WO2018147460A1

WO2018147460A1 - ハブ型ブレード及びハブ型ブレード製造方法

Info

Publication number: WO2018147460A1
Application number: PCT/JP2018/004820
Authority: WO
Inventors: 星　純二; 早紀塚本; 紀幸山中
Original assignee: 株式会社東京精密
Priority date: 2017-02-13
Filing date: 2018-02-13
Publication date: 2018-08-16
Also published as: KR20190109444A; KR102083341B1; CN110267767B; MY190340A; CN110267767A

Abstract

軸線（Ｏ１）周りに回転するハブ型ブレードであって、アルミニウム合金からなりブレード取付面（１１１Ａ）が形成されたハブ（１１０）と、前記ブレード取付面（１１１Ａ）に配置されニッケル又はニッケル合金からなる金属母材にダイヤモンド超砥粒が分散されたブレード本体（１３０）と、前記ハブ（１１０）と前記ブレード本体（１３０）の間に配置され前記ハブ（１１０）と前記ブレード本体（１３０）とを接続する両面粘着テープ（１２０）とを備えていることを特徴とする。

Description

ハブ型ブレード及びハブ型ブレード製造方法

　この発明は、半導体材料等の基板を切断してチップ状に個片化するのに用いられるハブ型ブレード及びハブ型ブレード製造方法に関する。
　本願は、２０１７年２月１３日に日本に出願された特願２０１７－０２４４００号、特願２０１７－０２４４０１号、特願２０１７－０２４４０２号、特願２０１７－０２４４０３号及び特願２０１７－０２４４０４号並びに２０１７年７月１４日に日本に出願された特願２０１７－１３８５０４号について優先権を主張し、その内容をここに援用する。

　周知のように、半導体材料等の基板を切断してチップ状に個片化する際に、円形状に形成されたブレードが用いられ、ブレードを安定して回転させるための一形態として、ブレード本体を保持部材に保持させたハブ型ブレードが広く用いられている（例えば、特許文献１参照。）。

　ハブ型ブレード１００は、図３０に示すように、例えば、アルミニウム合金からなるハブ９１０と、ハブ９１０の一方側の面にニッケルめっきによって形成した電鋳ブレード本体９３０とを備えていて、保持部材９１１と電鋳ブレード本体９３０とが一体的に接続された構成とされている。

　前記従来のハブ型ブレードは、例えば、図３１に示すように、ハブよりも大径のアルミ台金を準備（Ｓ９０１）し、アルミ台金のブレード形成面に前処理をしてニッケルめっきが可能な状態とする（Ｓ９０２）。そして、例えば、約５μｍのダイヤモンド超砥粒を分散したニッケルめっき液に、マスキングを施したアルミ台金を浸漬して、ブレード形成面９１１Ａにニッケルめっきすることによって電鋳ブレード本体の原板を形成する（Ｓ９０３）。

　電鋳ブレード本体の原板は外周側の厚さが厚いので、円筒研削盤などを用いてアルミ台金を外径加工して、電鋳ブレード本体の原板の厚さを均一にする（Ｓ９０４）。次いで、外径加工したアルミ台金にマスキングを施してアルカリエッチングすることにより、アルミ台金の外周部分を溶解して外周に所定寸法のブレード本体を露出させる（Ｓ９０５）。

　その後、電解ドレス（Ｓ９０６）によってブレード本体の表面からニッケルを溶解してダイヤモンド超砥粒を露出させ、ダイサードレスによってブレード本体外周のダイヤモンド超砥粒を約２μｍ露出（Ｓ９０７）させて、ダイサープリカット（Ｓ９０８）、検査（Ｓ９０９）を経てからハブ型ブレードが完成する。

日本国特開平５－３４５２８１号公報（Ａ）

　しかしながら、前記従来のハブ型ブレード及びハブ型ブレード製造方法は、以下に示すような問題がある。
　第１に、アルミニウムはニッケルに比べて熱膨張係数が大きいので、ニッケルめっき液内で約４０℃～５０℃の温度範囲でアルミ台金に形成された電鋳ブレード本体は、常温まで冷却される過程でアルミ台金の収縮に追従することができず、電鋳ブレード本体に圧縮応力が残留し、アルカリエッチングによってブレード本体を露出させると歪やそりが生じる虞れがある。ブレード本体の歪やそりは、ハブ型ブレードの切断の品位を大きく左右し、切断ラインの曲りや製品に欠けが生じさせる可能性があることから出荷することができず不良として廃棄されることから、仕損費が増加して製造コスト増大を招いている。

　第２に、分散めっきにより形成した電鋳ブレード本体は、外周側の厚さが厚く形成されているので、厚い部分を外周加工によって除去して均一な厚さにする必要がある。さらに、外径加工する際には、ブレード本体に歪が発生するのを抑制するために、加工負荷を小さくしたうえで長い時間が必要である。その結果、コスト増大の原因となっている。

　第３に、アルミ台金をアルカリエッチングしてブレード本体からダイヤモンド超砥粒を露出させることから、ブレード本体を所望の厚さや突き出し量に安定して仕上げることは容易ではない。

　第４に、アルミ台金をアルカリエッチングする際には、約８０℃のアルカリ液中に浸漬させる必要があり、さらなる膨張差を生じてアルミ台金とブレード本体の剥離を生じる虞がある。また、アルカリエッチングに非常に長い時間が費やされる。

　この発明は、このような事情を考慮してなされたものであり、高精度なハブ型ブレードを効率的かつ安定して製造することが可能なハブ型ブレード及びハブ型ブレード製造方法を提供することを目的としている。

　そこで、発明者らは、高精度なハブ型ブレードを効率的かつ安定して製造する技術を鋭意研究した結果、従来技術にとらわれることのない画期的なハブ型ブレード及びハブ型ブレード製造方法を開発した。

　前記課題を解決するために、この発明は以下の（１）～（１５）の態様を備える。
　（１）軸線回りに回転可能に形成され前記軸線方向の一方側にブレード取付面が形成されたハブと、前記ブレード取付面に配置されたブレード本体と、前記ハブと前記ブレード本体の間に配置され前記ハブに前記ブレード本体を装着して接続する接続部と、を備え、前記接続部は、前記ハブ側と前記ブレード本体側に位置される両面に粘着性を有する両面粘着テープにより構成されていることを特徴とするハブ型ブレード。

　前記（１）のハブ型ブレードによれば、ハブと、ブレード本体と、接続部とを備えていて、別々に形成したハブとブレード本体とが接続部によって装着されるので、ハブとブレード本体を個別に検査して、品質特性（例えば、砥粒の含有量、厚さ、そり、外観等）を満足したハブとブレード本体だけを用いて製造することができる。
　その結果、ブレード本体の品質不具合にともなう台金（ハブ）の廃棄がなくなり、製造コストを削減することができる。
　また、ブレード本体を常温でハブに装着することにより、ブレード本体に温度履歴に基づく歪やそりがなくなり、ハブ型ブレードの品質を向上することができる。
　その結果、高精度なハブ型ブレードを効率的かつ安定して製造することができる。

　また、前記（１）のハブ型ブレードによれば、ブレード本体をハブから突き出す際に、加工又はエッチングによって台金を除去する必要がないので、材料ロスに起因する歩留低下が抑制されるとともに加工時間を短縮することができる。
　その結果、製造にともなうリードタイムが大幅に短縮されるとともに、高精度な試作品を低コストかつ短いリードタイムで製作することができる。

　前記（１）のハブ型ブレードによれば、使用後のハブ型ブレードからブレード本体を取り除くことにより、ハブを容易に再利用することができる。
　その結果、省資源を実現するとともに製造コストを削減することができる。

　また、ハブにブレード本体を一体的に形成する場合には、ブレード本体に分散めっきに起因する品質不具合が発生するとブレード本体とともに台金を廃棄することになるが、品質特性を満足したブレード本体を装着することにより分散めっきに起因するハブ型ブレードの品質不具合が抑制されるので、製造コストを削減することができる。
　また、ブレード本体を常温でハブに装着することにより、ブレード本体に温度履歴に基づく歪やそりが生じるのが抑制されて、ハブ型ブレードの品質を向上することができる。

　また、前記（１）のハブ型ブレードによれば、ハブ型ブレードが接続部として、ハブ側と前記ブレード本体側に位置される両面に粘着性を有する両面粘着テープを備えているので、接続部の構成が簡単であり、両面粘着テープの品質を管理することによりハブとブレード本体とを効率的かつ安定して装着することができる。

　また、ハブとブレード本体が両面粘着テープを介して接続されることにより、ブレード本体がハブの外縁で急に屈曲されるのが緩和され、ブレード本体が加工対象物と当たった際に、ブレード本体が割れるのが抑制される。

　また、ブレード本体を常温でハブに装着することにより、ブレード本体に温度履歴に基づく歪やそりが生じるのが抑制され、ハブ型ブレードの品質を向上することができる。その結果、高精度なハブ型ブレードを効率的かつ安定して製造することができる。

　また、めっきによってブレード本体を形成することができない材質のハブやめっきによって形成することができないブレード本体を備えたハブ型ブレードを構成することができる。

　この明細書において、ハブにブレード本体を装着するとは、別々に作成したハブとブレード本体とを接続部によって接続して一体のハブ型ブレードを構成することをいい、例えば、ハブにめっきや蒸着等によりブレード本体を直接的に形成する以外のものであり、接着テープ（両面接着テープを含む）による接続、塗布された粘着性を有する樹脂であってその粘着力によって接続する樹脂（以下、粘着性樹脂という）による接続、接着テープと接着剤とを用いて接続、塗布した粘着性樹脂の粘着力によって接続する態様を含む趣旨である。

　また、この明細書において、「ハブにブレード本体を装着する接続部」には、例えば、接着テープ（粘着テープを含む）、接着剤が硬化して形成された接着樹脂部（接着層）からなる接合部より構成された接続部、これらを組み合わせることにより構成される（例えば、接着テープと接着剤とからなる）接続部、ハブとブレード本体のすくなくともいずれか一方に塗布された粘着性樹脂の粘着力によって接続される接続部が含まれる。
　ここで、ハブ側とブレード本体側の少なくともいずれか一方が粘着力によって接続される粘着性接続部は、短時間で接続できる点で好適である。
　また、接着テープとしては、基材の両面に接着剤が配置された両面接着テープ（両面粘着テープを含む）、基材の片面に接着剤が片面接着テープ（片面粘着テープを含む）、が含まれる。
　また、両面接着テープとしては、基材の両側に粘着性樹脂が配置され粘着力によって接続する両面粘着テープ、基材の一方の面に粘着性樹脂が配置され粘着力により接続し他方の面が硬化して接着する接着剤が配置されたもの、基材の両側の面に硬化して接着する接着剤が配置されたものが含まれる。

　また、両面粘着テープとは、ハブとブレード本体の間に配置され、ハブ側とブレード本体側の両面に粘着性樹脂が配置されて粘着性を有し、この粘着力によってハブとブレード本体とを接続するテープをいい、例えば、基材の両面に粘着性を有する粘着性樹脂が配置（例えば、塗布）されたもの、粘着性樹脂がシート状に形成されることで両側の面に粘着性を有し粘着力によって接続する構成とされたもの等、任意の構成のものが含まれる。

　また、接着剤としては、流動性を有する接着樹脂、シート状に形成されたシート状接着樹脂、常温では流動性がなく温度等物理的条件によって流動性を有し硬化することで接着剤として機能するもの、紫外線により硬化する紫外線硬化性樹脂、嫌気性接着剤、使用前は粘着性を有し硬化して接着樹脂部を構成する接着剤等が含まれる。

　（２）軸線回りに回転可能に形成され前記軸線方向の一方側にブレード取付面が形成されたハブと、前記ブレード取付面に配置されたブレード本体と、前記ハブと前記ブレード本体の間に配置され前記ハブと前記ブレード本体とを接続する接着樹脂部と、を備えていることを特徴とするハブ型ブレード。

　前記（２）のハブ型ブレードによれば、ハブと、ブレード本体と、接着樹脂部とを備え、別々に形成したハブとブレード本体とが接着樹脂部によって接続された構成とされているので、ハブとブレード本体を個別に検査して品質特性（例えば、砥粒の含有量、厚さ、そり、外観等）を満足したハブとブレード本体だけを用いてハブ型ブレードを製造することができる。

　また、ハブとブレード本体が接着樹脂部を介して接続されることにより、ブレード本体がハブの外縁で急に屈曲されるのが緩和され、ブレード本体が加工対象物と当たった際に、ブレード本体が割れるのが抑制される。

　また、ブレード本体を常温でハブに装着することにより、ブレード本体に温度履歴に基づく歪やそりがなくなり、ハブ型ブレードの品質を向上することができる。
　その結果、高精度なハブ型ブレードを効率的かつ安定して製造することができる。
　また、ブレード本体の品質不具合にともなう台金（ハブ）の廃棄がなくなり、製造コストを削減することができる。

　また、前記（２）のハブ型ブレードによれば、ブレード本体を突き出する際に、加工又はエッチングによって台金を除去する必要がないので、材料ロスに起因する歩留低下が抑制されるとともに加工時間を短縮することができる。
　その結果、製造にともなうリードタイムが大幅に短縮されるとともに、高精度な試作品を低コストかつ短いリードタイムで製作することができる。

　また、使用後のハブ型ブレードから接着樹脂部を除去してブレード本体を取り除きハブを再利用することにより、省資源を実現するとともに製造コストを削減することができる。

　この明細書において、接着樹脂部とは、ハブとブレード本体の間に塗布又は配置された接着剤が、経時変化、乾燥、化学反応等によって硬化することによりハブとブレード本体とを接続（接着）する部分をいう。
　また、接着剤としては、流動性を有する接着樹脂、シート状に形成されたシート状接着樹脂、常温では流動性がなく温度等物理的条件によって流動性を有し硬化することで接着剤として機能するもの、紫外線により硬化する紫外線硬化性樹脂、嫌気性接着剤、使用前は粘着性を有し硬化して接着樹脂部を構成する接着剤等が含まれる。
　また、ハブ側に配置される接続樹脂部とブレード本体側に配置される接続樹脂部の間に部材（例えば、スペーサ等）が配置されていてもよい。
　また、接着樹脂部（接着剤）は、導電性物質等の混合物が分散される等、複数の物質により構成されていてもよい。

　また、ハブにブレード本体を装着するとは、別々に形成したハブとブレード本体を、ハブ型ブレードとして使用可能な状態に一体に接続することをいい、例えば、めっきや蒸着等によってブレード本体をハブに直接的に形成することを含まない趣旨である。

　（３）前記（１）又は（２）に記載のハブ型ブレードであって、前記ハブは、アルミニウム又はアルミニウム合金により形成されていることを特徴とするハブ型ブレード。
　前記（３）のハブ型ブレードによれば、前記ハブが、アルミニウム又はアルミニウム合金により形成されていることにより、高速回転が可能となり効率的に切断することができる。

　（４）前記（１）又は（２）に記載のハブ型ブレードであって、前記ハブは、マグネシウム又はマグネシウム合金により形成されていることを特徴とするハブ型ブレード。
　前記（４）のハブ型ブレードによれば、前記ハブが、マグネシウム又はマグネシウム合金により形成されていることにより、前記ハブの比強度が大きく、高速回転が可能で効率的に切断することができる。
　また、減衰能が優れているので振動の発生を抑制して安定的に切断することができる。

　（５）前記（１）又は（２）に記載のハブ型ブレードであって、前記ハブは、チタン又はチタン合金により形成されていることを特徴とするハブ型ブレード。

　前記（５）のハブ型ブレードによれば、前記ハブが、例えばアルミ合金に比較して比強度が大きいチタン又はチタン合金（比強度　約２８８ｋＮ・ｍ／ｋｇ、アルミ合金　比強度約２２２ｋＮ・ｍ／ｋｇ）により形成されているので、より高速回転させることが可能となり、さらに効率的に切断することができる。また、切断時の外力でハブが変形するのを抑制することができる。

　（６）前記（１）又は（２）に記載のハブ型ブレードであって、前記ハブは、プラスチックにより形成されていることを特徴とするハブ型ブレード。
　前記（６）のハブ型ブレードによれば、ハブがプラスチックにより形成されているので軽量かつ高速回転させることができる。また、切断対象物に応じて種々の材質を効率的に設定することができ、その結果、効率的に切断することができる。

　（７）前記（６）に記載のハブ型ブレードであって、前記ハブは、ポリカーボネートにより形成されていることを特徴とするハブ型ブレード。
　前記（７）のハブ型ブレードによれば、プラスチックハブがポリカーボネート（比強度　５２．５ｋＮ・ｍ／ｋｇ、アルミ合金　比強度約２５．２ｋＮ・ｍ／ｋｇ）により形成され、充分な比強度を有しているので、高速回転させることが可能となり効率的に切断することができる。

　（８）前記（１）～（６）に記載のハブ型ブレードであって、前記ブレード本体は、金属母材と、前記金属母材に分散された砥粒とを備えていることを特徴とするハブ型ブレード

　前記（８）のハブ型ブレードによれば、ブレード本体が、金属母材と、金属母材に分散された砥粒とを備えているので高速回転が可能で効率的に切断することができる。

　（９）前記（８）に記載のハブ型ブレードであって、前記金属母材は、ニッケル又はニッケル合金からなり、前記砥粒は、ダイヤモンド超砥粒とされていることを特徴とするハブ型ブレード。

　前記（９）のハブ型ブレードによれば、金属母材が、ニッケル又はニッケル合金とされているので、例えば、ブレード本体の厚さを約３０μｍ程度の薄肉としても切断に適した剛性が確保され、しかも砥粒がダイヤモンド超砥粒とされているので高速回転で効率的に切断することができる。

　（１０）前記（１）に記載のハブ型ブレードであって、前記ブレード取付面は、表面粗さＲｍａｘ０～２０μｍに形成され、かつ前記ブレード本体において両面粘着テープと接続される接続面は、砥粒が接続面より内方に配置された平坦面に形成されていることを特徴とするハブ型ブレード。

　前記（１０）のハブ型ブレードによれば、ブレード本体の両面粘着テープと接続される接続面が、例えば、金属母材をはじめとする母材から砥粒が突出することなく埋設（接続面より内方に配置）されていて、凹凸がほとんどない平坦面に形成されているので、両面粘着テープを安定して貼着することができる。
　その結果、ブレード本体をハブに安定して装着することができる。
　また、ブレード本体の両面粘着テープと接続される接続面が、例えば、金属母材をはじめとする母材から砥粒が突出することなく埋設（接続面より内方に配置）されていて、凹凸がほとんどない平坦面に形成されているので、両面粘着テープを安定して貼着することができる。その結果、ブレード本体をハブに安定して装着することができる。
　また、ハブのブレード取付面が表面粗さＲｍａｘ０～２０μｍに形成されているので、ハブに両面粘着テープを安定して貼着することができる。その結果、ブレード本体をハブに安定して装着することができる。

　（１１）前記（２）～（６）の何れか一つに記載のハブ型ブレードであって、前記ブレード取付面は、表面粗さＲｍａｘ０～２０μｍに形成されていることを特徴とするハブ型ブレード。

　前記（１１）のハブ型ブレードによれば、ハブのブレード取付面が表面粗さＲｍａｘ０～２０μｍに形成されているので、ハブに両面粘着テープを安定して貼着することができる。その結果、ブレード本体をハブに安定して装着することができる。

　（１２）ハブと前記ハブに接続されたブレード本体とを備え軸線回りに回転可能とされたハブ型ブレードを製造するハブ型ブレード製造方法であって、ブレード素材を準備するブレード素材準備工程と、ハブを準備するハブ準備工程と、前記ハブのブレード取付面に両面粘着テープによって前記ブレード素材を装着するブレード装着工程と、前記ブレード取付面に装着されたブレード素材を前記ハブと同軸の円形に形成する外径加工工程と、を備え、前記外径加工工程において、前記ブレード取付面に装着されたブレード素材とレーザビームが照射された加工部位とを、前記ハブの軸線を中心とする円軌道で相対移動させながらレーザビームを照射して前記ブレード素材の外径を円形に加工することを特徴とするハブ型ブレード製造方法。

　（１３）ハブと前記ハブに接続されたブレード本体とを備え軸線回りに回転可能とされたハブ型ブレードを製造するハブ型ブレード製造方法であって、ブレード素材を準備するブレード素材準備工程と、ハブを準備するハブ準備工程と、
　前記ハブのブレード取付面に接着剤によって前記ブレード素材を装着するブレード装着工程と、前記ブレード取付面に装着されたブレード素材を前記ハブと同軸の円形に形成する外径加工工程と、を備え、前記外径加工工程において、前記ブレード取付面に装着されたブレード素材とレーザビームが照射された加工部位とを、前記ハブの軸線を中心とする円軌道で相対移動させながらレーザビームを照射して前記ブレード素材の外径を円形に加工することを特徴とするハブ型ブレード製造方法。

　前記（１２）又は（１３）のハブ型ブレード製造方法によれば、ブレード素材準備工程と、ハブ準備工程と、ハブのブレード取付面に接続部（両面粘着テープ又は接着材）によってブレード素材を装着するブレード装着工程と、ブレード取付面に装着されたブレード素材をハブと同軸の円形に形成する外径加工工程とを備えているので、ハブとブレード本体を個別に検査して、品質特性（例えば、砥粒の含有量、厚さ、そり、外観等）を満足したハブとブレード本体だけを用いてハブ型ブレードを製造することができる。
　その結果、高精度なハブ型ブレードを効率的かつ安定して製造することができる。

　また、ブレード本体をハブから突き出させる際に、加工又はエッチングによって台金を除去する必要がないので、材料ロスに起因する歩留まりの低下を抑制して製造コスト削減を実現することができる。
　また、ブレード本体を突き出させるのにともなう加工時間をなくして製造時間を短縮することができる。
　その結果、製造にともなうリードタイムが大幅に短縮されるとともに、高精度な試作品を低コストかつ短いリードタイムで製作することができる。

　また、前記（１２）のハブ型ブレード製造方法によれば、使用後のハブ型ブレードからブレード本体を取り除くことにより、ハブを容易に再利用することができる。
　その結果、省資源を実現するとともに製造コストを削減することができる。

　また、めっきによってブレード本体を形成することができない材質のハブやめっきによって形成することができないブレード本体を備えたハブ型ブレードを製造することができる。

　また、品質特性を満足したブレード本体を装着することにより分散めっきに起因するハブ型ブレードの品質不具合が抑制されるので、製造コストを削減することができる。
　また、ブレード本体を常温でハブに装着することにより、ブレード本体に温度履歴に基づく歪やそりが生じるのが抑制されて、ハブ型ブレードの品質を向上することができる。

　また、前記外径加工工程において、前記ブレード取付面に装着されたブレード素材とレーザビームが照射された加工部位とを、前記ハブの軸線を中心とする円軌道で相対移動させながらレーザビームを照射して前記ブレード素材の外径を円形に加工するので、ブレード素材を短時間で切断することができる。
　その結果、ハブと同軸とされた高精度なブレード本体を短時間で安定して形成することができる。

　（１４）前記（１２）又は（１３）に記載のハブ型ブレード製造方法であって、前記外径加工工程において、前記加工部位に冷却液を供給するとともにレーザビームを照射して前記ブレード素材の外形を円形に加工することを特徴とする。

　前記（１４）のハブ型ブレード製造方法によれば、前記外径加工工程において、前記加工部位に冷却液を供給するとともにレーザビームを照射して前記ブレード素材の外形を円形に加工することで、ブレード本体の外径を高精度かつ効率的に形成することができる。
　その結果、ハブと同軸とされた高精度なブレード本体を短時間で安定して形成することができる。

　（１５）前記（１４）に記載のハブ型ブレード製造方法であって、前記外形加工工程において、外形加工する加工部位に噴流液柱を形成し、レーザビームを前記噴流液柱により誘導して前記加工部位に照射することを特徴とするハブ型ブレード製造方法。

　前記（１５）のハブ型ブレード製造方法によれば、外径加工する加工部位に噴流液柱を形成し、この噴流液柱によってレーザビームを誘導して加工部位に照射することで、ブレード本体を外径加工するので、ブレード本体の外径をさらに高精度かつ効率的に形成することができる。
　その結果、ハブと同軸とされた高精度なブレード本体をより短時間で安定して形成することができる。

　この発明に係るハブ型ブレード及びハブ型ブレード製造方法によれば、高精度なハブ型ブレードを効率的かつ安定して製造することができる。

本発明の第１実施形態に係るハブ型ブレードの概略構成の一例を説明する斜視図である。本発明の第１実施形態に係るハブ型ブレードの概略構成を説明する図であり、図１において矢視ＩＩ－ＩＩで示す断面図である。本発明の第１実施形態に係るハブ型ブレードの概略構成を説明する拡大した部分断面図である。本発明の第１実施形態に係るハブ型ブレード製造工程の概略を説明するフローチャートである。本発明の第１実施形態に係るハブ型ブレード製造工程の概略を説明する図であり、ブレード素材を製造する手順の概略を示すフローチャートである。本発明の第１実施形態に係るハブ型ブレード製造工程を説明する図であり、ブレード素材の原板を製造する際のＳＵＳ台金準備の概略を示す概念図である。本発明の第１実施形態に係るハブ型ブレード製造工程を説明する図であり、分散めっきによってブレード素材の原板が形成された状態の概略構成を示す概念図である。本発明の第１実施形態に係るハブ型ブレード製造工程を説明する図であり、エッチング前のマスキングを施したブレード素材の原板の概略を説明する概念図である。本発明の第１実施形態に係るハブ型ブレード製造工程を説明する図であり、エッチング処理後のブレード素材の原板の概略を説明する概念図である。本発明の第１実施形態に係るハブ型ブレード製造工程を説明する図であり、ブレード素材の原板に対する内径加工の概略を説明する概念図である。本発明の第１実施形態に係るハブ型ブレード製造工程における前処理工程後のハブの概略構成の一例を説明する概念図である。本発明の第１実施形態に係るハブ型ブレード製造工程において両面粘着テープが貼着された状態のハブの概略構成を説明する概念図である。本発明の第１実施形態に係るハブ型ブレード製造工程においてブレード素材が両面粘着テープによって貼着された状態の中間製品の概略構成を説明する概念図である。本発明の第１実施形態に係るハブ型ブレード製造工程におけるブレード本体の外形加工の概略を説明する概念図である。本発明の第１実施形態に係るハブ型ブレード製造工程において外径加工工程後の中間製品の概略構成を説明する断面図である。本発明の第１実施形態に係るハブ型ブレード製造工程においてダイサードレス工程後の完成品の概略構成を説明する断面図である。本発明の第２実施形態に係るハブ型ブレードの概略構成を説明する図であり、図１において矢視Ｘ－Ｘで示す断面図である。本発明の第２実施形態に係るハブ型ブレードの概略構成を説明する拡大した部分断面図である。本発明の第３実施形態に係るハブ型ブレードの概略構成を説明する図であり、図１において矢視ＸＩＩ－ＸＩＩで示す断面図である。本発明の第３実施形態に係るハブ型ブレードの概略構成を説明する拡大した部分断面図である。本発明の第３実施形態に係るハブ型ブレード製造工程の概略を説明するフローチャートである。本発明の第３実施形態に係るハブ型ブレード製造工程の概略を説明する図であり、ブレード素材を製造する手順の概略を示すフローチャートである。本発明の第３実施形態に係るハブ型ブレード製造工程を説明する図であり、ブレード素材の原板を製造する際のＳＵＳ台金準備の概略を示す概念図である。本発明の第３実施形態に係るハブ型ブレード製造工程を説明する図であり、分散めっきによってブレード素材の原板が形成された状態の概略構成を示す概念図である。本発明の第３実施形態に係るハブ型ブレード製造工程を説明する図であり、ＳＵＳ台金から分離した状態のブレード素材の原板の概略を説明する概念図である。本発明の第３実施形態に係るハブ型ブレード製造工程を説明する図であり、エッチング処理後のブレード素材の原板の概略を説明する概念図である。本発明の第３実施形態に係るハブ型ブレード製造工程を説明する図であり、ブレード素材の原板に対する内径加工の概略を説明する概念図である。本発明の第３実施形態に係るハブ型ブレード製造工程における前処理工程後のハブの概略構成の一例を説明する概念図であり、ブレード取付面の凹凸を強調して示した図である。本発明の第３実施形態に係るハブ型ブレード製造工程においてハブに接着剤が塗布された中間製品の概略構成を説明する概念図である。本発明の第３実施形態に係るハブ型ブレード製造工程においてハブにブレード素材が接着された状態の中間製品の概略構成を説明する概念図である。本発明の第３実施形態に係るハブ型ブレード製造工程における外形加工の概略を説明する概念図である。本発明の第３実施形態に係るハブ型ブレード製造工程において外径加工工程後の中間製品の概略構成を説明する断面図である。本発明の第３実施形態に係るハブ型ブレード製造工程において目立てした後のハブ型ブレードの概略構成を説明する断面図である。本発明の第４実施形態に係るハブ型ブレード製造工程の概略を説明するフローチャートである。本発明の第４実施形態に係るハブ型ブレード製造工程においてハブにシート状樹脂を配置して形成する中間製品の概略構成を説明する概念図である。本発明の第５実施形態に係るハブ型ブレードの概略構成を説明する図１に矢視ＸＸＩＩ－ＸＸＩＩで示す拡大した部分断面図である。本発明の第５実施形態に係るハブ型ブレード製造工程の概略を説明するフローチャートである。本発明の第５実施形態に係るハブ型ブレード製造工程を説明する概念図であり、ハブのブレード取付面に接着剤を塗布した状態の概略構成を示す図である。本発明の第５実施形態に係るハブ型ブレード製造工程を説明する概念図であり、ブレード取付面に粘着テープを接着する状態の概略を示す図である。本発明の第５実施形態に係るハブ型ブレード製造工程を説明する概念図であり、ハブにブレード素材が装着された中間製品の概略構成を示す図である。本発明の第６実施形態に係るハブ型ブレードの概略構成を説明する図１に矢視ＸＸＶ－ＸＸＶで示す拡大した部分断面図である。本発明の第６実施形態に係るハブ型ブレード製造工程の概略を説明するフローチャートである。本発明の第６実施形態に係るハブ型ブレード製造工程を説明する概念図であり、ブレード素材に接着剤を塗布した状態の概略構成を示す図である。本発明の第６実施形態に係るハブ型ブレード製造工程を説明する概念図であり、ブレード素材に粘着テープを接着した状態の概略構成を示す図である。本発明の第６実施形態に係るハブ型ブレード製造工程を説明する概念図であり、ブレード素材に接着された粘着テープにハブを貼着する状態の概略構成を示す図である。本発明の第６実施形態に係るハブ型ブレード製造工程を説明する概念図であり、ハブにブレード素材が装着された中間製品の概略構成を示す図である。本発明の第７実施形態に係るハブ型ブレードの概略構成を説明する図１に矢視ＸＸＶＩＩＩ－ＸＸＶＩＩＩで示す拡大した部分断面図である。本発明の第８実施形態に係るハブ型ブレードの概略構成の一例を説明する図１に矢視ＸＸＩＸ－ＸＸＩＸで示す断面図である。従来のハブ型ブレードの概略構成の一例を説明する軸線を含む断面図である。従来のハブ型ブレード製造工程の概略の一例を説明するフローチャートである。

＜第１実施形態＞
　以下、図１～図３を参照し、本発明の第１実施形態に係るハブ型ブレードについて説明する。
　図１は、本発明の第１実施形態に係るハブ型ブレードの概略構成の一例を説明する斜視図であり、図２は、図１において矢視ＩＩ－ＩＩで示す断面図であり、図３は拡大した部分断面図である。
　図１～３において、符号１００はハブ型ブレードを、符号１１０はハブを、符号１２０は両面粘着テープを、符号１３０はブレード本体を示している。

　ハブ型ブレード１００は、図１に示すように、例えば、ハブ１１０と、両面粘着テープ１２０と、ブレード本体１３０とを備え、ウェーハ（半導体材料等の基板）を切断してＩＣチップ（チップ状）等に個片化することが可能とされている。

　ハブ１１０は、図１～図３に示すように、例えば、最大外径５５．４ｍｍに形成され軸線Ｏ１方向の一方側にブレード取付面１１１Ａが形成され軸線Ｏ１の他方側に向かうにしたがって縮径されるブレード取付部１１と、ブレード取付部１１の軸線Ｏ１方向の他方側に接続される駆動源接続部１２とを備えている。また、ハブ１１０の内周には軸線Ｏ１に沿って円筒形状の取付孔１０Ｈが形成されている。

　また、ハブ１１０は、例えば、アルミニウム又はアルミニウム合金により形成されている。アルミニウム合金の材質については、使用条件に基づいて任意に設定することが可能であるが、例えば、Ａ２０１７、Ａ５０８３、Ａ７０７５（ＪＩＳ規格）等が好適である。
　アルミニウム又はアルミニウム合金以外の材質として、ハブ１１０は、例えばマグネシウム若しくはマグネシウム合金、チタン若しくはチタン合金又はプラスチックにより形成されていてもよい。プラスチックはポリカーボネートであってもよい。

　また、ブレード取付面１１１Ａは、両面粘着テープ１２０の効果的な貼着を確保するために、例えば、研磨加工等によって、表面粗さＲｍａｘ０～２０μｍ（ＪＩＳ　Ｂ０６０１－１９８２）のスムースな仕上面とされていることが好適である。

　両面粘着テープ１２０は、図３に示すように、例えば、テープ基材１２１と、テープ基材１２１の一方側の面に塗布された粘着剤１２２と、他方側の面に塗布された粘着剤１２３とを備え、外周がハブ１１０の外径と対応するとともに、内周がブレード本体の内径（ブレード素材の内径）と対応するドーナツ状に形成されている。

　両面粘着テープ１２０は、この実施形態において、例えば、テープ基材１２１と、テープ基材１２１の一方側の面に塗布されて粘着性を有する粘着剤１２２と、テープ基材１２１の他方側の面に塗布されて粘着剤１２３とを備えている。

　また、両面粘着テープ１２０の外径、厚さ（例えば、０．１ｍｍ以下）、弾性係数、保持力（粘着力）等は、例えば、ブレード本体１３０の平面度（軸線Ｏ１に対する直角度）を保持することが可能とされ、かつハブ型ブレード１が対象物を切断する際の切断トルクによって生じるねじり変形がブレード本体１３０に破損を生じさせないように設定されていることが好適である。

　また、両面粘着テープ１２０は、導電性を有していることが好適である。
　テープ基材１２１は、この実施形態では、例えば、厚さ２５μｍのアルミ箔により構成され、粘着性を有する粘着剤１２２、１２３は、導電性粒子を混入したアクリル樹脂により構成されていて、両面粘着テープ１２０としての厚さ８５μｍとされている。
　また、ハブ１１０とブレード本体１３０の間の電気抵抗は約４．５Ωとされている。
　なお、両面粘着テープ１２０が導電性を有するかどうかは任意に設定することができる。

　テープ基材を有する両面粘着テープとしては、例えば、導電性を有するものとしては、ＡＬ－２５ＤＣ（商品名：３Ｍジャパン株式会社製）を適用することが可能である。また、Ｔ７６２０（商品名：デクセリアルズ株式会社製）、７８４８ＹＣＷＢ（商品名：積水化学工業株式会社製）、７８４０ＹＣＷＢ（商品名：積水化学工業株式会社製）等を適用してもよい。

　また、Ｘ－７００１（商品名：３Ｍジャパン株式会社製）のように褶曲させた導電性布を基材とするものや、９７２０Ｓ（商品名：３Ｍジャパン株式会社製）のように不織布を基材とするものを適用してもよい。
　また、非導電性のものとして、＃８６０２ＴＮＦＷ－０５（商品名：ＤＩＣ株式会社製）等を適用してもよい。

　ブレード本体１３０は、例えば、外径５５．０５ｍｍ、刃厚０．０１５～０．０４μｍ（例えば、２０μｍ）の円板状とされ、内周側には軸線Ｏ１と同軸に直径４２.００ｍｍの円形穴３０Ｈが形成されている。

　また、ブレード本体１３０は、例えば、ニッケル（Ｎｉ）又はニッケル合金を主成分とする合金からなる金属母材３１と、金属母材３１に分散されたダイヤモンド超砥粒（砥粒）３２とを備えている。
　金属母材を構成するニッケルを主成分とする合金としては、例えば、ニッケル－リン（Ｎｉ－Ｐ）、ニッケル－コバルト（Ｎｉ－Ｃｏ）、ニッケル－ボロン（Ｎｉ－Ｂ）を適用することが好適である。

　また、ダイヤモンド超砥粒３２は、例えば、３～１０μｍ（平均粒径５μｍ）、集中度は５０～１２５のダイヤモンドによって構成されている。
　また、ダイヤモンド超砥粒３２は、例えば、金属母材３１の表面から約２μｍ程度露出している。

　また、ブレード本体１３０の内周側に位置されて、両面粘着テープ１２０を介してハブ１１０と接続される接続面１３０Ｔは、例えば、金属母材３１の表面からダイヤモンド超砥粒３２が突出することなく平坦面に形成されている。

　また、ブレード本体１３０においてハブ１１０と反対側に位置される露出面１３０Ｆ及びブレード本体１３０の外周に位置される突出部は、ニッケルめっきからなる金属母材３１からダイヤモンド超砥粒３２が露出している。

　また、ブレード本体１３０の突出部には、例えば、軸線Ｏ１方向の一方側と他方側に面取り状の目立部３０Ｃが形成されている。なお、図３に示す目立部３０Ｃは一例であり、目立部３０Ｃの形態は切断対象物により適宜設定される。

　次に、図４～図９を参照して、本発明の第１実施形態に係るハブ型ブレード製造工程の概略を説明する。
　図４は、第１実施形態に係るハブ型ブレード製造工程の概略を説明するフローチャートである。図５は、第１実施形態に係るハブ型ブレード製造工程の概略を説明する図であり、ブレード素材を製造する手順の概略を示すフローチャートである。
　ハブ型ブレード製造工程は、図４に示すように、例えば、ブレード素材製造工程（Ｓ１０１）と、ハブ準備（Ｓ１０２）からハブ型ブレード（Ｓ１０９）を完成するまでの工程とを備えている。

　以下、図５、図６Ａ～図６Ｅを参照して、第１実施形態に係るハブ型ブレード製造工程におけるブレード素材の製造手順の概略について説明する。
　図６Ａ～図６Ｅは、第１実施形態に係るハブ型ブレード製造工程を説明する図である。図６Ａ～図６Ｅにおいて、符号ＳＵＳは、ＳＵＳ台金（ステンレス鋼台金）を、符号Ｗ１３０はブレード素材を、符号Ｗ３０１、Ｗ３０２はブレード素材の原板を示している。

　ブレード素材製造工程は、図５に示すように、例えば、ＳＵＳ台金準備工程（Ｓ１１）と、分散めっき工程（Ｓ１２）と、マスキング工程（Ｓ１３）と、エッチング工程（Ｓ１４）と、内径加工工程（Ｓ１５）とを備えていて、これら一連の工程を経ることによってブレード素材が完成される（Ｓ１６）。

（１）ＳＵＳ台金準備工程
　まず、ハブと対応する外径を有するブレード素材を形成するのに適したＳＵＳ台金（ステンレス鋼製台金）を準備する（Ｓ１１）。
　図６Ａは、第１実施形態に係るブレード素材の原板を製造する際のＳＵＳ台金準備の概略を示す概念図である。
　ＳＵＳ台金ＳＵＳは、例えば、ステンレス鋼からなる円板により構成されていて、分散めっきによってブレード素材の原板を形成するニッケルめっき形成面Ｓ１０は、鏡面処理されていることが好適である。
　また、ＳＵＳ台金ＳＵＳは、図６Ａに示すように、ブレード素材の形状に合わせてニッケルめっきが不要とされる部分にマスキングＭ１を施すことが好適である。
　また、ＳＵＳ台金ＳＵＳの外径は、例えば、ＳＵＳ台金のニッケルめっき形成面Ｓ１０に形成されるブレード素材の原板の外周側が厚めに形成されても、ブレード素材をハブに装着して、外径加工、ダイサードレスした後に、ブレード本体の刃厚、歪等がハブ型ブレードの寸法公差内となるように設定されていることが好適である。

（２）分散めっき工程
　次に、ＳＵＳ台金にダイヤモンドの超砥粒を含有する分散めっきをしてブレード素材の原板を形成する（Ｓ１２）。
　図６Ｂは、ＳＵＳ台金ＳＵＳのニッケルめっき形成面Ｓ１０に、分散めっきによってブレード素材の原板が形成された状態の概略構成を示す概念図である。
　分散めっき工程では、ダイヤモンドの超砥粒を含有するニッケルめっき液を分散めっき装置（不図示）に貯留して、ニッケルめっき液にＳＵＳ台金ＳＵＳを配置する。そして、ニッケルめっき液を撹拌しながらＳＵＳ台金ＳＵＳのめっき形成面Ｓ１０にニッケルをアノードとして電解めっき法によりニッケルめっきを成長させる。
　その結果、図６Ｂに示すように、ニッケルめっき形成面Ｓ１０に、ブレード素材の原板Ｗ３０１をなす分散ニッケルめっき層（ダイヤモンド超砥粒が分散されたニッケル層）が形成される。
　ブレード素材の原板Ｗ３０１は、ＳＵＳ台金ＳＵＳから剥離した後に、ダイヤモンド含有量、刃厚、そり、外観等を検査する。
　なお、ニッケルめっき液に代えて、ダイヤモンドの超砥粒を含有するＮｉ－ＰやＮｉ－Ｂめっき液を用いてブレード素材の原板を形成してもよい。また、分散ニッケルめっき層によりブレード素材の原板を形成する場合には熱処理は不要であるが、Ｎｉ－ＰやＮｉ－Ｂめっき層によりブレード素材の原板を形成する場合には、Ｎｉ－ＰやＮｉ－Ｂは析出硬化型なので、熱処理（例えば、２５０℃×１ｈｒ）が有効である。
　また、電解めっき法に代えて、無電解めっき法によりめっき層を形成してもよい。

（３）マスキング工程
　次いで、ＳＵＳ台金から剥離したブレード素材の原板においてエッチング処理が不要な部分にマスキングをする（Ｓ１３）。
　図６Ｃは、エッチング前のマスキングを施したブレード素材の原板の概略を説明する概念図である。
　この実施形態では、図６Ｃに示すように、ニッケルめっき形成面Ｓ１０側に位置され、ニッケルめっきからなる金属母材３１からダイヤモンド超砥粒３２が突出することなく表面粗さが小さな鏡面状の平坦面とされた接続面１３０ＴにマスキングＭ２を施す。

（４）エッチング工程
　次に、マスキングを施したブレード素材の原板をエッチング処理することによりニッケルめっきからなる金属母材からダイヤモンド超砥粒を露出させて目立てをする（Ｓ１４）。
　図６Ｄは、エッチング処理後のブレード素材の原板Ｗ３０２の概略を説明する概念図である。
　エッチング処理は、ブレード素材の原板Ｗ３０１をエッチング装置で逆電解することによりニッケルめっきからなる金属母材３１からニッケルを溶解してダイヤモンド超砥粒３２を露出させて、ブレード素材の原板Ｗ３０２を形成する。
　ブレード素材の原板Ｗ３０２は、図６Ｄに示すように、ハブ型ブレードにおいてハブ１１０と反対側に位置される露出面１３０Ｆ及びブレード本体の突き出し部分は、ニッケルめっきからなる金属母材３１からダイヤモンド超砥粒３２が露出し、両面粘着テープが貼着される接続面１３０Ｔは、ダイヤモンド超砥粒３２が金属母材３１の内部に配置されて表面から突出することなく平坦に形成されている。

（５）内径加工工程
　次いで、エッチング工程で目立てをしたブレード素材の原板を内径加工してブレード素材を形成する（Ｓ１５）。
　図６Ｅは、ブレード素材の原板に対する内径加工の概略を説明する概念図である。
　ブレード素材の原板Ｗ３０２の内径加工は、図６Ｅに示すように、内径加工する部位に液体（例えば、水）を供給して冷却しながらレーザビームを照射してブレード素材Ｗ３０２に円形穴３０Ｈを加工して、ブレード素材３０３を形成する。
　なお、内径加工する部位に液体を供給する場合には、例えば、内径加工する部位に噴流液水柱（噴流水柱）Ｃを形成して、レーザビームＬをこの噴流水柱Ｃ内で反射させながら加工部位に誘導して、加工部位に照射することが好適であり、そのため、噴流水柱（噴流液柱）Ｃを可能な限り凹凸の少ない層流としてレーザビームＬを噴流水柱Ｃ内で全反射させるとより好適である。また、レーザビームＬの波長は、例えば、２００～７００ｎｍとすることが好適である。
　なお、水を供給せずにレーザビームを照射してもよいし、レーザビーム加工に代えて放電加工やや研削等、周知の他の加工方法により内径加工してもよい。

（６）ブレード素材完成
　品質検査が満足していたらブレード素材Ｗ３０３が完成する。
　なお、Ｓ１１～Ｓ１６の工程は、一例を示すものであり適宜変更又は省略することが可能である。

　次に、図４、図７Ａ～図７Ｄ、図８、図９を参照して、ハブ型ブレード製造工程におけるハブ準備からハブ型ブレード完成（Ｓ１０２～Ｓ１０９）の詳細について説明する。

（１）ハブ準備工程
　まず、ハブ１１０を準備する（Ｓ１０２）。
　図７Ａは、第１実施形態に係るハブ型ブレード製造工程における前処理工程後のハブの概略構成の一例を説明する概念図である。
　ハブ１１０は、例えば、アルミニウム合金からなる丸棒を軸線回りに回転させながら切削加工するとともに、個々のハブに切断することにより形成する。
　その結果、図７Ａに示すようなハブ１１０が形成される。

（２）ブレード取付面の前処理工程
　次に、ハブのブレード取付面に両面粘着テープを貼着するための前処理をして所定の表面粗さにする（Ｓ１０３）。
　ブレード取付面１１１Ａに対する前処理としては、例えば、個々のハブ１１０に切断する際に切断面が所定の表面粗さになるように切断することでハブ準備工程と兼ねることが好適である。なお、ブレード取付面１１１Ａに研磨加工や放電加工を施して所定の表面粗さにしてもよい。
　ブレード取付面の表面粗さは、例えば、表面粗さＲｍａｘ０～２０μｍが好適である。
　ブレード取付面を表面粗さＲｍａｘ０～２０μｍとすることにより、両面粘着テープの粘着剤１２２、１２３が、ブレード取付面１１１Ａの全面にわたって密着して両面粘着テープの接着能力を充分に発揮するとともに、ハブ１１０やブレード本体１３０と両面粘着テープ１２０（２２０）の間に切断中に発生する微粒子等が侵入することが効果的に抑制される。

（３）両面粘着テープ貼着工程
　次いで、ハブ１１０のブレード取付面に両面粘着テープを貼着する（Ｓ１０４）。
　図７Ｂは、第１実施形態に係るハブ型ブレード製造工程において両面粘着テープが貼着された状態のハブの概略構成を説明する概念図である。
　ハブ１１０のブレード取付面１１１Ａに両面粘着テープ１２０（２２０）を貼着する際には、予めハブ１１０の外径及びブレード素材Ｗ１３０の円形穴３０Ｈと対応するドーナツ形状に形成された両面粘着テープ１２０（２２０）を使用する。そして、例えば、治具によって両面粘着テープ１２０（２２０）の中心をハブ１１０の回転軸線Ｏ１に合わせて貼着する。
　その結果、図７Ｂに示すようなハブ１１０の軸線Ｏ１と両面粘着テープ１２０（２２０）が同軸な中間製品Ｗ１０１が形成される。

（４）ブレード本体装着工程
　次に、ハブにブレード素材を貼着する（Ｓ１０５）。
　図７Ｃは、第１実施形態に係るハブ型ブレード製造工程においてブレード素材が両面粘着テープによって貼着された状態の中間製品の概略構成を説明する概念図である。
　ハブ１１０にブレード素材Ｗ１３０を装着（貼着）する際には、例えば、平坦な定盤上にブレード素材Ｗ１３０を配置し、治具によりハブ１１０の軸線Ｏ１とブレード素材１３０の円形穴３０Ｈの中心軸Ｏ２を合わせながらハブ１１０をブレード素材３０に載置、押圧して両面粘着テープ１２０（２２０）によって貼着、固定する。
　その結果、図７Ｃに示すようなハブ１１０にブレード素材Ｗ１３０が貼着された中間製品が形成される。

（５）外径加工工程
　次いで、ハブに貼着されたブレード素材を外径加工する（Ｓ１０６）。
　図７Ｄは、第１実施形態に係るハブ型ブレード製造工程におけるブレード本体の外形加工の概略を説明する概念図であり、図８は、第１実施形態に係るハブ型ブレード製造工程において外径加工工程後の中間製品の概略構成を説明する断面図である。
　ブレード素材Ｗ１３０の外径加工は、図７Ｄに示すように、外径加工する部位に液体（例えば、水）を供給して冷却しながらレーザビームを照射してブレード素材Ｗ１３０の外径を加工する。
　なお、加工部位に液体を供給する場合には、例えば、外径加工する部位に噴流液水柱（噴流液柱）Ｃを形成して、レーザビームＬをこの噴流水柱Ｃ内で反射させながら加工部位に誘導して照射することが好適であり、そのため、噴流水柱（噴流液柱）Ｃを可能な限り凹凸の少ない層流としてレーザビームＬを噴流水柱Ｃ内で全反射させるとより好適である。また、レーザビームＬの波長は、例えば、２００～７００ｎｍとすることが好適である。中間製品Ｗ１０２を外径加工することによって、ブレード素材Ｗ１３０の外周が切断され、図８に示すような中間製品Ｗ１０３が形成される。
　なお、水を供給せずにレーザビームを照射してもよいし、レーザビーム加工に代えて放電加工や研削等、周知の他の加工方法によって外径加工してもよい。

（６）ダイサードレス工程
　次に、外径加工したブレード本体をダイサードレスして目立てする（Ｓ１０７）。
　図９は、第１実施形態に係るハブ型ブレード製造工程においてダイサードレス工程後の完成品の概略構成を説明する断面図である。
　ダイサードレス工程におけるブレード本体１３０の目立ては、例えば、中間製品Ｗ１０３をダイシングマシンにセットしてドレスボードを切断することにより行う。
　中間製品Ｗ１０３をダイサードレスすることにより、中間製品Ｗ１０３のブレード本体１３０が目立てされて、図９に示すような目立部３０Ｃが形成される。

（７）検査工程
　その後、ハブ型ブレードの検査を実施する（Ｓ１０８）。
　ハブ型ブレード１の検査は、例えば、シリコンウェーハをダイシングしてカーフ幅を測定する。そのほか、所定の検査を実施して検査規格を満足しているかどうかを検査する。
　なお、検査工程において、ブレード本体１３０のハブ１１０の外周からの突き出し長さについては省略してもよい。

（８）ハブ型ブレード完成
　検査に合格することによりハブ型ブレードが完成する（Ｓ１０９）。
　なお、Ｓ１０１～Ｓ１０９の工程は、一例を示すものであり適宜変更又は省略することが可能である。

　第１実施形態に係るハブ型ブレード１及びハブ型ブレード製造方法によれば、別々に形成したハブ１１０とブレード本体１３０とが両面粘着テープ１２０によって接続された構成とされ、ハブ１１０とブレード本体１３０を個別に検査することが可能であるので、品質特性を満足したハブとブレード本体１３０だけを用いて製造することができる。
　その結果、高精度なハブ型ブレード１００を効率的かつ安定して製造することができる。
　また、ブレード本体を常温でハブに装着することにより、ブレード本体に温度履歴に基づく歪やそりがなくなり、ハブ型ブレードの品質を向上することができる。
　また、ハブ１１０とブレード本体１３０とを両面粘着テープ（粘着性接続部）１２０によって接続するので、短時間で接続することができる。

　また、第１実施形態に係るハブ型ブレード１００によれば、ハブがアルミニウム又はアルミニウム合金により形成されているので軽量で高速回転（例えば、３００００ｒｐｍ以上）に容易に対応することができる。

　また、第１実施形態の変形例の一つとして、ハブがマグネシウム又はマグネシウム合金により形成された場合、ハブの比強度が大きくなる。
　また、マグネシウム又はマグネシウム合金により形成されたハブは、減衰能が優れているので振動の発生を抑制して安定的に切断することができる。

　また、第１実施形態の変形例の一つとして、ハブがチタン又はチタン合金により形成された場合、ハブがアルミ合金に比較して比強度が大きいチタン又はチタン合金（比強度　約２８８ｋＮ・ｍ／ｋｇ、アルミ合金　比強度約２２２ｋＮ・ｍ／ｋｇ）により形成されているので、より高速回転させることが可能となり、さらに効率的に切断することができる。また、切断時の外力でハブが変形するのを抑制することができる。

　また、第１実施形態の変形例の一つとして、ハブがプラスチックにより形成された場合、ハブがプラスチックにより形成されているので軽量かつ高速回転させることができる。また、切断対象物に応じて種々の材質を効率的に設定することができ、その結果、効率的に切断することができる。

　さらに、プラスチックがポリカーボネートであると、プラスチックハブがポリカーボネート（比強度　５２．５ｋＮ・ｍ／ｋｇ、アルミ合金　比強度約２５．２ｋＮ・ｍ／ｋｇ）により形成され、充分な比強度を有しているので、高速回転させることが可能となり効率的に切断することができる。

　また、第１実施形態に係るハブ型ブレード１及びハブ型ブレード製造方法によれば、使用後のハブ型ブレード１からブレード本体１３０を取り除くことにより、ハブ１１０を再利用することができるので、省資源を実現するとともに製造コストを削減することができる。

　また、第１実施形態に係るハブ型ブレード１及びハブ型ブレード製造方法によれば、エッチングによってハブの外周を除去してブレード本体１３０を突き出させる必要がないので、材料ロスに起因する歩留低下が抑制されるとともに加工時間を短縮することができる。また、ブレード本体１３０を突き出させるのにともなう加工時間をなくして製造時間を短縮することができる。
　その結果、製造にともなうリードタイムが大幅に短縮されるとともに、高精度な試作品を低コストかつ短いリードタイムで製作することができる。

　また、第１実施形態に係るハブ型ブレード１及びハブ型ブレード製造方法によれば、ブレード本体１３０を常温でハブ１１０に装着することにより、ブレード本体１３０に温度履歴に基づく歪やそりが生じるのが抑制され、ハブ型ブレード１００の品質を向上することができる。

　第１実施形態に係るハブ型ブレード１００によれば、ブレード本体１３０の接続面１３０Ｔが、金属母材３１より内部にダイヤモンド超砥粒３２が配置されて表面から突出することなく平坦面とされているので、ブレード本体１３０に両面粘着テープ１２０を安定して貼着することができる。

　また、第１実施形態に係るハブ型ブレード１００によれば、ブレード本体１３０が両面粘着テープ１２０を介してハブ１１０と接続されているので、両面粘着テープ１２０の弾性によって、ブレード本体１３０がハブ１１０の外縁で急に屈曲されるのが緩和され、ブレード本体１３０が加工対象物と当たった際に、ブレード本体１３０が割れるのを抑制することができる。

　また、第１実施形態に係るハブ型ブレード１及びハブ型ブレード製造方法によれば、ブレード取付面１１１Ａが、表面粗さＲｍａｘ０～２０μｍに形成され、両面粘着テープ１２０を安定して貼着することができるので、ブレード本体１３０をハブ１１０に安定して装着することができる。

　また、第１実施形態に係るハブ型ブレード製造方法によれば、ハブ１１０とブレード素材Ｗ１３０を共加工により外径加工するので、ハブ１１０とブレード本体１３０を効率的に同軸に構成することができる。

　第１実施形態に係るハブ型ブレード製造方法によれば、ブレード素材の原板Ｗ３０１に円形穴３０Ｈを内径加工する際に、加工部位に噴流液柱Ｃを形成し、この噴流液柱ＣによってレーザビームＬを誘導して加工部位に照射するので、ブレード本体１３０の円形穴３０Ｈを高精度かつ効率的に形成することができる。

　第１実施形態に係るハブ型ブレード製造方法によれば、ブレード素材１３０を外径加工する際に、加工部位に噴流液柱Ｃを形成し、この噴流液柱ＣによってレーザビームＬを誘導して加工部位に照射するので、高精度かつ効率的に外径加工する形成することができる。

＜第２実施形態＞
　以下、図１０、図１１を参照し、本発明の第２実施形態に係るハブ型ブレードについて説明する。
　図１０は、本発明の第２実施形態に係るハブ型ブレードの概略構成の一例を説明する斜視図であり、図１において矢視Ｘ－Ｘで示す断面図である。また、図１１は、図１０においてＸＩで示す部分の拡大図である。
　図１０、図１１において、符号２００はハブ型ブレードを、符号１１０はハブを、符号２２０は両面粘着テープを、符号１３０はブレード本体を示している。

　ハブ型ブレード２００は、図１０に示すように、例えば、ハブ１１０と、両面粘着テープ（粘着性接続部）２２０と、ブレード本体１３０とを備えている。

　ハブ１１０、ブレード本体１３０については第１実施形態と同様であるので同じ符号を付して説明を省略する。

　両面粘着テープ２２０は、図１０、図１１に示すように、例えば、粘着性を有する粘着性樹脂（粘着剤）をシート状に形成したテープ本体２４のブレード本体１３０側に位置される一方側の面２２２と、ハブ１１０側に位置される他方側の面２２３が粘着性を有する構成とされた接着剤転写テープとされている。

　また、両面粘着テープ２２０の外径、厚さ、弾性係数、保持力（粘着力）等は、例えば、ブレード本体１３０の平面度（軸線Ｏ１に対する直角度）を保持することが可能とされ、かつハブ型ブレード２００が対象物を切断する際の切断トルクによって生じるねじり変形がブレード本体１３０に破損を生じさせないように設定されていることが好適である。
　また、両面粘着テープ２２０の厚さについては、例えば、厚さ１００μｍ以下が好適であり、厚さ３０μｍ以上５０μｍ以下がより好適である。

　また、両面粘着テープ２２０は、導電性を有していることが好適であり、一例として、導電性接着剤転写テープ９７０７（商品名：３Ｍジャパン株式会社製）、９７０９Ｓ（商品名：３Ｍジャパン株式会社製）、Ｔ４４２０Ｗ（商品名：デクセリアルズ株式会社製）を適用することができる。

　なお、ハブ型ブレード２００の製造方法に関して、両面粘着テープ１２０に代えて両面粘着テープ２２０を用いる点以外は第１実施形態と同様であるので説明を省略する。

　第２実施形態に係るハブ型ブレード２００によれば、別々に形成したハブ１１０とブレード本体１３０とが両面粘着テープ２２０によって接続された構成とされ、品質特性を満足したハブ１１０とブレード本体１３０だけを用いて製造することができるので、高精度なハブ型ブレード２００を効率的かつ安定して製造することができる。
　また、ハブ１１０とブレード本体１３０とを両面粘着テープ（粘着性接続部）２２０によって接続するので、短時間で接続することができる。

　また、第２実施形態に係るハブ型ブレード２００によれば、両面粘着テープ２２０がテープ基材を備えない構成とされ、両面粘着テープの弾性が適度に抑制されて、ブレード本体１３０が蛇行するのが抑制され安定して切断することができる。

　また、第２実施形態に係るハブ型ブレード１００によれば、ハブがアルミニウム又はアルミニウム合金により形成されているので軽量で高速回転（例えば、３００００ｒｐｍ以上）に容易に対応することができる。

　また、第２実施形態の変形例の一つとして、ハブがマグネシウム又はマグネシウム合金により形成された場合、ハブの比強度が大きくなる。
　また、マグネシウム又はマグネシウム合金により形成されたハブは、減衰能が優れているので振動の発生を抑制して安定的に切断することができる。

　また、第２実施形態の変形例の一つとして、ハブがチタン又はチタン合金により形成された場合、ハブがアルミ合金に比較して比強度が大きいチタン又はチタン合金（比強度　約２８８ｋＮ・ｍ／ｋｇ、アルミ合金　比強度約２２２ｋＮ・ｍ／ｋｇ）により形成されているので、より高速回転させることが可能となり、さらに効率的に切断することができる。また、切断時の外力でハブが変形するのを抑制することができる。

　また、第２実施形態の変形例の一つとして、ハブがプラスチックにより形成された場合、ハブがプラスチックにより形成されているので軽量かつ高速回転させることができる。また、切断対象物に応じて種々の材質を効率的に設定することができ、その結果、効率的に切断することができる。
　また、ブレード本体を常温でハブに装着することにより、ブレード本体に温度履歴に基づく歪やそりがなくなり、ハブ型ブレードの品質を向上することができる。

　さらに、プラスチックハブとブレード本体が両面粘着テープ２２０を介して接続されている場合は、ブレード本体がプラスチックハブの外縁で急に屈曲されるのが緩和され、ブレード本体が加工対象物と当たった際に、ブレード本体が割れるのが抑制される。

＜第３実施形態＞
　以下、図１、図１２～図１３を参照し、本発明の第３実施形態に係るハブ型ブレードについて説明する。
　図１２は、図１に矢視ＸＩＩ－ＸＩＩで示す断面図であり、図１３は拡大した部分断面図である。
　図において、符号３００はハブ型ブレードを、符号３１０はハブを、符号３２０は接着樹脂部（接着剤、接続部）を、符号３３０はブレード本体を示している。

　ハブ型ブレード３００は、図１、図１２、図１３に示すように、例えば、ハブ３１０と、接着樹脂部（接着剤、接続部）３２０と、ブレード本体３３０とを備え、ウェーハ（半導体材料等の基板）を切断してＩＣチップ等に個片化することが可能とされている。

　ハブ３１０は、図１、図１２及び１３に示すように、例えば、外径５５．４ｍｍに形成され軸線Ｏ１方向の一方側にブレード取付面３１１Ａが形成され軸線Ｏ１の他方側に向かうにしたがって縮径されるブレード取付部１１と、ブレード取付部３１１の軸線Ｏ１方向の他方側に接続される駆動源接続部１２とを備えている。また、ハブ３１０の内周には軸線Ｏ１に沿って円筒形状の取付孔１０Ｈが形成されている。

　また、ハブ３１０は、例えば、アルミニウム又はアルミニウム合金により形成されている。アルミニウム合金の材質については、使用条件に基づいて任意に設定することが可能であるが、例えば、Ａ２０１７、Ａ５０８３、Ａ７０７５（ＪＩＳ規格）等が好適である。
　アルミニウム又はアルミニウム合金以外の材質として、ハブ１１０は、例えばマグネシウム若しくはマグネシウム合金、チタン若しくはチタン合金又はプラスチックにより形成されていてもよい。プラスチックはポリカーボネートであってもよい。

　また、ブレード取付面３１１Ａは、接着樹脂部３２０を構成する接着剤が効果的に定着するように、例えば、サンドブラストやショットブラスト等によって表面粗さＲｍａｘ５～５０μｍ（ＪＩＳ　Ｂ０６０１　１９８２）に仕上げられていることが好適である。
　また、ハブがプラスチックにより形成されている場合は、例えば、ブレード取付面３１１Ａ上に、ＳｉＯ_２を構成成分とする約１０～１００ナノメートル（ｎｍ）の多数の粒子を形成する改質処理（イトロ処理（株式会社イトロ））がされていてもよい。

　接着樹脂部（接着剤、接続部）３２０は、例えば、エポキシ樹脂やシアノアクリレート樹脂を主成分とする接着剤が、ハブ３１０の外径及びブレード本体の内径（ブレード素材の内径）と対応してドーナツ状に塗布されたものが硬化することによって形成されている。
　なお、エポキシ樹脂やシアノアクリレート樹脂に代えて、アクリル樹脂系接着剤等によって接着樹脂部３２０を形成してもよく、接着樹脂部３２０の構成は任意に設定することができる。
　また、塗布する際には粘着性を有し、その後硬化する粘着性接着剤を適用して接着樹脂部３２０を形成してもよい。

　また、接着樹脂部３２０の外径、厚さ（例えば、４０μｍ～１００μｍ）、弾性係数、保持力（接着力）等は、例えば、ブレード本体３３０の平面度（軸線Ｏ１に対する直角度）を保持することが可能とされ、かつハブ型ブレード１が対象物を切断する際の切断トルクによって生じるねじり変形がブレード本体３３０に破損を生じさせないように設定されていることが好適である。

　また、接着樹脂部３２０は、ハブ３１０とブレード本体３３０との間にタッチセンサとして機能する程度の導電性を有していることが好適であるが、接着樹脂部３２０が導電性を有するかどうかは任意に設定することが可能である。

　導電性接着剤としては、例えば、ＣＮ－３１６０Ｌ（商品名：化研テック株式会社製）、スリーボンド３５１Ｃ（商品名：株式会社スリーボンド製）、エポキシ樹脂に銀（Ａｇ）系フィラーが混合されたスリーボンド３３８０（商品名：株式会社スリーボンド製）等を溶剤（例えば、酢酸エチル）で希釈して適用することが可能である。

　また、例えば、紫外線硬化接着剤（遅延硬化型）（例えば、ＡＵＶ－８８００（商品名：新田ゼラチン株式会社製）、ＣＶ７８３１（商品名：パナソニック株式会社製）、ＳＸ－ＵＶ２００（商品名：セメダイン株式会社製）、シアノアクリレート系の瞬間接着剤（例えば、ＡＬＴＥＣＯ　ＣＮ２（商品名：株式会社アルテコ製）、ＡＬＴＥＣＯ　ＣＮ４（商品名：株式会社アルテコ製）、セメダイン　３０００ＤＸＦ（商品名：セメダイン株式会社製）、セメダイン３０００　ＤＸＬＬ（商品名：セメダイン株式会社製）、セメダイン３０００ＤＸＬ（商品名：セメダイン株式会社製）、アロンアルファＥＸＴＲＡ衝撃（商品名：東亞合成株式会社製）、アロンアルファＥＸＴＲＡ４０００（商品名東亞合成株式会社製）をはじめとする導電性を有さない接着剤を適用して接着樹脂部３２０を形成してもよい。

　また、導電性を有さない接着剤を適用する場合に、例えば、ミクロパールＡＵ－２０１（商品名：積水化学工業株式会社製）をはじめとする金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）等の金属を粒子にコーティングして形成された導電性粒子（例えば、粒径１０μｍ）をエポキシ系接着剤やアクリル系接着剤に混合して塗布、硬化させることで、ハブ３１０とブレード本体３３０が導電性粒子を介して通電可能としてもよい。

　ブレード本体３３０は、例えば、外径５５．０５ｍｍ、刃厚０．０１５～０．０４μｍ（例えば、２０μｍ）の円板状に形成され、外周の軸線Ｏ１方向の一方側と他方側には面取り状のコーナ３０Ｃが形成されている。
　また、ブレード本体３３０の内周側には、例えば、軸線Ｏ１と同軸に直径４２.００ｍｍの円形穴３０Ｈが形成されている。

　また、ブレード本体３３０は、例えば、ニッケル（Ｎｉ）又はニッケル合金を主成分とする合金からなる金属母材３１と、金属母材３１に分散されたダイヤモンド超砥粒（砥粒）３２とを備えている。
　金属母材を構成するニッケルを主成分とする合金としては、例えば、ニッケル－リン（Ｎｉ－Ｐ）、ニッケル－コバルト（Ｎｉ－Ｃｏ）、ニッケル－ボロン（Ｎｉ－Ｂ）を適用することが好適である。

　次に、図１４～図１９を参照して、本発明の第３実施形態に係るハブ型ブレード製造工程の概略を説明する。
　図１４は、第３実施形態に係るハブ型ブレード製造工程の概略を説明するフローチャートである。図１５は、第３実施形態に係るハブ型ブレード製造工程におけるブレード素材を製造する手順の概略を示すフローチャートである。
　ハブ型ブレード製造工程は、図１４に示すように、例えば、ブレード素材製造工程（Ｓ３０１）と、ハブ準備（Ｓ３０２）からハブ型ブレード（Ｓ３０９）を完成するまでの工程とを備えている。

　以下、図１５、図１６Ａ～図１６Ｅを参照して、第３実施形態に係るハブ型ブレード製造工程におけるブレード素材の製造手順の概略について説明する。
　図１６Ａ～図１６Ｅは、第３実施形態に係るハブ型ブレード製造工程を説明する図である。図６Ａ～図６Ｅにおいて、符号ＳＵＳはＳＵＳ台金（ステンレス鋼台金）を、符号Ｗ３３０はブレード素材を、符号Ｗ３０１、Ｗ３０２はブレード素材の原板を示している。

　ブレード素材製造工程は、図１５に示すように、例えば、ＳＵＳ台金準備工程（Ｓ３１）と、分散めっき工程（Ｓ３２）と、エッチング工程（Ｓ３３）と、内径加工工程（Ｓ３４）とを備えていて、これら一連の工程を経ることによってブレード素材が完成される（Ｓ３５）。

（１）ＳＵＳ台金準備工程
　まず、ハブと対応する外径を有するブレード素材を形成するのに適したＳＵＳ台金（ステンレス鋼製台金）を準備する（Ｓ３１）。
　図１６Ａは、第３の国内実施形態に係るブレード素材の原板を製造する際のＳＵＳ台金準備の概略を示す概念図である。
　ＳＵＳ台金ＳＵＳは、例えば、ステンレス鋼からなる円板により構成されていて、分散めっきによってブレード素材の原板を形成するニッケルめっき形成面Ｓ１０は、鏡面処理されていることが好適である。
　また、ＳＵＳ台金ＳＵＳは、図１６Ａに示すように、ニッケルめっき形成面Ｓ１０においてニッケルめっきが不要とされる部分にマスキングＭ１を施すことが好適である。
　また、ＳＵＳ台金ＳＵＳの外径は、例えば、ＳＵＳ台金のニッケルめっき形成面Ｓ１０に形成されるブレード素材の原板の外周側が厚めに形成されても、ブレード素材をハブに装着して、外径加工、ダイサードレスした後に、ブレード本体の刃厚、歪等がハブ型ブレードの寸法公差内となるように設定されていることが好適である。

（２）分散めっき工程
　次に、ＳＵＳ台金にダイヤモンドの超砥粒を含有する分散めっきをしてブレード素材の原板を形成する（Ｓ３２）。
　図１６Ｂは、ＳＵＳ台金ＳＵＳのニッケルめっき形成面Ｓ１０に、分散めっきによってブレード素材の原板が形成された状態の概略構成を示す概念図である。
　分散めっき工程では、ダイヤモンドの超砥粒を含有するニッケルめっき液を分散めっき装置（不図示）に貯留して、ニッケルめっき液にＳＵＳ台金ＳＵＳを配置する。そして、ニッケルをアノードとして、ニッケルめっき液を撹拌しながら電解めっき法によりＳＵＳ台金ＳＵＳのめっき形成面Ｓ１０にニッケルめっきを成長させる。
　その結果、図１６Ｂに示すように、ニッケルめっき形成面Ｓ１０に、マスキングＭ１の部分を除いたドーナツ状のブレード素材の原板Ｗ３０１をなす分散ニッケルめっき層（ダイヤモンド超砥粒が分散されたニッケル層）が形成される。
　ブレード素材の原板Ｗ３０１は、ＳＵＳ台金ＳＵＳから剥離した後に、ダイヤモンド含有量、刃厚、そり、外観等を検査する。
　ＳＵＳ台金ＳＵＳから分離したブレード素材の原板Ｗ３０１は、図１６Ｃに示すように、ニッケルめっき形成面Ｓ１０と接していた部分は金属母材３１からダイヤモンド超砥粒３２が突出することなく平坦面とされている。
　なお、ニッケルめっき液に代えて、ダイヤモンドの超砥粒を含有するＮｉ－ＰやＮｉ－Ｂめっき液を用いてブレード素材の原板を形成してもよい。また、分散ニッケルめっき層によりブレード素材の原板を形成する場合には熱処理は不要であるが、Ｎｉ－ＰやＮｉ－Ｂめっき層によりブレード素材の原板を形成する場合には、Ｎｉ－ＰやＮｉ－Ｂは析出硬化型なので、熱処理（例えば、２５０℃×１ｈｒ）が有効である。
　なお、無電解めっき法を適用して分散ニッケルめっき層を形成してもよい。

（３）エッチング工程
　次いで、ブレード素材の原板をエッチング処理することによりニッケルめっきからなる金属母材からダイヤモンド超砥粒を露出させて目立てをする（Ｓ３３）。
　図１６Ｄは、エッチング処理後のブレード素材の原板Ｗ３０２の概略を説明する概念図である。
　エッチング処理は、図１６Ｃに示すブレード素材の原板Ｗ３０１をエッチング装置で逆電解することによりニッケルめっきからなる金属母材３１からニッケルを溶解してダイヤモンド超砥粒３２を露出させて、ブレード素材の原板Ｗ３０２を形成する。
　ブレード素材の原板Ｗ３０２は、図１６Ｄに示すように、ハブ型ブレードにおいてハブ３１０と反対側に位置される露出面Ｗ３３０Ｆ及び接着剤が塗布される接続面Ｗ３０Ｂを含む全面にわたって、ニッケルめっきからなる金属母材３１からダイヤモンド超砥粒３２が露出されている。

（４）内径加工工程
　次に、エッチング工程で目立てをしたブレード素材の原板を内径加工してブレード素材を形成する（Ｓ３４）。
　図１６Ｅは、ブレード素材の原板に対する内径加工の概略を説明する概念図である。
　ブレード素材の原板Ｗ３０２の内径加工は、図１６Ｅに示すように、内径加工する部位に液体（例えば、水）を供給して冷却しながらレーザビームを照射してブレード素材Ｗ３０２に円形穴３０Ｈを加工して、ブレード素材３０３を形成する。
　なお、内径加工する部位に液体を供給する場合には、例えば、内径加工する部位に噴流液水柱（噴流水柱）Ｃを形成して、レーザビームＬをこの噴流水柱Ｃ内で反射させながら加工部位に誘導して照射することが好適であり、そのため、噴流水柱（噴流液柱）Ｃを可能な限り凹凸の少ない層流としてレーザビームＬを噴流水柱Ｃ内で全反射させるとより好適である。また、レーザビームＬの波長は、例えば、２００～７００ｎｍとすることが好適である。
　なお、水を供給せずにレーザビームを照射してもよいし、レーザビーム加工に代えて放電加工やその他周知の加工方法により内径加工してもよい。

（５）ブレード素材完成
　品質検査が満足していたらブレード素材Ｗ３０３が完成する（Ｓ３５）。
　なお、Ｓ３１～Ｓ３５の工程は、一例を示すものであり適宜変更又は省略することが可能である。

　次に、図１４、図１７Ａ～図１７Ｄ、図１８、図１９を参照して、ハブ型ブレード製造工程におけるハブ準備からハブ型ブレード完成（Ｓ３０２～Ｓ３０９）の詳細について説明する。

（１）ハブ準備工程
　まず、ハブを準備する（Ｓ３０２）。
　図１７Ａは、第１実施形態に係るハブ型ブレード製造工程における前処理工程後のハブの概略構成の一例を説明する概念図であり、ブレード取付面の凹凸を強調して示した図である。
　ハブ３１０は、例えば、アルミニウム合金からなる丸棒を軸線回りに回転させながら切削加工するとともに、個々のハブに切断することにより形成する。
　ハブ３１０は、接着剤を安定して定着させるために、前処理工程においてブレード取付面１１Ａに凹凸を形成することが好適である。

（２）ブレード取付面の前処理工程
　次に、ブレード取付面に前処理をして、接着剤が定着するのに好適な表面粗さの凹凸を形成する（Ｓ３０３）。
　ブレード取付面３１１Ａに対する前処理は、例えば、♯１２０（約９０～１０８μｍ）のアルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）を用いたサンドブラストやショットブラストによって施すことが好適である。
　また、ハブがプラスチックにより形成されている場合は、サンドブラストやショットブラストに代えて、ハブを構成するプラスチックの材質等に基づいて、コロナ処理、フレーム処理、プラズマ処理等の改質処理を適宜適用してブレード取付面３１１Ａの接着剤定着を向上させてもよい。
　その結果、図１７Ａに示すようなブレード取付面３１１Ａに凹凸を有し、塗布された接着剤が安定して定着可能なハブ３１０が形成される。
　ブレード取付面３１１Ａは、例えば、表面粗さＲｍａｘ５～５０μｍが好適である。ブレード取付面３１１Ａの表面粗さＲｍａｘ５～５０μｍとすることにより、接着樹脂部３２０がブレード取付面３１１Ａに安定して定着し、ブレード本体を装着するのに充分な保持力（接着力）が確保されるとともに、切断中に発生する微粒子等がハブ３１０とブレード本体３３０の間に侵入するのを抑制することができる。
　また、ハブがプラスチックにより形成されている場合は、燃料ガス中にシラン化合物等を導入して火炎を生成し、その火炎をブレード取付面１１Ａに接触させることによって、例えば、ブレード取付け面３１１ＡにＳｉＯ_２を構成成分とする約１０～１００ナノメートル（ｎｍ）の多数の粒子を形成する改質処理（イトロ処理（株式会社イトロ））を適用することにより異種材料であるプラスチックとブレード本体３３０の接着性を向上させてもよい。
　なお、前処理工程を設定するかどうか、前処理による表面粗さの範囲については任意に設定することができる。

（３）接着剤塗布工程
　次いで、ハブ３１０のブレード取付面に接着剤を塗布する（Ｓ３０４）。
　図１７Ｂは、第３実施形態に係るハブ型ブレード製造工程においてハブに接着剤が塗布された中間製品の概略構成を説明する概念図である。
　ハブ３１０のブレード取付面３１１Ａに接着樹脂部３２０をなす接着剤を塗布する際には、例えば、ドクターブレードやスピンコートにより均一な厚さに塗布することが好適である。
　なお、接着剤の塗布については、ドクターブレードやスピンコートに限定されることなく、接着剤の物性（例えば、粘度等）に応じて周知の種々の塗布手段（例えば、スプレーノズル等）を適用することが可能である。
　その結果、図１７Ｂに示すような中間製品Ｗ３０１が形成される。

（４）ブレード本体装着工程
　次に、ハブにブレード素材を接着する（Ｓ３０５）。
　図１７Ｃは、第３実施形態に係るハブ型ブレード製造工程においてハブにブレード素材が接着された状態の中間製品の概略構成を説明する概念図である。
　ハブ３１０にブレード素材Ｗ３３０を装着（接着）する際には、例えば、平坦な定盤上にブレード素材Ｗ３３０を配置し、治具によりハブ３１０の軸線Ｏ１とブレード素材３３０の円形穴３０Ｈの中心軸Ｏ２を合わせながらハブ３１０をブレード素材３３０に載置、押圧して接着する。その後、接着剤を硬化させて接着樹脂部３２０を形成する。
　その結果、図１７Ｃに示すようなハブ３１０にブレード素材Ｗ３３０が接着された中間製品Ｗ３０２が形成される。

（５）外径加工工程
　次いで、ハブに接着したブレード素材を外径加工する（Ｓ３０６）。
　図１７Ｄは、第３実施形態に係るハブ型ブレード製造工程における外形加工の概略を説明する概念図であり、図１８は、第３実施形態に係るハブ型ブレード製造工程において外径加工工程後の中間製品の概略構成を説明する断面図である。また、図１８は、第３実施形態に係るハブ型ブレード製造工程において外径加工工程後の中間製品の概略構成を説明する断面図である。図１７Ｄ、図１８において、符号Ｗ３０２は外径加工する前の中間製品を、符号Ｗ３０３は外径加工した後の中間製品を示している。
　外径加工は、例えば、中間製品Ｗ３０２を軸線Ｏ１周りに回転させて、例えば、ブレード素材Ｗ３３０の外径加工する部位に液体（例えば、水）を供給して冷却しながらレーザビームを照射してブレード素材Ｗ３３０の外径を加工する。
　なお、加工部位に液体を供給する場合には、例えば、外径加工する部位に噴流液水柱（噴流液柱）Ｃを形成して、レーザビームＬをこの噴流水柱Ｃ内で反射させながら加工部位に誘導して照射することが好適であり、そのため、噴流水柱（噴流液柱）Ｃを可能な限り凹凸の少ない層流としてレーザビームＬを噴流水柱Ｃ内で全反射させるとより好適である。また、レーザビームＬの波長は、例えば、２００～７００ｎｍとすることが好適である。中間製品Ｗ３０２を外径加工することによって、ブレード素材Ｗ３３０の外周が切断され、図１８に示すような中間製品Ｗ３０３が形成される。
　なお、水を供給せずにレーザビームを照射してもよいし、レーザビーム加工に代えて放電加工やその他周知の加工方法により外径加工してもよい。

（６）ダイサードレス工程
　次に、外径加工したブレード本体をダイサードレスして目立てする（Ｓ３０７）。
　図１９は、第３実施形態に係るハブ型ブレード製造工程において目立てした後のハブ型ブレードの概略構成を説明する断面図である。
　ダイサードレス工程におけるブレード本体３３０の目立ては、例えば、中間製品Ｗ３０３をダイシングマシンにセットしてドレスボードを切断することにより行う。
　中間製品Ｗ３０３をダイサードレスすることにより、中間製品Ｗ３０３のブレード本体３３０が目立てされて、図１９に示すような目立部３０Ｃが形成される。

（７）検査工程
　その後、ハブ型ブレードの検査を実施する（Ｓ３０８）。
　ハブ型ブレード３００の検査は、例えば、シリコンウェーハをダイシングしてカーフ幅を測定する。そのほか、所定の品質質特性を満足しているかどうかを検査する。
　なお、検査工程において、ブレード本体３３０のハブ３１０の外周からの突き出し長さについては省略してもよい。

（８）ハブ型ブレード完成
　検査において所定の品質特性を合格することによりハブ型ブレード３００が完成する（Ｓ３０９）。
　なお、Ｓ３１～Ｓ３９の工程は、一例を示すものであり適宜変更又は省略することが可能である。

　第３実施形態に係るハブ型ブレード３００及びハブ型ブレード製造方法によれば、別々に形成したハブ３１０とブレード本体３３０とが接着樹脂部３２０によって接続された構成とされ、ハブ３１０とブレード本体３３０を個別に検査することが可能であるので、品質特性を満足したハブとブレード本体３３０だけを用いて製造することができる。

　また、第３実施形態に係るハブ型ブレード３００によれば、ハブ３１０とブレード本体３３０が接着樹脂部３２０を介して接続されることにより、ブレード本体３３０がハブ３１０の外縁で急に屈曲されるのが緩和され、ブレード本体３３０が加工対象物と当たった際に、ブレード本体３３０が割れるのを抑制することができる。

　また、第３実施形態に係るハブ型ブレード３００及びハブ型ブレード製造方法によれば、ブレード本体３３０を常温でハブに装着することにより、ブレード本体３３０に温度履歴に基づく歪やそりがなくなり、ハブ型ブレード３００の品質を向上することができる。
　その結果、高精度なハブ型ブレード３００を効率的かつ安定して製造することができる。

　また、第３実施形態に係るハブ型ブレード３００によれば、ハブがアルミニウム又はアルミニウム合金により形成されているので軽量で高速回転（例えば、３００００ｒｐｍ以上）に対応することができ、対象物を効率的に切断することができる。

　また、第３実施形態の変形例の一つとして、ハブがマグネシウム又はマグネシウム合金により形成された場合、ハブの比強度が大きくなる。
　また、マグネシウム又はマグネシウム合金により形成されたハブは、減衰能が優れているので振動の発生を抑制して安定的に切断することができる。

　また、第３実施形態の変形例の一つとして、ハブがチタン又はチタン合金により形成された場合、ハブがアルミ合金に比較して比強度が大きいチタン又はチタン合金（比強度　約２８８ｋＮ・ｍ／ｋｇ、アルミ合金　比強度約２２２ｋＮ・ｍ／ｋｇ）により形成されているので、より高速回転させることが可能となり、さらに効率的に切断することができる。また、切断時の外力でハブが変形するのを抑制することができる。

　また、第３実施形態の変形例の一つとして、ハブがプラスチックにより形成された場合、ハブがプラスチックにより形成されているので軽量かつ高速回転させることができる。また、切断対象物に応じて種々の材質を効率的に設定することができ、その結果、効率的に切断することができる。
　また、ブレード本体を常温でハブに装着することにより、ブレード本体に温度履歴に基づく歪やそりがなくなり、ハブ型ブレードの品質を向上することができる。

　さらに、プラスチックハブとブレード本体が接着樹脂部を介して接続されている場合は、ブレード本体がプラスチックハブの外縁で急に屈曲されるのが緩和され、ブレード本体が加工対象物と当たった際に、ブレード本体が割れるのが抑制される。

　また、第３実施形態に係るハブ型ブレード３００及びハブ型ブレード製造方法によれば、使用後のハブ型ブレード３００から接着樹脂部３２０を除去してブレード本体３３０を取り除きハブ３１０を再利用することにより、省資源を実現するとともに製造コストを削減することができる。

　また、第３実施形態に係るハブ型ブレード３００及びハブ型ブレード製造方法によれば、エッチングによってハブの外周を除去してブレード本体３３０を突き出させる必要がないので、材料ロスに起因する歩留低下が抑制されるとともに加工時間を短縮することができる。また、ブレード本体３３０を突き出させるのにともなう加工時間をなくして製造時間を短縮することができる。
　その結果、製造にともなうリードタイムが大幅に短縮されるとともに、高精度な試作品を低コストかつ短いリードタイムで製作することができる。

　また、第３実施形態に係るハブ型ブレード３００及びハブ型ブレード製造方法によれば、ブレード取付面３１１Ａ側に位置される接続面３３０Ｔが、金属母材３１の表面からダイヤモンド超砥粒３２が露出されているので、接着樹脂部（接着剤）３２０が接続面３３０Ｔに安定して定着する。
　その結果、ブレード本体３３０をハブ３１０に安定して装着することができる。

　また、第３実施形態に係るハブ型ブレード３００及びハブ型ブレード製造方法によれば、ハブ３１０のブレード取付面３１１Ａが、表面粗さＲｍａｘ５～５０μｍに形成されているので、塗布した接着剤がブレード取付面３１１Ａに接着樹脂部３２０として安定して定着して、ハブ３１０にブレード本体３０を安定して接着（接続）することができる。

　また、第３実施形態に係るハブ型ブレード製造方法によれば、ハブ３１０とブレード素材Ｗ３３０を共加工により外径加工するので、ハブ３１０とブレード本体３３０を効率的に同軸に構成することができる。

　第３実施形態に係るハブ型ブレード製造方法によれば、ブレード素材の原板Ｗ３０１に円形穴３０Ｈを内径加工する際に、加工部位に噴流水柱Ｃを形成し、この噴流水柱ＣによってレーザビームＬを誘導して加工部位を照射するので、ブレード素材Ｗ３３０の円形穴３０Ｈを高精度かつ効率的に形成することができる。

　第３実施形態に係るハブ型ブレード製造方法によれば、ブレード素材３３０を外径加工する際に、加工部位に噴流水柱Ｃを形成し、この噴流水柱ＣによってレーザビームＬを誘導して加工部位に照射するので、高精度かつ効率的に外径加工する形成することができる。

＜第４実施形態＞
　以下、図１、図２０、図２１を参照し、本発明の第４実施形態に係るハブ型ブレードについて説明する。図において、符号４００は第４実施形態に係るハブ型ブレードを、符号４２０は接着樹脂部（シート状接着樹脂）を示している。

　ハブ型ブレード４００は、図１に示すように、ハブ３１０と、シート状接着樹脂（接着樹脂部）４２０と、ブレード本体３３０とを備えている。第４実施形態に係るハブ型ブレード４００は、第３実施形態に係る接着樹脂部３２０に代えて、シート状接着樹脂（接着樹脂部）４２０を備えている。

　ハブ３１０は、例えば、アルミニウム又はアルミニウム合金により形成されている。アルミニウム合金の材質については、使用条件に基づいて任意に設定することが可能であるが、例えば、Ａ２０１７、Ａ５０８３、Ａ７０７５（ＪＩＳ規格）等が好適である。
　アルミニウム又はアルミニウム合金以外の材質として、ハブ１１０は、例えばマグネシウム若しくはマグネシウム合金、チタン若しくはチタン合金又はプラスチックにより形成されていてもよい。プラスチックはポリカーボネートであってもよい。

　シート状接着樹脂（接着樹脂部）４２０は、例えば、エポキシ樹脂等、複数の樹脂を混合し又は混練された状態でシート状に形成され、外力（重力等を含む）によって接着対象物と相補的に充填される程度の流動性または塑性変形性を有する接着樹脂により構成されている。また、常温で流動性を有していなくても加熱することで流動して接着性を有してもよい。
　また、ハブ３１０とブレード本体３３０を装着する際には粘着性を有し、その後硬化する粘着性接着剤を適用して接着樹脂部４２０を形成してもよい。

　また、シート状接着樹脂４２０は、例えば、外周がハブ３１０の外径と対応するとともに、内周がブレード本体３３０の内径（ブレード素材の内径）と対応するドーナツ形状に形成されている。

　また、シート状接着樹脂（接着樹脂部）４２０の外径、硬化後厚さ（例えば、４０μｍ～１００μｍ）、弾性係数、保持力（接着力）等は、例えば、ブレード本体３３０の平面度（軸線Ｏ１に対する直角度）を保持することが可能とされ、かつハブ型ブレード４００が対象物を切断する際の切断トルクによって生じるねじり変形がブレード本体３３０に破損を生じさせないように設定されていることが好適である。その他は、第３実施形態と同様であるので説明を省略する。

　次に、図２０、図２１を参照して、第４実施形態に係るハブ型ブレード製造工程の概略を説明する。
　図２０は、第４実施形態に係るハブ型ブレード製造工程の概略を説明するフローチャートである。図１１は、第４実施形態に係るハブ型ブレード製造工程においてハブにシート状樹脂を配置して形成する中間製品の概略構成を説明する概念図である。
　ハブ型ブレード製造工程は、図２０に示すように、例えば、ブレード素材製造工程（Ｓ４０２）と、ハブを準備してハブにブレード本体を装着してハブ型ブレードを製造する工程（Ｓ４０２～Ｓ４０９）とを備えている。
　ブレード素材準備工程（Ｓ４０１）については、図１５に示す第３実施形態（Ｓ３１～Ｓ３５）と同様であるので説明を省略する。

　次に、ハブ型ブレード製造工程におけるハブ準備からハブ型ブレード完成（Ｓ４０２～Ｓ４０９）の詳細について説明する。なお、Ｓ４０２、Ｓ４０３、Ｓ４０６～Ｓ４０９については第３実施形態と同様であるので詳細な説明を省略する。

（１）ハブ準備工程
　まず、ハブ３１０を準備する（Ｓ４０２）。
（２）ブレード取付面の前処理工程
　次に、ハブのブレード取付面にシート状接着樹脂（接着樹脂部）を配置するための前処理をして所定の表面粗さにする（Ｓ４０３）。

（３）シート状接着樹脂（接着樹脂部）配置工程
　次いで、ハブ３１０のブレード取付面にシート状接着樹脂（接着樹脂部）４２０を配置する（Ｓ４０４）。
　図２１は、第４実施形態に係るハブ型ブレード製造工程においてハブにシート状樹脂を配置して形成する中間製品の概略構成を説明する概念図である。
　ハブ３１０のブレード取付面３１１Ｂにシート状接着樹脂（接着樹脂部）４２０を配置する際には、予めハブ３１０の外径及びブレード素材Ｗ３３０の円形穴３０Ｈと対応してドーナツ形状に形成されたシート状接着樹脂（接着樹脂部）４２０を使用する。そして、例えば、治具によってシート状接着樹脂（接着樹脂部）４２０の中心をハブ３１０の回転軸線Ｏ１と合わせて配置する。
　その結果、図２１に示すように、ハブ３１０の軸線Ｏ１とシート状接着樹脂（接着樹脂部）４２０が同軸な中間製品Ｗ４０１Ａが形成される。

（４）ブレード本体装着工程
　次に、ハブにブレード素材を配置する（Ｓ４０５）。
　ハブにブレード素材を装着（接着）する際には、例えば、第３実施形態と同様に、平坦な定盤上にブレード素材Ｗ３３０を配置し、治具によりハブ３１０の軸線Ｏ１とブレード素材の円形穴３０Ｈの中心軸Ｏ２を合わせながらハブ３１０をブレード素材３３０に載置、押圧してシート状接着樹脂（接着樹脂部）４２０によって接着、固定する。
（５）外径加工工程
　次いで、ハブに接着したブレード素材を外径加工する（Ｓ４０６）。
（６）ダイサードレス工程
　次に、外径加工したブレード本体をダイサードレスして目立てする（Ｓ４０７）。
（７）検査工程
　その後、ハブ型ブレードの検査を実施する（Ｓ４０８）。
（８）ハブ型ブレード完成
　検査において所定の品質特性を合格することによりハブ型ブレード１が完成する（Ｓ４０９）。
　なお、Ｓ４０９～Ｓ４０９の工程は、一例を示すものであり適宜変更又は省略することが可能である。

　第４実施形態に係るハブ型ブレード４００によれば、別々に形成したハブ３１０とブレード本体３３０とがシート状接着樹脂４２０によって接続された構成とされ、品質特性を満足したハブ３１０とブレード本体３３０だけを用いて製造することができるので、高精度なハブ型ブレード１を効率的かつ安定して製造することができる。

　また、第４実施形態に係るハブ型ブレード４００によれば、ハブ３１０とブレード本体３３０がシート状接着樹脂４２０を介して接続されることにより、ブレード本体３３０がハブ３１０の外縁で急に屈曲されるのが緩和され、ブレード本体３３０が加工対象物と当たった際に、ブレード本体３３０が割れるのを抑制することができる。

　第４実施形態に係るハブ型ブレード４００によれば、接着樹脂部がシート状接着樹脂４２０により構成されているので、シート状接着樹脂４２０の厚さを管理することにより、ハブ３１０のブレード取付面３１１Ａとブレード本体３３０の平行度（軸線Ｏ１に対する垂直度）を高精度に確保することができる。

　また、第４実施形態に係るハブ型ブレード４００によれば、ハブがアルミニウム又はアルミニウム合金により形成されているので軽量で高速回転（例えば、３００００ｒｐｍ以上）に容易に対応することができる。

　また、第４実施形態の変形例の一つとして、ハブがマグネシウム又はマグネシウム合金により形成された場合、ハブの比強度が大きくなる。
　また、マグネシウム又はマグネシウム合金により形成されたハブは、減衰能が優れているので振動の発生を抑制して安定的に切断することができる。

　また、第４実施形態の変形例の一つとして、ハブがチタン又はチタン合金により形成された場合、ハブがアルミ合金に比較して比強度が大きいチタン又はチタン合金（比強度　約２８８ｋＮ・ｍ／ｋｇ、アルミ合金　比強度約２２２ｋＮ・ｍ／ｋｇ）により形成されているので、より高速回転させることが可能となり、さらに効率的に切断することができる。また、切断時の外力でハブが変形するのを抑制することができる。
　また、ブレード本体を常温でハブに装着することにより、ブレード本体に温度履歴に基づく歪やそりがなくなり、ハブ型ブレードの品質を向上することができる。

　また、第４実施形態の変形例の一つとして、ハブがプラスチックにより形成された場合、ハブがプラスチックにより形成されているので軽量かつ高速回転させることができる。また、切断対象物に応じて種々の材質を効率的に設定することができ、その結果、効率的に切断することができる。

　さらに、プラスチックがポリカーボネートであると、プラスチックハブがポリカーボネート（比強度　５２．５ｋＮ・ｍ／ｋｇ、アルミ合金　比強度約２５．２ｋＮ・ｍ／ｋｇ）により形成され、充分な比強度を有しているので、高速回転させることが可能となり効率的に切断することができる。
＜第５実施形態＞
　以下、図１、図２２、図２３、図２４Ａから図２４Ｃを参照し、本発明の第５実施形態に係るハブ型ブレードについて説明する。
　図２２は、本発明の第５実施形態に係るハブ型ブレードの概略構成を説明する図１に矢視ＸＸＩＩ－ＸＸＩＩで示す部分断面図であり、図２３は第５実施形態に係るハブ型ブレード製造工程の概略を説明するフローチャートであり、図２４Ａから図２４Ｃは第５実施形態に係るハブ型ブレード製造工程を説明する概念図である。図において、符号５００はハブ型ブレードを、符号３１０はハブを、符号５２０は接続部（粘着性接続部）を、符号１３０はブレード本体を示している。

　ハブ型ブレード５００は、図２２に示すように、例えば、ハブ３１０と、接続部５２０と、ブレード本体１３０とを備えている。
　ハブ３１０は、第３実施形態と同様であり、ブレード本体１３０は第１実施形態と同様であるので同じ符号を付して説明を省略する。

　ここで、ハブ３１０は、第３実施形態と同様に、ブレード取付面３１１Ａが表面粗さＲｍａｘ５～５０μｍに形成されていることが好適である。
　また、ブレード本体１３０は、第１実施形態と同様に、接続面３３０Ｔが金属母材３１の表面からダイヤモンド超砥粒３２が突出することなく平坦面に形成されていることが好適である。

　接続部５２０は、図２２に示すように、例えば、ハブ３１０のブレード取付面３１１Ａに配置された接着樹脂部５２１と、接着樹脂部５２１とブレード本体１３０の間に配置された粘着テープ５２２とを備えている。

　接着樹脂部５２１は接着剤が硬化して形成されている。
　接着樹脂部５２１を構成する接着剤は適宜設定可能であるが、例えば、第３実施形態において接着樹脂部３２０の形成に用いた接着剤や、第４実施形態において接着樹脂部４２０の形成に用いた接着剤（粘着性接着材を含む）を適宜適用することが可能である。

　粘着テープ５２２は、基材５２３と粘着剤５２４とを備え、粘着剤５２４は基材５２３の一方の面に配置され、一方の面が粘着面とされた片面粘着テープとされている。
　また、粘着テープ５２２の粘着剤５２４は、ブレード本体１３０の接続面１３０Ｔ側に配置されている。
　粘着テープ５２２は、例えば、第１実施形態の両面粘着テープ１２０における基材２１１及び粘着剤１２２、１２３のいずれかが配置された構成のものを適用してもよい。
　なお、基材５２３は任意に設定することが可能であるが、接着樹脂部５２１が形成される面が接着剤が含浸可能に形成され又は表面粗さＲｍａｘ５～５０μｍに形成されて接着樹脂部５２１が安定して定着する構成とされていることが好適である。

　また、接続部５２０は、接着樹脂部５２１と粘着テープ５２２を合計した厚さが、例えば、１００μｍ以下であることが好適であり、厚さ３０μｍ以上５０μｍ以下であることがより好適である。

　また、粘着テープ５２２の外径、厚さ、弾性係数、保持力（粘着力）等は、例えば、ブレード本体１３０の平面度（軸線Ｏ１に対する直角度）を保持することが可能とされ、かつハブ型ブレード５００が対象物を切断する際の切断トルクによって生じるねじり変形がブレード本体１３０に破損を生じさせないように設定されていることが好適である。
　また、接着樹脂部５２１及び粘着テープ５２２は導電性を有していることが好適である。

　次に、図２３、図２４Ａ～図２４Ｃを参照して、ハブ型ブレード製造工程の概略について説明する。
　第５実施形態に係るハブ型ブレード製造工程は、図２３に示すように、例えば、ブレード素材製造工程（Ｓ５０１）と、ハブ準備工程（Ｓ５０２）と、ブレード取付面の前処理工程（Ｓ５０３）と、ハブ接着剤塗布工程（Ｓ５０４）と、ハブ粘着テープ接着工程（Ｓ５０５）と、ブレード装着工程（Ｓ５０６）と、外径加工工程（Ｓ５０７）と、ダイサードレス工程（Ｓ５０８）と、検査工程（Ｓ５０９）を経てハブ型ブレード（Ｓ５１０）が完成するまでの工程とを備えている。ここで、ブレード素材製造工程（Ｓ５０１）については、第１実施形態のブレード素材製造工程（Ｓ１０１）と同様であるので説明を省略する。

（１）ハブ準備工程（Ｓ５０２）
（２）ブレード取付面の前処理工程（Ｓ５０３）
　ハブ準備工程（Ｓ５０２）、ブレード取付面の前処理工程（Ｓ５０３）は、第３実施形態に係るハブ準備工程（Ｓ３０２）、ブレード取付面の前処理工程（Ｓ３０３）と同様であるので、説明を省略する。

（３）ハブへの接着剤塗布工程
　次いで、ハブ３１０のブレード取付面に接着剤を塗布する（Ｓ５０４）。
　図２４Ａは、第５実施形態に係るハブ型ブレード製造工程を説明する概念図であり、ハブのブレード取付面に接着剤を塗布した状態の概略構成を示す図である。
　ハブ３１０のブレード取付面３１１Ａに接着樹脂部５２１をなす接着剤を塗布する際には、例えば、ドクターブレードやスピンコートにより均一な厚さに塗布することが好適である。
　なお、接着剤の塗布については、ドクターブレードやスピンコートに限定されることなく、接着剤の物性（例えば、粘度等）に応じて周知の種々の塗布手段（例えば、スプレーノズル等）を適用することが可能である。
　その結果、図２４Ａに示すような中間製品Ｗ５０１が形成される。

（４）粘着テープ接着工程
　次に、ハブに粘着テープを接着する（Ｓ５０５）。
　図２４Ｂは、第５実施形態に係るハブ型ブレード製造工程においてハブ３１０に粘着テープ５２２を接着する状態の概略を説明する概念図である。
　ハブ３１０のブレード取付面３１１Ａに粘着テープ５２２を貼着する際には、予めハブ３１０の外径及びブレード素材Ｗ１３０の円形穴３０Ｈと対応するドーナツ形状に形成された粘着テープ５２２を使用する。
　そして、図２４Ｂに示すように、例えば、治具によって粘着テープ５２２の中心をハブ３１０の回転軸線Ｏ１に合わせるとともに、粘着面が軸線Ｏ１と直角となるように粘着テープ５２２を接着する。
　その結果、ハブ３１０の軸線Ｏ１と粘着テープ５２２が同軸な中間製品Ｗ５０２が形成される。
　なお、ハブ３１０をブレード素材Ｗ１３０に装着するのは、接着剤が硬化して接着樹脂部５２１が形成された後に行うことが好適である。

（５）ブレード装着工程
　次に、ハブにブレード素材を接着する（Ｓ５０６）。
　図２４Ｃは、第５実施形態に係るハブ型ブレード製造工程においてハブにブレード素材が装着された中間製品の概略構成を示す概念図である。
　ハブ３１０にブレード素材Ｗ１３０を装着（接着）する際には、例えば、平坦な定盤上にブレード素材Ｗ１３０を配置し、治具によりハブ３１０の軸線Ｏ１とブレード素材Ｗ１３０の円形穴３０Ｈの中心軸Ｏ２を合わせながらハブ１０をブレード素材Ｗ１３０に載置、押圧して貼着する。なお、接着剤が硬化して接着樹脂部５２１が形成されていない場合は、その後、接着剤を硬化させて接着樹脂部５２１を形成する。
　その結果、図２４Ｃに示すようなハブ３１０にブレード素材Ｗ１３０が装着された中間製品Ｗ５０３が形成される。

（６）外径加工工程（Ｓ５０７）
（７）ダイサードレス工程（Ｓ５０８）
（８）検査工程（Ｓ５０９）
（９）ハブ型ブレード完成（Ｓ５１０）
　ここで、外径加工工程（Ｓ５０７）から検査工程（Ｓ５０９）、ハブ型ブレード完成（Ｓ５１０）は、第１実施形態に係る外径加工工程（Ｓ１０６）から検査工程（Ｓ１０８）、ハブ型ブレード完成（Ｓ１０９）と同様であるので説明を省略する。
　なお、Ｓ５０１～Ｓ５１０の工程は、一例を示すものであり適宜変更又は省略することが可能である。

　第５実施形態に係るハブ型ブレード５００及びハブ型ブレード製造方法によれば、別々に形成されハブ３１０とブレード本体１３０とが接続部５２０によって接続された構成とされているので、個別に検査され品質特性を満足したハブ３１０とブレード本体１３０だけを用いて製造することができる。

　また、第５実施形態に係るハブ型ブレード５００によれば、ハブ３１０とブレード本体１３０が接続部５２０を介して接続されることにより、ブレード本体１３０がハブ３１０の外縁で急に屈曲されるのが緩和され、ブレード本体１３０が加工対象物と当たった際に、ブレード本体１３０が割れるのを抑制することができる。

　また、第５実施形態に係るハブ型ブレード５００及びハブ型ブレード製造方法によれば、ブレード本体１３０の接続面１３０Ｔが、金属母材３１より内部にダイヤモンド超砥粒３２が配置されて表面から突出することなく平坦面とされているので、ブレード本体１３０に粘着テープ５２２０を安定して貼着することができる。
　その結果、ブレード本体１３０をハブ３１０に安定して装着することができる。

　また、第５実施形態に係るハブ型ブレード５００及びハブ型ブレード製造方法によれば、ブレード取付面３１１Ａが、表面粗さＲｍａｘ５～５０μｍに形成されているので、ブレード取付面３１１Ａに接着樹脂部５２１が安定して定着し、ハブ３１０にブレード本体１３０を安定して装着することができる。

　第５実施形態に係るハブ型ブレード５００によれば、接続部５２０が粘着テープ５２２を備えているので、接続部５２０の厚さを効率的に調整することができる。
　また、基材５２２の厚さ、材質を適宜設定することで、接続部５２０の弾性係数等を調整して、ブレード本体１３０がハブ３１０の外縁で急に屈曲されるのを緩和してブレード本体１３０が割れるのを抑制することができる。
　また、例えば、接着樹脂部５２１を粘着性接着剤により形成した場合には、粘着テープ５２２を短時間で接続することができる点で好適である。

　また、第５実施形態に係るハブ型ブレード５００によれば、ハブがアルミニウム又はアルミニウム合金により形成されているので軽量で高速回転（例えば、３００００ｒｐｍ以上）に容易に対応することができる。

　また、第５実施形態の変形例の一つとして、ハブがマグネシウム又はマグネシウム合金により形成された場合、ハブの比強度が大きくなる。
　また、マグネシウム又はマグネシウム合金により形成されたハブは、減衰能が優れているので振動の発生を抑制して安定的に切断することができる。

　また、第５実施形態の変形例の一つとして、ハブがチタン又はチタン合金により形成された場合、ハブがアルミ合金に比較して比強度が大きいチタン又はチタン合金（比強度　約２８８ｋＮ・ｍ／ｋｇ、アルミ合金　比強度約２２２ｋＮ・ｍ／ｋｇ）により形成されているので、より高速回転させることが可能となり、さらに効率的に切断することができる。また、切断時の外力でハブが変形するのを抑制することができる。
　また、ブレード本体を常温でハブに装着することにより、ブレード本体に温度履歴に基づく歪やそりがなくなり、ハブ型ブレードの品質を向上することができる。

　また、第５実施形態の変形例の一つとして、ハブがプラスチックにより形成された場合、ハブがプラスチックにより形成されているので軽量かつ高速回転させることができる。また、切断対象物に応じて種々の材質を効率的に設定することができ、その結果、効率的に切断することができる。

＜第６実施形態＞
　以下、図１、図２５、図２６、図２７Ａから図２７Ｄを参照し、本発明の第６実施形態に係るハブ型ブレードについて説明する。
　図２５は、第６実施形態に係るハブ型ブレードの概略構成を説明する図１に矢視ＸＸＶ－ＸＸＶで示す部分断面図であり、図２６は第６実施形態に係るハブ型ブレード製造工程の概略を説明するフローチャートであり、図２７Ａから図２７Ｄは第６実施形態に係るハブ型ブレード製造工程を説明する概念図である。図において、符号６００はハブ型ブレードを、符号１１０はハブを、符号６２０は接続部（粘着性接続部）を、符号３３０はブレード本体を示している。

　ハブ型ブレード６００は、図２５に示すように、例えば、ハブ１１０と、接続部６２０と、ブレード本体３３０とを備えている。
　ハブ１１０は、第１実施形態と同様であり、ブレード本体３３０は第３実施形態と同様であるので同じ符号を付して説明を省略する。

　ハブ１１０は、例えば、アルミニウム又はアルミニウム合金により形成されている。アルミニウム合金の材質については、使用条件に基づいて任意に設定することが可能であるが、例えば、Ａ２０１７、Ａ５０８３、Ａ７０７５（ＪＩＳ規格）等が好適である。
　アルミニウム又はアルミニウム合金以外の材質として、ハブ１１０は、例えばマグネシウム若しくはマグネシウム合金、チタン若しくはチタン合金又はプラスチックにより形成されていてもよい。プラスチックはポリカーボネートであってもよい。

　ここで、ハブ１１０は、第１実施形態と同様に、ブレード取付面１１１Ａが表面粗さＲｍａｘ０～２０μｍに形成されていることが好適である。
　また、ブレード本体３３０は、第３実施形態と同様に、接続面３３０Ｔは金属母材３１の表面からダイヤモンド超砥粒３２が露出されて、接着樹脂部（接着剤）６２０が接続面３３０Ｔに安定して定着するように構成されている。

　接続部６２０は、図２５に示すように、例えば、ブレード本体３３０の接続面３３０Ｔに配置された接着樹脂部６２１と、接着樹脂部６２１とハブ１１０のブレード取付面１１１Ａの間に配置された粘着テープ５２２とを備えている。

　接着樹脂部６２１は接着剤が硬化して形成されている。
　接着樹脂部６２１を構成する接着剤は適宜設定可能であるが、例えば、第３実施形態において接着樹脂部３２０の形成に用いた接着剤や、第４実施形態において接着樹脂部４２０の形成に用いた接着剤（粘着性接着剤を含む）を適宜適用することが可能である。

　粘着テープ５２２は、基材５２３と粘着剤５２４とを備え、粘着剤５２４は基材５２３の一方の面に配置され、一方の面が粘着面とされた片面粘着テープとされている。
　第６実施形態では、粘着テープ５２２の粘着剤５２４は、ブレード取付面１１１Ａ側に配置されていて、基材５２３は接着樹脂部６２１が安定して定着する構成とされていることが好適である。その他は、第５実施形態と同様であるので、説明を省略する。

　また、接続部６２０は、接着樹脂部６２１と粘着テープ５２２を合計した厚さが、例えば、１００μｍ以下であることが好適であり、厚さ３０μｍ以上５０μｍ以下であることがより好適である。
　また、接着樹脂部６２１及び粘着テープ５２２は導電性を有していることが好適である。

　次に、図２６、図２７Ａ～図２７Ｄを参照して、ハブ型ブレード製造工程の概略について説明する。
　第６実施形態に係るハブ型ブレード製造工程は、図２６に示すように、例えば、ブレード素材製造工程（Ｓ６０１）と、ハブ準備工程（Ｓ６０２）と、ブレード取付面の前処理工程（Ｓ６０３）と、ブレード接着剤塗布工程（Ｓ６０４）と、ブレードへの粘着テープ接着工程（Ｓ６０５）と、ブレード装着工程（Ｓ６０６）と、外径加工工程（Ｓ６０７）と、ダイサードレス工程（Ｓ６０８）と、検査工程（Ｓ６０９）を経てハブ型ブレード（Ｓ６１０）が完成するまでの工程とを備えている。
　ここで、ブレード素材製造工程（Ｓ６０１）については、第３実施形態のブレード素材製造工程（Ｓ３０１）と同様であるので説明を省略する。

（１）ハブ準備工程（Ｓ６０２）
（２）ブレード取付面の前処理工程（Ｓ６０３）
　ハブ準備工程（Ｓ６０２）、ブレード取付面の前処理工程（Ｓ６０３）は、第１実施形態に係るハブ準備工程（Ｓ１０２）、ブレード取付面の前処理工程（Ｓ１０３）と同様であるので、説明を省略する。

（３）ブレードへの接着剤塗布工程
　次いで、ブレード素材の接続面に接着剤を塗布する（Ｓ６０４）。
　図２７Ａは、第６実施形態に係るハブ型ブレード製造工程においてブレード素材に接着剤を塗布した状態の概略構成を示す概念図である。
　ブレード素材Ｗ３３０の接続面３３０Ｔに接着樹脂部６２１をなす接着剤を塗布する際には、例えば、ドクターブレードやスピンコートにより均一な厚さに塗布することが好適である。
　なお、接着剤の塗布については、ドクターブレードやスピンコートに限定されることなく、接着剤の物性（例えば、粘度等）に応じて周知の種々の塗布手段（例えば、スプレーノズル等）を適用することが可能である。
　その結果、図２７Ａに示すような中間製品Ｗ６０１が形成される。

（４）粘着テープ接着工程
　次に、ブレード素材に粘着テープを接着する（Ｓ６０５）。
　図２７Ｂは、第６実施形態に係るハブ型ブレード製造工程においてブレード素材Ｗ３３０に粘着テープ５２２を接着した状態の概略構成を示す概念図である。また、図２７Ｃは、第６実施形態に係るハブ型ブレード製造工程においてブレード素材に接着された粘着テープにハブを貼着する状態の概略構成を示す概念図である。
　ブレード素材Ｗ３３０の接続面３３０Ｔに粘着テープ５２２を貼着する際には、予めハブ１１０の外径及びブレード素材Ｗ３３０の円形穴３０Ｈと対応するドーナツ形状に形成された粘着テープ５２２を使用する。
　そして、図２７Ｂに示すように、例えば、治具によって粘着テープ５２２の中心をブレード素材Ｗ３３０の回転軸線に合わせるとともに、粘着面が回転軸線と直角となるように粘着テープ５２２を接着する。
　その結果、図２７Ｃに示すような中間製品Ｗ６０２が形成される。
　なお、ハブ１１０にブレード素材Ｗ３３０を装着するのは、接着剤が硬化して接着樹脂部６２１が形成された後に行うことが好適である。

（５）ブレード装着工程
　次に、ブレード素材にハブを接着する（Ｓ６０６）。
　図２７Ｄは、ハブにブレード素材が装着された中間製品の概略構成を示す図である。
　ブレード素材Ｗ３３０にハブ１１０を装着（貼着）する際には、例えば、平坦な定盤上にブレード素材Ｗ３３０を配置し、治具によりハブ１１０の軸線Ｏ１とブレード素材Ｗ３３０の円形穴３０Ｈの中心軸Ｏ２を合わせながらハブ１１０をブレード素材Ｗ３３０に接着された粘着テープ５２２の粘着面に載置、押圧して貼着する。接着剤が硬化して接着樹脂部６２１が形成されていない場合は、その後、接着剤を硬化させて接着樹脂部６２１を形成する。
　その結果、図２７Ｄに示すように、ハブ１１０にブレード素材Ｗ３３０が装着された中間製品Ｗ６０３が形成される。

（６）外径加工工程（Ｓ６０７）
（７）ダイサードレス工程（Ｓ６０８）
（８）検査工程（Ｓ６０９）
（９）ハブ型ブレード完成（Ｓ６１０）
　ここで、外径加工工程（Ｓ６０７）から検査工程（Ｓ６０９）、ハブ型ブレード完成（Ｓ６１０）は、第１実施形態に係る外径加工工程（Ｓ１０６）から検査工程（Ｓ１０８）、ハブ型ブレード完成（Ｓ１０９）と同様であるので説明を省略する。
　なお、Ｓ６０１～Ｓ６１０の工程は、一例を示すものであり適宜変更又は省略するこが可能である。

　第６実施形態に係るハブ型ブレード６００及びハブ型ブレード製造方法によれば、別々に形成されハブ１１０とブレード本体３３０とが接続部６２０によって接続された構成とされているので、個別に検査され品質特性を満足したハブ１１０とブレード本体３３０だけを用いて製造することができる。

　また、第６実施形態に係るハブ型ブレード６００によれば、ハブ１１０とブレード本体３３０が接続部６２０を介して接続されることにより、ブレード本体３３０がハブ１１０の外縁で急に屈曲されるのが緩和され、ブレード本体３３０が加工対象物と当たった際に、ブレード本体３３０が割れるのを抑制することができる。
　また、例えば、接着樹脂部６２１を粘着性接着剤により形成した場合には、粘着テープ５２２を短時間で接続することができる点で好適である。

　また、第６実施形態に係るハブ型ブレード６００及びハブ型ブレード製造方法によれば、ブレード本体３３０の接続面３３０Ｔが、金属母材３１からダイヤモンド超砥粒３２が突出しているので、ブレード本体３３０に接着樹脂部６２１が安定して定着することができる。その結果、ブレード本体３３０をハブ１１０に安定して装着することができる。

　また、第６実施形態に係るハブ型ブレード６００及びハブ型ブレード製造方法によれば、ハブ１１０のブレード取付面１１１Ａが、表面粗さＲｍａｘ０～２０μｍに形成されているので、粘着テープ５２２をハブ１１０のブレード取付面１１１Ａに安定して装着することができる。

　第６実施形態に係るハブ型ブレード６００によれば、接続部５２０が粘着テープ５２２を備えているので、接続部６２０の厚さを効率的に調整することができる。
　また、基材５２２の厚さ、材質を適宜設定することで、接続部６２０の弾性係数等を調整して、ブレード本体３３０がハブ１１０の外縁で急に屈曲されるのを緩和してブレード本体３３０が割れるのを抑制することができる。

　また、第６実施形態に係るハブ型ブレード６００及びハブ型ブレード製造方法によれば、ブレード本体３３０の接続面３３０Ｔが接着樹脂部６２１によって封止されるので、例えば、ビトブレードのように通気性があるブレード本体をハブに安定して装着することができる。

　また、第６実施形態に係るハブ型ブレード５００によれば、ハブがアルミニウム又はアルミニウム合金により形成されているので軽量で高速回転（例えば、３００００ｒｐｍ以上）に容易に対応することができる。

　また、第６実施形態の変形例の一つとして、ハブがマグネシウム又はマグネシウム合金により形成された場合、ハブの比強度が大きくなる。
　また、マグネシウム又はマグネシウム合金により形成されたハブは、減衰能が優れているので振動の発生を抑制して安定的に切断することができる。

　また、第６実施形態の変形例の一つとして、ハブがチタン又はチタン合金により形成された場合、ハブがアルミ合金に比較して比強度が大きいチタン又はチタン合金（比強度　約２８８ｋＮ・ｍ／ｋｇ、アルミ合金　比強度約２２２ｋＮ・ｍ／ｋｇ）により形成されているので、より高速回転させることが可能となり、さらに効率的に切断することができる。また、切断時の外力でハブが変形するのを抑制することができる。
　また、ブレード本体を常温でハブに装着することにより、ブレード本体に温度履歴に基づく歪やそりがなくなり、ハブ型ブレードの品質を向上することができる。

　また、第６実施形態の変形例の一つとして、ハブがプラスチックにより形成された場合、ハブがプラスチックにより形成されているので軽量かつ高速回転させることができる。また、切断対象物に応じて種々の材質を効率的に設定することができ、その結果、効率的に切断することができる。

＜第７実施形態＞
　以下、図１、図２８を参照し、本発明の第７実施形態に係るハブ型ブレード７００について説明する。
　図２８は、第７実施形態に係るハブ型ブレードの概略構成を説明する図１に矢視ＸＸＶＩＩＩ－ＸＸＶＩＩＩで示す拡大した部分断面図である。図において、符号７００はハブ型ブレードを、符号３１０はハブを、符号７２０は接続部を、符号３３０はブレード本体を示している。

　ハブ型ブレード７００は、図２８に示すように、例えば、ハブ３１０と、接続部７２０と、ブレード本体３３０とを備えている。
　ハブ３１０、ブレード本体３３０は、第３実施形態と同様であるので同じ符号を付して説明を省略する。

　ここで、ハブ３１０は、第３実施形態と同様に、ブレード取付面３１１Ａが表面粗さＲｍａｘ５～５０μｍに形成されていることが好適である。

　ハブ３１０は、例えば、アルミニウム又はアルミニウム合金により形成されている。アルミニウム合金の材質については、使用条件に基づいて任意に設定することが可能であるが、例えば、Ａ２０１７、Ａ５０８３、Ａ７０７５（ＪＩＳ規格）等が好適である。
　アルミニウム又はアルミニウム合金以外の材質として、ハブ３１０は、例えばマグネシウム若しくはマグネシウム合金、チタン若しくはチタン合金又はプラスチックにより形成されていてもよい。プラスチックはポリカーボネートであってもよい。
　また、ブレード本体３３０は、第３実施形態と同様に、接続面３３０Ｔは金属母材３１の表面からダイヤモンド超砥粒３２が露出されて、接続部（接着剤）７２０が接続面３３０Ｔに安定して定着するように構成されていることが好適である。

　接続部７２０は、図２８に示すように、例えば、基材７２１と、ハブ３１０のブレード取付面３１１Ａと基材７２１の間に配置され接着剤が硬化して形成された接着樹脂部７２２と、ブレード本体３３０の接続面３３０Ｔと基材７２１の間に配置され接着剤が硬化して形成された接着樹脂部７２３とを備えている。

　基材７２１としては、例えば、第１実施形態に示す基材１２１と同様の構成を適用してもよい。
　また、接着樹脂部７２２、接着樹脂部７２３としては、例えば、第３実施形態に示す接着樹脂部（接着剤、接続部）３２０と同様の接着剤（粘着性接着剤を含む）を適用してもよい。

　また、接続部７２０は、例えば、厚さが１００μｍ以下であることが好適であり、厚さ３０μｍ以上５０μｍ以下であることがより好適である。
　また、接続部７２０は、導電性を有していることが好適である。

　なお、ハブ型ブレード７００を製造する際には、例えば、基材７２１の両面に接着樹脂部７２２、接着樹脂部７２３をなす接着剤が塗布された両面接着テープを用いて、第１実施形態と同様の製造方法を適用してもよい。
　また、ハブ３１０のブレード取付面３１１Ａと、ブレード本体３３０の接続面３１１Ａの双方に接着剤を塗布したうえで、基材７２１を挟んで押圧してハブ型ブレード７００を製造してもよい。
　また、ハブ３１０のブレード取付面３１１Ａとブレード本体３３０の接続面３１１Ａのいずれか一方に接着剤を塗布し、その上に基材７２１の片面に接着樹脂部７２３、７２２をなす接着剤が塗布された接着テープを接着したうえで、相手側と押圧、接着してハブ型ブレード７００を製造してもよい。

　第７実施形態に係るハブ型ブレード７００によれば、接続部７２０が基材７２１を備えているので、接続部７２０の厚さを効率的に調整することができる。
　また、基材７２１の厚さ、材質を適宜設定することで、接続部７２０の弾性係数等を調整して、ブレード本体３３０がハブ３１０の外縁で急に屈曲されるのを緩和してブレード本体３３０が割れるのを抑制することができる。
　また、例えば、接着樹脂部７２２、７２３の双方又はいずれか一方を粘着性接着剤により形成した場合には、接続部７２０を短時間で接続することができる点で好適である。

　また、第７実施形態に係るハブ型ブレード７００によれば、ハブがアルミニウム又はアルミニウム合金により形成されているので軽量で高速回転（例えば、３００００ｒｐｍ以上）に容易に対応することができる。

　また、第７実施形態の変形例の一つとして、ハブがマグネシウム又はマグネシウム合金により形成された場合、ハブの比強度が大きくなる。
　また、マグネシウム又はマグネシウム合金により形成されたハブは、減衰能が優れているので振動の発生を抑制して安定的に切断することができる。

　また、第７実施形態の変形例の一つとして、ハブがチタン又はチタン合金により形成された場合、ハブがアルミ合金に比較して比強度が大きいチタン又はチタン合金（比強度　約２８８ｋＮ・ｍ／ｋｇ、アルミ合金　比強度約２２２ｋＮ・ｍ／ｋｇ）により形成されているので、より高速回転させることが可能となり、さらに効率的に切断することができる。また、切断時の外力でハブが変形するのを抑制することができる。
　また、ブレード本体を常温でハブに装着することにより、ブレード本体に温度履歴に基づく歪やそりがなくなり、ハブ型ブレードの品質を向上することができる。

　また、第７実施形態の変形例の一つとして、ハブがプラスチックにより形成された場合、ハブがプラスチックにより形成されているので軽量かつ高速回転させることができる。また、切断対象物に応じて種々の材質を効率的に設定することができ、その結果、効率的に切断することができる。

＜第８実施形態＞
　以下、図２９を参照し、本発明の第８実施形態に係るハブ型ブレード８００について説明する。
　図２９は、第８実施形態に係るハブ型ブレード８００の概略構成の一例を説明する図１にＸＸＩＸ－ＸＸＩＸで示す断面図であり、符号８００はハブ型ブレードを、符号８１０はハブを、符号８２０は接続部を、符号８３０はブレード本体を、符号８５０は導電部材を示している。

　ハブ型ブレード８００は、図３０に示すように、例えば、ハブ８１０と、接続部８２０と、ブレード本体８３０と、導電部材８５０とを備え、ハブ８１０とブレード本体８３０の間が導電可能に構成されている。

　ここで、ハブ型ブレード８００の製造方法及び接続部ハブ８２０は、第１～７実施形態に係る製造方法及び接続部１２０～７２０を適宜適用することが可能である。
　また、ハブ８１０、ブレード本体８３０は、第１～７実施形態に係るハブ１１０、３１０、ブレード本体１３０、３３０を適宜適用することができる。

　ハブ８１０は、例えば、アルミニウム又はアルミニウム合金により形成されている。アルミニウム合金の材質については、使用条件に基づいて任意に設定することが可能であるが、例えば、Ａ２０１７、Ａ５０８３、Ａ７０７５（ＪＩＳ規格）等が好適である。
　アルミニウム又はアルミニウム合金以外の材質として、ハブ８１０は、例えばマグネシウム若しくはマグネシウム合金、チタン若しくはチタン合金又はプラスチックにより形成されていてもよい。プラスチックはポリカーボネートであってもよい。

　導電部材８５０は、例えば、銅（Ｃｕ）をはじめとする金属や種々の導電性材料により形成され、接続部８２０の内周側に配置されるとともにハブ８１０とブレード本体８３０とを電気的に接続している。
　また、導電部材８５０は、ろう付けやプリントにより形成することが可能であり、ハブ型ブレード８００が安定して回転されるように、軸線Ｏ１に対称に形成されていることが好適である。なお、接続部８２０の面内に貫通孔（不図示）を形成して、貫通孔を介して導電部材を形成してもよい。その他は、第１実施形態～第７実施形態と同様であるので説明を省略する。

　第８実施形態に係るハブ型ブレード８００によれば、導電部材８５０を備えているので、接続部８２０が導電性を有していない場合であっても、ブレード本体８３０が基板（不図示）と接触した場合に、ブレード本体８３０からハブ８１０に通電されて、ハブ型ブレード８００が基板に接触したことを確実に検出することができる。

　また、第８実施形態に係るハブ型ブレード８００によれば、ハブがアルミニウム又はアルミニウム合金により形成されているので軽量で高速回転（例えば、３００００ｒｐｍ以上）に容易に対応することができる。

　また、第８実施形態の変形例の一つとして、ハブがマグネシウム又はマグネシウム合金により形成された場合、ハブの比強度が大きくなる。
　また、マグネシウム又はマグネシウム合金により形成されたハブは、減衰能が優れているので振動の発生を抑制して安定的に切断することができる。

　また、第８実施形態の変形例の一つとして、ハブがチタン又はチタン合金により形成された場合、ハブがアルミ合金に比較して比強度が大きいチタン又はチタン合金（比強度　約２８８ｋＮ・ｍ／ｋｇ、アルミ合金　比強度約２２２ｋＮ・ｍ／ｋｇ）により形成されているので、より高速回転させることが可能となり、さらに効率的に切断することができる。また、切断時の外力でハブが変形するのを抑制することができる。
　また、ブレード本体を常温でハブに装着することにより、ブレード本体に温度履歴に基づく歪やそりがなくなり、ハブ型ブレードの品質を向上することができる。

　また、第８実施形態の変形例の一つとして、ハブがプラスチックにより形成された場合、ハブがプラスチックにより形成されているので軽量かつ高速回転させることができる。また、切断対象物に応じて種々の材質を効率的に設定することができ、その結果、効率的に切断することができる。

　なお、上記実施形態において記載した技術的事項については、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更を加えることが可能である。

　例えば、上記実施形態においては、ハブ型ブレードを構成するハブ１１０、３１０、８１０が、アルミニウム又はアルミニウム合金、マグネシウム又はマグネシウム合金、ポリカーボネード等のプラスチックにより形成されている場合について説明したが、セラミックス等をはじめとする他の材料によって形成してもよい。

　また、アルミニウム又はアルミニウム合金に代えて、ハブ１０を、純チタン（Ｔｉ）（ＪＩＳ１種等）やチタン合金、マグネシウム合金をはじめとする種々の金属材料により形成してもよく、チタン合金としては、例えば、αβ合金（Ｔｉ－６Ａｌ－６Ｖ－２Ｓｎ、Ｔｉ－６Ａｌ－４Ｖ等）、β合金（Ｔｉ‐３Ａｌ‐８Ｖ‐６Ｃｒ‐４Ｚｒ‐４Ｍｏ、Ｔｉ‐１０Ｖ‐２Ｆｅ‐３Ａｌ、Ｔｉ－１５Ｖ－３Ｃｒ－３Ｓｎ－３Ａｌ等）が好適である。

　また、マグネシウム合金としては、例えば、ＭＢ３（Ｍｇ－８．４％Ａｌ－０．６％Ｚｎ－０．２５％Ｍｎ）、ＭＢ５（Ｍｇ－３．３％Ｚｎ－０．６％Ｚｒ）、ＭＢ６（Ｍｇ－５．５％Ｚｎ－０．６％Ｚｒ）等が好適であり、ハブ１０をマグネシウム又はマグネシウム合金により形成することで、ハブ１０の減衰能が向上して、切断時に発生する振動を抑制して対象物を安定的に切断する効果が期待できる。

　また、その他の金属材料としては、比強度が純アルミニウム（（ＪＩＳ規格　Ａ１０６０－Ｏ）比強度２５．９）以上であることが好適である。
　また、ポリカーボネードをはじめとするエンジニアリングプラスチック、繊維強化プラスチック、アクリル樹脂等の汎用プラスチックをはじめとする実用可能な種々の樹脂材料によって形成してもよく、適用可能な範囲で任意に設定することが可能である。また、その他のめっきを施すことが困難な材料によりハブを形成してもよい。

　テープ基材の材質、粘着剤（粘着性接着樹脂）の材質粘着テープ本体２４の材質等両面粘着テープの構成については任意に設定することができる。
　また、テープ基材１２１の材質、粘着剤（粘着性接着樹脂）１２２、１２３の材質粘着テープ本体１２４が導電性物質等、種々の物質を含む構成とされてもよい。

　また、上記実施形態においては、接着樹脂部がエポキシ樹脂やシアノアクリレート樹脂を主成分とする接着剤が硬化して形成される場合について説明したが、接着剤の種類については任意に設定することができる。

　また、上記実施形態においては、シート状接着樹脂がエポキシ樹脂を主成分とするシート状接着樹脂からなる場合について説明したが、シート状接着樹脂の構成については任意に設定することができる。
　また、第１実施形態では、両面接着テープとして両面粘着テープを用いる場合について説明したが、両面粘着テープに代えて、基材の両側の面に接着剤（粘着性接着剤を含む）が配置された両面接着テープ、基材の両側の面に接着剤（粘着性接着剤を含む）が配置され他方の面に粘着剤が配置された両面接着テープ等、種々の両面接着テープを適用することができる。
　また、このような場合に、ハブのブレード取付面、ブレード本体の接続面の表面状態をどのように形成するかは任意に設定することができる。

　また、例えば、ハブと、ブレード本体のいずれか又は双方に塗布した粘着剤により接続部（粘着性接続部）を形成してもよい。
　かかる場合、第３実施形態に記載の製造工程（例えば、Ｓ３０４～Ｓ３０９）を適用することが可能であり、ハブ、ブレード本体を形成する工程については、第１実施形態、第３実施形態等を適宜適用することが可能である。
　また、上記実施形態においては、ブレード本体３０がニッケルめっきからなる金属母材３１にダイヤモンド超砥粒３２が分散されている場合について説明したが、例えば、Ｎｉ－Ｐめっき、Ｎｉ－ＣｏめっきやＮｉ－Ｂめっき、銅（Ｃｕ）や銅合金（例えば、Ｃｕ－Ｓｎ）をはじめとする適用可能な種々の金属母材に砥粒が分散されたメタルブレード、フェノール樹脂等からなるレジンブレード、砥粒を混合したセラミックス粉末を含むガラス粉末（無機材料）を焼成して形成したビトブレード、超硬合金により形成されたブレード等、種々のブレード本体を用いてもよい。

　また、上記実施形態においては、ＳＵＳ台金に電解めっき法によって分散めっき層を形成することによりブレード素材の原板Ｗ３０１を形成する場合について説明したが、分散めっき層をＳＵＳ（ステンレス鋼）以外からなる台金（例えば、表面に酸化皮膜を形成し易いアルミニウムやチタン）に成長させてブレード素材の原板を形成してもよい。
　また、電解めっきに代えて、無電解めっき法を適用して分散めっき層を形成してもよい。

　また、上記実施形態においては、ハブ１１０のブレード取付面１１１Ａが、例えば、表面粗さＲｍａｘ０～２０μｍのスムースな仕上面に研磨加工されている場合について説明したが、ブレード取付面１１１Ａを表面粗さＲｍａｘ０～２０μｍの範囲外に形成してもよい。
　また、ブレード取付面１１１Ａを前処理する場合に、研磨加工以外の方法によって前処理してもよい。

　また、上記実施形態においては、ハブ３１０のブレード取付面３１１Ａが、例えば、表面粗さＲｍａｘ５～５０μｍに前処理されている場合について説明したが、ブレード取付面３１１Ａを前処理するかどうか、表面粗さＲｍａｘ５～５０μｍの範囲とするかどうかについては任意に設定することができる。
　また、サンドブラストやショットブラストに代えて、ローレット加工等の機械加工や化学的処理によって前処理してもよい。

　また、上記実施形態においては、ブレード本体１３０の接続面１３０Ｔが、例えば、金属母材（ニッケルめっき）３１の表面からダイヤモンド超砥粒（砥粒）３２が突出することなく平坦面に形成されている場合について説明したが、ブレード本体１３０の接続面１３０Ｔについては、接続部（例えば両面粘着テープ）が装着可能な範囲で任意に表面形態に設定することができる。

　また、上記実施形態においては、ブレード本体３３０の接続面３３０Ｔが、例えば、金属母材（ニッケルめっき）３１の表面からダイヤモンド超砥粒（砥粒）３２が突出して形成されている場合について説明したが、ブレード本体３３０の接続面３３０Ｔについては、接続部が装着可能な範囲で任意に表面形態に設定することができる。

　また、第３実施形態においては、ハブ３１０とブレード本体３３０が接着樹脂部３２０を介して接続される場合について説明したが、第３実施形態において、塗布した粘着性樹脂（粘着剤）の粘着力によって接続する構成としてもよい。

　また、図４、図５、図１４、図１５、図２０、図２３及び図２６に示したフローチャートは一例を示すものであり、適宜変更（省略、追加）してもよい。

　１００　　ハブ型ブレード（第１実施形態）
　２００　　ハブ型ブレード（第２実施形態）
　３００　　ハブ型ブレード（第３実施形態）
　４００　　ハブ型ブレード（第４実施形態）
　５００　　ハブ型ブレード（第５実施形態）
　６００　　ハブ型ブレード（第６実施形態）
　７００　　ハブ型ブレード（第７実施形態）
　８００　　ハブ型ブレード（第８実施形態）
　１１０、３１０　　ハブ
　１１１Ａ、３１１Ａ　　ブレード取付面
　１３０、３３０　　ブレード本体
　１３０Ｔ、３３０Ｔ　　接続面
　３１　　金属母材（ニッケルめっき）
　３２　　ダイヤモンド超砥粒（砥粒）
　１２０　　接続部（両面粘着テープ）（第１実施形態）
　２２０　　接続部（両面粘着テープ）（第２実施形態）
　３２０　　接続部（接着剤が硬化した接着樹脂部）（第３実施形態）
　４２０　　接続部（シート状接着剤が硬化した接着樹脂部）（第４実施形態）
　５２０　　接続部（片面粘着テープ及び接着樹脂部）（第５実施形態）
　６２０　　接続部（片面粘着テープ及び接着樹脂部）（第６実施形態）
　７２０　　接続部（第７実施形態）
　８２０　　接続部（第８実施形態）
　９１１Ａ　　ブレード取付面（従来）
　ＳＵＳ　　ＳＵＳ台金（ステンレス鋼台金）

Claims

　軸線回りに回転可能に形成され前記軸線方向の一方側にブレード取付面が形成されたハブと、
　前記ブレード取付面に配置されたブレード本体と、
　前記ハブと前記ブレード本体の間に配置され前記ハブに前記ブレード本体を装着して接続する接続部と、
を備え、
　前記接続部は、前記ハブ側と前記ブレード本体側に位置される両面に粘着性を有する両面粘着テープにより構成されていることを特徴とするハブ型ブレード。
　軸線回りに回転可能に形成され前記軸線方向の一方側にブレード取付面が形成されたハブと、
　前記ブレード取付面に配置されたブレード本体と、
　前記ハブと前記ブレード本体の間に配置され前記ハブと前記ブレード本体とを接続する接着樹脂部と、
を備えていることを特徴とするハブ型ブレード。
　請求項１又は２に記載のハブ型ブレードであって、
　前記ハブは、アルミニウム又はアルミニウム合金により形成されていることを特徴とするハブ型ブレード。
　請求項１又は２に記載のハブ型ブレードであって、
　前記ハブは、マグネシウム又はマグネシウム合金により形成されていることを特徴とするハブ型ブレード。
　請求項１又は２に記載のハブ型ブレードであって、
　前記ハブは、チタン又はチタン合金により形成されていることを特徴とするハブ型ブレード。
　請求項１又は２に記載のハブ型ブレードであって、
　前記ハブは、プラスチックにより形成されていることを特徴とするハブ型ブレード。
　請求項６に記載のハブ型ブレードであって、
　前記ハブは、ポリカーボネードにより形成されていることを特徴とするハブ型ブレード。
　請求項１～６のいずれか一項に記載のハブ型ブレードであって、
　前記ブレード本体は、
　金属母材と、前記金属母材に分散された砥粒とを備えていることを特徴とするハブ型ブレード。
　請求項８に記載のハブ型ブレードであって、
　前記金属母材は、ニッケル又はニッケル合金からなり、
　前記砥粒は、ダイヤモンド超砥粒とされていることを特徴とするハブ型ブレード。
　請求項１に記載のハブ型ブレードであって、
　前記ブレード取付面は、表面粗さＲｍａｘ０～２０μｍに形成され、かつ前記ブレード本体において両面粘着テープと接続される接続面は、砥粒が接続面より内方に配置された平坦面に形成されていることを特徴とするハブ型ブレード。
　請求項２～６のいずれか１項に記載のハブ型ブレードであって、
　前記ブレード取付面は、
　表面粗さＲｍａｘ０～２０μｍに形成されていることを特徴とするハブ型ブレード。
　ハブと前記ハブに接続されたブレード本体とを備え軸線回りに回転可能とされたハブ型ブレードを製造するハブ型ブレード製造方法であって、
　ブレード素材を準備するブレード素材準備工程と、
　ハブを準備するハブ準備工程と、
　前記ハブのブレード取付面に両面粘着テープによって前記ブレード素材を装着するブレード装着工程と、
　前記ブレード取付面に装着されたブレード素材を前記ハブと同軸の円形に形成する外径加工工程と、
を備え、
　前記外径加工工程において、
　前記ブレード取付面に装着されたブレード素材とレーザビームが照射された加工部位とを、前記ハブの軸線を中心とする円軌道で相対移動させながらレーザビームを照射して前記ブレード素材の外径を円形に加工することを特徴とするハブ型ブレード製造方法。
　ハブと前記ハブに接続されたブレード本体とを備え軸線回りに回転可能とされたハブ型ブレードを製造するハブ型ブレード製造方法であって、
　ブレード素材を準備するブレード素材準備工程と、
　ハブを準備するハブ準備工程と、
　前記ハブのブレード取付面に接着剤によって前記ブレード素材を装着するブレード装着工程と、
　前記ブレード取付面に装着されたブレード素材を前記ハブと同軸の円形に形成する外径加工工程と、
を備え、
　前記外径加工工程において、
　前記ブレード取付面に装着されたブレード素材とレーザビームが照射された加工部位とを、前記ハブの軸線を中心とする円軌道で相対移動させながらレーザビームを照射して前記ブレード素材の外径を円形に加工することを特徴とするハブ型ブレード製造方法。
　請求項１２又は１３に記載のハブ型ブレード製造方法であって、
　前記外径加工工程において、
　前記加工部位に冷却液を供給するとともにレーザビームを照射して前記ブレード素材の外径を円形に加工することを特徴とするハブ型ブレード製造方法。
　請求項１４に記載のハブ型ブレード製造方法であって、
　前記外径加工工程において、
　外径加工する加工部位に噴流液柱を形成し、レーザビームを前記噴流液柱により誘導して前記加工部位に照射することを特徴とするハブ型ブレード製造方法。