WO2017204169A1

WO2017204169A1 - 洗浄液

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Publication number: WO2017204169A1
Application number: PCT/JP2017/019072
Authority: WO
Inventors: 和昭戸田
Original assignee: 大同メタル工業株式会社
Priority date: 2016-05-24
Filing date: 2017-05-22
Publication date: 2017-11-30
Also published as: GB201819374D0; US20200063064A1; US10711222B2; JP6653620B2; GB2565704A; DE112017002641T5; JP2017210531A; CN109312274A

Abstract

洗浄液は、液体（５３）と、液体（５３）に含有されて、第１温度の気体で形成される第１微細気泡群（５９ａ）と、液体（５３）に含有されて、第１温度より低い第２温度の気体で形成される第２微細気泡群（５９ｂ）とを有する。これにより、これまでに比べて飛躍的に良好な洗浄効果を発揮する洗浄液を提供することができる。

Description

洗浄液

　本発明は、液体中に微細気泡群を含有する洗浄液に関する。

　特許文献１は洗浄液を開示する。洗浄液は、液体に飽和溶解濃度で溶解したナノサイズの気泡を含有する。特許文献１は洗浄効果の向上にあたって液体分子の水素結合の距離に着目する。

日本特開２０１１－８８９７９号公報

　特許文献１は、その他、気泡を崩壊させる外力に着目する。そうした外力には、圧力変化や温度変化、衝撃波、超音波、赤外線、振動が含まれる。気泡の崩壊は洗浄力の向上に貢献すると考えられる。

　本発明は、これまでに比べて飛躍的に良好な洗浄効果を発揮する洗浄液を提供することを目的とする。

　本発明の第１側面によれば、液体と、前記液体に含有されて、第１温度の気体で形成される第１微細気泡群と、前記液体に含有されて、前記第１温度より低い第２温度の気体で形成される第２微細気泡群とを有する洗浄液が提供される。

　第１側面によれば、物体が洗浄液に触れると、物体の表面に固着する物質（例えば汚染体）と物体の表面との境界（界面の輪郭）に第１微細気泡群と第２微細気泡群とが次々に作用する。第１温度の気体と第２温度の気体とが同一箇所に作用することで、界面の輪郭で温度変化の繰り返し(温度の振動)が生じる。温度の振動は界面で剥離を引き起こす。剥離の進行に伴って輪郭から内側に気体は進入していく。こうして物質は物体の表面から剥離する。物質は物体から分離される。こうした温度の振動の働きで、洗浄液は、気泡の崩壊のエネルギーを必ずしも利用しなくとも、これまでに比べて飛躍的に良好な洗浄効果を発揮する。

図１は本発明の第１実施形態に係る洗浄液製造装置の全体像を示す概念図である。図２は第２実施形態に係る洗浄液製造装置の全体像を示す概念図である。図３は第３実施形態に係る洗浄液製造装置の全体像を示す概念図である。図４は第４実施形態に係る洗浄装置の全体像を示す概念図である。図５は第５実施形態に係る洗浄装置の全体像を示す概念図である。図６は第６実施形態に係る洗浄装置の全体像を示す概念図である。図７は第７実施形態に係る洗浄装置の全体像を示す概念図である。図８は温度条件と、残留する切粉の重量との関係を示すグラフである。図９は温度条件と、溶剤中に回収された油の濃度との関係を示すグラフである。図１０は気泡密度と、残留する切粉の重量との関係を示すグラフである。図１１は気泡密度と、溶剤中に回収された油の濃度との関係を示すグラフである。図１２は気泡の平均径と、残留する切粉の重量との関係を示すグラフである。図１３は気泡の平均径と、溶剤中に回収された油の濃度との関係を示すグラフである。

１３…液体
１８ａ…第１微細気泡群
１８ｂ…第２微細気泡群
２４…第１微細気泡群
２７…第２微細気泡群
３５ａ…第１微細気泡群
３５ｂ…第２微細気泡群
４４ａ…第１微細気泡群
４４ｂ…第２微細気泡群
５３…液体
５９ａ…第１微細気泡群
５９ｂ…第２微細気泡群
６４…第１微細気泡群
６７…第２微細気泡群

　以下、添付図面を参照しつつ本発明の実施形態を説明する。

　（１）第１実施形態に係る洗浄液製造装置

　図１は本発明の第１実施形態に係る洗浄液製造装置１１の全体像を示す。洗浄液製造装置１１は液槽１２を備える。液槽１２には液体１３が湛えられる。液体１３には、純水のほか、水や有機溶剤を溶媒として電解質、界面活性剤、気体などが溶解している液体が用いられることができる。液槽１２には第１気泡発生装置１４および第２気泡発生装置１５が接続される。

　第１気泡発生装置１４は液体１３中に開口する供給口１４ａを有する。第１気泡発生装置１４は供給口１４ａから液体１３中に微細気泡を吹き込む。微細気泡はマイクロバブルおよびナノバブルを含む。微細気泡は規定値以下の平均径の気泡の集合体であればよい。気泡の径は供給口１４ａに設置される微細孔の直径に基づき設定されることができる。微細孔の直径は５０μｍ以下に設定される。好ましくは、気泡の径は１μｍ以下であるとよい。ここでは、第１気泡発生装置１４は、第１温度の気体で形成される第１微細気泡群を吹き出す。直径１μｍ以下の気泡濃度は１ミリリットル当たり１ｘ１０^６個以上であることが望まれる。

　第１気泡発生装置１４には気体源１６ａが接続される。気体源１６ａは第１気泡発生装置１４に気体を供給する。気体は空気や窒素、水素などに限られずいかなる種類の気体であってもよい。気体源１６ａには温度調整装置１７ａが接続される。温度調整装置１７ａは気体源１６ａの気体の温度を調整する。こうした温度の調整にあたって気体には温度調整装置１７ａから熱エネルギーが加えられる（あるいは奪われる）。熱エネルギー（プラスであってもマイナスであっても）はいかなる方法で気体に伝達されてもよい。ここでは、気体源１６ａから第１気泡発生装置１４に第１温度の気体が供給される。

　同様に、第２気泡発生装置１５は液体１３中に開口する供給口１５ａを有する。第２気泡発生装置１５は供給口１５ａから液体１３中に微細気泡を吹き込む。微細気泡はマイクロバブルおよびナノバブルを含む。微細気泡は規定値以下の平均径の気泡の集合体であればよい。気泡の径は供給口１５ａに設置される微細孔の直径に基づき設定されることができる。微細孔の直径は５０μｍ以下に設定される。好ましくは、気泡の径は１μｍ以下であるとよい。ここでは、第２気泡発生装置１５は、第１温度より低い第２温度の気体で形成される第２微細気泡群を吹き出す。気体の径は第１気泡発生装置１４のそれに等しいだけでなく、それよりも小さくてもよく大きくてもよい。好ましくは、第２微細気泡群の平均径は第１微細気泡群の平均径よりも小さい。直径１μｍ以下の気泡濃度は１ミリリットル当たり１ｘ１０^６個以上であることが望まれる。

　第２気泡発生装置１５には気体源１６ｂが接続される。気体源１６ｂは第２気泡発生装置１５に気体を供給する。気体は空気や窒素、水素などに限られずいかなる種類の気体であってもよい。気体の種類は第１気泡発生装置１４のそれと同じでもよく相違してもよい。気体源１６ｂには温度調整装置１７ｂが接続される。温度調整装置１７ｂは気体源１６ｂの気体の温度を調整する。こうした温度の調整にあたって気体には温度調整装置１７ｂから熱エネルギーが加えられる（あるいは奪われる）。熱エネルギー（プラスであってもマイナスであっても）はいかなる方法で気体に伝達されてもよい。ここでは、気体源１６ｂから第２気泡発生装置１５に第２温度の気体が供給される。

　こうした洗浄液製造装置１１が作動すると、液槽１２中の液体１３に、第１温度の気体で形成される第１微細気泡群１８ａと、第２温度の気体で形成される第２微細気泡群１８ｂとが吹き込まれる。その結果、単一の液体１３中に、第１温度の気体で形成される第１微細気泡群１８ａと、第２温度の気体で形成される第２微細気泡群１８ｂとを含有する洗浄液は生成される。液体１３の温度は第２温度以上であって第１温度以下で任意に設定されればよい。液体１３が例えば純水または水溶液の場合には、液体１３の温度は摂氏８０度以下に設定されることが望まれる。水または水溶液の温度が摂氏８０度を超えると、気泡は安定的に高い個数密度を維持できない。

　（２）第２実施形態に係る洗浄液製造装置

　図２は第２実施形態に係る洗浄液製造装置２１の全体像を示す。洗浄液製造装置２１は液槽２２を備える。液槽２２には予備洗浄液２３が湛えられる。予備洗浄液２３は、液体中に含有されて、第１温度の気体で形成される第１微細気泡群２４を有する。液体には、純水のほか、水や有機溶剤を溶媒として電解質、界面活性剤、気体などが溶解している液体が用いられることができる。第１微細気泡群２４はマイクロバブルおよびナノバブルを含む。第１微細気泡群２４は規定値以下の平均径の気泡の集合体であればよい。平均径は５０μｍ以下に設定される。好ましくは、気泡の径は１μｍ以下であるとよい。気体は空気や窒素、水素などに限られずいかなる種類の気体であってもよい。直径１μｍ以下の気泡濃度は１ミリリットル当たり１ｘ１０^６個以上であることが望まれる。

　液槽２２には温度調整装置２５ａが接続される。温度調整装置２５ａは液槽２２内の予備洗浄液２３の温度を調整する。こうした温度の調整にあたって予備洗浄液２３には温度調整装置２５ａから熱エネルギーが加えられる（あるいは奪われる）。熱エネルギー（プラスであってもマイナスであっても）はいかなる方法で予備洗浄液２３に伝達されてもよい。ここでは、予備洗浄液２３中の第１微細気泡群２４と液体との間で熱エネルギーは平衡化される。したがって、個々の微細気泡に含まれる気体の温度は予備洗浄液２３として測定される温度に等しいと考えられる。ここでは、温度調整装置２５ａの働きで予備洗浄液２３の温度は第１温度に維持される。第１温度は摂氏８０度以下に設定されることが望まれる。液体が例えば純水または水溶液の場合には、純水または水溶液の温度が摂氏８０度を超えると、気泡は安定的に高い個数密度を維持できない。

　液槽２２には気泡発生装置２６が接続される。気泡発生装置２６は予備洗浄液２３中に開口する供給口２６ａを有する。気泡発生装置２６は供給口２６ａから予備洗浄液２３中に微細気泡を吹き込む。微細気泡はマイクロバブルおよびナノバブルを含む。微細気泡は規定値以下の平均径の気泡の集合体であればよい。気泡の径は供給口２６ａに設置される微細孔の直径に基づき設定されることができる。微細孔の直径は５０μｍ以下に設定される。好ましくは、気泡の径は１μｍ以下であるとよい。ここでは、気泡発生装置２６は、第１温度より低い第２温度の気体で形成される第２微細気泡群２７を吹き出す。気体の径は予備洗浄液２３に含まれる第１微細気泡群２４のそれに等しいだけでなく、それよりも小さくてもよく大きくてもよい。好ましくは、第２微細気泡群２７の平均径は第１微細気泡群２４の平均径よりも小さい。直径１μｍ以下の気泡濃度は１ミリリットル当たり１ｘ１０^６個以上であることが望まれる。

　気泡発生装置２６には気体源２８が接続される。気体源２８は気泡発生装置２６に気体を供給する。気体は空気や窒素、水素などに限られずいかなる種類の気体であってもよい。気体の種類は第１微細気泡群２４のそれと同じでもよく相違してもよい。気体源２８には温度調整装置２５ｂが接続される。温度調整装置２５ｂは気体源２８の気体の温度を調整する。こうした温度の調整にあたって気体には温度調整装置２５ｂから熱エネルギーが加えられる（あるいは奪われる）。熱エネルギー（プラスであってもマイナスであっても）はいかなる方法で気体に伝達されてもよい。ここでは、気体源２８から気泡発生装置２６に第２温度の気体が供給される。

　こうした洗浄液製造装置２１が作動すると、液槽２２中の予備洗浄液２３に、第２温度の気体で形成される第２微細気泡群２７が吹き込まれる。その結果、単一の液体中に、第１温度の気体で形成される第１微細気泡群２４と、第２温度の気体で形成される第２微細気泡群２７とを含有する洗浄液は生成される。液体の温度は第２温度以上であって第１温度以下で任意に設定されればよい。以上では、第１温度の気体で形成される第１微細気泡群２４が予め予備洗浄液２３中に存在し、第１温度よりも低い第２温度の気体で形成される第２微細気泡群２７が予備洗浄液２３に吹き込まれるものの、反対に、第２温度の気体で形成される第２微細気泡群２７が予め予備洗浄液２３中に存在して、第１温度の気体で形成される第１微細気泡群２４が予備洗浄液２３に吹き込まれるようにしてもよい。

　（３）第３実施形態に係る洗浄液製造装置

　図３は第３実施形態に係る洗浄液製造装置３１の全体像を示す。洗浄液製造装置３１は第１液槽３２ａおよび第２液槽３２ｂを備える。第１液槽３２ａには第１予備洗浄液３３ａが湛えられる。第２液槽３２ｂには第２予備洗浄液３３ｂが湛えられる。第１液槽３２ａおよび第２液槽３２ｂには共通に混合槽３２ｃが接続される。混合槽３２ｃには、第１液槽３２ａから第１予備洗浄液３３ａが導入され、第２液槽３２ｂから第２予備洗浄液３３ｂが導入される。混合槽３２ｃで第１予備洗浄液３３ａおよび第２予備洗浄液３３ｂは混合される。

　第１液槽３２ａには第１気泡発生装置３４が接続される。第１気泡発生装置３４は液体中に開口する供給口３４ａを有する。液体としては、純水のほか、水や有機溶剤を溶媒として電解質、界面活性剤、気体などが溶解している液体が用いられることができる。第１気泡発生装置３４は供給口３４ａから液体中に微細気泡を吹き込む。微細気泡はマイクロバブルおよびナノバブルを含む。微細気泡は規定値以下の平均径の気泡の集合体であればよい。気泡の径は供給口３４ａに設置される微細孔の直径に基づき設定されることができる。微細孔の直径は５０μｍ以下に設定される。好ましくは、気泡の径は１μｍ以下であるとよい。ここでは、第１気泡発生装置３４は、第１温度の気体で形成される第１微細気泡群３５ａを吹き出す。直径１μｍ以下の気泡濃度は１ミリリットル当たり１ｘ１０^６個以上であることが望まれる。

　第１気泡発生装置３４には気体源３６ａが接続される。気体源３６ａは第１気泡発生装置３４に気体を供給する。気体は空気や窒素、水素などに限られずいかなる種類の気体であってもよい。気体源３６ａには温度調整装置３７ａが接続される。温度調整装置３７ａは気体源３６ａの気体の温度を調整する。こうした温度の調整にあたって気体には温度調整装置３７ａから熱エネルギーが加えられる（あるいは奪われる）。熱エネルギー（プラスであってもマイナスであっても）はいかなる方法で気体に伝達されてもよい。ここでは、気体源３６ａから第１気泡発生装置３４に第１温度の気体が供給される。

　このとき、第１液槽３２ａに温度調整装置は接続されてもよい。第１予備洗浄液３３ａ中の第１微細気泡群３５ａと液体との間で熱エネルギーは平衡化される。個々の微細気泡に含まれる気体の温度は第１予備洗浄液３３ａとして測定される温度に等しいと考えられる。温度調整装置の働きで第１予備洗浄液３３ａの温度は第１温度に維持されればよい。

　同様に、第２液槽３２ｂには第２気泡発生装置３８が接続される。第２気泡発生装置３８は液体中に開口する供給口３８ａを有する。液体としては、水や有機溶剤を溶媒として電解質、界面活性剤、気体などが溶解している液体が用いられることができる。第２気泡発生装置３８は供給口３８ａから液体中に微細気泡を吹き込む。微細気泡はマイクロバブルおよびナノバブルを含む。微細気泡は規定値以下の平均径の気泡の集合体であればよい。気泡の径は供給口３８ａに設置される微細孔の直径に基づき設定されることができる。微細孔の直径は５０μｍ以下に設定される。好ましくは、気泡の径は１μｍ以下であるとよい。ここでは、第２気泡発生装置３８は、第１温度より低い第２温度の気体で形成される第２微細気泡群３５ｂを吹き出す。気体の径は第１気泡発生装置３４のそれに等しいだけでなく、それよりも小さくてもよく大きくてもよい。好ましくは、第２微細気泡群の平均径は第１微細気泡群の平均径よりも小さい。直径１μｍ以下の気泡濃度は１ミリリットル当たり１ｘ１０^６個以上であることが望まれる。

　第２気泡発生装置３８には気体源３６ｂが接続される。気体源３６ｂは第２気泡発生装置３８に気体を供給する。気体は空気や窒素、水素などに限られずいかなる種類の気体であってもよい。気体の種類は第１気泡発生装置３４のそれと同じでもよく相違してもよい。気体源３６ｂには温度調整装置３７ｂが接続される。温度調整装置３７ｂは気体源３６ｂの気体の温度を調整する。こうした温度の調整にあたって気体には温度調整装置３７ｂから熱エネルギーが加えられる（あるいは奪われる）。熱エネルギー（プラスであってもマイナスであっても）はいかなる方法で気体に伝達されてもよい。ここでは、気体源３６ｂから第２気泡発生装置３８に第２温度の気体が供給される。

　このとき、第２液槽３２ｂに温度調整装置は接続されてもよい。第２予備洗浄液３３ｂ中の第２微細気泡群３５ｂと液体との間で熱エネルギーは平衡化される。個々の微細気泡に含まれる気体の温度は第２予備洗浄液３３ｂとして測定される温度に等しいと考えられる。温度調整装置の働きで第２予備洗浄液３３ｂの温度は第２温度に維持されればよい。

　こうした洗浄液製造装置３１が作動すると、第１液槽３２ａで、第１温度の気体で形成される第１微細気泡群３５ａを含有する第１予備洗浄液３３ａが生成され、第２液槽３２ｂで、第２温度の気体で形成される第２微細気泡群３５ｂを含有する第２予備洗浄液３３ｂが生成される。第１予備洗浄液３３ａおよび第２予備洗浄液３３ｂが混合槽３２ｃで混合される結果、単一の液体中に、第１温度の気体で形成される第１微細気泡群３５ａと、第２温度の気体で形成される第２微細気泡群３５ｂとを含有する洗浄液３９は生成される。液体の温度は第２温度以上であって第１温度以下で任意に設定されればよい。液体が例えば純水または水溶液の場合には、液体１３の温度は摂氏８０度以下に設定されることが望まれる。純水または水溶液の温度が摂氏８０度を超えると、気泡は安定的に高い個数密度を維持できない。

　（４）第４実施形態に係る洗浄装置

　図４は本発明の第４実施形態に係る洗浄装置４１の全体像を示す。洗浄装置４１は洗浄槽４２を備える。洗浄槽４２にはいずれかの実施形態に係る洗浄液４３が湛えられる。洗浄液４３は、液体と、液体に含有されて、第１温度の気体で形成される第１微細気泡群４４ａと、液体に含有されて、第１温度より低い第２温度の気体で形成される第２微細気泡群４４ｂとを有する。いずれの液体にも、純水のほか、水や有機溶剤を溶媒として電解質、界面活性剤、気体などが溶解している液体が用いられることができる。直径１μｍ以下の気泡濃度は１ミリリットル当たり１ｘ１０^６個以上であることが望まれる。液体１３の温度は第２温度以上であって第１温度以下で任意に設定されることが望まれる。液体が例えば純水または水溶液の場合には、液体の温度は摂氏８０度以下に設定されることが望まれる。純水または水溶液の温度が摂氏８０度を超えると、気泡は安定的に高い個数密度を維持できない。

　洗浄装置４１は撹拌機構４５を備える。撹拌機構４５は、洗浄対象物Ｗを保持する保持具４５ａを有する。保持具４５ａは洗浄液４２中に浸される。撹拌機構４５は保持具４５ａを駆動して洗浄槽４２の洗浄液４３中で洗浄対象物Ｗを移動させる。こうして洗浄対象物Ｗは洗浄液４３に曝される。移動に伴って洗浄液４３は撹拌される。撹拌に応じて第１微細気泡群４４ａと第２微細気泡群４４ｂとは混ざり合う。洗浄対象物Ｗの表面には第１微細気泡群４４ａおよび第２微細気泡群４４ｂが衝突する。洗浄対象物Ｗの表面と汚染物との境界（界面の輪郭）に温度の異なる微細気泡が次々に接触する。温度の異なる微細気泡が同一箇所に作用することで、界面の輪郭で温度変化の繰り返し(温度の振動)が生じる。温度の振動は界面で剥離を引き起こす。剥離の進行に伴って輪郭から内側に微細気泡は進入していく。こうして汚染物は洗浄対象物Ｗの表面から剥離する。汚染物は洗浄対象物Ｗから分離される。こうした温度の振動の働きで、洗浄液４３は、気泡の崩壊のエネルギーを必ずしも利用しなくとも、これまでに比べて飛躍的に良好な洗浄効果を発揮する。

　（５）第５実施形態に係る洗浄装置

　図５は第５実施形態に係る洗浄装置５１の全体像を示す。洗浄装置５１は液槽５２を備える。液槽５２には液体５３が湛えられる。液体５３には、純水のほか、水や有機溶剤を溶媒として電解質、界面活性剤、気体などが溶解している液体が用いられることができる。液槽５２には第１気泡発生装置５４および第２気泡発生装置５５が接続される。

　第１気泡発生装置５４は液体５３中に開口する供給口５４ａを有する。第１気泡発生装置５４は供給口５４ａから液体５３中に微細気泡を吹き込む。微細気泡はマイクロバブルおよびナノバブルを含む。微細気泡は規定値以下の平均径の気泡の集合体であればよい。気泡の径は供給口５４ａに設置される微細孔の直径に基づき設定されることができる。微細孔の直径は５０μｍ以下に設定される。好ましくは、気泡の径は１μｍ以下であるとよい。ここでは、第１気泡発生装置５４は、第１温度の気体で形成される第１微細気泡群を吹き出す。直径１μｍ以下の気泡濃度は１ミリリットル当たり１ｘ１０^６個以上であることが望まれる。

　第１気泡発生装置５４には気体源５６ａが接続される。気体源５６ａは第１気泡発生装置５４に気体を供給する。気体は空気や窒素、水素などに限られずいかなる種類の気体であってもよい。気体源５６ａには温度調整装置５７ａが接続される。温度調整装置５７ａは気体源５６ａの気体の温度を調整する。こうした温度の調整にあたって気体には温度調整装置５７ａから熱エネルギーが加えられる（あるいは奪われる）。熱エネルギー（プラスであってもマイナスであっても）はいかなる方法で気体に伝達されてもよい。ここでは、気体源５６ａから第１気泡発生装置５４に第１温度の気体が供給される。

　同様に、第２気泡発生装置５５は液体５３中に開口する供給口５５ａを有する。第２気泡発生装置５５は供給口５５ａから液体５３中に微細気泡を吹き込む。微細気泡はマイクロバブルおよびナノバブルを含む。微細気泡は規定値以下の平均径の気泡の集合体であればよい。気泡の径は供給口５５ａに設置される微細孔の直径に基づき設定されることができる。微細孔の直径は５０μｍ以下に設定される。好ましくは、気泡の径は１μｍ以下であるとよい。ここでは、第２気泡発生装置５５は、第１温度より低い第２温度の気体で形成される第２微細気泡群を吹き出す。気体の径は第１気泡発生装置５４のそれに等しいだけでなく、それよりも小さくてもよく大きくてもよい。好ましくは、第２微細気泡群の平均径は第１微細気泡群の平均径よりも小さい。直径１μｍ以下の気泡濃度は１ミリリットル当たり１ｘ１０^６個以上であることが望まれる。

　第２気泡発生装置５５には気体源５６ｂが接続される。気体源５６ｂは第２気泡発生装置５５に気体を供給する。気体は空気や窒素、水素などに限られずいかなる種類の気体であってもよい。気体の種類は第１気泡発生装置５４のそれと同じでもよく相違してもよい。気体源５６ｂには温度調整装置５７ｂが接続される。温度調整装置５７ｂは気体源５６ｂの気体の温度を調整する。こうした温度の調整にあたって気体には温度調整装置５７ｂから熱エネルギーが加えられる（あるいは奪われる）。熱エネルギー（プラスであってもマイナスであっても）はいかなる方法で気体に伝達されてもよい。ここでは、気体源５６ｂから第２気泡発生装置５５に第２温度の気体が供給される。

　洗浄装置５１は保持機構５８を備える。保持機構５８は、洗浄槽５２内の洗浄液に浸される保持具５８ａを有する。保持具５８ａは洗浄対象物Ｗを保持する。保持機構５８は、洗浄液中で保持具５８ａを駆動して洗浄液中で洗浄対象物Ｗを移動させてもよく、静止状態で洗浄液中に洗浄対象物Ｗを保持してもよい。こうして洗浄対象物Ｗは洗浄液に曝される。

　洗浄装置５１が作動すると、第１微細気泡群５９ａおよび第２微細気泡群５９ｂはそれぞれ洗浄対象物Ｗに向かって吹き出される。その結果、液体５３中に、第１温度の気体で形成される第１微細気泡群５９ａと、第２温度の気体で形成される第２微細気泡群５９ｂとを含有する洗浄液は生成される。吹き出された第１微細気泡群５９ａおよび第２微細気泡群５９ｂは洗浄対象物Ｗに衝突する。洗浄対象物Ｗの表面と汚染物との境界（界面の輪郭）に温度の異なる微細気泡が次々に接触する。温度の異なる微細気泡が同一箇所に作用することで、界面の輪郭で温度変化の繰り返し(温度の振動)が生じる。温度の振動は界面で剥離を引き起こす。剥離の進行に伴って輪郭から内側に微細気泡は進入していく。こうして汚染物は洗浄対象物Ｗの表面から剥離する。汚染物は洗浄対象物Ｗから分離される。こうした温度の振動の働きで、洗浄液は、気泡の崩壊のエネルギーを必ずしも利用しなくとも、これまでに比べて飛躍的に良好な洗浄効果を発揮する。液体５３の温度は第２温度以上であって第１温度以下で任意に設定されればよい。液体５３が例えば純水または水溶液の場合には、液体５３の温度は摂氏８０度以下に設定されることが望まれる。純水または水溶液の温度が摂氏８０度を超えると、気泡は安定的に高い個数密度を維持できない。

　（６）第６実施形態に係る洗浄装置

　図６は第６実施形態に係る洗浄装置６１の全体像を示す。洗浄装置６１は洗浄槽６２を備える。洗浄槽６２には予備洗浄液６３が湛えられる。予備洗浄液６３は、液体中に含有されて、第１温度の気体で形成される第１微細気泡群６４を有する。液体には、純水のほか、水や有機溶剤を溶媒として電解質、界面活性剤、気体などが溶解している液体が用いられることができる。第１微細気泡群６４はマイクロバブルおよびナノバブルを含む。第１微細気泡群６４は規定値以下の平均径の気泡の集合体であればよい。平均径は５０μｍ以下に設定される。好ましくは、気泡の径は１μｍ以下であるとよい。気体は空気や窒素、水素などに限られずいかなる種類の気体であってもよい。直径１μｍ以下の気泡濃度は１ミリリットル当たり１ｘ１０^６個以上であることが望まれる。

　洗浄槽６２には温度調整装置６５ａが接続される。温度調整装置６５ａは洗浄槽６２内の予備洗浄液６３の温度を調整する。こうした温度の調整にあたって予備洗浄液６３には温度調整装置６５ａから熱エネルギーが加えられる（あるいは奪われる）。熱エネルギー（プラスであってもマイナスであっても）はいかなる方法で予備洗浄液６３に伝達されてもよい。ここでは、予備洗浄液６３中の第１微細気泡群６４と液体との間で熱エネルギーは平衡化される。したがって、個々の微細気泡に含まれる気体の温度は予備洗浄液６３として測定される温度に等しいと考えられる。ここでは、温度調整装置６５ａの働きで予備洗浄液６３の温度は第１温度に維持される。第１温度は摂氏８０度以下に設定されることが望まれる。液体が例えば純水または水溶液の場合には、純水または水溶液の温度が摂氏８０度を超えると、気泡は安定的に高い個数密度を維持できない。

　洗浄槽６２には気泡発生装置６６が接続される。気泡発生装置６６は予備洗浄液６３中に開口する供給口６６ａを有する。気泡発生装置６６は供給口６６ａから予備洗浄液６３中に微細気泡を吹き込む。微細気泡はマイクロバブルおよびナノバブルを含む。微細気泡は規定値以下の平均径の気泡の集合体であればよい。気泡の径は供給口６６ａに設置される微細孔の直径に基づき設定されることができる。微細孔の直径は５０μｍ以下に設定される。好ましくは、気泡の径は１μｍ以下であるとよい。ここでは、気泡発生装置６６は、第１温度より低い第２温度の気体で形成される第２微細気泡群６７を吹き出す。気体の径は予備洗浄液６３に含まれる第１微細気泡群６４のそれに等しいだけでなく、それよりも小さくてもよく大きくてもよい。好ましくは、第２微細気泡群６７の平均径は第１微細気泡群６４の平均径よりも小さい。直径１μｍ以下の気泡濃度は１ミリリットル当たり１ｘ１０^６個以上であることが望まれる。

　気泡発生装置６６には気体源６８が接続される。気体源６８は気泡発生装置６６に気体を供給する。気体は空気や窒素、水素などに限られずいかなる種類の気体であってもよい。気体の種類は第１微細気泡群６４のそれと同じでもよく相違してもよい。気体源６８には温度調整装置６５ｂが接続される。温度調整装置６５ｂは気体源６８の気体の温度を調整する。こうした温度の調整にあたって気体には温度調整装置６５ｂから熱エネルギーが加えられる（あるいは奪われる）。熱エネルギー（プラスであってもマイナスであっても）はいかなる方法で気体に伝達されてもよい。ここでは、気体源６８から気泡発生装置６６に第２温度の気体が供給される。

　洗浄装置６１は保持機構５８を備える。保持機構５８は、洗浄槽６２内の洗浄液に浸される保持具５８ａを有する。保持具５８ａは洗浄対象物Ｗを保持する。保持機構５８は、洗浄液中で保持具５８ａを駆動して洗浄液中で洗浄対象物Ｗを移動させてもよく、静止状態で洗浄液中に洗浄対象物Ｗを保持してもよい。こうして洗浄対象物Ｗは洗浄液に曝される。

　洗浄にあたって洗浄槽６２内に予備洗浄液６３は湛えられる。予備洗浄液６３の温度は第１温度に維持される。ここで、予備洗浄液６３に洗浄対象物Ｗは浸される。洗浄装置６１が作動すると、第２温度の気体で形成される第２微細気泡群６７は洗浄対象物Ｗに向かって吹き出される。その結果、液体中に、第１温度の気体で形成される第１微細気泡群６４と、第２温度の気体で形成される第２微細気泡群６７とを含有する洗浄液は生成される。液体の温度は第２温度以上であって第１温度以下で任意に設定されればよい。吹き出された第２微細気泡群６７に巻き込まれた第１微細気泡群６４および第２微細気泡群６７は洗浄対象物Ｗに衝突する。洗浄対象物Ｗの表面と汚染物との境界（界面の輪郭）に温度の異なる微細気泡が次々に接触する。温度の異なる微細気泡が同一箇所に作用することで、界面の輪郭で温度変化の繰り返し(温度の振動)が生じる。温度の振動は界面で剥離を引き起こす。剥離の進行に伴って輪郭から内側に微細気泡は進入していく。こうして汚染物は洗浄対象物Ｗの表面から剥離する。汚染物は洗浄対象物Ｗから分離される。こうした温度の振動の働きで、洗浄液は、気泡の崩壊のエネルギーを必ずしも利用しなくとも、これまでに比べて飛躍的に良好な洗浄効果を発揮する。以上では、第１温度の気体で形成される第１微細気泡群６４が予め予備洗浄液６３中に存在し、第１温度よりも低い第２温度の気体で形成される第２微細気泡群６７が予備洗浄液６３に吹き込まれるものの、反対に、第２温度の気体で形成される第２微細気泡群６７が予め予備洗浄液６３中に存在して、第１温度の気体で形成される第１微細気泡群６４が予備洗浄液６３に吹き込まれるようにしてもよい。

　（７）第７実施形態に係る洗浄装置

　図７は第７実施形態に係る洗浄装置７１の全体像を示す。洗浄装置７１は第１液供給装置７２ａおよび第２液供給装置７２ｂを備える。第１液供給装置７２ａは、第１予備洗浄液を吹き出す第１噴出管７３ａを備える。第２液供給装置７２ｂは、第２予備洗浄液を吹き出す第２噴出管７３ｂを備える。第１噴出管７３ａの吹き出し方向および第２噴出管７３ｂの吹き出し方向には共通に保持機構５８が配置される。保持機構５８は、洗浄対象物Ｗを保持する保持具５８ａを備える。保持具５８ａの重力方向下方には受け槽７４が設置されればよい。第１噴出管７３ａから吹き出される第１予備洗浄液と、第２噴出管７３ｂから吹き出される第２予備洗浄液とは保持具５８ａの位置で合流すればよい。

　第１液供給装置７２ａには第１液槽７５ａが接続される。第１液供給装置７２ａには第１液槽７５ａから第１予備洗浄液が供給される。第１液槽７５ａには第１気泡発生装置７６が接続される。第１気泡発生装置７６は液体７７ａ中に開口する供給口７６ａを有する。液体７７ａには、純水のほか、水や有機溶剤を溶媒として電解質、界面活性剤、気体などが溶解している液体が用いられることができる。第１気泡発生装置７６は供給口７６ａから液体７７ａ中に微細気泡を吹き込む。微細気泡はマイクロバブルおよびナノバブルを含む。微細気泡は規定値以下の平均径の気泡の集合体であればよい。気泡の径は供給口７６ａに設置される微細孔の直径に基づき設定されることができる。微細孔の直径は５０μｍ以下に設定される。好ましくは、気泡の径は１μｍ以下であるとよい。ここでは、第１気泡発生装置７６は、第１温度の気体で形成される第１微細気泡群を吹き出す。直径１μｍ以下の気泡濃度は１ミリリットル当たり１ｘ１０^６個以上であることが望まれる。

　第１気泡発生装置７６には気体源７８ａが接続される。気体源７８ａは第１気泡発生装置７６に気体を供給する。気体は空気や窒素、水素などに限られずいかなる種類の気体であってもよい。気体源７８ａには温度調整装置７９ａが接続される。温度調整装置７９ａは気体源７８ａの気体の温度を調整する。こうした温度の調整にあたって気体には温度調整装置７９ａから熱エネルギーが加えられる（あるいは奪われる）。熱エネルギー（プラスであってもマイナスであっても）はいかなる方法で気体に伝達されてもよい。ここでは、気体源７８ａから第１気泡発生装置７６に第１温度の気体が供給される。

　このとき、第１液槽７５ａに温度調整装置は接続されてもよい。第１予備洗浄液中の第１微細気泡群と液体との間で熱エネルギーは平衡化される。個々の微細気泡に含まれる気体の温度は第１予備洗浄液として測定される温度に等しいと考えられる。温度調整装置の働きで第１予備洗浄液の温度は第１温度に維持されればよい。

　同様に、第２液供給装置７２ｂには第２液槽７５ｂが接続される。第２液供給装置７２ｂには第２液槽７５ｂから第２予備洗浄液が供給される。第２液槽７５ｂには第２気泡発生装置８１が接続される。第２気泡発生装置８１は液体７７ｂ中に開口する供給口８１ａを有する。液体７７ｂには、純水のほか、水や有機溶剤を溶媒として電解質、界面活性剤、気体などが溶解している液体が用いられることができる。第２気泡発生装置８１は供給口８１ａから液体７７ｂ中に微細気泡を吹き込む。微細気泡はマイクロバブルおよびナノバブルを含む。微細気泡は規定値以下の平均径の気泡の集合体であればよい。気泡の径は供給口８１ａに設置される微細孔の直径に基づき設定されることができる。微細孔の直径は５０μｍ以下に設定される。好ましくは、気泡の径は１μｍ以下であるとよい。ここでは、第２気泡発生装置８１は、第１温度より高い第２温度の気体で形成される第２微細気泡群を吹き出す。気泡の径は第１気泡発生装置７６のそれに等しいだけでなく、それよりも小さくてもよく大きくてもよい。好ましくは、第２微細気泡群の平均径は第１微細気泡群の平均径よりも小さい。直径１μｍ以下の気泡濃度は１ミリリットル当たり１ｘ１０^６個以上であることが望まれる。

　第２気泡発生装置８１には気体源７８ｂが接続される。気体源７８ｂは第２気泡発生装置８１に気体を供給する。気体は空気や窒素、水素などに限られずいかなる種類の気体であってもよい。気体の種類は第１気泡発生装置７６のそれと同じでもよく相違してもよい。気体源７８ｂには温度調整装置７９ｂが接続される。温度調整装置７９ｂは気体源７８ｂの気体の温度を調整する。こうした温度の調整にあたって気体には温度調整装置７９ｂから熱エネルギーが加えられる（あるいは奪われる）。熱エネルギー（プラスであってもマイナスであっても）はいかなる方法で気体に伝達されてもよい。ここでは、気体源７８ｂから第２気泡発生装置８１に第２温度の気体が供給される。

　このとき、第２液槽７５ｂに温度調整装置は接続されてもよい。第２予備洗浄液中の第２微細気泡群と液体との間で熱エネルギーは平衡化される。個々の微細気泡に含まれる気体の温度は第２予備洗浄液として測定される温度に等しいと考えられる。温度調整装置の働きで第２予備洗浄液の温度は第２温度に維持されればよい。

　洗浄にあたって保持具５８ａに洗浄対象物Ｗはセットされる。洗浄装置７１が作動すると、洗浄対象物Ｗに向かって第１′噴出管７３ａおよび第２噴出管７３ｂから第１予備洗浄液８２ａおよび第２予備洗浄液８２ｂがそれぞれ噴き出される。第１予備洗浄液８２ａおよび第２予備洗浄液８２ｂは混合されて洗浄対象物Ｗに浴びせられる。その結果、液体中に、第１温度の気体で形成される第１微細気泡群と、第２温度の気体で形成される第２微細気泡群とを含有する洗浄液は生成される。第１微細気泡群および第２微細気泡群は洗浄対象物Ｗに衝突する。洗浄対象物Ｗの表面と汚染物との境界（界面の輪郭）に温度の異なる微細気泡が次々に接触する。温度の異なる微細気泡が同一箇所に作用することで、界面の輪郭で温度変化の繰り返し(温度の振動)が生じる。温度の振動は界面で剥離を引き起こす。剥離の進行に伴って輪郭から内側に微細気泡は進入していく。こうして汚染物は洗浄対象物Ｗの表面から剥離する。汚染物は洗浄対象物Ｗから分離される。こうした温度の振動の働きで、洗浄液は、気泡の崩壊のエネルギーを必ずしも利用しなくとも、これまでに比べて飛躍的に良好な洗浄効果を発揮する。液体の温度は第２温度以上であって第１温度以下で任意に設定されればよい。液体が例えば純水または水溶液の場合には、液体の温度は摂氏８０度以下に設定されることが望まれる。純水または水溶液の温度が摂氏８０度を超えると、気泡は安定的に高い個数密度を維持できない。

　（８）第８実施形態

　以上の実施形態では、いずれのものでも第１微細気泡群および第２微細気泡群としてマイクロバブルとナノバブルとの組み合わせが用いられることができる。すなわち、第１微細気泡群または第２微細気泡群のいずれかにマイクロバブルが用いられ、他方にナノバブルが用いられればよい。個々の気泡に含まれる熱エネルギー量の相違から、ナノバブルは洗浄対象物Ｗと汚染物との界面に緩やかな温度変化を生み出し、マイクロバブルは洗浄対象物Ｗと汚染物との界面に急激な温度変化を生み出す。急激な温度変化は急激な物体の膨張または急激な物体の収縮を引き起こし、汚染物の剥離を助長する。

　（９）検証

　本発明者は前述の第５実施形態に係る洗浄装置５１に倣って検証を実施した。検証では液体５３、第１微細気泡群５９ａおよび第２微細気泡群５９ｂの温度条件が観察された。液体５３には純水が用いられた。観察にあたって液槽５２には５０リットルの純水が溜められた。純水の温度（＝ＴＬ）は調整された。第１気泡発生装置５４には気体源５６ａから大気（空気）が供給された。空気の温度（第１温度Ｔ１）は調整された。微細気泡の量は１ミリリットル当たり１ｘ１０^６個程度に設定された。微細気泡の径は概ね５００ｎｍに設定された。微細気泡の形成にあたって直径５００ｎｍの貫通孔を有するフィルムが用いられた。１０分間にわたって継続的に第１微細気泡群５９ａは吹き込まれた。

　第２気泡発生装置５５には気体源５６ｂから大気（空気）が供給された。空気の温度（第２温度Ｔ２）は調整された。微細気泡の量は１ミリリットル当たり１ｘ１０^６個程度に設定された。微細気泡の径は概ね５００ｎｍに設定された。微細気泡の形成にあたって直径５００ｎｍの貫通孔を有するフィルムが用いられた。１０分間にわたって継続的に第２微細気泡群５９ｂは吹き込まれた。

　保持具５８ａにはカゴが用いられた。カゴ上に機械部品が洗浄対象物Ｗとして搭載された。機械部品の表面には切削加工時の切粉が油とともに付着していた。１０分間の洗浄後、機械部品の表面に残留した切粉の量および油の量を測定した。切粉の量の測定にあたって洗浄後の機械部品には高圧洗浄が施された。そうして洗い流された切粉を濾紙で採取した。電子天秤を用いて、採取した切粉の重量［ミリグラム］を測定した。一方で、油の量の測定にあたって洗浄後の機械部品は溶剤中に浸漬された。溶剤中に溶解した油の濃度［ｐｐｍ］が測定された。

　温度条件の観察にあたって、以下の通り、６通りの条件が設定された。

　条件１～条件５では第１温度Ｔ１および第２温度Ｔ２の間に摂氏１０度の温度差が設定された。条件１では液体温度ＴＬは第１温度Ｔ１および第２温度Ｔ２よりも低く設定された。条件２では液体温度ＴＬは第１温度Ｔ１および第２温度Ｔ２よりも高く設定された。条件３では液体温度ＴＬは第１温度Ｔ１よりも低く第２温度Ｔ２よりも高く設定された。条件４では液体温度ＴＬは第１温度Ｔ１よりも低い第２温度Ｔ２に等しく設定された。条件５では液体温度ＴＬは第２温度Ｔ２よりも高い第１温度Ｔ１に等しく設定された。条件６では第１温度Ｔ１および第２温度Ｔ２の間に摂氏４０度の温度差が設定された。条件６では液体温度ＴＬは第１温度Ｔ１よりも低く第２温度Ｔ２よりも高く設定された。条件１および条件６では第１温度Ｔ１は全ての条件の中で最も高い空気の温度に設定された。条件２および条件６では第２温度Ｔ２は全ての条件の中で最も低い空気の温度に設定された。

　温度条件の観察にあたって本発明者は３通りの比較条件を設定した。比較条件ではいずれの場合にも第１温度Ｔ１、第２温度Ｔ２および液体温度ＴＬは等しく設定された。

　観察の結果、図８に示されるように、条件１～６では比較条件１～３に比べて切粉の除去は大幅に促進されることが確認された。特に、条件１および２から明らかなように、第１温度Ｔ１および第２温度Ｔ２の間に温度差が設定されると、切粉の洗浄効果は高まることが確認された。さらに、条件３～５から明らかなように、液体温度ＴＬが第１温度Ｔ１および第２温度Ｔ２の間（第１温度Ｔ１または第２温度Ｔ２を含む）で設定されると、切粉の洗浄効果はさらに高まることが確認された。さらにまた、条件６から明らかなように、第１温度Ｔ１および第２温度Ｔ２の温度差が大きいほど、切粉の洗浄効果は高まることが確認された。条件６では０．０１ミリグラム未満の切粉しか残留しなかった。したがって、温度差が十分に大きいと、切粉はほとんど洗い流されることが確認された。

　図９に示されるように、条件１～６では比較条件１～３に比べて油の除去は大幅に促進されることが確認された。特に、条件１および２から明らかなように、第１温度Ｔ１および第２温度Ｔ２の間に温度差が設定されると、油の洗浄効果は高まることが確認された。さらに、条件３～５から明らかなように、液体温度ＴＬが第１温度Ｔ１および第２温度Ｔ２の間（第１温度Ｔ１または第２温度Ｔ２を含む）で設定されると、油の洗浄効果はさらに高まることが確認された。さらにまた、条件６から明らかなように、第１温度Ｔ１および第２温度Ｔ２の温度差が大きいほど、油の洗浄効果は高まることが確認された。空気の温度が高いほど、油の洗浄効果は高まることが推測された。

　続いて本発明者は気泡群５９ａ、５９ｂの気泡量（気泡密度）と洗浄効果との関係を観察した。前述と同様に、第５実施形態に係る洗浄装置５１に倣って観察が実施された。前述の条件３の温度条件が設定された。すなわち、純水の温度（＝ＴＬ）は摂氏４０度に設定された。第１気泡発生装置５４の空気の温度（第１温度Ｔ１）は摂氏４５度に設定された。第２気泡発生装置５５の空気の温度（第２温度Ｔ２）は摂氏３５度に設定された。微細気泡の量（気泡密度）以外、前述の条件が設定された。気泡密度１では第１微細気泡群５９ａおよび第２微細気泡群５９ｂの微細気泡の量はともに前述の条件３と同様に１ミリリットル当たり１ｘ１０^６個程度に設定された。気泡密度２では第１微細気泡群５９ａおよび第２微細気泡群５９ｂの微細気泡の量はともに１ミリリットル当たり５ｘ１０^６個程度に設定された。気泡密度３では第１微細気泡群５９ａおよび第２微細気泡群５９ｂの微細気泡の量はともに１ミリリットル当たり１ｘ１０^７個程度に設定された。

　図１０に示されるように、気泡密度が高いほど、切粉の洗浄効果は高まることが確認された。同様に、図１１に示されるように、気泡密度が高いほど、油の洗浄効果は高まることが確認された。特に、気泡密度が１ミリリットル当たり５ｘ１０^６個以上に設定されると、０．０１ミリグラム未満の切粉しか残留しなかった。気泡密度が十分に高いと、切粉はほとんど洗い流されることが確認された。そして、気泡密度が１ミリリットル当たり１ｘ１０^７個以上に設定されると、１ｐｐｍ未満の油しか残留しなかった。したがって、気泡密度が十分に高いと、油はほとんど洗い流されることが確認された。

　続いて本発明者は気泡の平均径（大きさ）と洗浄効果との関係を観察した。前述と同様に、第５実施形態に係る洗浄装置５１に倣って観察が実施された。前述の条件３の温度条件が設定された。すなわち、純水の温度（＝ＴＬ）は摂氏４０度に設定された。第１気泡発生装置５４の空気の温度（第１温度Ｔ１）は摂氏４５度に設定された。第２気泡発生装置５５の空気の温度（第２温度Ｔ２）は摂氏３５度に設定された。微細気泡の量（気泡密度）は前述の条件３と同様に１ミリリットル当たり１ｘ１０^６個程度に設定された。その他、微細気泡の径以外、前述の条件が設定された。気泡径１では第１微細気泡群５９ａおよび第２微細気泡群５９ｂの微細気泡の平均径はともに前述の条件３と同様に５００ｎｍ程度に設定された。気泡径２では第１微細気泡群５９ａおよび第２微細気泡群５９ｂの微細気泡の平均径はともに２００ｎｍに設定された。気泡径３では第１微細気泡群５９ａおよび第２微細気泡群５９ｂの微細気泡の平均径はともに５０ｎｍに設定された。気泡径４では第１微細気泡群５９ａの微細気泡の平均径は１０００ｎｍに設定されるとともに第２微細気泡群５９ｂの微細気泡の平均径は５０ｎｍに設定された。すなわち、高温のマイクロバブルに低温のナノバブルが組み合わせられた。気泡径５では第１微細気泡群５９ａの微細気泡の平均径は５０ｎｍに設定されるとともに第２微細気泡群５９ｂの微細気泡の平均径は１０００ｎｍに設定された。言い換えると、低温のマイクロバブルと高温のナノバブルとが組み合わせられた。

　図１２に示されるように、気泡径１～３では気泡の縮小に応じて切粉の洗浄効果は高まることが確認された。その一方で、気泡径４および５から明らかなように、第１微細気泡群５９ａの微細気泡と第２微細気泡群５９ｂの微細気泡とが相違する大きさを有すると、どちらが大きい場合でも、切粉の洗浄効果は著しく高まることが確認された。特に、マイクロバブルとナノバブルとの組み合わせは洗浄効果の増大に大いに貢献することが推定される。同様に、図１３に示されるように、気泡径１～３では気泡の縮小に応じて油の洗浄効果は高まることが確認された。その一方で、気泡径４および５から明らかなように、第１微細気泡群５９ａの微細気泡と第２微細気泡群５９ｂの微細気泡とが相違する大きさを有すると、どちらが大きい場合でも、油の洗浄効果は著しく高まることが確認された。特に、マイクロバブルとナノバブルとの組み合わせは洗浄効果の増大に大いに貢献することが推定される。

Claims

　液体と、
　前記液体に含有されて、第１温度の気体で形成される第１微細気泡群と、
　前記液体に含有されて、前記第１温度より低い第２温度の気体で形成される第２微細気泡群と
を有することを特徴とする洗浄液。