WO2020091341A1 - 소자 간격 제어가 가능한 시트 및 이를 이용한 소자 간격 제어방법 - Google Patents

소자 간격 제어가 가능한 시트 및 이를 이용한 소자 간격 제어방법 Download PDF

Info

Publication number
WO2020091341A1
WO2020091341A1 PCT/KR2019/014272 KR2019014272W WO2020091341A1 WO 2020091341 A1 WO2020091341 A1 WO 2020091341A1 KR 2019014272 W KR2019014272 W KR 2019014272W WO 2020091341 A1 WO2020091341 A1 WO 2020091341A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
incision
pair
quarter
controlling
interval
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/KR2019/014272
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
장봉균
김재현
최병익
박현성
김광섭
이승모
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Korea Institute of Machinery and Materials KIMM
Original Assignee
Korea Institute of Machinery and Materials KIMM
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Korea Institute of Machinery and Materials KIMM filed Critical Korea Institute of Machinery and Materials KIMM
Publication of WO2020091341A1 publication Critical patent/WO2020091341A1/ko
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/04—Apparatus for manufacture or treatment
    • H10P72/0442—Apparatus for placing on an insulating substrate, e.g. tape
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/04—Apparatus for manufacture or treatment
    • H10P72/0478—Apparatus for manufacture or treatment the substrates being processed being not semiconductor wafers, e.g. leadframes or chips
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/01—Manufacture or treatment
    • H10W72/013—Manufacture or treatment of die-attach connectors
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass

Definitions

  • the present invention relates to a sheet capable of controlling element spacing, and a method for controlling element spacing using the same, and more particularly, to a sheet capable of controlling element spacing, which can control uniform and precise spacing, and a method for controlling element spacing using the same.
  • high-performance devices using a semiconductor process are implemented on a wafer substrate through various methods such as a wafer-based coating process, an exposure process, a development process, an etching process, a thin film process, an ion implantation process, an oxidation process, and a diffusion process.
  • This will take the form of components through packaging processes such as dicing, die bonding, wire bonding, and molding. Semiconductors, memory chips, etc., which we commonly see, are produced through this process.
  • the technology of selectively transferring a device may greatly widen the distance between the devices, but it is difficult to precisely control the distance between the devices, and it is possible to adjust the distance between the devices by an integer multiple, while adjusting the fraction by a multiple, or 2 There is a problem in that it is difficult to control at intervals less than twice.
  • the stamp to which the device is attached must be deformed in the biaxial direction in consideration of the Poisson's ratio.
  • strain is uniformly formed. Since the area is narrow, it is difficult to uniformly control the spacing of the elements adhered to the stamp as a whole.
  • This problem may also occur in the technology of selectively transferring solar cells.
  • One aspect of the present invention is to provide an element spacing control method capable of controlling uniform and precise spacing and an element spacing control method using the same.
  • a sheet capable of controlling element spacing includes a first cut line and a pair of second lines formed in a direction intersecting the first cut line and spaced apart from the first cut line It includes a body portion having a cut line, the first cut line is formed in the first direction in the body portion to divide the body portion into a pair of half body portion, the second cut line is one side of the first cut line Or formed in a second direction crossing the first direction from the other side to divide the half body portion into a pair of quarter body portions, the first cut line is the body portion so that both ends of the pair of half body portions are connected to each other The second cut line is formed in a length shorter than the first direction length, and the second cut line is the second half of the half body part so that ends positioned at the first cut line side of the pair of quarter body parts are connected to each other. Incense is formed from a length of a shorter length, the first incision and the second section is going to improve the ground and moves away a plurality of distances between the center body of the quarter.
  • At least one of both ends of the first incision line and one end of the second incision line may further include a crack propagation prevention hole to prevent crack propagation.
  • a hinge portion is formed so as to overlap each other on the pair of quarter body portions of one side or the other side of the first incision line, and the pair of hinge portions is one side or the other side of the first incision line. It is coupled by a first coupling axis located at, the pair of quarter body parts can be rotated around the first coupling axis, respectively.
  • hinge portions are formed so as to overlap each other on the pair of quarter body portions on one side and the other side of the first cut line, and the pair of quarter body portions on one side of the first cut line.
  • the pair of hinge parts formed on the second coupling axis is coupled by a second coupling axis positioned on the first incision line to rotate about the second coupling axis, and the pair of quarter bodies on the other side of the first incision line.
  • the pair of hinge portions formed in the portion may be coupled by the third coupling shaft positioned on the second coupling shaft and the concentric shaft to rotate around the third coupling shaft.
  • the remaining incision lines may also be opened.
  • a plurality of the quarter body parts are provided repeatedly in the first direction and the second direction, and the second cut line can be connected to another neighboring second cut line.
  • each device is provided at a first interval on the upper surface of each quarter body portion of the sheet capable of controlling the device spacing step;
  • the first incision and the second incision are opened so that the distance between the centers of the plurality of quarter bodies is increased so that each of the elements is adjusted to a second interval greater than the first interval.
  • a step of adjusting the interval is provided.
  • the sheet capable of controlling the element spacing may be a stamp for transfer.
  • a large area sheet formed with a larger area than the sheet capable of controlling the device spacing is provided to correspond to the respective devices in the state adjusted to the second interval, and the second interval
  • it may include a second interval adjustment step of moving the distance between the center of each of the large-area quarter body portion so that each element is adjusted to a third interval greater than the second interval.
  • the sheet capable of controlling the device spacing may be a substrate on which the device is mounted.
  • the pitch of the elements can be controlled to increase uniformly as a whole.
  • FIG. 1 is an exemplary view showing a sheet capable of controlling element spacing according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a plan view showing a sheet capable of controlling element spacing according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG 3 is an exemplary view of a device provided in a sheet capable of controlling device spacing according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a plan view showing a sheet capable of controlling element spacing according to a second embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is a plan view showing a sheet capable of controlling element spacing according to a third embodiment of the present invention.
  • FIG. 6 is a plan view showing a sheet capable of controlling element spacing according to a fourth embodiment of the present invention.
  • FIG. 7 is a plan view illustrating a form in which a sheet capable of controlling element spacing according to the first embodiment of the present invention is repeatedly connected.
  • FIG. 8 is a flowchart illustrating a method for controlling element spacing using a sheet capable of controlling element spacing according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG 9 is an exemplary view showing an element spacing control process using a sheet capable of controlling element spacing according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 10 is an exemplary view showing a process of transferring a device having a space-controlled distance by using a sheet capable of controlling a spacer distance according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is an exemplary view showing a sheet capable of controlling element spacing according to a first embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is a plan view illustrating a sheet capable of controlling element spacing according to a first embodiment of the present invention.
  • 2 (a) shows the state before the sheet 100 capable of controlling element spacing is deformed
  • FIG. 2 (b) shows the state after the sheet 100 capable of controlling element spacing is deformed.
  • the sheet 100 capable of controlling element spacing according to the present invention may be a stamp for element transfer or a substrate on which the element is mounted.
  • the sheet 100 capable of controlling the element spacing is a transfer stamp.
  • the sheet 100 capable of controlling element spacing may include a body portion 101 having a first cut line 110 and a second cut line 120.
  • the first incision line 110 is formed in the first direction A1 in the body portion 101 to divide the body portion 101 into a pair of half body portions 150.
  • first incision line 110 may be formed in a length L2 shorter than the length L1 in the first direction A1 of the body portion 101 so that both ends of the pair of half body portions 150 are connected to each other. Can be.
  • the center of the first incision line 110 may be located in the center of the first direction A1 of the half body portion 150, and the first incision line 110 may Since the length (L2) is shorter than the length (L1) in the first direction (A1) of the body portion 101, the half body portion 150 above the first cut line 110 and the lower side of the first cut line 110 Both ends of the half body portion 150 may be connected to each other.
  • the second incision line 120 may be formed in a direction intersecting the first incision line 110, and a pair may be formed to be spaced apart from the first incision line 110.
  • the second incision line 120 may be formed in a second direction (A2) crossing the first direction (A1) from one side or the other side of the first incision line 110, the half body portion 150 It can be divided into a pair of quarter body portion 151.
  • the second cut line 120 is the length of the second body (A2) of the half body part 150 so that the ends located on the first cut line 110 side of the pair of quarter body parts 151 are connected to each other. It may be formed to a length (L4) shorter than (L3).
  • the second cut line 120 may be provided on the upper and lower sides of the first cut line 110, respectively.
  • the second incision line 120 provided on the upper side of the first incision line 110 among the pair of second incision lines 120 may have an upper end portion starting from an upper end portion of the body portion 101. Since the length L4 of the second incision line 120 is shorter than the length L3 in the second direction A2 of the half body portion 150, a pair of quarter bodies provided above the first incision line 110 The lower portions of the portions 151 may be connected to each other.
  • the second incision line 120 provided below the first incision line 110 among the pair of second incision lines 120 may have a lower end portion starting from a lower end portion of the body portion 101. Since the length L4 of the second incision line 120 is shorter than the length L3 in the second direction A2 of the half body portion 150, a pair of quarter bodies provided below the first incision line 110 The upper ends of the parts 151 may be connected to each other.
  • the body portion 101 is divided into a plurality of quarter body portions 151 by the first cut line 110 and the second cut line 120, but each quarter body portion 151 is a neighboring quarter body
  • the parts 151 are not connected to each other and separated.
  • the plurality of quarter body parts 151 move so that the distance between the centers of each is increased. Can be.
  • the remaining incision lines may also be opened.
  • the conventional stamp it is possible to deform the conventional stamp so that it extends both in one direction and in a direction perpendicular thereto, but even in this way, the amount of deformation increased in the middle portion of the stamp and the amount of deformation increased in the edge portion of the stamp are different. Therefore, when the pitch of the device is adjusted using a conventional stamp, the pitch between the devices varies by region. That is, it is difficult to control the pitch of the elements provided on the stamp to increase uniformly as a whole.
  • the sheet 100 capable of controlling the element spacing according to the present invention is deformed to be stretched in the first direction A1, deformation occurs so that it is stretched in the second direction A2, and in this case, the first direction A1 ) And the amount of deformation in the second direction A2 may be the same.
  • the pitch of the elements can be controlled to increase uniformly as a whole.
  • FIG. 3 is an exemplary view of a state in which an element is provided in a sheet capable of controlling element spacing according to a first embodiment of the present invention
  • FIG. 3 (a-1) shows a form before a sheet capable of controlling element spacing is deformed
  • 3 (a-2) is a front view of FIG. 3 (a-1).
  • (b-1) of FIG. 3 is a plan view showing the form after the sheet capable of controlling element spacing is deformed
  • FIG. 3 (b-2) is a front view of FIG. 3 (b-1). to be.
  • an element 200 may be provided on the upper surface of each quarter body portion 151.
  • the intervals between the centers of the elements 200 neighboring each other may all form the same first interval D1. That is, each device 200 may be disposed at a first interval D1 along the first direction A1 and the second direction A2, respectively.
  • each element ( 200) may be opened at a second interval D2 greater than the first interval D1.
  • the second interval (D2) can be expressed as the following equation (1).
  • ⁇ is an angle at which the first incision line is opened based on the virtual reference line SL in the first direction.
  • the second interval D2 can be controlled by adjusting the angle ⁇ at which the first incision line is opened.
  • various pitch adjustments may be possible, such as adjusting the interval between the elements 200 not only by an integer multiple, but also by a fractional multiple or an interval of 2 times or less.
  • the quarter body portion 151 and the element 200 may have a square or rectangular shape, and even if the quarter body portion 151 and the element 200 are formed in a square or rectangular shape, the spacing of the elements in the same manner as described above Can be adjusted.
  • first incision, the second incision, or the quarter body may have various forms.
  • FIG. 4 is a plan view illustrating a sheet capable of controlling element spacing according to a second embodiment of the present invention.
  • At least one of both ends of the first incision line 110 and one end of the second incision line 120 may be formed with crack propagation prevention holes 111 and 112 to prevent crack propagation.
  • the crack propagation prevention holes 111 and 112 may be formed in a circular shape.
  • the crack propagation prevention holes 111 and 112 prevent the cracks from propagating at both ends of the first incision line 110 and one end of the second incision line 120 when the sheet capable of controlling the element spacing is deformed. It is possible to prevent the controllable sheet from being damaged.
  • Figure 5 is a plan view showing a sheet capable of controlling the element spacing according to the third embodiment of the present invention, as shown in Figure 5, a pair of quarters on one side or the other side of the first cut line 110
  • the body portion may be formed with hinge portions so as to overlap each other.
  • the hinge portion 152a may be formed to overlap each other on the pair of quarter body portions 151a on the upper side of the first cut line 110, and the pair of the lower side of the first cut line 110 may be formed.
  • the quarter body portions 151b may also have hinge portions 152b formed to overlap each other.
  • first coupling shafts 161a and 161b located on one side or the other side of the first cut line 110, and a pair of quarter body parts (151a, 151b) can be rotated around the first coupling shaft (161a, 161b), respectively.
  • the pair of hinge portions 152a formed in the quarter body portion 151a above the first cut line 110 may be coupled by the first coupling shaft 161a, and the quarter body portion 151a may It can rotate about the first coupling shaft (161a).
  • the first coupling shaft 161a may be positioned above the first cut line 110.
  • a pair of hinge portions 152b formed on the quarter body portion 151b under the first cut line 110 may be coupled by the first coupling shaft 161b, and the quarter body portion 151b may It can be rotated around the first coupling shaft (161b).
  • the first coupling shaft 161b may be positioned below the first cut line 110.
  • a portion of a pair of quarter body parts formed by dividing one half body part is not directly connected to each other, but has hinge parts overlapping each other, and the hinge parts are coupled. It can be implemented to be coupled by an axis.
  • the second incision may be formed to completely sculpt each neighboring quarter body.
  • Figure 6 is a plan view showing a sheet capable of controlling the element spacing according to a fourth embodiment of the present invention, as shown in Figure 6, a pair of quarters on one side and the other side of the first cut line 110 Hinge portions 152c and 152d may be formed on the body portions 151c and 151d so as to overlap each other.
  • a pair of hinge portions 152c formed on a pair of quarter body portions 151c on one side of the first cut line 110 has a second coupling shaft 162 positioned on the first cut line 110. It can be coupled by, the quarter body portion (151c) can be rotated about the second coupling shaft (162).
  • the second coupling shaft 162 may be positioned at the center of the sheet capable of controlling element spacing.
  • a pair of hinge portions 152d formed on a pair of quarter body portions 151d on the other side of the first cut line 110 has a second coupling shaft 162 and a third coupling shaft positioned on the concentric shaft. It can be coupled by (163), a pair of quarter body portion (151d) can be rotated about the third coupling shaft (163).
  • each quarter body portion has a hinge portion overlapping each other, a pair of quarter body portions provided on one side of the first incision line and a pair of quarter body portions provided on the other side of the first incision line It can be implemented to be independently coupled to each other coupling shaft.
  • each coupling axis can be positioned at the center of the sheet capable of controlling element spacing, each quarter body portion can be induced to deform accurately based on the center of the sheet capable of controlling element spacing.
  • first cut line and the second cut line may be formed to completely sculpt each neighboring quarter body.
  • FIG. 7 is a plan view illustrating a form in which a sheet capable of controlling element spacing according to the first embodiment of the present invention is repeatedly connected.
  • a sheet capable of controlling element spacing may be provided repeatedly in the first direction A1 and the second direction A2.
  • the second incision line 120a may be connected to another neighboring second incision line 120b, and through this, a sheet capable of controlling element spacing may be expanded while maintaining the above-described deformation characteristics.
  • FIG. 8 is a flowchart illustrating a method for controlling element spacing using a sheet capable of controlling element spacing according to the first embodiment of the present invention.
  • Figure 9 is an exemplary view showing an element spacing control process using a sheet capable of controlling element spacing according to the first embodiment of the present invention
  • Figure 9 (a-1) is the form before the deformation of the large area sheet 9 (a-2) is a front perspective view of FIG. 9 (a-1).
  • 9 (b-1) is a plan view showing the shape after the large-area sheet is deformed
  • FIG. 9 (b-2) is a front view of FIG. 9 (b-1).
  • the device spacing control method using the sheet capable of controlling the device spacing may include a device preparation step (S310) and a first interval adjustment step (S320).
  • the device preparation step (S310) may be a step in which the device 200 is provided at a first interval D1, respectively, on the upper surface of each quarter body part 151 of the sheet 100 capable of controlling the device spacing.
  • the device 200 may be provided in a state in which the sheet 100 capable of controlling the device spacing is not deformed.
  • the first incision line 110 and the second incision line 120 are opened so that the distance between the centers of the plurality of quarter body parts 151 increases so that each element 200 ) May be a step of adjusting the second interval D2 larger than the first interval D1.
  • the element 200 arranged at the first interval D1 may be adjusted in pitch at the second interval D2.
  • the element spacing control method using a sheet capable of controlling element spacing can further move the element 200 whose pitch is increased to the second gap D2 to have a larger gap than the second gap D2. Through this, the pitch between the devices 200 can be adjusted to increase further.
  • the method for controlling the element spacing using a sheet capable of controlling the element spacing may include an adhesion step (S330), a removal step (S340), and a second spacing adjustment step (S350).
  • a large area sheet 400 may be additionally provided.
  • the large area sheet 400 may be formed to have a larger area than the sheet 100 capable of controlling device spacing, and may be formed to correspond to each device 200 in a state adjusted to the second interval D2. That is, the center of each large-area quarter body portion 451 may be formed at a second interval D2 while the large-area sheet 400 is not deformed.
  • the large area sheet 400 may be a stamp for transfer, similar to the sheet 100 capable of controlling element spacing.
  • the adhesion step S330 may be a step of adhering each device 200 in a state adjusted to the second interval D2 to the large area quarter body portion 451 of the large area sheet 400, respectively.
  • the quarter body portion 151 of the sheet 100 capable of controlling element spacing on one surface of the element 200 Is adhered, and the large area quarter body portion 451 of the large area sheet 400 may be adhered to the other surface of the device 200.
  • the removing step S340 may be a step of removing the sheet 100 capable of controlling the element spacing in the element 200. Accordingly, the device 200 may be in a state of being adhered only to the large area quarter body portion 451.
  • the distance between the centers of the respective large-area quarter body parts 451 is increased so that each element 200 is moved to a third interval D3 greater than the second interval D2. It may be a step to be adjusted.
  • each device 200 may be opened at a third interval D3 larger than the second interval D2.
  • the third interval (D3) can be expressed as the following equation (2).
  • ⁇ is an angle at which the second incision line is opened based on the virtual reference line SL in the first direction.
  • the third interval D3 can be controlled by adjusting the angle ⁇ at which the second incision line opens.
  • the large area quarter body part The angle state of the device 200 provided at the third interval D3 at 451 may be the same angle as the state at which the device was provided at the first interval D1 at the sheet 100 capable of controlling the device interval. have.
  • FIG. 10 is an exemplary view showing a process of transferring a device having a space-controlled distance by using a sheet capable of controlling a spacer distance according to the first embodiment of the present invention.
  • the device 200 may be transferred to the target substrate TS. have.
  • the large area quarter body 451 is separated from the device 200 so that only the device 200 is transferred while forming a third interval D3 on the target substrate TS. can do.
  • the spacing may be adjusted so that the pitch increases in a state mounted on the substrate.
  • the device can be directly provided on the target object in a state mounted on the substrate, the inconvenience of transferring the device back to the substrate after the substrate is provided on the target object can be eliminated.
  • the substrate on which the device is mounted can be directly placed on the target object after adjusting the spacing of the device, so that the device can be easily placed on the target object having a curved surface or irregular surface. Can be.
  • a sheet capable of controlling the element spacing at which the element is initially provided may be used as a transfer stamp, and through this, the element spacing may be increased as required.

Landscapes

  • Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)

Abstract

본 발명의 일실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트는 제1절개선과, 제1절개선에 교차하는 방향으로 형성되고 제1절개선을 기준으로 이격되게 형성되는 한 쌍의 제2절개선을 가지는 몸체부를 포함한다. 제1절개선은 몸체부에 제1방향으로 형성되어 몸체부를 한 쌍의 하프 몸체부로 양분한다. 제2절개선은 제1절개선의 일측 또는 타측에서 제1방향에 교차하는 제2방향으로 형성되어 하프 몸체부를 한 쌍의 쿼터 몸체부로 양분한다. 제1절개선은 한 쌍의 하프 몸체부의 양단부가 서로 연결되도록 몸체부의 제1방향 길이보다 짧은 길이로 형성되고, 제2절개선은 한 쌍의 쿼터 몸체부에서 제1절개선 측에 위치하는 단부가 서로 연결되도록 하프 몸체부의 제2방향 길이보다 짧은 길이로 형성되고, 제1절개선 및 제2절개선이 벌어지면, 복수의 쿼터 몸체부의 중심간의 거리가 멀어지도록 움직인다.

Description

소자 간격 제어가 가능한 시트 및 이를 이용한 소자 간격 제어방법
본 발명은 소자 간격 제어가 가능한 시트 및 이를 이용한 소자 간격 제어방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 균일하고 정밀한 간격의 제어가 가능한 소자 간격 제어가 가능한 시트 및 이를 이용한 소자 간격 제어방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 공정을 이용하는 고성능 소자들은 웨이퍼를 기반으로 한 코팅 공정, 노광 공정, 현상 공정, 식각 공정, 박막 공정, 이온주입 공정, 산화 공정, 확산 공정 등 다양한 방법을 통해 웨이퍼 기판 상에 구현이 된다. 이는 다이싱(dicing), 다이 본딩(die bonding), 와이어 본딩(wire bonding), 몰딩(molding) 등의 패키징 공정을 통하여 부품의 형태를 가지게 된다. 우리가 흔히 볼 수 있는 반도체, 메모리 칩(chip) 등이 이러한 과정을 통하여 생산이 이루어지게 된다.
한편, 인쇄 전자 기술을 기반으로 유연한 소자 부품을 제작하고자 하는 시도가 이루어지고 있으며, 주로 디스플레이, RFID, 태양광발전 등 일부 제품군에 대해 적용하는 사례가 등장하고 있다. 인쇄 전자 기술의 경우 반도체 공정에 비해 비교적 낮은 온도이거나 상온에서 이루어지는 것이 일반적이며, 코팅 공정, 프린팅 공정, 패터닝 공정 등에 의해 소자가 제작되며 배선 및 전극 형성을 위한 후공정과 접합이나 절단 등의 과정을 거쳐 유연한 부품을 얻을 수 있게 된다.
실제로 소자를 이용하여 디바이스를 제작하는 경우, 배선과 그 이외의 용도를 갖는 공간이 필요하게 된다. 즉 소자와 소자 사이에 공간이 필요하게 되는데, 타깃기판에 모든 소자를 한꺼번에 전사하게 되면 이러한 소자와 소자 사이의 공간이 형성될 수 없기 때문에 디바이스 제작에 어려움이 따른다.
또한, 디바이스가 단일 종류의 소자로 이루어진 경우가 아니라 여러 종류의 소자들로 이루어지는 경우에는, 하나의 소자를 전사한 후 그 부근에 다른 소자를 전사하여야 한다. 이러한 예시에서 알 수 있는 바와 같이, 디바이스 제작을 위한 소자 전사 공정에 있어서 소자를 선택적으로 전사하는 과정이 필요한 경우가 많다.
한편, 종래에 소자를 선택적으로 전사하는 기술은 소자의 간격을 크게 넓힐 수는 있지만 소자 간의 간격을 정밀하게 제어하기가 어렵고, 소자 간의 간격을 정수배로 조절하는 것은 가능한 반면, 소수배로 조절하거나, 2배 이하의 간격으로 제어하는 것은 어려운 문제점이 있다.
또한, 종래에 소자를 선택적으로 전사하는 기술에서는 포아송비(Poisson's ratio)를 고려하여 소자가 점착된 스탬프를 2축 방향으로 변형시켜야 하는데, 2축 변형의 경우에 스트레인(Strain)이 균일하게 형성되는 영역이 좁아, 스탬프에 점착된 소자의 간격을 전체적으로 균일하게 조절하는 것이 어려운 문제점이 있다.
이러한 문제점은 태양전지를 선택적으로 전사하는 기술에서도 동일하게 발생할 수 있다.
본 발명의 일 측면은 균일하고 정밀한 간격의 제어가 가능한 소자 간격 제어가 가능한 시트 및 이를 이용한 소자 간격 제어방법을 제공하고자 한다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트는, 제1절개선과, 상기 제1절개선에 교차하는 방향으로 형성되고 상기 제1절개선을 기준으로 이격되게 형성되는 한 쌍의 제2절개선을 가지는 몸체부를 포함하고, 상기 제1절개선은 상기 몸체부에 제1방향으로 형성되어 상기 몸체부를 한 쌍의 하프 몸체부로 양분하고, 상기 제2절개선은 상기 제1절개선의 일측 또는 타측에서 상기 제1방향에 교차하는 제2방향으로 형성되어 상기 하프 몸체부를 한 쌍의 쿼터 몸체부로 양분하고, 상기 제1절개선은 상기 한 쌍의 하프 몸체부의 양단부가 서로 연결되도록 상기 몸체부의 상기 제1방향 길이보다 짧은 길이로 형성되고, 상기 제2절개선은 상기 한 쌍의 쿼터 몸체부에서 상기 제1절개선 측에 위치하는 단부가 서로 연결되도록 상기 하프 몸체부의 상기 제2방향 길이보다 짧은 길이로 형성되고, 상기 제1절개선 및 상기 제2절개선이 벌어지면, 복수의 상기 쿼터 몸체부의 중심간의 거리가 멀어지도록 움직인다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 제1절개선의 양단부, 상기 제2절개선의 일단부 중 적어도 어느 하나에는 크랙 전파를 방지하는 크랙전파방지홀이 더 형성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 제1절개선의 일측 또는 타측의 상기 한 쌍의 쿼터 몸체부에는 각각 서로 포개지도록 힌지부가 형성되고, 한 쌍의 상기 힌지부는 상기 제1절개선의 일측 또는 타측에 위치되는 제1결합축에 의해 결합되며, 상기 한 쌍의 쿼터 몸체부는 각각 상기 제1결합축을 중심으로 회전할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 제1절개선의 일측 및 타측의 상기 한 쌍의 쿼터 몸체부에는 각각 서로 포개지도록 힌지부가 형성되고, 상기 제1절개선의 일측의 상기 한 쌍의 쿼터 몸체부에 형성되는 한 쌍의 상기 힌지부는 상기 제1절개선 상에 위치되는 제2결합축에 의해 결합되어 상기 제2결합축을 중심으로 회전하고, 상기 제1절개선의 타측의 상기 한 쌍의 쿼터 몸체부에 형성되는 한 쌍의 상기 힌지부는 상기 제2결합축과 동심축 상에 위치되는 제3결합축에 의해 결합되어 상기 제3결합축을 중심으로 회전할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 제1절개선 및 상기 제2절개선 중 적어도 어느 하나가 벌어지면 나머지 절개선도 벌어질 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 복수의 상기 쿼터 몸체부는 상기 제1방향 및 상기 제2방향으로 반복되어 마련되고, 상기 제2절개선은 이웃하는 다른 제2절개선과 연결될 수 있다.
한편, 본 발명의 일실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트를 이용한 소자 간격 제어방법은, 소자 간격 제어가 가능한 시트의 각각의 상기 쿼터 몸체부의 상면에 각각 제1간격으로 소자가 마련되는 소자 마련단계; 그리고 상기 제1절개선 및 상기 제2절개선이 벌어지게 하여 복수의 상기 쿼터 몸체부의 중심 간의 거리가 멀어지도록 이동시켜 각각의 상기 소자가 상기 제1간격보다 큰 제2간격으로 조절되도록 하는 제1간격조절단계를 포함한다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 소자 간격 제어가 가능한 시트는 전사용 스탬프(Stamp)일 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 제2간격으로 조절된 상태의 상기 각각의 소자에 대응되도록 상기 소자 간격 제어가 가능한 시트보다 넓은 면적으로 형성되는 대면적 시트를 추가로 마련하고, 상기 제2간격으로 조절된 상태의 각각의 상기 소자를 상기 대면적 시트의 대면적 쿼터 몸체부에 각각 점착시키는 점착단계; 상기 소자에서 상기 소자 간격 제어가 가능한 시트를 제거하는 제거단계; 그리고 각각의 상기 대면적 쿼터 몸체부의 중심 간의 거리가 멀어지도록 이동시켜 각각의 상기 소자가 상기 제2간격보다 큰 제3간격으로 조절되도록 하는 제2간격조절단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 소자 간격 제어가 가능한 시트는 상기 소자가 실장되는 기판일 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 소자 간격 제어가 가능한 시트는 제1방향으로 신장되도록 변형되면 제2방향으로도 신장되도록 변형이 발생하게 되고, 이때, 제1방향 및 제2방향으로의 변형량도 동일해질 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트를 이용하는 경우, 소자의 피치가 전체적으로 균일하게 증가하도록 제어할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 시트의 쿼터 몸체부의 회전 각도를 적절하게 조절함으로써 소자 간의 간격을 정수배뿐만 아니라, 소수배, 또는 2배 이하의 간격으로 조절하는 등의 다양한 피치 조절이 가능할 수 있다.
본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트를 나타낸 예시도이다.
도 2은 본 발명의 제1실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트를 나타낸 평면예시도이다.
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트에 소자가 마련된 상태의 예시도이다.
도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트를 나타낸 평면예시도이다.
도 5는 본 발명의 제3실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트를 나타낸 평면예시도이다.
도 6은 본 발명의 제4실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트를 나타낸 평면예시도이다.
도 7은 본 발명의 제1실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트가 반복되어 연결되는 형태를 나타낸 평면예시도이다.
도 8은 본 발명의 제1실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트를 이용한 소자 간격 제어방법을 나타낸 흐름도이다.
도 9는 본 발명의 제1실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트를 이용한 소자 간격 제어공정을 나타낸 예시도이다.
도 10은 본 발명의 제1실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트를 이용하여 간격이 제어된 소자를 전사하는 공정을 나타낸 예시도이다.
이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 따라서 여기에서 설명하는 실시예로 한정되는 것은 아니다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 “연결(접속, 접촉, 결합)”되어 있다고 할 때, 이는 “직접적으로 연결”되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 부재를 사이에 두고 “간접적으로 연결”되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 “포함”한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 구비할 수 있다는 것을 의미한다.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, “포함하다” 또는 “가지다” 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트를 나타낸 예시도이고, 도 2은 본 발명의 제1실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트를 나타낸 평면예시도인데, 도 2의 (a)는 소자 간격 제어가 가능한 시트(100)가 변형되기 전의 상태를 나타낸 것이고, 도 2의 (b)는 소자 간격 제어가 가능한 시트(100)가 변형된 후의 상태를 나타낸 것이다.
본 발명에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트(100)는 소자 전사용 스탬프(Stamp)이거나, 또는 소자가 실장되는 기판일 수 있다. 이하에서는 설명의 편의상 소자간격 제어가 가능한 시트(100)가 전사용 스탬프인 경우로 하여 설명한다.
도 1 및 도 2에서 보는 바와 같이, 소자 간격 제어가 가능한 시트(100)는 제1절개선(110) 및 제2절개선(120)을 가지는 몸체부(101)를 포함할 수 있다.
제1절개선(110)은 몸체부(101)에 제1방향(A1)으로 형성되어 몸체부(101)를 한 쌍의 하프 몸체부(150)로 양분할 수 있다.
그리고, 제1절개선(110)은 한 쌍의 하프 몸체부(150)의 양단부가 서로 연결되도록 몸체부(101)의 제1방향(A1) 길이(L1)보다 짧은 길이(L2)로 형성될 수 있다.
즉, 도 2의 (a)를 참조하면, 제1절개선(110)의 중앙은 하프 몸체부(150)의 제1방향(A1) 중앙에 위치될 수 있으며, 제1절개선(110)의 길이(L2)가 몸체부(101)의 제1방향(A1) 길이(L1)보다 짧기 때문에, 제1절개선(110) 상측의 하프 몸체부(150)와 제1절개선(110) 하측의 하프 몸체부(150)는 양단부가 서로 연결될 수 있다.
제2절개선(120)은 제1절개선(110)에 교차하는 방향으로 형성될 수 있으며, 제1절개선(110)을 기준으로 이격되게 한 쌍이 형성될 수 있다.
구체적으로, 제2절개선(120)은 제1절개선(110)의 일측 또는 타측에서 제1방향(A1)에 교차하는 제2방향(A2)으로 형성될 수 있으며, 하프 몸체부(150)를 한 쌍의 쿼터 몸체부(151)로 양분할 수 있다.
그리고, 제2절개선(120)은 한 쌍의 쿼터 몸체부(151)에서 제1절개선(110) 측에 위치하는 단부가 서로 연결되도록 하프 몸체부(150)의 제2방향(A2) 길이(L3)보다 짧은 길이(L4)로 형성될 수 있다.
도 2의 (a)를 참조하면, 제2절개선(120)은 제1절개선(110)의 상측 및 하측에 각각 마련될 수 있다.
그리고, 한 쌍의 제2절개선(120) 중에 제1절개선(110)의 상측에 마련되는 제2절개선(120)은 상단부가 몸체부(101)의 상단부에서부터 시작될 수 있다. 제2절개선(120)의 길이(L4)는 하프 몸체부(150)의 제2방향(A2) 길이(L3)보다 짧기 때문에, 제1절개선(110) 상측에 마련되는 한 쌍의 쿼터 몸체부(151)는 하단부가 서로 연결될 수 있다.
또한, 한 쌍의 제2절개선(120) 중에 제1절개선(110)의 하측에 마련되는 제2절개선(120)은 하단부가 몸체부(101)의 하단부에서부터 시작될 수 있다. 제2절개선(120)의 길이(L4)는 하프 몸체부(150)의 제2방향(A2) 길이(L3)보다 짧기 때문에, 제1절개선(110) 하측에 마련되는 한 쌍의 쿼터 몸체부(151)는 상단부가 서로 연결될 수 있다.
이처럼, 몸체부(101)는 제1절개선(110) 및 제2절개선(120)에 의해 복수의 쿼터 몸체부(151)로 나뉘어지되, 각각의 쿼터 몸체부(151)는 이웃하는 쿼터 몸체부(151)와 서로 연결되어 분리되지는 않게 된다.
따라서, 도 2의 (b)에서 보는 바와 같이, 제1절개선(110) 및 제2절개선(120)이 벌어지면, 복수의 쿼터 몸체부(151)는 각각의 중심간의 거리가 멀어지도록 움직일 수 있다. 여기서, 제1절개선(110) 및 제2절개선(120) 중 적어도 어느 하나가 벌어지면 나머지 절개선도 벌어질 수 있다.
종래의 스탬프는 한쪽방향으로 늘어나는 변형이 일어나면, 이에 수직인 방향으로는 줄어드는 변형이 일어나는 푸아송비(Poisson’s ratio)에 따르는 변형이 발생하게 된다.
물론, 종래의 스탬프를 한쪽방향과 이에 수직인 방향으로 모두 늘어나도록 변형시킬 수도 있으나, 이렇게 하더라도, 스탬프의 가운데 부분에서 늘어나는 변형량과 스탬프의 가장자리 부분에서 늘어나는 변형량이 다르게 된다. 따라서, 종래의 스탬프를 이용하여 소자의 피치를 조절하는 경우, 영역별로 소자 간의 피치가 달라지게 되다. 즉, 스탬프에 마련되는 소자의 피치가 전체적으로 균일하게 증가하도록 제어하기가 어렵다.
그러나, 본 발명에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트(100)는 제1방향(A1)으로 신장되도록 변형되면 제2방향(A2)으로도 신장되도록 변형이 발생하게 되고, 이때, 제1방향(A1) 및 제2방향(A2)으로의 변형량도 동일해질 수 있다.
따라서, 본 발명에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트(100)를 이용하는 경우, 소자의 피치가 전체적으로 균일하게 증가하도록 제어할 수 있다.
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트에 소자가 마련된 상태의 예시도인데, 도 3의 (a-1)은 소자 간격 제어가 가능한 시트가 변형되기 전의 형태를 나타낸 평면예시도이고, 도 3의 (a-2)는 도 3의 (a-1)의 정면예시도이다. 그리고, 도 3의 (b-1)은 소자 간격 제어가 가능한 시트가 변형된 후의 형태를 나타낸 평면예시도이고, 도 3의 (b-2)는 도 3의 (b-1)의 정면예시도이다.
먼저, 도 3의 (a-1) 및 (a-2)에서 보는 바와 같이, 각각의 쿼터 몸체부(151)의 상면에는 소자(200)가 마련될 수 있다. 이때, 서로 이웃하는 소자(200) 중심 간의 간격은 모두 동일한 제1간격(D1)을 이룰 수 있다. 즉, 각각의 소자(200)는 제1방향(A1) 및 제2방향(A2)을 따라 각각 제1간격(D1)으로 배치될 수 있다.
그러다가, 도 3의 (b-1) 및 (b-2)에서 보는 바와 같이, 제1절개선 및 제2절개선이 벌어지게 되어 각각의 쿼터 몸체부(151)가 이동되게 되면 각각의 소자(200)는 제1간격(D1)보다 큰 제2간격(D2)으로 벌어질 수 있다.
이때, 제2간격(D2)은 아래 식 (1)과 같이 표현될 수 있다.
식 (1) ---
Figure PCTKR2019014272-appb-I000001
여기서, θ는 제1방향의 가상의 기준선(SL)을 기준으로 제1절개선이 벌어진 각도이다.
따라서, 제2간격(D2)은 제1절개선이 벌어지는 각도(θ)를 조절함으로써 제어될 수 있다. 예를 들면, 소자(200) 간의 간격을 정수배뿐만 아니라, 소수배, 또는 2배 이하의 간격으로 조절하는 등의 다양한 피치 조절이 가능할 수 있다.
쿼터 몸체부(151) 및 소자(200)는 정사각형 또는 직사각형 형상일 수 있으며, 쿼터 몸체부(151) 및 소자(200)가 정사각형이거나 또는 직사각형 형상으로 형성되더라도 전술한 내용과 동일한 방식으로 소자의 간격은 조절될 수 있다.
한편, 제1절개부, 제2절개부 또는 쿼터 몸체부는 다양한 형태를 이룰 수 있다.
먼저, 도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트를 나타낸 평면예시도이다.
도 4에서 보는 바와 같이, 제1절개선(110)의 양단부, 제2절개선(120)의 일단부 중 적어도 어느 하나에는 크랙 전파를 방지하는 크랙전파방지홀(111,112)이 더 형성될 수 있다. 크랙전파방지홀(111,112)은 원형의 형태로 형성될 수 있다.
크랙전파방지홀(111,112)은 소자 간격 제어가 가능한 시트가 변형될 때, 제1절개선(110)의 양단부 및 제2절개선(120)의 일단부에서 크랙이 전파되지 않을 수 있도록 하여 소자 간격 제어가 가능한 시트가 파손되는 것이 방지되도록 할 수 있다.
그리고, 도 5는 본 발명의 제3실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트를 나타낸 평면예시도인데, 도 5에서 보는 바와 같이, 제1절개선(110)의 일측 또는 타측의 한 쌍의 쿼터 몸체부에는 각각 서로 포개지도록 힌지부가 형성될 수 있다.
즉, 제1절개선(110)의 상측의 한 쌍의 쿼터 몸체부(151a)에는 각각 서로 포개지도록 힌지부(152a)가 형성될 수 있고, 제1절개선(110)의 하측의 한 쌍의 쿼터 몸체부(151b)에도 각각 서로 포개지도록 힌지부(152b)가 형성될 수 있다.
그리고, 한 쌍의 힌지부(152a,152b)는 제1절개선(110)의 일측 또는 타측에 각각 위치되는 제1결합축(161a,161b)에 의해 결합될 수 있으며, 한 쌍의 쿼터 몸체부(151a,151b)는 각각 제1결합축(161a,161b)을 중심으로 회전할 수 있다.
즉, 제1절개선(110) 상측의 쿼터 몸체부(151a)에 형성되는 한 쌍의 힌지부(152a)는 제1결합축(161a)에 의해 결합될 수 있고, 쿼터 몸체부(151a)는 제1결합축(161a)을 중심으로 회전할 수 있다. 여기서, 제1결합축(161a)은 제1절개선(110) 보다 상측에 위치될 수 있다.
그리고, 제1절개선(110) 하측의 쿼터 몸체부(151b)에 형성되는 한 쌍의 힌지부(152b)는 제1결합축(161b)에 의해 결합될 수 있고, 쿼터 몸체부(151b)는 제1결합축(161b)을 중심으로 회전할 수 있다. 여기서, 제1결합축(161b)은 제1절개선(110) 보다 하측에 위치될 수 있다.
즉, 본 실시예에서는 제1실시예에서와 같이 하나의 하프 몸체부가 양분되어 형성되는 한 쌍의 쿼터 몸체부의 일부분이 서로 직접 일체로 연결되는 것이 아니라, 서로 포개지는 힌지부를 가지고, 이 힌지부가 결합축에 의해 결합되도록 구현될 수 있다. 여기서, 제2절개선은 이웃하는 각각의 쿼터 몸체부를 완전히 양분하도록 형성될 수 있다.
그리고, 도 6은 본 발명의 제4실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트를 나타낸 평면예시도인데, 도 6에서 보는 바와 같이, 제1절개선(110)의 일측 및 타측의 한 쌍의 쿼터 몸체부(151c,151d)에는 각각 서로 포개지도록 힌지부(152c,152d)가 형성될 수 있다.
그리고, 제1절개선(110) 일측의 한 쌍의 쿼터 몸체부(151c)에 형성되는 한 쌍의 힌지부(152c)는 제1절개선(110) 상에 위치되는 제2결합축(162)에 의해 결합될 수 있으며, 쿼터 몸체부(151c)는 제2결합축(162)을 중심으로 회전할 수 있다. 바람직하게는 제2결합축(162)은 소자 간격 제어가 가능한 시트의 정 중앙에 위치될 수 있다.
또한, 제1절개선(110) 타측의 한 쌍의 쿼터 몸체부(151d)에 형성되는 한 쌍의 힌지부(152d)는 제2결합축(162)과 동심축 상에 위치되는 제3결합축(163)에 의해 결합될 수 있으며, 한 쌍의 쿼터 몸체부(151d)는 제3결합축(163)을 중심으로 회전할 수 있다.
즉, 본 실시예에서는 각각의 쿼터 몸체부가 서로 포개지는 힌지부를 가지되, 제1절개선의 일측에 마련되는 한 쌍의 쿼터 몸체부와 제1절개선의 타측에 마련되는 한 쌍의 쿼터 몸체부가 각각 다른 결합축에 결합되어 독립적으로 회전되도록 구현될 수 있다. 그리고, 각각의 결합축이 소자 간격 제어가 가능한 시트의 정 중앙에 위치되도록 함으로써, 각각의 쿼터 몸체부는 소자 간격 제어가 가능한 시트의 중심을 기준으로 정확하게 변형되도록 유도될 수 있다.
그리고, 제1절개선 및 제2절개선은 이웃하는 각각의 쿼터 몸체부를 완전히 양분하도록 형성될 수 있다.
도 7은 본 발명의 제1실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트가 반복되어 연결되는 형태를 나타낸 평면예시도이다.
도 7에서 보는 바와 같이, 소자 간격 제어가 가능한 시트는 제1방향(A1) 및 제2방향(A2)으로 반복되어 마련될 수 있다.
이 경우, 제2절개선(120a)은 이웃하는 다른 제2절개선(120b)과 연결될 수 있으며, 이를 통해, 소자 간격 제어가 가능한 시트는 전술한 변형 특성이 유지되면서 면적은 확장될 수 있다.
이하에서는 소자 간격 제어가 가능한 시트를 이용한 소자 간격 제어방법에 대해서 설명한다.
도 8은 본 발명의 제1실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트를 이용한 소자 간격 제어방법을 나타낸 흐름도이다. 그리고, 도 9는 본 발명의 제1실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트를 이용한 소자 간격 제어공정을 나타낸 예시도인데, 도 9의 (a-1)은 대면적 시트가 변형되기 전의 형태를 나타낸 평면예시도이고, 도 9의 (a-2)는 도 9의 (a-1)의 정면예시도이다. 그리고, 도 9의 (b-1)은 대면적 시트가 변형된 후의 형태를 나타낸 평면예시도이고, 도 9의 (b-2)는 도 9의 (b-1)의 정면예시도이다.
도 3과 함께 도 8 및 도 9를 포함하여 보는 바와 같이, 소자 간격 제어가 가능한 시트를 이용한 소자 간격 제어방법은 소자 마련단계(S310) 그리고 제1간격조절단계(S320)를 포함할 수 있다.
소자 마련단계(S310)는 소자 간격 제어가 가능한 시트(100)의 각각의 쿼터 몸체부(151)의 상면에 각각 제1간격(D1)으로 소자(200)가 마련되는 단계일 수 있다.
소자 마련단계(S310)에서 소자(200)는 소자 간격 제어가 가능한 시트(100)가 변형되지 않은 상태에서 마련될 수 있다.
제1간격조절단계(S320)는 제1절개선(110) 및 제2절개선(120)이 벌어지게 하여 복수의 쿼터 몸체부(151)의 중심 간의 거리가 멀어지도록 이동시켜 각각의 소자(200)가 제1간격(D1)보다 큰 제2간격(D2)으로 조절되도록 하는 단계일 수 있다. 이를 통해, 처음에 제1간격(D1)으로 배열된 소자(200)는 제2간격(D2)으로 피치가 조절될 수 있다.
한편, 소자 간격 제어가 가능한 시트를 이용한 소자 간격 제어방법은 제2간격(D2)으로 피치가 증가된 소자(200)를 제2간격(D2)보다 큰 간격을 가지도록 더 이동시킬 수 있으며, 이를 통해, 소자(200) 간의 피치가 더욱 증가하도록 조절할 수 있다.
구체적으로, 소자 간격 제어가 가능한 시트를 이용한 소자 간격 제어방법은 점착단계(S330), 제거단계(S340) 그리고 제2간격조절단계(S350)를 포함할 수 있다.
그리고, 대면적 시트(400)가 추가로 마련될 수 있다. 대면적 시트(400)는 소자 간격 제어가 가능한 시트(100)보다 넓은 면적으로 형성될 수 있으며, 제2간격(D2)으로 조절된 상태의 각각의 소자(200)에 대응되도록 형성될 수 있다. 즉, 대면적 시트(400)가 변형되지 않은 상태에서 각각의 대면적 쿼터 몸체부(451)의 중심은 제2간격(D2)으로 형성될 수 있다. 대면적 시트(400)는 소자 간격 제어가 가능한 시트(100)와 마찬가지로 전사용 스탬프일 수 있다.
점착단계(S330)는 제2간격(D2)으로 조절된 상태의 각각의 소자(200)를 대면적 시트(400)의 대면적 쿼터 몸체부(451)에 각각 점착시키는 단계일 수 있다.
따라서, 도 9의 (a-1) 및 (a-2)에서 보는 바와 같이, 점착단계(S330)에서 소자(200)의 일면에는 소자 간격 제어가 가능한 시트(100)의 쿼터 몸체부(151)가 점착되고, 소자(200)의 타면에는 대면적 시트(400)의 대면적 쿼터 몸체부(451)가 점착될 수 있다.
제거단계(S340)는 소자(200)에서 소자 간격 제어가 가능한 시트(100)를 제거하는 단계일 수 있다. 이에 따라, 소자(200)는 대면적 쿼터 몸체부(451)에만 점착된 상태가 될 수 있다.
제2간격조절단계(S350)는 각각의 대면적 쿼터 몸체부(451)의 중심 간의 거리가 멀어지도록 이동시켜 각각의 소자(200)가 제2간격(D2)보다 큰 제3간격(D3)으로 조절되도록 하는 단계일 수 있다.
즉, 도 9의 (b-1) 및 (b-2)에서 보는 바와 같이, 대면적 시트의 제1절개선 및 제2절개선이 벌어지게 되어 각각의 대면적 쿼터 몸체부(451)가 이동되게 되면 각각의 소자(200)는 제2간격(D2)보다 큰 제3간격(D3)으로 벌어질 수 있다.
이때, 제3간격(D3)은 아래 식 (2)과 같이 표현될 수 있다.
식 (2) ---
Figure PCTKR2019014272-appb-I000002
여기서, θ는 제1방향의 가상의 기준선(SL)을 기준으로 제2절개선이 벌어진 각도이다.
따라서, 제3간격(D3)은 제2절개선이 벌어지는 각도(θ)를 조절함으로써 제어될 수 있다.
그리고, 제1간격조절단계(S320)에서 제1절개선이 벌어진 각도(θ)와 제2간격조절단계(S350)에서 제2절개선이 벌어진 각도(θ)가 동일한 경우, 대면적 쿼터 몸체부(451)에 제3간격(D3)으로 마련되는 소자(200)의 각도 상태는 소자 간격 제어가 가능한 시트(100)에 제1간격(D1)으로 소자가 마련되었던 상태와 동일한 각도 상태가 될 수 있다.
제3간격(D3)으로 소자(200)의 피치가 증가된 상태에서, 또 다른 대면적 시트가 더 마련되도록 함으로써 소자(200)는 제3간격(D3)보다 큰 피치를 가지도록 조절될 수 있다. 또한, 절개선이 벌어진 각도를 적절하게 조절하여 소자(200)가 초기에 마련되는 각도 상태와 다른 각도 상태가 되도록 할 수 있음도 물론이다.
도 10은 본 발명의 제1실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트를 이용하여 간격이 제어된 소자를 전사하는 공정을 나타낸 예시도이다.
도 10의 (a)에서 보는 바와 같이, 대면적 쿼터 몸체부(451)에 소자(200)가 제3간격(D3)으로 마련된 상태에서, 소자(200)는 타깃기판(TS)에 전사될 수 있다.
그리고 도 10의 (b)에서 보는 바와 같이, 소자(200)에서 대면적 쿼터 몸체부(451)가 분리되도록 하여 타깃기판(TS)에는 제3간격(D3)을 이루면서 소자(200)만 전사되도록 할 수 있다.
한편, 소자 간격 제어가 가능한 시트가 기판인 경우, 소자는 기판에 실장된 상태에서 피치가 증가하도록 간격이 조절될 수 있다.
따라서, 소자는 기판에 실장된 상태에서 타깃물체에 직접 마련될 수 있기 때문에, 타깃물체에 기판을 마련한 후, 기판에 다시 소자를 전사해야하는 번거로움이 해소될 수 있다.
특히, 타깃물체의 표면이 곡면을 가지거나 불규칙한 경우, 타깃물체에 기판을 마련하고, 이후 기판에 소자를 전사하는 것은 용이하지 않다. 그러나, 기판에 소자가 실장된 상태에서는 소자의 간격을 조절한 후 소자가 실장된 기판을 바로 타깃물체에 배치할 수 있기 때문에, 표면이 곡면을 가지거나 불규칙적인 타깃물체에도 소자를 용이하게 배치할 수 있다.
한편, 대면적 시트가 기판인 경우, 최초에 소자가 마련되는 소자 간격 제어가 가능한 시트는 전사용 스탬프로 할 수 있으며, 이를 통해, 소자의 간격을 요구되는 만큼 크게 할 수 있다.
전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본 발명의 범위는 후술하는 청구범위에 의하여 나타내어지며, 청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
(부호의 설명)
100: 소자 간격 제어가 가능한 시트
110: 제1절개선
111,112: 크랙전파방지홀
120: 제2절개선
150: 하프 몸체부
151,151a,151b,151c,151d: 쿼터 몸체부
152a,152b,152c,152d: 힌지부
161a,161b: 제1결합축
162: 제2결합축
163: 제3결합축
200: 소자
400: 대면적 시트
451: 대면적 쿼터 몸체부

Claims (10)

  1. 제1절개선과, 상기 제1절개선에 교차하는 방향으로 형성되고 상기 제1절개선을 기준으로 이격되게 형성되는 한 쌍의 제2절개선을 가지는 몸체부를 포함하고,
    상기 제1절개선은 상기 몸체부에 제1방향으로 형성되어 상기 몸체부를 한 쌍의 하프 몸체부로 양분하고,
    상기 제2절개선은 상기 제1절개선의 일측 또는 타측에서 상기 제1방향에 교차하는 제2방향으로 형성되어 상기 하프 몸체부를 한 쌍의 쿼터 몸체부로 양분하고,
    상기 제1절개선은 상기 한 쌍의 하프 몸체부의 양단부가 서로 연결되도록 상기 몸체부의 상기 제1방향 길이보다 짧은 길이로 형성되고,
    상기 제2절개선은 상기 한 쌍의 쿼터 몸체부에서 상기 제1절개선 측에 위치하는 단부가 서로 연결되도록 상기 하프 몸체부의 상기 제2방향 길이보다 짧은 길이로 형성되고,
    상기 제1절개선 및 상기 제2절개선이 벌어지면, 복수의 상기 쿼터 몸체부는 중심간의 거리가 멀어지도록 움직이는 소자 간격 제어가 가능한 시트.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1절개선의 양단부, 상기 제2절개선의 일단부 중 적어도 어느 하나에는 크랙 전파를 방지하는 크랙전파방지홀이 더 형성되는 소자 간격 제어가 가능한 시트.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1절개선의 일측 또는 타측의 상기 한 쌍의 쿼터 몸체부에는 각각 서로 포개지도록 힌지부가 형성되고, 한 쌍의 상기 힌지부는 상기 제1절개선의 일측 또는 타측에 위치되는 제1결합축에 의해 결합되며, 상기 한 쌍의 쿼터 몸체부는 각각 상기 제1결합축을 중심으로 회전하는 소자 간격 제어가 가능한 시트.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1절개선의 일측 및 타측의 상기 한 쌍의 쿼터 몸체부에는 각각 서로 포개지도록 힌지부가 형성되고, 상기 제1절개선의 일측의 상기 한 쌍의 쿼터 몸체부에 형성되는 한 쌍의 상기 힌지부는 상기 제1절개선 상에 위치되는 제2결합축에 의해 결합되어 상기 제2결합축을 중심으로 회전하고, 상기 제1절개선의 타측의 상기 한 쌍의 쿼터 몸체부에 형성되는 한 쌍의 상기 힌지부는 상기 제2결합축과 동심축 상에 위치되는 제3결합축에 의해 결합되어 상기 제3결합축을 중심으로 회전하는 소자 간격 제어가 가능한 시트.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1절개선 및 상기 제2절개선 중 적어도 어느 하나가 벌어지면 나머지 절개선도 벌어지는 소자 간격 제어가 가능한 시트.
  6. 제1항에 있어서,
    복수의 상기 쿼터 몸체부는 상기 제1방향 및 상기 제2방향으로 반복되어 마련되고, 상기 제2절개선은 이웃하는 다른 제2절개선과 연결되는 소자 간격 제어가 가능한 시트.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 하나의 항에 기재된 소자 간격 제어가 가능한 시트의 각각의 상기 쿼터 몸체부의 상면에 각각 제1간격으로 소자가 마련되는 소자 마련단계; 그리고
    상기 제1절개선 및 상기 제2절개선이 벌어지게 하여 복수의 상기 쿼터 몸체부의 중심 간의 거리가 멀어지도록 이동시켜 각각의 상기 소자가 상기 제1간격보다 큰 제2간격으로 조절되도록 하는 제1간격조절단계를 포함하는 소자 간격 제어가 가능한 시트를 이용한 소자 간격 제어방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 소자 간격 제어가 가능한 시트는 전사용 스탬프(Stamp)인 소자 간격 제어가 가능한 시트를 이용한 소자 간격 제어방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제2간격으로 조절된 상태의 상기 각각의 소자에 대응되도록 상기 소자 간격 제어가 가능한 시트보다 넓은 면적으로 형성되는 대면적 시트를 추가로 마련하고,
    상기 제2간격으로 조절된 상태의 각각의 상기 소자를 상기 대면적 시트의 대면적 쿼터 몸체부에 각각 점착시키는 점착단계;
    상기 소자에서 상기 소자 간격 제어가 가능한 시트를 제거하는 제거단계; 그리고
    각각의 상기 대면적 쿼터 몸체부의 중심 간의 거리가 멀어지도록 이동시켜 각각의 상기 소자가 상기 제2간격보다 큰 제3간격으로 조절되도록 하는 제2간격조절단계를 포함하는 소자 간격 제어가 가능한 시트를 이용한 소자 간격 제어방법.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 소자 간격 제어가 가능한 시트는 상기 소자가 실장되는 기판인 소자 간격 제어가 가능한 시트를 이용한 소자 간격 제어방법.
PCT/KR2019/014272 2018-10-29 2019-10-28 소자 간격 제어가 가능한 시트 및 이를 이용한 소자 간격 제어방법 Ceased WO2020091341A1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180130135A KR102123419B1 (ko) 2018-10-29 2018-10-29 소자 간격 제어가 가능한 시트 및 이를 이용한 소자 간격 제어방법
KR10-2018-0130135 2018-10-29

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2020091341A1 true WO2020091341A1 (ko) 2020-05-07

Family

ID=70461939

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/KR2019/014272 Ceased WO2020091341A1 (ko) 2018-10-29 2019-10-28 소자 간격 제어가 가능한 시트 및 이를 이용한 소자 간격 제어방법

Country Status (2)

Country Link
KR (1) KR102123419B1 (ko)
WO (1) WO2020091341A1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113102426A (zh) * 2021-04-01 2021-07-13 赵佳利 一种载玻片清洗装置

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102156263B1 (ko) * 2019-02-27 2020-09-16 서울대학교산학협력단 전사장치
KR102422764B1 (ko) * 2020-08-31 2022-07-20 한국기계연구원 신축성 기판
KR102368540B1 (ko) 2020-09-03 2022-02-28 한국기계연구원 신축성 기판 및 이를 이용한 소자 간격 제어방법
KR20240174969A (ko) * 2023-06-09 2024-12-18 재단법인 파동에너지 극한제어 연구단 신축성 패널, 3차원 곡면 패널 제조 방법 및 이에 의해 제조된 3차원 곡면 패널

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20060125620A (ko) * 2005-06-02 2006-12-06 더 보드 오브 트러스티즈 오브 더 유니버시티 오브 일리노이 탄성중합체 스탬프의 동력학적 접착 제어에 의한 패턴 전사인쇄
JP2013254913A (ja) * 2012-06-08 2013-12-19 Dainippon Printing Co Ltd ナノインプリント用テンプレート及びそれを用いたパターン形成方法
KR101461075B1 (ko) * 2013-05-21 2014-11-19 광주과학기술원 전사 인쇄용 기판, 전사 인쇄용 기판 제조 방법 및 전사 인쇄 방법
JP2016127115A (ja) * 2014-12-26 2016-07-11 リンテック株式会社 半導体装置の製造方法
US9391042B2 (en) * 2012-12-14 2016-07-12 Apple Inc. Micro device transfer system with pivot mount

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100871707B1 (ko) * 2007-03-30 2008-12-05 삼성전자주식회사 깨짐을 억제하는 몰딩부를 갖는 웨이퍼 레벨 패키지 및 그제조방법
KR20130093346A (ko) * 2012-02-14 2013-08-22 연세대학교 산학협력단 가변 프레임 및 전장 가변형 운송 장치
JP6170681B2 (ja) * 2013-01-24 2017-07-26 株式会社ディスコ 拡張装置および拡張方法
KR101521205B1 (ko) 2013-11-21 2015-05-18 한국기계연구원 접촉 제어를 통한 선택적 연속 전사 장치
WO2018003312A1 (ja) * 2016-06-30 2018-01-04 リンテック株式会社 半導体加工用シート
TW201841358A (zh) * 2016-12-27 2018-11-16 日商大日本印刷股份有限公司 間隔物、面光源裝置及影像顯示裝置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20060125620A (ko) * 2005-06-02 2006-12-06 더 보드 오브 트러스티즈 오브 더 유니버시티 오브 일리노이 탄성중합체 스탬프의 동력학적 접착 제어에 의한 패턴 전사인쇄
JP2013254913A (ja) * 2012-06-08 2013-12-19 Dainippon Printing Co Ltd ナノインプリント用テンプレート及びそれを用いたパターン形成方法
US9391042B2 (en) * 2012-12-14 2016-07-12 Apple Inc. Micro device transfer system with pivot mount
KR101461075B1 (ko) * 2013-05-21 2014-11-19 광주과학기술원 전사 인쇄용 기판, 전사 인쇄용 기판 제조 방법 및 전사 인쇄 방법
JP2016127115A (ja) * 2014-12-26 2016-07-11 リンテック株式会社 半導体装置の製造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113102426A (zh) * 2021-04-01 2021-07-13 赵佳利 一种载玻片清洗装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR102123419B1 (ko) 2020-06-17
KR20200049949A (ko) 2020-05-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2020091341A1 (ko) 소자 간격 제어가 가능한 시트 및 이를 이용한 소자 간격 제어방법
US7585703B2 (en) Pixel control element selection transfer method, pixel control device mounting device used for pixel control element selection transfer method, wiring formation method after pixel control element transfer, and planar display substrate
WO2019100522A1 (zh) 一种柔性阵列基板及其制作方法
WO2019124994A1 (ko) 변형필름을 이용한 전사방법
WO2019017670A1 (en) APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING LED MODULE
KR102793647B1 (ko) 증착 마스크 및 증착 마스크를 제조하고 사용하는 방법들
JPH0559576B2 (ko)
WO2020056906A1 (zh) 阵列基板及其制作方法，以及显示面板
WO2017067024A1 (zh) 色阻掩膜板及其使用方法
WO2022050667A1 (ko) 신축성 기판 및 이를 이용한 소자 간격 제어방법
WO2014084472A1 (ko) 웨이퍼 식각 시스템 및 이를 이용한 웨이퍼 식각 공정
WO2018074841A1 (ko) 캐리어 필름, 이를 이용한 소자 전사방법 및 소자 전사방법을 이용한 전자제품 제조방법
US7629263B2 (en) Semiconductor sensor production method and semiconductor sensor
WO2017201772A1 (zh) 阵列基板、液晶显示面板及阵列基板的制造方法
CN108288595B (zh) 一种光刻胶监控方法
WO2021045543A1 (ko) 전사필름, 전사필름을 이용한 전사방법 및 이를 이용하여 제조되는 전자제품
WO2015147438A1 (ko) 접착제를 이용하여 금속 박판을 적층한 반도체 검사 패드 및 제조방법
JP2004184978A (ja) 平面ディスプレイ基板
WO2015123894A1 (zh) 薄膜晶体管阵列基板及其制造方法
WO2020246855A1 (ko) 마이크로 led 전사 방법
JP4294311B2 (ja) 表示装置の作製方法および表示装置の加工基板
TWI808417B (zh) 在基板系統之間轉移對準標記的方法和系統
CN215451401U (zh) 一种对位标记结构
WO2023003286A1 (ko) 마스크 셀 시트부의 변형량 감축 방법 및 프레임 일체형 마스크의 제조 방법
CN106898621B (zh) 像素结构及其制造方法

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 19878794

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 19878794

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1