WO2018116951A1 - 放熱モジュール - Google Patents

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WO2018116951A1
WO2018116951A1 PCT/JP2017/044904 JP2017044904W WO2018116951A1 WO 2018116951 A1 WO2018116951 A1 WO 2018116951A1 JP 2017044904 W JP2017044904 W JP 2017044904W WO 2018116951 A1 WO2018116951 A1 WO 2018116951A1
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WO
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wick
working fluid
portions
facing
container
Prior art date
Application number
PCT/JP2017/044904
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English (en)
French (fr)
Inventor
横山　雄一
川原　洋司
祐士 齋藤
Original Assignee
株式会社フジクラ
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Publication date
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Priority to KR1020197014727A priority patent/KR20190071783A/ko
Priority to JP2018557721A priority patent/JPWO2018116951A1/ja
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    • F28D—HEAT-EXCHANGE APPARATUS, NOT PROVIDED FOR IN ANOTHER SUBCLASS, IN WHICH THE HEAT-EXCHANGE MEDIA DO NOT COME INTO DIRECT CONTACT
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    • F28D2021/0019—Other heat exchangers for particular applications; Heat exchange systems not otherwise provided for
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Definitions

  • the present invention relates to a heat dissipation module.
  • This application claims priority on December 20, 2016 based on Japanese Patent Application No. 2016-247075 for which it applied to Japan, and uses the content here.
  • Patent Document 1 discloses a heat pipe as one form of a heat dissipation module.
  • a heat pipe basically encloses a fluid such as water or alcohol that evaporates and condenses in a target temperature range as a working fluid in a container (container) from which non-condensable gas such as air has been degassed.
  • the container further includes a wick for generating a capillary force for refluxing the liquid-phase working fluid.
  • the working fluid When the temperature difference occurs in the container, the working fluid is heated and evaporated in the high temperature evaporation section, and the internal pressure of the container also rises.
  • the working fluid vapor generated in the evaporating part moves toward the condensing part having a low temperature and pressure, and the heat received by the evaporating part is transported to the condensing part as latent heat of the vapor.
  • the working fluid vapor In the condensing section, the working fluid vapor is condensed by heat radiation. Then, the condensed working fluid permeates the wick and returns to the evaporation portion by the capillary force of the wick.
  • the operating condition of such a heat dissipation module is expressed by the following calculation formula (a), where the capillary pressure ⁇ PC is the vapor pressure loss ⁇ PV and the liquid pressure loss is ⁇ PL. ⁇ PC ⁇ ⁇ PV + ⁇ PL (a) As can be seen from the calculation formula (a), in order to increase the maximum heat transport amount of the heat dissipation module, it is necessary to increase the capillary force and reduce the pressure loss of the vapor and the liquid.
  • a thin heat dissipation module is required to dissipate heat from a CPU or the like mounted on the mobile device.
  • a thin heat dissipation module it is necessary to devise the suppression of the decrease in the maximum heat transport amount and the maintenance of the mechanical strength. That is, for a relatively large heat dissipation module, a wide vapor flow path and liquid flow path can be secured, so that the pressure loss of vapor and liquid can be reduced.
  • a thin heat dissipation module it is difficult to ensure these widely.
  • the thickness of the container is also thin, and it is difficult to ensure its mechanical strength.
  • a plurality of wicks may be provided or a plurality of wicks may be branched to form a plurality of liquid flow paths. .
  • the steam flow path formed between the wicks in this part becomes narrow, and the pressure loss of the steam may increase locally. There is sex. Further, if the width of the steam flow path is simply increased, a cavity inside the container is expanded, so that the mechanical strength is weakened, which may cause deformation of the container.
  • the present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a heat dissipation module capable of reducing the pressure loss of the working fluid vapor and ensuring the mechanical strength of the container.
  • a heat dissipation module includes a container having an evaporation portion that encloses a working fluid and evaporates the enclosed working fluid, and a condensation portion that condenses the evaporated working fluid, and the container And a wick that moves the condensed working fluid by capillary force from the condensation section to the evaporation section, and the wick has a plurality of liquid flow paths from the condensation section to the evaporation section.
  • the facing portion may be provided only in the evaporation portion.
  • the uneven portion is formed on both of the facing portions, and in the uneven portion formed on both of the facing portions, the convex portion formed on one of the facing portions is You may provide so that the recessed part formed in the other may be opposed.
  • all the vapor flow paths may be connected in the evaporation section.
  • a second uneven portion may be formed at a tip of the protruded portion of the uneven portion.
  • mode WHEREIN You may have a pillar part between these wick parts.
  • mode WHEREIN The side surface of the said pillar part is flat, and the said uneven
  • the uneven portion may be formed on the entire side surface of the wick facing the steam flow path except for the facing portion and the facing portion.
  • the facing portion may not be provided in the condensing portion.
  • mode WHEREIN The convex part and recessed part of the said uneven
  • FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line AA of the vapor chamber shown in FIG. It is an enlarged view of the opposing part which concerns on one Embodiment of this invention. It is an enlarged view of the modification of the opposing part which concerns on one Embodiment of this invention. It is a plane sectional view of the test device which evaluates the performance of the vapor chamber concerning one embodiment of the present invention. It is a table
  • FIG. 1 is a plan sectional view of a vapor chamber 1 according to this embodiment.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line AA of the vapor chamber 1 shown in FIG.
  • the vapor chamber 1 is a heat transport element that uses the latent heat of the working fluid.
  • the vapor chamber 1 includes a container 2 that encloses a working fluid therein, and a wick 3 that is disposed inside the container 2.
  • the working fluid is a heat transport medium composed of a well-known phase change material, and changes phase between the liquid phase and the gas phase in the container 2.
  • a phase change material for example, water (pure water), alcohol, ammonia or the like can be employed as the working fluid.
  • the working fluid may be described by describing the case of liquid phase as “working fluid” and the case of gas phase as “vapor”. Further, when the liquid phase and the gas phase are not particularly distinguished, they may be described as working fluid. The working fluid is not shown.
  • the container 2 is a hermetically sealed hollow container, and is formed in a flat shape in which the dimension in the plane direction (up and down, left and right direction in FIG. 1) is larger than the thickness direction (vertical direction in FIG. 1 and up and down direction in FIG. 2). Has been.
  • the thickness of the container 2 is, for example, a comma number of mm to about 3 mm.
  • the container 2 has a substantially rectangular shape in plan view as viewed from the thickness direction.
  • the container 2 is formed with an evaporation unit 4 for evaporating the enclosed working fluid and a condensing unit 5 for condensing the evaporated working fluid.
  • the evaporation part 4 is formed in the center above the paper surface in FIG.
  • the evaporation unit 4 is a region that receives heat from the heat source 100.
  • the evaporation unit 4 may receive heat not only from the same region as the outer shape (mounting area) of the heat source 100 but also from a region that is slightly larger than the outer shape.
  • the condensation unit 5 is a region formed around the evaporation unit 4 and is a region other than the evaporation unit 4.
  • the heat source 100 an electronic component of an electronic device, for example, a CPU or the like can be given.
  • the container 2 has a container body 10, a top plate 11, and a bottom plate 12, as shown in FIG.
  • the container body 10 can be formed from, for example, copper, copper alloy, aluminum, aluminum alloy, or the like.
  • the top plate 11 and the bottom plate 12 are made of, for example, copper, copper alloy, aluminum, aluminum alloy, iron, stainless steel, a composite material of copper and stainless steel (Cu-SUS), or a composite material in which stainless steel is sandwiched between copper (Cu -SUS-Cu), a composite material of nickel and stainless steel (Ni-SUS), a composite material in which stainless steel is sandwiched between nickel (Ni-SUS-Ni), and the like.
  • the top plate 11 and the bottom plate 12 are formed from a material having high hardness to prevent deformation of the container 2.
  • the top plate 11 and the bottom plate 12 are a composite material of copper and stainless steel (Cu-SUS), a composite material in which stainless steel is sandwiched between copper (Cu-SUS).
  • -SUS-Cu a composite material of nickel and stainless steel
  • Ni-SUS nickel and stainless steel
  • Ni-SUS-Ni a composite material in which stainless steel is sandwiched between nickel
  • top plate 11 and the bottom plate 12 may be formed of the same material or different materials. Moreover, the top plate 11 and the bottom plate 12 may have the same thickness or different thicknesses. Further, either the top plate 11 or the bottom plate 12 may be formed integrally with the container body 10. For example, by forming a groove with one of the top plate 11 and the bottom plate 12 by press molding, a member that also serves as a frame portion 10a and a column portion 10b described later of the container body 10 is formed, and the other is joined thereto. Therefore, the container 2 may be formed.
  • the container body 10 includes a frame portion 10 a that forms the outer shape of the container 2, and a plurality of column portions 10 b that are arranged in a region surrounded by the frame portion 10 a.
  • the plurality of column portions 10 b are arranged at a certain interval in the short direction of the container 2, and extend parallel to the longitudinal direction of the container 2.
  • the plurality of column portions 10 b are provided to prevent expansion and dent in the thickness direction of the container 2.
  • the plurality of pillar portions 10 b serve as pillars (reinforcing members) that support the container 2 and ensure the mechanical strength of the thin vapor chamber 1.
  • a gap is formed between the frame portion 10a and the column portion 10b and between the adjacent column portions 10b, and the working fluid flow path 13 is formed in the gap.
  • the working fluid flow path 13 of this embodiment is composed of a plurality of (four in this embodiment) channels 13a.
  • the longitudinal direction is the vertical direction in FIG.
  • the working fluid flow path 13 is sealed by joining the top plate 11 and the bottom plate 12 to the container body 10 as shown in FIG.
  • the working fluid flow path 13 has a first surface 14 that receives heat from the heat source 100, a second surface 15 opposite to the first surface 14, and a connection that connects the first surface 14 and the second surface 15. And is surrounded by a surface 16.
  • the container 2 of the present embodiment is configured to receive heat from the heat source 100 from the bottom plate 12 side, and the upper surface of the bottom plate 12 becomes the first surface 14 and the lower surface of the top plate 11 becomes the second surface 15.
  • the side surface of the column part 10 b (or the inner side surface 10 a 1 of the frame part 10 a shown in FIG. 1) is configured to be the connection surface 16.
  • the side surface of the column part 10 b faces the steam channel 17.
  • the connection surface 16 of the column part 10b is flat (that is, no concavo-convex part is provided), and the column part 10b alone is not configured to generate a capillary force.
  • the wick 3 is arranged in the working fluid flow path 13 as shown in FIG.
  • the working liquid evaporates in the evaporating unit 4 to become vapor, and in the condensing unit 5, the vapor is condensed into the working liquid, and is moved from the condensing unit 5 to the evaporating unit 4 by capillary force ( Reflux).
  • the wick 3 of this embodiment includes a plurality of wick branches 20 (wick parts) disposed in each channel 13a of the working fluid flow path 13 and a wick trunk 21 that connects the roots of the plurality of wick branches 20 to each other. .
  • Each wick branch 20 and the width of the wick trunk 21 are formed to be the same.
  • the wick 3 is formed of a mesh in which a plurality of fine lines are knitted in a lattice shape.
  • a copper material having a high thermal conductivity can be suitably used.
  • the fine wire has a diameter of several tens of ⁇ m to several tens of ⁇ m.
  • a working fluid vapor channel 17 is formed between the side surface 3a of the wick 3 and the connection surface 16 disposed with a space in between the side surface 3a.
  • the gap 18 a formed at the interface between the wick 3 and the first surface 14 and the second surface 15 becomes a liquid flow path 18 for flowing the working fluid, and the working fluid is refluxed from the condensing unit 5 to the evaporation unit 4.
  • the narrow wire gap 18 b inside the wick 3 also becomes a liquid flow path 18 for flowing the working fluid, and the working fluid is refluxed from the condensing unit 5 to the evaporation unit 4.
  • the narrow gap 18b has a smaller space than the gap 18a formed at the interface between the wick 3 and the first surface 14 and the second surface 15, and therefore the liquid flow path 18 of the gap 18a is closer to the gap 18b.
  • the hydraulic fluid transport capacity is greater than that of the liquid flow path 18.
  • the plurality of wick branches 20 form a plurality of the liquid channels 18 described above.
  • the plurality of wick branches 20 are inserted into the channels 13 a from the wick trunk 21, extend from the channels 13 a to the mounting region of the heat source 100, and the respective distal ends are inserted into the evaporation unit 4 independently.
  • the first wick branch portion 20a and the fourth wick branch portion 20d extend along the inner surface 10a1 of the frame portion 10a from the condensation portion 5 and are inserted into the evaporation portion 4.
  • the second wick branch part 20 b and the third wick branch part 20 c extend between the adjacent column parts 10 b from the condensing part 5 and are inserted into the evaporation part 4.
  • Each is formed with a pillar portion 20.
  • tip parts of the some wick branch part 20 are concentrated. For this reason, all the vapor flow paths 17 are connected in the evaporation part 4.
  • the plurality of wick branches 20 have opposing parts 23 that face each other across the vapor flow path 17 (space) in the evaporation part 4.
  • the evaporating unit 4 has a facing part 23ab where the first wick branch part 20a and the second wick branch part 20b face each other, and a facing part where the second wick branch part 20b and the third wick branch part 20c face each other.
  • FIG. 3 is an enlarged view of the facing portion 23 according to the present embodiment.
  • FIG. 3 is a schematic view of the facing portion 23ab of the first wick branch portion 20a and the second wick branch portion 20b, but the other facing portions 23 have the same configuration.
  • an uneven portion 30 is formed in the facing portion 23ab.
  • the concavo-convex portion 30 of the present embodiment includes a facing portion 23a of the first wick branch portion 20a facing the second wick branch portion 20b and a facing portion 23b of the second wick branch portion 20b facing the first wick branch portion 20a. It is formed in both.
  • the concavo-convex part 30 has a plurality of convex parts 31 and concave parts 32, and the convex parts 31 and the concave parts 32 are alternately arranged along the steam flow path 17.
  • the convex part 31 and the concave part 32 of the concavo-convex part 30 are each formed in a rectangular shape in plan view shown in FIG. That is, the corner portion of the convex portion 31 and the corner portion of the concave portion 32 are formed at right angles.
  • Such a concavo-convex portion 30 can be formed by die cutting with a press.
  • the lengths of the convex portion 31 and the concave portion 32 in the direction along the steam flow path 17 are the same. In addition, the length of the direction along the steam flow path 17 of the convex part 31 and the recessed part 32 may mutually differ.
  • the convex portion 31 of the concavo-convex portion 30 formed on one of the opposing portions 23ab is the concave portion 32 of the concavo-convex portion 30 formed on the other of the opposing portions 23ab (for example, the opposing portion 23b). It is provided so as to face each other. That is, the protrusions 31 (or the recesses 32) are alternately arranged in the uneven portion 30 formed in the facing portion 23a and the uneven portion 30 formed in the facing portion 23b.
  • the main flow path width of the steam flow path 17 refers to the space width between the side surfaces 3a of the wicks 3 facing each other when the uneven portion 30 is not present.
  • 3 indicates the length (depth) from the tip of the convex portion 31 of the concavo-convex portion 30 to the bottom of the concave portion 32.
  • the tip of the convex portion 31 is the side surface 3a of the wick 3
  • the concave portion 32 is a groove formed at a depth b with respect to the side surface 3a.
  • the depth b is formed to a size of about 2 mm, for example, when the width of the wick branch 20 shown in FIG. 1 is 5 mm.
  • the maximum width c of the steam flow path 17 is formed larger than the main width a.
  • the maximum width c is about twice as large as 4 mm.
  • the concavo-convex portion 30 formed on the facing portion 23a and the concavo-convex portion 30 formed on the facing portion 23b are arranged so that the convex portions 31 (or the concave portions 32) are staggered,
  • the maximum width c of the steam channel 17 is constant.
  • the vapor chamber 1 receives the heat generated by the heat source 100, whereby the working fluid in the evaporation unit 4 evaporates.
  • the working fluid that has permeated the wick 3 evaporates.
  • the vapor generated in the evaporation unit 4 flows in the vapor channel 17 toward the condensing unit 5 having a lower pressure and temperature than the evaporation unit 4.
  • the wick 3 is disposed with a gap from the connection surface 16, the steam can flow along the side surface 3 a of the wick 3.
  • the steam that has reached the condensing unit 5 is cooled and condensed.
  • the hydraulic fluid generated in the condensing unit 5 permeates the wick 3 and is refluxed from the condensing unit 5 to the evaporation unit 4.
  • the wick 3 has a plurality of wick branches 20 extending from the condenser 5 to the evaporator 4, and the working fluid is recirculated from the condenser 5 to the evaporator 4 by the liquid flow path 18 formed by each wick branch 20. . Since the wick branch portion 20 is in contact with the first surface 14 and the second surface 15 of the working fluid flow path 13 from the condensation portion 5 to the evaporation portion 4 as shown in FIG. The mechanical strength of the thin vapor chamber 1 is ensured.
  • the concavo-convex part 30 is formed in these facing parts 23.
  • the pressure loss is energy loss in the flow direction due to the shear stress acting on the pipe acting as friction on the fluid in the case of laminar flow in the pipe flow. This shear stress is greatest at the wall surface forming the flow path.
  • the side surface 3a of the wick 3 is arranged uniformly with respect to the steam flow path 17, whereas in the wick structure of this embodiment, the steam flow is as shown in FIG.
  • the main width a of the channel 17 is the same as that of the conventional structure, the wall surface can be moved away from the steam channel 17 by the presence of the recess 32. For this reason, pressure loss can be reduced compared with the conventional structure. For this reason, in this embodiment, even if all the steam flow paths 17 are connected via the evaporator 4, the vapor pressure in all the steam paths 17 can be made uniform while reducing the pressure loss.
  • the facing portion 23 is provided only in the evaporation portion 4. Note that the position of the facing portion 23 is not limited to the evaporation portion 4 alone.
  • the material of the container 2 is thin so as to secure the internal space as much as possible. For this reason, in the vapor chamber 1 in which the inside is a negative pressure, if the width of the steam flow path 17 is simply increased in order to reduce the pressure loss of the steam, there is a possibility that the steam chamber 17 is easily deformed. For this reason, in the wick structure of the present embodiment, not only the recesses 32 but also the projections 31 are formed, so that the columns that support the containers 2 are partially left and the containers 2 are reinforced. That is, according to the wick structure of the present embodiment, the container 2 can be reinforced while the flow passage width of the vapor flow passage 17 is widened by forming the uneven portion 30 in the facing portion 23. For this reason, according to the wick structure of the present embodiment, the pressure loss of the steam can be reduced and the mechanical strength of the container 2 can be ensured.
  • the convex portion 31 formed in one opposing portion 23 is provided so as to oppose the concave portion 32 of the other opposing portion 23. According to this configuration, even if the concave portion 32 is formed in the wick branch portion 20, the convex portion 31 protrudes from the wick branch portion 20 facing the wick branch portion 20 toward the concave portion 32.
  • the width of the path 17 is never greater than c. Further, since the width of the steam flow path 17 in the facing portion 23 is kept constant at c, the width of the steam flow path 17 is not locally reduced, and the pressure loss of the steam can be suitably reduced. it can.
  • the facing portions 23 of the plurality of wick branch portions 20 are provided in the evaporation portion 4. Since the concavity and convexity portions 30 are formed in the facing portions 23, the thermal resistance of the evaporation portion 4 can be reduced. That is, as shown in FIG. 2, when the wick branch 20 is in contact with the first surface 14 and the second surface 15 of the working fluid channel 13, the evaporation is performed on the side surface 3 a (portion in contact with the vapor channel 17). Arise.
  • grooved part 30 is formed in the part which contact
  • FIG. 4 is an enlarged view of a modified example of the facing portion 23 according to the present embodiment.
  • a second uneven portion 30 a is formed at the tip of the protruded portion 31 of the uneven portion 30.
  • the second concavo-convex portion 30a is formed by making a plurality of cuts at the tip of the convex portion 31 of the concavo-convex portion 30 with a cutter or the like.
  • the 2nd uneven part 30a has the convex part 31a and the recessed part 32a, and the convex part 31a has spread toward the steam flow path 17 like the hair of a brush.
  • the second uneven portion 30a can secure a larger evaporation area than the wick structure shown in FIG. 3, and the thermal resistance of the evaporation portion 4 can be further reduced.
  • FIG. 5 is a plan sectional view of a test apparatus for evaluating the performance of the vapor chamber 1 according to the present embodiment.
  • FIG. 6 is a table showing test results obtained by the test apparatus shown in FIG.
  • a test apparatus as shown in FIG. 5 was prepared.
  • a heat source 100 (heater sensor) is attached to one plate surface (for example, the back surface) of the vapor chamber 1, and a plurality of temperature sensors T1 to T7 are mounted to the other plate surface (for example, the front surface) of the vapor chamber 1. It is configured.
  • the temperature of the evaporation unit 4 was measured by a heater sensor as the heat source 100, the temperature of the condensing unit 5 was measured by a plurality of temperature sensors T1 to T7, and the performance of the vapor chamber 1 was evaluated by thermal resistance.
  • the thermal resistance is obtained by the following formula (1).
  • Q [W] is the amount of heat (so-called heat input) applied per unit time by the heat source 100.
  • Th [° C.] is the temperature of the heat source 100 (evaporating unit 4).
  • T1-7 [° C.] is the temperature of the condensing unit 5 detected by the temperature sensors T1-7.
  • the amount of heat input is the amount of power when the heat source 100 is an electric heater.
  • the temperature Th is measured in a state where the amount of heat input from the heat source 100 balances with the amount of heat released through the vapor chamber 1 and reaches equilibrium. In addition, thermal resistance becomes small, so that the heat transport capability of the vapor chamber 1 is high.
  • FIG. 6 shows, as a comparative example, a normal wick structure in which the concavo-convex portion 30 is not provided in the facing portion 23, a wick structure in the present embodiment in which the concavo-convex portion 30 is formed in the facing portion 23, and a first
  • grooved parts 30a (cut) was formed is shown.
  • the total thickness of the test apparatus of the vapor chamber 1 provided with each wick structure is the same.
  • the wick structure of the present embodiment in which the concavo-convex portion 30 is formed has a thermal resistance of about 20% smaller than the normal wick structure (the heat transport capability is 20%).
  • the wick structure of the modified example in which the second uneven portion 30a is further formed has a thermal resistance of about 40% smaller than the normal wick structure (the heat transport capability is increased by about 40%).
  • the thermal resistance is increased by about 40%.
  • the container having the working fluid enclosed therein, the evaporation section 4 for evaporating the sealed working fluid, and the condensing section 5 for condensing the evaporated working fluid.
  • a wick 3 that is disposed inside the container 2 and moves the condensed working fluid from the condensing unit 5 to the evaporating unit 4 by capillary force, and the wick 3 includes a plurality of components from the condensing unit 5 to the evaporating unit 4.
  • a plurality of wick branches 20 that form the liquid flow path 18, and the plurality of wick branches 20 have opposing portions 23 that face each other across the vapor flow path 17 of the working fluid.
  • the vapor chamber 1 that can reduce the pressure loss of the vapor of the working fluid and ensure the mechanical strength of the container 2 is obtained. Moreover, according to this structure, the evaporation area of a working fluid can be expanded in the evaporation part 4, a thermal resistance can be reduced, and heat transport capability can be improved.
  • FIGS. 7 to 9C can be adopted.
  • the same or equivalent components as those in the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is simplified or omitted.
  • the concavo-convex portion 30 is formed not only on the facing portion 23 but also on the entire side surface 3a that is in contact with the steam flow path 17 other than the facing portion 23. According to this configuration, the pressure loss can be reduced in the entire steam flow path 17 and the mechanical strength of the container 2 can be ensured. That is, while the side surface (connection surface) of the column part 10b is flat, the uneven
  • the convex portion 31 of the concavo-convex portion 30 formed on one of the facing portions 23ab is formed on the other of the facing portions 23ab (for example, the facing portion 23b). It is provided so as to face the convex portion 31 of the formed concave-convex portion 30.
  • the uneven portion 30 is not formed on one of the facing portions 23ab (for example, the facing portion 23a), and the other of the facing portions 23ab (for example, the facing portion 23b). An uneven portion 30 is formed on the surface.
  • the wall surface can be moved away from the steam flow path 17 as in the above-described embodiment, so that the pressure loss is reduced compared to the conventional structure, and the container 2 The mechanical strength of can be ensured.
  • the wick structure shown in FIG. 8B having more concave portions 32 is preferable to the wick structure shown in FIG. 8A, and the maximum width c is larger than the wick structure shown in FIG. 8A.
  • the fixed wick structure shown in FIGS. 3 and 4 is preferred.
  • the wick 3D according to the modification shown in FIG. 9A has a concavo-convex portion 30d formed in a wave shape, and the convex portion 31d and the concave portion 32d are each formed in a curved shape in plan view.
  • the wick 3E according to the modification shown in FIG. 9B has a concavo-convex portion 30e with rounded corners, and the convex portion 31e and the concave portion 32e are formed in a substantially rectangular shape in plan view.
  • the wick 3F according to the modification shown in FIG. 9C has a triangular uneven portion 30f, and the convex portion 31f and the concave portion 32f are each formed in a triangular shape in plan view.
  • the wall surface can be moved away from the steam flow path 17 as in the above-described embodiment, so that the pressure loss is reduced as compared with the conventional structure, and the container 2 The mechanical strength of can be ensured.
  • the configuration shown in FIGS. 9A to 9C when the concavo-convex portions 30d to 30f are formed by press working, compared with the configuration shown in FIG.
  • the rectangular wick structure shown in FIGS. 3 and 4 that can ensure a long outline of the edge of the side surface 3a is preferable.
  • the configuration in which the wick 3 is divided into a plurality of parts to form the plurality of liquid flow paths 18 has been described.
  • the structure which forms 18 may be sufficient.
  • the plurality of wick portions may be composed of a plurality of wicks 3.
  • the facing portion of the wick portion may be provided at a place other than the evaporation portion 4.
  • the wick 3 is a fiber, metal powder, felt, a groove (groove) formed in the container 2, or a combination thereof. It may be formed from.
  • the vapor chamber 1 is exemplified as the heat dissipation module, but the above configuration may be applied to a heat pipe which is another form of the heat dissipation module.
  • the use of the heat dissipation module of the present embodiment is not particularly limited, but as an example, a smartphone, a tablet terminal, a mobile phone, a personal computer, a server, a copy machine, a game machine, a multifunction machine, a projector, an electronic device, a fuel cell, Examples include artificial satellites.

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Abstract

放熱モジュールは、作動流体を内部に封入し、該封入した作動流体を蒸発させる蒸発部と、該蒸発した作動流体を凝縮させる凝縮部と、を有するコンテナと、　前記コンテナの内部に配置され、毛細管力によって前記凝縮した作動流体を前記凝縮部から前記蒸発部に移動させるウィックと、を備え、前記ウィックは、前記凝縮部から前記蒸発部に至る複数の液体流路を形成する複数のウィック部を有し、前記複数のウィック部は、前記作動流体の蒸気流路を挟んで互いに対向する対向部を有し、前記対向部の少なくともいずれか一方に、凹凸部が形成されている。

Description

放熱モジュール
　本発明は、放熱モジュールに関する。
　本願は、２０１６年１２月２０日に、日本に出願された特願２０１６－２４７０７５号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
　下記特許文献１には、放熱モジュールの一形態として、ヒートパイプが開示されている。ヒートパイプは、基本的には空気等の非凝縮性の気体を脱気したコンテナ（容器）の内部に、目的とする温度範囲で蒸発および凝縮する水やアルコール等の流体を作動流体として封入し、さらに液相の作動流体を還流させるための毛細管力を発生するウィックをコンテナの内部に設けた構成を有する。
　コンテナに温度差が生じたとき、高温の蒸発部では作動流体が加熱されて蒸発し、コンテナの内部圧力も上昇する。蒸発部で生じた作動流体の蒸気は、温度及び圧力の低い凝縮部に向けて移動し、蒸発部で受けた熱を、蒸気の潜熱として、凝縮部に輸送する。凝縮部において、作動流体の蒸気は、放熱により凝縮する。そして、凝縮した作動流体は、ウィックに浸透し、ウィックの毛細管力により蒸発部に向けて還流する。
日本国特開平１１－１８３０６９号公報
　このような放熱モジュールの作動条件は、毛細管力ΔＰＣに、蒸気の圧力損失をΔＰＶ、液体の圧力損失をΔＰＬとして、以下の計算式（ａ）で表される。
　ΔＰＣ　≧　ΔＰＶ＋ΔＰＬ　…（ａ）
　この計算式（ａ）から分かるように、放熱モジュールの最大熱輸送量を大きくするためには、毛細管力を大きくし、蒸気と液体の圧力損失を小さくする必要がある。
　近年、スマートフォン、タブレットＰＣ等の携帯機器の薄型化は著しく、その携帯機器に搭載されているＣＰＵ等の熱を放熱するために、薄型の放熱モジュールが求められている。このような薄型の放熱モジュールでは、最大熱輸送量の低下の抑制と、その機械的強度を維持する工夫が必要となる。すなわち、比較的大きな放熱モジュールに関しては、広い蒸気流路と液体流路を確保できるため、蒸気と液体の圧力損失を小さくすることができる。しかしながら、薄型の放熱モジュールにおいては、これらを広く確保することが難しい。また、薄型の放熱モジュールにおいては、コンテナの肉厚も薄くなり、その機械的強度を確保することが困難になる。
　一方で、薄型の放熱モジュールでは、蒸発部の周辺に十分な作動流体を運ばなければならないため、ウィックを複数設け、あるいはウィックを複数に分岐させて、複数の液体流路を形成する場合がある。このような場合、複数のウィックの先端が蒸発部に密集することとなるため、この部分においてウィックの間に形成される蒸気流路が狭くなり、局所的に蒸気の圧力損失が大きくなるという可能性がある。また、単純に蒸気流路の幅を広げようとすると、コンテナの内部の空洞が広がることとなるため、機械的強度が弱くなり、コンテナの変形等の原因になる可能性がある。
　本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、作動流体の蒸気の圧力損失を低減させると共に、コンテナの機械的強度を確保することができる放熱モジュールの提供を目的とする。
　本発明の一態様に係る放熱モジュールは、作動流体を内部に封入し、該封入した作動流体を蒸発させる蒸発部と、該蒸発した作動流体を凝縮させる凝縮部と、を有するコンテナと、前記コンテナの内部に配置され、毛細管力によって前記凝縮した作動流体を前記凝縮部から前記蒸発部に移動させるウィックと、を備え、前記ウィックは、前記凝縮部から前記蒸発部に至る複数の液体流路を形成する複数のウィック部を有し、前記複数のウィック部は、前記作動流体の蒸気流路を挟んで互いに対向する対向部を有し、前記対向部の少なくともいずれか一方に、凹凸部が形成されている。
　上記一態様において、前記対向部は、前記蒸発部のみに設けられていてもよい。
　上記一態様において、前記対向部の両方に、前記凹凸部が形成され、前記対向部の両方に形成された前記凹凸部において、前記対向部の一方に形成された凸部が、前記対向部の他方に形成された凹部に対向するように設けられていてもよい。
　上記一態様において、前記蒸発部において全ての蒸気流路は繋がっていてもよい。
　上記一態様において、前記凹凸部の凸部の先端に、第２の凹凸部が形成されていてもよい。
　上記一態様において、前記複数のウィック部の間に柱部を有してもよい。
　上記一態様において、前記柱部の側面が平坦であり、前記ウィックの前記柱部の側面に対向する面に前記凹凸部が形成されていてもよい。
　上記一態様において、前記凹凸部は、前記対向部および前記対向部以外で前記蒸気流路に面する前記ウィックの側面の全体に形成されていてもよい。
　上記一態様において、前記対向部は、前記凝縮部に設けられていなくてもよい。
　上記一態様において、前記凹凸部の凸部と凹部は、それぞれ平面視で三角形状に形成されていてもよい。
　上記本発明の上記一態様によれば、作動流体の蒸気の圧力損失を低減させると共に、コンテナの機械的強度を確保することができる放熱モジュールを提供できる。
本発明の一実施形態に係るベーパーチャンバーの平断面図である。 図１に示すベーパーチャンバーのＡ－Ａ線での矢視断面図である。 本発明の一実施形態に係る対向部の拡大図である。 本発明の一実施形態に係る対向部の変形例の拡大図である。 本発明の一実施形態に係るベーパーチャンバーの性能を評価する試験装置の平断面図である。 図５に示す試験装置による試験結果を示す表である。 本発明の一実施形態に係るベーパーチャンバーの変形例の平断面図である。 本発明の一実施形態に係る対向部の他の変形例の拡大図である。 本発明の一実施形態に係る対向部の他の変形例の拡大図である。 本発明の一実施形態に係る凹凸部の変形例の平断面図である。 本発明の一実施形態に係る凹凸部の変形例の平断面図である。 本発明の一実施形態に係る凹凸部の変形例の平断面図である。
　以下、本発明の一実施形態に係る放熱モジュール及びその製造方法を、図面を参照しながら説明する。図面において、説明の便宜上、いくつかの部分が拡大されまたは省略されており、図面に表されている各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。
　以下の説明では、放熱モジュールの一実施形態として薄型のベーパーチャンバーを例示する。
　図１は、本実施形態に係るベーパーチャンバー１の平断面図である。図２は、図１に示すベーパーチャンバー１のＡ－Ａ線での矢視断面図である。
　ベーパーチャンバー１は、作動流体の潜熱を利用する熱輸送素子である。このベーパーチャンバー１は、図１に示すように、作動流体を内部に封入したコンテナ２と、コンテナ２の内部に配置されたウィック３と、を有する。
　作動流体は、周知の相変化物質から構成される熱輸送媒体であって、コンテナ２内で液相と気相とに相変化する。例えば、作動流体として、水（純水）、アルコール、アンモニア等を採用できる。なお、作動流体について、液相の場合を「作動液」、気相の場合を「蒸気」と記載して説明することがある。また、液相と気相とを特に区別しない場合には作動流体と記載して説明することがある。また、作動流体は図示されていない。
　コンテナ２は、密閉された中空容器であり、平面方向（図１における紙面上下左右方向）の寸法が、厚み方向（図１における紙面垂直方向、図２における上下方向）よりも大きい扁平形状に形成されている。コンテナ２の厚みは、例えば、コンマ数ｍｍ～３ｍｍ程である。また、コンテナ２は、厚み方向から見た平面視で略長方形状を有している。このコンテナ２には、封入した作動流体を蒸発させる蒸発部４と、該蒸発した作動流体を凝縮させる凝縮部５とが形成されている。本実施形態では、蒸発部４が、図１において紙面上方の中央に形成されている。
　蒸発部４とは、熱源１００から熱を受ける領域である。なお、蒸発部４は、熱源１００の外形（実装面積）と同じ領域からだけでなく、その外形よりも一回り大きな領域からも熱を受けることがある。一方、凝縮部５とは、蒸発部４の周囲に形成された領域であって、蒸発部４以外の領域である。なお、熱源１００としては、電子機器の電子部品、例えば、ＣＰＵ等が挙げられる。
　コンテナ２は、図２に示すように、コンテナボディ１０と、トッププレート１１と、ボトムプレート１２と、を有する。コンテナボディ１０は、例えば、銅、銅合金、アルミ、アルミ合金等から形成することができる。また、トッププレート１１及びボトムプレート１２は、例えば、銅、銅合金、アルミ、アルミ合金、鉄、ステンレス、銅とステンレスとの複合材（Cu-SUS）、銅でステンレスを挟み込んだ複合材（Cu-SUS-Cu）、ニッケルとステンレスとの複合材（Ni-SUS）、ニッケルでステンレスを挟み込んだ複合材（Ni-SUS-Ni）等から形成することができる。
　コンテナボディ１０をトッププレート１１及びボトムプレート１２よりも熱伝導率の高い材料から形成した場合、トッププレート１１及びボトムプレート１２は、コンテナ２の変形を防止するため硬度の高い材料から形成されることが好ましい。例えば、コンテナボディ１０を、熱伝導率の高い銅から形成した場合、トッププレート１１及びボトムプレート１２は、銅とステンレスとの複合材（Cu-SUS）、銅でステンレスを挟み込んだ複合材（Cu-SUS-Cu）、ニッケルとステンレスとの複合材（Ni-SUS）、ニッケルでステンレスを挟み込んだ複合材（Ni-SUS-Ni）等から形成することが好ましい。
　なお、トッププレート１１及びボトムプレート１２は、同一の材料から形成しても、異なる材料から形成してもよい。また、トッププレート１１及びボトムプレート１２は、同一の厚みであっても、異なる厚みであってもよい。また、トッププレート１１及びボトムプレート１２のいずれか一方は、コンテナボディ１０と一体で形成されていてもよい。例えば、トッププレート１１及びボトムプレート１２のいずれか一方をプレス成型で溝付き加工等することで、コンテナボディ１０の後述する枠部１０ａ及び柱部１０ｂを兼ねる部材を形成し、それに他方を接合することでコンテナ２を形成する構成であってもよい。
　コンテナボディ１０は、図１に示すように、コンテナ２の外形を形成する枠部１０ａと、枠部１０ａによって囲まれた領域に配置された複数の柱部１０ｂと、を有する。複数の柱部１０ｂは、コンテナ２の短手方向において一定の間隔をあけて配置され、コンテナ２の長手方向に平行に延在している。複数の柱部１０ｂは、コンテナ２の厚み方向における膨張や凹みを防ぐために設けられる。複数の柱部１０ｂは、コンテナ２を支える柱（補強部材）となり、薄型のベーパーチャンバー１の機械的強度を確保する。枠部１０ａと柱部１０ｂとの間、及び、隣り合う柱部１０ｂ同士の間には、隙間が形成されており、この隙間に作動流体流路１３が形成される。本実施形態の作動流体流路１３は、複数（本実施形態では４つ）のチャンネル１３ａから構成される。長手方向とは、図１における上下方向である。
　作動流体流路１３は、図２に示すように、コンテナボディ１０にトッププレート１１及びボトムプレート１２を接合することで密閉される。作動流体流路１３は、熱源１００から熱を受ける第一面１４と、第一面１４とは反対側の第二面１５と、第一面１４と第二面１５との間を接続する接続面１６と、によって囲まれている。本実施形態のコンテナ２は、例えば、ボトムプレート１２側から熱源１００の熱を受ける構成となっており、ボトムプレート１２の上面が第一面１４となり、トッププレート１１の下面が第二面１５となり、柱部１０ｂの側面（または図１に示す枠部１０ａの内側面１０ａ１）が接続面１６となるように構成されている。柱部１０ｂの側面は、蒸気流路１７に対向している。柱部１０ｂの接続面１６は、平坦であり（すなわち、凹凸部は設けられておらず）、柱部１０ｂだけでは毛細管力を生じるようには構成されていない。
　この作動流体流路１３には、図１に示すように、ウィック３が配置されている。ウィック３は、蒸発部４内において作動液が蒸発して蒸気となり、凝縮部５内において当該蒸気が凝縮して作動液になったものを、毛細管力によって凝縮部５から蒸発部４に移動（還流）させる。本実施形態のウィック３は、作動流体流路１３の各チャンネル１３ａに配置される複数のウィック枝部２０（ウィック部）と、複数のウィック枝部２０の根元部を互いに接続するウィック幹部２１と、を備える。なお、各ウィック枝部２０と、ウィック幹部２１の幅とは同一に形成されている。
　ウィック３は、複数の細線を格子状に編み込んだメッシュから形成されている。ウィック３を形成する細線としては、例えば、熱伝導率が高い銅材を好適に用いることができる。この細線は、例えば、直径が数十μｍ～百数十数μｍの大きさに形成されている。ウィック３は、図２に示すように、作動流体流路１３において、第一面１４及び第二面１５に接触している。なお、ウィック３の側面３ａと、この側面３ａに対して空間をあけて配置された接続面１６との間には、作動流体の蒸気流路１７が形成される。
　ウィック３と第一面１４及び第二面１５との界面に形成される隙間１８ａは、作動液を流動させる液体流路１８となり、作動液を凝縮部５から蒸発部４へ還流させる。また、ウィック３の内部の細線の隙間１８ｂも、作動液を流動させる液体流路１８となり、作動液を凝縮部５から蒸発部４へ還流させる。なお、細線の隙間１８ｂは、ウィック３と第一面１４及び第二面１５との界面に形成される隙間１８ａよりも空間が小さいため、隙間１８ａの液体流路１８の方が、隙間１８ｂの液体流路１８よりも作動液の搬送能力は大きい。
　図１に戻り、複数のウィック枝部２０は、上述した液体流路１８を複数形成する。複数のウィック枝部２０は、ウィック幹部２１から各チャンネル１３ａに挿入され、各チャンネル１３ａから熱源１００の実装領域まで延在し、それぞれの先端部が蒸発部４に独立して挿入されている。第１ウィック枝部２０ａ及び第４ウィック枝部２０ｄは、凝縮部５から枠部１０ａの内側面１０ａ１に沿って延在し、蒸発部４に挿入されている。また、第２ウィック枝部２０ｂ及び第３ウィック枝部２０ｃは、凝縮部５から隣り合う柱部１０ｂの間を延在し、蒸発部４に挿入されている。第１ウィック枝部２０ａと第２ウィック枝部２０ｂとの間、第２ウィック枝部２０ｂと第３ウィック枝部２０ｃとの間、第３ウィック枝部２０ｃと第４ウィック枝部２０ｄとの間には、それぞれ柱部２０が形成されている。
　蒸発部４においては、複数のウィック枝部２０の先端部が密集する。このため、蒸発部４において、全ての蒸気流路１７が繋がっている。
　複数のウィック枝部２０は、蒸発部４において、蒸気流路１７（空間）を挟んで互いに対向する対向部２３を有する。具体的に、蒸発部４には、第１ウィック枝部２０ａと第２ウィック枝部２０ｂとが対向する対向部２３ａｂと、第２ウィック枝部２０ｂと第３ウィック枝部２０ｃとが対向する対向部２３ｂｃと、第３ウィック枝部２０ｃと第４ウィック枝部２０ｄとが対向する対向部２３ｃｄと、第４ウィック枝部２０ｄと第１ウィック枝部２０ａとが対向する対向部２３ｄａと、が設けられている。これらの対向部２３には、凹凸部３０が形成されている。
　図３は、本実施形態に係る対向部２３の拡大図である。なお、図３は、第１ウィック枝部２０ａと第２ウィック枝部２０ｂとの対向部２３ａｂの模式図であるが、他の対向部２３においても同様の構成となっている。
　図３に示すように、対向部２３ａｂには、凹凸部３０が形成されている。本実施形態の凹凸部３０は、第２ウィック枝部２０ｂに対向する第１ウィック枝部２０ａの対向部２３ａと、第１ウィック枝部２０ａに対向する第２ウィック枝部２０ｂの対向部２３ｂの両方に形成されている。
　凹凸部３０は、凸部３１と凹部３２とを複数有し、凸部３１と凹部３２とは、蒸気流路１７に沿って交互に配置されている。凹凸部３０の凸部３１と凹部３２は、それぞれ図３に示す平面視で矩形状に形成されている。すなわち、凸部３１の角部と、凹部３２の角部は、それぞれ直角に形成されている。このような凹凸部３０は、プレス機による型抜き加工によって形成することができる。凸部３１と凹部３２の蒸気流路１７に沿う方向の長さは、いずれも同じである。なお、凸部３１と凹部３２の蒸気流路１７に沿う方向の長さは、互いに異なっていてもよい。
　また、対向部２３ａｂの一方（例えば、対向部２３ａ）に形成された凹凸部３０の凸部３１は、対向部２３ａｂの他方（例えば、対向部２３ｂ）に形成された凹凸部３０の凹部３２に対向するように設けられている。すなわち、対向部２３ａに形成された凹凸部３０と、対向部２３ｂに形成された凹凸部３０とにおいて、凸部３１（または凹部３２）が互い違いになるように配置されている。
　図３に示す符号ａは、蒸気流路１７の主要な流路幅を示す。蒸気流路１７の主要な流路幅とは、凹凸部３０が無い場合の互いに対向するウィック３の側面３ａ間の空間幅を指す。また、図３に示す符号ｂは、凹凸部３０の凸部３１の先端から凹部３２の底までの長さ（深さ）を示す。凸部３１の先端は、ウィック３の側面３ａであって、凹部３２は、側面３ａに対し深さｂで形成された溝である。深さｂは、図１に示すウィック枝部２０の幅が５ｍｍに形成されたときに、例えば２ｍｍ程度の大きさに形成されている。
　図３に示す符号ｃは、対向部２３ａに形成された凸部３１の先端から、この凸部３１に対向する対向部２３ｂの凹部３２の底までの蒸気流路１７の最大幅を示す。蒸気流路１７の最大幅ｃは、主要幅ａよりも大きく形成されており、例えば、主要幅ａが２ｍｍに形成されたときにその２倍の４ｍｍ程度の大きさに形成されている。本実施形態では、対向部２３ａに形成された凹凸部３０と、対向部２３ｂに形成された凹凸部３０とにおいて、凸部３１（または凹部３２）が互い違いになるように配置されているため、蒸気流路１７の最大幅ｃは一定である。
　続いて、上記構成のベーパーチャンバー１による熱輸送サイクルについて説明する。
　ベーパーチャンバー１は、熱源１００で生じた熱を受け取ることによって、蒸発部４内の作動液が蒸発する。蒸発部４では、ウィック３に浸透している作動液が蒸発する。蒸発部４で生じた蒸気は、蒸発部４よりも圧力および温度が低い凝縮部５へ向けて蒸気流路１７内を流動する。ウィック３は、図２に示すように、接続面１６と隙間をあけて配置されていているため、蒸気はウィック３の側面３ａに沿って流動することができる。
　凝縮部５では、凝縮部５に到達した蒸気が冷却されて凝縮する。凝縮部５で生じた作動液は、ウィック３に浸透し、凝縮部５から蒸発部４へ還流される。ウィック３は、凝縮部５から蒸発部４に至る複数のウィック枝部２０を有し、各ウィック枝部２０が形成する液体流路１８によって、作動液を凝縮部５から蒸発部４へ還流させる。ウィック枝部２０は、凝縮部５から蒸発部４にかけて、図２に示すように、作動流体流路１３の第一面１４及び第二面１５と接触しているため、コンテナ２を支える柱（補強部材）となり、薄型のベーパーチャンバー１の機械的強度を確保する。
　ところで、蒸発部４では、各ウィック枝部２０の先端部が密集することとなるため、これらウィック枝部２０の対向部２３に形成される蒸気流路１７において、蒸気の圧力損失が大きくなり易い。このため、本実施形態では、これらの対向部２３に、凹凸部３０を形成している。圧力損失とは、管内流れにおいて層流の場合に、管に働くせん断応力が流体に対して摩擦として働くことによる流れ方向へのエネルギー損失である。このせん断応力は、流路を形成する壁面で最も大きくなる。凹凸部３０の無い従来のウィック構造では、蒸気流路１７に対して一様にウィック３の側面３ａが配置されるのに対し、本実施形態のウィック構造では、図３に示すように蒸気流路１７の主要幅ａは従来構造と同様であるものの、凹部３２があることによって、壁面を蒸気流路１７から遠ざけることができる。このため、従来の構造と比較して圧力損失を低減することができる。このため、本実施形態では、蒸発部４を介してすべての蒸気流路１７が繋がっていても、圧力損失を低減しつつ、すべての蒸気流路１７における蒸気圧を均一にすることができる。
　なお、本実施形態では、蒸発部４のみに対向部２３が設けられている。なお、対向部２３の位置は蒸発部４のみに限定されない。
　また、薄型のベーパーチャンバー１においてコンテナ２の材料は、内部空間を可能な限り確保するために薄いものが用いられる。このため、内部が負圧になるベーパーチャンバー１において、蒸気の圧力損失を低減させるべく、単に蒸気流路１７の幅を大きくした場合には、容易に変形してしまう虞がある。このため、本実施形態のウィック構造では、凹部３２だけでなく凸部３１を形成することで、コンテナ２を支える柱を部分的に残し、コンテナ２を補強している。すなわち、本実施形態のウィック構造によれば、対向部２３に凹凸部３０を形成することによって、蒸気流路１７の流路幅を広げつつ、コンテナ２を補強することができる。このため、本実施形態のウィック構造によれば、蒸気の圧力損失を低減させると共に、コンテナ２の機械的強度を確保することができる。
　また、本実施形態では、図２に示すように、一方の対向部２３に形成された凸部３１が、他方の対向部２３の凹部３２に対向するように設けられている。この構成によれば、ウィック枝部２０に凹部３２が形成されたとしても、そのウィック枝部２０に対向するウィック枝部２０からこの凹部３２に向かって凸部３１が張り出しているため、蒸気流路１７の幅はｃよりも大きくなることはない。また、対向部２３における蒸気流路１７の幅は、ｃで一定に維持されるため、局所的に蒸気流路１７の幅が狭くなることがなく、蒸気の圧力損失を好適に低減することができる。
　また、本実施形態では、図１に示すように、複数のウィック枝部２０の対向部２３は、蒸発部４に設けられている。これら対向部２３には、凹凸部３０が形成されているため、蒸発部４の熱抵抗を低減させることができる。すなわち、図２に示すように、ウィック枝部２０が作動流体流路１３の第一面１４及び第二面１５と接触している場合、蒸発は側面３ａ（蒸気流路１７と接する部分）で生じる。このため、ウィック枝部２０の蒸気流路１７に接する部分に凹凸部３０が形成されることで、凹凸部３０が無い従来のウィック構造に比べて、作動流体の蒸発面積を大きく確保することができ、蒸発部４の熱抵抗を低減することが可能となる。また、本実施形態では、蒸発部４を介してすべての蒸気流路１７が繋がっている。このため、すべての蒸気流路１７における蒸気圧を均一にすることができる。
　さらに、図４に示すような構成を採用することで、蒸発部４の熱抵抗をより低減することができる。
　図４は、本実施形態に係る対向部２３の変形例の拡大図である。
　図４に示すウィック３Ａには、凹凸部３０の凸部３１の先端に、第２の凹凸部３０ａが形成されている。第２の凹凸部３０ａは、凹凸部３０の凸部３１の先端に、カッター等によって複数の切れ込みを入れることで形成されている。第２の凹凸部３０ａは、凸部３１ａ及び凹部３２ａを有し、凸部３１ａはブラシの毛のように蒸気流路１７に向かって広がっている。
　図４に示す符号ｄは、第２の凹凸部３０ａの凸部３１ａの先端から凹部３２ａの底までの長さ（深さ）を示す。凸部３１ａの先端は、ウィック３の側面３ａであって、凹部３２ａは、側面３ａに対し深さｄで形成された溝である。深さｄは、深さｂが２ｍｍに形成されたときに、例えばその１／４程度の大きさ、すなわち、０．５ｍｍ程度の大きさに形成されている。この構成によれば、第２の凹凸部３０ａによって、図３に示すウィック構造よりも蒸発面積を大きく確保することができ、蒸発部４の熱抵抗をより低減することが可能となる。
　図５は、本実施形態に係るベーパーチャンバー１の性能を評価する試験装置の平断面図である。図６は、図５に示す試験装置による試験結果を示す表である。
　ベーパーチャンバー１の性能を評価するため、図５に示すような試験装置を作成した。
　この試験装置では、ベーパーチャンバー１の一方の板面（例えば裏面）に熱源１００（ヒーターセンサー）を取り付け、ベーパーチャンバー１の他方の板面（例えば表面）に複数の温度センサーＴ１～７を取り付けた構成になっている。蒸発部４の温度は、熱源１００であるヒーターセンサーで測定し、凝縮部５の温度は、複数の温度センサーＴ１～７で測定し、ベーパーチャンバー１の性能を熱抵抗によって評価した。
　熱抵抗は、下式（１）により求められる。Ｑ［Ｗ］は、熱源１００によって単位時間に加えられる熱量（いわゆる入熱量）である。Ｔｈ［℃］は、熱源１００（蒸発部４）の温度である。Ｔ１～７［℃］は、温度センサーＴ１～７が検出した凝縮部５の温度である。
　入熱量は、熱源１００が電気ヒーターの場合、電力量である。温度Ｔｈは、熱源１００からの入熱量が、ベーパーチャンバー１を通じた放熱量と釣り合い、平衡に達した状態において測定する。なお、ベーパーチャンバー１の熱輸送能力が高いほど、熱抵抗は小さくなる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000001
　図６は、比較例として、対向部２３に凹凸部３０がない通常のウィック構造と、対向部２３に凹凸部３０が形成された本実施形態のウィック構造と、さらに凸部３１の先端に第２の凹凸部３０ａ（切れ込み）が形成された変形例のウィック構造との試験結果を示している。なお、各ウィック構造を備えるベーパーチャンバー１の試験装置のトータルの厚みは同一である。図６に示す試験結果を比較すると、凹凸部３０が形成された本実施形態のウィック構造の方が、通常のウィック構造よりも、熱抵抗が２０％程度小さくなった（熱輸送能力が２０％程度高くなった）。また、さらに第２の凹凸部３０ａが形成された変形例のウィック構造の方が、通常のウィック構造よりも、熱抵抗が４０％程度小さくなった（熱輸送能力が４０％程度高くなった）。このように、図３及び図４に示すウィック構造によれば、蒸発部４において蒸発面積を広げることができ、熱抵抗を低減できることが分かる。
　以上説明したように、本実施形態によれば、作動流体を内部に封入し、該封入した作動流体を蒸発させる蒸発部４と、該蒸発した作動流体を凝縮させる凝縮部５と、を有するコンテナ２と、コンテナ２の内部に配置され、凝縮した作動流体を毛細管力によって凝縮部５から蒸発部４に移動させるウィック３と、を備え、ウィック３は、凝縮部５から蒸発部４に至る複数の液体流路１８を形成する複数のウィック枝部２０を有し、複数のウィック枝部２０は、作動流体の蒸気流路１７を挟んで互いに対向する対向部２３を有し、対向部２３に、凹凸部３０が形成されている、という構成を採用することによって、作動流体の蒸気の圧力損失を低減させると共に、コンテナ２の機械的強度を確保することができるベーパーチャンバー１が得られる。また、この構成によれば、蒸発部４において作動流体の蒸発面積を広げ、熱抵抗を低減し、熱輸送能力を高めることができる。
　以上、本発明の好ましい実施形態を記載し説明してきたが、これらは本発明の例示的なものであり、限定するものとして考慮されるべきではないことを理解すべきである。追加、省略、置換、およびその他の変更は、本発明の範囲から逸脱することなく行うことができる。従って、本発明は、前述の説明によって限定されていると見なされるべきではなく、特許請求の範囲によって制限されている。
　例えば、図７～図９Ｃに示す変形例を採用することができる。以下の説明において、上述の実施形態と同一または同等の構成については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
　図７に示す変形例に係るウィック３Ｂは、凹凸部３０が、対向部２３だけでなく、対向部２３以外で蒸気流路１７に接する側面３ａの全体に形成されている。この構成によれば、蒸気流路１７の全体で圧力損失を低減させると共に、コンテナ２の機械的強度を確保することができる。つまり、柱部１０ｂの側面（接続面）が平坦である一方で、複数のウィック枝部２０のこの柱部１０ｂの側面に対向する面には凹凸部３０が形成されている。
　図８Ａに示す変形例に係るウィック３Ｃ１は、対向部２３ａｂの一方（例えば、対向部２３ａ）に形成された凹凸部３０の凸部３１が、対向部２３ａｂの他方（例えば、対向部２３ｂ）に形成された凹凸部３０の凸部３１に対向するように設けられている。
　また、図８Ｂに示す変形例に係るウィック３Ｃ１は、対向部２３ａｂの一方（例えば、対向部２３ａ）には凹凸部３０が形成されておらず、対向部２３ａｂの他方（例えば、対向部２３ｂ）には凹凸部３０が形成されている。
　図８Ａ及び図８Ｂに示す構成であっても、上述した実施形態と同様に、蒸気流路１７から壁面を遠ざけることができるため、従来の構造と比較して圧力損失を低減すると共に、コンテナ２の機械的強度を確保することができる。なお、圧力損失の低減の観点からは、図８Ａに示すウィック構造よりも、凹部３２が多い図８Ｂに示すウィック構造の方が好ましく、また、図８Ａに示すウィック構造よりも、最大幅ｃが一定の図３及び図４に示すウィック構造の方が好ましい。
　図９Ａに示す変形例に係るウィック３Ｄは、波状に形成された凹凸部３０ｄを有し、凸部３１ｄと凹部３２ｄが、それぞれ平面視で湾曲形状に形成されている。
　図９Ｂに示す変形例に係るウィック３Ｅは、角部が丸まった凹凸部３０ｅを有し、凸部３１ｅと凹部３２ｅが、それぞれ平面視で略矩形状に形成されている。
　図９Ｃに示す変形例に係るウィック３Ｆは、三角形状の凹凸部３０ｆを有し、凸部３１ｆと凹部３２ｆが、それぞれ平面視で三角形状に形成されている。
　図９Ａ～図９Ｃに示す構成であっても、上述した実施形態と同様に、蒸気流路１７から壁面を遠ざけることができるため、従来の構造と比較して圧力損失を低減すると共に、コンテナ２の機械的強度を確保することができる。図９Ａ～図９Ｃに示す構成によれば、凹凸部３０ｄ～３０ｆをプレス加工により形成する際に、図３に示す構成と比べて、直角部がないために型抜きが容易になる。なお、作動流体の蒸発面積を大きくする観点からは、側面３ａのエッジの輪郭を長く確保することができる、図３及び図４に示す矩形状のウィック構造の方が好ましい。
　また、例えば、上記実施形態では、ウィック３を複数に分岐させて複数の液体流路１８を形成する構成について説明したが、ウィック３をコンテナ２の内部に複数配置して、複数の液体流路１８を形成する構成であってもよい。すなわち、複数のウィック部は、複数のウィック３から構成されていてもよい。
　また、ウィック部の対向部は、蒸発部４以外の場所に設けられていてもよい。
　また、例えば、上記実施形態では、ウィック３をメッシュから形成する構成について説明したが、ウィック３は、ファイバー、金属粉、フェルト、コンテナ２に形成されたグルーブ（溝）、もしくはそれらを組み合わせたものから形成されていてもよい。
　また、例えば、上記実施形態では、放熱モジュールとして、ベーパーチャンバー１を例示したが、上記構成を放熱モジュールの別形態であるヒートパイプに適用してもよい。
　また、本実施形態の放熱モジュールの用途は特に限定されないが、例示として、スマートフォン、タブレット型端末、携帯電話、パーソナルコンピュータ、サーバー、コピー機、ゲーム機、複合機、プロジェクター、電子機器、燃料電池、人工衛星等が挙げられる。
　１…ベーパーチャンバー、２…コンテナ、３…ウィック、３ａ…側面、４…蒸発部、５…凝縮部、１６…接続面、１７…蒸気流路、１８…液体流路、２０…ウィック枝部（ウィック部）、２３…対向部、３０…凹凸部、３１…凸部、３２…凹部

Claims (10)

  1. 　作動流体を内部に封入し、該封入した作動流体を蒸発させる蒸発部と、該蒸発した作動流体を凝縮させる凝縮部と、を有するコンテナと、　前記コンテナの内部に配置され、毛細管力によって前記凝縮した作動流体を前記凝縮部から前記蒸発部に移動させるウィックと、を備え、
    　前記ウィックは、前記凝縮部から前記蒸発部に至る複数の液体流路を形成する複数のウィック部を有し、
    　前記複数のウィック部は、前記作動流体の蒸気流路を挟んで互いに対向する対向部を有し、
    　前記対向部の少なくともいずれか一方に、凹凸部が形成されている放熱モジュール。
  2. 　前記対向部は、前記蒸発部のみに設けられている請求項１に記載の放熱モジュール。
  3. 　前記対向部の両方に、前記凹凸部が形成され、前記対向部の両方に形成された前記凹凸部において、前記対向部の一方に形成された凸部が、前記対向部の他方に形成された凹部に対向するように設けられている請求項１または２に記載の放熱モジュール。
  4. 前記蒸発部において全ての蒸気流路は繋がっている請求項１～３のいずれか一項に記載の放熱モジュール。
  5. 　前記凹凸部の凸部の先端に、第２の凹凸部が形成されている請求項１～４のいずれか一項に記載の放熱モジュール。
  6. 　前記複数のウィック部の間に柱部を有する請求項１～５のいずれか一項に記載の放熱モジュール。
  7. 　前記柱部の側面が平坦であり、前記ウィックの前記柱部の側面に対向する面に前記凹凸部が形成されている請求項６に記載の放熱モジュール。
  8. 　前記凹凸部は、前記対向部および前記対向部以外で前記蒸気流路に面する前記ウィックの側面の全体に形成されている請求項１～７のいずれか一項に記載の放熱モジュール。
  9. 　前記対向部は、前記凝縮部に設けられていない請求項１～８のいずれか一項に記載の放熱モジュール。
  10. 　前記凹凸部の凸部と凹部は、それぞれ平面視で三角形状に形成されている請求項１～９のいずれか一項に記載の放熱モジュール。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10850348B2 (en) 2017-07-28 2020-12-01 Dana Canada Corporation Device and method for alignment of parts for laser welding
KR20210049770A (ko) * 2020-06-29 2021-05-06 주식회사 사이어트 (SYATT Co.,Ltd.) 열전 소자 모듈의 온도 제어 장치
JP2021179307A (ja) * 2019-06-21 2021-11-18 株式会社村田製作所 ベーパーチャンバー
US11209216B2 (en) 2017-07-28 2021-12-28 Dana Canada Corporation Ultra thin heat exchangers for thermal management

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7028659B2 (ja) * 2018-01-30 2022-03-02 新光電気工業株式会社 ループ型ヒートパイプ、ループ型ヒートパイプの製造方法
CN113766796A (zh) * 2020-06-01 2021-12-07 华为技术有限公司 均温板和电子设备
TWI796798B (zh) * 2020-10-06 2023-03-21 日商村田製作所股份有限公司 放熱裝置、蒸氣腔及電子機器
JP2022142665A (ja) * 2021-03-16 2022-09-30 富士通株式会社 冷却装置
WO2023058595A1 (ja) * 2021-10-08 2023-04-13 株式会社村田製作所 熱拡散デバイス
CN117641825A (zh) * 2022-08-18 2024-03-01 北京小米移动软件有限公司 均温板、壳体组件及电子设备
WO2024147710A1 (ko) * 2023-01-06 2024-07-11 주식회사 케이엠더블유 능동적 방열 기구 및 그 제조 방법
WO2024147709A1 (ko) * 2023-01-06 2024-07-11 주식회사 케이엠더블유 능동적 방열 기구 및 그 제조 방법

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004028557A (ja) * 2002-05-08 2004-01-29 Furukawa Electric Co Ltd:The 薄型シート状ヒートパイプ
JP2007198714A (ja) * 2006-01-30 2007-08-09 Furukawa Electric Co Ltd:The ヒートパイプの製造方法、前記製造方法により製造されたヒートパイプ、前記ヒートパイプが用いられた放熱器
JP2011122813A (ja) * 2009-11-16 2011-06-23 Just Thokai:Kk 薄型ヒートパイプ及びそれを用いた温度調整パネル
JP2014115052A (ja) * 2012-12-12 2014-06-26 Fujikura Ltd 扁平型ヒートパイプ
JP2016023923A (ja) * 2014-07-22 2016-02-08 泰碩電子股▲分▼有限公司 薄型ベイパーチャンバ及びその製造方法
JP2016156584A (ja) * 2015-02-25 2016-09-01 株式会社フジクラ 薄板ヒートパイプ型熱拡散板
JP3206206U (ja) * 2016-06-02 2016-09-01 泰碩電子股▲分▼有限公司 気液分離構造を有するベイパーチャンバー

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63183386A (ja) * 1987-01-22 1988-07-28 Mitsubishi Metal Corp 伝熱体
JP3045491B2 (ja) 1997-12-24 2000-05-29 ダイヤモンド電機株式会社 ヒートパイプとこの加工方法
CN1192202C (zh) * 2001-09-06 2005-03-09 李嘉豪 平板式环路型热管(一)
JP2004309002A (ja) * 2003-04-04 2004-11-04 Hitachi Cable Ltd プレート型ヒートパイプおよびその製造方法
TWM401759U (en) * 2010-10-15 2011-04-11 Forcecon Technology Co Ltd Improved structure of flat heat pipe having composite capillary structure
CN202182665U (zh) * 2011-07-04 2012-04-04 昆山巨仲电子有限公司 具有受热凸部的均温板结构
TW201518671A (zh) * 2013-11-08 2015-05-16 Hao Pai 薄板式毛細結構及具有該毛細結構之板式熱管
CN205580271U (zh) * 2016-04-21 2016-09-14 广州华钻电子科技有限公司 一种气液分离式均温板

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004028557A (ja) * 2002-05-08 2004-01-29 Furukawa Electric Co Ltd:The 薄型シート状ヒートパイプ
JP2007198714A (ja) * 2006-01-30 2007-08-09 Furukawa Electric Co Ltd:The ヒートパイプの製造方法、前記製造方法により製造されたヒートパイプ、前記ヒートパイプが用いられた放熱器
JP2011122813A (ja) * 2009-11-16 2011-06-23 Just Thokai:Kk 薄型ヒートパイプ及びそれを用いた温度調整パネル
JP2014115052A (ja) * 2012-12-12 2014-06-26 Fujikura Ltd 扁平型ヒートパイプ
JP2016023923A (ja) * 2014-07-22 2016-02-08 泰碩電子股▲分▼有限公司 薄型ベイパーチャンバ及びその製造方法
JP2016156584A (ja) * 2015-02-25 2016-09-01 株式会社フジクラ 薄板ヒートパイプ型熱拡散板
JP3206206U (ja) * 2016-06-02 2016-09-01 泰碩電子股▲分▼有限公司 気液分離構造を有するベイパーチャンバー

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10850348B2 (en) 2017-07-28 2020-12-01 Dana Canada Corporation Device and method for alignment of parts for laser welding
US11209216B2 (en) 2017-07-28 2021-12-28 Dana Canada Corporation Ultra thin heat exchangers for thermal management
JP2021179307A (ja) * 2019-06-21 2021-11-18 株式会社村田製作所 ベーパーチャンバー
JP7173238B2 (ja) 2019-06-21 2022-11-16 株式会社村田製作所 ベーパーチャンバー
KR20210049770A (ko) * 2020-06-29 2021-05-06 주식회사 사이어트 (SYATT Co.,Ltd.) 열전 소자 모듈의 온도 제어 장치
KR102370846B1 (ko) * 2020-06-29 2022-03-07 주식회사 사이어트 (SYATT Co.,Ltd.) 열전 소자 모듈의 온도 제어 장치

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