WO2020044456A1 - 弁用ダイヤフラム及びダイヤフラム弁 - Google Patents

弁用ダイヤフラム及びダイヤフラム弁 Download PDF

Info

Publication number
WO2020044456A1
WO2020044456A1 PCT/JP2018/031926 JP2018031926W WO2020044456A1 WO 2020044456 A1 WO2020044456 A1 WO 2020044456A1 JP 2018031926 W JP2018031926 W JP 2018031926W WO 2020044456 A1 WO2020044456 A1 WO 2020044456A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
outer peripheral
axial direction
inner peripheral
diaphragm
peripheral portion
Prior art date
Application number
PCT/JP2018/031926
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
秀充 大岡
Original Assignee
伸和コントロールズ株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 伸和コントロールズ株式会社 filed Critical 伸和コントロールズ株式会社
Priority to CN201880096965.1A priority Critical patent/CN112639340A/zh
Priority to KR1020217003261A priority patent/KR102531640B1/ko
Priority to US17/269,068 priority patent/US11391382B2/en
Priority to JP2020539916A priority patent/JPWO2020044456A1/ja
Priority to PCT/JP2018/031926 priority patent/WO2020044456A1/ja
Publication of WO2020044456A1 publication Critical patent/WO2020044456A1/ja
Priority to JP2022020834A priority patent/JP7352986B2/ja

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
    • F16K7/12—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
    • F16K7/12—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
    • F16K7/14—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat
    • F16K7/16—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat the diaphragm being mechanically actuated, e.g. by screw-spindle or cam
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/02—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic
    • F16K31/06—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a magnet, e.g. diaphragm valves, cutting off by means of a liquid
    • F16K31/0644—One-way valve
    • F16K31/0672—One-way valve the valve member being a diaphragm
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K1/00—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
    • F16K1/32—Details
    • F16K1/34—Cutting-off parts, e.g. valve members, seats
    • F16K1/42—Valve seats
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K1/00—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
    • F16K1/32—Details
    • F16K1/34—Cutting-off parts, e.g. valve members, seats
    • F16K1/46—Attachment of sealing rings
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
    • F16K27/02—Construction of housing; Use of materials therefor of lift valves
    • F16K27/0236—Diaphragm cut-off apparatus
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
    • F16K27/02—Construction of housing; Use of materials therefor of lift valves
    • F16K27/029—Electromagnetically actuated valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/44—Mechanical actuating means
    • F16K31/52—Mechanical actuating means with crank, eccentric, or cam
    • F16K31/528—Mechanical actuating means with crank, eccentric, or cam with pin and slot

Definitions

  • the present invention relates to a valve diaphragm and a diaphragm valve provided with the same.
  • JP2014-169725A discloses a diaphragm valve including a valve body having a valve seat, a diaphragm serving as a valve body member detachably disposed on the valve seat, and a driving device for moving the diaphragm away from the valve seat. are doing.
  • valve body and the driving device are connected by bolts.
  • a tool for tightening the bolt is required, there is a problem that the connecting operation between the valve body and the driving device is troublesome.
  • the applicant of the present application has made use of the elasticity of the diaphragm and a pin inserted across the valve body and the drive device to connect the valve body and the drive device without using a tool.
  • a diaphragm valve which can be connected is proposed in JP 5819550B.
  • the applicant has previously used the diaphragm 100 shown in FIG. 14 in a diaphragm valve.
  • the diaphragm 100 shown in FIG. 14 has a cylindrical main valve body 101 that is connected to a shaft that the drive device moves forward and backward and that comes into contact with a valve seat, and a circle that protrudes from the outer peripheral surface of the main valve body 101.
  • An annular film portion 102 is provided.
  • the membrane part 102 is located between the outer peripheral part 103 and the main valve body part 101, and is provided between the outer peripheral part 103 and the main valve body part 101.
  • an annular inner peripheral portion 104 that couples In the diaphragm 100, the surface of the outer peripheral portion 103 and the surface of the inner peripheral portion 104 located on the valve seat side in the direction in which the shaft portion of the drive device moves forward and backward (hereinafter referred to as the axial direction) correspond to the valve in the main valve body portion 101. It is flush with the surface that contacts the seat.
  • the inner peripheral portion 104 is formed with an annular groove 105 that is recessed in the axial direction toward the valve seat and extends over the entire circumferential direction.
  • the thickness of the inner peripheral portion 104 is smaller than the thickness of the outer peripheral portion 103.
  • the inner peripheral portion 104 is smaller than the thickness of the outer peripheral portion 103, the inner peripheral portion 104 is easily deformed, and good sensitivity (followability) to the movement of the shaft portion of the driving device is obtained. can get.
  • the surfaces of the outer peripheral portion 103 and the inner peripheral portion 104 located on the side of the valve seat are flush with the surface of the main valve body 101 that contacts the valve seat, so that rigidity against fluid pressure is ensured, Fluid leakage can be effectively suppressed.
  • the diaphragm 100 opens and closes the valve seat by the main valve body portion 101 when the driving device moves the shaft portion forward and backward.
  • the present applicant has realized the durability of the diaphragm 100 by forming the diaphragm 100 with a specific rubber material so that the diaphragm 100 can withstand about one million opening and closing operations of the valve seat.
  • the applicant of the present application discloses that when the surface of the outer peripheral portion 103 and the surface of the inner peripheral portion 104 located on the side of the valve seat are flush with the surface of the main valve body 101 that contacts the valve seat, It has been found that durability can be impaired due to the influence of stress that sometimes occurs on the diaphragm.
  • the present invention has been realized by intensive studies based on the above findings, and can ensure good sensitivity to the operation of the driving device and good rigidity to the fluid pressure, and can improve the durability compared to the conventional valve. It is an object to provide a diaphragm for use and a diaphragm valve provided with the same.
  • the valve diaphragm according to the present invention has a cylindrical peripheral wall, a bottom wall that closes the peripheral wall from one side in the axial direction, and an opening that opens the peripheral wall to the other side in the axial direction.
  • the drive unit is coupled to the shaft unit in a state in which the drive unit moves forward and backward along the axial direction from the opening to the inside, and a valve seat is provided on an outer surface of the bottom wall facing one side in the axial direction. And a ring-shaped membrane extending radially from the outer peripheral surface of the main valve.
  • the membrane portion has an annular outer periphery that is sandwiched between a valve body in which the valve seat is formed and a case that forms a part of the driving device and is attached to the valve body while covering the shaft portion. And an annular inner peripheral portion that is located between the outer peripheral portion and the main valve body portion and that couples the outer peripheral portion and the main valve body portion.
  • the inner peripheral portion is recessed toward the other side in the axial direction from the boundary between the inner peripheral portion and the outer peripheral portion on one side in the axial direction and from the boundary with the main valve body, and over the entire area in the circumferential direction.
  • An annular groove extending is formed, and the cross-sectional shape of the groove is arc-shaped, and the surface of the inner peripheral portion and the surface of the outer peripheral portion facing the other side in the axial direction are flush with each other.
  • the thickness of the outer peripheral portion in the axial direction is not less than 2/5 and not more than 3/5 of the thickness of the main valve body in the axial direction, and the minimum thickness of the inner peripheral portion in the axial direction is And ⁇ or more and ⁇ or less of the thickness of the outer peripheral portion in the axial direction.
  • the inner peripheral edge of the inner peripheral portion is connected to a portion including the midpoint in the axial direction of the outer peripheral surface of the peripheral wall, and the surface of the outer peripheral portion facing one side in the axial direction is one side in the axial direction.
  • valve diaphragm is formed from an elastic material.
  • a diaphragm valve according to the present invention includes the valve diaphragm.
  • the diaphragm valve according to the present invention is formed inside the fluid chamber, the first port and the second port through which the fluid flows, the fluid chamber to which the first port and the second port are connected.
  • a valve body having an opening for exposing the valve seat to the outside in the fluid chamber, the valve diaphragm arranged to be detachable from the valve seat, and
  • a drive unit having an axially movable shaft connected to the main valve body of the valve diaphragm, and a case that accommodates the drive and is arranged to cover the opening,
  • a seal portion is formed at an outer peripheral edge of the opening in the fluid chamber, and a first mounting wall portion protruding so as to surround the opening is formed at an outer peripheral side portion of the seal portion, A second mounting wall portion is formed at an end of the case on the opening side so as to surround the shaft portion and is disposed on an inner peripheral side of the first mounting wall portion.
  • the first mounting wall has a first mounting hole into which the pin member is inserted, and the second mounting wall has a second mounting hole into which the pin member is inserted.
  • the driving device is attached to the valve body by inserting a member so as to straddle the first attachment hole and the second attachment hole.
  • An outer peripheral portion of a membrane portion of the valve diaphragm is sandwiched between the second mounting wall portion and the seal portion.
  • the pin member straddles the first mounting hole and the second mounting hole in a state where the outer peripheral portion is compressed toward the valve body side between the second mounting wall portion and the seal portion.
  • the pin member is pressed against the inner peripheral surface of the first mounting hole by urging the case in a direction in which the compressed outer peripheral portion moves away from the valve body.
  • the diaphragm in the diaphragm, good sensitivity to the operation of the driving device and good rigidity to the fluid pressure can be ensured, and the durability can be improved as compared with the related art.
  • FIG. 2 is a side view of the diaphragm valve as viewed in the direction of arrow II in FIG. 1.
  • FIG. 3 is a sectional view taken along the line III-III in FIG. 2.
  • FIG. 4 is a sectional view taken along the line IV-IV in FIG. 3.
  • FIG. 5 is an enlarged view of FIG. 4.
  • FIG. 6 is a sectional view corresponding to the line VI-VI in FIG. 5. It is sectional drawing of the diaphragm provided in the diaphragm valve shown in FIG.
  • FIG. 2 is a perspective view showing a state where a valve main body and a driving device of the diaphragm valve shown in FIG. 1 are separated.
  • FIG. 9 is a perspective view illustrating an operation of temporarily assembling the drive device shown in FIG. 8 to a valve body. From the state shown in FIG. 9, the driving device is pushed into the valve body side, and the pin member is inserted into the mounting hole formed on the valve body side and the mounting hole formed on the driving device side, thereby driving the valve body. It is a perspective view explaining the operation
  • FIG. 10 is a view for explaining a positional relationship between mounting holes on the valve body side and the drive device side corresponding to the state shown in FIG. 9.
  • FIG. 10 is a diagram illustrating a positional relationship between mounting holes on the valve body side and the drive device side when the drive device is pushed into the valve body side from the state shown in FIG. 9.
  • FIG. 10 is a diagram illustrating a positional relationship between mounting holes on the valve body side and the drive device side when the drive device is pushed into the valve body side from the state shown in FIG. 9.
  • FIG. 13 is a diagram illustrating a state after a pin member is inserted into the mounting holes on the valve body side and the drive device side from the state of FIG. 12. It is sectional drawing of the conventional diaphragm. It is a figure showing the state where the diaphragm concerning an embodiment was deformed with the drive. It is a figure which shows the state which deformed the conventional diaphragm shown in FIG. 14 with the drive device.
  • FIG. 1 is a perspective view of a diaphragm valve 1 according to one embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a side view of the diaphragm valve 1 as viewed in the direction of arrow II in FIG.
  • FIG. 3 is a sectional view taken along the line III-III of FIG. 2
  • FIG. 4 is a sectional view taken along the line IV-IV of FIG.
  • FIG. 5 is an enlarged view of FIG. 4
  • FIG. 6 is a sectional view taken along line VI-VI of FIG.
  • FIG. 7 is a sectional view of the diaphragm 20 provided in the diaphragm valve 1.
  • the diaphragm valve 1 As shown in FIGS. 1 to 4, the diaphragm valve 1 according to the present embodiment includes a valve body 10, a diaphragm 20 as a valve member, a driving device 30, and a pin member 40.
  • the driving device 30 is attached to the valve main body 10 by inserting the pin member 40 so as to straddle the valve main body 10 and the driving device 30.
  • the configuration of each part of the diaphragm valve 1 will be described in detail.
  • the valve body 10 includes a first port 11 and a second port 12 through which fluid flows, a fluid chamber 13 to which the first port 11 and the second port 12 are connected, and a valve seat formed inside the fluid chamber 13. 14.
  • the first port 11 has an outer tube 11A and an inner tube 11B communicating with each other, and the outer tube 11A and the inner tube 11B are connected so as to form an L-shape. It is composed of The outer tube portion 11A is connected to the fluid chamber 13 so as to penetrate the fluid chamber 13, and the inner tube portion 11B is bent from the end of the outer tube portion 11A on the inner side of the fluid chamber 13, and the distal end portion is bent. It opens inside the fluid chamber 13.
  • the above-described valve seat 14 is formed at the open end of the inner tube portion 11B of the first port 11. The formation of the valve seat 14 is not particularly limited.
  • the second port 12 is formed in a straight line.
  • the second port 12 is open inside the fluid chamber 13 similarly to the first port 11.
  • the first port 11, particularly the outer tube portion 11 ⁇ / b> A, and the second port 12 are connected to the fluid chamber 13 so as to extend on the same straight line. ing.
  • a piping member (not shown) is connected to each end of the first port 11 and the second port 12 located outside the fluid chamber 13.
  • the fluid chamber 13 is formed in a cylindrical shape, and an opening for exposing the valve seat 14 to the outside of the fluid chamber 13 is formed on one end portion in the axial direction, more precisely, on the inner peripheral surface of the one end portion. 15 are formed.
  • the opening 15 is formed in a circular shape in this example.
  • Reference symbol L ⁇ b> 1 in the figure indicates the central axis of the opening 15.
  • the opening 15 formed in the fluid chamber 13 is located outside the valve seat 14 formed at the opening end of the inner tube 11 ⁇ / b> B of the first port 11 in the direction of the center axis L ⁇ b> 1. ing.
  • the opening 15 in the present embodiment has a positional relationship facing the valve seat 14.
  • the opening 15 is formed in a circular shape, but may be formed in another shape such as a polygonal shape.
  • the fluid chamber 13 is formed in a cylindrical shape, but may be formed in another shape such as a rectangular cross section.
  • the opening 15 may be at the same position as the valve seat 14 in the direction of the central axis L1. Further, the valve seat 14 may be located outside the opening 15 in the direction of the central axis L1.
  • a seal portion 16 is formed at the outer peripheral edge of the opening portion 15 in the fluid chamber 13, and in the present embodiment, the seal portion 16 is formed in a flange shape.
  • the seal portion 16 has an inner seal portion 16A located on the inner peripheral side and an outer seal portion 16B located on the outer peripheral side.
  • the outer seal portion 16B projects outward in the direction of the center axis L1 from the inner seal portion 16A.
  • the diaphragm 20 described above is placed on the inner seal portion 16A.
  • an annular groove 16A1 is formed in a portion on the outer peripheral side of the inner seal portion 16A.
  • the diaphragm 20 is in contact with the inner peripheral portion of the inner seal portion 16A, and is in a floating state with respect to the outer peripheral groove 16A1.
  • a first mounting wall portion 17 protruding so as to surround the opening portion 15 is formed at a portion on the outer peripheral side of the outer seal portion 16B.
  • the first mounting wall portion 17 is , And is formed so as to surround the entire periphery of the opening 15.
  • the first mounting wall portion 17 has a substantially rectangular outer peripheral shape and a circular inner peripheral shape when viewed in the direction of the central axis L1 of the opening 15. (See FIG. 1, FIG. 6, etc.).
  • the first mounting wall portion 17 has a first mounting hole 18 into which the above-described pin member 40 is inserted.
  • FIG. 6 is a sectional view taken along the line VI-VI in FIG.
  • the first mounting hole 18 extends in a direction parallel to a first reference direction Ls1 defined in one of directions orthogonal to the central axis L1 of the opening 15. On (LL1, LR1), it is formed so as to penetrate the first mounting wall portion 17. More specifically, when viewed in the direction of the center axis L1, the first mounting hole 18 is on one side from the center axis L1 of the opening 15 (indicated by a two-dot chain line) along a direction orthogonal to the first reference direction Ls1.
  • the first mounting wall portion 17 It is formed so as to penetrate the first mounting wall portion 17 in a direction (LL1, LR1) extending parallel to the first reference direction Ls1 at each of positions separated by a predetermined offset distance D on the other side. That is, the first mounting holes 18 are formed as a pair.
  • the directions LL1 and LR1 are referred to as mounting hole extending directions LL1 and LR1.
  • the first reference direction Ls1 can be defined in any one of the directions orthogonal to the central axis L1 of the opening 15, but in the present embodiment, the first reference direction Ls1 is the same as in FIGS.
  • the first port 11 and the second port 12 are defined in a direction orthogonal to the central axis L1 of the opening 15 in a direction extending on the same straight line.
  • the direction (extending direction or penetrating direction) of the first mounting hole 18 can be confirmed using the direction in which the first port 11 and the second port 12 extend on the same straight line as a mark, which is advantageous.
  • each of the first mounting holes 18 is constituted by a front first mounting hole 18A located on one side in the mounting hole extending directions LL1 and LR1, and a rear first mounting hole 18B located on the other side. ing.
  • each of the first mounting holes 18 may be formed to extend continuously. Good. Further, in the present embodiment, one first mounting hole 18 is formed on each of one side and the other side with reference to the center axis L1 of the opening 15, but the number of the first mounting holes 18 is one. Or three or more. Further, the position where the first mounting hole 18 is formed is not limited to the mounting hole extending directions LL1 and LR1 shown in the drawing.
  • the diaphragm 20 As shown in FIGS. 3 to 5, the diaphragm 20 as a valve member is disposed so as to be able to be separated from and attached to the valve seat 14 while being placed on the above-described inner seal portion 16 ⁇ / b> A.
  • the diaphragm 20 is made of an elastic material having a bottomed cylindrical main valve body portion 21 disposed to face the valve seat 14 and a film portion 22 projecting from the outer peripheral surface of the main valve body portion 21. It is.
  • FIG. 7 is simply referred to as an axial direction, and a direction orthogonal to the center axis X1 is simply referred to as a radial direction. In FIG. 7, hatching is omitted for convenience of explanation.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view of the diaphragm 20 when the diaphragm 20 is cut along a plane including the axial direction and the radial direction.
  • main valve body portion 21 of diaphragm 20 in the present embodiment includes cylindrical peripheral wall 211, and bottom wall 212 that closes peripheral wall 211 from one axial side (the lower side in FIG. 7).
  • An annular support portion 213 projecting radially inward from the inner circumferential surface of the other end (the upper side in FIG. 7) of the peripheral wall 211 in the axial direction.
  • An opening 214 that opens the peripheral wall 211 to the other side in the axial direction is formed by the surface.
  • a connecting portion 215 is formed between the support portion 213 and the bottom wall 212 to which a distal end portion of a shaft portion 32 of an actuator main body 31 included in the driving device 30 described later is connected.
  • the diaphragm 20 is arranged so that the central axis X1 is coaxial with the central axis L1 of the opening 15 and the shaft 32, and forms a shaft 32 inside the opening 214 through which the driving device 30 moves forward and backward along the axial direction.
  • the connecting portion 215 is connected to the shaft portion 32 while being received.
  • a contact surface 216 with the valve seat 14 is formed on the outer surface of the bottom wall 212 facing one side (the lower side in FIG. 7) in the axial direction, and the contact surface 216 is formed as a flat surface.
  • the membrane portion 22 is formed in an annular shape and projects from the outer peripheral surface of the main valve body portion 21.
  • the film part 22 has an annular outer peripheral part 221 located on the outer peripheral side and an annular inner peripheral part 222 located on the inner peripheral side.
  • the outer peripheral portion 221 is sandwiched between the valve body 10 in which the valve seat 14 is formed and a case 33 which will be described later and which is a part of the driving device 30 and is attached to the valve body 10 while covering the shaft portion 32.
  • the inner peripheral portion 222 is located between the outer peripheral portion 221 and the main valve body portion 21 and connects the outer peripheral portion 221 and the main valve body portion 21.
  • the diaphragm 20 is connected to the distal end portion of the shaft portion 32 of the drive device 30 by the connection portion 215, and the outer peripheral portion 221 is sandwiched between the valve body 10 and the case 33 of the drive device 30. It is.
  • the shaft portion 32 connected to the connecting portion 215 moves, the diaphragm 20 separates (separates, abuts) from the valve seat 14.
  • the valve seat 14 is opened, and the first port 11 and the second port 12 communicate with each other.
  • the valve seat 14 closes and the first port 11 and the second port 12 are shut off.
  • the inner peripheral portion 222 of the membrane portion 22 in the present embodiment has a boundary with the outer peripheral portion 221 of the inner peripheral portion 222 on one axial side (the lower side in FIG. 7) and the main valve body portion 21.
  • An annular groove 223 that is recessed from the boundary to the other side in the axial direction (upper side in FIG. 7) and extends over the entire circumferential direction is formed.
  • the cross-sectional shape of the groove 223 when cut along a plane extending along the axial direction is an arc shape, specifically, a semicircle.
  • the cross-sectional shape of the groove 223 is not limited to a semicircular arc, and may be an arc having a central angle of less than 90 degrees. Further, the cross-sectional shape of the arc-shaped groove 223 may be along a true circular arc or may be along an elliptical arc.
  • D / W is at least 3 or more and 1 /.
  • D / W is halved because the cross-sectional shape of the groove 223 is semicircular.
  • the surface of the inner peripheral portion 222 and the surface of the outer peripheral portion 221 facing the other axial side are flat surfaces and are flush with each other. Further, a portion of the surface of the inner peripheral portion 222 facing the other side in the axial direction on the side of the main valve body portion 21 forms an arc surface and is smoothly connected to the outer peripheral surface of the main valve body portion 21.
  • the thickness T1 of the outer peripheral portion 221 in the axial direction is not less than 2/5 and not more than 3/5 of the thickness T0 of the main valve body 21 in the axial direction. Further, the minimum thickness T2 of the inner peripheral portion 222 in the axial direction is not less than 4 and not more than 3 of the thickness T1 of the outer peripheral portion 221. Although the values of T0 to T2 are not particularly limited, for example, the thickness T0 of the main valve body 21 may be 2.5 mm or more and 5 mm or less.
  • the inner peripheral edge 222A of the inner peripheral portion 222 (that is, the radially inner edge portion) indicated by the broken line in FIG. 7 is a portion including the midpoint C1 in the axial direction of the outer peripheral surface of the peripheral wall 211. Connected. Further, in the present embodiment, the axial midpoint C2 between the support portion 213 and the bottom wall 212 is located between both axial ends of the inner peripheral edge 222A of the inner peripheral portion 222.
  • the surface of the outer peripheral portion 221 facing one side in the axial direction (the lower side in FIG. 7) is formed from the contact surface 216 of the main valve body portion 21 facing the one side in the axial direction with the thickness T1 of the outer peripheral portion 221. It is located between a position distant to one side in the axial direction and a position distant to the other side by a distance of / 20.
  • the dimension D2 in the radial direction from the inner peripheral edge 222A of the inner peripheral portion 222 to the outer peripheral edge 222B of the inner peripheral portion indicated by the broken line in FIG. 7 is the radial direction from the inner peripheral edge 221A to the outer peripheral edge 221B of the outer peripheral portion 221. Is not less than 5/10 and not more than 7/10 of the dimension D1.
  • the radius D0 of the main valve body portion 21 is equal to or more than 1/2 and not more than twice the radial dimension D3 (D1 + D2) from the inner peripheral edge 222A of the inner peripheral portion 222 to the outer peripheral edge 221B of the outer peripheral portion 221. It is desirable.
  • the dimension D2 is 6/10 of the dimension D1.
  • the radius D0 is 7/8 of the dimension D3.
  • the driving device 30 includes an actuator main body 31 which is a driving unit having a reciprocating shaft 32 connected to the diaphragm 20, an actuator main body 31 which accommodates the actuator main body 31, and And a case 33 arranged to cover the portion 15.
  • the drive device 30 is configured to switch the communication between the first port 11 and the second port 12 and the cutoff by moving the diaphragm 20 toward and away from the valve seat 14 by the shaft portion 32.
  • the drive device 30 of the present embodiment is a solenoid, and the actuator body 31 is housed in the cylindrical case 33.
  • a case-side opening 33 ⁇ / b> A for extending the shaft 32 outward is formed at one end of the case 33 in the axial direction.
  • the actuator body 31 has a bobbin 34 housed in the case 33 coaxially with the case 33.
  • An electromagnetic coil 35 is wound around the bobbin 34.
  • a fixed iron core 36 and the above-described shaft portion 32 (plunger) are housed on the inner peripheral side of the bobbin 34.
  • the fixed iron core 36 is fixed to a portion of the inner peripheral side of the bobbin 34 opposite to the case-side opening 33 ⁇ / b> A so as not to be relatively movable with respect to the bobbin 34 and the case 33.
  • the shaft portion 32 is accommodated in a portion on the inner peripheral side of the bobbin 34 on the side of the case-side opening 33A so as to be able to move forward and backward with its tip extending outward from the case-side opening 33A.
  • a spring 32 ⁇ / b> S is arranged between the fixed iron core 36 and the shaft portion 32, and an engagement portion 32 ⁇ / b> A connected to the connection portion 215 of the diaphragm 20 is formed at the tip of the shaft portion 32. ing.
  • ⁇ L2 in the drawing indicates the central axis of the shaft portion 32, and the shaft portion 32 moves forward and backward (advance / retreat) along the central axis L2.
  • the shaft portion 32 retreats toward the fixed iron core 36 when a current is supplied to the electromagnetic coil 35.
  • the shaft portion 32 is provided with an urging force in the forward direction from the spring 32S.
  • the shaft portion 32 advances toward the valve seat 14 when the supply of the current to the electromagnetic coil 35 is stopped.
  • Reference numeral 33B in the drawing indicates a connector, and a current can be supplied to the electromagnetic coil 35 by connecting a cable to the connector 33B.
  • the connector 33B protrudes from the case 33 to the outer peripheral side.
  • a second mounting portion protruding from the end of the case 33 on the opening 15 side so as to surround the shaft portion 32 and disposed on the inner peripheral side of the first mounting wall portion 17.
  • a wall 37 is formed. That is, the case 33 has the cylindrical case main body 330 having the above-described case-side opening 33 ⁇ / b> A through which the shaft portion 32 passes at one end, and the second mounting wall 37.
  • the second mounting wall 37 rises from the outer peripheral edge of the case-side opening 33A and is separated from the peripheral wall of the case body 330 toward the case-side opening 33A.
  • the second mounting wall portion 37 is formed so as to surround the entire circumference of the shaft portion 32.
  • the outer peripheral surface of the second mounting wall portion 37 is formed in a circular shape inserted into the inner peripheral side of the first mounting wall portion 17 (see FIG. 6 and the like).
  • the second mounting wall portion 37 has a second mounting hole 38 into which the above-described pin member 40 is inserted.
  • the second mounting wall portion 37 of the present embodiment projects from the case main body 330 and has a front end portion facing the inner seal portion 16A and the outer seal portion 16B on the valve main body 10 side.
  • 37A and an elastic body contact portion 37B provided at a portion of the base portion 37A facing the inner seal portion 16A and protruding toward the inner seal portion 16A.
  • the elastic body contact portion 37B is formed in an annular shape, and is formed separately from the base portion 37A. Among these, the elastic body contact portion 37B is in contact with the outer peripheral portion 221 of the membrane portion 22 of the diaphragm 20.
  • the outer peripheral portion 221 of the membrane portion 22 of the diaphragm 20 is sandwiched between the elastic body contact portion 37B and the inner seal portion 16A.
  • the above-mentioned second mounting hole 38 is formed in the base 37A.
  • the relay cylinder portion 39 of the bobbin 34 is in contact with the inner peripheral portion of the base portion 37A.
  • the bobbin 34 includes a cylindrical portion around which the electromagnetic coil 35 is wound, a first flange portion radially extending from an outer peripheral surface of an end portion of the cylindrical portion on the side of the case-side opening 33A, and a case-side opening 33A of the cylindrical portion.
  • a second flange portion radially projecting from an outer peripheral surface of an end opposite to the above, and the above-described relay cylinder portion 39 axially protruding from an inner peripheral portion of the first flange portion. I have.
  • a portion on the inner peripheral side of the base portion 37A protrudes radially inward from the case-side opening portion 33A, and the relay tube portion 39 is in contact with this protruding portion. Therefore, the relay cylinder portion 39 contacts the inner peripheral portion of the base portion 37A while passing through the case-side opening portion 33A.
  • the outer peripheral part 221 of the membrane part 22 of the diaphragm 20 is located on the axial extension of the relay cylinder part 39.
  • the inner peripheral portion of the base portion 37A does not need to protrude radially inward from the case-side opening 33A, and in this case, the relay tube portion 39 is formed of the case-side opening 33A of the case body 330. The portion contacts the inner peripheral portion of the base portion 37A via the outer peripheral edge portion on the inner surface side.
  • the second mounting hole 38 extends in parallel with a second reference direction Ls2 defined in one of the directions orthogonal to the central axis L2 of the shaft portion 32.
  • Ls2 defined in one of the directions orthogonal to the central axis L2 of the shaft portion 32.
  • Ls2 the second reference direction
  • the second mounting holes 38 are formed on the one side and the other side from the center axis L2 of the shaft portion 32 along a direction orthogonal to the second reference direction Ls2.
  • the second mounting wall portion 37 is formed. That is, the second mounting holes 38 are formed as a pair.
  • the directions LL2 and LR2 are referred to as mounting hole extending directions LL2 and LR2.
  • FIG. 6 since the second reference direction Ls2 and the first reference direction Ls1 overlap, they are shown on the same straight line. Further, since the mounting hole extending direction LL2 and the mounting hole extending direction LL1 overlap, they are shown on the same straight line. Since the mounting hole extending direction LR2 and the mounting hole extending direction LR1 overlap, they are shown on the same straight line.
  • the second reference direction Ls2 can be defined in any one of the directions orthogonal to the center axis L2 of the shaft portion 32.
  • the second reference direction Ls2 is orthogonal to the center axis L2 of the shaft portion 32.
  • the direction in which the connector 33B provided in the case 33 protrudes is defined. In this case, the direction (extending direction or penetrating direction) of the second mounting hole 38 can be confirmed using the connector 33B as a mark, which is advantageous.
  • each of the second mounting holes 38 extends in a series in the mounting hole extending direction LL2, LR2. Further, the second mounting hole 38 is formed so as not to communicate with the internal space of the second mounting wall 37. Further, in the present embodiment, each of the second mounting holes 38 penetrates the second mounting wall 37 along the mounting hole extending directions LL2 and LR2, and also has an outer peripheral side (radial direction). Open to the public. That is, when viewed in the mounting hole extending directions LL2 and LR2, the second mounting hole 38 is formed in a U-shape that opens outward.
  • the second mounting wall portion 37 is disposed on the inner peripheral side of the first mounting wall portion 17, and the central axis L ⁇ b> 2 of the shaft portion 32 is aligned with the opening 15. Are arranged so as to be coaxial with the central axis L1.
  • the driving device 30 is attached to the valve body 10 by inserting the pin member 40 into the first attachment hole 18 and the second attachment hole 38.
  • the first mounting hole 18 is separated from the center axis L1 of the opening 15 by a predetermined offset distance D to one side and the other side along a direction orthogonal to the first reference direction Ls1.
  • the mounting hole extending directions LL1 and LR1 extending in parallel to the first reference direction Ls1, it is formed so as to penetrate the first mounting wall portion 17.
  • the second mounting hole 38 is located at a position separated from the center axis L2 of the shaft 32 by a predetermined offset distance D on one side and the other side along a direction orthogonal to the second reference direction Ls2.
  • the driving device 30 is pushed into the valve body 10 side, and the elastic body contact portion 37B of the second mounting wall portion 37 connects the outer peripheral portion 221 of the membrane portion 22 of the diaphragm 20 to the inner seal portion.
  • the first mounting hole 18 and the second mounting hole 38 overlap each other so that the pin member 40 can be inserted.
  • the driving device 30 is not pushed into the valve body 10 side, the second mounting wall portion 37 is disposed on the inner peripheral side of the first mounting wall portion 17, and the elastic body of the second mounting wall portion 37 In a state where the contact portion 37B is in contact with the outer peripheral portion 221 of the membrane portion 22 of the diaphragm 20, the first mounting hole 18 and the second mounting hole 38 overlap each other so that the pin member 40 can be inserted. Absent.
  • the driving device 30 is pushed into the valve body 10 side, and the elastic body contact portion 37B of the second mounting wall portion 37 connects the outer peripheral portion 221 of the membrane portion 22 of the diaphragm 20 to the inner seal portion 16A (valve portion).
  • the first mounting hole 18 and the second mounting hole 38 overlap each other so that the pin member 40 can be inserted. Therefore, in the present embodiment, when the driving device 30 is pushed into the valve body 10 and the first mounting hole 18 and the second mounting hole 38 overlap each other so that the pin member 40 can be inserted, the first mounting hole 18 The pin member 40 is inserted into the second mounting hole 38 and the second mounting hole 38.
  • the outer peripheral portion 221 of the compressed membrane portion 22 is moved away from the valve body 10 in a case of the driving device 30.
  • the pin 33 is urged, the pin member 40 is pressed against the inner peripheral surface of the first mounting hole 18. This prevents the pin member 40 from falling out of the first mounting hole 18 and the second mounting hole 38.
  • the outer peripheral portion of the membrane portion 22 is restored until the pin member 40 is pressed against the inner peripheral surface of the first mounting hole 18, but is compressed between the inner seal portion 16A and the elastic body contact portion 37B. Is maintained, air-tightness or liquid-tightness between the inner seal portion 16A and the elastic body contact portion 37B is suitably ensured.
  • the relay cylinder portion 39 of the bobbin 34 is in contact with the inner peripheral portion of the base portion 37A, and the outer peripheral portion 221 of the membrane portion 22 of the diaphragm 20 is located on the axial extension of the relay cylinder portion 39. positioned. Accordingly, a force for pushing the drive device 30 into the valve body 10 is transmitted from the case 33 to the base 37A and the elastic body contact portion 37B via the relay tube 39 of the bobbin 34 along the axial direction.
  • the outer peripheral part 221 of the film part 22 can be easily deformed. Thereby, the first mounting hole 18 and the second mounting hole 38 can be easily overlapped so that the pin member 40 can be inserted.
  • each of the second mounting holes 38 extends continuously in the mounting hole extending directions LL2 and LR2.
  • the mounting hole extending direction in the second mounting wall portion 37 is provided.
  • the portions where LL2 and LR2 extend do not extend in series, they may be divided and formed similarly to the first mounting hole 18.
  • the above-mentioned predetermined offset distance D is preferably larger than the radius of the shaft portion 32. If the predetermined offset distance D is larger than the radius of the shaft portion 32, it is advantageous because the pin member 40 is prevented from hindering the movement of the shaft portion 32 without performing special processing.
  • the pin member 40 of the present embodiment has a U-shape, and connects between a pair of first portions 41 extending in parallel with each other and ends of the pair of first portions 41. And a second portion 42.
  • One of the pair of first portions 41 straddles the first mounting hole 18 and the second mounting hole 38 located on one side with reference to the central axis (L1, L2) of the opening 15 and the shaft portion 32.
  • the other of the pair of first portions 41 has the first mounting hole 18 and the second mounting hole 18 located on the other side with respect to the center axis (L1, L2) of the opening 15 and the shaft portion 32. It is inserted so as to straddle the hole 38. More specifically, each of the pair of first portions 41 is inserted from the front first mounting hole 18A of the first mounting hole 18 through the second mounting hole 38 to the rear first mounting hole 18B. .
  • the pair of first portions 41 are respectively inserted so as to straddle the first mounting hole 18 and the second mounting hole 38 which overlap each other. It has a portion 41A and an offset portion 42B that bends and extends from the insertion portion 41A.
  • the second portion 42 connects between the ends of the offset portions 42B on the side opposite to the end on the insertion portion 41A side.
  • the first portion 41 of the pin member 40 is urged by urging the case 33 of the driving device 30 in a direction in which the outer peripheral portion 221 of the compressed membrane portion 22 moves away from the valve body 10.
  • Each of the insertion portions 41 ⁇ / b> A is pressed against the inner peripheral surface of the first mounting hole 18. This prevents each of the first portions 41 of the pin member 40 from falling out of the first mounting hole 18 and the second mounting hole 38.
  • the second portion 42 is separated from the insertion portion 41A inserted into the first mounting hole 18 and the second mounting hole 38.
  • the shaft part 32 is separated to one side or the other side in the axial direction.
  • the second portion 42 is located radially outside the peripheral wall of the case main body 330.
  • the pin member 40 can be easily inserted and removed.
  • FIG. 8 shows a state where the valve body 10 and the driving device 30 are separated.
  • the drive device 30 is temporarily assembled to the valve body 10.
  • the connecting portion 215 of the diaphragm 20 is connected to the engaging portion 32A of the shaft portion 32, and the elastic body contact portion 37B is placed on the diaphragm 20. Is done.
  • the diaphragm 20, the elastic body contact portion 37B, and the shaft portion 32 are placed on the seal portion 16 of the valve body 10.
  • the second mounting wall portion 37 is disposed on the inner peripheral side of the first mounting wall portion 17 as shown by the arrow, and the driving device 30 is mounted on the valve body 10 as shown in FIG. .
  • the base portion 37A of the second mounting wall portion 37 comes into contact with the outer peripheral portion 221 of the membrane portion 22 of the diaphragm 20 via the elastic body contact portion 37B.
  • FIG. 11 is a diagram illustrating a positional relationship between the first mounting hole 18 and the second mounting hole 38 corresponding to the state illustrated in FIG. As shown in FIG. 11, in this temporary assembly state, a part of the first mounting hole 18 overlaps the outer peripheral edge of the second mounting hole 38, and the first mounting hole 18 and the second mounting hole 38 However, the pin members 40 are not overlapped so that they can be inserted.
  • FIG. 12 is a diagram illustrating a positional relationship between the first mounting hole 18 and the second mounting hole 38 when the drive device 30 is pushed into the valve body 10 by a predetermined distance from the state illustrated in FIG. 9. As shown in FIG. 12, in this state, the first mounting hole 18 moves toward the valve body 10 by a predetermined distance from the state shown in FIG. And the pin members 40 are overlapped so as to be insertable.
  • each of the first portions 41 of the pin member 40 It is inserted into the mounting hole 18 and the second mounting hole 38.
  • the outer peripheral portion 221 of the compressed membrane portion 22 urges the case 33 of the driving device 30 in a direction away from the valve body 10.
  • the pin member 40 is pressed against the inner peripheral surface of the first mounting hole 18. This prevents the pin member 40 from falling out of the first mounting hole 18 and the second mounting hole 38.
  • the outer peripheral portion 221 of the membrane portion 22 is restored until the pin member 40 is pressed against the inner peripheral surface of the first mounting hole 18, but is compressed between the inner seal portion 16A and the elastic body contact portion 37B. The state is maintained. Thereby, airtightness or liquid tightness between the inner seal portion 16A and the elastic body contact portion 37B is suitably secured.
  • the drive device 30 is attached to the valve body 10.
  • the drive device 30 can be removed from the valve body 10 by removing the pin member 40 from the first mounting hole 18 and the second mounting hole 38. At this time, the driving device 30 is pushed into the valve body 10 side to relax or release the state where each of the first portions 41 of the pin member 40 is pressed against the inner peripheral surface of the first mounting hole 18. In addition, the pin member 40 can be smoothly removed from the first mounting hole 18 and the second mounting hole 38.
  • the diaphragm valve 1 uses a tool by utilizing the elasticity of the diaphragm 20 and the pin member 40 inserted across the valve body 10 and the driving device 30.
  • the valve main body 10 and the driving device 30 can be easily connected without the need.
  • the diaphragm 20 is devised with respect to the shape and dimensional conditions. As a result, good sensitivity to the operation of the driving device 30 and good rigidity to the fluid pressure can be ensured, and the durability can be improved as compared with the conventional case (diaphragm in FIG. 14).
  • the inner peripheral portion 222 of the membrane portion 22 is located on one side in the axial direction from the boundary with the outer peripheral portion 221 of the inner peripheral portion 222 and the boundary with the main valve body portion 21.
  • An annular groove 223 that is concave to the other side in the axial direction and extends over the entire area in the circumferential direction is formed, and the cross-sectional shape of the groove 223 is an arc. Accordingly, the inner peripheral portion 222 is made thinner so that appropriate flexibility is provided, and good sensitivity to the operation of the driving device 30 is secured.
  • the surface of the groove 223 exposed to the fluid pressure is in an arc shape, the fluid pressure can be dispersed, and as a result, good rigidity against the fluid pressure can be secured.
  • the surface of the inner peripheral portion 222 and the surface of the outer peripheral portion 221 facing the other side in the axial direction are flush with each other, rigidity against deformation of the inner peripheral portion 222 due to fluid pressure is ensured. Good rigidity against fluid pressure can be secured.
  • the inner peripheral edge 222A of the inner peripheral portion 222 is connected to a portion including the axial midpoint of the outer peripheral surface of the peripheral wall 211.
  • the surface of the outer peripheral portion 221 facing one side in the axial direction is a distance of 3/20 of the thickness T1 of the outer peripheral portion 221 in the axial direction from the contact surface 216 of the main valve body portion 21 facing one side in the axial direction. It is located only between the position distant to one side in the axial direction and the position distant to the other side. Further, by defining various dimensional conditions relating to the thickness and the diameter, the stress when the diaphragm 20 is opened and closed is suppressed. Thereby, durability can be improved.
  • FIG. 15A is a diagram illustrating a state in which the diaphragm 20 according to the embodiment is deformed by the driving device 30.
  • FIG. 15B is a diagram showing a state in which the conventional diaphragm 100 shown in FIG. 14 is deformed by a driving device.
  • the diaphragm 20 shown in FIG. 15A and the diaphragm 100 shown in FIG. 15B have the same dimensions with respect to thickness and diameter.
  • the stress of the portion indicated by the symbol A in FIG. was 0.1 MPa
  • the stress of the portion indicated by the symbol C was 0.45 MPa
  • the conventional diaphragm 100 shown in FIG. 15B is stroked under the same conditions
  • the stress of the portion indicated by the symbol A ′ in FIG. 15B is 1.62 MPa
  • the stress of the portion indicated by the symbol B ′ is 3 .19 MPa
  • the stress at the portion indicated by the symbol C ′ was 1.60 MPa.
  • the diaphragm 20 according to the present embodiment can improve the durability as compared with the related art by suppressing the stress at the time of opening and closing as described above.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Fluid-Driven Valves (AREA)
  • Details Of Valves (AREA)
  • Diaphragms And Bellows (AREA)
  • Valve Housings (AREA)
  • Lift Valve (AREA)

Abstract

実施形態のダイヤフラムでは、主弁体部を構成する円筒状の周壁を軸方向一方側から閉鎖する底壁の外面が弁座との接触面を形成する。周壁から張り出す膜部の内周部分に、軸方向一方側から他方側へ凹み且つ周方向に延びる溝が形成され、溝の断面形状は円弧状である。膜部において軸方向他方側を向く内周部分の面および外周部分の面は面一であり、外周部分の厚さは主弁体部の厚さの２／５以上３／５以下であり、内周部分の最小の厚さは外周部分の厚さの１／４以上１／３以下である。内周部分の内周縁は、周壁の外周面の軸方向における中点を含む部分に接続し、軸方向一方側を向く外周部分の面は、接触面から外周部分の厚さの３／２０の距離だけ軸方向の一方側に離れた位置と他方側に離れた位置との間に位置する。内周部分の内周縁から外周縁までの径方向の寸法は、外周部分の内周縁から外周縁までの径方向の寸法の５／１０以上７／１０以下である。

Description

弁用ダイヤフラム及びダイヤフラム弁
　本発明は、弁用ダイヤフラム及びこれを備えるダイヤフラム弁に関する。
　例えばＪＰ２０１４－１６９７２５Ａは、弁座を有する弁本体と、弁座に離接可能に配置される弁体部材としてのダイヤフラムと、ダイヤフラムを弁座から離接させる駆動装置と、を備えるダイヤフラム弁を開示している。
　ＪＰ２０１４－１６９７２５Ａに開示されたダイヤフラム弁では、弁本体と駆動装置とがボルトによって連結される。しかし、ボルトを締め付けるための工具が必要となるため、弁本体と駆動装置との連結作業に手間がかかるという問題がある。
　そこで本件出願人は、上記の問題を考慮し、ダイヤフラムの弾性と、弁本体および駆動装置に跨がって挿入されるピンとを利用することで、工具を用いることなく弁本体と駆動装置とを連結することができるダイヤフラム弁をＪＰ５８１９５５０Ｂにおいて提案している。
　本件出願人は、以前、図１４に示されるダイヤフラム１００をダイヤフラム弁において使用していた。図１４に示されるダイヤフラム１００は、駆動装置が進退動させる軸部に連結されるとともに弁座に接触される筒状の主弁体部１０１と、主弁体部１０１の外周面から張り出す円環状の膜部１０２と、を備えている。
　膜部１０２は、弁本体と駆動装置との間に挟み込まれる円環状の外周部分１０３と、外周部分１０３と主弁体部１０１との間に位置して、外周部分１０３と主弁体部１０１とを結合する円環状の内周部分１０４と、を有している。このダイヤフラム１００では、駆動装置の軸部が進退動する方向（以下、軸方向）で弁座の側に位置する外周部分１０３の面及び内周部分１０４の面が、主弁体部１０１における弁座に接触する面と面一となっている。一方で、内周部分１０４には、軸方向で弁座の側に凹み、且つ周方向の全域にわたって延びる円環状の溝１０５が形成されている。これにより、内周部分１０４の厚さは外周部分１０３の厚さよりも小さくなっている。
　ダイヤフラム１００では、内周部分１０４の厚さが外周部分１０３の厚さよりも小さくなることで、内周部分１０４が変形し易くなり、駆動装置の軸部の移動に対する良好な感度（追従性）が得られる。一方で、弁座の側に位置する外周部分１０３及び内周部分１０４の面は、主弁体部１０１の弁座に接触する面と面一であることで、流体圧に対する剛性が確保され、流体の漏れ出しを効果的に抑制できる。
　またダイヤフラム１００は、駆動装置が軸部を進退動させることにより、主弁体部１０１によって弁座を開閉する。本件出願人は、ダイヤフラム１００を特定のゴム材料で形成することにより、１００万回程度の弁座の開閉動作に耐え得る耐久性をダイヤフラム１００において実現した。
　しかしながら、本件出願人は、弁座の側に位置する外周部分１０３の面及び内周部分１０４の面が、主弁体部１０１の弁座に接触する面と面一である場合には、開閉時にダイヤフラムに生じる応力の影響により、耐久性が損なわれ得ることを知見した。
　本発明は、上記知見に基づく鋭意研究により実現されたものであり、駆動装置の動作に対する良好な感度および流体圧に対する良好な剛性を確保できるとともに、従来よりも耐久性を向上させることができる弁用ダイヤフラム及びこれを備えるダイヤフラム弁を提供することを目的とする。
　本発明にかかる弁用ダイヤフラムは、円筒状の周壁と、前記周壁を軸方向の一方側から閉鎖する底壁とを有するとともに、前記周壁を前記軸方向の他方側に開放させる開口が形成されており、駆動装置が前記軸方向に沿って進退動させる軸部を前記開口から内部に受け入れた状態で前記軸部に連結し、前記軸方向の一方側を向く前記底壁の外面に弁座との接触面が形成される主弁体部と、前記主弁体部の外周面から径方向に張り出す円環状の膜部と、を備える。
　前記膜部は、前記弁座が形成される弁本体と前記駆動装置の一部を構成し且つ前記軸部を覆った状態で前記弁本体に取り付けられるケースとの間に挟み込まれる円環状の外周部分と、前記外周部分と前記主弁体部との間に位置して、前記外周部分と前記主弁体部とを結合する円環状の内周部分と、を有する。
　前記内周部分には、前記軸方向の一方側における前記内周部分の前記外周部分との境界および前記主弁体部との境界から前記軸方向の他方側へ凹み、且つ周方向の全域にわたって延びる環状の溝が形成され、前記溝の断面形状は円弧状であり、前記軸方向の他方側を向く前記内周部分の面および前記外周部分の面は、面一になっている。
　前記軸方向における前記外周部分の厚さは、前記軸方向における前記主弁体部の厚さの２／５以上３／５以下であり、前記軸方向における前記内周部分の最小の厚さは、前記軸方向における前記外周部分の厚さの１／４以上１／３以下である。
　前記内周部分の内周縁は、前記周壁の外周面の前記軸方向における中点を含む部分に接続し、前記軸方向の一方側を向く前記外周部分の面は、前記軸方向の一方側を向く前記主弁体部の前記接触面から、前記軸方向における前記外周部分の厚さの３／２０の距離だけ前記軸方向の一方側に離れた位置と他方側に離れた位置との間に位置している。
　前記内周部分の内周縁から外周縁までの前記径方向における寸法は、前記外周部分の内周縁から外周縁までの前記径方向における寸法の５／１０以上７／１０以下である。
　また、弁用ダイヤフラムは、弾性材料から形成される。
　本発明にかかるダイヤフラム弁は、前記弁用ダイヤフラムを備える。
　また、本発明にかかるダイヤフラム弁は、流体が通流する第１ポートおよび第２ポートと、前記第１ポートおよび前記第２ポートが接続される流体室と、前記流体室の内部に形成される弁座と、を有し、前記流体室に前記弁座を外部に露出させるための開口部が形成される弁本体と、前記弁座に離接可能に配置される前記弁用ダイヤフラムと、前記弁用ダイヤフラムの主弁体部に連結される進退動可能な軸部を有する駆動部と、前記駆動部を収容するとともに前記開口部を覆うように配置されるケースと、を有し、前記軸部によって前記弁用ダイヤフラムを前記弁座に対して離接させることで、前記第１ポートと前記第２ポートとの連通および遮断を切り換える駆動装置と、前記弁本体に前記駆動装置を取り付けるためのピン部材と、を備える。
　前記流体室における前記開口部の外周縁部には、シール部が形成され、前記シール部の外周側の部分に、前記開口部を囲繞するように突出する第１取付壁部が形成され、前記ケースにおける前記開口部側の端部に、前記軸部を囲繞するように突出し、前記第１取付壁部の内周側に配置される第２取付壁部が形成される。
　前記第１取付壁部には、前記ピン部材が挿入される第１取付孔が形成され、前記第２取付壁部には、前記ピン部材が挿入される第２取付孔が形成され、前記ピン部材が前記第１取付孔と前記第２取付孔とに跨がるように挿入されることにより、前記弁本体に前記駆動装置が取り付けられている。
　前記第２取付壁部と前記シール部との間に、前記弁用ダイヤフラムの膜部の外周部分が挟み込まれる。
　前記第２取付壁部が前記シール部との間で前記外周部分を前記弁本体側に圧縮させた状態において、前記ピン部材が前記第１取付孔と前記第２取付孔とに跨がるように挿入されており、前記ピン部材は、圧縮された前記外周部分が前記弁本体から離れる方向に前記ケースを付勢することにより、前記第１取付孔の内周面に押し付けられている。
　本発明によれば、ダイヤフラムにおいて、駆動装置の動作に対する良好な感度および流体圧に対する良好な剛性を確保できるとともに、従来よりも耐久性を向上させることができる。
本発明の一実施の形態にかかるダイヤフラム弁の斜視図である。 図１の矢印ＩＩ方向に見たダイヤフラム弁の側面図である。 図２のＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿う断面図である。 図３のＩＶ－ＩＶ線に沿う断面図である。 図４の拡大図である。 図５のＶＩ－ＶＩ線に対応する断面図である。 図１に示すダイヤフラム弁に設けられるダイヤフラムの断面図である。 図１に示すダイヤフラム弁の弁本体と駆動装置とが分離した状態を示す斜視図である。 図８に示した駆動装置を弁本体に仮組みする作業を説明する斜視図である。 図９に示す状態から、駆動装置を弁本体側に押し込みつつ、弁本体側に形成された取付孔と駆動装置側に形成された取付孔とにピン部材を挿入することにより、弁本体に駆動装置を取り付ける作業を説明する斜視図である。 図９に示す状態に対応する、弁本体側および駆動装置側の取付孔の位置関係を説明する図である。 図９に示す状態から、駆動装置を弁本体側に押し込んだ際の、弁本体側および駆動装置側の取付孔の位置関係を説明する図である。 図１２の状態から、弁本体側および駆動装置側の取付孔にピン部材を挿入した後の様子を示す図である。 従来のダイヤフラムの断面図である。 実施の形態にかかるダイヤフラムを駆動装置によって変形させた状態を示す図である。 図１４に示す従来のダイヤフラムを駆動装置によって変形させた状態を示す図である。
　以下、本発明の一実施の形態について説明する。図１は、本発明の一実施の形態にかかるダイヤフラム弁１の斜視図である。図２は、図１の矢印ＩＩ方向に見たダイヤフラム弁１の側面図である。図３は、図２のＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿う断面図であり、図４は、図３のＩＶ－ＩＶ線に沿う断面図である。また、図５は、図４の拡大図であり、図６は、図５のＶＩ－ＶＩ線に沿う断面図である。また、図７は、ダイヤフラム弁１に設けられるダイヤフラム２０の断面図である。
　図１乃至図４に示すように、本実施の形態にかかるダイヤフラム弁１は、弁本体１０と、弁体部材であるダイヤフラム２０と、駆動装置３０と、ピン部材４０と、を備えている。このダイヤフラム弁１では、ピン部材４０が弁本体１０と駆動装置３０とに跨がるように挿入されることにより、駆動装置３０が弁本体１０に取り付けられている。以下、ダイヤフラム弁１の各部の構成について詳述する。
（弁本体）
　弁本体１０は、流体が通流する第１ポート１１および第２ポート１２と、第１ポート１１および第２ポート１２が接続される流体室１３と、流体室１３の内部に形成される弁座１４と、を有している。図３に示すように、第１ポート１１は、互いに連通する外側管部１１Ａと内側管部１１Ｂとを有し、外側管部１１Ａと内側管部１１ＢとがＬ字をなすように結合されることで構成されている。外側管部１１Ａは、流体室１３を貫通するように流体室１３に接続されており、内側管部１１Ｂは、外側管部１１Ａの流体室１３の内部側の端部から折れ曲がり、その先端部が流体室１３の内部で開口している。本実施の形態においては、第１ポート１１の内側管部１１Ｂの開口端に、上述の弁座１４が形成されている。なお、弁座１４の形成態様は特に限定されるものではない。
　また、第２ポート１２は直線状に形成されている。第２ポート１２は、第１ポート１１と同様に、流体室１３の内部で開口している。
　図１および図３に示すように、本実施の形態においては、第１ポート１１、特にその外側管部１１Ａと、第２ポート１２とが、同一直線上に延びるように流体室１３に接続されている。流体室１３の外部に位置する第１ポート１１および第２ポート１２の各々の端部には、図示しない配管部材が接続されるようになっている。
　流体室１３は、円筒状に形成され、その軸方向の一端側の部分、正確に言うと一端側の部分の内周面に、弁座１４を流体室１３の外部に露出させるための開口部１５が形成されている。開口部１５は、この例において円形に形成されている。図中の符号Ｌ１は、開口部１５の中心軸線を示している。図５に示すように、流体室１３に形成された開口部１５は、第１ポート１１の内側管部１１Ｂの開口端に形成された弁座１４よりも、中心軸線Ｌ１方向で外側に位置している。これにより、本実施の形態における開口部１５は、弁座１４に対向する位置関係となっている。なお、この例において、開口部１５は、円形に形成されるが、多角形状等の他の形状に形成されてもよい。また、流体室１３は、円筒状に形成されるが、横断面が矩形状等の他の形状に形成されてもよい。また、開口部１５は、中心軸線Ｌ１方向で、弁座１４と同じ位置となっていてもよい。また、弁座１４が、中心軸線Ｌ１方向で、開口部１５よりも外側に位置していてもよい。
　流体室１３における開口部１５の外周縁部には、シール部１６が形成されており、本実施の形態において、シール部１６は、フランジ状に形成されている。このシール部１６は、内周側に位置する内側シール部１６Ａと、外周側に位置する外側シール部１６Ｂと、を有している。外側シール部１６Ｂは、内側シール部１６Ａよりも中心軸線Ｌ１方向で外側に突出している。このうち、内側シール部１６Ａには、上述のダイヤフラム２０が載置されている。
　本実施の形態では、図５に示すように、内側シール部１６Ａの外周側の部分に、円環状の溝１６Ａ１が形成されている。ダイヤフラム２０は、内側シール部１６Ａの内周側の部分に接しており、外周側の溝１６Ａ１が形成された部分に対しては浮いた状態になっている。
　また、外側シール部１６Ｂの外周側の部分には、開口部１５を囲繞するように突出する第１取付壁部１７が形成されており、本実施の形態において、この第１取付壁部１７は、開口部１５の全周を囲繞するように形成されている。第１取付壁部１７は、開口部１５の中心軸線Ｌ１方向に見て、その外周面の形状が、略矩形状に形成されており、その内周面の形状が、円形に形成されている（図１、図６等参照）。この第１取付壁部１７には、上述のピン部材４０が挿入される第１取付孔１８が形成されている。
　図６は、図５のＶＩ－ＶＩ線に沿う断面図である。図６に示すように、本実施の形態において、第１取付孔１８は、開口部１５の中心軸線Ｌ１に直交する方向のうちの一方向に規定される第１基準方向Ｌｓ１に平行に延びる方向（ＬＬ１，ＬＲ１）上で、第１取付壁部１７を貫通するように形成されている。より詳しくは、中心軸線Ｌ１方向に見て、第１取付孔１８は、第１基準方向Ｌｓ１に直交する方向に沿って開口部１５（二点鎖線で示す。）の中心軸線Ｌ１から一方側および他方側に所定オフセット距離Ｄだけ離間した位置の各々において第１基準方向Ｌｓ１に平行に延びる方向（ＬＬ１，ＬＲ１）上で、第１取付壁部１７を貫通するように形成されている。すなわち、第１取付孔１８は一対で形成される。以下では、方向ＬＬ１，ＬＲ１のことを、取付孔延在方向ＬＬ１，ＬＲ１と呼ぶ。
　第１基準方向Ｌｓ１は、開口部１５の中心軸線Ｌ１に直交する方向のうちの任意の一方向に規定可能であるが、本実施の形態では、第１基準方向Ｌｓ１が、図１乃至図３に示すように、開口部１５の中心軸線Ｌ１に直交する方向のうちの第１ポート１１と第２ポート１２とが同一直線上に延びる方向に、規定されている。この場合、第１ポート１１と第２ポート１２とが同一直線上に延びる方向を目印として、第１取付孔１８の方向（延在方向または貫通方向）を確認できるため、有益である。
　また、本実施の形態では、図６に示すように、第１取付壁部１７における取付孔延在方向ＬＬ１，ＬＲ１が通る部分が、一連に延びていない。換言すれば、第１取付壁部１７における取付孔延在方向ＬＬ１，ＬＲ１が通る部分は、取付孔延在方向ＬＬ１，ＬＲ１の一方側と他方側とで分断されている。そのため、第１取付孔１８の各々は、取付孔延在方向ＬＬ１，ＬＲ１における一方側に位置する前側第１取付孔１８Ａと、他方側に位置する後側第１取付孔１８Ｂと、で構成されている。
　なお、変形例として、第１取付壁部１７における取付孔延在方向ＬＬ１，ＬＲ１が通る部分が一連に延びる場合には、第１取付孔１８の各々は、一連に延びるように形成されてもよい。また、本実施の形態では、第１取付孔１８が、開口部１５の中心軸線Ｌ１を基準に一方側と他方側の各々に１つ形成されているが、第１取付孔１８の個数は１つでもよいし、３以上であってもよい。また、第１取付孔１８の形成位置も、図中に示す取付孔延在方向ＬＬ１，ＬＲ１上に限られるものではない。
（ダイヤフラム）
　続いて、ダイヤフラム２０について説明する。図３乃至図５に示すように、弁体部材としてのダイヤフラム２０は、上述した内側シール部１６Ａに載置された状態で、弁座１４に離接可能に配置されている。ダイヤフラム２０は、弁座１４に対向して配置される有底円筒状の主弁体部２１と、主弁体部２１の外周面から張り出す膜部２２とを有する弾性材料から形成されるダイヤフラムである。以下のダイヤフラム２０の説明においては、図７に示される主弁体部２１の中心軸線Ｘ１上を延びる方向を、単に軸方向と呼び、中心軸線Ｘ１に直交する方向を単に径方向と呼ぶ。なお、図７においては、説明の便宜上、ハッチングの図示を省略している。また、図７は、軸方向および径方向を含む平面でダイヤフラム２０を切断した際のダイヤフラム２０の断面図である。
　図７を参照し、本実施の形態におけるダイヤフラム２０の主弁体部２１は、円筒状の周壁２１１と、周壁２１１を軸方向の一方側（図７の下側）から閉鎖する底壁２１２と、周壁２１１の軸方向の他方側（図７の上側）の端部の内周面から径方向の内側に張り出す円環状のサポート部２１３と、を有しており、サポート部２１３の内周面によって、周壁２１１を軸方向の他方側に開放させる開口２１４が形成されている。
　またサポート部２１３と底壁２１２との間には、後述する駆動装置３０が備えるアクチュエータ本体３１の軸部３２の先端部が連結される連結部２１５が形成されている。ダイヤフラム２０は中心軸線Ｘ１が、開口部１５の中心軸線Ｌ１および軸部３２と同軸となるように配置され、駆動装置３０が軸方向に沿って進退動させる軸部３２を開口２１４から内部に形成された連結部２１５に受け入れた状態で軸部３２に連結するようになっている。また軸方向の一方側（図７の下側）を向く底壁２１２の外面には、弁座１４との接触面２１６が形成され、接触面２１６は平坦面として形成されている。
　一方で、膜部２２は円環状に形成されており、主弁体部２１の外周面から張り出している。膜部２２は、外周側に位置する円環状の外周部分２２１と、内周側に位置する円環状の内周部分２２２と、を有している。外周部分２２１は、弁座１４が形成される弁本体１０と、駆動装置３０の一部を構成し且つ軸部３２を覆った状態で弁本体１０に取り付けられる後述するケース３３との間に挟み込まれる部分であり、内周部分２２２は、外周部分２２１と主弁体部２１との間に位置して、外周部分２２１と主弁体部２１とを結合する部分である。
　図５に示すように、ダイヤフラム２０は、駆動装置３０の軸部３２の先端部と連結部２１５によって連結するとともに、その外周部分２２１を弁本体１０と駆動装置３０のケース３３との間に挟み込まれる。この状態で、連結部２１５に連結された軸部３２が移動することにより、ダイヤフラム２０は弁座１４に対して離接（離間、当接）する。ダイヤフラム２０が弁座１４から離間した際には、弁座１４が開放し、第１ポート１１と第２ポート１２とが連通するようになっている。また、ダイヤフラム２０が弁座１４に当接した際には、弁座１４が閉鎖し、第１ポート１１と第２ポート１２とが遮断するようになっている。
　以下では、ダイヤフラム２０の形状について更に詳しく説明する。まず、本実施の形態における膜部２２の内周部分２２２には、軸方向の一方側（図７の下側）における内周部分２２２の外周部分２２１との境界および主弁体部２１との境界から軸方向の他方側（図７の上側）へ凹み、且つ周方向の全域にわたって延びる環状の溝２２３が形成されている。軸方向に沿って延在する平面で切断した際の溝２２３の断面形状（言い換えると、軸方向断面での溝２２３の断面形状）は、円弧状であり、詳しくは半円形になっている。ただし、溝２２３の断面形状は半円形をなす円弧状に限られるものではなく、中心角が９０度未満となる円弧であってもよい。また、円弧状をなす溝２２３の断面形状は、真円の円弧に沿うものであってもよいし、楕円弧に沿うものであってもよい。
　軸方向断面で見た際の溝２２３の円弧状部分の両縁間の距離である幅をＷとし、溝２２３の深さをＤとしたとき、Ｄ／Ｗは、１／３以上１／２以下であることが望ましく、本実施の形態では、溝２２３の断面形状が半円形であることで、Ｄ／Ｗが１／２になっている。
　また、軸方向の他方側（図７の上側）を向く内周部分２２２の面および外周部分２２１の面は平坦面であって、面一になっている。また、軸方向の他方側を向く内周部分２２２の面の主弁体部２１側の部分は、円弧面をなして主弁体部２１の外周面に滑らかに接続している。
　また、軸方向における外周部分２２１の厚さＴ１は、軸方向における主弁体部２１の厚さＴ０の２／５以上３／５以下である。また、軸方向における内周部分２２２の最小の厚さＴ２は、外周部分２２１の厚さＴ１の１／４以上１／３以下である。Ｔ０～Ｔ２の値は特に限られるものではないが、例えば、主弁体部２１の厚さＴ０は、２．５ｍｍ以上５ｍｍ以下でもよい。
　また、本実施の形態では、図７において破線で示される内周部分２２２の内周縁２２２Ａ（つまり径方向内側の縁部分）が、周壁２１１の外周面の軸方向における中点Ｃ１を含む部分に接続している。また、本実施の形態では、サポート部２１３と底壁２１２との間の軸方向における中点Ｃ２が、内周部分２２２の内周縁２２２Ａの軸方向の両端の間に位置している。
　また、軸方向の一方側（図７の下側）を向く外周部分２２１の面は、軸方向の一方側を向く主弁体部２１の接触面２１６から、外周部分２２１の厚さＴ１の３／２０の距離だけ軸方向の一方側に離れた位置と他方側に離れた位置との間に位置している。
　一方で、内周部分２２２の内周縁２２２Ａから図７において破線で示される内周部分の外周縁２２２Ｂまでの径方向における寸法Ｄ２は、外周部分２２１の内周縁２２１Ａから外周縁２２１Ｂまでの径方向における寸法Ｄ１の５／１０以上７／１０以下である。また、主弁体部２１の半径Ｄ０は、内周部分２２２の内周縁２２２Ａから外周部分２２１の外周縁２２１Ｂまでの径方向における寸法Ｄ３（Ｄ１＋Ｄ２）の１／２以上で且つ２倍以下であることが望ましい。本実施の形態では、寸法Ｄ２は、寸法Ｄ１の６／１０になっている。また、半径Ｄ０は、寸法Ｄ３の７／８になっている。
（駆動装置）
　続いて、駆動装置３０について説明する。図３に示すように、駆動装置３０は、ダイヤフラム２０に連結される進退動可能な軸部３２を有する駆動部であるアクチュエータ本体３１と、アクチュエータ本体３１を収容するとともに上述の弁本体１０の開口部１５を覆うように配置されるケース３３と、を有している。駆動装置３０は、軸部３２によってダイヤフラム２０を弁座１４に対して離接させることで、第１ポート１１と第２ポート１２との連通および遮断を切り換えるように構成されている。
　本実施の形態の駆動装置３０はソレノイドであり、円筒状のケース３３にアクチュエータ本体３１が収容されている。ケース３３の軸方向における一端部には、軸部３２を外側に延ばすためのケース側開口部３３Ａが形成されている。アクチュエータ本体３１は、ケース３３と同軸の状態で、ケース３３内に収容されるボビン３４を有している。ボビン３４には、電磁コイル３５が巻き回されている。ボビン３４の内周側には、固定鉄芯３６と、上述した軸部３２（プランジャ）とが収容されている。
　固定鉄芯３６は、ボビン３４の内周側におけるケース側開口部３３Ａ側とは反対側の部分に、ボビン３４およびケース３３に対して相対移動不能に固定されている。一方、軸部３２は、ボビン３４の内周側におけるケース側開口部３３Ａ側の部分に、その先端部がケース側開口部３３Ａから外側に延びる状態で、進退動可能に収容されている。固定鉄芯３６と軸部３２との間には、スプリング３２Ｓが配置されており、軸部３２の先端部には、上述のダイヤフラム２０の連結部２１５に連結される係合部３２Ａが形成されている。
　図中の符号Ｌ２は、軸部３２の中心軸線を示し、軸部３２は、中心軸線Ｌ２に沿って進退動（進出・後退）するようになっている。軸部３２は、電磁コイル３５に電流が供給された際に、固定鉄芯３６側に後退する。この状態において、軸部３２は、進出する方向への付勢力をスプリング３２Ｓから付与される。これにより、軸部３２は、電磁コイル３５への電流の供給が停止された際に、弁座１４側に進出するようになっている。なお、図中の符号３３Ｂは、コネクタを示し、コネクタ３３Ｂにケーブルが接続されることにより、電磁コイル３５に電流が供給可能となる。コネクタ３３Ｂは、ケース３３から外周側に突出している。
　図３および図５に示すように、ケース３３における開口部１５側の端部には、軸部３２を囲繞するように突出し、第１取付壁部１７の内周側に配置される第２取付壁部３７が形成されている。すなわち、ケース３３は、一端部に軸部３２を通過させる上述したケース側開口部３３Ａを有する筒状のケース本体３３０と、第２取付壁部３７とを有している。ここで、第２取付壁部３７は、ケース側開口部３３Ａの外周縁部から立ち上がり且つケース本体３３０の周壁に対してはケース側開口部３３Ａ側に離れている。
　本実施の形態では、第２取付壁部３７が、軸部３２の全周を囲繞するように形成されている。軸部３２の中心軸線Ｌ２方向に見て、第２取付壁部３７の外周面の形状は、第１取付壁部１７の内周側に挿入される円形に形成されている（図６等参照）。この第２取付壁部３７には、上述のピン部材４０が挿入される第２取付孔３８が形成されている。
　図５に示すように、本実施の形態の第２取付壁部３７は、ケース本体３３０から突出するとともに、その先端部が弁本体１０側における内側シール部１６Ａおよび外側シール部１６Ｂに対向する基部３７Ａと、基部３７Ａの内側シール部１６Ａに対向する部分に設けられ、内側シール部１６Ａに向けて突出する弾性体当接部３７Ｂと、を有している。弾性体当接部３７Ｂは、環状に形成されており、基部３７Ａとは別体に形成されている。このうち、弾性体当接部３７Ｂは、ダイヤフラム２０の膜部２２の外周部分２２１に当接している。これにより、本実施の形態では、ダイヤフラム２０の膜部２２の外周部分２２１が、弾性体当接部３７Ｂと内側シール部１６Ａとの間に挟み込まれている。また、基部３７Ａに、上述の第２取付孔３８が形成されている。
　また、図３及び図５に示すように、本実施の形態では、基部３７Ａの内周側の部分にボビン３４の中継筒部３９が接している。ボビン３４は、電磁コイル３５が巻き付けられる円筒部分と、円筒部分のケース側開口部３３Ａ側の端部の外周面から径方向に張り出す第１フランジ部と、円筒部分のケース側開口部３３Ａ側とは反対側の端部の外周面から径方向に張り出す第２フランジ部と、第１フランジ部の内周側の部分から軸方向に突出した上記の中継筒部３９と、を有している。ここで、基部３７Ａの内周側の部分はケース側開口部３３Ａよりも径方向の内側に張り出しており、この張り出し部分に中継筒部３９が接している。したがって、中継筒部３９は、ケース側開口部３３Ａを通過した状態で基部３７Ａの内周側の部分に接触している。そして中継筒部３９の軸方向延長線上には、ダイヤフラム２０の膜部２２の外周部分２２１が位置している。なお、基部３７Ａの内周側の部分は、ケース側開口部３３Ａよりも径方向の内側に張り出していなくてもよく、この場合、中継筒部３９は、ケース本体３３０のケース側開口部３３Ａの内面側の外周縁部を介して、基部３７Ａの内周側の部分に接する。
　次いで図６を参照しつつ第２取付孔３８について説明する。図６に示すように、本実施の形態において、第２取付孔３８は、軸部３２の中心軸線Ｌ２に直交する方向のうちの一方向に規定される第２基準方向Ｌｓ２に平行に延びる方向（ＬＬ２，ＬＲ２）上で、第２取付壁部３７を貫通するように形成されている。より詳しくは、中心軸線Ｌ２方向に見て、第２取付孔３８は、第２基準方向Ｌｓ２に直交する方向に沿って軸部３２の中心軸線Ｌ２から一方側および他方側に第１取付孔１８の場合と同様の所定オフセット距離Ｄだけ離間した位置の各々において第２基準方向Ｌｓ２に平行に延びる方向（ＬＬ２，ＬＲ２）上で、第２取付壁部３７を貫通するように形成されている。すなわち、第２取付孔３８は一対で形成される。以下では、方向ＬＬ２，ＬＲ２のことを、取付孔延在方向ＬＬ２，ＬＲ２と呼ぶ。なお、図６においては、第２基準方向Ｌｓ２と第１基準方向Ｌｓ１とが重なっているため、これらを同一直線上に示している。また、取付孔延在方向ＬＬ２と取付孔延在方向ＬＬ１とが重なっているため、これらを同一直線上に示している。また、取付孔延在方向ＬＲ２と取付孔延在方向ＬＲ１とが重なっているため、これらを同一直線上に示している。
　第２基準方向Ｌｓ２は、軸部３２の中心軸線Ｌ２に直交する方向のうちの任意の一方向に規定可能であるが、本実施の形態では、一例として、軸部３２の中心軸線Ｌ２に直交する方向のうちの、ケース３３に設けられたコネクタ３３Ｂが突出する方向に、規定されている。この場合、コネクタ３３Ｂを目印として、第２取付孔３８の方向（延在方向または貫通方向）を確認できるため、有益である。
　また、本実施の形態では、図６に示すように、第２取付壁部３７における取付孔延在方向ＬＬ２，ＬＲ２が通る部分が、一連に延びている。そのため、第２取付孔３８の各々は、取付孔延在方向ＬＬ２，ＬＲ２上で一連に延びている。また、第２取付孔３８は、第２取付壁部３７の内部空間に連通しないように形成されている。また、本実施の形態においては、第２取付孔３８の各々が、取付孔延在方向ＬＬ２，ＬＲ２上に沿って第２取付壁部３７を貫通するのに加えて、外周側（径方向）に開放している。すなわち、取付孔延在方向ＬＬ２，ＬＲ２に見た場合に、第２取付孔３８は、外側に開放するＵ字状に形成されている。
　本実施の形態では、弁本体１０に駆動装置３０が取り付けられる際、第２取付壁部３７が第１取付壁部１７の内周側に配置され、軸部３２の中心軸線Ｌ２が開口部１５の中心軸線Ｌ１と同軸となるように配置される。この状態において、第１取付孔１８と第２取付孔３８とに、ピン部材４０が挿入されることにより、弁本体１０に駆動装置３０が取り付けられる。
　この際、図６に示したように、第１取付孔１８が、第１基準方向Ｌｓ１に直交する方向に沿って開口部１５の中心軸線Ｌ１から一方側および他方側に所定オフセット距離Ｄだけ離間した位置の各々において第１基準方向Ｌｓ１に平行に延びる取付孔延在方向ＬＬ１，ＬＲ１上で、第１取付壁部１７を貫通するように形成されている。また、第２取付孔３８が、第２基準方向Ｌｓ２に直交する方向に沿って軸部３２の中心軸線Ｌ２から一方側および他方側に所定オフセット距離Ｄだけ離間した位置の各々において第２基準方向Ｌｓ２に平行に延びる取付孔延在方向ＬＬ２，ＬＲ２上で、第２取付壁部３７を貫通するように形成されている。これにより、第１取付孔１８と第２取付孔３８とは、各々が同一の方向に向けられた際に、互いに重なり合うことが可能となる。そして、第１取付孔１８と第２取付孔３８とに、ピン部材４０を挿入することが可能となる。
　ここで、本実施の形態では、駆動装置３０が弁本体１０側に押し込まれて、第２取付壁部３７の弾性体当接部３７Ｂがダイヤフラム２０の膜部２２の外周部分２２１を内側シール部１６Ａ側に所定距離だけ圧縮させた状態において、第１取付孔１８と第２取付孔３８とが、ピン部材４０を挿入可能に互いに重なり合うようになっている。
　すなわち、本実施の形態では、駆動装置３０が弁本体１０側に押し込まれず、第２取付壁部３７が第１取付壁部１７の内周側に配置され、第２取付壁部３７の弾性体当接部３７Ｂがダイヤフラム２０の膜部２２の外周部分２２１に当接された状態においては、第１取付孔１８と第２取付孔３８とが、ピン部材４０を挿入可能に重なり合う状態となっていない。一方、この状態から、駆動装置３０が弁本体１０側に押し込まれて、第２取付壁部３７の弾性体当接部３７Ｂがダイヤフラム２０の膜部２２の外周部分２２１を内側シール部１６Ａ（弁本体１０）側に所定距離だけ圧縮させた状態において、第１取付孔１８と第２取付孔３８とが、ピン部材４０を挿入可能に互いに重なり合う状態となるようになっている。したがって、本実施の形態では、駆動装置３０が弁本体１０側に押し込まれ、第１取付孔１８と第２取付孔３８とがピン部材４０を挿入可能に互いに重なり合う状態において、第１取付孔１８と第２取付孔３８とにピン部材４０が挿入されている。
　この場合、ピン部材４０の挿入後に駆動装置３０を弁本体１０側に押し込んだ状態を解除することで、圧縮された膜部２２の外周部分２２１が弁本体１０から離れる方向に駆動装置３０のケース３３を付勢することにより、ピン部材４０が第１取付孔１８の内周面に押し付けられる状態となる。これにより、ピン部材４０が第１取付孔１８と第２取付孔３８とから抜けることが防止されている。また、ピン部材４０が第１取付孔１８の内周面に押し付けられる状態まで膜部２２の外周部分は復元するが、内側シール部１６Ａと弾性体当接部３７Ｂとの間で圧縮された状態が維持されるため、内側シール部１６Ａと弾性体当接部３７Ｂとの間の気密性または液密性が好適に確保されている。
　なお、本実施の形態では、基部３７Ａの内周側の部分にボビン３４の中継筒部３９が接しており、中継筒部３９の軸方向延長線上にダイヤフラム２０の膜部２２の外周部分２２１が位置している。これにより、駆動装置３０を弁本体１０側に押し込むための力が、軸方向に沿って、ケース３３からボビン３４の中継筒部３９を介して基部３７Ａ及び弾性体当接部３７Ｂに伝わるため、膜部２２の外周部分２２１を容易に変形させることができる。これにより、第１取付孔１８と第２取付孔３８とを、ピン部材４０を挿入可能な状態に容易に重ね合わせることができる。
　また、本実施の形態では、第２取付孔３８の各々が、取付孔延在方向ＬＬ２，ＬＲ２上で一連に延びているが、変形例として、第２取付壁部３７における取付孔延在方向ＬＬ２，ＬＲ２が延びる部分が一連に延びていない場合には、第１取付孔１８と同様に分断されて形成されてもよい。ただし、この場合には、上述の所定オフセット距離Ｄは、軸部３２の半径よりも大きいことが好ましい。所定オフセット距離Ｄが軸部３２の半径よりも大きければ、特別な加工を施すことなく、ピン部材４０が軸部３２の移動を阻害することが防止されるため有益である。
（ピン部材）
　次に、図６に示すように、本実施の形態のピン部材４０は、Ｕ字状であり、互いに平行に延びる一対の第１部分４１と、一対の第１部分４１の端部間を連結する第２部分４２と、を有している。一対の第１部分４１のうちの一方は、開口部１５および軸部３２の中心軸線（Ｌ１，Ｌ２）を基準に一方側に位置する第１取付孔１８と第２取付孔３８とに跨るように挿入されており、一対の第１部分４１のうちの他方は、開口部１５および軸部３２の中心軸線（Ｌ１，Ｌ２）を基準に他方側に位置する第１取付孔１８と第２取付孔３８とに跨るように挿入されている。より詳しくは、一対の第１部分４１の各々は、第１取付孔１８の前側第１取付孔１８Ａから第２取付孔３８を通って後側第１取付孔１８Ｂに跨るように挿入されている。
　さらに詳しく説明すると、図１乃至図３にも示すように、一対の第１部分４１はそれぞれ、互い重なった第１取付孔１８と第２取付孔３８とに跨がるように挿入される挿入部分４１Ａと、挿入部分４１Ａから折れ曲がって延びるオフセット部分４２Ｂと、を有している。各オフセット部分４２Ｂの挿入部分４１Ａ側の端部とは反対側の端部間を第２部分４２が連結している。
　本実施の形態では、上述したように、圧縮された膜部２２の外周部分２２１が弁本体１０から離れる方向に駆動装置３０のケース３３を付勢することにより、ピン部材４０の第１部分４１の挿入部分４１Ａの各々が第１取付孔１８の内周面に押し付けられる状態となっている。これにより、ピン部材４０の第１部分４１の各々が第１取付孔１８と第２取付孔３８とから抜けることが防止されている。また、ピン部材４０が第１取付孔１８と第２取付孔３８とに挿入された際、第２部分４２は、第１取付孔１８と第２取付孔３８とに挿入された挿入部分４１Ａから軸部３２の軸方向の一方側または他方側へ離れている。図示の例では、第２部分４２は、ケース本体３３０の周壁の径方向外側に位置している。第２部分４２がケース本体３３０の軸方向外側且つ第１取付壁部１７の径方向外側に位置する場合、ピン部材４０の抜き差しに手間がかかる。これに対して、本実施の形態のように第２部分４２がケース本体３３０の周壁の径方向外側等に位置する場合には、ピン部材４０の抜き差しを容易に行うことが可能となる。
（取付方法）
　以下では、図８乃至図１３を用いて、上述の弁本体１０に駆動装置３０を取り付ける取付方法の一例について説明する。
　図８は、弁本体１０と駆動装置３０とが分離した状態を示している。弁本体１０に駆動装置３０を取り付ける際には、まず、図８および図９に示すように、駆動装置３０を弁本体１０に仮組みする。この例にかかる仮組みの状態では、まず、図８に示すように、軸部３２の係合部３２Ａにダイヤフラム２０の連結部２１５が連結され、ダイヤフラム２０に弾性体当接部３７Ｂが載置される。この状態で、ダイヤフラム２０と弾性体当接部３７Ｂと軸部３２とが弁本体１０のシール部１６に載置される。この状態から、矢印に示すように、第２取付壁部３７が第１取付壁部１７の内周側に配置され、図９に示すように、駆動装置３０が弁本体１０に載置される。この状態において、第２取付壁部３７の基部３７Ａが弾性体当接部３７Ｂを介してダイヤフラム２０の膜部２２の外周部分２２１に当接される。
　また、第１取付孔１８の方向と第２取付孔３８の方向とが、目視によって同一の方向に向くように調整される。ここで、図１１は、図９に示す状態に対応する、第１取付孔１８と第２取付孔３８との位置関係を説明する図である。図１１に示すように、この仮組みの状態では、第１取付孔１８の一部が第２取付孔３８の外周縁部に重なっており、第１取付孔１８と第２取付孔３８とが、ピン部材４０を挿入可能に重なり合う状態となっていない。
　続いて、図１０の矢印αに示すように、駆動装置３０が弁本体１０側に所定距離だけ押し込まれる。これにより、第２取付壁部３７の弾性体当接部３７Ｂが、ダイヤフラム２０の膜部２２の外周部分２２１を内側シール部１６Ａ側に所定距離だけ圧縮させる。これにより、第１取付孔１８と第２取付孔３８とが、ピン部材４０を挿入可能に互いに重なり合う状態となる。図１２は、図９に示す状態から、駆動装置３０を弁本体１０側に所定距離だけ押し込んだ際の、第１取付孔１８と第２取付孔３８との位置関係を説明する図である。図１２に示すように、この状態では、第１取付孔１８が、図１１に示す状態から所定距離だけ弁本体１０側に移動することによって、第１取付孔１８と第２取付孔３８とが、ピン部材４０を挿入可能に重なり合う状態となっている。
　そして、第１取付孔１８と第２取付孔３８とがピン部材４０を挿入可能に重なり合う状態において、図１０および図１３に示すように、ピン部材４０の第１部分４１の各々が、第１取付孔１８と第２取付孔３８とに挿入される。その後、駆動装置３０を弁本体１０側に押し込んだ状態を解除することで、圧縮された膜部２２の外周部分２２１が弁本体１０から離れる方向に駆動装置３０のケース３３を付勢することにより、ピン部材４０が第１取付孔１８の内周面に押し付けられる状態となる。これにより、ピン部材４０が第１取付孔１８と第２取付孔３８とから抜けることが防止される。また、ピン部材４０が第１取付孔１８の内周面に押し付けられる状態まで膜部２２の外周部分２２１は復元するが、内側シール部１６Ａと弾性体当接部３７Ｂとの間で圧縮された状態が維持される。これにより、内側シール部１６Ａと弾性体当接部３７Ｂとの間の気密性または液密性が好適に確保される。このようにして、弁本体１０に、駆動装置３０が取り付けられる。
　一方、この取付状態において、ピン部材４０を第１取付孔１８と第２取付孔３８とから抜くことで、弁本体１０から駆動装置３０が取り外すことができる。この際には、駆動装置３０を弁本体１０側に押し込んで、ピン部材４０の第１部分４１の各々が第１取付孔１８の内周面に押し付けられた状態を緩和させる又は解除することで、ピン部材４０を第１取付孔１８と第２取付孔３８とからスムーズに抜くことができる。
　以上に説明した本実施の形態にかかるダイヤフラム弁１は、ダイヤフラム２０の弾性と、弁本体１０および駆動装置３０に跨がって挿入されるピン部材４０と、を利用することで、工具を用いることなく弁本体１０と駆動装置３０とを容易に連結することができる。
　また、ダイヤフラム２０には、形状及び寸法条件に関する工夫が施されている。これにより、駆動装置３０の動作に対する良好な感度および流体圧に対する良好な剛性を確保できるとともに、従来（図１４のダイヤフラム）よりも耐久性を向上させることができる。
　詳しくは、本実施の形態にかかるダイヤフラム２０では、膜部２２の内周部分２２２に、軸方向の一方側における内周部分２２２の外周部分２２１との境界および主弁体部２１との境界から軸方向の他方側へ凹み、且つ周方向の全域にわたって延びる環状の溝２２３が形成され、溝２２３の断面形状は円弧状になっている。これにより、内周部分２２２が薄肉になることで適度な柔軟性が付与され、駆動装置３０の動作に対する良好な感度が確保される。また、溝２２３は流体圧に晒される面が円弧状であることで、流体圧を分散させることが可能となり、その結果、流体圧に対する良好な剛性を確保できる。また、軸方向の他方側を向く内周部分２２２の面および外周部分２２１の面は面一になっていることで、流体圧による内周部分２２２の変形に対する剛性が確保され、これによっても、流体圧に対する良好な剛性を確保できる。
　さらには、上記の形状に加えて、内周部分２２２の内周縁２２２Ａは、周壁２１１の外周面の軸方向における中点を含む部分に接続する。また、軸方向の一方側を向く外周部分２２１の面は、軸方向の一方側を向く主弁体部２１の接触面２１６から、軸方向における外周部分２２１の厚さＴ１の３／２０の距離だけ軸方向の一方側に離れた位置と他方側に離れた位置との間に位置する。さらには、厚さ及び径に関する各種の寸法条件を規定することにより、ダイヤフラム２０を開閉させた際の応力が抑制される。これにより、耐久性を向上させることができる。
　図１５Ａは、実施の形態にかかるダイヤフラム２０を駆動装置３０によって変形させた状態を示す図である。図１５Ｂは、図１４に示す従来のダイヤフラム１００を駆動装置によって変形させた状態を示す図である。図１５Ａに示すダイヤフラム２０と、図１５Ｂに示すダイヤフラム１００は、厚さ及び直径などに関する寸法が同等となっている。
　図１５Ａに示すダイヤフラム２０を０．５ｍｍだけ開方向にストロークさせた場合、本件発明者の解析では、図１５Ａの符号Ａで示す部分の応力が０．５ＭＰａであり、符号Ｂで示す部分の応力が０．１ＭＰａであり、符号Ｃで示す部分の応力が０．４５ＭＰａであった。これに対して、図１５Ｂに示す従来のダイヤフラム１００を同じ条件でストロークさせた場合、図１５Ｂの符号Ａ’で示す部分の応力が１．６２ＭＰａであり、符号Ｂ’で示す部分の応力が３．１９ＭＰａであり、符号Ｃ’で示す部分の応力が１．６０ＭＰａであった。本実施の形態にかかるダイヤフラム２０は、このように開閉時の応力が抑制されることで、従来よりも耐久性を向上させることが可能となっている。
　以上、一実施の形態を説明したが、上記の一実施の形態は、例として提示したものであり、本発明は、実施の形態に限定されるものではない。上記の実施の形態には、各種の変更を行ってもよい。

Claims (7)

  1. 　円筒状の周壁と、前記周壁を軸方向の一方側から閉鎖する底壁とを有するとともに、前記周壁を前記軸方向の他方側に開放させる開口が形成されており、駆動装置が前記軸方向に沿って進退動させる軸部を前記開口から内部に受け入れた状態で前記軸部に連結し、前記軸方向の一方側を向く前記底壁の外面に弁座との接触面が形成される主弁体部と、
    　前記主弁体部の外周面から径方向に張り出す円環状の膜部と、を備え、
    　前記膜部は、前記弁座が形成される弁本体と前記駆動装置の一部を構成し且つ前記軸部を覆った状態で前記弁本体に取り付けられるケースとの間に挟み込まれる円環状の外周部分と、前記外周部分と前記主弁体部との間に位置して、前記外周部分と前記主弁体部とを結合する円環状の内周部分と、を有し、
    　前記内周部分には、前記軸方向の一方側における前記内周部分の前記外周部分との境界および前記主弁体部との境界から前記軸方向の他方側へ凹み、且つ周方向の全域にわたって延びる環状の溝が形成され、前記溝の断面形状は円弧状であり、
    　前記軸方向の他方側を向く前記内周部分の面および前記外周部分の面は、面一になっており、
    　前記軸方向における前記外周部分の厚さは、前記軸方向における前記主弁体部の厚さの２／５以上３／５以下であり、
    　前記軸方向における前記内周部分の最小の厚さは、前記軸方向における前記外周部分の厚さの１／４以上１／３以下であり、
    　前記内周部分の内周縁は、前記周壁の外周面の前記軸方向における中点を含む部分に接続し、
    　前記軸方向の一方側を向く前記外周部分の面は、前記軸方向の一方側を向く前記主弁体部の前記接触面から、前記軸方向における前記外周部分の厚さの３／２０の距離だけ前記軸方向の一方側に離れた位置と他方側に離れた位置との間に位置しており、
    　前記内周部分の内周縁から外周縁までの前記径方向における寸法は、前記外周部分の内周縁から外周縁までの前記径方向における寸法の５／１０以上７／１０以下であり、
    　弾性材料から形成される、ことを特徴とする弁用ダイヤフラム。
  2. 　前記主弁体部の半径は、前記内周部分の内周縁から前記外周部分の外周縁までの前記径方向における寸法の１／２以上で且つ２倍以下である、ことを特徴とする請求項１に記載の弁用ダイヤフラム。
  3. 　前記主弁体部は、前記周壁の前記軸方向の他方側の端部の内周面から径方向の内側に張り出す円環状のサポート部をさらに有し、
    　前記サポート部と前記底壁との間の前記軸方向における中点が、前記内周部分の内周縁の前記軸方向の両端の間に位置している、請求項１又は２に記載の弁用ダイヤフラム。
  4. 　前記溝の断面形状が半円形である、ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の弁用ダイヤフラム。
  5. 　請求項１乃至４のいずれかに記載の弁用ダイヤフラムを備える、ダイヤフラム弁。
  6. 　流体が通流する第１ポートおよび第２ポートと、前記第１ポートおよび前記第２ポートが接続される流体室と、前記流体室の内部に形成される弁座と、を有し、前記流体室に前記弁座を外部に露出させるための開口部が形成される弁本体と、
    　前記弁座に離接可能に配置される請求項１乃至４のいずれかに記載の弁用ダイヤフラムと、
    　前記弁用ダイヤフラムの主弁体部に連結される進退動可能な軸部を有する駆動部と、前記駆動部を収容するとともに前記開口部を覆うように配置されるケースと、を有し、前記軸部によって前記弁用ダイヤフラムを前記弁座に対して離接させることで、前記第１ポートと前記第２ポートとの連通および遮断を切り換える駆動装置と、
    　前記弁本体に前記駆動装置を取り付けるためのピン部材と、
    　を備え、
    　前記流体室における前記開口部の外周縁部には、シール部が形成され、
    　前記シール部の外周側の部分に、前記開口部を囲繞するように突出する第１取付壁部が形成され、
    　前記ケースにおける前記開口部側の端部に、前記軸部を囲繞するように突出し、前記第１取付壁部の内周側に配置される第２取付壁部が形成され、
    　前記第１取付壁部には、前記ピン部材が挿入される第１取付孔が形成され、
    　前記第２取付壁部には、前記ピン部材が挿入される第２取付孔が形成され、
    　前記ピン部材が前記第１取付孔と前記第２取付孔とに跨がるように挿入されることにより、前記弁本体に前記駆動装置が取り付けられており、
    　前記第２取付壁部と前記シール部との間に、前記弁用ダイヤフラムの膜部の外周部分が挟み込まれ、
    　前記第２取付壁部が前記シール部との間で前記外周部分を前記弁本体側に圧縮させた状態において、前記ピン部材が前記第１取付孔と前記第２取付孔とに跨がるように挿入されており、
    　前記ピン部材は、圧縮された前記外周部分が前記弁本体から離れる方向に前記ケースを付勢することにより、前記第１取付孔の内周面に押し付けられている、ダイヤフラム弁。
  7. 　前記ケースは、一端部に前記軸部を通過させるケース側開口部を有する筒状のケース本体と、前記第２取付壁部とを有し、前記第２取付壁部は、前記ケース本体において前記ケース側開口部の外周縁部から立ち上がり且つ前記ケース本体の周壁に対しては前記ケース側開口部側に離れており、
    　前記第１取付孔は一対で形成されるとともに、前記第２取付孔は一対で形成され、
    　前記ピン部材は、Ｕ字形状であり、互いに平行に延びる一対の第１部分と、前記一対の第１部の端部間を連結する第２部分と、を有し、
    　前記一対の第１部分はそれぞれ、互い重なった前記第１取付孔と第２取付孔とに跨がるように挿入される挿入部分と、前記挿入部分から折れ曲がって延びるオフセット部分と、を有し、各前記オフセット部分の前記挿入部分側の端部とは反対側の端部間を前記第２部分が連結しており、
    　前記第２部分は、前記第１取付孔と第２取付孔とに挿入された前記挿入部分から前記軸部の軸方向の一方側または他方側へ離れている、請求項６に記載のダイヤフラム弁。
PCT/JP2018/031926 2018-08-29 2018-08-29 弁用ダイヤフラム及びダイヤフラム弁 WO2020044456A1 (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201880096965.1A CN112639340A (zh) 2018-08-29 2018-08-29 阀用隔膜和隔膜阀
KR1020217003261A KR102531640B1 (ko) 2018-08-29 2018-08-29 밸브용 다이어프램 및 다이어프램 밸브
US17/269,068 US11391382B2 (en) 2018-08-29 2018-08-29 Diaphragm for valve and diaphragm valve
JP2020539916A JPWO2020044456A1 (ja) 2018-08-29 2018-08-29 弁用ダイヤフラム及びダイヤフラム弁
PCT/JP2018/031926 WO2020044456A1 (ja) 2018-08-29 2018-08-29 弁用ダイヤフラム及びダイヤフラム弁
JP2022020834A JP7352986B2 (ja) 2018-08-29 2022-02-14 弁用ダイヤフラム及びダイヤフラム弁

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2018/031926 WO2020044456A1 (ja) 2018-08-29 2018-08-29 弁用ダイヤフラム及びダイヤフラム弁

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2020044456A1 true WO2020044456A1 (ja) 2020-03-05

Family

ID=69643485

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2018/031926 WO2020044456A1 (ja) 2018-08-29 2018-08-29 弁用ダイヤフラム及びダイヤフラム弁

Country Status (5)

Country Link
US (1) US11391382B2 (ja)
JP (2) JPWO2020044456A1 (ja)
KR (1) KR102531640B1 (ja)
CN (1) CN112639340A (ja)
WO (1) WO2020044456A1 (ja)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001280518A (ja) * 2000-03-31 2001-10-10 Toyo Stainless Kogyo Kk ダイアフラム弁
US6382585B1 (en) * 1998-10-22 2002-05-07 Integra Dynamics Inc. Valve control system
JP2016151293A (ja) * 2015-02-16 2016-08-22 伸和コントロールズ株式会社 流体制御弁

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3784154A (en) * 1970-10-12 1974-01-08 Controls Co Of America Water valve diaphragm
JPS5819550B2 (ja) 1976-11-20 1983-04-19 住友重機械工業株式会社 隔膜を備えた異種の液体を入れる容器の製造方法
JPS6038978U (ja) 1983-08-25 1985-03-18 シ−ケ−ディ株式会社 小型電磁弁
JPS61571U (ja) 1984-06-08 1986-01-06 エスエムシ−株式会社 電磁弁
US5333643A (en) * 1993-03-24 1994-08-02 South Bend Controls, Inc. Solenoid valve
JP3657878B2 (ja) 2000-12-27 2005-06-08 伸和コントロールズ株式会社 ダイヤフラム型電磁弁
US20060065868A1 (en) * 2004-09-28 2006-03-30 Strong Warren N Diaphragm valve
JP4744319B2 (ja) 2006-02-22 2011-08-10 旭有機材工業株式会社 ダイヤフラム弁
US8235352B2 (en) * 2007-05-21 2012-08-07 Rain Bird Corporation Diaphragm valve for irrigation systems
JP2009127704A (ja) * 2007-11-21 2009-06-11 Alps Electric Co Ltd バルブ装置及び多層化基板
JP5706244B2 (ja) * 2011-06-15 2015-04-22 多田プラスチック工業株式会社 流体用ダイヤフラムポンプ
CN103917812B (zh) * 2011-11-08 2016-01-13 百乐仕株式会社 阀装置
JP5435439B2 (ja) * 2012-06-22 2014-03-05 Ｓｍｃ株式会社 二方弁
JP2014169725A (ja) 2013-03-01 2014-09-18 Asahi Organic Chemicals Industry Co Ltd ダイヤフラム弁
JP2015038368A (ja) * 2013-08-19 2015-02-26 株式会社鷺宮製作所 流量制御弁
JP6333052B2 (ja) * 2014-05-09 2018-05-30 サーパス工業株式会社 遮断弁
JP6587100B2 (ja) * 2016-01-19 2019-10-09 Toto株式会社 ソレノイドバルブ
US9964220B1 (en) * 2017-10-23 2018-05-08 Useong Electro-Mechanics Co., Ltd. Electromagnetic water supply valve
JP7152012B2 (ja) * 2018-11-06 2022-10-12 伸和コントロールズ株式会社 ダイヤフラム式電磁弁

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6382585B1 (en) * 1998-10-22 2002-05-07 Integra Dynamics Inc. Valve control system
JP2001280518A (ja) * 2000-03-31 2001-10-10 Toyo Stainless Kogyo Kk ダイアフラム弁
JP2016151293A (ja) * 2015-02-16 2016-08-22 伸和コントロールズ株式会社 流体制御弁

Also Published As

Publication number Publication date
JP2022058982A (ja) 2022-04-12
KR102531640B1 (ko) 2023-05-12
US11391382B2 (en) 2022-07-19
CN112639340A (zh) 2021-04-09
KR20210049781A (ko) 2021-05-06
JP7352986B2 (ja) 2023-09-29
JPWO2020044456A1 (ja) 2021-08-26
US20210207723A1 (en) 2021-07-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20180071162A (ko) 유로 전환 밸브
EP1681477A1 (en) Snap ring
JP5819550B1 (ja) 流体制御弁
JP6519865B2 (ja) 流体圧シリンダ
CN102667293B (zh) 一种用于启封管道组合件内的管道的设备
JP2006189156A (ja) ワイヤーリテイナーを有する流体クイックコネクタ
JP6165662B2 (ja) マニホールド電磁弁
WO2020044456A1 (ja) 弁用ダイヤフラム及びダイヤフラム弁
TWI776944B (zh) 隔膜閥
JP2016070188A (ja) インジェクタ組付体
JP6134285B2 (ja) マニホールド電磁弁
JP2007321872A (ja) 管継手及び配管接続構造
JP2023070436A (ja) チューブ管用継手
JP2001304469A (ja) ワンタッチ継手構造
JP4033254B2 (ja) 管路連結構造
US20190024833A1 (en) Female Connector of a Plug-In Connector and Plug-In Connector
KR200390665Y1 (ko) 호스클램프용 패킹
JP2007024173A (ja) 管部材の接合装置
JP2004308668A (ja) 配管用継手
JP4220211B2 (ja) 配管用コネクタ
US20230127426A1 (en) Connecting device for a sealed exchange of fluid between two components, connecting system and brake system
CN114174709B (zh) 紧凑且可拆卸的流体连接装置
KR102490332B1 (ko) 유압 제어 시스템용 리시버 유압 실린더
JP6972850B2 (ja) 管継手
JP2023070438A (ja) チューブ管用継手

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 18931358

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2020539916

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 18931358

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1