WO2018025490A1 - 多層基板 - Google Patents

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WO2018025490A1
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coil
insulating layer
metal foil
metal
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モイセエフセルゲイ
川辺雅彦
岩田佳孝
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株式会社豊田自動織機
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Definitions

  • the present invention relates to a multilayer substrate.
  • the multilayer printed circuit board disclosed in Patent Document 1 it is composed of an even number of four or more layers, a thin conductor having a small thickness is formed, and at least one outer layer exposed to the outside and a thick conductor having a large thickness are formed.
  • a coil pattern is formed by the thick conductor formed in the inner layer, and the electronic component is surface-mounted on the thin conductor formed in the outer layer.
  • An object of the present invention is to provide a multilayer substrate capable of reducing the projected area and suppressing the increase in the stacking direction.
  • a first metal plate that forms the first coil, and a second metal that faces the first metal plate in the winding axis direction of the coil and forms the second coil A metal plate, a first insulating layer containing the first metal plate, and a second insulating layer containing the second metal plate, one surface of the first insulating layer, Alternatively, a metal foil for forming a conductive layer is disposed on at least one of the other surface, one surface of the second insulating layer, or the other surface, and via the via hole in the first metal plate.
  • the conductive layer is connected, and the metal foil pattern forming the conductive layer is mounted with an electronic component built in the first insulating layer.
  • the pattern can be miniaturized and the projected area can be reduced as compared with the case where the first metal plate is patterned and mounted. Miniaturization is possible. Further, since the electronic component and the first metal plate are built in the first insulating layer, the electronic component and the first metal plate are stacked in the stacking direction rather than built in separate insulating layers and stacked. Increase in size can be suppressed.
  • the first insulating layer is disposed closer to the heat dissipating member than the second insulating layer, and the metal foil includes the first foil.
  • the gist is that the metal plate is disposed closer to the heat dissipating member than the second metal plate.
  • the heat dissipation performance of the electronic component in the metal foil is inferior to the heat dissipation performance of the first metal plate.
  • the gist of the invention described in claim 3 is that, in the multilayer substrate according to claim 2, a passive component is built in the second insulating layer. According to the third aspect of the present invention, it is possible to incorporate a passive component having a low necessity for heat dissipation in the second insulating layer.
  • the electronic component incorporated in the first insulating layer is a power element.
  • the heat dissipation of the power element having a high necessity for heat dissipation is excellent.
  • the projected area can be reduced and the increase in the stacking direction can be suppressed.
  • FIG. 3 is a longitudinal sectional view taken along line BB in FIG.
  • (A) is a top view of the arrangement
  • (b) is a longitudinal cross-sectional view in the AA line of (a).
  • (A) is a top view of the arrangement
  • (b) is a longitudinal cross-sectional view in the AA line of (a).
  • positioning part of the 1st insulating layer (1st metal plate) in a multilayer substrate (C arrow line view of FIG.5 (b)).
  • an isolated DC-DC converter 10 as a power converter is a forward DC-DC converter and includes a transformer 11.
  • the transformer 11 includes a primary side coil (winding) 11a and a secondary side coil (winding) 11b.
  • the insulated DC-DC converter 10 is for an automobile and is mounted on a vehicle.
  • the isolated DC-DC converter 10 steps down the input voltage on the primary side of the transformer 11 and outputs it to the secondary side of the transformer 11.
  • One terminal of the primary coil 11 a is connected to the input terminal, and the input terminal is connected to the positive terminal of the battery 12.
  • the other terminal of the primary side coil 11 a is grounded via the primary side switching element 14.
  • a power MOSFET is used as the primary side switching element 14.
  • the positive electrode of the smoothing capacitor 13 is connected between the input terminal and the primary coil 11a of the transformer 11, and the negative electrode of the smoothing capacitor 13 is grounded.
  • An electrolytic capacitor is used as the smoothing capacitor 13.
  • the primary side voltage of the transformer 11 is smoothed by the smoothing capacitor 13.
  • a rectifier circuit composed of diodes 16 and 17 is connected to the secondary coil 11b of the transformer 11.
  • the diode 16 has an anode connected to the ground on the secondary side of the transformer 11 and a cathode connected to one end of the secondary side coil 11 b of the transformer 11.
  • the diode 17 has an anode connected to the anode of the diode 16 and a cathode connected to the other end of the secondary coil 11 b of the transformer 11.
  • a capacitor 19 is connected in parallel to the diode 17.
  • a coil 18 is provided between the secondary coil 11 b of the transformer 11 and the capacitor 19. The coil 18 and the capacitor 19 constitute a filter circuit.
  • the control IC 15 is connected to the gate terminal of the primary side switching element 14.
  • a pulse signal is output from the control IC 15 to the gate terminal of the primary side switching element 14, and the primary side switching element 14 is switched by this pulse signal.
  • the primary side switching element 14 is on, energy is supplied from the primary side power source to the secondary side.
  • the primary side switching element 14 is off, the energy stored in the coil 18 is released to the output.
  • a DC voltage is supplied to the primary side coil 11a of the transformer 11 through the smoothing capacitor 13, and the primary side switching element 14 is on / off controlled by the control IC 15, and the primary side switching in this on / off operation is performed.
  • the detection circuit 20 is connected to the control IC 15, and the output voltage Vout is detected by the detection circuit 20.
  • the measurement result of the output voltage Vout by the detection circuit 20 is sent to the control IC 15.
  • the control IC 15 uses the measurement result of the output voltage Vout by the detection circuit 20 as a feedback signal to control the duty of the primary side switching element 14 so that the output voltage Vout becomes a desired constant value.
  • the transformer 11 and the primary side switching element 14 are configured using a multilayer substrate.
  • the multilayer substrate is configured by alternately laminating conductive layers (wiring patterns) and insulating layers (resin layers).
  • FIG. 2A is a plan view of the multilayer substrate 30, the magnetic core 63, and the heat dissipation member 70
  • FIG. 2B is a vertical cross section taken along line AA in FIG. 2A
  • FIG. A longitudinal section taken along line BB of 2 (a) is shown.
  • the multilayer substrate 30 includes a first metal plate 31, a second metal plate 32, a first insulating layer 33, and a second insulating layer 34.
  • the first metal foil 35, the second metal foil 36, the third metal foil 37, the fourth metal foil 38, the third insulating layer 39, the electronic component 50, and the electronic component 55 Prepare.
  • the first metal plate 31 is a copper plate
  • the second metal plate 32 is a copper plate.
  • the first metal foil 35 is a copper foil
  • the second metal foil 36 is a copper foil
  • the third metal foil 37 is a copper foil
  • the fourth metal foil 38 is a copper foil.
  • the first conductive layer L1 is formed by the first metal foil 35
  • the second conductive layer L2 is formed by the second metal foil 36
  • the third conductive layer L3 is formed by the third metal foil 37.
  • the fourth conductive layer L4 is formed by the fourth metal foil 38.
  • the thickness of the first metal plate 31 and the second metal plate 32 is, for example, about 500 ⁇ m.
  • the first metal plate 31 and the second metal plate 32 are patterned by punching so that a large current can flow.
  • the thicknesses of the first metal foil 35, the second metal foil 36, the third metal foil 37, and the fourth metal foil 38 are larger than the thicknesses of the first metal plate 31 and the second metal plate 32.
  • the first metal foil 35, the second metal foil 36, the third metal foil 37, and the fourth metal foil 38 are patterned by etching and become wide in a pattern in which a large current flows, and narrow in a pattern in which a control current flows. It has become.
  • a first metal foil 35 is disposed on the upper surface that is one surface of the second insulating layer 34, and a second metal foil 36 is disposed on the lower surface that is the other surface of the second insulating layer 34.
  • the third metal foil 37 is disposed on the upper surface, which is one surface of the first insulating layer 33
  • the fourth metal foil is disposed on the lower surface, which is the other surface of the first insulating layer 33. 38 is arranged.
  • the first metal foil 35 is patterned into a desired wiring shape, and patterns 35a, 35b, and 35c are formed as shown in FIG.
  • the second metal foil 36 is patterned into a desired wiring shape, and a pattern 36a is formed as shown in FIG.
  • the third metal foil 37 is patterned into a desired wiring shape, and patterns 37a and 37b are formed as shown in FIG.
  • the fourth metal foil 38 is patterned into a desired wiring shape, and patterns 38a and 38b are formed as shown in FIG.
  • the second insulating layer 34 is stacked on the first insulating layer 33 with a thin third insulating layer 39 interposed therebetween. That is, the second metal foil 36 is disposed on the third metal foil 37 via the thin third insulating layer 39.
  • the first metal plate 31 is built in the first insulating layer 33.
  • the second metal plate 32 is built in the second insulating layer 34.
  • the first metal plate 31 is patterned into a desired coil shape, and as shown in FIGS. 5A and 6, a first coil 31a as a primary coil (winding) is formed.
  • the second metal plate 32 is patterned into a desired coil shape, and as shown in FIG. 4A, a second coil 32a is formed as a secondary coil (winding).
  • the first coil 31a has a spiral shape and the number of turns is “2”.
  • the second coil 32a has a C shape and the number of turns is “1”.
  • the 1st coil 31a by the 1st metal plate 31 and the 2nd coil 32a by the 2nd metal plate 32 are arranged so that it may overlap in the up-and-down direction. That is, the first coil 31a made of the first metal plate 31 and the second coil 32a made of the second metal plate 32 face each other in the vertical direction, that is, the winding axis direction of the coil.
  • the multilayer substrate 30 is opposed to the first metal plate 31 forming the first coil 31a as the primary side coil (winding) and the first metal plate 31 in the winding axis direction of the coil. And a second metal plate 32 forming a second coil 32a as a secondary coil (winding), a first insulating layer 33 containing the first metal plate 31, and a second metal plate. And a second insulating layer 34 containing 32 therein.
  • a pattern 38a made of a fourth metal foil 38 is connected to an inner peripheral side end portion of the first coil 31a made of the first metal plate 31 through a plurality of via holes 40. Are electrically connected to each other by the conductors of the plurality of via holes 40, and the inner peripheral side end of the first coil 31a and the pattern 38a.
  • a pattern 37a made of a third metal foil 37 is connected to the outer peripheral side end portion of the first coil 31a through a plurality of via holes 41. The outer peripheral side end of the coil 31 a and the pattern 37 a are electrically connected to each other by the conductors of the plurality of via holes 41.
  • a pattern 36a of the second metal foil 36 is connected to one end of the second coil 32a of the second metal plate 32 through a plurality of via holes 42.
  • the second coil 32a and the pattern 36a are electrically connected to each other by the conductors of the via holes 42.
  • the other end portion of the second coil 32a is connected to a pattern 35a of the first metal foil 35 through a plurality of via holes 43. More specifically, The other end of the coil 32 a and the pattern 35 a are electrically connected to each other by the conductors of the plurality of via holes 43.
  • the first insulating layer 33 has an electronic component 50 built therein.
  • the electronic component 50 is, for example, the primary side switching element 14 of FIG. 1, that is, a power element (active component).
  • the electronic component 50 incorporated in the first insulating layer 33 may be a power element other than the primary side switching element 14, such as the diodes 16 and 17 in FIG.
  • the electronic component 50 is connected to a pattern 38 b made of a fourth metal foil 38 via a plurality of via holes 51. More specifically, an electrode (for example, a drain electrode) of the electronic component 50 and a pattern 38 b are connected to the plurality of via holes 51.
  • the conductors are electrically connected to each other.
  • the electronic component 50 is connected to a pattern 37 b made of a third metal foil 37 via a plurality of via holes 52, and more specifically, an electrode (for example, a source electrode) of the electronic component 50 and a pattern 37 b are connected to the plurality of via holes 52.
  • the conductors are electrically connected to each other.
  • the electronic component 50 built in the first insulating layer 33 is mounted on the pattern 38 b formed on the fourth metal foil 38.
  • an electronic component 55 is built in the second insulating layer 34.
  • the electronic component 55 is, for example, the capacitor 19 of FIG. 1, that is, a passive component.
  • the electronic component 55 is connected to the pattern 35 b of the first metal foil 35 through a plurality of via holes 56. More specifically, the electrode (for example, positive electrode) of the electronic component 55 and the pattern 35 b are connected to the plurality of via holes 56. The conductors are electrically connected to each other.
  • the electronic component 55 is connected to a pattern 35c of the first metal foil 35 via a plurality of via holes 57. More specifically, the electrode (for example, the negative electrode) of the electronic component 55 and the pattern 35c are a plurality of via holes. 57 conductors are electrically connected to each other.
  • the multilayer substrate 30 has core through holes 60, 61, 62 formed therein.
  • An EI type magnetic core 63 is assembled to the multilayer substrate 30.
  • the EI type magnetic core 63 includes an E type magnetic core 64 and an I type magnetic core 65.
  • a circular through hole 60 is formed at the center of the coil (the center of the winding) in the multilayer substrate 30.
  • a through hole 61 and a through hole 62 are formed on the outer diameter side of the coil (the outer peripheral end of the winding pattern) in the multilayer substrate 30.
  • the E-type magnetic core 64 is disposed from one surface of the multilayer substrate 30 such that the central leg portion 64a passes through the through hole 60 and the both side leg portions 64b and 64c pass through the through hole 61 and the through hole 62.
  • the I-type magnetic core 65 is disposed on the other surface of the multilayer substrate 30 such that the front end surface of the central leg portion 64a of the E-type magnetic core 64 and the front end surfaces of the both side leg portions 64b and 64c abut against each other.
  • the multilayer substrate 30 on which the EI type magnetic core 63 is assembled is disposed on a heat dissipation member (heat sink) 70.
  • the heat dissipation member 70 has a flat plate shape.
  • the multilayer substrate 30 with the EI type magnetic core 63 assembled is disposed in a state of being thermally bonded.
  • the first insulating layer 33 in the multilayer substrate 30 is disposed closer to the heat dissipation member 70 than the second insulating layer 34.
  • the fourth metal foil 38 in the multilayer substrate 30 is disposed closer to the heat dissipation member 70 than the first metal plate 31 and the second metal plate 32.
  • the second metal plate 32 on which the 32a is formed is embedded in the multilayer substrate 30 and built therein. Therefore, the space between the first metal plate 31 (first coil 31a) and the second metal plate 32 (second coil 32a) is reduced.
  • a second metal plate 32 (second coil 32a) is built in between the conductive layer L1 and the conductive layer L2.
  • the first metal plate 31 (first coil 31a) is built in between the conductive layer L3 and the conductive layer L4.
  • the first metal plate 31 (first coil 31a) and the second metal plate 32 (second coil 32a) are insulated by an insulating layer 39.
  • connection is made between the conductive layers L1, L2, L3, and L4 and the respective metal plates 31 and 32 (coils 31a and 32a).
  • the AC resistance can be reduced.
  • it has excellent connectivity with the circuit.
  • the primary side coil and the secondary side coil are arranged on one side of the substrate and the secondary side coil is arranged on the other side of the substrate, the magnetic core is assembled. There is a concern that a space corresponding to the thickness of the substrate will be generated between them, increasing the leakage inductance, increasing the loss of the coil, and increasing the height and size of the magnetic core.
  • the distance between the primary side coil and the secondary side coil can be shortened by incorporating the primary side coil and the secondary side coil in a laminated state on the multilayer substrate, and the transformer Loss can be reduced and the transformer can be downsized.
  • the multilayer substrate 30 is disposed on a heat radiating member (heat sink) 70.
  • heat sink heat radiating member
  • the heat generated in the first coil 31 a by the first metal plate 31 propagates to the heat radiating member 70 and is released to the atmosphere in the heat radiating member 70.
  • the heat generated in the second coil 32 a by the second metal plate 32 propagates to the heat radiating member 70 and is released to the atmosphere in the heat radiating member 70.
  • the distance between the 1st coil 31a and the 2nd coil 32a can be shortened, heat dissipation improves, and the temperature rise of a transformer is reduced.
  • the heat generated in the electronic components 50 and 55 propagates to the heat radiating member 70 and is released to the atmosphere in the heat radiating member 70.
  • the electronic component 50 is disposed close to the heat radiating member 70 and is excellent in heat dissipation.
  • the electronic component 50 is connected to the pattern 38b of the metal foil 38, and the projection area can be reduced with the miniaturization of the pattern 38b. Furthermore, in the first insulating layer 33, the first metal plate 31 on which the first coil 31a is formed and the electronic component 50 are incorporated. In the second insulating layer 34, the second metal plate 32 on which the second coil 32a is formed and the electronic component 55 are incorporated. By incorporating the metal plate and the electronic component in the same insulating layer, an increase in size in the stacking direction is prevented.
  • a first metal plate 31 that forms a first coil, and a first coil that opposes the first metal plate 31 in the coil winding axis direction and forms a second coil.
  • the first metal plate 31 includes a second metal plate 32, a first insulating layer 33 containing the first metal plate 31, and a second insulating layer 34 containing the second metal plate 32.
  • a metal foil 38 is connected to each other through a plurality of via holes 40, and an electronic component 50 built in the first insulating layer 33 is mounted on a pattern 38 b formed on the metal foil 38.
  • the electronic component 50 is mounted by patterning the metal foil 38, the pattern can be miniaturized and the projected area can be reduced compared to the case where the first metal plate 31 is mounted by patterning.
  • the electronic component 50 and the first metal plate 31 are built in the first insulating layer 33, the electronic component 50 and the first metal plate 31 are built in separate insulating layers and stacked.
  • the first insulating layer 33 is disposed closer to the heat radiating member 70 than the second insulating layer 34, and the metal foil 38 is radiated from the first metal plate 31 and the second metal plate 32. Placed on the side. Therefore, although the heat dissipation performance of the electronic component 50 in the metal foil 38 is inferior to the heat dissipation performance in the first metal plate 31, the heat dissipation performance is improved by the amount of the metal foil 38 disposed on the heat dissipation member 70 side. It becomes possible to suppress the heat dissipation from deteriorating.
  • An electronic component 55 that is a passive component is built in the second insulating layer 34. Therefore, the passive component (55) having a low necessity of heat dissipation can be incorporated in the second insulating layer 34.
  • the electronic component 50 incorporated in the first insulating layer 33 is a power element. Therefore, the power element having a high necessity for heat dissipation is excellent in heat dissipation.
  • the embodiment is not limited to the above, and may be embodied as follows, for example.
  • a configuration shown in FIG. 7 may be used instead of FIG.
  • the spiral first coil 31 a is arranged from the connection part (arrangement part of the via hole 40) with the first coil 31 a by the first metal plate 31. It is extended along the area. That is, it extends in a C shape.
  • heat generated when the first coil 31a generates heat as the first coil 31a is energized can be easily released to the heat radiating member 70 via the extended metal foil pattern 90. This improves heat dissipation.
  • the multilayer substrate is formed by alternately laminating conductive layers (wiring patterns) and insulating layers (resin layers), but the number of layers is not limited.
  • the fourth insulating layer 103, the fifth insulating layer 104, the electronic component 130, the electronic component 131, and the electronic component 132 are provided.
  • the first metal foil 121 is disposed on the upper surface, which is one surface of the third insulating layer 102
  • the second metal foil 122 is disposed on the lower surface, which is the other surface of the third insulating layer 102. Has been.
  • a third metal foil 123 is disposed on the upper surface, which is one surface of the second insulating layer 101, and a fourth metal foil 124 is disposed on the lower surface, which is the other surface of the second insulating layer 101.
  • a fifth metal foil 125 is disposed on the upper surface, which is one surface of the first insulating layer 100, and a sixth metal foil 126 is disposed on the lower surface, which is the other surface of the first insulating layer 100.
  • a second insulating layer 101 is stacked on the first insulating layer 100 with a thin fourth insulating layer 103 interposed therebetween.
  • a third insulating layer 102 is stacked over the second insulating layer 101 with a thin fifth insulating layer 104 interposed therebetween.
  • the first metal plate 111 is built in the first insulating layer 100.
  • a second metal plate 112 is built in the second insulating layer 101.
  • a third metal plate 113 is built in the third insulating layer 102.
  • the first metal plate 111 is patterned into a desired coil shape to form a first coil as a primary side coil (winding).
  • the second metal plate 112 is patterned into a desired coil shape to form a second coil as a secondary coil (winding).
  • the third metal plate 113 is patterned into a desired coil shape to form a third coil as a primary side coil (winding).
  • a pattern 126 a formed on the metal foil 126 is connected to one end of the primary coil by the first metal plate 111 through a plurality of via holes 140.
  • a pattern 121 a formed on the metal foil 121 is connected to one end of the primary side coil of the third metal plate 113 through a plurality of via holes 141.
  • the other end of the primary coil by the first metal plate 111 and the other end of the primary coil by the third metal plate 113 are connected via a via hole (not shown).
  • a pattern 123 a formed on the metal foil 123 is connected to one end of the secondary side coil by the second metal plate 112 through a via hole 145. Further, a pattern 124 a formed on the metal foil 124 is connected to the other end of the secondary coil by the second metal plate 112 through a via hole 146.
  • the electronic component 130 built in the first insulating layer 100 is connected to the pattern 126 b formed on the metal foil 126 through the via hole 150.
  • the electronic component 130 is connected to the pattern 125 a formed on the metal foil 125 via the via hole 151.
  • An electronic component 131 built in the second insulating layer 101 is connected to the pattern 123 b formed on the metal foil 123 through a via hole 152.
  • An electronic component 132 built in the third insulating layer 102 is connected to the pattern 121 b formed on the metal foil 121 through a via hole 153.
  • the first metal plate 31 is connected to the metal foils 37 and 38 through the via holes and the second metal plate 32 is connected to the metal foils 35 and 36 through the via holes.
  • the first metal plate 31 only needs to be connected to any one of the metal foils 35, 36, 37, and 38 through the via holes, and the second metal plate 32 also has the metal foils 35, 36, and 37 through the via holes. , 38 may be connected.
  • the electronic component 50 is connected to the metal foils 37 and 38 through the via holes and the electronic component 55 is connected to the metal foil 35 through the via holes. Absent. The electronic component 50 only needs to be connected to any one of the metal foils 35, 36, 37, and 38 through a via hole, and the electronic component 55 is also connected to any one of the metal foils 35, 36, 37, and 38 through a via hole. It only has to be done.
  • the transformer was comprised with the 1st coil and the 2nd coil, it is not restricted to this.
  • the first coil and the second coil may not constitute a transformer.
  • the magnetic core 63 is a general EI type magnetic core, but is not limited thereto. The shape of the magnetic core does not matter.
  • the type of electronic components built into the multilayer board is not limited.
  • the electronic component may be an active component or a passive component.
  • a control IC 15 for controlling the power MOSFET (14) in FIG. 1 may be incorporated.
  • the metal plates 31 and 32 are copper plates, and the metal foils 35, 36, 37, and 38 are copper foils, but are not limited thereto, and the metal plates 31 and 32 may be metal plates other than the copper plate, The metal foils 35, 36, 37, and 38 may be metal foils other than copper foil.
  • the thicknesses of the metal foils 35, 36, 37, and 38 that are the conductive layers of the multilayer substrate may be the same or different.
  • the conductive layer through which a large current (power current) flows may be thick, and the conductive layer through which a small current (control current) flows may be thin.
  • the heat radiating member may be provided on one side of the multilayer substrate, but the heat radiating member (heat sink) may be provided on both sides of the multilayer substrate.
  • the heat radiating member may be provided on both sides of the multilayer substrate.
  • a DC-DC converter it may be embodied in another power converter, for example, an inverter.

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Abstract

第1のコイルを形成する第1の金属板と、第1の金属板にコイルの巻回軸方向に対向し、第2のコイルを形成する第2の金属板と、第1の金属板を内蔵する第1の絶縁層と、第2の金属板を内蔵する第2の絶縁層と、を備える。第1の金属板には複数のビアホールを介して金属箔が接続され、金属箔に形成されたパターンには第1の絶縁層に内蔵された電子部品が実装されている。

Description

多層基板
 本発明は、多層基板に関するものである。
 特許文献1に開示の多層プリント基板においては、4以上の偶数層から成り、厚みの薄い薄導体が形成された、外部に露出する少なくとも1つの外層と、厚みの厚い厚導体が形成された、外部に露出しない少なくとも1つの内層と、を備え、内層に形成された厚導体により、コイルパターンが形成され、外層に形成された薄導体に、電子部品が表面実装されている。
特開2015-88689号公報
 ところで、第1のコイルを内蔵する絶縁層と第2のコイルを内蔵する絶縁層とを積層した場合においては、コイルと電子部品を積層して配置すると積層方向の大型化を招いてしまう。また、投影面積の小型化を図りたいという要求がある。
 本発明の目的は、投影面積の小型化を図るとともに積層方向の大型化を抑制することができる多層基板を提供することにある。
 請求項1に記載の発明では、第1のコイルを形成する第1の金属板と、前記第1の金属板にコイルの巻回軸方向に対向し、第2のコイルを形成する第2の金属板と、前記第1の金属板を内蔵する第1の絶縁層と、前記第2の金属板を内蔵する第2の絶縁層と、を備え、前記第1の絶縁層の一方の面、又は他方の面、又は前記第2の絶縁層の一方の面、又は他方の面のうち少なくとも1つには導電層を形成する金属箔が配置され、前記第1の金属板にはビアホールを介して前記導電層が接続され、前記導電層を形成する前記金属箔のパターンには前記第1の絶縁層に内蔵された電子部品が実装されていることを要旨とする。
 請求項1に記載の発明によれば、金属箔をパターニングして電子部品を実装するため、第1の金属板をパターンニングして実装する場合に比べて、パターンを微細化できて投影面積を小型化可能となる。また、電子部品と第1の金属板とを第1の絶縁層に内蔵するため、電子部品と第1の金属板とを別々の絶縁層に内蔵してそれらを積層するよりも、積層方向の大型化を抑制可能となる。
 請求項2に記載の発明では、請求項1に記載の多層基板において、前記第1の絶縁層は、前記第2の絶縁層よりも放熱部材側に配置され、前記金属箔は、前記第1の金属板および前記第2の金属板よりも放熱部材側に配置されることを要旨とする。
 請求項2に記載の発明によれば、金属箔における電子部品の熱の放熱性能は第1の金属板での放熱性能に比べて劣るが、放熱部材側に金属箔を配置するためその分放熱性が向上し、放熱性が低下することを抑制可能となる。
 請求項3に記載の発明では、請求項2に記載の多層基板において、前記第2の絶縁層に受動部品が内蔵されていることを要旨とする。
請求項3に記載の発明によれば、放熱の必要性が低い受動部品を第2の絶縁層に内蔵可能となる。
 請求項4に記載の発明では、請求項2または3に記載の多層基板において、前記第1の絶縁層に内蔵された前記電子部品はパワー素子であることを要旨とする。
 請求項4に記載の発明によれば、放熱の必要性が高いパワー素子の放熱性に優れている。
 本発明によれば、投影面積の小型化を図るとともに積層方向の大型化を抑制することができる。
実施形態における絶縁型DC-DCコンバータの回路図。 (a)は多層基板、磁性コア、放熱部材の平面図、(b)は(a)のA-A線での縦断面図。 図2(a)のB-B線での縦断面図。 (a)は多層基板における第2の絶縁層(第2の金属板)の配置部分の平面図、(b)は(a)のA-A線での縦断面図。 (a)は多層基板における第1の絶縁層(第1の金属板)の配置部分の平面図、(b)は(a)のA-A線での縦断面図。 多層基板における第1の絶縁層(第1の金属板)の配置部分の下面図(図5(b)のC矢視図)。 別例の多層基板の下面図。 別例の多層基板の縦断面図。
 以下、絶縁型DC-DCコンバータに具体化した一実施形態を図面に従って説明する。
 図1に示すように、電力変換装置としての絶縁型DC-DCコンバータ10は、フォワード形DC-DCコンバータであって、トランス11を備えている。トランス11は1次側コイル(巻線)11aと2次側コイル(巻線)11bを備えている。絶縁型DC-DCコンバータ10は自動車用であり、車両に搭載される。絶縁型DC-DCコンバータ10は、トランス11の1次側の入力電圧を降圧してトランス11の2次側に出力する。
 1次側コイル11aの一方の端子は入力端子と接続され、入力端子はバッテリ12の正極端子と接続される。1次側コイル11aの他方の端子は1次側スイッチング素子14を介して接地されている。1次側スイッチング素子14としてパワーMOSFETが用いられている。
 入力端子とトランス11の1次側コイル11aとの間には平滑コンデンサ13の正極が接続され、平滑コンデンサ13の負極は接地されている。平滑コンデンサ13には電解コンデンサが使用される。平滑コンデンサ13によりトランス11の1次側電圧が平滑される。
 トランス11の2次側コイル11bにはダイオード16,17よりなる整流回路が接続されている。ダイオード16は、トランス11の2次側のグランドにアノードが接続され、トランス11の2次側コイル11bの一方端にカソードが接続される。ダイオード17は、ダイオード16のアノードにアノードが接続され、トランス11の2次側コイル11bの他方端にカソードが接続される。
 さらに、コンデンサ19がダイオード17に並列接続されている。コイル18が、トランス11の2次側コイル11bとコンデンサ19との間に設けられている。コイル18とコンデンサ19とでフィルタ回路を構成している。
 1次側スイッチング素子14のゲート端子に制御IC15が接続されている。制御IC15から1次側スイッチング素子14のゲート端子にパルス信号が出力され、このパルス信号により1次側スイッチング素子14がスイッチングされる。1次側スイッチング素子14がオンしているときに1次側の電源からエネルギーを2次側へ供給する。1次側スイッチング素子14がオフしているときにコイル18に溜め込んだエネルギーを出力へ放出する。詳しくは、直流電圧が平滑コンデンサ13を通してトランス11の1次側コイル11aに供給され、制御IC15により、1次側スイッチング素子14がオン/オフ制御され、このオン/オフ動作における、1次側スイッチング素子14のオン期間において1次側コイル11aに1次電流が流れ、トランス11の起電力で2次電流が流れる。1次側スイッチング素子14がオフしているときにコイル18の電流がコイル18の逆起電力でダイオード17経由で出力に流れる。
 制御IC15には検出回路20が接続され、検出回路20により出力電圧Voutが検出される。検出回路20による出力電圧Voutの測定結果が制御IC15に送られる。制御IC15は検出回路20による出力電圧Voutの測定結果をフィードバック信号として出力電圧Voutが所望の一定値となるように1次側スイッチング素子14のデューティを制御する。
 絶縁型DC-DCコンバータ10の駆動に伴いトランス11、1次側スイッチング素子14等が発熱する。
 以下、トランス11および1次側スイッチング素子14の具体的構造について説明する。トランス11および1次側スイッチング素子14は多層基板を用いて構成されている。
多層基板は、導電層(配線パターン)と絶縁層(樹脂層)とを交互に積層して構成されている。
 図2(a)に、多層基板30、磁性コア63、放熱部材70の平面を、図2(b)に、図2(a)のA-A線での縦断面を、図3に、図2(a)のB-B線での縦断面を示す。図2(a),(b)に示すように、多層基板30は、第1の金属板31と、第2の金属板32と、第1の絶縁層33と、第2の絶縁層34と、第1の金属箔35と、第2の金属箔36と、第3の金属箔37と、第4の金属箔38と、第3の絶縁層39と、電子部品50と、電子部品55を備える。第1の金属板31は銅板であり、第2の金属板32は銅板である。第1の金属箔35は銅箔であり、第2の金属箔36は銅箔であり、第3の金属箔37は銅箔であり、第4の金属箔38は銅箔である。第1の金属箔35により第1の導電層L1が形成され、第2の金属箔36により第2の導電層L2が形成され、第3の金属箔37により第3の導電層L3が形成され、第4の金属箔38により第4の導電層L4が形成される。
 第1の金属板31及び第2の金属板32の厚さは、例えば500μm程度である。第1の金属板31及び第2の金属板32は打ち抜きによりパターニングされ、大電流が流せる。一方、第1の金属箔35、第2の金属箔36、第3の金属箔37及び第4の金属箔38の厚さは、第1の金属板31及び第2の金属板32の厚さよりも薄く、例えば100μm以下である。第1の金属箔35、第2の金属箔36、第3の金属箔37及び第4の金属箔38はエッチングでパターニングされ、大電流を流すパターンでは幅広となり、制御電流を流すパターンでは幅狭となっている。
 第2の絶縁層34の一方の面である上面には第1の金属箔35が配置されているとともに第2の絶縁層34の他方の面である下面には第2の金属箔36が配置されている。同様に、第1の絶縁層33の一方の面である上面には第3の金属箔37が配置されているとともに第1の絶縁層33の他方の面である下面には第4の金属箔38が配置されている。
 第1の金属箔35が所望の配線形状にパターニングされ、図4(a)に示すように、パターン35a,35b,35cが形成されている。第2の金属箔36が所望の配線形状にパターニングされ、図4(a)に示すように、パターン36aが形成されている。第3の金属箔37が所望の配線形状にパターニングされ、図5(a)に示すように、パターン37a,37bが形成されている。第4の金属箔38が所望の配線形状にパターニングされ、図6に示すように、パターン38a,38bが形成されている。
 図2(b)に示すように、第1の絶縁層33の上に第2の絶縁層34が薄い第3の絶縁層39を介して積層されている。つまり、第3の金属箔37の上に薄い第3の絶縁層39を介して第2の金属箔36が配置されている。
 図5(a),(b)に示すように、第1の絶縁層33において第1の金属板31が内蔵されている。図4(a),(b)に示すように、第2の絶縁層34において第2の金属板32が内蔵されている。
 第1の金属板31が所望のコイル形状にパターニングされ、図5(a)及び図6に示すように、1次側コイル(巻線)としての第1のコイル31aが形成されている。第2の金属板32が所望のコイル形状にパターニングされ、図4(a)に示すように、2次側コイル(巻線)としての第2のコイル32aが形成されている。
 図5(a)及び図5(b)に示すように、第1のコイル31aは渦巻き状をなし、ターン数が「2」である。図4(a)及び図4(b)に示すように、第2のコイル32aはCの字状をなし、ターン数が「1」である。第1の金属板31による第1のコイル31aと第2の金属板32による第2のコイル32aとは、上下方向において重なるように配置されている。つまり、第1の金属板31による第1のコイル31aと、第2の金属板32による第2のコイル32aとは、上下方向、即ち、コイルの巻回軸方向に対向している。
 このように、多層基板30は、1次側コイル(巻線)としての第1のコイル31aを形成する第1の金属板31と、第1の金属板31にコイルの巻回軸方向に対向し、2次側コイル(巻線)としての第2のコイル32aを形成する第2の金属板32と、第1の金属板31を内蔵する第1の絶縁層33と、第2の金属板32を内蔵する第2の絶縁層34と、を備える。
 図6に示すように、第1の金属板31による第1のコイル31aの内周側端部は複数のビアホール40を介して第4の金属箔38によるパターン38aが接続されており、より詳しくは、第1のコイル31aの内周側端部とパターン38aとが複数のビアホール40の導体により相互に電気的に導通している。図5(a)に示すように、第1のコイル31aの外周側端部は複数のビアホール41を介して第3の金属箔37によるパターン37aが接続されており、より詳しくは、第1のコイル31aの外周側端部とパターン37aとが複数のビアホール41の導体により相互に電気的に導通している。
 図4(a)に示すように、第2の金属板32による第2のコイル32aの一端部は複数のビアホール42を介して第2の金属箔36によるパターン36aが接続されており、より詳しくは、第2のコイル32aの一端部とパターン36aとが複数のビアホール42の導体により相互に電気的に導通している。同じく図4(a)に示すように、第2のコイル32aの他端部は複数のビアホール43を介して第1の金属箔35によるパターン35aが接続されており、より詳しくは、第2のコイル32aの他端部とパターン35aとが複数のビアホール43の導体により相互に電気的に導通している。
 図5(a),(b)に示すように、第1の絶縁層33には電子部品50が内蔵されている。電子部品50は、例えば図1の1次側スイッチング素子14、即ち、パワー素子(能動部品)である。なお、第1の絶縁層33に内蔵された電子部品50は1次側スイッチング素子14以外のパワー素子、例えば、図1のダイオード16,17等であってもよい。電子部品50は複数のビアホール51を介して第4の金属箔38によるパターン38bが接続されており、より詳しくは、電子部品50の電極(例えばドレイン電極)とパターン38bとが複数のビアホール51の導体により相互に電気的に導通している。電子部品50は複数のビアホール52を介して第3の金属箔37によるパターン37bが接続されており、より詳しくは、電子部品50の電極(例えばソース電極)とパターン37bとが複数のビアホール52の導体により相互に電気的に導通している。このように、第4の金属箔38に形成されたパターン38bには第1の絶縁層33に内蔵された電子部品50が実装されている。
 図4(a),(b)に示すように、第2の絶縁層34には電子部品55が内蔵されている。電子部品55は、例えば図1のコンデンサ19、即ち、受動部品である。電子部品55は複数のビアホール56を介して第1の金属箔35によるパターン35bが接続されており、より詳しくは、電子部品55の電極(例えば正極電極)とパターン35bとが複数のビアホール56の導体により相互に電気的に導通している。また、電子部品55は複数のビアホール57を介して第1の金属箔35によるパターン35cが接続されており、より詳しくは、電子部品55の電極(例えば負極電極)とパターン35cとが複数のビアホール57の導体により相互に電気的に導通している。
 図2(a)、図2(b)、図3に示すように、多層基板30にはコア用貫通孔60,61,62が形成されている。多層基板30にはEI型磁性コア63が組み付けられる。EI型磁性コア63はE型磁性コア64とI型磁性コア65よりなる。詳しくは、多層基板30におけるコイルの中心部(巻線の中心)には円形の貫通孔60が形成されている。多層基板30におけるコイルの外径側(巻線パターンの外周端)には貫通孔61及び貫通孔62が形成されている。多層基板30における一方の面からE型磁性コア64が、貫通孔60に中央脚部64aが通るとともに貫通孔61及び貫通孔62に両側脚部64b,64cが通るように配置される。多層基板30における他方の面にI型磁性コア65が、E型磁性コア64の中央脚部64aの先端面および両側脚部64b,64cの先端面が突き当たるように配置される。
 EI型磁性コア63が組み付けられた多層基板30は、放熱部材(ヒートシンク)70の上に配置される。放熱部材70は平板状をなしている。放熱部材70の上面に、EI型磁性コア63が組み付けられた多層基板30が熱的に接合する状態で配置される。
 多層基板30における第1の絶縁層33は、第2の絶縁層34よりも放熱部材70側に配置されている。また、多層基板30における第4の金属箔38は、第1の金属板31および第2の金属板32よりも放熱部材70側に配置されている。
 次に、作用について説明する。
 図2(a),(b)、図3に示すように、1次側コイルとしての第1のコイル31aが形成された第1の金属板31と、2次側コイルとしての第2のコイル32aが形成された第2の金属板32とが多層基板30に埋め込まれ、内蔵化されている。よって、第1の金属板31(第1のコイル31a)と第2の金属板32(第2のコイル32a)との間のスペースが小さくなる。
 具体的には、導電層L1と導電層L2との間に、第2の金属板32(第2のコイル32a)が内蔵されている。また、導電層L3と導電層L4との間に第1の金属板31(第1のコイル31a)が内蔵されている。第1の金属板31(第1のコイル31a)と第2の金属板32(第2のコイル32a)とが絶縁層39で絶縁されている。また、導電層L1,L2,L3,L4とそれぞれの金属板31,32(コイル31a,32a)との間で接続が行われている。
 このようにすることにより、交流抵抗の低減が図られる。また、回路との接続性に優れている。
 つまり、基板の一方の面に1次側コイルを配置するとともに基板の他方の面に2次側コイルを配置したものに磁性コアを組み付けた構成とすると、1次側コイルと2次側コイルの間に基板の厚み分のスペースが発生し、漏れインダクタンスが増加したり、コイルの損失が増加したり、磁性コアの高さ、体格が増加する懸念がある。
 これに対し本実施形態では、多層基板に1次側コイルと2次側コイルを積層した状態で内蔵することにより、1次側コイルと2次側コイルとの間の距離を短くでき、トランスの損失が低減できるとともにトランスの小型化が図られる。
 また、多層基板30は放熱部材(ヒートシンク)70の上に配置されており、絶縁型DC-DCコンバータ10の駆動に伴いトランス11、1次側スイッチング素子14等が発熱すると、その熱は放熱部材70から逃がされる。
 つまり、第1の金属板31による第1のコイル31aに発生した熱は放熱部材70に伝播して放熱部材70において大気中に逃がされる。また、第2の金属板32による第2のコイル32aに発生した熱は放熱部材70に伝播して放熱部材70において大気中に逃がされる。ここで、第1のコイル31aと第2のコイル32aとの間の距離を短くでき、放熱性が向上してトランスの温度上昇が低減される。同様に、電子部品50,55に発生した熱は放熱部材70に伝播して放熱部材70において大気中に逃がされる。ここで、電子部品50は放熱部材70に対し近くに配置され、放熱性に優れている。
 また、金属箔38のパターン38bに電子部品50が接続されており、パターン38bの微細化に伴い投影面積の小型化が図られる。
さらに、第1の絶縁層33において、第1のコイル31aが形成された第1の金属板31と、電子部品50と、が内蔵されている。また、第2の絶縁層34において、第2のコイル32aが形成された第2の金属板32と、電子部品55と、が内蔵されている。同一の絶縁層に金属板と電子部品を内蔵することにより積層方向における大型化が防止される。
 上記実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
 (1)多層基板30の構成として、第1のコイルを形成する第1の金属板31と、第1の金属板31にコイルの巻回軸方向に対向し、第2のコイルを形成する第2の金属板32と、第1の金属板31を内蔵する第1の絶縁層33と、第2の金属板32を内蔵する第2の絶縁層34と、を備え、第1の金属板31には複数のビアホール40を介して金属箔38が接続され、金属箔38に形成されたパターン38bには第1の絶縁層33に内蔵された電子部品50が実装されている。
 よって、金属箔38をパターニングして電子部品50を実装するため、第1の金属板31をパターンニングして実装する場合に比べて、パターンを微細化できて投影面積を小型化可能となる。また、電子部品50と第1の金属板31とを第1の絶縁層33に内蔵するため、電子部品50と第1の金属板31とを別々の絶縁層に内蔵してそれらを積層するよりも、積層方向の大型化を抑制可能となる。その結果、投影面積の小型化を図るとともに積層方向の大型化を抑制することができる。
 (2)第1の絶縁層33は、第2の絶縁層34よりも放熱部材70側に配置され、金属箔38は、第1の金属板31および第2の金属板32よりも放熱部材70側に配置される。よって、金属箔38における電子部品50の熱の放熱性能は第1の金属板31での放熱性能に比べて劣るが、放熱部材70側に金属箔38を配置するためその分放熱性が向上し、放熱性が低下することを抑制可能となる。
 (3)第2の絶縁層34に受動部品である電子部品55が内蔵されている。よって、放熱の必要性が低い受動部品(55)を第2の絶縁層34に内蔵可能となる。
 (4)第1の絶縁層33に内蔵された電子部品50はパワー素子である。よって、放熱の必要性が高いパワー素子の放熱性に優れている。
 実施形態は前記に限定されるものではなく、例えば、次のように具体化してもよい。
 ・図6に代わり図7に示す構成としてもよい。図7において、第4の金属箔38によるパターン90として、第1の金属板31による第1のコイル31aとの接続部(ビアホール40の配置部)から、渦巻き状の第1のコイル31aの配置領域に沿うように延長されている。即ち、Cの字状に延設されている。これにより第1のコイル31aの通電に伴い第1のコイル31aが発熱したときの熱が、延長された金属箔のパターン90を介して放熱部材70に容易に逃がすことができる。これによって放熱性の向上が図られる。
 ・多層基板は導電層(配線パターン)と絶縁層(樹脂層)とを交互に積層して構成されるが、その層数は問わない。例えば、図8に示す、6つの金属箔121,122,123,124,125,126による導電層L1~L6を有する多層基板としてもよい。図8において、第1の金属板111と、第2の金属板112と、第3の金属板113と、第1の絶縁層100と、第2の絶縁層101と、第3の絶縁層102と、第1の金属箔121と、第2の金属箔122と、第3の金属箔123と、第4の金属箔124と、第5の金属箔125と、第6の金属箔126と、第4の絶縁層103と、第5の絶縁層104と、電子部品130と、電子部品131と、電子部品132と、を備える。第3の絶縁層102の一方の面である上面には第1の金属箔121が配置されているとともに第3の絶縁層102の他方の面である下面には第2の金属箔122が配置されている。第2の絶縁層101の一方の面である上面には第3の金属箔123が配置されているとともに第2の絶縁層101の他方の面である下面には第4の金属箔124が配置されている。第1の絶縁層100の一方の面である上面には第5の金属箔125が配置されているとともに第1の絶縁層100の他方の面である下面には第6の金属箔126が配置されている。第1の絶縁層100の上に第2の絶縁層101が薄い第4の絶縁層103を介して積層されている。第2の絶縁層101の上に第3の絶縁層102が薄い第5の絶縁層104を介して積層されている。
 第1の絶縁層100において第1の金属板111が内蔵されている。第2の絶縁層101において第2の金属板112が内蔵されている。第3の絶縁層102において第3の金属板113が内蔵されている。
 第1の金属板111が所望のコイル形状にパターニングされ、1次側コイル(巻線)としての第1のコイルが形成されている。第2の金属板112が所望のコイル形状にパターニングされ、2次側コイル(巻線)としての第2のコイルが形成されている。第3の金属板113が所望のコイル形状にパターニングされ、1次側コイル(巻線)としての第3のコイルが形成されている。
 第1の金属板111による1次側コイルの一端には複数のビアホール140を介して金属箔126に形成されたパターン126aが接続されている。第3の金属板113による1次側コイルの一端には複数のビアホール141を介して金属箔121に形成されたパターン121aが接続されている。第1の金属板111による1次側コイルの他端と第3の金属板113による1次側コイルの他端とはビアホール(図示略)を介して接続されている。
 第2の金属板112による2次側コイルの一端にはビアホール145を介して金属箔123に形成されたパターン123aが接続されている。また、第2の金属板112による2次側コイルの他端にはビアホール146を介して金属箔124に形成されたパターン124aが接続されている。
 このようにして、第1の金属板111(1次側コイル)、第2の金属板112(2次側コイル)、第3の金属板113(1次側コイル)が多層に積層された構造となっている。
 また、金属箔126に形成されたパターン126bには第1の絶縁層100に内蔵された電子部品130がビアホール150を介して接続されている。また、金属箔125に形成されたパターン125aには電子部品130がビアホール151を介して接続されている。金属箔123に形成されたパターン123bには第2の絶縁層101に内蔵された電子部品131がビアホール152を介して接続されている。金属箔121に形成されたパターン121bには第3の絶縁層102に内蔵された電子部品132がビアホール153を介して接続されている。
 ・図2(b)では第1の金属板31はビアホールを介して金属箔37,38と接続されるとともに第2の金属板32はビアホールを介して金属箔35,36と接続されていたが、これに限るものではない。第1の金属板31はビアホールを介して金属箔35,36,37,38のいずれかと接続されていればよく、また、第2の金属板32もビアホールを介して金属箔35,36,37,38のいずれかと接続されていればよい。
 同様に、図2(b)では電子部品50はビアホールを介して金属箔37,38と接続されるとともに電子部品55はビアホールを介して金属箔35と接続されていたが、これに限るものではない。電子部品50はビアホールを介して金属箔35,36,37,38のいずれかと接続されていればよく、また、電子部品55もビアホールを介して金属箔35,36,37,38のいずれかと接続されていればよい。
 ・第1のコイルと第2のコイルとでトランスを構成したがこれに限らない。第1のコイルと第2のコイルとでトランスを構成しなくてもよい。
 ・磁性コア63は、一般的なEI型磁性コアであったがこれに限らない。磁性コアの形状は問わない。
 ・多層基板に内蔵する電子部品の種類は問わない。電子部品は能動部品でも受動部品でもよく、例えば、図1におけるパワーMOSFET(14)を制御する制御IC15も内蔵させてもよい。
 ・金属板31,32は銅板であり、金属箔35,36,37,38は銅箔であったがこれに限られず、金属板31,32は銅板以外の金属板であってもよいし、金属箔35,36,37,38は銅箔以外の金属箔であってもよい。
 ・多層基板の各導電層である金属箔35,36,37,38の厚さは同一でも異なっていてもよい。例えば、大電流(パワー電流)が流れる導電層は厚く、小電流(制御電流)が流れる導電層は薄くしてもよい。
 ・放熱部材(ヒートシンク)は多層基板の片面に設けてもよいが、放熱部材(ヒートシンク)は多層基板の両面に設けてもよい。
 ・DC-DCコンバータに具体化したが、他の電力変換装置、例えばインバータに具体化してもよい。
 30  多層基板
 31  第1の金属板
 32  第2の金属板
 33  第1の絶縁層
 34  第2の絶縁層
 38  第1の金属箔
 38b  パターン
 40  ビアホール
 50  電子部品
 55  電子部品
 70  放熱部材

Claims (4)

  1.  第1のコイルを形成する第1の金属板と、
     前記第1の金属板にコイルの巻回軸方向に対向し、第2のコイルを形成する第2の金属板と、
     前記第1の金属板を内蔵する第1の絶縁層と、
     前記第2の金属板を内蔵する第2の絶縁層と、
    を備え、
     前記第1の絶縁層の一方の面、又は他方の面、又は前記第2の絶縁層の一方の面、又は他方の面のうち少なくとも1つには導電層を形成する金属箔が配置され、
     前記第1の金属板にはビアホールを介して前記導電層が接続され、
     前記導電層を形成する前記金属箔のパターンには前記第1の絶縁層に内蔵された電子部品が実装されていることを特徴とする多層基板。
  2.  前記第1の絶縁層は、前記第2の絶縁層よりも放熱部材側に配置され、
     前記金属箔は、前記第1の金属板および前記第2の金属板よりも放熱部材側に配置されることを特徴とする請求項1に記載の多層基板。
  3.  前記第2の絶縁層に受動部品が内蔵されていることを特徴とする請求項2に記載の多層基板。
  4.  前記第1の絶縁層に内蔵された前記電子部品はパワー素子であることを特徴とする請求項2または3に記載の多層基板。
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