CN206887218U - 一种基板蒸镀载具及蒸镀设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种基板蒸镀载具及蒸镀设备。其中，基板蒸镀载具包括：具有多个工作面的工作台，每一工作面上均设置有至少一个用于固定待蒸镀基板的固定结构；用于驱动所述工作台旋转以使其中一个工作面朝向蒸镀装置的驱动机构，所述蒸镀装置用于对其朝向的工作面上固定的待蒸镀基板进行蒸镀。在实用新型的方案中，工作台通过多个固定结构可以设置多个待蒸镀基板，通过旋转工作台的方式使蒸镀设备分别对每个工作面上的待蒸镀基板进行蒸镀，在所有待蒸镀基板完成蒸镀后，可以一次大批量的更换待蒸镀基板，从而有效降低了待蒸镀基板的更换频率，进而提高了蒸镀效率。

Description

一种基板蒸镀载具及蒸镀设备

技术领域

本实用新型涉及显示产品的制造领域，特别是指一种基板蒸镀载具及蒸镀设备。

背景技术

在现有的显示基板的制作工序中，需要使用很多的蒸镀工艺以形成各类别的功能图形。在蒸镀工艺过程中，蒸镀设备需要将靶材蒸镀到基板上并进行沉积，在靶材沉积完成后即可得到相应的功能图形。

在传统的蒸镀设备中，蒸镀载具只能固定一个基板，在一次蒸镀工艺完成后，需要将已形成好功能图形的基板取出，并换上待蒸镀的新基板，显然对于生产线来讲，这种方式需要较为频繁的更换基板，每次基板固定在载具上都需要重新进行定位测量，特别是较大尺寸的基板更换时间较长，造成了成本上的浪费。

实用新型内容

本实用新型的目的解决现有蒸镀设备需要在蒸镀作业过程中频换更换待蒸镀基板的问题。

为实现上述目的，一方面本实用新型的实施例提供一种基板蒸镀载具，包括：

具有多个工作面的工作台，每一工作面上均设置有至少一个用于固定待蒸镀基板的固定结构；

用于驱动所述工作台旋转以使其中一个工作面朝向蒸镀装置的驱动机构，所述蒸镀装置用于对其朝向的工作面上固定的待蒸镀基板进行蒸镀。

其中，所述多个工作面具有一个中心轴；

所述驱动机构驱动所述工作台以所述中心轴进行旋转。

其中，所述工作台设置有内孔，所述内孔的轴线与所述中心轴重合；

所述驱动装置包括：

与所述内孔匹配连接的传动轴，以及驱动所述传动轴旋转以带动所述工作台旋转的马达。

其中，上述基板蒸镀载具还包括：

座体，所述座体设置有滑槽，所述滑槽内部设置有弹簧和与所述弹簧相抵、的推块，所述弹簧未与所述推块相抵的一端固定在所述滑槽内部，所述推块的位于弹簧相抵的一端固定有卡位块，所述传动轴的表面固定有多个以传动轴为中心均匀分布的凸块，所述卡位块的外轮廓与相邻两个凸块之间所形成弧形面相匹配；

在所述马达未通过所述传动轴带动所述工作台旋转时，所述卡位块受所述弹簧的弹性力而插入相邻两个凸块之间，以使所述传动轴轴固定；在所述马达通过所述传动轴带动所述工作台旋转时，所述传动轴上的凸块克服所述弹簧的弹性力将所述卡位块从其相邻的两个凸块之间顶出，以使所述传动轴带动所述工作台进行旋转。

其中，所述基板蒸镀载具还包括：

接触所述传动轴并给所述传动轴提供摩擦力的弹簧卡片；

其中，所述马达在克服所述弹簧卡片给所述传动轴提供的摩擦力后，驱动所述传动轴旋转以带动所述工作台旋转。

其中，所述工作台呈柱体结构，包括顶面、底面以及多个侧面，所述多个工作面均为所述柱体结构的侧面；

所述固定结构为与所述待蒸镀基板的形状相匹配的凹槽导轨，所述凹槽导轨的导轨侧壁在顶部延伸有用于限制所述待蒸镀基板从凹槽导轨脱落的阻挡部，且在所述待蒸镀基板放置在所述凹槽导轨内部时，所述阻挡部露出待蒸镀基板的待蒸镀区域。

其中，所述凹槽导轨在所述柱体结构的顶面和/或底面上形成用于将所述待蒸镀基板放入至凹槽导轨内部的开口。

其中，所述基板蒸镀载具还包括：

设置在所述凹槽导轨上、且限制所述待蒸镀基板在凹槽导轨的延伸方向进行滑动的定位栓。

其中，所述基板蒸镀载具还包括：

设置在所述蒸镀装置与所述工作台之间的遮挡板，所述遮挡板设置有开口，所述工作台其中一个工作面通过所述遮挡板上的开口朝向所述蒸镀装置。

另一方面，本实用新型还提供一种蒸镀设备，包括：蒸镀装置以及上述基板蒸镀载具。

本实用新型的上述技术方案的有益效果如下：

在本实用新型的方案中，工作台通过多个固定结构可以设置多个待蒸镀基板，通过旋转工作台的方式使蒸镀设备分别对每个工作面上的待蒸镀基板进行蒸镀，在所有待蒸镀基板完成蒸镀后，可以一次大批量的更换待蒸镀基板，从而有效降低了待蒸镀基板的更换频率，进而提高了蒸镀效率。

附图说明

图1为本实用新型的基板蒸镀载具的一种结构示意图

图2为本实用新型的基板蒸镀载具的另一种结构示意图；

图3为本实用新型的基板蒸镀载具实现转动轴处于轴固定状态的一种结构示意图；

图4为本实用新型的基板蒸镀载具实现转动轴处于轴固定状态的另一种结构示意图；

图5为本实用新型的蒸镀设备的结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。

针对现有技术的蒸镀设备需要在载具上频繁更换待蒸镀基板的问题，本实用新型提供了一种解决方案。

一方面，本实用新型的实施例提供一种基板蒸镀载具，如图1和图2所示，包括：

具有多个工作面的工作台1，每一工作面上均设置有至少一个用于固定待蒸镀基板A的固定结构11；

用于驱动工作台1旋转以使其中一个工作面朝向蒸镀装置的驱动机构2。假设蒸镀装置设置在工作台1的正下方，则蒸镀装置用于对其正上方所朝向的工作面上固定的待蒸镀基板A进行蒸镀。

显然，在本实施例中，一个工作台通过多个固定结构11可以设置多个待蒸镀基板A，通过旋转工作台的方式使蒸镀设备分别对每个工作面上的待蒸镀基板A进行蒸镀，在所有待蒸镀基板A完成蒸镀后，可以一次大批量的更换待蒸镀基板A，从而有效降低待蒸镀基板的更换频率，进而提高了蒸镀效率。

进一步地，本实施例的工作台上的多个工作面具有一个中心轴X，驱动机构2驱动工作台1以中心轴X进行旋转。

作为示例介绍，在具体实现转动方案时，本实施例的工作台设置有内孔 12，该内孔12的轴线与中心轴X重合；

对应地，驱动装置2包括有：

与内孔11匹配连接的传动轴21，以及驱动传动轴21旋转以带动工作台1 旋转的马达22。

在上述基础之上，本实施例还可以对转动轴21进行轴约束，以使马达22 停止工作后，保证工作台不发生非正常的旋转。

即如图3所示，本实施例的基板蒸镀载具还可以包括有：

设置有滑槽31的座体3，其中滑槽31内部设置有弹簧32和与弹簧32相抵的推块33。

弹簧32未与推块33相抵的一端固定在滑槽31内，推块32的底部(即未与弹簧32相抵的一端)固定有卡位块34，传动轴21的表面固定有多个以传动轴21为中心且均匀分布的凸块211(图3以两个凸块进行示例性介绍)，卡位块34的外轮廓与相邻两个凸块211之间所形成弧形面相匹配。

在马达22未通过传动轴21带动工作台1旋转时，卡位块34受弹簧32 的弹性力而插入相邻两个凸块211之间，以使传动轴21处于轴固定的状态；

在马达22通过传动轴21带动工作台1旋转时，传动轴21上的凸块211 克服弹簧32的弹性力将卡位块34从其相邻的两个凸块211之间顶出，以使传动轴21不再处于轴固定状态，从而带动工作台1进行旋转。

在实际应用中，本实施例可以根据工作面的设置情况，合理设置卡位块 34和凸块211之间配合，例如当一个工作面正对蒸镀装置时，卡位块34恰好插入相邻两个凸块211之间，从而保证在马达22停止工作后，有一个工作面能够稳固地朝向蒸镀装置。

当然，除了图3所示的轴约束方式外，本实施例的基板蒸镀载还以如图4 所示那样，设置有：

接触传动轴21并给传动轴21提供摩擦力的弹簧卡片4；

其中，马达22在克服弹簧卡片4给传动轴21提供的摩擦力后，驱动传动轴21旋转以带动工作台旋转，在马达22停止工作后，弹簧卡片4给传动轴 21提供的摩擦力使得传动轴21处于轴固定状态。

在实际应用中，本实施例的马达22根据具体的驱动信号来精确实现转动角度，从而将工作台其中一工作面正对蒸镀装置。这里需要给予说明的是，通过驱动信号控制马达精确旋转是现有技术，本实用性新型不再进行详细赘述。

此外，在实际应用中，本实施例的工作台1呈柱体结构，包括顶面、底面以及多个侧面，其中本实施例上位所指的多个工作面均为柱体结构的侧面；

参考图1和图2，固定结构11为与待蒸镀基板A的形状相匹配的凹槽导轨11，凹槽导轨11的导轨侧壁在顶部延伸有用于限制待蒸镀基板A从凹槽导轨11脱落的阻挡部111，且在待蒸镀基板A放置在凹槽导轨11内部时，阻挡部111露出待蒸镀基板A的待蒸镀区域，使得蒸镀装置可以对待蒸镀区域进行正常的蒸镀。

进一步地，参考图2所示，凹槽导轨11在柱体结构的顶面和/或底面上形成用于将待蒸镀基板A放入至凹槽导轨11内部的开口112，即本实用新型可以从开口112处将待蒸镀基板A放置在凹槽导轨11内，或取走待蒸镀基板A。

进一步地，参考图1，在上述基础之上，本实施例的基板蒸镀载具还包括有：

设置在凹槽导轨11上、且限制待蒸镀基板A在凹槽导轨的延伸方向进行滑动的定位栓5，该定位栓5在与阻挡部111配合后，能够完全限制待蒸镀基板A在凹槽导轨11内的移动。

在实际应用中，定位栓5在凹槽导轨11的位置可以进行调节，从而适用于不固定同尺寸的待蒸镀基板A。

此外，本实施例的基板蒸镀载具还包括有：

设置在蒸镀装置与工作台1之间的遮挡板6，遮挡板6设置有开口61，工作台其中一个工作面通过遮挡板6上的开口61朝向蒸镀装置。遮挡板6用来确保在Tooling蒸镀过程中只有工作台向下的那个工作面可以被蒸镀，其他工作面不会有材料沉积，另外此遮挡板为可拆卸型更换，以便于清洁减少材料污染，以确保装置的使用效率。

另一方面，如图5所示，本实用新型的另一实施例还提供一种蒸镀设备，包括有上述基板蒸镀载具以及蒸镀装置7。该蒸镀装置7可以透过基板蒸镀载具的遮挡板6上的开口61，向待蒸镀基板A进行蒸镀。

作为示例性介绍，本实施例的蒸镀装置7包括有多个蒸镀源71、72、 73……，每个蒸镀源均对应有各自的蒸镀工艺，可以对不同基板蒸镀不同的图形。

其中，蒸镀源以线或点形成在蒸镀装置的蒸镀面上排列，本实施例的蒸镀设备还可以包括移动装置，用于控制基板蒸镀载具针对下方的蒸镀源进行移动。

例如，基板蒸镀载具被移动到蒸镀源71的上方，此时遮挡板6上的开口 61与蒸镀源71正对(也可以视为与蒸镀源71蒸发开口正对，后文其他的蒸镀源同理)，蒸镀源71对基板蒸镀载工作台上的第一待蒸镀基板进行蒸镀，使第一待蒸镀基板形成第一图层。在蒸镀完成后，基板蒸镀载具的工作台顺时针旋转一个工作面，工作台的第二待蒸镀基板进入蒸镀状态，同时基板蒸镀载具被移动到蒸镀源72的上方，使遮挡板6上的开口61与蒸镀源72正对，蒸镀源72对第二待蒸镀基板进行蒸镀，使其形成第二图层。在第二图层制作完成后，基板蒸镀载具的工作台逆时针旋转一个工作面，使第一待蒸镀基板重新处于蒸镀状态，之后基板蒸镀载具被移动到蒸镀源73的上方，蒸镀源73对第一待蒸镀基板进行蒸镀，得到覆盖有上述第一图层的第二图层。

通过上述示例性介绍可以看出，本实施例的蒸镀设备具有极高的蒸镀效率，可有效降低显示产品的制作周期，降低了时间成本。

在实际应用中，本实施例可以合理规划蒸镀源，并结合本实用新型的提供基板蒸镀载具，实现更加灵活的蒸镀作业。此外，本实施例的移动装置并不一定需要通过程序控制基板蒸镀载具进行移动，例如可以有操作人员通过移动装置手动控制基板蒸镀载具移动。

以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种基板蒸镀载具，其特在于，包括：

具有多个工作面的工作台，每一工作面上均设置有至少一个用于固定待蒸镀基板的固定结构；

用于驱动所述工作台旋转以使其中一个工作面朝向蒸镀装置的驱动机构，所述蒸镀装置用于对其朝向的工作面上固定的待蒸镀基板进行蒸镀。

2.根据权利要求1所述的基板蒸镀载具，其特征在于，

所述多个工作面具有一个中心轴；

所述驱动机构驱动所述工作台以所述中心轴进行旋转。

3.根据权利要求2所述的基板蒸镀载具，其特征在于，

所述工作台设置有内孔，所述内孔的轴线与所述中心轴重合；

所述驱动装置包括：

与所述内孔匹配连接的传动轴，以及驱动所述传动轴旋转以带动所述工作台旋转的马达。

4.根据权利要求3所述的基板蒸镀载具，其特征在于，还包括：

座体，所述座体设置有滑槽，所述滑槽内部设置有弹簧和与所述弹簧相抵的推块，所述弹簧未与所述推块相抵的一端固定在所述滑槽内部，所述推块的位于弹簧相抵的一端固定有卡位块，所述传动轴的表面固定有多个以传动轴为中心均匀分布的凸块，所述卡位块的外轮廓与相邻两个凸块之间所形成弧形面相匹配；

在所述马达未通过所述传动轴带动所述工作台旋转时，所述卡位块受所述弹簧的弹性力而插入相邻两个凸块之间，以使所述传动轴轴固定；在所述马达通过所述传动轴带动所述工作台旋转时，所述传动轴上的凸块克服所述弹簧的弹性力将所述卡位块从其相邻的两个凸块之间顶出，以使所述传动轴带动所述工作台进行旋转。

5.根据权利要求4所述的基板蒸镀载具，其特征在于，还包括：

接触所述传动轴并给所述传动轴提供摩擦力的弹簧卡片；

其中，所述马达在克服所述弹簧卡片给所述传动轴提供的摩擦力后，驱动所述传动轴旋转以带动所述工作台旋转。

6.根据权利要求1所述的基板蒸镀载具，其特征在于，

所述工作台呈柱体结构，包括顶面、底面以及多个侧面，所述多个工作面均为所述柱体结构的侧面；

所述固定结构为与所述待蒸镀基板的形状相匹配的凹槽导轨，所述凹槽导轨的导轨侧壁在顶部延伸有用于限制所述待蒸镀基板从凹槽导轨脱落的阻挡部，且在所述待蒸镀基板放置在所述凹槽导轨内部时，所述阻挡部露出待蒸镀基板的待蒸镀区域。

7.根据权利要求6所述的基板蒸镀载具，其特征在于，

所述凹槽导轨在所述柱体结构的顶面和/或底面上形成用于将所述待蒸镀基板放入至凹槽导轨内部的开口。

8.根据权利要求6所述的基板蒸镀载具，其特征在于，还包括：

设置在所述凹槽导轨上、且限制所述待蒸镀基板在凹槽导轨的延伸方向进行滑动的定位栓。

9.根据权利要求1所述的基板蒸镀载具，其特征在于，还包括：

设置在所述蒸镀装置与所述工作台之间的遮挡板，所述遮挡板设置有开口，所述工作台其中一个工作面通过所述遮挡板上的开口朝向所述蒸镀装置。

10.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：

蒸镀装置以及权利要求1-9任一项所述的基板蒸镀载具。