance value of the third capacitance element.
  • the capacitance value of the first capacitance element is substantially the same as the capacitance value of the fourth capacitance element included in the plurality of capacitance elements C31 of the upper DA conversion circuit 31.
  • the fourth capacitive element is used to generate the least significant bit data of the upper data.
  • the fourth capacitive element is the capacitive element C31 having a capacitance value of 8Cu.
  • the capacitance value of the first capacitive element and the capacitance value of the fourth capacitive element may be different.
  • the difference between the capacitance value of the first capacitive element and the capacitance value of the fourth capacitive element may be very small.
  • the absolute value of the difference may be 5% or less of the capacitance value of the first capacitance element or the capacitance value of the fourth capacitance element.
  • the absolute value of the difference may be 10% or less of the capacitance value of the first capacitance element or the capacitance value of the fourth capacitance element.
  • step S8 the correction circuit 41 corrects the first lower data based on the second lower data and the third lower data (step S9).
  • the operation procedure of the AD conversion circuit 10 is not limited to the example shown in FIG.
  • the processes in steps S4 to S8 may be executed before the processes in steps S1 to S3 are executed.
  • the processing in steps S4 to S8 may be executed immediately after the AD conversion circuit 10 is activated.
  • the processing in steps S4 to S8 may be executed periodically according to changes in the environment. For example, changes in the environment are changes in time or changes in temperature.
  • the processing in steps S4 to S8 is executed at a timing close to the timing when the processing in steps S1 to S3 is executed.
  • the processes in steps S4 to S8 may be executed during the blanking period (vertical blanking period).
  • the level shift circuit 32 executes the second level shift during the blanking period.
  • the blanking period is different from the period in which the first pixel signal is output from the imaging unit, and is different from the period in which the second pixel signal is output from the imaging unit.
  • the first pixel signal has a reset level.
  • the second pixel signal has a signal level.
  • the comparison circuit 21 executes the second comparison operation during the blanking period.
  • the level shift circuit 32 executes the third level shift in the blanking period.
  • the comparison circuit 21 executes the third comparison operation during the blanking period.
  • the differential voltage level starts to decrease stepwise from timing t11 shown in FIG.
  • the comparison circuit 21 outputs a high level signal.
  • each latch circuit L1 holds a digital value at timing t12.
  • the voltage level of the output signal changes from the reference voltage VREFH to the reference voltage VREFL in the 13 delay elements INV2. That is, the voltage level of the second terminal Tc332 of the 13 capacitive elements C33 included in the lower DA conversion circuit 33 changes. Based on the change, the voltage level of the output terminal T30 of the DA converter 30 and the voltage level of the difference are reduced by 13 Vcu.
  • each latch circuit L1 actually holds the digital value at the timing t13.
  • the voltage level of the output signal changes from the reference voltage VREFH to the reference voltage VREFL. That is, the voltage level of the second terminal Tc332 of the 17 capacitive elements C33 included in the lower DA conversion circuit 33 changes. Based on the change, the voltage level of the output terminal T30 of the DA converter 30 and the voltage level of the difference are reduced by 17 Vcu.
  • each latch circuit L1 holds the digital value at timing t13 instead of timing t12. Therefore, there is a latency corresponding to the delay DL1 in the four delay elements INV1 and the four delay elements INV2.
  • the voltage level of the difference starts to decrease stepwise from the timing t21 shown in FIG.
  • the comparison circuit 21 outputs a high level signal.
  • each latch circuit L1 holds a digital value at timing t22.
  • the voltage level of the output signal changes from the reference voltage VREFH to the reference voltage VREFL in the eight delay elements INV2. That is, the voltage level of the second terminal Tc332 of the eight capacitive elements C33 included in the lower DA conversion circuit 33 changes. Based on the change, the voltage level of the output terminal T30 of the DA converter 30 and the voltage level of the difference are reduced by 8 Vcu.
  • Each latch circuit L1 actually holds a digital value at timing t23. From the timing t21 to the timing t23, the voltage level of the output signal changes from the reference voltage VREFH to the reference voltage VREFL in the 12 delay elements INV2. That is, the voltage level of the second terminal Tc332 of the 12 capacitive elements C33 included in the lower DA conversion circuit 33 changes. Based on the change, the voltage level of the output terminal T30 of the DA conversion unit 30 and the voltage level of the difference are reduced by 12 Vcu.
  • each latch circuit L1 holds the digital value at timing t23 instead of timing t22. Therefore, there is a latency corresponding to the delay DL2 in the four delay elements INV1 and the four delay elements INV2.
  • the delay DL1 and the delay DL2 are substantially the same.
  • the differential voltage level starts to decrease stepwise from the timing t31 shown in FIG.
  • the comparison circuit 21 outputs a high level signal.
  • each latch circuit L1 holds a digital value at timing t32.
  • the voltage level of the output signal changes from the reference voltage VREFH to the reference voltage VREFL. That is, the voltage level of the second terminals Tc332 of the 16 capacitive elements C33 included in the lower DA conversion circuit 33 changes. Based on the change, the voltage level of the output terminal T30 of the DA conversion unit 30 and the voltage level of the difference are reduced by 16 Vcu.
  • Each latch circuit L1 actually holds a digital value at timing t33. From the timing t31 to the timing t33, the voltage level of the output signal changes from the reference voltage VREFH to the reference voltage VREFL in the 20 delay elements INV2. That is, the voltage level of the second terminal Tc332 of the twenty capacitive elements C33 included in the lower DA conversion circuit 33 changes. Based on the change, the voltage level of the output terminal T30 of the DA converter 30 and the voltage level of the difference are reduced by 20 Vcu.
  • each latch circuit L1 holds the digital value at timing t33 instead of timing t32. Therefore, there is a latency corresponding to the delay DL3 in the four delay elements INV1 and the four delay elements INV2.
  • the delay DL1 and the delay DL3 are substantially the same.
  • the digital value 12 is obtained by the second AD conversion including the second comparison operation.
  • the digital value 20 is obtained by the second AD conversion including the third comparison operation.
  • FIG. 6 shows a state in which the level changes shown in FIGS. 3 to 5 are integrated into one.
  • the second signal INN is held in the plurality of capacitive elements C31 of the upper DA conversion circuit 31, the voltage level of the first terminal T21 of the comparison circuit 21 and the voltage level of the second terminal T22 of the comparison circuit 21 The difference is V11.
  • the maximum value of the range of the differential voltage level is Vx1
  • the minimum value of the range of the differential voltage level is Vn1.
  • the level Vx1 is 0 Vcu
  • the level Vn1 is -64 Vcu.
  • the differential voltage level is V14. Assuming that the first AD conversion based on the level Vx1 is completed, the differential voltage level is Vx2. The level Vx2 is 0Vcu. Assuming that the first AD conversion based on the level Vn1 is completed, the differential voltage level is Vn2. The level Vn2 is -8Vcu. When the first AD conversion is completed, the difference voltage level is Vn2 or more and Vx2 or less.
  • the differential voltage level becomes V15. Assuming that the first level shift based on the level Vx2 has been performed, the differential voltage level will be Vx3. The level Vx3 is 16 Vcu. Assuming that the first level shift based on the level Vn2 has been performed, the differential voltage level will be Vn3. The level Vn3 is 8Vcu. When the first level shift is performed, the voltage level of the difference is Vn3 or more and Vx3 or less.
  • the level Vn3 is obtained when the first AD conversion based on the level Vn1 and the first level shift based on the level Vn2 are executed.
  • the level Vn3 is the same as the level V25 obtained when the second level shift is performed. Actually, the first AD conversion based on the level Vn1 and the first level shift based on the level Vn2 are not executed.
  • the first signal INP is input to each of the first terminal T21 and the second terminal T22
  • the difference between the voltage level of the first terminal T21 and the voltage level of the second terminal T22 is V21.
  • the level V21 is 0Vcu.
  • the AD conversion circuit 10 can obtain the level V25 corresponding to the level Vn3 by executing the second level shift based on the level V21.
  • the level Vx3 is obtained when the first AD conversion based on the level Vx1 and the first level shift based on the level Vx2 are executed.
  • the level Vx3 is the same as the level V26 obtained when the second level shift and the third level shift are performed. Actually, the first AD conversion based on the level Vx1 and the first level shift based on the level Vx2 are not executed.
  • the AD conversion circuit 10 can obtain the level V26 corresponding to the level Vx3 by executing the second level shift and the third level shift based on the level V21.
  • the level shift circuit 32 shifts the voltage level of the signal held in the plurality of capacitive elements C31 of the upper DA conversion circuit 31 to the first level in step S2.
  • the differential voltage level shifts from level V14 to level V15 when the first level shift is performed.
  • the level shift circuit 32 shifts the voltage level of the signal held in the plurality of capacitive elements C31 of the upper DA conversion circuit 31 to the second level.
  • the second level is the minimum value of the range that the first level can take.
  • the differential voltage level shifts from the level V21 to the level Vn3.
  • the possible range of the voltage level of the difference is from level Vn3 to level Vx3.
  • Level Vn3 is the minimum value in the range
  • level Vx3 is the maximum value in the range.
  • the level shift circuit 32 shifts the voltage level of the signal held in the plurality of capacitive elements C31 of the upper DA conversion circuit 31 to the third level.
  • the third level is the maximum value of the range that the first level can take. In the above example, when the second level shift and the third level shift are executed, the differential voltage level shifts from the level V21 to the level Vx3.
  • the first comparison operation is started.
  • the voltage level of the difference starts to decrease stepwise from timing t11.
  • Each latch circuit L1 holds a digital value at timing t13.
  • the second comparison operation is started.
  • the voltage level of the difference starts to decrease stepwise from timing t11.
  • Timing t11 is the same as timing t21 shown in FIG.
  • Each latch circuit L1 holds a digital value at timing t23.
  • the third comparison operation is started.
  • the voltage level of the difference starts to decrease stepwise from timing t11.
  • Timing t11 is the same as timing t31 shown in FIG.
  • Each latch circuit L1 holds a digital value at timing t33.
  • the digital value 12 is obtained by the second AD conversion including the second comparison operation. This digital value is the same as the lower data of the digital data corresponding to the level Vn1.
  • the digital value 20 is obtained by the second AD conversion including the third comparison operation. This digital value is the same as the lower data of the digital data corresponding to the level Vx1.
  • the digital value obtained by the second AD conversion including the first comparison operation is any one of 12 to 20. That is, the digital value is any one of the nine values.
  • the correction circuit 41 corrects the digital value into a 4-bit value by converting the digital value into any one of 0 to 8.
  • the capacitance value of the capacitive element C33 When the capacitance value of the capacitive element C33 is 1Cu, the voltage level of the digital ramp signal changes by 1Vcu for each step. When the capacitance value of the capacitive element C33 is 0.8 Cu, the voltage level of the digital ramp signal changes by 0.8 Vcu for each step. That is, the amount of change for each step is (4/5) times. The digital value obtained by the second AD conversion becomes (5/4) times. The latency becomes (5/4) times.
  • the digital value 12 is obtained by the second AD conversion including the second comparison operation.
  • the digital value 15 is obtained by the second AD conversion including the second comparison operation.
  • the capacitance value of the capacitive element C33 is 1Cu, the latency corresponds to the delays in the four delay elements INV1 and the four delay elements INV2 in the above example.
  • the capacitance value of the capacitive element C33 is 0.8 Cu, the latency corresponds to the delay in the five delay elements INV1 and the five delay elements INV2.
  • the digital value 20 is obtained by the second AD conversion including the third comparison operation.
  • the digital value 25 is obtained by the second AD conversion including the third comparison operation.
  • the capacitance value of the capacitive element C33 is 1Cu, the latency corresponds to the delays in the four delay elements INV1 and the four delay elements INV2 in the above example.
  • the capacitance value of the capacitive element C33 is 0.8 Cu, the latency corresponds to the delay in the five delay elements INV1 and the five delay elements INV2.
  • the digital value obtained by the second AD conversion including the first comparison operation is any one of 15 to 25. That is, the digital value is any one of 11 values.
  • the correction circuit 41 corrects the digital value into a 4-bit value by converting the digital value into any one of 0 to 8.
  • the differential voltage level V14 at the end of the first AD conversion is ⁇ 4Vcu.
  • This level V14 is an intermediate level in the range of the voltage level of the difference assumed when determining the least significant bit of the upper data in the first AD conversion.
  • the range is from -8 Vcu to 0 Vcu.
  • the first level shift increases the differential voltage level by 16 Vcu. Due to the first level shift, the differential voltage level becomes 12 Vcu. After the first comparison operation is started, the differential voltage level decreases stepwise.
  • each latch circuit L1 holds a digital value at the timing when the voltage level of the second terminal Tc332 of the 12 capacitive elements C33 included in the lower DA conversion circuit 33 changes. Assuming that the latency corresponds to the delays of the four delay elements INV1 and the four delay elements INV2, the voltage level of the second terminal Tc332 of the 16 capacitive elements C33 included in the lower DA conversion circuit 33 changes. At that timing, each latch circuit L1 holds a digital value. In this case, the digital value 16 is obtained by the second AD conversion including the first comparison operation.
  • step S9 the correction circuit 41 corrects the first digital data based on the position of the first digital data in the range defined by the second digital data and the third digital data.
  • the first digital data is generated by the first comparison operation.
  • the second digital data is generated by the second comparison operation.
  • the third digital data is generated by the third comparison operation.
  • the first digital data is the same as the second digital data or is larger than the second digital data.
  • the first digital data is the same as the third digital data or smaller than the third digital data.
  • the correction circuit 41 corrects the first digital data based on the relationship between the first range and the second range.
  • the first range is defined by the second digital data and the third digital data.
  • One of the second digital data and the third digital data is the minimum value in the first range, and the other of the second digital data and the third digital data is the maximum value in the first range.
  • the correction circuit 41 corrects the first digital data so that the first digital data falls within the second range.
  • the relative position of the corrected first digital data in the second range is substantially the same as the relative position of the first digital data in the first range.
  • the correction circuit 41 holds a table for correction.
  • the correction circuit 41 corrects the digital value by converting the digital value into a corrected digital value based on the table.
  • the correction circuit 41 holds a plurality of tables.
  • the capacitance value of the capacitive element C33 is 1Cu
  • the digital value obtained by the second AD conversion including the first comparison operation is any one of 12 to 20, as described above. A case where a corrected digital value corresponding to the digital value 16 is obtained will be described.
  • the digital value 12 corresponds to the corrected digital value 0.
  • the digital value 13 corresponds to the corrected digital value 1.
  • the digital value 14 corresponds to the corrected digital value 2.
  • the digital value 15 corresponds to the corrected digital value 3.
  • the digital value 16 corresponds to the corrected digital value 4.
  • the digital value 17 corresponds to the corrected digital value 5.
  • the digital value 18 corresponds to the corrected digital value 6.
  • the digital value 19 corresponds to the corrected digital value 7.
  • the digital value 20 corresponds to the corrected digital value 8.
  • the correction circuit 41 converts the digital value 16 obtained by the second AD conversion into the corrected digital value 4.
  • the correction circuit 41 converts the digital value into a value within a predetermined range by correcting the digital value.
  • the predetermined range is defined by the correction digital value 0 and the correction digital value 8.
  • the corrected digital value 0 is the minimum value in the predetermined range
  • the corrected digital value 8 is the maximum value in the predetermined range.
  • the minimum value in the predetermined range corresponds to the second lower-order data (second digital data) generated by the second comparison operation.
  • the maximum value in the predetermined range corresponds to the third lower-order data (third digital data) generated by the third comparison operation.
  • the corrected digital value is always converted into any one value within a predetermined range regardless of the latency. Therefore, the AD conversion circuit 10 can improve the accuracy of the lower data.
  • the AD conversion circuit 10 outputs the generated digital data.
  • the digital data includes upper data and lower data.
  • the upper data includes the digital value generated by the successive approximation operation.
  • the lower data includes the digital value corrected by the correction circuit 41.
  • the differential voltage level V14 at the end of the first AD conversion is ⁇ 4Vcu.
  • the first level shift increases the differential voltage level by 16 Vcu. Due to the first level shift, the differential voltage level becomes 12 Vcu. After the first comparison operation is started, the differential voltage level decreases stepwise.
  • the voltage level of the digital ramp signal changes by 0.8 Vcu for each step.
  • the digital value obtained by the second AD conversion is (5/4) times the digital value when the capacitance value of the capacitive element C33 is 1Cu.
  • the latency is (5/4) times the latency when the capacitance value of the capacitive element C33 is 1Cu.
  • each latch circuit L1 holds a digital value at the timing when the voltage level of the second terminal Tc332 of the 15 capacitive elements C33 included in the lower DA conversion circuit 33 changes.
  • the latency corresponds to the delay in the five delay elements INV1 and the five delay elements INV2. Since there is latency, each latch circuit L1 holds a digital value at the timing when the voltage level of the second terminal Tc332 of the twenty capacitive elements C33 included in the lower DA conversion circuit 33 changes. In this case, the digital value 20 is obtained by the second AD conversion including the first comparison operation.
  • the digital value obtained by the second AD conversion including the first comparison operation is any one of 15 to 25, as described above. A case where a corrected digital value corresponding to the digital value 20 is obtained will be described.
  • the digital value 15 corresponds to the corrected digital value 0.
  • the digital value 16 and the digital value 17 correspond to the corrected digital value 1.
  • the digital value 18 corresponds to the corrected digital value 2.
  • the digital value 19 corresponds to the corrected digital value 3.
  • the digital value 20 corresponds to the corrected digital value 4.
  • the digital value 21 corresponds to the corrected digital value 5.
  • the digital value 22 corresponds to the corrected digital value 6.
  • the digital value 23 and the digital value 24 correspond to the corrected digital value 7.
  • the digital value 25 corresponds to the corrected digital value 8.
  • the correction circuit 41 converts the digital value 20 obtained by the second AD conversion into the corrected digital value 4.
  • the corrected digital value is 4 both in the case where the capacitance value of the capacitive element C33 is 1Cu and in the case where the capacitance value of the capacitive element C33 is 0.8Cu.
  • the correction circuit 41 obtains substantially the same corrected digital value regardless of the difference in the capacitance value of the plurality of capacitive elements C33 included in the lower DA conversion circuit 33.
  • the absolute value of the capacitance values of the plurality of capacitance elements C33 included in the lower DA conversion circuit 33 is not so accurate. Not necessary. That is, even if the capacitance value of each of the plurality of capacitive elements C33 included in the lower DA conversion circuit 33 is small, the AD conversion circuit 10 can perform AD conversion with high accuracy.
  • the capacitance values of the plurality of capacitive elements C33 included in the lower DA conversion circuit 33 are not limited to 1Cu.
  • the capacitance value may be smaller than 1 Cu.
  • the capacitance value may be 0.8 Cu.
  • the capacitance value may be larger than 1 Cu.
  • the capacitance value may be 1.2 Cu.
  • the correction circuit 41 corrects the first digital data by using the table corresponding to each of the plurality of ranges.
  • Each of the plurality of ranges is defined by the second digital data and the third digital data.
  • the correction circuit 41 holds a plurality of tables including the first table and the second table.
  • the correction circuit 41 selects one table corresponding to the range defined by the second digital data and the third digital data.
  • the digital value 12 is obtained as the second digital data
  • the digital value 20 is obtained as the third digital data.
  • the correction circuit 41 selects the above-mentioned first table.
  • the digital value 15 is obtained as the second digital data
  • the digital value 25 is obtained as the third digital data.
  • the correction circuit 41 selects the above-mentioned second table.
  • At least one of the plurality of capacitive elements C32 included in the level shift circuit 32 may be included in the upper DA conversion circuit 31. That is, the upper DA conversion circuit 31 and the level shift circuit 32 may share at least one capacitive element.
  • the second capacitive element used for the third level shift may be the third capacitive element included in the plurality of capacitive elements C31 of the upper DA conversion circuit 31. That is, the third capacitive element may be used for the third level shift.
  • the third capacitive element is used to generate the least significant bit data of the upper data.
  • the third capacitive element is the capacitive element C31 having a capacitance value of 8Cu. It is not necessary to perform the first AD conversion before performing the third level shift. Therefore, the third capacitive element used for the first AD conversion can be used for the third level shift.
  • the first capacitive element used for the second level shift may be the fourth capacitive element included in the plurality of capacitive elements C31 of the upper DA conversion circuit 31. That is, the fourth capacitive element may be used for the second level shift.
  • the fourth capacitive element is used to generate the least significant bit data of the upper data.
  • the fourth capacitive element is the capacitive element C31 having a capacitance value of 8Cu. It is not necessary to perform the first AD conversion before performing the second level shift. Therefore, the fourth capacitive element used for the first AD conversion can be used for the second level shift.
  • the capacitance values of the two capacitive elements C32 included in the level shift circuit 32 are the same.
  • the capacitance values of the two capacitive elements C32 included in the level shift circuit 32 may be different.
  • the capacitance value of the first capacitive element used for the second level shift may be 4Cu.
  • the level Vn2 and the level Vx2 shown in FIG. 6 are increased by 12Vcu by the first level shift. To do. In that case, the level Vn3 becomes 4 Vcu and the level Vx3 becomes 12 Vcu. Since the capacitive element C32 having the capacitance value 4Cu is used for the second level shift, the level V21 shown in FIG. 6 is increased by 4Vcu by the second level shift. In that case, the level V25 becomes 4Vcu and is the same as the level Vn3.
  • the capacitive element C32 having the capacitance value 8Cu is used for the third level shift, the level V21 shown in FIG. 6 is increased by 12Vcu by the second level shift and the third level shift. In that case, the level V26 becomes 12 Vcu and is the same as the level Vx3.
  • the capacitance value of the first capacitive element may be 12Cu or the like.
  • the AD conversion method has first to eighth steps executed by the AD conversion circuit 10.
  • the first signal INP is input to the first terminal T21 of the comparison circuit 21, and the second signal INN is held in the plurality of capacitive elements C31 of the higher DA conversion circuit 31.
  • the comparison circuit 21 executes the successive approximation operation in the first step (step S1).
  • the level shift circuit 32 sets the voltage level of the signal held in the plurality of capacitive elements C31 of the higher DA conversion circuit 31 to the first level in the second step (step S2).
  • the first level shift is executed by shifting.
  • step S3 the comparison circuit 21 outputs the first voltage level of the signal input to the first terminal T21 and the second terminal T22.
  • the first comparison operation is executed by comparing the input signal with the second voltage level.
  • the third signal (first signal INP) is input to the first terminal T21 and held in the plurality of capacitive elements C31 of the upper DA conversion circuit 31.
  • the level shift circuit 32 shifts the voltage level of the signal held in the plurality of capacitive elements C31 of the upper DA conversion circuit 31 to the second level, thereby making the second level. Perform a level shift.
  • the signal having the voltage level based on the digital ramp signal is held in the plurality of capacitive elements C31 of the upper DA conversion circuit 31 and the plurality of capacitive elements C33 of the lower DA conversion circuit 33.
  • the comparison circuit 21 executes the second comparison operation by comparing the first voltage level and the second voltage level in the fifth step (step S6). To do.
  • the level shift circuit 32 sets the voltage level of the signal held in the plurality of capacitive elements C31 of the upper DA conversion circuit 31 to the second level.
  • the third level shift is executed by shifting to the third level different from the level of.
  • the signal having the voltage level based on the digital ramp signal is held in the plurality of capacitive elements C31 of the upper DA conversion circuit 31 and the plurality of capacitive elements C33 of the lower DA conversion circuit 33.
  • the comparison circuit 21 executes the third comparison operation by comparing the first voltage level and the second voltage level in the seventh step (step S8). To do.
  • the correction circuit 41 corrects the first digital data based on the second digital data and the third digital data.
  • the voltage level of the first signal INP is equal to or higher than the voltage level of the second signal INN, but the voltage level of the first signal INP may be equal to or lower than the voltage level of the second signal INN. ..
  • the reference voltage VREFL is input to the input terminal H of the switch SW1, and the reference voltage VREFH is input to the input terminal L of the switch SW1.
  • the reference voltage VREFL is input to the input terminal H of the switch SW2, and the reference voltage VREFH is input to the input terminal L of the switch SW2.
  • the voltage level of the signal ST changes from low level to high level.
  • the voltage level of the digital ramp signal increases stepwise.
  • the correction circuit 41 corrects the first digital data based on the second digital data and the third digital data. Therefore, the AD conversion circuit 10 can improve the accuracy of digital data.
  • the speed at which the digital ramp signal decreases differs when the capacitance value of the capacitive element C33 is 1Cu and when the capacitance value of the capacitive element C33 is 0.8Cu.
  • the difference in the rate of change (gradient) of the digital ramp signal is an individual difference in the performance of the AD conversion circuit 10. Since the correction circuit 41 corrects the first digital data, it is possible to reduce the influence of variations in the slope of the digital ramp signal.
  • the delay time in the delay element INV1 and the delay time in the delay element INV2 change.
  • the slope of the digital ramp signal changes.
  • the plurality of capacitive elements C32 of the level shift circuit 32 include a first capacitive element and a second capacitive element.
  • the capacitance value of the second capacitance element used for the third level shift is substantially the same as the capacitance value of the third capacitance element included in the plurality of capacitance elements C31 of the upper DA conversion circuit 31.
  • the third capacitive element is used to generate the least significant bit data of the upper data.
  • the level shift circuit 32 can easily perform the third level shift by using the second capacitive element.
  • the capacitance value of the first capacitance element used for the second level shift is substantially the same as the capacitance value of the fourth capacitance element included in the plurality of capacitance elements C31 of the upper DA conversion circuit 31.
  • the fourth capacitive element is used to generate the least significant bit data of the upper data.
  • the level shift circuit 32 can easily perform the second level shift by using the first capacitive element.
  • the level shift circuit 32 When the level shift circuit 32 performs the first level shift, the voltage level of the signal held in the plurality of capacitive elements C31 of the upper DA conversion circuit 31 shifts to the first level.
  • the level shift circuit 32 performs the second level shift the voltage level of the signal held in the plurality of capacitive elements C31 of the upper DA conversion circuit 31 shifts to the second level.
  • the second level is the minimum value of the range that the first level can take.
  • the level shift circuit 32 performs the third level shift, the voltage level of the signal held in the plurality of capacitive elements C31 of the upper DA conversion circuit 31 shifts to the third level.
  • the third level is the maximum value of the range that the first level can take.
  • the correction circuit 41 can correct the first digital data based on the relationship between the first level digital data and the range of the first level digital data. Therefore, the AD conversion circuit 10 can improve the accuracy of digital data.
  • the level shift circuit 32 executes the second level shift and the third level shift without executing the first AD conversion. Therefore, the time required to obtain the second digital data for correction and the third digital data for correction can be shortened.
  • FIG. 7 shows the configuration of the AD conversion circuit 11 according to the second embodiment of the present invention. Descriptions of configurations different from those shown in FIG. 1 will be omitted.
  • the DA converter 30 shown in FIG. 1 is changed to a DA converter 30a.
  • the lower DA conversion circuit 33 shown in FIG. 1 is changed to the lower DA conversion circuit 33a.
  • the number of latch circuits L1 included in the lower DA conversion circuit 33a illustrated in FIG. 7 is different from the number of latch circuits L1 included in the lower DA conversion circuit 33 illustrated in FIG.
  • the lower DA conversion circuit 33 shown in FIG. 1 has 24 latch circuits L1.
  • the lower DA conversion circuit 33a shown in FIG. 7 has 48 latch circuits L1.
  • the first input terminals of the 24 latch circuits L1 are connected to the second terminal Tc332 of the capacitive element C33.
  • the first input terminals of the other 24 latch circuits L1 are connected to the output terminal of the delay element INV1 and the input terminal of the delay element INV2.
  • the bit number of lower data is increased by 1 bit. Therefore, the resolution of AD conversion can be increased by 1 bit without significantly changing the circuit scale.
  • FIG. 8 shows the configuration of the AD conversion circuit 12 according to the third embodiment of the present invention. Descriptions of configurations different from those shown in FIG. 1 will be omitted.
  • the DA converter 30 shown in FIG. 1 is changed to a DA converter 30b.
  • the upper DA conversion circuit 31 shown in FIG. 1 is changed to the upper DA conversion circuit 31b.
  • the level shift circuit 32 shown in FIG. 1 is changed to a level shift circuit 32b.
  • the signal D3 and the signal DLS2 are input to the input terminal IN of one switch SW1.
  • the output terminal OUT of the switch SW1 is connected to the second terminal TC312 of the capacitive element C31 having a capacitance value of 8Cu.
  • the level shift circuit 32b has one capacitance element C32, one capacitance element C31, one switch SW2, and one switch SW1.
  • the capacitance value of the capacitive element C32 is 12Cu.
  • the signal D LS1 is input to the input terminal IN of the switch SW2.
  • the upper DA conversion circuit 31b and the level shift circuit 32b share the capacitive element C31 having the capacitance value 8Cu and the switch SW1 connected to the capacitive element C31.
  • the capacitive element C32 is used for the first level shift and the second level shift.
  • the capacitive element C31 having the capacitance value 8Cu is used for the third level shift.
  • the voltage level of each of the signal D LS1 and the signal D LS2 is low.
  • the control circuit 40 changes the voltage level of the signal D LS1 from low level to high level in the first level shift.
  • the voltage level of the first terminal Tc321 of the capacitive element C32 having the capacitance value 12Cu is increased by 12Vcu. That is, the voltage level of the output terminal T30 of the DA converter 30b and the voltage level of the difference increase by 12 Vcu.
  • the control circuit 40 sets the voltage levels of the signals D7 to D3 and the signal DLS1 to the low level. Further, the control circuit 40 sets the voltage level of each of the signal D LS2 and the signal ST to the high level. After the switch SWM is turned on and the first signal INP is held in the plurality of capacitive elements of the DA converter 30b, the switch SWM is turned off. At this time, the first signal INP is input to each of the first terminal T21 of the comparison circuit 21 and the second terminal T22 of the comparison circuit 21.
  • the control circuit 40 changes the voltage level of the signal D LS1 from low level to high level.
  • the level shift circuit 32b the voltage level of the first terminal Tc321 of the capacitive element C32 having the capacitance value 12Cu is increased by 12Vcu. That is, the voltage level of the output terminal T30 of the DA converter 30b and the voltage level of the difference increase by 12 Vcu.
  • the control circuit 40 changes the voltage level of the signal D LS2 from the high level to the low level in the third level shift.
  • the voltage level of the first terminal Tc311 of the capacitive element C31 having the capacitance value 8Cu is reduced by 8Vcu. That is, the voltage level of the output terminal T30 of the DA converter 30b and the voltage level of the difference are reduced by 8 Vcu.
  • FIG. 9 shows changes in the difference between the voltage level of the first terminal T21 of the comparison circuit 21 and the voltage level of the second terminal T22 of the comparison circuit 21.
  • the vertical direction shows the difference between the voltage level of the first terminal T21 and the voltage level of the second terminal T22, as in FIG.
  • the voltage level of the difference is V11.
  • the maximum value of the range that the differential voltage level can take is Vx1
  • the minimum value of the range that the differential voltage level can take is Vn1.
  • the level Vx1 is 0Vcu and the level Vn1 is -64Vcu.
  • the differential voltage level is V14.
  • the level V14 is -3Vcu.
  • the differential voltage level is Vx2.
  • the level Vx2 is 0Vcu.
  • the differential voltage level is Vn2.
  • the level Vn2 is -8Vcu.
  • the differential voltage level becomes V15. Since the capacitive element C32 having the capacitance value 12Cu is used for the first level shift, the difference voltage level is increased by 12Vcu by the first level shift.
  • the level V15 is 9Vcu. Assuming that the first level shift based on the level Vx2 has been performed, the differential voltage level will be Vx3.
  • the level Vx3 is 12 Vcu. Assuming that the first level shift based on the level Vn2 has been performed, the differential voltage level will be Vn3.
  • the level Vn3 is 4Vcu.
  • the voltage level of the difference is Vn3 or more and Vx3 or less.
  • the difference between the voltage level of the first terminal T21 and the voltage level of the second terminal T22 is V21.
  • the level V21 is 0Vcu.
  • the differential voltage level becomes V25. Since the capacitive element C32 having the capacitance value 12Cu is used for the second level shift, the differential voltage level is increased by 12Vcu by the second level shift.
  • the level V25 is 12 Vcu.
  • the capacitive element C32 having the capacitance value 12Cu is used for the second level shift, the differential voltage level is increased by 12Vcu by the second level shift. Since the capacitive element C31 having the capacitance value 8Cu is used for the third level shift, the voltage level of the difference is reduced by 8Vcu by the third level shift.
  • the level V26 is 4Vcu.
  • the level Vn3 is obtained when the first AD conversion based on the level Vn1 and the first level shift based on the level Vn2 are executed.
  • the level Vn3 is the same as the level V26 obtained when the second level shift and the third level shift are performed. Actually, the first AD conversion based on the level Vn1 and the first level shift based on the level Vn2 are not executed.
  • the AD conversion circuit 12 can obtain the level V26 corresponding to the level Vn3 by executing the second level shift and the third level shift based on the level V21.
  • the level Vx3 is obtained when the first AD conversion based on the level Vx1 and the first level shift based on the level Vx2 are executed.
  • the level Vx3 is the same as the level V25 obtained when the second level shift is performed. Actually, the first AD conversion based on the level Vx1 and the first level shift based on the level Vx2 are not executed.
  • the AD conversion circuit 12 can obtain the level V25 corresponding to the level Vx3 by executing the second level shift based on the level V21.
  • the level shift circuit 32b shifts the voltage level of the signal held in the plurality of capacitive elements C31 of the upper DA conversion circuit 31b to the first level in step S2.
  • the differential voltage level shifts from level V14 to level V15 when the first level shift is performed.
  • the level shift circuit 32b shifts the voltage level of the signal held in the plurality of capacitive elements C31 of the upper DA conversion circuit 31b to the second level.
  • the second level is the maximum value of the range that the first level can take.
  • the differential voltage level shifts from the level V21 to the level Vx3.
  • the possible range of the voltage level of the difference is from level Vn3 to level Vx3.
  • Level Vn3 is the minimum value in the range
  • level Vx3 is the maximum value in the range.
  • the level shift circuit 32b shifts the voltage level of the signal held in the plurality of capacitive elements C31 of the upper DA conversion circuit 31b to the third level.
  • the third level is the minimum value of the range that the first level can take. In the above example, when the second level shift and the third level shift are executed, the differential voltage level shifts from the level V21 to the level Vn3.
  • the first comparison operation is started.
  • the voltage level of the difference starts to decrease stepwise from timing t11.
  • Each latch circuit L1 holds a digital value at timing t13.
  • the second comparison operation is started.
  • the voltage level of the difference starts to decrease stepwise from timing t11.
  • Each latch circuit L1 holds a digital value at timing t23.
  • the third comparison operation is started.
  • the voltage level of the difference starts to decrease stepwise from timing t11.
  • Each latch circuit L1 holds a digital value at timing t33.
  • each latch circuit L1 receives a digital signal. Holds the value. There is latency even in a circuit that operates at high speed. Therefore, actually, when the voltage level of the second terminal Tc332 of the 13 capacitive elements C33 included in the lower DA conversion circuit 33 changes, each latch circuit L1 holds a digital value. Therefore, there is a latency corresponding to the delay in the four delay elements INV1 and the four delay elements INV2.
  • each latch circuit L1 becomes a digital signal. Holds the value. In reality, there is a latency corresponding to the delay in the four delay elements INV1 and the four delay elements INV2. Therefore, when the voltage level of the second terminal Tc332 of the 16 capacitive elements C33 included in the lower DA conversion circuit 33 changes, each latch circuit L1 holds a digital value.
  • each latch circuit L1 is digital. Holds the value. In reality, there is a latency corresponding to the delay in the four delay elements INV1 and the four delay elements INV2. Therefore, when the voltage level of the second terminal Tc332 of the eight capacitive elements C33 included in the lower DA conversion circuit 33 changes, each latch circuit L1 holds a digital value.
  • the digital value 16 is obtained by the second AD conversion including the second comparison operation.
  • the digital value 8 is obtained by the second AD conversion including the third comparison operation.
  • the digital value obtained by the second AD conversion including the first comparison operation is any one of 8 to 16. That is, the digital value is any one of the nine values.
  • the correction circuit 41 corrects the digital value into a 4-bit value by converting the digital value into any one of 0 to 8.
  • the correction method in the third embodiment is the same as the correction method in the first embodiment.
  • the correction circuit 41 converts the digital value into a value within a predetermined range by correcting the digital value.
  • the predetermined range is defined by the correction digital value 0 and the correction digital value 8.
  • the corrected digital value 0 is the minimum value in the predetermined range
  • the corrected digital value 8 is the maximum value in the predetermined range.
  • the minimum value in the predetermined range corresponds to the third lower-order data (third digital data) generated by the third comparison operation.
  • the maximum value in the predetermined range corresponds to the second lower-order data (second digital data) generated by the second comparison operation.
  • the corrected digital value is always converted into any one value within a predetermined range regardless of the latency. Therefore, the AD conversion circuit 10 can improve the accuracy of the lower data.
  • the plurality of capacitive elements of the level shift circuit 32b include a first capacitive element and a second capacitive element.
  • the first capacitive element is the capacitive element C32.
  • the second capacitive element is a capacitive element C31 having a capacitance value of 8Cu.
  • the level shift circuit 32 changes the voltage level of the first capacitive element to perform the first level shift.
  • the level shift circuit 32 executes the second level shift by changing the voltage level of the first capacitive element.
  • the level shift circuit 32 executes the third level shift by changing the voltage level of the second capacitive element.
  • the second capacitive element is the third capacitive element included in the plurality of capacitive elements C31 of the upper DA conversion circuit 31b.
  • the third capacitive element is used to generate the least significant bit data of the upper data.
  • the third capacitive element is the capacitive element C31 having a capacitance value of 8Cu. It is not necessary to perform the first AD conversion before performing the third level shift. Therefore, the third capacitive element used for the first AD conversion can be used for the third level shift.
  • the capacitance value of the first capacitive element used for the second level shift may be 16 Cu. Since the capacitive element C32 having the capacitance value 16Cu is used for the first level shift, the level Vn2 and the level Vx2 shown in FIG. 9 are increased by 16Vcu by the first level shift. In that case, the level Vn3 becomes 8 Vcu, and the level Vx3 becomes 16 Vcu. Since the capacitive element C32 having the capacitance value 16Cu is used for the second level shift, the level V21 shown in FIG. 9 is increased by 16Vcu by the second level shift. In that case, the level V25 becomes 16 Vcu and is the same as the level Vx3.
  • the level V21 shown in FIG. 9 increases by 16Vcu by the second level shift and decreases by 8Vcu by the third level shift. .. In that case, the level V26 becomes 8 Vcu and is the same as the level Vn3.
  • the capacitance value of the first capacitive element may be 20Cu or the like.
  • the capacitance value of the first capacitance element used for the second level shift is 16 Cu
  • the capacitance value of the first capacitance element is the fourth capacitance value included in the plurality of capacitance elements C31 of the upper DA conversion circuit 31. It is approximately the same as the capacitance value of the capacitive element.
  • the fourth capacitive element is used to generate the data of the second smallest bit of the upper data.
  • the fourth capacitive element is the capacitive element C31 having a capacitance value of 16Cu.
  • the capacitance value of the first capacitance element may be different from the capacitance value of the fourth capacitance element.
  • the difference between the capacitance value of the first capacitive element and the capacitance value of the fourth capacitive element may be very small.
  • the absolute value of the difference may be 5% or less of the capacitance value of the first capacitance element or the capacitance value of the fourth capacitance element.
  • the absolute value of the difference may be 10% or less of the capacitance value of the first capacitance element or the capacitance value of the fourth capacitance element.
  • the first capacitive element may be the fourth capacitive element. That is, the fourth capacitive element may be used for the second level shift. It is not necessary to perform the first AD conversion before performing the second level shift. Therefore, the fourth capacitive element used for the first AD conversion can be used for the second level shift.
  • the correction circuit 41 corrects the first digital data as in the first embodiment. Therefore, the AD conversion circuit 12 can improve the accuracy of the digital data and reduce the influence of the variation in the inclination of the digital ramp signal.
  • the second capacitive element used for the third level shift is the third capacitive element included in the plurality of capacitive elements C31 of the upper DA conversion circuit 31b.
  • the level shift circuit 32b can easily perform the third level shift by using the third capacitive element as the second capacitive element. Since the upper DA conversion circuit 31b and the level shift circuit 32b share the capacitive element, the circuit scale is reduced.
  • the first capacitive element used for the second level shift may be the fourth capacitive element included in the plurality of capacitive elements C31 of the upper DA conversion circuit 31b.
  • the level shift circuit 32b can easily perform the second level shift by using the fourth capacitive element as the first capacitive element. Since the upper DA conversion circuit 31b and the level shift circuit 32b share the capacitive element, the circuit scale is reduced.
  • the level shift circuit 32 executes the first level shift, the voltage level of the signal held in the plurality of capacitive elements C31 of the upper DA conversion circuit 31b shifts to the first level.
  • the level shift circuit 32b performs the second level shift, the voltage level of the signal held in the plurality of capacitive elements C31 of the upper DA conversion circuit 31b shifts to the second level.
  • the second level is the maximum value of the range that the first level can take.
  • the level shift circuit 32b executes the third level shift, the voltage level of the signal held in the plurality of capacitive elements C31 of the upper DA conversion circuit 31b shifts to the third level.
  • the third level is the minimum value of the range that the first level can take.
  • the correction circuit 41 can correct the first digital data based on the relationship between the first level digital data and the first level digital data. Therefore, the AD conversion circuit 12 can improve the accuracy of digital data.
  • FIG. 10 shows the configuration of the image pickup apparatus 1 according to the fourth embodiment of the present invention.
  • the imaging device 1 shown in FIG. 10 includes an imaging unit 2, a vertical selection unit 4, a column circuit unit 5, a horizontal selection unit 6, and an output unit 7.
  • the image pickup unit 2, the vertical selection unit 4, the column circuit unit 5, the horizontal selection unit 6, and the output unit 7 are arranged on the same substrate.
  • the image pickup unit 2, the vertical selection unit 4, the column circuit unit 5, the horizontal selection unit 6, and the output unit 7 may be dispersed on the plurality of substrates. ..
  • the image pickup unit 2 has a plurality of pixels 3 arranged in a matrix.
  • the plurality of pixels 3 form an array of m rows and n columns.
  • the number m and the number n are integers of 2 or more.
  • the number of rows and the number of columns do not have to be the same.
  • FIG. 10 shows an example in which the number of rows is 2 and the number of columns is 3. This is an example, and the present invention is not limited to this.
  • the pixel 3 outputs a first pixel signal having a reset level and a second pixel signal having a signal level.
  • the vertical selection unit 4 selects the pixels 3 arranged in the row direction in the array of the plurality of pixels 3.
  • the vertical selection unit 4 controls the operation of the selected pixel 3.
  • the vertical selection unit 4 outputs a control signal for controlling the plurality of pixels 3 for each row in the array of the plurality of pixels 3.
  • the control signal output from the vertical selection unit 4 includes a transfer pulse ⁇ Tx_i, a reset pulse ⁇ Rst_i, and a selection pulse ⁇ Sel_i.
  • the number i is 1 or 2.
  • the transfer pulse ⁇ Tx_1, the reset pulse ⁇ Rst_1, and the selection pulse ⁇ Sel_1 are output to the pixels 3 in the first row.
  • the transfer pulse ⁇ Tx_2, the reset pulse ⁇ Rst_2, and the selection pulse ⁇ Sel_2 are output to the pixels 3 in the second row.
  • the column circuit unit 5 has a plurality of column circuits 8.
  • the column circuit 8 is arranged for each column in the array of the plurality of pixels 3.
  • the column circuit 8 is connected to a vertical signal line 70 extending in the vertical direction, that is, the column direction.
  • the vertical signal line 70 is arranged for each column in the array of the plurality of pixels 3.
  • the vertical signal line 70 is connected to the pixels 3 in each column.
  • the column circuit 8 is electrically connected to the pixel 3 via the vertical signal line 70.
  • the column circuit 8 generates a first signal based on the reset-level first pixel signal output from the pixel 3, and a second signal based on the signal-level second pixel signal output from the pixel 3. To generate.
  • the column circuit 8 is connected to a first horizontal signal line 71 and a second horizontal signal line 72 extending in the horizontal direction, that is, the row direction.
  • the selection pulse HSR[k] is output from the horizontal selection unit 6 to the column circuit 8 corresponding to the column k.
  • the number k is one of 1, 2, and 3.
  • the column circuit 8 selected by the selection pulse HSR[k] outputs the first signal to the first horizontal signal line 71 and outputs the second signal to the second horizontal signal line 72.
  • One column circuit 8 may be arranged for every plurality of columns in the array of the plurality of pixels 3, and one column circuit 8 may be used in a plurality of columns in a time division manner. Therefore, the column circuit 8 need only be arranged so as to correspond to one or more columns in the array of the plurality of pixels 3.
  • the first horizontal signal line 71 and the second horizontal signal line 72 are connected to the output unit 7.
  • the first current source I1 is connected to the first horizontal signal line 71
  • the second current source I2 is connected to the second horizontal signal line 72.
  • the horizontal selection unit 6 sequentially selects the column circuits 8 by the selection pulse HSR[1] to the selection pulse HSR[3]. The first signal and the second signal output from the column circuit 8 selected by the horizontal selection unit 6 are transferred to the output unit 7.
  • the output unit 7 has the AD conversion circuit 10 shown in FIG.
  • the first terminal Tswp1 of the switch SWP is connected to the first horizontal signal line 71
  • the first terminal Tswn1 of the switch SWN is connected to the second horizontal signal line 72.
  • the AD conversion circuit 10 generates digital data DOUT based on the first signal and the second signal.
  • the output unit 7 outputs the digital data DOUT to the circuit in the subsequent stage.
  • FIG. 11 shows the configuration of the pixel 3.
  • the pixel 3 illustrated in FIG. 11 includes a photoelectric conversion unit PD, a transfer transistor Tx, a charge storage unit FD, a reset transistor Rst, an amplification transistor Drv, and a selection transistor Sel.
  • Each transistor shown in FIG. 11 is an NMOS transistor.
  • Each transistor illustrated in FIG. 11 has a gate terminal, a source terminal, and a drain terminal.
  • the photoelectric conversion unit PD is a photodiode.
  • the photoelectric conversion unit PD has a first terminal and a second terminal.
  • the first terminal of the photoelectric conversion unit PD is connected to the ground.
  • the second terminal of the photoelectric conversion unit PD is connected to the transfer transistor Tx.
  • the source terminal of the transfer transistor Tx is connected to the second terminal of the photoelectric conversion unit PD.
  • the drain terminal of the transfer transistor Tx is connected to the charge storage unit FD.
  • the gate terminal of the transfer transistor Tx is connected to the control signal line 82.
  • the control signal line 82 extends in the row direction in the array of the plurality of pixels 3 and is connected to the vertical selection unit 4.
  • the control signal line 82 transfers the transfer pulse ⁇ Tx_i.
  • the drain terminal of the reset transistor Rst is connected to the power supply line 80.
  • the power supply line 80 is connected to a power supply that outputs the power supply voltage VDD.
  • the source terminal of the reset transistor Rst is connected to the charge storage unit FD.
  • the gate terminal of the reset transistor Rst is connected to the control signal line 81.
  • the control signal line 81 extends in the row direction in the array of the plurality of pixels 3 and is connected to the vertical selection unit 4.
  • the control signal line 81 transfers the reset pulse ⁇ Rst_i.
  • the drain terminal of the amplification transistor Drv is connected to the power line 80.
  • the source terminal of the amplification transistor Drv is connected to the selection transistor Sel.
  • the gate terminal of the amplification transistor Drv is connected to the charge storage unit FD.
  • the drain terminal of the selection transistor Sel is connected to the source terminal of the amplification transistor Drv.
  • the source terminal of the selection transistor Sel is connected to the vertical signal line 70.
  • the gate terminal of the selection transistor Sel is connected to the control signal line 83.
  • the control signal line 83 extends in the row direction in the array of the plurality of pixels 3 and is connected to the vertical selection unit 4.
  • the control signal line 83 transfers the selection pulse ⁇ Sel_i.
  • the transfer transistor Tx is controlled based on the transfer pulse ⁇ Tx_i output from the vertical selection unit 4.
  • the transfer transistor Tx of the pixel 3 in the first row is controlled based on the transfer pulse ⁇ Tx_1, and the transfer transistor Tx of the pixel 3 in the second row is controlled based on the transfer pulse ⁇ Tx_2.
  • the reset transistor Rst is controlled based on the reset pulse ⁇ Rst_i output from the vertical selection unit 4.
  • the reset transistor Rst of the pixels 3 in the first row is controlled based on the reset pulse ⁇ Rst_1, and the reset transistor Rst of the pixels 3 in the second row is controlled based on the reset pulse ⁇ Rst_2.
  • the selection transistor Sel is controlled based on the selection pulse ⁇ Sel_i output from the vertical selection unit 4.
  • the selection transistor Sel of the pixels 3 in the first row is controlled based on the selection pulse ⁇ Sel_1, and the selection transistor Sel of the pixels 3 in the second row is controlled based on the selection pulse ⁇ Sel_2.
  • the photoelectric conversion unit PD generates a signal charge based on the magnitude of incident light.
  • the transfer transistor Tx transfers the signal charge generated by the photoelectric conversion unit PD to the charge storage unit FD.
  • the charge storage unit FD is a floating diffusion.
  • the charge storage unit FD stores the signal charge transferred by the transfer transistor Tx.
  • the reset transistor Rst resets the charge storage unit FD to a predetermined voltage.
  • the amplification transistor Drv generates a pixel signal by amplifying a signal based on the voltage of the charge storage unit FD.
  • the selection transistor Sel outputs a pixel signal to the vertical signal line 70.
  • the vertical signal line 70 is arranged for each column in the array of the plurality of pixels 3.
  • the first pixel signal having the reset level and the second pixel signal having the signal level are output from the pixel 3.
  • FIG. 12 shows the configuration of the column circuit 8.
  • the column circuit 8 illustrated in FIG. 12 includes a transistor M1, a sample transistor M2, a sample transistor M3, an amplification transistor M4, an amplification transistor M5, a column selection transistor M6, a column selection transistor M7, a capacitive element Cr, and a capacitive element Cs.
  • Each transistor shown in FIG. 12 is an NMOS transistor.
  • Each transistor illustrated in FIG. 12 has a gate terminal, a source terminal, and a drain terminal.
  • the drain terminal of the transistor M1 is connected to the vertical signal line 70.
  • the source terminal of the transistor M1 is connected to the ground.
  • the gate terminal of the transistor M1 is connected to the power supply line 84.
  • the power supply line 84 is connected to a power supply that outputs a predetermined voltage LMB.
  • the drain terminal of the sample transistor M2 is connected to the vertical signal line 70.
  • the source terminal of the sample transistor M2 is connected to the capacitive element Cr.
  • the gate terminal of the sample transistor M2 is connected to the control signal line 85.
  • the control signal line 85 extends in the row direction in the array of the plurality of pixels 3.
  • the control signal line 85 transfers the sample hold pulse ⁇ SHR.
  • the drain terminal of the sample transistor M3 is connected to the vertical signal line 70.
  • the source terminal of the sample transistor M3 is connected to the capacitive element Cs.
  • the gate terminal of the sample transistor M3 is connected to the control signal line 86.
  • the control signal line 86 extends in the row direction in the array of the plurality of pixels 3.
  • the control signal line 86 transfers the sample hold pulse ⁇ SHS.
  • Each of the capacitive element Cr and the capacitive element Cs has a first terminal and a second terminal.
  • the first terminal of the capacitive element Cr is connected to the source terminal of the sample transistor M2.
  • the second terminal of the capacitive element Cr is connected to the ground.
  • the first terminal of the capacitive element Cs is connected to the source terminal of the sample transistor M3.
  • the second terminal of the capacitive element Cs is connected to the ground.
  • the power supply voltage VDD is input to the drain terminal of the amplification transistor M4.
  • the source terminal of the amplification transistor M4 is connected to the column selection transistor M6.
  • the gate terminal of the amplification transistor M4 is connected to the first terminal of the capacitive element Cr.
  • the power supply voltage VDD is input to the drain terminal of the amplification transistor M5.
  • the source terminal of the amplification transistor M5 is connected to the column selection transistor M7.
  • the gate terminal of the amplification transistor M5 is connected to the first terminal of the capacitive element Cs.
  • the drain terminal of the column selection transistor M6 is connected to the source terminal of the amplification transistor M4.
  • the source terminal of the column selection transistor M6 is connected to the first horizontal signal line 71.
  • the gate terminal of the column selection transistor M6 is connected to the horizontal selection unit 6.
  • the drain terminal of the column selection transistor M7 is connected to the source terminal of the amplification transistor M5.
  • the source terminal of the column selection transistor M7 is connected to the second horizontal signal line 72.
  • the gate terminal of the column selection transistor M7 is connected to the horizontal selection unit 6.
  • the operation of the sample transistor M2 is controlled based on the sample hold pulse ⁇ SHR.
  • the operation of the sample transistor M3 is controlled based on the sample hold pulse ⁇ SHS.
  • the operations of the column selection transistor M6 and the column selection transistor M7 are controlled based on the selection pulse HSR[k] output from the horizontal selection unit 6.
  • the number k is any one of 1, 2, and 3.
  • the transistor M1 functions as a current source.
  • the sample transistor M2 samples the reset-level first pixel signal output from the pixel 3 to the vertical signal line 70.
  • the sample transistor M3 samples the second pixel signal of the signal level output from the pixel 3 to the vertical signal line 70.
  • the capacitive element Cr holds the first pixel signal of the reset level sampled by the sample transistor M2.
  • the capacitive element Cs holds the second pixel signal having the signal level sampled by the sample transistor M3.
  • the capacitive element Cr and the capacitive element Cs are sample capacitors.
  • the amplification transistor M4 generates a second signal by amplifying the reset-level first pixel signal held in the capacitive element Cr. That is, the amplification transistor M4 generates the first signal based on the first pixel signal at the reset level.
  • the amplification transistor M5 generates a second signal by amplifying the second pixel signal of the signal level held in the capacitive element Cs. That is, the amplification transistor M5 generates the second signal based on the second pixel signal having the signal level.
  • the column selection transistor M6 outputs the first signal generated by the amplification transistor M4 to the first horizontal signal line 71.
  • the column selection transistor M7 outputs the second signal generated by the amplification transistor M5 to the second horizontal signal line 72.
  • the column selection transistor M6 and the column selection transistor M7 in the first column are controlled based on the selection pulse HSR[1].
  • the column selection transistor M6 and the column selection transistor M7 in the second column are controlled based on the selection pulse HSR[2].
  • the column selection transistor M6 and the column selection transistor M7 in the third column are controlled based on the selection pulse HSR[3].
  • FIG. 13 shows the operation of the image pickup apparatus 1.
  • the reading operation of the pixel signal by the imaging device 1 will be described.
  • an operation in which the image pickup apparatus 1 reads a pixel signal from the pixel 3 in the first row in the array of the plurality of pixels 3 will be described.
  • FIG. 13 the waveforms of the selection pulse ⁇ Sel_1, the reset pulse ⁇ Rst_1, the sample hold pulse ⁇ SHR, the transfer pulse ⁇ Tx_1, the sample hold pulse ⁇ SHS, the selection pulse HSR[1], and the selection pulse HSR[2] are shown.
  • the waveforms of the control signals of the switch SWP and the switch SWN are shown.
  • the horizontal direction in FIG. 13 indicates time, and the vertical direction in FIG. 13 indicates voltage.
  • 1H period in which the pixel signals of one row are read out includes an H blank period and an H valid period.
  • the H blank period includes a first read period TR in which the first pixel signal at the reset level is read and a second read period TS in which the second pixel signal at the signal level is read.
  • the voltage level of each of the selection pulse ⁇ Sel_1, the reset pulse ⁇ Rst_1, the sample hold pulse ⁇ SHR, the transfer pulse ⁇ Tx_1, the sample hold pulse ⁇ SHS, the selection pulse HSR[1], and the selection pulse HSR[2] is , Low level.
  • the H valid period includes a plurality of periods in which the AD conversion circuit 10 sequentially performs a plurality of AD conversions.
  • the period in which each AD conversion is executed includes a sample hold period and an AD conversion period. Before the first AD conversion is executed, the voltage level of each control signal of the switch SWP and the switch SWN is low level.
  • the voltage level of the selection pulse ⁇ Sel_1 output from the vertical selection unit 4 to the pixel 3 in the first row changes from the low level to the high level. Therefore, the state of the selection transistor Sel is turned on. As a result, the pixels 3 in the first row are selected in the first read period TR.
  • the voltage level of the sample hold pulse ⁇ SHR changes from low level to high level.
  • the state of the sample transistor M2 is turned on.
  • the voltage level of the sample hold pulse ⁇ SHR changes from the high level to the low level.
  • the state of the sample transistor M2 is turned off. Therefore, the reset-level first pixel signal is held in the capacitive element Cr.
  • the voltage level of the sample hold pulse ⁇ SHS changes from low level to high level. Therefore, the state of the sample transistor M3 is turned on. After that, the voltage level of the sample hold pulse ⁇ SHS changes from the high level to the low level. Therefore, the state of the sample transistor M3 is turned off. As a result, the second pixel signal having the signal level is held in the capacitive element Cs.
  • the second read period TS ends, the H valid period starts, and the first AD conversion starts.
  • the voltage level of the selection pulse HSR[1] output from the horizontal selection unit 6 to the first column circuit 8 changes from the low level to the high level. Therefore, the respective states of the column selection transistor M6 and the column selection transistor M7 are turned on.
  • the first signal based on the first pixel signal at the reset level of the pixels 3 in the first row and the first column is output to the first horizontal signal line 71.
  • the second signal based on the second pixel signal having the signal level of the pixel 3 in the first row and the first column is output to the second horizontal signal line 72.
  • the voltage level of the selection pulse HSR[1] changes from the high level to the low level. Therefore, the respective states of the column selection transistor M6 and the column selection transistor M7 are turned off.
  • the first signal based on the first pixel signal of the pixel 3 in the first row and the first column is read out, and based on the second pixel signal of the pixel 3 in the first row and the first column The second signal is read.
  • the period during which the first AD conversion is executed includes the sample hold period SH1 and the AD conversion period AD1.
  • the sample hold period SH1 When the sample hold period SH1 is started, the voltage level of each control signal of the switch SWP and the switch SWN becomes a high level. As a result, the states of the switch SWP and the switch SWN are turned on. Since each state of the switch SWP and the switch SWN is the ON state, the first signal INP is sampled by the switch SWP, and the second signal INN is sampled by the switch SWN.
  • the voltage level of the control signal of each of the switch SWP and the switch SWN becomes low level.
  • the states of the switch SWP and the switch SWN are turned off. Since the switch SWP and the switch SWN are turned off, the first signal INP is held in the capacitive element C1 and the second signal INN is held in the plurality of capacitive elements of the DA converter 30.
  • the AD conversion period AD1 starts.
  • the operation of the AD conversion circuit 10 in the AD conversion period AD1 is similar to the operation shown in FIG.
  • the processes in steps S4 to S8 shown in FIG. 2 may be executed during the H blank period (and the V blank period).
  • the AD conversion period AD1 ends.
  • the second AD conversion is executed.
  • the period in which the second AD conversion is performed includes the sample hold period SH2 and the AD conversion period AD2.
  • the operation in the sample hold period SH2 is the same as the operation in the sample hold period SH1.
  • the operation in the AD conversion period AD2 is the same as the operation in the AD conversion period AD1.
  • the description of the operation after the end of the AD conversion period AD2 is omitted.
  • the voltage level of the selection pulse HSR[1] changes from the high level to the low level
  • the first AD conversion ends and the second AD conversion starts.
  • the voltage level of the selection pulse HSR[2] changes from low level to high level.
  • the period in which the second AD conversion is executed includes the sample hold period SH2 and the AD conversion period AD2.
  • the operation of the AD conversion circuit 10 in the sample hold period SH2 and the AD conversion period AD2 is similar to the operation of the AD conversion circuit 10 in the sample hold period SH1 and the AD conversion period AD1.
  • the imaging device 1 reads out pixel signals from the pixels 3 in the second row. This operation is similar to the operation shown in FIG.
  • the image pickup apparatus 1 of the fourth embodiment has an AD conversion circuit 10, an image pickup unit 2, and a column circuit 8.
  • the imaging unit 2 has a plurality of pixels 3 arranged in a matrix. Each pixel 3 included in the plurality of pixels 3 outputs a first pixel signal having a reset level and a second pixel signal having a signal level.
  • the column circuit 8 is arranged so as to correspond to one or more columns in the array of the plurality of pixels 3 and is electrically connected to the imaging unit 2.
  • the column circuit 8 generates a first signal based on the first pixel signal and a second signal based on the second pixel signal.
  • the image pickup apparatus 1 may have any one of the AD conversion circuit 11 shown in FIG. 7 and the AD conversion circuit 12 shown in FIG. 8 instead of the AD conversion circuit 10.
  • the image pickup apparatus may not have a configuration other than the configuration corresponding to each of the AD conversion circuit 10, the image pickup unit 2, and the column circuit 8.
  • the imaging device 1 of the fourth embodiment has an AD conversion circuit 10 that can improve the accuracy of digital data. Therefore, the imaging device 1 can improve the accuracy of digital data.
  • FIG. 14 shows the configuration of an image pickup apparatus 1a according to the fifth embodiment of the present invention. Description of the same configuration as the configuration shown in FIG. 10 will be omitted.
  • the image pickup apparatus 1a has a reference signal generation unit 9 (signal generation circuit) in addition to the configuration shown in FIG.
  • the column circuit unit 5 shown in FIG. 10 is changed to the column circuit unit 5a.
  • the column circuit 8 shown in FIG. 10 is changed to the column circuit 8a.
  • the column circuit unit 5a has a plurality of column circuits 8a.
  • the column circuit 8a is arranged for each column in the array of the plurality of pixels 3.
  • the column circuit 8a is connected to the vertical signal line 70.
  • the column circuit 8a is electrically connected to the pixel 3 via the vertical signal line 70.
  • the column circuit 8a generates a difference signal (second signal) based on the difference between the reset level and the signal level output from the pixel 3.
  • the column circuit 8a is connected to the second horizontal signal line 72.
  • the selection pulse HSR[k] is output from the horizontal selection unit 6 to the column circuit 8a corresponding to the column k.
  • the number k is one of 1, 2, and 3.
  • the column circuit 8a selected by the selection pulse HSR[k] outputs the second signal to the second horizontal signal line 72.
  • FIG. 15 shows the configuration of the column circuit 8a.
  • the column circuit 8a illustrated in FIG. 15 includes a transistor M8, a capacitive element Cclp1, a clamp switch SWclp1, an amplification transistor M9, and a column selection transistor M10.
  • Each transistor shown in FIG. 15 is an NMOS transistor.
  • Each transistor illustrated in FIG. 15 has a gate terminal, a source terminal, and a drain terminal.
  • the drain terminal of the transistor M8 is connected to the vertical signal line 70.
  • the source terminal of the transistor M8 is connected to the ground.
  • the gate terminal of the transistor M8 is connected to the power supply line 84.
  • the power supply line 84 is connected to a power supply that outputs a predetermined voltage LMB.
  • the capacitive element Cclp1 has a first terminal and a second terminal.
  • the first terminal of the capacitive element Cclp1 is connected to the vertical signal line 70.
  • the second terminal of the capacitive element Cclp1 is connected to the clamp switch SWclp1 and the amplification transistor M9.
  • the clamp switch SWclp1 has a first terminal and a second terminal.
  • the first terminal of the clamp switch SWclp1 is connected to the second terminal of the capacitive element Cclp1.
  • the clamp voltage Vclp is input to the second terminal of the clamp switch SWclp1.
  • the power supply voltage VDD is input to the drain terminal of the amplification transistor M9.
  • the source terminal of the amplification transistor M9 is connected to the column selection transistor M10.
  • the gate terminal of the amplification transistor M9 is connected to the second terminal of the capacitive element Cclp1.
  • the drain terminal of the column selection transistor M10 is connected to the source terminal of the amplification transistor M9.
  • the source terminal of the column selection transistor M10 is connected to the second horizontal signal line 72.
  • the gate terminal of the column selection transistor M10 is connected to the horizontal selection unit 6.
  • the operation of the clamp switch SWclp1 is controlled based on the clamp pulse ⁇ CLP.
  • the operation of the column selection transistor M10 is controlled based on the selection pulse HSR[k] output from the horizontal selection unit 6.
  • the number k is any one of 1, 2, and 3.
  • the transistor M8 functions as a current source.
  • the state of the clamp switch SWclp1 is either one of an on state and an off state.
  • the capacitive element Cclp1 is clamped to the clamp voltage Vclp.
  • the capacitive element Cclp1 holds the pixel signal based on the difference between the reset level and the signal level output from the pixel 3 to the vertical signal line 70.
  • the capacitive element Cclp1 is a clamp capacitance.
  • the amplification transistor M9 amplifies the pixel signal held in the capacitive element Cclp1 to generate a differential signal (second signal) based on the difference between the reset level and the signal level.
  • the column selection transistor M10 outputs the second signal generated by the amplification transistor M9 to the second horizontal signal line 72.
  • the column selection transistor M10 in the first column is controlled based on the selection pulse HSR[1].
  • the column selection transistor M10 in the second column is controlled based on the selection pulse HSR[2].
  • the column selection transistor M10 in the third column is controlled based on the selection pulse HSR[3].
  • FIG. 16 shows the configuration of the reference signal generator 9.
  • the reference signal generation unit 9 illustrated in FIG. 16 includes a sample switch SWsh, a capacitive element Csh, a buffer Bf1, a capacitive element Cclp2, a clamp switch SWclp2, an amplification transistor M9a, and a selection transistor M10a.
  • the sample switch SWsh has a first terminal and a second terminal.
  • the reference voltage Vref is input to the first terminal of the sample switch SWsh.
  • the reference voltage Vref is generated based on the power supply voltage VDD.
  • the second terminal of the sample switch SWsh is connected to the capacitive element Csh.
  • the capacitive element Csh has a first terminal and a second terminal.
  • the first terminal of the capacitive element Csh is connected to the second terminal of the sample switch SWsh.
  • the second terminal of the capacitive element Csh is connected to the ground.
  • the buffer Bf1 has a first terminal and a second terminal.
  • the first terminal of the buffer Bf1 is connected to the second terminal of the sample switch SWsh and the first terminal of the capacitive element Csh.
  • the second terminal of the buffer Bf1 is connected to the capacitive element Cclp2.
  • the capacitive element Cclp2 has a first terminal and a second terminal.
  • the first terminal of the capacitive element Cclp2 is connected to the second terminal of the buffer Bf1.
  • the second terminal of the capacitive element Cclp2 is connected to the clamp switch SWclp2 and the amplification transistor M9a.
  • the clamp switch SWclp2 has a first terminal and a second terminal.
  • the first terminal of the clamp switch SWclp2 is connected to the second terminal of the capacitive element Cclp2.
  • the clamp voltage Vclp is input to the second terminal of the clamp switch SWclp2.
  • the amplification transistor M9a and the selection transistor M10a are NMOS transistors. Each of amplification transistor M9a and selection transistor M10a has a gate terminal, a source terminal, and a drain terminal. The power supply voltage VDD is input to the drain terminal of the amplification transistor M9a. The source terminal of the amplification transistor M9a is connected to the selection transistor M10a. The gate terminal of the amplification transistor M9a is connected to the second terminal of the capacitive element Cclp2.
  • the drain terminal of the selection transistor M10a is connected to the source terminal of the amplification transistor M9a.
  • the source terminal of the selection transistor M10a is connected to the first horizontal signal line 71.
  • the power supply voltage VDD is input to the gate terminal of the selection transistor M10a.
  • the state of the sample switch SWsh is either one of an on state and an off state.
  • the sample switch SWsh samples the reference voltage Vref.
  • the state of the sample switch SWsh changes from the ON state to the OFF state, the reference voltage Vref sampled by the sample switch SWsh is held in the capacitive element Cclp2 via the buffer Bf1.
  • the state of the clamp switch SWclp2 is either one of an on state and an off state.
  • the clamp switch SWclp2 is in the ON state, the capacitive element Cclp2 is clamped to the clamp voltage Vclp.
  • the operation of the clamp switch SWclp2 is controlled based on the clamp pulse ⁇ CLP.
  • the capacitive element Cclp2 holds the voltage (Vclp) clamped by the clamp switch SWclp2.
  • the capacitive element Cclp2 is a clamp capacitance.
  • the amplification transistor M9a generates a reference signal by amplifying the voltage of the second terminal of the capacitive element Cclp2. That is, the amplification transistor M9a generates a reference signal based on the voltage of the second terminal of the capacitive element Cclp2.
  • the selection transistor M10a outputs the reference signal generated by the amplification transistor M9a to the first horizontal signal line 71. This reference signal is the first signal.
  • the capacitive element Cclp2, the clamp switch SWclp2, the amplification transistor M9a, and the selection transistor M10a in the reference signal generation unit 9 have the same configurations as the capacitive element Cclp1, the clamp switch SWclp1, the amplification transistor M9, and the column selection transistor M10 in the column circuit 8a, respectively. Have.
  • FIG. 17 shows the operation of the image pickup apparatus 1a.
  • the reading operation of the pixel signal by the imaging device 1a will be described.
  • an operation in which the image pickup apparatus 1a reads a pixel signal from the pixel 3 in the first row in the array of the plurality of pixels 3 will be described.
  • FIG. 17 the waveforms of the selection pulse ⁇ Sel_1, the reset pulse ⁇ Rst_1, the clamp pulse ⁇ CLP, the transfer pulse ⁇ Tx_1, the selection pulse HSR[1], and the selection pulse HSR[2] are shown.
  • the waveforms of the control signals of the switch SWP and the switch SWN are shown.
  • the horizontal direction in FIG. 17 indicates time, and the vertical direction in FIG. 17 indicates voltage.
  • 1H period in which the pixel signals of one row are read out includes an H blank period and an H valid period.
  • the H blank period includes a first read period TR in which the first pixel signal at the reset level is read and a second read period TS in which the second pixel signal at the signal level is read.
  • the voltage level of each of the selection pulse ⁇ Sel_1, the reset pulse ⁇ Rst_1, the clamp pulse ⁇ CLP, the transfer pulse ⁇ Tx_1, the selection pulse HSR[1], and the selection pulse HSR[2] is low level.
  • the H valid period includes a plurality of periods in which the AD conversion circuit 10 sequentially performs a plurality of AD conversions.
  • the period in which each AD conversion is executed includes a sample hold period and an AD conversion period. Before the first AD conversion is executed, the voltage level of each control signal of the switch SWP and the switch SWN is low level.
  • the voltage level of the selection pulse ⁇ Sel_1 output from the vertical selection unit 4 to the pixel 3 in the first row changes from the low level to the high level. Therefore, the state of the selection transistor Sel is turned on. As a result, the pixels 3 in the first row are selected in the first read period TR.
  • the voltage level of the sample hold pulse ⁇ SWsh changes from low level to high level. Therefore, the state of the sample switch SWsh is turned on. After that, the voltage level of the sample hold pulse ⁇ SWsh changes from the high level to the low level. Therefore, the state of the sample switch SWsh is turned off.
  • the reference voltage Vref sampled by the sample switch SWsh is held in the capacitive element Cclp2 via the buffer Bf1.
  • the second read period TS ends, the H valid period starts, and the first AD conversion starts.
  • the voltage level of the selection pulse HSR[1] output from the horizontal selection unit 6 to the first column circuit 8a changes from the low level to the high level. Therefore, the column selection transistor M10 is turned on.
  • a difference signal (second signal) based on the difference between the reset level and the signal level of the pixels 3 in the first row and the first column is output to the second horizontal signal line 72.
  • the voltage level of the selection pulse HSR[1] changes from the high level to the low level. Therefore, the column selection transistor M10 is turned off.
  • the period during which the first AD conversion is executed includes the sample hold period SH1 and the AD conversion period AD1.
  • the operation of the AD conversion circuit 10 in the sample hold period SH1 and the AD conversion period AD1 is similar to the operation shown in FIG.
  • the voltage level of the selection pulse HSR[1] changes from the high level to the low level
  • the first AD conversion ends and the second AD conversion starts.
  • the voltage level of the selection pulse HSR[2] changes from low level to high level.
  • the second signal based on the difference between the reset level and the signal level of the pixels 3 in the first row and the second column is read.
  • the period in which the second AD conversion is executed includes the sample hold period SH2 and the AD conversion period AD2.
  • the operation of the AD conversion circuit 10 in the sample hold period SH2 and the AD conversion period AD2 is similar to the operation of the AD conversion circuit 10 in the sample hold period SH1 and the AD conversion period AD1.
  • the imaging device 1a reads out pixel signals from the pixels 3 in the second row. This operation is similar to the operation shown in FIG.
  • the image pickup apparatus 1a includes an AD conversion circuit 10, an image pickup unit 2, a column circuit 8a, and a reference signal generation unit 9.
  • the imaging unit 2 has a plurality of pixels 3 arranged in a matrix. Each pixel 3 included in the plurality of pixels 3 outputs a first pixel signal having a reset level and a second pixel signal having a signal level.
  • the column circuit 8a is arranged so as to correspond to one or more columns in the array of the plurality of pixels 3 and is electrically connected to the imaging unit 2.
  • the column circuit 8a generates a second signal based on the difference between the reset level and the signal level.
  • the reference signal generation unit 9 generates a reference signal (first signal) having a predetermined level.
  • the image pickup apparatus 1a may have, in place of the AD conversion circuit 10, one of the AD conversion circuit 11 shown in FIG. 7 and the AD conversion circuit 12 shown in FIG.
  • the image pickup apparatus may not have a configuration other than the configuration corresponding to each of the AD conversion circuit 10, the image pickup unit 2, the column circuit 8a, and the reference signal generation unit 9.
  • the imaging device 1a of the fifth embodiment has an AD conversion circuit 10 that can improve the accuracy of digital data. Therefore, the imaging device 1a can improve the accuracy of digital data.
  • FIG. 18 shows the configuration of the endoscope system 100 according to the sixth embodiment of the present invention.
  • the endoscope system 100 has the imaging device 1 of the fourth embodiment.
  • the endoscope system 100 shown in FIG. 18 has a scope 102 and a housing 107.
  • the scope 102 has the imaging device 1, a lens 103, a lens 104, and a fiber 106.
  • the imaging device 1, the lens 103, and the lens 104 are arranged at the tip of the scope 102.
  • the housing 107 has an image processing unit 108, a light source device 109, and a setting unit 110.
  • the image processing unit 108 can be configured by at least one of a processor and a logic circuit.
  • the processor is at least one of a CPU (Central Processing Unit), a DSP (Digital Signal Processor), and a GPU (Graphics Processing Unit).
  • the logic circuit is at least one of an ASIC (Application Specific Integrated Circuit) and an FPGA (Field-Programmable Gate Array).
  • the lens 103 forms an image of the reflected light from the subject 120 on the imaging device 1.
  • the fiber 106 transfers the illumination light with which the subject 120 is irradiated.
  • the lens 104 irradiates the subject 120 with the illumination light transferred by the fiber 106.
  • the light source device 109 has a light source that generates illumination light with which the subject 120 is irradiated.
  • the image processing unit 108 generates a captured image by performing a predetermined process on the signal output from the imaging device 1.
  • the image processing unit 108 may have a function of a correction device.
  • the AD conversion circuit 10 in the image pickup apparatus 1 sends the above-described first digital data, second digital data, and third digital data to the image processing unit 108 via the signal transmission path in the scope 102. Send to.
  • the image processing unit 108 can receive the first digital data, the second digital data, and the third digital data, and can correct the first digital data described above.
  • the setting unit 110 controls the imaging mode of the endoscope system 100.
  • the configuration of the endoscope system 100 is not limited to the above configuration.
  • the endoscope system according to each aspect of the present invention may not have a configuration corresponding to at least one of the lens 103, the lens 104, the fiber 106, the image processing unit 108, the light source device 109, and the setting unit 110. .
  • the image pickup apparatus 1a shown in FIG. 14 may be used.
  • the endoscope system 100 of the sixth embodiment has the image pickup apparatus 1 capable of improving the accuracy of digital data. Therefore, the endoscope system 100 can improve the accuracy of digital data.
  • the AD conversion device, the imaging device, the endoscope system, and the AD conversion method can improve the accuracy of digital data.

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Abstract

AD変換装置は、比較回路、上位DA変換回路、レベルシフト回路、下位DA変換回路、および補正装置を有する。前記比較回路は、第1の端子および第2の端子を有する。前記比較回路は、前記第1の端子に入力された信号の第1の電圧レベルと前記第2の端子に入力された信号の第2の電圧レベルとを比較する。前記上位DA変換回路は、前記第2の端子に電気的に接続された複数の容量素子を有する。前記複数の容量素子の容量値は2進数で重み付けされている。前記レベルシフト回路は、前記第2の端子に電気的に接続された1つ以上の容量素子を有する。前記下位DA変換回路は、前記第2の端子に電気的に接続された複数の容量素子を有する。

Description

AD変換装置、撮像装置、内視鏡システム、およびAD変換方法
 本発明は、AD変換装置、撮像装置、内視鏡システム、およびAD変換方法に関する。
 外部から入力される電磁波(光および放射線など)に対して感応性を有するセンサーが配置された物理量検知半導体装置が様々な分野で使われている。物理量はセンサーによって電気信号に変換される。例えば、撮像装置におけるセンサーは画素である。一般的に、基準レベルおよび信号レベルの各電気信号がセンサーから読み出される。例えば、撮像装置における基準レベルはリセットレベルである。特に、映像機器の分野において、物理量として、光を検知するCCD(Charge Coupled Device)型あるいはMOS(Metal Oxice Semiconductor)型の撮像装置が使われている。光は、電磁波の一例である。MOS型の撮像装置として、APS(Active Pixel Sensor)構成を持つ画素を備えた(C)MOS型撮像装置がある。APS構成を持つ画素は、光電変換部で生成された信号電荷に基づく画素信号を増幅し、かつ増幅された画素信号を出力する。
 撮像装置を使用する内視鏡システムにおいて、スコープの小型化のためには撮像装置の小型化が重要である。このため、一般的にCCD型撮像装置が使用されていた。しかし、CCD型撮像装置の出力はアナログであるため、スコープが長くなり、かつノイズの重畳による画質の劣化が問題であった。近年、これを解決するために、AD変換回路を内蔵したデジタル出力のCMOS型撮像装置が使用されるようになった。
 例えば、非特許文献1には、2種類のAD変換方法を使用してAD変換を実行するAD変換回路が開示されている。上位のデジタルデータは、逐次比較型AD変換によって生成される。下位のデジタルデータは、デジタルランプ信号を使用するAD変換によって生成される。
Chun-Cheng Liu,Mu-Chen Huang,Yu-Hsuan Tu,"A 12 bit 100MS/s SAR-Assisted Digital-Slope ADC,"IEEE Journal of Solid-State Circuits,pp.2941-2950,Vol.51,No.12,Dec. 2016.
 デジタルランプ信号の電圧レベルは、時間の経過に応じて増加または減少する。デジタルランプ信号を使用するAD変換では、デジタルランプ信号の電圧レベルが所定の条件を満たしたタイミングで、デジタル信号が保持される。そのデジタル信号は、そのタイミングに関連付けられた値を有する。実際には、回路遅延等に基づくレイテンシーが発生するため、デジタルランプ信号の電圧レベルが所定の条件を満たしたタイミングと、デジタルランプ信号が保持されるタイミングとは異なる。従来技術のAD変換回路において、レイテンシーに基づくデジタルデータの誤差を低減するための方法は提供されていない。
 本発明は、デジタルデータの精度を向上させることができるAD変換装置、撮像装置、内視鏡システム、およびAD変換方法を提供することを目的とする。
 本発明の第1の態様によれば、AD変換装置は、第1の信号の電圧レベルと第2の信号の電圧レベルとの差分に基づいてデジタルデータを生成する。前記AD変換装置は、比較回路、上位DA変換回路、レベルシフト回路、下位DA変換回路、および補正装置を有する。前記比較回路は、第1の端子および第2の端子を有する。前記比較回路は、前記第1の端子に入力された信号の第1の電圧レベルと前記第2の端子に入力された信号の第2の電圧レベルとを比較する。前記上位DA変換回路は、前記第2の端子に電気的に接続された複数の容量素子を有する。前記複数の容量素子の容量値は2進数で重み付けされている。前記レベルシフト回路は、前記第2の端子に電気的に接続された1つ以上の容量素子を有する。前記下位DA変換回路は、前記第2の端子に電気的に接続された複数の容量素子を有する。前記第1の信号が前記第1の端子に入力され、かつ前記第2の信号が前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子に保持された後、前記比較回路は、逐次比較動作を実行する。前記逐次比較動作が実行された後、前記レベルシフト回路は、前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子に保持された信号の電圧レベルを第1のレベルにシフトさせることにより第1のレベルシフトを実行する。前記第1のレベルシフトが実行された後、デジタルランプ信号に基づく電圧レベルを持つ信号が前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子および前記下位DA変換回路の前記複数の容量素子に保持される。前記比較回路は、前記第1の電圧レベルと前記第2の電圧レベルとを比較することにより第1の比較動作を実行する。第3の信号が前記第1の端子に入力され、かつ前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子に保持された後、前記レベルシフト回路は、前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子に保持された信号の電圧レベルを第2のレベルにシフトさせることにより第2のレベルシフトを実行する。前記第2のレベルシフトが実行された後、前記デジタルランプ信号に基づく電圧レベルを持つ信号が前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子および前記下位DA変換回路の前記複数の容量素子に保持される。前記比較回路は、前記第1の電圧レベルと前記第2の電圧レベルとを比較することにより第2の比較動作を実行する。前記第2の比較動作が実行された後、前記レベルシフト回路は、前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子に保持された信号の電圧レベルを、前記第2のレベルと異なる第3のレベルにシフトさせることにより第3のレベルシフトを実行する。前記第3のレベルシフトが実行された後、前記デジタルランプ信号に基づく電圧レベルを持つ信号が前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子および前記下位DA変換回路の前記複数の容量素子に保持される。前記比較回路は、前記第1の電圧レベルと前記第2の電圧レベルとを比較することにより第3の比較動作を実行する。前記補正装置は、第2のデジタルデータおよび第3のデジタルデータに基づいて、第1のデジタルデータを補正する。前記第1のデジタルデータは前記第1の比較動作により生成される。前記第2のデジタルデータは前記第2の比較動作により生成される。前記第3のデジタルデータは前記第3の比較動作により生成される。
 本発明の第2の態様によれば、第1の態様において、前記レベルシフト回路の前記1つ以上の容量素子は、第1の容量素子および第2の容量素子を含んでもよい。前記レベルシフト回路は、前記第1の容量素子の電圧レベルを変化させることにより前記第2のレベルシフトを実行してもよい。前記レベルシフト回路は、前記第2の容量素子の電圧レベルを変化させることにより前記第3のレベルシフトを実行してもよい。
 本発明の第3の態様によれば、第2の態様において、前記逐次比較動作が実行されたとき、前記デジタルデータに含まれる上位データが生成されてもよい。前記上位データは、複数ビットのデータを含んでもよい。前記第1の比較動作が実行されたとき、前記デジタルデータに含まれる下位データが生成されてもよい。前記下位データは、複数ビットのデータを含んでもよい。前記第2の容量素子の容量値は、前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子に含まれる第3の容量素子の容量値と略同じであってもよい。前記第3の容量素子は、前記上位データの最下位ビットのデータを生成するために使用されてもよい。
 本発明の第4の態様によれば、第2の態様において、前記逐次比較動作が実行されたとき、前記デジタルデータに含まれる上位データが生成されてもよい。前記上位データは、複数ビットのデータを含んでもよい。前記第1の比較動作が実行されたとき、前記デジタルデータに含まれる下位データが生成されてもよい。前記下位データは、複数ビットのデータを含んでもよい。前記第2の容量素子は、前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子に含まれる第3の容量素子であってもよい。前記第3の容量素子は、前記上位データの最下位ビットのデータを生成するために使用されてもよい。
 本発明の第5の態様によれば、第2の態様において、前記逐次比較動作が実行されたとき、前記デジタルデータに含まれる上位データが生成されてもよい。前記上位データは、複数ビットのデータを含んでもよい。前記第1の比較動作が実行されたとき、前記デジタルデータに含まれる下位データが生成されてもよい。前記下位データは、複数ビットのデータを含んでもよい。前記第1の容量素子の容量値は、前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子に含まれる第4の容量素子の容量値と略同じであってもよい。
 本発明の第6の態様によれば、第2の態様において、前記逐次比較動作が実行されたとき、前記デジタルデータに含まれる上位データが生成されてもよい。前記上位データは、複数ビットのデータを含んでもよい。前記第1の比較動作が実行されたとき、前記デジタルデータに含まれる下位データが生成されてもよい。前記下位データは、複数ビットのデータを含んでもよい。前記第1の容量素子は、前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子に含まれる第4の容量素子であってもよい。
 本発明の第7の態様によれば、第1から第6の態様のいずれか1つにおいて、前記第2のレベルは、前記第1のレベルがとりうる範囲の最小値であってもよい。前記第3のレベルは、前記範囲の最大値であってもよい。
 本発明の第8の態様によれば、第1から第6の態様のいずれか1つにおいて、前記第2のレベルは、前記第1のレベルがとりうる範囲の最大値であってもよい。前記第3のレベルは、前記範囲の最小値であってもよい。
 本発明の第9の態様によれば、第1から第8の態様のいずれか1つにおいて、第3の信号が前記第1の端子に入力され、かつ前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子に保持された後、前記逐次比較動作が実行されることなく、前記レベルシフト回路は、前記第2のレベルシフトおよび前記第3のレベルシフトを実行してもよい。
 本発明の第10の態様によれば、第1から第9の態様のいずれか1つにおいて、前記補正装置は、前記第2のデジタルデータおよび前記第3のデジタルデータで規定される範囲における前記第1のデジタルデータの位置に基づいて前記第1のデジタルデータを補正してもよい。
 本発明の第11の態様によれば、撮像装置は、前記AD変換装置、撮像部、および列回路を有する。前記撮像部は、行列状に配置された複数の画素を有する。前記複数の画素に含まれる各画素は、リセットレベルを持つ第1の画素信号と、信号レベルを持つ第2の画素信号とを出力する。前記列回路は、前記複数の画素の配列における1つ以上の列に対応するように配置され、かつ前記撮像部に電気的に接続されている。前記列回路は、前記第1の画素信号に基づく前記第1の信号と、前記第2の画素信号に基づく前記第2の信号とを生成する。
 本発明の第12の態様によれば、撮像装置は、前記AD変換装置、撮像部、列回路、および信号生成回路を有する。前記撮像部は、行列状に配置された複数の画素を有する。前記複数の画素に含まれる各画素は、リセットレベルを持つ第1の画素信号と、信号レベルを持つ第2の画素信号とを出力する。前記列回路は、前記複数の画素の配列における1つ以上の列に対応するように配置され、かつ前記撮像部に電気的に接続されている。前記列回路は、前記リセットレベルおよび前記信号レベルの差分に基づいて前記第2の信号を生成する。前記信号生成回路は、所定レベルを持つ前記第1の信号を生成する。
 本発明の第13の態様によれば、第11または第12の態様において、前記レベルシフト回路は、前記第2のレベルシフトをブランキング期間に実行してもよい。前記ブランキング期間は、前記第1の画素信号が前記撮像部から出力される期間と異なり、かつ前記第2の画素信号が前記撮像部から出力される期間と異なってもよい。前記比較回路は、前記第2の比較動作を前記ブランキング期間に実行してもよい。前記レベルシフト回路は、前記第3のレベルシフトを前記ブランキング期間に実行してもよい。前記比較回路は、前記第3の比較動作を前記ブランキング期間に実行してもよい。
 本発明の第14の態様によれば、第11から第13の態様のいずれか1つにおいて、内視鏡システムは、前記撮像装置を有する。
 本発明の第15の態様によれば、AD変換方法は、AD変換装置において実行される第1のステップ、第2のステップ、第3のステップ、第4のステップ、第5のステップ、第6のステップ、第7のステップ、および第8のステップを有する。前記AD変換装置は、第1の信号の電圧レベルと第2の信号の電圧レベルとの差分に基づいてデジタルデータを生成する。前記AD変換装置は、比較回路、上位DA変換回路、レベルシフト回路、下位DA変換回路、および補正装置を有する。前記比較回路は、第1の端子および第2の端子を有する。前記比較回路は、前記第1の端子に入力された信号の第1の電圧レベルと前記第2の端子に入力された信号の第2の電圧レベルとを比較する。前記上位DA変換回路は、前記第2の端子に電気的に接続された複数の容量素子を有する。前記複数の容量素子の容量値は2進数で重み付けされている。前記レベルシフト回路は、前記第2の端子に電気的に接続された1つ以上の容量素子を有する。前記下位DA変換回路は、前記第2の端子に電気的に接続された複数の容量素子を有する。前記第1の信号が前記第1の端子に入力され、かつ前記第2の信号が前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子に保持された後、前記比較回路は、前記第1のステップにおいて、逐次比較動作を実行する。前記逐次比較動作が実行された後、前記レベルシフト回路は、前記第2のステップにおいて、前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子に保持された信号の電圧レベルを第1のレベルにシフトさせることにより第1のレベルシフトを実行する。前記第1のレベルシフトが実行された後、デジタルランプ信号に基づく電圧レベルを持つ信号が前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子および前記下位DA変換回路の前記複数の容量素子に保持される。前記比較回路は、前記第3のステップにおいて、前記第1の電圧レベルと前記第2の電圧レベルとを比較することにより第1の比較動作を実行する。第3の信号が前記第1の端子に入力され、かつ前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子に保持された後、前記レベルシフト回路は、前記第4のステップにおいて、前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子に保持された信号の電圧レベルを第2のレベルにシフトさせることにより第2のレベルシフトを実行する。前記第2のレベルシフトが実行された後、前記デジタルランプ信号に基づく電圧レベルを持つ信号が前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子および前記下位DA変換回路の前記複数の容量素子に保持される。前記比較回路は、前記第5のステップにおいて、前記第1の電圧レベルと前記第2の電圧レベルとを比較することにより第2の比較動作を実行する。前記第2の比較動作が実行された後、前記レベルシフト回路は、前記第6のステップにおいて、前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子に保持された信号の電圧レベルを、前記第2のレベルと異なる第3のレベルにシフトさせることにより第3のレベルシフトを実行する。前記第3のレベルシフトが実行された後、前記デジタルランプ信号に基づく電圧レベルを持つ信号が前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子および前記下位DA変換回路の前記複数の容量素子に保持される。前記比較回路は、前記第7のステップにおいて、前記第1の電圧レベルと前記第2の電圧レベルとを比較することにより第3の比較動作を実行する。前記補正装置は、前記第8のステップにおいて、第2のデジタルデータおよび第3のデジタルデータに基づいて、第1のデジタルデータを補正する。前記第2のデジタルデータは前記第2の比較動作により生成される。前記第3のデジタルデータは前記第3の比較動作により生成される。前記第1のデジタルデータは前記第1の比較動作により生成される。
 上記の各態様によれば、AD変換装置、撮像装置、内視鏡システム、およびAD変換方法は、デジタルデータの精度を向上させることができる。
本発明の第1の実施形態のAD変換装置の構成を示す回路図である。 本発明の第1の実施形態のAD変換装置の動作の手順を示すフローチャートである。 本発明の第1の実施形態のAD変換装置の動作を示すタイミングチャートである。 本発明の第1の実施形態のAD変換装置の動作を示すタイミングチャートである。 本発明の第1の実施形態のAD変換装置の動作を示すタイミングチャートである。 本発明の第1の実施形態のAD変換装置の動作を示すタイミングチャートである。 本発明の第2の実施形態のAD変換装置の構成を示す回路図である。 本発明の第3の実施形態のAD変換装置の構成を示す回路図である。 本発明の第3の実施形態のAD変換装置の動作を示すタイミングチャートである。 本発明の第4の実施形態の撮像装置の構成を示すブロック図である。 本発明の第4の実施形態の撮像装置における画素の構成を示す回路図である。 本発明の第4の実施形態の撮像装置における列回路の構成を示す回路図である。 本発明の第4の実施形態の撮像装置の動作を示すタイミングチャートである。 本発明の第5の実施形態の撮像装置の構成を示すブロック図である。 本発明の第5の実施形態の撮像装置における列回路の構成を示す回路図である。 本発明の第5の実施形態の撮像装置における基準信号生成部の構成を示す回路図である。 本発明の第5の実施形態の撮像装置の動作を示すタイミングチャートである。 本発明の第6の実施形態の内視鏡システムの構成を示すブロック図である。
 図面を参照し、本発明の実施形態を説明する。
 (第1の実施形態)
 図1は、本発明の第1の実施形態のAD変換回路10(AD変換装置)の構成を示す。図1に示すAD変換回路10は、比較部20、DA変換部30、および制御回路40を有する。比較部20は、比較回路21を有する。DA変換部30は、上位DA変換回路31、レベルシフト回路32、および下位DA変換回路33を有する。制御回路40は、後述する第1のデジタルデータの補正を行う補正装置として補正回路41を有する。
 AD変換回路10の概略構成について説明する。AD変換回路10は、第1の信号INPの電圧レベルと第2の信号INNの電圧レベルとの差分に基づいてデジタルデータを生成する。比較回路21は、第1の端子T21および第2の端子T22を有する。比較回路21は、第1の端子T21に入力された信号の第1の電圧レベルと第2の端子T22に入力された信号の第2の電圧レベルとを比較する。上位DA変換回路31は、第2の端子T22に電気的に接続された複数の容量素子C31を有する。複数の容量素子C31の容量値は2進数で重み付けされている。レベルシフト回路32は、第2の端子T22に電気的に接続された1つ以上の容量素子C32を有する。下位DA変換回路33は、第2の端子T22に電気的に接続された複数の容量素子C33を有する。
 第1の信号INPが第1の端子T21に入力され、かつ第2の信号INNが上位DA変換回路31の複数の容量素子C31に保持された後、比較回路21は、逐次比較動作を実行する。逐次比較動作が実行された後、レベルシフト回路32は、上位DA変換回路31の複数の容量素子C31に保持された信号の電圧レベルを第1のレベルにシフトさせることにより第1のレベルシフトを実行する。第1のレベルシフトが実行された後、デジタルランプ信号に基づく電圧レベルを持つ信号が上位DA変換回路31の複数の容量素子C31および下位DA変換回路33の複数の容量素子C33に保持される。第1のレベルシフトが実行された後、比較回路21は、第1の電圧レベルと第2の電圧レベルとを比較することにより第1の比較動作を実行する。
 第3の信号(第1の信号INP)が第1の端子T21に入力され、かつ上位DA変換回路31の複数の容量素子C31に保持された後、レベルシフト回路32は、上位DA変換回路31の複数の容量素子C31に保持された信号の電圧レベルを第2のレベルにシフトさせることにより第2のレベルシフトを実行する。第2のレベルシフトが実行された後、デジタルランプ信号に基づく電圧レベルを持つ信号が上位DA変換回路31の複数の容量素子C31および下位DA変換回路33の複数の容量素子C33に保持される。第2のレベルシフトが実行された後、比較回路21は、第1の電圧レベルと第2の電圧レベルとを比較することにより第2の比較動作を実行する。第2の比較動作が実行された後、レベルシフト回路32は、上位DA変換回路31の複数の容量素子C31に保持された信号の電圧レベルを、第2のレベルと異なる第3のレベルにシフトさせることにより第3のレベルシフトを実行する。第3のレベルシフトが実行された後、デジタルランプ信号に基づく電圧レベルを持つ信号が上位DA変換回路31の複数の容量素子C31および下位DA変換回路33の複数の容量素子C33に保持される。第3のレベルシフトが実行された後、比較回路21は、第1の電圧レベルと第2の電圧レベルとを比較することにより第3の比較動作を実行する。補正回路41は、第2のデジタルデータおよび第3のデジタルデータに基づいて、第1のデジタルデータを補正する。第1のデジタルデータは第1の比較動作により生成される。第2のデジタルデータは第2の比較動作により生成される。第3のデジタルデータは第3の比較動作により生成される。
 AD変換は、第1のAD変換および第2のAD変換を含む。AD変換回路10は、デジタルデータに含まれる上位データを生成するために第1のAD変換を実行する。第1のAD変換は、逐次比較動作を含む。AD変換回路10は、デジタルデータに含まれる下位データを生成するために第2のAD変換を実行する。下位データは、第1のデジタルデータ、第2のデジタルデータ、および第3のデジタルデータのいずれか1つである。第2のAD変換は、第1の比較動作、第2の比較動作、および第3の比較動作のいずれか1つを含む。
 AD変換回路10の詳細な構成について説明する。図1に示す比較部20は、比較回路21、容量素子C1、スイッチSWP、スイッチSWN、およびスイッチSWMを有する。
 スイッチSWPは、第1の端子Tswp1および第2の端子Tswp2を有する。第1の信号INPが第1の端子Tswp1に入力される。第2の端子Tswp2は、比較回路21および容量素子C1に接続されている。スイッチSWPの状態は、オン状態およびオフ状態のいずれか1つになる。スイッチSWPの状態がオン状態であるとき、第1の端子Tswp1と第2の端子Tswp2とが電気的に接続される。このとき、第1の信号INPが容量素子C1に入力される。スイッチSWPの状態がオフ状態であるとき、第1の端子Tswp1と第2の端子Tswp2とが電気的に絶縁される。スイッチSWPの状態がオン状態であるとき、スイッチSWPは、第1の信号INPの電圧をサンプルする。スイッチSWPの状態がオン状態からオフ状態に変化したとき、スイッチSWPによってサンプルされた電圧が容量素子C1に保持される。
 スイッチSWNは、第1の端子Tswn1および第2の端子Tswn2を有する。第2の信号INNまたは第1の信号INPが第1の端子Tswn1に入力される。第2の端子Tswn2は、比較回路21およびDA変換部30に接続されている。スイッチSWNの状態は、オン状態およびオフ状態のいずれか1つになる。スイッチSWNの状態がオン状態であるとき、第1の端子Tswn1と第2の端子Tswn2とが電気的に接続される。このとき、第2の信号INNまたは第1の信号INPが比較回路21およびDA変換部30に入力される。スイッチSWNの状態がオフ状態であるとき、第1の端子Tswn1と第2の端子Tswn2とが電気的に絶縁される。スイッチSWNの状態がオン状態であるとき、スイッチSWNは、第2の信号INNの電圧または第1の信号INPの電圧をサンプルする。スイッチSWNの状態がオン状態からオフ状態に変化したとき、スイッチSWNによってサンプルされた電圧がDA変換部30の容量素子に保持される。
 スイッチSWMは、第1の端子Tswm1および第2の端子Tswm2を有する。第1の端子Tswm1は、スイッチSWPの第1の端子Tswp1に接続されている。第2の端子Tswm2は、スイッチSWNの第1の端子Tswn1に接続されている。スイッチSWMの状態は、オン状態およびオフ状態のいずれか1つになる。スイッチSWMの状態がオン状態であるとき、第1の端子Tswm1と第2の端子Tswm2とが電気的に接続される。スイッチSWMの状態がオフ状態であるとき、第1の端子Tswm1と第2の端子Tswm2とが電気的に絶縁される。スイッチSWP、スイッチSWN、およびスイッチSWMの各々の状態がオン状態であるとき、比較回路21の第1の端子T21に入力される信号の電圧レベルと、比較回路21の第2の端子T22に入力される信号の電圧レベルとは、同じである。例えば、第1の信号INPが比較回路21の第1の端子T21および比較回路21の第2の端子T22に入力される。スイッチSWMの状態は、信号INMに基づいて制御される。
 容量素子C1は、第1の端子Tc11および第2の端子Tc12を有する。第1の端子Tc11は、スイッチSWPの第2の端子Tswp2および比較回路21に接続されている。第2の端子Tc12は、グランドに接続されている。スイッチSWPによってサンプルされた電圧が第1の端子Tc11に入力される。容量素子C1は、スイッチSWPによってサンプルされた電圧を保持する。
 比較回路21は、差動アンプとして構成されている。比較回路21は、トランジスタN1、トランジスタN2、トランジスタN3、トランジスタP1、およびトランジスタP2を有する。トランジスタN1、トランジスタN2、およびトランジスタN3は、NMOSトランジスタである。トランジスタP1およびトランジスタP2は、PMOSトランジスタである。図1に示す各トランジスタは、ゲート端子、ソース端子、およびドレイン端子を有する。比較回路21は、第1の端子T21、第2の端子T22、および第3の端子T23を有する。
 電源電圧がトランジスタP1およびトランジスタP2の各々のソース端子に入力される。トランジスタP1のゲート端子とトランジスタP2のゲート端子とは、互いに接続されている。
 トランジスタN1のドレイン端子は、トランジスタP1のドレイン端子およびトランジスタP1のゲート端子に接続されている。トランジスタN1のゲート端子は、比較回路21の第1の端子T21である。トランジスタN1のゲート端子は、スイッチSWPの第2の端子Tswp2および容量素子C1の第1の端子Tc11に接続されている。
 トランジスタN2のドレイン端子は、トランジスタP2のドレイン端子および比較回路21の第3の端子T23に接続されている。トランジスタN2のゲート端子は、比較回路21の第2の端子T22である。トランジスタN2のゲート端子は、スイッチSWNの第2の端子Tswn2およびDA変換部30に接続されている。
 トランジスタN3のドレイン端子は、トランジスタN1のソース端子およびトランジスタN2のソース端子に接続されている。トランジスタN3のソース端子は、グランドに接続されている。電流値を制御するためのバイアス電圧BIASがトランジスタN3のゲート端子に入力される。比較回路21は、時間連続型のコンパレータである。
 比較回路21は、第1の端子T21の電圧レベルと第2の端子T22の電圧レベルとを比較する。比較回路21は、比較結果に基づく信号を第3の端子T23から出力する。第1の端子T21の電圧レベルが第2の端子T22の電圧レベルよりも大きい場合、比較回路21は、ハイレベル(Hレベル)およびローレベル(Lレベル)の一方を持つ信号を出力する。例えば、比較回路21は、ハイレベルを持つ信号を出力する。第1の端子T21の電圧レベルが第2の端子T22の電圧レベルよりも小さい場合、比較回路21は、ハイレベルおよびローレベルの他方を持つ信号を第3の端子T23から出力する。例えば、比較回路21は、ローレベルを持つ信号を出力する。
 比較回路21の構成は、図1に示す構成に限らない。説明を容易にするために、図1に示す比較回路21はシングルエンド型のコンパレータである。比較回路21は全差動型のコンパレータであってもよい。
 上位DA変換回路31は、複数の容量素子C31および複数のスイッチSW1を有する。図1において、代表として1つの容量素子C31の参照符号および1つのスイッチSW1の参照符号が示されている。
 容量素子C31は、第1の端子Tc311および第2の端子Tc312を有する。第1の端子Tc311はトッププレートであり、かつ第2の端子Tc312はボトムプレートである。第1の端子Tc311は、DA変換部30の出力端子T30に接続されている。第2の端子Tc312は、スイッチSW1に接続されている。スイッチSWNによってサンプルされた電圧が第1の端子Tc311に入力される。容量素子C31は、スイッチSWNによってサンプルされた電圧を保持する。比較回路21が第1のAD変換のための逐次比較動作を実行した後、容量素子C31は、残差信号の電圧を保持する。
 図1に示す例では、上位DA変換回路31は5個の容量素子C31を有する。各容量素子C31は、2進数で重み付けされた容量値を持つ。例えば、5個の容量素子C31の容量値はそれぞれ、128Cu、64Cu、32Cu、16Cu、および8Cuである。容量値Cuは、単位容量値を示す。
 図1に示す例では、上位DA変換回路31は5個のスイッチSW1を有する。スイッチSW1は、入力端子IN、入力端子H、入力端子L、および出力端子OUTを有する。信号D7からD3のいずれか1つが、スイッチSW1の入力端子INに入力される。信号D7からD3は、AD変換結果であるデジタルデータの上位データに対応する。信号D7からD3の電圧レベルは、ハイレベルおよびローレベルのいずれか1つになる。参照電圧VREFHがスイッチSW1の入力端子Hに入力される。参照電圧VREFLがスイッチSW1の入力端子Lに入力される。参照電圧VREFHは、参照電圧VREFLよりも高い。スイッチSW1の出力端子OUTは、容量素子C31の第2の端子Tc312に接続されている。
 スイッチSW1の状態は、第1の状態および第2の状態のいずれか1つになる。スイッチSW1の状態は、入力端子INに入力された信号に基づいて制御される。入力端子INに入力された信号の電圧レベルがハイレベルであるとき、スイッチSW1の状態は第1の状態である。入力端子INに入力された信号の電圧レベルがローレベルであるとき、スイッチSW1の状態は第2の状態である。スイッチSW1の状態が第1の状態であるとき、スイッチSW1は、入力端子Hに入力された参照電圧VREFHを出力端子OUTから出力する。スイッチSW1の状態が第2の状態であるとき、スイッチSW1は、入力端子Lに入力された参照電圧VREFLを出力端子OUTから出力する。
 スイッチSW1から出力された参照電圧VREFHまたは参照電圧VREFLが容量素子C31の第2の端子Tc312に入力される。比較回路21が第1のAD変換のための逐次比較動作を開始する前、容量素子C31の第2の端子Tc312の電圧レベルは参照電圧VREFLである。容量素子C31の第2の端子Tc312の電圧レベルが参照電圧VREFLから参照電圧VREFHに変化したとき、容量素子C31の第1の端子Tc311の電圧レベルが増加する。
 容量値128Cuを持つ容量素子C31の第2の端子Tc312の電圧レベルが参照電圧VREFLから参照電圧VREFHに変化したとき、容量素子C31の第1の端子Tc311の電圧レベルは、VREFH×(128Cu/トータルの容量値)だけ増加する。つまり、DA変換部30の出力端子T30の電圧レベルは、128Vcuだけ増加する。電圧レベルVcuは、単位電圧レベルである。電圧レベルVcuは、VREFH×(Cu/トータルの容量値)である。トータルの容量値は、DA変換部30が有する複数の容量素子の容量値の合計である。容量値64Cuを持つ容量素子C31の第2の端子Tc312の電圧レベルが参照電圧VREFLから参照電圧VREFHに変化したとき、容量素子C31の第1の端子Tc311の電圧レベルは、VREFH×(64Cu/トータルの容量値)だけ増加する。つまり、DA変換部30の出力端子T30の電圧レベルは、64Vcuだけ増加する。容量値32Cuを持つ容量素子C31の第2の端子Tc312の電圧レベルが参照電圧VREFLから参照電圧VREFHに変化したとき、容量素子C31の第1の端子Tc311の電圧レベルは、VREFH×(32Cu/トータルの容量値)だけ増加する。つまり、DA変換部30の出力端子T30の電圧レベルは、32Vcuだけ増加する。
 容量値16Cuを持つ容量素子C31の第2の端子Tc312の電圧レベルが参照電圧VREFLから参照電圧VREFHに変化したとき、容量素子C31の第1の端子Tc311の電圧レベルは、VREFH×(16Cu/トータルの容量値)だけ増加する。つまり、DA変換部30の出力端子T30の電圧レベルは、16Vcuだけ増加する。容量値8Cuを持つ容量素子C31の第2の端子Tc312の電圧レベルが参照電圧VREFLから参照電圧VREFHに変化したとき、容量素子C31の第1の端子Tc311の電圧レベルは、VREFH×(8Cu/トータルの容量値)だけ増加する。つまり、DA変換部30の出力端子T30の電圧レベルは、8Vcuだけ増加する。
 レベルシフト回路32は、1つ以上の容量素子C32および1つ以上のスイッチSW2を有する。図1において、代表として1つの容量素子C32の参照符号および1つのスイッチSW2の参照符号が示されている。
 容量素子C32は、第1の端子Tc321および第2の端子Tc322を有する。第1の端子Tc321はトッププレートであり、かつ第2の端子Tc322はボトムプレートである。第1の端子Tc321は、DA変換部30の出力端子T30に接続されている。第2の端子Tc322は、スイッチSW2に接続されている。比較回路21が第1のAD変換のための逐次比較動作を実行した後、容量素子C32は、残差信号の電圧を保持する。第1の信号INPが比較回路21の第1の端子T21および比較回路21の第2の端子T22に入力されたとき、第1の信号INPが第1の端子Tc321に入力され、かつ容量素子C32は第1の信号INPの電圧を保持する。
 図1に示す例では、レベルシフト回路32は2つの容量素子C32を有する。例えば、容量素子C32の容量値は8Cuである。
 図1に示す例では、レベルシフト回路32は2つのスイッチSW2を有する。スイッチSW2の構成は、スイッチSW1の構成と同様である。信号DLS1および信号DLS2のいずれか1つが、スイッチSW2の入力端子INに入力される。信号DLS1および信号DLS2の各々の電圧レベルは、ハイレベルおよびローレベルのいずれか1つになる。参照電圧VREFHがスイッチSW2の入力端子Hに入力される。参照電圧VREFLがスイッチSW2の入力端子Lに入力される。スイッチSW2の出力端子OUTは、容量素子C32の第2の端子Tc322に接続されている。
 スイッチSW2の状態は、第1の状態および第2の状態のいずれか1つになる。スイッチSW2の状態は、入力端子INに入力された信号に基づいて制御される。入力端子INに入力された信号の電圧レベルがハイレベルであるとき、スイッチSW2の状態は第1の状態である。入力端子INに入力された信号の電圧レベルがローレベルであるとき、スイッチSW2の状態は第2の状態である。スイッチSW2の状態が第1の状態であるとき、スイッチSW2は、入力端子Hに入力された参照電圧VREFHを出力端子OUTから出力する。スイッチSW2が第2の状態であるとき、スイッチSW2は、入力端子Lに入力された参照電圧VREFLを出力端子OUTから出力する。
 スイッチSW2から出力された参照電圧VREFHまたは参照電圧VREFLが容量素子C32の第2の端子Tc322に入力される。レベルシフト回路32がレベルシフトを開始する前、容量素子C32の第2の端子Tc322の電圧レベルは参照電圧VREFLである。容量素子C32の第2の端子Tc322の電圧レベルが参照電圧VREFLから参照電圧VREFHに変化したとき、容量素子C32の第1の端子Tc321の電圧レベルが増加する。
 比較回路21が第1のAD変換のための逐次比較動作を実行した後、レベルシフト回路32は第1のレベルシフトを実行する。第1のレベルシフトにおいて2つの容量素子C32の第2の端子Tc322の電圧レベルが参照電圧VREFLから参照電圧VREFHに変化したとき、2つの容量素子C32の第1の端子Tc321の電圧レベルは、VREFH×(16Cu/トータルの容量値)だけ増加する。つまり、DA変換部30の出力端子T30の電圧レベルは、16Vcuだけ増加する。電圧レベルVcuは、単位電圧レベルである。電圧レベルVcuは、VREFH×(Cu/トータルの容量値)である。トータルの容量値は、DA変換部30が有する複数の容量素子の容量値の合計である。
 第1のレベルシフトが実行された後、DA変換部30の出力端子T30の電圧レベルは、第1の信号INPの電圧レベルよりも大きくなる。つまり、比較回路21の第2の端子T22の電圧レベルは、比較回路21の第1の端子T21の電圧レベルよりも大きくなる。容量素子C1に保持された第1の信号INPと、DA変換部30の複数の容量素子に保持された信号との各々にノイズが重畳する可能性がある。ノイズレベルを小さくすることで、第1のレベルシフトが実行された後、DA変換部30の出力端子T30の電圧レベルは、第1の信号INPの電圧レベルよりも大きくなる。
 第1のレベルシフトが実行された後、下位DA変換回路33はデジタルランプ信号を生成する。デジタルランプ信号が生成されている間、DA変換部30の出力端子T30の電圧レベルは徐々に減少する。このとき、比較回路21は第1の比較動作を実行する。比較回路21の第1の端子T21の電圧レベルと比較回路21の第2の端子T22の電圧レベルとが略同じになったとき、比較回路21の第3の端子T23から出力された信号の電圧レベルがローレベルからハイレベルに変化する。第1のレベルシフトを実行することにより、比較回路21が第1の比較動作を確実に実行することが保証される。
 第1の信号INPが比較回路21の第1の端子T21および比較回路21の第2の端子T22に入力された後、レベルシフト回路32は第2のレベルシフトを実行する。第2のレベルシフトにおいて2つの容量素子C32の一方の第2の端子Tc322の電圧レベルが参照電圧VREFLから参照電圧VREFHに変化したとき、DA変換部30の出力端子T30の電圧レベルは、8Vcuだけ増加する。第2のレベルシフトが実行された後、下位DA変換回路33はデジタルランプ信号を生成する。比較回路21は、第2の比較動作を実行する。
 比較回路21が第2の比較動作を実行した後、レベルシフト回路32は第3のレベルシフトを実行する。第3のレベルシフトにおいて2つの容量素子C32の他方の第2の端子Tc322の電圧レベルが参照電圧VREFLから参照電圧VREFHに変化したとき、DA変換部30の出力端子T30の電圧レベルは、8Vcuだけ増加する。第3のレベルシフトが実行された後、下位DA変換回路33はデジタルランプ信号を生成する。比較回路21は、第3の比較動作を実行する。
 下位DA変換回路33は、複数の容量素子C33と、複数の遅延素子INV1と、複数の遅延素子INV2と、複数のラッチ回路L1とを有する。図1において、代表として1つの容量素子C31の参照符号、1つの遅延素子INV1の参照符号、1つの遅延素子INV2の参照符号、および1つのラッチ回路L1の参照符号が示されている。
 容量素子C33は、第1の端子Tc331および第2の端子Tc332を有する。第1の端子Tc331はトッププレートであり、かつ第2の端子Tc332はボトムプレートである。第1の端子Tc331は、DA変換部30の出力端子T30に接続されている。第2の端子Tc332は、遅延素子INV1、遅延素子INV2、およびラッチ回路L1に接続されている。スイッチSWNによってサンプルされた電圧が第1の端子Tc331に入力される。レベルシフト回路32がレベルシフトを実行した後、容量素子C33は、シフトされた電圧を保持する。
 例えば、下位DA変換回路33は、16個よりも多い容量素子C33を有する。図1に示す例では、下位DA変換回路33は24個の容量素子C33を有する。例えば、容量素子C33の容量値は1Cuである。複数の容量素子C33の容量値は、同じである。複数の容量素子C33の容量値が互いに異なってもよい。2つの容量素子C33の容量値の差は非常に小さくてもよい。例えば、その差の絶対値は、2つの容量素子のいずれか1つの容量値の5%以下であってもよい。あるいは、その差の絶対値は、2つの容量素子のいずれか1つの容量値の10%以下であってもよい。
 遅延素子INV1および遅延素子INV2はインバータである。遅延素子INV1および遅延素子INV2の各々は、入力端子、出力端子、および2つの電圧入力端子を有する。参照電圧VREFHが2つの電圧入力端子の一方に入力され、かつ参照電圧VREFLが2つの電圧入力端子の他方に入力される。入力端子に入力された信号の電圧レベルがハイレベルまたは参照電圧VREFHであるとき、遅延素子INV1および遅延素子INV2は参照電圧VREFLを出力端子から出力する。入力端子に入力された信号の電圧レベルがローレベルまたは参照電圧VREFLであるとき、遅延素子INV1および遅延素子INV2は参照電圧VREFHを出力端子から出力する。
 下位DA変換回路33は複数のグループを含む。各グループは、1つの遅延素子INV1および1つの遅延素子INV2を含む。信号STが、第1のグループに含まれる遅延素子INV1の入力端子に入力される。信号STの電圧レベルは、ハイレベルおよびローレベルのいずれか1つになる。
 第mのグループに含まれる遅延素子INV2の入力端子は、第mのグループに含まれる遅延素子INV1の出力端子に接続されている。数字mは1から25のいずれか1つである。第nのグループに含まれる遅延素子INV1の入力端子は、第(n-1)のグループに含まれる遅延素子INV2の出力端子に接続されている。数字nは2から25のいずれか1つである。遅延素子INV1および遅延素子INV2は交互に接続されている。容量素子C33の第2の端子Tc332は、第nのグループに含まれる遅延素子INV1の入力端子と、第(n-1)のグループに含まれる遅延素子INV2の出力端子とに接続されている。
 複数の遅延素子INV1および複数の遅延素子INV2は、ランプ信号生成回路を形成する。信号STの電圧レベルがハイレベルであるとき、各グループに含まれる遅延素子INV2は、参照電圧VREFHを持つ信号を出力する。信号STの電圧レベルがハイレベルからローレベルに変化した後、第1のグループに含まれる遅延素子INV2は、参照電圧VREFLを持つ信号を出力する。参照電圧VREFLを持つ信号が、第2のグループに含まれる遅延素子INV1に入力された後、第2のグループに含まれる遅延素子INV2は、参照電圧VREFLを持つ信号を出力する。第3から第25のグループに含まれる遅延素子INV2は、参照電圧VREFLを持つ信号を順次出力する。
 遅延素子INV2から出力された参照電圧VREFHまたは参照電圧VREFLが容量素子C33の第2の端子Tc332に入力される。レベルシフト回路32がレベルシフトを完了する前、容量素子C33の第2の端子Tc332の電圧レベルは参照電圧VREFHである。
 レベルシフト回路32がレベルシフトを実行した後、下位DA変換回路33はデジタルランプ信号の生成を開始する。信号STの電圧レベルがハイレベルからローレベルに変化した後、複数の遅延素子INV2は、参照電圧VREFLを持つ信号を順次出力する。複数の容量素子C33の各々の第2の端子Tc332の電圧レベルは、参照電圧VREFHから参照電圧VREFLに順次変化する。容量素子C33の第2の端子Tc332の電圧レベルが参照電圧VREFHから参照電圧VREFLに変化したとき、容量素子C33の第1の端子Tc331の電圧レベルは、VREFH×(1Cu/トータルの容量値)だけ減少する。つまり、DA変換部30の出力端子T30の電圧レベルは、1Vcuだけ減少する。電圧レベルVcuは、単位電圧レベルである。電圧レベルVcuは、VREFH×(Cu/トータルの容量値)である。トータルの容量値は、DA変換部30が有する複数の容量素子の容量値の合計である。
 各容量素子C33の第2の端子Tc332の電圧レベルが参照電圧VREFHから参照電圧VREFLに変化するごとに、DA変換部30の出力端子T30の電圧レベルは1Vcuだけ減少する。DA変換部30の出力端子T30の電圧レベルは、時間の経過と共にステップ状に減少する。これにより、電圧レベルがステップ状に減少するデジタルランプ信号が生成される。
 ラッチ回路L1は、第1の入力端子および第2の入力端子を有する。ラッチ回路L1の第1の入力端子は、容量素子C33の第2の端子Tc332に接続されている。ラッチ回路L1の第2の入力端子は、比較回路21の第3の端子T23に接続されている。比較回路21の第3の端子T23から出力された信号が各ラッチ回路L1に入力される。比較回路21からラッチ回路L1に入力された信号の電圧レベルがローレベルからハイレベルに変化したとき、各ラッチ回路L1は、各容量素子C33の第2の端子Tc332の電圧レベルに対応するデジタル値を保持する。ラッチ回路L1に保持されたデジタル値は、AD変換結果であるデジタルデータの下位データに対応する。
 DA変換部30は、出力端子T30を有する。出力端子T30は、比較回路21の第2の端子T22に電気的に接続されている。上位DA変換回路31、レベルシフト回路32、および下位DA変換回路33の各々に含まれる容量素子の第1の端子は互いに電気的に接続され、かつ出力端子T30に電気的に接続されている。DA変換部30は、上位DA変換回路31、レベルシフト回路32、および下位DA変換回路33の各々に含まれる容量素子の電圧を出力端子T30から比較回路21の第2の端子T22に出力する。DA変換部30は、信号D7からD3、信号DLS1、および信号DLS2をアナログ電圧に変換し、かつそのアナログ電圧を出力端子T30から出力する。信号D7からD3、信号DLS1、および信号DLS2はデジタル信号である。DA変換部30は、下位DA変換回路33によって生成されたデジタルランプ信号を出力端子T30から出力する。
 DA変換部30の構成は、図1に示す構成に限らない。
 制御回路40は、比較回路21の第3の端子T23に接続されている。制御回路40は、比較結果を示す信号に基づいて信号D7からD3を制御することにより、上位DA変換回路31を制御する。制御回路40は、信号DLS1および信号DLS2を制御することにより、レベルシフト回路32を制御する。レベルシフト回路32がレベルシフトを完了した後、制御回路40は、信号STを制御することにより、下位DA変換回路33を制御する。
 下位DA変換回路33の複数のラッチ回路L1の各々に保持されたデジタル値は、制御回路40に出力される。補正回路41は、複数のラッチ回路L1の各々に保持されたデジタル値を含む下位データを補正する。図1に示す例では、制御回路40は補正回路41を含む。補正回路41は、制御回路40から独立した回路であってもよい。補正回路41は、AD変換回路10の外部に配置されてもよい。
 また、補正装置は、制御回路40内に回路で構成された補正回路41に代えて、プロセッサおよび論理回路の少なくとも1つで構成されてもよい。例えば、プロセッサは、CPU(Central Processing Unit)、DSP(Digital Signal Processor)、およびGPU(Graphics Processing Unit)の少なくとも1つである。例えば、論理回路は、ASIC(Application Specific Integrated Circuit)およびFPGA(Field-Programmable Gate Array)の少なくとも1つである。補正装置は、1つまたは複数のプロセッサを含むことができる。補正装置は、1つまたは複数の論理回路を含むことができる。
 補正装置が、プログラムを読み込み、かつ読み込まれたプログラムを実行してもよい。プログラムは、補正装置の動作を規定する命令を含む。つまり、補正装置の機能はソフトウェアにより実現されてもよい。そのプログラムは、例えばフラッシュメモリのような「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」により提供されてもよい。そのプログラムは、そのプログラムを保持するコンピュータから、伝送媒体を経由して、あるいは伝送媒体中の伝送波によりAD変換回路10に伝送されてもよい。プログラムを伝送する「伝送媒体」は、情報を伝送する機能を有する媒体である。情報を伝送する機能を有する媒体は、インターネット等のネットワーク(通信網)および電話回線等の通信回線(通信線)を含む。上述したプログラムは、前述した機能の一部を実現してもよい。さらに、上述したプログラムは、差分ファイル(差分プログラム)であってもよい。コンピュータに既に記録されているプログラムと差分プログラムとの組合せが、前述した機能を実現してもよい。
 AD変換回路10の動作を説明する。図2はAD変換回路10の動作の手順を示す。図2の説明において、図3から図5を適宜参照する。
 説明を容易にするために、第1の信号INPの電圧レベルが第2の信号INNの電圧レベル以上である場合について説明する。AD変換回路10がAD変換を開始する前、AD変換回路10の状態は、以下で説明する状態である。信号D7からD3、信号DLS1、および信号DLS2の各々の電圧レベルはローレベルである。信号STの電圧レベルはハイレベルである。上位DA変換回路31において、5個の容量素子C31の各々の第2の端子Tc312の電圧レベルは参照電圧VREFLである。レベルシフト回路32において、2つの容量素子C32の各々の第2の端子Tc322の電圧レベルは参照電圧VREFLである。下位DA変換回路33において、24個の容量素子C33の各々の第2の端子Tc332の電圧レベルは参照電圧VREFHである。スイッチSWP、スイッチSWN、およびスイッチSWMの各々の状態はオフ状態である。
 スイッチSWPの状態がオン状態になり、かつ第1の信号INPが容量素子C1に保持された後、スイッチSWPの状態がオフ状態になる。スイッチSWNの状態がオン状態になり、かつ第2の信号INNがDA変換部30の複数の容量素子に保持された後、スイッチSWNの状態がオフ状態になる。
 このとき、第1の信号INPが比較回路21の第1の端子T21に入力され、かつ第2の信号INNが比較回路21の第2の端子T22に入力される。比較回路21は、第1のAD変換のための逐次比較動作を実行する(ステップS1)。
 第1のAD変換において、第1の信号INPと第2の信号INNとの差分を示すデジタルデータに含まれる上位データが生成される。逐次比較動作において、上位DA変換回路31に含まれる複数の容量素子C31の電圧レベルが変化し、かつ二分探索に基づいて上位データのデジタル値が1ビットずつ決定される。
 図3を参照し、逐次比較動作を説明する。図3は、比較回路21の第1の端子T21の電圧レベルと比較回路21の第2の端子T22の電圧レベルとの差分の変化を示す。説明を容易にするために、上位DA変換回路31の5個の容量素子C31のうち下位側の3個が使用され、かつ上位データは3ビットのデジタル値を含む。3個の容量素子C31の容量値はそれぞれ、32Cu、16Cu、および8Cuである。
 図3において垂直方向は、第1の端子T21の電圧レベル(Vt1)と第2の端子T22の電圧レベル(Vt2)との差分(Vt2-Vt1)を示す。第1の信号INPの電圧レベルがVpであり、かつ第2の信号INNの電圧レベルがVnであるとき、Vp≧Vnで示される関係がある。
 例えば、第1の信号INPが第1の端子T21に入力され、かつ第2の信号INNが第2の端子T22に入力されたとき、差分の電圧レベルがとりうる範囲の最大値は0Vcuであり、かつ差分の電圧レベルがとりうる範囲の最小値は-64Vcuである。第1の端子T21の電圧レベルが第2の端子T22の電圧レベルよりも大きいとき、差分の電圧レベルは負の値を持つ。第1の端子T21の電圧レベルが第2の端子T22の電圧レベルよりも小さいとき、差分の電圧レベルは正の値を持つ。
 第2の信号INNが上位DA変換回路31の複数の容量素子C31に保持されたとき、第2の信号INNの電圧レベルがDA変換部30の出力端子T30から出力される。第1の端子T21の電圧レベル(Vp)と第2の端子T22の電圧レベル(Vn)との差分はV11である。例えば、レベルV11は、-27Vcuである。
 制御回路40は、信号D5の電圧レベルをローレベルからハイレベルに変化させる。このとき、上位DA変換回路31において、容量値32Cuを持つ容量素子C31の第1の端子Tc311の電圧レベルが32Vcuだけ増加する。つまり、DA変換部30の出力端子T30の電圧レベルおよび差分の電圧レベルが32Vcuだけ増加する。差分の電圧レベルはV12になる。レベルV12は、5Vcuである。
 比較回路21は、第1の端子T21の電圧レベルと第2の端子T22の電圧レベルとを比較する。第1の端子T21の電圧レベルは、第2の端子T22の電圧レベルよりも小さい。比較回路21は、比較結果を示す信号を出力する。制御回路40は、その信号に基づいて、上位データの最上位ビット(BS2)の値を0に決定する。制御回路40は、信号D5の電圧レベルをローレベルに戻す。このとき、上位DA変換回路31において、容量値32Cuを持つ容量素子C31の第1の端子Tc311の電圧レベルが32Vcuだけ減少する。つまり、DA変換部30の出力端子T30の電圧レベルおよび差分の電圧レベルが32Vcuだけ減少する。差分の電圧レベルはV11になる。
 制御回路40は、信号D4の電圧レベルをローレベルからハイレベルに変化させる。このとき、上位DA変換回路31において、容量値16Cuを持つ容量素子C31の第1の端子Tc311の電圧レベルが16Vcuだけ増加する。つまり、DA変換部30の出力端子T30の電圧レベルおよび差分の電圧レベルが16Vcuだけ増加する。差分の電圧レベルはV13になる。レベルV13は、-11Vcuである。
 比較回路21は、第1の端子T21の電圧レベルと第2の端子T22の電圧レベルとを比較する。第1の端子T21の電圧レベルは、第2の端子T22の電圧レベルよりも大きい。比較回路21は、比較結果を示す信号を出力する。制御回路40は、その信号に基づいて、上位データの2番目のビット(BS1)の値を1に決定する。
 制御回路40は、信号D3の電圧レベルをローレベルからハイレベルに変化させる。このとき、上位DA変換回路31において、容量値8Cuを持つ容量素子C31の第1の端子Tc311の電圧レベルが8Vcuだけ増加する。つまり、DA変換部30の出力端子T30の電圧レベルおよび差分の電圧レベルが8Vcuだけ増加する。差分の電圧レベルはV14になる。レベルV14は、-3Vcuである。
 比較回路21は、第1の端子T21の電圧レベルと第2の端子T22の電圧レベルとを比較する。第1の端子T21の電圧レベルは、第2の端子T22の電圧レベルよりも大きい。比較回路21は、比較結果を示す信号を出力する。制御回路40は、その信号に基づいて、上位データの3番目のビット(BS0)の値を1に決定する。上位データの3番目のビットは、上位データの最下位ビットである。制御回路40は、生成された上位データを保持する。
 ステップS1の後、レベルシフト回路32は、上位DA変換回路31の複数の容量素子C31に保持された信号の電圧レベルを第1のレベルにシフトさせることにより第1のレベルシフトを実行する(ステップS2)。
 具体的には、制御回路40は、信号DLS1および信号DLS2の各々の電圧レベルをローレベルからハイレベルに変化させる。このとき、レベルシフト回路32において、容量値8Cuを持つ2つの容量素子C32の各々の第1の端子Tc321の電圧レベルが16Vcuだけ増加する。つまり、DA変換部30の出力端子T30の電圧レベルおよび差分の電圧レベルが16Vcuだけ増加する。差分の電圧レベルは、図3に示すV15になる。レベルV15は、13Vcuである。
 ステップS2の後、第2のAD変換のためのデジタルランプ信号に基づく電圧レベルを持つ信号が上位DA変換回路31の複数の容量素子C31および下位DA変換回路33の複数の容量素子C33に保持される。比較回路21は、第1の端子T21の電圧レベルと第2の端子T22の電圧レベルとを比較することにより第1の比較動作を実行する(ステップS3)。
 第2のAD変換において、第1の信号INPと第2の信号INNとの差分を示すデジタルデータに含まれる下位データが生成される。第1のAD変換が終了したとき、残差信号が上位DA変換回路31の複数の容量素子C31に保持されている。第2のAD変換において、第1の信号INPと残差信号との差分に基づいて下位データが生成される。
 具体的には、制御回路40は、信号STの電圧レベルをハイレベルからローレベルに変化させる。下位DA変換回路33の複数の遅延素子INV2は、参照電圧VREFLを持つ信号を順次出力する。複数の容量素子C33の各々の第1の端子Tc331の電圧レベルは、VREFH×(1Cu/トータルの容量値)ずつ減少する。つまり、DA変換部30の出力端子T30の電圧レベルは、1Vcuずつステップ状に減少する。電圧レベルVcuは、単位電圧レベルである。電圧レベルVcuは、VREFH×(Cu/トータルの容量値)である。トータルの容量値は、DA変換部30が有する複数の容量素子の容量値の合計である。第1の端子T21の電圧レベルと第2の端子T22の電圧レベルとの差分は、図3に示すV15から1Vcuずつステップ状に減少する。この動作は、図3に示すタイミングt11から開始される。
 比較回路21は、第1の端子T21の電圧レベルと第2の端子T22の電圧レベルとを比較し、かつ比較結果を示す信号を出力する。第1の比較動作が開始されたとき、第1の端子T21の電圧レベルは第2の端子T22の電圧レベルよりも小さい。このとき、比較回路21は、ローレベルを持つ信号を出力する。タイミングt12において、第1の端子T21の電圧レベルと第2の端子T22の電圧レベルとが略同じになる。このとき、比較回路21は、ハイレベルを持つ信号を出力する。
 比較結果を示す信号は、下位DA変換回路33の複数のラッチ回路L1に入力される。比較結果を示す信号の電圧レベルが変化したとき、各ラッチ回路L1は、各容量素子C33の第2の端子Tc332の電圧レベルに対応するデジタル値を保持する。回路遅延等に基づくレイテンシーが発生するため、各ラッチ回路L1は、タイミングt12よりも後のタイミングt13においてデジタル値を保持する。各ラッチ回路L1に保持されたデジタル値は、下位データに対応する。下位データは、タイミングt12からタイミングt13までの遅延DL1に基づく誤差を含む。各ラッチ回路L1は、デジタル値を制御回路40に出力する。制御回路40は、各ラッチ回路L1のデジタル値を含む第1の下位データ(第1のデジタルデータ)を保持する。
 ステップS3の後、ステップS4からS8において、第1の下位データを補正するためのデジタル値が生成される。ステップS4からS8の各々の詳細を説明する。
 ステップS3の後、制御回路40は、信号D7からD3、信号DLS1、および信号DLS2の各々の電圧レベルをローレベルにし、かつ信号STの電圧レベルをハイレベルにする。スイッチSWMの状態がオン状態になり、かつ第1の信号INPがDA変換部30の複数の容量素子に保持された後、スイッチSWMの状態がオフ状態になる。このとき、比較回路21の第1の端子T21および比較回路21の第2の端子T22の各々に第1の信号INPが入力される。そのため、第1の端子T21の電圧レベルおよび第2の端子T22の電圧レベルは同じになる(ステップS4)。
 上記の例では、第1の信号INPが第3の信号として第1の端子T21および第2の端子T22の各々に入力される。第3の信号は、第1の信号INPに限らない。同じ電圧レベルを持つ2つの信号がステップS4において第1の端子T21および第2の端子T22に入力される必要がある。
 ステップS4の後、レベルシフト回路32は、上位DA変換回路31の複数の容量素子C31に保持された信号の電圧レベルを第2のレベルにシフトさせることにより第2のレベルシフトを実行する(ステップS5)。例えば、第2のレベルは第1のレベルと異なる。第2のレベルは第1のレベルと同じであってもよい。
 具体的には、制御回路40は、信号DLS1の電圧レベルをローレベルからハイレベルに変化させる。このとき、レベルシフト回路32において、容量値8Cuを持つ容量素子C32の第1の端子Tc321の電圧レベルが8Vcuだけ増加する。つまり、DA変換部30の出力端子T30の電圧レベルおよび差分の電圧レベルが8Vcuだけ増加する。
 ステップS4とステップS5との間に、逐次比較動作を含む第1のAD変換を実行する必要はない。図4を参照し、その理由を説明する。図4は、比較回路21の第1の端子T21の電圧レベルと比較回路21の第2の端子T22の電圧レベルとの差分の変化を示す。図4において垂直方向は、図3と同様に、第1の端子T21の電圧レベルと第2の端子T22の電圧レベルとの差分を示す。
 第1の端子T21および第2の端子T22の各々に第1の信号INPが入力されたとき、第1の端子T21の電圧レベルと第2の端子T22の電圧レベルとの差分はV21である。レベルV21は、0Vcuである。
 図4において、逐次比較動作を含む第1のAD変換が実行されると仮定した場合の差分の電圧レベルの変化が示されている。第1のAD変換が仮想的に実行される場合の差分の変化を説明する。
 制御回路40が信号D5の電圧レベルをローレベルからハイレベルに変化させる。このとき、上位DA変換回路31において、容量値32Cuを持つ容量素子C31の第1の端子Tc311の電圧レベルが32Vcuだけ増加する。つまり、DA変換部30の出力端子T30の電圧レベルおよび差分の電圧レベルが32Vcuだけ増加する。差分の電圧レベルはV22になる。レベルV22は、32Vcuである。
 比較回路21は、第1の端子T21の電圧レベルと第2の端子T22の電圧レベルとを比較する。第1の端子T21の電圧レベルは、第2の端子T22の電圧レベルよりも小さい。比較回路21は、比較結果を示す信号を出力する。制御回路40は、その信号に基づいて、上位データの最上位ビット(BS2)の値を0に決定する。制御回路40は、信号D5の電圧レベルをローレベルに戻す。このとき、上位DA変換回路31において、容量値32Cuを持つ容量素子C31の第1の端子Tc311の電圧レベルが32Vcuだけ減少する。つまり、DA変換部30の出力端子T30の電圧レベルおよび差分の電圧レベルが32Vcuだけ減少する。差分の電圧レベルはV21になる。
 制御回路40は、信号D4の電圧レベルをローレベルからハイレベルに変化させる。このとき、上位DA変換回路31において、容量値16Cuを持つ容量素子C31の第1の端子Tc311の電圧レベルが16Vcuだけ増加する。つまり、DA変換部30の出力端子T30の電圧レベルおよび差分の電圧レベルが16Vcuだけ増加する。差分の電圧レベルはV23になる。レベルV23は、16Vcuである。
 比較回路21は、第1の端子T21の電圧レベルと第2の端子T22の電圧レベルとを比較する。第1の端子T21の電圧レベルは、第2の端子T22の電圧レベルよりも小さい。比較回路21は、比較結果を示す信号を出力する。制御回路40は、その信号に基づいて、上位データの2番目のビット(BS1)の値を0に決定する。制御回路40は、信号D3の電圧レベルをローレベルに戻す。このとき、上位DA変換回路31において、容量値16Cuを持つ容量素子C31の第1の端子Tc311の電圧レベルが16Vcuだけ減少する。つまり、DA変換部30の出力端子T30の電圧レベルおよび差分の電圧レベルが16Vcuだけ減少する。差分の電圧レベルはV21になる。
 制御回路40は、信号D3の電圧レベルをローレベルからハイレベルに変化させる。このとき、上位DA変換回路31において、容量値8Cuを持つ容量素子C31の第1の端子Tc311の電圧レベルが8Vcuだけ増加する。つまり、DA変換部30の出力端子T30の電圧レベルおよび差分の電圧レベルが8Vcuだけ増加する。差分の電圧レベルはV24になる。レベルV24は、8Vcuである。
 比較回路21は、第1の端子T21の電圧レベルと第2の端子T22の電圧レベルとを比較する。第1の端子T21の電圧レベルは、第2の端子T22の電圧レベルよりも小さい。比較回路21は、比較結果を示す信号を出力する。制御回路40は、その信号に基づいて、上位データの3番目のビット(BS0)の値を0に決定する。上位データの3番目のビットは、上位データの最下位ビットである。制御回路40は、信号D3の電圧レベルをローレベルに戻す。このとき、上位DA変換回路31において、容量値8Cuを持つ容量素子C31の第1の端子Tc311の電圧レベルが8Vcuだけ減少する。つまり、DA変換部30の出力端子T30の電圧レベルおよび差分の電圧レベルが8Vcuだけ減少する。差分の電圧レベルはV21になる。この電圧レベルは、第1のAD変換が実行される前の差分の電圧レベルと同じである。
 容量素子C1に保持された第1の信号INPと、上位DA変換回路31の複数の容量素子C31に保持された第1の信号INPとの各々にノイズが重畳する可能性がある。差分の電圧レベルが、そのノイズに基づいて、V21から変化する可能性がある。ノイズレベルを小さくすることで、差分の電圧レベルが変化した場合であっても、その変化の大きさは小さい。そのため、差分の電圧レベルは、第1のAD変換の実行によらず変化しない。差分の電圧レベルが変化しないため、第1のAD変換を実行する必要はない。
 ステップS5における第2のレベルシフトが実行されたとき、差分の電圧レベルは、図4に示すV25になる。レベルV25は、8Vcuである。
 ステップS5の後、第2のAD変換のためのデジタルランプ信号に基づく電圧レベルを持つ信号が上位DA変換回路31の複数の容量素子C31および下位DA変換回路33の複数の容量素子C33に保持される。比較回路21は、第1の端子T21の電圧レベルと第2の端子T22の電圧レベルとを比較することにより第2の比較動作を実行する(ステップS6)。
 第2の比較動作は、ステップS3における第1の比較動作と同様である。そのため、第2の比較動作の詳細な説明を省略する。差分の電圧レベルは、図4に示すタイミングt21からステップ状に減少し始める。
 第2の比較動作が開始されたとき、第1の端子T21の電圧レベルは第2の端子T22の電圧レベルよりも小さい。このとき、比較回路21は、ローレベルを持つ信号を出力する。タイミングt22において、第1の端子T21の電圧レベルと第2の端子T22の電圧レベルとが略同じになる。このとき、比較回路21は、ハイレベルを持つ信号を出力する。
 比較結果を示す信号は、下位DA変換回路33の複数のラッチ回路L1に入力される。比較結果を示す信号の電圧レベルが変化したとき、各ラッチ回路L1は、各容量素子C33の第2の端子Tc332の電圧レベルに対応するデジタル値を保持する。回路遅延等に基づくレイテンシーが発生するため、各ラッチ回路L1は、タイミングt22よりも後のタイミングt23においてデジタル値を保持する。各ラッチ回路L1に保持されたデジタル値は、下位データに対応する。下位データは、タイミングt22からタイミングt23までの遅延DL2に基づく誤差を含む。各ラッチ回路L1は、デジタル値を制御回路40に出力する。制御回路40は、各ラッチ回路L1のデジタル値を含む第2の下位データ(第2のデジタルデータ)を保持する。
 ステップS6の後、制御回路40は、信号STの電圧レベルをローレベルにする。DA変換部30の出力端子T30の電圧レベルおよび差分の電圧レベルは、第2の比較動作が実行される前の電圧レベルになる。差分の電圧レベルはV25になる。その後、レベルシフト回路32は、上位DA変換回路31の複数の容量素子C31に保持された信号の電圧レベルを、第2のレベルと異なる第3のレベルにシフトさせることにより第3のレベルシフトを実行する(ステップS7)。
 具体的には、制御回路40は、信号DLS2の電圧レベルをローレベルからハイレベルに変化させる。このとき、レベルシフト回路32において、容量値8Cuを持つ容量素子C32の第1の端子Tc321の電圧レベルが8Vcuだけ増加する。つまり、DA変換部30の出力端子T30の電圧レベルおよび差分の電圧レベルが8Vcuだけ増加する。
 ステップS6とステップS7との間に、逐次比較動作を含む第1のAD変換を実行する必要はない。
 図5は、比較回路21の第1の端子T21の電圧レベルと比較回路21の第2の端子T22の電圧レベルとの差分の変化を示す。図5において垂直方向は、図3と同様に、第1の端子T21の電圧レベルと第2の端子T22の電圧レベルとの差分を示す。
 第1の端子T21および第2の端子T22の各々に第1の信号INPが入力されたとき、第1の端子T21の電圧レベルと第2の端子T22の電圧レベルとの差分はV21である。レベルV21は、0Vcuである。第1のAD変換は必要ないため、図5において第1のAD変換に関するレベルの変化は省略されている。ステップS5における第2のレベルシフトとステップS7における第3のレベルシフトとが実行されたとき、差分の電圧レベルはV26になる。レベルV26は、16Vcuである。
 ステップS7の後、第2のAD変換のためのデジタルランプ信号に基づく電圧レベルを持つ信号が上位DA変換回路31の複数の容量素子C31および下位DA変換回路33の複数の容量素子C33に保持される。比較回路21は、第1の端子T21の電圧レベルと第2の端子T22の電圧レベルとを比較することにより第3の比較動作を実行する(ステップS8)。
 第3の比較動作は、ステップS3における第1の比較動作と同様である。そのため、第3の比較動作の詳細な説明を省略する。差分の電圧レベルは、図5に示すタイミングt31からステップ状に減少し始める。
 第3の比較動作が開始されたとき、第1の端子T21の電圧レベルは第2の端子T22の電圧レベルよりも小さい。このとき、比較回路21は、ローレベルを持つ信号を出力する。タイミングt32において、第1の端子T21の電圧レベルと第2の端子T22の電圧レベルとが略同じになる。このとき、比較回路21は、ハイレベルを持つ信号を出力する。
 比較結果を示す信号は、下位DA変換回路33の複数のラッチ回路L1に入力される。比較結果を示す信号の電圧レベルが変化したとき、各ラッチ回路L1は、各容量素子C33の第2の端子Tc332の電圧レベルに対応するデジタル値を保持する。回路遅延等に基づくレイテンシーが発生するため、各ラッチ回路L1は、タイミングt32よりも後のタイミングt33においてデジタル値を保持する。各ラッチ回路L1に保持されたデジタル値は、下位データに対応する。下位データは、タイミングt32からタイミングt33までの遅延DL3に基づく誤差を含む。各ラッチ回路L1は、デジタル値を制御回路40に出力する。制御回路40は、各ラッチ回路L1のデジタル値を含む第3の下位データ(第3のデジタルデータ)を保持する。
 上記の例では、第3の信号(第1の信号INP)が比較回路21の第1の端子T21に入力され、かつ上位DA変換回路31の複数の容量素子C31に保持される。その後、逐次比較動作が実行されることなく、レベルシフト回路32は、第2のレベルシフトおよび第3のレベルシフトを実行する。
 レベルシフト回路32の複数の容量素子C32は、第1の容量素子および第2の容量素子を含む。上記の例では、第1の容量素子および第2の容量素子の各々の容量値は8Cuである。レベルシフト回路32は、ステップS2において、第1の容量素子の電圧レベルおよび第2の容量素子の電圧レベルを変化させることにより第1のレベルシフトを実行する。レベルシフト回路32は、ステップS5において、第1の容量素子の電圧レベルを変化させることにより第2のレベルシフトを実行する。レベルシフト回路32は、ステップS7において、第2の容量素子の電圧レベルを変化させることにより第3のレベルシフトを実行する。
 ステップS1において逐次比較動作が実行されたとき、デジタルデータに含まれる上位データが生成される。上位データは、複数ビットのデータを含む。ステップS3において第1の比較動作が実行されたとき、デジタルデータに含まれる下位データが生成される。下位データは、複数ビットのデータを含む。上記の例では、第2の容量素子の容量値は、上位DA変換回路31の複数の容量素子C31に含まれる第3の容量素子の容量値と略同じである。第3の容量素子は、上位データの最下位ビットのデータを生成するために使用される。上記の例では、第3の容量素子は、容量値8Cuを持つ容量素子C31である。
 第2の容量素子の容量値と第3の容量素子の容量値とが異なってもよい。第2の容量素子の容量値と第3の容量素子の容量値との差は非常に小さくてもよい。例えば、その差の絶対値は、第2の容量素子の容量値または第3の容量素子の容量値の5%以下であってもよい。あるいは、その差の絶対値は、第2の容量素子の容量値または第3の容量素子の容量値の10%以下であってもよい。
 上記の例では、第1の容量素子の容量値は、上位DA変換回路31の複数の容量素子C31に含まれる第4の容量素子の容量値と略同じである。第4の容量素子は、上位データの最下位ビットのデータを生成するために使用される。上記の例では、第4の容量素子は、容量値8Cuを持つ容量素子C31である。
 第1の容量素子の容量値と第4の容量素子の容量値とが異なってもよい。第1の容量素子の容量値と第4の容量素子の容量値との差は非常に小さくてもよい。例えば、その差の絶対値は、第1の容量素子の容量値または第4の容量素子の容量値の5%以下であってもよい。あるいは、その差の絶対値は、第1の容量素子の容量値または第4の容量素子の容量値の10%以下であってもよい。
 ステップS8の後、補正回路41は、第2の下位データおよび第3の下位データに基づいて、第1の下位データを補正する(ステップS9)。
 AD変換回路10の動作の手順は、図2に示す例に限らない。例えば、ステップS1からS3における処理が実行される前に、ステップS4からS8における処理が実行されてもよい。AD変換回路10が起動した直後に、ステップS4からS8における処理が実行されてもよい。ステップS4からS8における処理は、環境の変化に応じて定期的に実行されてもよい。例えば、環境の変化は、時間の変化または温度の変化である。ステップS4からS8における処理は、ステップS1からS3における処理が実行されるタイミングと近いタイミングで実行される。
 AD変換回路10が撮像装置に含まれる場合、ステップS4からS8における処理は、ブランキング期間(垂直ブランキング期間)に実行されてもよい。例えば、レベルシフト回路32は、第2のレベルシフトをブランキング期間に実行する。ブランキング期間は、第1の画素信号が撮像部から出力される期間と異なり、かつ第2の画素信号が撮像部から出力される期間と異なる。第1の画素信号は、リセットレベルを持つ。第2の画素信号は、信号レベルを持つ。比較回路21は、第2の比較動作をブランキング期間に実行する。レベルシフト回路32は、第3のレベルシフトをブランキング期間に実行する。比較回路21は、第3の比較動作をブランキング期間に実行する。
 レイテンシーの影響を説明する。第1の比較動作が開始された後、差分の電圧レベルは、図3に示すタイミングt11からステップ状に減少し始める。タイミングt12において、比較回路21はハイレベルの信号を出力する。レイテンシーが存在しないと仮定した場合、各ラッチ回路L1は、タイミングt12においてデジタル値を保持する。タイミングt11からタイミングt12まで、13個の遅延素子INV2において、出力信号の電圧レベルが参照電圧VREFHから参照電圧VREFLに変化する。つまり、下位DA変換回路33に含まれる13個の容量素子C33の第2の端子Tc332の電圧レベルが変化する。その変化に基づいて、DA変換部30の出力端子T30の電圧レベルおよび差分の電圧レベルが13Vcuだけ減少する。
 高速に動作する回路においてもレイテンシーが存在する。そのため、各ラッチ回路L1は、実際にはタイミングt13においてデジタル値を保持する。タイミングt11からタイミングt13まで、17個の遅延素子INV2において、出力信号の電圧レベルが参照電圧VREFHから参照電圧VREFLに変化する。つまり、下位DA変換回路33に含まれる17個の容量素子C33の第2の端子Tc332の電圧レベルが変化する。その変化に基づいて、DA変換部30の出力端子T30の電圧レベルおよび差分の電圧レベルが17Vcuだけ減少する。
 レイテンシーの影響により、各ラッチ回路L1は、タイミングt12ではなくタイミングt13においてデジタル値を保持する。したがって、4個の遅延素子INV1および4個の遅延素子INV2における遅延DL1に対応するレイテンシーが存在する。
 第2の比較動作が開始された後、差分の電圧レベルは、図4に示すタイミングt21からステップ状に減少し始める。タイミングt22において、比較回路21はハイレベルの信号を出力する。レイテンシーが存在しないと仮定した場合、各ラッチ回路L1は、タイミングt22においてデジタル値を保持する。タイミングt21からタイミングt22まで、8個の遅延素子INV2において、出力信号の電圧レベルが参照電圧VREFHから参照電圧VREFLに変化する。つまり、下位DA変換回路33に含まれる8個の容量素子C33の第2の端子Tc332の電圧レベルが変化する。その変化に基づいて、DA変換部30の出力端子T30の電圧レベルおよび差分の電圧レベルが8Vcuだけ減少する。
 各ラッチ回路L1は、実際にはタイミングt23においてデジタル値を保持する。タイミングt21からタイミングt23まで、12個の遅延素子INV2において、出力信号の電圧レベルが参照電圧VREFHから参照電圧VREFLに変化する。つまり、下位DA変換回路33に含まれる12個の容量素子C33の第2の端子Tc332の電圧レベルが変化する。その変化に基づいて、DA変換部30の出力端子T30の電圧レベルおよび差分の電圧レベルが12Vcuだけ減少する。
 レイテンシーの影響により、各ラッチ回路L1は、タイミングt22ではなくタイミングt23においてデジタル値を保持する。したがって、4個の遅延素子INV1および4個の遅延素子INV2における遅延DL2に対応するレイテンシーが存在する。第1の比較動作が実行されるタイミングと、第2の比較動作が実行されるタイミングとが互いに近い場合、遅延DL1および遅延DL2は略同じである。
 第3の比較動作が開始された後、差分の電圧レベルは、図5に示すタイミングt31からステップ状に減少し始める。タイミングt32において、比較回路21はハイレベルの信号を出力する。レイテンシーが存在しないと仮定した場合、各ラッチ回路L1は、タイミングt32においてデジタル値を保持する。タイミングt31からタイミングt32まで、16個の遅延素子INV2において、出力信号の電圧レベルが参照電圧VREFHから参照電圧VREFLに変化する。つまり、下位DA変換回路33に含まれる16個の容量素子C33の第2の端子Tc332の電圧レベルが変化する。その変化に基づいて、DA変換部30の出力端子T30の電圧レベルおよび差分の電圧レベルが16Vcuだけ減少する。
 各ラッチ回路L1は、実際にはタイミングt33においてデジタル値を保持する。タイミングt31からタイミングt33まで、20個の遅延素子INV2において、出力信号の電圧レベルが参照電圧VREFHから参照電圧VREFLに変化する。つまり、下位DA変換回路33に含まれる20個の容量素子C33の第2の端子Tc332の電圧レベルが変化する。その変化に基づいて、DA変換部30の出力端子T30の電圧レベルおよび差分の電圧レベルが20Vcuだけ減少する。
 レイテンシーの影響により、各ラッチ回路L1は、タイミングt32ではなくタイミングt33においてデジタル値を保持する。したがって、4個の遅延素子INV1および4個の遅延素子INV2における遅延DL3に対応するレイテンシーが存在する。第1の比較動作が実行されるタイミングと、第3の比較動作が実行されるタイミングとが互いに近い場合、遅延DL1および遅延DL3は略同じである。
 上記の例では、第2の比較動作を含む第2のAD変換によって、デジタル値12が得られる。上記の例では、第3の比較動作を含む第2のAD変換によって、デジタル値20が得られる。
 ステップS9における処理の詳細を説明する。図6は、図3から図5に示すレベルの変化を1つに統合した状態を示す。第2の信号INNが上位DA変換回路31の複数の容量素子C31に保持されたとき、比較回路21の第1の端子T21の電圧レベルと比較回路21の第2の端子T22の電圧レベルとの差分はV11である。例えば、差分の電圧レベルがとりうる範囲の最大値はVx1であり、かつ差分の電圧レベルがとりうる範囲の最小値はVn1である。レベルVx1は0Vcuであり、かつレベルVn1は-64Vcuである。
 レベルV11に基づく第1のAD変換が終了したとき、差分の電圧レベルはV14である。レベルVx1に基づく第1のAD変換が終了したと仮定した場合、差分の電圧レベルはVx2である。レベルVx2は0Vcuである。レベルVn1に基づく第1のAD変換が終了したと仮定した場合、差分の電圧レベルはVn2である。レベルVn2は-8Vcuである。第1のAD変換が終了したとき、差分の電圧レベルはVn2以上かつVx2以下である。
 レベルV14に基づく第1のレベルシフトが実行されたとき、差分の電圧レベルはV15になる。レベルVx2に基づく第1のレベルシフトが実行されたと仮定した場合、差分の電圧レベルはVx3になる。レベルVx3は16Vcuである。レベルVn2に基づく第1のレベルシフトが実行されたと仮定した場合、差分の電圧レベルはVn3になる。レベルVn3は8Vcuである。第1のレベルシフトが実行されたとき、差分の電圧レベルはVn3以上かつVx3以下である。
 レベルVn3は、レベルVn1に基づく第1のAD変換と、レベルVn2に基づく第1のレベルシフトとが実行されたときに得られる。レベルVn3は、第2のレベルシフトが実行されたときに得られるレベルV25と同じである。実際には、レベルVn1に基づく第1のAD変換と、レベルVn2に基づく第1のレベルシフトとは実行されない。第1の端子T21および第2の端子T22の各々に第1の信号INPが入力されたとき、第1の端子T21の電圧レベルと第2の端子T22の電圧レベルとの差分はV21である。レベルV21は、0Vcuである。AD変換回路10は、レベルV21に基づく第2のレベルシフトを実行することにより、レベルVn3に対応するレベルV25を得ることができる。
 レベルVx3は、レベルVx1に基づく第1のAD変換と、レベルVx2に基づく第1のレベルシフトとが実行されたときに得られる。レベルVx3は、第2のレベルシフトおよび第3のレベルシフトが実行されたときに得られるレベルV26と同じである。実際には、レベルVx1に基づく第1のAD変換と、レベルVx2に基づく第1のレベルシフトとは実行されない。AD変換回路10は、レベルV21に基づく第2のレベルシフトおよび第3のレベルシフトを実行することにより、レベルVx3に対応するレベルV26を得ることができる。
 レベルシフト回路32は、ステップS2において、上位DA変換回路31の複数の容量素子C31に保持された信号の電圧レベルを第1のレベルにシフトさせる。上記の例では、第1のレベルシフトが実行されたとき、差分の電圧レベルはレベルV14からレベルV15にシフトする。レベルシフト回路32は、ステップS5において、上位DA変換回路31の複数の容量素子C31に保持された信号の電圧レベルを第2のレベルにシフトさせる。第2のレベルは、第1のレベルがとりうる範囲の最小値である。上記の例では、第2のレベルシフトが実行されたとき、差分の電圧レベルはレベルV21からレベルVn3にシフトする。差分の電圧レベルがとりうる範囲は、レベルVn3からレベルVx3である。レベルVn3がその範囲の最小値であり、かつレベルVx3がその範囲の最大値である。レベルシフト回路32は、ステップS7において、上位DA変換回路31の複数の容量素子C31に保持された信号の電圧レベルを第3のレベルにシフトさせる。第3のレベルは、第1のレベルがとりうる範囲の最大値である。上記の例では、第2のレベルシフトおよび第3のレベルシフトが実行されたとき、差分の電圧レベルはレベルV21からレベルVx3にシフトする。
 差分の電圧レベルがV15であるとき、第1の比較動作が開始される。差分の電圧レベルは、タイミングt11からステップ状に減少し始める。各ラッチ回路L1は、タイミングt13においてデジタル値を保持する。差分の電圧レベルがV25(Vn3)であるとき、第2の比較動作が開始される。差分の電圧レベルは、タイミングt11からステップ状に減少し始める。タイミングt11は、図4に示すタイミングt21と同じである。各ラッチ回路L1は、タイミングt23においてデジタル値を保持する。差分の電圧レベルがV26(Vx3)であるとき、第3の比較動作が開始される。差分の電圧レベルは、タイミングt11からステップ状に減少し始める。タイミングt11は、図5に示すタイミングt31と同じである。各ラッチ回路L1は、タイミングt33においてデジタル値を保持する。
 図4および図6に示す例では、第2の比較動作を含む第2のAD変換によって、デジタル値12が得られる。このデジタル値は、レベルVn1に対応するデジタルデータの下位データと同じである。図5および図6に示す例では、第3の比較動作を含む第2のAD変換によって、デジタル値20が得られる。このデジタル値は、レベルVx1に対応するデジタルデータの下位データと同じである。
 レベルV11がレベルVn1以上かつレベルVx1以下の任意のレベルである場合、第1の比較動作を含む第2のAD変換によって得られたデジタル値は、12から20のいずれか1つである。つまり、そのデジタル値は、9個の値のいずれか1つである。補正回路41は、そのデジタル値を0から8のいずれか1つに変換することにより、そのデジタル値を4ビットの値に補正する。
 下位DA変換回路33に含まれる複数の容量素子C33の各々の容量値が0.8Cuであると仮定した場合、第2のAD変換によって以下のようなデジタル値が得られる。
 容量素子C33の容量値が1Cuである場合、デジタルランプ信号の電圧レベルは、1ステップ毎に1Vcuだけ変化する。容量素子C33の容量値が0.8Cuである場合、デジタルランプ信号の電圧レベルは、1ステップ毎に0.8Vcuだけ変化する。つまり、1ステップ毎の変化量は(4/5)倍である。第2のAD変換によって得られたデジタル値は、(5/4)倍になる。レイテンシーは、(5/4)倍になる。
 容量素子C33の容量値が1Cuである場合、上記の例では、第2の比較動作を含む第2のAD変換によって、デジタル値12が得られる。容量素子C33の容量値が0.8Cuである場合、第2の比較動作を含む第2のAD変換によって、デジタル値15が得られる。容量素子C33の容量値が1Cuである場合、上記の例では、レイテンシーは、4個の遅延素子INV1および4個の遅延素子INV2における遅延に対応する。容量素子C33の容量値が0.8Cuである場合、レイテンシーは、5個の遅延素子INV1および5個の遅延素子INV2における遅延に対応する。
 容量素子C33の容量値が1Cuである場合、上記の例では、第3の比較動作を含む第2のAD変換によって、デジタル値20が得られる。容量素子C33の容量値が0.8Cuである場合、第3の比較動作を含む第2のAD変換によって、デジタル値25が得られる。容量素子C33の容量値が1Cuである場合、上記の例では、レイテンシーは、4個の遅延素子INV1および4個の遅延素子INV2における遅延に対応する。容量素子C33の容量値が0.8Cuである場合、レイテンシーは、5個の遅延素子INV1および5個の遅延素子INV2における遅延に対応する。
 レベルV11がレベルVn1以上かつレベルVx1以下の任意のレベルである場合、第1の比較動作を含む第2のAD変換によって得られたデジタル値は、15から25のいずれか1つである。つまり、そのデジタル値は、11個の値のいずれか1つである。補正回路41は、そのデジタル値を0から8のいずれか1つに変換することにより、そのデジタル値を4ビットの値に補正する。
 具体的な補正の例を説明する。説明を容易にするために、第1のAD変換が終了したときの差分の電圧レベルV14が-4Vcuであると仮定する。このレベルV14は、第1のAD変換において上位データの最下位ビットを決定するときに想定される差分の電圧レベルの範囲の中間レベルである。その範囲は、-8Vcuから0Vcuである。
 容量素子C33の容量値が1Cuである場合について説明する。第1のレベルシフトによって、差分の電圧レベルは16Vcuだけ増加する。第1のレベルシフトによって、差分の電圧レベルは12Vcuになる。第1の比較動作が開始された後、差分の電圧レベルはステップ状に減少する。
 レイテンシーが存在しないと仮定した場合、下位DA変換回路33に含まれる12個の容量素子C33の第2の端子Tc332の電圧レベルが変化したタイミングにおいて、各ラッチ回路L1はデジタル値を保持する。レイテンシーが、4個の遅延素子INV1および4個の遅延素子INV2における遅延に対応すると仮定した場合、下位DA変換回路33に含まれる16個の容量素子C33の第2の端子Tc332の電圧レベルが変化したタイミングにおいて、各ラッチ回路L1はデジタル値を保持する。この場合、第1の比較動作を含む第2のAD変換によって、デジタル値16が得られる。
 補正回路41は、ステップS9において、第2のデジタルデータおよび第3のデジタルデータで規定される範囲における第1のデジタルデータの位置に基づいて第1のデジタルデータを補正する。第1のデジタルデータは第1の比較動作により生成される。第2のデジタルデータは第2の比較動作により生成される。第3のデジタルデータは第3の比較動作により生成される。上記の例では、第1のデジタルデータは、第2のデジタルデータと同じであるか、または第2のデジタルデータよりも大きい。第1のデジタルデータは、第3のデジタルデータと同じであるか、または第3のデジタルデータよりも小さい。
 補正回路41は、第1の範囲と第2の範囲との関係に基づいて第1のデジタルデータを補正する。第1の範囲は、第2のデジタルデータおよび第3のデジタルデータで規定される。第2のデジタルデータおよび第3のデジタルデータの一方が第1の範囲の最小値であり、かつ第2のデジタルデータおよび第3のデジタルデータの他方が第1の範囲の最大値である。補正回路41は、第1のデジタルデータが第2の範囲に収まるように第1のデジタルデータを補正する。第2の範囲における補正された第1のデジタルデータの相対位置は、第1の範囲における第1のデジタルデータの相対位置と略同じである。
 例えば、補正回路41は、補正のためのテーブルを保持する。補正回路41は、そのテーブルに基づいて、デジタル値を補正デジタル値に変換することにより、デジタル値を補正する。補正回路41は、複数のテーブルを保持する。容量素子C33の容量値が1Cuである場合、前述したように、第1の比較動作を含む第2のAD変換によって得られたデジタル値は、12から20のいずれか1つである。デジタル値16に対応する補正デジタル値を得る場合について説明する。
 第1のテーブルにおいて、デジタル値12は、補正デジタル値0に対応する。第1のテーブルにおいて、デジタル値13は、補正デジタル値1に対応する。第1のテーブルにおいて、デジタル値14は、補正デジタル値2に対応する。第1のテーブルにおいて、デジタル値15は、補正デジタル値3に対応する。第1のテーブルにおいて、デジタル値16は、補正デジタル値4に対応する。第1のテーブルにおいて、デジタル値17は、補正デジタル値5に対応する。第1のテーブルにおいて、デジタル値18は、補正デジタル値6に対応する。第1のテーブルにおいて、デジタル値19は、補正デジタル値7に対応する。第1のテーブルにおいて、デジタル値20は、補正デジタル値8に対応する。補正回路41は、第2のAD変換によって得られたデジタル値16を補正デジタル値4に変換する。
 補正回路41は、デジタル値を補正することにより、デジタル値を所定の範囲内の値に変換する。上記の例では、所定の範囲は補正デジタル値0および補正デジタル値8で規定される。補正デジタル値0は所定の範囲の最小値であり、かつ補正デジタル値8は所定の範囲の最大値である。所定の範囲の最小値は、第2の比較動作によって生成された第2の下位データ(第2のデジタルデータ)に対応する。所定の範囲の最大値は、第3の比較動作によって生成された第3の下位データ(第3のデジタルデータ)に対応する。補正されたデジタル値は、レイテンシーによらず、常に所定の範囲内のいずれか1つの値に変換される。そのため、AD変換回路10は、下位データの精度を向上させることができる。
 AD変換回路10は、生成されたデジタルデータを出力する。デジタルデータは、上位データおよび下位データを含む。上位データは、逐次比較動作によって生成されたデジタル値を含む。下位データは、補正回路41によって補正されたデジタル値を含む。
 容量素子C33の容量値が0.8Cuである場合について説明する。第1のAD変換が終了したときの差分の電圧レベルV14は-4Vcuである。第1のレベルシフトによって、差分の電圧レベルは16Vcuだけ増加する。第1のレベルシフトによって、差分の電圧レベルは12Vcuになる。第1の比較動作が開始された後、差分の電圧レベルはステップ状に減少する。
 前述したように、容量素子C33の容量値が0.8Cuである場合、デジタルランプ信号の電圧レベルは、1ステップ毎に0.8Vcuだけ変化する。第2のAD変換によって得られたデジタル値は、容量素子C33の容量値が1Cuである場合のデジタル値の(5/4)倍になる。レイテンシーは、容量素子C33の容量値が1Cuである場合のレイテンシーの(5/4)倍になる。
 レイテンシーが存在しないと仮定した場合、下位DA変換回路33に含まれる15個の容量素子C33の第2の端子Tc332の電圧レベルが変化したタイミングにおいて、各ラッチ回路L1はデジタル値を保持する。レイテンシーは、5個の遅延素子INV1および5個の遅延素子INV2における遅延に対応する。レイテンシーが存在するため、下位DA変換回路33に含まれる20個の容量素子C33の第2の端子Tc332の電圧レベルが変化したタイミングにおいて、各ラッチ回路L1はデジタル値を保持する。この場合、第1の比較動作を含む第2のAD変換によって、デジタル値20が得られる。
 容量素子C33の容量値が0.8Cuである場合、前述したように、第1の比較動作を含む第2のAD変換によって得られたデジタル値は、15から25のいずれか1つである。デジタル値20に対応する補正デジタル値を得る場合について説明する。
 第2のテーブルにおいて、デジタル値15は、補正デジタル値0に対応する。第2のテーブルにおいて、デジタル値16およびデジタル値17は、補正デジタル値1に対応する。第2のテーブルにおいて、デジタル値18は、補正デジタル値2に対応する。第2のテーブルにおいて、デジタル値19は、補正デジタル値3に対応する。第2のテーブルにおいて、デジタル値20は、補正デジタル値4に対応する。第2のテーブルにおいて、デジタル値21は、補正デジタル値5に対応する。第2のテーブルにおいて、デジタル値22は、補正デジタル値6に対応する。第2のテーブルにおいて、デジタル値23およびデジタル値24は、補正デジタル値7に対応する。第2のテーブルにおいて、デジタル値25は、補正デジタル値8に対応する。補正回路41は、第2のAD変換によって得られたデジタル値20を補正デジタル値4に変換する。
 容量素子C33の容量値が1Cuである場合と、容量素子C33の容量値が0.8Cuである場合とのいずれにおいても、補正デジタル値は4である。補正回路41は、下位DA変換回路33に含まれる複数の容量素子C33の容量値の違いによらず、略同じ補正デジタル値を得る。上位DA変換回路31に含まれる複数の容量素子C31間で容量値の精度が確保されてさえいれば、下位DA変換回路33に含まれる複数の容量素子C33の容量値に絶対的な精度はあまり必要ではない。つまり、下位DA変換回路33に含まれる複数の容量素子C33の各々の容量値が小さい場合であっても、AD変換回路10は、AD変換を高精度に実行することができる。
 したがって、下位DA変換回路33に含まれる複数の容量素子C33の容量値は、1Cuに限らない。容量値は1Cuよりも小さい値であってもよい。例えば、容量値は0.8Cuであってもよい。容量値は1Cuよりも大きい値であってもよい。例えば、容量値は1.2Cuであってもよい。
 補正回路41は、複数の範囲の各々に対応するテーブルを使用することにより、第1のデジタルデータを補正する。複数の範囲の各々は、第2のデジタルデータおよび第3のデジタルデータで規定される。上記の例では、補正回路41は、第1のテーブルおよび第2のテーブルを含む複数のテーブルを保持する。補正回路41は、第2のデジタルデータおよび第3のデジタルデータで規定される範囲に対応する1つのテーブルを選択する。
 例えば、第2のデジタルデータとしてデジタル値12が得られ、かつ第3のデジタルデータとしてデジタル値20が得られる。この場合、補正回路41は、上記の第1のテーブルを選択する。あるいは、第2のデジタルデータとしてデジタル値15が得られ、かつ第3のデジタルデータとしてデジタル値25が得られる。この場合、補正回路41は、上記の第2のテーブルを選択する。
 レベルシフト回路32に含まれる複数の容量素子C32の少なくとも1つが上位DA変換回路31に含まれてもよい。つまり、上位DA変換回路31およびレベルシフト回路32が少なくとも1つの容量素子を共有してもよい。例えば、第3のレベルシフトに使用される第2の容量素子は、上位DA変換回路31の複数の容量素子C31に含まれる第3の容量素子であってもよい。つまり、第3の容量素子が第3のレベルシフトに使用されてもよい。第3の容量素子は、上位データの最下位ビットのデータを生成するために使用される。上記の例では、第3の容量素子は、容量値8Cuを持つ容量素子C31である。第3のレベルシフトを実行する前に第1のAD変換を実行する必要はない。そのため、第1のAD変換に使用される第3の容量素子を第3のレベルシフトに使用することができる。
 第2のレベルシフトに使用される第1の容量素子は、上位DA変換回路31の複数の容量素子C31に含まれる第4の容量素子であってもよい。つまり、第4の容量素子が第2のレベルシフトに使用されてもよい。第4の容量素子は、上位データの最下位ビットのデータを生成するために使用される。上記の例では、第4の容量素子は、容量値8Cuを持つ容量素子C31である。第2のレベルシフトを実行する前に第1のAD変換を実行する必要はない。そのため、第1のAD変換に使用される第4の容量素子を第2のレベルシフトに使用することができる。
 上記の例では、レベルシフト回路32に含まれる2つの容量素子C32の容量値は同じである。レベルシフト回路32に含まれる2つの容量素子C32の容量値が異なってもよい。例えば、第2のレベルシフトに使用される第1の容量素子の容量値は、4Cuであってもよい。
 容量値4Cuを持つ容量素子C32と容量値8Cuを持つ容量素子C32とが第1のレベルシフトに使用されるため、図6に示すレベルVn2およびレベルVx2は、第1のレベルシフトによって12Vcuだけ増加する。その場合、レベルVn3は4Vcuになり、かつレベルVx3は12Vcuになる。容量値4Cuを持つ容量素子C32が第2のレベルシフトに使用されるため、図6に示すレベルV21は、第2のレベルシフトによって4Vcuだけ増加する。その場合、レベルV25は4Vcuになり、かつレベルVn3と同じである。容量値8Cuを持つ容量素子C32が第3のレベルシフトに使用されるため、図6に示すレベルV21は、第2のレベルシフトおよび第3のレベルシフトによって12Vcuだけ増加する。その場合、レベルV26は12Vcuになり、かつレベルVx3と同じである。第1の容量素子の容量値は、12Cu等であってもよい。
 本発明の各態様のAD変換方法は、AD変換回路10において実行される第1から第8のステップを有する。第1の信号INPが比較回路21の第1の端子T21に入力され、かつ第2の信号INNが上位DA変換回路31の複数の容量素子C31に保持される。その後、比較回路21は、第1のステップ(ステップS1)において、逐次比較動作を実行する。逐次比較動作が実行された後、レベルシフト回路32は、第2のステップ(ステップS2)において、上位DA変換回路31の複数の容量素子C31に保持された信号の電圧レベルを第1のレベルにシフトさせることにより第1のレベルシフトを実行する。第1のレベルシフトが実行された後、デジタルランプ信号に基づく電圧レベルを持つ信号が上位DA変換回路31の複数の容量素子C31および下位DA変換回路33の複数の容量素子C33に保持される。第1のレベルシフトが実行された後、比較回路21は、第3のステップ(ステップS3)において、第1の端子T21に入力された信号の第1の電圧レベルと、第2の端子T22に入力された信号の第2の電圧レベルとを比較することにより第1の比較動作を実行する。
 第3の信号(第1の信号INP)が第1の端子T21に入力され、かつ上位DA変換回路31の複数の容量素子C31に保持される。その後、レベルシフト回路32は、第4のステップ(ステップS5)において、上位DA変換回路31の複数の容量素子C31に保持された信号の電圧レベルを第2のレベルにシフトさせることにより第2のレベルシフトを実行する。第2のレベルシフトが実行された後、デジタルランプ信号に基づく電圧レベルを持つ信号が上位DA変換回路31の複数の容量素子C31および下位DA変換回路33の複数の容量素子C33に保持される。第2のレベルシフトが実行された後、比較回路21は、第5のステップ(ステップS6)において、第1の電圧レベルと第2の電圧レベルとを比較することにより第2の比較動作を実行する。
 第2の比較動作が実行された後、レベルシフト回路32は、第6のステップ(ステップS7)において、上位DA変換回路31の複数の容量素子C31に保持された信号の電圧レベルを、第2のレベルと異なる第3のレベルにシフトさせることにより第3のレベルシフトを実行する。第3のレベルシフトが実行された後、デジタルランプ信号に基づく電圧レベルを持つ信号が上位DA変換回路31の複数の容量素子C31および下位DA変換回路33の複数の容量素子C33に保持される。第3のレベルシフトが実行された後、比較回路21は、第7のステップ(ステップS8)において、第1の電圧レベルと第2の電圧レベルとを比較することにより第3の比較動作を実行する。補正回路41は、第8のステップ(ステップS9)において、第2のデジタルデータおよび第3のデジタルデータに基づいて、第1のデジタルデータを補正する。
 上記の例では、第1の信号INPの電圧レベルが第2の信号INNの電圧レベル以上であるが、第1の信号INPの電圧レベルが第2の信号INNの電圧レベル以下であってもよい。この場合、参照電圧VREFLがスイッチSW1の入力端子Hに入力され、かつ参照電圧VREFHがスイッチSW1の入力端子Lに入力される。参照電圧VREFLがスイッチSW2の入力端子Hに入力され、かつ参照電圧VREFHがスイッチSW2の入力端子Lに入力される。信号STの電圧レベルはローレベルからハイレベルに変化する。デジタルランプ信号の電圧レベルは、ステップ状に増加する。
 第1の実施形態において、補正回路41は、第2のデジタルデータおよび第3のデジタルデータに基づいて、第1のデジタルデータを補正する。そのため、AD変換回路10は、デジタルデータの精度を向上させることができる。
 例えば、容量素子C33の容量値が1Cuである場合と、容量素子C33の容量値が0.8Cuである場合とでは、デジタルランプ信号が減少する速さが異なる。デジタルランプ信号の変化の速さ(傾き)の違いは、AD変換回路10の性能の個体差となる。補正回路41が第1のデジタルデータを補正するため、デジタルランプ信号の傾きのばらつきの影響を低減することができる。
 温度が変化すると、遅延素子INV1における遅延時間および遅延素子INV2における遅延時間が変化する。遅延時間が変化した場合、デジタルランプ信号の傾きが変化する。しかしながら、上記と同様に、デジタルランプ信号の傾きのばらつきの影響を低減することができる。
 レベルシフト回路32の複数の容量素子C32は、第1の容量素子および第2の容量素子を含む。第3のレベルシフトに使用される第2の容量素子の容量値は、上位DA変換回路31の複数の容量素子C31に含まれる第3の容量素子の容量値と略同じである。第3の容量素子は、上位データの最下位ビットのデータを生成するために使用される。レベルシフト回路32は、第2の容量素子を使用することにより、第3のレベルシフトを容易に実行することができる。
 第2のレベルシフトに使用される第1の容量素子の容量値は、上位DA変換回路31の複数の容量素子C31に含まれる第4の容量素子の容量値と略同じである。第4の容量素子は、上位データの最下位ビットのデータを生成するために使用される。レベルシフト回路32は、第1の容量素子を使用することにより、第2のレベルシフトを容易に実行することができる。
 レベルシフト回路32が第1のレベルシフトを実行したとき、上位DA変換回路31の複数の容量素子C31に保持された信号の電圧レベルは第1のレベルにシフトする。レベルシフト回路32が第2のレベルシフトを実行したとき、上位DA変換回路31の複数の容量素子C31に保持された信号の電圧レベルは第2のレベルにシフトする。第2のレベルは、第1のレベルがとりうる範囲の最小値である。レベルシフト回路32が第3のレベルシフトを実行したとき、上位DA変換回路31の複数の容量素子C31に保持された信号の電圧レベルは第3のレベルにシフトする。第3のレベルは、第1のレベルがとりうる範囲の最大値である。補正回路41は、第1のレベルがとりうる範囲のデジタルデータと第1のデジタルデータとの関係に基づいて第1のデジタルデータを補正することができる。そのため、AD変換回路10は、デジタルデータの精度を向上させることができる。
 第1のAD変換が実行されることなく、レベルシフト回路32は、第2のレベルシフトおよび第3のレベルシフトを実行する。そのため、補正のための第2のデジタルデータおよび補正のための第3のデジタルデータを得るのに要する時間を短縮することができる。
 (第2の実施形態)
 図7は、本発明の第2の実施形態のAD変換回路11の構成を示す。図1に示す構成と異なる構成の説明を省略する。
 図1に示すDA変換部30はDA変換部30aに変更される。図7に示すDA変換部30aにおいて、図1に示す下位DA変換回路33は下位DA変換回路33aに変更される。図7に示す下位DA変換回路33aに含まれるラッチ回路L1の数は、図1に示す下位DA変換回路33に含まれるラッチ回路L1の数と異なる。図1に示す下位DA変換回路33は、24個のラッチ回路L1を有する。図7に示す下位DA変換回路33aは、48個のラッチ回路L1を有する。
 下位DA変換回路33aにおいて、24個のラッチ回路L1の第1の入力端子は、容量素子C33の第2の端子Tc332に接続されている。下位DA変換回路33aにおいて、他の24個のラッチ回路L1の第1の入力端子は、遅延素子INV1の出力端子および遅延素子INV2の入力端子に接続されている。
 第2の実施形態において、ラッチ回路L1の数が2倍になるため、下位データのビット数が1ビット増加する。そのため、回路規模を大幅に変更することなくAD変換の分解能を1ビット増加させることができる。
 (第3の実施形態)
 図8は、本発明の第3の実施形態のAD変換回路12の構成を示す。図1に示す構成と異なる構成の説明を省略する。
 図1に示すDA変換部30はDA変換部30bに変更される。図8に示すDA変換部30bにおいて、図1に示す上位DA変換回路31は上位DA変換回路31bに変更される。図8に示すDA変換部30bにおいて、図1に示すレベルシフト回路32はレベルシフト回路32bに変更される。
 上位DA変換回路31bにおいて、信号D3および信号DLS2が、1つのスイッチSW1の入力端子INに入力される。そのスイッチSW1の出力端子OUTは、容量値8Cuを持つ容量素子C31の第2の端子TC312に接続されている。
 レベルシフト回路32bは、1つの容量素子C32、1つの容量素子C31、1つのスイッチSW2、および1つのスイッチSW1を有する。容量素子C32の容量値は12Cuである。信号DLS1がスイッチSW2の入力端子INに入力される。上位DA変換回路31bおよびレベルシフト回路32bは、容量値8Cuを持つ容量素子C31と、その容量素子C31に接続されたスイッチSW1とを共有する。容量素子C32は、第1のレベルシフトおよび第2のレベルシフトに使用される。容量値8Cuを持つ容量素子C31は、第3のレベルシフトに使用される。
 第1のレベルシフトが実行される前、信号DLS1および信号DLS2の各々の電圧レベルはローレベルである。制御回路40は、第1のレベルシフトにおいて、信号DLS1の電圧レベルをローレベルからハイレベルに変化させる。このとき、レベルシフト回路32bにおいて、容量値12Cuを持つ容量素子C32の第1の端子Tc321の電圧レベルが12Vcuだけ増加する。つまり、DA変換部30bの出力端子T30の電圧レベルおよび差分の電圧レベルが12Vcuだけ増加する。
 第2のレベルシフトが実行される前、制御回路40は、信号D7からD3および信号DLS1の各々の電圧レベルをローレベルにする。また、制御回路40は、信号DLS2および信号STの各々の電圧レベルをハイレベルにする。スイッチSWMの状態がオン状態になり、かつ第1の信号INPがDA変換部30bの複数の容量素子に保持された後、スイッチSWMの状態がオフ状態になる。このとき、比較回路21の第1の端子T21および比較回路21の第2の端子T22の各々に第1の信号INPが入力される。
 制御回路40は、第2のレベルシフトにおいて、信号DLS1の電圧レベルをローレベルからハイレベルに変化させる。このとき、レベルシフト回路32bにおいて、容量値12Cuを持つ容量素子C32の第1の端子Tc321の電圧レベルが12Vcuだけ増加する。つまり、DA変換部30bの出力端子T30の電圧レベルおよび差分の電圧レベルが12Vcuだけ増加する。
 制御回路40は、第3のレベルシフトにおいて、信号DLS2の電圧レベルをハイレベルからローレベルに変化させる。このとき、レベルシフト回路32bにおいて、容量値8Cuを持つ容量素子C31の第1の端子Tc311の電圧レベルが8Vcuだけ減少する。つまり、DA変換部30bの出力端子T30の電圧レベルおよび差分の電圧レベルが8Vcuだけ減少する。
 図9は、比較回路21の第1の端子T21の電圧レベルと比較回路21の第2の端子T22の電圧レベルとの差分の変化を示す。図9において垂直方向は、図3と同様に、第1の端子T21の電圧レベルと第2の端子T22の電圧レベルとの差分を示す。第2の信号INNが上位DA変換回路31bの複数の容量素子C31に保持されたとき、差分の電圧レベルはV11である。差分の電圧レベルがとりうる範囲の最大値はVx1であり、かつ差分の電圧レベルがとりうる範囲の最小値はVn1である。例えば、レベルVx1は0Vcuであり、かつレベルVn1は-64Vcuである。
 レベルV11に基づく第1のAD変換が終了したとき、差分の電圧レベルはV14である。レベルV14は、-3Vcuである。レベルVx1に基づく第1のAD変換が終了したと仮定した場合、差分の電圧レベルはVx2である。レベルVx2は0Vcuである。レベルVn1に基づく第1のAD変換が終了したと仮定した場合、差分の電圧レベルはVn2である。レベルVn2は-8Vcuである。第1のAD変換が終了したとき、差分の電圧レベルはVn2以上かつVx2以下である。
 レベルV14に基づく第1のレベルシフトが実行されたとき、差分の電圧レベルはV15になる。容量値12Cuを持つ容量素子C32が第1のレベルシフトに使用されるため、差分の電圧レベルは第1のレベルシフトによって12Vcuだけ増加する。レベルV15は、9Vcuである。レベルVx2に基づく第1のレベルシフトが実行されたと仮定した場合、差分の電圧レベルはVx3になる。レベルVx3は12Vcuである。レベルVn2に基づく第1のレベルシフトが実行されたと仮定した場合、差分の電圧レベルはVn3になる。レベルVn3は4Vcuである。第1のレベルシフトが実行されたとき、差分の電圧レベルはVn3以上かつVx3以下である。
 第1の端子T21および第2の端子T22の各々に第1の信号INPが入力されたとき、第1の端子T21の電圧レベルと第2の端子T22の電圧レベルとの差分はV21である。レベルV21は、0Vcuである。レベルV21に基づく第2のレベルシフトが実行されたとき、差分の電圧レベルはV25になる。容量値12Cuを持つ容量素子C32が第2のレベルシフトに使用されるため、差分の電圧レベルは第2のレベルシフトによって12Vcuだけ増加する。レベルV25は、12Vcuである。レベルV21に基づく第2のレベルシフトおよび第3のレベルシフトが実行されたとき、差分の電圧レベルはV26になる。容量値12Cuを持つ容量素子C32が第2のレベルシフトに使用されるため、差分の電圧レベルは第2のレベルシフトによって12Vcuだけ増加する。容量値8Cuを持つ容量素子C31が第3のレベルシフトに使用されるため、差分の電圧レベルは第3のレベルシフトによって8Vcuだけ減少する。レベルV26は、4Vcuである。
 レベルVn3は、レベルVn1に基づく第1のAD変換と、レベルVn2に基づく第1のレベルシフトとが実行されたときに得られる。レベルVn3は、第2のレベルシフトおよび第3のレベルシフトが実行されたときに得られるレベルV26と同じである。実際には、レベルVn1に基づく第1のAD変換と、レベルVn2に基づく第1のレベルシフトとは実行されない。AD変換回路12は、レベルV21に基づく第2のレベルシフトおよび第3のレベルシフトを実行することにより、レベルVn3に対応するレベルV26を得ることができる。
 レベルVx3は、レベルVx1に基づく第1のAD変換と、レベルVx2に基づく第1のレベルシフトとが実行されたときに得られる。レベルVx3は、第2のレベルシフトが実行されたときに得られるレベルV25と同じである。実際には、レベルVx1に基づく第1のAD変換と、レベルVx2に基づく第1のレベルシフトとは実行されない。AD変換回路12は、レベルV21に基づく第2のレベルシフトを実行することにより、レベルVx3に対応するレベルV25を得ることができる。
 レベルシフト回路32bは、ステップS2において、上位DA変換回路31bの複数の容量素子C31に保持された信号の電圧レベルを第1のレベルにシフトさせる。上記の例では、第1のレベルシフトが実行されたとき、差分の電圧レベルはレベルV14からレベルV15にシフトする。レベルシフト回路32bは、ステップS5において、上位DA変換回路31bの複数の容量素子C31に保持された信号の電圧レベルを第2のレベルにシフトさせる。第2のレベルは、第1のレベルがとりうる範囲の最大値である。上記の例では、第2のレベルシフトが実行されたとき、差分の電圧レベルはレベルV21からレベルVx3にシフトする。差分の電圧レベルがとりうる範囲は、レベルVn3からレベルVx3である。レベルVn3がその範囲の最小値であり、かつレベルVx3がその範囲の最大値である。レベルシフト回路32bは、ステップS7において、上位DA変換回路31bの複数の容量素子C31に保持された信号の電圧レベルを第3のレベルにシフトさせる。第3のレベルは、第1のレベルがとりうる範囲の最小値である。上記の例では、第2のレベルシフトおよび第3のレベルシフトが実行されたとき、差分の電圧レベルはレベルV21からレベルVn3にシフトする。
 差分の電圧レベルがV15であるとき、第1の比較動作が開始される。差分の電圧レベルは、タイミングt11からステップ状に減少し始める。各ラッチ回路L1は、タイミングt13においてデジタル値を保持する。差分の電圧レベルがV25(Vx3)であるとき、第2の比較動作が開始される。差分の電圧レベルは、タイミングt11からステップ状に減少し始める。各ラッチ回路L1は、タイミングt23においてデジタル値を保持する。差分の電圧レベルがV26(Vn3)であるとき、第3の比較動作が開始される。差分の電圧レベルは、タイミングt11からステップ状に減少し始める。各ラッチ回路L1は、タイミングt33においてデジタル値を保持する。
 レイテンシーが存在しないと仮定した場合、第1の比較動作において、下位DA変換回路33に含まれる9個の容量素子C33の第2の端子Tc332の電圧レベルが変化したとき、各ラッチ回路L1はデジタル値を保持する。高速に動作する回路においてもレイテンシーが存在する。そのため、実際には、下位DA変換回路33に含まれる13個の容量素子C33の第2の端子Tc332の電圧レベルが変化したとき、各ラッチ回路L1はデジタル値を保持する。したがって、4個の遅延素子INV1および4個の遅延素子INV2における遅延に対応するレイテンシーが存在する。
 レイテンシーが存在しないと仮定した場合、第2の比較動作において、下位DA変換回路33に含まれる12個の容量素子C33の第2の端子Tc332の電圧レベルが変化したとき、各ラッチ回路L1はデジタル値を保持する。実際には、4個の遅延素子INV1および4個の遅延素子INV2における遅延に対応するレイテンシーが存在する。そのため、下位DA変換回路33に含まれる16個の容量素子C33の第2の端子Tc332の電圧レベルが変化したとき、各ラッチ回路L1はデジタル値を保持する。
 レイテンシーが存在しないと仮定した場合、第3の比較動作において、下位DA変換回路33に含まれる4個の容量素子C33の第2の端子Tc332の電圧レベルが変化したとき、各ラッチ回路L1はデジタル値を保持する。実際には、4個の遅延素子INV1および4個の遅延素子INV2における遅延に対応するレイテンシーが存在する。そのため、下位DA変換回路33に含まれる8個の容量素子C33の第2の端子Tc332の電圧レベルが変化したとき、各ラッチ回路L1はデジタル値を保持する。
 上記の例では、第2の比較動作を含む第2のAD変換によって、デジタル値16が得られる。上記の例では、第3の比較動作を含む第2のAD変換によって、デジタル値8が得られる。
 レベルV11がレベルVn1以上かつレベルVx1以下の任意のレベルである場合、第1の比較動作を含む第2のAD変換によって得られたデジタル値は、8から16のいずれか1つである。つまり、そのデジタル値は、9個の値のいずれか1つである。補正回路41は、そのデジタル値を0から8のいずれか1つに変換することにより、そのデジタル値を4ビットの値に補正する。第3の実施形態における補正方法は、第1の実施形態における補正方法と同様である。
 補正回路41は、デジタル値を補正することにより、デジタル値を所定の範囲内の値に変換する。上記の例では、所定の範囲は補正デジタル値0および補正デジタル値8で規定される。補正デジタル値0は所定の範囲の最小値であり、かつ補正デジタル値8は所定の範囲の最大値である。所定の範囲の最小値は、第3の比較動作によって生成された第3の下位データ(第3のデジタルデータ)に対応する。所定の範囲の最大値は、第2の比較動作によって生成された第2の下位データ(第2のデジタルデータ)に対応する。補正されたデジタル値は、レイテンシーによらず、常に所定の範囲内のいずれか1つの値に変換される。そのため、AD変換回路10は、下位データの精度を向上させることができる。
 レベルシフト回路32bの複数の容量素子は、第1の容量素子および第2の容量素子を含む。上記の例では、第1の容量素子は、容量素子C32である。第2の容量素子は、容量値8Cuを持つ容量素子C31である。レベルシフト回路32は、ステップS2において、第1の容量素子の電圧レベルを変化させることにより第1のレベルシフトを実行する。レベルシフト回路32は、ステップS5において、第1の容量素子の電圧レベルを変化させることにより第2のレベルシフトを実行する。レベルシフト回路32は、ステップS7において、第2の容量素子の電圧レベルを変化させることにより第3のレベルシフトを実行する。
 ステップS1において逐次比較動作が実行されたとき、デジタルデータに含まれる上位データが生成される。上位データは、複数ビットのデータを含む。ステップS3において第1の比較動作が実行されたとき、デジタルデータに含まれる下位データが生成される。下位データは、複数ビットのデータを含む。上記の例では、第2の容量素子は、上位DA変換回路31bの複数の容量素子C31に含まれる第3の容量素子である。第3の容量素子は、上位データの最下位ビットのデータを生成するために使用される。上記の例では、第3の容量素子は、容量値8Cuを持つ容量素子C31である。第3のレベルシフトを実行する前に第1のAD変換を実行する必要はない。そのため、第1のAD変換に使用される第3の容量素子を第3のレベルシフトに使用することができる。
 第2のレベルシフトに使用される第1の容量素子の容量値は、16Cuであってもよい。容量値16Cuを持つ容量素子C32が第1のレベルシフトに使用されるため、図9に示すレベルVn2およびレベルVx2は、第1のレベルシフトによって16Vcuだけ増加する。その場合、レベルVn3は8Vcuになり、かつレベルVx3は16Vcuになる。容量値16Cuを持つ容量素子C32が第2のレベルシフトに使用されるため、図9に示すレベルV21は、第2のレベルシフトによって16Vcuだけ増加する。その場合、レベルV25は16Vcuになり、かつレベルVx3と同じである。容量値8Cuを持つ容量素子C31が第3のレベルシフトに使用されるため、図9に示すレベルV21は、第2のレベルシフトによって16Vcuだけ増加し、かつ第3のレベルシフトによって8Vcuだけ減少する。その場合、レベルV26は8Vcuになり、かつレベルVn3と同じである。第1の容量素子の容量値は、20Cu等であってもよい。
 第2のレベルシフトに使用される第1の容量素子の容量値が16Cuである場合、第1の容量素子の容量値は、上位DA変換回路31の複数の容量素子C31に含まれる第4の容量素子の容量値と略同じである。第4の容量素子は、上位データの2番目に小さいビットのデータを生成するために使用される。上記の例では、第4の容量素子は、容量値16Cuを持つ容量素子C31である。
 第1の容量素子の容量値が16Cuである場合、第1の容量素子の容量値と第4の容量素子の容量値とが異なってもよい。第1の容量素子の容量値と第4の容量素子の容量値との差は非常に小さくてもよい。例えば、その差の絶対値は、第1の容量素子の容量値または第4の容量素子の容量値の5%以下であってもよい。あるいは、その差の絶対値は、第1の容量素子の容量値または第4の容量素子の容量値の10%以下であってもよい。
 第1の容量素子の容量値が16Cuである場合、第1の容量素子は第4の容量素子であってもよい。つまり、第4の容量素子が第2のレベルシフトに使用されてもよい。第2のレベルシフトを実行する前に第1のAD変換を実行する必要はない。そのため、第1のAD変換に使用される第4の容量素子を第2のレベルシフトに使用することができる。
 第3の実施形態において、補正回路41は、第1の実施形態と同様に、第1のデジタルデータを補正する。そのため、AD変換回路12は、デジタルデータの精度を向上させることができ、かつデジタルランプ信号の傾きのばらつきの影響を低減することができる。
 第3のレベルシフトに使用される第2の容量素子は、上位DA変換回路31bの複数の容量素子C31に含まれる第3の容量素子である。レベルシフト回路32bは、第3の容量素子を第2の容量素子として使用することにより、第3のレベルシフトを容易に実行することができる。上位DA変換回路31bおよびレベルシフト回路32bが容量素子を共有するため、回路規模が低減される。
 第2のレベルシフトに使用される第1の容量素子は、上位DA変換回路31bの複数の容量素子C31に含まれる第4の容量素子であってもよい。レベルシフト回路32bは、第4の容量素子を第1の容量素子として使用することにより、第2のレベルシフトを容易に実行することができる。上位DA変換回路31bおよびレベルシフト回路32bが容量素子を共有するため、回路規模が低減される。
 レベルシフト回路32が第1のレベルシフトを実行したとき、上位DA変換回路31bの複数の容量素子C31に保持された信号の電圧レベルは第1のレベルにシフトする。レベルシフト回路32bが第2のレベルシフトを実行したとき、上位DA変換回路31bの複数の容量素子C31に保持された信号の電圧レベルは第2のレベルにシフトする。第2のレベルは、第1のレベルがとりうる範囲の最大値である。レベルシフト回路32bが第3のレベルシフトを実行したとき、上位DA変換回路31bの複数の容量素子C31に保持された信号の電圧レベルは第3のレベルにシフトする。第3のレベルは、第1のレベルがとりうる範囲の最小値である。補正回路41は、第1のレベルがとりうる範囲のデジタルデータと第1のデジタルデータとの関係に基づいて第1のデジタルデータを補正することができる。そのため、AD変換回路12は、デジタルデータの精度を向上させることができる。
 (第4の実施形態)
 図10は、本発明の第4の実施形態の撮像装置1の構成を示す。図10に示す撮像装置1は、撮像部2、垂直選択部4、列回路部5、水平選択部6、および出力部7を有する。例えば、撮像部2、垂直選択部4、列回路部5、水平選択部6、および出力部7は、同一の基板に配置されている。撮像装置1が配置されたチップが複数の基板を有する場合、撮像部2、垂直選択部4、列回路部5、水平選択部6、および出力部7は、複数の基板に分散してもよい。
 撮像部2は、行列状に配置された複数の画素3を有する。複数の画素3は、m行かつn列の配列を形成する。数字mおよび数字nは、2以上の整数である。行数および列数が同一でなくてもよい。図10において、行数が2であり、かつ列数が3である例が示されている。これは一例であって、これに限らない。画素3は、リセットレベルを持つ第1の画素信号と信号レベルを持つ第2の画素信号とを出力する。
 垂直選択部4は、複数の画素3の配列における行方向に配置された画素3を選択する。垂直選択部4は、選択された画素3の動作を制御する。垂直選択部4は、複数の画素3を制御するための制御信号を複数の画素3の配列における行毎に出力する。垂直選択部4から出力される制御信号は、転送パルスφTx_i、リセットパルスφRst_i、および選択パルスφSel_iを含む。数字iは、1または2である。図10において、転送パルスφTx_1、リセットパルスφRst_1、および選択パルスφSel_1は、1行目の画素3に出力される。図10において、転送パルスφTx_2、リセットパルスφRst_2、および選択パルスφSel_2は、2行目の画素3に出力される。
 列回路部5は、複数の列回路8を有する。列回路8は、複数の画素3の配列における列毎に配置されている。列回路8は、垂直方向すなわち列方向に伸びる垂直信号線70に接続されている。垂直信号線70は、複数の画素3の配列における列毎に配置されている。垂直信号線70は、各列の画素3に接続されている。列回路8は、垂直信号線70を経由して画素3と電気的に接続されている。列回路8は、画素3から出力されたリセットレベルの第1の画素信号に基づく第1の信号を生成し、かつ画素3から出力された信号レベルの第2の画素信号に基づく第2の信号を生成する。
 列回路8は、水平方向すなわち行方向に伸びる第1の水平信号線71および第2の水平信号線72に接続されている。選択パルスHSR[k]が水平選択部6から列kに対応する列回路8に出力される。数字kは1、2、および3のいずれか1つである。選択パルスHSR[k]によって選択された列回路8は、第1の信号を第1の水平信号線71に出力し、かつ第2の信号を第2の水平信号線72に出力する。
 複数の画素3の配列における複数の列毎に1つの列回路8が配置され、かつ1つの列回路8が複数の列において時分割で使用されてもよい。したがって、列回路8は、複数の画素3の配列における1つ以上の列に対応するように配置されてさえいればよい。
 第1の水平信号線71および第2の水平信号線72は、出力部7に接続されている。第1の電流源I1が第1の水平信号線71に接続され、かつ第2の電流源I2が第2の水平信号線72に接続されている。水平選択部6は、選択パルスHSR[1]から選択パルスHSR[3]により列回路8を順次選択する。水平選択部6によって選択された列回路8から出力された第1の信号および第2の信号は出力部7に転送される。
 出力部7は、図1に示すAD変換回路10を有する。AD変換回路10において、スイッチSWPの第1の端子Tswp1は第1の水平信号線71に接続され、かつスイッチSWNの第1の端子Tswn1は第2の水平信号線72に接続されている。AD変換回路10は、第1の信号および第2の信号に基づいてデジタルデータDOUTを生成する。出力部7は、デジタルデータDOUTを後段の回路に出力する。
 図11は、画素3の構成を示す。図11に示す画素3は、光電変換部PD、転送トランジスタTx、電荷蓄積部FD、リセットトランジスタRst、増幅トランジスタDrv、および選択トランジスタSelを有する。図11に示す各トランジスタは、NMOSトランジスタである。図11に示す各トランジスタは、ゲート端子、ソース端子、およびドレイン端子を有する。
 例えば、光電変換部PDは、フォトダイオードである。光電変換部PDは、第1の端子および第2の端子を有する。光電変換部PDの第1の端子はグランドに接続されている。光電変換部PDの第2の端子は転送トランジスタTxに接続されている。
 転送トランジスタTxのソース端子は、光電変換部PDの第2の端子に接続されている。転送トランジスタTxのドレイン端子は、電荷蓄積部FDに接続されている。転送トランジスタTxのゲート端子は、制御信号線82に接続されている。制御信号線82は、複数の画素3の配列における行方向に伸び、かつ垂直選択部4に接続されている。制御信号線82は、転送パルスφTx_iを転送する。
 リセットトランジスタRstのドレイン端子は、電源線80に接続されている。電源線80は、電源電圧VDDを出力する電源に接続されている。リセットトランジスタRstのソース端子は、電荷蓄積部FDに接続されている。リセットトランジスタRstのゲート端子は、制御信号線81に接続されている。制御信号線81は、複数の画素3の配列における行方向に伸び、かつ垂直選択部4に接続されている。制御信号線81は、リセットパルスφRst_iを転送する。
 増幅トランジスタDrvのドレイン端子は、電源線80に接続されている。増幅トランジスタDrvのソース端子は、選択トランジスタSelに接続されている。増幅トランジスタDrvのゲート端子は、電荷蓄積部FDに接続されている。
 選択トランジスタSelのドレイン端子は、増幅トランジスタDrvのソース端子に接続されている。選択トランジスタSelのソース端子は、垂直信号線70に接続されている。選択トランジスタSelのゲート端子は、制御信号線83に接続されている。制御信号線83は、複数の画素3の配列における行方向に伸び、かつ垂直選択部4に接続されている。制御信号線83は、選択パルスφSel_iを転送する。
 転送トランジスタTxは、垂直選択部4から出力される転送パルスφTx_iに基づいて制御される。1行目の画素3の転送トランジスタTxは、転送パルスφTx_1に基づいて制御され、かつ2行目の画素3の転送トランジスタTxは、転送パルスφTx_2に基づいて制御される。リセットトランジスタRstは、垂直選択部4から出力されるリセットパルスφRst_iに基づいて制御される。1行目の画素3のリセットトランジスタRstは、リセットパルスφRst_1に基づいて制御され、かつ2行目の画素3のリセットトランジスタRstは、リセットパルスφRst_2に基づいて制御される。選択トランジスタSelは、垂直選択部4から出力される選択パルスφSel_iに基づいて制御される。1行目の画素3の選択トランジスタSelは、選択パルスφSel_1に基づいて制御され、かつ2行目の画素3の選択トランジスタSelは、選択パルスφSel_2に基づいて制御される。
 光電変換部PDは、入射光の大きさに基づく信号電荷を生成する。転送トランジスタTxは、光電変換部PDで生成された信号電荷を電荷蓄積部FDに転送する。例えば、電荷蓄積部FDは、フローティングディフュージョンである。電荷蓄積部FDは、転送トランジスタTxによって転送された信号電荷を蓄積する。リセットトランジスタRstは、電荷蓄積部FDを所定の電圧にリセットする。増幅トランジスタDrvは、電荷蓄積部FDの電圧に基づく信号を増幅することにより、画素信号を生成する。選択トランジスタSelは、垂直信号線70に画素信号を出力する。垂直信号線70は、複数の画素3の配列における列毎に配置されている。リセットレベルを持つ第1の画素信号および信号レベルを持つ第2の画素信号が画素3から出力される。
 図12は、列回路8の構成を示す。図12に示す列回路8は、トランジスタM1、サンプルトランジスタM2、サンプルトランジスタM3、増幅トランジスタM4、増幅トランジスタM5、列選択トランジスタM6、列選択トランジスタM7、容量素子Cr、および容量素子Csを有する。図12に示す各トランジスタは、NMOSトランジスタである。図12に示す各トランジスタは、ゲート端子、ソース端子、およびドレイン端子を有する。
 トランジスタM1のドレイン端子は、垂直信号線70に接続されている。トランジスタM1のソース端子は、グランドに接続されている。トランジスタM1のゲート端子は、電源線84に接続されている。電源線84は、所定の電圧LMBを出力する電源に接続されている。
 サンプルトランジスタM2のドレイン端子は、垂直信号線70に接続されている。サンプルトランジスタM2のソース端子は、容量素子Crに接続されている。サンプルトランジスタM2のゲート端子は、制御信号線85に接続されている。制御信号線85は、複数の画素3の配列における行方向に伸びる。制御信号線85は、サンプルホールドパルスφSHRを転送する。
 サンプルトランジスタM3のドレイン端子は、垂直信号線70に接続されている。サンプルトランジスタM3のソース端子は、容量素子Csに接続されている。サンプルトランジスタM3のゲート端子は、制御信号線86に接続されている。制御信号線86は、複数の画素3の配列における行方向に伸びる。制御信号線86は、サンプルホールドパルスφSHSを転送する。
 容量素子Crおよび容量素子Csの各々は、第1の端子および第2の端子を有する。容量素子Crの第1の端子は、サンプルトランジスタM2のソース端子に接続されている。容量素子Crの第2の端子は、グランドに接続されている。容量素子Csの第1の端子は、サンプルトランジスタM3のソース端子に接続されている。容量素子Csの第2の端子は、グランドに接続されている。
 電源電圧VDDが増幅トランジスタM4のドレイン端子に入力される。増幅トランジスタM4のソース端子は、列選択トランジスタM6に接続されている。増幅トランジスタM4のゲート端子は、容量素子Crの第1の端子に接続されている。
 電源電圧VDDが増幅トランジスタM5のドレイン端子に入力される。増幅トランジスタM5のソース端子は、列選択トランジスタM7に接続されている。増幅トランジスタM5のゲート端子は、容量素子Csの第1の端子に接続されている。
 列選択トランジスタM6のドレイン端子は、増幅トランジスタM4のソース端子に接続されている。列選択トランジスタM6のソース端子は、第1の水平信号線71に接続されている。列選択トランジスタM6のゲート端子は、水平選択部6に接続されている。
 列選択トランジスタM7のドレイン端子は、増幅トランジスタM5のソース端子に接続されている。列選択トランジスタM7のソース端子は、第2の水平信号線72に接続されている。列選択トランジスタM7のゲート端子は、水平選択部6に接続されている。
 サンプルトランジスタM2の動作は、サンプルホールドパルスφSHRに基づいて制御される。サンプルトランジスタM3の動作は、サンプルホールドパルスφSHSに基づいて制御される。列選択トランジスタM6および列選択トランジスタM7の各々の動作は、水平選択部6から出力される選択パルスHSR[k]に基づいて制御される。数字kは、1、2、および3のいずれか1つである。
 トランジスタM1は、電流源として機能する。サンプルトランジスタM2は、画素3から垂直信号線70に出力されたリセットレベルの第1の画素信号をサンプルする。サンプルトランジスタM3は、画素3から垂直信号線70に出力された信号レベルの第2の画素信号をサンプルする。容量素子Crは、サンプルトランジスタM2によってサンプルされたリセットレベルの第1の画素信号を保持する。容量素子Csは、サンプルトランジスタM3によってサンプルされた信号レベルの第2の画素信号を保持する。容量素子Crおよび容量素子Csは、サンプル容量である。
 増幅トランジスタM4は、容量素子Crに保持されたリセットレベルの第1の画素信号を増幅することにより、第2の信号を生成する。つまり、増幅トランジスタM4は、リセットレベルの第1の画素信号に基づく第1の信号を生成する。増幅トランジスタM5は、容量素子Csに保持された信号レベルの第2の画素信号を増幅することにより、第2の信号を生成する。つまり、増幅トランジスタM5は、信号レベルの第2の画素信号に基づく第2の信号を生成する。列選択トランジスタM6は、増幅トランジスタM4によって生成された第1の信号を第1の水平信号線71に出力する。列選択トランジスタM7は、増幅トランジスタM5によって生成された第2の信号を第2の水平信号線72に出力する。1列目の列選択トランジスタM6および列選択トランジスタM7は、選択パルスHSR[1]に基づいて制御される。2列目の列選択トランジスタM6および列選択トランジスタM7は、選択パルスHSR[2]に基づいて制御される。3列目の列選択トランジスタM6および列選択トランジスタM7は、選択パルスHSR[3]に基づいて制御される。
 撮像装置1の動作について説明する。図13は、撮像装置1の動作を示す。以下では、撮像装置1による画素信号の読み出し動作を説明する。代表として、撮像装置1が複数の画素3の配列における1行目の画素3から画素信号を読み出す動作を説明する。
 図13において、選択パルスφSel_1、リセットパルスφRst_1、サンプルホールドパルスφSHR、転送パルスφTx_1、サンプルホールドパルスφSHS、選択パルスHSR[1]、および選択パルスHSR[2]の波形が示されている。図13において、スイッチSWPおよびスイッチSWNの各々の制御信号の波形が示されている。図13における横方向は時間を示し、かつ図13における縦方向は電圧を示す。
 1行の画素信号が読み出される1H期間は、Hブランク期間およびH有効期間を含む。Hブランク期間は、リセットレベルの第1の画素信号が読み出される第1の読み出し期間TRと、信号レベルの第2の画素信号が読み出される第2の読み出し期間TSとを含む。1H期間が開始される前、選択パルスφSel_1、リセットパルスφRst_1、サンプルホールドパルスφSHR、転送パルスφTx_1、サンプルホールドパルスφSHS、選択パルスHSR[1]、および選択パルスHSR[2]の各々の電圧レベルは、ローレベルである。
 H有効期間は、AD変換回路10が複数回のAD変換を順次実行する複数の期間を含む。各々のAD変換が実行される期間は、サンプルホールド期間およびAD変換期間を含む。1番目のAD変換が実行される前、スイッチSWPおよびスイッチSWNの各々の制御信号の電圧レベルはローレベルである。
 Hブランク期間が開始されたとき、垂直選択部4から1行目の画素3に出力される選択パルスφSel_1の電圧レベルがローレベルからハイレベルに変化する。そのため、選択トランジスタSelの状態がオン状態になる。これにより、第1の読み出し期間TRにおいて1行目の画素3が選択される。
 (リセットレベルの読み出し)
 垂直選択部4から1行目の画素3に出力されるリセットパルスφRst_1の電圧レベルがローレベルからハイレベルに変化する。そのため、リセットトランジスタRstの状態がオン状態になる。これにより、電荷蓄積部FDがリセットされ、かつリセットレベルの第2の画素信号が垂直信号線70に出力される。その後、リセットパルスφRst_1の電圧レベルがハイレベルからローレベルに変化する。そのため、リセットトランジスタRstの状態がオフ状態になる。
 その後、サンプルホールドパルスφSHRの電圧レベルがローレベルからハイレベルに変化する。これにより、サンプルトランジスタM2の状態がオン状態になる。その後、サンプルホールドパルスφSHRの電圧レベルがハイレベルからローレベルに変化する。これにより、サンプルトランジスタM2の状態がオフ状態になる。そのため、リセットレベルの第1の画素信号が容量素子Crに保持される。
 (信号レベルの読み出し)
 第2の読み出し期間TSにおいて垂直選択部4から1行目の画素3に出力される転送パルスφTx_1の電圧レベルがローレベルからハイレベルに変化する。そのため、転送トランジスタTxの状態がオン状態になる。これにより、光電変換部PDの信号電荷が電荷蓄積部FDに転送され、かつ信号レベルの第2の画素信号が垂直信号線70に出力される。その後、転送パルスφTx_1の電圧レベルがハイレベルからローレベルに変化する。そのため、転送トランジスタTxの状態がオフ状態になる。
 その後、サンプルホールドパルスφSHSの電圧レベルがローレベルからハイレベルに変化する。そのため、サンプルトランジスタM3の状態がオン状態になる。その後、サンプルホールドパルスφSHSの電圧レベルがハイレベルからローレベルに変化する。そのため、サンプルトランジスタM3の状態がオフ状態になる。これにより、信号レベルの第2の画素信号が容量素子Csに保持される。
 第2の読み出し期間TSが終了したとき、H有効期間が開始され、かつ1番目のAD変換が開始される。このとき、水平選択部6から1列目の列回路8に出力される選択パルスHSR[1]の電圧レベルがローレベルからハイレベルに変化する。そのため、列選択トランジスタM6および列選択トランジスタM7の各々の状態がオン状態になる。これにより、1行目かつ1列目の画素3のリセットレベルの第1の画素信号に基づく第1の信号が第1の水平信号線71に出力される。同時に、1行目かつ1列目の画素3の信号レベルの第2の画素信号に基づく第2の信号が第2の水平信号線72に出力される。その後、選択パルスHSR[1]の電圧レベルがハイレベルからローレベルに変化する。そのため、列選択トランジスタM6および列選択トランジスタM7の各々の状態がオフ状態になる。上記の動作により、1行目かつ1列目の画素3の第1の画素信号に基づく第1の信号が読み出され、1行目かつ1列目の画素3の第2の画素信号に基づく第2の信号が読み出される。
 1番目のAD変換が実行される期間は、サンプルホールド期間SH1およびAD変換期間AD1を含む。サンプルホールド期間SH1が開始されたとき、スイッチSWPおよびスイッチSWNの各々の制御信号の電圧レベルはハイレベルになる。これにより、スイッチSWPおよびスイッチSWNの各々の状態はオン状態になる。スイッチSWPおよびスイッチSWNの各々の状態がオン状態であるため、第1の信号INPがスイッチSWPによってサンプルされ、かつ第2の信号INNがスイッチSWNによってサンプルされる。
 サンプルホールド期間SH1が終了するとき、スイッチSWPおよびスイッチSWNの各々の制御信号の電圧レベルはローレベルになる。これにより、スイッチSWPおよびスイッチSWNの各々の状態はオフ状態になる。スイッチSWPおよびスイッチSWNの各々の状態がオフ状態になるため、第1の信号INPが容量素子C1に保持され、かつ第2の信号INNがDA変換部30の複数の容量素子に保持される。
 サンプルホールド期間SH1が終了した後、AD変換期間AD1が開始される。AD変換期間AD1におけるAD変換回路10の動作は、図2に示す動作と同様である。図2に示すステップS4からS8における処理は、Hブランク期間(およびVブランク期間)に実行されてもよい。
 図2に示す動作が終了したとき、AD変換期間AD1は終了する。AD変換期間AD1が終了した後、2番目のAD変換が実行される。2番目のAD変換が行われる期間は、サンプルホールド期間SH2およびAD変換期間AD2を含む。サンプルホールド期間SH2における動作は、サンプルホールド期間SH1における動作と同様である。AD変換期間AD2における動作は、AD変換期間AD1における動作と同様である。AD変換期間AD2が終了した後の動作の説明は省略する。
 選択パルスHSR[1]の電圧レベルがハイレベルからローレベルに変化したとき、1番目のAD変換が終了し、かつ2番目のAD変換が開始される。このとき、選択パルスHSR[2]の電圧レベルがローレベルからハイレベルに変化する。これにより、上記の動作と同様に、1行目かつ2列目の画素3の第1の画素信号に基づく第1の信号が読み出され、1行目かつ2列目の画素3の第2の画素信号に基づく第2の信号が読み出される。
 2番目のAD変換が実行される期間は、サンプルホールド期間SH2およびAD変換期間AD2を含む。サンプルホールド期間SH2およびAD変換期間AD2におけるAD変換回路10の動作は、サンプルホールド期間SH1およびAD変換期間AD1におけるAD変換回路10の動作と同様である。
 選択パルスHSR[2]の電圧レベルがハイレベルからローレベルに変化したとき、2番目のAD変換が終了し、かつ3番目のAD変換が開始される。図13において、3番目のAD変換は省略されている。
 3番目のAD変換が終了した後、選択パルスφSel_1の電圧レベルがハイレベルからローレベルに変化する。そのため、選択トランジスタSelの状態がオフ状態になる。これにより、1行目の画素3の選択が解除され、かつ1行目の画素3からの画素信号の読み出し動作が終了する。図13に示す動作に続いて、撮像装置1は2行目の画素3から画素信号を読み出す。この動作は、図13に示す動作と同様である。
 第4の実施形態の撮像装置1は、AD変換回路10、撮像部2、および列回路8を有する。撮像部2は、行列状に配置された複数の画素3を有する。複数の画素3に含まれる各画素3は、リセットレベルを持つ第1の画素信号と信号レベルを持つ第2の画素信号とを出力する。列回路8は、複数の画素3の配列における1つ以上の列に対応するように配置され、かつ撮像部2に電気的に接続されている。列回路8は、第1の画素信号に基づく第1の信号と、第2の画素信号に基づく第2の信号とを生成する。
 撮像装置1は、AD変換回路10に代えて、図7に示すAD変換回路11および図8に示すAD変換回路12のいずれか1つを有してもよい。
 本発明の各態様の撮像装置は、AD変換回路10、撮像部2、および列回路8の各々に対応する構成以外の構成を有していなくてもよい。
 第4の実施形態の撮像装置1は、デジタルデータの精度を向上させることができるAD変換回路10を有する。そのため、撮像装置1は、デジタルデータの精度を向上させることができる。
 (第5の実施形態)
 図14は、本発明の第5の実施形態の撮像装置1aの構成を示す。図10に示す構成と同じ構成の説明を省略する。
 撮像装置1aは、図10に示す構成に加えて、基準信号生成部9(信号生成回路)を有する。撮像装置1aにおいて、図10に示す列回路部5は列回路部5aに変更される。列回路部5aにおいて、図10に示す列回路8は列回路8aに変更される。列回路部5aは、複数の列回路8aを有する。列回路8aは、複数の画素3の配列における列毎に配置されている。列回路8aは、垂直信号線70に接続されている。列回路8aは、垂直信号線70を経由して画素3と電気的に接続されている。列回路8aは、画素3から出力されたリセットレベルおよび信号レベルの差分に基づく差分信号(第2の信号)を生成する。列回路8aは、第2の水平信号線72に接続されている。選択パルスHSR[k]が水平選択部6から列kに対応する列回路8aに出力される。数字kは1、2、および3のいずれか1つである。選択パルスHSR[k]によって選択された列回路8aは、第2の信号を第2の水平信号線72に出力する。
 図15は、列回路8aの構成を示す。図15に示す列回路8aは、トランジスタM8、容量素子Cclp1、クランプスイッチSWclp1、増幅トランジスタM9、および列選択トランジスタM10を有する。図15に示す各トランジスタは、NMOSトランジスタである。図15に示す各トランジスタは、ゲート端子、ソース端子、およびドレイン端子を有する。
 トランジスタM8のドレイン端子は、垂直信号線70に接続されている。トランジスタM8のソース端子は、グランドに接続されている。トランジスタM8のゲート端子は、電源線84に接続されている。電源線84は、所定の電圧LMBを出力する電源に接続されている。
 容量素子Cclp1は、第1の端子および第2の端子を有する。容量素子Cclp1の第1の端子は、垂直信号線70に接続されている。容量素子Cclp1の第2の端子は、クランプスイッチSWclp1および増幅トランジスタM9に接続されている。
 クランプスイッチSWclp1は、第1の端子および第2の端子を有する。クランプスイッチSWclp1の第1の端子は、容量素子Cclp1の第2の端子に接続されている。クランプ電圧VclpがクランプスイッチSWclp1の第2の端子に入力される。
 電源電圧VDDが増幅トランジスタM9のドレイン端子に入力される。増幅トランジスタM9のソース端子は、列選択トランジスタM10に接続されている。増幅トランジスタM9のゲート端子は、容量素子Cclp1の第2の端子に接続されている。
 列選択トランジスタM10のドレイン端子は、増幅トランジスタM9のソース端子に接続されている。列選択トランジスタM10のソース端子は、第2の水平信号線72に接続されている。列選択トランジスタM10のゲート端子は、水平選択部6に接続されている。
 クランプスイッチSWclp1の動作は、クランプパルスφCLPに基づいて制御される。列選択トランジスタM10の動作は、水平選択部6から出力される選択パルスHSR[k]に基づいて制御される。数字kは、1、2、および3のいずれか1つである。
 トランジスタM8は、電流源として機能する。クランプスイッチSWclp1の状態は、オン状態およびオフ状態のいずれか1つになる。クランプスイッチSWclp1の状態がオン状態であるとき、容量素子Cclp1は、クランプ電圧Vclpにクランプされる。容量素子Cclp1がクランプされた後、容量素子Cclp1は、画素3から垂直信号線70に出力されたリセットレベルおよび信号レベルの差分に基づく画素信号を保持する。容量素子Cclp1は、クランプ容量である。増幅トランジスタM9は、容量素子Cclp1に保持された画素信号を増幅することにより、リセットレベルおよび信号レベルの差分に基づく差分信号(第2の信号)を生成する。列選択トランジスタM10は、増幅トランジスタM9によって生成された第2の信号を第2の水平信号線72に出力する。1列目の列選択トランジスタM10は、選択パルスHSR[1]に基づいて制御される。2列目の列選択トランジスタM10は、選択パルスHSR[2]に基づいて制御される。3列目の列選択トランジスタM10は、選択パルスHSR[3]に基づいて制御される。
 図16は、基準信号生成部9の構成を示す。図16に示す基準信号生成部9は、サンプルスイッチSWsh、容量素子Csh、バッファBf1、容量素子Cclp2、クランプスイッチSWclp2、増幅トランジスタM9a、および選択トランジスタM10aを有する。
 サンプルスイッチSWshは、第1の端子および第2の端子を有する。基準電圧VrefがサンプルスイッチSWshの第1の端子に入力される。基準電圧Vrefは、電源電圧VDDに基づいて生成される。サンプルスイッチSWshの第2の端子は、容量素子Cshに接続されている。
 容量素子Cshは、第1の端子および第2の端子を有する。容量素子Cshの第1の端子は、サンプルスイッチSWshの第2の端子に接続されている。容量素子Cshの第2の端子は、グランドに接続されている。
 バッファBf1は、第1の端子および第2の端子を有する。バッファBf1の第1の端子は、サンプルスイッチSWshの第2の端子および容量素子Cshの第1の端子に接続されている。バッファBf1の第2の端子は、容量素子Cclp2に接続されている。
 容量素子Cclp2は、第1の端子および第2の端子を有する。容量素子Cclp2の第1の端子は、バッファBf1の第2の端子に接続されている。容量素子Cclp2の第2の端子は、クランプスイッチSWclp2および増幅トランジスタM9aに接続されている。
 クランプスイッチSWclp2は、第1の端子および第2の端子を有する。クランプスイッチSWclp2の第1の端子は、容量素子Cclp2の第2の端子に接続されている。クランプ電圧VclpがクランプスイッチSWclp2の第2の端子に入力される。
 増幅トランジスタM9aおよび選択トランジスタM10aは、NMOSトランジスタである。増幅トランジスタM9aおよび選択トランジスタM10aの各々は、ゲート端子、ソース端子、およびドレイン端子を有する。電源電圧VDDが増幅トランジスタM9aのドレイン端子に入力される。増幅トランジスタM9aのソース端子は、選択トランジスタM10aに接続されている。増幅トランジスタM9aのゲート端子は、容量素子Cclp2の第2の端子に接続されている。
 選択トランジスタM10aのドレイン端子は、増幅トランジスタM9aのソース端子に接続されている。選択トランジスタM10aのソース端子は、第1の水平信号線71に接続されている。電源電圧VDDが選択トランジスタM10aのゲート端子に入力される。
 サンプルスイッチSWshの状態は、オン状態およびオフ状態のいずれか1つになる。サンプルスイッチSWshの状態がオン状態であるとき、サンプルスイッチSWshは基準電圧Vrefをサンプルする。サンプルスイッチSWshの状態がオン状態からオフ状態に変化したとき、サンプルスイッチSWshによってサンプルされた基準電圧VrefがバッファBf1を経由して容量素子Cclp2に保持される。
 クランプスイッチSWclp2の状態は、オン状態およびオフ状態のいずれか1つになる。クランプスイッチSWclp2の状態がオン状態であるとき、容量素子Cclp2は、クランプ電圧Vclpにクランプされる。クランプスイッチSWclp2の動作は、クランプパルスφCLPに基づいて制御される。
 容量素子Cclp2は、クランプスイッチSWclp2によってクランプされた電圧(Vclp)を保持する。容量素子Cclp2は、クランプ容量である。増幅トランジスタM9aは、容量素子Cclp2の第2の端子の電圧を増幅することにより、基準信号を生成する。つまり、増幅トランジスタM9aは、容量素子Cclp2の第2の端子の電圧に基づく基準信号を生成する。選択トランジスタM10aは、増幅トランジスタM9aによって生成された基準信号を第1の水平信号線71に出力する。この基準信号は、第1の信号である。
 基準信号生成部9における容量素子Cclp2、クランプスイッチSWclp2、増幅トランジスタM9a、および選択トランジスタM10aはそれぞれ、列回路8aにおける容量素子Cclp1、クランプスイッチSWclp1、増幅トランジスタM9、および列選択トランジスタM10と同様の構成を有する。
 撮像装置1aの動作について説明する。図17は、撮像装置1aの動作を示す。以下では、撮像装置1aによる画素信号の読み出し動作を説明する。代表として、撮像装置1aが複数の画素3の配列における1行目の画素3から画素信号を読み出す動作を説明する。
 図17において、選択パルスφSel_1、リセットパルスφRst_1、クランプパルスφCLP、転送パルスφTx_1、選択パルスHSR[1]、および選択パルスHSR[2]の波形が示されている。図17において、スイッチSWPおよびスイッチSWNの各々の制御信号の波形が示されている。図17における横方向は時間を示し、かつ図17における縦方向は電圧を示す。
 1行の画素信号が読み出される1H期間は、Hブランク期間およびH有効期間を含む。Hブランク期間は、リセットレベルの第1の画素信号が読み出される第1の読み出し期間TRと、信号レベルの第2の画素信号が読み出される第2の読み出し期間TSとを含む。1H期間が開始される前、選択パルスφSel_1、リセットパルスφRst_1、クランプパルスφCLP、転送パルスφTx_1、選択パルスHSR[1]、および選択パルスHSR[2]の各々の電圧レベルは、ローレベルである。
 H有効期間は、AD変換回路10が複数回のAD変換を順次実行する複数の期間を含む。各々のAD変換が実行される期間は、サンプルホールド期間およびAD変換期間を含む。1番目のAD変換が実行される前、スイッチSWPおよびスイッチSWNの各々の制御信号の電圧レベルはローレベルである。
 Hブランク期間が開始されたとき、垂直選択部4から1行目の画素3に出力される選択パルスφSel_1の電圧レベルがローレベルからハイレベルに変化する。そのため、選択トランジスタSelの状態がオン状態になる。これにより、第1の読み出し期間TRにおいて1行目の画素3が選択される。同時に、サンプルホールドパルスφSWshの電圧レベルがローレベルからハイレベルに変化する。そのため、サンプルスイッチSWshの状態がオン状態になる。その後、サンプルホールドパルスφSWshの電圧レベルがハイレベルからローレベルに変化する。そのため、サンプルスイッチSWshの状態がオフ状態になる。これにより、サンプルスイッチSWshによってサンプルされた基準電圧VrefがバッファBf1を経由して容量素子Cclp2に保持される。
 (リセットレベルの読み出し)
 垂直選択部4から1行目の画素3に出力されるリセットパルスφRst_1の電圧レベルがローレベルからハイレベルに変化する。そのため、リセットトランジスタRstの状態がオン状態になる。これにより、電荷蓄積部FDがリセットされ、かつリセットレベルの第2の画素信号が垂直信号線70に出力される。さらに、クランプパルスφCLPの電圧レベルがローレベルからハイレベルに変化する。そのため、クランプスイッチSWclp1およびクランプスイッチSWclp2の各々の状態がオン状態になる。これにより、容量素子Cclp1および容量素子Cclp2がクランプ電圧Vclpにクランプされる。
 その後、リセットパルスφRst_1の電圧レベルがハイレベルからローレベルに変化する。そのため、リセットトランジスタRstの状態がオフ状態になる。その後、クランプパルスφCLPの電圧レベルがハイレベルからローレベルに変化する。そのため、クランプスイッチSWclp1およびクランプスイッチSWclp2の各々の状態がオフ状態になる。これにより、クランプ電圧Vclpが容量素子Cclp1および容量素子Cclp2に保持される。
 (信号レベルの読み出し)
 第2の読み出し期間TSにおいて垂直選択部4から1行目の画素3に出力される転送パルスφTx_1の電圧レベルがローレベルからハイレベルに変化する。そのため、転送トランジスタTxの状態がオン状態になる。これにより、光電変換部PDの信号電荷が電荷蓄積部FDに転送され、かつ信号レベルの第1の画素信号が垂直信号線70に出力される。その後、転送パルスφTx_1の電圧レベルがハイレベルからローレベルに変化する。そのため、転送トランジスタTxの状態がオフ状態になる。これにより、リセットレベルおよび信号レベルの差分に基づく差分信号が容量素子Cclp1に保持される。
 第2の読み出し期間TSが終了したとき、H有効期間が開始され、かつ1番目のAD変換が開始される。このとき、水平選択部6から1列目の列回路8aに出力される選択パルスHSR[1]の電圧レベルがローレベルからハイレベルに変化する。そのため、列選択トランジスタM10の状態がオン状態になる。これにより、1行目かつ1列目の画素3のリセットレベルおよび信号レベルの差分に基づく差分信号(第2の信号)が第2の水平信号線72に出力される。その後、選択パルスHSR[1]の電圧レベルがハイレベルからローレベルに変化する。そのため、列選択トランジスタM10の状態がオフ状態になる。上記の動作により、1行目かつ1列目の画素3のリセットレベルおよび信号レベルの差分に基づく第2の信号が読み出される。
 1番目のAD変換が実行される期間は、サンプルホールド期間SH1およびAD変換期間AD1を含む。サンプルホールド期間SH1およびAD変換期間AD1におけるAD変換回路10の動作は、図13に示す動作と同様である。
 選択パルスHSR[1]の電圧レベルがハイレベルからローレベルに変化したとき、1番目のAD変換が終了し、かつ2番目のAD変換が開始される。このとき、選択パルスHSR[2]の電圧レベルがローレベルからハイレベルに変化する。これにより、上記の動作と同様に、1行目かつ2列目の画素3のリセットレベルおよび信号レベルの差分に基づく第2の信号が読み出される。
 2番目のAD変換が実行される期間は、サンプルホールド期間SH2およびAD変換期間AD2を含む。サンプルホールド期間SH2およびAD変換期間AD2におけるAD変換回路10の動作は、サンプルホールド期間SH1およびAD変換期間AD1におけるAD変換回路10の動作と同様である。
 選択パルスHSR[2]の電圧レベルがハイレベルからローレベルに変化したとき、2番目のAD変換が終了し、かつ3番目のAD変換が開始される。図17において、3番目のAD変換は省略されている。
 3番目のAD変換が終了した後、選択パルスφSel_1の電圧レベルがハイレベルからローレベルに変化する。そのため、選択トランジスタSelの状態がオフ状態になる。これにより、1行目の画素3の選択が解除され、かつ1行目の画素3からの画素信号の読み出し動作が終了する。図17に示す動作に続いて、撮像装置1aは2行目の画素3から画素信号を読み出す。この動作は、図17に示す動作と同様である。
 第5の実施形態の撮像装置1aは、AD変換回路10、撮像部2、列回路8a、および基準信号生成部9を有する。撮像部2は、行列状に配置された複数の画素3を有する。複数の画素3に含まれる各画素3は、リセットレベルを持つ第1の画素信号と信号レベルを持つ第2の画素信号とを出力する。列回路8aは、複数の画素3の配列における1つ以上の列に対応するように配置され、かつ撮像部2に電気的に接続されている。列回路8aは、リセットレベルおよび信号レベルの差分に基づいて第2の信号を生成する。基準信号生成部9は、所定レベルを持つ基準信号(第1の信号)を生成する。
 撮像装置1aは、AD変換回路10に代えて、図7に示すAD変換回路11および図8に示すAD変換回路12のいずれか1つを有してもよい。
 本発明の各態様の撮像装置は、AD変換回路10、撮像部2、列回路8a、および基準信号生成部9の各々に対応する構成以外の構成を有していなくてもよい。
 第5の実施形態の撮像装置1aは、デジタルデータの精度を向上させることができるAD変換回路10を有する。そのため、撮像装置1aは、デジタルデータの精度を向上させることができる。
 (第6の実施形態)
 図18は、本発明の第6の実施形態の内視鏡システム100の構成を示す。内視鏡システム100は、第4の実施形態の撮像装置1を有する。図18に示す内視鏡システム100は、スコープ102および筐体107を有する。スコープ102は、撮像装置1、レンズ103、レンズ104、およびファイバー106を有する。撮像装置1、レンズ103、およびレンズ104は、スコープ102の先端部に配置されている。筐体107は、画像処理部108、光源装置109、および設定部110を有する。画像処理部108は、プロセッサおよび論理回路の少なくとも1つで構成することができる。例えば、プロセッサは、CPU(Central Processing Unit)、DSP(Digital Signal Processor)、およびGPU(Graphics Processing Unit)の少なくとも1つである。例えば、論理回路は、ASIC(Application Specific Integrated Circuit)およびFPGA(Field-Programmable Gate Array)の少なくとも1つである。
 レンズ103は、被写体120からの反射光を撮像装置1に結像する。ファイバー106は、被写体120に照射される照明光を転送する。レンズ104は、ファイバー106によって転送された照明光を被写体120に照射する。光源装置109は、被写体120に照射される照明光を生成する光源を有する。画像処理部108は、撮像装置1から出力される信号に所定の処理を行うことにより撮影画像を生成する。ここで、画像処理部108は、補正装置の機能を有してもよい。この場合、撮像装置1内のAD変換回路10は、上述した第1のデジタルデータ、第2のデジタルデータ、および第3のデジタルデータをスコープ102内の信号伝送路を経由して画像処理部108に送信する。画像処理部108は、第1のデジタルデータ、第2のデジタルデータ、および第3のデジタルデータを受信し、上述した第1のデジタルデータの補正を行うことができる。設定部110は、内視鏡システム100の撮影モードを制御する。
 内視鏡システム100の構成は、上記の構成に限らない。本発明の各態様の内視鏡システムは、レンズ103、レンズ104、ファイバー106、画像処理部108、光源装置109、および設定部110の少なくとも1つに対応する構成を有していなくてもよい。
 撮像装置1の代わりに、図14に示す撮像装置1aが使用されてもよい。
 第6の実施形態の内視鏡システム100は、デジタルデータの精度を向上させることができる撮像装置1を有する。このため、内視鏡システム100は、デジタルデータの精度を向上させることができる。
 以上、本発明の好ましい実施形態を説明したが、本発明はこれら実施形態およびその変形例に限定されることはない。本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、構成の付加、省略、置換、およびその他の変更が可能である。また、本発明は前述した説明によって限定されることはなく、添付のクレームの範囲によってのみ限定される。
 本発明の各実施形態によれば、AD変換装置、撮像装置、内視鏡システム、およびAD変換方法は、デジタルデータの精度を向上させることができる。
 1,1a 撮像装置
 2 撮像部
 3 画素
 4 垂直選択部
 5,5a 列回路部
 6 水平選択部
 7 出力部
 8,8a 列回路
 9 基準信号生成部
 10,11,12 AD変換回路
 20 比較部
 21 比較回路
 30,30a,30b DA変換部
 31,31b 上位DA変換回路
 32,32b レベルシフト回路
 33,33a 下位DA変換回路
 40 制御回路
 41 補正回路
 100 内視鏡システム
 102 スコープ
 103,104 レンズ
 106 ファイバー
 107 筐体
 108 画像処理部
 109 光源装置
 110 設定部

Claims (15)

  1.  第1の信号の電圧レベルと第2の信号の電圧レベルとの差分に基づいてデジタルデータを生成するAD変換装置であって、
     第1の端子および第2の端子を有し、前記第1の端子に入力された信号の第1の電圧レベルと前記第2の端子に入力された信号の第2の電圧レベルとを比較する比較回路と、
     前記第2の端子に電気的に接続された複数の容量素子を有し、前記複数の容量素子の容量値は2進数で重み付けされた上位DA変換回路と、
     前記第2の端子に電気的に接続された1つ以上の容量素子を有するレベルシフト回路と、
     前記第2の端子に電気的に接続された複数の容量素子を有する下位DA変換回路と、
     補正装置と、
     を有し、
     前記第1の信号が前記第1の端子に入力され、かつ前記第2の信号が前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子に保持された後、前記比較回路は、逐次比較動作を実行し、
     前記逐次比較動作が実行された後、前記レベルシフト回路は、前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子に保持された信号の電圧レベルを第1のレベルにシフトさせることにより第1のレベルシフトを実行し、
     前記第1のレベルシフトが実行された後、デジタルランプ信号に基づく電圧レベルを持つ信号が前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子および前記下位DA変換回路の前記複数の容量素子に保持され、かつ前記比較回路は、前記第1の電圧レベルと前記第2の電圧レベルとを比較することにより第1の比較動作を実行し、
     第3の信号が前記第1の端子に入力され、かつ前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子に保持された後、前記レベルシフト回路は、前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子に保持された信号の電圧レベルを第2のレベルにシフトさせることにより第2のレベルシフトを実行し、
     前記第2のレベルシフトが実行された後、前記デジタルランプ信号に基づく電圧レベルを持つ信号が前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子および前記下位DA変換回路の前記複数の容量素子に保持され、かつ前記比較回路は、前記第1の電圧レベルと前記第2の電圧レベルとを比較することにより第2の比較動作を実行し、
     前記第2の比較動作が実行された後、前記レベルシフト回路は、前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子に保持された信号の電圧レベルを、前記第2のレベルと異なる第3のレベルにシフトさせることにより第3のレベルシフトを実行し、
     前記第3のレベルシフトが実行された後、前記デジタルランプ信号に基づく電圧レベルを持つ信号が前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子および前記下位DA変換回路の前記複数の容量素子に保持され、かつ前記比較回路は、前記第1の電圧レベルと前記第2の電圧レベルとを比較することにより第3の比較動作を実行し、
     前記補正装置は、第2のデジタルデータおよび第3のデジタルデータに基づいて、第1のデジタルデータを補正し、前記第1のデジタルデータは前記第1の比較動作により生成され、前記第2のデジタルデータは前記第2の比較動作により生成され、前記第3のデジタルデータは前記第3の比較動作により生成される
     AD変換装置。
  2.  前記レベルシフト回路の前記1つ以上の容量素子は、第1の容量素子および第2の容量素子を含み、
     前記レベルシフト回路は、前記第1の容量素子の電圧レベルを変化させることにより前記第2のレベルシフトを実行し、
     前記レベルシフト回路は、前記第2の容量素子の電圧レベルを変化させることにより前記第3のレベルシフトを実行する
     請求項1に記載のAD変換装置。
  3.  前記逐次比較動作が実行されたとき、前記デジタルデータに含まれる上位データが生成され、前記上位データは、複数ビットのデータを含み、
     前記第1の比較動作が実行されたとき、前記デジタルデータに含まれる下位データが生成され、前記下位データは、複数ビットのデータを含み、
     前記第2の容量素子の容量値は、前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子に含まれる第3の容量素子の容量値と略同じであり、前記第3の容量素子は、前記上位データの最下位ビットのデータを生成するために使用される
     請求項2に記載のAD変換装置。
  4.  前記逐次比較動作が実行されたとき、前記デジタルデータに含まれる上位データが生成され、前記上位データは、複数ビットのデータを含み、
     前記第1の比較動作が実行されたとき、前記デジタルデータに含まれる下位データが生成され、前記下位データは、複数ビットのデータを含み、
     前記第2の容量素子は、前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子に含まれる第3の容量素子であり、前記第3の容量素子は、前記上位データの最下位ビットのデータを生成するために使用される
     請求項2に記載のAD変換装置。
  5.  前記逐次比較動作が実行されたとき、前記デジタルデータに含まれる上位データが生成され、前記上位データは、複数ビットのデータを含み、
     前記第1の比較動作が実行されたとき、前記デジタルデータに含まれる下位データが生成され、前記下位データは、複数ビットのデータを含み、
     前記第1の容量素子の容量値は、前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子に含まれる第4の容量素子の容量値と略同じである
     請求項2に記載のAD変換装置。
  6.  前記逐次比較動作が実行されたとき、前記デジタルデータに含まれる上位データが生成され、前記上位データは、複数ビットのデータを含み、
     前記第1の比較動作が実行されたとき、前記デジタルデータに含まれる下位データが生成され、前記下位データは、複数ビットのデータを含み、
     前記第1の容量素子は、前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子に含まれる第4の容量素子である
     請求項2に記載のAD変換装置。
  7.  前記第2のレベルは、前記第1のレベルがとりうる範囲の最小値であり、
     前記第3のレベルは、前記範囲の最大値である
     請求項1から請求項6のいずれか一項に記載のAD変換装置。
  8.  前記第2のレベルは、前記第1のレベルがとりうる範囲の最大値であり、
     前記第3のレベルは、前記範囲の最小値である
     請求項1から請求項6のいずれか一項に記載のAD変換装置。
  9.  第3の信号が前記第1の端子に入力され、かつ前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子に保持された後、前記逐次比較動作が実行されることなく、前記レベルシフト回路は、前記第2のレベルシフトおよび前記第3のレベルシフトを実行する
     請求項1から請求項8のいずれか一項に記載のAD変換装置。
  10.  前記補正装置は、前記第2のデジタルデータおよび前記第3のデジタルデータで規定される範囲における前記第1のデジタルデータの位置に基づいて前記第1のデジタルデータを補正する
     請求項1から請求項9のいずれか一項に記載のAD変換装置。
  11.  請求項1から請求項10のいずれか一項に記載のAD変換装置と、
     行列状に配置された複数の画素を有し、前記複数の画素に含まれる各画素は、リセットレベルを持つ第1の画素信号と、信号レベルを持つ第2の画素信号とを出力する撮像部と、
     前記複数の画素の配列における1つ以上の列に対応するように配置され、前記撮像部に電気的に接続され、前記第1の画素信号に基づく前記第1の信号と、前記第2の画素信号に基づく前記第2の信号とを生成する列回路と、
     を有する撮像装置。
  12.  請求項1から請求項10のいずれか一項に記載のAD変換装置と、
     行列状に配置された複数の画素を有し、前記複数の画素に含まれる各画素は、リセットレベルを持つ第1の画素信号と、信号レベルを持つ第2の画素信号とを出力する撮像部と、
     前記複数の画素の配列における1つ以上の列に対応するように配置され、前記撮像部に電気的に接続され、前記リセットレベルおよび前記信号レベルの差分に基づいて前記第2の信号を生成する列回路と、
     所定レベルを持つ前記第1の信号を生成する信号生成回路と、
     を有する撮像装置。
  13.  前記レベルシフト回路は、前記第2のレベルシフトをブランキング期間に実行し、前記ブランキング期間は、前記第1の画素信号が前記撮像部から出力される期間と異なり、かつ前記第2の画素信号が前記撮像部から出力される期間と異なり、
     前記比較回路は、前記第2の比較動作を前記ブランキング期間に実行し、
     前記レベルシフト回路は、前記第3のレベルシフトを前記ブランキング期間に実行し、
     前記比較回路は、前記第3の比較動作を前記ブランキング期間に実行する
     請求項11または請求項12に記載の撮像装置。
  14.  請求項11から請求項13のいずれか一項に記載の撮像装置を有する内視鏡システム。
  15.  第1の信号の電圧レベルと第2の信号の電圧レベルとの差分に基づいてデジタルデータを生成するAD変換装置において実行される第1のステップ、第2のステップ、第3のステップ、第4のステップ、第5のステップ、第6のステップ、第7のステップ、および第8のステップを有するAD変換方法であって、
     前記AD変換装置は、
     第1の端子および第2の端子を有し、前記第1の端子に入力された信号の第1の電圧レベルと前記第2の端子に入力された信号の第2の電圧レベルとを比較する比較回路と、
     前記第2の端子に電気的に接続された複数の容量素子を有し、前記複数の容量素子の容量値は2進数で重み付けされた上位DA変換回路と、
     前記第2の端子に電気的に接続された1つ以上の容量素子を有するレベルシフト回路と、
     前記第2の端子に電気的に接続された複数の容量素子を有する下位DA変換回路と、
     補正装置と、
     を有し、
     前記第1の信号が前記第1の端子に入力され、かつ前記第2の信号が前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子に保持された後、前記比較回路は、前記第1のステップにおいて、逐次比較動作を実行し、
     前記逐次比較動作が実行された後、前記レベルシフト回路は、前記第2のステップにおいて、前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子に保持された信号の電圧レベルを第1のレベルにシフトさせることにより第1のレベルシフトを実行し、
     前記第1のレベルシフトが実行された後、デジタルランプ信号に基づく電圧レベルを持つ信号が前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子および前記下位DA変換回路の前記複数の容量素子に保持され、かつ前記比較回路は、前記第3のステップにおいて、前記第1の電圧レベルと前記第2の電圧レベルとを比較することにより第1の比較動作を実行し、
     第3の信号が前記第1の端子に入力され、かつ前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子に保持された後、前記レベルシフト回路は、前記第4のステップにおいて、前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子に保持された信号の電圧レベルを第2のレベルにシフトさせることにより第2のレベルシフトを実行し、
     前記第2のレベルシフトが実行された後、前記デジタルランプ信号に基づく電圧レベルを持つ信号が前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子および前記下位DA変換回路の前記複数の容量素子に保持され、かつ前記比較回路は、前記第5のステップにおいて、前記第1の電圧レベルと前記第2の電圧レベルとを比較することにより第2の比較動作を実行し、
     前記第2の比較動作が実行された後、前記レベルシフト回路は、前記第6のステップにおいて、前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子に保持された信号の電圧レベルを、前記第2のレベルと異なる第3のレベルにシフトさせることにより第3のレベルシフトを実行し、
     前記第3のレベルシフトが実行された後、前記デジタルランプ信号に基づく電圧レベルを持つ信号が前記上位DA変換回路の前記複数の容量素子および前記下位DA変換回路の前記複数の容量素子に保持され、かつ前記比較回路は、前記第7のステップにおいて、前記第1の電圧レベルと前記第2の電圧レベルとを比較することにより第3の比較動作を実行し、
     前記補正装置は、前記第8のステップにおいて、第2のデジタルデータおよび第3のデジタルデータに基づいて、第1のデジタルデータを補正し、前記第2のデジタルデータは前記第2の比較動作により生成され、前記第3のデジタルデータは前記第3の比較動作により生成され、前記第1のデジタルデータは前記第1の比較動作により生成される
     AD変換方法。
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017169446A1 (ja) * 2016-03-29 2017-10-05 株式会社ニコン 撮像素子および撮像装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4924137B2 (ja) * 2007-03-27 2012-04-25 セイコーエプソン株式会社 冗長ビット付きデジタル−アナログ変換器及びこれを用いたアナログ−デジタル変換器及びこれを用いたイメージセンサ
JP5500660B2 (ja) 2012-01-23 2014-05-21 国立大学法人東北大学 固体撮像装置
JP5786762B2 (ja) 2012-03-01 2015-09-30 株式会社ニコン A/d変換回路、及び固体撮像装置
JP6021626B2 (ja) 2012-12-14 2016-11-09 キヤノン株式会社 撮像装置の駆動方法、撮像装置、撮像システム
WO2016029858A1 (en) 2014-08-28 2016-03-03 Mediatek Inc. Hybrid analog-to-digital converter using digital slope analog-to-digital converter and related hybrid analog-to-digital conversion method thereof
JP2017046318A (ja) 2015-08-28 2017-03-02 株式会社東芝 半導体集積回路及びイメージセンサ
JPWO2017183117A1 (ja) 2016-04-19 2019-02-21 オリンパス株式会社 A/d変換器、固体撮像装置、固体撮像装置の駆動方法及び電子機器

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017169446A1 (ja) * 2016-03-29 2017-10-05 株式会社ニコン 撮像素子および撮像装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
LIU, CHUN-CHENG ET AL.: "A 12 bit 100 MS/s SAR- Assisted Digital-Slope ADC", IEEE JOURNAL OF SOLID- STATE CIRCUITS, vol. 51, no. 12, 3 August 2016 (2016-08-03), pages 2941 - 2950, XP55716817 *

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