WO2019230559A1 - 位相差補償素子、液晶表示装置および投射型画像表示装置 - Google Patents

位相差補償素子、液晶表示装置および投射型画像表示装置 Download PDF

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淳一 菅原
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Definitions

  • the present invention relates to a phase difference compensation element, a liquid crystal display device, and a projection type image display device.
  • phase difference compensation element for example, a negative C-plate formed by alternately laminating thin films having a high refractive index and a low refractive index by vapor deposition of a dielectric material, and an oblique layer having at least two layers
  • Patent Document 1 proposes a phase difference compensation element in which an O plate formed of a vapor deposition film is laminated.
  • the negative C-plate described in Patent Document 1 defines a ratio of optical film thicknesses of two kinds of vapor deposition films having different refractive indexes, and a high refractive index layer having the same film thickness determined based on the ratio.
  • Low refractive index layers having the same film thickness are alternately stacked, and the resulting structural birefringence causes a phase difference. For this reason, a total number of 80 layers or more is required, and an antireflection film is additionally required, which raises a concern about an increase in cost and a long lead time.
  • Patent Document 2 As another phase difference compensation technique, there has been proposed a method of optical compensation using two phase difference plates formed of an oblique vapor deposition film (see Patent Document 2).
  • the contrast is improved by rotating the two retardation plates in the in-plane direction and adjusting the relation angle to an optimum position.
  • phase difference compensation plate having at least two compensation layers and arranging them so that their phase difference values and in-plane optical axis directions are different from each other was used.
  • a liquid crystal display device has been proposed (see Patent Document 3).
  • the retardation compensation plate used in the liquid crystal display device described in Patent Document 3 requires an adhesive because it is formed by bonding two compensation layers, and has a problem in durability.
  • two substrates are required, and there is a concern about cost increase.
  • the present invention has been made in view of the above-mentioned background art, and its purpose is to improve the contrast of a liquid crystal display device with high accuracy while maintaining durability while suppressing an increase in cost and a long lead time.
  • An object of the present invention is to provide a possible phase difference compensation element.
  • the inventor comprises a first optically anisotropic layer acting as a C-plate on a substrate, and a second optically anisotropic layer including a birefringent film formed by depositing an inorganic material,
  • the inventors have found that the above-mentioned problems can be solved by setting the birefringent film included in the second optically anisotropic layer as a specific condition, and have completed the present invention.
  • the present invention is a phase difference compensation element that compensates for a phase difference of light generated in a liquid crystal cell, in which a transparent substrate, a first optical anisotropic layer acting as a C-plate, and an inorganic material are deposited.
  • the birefringent film included in the second optical anisotropic layer is a line obtained by projecting the film-forming direction of the inorganic material onto the surface of the transparent substrate. This is a phase difference compensation element whose minute direction continuously changes by 15 ° or more.
  • the birefringent film may be an oblique deposition film.
  • the inorganic material may be an oxide containing at least one selected from the group consisting of Si, Nb, Zr, Ti, La, Ta, Al, Hf, and Ce.
  • the first optically anisotropic layer is a laminate of dielectric films made of two or more kinds of dielectrics having different refractive indexes, and has an antireflection function and a C-plate function. May be.
  • the dielectric film includes at least one selected from the group consisting of TiO 2 , SiO 2 , Ta 2 O 5 , Al 2 O 3 , CeO 2 , ZrO 2 , ZrO, Nb 2 O 5 , and HfO 2. You may go out.
  • a matching layer may be provided between the transparent substrate and the second optically anisotropic layer.
  • a protective layer made of a dielectric film may be provided on the second optically anisotropic layer.
  • the transparent substrate may be any of glass, quartz, crystal, and sapphire.
  • Another embodiment of the present invention is a liquid crystal display device including a VA mode liquid crystal cell and the above-described phase difference compensation element.
  • Another aspect of the present invention provides a light source that emits light, a projection optical system that projects modulated light, and the liquid crystal display device that is disposed in an optical path between the light source and the projection optical system.
  • a projection-type image display apparatus is also provided.
  • phase difference compensation element that has durability and can improve the contrast of a liquid crystal display device with high accuracy while suppressing an increase in cost and an increase in lead time.
  • FIG. 3 is a diagram illustrating a film forming direction of a birefringent film in Example 1.
  • the phase difference compensation element of the present invention is a phase difference compensation element for compensating for the phase difference of light generated in a liquid crystal cell, and includes a transparent substrate, a first optical anisotropic layer acting as a C-plate, and an inorganic material. And a second optically anisotropic layer including a birefringent film made of The birefringent film included in the second optically anisotropic layer is included in the second optically anisotropic layer in which the angle formed between the film forming direction of the inorganic material and the surface of the transparent substrate is not 90 degrees.
  • the direction of the line segment obtained by projecting the film forming direction of the inorganic material onto the surface of the transparent substrate continuously changes by 15 ° or more.
  • FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a phase difference compensation element 10 according to an embodiment of the present invention.
  • the retardation compensation element 10 according to this embodiment includes a transparent substrate 11, a first optical anisotropic layer 12, a second optical anisotropic layer 13, and a protective layer 14.
  • the matching layer 15 and the antireflection layer 16 are provided.
  • the present invention only needs to include at least the transparent substrate, the first optical anisotropic layer, and the second optical anisotropic layer.
  • a transparent substrate will not be specifically limited if it has translucency with respect to the light of a desired use wavelength band.
  • the material for the transparent substrate include glass, quartz, quartz, and sapphire.
  • the shape of the transparent substrate is generally quadrangular, but a shape according to the purpose may be selected as appropriate.
  • the thickness of the transparent substrate is preferably in the range of 0.1 to 3.0 mm, for example.
  • the transparent substrate 11 is disposed between the first optically anisotropic layer 12 and the matching layer 15 in the phase difference compensating element 10 shown in FIG.
  • the first optically anisotropic layer is a layer that acts as a C-plate.
  • the layer is not particularly limited as long as it serves as a C-plate, but is preferably a laminate of dielectric films composed of two or more kinds of dielectrics having different refractive indexes.
  • the first optically anisotropic layer preferably has an antireflection function in addition to the C-plate function. That is, it is preferable that the first optically anisotropic layer functions as a C-plate and is positioned to simultaneously perform antireflection.
  • the first optically anisotropic layer is provided on the surface of the transparent substrate facing the surface on which the second optically anisotropic layer described later is provided.
  • FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of a first optically anisotropic layer according to an embodiment of the present invention.
  • the first optically anisotropic layer 12 shown in FIG. 2 is a multilayer film in which two types of dielectric films having different refractive indexes are laminated.
  • the first optically anisotropic layer 12 is composed of a dielectric multilayer film in which first dielectric films 121 and second dielectric films 122 are alternately stacked.
  • the number of layers is not particularly limited, for example, a dielectric multilayer film composed of a total of 34 layers in which the first dielectric films 121 and the second dielectric films 122 are alternately stacked can be given.
  • the first dielectric film 121 is formed of Nb 2 O 5 having a relatively high refractive index
  • the dielectric film 122 is preferably formed of SiO 2 having a relatively low refractive index.
  • the first optical anisotropic layer is a laminate of dielectric films made of two or more kinds of dielectrics having different refractive indexes
  • the first optical anisotropic layer is Since the constituent dielectric films have different film thicknesses, they function as a C-plate using structural birefringence and also function as an antireflection film using the light interference effect (multiple reflection).
  • the number of stacked layers can be relatively small.
  • the first optically anisotropic layer has a phase difference of 1.0 to 25.0 nm applied to obliquely incident light inclined by 15 degrees with respect to a direction orthogonal to the surface of the transparent substrate (substrate normal direction). It is preferable to design as follows. A practical first optically anisotropic layer is obtained by making the thickness of each dielectric film different so that the phase difference is within this range and further optimizing the number of laminated layers. Accordingly, the thickness of the first optically anisotropic layer may be a thickness necessary for obtaining a desired retardation, and is not particularly limited.
  • the second optical anisotropic layer in the retardation compensation element of the present invention includes a birefringent film formed by depositing an inorganic material.
  • the first optical anisotropic layer and the second optical anisotropic layer have a function of compensating for the phase difference in the phase difference compensating element of the present invention, and contribute to improving the contrast.
  • the second optical anisotropic layer 13 is disposed between the matching layer 15 and the protective layer 14.
  • the second optical anisotropic layer 13 is a layer including a birefringent film.
  • the birefringent film included in the second optically anisotropic layer is formed by depositing in a direction inclined with respect to the substrate normal, which is a direction orthogonal to the surface of the transparent substrate (hereinafter referred to as the substrate normal direction). It has become a film.
  • the second optical anisotropic layer in the retardation compensation element of the present invention includes a birefringent film formed by depositing an inorganic material.
  • the birefringent film is formed by being deposited in a direction inclined with respect to the substrate normal line of the transparent substrate.
  • the angle formed by the film forming direction of the inorganic material forming the birefringent film and the surface of the transparent substrate is 90 degrees. is not.
  • the present invention as a method of setting the angle formed by the film forming direction of the inorganic material to be a birefringent film and the surface of the transparent substrate to a state other than 90 degrees, for example, at a position inclined with respect to the substrate normal line
  • a method of arranging an evaporation source and forming an oblique vapor deposition film by oblique vapor deposition from the vapor deposition source is preferable.
  • FIG. 3 is a diagram showing the direction of a line segment in which liquid crystal molecules are projected on the surface of a transparent substrate.
  • the direction of the line segment obtained by projecting the tilt direction L of the liquid crystal molecules on the XY plane is the direction l of the line segment projected on the surface of the transparent substrate.
  • the phase difference compensating element of the present invention has an advantage that it is not necessary to adjust the arrangement angle in the in-plane direction.
  • FIG. 4 is a diagram showing the direction of a line segment obtained by projecting the film forming direction from the vapor deposition source to the transparent substrate surface onto the surface of the transparent substrate when the birefringent film is formed by oblique vapor deposition.
  • the vapor deposition film is formed from the vapor deposition source toward the transparent substrate 11 in the film formation direction D, the direction of the line segment obtained by projecting the film formation direction of the birefringent film on the surface of the transparent substrate is indicated by d.
  • the direction of the line segment obtained by projecting the film forming direction of the inorganic material onto the surface of the transparent substrate is continuously 15 ° or more. It is characterized by changing. That is, d shown in FIG. 4 continuously changes by 15 ° or more.
  • continuously changing by 15 ° or more means that the substrate position in the in-plane direction at the start of film formation and the substrate position in the in-plane direction at the end of film formation have changed by 15 ° or more, It means that the change of the substrate position in the in-plane direction during film formation is not intermittent.
  • the second optically anisotropic layer includes a birefringent film formed by depositing an inorganic material.
  • a dielectric material is preferable, and examples thereof include an oxide containing at least one selected from the group consisting of Si, Nb, Zr, Ti, La, Ta, Al, Hf, and Ce.
  • a material mainly composed of Ta 2 O 5 is preferable, and a material obtained by adding 5 to 15% by mass of TiO 2 to Ta 2 O 5 is more preferable.
  • the total thickness of the second optically anisotropic layer including the birefringent film formed by depositing the inorganic material is not particularly limited.
  • the layer thickness (film thickness) means an average film thickness.
  • the matching layer is an arbitrary layer in the present invention, and is a layer that prevents reflection at the interface between the transparent substrate and the second optical anisotropic layer.
  • the matching layer is provided between the transparent substrate and the second optically anisotropic layer, and is, for example, a dielectric multilayer film.
  • the matching layer is designed to cancel the interface reflected light between the transparent substrate and the matching layer and the interface reflected light between the matching layer and the second optical anisotropic layer.
  • the matching layer 15 in the phase difference compensation element 10 in FIG. 1 is disposed between the transparent substrate 11 and the second optical anisotropic layer 13. Due to the presence of the matching layer 15, the phase difference compensation element 10 becomes an element in which reflection is further prevented.
  • the protective layer is an arbitrary layer in the present invention, and is provided to prevent the retardation compensation element from warping and to improve the moisture resistance of the second optical anisotropic layer.
  • the material of the protective layer is not particularly limited as long as the stress applied to the retardation compensation element can be adjusted and contributes to the improvement of moisture resistance, but is preferably a dielectric.
  • An example of the protective layer is a thin film such as SiO 2 .
  • the antireflection layer is provided as necessary and has a function of preventing reflection in a desired use wavelength band.
  • the antireflection layer is, for example, a laminate of dielectric films, and the dielectric to be used and the number of layers can be appropriately set according to required characteristics and productivity.
  • the liquid crystal display device of the present invention includes a liquid crystal cell and the above-described retardation compensation element of the present invention.
  • the liquid crystal cell is preferably in the VA mode.
  • the VA mode liquid crystal cell is a vertical alignment type liquid crystal cell, and the liquid crystal molecules in a state where no voltage is applied are aligned in a fixed direction with respect to the normal direction of the substrate surface. This inclination angle is called a pretilt depression angle.
  • phase difference compensation element only one phase difference compensation element is disposed between the incident side polarizing plate and the liquid crystal cell on the optical path having the liquid crystal cell, or between the liquid crystal cell and the outgoing side polarizing plate. Without adjusting the angle of the phase difference compensating element, the contrast of the liquid crystal display device can be improved, and a sufficient optical compensation effect can be obtained.
  • the projection-type image display device includes a light source that emits light, a projection optical system that projects modulated light, and the liquid crystal display device that is disposed in an optical path between the light source and the projection optical system. And having.
  • the light source emits light, and examples thereof include an ultrahigh pressure mercury lamp that emits white light.
  • the projection optical system projects modulated light, and examples thereof include a projection lens that projects the modulated light onto a screen.
  • a liquid crystal display device including a VA mode liquid crystal cell and the retardation compensation element of the present invention is disposed on an optical path between a light source and a projection optical system.
  • a glass substrate (average thickness 0.7 mm) is prepared, and 40 layers are alternately laminated on one surface using Nb 2 0 5 and SiO 2 by a sputtering method. A sex layer was formed. The phase difference to be applied was set to 9.0 nm with respect to incident light inclined by 15 ° from the normal direction of the substrate. (Matching layer formation) Next, a matching layer was formed on the other surface of the glass substrate by alternately stacking five layers by sputtering using Nb 2 O 5 and SiO 2 .
  • Second optically anisotropic layer On the matching layer, a mixture of Ta 2 O 5 and TiO 2 is used as a vapor deposition material, and as shown in FIG. 5, the film deposition direction of oblique vapor deposition is continuously changed from 55 ° to 215 °, thereby forming a birefringent film. Formed.
  • a vapor deposition source was disposed at a position inclined by 70 degrees with respect to the substrate normal direction.
  • Example 1 After vapor deposition, annealing was performed at 300 ° C. in order to stabilize the characteristics.
  • the direction 1 of the line segment obtained by projecting the liquid crystal molecules of the liquid crystal cell onto the surface of the transparent substrate is 45 °.
  • a protective layer was formed by depositing a SiO 2 film on the annealed second optically anisotropic layer by plasma CVD using TEOS (tetraethoxysilane) gas and O 2 . .
  • TEOS tetraethoxysilane
  • an antireflection layer was formed on the protective layer by alternately laminating seven layers by sputtering using Nb 2 0 5 and SiO 2 to obtain a final retardation compensation element.
  • the phase difference compensation element of the present invention can improve the contrast by appropriately correcting the phase difference generated in the liquid crystal cell. Further, since there is no need to adjust the angle of the phase difference compensation element, the arrangement space can be greatly reduced. Furthermore, since an inorganic material is used, it is excellent in durability.

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Abstract

高コスト化、リードタイムの長期化を抑制しつつ、耐久性を有し、液晶表示装置のコントラストを高精度に改善できる位相差補償素子を提供すること。　基板上に、Ｃ－プレートとして作用する第１の光学異方性層と、無機材料が堆積して形成された複屈折膜を含む第２の光学異方性層を備え、第２の光学異方性層に含まれる複屈折膜を特定の条件とする。

Description

位相差補償素子、液晶表示装置および投射型画像表示装置
　本発明は、位相差補償素子、液晶表示装置および投射型画像表示装置に関する。
　近年、液晶表示装置において、コントラスト特性や視野角特性を改善するために、位相差補償素子を用いた光学補償技術が利用されている。このような位相差補償素子としては、例えば、誘電体材料の蒸着により、高屈折率と低屈折率の薄膜を交互に積層して形成した負のＣ－プレートと、少なくとも二層構成の斜方蒸着膜で形成されたＯプレートと、を積層した位相差補償素子が提案されている（特許文献１参照）。
　しかしながら、特許文献１に記載された負のＣ－プレートは、屈折率の異なる２種類の蒸着膜の光学膜厚の比を定め、それに基づき定められた同一の膜厚の高屈折率層と、同一の膜厚の低屈折率層が交互に積層され、その結果生じる構造性複屈折によって位相差を発現させる。このため、合計で８０層以上の積層数が必要となる上、さらに別途、反射防止膜が必要となるため、高コスト化やリードタイムの長期化が懸念される。
　また別の位相差補償技術として、斜方蒸着膜で形成された２枚の位相差板を用いて、光学補償する方法が提案されている（特許文献２参照）。特許文献２に記載された光学補償方法では、２枚の位相差板を面内方向に回転させ、関係角度を最適な位置に調整することでコントラストを向上させる。
　しかしながら、特許文献２に記載された光学補償方法では、２枚の位相差板と、当該２枚の位相差板を回転させる回転機構が必要となるため、高コスト化や搭載スペースの増加が懸念される。
　また別の位相差補償技術として、少なくとも２つの補償層を有し、それらの位相差の値や、面内の光学軸方向が互いに異なるように配置して貼り合わせた位相差補償板を用いた液晶表示装置が提案されている（特許文献３参照）。
　しかしながら、特許文献３に記載された液晶表示装置にて用いられる位相差補償板は、２つの補償層の貼り合せによって形成することから接着剤を必要とし、耐久性に課題がある。また、２枚の基板が必要となり、高コスト化の懸念もある。
特開２００６－１７１３２７号公報 特開２００９－１４５８６３号公報 国際公開第２００８／０８ｌ９１９号
　本発明は上記の背景技術に鑑みてなされたものであり、その目的は、高コスト化、リードタイムの長期化を抑制しつつ、耐久性を有するとともに、液晶表示装置のコントラストを高精度に改善できる位相差補償素子を提供することにある。
　本発明者は、基板上に、Ｃ－プレートとして作用する第１の光学異方性層と、無機材料が堆積して形成された複屈折膜を含む第２の光学異方性層を備え、第２の光学異方性層に含まれる複屈折膜を特定の条件とすれば、上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成させるに至った。
　すなわち本発明は、液晶セルで生じる光の位相差を補償する位相差補償素子であって、透明基板と、Ｃ－プレートとして作用する第１の光学異方性層と、無機材料が堆積して形成された複屈折膜を含む第２の光学異方性層と、を備え、前記第２の光学異方性層に含まれる前記複屈折膜は、前記無機材料の成膜方向と前記透明基板の表面とのなす角の角度が９０度ではなく、前記第２の光学異方性層に含まれる前記複屈折膜は、前記無機材料の前記成膜方向を前記透明基板の表面に投影した線分の向きが、連続して１５°以上変化する、位相差補償素子である。
　前記複屈折膜は、斜方蒸着膜であってもよい。
　前記無機材料は、Ｓｉ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｌａ、Ｔａ、Ａｌ、Ｈｆ、およびＣｅからなる群より選択される少なくとも１種を含有する酸化物であってもよい。
　前記第１の光学異方性層は、屈折率の異なる２種以上の誘電体からなる誘電体膜の積層体であり、反射防止の作用と、Ｃ－プレートとしての作用とを有するものであってもよい。
　前記誘電体膜は、ＴｉＯ２、ＳｉＯ２、Ｔａ２Ｏ５、Ａｌ２Ｏ３、ＣｅＯ２、ＺｒＯ２、ＺｒＯ、Ｎｂ２Ｏ５、およびＨｆＯ２からなる群より選択される少なくとも１種を含んでいてもよい。
　前記透明基板と前記第２の光学異方性層との間にマッチング層を備えていてもよい。
　前記第２の光学異方性層の上に、誘電体膜からなる保護層を備えていてもよい。
　前記透明基板が、ガラス、石英、水晶、およびサファイヤのいずれかであってもよい。
　また別の本発明は、ＶＡモード液晶セルと、上記の位相差補償素子と、を備える液晶表示装置である。
　また別の本発明は、光を出射する光源と、変調された光を投射する投射光学系と、前記光源と前記投射光学系との間の光路に配置された上記の液晶表示装置と、を有する投射型画像表示装置である。
　本発明によれば、高コスト化、リードタイムの長期化を抑制しつつ、耐久性を有するとともに、液晶表示装置のコントラストを高精度に改善できる位相差補償素子を提供できる。
本発明の一実施形態に係る位相差補償素子の断面模式図である。 本発明の一実施形態に係る第１の光学異方性層の断面模式図である。 液晶分子を透明基板の表面に投影した線分の向きが示されている図である。 複屈折膜の成膜方向を透明基板の表面に投影した線分の向きが示されている図である。 実施例１の複屈折膜の成膜方向を示す図である。
　以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。
　［位相差補償素子］
　本発明の位相差補償素子は、液晶セルで生じる光の位相差を補償する位相差補償素子であって、透明基板と、Ｃ－プレートとして作用する第１の光学異方性層と、無機材料からなる複屈折膜を含む第２の光学異方性層と、を備える。第２の光学異方性層に含まれる複屈折膜は、無機材料の成膜方向と透明基板の表面とのなす角の角度が９０度ではなく、第２の光学異方性層に含まれる複屈折膜は、無機材料の前記成膜方向を前記透明基板の表面に投影した線分の向きが、連続して１５°以上変化する。
　図１は、本発明の一実施形態に係る位相差補償素子１０の断面模式図である。図１に示すように、本実施形態に係る位相差補償素子１０は、透明基板１１と、第１の光学異方性層１２と、第２の光学異方性層１３と、保護層１４と、マッチング層１５と、反射防止層１６と、を備える。なお、本発明は、透明基板と、第１の光学異方性層と、第２の光学異方性層とを、少なくとも備えていればよい。
　［透明基板］
　透明基板は、所望の使用波長帯域の光に対して透光性を有するものであれば、特に限定されるものではない。透明基板の材料としては、例えば、ガラス、石英、水晶、サファイヤ等が挙げられる。透明基板の形状としては、四角形が一般的であるが、目的に応じた形状を適宜選択してもよい。また、透明基板の厚みは、例えば０．１～３．０ｍｍの範囲とすることが好ましい。
　図１に示される位相差補償素子１０においては、透明基板１１は、第１の光学異方性層１２とマッチング層１５との間に配置される。
　［第１の光学異方性層］
　第１の光学異方性層は、Ｃ－プレートとして作用する層である。Ｃ－プレートとして作用する層であれば、特に限定されるものではないが、屈折率の異なる２種以上の誘電体からなる誘電体膜の積層体であることが好ましい。また、第１の光学異方性層は、Ｃ－プレートとしての作用以外に、反射防止の作用を有することが好ましい。すなわち第１の光学異方性層は、Ｃ－プレートとして作用するとともに、反射防止を同時に行う位置づけとなっていることが好ましい。
　第１の光学異方性層は、透明基板の、後記する第２の光学異方性層が設けられた面と対向する面に設けられる。
　図２は、本発明の一実施形態に係る第１の光学異方性層の断面模式図である。図２に示す第１の光学異方性層１２は、屈折率の異なる２種類の誘電体膜を積層した多層膜である。本実施形態では、第１の光学異方性層１２は、第１の誘電体膜１２１と、第２の誘電体膜１２２とが交互に積層された誘電体多層膜で構成される。層数としては特に限定されるものではないが、例えば、第１の誘電体膜１２１と第２の誘電体膜１２２が交互に積層された合計３４層からなる誘電体多層膜が挙げられる。
　第１の光学異方性層を構成する、屈折率の異なる２種以上の誘電体からなる誘電体膜を形成する材料としては、それぞれ、ＴｉＯ２、ＳｉＯ２、Ｔａ２Ｏ５、Ａｌ２Ｏ３、ＣｅＯ２、ＺｒＯ２、ＺｒＯ、Ｎｂ２Ｏ５、およびＨｆＯ２からなる群より選択される少なくとも１種を含む無機酸化物が挙げられる。例えば、図２に示す一実施形態に係る第１の光学異方性層１２においては、第１の誘電体膜１２１は、相対的に高屈折率のＮｂ２Ｏ５にて形成し、第２の誘電体膜１２２は、相対的に低屈折率のＳｉＯ２にて形成することが好ましい。
　ここで、本発明において、第１の光学異方性層を、屈折率の異なる２種以上の誘電体からなる誘電体膜の積層体とする場合には、第１の光学異方性層は、構成する誘電体膜の膜厚が異なることから、構造複屈折を利用してＣ－プレートとして作用しつつ、光の干渉効果（多重反射）を利用して、反射防止膜としても機能する。また、積層数も比較的少なくすることが可能である。
　第１の光学異方性層は、透明基板の表面に直交する方向（基板法線方向）に対して１５度傾斜した斜入射光に付与する位相差が、１．０～２５．０ｎｍとなるように設計することが好ましい。この範囲の位相差となるように、各誘電体膜の膜厚を異なるものとし、さらに積層数を最適なものとすることで、実用的な第１の光学異方性層となる。したがって、第１の光学異方性層の膜厚は、所望の位相差を得るために必要な厚みとすればよく、特に限定されるものではない。
　［第２の光学異方性層］
　本発明の位相差補償素子における第２の光学異方性層は、無機材料が堆積して形成された複屈折膜を含む。第１の光学異方性層と第２の光学異方性層は、本発明の位相差補償素子において位相差を補償する機能を有し、コントラストを改善することに寄与する。
　図１に示される位相差補償素子１０においては、第２の光学異方性層１３は、マッチング層１５と保護層１４との間に配置される。第２の光学異方性層１３は、複屈折膜を含む層となっている。
　第２の光学異方性層に含まれる複屈折膜は、透明基板の表面に直交する方向（以下、基板法線方向という）である基板法線に対して、傾斜する方向に堆積して形成された膜となっている。本発明の位相差補償素子における第２の光学異方性層は、無機材料が堆積して形成された複屈折膜を含む。
　複屈折膜は、透明基板の基板法線に対して傾斜する方向に堆積して形成され、複屈折膜を形成する無機材料の成膜方向と透明基板の表面とのなす角の角度は９０度ではない。
　本発明において、複屈折膜となる無機材料の成膜方向と透明基板の表面とのなす角の角度を９０度ではない状態にする方法としては、例えば、基板法線に対して傾斜した位置に蒸着源を配置し、当該蒸着源からの斜方蒸着により、斜方蒸着膜を形成する方法が好ましい。
　図３は、液晶分子を透明基板の表面に投影した線分の向きが示されている図である。液晶分子の傾斜方向ＬをＸＹ平面上に投影して得られる線分の向きが、液晶分子を透明基板の表面に投影した線分の向きｌとなる。なお、本発明の位相差補償素子は、面内方向に配置角度を調整する必要がないという利点を有する。
　図４は、斜方蒸着により複屈折膜を形成した場合に、蒸着源から透明基板表面への成膜方向を透明基板の表面に投影した線分の向きが示されている図である。蒸着源から成膜方向Ｄにて透明基板１１に向かって蒸着膜を形成する場合には、複屈折膜の成膜方向を透明基板の表面に投影した線分の向きは、ｄで示される。
　本発明の位相差補償素子における第２の光学異方性層に含まれる複屈折膜は、無機材料の成膜方向を透明基板の表面に投影した線分の向きが、連続して１５°以上変化することを特徴とする。すなわち、図４に示されるｄが、連続して１５°以上変化する。
　ここで、連続して１５°以上変化するとは、具体的には、成膜開始時の面内方向の基板位置と成膜終了時の面内方向の基板位置が１５°以上変化していて、成膜中における面内方向の基板位置の変化が断続的ではないことを意味する。本発明において、無機材料の成膜方向を透明基板の表面に投影した線分の向きが、連続して１５°以上変化する方法としては、第２の光学異方性層に含まれる複屈折膜を斜方蒸着で形成し、その際、透明基板を面内方向に連続して回転させ、成膜方向を変化させる方法が挙げられる。
　第２の光学異方性層は、無機材料が堆積して形成された複屈折膜を含む。無機材料としては、誘電材料が好ましく、例えば、Ｓｉ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｌａ、Ｔａ、Ａｌ、Ｈｆ、およびＣｅからなる群より選択される少なくとも１種を含有する酸化物が挙げられる。さらには、Ｔａ２Ｏ５を主成分とするものが好ましく、Ｔａ２Ｏ５にＴｉＯ２を５～１５質量％添加した材料がさらに好ましい。
　無機材料が堆積して形成された複屈折膜を含む第２の光学異方性層全体の厚みは、特に限定されるものではない。なお、本明細書において層の厚み（膜厚）とは、平均の膜厚を意味する。
　［マッチング層］
　マッチング層は、本発明においては任意の層であり、透明基板と第２の光学異方性層との界面における反射を防止する層である。マッチング層は、透明基板と第２の光学異方性層との間に設けられ、例えば、誘電体の多層膜である。マッチング層は、透明基板とマッチング層との界面反射光と、マッチング層と第２の光学異方性層との界面反射光を、打ち消しあうように設計する。
　図１における位相差補償素子１０におけるマッチング層１５は、透明基板１１と第２の光学異方性層１３との間に配置されている。マッチング層１５の存在により、位相差補償素子１０は、より反射が防止された素子となる。
　［保護層］
　保護層は、本発明においては任意の層であり、位相差補償素子の反りを防止し、かつ、第２の光学異方性層の耐湿性を向上するために設けられる。保護層の材料としては、位相差補償素子にかかる応力が調整可能であり、かつ、耐湿性向上に寄与するものであれば特に限定されるものではないが、誘電体であることが好ましい。保護層としては、例えばＳｉＯ２等の薄膜が挙げられる。
　図１における位相差補償素子１０における保護層１４は、第２の光学異方性層１３と反射防止層１６との間に配置されている。保護層を設ける場合には、位相差補償素子において、第２の光学異方性層上に配されることが好ましい。
　［反射防止層］
　反射防止層は、必要に応じて設けられ、所望の使用波長帯域における反射防止の作用を有する層である。反射防止層は、例えば誘電体膜が積層されたものであり、必要とする特性と生産性に応じて、用いる誘電体と層数とを適宜設定することができる。
　図１における位相差補償素子１０における反射防止層１６は、第２の光学異方性層１３やマッチング層１５、保護層１４が設けられている側の最外部となるように設けられている。
　［液晶表示装置］
　本発明の液晶表示装置は、液晶セルと、上記の本発明の位相差補償素子と、を備える。本発明においては、液晶セルはＶＡモードであることが好ましい。
　ＶＡモード液晶セルは、垂直配向型の液晶セルであり、無電圧印加状態における液晶分子は、基板面の法線方向に対して一定の方向に傾いて配向する。この傾き角度をプレチル卜角と呼ぶ。
　本発明によれば、わずか一枚の位相差補償素子を、液晶セルを有する光路上の入射側偏光板と液晶セルの間、または、液晶セルと出射側偏光板の間に配置するだけで、特に位相差補償素子の角度調整を行うことなく、液晶表示装置のコントラストを改善させることができ、十分な光学補償効果を得ることができる。
　［投射型画像表示装置］
　また、本発明の投射型画像表示装置は、光を出射する光源と、変調された光を投射する投射光学系と、光源と投射光学系との間の光路に配置された上記の液晶表示装置と、を有する。
　光源は、光を出射するものであり、例えば、白色光を出射する超高圧水銀ランプ等が挙げられる。投射光学系は、変調された光を投射するものであり、例えば、変調された光をスクリーンに投射する投射レンズ等が挙げられる。ＶＡモード液晶セルと、本発明の位相差補償素子と、を備える液晶表示装置は、光源と投射光学系との間の光路上に配置される。
　なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良は本発明に含まれる。
　次に、本発明の実施例について説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
　＜実施例１＞
　［位相差補償素子の作製］
　（第１の光学異方性層の形成）
　ガラス基板（平均厚み０．７ｍｍ）を準備し、一方の面上に、Ｎｂ２０５とＳｉＯ２とを用いて、４０層をスパッタ法により交互に積層することによって、第１の光学異方性層を形成した。付与する位相差は、基板の法線方向から１５°傾斜した入射光に対して９．０ｎｍとなるようにした。
　（マッチング層の形成）
　次いで、ガラス基板の他方の面上に、Ｎｂ２Ｏ５とＳｉＯ２とを用いて、５層をスパッタ法により交互に積層することによって、マッチング層を形成した。
　（第２の光学異方性層の形成）
　マッチング層上に、Ｔａ２Ｏ５とＴｉＯ２の混合物を蒸着材料として、図５に示すように、斜方蒸着の成膜方向を５５°から２１５°まで連続して変化させて、複屈折膜を形成した。蒸着にあたっては、基板法線方向に対して７０度傾斜した位置に蒸着源を配置した。
　蒸着後、特性を安定化させるために３００℃でアニール処理を行った。なお、実施例１において、液晶セルの液晶分子を透明基板の表面に投影した線分の向きｌは、４５°である。
　（保護層の形成）
　アニール処理した第２の光学異方性層に対して、ＴＥＯＳ（テトラエトキシシラン）ガスとＯ２とを用いて、プラズマＣＶＤ法により、ＳｉＯ２膜を成膜することにより、保護層を形成した。
　（反射防止層の形成）
　次いで、保護層の上に、Ｎｂ２０５とＳｉＯ２とを用いて、スパッタ法により７層を交互積層することによって反射防止層を形成し、最終的な位相差補償素子を得た。
　［コントラストの測定］
　実施例１で得られた位相差補償素子を、投射型画像表示装置に組み込み、コントラストを測定した。結果を表１に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　本発明の位相差補償素子は、液晶セルで発生する位相差を適切に補正することで、コントラストを改善することができる。また、位相差補償素子の角度調整等する必要がないため、配置スペースを大幅に縮小することができる。さらに、無機材料を用いているため耐久性に優れている。
　１０　　位相差補償素子
　１１　　透明基板
　１２　　第１の光学異方性層
　１２１　第１の誘電体膜
　１２２　第２の誘電体膜
　１３　　第２の光学異方性層
　１４　　保護層
　１５　　マッチング層
　１６　　反射防止層
　Ｌ　　　液晶分子の傾斜方向
　ｌ　　　液晶分子を透明基板の表面に投影した線分の向き
　Ｄ　　　複屈折膜の成膜方向
　ｄ　　　複屈折膜の成膜方向を前記透明基板の表面に投影した線分の向き

Claims (10)

  1. 　液晶セルで生じる光の位相差を補償する位相差補償素子であって、
    　透明基板と、
    　Ｃ－プレートとして作用する第１の光学異方性層と、
    　無機材料が堆積して形成された複屈折膜を含む第２の光学異方性層と、を備え、
    　前記第２の光学異方性層に含まれる前記複屈折膜は、前記無機材料の成膜方向と前記透明基板の表面とのなす角の角度が９０度ではなく、
    　前記第２の光学異方性層に含まれる前記複屈折膜は、前記無機材料の前記成膜方向を前記透明基板の表面に投影した線分の向きが、連続して１５°以上変化する、位相差補償素子。
  2. 　前記複屈折膜は、斜方蒸着膜である請求項１に記載の位相差補償素子。
  3. 　前記無機材料は、Ｓｉ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｌａ、Ｔａ、Ａｌ、Ｈｆ、およびＣｅからなる群より選択される少なくとも１種を含有する酸化物である請求項１または２に記載の位相差補償素子。
  4. 　前記第１の光学異方性層は、屈折率の異なる２種以上の誘電体からなる誘電体膜の積層体である、請求項１～３いずれか記載の位相差補償素子。
  5. 　前記誘電体膜は、ＴｉＯ２、ＳｉＯ２、Ｔａ２Ｏ５、Ａｌ２Ｏ３、ＣｅＯ２、ＺｒＯ２、ＺｒＯ、Ｎｂ２Ｏ５、およびＨｆＯ２からなる群より選択される少なくとも１種を含んでいる、請求項４に記載の位相差補償素子。
  6. 　前記透明基板と前記第２の光学異方性層との間にマッチング層を備える、請求項１～５いずれか記載の位相差補償素子。
  7. 　前記第２の光学異方性層の上に、誘電体膜からなる保護層を備える、請求項１～６いずれか記載の位相差補償素子。
  8. 　前記透明基板が、ガラス、石英、水晶、およびサファイヤのいずれかである請求項１～７いずれか記載の位相差補償素子。
  9. 　液晶セルと、
    　請求項１～８のいずれか記載の位相差補償素子と、を備える液晶表示装置。
  10. 　光を出射する光源と、
    　変調された光を投射する投射光学系と、
    　前記光源と前記投射光学系との間の光路に配置された請求項９に記載の液晶表示装置と、を有する投射型画像表示装置。
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0335201A (ja) * 1989-06-30 1991-02-15 Nitto Denko Corp 位相差板及びその製造方法
JP2002509188A (ja) * 1997-07-30 2002-03-26 ザ ガバナーズ オブ ザ ユニヴァーシティ オブ アルバータ 薄いフィルムの視射角蒸着
JP2007086406A (ja) * 2005-09-22 2007-04-05 Fujifilm Corp 液晶表示装置及び光学異方性体並びにその製造方法
JP2007084880A (ja) * 2005-09-22 2007-04-05 Fujifilm Corp 蒸着装置及び位相差補償素子
JP2009075459A (ja) * 2007-09-21 2009-04-09 Fujifilm Corp 二軸性複屈折体の製造方法、二軸性複屈折体及び液晶プロジェクタ
JP2015082010A (ja) * 2013-10-22 2015-04-27 デクセリアルズ株式会社 無機光学素子

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6206065B1 (en) 1997-07-30 2001-03-27 The Governors Of The University Of Alberta Glancing angle deposition of thin films
JP2006171327A (ja) 2004-12-15 2006-06-29 Fuji Photo Film Co Ltd 位相差補償素子並びにこれを用いた液晶表示装置及び液晶プロジェクタ
JP4672469B2 (ja) * 2005-07-11 2011-04-20 富士フイルム株式会社 液晶装置及び投射型表示装置
JP4586781B2 (ja) * 2006-09-14 2010-11-24 ソニー株式会社 位相差補償板、位相差補償器、液晶表示装置および投射型画像表示装置
TWI427374B (zh) * 2006-12-27 2014-02-21 Fujifilm Corp 遲延度補償元件、垂直配向向列型液晶顯示裝置、及液晶投影機
TW200842417A (en) 2006-12-28 2008-11-01 Sony Corp Optical compensation plate, liquid crystal display device, projection type liquid crystal display device, display device manufacturing method, and adjusting method
US8203676B2 (en) * 2007-06-01 2012-06-19 Teijin Limited Retardation film, laminated polarizing film, and liquid crystal display device
JP5262387B2 (ja) 2007-11-20 2013-08-14 セイコーエプソン株式会社 液晶装置、プロジェクタ及び液晶装置の光学補償方法
JP5552727B2 (ja) * 2007-11-20 2014-07-16 セイコーエプソン株式会社 液晶装置、プロジェクタ、液晶装置の光学補償方法及び位相差板
US8300294B2 (en) * 2009-09-18 2012-10-30 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Planar gradient index optical metamaterials
CN104737040B (zh) * 2012-09-28 2017-02-01 富士胶片株式会社 光学补偿板
US9784898B2 (en) * 2013-04-10 2017-10-10 Dexerials Corporation Phase difference compensating element and projection-type image projecting device
JP6868380B2 (ja) * 2016-12-09 2021-05-12 デクセリアルズ株式会社 位相差補償素子、液晶表示装置及び投射型画像表示装置
JP2021086013A (ja) * 2019-11-28 2021-06-03 デクセリアルズ株式会社 光学素子、及びその製造方法、並びに投射型画像表示装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0335201A (ja) * 1989-06-30 1991-02-15 Nitto Denko Corp 位相差板及びその製造方法
JP2002509188A (ja) * 1997-07-30 2002-03-26 ザ ガバナーズ オブ ザ ユニヴァーシティ オブ アルバータ 薄いフィルムの視射角蒸着
JP2007086406A (ja) * 2005-09-22 2007-04-05 Fujifilm Corp 液晶表示装置及び光学異方性体並びにその製造方法
JP2007084880A (ja) * 2005-09-22 2007-04-05 Fujifilm Corp 蒸着装置及び位相差補償素子
JP2009075459A (ja) * 2007-09-21 2009-04-09 Fujifilm Corp 二軸性複屈折体の製造方法、二軸性複屈折体及び液晶プロジェクタ
JP2015082010A (ja) * 2013-10-22 2015-04-27 デクセリアルズ株式会社 無機光学素子

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