CN109180019A - 盖板玻璃及镀膜设备 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种盖板玻璃及镀膜设备。盖板玻璃包括：玻璃基材；颜色膜层，设于所述玻璃基材的一侧；所述颜色膜层包括依次衔接且颜色不同的第一子颜色膜层和第二子颜色膜层；所述颜色膜层通过磁控溅射的方式形成。上述盖板玻璃，颜色膜层通过磁控溅射的方式形成，从而使得颜色膜层相较于油墨具有更好的附着力，因此可以更好的控制颜色膜层的厚度，即避免盖板玻璃的颜色膜层出现色差。
Description
技术领域
本发明涉及镀膜领域，特别是涉及一种盖板玻璃及镀膜设备。
背景技术
盖板玻璃作为屏幕盖板或背板被广泛的应用于显示装置中，如手机、电脑、仪表等。而具有多种颜色的盖板玻璃因其炫酷、极具冲击力的外观效果和三维的视觉感受而受到使用者的青睐。
传统地，形成盖板玻璃的颜色膜层的步骤包括UV(Ultra-Violet，紫外线)转印、PVD(PhysicalVaporDeposition，物理气相沉积:)镀膜、色带转印及丝印盖底等。其中，色带转印步骤是利用油墨，通过热转印的方式将色带上的颜色转到PET(Polyethyleneterephthalate，聚对苯二甲酸乙二醇酯)膜上，再将PET膜与盖板玻璃贴合。
然而由于油墨附着力差，导致颜色膜层的厚度不易控制，进而导致盖板玻璃的颜色膜层出现色差。
发明内容
基于此，有必要提供一种有效避免颜色膜层出现色差的盖板玻璃。
一种盖板玻璃，包括：
玻璃基材；
颜色膜层，设于所述玻璃基材的一侧；所述颜色膜层包括依次衔接且颜色不同的第一子颜色膜层和第二子颜色膜层；所述颜色膜层通过磁控溅射的方式形成。
上述盖板玻璃，颜色膜层通过磁控溅射的方式形成，从而使得颜色膜层相较于油墨具有更好的附着力，因此可以更好的控制颜色膜层的厚度，即避免盖板玻璃的颜色膜层出现色差。
在其中一个实施例中，还包括形成于所述玻璃基材另一侧的防污增透膜层。
在其中一个实施例中，所述第一子颜色膜层包括至少一层第一光学镀膜层；所述第一子颜色膜层包括至少两层第一光学镀膜层时，相邻所述第一光学镀膜层的材质不同；所述第二子颜色膜层包括至少一层第二光学镀膜层；所述第二子颜色膜层包括至少两层第二光学镀膜层时，相邻所述第二光学镀膜层的材质不同；
在垂直于第一子颜色膜层和第二子颜色膜层衔接位置的方向上，所述第一子颜色膜层中的至少一层第一光学镀膜层的厚度逐渐增加或逐渐减小；
在垂直于第二子颜色膜层和第一子颜色膜层衔接位置的方向上，所述第二子颜色膜层中的至少一层第二光学镀膜层的厚度逐渐增加或逐渐减小。
在其中一个实施例中，所述第一光学镀膜层为二氧化硅膜层、二氧化钛膜层、二氧化锆膜层、铟膜层、五氧化二铌膜层、氟化镁膜层和三氧化二铝膜层中的一种；
所述第二光学镀膜层为二氧化硅膜层、二氧化钛膜层、二氧化锆膜层、铟膜层、五氧化二铌膜层、氟化镁膜层和三氧化二铝膜层中的一种。
在其中一个实施例中，所述盖板玻璃为三维盖板玻璃。
本发明还提供一种镀膜设备。
一种镀膜设备，包括：
壳体，具有内腔；
盖板玻璃固定组件，包括可自转地设于所述壳体的内腔的旋转轴以及固定设于所述旋转轴上的固定夹具，所述固定夹具用以固定盖板玻璃并带动盖板玻璃旋转；
至少两个靶材安装座，设于所述壳体的内腔，至少两个所述靶材安装座围绕所述盖板玻璃固定组件设置；
修正挡板，固定设于所述壳体的内腔，所述修正挡板位于所述靶材和所述固定夹具之间，用以局部遮挡所述靶材；
以及控制组件，用以控制所述靶材的开启及旋转轴的运行。
上述镀膜设备，通过磁控溅射的方式形成盖板玻璃的颜色膜层，从而使得颜色膜层相较于油墨具有更好的附着力，因此可以更好的控制颜色膜层的厚度，即避免盖板玻璃的颜色膜层出现色差。
在其中一个实施例中，所述靶材安装座与所述固定夹具之间设有至少一组修正挡板，每组修正挡板包括至少两个所述修正挡板，至少两个所述修正挡板沿所述旋转轴的轴向排列，所述修正挡板在垂直于所述旋转轴的旋转轴线的方向上的位置可调。
在其中一个实施例中，每组修正挡板中，相邻所述修正挡板的间距小于5cm。
在其中一个实施例中，所述修正挡板沿所述旋转轴的轴向方向的厚度的范围为3mm-5mm。
在其中一个实施例中，所述修正挡板为钛合金修正挡板。
在其中一个实施例中，所述靶材安装座可自转地设于所述壳体的内腔，所述靶材安装座的自转轴线与所述旋转轴的自转轴线平行。
在其中一个实施例中，所述靶材安装座的自转轴线和所述旋转轴的自转轴线的垂线，与相邻所述靶材安装座的自转轴线和所述旋转轴的自转轴线的垂线的夹角大于45°。
在其中一个实施例中，还包括固定设于所述靶材安装座上的靶材，所述靶材为圆柱靶材。
在其中一个实施例中，所述靶材与所述固定夹具的间距为15cm至20cm。
附图说明
图1为本发明一实施例提供的盖板玻璃的截面示意图。
图2为本发明一实施例提供的镀膜设备的结构示意图。
图3为图2所示镀膜设备的A-A向视图。
具体实施方式
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。
需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
如图1所示，本发明一实施例提供的盖板玻璃100，其包括玻璃基材110以及设于玻璃基材110的一侧的颜色膜层130。
其中，颜色膜层130包括依次衔接的且颜色不同的第一子颜色膜层131和第二子颜色膜层133。第一子颜色膜层131和第二子颜色膜层133均通过磁控溅射的方式形成。
颜色膜层130通过磁控溅射的方式形成，从而使得颜色膜层130相较于油墨具有更好的附着力，因此可以更好的控制颜色膜层130的厚度，即避免盖板玻璃100的颜色膜层130出现色差，从而给与使用者更好地视觉体验。
可以理解的是，为了避免出现透光的效果，颜色膜层130铺满玻璃基材设置。
本实施例中，盖板玻璃100还包括形成于玻璃基材110另一侧的防污增透膜层150，即防污增透膜层150和颜色膜层130分别位于玻璃基材110的相对的两侧。显然，防污增透膜层150具有防污作用，可以保持盖板玻璃100的相应表面保持清洁。盖板玻璃100安装于显示装置上后，盖板玻璃100的靠近防污增透膜层150的一侧为外侧。
另外，防污增透膜层150的设置，使得颜色膜层130显示效果更好，在阳光下可以实现流光溢彩的效果。
第一子颜色膜层131包括至少一层第一光学镀膜层1311。第一子颜色膜层131包括至少两层第一光学镀膜层1311时，相邻第一光学镀膜层1311的材质不同。同样地，第二子颜色膜层133包括至少一层第二光学镀膜层1331。第二子颜色膜层133包括至少两层第二光学镀膜层1331时中，相邻第二光学镀膜层1331的材质不同。
可以理解的是，单独一层光学镀膜层或多层不同材质的光学镀膜层层叠设置，并调整每层光学镀膜层的厚度，可以显示不同的颜色。
本实施例中，颜色膜层130还包括第三子颜色膜层135，第一子颜色膜层131、第二子颜色膜层133和第三子颜色膜层135依次衔接设置。同样的，第三子颜色膜层135也包括至少两层层叠设置的第三光学镀膜层1351。
本施例中，第一光学镀膜层1311为二氧化硅膜层、二氧化钛膜层、二氧化锆膜层、铟膜层、五氧化二铌膜层、氟化镁膜层和三氧化二铝膜层中的一种，第二光学镀膜层1351为二氧化硅膜层、二氧化钛膜层、二氧化锆膜层、铟膜层、五氧化二铌膜层、氟化镁膜层和三氧化二铝膜层中的一种。同样的，第三光学镀膜层1351也为二氧化硅膜层、二氧化钛膜层、二氧化锆膜层、铟膜层、五氧化二铌膜层、氟化镁膜层和三氧化二铝膜层中的一种。
具体到本实施例中，第一子颜色膜层131包括三层第一光学镀膜层1311，按照镀膜的顺序依次为二氧化钛膜层、二氧化硅膜层和二氧化钛膜层，其厚度依次为8.5nm、50nm、17nm，三层第一光学镀膜层叠加形成的第一子颜色膜层131显示的颜色为太空黑。
第二子颜色膜层133包括两层第二光学镀膜层1331，按照镀膜的顺序依次为二氧化硅膜层和二氧化钛膜层，其厚度分别为180nm和62.1nm，两层第二光学镀膜层1331叠加形成的第二子颜色膜层133显示的颜色为粉金色。
第三子颜色膜层135包括两层第三光学镀膜层1351，按照镀膜的顺序依次为二氧化硅膜层和二氧化钛膜层，其厚度分别为180nm和35nm，两层第三光学镀膜层1351叠加形成的第三子颜色膜层135显示的颜色为银灰色。
当然，在另外的实施例中，可以通过调整光学镀膜层的材质和厚度，可以使得子颜色膜层显示其它不同的颜色。如：按照镀膜顺序，180nm的二氧化硅膜层和30nm的二氧化锆叠加形成的子颜色膜层显示的颜色为白色；按照镀膜顺序，8nm的二氧化钛膜层、50nm的铟膜层和15nm的二氧化钛膜层叠加形成的子颜色膜层显示的颜色为金色；按照镀膜顺序，5nm的二氧化钛膜层、20nm的铟膜层和25nm的二氧化钛膜层叠加形成的子颜色膜层显示的颜色为摩卡金；按照镀膜顺序，15nm的二氧化钛膜层、50nm的二氧化硅膜层和40nm的二氧化钛膜层叠加形成的子颜色膜层显示的颜色为蓝色。
当然，在另外的实施例中，光学镀膜层不限于二氧化硅膜层、二氧化钛膜层、二氧化锆膜层、铟膜层、五氧化二铌膜层、氟化镁膜层或三氧化二铝膜层，还可以是其它金属膜层或金属氧化物膜层等。
本实施例中，每层光学镀膜层厚度均匀，使得每个子颜色膜层的均显示一个颜色。
由于光学镀膜层的厚度不同会导致子颜色膜层的颜色不同，故如果其中一层光学镀膜层的厚度不均匀，则相应的子颜色膜层的颜色便不再单一。
例如，在另外的实施例中，在垂直于第一子颜色膜层和第二子颜色膜层衔接位置的方向上，第一子颜色膜层中的至少一层第一光学镀膜层的厚度逐渐增加或逐渐减小。第一光学镀膜层的厚度的逐渐变化，导致第一子颜色膜层显示的颜色也出现逐渐变化的趋势，从而达到渐变色的效果。
同样的，在垂直于第二子颜色膜层和第一子颜色膜层衔接位置的方向上，第二子颜色膜层中的至少一层第二光学镀膜层的厚度逐渐增加或逐渐减小，依此类推。当每个子颜色膜层的颜色设置合适，且渐变趋势设置合适时，可以使得整的颜色膜层呈现一个渐变色的效果。
可以理解的是，光学镀膜层的厚度逐渐变化的趋势可以呈线性或呈指数形式。
需要说明的是，在另外的实施例中，颜色膜层不限于包括两个或三个颜色不同的子颜色膜层，还可以包括多于三个的子颜色膜层。
进一步地，当颜色膜层包括多于三个的子颜色膜层时，不相邻的两个子颜色膜层的颜色可以相同。
需要说明的是，当颜色膜层包含的子颜色膜层的个数较多，且相邻的子颜色膜层的颜色相近时，可以达到渐变色的效果，从而能够达到更加酷炫和极具冲击力的显示效果。
本实施例中，盖板玻璃100为三维盖板玻璃，即盖板玻璃100呈非平板状。具体地，盖板玻璃100的两侧向颜色膜层的一侧弯曲，且盖板玻璃100的两侧弯曲的程度相同。当然，在另外的实施例中，盖板玻璃还可以呈其他规则或不规则的形状，也可呈平面状。
如图2和图3所示，本发明一实施例提供一种镀膜设备200，其包括具有内腔211的壳体210、盖板玻璃固定组件230、至少两个靶材安装座250、修正挡板270、以及控制组件。
具体地，盖板玻璃固定组件230包括可自转地设于壳体210的内腔211的旋转轴231以及固定设于旋转轴231上的固定夹具233，因此，旋转轴231自转时可带动固定夹具233转动。其中固定夹具233用以固定盖板玻璃并带动盖板玻璃旋转。
参图3，图中虚线所示即为旋转轴231的自转轴线。具体地，旋转轴231自转的速度为0r/min至50r/min。进一步地，旋转轴231的自转速度可调。
可以理解的是，为了使得盖板玻璃上溅射的光学镀膜层的厚度均匀，固定夹具233与旋转轴231的轴向平行设置。固定夹具233在旋转轴231的轴线对应的圆心角小于45°，从而便于靶材在磁控溅射时形成的粒子能溅射至盖板玻璃的边缘位置。
至少两个靶材安装座250设于壳体210的内腔211，至少两个靶材安装座250围绕盖板玻璃固定组件230设置，从而可以在磁控溅射时，将靶材溅射至盖板玻璃上。
修正挡板270固定设于壳体210的内腔，修正挡板270位于靶材安装座250和固定夹具233之间，用以局部遮挡靶材安装座250，从而控制盖板玻璃被溅射的区域。
控制组件，用以控制所述靶材的开启及旋转轴的运行。
上述镀膜设备200，通过磁控溅射的方式形成盖板玻璃的颜色膜层，从而使得颜色膜层相较于油墨具有更好的附着力，因此可以更好的控制颜色膜层的厚度，即避免盖板玻璃的颜色膜层出现色差。
另外，本实施例中，包含至少两个靶材安装座250，从而可以安装至少两个靶材。至少两个所述靶材中，设定至少两个靶材安装座250的材质不同，从而可以一次完成盖板玻璃的多个光学镀膜层，进而避免了每完成一个光学镀膜层后对盖板玻璃的拆卸清洗过程，提高作业效率。另外，也避免了每次拆卸清洗时造成的二次污染，有效保证光学镀膜层的附着力和盖板玻璃的良率。
本实施例中，靶材安装座250与固定夹具233之间设有至少一组修正挡板270，每组修正挡板270包括至少两个修正挡板270，至少两个修正挡板270沿旋转轴231的轴向排列，修正挡板270在垂直于旋转轴231的旋转轴线的方向上的位置可调。从而可以调整每组修正挡板270中的每个挡板处于不同的位置，以全部或部分遮挡靶材的与修正挡板270对应位置的部分。
因此，可以通过调整每组修正挡板270中每个修正挡板270在垂直于旋转轴231的自转轴线的方向上的位置，以在盖板玻璃上形成厚度变化的光学镀膜层，从而使玻璃盖板的相应的子颜色膜层达到渐变色的效果。
具体到本实施例中，参图3，位于左侧的靶材安装座250与盖板玻璃固定组件230之间设有两组修正挡板270。其中，位于上侧的一组修正挡板270包括五个修正挡板270，五个修正挡板均完全遮盖靶材安装座250上靶材的相应区域溅射至盖板玻璃上。位于下侧的一组修正挡板270也包括五个修正挡板270，五个修正挡板270在遮挡靶材安装座250的程度不完全一致，从下至上，遮挡的部分越来越少，从而能在相应的盖板玻璃的区域形成厚度逐渐变化的光学镀膜层，进而使得玻璃盖板的相应的子颜色膜层达到渐变色的效果。
可以理解的是，每组修正挡板270均与盖板玻璃的一个子颜色膜层对应。
具体地，本实施例中，修正挡板270上设有条形槽271，以调整修正挡板270在垂直于旋转轴231的自转轴线的方向上的位置。本实施例中，修正挡板270沿旋转轴231的径向方向的位置可调节。在另外的实施例中，修正挡板可以同时或仅沿垂直于旋转轴231径向方向的位置可调节。
本实施例中，每组修正挡板270中，相邻修正挡板270的间距d小于5cm。一方面，相邻修正挡板270的间距d较小，位于相邻修正挡板270之间的靶材在磁控溅射时产生的粒子在相邻修正挡板270之间产生漩涡，从而无法达到并附着在盖板玻璃上；另一方面，相邻修正挡板270的间距d，更便于调整单个修正挡板在垂直于旋转轴231的旋转轴线的方向上的位置。
修正挡板270沿旋转轴231的轴向方向的厚度的范围为3mm-5mm，具体到本实施例中，修正挡板270的厚度为3mm。可以理解的是，修正挡板270的厚度越小，形成在玻璃盖板上的光学镀膜层的均匀变化。
本实施例中，修正挡板270为钛合金修正挡板。钛合金在真空状态下不容易放气，从而能有效避免盖板玻璃的颜色膜层出现色差。另外，钛合金的硬度不高，可以根据需要随时对修正挡板进行打磨修正。
本实施例中，靶材安装座250可自转地设于壳体210的内腔211，靶材安装座250的自转轴线与旋转轴231的自转轴线平行。如此，可以有效提高靶材的利用率。一般地，靶材安装座250自转的速度为0r/min至30r/min。可选地，靶材安装座250的自转速度可调。
靶材安装座250的自转轴线和旋转轴231的自转轴线的垂线，与相邻靶材安装座250的自转轴线和旋转轴231的自转轴线的垂线的夹角大于45°，从而减小相邻靶材的干扰。本实施例中，相邻两个靶材安装座250的自转轴线分别与旋转轴231的自转轴线的垂线的夹角为45°，靶材安装座250的个数为8个，从而可以设置更多个靶材。
进一步地，本实施例中，镀膜设备200还包括固定设于靶材安装座250上的靶材。靶材为圆柱靶材，从而更好的提高靶材的利用率，具体地，可将靶材的利用率提高至85％。
本实施例中，靶材与固定夹具233的间距D为15cm至20cm，从而使得靶材在磁控溅射时形成的粒子能够均匀的落满盖板玻璃的整个平面。
以下以盖板玻璃100为例，详述其通过镀膜设备200制作过程。
S01、将清洗后的玻璃基材110固定于固定夹具233上。
可以理解的是，步骤S01中固定夹具233是固定设于旋转轴231上的。当然，为了操作方便，也设置使得固定夹具233与旋转轴231可拆卸连接，可以先将清洗后的玻璃基材110固定于固定夹具233上，再将固定夹具233固定设于旋转轴231上。
本实施例中，利用双面胶将玻璃基材110粘接在固定夹具233上。当然，在另外的实施例中，还可以利用其它方式将玻璃基材110固定在固定夹具233上。
S02、根据颜色膜层130的颜色设置靶材的材质和数量。
具体地，根据上述颜色膜层130的颜色设置5个靶材，分别为1号靶材(二氧化钛靶材)、2号靶材(二氧化硅靶材)、3号靶材(二氧化硅靶材)、4号靶材(二氧化钛靶材)和5号靶材(二氧化钛靶材)。
S03、控制组件控制靶材先后开启，以在玻璃基材110一侧溅镀形成颜色膜层130，以形成盖板玻璃100。
具体地，首先开启1号靶材，以形成第一子颜色膜层的第一层第一光学镀膜层；再开启3号靶材，以同时形成第二子颜色膜层的第一层第二光学镀膜层和第三子颜色膜层的第一层第三光学镀膜层；再依次开启2号靶材和1号靶材，依次形成第一子颜色膜层的第二层第一光学镀膜层和第三层第一光学镀膜层；再依次开启5号靶材和4号靶材，从而依次形成第二子颜色膜层的第二层第二光学镀膜层和第三子颜色膜层的第二层的第三光学镀膜层，完成颜色膜层的溅镀。
可以理解的是，在另外的实施例中，五个靶材的开启顺序不限于此。
另外，由于盖板玻璃100为三维盖板玻璃，且控制组件可用以控制靶材安装座和旋转轴的自转速度以使得盖板玻璃100的两侧弯曲的位置能够溅镀上相应的光学镀膜层。
S04、将溅镀有颜色膜层的玻璃基材进行超声波清洗，并将其反向固定在固定夹具233上。
S05、在玻璃基材的与颜色膜层相对的一侧溅射防污增透膜层150。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (14)
1.一种盖板玻璃，其特征在于，包括：
玻璃基材；
颜色膜层，设于所述玻璃基材的一侧；所述颜色膜层包括依次衔接且颜色不同的第一子颜色膜层和第二子颜色膜层；所述颜色膜层通过磁控溅射的方式形成。
2.根据权利要求1所述的盖板玻璃，其特征在于，还包括形成于所述玻璃基材另一侧的防污增透膜层。
3.根据权利要求1所述的盖板玻璃，其特征在于，所述第一子颜色膜层包括至少一层第一光学镀膜层；所述第一子颜色膜层包括至少两层第一光学镀膜层时，相邻所述第一光学镀膜层的材质不同；所述第二子颜色膜层包括至少一层第二光学镀膜层；所述第二子颜色膜层包括至少两层第二光学镀膜层时，相邻所述第二光学镀膜层的材质不同；
在垂直于第一子颜色膜层和第二子颜色膜层衔接位置的方向上，所述第一子颜色膜层中的至少一层第一光学镀膜层的厚度逐渐增加或逐渐减小；
在垂直于第二子颜色膜层和第一子颜色膜层衔接位置的方向上，所述第二子颜色膜层中的至少一层第二光学镀膜层的厚度逐渐增加或逐渐减小。
4.根据权利要求3所述的盖板玻璃，其特征在于，所述第一光学镀膜层为二氧化硅膜层、二氧化钛膜层、二氧化锆膜层、铟膜层、五氧化二铌膜层、氟化镁膜层和三氧化二铝膜层中的一种；
所述第二光学镀膜层为二氧化硅膜层、二氧化钛膜层、二氧化锆膜层和铟膜层、五氧化二铌膜层、氟化镁膜层和三氧化二铝膜层中的一种。
5.根据权利要求1至4任一项所述的盖板玻璃，其特征在于，所述盖板玻璃为三维盖板玻璃。
6.一种镀膜设备，其特征在于，包括：
壳体，具有内腔；
盖板玻璃固定组件，包括可自转地设于所述壳体的内腔的旋转轴以及固定设于所述旋转轴上的固定夹具，所述固定夹具用以固定盖板玻璃并带动盖板玻璃旋转；
至少两个靶材安装座，设于所述壳体的内腔，至少两个所述靶材安装座围绕所述盖板玻璃固定组件设置；
修正挡板，固定设于所述壳体的内腔，所述修正挡板位于所述靶材和所述固定夹具之间，用以局部遮挡所述靶材；
以及控制组件，用以控制所述靶材的开启及旋转轴的运行。
7.根据权利要求6所述的镀膜设备，其特征在于，所述靶材安装座与所述固定夹具之间设有至少一组修正挡板，每组修正挡板包括至少两个所述修正挡板，至少两个所述修正挡板沿所述旋转轴的轴向排列，所述修正挡板在垂直于所述旋转轴的旋转轴线的方向上的位置可调。
8.根据权利要求7所述的镀膜设备，其特征在于，每组修正挡板中，相邻所述修正挡板的间距小于5cm。
9.根据权利要求7所述的镀膜设备，其特征在于，所述修正挡板沿所述旋转轴的轴向方向的厚度的范围为3mm-5mm。
10.根据权利要求6至9任一项所述的镀膜设备，其特征在于，所述修正挡板为钛合金修正挡板。
11.根据权利要求6所述的镀膜设备，其特征在于，所述靶材安装座可自转地设于所述壳体的内腔，所述靶材安装座的自转轴线与所述旋转轴的自转轴线平行。
12.根据权利要求11所述的镀膜设备，其特征在于，所述靶材安装座的自转轴线和所述旋转轴的自转轴线的垂线，与相邻所述靶材安装座的自转轴线和所述旋转轴的自转轴线的垂线的夹角大于45°。
13.根据权利要求6、11或12所述的镀膜设备，其特征在于，还包括固定设于所述靶材安装座上的靶材，所述靶材为圆柱靶材。
14.根据权利要求13所述的镀膜设备，其特征在于，所述靶材与所述固定夹具的间距为15cm至20cm。
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