WO2018105031A1 - 基板検出装置 - Google Patents

基板検出装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2018105031A1
WO2018105031A1 PCT/JP2016/086148 JP2016086148W WO2018105031A1 WO 2018105031 A1 WO2018105031 A1 WO 2018105031A1 JP 2016086148 W JP2016086148 W JP 2016086148W WO 2018105031 A1 WO2018105031 A1 WO 2018105031A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
substrate
time zone
light amount
light
unit
Prior art date
Application number
PCT/JP2016/086148
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
ヒエウ ギヤ グエン
朗 原
伊藤　太郎
Original Assignee
株式会社Ｆｕｊｉ
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社Ｆｕｊｉ filed Critical 株式会社Ｆｕｊｉ
Priority to PCT/JP2016/086148 priority Critical patent/WO2018105031A1/ja
Priority to JP2018555358A priority patent/JP6788687B2/ja
Publication of WO2018105031A1 publication Critical patent/WO2018105031A1/ja

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01V—GEOPHYSICS; GRAVITATIONAL MEASUREMENTS; DETECTING MASSES OR OBJECTS; TAGS
    • G01V8/00—Prospecting or detecting by optical means
    • G01V8/10—Detecting, e.g. by using light barriers
    • G01V8/12—Detecting, e.g. by using light barriers using one transmitter and one receiver
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere

Definitions

  • the present invention relates to a substrate detection apparatus provided in a substrate production machine that conveys a substrate along a conveyance path in the machine.
  • Each substrate production machine includes a substrate detection device and confirms the state of substrate conveyance in the conveyance path.
  • a substrate detection device a method using detection light is frequently used. That is, the substrate detection device projects detection light toward a specific position on the conveyance path, and determines the presence of the substrate because the detection light is blocked or reflected by the substrate.
  • Patent Document 1 One technical example of this type of substrate detection apparatus is disclosed in Patent Document 1.
  • the substrate crack detection apparatus of Patent Document 1 includes an irradiation unit that irradiates light to a substrate to be transported, a light receiving unit, a signal output unit that outputs a signal based on a light receiving state, and the presence of a substrate based on the signal.
  • the signal output means outputs a signal having a larger time width than that corresponding to the crack of the substrate. According to this, when there is a crack in the substrate, the light receiving state changes from the state with the substrate to the state without the substrate, and a signal with a large time width is output, so that the crack is reliably detected. ing.
  • the temperature of the light projecting unit exemplified in the irradiation means of Patent Document 1 moves up and down immediately after the power is turned on or when the operation is temporarily interrupted, and accordingly, the light projection amount varies with time. For this reason, if the production of the substrate is continued with the substrate production machine, the amount of received light that depends on the light projection amount may fluctuate with respect to a certain threshold light amount for determining the presence of the substrate, which may cause an erroneous determination. As a result, it is determined that the substrate is abnormally conveyed, and the production of the substrate is stopped.
  • the present invention has been made in view of the problems of the above-described background art, and solves the problem of providing a substrate detection device that does not reduce production efficiency by setting a threshold light amount without interfering with the operation of a substrate production machine. It should be a challenge.
  • a substrate detection device disclosed in the present specification is disposed facing a specific position of a transport path provided in a substrate production machine for transporting a substrate, and a light projecting unit that projects detection light toward the specific position
  • a light receiving portion that is arranged facing the specific position and receives the detection light to obtain a received light amount; and a part of an operation time zone during which the substrate production machine is operating, and the substrate is at the specific position.
  • the identification A setting unit configured to set a threshold light amount for determining whether or not the substrate exists at a position; and the received light amount obtained in the determination time period is compared with the threshold light amount, and the substrate exists at the specific position. And a determination unit that determines whether or not to do.
  • the light receiving unit receives light in a part of the operation time zone in which the substrate production machine is operating and in the absence time zone in which the substrate cannot exist at a specific position on the transport path.
  • the amount can be determined. Since the obtained light reception amount is the light reception amount when it is known that the substrate does not exist, the threshold light amount can be appropriately set based on this light reception amount to compensate for fluctuations in the light projection amount of the light projecting unit. Thereby, it is possible to correctly determine whether or not the substrate exists at the specific position in the determination time zone excluding the absent time zone.
  • the operation of the substrate production machine is not interrupted, and the amount of received light is obtained using the absent time period of the operation time period, so that the operation of the board production machine is not hindered and the production efficiency is not lowered.
  • FIG. 1 is a front cross-sectional view of a substrate transfer device 9 of a substrate production machine provided with the substrate detection device 1 of the embodiment.
  • FIG. 2 is a side sectional view of the substrate transfer device 9. The transport direction of the substrate K is from the front side to the back side in FIG. 1 and from left to right in FIG.
  • the substrate transfer device 9 is disposed on the upper surface of a machine base 99 of an electronic component mounting machine, which is a typical example of a substrate production machine, and may be disposed on other types of substrate production machines.
  • FIG. 3 is a block diagram illustrating a control configuration of the substrate detection apparatus 1 according to the embodiment.
  • FIG. 3 also shows the control unit 2 of the substrate transport apparatus 9 that is a part of the substrate detection apparatus 1.
  • the substrate transport device 9 includes a pair of left and right guide rails 92 and a conveyor belt 93, a drive motor 94, a clamp device 95, and the control unit 2.
  • a pair of guide rails 92 is disposed above the pair of left and right support plates 91 that are erected.
  • the pair of guide rails 92 are set so that the distance between them is corresponding to the width of the substrate K. This separation distance may be variably adjusted.
  • a belt guide 921 extending in the transport direction is provided inside the pair of guide rails 92 facing each other.
  • An endless annular conveyor belt 93 is disposed so as to be guided along the guide rails 92 to the upper surface of the belt guide 921.
  • the upper surface of the conveyor belt 93 is a conveyance path 3 for conveying the substrate K.
  • the conveyor belt 93 is wound around a pair of front and rear conveyance guide pulleys 922, a pair of front and rear return pulleys 923, a direction changing pulley 924, a driving pulley 925, and a tension applying pulley 926.
  • the drive pulley 925 is supported so as to rotate integrally with the spline shaft 927.
  • the spline shaft 927 is rotationally driven from the drive motor 94.
  • the tension applying pulley 926 applies tension to the conveyor belt 93 to prevent relaxation. As a result, the conveyor belt 93 is driven to rotate, and the substrate K is placed on the upper surface thereof and conveyed.
  • the clamp device 95 includes a plurality of support pins 951, a pedestal 952, a fluid pressure cylinder 96, and the like.
  • the number and arrangement of the plurality of support pins 951 are appropriately adjusted according to the type of the substrate K to be transported.
  • the plurality of support pins 951 are erected on the upper surface of a rectangular plate-like pedestal 952.
  • the pedestal 952 is supported and guided by a plurality of pilot bars 953 so as to be movable up and down.
  • the pedestal 952 is driven up and down by a fluid pressure cylinder 96.
  • control unit 2 has functions of a conveyance control unit 21 and a positioning control unit 22.
  • the conveyance control unit 21 controls the operation of the drive motor 94.
  • the positioning control unit 22 controls the operation of the fluid pressure cylinder 96.
  • the control unit 2 also serves as a part of the function of the substrate detection apparatus 1.
  • the transport control unit 21 operates the drive motor 94.
  • the conveyor belt 93 rotates, and the substrate K is carried to the mounting position 32 at the approximate center of the transport path 3.
  • the positioning control unit 22 moves the fluid pressure cylinder 96 upward.
  • the base 952 rises and the support pins 951 push the substrate K upward.
  • the substrate K is positioned at a height KK between a pressing portion 928 extending inward from the upper portion of the guide rail 92 and the support pin 951.
  • an electronic component mounting operation is performed on the substrate K positioned at the height KK of the mounting position 32.
  • the positioning control unit 22 moves the fluid pressure cylinder 96 downward.
  • the base 952 is lowered and the substrate K is returned to the upper surface of the conveyor belt 93.
  • the conveyance control unit 21 operates the drive motor 94.
  • the substrate K is unloaded from the mounting position 32 via the outlet 33 of the transport path 3 to the outside of the apparatus.
  • the substrate transport device 9 can also carry out the substrate K and carry in another substrate K at the same time.
  • the substrate detection apparatus 1 includes a light projecting unit 4, a light receiving unit 5, and a time zone grasping unit 23 and a setting unit 24 realized by the control function of the control unit 2.
  • the substrate detection apparatus 1 detects the presence of the substrate K at a specific position in the transport path 3 and reflects the detection result in the transport control of the substrate K.
  • the specific position of the conveyance path 3 is set at the entrance 31 and the exit 33, and is not limited to this.
  • the two light projecting units 4 are arranged on the left guide rail 92 in FIG. Lighting and extinguishing of the light projecting unit 4 is controlled by the control unit 2.
  • the light projecting unit 4 has a temperature dependency in which the temperature moves up and down immediately after the power is turned on or when the operation is temporarily interrupted, and accordingly, the light projection amount varies with time.
  • the first light projecting unit 4 projects the detection light Ld toward the entrance 31.
  • the second light projecting unit 4 projects the detection light Ld toward the outlet 33.
  • the two light receiving parts 5 are arranged on the opposite side of the light projecting part 4 across the inlet 31 and the outlet 33 of the conveyance path 3, that is, on the right guide rail 92 in FIG.
  • the first light receiving unit 5 receives the detection light Ld arriving from the first light projecting unit 4 through the inlet 31 and obtains the received light amount R.
  • the second light receiving unit 5 receives the detection light Ld that has passed through the outlet 33 from the second light projecting unit 4 and obtains the received light amount R.
  • the detection light Ld is not limited to visible light, and may be light that is not visible to humans, such as infrared rays.
  • the detection light Ld from the first light projecting unit 4 reaches the first light receiving unit 5 when the substrate K does not exist at the entrance 31.
  • the detection light Ld from the first light projecting unit 4 is not blocked by the substrate K and does not reach the first light receiving unit 5 when the substrate K is present at the entrance 31. That is, the received light amount R of the first light receiving unit 5 is reduced or eliminated.
  • the detection light Ld from the second light projecting unit 4 reaches the second light receiving unit 5 when the substrate K does not exist at the outlet 33.
  • the detection light Ld from the second light projecting unit 4 is at least partially blocked by the substrate K and does not reach the second light receiving unit 5. That is, the received light amount R of the second light receiving unit 5 decreases or disappears.
  • the light receiving unit 5 includes a photoelectric conversion unit 51, a threshold light amount storage unit 52, a determination unit 53, and an output unit 54.
  • the photoelectric conversion unit 51 photoelectrically converts the incident detection light Ld to obtain an electric signal representing the received light amount R.
  • the threshold light quantity storage unit 52 stores the threshold light quantity S set by the setting unit 24.
  • the determination unit 53 compares the received light amount R with the threshold light amount S and sends the determination result J to the output unit 54. When the received light amount R is less than the threshold light amount S, the determination result J is “1” meaning “the substrate K exists”. When the received light amount R is equal to or greater than the threshold light amount S, the determination result J is “0” meaning “the substrate K does not exist”.
  • the output unit 54 outputs the received light amount R and the determination result J to the control unit 2. Information on the amount of received light R and the determination result J is shared inside the control unit 2.
  • the time zone grasping unit 23 and the setting unit 24 separately control two sets of the light projecting unit 4 and the light receiving unit 5 independently. In the following, the description will proceed mainly with respect to the light projecting unit 4 and the light receiving unit 5 arranged on the entrance 31 side of the transport path 3.
  • the time zone grasping unit 23 grasps the operating time zone in which the substrate production machine is operating by dividing it into the absent time zone Tn and the determination time zone Tj.
  • the absent time zone Tn is a time zone during which the substrate K cannot exist at the entrance 31 of the transport path 3.
  • the determination time zone Tj is a time zone obtained by excluding the absence time zone Tn from the operation time zone.
  • FIG. 4 is a time chart illustrating the operation of the time zone grasping unit 23 and the setting unit 24.
  • the horizontal axis indicates the passage of time.
  • the upper graph shows the determination result J of the determination unit 53
  • the middle graph shows the time zone of the arithmetic processing of the setting unit 24, and the lower graph shows the time zone of the setting operation of the setting unit 24.
  • the determination result J of the determination unit 53 changes from “1” to “0”. This means that the rear end of the first substrate K has passed through the entrance 31, that is, the time t1 is the time when the first substrate K is completely loaded.
  • the time zone grasping unit 23 sets the time t1 as the start point of the absent time zone Tn.
  • the mounting operation to the first substrate K is performed at the mounting position 32.
  • the control unit 2 starts to carry in the second substrate K at time t4 after the mounting operation is completed. For this reason, the substrate K cannot exist at the entrance 31 from time t1 to time t4. Therefore, the time zone grasping unit 23 sets the time t4 as the end point of the absent time zone Tn.
  • the end point of the absent time period Tn can be determined by another method. More specifically, a certain amount of mounting time is required for the mounting operation on the first substrate K. For this reason, the time zone grasping part 23 can set a fixed time shorter than the mounting time, and can set the end point of the absent time zone Tn when the fixed time has elapsed from the end of the loading of the first substrate K.
  • the determination time zone Tj is obtained after time t4.
  • the determination result J of the determination unit 53 changes from “0” to “1”. This means that the tip of the second substrate K has been carried into the inlet 31. Therefore, the time t5 is the time when the second substrate K is started to be loaded.
  • the transfer control unit 21 can accurately advance the transfer control of the second substrate K based on this loading start time.
  • the setting unit 24 starts arithmetic processing at time t2 after the absence time zone Tn.
  • the calculation process of the setting unit 24 ends at time t3 before the end point (time t4) of the absent time period Tn. At time t3, it is determined that resetting of the threshold light amount S is unnecessary. For this reason, as shown in the lower graph, the setting unit 24 does not execute the setting operation.
  • the setting unit 24 repeatedly operates at a time interval equal to or longer than the predetermined time Td. That is, the setting unit 24 starts the next calculation process at a time t7 after the predetermined time Td has elapsed from the time t2 when the current calculation process is started and after the absence time zone Tn.
  • the absence time zone Tn at this time starts at time t6 and ends at time t11.
  • the predetermined time Td can be exemplified by 10 minutes, and is not limited to this.
  • substrate K is performed between the time t2 and the time t6, and the several absence time zone Tn and the determination time zone Tj generate
  • the next calculation process of the setting unit 24 ends at time t8 before the end point (time t11) of the absent time period Tn.
  • time t8 it is determined that the threshold light amount S needs to be reset. For this reason, as shown in the lower graph, the setting unit 24 executes the setting operation from time t9.
  • the setting operation of the setting unit 24 ends at time t10 before the end point (time t11) of the absent time period Tn.
  • FIG. 5 is an operation flowchart of the substrate detection apparatus 1 including the arithmetic processing and setting operation of the setting unit 24.
  • This operation flow diagram is executed in parallel with the production operation in the operation time zone in which the substrate production machine is operating.
  • Initial setting is performed in step S1 of FIG. More specifically, the received light amount R is manually measured after the setup change corresponding to the type of the substrate K to be produced next is completed and before the substrate K is carried in. Then, based on the result of manual measurement, initial values of the received light amount R and the threshold light amount S are set. Further, an allowable range D and a coefficient A, which will be described later, are automatically set based on the width dimension and thickness information of the substrate K to be produced next.
  • the light receiving unit 5 obtains the received light amount R and outputs the received light amount R and the determination result J to the control unit 2.
  • the control unit 2 refers to the grasping result of the time zone grasping unit 23, advances the execution of the operation flow to the step S4 in the absence time zone Tn, and moves to the operation flow in the determination time zone Tj. Advances to step S11.
  • step S4 the setting unit 24 determines whether or not a predetermined time Td has elapsed since the previous operation. Note that when the substrate detection apparatus 1 has just started and there is no previous operation, the setting unit 24 determines whether or not a predetermined time Td has elapsed since the start. The setting unit 24 returns the execution of the operation flow to step S2 when the predetermined time Td has not elapsed, and advances the execution of the operation flow to step S5 when the predetermined time Td has elapsed.
  • step S5 the setting unit 24 investigates whether or not there is an abnormality.
  • the first abnormality time is a case where the current light reception amount R changes beyond the abnormality determination range as compared with the previous light reception amount R. In this case, for example, a state where a foreign object accidentally enters the entrance 31 of the conveyance path 3 and the detection light Ld is blocked is assumed.
  • the second abnormal time is when a trouble occurs in the transport of the substrate K in the transport path 3.
  • the setting unit 24 returns the execution of the operation flow to step S2 if it is abnormal, and advances the execution of the operation flow to step S6 if it is not abnormal.
  • step S6 the setting unit 24 determines whether or not the current received light amount R has changed beyond the allowable range D by comparing with the past received light amount Rpst when the newest threshold light amount S is set.
  • the current received light amount R is an amount obtained in the absence time period Tn, in other words, an amount obtained in a state where the substrate K does not exist at the entrance 31 of the transport path 3.
  • the newest threshold light quantity S is set in the threshold light quantity storage unit 52 in step S8 before the previous time.
  • the newest threshold light quantity S and the past received light quantity R are the initial values initially set in step S1.
  • the allowable range D can be set to ⁇ 10% of the past received light amount Rpst, and is not limited to this.
  • the setting unit 24 returns the execution of the operation flow to step S2 when the current received light amount R changes within the allowable range D, that is, does not reset the threshold light amount S. Further, the setting unit 24 advances the execution of the operation flow to step S7 when the current received light amount R changes beyond the allowable range D.
  • step S7 the setting unit 24 obtains a new threshold light amount Snew by multiplying the current received light amount R by a coefficient A less than 1.
  • the coefficient A is appropriately set based on the width dimension and thickness of the substrate K that blocks the detection light Ld.
  • the coefficient A can be exemplified by 50%, but is not limited to this.
  • a new threshold light amount Snew may be obtained by subtracting a certain amount from the current received light amount R.
  • the setting unit 24 sets a new threshold light amount Snew in the threshold light amount storage unit 52.
  • the threshold light quantity storage unit 52 stores the new threshold light quantity Snew in the memory in addition to the original threshold light quantity S, and leaves a change history. Thereafter, the setting unit 24 returns the execution of the operation flow to step S2.
  • FIG. 6 is a bar graph showing an example in which the current received light amount R changes within the allowable range D as compared to the received light amount Rpst when the newest threshold light amount S is set.
  • FIG. 7 is a bar graph showing an example in which the current received light amount Rnow changes beyond the allowable range D compared to the received light amount Rpst when the newest threshold light amount S is set.
  • FIG. 8 is a bar graph showing the new threshold light quantity Snew obtained in FIG.
  • the threshold light quantity S is set by multiplying the past received light amount Rpst by a coefficient A less than 1.
  • the current received light amount R does not deviate from the allowable range D even if it statistically varies somewhat. Therefore, in this case, it is not necessary to reset the threshold light quantity S.
  • step S7 the setting unit 24 multiplies the current received light amount Rnow by the coefficient A to obtain a new threshold light amount Snew.
  • the new threshold light amount Snew has a difference ⁇ S with respect to the original threshold light amount S.
  • the newest threshold light amount Snew is obtained, and this is set to the current received light amount Rnow.
  • the setting unit 24 determines whether or not the next received light amount Rnext is within the allowable range D of the current received light amount Rnow.
  • the determination unit 53 determines the presence of the substrate K by comparing the received light amount Rnext obtained next time with the new threshold light amount Snew. In this way, the temperature dependence of the light projecting unit 4 can be compensated.
  • step S12 and step S13 the control unit 2 returns the execution of the operation flow to step S2. This completes one cycle of the operation flow. Thereafter, step S2 and subsequent steps are repeatedly executed at predetermined control cycle intervals.
  • step S2 and subsequent steps are repeatedly executed at predetermined control cycle intervals.
  • the time zone grasping unit 23 uses the end point of unloading the third substrate K at which the determination result J of the light receiving unit 5 on the outlet 33 side has changed from “1” to “0” as the starting point of the absent time zone Tn. Then, the time zone grasping unit 23 sets the time when the fourth substrate K starts to be unloaded after the mounting operation is ended as the end point of the absent time zone Tn. Alternatively, the time zone grasping unit 23 may set a certain time shorter than the mounting time, and may set the end point of the absent time zone Tn when a certain time has elapsed from the time when the third substrate K is unloaded.
  • the substrate detection device 1 of the embodiment is arranged facing a specific position (inlet 31 and outlet 33) of the transfer path 3 provided in the substrate production machine for transferring the substrate K.
  • the light projecting unit 4 that projects the detection light Ld toward the specific position
  • the light receiving unit 5 that is arranged facing the specific position and receives the detection light Ld to obtain the received light amount R, and the substrate production machine operates.
  • a setting unit 24 for setting a threshold light quantity S for determining whether or not the substrate K exists at a specific position based on the received light amount R obtained in the absence time period Tn, and a determination time period Tj.
  • the received light amount R is compared with the threshold light amount S, and the substrate K is placed at a specific position.
  • a determination unit 53 and a control unit 2 for determining whether or not there is.
  • the light receiving unit 5 in the absence time zone Tn that is a part of the operation time zone in which the substrate production machine is operating and the substrate K cannot exist at a specific position of the transport path 3, the light receiving unit 5. Can be obtained.
  • the obtained received light amount R is the received light amount R when it is known that the substrate K does not exist. Therefore, the threshold light amount S is appropriately set based on the received light amount R, and the projected light amount of the light projecting unit 4 is set. Can compensate for variations. Thereby, it is possible to correctly determine whether or not the substrate K exists at the specific position in the determination time zone Tj excluding the absent time zone Tn.
  • the received light amount R since the received light amount R is obtained by using the absent time period Tn in the operation time period without interrupting the operation of the substrate production machine, the operation of the board production machine is not hindered and the production efficiency is not lowered. .
  • the light receiving unit 5 is disposed on the opposite side of the light projecting unit 4 with the specific position (entrance 31 and outlet 33) interposed therebetween, and the detection light Ld is transmitted to the light receiving unit 5 when the substrate K does not exist at the specific position.
  • the substrate K reaches the specific position, at least part of the substrate K is blocked by the substrate K and does not reach the light receiving unit 5. According to this, in the substrate detection apparatus 1 of the type in which the detection light Ld is shielded by the substrate K, the effect of not reducing the production efficiency can be obtained.
  • the setting unit 24 multiplies the received light amount Rnow obtained in the absence time period Tn by a coefficient A less than 1 to obtain the threshold light quantity Snew, and the determination unit 53 determines the received light amount Rnext determined in the determination time period Tj. Is less than the threshold light amount Snew, it is determined that the substrate K exists, and it is determined that the substrate K does not exist when the received light amount Rnext calculated in the determination time zone Tj is equal to or greater than the threshold light amount Snew. According to this, it is possible to determine the appropriate threshold light quantity Snew by appropriately setting the coefficient A, and to determine the presence of the substrate K with high accuracy.
  • the setting unit 24 repeatedly operates at a time interval equal to or longer than the predetermined time Td, and the current received light amount Rnow exceeds the allowable range D compared to the received light amount Rpst when the newest threshold light amount S is set.
  • the threshold light amount Snew is reset when it changes, and the threshold light amount S is not reset when the current received light amount R changes within the allowable range D.
  • the threshold light amount Snew when the light projection amount changes due to the temperature dependence of the light projecting unit 4 and the light reception amount R of the light receiving unit 5 in the absence time period Tn greatly changes, the threshold light amount Snew can be reset. Therefore, the threshold light quantity Snew is variably adjusted so as to compensate for the temperature dependence of the light projecting unit 4, and the presence of the substrate K can be determined with extremely high accuracy. Further, when the change in the amount of received light R in the absence time zone Tn of the light receiving unit 5 is small, unnecessary resetting operation is not performed. Therefore, control redundancy can be avoided, and the memory capacity of the threshold light quantity storage unit 52 can be saved.
  • the specific position is the entrance 31 of the transport path 3, and the absence time zone Tn of the first substrate K in which the determination result of the determination unit 53 has changed from “the substrate is present” to “the substrate is not present”.
  • This is a time zone from the end of loading (time t1) to time t4 when the loading of the second substrate K is started, or a time zone from the end of loading until a predetermined time elapses. According to this, the presence of the substrate K can be determined with high accuracy at the entrance 31 of the transport path 3. Accordingly, it is possible to detect the carry-in of the tip of the second substrate K and to accurately carry on the subsequent transfer control.
  • the specific position is the exit 33 of the transport path 3, and the absence time zone Tn of the third substrate K in which the determination result of the determination unit 53 is changed from “the substrate is present” to “the substrate is not present”.
  • This is the time zone from the end of unloading to the start of unloading of the fourth substrate K, or the time zone from the end of unloading until a fixed time elapses. According to this, the presence of the substrate K can be determined with high accuracy at the outlet 33 of the transport path 3.
  • the setting unit 24 repeatedly operates at a time interval equal to or longer than the predetermined time Td, and resets the threshold light amount S when an abnormality occurs in which the current light reception amount changes beyond the abnormality determination range compared to the previous light reception amount. Do not do. According to this, when there is a doubt about the reliability of the obtained received light amount R, the threshold light quantity S is not reset, so that the operation reliability is high.
  • the setting unit 24 repeatedly operates at a time interval equal to or longer than the predetermined time Td, and does not reset the threshold light amount S when an abnormality occurs in the transport path 3 in the transportation of the substrate K. According to this, when there is a doubt about the reliability of the obtained received light amount R, the threshold light quantity S is not reset, so that the operation reliability is high.
  • the light projecting unit 4 and the light receiving unit 5 may be disposed only at one of the entrance 31 and the exit 33 of the transport path 3 or a set around the mounting position 32. May be provided. Further, the threshold light amount storage unit 52 and the determination unit 53 may be provided on the control unit 2 side, and the output unit 54 may output only the received light amount R. Furthermore, in the present embodiment, the detection light Ld is projected in the width direction of the substrate K, but the detection light Ld may be projected in the thickness direction of the substrate K.
  • a method in which the detection light Ld is shielded by the substrate K is adopted, but a method in which the detection light Ld is reflected by the substrate K may be used. That is, a light projecting unit that projects detection light toward the specific position and a light projecting unit that is disposed facing a specific position of a transport path provided in the substrate production apparatus for transporting the substrate.
  • a light receiving unit that receives the detection light to obtain a received light amount, a part of an operation time zone in which the substrate production apparatus is operating, and an absence time zone in which the substrate cannot exist at the specific position; and the operation A time zone grasping unit for grasping a judgment time zone excluding the absent time zone from a time zone, and a threshold light amount for judging the presence or absence of the substrate at the specific position based on the received light amount obtained in the absent time zone And a determination unit that compares the received light amount obtained in the determination time zone with the threshold light amount to determine the presence or absence of the substrate at the specific position, and the light receiving unit includes Arranged side by side in the floodlight The detection light does not reach the light receiving unit when the substrate is not at the specific position, and at least part of the detection light is reflected by the substrate and reaches the light receiving unit when the substrate is at the specific position. You may employ
  • Substrate detection device 2 Control unit 23: Time zone grasping unit 24: Setting unit 3: Transport path 31: Entrance 32: Mounting position 33: Exit 4: Light projecting unit 5: Light receiving unit 51: Photoelectric conversion unit 52: Threshold light quantity storage unit 53: determination unit 54: output unit 9: substrate transport device K: substrate Ld: detection light R: light reception amount Rpst: past light reception amount Rnow: current light reception amount S: threshold light amount Snew: new threshold light amount J : Judgment result Tn: Absence time zone Tj: Judgment time zone Td: Predetermined time D: Allowable range A: Coefficient

Landscapes

  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Geophysics (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
  • Geophysics And Detection Of Objects (AREA)

Abstract

基板検出装置（１）は、搬送路（３）の特定位置に相当する入口（３１）および出口（３１）に臨んで配置され、特定位置に向かって検出光（Ｌｄ）を投光する投光部（４）と、特定位置に臨んで配置され、検出光を受光して受光量（Ｒ）を求める受光部（５）と、動作時間帯の一部分であって特定位置に基板（Ｋ）が存在し得ない不在時間帯（Ｔｎ）、および動作時間帯から不在時間帯を除外した判定時間帯（Ｔｊ）を把握する時間帯把握部（２３）と、不在時間帯に求められた受光量に基づいて、特定位置に基板が存在するか否かを判定する閾光量（Ｓ）を設定する設定部（２４）と、判定時間帯に求められた受光量を閾光量と比較して、特定位置に基板が存在するか否かを判定する判定部（５３）と、を備える。

Description

基板検出装置
　本発明は、機内の搬送路に沿って基板を搬送する基板生産機に設けられた基板検出装置に関する。
　多数の電子部品が実装された基板を生産する基板生産機として、半田印刷機、電子部品装着機、リフロー機、基板検査機などがある。これらの基板生産機を連結して基板生産ラインを構築することが一般的になっている。各基板生産機は、基板検出装置を備えて、搬送路における基板の搬送状況を確認する。基板検出装置として、検出光を用いる方式が多用されている。すなわち、基板検出装置は、搬送路の特定位置に向かって検出光を投光し、検出光が基板によって遮られ、または反射されることから基板の存在を判定する。この種の基板検出装置の一技術例が特許文献１に開示されている。
　特許文献１の基板割れ検出装置は、搬送される基板に対して光を照射する照射手段と、受光手段と、受光状態に基づいて信号を出力する信号出力手段と、信号に基づき基板の存在に加えて基板の割れも検知する手段とを有し、信号出力手段は、基板の割れに相当するよりも大きな時間幅の信号を出力する。これによれば、基板に割れがある場合に、受光状態が基板有りの状態から無しの状態に変化し、かつ大きな時間幅の信号が出力されるので、確実に割れが検知される、とされている。
特開２００７－２２５３２３号公報
　ところで、特許文献１の照射手段に例示される投光部は、電源投入の直後や一時的な動作中断によって温度が上下動し、これに伴って投光量が時間的に変動する。そのため、基板生産機で基板の生産を続けていると、基板の存在を判定する一定の閾光量に対し、投光量に依存する受光量が変動して、誤判定を引き起こす場合が生じ得る。その結果、基板の搬送異常と判定されて、基板の生産が停止してしまう。
　搬送異常を防止するために、従来技術では、一定時間間隔で搬送路に基板が存在しない状態を確保し、そのときの受光部の受光量を求めて閾光量を再設定する。しかしながら、この再設定は、基板の搬入を一時的に停止する動作中断を必要とする。さらに、従来技術では、基板生産機が動作を継続して投光部の温度および投光量が安定していても、不要な動作中断および閾光量の再設定を行っていた。このような動作中断により、基板生産機の生産効率が低下する。
　本発明は、上記背景技術の問題点に鑑みてなされたものであり、基板生産機の動作を妨げることなく閾光量の設定を行って、生産効率を低下させない基板検出装置を提供することを解決すべき課題とする。
　本明細書で開示する基板検出装置は、基板の搬送用に基板生産機に設けられた搬送路の特定位置に臨んで配置され、前記特定位置に向かって検出光を投光する投光部と、前記特定位置に臨んで配置され、前記検出光を受光して受光量を求める受光部と、前記基板生産機が動作している動作時間帯の一部分であって、前記特定位置に前記基板が存在し得ない不在時間帯、および前記動作時間帯から前記不在時間帯を除外した判定時間帯を把握する時間帯把握部と、前記不在時間帯に求められた前記受光量に基づいて、前記特定位置に前記基板が存在するか否かを判定する閾光量を設定する設定部と、前記判定時間帯に求められた前記受光量を前記閾光量と比較して、前記特定位置に前記基板が存在するか否かを判定する判定部と、を備える。
　本明細書で開示する基板検出装置によれば、基板生産機が動作している動作時間帯の一部分であって搬送路の特定位置に基板が存在し得ない不在時間帯に、受光部の受光量を求めることができる。求めた受光量は、基板が存在しないと分かっているときの受光量であるので、この受光量に基づいて閾光量を適正に設定して、投光部の投光量の変動を補償できる。これにより、不在時間帯を除外した判定時間帯で、特定位置に基板が存在するか否かを正しく判定できる。かつ、基板生産機の動作を中断するのでなく、動作時間帯のうちの不在時間帯を利用して受光量を求めるので、基板生産機の動作を妨げることがなく、生産効率を低下させない。
実施形態の基板検出装置が設けられる基板生産機の基板搬送装置の正面断面図である。 基板搬送装置の側面断面図である。 実施形態の基板検出装置の制御の構成を示すブロック図である。 時間帯把握部および設定部の動作を説明するタイムチャートの図である。 設定部の演算処理および設定動作を含む基板検出装置の動作フロー図である。 最も新しい閾光量を設定したときの受光量と比較して、今回の受光量が許容範囲の範囲内で変化した一例を示す棒グラフの図である。 最も新しい閾光量を設定したときの受光量と比較して、今回の受光量が許容範囲を超えて変化した一例を示す棒グラフの図である。 図７で求められた新しい閾光量を示す棒グラフの図である。
　基板搬送装置９の構成および動作
　実施形態の基板検出装置１について、図１～図８を参考にして説明する。まず、基板検出装置１が設けられる基板生産機の基板搬送装置９について説明する。図１は、実施形態の基板検出装置１が設けられる基板生産機の基板搬送装置９の正面断面図である。さらに、図２は、基板搬送装置９の側面断面図である。基板Ｋの搬送方向は、図１では紙面の表側から裏側に向かい、図２では左方から右方に向かっている。基板搬送装置９は、基板生産機の代表例である電子部品装着機の機台９９の上面に配設されており、他種の基板生産機に配設されてもよい。また、図３は、実施形態の基板検出装置１の制御の構成を示すブロック図である。図３には、基板検出装置１の一部となる基板搬送装置９の制御部２も示されている。
　基板搬送装置９は、左右一対のガイドレール９２およびコンベアベルト９３、駆動モータ９４、クランプ装置９５、および制御部２などで構成される。図１に示されるように、立設された左右一対の支持板９１の上側に、一対のガイドレール９２が配設されている。一対のガイドレール９２は、相互の離間距離が基板Ｋの幅に対応して設定される。この離間距離は、可変に調整されるようになっていてもよい。一対のガイドレール９２の対向する内側に、搬送方向に延びるベルトガイド９２１が設けられている。各ガイドレール９２に沿いつつベルトガイド９２１の上面に案内されるように、無端環状のコンベアベルト９３が配設されている。コンベアベルト９３の上面は、基板Ｋを搬送する搬送路３となる。
　図２に示されるように、コンベアベルト９３は、前後一対の搬送ガイドプーリ９２２、前後一対の戻しプーリ９２３、方向変換プーリ９２４、駆動プーリ９２５、及びテンション付与プーリ９２６に巻装されている。駆動プーリ９２５は、スプライン軸９２７と一体回転されるように支持されている。スプライン軸９２７は、駆動モータ９４から回転駆動される。テンション付与プーリ９２６は、コンベアベルト９３に張力を付与して弛緩を防止する。これにより、コンベアベルト９３は、輪転駆動され、その上面に基板Ｋを載置して搬送する。
　クランプ装置９５は、複数の支持ピン９５１、台座９５２、および流体圧シリンダ９６などで構成される。複数の支持ピン９５１は、搬送する基板Ｋの種類に対応して、適宜使用本数および配置が調整される。複数の支持ピン９５１は、矩形板状の台座９５２の上面に立設される。台座９５２は、複数のパイロットバー９５３により上下動可能に支持、および案内される。台座９５２は、流体圧シリンダ９６によって、昇降駆動される。
　図３に示されるように、制御部２は、搬送制御部２１、および位置決め制御部２２の機能を有する。搬送制御部２１は、駆動モータ９４の動作を制御する。位置決め制御部２２は、流体圧シリンダ９６の動作を制御する。後述するように、制御部２は、基板検出装置１の機能の一部を兼ねている。
　次に、基板搬送装置９の動作について説明する。搬送路３の入口３１に基板Ｋが到着すると、搬送制御部２１は、駆動モータ９４を動作させる。これにより、コンベアベルト９３が輪転し、基板Ｋは、搬送路３の略中央の装着実施位置３２まで搬入される。次に、位置決め制御部２２は、流体圧シリンダ９６を上昇動作させる。これにより、台座９５２は上昇し、支持ピン９５１は基板Ｋを上方に押し上げる。基板Ｋは、ガイドレール９２の上部から内向きに延びる押え部９２８と支持ピン９５１の間の高さＫＫに位置決めされる。
　次に、装着実施位置３２の高さＫＫに位置決めされた基板Ｋに対して、電子部品の装着作業が行われる。装着作業が終了すると、位置決め制御部２２は、流体圧シリンダ９６を下降動作させる。これにより、台座９５２は下降し、基板Ｋは、コンベアベルト９３の上面に戻される。次に、搬送制御部２１は、駆動モータ９４を動作させる。これにより、基板Ｋは、装着実施位置３２から搬送路３の出口３３を経由して、機外まで搬出される。なお、基板搬送装置９は、基板Ｋの搬出、および別の基板Ｋの搬入を同時に行うこともできる。
　実施形態の基板検出装置１の構成
　実施形態の基板検出装置１の説明に移る。図３に示されるように、実施形態の基板検出装置１は、投光部４、受光部５、ならびに、制御部２の制御機能で実現された時間帯把握部２３および設定部２４などで構成されている。基板検出装置１は、搬送路３の特定位置で基板Ｋの存在を検出して、検出結果を基板Ｋの搬送制御に反映させるものである。本実施形態において、搬送路３の特定位置は、入口３１および出口３３に設定されており、これに限定されない。
　図１および図２に示されるように、投光部４および受光部５は、搬送路３の入口３１および出口３３に臨んで二組設けられる。二つの投光部４は、図１の左側のガイドレール９２に配置される。投光部４の点灯および消灯は、制御部２から制御される。投光部４は、電源投入の直後や一時的な動作中断によって温度が上下動し、これに伴って投光量が時間的に変動するという温度依存性をもつ。第一の投光部４は、入口３１に向かって検出光Ｌｄを投光する。第二の投光部４は、出口３３に向かって検出光Ｌｄを投光する。
　二つの受光部５は、搬送路３の入口３１および出口３３を挟んで投光部４の反対側、すなわち図１の右側のガイドレール９２に配置される。第一の受光部５は、第一の投光部４から入口３１を通過して到来する検出光Ｌｄを受光して受光量Ｒを求める。第二の受光部５は、第二の投光部４から出口３３を通過して到来する検出光Ｌｄを受光して受光量Ｒを求める。なお、検出光Ｌｄは、可視光に限定されず、赤外線などの人に見えない光であってもよい。
　第一の投光部４からの検出光Ｌｄは、入口３１に基板Ｋが存在しない場合に、第一の受光部５に到達する。第一の投光部４からの検出光Ｌｄは、入口３１に基板Ｋが存在する場合に、基板Ｋによって少なくとも一部が遮られて第一の受光部５に到達しない。つまり、第一の受光部５の受光量Ｒが減少し、または無くなる。同様に、第二の投光部４からの検出光Ｌｄは、出口３３に基板Ｋが存在しない場合に、第二の受光部５に到達する。第二の投光部４からの検出光Ｌｄは、出口３３に基板Ｋが存在する場合に、基板Ｋによって少なくとも一部が遮られて第二の受光部５に到達しない。つまり、第二の受光部５の受光量Ｒが減少し、または無くなる。
　図３に示されるように、受光部５は、光電変換部５１、閾光量記憶部５２、判定部５３、および出力部５４を有する。光電変換部５１は、入射した検出光Ｌｄを光電変換して、受光量Ｒを表す電気信号を求める。閾光量記憶部５２は、設定部２４から設定された閾光量Ｓを記憶する。判定部５３は、受光量Ｒを閾光量Ｓと大小比較して、判定結果Ｊを出力部５４に送る。受光量Ｒが閾光量Ｓ未満のとき、判定結果Ｊは、「基板Ｋが存在する」を意味する「１」とされる。また、受光量Ｒが閾光量Ｓ以上のとき、判定結果Ｊは、「基板Ｋが存在しない」を意味する「０」とされる。出力部５４は、受光量Ｒおよび判定結果Ｊを制御部２に出力する。受光量Ｒおよび判定結果Ｊの情報は、制御部２の内部で共有される。
　次に、制御部２内の時間帯把握部２３および設定部２４の機能について説明する。時間帯把握部２３および設定部２４は、投光部４および受光部５の二組を別々に独立して制御する。以降では、主に搬送路３の入口３１側に配置された投光部４および受光部５を対象にして説明を進める。時間帯把握部２３は、基板生産機が動作している動作時間帯を、不在時間帯Ｔｎと判定時間帯Ｔｊとに分けて把握する。不在時間帯Ｔｎは、搬送路３の入口３１に基板Ｋが存在し得ない時間帯である。また、判定時間帯Ｔｊは、動作時間帯から不在時間帯Ｔｎを除外した時間帯となる。
　図４は、時間帯把握部２３および設定部２４の動作を説明するタイムチャートの図である。図４において、横軸は時間の経過を示す。また上段のグラフは、判定部５３の判定結果Ｊを示し、中段のグラフは、設定部２４の演算処理の時間帯を示し、下段のグラフは、設定部２４の設定動作の時間帯を示す。図４の時刻ｔ１に、判定部５３の判定結果Ｊが「１」から「０」に変化している。これは、第１の基板Ｋの後端が入口３１を通過したこと、すなわち、時刻ｔ１が第１の基板Ｋの搬入終了時点であることを意味する。時間帯把握部２３は、時刻ｔ１を不在時間帯Ｔｎの始点とする。
　時刻ｔ１の後、装着実施位置３２で第１の基板Ｋへの装着作業が行われる。制御部２は、装着作業が終了した後の時刻ｔ４に、第２の基板Ｋの搬入を開始する。このため、時刻ｔ１から時刻ｔ４までの間、入口３１には基板Ｋが存在し得ない。したがって、時間帯把握部２３は、時刻ｔ４を不在時間帯Ｔｎの終点とする。
　なお、不在時間帯Ｔｎの終点は、別法により決定することもできる。詳述すると、第１の基板Ｋへの装着作業には、或る程度の装着時間が必要になる。このため、時間帯把握部２３は、装着時間よりも短めの一定時間を設定し、第１の基板Ｋの搬入終了時点から一定時間が経過したときを不在時間帯Ｔｎの終点にできる。
　上述のようにして不在時間帯Ｔｎが把握されると、時刻ｔ４以降は、判定時間帯Ｔｊとなる。判定時間帯Ｔｊとなった後の時刻ｔ５に、判定部５３の判定結果Ｊが「０」から「１」に変化している。これは、第２の基板Ｋの先端が入口３１に搬入されたことを意味する。したがって、時刻ｔ５は、第２の基板Ｋの搬入開始時点となる。搬送制御部２１は、この搬入開始時点に基づいて、第２の基板Ｋの搬送制御を正確に進めることができる。
　中段のグラフに示されるように、設定部２４は、不在時間帯Ｔｎとなった後の時刻ｔ２に演算処理を開始する。設定部２４の演算処理では、閾光量Ｓの再設定の要否の判定、および、再設定が必要である場合の閾光量Ｓの演算が実行される（詳細後述）。設定部２４の演算処理は、不在時間帯Ｔｎの終点（時刻ｔ４）以前の時刻ｔ３に終了する。時刻ｔ３において、閾光量Ｓの再設定は不要と判定されている。このため、下段のグラフに示されるように、設定部２４は、設定動作を実行しない。
　設定部２４は、所定時間Ｔｄ以上の時間間隔で繰り返して動作する。すなわち、設定部２４は、今回の演算処理を開始した時刻ｔ２から所定時間Ｔｄが経過した以降であって、不在時間帯Ｔｎになった後の時刻ｔ７に次回の演算処理を開始する。このときの不在時間帯Ｔｎは、時刻ｔ６を始点とし、時刻ｔ１１を終点としている。所定時間Ｔｄとして、１０分を例示でき、これに限定されない。なお、時刻ｔ２から時刻ｔ６までの間に、複数の基板Ｋへの装着作業が行われて、複数回の不在時間帯Ｔｎおよび判定時間帯Ｔｊが交互に発生している。
　設定部２４の次回の演算処理は、不在時間帯Ｔｎの終点（時刻ｔ１１）以前の時刻ｔ８に終了する。時刻ｔ８において、閾光量Ｓの再設定が必要と判定されている。このため、下段のグラフに示されるように、設定部２４は、時刻ｔ９から設定動作を実行する。設定部２４の設定動作は、不在時間帯Ｔｎの終点（時刻ｔ１１）以前の時刻ｔ１０に終了する。
　実施形態の基板検出装置１の動作および作用
　次に、実施形態の基板検出装置１の動作および作用について説明する。図５は、設定部２４の演算処理および設定動作を含む基板検出装置１の動作フロー図である。この動作フロー図は、基板生産機が動作している動作時間帯に、生産動作と並行して実行される。図５のステップＳ１で、初期設定が行われる。詳述すると、次に生産する基板Ｋの種類に対応する段取り替えが終了してから基板Ｋが搬入されるまでの間に、受光量Ｒの手動測定が行われる。そして、手動測定の結果に基づいて、受光量Ｒおよび閾光量Ｓの初期値が設定される。また、次に生産する基板Ｋの幅寸法および厚みの情報に基づいて、後述する許容範囲Ｄおよび係数Ａが自動設定される。
　次のステップＳ２で、受光部５は、受光量Ｒを求め、受光量Ｒおよび判定結果Ｊを制御部２に出力する。次のステップＳ３で、制御部２は、時間帯把握部２３の把握結果を参照して、不在時間帯Ｔｎの場合に動作フローの実行をステップＳ４に進め、判定時間帯Ｔｊの場合に動作フローの実行をステップＳ１１に進める。
　ステップＳ４で、設定部２４は、前回の動作から所定時間Ｔｄが経過しているか否か判定する。なお、基板検出装置１が始動した直後であって前回の動作が無い場合、設定部２４は、始動時から所定時間Ｔｄが経過しているか否か判定する。設定部２４は、所定時間Ｔｄが経過していない場合に動作フローの実行をステップＳ２に戻し、所定時間Ｔｄが経過している場合に動作フローの実行をステップＳ５に進める。
　ステップＳ５で、設定部２４は、異常時であるか否かを調査する。本実施形態において、２種類の異常時を考慮する。第１の異常時は、前回の受光量Ｒと比較して今回の受光量Ｒが異常判定範囲を超えて変化した場合である。この場合、例えば、搬送路３の入口３１に偶発的に異物が侵入して、検出光Ｌｄが遮光された状態などが想定される。第２の異常時は、搬送路３で基板Ｋの搬送に支障が生じた場合である。２種類の異常時には、求められた受光量Ｒの信頼性に疑義がある。したがって、設定部２４は、異常時であれば動作フローの実行をステップＳ２に戻し、異常時でなければ動作フローの実行をステップＳ６に進める。
　ステップＳ６で、設定部２４は、最も新しい閾光量Ｓを設定したときの過去の受光量Ｒｐｓｔと比較して、今回の受光量Ｒが許容範囲Ｄを超えて変化したか否かを判定する。今回の受光量Ｒは、不在時間帯Ｔｎに求められた量であり、換言すると搬送路３の入口３１に基板Ｋが存在しない状態で求められた量である。最も新しい閾光量Ｓは、前回以前のステップＳ８で閾光量記憶部５２に設定されたものである。なお、基板検出装置１が始動した初期の段階では、最も新しい閾光量Ｓおよび過去の受光量Ｒは、ステップＳ１で初期設定された初期値となる。許容範囲Ｄは、例えば過去の受光量Ｒｐｓｔの±１０％に設定でき、これに限定されない。設定部２４は、今回の受光量Ｒが許容範囲Ｄの範囲内で変化したときに動作フローの実行をステップＳ２に戻し、すなわち、閾光量Ｓを再設定しない。また、設定部２４は、今回の受光量Ｒが許容範囲Ｄを超えて変化した場合に、動作フローの実行をステップＳ７に進める。
　ステップＳ７で、設定部２４は、今回の受光量Ｒに１未満の係数Ａを乗算して新しい閾光量Ｓｎｅｗを求める。係数Ａは、検出光Ｌｄを遮光する基板Ｋの幅寸法および厚みなどに基づいて適切に設定される。係数Ａとして、５０％を例示でき、これに限定されない。なお、係数Ａを乗算するのでなく、今回の受光量Ｒから一定量を減算して新しい閾光量Ｓｎｅｗを求めてもよい。次のステップＳ８で、設定部２４は、新しい閾光量Ｓｎｅｗを閾光量記憶部５２に設定する。閾光量記憶部５２は、元の閾光量Ｓに加えて、新しい閾光量Ｓｎｅｗをメモリに記憶し、変更履歴を残す。その後、設定部２４は、動作フローの実行をステップＳ２に戻す。
　ここで、ステップＳ６およびステップＳ７の動作フローについて、具体例を示して説明する。図６は、最も新しい閾光量Ｓを設定したときの受光量Ｒｐｓｔと比較して、今回の受光量Ｒが許容範囲Ｄの範囲内で変化した一例を示す棒グラフの図である。また、図７は、最も新しい閾光量Ｓを設定したときの受光量Ｒｐｓｔと比較して、今回の受光量Ｒｎｏｗが許容範囲Ｄを超えて変化した一例を示す棒グラフの図である。さらに、図８は、図７で求められた新しい閾光量Ｓｎｅｗを示す棒グラフの図である。
　図６に例示されるように、過去の受光量Ｒｐｓｔに１未満の係数Ａが乗算されて閾光量Ｓが設定されている。投光部４の動作状態が安定していて温度変化が小さい場合、今回の受光量Ｒは、統計的に多少変動しても、許容範囲Ｄを逸脱することはない。したがって、この場合、閾光量Ｓの再設定は不要である。
　ところが、投光部４の電源投入の直後や一時的な動作中断の際には、温度変化が大きくなって、投光量が変化する。これに伴い、図７に例示されるように、今回の受光量Ｒｎｏｗが許容範囲Ｄを超えて変化することが生じ得る。この場合、閾光量Ｓを再設定しないと、誤った判定結果Ｊのおそれが生じる。したがって、設定部２４は、ステップＳ７で、今回の受光量Ｒｎｏｗに係数Ａを乗算して新しい閾光量Ｓｎｅｗを求める。新しい閾光量Ｓｎｅｗは、元の閾光量Ｓに対して差分ΔＳを有する。
　この結果、図８に示されるように、最も新しい閾光量Ｓｎｅｗとなり、これを設定したのは今回の受光量Ｒｎｏｗとなる。そして、設定部２４は、次回のステップＳ６で、次回に求められた受光量Ｒｎｅｘｔが今回の受光量Ｒｎｏｗの許容範囲Ｄの範囲内にあるか否かを判定する。また、判定部５３は、次回に求められた受光量Ｒｎｅｘｔを新しい閾光量Ｓｎｅｗと大小比較して、基板Ｋの存在を判定する。このようにして、投光部４の温度依存性を補償できる。
　図５の動作フローに戻り、判定時間帯Ｔｊの場合のステップＳ１１以降で、制御部２は、判定部５３の機能の一部を分担する。つまり、制御部２は、判定時間帯Ｔｊの間、判定結果Ｊにしたがって、搬送路３の入口３１に基板Ｋが存在しているか否かを判定する。詳述すると、ステップＳ１１で、制御部２は、判定結果Ｊの内容を調査する。判定結果Ｊ＝「１」の場合のステップＳ１２で、制御部２は、入口３１に基板Ｋが存在すると判定する。また、判定結果Ｊ＝「０」の場合のステップＳ１３で、制御部２は、入口３１に基板Ｋが存在しないと判定する。なお、制御部２は、不在時間帯Ｔｎの間、判定結果Ｊに関係なく、入口３１に基板Ｋが存在しないと判定する。
　ステップＳ１２およびステップＳ１３の後、制御部２は、動作フローの実行をステップＳ２に戻す。これで、動作フローの１サイクルが終了する。以降、所定の制御サイクル間隔で、ステップＳ２以降が繰り返して実行される。ステップＳ１２およびステップＳ１３で基板Ｋの存在が逐次判定されることにより、基板Ｋの先端および後端が搬送路３の入口３１を通過するタイミングが明らかになる。搬送制御部２１は、これらのタイミングに基づいて、基板Ｋの搬送制御を正確に進めることができる。
　図５～図８を用いて説明した基板検出装置１の動作は、搬送路３の出口３３側に配置された投光部４および受光部５についても同様である。ただし、時間帯把握部２３は、出口３３側の受光部５の判定結果Ｊが「１」から「０」に変化した第３の基板Ｋの搬出終了時点を不在時間帯Ｔｎの始点とする。そして、時間帯把握部２３は、装着作業が終了した後の第４の基板Ｋの搬出を開始する時刻を不在時間帯Ｔｎの終点とする。あるいは、時間帯把握部２３は、装着時間よりも短めの一定時間を設定し、第３の基板Ｋの搬出終了時点から一定時間が経過したときを不在時間帯Ｔｎの終点としてもよい。
　実施形態の基板検出装置１の態様および効果
　実施形態の基板検出装置１は、基板Ｋの搬送用に基板生産機に設けられた搬送路３の特定位置（入口３１、出口３３）に臨んで配置され、特定位置に向かって検出光Ｌｄを投光する投光部４と、特定位置に臨んで配置され、検出光Ｌｄを受光して受光量Ｒを求める受光部５と、基板生産機が動作している動作時間帯の一部分であって、特定位置に基板Ｋが存在し得ない不在時間帯Ｔｎ、および動作時間帯から不在時間帯Ｔｎを除外した判定時間帯Ｔｊを把握する時間帯把握部２３と、不在時間帯Ｔｎに求められた受光量Ｒに基づいて、特定位置に基板Ｋが存在するか否かを判定する閾光量Ｓを設定する設定部２４と、判定時間帯Ｔｊに求められた受光量Ｒを閾光量Ｓと比較して、特定位置に基板Ｋが存在するか否かを判定する判定部５３および制御部２と、を備える。
　実施形態の基板検出装置１によれば、基板生産機が動作している動作時間帯の一部分であって搬送路３の特定位置に基板Ｋが存在し得ない不在時間帯Ｔｎに、受光部５の受光量Ｒを求めることができる。求めた受光量Ｒは、基板Ｋが存在しないと分かっているときの受光量Ｒであるので、この受光量Ｒに基づいて閾光量Ｓを適正に設定して、投光部４の投光量の変動を補償できる。これにより、不在時間帯Ｔｎを除外した判定時間帯Ｔｊで、特定位置に基板Ｋが存在するか否かを正しく判定できる。かつ、基板生産機の動作を中断するのでなく、動作時間帯のうちの不在時間帯Ｔｎを利用して受光量Ｒを求めるので、基板生産機の動作を妨げることがなく、生産効率を低下させない。
　さらに、受光部５は、特定位置（入口３１、出口３３）を挟んで投光部４の反対側に配置され、検出光Ｌｄは、特定位置に基板Ｋが存在しない場合に、受光部５に到達し、特定位置に基板Ｋが存在する場合に、基板Ｋによって少なくとも一部が遮られて受光部５に到達しない。これによれば、検出光Ｌｄが基板Ｋによって遮光される方式の基板検出装置１で、生産効率を低下させない効果が得られる。
　さらに、設定部２４は、不在時間帯Ｔｎに求められた受光量Ｒｎｏｗに１未満の係数Ａを乗算して閾光量Ｓｎｅｗを求め、判定部５３は、判定時間帯Ｔｊに求められた受光量Ｒｎｅｘｔが閾光量Ｓｎｅｗ未満のときに基板Ｋが存在すると判定し、判定時間帯Ｔｊに求められた受光量Ｒｎｅｘｔが閾光量Ｓｎｅｗ以上のときに基板Ｋが存在しないと判定する。これによれば、係数Ａを適切に設定して適正な閾光量Ｓｎｅｗを求めることができ、基板Ｋの存在を高い精度で判定できる。
　さらに、設定部２４は、所定時間Ｔｄ以上の時間間隔で繰り返して動作し、最も新しい閾光量Ｓを設定したときの受光量Ｒｐｓｔと比較して、今回の受光量Ｒｎｏｗが許容範囲Ｄを超えて変化したときに閾光量Ｓｎｅｗを再設定し、今回の受光量Ｒが許容範囲Ｄの範囲内で変化したときに閾光量Ｓを再設定しない。
　これによれば、投光部４の温度依存性によって投光量が変化し、不在時間帯Ｔｎにおける受光部５の受光量Ｒが大きく変化した場合に、閾光量Ｓｎｅｗを再設定できる。したがって、投光部４の温度依存性を補償するように閾光量Ｓｎｅｗが可変に調整され、基板Ｋの存在を極めて高い精度で判定できる。また、受光部５の不在時間帯Ｔｎの受光量Ｒの変化が小さい場合に、不要な再設定動作を行わない。したがって、制御の冗長性を回避でき、閾光量記憶部５２のメモリ容量の節約にもなる。
　さらに、特定位置は、搬送路３の入口３１であり、不在時間帯Ｔｎは、判定部５３の判定結果が「基板が存在する」から「基板が存在しない」に変化した第１の基板Ｋの搬入終了時点（時刻ｔ１）から、第２の基板Ｋの搬入を開始する時刻ｔ４までの時間帯、または、搬入終了時点から一定時間が経過するまでの時間帯である。これによれば、搬送路３の入口３１において、基板Ｋの存在を高い精度で判定できる。したがって、第２の基板Ｋの先端の搬入を検出して、以降の搬送制御を正確に進めることができる。
　また、特定位置は、搬送路３の出口３３であり、不在時間帯Ｔｎは、判定部５３の判定結果が「基板が存在する」から「基板が存在しない」に変化した第３の基板Ｋの搬出終了時点から、第４の基板Ｋの搬出を開始するまでの時間帯、または、搬出終了時点から一定時間が経過するまでの時間帯である。これによれば、搬送路３の出口３３において、基板Ｋの存在を高い精度で判定できる。
　さらに、設定部２４は、所定時間Ｔｄ以上の時間間隔で繰り返して動作し、前回の受光量と比較して今回の受光量が異常判定範囲を超えて変化した異常時に、閾光量Ｓの再設定をしない。これによれば、求められた受光量Ｒの信頼性に疑義がある場合に、閾光量Ｓの再設定をしないので、動作信頼性が高い。
　また、設定部２４は、所定時間Ｔｄ以上の時間間隔で繰り返して動作し、搬送路３で基板Ｋの搬送に支障が生じた異常時に、閾光量Ｓの再設定をしない。これによれば、求められた受光量Ｒの信頼性に疑義がある場合に、閾光量Ｓの再設定をしないので、動作信頼性が高い。
　実施形態の応用および変形
　なお、投光部４および受光部５は、搬送路３の入口３１および出口３３の一方のみに配設されていてもよく、あるいは、装着実施位置３２の辺りに一組が配設されていてもよい。また、閾光量記憶部５２および判定部５３を制御部２の側に設け、出力部５４は受光量Ｒのみを出力する構成としてもよい。さらに、本実施形態において、検出光Ｌｄは基板Ｋの幅方向に投光されているが、検出光Ｌｄが基板Ｋの厚さ方向に投光されてもよい。
　さらになお、本実施形態では、検出光Ｌｄが基板Ｋによって遮光される方式を採用しているが、検出光Ｌｄが基板Ｋによって反射される方式としてもよい。すなわち、基板の搬送用に基板生産装置に設けられた搬送路の特定位置に臨んで配置され、前記特定位置に向かって検出光を投光する投光部と、前記特定位置に臨んで配置され、前記検出光を受光して受光量を求める受光部と、前記基板生産装置が動作している動作時間帯の一部分であって、前記特定位置に前記基板が有り得ない不在時間帯、および前記動作時間帯から前記不在時間帯を除外した判定時間帯を把握する時間帯把握部と、前記不在時間帯に求められた前記受光量に基づいて、前記特定位置における前記基板の有無を判定する閾光量を設定する設定部と、前記判定時間帯に求められた前記受光量を前記閾光量と比較して、前記特定位置における前記基板の有無を判定する判定部と、を備え、前記受光部は前記投光部に並んで配置され、前記検出光は、前記特定位置に前記基板が無い場合に前記受光部に到達せず、前記特定位置に前記基板が有る場合に前記基板によって少なくとも一部が反射されて前記受光部に到達する、という態様を採用してもよい。本発明は、その他にも様々な応用や変形が可能である。
　１：基板検出装置　　２：制御部　　２３：時間帯把握部　　２４：設定部　　３：搬送路　　３１：入口　　３２：装着実施位置　　３３：出口　　４：投光部　　５：受光部　　５１：光電変換部　　５２：閾光量記憶部　　５３：判定部　　５４：出力部　　９：基板搬送装置　　Ｋ：基板　　Ｌｄ：検出光　　Ｒ：受光量　　Ｒｐｓｔ：過去の受光量　　Ｒｎｏｗ：今回の受光量　　Ｓ：閾光量　　Ｓｎｅｗ：新しい閾光量　　Ｊ：判定結果　　Ｔｎ：不在時間帯　　Ｔｊ：判定時間帯　　Ｔｄ：所定時間　　Ｄ：許容範囲　　Ａ：係数

Claims (8)

  1. 　基板の搬送用に基板生産機に設けられた搬送路の特定位置に臨んで配置され、前記特定位置に向かって検出光を投光する投光部と、
    　前記特定位置に臨んで配置され、前記検出光を受光して受光量を求める受光部と、
    　前記基板生産機が動作している動作時間帯の一部分であって、前記特定位置に前記基板が存在し得ない不在時間帯、および前記動作時間帯から前記不在時間帯を除外した判定時間帯を把握する時間帯把握部と、
    　前記不在時間帯に求められた前記受光量に基づいて、前記特定位置に前記基板が存在するか否かを判定する閾光量を設定する設定部と、
    　前記判定時間帯に求められた前記受光量を前記閾光量と比較して、前記特定位置に前記基板が存在するか否かを判定する判定部と、
    　を備える基板検出装置。
  2. 　前記受光部は、前記特定位置を挟んで前記投光部の反対側に配置され、
    　前記検出光は、
    　前記特定位置に前記基板が存在しない場合に、前記受光部に到達し、
    　前記特定位置に前記基板が存在する場合に、前記基板によって少なくとも一部が遮られて前記受光部に到達しない、
    　請求項１に記載の基板検出装置。
  3. 　前記設定部は、前記不在時間帯に求められた前記受光量に１未満の係数を乗算して前記閾光量を求め、
    　前記判定部は、前記判定時間帯に求められた前記受光量が前記閾光量未満のときに前記基板が存在すると判定し、前記判定時間帯に求められた前記受光量が前記閾光量以上のときに前記基板が存在しないと判定する、
    　請求項２に記載の基板検出装置。
  4. 　前記設定部は、
    　所定時間以上の時間間隔で繰り返して動作し、
    　最も新しい前記閾光量を設定したときの前記受光量と比較して、今回の前記受光量が許容範囲を超えて変化したときに前記閾光量を再設定し、今回の前記受光量が前記許容範囲の範囲内で変化したときに前記閾光量を再設定しない、
    　請求項１～３のいずれか一項に記載の基板検出装置。
  5. 　前記特定位置は、前記搬送路の入口であり、
    　前記不在時間帯は、
    　前記判定部の判定結果が「前記基板が存在する」から「前記基板が存在しない」に変化した第１の前記基板の搬入終了時点から、第２の前記基板の搬入を開始するまでの時間帯、または、
    　前記搬入終了時点から一定時間が経過するまでの時間帯である、
    　請求項１～４のいずれか一項に記載の基板検出装置。
  6. 　前記特定位置は、前記搬送路の出口であり、
    　前記不在時間帯は、
    　前記判定部の判定結果が「前記基板が存在する」から「前記基板が存在しない」に変化した第３の前記基板の搬出終了時点から、第４の前記基板の搬出を開始するまでの時間帯、または、
    　前記搬出終了時点から一定時間が経過するまでの時間帯である、
    　請求項１～５のいずれか一項に記載の基板検出装置。
  7. 　前記設定部は、所定時間以上の時間間隔で繰り返して動作し、前回の前記受光量と比較して今回の前記受光量が異常判定範囲を超えて変化した異常時に、前記閾光量の再設定をしない請求項１～６のいずれか一項に記載の基板検出装置。
  8. 　前記設定部は、所定時間以上の時間間隔で繰り返して動作し、前記搬送路で前記基板の搬送に支障が生じた異常時に、前記閾光量の再設定をしない請求項１～７のいずれか一項に記載の基板検出装置。
PCT/JP2016/086148 2016-12-06 2016-12-06 基板検出装置 WO2018105031A1 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2016/086148 WO2018105031A1 (ja) 2016-12-06 2016-12-06 基板検出装置
JP2018555358A JP6788687B2 (ja) 2016-12-06 2016-12-06 基板検出装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2016/086148 WO2018105031A1 (ja) 2016-12-06 2016-12-06 基板検出装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2018105031A1 true WO2018105031A1 (ja) 2018-06-14

Family

ID=62491792

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2016/086148 WO2018105031A1 (ja) 2016-12-06 2016-12-06 基板検出装置

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP6788687B2 (ja)
WO (1) WO2018105031A1 (ja)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0389192A (ja) * 1989-08-31 1991-04-15 Sanyo Electric Co Ltd 光センサーの制御装置
JP2001324574A (ja) * 2000-03-10 2001-11-22 Toshiba Corp スライスレベル自動調整装置、スライスレベル自動調整方法、及び媒体搬送装置
JP2008218021A (ja) * 2007-02-28 2008-09-18 Sunx Ltd 透明体検出センサ
WO2016103371A1 (ja) * 2014-12-24 2016-06-30 富士機械製造株式会社 搬送物検出システム

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0389192A (ja) * 1989-08-31 1991-04-15 Sanyo Electric Co Ltd 光センサーの制御装置
JP2001324574A (ja) * 2000-03-10 2001-11-22 Toshiba Corp スライスレベル自動調整装置、スライスレベル自動調整方法、及び媒体搬送装置
JP2008218021A (ja) * 2007-02-28 2008-09-18 Sunx Ltd 透明体検出センサ
WO2016103371A1 (ja) * 2014-12-24 2016-06-30 富士機械製造株式会社 搬送物検出システム

Also Published As

Publication number Publication date
JP6788687B2 (ja) 2020-11-25
JPWO2018105031A1 (ja) 2019-08-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2012193001A (ja) 選別装置
KR101888383B1 (ko) 기판 반송 장치
US9702754B2 (en) Inspection apparatus, and abnormality detection method
WO2014136211A1 (ja) 部品実装機
JP5998356B2 (ja) 基板搬送装置および搬送ベルトの保守点検方法
CN106706652A (zh) 工件检验装置
WO2018105031A1 (ja) 基板検出装置
JP6596429B2 (ja) 基板搬送装置および搬送ベルト検査方法
KR101878768B1 (ko) 프린트 기판용 반송장치
JP5280921B2 (ja) 基板搬送装置
WO2021152840A1 (ja) 対基板作業機
JP2017146278A5 (ja)
KR101513526B1 (ko) 기판 처리 라인 및 기판 처리 방법
US20080204764A1 (en) Lead terminal inspection method and lead terminal inspection apparatus
JP2014228412A (ja) ワークの検査装置及びワークの検査方法
JP4297265B2 (ja) 乾燥食品の定量供給装置
US10888953B2 (en) Laser processing device
JP6632996B2 (ja) 搬送物検出システム
KR101557783B1 (ko) 컴팩트한 구성의 기판 비전검사장치
JP2017028167A (ja) 部品実装機
KR100715982B1 (ko) 기판 처리 장치
KR20180135364A (ko) 충돌 방지 컨베이어, 컨베이어 시스템 및 이를 이용한 기판 반송 방법
JP6098511B2 (ja) ベルトコンベアの運転方法及びベルトコンベアの運転装置、並びに搬送装置の制御方法及び搬送装置
CN104071601B (zh) 物件输送装置及方法
JP2012253114A (ja) 電子部品実装装置および電子部品実装装置における基板搬送方法

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 16923253

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2018555358

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 16923253

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1