WO2020100432A1 - 表示装置 - Google Patents

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WO2020100432A1
WO2020100432A1 PCT/JP2019/037089 JP2019037089W WO2020100432A1 WO 2020100432 A1 WO2020100432 A1 WO 2020100432A1 JP 2019037089 W JP2019037089 W JP 2019037089W WO 2020100432 A1 WO2020100432 A1 WO 2020100432A1
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light emitting
layer
pixel
emitting element
substrate
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PCT/JP2019/037089
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Inventor
伊東 理
仁 廣澤
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株式会社ジャパンディスプレイ
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    • H01L33/58Optical field-shaping elements
    • H01L33/60Reflective elements

Definitions

  • the present invention relates to a display device.
  • a display device using an organic light emitting diode (OLED: Organic Light Emitting Diode) or an inorganic light emitting diode (micro LED) as a display element is known. Since the micro LED has a small size and high brightness, it is suitable for a light emitting element of a display device.
  • OLED Organic Light Emitting Diode
  • micro LED inorganic light emitting diode
  • the semiconductor device described in Patent Document 1 light emitting elements that emit light of different colors are provided on the same semiconductor substrate.
  • Patent Document 2 a blue light emitting diode is used for a pixel displaying red or green. The light of the blue light emitting diode is converted into red or green by the light conversion structure.
  • a display device using an inorganic light emitting diode it is necessary to arrange the inorganic light emitting diode on a substrate for each pixel. As the definition of the display device becomes higher, it may be difficult to dispose the inorganic light emitting diode on the substrate.
  • the present invention has an object to provide a display device in which a light emitting element can be easily arranged on a substrate.
  • a display device of one embodiment of the present invention includes a first substrate, a plurality of pixels provided on the first substrate, a light-emitting element substrate provided over the plurality of pixels, and a plurality of the pixels, respectively.
  • a light emitting element having a plurality of light emitting portions provided on the light emitting element substrate, an anode electrode provided on the first substrate and electrically connected to the light emitting element, and a plurality of the light emitting elements.
  • a plurality of phosphor layers which are provided for each part and respectively cover at least a part of the light emitting part.
  • FIG. 1 is a perspective view schematically showing the display device according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a plan view showing a plurality of pixels.
  • FIG. 3 is a circuit diagram showing a pixel circuit.
  • FIG. 4 is a sectional view taken along the line IV-IV ′ in FIG.
  • FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view showing the light emitting device of FIG.
  • FIG. 6 is an explanatory diagram for explaining the manufacturing process of the light emitting element.
  • FIG. 7 is an explanatory diagram for explaining the traveling direction of the light reflected by the anode electrode.
  • FIG. 8 is an explanatory diagram for explaining another example of the traveling direction of the light reflected by the anode electrode.
  • FIG. 1 is a perspective view schematically showing the display device according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a plan view showing a plurality of pixels.
  • FIG. 3 is a circuit diagram showing a pixel circuit.
  • FIG. 4 is a sectional view taken along the
  • FIG. 9 is a sectional view showing a light emitting device according to a first modification of the first embodiment.
  • FIG. 10 is a cross-sectional view showing a display device according to a second modification of the first embodiment.
  • FIG. 11 is an enlarged sectional view showing the light emitting device of FIG.
  • FIG. 12 is a plan view of the light emitting device according to the first embodiment.
  • FIG. 13 is a plan view of a light emitting device according to a third modification of the first embodiment.
  • FIG. 14 is a plan view of a light emitting device according to a fourth modified example of the first embodiment.
  • FIG. 15 is a plan view showing the relationship between the light emitting element according to the first embodiment and a plurality of pixels.
  • FIG. 16 is a plan view showing the relationship between the light emitting element and the plurality of pixels according to the fifth modification of the first embodiment.
  • FIG. 17 is a plan view showing the relationship between the light emitting element and the plurality of pixels according to the sixth modified example of the first embodiment.
  • FIG. 18 is a plan view showing the relationship between the light emitting element and the plurality of pixels according to the seventh modified example of the first embodiment.
  • FIG. 19 is a plan view showing the relationship between the light emitting element and the plurality of pixels according to the eighth modified example of the first embodiment.
  • FIG. 20 is a plan view showing a plurality of pixels according to the second embodiment.
  • FIG. 21 is a sectional view showing the display device according to the second embodiment.
  • FIG. 22 is a plan view showing the relationship between the light emitting element and the plurality of pixels according to the ninth modified example of the second embodiment.
  • FIG. 23 is a plan view showing the relationship between the light emitting element and the plurality of pixels according to the tenth modification of the second embodiment.
  • FIG. 24 is a plan view showing the relationship between the light emitting element and the plurality of pixels according to the eleventh modified example of the second embodiment.
  • FIG. 25 is a plan view showing the relationship between the light emitting element and the plurality of pixels according to the twelfth modified example of the second embodiment.
  • FIG. 26 is a sectional view showing the display device according to the third embodiment.
  • FIG. 27 is a sectional view showing a display device according to a thirteenth modification of the third embodiment.
  • FIG. 1 is a perspective view schematically showing the display device according to the first embodiment.
  • the display device DSP includes a first substrate SU1, a second substrate SU2, a pixel Pix, a peripheral circuit GC, and a connection portion CN.
  • FIG. 1 shows the structure on the first substrate SU1 in a transparent manner.
  • An array substrate SUA for driving each pixel Pix is configured by the first substrate SU1, a plurality of transistors, a plurality of capacitors, various wirings and the like.
  • the array substrate SUA is a drive circuit substrate and is also called a backplane or an active matrix substrate.
  • the drive IC Integrated Circuit
  • the display device DSP has a display area DA and a peripheral area GA.
  • the display area DA is an area that is arranged so as to overlap the display portion DP and displays an image.
  • the peripheral area GA is an area that does not overlap the display portion DP and is arranged outside the display area DA.
  • the second substrate SU2 overlaps the first substrate SU1 in the display section DP.
  • the display portion DP has a plurality of pixels Pix, and the plurality of pixels Pix are arranged in the first direction Dx and the second direction Dy in the display area DA.
  • the first direction Dx and the second direction Dy are parallel to the surface of the first substrate SU1.
  • the first direction Dx is orthogonal to the second direction Dy.
  • the first direction Dx may intersect with the second direction Dy instead of being orthogonal to each other.
  • the third direction Dz is a direction orthogonal to the first direction Dx and the second direction Dy.
  • the third direction Dz corresponds to, for example, the normal direction of the first substrate SU1. Note that, hereinafter, the plan view refers to a positional relationship when viewed from the third direction Dz.
  • the peripheral circuit GC and the connection portion CN are provided in the peripheral area GA.
  • the connection part CN is provided in a region of the peripheral region GA that does not overlap the second substrate SU2.
  • the peripheral circuit GC uses a plurality of gate lines (for example, a reset control signal line RSL, an output control signal line MSL, a pixel control signal line SSL, an initialization control signal line ISL (see FIG. 3) based on various control signals from the driving IC. )) Is a circuit for driving.
  • the peripheral circuit GC selects a plurality of gate lines sequentially or simultaneously and supplies a gate drive signal to the selected gate lines. As a result, the peripheral circuit GC selects the plurality of pixels Pix connected to the gate line.
  • the drive IC is a circuit that controls the display of the display device DSP.
  • the drive IC may be mounted as a COF (Chip On Film) on a flexible printed board or a rigid board connected to the connection portion CN of the first board SU1.
  • the drive IC is not limited to this, and may be mounted as a COG (Chip On Glass) in the peripheral area GA of the first substrate SU1.
  • FIG. 2 is a plan view showing a plurality of pixels.
  • one pixel Pix has, for example, a first pixel PxB, a second pixel PxG, and a third pixel PxR.
  • the first pixel PxB displays the primary color blue as the first color.
  • the second pixel PxG displays the primary color green as the second color.
  • the third pixel PxR displays the primary color red as the third color.
  • the second pixel PxG and the third pixel PxR are arranged in the first direction Dx.
  • the first pixel PxB, the second pixel PxG, and the third pixel PxR are arranged in the second direction Dy.
  • the first color, the second color, and the third color are not limited to red, green, and blue, respectively, and any color such as a complementary color can be selected.
  • the pixel is referred to as a pixel Px.
  • the light emitting element BLED is provided across a plurality of pixels Px.
  • the light emitting element BLED has a light emitting element substrate SULED, a first light emitting portion BLED1, a second light emitting portion BLED2, and a third light emitting portion BLED3.
  • the light emitting element substrate SULED is provided across the first pixel PxB, the second pixel PxG, and the third pixel PxR.
  • the first light emitting unit BLED1, the second light emitting unit BLED2, and the third light emitting unit BLED3 are provided corresponding to the first pixel PxB, the second pixel PxG, and the third pixel PxR, respectively.
  • the first light emitting unit BLED1, the second light emitting unit BLED2, and the third light emitting unit BLED3 emit light of the same color, for example, blue light.
  • the first light emitting unit BLED1, the second light emitting unit BLED2, and the third light emitting unit BLED3 are provided separately on the light emitting element substrate SULED, and emit light independently of each other.
  • the first pixel PxB has a first light emitting unit BLED1 and a phosphor layer BF.
  • the phosphor layer BF absorbs the light emitted from the first light emitting unit BLED1 and emits the wavelength-converted blue light.
  • the second pixel PxG includes the second light emitting unit BLED2 and the phosphor layer GF.
  • the phosphor layer GF absorbs the light emitted from the second light emitting unit BLED2 and emits the wavelength-converted green light.
  • the third pixel PxR has a third light emitting unit BLED3 and a phosphor layer RF.
  • the phosphor layer RF absorbs the light emitted from the third light emitting unit BLED3 and emits the wavelength-converted red light.
  • Light emitting element BLED has different luminous efficiency depending on the color of light emitted.
  • the first light emitting unit BLED1, the second light emitting unit BLED2, and the third light emitting unit BLED3 are all blue light emitting elements having relatively excellent light emitting efficiency. Therefore, as compared with the case where the red light emitting element is used as the third pixel PxR, the display device DSP can improve the light emitting efficiency as a whole.
  • the video signal line SL, the anode power supply line IPL, and the pixel control signal line SSL are shown.
  • the video signal line SL and the anode power supply line IPL extend in the second direction Dy.
  • a plurality of the pair of video signal lines SL and the anode power supply lines IPL are arranged in the first direction Dx.
  • the pixel control signal line SSL extends in the first direction Dx and intersects the video signal line SL and the anode power supply line IPL in a plan view.
  • the contact holes CH are arranged in a grid formed by the pair of video signal lines SL and the anode power supply line IPL, and the pixel control signal line SSL.
  • the plurality of contact holes CH are arranged in the first direction Dx.
  • the first light emitting unit BLED1 is arranged in one of the second directions Dy and the second light emitting unit BLED2 and the third light emitting unit BLED3 are arranged in the other of the second direction Dy with respect to the arrangement of the plurality of contact holes CH. Will be placed.
  • the plurality of contact holes CH and the pixel control signal line SSL are provided between the first light emitting unit BLED1 and the second light emitting unit BLED2 and the third light emitting unit BLED3.
  • the first pixel PxB, the second pixel PxG, and the third pixel PxR are each configured by a combination of the first light emitting unit BLED1, the second light emitting unit BLED2, and the third light emitting unit BLED3, and the phosphor layers BF, GF, and RF.
  • the display device DSP displays an image by emitting different light in each pixel Px.
  • the light emitting element BLED is an inorganic light emitting diode (LED) chip having a size of 3 ⁇ m or more and 100 ⁇ m or less in a plan view, and is called a micro LED (micro LED).
  • a display device DSP including a micro LED in each pixel is also called a micro LED display device. The size of the micro LED does not limit the size of the light emitting element BLED.
  • the arrangement of the plurality of pixels Px and the first light emitting unit BLED1, the second light emitting unit BLED2, and the third light emitting unit BLED3 is not limited to the configuration shown in FIG.
  • the first light emitting unit BLED1, the second light emitting unit BLED2, and the third light emitting unit BLED3 may be adjacent to each other in the first direction Dx.
  • the first light emitting unit BLED1 and the second light emitting unit BLED2 are arranged so as to be adjacent to each other in the first direction Dx
  • the first light emitting unit BLED1 and the third light emitting unit BLED3 are arranged so as to be adjacent to each other in the second direction Dy.
  • the light emitting element BLED may be provided across four or more pixels Px. In this case, the light emitting element BLED may include four or more light emitting units.
  • FIG. 3 is a circuit diagram showing a pixel circuit.
  • FIG. 3 shows the pixel circuit PICA provided in one pixel Px, and the pixel circuit PICA is provided in each of the plurality of pixels Px.
  • the pixel circuit PICA includes a light emitting element BLED, five transistors, and two capacitors.
  • the pixel circuit PICA includes a drive transistor DRT, an output transistor BCT, an initialization transistor IST, a pixel selection transistor SST, and a reset transistor RST.
  • the drive transistor DRT, the output transistor BCT, the initialization transistor IST, the pixel selection transistor SST, and the reset transistor RST are each composed of an n-type TFT (Thin Film Transistor).
  • the pixel circuit PICA includes a first capacitor Cs1 and a second capacitor Cs2. Note that the pixel circuit PICA includes any one of the first light emitting unit BLED1, the second light emitting unit BLED2, and the third light emitting unit BLED3 of the light emitting element BLED, but in order to make the description easy to understand, FIG. Is referred to as a light emitting element BLED.
  • the cathode of the light emitting element BLED (cathode terminal ELED2 (see FIG. 5)) is connected to the cathode power supply line CDL.
  • the anode of the light emitting element BLED (anode terminal ELED1 (see FIG. 5)) is connected to the anode power line IPL via the drive transistor DRT and the output transistor BCT.
  • the anode power supply potential PVDD is supplied to the anode power supply line IPL.
  • the cathode power source potential PVSS is supplied to the cathode power source line CDL.
  • the anode power supply potential PVDD is higher than the cathode power supply potential PVSS.
  • the anode power supply line IPL supplies the pixel Px with an anode power supply potential PVDD which is a drive potential.
  • the light emitting element BLED emits light when a forward current (driving current) is supplied by the potential difference (PVDD-PVSS) between the anode power supply potential PVDD and the cathode power supply potential PVSS. That is, the anode power supply potential PVDD has a potential difference with respect to the cathode power supply potential PVSS that causes the light emitting element BLED to emit light.
  • the anode terminal ELED1 of the light emitting element BLED is connected to the anode electrode AD, and the second capacitor Cs2 is connected between the anode electrode AD and the anode power supply line IPL as an equivalent circuit.
  • the source electrode of the drive transistor DRT is connected to the anode terminal ELED1 of the light emitting element BLED via the anode electrode AD, and the drain electrode is connected to the source electrode of the output transistor BCT.
  • the gate electrode of the drive transistor DRT is connected to the first capacitor Cs1, the drain electrode of the pixel selection transistor SST, and the drain electrode of the initialization transistor IST.
  • the gate electrode of the output transistor BCT is connected to the output control signal line MSL.
  • the output control signal BG is supplied to the output control signal line MSL.
  • the drain electrode of the output transistor BCT is connected to the anode power supply line IPL.
  • the source electrode of the initialization transistor IST is connected to the initialization power supply line INL.
  • the initialization potential Vini is supplied to the initialization power supply line INL.
  • the gate electrode of the initialization transistor IST is connected to the initialization control signal line ISL.
  • An initialization control signal IG is supplied to the initialization control signal line ISL. That is, the initialization power supply line INL is connected to the gate electrode of the drive transistor DRT via the initialization transistor IST.
  • the source electrode of the pixel selection transistor SST is connected to the video signal line SL.
  • the video signal Vsig is supplied to the video signal line SL.
  • the pixel control signal line SSL is connected to the gate electrode of the pixel selection transistor SST.
  • the pixel control signal SG is supplied to the pixel control signal line SSL.
  • the source electrode of the reset transistor RST is connected to the reset power supply line RL.
  • the reset power supply potential Vrst is supplied to the reset power supply line RL.
  • the reset control signal line RSL is connected to the gate electrode of the reset transistor RST.
  • a reset control signal RG is supplied to the reset control signal line RSL.
  • the drain electrode of the reset transistor RST is connected to the anode terminal ELED1 of the light emitting element BLED and the source electrode of the drive transistor DRT.
  • a first capacitor Cs1 is provided as an equivalent circuit between the drain electrode of the reset transistor RST and the gate electrode of the drive transistor DRT.
  • the pixel circuit PICA can suppress the fluctuation of the gate voltage due to the parasitic capacitance of the drive transistor DRT and the leakage current by the first capacitance Cs1 and the second capacitance Cs2.
  • a potential according to the video signal Vsig (or gradation signal) is supplied to the gate electrode of the drive transistor DRT. That is, the drive transistor DRT supplies a current according to the video signal Vsig to the light emitting element BLED based on the anode power supply potential PVDD supplied via the output transistor BCT. In this way, the anode power supply potential PVDD supplied to the anode power supply line IPL drops due to the drive transistor DRT and the output transistor BCT, so that a potential lower than the anode power supply potential PVDD is supplied to the anode terminal ELED1 of the light emitting element BLED. To be done.
  • the anode power supply potential PVDD is supplied to one electrode of the second capacitor Cs2 through the anode power supply line IPL, and the other electrode of the second capacitor Cs2 is supplied with a potential lower than the anode power supply potential PVDD. That is, one electrode of the second capacitor Cs2 is supplied with a higher potential than the other electrode of the second capacitor Cs2.
  • One electrode of the second capacitor Cs2 is, for example, the anode power supply line IPL, and the other electrode of the second capacitor Cs2 is the anode electrode AD of the drive transistor DRT and the anode connection electrode connected thereto.
  • the peripheral circuit GC sequentially selects a plurality of pixel rows from the top row (for example, the pixel row located at the top in the display area DA in FIG. 1).
  • the drive IC writes the video signal Vsig (video writing potential) to the pixel Px of the selected pixel row and causes the light emitting element BLED to emit light.
  • the drive IC supplies the video signal Vsig to the video signal line SL, the reset power supply potential Vrst to the reset power supply line RL, and the initialization potential Vini to the initialization power supply line INL for each horizontal scanning period.
  • the display device DSP repeats these operations for each frame of image.
  • the configuration of the pixel circuit PICA shown in FIG. 3 described above can be changed as appropriate.
  • the number of wirings and the number of transistors in one pixel Px may be different.
  • the pixel circuit PICA may be a current mirror circuit or the like.
  • FIG. 4 is a sectional view taken along the line IV-IV ′ in FIG.
  • FIG. 4 shows a sectional structure of the second pixel PxG and the third pixel PxR.
  • the sectional structure of the first pixel PxB is the same as that of the second pixel PxG and the third pixel PxR, and the description of the second pixel PxG and the third pixel PxR can be applied to the first pixel PxB.
  • the display device DSP has an array substrate SUA and a counter substrate SUB.
  • the array substrate SUA the light shielding layer LS, the undercoat layer UC, the semiconductor layer PS, the gate insulating film GZL, the scanning wiring GL, the interlayer insulating film LZL, the anode power supply line IPL and the pedestal BS are provided on one surface of the first substrate SU1.
  • the first planarization layer LL1, the common electrode CE, the capacitive nitride film LSN, the anode electrode AD and the wall-shaped structure WL, the connection layer CL, the light emitting element BLED, the second planarization layer LL2, and the cathode electrode CD are provided in this order.
  • one surface of the first substrate SU1 is a surface facing the second substrate SU2.
  • the green color filter GCF, the phosphor layer GF, the second reflective layer RFL2, and the filling layer FIL are provided in this order on one surface of the second substrate SU2.
  • the red color filter RCF, the phosphor layer RF, the second reflection layer RFL2, and the filling layer FIL are provided in this order on one surface of the second substrate SU2.
  • one surface of the second substrate SU2 is a surface facing the first substrate SU1.
  • a circular polarization plate CPL is provided on the other surface of the second substrate SU2.
  • the array substrate SUA and the counter substrate SUB are bonded to each other so that the phosphor layer GF and the phosphor layer RF respectively cover the upper surfaces of the second light emitting unit BLED2 and the third light emitting unit BLED3 of the light emitting element BLED.
  • the filling layer FIL is formed so as to fill the gap between the wall-shaped structure WL and the second reflection layer RFL2 when the array substrate SUA and the counter substrate SUB are combined.
  • the filling layer FIL is formed so as to fill the gap between the second reflective layers RFL2 of the adjacent pixels Px.
  • the direction from the first substrate SU1 to the second substrate SU2 in the direction perpendicular to the surface of the first substrate SU1 is referred to as “upper side”. Further, the direction from the second substrate SU2 to the first substrate SU1 will be referred to as “lower side”.
  • the light emitting element BLED is provided on the first substrate SU1.
  • the first substrate SU1 is an insulating substrate, and for example, a glass substrate, a resin substrate, a resin film, or the like is used.
  • borosilicate glass having a thickness of 100 ⁇ m can be used.
  • the drive transistor DTR is provided on one surface side of the first substrate SU1.
  • FIG. 4 shows the drive transistor DTR among the plurality of transistors of the pixel circuit PICA.
  • the output transistor BCT, the initialization transistor IST, the pixel selection transistor SST, and the reset transistor RST are also provided on the one surface side of the first substrate SU1.
  • the laminated structure of the output transistor BCT, the initialization transistor IST, the pixel selection transistor SST, and the reset transistor RST is similar to that of the drive transistor DTR, and detailed description thereof will be omitted.
  • the light shielding layer LS is a molybdenum tungsten (MoW) alloy film having a layer thickness of about 50 nm.
  • the light shielding layer LS is formed of a material having a light transmittance lower than that of the first substrate SU1, and is provided below the semiconductor layer PS.
  • the undercoat layer UC is a laminated body of a silicon nitride (SiN) layer and a silicon oxide (SiO 2 ) layer, and has a layer thickness of about 100 nm and 150 nm, respectively.
  • the semiconductor layer PS is, for example, polysilicon, and is obtained by polycrystallizing an amorphous silicon layer by a laser annealing method.
  • the layer thickness of the semiconductor layer PS is, for example, about 50 nm.
  • the gate insulating film GZL is a silicon oxide layer having a layer thickness of about 100 nm.
  • the scanning line GL is a molybdenum-tungsten alloy film with a layer thickness of about 300 nm.
  • the scanning line GL is a line in which the drain line of the pixel selection transistor SST and the drain line of the initialization transistor IST merge.
  • the gate insulating film GZL is provided between the semiconductor layer PS and the scan line GL in the normal direction of the first substrate SU1.
  • the interlayer insulating film LZL is a laminated body of a silicon oxide layer and a silicon nitride layer, and has a layer thickness of about 350 nm and 375 nm, respectively.
  • the anode power line IPL and the pedestal BS are provided in the same layer, and each is a three-layer laminated film of titanium (Ti), aluminum (Al), and titanium (Ti).
  • the layer thickness of each layer is about 100 nm, 400 nm, and 200 nm, respectively.
  • a portion of the anode power supply line IPL that overlaps with the semiconductor layer PS functions as the drain electrode DE of the drive transistor DTR.
  • a portion of the pedestal BS that overlaps the semiconductor layer PS functions as the source electrode SE of the drive transistor DTR.
  • the drain electrode DE and the source electrode SE are connected to the semiconductor layer PS via contact holes provided in the interlayer insulating film LZL and the gate insulating film GZL, respectively.
  • the first flattening layer LL1 and the second flattening layer LL2 are organic insulating films, and have layer thicknesses of about 2 ⁇ m and 10 ⁇ m, respectively.
  • the common electrode CE and the cathode electrode CD are indium tin oxide (ITO, Indium Tin Oxide), and the layer thickness is about 50 nm and 100 nm, respectively.
  • the capacitive nitride film LSN is a silicon nitride layer formed at low temperature and has a layer thickness of about 120 nm. The capacitive nitride film LSN is provided between the common electrode CE and the anode electrode AD in the normal direction of the first substrate SU1.
  • the wall-shaped structure WL is provided so as to face the side surface of the light emitting element BLED.
  • the wall-shaped structure WL is provided on the capacitive nitride film LSN so as to surround the light emitting element BLED.
  • the anode electrode AD, the connection layer CL, the light emitting element BLED, and the second planarization layer LL2 are provided in the recess formed by the wall-shaped structure WL and the capacitive nitride film LSN.
  • a material for the wall-shaped structure WL for example, a positive photoresist made of novolac resin and naphthoquinone of a photosensitive material, a negative photoresist made of acrylic resin, or the like can be used.
  • the side surface of the negative resist may be covered with a positive photoresist to form the negative resist.
  • the anode electrode AD is a laminated body of ITO, silver (Ag), and ITO.
  • the anode electrode AD is provided on the capacitive nitride film LSN and is connected to the pedestal BS via a contact hole provided in the first planarization layer LL1.
  • the anode electrode AD is provided for each pixel Px and is electrically connected to each of the plurality of light emitting units.
  • the anode electrode AD of the second pixel PxG is separated from the anode electrode AD of the third pixel PxR.
  • the anode electrode AD includes an anode electrode bottom portion ADa and an anode electrode inclined portion ADb.
  • the anode electrode bottom portion ADa is provided on the capacitive nitride film LSN, and is provided over a region overlapping the light emitting element BLED and a region not overlapping the light emitting element BLED.
  • the anode electrode inclined portion ADb is connected to the end of the anode electrode bottom portion ADa and is provided so as to be inclined along the inner wall surface of the wall-shaped structure WL.
  • the anode electrode inclined portion ADb faces the side surface of the light emitting element BLED with the second planarization layer LL2 interposed therebetween. That is, the anode electrode AD extends inward from the inside of the light emitting element BLED and is provided around the light emitting element BLED in a plan view.
  • the light emitting element BLED is arranged between the anode electrode inclined portion ADb of the second pixel PxG and the anode electrode inclined portion ADb of the third pixel PxR in the direction parallel to the first substrate SU1.
  • the anode electrode AD is made of a metal material that reflects light, and also functions as the first reflective layer RFL1 that reflects light from the light emitting element BLED.
  • connection layer CL is formed of silver paste and is provided on the anode electrode AD between the first substrate SU1 and the light emitting element BLED.
  • the second light emitting unit BLED2 and the third light emitting unit BLED3 of the light emitting element BLED are respectively provided on the connection layer CL and electrically connected to the connection layer CL. That is, the second light emitting unit BLED2 and the third light emitting unit BLED3 of the light emitting element BLED are electrically connected to the anode electrode AD via the connection layer CL, respectively.
  • the second flattening layer LL2 is provided in the recess formed by the wall-shaped structure WL and the plurality of anode electrodes AD so as to cover the side surface of the light emitting element BLED.
  • the second planarization layer LL2 is also provided between the second light emitting unit BLED2 and the third light emitting unit BLED3 of the light emitting element BLED on the upper surface side and the lower surface side of the light emitting element substrate SULED.
  • the position of the upper surface of the second planarization layer LL2 coincides with the upper surface of the wall-shaped structure WL.
  • the second substrate SU2 may be made of, for example, borosilicate glass having a thickness of 100 ⁇ m, as in the first substrate SU1.
  • the green color filter GCF is provided on the phosphor layer GF, that is, between the phosphor layer GF and the second substrate SU2 in the normal direction of the first substrate SU1.
  • the red color filter RCF is provided on the phosphor layer RF, that is, between the phosphor layer RF and the second substrate SU2 in the normal direction of the first substrate SU1.
  • the phosphor layer BF and the blue color filter BCF are provided above the first light emitting unit BLED1 also in the first pixel PxB.
  • color filters CF when it is not necessary to distinguish between the blue color filter BCF, the green color filter GCF, and the red color filter RCF, they are referred to as color filters CF.
  • the blue color filter BCF, the green color filter GCF, and the red color filter RCF are formed by patterning a negative resist in which a blue pigment, a green pigment, and a red pigment are mixed.
  • the layer thickness of the blue color filter BCF, the green color filter GCF, and the red color filter RCF is, for example, about 2 ⁇ m.
  • the blue color filter BCF, the green color filter GCF, and the red color filter RCF absorb the light of the blue wavelength component emitted from the light emitting device BLED, and improve the color purity of the light emitted to the second substrate SU2 side. be able to.
  • each color filter CF absorbs the components that excite the phosphor layers BF, GF, and RF in the light incident from the outside. This can prevent the phosphor layers BF, GF, and RF from emitting light by external light.
  • the phosphor layer GF is provided so as to overlap the green color filter GCF.
  • the side surfaces of the phosphor layer GF and the green color filter GCF are inclined with respect to the normal direction (third direction Dz) of the substrate.
  • the area of the lower surface of the phosphor layer GF is smaller than the area of the upper surface of the green color filter GCF.
  • the phosphor layer RF is provided so as to overlap with the red color filter RCF.
  • the side surfaces of the phosphor layer RF and the red color filter RCF are inclined with respect to the normal line direction of the substrate (third direction Dz).
  • the area of the lower surface of the phosphor layer RF is smaller than the area of the upper surface of the red color filter RCF.
  • the phosphor layer GF and the green color filter GCF are provided in regions respectively overlapping the anode electrode AD in plan view.
  • the phosphor layer RF and the red color filter RCF are provided in regions respectively overlapping the anode electrode AD in plan view.
  • the phosphor layer RF, the phosphor layer GF, and the phosphor layer BF are formed by patterning a negative resist in which red, green, and blue quantum dots are mixed.
  • the layer thickness of the phosphor layer RF and the phosphor layer GF is, for example, about 30 ⁇ m.
  • the quantum dot is composed of a cadmium selenium (CdSe) core structure and a zinc sulfide (ZnS) shell structure surrounding the core structure.
  • the particle diameters of the red, green, and blue quantum dots are adjusted so that the fluorescence maximum wavelengths are shown at wavelengths of 630 nm, 530 nm, and 460 nm, respectively, and the absorption spectrum is continuous, and the maximum emission of the light-emitting element BLED is achieved. It also exhibits sufficient absorption at the wavelength. Further, the surface of the shell structure has an organic molecular chain for improving the compatibility with the negative resist.
  • non-cadmium-based quantum dots can also be applied.
  • non-cadmium-based quantum dots include those having a core structure of indium phosphide (InP) and a shell structure of zinc sulfide (ZnS).
  • a metal material such as aluminum (Al) is used for the second reflective layer RFL2.
  • the layer thickness of the second reflective layer RFL2 is, for example, about 100 nm.
  • the second reflection layer RFL2 is provided over the side surfaces of the phosphor layer GF and the green color filter GCF, and is provided over the side surfaces of the phosphor layer RF and the red color filter RCF.
  • the filling layer FIL is an organic insulating film, and is provided around the second reflection layer RFL2, the phosphor layer GF and the green color filter GCF, and also around the phosphor layer RF and the red color filter RCF. In other words, the filling layer FIL is provided between the second pixel PxG and the third pixel PxR.
  • the array substrate SUA and the counter substrate SUB are attached so that the second planarization layer LL2 and the phosphor layers GF and RF overlap and the wall-shaped structure WL and the filling layer FIL overlap.
  • the phosphor layer GF is provided to cover the upper surfaces of the second light emitting unit BLED2 and the second flattening layer LL2
  • the phosphor layer RF covers the upper surfaces of the third light emitting unit BLED3 and the second flattening layer LL2. It is provided to cover.
  • the second reflective layer RFL2 provided outside the second pixel PxG and the third pixel PxR is located in the first substrate SU1 rather than the first reflective layer RFL1 (anode electrode AD) in the normal direction of the first substrate SU1. Placed away from.
  • the anode electrode inclined portion ADb and the second reflective layer RFL2 are inclined with respect to the normal direction of the first substrate SU1.
  • a second flattening layer LL2 is provided as an insulating layer between the lower end of the second reflective layer RFL2 and the upper end of the anode electrode inclined portion ADb.
  • the second reflective layer RFL2 is arranged on the same straight line as the anode electrode inclined portion ADb of the anode electrode AD.
  • the present invention is not limited to this, and the second reflective layer RFL2 may be provided at a position deviated from the anode electrode inclined portion ADb of the anode electrode AD.
  • the second reflective layer RFL2 provided between the second pixel PxG and the third pixel PxR is arranged to overlap the light emitting element BLED in plan view.
  • An opening is formed on the lower end side of the second reflective layer RFL2 of the second pixel PxG. Further, an opening is formed on the lower end side of the second reflective layer RFL2 of the third pixel PxR.
  • the openings of the plurality of second reflection layers RFL2 overlap the openings on the upper end side of the anode electrode AD in plan view.
  • the semiconductor layer PS is not limited to polysilicon, and may be amorphous silicon, a microcrystalline oxide semiconductor, an amorphous oxide semiconductor, low temperature polysilicon (LTPS: Low Temperature Polycrystalline Silicon), or gallium nitride (GaN). ..
  • oxide semiconductors include IGZO, zinc oxide (ZnO), and ITZO.
  • IGZO is indium gallium zinc oxide.
  • ITZO is indium tin zinc oxide.
  • the drive transistor DTR has a so-called top gate structure.
  • the drive transistor DTR may have a bottom gate structure in which a gate electrode is provided below the semiconductor layer PS, or may have a dual gate structure in which a gate electrode is provided both above and below the semiconductor layer PS.
  • FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view showing the light emitting device of FIG.
  • FIG. 5 shows the cross-sectional structure of the second light emitting unit BLED2
  • the first light emitting unit BLED1 and the third light emitting unit BLED3 also have the same laminated structure.
  • the second light emitting unit BLED2 has a light emitting element substrate SULED, an n-type cladding layer NC, a light emitting layer EM, a p-type cladding layer PC, an anode terminal ELED1 and a cathode terminal ELED2.
  • An n-type clad layer NC, a light-emitting layer EM, a p-type clad layer PC, and a cathode terminal ELED2 are sequentially stacked on the light emitting element substrate SULED.
  • the anode terminal ELED1 is provided between the light emitting element substrate SULED and the connection layer CL.
  • the light emitting layer EM is indium gallium nitride (InGaN), and the composition ratio of indium and gallium is, for example, 0.2: 0.8.
  • the p-type clad layer PC and the n-type clad layer NC are gallium nitride (GaN).
  • the light emitting element substrate SULED is silicon carbide (SiC).
  • the anode terminal ELED1 and the cathode terminal ELED2 are both made of aluminum.
  • the maximum emission wavelength of the second light emitting unit BLED2 is 450 nm.
  • first light emitting portion BLED1, second light emitting portion BLED2, and third light emitting portion BLED3 are separately provided on the same light emitting element substrate SULED (see FIG. 2). That is, since the n-type clad layer NC, the light-emitting layer EM, and the p-type clad layer PC of the plurality of light-emitting units are provided separately, for example, the light emitted from the first light-emitting unit BLED1 is inside the light-emitting element BLED. Can be suppressed from being emitted from the vicinity of other light emitting portions.
  • FIG. 6 is an explanatory diagram for explaining the manufacturing process of the light emitting element.
  • the manufacturing apparatus first forms the n-type cladding layer NC, the emission layer EM, and the p-type cladding layer PC on the first surface S1 of the light emitting element substrate SULED in this order (step ST1).
  • the manufacturing apparatus patterns the n-type cladding layer NC, the light emitting layer EM, and the p-type cladding layer PC by dry etching (step ST2). As a result, a plurality of stacked bodies in which the n-type cladding layer NC, the light emitting layer EM, and the p-type cladding layer PC are stacked are separated from each other and formed in an island shape on the first surface S1 of the light emitting element substrate SULED. ..
  • the second surface S2 of the light emitting element substrate SULED is thinned to form the anode terminal ELED1 on the bottom surface of the second surface S2 of the light emitting element substrate SULED (step ST3).
  • the manufacturing apparatus cuts the light emitting element substrate SULED into a rectangular shape (step ST4). Thereby, the light emitting element BLED including a plurality of light emitting units can be manufactured.
  • n-type clad layer NC, the light emitting layer EM, and the p-type clad layer PC are patterned by dry etching, damage to each layer can be suppressed as compared with cutting by a dicing saw or the like. Further, since the n-type cladding layer NC, the light emitting layer EM, and the p-type cladding layer PC are sufficiently separated from the cut surface of the light emitting element substrate SULED, the n type cladding layer NC and the light emitting layer at the time of processing the light emitting element substrate SULED. Damage to the EM and the p-type cladding layer PC can be suppressed. Thereby, in each light emitting portion of the light emitting element BLED, deactivation of electrons and holes due to structural defects does not occur, and high internal quantum efficiency is obtained.
  • connection layer CL is deformed according to the pressure and is in close contact with the light emitting element BLED to be electrically connected.
  • the connection layer CL may be made of the same metal material as the anode terminal ELED1, for example, aluminum.
  • the anode terminal ELED1 and the connection layer CL are integrated by heat treatment after disposing the light emitting element BLED on the connection layer CL.
  • the connection layer CL is in good conduction with the light emitting element BLED.
  • the cathode electrode CD is provided on the upper surface of the light emitting element BLED and is arranged between the light emitting element BLED and the phosphor layer RF.
  • the optical path and wavelength conversion of the light emitted from the second light emitting unit BLED2 will be described with reference to FIGS. 4, 7, and 8.
  • the description about the optical path and the wavelength conversion of the light emitted from the second light emitting unit BLED2 can be applied to the third light emitting unit BLED3 and the first light emitting unit BLED1.
  • the light La emitted upward and the lights Lb and Lc emitted laterally are shown.
  • the light La enters the phosphor layer GF from the upper surface of the second light emitting unit BLED2 through the cathode electrode CD.
  • the light Lb is emitted from the side surface of the second light emitting unit BLED2, passes through the second flattening layer LL2, and is incident on the anode electrode inclined portion ADb. Since the anode electrode inclined portion ADb is provided so as to be inclined, the light Lb reflected by the anode electrode inclined portion ADb enters the phosphor layer GF.
  • the light Lc is emitted toward the lower side (first substrate SU1 side) of the light Lb.
  • the light Lc passes through the second flattening layer LL2 and enters the anode electrode bottom portion ADa.
  • the light Lc reflected by the bottom portion ADa of the anode electrode enters the phosphor layer GF.
  • the phosphor layer GF emits green light when light La, Lb, and Lc enter.
  • the phosphor layer GF emits light isotropically.
  • FIG. 4 shows fluorescence Ld, Le, and Lf of the light generated in the phosphor layer GF.
  • the fluorescent light Ld that emits toward the upper side does not enter the second reflective layer RFL2 and is emitted to the second substrate SU2 side via the color filter GCF.
  • the fluorescent light Le emitted toward the side enters the second reflective layer RFL2. Since the second reflection layer RFL2 is provided so as to be inclined, the fluorescence Le reflected by the second reflection layer RFL2 is emitted to the second substrate SU2 side via the color filter GCF.
  • the fluorescent light Lf emitted toward the lower side is incident on the anode electrode AD.
  • the fluorescence Lf reflected by the anode electrode AD passes through the phosphor layer GF again and is emitted to the second substrate SU2 side.
  • the second reflection layer RFL2 is provided so as to face the side surface of the phosphor layer GF, and the anode electrode AD is also provided below the phosphor layer GF.
  • the second reflective layer RFL2 extends above the upper surface of the phosphor layer RF, and the anode electrode AD extends below the lower surface of the phosphor layer RF. Therefore, the number of reflections of the lights La, Lb, Lc and the fluorescences Ld, Le, Lf can be increased as compared with the case where the reflection layer is provided only on the side surface of the phosphor layer RF.
  • the fluorescent lights Ld, Le, and Lf are repeatedly reflected by the anode electrode AD and the second reflective layer RFL2 multiple times, and the traveling direction is changed.
  • the traveling directions of the fluorescence Ld, Le, and Lf that isotropically emitted from the phosphor layer RF are converted to a direction close to the normal direction of the first substrate SU1 by the anode electrode AD and the second reflective layer RFL2. Then, the fluorescences Ld, Le, Lf are emitted to the second substrate SU2 side. As a result, the display device DSP can improve the light extraction efficiency.
  • the light emitted from the third light emitting unit BLED3 is also absorbed by the phosphor layer RF, converted into red light, and emitted to the second substrate SU2 side via the color filter RCF.
  • the first light emitting unit BLED1 not shown in FIG. 4 light emitted from the first light emitting unit BLED1 is similarly absorbed by the phosphor layer BF, converted into blue light, and passed through the color filter BCF. And is emitted to the second substrate SU2 side.
  • the maximum wavelength difference between the phosphor layer BF and the first light emitting unit BLED1 is about 20 nm, and the wavelength conversion effect is small.
  • conversion of the angular distribution of light emission is more important than wavelength conversion. That is, the light emitted from the first light emitting unit BLED1 is absorbed and emitted by the phosphor layer BF, and is further reflected by the anode electrode AD and the second reflective layer RFL2. Accordingly, the blue light emission emitted from the first pixel PxB has the same angular distribution as the green light emission of the second pixel PxG and the red light emission of the third pixel PxR. As a result, the display device DSP can obtain constant chromaticity regardless of the viewing direction.
  • the filling layer FIL and the second reflection layer RFL2 are also provided between the adjacent second pixel PxG and third pixel PxR. Specifically, the filling layer FIL and the second reflective layer RFL2 are provided between the phosphor layer GF and the color filter GCF and the phosphor layer RF and the color filter RCF. As a result, it is possible to suppress color mixing between the light generated in the phosphor layer GF and the light generated in the phosphor layer RF.
  • FIG. 7 is an explanatory diagram for explaining the traveling direction of the light reflected by the anode electrode.
  • FIG. 8 is an explanatory diagram for explaining another example of the traveling direction of the light reflected by the anode electrode. 7 and 8 describe the reflection at the anode electrode AD, the description of FIGS. 7 and 8 can be applied to the second reflective layer RFL2.
  • the angle formed by the anode electrode AD and the third direction Dz is ⁇ a.
  • the angle formed by the anode electrode AD and the third direction Dz is 0 °, that is, the anode electrode AD is provided along the normal direction of the first substrate SU1.
  • the traveling direction of the light Lb is distributed within the range of the angle 2 ⁇ a, that is, within the range of ⁇ ⁇ a around the third direction Dz.
  • the traveling direction of the light Lb is changed every time it is reflected by the anode electrode AD. Even when the light Lb is emitted in the lower left direction, the traveling direction is changed to the upper side by repeating reflection twice at the anode electrode AD, and the light Lb is emitted upward in the five reflections. .. The light Lb is emitted toward the phosphor layer GF (see FIG. 4) side.
  • the traveling direction of the light Lb is not changed to the upper side, and the light Lb is emitted as it is toward the lower side, that is, the first substrate SU1 side.
  • the light Lb traveling to the first substrate SU1 side is reflected by the anode electrode bottom portion ADa, the traveling direction is changed to the upper side, and emitted toward the second substrate SU2 side.
  • the traveling direction of the light Lb approaches the third direction Dz by 2 ⁇ each time the light Lb is reflected by the anode electrode AD. That is, the light Lb traveling in the range of the angle 0 ° to the angle ⁇ with respect to the third direction Dz is emitted toward the phosphor layer GF side without being reflected.
  • the light Lb traveling in the angle range of the angle ⁇ or more and smaller than the angle 3 ⁇ with respect to the third direction Dz is emitted toward the phosphor layer GF side by one reflection.
  • the light Lb traveling in the angle range of 3 ⁇ or more and smaller than the angle 5 ⁇ with respect to the third direction Dz is emitted toward the phosphor layer GF side by two reflections.
  • light with an angle of 5 ⁇ or more is emitted toward the phosphor layer GF side by increasing the number of reflections.
  • the fluorescence Ld, Le, and Lf emitted from the phosphor layer GF are emitted toward the second substrate SU2 side by being repeatedly reflected by the second reflection layer RFL2. ..
  • the pair of anode electrodes AD are preferably inclined in opposite directions, and specifically, the angle ⁇ is preferably in the range of 10 ° to 40 °.
  • the pair of second reflection layers RFL2 are also preferably inclined in opposite directions, and specifically, the angle ⁇ is preferably in the range of 10 ° to 40 °.
  • one light emitting element BLED is provided with a plurality of independently controllable light emitting sections (first light emitting section BLED1, second light emitting section BLED2, and third light emitting section BLED3). It is provided.
  • Each light emitting portion is provided with one light extraction structure, and one light emitting element BLED forms a plurality of pixels Px.
  • each light extraction structure includes phosphor layers BF, GF, and RF that convert the wavelength of the light emitted from the light emitting element BLED, and a reflection layer (anode electrode AD and second reflection layer RFL2) for directing the fluorescence forward.
  • the color filters BCF, GCF, and RCF that absorb the light of the light emitting element BLED and the excitation light component of the external light are provided.
  • the display device DSP can improve the light extraction efficiency of the light emitting element BLED.
  • the plurality of pixels Px are configured by the light emitting elements BLED, the number of the light emitting elements BLED can be reduced as compared with the case where the light emitting elements BLED are provided for each pixel Px, and a plurality of the same light emitting elements BLED are arranged. You can Therefore, it is possible to simplify the process of arranging the light emitting elements BLED.
  • FIG. 9 is a sectional view showing a light emitting device according to a first modification of the first embodiment.
  • a recess is formed on the first surface S1 of the light emitting element substrate SULED between a plurality of stacked bodies in which the n-type cladding layer NC, the light emitting layer EM, and the p-type cladding layer PC are stacked. ..
  • the distance between the first surface S1 and the second surface S2 of the portion provided with the plurality of stacked bodies is larger than the distance between the first surface S1 and the second surface S2 of the portion not provided with the plurality of stacked bodies. ..
  • the light emitting element substrate SULED is patterned between the second light emitting unit BLED2 and the third light emitting unit BLED3, the light emitting element substrate SULED has the lower portion of the second light emitting unit BLED2 and the third light emitting unit BLED3.
  • the path that connects the lower part becomes longer. Therefore, it is possible to suppress the light emitted from the second light emitting unit BLED2 and the third light emitting unit BLED3 from propagating in the light emitting element BLED and emitting from the vicinity of other light emitting units.
  • the patterning of the light emitting element substrate SULED can be performed simultaneously with the step of patterning the n-type clad layer NC, the light emitting layer EM and the p-type clad layer PC by dry etching shown in step ST2 of FIG.
  • the patterning of the light emitting element substrate SULED may be performed in a process different from step ST2 of FIG.
  • FIG. 10 is a cross-sectional view showing a display device according to a second modification of the first embodiment.
  • FIG. 11 is an enlarged sectional view showing the light emitting device of FIG.
  • the light emitting device BLED of the first embodiment and the first modification has a vertical structure in which the lower part is connected to the anode electrode AD and the upper part is connected to the cathode electrode CD, but the present invention is not limited thereto.
  • the anode electrode AD and the cathode electrode CD common electrode CE
  • the anode terminal ELED1 and the cathode terminal ELED2 are both provided on the surface of the light emitting element substrate SULED that faces the first substrate SU1.
  • the anode terminal ELED1 is provided in each of the first light emitting unit BLED1 (not shown in FIG. 10), the second light emitting unit BLED2, and the third light emitting unit BLED3, and is connected to the anode electrode AD via the connection layer CL.
  • the cathode terminal ELED2 is provided as one terminal common to the first light emitting unit BLED1 (not shown in FIG. 10), the second light emitting unit BLED2, and the third light emitting unit BLED3, and the common electrode CE is provided via the cathode connection layer CDCL. Connected to.
  • FIG. 11 shows a laminated structure of the third light emitting unit BLED3.
  • the p-type clad layer PC, the light-emitting layer EM, the n-type clad layer NC, and the anode terminal ELED1 are sequentially stacked on the first surface S1 of the light-emitting element substrate SULED.
  • the first surface S1 is a surface facing the first substrate SU1.
  • the cathode terminal ELED2 and the cathode connection layer CDCL are also laminated in this order on the first surface S1 of the light emitting element substrate SULED.
  • the cathode connection layer CDCL is electrically connected to the common electrode CE through the opening provided in the capacitive nitride film LSN.
  • a light emitting element BLED having a horizontal structure in which the anode terminal ELED1 and the cathode terminal ELED2 are arranged on the same surface side is also applicable.
  • FIG. 11 shows the third light emitting unit BLED3, the first light emitting unit BLED1 and the second light emitting unit BLED2 may have the same configuration.
  • FIG. 12 is a plan view of the light emitting device according to the first embodiment.
  • the planar shape of the light emitting element substrate SULED is a quadrangle.
  • the first light emitting unit BLED1 is provided near the center of the first side SD1 of the light emitting element substrate SULED.
  • the second light emitting unit BLED2 is provided near a corner where the second side SD2 and the third side SD3 of the light emitting element substrate SULED are in contact with each other.
  • the third light emitting unit BLED3 is provided near a corner where the second side SD2 and the fourth side SD4 of the light emitting element substrate SULED are in contact with each other.
  • the light emitting element substrate SULED can be easily cut.
  • FIG. 13 is a plan view of a light emitting device according to a third modification of the first embodiment.
  • the light emitting element substrate SULED has a hexagonal planar shape.
  • the first light emitting unit BLED1 is provided near a corner where the first side SD1 and the second side SD2 of the light emitting element substrate SULED are in contact with each other.
  • the second light emitting unit BLED2 is provided near a corner where the fifth side SD5 and the sixth side SD6 of the light emitting element substrate SULED are in contact with each other.
  • the third light emitting unit BLED3 is provided near a corner where the third side SD3 and the fourth side SD4 of the light emitting element substrate SULED are in contact with each other.
  • the first light emitting section BLED1, the second light emitting section BLED2, and the third light emitting section BLED3 are arranged so that the positional relationship with each side of the light emitting element substrate SULED is the same.
  • the positional relationship between the first light emitting unit BLED1 and the first side SD1 and the second side SD2 is the same as the positional relationship between the second light emitting unit BLED2 and the fifth side SD5 and the sixth side SD6. Accordingly, the first light emitting unit BLED1, the second light emitting unit BLED2, and the third light emitting unit BLED3 are provided under the same condition, so that the difference in light emission intensity can be suppressed.
  • FIG. 14 is a plan view of a light emitting device according to a fourth modified example of the first embodiment.
  • the light emitting element substrate SULED has a triangular planar shape.
  • the first light emitting unit BLED1 is provided near the first top V1 of the light emitting element substrate SULED.
  • the second light emitting unit BLED2 is provided near the second top V2 of the light emitting element substrate SULED.
  • the third light emitting unit BLED3 is provided near the third top V3 of the light emitting element substrate SULED.
  • more light emitting elements BLED can be obtained from one light emitting element substrate SULED in the manufacturing process of the light emitting element BLED.
  • the planar shape of the light emitting element BLED that is, the planar shape of the light emitting element substrate SULED is not limited to the above example.
  • the light emitting element substrate SULED may have a polygonal shape other than a triangular shape, a quadrangular shape, and a hexagonal shape.
  • the outer shape of the light emitting element substrate SULED may be circular or may have a curved portion in part.
  • FIG. 15 is a plan view showing the relationship between the light emitting element according to the first embodiment and a plurality of pixels.
  • the light emitting element BLED shown in FIG. 15 is similar to the light emitting element BLED shown in FIG. 12, and detailed description thereof will be omitted.
  • the second pixel PxG and the third pixel PxR are arranged in the first direction Dx.
  • the first pixel PxB is aligned with the second pixel PxG and the third pixel PxR in the second direction Dy.
  • the position of the first pixel PxB in the first direction Dx is displaced from the positions of the second pixel PxG and the third pixel PxR in the first direction Dx.
  • the first pixel PxB is a region including the first light emitting unit BLED1.
  • the second pixel PxG is an area including the second light emitting unit BLED2.
  • the third pixel PxR is a region including the third light emitting unit BLED3.
  • the first light emitting unit BLED1, the second light emitting unit BLED2, and the third light emitting unit BLED3 are located at the central portions of the phosphor layers BF, GF, and RF, respectively. That is, the light emitting element substrate SULED of the light emitting element BLED is arranged across the three pixels Px.
  • FIG. 16 is a plan view showing the relationship between the light emitting element and the plurality of pixels according to the fifth modification of the first embodiment.
  • the light emitting element BLED of the fifth modified example has four light emitting portions, that is, a first light emitting portion BLED1 to a fourth light emitting portion BLED4.
  • the light emitting element substrate SULED of the light emitting element BLED is arranged across four pixels Px.
  • the four pixels Px are composed of a first pixel PxB, a second pixel PxG1, a second pixel PxG2, and a third pixel PxR.
  • the second pixel PxG1 and the second pixel PxG2 both emit green light.
  • the first pixel PxB and the second pixel PxG1 are arranged in the first direction Dx.
  • the second pixel PxG2 and the third pixel PxR are arranged in the first direction Dx.
  • the first pixel PxB and the second pixel PxG2 are arranged in the second direction Dy.
  • the second pixel PxG1 and the third pixel PxR are arranged in the second direction Dy.
  • the pixel Px becomes a so-called Bayer array.
  • the first pixel PxB is a region including the first light emitting unit BLED1.
  • the second pixel PxG1 is an area including the second light emitting unit BLED2.
  • the second pixel PxG2 is an area including the third light emitting unit BLED3.
  • the third pixel PxR is a region including the fourth light emitting unit BLED4.
  • the first light emitting unit BLED1, the second light emitting unit BLED2, the third light emitting unit BLED3, and the fourth light emitting unit BLED4 are located at the central portions of the phosphor layers BF, GF, GF, and RF, respectively.
  • FIG. 17 is a plan view showing the relationship between the light emitting element and the plurality of pixels according to the sixth modified example of the first embodiment.
  • the light emitting element substrate SULED has a rectangular planar shape.
  • the light emitting element BLED has four light emitting portions, that is, a first light emitting portion BLED1 to a fourth light emitting portion BLED4.
  • the first light emitting unit BLED1 and the second light emitting unit BLED2 are arranged on one side of the light emitting element substrate SULED in the second direction Dy.
  • the third light emitting unit BLED3 and the fourth light emitting unit BLED4 are arranged on the other side of the light emitting element substrate SULED in the second direction Dy.
  • the light emitting element substrate SULED of the light emitting element BLED is arranged across four pixels Px.
  • the four pixels Px are composed of two second pixels PxG1 and PxG3 and two third pixels PxR1 and PxR3.
  • the third pixel PxR1 and the second pixel PxG1 are arranged in the first direction Dx.
  • the third pixel PxR3 and the second pixel PxG3 are arranged in the first direction Dx.
  • the third pixel PxR1 and the third pixel PxR3 are arranged in the second direction Dy.
  • the second pixel PxG1 and the second pixel PxG3 are arranged in the second direction Dy.
  • the planar shape of the two second pixels PxG1 and PxG3 and the two third pixels PxR1 and PxR3 is a rectangle.
  • the planar shapes of the phosphor layers GF, RF and the color filters GCF, RCF are rectangular.
  • the first light emitting unit BLED1 to the fourth light emitting unit BLED4 are arranged at the center of each pixel Px.
  • FIG. 18 is a plan view showing the relationship between the light emitting element and the plurality of pixels according to the seventh modified example of the first embodiment. As shown in FIG. 18, the light emitting element BLED of the seventh modification is the same as the sixth modification shown in FIG.
  • the four pixels Px are composed of two first pixels PxB1 and PxB3 and two third pixels PxR2 and PxR4.
  • the first pixel PxB1 and the third pixel PxR2 are arranged in the first direction Dx.
  • the first pixel PxB3 and the third pixel PxR4 are arranged in the first direction Dx.
  • the first pixel PxB1 and the first pixel PxB3 are arranged in the second direction Dy.
  • the third pixel PxR2 and the third pixel PxR4 are arranged in the second direction Dy.
  • the planar shape of the two first pixels PxB1 and PxB3 and the two third pixels PxR2 and PxR4 is a rectangle.
  • the planar shapes of the phosphor layers BF, RF and the color filters BCF, RCF are rectangular.
  • the first light emitting unit BLED1 to the fourth light emitting unit BLED4 are arranged at the center of each pixel Px.
  • FIG. 19 is a plan view showing the relationship between the light emitting element and the plurality of pixels according to the eighth modified example of the first embodiment. As shown in FIG. 19, the light emitting element BLED of the eighth modification is similar to the sixth modification shown in FIG. 17 and the seventh modification shown in FIG.
  • the four pixels Px are composed of two second pixels PxG2 and PxG4 and two first pixels PxB2 and PxB4.
  • the second pixel PxG2 and the first pixel PxB2 are arranged in the first direction Dx.
  • the second pixel PxG4 and the first pixel PxB4 are arranged in the first direction Dx.
  • the second pixel PxG2 and the second pixel PxG4 are arranged in the second direction Dy.
  • the first pixel PxB2 and the first pixel PxB4 are arranged in the second direction Dy.
  • the planar shape of the two second pixels PxG2, PxG4 and the two first pixels PxB2, PxB4 is a rectangle.
  • the planar shapes of the phosphor layers GF and BF and the color filters GCF and BCF are rectangular.
  • the first light emitting unit BLED1 to the fourth light emitting unit BLED4 are arranged at the center of each pixel Px.
  • the third pixel PxR2, the second pixel PxG2, and the first pixel PxB2 are arranged in this order.
  • the third pixel PxR3, the second pixel PxG3, the first pixel PxB3, the third pixel PxR4, the second pixel PxG4, and the first pixel PxB4 are arranged in this order.
  • the display device DSP can realize a pixel array in a stripe array.
  • FIG. 20 is a plan view showing a plurality of pixels according to the second embodiment.
  • FIG. 21 is a sectional view showing the display device according to the second embodiment.
  • the arrangement of the light emitting element substrate SULED and the three light emitting portions (the first light emitting portion BLED1, the second light emitting portion BLED2, and the third light emitting portion BLED3) is arranged.
  • the relationship is similar to that of the first embodiment shown in FIGS. 12 and 15.
  • the first light emitting unit BLED1 is arranged not at the center of the first pixel PxB but at the outer edge. Specifically, the first light emitting unit BLED1 is arranged near the side of the first pixel PxB adjacent to the second pixel PxG and the third pixel PxR.
  • the second light emitting unit BLED2 is arranged not at the center of the second pixel PxG but at the outer edge thereof. Specifically, the second light emitting unit BLED2 is arranged in the vicinity of a corner of the second pixel PxG where the side adjacent to the first pixel PxB and the side adjacent to the third pixel PxR are in contact with each other.
  • the third light emitting unit BLED3 is arranged not at the center of the third pixel PxR but at the outer edge thereof. Specifically, the third light emitting unit BLED3 is arranged near the corner of the third pixel PxR where the side adjacent to the first pixel PxB and the side adjacent to the second pixel PxG are in contact with each other.
  • the first light emitting unit BLED1 is arranged on the lower end side of the first pixel PxB.
  • the second light emitting unit BLED2 is arranged at the upper right end of the second pixel PxG.
  • the third light emitting unit BLED3 is arranged at the upper left end of the third pixel PxR.
  • the pixels Px are staggered.
  • the second light emitting unit BLED2 and the third light emitting unit BLED3 are arranged near the filling layer FIL and the second reflecting layer RFL2 arranged between the second pixel PxG and the third pixel PxR. To be done.
  • the second light emitting unit BLED2 and the third light emitting unit BLED3 are farther from the anode electrode inclined portion ADb than in the first embodiment, and have a concave structure formed by the anode electrode AD and the second reflective layer RFL2. It is located near the center.
  • the distance between the end of the phosphor layer GF adjacent to the phosphor layer RF and the second light emitting unit BLED2 in the direction parallel to the first substrate SU1 is equal to the anode electrode inclined portion ADb and the second light emitting unit BLED2. Less than the distance between.
  • the anode electrode bottom portion ADa also extends to the outer edge of the pixel Px.
  • the size of the light emitting element BLED in plan view can be made smaller than that in the first embodiment.
  • the positions of the respective light emitting units (the first light emitting unit BLED1, the second light emitting unit BLED2, and the third light emitting unit BLED3) in the pixel Px are biased. Therefore, for example, in the first pixel PxB shown in FIG. 20, most of the light emitted from the first light emitting unit BLED1 is reflected by the adjacent anode electrode AD and travels upward in FIG. Pass through layer BF. Therefore, the direction of light passing through the phosphor layer BF is biased upward in FIG.
  • the direction of light passing through the phosphor layer GF is biased to the lower left direction in FIG.
  • the direction of light passing through the phosphor layer RF is biased to the lower right direction in FIG.
  • the phosphor layers BF, GF and RF all emit light isotropically. Therefore, the light emitted from each of the light emitting units (the first light emitting unit BLED1, the second light emitting unit BLED2, and the third light emitting unit BLED3) at the stage of being absorbed and emitted by the phosphor layers BF, GF, and RF and converted in wavelength. The deviation in the traveling direction is eliminated, and the light emission in the phosphor layers BF, GF, and RF has an isotropic distribution. Accordingly, the display device DSP can suppress the deviation of the angular distribution of the light emitted from each pixel Px.
  • the number of elements that can be formed by one light emitting element substrate SULED can be increased in the manufacturing process of the light emitting element BLED. Further, the light from each light emitting unit passes through the phosphor layers BF, GF, RF and the color filters BCF, GCF, RCF, respectively, so that the display device DSP can obtain the display characteristics equivalent to those of the first embodiment.
  • FIG. 22 is a plan view showing the relationship between the light emitting element and the plurality of pixels according to the ninth modified example of the second embodiment.
  • the arrangement of each light emitting unit and each pixel Px according to the ninth modification is similar to that of the fifth modification shown in FIG. 16, and the plurality of pixels Px can form a so-called Bayer array.
  • the light emitting element BLED is downsized as compared with the fifth modification. That is, each light emitting unit overlaps with the end of each pixel Px and is provided at a position displaced from the center of each pixel Px.
  • the first light emitting unit BLED1 is arranged at the lower right end of the first pixel PxB.
  • the second light emitting unit BLED2 is arranged at the lower left end of the second pixel PxG1.
  • the third light emitting unit BLED3 is arranged at the upper right end of the second pixel PxG2.
  • the fourth light emitting unit BLED4 is arranged at the upper left end of the third pixel PxR.
  • FIG. 23 is a plan view showing the relationship between the light emitting element and the plurality of pixels according to the tenth modification of the second embodiment.
  • the arrangement of each light emitting unit and each pixel Px according to the tenth modification is the same as that of the sixth modification shown in FIG.
  • the light emitting element BLED is downsized as compared with the sixth modification. That is, the light emitting element substrate SULED overlaps the end portion of each pixel Px and does not overlap the central portion of each pixel Px.
  • the first light emitting unit BLED1 is arranged at the lower right end of the third pixel PxR1.
  • the second light emitting unit BLED2 is arranged at the lower left end of the second pixel PxG1.
  • the third light emitting unit BLED3 is arranged at the upper right end of the third pixel PxR3.
  • the fourth light emitting unit BLED4 is arranged at the upper left end of the second pixel PxG3.
  • FIG. 24 is a plan view showing the relationship between the light emitting element and the plurality of pixels according to the eleventh modification of the second embodiment.
  • the arrangement of each light emitting unit and each pixel Px according to the eleventh modification is the same as that of the seventh modification shown in FIG.
  • the light emitting element BLED is downsized compared to the seventh modification. That is, the first light emitting unit BLED1 is arranged at the lower right end of the first pixel PxB1.
  • the second light emitting unit BLED2 is arranged at the lower left end of the third pixel PxR2.
  • the third light emitting unit BLED3 is arranged at the upper right end of the first pixel PxB3.
  • the fourth light emitting unit BLED4 is arranged at the upper left end of the third pixel PxR4.
  • FIG. 25 is a plan view showing the relationship between the light emitting element and the plurality of pixels according to the twelfth modified example of the second embodiment.
  • the arrangement of each light emitting unit and each pixel Px according to the twelfth modification is similar to that of the eighth modification shown in FIG.
  • the light emitting element BLED is downsized as compared with the eighth modification. That is, the first light emitting unit BLED1 is arranged at the lower right end of the second pixel PxG2. The second light emitting unit BLED2 is arranged at the lower left end of the first pixel PxB2. The third light emitting unit BLED3 is arranged at the upper right end of the second pixel PxG4. The fourth light emitting unit BLED4 is arranged at the upper left end of the first pixel PxB4.
  • the display device DSP By arranging each light emitting element BLED and each pixel Px of the tenth modification to the twelfth modification in the first direction Dx and the second direction Dy, as in the sixth modification to the eighth modification, the display device DSP. Can realize a pixel array of a stripe array. Further, even in the rectangular pixel Px, light from each light emitting portion passes through the phosphor layers BF, GF, and RF, respectively, so that light having an isotropic distribution is emitted. Therefore, the display device DSP can suppress the deviation of the angular distribution of the light emitted from each pixel Px and realize the display characteristics equivalent to those of the first embodiment.
  • FIG. 26 is a sectional view showing the display device according to the third embodiment.
  • the light emitting element BLED of the third embodiment has a size of each light emitting unit (first light emitting unit BLED1, second light emitting unit BLED2, and third light emitting unit BLED3) that is larger than that of the second embodiment. Further miniaturization can be realized while maintaining the above.
  • FIG. 26 shows a cross-sectional structure of the second light emitting unit BLED2 and the third light emitting unit BLED3.
  • the description of the second light emitting unit BLED2 and the third light emitting unit BLED3 can be applied to the first light emitting unit BLED1.
  • a wall-shaped structure WL (light emitting element wall-shaped structure) is provided between the second light emitting unit BLED2 and the third light emitting unit BLED3.
  • a reflective layer RFL is provided on the side surface of the wall-shaped structure WL.
  • phosphor layers GF and RF are provided in place of the second flattening layer LL2 (see FIG. 10) of the second embodiment. That is, the phosphor layers GF and RF are included in the array substrate SUA.
  • the phosphor layer GF is provided inside the concave structure of the anode electrode AD, covers the side surface of the second light emitting unit BLED2, and is provided between the light emitting element BLED and the anode electrode AD.
  • the height of the phosphor layer GF is higher than the height of the second light emitting unit BLED2.
  • the phosphor layer GF is provided so as to cover the upper end of the anode electrode inclined portion ADb and the upper end of the inner wall of the wall-shaped structure WL.
  • the phosphor layer GF is provided on the light emitting element substrate SULED so as to cover the wall-shaped structure WL and the reflection layer RFL.
  • the color filter GCF is provided so as to overlap the upper surface of the second light emitting unit BLED2 and the phosphor layer GF.
  • the phosphor layer RF is provided inside the concave structure of the anode electrode AD and covers the side surface of the third light emitting unit BLED3.
  • the height of the phosphor layer RF is formed to be higher than the height of the third light emitting unit BLED3.
  • the phosphor layer RF is provided so as to cover the upper end of the anode electrode inclined portion ADb and the upper end of the inner wall of the wall-shaped structure WL.
  • the phosphor layer RF is provided on the light emitting element substrate SULED so as to cover the wall-shaped structure WL and the reflection layer RFL.
  • the color filter RCF is provided so as to overlap the upper surface of the third light emitting unit BLED3 and the phosphor layer RF.
  • the cathode electrode CD is provided on the upper surface of the second light emitting unit BLED2, the upper surface of the phosphor layer GF, the upper surface of the third light emitting unit BLED3, and the upper surface of the phosphor layer RF, and is continuously provided over the plurality of pixels Px. ..
  • the phosphor layers GF and RF are not provided on the upper surface of the second light emitting unit BLED2 and the upper surface of the third light emitting unit BLED3, respectively.
  • the cathode electrode CD is connected to the upper surface of the second light emitting unit BLED2 and the upper surface of the third light emitting unit BLED3 exposed from the phosphor layers GF and RF.
  • the light emitted from the side surface of the second light emitting unit BLED2 is directly incident on the phosphor layer GF and converted in wavelength. Part of the light emitted from the phosphor layer GF enters the color filter GCF and is emitted to the second substrate SU2 side. Of the light emitted from the phosphor layer GF, the light emitted to the first substrate SU1 side is reflected by the anode electrode AD, passes through the color filter GCF, and is emitted to the second substrate SU2 side.
  • the light emitted from the side surface of the third light emitting unit BLED3 is directly incident on the phosphor layer RF and converted in wavelength. Part of the light emitted from the phosphor layer RF is incident on the color filter RCF and is emitted to the second substrate SU2 side. Of the light emitted from the phosphor layer RF, the light emitted to the first substrate SU1 side is reflected by the anode electrode AD, passes through the color filter RCF, and is emitted to the second substrate SU2 side.
  • the light emitting element BLED is miniaturized, by providing the anode electrode AD and the phosphor layers BF, GF, RF (the phosphor layer BF is not shown in FIG. 26), the light emitting element BLED The light extraction efficiency can be improved.
  • FIG. 27 is a sectional view showing a display device according to a thirteenth modification of the third embodiment.
  • the second pixel PxG has a first phosphor layer GF1 and a second phosphor layer GF2. Similar to the phosphor layer GF of the third embodiment, the first phosphor layer GF1 is provided inside the concave structure of the anode electrode AD and covers the side surface of the second light emitting unit BLED2. The second phosphor layer GF2 is provided so as to overlap the upper surface of the second light emitting unit BLED2 and the upper surface of the first phosphor layer GF1.
  • the second phosphor layer GF2 is provided so as to flatten the step between the second light emitting unit BLED2 and the first phosphor layer GF1.
  • the upper surface of the second phosphor layer GF2 is flat, and the color filter GCF is provided on the second phosphor layer GF2.
  • the third pixel PxR also has a first phosphor layer RF1 and a second phosphor layer RF2. Similar to the phosphor layer RF of the third embodiment, the first phosphor layer RF1 is provided inside the concave structure of the anode electrode AD, covers the side surface of the third light emitting unit BLED3, and emits the light emitting element BLED and the anode electrode AD. It is provided between and.
  • the second phosphor layer RF2 is provided so as to overlap the upper surface of the third light emitting unit BLED3 and the upper surface of the first phosphor layer RF1.
  • the second phosphor layer RF2 is provided so as to flatten the step between the third light emitting unit BLED3 and the first phosphor layer RF1.
  • the upper surface of the second phosphor layer RF2 is flat, and the color filter RCF is provided on the second phosphor layer RF2.
  • the cathode electrode CD is provided between the second phosphor layer GF2 and the second phosphor layer RF2 and the first phosphor layer GF1, the second light emitting unit BLED2, the first phosphor layer RF1 and the third light emitting unit BLED3. And is continuous over a plurality of pixels Px.
  • the light emitted from the upper surface of the second light emitting unit BLED2 is incident on the second phosphor layer GF2 and the wavelength thereof is converted.
  • the component of the light absorbed by the color filter GCF is suppressed, and the light extraction efficiency of the second light emitting unit BLED2 can be improved.
  • the light emitted from the upper surface of the third light emitting unit BLED3 is incident on the second phosphor layer RF2 and converted in wavelength.
  • the component of the light absorbed by the color filter RCF is suppressed, and the light extraction efficiency of the third light emitting unit BLED3 can be improved.
  • the first phosphor layer BF1 and the second phosphor layer BF2 are similarly provided in the first pixel PxB.
  • the light emitted from the first light emitting unit BLED1 is absorbed by the first phosphor layer BF1 and the second phosphor layer BF2 and isotropically emits light. Accordingly, the blue light emission emitted from the first pixel PxB has the same angular distribution as the green light emission of the second pixel PxG and the red light emission of the third pixel PxR. Therefore, the display device DSP can realize good display characteristics.

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Abstract

表示装置は、第1基板と、第1基板に設けられた複数の画素と、複数の画素に跨がって設けられる発光素子基板と、複数の画素のそれぞれに対応して発光素子基板に設けられた複数の発光部と、を有する発光素子と、第1基板に設けられ、発光素子に電気的に接続されるアノード電極と、複数の発光部ごとに設けられ、発光部の少なくとも一部をそれぞれ覆う複数の蛍光体層と、を有する。

Description

表示装置
 本発明は、表示装置に関する。
 表示素子として有機発光ダイオード(OLED:Organic Light Emitting Diode)や無機発光ダイオード(マイクロLED(micro LED))を用いた表示装置が知られている。マイクロLEDは、サイズが小さく高輝度であるため、表示装置の発光素子に適している。特許文献1に記載された半導体装置において、同一の半導体基板に異なる色の光を発光する発光素子が設けられている。また、特許文献2は、青色発光ダイオードを赤色又は緑色を表示する画素に用いている。青色発光ダイオードの光は、光変換構造により赤色又は緑色に変換される。
特開昭61-87381号公報 米国特許出願公開第2017/0139276号明細書
 無機発光ダイオードを用いた表示装置は、画素ごとに無機発光ダイオードを基板上に配置する必要がある。表示装置の高精細化が進むと、無機発光ダイオードを基板上に配置することが困難となる可能性がある。
 本発明は、発光素子を容易に基板に配置することができる表示装置を提供することを目的とする。
 本発明の一態様の表示装置は、第1基板と、前記第1基板に設けられた複数の画素と、複数の前記画素に跨がって設けられる発光素子基板と、複数の前記画素のそれぞれに対応して前記発光素子基板に設けられた複数の発光部と、を有する発光素子と、前記第1基板に設けられ、前記発光素子に電気的に接続されるアノード電極と、複数の前記発光部ごとに設けられ、前記発光部の少なくとも一部をそれぞれ覆う複数の蛍光体層と、を有する。
図1は、第1実施形態に係る表示装置を模式的に示す斜視図である。 図2は、複数の画素を示す平面図である。 図3は、画素回路を示す回路図である。 図4は、図2におけるIV-IV’断面図である。 図5は、図4の発光素子を拡大して示す断面図である。 図6は、発光素子の製造工程を説明するための説明図である。 図7は、アノード電極で反射された光の進行方向を説明するための説明図である。 図8は、アノード電極で反射された光の進行方向の他の例を説明するための説明図である。 図9は、第1実施形態の第1変形例に係る発光素子を示す断面図である。 図10は、第1実施形態の第2変形例に係る表示装置を示す断面図である。 図11は、図10の発光素子を拡大して示す断面図である。 図12は、第1実施形態に係る発光素子の平面図である。 図13は、第1実施形態の第3変形例に係る発光素子の平面図である。 図14は、第1実施形態の第4変形例に係る発光素子の平面図である。 図15は、第1実施形態に係る発光素子と複数の画素との関係を示す平面図である。 図16は、第1実施形態の第5変形例に係る発光素子と複数の画素との関係を示す平面図である。 図17は、第1実施形態の第6変形例に係る発光素子と複数の画素との関係を示す平面図である。 図18は、第1実施形態の第7変形例に係る発光素子と複数の画素との関係を示す平面図である。 図19は、第1実施形態の第8変形例に係る発光素子と複数の画素との関係を示す平面図である。 図20は、第2実施形態に係る複数の画素を示す平面図である。 図21は、第2実施形態に係る表示装置を示す断面図である。 図22は、第2実施形態の第9変形例に係る発光素子と複数の画素との関係を示す平面図である。 図23は、第2実施形態の第10変形例に係る発光素子と複数の画素との関係を示す平面図である。 図24は、第2実施形態の第11変形例に係る発光素子と複数の画素との関係を示す平面図である。 図25は、第2実施形態の第12変形例に係る発光素子と複数の画素との関係を示す平面図である。 図26は、第3実施形態に係る表示装置を示す断面図である。 図27は、第3実施形態の第13変形例に係る表示装置を示す断面図である。
 本発明を実施するための形態(実施形態)につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。なお、開示はあくまで一例にすぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更について容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面は説明をより明確にするため、実際の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して、詳細な説明を適宜省略することがある。
(第1実施形態)
 図1は、第1実施形態に係る表示装置を模式的に示す斜視図である。図1に示すように、表示装置DSPは、第1基板SU1と、第2基板SU2と、画素Pixと、周辺回路GCと、接続部CNとを有する。図1には、第1基板SU1上の構成を透過して示す。第1基板SU1、複数のトランジスタ、複数の容量及び各種配線等により、各画素Pixを駆動するためのアレイ基板SUAが構成される。アレイ基板SUAは、駆動回路基板であり、バックプレーン又はアクティブマトリクス基板とも呼ばれる。駆動IC(Integrated Circuit)は、接続部CNを介して接続される。
 図1に示すように、表示装置DSPは、表示領域DAと、周辺領域GAとを有する。表示領域DAは、表示部DPと重なって配置され、画像を表示する領域である。周辺領域GAは、表示部DPと重ならない領域であり、表示領域DAの外側に配置される。第2基板SU2は、表示部DPにおいて第1基板SU1に重なっている。
 表示部DPは複数の画素Pixを有し、複数の画素Pixは、表示領域DAにおいて、第1方向Dx及び第2方向Dyに配列される。なお、第1方向Dx及び第2方向Dyは、第1基板SU1の表面に対して平行な方向である。第1方向Dxは、第2方向Dyと直交する。ただし、第1方向Dxは、第2方向Dyと直交しないで交差してもよい。第3方向Dzは、第1方向Dx及び第2方向Dyと直交する方向である。第3方向Dzは、例えば、第1基板SU1の法線方向に対応する。なお、以下、平面視とは、第3方向Dzから見た場合の位置関係を示す。
 周辺回路GC及び接続部CNは、周辺領域GAに設けられる。接続部CNは、周辺領域GAのうち第2基板SU2と重ならない領域に設けられる。周辺回路GCは、駆動ICからの各種制御信号に基づいて複数のゲート線(例えば、リセット制御信号線RSL、出力制御信号線MSL、画素制御信号線SSL、初期化制御信号線ISL(図3参照))を駆動する回路である。周辺回路GCは、複数のゲート線を順次又は同時に選択し、選択されたゲート線にゲート駆動信号を供給する。これにより、周辺回路GCは、ゲート線に接続された複数の画素Pixを選択する。
 駆動ICは、表示装置DSPの表示を制御する回路である。駆動ICは、第1基板SU1の接続部CNに接続されたフレキシブルプリント基板やリジット基板の上にCOF(Chip On Film)として実装されてもよい。これに限定されず、駆動ICは、第1基板SU1の周辺領域GAにCOG(Chip On Glass)として実装されてもよい。
 図2は、複数の画素を示す平面図である。図2に示すように、1つの画素Pixは、例えば、第1画素PxBと、第2画素PxGと、第3画素PxRとを有する。第1画素PxBは、第1色としての原色の青色を表示する。第2画素PxGは、第2色としての原色の緑色を表示する。第3画素PxRは、第3色としての原色の赤色を表示する。図2に示すように、1つの画素Pixにおいて、第2画素PxGと第3画素PxRとは第1方向Dxで並ぶ。第1画素PxBと、第2画素PxG及び第3画素PxRとは第2方向Dyで並ぶ。なお、第1色、第2色、第3色は、それぞれ赤色、緑色、青色に限られず、補色などの任意の色を選択することができる。以下において、第1画素PxBと、第2画素PxGと、第3画素PxRとをそれぞれ区別する必要がない場合、画素Pxという。
 発光素子BLEDは、複数の画素Pxに跨がって設けられる。具体的には、発光素子BLEDは、発光素子基板SULEDと、第1発光部BLED1と、第2発光部BLED2と、第3発光部BLED3とを有する。発光素子基板SULEDは、第1画素PxB、第2画素PxG及び第3画素PxRに跨がって設けられる。第1発光部BLED1、第2発光部BLED2及び第3発光部BLED3は、それぞれ第1画素PxB、第2画素PxG及び第3画素PxRに対応して設けられる。第1発光部BLED1、第2発光部BLED2及び第3発光部BLED3は、同じ色の光、例えば青色の光を出射する。第1発光部BLED1、第2発光部BLED2及び第3発光部BLED3は、発光素子基板SULEDの上に離隔して設けられ、互いに独立して発光する。
 第1画素PxBは、第1発光部BLED1と蛍光体層BFとを有する。蛍光体層BFは、第1発光部BLED1から出射された光を吸収し、波長変換された青色の光を出射する。第2画素PxGは、第2発光部BLED2と蛍光体層GFとを有する。蛍光体層GFは、第2発光部BLED2から出射された光を吸収し、波長変換された緑色の光を出射する。第3画素PxRは、第3発光部BLED3と蛍光体層RFとを有する。蛍光体層RFは、第3発光部BLED3から出射された光を吸収し、波長変換された赤色の光を出射する。
 発光素子BLEDは、発光色により発光効率が異なる。本実施形態では、第1発光部BLED1、第2発光部BLED2及び第3発光部BLED3は、いずれも比較的優れた発光効率を有する青色発光素子である。このため、第3画素PxRとして赤色発光素子を用いた場合に比べて、表示装置DSPは、全体として発光効率を向上させることができる。
 図2では、画素回路PICAの各種配線のうち、映像信号線SL、アノード電源線IPL及び画素制御信号線SSLを示している。映像信号線SL及びアノード電源線IPLは、第2方向Dyに延出している。一対の映像信号線SL及びアノード電源線IPLは、第1方向Dxに複数配列されている。画素制御信号線SSLは、第1方向Dxに延出し、平面視で、映像信号線SL及びアノード電源線IPLと交差する。コンタクトホールCHは、一対の映像信号線SL及びアノード電源線IPLと、画素制御信号線SSLとで形成される格子中に配置される。複数のコンタクトホールCHは、第1方向Dxに配列される。
 図2において、複数のコンタクトホールCHの配列に対して、第1発光部BLED1は第2方向Dyの一方に配置され、第2発光部BLED2及び第3発光部BLED3は第2方向Dyの他方に配置される。言い換えると、第1発光部BLED1と、第2発光部BLED2及び第3発光部BLED3との間に、複数のコンタクトホールCH及び画素制御信号線SSLが設けられる。
 第1画素PxB、第2画素PxG及び第3画素PxRは、それぞれ第1発光部BLED1、第2発光部BLED2及び第3発光部BLED3と、蛍光体層BF、GF、RFとの組み合わせで構成される。表示装置DSPは、各画素Pxにおいて、それぞれ異なる光を出射することで画像を表示する。発光素子BLEDは、平面視で、3μm以上、100μm以下程度の大きさを有する無機発光ダイオード(LED:Light Emitting Diode)チップであり、マイクロLED(micro LED)と呼ばれる。各画素にマイクロLEDを備える表示装置DSPは、マイクロLED表示装置とも呼ばれる。なお、マイクロLEDのマイクロは、発光素子BLEDの大きさを限定するものではない。
 なお、複数の画素Pxと、第1発光部BLED1、第2発光部BLED2及び第3発光部BLED3との配置は、図2に示す構成に限定されない。例えば、第1発光部BLED1、第2発光部BLED2及び第3発光部BLED3は、第1方向Dxに隣り合っていてもよい。また、第1発光部BLED1と第2発光部BLED2とが、第1方向Dxに隣り合い、第1発光部BLED1と第3発光部BLED3とが第2方向Dyに隣り合うように配置されていてもよい。発光素子BLEDは、4つ以上の画素Pxに跨がって設けられていてもよい。この場合、発光素子BLEDは、4つ以上の発光部を備えていてもよい。
 図3は、画素回路を示す回路図である。図3は、1つの画素Pxに設けられた画素回路PICAを示しており、画素回路PICAは複数の画素Pxのそれぞれに設けられている。図3に示すように、画素回路PICAは、発光素子BLEDと、5つのトランジスタと、2つの容量とを含む。具体的には、画素回路PICAは、駆動トランジスタDRT、出力トランジスタBCT、初期化トランジスタIST、画素選択トランジスタSST及びリセットトランジスタRSTを含む。駆動トランジスタDRT、出力トランジスタBCT、初期化トランジスタIST、画素選択トランジスタSST及びリセットトランジスタRSTは、それぞれn型TFT(Thin Film Transistor)で構成される。また、画素回路PICAは、第1容量Cs1及び第2容量Cs2を含む。なお、画素回路PICAは、発光素子BLEDの第1発光部BLED1、第2発光部BLED2及び第3発光部BLED3のいずれか1つを有しているが、説明を分かりやすくするために、図3では発光素子BLEDと表す。
 発光素子BLEDのカソード(カソード端子ELED2(図5参照))は、カソード電源線CDLに接続される。また、発光素子BLEDのアノード(アノード端子ELED1(図5参照))は、駆動トランジスタDRT及び出力トランジスタBCTを介してアノード電源線IPLに接続される。アノード電源線IPLには、アノード電源電位PVDDが供給される。カソード電源線CDLには、カソード電源電位PVSSが供給される。アノード電源電位PVDDは、カソード電源電位PVSSよりも高い電位である。
 アノード電源線IPLは、画素Pxに、駆動電位であるアノード電源電位PVDDを供給する。具体的には、発光素子BLEDは、アノード電源電位PVDDとカソード電源電位PVSSとの電位差(PVDD-PVSS)により順方向電流(駆動電流)が供給され発光する。つまり、アノード電源電位PVDDは、カソード電源電位PVSSに対し、発光素子BLEDを発光させる電位差を有している。発光素子BLEDのアノード端子ELED1はアノード電極ADに接続され、アノード電極ADとアノード電源線IPLと間に等価回路として、第2容量Cs2が接続される。
 駆動トランジスタDRTのソース電極は、アノード電極ADを介して発光素子BLEDのアノード端子ELED1に接続され、ドレイン電極は、出力トランジスタBCTのソース電極に接続される。駆動トランジスタDRTのゲート電極は、第1容量Cs1、画素選択トランジスタSSTのドレイン電極及び初期化トランジスタISTのドレイン電極に接続される。
 出力トランジスタBCTのゲート電極は、出力制御信号線MSLに接続される。出力制御信号線MSLには、出力制御信号BGが供給される。出力トランジスタBCTのドレイン電極は、アノード電源線IPLに接続される。
 初期化トランジスタISTのソース電極は、初期化電源線INLに接続される。初期化電源線INLには、初期化電位Viniが供給される。初期化トランジスタISTのゲート電極は、初期化制御信号線ISLに接続される。初期化制御信号線ISLには、初期化制御信号IGが供給される。すなわち、駆動トランジスタDRTのゲート電極には、初期化トランジスタISTを介して初期化電源線INLが接続される。
 画素選択トランジスタSSTのソース電極は、映像信号線SLに接続される。映像信号線SLには、映像信号Vsigが供給される。画素選択トランジスタSSTのゲート電極には、画素制御信号線SSLが接続されている。画素制御信号線SSLには、画素制御信号SGが供給される。
 リセットトランジスタRSTのソース電極は、リセット電源線RLに接続される。リセット電源線RLには、リセット電源電位Vrstが供給される。リセットトランジスタRSTのゲート電極には、リセット制御信号線RSLが接続される。リセット制御信号線RSLには、リセット制御信号RGが供給される。リセットトランジスタRSTのドレイン電極は、発光素子BLEDのアノード端子ELED1及び駆動トランジスタDRTのソース電極に接続される。
 リセットトランジスタRSTのドレイン電極と、駆動トランジスタDRTのゲート電極との間に、等価回路として、第1容量Cs1が設けられる。画素回路PICAは、第1容量Cs1及び第2容量Cs2により、駆動トランジスタDRTの寄生容量とリーク電流とによるゲート電圧の変動を抑制することができる。
 駆動トランジスタDRTのゲート電極には、映像信号Vsig(または、階調信号)に応じた電位が供給される。つまり、駆動トランジスタDRTは、出力トランジスタBCTを介して供給されたアノード電源電位PVDDに基づいて、映像信号Vsigに応じた電流を発光素子BLEDに供給する。このように、アノード電源線IPLに供給されたアノード電源電位PVDDは、駆動トランジスタDRT及び出力トランジスタBCTによって降下するため、発光素子BLEDのアノード端子ELED1には、アノード電源電位PVDDよりも低い電位が供給される。
 第2容量Cs2の一方の電極には、アノード電源線IPLを介してアノード電源電位PVDDが供給され、第2容量Cs2の他方の電極には、アノード電源電位PVDDよりも低い電位が供給される。つまり、第2容量Cs2の一方の電極には、第2容量Cs2の他方の電極よりも高い電位が供給される。第2容量Cs2の一方の電極は、例えば、アノード電源線IPLであり、第2容量Cs2の他方の電極は、駆動トランジスタDRTのアノード電極AD及びこれに接続されたアノード接続電極である。
 表示装置DSPにおいて、周辺回路GC(図1参照)は、複数の画素行を、先頭行(例えば、図1中の表示領域DAにおいて、最上部に位置する画素行)から順番に選択する。駆動ICは、選択された画素行の画素Pxに映像信号Vsig(映像書き込み電位)を書き込み、発光素子BLEDを発光させる。駆動ICは、1水平走査期間ごとに、映像信号線SLに映像信号Vsigを供給し、リセット電源線RLにリセット電源電位Vrstを供給し、初期化電源線INLに初期化電位Viniを供給する。表示装置DSPは、これらの動作が1フレームの画像ごとに繰り返される。
 なお、上述した図3に示す画素回路PICAの構成は適宜変更することができる。例えば1つの画素Pxでの配線の数及びトランジスタの数は異なっていてもよい。また、画素回路PICAはカレントミラー回路等であってもよい。
 次に、図4から図6を参照しつつ、発光素子BLED、蛍光体層BF、GF、RF及び反射層(第1反射層RFL1及び第2反射層RFL2)の具体的な構成例について説明する。図4は、図2におけるIV-IV’断面図である。図4は、第2画素PxG及び第3画素PxRの断面構造を示す。ただし、第1画素PxBの断面構造も第2画素PxG及び第3画素PxRと同様であり、第2画素PxG及び第3画素PxRについての説明は第1画素PxBにも適用できる。
 図4に示すように、表示装置DSPは、アレイ基板SUAと、対向基板SUBとを有する。アレイ基板SUAにおいて、第1基板SU1の一方の面に、遮光層LS、アンダーコート層UC、半導体層PS、ゲート絶縁膜GZL、走査配線GL、層間絶縁膜LZL、アノード電源線IPL及び台座BS、第1平坦化層LL1、共通電極CE、容量窒化膜LSN、アノード電極AD及び壁状構造WL、接続層CL、発光素子BLED及び第2平坦化層LL2、カソード電極CDの順に設けられている。なお、第1基板SU1の一方の面は、第2基板SU2と対向する面である。
 対向基板SUBにおいて、第2画素PxGでは、第2基板SU2の一方の面に、緑色カラーフィルタGCF、蛍光体層GF、第2反射層RFL2及び充填層FILの順に設けられている。第3画素PxRも同様に、第2基板SU2の一方の面に、赤色カラーフィルタRCF、蛍光体層RF、第2反射層RFL2及び充填層FILの順に設けられている。なお、第2基板SU2の一方の面は、第1基板SU1と対向する面である。第2基板SU2の他方の面に、円偏光板CPLが設けられている。
 アレイ基板SUAと、対向基板SUBとは、蛍光体層GF及び蛍光体層RFがそれぞれ発光素子BLEDの第2発光部BLED2及び第3発光部BLED3の上面を覆うように対向して貼り合わされる。充填層FILは、アレイ基板SUAと、対向基板SUBとが組み合わされたときに、壁状構造WLと第2反射層RFL2との隙間を埋めるように形成される。また、充填層FILは、隣り合う画素Pxの第2反射層RFL2の隙間を埋めるように形成される。
 本明細書において、第1基板SU1の表面に垂直な方向において、第1基板SU1から第2基板SU2に向かう方向を「上側」とする。また、第2基板SU2から第1基板SU1に向かう方向を「下側」とする。
 発光素子BLEDは、第1基板SU1の上に設けられる。第1基板SU1は絶縁基板であり、例えば、ガラス基板、樹脂基板又は樹脂フィルム等が用いられる。第1基板SU1は、例えば、厚さ100μmのホウケイ酸ガラスを用いることができる。
 駆動トランジスタDTRは、第1基板SU1の一方の面側に設けられる。図4では、画素回路PICAの複数のトランジスタのうち、駆動トランジスタDTRを示す。出力トランジスタBCT、初期化トランジスタIST、画素選択トランジスタSST及びリセットトランジスタRSTも第1基板SU1の一方の面側に設けられる。出力トランジスタBCT、初期化トランジスタIST、画素選択トランジスタSST及びリセットトランジスタRSTの積層構造は、駆動トランジスタDTRと類似した構成であり、詳細な説明は省略する。
 遮光層LSは、層厚50nm程度のモリブデンタングステン(MoW)合金膜である。遮光層LSは、第1基板SU1よりも光の透過率が小さい材料で形成され、半導体層PSの下に設けられる。アンダーコート層UCは、窒化珪素(SiN)層と酸化珪素(SiO)層の積層体で、層厚はそれぞれ100nm、150nm程度である。半導体層PSは、例えばポリシリコンであり、アモルファスシリコン層をレーザアニール法で多結晶化したものである。半導体層PSの層厚は、例えば50nm程度である。
 ゲート絶縁膜GZLは、層厚100nm程度の酸化珪素層である。走査配線GLは、層厚300nm程度のモリブデンタングステン合金膜である。走査配線GLは、画素選択トランジスタSSTのドレイン線と、初期化トランジスタISTのドレイン線とが合流した配線である。第1基板SU1の法線方向において、半導体層PSと走査配線GLとの間にゲート絶縁膜GZLが設けられる。層間絶縁膜LZLは、酸化珪素層と窒化珪素層の積層体であり、層厚はそれぞれ350nm、375nm程度である。
 アノード電源線IPL及び台座BSは、同層に設けられ、それぞれ、チタン(Ti)、アルミニウム(Al)、チタン(Ti)の3層積層膜である。各層の層厚は、それぞれ、100nm、400nm、200nm程度である。アノード電源線IPLのうち、半導体層PSと重なる部分が駆動トランジスタDTRのドレイン電極DEとして機能する。台座BSのうち、半導体層PSと重なる部分が駆動トランジスタDTRのソース電極SEとして機能する。ドレイン電極DE及びソース電極SEは、それぞれ、層間絶縁膜LZL及びゲート絶縁膜GZLに設けられたコンタクトホールを介して半導体層PSと接続される。
 第1平坦化層LL1及び第2平坦化層LL2は、有機絶縁膜であり、層厚はそれぞれ2μm、10μm程度である。共通電極CE及びカソード電極CDは、インジウムスズ酸化物(ITO、Indium Tin Oxide)であり、層厚は、それぞれ50nm、100nm程度である。容量窒化膜LSNは、低温成膜した窒化珪素層であり、層厚は120nm程度である。容量窒化膜LSNは、第1基板SU1の法線方向において、共通電極CEとアノード電極ADとの間に設けられる。
 壁状構造WLは、発光素子BLEDの側面と対向して設けられている。壁状構造WLは、発光素子BLEDの周囲を囲むように容量窒化膜LSNの上に設けられる。壁状構造WLと容量窒化膜LSNとで形成される凹部内にアノード電極AD、接続層CL、発光素子BLED及び第2平坦化層LL2が設けられる。壁状構造WLの材料として、例えば、ノボラック樹脂と感光材のナフトキノンから構成されるポジ型ホトレジストや、アクリル樹脂から成るネガ型レジスト等を用いることができる。あるいはまた、ネガ型レジスト形成後にその側面をポジ型ホトレジストで被覆して形成してもよい。
 アノード電極ADは、ITO、銀(Ag)、ITOの積層体である。アノード電極ADは、容量窒化膜LSNの上に設けられ、第1平坦化層LL1に設けられたコンタクトホールを介して台座BSに接続される。アノード電極ADは、画素Pxごとに設けられ、複数の発光部のそれぞれと電気的に接続される。第2画素PxGのアノード電極ADは、第3画素PxRのアノード電極ADと離隔している。
 アノード電極ADは、アノード電極底部ADaとアノード電極傾斜部ADbとを含む。アノード電極底部ADaは容量窒化膜LSNの上に設けられ、発光素子BLEDと重なる領域及び発光素子BLEDと重ならない領域に亘って設けられる。アノード電極傾斜部ADbは、アノード電極底部ADaの端部と接続され、壁状構造WLの内壁面に沿って傾斜して設けられる。アノード電極傾斜部ADbは、第2平坦化層LL2を挟んで発光素子BLEDの側面と対向する。つまり、アノード電極ADは、平面視で、発光素子BLEDの内側から外側に延出し、発光素子BLEDの周囲に設けられる。
 発光素子BLEDは、第1基板SU1に平行な方向において、第2画素PxGのアノード電極傾斜部ADbと、第3画素PxRのアノード電極傾斜部ADbとの間に配置される。アノード電極ADは、光を反射する金属材料が用いられており、発光素子BLEDからの光を反射する第1反射層RFL1としても機能する。
 接続層CLは、銀ペーストにより形成され、第1基板SU1と発光素子BLEDとの間において、アノード電極ADの上に設けられる。発光素子BLEDの第2発光部BLED2及び第3発光部BLED3は、それぞれ接続層CLの上に設けられ、接続層CLと電気的に接続される。つまり発光素子BLEDの第2発光部BLED2及び第3発光部BLED3は、それぞれ接続層CLを介してアノード電極ADと電気的に接続される。
 第2平坦化層LL2は、発光素子BLEDの側面を覆って、壁状構造WL及び複数のアノード電極ADで形成される凹部内に設けられる。また、第2平坦化層LL2は、発光素子BLEDの第2発光部BLED2及び第3発光部BLED3の間において、発光素子基板SULEDの上面側及び下面側にも設けられる。第2平坦化層LL2の上面の位置は、壁状構造WLの上面と一致する。
 対向基板SUBにおいて、第2基板SU2は、第1基板SU1と同様に、例えば、厚さ100μmのホウケイ酸ガラスを用いることができる。
 第2画素PxGにおいて、緑色カラーフィルタGCFは、蛍光体層GFの上、すなわち、第1基板SU1の法線方向において、蛍光体層GFと第2基板SU2との間に設けられる。同様に第3画素PxRにおいて、赤色カラーフィルタRCFは、蛍光体層RFの上、すなわち、第1基板SU1の法線方向において、蛍光体層RFと第2基板SU2との間に設けられる。なお、図4では図示されないが、第1画素PxBにおいても、第1発光部BLED1の上側に蛍光体層BF及び青色カラーフィルタBCFが設けられる。
 なお、以下の説明において青色カラーフィルタBCF、緑色カラーフィルタGCF及び赤色カラーフィルタRCFを区別する必要がない場合には、カラーフィルタCFと表す。
 青色カラーフィルタBCF、緑色カラーフィルタGCF及び赤色カラーフィルタRCFは、それぞれ青色顔料、緑色顔料、赤色顔料を混合したネガ型レジストをパターニングして形成される。青色カラーフィルタBCF、緑色カラーフィルタGCF及び赤色カラーフィルタRCFの層厚は、例えば2μm程度である。青色カラーフィルタBCF、緑色カラーフィルタGCF及び赤色カラーフィルタRCFは、発光素子BLEDから出射された青色の波長成分の光を吸収して、第2基板SU2側に出射される光の色純度を向上させることができる。また、各カラーフィルタCFは、外部から入射する光のうち、蛍光体層BF、GF、RFをそれぞれ励起する成分を吸収する。これにより、蛍光体層BF、GF、RFが外光によって発光することを抑制できる。
 蛍光体層GFは、緑色カラーフィルタGCFと重なって設けられる。蛍光体層GF及び緑色カラーフィルタGCFの側面は、基板の法線方向(第3方向Dz)に対して傾斜している。蛍光体層GFの下面の面積は、緑色カラーフィルタGCFの上面の面積よりも小さい。同様に、蛍光体層RFは、赤色カラーフィルタRCFと重なって設けられる。蛍光体層RF及び赤色カラーフィルタRCFの側面は、基板の法線方向(第3方向Dz)に対して傾斜している。蛍光体層RFの下面の面積は、赤色カラーフィルタRCFの上面の面積よりも小さい。蛍光体層GF及び緑色カラーフィルタGCFは、平面視で、それぞれアノード電極ADに重なる領域に設けられる。同様に、蛍光体層RF及び赤色カラーフィルタRCFは、平面視で、それぞれアノード電極ADに重なる領域に設けられる。
 蛍光体層RF、蛍光体層GF、蛍光体層BF(図4では図示しない)は、それぞれ赤色発光、緑色発光、青色発光の量子ドットを混合したネガ型レジストをパターニングして形成される。蛍光体層RF、蛍光体層GFの層厚は、例えば30μm程度である。量子ドットは、カドミウムセレン(CdSe)のコア構造と、これを取り巻く硫化亜鉛(ZnS)のシェル構造で構成される。赤色発光、緑色発光、青色発光の量子ドットの粒子径は、それぞれ波長630nm、530nm、460nmに蛍光の極大波長を示すように調整されており、吸収スペクトルは連続的で、発光素子BLEDの極大発光波長においても十分な吸収を示す。また、シェル構造の表面にはネガ型レジストとの相溶性を向上するための有機分子鎖を有する。
 なお、これに限定されず、非カドミウム系の量子ドットも適用可能である。非カドミウム系の量子ドットとして、燐化インジウム(InP)のコア構造と、硫化亜鉛(ZnS)のシェル構造で構成されるものが挙げられる。
 第2反射層RFL2は、金属材料、例えばアルミニウム(Al)が用いられる。第2反射層RFL2の層厚は、例えば100nm程度である。第2反射層RFL2は、蛍光体層GF及び緑色カラーフィルタGCFの側面に亘って設けられ、また、蛍光体層RF及び赤色カラーフィルタRCFの側面に亘って設けられる。
 充填層FILは、有機絶縁膜であり、第2反射層RFL2、蛍光体層GF及び緑色カラーフィルタGCFの周囲に設けられ、また、蛍光体層RF及び赤色カラーフィルタRCFの周囲に設けられる。言い換えると、充填層FILは、第2画素PxGと第3画素PxRとの間に設けられる。
 アレイ基板SUAと、対向基板SUBとは、第2平坦化層LL2と蛍光体層GF、RFとが重なるように、また、壁状構造WLと充填層FILとが重なるように貼り合わされる。これにより、蛍光体層GFが第2発光部BLED2及び第2平坦化層LL2の上面を覆って設けられ、また、蛍光体層RFが第3発光部BLED3及び第2平坦化層LL2の上面を覆って設けられる。
 第2画素PxG及び第3画素PxRの外側に設けられた第2反射層RFL2は、それぞれ、第1基板SU1の法線方向において、第1反射層RFL1(アノード電極AD)よりも第1基板SU1から離れて配置される。アノード電極傾斜部ADb及び第2反射層RFL2は、第1基板SU1の法線方向に対して傾斜する。第2反射層RFL2の下端と、アノード電極傾斜部ADbの上端との間には、絶縁層として第2平坦化層LL2が設けられる。断面形状において、第2反射層RFL2は、アノード電極ADのアノード電極傾斜部ADbと同一直線上に配置される。ただし、これに限定されず、第2反射層RFL2は、アノード電極ADのアノード電極傾斜部ADbとずれた位置に設けられていてもよい。
 第2画素PxGと第3画素PxRとの間に設けられた第2反射層RFL2は、平面視で発光素子BLEDと重なって配置される。第2画素PxGの第2反射層RFL2の下端側に開口部が形成される。また、第3画素PxRの第2反射層RFL2の下端側に開口部が形成される。これら複数の第2反射層RFL2の開口部は、アノード電極ADの上端側の開口部分と、平面視で重なる。
 なお、各層の材料及び層厚はあくまで一例であり、適宜変更することができる。例えば、半導体層PSは、ポリシリコンに限定されず、アモルファスシリコン、微結晶酸化物半導体、アモルファス酸化物半導体、低温ポリシリコン(LTPS:Low Temperature Polycrystalline Silicone)又は窒化ガリウム(GaN)であってもよい。酸化物半導体としては、IGZO、酸化亜鉛(ZnO)、ITZOが例示される。IGZOは、インジウムガリウム亜鉛酸化物である。ITZOは、インジウムスズ亜鉛酸化物である。また、図4に示す例では、駆動トランジスタDTRは、いわゆるトップゲート構造である。ただし、駆動トランジスタDTRは、半導体層PSの下側にゲート電極が設けられたボトムゲート構造でもよく、半導体層PSの上側及び下側の両方にゲート電極が設けられたデュアルゲート構造でもよい。
 次に、発光素子BLEDの構成について説明する。図5は、図4の発光素子を拡大して示す断面図である。なお、図5では、第2発光部BLED2の断面構造を示しているが、第1発光部BLED1及び第3発光部BLED3も同様の積層構造である。図5に示すように、第2発光部BLED2は、発光素子基板SULED、n型クラッド層NC、発光層EM、p型クラッド層PC、アノード端子ELED1及びカソード端子ELED2を有する。発光素子基板SULEDの上に、n型クラッド層NC、発光層EM、p型クラッド層PC及びカソード端子ELED2の順に積層される。アノード端子ELED1は、発光素子基板SULEDと接続層CLとの間に設けられる。
 青色の光を出射する第2発光部BLED2において、発光層EMは、窒化インジウムガリウム(InGaN)であり、インジウムとガリウムの組成比は、例えば0.2:0.8である。p型クラッド層PCとn型クラッド層NCは、窒化ガリウム(GaN)である。発光素子基板SULEDは、炭化珪素(SiC)である。アノード端子ELED1及びカソード端子ELED2は、いずれもアルミニウムである。第2発光部BLED2の極大発光波長は、450nmである。
 発光素子BLEDは、同一の発光素子基板SULEDに、複数の発光部(第1発光部BLED1、第2発光部BLED2及び第3発光部BLED3)が分離して設けられている(図2参照)。つまり、複数の発光部のn型クラッド層NC、発光層EM及びp型クラッド層PCが分離して設けられているため、例えば、第1発光部BLED1から出射された光が、発光素子BLED内を伝播して他の発光部近傍から出射することを抑制できる。
 次に、発光素子BLEDの製造方法について説明する。図6は、発光素子の製造工程を説明するための説明図である。図6に示すように、まず、製造装置は、発光素子基板SULEDの第1面S1に、n型クラッド層NC、発光層EM及びp型クラッド層PCの順に成膜する(ステップST1)。
 その後、製造装置は、n型クラッド層NC、発光層EM及びp型クラッド層PCをドライエッチングによりパターニングする(ステップST2)。これにより、n型クラッド層NC、発光層EM及びp型クラッド層PCが積層された複数の積層体が、発光素子基板SULEDの第1面S1上において、互いに分離して島状に形成される。
 次に、発光素子基板SULEDの第2面S2を薄膜化して、発光素子基板SULEDの第2面S2底面にアノード端子ELED1を形成する(ステップST3)。そして、製造装置は、発光素子基板SULEDを方形に切断加工する(ステップST4)。これにより、複数の発光部を含む発光素子BLEDを製造できる。
 n型クラッド層NC、発光層EM及びp型クラッド層PCはドライエッチングによりパターニングされているため、ダイシングソー等による切断加工に比べて各層の損傷を抑制することができる。また、n型クラッド層NC、発光層EM及びp型クラッド層PCは、発光素子基板SULEDの切断面から十分に離れているため、発光素子基板SULEDの加工時におけるn型クラッド層NC、発光層EM及びp型クラッド層PCの損傷を抑制することができる。これにより、発光素子BLEDの各発光部は、構造欠陥による電子と正孔の失活が起こらず、高い内部量子効率が得られる。
 そして、製造装置は、発光素子BLEDを図4に示す接続層CLの上に配置した。接続層CLに銀ペーストを用いることで、発光素子BLEDを配置する際に、接続層CLは、圧力に応じて変形しつつ、発光素子BLEDと密着して導通する。又は、接続層CLに、アノード端子ELED1と同じ金属材料、例えばアルミニウムを用いてもよい。この場合、接続層CLの上に発光素子BLEDを配置した後に加熱処理を施すことで、アノード端子ELED1と接続層CLとが一体化される。これにより、接続層CLは、発光素子BLEDと良好に導通する。また、カソード電極CDは、発光素子BLEDの上面に設けられ、発光素子BLEDと蛍光体層RFとの間に配置される。
 次に、図4、図7及び図8を参照しつつ、第2発光部BLED2から出射された光の光路及び波長変換について説明する。ただし、第2発光部BLED2から出射された光の光路及び波長変換についての説明は、第3発光部BLED3及び第1発光部BLED1にも適用できる。
 図4では、第2発光部BLED2から出射される光のうち、上側に出射される光Laと側方に出射される光Lb、Lcについて示す。光Laは、第2発光部BLED2の上面からカソード電極CDを通って蛍光体層GFに入射する。また、光Lbは、第2発光部BLED2の側面から出射され、第2平坦化層LL2を通ってアノード電極傾斜部ADbに入射する。アノード電極傾斜部ADbが傾斜して設けられているので、アノード電極傾斜部ADbで反射された光Lbは、蛍光体層GFに入射する。光Lcは、光Lbよりも下側(第1基板SU1側)に向けて出射される。光Lcは、第2平坦化層LL2を通ってアノード電極底部ADaに入射する。アノード電極底部ADaで反射された光Lcは、蛍光体層GFに入射する。
 このように、アノード電極AD(第1反射層RFL1)により、第2発光部BLED2から側方に出射された光Lb、Lcは、蛍光体層GFに入射する。また、光Laは、アノード電極ADで反射せずに蛍光体層GFに入射する。なお、アノード電極傾斜部ADbと、第2反射層RFL2との隙間に入射した光La、Lb、Lcは漏れ光となる。ただし、漏れ光の量は全体から見てわずかであり、光La、Lb、Lcのほとんどが蛍光体層GFに入射する。
 蛍光体層GFは、光La、Lb、Lcが入射することで緑色の光を発光する。蛍光体層GFは等方的に発光する。図4では、蛍光体層GFで発生した光のうち、蛍光Ld、Le、Lfを示している。上側に向けて発光する蛍光Ldは、第2反射層RFL2に入射せず、カラーフィルタGCFを介して第2基板SU2側に出射する。側方に向けて発光する蛍光Leは、第2反射層RFL2に入射する。第2反射層RFL2が傾斜して設けられているので、第2反射層RFL2で反射された蛍光Leは、カラーフィルタGCFを介して第2基板SU2側に出射する。下側に向けて発光する蛍光Lfは、アノード電極ADに入射する。アノード電極ADで反射された蛍光Lfは、再度蛍光体層GFを通って第2基板SU2側に出射する。
 このように、蛍光体層GFの側面と対向して第2反射層RFL2が設けられ、また、蛍光体層GFの下側にもアノード電極ADが設けられている。第2反射層RFL2は、蛍光体層RFの上面よりも上側に延びており、アノード電極ADは、蛍光体層RFの下面よりも下側に延びる。このため、蛍光体層RFの側面にのみ反射層を設けた場合に比べ、光La、Lb、Lc及び蛍光Ld、Le、Lfの反射回数を多くすることができる。蛍光Ld、Le、Lfは、アノード電極AD及び第2反射層RFL2で複数回繰り返し反射して、進行方向が変更される。すなわち、蛍光体層RFで等方的に発光した蛍光Ld、Le、Lfの進行方向がアノード電極AD及び第2反射層RFL2により第1基板SU1の法線方向に近い方向に変換される。そして、蛍光Ld、Le、Lfは、第2基板SU2側に出射する。これにより、表示装置DSPは、光取出し効率を向上させることができる。
 同様に、第3発光部BLED3から出射された光も蛍光体層RFに吸収され、赤色の光に変換されてカラーフィルタRCFを介して第2基板SU2側に出射する。また、図4には、図示しない第1発光部BLED1についても同様に、第1発光部BLED1から出射された光は蛍光体層BFに吸収され、青色の光に変換されてカラーフィルタBCFを介して第2基板SU2側に出射する。
 蛍光体層BFと第1発光部BLED1の極大波長の差は20nm程度であり、波長変換効果は小さい。第1発光部BLED1では、波長変換よりも発光の角度分布の変換が重要である。つまり、第1発光部BLED1から出射された光が、蛍光体層BFで吸収発光され、さらに、アノード電極AD及び第2反射層RFL2により反射される。これにより、第1画素PxBから出射される青色発光は、第2画素PxGの緑色発光及び第3画素PxRの赤色発光と同様の角度分布を有する。これにより、表示装置DSPは、観察方向に寄らず一定の色度が得られる。
 また、隣り合う第2画素PxGと第3画素PxRとの間にも、充填層FIL及び第2反射層RFL2が設けられる。具体的には、蛍光体層GF及びカラーフィルタGCFと、蛍光体層RF及びカラーフィルタRCFと、の間に充填層FIL及び第2反射層RFL2が設けられる。これにより、蛍光体層GFで発生した光と蛍光体層RFで発生した光との混色を抑制することができる。
 図7は、アノード電極で反射された光の進行方向を説明するための説明図である。図8は、アノード電極で反射された光の進行方向の他の例を説明するための説明図である。図7及び図8では、アノード電極ADでの反射を説明しているが、図7及び図8の説明は、第2反射層RFL2についても適用できる。
 図7は、アノード電極ADと第3方向Dzとの成す角度がθaである。図8では、アノード電極ADと第3方向Dzとの成す角度が0°、すなわちアノード電極ADが第1基板SU1の法線方向に沿って設けられている。アノード電極ADの長さが十分に長い場合、光Lbの進行方向は、角度2θaの範囲、すなわち、第3方向Dzを中心とした±θaの範囲内に分布する。
 図7に示すように、光Lbの進行方向は、アノード電極ADで反射するたびに変えられる。光Lbが左下方向に出射した場合であっても、アノード電極ADで2回の反射を繰り返すことで、進行方向が上側に変更され、光Lbは5回の反射で上側に向けて出射される。光Lbは、蛍光体層GF(図4参照)側に向けて出射される。
 一方、図8では、光Lbの進行方向が上側に変更されず、光Lbはそのまま、下側すなわち第1基板SU1側に向けて出射される。なお、第1基板SU1側に進む光Lbは、アノード電極底部ADaで反射されて、進行方向が上側に変更され、第2基板SU2側に向けて出射される。
 アノード電極ADと第3方向Dzとの成す角度をθとすると、光Lbの進行方向は、アノード電極ADで反射されるたびに、第3方向Dzに2θだけ近づく。すなわち、第3方向Dzに対して、角度0°から角度θの範囲で進む光Lbは、一度も反射せずに蛍光体層GF側に向けて出射される。第3方向Dzに対して、角度θ以上角度3θよりも小さい角度範囲で進む光Lbは、1回の反射で蛍光体層GF側に向けて出射される。第3方向Dzに対して、角度3θ以上角度5θよりも小さい角度範囲で進む光Lbは、2回の反射で蛍光体層GF側に向けて出射される。角度5θ以上の光も同様に、反射回数を増やすことで蛍光体層GF側に向けて出射される。
 第2反射層RFL2についても同様に、蛍光体層GFで発光した蛍光Ld、Le、Lfは、第2反射層RFL2で複数回反射を繰り返すことで、第2基板SU2側に向けて出射される。
 このように、一対のアノード電極ADは、互いに逆方向に傾斜していることが好ましく、具体的には、角度θが10°以上40°以下の範囲であることが好ましい。一対の第2反射層RFL2も同様に、互いに逆方向に傾斜していることが好ましく、具体的には、角度θが10°以上40°以下の範囲であることが好ましい。
 以上のように、本実施形態の表示装置DSPは、1つの発光素子BLEDに、独立に制御可能な複数の発光部(第1発光部BLED1、第2発光部BLED2及び第3発光部BLED3)が設けられている。そして各発光部に一つの光取出し構造が設けられ、一つの発光素子BLEDで複数の画素Pxを形成する。ここで、各光取出し構造は、発光素子BLEDの発光を波長変換する蛍光体層BF、GF、RFと、蛍光を前方に向かわせるための反射層(アノード電極AD及び第2反射層RFL2)、発光素子BLEDの光と外光の励起光成分を吸収するカラーフィルタBCF、GCF、RCFを備える。このような構成により、表示装置DSPは、発光素子BLEDの光取出し効率を向上させることができる。また、発光素子BLEDで複数の画素Pxを構成するので、画素Pxごとに発光素子BLEDを設ける場合に比べ、発光素子BLEDの数を少なくすることができ、同一の発光素子BLEDを複数配列することができる。したがって、発光素子BLEDの配列工程を簡略化することができる。
(第1実施形態の第1変形例)
 図9は、第1実施形態の第1変形例に係る発光素子を示す断面図である。図9に示すように、n型クラッド層NC、発光層EM及びp型クラッド層PCが積層された複数の積層体の間において、発光素子基板SULEDの第1面S1に凹部が形成されている。複数の積層体が設けられた部分の第1面S1と第2面S2との距離は、複数の積層体が設けられていない部分の第1面S1と第2面S2との距離よりも大きい。
 例えば、第2発光部BLED2と第3発光部BLED3との間で発光素子基板SULEDがパターニングされていることにより、発光素子基板SULEDで、第2発光部BLED2の下部と、第3発光部BLED3の下部とをつなぐ経路が長くなる。このため、第2発光部BLED2及び第3発光部BLED3から出射された光が、発光素子BLED内を伝播して他の発光部近傍から出射することを抑制できる。
 発光素子基板SULEDのパターニングは、図6のステップST2に示す、n型クラッド層NC、発光層EM及びp型クラッド層PCをドライエッチングによりパターニングする工程と同時に実行することができる。なお、発光素子基板SULEDのパターニングは、図6のステップST2とは別工程で行ってもよい。
(第1実施形態の第2変形例)
 図10は、第1実施形態の第2変形例に係る表示装置を示す断面図である。図11は、図10の発光素子を拡大して示す断面図である。第1実施形態及び第1変形例の発光素子BLEDは、下部でアノード電極ADと接続され、上部でカソード電極CDと接続される垂直構造であるが、これに限定されない。図10に示すように、第2変形例において、アノード電極AD及びカソード電極CD(共通電極CE)は、いずれも第1基板SU1側に設けられている。
 発光素子BLEDにおいて、アノード端子ELED1及びカソード端子ELED2は、いずれも発光素子基板SULEDの、第1基板SU1と対向する面に設けられる。アノード端子ELED1は、第1発光部BLED1(図10では図示しない)、第2発光部BLED2及び第3発光部BLED3のそれぞれに設けられ、接続層CLを介してアノード電極ADにそれぞれ接続される。
 カソード端子ELED2は、第1発光部BLED1(図10では図示しない)、第2発光部BLED2及び第3発光部BLED3に共通して1つの端子として設けられ、カソード接続層CDCLを介して共通電極CEに接続される。
 図11は、第3発光部BLED3の積層構造を示す。図11に示すように、発光素子基板SULEDの第1面S1に、p型クラッド層PC、発光層EM、n型クラッド層NC、及びアノード端子ELED1の順に積層される。第1面S1は第1基板SU1と対向する面である。カソード端子ELED2、カソード接続層CDCLも、発光素子基板SULEDの第1面S1にこの順で積層される。カソード接続層CDCLは、容量窒化膜LSNに設けられた開口を介して共通電極CEと電気的に接続される。
 このように、アノード端子ELED1及びカソード端子ELED2が同一面側に配置された水平構造の発光素子BLEDも適用可能である。また、図11では、第3発光部BLED3を示しているが、第1発光部BLED1及び第2発光部BLED2においても、同様の構成とすることができる。
 次に、発光素子BLEDの平面視での構成の各種変形例について説明する。図12は、第1実施形態に係る発光素子の平面図である。図12に示す発光素子BLEDにおいて、発光素子基板SULEDの平面形状は四角形である。第1発光部BLED1は、発光素子基板SULEDの第1辺SD1の中央部近傍に設けられる。第2発光部BLED2は、発光素子基板SULEDの第2辺SD2と第3辺SD3とが接する隅部近傍に設けられる。第3発光部BLED3は、発光素子基板SULEDの第2辺SD2と第4辺SD4とが接する隅部近傍に設けられる。図12に示す発光素子BLEDは、発光素子基板SULEDの切断加工が容易である。
 (第1実施形態の第3変形例)
 図13は、第1実施形態の第3変形例に係る発光素子の平面図である。図13に示す発光素子BLEDにおいて、発光素子基板SULEDの平面形状は六角形状である。第1発光部BLED1は、発光素子基板SULEDの第1辺SD1と第2辺SD2とが接する隅部近傍に設けられる。第2発光部BLED2は、発光素子基板SULEDの第5辺SD5と第6辺SD6とが接する隅部近傍に設けられる。第3発光部BLED3は、発光素子基板SULEDの第3辺SD3と第4辺SD4とが接する隅部近傍に設けられる。
 図13に示す発光素子BLEDにおいて、第1発光部BLED1、第2発光部BLED2及び第3発光部BLED3は、それぞれ、発光素子基板SULEDの各辺との位置関係が同等になるように配置される。例えば、第1発光部BLED1と、第1辺SD1及び第2辺SD2との位置関係は、第2発光部BLED2と、第5辺SD5及び第6辺SD6との位置関係と同等である。これにより、第1発光部BLED1、第2発光部BLED2及び第3発光部BLED3は、同一条件で設けられるため、発光強度の差を抑制することができる。
 (第1実施形態の第4変形例)
 図14は、第1実施形態の第4変形例に係る発光素子の平面図である。図14に示す発光素子BLEDにおいて、発光素子基板SULEDの平面形状は三角形状である。第1発光部BLED1は、発光素子基板SULEDの第1頂部V1近傍に設けられる。第2発光部BLED2は、発光素子基板SULEDの第2頂部V2近傍に設けられる。第3発光部BLED3は、発光素子基板SULEDの第3頂部V3近傍に設けられる。第4変形例では、発光素子BLEDの製造工程において、1つの発光素子基板SULEDから、より多くの発光素子BLEDが得られる。
 なお、発光素子BLEDの平面形状、すなわち発光素子基板SULEDの平面形状は、上述した例に限定されない。発光素子基板SULEDは、三角形状、四角形状、六角形状以外の多角形状でもよい。あるいは、発光素子基板SULEDの外形形状は、円形状でもよく、一部に曲線部分を有していてもよい。
 次に、発光素子BLEDと、複数の画素Pxとの平面視での位置関係について説明する。図15は、第1実施形態に係る発光素子と複数の画素との関係を示す平面図である。図15に示す発光素子BLEDは、図12に示す発光素子BLEDと同様であり、詳細な説明は省略する。第2画素PxGと第3画素PxRとは第1方向Dxに並ぶ。第1画素PxBは、第2画素PxG及び第3画素PxRと第2方向Dyに並ぶ。第1画素PxBの第1方向Dxにおける位置は、第2画素PxG及び第3画素PxRの第1方向Dxの位置とずれている。このような、発光素子BLED、第1画素PxB、第2画素PxG及び第3画素PxRの組み合わせを複数配置することで、画素Pxは千鳥配置となる。
 第1画素PxBは、第1発光部BLED1を含む領域である。第2画素PxGは、第2発光部BLED2を含む領域である。第3画素PxRは、第3発光部BLED3を含む領域である。第1発光部BLED1、第2発光部BLED2及び第3発光部BLED3は、それぞれ蛍光体層BF、GF、RFの中央部に位置する。すなわち、発光素子BLEDの発光素子基板SULEDは、3つの画素Pxに跨がって配置される。
 (第1実施形態の第5変形例)
 図16は、第1実施形態の第5変形例に係る発光素子と複数の画素との関係を示す平面図である。図16に示すように、第5変形例の発光素子BLEDは、第1発光部BLED1から第4発光部BLED4の、4つの発光部を有する。
 発光素子BLEDの発光素子基板SULEDは、4つの画素Pxに跨がって配置される。4つの画素Pxは、第1画素PxBと、第2画素PxG1と、第2画素PxG2と、第3画素PxRとで構成される。第2画素PxG1及び第2画素PxG2は、いずれも緑色の光を出射する。第1画素PxBと、第2画素PxG1とは第1方向Dxに並ぶ。第2画素PxG2と、第3画素PxRとは第1方向Dxに並ぶ。第1画素PxBと、第2画素PxG2とは第2方向Dyに並ぶ。第2画素PxG1と、第3画素PxRとは第2方向Dyに並ぶ。図16に示す、第1画素PxBと、第2画素PxG1と、第2画素PxG2と、第3画素PxRとの組み合わせを複数配置することで、画素Pxは、いわゆるベイヤー配列となる。
 第1画素PxBは、第1発光部BLED1を含む領域である。第2画素PxG1は、第2発光部BLED2を含む領域である。第2画素PxG2は、第3発光部BLED3を含む領域である。第3画素PxRは、第4発光部BLED4を含む領域である。第1発光部BLED1、第2発光部BLED2、第3発光部BLED3及び第4発光部BLED4は、それぞれ蛍光体層BF、GF、GF、RFの中央部に位置する。
 (第1実施形態の第6変形例)
 図17は、第1実施形態の第6変形例に係る発光素子と複数の画素との関係を示す平面図である。図17に示すように、第6変形例の発光素子BLEDにおいて、発光素子基板SULEDの平面形状は長方形である。発光素子BLEDは、第1発光部BLED1から第4発光部BLED4の、4つの発光部を有する。第1発光部BLED1及び第2発光部BLED2は、発光素子基板SULEDの第2方向Dyの一方の辺側に配置される。第3発光部BLED3及び第4発光部BLED4は、発光素子基板SULEDの第2方向Dyの他方の辺側に配置される。
 発光素子BLEDの発光素子基板SULEDは、4つの画素Pxに跨がって配置される。4つの画素Pxは、2つの第2画素PxG1、PxG3と、2つの第3画素PxR1、PxR3とで構成される。第3画素PxR1と、第2画素PxG1とは第1方向Dxに並ぶ。第3画素PxR3と、第2画素PxG3とは第1方向Dxに並ぶ。第3画素PxR1と、第3画素PxR3とは第2方向Dyに並ぶ。第2画素PxG1と、第2画素PxG3とは第2方向Dyに並ぶ。
 2つの第2画素PxG1、PxG3及び2つの第3画素PxR1、PxR3の平面形状は、長方形である。言い換えると、蛍光体層GF、RF及びカラーフィルタGCF、RCFの平面形状は長方形である。第1発光部BLED1から第4発光部BLED4は、それぞれ各画素Pxの中央部に配置される。
 (第1実施形態の第7変形例)
 図18は、第1実施形態の第7変形例に係る発光素子と複数の画素との関係を示す平面図である。図18に示すように、第7変形例の発光素子BLEDは、図17に示す第6変形例と同様である。
 第7変形例において、4つの画素Pxは、2つの第1画素PxB1、PxB3と、2つの第3画素PxR2、PxR4とで構成される。第1画素PxB1と、第3画素PxR2とは第1方向Dxに並ぶ。第1画素PxB3と、第3画素PxR4とは第1方向Dxに並ぶ。第1画素PxB1と、第1画素PxB3とは第2方向Dyに並ぶ。第3画素PxR2と、第3画素PxR4とは第2方向Dyに並ぶ。
 2つの第1画素PxB1、PxB3及び2つの第3画素PxR2、PxR4の平面形状は、長方形である。言い換えると、蛍光体層BF、RF及びカラーフィルタBCF、RCFの平面形状は長方形である。第1発光部BLED1から第4発光部BLED4は、それぞれ各画素Pxの中央部に配置される。
 (第1実施形態の第8変形例)
 図19は、第1実施形態の第8変形例に係る発光素子と複数の画素との関係を示す平面図である。図19に示すように、第8変形例の発光素子BLEDは、図17に示す第6変形例及び図18に示す第7変形例と同様である。
 第8変形例において、4つの画素Pxは、2つの第2画素PxG2、PxG4と、2つの第1画素PxB2、PxB4とで構成される。第2画素PxG2と、第1画素PxB2とは第1方向Dxに並ぶ。第2画素PxG4と、第1画素PxB4とは第1方向Dxに並ぶ。第2画素PxG2と、第2画素PxG4とは第2方向Dyに並ぶ。第1画素PxB2と、第1画素PxB4とは第2方向Dyに並ぶ。
 2つの第2画素PxG2、PxG4及び2つの第1画素PxB2、PxB4の平面形状は、長方形である。言い換えると、蛍光体層GF、BF及びカラーフィルタGCF、BCFの平面形状は長方形である。第1発光部BLED1から第4発光部BLED4は、それぞれ各画素Pxの中央部に配置される。
 第6変形例から第8変形例の各発光素子BLED及び各画素Pxを第1方向Dxに配列することで、第1方向Dxにおいて、第3画素PxR1、第2画素PxG1、第1画素PxB1、第3画素PxR2、第2画素PxG2、第1画素PxB2の順に配列される。同様に第1方向Dxにおいて、第3画素PxR3、第2画素PxG3、第1画素PxB3、第3画素PxR4、第2画素PxG4、第1画素PxB4の順に配列される。また、同じ組み合わせの各発光素子BLED及び各画素Pxを第2方向Dyに配列することで、第2方向Dyでは、それぞれ同じ色の画素Pxが配列される。これにより、表示装置DSPは、ストライプ配列の画素配列を実現できる。
(第2実施形態)
 図20は、第2実施形態に係る複数の画素を示す平面図である。図21は、第2実施形態に係る表示装置を示す断面図である。図20に示すように、第2実施形態の発光素子BLEDにおいて、発光素子基板SULEDと、3つの発光部(第1発光部BLED1、第2発光部BLED2及び第3発光部BLED3)との配置の関係は、図12及び図15に示す第1実施形態と同様である。
 第1発光部BLED1は、第1画素PxBの中央部ではなく、外縁に配置される。具体的には、第1発光部BLED1は、第1画素PxBの、第2画素PxG及び第3画素PxRと隣り合う辺の近傍に配置される。第2発光部BLED2は、第2画素PxGの中央部ではなく、外縁に配置される。具体的には、第2発光部BLED2は、第2画素PxGの、第1画素PxBと隣り合う辺と、第3画素PxRと隣り合う辺とが接する隅部の近傍に配置される。第3発光部BLED3は、第3画素PxRの中央部ではなく、外縁に配置される。具体的には、第3発光部BLED3は、第3画素PxRの、第1画素PxBと隣り合う辺と、第2画素PxGと隣り合う辺とが接する隅部の近傍に配置される。
 なお、以下の説明では、図20を参照しつつ、第1方向Dxの一方を右、第1方向Dxの他方を左、第2方向Dyの一方を上、第2方向Dyの他方を下と表す場合がある。例えば、第1発光部BLED1は、第1画素PxBの下端側に配置される。第2発光部BLED2は、第2画素PxGの右上端部に配置される。第3発光部BLED3は、第3画素PxRの左上端部に配置される。
 第1実施形態と同様に、図20に示す、発光素子BLED、第1画素PxB、第2画素PxG及び第3画素PxRの組み合わせを複数配置することで、画素Pxは千鳥配置となる。
 図21に示すように、第2発光部BLED2及び第3発光部BLED3は、第2画素PxGと第3画素PxRとの間に配置された充填層FIL及び第2反射層RFL2に近い位置に配置される。言い換えると、第2発光部BLED2及び第3発光部BLED3は、第1実施形態に比べて、アノード電極傾斜部ADbから離れており、アノード電極AD及び第2反射層RFL2で形成される凹状構造の中央部に近い位置に配置される。第1基板SU1と平行方向において、蛍光体層GFの蛍光体層RFと隣り合う端部と、第2発光部BLED2との間の距離は、アノード電極傾斜部ADbと、第2発光部BLED2との間の距離よりも小さい。これに伴い、アノード電極底部ADaも、それぞれ画素Pxの外縁まで延びている。
 第2実施形態では、第1実施形態に比べて発光素子BLEDの平面視での大きさを小型化することができる。この場合、各発光部(第1発光部BLED1、第2発光部BLED2及び第3発光部BLED3)の画素Pxでの位置は偏っている。このため、例えば図20に示す第1画素PxBにおいて、第1発光部BLED1から出射された光の多くは、近接するアノード電極ADで反射されて、図20の上方に向かって進行し、蛍光体層BFを通過する。このため、蛍光体層BFを通過する光の向きは図20の上方に偏る。
 同様にして、第2画素PxGにおいて、蛍光体層GFを通過する光の向きは、図20の左下方向に偏る。また、第3画素PxRにおいて、蛍光体層RFを通過する光の向きは、図20の右下方向に偏る。
 蛍光体層BF、GF、RFは、いずれも等方的に発光する。このため、蛍光体層BF、GF、RFで吸収発光されて波長変換された段階で、各発光部(第1発光部BLED1、第2発光部BLED2及び第3発光部BLED3)から出射された光の進行方向の偏りは解消され、蛍光体層BF、GF、RFでの発光は等方的な分布となる。これにより、表示装置DSPは、各画素Pxから出射される光の角度分布の偏りを抑制することができる。
 第2実施形態では、発光素子BLEDの小型化が可能であるため、発光素子BLEDの製造工程において、1つの発光素子基板SULEDで形成可能な素子数を多くすることができる。また、各発光部からの光は、それぞれ蛍光体層BF、GF、RF及びカラーフィルタBCF、GCF、RCFを通過するので、表示装置DSPは、第1実施形態と同等の表示特性が得られる。
(第2実施形態の第9変形例)
 図22は、第2実施形態の第9変形例に係る発光素子と複数の画素との関係を示す平面図である。第9変形例に係る各発光部及び各画素Pxの配置は、図16に示す第5変形例と同様であり、複数の画素Pxは、いわゆるベイヤー配列を構成できる。
 第9変形例では、第5変形例に比べて発光素子BLEDが小型化されている。すなわち、各発光部は、各画素Pxの端部と重なり、各画素Pxの中央部からずれた位置に設けられる。第1発光部BLED1は、第1画素PxBの右下端部に配置される。第2発光部BLED2は、第2画素PxG1の左下端部に配置される。第3発光部BLED3は、第2画素PxG2の右上端部に配置される。第4発光部BLED4は、第3画素PxRの左上端部に配置される。
(第2実施形態の第10変形例)
 図23は、第2実施形態の第10変形例に係る発光素子と複数の画素との関係を示す平面図である。第10変形例に係る各発光部及び各画素Pxの配置は、図17に示す第6変形例と同様である。
 第10変形例では、第6変形例に比べて発光素子BLEDが小型化されている。すなわち、発光素子基板SULEDは、各画素Pxの端部と重なり、各画素Pxの中央部とは重ならない。第1発光部BLED1は、第3画素PxR1の右下端部に配置される。第2発光部BLED2は、第2画素PxG1の左下端部に配置される。第3発光部BLED3は、第3画素PxR3の右上端部に配置される。第4発光部BLED4は、第2画素PxG3の左上端部に配置される。
(第2実施形態の第11変形例)
 図24は、第2実施形態の第11変形例に係る発光素子と複数の画素との関係を示す平面図である。第11変形例に係る各発光部及び各画素Pxの配置は、図18に示す第7変形例と同様である。
 第11変形例では、第7変形例に比べて発光素子BLEDが小型化されている。すなわち、第1発光部BLED1は、第1画素PxB1の右下端部に配置される。第2発光部BLED2は、第3画素PxR2の左下端部に配置される。第3発光部BLED3は、第1画素PxB3の右上端部に配置される。第4発光部BLED4は、第3画素PxR4の左上端部に配置される。
(第2実施形態の第12変形例)
 図25は、第2実施形態の第12変形例に係る発光素子と複数の画素との関係を示す平面図である。第12変形例に係る各発光部及び各画素Pxの配置は、図19に示す第8変形例と同様である。
 第12変形例では、第8変形例に比べて発光素子BLEDが小型化されている。すなわち、第1発光部BLED1は、第2画素PxG2の右下端部に配置される。第2発光部BLED2は、第1画素PxB2の左下端部に配置される。第3発光部BLED3は、第2画素PxG4の右上端部に配置される。第4発光部BLED4は、第1画素PxB4の左上端部に配置される。
 第10変形例から第12変形例の各発光素子BLED及び各画素Pxを第1方向Dx及び第2方向Dyに配列することで、第6変形例から第8変形例と同様に、表示装置DSPは、ストライプ配列の画素配列を実現できる。また、長方形の画素Pxであっても、各発光部からの光がそれぞれ蛍光体層BF、GF、RFを通過することで、等方的な分布の光が発光される。したがって、表示装置DSPは、各画素Pxから出射される光の角度分布の偏りを抑制して、第1実施形態と同等の表示特性を実現することができる。
(第3実施形態)
 図26は、第3実施形態に係る表示装置を示す断面図である。図26に示すように、第3実施形態の発光素子BLEDは、第2実施形態に比べて、各発光部(第1発光部BLED1、第2発光部BLED2及び第3発光部BLED3)の大きさを維持しながら、さらに小型化が実現できる。なお、図26では、第2発光部BLED2及び第3発光部BLED3における断面構造を示している。ただし、第2発光部BLED2及び第3発光部BLED3についての説明は第1発光部BLED1にも適用できる。
 発光素子基板SULEDの上には、第2発光部BLED2と第3発光部BLED3との間に壁状構造WL(発光素子壁状構造)が設けられている。また、壁状構造WLの側面には反射層RFLが設けられている。これにより、第2発光部BLED2と第3発光部BLED3との間の距離が小さくなった場合であっても、それぞれから出射される光の混色を抑制することができる。
 また、第3実施形態では、第2実施形態の第2平坦化層LL2(図10参照)に換えて、蛍光体層GF、RFが設けられている。つまり、蛍光体層GF、RFは、アレイ基板SUAに含まれる。第2画素PxGにおいて、蛍光体層GFは、アノード電極ADの凹状構造の内部に設けられ、第2発光部BLED2の側面を覆って発光素子BLEDとアノード電極ADとの間に設けられる。蛍光体層GFの高さは、第2発光部BLED2の高さよりも高く形成される。蛍光体層GFは、アノード電極傾斜部ADbの上端及び壁状構造WLの内壁の上端を覆って設けられる。また、蛍光体層GFは、発光素子基板SULEDの上において、壁状構造WL及び反射層RFLを覆って設けられる。カラーフィルタGCFは、第2発光部BLED2の上面及び蛍光体層GFと重なって設けられる。
 第3画素PxRにおいて、蛍光体層RFは、アノード電極ADの凹状構造の内部に設けられ、第3発光部BLED3の側面を覆っている。蛍光体層RFの高さは、第3発光部BLED3の高さよりも高く形成される。蛍光体層RFは、アノード電極傾斜部ADbの上端及び壁状構造WLの内壁の上端を覆って設けられる。また、蛍光体層RFは、発光素子基板SULEDの上において、壁状構造WL及び反射層RFLを覆って設けられる。カラーフィルタRCFは、第3発光部BLED3の上面及び蛍光体層RFと重なって設けられる。
 カソード電極CDは、第2発光部BLED2の上面、蛍光体層GFの上面、第3発光部BLED3の上面及び蛍光体層RFの上面に設けられ、複数の画素Pxに亘って連続して設けられる。第2発光部BLED2の上面及び第3発光部BLED3の上面には、それぞれ蛍光体層GF、RFが設けられていない。蛍光体層GF、RFから露出する第2発光部BLED2の上面及び第3発光部BLED3の上面にカソード電極CDが接続される。
 第2発光部BLED2の側面から出射した光は、直接蛍光体層GFに入射され、波長変換される。蛍光体層GFで発光した光の一部は、カラーフィルタGCFに入射され第2基板SU2側に出射される。蛍光体層GFで発光した光のうち、第1基板SU1側に出射された光は、アノード電極ADで反射されて、カラーフィルタGCFを通過して第2基板SU2側に出射される。
 第3発光部BLED3の側面から出射した光は、直接蛍光体層RFに入射され、波長変換される。蛍光体層RFで発光した光の一部は、カラーフィルタRCFに入射され第2基板SU2側に出射される。蛍光体層RFで発光した光のうち、第1基板SU1側に出射された光は、アノード電極ADで反射されて、カラーフィルタRCFを通過して第2基板SU2側に出射される。
 このように、発光素子BLEDを小型化した構成であっても、アノード電極AD及び蛍光体層BF、GF、RF(蛍光体層BFは図26では図示しない)を設けることにより、発光素子BLEDの光取出し効率を向上させることができる。
(第3実施形態の第13変形例)
 図27は、第3実施形態の第13変形例に係る表示装置を示す断面図である。図27に示すように、第2画素PxGは、第1蛍光体層GF1と第2蛍光体層GF2とを有する。第1蛍光体層GF1は、第3実施形態の蛍光体層GFと同様に、アノード電極ADの凹状構造の内部に設けられ、第2発光部BLED2の側面を覆っている。第2蛍光体層GF2は、第2発光部BLED2の上面及び第1蛍光体層GF1の上面と重なって設けられる。第2蛍光体層GF2は、第2発光部BLED2と第1蛍光体層GF1との段差を平坦化するように設けられる。第2蛍光体層GF2の上面は平坦であり、カラーフィルタGCFは、第2蛍光体層GF2の上に設けられる。
 第3画素PxRも同様に、第1蛍光体層RF1と第2蛍光体層RF2とを有する。第1蛍光体層RF1は、第3実施形態の蛍光体層RFと同様に、アノード電極ADの凹状構造の内部に設けられ、第3発光部BLED3の側面を覆って発光素子BLEDとアノード電極ADとの間に設けられる。第2蛍光体層RF2は、第3発光部BLED3の上面及び第1蛍光体層RF1の上面と重なって設けられる。第2蛍光体層RF2は、第3発光部BLED3と第1蛍光体層RF1との段差を平坦化するように設けられる。第2蛍光体層RF2の上面は平坦であり、カラーフィルタRCFは、第2蛍光体層RF2の上に設けられる。
 カソード電極CDは、第2蛍光体層GF2及び第2蛍光体層RF2と、第1蛍光体層GF1、第2発光部BLED2、第1蛍光体層RF1及び第3発光部BLED3との間に設けられ、複数の画素Pxに亘って連続している。
 このような構成により、第2発光部BLED2の上面から出射される光は、第2蛍光体層GF2に入射されて波長変換される。これにより、カラーフィルタGCFで吸収される光の成分が抑制され、第2発光部BLED2の光の取出し効率を向上させることができる。
 同様に、第3発光部BLED3の上面から出射される光は、第2蛍光体層RF2に入射されて波長変換される。これにより、カラーフィルタRCFで吸収される光の成分が抑制され、第3発光部BLED3の光の取出し効率を向上させることができる。
 また、図27には図示されないが、第1画素PxBにおいても、同様に第1蛍光体層BF1及び第2蛍光体層BF2が設けられる。第1発光部BLED1から出射された光は、第1蛍光体層BF1及び第2蛍光体層BF2に吸収され、等方的に発光する。これにより、第1画素PxBから出射される青色発光は、第2画素PxGの緑色発光及び第3画素PxRの赤色発光と同様の角度分布を有する。したがって、表示装置DSPは、良好な表示特性を実現できる。
 なお、第3実施形態及び第13変形例においても、上述した第1変形例から第12変形例の各構成を適用できる。
 以上、本発明の好適な実施の形態を説明したが、本発明はこのような実施の形態に限定されるものではない。実施の形態で開示された内容はあくまで一例にすぎず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。本発明の趣旨を逸脱しない範囲で行われた適宜の変更についても、当然に本発明の技術的範囲に属する。上述した各実施形態及び各変形例の要旨を逸脱しない範囲で、構成要素の種々の省略、置換及び変更のうち少なくとも1つを行うことができる。
 AD アノード電極
 ADa アノード電極底部
 ADb アノード電極傾斜部
 BF、GF、RF 蛍光体層
 BF1、GF1、RF1 第1蛍光体層
 BF2、GF2、RF2 第2蛍光体層
 CD カソード電極
 CL 接続層
 DSP 表示装置
 FIL 充填層、
 BLED 発光素子
 BLED1 第1発光部
 BLED2 第2発光部
 BLED3 第3発光部
 BLED4 第4発光部
 ELED1 アノード端子
 ELED2 カソード端子
 LL1 第1平坦化層
 LL2 第2平坦化層
 Pix、Px 画素
 PxB、PxB1、PxB2、PxB3、PxB4 第1画素
 PxG、PxG1、PxG2、PxG3、PxG4 第2画素
 PxR、PxR1、PxR2、PxR3、PxR4 第3画素
 RFL 反射層
 RFL1 第1反射層
 RFL2 第2反射層
 SU1 第1基板
 SU2 第2基板
 WL 壁状構造
 CDCL カソード接続層

Claims (15)

  1.  第1基板と、
     前記第1基板に設けられた複数の画素と、
     複数の前記画素に跨がって設けられる発光素子基板と、複数の前記画素のそれぞれに対応して前記発光素子基板に設けられた複数の発光部と、を有する発光素子と、
     前記第1基板に設けられ、前記発光素子に電気的に接続されるアノード電極と、
     複数の前記発光部ごとに設けられ、前記発光部の少なくとも一部をそれぞれ覆う複数の蛍光体層と、を有する
     表示装置。
  2.  複数の前記画素は、第1色を表示する第1画素と、前記第1色とは異なる第2色を表示する第2画素と、前記第1色及び前記第2色とは異なる第3色を表示する第3画素と、を含み、
     複数の前記発光部は、同じ色の光を出射し、前記第1画素を構成する第1発光部と、前記第2画素を構成する第2発光部と、前記第3画素を構成する第3発光部と、を含む
     請求項1に記載の表示装置。
  3.  前記蛍光体層は、前記発光部からの光を吸収して第1色を発光する第1色蛍光体層と、前記発光部からの光を吸収して第2色を発光する第2色蛍光体層と、前記発光部からの光を吸収して第3色を発光する第3色蛍光体層と、を含む
     請求項1又は請求項2に記載の表示装置。
  4.  前記発光素子の側面と対向する第1反射層と、
     前記蛍光体層の側面に設けられ、前記第1基板の法線方向において、前記第1反射層と離隔して、前記第1反射層よりも前記第1基板から離れて配置される第2反射層と、を有する
     請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の表示装置。
  5.  前記第1反射層及び前記第2反射層は、前記第1基板の法線方向に対して傾斜する
     請求項4に記載の表示装置。
  6.  前記発光素子の側面と対向する壁状構造を有し、
     前記第1反射層は、
     前記発光素子と重なる領域から前記発光素子の周囲に延出する底部と、
     前記底部に接続され、前記壁状構造の壁面に沿って設けられて前記第1基板の法線方向に対して傾斜する傾斜部と、を有する
     請求項4又は請求項5に記載の表示装置。
  7.  前記第1反射層は、前記発光部のそれぞれに電気的に接続された複数の前記アノード電極である
     請求項4から請求項6のいずれか1項に記載の表示装置。
  8.  前記蛍光体層の上に設けられたカラーフィルタを有し、
     前記第2反射層は、前記蛍光体層の側面及び前記カラーフィルタの側面に亘って設けられる
     請求項4から請求項7のいずれか1項に記載の表示装置。
  9.  前記第2反射層は、前記発光素子基板の上側において、複数の前記蛍光体層の間に設けられる
     請求項4から請求項8のいずれか1項に記載の表示装置。
  10.  前記発光素子の側面を覆い、前記発光素子と前記第1反射層との間に設けられた平坦化層を有し、
     前記蛍光体層は、前記平坦化層の上に設けられる
     請求項4から請求項9のいずれか1項に記載の表示装置。
  11.  前記第1基板と対向する第2基板を有し、
     前記第2基板の前記第1基板と対向する面に前記蛍光体層及び前記第2反射層が設けられ、
     前記第1基板の前記第2基板と対向する面に前記第1反射層及び前記発光素子が設けられる
     請求項4から請求項10のいずれか1項に記載の表示装置。
  12.  前記発光素子の側面と対向する第1反射層を有し、
     前記蛍光体層は、前記発光部の側面を覆って前記発光素子と前記第1反射層との間に設けられる
     請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の表示装置。
  13.  前記発光素子の側面と対向する第1反射層を有し、
     前記蛍光体層は、第1蛍光体層と、第2蛍光体層とを有し、
     前記第1蛍光体層は、前記発光部の側面を覆って前記発光素子と前記第1反射層との間に設けられ、
     前記第2蛍光体層は、前記発光部の上面を覆って前記第1蛍光体層の上に設けられる
     請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の表示装置。
  14.  前記発光素子基板の上に設けられ、複数の前記発光部の間に設けられた発光素子壁状構造を有する
     請求項12又は請求項13に記載の表示装置。
  15.  複数の前記発光部は、平面視で、それぞれ前記画素の外縁に設けられる
     請求項1から請求項14のいずれか1項に記載の表示装置。
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