JP5660632B2 - 加工装置、振動装置及び加工方法 - Google Patents
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Description
(実施例1)
(加工手段20)
(貫通孔31)
(振動体30)
(ステージ10)
(加工液)
(振動子40)
(振動方向変換機構)
(実施例2)
10…ステージ
11、12…アーム
20、20B、20C…加工手段
30、30B…振動体
30C、30D、30E、30F…たわみ振動体
31、31B、31C、31D、31E、31F…貫通孔
32…振動方向変換部
33…上部平行部
34…下部平行部
35…振幅拡大円錐部
36…フランジ部
40、40B…振動子
40C…たわみ振動子
41…後部ホーン
42…圧電素子
43…圧電素子
44…固定用フランジ
45…前部ホーン
46…締結ボルト
47…連結ねじ
50…振動子駆動ユニット
WK…加工対象物
LL…液層
CL…振動子中心線
Claims (15)
- 加工対象物に対して加工を行う加工装置であって、
一方向に延長されたロッド状の加工手段と、
前記加工手段を挿入するための貫通孔を開口した振動体と、
前記振動体を前記加工手段の延長方向に振動させるための振動子と、
を備え、
前記振動体を加工対象物と離間させた状態で、前記振動体を前記振動子で振動させることにより、前記振動体と加工対象物との間に供給される加工液を該間の空間内に保持した液層を形成すると共に、該液層中で超音波キャビテーションを生ぜしめるよう構成されてなることを特徴とする加工装置。 - 請求項1に記載の加工装置であって、
前記振動子が、一対又はそれ以上の圧電素子と、前記圧電素子に付随する共振体とで構成されており、
前記振動子を、前記振動体の振動方向と交差する姿勢に配置してなることを特徴とする加工装置。 - 請求項1に記載の加工装置であって、
前記振動子を、前記加工手段の延長方向と略平行な姿勢に設けてなることを特徴とする加工装置。 - 請求項1から3のいずれか一に記載の加工装置であって、
前記加工手段が、回転自在な回転体であることを特徴とする加工装置。 - 請求項1から4のいずれか一に記載の加工装置であって、
前記加工手段が、工具を装着可能に構成してなることを特徴とする加工装置。 - 請求項1から5のいずれか一に記載の加工装置であって、
前記振動体は、一端を円錐状に形成してなり、
前記貫通孔は、前記円錐状の頂部に開口されてなることを特徴とする加工装置。 - 請求項1から6のいずれか一に記載の加工装置であって、さらに、
加工対象の加工対象物を載置するステージを備えてなることを特徴とする加工装置。 - 請求項1から7のいずれか一に記載の加工装置であって、さらに、
前記振動子を駆動するための振動子駆動ユニットを備えてなることを特徴とする加工装置。 - 請求項1から8のいずれか一に記載の加工装置であって、
前記振動体が、たわみ振動によって前記加工手段の延長方向に振動されるよう構成されてなることを特徴とする加工装置。 - 請求項9に記載の加工装置であって、
前記振動体が、一方向に延長された平板状に形成され、一方側を前記振動子と固定し、他方側に前記貫通孔を開口したたわみ振動体を備え、
前記たわみ振動体を部分的に折曲されてなることを特徴とする加工装置。 - 請求項10に記載の加工装置であって、
前記たわみ振動体の、前記貫通孔を開口した位置であって、加工対象物と対向する面に、該加工対象物との間で加工時に供給される加工液の液層を形成するためのフランジ部を設けてなることを特徴とする加工装置。 - 請求項10又は11に記載の加工装置であって、
前記振動子が、平板状の上面に、前記振動子と密着して固定するための振動子取付け面を設けていることを特徴とする加工装置。 - 請求項1から12のいずれか一に記載の加工装置であって、
前記振動子が、縦振動を生ずる縦振動子又はたわみ振動を生ずるたわみ振動子で構成されてなることを特徴とする加工装置。 - 一方向に延長されたロッド状の加工手段で、加工対象物に対して加工を行う際に生じる加工屑の吐き出しを行うための振動装置であって、
加工装置を挿入可能な貫通孔を開口した振動体と、
前記振動体を加工装置の延長方向に振動させるための振動子と、
を備え、
前記振動体を加工対象物と離間させた状態で、前記振動体を前記振動子で振動させることにより、前記振動体と加工対象物との間に供給される加工液を該間の空間内に保持した液層を形成可能であると共に、該液層中で超音波キャビテーションを生ぜしめるよう構成されてなることを特徴とする振動装置。 - 一方向に延長されたロッド状の加工手段で、加工対象物に対して加工を行う加工方法であって、
振動体に開口した貫通孔に加工装置を挿入し、かつ前記振動体を加工対象物と離間させた状態で、前記振動体を振動子で加工装置の延長方向に振動させる工程と、
前記振動体と加工対象物との間に加工液を供給し、該間の空間内に加工液を立体的に保持した液層を形成すると共に、該液層中で超音波キャビテーションを発生させる工程と、
を含むことを特徴とする加工方法。
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