JP2005003163A - 精密気体圧制御弁 - Google Patents
精密気体圧制御弁 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005003163A JP2005003163A JP2003169763A JP2003169763A JP2005003163A JP 2005003163 A JP2005003163 A JP 2005003163A JP 2003169763 A JP2003169763 A JP 2003169763A JP 2003169763 A JP2003169763 A JP 2003169763A JP 2005003163 A JP2005003163 A JP 2005003163A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spool
- gas
- pressure
- pressure chamber
- sleeve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Servomotors (AREA)
- Fluid-Driven Valves (AREA)
- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
Abstract
【解決手段】精密空気圧制御弁は、スリーブ230の内壁でスプール240のランド部を支持する。空気軸受部302,304は、ランド部の表面に、細長い浅溝が設けられる。空気は、高圧側から浅溝を通り、より狭い隙間に向かって絞られて低圧側に流れるので、いわゆる表面絞り装置となる。空気軸受部306は、排気口側ランド部248の表面に細長いポケット溝が設けられる。空気は、高圧側からポケット溝を通り、より狭い隙間に向かって絞られて低圧側に流れるので、いわゆるポケット絞り装置となる。これらの絞り効果により、絞り部分で圧力上昇を生じ、スプール240をスリーブ230に対し浮上させ、スプール240の移動を滑らかなものとできる。
【選択図】 図7
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、精密気体圧制御弁に係り、特に複数のランド部を有するスプールと、スプールを軸方向移動可能に支持するスリーブとを備え、スリーブに対するスプールの軸方向移動駆動により負荷圧を制御する精密気体圧制御弁に関する。
【0002】
【従来の技術】
流体圧回路や流体供給回路において管路の圧力制御や流量調整を行うために、移送弁あるいはサーボ弁等と呼ばれるフィードバック機構を内蔵した制御弁装置が用いられる。例えば、特許文献1においては、ノズルフラッパ弁を用いた油圧サーボ機構が開示され、特許文献2には、トルクモータでスプールを駆動する油圧回路の流量等を制御するサーボ弁が開示される。
【0003】
【特許文献1】
特開昭57−51002号公報
【特許文献2】
特開昭42−12880号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
このように、従来から制御弁装置は広く用いられているが、上記特許文献等からも理解できるように、油圧回路やオイル供給回路の制御弁としての利用から始まっており、したがって対象流体として油が取り扱われている。近年、空気等の気体を対象流体として、空気圧制御弁等の利用が進められ、例えば、空気ばねの制御等に用いられている。
【0005】
そこで、従来から知られている油圧回路やオイル供給回路の制御弁の技術を気体制御弁に応用することが考えられる。しかし、気体制御弁に用いられる作動流体は、一般に乾燥した高圧ガスであり、潤滑性に優れ非圧縮性流体である油とは大きくその特性が異なる。また、扱われる流体圧や流速等も異なる。したがって、精密に気体圧や気体流量等の制御を行おうとすると、油圧回路等に用いられる制御弁の技術をそのまま応用するわけには行かないことが多い。特に、精密な制御において、制御弁の可動部における潤滑が問題となる。例えば、従来から知られているスプールとスリーブの構成を有する制御弁においては、スリーブに対するスプールの動きが流体圧等の精密な制御に影響を及ぼす。従来の油を用いる制御弁においては、スリーブに対してスプールが摺動しても、作動油の潤滑性により、その動きが問題となることは少ない。これに対し、作動流体に気体を用いる制御弁においては、気体に油と同等の潤滑性は期待できない。したがって、スリーブに対しスプールが摺動するときの動きの滑らかさが劣り、精密な流体圧等の制御に影響を及ぼす。
【0006】
本発明の目的は、気体圧等の精密な制御を可能とする精密気体圧制御弁を提供することである。他の目的は、スリーブに対するスプールの動きをより滑らかとする精密気体圧制御弁を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明に係る精密気体圧制御弁は、間隔をおいて軸方向に配列された複数のランド部と、隣接するランド部を接続するステム部とを含むスプールと、スプールを軸方向移動可能に支持する内壁を有し、スプールと協働してスプールの隣り合うランド部の間の空間を内壁で囲むことで少なくとも第1圧力室と第2圧力室とを形成するスリーブであって、第1圧力室に対し1次側気体圧を有する気体を供給する供給口と、第2圧力室から気体を排気する排気口と、第1圧力室又は第2圧力室から2次側気体圧を有する気体を取出して出力する負荷口とを含むスリーブと、スプールに取り付けられる移動復元手段と、スプールのランド部の外周と、ランド部に対向するスリーブの内壁との間に設けられる気体軸受部と、スプールに取り付けられ、スプールを軸方向に移動駆動するスプール移動機構と、を備え、スプール移動機構の駆動に応じ、第1圧力室及び第2圧力室とがスリーブの供給口及び排気口及び負荷口に対し相対的に滑らかに移動することにより、負荷口の2次側気体圧を制御することを特徴とする。
【0008】
上記構成の精密気体圧制御弁は、スプールに取り付けられるスプール移動機構によりスプールがスリーブに対し移動駆動されるタイプで、いわば直接駆動型の精密気体圧制御弁である。この直接駆動型の精密気体圧制御弁において、スプールのランド部の外周と、ランド部に対向するスリーブの内壁との間に気体軸受部が設けられる。したがって、スプールはスリーブに対し、気体軸受部により浮上して支持され、スプール移動機構により軸方向に移動駆動されるので、摺動に比べ、スリーブに対するスプールの動きがより滑らかとなり、気体圧等の精密な制御が可能となる。
【0009】
また、本発明に係る精密気体圧制御弁において、スプール移動機構を制御する制御回路と、スプールに設けられ、スプールの軸方向速度を検出するサーチコイルと、検出されたスプールの軸方向速度に基づき、スプールの運動に関するダンピング成分を制御回路に帰還する速度帰還回路と、を備えることを特徴とする。
【0010】
直接駆動型の精密気体圧制御弁においては、スリーブに対するスプールの運動は、スプールに取り付けられたスプール移動機構により行われるので、主に質量要素とばね要素とで構成される運動系となる。したがって、ダンピング要素が少ない構成である。上記構成により、サーチコイルによりスプールの軸方向速度を検出し、これを制御回路にフィードバックする。このことで、質量系とばね系とで構成される運動系にダンピング要素を付与することができ、スリーブに対するスプールの動きをより滑らかなものとでき、気体圧等の精密な制御が可能となる。
【0011】
また、本発明に係る精密気体圧制御弁は、スプールとスリーブとの協働により形成されて2次側気体圧を有する気体が帰還される帰還圧力室を有し、スプールは、ランド部にステム部を介して接続され、ランド部の気体圧受面積より異なる気体圧受面積を有するカラー部を含み、スリーブは、カラー部を軸方向移動可能に支持するカラー支持内壁部を含み、スプールのランド部とカラー部の間の空間を内壁で囲むことで帰還圧力室を形成するスリーブであり、帰還圧力室に2次側気体圧を有する気体が導かれることで、気体圧受面積の差に対応する2次側気体圧の帰還力がスプールに与えられることを特徴とする。
【0012】
直接駆動型の精密気体圧制御弁においては、スプールにスプール移動機構が取り付けられるので、例えばスリーブを開口部を除いて気密なケースとし、その内部でスプールを移動させるという構成がとりにくく、スプールの両端は大気に開放されている構成となることが多い。このような開放型スプールにおいては、2次側気体圧をスプールの運動にフィードバックしようとするとき、スプールの端部に直接2次側気体圧をフィードバックすることができない。
【0013】
上記構成により、ランド部にステム部を介して接続されるカラー部を設け、さらに、カラー部の気体圧受面積をランド部の気体圧受面積より小さくする。そして、ランド部とカラー部の間の空間をスリーブの内壁で囲んで帰還圧力室を形成する。この帰還圧力室に2次側気体圧を有する気体が導かれる。したがって、ランド部とカラー部の気体圧受面積の差に対応する2次側気体圧の帰還力がスプールに与えられ、2次側気体圧がスプールの運動にフィードバックされる。このフィードバックにより、スプールの動きをより精密に制御でき、気体圧等の精密な制御が可能となる。
【0014】
また、本発明に係る精密気体圧制御弁は、間隔をおいて軸方向に配列された複数のランド部と、隣接するランド部を接続するステム部とを含むスプールと、スプールを軸方向移動可能に支持する内壁を有し、スプールと協働してスプールの隣り合うランド部の間の空間を内壁で囲むことで少なくとも第1圧力室と第2圧力室とを形成するスリーブであって、第1圧力室に対し1次側気体圧を有する気体を供給する供給口と、第2圧力室から気体を排気する排気口と、第1圧力室又は第2圧力室から2次側気体圧を有する気体を取出して出力する負荷口とを含むスリーブと、スプールに取り付けられる移動復元手段と、スプールのランド部の外周と、ランド部に対向するスリーブの内壁との間に設けられる気体軸受部と、駆動機構により軸方向に移動駆動されるフラッパと、フラッパに対し開口部を有するノズルとを含み、ノズルに気体を供給し、フラッパとノズルの開口部との距離に応じて出力される出力気体圧に応じてスプールを軸方向に移動駆動するスプール移動機構と、を備え、スプール移動機構の駆動に応じ、第1圧力室及び第2圧力室とがスリーブの供給口及び排気口及び負荷口に対し相対的に滑らかに移動することにより、負荷口の2次側気体圧を制御することを特徴とする。
【0015】
上記構成の精密気体圧制御弁は、フラッパとノズルとの協働により、フラッパとノズルの開口部との距離に応じて出力される出力気体圧に応じ、スリーブに対しスプールが軸方向に移動駆動されるタイプで、いわばノズルフラッパ駆動型の精密気体圧制御弁である。このノズルフラッパ駆動型の精密気体圧制御弁において、スプールのランド部の外周と、ランド部に対向するスリーブの内壁との間に気体軸受部が設けられる。したがって、スプールはスリーブに対し、気体軸受部により浮上して支持され、スプール移動機構により軸方向に移動駆動されるので、摺動に比べ、スリーブに対するスプールの動きがより滑らかとなり、気体圧等の精密な制御が可能となる。
【0016】
また、本発明に係る精密気体圧制御弁において、スリーブは、一端側にスプール移動機構のノズルが設けられ、開口部分を除き気密にスプールをその内部に収納するケース状のスリーブであって、ノズルとスプールの一端側との間にノズルに供給される気体が導入されるノズル側圧力室が形成され、スプールの他端側とスリーブの他端側との間に2次側気体圧を有する気体が導入される帰還圧力室が形成されることが好ましい。
【0017】
上記構成により、開口部分を除き気密にスプールをその内部に収納するケース状のスリーブにおいて、一端側にスプール移動機構のノズルが設けられ、ノズルとスプールの一端側との間にノズルに供給される気体が導入されるノズル側圧力室が形成される。公知のノズルフラッパ機構の作用により、ノズル側圧力室の圧力は、フラッパとノズルの開口部との距離に応じた出力気体圧となり、これによりスプールに移動駆動力を与えることができる。また、スプールの他端側とスリーブの他端側との間に帰還圧力室が設けられ、帰還圧力室には2次側気体圧を有する気体が導入される。したがって、スプールに与えられる移動駆動力に対し、2次側気体圧がフィードバックされる。このフィードバックにより、スプールの動きをより精密に制御でき、気体圧等の精密な制御が可能となる。
【0018】
また、ノズル側圧力室には、1次側気体圧に対し絞り機構を経由させた後の気体が供給されることが好ましい。絞り機構により、気体回路において適当な流体抵抗成分を加えることができ、これによりノズルフラッパ弁の作動を安定かつ精密なものとできる。したがって、気体圧等の精密な制御が可能となる。
【0019】
また、本発明に係る精密気体圧制御弁において、スプールの軸方向に沿いその内部に設けられる気体流路であって、スリーブの供給口に向かい合い1次側気体圧を有する気体を取り込む取込口と、絞り機構を介してスプール移動機構のノズルに向かい合うノズル側開口部と、気体軸受部に対し開口する軸受側開口部とを有する気体流路を含むことが好ましい。上記構成により、1次側気体圧を有する気体を振り分けて、スプール移動機構のノズルに供給するとともに、気体軸受部にも供給することができる。
【0020】
また、軸受側開口部は、気体流路から絞り機構を介した後スリーブに対しポケット状に広がって開口する開口部であることが好ましい。絞り機構を設けることで、気体回路において適当な流体抵抗成分を加えることができ、これにより気体軸受の作動をより安定なものとできる。したがって、スリーブに対するスプールの動きをより安定に滑らかとすることができ、気体圧等の精密な制御が可能となる。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下に図面を用いて本発明に係る実施の形態につき詳細に説明する。以下では、対象気体を空気とし、空気ばねに供給する空気圧を精密に制御する精密空気圧制御弁を述べるが、用途は空気ばねに限られない。また、空気圧の精密な制御のほか、空気の流量を精密に制御するものであってもよい。例えば半導体露光装置や半導体検査装置における除振テーブルに供給する空気圧の精密な制御等であってもよく、あるいは空気を精密に一定流量流すための精密空気圧制御弁であってもよい。また、対象気体は、空気以外の気体であってもよい。例えば、窒素ガス、不活性ガス等を用いることもできる。
【0022】
図1は、直接駆動型の精密空気圧制御弁10の断面図である。この精密空気圧制御弁10は、筐体本体部12と駆動モータ取付蓋14とサーチコイル取付蓋16とで構成される筐体の内部に、スリーブ30とスプール40が収納され、スプール40は、スプール駆動モータ80により直接駆動される。
【0023】
筐体本体部12は、3つの空気圧ポートを有する概略円筒状の部材である。3つの空気圧ポートは、円筒状の壁を貫通する3つの穴で、それぞれ1次側空気圧Psを有する空気を供給する供給ポート22、負荷である空気ばねに2次側空気圧Paを出力する負荷ポート24及び大気圧Poに向けて開放される排気ポート26である。供給ポート22、負荷ポート24及び排気ポート26は、駆動モータ取付蓋14側からサーチコイル取付蓋16側の方向に、この順序で配列される。各ポートには適当なジョイントでもって、空気を導くパイプ等が接続される。
【0024】
筐体本体部12の円筒状の両端には、駆動モータ取付蓋14とサーチコイル取付蓋16がそれぞれ取り付けられて外部から遮蔽される。したがって、筐体本体部12と駆動モータ取付蓋14とサーチコイル取付蓋16と各ポートに接続されるパイプにより、気密なケースが形成され、その内部は、外部のごみ等による汚染から保護される。
【0025】
スリーブ30は、筐体本体部12の内周壁に固定して取り付けられ、その形状が精密に加工されて形成される概略円筒状の部材である。すなわち、スリーブ30の内周部は、後述する空気軸受部100,102によりスプール40を軸方向に移動可能に支持するために、精密な内径に加工される内壁を有する。そしてその内壁には、スプール40の各部の配置と寸法に精密に対応するように、精密な配置関係と寸法に加工される供給口32と負荷口34と排気口36の開口部が設けられる。供給口32、負荷口34及び排気口36は、それぞれ筐体本体部12の供給ポート22、負荷ポート24及び排気ポート26とそれぞれ接続される。
【0026】
スプール40は、直径の異なる円板及び軸を複数軸方向に配列して接続して構成される部材である。スプール40とスリーブ30の部分を抜き出した断面図を図2に示す。スプール40の各構成要素は、スリーブ30の供給口32側から排気口36側に向かう軸方向に沿って、「モータ取付軸52−供給口側ランド部42−第1圧力室ステム部54−中央ランド部44−第2圧力室ステム部56−排気口側ランド部46−緩衝室ステム部58−緩衝ランド部48−帰還室ステム部60−カラー部50−サーチコイル取付軸61」の順に配列される。
【0027】
スプール40とスリーブ30とは、協働して精密な空気圧制御のための空気回路を形成する。そのため、スプール40の各要素の形状及び寸法は、以下のように、スリーブ30の各要素の形状及び寸法と密接な関係で設定される。
【0028】
スプール40のランド部は、スリーブ30の内径D0よりやや小さい外径D1を有する円板であり、スリーブ30の内壁により支持されるものである。例えば、スリーブ30の内径D0を10mmとして、各ランド部の外径D1をD0から約7μm小さい値とすることができる。
【0029】
スプール40のカラー部50は、ランド部の外径D1より小さい外径D2を有する円板で、外径D2は後述する2次側空気圧の帰還量で定めることができる。例えば、上記の例で、D2=7mmとすることができる。スリーブ30には、カラー部50に対応し、カラー部50の外周を軸方向移動可能に支持するためのカラー部支持材38が配置される。カラー部支持材38は、外径がスリーブ30の内径D0で、内径がカラー部50の外径D2よりやや小さ目のリングで構成することができる。
【0030】
スプール40のステム部は、隣り合うランド部の間、あるいはランド部とカラー部50との間を接続する軸で、緩衝室ステム部58を除き、同じ外径D3を有する。したがって、外径D3は、各ランド部の外径D1及びカラー部50の外径D2より小さく定められ、例えば、上記の例でD3=5mmとすることができる。緩衝室ステム部58の外径は、各ランド部の外径D1より一回り小さい適当な大きさに設定される。例えば、上記の例で、約9mmとすることができる。
【0031】
このように、各ステム部の軸外径は、その両側のランド部の直径あるいはカラー部の直径より小さく設定され、各ランド部及びカラー部はスリーブにより支持される。すなわち、各ステム部に対応するところには、スリーブとの間にそれぞれ空間が形成される。これらの空間には、空気を導き、あるいは流し、あるいは保持することができるので、圧力室と呼ぶことにする。すなわち、供給口側ランド部42と中央ランド部44との間の空間をスリーブ30の内壁で囲むことで第1圧力室62が形成され、中央ランド部44と排気口側ランド部46との間の空間をスリーブ30の内壁で囲むことで第2圧力室64が形成される。また、排気口側ランド部46と緩衝ランド部48との間の空間をスリーブ30の内壁で囲むことで緩衝圧力室66が形成され、緩衝ランド部48とカラー部50との間の空間をスリーブ30の内壁で囲むことで帰還圧力室68が形成される。
【0032】
中央ランド部44の幅W1は、スリーブ30の負荷口34の開口幅W0と精密に同じ寸法に設定される。好ましくは中央ランド部44の幅W1を負荷口34の開口幅W0より微小量だけ大きく設定するのがよい。図2に示す状態は、中央ランド部44の幅W1でちょうど負荷口34の開口幅W0を覆った状態で、精密空気圧制御弁10の初期状態に相当する。
【0033】
第1圧力室ステム部54の長さは、供給口32の開口幅より十分大きく設定される。また、第2圧力室ステム部56の長さは、排気口36の開口幅より十分大きく設定される。
【0034】
スプール40の内部には、第1圧力室ステム部54に一方側の開口を有し、緩衝室ステム部58に他方側の開口を有するバイパス流路70が設けられる。バイパス流路70は、第1圧力室62と緩衝圧力室66とを連通する機能を有する。すなわち、緩衝圧力室66は第1圧力室62と同じ空気圧となる。
【0035】
空気軸受部100,102は、ランド部とスリーブ内壁との間に設けられた高圧の空気を流すことのできる隙間であって、スリーブ30に対しスプールを浮上させて支持する機能を有する。空気軸受部100は、供給口側ランド部42とスリーブ30の内壁との間に設けられ、空気軸受部102は、排気口側ランド部46とスリーブ30の内壁との間に設けられる。
【0036】
図3は、空気軸受部100周辺の供給口側ランド部42の斜視図である。供給口側ランド部42には浅溝110が設けられる。浅溝110の深さは、例えば、供給口側ランド部42とスリーブ30との隙間が約7μmの例において、約3−20μmとすることができる。浅溝110の長さは、供給口側ランド部42の幅の一部でよい。例えば、供給口側ランド部42の幅の約1/2とすることができる。この浅溝110が設けられる方向は、第1圧力室ステム部54側の端部から始まって、モータ取付軸52側に向かう方向に延びる。第1圧力室ステム部54側は第1圧力室62側で、供給口32を介し1次側空気圧Psが供給される側である。モータ取付軸52側は、大気圧Poに開放される側である。すなわち、浅溝110が設けられる方向は、空気圧が高い方から低い方に向かって延びるように設けられる。
【0037】
空気軸受部102における排気口側ランド部46においても同様な浅溝が設けられる。その延びる方向は、緩衝圧力室66側から第2圧力室64側に向かう方向である。すなわち、1次側空気圧Ps側から大気圧Po側に向かう方向に延びるように設けられる。
【0038】
図1に戻り、筐体本体部12には、スリーブ30の負荷口34に向かって一方側の開口を有し、帰還圧力室68に向けて他方側の開口を有する帰還流路72が設けられる。このように、帰還流路72は、負荷口34と帰還圧力室68とを連通する機能を有する。したがって、帰還圧力室68の圧力は、負荷口34の圧力が帰還され、負荷圧と同じ空気圧となる。帰還流路72の帰還圧力室68に向かう開口部には、絞り部74が設けられる。絞り部74は、例えばオリフィス絞りで構成できる。絞り部74を帰還流路72に配置することで、適当な流体抵抗を付加することができ、負荷口34の圧力である2次側空気圧をより安定した状態で帰還圧力室68に帰還することができる。
【0039】
スプール40のモータ取付軸52には、スプール駆動モータ80の駆動軸83が取り付けられるとともに、駆動モータ取付蓋14との間にコイルばね82が設けられる。スプール駆動モータ80は、駆動軸83の他端部に巻回されるコイル84と、駆動モータ取付蓋14に取り付けられる永久磁石86とを含むボイスコイルモータで構成することができる。スプール駆動モータ80への駆動信号は図示されていない制御回路から入力される。したがって、駆動信号に応じ、スプール駆動モータ80の駆動軸を介し、スプール40を軸方向に移動駆動することができる。
【0040】
スプール40のサーチコイル取付軸61には、サーチコイル90の移動軸93が取り付けられるとともに、サーチコイル取付蓋16との間にコイルばね92が設けられる。コイルばね92は、スプール駆動モータ80側のコイルばね82とともに、スプール40に対する移動復元手段を構成する。移動復元力は、調整ねじ93により適当な量に調整可能である。すなわち、スプール40の運動は、スプール駆動モータ80に与えられる駆動力と、移動復元手段により与えられる復元力とのバランスによって定まる。
【0041】
サーチコイル90は、移動軸93の他端部に巻回されるコイル94と、サーチコイル取付蓋16に取り付けられる永久磁石96を含んで構成することができる。スプール40が軸方向に移動するときの速度は、コイル94に励起される信号を処理して得ることができる。得られたスプール40の速度値は、図示されていない制御回路に帰還される。
【0042】
上記構成の直接駆動型精密空気圧制御弁10の動作及び作用を説明する。精密空気圧制御弁10において、供給ポート22には1次側空気圧Psが供給され、排気ポート26は大気に開放され大気圧Poとなっている。負荷ポート24は、図示されていない負荷である空気ばねに接続されている。初期状態においては、図示されていない制御回路からスプール駆動モータ80には駆動信号はゼロである。この状態で調整ねじ93を適当に調整することで、図2に示すように、中央ランド部44が負荷口34をちょうど覆うように設定する。この状態において、第1圧力室62は1次側空気圧Psを有する空気で満たされるが、中央ランド部44が負荷口34をちょうど覆っているので、負荷口34には1次側空気圧Psを有する空気が流れない。同様に、中央ランド部44が負荷口34をちょうど覆っているので、負荷口34から排気口36にむけて負荷圧Paがもれることもない。
【0043】
つぎに、図示されていない制御回路から駆動信号がスプール駆動モータ80に出され、スプール40を押す方向、すなわち図2に示す+X方向に駆動力が与えられたとする。この場合、中央ランド部44が排気口36側に移動するので、第1圧力室62が負荷口34とつながることになり、1次側空気圧を有する空気が負荷口34を通って図示されていない空気ばねに供給される。すなわち負荷口34の空気圧が上昇して2次側空気圧である負荷圧Paが上昇する。負荷圧Paが上昇すると、帰還流路72を経由して、帰還圧力室68の空気圧が上昇する。帰還圧力室68は、緩衝ランド部48の外径とカラー部50の外径とが異なるので、空気圧受面積が異なり、その差により、帰還力が発生する。図2の場合、スプール40を戻す方向、すなわち−X方向の帰還力が働く。このように、+X方向の駆動力に対し、−X方向の帰還力が働くので、スプール40の移動はきわめて少ない量となる。すなわち、少ない移動量で、負荷圧Paの大きな変化を制御できる。
【0044】
これと逆に、図示されていない制御回路から駆動信号がスプール駆動モータ80に出され、スプール40を引く方向、すなわち図2に示す−X方向に駆動力が与えられたとする。この場合、中央ランド部44が供給口32側に移動するので、第2圧力室64が負荷口34とつながることになり、空気ばね側から負荷圧Paを有する空気が第2圧力室64を通って大気側に開放される。すなわち負荷口34の空気圧が低下して2次側空気圧である負荷圧Paが低下する。負荷圧Paが低下すると、帰還流路72を経由して、帰還圧力室68の空気圧が低下する。緩衝ランド部48を隔てた緩衝圧力室66には、バイパス流路70を介して1次側空気圧Psが来ているので、スプール40を押す方向、すなわち+X方向の帰還力が働く。このように、−X方向の駆動力に対し、+X方向の帰還力が働くので、やはりスプール40の移動はきわめて少ない量となる。すなわち、少ない移動量で、負荷圧Paの大きな変化を制御できる。
【0045】
次に、空気軸受部100,102の作用につき説明する。図4は、空気軸受部100の周辺の断面拡大図である。上記のように、空気軸受部100の周辺において、供給口側ランド部42の表面に、細長い浅溝110が設けられ、その浅溝110は、高圧の1次側空気圧Psの方から低圧の大気圧Poの方に向けて延びるように配置される。したがって、空気は、高圧側から浅溝110を通り、より狭い隙間に向かって絞られて低圧側に流れるので、いわゆる表面絞り装置となる。この絞り効果のため、絞り部分で圧力上昇を生じ、供給口側ランド部42をスリーブに対し浮上させる。
【0046】
もう一方の空気軸受部102においても、排気口側ランド部46に設けられる浅溝は、高圧の1次側空気圧Psの方から低圧の大気圧Poの方に向けて延びるように配置される。したがって、浅溝による表面絞り効果により、絞り部分で圧力上昇を生じ、排気口側ランド部46をスリーブに対し浮上させる。
【0047】
このようにして、空気軸受部100,102の作用により、スプール40は、スリーブ30に対し浮上する。したがって、スプール40のスリーブ30に対する運動は、滑らかなものとなる。
【0048】
次にサーチコイル90の作用を説明する。図5は、精密空気圧制御弁10のブロックダイアグラムである。制御回路から駆動モータに指令値e0が与えられると、電流ブースタ120により増幅されるとともに電流iに変換される。電流iは、モータ定数120により駆動力Fに変換され、スプール等の運動系のゲイン124によりスプールの変位yとなる。この変位yは、スプールとスリーブとの協働作用を示すゲイン126により、負荷口に流れる流量Qに変換され、流量Qの積分128により負荷圧Paが出力される。負荷圧Paは、帰還圧力室の作用により帰還係数130分だけ駆動力にフィードバックされる。以上がメイン動作に相当する。ここで、スプールの変位yは、サーチコイルの作用により微分132され、速度vとなる。そして、変換係数134により電圧に変換され、指令値e0にフィードバックされる。
【0049】
図5からわかるように、メイン動作においては、スプールの運動系のゲイン124は、質量要素とばね要素からなっていて、ダンピング要素を含んでいない。これは、精密空気圧制御弁が直接駆動型であるため、スプール等の質量Mと、移動復元手段のばねkで運動系が構成されるためである。ここで、サーチコイルのフィードバックループには、変位yの微分132が含まれるので、これによりダンピング要素を付加することができる。したがって、運動全体を滑らかなものとできる。
【0050】
図6は、ノズルフラッパ駆動型精密空気圧制御弁210の断面図である。この精密空気圧制御弁210は、筐体の内部にスリーブ30とスプール40が収納され、スプール40は、ノズルフラッパ機構により駆動される。
【0051】
筐体は、筐体本体部212と、筐体本体部212の一方端側においてフラッパ310と駆動モータ320を取り付けるための組合せ蓋214と、他方端において帰還圧力室を形成するための帰還圧力室側蓋216とからなる。組合せ蓋214は、フラッパ取付リング217と、駆動モータ取付リング218と、駆動モータ側蓋219とから構成される。
【0052】
フラッパ310は、先端に平坦な面を有する棒部材で、先端側に第1センタリングばね312が取り付けられ、棒の他方端に第2センタリングばね314が取り付けられる。第1センタリングばね312及び第2センタリングばね314は、フラッパ310をねじることなく図6に示すX軸方向に移動可能に支持するための板ばねである。センタリングばねとして、例えば、円形の薄板で、中心部分にフラッパの取付部を設け、周辺部分に固定部を設け、取付部と固定部とを複数のブリッジで接続するもの等を用いることができる。第1センタリングばね312の周辺固定部はフラッパ取付リング217に取り付けられ、第2センタリングばね314の周辺固定部は駆動モータ側蓋219に取り付けられる。
【0053】
また、フラッパ310は駆動モータ320の駆動軸322と接続される。駆動モータ320は、駆動軸322の他端部に巻回されるコイル324と、駆動モータ取付リング218に取り付けられる永久磁石326とを含むボイスコイルモータで構成することができる。駆動モータ320への駆動信号は図示されていない制御回路から入力される。したがって、駆動信号に応じ、駆動モータ320の駆動軸322を介し、フラッパ310をX方向に移動駆動することができる。
【0054】
筐体本体部212は、3つの空気圧ポートを有する概略円筒状の部材である。3つの空気圧ポートは、円筒状の壁を貫通する3つの穴で、それぞれ1次側空気圧Psを有する空気を供給する供給ポート222、負荷である空気ばねに2次側空気圧Paを出力する負荷ポート224及び大気圧Poに向けて開放される排気ポート226である。供給ポート222、負荷ポート224及び排気ポート226は、組合せ蓋214の側から帰還圧力室側蓋216の方向に、この順序で配列される。各ポートには適当なジョイントでもって、空気を導くパイプ等が接続される。
【0055】
筐体本体部212の円筒状の両端には、組合せ蓋214と帰還圧力室側蓋216がそれぞれ取り付けられて外部から遮蔽される。したがって、筐体本体部212と組合せ蓋214と帰還圧力室側蓋216と各ポートに接続されるパイプにより、気密なケースが形成され、その内部は、外部のごみ等による汚染から保護される。
【0056】
スリーブ230は、筐体本体部12の内周壁に固定して取り付けられ、その形状が精密に加工されて形成される概略円筒状の部材である。図6に示すように、スリーブ230において、組合せ蓋214の側の一方端にはノズル300がフラッパ310に開口部を向けて取り付けられ、他方端にはOリング213を介し帰還圧力室側蓋216が気密に接続される。したがって、スリーブ230は、両端をノズル300及び帰還圧力室側蓋216で覆われた円筒となり、このノズル300と帰還圧力室側蓋216との間の空間にスプール240が配置される。
【0057】
スリーブ230の内周部は、後述する空気軸受部302,304,306によりスプール240を軸方向に移動可能に支持するために、精密な内径に加工される内壁を有する。そしてその内壁には、スプール240の各部の配置と寸法に精密に対応するように、精密な配置関係と寸法に加工される供給口232と負荷口234と排気口236の開口部が設けられる。供給口232、負荷口234及び排気口236は、それぞれ筐体本体部212の供給ポート222、負荷ポート224及び排気ポート226とそれぞれ接続される。
【0058】
スプール240は、直径の異なる円板及び軸を複数軸方向に配列して接続して構成される部材である。スプール240とスリーブ230の周辺部分を抜き出した断面図を図7に示す。スプール240の各構成要素は、スリーブ230の供給口232側から排気口236側に向かう軸方向に沿って、「絞り部取付ランド部242−大気圧室ステム部252−供給口側ランド部244−第1圧力室ステム部254−中央ランド部246−第2圧力室ステム部256−排気口側ランド部248」の順に配列される。
【0059】
スプール240とスリーブ230とは、協働して精密な空気圧制御のための空気回路を形成する。そのため、スプール240の各要素の形状及び寸法は、以下のように、スリーブ230の各要素の形状及び寸法と密接な関係で設定される。
【0060】
スプール240のランド部は、スリーブ230の内径D0よりやや小さい外径D1を有する円板で、例えば、スリーブ230の内径D0を10mmとして、各ランド部の外径D1をD0から約7μm小さい値とすることができる。
ができる。
【0061】
スプール240のステム部は、隣り合うランド部の間を接続する軸で、大気圧室ステム部252を除き、同じ外径D3を有する。例えば、上記の例でD3=5mmとすることができる。大気圧室ステム部252の外径は、各ランド部の外径D1より一回り小さい適当な大きさに設定される。例えば、上記の例で、約9mmとすることができる。
【0062】
このように、各ステム部の軸外径は、その両側のランド部の直径より小さく設定され、各ランド部はスリーブ230により支持される。すなわち、各ステム部に対応するところには、スリーブ230との間にそれぞれ空間が形成される。これらの空間には、空気を導き、あるいは流し、あるいは保持することができるので、圧力室と呼ぶことにする。すなわち、供給口側ランド部244と中央ランド部246との間の空間をスリーブ230の内壁で囲むことで第1圧力室262が形成され、中央ランド部246と排気口側ランド部248との間の空間をスリーブ230の内壁で囲むことで第2圧力室264が形成される。
【0063】
また、絞り部取付ランド部242と供給口側ランド部244との間の空間をスリーブ230の内壁で囲むことで大気圧室260が形成される。スリーブ230には、その外周側から大気圧室260に向けて貫通穴である大気圧導入口276が設けられる。大気圧導入口276は、スリーブ230の外側の空気、すなわち大気圧を有する空気を、大気圧室260に導入する機能を有する。
【0064】
スプール240の先端の絞り部取付ランド部242には、絞り部280が取り付けられる。絞り部280は、例えばオリフィス絞りで構成できる。
【0065】
スプール240の内部には、空気流路270が設けられる。空気流路270は、第1圧力室ステム部254に空気取入口を有し、その空気取入口から絞り部取付ランド部242側に延びて絞り部280に対し一方側の開口を有し、空気取入口から排気口側ランド部248側に延びて空気軸受部306に対し他方側の開口を有する。第1圧力室ステム部254に設けられた空気取入口は、第1圧力室262に向かい合うので、空気流路270には第1圧力室262の圧力を有する空気が流れることになる。すなわち、空気流路270は、第1圧力室262の圧力を有する空気を絞り部280及び空気軸受部306に供給する機能を有する。
【0066】
ノズル300とスプール240の一方端の絞り部280との間の空間はスリーブ230に囲まれて、ノズル側圧力室290が形成される。したがって、第1圧力室262の圧力を有する空気は、空気流路270を介し、絞り部280を通ってノズル側圧力室290に導かれる。絞り部280を空気流路270に配置することで、適当な流体抵抗を付加することができ、第1圧力室262の圧力である1次側空気圧をより安定した状態でノズル側圧力室290に供給することができる。ノズル側圧力室290に供給された空気は、ノズル300を通って、ノズル300とフラッパ310との間に噴出す。また、ノズル側圧力室290において、スプール240とノズル300との間にコイルばね294が設けられる。
【0067】
帰還圧力室側蓋216とスプール240の他方端との間の空間は、帰還圧力室側蓋216に囲まれ、帰還圧力室292が形成される。帰還圧力室側蓋216には、帰還圧力室292に向けて開口を有する帰還流路272が設けられる。帰還流路272は、図6に示すように、さらに筐体本体部212の内部に延びて、スリーブ230の負荷口234に向かって他方側の開口を有する。筐体本体部212と帰還圧力室側蓋216との接続部分には、Oリング215が設けられ、帰還流路272は漏れのないように接続される。すなわち、帰還流路272は負荷口234と帰還圧力室292とを連通する機能を有する。したがって、帰還圧力室292の圧力は、負荷口234の圧力が帰還され、負荷圧と同じ空気圧となる。
【0068】
帰還流路272の帰還圧力室292に向かう開口には、絞り部274が設けられる。絞り部274は、例えばオリフィス絞りで構成できる。絞り部274を帰還流路272に配置することで、適当な流体抵抗を付加することができ、負荷口234の圧力である2次側空気圧をより安定した状態で帰還圧力室292に帰還することができる。
【0069】
また、帰還圧力室292において、スプール240と帰還圧力室側蓋216との間にコイルばね296が設けられる。コイルばね296は、ノズル側圧力室290に設けられるコイルばね294とともに、スプール240に対する移動復元手段を構成する。
【0070】
中央ランド部246の幅W1は、スリーブ230の負荷口234の開口幅W0と精密に同じ寸法に設定される。好ましくは中央ランド部246の幅W1を負荷口234の開口幅W0より微小量だけ大きく設定するのがよい。図7に示す状態は、中央ランド部246の幅W1でちょうど負荷口234の開口幅W0を覆った状態で、精密空気圧制御弁210の初期状態に相当する。
【0071】
第1圧力室ステム部254の長さは、供給口232の開口幅より十分大きく設定される。また、第2圧力室ステム部256の長さは、排気口236の開口幅より十分大きく設定される。
【0072】
空気軸受部302,304,306は、ランド部とスリーブ内壁との間に設けられた高圧の空気を流すことのできる隙間であって、スリーブ230に対しスプール240を浮上させて支持する機能を有する。
【0073】
空気軸受部302,304は、図3、図4で説明した表面絞り装置を用いるものである。すなわち、空気軸受部302は、その周辺において、供給口側ランド部244の表面に、細長い浅溝が設けられ、その浅溝は、第1圧力室262の端部から大気圧室260の方に、すなわち高圧の1次側空気圧Psの方から低圧の大気圧Poの方に向けて延びるように配置される。同様に、空気軸受部304は、絞り部取付ランド部242の表面に、細長い浅溝が設けられ、その浅溝は、ノズル側圧力室290の端部から大気圧室260の方に、すなわち高圧のノズル側圧力室290の方から低圧の大気圧Poの方に向けて延びるように配置される。したがって、空気は、高圧側から浅溝を通り、より狭い隙間に向かって絞られて低圧側に流れ、この絞り効果のため、絞り部分で圧力上昇を生じ、スプール240をスリーブ230に対し浮上させる。
【0074】
空気軸受部306は、排気口側ランド部248にポケット絞り装置を設けて、スプール240をスリーブ230に対し浮上させるものである。図8は、空気軸受部306周辺の排気口側ランド部248の斜視図である。排気口側ランド部248には、浅いポケット溝307が設けられ、ポケット溝307は、空気流路270の他方側開口部308が接続される。ポケット溝307の深さは、例えば、排気口側ランド部248とスリーブ230との隙間が約7μmの例において、約3−20μmとすることができる。ポケット溝307の幅Lは、排気口側ランド部248の幅の一部でよい。例えば、排気口側ランド部248の幅の約1/2とすることができる。
【0075】
ポケット溝307は、排気口側ランド部248の幅のほぼ中央に配置され、その長さLの方向はスプール240の軸方向である。すなわち、ポケット溝307の長手に延びる方向は、空気流路270の開口部308を中心として、第2圧力室264側と、帰還圧力室292側である。開口部308における圧力は第1圧力室262の圧力、すなわち1次側空気圧Psであり、第2圧力室264と帰還圧力室292の圧力は負荷圧、すなわち2次側空気圧Paである。したがって、ポケット溝307の長手方向は、空気圧が高い方から低い方に向かって延びるように設けられる。したがって、空気は、高圧側から浅いポケット溝を通り、より狭い隙間に向かって絞られて低圧側に流れ、この絞り効果のため、絞り部分で圧力上昇を生じ、スプール240をスリーブ230に対し浮上させる。
【0076】
図9は、ポケット溝307周辺の拡大断面図である。このように、空気流路270のポケット溝307に向かう開口部308には、絞り部309が設けられる。絞り部309は、例えばオリフィス絞りで構成できる。絞り部309を空気流路270に配置することで、適当な流体抵抗を付加することができ、第1圧力室262の圧力である2次側空気圧をより安定した状態でポケット溝307に供給することができる。
【0077】
上記構成の精密空気圧制御弁210の動作及び作用を説明する。精密空気圧制御弁210において、供給ポート222には1次側空気圧Psが供給され、排気ポート226は大気に開放され大気圧Poとなっている。負荷ポート224は、図示されていない負荷である空気ばねに接続されている。初期状態においては、図示されていない制御回路から駆動モータ320には駆動信号はゼロである。このとき、コイルばね294,296等の調整で、図7に示すように、中央ランド部246が負荷口234をちょうど覆うようにする。
【0078】
このスプール240の初期状態の位置は、次のようにして定まる。すなわち、1次側空気圧Psを有する空気は、「供給口232−第1圧力室262−空気流路270−絞り部280−ノズル側圧力室290−ノズル300」の経路を経て、ノズル300の開口からフラッパ310に向けて噴出する。ノズル300の先端とフラッパ310表面との間の初期状態の距離に応じてその噴出状態が定まり、ノズル側圧力室290の圧力が定まる。一方、帰還圧力室292には、負荷口234の圧力、すなわち負荷圧Paが帰還されている。したがって、スプール240の両端には、ノズル側圧力室290の圧力による押し力と、帰還圧力室292の圧力による戻し力とが作用する。その差分だけスプール240は押されるが、コイルばね294,296による復元力も働き、これらのバランスで、スプール240の初期の位置が定まる。そこで、コイルばね294,296等の調整で、中央ランド部246が負荷口234をちょうど覆うようにする。あるいは、この状態となる駆動モータ320の駆動信号をもって初期状態としてもよい。
【0079】
この初期状態において、第1圧力室262は1次側空気圧Psを有する空気で満たされるが、中央ランド部246が負荷口234をちょうど覆っているので、負荷口234には1次側空気圧Psを有する空気が流れない。同様に、中央ランド部246が負荷口234をちょうど覆っているので、負荷口234から排気口236にむけて負荷圧Paがもれることもない。
【0080】
つぎに、図示されていない制御回路から駆動信号が駆動モータ320に出され、フラッパ310を押し出す方向、すなわち図6に示す+X方向に駆動力が与えられたとする。この場合、フラッパ310とノズル300との間の距離が狭まるので、ノズル側圧力室290の圧力が上がり、スプール240を+X方向に押す。すなわち、中央ランド部246が排気口236側に移動するので、第1圧力室262が負荷口234とつながることになり、1次側空気圧Psを有する空気が負荷口234を通って図示されていない空気ばねに供給される。すなわち負荷口234の空気圧が上昇して2次側空気圧である負荷圧Paが上昇する。負荷圧Paが上昇すると、帰還流路272を経由して、帰還圧力室292の空気圧が上昇する。したがって、帰還力が増大し、スプール240を戻す方向、すなわち−X方向の帰還力が働く。このように、+X方向の駆動力に対し、−X方向の帰還力が働くので、スプール240の移動はきわめて少ない量となる。すなわち、少ない移動量で、負荷圧Paの大きな変化を制御できる。
【0081】
これと逆に、図示されていない制御回路から駆動信号が駆動モータ320に出され、スプール240を引く方向、すなわち図7に示す−X方向に駆動力が与えられたとする。この場合、ノズル側圧力室290の圧力が下がり、スプール240を−X方向に引き戻す。したがって、中央ランド部246が供給口232側に移動するので、第2圧力室264が負荷口234とつながることになり、空気ばね側から負荷圧Paを有する空気が第2圧力室264を通って大気側に開放される。すなわち負荷口234の空気圧が低下して2次側空気圧である負荷圧Paが低下する。負荷圧Paが低下すると、帰還流路272を経由して、帰還圧力室292の空気圧が低下し、+X方向の帰還力が働く。このように、−X方向の駆動力に対し、+X方向の帰還力が働くので、やはりスプール240の移動はきわめて少ない量となる。すなわち、少ない移動量で、負荷圧Paの大きな変化を制御できる。
【0082】
次に、空気軸受部302,304,306の作用につき説明する。空気軸受部302,304は、図4で説明したと同様に、空気軸受部302,304の周辺において、ランド部の表面に、細長い浅溝が設けられ、その浅溝は、高圧側から低圧の大気圧Poの方に向けて延びるように配置される。したがって、空気は、高圧側から浅溝を通り、より狭い隙間に向かって絞られて低圧側に流れるので、いわゆる表面絞り装置となる。この絞り効果のため、絞り部分で圧力上昇を生じ、各ランド部をスリーブ230に対し浮上させる。
【0083】
空気軸受部306は、図9に示すように、排気口側ランド部248に設けられるポケット溝307は、高圧の1次側空気圧Psの方から低圧の大気圧Poの方に向けて延びるように配置される。したがって、空気は、高圧側からポケット溝を通り、より狭い隙間に向かって絞られて低圧側に流れるので、いわゆるポケット絞り装置となる。この絞り効果のため、絞り部分で圧力上昇を生じ、各ランド部をスリーブ230に対し浮上させる。
【0084】
このようにして、空気軸受部302,304,306の作用により、スプール240は、スリーブ230に対し浮上する。したがって、スプール240のスリーブ230に対する運動は、滑らかなものとなる。
【0085】
【発明の効果】
本発明に係る精密気体圧制御弁は、気体圧等を精密に制御することができる。本発明に係る精密気体圧制御弁は、スリーブに対してスプールをより滑らかに移動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る実施の形態の直接駆動型精密空気圧制御弁の断面図である。
【図2】本発明に係る実施の形態において、スプールとスリーブの部分の断面図である。
【図3】本発明に係る実施の形態において、空気軸受部周辺の斜視図である。
【図4】本発明に係る実施の形態において、空気軸受部周辺の断面拡大図である。
【図5】本発明に係る実施の形態における精密空気圧制御弁のブロックダイアグラムである。
【図6】本発明に係る実施の形態におけるノズルフラッパ駆動型精密空気圧制御弁の断面図である。
【図7】本発明に係る実施の形態において、スプールとスリーブの部分の断面図である。
【図8】本発明に係る実施の形態において、他の空気軸受部周辺の斜視図である。
【図9】本発明に係る実施の形態において、他の空気軸受部周辺の断面拡大図である。
【符号の説明】
10 直接駆動型精密空気圧制御弁、30,230 スリーブ、32,232供給口、34,234 負荷口、36,236 排気口、38 カラー部支持材、40,240 スプール、42,244 供給口側ランド部、44,246中央ランド部、46,248 排気口側ランド部、50 カラー部、54,254 第1圧力室ステム部、56,256 第2圧力室ステム部、60 帰還室ステム部、62,262 第1圧力室、64,264 第2圧力室、68,292 帰還圧力室、72,272 帰還流路、74,274,280,309 絞り部、80 スプール駆動モータ、90 サーチコイル、100,102,302,304,306 空気軸受部、210 ノズルフラッパ駆動型精密空気圧制御弁、270 空気流路、300 ノズル、307 ポケット溝、310 フラッパ、320 駆動モータ。
Claims (8)
- 間隔をおいて軸方向に配列された複数のランド部と、隣接するランド部を接続するステム部とを含むスプールと、
スプールを軸方向移動可能に支持する内壁を有し、スプールと協働してスプールの隣り合うランド部の間の空間を内壁で囲むことで少なくとも第1圧力室と第2圧力室とを形成するスリーブであって、第1圧力室に対し1次側気体圧を有する気体を供給する供給口と、第2圧力室から気体を排気する排気口と、第1圧力室又は第2圧力室から2次側気体圧を有する気体を取出して出力する負荷口とを含むスリーブと、
スプールに取り付けられる移動復元手段と、
スプールのランド部の外周と、ランド部に対向するスリーブの内壁との間に設けられる気体軸受部と、
スプールに取り付けられ、スプールを軸方向に移動駆動するスプール移動機構と、
を備え、スプール移動機構の駆動に応じ、第1圧力室及び第2圧力室とがスリーブの供給口及び排気口及び負荷口に対し相対的に滑らかに移動することにより、負荷口の2次側気体圧を制御することを特徴とする精密気体圧制御弁。 - 請求項1に記載の精密気体圧制御弁であって、
スプール移動機構を制御する制御回路と、
スプールに設けられ、スプールの軸方向速度を検出するサーチコイルと、
検出されたスプールの軸方向速度に基づき、スプールの運動に関するダンピング成分を制御回路に帰還する速度帰還回路と、
を備えることを特徴とする精密気体圧制御弁。 - 請求項1に記載の精密気体圧制御弁は、スプールとスリーブとの協働により形成されて2次側気体圧を有する気体が帰還される帰還圧力室を有し、
スプールは、ランド部にステム部を介して接続され、ランド部の気体圧受面積と異なる気体圧受面積を有するカラー部を含み、
スリーブは、カラー部を軸方向移動可能に支持するカラー支持内壁部を含み、スプールのランド部とカラー部の間の空間を内壁で囲むことで帰還圧力室を形成するスリーブであり、
帰還圧力室に2次側気体圧を有する気体が導かれることで、気体圧受面積の差に対応する2次側気体圧の帰還力がスプールに与えられることを特徴とする精密気体圧制御弁。 - 間隔をおいて軸方向に配列された複数のランド部と、隣接するランド部を接続するステム部とを含むスプールと、
スプールを軸方向移動可能に支持する内壁を有し、スプールと協働してスプールの隣り合うランド部の間の空間を内壁で囲むことで少なくとも第1圧力室と第2圧力室とを形成するスリーブであって、第1圧力室に対し1次側気体圧を有する気体を供給する供給口と、第2圧力室から気体を排気する排気口と、第1圧力室又は第2圧力室から2次側気体圧を有する気体を取出して出力する負荷口とを含むスリーブと、
スプールに取り付けられる移動復元手段と、
スプールのランド部の外周と、ランド部に対向するスリーブの内壁との間に設けられる気体軸受部と、
駆動機構により軸方向に移動駆動されるフラッパと、フラッパに対し開口部を有するノズルとを含み、ノズルに気体を供給し、フラッパとノズルの開口部との距離に応じて出力される出力気体圧に応じてスプールを軸方向に移動駆動するスプール移動機構と、
を備え、スプール移動機構の駆動に応じ、第1圧力室及び第2圧力室とがスリーブの供給口及び排気口及び負荷口に対し相対的に滑らかに移動することにより、負荷口の2次側気体圧を制御することを特徴とする精密気体圧制御弁。 - 請求項4に記載の精密気体圧制御弁において、
スリーブは、一端側にスプール移動機構のノズルが設けられ、開口部分を除き気密にスプールをその内部に収納するケース状のスリーブであって、ノズルとスプールの一端側との間にノズルに供給される気体が導入されるノズル側圧力室が形成され、スプールの他端側とスリーブの他端側との間に2次側気体圧を有する気体が導入される帰還圧力室が形成されることを特徴とする精密気体圧制御弁。 - 請求項5に記載の精密気体圧制御弁において、
ノズル側圧力室には、1次側気体圧に対し絞り機構を経由させた後の気体が供給されることを特徴とする精密気体圧制御弁。 - 請求項6に記載の精密気体圧制御弁において、
スプールの軸方向に沿いその内部に設けられる気体流路であって、スリーブの供給口に向かい合い1次側気体圧を有する気体を取り込む取込口と、絞り機構を介してスプール移動機構のノズルに向かい合うノズル側開口部と、気体軸受部に対し開口する軸受側開口部とを有する気体流路を含むことを特徴とする精密気体圧制御弁。 - 請求項7に記載の精密気体圧制御弁において、
軸受側開口部は、気体流路から絞り機構を介した後スリーブに対しポケット状に広がって開口する開口部であることを特徴とする精密気体圧制御弁。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003169763A JP2005003163A (ja) | 2003-06-13 | 2003-06-13 | 精密気体圧制御弁 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003169763A JP2005003163A (ja) | 2003-06-13 | 2003-06-13 | 精密気体圧制御弁 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005003163A true JP2005003163A (ja) | 2005-01-06 |
Family
ID=34094801
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003169763A Pending JP2005003163A (ja) | 2003-06-13 | 2003-06-13 | 精密気体圧制御弁 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005003163A (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007187296A (ja) * | 2006-01-16 | 2007-07-26 | Psc Kk | 気体圧制御弁 |
JP2010103199A (ja) * | 2008-10-22 | 2010-05-06 | Psc Kk | アクチュエータ及び気体圧制御弁 |
JP2011161980A (ja) * | 2010-02-05 | 2011-08-25 | Psc Kk | 車両用空気ばねシステム |
JP4850978B1 (ja) * | 2011-05-09 | 2012-01-11 | ピー・エス・シー株式会社 | 車体傾斜装置及び車体傾斜装置に用いられる二層三方弁 |
WO2012153757A1 (ja) * | 2011-05-09 | 2012-11-15 | ピー・エス・シー株式会社 | 車両用自動高さ調整弁 |
JP2013501201A (ja) * | 2009-08-05 | 2013-01-10 | イートン コーポレーション | 一体化されたチェックバルブを有する比例ポペットバルブ |
CN105587885A (zh) * | 2016-03-11 | 2016-05-18 | 航天长征化学工程股份有限公司 | 一种密封球阀 |
CN105736751A (zh) * | 2016-04-21 | 2016-07-06 | 宁波陈氏鑫光气动有限公司 | 一种板式电磁阀 |
CN114423981A (zh) * | 2019-09-24 | 2022-04-29 | 伊格尔工业股份有限公司 | 滑阀 |
-
2003
- 2003-06-13 JP JP2003169763A patent/JP2005003163A/ja active Pending
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007187296A (ja) * | 2006-01-16 | 2007-07-26 | Psc Kk | 気体圧制御弁 |
JP2010103199A (ja) * | 2008-10-22 | 2010-05-06 | Psc Kk | アクチュエータ及び気体圧制御弁 |
JP2013501201A (ja) * | 2009-08-05 | 2013-01-10 | イートン コーポレーション | 一体化されたチェックバルブを有する比例ポペットバルブ |
JP2011161980A (ja) * | 2010-02-05 | 2011-08-25 | Psc Kk | 車両用空気ばねシステム |
JP2012232716A (ja) * | 2011-05-09 | 2012-11-29 | Psc Kk | 車両用自動高さ調整弁 |
WO2012153757A1 (ja) * | 2011-05-09 | 2012-11-15 | ピー・エス・シー株式会社 | 車両用自動高さ調整弁 |
WO2012153759A1 (ja) * | 2011-05-09 | 2012-11-15 | ピー・エス・シー株式会社 | 車体傾斜装置及び車体傾斜装置に用いられる二層三方弁 |
JP4850978B1 (ja) * | 2011-05-09 | 2012-01-11 | ピー・エス・シー株式会社 | 車体傾斜装置及び車体傾斜装置に用いられる二層三方弁 |
US8935984B2 (en) | 2011-05-09 | 2015-01-20 | Pneumatic Servo Controls Ltd. | Vehicle-body inclination device and double-layer three-way valve used in vehicle-body inclination device |
CN105587885A (zh) * | 2016-03-11 | 2016-05-18 | 航天长征化学工程股份有限公司 | 一种密封球阀 |
CN105587885B (zh) * | 2016-03-11 | 2024-05-28 | 航天长征化学工程股份有限公司 | 一种密封球阀 |
CN105736751A (zh) * | 2016-04-21 | 2016-07-06 | 宁波陈氏鑫光气动有限公司 | 一种板式电磁阀 |
CN105736751B (zh) * | 2016-04-21 | 2019-07-23 | 宁波陈氏鑫光气动有限公司 | 一种板式电磁阀 |
CN114423981A (zh) * | 2019-09-24 | 2022-04-29 | 伊格尔工业股份有限公司 | 滑阀 |
CN114423981B (zh) * | 2019-09-24 | 2024-05-10 | 伊格尔工业股份有限公司 | 滑阀 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6628968B2 (ja) | 流体サーボバルブ及び流体サーボ装置 | |
US5317221A (en) | Linear driving device | |
US6935374B2 (en) | Pressure proportional control valve | |
JP2005003163A (ja) | 精密気体圧制御弁 | |
JP2002066859A (ja) | テーブル送りシステム | |
JP5265210B2 (ja) | ピストン駆動機構の静圧気体軸受及び気体圧アクチュエータ | |
JP4106392B2 (ja) | 気体圧制御アクチュエータ、気体圧制御アクチュエータ用気体軸受機構及び気体圧制御アクチュエータを用いた微小変位出力装置 | |
US3814131A (en) | Servo valve | |
JP2007187296A (ja) | 気体圧制御弁 | |
JP7177492B2 (ja) | 流体サーボバルブ及び流体サーボ装置 | |
JP2000055211A (ja) | 電磁弁 | |
JP4559822B2 (ja) | 気体圧制御弁 | |
JP4636830B2 (ja) | ノズルフラッパ弁 | |
JP4234874B2 (ja) | フリクションレスエアシリンダ | |
JP5122350B2 (ja) | 板材用気体圧支持機構 | |
JP4695856B2 (ja) | 気体圧制御弁 | |
JP2009071930A (ja) | 電流駆動型アクチュエータ駆動制御装置 | |
JPH07280123A (ja) | 電磁弁 | |
JPH11283828A (ja) | 比例ソレノイド型アクチュエータ | |
JP2002107479A (ja) | ステージ装置 | |
JP4607658B2 (ja) | 気体制御アクチュエータ | |
JPS58196375A (ja) | 流量制御装置 | |
JP2005147318A (ja) | アクティブ振動制御装置及びシステム | |
JPH0510330A (ja) | 静圧軸受装置 | |
JP2005268293A (ja) | 微小移動機構 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060609 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080130 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080205 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080402 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080617 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080815 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20081007 |