WO2018180733A1 - ウェーハ収容容器 - Google Patents

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WO2018180733A1
WO2018180733A1 PCT/JP2018/010906 JP2018010906W WO2018180733A1 WO 2018180733 A1 WO2018180733 A1 WO 2018180733A1 JP 2018010906 W JP2018010906 W JP 2018010906W WO 2018180733 A1 WO2018180733 A1 WO 2018180733A1
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WO
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lid
wafer
container
container body
side wall
Prior art date
Application number
PCT/JP2018/010906
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English (en)
French (fr)
Inventor
正敬 西島
廣瀬　賢一
Original Assignee
アキレス株式会社
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Publication date
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Priority to EP18777566.3A priority patent/EP3605596B1/en
Priority to KR1020197026980A priority patent/KR102308107B1/ko
Priority to SG11201908613Y priority patent/SG11201908613YA/en
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    • H01L23/051—Containers; Seals characterised by the shape of the container or parts, e.g. caps, walls the container being a hollow construction and having a conductive base as a mounting as well as a lead for the semiconductor body another lead being formed by a cover plate parallel to the base plate, e.g. sandwich type

Definitions

  • the present invention relates to a wafer container.
  • Patent Document 1 there is a container disclosed in Patent Document 1 as a wafer container for housing a semiconductor wafer.
  • the wafer container disclosed in Patent Document 1 is provided with a container having a substantially cylindrical main body side wall on the container main body. Cushioning materials and the like are disposed on the uppermost and lowermost stages of the accommodating portion.
  • the accommodating portion accommodates wafers and interlayer sheets (synthetic resin sheets, dust-free paper, synthetic resin molded articles, etc.) alternately interposed between the upper and lower cushion materials.
  • the accommodating part covers the lid provided with the substantially cylindrical lid side wall, and is held in a sealed state by being held by a holding mechanism.
  • the main body side wall portion of the housing portion for housing the wafer is matched to the outer diameter of the wafer, and the lid side wall portion is covered with the outside of the main body side wall portion so as to be sealed. .
  • an automatic device such as a robot.
  • the lid is put on by the operator, if the center axis of the container main body and the center axis of the lid are shifted and cannot be covered in a concentric state, the received wafer is damaged at the side wall of the lid. There is a problem of fear.
  • the lid side wall portion is disposed inside and the wafer is pressed by the lid side wall portion, the wafer by the lid side wall portion The problem of damage becomes more prominent.
  • the present invention has been made in view of the problems of the prior art, and an object of the present invention is to provide a wafer container that can be covered with a cover without damaging the accommodated wafer.
  • a wafer container is: A container body having an opening at one end and a mounting portion on the other end facing the opening and accommodating a wafer stacked thereon; A lid that closes the opening; A wafer storage container comprising a holding mechanism that fits and holds the container body and the lid so as to be openable and closable,
  • the holding mechanism includes a locking member that extends from the other end of the container body to the one end and includes a locking claw at one end, and a locking hole that is provided in the lid and that locks the locking claw.
  • a guide member that guides the container body and the lid in a concentric state while being in contact with the locking member is provided on the lid side wall. It is characterized by.
  • the container body is formed on the mounting portion with a body side wall portion defining a housing portion for housing the wafer at an interval,
  • the locking member is preferably formed higher than the main body side wall.
  • the guide member is composed of a rib provided outside the lid side wall.
  • the lid body has a lid top surface portion that closes the opening, swings in the center direction of the lid body top surface portion, and includes a pressing member that presses the outside of the wafer accommodated in the container body and stacked. At least two places on the top surface of the lid, The pressing member is provided with a pressing surface material that holds the outer periphery of the wafer with a surface.
  • the container body has a guide groove that guides a position where the outer end of the wafer is pressed by moving the tip portion of the pressing member from the outside to the inside of the mounting portion.
  • the guide groove is preferably provided so as to be recessed from the surface of the mounting portion.
  • the lid can be covered without damaging the accommodated wafer.
  • FIG. 1 is a schematic perspective view of a container main body according to an embodiment of the wafer container of the present invention.
  • Fig.2 (a) is a rear view concerning the locking member piece of one Embodiment of the wafer storage container of this invention.
  • FIG.2 (b) is sectional drawing concerning the locking member piece of one Embodiment of the wafer storage container of this invention.
  • FIG. 3 is a schematic perspective view of the wafer storage container according to the embodiment of the present invention in a state in which the top and bottom are turned upside down. 4 is a partially enlarged perspective view of FIG. 3 according to an embodiment of the wafer container of the present invention.
  • Fig.5 (a) is sectional drawing concerning the latching hole part of the cover body of one Embodiment of the wafer storage container of this invention.
  • FIG.5 (b) is a center sectional view concerning the latching hole part of the cover body of one Embodiment of the wafer storage container of this invention.
  • Fig.6 (a) is explanatory drawing of the guidance start state concerning operation
  • FIG. 6B is an explanatory view after the completion of the guidance related to the operation of the guide member according to the embodiment of the wafer container of the present invention.
  • Fig.7 (a) is sectional drawing concerning the holding member of the cover body of one Embodiment of the wafer storage container of this invention.
  • FIG.7 (b) is a fragmentary sectional view concerning operation
  • the wafer container 1 of the present invention has an opening 11 at one end and a container main body 10 having a mounting portion 12 facing the opening 11 and receiving a wafer W stacked on the other end, and closes the opening 11.
  • a lid 20 and a holding mechanism 30 that fits and holds the container body 10 and the lid 20 so as to be openable and closable are provided.
  • the holding mechanism 30 extends from the other end of the container body 10 to one end, a locking member 32 having a locking claw portion 31 at one end, and a locking hole that is provided on the lid body 20 and locks the locking claw portion 31. Part 33 and at least two places.
  • the guide member 40 that guides the container body 10 and the lid 20 while keeping the concentric state while contacting the locking member 32 is provided on the lid side wall 21. Is provided.
  • the guide member 40 of the lid side wall 21 contacts the locking member 32 provided on the container main body 10 in at least two places.
  • the lid body 20 is covered with the lid W side wall portion 21 without damaging it. be able to.
  • the opening 11 of the container body 10 opens upward and a horizontal wafer W is stacked and accommodated on the mounting portion 12.
  • the wafer W may be stacked and stored in the wafer storage container 1, and the transfer may be performed in any state after the storage with the lid 20 covered is completed. Even if the orientation of the wafer W is, for example, horizontal or vertical, there is no problem.
  • the container body 10 includes a mounting portion 12 serving as a bottom plate. As shown in FIG. 1, the mounting portion 12 is formed in a substantially square quadrangular shape with four corners being arcuate. Wafers W are stacked and accommodated on the upper surface of the mounting portion 12. Note that the mounting portion 12 is not limited to a quadrangular shape, and may have another shape.
  • the mounting portion 12 is formed so that a main body side wall portion 14 that partitions the accommodating portion 13 of the wafer W protrudes upward.
  • the main body side wall portion 14 is formed in a plurality of, for example, four arcs forming a part of a cylinder in accordance with the shape of the wafer W.
  • the main body side wall portion 14 is formed integrally with the mounting portion 12 with an interval L along the circumference. Accordingly, the upper end portion of the main body side wall portion 14 becomes the opening portion 11 of the container main body 10, and the space defined by the main body side wall portion 14 becomes the accommodating portion 13 for the wafer W.
  • the inner diameter of the main body side wall portion 14 is formed to a size that does not hinder the accommodation or removal of the wafer W.
  • the inner diameter of the main body side wall portion 14 is larger (for example, about 1 to 2 mm in diameter) than the size (diameter) of the wafer W, for example, 5 inches, 6 inches, 8 inches, 12 inches, or the like.
  • the interval L between the main body side wall portions 14 is set as an insertion port of the robot arm when the wafer W is taken out.
  • an arcuate seal surface 15 with a lid 20 is located on the outer periphery of the lower end portion of the body side wall 14 of the container body 10. It is formed to protrude.
  • a linear seal surface 16 is formed through a stepped portion at an interval L portion of the main body side wall portion 14 on the outer periphery of the mounting portion 12. The linear seal surface 16 is connected to the arc-shaped seal surface 15 at both ends in an annular shape and surrounds the entire circumference of the container body 10.
  • the lid 20 described later when the lid 20 described later is put on, the inner side surface of the lid side wall 21 divided into four of the lid 20 comes into contact with the arc-shaped seal surface 15.
  • the linear lid outer wall portion 22 on the four sides connected to the lid side wall portion 21 of the lid 20 contacts the linear seal surface 16. Sealed by these contacts, the wafer container 1 can seal the interior of the housing part 13.
  • the lid 20 is shown in FIGS. 3, 4, 5 (a), 5 (b), and 8.
  • the lid 20 is placed so as to close the opening 11 (see FIG. 1) of the container body 10.
  • the lid body 20 includes a substantially square lid body top surface portion 23 whose outer shape is the same shape as the mounting portion 12 and whose four corners are arcuate. Of the lid top surface portion 23, a peripheral portion at a position lower than the central annular portion is illustrated as a lid top surface portion 23 a.
  • the lid top surface portion 23 is formed so that the lid side wall portion 21 divided into four corresponding to the main body side wall portion 14 of the container main body 10 protrudes downward at the four corners. Further, the lid outer wall portion 22 is formed on the four straight sides of the lid top surface portion 23 so as to protrude downward. Both end portions of the lid outer wall portion 22 are connected to the lid side wall portion 21 so as to surround the entire circumference of the lid body 20.
  • the wafer container 1 can seal the inside of the housing part 13 in a sealed state.
  • the wafer container 1 includes a holding mechanism 30 that holds the container body 10 and the lid 20 so as to be able to be opened and closed.
  • the holding mechanism 30 extends from the other end of the container body 10 to one end, a locking member 32 having a locking claw portion 31 at one end, and a locking hole that is provided on the lid body 20 and locks the locking claw portion 31. And at least two locations.
  • the container body 10 is formed with locking members 32 at the four corners of the mounting portion 12 and at the four outer sides of the body side wall portion 14. .
  • the locking member 32 is formed integrally with the mounting portion 12 so as to protrude upward (on the opening 11 side at one end).
  • a locking claw portion 31 is provided inside the distal end of the locking member 32.
  • the locking claw portion 31 of the locking member 32 is locked to the locking hole portion 33 of the lid body 20 so that the connected state of the container body 10 and the lid body 20 can be maintained.
  • the distal end portion of the locking claw portion 31 slightly protrudes from the edge portion of the main body side wall portion 14.
  • locking hole portions 33 are respectively formed in the lid body top surface portions 23 a corresponding to the arrangement of the locking members 32 of the container body 10. After the locking claw portion 31 of the locking member 32 of the container body 10 gets over the locking hole portion 33, the lower end horizontal surface of the locking claw portion 31 is locked and the holding state is established.
  • the locking hole 33 is formed in a recess 24 formed in the lid top surface portion 23a.
  • the recess 24 has such a depth that the locking claw 31 of the locking member 32 does not protrude from the surface of the lid 20 or slightly protrudes as shown in FIG.
  • the locking surface 34 of the locking hole portion 33 to which the locking claw portion 31 is locked is recessed in the central portion to release the locking state. 31 is formed on a surface that is easy to push back.
  • the four locking claws 31 of the locking members 32 on the container body 10 side get over the locking holes 33 on the lid 20 side.
  • the overhanging claw portion 31 is locked to the locking surface 34.
  • the container 13 of the wafer W is held in a sealed state by the container body 10 and the lid 20.
  • the locking member 32 can be pushed back from the center side to the outside reliably and easily by using the recess in the center of the locking surface 34 of the lid 20.
  • the holding mechanism 30 only needs to hold the container body 10 and the lid 20 in the locked state. What is necessary is just to provide the holding mechanism 30 in at least two places, for example, two places of diagonal positions.
  • the lid 20 includes a pressing member 25 that is pressed against the outer side of the wafer W.
  • the pressing member 25 is provided at at least two locations which are the outer portions of the wafer W, for example, four locations corresponding to the distance L between the main body side wall portions 14 of the container main body 10.
  • the pressing member 25 is formed in a flat plate shape integrally with the lid body 20.
  • the presser member 25 protrudes downward (on the opposite side to the opening 11) from the inside of the lid top surface portion 23 serving as the top surface, and is orthogonal to the central direction of the lid side wall portion 21.
  • the pressing member 25 is formed so as to be able to swing around a swing shaft portion 26 at the base end. Since the pressing member 25 is integral with the lid body 20, the swing shaft portion 26 has a hinge structure.
  • a groove portion is formed in the inner portion of the swing shaft portion 26.
  • the hinge structure is thinned by the groove. Thereby, the pressing member 25 can be easily swung around the swinging shaft portion 26.
  • the position of the oscillating shaft portion 26 is set so that the inner surface of the pressing member 25 (the surface on the center side of the wafer W) matches the outer diameter of the wafer W accommodated in an overlapping manner.
  • a pressing surface material 27 for pressing the outer periphery of the wafer W with the surface is provided on the inner side surface of the pressing member 25, as shown in FIGS. 7 (a) and 7 (b).
  • the pressing surface material 27 is formed integrally with the pressing member 25, for example.
  • the presser face material 27 may be a separate body from the presser member 25 or may be formed and attached with a different material. That is, it is only necessary that the pressing surface material 27 can reliably press the outer periphery of the wafer W with the surface.
  • the container body 10 includes a guide groove 17 that guides the pressing member 25 to a position where the outer periphery of the wafer W is pressed, as shown in FIGS. 1 and 7B.
  • the guide grooves 17 are formed at four locations with a distance L between the main body side wall portions 14 of the mounting portion 12.
  • the guide groove 17 guides the presser member 25 of the lid body 20 to swing by the swinging shaft portion 26 so that the tip end portion of the presser member 25 is moved from the outside to the inside (center side) of the mounting portion 12. is there.
  • the guide groove 17 is formed in a straight line perpendicular to the center direction of the mounting portion 12 serving as a bottom plate.
  • the guide groove 17 is formed to be recessed from the surface of the mounting portion 12.
  • the guide groove 17 includes an inclined surface 17a that is high on the outside of the container body 10 and low on the center side, and a vertical surface 17b that is continuous with the center side of the inclined surface 17a.
  • the inclined surface 17a and the vertical surface 17b are formed so as to have a substantially V-shaped cross-sectional shape in combination.
  • the container main body 10 is attached to members, such as the mounting part 12 and the main body side wall part 14, for reinforcement or handling in another process, Concave and convex portions or ribs are formed as necessary.
  • the pressing member 25 is guided by the guide groove 17.
  • the distal end portion (lower end portion in the illustrated example) of the pressing member 25 is positioned in the guide groove 17 of the container body 10.
  • the distal end portion of the pressing member 25 is guided by the guide groove 17 until the cover body 20 is completely covered.
  • the inner surface of the pressing member 25 is guided until it comes into contact with the vertical surface 17 b of the guide groove 17.
  • the protruding length of the pressing member 25 is determined so as to be suitable for guiding by the guide groove 17.
  • the distal end portion of the pressing member 25 is located at the bottom of the guide groove 17 of the guide groove 17 and cannot be returned to the outside by the inclined surface 17 a.
  • the four pressing members 25 are held at positions corresponding to the outer diameter of the wafer W. Accordingly, the outer peripheral surfaces of the stacked wafers W can be pressed by the pressing surface members 27 of the four pressing members 25, and the horizontal movement of the wafers W can be reliably prevented.
  • the holding member 25 is located between the lid top surface portion 23 serving as the top surface of the lid body 20 and the guide groove 17 recessed in the mounting portion 12 serving as the bottom surface portion of the container body 10. Therefore, the outer periphery of all the wafers W stacked on the mounting portion 12 can be pressed by the surface, and even the lowermost wafer W can be reliably pressed.
  • the pressing member 25 does not exist in the container body 10 from which the lid 20 is removed. Therefore, the wafer W can be accommodated in the container main body 10 as usual without being obstructed by the pressing member 25.
  • the lid body side wall portion 21, the lid body outer wall portion 22, the lid top surface portion 23, and the like are reinforced. Or the uneven part or the rib etc. are formed as needed for handling in other processes.
  • an upper pressing portion 28 for pressing the wafer W accommodated in the mounting portion 12 of the container body 10 up and down is formed integrally with the lid top surface portion 23. As a result, the stacked wafers W are pressed up and down between the upper pressing portion 28 and the mounting portion 12 as in the conventional case.
  • the guide member 40 for preventing damage to the wafer W accommodated in the accommodating portion 13 when the container body 10 is covered with the lid 20 is provided in at least two locations of the wafer accommodating container 1.
  • the guide member 40 is for guiding the lid body 20 while maintaining a concentric state in which the central axis of the container body 10 and the central axis of the lid body 20 coincide with each other.
  • the guide member 40 is provided on four lid body side wall portions 21 at four corners of the lid body 20.
  • the guide member 40 guides the container body 10 and the lid body 20 while maintaining the concentric state while contacting the four locking members 32 provided on the container body 10.
  • Each guide member 40 includes two ribs 41 provided on the outer side of the lid side wall portion 21. As shown in FIGS. 4 and 6A, the two ribs 41 are formed so as to be positioned inside each locking member 32. The two ribs 41 correspond to the width of each locking member 32 (the length in the direction perpendicular to the central direction) and are formed so as to protrude outward in the central direction at intervals.
  • the rib 41 includes a tapered inclined surface having a circular arc shape at the tip end portion (the lower end portion in FIG. 6A).
  • the inclined surface of the rib 41 is an inclined surface in the same direction as the inclined surface at the upper end of the locking claw portion 31 of the locking member 32. Further, the inclined surface of the rib 41 is formed from the inclined surface at the distal end to the locking hole portion 33 of the recess 24 of the lid top surface portion 23 at the proximal end.
  • the arc-shaped inclined surface of the rib 41 and the inclined surface that continuously extends from the arc-shaped inclined surface and protrudes from the distal end toward the base end are the guide surfaces of the locking member 32.
  • the locking member 32 of the container body 10 is guided to the rib 41 while maintaining a concentric state with the rib 41 of the guide member 40 of the lid 20.
  • the concentric state continues until the lid 20 is covered and the locking claw 31 of the container body 10 is locked to the locking hole 33 of the lid 20.
  • molding can be improved by making the outer side shape of the rib 41 into an inclined surface.
  • the lid body 20 includes the two ribs 41 constituting the guide member 40, when the container body 10 is covered with the lid body 20, the tips of the two ribs 41 are respectively located at four positions of the locking member 32 of the container body 10. It hits the upper surface of the locking claw 31. In this state, when the cover 20 is pushed in while contacting the inclined surfaces, the inclined surface of the rib 41 and the locking claw portion 31 corrects the deviation of the central axis of the cover 20 with respect to the container body 10. Become concentric.
  • the lid 20 covers the container body 10 in a concentric state. It will be.
  • the locking claw portion 31 is locked to the locking hole 33 of the lid 20. Thereby, the cover body 20 and the container main body 10 are sealed in a concentric state and become a holding state.
  • the lid side wall 21 of the lid 20 hits the wafer W accommodated in the container main body 10 and the wafer W Can be prevented from being damaged.
  • the locking member 32 is higher than the main body side wall portion 14 of the container main body 10.
  • the rib 41 of the guide member 40 first hits the locking claw portion 31 of the locking member 32.
  • the uppermost wafer W accommodated in a position lower than the main body side wall portion 14 of the container body 10 is pressed by the pressing member 25 protruding below the lid body 20. Therefore, damage to the wafer W in the accommodating portion 13 can be prevented more reliably from the beginning of the covering of the lid 20.
  • the lid 20 is covered in a concentric state, damage to the wafer W by the pressing member 25 can be prevented.
  • the concentric state of the container body 10 and the lid body 20 can be maintained by guiding the holding member 25 from the open state to the closed state at the predetermined position by the guide groove 17. .
  • the center axis of the container body 10 and the lid body 20 is not displaced even when the lid body 20 is manually covered by an operator without using an automation device such as a robot arm. Can be sealed.
  • the container body 10 and the lid 20 are preferably formed of conductive plastic.
  • the conductive plastic include a plastic added with a conductive filler or a plastic subjected to a polymer alloy treatment.
  • the conductive filler include carbon black, graphite carbon, graphite, carbon fiber, metal powder, metal fiber, metal oxide powder, metal-coated inorganic fine powder, organic fine powder, or fiber.
  • a ring serving as a lowermost cushion material is provided in the container part 13 on the mounting part 12 surrounded by the four main body side wall parts 14 of the container body 10.
  • a spacer 51 is disposed. Wafers W and interlayer sheets 52 are alternately stacked on the ring spacer 51.
  • a ring spacer 51 serving as a cushion material is disposed on the uppermost stage. The space from the lowermost ring spacer 51 to the uppermost ring spacer 51 is accommodated in the accommodating portion 13. After the predetermined number of wafers W are stacked and accommodated in the container body 10, the lid 20 is put on the container body 10.
  • the lid 20 covers the container body 10 in a concentric state. It will be.
  • the locking claw portion 31 is locked in the locking hole 33 of the lid 20, and the lid 20 and the container body 10 are concentrically sealed and held.
  • the tip of the lid outer wall portion 22 of the lid 20 comes into contact with the linear seal surface 16.
  • the distal end portion of the pressing member 25 of the lid body 20 is positioned above the guide groove 17 of the container body 10.
  • the distal end portion of the pressing member 25 is guided by the inclined surface 17 a of the guide groove 17 of the container body 10 and moves from the outside to the center side.
  • the pressing member 25 swings around the swing shaft portion 26 at the base end.
  • the pressing member 25 comes into contact with the vertical surface 17 b on the center side of the guide groove 17 as shown in FIG. At this time, the inner surface of the pressing member 25 is in a position in contact with the outer diameter of the wafer W. As a result, the outer peripheral surfaces of the stacked wafers W are pressed by the pressing surface members 27 of the four pressing members 25, and the horizontal movement is prevented.
  • the stacked wafers W are pressed by the upper pressing portion 28 of the top surface portion 23 of the lid body 20 and the upper surface of the mounting portion 12 of the container body 10, and the movement in the vertical direction is also suppressed.
  • the lid body side wall portion 21 and the lid body outer wall portion 22 of the lid body 20 are provided with the arc-shaped sealing surface 15 and the linear sealing surface of the container body 10. It will be in the sealing state which contacted 16.
  • the wafer W accommodated in the accommodating portion 13 is pressed in the vertical and horizontal directions. Therefore, even if the wafer container 1 is transported in an arbitrary direction, the wafer W does not move. As a result, problems such as rubbing, scratching or cracking due to an interlayer sheet or the like directly contacting the wafer W, dust generation, or contamination of the wafer W due to chemical components can be prevented.
  • the wafer container 1 of the present invention has an opening 11 at one end and a container main body 10 having a mounting portion 12 facing the opening 11 and receiving a wafer W stacked on the other end, and closes the opening 11.
  • a lid 20 and a holding mechanism 30 that fits and holds the container body 10 and the lid 20 so as to be openable and closable are provided.
  • the holding mechanism 30 extends from the other end of the container body 10 to one end, a locking member 32 having a locking claw portion 31 at one end, and a locking hole that is provided on the lid body 20 and locks the locking claw portion 31. Part 33 and at least two places.
  • the guide member 40 that guides the container main body 10 and the lid 20 while maintaining the concentric state while contacting the locking member 32 is provided on the lid side wall 21.
  • the guide member 40 of the lid body side wall portion 21 maintains the concentric state while contacting the locking member 32 provided on the container body 10 in at least two places. Then, the lid 20 is guided. Therefore, the lid 20 can be covered without damaging the accommodated wafer W at the lid side wall 21.
  • the container main body 10 is formed with a main body side wall portion 14 defining a housing portion 13 for housing the wafer W on the mounting portion 12 with an interval L therebetween. It is formed higher than the main body side wall portion 14.
  • the guide member 40 is constituted by a rib 41 provided outside the lid side wall portion 21.
  • the guide member 40 can be obtained simply by providing the rib 41. Therefore, the structure can be simplified, it is easy to secure a space for concentricity, and the lid side wall portion 21 can be reinforced.
  • the lid 20 has a lid top surface portion 23 that closes the opening 11, swings in the center direction of the lid top surface portion 23, and is accommodated and stacked on the container body 10.
  • the pressing member 25 for pressing the outside of the wafer W is provided on the lid top surface portion 23 in at least two places.
  • the pressing member 25 is provided with a pressing surface material 27 for pressing the outer periphery of the wafer W with a surface.
  • the container body 10 includes a guide groove 17 that guides the outer periphery of the wafer W to a position that moves the tip of the pressing member 25 from the outside to the inside of the mounting unit 12.
  • the guide groove 17 is provided so as to be recessed from the surface of the mounting portion 12. Thereby, the movement of the wafer W accommodated in the container main body 10 can be prevented from being pressed by the pressing member 25 from both sides.
  • the front end portion of the pressing member 25 is guided by the guide groove 17 recessed in the mounting portion 12 and pressed by the pressing face material 27, the outer periphery of all the wafers W on the mounting portion 12 can be pressed by the surface. Thereby, even if the wafer W is thin, it can be reliably pressed and prevented from moving. In addition, by pressing on the surface, the load does not concentrate on one point, and damage to the wafer W can be prevented.
  • the presser members 25 are provided at four locations.
  • the presser members 25 may be provided at least at two diagonal positions, and the presser members 25 may be provided at three or more locations.
  • the wafer W can be reliably pressed.
  • the holding member 25 is divided into a single structure, and a plurality of holding members 25 are swung perpendicularly to the center. You can also do it. By doing so, the wafer W can be reliably pressed by the divided pressing members 25.
  • the two ribs 41 are formed outside the lid side wall 21 as the guide member 40. However, even if the width of the rib 41 is widened and the guide member 40 is configured by one, good.
  • the lid side wall 21 between the two ribs 41 is removed, and a part of the lid side wall 21 protrudes outward as a guide member 40 having a U-shaped cross section in which the tip side of the rib 41 is continuous with the wall surface.
  • the guide member 40 may be any member that can contact the locking member 32 of the container body 10 and cover the lid 20 in a concentric state.
  • the wafer container according to the present invention is suitably used as a wafer container for semiconductor wafers, for example.

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Abstract

ウェーハ収容容器（１）は、一端に開口部（１１）を有し、他端に開口部（１１）と対向しウェーハが重ねて収容される搭載部（１２）を有する容器本体（１０）と、開口部（１１）を塞ぐ蓋体（２０）と、容器本体（１０）と蓋体（２０）とを開閉可能に嵌合して保持する保持機構（３０）と、を備えるウェーハ収容容器（１）であって、保持機構（３０）は、容器本体（１０）の他端から一端に伸び一端部に係止爪部（３１）を備える係止部材（３２）と、蓋体（２０）に設けられ係止爪部（３１）が係止される係止孔部（３３）と、を少なくとも２箇所に有し、蓋体（２０）の容器本体（１０）への嵌合時に、係止部材（３２）に接触しながら容器本体（１０）と蓋体（２０）とを同心状態を保持して案内する案内部材（４０）を蓋体側壁部（２１）に設けて構成される。

Description

ウェーハ収容容器
　本発明は、ウェーハ収容容器に関する。
　半導体ウェーハを収容するウェーハ収容容器として、例えば特許文献１に開示された容器がある。
　特許文献１に開示されたウェーハ収容容器には、容器本体上に略筒状の本体側壁部を備える収容部が設けられている。収容部の最上段と最下段には、クッション材等が配置されている。収容部は、上下のクッション材の間にウェーハと層間シート（合成樹脂製シート又は無塵紙又は合成樹脂製成形品等）とを交互に介在させて収容している。収容部は、略筒状の蓋体側壁部を備える蓋体を被せるようにし、保持機構で保持して密閉状態に収容している。
特開２００４－２６２５４５号公報
　ところが、特許文献１のウェーハ収容容器では、ウェーハを収容する収容部の本体側壁部をウェーハの外径に合わせておき、蓋体側壁部を本体側壁部の外側に被せるようにして密閉状態としている。このため、ロボットなどの自動装置で蓋体を被せる際には、あまり問題とならない。しかし、作業者によって蓋体を被せる際に、容器本体の中心軸と蓋体の中心軸がずれて同心状態で被せることができない場合に、蓋体側壁部で、収容されたウェーハに損傷を与える恐れがあるという問題がある。特に、収容部の本体側壁部をウェーハの外径より大きくしておき、内側に蓋体側壁部を配置してウェーハを蓋体側壁部で押える構造のウェーハ収容容器では、蓋体側壁部によるウェーハの損傷の問題が一層顕著となる。
　本発明は、かかる従来技術の問題点に鑑みてなされたもので、収容したウェーハに損傷を与えることなく蓋体を被せることができるウェーハ収容容器を提供することを目的とするものである。
　上記目的を達成するため、本発明にかかるウェーハ収容容器は、
　一端に開口部を有し、他端に前記開口部と対向しウェーハが重ねて収容される搭載部を有する容器本体と、
　前記開口部を塞ぐ蓋体と、
　前記容器本体と前記蓋体とを開閉可能に嵌合して保持する保持機構と、を備えるウェーハ収容容器であって、
　前記保持機構は、前記容器本体の前記他端から前記一端に伸び一端部に係止爪部を備える係止部材と、前記蓋体に設けられ前記係止爪部が係止される係止孔部と、を少なくとも２箇所に有し、
　前記蓋体の前記容器本体への嵌合時に、前記係止部材に接触しながら前記容器本体と前記蓋体とを同心状態を保持して案内する案内部材を蓋体側壁部に設けた、ことを特徴とする。
　前記容器本体は、前記搭載部に、前記ウェーハを収容する収容部を区画する本体側壁部が、間隔を開けて形成され、
　前記係止部材は、前記本体側壁部より高く形成される、ことが好ましい。
　前記案内部材は、前記蓋体側壁部の外側に設けるリブで構成される、ことが好ましい。
　前記蓋体は、前記開口部を塞ぐ蓋体天面部を有し、前記蓋体天面部の中心方向に揺動すると共に、前記容器本体に収容され重ねられた前記ウェーハの外側を押える押え部材を前記蓋体天面部に少なくとも２箇所に有し、
　前記押え部材は、前記ウェーハの外周を面で押える押え面材が設けられ、
　前記容器本体は、前記押え部材の先端部を、前記搭載部の外側から内側に向けて移動させ、前記ウェーハの外周を押える位置にガイドするガイド溝を有し、
　前記ガイド溝は、前記搭載部の表面より凹ませて設けられる、ことが好ましい。
　本発明のウェーハ収容容器によれば、収容したウェーハに損傷を与えることなく蓋体を被せることができる。
図１は、本発明のウェーハ収容容器の一実施の形態の容器本体にかかる概略斜視図である。 図２（ａ）は、本発明のウェーハ収容容器の一実施の形態の係止部材片にかかる背面図である。図２（ｂ）は、本発明のウェーハ収容容器の一実施の形態の係止部材片にかかる断面図である。 図３は、本発明のウェーハ収容容器の一実施の形態の蓋体にかかる上下を反転した状態の概略斜視図である。 図４は、本発明のウェーハ収容容器の一実施の形態にかかる図３の部分拡大斜視図である。 図５（ａ）は、本発明のウェーハ収容容器の一実施の形態の蓋体の係止孔部にかかる断面図である。図５（ｂ）は、本発明のウェーハ収容容器の一実施の形態の蓋体の係止孔部にかかる中央断面図である。 図６（ａ）は、本発明のウェーハ収容容器の一実施の形態の案内部材の動作にかかる案内開始状態の説明図である。図６（ｂ）は、本発明のウェーハ収容容器の一実施の形態の案内部材の動作にかかる案内完了後の説明図である。 図７（ａ）は、本発明のウェーハ収容容器の一実施の形態の蓋体の押え部材にかかる断面図である。図７（ｂ）は、本発明のウェーハ収容容器の一実施の形態の押え部材の動作にかかる部分断面図である。 本発明のウェーハ収容容器の一実施の形態にかかる分解状態の概略斜視図である。
　以下、本発明のウェーハ収容容器の一実施の形態について図面に基づき詳細に説明する。
　本発明のウェーハ収容容器１は、一端に開口部１１を有し、他端に開口部１１と対向しウェーハＷが重ねて収容される搭載部１２を有する容器本体１０と、開口部１１を塞ぐ蓋体２０と、容器本体１０と蓋体２０とを開閉可能に嵌合して保持する保持機構３０と、を備える。保持機構３０は、容器本体１０の他端から一端に伸び一端部に係止爪部３１を備える係止部材３２と、蓋体２０に設けられ係止爪部３１が係止される係止孔部３３と、を少なくとも２箇所に有する。また、蓋体２０の容器本体１０への嵌合時に、係止部材３２に接触しながら容器本体１０と蓋体２０とを同心状態を保持して案内する案内部材４０が、蓋体側壁部２１に設けられる。
　これにより、容器本体１０に蓋体２０を被せると、少なくとも２箇所で蓋体側壁部２１の案内部材４０が容器本体１０に設けた係止部材３２に接触する。案内部材４０と係止部材３２とが接触しながら同心状態を保持して蓋体２０が案内されることで、収容したウェーハＷに蓋体側壁部２１で損傷を与えることなく蓋体２０を被せることができる。
　本実施の形態では、容器本体１０の開口部１１が上方に向けて開口し、搭載部１２上に水平なウェーハＷを重ねて収容する場合を例に説明する。なお、ウェーハ収容容器１にウェーハＷを重ねて収容し、蓋体２０を被せた収容完了後は、ウェーハＷがどのような状態で、搬送などが行われても良い。ウェーハＷの向きが、例えば水平又は垂直等であっても、何の支障がないものである。
　容器本体１０は、底面板となる搭載部１２を備える。搭載部１２は、図１に示すように、４隅が円弧状とされた略正方形状の４角形に形成されている。搭載部１２の上面には、ウェーハＷが重ねられて収容される。なお、搭載部１２は、４角形状に限らず他の形状であっても良い。
　また、搭載部１２には、ウェーハＷの収容部１３を区画する本体側壁部１４が上方に突き出すように形成されている。本体側壁部１４は、ウェーハＷの形状に合わせて円筒の一部をなす複数、例えば４つの円弧状に形成される。本体側壁部１４は、円周に沿って間隔Ｌを開け、搭載部１２と一体に成形されている。これにより、本体側壁部１４の上端部が容器本体１０の開口部１１となり、本体側壁部１４で区画された空間がウェーハＷの収容部１３となる。
　本体側壁部１４の内径は、ウェーハＷの収容又は取り出しに支障のない大きさに形成されている。本体側壁部１４の内径は、ウェーハＷの大きさ（直径）、例えば５インチ、６インチ、８インチ、１２インチ等のサイズに比べて大きく（例えば、直径で１～２ｍｍ程度）してある。本体側壁部１４の間隔Ｌは、ウェーハＷの取り出しの際のロボットアームの挿入口とされる。
　図１及び図２（ａ）、（ｂ）に示すように、容器本体１０の本体側壁部１４の下端部外周に、蓋体２０（図３参照）との円弧状のシール面１５が上方に突き出すように形成されている。搭載部１２の外周の本体側壁部１４の間隔Ｌ部分には、段差部を介して直線状のシール面１６が形成されている。直線状のシール面１６は、両端部で円弧状のシール面１５と連続して環状に連結されて容器本体１０の全周を囲んでいる。
　これにより、後述する蓋体２０が被せられると、蓋体２０の４つに分割された蓋体側壁部２１の内側面が円弧状のシール面１５に接触する。加えて、蓋体２０の蓋体側壁部２１と連結された４辺上の直線状の蓋体外壁部２２が直線状のシール面１６に接触する。これらの接触によりシールされ、ウェーハ収容容器１は、収容部１３内を密閉状態にすることができる。
　蓋体２０を図３、図４、図５（ａ）、（ｂ）及び図８に示す。蓋体２０は、容器本体１０の開口部１１（図１参照）を塞ぐように被せられるものである。蓋体２０は、外形が搭載部１２と同一形状の４隅を円弧状とした略正方形状の蓋体天面部２３を備えている。蓋体天面部２３の内、中央の環状部より低い位置にある周縁部を蓋体天面部２３ａとして図示する。
　蓋体天面部２３には、容器本体１０の本体側壁部１４に対応して４つに分割された蓋体側壁部２１が４隅に、下方に突き出すように形成される。また、蓋体天面部２３の直線状の４辺上に蓋体外壁部２２が下方に突き出して形成されている。蓋体外壁部２２の両端部が蓋体側壁部２１と連結されて蓋体２０の全周を囲んでいる。
　これにより、容器本体１０に蓋体２０を被せると、既に説明したように、蓋体側壁部２１の内側面とシール面１５との接触、及び、蓋体外壁部２２の内側面とシール面１６との接触、によりシールされる。その結果、ウェーハ収容容器１は、収容部１３内を密封状態でシールできるようになっている。
　ウェーハ収容容器１は、容器本体１０と蓋体２０とを開閉可能に嵌合して保持する保持機構３０を備えている。保持機構３０は、容器本体１０の他端から一端に伸び一端部に係止爪部３１を備える係止部材３２と、蓋体２０に設けられ係止爪部３１が係止される係止孔部３３と、を少なくとも２箇所に有している。
　容器本体１０には、図１及び図２（ａ）、（ｂ）に示すように、搭載部１２の４隅の、本体側壁部１４の外側４箇所に、係止部材３２が形成されている。係止部材３２は、搭載部１２と一体に上方（一端の開口部１１側）に突き出して形成されている。係止部材３２の先端内側には、係止爪部３１が設けられている。係止部材３２の係止爪部３１は、蓋体２０の係止孔部３３に係止することで容器本体１０と蓋体２０との連結状態を保持できるようにしてある。係止爪部３１の先端部は、図２（ａ）、（ｂ）に示すように、本体側壁部１４の縁部からわずかに突き出している。
　蓋体２０には、容器本体１０の係止部材３２の配置に対応する各蓋体天面部２３ａに、それぞれ係止孔部３３が形成されている。容器本体１０の係止部材３２の係止爪部３１が係止孔部３３を乗り越えた後、係止爪部３１の下端水平面が係止されることで保持状態となる。
　係止孔部３３は、図５（ｂ）に示すように、蓋体天面部２３ａに形成された凹部２４内に形成されている。凹部２４は、係止部材３２の係止爪部３１が蓋体２０の表面から突き出さない程度、又は、図６（ｂ）に示すようにわずかに突き出す程度の深さを有する。係止爪部３１が係止される係止孔部３３の係止面３４は、図５（ａ）に示すように、中央部を凹ませて係止状態の解放の際、係止爪部３１を押し戻し易い面に形成されている。
　容器本体１０に蓋体２０を被せると、４箇所の容器本体１０側の係止部材３２の係止爪部３１が、蓋体２０側の係止孔部３３を乗り越える。乗り越えた係止爪部３１は、係止面３４に係止される。この係止状態では、容器本体１０と蓋体２０とによってウェーハＷの収容部１３が密閉状態でシールされた状態で保持される。一方、係止された保持状態の解放は、蓋体２０の係止面３４の中央部の凹みを利用することで、確実且つ簡単に係止部材３２を中心側から外側に押し戻すことができる。なお、保持機構３０は、容器本体１０と蓋体２０とを係止状態に保持できれば良い。少なくとも２箇所、例えば対角位置の２箇所に保持機構３０を設ければ良い。
　蓋体２０は、ウェーハＷの外側部に当てて押える押え部材２５を備えている。押え部材２５は、ウェーハＷの外側部となる少なくとも２箇所、例えば容器本体１０の本体側壁部１４の間隔Ｌに対応する４箇所に設けられている。
　押え部材２５は、蓋体２０と一体に、平板状に形成されている。押え部材２５は、天面となる蓋体天面部２３の内側から下方（開口部１１とは反対側）に突き出し、蓋体側壁部２１の中心方向と直交している。押え部材２５は、基端部の揺動軸部２６を中心に揺動可能に形成されている。押え部材２５が蓋体２０と一体であるため、揺動軸部２６がヒンジ構造となっている。
　揺動軸部２６の内側部分には溝部が形成されている。溝部によってヒンジ構造部分が薄肉となっている。これにより、揺動軸部２６を中心とした押え部材２５の揺動が容易となっている。押え部材２５の内側面（ウェーハＷの中心側の面）において、重ねて収容されるウェーハＷの外径に合わせた位置となるように、揺動軸部２６の位置が設定される。
　押え部材２５の内側面には、図７（ａ）、（ｂ）に示すように、ウェーハＷの外周を面で押える押え面材２７が設けられている。押え面材２７は、例えば押え部材２５と一体に成形される。なお、押え面材２７は、押え部材２５とは別体としたり、別素材で形成して取り付けたものであっても良い。即ち、押え面材２７は、確実にウェーハＷの外周を面で押えることができれば良い。
　容器本体１０は、図１及び図７（ｂ）に示すように、押え部材２５をウェーハＷの外周を押える位置にガイドするガイド溝１７を備える。ガイド溝１７は、搭載部１２の本体側壁部１４の間隔Ｌの４箇所に形成される。ガイド溝１７は、蓋体２０の押え部材２５を揺動軸部２６で揺動させ、押え部材２５の先端部を搭載部１２の外側から内側（中心側）に移動させるようにガイドするものである。
　ガイド溝１７は、底面板となる搭載部１２の中心方向と直交して直線状に形成されている。また、ガイド溝１７は、搭載部１２の表面より凹ませて形成されている。ガイド溝１７は、容器本体１０の外側が高く中心側が低い傾斜面１７ａと、傾斜面１７ａの中心側に連続する垂直面１７ｂと、を備える。傾斜面１７ａと垂直面１７ｂとは、組み合わせて略Ｖ字状の断面形状となるように形成されている。
　なお、容器本体１０には、図１及び図２（ａ）、（ｂ）に示すように、搭載部１２、本体側壁部１４等の部材に、補強又は他の工程でのハンドリング等のため、必要に応じて凹凸部又はリブ等が形成されている。
　押え部材２５は、ガイド溝１７によってガイドされる。容器本体１０に蓋体２０を被せる動作の初期（図６（ａ）参照）では、押え部材２５の先端部（図示例では、下端部）が容器本体１０のガイド溝１７内に位置する。押え部材２５の先端部は、蓋体２０を被せ終わるまでガイド溝１７でガイドされる。蓋体２０を完全に被せた完了期（図６（ｂ）参照）では、押え部材２５の内側面がガイド溝１７の垂直面１７ｂに接する状態までガイドされる。押え部材２５の突き出し長さは、ガイド溝１７によるガイドに適するように定められている。
　すなわち、容器本体１０に蓋体２０を被せた保持状態では、押え部材２５の先端部がガイド溝１７のガイド溝１７の底部に位置し、傾斜面１７ａによって外側に戻れない状態になる。これにより、保持状態では、４箇所の押え部材２５がウェーハＷの外径に対応した位置に保持される。従って、４箇所の押え部材２５の押え面材２７で、重ねられたウェーハＷの外周を面で押えることができ、ウェーハＷの水平移動を確実に防止することができる。
　押え部材２５は、蓋体２０の天面となる蓋体天面部２３から容器本体１０の底面部となる搭載部１２に凹ませたガイド溝１７までの間に位置している。従って、搭載部１２上に積み重ねられた全てのウェーハＷの外周を面で押えることができ、最下段のウェーハＷであっても確実に押えることができる。
　また、押え部材２５は、蓋体２０を取り外した容器本体１０には、存在しない。そのため、容器本体１０へのウェーハＷの収容は、押え部材２５に邪魔されることなく従来通りに行うことができる。
　なお、図３、図４及び図５（ａ）、（ｂ）に示すように、蓋体２０の蓋体側壁部２１、蓋体外壁部２２、蓋体天面部２３等の部材には、補強又は他の工程でのハンドリング等のため、必要に応じて凹凸部又はリブ等が形成されている。また、容器本体１０の搭載部１２に収容されたウェーハＷを、上下に押えるための上部押え部２８が蓋体天面部２３に一体に形成されている。これにより、従来と同様に、重ねられたウェーハＷは、上部押え部２８と搭載部１２との間で上下に押えられる。
　容器本体１０に蓋体２０を被せる際に、収容部１３に収容されたウェーハＷの損傷を防止する案内部材４０が、ウェーハ収容容器１の少なくとも２箇所に設けられている。案内部材４０は、容器本体１０の中心軸と蓋体２０の中心軸とを一致させた同心状態を保持して蓋体２０を案内するためのものである。図示例では、案内部材４０は、蓋体２０の４隅の４箇所の蓋体側壁部２１に設けられている。案内部材４０は、容器本体１０に設けられた４箇所の係止部材３２に接触しながら容器本体１０と蓋体２０とを同心状態を保持して案内する。
　各案内部材４０は、蓋体側壁部２１の外側に設ける２つのリブ４１を備える。２つのリブ４１は、図４、図６（ａ）に示すように、各係止部材３２の内側に位置するように形成されている。また、２つのリブ４１は、各係止部材３２の幅（中心方向と直交する方向の長さ）に対応し、互いに間隔をあけて中心方向外側に突き出すよう形成されている。
　リブ４１は、先端部（図６（ａ）では、下端部）が円弧状となった先細の傾斜面を備える。リブ４１の傾斜面は、係止部材３２の係止爪部３１の上端の傾斜面と同一方向の傾斜面となっている。また、リブ４１の傾斜面は、先端の傾斜面から基端の蓋体天面部２３の凹部２４の係止孔部３３まで形成されている。リブ４１の円弧状の傾斜面と、円弧状の傾斜面から連続して先端から基端に向かって突き出し幅が大きくなる傾斜面と、が係止部材３２の案内面となっている。
　これにより、蓋体２０の被せ始めから、容器本体１０の係止部材３２は、蓋体２０の案内部材４０のリブ４１と同心状態を保持してリブ４１に案内される。同心状態は、蓋体２０を被せ終わって容器本体１０の係止爪部３１が蓋体２０の係止孔部３３に係止されるまでの間、継続する。また、リブ４１の外側形状を傾斜面とすることで、成形時の金型からの脱型性を向上することができる。
　蓋体２０が案内部材４０を構成する２つのリブ４１を備えることにより、容器本体１０に蓋体２０を被せると、４箇所でそれぞれ２つのリブ４１の先端が容器本体１０の係止部材３２の係止爪部３１の上面に当たる。この状態で傾斜面同士を接触させながら蓋体２０を押し込むように被せると、リブ４１と係止爪部３１との傾斜面同士によって容器本体１０に対する蓋体２０の中心軸のずれが修正され、同心状態となる。
　さらに、４箇所の蓋体２０のリブ４１と４箇所の係止部材３２の内側表面及び係止爪部３１とを接触させながら押し込んでいくと、容器本体１０と同心状態で蓋体２０が被せられていく。蓋体２０を被せ終わると、係止爪部３１が蓋体２０の係止孔部３３に係止される。これにより、蓋体２０と容器本体１０とが同心状態で密閉され保持状態となる。
　本実施の形態によれば、蓋体２０を容器本体１０に被せる場合に、同心状態が確保されるので、蓋体２０の蓋体側壁部２１が容器本体１０に収容されたウェーハＷに当たってウェーハＷを損傷することが防止される。
　本実施の形態では、容器本体１０の本体側壁部１４よりも係止部材３２が高くなっている。これにより、蓋体２０を容器本体１０に被せる場合に、最初に係止部材３２の係止爪部３１に案内部材４０のリブ４１が当たる。これは、容器本体１０の本体側壁部１４より低い位置に収容される最上段のウェーハＷを蓋体２０の下方に突き出す押え部材２５で押える場合でも同様である。従って、収容部１３のウェーハＷの損傷を蓋体２０の被せ始めから一層確実に防止することができる。
　また、蓋体２０を同心状態で被せるので、押え部材２５によるウェーハＷの損傷を防止することができる。加えて、押え部材２５が外側に開いた状態からガイド溝１７で所定の位置に閉じられた状態にガイドされることによっても、容器本体１０と蓋体２０との同心状態を保持することができる。これにより、ウェーハ収容容器１では、ロボットアームなどの自動化装置を使用せず作業者により手動で蓋体２０を被せる場合であっても容器本体１０と蓋体２０の中心軸がずれることなく、確実に密閉することができる。
　ウェーハ収容容器１では、容器本体１０及び蓋体２０は、導電性プラスチックにより形成することが好ましい。導電性プラスチックとしては、導電性フィラーを添加したプラスチック又はポリマーアロイ処理したプラスチック等が挙げられる。導電性フィラーとしては、カーボンブラック、グラファイトカーボン、グラファイト、炭素繊維、金属粉末、金属繊維、金属酸化物の粉末、金属コートした無機質微粉末、有機質微粉末又は繊維等が挙げられる。
　このように構成したウェーハ収容容器１では、図８に示すように、容器本体１０の４つの本体側壁部１４で囲まれた搭載部１２上の収容部１３に、最下段のクッション材とするリングスペーサ５１が配置されている。リングスペーサ５１の上にウェーハＷと層間シート５２とが交互に重ねられる。最上段にクッション材とするリングスペーサ５１が配置されている。最下段のリングスペーサ５１から最上段のリングスペーサ５１までが収容部１３に収容される。容器本体１０に所定枚数のウェーハＷを重ねて収容した後、蓋体２０を被せる。
　蓋体２０を容器本体１０に被せると、図６（ａ）に示すように、ウェーハ収容容器１の４箇所（４隅）でそれぞれ２つのリブ４１の先端が容器本体１０の係止部材３２の係止爪部３１の上面に当たる。この状態で傾斜面同士を接触させながら蓋体２０を押し込むように被せると、リブ４１と係止爪部３１との傾斜面同士によって容器本体１０に対する蓋体２０の中心軸のずれが修正され、同心状態となる。
　さらに、４箇所の蓋体２０のリブ４１と４箇所の係止部材３２の内側表面及び係止爪部３１とを接触させながら押し込んでいくと、容器本体１０と同心状態で蓋体２０が被せられていく。蓋体２０を被せ終わると、係止爪部３１が蓋体２０の係止孔部３３に係止され、蓋体２０と容器本体１０とが同心状態で密閉され保持状態となる。
　また、容器本体１０に蓋体２０を被せていくと、蓋体２０の蓋体外壁部２２の先端が直線状のシール面１６に接する。このとき、蓋体２０の押え部材２５の先端部が、容器本体１０のガイド溝１７の上方に位置する状態となる。
　さらに、蓋体２０を容器本体１０に被せていくと、押え部材２５の先端部が容器本体１０のガイド溝１７の傾斜面１７ａにガイドされて外側から中心側に移動して行く。押え部材２５は、基端部の揺動軸部２６を中心に揺動する。
　そして、蓋体２０が容器本体１０に完全に被せられた状態では、図７（ｂ）に示すように、押え部材２５は、ガイド溝１７の中心側の垂直面１７ｂに接する状態となる。このとき、押え部材２５の内側面がウェーハＷの外径に接する位置となる。これにより、４箇所の押え部材２５の押え面材２７で、重ねられたウェーハＷの外周が面で押えられ、水平方向の移動が防止される。
　このようなウェーハ収容容器１では、容器本体１０にウェーハＷを収容した状態で、蓋体２０を被せても、容器本体１０と蓋体２０との中心軸がずれることなく同心状態となる。これにより、蓋体２０の蓋体側壁部２１又は押え部材２５がウェーハＷに当たって損傷を与えることを防止することができる。
　また、重ねられたウェーハＷは、容器本体１０の搭載部１２の上面と蓋体２０の蓋体天面部２３の上部押え部２８によって押えられ、上下方向の移動も押えられる。
　さらに、この蓋体２０を容器本体１０に完全に被せた状態では、蓋体２０の蓋体側壁部２１及び蓋体外壁部２２が容器本体１０の円弧状のシール面１５及び直線状のシール面１６に接触した密封状態になる。
　蓋体２０を被せた後、収容部１３に収容されたウェーハＷは、上下及び左右方向が押えられている。従って、ウェーハ収容容器１を任意の方向にして搬送しても、ウェーハＷは移動しない。これにより、ウェーハＷと直接接触する層間シート等と擦れ、傷又は割れ等による破損、発塵、あるいは化学的成分によるウェーハＷへの汚染等の問題を防止することができる。
　本発明のウェーハ収容容器１は、一端に開口部１１を有し、他端に開口部１１と対向しウェーハＷが重ねて収容される搭載部１２を有する容器本体１０と、開口部１１を塞ぐ蓋体２０と、容器本体１０と蓋体２０とを開閉可能に嵌合して保持する保持機構３０と、を備える。保持機構３０は、容器本体１０の他端から一端に伸び一端部に係止爪部３１を備える係止部材３２と、蓋体２０に設けられ係止爪部３１が係止される係止孔部３３と、を少なくとも２箇所に有する。また、蓋体２０の容器本体１０への嵌合時に、係止部材３２に接触しながら容器本体１０と蓋体２０とを同心状態を保持して案内する案内部材４０を蓋体側壁部２１に設けられる。このような構成により、容器本体１０に蓋体２０を被せると、少なくとも２箇所で蓋体側壁部２１の案内部材４０が容器本体１０に設けた係止部材３２に接触しながら同心状態を保持して蓋体２０が案内される。従って、収容したウェーハＷに蓋体側壁部２１で損傷を与えることなく蓋体２０を被せることができる。
　本発明のウェーハ収容容器１において、容器本体１０は、搭載部１２に、ウェーハＷを収容する収容部１３を区画する本体側壁部１４が、間隔Ｌを開けて形成され、係止部材３２は、本体側壁部１４より高く形成されている。これにより、蓋体２０を容器本体１０に被せる場合に、案内部材４０が本体側壁部１４より高い係止部材３２に最初に接触して案内される。そのため、収容したウェーハＷに蓋体側壁部２１で損傷を与えることなく、確実に蓋体２０を被せることができる。
　本発明のウェーハ収容容器１において、案内部材４０は、蓋体側壁部２１の外側に設けるリブ４１で構成される。これにより、リブ４１を設けるだけで案内部材４０とすることができる。そのため、構造を簡素化することができ、同心状態にするためのスペースの確保が容易となり、蓋体側壁部２１を補強することもできる。
　本発明のウェーハ収容容器１において、蓋体２０は、開口部１１を塞ぐ蓋体天面部２３を有し、蓋体天面部２３の中心方向に揺動すると共に、容器本体１０に収容され重ねられたウェーハＷの外側を押える押え部材２５を蓋体天面部２３に少なくとも２箇所に有する。押え部材２５は、ウェーハＷの外周を面で押える押え面材２７が設けられる。容器本体１０は、押え部材２５の先端部を、搭載部１２の外側から内側に向けて移動させ、ウェーハＷの外周を押える位置にガイドするガイド溝１７を有する。ガイド溝１７は、搭載部１２の表面より凹ませて設けている。これにより、容器本体１０に収容されたウェーハＷの動きを押え部材２５で両側から押えて防止することができる。
　また、押え部材２５の先端部を搭載部１２に凹ませたガイド溝１７でガイドして押え面材２７で押えるので、搭載部１２上の全てのウェーハＷの外周を面で押えることができる。これにより、ウェーハＷの厚さが薄いものであっても、確実に押えて動きを防止することができる。加えて、面で押えることで、荷重が１点に集中することがなく、ウェーハＷの損傷を防止することができる。
　なお、上記実施の形態では、押え部材２５を４箇所に設ける場合を例に説明したが、少なくとも対角位置の２箇所に設けるようにすれば良く、３箇所以上に押え部材２５を設けることで、確実にウェーハＷを押えることができる。
　また、押え部材２５を１箇所に１つの平板状のものを設置するようにしたが、１箇所の押え部材２５を分割構造として複数の平板状のものをそれぞれ中心に対して直交して揺動するようにすることもできる。こうすることで、それぞれの分割された押え部材２５でウェーハＷを確実に押えることができる。
　上記の実施の形態では、案内部材４０として蓋体側壁部２１の外側に２つのリブ４１を形成するようにしたが、リブ４１の幅を広くして１つで案内部材４０を構成しても良い。
　また、２つのリブ４１の間の蓋体側壁部２１を取り除き、リブ４１の先端側を壁面で連続させた断面コ字状の案内部材４０として、蓋体側壁部２１の一部を外側に突き出すように構成しても良い。案内部材４０は、容器本体１０の係止部材３２と接触させて同心状態で蓋体２０を被せることができるものであれば良い。
　本発明は、本発明の広義の精神と範囲を逸脱することなく、様々な実施の形態及び変形が可能とされるものである。また、上述した実施の形態は、この発明を説明するためのものであり、本発明の範囲を限定するものではない。すなわち、本発明の範囲は、実施の形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。そして、特許請求の範囲内及びそれと同等の発明の意義の範囲内で施される様々な変形が、この発明の範囲内とみなされる。
　本出願は、２０１７年３月３１日に出願された日本国特許出願特願２０１７－６９９１８号に基づく。本明細書中に、日本国特許出願特願２０１７－６９９１８号の明細書、及び特許請求の範囲全体を参照として取り込むものとする。
　本発明に係るウェーハ収容容器は、例えば半導体ウェーハ用のウェーハ収容容器として、好適に用いられる。
　１　 　 ウェーハ収容容器
　１０　　容器本体
　１１　　開口部
　１２　　搭載部
　１３　　収容部
　１４　　本体側壁部
　１５　　円弧状のシール面
　１６　　直線状のシール面
　１７　　ガイド溝
　１７ａ　傾斜面
　１７ｂ　垂直面
　２０　　蓋体
　２１　　蓋体側壁部
　２２　　蓋体外壁部
　２３、２３ａ　　蓋体天面部
　２４　　凹部
　２５　　押え部材
　２６　　揺動軸部
　２７　　押え面材
　２８　　上部押え部
　３０　　保持機構
　３１　　係止爪部
　３２　　係止部材
　３３　　係止孔部
　３４　　係止面
　４０　　案内部材
　４１　　リブ
　５１　　リングスペーサ
　５２　　層間シート
　Ｌ　　　間隔
　Ｗ　　　ウェーハ

Claims (4)

  1. 　一端に開口部を有し、他端に前記開口部と対向しウェーハが重ねて収容される搭載部を有する容器本体と、
    　前記開口部を塞ぐ蓋体と、
    　前記容器本体と前記蓋体とを開閉可能に嵌合して保持する保持機構と、を備えるウェーハ収容容器であって、
    　前記保持機構は、前記容器本体の前記他端から前記一端に伸び一端部に係止爪部を備える係止部材と、前記蓋体に設けられ前記係止爪部が係止される係止孔部と、を少なくとも２箇所に有し、
    　前記蓋体の前記容器本体への嵌合時に、前記係止部材に接触しながら前記容器本体と前記蓋体とを同心状態を保持して案内する案内部材を蓋体側壁部に設けた、
    　ことを特徴とするウェーハ収容容器。
  2. 　前記容器本体は、前記搭載部に、前記ウェーハを収容する収容部を区画する本体側壁部が、間隔を開けて形成され、
    　前記係止部材は、前記本体側壁部より高く形成される、
    　ことを特徴とする請求項１に記載のウェーハ収容容器。
  3. 　前記案内部材は、前記蓋体側壁部の外側に設けるリブで構成される、
    　ことを特徴とする請求項１又は２に記載のウェーハ収容容器。
  4. 　前記蓋体は、前記開口部を塞ぐ蓋体天面部を有し、前記蓋体天面部の中心方向に揺動すると共に、前記容器本体に収容され重ねられた前記ウェーハの外側を押える押え部材を前記蓋体天面部に少なくとも２箇所に有し、
    　前記押え部材は、前記ウェーハの外周を面で押える押え面材が設けられ、
    　前記容器本体は、前記押え部材の先端部を、前記搭載部の外側から内側に向けて移動させ、前記ウェーハの外周を押える位置にガイドするガイド溝を有し、
    　前記ガイド溝は、前記搭載部の表面より凹ませて設けられる、
    　ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のウェーハ収容容器。
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