WO2018205397A1 - 一种振动式清洗装置、方法及系统 - Google Patents

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vibrating
vibration
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简重光
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惠科股份有限公司
重庆惠科金渝光电科技有限公司
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Definitions

  • the embodiments of the present application belong to the technical field of cleaning devices, and in particular, to a vibrating cleaning device, method and system.
  • the conventional cleaning devices are generally composed of a driving motor and a cleaning brush.
  • the driving motor drives the cleaning brush to move up and down and left and right to clean the object, and the ineffective stain can not be effectively removed and the cleaning efficiency is low.
  • the embodiment of the present application provides a vibrating cleaning device, method and system, which are intended to solve the problem that the conventional cleaning device is generally composed of a driving motor and a cleaning brush, and the driving motor drives the cleaning brush to move up and down and left and right to achieve the opposite. Cleaning of objects cannot effectively remove the problem of stubborn stains and low cleaning efficiency.
  • the embodiment of the present application provides a vibrating cleaning device, including:
  • a cleaning module configured to clean an object by a cleaning liquid, the object comprising a display panel
  • a cleaning liquid delivery module is independently disposed or disposed on the cleaning module, and is configured to deliver the cleaning liquid to the object during the cleaning process of the cleaning module;
  • a vibration module mechanically connected to the cleaning module, configured to vibrate at a preset vibration frequency and drive the cleaning module to vibrate, so that the cleaning module vibrates the object through the cleaning liquid Cleaning
  • a cleaning tank for placing the object to be cleaned and the cleaning liquid after cleaning the object;
  • a transfer module configured to transfer the object to be cleaned to the cleaning tank The object that has been cleaned Carrying out the cleaning tank;
  • a control module is respectively communicably connected to the cleaning liquid delivery module, the vibration module, and the transmission module, and configured to perform an operation state of the cleaning liquid delivery module, the vibration module, and the transmission module control.
  • the vibrating cleaning device further includes an ultrasonic generating module disposed in the cleaning module, configured to emit ultrasonic energy outward to be delivered to the cleaning fluid of the object.
  • the bubble is broken by the impact of the ultrasonic energy and generates a shock wave to clean the object by the shock wave.
  • the ultrasonic generation module is an ultrasonic generator having a plurality of adjustable frequencies.
  • the adjustable range of the multi-speed adjustable frequency is 10 KHZ ⁇ 200 KHZ.
  • the ultrasonic generator includes a light cleaning gear position, a moderate cleaning gear position, a heavy cleaning gear position, and a strong cleaning gear position.
  • the frequency of the light cleaning gear is linearly adjustable from 10 KHZ to 50 KHZ.
  • the medium cleaning gear frequency is linearly adjustable within a range of 50 KHZ to 100 HKZ, and the frequency of the heavy cleaning gear is 100 KHZ
  • the frequency of the powerful cleaning gear is linearly adjustable from 150 KHZ to 200KHZ.
  • the cleaning module is a cleaning brush, a sponge cleaning block or a fiber cleaning cloth.
  • the cleaning liquid delivery module includes:
  • a liquid delivery unit independently disposed or disposed in the cleaning module, for conveying the cleaning liquid
  • a water spray unit disposed at a liquid outlet of the liquid delivery unit for cleaning the liquid The liquid is sprayed onto the object.
  • the liquid delivery unit includes a liquid delivery conduit
  • the water spray unit includes a water jet
  • the liquid delivery tube is a plastic tube, a metal tube or a composite material tube
  • the water spray head is a shower head, a high pressure water gun, a spiral nozzle or an atomizing nozzle.
  • the cleaning solution comprises pure water, hydrogen peroxide, organic phosphonic acid, polycarboxylate, aromatic One or more of a group of sulfonic acids and amine-alkylene oxide additions.
  • the cleaning module is a cleaning brush
  • the vibration module is a vibration motor
  • the cleaning brush comprises:
  • a brush head for directly contacting the object to clean the object
  • a handle is respectively connected to the brush head and the vibration motor for vibrating under the driving of the vibration motor and driving the brush head to vibrate, so that the brush head vibrates the object Cleaning.
  • the cleaning tank is a rectangular groove, a circular groove or a shaped groove.
  • the transfer module comprises a conveyor belt, a mechanical gripper, a transfer roller or a mechanical slide rail
  • control module is a personal computer.
  • the embodiment of the present application further provides a vibrating cleaning method, which is implemented based on the vibrating cleaning device described above, and the method includes the following steps performed by the control module:
  • the method further includes:
  • the ultrasonic energy is emitted such that bubbles in the cleaning liquid delivered to the object are broken by the impact of the ultrasonic energy and generate a shock wave to clean the object by the shock wave.
  • the embodiment of the present application further provides a vibrating cleaning system, the system is implemented based on the vibrating cleaning device, the system is a software program system in the control module, and the control module includes: [0039] a conveying unit, configured to transfer the object to be cleaned to the cleaning tank, the object comprising a display panel; [0040] a conveying unit, configured to convey the cleaning liquid to the object during the cleaning of the object; [0041] a cleaning unit, configured to perform vibrating cleaning on the object by the cleaning liquid;
  • the transfer unit is further configured to transport the cleaned object out of the cleaning tank.
  • system further includes:
  • an ultrasonic transmitting unit configured to emit ultrasonic energy, causing bubbles in the cleaning liquid delivered to the object to be broken by an impact of the ultrasonic energy and generating a shock wave to pass the shock wave to The object is cleaned.
  • the embodiment of the present application can effectively remove the stubborn stain on the surface of the object by using the vibrating cleaning method to clean the object, and can effectively improve the cleaning efficiency.
  • FIG. 1 is a block diagram showing the structure of a vibrating cleaning device according to an embodiment of the present application
  • FIG. 2 is a structural block diagram of a vibrating cleaning device according to another embodiment of the present application.
  • FIG. 3 is a schematic view showing the mechanical structure of a vibrating cleaning device according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 4 is a schematic view showing the mechanical structure of a vibrating cleaning device according to another embodiment of the present application.
  • FIG. 5 is a schematic flow chart of a vibrating cleaning method provided by an embodiment of the present application.
  • an embodiment of the present application provides a vibrating cleaning device 100 including a cleaning module 10 , a cleaning liquid delivery module 20 , a vibration module 30 , a cleaning tank 40 , a transmission module 50 , and a control module 60
  • the cleaning module 10 is configured to clean an object by a cleaning liquid, and the object includes a display panel.
  • the cleaning module may be a cleaning brush, a sponge cleaning block, a fiber cleaning cloth, etc.
  • the object may further include a precision device such as a glass array substrate, a mechanical watch, and an industrial machine tool, teeth, etc., which can be cleaned by a vibrating cleaning method.
  • the cleaning liquid delivery module 20 is independently disposed or disposed on the cleaning module 10 for conveying the cleaning liquid to the object during the cleaning of the object by the cleaning module 10.
  • the cleaning liquid may be any liquid substance that can clean the object without causing corrosive damage to the object.
  • the cleaning solution comprises one or more of pure water, hydrogen peroxide, an organic phosphonic acid, a polycarboxylate, an aromatic sulfonic acid, and an amine-alkylene oxide adduct.
  • the vibration module 30 is mechanically connected to the cleaning module 10 for vibrating at a preset vibration frequency and driving the cleaning module 10 to vibrate, so that the cleaning module 10 vibrates the object through the cleaning liquid.
  • the preset vibration frequency may be set according to actual needs.
  • the preset vibration frequency may be set to be linearly adjustable or multi-range adjustable within a certain frequency range.
  • the vibration module may be various types of vibration motors capable of vibrating motion, for example, a direct current vibration motor, an alternating current vibration motor, a step vibration motor, or a sensor vibration motor.
  • the cleaning tank 40 (not shown in FIG. 1) is used to place the object to be cleaned and the cleaning liquid after the object is cleaned.
  • the cleaning tank can be set to any tank body capable of placing an object and collecting the used cleaning liquid according to actual needs, such as a rectangular groove, a circular groove, a special groove, etc.
  • the tank can also be provided with a clear plastic or glass cover to prevent splashing of the cleaning fluid during the cleaning process.
  • the conveying module 50 is configured to transfer the object to be cleaned to the cleaning tank 40 and transport the cleaned object out of the cleaning Slot.
  • the transport module can be any mechanical device capable of transporting objects, such as
  • the control module 60 is communicatively coupled to the cleaning liquid delivery module 20, the vibration module 30, and the delivery module 50 for controlling the operating states of the cleaning fluid delivery module 20, the vibration module 30, and the delivery module 50, respectively.
  • controlling the working state of each module specifically refers to controlling the opening and closing of each module, controlling the vibration frequency of the vibration module, controlling the transmission path of the transmission module, etc., for coordinating the work of each module. , so that the cleaning process of the object goes smoothly.
  • control module may be any device having control functions, such as a personal computer, a central processing unit CPU, or an application specific integrated circuit ASIC (Application Specific Integrated)
  • ASIC Application Specific Integrated
  • the solid line indicates a mechanical connection relationship
  • the connecting line with an arrow indicates a communication connection
  • the cleaning liquid conveying module capable of conveying the cleaning liquid is disposed on the vibrating cleaning device, and the object can be ultrasonically cleaned by the cleaning liquid, thereby effectively enhancing the cleaning effect. , improve cleaning efficiency.
  • the vibrating cleaning apparatus 100 further includes an ultrasonic generating module 70; the cleaning liquid conveying module 20 includes a liquid conveying unit 21 and a water spraying unit 22.
  • the ultrasonic generating module 70 is disposed in the cleaning module 10 for emitting ultrasonic energy outward, so that the air bubbles in the cleaning liquid delivered to the object are broken by the impact of the ultrasonic energy and generate a shock wave to clean the object by the shock wave.
  • the ultrasonic generation module is an ultrasonic generator having a plurality of adjustable frequencies.
  • the frequency adjustment gear of the ultrasonic generator can be set as needed, for example, can be set to a slight cleaning, a moderate cleaning, a heavy cleaning, a strong cleaning, and the like.
  • the frequency of the ultrasonic generator can be set to any feasible frequency range as desired. For example, 10 KHZ ⁇ 200KHZ.
  • the ultrasonic generator includes four frequency adjustment gears of light cleaning, medium cleaning, heavy cleaning, and strong cleaning, and the frequency of each frequency adjustment gear is fixed, stepwise adjustable, or linear. Adjustable.
  • the frequency of lightly cleaned gears is linearly adjustable from moderate to 10 KHZ to 50KHZ.
  • the frequency of cleaning is linearly adjustable from 50 KHZ to 100 HKZ.
  • the frequency of heavy cleaning is linearly adjustable in the range of 100 KHZ 150KHZ.
  • the frequency of strong cleaning is linearly adjustable from 150 KHZ to 200KHZ.
  • the liquid delivery unit 21 is independently disposed or disposed in the cleaning module 10 for conveying the cleaning liquid.
  • the water spray unit 22 is disposed at the liquid outlet of the liquid transport unit 21 for spraying the cleaning liquid onto the object.
  • the liquid conveying unit may specifically include a liquid conveying pipe, and the liquid conveying pipe may be any pipe capable of realizing a liquid conveying function, such as a hose made of plastic material, metal material or synthetic material, or a hard pipe.
  • the water spray unit may specifically include a water spray head, and any type of water spray head may be selected as needed, such as a shower head, a high pressure water gun, a spiral spray head or an atomizing spray head.
  • the solid line indicates the mechanical connection relationship
  • the connecting line with the arrow indicates the communication connection
  • an ultrasonic generating module capable of generating ultrasonic energy is disposed on the vibrating cleaning device, and the air bubbles in the cleaning liquid can be broken by the ultrasonic energy to generate a shock wave, and the object can be cleaned by the shock wave, thereby effectively enhancing the cleaning. Strength, thus improving cleaning efficiency.
  • the cleaning module 10 is a cleaning brush, and includes a brush-type brush head 11 and a rectangular body-shaped handle 12, the brush head 11 is disposed at one end of the handle 12, and the other end of the handle 12 and the vibration module 30 are mechanically
  • the liquid delivery unit 21 is a liquid delivery tube
  • the water spray unit 22 is a water spray head
  • the liquid delivery tube is fixed to one side of the handle 12 by a fastener
  • the water spray head is disposed at the water outlet of the liquid delivery tube
  • 30 is a vibrating motor
  • the cleaning tank 40 is a rectangular open recess
  • the transport module 50 is a conveyor belt disposed on one side of the washing tank 40
  • the control module 60 is a personal computer
  • 200 is an object to be cleaned.
  • an embodiment of the present application exemplarily shows the mechanical structure of the vibrating cleaning device 100 in the embodiment corresponding to FIG. 2, which is based on the vibrating cleaning shown in FIG. Improvements made by device 100.
  • the vibrating cleaning device 100 further includes an ultrasonic generating module 70 disposed in the handle 12, and in some embodiments, the ultrasonic generating module may be disposed in the brush head or disposed on the liquid transport module. One end of the liquid outlet.
  • an embodiment of the present application further provides a vibrating cleaning method, which is implemented based on the vibrating cleaning device 100 shown in FIG. 2 or FIG. 4, and the method includes Executed by module 60 The following steps:
  • Step S61 transferring the object to be cleaned to the cleaning tank, the object comprising a display panel;
  • Step S62 in the process of cleaning the object, delivering a cleaning liquid to the object;
  • Step S63 vibrating the object by the cleaning liquid
  • Step S64 The object that has been cleaned is transported out of the cleaning tank.
  • step S61 and the step S64 are specifically implemented by the control module 60 controlling the transmission module 50, the step S62 is specifically implemented by the control module 60 controlling the liquid delivery module 20, and the step S63 is specifically controlled by the control module 60. 30 is implemented with the cleaning module 10.
  • the method further includes:
  • Step S65 The ultrasonic energy is emitted such that the bubbles in the cleaning liquid delivered to the object are broken by the impact of the ultrasonic energy and generate a shock wave to clean the object by the shock wave.
  • step S65 is specifically implemented by the control module 60 controlling the ultrasonic generation module 70.
  • the embodiment of the present application further provides a vibrating cleaning system, which is implemented based on the vibrating cleaning device shown in FIG. 2 or FIG. 4, and is used to execute the method steps in the method embodiment corresponding to FIG.
  • the system is a software program system in the control module, and the system includes:
  • a conveying unit configured to transfer an object to be cleaned to a cleaning tank, the object comprising a display panel;
  • a conveying unit configured to convey cleaning to the object during cleaning of the object a cleaning unit, configured to perform vibration cleaning on the object by the cleaning liquid;
  • the transfer unit is further configured to transport the cleaned object out of the cleaning tank.
  • system further includes:
  • an ultrasonic transmitting unit configured to emit ultrasonic energy, such that bubbles in the cleaning liquid delivered to the object are broken by an impact of the ultrasonic energy and generate a shock wave to perform the object through the shock wave Cleaning.
  • the storage medium may be a magnetic disk, an optical disk, or a read-only storage memory (Read-Only)

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  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
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Abstract

一种振动式清洗装置（100）、方法及系统，其中，振动式清洗装置（100）包括清洗模块（10），用于通过清洗液对物体进行清洗；清洗液输送模块（20），用于在清洗模块（10）对物体进行清洗的过程中向物体输送清洗液；振动模块（30），用于以预设振动频率振动式运动并带动清洗模块（10）振动，以使清洗模块（10）通过清洗液对物体进行振动式清洗；清洗槽（40），用于放置待清洗的物体和清洗了物体之后的清洗液；传送模块（50），用于将待清洗的物体传送至清洗槽（40）并将已清洗的物体运出清洗槽（40）；控制模块（60），用于对清洗液输送模块（20）、振动模块（30）和传送模块（50）的工作状态进行控制。

Description

一种振动式清洗装置、 方法及系统 技术领域
[0001] 本申请实施例属于清洗装置技术领域， 尤其涉及一种振动式清洗装置、 方法及 系统。
背景技术
[0002] 随着科学技术的不断发展， 各种机械制造的自动化装置层出不穷， 逐渐取代传 统的手工劳作， 为人们的生产和生活了带来了极大便利， 提高了生产效率、 降 低了人工成本。
[0003] 然而， 现有的清洗装置通常都是由驱动电机和清洁刷构成， 由驱动电机带动清 洁刷上下左右运动以实现对物体的清洗， 无法有效去除对顽固污渍且清洗效率 较低。
技术问题
[0004] 本申请实施例提供一种振动式清洗装置、 方法及系统， 旨在解决现有的清洗装 置通常都是由驱动电机和清洁刷构成， 由驱动电机带动清洁刷上下左右运动以 实现对物体的清洗， 无法有效去除对顽固污渍且清洗效率较低的问题。
问题的解决方案
技术解决方案
[0005] 本申请实施例提供一种振动式清洗装置， 其包括：
[0006] 清洗模块， 用于通过清洗液对物体进行清洗， 所述物体包括显示面板；
[0007] 清洗液输送模块， 独立设置或设置于所述清洗模块上， 用于在所述清洗模块对 所述物体进行清洗的过程中向所述物体输送所述清洗液；
[0008] 振动模块， 与所述清洗模块机械连接， 用于以预设振动频率振动式运动并带动 所述清洗模块振动， 以使所述清洗模块通过所述清洗液对所述物体进行振动式 清洗；
[0009] 清洗槽， 用于放置待清洗的所述物体和清洗了所述物体之后的所述清洗液； [0010] 传送模块， 用于将待清洗的所述物体传送至所述清洗槽并将已清洗的所述物体 运出所述清洗槽；
[0011] 控制模块， 分别与所述清洗液输送模块、 所述振动模块和所述传送模块通信连 接， 用于对所述清洗液输送模块、 所述振动模块和所述传送模块的工作状态进 行控制。
[0012] 在一个实施例中， 所述振动式清洗装置还包括超声波发生模块， 其设置于所述 清洗模块， 用于向外发射超声波能量， 使输送至所述物体的所述清洗液中的气 泡受所述超声波能量的冲击而破裂并产生冲击波， 以通过所述冲击波对所述物 体进行清洗。
[0013] 在一个实施例中， 所述超声波发生模块为具有多档可调节的频率的超声波发生 器。
[0014] 在一个实施例中， 所述多档可调节的频率的可调节范围为 10 KHZ ~200KHZ。
[0015] 在一个实施例中， 所述超声波发生器包括轻度清洗档位、 中度清洗档位、 重度 清洗档位和强力清洗档位。
[0016] 在一个实施例中， 所述轻度清洗档位的频率在 10 KHZ ~50KHZ范围内线性可调
， 所述中度清洗档位频率的在 50 KHZ ~100HKZ范围内线性可调， 所述重度清洗 档位的频率在 100 KHZ
150KHZ范围内线性可调， 所述强力清洗档位的频率在 150 KHZ ~200KHZ范围 内线性可调。
[0017] 在一个实施例中， 所述清洗模块为清洗刷、 海绵清洁块或纤维清洁布。
[0018] 在一个实施例中， 所述清洗液输送模块包括：
[0019] 液体输送单元， 独立设置或设置于所述清洗模块， 用于输送所述清洗液； [0020] 喷水单元， 设置于所述液体输送单元的出液口， 用于将所述清洗液喷洒到所述 物体上。
[0021] 在一个实施例中， 所述液体输送单元包括液体输送管道， 所述喷水单元包括喷 水头。
[0022] 在一个实施例中在于， 所述液体输送管为塑料管、 金属管或合成材料管， 所述 喷水头为莲蓬头、 高压水枪、 螺旋喷头或雾化喷头。
[0023] 在一个实施例中， 所述清洗液包括纯水、 双氧水、 有机膦酸、 多元羧酸盐、 芳 族磺酸和胺 -环氧烷加成物中的一种或多种。
[0024] 在一个实施例中， 所述清洗模块为清洗刷， 所述振动模块为振动电机。
[0025] 在一个实施例中， 所述清洗刷包括：
[0026] 刷头， 用于与所述物体直接接触， 以对所述物体进行清洗；
[0027] 刷柄， 分别与所述刷头和所述振动电机连接， 用于在所述振动电机的带动下振 动并带动所述刷头振动， 以使所述刷头对所述物体进行振动式清洗。
[0028] 在一个实施例中， 所述清洗槽为矩形凹槽、 圆形凹槽或异形凹槽。
[0029] 在一个实施例中， 所述传送模块包括传送带、 机械夹爪、 传送滚轮或机械滑轨
[0030] 在一个实施例中， 所述控制模块为个人计算机。
[0031] 本申请实施例还提供一种振动式清洗方法， 所述方法基于上述的振动式清洗装 置实现， 所述方法包括由所述控制模块执行的以下步骤：
[0032] 将待清洗的物体传送至清洗槽， 所述物体包括显示面板；
[0033] 在对所述物体进行清洗的过程中， 向所述物体输送清洗液；
[0034] 通过所述清洗液对所述物体进行振动式清洗；
[0035] 将已清洗的所述物体运出所述清洗槽。
[0036] 在一个实施例中， 所述方法还包括：
[0037] 发射超声波能量， 使输送至所述物体的所述清洗液中的气泡受所述超声波能量 的冲击而破裂并产生冲击波， 以通过所述冲击波对所述物体进行清洗。
[0038] 本申请实施例还提供一种振动式清洗系统， 所述系统基于上述的振动式清洗装 置实现， 所述系统为所述控制模块中的软件程序系统， 所述控制模块包括： [0039] 传送单元， 用于将待清洗的物体传送至清洗槽， 所述物体包括显示面板； [0040] 输送单元， 用于在对所述物体进行清洗的过程中， 向所述物体输送清洗液； [0041] 清洗单元， 用于通过所述清洗液对所述物体进行振动式清洗；
[0042] 所述传送单元还用于将已清洗的所述物体运出所述清洗槽。
[0043] 在一个实施例中， 所述系统还包括：
[0044] 超声波发射单元， 用于发射超声波能量， 使输送至所述物体的所述清洗液中的 气泡受所述超声波能量的冲击而破裂并产生冲击波， 以通过所述冲击波对所述 物体进行清洗。
发明的有益效果
有益效果
[0045] 本申请实施例通过采用振动式清洗方式对物体进行清洗， 可以有效去除物体表 面的顽固污渍且可有效提高清洗效率。
对附图的简要说明
附图说明
[0046] 为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案， 下面将对实施例描述中所需要 使用的附图作简单地介绍， 显而易见地， 下面描述中的附图是本申请的一些实 施例， 对于本领域普通技术人员来讲， 在不付出创造性劳动的前提下， 还可以 根据这些附图获得其他的附图。
[0047] 图 1是本申请的一个实施例提供的振动式清洗装置的结构框图；
[0048] 图 2是本申请的另一个实施例提供的振动式清洗装置的结构框图；
[0049] 图 3是本申请的一个实施例提供的振动式清洗装置的机械结构示意图；
[0050] 图 4是本申请的另一个实施例提供的振动式清洗装置的机械结构示意图；
[0051] 图 5是本申请的一个实施例提供的振动式清洗方法的流程示意图。
本发明的实施方式
[0052] 为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案， 下面将结合本申请实施例中 的附图， 对本申请实施例中的技术方案进行清楚地描述， 显然， 所描述的实施 例是本申请一模块分的实施例， 而不是全模块的实施例。 基于本申请中的实施 例， 本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施 例， 都应当属于本申请保护的范围。
[0053] 本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语"包括"以及它们任何变形， 意图在于覆盖不排他的包含。 例如包含一系列步骤或单元的过程、 方法或系统 、 产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元， 而是可选地还包括没有列出的 步骤或单元， 或可选地还包括对于这些过程、 方法、 产品或设备固有的其它步 骤或单元。 此外， 术语"第一"、 "第二 "和"第三"等是用于区别不同对象， 而非用 于描述特定顺序。
[0054] 如图 1所示， 本申请的一个实施例提供一种振动式清洗装置 100， 其包括清洗模 块 10、 清洗液输送模块 20、 振动模块 30、 清洗槽 40、 传送模块 50、 控制模块 60
[0055] 清洗模块 10， 用于通过清洗液对物体进行清洗， 所述物体包括显示面板。
[0056] 在具体应用中， 清洗模块可以是清洗刷、 海绵清洁块、 纤维清洁布等， 物体还 可以包括玻璃阵列基板、 机械手表等精密仪器以及工业机床、 牙齿等可以通过 振动式清洗方式清洗的物体。
[0057] 清洗液输送模块 20， 独立设置或设置于清洗模块 10上， 用于在清洗模块 10对物 体进行清洗的过程中向物体输送清洗液。
[0058] 在具体应用中， 清洗液可以是任意可以对物体进行清洗且不会对物体造成腐蚀 性损伤的液体类物质。
[0059] 在一个实施例中， 清洗液包括纯水、 双氧水、 有机膦酸、 多元羧酸盐、 芳族磺 酸和胺 -环氧烷加成物中的一种或多种。
[0060] 振动模块 30， 与清洗模块 10机械连接， 用于以预设振动频率振动式运动并带动 清洗模块 10振动， 以使清洗模块 10通过清洗液对物体进行振动式清洗。
[0061] 在具体应用中， 预设振动频率可以根据实际需要进行设置， 例如可以将预设振 动频率设置为在一定频率范围内线性可调或多档可调。
[0062] 在具体应用中， 振动模块可以是各种类型的能够实现振动式运动的振动电机， 例如， 直流式振动电机、 交流式振动电机、 步进式振动电机或传感式振动电机 等。
[0063] 清洗槽 40 (图 1中未示出） ， 用于放置待清洗的物体和清洗了物体之后的清洗 液。
[0064] 在具体应用中， 清洗槽可以根据实际需要设置为任意的能够实现放置物体和收 集已使用的清洗液的槽体， 例如矩形凹槽、 圆形凹槽、 异形凹槽等等， 清洗槽 还可以带有透明塑料或玻璃罩， 用于在清洗过程中防止清洗液飞溅。
[0065] 传送模块 50， 用于将待清洗的物体传送至清洗槽 40并将已清洗的物体运出清洗 槽。
[0066] 在具体应用中， 传送模块可以是任意的能够对物体进行运送的机械装置， 例如
， 传送带、 机械夹爪、 传送滚轮或机械滑轨等。
[0067] 控制模块 60， 分别与清洗液输送模块 20、 振动模块 30和传送模块 50通信连接， 用于对清洗液输送模块 20、 振动模块 30和传送模块 50的工作状态进行控制。
[0068] 在具体应用中， 对各模块的工作状态进行控制具体是指控制各模块的幵启和关 闭， 控制振动模块的振动频率， 控制传送模块的传送路径等， 用于协调各模块 的工作， 以使对物体的清洗过程顺利进行。
[0069] 在一个实施例中， 控制模块可以是任意的具有控制功能的器件， 例如， 个人计 算机、 中央处理器 CPU、 特定集成电路 ASIC (Application Specific Integrated
Circuit) 等。
[0070] 本实施例中， 实线表示机械连接关系， 带箭头的连接线表示通信连接。
[0071] 本实施例通过在振动式清洗装置上设置可以输送清洗液的清洗液输送模块， 可 以在对物体进行振动式清洗的同吋， 利用清洗液对物体进行辅助清洗， 从而有 效增强清洗效果， 提高清洗效率。
[0072] 如图 2所示， 在本申请的一个实施例中， 振动式清洗装置 100还包括超声波发生 模块 70; 清洗液输送模块 20包括液体输送单元 21和喷水单元 22。
[0073] 超声波发生模块 70设置于清洗模块 10， 用于向外发射超声波能量， 使输送至物 体的清洗液中的气泡受超声波能量的冲击而破裂并产生冲击波， 以通过冲击波 对物体进行清洗。
[0074] 在一个实施例中， 超声波发生模块为具有多档可调节的频率的超声波发生器。
[0075] 在某些实施方式中， 超声波发生器的频率调节档位可以根据需要进行设置， 例 如可以设置为轻度清洗、 中度清洗、 重度清洗、 强力清洗等档位。
[0076] 在一个实施例中， 超声波发生器的频率可以根据需要设置为任意可行的频率范 围。 例如， 10 KHZ ~200KHZ。
[0077] 在一个实施例中， 超声波发生器包括轻度清洗、 中度清洗、 重度清洗和强力清 洗共四个频率调节档位并且每个频率调节档位的频率固定、 阶梯性可调或者线 性可调。 例如， 轻度清洗档位的频率在 10 KHZ ~50KHZ范围内线性可调、 中度 清洗的频率在 50 KHZ ~100HKZ范围内线性可调、 重度清洗的频率在 100 KHZ 150KHZ范围内线性可调、 强力清洗的频率在 150 KHZ ~200KHZ范围内线性可 调。
[0078] 液体输送单元 21， 独立设置或设置于清洗模块 10， 用于输送清洗液。
[0079] 喷水单元 22， 设置于液体输送单元 21的出液口， 用于将清洗液喷洒到物体上。
[0080] 在具体应用中， 液体输送单元具体可以包括液体输送管， 液体输送管可以选用 能够实现液体输送功能的任意管道， 例如塑料材质、 金属材质或合成材料制成 的软管或硬管等； 喷水单元具体可以包括喷水头， 可以根据需要选用任意类型 的喷水头， 例如莲蓬头、 高压水枪、 螺旋喷头或雾化喷头等。
[0081] 本实施例中， 实线表示机械连接关系， 带箭头的连接线表示通信连接。
[0082] 本实施例通过在振动式清洗装置上设置可以产生超声波能量的超声波发生模块 ， 可以通过超声波能量使清洗液中的气泡破裂而产生冲击波， 以通过冲击波对 物体进行清洗， 可以有效加强清洗力度， 从而提高清洗效率。
[0083] 如图 3所示， 本申请的一个实施例示例性的示出了图 1所对应的实施例中的振动 式清洗装置 100的机械结构。 在本实施例中， 清洗模块 10为清洗刷， 包括刷毛式 刷头 11和矩形体形状的刷柄 12， 刷头 11设置在刷柄 12的一端， 刷柄 12的另一端 与振动模块 30机械连接； 液体输送单元 21为液体输送管， 喷水单元 22为喷水头 ， 液体输送管通过紧固件固定在刷柄 12的一侧， 喷水头设置在液体输送管的出 水口； 振动模块 30为振动式电机； 清洗槽 40为矩形敞口凹槽； 传送模块 50为传 送带， 其设置在清洗槽 40的一侧； 控制模块 60为个人计算机； 200表示待清洗的 物体。
[0084] 如图 4所示， 本申请的一个实施例示例性的示出了图 2所对应的实施例中的振动 式清洗装置 100的机械结构， 其是基于图 3所示的振动式清洗装置 100所进行的改 进。 在本实施例中， 振动式清洗装置 100还包括超声波发生模块 70， 其设置在刷 柄 12中， 在某些实施方式中， 超声波发生模块可以设置在刷头中或设置在液体 输送模块上靠近出液口的一端。
[0085] 如图 5所示， 本申请的一个实施例中还提供一种振动式清洗方法， 所述方法基 于图 2或图 4所示的振动式清洗装置 100实现， 所述方法包括由控制模块 60执行的 以下步骤：
[0086] 步骤 S61 : 将待清洗的物体传送至清洗槽， 所述物体包括显示面板；
[0087] 步骤 S62: 在对所述物体进行清洗的过程中， 向所述物体输送清洗液；
[0088] 步骤 S63: 通过所述清洗液对所述物体进行振动式清洗；
[0089] 步骤 S64: 将已清洗的所述物体运出所述清洗槽。
[0090] 在具体应用中， 步骤 S61和步骤 S64具体由控制模块 60控制传输模块 50来实现， 步骤 S62具体由控制模块 60控制液体输送模块 20来实现， 步骤 S63具体由控制模 块 60控制振动模块 30和清洗模块 10来实现。
[0091] 在一个实施例中， 所述方法还包括：
[0092] 步骤 S65: 发射超声波能量， 使输送至所述物体的所述清洗液中的气泡受所述 超声波能量的冲击而破裂并产生冲击波， 以通过所述冲击波对所述物体进行清 洗。
[0093] 在具体应用中， 步骤 S65具体由控制模块 60控制超声波发生模块 70来实现。
[0094] 本申请实施例还提供一种振动式清洗系统， 所述系统基于图 2或图 4所示的振动 式清洗装置实现， 用于执行图 5所对应的方法实施例中的方法步骤， 所述系统为 所述控制模块中的软件程序系统， 所述系统包括：
[0095] 传送单元， 用于将待清洗的物体传送至清洗槽， 所述物体包括显示面板； [0096] 输送单元， 用于在对所述物体进行清洗的过程中， 向所述物体输送清洗液； [0097] 清洗单元， 用于通过所述清洗液对所述物体进行振动式清洗；
[0098] 所述传送单元还用于将已清洗的所述物体运出所述清洗槽。
[0099] 在一个实施例中， 所述系统还包括：
[0100] 超声波发射单元， 用于发射超声波能量， 使输送至所述物体的所述清洗液中的 气泡受所述超声波能量的冲击而破裂并产生冲击波， 以通过所述冲击波对所述 物体进行清洗。
[0101] 本申请实施例方法中的步骤可以根据实际需要进行顺序调整、 合并和刪减。
[0102] 本申请实施例系统中的单元可以根据实际需要进行合并、 划分和刪减。
[0103] 本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例方法中的全部或部分流程， 是可 以通过计算机程序来指令相关的硬件来完成， 所述的程序可存储于一计算机可 读取存储介质中， 该程序在执行吋， 可包括如上述各方法的实施例的流程。 其 中， 所述的存储介质可为磁碟、 光盘、 只读存储记忆体 （Read-Only
Memory , ROM) 或随机存储记忆体 (Random Access Memory , RAM) 等。 以上所述仅为本申请的较佳实施例而已， 并不用以限制本申请， 凡在本申请的 精神和原则之内所作的任何修改、 等同替换和改进等， 均应包含在本申请的保 护范围之内。

Claims

权利要求书
[权利要求 1] 一种振动式清洗装置， 包括：
清洗模块， 用于通过清洗液对物体进行清洗， 所述物体包括显示面板 清洗液输送模块， 独立设置或设置于所述清洗模块上， 用于在所述清 洗模块对所述物体进行清洗的过程中向所述物体输送所述清洗液； 振动模块， 与所述清洗模块机械连接， 用于以预设振动频率振动式运 动并带动所述清洗模块振动， 以使所述清洗模块通过所述清洗液对所 述物体进行振动式清洗；
清洗槽， 用于放置待清洗的所述物体和清洗了所述物体之后的所述清 洗液；
传送模块， 用于将待清洗的所述物体传送至所述清洗槽并将已清洗的 所述物体运出所述清洗槽；
控制模块， 分别与所述清洗液输送模块、 所述振动模块和所述传送模 块通信连接， 用于对所述清洗液输送模块、 所述振动模块和所述传送 模块的工作状态进行控制。
[权利要求 2] 如权利要求 1所述的振动式清洗装置， 还包括超声波发生模块， 其设 置于所述清洗模块， 用于向外发射超声波能量， 使输送至所述物体的 所述清洗液中的气泡受所述超声波能量的冲击而破裂并产生冲击波， 以通过所述冲击波对所述物体进行清洗。
[权利要求 3] 如权利要求 2所述的振动式清洗装置， 所述超声波发生模块为具有多 档可调节的频率的超声波发生器。
[权利要求 4] 如权利要求 3所述的振动式清洗装置， 所述多档可调节的频率的可调 节范围为 10 KHZ ~200KHZ。
[权利要求 5] 如权利要求 3所述的振动式清洗装置， 所述超声波发生器包括轻度清 洗档位、 中度清洗档位、 重度清洗档位和强力清洗档位。
[权利要求 6] 如权利要求 5所述的振动式清洗装置， 所述轻度清洗档位的频率在 10
KHZ ~50KHZ范围内线性可调， 所述中度清洗档位频率的在 50 KHZ 100HKZ范围内线性可调， 所述重度清洗档位的频率在 100 KHZ 150KHZ范围内线性可调， 所述强力清洗档位的频率在 150 KHZ ~200KHZ范围内线性可调。
[权利要求 7] 如权利要求 1所述的振动式清洗装置， 所述清洗模块为清洗刷、 海绵 清洁块或纤维清洁布。
[权利要求 8] 如权利要求 1所述的振动式清洗装置， 所述清洗液输送模块包括： 液体输送单元， 独立设置或设置于所述清洗模块， 用于输送所述清洗 液；
喷水单元， 设置于所述液体输送单元的出液口， 用于将所述清洗液喷 洒到所述物体上。
[权利要求 9] 如权利要求 8所述的振动式清洗装置， 所述液体输送单元包括液体输 送管， 所述喷水单元包括喷水头。
[权利要求 10] 如权利要求 9所述的振动式清洗装置， 所述液体输送管为塑料管、 金 属管或合成材料管， 所述喷水头为莲蓬头、 高压水枪、 螺旋喷头或雾 化喷头。
[权利要求 11] 如权利要求 1所述的振动式清洗装置， 所述清洗液包括纯水、 双氧水 、 有机膦酸、 多元羧酸盐、 芳族磺酸和胺 -环氧烷加成物中的一种或 多种。
[权利要求 12] 如权利要求 1所述的振动式清洗装置， 所述清洗模块为清洗刷， 所述 振动模块为振动电机。
[权利要求 13] 如权利要求 12所述的振动式清洗装置， 所述清洗刷包括：
刷头， 用于与所述物体直接接触， 以对所述物体进行清洗； 刷柄， 分别与所述刷头和所述振动电机连接， 用于在所述振动电机的 带动下振动并带动所述刷头振动， 以使所述刷头对所述物体进行振动 式清洗。
[权利要求 14] 如权利要求 1所述的振动式清洗装置， 所述清洗槽为矩形凹槽、 圆形 凹槽或异形凹槽。
[权利要求 15] 如权利要求 1所述的振动式清洗装置， 所述传送模块包括传送带、 机 械夹爪、 传送滚轮或机械滑轨。
[权利要求 16] 如权利要求 1所述的振动式清洗装置， 所述控制模块为个人计算机。
[权利要求 17] —种振动式清洗方法， 所述方法基于权利要求 2所述的振动式清洗装 置实现， 所述方法包括由所述控制模块执行的以下步骤：
将待清洗的物体传送至清洗槽， 所述物体包括显示面板；
在对所述物体进行清洗的过程中， 向所述物体输送清洗液； 通过所述清洗液对所述物体进行振动式清洗；
将已清洗的所述物体运出所述清洗槽。
[权利要求 18] 如权利要求 17所述的振动式清洗方法， 还包括：
发射超声波能量， 使输送至所述物体的所述清洗液中的气泡受所述超 声波能量的冲击而破裂并产生冲击波， 以通过所述冲击波对所述物体 进行清洗。
[权利要求 19] 一种振动式清洗系统， 所述系统基于权利要求 2所述的振动式清洗装 置实现， 所述系统为所述控制模块中的软件程序系统， 所述控制模块 包括：
传送单元， 用于将待清洗的物体传送至清洗槽， 所述物体包括显示面 板；
输送单元， 用于在对所述物体进行清洗的过程中， 向所述物体输送清 洗液；
清洗单元， 用于通过所述清洗液对所述物体进行振动式清洗； 所述传送单元还用于将已清洗的所述物体运出所述清洗槽。
[权利要求 20] 如权利要求 19所述的振动式清洗系统， 还包括：
超声波发射单元， 用于发射超声波能量， 使输送至所述物体的所述清 洗液中的气泡受所述超声波能量的冲击而破裂并产生冲击波， 以通过 所述冲击波对所述物体进行清洗。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112452921A (zh) * 2020-11-10 2021-03-09 上海圣奇清洗机械有限公司 一种滚筒式清洗烘干一体机
US11331697B2 (en) * 2017-05-11 2022-05-17 HKC Corporation Limited Vibration cleaning device, method and system

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108296239A (zh) * 2017-12-23 2018-07-20 卞家福 基于pid控制的全角度旋转清洁装置的工作方法
CN108272215A (zh) * 2017-12-23 2018-07-13 卞家福 全方位清洗和智能养护容器的清洁器
CN108311492A (zh) * 2017-12-23 2018-07-24 卞家福 全角度智能振动与旋转的清洗装置的工作方法
CN108296240A (zh) * 2017-12-23 2018-07-20 卞家福 往复运动和实时获取压力信息的清洗设备
CN108324220A (zh) * 2017-12-23 2018-07-27 卞家福 全角度智能振动与旋转的清洗装置
CN108057698A (zh) * 2017-12-23 2018-05-22 卞家福 用于多方向喷洒控制的清洁设备
CN108540706B (zh) * 2018-06-29 2024-02-27 深圳市科恩视讯科技有限公司 一种便于清理镜头灰尘的室外监控摄像头
CN108955783B (zh) * 2018-07-30 2020-03-31 广州仪控自动化仪表有限公司 一种封堵装置及使用该封堵装置的涡街流量计
CN111468438A (zh) * 2020-04-29 2020-07-31 贵州大地春晖科技发展有限公司 一种化学机械抛光设备的清洗装置
CN111744879A (zh) * 2020-06-24 2020-10-09 常州光晶光电科技有限公司 一种压电石英传感器白片加工设备及其工艺
CN112108438A (zh) * 2020-09-16 2020-12-22 王玲 一种妇产科用上药器械消毒清洗装置
CN112337843A (zh) * 2020-10-15 2021-02-09 龙岩市智享联科技有限公司 一种工程机械零部件清洗设备
CN112570333A (zh) * 2020-10-22 2021-03-30 安龙县欣蔓生物科技有限责任公司 一种安全性好的白及清洗切片装置
US20220184670A1 (en) * 2020-12-16 2022-06-16 The Boeing Company Flexible cavitation apparatus
CN113118075B (zh) * 2021-04-07 2023-06-30 南京尚磐信息科技有限公司 一种碳纤维肋骨的碳颗粒凝结脱落系统及其脱落方法
CN113289969B (zh) * 2021-04-10 2024-02-02 秦皇岛迈博科技服务有限公司 一种玻璃纤维布水洗防堆积除尘装置
CN115817577B (zh) * 2023-02-22 2023-06-02 成都工业职业技术学院 铁路信号设备防护结构

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20050087210A1 (en) * 2003-10-22 2005-04-28 In-Joon Yeo Substrate cleaning device
CN1955848A (zh) * 2005-10-24 2007-05-02 台湾积体电路制造股份有限公司 浸润式光刻装置、光刻装置及其洁净方法
US20080156360A1 (en) * 2006-12-26 2008-07-03 Applied Materials, Inc. Horizontal megasonic module for cleaning substrates
CN103691714A (zh) * 2013-12-19 2014-04-02 合肥京东方光电科技有限公司 一种清洗装置和清洗方法
CN105921431A (zh) * 2016-05-04 2016-09-07 京东方科技集团股份有限公司 一种转印板清洗设备及其清洗方法
CN206028241U (zh) * 2016-08-22 2017-03-22 北京中科宝洁环保科技有限公司 一种超声波清洗机

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5966766A (en) * 1997-10-06 1999-10-19 Advanced Micro Devices, Inc. Apparatus and method for cleaning semiconductor wafer
US5975094A (en) * 1997-11-26 1999-11-02 Speedfam Corporation Method and apparatus for enhanced cleaning of a workpiece with mechanical energy
DE60044762D1 (de) * 1999-05-20 2010-09-16 Kaneka Corp Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Halbleiterbauelements
EP1058290A1 (en) * 1999-06-02 2000-12-06 Kaneka Corporation Method and apparatus for cleaning a semiconductor device
KR20010037210A (ko) * 1999-10-14 2001-05-07 구본준, 론 위라하디락사 기판 세정 장치 및 기판 세정 방법
TWI222154B (en) * 2001-02-27 2004-10-11 Asm Nutool Inc Integrated system for processing semiconductor wafers
US6733596B1 (en) * 2002-12-23 2004-05-11 Lam Research Corporation Substrate cleaning brush preparation sequence, method, and system
US7337663B2 (en) * 2004-03-12 2008-03-04 Semitool, Inc. Sonic energy process chamber
KR20060058228A (ko) * 2004-11-24 2006-05-30 엘지전자 주식회사 플라즈마 디스플레이 패널의 초음파 세척장치
JP2007229614A (ja) * 2006-02-28 2007-09-13 Fujitsu Ltd 洗浄装置、洗浄方法および製品の製造方法
CN101428286A (zh) * 2008-12-15 2009-05-13 辛忻 振动式清洗机
US8945311B2 (en) * 2012-03-19 2015-02-03 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. Method for cleansing glass substrate of TFT-LCD
CN203862612U (zh) * 2014-01-23 2014-10-08 包斌华 非浸入式超声波洗毛刷及洗车器
CN104646324B (zh) * 2015-01-30 2017-01-18 中国电子科技集团公司第三十八研究所 一种声波振动刷及采用该声波振动刷的清洗方法
CN204953455U (zh) * 2015-07-27 2016-01-13 广东联塑科技实业有限公司 一种网箱污物清洗器
CN107030057A (zh) * 2017-05-11 2017-08-11 惠科股份有限公司 一种振动式清洗装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20050087210A1 (en) * 2003-10-22 2005-04-28 In-Joon Yeo Substrate cleaning device
CN1955848A (zh) * 2005-10-24 2007-05-02 台湾积体电路制造股份有限公司 浸润式光刻装置、光刻装置及其洁净方法
US20080156360A1 (en) * 2006-12-26 2008-07-03 Applied Materials, Inc. Horizontal megasonic module for cleaning substrates
CN103691714A (zh) * 2013-12-19 2014-04-02 合肥京东方光电科技有限公司 一种清洗装置和清洗方法
CN105921431A (zh) * 2016-05-04 2016-09-07 京东方科技集团股份有限公司 一种转印板清洗设备及其清洗方法
CN206028241U (zh) * 2016-08-22 2017-03-22 北京中科宝洁环保科技有限公司 一种超声波清洗机

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11331697B2 (en) * 2017-05-11 2022-05-17 HKC Corporation Limited Vibration cleaning device, method and system
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