壳体、移动终端及溅射镀膜装置
本申请要求于2018年01月26日提交中国专利局、申请号为201820142185.3申请名称为“壳体、移动终端及溅射镀膜装置”的中国实用新型专利申请的优先权,其全部内容通过引用结合在本申请中。
技术领域
本申请涉及电子设备领域,尤其涉及一种壳体、移动终端及溅射镀膜装置。
背景技术
由于多色镀膜工艺的难度较大且产品良品率较低,因此目前手机的后盖在常规镀膜后,通常只有一种主体颜色呈现在产品上,也即只有单一色调,导致手机外观较为单调。
发明内容
本申请实施方式提供一种具有渐变色的壳体和移动终端,以及一种用于制成所述壳体的溅射镀膜装置。
第一方面,本申请实施方式提供了一种壳体。所述壳体应用于移动终端。所述壳体包括衬底及镀于所述衬底上的组合膜层。所述组合膜层包括多层膜层。所述组合膜层的厚度沿第一方向递减或递增,且所述组合膜层的任意两个沿所述第一方向排列的区域之间的膜厚差值小于等于350纳米(nm),以使所述壳体呈现波长处于400纳米至760纳米范围内的渐变色。
在本实施方式中,由于所述壳体的所述组合膜层的厚度沿第一方向递减或递增,因此所述壳体能够呈现出渐变色,使得所述壳体的外观色调更为丰富、多样。并且,由于所述组合膜层的任意两个沿所述第一方向排列的区域之间的膜厚差值小于等于350纳米,因此所述壳体能够呈现波长处于400纳米至760纳米范围内的色彩,也即所述壳体能够呈现如红、橙、黄、绿、蓝、靛、紫等颜色的彩虹色,且所呈现的彩虹色是渐变的,故而所述壳体的外观色调感官更好,能够满足客户的色彩体验需求。
其中,所述组合膜层的厚度大于等于50纳米且小于等于400纳米。所述组合膜层沿所述第一方向的厚度呈现平缓曲线变化,以使所述壳体的外观变化更为自然、平缓。
一种实施方式中,所述组合膜层的厚度沿第二方向递减或递增,第二方向与所述第一方向相交。换言之,所述组合膜层的厚度是同时沿多个方向递减或递增的,因此所述壳体能够呈现更为灵活的渐变色。在其他实施方式中,所述组合膜层的厚度还可以沿着不同于所述第一方向和所述第二方向的其他方向递减或递增。
一种实施方式中,所述第二方向与所述第一方向之间的角小于等于90°。所述组合膜层在所述第一方向上和所述第二方向上的厚度变化趋势相同。厚度变化趋势相同是指同样为递增或同样为递减。当所述衬底大致呈矩形时,所述第二方向垂直于所述第一方向,所述第一方向为所述衬底的长边方向,所述第二方向为所述衬底的短边方向。
一种实施方式中,所述组合膜层包括层叠设置的第一膜层和第二膜层。所述第一膜层所采用的镀膜材料的折射率与所述第二膜层所采用的镀膜材料的折射率不同。所述第一膜层和所述第二膜层在同一方向上的厚度变化趋势相同。换言之,所述第一膜层和所述第二膜层在同一方向上的厚度均为递增或递减。
其中,所述第一膜层和所述第二膜层在同一方向上的厚度递增或递减的程度大致相同。
其中,所述第一膜层所采用的镀膜材料和所述第二膜层所采用的镀膜材料可采用高折射率镀膜材料和低折射率镀膜材料相搭配,使两者所形成的镀膜体系在所述衬底的表面上形成更佳的镀膜效果,例如使得所述组合膜层在维持较小的厚度的同时,能够反射出波长较大的光线,从而使所述壳体满足更高的体验需求(如轻薄、色彩鲜亮、色彩丰富等)。
其中,所述第一膜层的数量为多层。所述第二膜层的数量为多层。多层所述第一膜层与多层所述第二膜层一一交替地层叠设置。
一种实施方式中,所述第一膜层采用氧化钛材料,所述第二膜层采用氧化硅材料。所述组合膜层位于所述衬底的内表面,所述内表面朝向所述移动终端的内部。在本实施方式中,由于所述组合膜层位于所述衬底的内表面,因此所述衬底的与所述内表面相对的外表面的平整度高,使得用户握持所述移动终端时的手感较佳。
其中,所述组合膜层中最靠近所述衬底的膜层为所述第一膜层。所述组合膜层包括两层所述第一膜层和两层所述第二膜层,两层所述第一膜层和两层所述第二膜层一一交替地层叠设置。当然,在其他实施方式中,所述第一膜层的数量和所述第二膜层的数量也可以为其他。
一种实施方式中,所述第一膜层采用氮化硅材料,所述第二膜层采用氧化硅材料。所述组合膜层位于所述衬底的外表面,所述外表面朝向所述移动终端的外部。在本实施方式中,由于所述第一膜层采用氮化硅材料,因此所述第一膜层的耐磨性较高,所述组合膜层的耐磨性较高,故而所述组合膜层能够置于所述衬底的外表面且使用寿命较长。
其中,所述组合膜层中最靠近所述衬底的膜层为所述第一膜层。所述组合膜层包括四层所述第一膜层和三层所述第二膜层,四层所述第一膜层和三层所述第二膜层一一交替地层叠设置。当然,在其他实施方式中,所述第一膜层的数量和所述第二膜层的数量也可以为其他。
当然,在其他实施方式中,也可用其他高折射率的靶材材料和低折射率的靶材材料实现其镀膜效果。例如高折射率的靶材材料可以为氧化钛(TiO
2)、氮化硅(Si
3N
4)、氧化锆、氧化锌等。低折射率的靶材材料可以为氧化硅(SiO
2)、氟化硅等。
一种实施方式中,所述组合膜层包括面积相同的第一区域、第二区域及第三区域。所述第一区域、所述第二区域及所述第三区域在所述第一方向上等间距依次排列。所述第一区域的平均膜厚与所述第二区域的平均膜厚的差为第一值。所述第二区域的平均膜厚与所述第三区域的平均膜厚的差为第二值。所述第一值与所述第二值的比处于0.5至2.0范围内。
在本实施方式中,由于所述第一区域、所述第二区域及所述第三区域在所述第一 方向上依次排列,因此所述第一区域、所述第二区域及所述第三区域能够呈现出依次渐变的颜色。由于所述第一值与所述第二值的比处于0.5至2.0范围内,也即所述第一值与所述第二值相近或相同,并且所述第一区域、所述第二区域及所述第三区域面积相同,因此等间距的所述第一区域、所述第二区域及所述第三区域能够呈现出依次渐变的相邻的颜色,且相邻的每个颜色均具有较大的呈现面积,也即相邻的每个颜色均能够较为充分地呈现在所述壳体上,能够避免因某个颜色过于短暂而导致相近区域出现颜色突变所造成的感官不适,使得所述壳体的外观质感更佳,从而提高用户体验。
其中,所述第一值与所述第二值的比处于0.8至1.2范围内时,所述壳体上的颜色变化更为平缓,用户体验更佳。
一种实施方式中,所述衬底采用玻璃材料、聚碳酸酯(Polycarbonate,PC)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(polyethylene terephthalate,PET)、金属及陶瓷材料中的一种或多种的组合。
一种实施方式中,所述渐变色包括相邻的紫色、蓝色以及青色。其中,青色的波长范围为492纳米至480纳米。蓝色的波长范围为480纳米至455纳米。紫色的波长范围为455纳米至350纳米。
第二方面,本申请实施方式还提供一种移动终端。所述移动终端包括壳体。所述移动终端可以是任何具备通信和存储功能的设备,例如:平板电脑、手机、电子阅读器、遥控器、个人计算机(Personal Computer,PC)、笔记本电脑、车载设备、网络电视、可穿戴设备等具有网络功能的智能设备。
第三方面,本申请实施方式还提供一种溅射镀膜装置。所述溅射镀膜装置可用于制作上述任一实施方式所述的壳体。所述溅射镀膜装置包括镀膜室、基座、多个靶材以及多个挡板。所述基座设于所述镀膜室内部。所述基座外侧具有用于固定所述衬底的承载面。所述承载面与所述镀膜室的内壁相对且间隔设置,以在所述承载面与所述内壁之间形成镀膜空间。所述多个靶材收容于所述镀膜空间且间隔地固定在所述内壁上。所述多个挡板收容于所述镀膜空间且一一对应地正对所述多个靶材设置。所述多个挡板同样正对所述承载面。
每个所述挡板包括至少一个遮挡单元。所述遮挡单元包括沿第三方向排列的至少两个条形挡片。所述至少两个条形挡片沿垂直于所述第三方向的第四方向延伸。所述至少两个条形挡片在所述第四方向上的长度沿所述第三方向递增或递减,以对所述多个靶材进行不均匀遮挡,从而在所述衬底上形成厚度递减或递增的所述组合膜层。
在本实施方式中,由于所述挡板正对所述多个靶材以遮挡所述多个靶材,所述挡板的所述遮挡单元中长度较长的所述条形挡片的遮挡面积较大、长度较短的所述条形挡片的遮挡面积较小,所述遮挡单元中的所述至少两个条形挡片的长度递增或递减,因此所述遮挡单元能够对所述多个靶材进行不均匀遮挡,从而使得所述多个靶材的靶材原子溢出并转移到所述衬底上的数量不均匀,所述多个靶材能够在所述衬底上形成厚度递减或递增的所述组合膜层,从而使得所述壳体能够呈现渐变色。
其中,由于所述至少两个条形挡片在所述第四方向(也即所述条形挡片的延伸方向)上的长度沿所述第三方向(也即所述至少两个条形挡片的排列方向)递增或递减,因此形成在所述衬底上的所述组合膜层的厚度在所述第三方向上递减或递增。所述衬 底固定于所述承载面时,所述衬底上的与所述第三方向相同的方向为所述第一方向。可以理解的是,在镀膜过程中,所述至少两个条形挡片的递增或递减变化同样会影响到所述组合膜层的厚度在所述其他方向上的变化。例如,与所述第一方向成小于等于90°夹角的所述第二方向,所述组合膜层在所述第二方向上的厚度递减或递增。
一种实施方式中,所述承载面为柱面。所述承载面上具有在所述承载面的周向上排布的至少一个固定区域。所述溅射镀膜装置还包括驱动件,所述驱动件用于驱动所述基座以预设转速转动,以使所述承载面携带所述衬底绕所述承载面的轴线转动。
在本实施方式中,可以通过排布更多的所述固定区域,使得所述承载面能够承载更多的所述衬底。所述驱动件驱动所述基座转动时,所述多个靶材所溅射出的靶材原子依次镀设在不同的所述固定区域的所述衬底上,从而实现批量镀膜。所述驱动件控制所述基座以预设的转速转动时,固定于所述承载面上的多个所述衬底的镀膜时间、镀膜厚度都能够得到较为可靠地控制,从而提高所述壳体的良品率。
一种实施方式中,每个所述固定区域均包括在所述承载面的轴向上排布的多个固定区。单个所述固定区用于固定一个所述衬底。所述挡板的所述遮挡单元在所述承载面的轴向上排布。单个所述挡板的所述遮挡单元的数量与单个所述固定区域的所述固定区的数量相同。
在本实施方式中,每个所述固定区域均包括多个固定区,从而能够同时固定多个所述衬底。所述挡板包括与多个所述衬底相对应的多个所述遮挡单元,从而能够同时对多个所述衬底进行镀膜,使得所述溅射镀膜装置能够更为大批量地制作所述壳体。
一种实施方式中,所述多个靶材在所述承载面的周向上等间距地固定于所述内壁。此时,所述多个靶材能够同时溅射出靶材原子,靶材原子转移到不同的所述衬底上,从而形成对应的膜层,提高了所述衬底的加工效率。再者,所述多个靶材间隔设置,也能够避免相互影响,使得所述壳体的良品率较高。由于所述多个挡板的结构相同,因此所述多个靶材形成在所述衬底上的不同膜层的渐变趋势大致相同,使得所述组合膜层的质量更为可控。
一种实施方式中,所述多个靶材包括第一靶材和第二靶材,所述第一靶材和所述第二靶材的折射率不同。由于所述多个挡板的结构相同,因此所述第一靶材形成在所述衬底上的第一膜层的厚度变化趋势与所述第二靶材形成在所述衬底上的第二膜层不同膜层的厚度变化趋势相同。
其中,所述第一靶材和所述第二靶材的材料可采用高折射率镀膜材料和低折射率镀膜材料相搭配,使两者所形成的镀膜体系在所述衬底的表面上形成更佳的镀膜效果,例如使得所述组合膜层在维持较小的厚度的同时,能够反射出波长较大的光线,从而使所述壳体满足更高的体验需求。例如,所述第一靶材采用氧化钛材料,所述第二靶材采用氧化硅材料。或者所述第一靶材采用氮化硅材料,所述第二靶材采用氧化硅材料。当然,在其他实施方式中,也可用其他高折射率的靶材材料和低折射率的靶材材料实现其镀膜效果。例如高折射率的靶材材料可以为氧化钛(TiO
2)、氮化硅(Si
3N
4)、氧化锆、氧化锌等。低折射率的靶材材料可以为氧化硅(SiO
2)、氟化硅等。
其中,可通过所述承载面的转数,控制所述第一靶材所形成的所述第一膜层的数量和所述第二靶材所形成的所述第二膜层的数量。
一种实施方式中,在同一所述遮挡单元中,所述至少两个条形挡片的同一端彼此对齐。此时,所述至少两个条形挡片的相同的另一端依次凸出。所述挡板的遮挡效果较为可控。所述挡板还包括支撑件,所述挡板的所述至少两个条形挡片中对齐的一端固定于所述支撑件。所述支撑件固定于所述镀膜室。
一种实施方式中,所述至少两个条形挡片包括依次排列的第一挡片、第二挡片以及第三挡片。所述第三挡片与所述第二挡片在所述第四方向上的长度的差为第一差值。所述第二挡片与所述第一挡片在所述第四方向上的长度的差为第二差值。所述第二差值与所述第一差值的比处于0.5至2.0范围内。
在本实施方式中,由于所述第二差值与所述第一差值的比处于0.5至2.0范围内,也即所述第二差值与所述第一差值相近或相同,因此所述至少两个条形挡片的长度变化趋势较为平缓,从而使得所述组合膜层的不同区域的膜厚的变化较为平缓,进而能够较为充分地呈现出相邻的每个颜色,以避免因某个颜色过于短暂而导致相近区域出现颜色突变所造成的感官不适,使得所述壳体的外观质感更佳,从而提高用户体验。
其中,所述第二差值与所述第一差值的比处于0.8至1.2范围内时,所述组合膜层的不同区域的膜厚的变化更为平缓,所述壳体上的颜色变化缓和,用户体验更佳。
附图说明
图1是本申请实施方式提供的一种移动终端的结构示意图;
图2是图1所示移动终端的壳体的示意图;
图3是图2所示壳体沿A-A线处剖开的结构示意图;
图4是图2所示壳体的一种实施方式的结构示意图;
图5是图2所述壳体的另一种实施方式的结构示意图;
图6是本申请实施方式提供的一种溅射镀膜装置的结构示意图;
图7是图6所示溅射镀膜装置的另一角度的结构示意图;
图8是图6所示溅射镀膜装置的部分结构示意图;
图9是图6所示溅射镀膜装置的挡板的遮挡单元的结构示意图。
具体实施方式
下面结合本申请实施方式中的附图对本申请实施方式进行描述。
请参阅图1,本申请实施方式提供一种移动终端100。所述移动终端100可以是任何具备通信和存储功能的设备,例如:平板电脑、手机、电子阅读器、遥控器、个人计算机(Personal Computer,PC)、笔记本电脑、车载设备、网络电视、可穿戴设备等具有网络功能的智能设备。
请一并参阅图1至图3,所述移动终端100包括壳体200。所述壳体200包括衬底1及镀于所述衬底1上的组合膜层2。所述组合膜层2包括多层膜层。所述组合膜层2的厚度沿第一方向X递减或递增,且所述组合膜层2的任意两个沿所述第一方向X排列的区域之间的膜厚差值小于等于350纳米(nm),以使所述壳体200呈现波长处于400纳米至760纳米范围内的渐变色。所述壳体200可以为所述移动终端100的后盖。所述壳体200还可包括所述移动终端100的中框。
在本实施方式中,由于所述壳体200的所述组合膜层2的厚度沿第一方向X递减或递增,因此所述壳体200能够呈现出渐变色,使得所述壳体200的外观色调更为丰富、多样。并且,由于所述组合膜层2的任意两个沿所述第一方向X排列的区域之间的膜厚差值小于等于350纳米,因此所述壳体200能够呈现波长处于400纳米至760纳米范围内的色彩,也即所述壳体200能够呈现如红、橙、黄、绿、蓝、靛、紫等颜色的彩虹色,且所呈现的彩虹色是渐变的,故而所述壳体200的外观色调感官更好,能够满足客户的色彩体验需求。
可以理解的是,所述组合膜层2利用多层纳米膜光学干涉原理,实现多种颜色的反光效果。本申请附图中X方向为本申请所述第一方向的一种示例,并不构成对所述第一方向的限定。在其他实施方式中,所述第一方向也可以为其他方向,例如与X方向相反的方向。本申请所提及的递增或递减包括但不限于沿曲线递增或递减。
其中,所述组合膜层2的厚度大于等于50纳米且小于等于400纳米。所述组合膜层2沿所述第一方向X的厚度呈现平缓曲线变化,以使所述壳体200的外观变化更为自然、平缓。任意两个区域的膜厚差值是指任意两个区域各自的中心点的膜厚的差值。
其中,红色的波长范围为770纳米至622纳米。橙色的波长范围为622纳米至597纳米。黄色的波长范围为597纳米至577纳米。绿色的波长范围为577纳米至492纳米。青色(靛色)的波长范围为492纳米至480纳米,蓝色的波长范围为480纳米至455纳米。紫色的波长范围为455纳米至350纳米。
一种实施方式中,所述组合膜层2的厚度沿第二方向Y递减或递增。第二方向Y与所述第一方向X相交。换言之,所述组合膜层2的厚度是同时沿多个方向递减或递增的,因此所述壳体200能够呈现更为灵活的渐变色。在其他实施方式中,所述组合膜层2的厚度还可以沿着不同于所述第一方向X和所述第二方向Y的其他方向递减或递增。
其中,所述第一方向X与所述第二方向Y之间的角小于等于90°。所述组合膜层2在所述第一方向X和所述第二方向Y上的厚度变化趋势相同。厚度变化趋势相同是指同样为递增或同样为递减。其中,当所述衬底1大致呈矩形时,所述第二方向Y垂直于所述第一方向X,所述第一方向X为所述衬底1的长边方向,所述第二方向Y为所述衬底1的短边方向。
本申请附图中Y方向为本申请所述第二方向的一种示例,并不构成对所述第二方向的限定。在其他实施方式中,所述第二方向也可以为其他方向,例如与Y方向相反的方向。
一种实施方式中,请一并参阅图4和图5,所述组合膜层2包括层叠设置的第一膜层(211/221)和第二膜层(212/222)。所述第一膜层(211/221)所采用的镀膜材料的折射率与所述第二膜层(212/222)所采用的镀膜材料的折射率不同。所述第一膜层(211/221)和所述第二膜层(212/222)在同一方向上的厚度变化趋势相同。换言之,所述第一膜层(211/221)和所述第二膜层(212/222)在同一方向上的厚度均为递增或递减。
其中,所述第一膜层(211/221)和所述第二膜层(212/222)在同一方向上的厚度递增或递减的程度大致相同。
其中,所述第一膜层(211/221)所采用的镀膜材料和所述第二膜层(212/222)所采用的镀膜材料可采用高折射率镀膜材料和低折射率镀膜材料相搭配,使两者所形成的镀膜体系在所述衬底1的表面上形成更佳的镀膜效果,例如使得所述组合膜层2在维持较小的厚度的同时,能够反射出波长较大的光线,从而使所述壳体200满足更高的体验需求(如轻薄、色彩鲜亮、色彩丰富等)。
其中,所述第一膜层(211/221)的数量为多层。所述第二膜层(212/222)的数量为多层。多层所述第一膜层(211/221)与多层所述第二膜层(212/222)一一交替地层叠设置。
一种实施方式中,如图4所示,所述第一膜层211采用氧化钛材料,所述第二膜层212采用氧化硅材料。所述组合膜层2位于所述衬底1的内表面11,所述内表面11朝向所述移动终端100的内部。在本实施方式中,由于所述组合膜层2位于所述衬底1的内表面11,因此所述衬底1的与所述内表面11相对的外表面12的平整度高,使得用户握持所述移动终端100时的手感较佳。
其中,所述组合膜层2中最靠近所述衬底1的膜层为所述第一膜层211。所述组合膜层2包括两层所述第一膜层211和两层所述第二膜层212,两层所述第一膜层211和两层所述第二膜层212一一交替地层叠设置。当然,在其他实施方式中,所述第一膜层211的数量和所述第二膜层212的数量也可以为其他。
一种实施方式中,如图5所示,所述第一膜层221采用氮化硅材料,所述第二膜层222采用氧化硅材料。所述组合膜层2位于所述衬底1的外表面12,所述外表面12朝向所述移动终端100的外部。在本实施方式中,由于所述第一膜层221采用氮化硅材料,因此所述第一膜层221的耐磨性较高,所述组合膜层2的耐磨性较高,故而所述组合膜层2能够置于所述衬底1的外表面12且使用寿命较长。
其中,所述组合膜层2中最靠近所述衬底1的膜层为所述第一膜层221。所述组合膜层2包括四层所述第一膜层221和三层所述第二膜层222,四层所述第一膜层221和三层所述第二膜层222一一交替地层叠设置。当然,在其他实施方式中,所述第一膜层221的数量和所述第二膜层222的数量也可以为其他。
当然,在其他实施方式中,也可用其他高折射率的靶材材料和低折射率的靶材材料实现其镀膜效果。例如高折射率的靶材材料可以为氧化钛(TiO
2)、氮化硅(Si
3N
4)、氧化锆、氧化锌等。低折射率的靶材材料可以为氧化硅(SiO
2)、氟化硅等。
一种实施方式中,所述组合膜层2包括3层至10层的膜层。
一种实施方式中,如图2所示,所述组合膜层2包括面积相同的第一区域23、第二区域24及第三区域25。所述第一区域23、所述第二区域24及所述第三区域25在所述第一方向X上等间距依次排列。所述第一区域23的平均膜厚与所述第二区域24的平均膜厚的差为第一值。所述第二区域24的平均膜厚与所述第三区域25的平均膜厚的差为第二值。所述第一值与所述第二值的比处于0.5至2.0范围内。
在本实施方式中,由于所述第一区域23、所述第二区域24及所述第三区域25在所述第一方向X上依次排列,因此所述第一区域23、所述第二区域24及所述第三区域25能够呈现出依次渐变的颜色。由于所述第一值与所述第二值的比处于0.5至2.0范围内,也即所述第一值与所述第二值相近或相同,并且所述第一区域23、所述第二 区域24及所述第三区域25面积相同,因此等间距的所述第一区域23、所述第二区域24及所述第三区域25能够呈现出依次渐变的相邻的颜色,且相邻的每个颜色均具有较大的呈现面积,也即相邻的每个颜色均能够较为充分地呈现在所述壳体200上,能够避免因某个颜色过于短暂而导致相近区域出现颜色突变所造成的感官不适,使得所述壳体200的外观质感更佳,从而提高用户体验。
可以理解的是,上述“平均膜厚”是指对应区域中的各个点(至少包括5个点作为采样点)的膜厚的平均值,因此区域的平均膜厚能够反映出对应区域所呈现的大致的颜色。在其他实施方式中,所述第一区域23、所述第二区域24及所述第三区域25也可以沿所述第二方向Y或其他方向排列。
其中,所述第一值与所述第二值的比处于0.8至1.2范围内时,所述壳体上的颜色变化更为平缓,用户体验更佳。
当然,在其他实施方式中,所述壳体200也可呈现出过渡起伏比较大的颜色,使得壳体200的外观冲击力较强。
一种实施方式中,所述衬底1采用玻璃材料、聚碳酸酯(Polycarbonate,PC)及聚对苯二甲酸乙二醇酯(polyethylene terephthalate,PET)、金属或陶瓷材料中的一种或多种的组合。
一种实施方式中,所述渐变色包括相邻的紫色、蓝色以及青色。其中,青色的波长范围为492纳米至480纳米。蓝色的波长范围为480纳米至455纳米。紫色的波长范围为455纳米至350纳米。
请一并参阅图1至图8,本申请实施方式还提供一种溅射镀膜装置300。所述溅射镀膜装置300可用于制作上述任一实施方式所述的壳体200。所述溅射镀膜装置300包括镀膜室3、基座4、多个靶材(51/52)以及多个挡板6。所述基座4设于所述镀膜室3内部。所述基座4外侧具有用于固定所述衬底1的承载面41。所述承载面41与所述镀膜室3的内壁31相对且间隔设置,以在所述承载面41与所述内壁31之间形成镀膜空间30。所述多个靶材(51/52)收容于所述镀膜空间30且间隔地固定在所述内壁31上。所述多个挡板6收容于所述镀膜空间30且一一对应地正对所述多个靶材(51/52)设置。所述多个挡板6同样正对所述承载面41。
每个所述挡板6包括至少一个遮挡单元60。所述遮挡单元60包括沿第三方向X’排列的至少两个条形挡片61。所述至少两个条形挡片61沿垂直于所述第三方向X’的第四方向Y’延伸。所述至少两个条形挡片61在所述第四方向Y’上的长度沿所述第三方向X’递增或递减,以对所述多个靶材(51/52)进行不均匀遮挡,从而在所述衬底1上形成厚度递减或递增的所述组合膜层2。
如图8中虚线箭头所示,所述溅射镀膜装置300在真空中利用荷能粒子轰击所述多个靶材(51/52)的表面,使得所述多个靶材(51/52)的表面的靶材原子脱离原晶格而逸出,进而越过所述挡板6转移到所述衬底1的表面上形成所述组合膜层2。所述溅射镀膜装置300所采用的镀膜原理是NCVM(Non-Conductive Vacuum Metalize,不导电真空金属化)镀膜技术中的一种。
在本实施方式中,由于所述挡板6正对所述多个靶材(51/52)以遮挡所述多个靶材(51/52),所述挡板6的所述遮挡单元60中长度较长的所述条形挡片61的遮挡面积较 大、长度较短的所述条形挡片61的遮挡面积较小,所述遮挡单元60中的所述至少两个条形挡片61的长度递增或递减,因此所述遮挡单元60能够对所述多个靶材(51/52)进行不均匀遮挡,从而使得所述多个靶材(51/52)的靶材原子溢出并转移到所述衬底1上的数量不均匀,所述多个靶材(51/52)能够在所述衬底1上形成厚度递减或递增的所述组合膜层2,从而使得所述壳体200能够呈现渐变色。
其中,由于所述至少两个条形挡片61在所述第四方向Y’(也即所述条形挡片61的延伸方向)上的长度沿所述第三方向X’(也即所述至少两个条形挡片61的排列方向)递增或递减,因此形成在所述衬底1上的所述组合膜层2的厚度在所述第三方向X’上递减或递增。例如,所述至少两个条形挡片61在所述第四方向Y’上的长度沿所述第三方向X’递增时,形成在所述衬底1上的所述组合膜层2的厚度在所述第三方向X’上递减。所述衬底1固定于所述承载面41时,所述衬底1上的与所述第三方向X’相同的方向为所述第一方向X。可以理解的是,在镀膜过程中,所述至少两个条形挡片61的递增或递减变化同样会影响到所述组合膜层2的厚度在所述其他方向上的变化。例如,与所述第一方向X成小于等于90°夹角的所述第二方向Y,所述组合膜层2在所述第二方向Y上的厚度递减或递增。
其中,所述挡板6可采用不锈钢材料、锡箔材料或铝材料。例如,所述挡板6可为较薄的不锈钢片、锡箔纸或铝片。此时,所述挡板6容易被裁剪、修改,使得所述挡板6的形状能够更好地满足不均匀遮挡的需求。换言之,所述至少两个条形挡片61一体成型。所述至少两个条形挡片61可通过对同一片材料板材进行剪裁所获得。当然,在其他实施方式中,所述挡板6也可通过拼接方式组装成一体结构。
当然,在其他实施方式中,所述衬底1上的与所述第三方向X’相同的方向也可为所述第二方向Y。
一种实施方式中,如图6和图7所示,所述承载面41为柱面。所述承载面41上具有在所述承载面41的周向(该方向垂直于所述承载面41的轴线411)上排布的至少一个固定区域410。所述溅射镀膜装置300还包括驱动件7,所述驱动件7用于驱动所述基座4以预设转速转动,以使所述承载面41携带所述衬底1绕所述承载面41的轴线411转动。
在本实施方式中,可以通过排布更多的所述固定区域410,使得所述承载面41能够承载更多的所述衬底1。所述驱动件7驱动所述基座4转动时,所述多个靶材(51/52)所溅射出的靶材原子依次镀设在不同的所述固定区域410的所述衬底1上,从而实现批量镀膜。所述驱动件7控制所述基座4以预设的转速转动时,固定于所述承载面41上的多个所述衬底1的镀膜时间、镀膜厚度都能够得到较为可靠地控制,从而提高所述壳体200的良品率。
其中,预设的转速可包括匀速段和变速段。处于匀速段时,所述多个靶材(51/52)的靶材原子镀设在多个所述衬底1上的膜厚较为均匀。处于变速段时,所述多个靶材(51/52)的靶材原子可以不均匀地镀设在所述衬底1上,从而使得所述衬底1上的所述组合膜层2的厚度渐变。例如,所述衬底1固定于所述承载面41时,所述衬底1的所述第二方向Y与所述承载面41的周向一致。所述承载面41的转速递增时,可以使所述组合膜层2在所述第二方向Y上的厚度发生明显递减。
其中,所述固定区域410的数量可大于等于2。其中,所述承载面41在垂直于所述承载面41的轴线411的平面上的形状为多边形。同一个所述固定区域410位于所述多边形的同一个边上。
一种实施方式中,请一并参阅图6至图8,每个所述固定区域410均包括在所述承载面41的轴向(该方向平行于所述承载面41的轴线411)上排布的多个固定区412。单个所述固定区412用于固定一个所述衬底1。所述挡板6的所述遮挡单元60在所述承载面41的轴向上排布。单个所述挡板6的所述遮挡单元60的数量与单个所述固定区域410的所述固定区412的数量相同。
在本实施方式中,每个所述固定区域410均包括多个固定区412,从而能够同时固定多个所述衬底1。所述挡板6包括与多个所述衬底1相对应的多个所述遮挡单元60,从而能够同时对多个所述衬底1进行镀膜,使得所述溅射镀膜装置300能够更为大批量地制作所述壳体200。
一种实施方式中,如图6和图7所示,所述多个靶材(51/52)在所述承载面41的周向上等间距地固定于所述内壁31。此时,所述多个靶材(51/52)能够同时溅射出靶材原子,靶材原子转移到不同的所述衬底1上,从而形成对应的膜层,提高了所述衬底1的加工效率。再者,所述多个靶材(51/52)间隔设置,也能够避免相互影响,使得所述壳体200的良品率较高。由于所述多个挡板6的结构相同,因此所述多个靶材(51/52)形成在所述衬底1上的不同膜层的渐变趋势大致相同,使得所述组合膜层2的质量更为可控。
一种实施方式中,所述多个靶材(51/52)包括第一靶材51和第二靶材52,所述第一靶材51和所述第二靶材52的折射率不同。由于所述多个挡板6的结构相同,因此所述第一靶材51形成在所述衬底1上的第一膜层(211/221)的厚度变化趋势与所述第二靶材52形成在所述衬底1上的第二膜层(212/222)不同膜层的厚度变化趋势相同。
其中,所述第一靶材51和所述第二靶材52的材料可采用高折射率镀膜材料和低折射率镀膜材料相搭配,使两者所形成的镀膜体系在所述衬底1的表面上形成更佳的镀膜效果,例如使得所述组合膜层2在维持较小的厚度的同时,能够反射出波长较大的光线,从而使所述壳体200满足更高的体验需求。例如,所述第一靶材51采用氧化钛材料,所述第二靶材52采用氧化硅材料。或者所述第一靶材51采用氮化硅材料,所述第二靶材52采用氧化硅材料。当然,在其他实施方式中,也可用其他高折射率的靶材材料和低折射率的靶材材料实现其镀膜效果。例如高折射率的靶材材料可以为氧化钛(TiO
2)、氮化硅(Si
3N
4)、氧化锆、氧化锌等。低折射率的靶材材料可以为氧化硅(SiO
2)、氟化硅等。
其中,可通过所述承载面41的转数,控制所述第一靶材51所形成的所述第一膜层(211/221)的数量和所述第二靶材52所形成的所述第二膜层(212/222)的数量。
一种实施方式中,如图8所示,在同一所述遮挡单元60中,所述至少两个条形挡片61的同一端彼此对齐。此时,所述至少两个条形挡片61的相同的另一端依次凸出。所述挡板6的遮挡效果较为可控。所述挡板6还包括支撑件62,所述挡板6的所述至少两个条形挡片61中对齐的一端固定于所述支撑件62。所述支撑件62固定于所述镀 膜室3。
一种实施方式中,请一并参阅图8和图9,所述至少两个条形挡片61包括依次排列的第一挡片611、第二挡片612以及第三挡片613。所述第三挡片613与所述第二挡片612在所述第四方向Y’上的长度的差为第一差值。所述第二挡片612与所述第一挡片611在所述第四方向Y’上的长度的差为第二差值。所述第二差值与所述第一差值的比处于0.5至2.0范围内。
在本实施方式中,由于所述第二差值与所述第一差值的比处于0.5至2.0范围内,也即所述第二差值与所述第一差值相近或相同,因此所述至少两个条形挡片61的长度变化趋势较为平缓,从而使得所述组合膜层2的不同区域的膜厚的变化较为平缓,进而能够较为充分地呈现出相邻的每个颜色,以避免因某个颜色过于短暂而导致相近区域出现颜色突变所造成的感官不适,使得所述壳体200的外观质感更佳,从而提高用户体验。
其中,所述第二差值与所述第一差值的比处于0.8至1.2范围内时,所述组合膜层2的不同区域的膜厚的变化更为平缓,所述壳体200上的颜色变化缓和,用户体验更佳。
以上所述,仅为本申请的具体实施方式,但本申请的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内,可轻易想到变化或替换,都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此,本申请的保护范围应以权利要求的保护范围为准。