JPH01159176A - ハブ付き極薄刃砥石の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は、半導体素子の切断分割や磁気ヘッド等の超精
密溝入れ加工などに用いられるハブ付き極薄刃砥石の製
造方法に関する。

「従来の技術」 この種のハブ付き極薄刃砥石は、従来、次のような方法
により製造されている。

まず、第８図に示すように一面側に７ラング部ＩＡを有
する円環状アルミハブ１を、７ラング部ＩＡ側の端面の
外周部のみが露出するようにマスキング治＾で固定し、
超砥粒を混入しためつき液に全体を浸漬して、めっき液
を撹拌しつつ陽極とハブ１との間に通電する。

次に、第９図のように砥粒層２が電着されたハブ１を取
り出し、砥粒層２と７ラング部ＩＡとを同時に外周研削
して所定寸法に仕上げる。

さらに、ハブ１の外周面のみ露出するように別のマスキ
ング治具で挾持し、全体をアルカリエツチング液に浸漬
して、フランジ部ＩＡを含むハブ１の外周を第１０図ウ
ニ点鎖線のように電解エツチングし、一定幅に互って砥
粒層２の刃先を露出させる。

その後、ハブｌに陽極酸化処理を施し、表面に耐食性の
アルミナ膜を形成して、ハブ付き極薄刃砥石を得る。

「発明が解決しようとする問題点」 しかし上記の製造方法では、ハブ１をひとつづつマスキ
ング治具内にセットして砥粒層２を電着するため、たと
え同一めっき槽内で同時に電着処理を行なっても、砥粒
層２の肉厚や超砥粒の含有量にバラツキか生じやすく、
品質の均一性が不十分だっＩ；。また、この種の砥石は
外周部ＩＢを砥石マウントで挾持して使用に供されるが
、前記製造方法ではハブｌにエツチング処理を行なうた
め高い寸法精度を得ることが難しく、装着精度の点で不
満があった。さらに、以上の各問題を軽減するため、電
着条件やエツチング条件を厳密に管理しなければならず
、各工程に手間と時間がかかり、生産性が低く、製造コ
ストが高くつくという欠点があった。

「問題点を解決する手段」 本発明は上記問題を解決するためになされたもので、金
属めっき相中に超砥粒を分散してなる砥粒層シートから
円環状砥粒層を成形し、この円環状砥粒層をそれよりも
小径の円環状ハブの一面側に接着固定し、さらに前記砥
粒層の外周部を前記円環状ハブの中心孔を基準として所
定寸法に打抜成形することを特徴とする。

「実施例」 以下、第１図ないし第７図を参照して、本発明に係わる
ハブ付き極薄刃砥石の製造方法の一実施例を説明する。

末法ではまず、第１図に示すようなアルミニウムまたは
アルミ合金製の円環状ハブ１０を用意する。このハブ１
０は、一端側にフランジ部１０Ａ１他端側に研削盤のマ
ウントに外周を挾持される被固定部１０Ｂを有し、研削
加工により既に最終寸法に成形され、さらに陽極酸化処
理が施されて表面に所定厚のアルミナ膜が形成されたも
のである。

一方、このハブ１０に接着固定すべき砥粒層１１は、第
５図および第６図に示す電着装置を用いて作成する。こ
の装置の構成を説明すると、図中符号２０はＮｉめっき
液Ｍを満たしためっき槽で、このめっき槽２０内には、
少なくともその表面がステンレス等の金属からなる円柱
型ドラム２１が、表面が絶縁された金属製回転軸２２に
よって支持されている。この回転軸２２は外部に配置さ
れたモータ２３に連結され、同時にスイッチ（図示Ｉり
を介して電源の陰極に接続されている。

前記ドラム２１の両端には、ドラム２１よりも大径で絶
縁材製の一対の円板２４が同軸に取り付けられ、これら
円板２４間にはドラム２１を円筒状に包み込む隔膜２５
が張られている。この隔膜２５はカチオン膜または濾布
等で、超砥粒は通さない。まためっき槽２０内には、ド
ラム２１の両側に陽極板２６が配置され、電源の陽極に
接続されている。

この装置で砥粒層を製造するには、まず、隔膜２５とド
ラム２１との間隙Ｃにダイヤ砥粒等の超砥粒を所定量入
れ、ドラム２１をめっき液Ｍ中にセットして、ドラム２
１と各陽極２６に通電しながらモータ２３でドラム２１
を回転させる。すると、ドラム２１表面に超砥粒を取り
込みつつ金属めっき相が析出し、砥粒層Ｓが形成される
。やがてその厚さが所望値に達したら、ドラム２１を取
り出して砥粒層Ｓに切り込みを入れ、ドラム２１から大
きな長方形の砥粒層シートＳを剥がす。そしてこれを水
洗の後、第８図に示すようにダイス（図示時）で打ち抜
き加工して多数の円環状砥粒層１１を得る。なお、この
際の歩留まりは、例えば砥粒層１１・・・が３５％、円
形部分が４０％、残部２５％程度であって、円形部分は
他の用途に使用でき、残部は酸で溶解後、超砥粒のみ容
易に回収できるため、歩留まり上の問題はない。

次に、得られｔ；円環状砥粒層１１′を、第２図のよう
に前記アルミハブ１０に接着固定する。まず、ハブ１０
の７ラング部１０Ａ側の端面に接着剤を薄く塗布し、こ
こに取付治具で保持した円環状砥粒層１１を同心に位置
決めしてプレスし、固化するのを待つ。前記接着剤とし
ては、粘性が小さく接着力の強いものが望ましく、例え
ばエポキシ系接着剤や瞬間接着剤等が好適である。

次に、この砥石原型を第３図に示す精密打抜型内にセッ
トする。図中符号３０はダイス、３１は逆押さえ、３２
はポンチ、３３は板押さえ、３４は中心合わせ用ガイド
ポストであり、このガイドボスト３４にハブをはめ込み
、砥粒層１１の外周部をダイス３０と板押さえ３３で、
また砥粒層の内周部を逆押さえ３１とポンチ３２ではさ
み込む。

そしてポンチ３２を降ろし、ハブ１０の中心孔を基準と
して砥粒層１１の外肩部を正確に剪断する。

その後さらに前記砥粒層１１の外周部に電解エツチング
を施すことにより、砥粒層表面の超砥粒を露出させ、第
４図に示す極薄刃砥石を得る。

以上の工程からなる極薄刃砥石の製造方法においては、
大面積の砥粒層シートＳを打ち抜いて多数の円環状砥粒
層１１を一度に作成するため、個々の砥粒層１１の肉厚
、超砥粒の含有量を揃えることが容易で特性が均一な極
薄刃砥石を多数生産できるうえ、従来法に比べて手間と
時間を省いて生産性を向上でき、製造コスト削減が図れ
る。

また、本性ではハブ１０をエツチング処理せず、ハブ１
０の形状精度を研削加工によって出すので、このハブ１
０の外周を挾持する研削盤への装着精度を高めて研削精
度を向上することが可能である。

さらに、この例ではハブ１０に陽極酸化処理を予め施し
たうえで砥粒層１１を接着するので、ハブｉｏの材質自
体に直接接着するより高い接着強度を得ることができる
。これは、陽極酸化皮膜に存在する微細な気孔が接着剤
の接着力を高めるためである。

なお、第５図の装置により長方形の砥粒層シートＳを形
成する代わりに、ドラム２１上に予め円環形の開口部を
有するマスキングを施しておき、電着後、ドラム２１か
ら円環状の砥粒層シートを剥離して、それをそのまま円
環状砥粒層１１としてハブに接着固定する方法も可能で
、その場合には最初の打ち抜き加工を省ける利点がある
。

また、上記の例ではアルミハブ１０を用いたが、本性で
はエツチングが不要のためアルミ以外の金属も使用可能
であり、例えば鉄製ハブなどを用いればさらに製造コス
トが削減できる。また、本性ではハブが金属製でなくて
もよく、例えば各種プラスチック、セラミックス、焼結
金属等で成形したハブも使用可能であり、その場合には
量産によってさらにコスト削減が図れる。

「発明の効果」 以上説明したように、本発明に係わるハブ付き極薄刃砥
石の製造方法によれば、砥粒層シートから円環状砥粒層
を成形するため、個々の円環状砥粒層の肉厚、超砥粒の
含有量を揃えることが容易で、研削特性が均一な極薄刃
砥石を一度に多数生産できるうえ、個々のハブに砥粒層
を電着するのに比べて手間と時間を省いて生産性を向上
でき、製造コスト低減が図れる。

また、ハブをエツチングする工程がないため、ハブの形
状精度を高めることが容易で、研削盤への装着精度、ひ
いては研削精度を向上することが可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第４図は本発明に係わるハブ付き極薄刃砥
石の製造方法の一実施例を示す断面図、第５図および第
６図は砥粒層シートの製造装置を示す縦断面図および横
断面図、第７図は砥粒層シートから円環状砥粒層を成形
する方法を示す平面図である。 一方、第８図ないし第１０図は、従来のハブ付き極薄刃
砥石の製造方法を示す断面図である。 １０・・・ハブ、　　　　１１・・・円環状砥粒層、１
２・・・アルミ板、　　　２０・・・めっき槽、２１・
・・ドラム、　　　２５・・・隔膜、２６・・・陽極、
　　　Ｓ・・・砥粒層シート、３０・・・ダイス、　　
　３２・・・ポンチ、３４・・・ガイドポスト。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 金属めっき相中に超砥粒を分散してなる砥粒層シートか
   ら円環状砥粒層を成形し、この円環状砥粒層をそれより
   も小径の円環状ハブの一面側に接着固定し、さらに前記
   砥粒層の外周部を前記円環状ハブの中心孔を基準として
   所定寸法に打抜成形することを特徴とするハブ付き極薄
   刃砥石の製造方法。