WO2017170539A1 - アクチュエータ - Google Patents

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WO2017170539A1
WO2017170539A1 PCT/JP2017/012620 JP2017012620W WO2017170539A1 WO 2017170539 A1 WO2017170539 A1 WO 2017170539A1 JP 2017012620 W JP2017012620 W JP 2017012620W WO 2017170539 A1 WO2017170539 A1 WO 2017170539A1
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WO
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piston
gas
chamber
cylinder
actuator
Prior art date
Application number
PCT/JP2017/012620
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English (en)
French (fr)
Inventor
大輔 篠平
敦志 柳川
裕士 永井
Original Assignee
住友重機械工業株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 住友重機械工業株式会社 filed Critical 住友重機械工業株式会社
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00—Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/08—Characterised by the construction of the motor unit
    • F15B15/14—Characterised by the construction of the motor unit of the straight-cylinder type
    • F15B15/1423—Component parts; Constructional details
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/06—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00—Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/08—Characterised by the construction of the motor unit
    • F15B15/14—Characterised by the construction of the motor unit of the straight-cylinder type
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B21/00—Common features of fluid actuator systems; Fluid-pressure actuator systems or details thereof, not covered by any other group of this subclass
    • F15B21/04—Special measures taken in connection with the properties of the fluid
    • F15B21/041—Removal or measurement of solid or liquid contamination, e.g. filtering
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/70—Output members, e.g. hydraulic motors or cylinders or control therefor
    • F15B2211/705—Output members, e.g. hydraulic motors or cylinders or control therefor characterised by the type of output members or actuators
    • F15B2211/7051—Linear output members

Definitions

  • the present invention relates to an actuator.
  • Patent Document 1 As an actuator used in a precision positioning device or the like, a gas pressure actuator that includes a cylinder having a gas chamber and a piston and generates thrust when gas is supplied to the gas chamber has been provided.
  • a gas pressure actuator that includes a cylinder having a gas chamber and a piston and generates thrust when gas is supplied to the gas chamber has been provided.
  • an object of the present invention is to provide an actuator that can realize suction of a part to be sucked with a compact configuration.
  • an actuator is an actuator that generates thrust when gas is supplied, and a cylinder that supplies gas therein and a piston that reciprocates in the cylinder. And a gas chamber formed in the cylinder, the gas chamber being capable of maintaining a vacuum, a second gas chamber that is supplied with gas and reciprocates the piston in accordance with the supply, and A communication flow path is formed in the piston.
  • the communication channel communicates the tip of the piston and the first gas chamber.
  • the actuator is an actuator that generates a thrust when gas is supplied, a cylinder to which the gas is supplied, a piston that reciprocates in the cylinder, a gas chamber formed in the cylinder, An atmosphere opening portion that opens the gas supplied into the cylinder to the atmosphere, and the gas chamber includes a first gas chamber that can be held in a vacuum, and a gas that is supplied and reciprocatingly moves the piston in accordance with the supply.
  • a communication channel that communicates the tip of the piston and the first gas chamber is formed in the piston, and the atmosphere opening portion includes the first gas chamber, the second gas chamber, and the second gas chamber. It is formed so as to communicate with each other.
  • the front end portion of the piston and the first gas chamber that can be maintained in a vacuum are communicated with each other by a communication flow path formed in the piston. Therefore, when the first gas chamber is maintained in a vacuum, the communication flow path in the piston communicated with the first gas chamber is evacuated, and a negative pressure is generated at the tip of the piston. As a result, the part to be sucked can be sucked at the tip of the piston. As described above, in this actuator, the part to be sucked can be sucked by the communication flow path formed in the piston without separately providing a suction mechanism at the tip of the piston. Therefore, the suction of the part to be attracted can be realized with a compact configuration.
  • the actuator is formed so as to communicate with at least one between the first gas chamber and the second gas chamber and between the first gas chamber and the third gas chamber, and is supplied into the cylinder.
  • the gas supplied into the cylinder is released into the atmosphere from at least one of the first gas chamber and the second gas chamber and between the first gas chamber and the second gas chamber by the atmosphere opening portion. Opened. Thereby, the leak of the gas from the at least one side of the 2nd gas chamber and the 3rd gas chamber to the 1st gas chamber side can be controlled, and the vacuum in the 1st gas chamber can fully be held.
  • the gas chamber further includes a third gas chamber that is supplied with gas and reciprocates the piston in accordance with the supply, and the air release portion is between the first gas chamber and the third gas chamber. Also, it may be formed so as to communicate with each other. In this case, the gas supplied into the cylinder is released to the atmosphere from between the first gas chamber and the third gas chamber by the atmosphere opening portion. Thereby, the leak of the gas from the 2nd gas chamber side to the 1st gas chamber side can be suppressed, and the vacuum in a 1st gas chamber can fully be hold
  • the atmosphere release part may be an atmosphere release channel formed in the piston.
  • the atmosphere release portion is configured as an atmosphere release channel formed in the piston, the gas can be released to the atmosphere without considering the arrangement relationship between the piston and the cylinder, and a more compact configuration Can be realized.
  • the first gas chamber may be able to be held at a positive pressure.
  • the gas is sent into the communication flow path in the piston communicated with the first gas chamber, and a positive pressure is generated at the tip of the piston.
  • the part to be attracted can be attached and detached at the tip of the piston.
  • the suction target component can be attached and detached without providing a separate attachment / detachment mechanism at the tip of the piston by the communication flow path formed in the piston. Therefore, the attachment / detachment of the part to be attracted can be realized with a compact configuration.
  • a filter may be provided at the tip of the piston.
  • the filter can prevent foreign matter from being sucked from the tip portion of the piston. As a result, failure of the actuator due to contamination can be prevented.
  • an actuator capable of realizing suction of a part to be sucked with a compact configuration.
  • FIG. 1 is a schematic sectional view showing an actuator according to the first embodiment of the present invention.
  • the actuator 10 according to the present embodiment is a drive mechanism that performs positioning control, load control, and the like, for example, a die bonder used in a post-process of semiconductor manufacturing, a roll tension control in a web conveyance device, and the like. Used for.
  • the actuator 10 is a gas pressure actuator that generates thrust when supplied with gas.
  • the gas may be, for example, compressed air or other various gases.
  • the actuator 10 according to the present embodiment is used for adsorbing an adsorbed component such as a semiconductor chip, a wafer, a liquid crystal glass plate, and the like.
  • the actuator 10 includes a cylinder 11 into which gas is supplied, a piston 12 that reciprocates in the cylinder 11, a control pressure chamber 20A, a constant pressure chamber 20B, which are gas chambers formed in the cylinder 11, and a vacuum control chamber. 20C.
  • the vacuum control chamber 20C is located between the control pressure chamber 20A and the constant pressure chamber 20B.
  • regression direction the direction from the constant pressure chamber 20B side to the control pressure chamber 20A side
  • the direction from the control pressure chamber 20A side to the constant pressure chamber 20B side is also referred to as “traveling direction”.
  • the cylinder 11 has a substantially cylindrical or polygonal cylindrical shape, and accommodates a piston 12 therein.
  • the cylinder 11 is formed with an opening hole 11c penetrating from the inner wall surface 11a to the outer wall surface 11b.
  • the opening hole 11c is positioned corresponding to a vacuum control chamber 20C (details will be described later) in the cylinder 11, and communicates with the vacuum control chamber 20C.
  • the opening hole 11 c is connected to the vacuum generation unit 41 and the gas supply unit 42 via the switching unit 22.
  • the vacuum generation unit 41 is a vacuum holding unit for holding the vacuum control chamber 20C in vacuum by reducing the pressure of the vacuum control chamber 20C.
  • As the vacuum generation unit 41 for example, a vacuum pump or an air ejector is used.
  • the gas supply unit 42 is a positive pressure holding unit that holds the vacuum control chamber 20C at a positive pressure by supplying gas to the vacuum control chamber 20C.
  • the switching unit 22 switches the connection between the opening hole 11 c and the vacuum generation unit 41 and the connection between the opening hole 11 c and the gas supply unit 42.
  • the switching unit 22 is, for example, a three-way valve. Note that the switching of the switching unit 22 may be controlled by a control unit (not shown) or may be manually switched.
  • the piston 12 is formed on a piston main body 13, head portions 14 and 15 formed on both ends of the piston main body 13, a rod portion 16 connected to the head portion 15, and an outer peripheral surface 13 a of the piston main body 13.
  • Partition portions 17 and 18 are provided.
  • the head part 14 and the partition part 17 are located on the backward direction side, and the head part 15 and the partition part 18 are located on the traveling direction side.
  • the rod part 16 protrudes to the advancing direction side.
  • the piston main body part 13, the head parts 14 and 15, the rod part 16, and the partition parts 17 and 18 will be described in detail.
  • the piston main body 13 has a substantially cylindrical or polygonal cylindrical shape and extends along the axial direction of the cylinder 11.
  • the piston main body 13 is accommodated in the cylinder 11 so as to freely advance and retract.
  • the head parts 14 and 15 are enlarged diameter parts in which the outer diameter of the piston main body part 13 is enlarged.
  • the head portions 14 and 15 have a substantially disk shape and protrude outward from the outer peripheral surface 13 a of the piston main body portion 13.
  • the head portion 14 is located at the end of the piston main body 13 on the retraction direction side, and the head portion 15 is located at the end of the piston main body 13 on the traveling direction side.
  • the rod portion 16 is connected to an end surface 15f of the head portion 15 (an end surface opposite to the piston main body portion 13).
  • the rod portion 16 extends from the end surface 15f of the head portion 15 in the traveling direction.
  • the rod portion 16 penetrates the cylinder 11 and protrudes outside the cylinder 11.
  • the rod portion 16 is substantially columnar and has an outer diameter slightly smaller than that of the piston main body portion 13.
  • the distal end portion 16f of the rod portion 16 is exposed to the outside of the cylinder 11, and constitutes a distal end portion 12f of the piston 12 that performs suction of a component to be attracted to be described later.
  • a cap portion 19 is provided at the distal end portion 16 f of the rod portion 16.
  • the cap portion 19 is a cylindrical member having a small diameter and a large diameter, and has a substantially T-shaped cross section.
  • the cap portion 19 is formed with a through hole 19 a that communicates with a communication channel 23 (details will be described later) formed in the piston 12.
  • a filter 27 is disposed in the through hole 19 a of the cap portion 19. That is, the filter 27 is provided at the tip 12 f of the piston 12.
  • the filter 27 has a function of preventing foreign matter from being sucked from the front end portion 12f of the piston 12 when the suction target component is sucked by the front end portion 12f of the piston 12.
  • the filter 27 captures foreign matter in the atmosphere, suppresses foreign matter from entering the communication channel 23 from the tip 12 f of the piston 12, and consequently does not enter the cylinder 11 through the communication channel 23. I am doing so.
  • the filter 27 is a substantially cylindrical member in which a through hole smaller than a foreign object is formed, for example, and is accommodated in the through hole 19a.
  • the partition parts 17 and 18 are formed between the head part 14 and the head part 15.
  • the partition parts 17 and 18 are enlarged diameter parts in which the outer diameter of the piston main body part 13 is enlarged.
  • the partition parts 17 and 18 are substantially disk-shaped, and protrude from the outer peripheral surface 13 a of the piston main body part 13. In the axial direction of the piston 12, the widths of the partition parts 17 and 18 are smaller than the widths of the head parts 14 and 15.
  • the partition part 17 is located in the retraction direction side in the piston main body part 13. Specifically, the partition portion 17 is located closer to the head portion 14 than the partition portion 18 and is located at a predetermined distance from the head portion 14. Accordingly, the piston main body 13 has a portion sandwiched between the partition portion 17 and the head portion 14. Since the outer diameters of the partition part 17 and the head part 14 are larger than the outer diameter of the piston main body part 13, the sandwiched part is recessed more inward than the partition part 17 and the head part 14. That is, a groove portion 12 a is formed between the partition portion 17 and the head portion 14 in the piston 12.
  • the partition portion 18 is located on the traveling direction side in the piston main body portion 13. Specifically, the partition portion 18 is located closer to the head portion 15 than the partition portion 17 and is located with a predetermined distance from the head portion 15. Thereby, the piston main body 13 has a portion sandwiched between the partition portion 18 and the head portion 15. Since the outer diameters of the partition portion 18 and the head portion 15 are larger than the outer diameter of the piston main body portion 13, the sandwiched portion is recessed inward from the partition portion 18 and the head portion 15. That is, a groove portion 12 b is formed between the partition portion 18 and the head portion 15 in the piston 12.
  • a static pressure bearing (air bearing) (not shown) is provided between the inner wall surface 11a of the cylinder 11 and the piston 12.
  • a gas layer is formed in the gap between the inner wall surface 11 a of the cylinder 11 and the piston 12 by supplying gas from a supply source (a gas supply unit 40 described later) to the static pressure bearing.
  • the piston 12 repeats advancing movement and retreating movement in a state of non-contact with the inner wall surface 11a of the cylinder 11.
  • Progressive movement is movement in the direction of travel (the direction from the control pressure chamber 20A side to the constant pressure chamber 20B side) (hereinafter also simply referred to as “progressive movement”).
  • the retreat movement is a retreat direction (a direction from the constant pressure chamber 20B side to the control pressure chamber 20A side) (hereinafter also simply referred to as “retreat movement”).
  • a communication flow path 23 that connects the tip 12f of the piston 12 and the vacuum control chamber 20C is formed.
  • One end portion of the communication channel 23 passes through the tip portion 12f of the piston 12 and communicates with the atmosphere.
  • the other end portion of the communication flow path 23 penetrates the outer peripheral surface 13a of the piston main body 13 between the partition portion 17 and the partition portion 18 and communicates with the vacuum control chamber 20C.
  • the communication channel 23 extends in a substantially L shape.
  • the communication flow path 23 includes an atmosphere communication portion 23a and a vacuum communication portion 23b communicated with the atmosphere communication portion 23a.
  • the air communication portion 23 a extends along the axial direction of the piston main body 13 at a position substantially in the center in the radial direction of the piston main body 13.
  • the air communication portion 23a extends from between the partition portion 17 and the partition portion 18 in the piston main body portion 13 (that is, a position corresponding to a vacuum control chamber 20C described later) until it penetrates the tip portion 12f of the piston 12. It is in communication with the atmosphere.
  • the vacuum communication part 23b is bent in the radial direction of the piston main body part 13 from the end of the atmosphere communication part 23a opposite to the side communicating with the atmosphere.
  • the vacuum communication portion 23b extends along the radial direction of the piston main body 13 until it penetrates the outer peripheral surface 13a of the piston main body 13, and communicates with the vacuum control chamber 20C.
  • the atmosphere release channel 24 is an atmosphere release part that opens the gas supplied into the cylinder 11 to the atmosphere. Details of the air release channel 24 will be described later.
  • control pressure chamber 20A the control pressure chamber 20A, the constant pressure chamber 20B, and the vacuum control chamber 20C will be described in detail.
  • the control pressure chamber 20A (second gas chamber) and the constant pressure chamber 20B (third gas chamber) are supplied with gas from a gas supply unit 40 as a supply source, and reciprocate the piston 12 in accordance with the supply of the gas. That is, a difference between the pressure in the control pressure chamber 20A and the pressure in the constant pressure chamber 20B is generated according to the supply of gas to the control pressure chamber 20A and the constant pressure chamber 20B. A move is made.
  • the control pressure chamber 20 ⁇ / b> A is formed between the head portion 14 and the cylinder 11.
  • the control pressure chamber 20 ⁇ / b> A is defined by an end surface 14 f (an end surface opposite to the piston main body 13) of the head portion 14 and an inner wall surface 11 a of the cylinder 11.
  • the control pressure chamber 20 ⁇ / b> A is supplied with a controlled supply amount of gas from the gas supply unit 40.
  • control pressure chamber 20 ⁇ / b> A is connected by the gas supply unit 40 and the control flow path 31.
  • the gas supply part 40 supplies gas in the state adjusted to the fixed pressure through the regulator etc. which are not illustrated, for example.
  • a servo valve 30 is provided in the control flow path 31.
  • the servo valve 30 controls the supply amount of gas supplied to the control pressure chamber 20A.
  • the servo valve 30 controls the supply amount of the gas with high accuracy and high response according to the electric signal input to the servo valve 30, and supplies the gas to the control pressure chamber 20A with the controlled supply amount. .
  • the servo valve 30 receives a signal indicating each pressure in the control pressure chamber 20A and the constant pressure chamber 20B detected by pressure sensors (not shown) provided in the control pressure chamber 20A and the constant pressure chamber 20B, respectively.
  • the gas supply amount from the gas supply unit 40 is controlled so that each pressure in the control pressure chamber 20A and the constant pressure chamber 20B indicated by the signal is in an appropriate state.
  • the appropriate state is, for example, a state in which the thrust of the actuator 10 output as a difference between the pressure in the control pressure chamber 20A and the pressure in the constant pressure chamber 20B has a desired magnitude.
  • the servo valve 30 adjusts the gas supply amount based on a preset flow rate characteristic (for example, a supply amount corresponding to the pressure in the control pressure chamber 20A necessary for generating a thrust having a desired magnitude). You may control.
  • the servo valve 30 includes a supply port Ps to which gas is supplied from the gas supply unit 40, a control port Pc for supplying gas to the control pressure chamber 20A with a controlled supply amount, and an exhaust port Ex for exhausting gas to the atmosphere. And have.
  • the servo valve 30 is a three-way valve having a gas inlet / outlet port in three directions of a supply port Ps, a control port Pc, and an exhaust port Ex.
  • a spool type or nozzle flapper type servo valve may be used as the servo valve 30 .
  • a spool type servo valve is used as the servo valve 30 a large volume of gas can flow.
  • a nozzle flapper type servo valve is used as the servo valve 30, the responsiveness can be increased.
  • the constant pressure chamber 20B (third gas chamber) is formed between the head portion 15 and the cylinder 11.
  • the constant pressure chamber 20 ⁇ / b> B is partitioned by the end surface 15 f of the head portion 15 and the inner wall surface 11 a of the cylinder 11.
  • the constant pressure chamber 20B is supplied with gas from the gas supply unit 40 at a constant pressure.
  • the constant pressure chamber 20 ⁇ / b> B is connected to a position upstream of the servo valve 30 in the control flow path 31 by a constant pressure flow path 32. Thereby, the gas from the gas supply unit 40 is supplied to the constant pressure chamber 20 ⁇ / b> B at a constant pressure without passing through the servo valve 30.
  • the vacuum control chamber 20 ⁇ / b> C (first gas chamber) is formed between the partition portion 17, the partition portion 18, and the cylinder 11. That is, the vacuum control chamber 20C is located between the control pressure chamber 20A and the constant pressure chamber 20B.
  • the vacuum control chamber 20C includes an end surface 17e of the partition portion 17 (end surface opposite to the head portion 14), an end surface 18e of the partition portion 18 (end surface opposite to the head portion 15), and the inner wall surface 11a of the cylinder 11. It is divided by.
  • the vacuum control chamber 20C can be kept in a vacuum.
  • the opening hole 11c and the vacuum generation part 41 are connected by switching of the switching part 22, so that the gas in the vacuum control chamber 20C is sucked by the vacuum generation part 41 through the opening hole 11c of the cylinder 11. Is done. Thereby, the vacuum control chamber 20C is kept in a vacuum.
  • the vacuum is not limited to an absolute vacuum having a pressure of 0, and includes, for example, a negative pressure state where the pressure is lower than atmospheric pressure.
  • the communication flow path 23 in the piston 12 communicated with the vacuum control chamber 20C is evacuated, and a negative pressure is generated at the front end portion 12f of the piston 12.
  • the negative pressure refers to a pressure lower than the atmospheric pressure.
  • the vacuum control chamber 20C can be maintained at a positive pressure.
  • the positive pressure is a pressure higher than the atmospheric pressure.
  • the opening 11c and the gas supply unit 42 are connected by switching the switching unit 22 so that the gas is supplied into the vacuum control chamber 20C by the gas supply unit 42 through the opening 11c of the cylinder 11. Is done.
  • the vacuum control chamber 20C is not in a vacuum but is maintained at a positive pressure.
  • the positive pressure refers to a pressure higher than the atmospheric pressure.
  • gas is ejected from the through-hole 19a of the cap part 19 provided in the front-end
  • the attracted component is detached from the front end surface 19f of the cap portion 19. That is, the part to be attracted is attached to and detached from the front end part 12 f of the piston 12 through the through hole 19 a of the cap part 19.
  • the atmosphere opening flow path 24 opens part of the gas supplied into the cylinder 11 between the vacuum control chamber 20C, the control pressure chamber 20A and the constant pressure chamber 20B to the atmosphere. Thereby, the open air flow path 24 suppresses the leakage of gas from the control pressure chamber 20A and the constant pressure chamber 20B side to the vacuum control chamber 20C side, and makes the vacuum control chamber 20C to the control pressure chamber 20A and the constant pressure chamber 20B. It has the function of creating a sufficiently independent space.
  • the atmosphere opening flow path 24 is formed independently so as not to cross the communication flow path 23 and to communicate with it.
  • the air release channel 24 extends along the axial direction of the piston body 13 at a position outside the communication channel 23 in the radial direction of the piston body 13.
  • One end of the atmosphere opening channel 24 penetrates through the tip 12 f of the piston 12 and communicates with the atmosphere.
  • the air release channel 24 is formed so as to communicate with both the vacuum control chamber 20C and the control pressure chamber 20A and between the vacuum control chamber 20C and the constant pressure chamber 20B.
  • the atmosphere open channel 24 includes an atmosphere communication portion 24a and space communication portions 24b and 24c communicated with the atmosphere communication portion 24a.
  • the atmospheric communication portion 24 a extends along the axial direction of the piston main body portion 13 substantially in parallel with the atmospheric communication portion 23 a of the communication flow path 23.
  • the atmosphere communication portion 24a extends from a position corresponding to the groove portion 12a of the piston 12 until it penetrates the tip portion 12f of the piston 12, and communicates with the atmosphere.
  • the space communication part 24b is bent in the radial direction of the piston body 13 from the end of the atmosphere communication part 24a opposite to the side communicating with the atmosphere.
  • the space communication portion 24b extends along the radial direction of the piston main body 13 until it penetrates the outer peripheral surface 13a of the piston main body 13, and the space between the partition portion 17 and the head portion 14 in the groove 12a (that is, Between the vacuum control chamber 20C and the control pressure chamber 20A).
  • the space communication part 24c is bent in the radial direction of the piston main body part 13 from the middle part located corresponding to the groove part 12b in the atmosphere communication part 24a.
  • the space communication portion 24c extends along the radial direction of the piston main body 13 until it penetrates the outer peripheral surface 13a of the piston main body 13, and the space between the partition portion 18 and the head portion 15 in the groove 12b (that is, Between the vacuum control chamber 20C and the constant pressure chamber 20B).
  • the gas flowing in the direction of arrow A2 (that is, the retraction direction) between the head portion 15 of the piston 12 and the inner wall surface 11a of the cylinder 11 is blocked by the partition portion 18 from entering the vacuum control chamber 20C. It flows into the space communication part 24c in the groove part 12b. The gas flowing into the space communication portion 24c is released to the atmosphere through the air communication portion 24a communicated with the space communication portion 24c. Thereby, the gas leakage from the constant pressure chamber 20B side to the vacuum control chamber 20C side is suppressed.
  • vacuum control chamber 20C when the vacuum control chamber 20C is held in a vacuum, vacuum breakage due to gas leakage from the control pressure chamber 20A and the constant pressure chamber 20B to the vacuum control chamber 20C side can be suppressed. That is, the vacuum in the vacuum control chamber 20C can be sufficiently maintained.
  • the leading end portion 12f of the piston 12 and the vacuum control chamber 20C that can be kept in vacuum are communicated with each other by the communication flow path 23 formed in the piston 12. Therefore, when the vacuum control chamber 20C is held in vacuum, the communication flow path 23 in the piston 12 communicated with the vacuum control chamber 20C is evacuated, and a negative pressure is generated at the tip 12f of the piston 12. As a result, the part to be sucked can be sucked by the tip 12f of the piston 12. As described above, in this actuator 10, the suction target component can be sucked by the communication flow path 23 formed in the piston 12 without separately providing a suction mechanism at the tip 12 f of the piston 12. Therefore, the suction of the part to be attracted can be realized with a compact configuration.
  • the gas supplied into the cylinder 11 is separated between the vacuum control chamber 20C and the control pressure chamber 20A by the atmosphere opening flow path 24, and between the vacuum control chamber 20C and the vacuum control chamber 20C. It is opened to the atmosphere from between the constant pressure chambers. Thereby, gas leakage from both the control pressure chamber 20A and the constant pressure chamber 20B to the vacuum control chamber 20C side can be suppressed, and the vacuum in the vacuum control chamber 20C can be sufficiently maintained.
  • the atmosphere opening portion is configured as the atmosphere opening flow path 24 formed in the piston 12, the arrangement relationship between the piston 12 and the cylinder 11 should be taken into consideration. Therefore, the gas can be released to the atmosphere, and a more compact configuration can be realized.
  • the position of the hydrostatic bearing in the head portions 14 and 15 (that is, the position of the gas layer formed between the inner wall surface 11 a of the cylinder 11 and the piston 12) Move by movement.
  • the atmosphere opening part is formed in the piston 12, even if the piston 12 reciprocates, the hydrostatic bearing and the atmosphere opening part do not interfere with each other. Therefore, it is only necessary to secure the space for the hydrostatic bearing based on only the reciprocating distance of the piston 12 regardless of the formation position of the atmosphere opening portion, so that a more compact configuration can be realized.
  • the actuator 10 when the vacuum control chamber 20C is held at a positive pressure, gas is sent into the communication flow path 23 in the piston 12 communicated with the vacuum control chamber 20C, and the piston A positive pressure is generated at the front end 12f of the twelve.
  • the part to be attracted can be attached and detached at the front end 12f of the piston 12.
  • the adsorbed component can be attached / detached by the communication flow path 23 formed in the piston 12 without providing a separate attachment / detachment mechanism at the front end portion 12f of the piston 12. . Therefore, the attachment / detachment of the part to be attracted can be realized with a compact configuration.
  • the filter 27 when the suction target component is sucked by the tip portion 12f of the piston 12, the filter 27 can prevent foreign matter from being sucked from the tip portion 12f of the piston 12. it can. As a result, failure of the actuator 10 due to foreign matter can be prevented.
  • the actuator 10A includes the same elements and structures as the actuator 10 according to the first embodiment. Therefore, the same elements and structures as those of the actuator 10 according to the first embodiment are denoted by the same reference numerals, detailed description thereof is omitted, and different portions from the first embodiment will be described.
  • FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing an actuator 10A according to the second embodiment.
  • the actuator 10 ⁇ / b> A according to the present embodiment includes a first air release portion 26 formed in the cylinder 11 in place of the air release flow path 24 formed in the piston 12. This is different from the actuator 10 according to the embodiment.
  • the atmosphere release unit 26 opens the gas supplied into the cylinder 11 to the atmosphere.
  • the atmosphere release unit 26 opens part of the gas supplied into the cylinder 11 between the control pressure chamber 20A, the constant pressure chamber 20B, and the vacuum control chamber 20C to the atmosphere. Thereby, the air release part 26 suppresses the gas leakage from the control pressure chamber 20A and the constant pressure chamber 20B side to the vacuum control chamber 20C side, and the vacuum control chamber 20C is sufficient with respect to the control pressure chamber 20A and the constant pressure chamber 20B. It has a function to make it an independent space.
  • the atmosphere opening portion 26 is formed to communicate with both the vacuum control chamber 20C and the control pressure chamber 20A and between the vacuum control chamber 20C and the constant pressure chamber 20B. Specifically, the atmosphere opening portion 26 is a first atmosphere opening portion 26a formed between the vacuum control chamber 20C and the control pressure chamber 20A, and a first opening formed between the vacuum control chamber 20C and the constant pressure chamber 20B. And two atmospheric open portions 26b.
  • the first atmosphere opening portion 26 a is formed at a position corresponding to the groove portion 12 a of the piston 12 in the cylinder 11.
  • the first atmosphere opening portion 26a is a through-hole penetrating from the inner wall surface 11a to the outer wall surface 11b of the cylinder 11 and communicates with the atmosphere.
  • the gas flowing in the direction of arrow A1 that is, the traveling direction
  • the partition portion 17 from entering the vacuum control chamber 20C. It flows in the first atmosphere opening part 26a in the groove part 12a. Then, the air is released from the first atmosphere opening portion 26 a to the outside of the cylinder 11.
  • the second atmosphere opening portion 26 b is formed at a position corresponding to the groove portion 12 b of the piston 12 in the cylinder 11.
  • the second atmosphere opening portion 26b is a through hole that penetrates from the inner wall surface 11a to the outer wall surface 11b of the cylinder 11 and communicates with the atmosphere.
  • the gas flowing in the direction of the arrow A2 that is, the retraction direction
  • the partition portion 18 from entering the vacuum control chamber 20C. It flows into the second atmosphere opening part 26b in the groove part 12b. Then, the atmosphere is released from the second atmosphere opening portion 26 b to the outside of the cylinder 11.
  • the axial direction length in the groove part 12a of the piston main-body part 13, ie, the distance between the partition part 17 and the head part 14, is long.
  • the axial length of the groove portion 12b of the piston main body portion 13, that is, the distance between the partition portion 18 and the head portion 15 is increased. That is, the hydrostatic bearing and the air release portion 26 are located apart from each other in the axial direction of the piston 12. This is to prevent the space for the hydrostatic bearing and the atmosphere opening portion 26 from interfering with each other even when the piston 12 reciprocates, and to ensure a sufficient space for the hydrostatic bearing.
  • the communication channel 23 formed in the piston 12 does not separately provide a suction mechanism at the tip portion 12f of the piston 12. Therefore, it is possible to suck the parts to be sucked. Therefore, the suction of the part to be attracted can be realized with a compact configuration.
  • the gas supplied into the cylinder 11 is transferred between the vacuum control chamber 20C and the control pressure chamber 20A and between the vacuum control chamber 20C and the constant pressure by the atmosphere opening unit 26. Open to the atmosphere from the room. Thereby, gas leakage from both the control pressure chamber 20A and the constant pressure chamber 20B to the vacuum control chamber 20C side can be suppressed, and the vacuum in the vacuum control chamber 20C can be sufficiently maintained.
  • the actuator 10B includes the same elements and structures as the actuator 10 according to the first embodiment. Therefore, the same elements and structures as those of the actuator 10 according to the first embodiment are denoted by the same reference numerals, detailed description thereof is omitted, and different portions from the first embodiment will be described.
  • FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing an actuator 10B according to the third embodiment.
  • the actuator 10B according to this embodiment does not include the constant pressure chamber 20B, and the first embodiment is different in that an elastic member 50 is provided in a space corresponding to the constant pressure chamber 20B. This is different from the actuator 10.
  • the actuator 10B includes the control pressure chamber 20A and the vacuum control chamber 20C as in the first embodiment, but does not include the constant pressure chamber 20B unlike the first embodiment. That is, no gas is supplied from the gas supply unit 40 into the cylinder 11 on the head unit 15 side of the piston 12. Correspondingly, in the present embodiment, no static pressure bearing is provided between the head portion 15 of the piston 12 and the inner wall surface 11a of the cylinder 11, and between the head portion 15 and the inner wall surfaces 11a and 12 is provided. No air layer is formed. Moreover, the piston 12 does not have the partition part 18 and the groove part 12b.
  • the actuator 10B according to the present embodiment does not include the constant pressure chamber 20B, it is not necessary to release the gas from the constant pressure chamber 20B to the atmosphere.
  • the air release channel 24 according to the present embodiment does not have the space communication portion 24c.
  • the air release flow path 24 is formed so as to communicate between the vacuum control chamber 20C and the control pressure chamber 20A, while between the vacuum control chamber 20C and the constant pressure chamber 20B. It is not formed to communicate.
  • the elastic member 50 is provided between the head portion 15 and the cylinder 11.
  • the elastic member 50 is disposed in a space defined by the end surface 15 f of the head portion 15 and the inner wall surface 11 a of the cylinder 11.
  • the elastic member 50 is, for example, a coil spring, rubber, artificial muscle, or the like.
  • the elastic member 50 expands and contracts in the axial direction of the piston 12 in accordance with the supply of gas from the gas supply unit 40 to the control pressure chamber 20A, and reciprocates the piston 12.
  • the suction flow mechanism 23 formed in the piston 12 allows the tip 12f of the piston 12 to be provided with no suction mechanism. Therefore, it is possible to suck the parts to be sucked. Therefore, the suction of the part to be attracted can be realized with a compact configuration.
  • the gas supplied into the cylinder 11 is opened to the atmosphere from between the vacuum control chamber 20C and the control pressure chamber 20A by the atmosphere opening flow path 24. Thereby, the gas leakage from the control pressure chamber 20A side to the vacuum control chamber 20C side can be suppressed, and the vacuum in the vacuum control chamber 20C can be sufficiently maintained.
  • the actuator 10C has the same elements and structure as the actuator 10 according to the first embodiment. Therefore, the same elements and structures as those of the actuator 10 according to the first embodiment are denoted by the same reference numerals, detailed description thereof is omitted, and different portions from the first embodiment will be described.
  • FIG. 4 is a schematic sectional view showing an actuator 10C according to the fourth embodiment.
  • the actuator 10C according to the present embodiment is different in the shape of the piston 12 and the position of the hydrostatic bearing, and has two constant pressure chambers 20D and 20E instead of the constant pressure chamber 20B. And it differs from the actuator 10 which concerns on 1st Embodiment by the point from which the structure of the air release flow path 24 in piston 12 differs.
  • the widths of the head portions 14 and 15 are smaller than those in the first embodiment, and are substantially the same as the widths of the partition portions 17 and 18.
  • the piston 12 includes a main body extension 25 that protrudes from the end face 15 f side of the head portion 15, and head portions 28 and 29 formed on the main body extension 25.
  • the main body extension portion 25 is disposed between the piston main body portion 13 and the rod portion 16.
  • the main body extension 25 is substantially cylindrical and extends from the end surface 15 f side of the head portion 15 along the axial direction of the cylinder 11.
  • the main body extension 25 is formed integrally with the piston main body 13 and has an outer diameter substantially the same as the outer diameter of the piston main body 13.
  • the main body extension portion 25 is connected to the rod portion 16 at an end surface 29f of the head portion 29 (an end surface on the side opposite to the piston main body portion 13).
  • the head portions 28 and 29 are enlarged diameter portions in which the outer diameter of the main body extension portion 25 is enlarged.
  • the head portions 28 and 29 are substantially disk-shaped and protrude outward from the outer peripheral surface 25 a of the main body extension 25. Further, in the axial direction of the piston 12, the widths of the head portions 28 and 29 are larger than the widths of the partition portions 17 and 18.
  • the head portion 28 is located in the middle of the main body extension 25, and the head portion 29 is located at the end of the main body extension 25 (the end opposite to the end face 15f).
  • the head portion 28 and the head portion 29 are positioned with a predetermined interval.
  • the main body extension 25 has a portion sandwiched between the head portion 28 and the head portion 29. Since the outer diameter of the head portions 28 and 29 is larger than the outer diameter of the main body extension portion 25, the sandwiched portion is recessed inward of the head portions 28 and 29. That is, a groove portion 12 e is formed between the head portion 28 and the head portion 29 in the piston 12.
  • a hydrostatic bearing is provided between the head portions 28 and 29 of the piston 12 and the inner wall surface 11a of the cylinder 11. Therefore, the gas from the constant pressure chamber 20D (details will be described later) flows in the direction of the arrow A3 between the head portion 28 of the piston 12 and the inner wall surface 11a of the cylinder 11. That is, a gas layer is formed between the head portion 28 of the piston 12 and the inner wall surface 11 a of the cylinder 11. Further, gas from the constant pressure chamber 20E (details will be described later) flows in the direction of arrow A4 between the head portion 29 of the piston 12 and the inner wall surface 11a of the cylinder 11. That is, a gas layer is formed between the head portion 29 of the piston 12 and the inner wall surface 11 a of the cylinder 11. As a result, the piston 12 is not in contact with the inner wall surface 11 a of the cylinder 11.
  • the constant pressure chamber 20D (third gas chamber) is formed between the head unit 15, the head unit 28, and the cylinder 11.
  • the constant pressure chamber 20 ⁇ / b> D is partitioned by an end surface 15 f of the head portion 15, an end surface 28 f of the head portion 28 (end surface on the piston main body portion 13 side), and an inner wall surface 11 a of the cylinder 11.
  • the constant pressure chamber 20D is supplied with gas from the gas supply unit 40 at a constant pressure.
  • the constant pressure chamber 20 ⁇ / b> D is connected to a branch channel 32 a that branches from the constant pressure channel 32. Thereby, the gas from the gas supply part 40 is supplied to the constant pressure chamber 20D in the state of a fixed pressure.
  • the constant pressure chamber 20E (third gas chamber) is formed between the head portion 29 and the cylinder 11.
  • the constant pressure chamber 20 ⁇ / b> E is partitioned by the end surface 29 f of the head portion 29 and the inner wall surface 11 a of the cylinder 11.
  • the constant pressure chamber 20E is supplied with gas from the gas supply unit 40 at a constant pressure.
  • the constant pressure chamber 20E is connected to a branch channel 32b that branches from the constant pressure channel 32. Thereby, the gas from the gas supply part 40 is supplied to the constant pressure chamber 20E in the state of a fixed pressure.
  • the atmosphere opening flow path 24 in the piston 12 has a space communication portion 24d connected to the air communication portion 24a in addition to the air communication portion 24a and the space communication portions 24b and 24c.
  • the space communication part 24d is bent in the radial direction of the piston main body part 13 from the middle part located corresponding to the groove part 12e in the atmosphere communication part 24a.
  • the space communication portion 24d extends along the radial direction of the piston main body 13 until it penetrates the outer peripheral surface 13a of the piston main body 13, and the space between the head portion 28 and the head portion 29 in the groove portion 12e (i.e., Between the constant pressure chamber 20D and the constant pressure chamber 20E).
  • the gas flowing in the direction of arrow A3 (that is, the traveling direction) between the head portion 28 of the piston 12 and the inner wall surface 11a of the cylinder 11 flows into the space communication portion 24d in the groove portion 12e.
  • the gas flowing into the space communication portion 24d is released to the atmosphere through the air communication portion 24a communicated with the space communication portion 24d.
  • the gas flowing in the direction of arrow A4 (that is, the retraction direction) between the head portion 29 of the piston 12 and the inner wall surface 11a of the cylinder 11 flows into the space communication portion 24d in the groove portion 12e.
  • the gas flowing into the space communication portion 24d is released to the atmosphere through the air communication portion 24a communicated with the space communication portion 24d.
  • the gas is also released from the atmosphere between the constant pressure chamber 20D and the constant pressure chamber 20E.
  • leakage of gas from the constant pressure chambers 20D, 20E to the vacuum control chamber 20C side is suppressed, when the vacuum control chamber 20C is held in vacuum, the vacuum breakage due to the leakage of the gas can be suppressed. it can. That is, the vacuum in the vacuum control chamber 20C can be sufficiently maintained.
  • control pressure chamber 20A and the constant pressure chamber 20E reciprocate the piston 12 according to the supply of gas from the gas supply unit 40 that is a supply source. That is, a difference between the pressure in the control pressure chamber 20A and the pressure in the constant pressure chamber 20E is generated according to the supply of gas to the control pressure chamber 20A and the constant pressure chamber 20E, and the forward movement and retraction of the piston 12 according to this difference. A move is made.
  • the end surface 15f of the head portion 15 and the end surface 28f of the head portion 28 have the same area. Therefore, the force acting in the retreating direction with respect to the end surface 15f and the force acting in the traveling direction with respect to the end surface 28f.
  • the suction flow mechanism 23 formed in the piston 12 does not separately provide a suction mechanism at the tip portion 12f of the piston 12. Therefore, it is possible to suck the parts to be sucked. Therefore, the suction of the part to be attracted can be realized with a compact configuration.
  • the atmosphere opening portion is not both between the first gas chamber and the second gas chamber and between the first gas chamber and the third gas chamber, It may be formed so as to communicate with either one. That is, the atmosphere open flow path 24 may have either the space communication part 24b or the space communication part 24c, instead of both the space communication part 24b and the space communication part 24c. Moreover, the air release part 26 may have either one of the 1st air release part 26a and the 2nd air release part 26b instead of both the 1st air release part 26a and the 2nd air release part 26b. . Moreover, in 4th Embodiment, the air release flow path 24 does not need to have the space communication part 24d.
  • the gas chamber has a second gas chamber and a third gas chamber that reciprocate the piston 12 in response to gas supply. Does not have to be provided with an air release portion. That is, the atmosphere opening flow path 24 may not be formed in the piston 12, and the atmosphere opening portion 26 may not be formed in the cylinder 11.
  • the constant pressure chamber 20B is not included in the gas chamber.
  • the present invention is not limited to this, and the control pressure chamber 20A may not be included in the gas chamber.
  • the elastic member is provided in the space corresponding to the constant pressure chamber 20B.
  • the invention is not limited to this, and a linear motion motor or the like is provided in the space corresponding to the control pressure chamber 20A or the constant pressure chamber 20B. May be provided.
  • the vacuum control chamber 20C may not be maintained at a positive pressure.
  • the vacuum control chamber 20 ⁇ / b> C may be directly connected to the vacuum generation unit 41 without going through the switching unit 22.
  • the cap portion 19 may not be provided at the tip portion 16 f of the rod portion 16.
  • the filter 27 may be provided directly at the tip 12 f of the piston 12 instead of in the through hole 19 a of the cap 19. Furthermore, the filter 27 may not be provided.
  • the vacuum control chamber 20C is located between the control pressure chamber 20A and the constant pressure chamber 20B, but the present invention is not limited to this.
  • the vacuum control chamber 20C may be located farther from the rod portion 16 than the control pressure chamber 20A and the constant pressure chamber 20B.

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Abstract

気体が供給されることにより推力を発生するアクチュエータであって、気体が内部に供給されるシリンダと、シリンダ内を往復動するピストンと、シリンダ内に形成される気体室と、を備え、気体室は、真空に保持可能な第一気体室と、気体が供給され、その供給に応じてピストンを往復動させる第二気体室及び第三気体室とを有し、ピストン内には、ピストンの先端部と第一気体室とを連通する連通流路が形成されている。

Description

アクチュエータ
　本発明は、アクチュエータに関する。
　従来、例えば、特許文献１に示すように、精密位置決め装置等に用いられるアクチュエータとして、気体室及びピストンを有するシリンダを備え、気体室に気体が供給されることにより推力を発生する気体圧アクチュエータが知られている。
特開２００４－１４４１９６号公報
　上記特許文献１に記載されているような従来のアクチュエータを用いて半導体チップ等を吸着する際には、ピストンの先端部に吸着機構を別途設ける必要がある。例えば、半導体チップのボンディングの際、半導体チップを吸着するためには、ピストンの先端部に半導体チップの押し付け機構とは別に半導体チップの吸着機構を設置する必要がある。したがって、従来のアクチュエータでは、半導体チップ等の被吸着部品の吸着をコンパクトな構成で実現することが困難である。
　そこで本発明は、被吸着部品の吸着をコンパクトな構成で実現することができるアクチュエータを提供することを目的とする。
　上記課題を解決するため、本発明の一形態に係るアクチュエータは、気体が供給されることにより推力を発生するアクチュエータであって、気体が内部に供給されるシリンダと、シリンダ内を往復動するピストンと、シリンダ内に形成される気体室と、を備え、気体室は、真空に保持可能な第一気体室と、気体が供給され、その供給に応じてピストンを往復動させる第二気体室及び第三気体室とを有し、ピストン内には、ピストンの先端部と第一気体室とを連通する連通流路が形成されている。
　また、アクチュエータは、気体が供給されることにより推力を発生するアクチュエータであって、気体が内部に供給されるシリンダと、シリンダ内を往復動するピストンと、シリンダ内に形成される気体室と、シリンダ内に供給された気体を大気に開放する大気開放部と、備え、気体室は、真空に保持可能な第一気体室と、気体が供給され、その供給に応じてピストンを往復動させる第二気体室とを有し、ピストン内には、ピストンの先端部と第一気体室とを連通する連通流路が形成されており、大気開放部は、第一気体室と第二気体室との間に連通するように形成されている。
　アクチュエータでは、ピストン内に形成された連通流路により、ピストンの先端部と、真空に保持可能な第一気体室とが連通されている。よって、第一気体室が真空に保持されると、当該第一気体室に連通されたピストン内の連通流路が真空引きされて、ピストンの先端部に負圧が生じる。その結果、ピストンの先端部で被吸着部品の吸着を行うことができる。以上のように、このアクチュエータでは、ピストン内に形成された連通流路によって、ピストンの先端部に吸着機構を別途設けることなく、被吸着部品の吸着を行うことができる。したがって、被吸着部品の吸着をコンパクトな構成で実現することができる。
　また、アクチュエータは、第一気体室と第二気体室との間、及び、第一気体室と第三気体室との間の少なくとも一方に連通するように形成されており、シリンダ内に供給された気体を大気に開放する大気開放部を備えていてもよい。この場合、シリンダ内に供給された気体が、大気開放部によって、第一気体室と第二気体室との間、及び、第一気体室と第二気体室との間の少なくとも一方から大気へ開放される。これにより、第二気体室及び第三気体室の少なくとも一方側から第一気体室側への気体の漏れを抑制し、第一気体室における真空を十分に保持することができる。
　また、アクチュエータにおいて、気体室は、気体が供給され、その供給に応じてピストンを往復動させる第三気体室を更に有し、大気開放部は、第一気体室と第三気体室との間にも連通するように形成されていてもよい。この場合、シリンダ内に供給された気体が、大気開放部によって、第一気体室と第三気体室との間から大気へ開放される。これにより、第二気体室側から第一気体室側への気体の漏れを抑制し、第一気体室における真空を十分に保持することができる。
　また、大気開放部は、ピストン内に形成された大気開放流路であってもよい。この場合、大気開放部が、ピストン内に形成された大気開放流路として構成されているため、ピストンとシリンダとの配置関係に配慮することなく気体を大気開放することができ、よりコンパクトな構成を実現することが可能となる。
　また、第一気体室は、正圧にも保持可能であってもよい。この場合、第一気体室が正圧に保持されると、当該第一気体室に連通されたピストン内の連通流路に気体が送り込まれ、ピストンの先端部に正圧が生じる。その結果、ピストンの先端部で被吸着部品の脱着を行うことができる。以上のように、この場合、ピストン内に形成された連通流路によって、ピストンの先端部に脱着機構を別途設けることなく、被吸着部品の脱着を行うことができる。したがって、コンパクトな構成で被吸着部品の脱着も実現することができる。
　また、ピストンの先端部には、フィルタが設けられていてもよい。この場合、ピストンの先端部で被吸着部品の吸着を行う際に、ピストンの先端部から異物が吸い込まれることをフィルタによって防止することができる。その結果、異物混入によるアクチュエータの故障を防止することができる。
　本発明によれば、被吸着部品の吸着をコンパクトな構成で実現することができるアクチュエータが提供される。
本発明の第１実施形態に係るアクチュエータを示す概略断面図である。 本発明の第２実施形態に係るアクチュエータを示す概略断面図である。 本発明の第３実施形態に係るアクチュエータを示す概略断面図である。 本発明の第４実施形態に係るアクチュエータを示す概略断面図である。
　以下、添付図面を参照しながら本発明に係るアクチュエータの実施形態について説明する。なお、以下の説明において、同一又は相当要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
（第１実施形態）
　図１は、本発明の第１実施形態に係るアクチュエータを示す概略断面図である。図１に示すように、本実施形態に係るアクチュエータ１０は、位置決め制御及び荷重制御等を行う駆動機構であって、例えば半導体製造の後工程に用いられるダイボンダ、ウェブ搬送装置におけるロールの張力制御等に用いられる。アクチュエータ１０は、気体が供給されることにより推力を発生する気体圧アクチュエータである。なお、気体は、例えば圧縮空気でもよいし、その他の種々の気体でもよい。また、本実施形態に係るアクチュエータ１０は、例えば半導体チップ、ウェーハ、液晶用ガラス板等の被吸着部品を吸着するために用いられる。
　アクチュエータ１０は、気体が内部に供給されるシリンダ１１と、シリンダ１１内を往復動するピストン１２と、シリンダ１１内に形成される気体室である制御圧室２０Ａ、定圧室２０Ｂ、及び真空制御室２０Ｃとを備えている。なお、詳細は後述するが、真空制御室２０Ｃは、制御圧室２０Ａと定圧室２０Ｂとの間に位置している。以下、定圧室２０Ｂ側から制御圧室２０Ａ側へ向かう方向を「退行方向」ともいい、制御圧室２０Ａ側から定圧室２０Ｂ側へ向かう方向を「進行方向」ともいう。
　シリンダ１１は、略円筒又は多角形の筒状であって、その内部にピストン１２を収容している。シリンダ１１には、内壁面１１ａから外壁面１１ｂまでを貫通する開口孔１１ｃが形成されている。開口孔１１ｃは、シリンダ１１内の真空制御室２０Ｃ（詳細は、後述する）に対応して位置しており、真空制御室２０Ｃと連通されている。開口孔１１ｃは、切替部２２を介して真空発生部４１及び気体供給部４２と接続されている。真空発生部４１は、真空制御室２０Ｃを減圧することで真空制御室２０Ｃを真空に保持するための真空保持部である。真空発生部４１としては、例えば真空ポンプ又はエアエジェクタ等が用いられる。気体供給部４２は、真空制御室２０Ｃに気体を供給することで真空制御室２０Ｃを正圧に保持する正圧保持部である。
　切替部２２は、開口孔１１ｃと真空発生部４１との接続、及び、開口孔１１ｃと気体供給部４２との接続を切り替える。切替部２２は、例えば三方弁である。なお、切替部２２は、不図示の制御部によってその切り替えが制御されてもよく、手動で切り替えられてもよい。
　ピストン１２は、ピストン本体部１３と、ピストン本体部１３の両端側に形成されたヘッド部１４，１５と、ヘッド部１５に接続されたロッド部１６と、ピストン本体部１３の外周面１３ａに形成された仕切り部１７，１８とを有している。ヘッド部１４及び仕切り部１７は退行方向側に位置しており、ヘッド部１５及び仕切り部１８は進行方向側に位置している。また、ロッド部１６は、進行方向側に突出している。以下、ピストン本体部１３、ヘッド部１４，１５、ロッド部１６、及び仕切り部１７，１８について詳細に説明する。
　ピストン本体部１３は、略円柱又は多角形の筒状であって、シリンダ１１の軸方向に沿って延びている。ピストン本体部１３は、シリンダ１１内に進退自在に収容されている。ヘッド部１４，１５は、ピストン本体部１３の外径が拡大された拡径部である。ヘッド部１４，１５は、略円板状であって、ピストン本体部１３の外周面１３ａよりも外側に突出している。ヘッド部１４は、ピストン本体部１３における退行方向側の端部に位置し、ヘッド部１５は、ピストン本体部１３における進行方向側の端部に位置している。
　ロッド部１６は、ヘッド部１５の端面１５ｆ（ピストン本体部１３とは反対側の端面）に接続されている。ロッド部１６は、ヘッド部１５の端面１５ｆから進行方向に延びている。ロッド部１６は、シリンダ１１を貫通し、シリンダ１１の外部に突出している。ロッド部１６は、略円柱状であって、ピストン本体部１３よりもやや小さい外径を有している。ロッド部１６の先端部１６ｆは、シリンダ１１の外部に露出しており、後述する被吸着部品の吸着を行うピストン１２の先端部１２ｆを構成している。ロッド部１６の先端部１６ｆには、キャップ部１９が設けられている。
　キャップ部１９は、小径及び大径を有する円筒部材であって、断面略Ｔ字状をなしている。キャップ部１９には、ピストン１２内に形成された連通流路２３（詳細は、後述する）と連通された貫通孔１９ａが形成されている。キャップ部１９の貫通孔１９ａ内には、フィルタ２７が配設されている。すなわち、ピストン１２の先端部１２ｆにフィルタ２７が設けられている。
　フィルタ２７は、ピストン１２の先端部１２ｆで被吸着部品の吸着を行う際に、ピストン１２の先端部１２ｆから異物が吸い込まれることを防止する機能を有する。フィルタ２７は、大気中の異物を補足し、ピストン１２の先端部１２ｆから連通流路２３内に異物が混入することを抑制し、ひいては連通流路２３を通ってシリンダ１１内に異物が混入しないようにしている。フィルタ２７は、例えば異物よりも小さい貫通孔が形成された略円柱状の部材であり、貫通孔１９ａ内に収容されている。
　仕切り部１７，１８は、ヘッド部１４とヘッド部１５との間に形成されている。仕切り部１７，１８は、ピストン本体部１３の外径が拡大された拡径部である。仕切り部１７，１８は、略円板状であって、ピストン本体部１３の外周面１３ａよりも突出している。ピストン１２の軸方向で、仕切り部１７，１８の幅は、ヘッド部１４，１５の幅よりも小さい。
　仕切り部１７は、ピストン本体部１３における退行方向側に位置している。具体的に、仕切り部１７は、仕切り部１８よりもヘッド部１４側に位置し、ヘッド部１４と所定の間隔を有して位置している。これにより、ピストン本体部１３は、仕切り部１７とヘッド部１４とに挟まれた部分を有する。仕切り部１７及びヘッド部１４の外径がピストン本体部１３の外径よりも大きいため、当該挟まれた部分は、仕切り部１７及びヘッド部１４よりも内側に窪んでいる。すなわち、ピストン１２における仕切り部１７とヘッド部１４との間には、溝部１２ａが形成されている。
　仕切り部１８は、ピストン本体部１３における進行方向側に位置している。具体的に、仕切り部１８は、仕切り部１７よりもヘッド部１５側に位置し、ヘッド部１５と所定の間隔を有して位置している。これにより、ピストン本体部１３は、仕切り部１８とヘッド部１５とに挟まれた部分を有する。仕切り部１８及びヘッド部１５の外径がピストン本体部１３の外径よりも大きいため、当該挟まれた部分は、仕切り部１８及びヘッド部１５よりも内側に窪んでいる。すなわち、ピストン１２における仕切り部１８とヘッド部１５との間には、溝部１２ｂが形成されている。
　シリンダ１１の内壁面１１ａとピストン１２との間には、例えば不図示の静圧軸受（エアベアリング）が設けられている。供給源（後述する気体供給部４０）からの気体が静圧軸受に供給されることにより、シリンダ１１の内壁面１１ａとピストン１２との隙間には気体の層が形成される。
　本実施形態では、ピストン１２のヘッド部１４とシリンダ１１の内壁面１１ａとの間、及び、ピストン１２のヘッド部１５とシリンダ１１の内壁面１１ａとの間に静圧軸受が設けられている。よって、ピストン１２のヘッド部１４とシリンダ１１の内壁面１１ａとの間には、制御圧室２０Ａ（詳細は、後述する）からの気体が矢印Ａ１方向に流れる。すなわち、ピストン１２のヘッド部１４とシリンダ１１の内壁面１１ａとの間に、気体の層が形成されている。また、ピストン１２のヘッド部１５とシリンダ１１の内壁面１１ａとの間には、定圧室２０Ｂ（詳細は、後述する）からの気体が矢印Ａ２方向に流れる。すなわち、ピストン１２のヘッド部１５とシリンダ１１の内壁面１１ａとの間に、気体の層が形成されている。これにより、ピストン１２は、シリンダ１１の内壁面１１ａに対して非接触状態とされている。
　ピストン１２は、シリンダ１１の内壁面１１ａに対して非接触とされた状態で、進行移動及び退行移動を繰り返す。進行移動とは、進行方向（制御圧室２０Ａ側から定圧室２０Ｂ側へ向かう方向）の移動（以下、単に「進行移動」ともいう）である。退行移動とは、退行方向（定圧室２０Ｂ側から制御圧室２０Ａ側へ向かう方向）の移動（以下、単に「退行移動」ともいう）である。
　ピストン１２内には、ピストン１２の先端部１２ｆと真空制御室２０Ｃとを連通する連通流路２３が形成されている。連通流路２３の一端部は、ピストン１２の先端部１２ｆを貫通して大気と連通されている。連通流路２３の他端部は、仕切り部１７と仕切り部１８との間におけるピストン本体部１３の外周面１３ａを貫通して真空制御室２０Ｃと連通されている。連通流路２３は、略Ｌ字状に延びている。
　具体的に、連通流路２３は、大気連通部２３ａと、大気連通部２３ａと連通された真空連通部２３ｂとを有している。大気連通部２３ａは、ピストン本体部１３の径方向で略中心の位置で、ピストン本体部１３の軸方向に沿って延びている。大気連通部２３ａは、ピストン本体部１３における仕切り部１７と仕切り部１８との間（すなわち、後述する真空制御室２０Ｃに対応する位置）からピストン１２の先端部１２ｆを貫通するまで延びており、大気と連通されている。
　真空連通部２３ｂは、大気連通部２３ａにおける大気と連通された側とは反対側の端部からピストン本体部１３の径方向に屈曲している。真空連通部２３ｂは、ピストン本体部１３の外周面１３ａを貫通するまでピストン本体部１３の径方向に沿って延びており、真空制御室２０Ｃと連通されている。
　また、ピストン１２内には、大気開放流路２４が形成されている。大気開放流路２４は、シリンダ１１内に供給された気体を大気に開放する大気開放部である。大気開放流路２４の詳細は、後述する。
　次に、制御圧室２０Ａ、定圧室２０Ｂ、及び真空制御室２０Ｃについて詳細に説明する。
　制御圧室２０Ａ（第二気体室）及び定圧室２０Ｂ（第三気体室）は、供給源である気体供給部４０から気体が供給され、その気体の供給に応じてピストン１２を往復動させる。すなわち、制御圧室２０Ａ及び定圧室２０Ｂへの気体の供給に応じて制御圧室２０Ａ内の圧力と定圧室２０Ｂ内の圧力との差が生じ、この差に応じてピストン１２の進行移動及び退行移動が行われる。
　制御圧室２０Ａは、ヘッド部１４とシリンダ１１との間に形成されている。制御圧室２０Ａは、ヘッド部１４の端面１４ｆ（ピストン本体部１３とは反対側の端面）とシリンダ１１の内壁面１１ａとで区画されている。制御圧室２０Ａは、気体供給部４０からの気体が制御された供給量で供給される。
　具体的に、制御圧室２０Ａは、気体供給部４０と制御流路３１によって接続されている。気体供給部４０は、例えば不図示のレギュレータ等を通して一定圧に調節した状態で気体を供給する。制御流路３１には、サーボ弁３０が設けられている。サーボ弁３０は、制御圧室２０Ａへ供給される気体の供給量を制御する。サーボ弁３０は、サーボ弁３０に入力された電気信号に応じて、この気体の供給量を高精度及び高応答に制御すると共に、制御された供給量で、気体を制御圧室２０Ａへ供給する。
　サーボ弁３０は、例えば、制御圧室２０Ａ及び定圧室２０Ｂにそれぞれ設けられた圧力センサ（不図示）によって検出された制御圧室２０Ａ及び定圧室２０Ｂ内の各圧力を示す信号が入力されると、当該信号が示す制御圧室２０Ａ及び定圧室２０Ｂ内の各圧力が適切な状態となるように、気体供給部４０からの気体の供給量を制御する。ここで、適切な状態とは、例えば、制御圧室２０Ａ内の圧力と定圧室２０Ｂ内の圧力の差として出力されるアクチュエータ１０の推力が所望の大きさとなる状態である。サーボ弁３０は、例えば、予め設定された流量特性（例えば、所望の大きさの推力を生じさせるために必要な制御圧室２０Ａ内の圧力に対応した供給量）に基づき、気体の供給量を制御してもよい。
　サーボ弁３０は、気体供給部４０から気体が供給される供給ポートＰｓと、制御された供給量で気体を制御圧室２０Ａへ供給する制御ポートＰｃと、気体を大気中へ排気する排気ポートＥｘとを有している。サーボ弁３０は、供給ポートＰｓ、制御ポートＰｃ、及び排気ポートＥｘの三方向に気体の出入口を有する三方弁である。
　なお、サーボ弁３０としては、例えばスプール型又はノズルフラッパ型のサーボ弁を用いてもよい。サーボ弁３０として例えばスプール型のサーボ弁を用いた場合には、大容量で気体を流すことができる。また、サーボ弁３０として例えばノズルフラッパ型のサーボ弁を用いた場合には、応答性を速くすることができる。
　定圧室２０Ｂ（第三気体室）は、ヘッド部１５とシリンダ１１との間に形成されている。定圧室２０Ｂは、ヘッド部１５の端面１５ｆとシリンダ１１の内壁面１１ａとで区画されている。定圧室２０Ｂは、気体供給部４０からの気体が一定圧で供給される。
　具体的に、定圧室２０Ｂは、制御流路３１におけるサーボ弁３０よりも上流側の位置に、定圧流路３２によって接続されている。これにより、気体供給部４０からの気体が、サーボ弁３０を介することなく、一定圧の状態で定圧室２０Ｂへ供給される。
　真空制御室２０Ｃ（第一気体室）は、仕切り部１７、仕切り部１８、及びシリンダ１１の間に形成されている。すなわち、真空制御室２０Ｃは、制御圧室２０Ａと定圧室２０Ｂとの間に位置している。真空制御室２０Ｃは、仕切り部１７の端面１７ｅ（ヘッド部１４とは反対側の端面）、仕切り部１８の端面１８ｅ（ヘッド部１５とは反対側の端面）、及びシリンダ１１の内壁面１１ａとで区画されている。真空制御室２０Ｃは、真空に保持可能となっている。
　具体的には、切替部２２の切り替えにより開口孔１１ｃと真空発生部４１とが接続されることで、シリンダ１１の開口孔１１ｃを通し、真空発生部４１により真空制御室２０Ｃ内の気体が吸引される。これにより、真空制御室２０Ｃが真空に保持される。なお、真空とは、圧力が０の絶対真空に限られず、例えば大気圧より圧力が低い負圧状態も含まれる。
　真空制御室２０Ｃが真空に保持されると、当該真空制御室２０Ｃに連通されたピストン１２内の連通流路２３が真空引きされて、ピストン１２の先端部１２ｆに負圧が生じる。ここで、負圧とは、大気圧よりも低い圧をいう。これにより、ピストン１２の先端部１２ｆに設けられたキャップ部１９の貫通孔１９ａ内に矢印Ｌ１の方向に大気が吸引される。その結果、キャップ部１９の先端面１９ｆに被吸着部品が吸着される。すなわち、キャップ部１９を介して、ピストン１２の先端部１２ｆに被吸着部品が吸着される。
　また、真空制御室２０Ｃは、正圧にも保持可能となっている。正圧とは、大気圧よりも高い圧である。具体的には、切替部２２の切り替えにより開口孔１１ｃと気体供給部４２とが接続されることで、シリンダ１１の開口孔１１ｃを通し、気体供給部４２により真空制御室２０Ｃ内に気体が供給される。これにより、真空制御室２０Ｃが真空ではなくなり、正圧に保持される。
　真空制御室２０Ｃが正圧に保持されると、当該真空制御室２０Ｃに連通されたピストン１２内の連通流路２３に気体が送り込まれ、ピストン１２の先端部１２ｆに正圧が生じる。ここで、正圧とは、大気圧よりも高い圧をいう。これにより、ピストン１２の先端部１２ｆに設けられたキャップ部１９の貫通孔１９ａから矢印Ｌ２の方向に気体が噴出される。その結果、キャップ部１９の先端面１９ｆから被吸着部品が脱着される。すなわち、キャップ部１９の貫通孔１９ａを介して、ピストン１２の先端部１２ｆに被吸着部品が脱着される。
　次に、ピストン１２内に形成された大気開放流路２４について、詳細に説明する。
　大気開放流路２４は、シリンダ１１内に供給された気体のうち、真空制御室２０Ｃと制御圧室２０Ａ及び定圧室２０Ｂとの間に存在する気体の一部を大気開放する。これにより、大気開放流路２４は、制御圧室２０Ａ及び定圧室２０Ｂ側から真空制御室２０Ｃ側への気体の漏れを抑制し、真空制御室２０Ｃを制御圧室２０Ａ及び定圧室２０Ｂに対して十分に独立した空間とする機能を有している。
　大気開放流路２４は、連通流路２３とは交差せず且つ連通しないよう独立に形成されている。大気開放流路２４は、連通流路２３よりもピストン本体部１３の径方向で外側の位置で、ピストン本体部１３の軸方向に沿って延びている。大気開放流路２４の一端部は、ピストン１２の先端部１２ｆを貫通して大気と連通されている。また、大気開放流路２４は、真空制御室２０Ｃと制御圧室２０Ａとの間、及び、真空制御室２０Ｃと定圧室２０Ｂとの間の両方に連通するように形成されている。
　具体的に、大気開放流路２４は、大気連通部２４ａと、大気連通部２４ａと連通された空間連通部２４ｂ，２４ｃとを有している。大気連通部２４ａは、連通流路２３の大気連通部２３ａと略平行に、ピストン本体部１３の軸方向に沿って延びている。大気連通部２４ａは、ピストン１２の溝部１２ａに対応する位置からピストン１２の先端部１２ｆを貫通するまで延びており、大気と連通されている。
　空間連通部２４ｂは、大気連通部２４ａにおける大気と連通された側とは反対側の端部からピストン本体部１３の径方向に屈曲している。空間連通部２４ｂは、ピストン本体部１３の外周面１３ａを貫通するまでピストン本体部１３の径方向に沿って延びており、溝部１２ａにおける仕切り部１７とヘッド部１４との間の空間（すなわち、真空制御室２０Ｃと制御圧室２０Ａとの間）に連通されている。
　空間連通部２４ｃは、大気連通部２４ａにおける溝部１２ｂに対応して位置する途中部からピストン本体部１３の径方向に屈曲している。空間連通部２４ｃは、ピストン本体部１３の外周面１３ａを貫通するまでピストン本体部１３の径方向に沿って延びており、溝部１２ｂにおける仕切り部１８とヘッド部１５との間の空間（すなわち、真空制御室２０Ｃと定圧室２０Ｂとの間）に連通されている。
　このような大気開放流路２４が形成されていることにより、ピストン１２のヘッド部１４とシリンダ１１の内壁面１１ａとの間において矢印Ａ１方向（すなわち、進行方向）に流れる気体は、仕切り部１７によって真空制御室２０Ｃへの侵入が遮られつつ、溝部１２ａにおける空間連通部２４ｂへ流れ込む。そして、空間連通部２４ｂへ流れ込んだ気体は、空間連通部２４ｂと連通された大気連通部２４ａを通して大気へ開放される。これにより、制御圧室２０Ａ側から真空制御室２０Ｃ側への気体の漏れが抑制される。
　また、ピストン１２のヘッド部１５とシリンダ１１との内壁面１１ａとの間において矢印Ａ２方向（すなわち、退行方向）に流れる気体は、仕切り部１８によって真空制御室２０Ｃへの侵入が遮られつつ、溝部１２ｂにおける空間連通部２４ｃへ流れ込む。そして、空間連通部２４ｃへ流れ込んだ気体は、空間連通部２４ｃと連通された大気連通部２４ａを通して大気へ開放される。これにより、定圧室２０Ｂ側から真空制御室２０Ｃ側への気体の漏れが抑制される。
　したがって、真空制御室２０Ｃを真空に保持する際に、制御圧室２０Ａ及び定圧室２０Ｂから真空制御室２０Ｃ側への気体の漏れによる真空破壊を抑制することができる。すなわち、真空制御室２０Ｃの真空を十分に保持することができる。
　以上、本実施形態に係るアクチュエータ１０によれば、ピストン１２内に形成された連通流路２３により、ピストン１２の先端部１２ｆと、真空に保持可能な真空制御室２０Ｃとが連通されている。よって、真空制御室２０Ｃが真空に保持されると、当該真空制御室２０Ｃに連通されたピストン１２内の連通流路２３が真空引きされて、ピストン１２の先端部１２ｆに負圧が生じる。その結果、ピストン１２の先端部１２ｆで被吸着部品の吸着を行うことができる。以上のように、このアクチュエータ１０では、ピストン１２内に形成された連通流路２３によって、ピストン１２の先端部１２ｆに吸着機構を別途設けることなく、被吸着部品の吸着を行うことができる。したがって、被吸着部品の吸着をコンパクトな構成で実現することができる。
　また、本実施形態に係るアクチュエータ１０によれば、シリンダ１１内に供給された気体が、大気開放流路２４によって、真空制御室２０Ｃと制御圧室２０Ａとの間、及び、真空制御室２０Ｃと定圧室との間から大気へ開放される。これにより、制御圧室２０Ａ及び定圧室２０Ｂの両方側から真空制御室２０Ｃ側への気体の漏れを抑制し、真空制御室２０Ｃにおける真空を十分に保持することができる。
　また、本実施形態に係るアクチュエータ１０によれば、大気開放部が、ピストン１２内に形成された大気開放流路２４として構成されているため、ピストン１２とシリンダ１１との配置関係に配慮することなく気体を大気開放することができ、よりコンパクトな構成を実現することが可能となる。
　例えば、ピストン１２の軸方向において、ヘッド部１４，１５における静圧軸受の位置（すなわちシリンダ１１の内壁面１１ａとピストン１２との間に形成された気体の層の位置）は、ピストン１２の往復動によって移動する。本実施形態によれば、ピストン１２内に大気開放部が形成されているため、ピストン１２が往復動しても、静圧軸受と大気開放部とは干渉しない。よって、大気開放部の形成位置によらず、ピストン１２の往復動距離だけを踏まえて静圧軸受用の空間を確保すればよいため、よりコンパクトな構成を実現することが可能となる。
　また、本実施形態に係るアクチュエータ１０によれば、真空制御室２０Ｃが正圧に保持されると、当該真空制御室２０Ｃに連通されたピストン１２内の連通流路２３に気体が送り込まれ、ピストン１２の先端部１２ｆに正圧が生じる。その結果、ピストン１２の先端部１２ｆで被吸着部品の脱着を行うことができる。以上のように、本実施形態によれば、ピストン１２内に形成された連通流路２３によって、ピストン１２の先端部１２ｆに脱着機構を別途設けることなく、被吸着部品の脱着を行うことができる。したがって、コンパクトな構成で被吸着部品の脱着も実現することができる。
　また、本実施形態に係るアクチュエータ１０によれば、ピストン１２の先端部１２ｆで被吸着部品の吸着を行う際に、ピストン１２の先端部１２ｆから異物が吸い込まれることをフィルタ２７によって防止することができる。その結果、異物混入によるアクチュエータ１０の故障を防止することができる。
（第２実施形態）
　次に、図２を参照して、第２実施形態に係るアクチュエータ１０Ａについて説明する。なお、アクチュエータ１０Ａは、第１実施形態に係るアクチュエータ１０と同様の要素や構造を備えている。そのため、第１実施形態に係るアクチュエータ１０と同様の要素や構造には同一の符号を付して詳細な説明は省略し、第１実施形態と異なる部分について説明する。
　図２は、第２実施形態に係るアクチュエータ１０Ａを示す概略断面図である。図２に示すように、本実施形態に係るアクチュエータ１０Ａは、ピストン１２に形成された大気開放流路２４に代えて、シリンダ１１に形成された大気開放部２６を備えている点で、第１実施形態に係るアクチュエータ１０と相違している。大気開放部２６は、シリンダ１１内に供給された気体を大気に開放する。
　大気開放部２６は、シリンダ１１内に供給された気体のうち、制御圧室２０Ａ及び定圧室２０Ｂと真空制御室２０Ｃとの間に存在する気体の一部を大気開放する。これにより、大気開放部２６は、制御圧室２０Ａ及び定圧室２０Ｂ側から真空制御室２０Ｃ側への気体の漏れを抑制し、真空制御室２０Ｃを制御圧室２０Ａ及び定圧室２０Ｂに対して十分に独立した空間とする機能を有している。
　大気開放部２６は、真空制御室２０Ｃと制御圧室２０Ａとの間、及び、真空制御室２０Ｃと定圧室２０Ｂとの間の両方に連通するように形成されている。具体的に、大気開放部２６は、真空制御室２０Ｃと制御圧室２０Ａとの間に形成された第一大気開放部２６ａと、真空制御室２０Ｃと定圧室２０Ｂとの間に形成された第二大気開放部２６ｂとを有している。
　第一大気開放部２６ａは、シリンダ１１におけるピストン１２の溝部１２ａに対応する位置に形成されている。第一大気開放部２６ａは、シリンダ１１の内壁面１１ａから外壁面１１ｂまでを貫通する貫通孔であり、大気と連通されている。これにより、ピストン１２のヘッド部１４とシリンダ１１の内壁面１１ａとの間において矢印Ａ１方向（すなわち、進行方向）に流れる気体は、仕切り部１７によって真空制御室２０Ｃへの侵入が遮られつつ、溝部１２ａにおける第一大気開放部２６ａ内に流れる。そして、第一大気開放部２６ａからシリンダ１１の外側へ大気開放される。
　第二大気開放部２６ｂは、シリンダ１１におけるピストン１２の溝部１２ｂに対応する位置に形成されている。第二大気開放部２６ｂは、シリンダ１１の内壁面１１ａから外壁面１１ｂまでを貫通する貫通孔であり、大気と連通されている。これにより、ピストン１２のヘッド部１５とシリンダ１１の内壁面１１ａとの間において矢印Ａ２方向（すなわち、退行方向）に流れる気体は、仕切り部１８によって真空制御室２０Ｃへの侵入が遮られつつ、溝部１２ｂにおける第二大気開放部２６ｂ内に流れる。そして、第二大気開放部２６ｂからシリンダ１１の外側へ大気開放される。
　なお、本実施形態では、第１実施形態に比べて、ピストン本体部１３の溝部１２ａにおける軸方向長さ、すなわち仕切り部１７とヘッド部１４との間の距離が長くなっている。また、ピストン本体部１３の溝部１２ｂにおける軸方向長さ、すなわち仕切り部１８とヘッド部１５との間の距離が長くなっている。すなわち、ピストン１２の軸方向で静圧軸受と大気開放部２６とが離れて位置している。これは、ピストン１２が往復動しても静圧軸受用の空間と大気開放部２６とが干渉しないようにし、静圧軸受用の空間を十分に確保するためである。
　以上、本実施形態に係るアクチュエータ１０Ａにおいても、上記第１実施形態に係るアクチュエータ１０同様、ピストン１２内に形成された連通流路２３によって、ピストン１２の先端部１２ｆに吸着機構を別途設けることなく、被吸着部品の吸着を行うことができる。したがって、被吸着部品の吸着をコンパクトな構成で実現することができる。
　また、本実施形態に係るアクチュエータ１０Ａによれば、シリンダ１１内に供給された気体が、大気開放部２６によって、真空制御室２０Ｃと制御圧室２０Ａとの間、及び、真空制御室２０Ｃと定圧室との間から大気へ開放される。これにより、制御圧室２０Ａ及び定圧室２０Ｂの両方側から真空制御室２０Ｃ側への気体の漏れを抑制し、真空制御室２０Ｃにおける真空を十分に保持することができる。
（第３実施形態）
　次に、図３を参照して、第３実施形態に係るアクチュエータ１０Ｂについて説明する。なお、アクチュエータ１０Ｂは、第１実施形態に係るアクチュエータ１０と同様の要素や構造を備えている。そのため、第１実施形態に係るアクチュエータ１０と同様の要素や構造には同一の符号を付して詳細な説明は省略し、第１実施形態と異なる部分について説明する。
　図３は、第３実施形態に係るアクチュエータ１０Ｂを示す概略断面図である。図３に示すように、本実施形態に係るアクチュエータ１０Ｂは、定圧室２０Ｂを備えておらず、定圧室２０Ｂに対応する空間に弾性部材５０が設けられている点等で、第１実施形態に係るアクチュエータ１０と相違している。
　アクチュエータ１０Ｂは、第１実施形態と同様に制御圧室２０Ａ及び真空制御室２０Ｃを備えている一方で、第１実施形態とは異なり定圧室２０Ｂを備えていない。すなわち、ピストン１２のヘッド部１５側においては、シリンダ１１内に気体供給部４０から気体が供給されていない。これに対応し、本実施形態では、ピストン１２のヘッド部１５とシリンダ１１の内壁面１１ａとの間に静圧軸受が設けられておらず、ヘッド部１５と内壁面１１ａと１２との間に空気の層が形成されていない。また、ピストン１２は、仕切り部１８及び溝部１２ｂを有していない。
　また、本実施形態に係るアクチュエータ１０Ｂでは、定圧室２０Ｂを備えていないため、定圧室２０Ｂからの気体を大気開放する必要がない。このため、本実施形態に係る大気開放流路２４は、空間連通部２４ｃを有していない。すなわち、本実施形態では、大気開放流路２４は、真空制御室２０Ｃと制御圧室２０Ａとの間を連通するように形成されている一方で、真空制御室２０Ｃと定圧室２０Ｂとの間に連通するようには形成されていない。
　弾性部材５０は、ヘッド部１５とシリンダ１１との間に設けられている。弾性部材５０は、ヘッド部１５の端面１５ｆとシリンダ１１の内壁面１１ａとで区画される空間に配置されている。弾性部材５０は、例えば、コイルばね、ゴム、人工筋肉等である。弾性部材５０は、気体供給部４０から制御圧室２０Ａへの気体の供給に応じて、ピストン１２の軸方向に伸縮し、ピストン１２を往復動させる。
　以上、本実施形態に係るアクチュエータ１０Ｂにおいても、上記第１実施形態に係るアクチュエータ１０同様、ピストン１２内に形成された連通流路２３によって、ピストン１２の先端部１２ｆに吸着機構を別途設けることなく、被吸着部品の吸着を行うことができる。したがって、被吸着部品の吸着をコンパクトな構成で実現することができる。
　また、本実施形態に係るアクチュエータ１０Ｂにおいても、シリンダ１１内に供給された気体が、大気開放流路２４によって、真空制御室２０Ｃと制御圧室２０Ａとの間から大気へ開放される。これにより、制御圧室２０Ａ側から真空制御室２０Ｃ側への気体の漏れを抑制し、真空制御室２０Ｃにおける真空を十分に保持することができる。
（第４実施形態）
　次に、図４を参照して、第４実施形態に係るアクチュエータ１０Ｃについて説明する。なお、アクチュエータ１０Ｃは、第１実施形態に係るアクチュエータ１０と同様の要素や構造を備えている。そのため、第１実施形態に係るアクチュエータ１０と同様の要素や構造には同一の符号を付して詳細な説明は省略し、第１実施形態と異なる部分について説明する。
　図４は、第４実施形態に係るアクチュエータ１０Ｃを示す概略断面図である。図４に示すように、本実施形態に係るアクチュエータ１０Ｃは、ピストン１２の形状及び静圧軸受の位置が異なる点、定圧室２０Ｂに代えて二つの定圧室２０Ｄ，２０Ｅを有している点、及び、ピストン１２内の大気開放流路２４の構成が異なる点で、第１実施形態に係るアクチュエータ１０と相違している。
　本実施形態において、ピストン１２の軸方向で、ヘッド部１４，１５の幅は、第１実施形態に比べて小さくなっており、仕切り部１７，１８の幅と略同じとなっている。ピストン１２は、ヘッド部１５の端面１５ｆ側から突出する本体延長部２５と、本体延長部２５に形成されたヘッド部２８，２９とを有している。本体延長部２５は、ピストン本体部１３とロッド部１６との間に配置されている。本体延長部２５は、略円柱状であって、シリンダ１１の軸方向に沿ってヘッド部１５の端面１５ｆ側から延びている。本体延長部２５は、ピストン本体部１３と一体的に形成されており、ピストン本体部１３の外径と略同じ外径を有している。本体延長部２５は、ヘッド部２９の端面２９ｆ（ピストン本体部１３とは反対側の端面）においてロッド部１６と接続されている。
　ヘッド部２８，２９は、本体延長部２５の外径が拡大された拡径部である。ヘッド部２８，２９は、略円板状であって、本体延長部２５の外周面２５ａよりも外側に突出している。また、ピストン１２の軸方向で、ヘッド部２８，２９の幅は、仕切り部１７，１８の幅よりも大きい。
　ヘッド部２８は、本体延長部２５の途中部に位置しており、ヘッド部２９は、本体延長部２５の端部（端面１５ｆとは反対側の端部）に位置している。ヘッド部２８とヘッド部２９とは、所定の間隔を有して位置している。これにより、本体延長部２５は、ヘッド部２８とヘッド部２９とに挟まれた部分を有する。ヘッド部２８，２９の外径が本体延長部２５の外径よりも大きいため、当該挟まれた部分は、ヘッド部２８，２９よりも内側に窪んでいる。すなわち、ピストン１２におけるヘッド部２８とヘッド部２９との間には、溝部１２ｅが形成されている。
　本実施形態では、ピストン１２のヘッド部２８，２９とシリンダ１１の内壁面１１ａとの間に静圧軸受が設けられている。よって、ピストン１２のヘッド部２８とシリンダ１１の内壁面１１ａとの間には、定圧室２０Ｄ（詳細は、後述する）からの気体が矢印Ａ３方向に流れる。すなわち、ピストン１２のヘッド部２８とシリンダ１１の内壁面１１ａとの間に、気体の層が形成されている。また、ピストン１２のヘッド部２９とシリンダ１１の内壁面１１ａとの間には、定圧室２０Ｅ（詳細は、後述する）からの気体が矢印Ａ４方向に流れる。すなわち、ピストン１２のヘッド部２９とシリンダ１１の内壁面１１ａとの間に、気体の層が形成されている。これにより、ピストン１２は、シリンダ１１の内壁面１１ａに対して非接触状態とされている。
　なお、本実施形態では、ピストン１２のヘッド部１４，１５とシリンダ１１の内壁面１１ａとの間に静圧軸受が設けられていない。よって、ピストン１２のヘッド部１４，１５とシリンダ１１の内壁面１１ａとの間には静圧軸受による気体の層は形成されないが、制御圧室２０Ａ及び定圧室２０Ｄと真空制御室２０Ｃとの差圧により、ヘッド部１４と内壁面１１ａとの間には矢印Ａ１方向に気体が流れ、ヘッド部１５と内壁面１１ａとの間には矢印Ａ２方向に気体が流れる。
　定圧室２０Ｄ（第三気体室）は、ヘッド部１５、ヘッド部２８、及びシリンダ１１の間に形成されている。定圧室２０Ｄは、ヘッド部１５の端面１５ｆと、ヘッド部２８の端面２８ｆ（ピストン本体部１３側の端面）と、シリンダ１１の内壁面１１ａとで区画されている。定圧室２０Ｄは、気体供給部４０からの気体が一定圧で供給される。具体的に、定圧室２０Ｄは、定圧流路３２から分岐する分岐流路３２ａと接続されている。これにより、気体供給部４０からの気体が、一定圧の状態で定圧室２０Ｄへ供給される。
　定圧室２０Ｅ（第三気体室）は、ヘッド部２９とシリンダ１１との間に形成されている。定圧室２０Ｅは、ヘッド部２９の端面２９ｆと、シリンダ１１の内壁面１１ａとで区画されている。定圧室２０Ｅは、気体供給部４０からの気体が一定圧で供給される。具体的に、定圧室２０Ｅは、定圧流路３２から分岐する分岐流路３２ｂと接続されている。これにより、気体供給部４０からの気体が、一定圧の状態で定圧室２０Ｅへ供給される。
　また、本実施形態において、ピストン１２内の大気開放流路２４は、大気連通部２４ａ、空間連通部２４ｂ，２４ｃに加え、大気連通部２４ａと連通された空間連通部２４ｄを有している。
　空間連通部２４ｄは、大気連通部２４ａにおける溝部１２ｅに対応して位置する途中部からピストン本体部１３の径方向に屈曲している。空間連通部２４ｄは、ピストン本体部１３の外周面１３ａを貫通するまでピストン本体部１３の径方向に沿って延びており、溝部１２ｅにおけるヘッド部２８とヘッド部２９との間の空間（すなわち、定圧室２０Ｄと定圧室２０Ｅとの間）に連通されている。
　ピストン１２のヘッド部２８とシリンダ１１の内壁面１１ａとの間において矢印Ａ３方向（すなわち、進行方向）に流れる気体は、溝部１２ｅにおける空間連通部２４ｄへ流れ込む。そして、空間連通部２４ｄへ流れ込んだ気体は、空間連通部２４ｄと連通された大気連通部２４ａを通して大気へ開放される。また、ピストン１２のヘッド部２９とシリンダ１１の内壁面１１ａとの間において矢印Ａ４方向（すなわち、退行方向）に流れる気体は、溝部１２ｅにおける空間連通部２４ｄへ流れ込む。そして、空間連通部２４ｄへ流れ込んだ気体は、空間連通部２４ｄと連通された大気連通部２４ａを通して大気へ開放される。以上のように、定圧室２０Ｄと定圧室２０Ｅとの間からも気体が大気開放される。これにより、定圧室２０Ｄ，２０Ｅ側から真空制御室２０Ｃ側への気体の漏れが抑制されるため、真空制御室２０Ｃを真空に保持する際に、当該気体の漏れによる真空破壊を抑制することができる。すなわち、真空制御室２０Ｃの真空を十分に保持することができる。
　本実施形態では、制御圧室２０Ａ及び定圧室２０Ｅが、供給源である気体供給部４０からの気体の供給に応じてピストン１２を往復動させる。すなわち、制御圧室２０Ａ及び定圧室２０Ｅへの気体の供給に応じて制御圧室２０Ａ内の圧力と定圧室２０Ｅ内の圧力との差が生じ、この差に応じてピストン１２の進行移動及び退行移動が行われる。なお、定圧室２０Ｄでは、ヘッド部１５の端面１５ｆとヘッド部２８の端面２８ｆとの面積が同じであるため、端面１５ｆに対して退行方向に働く力と端面２８ｆに対して進行方向に働く力とが互いに打ち消し合い、ピストン１２を進行方向及び退行方向に移動させる力が生じない。このため、定圧室２０Ｄ内の圧力によらず、上述したように制御圧室２０Ａと定圧室２０Ｅとの圧力差に起因してピストン１２進行移動及び退行移動が行われる。
　以上、本実施形態に係るアクチュエータ１０Ｃにおいても、上記第１実施形態に係るアクチュエータ１０同様、ピストン１２内に形成された連通流路２３によって、ピストン１２の先端部１２ｆに吸着機構を別途設けることなく、被吸着部品の吸着を行うことができる。したがって、被吸着部品の吸着をコンパクトな構成で実現することができる。
　以上、本発明の種々の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、各請求項に記載した要旨を変更しない範囲で変形し、又は他に適用してもよい。
　上記第１、第３及び第４実施形態において、大気開放部が、第一気体室と第二気体室との間、及び、第一気体室と第三気体室との間の両方ではなく、何れか一方に連通するように形成されていてもよい。すなわち、大気開放流路２４は、空間連通部２４ｂ及び空間連通部２４ｃの両方ではなく、空間連通部２４ｂ及び空間連通部２４ｃの何れか一方を有していてもよい。また、大気開放部２６は、第一大気開放部２６ａ及び第二大気開放部２６ｂの両方ではなく、第一大気開放部２６ａ及び第二大気開放部２６ｂの何れか一方を有していてもよい。また、第４実施形態において、大気開放流路２４は、空間連通部２４ｄを有していなくてもよい。
　さらに、上記第１、第２、及び第４実施形態のように、気体室が、気体の供給に応じてピストン１２を往復動させる第二気体室及び第三気体室を有している場合には、大気開放部を備えていなくてもよい。すなわち、ピストン１２内に大気開放流路２４が形成されていなくてもよく、シリンダ１１に大気開放部２６が形成されていなくてもよい。
　また、上記第３実施形態では、気体室のうち定圧室２０Ｂを有していないとしたが、これに限られず、気体室のうち制御圧室２０Ａを有していないとしてもよい。また、上記第３実施形態では、定圧室２０Ｂに対応する空間に弾性部材が設けられているとしたが、これに限られず、制御圧室２０Ａ又は定圧室２０Ｂに対応する空間に直動モータ等が設けられていてもよい。
　また、真空制御室２０Ｃは、正圧に保持されなくてもよい。真空制御室２０Ｃは、切替部２２を介することなく、真空発生部４１に直接接続されていてもよい。
　また、ロッド部１６の先端部１６ｆには、キャップ部１９が設けられていなくてもよい。フィルタ２７は、キャップ部１９の貫通孔１９ａ内ではなく、ピストン１２の先端部１２ｆに直接設けられていてもよい。さらに、フィルタ２７が設けられていなくてもよい。
　上記実施形態では、真空制御室２０Ｃが制御圧室２０Ａと定圧室２０Ｂとの間に位置しているとしたが、これに限られない。例えば、真空制御室２０Ｃが制御圧室２０Ａ及び定圧室２０Ｂよりもロッド部１６から離れて位置していてもよい。
　１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ…アクチュエータ、１１…シリンダ、１２…ピストン、２０Ａ…制御圧室（第二気体室）、２０Ｂ…定圧室（第三気体室）、２０Ｃ…真空制御室（第一気体室）、２０Ｄ，２０Ｅ…定圧室（第三気体室）、２３…連通流路、２４…大気開放流路（大気開放部）、２６…大気開放部、２７…フィルタ。

Claims (7)

  1. 　気体が供給されることにより推力を発生するアクチュエータであって、
    　前記気体が内部に供給されるシリンダと、
    　前記シリンダ内を往復動するピストンと、
    　前記シリンダ内に形成される気体室と、を備え、
    　前記気体室は、真空に保持可能な第一気体室と、前記気体が供給され、その供給に応じて前記ピストンを往復動させる第二気体室及び第三気体室とを有し、
    　前記ピストン内には、前記ピストンの先端部と前記第一気体室とを連通する連通流路が形成されている、アクチュエータ。
  2. 　前記第一気体室と前記第二気体室との間、及び、前記第一気体室と前記第三気体室との間の少なくとも一方に連通するように形成されており、前記シリンダ内に供給された前記気体を大気に開放する大気開放部を備える、請求項１に記載のアクチュエータ。
  3. 　気体が供給されることにより推力を発生するアクチュエータであって、
    　前記気体が内部に供給されるシリンダと、
    　前記シリンダ内を往復動するピストンと、
    　前記シリンダ内に形成される気体室と、
    　前記シリンダ内に供給された前記気体を大気に開放する大気開放部と、備え、
    　前記気体室は、真空に保持可能な第一気体室と、前記気体が供給され、その供給に応じて前記ピストンを往復動させる第二気体室とを有し、
    　前記ピストン内には、前記ピストンの先端部と前記第一気体室とを連通する連通流路が形成されており、
    　前記大気開放部は、前記第一気体室と前記第二気体室との間に連通するように形成されている、アクチュエータ。
  4. 　前記気体室は、前記気体が供給され、その供給に応じて前記ピストンを往復動させる第三気体室を更に有し、
    　前記大気開放部は、前記第一気体室と前記第三気体室との間にも連通するように形成されている、請求項３に記載のアクチュエータ。
  5. 　前記大気開放部は、前記ピストン内に形成された大気開放流路である、請求項２～４の何れか一項に記載のアクチュエータ。
  6. 　前記第一気体室は、正圧にも保持可能である、請求項１～５の何れか一項に記載のアクチュエータ。
  7. 　前記ピストンの先端部には、フィルタが設けられている、請求項１～６の何れか一項に記載のアクチュエータ。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11355366B2 (en) * 2018-08-30 2022-06-07 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Systems and methods for shuttered wafer cleaning
KR102500362B1 (ko) 2018-10-19 2023-02-14 주식회사 엘지에너지솔루션 배터리 관리 장치

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001047385A (ja) * 1999-08-05 2001-02-20 Fuji Mach Mfg Co Ltd 電気部品装着ヘッド
JP2012143861A (ja) * 2010-12-20 2012-08-02 Kyocera Corp 真空吸着ノズル組み立て体

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001355745A (ja) * 2000-06-13 2001-12-26 Tokyo Electron Ltd ゲートバルブ
JP3825737B2 (ja) * 2002-10-24 2006-09-27 住友重機械工業株式会社 精密位置決め装置及びこれを用いた加工機

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001047385A (ja) * 1999-08-05 2001-02-20 Fuji Mach Mfg Co Ltd 電気部品装着ヘッド
JP2012143861A (ja) * 2010-12-20 2012-08-02 Kyocera Corp 真空吸着ノズル組み立て体

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110259867A (zh) * 2019-06-25 2019-09-20 中国船舶科学研究中心（中国船舶重工集团公司第七0二研究所） 一体式自平衡减振气缸

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