CN109312274A - 清洗液 - Google Patents

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CN109312274A CN201780030184.8A CN201780030184A CN109312274A CN 109312274 A CN109312274 A CN 109312274A CN 201780030184 A CN201780030184 A CN 201780030184A CN 109312274 A CN109312274 A CN 109312274A
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Abstract

清洗液具有：液体(53)；含有在液体(53)中且由第1温度的气体形成的第1微细气泡组(59a)；以及含有在液体(53)中且由低于第1温度的第2温度的气体形成的第2微细气泡组(59b)。由此能够提供一种发挥出显著优于以往的清洗效果的清洗液。

Description

清洗液
技术领域
本发明涉及在液体中含有微细气泡组的清洗液。
背景技术
专利文献1中公开了一种清洗液。清洗液含有以饱和溶解浓度溶解在液体中的纳米尺寸的气泡。在专利文献1中，在提高清洗效果时，着眼于液体分子的氢键的距离。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2011-88979号公报
发明内容
发明所要解决的课题
专利文献1还着眼于使气泡破碎的外力。这样的外力包括压力变化、温度变化、冲击波、超声波、红外线、振动。据认为气泡的破碎有助于清洗力的提高。
本发明的目的在于提供一种发挥出显著优于以往的清洗效果的清洗液。
用于解决课题的手段
根据本发明的第1方式，提供一种清洗液，其具有：液体；第1微细气泡组，其含有在上述液体中且由第1温度的气体形成；以及第2微细气泡组，其含有在上述液体中且由第2温度的气体形成，该第2温度低于上述第1温度。
发明效果
根据第1方式，在物体与清洗液接触时，第1微细气泡组和第2微细气泡组不断地作用于固着在物体表面的物质(例如污染体)与物体表面的边界(界面的轮廓)。通过使第1温度的气体与第2温度的气体作用在同一位置，在界面的轮廓处反复产生温度变化(温度的振动)。温度的振动使界面处发生剥离。随着剥离的进行，气体从轮廓进入到内侧。这样物质从物体的表面剥离。物质从物体分离。在这样的温度的振动的作用下，清洗液即使未必利用气泡破碎的能量，也可发挥出显著优于以往的清洗效果。
附图说明
图1是示出本发明第1实施方式的清洗液制造装置的整体图像的示意图。
图2是示出第2实施方式的清洗液制造装置的整体图像的示意图。
图3是示出第3实施方式的清洗液制造装置的整体图像的示意图。
图4是示出第4实施方式的清洗装置的整体图像的示意图。
图5是示出第5实施方式的清洗装置的整体图像的示意图。
图6是示出第6实施方式的清洗装置的整体图像的示意图。
图7是示出第7实施方式的清洗装置的整体图像的示意图。
图8是示出温度条件与残留的切屑的重量的关系的图表。
图9是示出温度条件与回收到溶剂中的油的浓度的关系的图表。
图10是示出气泡密度与残留的切屑的重量的关系的图表。
图11是示出气泡密度与回收到溶剂中的油的浓度的关系的图表。
图12是示出气泡的平均直径与残留的切屑的重量的关系的图表。
图13是示出气泡的平均直径与回收到溶剂中的油的浓度的关系的图表。
符号说明
13…液体
18a…第1微细气泡组
18b…第2微细气泡组
24…第1微细气泡组
27…第2微细气泡组
35a…第1微细气泡组
35b…第2微细气泡组
44a…第1微细气泡组
44b…第2微细气泡组
53…液体
59a…第1微细气泡组
59b…第2微细气泡组
64…第1微细气泡组
67…第2微细气泡组
具体实施方式
以下参照附图对本发明的实施方式进行说明。
(1)第1实施方式的清洗液制造装置
图1示出本发明第1实施方式的清洗液制造装置11的整体图像。清洗液制造装置11具备液槽12。在液槽12中装满液体13。液体13除了可以使用纯水以外还可以使用以水或有机溶剂作为溶剂并溶解电解质、表面活性剂、气体等而成的液体。第1气泡发生装置14和第2气泡发生装置15与液槽12连接。
第1气泡发生装置14具有在液体13中开口的供给口14a。第1气泡发生装置14由供给口14a向液体13中吹入微细气泡。微细气泡包含微米气泡和纳米气泡。微细气泡只要为规定值以下的平均直径的气泡的集合体即可。气泡的直径可以基于设置在供给口14a的微细孔的直径进行设定。微细孔的直径设定为50μm以下。优选气泡的直径可以为1μm以下。在此，第1气泡发生装置14吹出由第1温度的气体形成的第1微细气泡组。直径为1μm以下的气泡浓度优选在每1毫升中为1×106个以上。
气体源16a与第1气泡发生装置14连接。气体源16a向第1气泡发生装置14供给气体。气体不限于空气、氮气、氢气等，可以为任何种类的气体。温度调整装置17a与气体源16a连接。温度调整装置17a调整气体源16a的气体的温度。在进行这样的温度调整时，由温度调整装置17a对气体施加(或夺取)热能。热能(可以为正也可以为负)可以用任何方法传递至气体。在此，从气体源16a向第1气泡发生装置14供给第1温度的气体。
同样地，第2气泡发生装置15具有在液体13中开口的供给口15a。第2气泡发生装置15由供给口15a向液体13中吹入微细气泡。微细气泡包含微米气泡和纳米气泡。微细气泡只要为规定值以下的平均直径的气泡的集合体即可。气泡的直径可以基于设置在供给口15a的微细孔的直径进行设定。微细孔的直径设定为50μm以下。优选气泡的直径可以为1μm以下。在此，第2气泡发生装置15吹出由低于第1温度的第2温度的气体形成的第2微细气泡组。气体的直径不仅可以与第1气泡发生装置14中的气体的直径相等，而且还可以比其更小或更大。优选第2微细气泡组的平均直径小于第1微细气泡组的平均直径。直径为1μm以下的气泡浓度优选在每1毫升中为1×106个以上。
气体源16b与第2气泡发生装置15连接。气体源16b向第2气泡发生装置15供给气体。气体不限于空气、氮气、氢气等，可以为任何种类的气体。气体的种类可以与第1气泡发生装置14中的气体的种类相同或不同。温度调整装置17b与气体源16b连接。温度调整装置17b调整气体源16b的气体的温度。在进行这样的温度调整时，由温度调整装置17b对气体施加(或夺取)热能。热能(可以为正也可以为负)可以用任何方法传递至气体。在此，从气体源16b向第2气泡发生装置15供给第2温度的气体。
在这样的清洗液制造装置11运行时，向液槽12中的液体13中吹入由第1温度的气体形成的第1微细气泡组18a和由第2温度的气体形成的第2微细气泡组18b。其结果生成了在单一的液体13中含有由第1温度的气体形成的第1微细气泡组18a和由第2温度的气体形成的第2微细气泡组18b的清洗液。液体13的温度可以在第2温度以上且第1温度以下任意设定。液体13为例如纯水或水溶液的情况下，优选将液体13的温度设定为摄氏80度以下。水或水溶液的温度超过摄氏80度时，气泡无法稳定地维持高个数密度。
(2)第2实施方式的清洗液制造装置
图2示出第2实施方式的清洗液制造装置21的整体图像。清洗液制造装置21具备液槽22。在液槽22中装满预备清洗液23。预备清洗液23具有含有在液体中且由第1温度的气体形成的第1微细气泡组24。液体除了可以使用纯水以外还可以使用以水或有机溶剂作为溶剂并溶解电解质、表面活性剂、气体等而成的液体。第1微细气泡组24包含微米气泡和纳米气泡。第1微细气泡组24只要为规定值以下的平均直径的气泡的集合体即可。平均直径被设定为50μm以下。优选气泡的直径可以为1μm以下。气体不限于空气、氮气、氢气等，可以为任何种类的气体。直径为1μm以下的气泡浓度优选在每1毫升中为1×106个以上。
温度调整装置25a与液槽22连接。温度调整装置25a调整液槽22内的预备清洗液23的温度。在进行这样的温度调整时，由温度调整装置25a对预备清洗液23施加(或夺取)热能。热能(可以为正也可以为负)可以用任何方法传递至预备清洗液23。在此，热能在预备清洗液23中的第1微细气泡组24与液体之间平衡化。因此，可认为各个微细气泡中包含的气体的温度与作为预备清洗液23测定的温度相等。在此，通过温度调整装置25a的作用将预备清洗液23的温度维持在第1温度。第1温度优选设定为摄氏80度以下。在液体为例如纯水或水溶液的情况下，纯水或水溶液的温度超过摄氏80度时，气泡无法稳定地维持高个数密度。
气泡发生装置26与液槽22连接。气泡发生装置26具有在预备清洗液23中开口的供给口26a。气泡发生装置26由供给口26a向预备清洗液23中吹入微细气泡。微细气泡包含微米气泡和纳米气泡。微细气泡只要为规定值以下的平均直径的气泡的集合体即可。气泡的直径可以基于设置在供给口26a的微细孔的直径进行设定。微细孔的直径设定为50μm以下。优选气泡的直径可以为1μm以下。在此，气泡发生装置26吹出由低于第1温度的第2温度的气体形成的第2微细气泡组27。气体的直径不仅可以与预备清洗液23中包含的第1微细气泡组24的气体的直径相等，而且也可以比其更小或更大。优选第2微细气泡组27的平均直径小于第1微细气泡组24的平均直径。直径为1μm以下的气泡浓度优选在每1毫升中为1×106个以上。
气体源28与气泡发生装置26连接。气体源28向气泡发生装置26供给气体。气体不限于空气、氮气、氢气等，可以为任何种类的气体。气体的种类可以与第1微细气泡组24中的气体的种类相同或不同。温度调整装置25b与气体源28连接。温度调整装置25b调整气体源28的气体的温度。在进行这样的温度调整时，由温度调整装置25b对气体施加(或夺取)热能。热能(可以为正也可以为负)可以用任何方法传递至气体。在此，从气体源28向气泡发生装置26供给第2温度的气体。
在这样的清洗液制造装置21运行时，向液槽22中的预备清洗液23中吹入由第2温度的气体形成的第2微细气泡组27。其结果生成了在单一的液体中含有由第1温度的气体形成的第1微细气泡组24和由第2温度的气体形成的第2微细气泡组27的清洗液。液体的温度可以在第2温度以上且第1温度以下任意设定。在上文中，预先在预备清洗液23中存在由第1温度的气体形成的第1微细气泡组24并向预备清洗液23中吹入由低于第1温度的第2温度的气体形成的第2微细气泡组27，但也可以相反地预先在预备清洗液23中存在由第2温度的气体形成的第2微细气泡组27并向预备清洗液23中吹入由第1温度的气体形成的第1微细气泡组24。
(3)第3实施方式的清洗液制造装置
图3示出第3实施方式的清洗液制造装置31的整体图像。清洗液制造装置31具备第1液槽32a和第2液槽32b。在第1液槽32a中装满第1预备清洗液33a。在第2液槽32b中装满第2预备清洗液33b。在第1液槽32a和第2液槽32b共同地连接有混合槽32c。将第1预备清洗液33a从第1液槽32a导入到混合槽32c中，将第2预备清洗液33b从第2液槽32b导入到混合槽32c中。在混合槽32c中将第1预备清洗液33a和第2预备清洗液33b混合。
第1气泡发生装置34与第1液槽32a连接。第1气泡发生装置34具有在液体中开口的供给口34a。作为液体，除了可以使用纯水以外还可以使用以水或有机溶剂作为溶剂并溶解电解质、表面活性剂、气体等而成的液体。第1气泡发生装置34由供给口34a向液体中吹入微细气泡。微细气泡包含微米气泡和纳米气泡。微细气泡只要为规定值以下的平均直径的气泡的集合体即可。气泡的直径可以基于设置在供给口34a的微细孔的直径进行设定。微细孔的直径设定为50μm以下。优选气泡的直径可以为1μm以下。在此，第1气泡发生装置34吹出由第1温度的气体形成的第1微细气泡组35a。直径为1μm以下的气泡浓度优选在每1毫升中为1×106个以上。
气体源36a与第1气泡发生装置34连接。气体源36a向第1气泡发生装置34供给气体。气体不限于空气、氮气、氢气等，可以为任何种类的气体。温度调整装置37a与气体源36a连接。温度调整装置37a调整气体源36a的气体的温度。在进行这样的温度调整时，由温度调整装置37a对气体施加(或夺取)热能。热能(可以为正也可以为负)可以用任何方法传递至气体。在此，由气体源36a向第1气泡发生装置34供给第1温度的气体。
此时，温度调整装置可以与第1液槽32a连接。热能在第1预备清洗液33a中的第1微细气泡组35a与液体之间平衡化。可认为各个微细气泡中包含的气体的温度与作为第1预备清洗液33a测定的温度相等。通过温度调整装置的作用将第1预备清洗液33a的温度维持在第1温度即可。
同样地，第2气泡发生装置38与第2液槽32b连接。第2气泡发生装置38具有在液体中开口的供给口38a。作为液体，可以使用以水或有机溶剂作为溶剂并溶解电解质、表面活性剂、气体等而成的液体。第2气泡发生装置38由供给口38a向液体中吹入微细气泡。微细气泡包含微米气泡和纳米气泡。微细气泡只要为规定值以下的平均直径的气泡的集合体即可。气泡的直径可以基于设置在供给口38a的微细孔的直径进行设定。微细孔的直径设定为50μm以下。优选气泡的直径可以为1μm以下。在此，第2气泡发生装置38吹出由低于第1温度的第2温度的气体形成的第2微细气泡组35b。气体的直径不仅可以与第1气泡发生装置34的气体的直径相等，而且也可以比其更小或更大。优选第2微细气泡组的平均直径小于第1微细气泡组的平均直径。直径为1μm以下的气泡浓度优选在每1毫升中为1×106个以上。
气体源36b与第2气泡发生装置38连接。气体源36b向第2气泡发生装置38供给气体。气体不限于空气、氮气、氢气等，可以为任何种类的气体。气体的种类可以与第1气泡发生装置34中的气体的种类相同或不同。温度调整装置37b与气体源36b连接。温度调整装置37b调整气体源36b的气体的温度。在进行这样的温度调整时，由温度调整装置37b对气体施加(或夺取)热能。热能(可以为正也可以为负)可以用任何方法传递至气体。在此，由气体源36b向第2气泡发生装置38供给第2温度的气体。
此时，温度调整装置可以与第2液槽32b连接。热能在第2预备清洗液33b中的第2微细气泡组35b与液体之间平衡化。可认为各个微细气泡中包含的气体的温度与作为第2预备清洗液33b测定的温度相等。通过温度调整装置的作用将第2预备清洗液33b的温度维持在第2温度即可。
在这样的清洗液制造装置31运行时，在第1液槽32a中生成含有由第1温度的气体形成的第1微细气泡组35a的第1预备清洗液33a，在第2液槽32b中生成含有由第2温度的气体形成的第2微细气泡组35b的第2预备清洗液33b。第1预备清洗液33a和第2预备清洗液33b在混合槽32c中进行混合，其结果生成了在单一的液体中含有由第1温度的气体形成的第1微细气泡组35a和由第2温度的气体形成的第2微细气泡组35b的清洗液39。液体的温度可以在第2温度以上且第1温度以下任意设定。在液体为例如纯水或水溶液的情况下，优选将液体13的温度设定为摄氏80度以下。纯水或水溶液的温度超过摄氏80度时，气泡无法稳定地维持高个数密度。
(4)第4实施方式的清洗装置
图4示出本发明的第4实施方式的清洗装置41的整体图像。清洗装置41具备清洗槽42。在清洗槽42中装满任一实施方式的清洗液43。清洗液43具有：液体；含有在液体中且由第1温度的气体形成的第1微细气泡组44a；以及含有在液体中且由低于第1温度的第2温度的气体形成的第2微细气泡组44b。任一种液体均可以使用纯水，除此以外还可以使用以水或有机溶剂作为溶剂并溶解电解质、表面活性剂、气体等而成的液体。直径为1μm以下的气泡浓度优选在每1毫升中为1×106个以上。液体13的温度优选在第2温度以上且第1温度以下任意设定。液体为例如纯水或水溶液的情况下，优选将液体的温度设定为摄氏80度以下。纯水或水溶液的温度超过摄氏80度时，气泡无法稳定地维持高个数密度。
清洗装置41具备搅拌机构45。搅拌机构45具有保持清洗对象物W的保持件45a。保持件45a浸入到清洗液42中。搅拌机构45驱动保持件45a使清洗对象物W在清洗槽42的清洗液43中移动。像这样使清洗对象物W暴露在清洗液43中。随着移动，清洗液43被搅拌。随着搅拌，第1微细气泡组44a和第2微细气泡组44b混合在一起。第1微细气泡组44a和第2微细气泡组44b与清洗对象物W的表面发生碰撞。温度不同的微细气泡不断地和清洗对象物W的表面与污染物的边界(界面的轮廓)接触。通过使温度不同的微细气泡作用在同一位置，在界面的轮廓处反复产生温度变化(温度的振动)。温度的振动使界面处发生剥离。随着剥离的进行，微细气泡从轮廓进入到内侧。这样污染物从清洗对象物W的表面剥离。污染物从清洗对象物W分离。在这样的温度的振动的作用下，清洗液43即使未必利用气泡破碎的能量，也可发挥出显著优于以往的清洗效果。
(5)第5实施方式的清洗装置
图5示出第5实施方式的清洗装置51的整体图像。清洗装置51具备液槽52。在液槽52中装满液体53。液体53除了可以使用纯水以外还可以使用以水或有机溶剂作为溶剂并溶解电解质、表面活性剂、气体等而成的液体。第1气泡发生装置54和第2气泡发生装置55与液槽52连接。
第1气泡发生装置54具有在液体53中开口的供给口54a。第1气泡发生装置54由供给口54a向液体53中吹入微细气泡。微细气泡包含微米气泡和纳米气泡。微细气泡只要为规定值以下的平均直径的气泡的集合体即可。气泡的直径可以基于设置在供给口54a的微细孔的直径进行设定。微细孔的直径设定为50μm以下。优选气泡的直径可以为1μm以下。在此，第1气泡发生装置54吹出由第1温度的气体形成的第1微细气泡组。直径为1μm以下的气泡浓度优选在每1毫升中为1×106个以上。
气体源56a与第1气泡发生装置54连接。气体源56a向第1气泡发生装置54供给气体。气体不限于空气、氮气、氢气等，可以为任何种类的气体。温度调整装置57a与气体源56a连接。温度调整装置57a调整气体源56a的气体的温度。在进行这样的温度调整时，由温度调整装置57a对气体施加(或夺取)热能。热能(可以为正也可以为负)可以用任何方法传递至气体。在此，由气体源56a向第1气泡发生装置54供给第1温度的气体。
同样地，第2气泡发生装置55具有在液体53中开口的供给口55a。第2气泡发生装置55由供给口55a向液体53中吹入微细气泡。微细气泡包含微米气泡和纳米气泡。微细气泡只要为规定值以下的平均直径的气泡的集合体即可。气泡的直径可以基于设置在供给口55a的微细孔的直径进行设定。微细孔的直径设定为50μm以下。优选气泡的直径可以为1μm以下。在此，第2气泡发生装置55吹出由低于第1温度的第2温度的气体形成的第2微细气泡组。气体的直径不仅可以与第1气泡发生装置54的气体的直径相等，而且还可以比其更小或更大。优选第2微细气泡组的平均直径小于第1微细气泡组的平均直径。直径为1μm以下的气泡浓度优选在每1毫升中为1×106个以上。
气体源56b与第2气泡发生装置55连接。气体源56b向第2气泡发生装置55供给气体。气体不限于空气、氮气、氢气等，可以为任何种类的气体。气体的种类可以与第1气泡发生装置54中的气体的种类相同或不同。温度调整装置57b与气体源56b连接。温度调整装置57b调整气体源56b的气体的温度。在进行这样的温度调整时，由温度调整装置57b对气体施加(或夺取)热能。热能(可以为正也可以为负)可以用任何方法传递至气体。在此，由气体源56b向第2气泡发生装置55供给第2温度的气体。
清洗装置51具备保持机构58。保持机构58具有浸在清洗槽52内的清洗液中的保持件58a。保持件58a保持清洗对象物W。保持机构58可以在清洗液中驱动保持件58a使清洗对象物W在清洗液中移动，也可以将清洗对象物W以静止状态保持在清洗液中。像这样使清洗对象物W暴露在清洗液中。
在清洗装置51运行时，第1微细气泡组59a和第2微细气泡组59b分别被吹向清洗对象物W。其结果，生成了在液体53中含有由第1温度的气体形成的第1微细气泡组59a和由第2温度的气体形成的第2微细气泡组59b的清洗液。所吹出的第1微细气泡组59a和第2微细气泡组59b与清洗对象物W发生碰撞。温度不同的微细气泡不断地和清洗对象物W的表面与污染物的边界(界面的轮廓)接触。通过使温度不同的微细气泡作用在同一位置，在界面的轮廓处反复产生温度变化(温度的振动)。温度的振动使界面处发生剥离。随着剥离的进行，微细气泡从轮廓进入到内侧。这样污染物从清洗对象物W的表面剥离。污染物从清洗对象物W分离。在这样的温度的振动的作用下，清洗液即使未必利用气泡破碎的能量，也可发挥出显著优于以往的清洗效果。液体53的温度可以在第2温度以上且第1温度以下任意设定。液体53为例如纯水或水溶液的情况下，优选将液体53的温度设定为摄氏80度以下。纯水或水溶液的温度超过摄氏80度时，气泡无法稳定地维持高个数密度。
(6)第6实施方式的清洗装置
图6示出第6实施方式的清洗装置61的整体图像。清洗装置61具备清洗槽62。在清洗槽62中装满预备清洗液63。预备清洗液63具有含有在液体中且由第1温度的气体形成的第1微细气泡组64。液体除了可以使用纯水以外还可以使用以水或有机溶剂作为溶剂并溶解电解质、表面活性剂、气体等而成的液体。第1微细气泡组64包含微米气泡和纳米气泡。第1微细气泡组64只要为规定值以下的平均直径的气泡的集合体即可。平均直径被设定为50μm以下。优选气泡的直径可以为1μm以下。气体不限于空气、氮气、氢气等，可以为任何种类的气体。直径为1μm以下的气泡浓度优选在每1毫升中为1×106个以上。
温度调整装置65a与清洗槽62连接。温度调整装置65a调整清洗槽62内的预备清洗液63的温度。在进行这样的温度调整时，由温度调整装置65a对预备清洗液63施加(或夺取)热能。热能(可以为正也可以为负)可以用任何方法传递至预备清洗液63。在此，热能在预备清洗液63中的第1微细气泡组64与液体之间平衡化。因此，可认为各个微细气泡中包含的气体的温度与作为预备清洗液63测定的温度相等。在此，通过温度调整装置65a的作用将预备清洗液63的温度维持在第1温度。第1温度优选设定为摄氏80度以下。在液体为例如纯水或水溶液的情况下，纯水或水溶液的温度超过摄氏80度时，气泡无法稳定地维持高个数密度。
气泡发生装置66与清洗槽62连接。气泡发生装置66具有在预备清洗液63中开口的供给口66a。气泡发生装置66由供给口66a向预备清洗液63中吹入微细气泡。微细气泡包含微米气泡和纳米气泡。微细气泡只要为规定值以下的平均直径的气泡的集合体即可。气泡的直径可以基于设置在供给口66a的微细孔的直径进行设定。微细孔的直径设定为50μm以下。优选气泡的直径可以为1μm以下。在此，气泡发生装置66吹出由低于第1温度的第2温度的气体形成的第2微细气泡组67。气体的直径不仅可以与预备清洗液63中包含的第1微细气泡组64的气体的直径相等，而且还可以比其更小或更大。优选第2微细气泡组67的平均直径小于第1微细气泡组64的平均直径。直径为1μm以下的气泡浓度优选在每1毫升中为1×106个以上。
气体源68与气泡发生装置66连接。气体源68向气泡发生装置66供给气体。气体不限于空气、氮气、氢气等，可以为任何种类的气体。气体的种类可以与第1微细气泡组64中的气体的种类相同或不同。温度调整装置65b与气体源68连接。温度调整装置65b调整气体源68的气体的温度。在进行这样的温度调整时，由温度调整装置65b对气体施加(或夺取)热能。热能(可以为正也可以为负)可以用任何方法传递至气体。在此，由气体源68向气泡发生装置66供给第2温度的气体。
清洗装置61具备保持机构58。保持机构58具有浸在清洗槽62内的清洗液中的保持件58a。保持件58a保持清洗对象物W。保持机构58可以在清洗液中驱动保持件58a使清洗对象物W在清洗液中移动，也可以将清洗对象物W以静止状态保持在清洗液中。像这样使清洗对象物W暴露在清洗液中。
在进行清洗时，在清洗槽62内装满预备清洗液63。将预备清洗液63的温度维持在第1温度。此处，将清洗对象物W浸在预备清洗液63中。在清洗装置61运行时，由第2温度的气体形成的第2微细气泡组67被吹向清洗对象物W。其结果，生成了在液体中含有由第1温度的气体形成的第1微细气泡组64和由第2温度的气体形成的第2微细气泡组67的清洗液。液体的温度可以在第2温度以上且第1温度以下任意设定。卷入到所吹出的第2微细气泡组67中的第1微细气泡组64和第2微细气泡组67与清洗对象物W发生碰撞。温度不同的微细气泡不断地和清洗对象物W的表面与污染物的边界(界面的轮廓)接触。通过使温度不同的微细气泡作用在同一位置，在界面的轮廓处反复产生温度变化(温度的振动)。温度的振动使界面处发生剥离。随着剥离的进行，微细气泡从轮廓进入到内侧。这样污染物从清洗对象物W的表面剥离。污染物从清洗对象物W分离。在这样的温度的振动的作用下，清洗液即使未必利用气泡破碎的能量，也可发挥出显著优于以往的清洗效果。在上文中，预先在预备清洗液63中存在由第1温度的气体形成的第1微细气泡组64并向预备清洗液63中吹入由低于第1温度的第2温度的气体形成的第2微细气泡组67，但也可以相反地预先在预备清洗液63中存在由第2温度的气体形成的第2微细气泡组67并向预备清洗液63中吹入由第1温度的气体形成的第1微细气泡组64。
(7)第7实施方式的清洗装置
图7示出第7实施方式的清洗装置71的整体图像。清洗装置71具备第1液供给装置72a和第2液供给装置72b。第1液供给装置72a具备吹出第1预备清洗液的第1喷出管73a。第2液供给装置72b具备吹出第2预备清洗液的第2喷出管73b。在第1喷出管73a的吹出方向和第2喷出管73b的吹出方向共同地配置有保持机构58。保持机构58具备保持清洗对象物W的保持件58a。只要在保持件58a的重力方向下方设置接收槽74即可。只要由第1喷出管73a吹出的第1预备清洗液与由第2喷出管73b吹出的第2预备清洗液在保持件58a的位置合流即可。
第1液槽75a与第1液供给装置72a连接。由第1液槽75a向第1液供给装置72a供给第1预备清洗液。第1气泡发生装置76与第1液槽75a连接。第1气泡发生装置76具有在液体77a中开口的供给口76a。液体77a除了可以使用纯水以外还可以使用以水或有机溶剂作为溶剂并溶解电解质、表面活性剂、气体等而成的液体。第1气泡发生装置76由供给口76a向液体77a中吹入微细气泡。微细气泡包含微米气泡和纳米气泡。微细气泡只要为规定值以下的平均直径的气泡的集合体即可。气泡的直径可以基于设置在供给口76a的微细孔的直径进行设定。微细孔的直径设定为50μm以下。优选气泡的直径可以为1μm以下。在此，第1气泡发生装置76吹出由第1温度的气体形成的第1微细气泡组。直径为1μm以下的气泡浓度优选在每1毫升中为1×106个以上。
气体源78a与第1气泡发生装置76连接。气体源78a向第1气泡发生装置76供给气体。气体不限于空气、氮气、氢气等，可以为任何种类的气体。温度调整装置79a与气体源78a连接。温度调整装置79a调整气体源78a的气体的温度。在进行这样的温度调整时，由温度调整装置79a对气体施加(或夺取)热能。热能(可以为正也可以为负)可以用任何方法传递至气体。在此，由气体源78a向第1气泡发生装置76供给第1温度的气体。
此时，温度调整装置可以与第1液槽75a连接。热能在第1预备清洗液中的第1微细气泡组与液体之间平衡化。可认为各个微细气泡中包含的气体的温度与作为第1预备清洗液测定的温度相等。通过温度调整装置的作用将第1预备清洗液的温度维持在第1温度即可。
同样地，第2液槽75b与第2液供给装置72b连接。由第2液槽75b向第2液供给装置72b供给第2预备清洗液。第2气泡发生装置81与第2液槽75b连接。第2气泡发生装置81具有在液体77b中开口的供给口81a。液体77b除了可以使用纯水以外还可以使用以水或有机溶剂作为溶剂并溶解电解质、表面活性剂、气体等而成的液体。第2气泡发生装置81由供给口81a向液体77b中吹入微细气泡。微细气泡包含微米气泡和纳米气泡。微细气泡只要为规定值以下的平均直径的气泡的集合体即可。气泡的直径可以基于设置在供给口81a的微细孔的直径进行设定。微细孔的直径设定为50μm以下。优选气泡的直径可以为1μm以下。在此，第2气泡发生装置81吹出由高于第1温度的第2温度的气体形成的第2微细气泡组。气泡的直径不仅可以与第1气泡发生装置76的气泡的直径相等，而且还可以比其更小或更大。优选第2微细气泡组的平均直径小于第1微细气泡组的平均直径。直径为1μm以下的气泡浓度优选在每1毫升中为1×106个以上。
气体源78b与第2气泡发生装置81连接。气体源78b向第2气泡发生装置81供给气体。气体不限于空气、氮气、氢气等，可以为任何种类的气体。气体的种类与第1气泡发生装置76中的气体的种类相同或不同。温度调整装置79b与气体源78b连接。温度调整装置79b调整气体源78b的气体的温度。在进行这样的温度调整时，由温度调整装置79b对气体施加(或夺取)热能。热能(可以为正也可以为负)可以用任何方法传递至气体。在此，由气体源78b向第2气泡发生装置81供给第2温度的气体。
此时，温度调整装置可以与第2液槽75b连接。热能在第2预备清洗液中的第2微细气泡组与液体之间平衡化。可认为各个微细气泡中包含的气体的温度与作为第2预备清洗液测定的温度相等。通过温度调整装置的作用将第2预备清洗液的温度维持在第2温度即可。
在进行清洗时，将清洗对象物W置于保持件58a上。在清洗装置71运行时，由第1′喷出管73a和第2喷出管73b向清洗对象物W分别喷出第1预备清洗液82a和第2预备清洗液82b。第1预备清洗液82a和第2预备清洗液82b被混合并喷洒在清洗对象物W上。其结果，生成了在液体中含有由第1温度的气体形成的第1微细气泡组和由第2温度的气体形成的第2微细气泡组的清洗液。第1微细气泡组和第2微细气泡组与清洗对象物W发生碰撞。温度不同的微细气泡不断地和清洗对象物W的表面与污染物的边界(界面的轮廓)接触。通过使温度不同的微细气泡作用在同一位置，在界面的轮廓处反复产生温度变化(温度的振动)。温度的振动使界面处发生剥离。随着剥离的进行，微细气泡从轮廓进入到内侧。这样污染物从清洗对象物W的表面剥离。污染物从清洗对象物W分离。在这样的温度的振动的作用下，清洗液即使未必利用气泡破碎的能量，也可发挥出显著优于以往的清洗效果。液体的温度可以在第2温度以上且第1温度以下任意设定。液体为例如纯水或水溶液的情况下，液体的温度优选设定为摄氏80度以下。纯水或水溶液的温度超过摄氏80度时，气泡无法稳定地维持高个数密度。
(8)第8实施方式
在以上的实施方式中，在任一方式中，均可以使用微米气泡与纳米气泡的组合作为第1微细气泡组和第2微细气泡组。即，在第1微细气泡组或第2微细气泡组的任一者中使用微米气泡、在另一者中使用纳米气泡即可。由于各个气泡所含有的热能能量的差异，纳米气泡在清洗对象物W与污染物的界面处产生缓和的温度变化，微米气泡在清洗对象物W与污染物的界面处产生急剧的温度变化。急剧的温度变化引起物体的急剧膨胀或物体的急剧收缩，促进污染物的剥离。
(9)验证
本发明人依照上述第5实施方式的清洗装置51实施了验证。在验证中，对液体53、第1微细气泡组59a和第2微细气泡组59b的温度条件进行观察。液体53使用纯水。在观察时，在液槽52中储存50升的纯水。对纯水的温度(＝TL)进行调整。由气体源56a向第1气泡发生装置54供给大气(空气)。对空气的温度(第1温度T1)进行调整。微细气泡的量设定为每1毫升中1×106个的程度。微细气泡的直径大致设定为500nm。在微细气泡的形成时使用具有直径500nm的贯通孔的膜。用10分钟持续吹入第1微细气泡组59a。
由气体源56b向第2气泡发生装置55供给大气(空气)。对空气的温度(第2温度T2)进行调整。微细气泡的量设定为每1毫升中1×106个的程度。微细气泡的直径大致设定为500nm。在微细气泡的形成时使用具有直径500nm的贯通孔的膜。用10分钟持续吹入第2微细气泡组59b。
保持件58a使用吊篮(カゴ)。机械部件作为清洗对象物W搭载在吊篮上。切削加工时的切屑与油一起附着在机械部件的表面。10分钟的清洗后，测定残留在机械部件的表面的切屑量和油量。在切屑量的测定时，对清洗后的机械部件实施高压清洗。用滤纸收取以这样的方式洗掉的切屑。使用电子天平测定收取的切屑的重量[毫克]。另一方面，在测定油量时，将清洗后的机械部件浸渍在溶剂中。对溶解在溶剂中的油的浓度[ppm]进行测定。
在观察温度条件时，如下设定6种条件。
[表1]
第1温度T1 第2温度T2 液体温度TL
条件1 60℃ 50℃ 40℃
条件2 30℃ 20℃ 40℃
条件3 45℃ 35℃ 40℃
条件4 50℃ 40℃ 40℃
条件5 40℃ 30℃ 40℃
条件6 60℃ 20℃ 40℃
在条件1～条件5中，在第1温度T1和第2温度T2之间设定摄氏10度的温度差。在条件1中，液体温度TL设定得低于第1温度T1和第2温度T2。在条件2中，液体温度TL设定得高于第1温度T1和第2温度T2。在条件3中，液体温度TL设定得低于第1温度T1且高于第2温度T2。在条件4中，液体温度TL设定得低于第1温度T1且与第2温度T2相等。在条件5中，液体温度TL设定得高于第2温度T2且与第1温度T1相等。在条件6中，在第1温度T1和第2温度T2之间设定摄氏40度的温度差。在条件6中，液体温度TL设定得低于第1温度T1且高于第2温度T2。在条件1和条件6中，第1温度T1被设定为在全部条件中最高的空气温度。在条件2和条件6中，第2温度T2被设定为在全部条件中最低的空气温度。
在观察温度条件时，本发明人设定了3种比较条件。在比较条件中，任一情况下的第1温度T1、第2温度T2和液体温度TL均设定得相等。
[表2]
第1温度T1 第2温度T2 液体温度TL
比较条件1 30℃ 30℃ 30℃
比较条件2 20℃ 20℃ 20℃
比较条件3 50℃ 50℃ 50℃
进行了观察，结果如图8所示，确认到与比较条件1～3相比，条件1～6中大幅促进了切屑的除去。特别是由条件1和2可知，确认到在第1温度T1和第2温度T2之间设定温度差时，切屑的清洗效果提高。进而，由条件3～5可知，确认到在将液体温度TL设定在第1温度T1和第2温度T2之间(包含第1温度T1或第2温度T2)时，切屑的清洗效果进一步提高。进一步由条件6可知，确认到第1温度T1和第2温度T2的温度差越大，切屑的清洗效果越提高。在条件6中，仅残留了小于0.01毫克的切屑。因此确认到，在温度差足够大时，切屑大部分被洗掉。
如图9所示确认到，与比较条件1～3相比，条件1～6中大幅促进了油的除去。特别是由条件1和2可知，确认到在第1温度T1和第2温度T2之间设定温度差时，油的清洗效果提高。进而，由条件3～5可知，确认到在将液体温度TL设定在第1温度T1和第2温度T2之间(包含第1温度T1或第2温度T2)时，油的清洗效果进一步提高。进一步由条件6可知，确认到第1温度T1和第2温度T2的温度差越大，油的清洗效果越提高。据推测，空气的温度越高，油的清洗效果越提高。
接下来，本发明人观察了气泡组59a、59b的气泡量(气泡密度)与清洗效果的关系。与上述同样地依照第5实施方式的清洗装置51实施了观察。设定了上述条件3的温度条件。即，纯水的温度(＝TL)被设定为摄氏40度。第1气泡发生装置54的空气的温度(第1温度T1)被设定为摄氏45度。第2气泡发生装置55的空气的温度(第2温度T2)被设定为摄氏35度。除了微细气泡的量(气泡密度)以外，设定上述的条件。在气泡密度1中，第1微细气泡组59a和第2微细气泡组59b的微细气泡量均与上述的条件3同样地设定为每1毫升中1×106个的程度。在气泡密度2中，第1微细气泡组59a和第2微细气泡组59b的微细气泡量均设定为每1毫升中5×106个的程度。在气泡密度3中，第1微细气泡组59a和第2微细气泡组59b的微细气泡量均设定为每1毫升中1×107个的程度。
如图10所示确认到，气泡密度越高，切屑的清洗效果越提高。同样地，如图11所示确认到，气泡密度越高，油的清洗效果越提高。特别是将气泡密度设定为每1毫升中5×106个以上时，仅残留了小于0.01毫克的切屑。确认到在气泡密度足够高时，切屑大部分被洗掉。并且，将气泡密度设定为每1毫升中1×107个以上时，仅残留了小于1ppm的油。因此确认到，气泡密度足够高时，油大部分被洗掉。
接下来，本发明人观察了气泡的平均直径(尺寸)与清洗效果的关系。与上述同样地依照第5实施方式的清洗装置51实施了观察。设定了上述条件3的温度条件。即，纯水的温度(＝TL)被设定为摄氏40度。第1气泡发生装置54的空气的温度(第1温度T1)被设定为摄氏45度。第2气泡发生装置55的空气的温度(第2温度T2)被设定为摄氏35度。微细气泡的量(气泡密度)与上述条件3同样地设定为每1毫升中1×106个的程度。此外，除了微细气泡的直径以外，设定上述的条件。在气泡的直径1中，第1微细气泡组59a和第2微细气泡组59b的微细气泡的平均直径均与上述的条件3同样地设定为500nm左右。在气泡的直径2中，第1微细气泡组59a和第2微细气泡组59b的微细气泡的平均直径均设定为200nm。在气泡的直径3中，第1微细气泡组59a和第2微细气泡组59b的微细气泡的平均直径均设定为50nm。在气泡的直径4中，第1微细气泡组59a的微细气泡的平均直径设定为1000nm、并且第2微细气泡组59b的微细气泡的平均直径设定为50nm。即，在高温的微米气泡中组合了低温的纳米气泡。在气泡的直径5中，第1微细气泡组59a的微细气泡的平均直径设定为50nm、并且第2微细气泡组59b的微细气泡的平均直径设定为1000nm。换言之，将低温的微米气泡与高温的纳米气泡进行了组合。
如图12所示确认到，在气泡的直径1～3中，随着气泡的缩小，切屑的清洗效果提高。另一方面，由气泡的直径4和5可知，确认到在第1微细气泡组59a的微细气泡与第2微细气泡组59b的微细气泡具有不同的尺寸时，即使在任一者很大的情况下，切屑的清洗效果也显著提高。特别是推测出微米气泡与纳米气泡的组合非常有助于提高清洗效果。同样地，如图13所示确认到，在气泡的直径1～3中，随着气泡的缩小，油的清洗效果提高。另一方面，由气泡的直径4和5可知，确认到在第1微细气泡组59a的微细气泡与第2微细气泡组59b的微细气泡具有不同的尺寸时，即使在任一者很大的情况下，油的清洗效果也显著提高。特别是推测出微米气泡与纳米气泡的组合非常有助于提高清洗效果。

Claims (1)

1.一种清洗液，其特征在于，其具有：
液体；
第1微细气泡组，其含有在所述液体中且由第1温度的气体形成；以及
第2微细气泡组，其含有在所述液体中且由第2温度的气体形成，该第2温度低于所述第1温度。
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6653692B2 (ja) * 2017-11-20 2020-02-26 大同メタル工業株式会社 洗浄装置
JP7024646B2 (ja) * 2018-07-24 2022-02-24 日本製鉄株式会社 超音波処理装置及びファインバブルの供給方法
JP2020104074A (ja) * 2018-12-28 2020-07-09 日本製鉄株式会社 ファインバブル供給装置、冷却装置、ファインバブルの供給方法及び冷却方法
JP2021069998A (ja) * 2019-10-31 2021-05-06 キヤノン株式会社 ウルトラファインバブルを含有するウルトラファインバブル含有液を生成する生成方法、ウルトラファインバブルを含有する液体の製造装置
WO2021229398A2 (en) * 2020-05-12 2021-11-18 Nir Oz Micro/nano bubble generator and/or system

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1972738A (zh) * 2004-05-31 2007-05-30 三洋设备产业株式会社 微细气泡含有液生成方法和装置以及装入该装置的微细气泡发生器
JP2011025200A (ja) * 2009-07-28 2011-02-10 Daiichi Kankyo Aqua Kk 水処理方法および水処理装置
CN102284447A (zh) * 2010-06-17 2011-12-21 芝浦机械电子装置股份有限公司 清洗方法和清洗装置
JP2012157789A (ja) * 2011-01-28 2012-08-23 Nitto Seiko Co Ltd 微細気泡発生方法および微細気泡発生装置
CN102892476A (zh) * 2010-10-06 2013-01-23 吉凯Oxy株式会社 在液体中发生微细气泡的方法及适于该方法的微细气泡发生器
JP2013034993A (ja) * 2012-09-27 2013-02-21 Daiichi Kankyo Kk 水処理装置
JP2014226251A (ja) * 2013-05-21 2014-12-08 株式会社ノーリツ 浴槽システム
JP2015080756A (ja) * 2013-10-22 2015-04-27 パナソニック株式会社 微小気泡発生装置および気泡径制御方法
JP2015098014A (ja) * 2013-10-18 2015-05-28 株式会社熊本アイディーエム 電解水マイクロナノバブル生成装置
CN204523653U (zh) * 2014-12-22 2015-08-05 华仕德科技股份有限公司 清洗系统
CN105217710A (zh) * 2015-10-26 2016-01-06 中国海洋石油总公司 一种可在线清洗的微气泡发生装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5071784B2 (ja) * 2007-07-12 2012-11-14 富士電機株式会社 磁気記録媒体用基板の洗浄方法および磁気記録媒体の製造方法
JP2011088979A (ja) 2009-10-21 2011-05-06 Panasonic Electric Works Co Ltd 洗浄液、洗浄方法、洗浄液製造装置
CN102639752B (zh) * 2009-12-03 2014-01-15 新日铁住金株式会社 钢板的酸洗方法和酸洗装置
JP4915455B2 (ja) * 2010-02-25 2012-04-11 トヨタ自動車株式会社 車両等大型製品のマイクロバブルによる脱脂システム
US10161646B2 (en) * 2014-11-17 2018-12-25 Sears Brands, L.L.C. Sensors for detecting presence, occupancy, and/or motion and related systems and methods
CN106463387B (zh) * 2014-12-02 2019-06-28 希玛科技有限公司 采用微型纳米气泡的清洗方法和清洗装置

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1972738A (zh) * 2004-05-31 2007-05-30 三洋设备产业株式会社 微细气泡含有液生成方法和装置以及装入该装置的微细气泡发生器
JP2011025200A (ja) * 2009-07-28 2011-02-10 Daiichi Kankyo Aqua Kk 水処理方法および水処理装置
CN102284447A (zh) * 2010-06-17 2011-12-21 芝浦机械电子装置股份有限公司 清洗方法和清洗装置
CN102892476A (zh) * 2010-10-06 2013-01-23 吉凯Oxy株式会社 在液体中发生微细气泡的方法及适于该方法的微细气泡发生器
JP2012157789A (ja) * 2011-01-28 2012-08-23 Nitto Seiko Co Ltd 微細気泡発生方法および微細気泡発生装置
JP2013034993A (ja) * 2012-09-27 2013-02-21 Daiichi Kankyo Kk 水処理装置
JP2014226251A (ja) * 2013-05-21 2014-12-08 株式会社ノーリツ 浴槽システム
JP2015098014A (ja) * 2013-10-18 2015-05-28 株式会社熊本アイディーエム 電解水マイクロナノバブル生成装置
JP2015080756A (ja) * 2013-10-22 2015-04-27 パナソニック株式会社 微小気泡発生装置および気泡径制御方法
CN204523653U (zh) * 2014-12-22 2015-08-05 华仕德科技股份有限公司 清洗系统
CN105217710A (zh) * 2015-10-26 2016-01-06 中国海洋石油总公司 一种可在线清洗的微气泡发生装置

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