KR102123419B1 - 소자 간격 제어가 가능한 시트 및 이를 이용한 소자 간격 제어방법 - Google Patents

소자 간격 제어가 가능한 시트 및 이를 이용한 소자 간격 제어방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 일실시예는 균일하고 정밀한 간격의 제어가 가능한 소자 간격 제어가 가능한 시트 및 이를 이용한 소자 간격 제어방법을 제공한다. 여기서, 소자 간격 제어가 가능한 시트는 제1절개선과, 제1절개선에 교차하는 방향으로 형성되고 제1절개선을 기준으로 이격되게 형성되는 한 쌍의 제2절개선을 가지는 몸체부를 포함한다. 제1절개선은 몸체부에 제1방향으로 형성되어 몸체부를 한 쌍의 하프 몸체부로 양분한다. 제2절개선은 제1절개선의 일측 또는 타측에서 제1방향에 교차하는 제2방향으로 형성되어 하프 몸체부를 한 쌍의 쿼터 몸체부로 양분한다. 제1절개선은 한 쌍의 하프 몸체부의 양단부가 서로 연결되도록 몸체부의 제1방향 길이보다 짧은 길이로 형성되고, 제2절개선은 한 쌍의 쿼터 몸체부에서 제1절개선 측에 위치하는 단부가 서로 연결되도록 하프 몸체부의 제2방향 길이보다 짧은 길이로 형성되고, 제1절개선 및 제2절개선이 벌어지면, 복수의 쿼터 몸체부의 중심간의 거리가 멀어지도록 움직인다.

Description

소자 간격 제어가 가능한 시트 및 이를 이용한 소자 간격 제어방법{SHEET FOR CONTROLLING GAP BETWEEN DEVICE AND METHOD OF CONTROLLING GAP BETWEEN DEVICE USING THE SAME}
본 발명은 소자 간격 제어가 가능한 시트 및 이를 이용한 소자 간격 제어방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 균일하고 정밀한 간격의 제어가 가능한 소자 간격 제어가 가능한 시트 및 이를 이용한 소자 간격 제어방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 공정을 이용하는 고성능 소자들은 웨이퍼를 기반으로 한 코팅 공정, 노광 공정, 현상 공정, 식각 공정, 박막 공정, 이온주입 공정, 산화 공정, 확산 공정 등 다양한 방법을 통해 웨이퍼 기판 상에 구현이 된다. 이는 다이싱(dicing), 다이 본딩(die bonding), 와이어 본딩(wire bonding), 몰딩(molding) 등의 패키징 공정을 통하여 부품의 형태를 가지게 된다. 우리가 흔히 볼 수 있는 반도체, 메모리 칩(chip) 등이 이러한 과정을 통하여 생산이 이루어지게 된다.
한편, 인쇄 전자 기술을 기반으로 유연한 소자 부품을 제작하고자 하는 시도가 이루어지고 있으며, 주로 디스플레이, RFID, 태양광발전 등 일부 제품군에 대해 적용하는 사례가 등장하고 있다. 인쇄 전자 기술의 경우 반도체 공정에 비해 비교적 낮은 온도이거나 상온에서 이루어지는 것이 일반적이며, 코팅 공정, 프린팅 공정, 패터닝 공정 등에 의해 소자가 제작되며 배선 및 전극 형성을 위한 후공정과 접합이나 절단 등의 과정을 거쳐 유연한 부품을 얻을 수 있게 된다.
실제로 소자를 이용하여 디바이스를 제작하는 경우, 배선과 그 이외의 용도를 갖는 공간이 필요하게 된다. 즉 소자와 소자 사이에 공간이 필요하게 되는데, 타깃기판에 모든 소자를 한꺼번에 전사하게 되면 이러한 소자와 소자 사이의 공간이 형성될 수 없기 때문에 디바이스 제작에 어려움이 따른다.
또한, 디바이스가 단일 종류의 소자로 이루어진 경우가 아니라 여러 종류의 소자들로 이루어지는 경우에는, 하나의 소자를 전사한 후 그 부근에 다른 소자를 전사하여야 한다. 이러한 예시에서 알 수 있는 바와 같이, 디바이스 제작을 위한 소자 전사 공정에 있어서 소자를 선택적으로 전사하는 과정이 필요한 경우가 많다.
한편, 종래에 소자를 선택적으로 전사하는 기술은 소자의 간격을 크게 넓힐 수는 있지만 소자 간의 간격을 정밀하게 제어하기가 어렵고, 소자 간의 간격을 정수배로 조절하는 것은 가능한 반면, 소수배로 조절하거나, 2배 이하의 간격으로 제어하는 것은 어려운 문제점이 있다.
또한, 종래에 소자를 선택적으로 전사하는 기술에서는 포아송비(Poisson’s ratio)를 고려하여 소자가 점착된 스탬프를 2축 방향으로 변형시켜야 하는데, 2축 변형의 경우에 스트레인(Strain)이 균일하게 형성되는 영역이 좁아, 스탬프에 점착된 소자의 간격을 전체적으로 균일하게 조절하는 것이 어려운 문제점이 있다.
이러한 문제점은 태양전지를 선택적으로 전사하는 기술에서도 동일하게 발생할 수 있다.
대한민국 등록특허공보 제1521205호(2015.05.18. 공고)
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 균일하고 정밀한 간격의 제어가 가능한 소자 간격 제어가 가능한 시트 및 이를 이용한 소자 간격 제어방법을 제공하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일실시예는 제1절개선과, 상기 제1절개선에 교차하는 방향으로 형성되고 상기 제1절개선을 기준으로 이격되게 형성되는 한 쌍의 제2절개선을 가지는 몸체부를 포함하고, 상기 제1절개선은 상기 몸체부에 제1방향으로 형성되어 상기 몸체부를 한 쌍의 하프 몸체부로 양분하고, 상기 제2절개선은 상기 제1절개선의 일측 또는 타측에서 상기 제1방향에 교차하는 제2방향으로 형성되어 상기 하프 몸체부를 한 쌍의 쿼터 몸체부로 양분하고, 상기 제1절개선은 상기 한 쌍의 하프 몸체부의 양단부가 서로 연결되도록 상기 몸체부의 상기 제1방향 길이보다 짧은 길이로 형성되고, 상기 제2절개선은 상기 한 쌍의 쿼터 몸체부에서 상기 제1절개선 측에 위치하는 단부가 서로 연결되도록 상기 하프 몸체부의 상기 제2방향 길이보다 짧은 길이로 형성되고, 상기 제1절개선 및 상기 제2절개선이 벌어지면, 복수의 상기 쿼터 몸체부의 중심간의 거리가 멀어지도록 움직이는 것을 특징으로 하는 소자 간격 제어가 가능한 시트를 제공한다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 제1절개선의 양단부, 상기 제2절개선의 일단부 중 적어도 어느 하나에는 크랙 전파를 방지하는 크랙전파방지홀이 더 형성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 제1절개선의 일측 또는 타측의 상기 한 쌍의 쿼터 몸체부에는 각각 서로 포개지도록 힌지부가 형성되고, 한 쌍의 상기 힌지부는 상기 제1절개선의 일측 또는 타측에 위치되는 제1결합축에 의해 결합되며, 상기 한 쌍의 쿼터 몸체부는 각각 상기 제1결합축을 중심으로 회전할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 제1절개선의 일측 및 타측의 상기 한 쌍의 쿼터 몸체부에는 각각 서로 포개지도록 힌지부가 형성되고, 상기 제1절개선의 일측의 상기 한 쌍의 쿼터 몸체부에 형성되는 한 쌍의 상기 힌지부는 상기 제1절개선 상에 위치되는 제2결합축에 의해 결합되어 상기 제2결합축을 중심으로 회전하고, 상기 제1절개선의 타측의 상기 한 쌍의 쿼터 몸체부에 형성되는 한 쌍의 상기 힌지부는 상기 제2결합축과 동심축 상에 위치되는 제3결합축에 의해 결합되어 상기 제3결합축을 중심으로 회전할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 제1절개선 및 상기 제2절개선 중 적어도 어느 하나가 벌어지면 나머지 절개선도 벌어질 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 복수의 상기 쿼터 몸체부는 상기 제1방향 및 상기 제2방향으로 반복되어 마련되고, 상기 제2절개선은 이웃하는 다른 제2절개선과 연결될 수 있다.
한편, 상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일실시예는 소자 간격 제어가 가능한 시트의 각각의 상기 쿼터 몸체부의 상면에 각각 제1간격으로 소자가 마련되는 소자 마련단계; 그리고 상기 제1절개선 및 상기 제2절개선이 벌어지게 하여 복수의 상기 쿼터 몸체부의 중심 간의 거리가 멀어지도록 이동시켜 각각의 상기 소자가 상기 제1간격보다 큰 제2간격으로 조절되도록 하는 제1간격조절단계를 포함하는 소자 간격 제어가 가능한 시트를 이용한 소자 간격 제어방법을 제공한다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 소자 간격 제어가 가능한 시트는 전사용 스탬프(Stamp)일 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 제2간격으로 조절된 상태의 상기 각각의 소자에 대응되도록 상기 소자 간격 제어가 가능한 시트보다 넓은 면적으로 형성되는 대면적 시트를 추가로 마련하고, 상기 제2간격으로 조절된 상태의 각각의 상기 소자를 상기 대면적 시트의 대면적 쿼터 몸체부에 각각 점착시키는 점착단계; 상기 소자에서 상기 소자 간격 제어가 가능한 시트를 제거하는 제거단계; 그리고 각각의 상기 대면적 쿼터 몸체부의 중심 간의 거리가 멀어지도록 이동시켜 각각의 상기 소자가 상기 제2간격보다 큰 제3간격으로 조절되도록 하는 제2간격조절단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 소자 간격 제어가 가능한 시트는 상기 소자가 실장되는 기판일 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 소자 간격 제어가 가능한 시트는 제1방향으로 신장되도록 변형되면 제2방향으로도 신장되도록 변형이 발생하게 되고, 이때, 제1방향 및 제2방향으로의 변형량도 동일해질 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트를 이용하는 경우, 소자의 피치가 전체적으로 균일하게 증가하도록 제어할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 시트의 쿼터 몸체부의 회전 각도를 적절하게 조절함으로써 소자 간의 간격을 정수배뿐만 아니라, 소수배, 또는 2배 이하의 간격으로 조절하는 등의 다양한 피치 조절이 가능할 수 있다.
본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트를 나타낸 예시도이다.
도 2은 본 발명의 제1실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트를 나타낸 평면예시도이다.
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트에 소자가 마련된 상태의 예시도이다.
도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트를 나타낸 평면예시도이다.
도 5는 본 발명의 제3실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트를 나타낸 평면예시도이다.
도 6은 본 발명의 제4실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트를 나타낸 평면예시도이다.
도 7은 본 발명의 제1실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트가 반복되어 연결되는 형태를 나타낸 평면예시도이다.
도 8은 본 발명의 제1실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트를 이용한 소자 간격 제어방법을 나타낸 흐름도이다.
도 9는 본 발명의 제1실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트를 이용한 소자 간격 제어공정을 나타낸 예시도이다.
도 10은 본 발명의 제1실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트를 이용하여 간격이 제어된 소자를 전사하는 공정을 나타낸 예시도이다.
이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 따라서 여기에서 설명하는 실시예로 한정되는 것은 아니다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 “연결(접속, 접촉, 결합)”되어 있다고 할 때, 이는 “직접적으로 연결”되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 부재를 사이에 두고 “간접적으로 연결”되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 “포함”한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 구비할 수 있다는 것을 의미한다.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, “포함하다” 또는 “가지다” 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트를 나타낸 예시도이고, 도 2은 본 발명의 제1실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트를 나타낸 평면예시도인데, 도 2의 (a)는 소자 간격 제어가 가능한 시트(100)가 변형되기 전의 상태를 나타낸 것이고, 도 2의 (b)는 소자 간격 제어가 가능한 시트(100)가 변형된 후의 상태를 나타낸 것이다.
본 발명에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트(100)는 소자 전사용 스탬프(Stamp)이거나, 또는 소자가 실장되는 기판일 수 있다. 이하에서는 설명의 편의상 소자간격 제어가 가능한 시트(100)가 전사용 스탬프인 경우로 하여 설명한다.
도 1 및 도 2에서 보는 바와 같이, 소자 간격 제어가 가능한 시트(100)는 제1절개선(110) 및 제2절개선(120)을 가지는 몸체부(101)를 포함할 수 있다.
제1절개선(110)은 몸체부(101)에 제1방향(A1)으로 형성되어 몸체부(101)를 한 쌍의 하프 몸체부(150)로 양분할 수 있다.
그리고, 제1절개선(110)은 한 쌍의 하프 몸체부(150)의 양단부가 서로 연결되도록 몸체부(101)의 제1방향(A1) 길이(L1)보다 짧은 길이(L2)로 형성될 수 있다.
즉, 도 2의 (a)를 참조하면, 제1절개선(110)의 중앙은 하프 몸체부(150)의 제1방향(A1) 중앙에 위치될 수 있으며, 제1절개선(110)의 길이(L2)가 몸체부(101)의 제1방향(A1) 길이(L1)보다 짧기 때문에, 제1절개선(110) 상측의 하프 몸체부(150)와 제1절개선(110) 하측의 하프 몸체부(150)는 양단부가 서로 연결될 수 있다.
제2절개선(120)은 제1절개선(110)에 교차하는 방향으로 형성될 수 있으며, 제1절개선(110)을 기준으로 이격되게 한 쌍이 형성될 수 있다.
구체적으로, 제2절개선(120)은 제1절개선(110)의 일측 또는 타측에서 제1방향(A1)에 교차하는 제2방향(A2)으로 형성될 수 있으며, 하프 몸체부(150)를 한 쌍의 쿼터 몸체부(151)로 양분할 수 있다.
그리고, 제2절개선(120)은 한 쌍의 쿼터 몸체부(151)에서 제1절개선(110) 측에 위치하는 단부가 서로 연결되도록 하프 몸체부(150)의 제2방향(A2) 길이(L3)보다 짧은 길이(L4)로 형성될 수 있다.
도 2의 (a)를 참조하면, 제2절개선(120)은 제1절개선(110)의 상측 및 하측에 각각 마련될 수 있다.
그리고, 한 쌍의 제2절개선(120) 중에 제1절개선(110)의 상측에 마련되는 제2절개선(120)은 상단부가 몸체부(101)의 상단부에서부터 시작될 수 있다. 제2절개선(120)의 길이(L4)는 하프 몸체부(150)의 제2방향(A2) 길이(L3)보다 짧기 때문에, 제1절개선(110) 상측에 마련되는 한 쌍의 쿼터 몸체부(151)는 하단부가 서로 연결될 수 있다.
또한, 한 쌍의 제2절개선(120) 중에 제1절개선(110)의 하측에 마련되는 제2절개선(120)은 하단부가 몸체부(101)의 하단부에서부터 시작될 수 있다. 제2절개선(120)의 길이(L4)는 하프 몸체부(150)의 제2방향(A2) 길이(L3)보다 짧기 때문에, 제1절개선(110) 하측에 마련되는 한 쌍의 쿼터 몸체부(151)는 상단부가 서로 연결될 수 있다.
이처럼, 몸체부(101)는 제1절개선(110) 및 제2절개선(120)에 의해 복수의 쿼터 몸체부(151)로 나뉘어지되, 각각의 쿼터 몸체부(151)는 이웃하는 쿼터 몸체부(151)와 서로 연결되어 분리되지는 않게 된다.
따라서, 도 2의 (b)에서 보는 바와 같이, 제1절개선(110) 및 제2절개선(120)이 벌어지면, 복수의 쿼터 몸체부(151)는 각각의 중심간의 거리가 멀어지도록 움직일 수 있다. 여기서, 제1절개선(110) 및 제2절개선(120) 중 적어도 어느 하나가 벌어지면 나머지 절개선도 벌어질 수 있다.
종래의 스탬프는 한쪽방향으로 늘어나는 변형이 일어나면, 이에 수직인 방향으로는 줄어드는 변형이 일어나는 푸아송비(Poisson’s ratio)에 따르는 변형이 발생하게 된다.
물론, 종래의 스탬프를 한쪽방향과 이에 수직인 방향으로 모두 늘어나도록 변형시킬 수도 있으나, 이렇게 하더라도, 스탬프의 가운데 부분에서 늘어나는 변형량과 스탬프의 가장자리 부분에서 늘어나는 변형량이 다르게 된다. 따라서, 종래의 스탬프를 이용하여 소자의 피치를 조절하는 경우, 영역별로 소자 간의 피치가 달라지게 되다. 즉, 스탬프에 마련되는 소자의 피치가 전체적으로 균일하게 증가하도록 제어하기가 어렵다.
그러나, 본 발명에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트(100)는 제1방향(A1)으로 신장되도록 변형되면 제2방향(A2)으로도 신장되도록 변형이 발생하게 되고, 이때, 제1방향(A1) 및 제2방향(A2)으로의 변형량도 동일해질 수 있다.
따라서, 본 발명에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트(100)를 이용하는 경우, 소자의 피치가 전체적으로 균일하게 증가하도록 제어할 수 있다.
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트에 소자가 마련된 상태의 예시도인데, 도 3의 (a-1)은 소자 간격 제어가 가능한 시트가 변형되기 전의 형태를 나타낸 평면예시도이고, 도 3의 (a-2)는 도 3의 (a-1)의 정면예시도이다. 그리고, 도 3의 (b-1)은 소자 간격 제어가 가능한 시트가 변형된 후의 형태를 나타낸 평면예시도이고, 도 3의 (b-2)는 도 3의 (b-1)의 정면예시도이다.
먼저, 도 3의 (a-1) 및 (a-2)에서 보는 바와 같이, 각각의 쿼터 몸체부(151)의 상면에는 소자(200)가 마련될 수 있다. 이때, 서로 이웃하는 소자(200) 중심 간의 간격은 모두 동일한 제1간격(D1)을 이룰 수 있다. 즉, 각각의 소자(200)는 제1방향(A1) 및 제2방향(A2)을 따라 각각 제1간격(D1)으로 배치될 수 있다.
그러다가, 도 3의 (b-1) 및 (b-2)에서 보는 바와 같이, 제1절개선 및 제2절개선이 벌어지게 되어 각각의 쿼터 몸체부(151)가 이동되게 되면 각각의 소자(200)는 제1간격(D1)보다 큰 제2간격(D2)으로 벌어질 수 있다.
이때, 제2간격(D2)은 아래 식 (1)과 같이 표현될 수 있다.
식 (1) ---
Figure 112018106878496-pat00001
여기서, θ는 제1방향의 가상의 기준선(SL)을 기준으로 제1절개선이 벌어진 각도이다.
따라서, 제2간격(D2)은 제1절개선이 벌어지는 각도(θ)를 조절함으로써 제어될 수 있다. 예를 들면, 소자(200) 간의 간격을 정수배뿐만 아니라, 소수배, 또는 2배 이하의 간격으로 조절하는 등의 다양한 피치 조절이 가능할 수 있다.
쿼터 몸체부(151) 및 소자(200)는 정사각형 또는 직사각형 형상일 수 있으며, 쿼터 몸체부(151) 및 소자(200)가 정사각형이거나 또는 직사각형 형상으로 형성되더라고 전술한 내용과 동일한 방식으로 소자의 간격은 조절될 수 있다.
한편, 제1절개부, 제2절개부 또는 쿼터 몸체부는 다양한 형태를 이룰 수 있다.
먼저, 도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트를 나타낸 평면예시도이다.
도 4에서 보는 바와 같이, 제1절개선(110)의 양단부, 제2절개선(120)의 일단부 중 적어도 어느 하나에는 크랙 전파를 방지하는 크랙전파방지홀(111,112)이 더 형성될 수 있다. 크랙전파방지홀(111,112)은 원형의 형태로 형성될 수 있다.
크랙전파방지홀(111,112)은 소자 간격 제어가 가능한 시트가 변형될 때, 제1절개선(110)의 양단부 및 제2절개선(120)의 일단부에서 크랙이 전파되지 않을 수 있도록 하여 소자 간격 제어가 가능한 시트가 파손되는 것이 방지되도록 할 수 있다.
그리고, 도 5는 본 발명의 제3실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트를 나타낸 평면예시도인데, 도 5에서 보는 바와 같이, 제1절개선(110)의 일측 또는 타측의 한 쌍의 쿼터 몸체부에는 각각 서로 포개지도록 힌지부가 형성될 수 있다.
즉, 제1절개선(110)의 상측의 한 쌍의 쿼터 몸체부(151a)에는 각각 서로 포개지도록 힌지부(152a)가 형성될 수 있고, 제1절개선(110)의 하측의 한 쌍의 쿼터 몸체부(151b)에도 각각 서로 포개지도록 힌지부(152b)가 형성될 수 있다.
그리고, 한 쌍의 힌지부(152a,152b)는 제1절개선(110)의 일측 또는 타측에 각각 위치되는 제1결합축(161a,161b)에 의해 결합될 수 있으며, 한 쌍의 쿼터 몸체부(151a,151b)는 각각 제1결합축(161a,161b)을 중심으로 회전할 수 있다.
즉, 제1절개선(110) 상측의 쿼터 몸체부(151a)에 형성되는 한 쌍의 힌지부(152a)는 제1결합축(161a)에 의해 결합될 수 있고, 쿼터 몸체부(151a)는 제1결합축(161a)을 중심으로 회전할 수 있다. 여기서, 제1결합축(161a)은 제1절개선(110) 보다 상측에 위치될 수 있다.
그리고, 제1절개선(110) 하측의 쿼터 몸체부(151b)에 형성되는 한 쌍의 힌지부(152b)는 제1결합축(161b)에 의해 결합될 수 있고, 쿼터 몸체부(151b)는 제1결합축(161b)을 중심으로 회전할 수 있다. 여기서, 제1결합축(161b)은 제1절개선(110) 보다 하측에 위치될 수 있다.
즉, 본 실시예에서는 제1실시예에서와 같이 하나의 하프 몸체부가 양분되어 형성되는 한 쌍의 쿼터 몸체부의 일부분이 서로 직접 일체로 연결되는 것이 아니라, 서로 포개지는 힌지부를 가지고, 이 힌지부가 결합축에 의해 결합되도록 구현될 수 있다. 여기서, 제2절개선은 이웃하는 각각의 쿼터 몸체부를 완전히 양분하도록 형성될 수 있다.
그리고, 도 6은 본 발명의 제4실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트를 나타낸 평면예시도인데, 도 6에서 보는 바와 같이, 제1절개선(110)의 일측 및 타측의 한 쌍의 쿼터 몸체부(151c,151d)에는 각각 서로 포개지도록 힌지부(152c,152d)가 형성될 수 있다.
그리고, 제1절개선(110) 일측의 한 쌍의 쿼터 몸체부(151c)에 형성되는 한 쌍의 힌지부(152c)는 제1절개선(110) 상에 위치되는 제2결합축(162)에 의해 결합될 수 있으며, 쿼터 몸체부(151c)는 제2결합축(162)을 중심으로 회전할 수 있다. 바람직하게는 제2결합축(162)은 소자 간격 제어가 가능한 시트의 정 중앙에 위치될 수 있다.
또한, 제1절개선(110) 타측의 한 쌍의 쿼터 몸체부(151d)에 형성되는 한 쌍의 힌지부(152d)는 제2결합축(162)과 동심축 상에 위치되는 제3결합축(163)에 의해 결합될 수 있으며, 한 쌍의 쿼터 몸체부(151d)는 제3결합축(163)을 중심으로 회전할 수 있다.
즉, 본 실시예에서는 각각의 쿼터 몸체부가 서로 포개지는 힌지부를 가지되, 제1절개선의 일측에 마련되는 한 쌍의 쿼터 몸체부와 제1절개선의 타측에 마련되는 한 쌍의 쿼터 몸체부가 각각 다른 결합축에 결합되어 독립적으로 회전되도록 구현될 수 있다. 그리고, 각각의 결합축이 소자 간격 제어가 가능한 시트의 정 중앙에 위치되도록 함으로써, 각각의 쿼터 몸체부는 소자 간격 제어가 가능한 시트의 중심을 기준으로 정확하게 변형되도록 유도될 수 있다.
그리고, 제1절개선 및 제2절개선은 이웃하는 각각의 쿼터 몸체부를 완전히 양분하도록 형성될 수 있다.
도 7은 본 발명의 제1실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트가 반복되어 연결되는 형태를 나타낸 평면예시도이다.
도 7에서 보는 바와 같이, 소자 간격 제어가 가능한 시트는 제1방향(A1) 및 제2방향(A2)으로 반복되어 마련될 수 있다.
이 경우, 제2절개선(120a)은 이웃하는 다른 제2절개선(120b)과 연결될 수 있으며, 이를 통해, 소자 간격 제어가 가능한 시트는 전술한 변형 특성이 유지되면서 면적은 확장될 수 있다.
이하에서는 소자 간격 제어가 가능한 시트를 이용한 소자 간격 제어방법에 대해서 설명한다.
도 8은 본 발명의 제1실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트를 이용한 소자 간격 제어방법을 나타낸 흐름도이다. 그리고, 도 9는 본 발명의 제1실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트를 이용한 소자 간격 제어공정을 나타낸 예시도인데, 도 9의 (a-1)은 대면적 시트가 변형되기 전의 형태를 나타낸 평면예시도이고, 도 9의 (a-2)는 도 9의 (a-1)의 정면예시도이다. 그리고, 도 9의 (b-1)은 대면적 시트가 변형된 후의 형태를 나타낸 평면예시도이고, 도 9의 (b-2)는 도 9의 (b-1)의 정면예시도이다.
도 3과 함께 도 8 및 도 9를 포함하여 보는 바와 같이, 소자 간격 제어가 가능한 시트를 이용한 소자 간격 제어방법은 소자 마련단계(S310) 그리고 제1간격조절단계(S320)를 포함할 수 있다.
소자 마련단계(S310)는 소자 간격 제어가 가능한 시트(100)의 각각의 쿼터 몸체부(151)의 상면에 각각 제1간격(D1)으로 소자(200)가 마련되는 단계일 수 있다.
소자 마련단계(S310)에서 소자(200)는 소자 간격 제어가 가능한 시트(100)가 변형되지 않은 상태에서 마련될 수 있다.
제1간격조절단계(S320)는 제1절개선(110) 및 제2절개선(120)이 벌어지게 하여 복수의 쿼터 몸체부(151)의 중심 간의 거리가 멀어지도록 이동시켜 각각의 소자(200)가 제1간격(D1)보다 큰 제2간격(D2)으로 조절되도록 하는 단계일 수 있다. 이를 통해, 처음에 제1간격(D1)으로 배열된 소자(200)는 제2간격(D2)으로 피치가 조절될 수 있다.
한편, 소자 간격 제어가 가능한 시트를 이용한 소자 간격 제어방법은 제2간격(D2)으로 피치가 증가된 소자(200)를 제2간격(D2)보다 큰 간격을 가지도록 더 이동시킬 수 있으며, 이를 통해, 소자(200) 간의 피치가 더욱 증가하도록 조절할 수 있다.
구체적으로, 소자 간격 제어가 가능한 시트를 이용한 소자 간격 제어방법은 점착단계(S330), 제거단계(S340) 그리고 제2간격조절단계(S350)를 포함할 수 있다.
그리고, 대면적 시트(400)가 추가로 마련될 수 있다. 대면적 시트(400)는 소자 간격 제어가 가능한 시트(100)보다 넓은 면적으로 형성될 수 있으며, 제2간격(D2)으로 조절된 상태의 각각의 소자(200)에 대응되도록 형성될 수 있다. 즉, 대면적 시트(400)가 변형되지 않은 상태에서 각각의 대면적 쿼터 몸체부(451)의 중심은 제2간격(D2)으로 형성될 수 있다. 대면적 시트(400)는 소자 간격 제어가 가능한 시트(100)와 마찬가지로 전사용 스탬프일 수 있다.
점착단계(S330)는 제2간격(D2)으로 조절된 상태의 각각의 소자(200)를 대면적 시트(400)의 대면적 쿼터 몸체부(451)에 각각 점착시키는 단계일 수 있다.
따라서, 도 9의 (a-1) 및 (a-2)에서 보는 바와 같이, 점착단계(S330)에서 소자(200)의 일면에는 소자 간격 제어가 가능한 시트(100)의 쿼터 몸체부(151)가 점착되고, 소자(200)의 타면에는 대면적 시트(400)의 대면적 쿼터 몸체부(451)가 점착될 수 있다.
제거단계(S340)는 소자(200)에서 소자 간격 제어가 가능한 시트(100)를 제거하는 단계일 수 있다. 이에 따라, 소자(200)는 대면적 쿼터 몸체부(451)에만 점착된 상태가 될 수 있다.
제2간격조절단계(S350)는 각각의 대면적 쿼터 몸체부(451)의 중심 간의 거리가 멀어지도록 이동시켜 각각의 소자(200)가 제2간격(D2)보다 큰 제3간격(D3)으로 조절되도록 하는 단계일 수 있다.
즉, 도 9의 (b-1) 및 (b-2)에서 보는 바와 같이, 대면적 시트의 제1절개선 및 제2절개선이 벌어지게 되어 각각의 대면적 쿼터 몸체부(451)가 이동되게 되면 각각의 소자(200)는 제2간격(D2)보다 큰 제3간격(D3)으로 벌어질 수 있다.
이때, 제3간격(D3)은 아래 식 (2)과 같이 표현될 수 있다.
식 (2) ---
Figure 112018106878496-pat00002
여기서, θ는 제1방향의 가상의 기준선(SL)을 기준으로 제2절개선이 벌어진 각도이다.
따라서, 제3간격(D3)은 제2절개선이 벌어지는 각도(θ)를 조절함으로써 제어될 수 있다.
그리고, 제1간격조절단계(S320)에서 제1절개선이 벌어진 각도(θ)와 제2간격조절단계(S350)에서 제2절개선이 벌어진 각도(θ)가 동일한 경우, 대면적 쿼터 몸체부(451)에 제3간격(D3)으로 마련되는 소자(200)의 각도 상태는 소자 간격 제어가 가능한 시트(100)에 제1간격(D1)으로 소자가 마련되었던 상태와 동일한 각도 상태가 될 수 있다.
제3간격(D3)으로 소자(200)의 피치가 증가된 상태에서, 또 다른 대면적 시트가 더 마련되도록 함으로써 소자(200)는 제3간격(D3)보다 큰 피치를 가지도록 조절될 수 있다. 또한, 절개선이 벌어진 각도를 적절하게 조절하여 소자(200)가 초기에 마련되는 각도 상태와 다른 각도 상태가 되도록 할 수 있음도 물론이다.
도 10은 본 발명의 제1실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트를 이용하여 간격이 제어된 소자를 전사하는 공정을 나타낸 예시도이다.
도 10의 (a)에서 보는 바와 같이, 대면적 쿼터 몸체부(451)에 소자(200)가 제3간격(D3)으로 마련된 상태에서, 소자(200)는 타깃기판(TS)에 전사될 수 있다.
그리고 도 10의 (b)에서 보는 바와 같이, 소자(200)에서 대면적 쿼터 몸체부(451)가 분리되도록 하여 타깃기판(TS)에는 제3간격(D3)을 이루면서 소자(200)만 전사되도록 할 수 있다.
한편, 소자 간격 제어가 가능한 시트가 기판인 경우, 소자는 기판에 실장된 상태에서 피치가 증가하도록 간격이 조절될 수 있다.
따라서, 소자는 기판에 실장된 상태에서 타깃물체에 직접 마련될 수 있기 때문에, 타깃물체에 기판을 마련한 후, 기판에 다시 소자를 전사해야하는 번거로움이 해소될 수 있다.
특히, 타깃물체의 표면이 곡면을 가지거나 불규칙한 경우, 타깃물체에 기판을 마련하고, 이후 기판에 소자를 전사하는 것은 용이하지 않다. 그러나, 기판에 소자가 실장된 상태에서는 소자의 간격을 조절한 후 소자가 실장된 기판을 바로 타깃물체에 배치할 수 있기 때문에, 표면이 곡면을 가지거나 불규칙적인 타깃물체에도 소자를 용이하게 배치할 수 있다.
한편, 대면적 시트가 기판인 경우, 최초에 소자가 마련되는 소자 간격 제어가 가능한 시트는 전사용 스탬프로 할 수 있으며, 이를 통해, 소자의 간격을 요구되는 만큼 크게 할 수 있다.
전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본 발명의 범위는 후술하는 청구범위에 의하여 나타내어지며, 청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
100: 소자 간격 제어가 가능한 시트
110: 제1절개선
111,112: 크랙전파방지홀
120: 제2절개선
150: 하프 몸체부
151,151a,151b,151c,151d: 쿼터 몸체부
152a,152b,152c,152d: 힌지부
161a,161b: 제1결합축
162: 제2결합축
163: 제3결합축
200: 소자
400: 대면적 시트
451: 대면적 쿼터 몸체부

Claims (10)

  1. 제1절개선과, 상기 제1절개선에 교차하는 방향으로 형성되고 상기 제1절개선을 기준으로 이격되게 형성되는 한 쌍의 제2절개선을 가지는 몸체부를 포함하고,
    상기 제1절개선은 상기 몸체부에 제1방향으로 형성되어 상기 몸체부를 한 쌍의 하프 몸체부로 양분하고,
    상기 제2절개선은 상기 제1절개선의 일측 및 타측에서 상기 제1방향에 교차하는 제2방향으로 형성되어 상기 하프 몸체부를 한 쌍의 쿼터 몸체부로 양분하고,
    상기 제1절개선은 상기 한 쌍의 하프 몸체부의 양단부가 서로 연결되도록 상기 몸체부의 제1방향 길이보다 짧은 길이로 형성되고,
    상기 제2절개선은 상기 한 쌍의 쿼터 몸체부에서 상기 제1절개선 측에 위치하는 단부가 서로 연결되도록 상기 하프 몸체부의 제2방향 길이보다 짧은 길이로 형성되고,
    상기 제1절개선 및 상기 제2절개선이 벌어지면, 복수의 상기 쿼터 몸체부는 중심간의 거리가 멀어지도록 움직이는 것을 특징으로 하는 소자 간격 제어가 가능한 시트.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1절개선의 양단부, 상기 제2절개선의 일단부 중 적어도 어느 하나에는 크랙 전파를 방지하는 크랙전파방지홀이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 소자 간격 제어가 가능한 시트.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1절개선의 일측 또는 타측의 상기 한 쌍의 쿼터 몸체부에는 각각 서로 포개지도록 힌지부가 형성되고, 한 쌍의 상기 힌지부는 상기 제1절개선의 일측 또는 타측에 위치되는 제1결합축에 의해 결합되며, 상기 한 쌍의 쿼터 몸체부는 각각 상기 제1결합축을 중심으로 회전하는 것을 특징으로 하는 소자 간격 제어가 가능한 시트.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1절개선의 일측 및 타측의 상기 한 쌍의 쿼터 몸체부에는 각각 서로 포개지도록 힌지부가 형성되고, 상기 제1절개선의 일측의 상기 한 쌍의 쿼터 몸체부에 형성되는 한 쌍의 상기 힌지부는 상기 제1절개선 상에 위치되는 제2결합축에 의해 결합되어 상기 제2결합축을 중심으로 회전하고, 상기 제1절개선의 타측의 상기 한 쌍의 쿼터 몸체부에 형성되는 한 쌍의 상기 힌지부는 상기 제2결합축과 동심축 상에 위치되는 제3결합축에 의해 결합되어 상기 제3결합축을 중심으로 회전하는 것을 특징으로 하는 소자 간격 제어가 가능한 시트.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1절개선 및 상기 제2절개선 중 적어도 어느 하나가 벌어지면 나머지 절개선도 벌어지는 것을 특징으로 하는 소자 간격 제어가 가능한 시트.
  6. 제1항에 있어서,
    복수의 상기 쿼터 몸체부는 상기 제1방향 및 상기 제2방향으로 반복되어 마련되고, 상기 제2절개선은 이웃하는 다른 제2절개선과 연결되는 것을 특징으로 하는 소자 간격 제어가 가능한 시트.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 하나의 항에 기재된 소자 간격 제어가 가능한 시트의 각각의 상기 쿼터 몸체부의 상면에 각각 제1간격으로 소자가 마련되는 소자 마련단계; 그리고
    상기 제1절개선 및 상기 제2절개선이 벌어지게 하여 복수의 상기 쿼터 몸체부의 중심 간의 거리가 멀어지도록 이동시켜 각각의 상기 소자가 상기 제1간격보다 큰 제2간격으로 조절되도록 하는 제1간격조절단계를 포함하는 소자 간격 제어가 가능한 시트를 이용한 소자 간격 제어방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 소자 간격 제어가 가능한 시트는 전사용 스탬프(Stamp)인 것을 특징으로 하는 소자 간격 제어가 가능한 시트를 이용한 소자 간격 제어방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제2간격으로 조절된 상태의 상기 각각의 소자에 대응되도록 상기 소자 간격 제어가 가능한 시트보다 넓은 면적으로 형성되는 대면적 시트를 추가로 마련하고,
    상기 제2간격으로 조절된 상태의 각각의 상기 소자를 상기 대면적 시트의 대면적 쿼터 몸체부에 각각 점착시키는 점착단계;
    상기 소자에서 상기 소자 간격 제어가 가능한 시트를 제거하는 제거단계; 그리고
    각각의 상기 대면적 쿼터 몸체부의 중심 간의 거리가 멀어지도록 이동시켜 각각의 상기 소자가 상기 제2간격보다 큰 제3간격으로 조절되도록 하는 제2간격조절단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자 간격 제어가 가능한 시트를 이용한 소자 간격 제어방법.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 소자 간격 제어가 가능한 시트는 상기 소자가 실장되는 기판인 것을 특징으로 하는 소자 간격 제어가 가능한 시트를 이용한 소자 간격 제어방법.
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