JP2019095776A - 光学素子及び投射型画像表示装置 - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 58
- 229910000449 hafnium oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 22
- WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N hafnium(4+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Hf+4] WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 22
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims abstract description 6
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims abstract description 6
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 82
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 66
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 56
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 41
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 31
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 16
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 14
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims description 12
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 7
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 4
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 238000000137 annealing Methods 0.000 claims description 3
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 claims description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 abstract description 18
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 10
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 3
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- -1 Ta 2 O 5 Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PBCFLUZVCVVTBY-UHFFFAOYSA-N tantalum pentoxide Inorganic materials O=[Ta](=O)O[Ta](=O)=O PBCFLUZVCVVTBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N hafnium(iv) oxide Chemical compound O=[Hf]=O CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 239000011364 vaporized material Substances 0.000 description 1
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Abstract
Description
1.光学素子
2.光学素子の製造方法
3.投射型画像表示装置
4.実施例
本実施の形態に係る光学素子は、使用波長帯域の光に対して透明である基板と、酸化ハフニウムを主成分とする斜方蒸着膜からなる複屈折層とを備える。これにより、レーザー光源などからの高輝度かつ高出力の光に対して優れた耐性を得ることができる。これは、高い融点を有する酸化ハフニウムが、斜方蒸着膜の柱状組織の熱崩壊を防ぐためであると考えられる。
次に、本実施形態に係る光学素子の製造方法について説明する。本実施形態に係る光学素子の製造方法は、蒸着対象面の法線に対して傾斜する方向に酸化ハフニウムを主成分とする蒸着材料を堆積し、酸化ハフニウムを主成分とする斜方蒸着膜からなる複屈折層を形成する。また、本実施形態に係る光学素子の製造方法は、蒸着対象面の法線に対して傾斜する第1の方向に酸化ハフニウムを主成分とする蒸着材料を堆積し、第1の斜方蒸着膜を成膜する工程と、蒸着対象面の法線に対して傾斜する第2の方向に酸化ハフニウムを主成分とする蒸着材料を堆積し、第2の斜方蒸着膜を成膜する工程とを繰り返し、斜方蒸着膜が交互に成膜された膜からなる複屈折層を形成する。これにより、レーザー光源などからの高輝度かつ高出力の光に対して優れた耐性を有する光学素子を得ることができる。
前述した光学素子は、高輝度かつ高出力の光に対して優れた耐性を有するため、液晶プロジェクタ、DLP(登録商標)(Digital Light Processing)プロジェクタ、LCOS(Liquid Crystal On Silicon)プロジェクタ、GLV(登録商標)(Grating Light Valve)プロジェクタなどのプロジェクタ用途として好適に用いられる。すなわち、本実施の形態に係る投射型画像表示装置は、前述した光学素子と、光変調装置と、光を出射する光源と、変調された光を投射する投射光学系とを備え、光変調装置及び光学素子が、光源と投射光学系との間の光路上に配置されてなるものである。光変調装置としては、透過型液晶パネルなどを有する液晶表示装置、DMD(Digital Micro-mirror Device)などを有するマイクロミラー表示装置、反射型液晶パネルなどを有する反射型液晶表示装置、1次元回析型光変調素子(GLV)などを有する1次元回析型表示装置などが挙げられる。
以下、本技術の実施例について説明する。ここでは、斜方蒸着膜を有する位相差素子を作製し、レーザー照射試験を行った。なお、本技術はこれらの実施例に限定されるものではない。
先ず、ガラス基板(平均厚み0.7mm)の一方の面上に、SiO2/Nb2O5/SiO2の3層をスパッタ法により積層することによって、マッチング層を形成した。
蒸着材料をTa2O5とした以外は、実施例1と同様のプ口セスで位相差素子を作製した。
実施例及び比較例の方法で作成した各30個の位相差素子に対して、以下の条件にてレーザー照射を行ない、損傷の個数をカウントした。損傷の基準は、透明な位相差素子のレーザーが照射された部位が白濁することとし、これを目視にて確認した。表1に、レーザー照射による位相差素子の損傷個数の結果を示す。
波長:455nm CW(連続波)半導体レーザー
レーザー出力:61W
パワー密度:10.2W/mm2
照射時間:3分間
Claims (13)
- 使用波長帯域の光に対して透明である基板と、
酸化ハフニウムを主成分とする斜方蒸着膜からなる複屈折層と
を備える光学素子。 - 前記複屈折層が、前記基板の法線に対して第1の傾斜方向を有する第1の斜方蒸着膜と第2の傾斜方向を有する第2の斜方蒸着膜とが交互に成膜されてなる請求項1記載の光学素子。
- 屈折率の異なる2種類以上の誘電体膜が積層されてなる反射防止層を少なくとも1層備える請求項1又は2記載の光学素子。
- 前記複屈折層上に誘電体膜からなる保護層をさらに備える請求項1乃至3のいずれか1項に記載の光学素子。
- 屈折率の異なる2種類以上の誘電体膜が積層されてなるマッチング層をさらに備え、
前記基板と前記マッチング層と前記複屈折層とが、この順に積層されてなる請求項1乃至3のいずれか1項に記載の光学素子。 - 前記保護層の誘電体膜が、SiO2である請求項4記載の光学素子。
- 前記マッチング層の前記複屈折層に接する誘電体膜が、SiO2である請求項5記載の光学素子。
- 前記反射防止層が、TiO2、SiO2、Ta2O5、Al203、CeO2、ZrO2、ZrO、Nb2O5、HfO2から選択される2種類以上の誘電体膜が積層されてなる請求項3に記載の光学素子
- 前記基板が、ガラス、石英、水晶、サファイアから選択されるいずれか1種である請求項1乃至8のいずれか1項に記載の光学素子。
- 請求項1乃至9のいずれか1項に記載の光学素子と、光変調装置と、光を出射する光源と、変調された光を投射する投射光学系とを備え、
前記光変調装置及び前記光学素子が、前記光源と前記投射光学系との間の光路上に配置されてなる投射型画像表示装置。 - 蒸着対象面の法線に対して傾斜する方向に酸化ハフニウムを主成分とする蒸着材料を堆積し、斜方蒸着膜からなる複屈折層を形成する光学素子の製造方法。
- 蒸着対象面の法線に対して傾斜する第1の方向に酸化ハフニウムを主成分とする蒸着材料を堆積し、第1の斜方蒸着膜を成膜する工程と、蒸着対象面の法線に対して傾斜する第2の方向に酸化ハフニウムを主成分とする蒸着材料を堆積し、第2の斜方蒸着膜を成膜する工程とを繰り返し、複屈折層を形成する光学素子の製造方法。
- 前記複屈折層を形成後に200℃以上600℃以下の温度でアニール処理を行うことを特徴とする請求項11又は12記載の光学素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018177908A JP7092630B2 (ja) | 2018-09-21 | 2018-09-21 | 光学素子及び投射型画像表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018177908A JP7092630B2 (ja) | 2018-09-21 | 2018-09-21 | 光学素子及び投射型画像表示装置 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017223769A Division JP2019095554A (ja) | 2017-11-21 | 2017-11-21 | 光学素子及び投射型画像表示装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019095776A true JP2019095776A (ja) | 2019-06-20 |
JP2019095776A5 JP2019095776A5 (ja) | 2020-12-24 |
JP7092630B2 JP7092630B2 (ja) | 2022-06-28 |
Family
ID=66972956
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2018177908A Active JP7092630B2 (ja) | 2018-09-21 | 2018-09-21 | 光学素子及び投射型画像表示装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP7092630B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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